0.000000e+00,1.010101e+00,2.000000e+00,2.020202e+00,3.030303e+00,4.000000e+00,4.040404e+00,5.050505e+00,6.000000e+00,6.060606e+00,7.070707e+00,8.000000e+00,8.080808e+00,9.090909e+00,1.000000e+01,1.010101e+01,1.111111e+01,1.200000e+01,1.212121e+01,1.313131e+01,1.400000e+01,1.414141e+01,1.515152e+01,1.600000e+01,1.616162e+01,1.717172e+01,1.800000e+01,1.818182e+01,1.919192e+01,2.000000e+01,2.020202e+01,2.121212e+01,2.200000e+01,2.222222e+01,2.323232e+01,2.400000e+01,2.424242e+01,2.525253e+01,2.600000e+01,2.626263e+01,2.727273e+01,2.800000e+01,2.828283e+01,2.929293e+01,3.000000e+01,3.030303e+01,3.131313e+01,3.200000e+01,3.232323e+01,3.333333e+01,3.400000e+01,3.434343e+01,3.535354e+01,3.600000e+01,3.636364e+01,3.737374e+01,3.800000e+01,3.838384e+01,3.939394e+01,4.000000e+01,4.040404e+01,4.141414e+01,4.200000e+01,4.242424e+01,4.343434e+01,4.400000e+01,4.444444e+01,4.545455e+01,4.600000e+01,4.646465e+01,4.747475e+01,4.800000e+01,4.848485e+01,4.949495e+01,5.000000e+01,5.050505e+01,5.151515e+01,5.200000e+01,5.252525e+01,5.353535e+01,5.400000e+01,5.454545e+01,5.555556e+01,5.600000e+01,5.656566e+01,5.757576e+01,5.800000e+01,5.858586e+01,5.959596e+01,6.000000e+01,6.060606e+01,6.161616e+01,6.200000e+01,6.262626e+01,6.363636e+01,6.400000e+01,6.464646e+01,6.565657e+01,6.600000e+01,6.666667e+01,6.767677e+01,6.800000e+01,6.868687e+01,6.969697e+01,7.000000e+01,7.070707e+01,7.171717e+01,7.200000e+01,7.272727e+01,7.373737e+01,7.400000e+01,7.474747e+01,7.575758e+01,7.600000e+01,7.676768e+01,7.777778e+01,7.800000e+01,7.878788e+01,7.979798e+01,8.000000e+01,8.080808e+01,8.181818e+01,8.200000e+01,8.282828e+01,8.383838e+01,8.400000e+01,8.484848e+01,8.585859e+01,8.600000e+01,8.686869e+01,8.787879e+01,8.800000e+01,8.888889e+01,8.989899e+01,9.000000e+01,9.090909e+01,9.191919e+01,9.200000e+01,9.292929e+01,9.393939e+01,9.400000e+01,9.494949e+01,9.595960e+01,9.600000e+01,9.696970e+01,9.797980e+01,9.800000e+01,9.898990e+01,1.000000e+02,1.020000e+02,1.040000e+02,1.060000e+02,1.080000e+02,1.100000e+02,1.120000e+02,1.140000e+02,1.160000e+02,1.180000e+02,1.200000e+02,1.220000e+02,1.240000e+02,1.260000e+02,1.280000e+02,1.300000e+02,1.320000e+02,1.340000e+02,1.360000e+02,1.380000e+02,1.400000e+02,1.420000e+02,1.440000e+02,1.460000e+02,1.480000e+02,1.500000e+02,1.520000e+02,1.540000e+02,1.560000e+02,1.580000e+02,1.600000e+02,1.620000e+02,1.640000e+02,1.660000e+02,1.680000e+02,1.700000e+02,1.720000e+02,1.740000e+02,1.760000e+02,1.780000e+02,1.800000e+02,1.820000e+02,1.840000e+02,1.860000e+02,1.880000e+02,1.900000e+02,1.920000e+02,1.940000e+02,1.960000e+02,1.980000e+02
0.000000e+00,1.665987e-07,3.343472e-06,3.508806e-06,2.736137e-05,1.176163e-04,1.238789e-04,3.727492e-04,7.846255e-04,8.163287e-04,1.415945e-03,2.043566e-03,2.099859e-03,2.809214e-03,3.437168e-03,3.505451e-03,4.165613e-03,4.706588e-03,4.777167e-03,5.334220e-03,5.768275e-03,5.835006e-03,6.280259e-03,6.612939e-03,6.672180e-03,7.013782e-03,7.258732e-03,7.308472e-03,7.559796e-03,7.732002e-03,7.771276e-03,7.946322e-03,8.059655e-03,8.088171e-03,8.199861e-03,8.266326e-03,8.284226e-03,8.343893e-03,8.373579e-03,8.381287e-03,8.398631e-03,8.399858e-03,8.397968e-03,8.381169e-03,8.360731e-03,8.349945e-03,8.305862e-03,8.269275e-03,8.250349e-03,8.184714e-03,8.136434e-03,8.110150e-03,8.027744e-03,7.971350e-03,7.938486e-03,7.843281e-03,7.781629e-03,7.742948e-03,7.638237e-03,7.573594e-03,7.529827e-03,7.418335e-03,7.352481e-03,7.304323e-03,7.188298e-03,7.122618e-03,7.070721e-03,6.952010e-03,6.887569e-03,6.832542e-03,6.712657e-03,6.650255e-03,6.592662e-03,6.472833e-03,6.413059e-03,6.353417e-03,6.234638e-03,6.177909e-03,6.116692e-03,5.999758e-03,5.946351e-03,5.883990e-03,5.769529e-03,5.719612e-03,5.656496e-03,5.544998e-03,5.498650e-03,5.435129e-03,5.326968e-03,5.284198e-03,5.220585e-03,5.116038e-03,5.076802e-03,5.013377e-03,4.912640e-03,4.876853e-03,4.813862e-03,4.717065e-03,4.684610e-03,4.622271e-03,4.529490e-03,4.500227e-03,4.438731e-03,4.349995e-03,4.323769e-03,4.263282e-03,4.178585e-03,4.155230e-03,4.095896e-03,4.015201e-03,3.994545e-03,3.936486e-03,3.859732e-03,3.841601e-03,3.784921e-03,3.712031e-03,3.696250e-03,3.641037e-03,3.571915e-03,3.558313e-03,3.504638e-03,3.439179e-03,3.427587e-03,3.375510e-03,3.313601e-03,3.303857e-03,3.253423e-03,3.194944e-03,3.186891e-03,3.138136e-03,3.082965e-03,3.076453e-03,3.029401e-03,2.977412e-03,2.972298e-03,2.926966e-03,2.878032e-03,2.874182e-03,2.830579e-03,2.784573e-03,2.781858e-03,2.739985e-03,2.696783e-03,2.695084e-03,2.654936e-03,2.614414e-03,2.613617e-03,2.575186e-03,2.537223e-03,2.465669e-03,2.398730e-03,2.336188e-03,2.277828e-03,2.223447e-03,2.172846e-03,2.125832e-03,2.082223e-03,2.041841e-03,2.004516e-03,1.970085e-03,1.938392e-03,1.909286e-03,1.882625e-03,1.858272e-03,1.836095e-03,1.815968e-03,1.797773e-03,1.781395e-03,1.766724e-03,1.753657e-03,1.742094e-03,1.731940e-03,1.723107e-03,1.715506e-03,1.709057e-03,1.703681e-03,1.699305e-03,1.695857e-03,1.693271e-03,1.691483e-03,1.690433e-03,1.690062e-03,1.690317e-03,1.691146e-03,1.692500e-03,1.694332e-03,1.696600e-03,1.699261e-03,1.702276e-03,1.705609e-03,1.709225e-03,1.713091e-03,1.717177e-03,1.721453e-03,1.725893e-03,1.730471e-03,1.735165e-03,1.739951e-03
0.000000e+00,4.120057e-09,5.723393e-08,5.978614e-08,3.740112e-07,1.289932e-06,1.345858e-06,3.180472e-06,5.365457e-06,5.509489e-06,7.887767e-06,9.974619e-06,1.015018e-05,1.226076e-05,1.402787e-05,1.421662e-05,1.602286e-05,1.749417e-05,1.768652e-05,1.921501e-05,2.042700e-05,2.061566e-05,2.189562e-05,2.288255e-05,2.306176e-05,2.412077e-05,2.491373e-05,2.507907e-05,2.594278e-05,2.656959e-05,2.671776e-05,2.740960e-05,2.789492e-05,2.802358e-05,2.856475e-05,2.893026e-05,2.903782e-05,2.944726e-05,2.971182e-05,2.979737e-05,3.009214e-05,3.027225e-05,3.033536e-05,3.053059e-05,3.064050e-05,3.068118e-05,3.079029e-05,3.084232e-05,3.086090e-05,3.089579e-05,3.090055e-05,3.089762e-05,3.086884e-05,3.083545e-05,3.081179e-05,3.072866e-05,3.066492e-05,3.062149e-05,3.049221e-05,3.040480e-05,3.034264e-05,3.017447e-05,3.006905e-05,2.998930e-05,2.978861e-05,2.966998e-05,2.957381e-05,2.934621e-05,2.921842e-05,2.910704e-05,2.885744e-05,2.872388e-05,2.859849e-05,2.833120e-05,2.819472e-05,2.805650e-05,2.777528e-05,2.763822e-05,2.748836e-05,2.719650e-05,2.706078e-05,2.690041e-05,2.660077e-05,2.646796e-05,2.629819e-05,2.599324e-05,2.586459e-05,2.568647e-05,2.537837e-05,2.525486e-05,2.506940e-05,2.476000e-05,2.464240e-05,2.445056e-05,2.414146e-05,2.403033e-05,2.383302e-05,2.352557e-05,2.342131e-05,2.321939e-05,2.291475e-05,2.281763e-05,2.261190e-05,2.231106e-05,2.222123e-05,2.201243e-05,2.171621e-05,2.163372e-05,2.142256e-05,2.113165e-05,2.105647e-05,2.084360e-05,2.055855e-05,2.049060e-05,2.027662e-05,1.999790e-05,1.993702e-05,1.972248e-05,1.945045e-05,1.939646e-05,1.918188e-05,1.891683e-05,1.886950e-05,1.865534e-05,1.839748e-05,1.835656e-05,1.814326e-05,1.789274e-05,1.785796e-05,1.764592e-05,1.740282e-05,1.737390e-05,1.716347e-05,1.692787e-05,1.690451e-05,1.669601e-05,1.646791e-05,1.644982e-05,1.624355e-05,1.602292e-05,1.600980e-05,1.580601e-05,1.559281e-05,1.558436e-05,1.538329e-05,1.517744e-05,1.517336e-05,1.497522e-05,1.477662e-05,1.439394e-05,1.402506e-05,1.366971e-05,1.332762e-05,1.299848e-05,1.268197e-05,1.237778e-05,1.208556e-05,1.180498e-05,1.153572e-05,1.127742e-05,1.102976e-05,1.079241e-05,1.056502e-05,1.034727e-05,1.013885e-05,9.939431e-06,9.748709e-06,9.566380e-06,9.392147e-06,9.225719e-06,9.066815e-06,8.915159e-06,8.770485e-06,8.632531e-06,8.501046e-06,8.375785e-06,8.256509e-06,8.142988e-06,8.035000e-06,7.932329e-06,7.834765e-06,7.742107e-06,7.654159e-06,7.570733e-06,7.491647e-06,7.416724e-06,7.345795e-06,7.278696e-06,7.215268e-06,7.155358e-06,7.098820e-06,7.045511e-06,6.995295e-06,6.948040e-06,6.903618e-06,6.861907e-06,6.822789e-06,6.786151e-06
0.000000e+00,1.273782e-09,1.600050e-08,1.668980e-08,1.004077e-07,3.440837e-07,3.589338e-07,8.399157e-07,1.399109e-06,1.435737e-06,2.040848e-06,2.575528e-06,2.620749e-06,3.167841e-06,3.631314e-06,3.681136e-06,4.161280e-06,4.557239e-06,4.609355e-06,5.026565e-06,5.361624e-06,5.414149e-06,5.773380e-06,6.054153e-06,6.105530e-06,6.411869e-06,6.644686e-06,6.693650e-06,6.952099e-06,7.142866e-06,7.188415e-06,7.403758e-06,7.557888e-06,7.599249e-06,7.775967e-06,7.898358e-06,7.934950e-06,8.077191e-06,8.172231e-06,8.203640e-06,8.315205e-06,8.386805e-06,8.412754e-06,8.497112e-06,8.548739e-06,8.569068e-06,8.629372e-06,8.664087e-06,8.678736e-06,8.717839e-06,8.738342e-06,8.747328e-06,8.767814e-06,8.776471e-06,8.779881e-06,8.784080e-06,8.782964e-06,8.780937e-06,8.770948e-06,8.761867e-06,8.754587e-06,8.732299e-06,8.716824e-06,8.704509e-06,8.671617e-06,8.651113e-06,8.634005e-06,8.592031e-06,8.567672e-06,8.546035e-06,8.496340e-06,8.469137e-06,8.443248e-06,8.387048e-06,8.357867e-06,8.328010e-06,8.266390e-06,8.235967e-06,8.202431e-06,8.136359e-06,8.105317e-06,8.068390e-06,7.998726e-06,7.967587e-06,7.927558e-06,7.855065e-06,7.824263e-06,7.781414e-06,7.706766e-06,7.676661e-06,7.631269e-06,7.555062e-06,7.525945e-06,7.478277e-06,7.401036e-06,7.373140e-06,7.323455e-06,7.245641e-06,7.219149e-06,7.167694e-06,7.089710e-06,7.064761e-06,7.011775e-06,6.933971e-06,6.910667e-06,6.856375e-06,6.779057e-06,6.757467e-06,6.702082e-06,6.625512e-06,6.605677e-06,6.549403e-06,6.473807e-06,6.455745e-06,6.398771e-06,6.324340e-06,6.308051e-06,6.250555e-06,6.177452e-06,6.162917e-06,6.105066e-06,6.033427e-06,6.020613e-06,5.962563e-06,5.892499e-06,5.881364e-06,5.823258e-06,5.754860e-06,5.745353e-06,5.687323e-06,5.620664e-06,5.612724e-06,5.554895e-06,5.490029e-06,5.483592e-06,5.426076e-06,5.363044e-06,5.358042e-06,5.300941e-06,5.239772e-06,5.236132e-06,5.179541e-06,5.120251e-06,5.117899e-06,5.061903e-06,5.004499e-06,5.003360e-06,4.948037e-06,4.892516e-06,4.785351e-06,4.681838e-06,4.581937e-06,4.485600e-06,4.392769e-06,4.303380e-06,4.217365e-06,4.134648e-06,4.055152e-06,3.978795e-06,3.905494e-06,3.835163e-06,3.767717e-06,3.703068e-06,3.641128e-06,3.581812e-06,3.525032e-06,3.470703e-06,3.418739e-06,3.369058e-06,3.321576e-06,3.276213e-06,3.232891e-06,3.191531e-06,3.152059e-06,3.114401e-06,3.078485e-06,3.044242e-06,3.011604e-06,2.980505e-06,2.950882e-06,2.922673e-06,2.895819e-06,2.870263e-06,2.845948e-06,2.822820e-06,2.800829e-06,2.779924e-06,2.760057e-06,2.741181e-06,2.723253e-06,2.706228e-06,2.690066e-06,2.674728e-06,2.660174e-06,2.646369e-06,2.633278e-06,2.620865e-06,2.609101e-06
0.000000e+00,5.120881e-08,9.986916e-07,1.047939e-06,8.215825e-06,3.570708e-05,3.762308e-05,1.139349e-04,2.395357e-04,2.491224e-04,4.271575e-04,6.058020e-04,6.214294e-04,8.130967e-04,9.753767e-04,9.926493e-04,1.156307e-03,1.286436e-03,1.303183e-03,1.433714e-03,1.533645e-03,1.548889e-03,1.649887e-03,1.724653e-03,1.737914e-03,1.814133e-03,1.868587e-03,1.879632e-03,1.935420e-03,1.973684e-03,1.982424e-03,2.021491e-03,2.046953e-03,2.053394e-03,2.078840e-03,2.094257e-03,2.098470e-03,2.112869e-03,2.120472e-03,2.122569e-03,2.128053e-03,2.129639e-03,2.129760e-03,2.128089e-03,2.125104e-03,2.123402e-03,2.116028e-03,2.109632e-03,2.106265e-03,2.094385e-03,2.085504e-03,2.080632e-03,2.065230e-03,2.054600e-03,2.048379e-03,2.030262e-03,2.018468e-03,2.011046e-03,1.990879e-03,1.978379e-03,1.969897e-03,1.948222e-03,1.935377e-03,1.925965e-03,1.903225e-03,1.890315e-03,1.880094e-03,1.856651e-03,1.843888e-03,1.832970e-03,1.809116e-03,1.796664e-03,1.785149e-03,1.761122e-03,1.749101e-03,1.737082e-03,1.713071e-03,1.701568e-03,1.689128e-03,1.665286e-03,1.654362e-03,1.641576e-03,1.618024e-03,1.607717e-03,1.594653e-03,1.571486e-03,1.561820e-03,1.548539e-03,1.525829e-03,1.516815e-03,1.503371e-03,1.481175e-03,1.472812e-03,1.459253e-03,1.437613e-03,1.429893e-03,1.416263e-03,1.395208e-03,1.388118e-03,1.374455e-03,1.354007e-03,1.347529e-03,1.333868e-03,1.314039e-03,1.308151e-03,1.294522e-03,1.275318e-03,1.269997e-03,1.256427e-03,1.237849e-03,1.233070e-03,1.219584e-03,1.201630e-03,1.197367e-03,1.183986e-03,1.166649e-03,1.162876e-03,1.149618e-03,1.132890e-03,1.129581e-03,1.116463e-03,1.100333e-03,1.097461e-03,1.084498e-03,1.068954e-03,1.066494e-03,1.053699e-03,1.038727e-03,1.036654e-03,1.024037e-03,1.009624e-03,1.007913e-03,9.954846e-04,9.816149e-04,9.802427e-04,9.680113e-04,9.546697e-04,9.536136e-04,9.415865e-04,9.287576e-04,9.279959e-04,9.161792e-04,9.038474e-04,9.033592e-04,8.917582e-04,8.799079e-04,8.796733e-04,8.682926e-04,8.569083e-04,8.350345e-04,8.140224e-04,7.938434e-04,7.744692e-04,7.558722e-04,7.380256e-04,7.209031e-04,7.044792e-04,6.887291e-04,6.736287e-04,6.591547e-04,6.452844e-04,6.319960e-04,6.192681e-04,6.070803e-04,5.954126e-04,5.842458e-04,5.735614e-04,5.633414e-04,5.535684e-04,5.442256e-04,5.352969e-04,5.267666e-04,5.186196e-04,5.108414e-04,5.034178e-04,4.963352e-04,4.895805e-04,4.831411e-04,4.770047e-04,4.711595e-04,4.655942e-04,4.602977e-04,4.552595e-04,4.504693e-04,4.459172e-04,4.415938e-04,4.374898e-04,4.335965e-04,4.299051e-04,4.264076e-04,4.230960e-04,4.199625e-04,4.169999e-04,4.142009e-04,4.115587e-04,4.090668e-04,4.067186e-04,4.045081e-04
0.000000e+00,1.081565e-06,1.977424e-05,2.069985e-05,1.445646e-04,5.908493e-04,6.217551e-04,1.879364e-03,4.128841e-03,4.311253e-03,8.004102e-03,1.233917e-02,1.275060e-02,1.825071e-02,2.361484e-02,2.422703e-02,3.045247e-02,3.599460e-02,3.674911e-02,4.298079e-02,4.820951e-02,4.904547e-02,5.486846e-02,5.953368e-02,6.039674e-02,6.559436e-02,6.959366e-02,7.043900e-02,7.491892e-02,7.823768e-02,7.903062e-02,8.277683e-02,8.544980e-02,8.616498e-02,8.920589e-02,9.129286e-02,9.191285e-02,9.430077e-02,9.587180e-02,9.638562e-02,9.818388e-02,9.931054e-02,9.971223e-02,1.009873e-01,1.017378e-01,1.020252e-01,1.028420e-01,1.032788e-01,1.034527e-01,1.038721e-01,1.040508e-01,1.041140e-01,1.041918e-01,1.041612e-01,1.041179e-01,1.039043e-01,1.037066e-01,1.035622e-01,1.031020e-01,1.027734e-01,1.025337e-01,1.018666e-01,1.014379e-01,1.011095e-01,1.002706e-01,9.976791e-02,9.935751e-02,9.837754e-02,9.782294e-02,9.733743e-02,9.624351e-02,9.565540e-02,9.510172e-02,9.391760e-02,9.331130e-02,9.269634e-02,9.144279e-02,9.083096e-02,9.016148e-02,8.885665e-02,8.824962e-02,8.753224e-02,8.619192e-02,8.559804e-02,8.483913e-02,8.347705e-02,8.290293e-02,8.210864e-02,8.073665e-02,8.018743e-02,7.936363e-02,7.799194e-02,7.747150e-02,7.662376e-02,7.526111e-02,7.477227e-02,7.390585e-02,7.255968e-02,7.210434e-02,7.122419e-02,6.990079e-02,6.948008e-02,6.859081e-02,6.729544e-02,6.690985e-02,6.601579e-02,6.475282e-02,6.440230e-02,6.350743e-02,6.228043e-02,6.196452e-02,6.107254e-02,5.988438e-02,5.960222e-02,5.871652e-02,5.756947e-02,5.731995e-02,5.644365e-02,5.533943e-02,5.512121e-02,5.425713e-02,5.319702e-02,5.300857e-02,5.215930e-02,5.114415e-02,5.098383e-02,5.015171e-02,4.918205e-02,4.904812e-02,4.823523e-02,4.731127e-02,4.720193e-02,4.641017e-02,4.553188e-02,4.544530e-02,4.467633e-02,4.384345e-02,4.377779e-02,4.303311e-02,4.224518e-02,4.219861e-02,4.147952e-02,4.073594e-02,4.070666e-02,4.001428e-02,3.931432e-02,3.930054e-02,3.863585e-02,3.797864e-02,3.673916e-02,3.558013e-02,3.449945e-02,3.349492e-02,3.256422e-02,3.170497e-02,3.091472e-02,3.019097e-02,2.953119e-02,2.893280e-02,2.839319e-02,2.790975e-02,2.747985e-02,2.710086e-02,2.677014e-02,2.648505e-02,2.624299e-02,2.604134e-02,2.587753e-02,2.574900e-02,2.565325e-02,2.558778e-02,2.555016e-02,2.553803e-02,2.554905e-02,2.558097e-02,2.563159e-02,2.569881e-02,2.578058e-02,2.587496e-02,2.598007e-02,2.609415e-02,2.621551e-02,2.634258e-02,2.647387e-02,2.660800e-02,2.674368e-02,2.687974e-02,2.701508e-02,2.714874e-02,2.727981e-02,2.740751e-02,2.753115e-02,2.765011e-02,2.776387e-02,2.787199e-02,2.797411e-02,2.806994e-02,2.815927e-02
0.000000e+00,1.375971e-07,2.423189e-06,2.536436e-06,1.789774e-05,7.344658e-05,7.725965e-05,2.269342e-04,4.683568e-04,4.866342e-04,8.247375e-04,1.165369e-03,1.195379e-03,1.567779e-03,1.891357e-03,1.926356e-03,2.264364e-03,2.542857e-03,2.579431e-03,2.871200e-03,3.103879e-03,3.140200e-03,3.387311e-03,3.578687e-03,3.613518e-03,3.819876e-03,3.975031e-03,4.007458e-03,4.177326e-03,4.301161e-03,4.330511e-03,4.468007e-03,4.564976e-03,4.590765e-03,4.699692e-03,4.773759e-03,4.795652e-03,4.879466e-03,4.934128e-03,4.951912e-03,5.013727e-03,5.052045e-03,5.065610e-03,5.108220e-03,5.132866e-03,5.142182e-03,5.168086e-03,5.181384e-03,5.186489e-03,5.197918e-03,5.201882e-03,5.202868e-03,5.201808e-03,5.198182e-03,5.195182e-03,5.183404e-03,5.173688e-03,5.166868e-03,5.145945e-03,5.131431e-03,5.120983e-03,5.092310e-03,5.074101e-03,5.060235e-03,5.025049e-03,5.004089e-03,4.987025e-03,4.946421e-03,4.923508e-03,4.903479e-03,4.858424e-03,4.834231e-03,4.811469e-03,4.762816e-03,4.737911e-03,4.712651e-03,4.661149e-03,4.636003e-03,4.608476e-03,4.554786e-03,4.529787e-03,4.500223e-03,4.444920e-03,4.420386e-03,4.389006e-03,4.332596e-03,4.308783e-03,4.275801e-03,4.218722e-03,4.195833e-03,4.161456e-03,4.104089e-03,4.082281e-03,4.046705e-03,3.989380e-03,3.968772e-03,3.932185e-03,3.875184e-03,3.855859e-03,3.818439e-03,3.762005e-03,3.744020e-03,3.705933e-03,3.650271e-03,3.633659e-03,3.595063e-03,3.540348e-03,3.525121e-03,3.486161e-03,3.432538e-03,3.418691e-03,3.379506e-03,3.327094e-03,3.314610e-03,3.275325e-03,3.224222e-03,3.213071e-03,3.173804e-03,3.124089e-03,3.114232e-03,3.075092e-03,3.026826e-03,3.018217e-03,2.979302e-03,2.932531e-03,2.925118e-03,2.886520e-03,2.841277e-03,2.835005e-03,2.796806e-03,2.753112e-03,2.747921e-03,2.710197e-03,2.668064e-03,2.663893e-03,2.626712e-03,2.586142e-03,2.582930e-03,2.546352e-03,2.507340e-03,2.505024e-03,2.469104e-03,2.431641e-03,2.430158e-03,2.394945e-03,2.359012e-03,2.358301e-03,2.323837e-03,2.289414e-03,2.223450e-03,2.160355e-03,2.100070e-03,2.042533e-03,1.987675e-03,1.935427e-03,1.885717e-03,1.838472e-03,1.793617e-03,1.751076e-03,1.710775e-03,1.672639e-03,1.636592e-03,1.602560e-03,1.570470e-03,1.540250e-03,1.511829e-03,1.485136e-03,1.460104e-03,1.436666e-03,1.414755e-03,1.394309e-03,1.375265e-03,1.357562e-03,1.341141e-03,1.325946e-03,1.311920e-03,1.299010e-03,1.287163e-03,1.276328e-03,1.266456e-03,1.257499e-03,1.249412e-03,1.242150e-03,1.235670e-03,1.229930e-03,1.224890e-03,1.220512e-03,1.216757e-03,1.213590e-03,1.210976e-03,1.208882e-03,1.207276e-03,1.206126e-03,1.205402e-03,1.205077e-03,1.205123e-03,1.205513e-03,1.206222e-03
0.000000e+00,8.310394e-10,1.107249e-08,1.155810e-08,7.066716e-08,2.438628e-07,2.545530e-07,6.138856e-07,1.061231e-06,1.091251e-06,1.592532e-06,2.037859e-06,2.075476e-06,2.529250e-06,2.911150e-06,2.952042e-06,3.344372e-06,3.665322e-06,3.707377e-06,4.042352e-06,4.309024e-06,4.350624e-06,4.633513e-06,4.852476e-06,4.892320e-06,5.128317e-06,5.305685e-06,5.342745e-06,5.536807e-06,5.678174e-06,5.711663e-06,5.868430e-06,5.978842e-06,6.008180e-06,6.131935e-06,6.215895e-06,6.240673e-06,6.335322e-06,6.396815e-06,6.416768e-06,6.485849e-06,6.528377e-06,6.543359e-06,6.590061e-06,6.616706e-06,6.626671e-06,6.653867e-06,6.667312e-06,6.672291e-06,6.682549e-06,6.685126e-06,6.685215e-06,6.680833e-06,6.674565e-06,6.669911e-06,6.652935e-06,6.639569e-06,6.630358e-06,6.602613e-06,6.583655e-06,6.570105e-06,6.533216e-06,6.509956e-06,6.492306e-06,6.447715e-06,6.421255e-06,6.399760e-06,6.348744e-06,6.320022e-06,6.294948e-06,6.238639e-06,6.208448e-06,6.180066e-06,6.119463e-06,6.088469e-06,6.057050e-06,5.993034e-06,5.961794e-06,5.927609e-06,5.860955e-06,5.829928e-06,5.793242e-06,5.724630e-06,5.694194e-06,5.655266e-06,5.585290e-06,5.555749e-06,5.514832e-06,5.444011e-06,5.415607e-06,5.372941e-06,5.301726e-06,5.274647e-06,5.230464e-06,5.159245e-06,5.133633e-06,5.088153e-06,5.017267e-06,4.993225e-06,4.946657e-06,4.876392e-06,4.853989e-06,4.806531e-06,4.737131e-06,4.716409e-06,4.668245e-06,4.599919e-06,4.580895e-06,4.532198e-06,4.465120e-06,4.447790e-06,4.398722e-06,4.333037e-06,4.317382e-06,4.268094e-06,4.203919e-06,4.189906e-06,4.140536e-06,4.077967e-06,4.065552e-06,4.016229e-06,3.955339e-06,3.944470e-06,3.895312e-06,3.836158e-06,3.826776e-06,3.777889e-06,3.720513e-06,3.712552e-06,3.664037e-06,3.608465e-06,3.601857e-06,3.553802e-06,3.500049e-06,3.494724e-06,3.447209e-06,3.395282e-06,3.391167e-06,3.344265e-06,3.294158e-06,3.291180e-06,3.244956e-06,3.196658e-06,3.194744e-06,3.149256e-06,3.102748e-06,3.101827e-06,3.057125e-06,3.012383e-06,2.926360e-06,2.843696e-06,2.764323e-06,2.688168e-06,2.615153e-06,2.545198e-06,2.478218e-06,2.414129e-06,2.352843e-06,2.294273e-06,2.238332e-06,2.184933e-06,2.133989e-06,2.085413e-06,2.039122e-06,1.995032e-06,1.953060e-06,1.913127e-06,1.875155e-06,1.839066e-06,1.804786e-06,1.772242e-06,1.741365e-06,1.712085e-06,1.684336e-06,1.658053e-06,1.633176e-06,1.609643e-06,1.587396e-06,1.566380e-06,1.546540e-06,1.527825e-06,1.510183e-06,1.493567e-06,1.477931e-06,1.463228e-06,1.449417e-06,1.436456e-06,1.424306e-06,1.412927e-06,1.402284e-06,1.392342e-06,1.383066e-06,1.374424e-06,1.366385e-06,1.358920e-06,1.352001e-06,1.345598e-06,1.339688e-06
0.000000e+00,1.704805e-07,4.117704e-06,4.335920e-06,3.796319e-05,1.685696e-04,1.775698e-04,5.239199e-04,1.062854e-03,1.103373e-03,1.861684e-03,2.658461e-03,2.730643e-03,3.654788e-03,4.499899e-03,4.593539e-03,5.518424e-03,6.305304e-03,6.410077e-03,7.255831e-03,7.940417e-03,8.047880e-03,8.781930e-03,9.352348e-03,9.456196e-03,1.007066e-02,1.053073e-02,1.062655e-02,1.112591e-02,1.148642e-02,1.157132e-02,1.196570e-02,1.223986e-02,1.231211e-02,1.261370e-02,1.281484e-02,1.287356e-02,1.309473e-02,1.323521e-02,1.328013e-02,1.343253e-02,1.352330e-02,1.355455e-02,1.364868e-02,1.369922e-02,1.371723e-02,1.376234e-02,1.378067e-02,1.378604e-02,1.379018e-02,1.378304e-02,1.377649e-02,1.374658e-02,1.371960e-02,1.370191e-02,1.364387e-02,1.360171e-02,1.357370e-02,1.349258e-02,1.343910e-02,1.340159e-02,1.330171e-02,1.324008e-02,1.319387e-02,1.307892e-02,1.301173e-02,1.295762e-02,1.283072e-02,1.276009e-02,1.269886e-02,1.256266e-02,1.249032e-02,1.242270e-02,1.227948e-02,1.220680e-02,1.213349e-02,1.198517e-02,1.191327e-02,1.183493e-02,1.168315e-02,1.161290e-02,1.153016e-02,1.137629e-02,1.130838e-02,1.122183e-02,1.106704e-02,1.100199e-02,1.091217e-02,1.075744e-02,1.069564e-02,1.060306e-02,1.044922e-02,1.039094e-02,1.029609e-02,1.014382e-02,1.008924e-02,9.992559e-03,9.842429e-03,9.791665e-03,9.693550e-03,9.546027e-03,9.499122e-03,9.399955e-03,9.255418e-03,9.212367e-03,9.112492e-03,8.971246e-03,8.932007e-03,8.831740e-03,8.694026e-03,8.658520e-03,8.558151e-03,8.424154e-03,8.392278e-03,8.292071e-03,8.161930e-03,8.133563e-03,8.033757e-03,7.907571e-03,7.882574e-03,7.783389e-03,7.661222e-03,7.639447e-03,7.541080e-03,7.422968e-03,7.404259e-03,7.306889e-03,7.192843e-03,7.177039e-03,7.080827e-03,6.970837e-03,6.957774e-03,6.862865e-03,6.756903e-03,6.746417e-03,6.652941e-03,6.550967e-03,6.542894e-03,6.450966e-03,6.352925e-03,6.347105e-03,6.256828e-03,6.162658e-03,6.158931e-03,6.070397e-03,5.980026e-03,5.978238e-03,5.891526e-03,5.804878e-03,5.638693e-03,5.479518e-03,5.327182e-03,5.181508e-03,5.042318e-03,4.909432e-03,4.782669e-03,4.661847e-03,4.546788e-03,4.437313e-03,4.333246e-03,4.234412e-03,4.140641e-03,4.051763e-03,3.967614e-03,3.888032e-03,3.812858e-03,3.741937e-03,3.675116e-03,3.612248e-03,3.553187e-03,3.497792e-03,3.445925e-03,3.397449e-03,3.352235e-03,3.310153e-03,3.271078e-03,3.234888e-03,3.201465e-03,3.170690e-03,3.142452e-03,3.116640e-03,3.093146e-03,3.071866e-03,3.052696e-03,3.035537e-03,3.020293e-03,3.006868e-03,2.995170e-03,2.985111e-03,2.976601e-03,2.969558e-03,2.963897e-03,2.959539e-03,2.956407e-03,2.954424e-03,2.953517e-03,2.953615e-03,2.954650e-03
0.000000e+00,1.195594e-07,2.449194e-06,2.571572e-06,2.043181e-05,8.756882e-05,9.215705e-05,2.656046e-04,5.224881e-04,5.411795e-04,8.765847e-04,1.202848e-03,1.231219e-03,1.578634e-03,1.872641e-03,1.903919e-03,2.199697e-03,2.433269e-03,2.463156e-03,2.694139e-03,2.867789e-03,2.893960e-03,3.064692e-03,3.187386e-03,3.208745e-03,3.328620e-03,3.410600e-03,3.426770e-03,3.505525e-03,3.556025e-03,3.567050e-03,3.613334e-03,3.640023e-03,3.646183e-03,3.667227e-03,3.676231e-03,3.677928e-03,3.679595e-03,3.675702e-03,3.673392e-03,3.660355e-03,3.647256e-03,3.641402e-03,3.617348e-03,3.597865e-03,3.588914e-03,3.556736e-03,3.533005e-03,3.521375e-03,3.483328e-03,3.456960e-03,3.443033e-03,3.400873e-03,3.373072e-03,3.357190e-03,3.312282e-03,3.283941e-03,3.266412e-03,3.219811e-03,3.191585e-03,3.172683e-03,3.125205e-03,3.097571e-03,3.077535e-03,3.029810e-03,3.003104e-03,2.982148e-03,2.934655e-03,2.909111e-03,2.887420e-03,2.840524e-03,2.816295e-03,2.794035e-03,2.748011e-03,2.725190e-03,2.702503e-03,2.657555e-03,2.636190e-03,2.613203e-03,2.569479e-03,2.549583e-03,2.526407e-03,2.484010e-03,2.465573e-03,2.442304e-03,2.401303e-03,2.384296e-03,2.361018e-03,2.321457e-03,2.305837e-03,2.282625e-03,2.244525e-03,2.230239e-03,2.207158e-03,2.170524e-03,2.157515e-03,2.134621e-03,2.099445e-03,2.087651e-03,2.064993e-03,2.031259e-03,2.020614e-03,1.998236e-03,1.965918e-03,1.956359e-03,1.934297e-03,1.903365e-03,1.894827e-03,1.873114e-03,1.843533e-03,1.835951e-03,1.814614e-03,1.786348e-03,1.779659e-03,1.758723e-03,1.731731e-03,1.725876e-03,1.705360e-03,1.679602e-03,1.674522e-03,1.654444e-03,1.629877e-03,1.625517e-03,1.605891e-03,1.582474e-03,1.578780e-03,1.559617e-03,1.537308e-03,1.534228e-03,1.515538e-03,1.494297e-03,1.491783e-03,1.473573e-03,1.453358e-03,1.451364e-03,1.433640e-03,1.414411e-03,1.412893e-03,1.395660e-03,1.377377e-03,1.376295e-03,1.359553e-03,1.342179e-03,1.341493e-03,1.325245e-03,1.308743e-03,1.308417e-03,1.292662e-03,1.276995e-03,1.247158e-03,1.218841e-03,1.191980e-03,1.166512e-03,1.142378e-03,1.119521e-03,1.097884e-03,1.077414e-03,1.058060e-03,1.039773e-03,1.022504e-03,1.006208e-03,9.908416e-04,9.763616e-04,9.627278e-04,9.499012e-04,9.378445e-04,9.265217e-04,9.158984e-04,9.059416e-04,8.966194e-04,8.879016e-04,8.797590e-04,8.721635e-04,8.650884e-04,8.585080e-04,8.523975e-04,8.467334e-04,8.414931e-04,8.366549e-04,8.321980e-04,8.281024e-04,8.243492e-04,8.209201e-04,8.177976e-04,8.149650e-04,8.124062e-04,8.101061e-04,8.080499e-04,8.062236e-04,8.046139e-04,8.032078e-04,8.019933e-04,8.009585e-04,8.000925e-04,7.993844e-04,7.988241e-04,7.984020e-04,7.981088e-04
0.000000e+00,5.507044e-07,1.298796e-05,1.367381e-05,1.202417e-04,5.321890e-04,5.601153e-04,1.591827e-03,3.111787e-03,3.224331e-03,5.319890e-03,7.531697e-03,7.733476e-03,1.034446e-02,1.278401e-02,1.305769e-02,1.579955e-02,1.819116e-02,1.851392e-02,2.115863e-02,2.335346e-02,2.370266e-02,2.612391e-02,2.805168e-02,2.840732e-02,3.054341e-02,3.218140e-02,3.252710e-02,3.435670e-02,3.571000e-02,3.603315e-02,3.755936e-02,3.864830e-02,3.893973e-02,4.017968e-02,4.103192e-02,4.128540e-02,4.226350e-02,4.290919e-02,4.312089e-02,4.386455e-02,4.433350e-02,4.450147e-02,4.503851e-02,4.535860e-02,4.548236e-02,4.583949e-02,4.603599e-02,4.611611e-02,4.631815e-02,4.641339e-02,4.645124e-02,4.652072e-02,4.653415e-02,4.653164e-02,4.648876e-02,4.643712e-02,4.639652e-02,4.625911e-02,4.615662e-02,4.608043e-02,4.586411e-02,4.572274e-02,4.561355e-02,4.533191e-02,4.516173e-02,4.502215e-02,4.468700e-02,4.449636e-02,4.432901e-02,4.395055e-02,4.374639e-02,4.355381e-02,4.314084e-02,4.292887e-02,4.271354e-02,4.227365e-02,4.205852e-02,4.182281e-02,4.136254e-02,4.114804e-02,4.089423e-02,4.041919e-02,4.020835e-02,3.993862e-02,3.945363e-02,3.924887e-02,3.896526e-02,3.847446e-02,3.827766e-02,3.798211e-02,3.748904e-02,3.730164e-02,3.699600e-02,3.650367e-02,3.632674e-02,3.601271e-02,3.552371e-02,3.535799e-02,3.503719e-02,3.455368e-02,3.439966e-02,3.407361e-02,3.359742e-02,3.345538e-02,3.312548e-02,3.265815e-02,3.252816e-02,3.219573e-02,3.173852e-02,3.162053e-02,3.128678e-02,3.084075e-02,3.073458e-02,3.040064e-02,2.996662e-02,2.987198e-02,2.953888e-02,2.911756e-02,2.903407e-02,2.870278e-02,2.829467e-02,2.822192e-02,2.789331e-02,2.749879e-02,2.743631e-02,2.711118e-02,2.673053e-02,2.667780e-02,2.635688e-02,2.599027e-02,2.594675e-02,2.563070e-02,2.527820e-02,2.524334e-02,2.493277e-02,2.459440e-02,2.456763e-02,2.426307e-02,2.393876e-02,2.391952e-02,2.362144e-02,2.331108e-02,2.329881e-02,2.300763e-02,2.271105e-02,2.270519e-02,2.242130e-02,2.213830e-02,2.159767e-02,2.108280e-02,2.059313e-02,2.012805e-02,1.968693e-02,1.926910e-02,1.887388e-02,1.850057e-02,1.814845e-02,1.781680e-02,1.750489e-02,1.721200e-02,1.693738e-02,1.668033e-02,1.644011e-02,1.621601e-02,1.600733e-02,1.581338e-02,1.563346e-02,1.546692e-02,1.531308e-02,1.517130e-02,1.504096e-02,1.492145e-02,1.481215e-02,1.471249e-02,1.462190e-02,1.453985e-02,1.446578e-02,1.439920e-02,1.433960e-02,1.428651e-02,1.423947e-02,1.419804e-02,1.416178e-02,1.413031e-02,1.410322e-02,1.408015e-02,1.406075e-02,1.404468e-02,1.403161e-02,1.402126e-02,1.401334e-02,1.400757e-02,1.400370e-02,1.400150e-02,1.400074e-02,1.400122e-02,1.400275e-02
0.000000e+00,9.369864e-08,1.950288e-06,2.048735e-06,1.657951e-05,7.185082e-05,7.566052e-05,2.232826e-04,4.524275e-04,4.694167e-04,7.780597e-04,1.082586e-03,1.109238e-03,1.438459e-03,1.722932e-03,1.753635e-03,2.049579e-03,2.292664e-03,2.324537e-03,2.578372e-03,2.780222e-03,2.811682e-03,3.025378e-03,3.190471e-03,3.220481e-03,3.398031e-03,3.531253e-03,3.559066e-03,3.704602e-03,3.810529e-03,3.835615e-03,3.953040e-03,4.035770e-03,4.057763e-03,4.150623e-03,4.213752e-03,4.232414e-03,4.303885e-03,4.350546e-03,4.365741e-03,4.418646e-03,4.451547e-03,4.463224e-03,4.500062e-03,4.521539e-03,4.529710e-03,4.552686e-03,4.564748e-03,4.569477e-03,4.580537e-03,4.584906e-03,4.586294e-03,4.587149e-03,4.585299e-03,4.583479e-03,4.575635e-03,4.568821e-03,4.563947e-03,4.548725e-03,4.538017e-03,4.530259e-03,4.508818e-03,4.495121e-03,4.484658e-03,4.458015e-03,4.442093e-03,4.429110e-03,4.398153e-03,4.380651e-03,4.365336e-03,4.330840e-03,4.312296e-03,4.294835e-03,4.257480e-03,4.238341e-03,4.218920e-03,4.179294e-03,4.159933e-03,4.138730e-03,4.097346e-03,4.078066e-03,4.055256e-03,4.012561e-03,3.993608e-03,3.969358e-03,3.925736e-03,3.907311e-03,3.881779e-03,3.837564e-03,3.819822e-03,3.793163e-03,3.748641e-03,3.731703e-03,3.704059e-03,3.659476e-03,3.643436e-03,3.614943e-03,3.570508e-03,3.555431e-03,3.526217e-03,3.482109e-03,3.468040e-03,3.438224e-03,3.394595e-03,3.381561e-03,3.351254e-03,3.308230e-03,3.296244e-03,3.265550e-03,3.223237e-03,3.212299e-03,3.181314e-03,3.139799e-03,3.129899e-03,3.098712e-03,3.058067e-03,3.049186e-03,3.017880e-03,2.978162e-03,2.970276e-03,2.938925e-03,2.900178e-03,2.893257e-03,2.861931e-03,2.824190e-03,2.818199e-03,2.786962e-03,2.750251e-03,2.745153e-03,2.714063e-03,2.678400e-03,2.674156e-03,2.643264e-03,2.608659e-03,2.605227e-03,2.574584e-03,2.541040e-03,2.538379e-03,2.508026e-03,2.475543e-03,2.473610e-03,2.443587e-03,2.412159e-03,2.410913e-03,2.381255e-03,2.350872e-03,2.350270e-03,2.321008e-03,2.291659e-03,2.235054e-03,2.180422e-03,2.127727e-03,2.076931e-03,2.027992e-03,1.980869e-03,1.935516e-03,1.891888e-03,1.849940e-03,1.809623e-03,1.770892e-03,1.733700e-03,1.697999e-03,1.663744e-03,1.630889e-03,1.599388e-03,1.569197e-03,1.540271e-03,1.512569e-03,1.486047e-03,1.460664e-03,1.436381e-03,1.413156e-03,1.390953e-03,1.369734e-03,1.349462e-03,1.330101e-03,1.311618e-03,1.293979e-03,1.277150e-03,1.261102e-03,1.245803e-03,1.231223e-03,1.217334e-03,1.204107e-03,1.191517e-03,1.179537e-03,1.168141e-03,1.157306e-03,1.147008e-03,1.137224e-03,1.127931e-03,1.119110e-03,1.110739e-03,1.102798e-03,1.095269e-03,1.088133e-03,1.081372e-03,1.074970e-03
0.000000e+00,9.114284e-08,1.754535e-06,1.838951e-06,1.309487e-05,5.032915e-05,5.276130e-05,1.423363e-04,2.759878e-04,2.858321e-04,4.634692e-04,6.351353e-04,6.499276e-04,8.290328e-04,9.778803e-04,9.935951e-04,1.141402e-03,1.257614e-03,1.272488e-03,1.387780e-03,1.475226e-03,1.488497e-03,1.575912e-03,1.639963e-03,1.651255e-03,1.715680e-03,1.761111e-03,1.770251e-03,1.815945e-03,1.846709e-03,1.853651e-03,1.884181e-03,1.903489e-03,1.908271e-03,1.926588e-03,1.937023e-03,1.939738e-03,1.948269e-03,1.951903e-03,1.952678e-03,1.953413e-03,1.951896e-03,1.950880e-03,1.945445e-03,1.940093e-03,1.937440e-03,1.927164e-03,1.919018e-03,1.914887e-03,1.900854e-03,1.890737e-03,1.885283e-03,1.868374e-03,1.856933e-03,1.850305e-03,1.831238e-03,1.818979e-03,1.811317e-03,1.790673e-03,1.777989e-03,1.769423e-03,1.747674e-03,1.734869e-03,1.725520e-03,1.703046e-03,1.690350e-03,1.680329e-03,1.657437e-03,1.645025e-03,1.634431e-03,1.611366e-03,1.599366e-03,1.588291e-03,1.565249e-03,1.553753e-03,1.542279e-03,1.519415e-03,1.508487e-03,1.496688e-03,1.474124e-03,1.463806e-03,1.451747e-03,1.429578e-03,1.419895e-03,1.407636e-03,1.385934e-03,1.376895e-03,1.364489e-03,1.343310e-03,1.334916e-03,1.322409e-03,1.301793e-03,1.294035e-03,1.281470e-03,1.261445e-03,1.254310e-03,1.241723e-03,1.222308e-03,1.215777e-03,1.203202e-03,1.184407e-03,1.178458e-03,1.165925e-03,1.147755e-03,1.142365e-03,1.129898e-03,1.112354e-03,1.107497e-03,1.095120e-03,1.078197e-03,1.073847e-03,1.061580e-03,1.045270e-03,1.041401e-03,1.029262e-03,1.013555e-03,1.010140e-03,9.981456e-04,9.830302e-04,9.800422e-04,9.682058e-04,9.536690e-04,9.510826e-04,9.394161e-04,9.254435e-04,9.232337e-04,9.117475e-04,8.983243e-04,8.964665e-04,8.851699e-04,8.722804e-04,8.707513e-04,8.596519e-04,8.472805e-04,8.460573e-04,8.351620e-04,8.232925e-04,8.223536e-04,8.116680e-04,8.002845e-04,7.996091e-04,7.891380e-04,7.782247e-04,7.777929e-04,7.675404e-04,7.570813e-04,7.568744e-04,7.468436e-04,7.368234e-04,7.176100e-04,6.992053e-04,6.815805e-04,6.647080e-04,6.485605e-04,6.331117e-04,6.183360e-04,6.042085e-04,5.907053e-04,5.778028e-04,5.654785e-04,5.537105e-04,5.424777e-04,5.317597e-04,5.215366e-04,5.117895e-04,5.024998e-04,4.936497e-04,4.852222e-04,4.772006e-04,4.695689e-04,4.623116e-04,4.554140e-04,4.488615e-04,4.426404e-04,4.367373e-04,4.311392e-04,4.258338e-04,4.208090e-04,4.160534e-04,4.115556e-04,4.073050e-04,4.032912e-04,3.995043e-04,3.959345e-04,3.925725e-04,3.894095e-04,3.864368e-04,3.836460e-04,3.810292e-04,3.785785e-04,3.762866e-04,3.741463e-04,3.721506e-04,3.702929e-04,3.685667e-04,3.669659e-04,3.654846e-04,3.641169e-04
0.000000e+00,4.442692e-05,9.091217e-04,9.541017e-04,7.382853e-03,3.132705e-02,3.297761e-02,9.820621e-02,2.071858e-01,2.157165e-01,3.827686e-01,5.716391e-01,5.893684e-01,8.250292e-01,1.054375e+00,1.080599e+00,1.348459e+00,1.589362e+00,1.622375e+00,1.897312e+00,2.131483e+00,2.169247e+00,2.435011e+00,2.651673e+00,2.692154e+00,2.938818e+00,3.132296e+00,3.173644e+00,3.395680e+00,3.563676e+00,3.604309e+00,3.799187e+00,3.941559e+00,3.980189e+00,4.147366e+00,4.265287e+00,4.300908e+00,4.441112e+00,4.536497e+00,4.568358e+00,4.683090e+00,4.758218e+00,4.785791e+00,4.876978e+00,4.934243e+00,4.957184e+00,5.026954e+00,5.068715e+00,5.086834e+00,5.137364e+00,5.165851e+00,5.179078e+00,5.212497e+00,5.229767e+00,5.238129e+00,5.256465e+00,5.264376e+00,5.267976e+00,5.273119e+00,5.273329e+00,5.272327e+00,5.266018e+00,5.259987e+00,5.254586e+00,5.238412e+00,5.227417e+00,5.217853e+00,5.193251e+00,5.178398e+00,5.164927e+00,5.133188e+00,5.115430e+00,5.098322e+00,5.060601e+00,5.040751e+00,5.020283e+00,4.977610e+00,4.956358e+00,4.932810e+00,4.886098e+00,4.864025e+00,4.837676e+00,4.787735e+00,4.765325e+00,4.736452e+00,4.683994e+00,4.661649e+00,4.630518e+00,4.576170e+00,4.554218e+00,4.521088e+00,4.465401e+00,4.444106e+00,4.409227e+00,4.352679e+00,4.332251e+00,4.295862e+00,4.238872e+00,4.219472e+00,4.181799e+00,4.124729e+00,4.106479e+00,4.067738e+00,4.010899e+00,3.993887e+00,3.954280e+00,3.897941e+00,3.882225e+00,3.841941e+00,3.786332e+00,3.771943e+00,3.731162e+00,3.676477e+00,3.663429e+00,3.622316e+00,3.568719e+00,3.557006e+00,3.515718e+00,3.463344e+00,3.452948e+00,3.411627e+00,3.360591e+00,3.351478e+00,3.310258e+00,3.260651e+00,3.252782e+00,3.211786e+00,3.163680e+00,3.157007e+00,3.116348e+00,3.069801e+00,3.064268e+00,3.024050e+00,2.979104e+00,2.974653e+00,2.934970e+00,2.891655e+00,2.888225e+00,2.849163e+00,2.807498e+00,2.805024e+00,2.766662e+00,2.726656e+00,2.725073e+00,2.687481e+00,2.649135e+00,2.648377e+00,2.611618e+00,2.574926e+00,2.504700e+00,2.437665e+00,2.373779e+00,2.312991e+00,2.255244e+00,2.200473e+00,2.148610e+00,2.099580e+00,2.053306e+00,2.009708e+00,1.968700e+00,1.930199e+00,1.894117e+00,1.860365e+00,1.828854e+00,1.799494e+00,1.772195e+00,1.746866e+00,1.723418e+00,1.701762e+00,1.681809e+00,1.663472e+00,1.646666e+00,1.631305e+00,1.617306e+00,1.604589e+00,1.593074e+00,1.582685e+00,1.573346e+00,1.564984e+00,1.557531e+00,1.550917e+00,1.545079e+00,1.539953e+00,1.535480e+00,1.531603e+00,1.528267e+00,1.525422e+00,1.523018e+00,1.521009e+00,1.519351e+00,1.518005e+00,1.516932e+00,1.516096e+00,1.515464e+00,1.515006e+00,1.514693e+00,1.514500e+00,1.514402e+00
0.000000e+00,4.363848e-09,4.775312e-08,4.965346e-08,2.609228e-07,8.297226e-07,8.639480e-07,1.995904e-06,3.396279e-06,3.490098e-06,5.040782e-06,6.376693e-06,6.487267e-06,7.789976e-06,8.838583e-06,8.948109e-06,9.970192e-06,1.076532e-05,1.086660e-05,1.164773e-05,1.223489e-05,1.232352e-05,1.290334e-05,1.332263e-05,1.339593e-05,1.380944e-05,1.409481e-05,1.415141e-05,1.442876e-05,1.460842e-05,1.464788e-05,1.481462e-05,1.491176e-05,1.493432e-05,1.501186e-05,1.504535e-05,1.505169e-05,1.505788e-05,1.504298e-05,1.503410e-05,1.498371e-05,1.493268e-05,1.490977e-05,1.481507e-05,1.473778e-05,1.470211e-05,1.457318e-05,1.447745e-05,1.443034e-05,1.427547e-05,1.416748e-05,1.411024e-05,1.393619e-05,1.382082e-05,1.375471e-05,1.356704e-05,1.344807e-05,1.337430e-05,1.317750e-05,1.305785e-05,1.297754e-05,1.277525e-05,1.265715e-05,1.257136e-05,1.236651e-05,1.225161e-05,1.216130e-05,1.195624e-05,1.184574e-05,1.175180e-05,1.154838e-05,1.144314e-05,1.134636e-05,1.114604e-05,1.104662e-05,1.094772e-05,1.075164e-05,1.065838e-05,1.055801e-05,1.036701e-05,1.028008e-05,1.017881e-05,9.993542e-06,9.912983e-06,9.811319e-06,9.632235e-06,9.557975e-06,9.456368e-06,9.283780e-06,9.215674e-06,9.114518e-06,8.948617e-06,8.886461e-06,8.786101e-06,8.626982e-06,8.570532e-06,8.471266e-06,8.318949e-06,8.267934e-06,8.170021e-06,8.024464e-06,7.978594e-06,7.882255e-06,7.743367e-06,7.702344e-06,7.607769e-06,7.475423e-06,7.438944e-06,7.346292e-06,7.220332e-06,7.188097e-06,7.097500e-06,6.977749e-06,6.949462e-06,6.861030e-06,6.747294e-06,6.722667e-06,6.636490e-06,6.528565e-06,6.507321e-06,6.423468e-06,6.321144e-06,6.303016e-06,6.221540e-06,6.124602e-06,6.109336e-06,6.030277e-06,5.938509e-06,5.925863e-06,5.849246e-06,5.762435e-06,5.752179e-06,5.678020e-06,5.595951e-06,5.587871e-06,5.516175e-06,5.438640e-06,5.432532e-06,5.363295e-06,5.290089e-06,5.285764e-06,5.218973e-06,5.149898e-06,5.147177e-06,5.082815e-06,5.017677e-06,5.016394e-06,4.954438e-06,4.893050e-06,4.776791e-06,4.667274e-06,4.564173e-06,4.467172e-06,4.375967e-06,4.290268e-06,4.209798e-06,4.134290e-06,4.063490e-06,3.997154e-06,3.935051e-06,3.876960e-06,3.822669e-06,3.771976e-06,3.724691e-06,3.680629e-06,3.639617e-06,3.601490e-06,3.566089e-06,3.533265e-06,3.502873e-06,3.474780e-06,3.448855e-06,3.424976e-06,3.403025e-06,3.382893e-06,3.364474e-06,3.347667e-06,3.332377e-06,3.318515e-06,3.305995e-06,3.294735e-06,3.284659e-06,3.275692e-06,3.267766e-06,3.260815e-06,3.254777e-06,3.249592e-06,3.245204e-06,3.241561e-06,3.238612e-06,3.236310e-06,3.234611e-06,3.233470e-06,3.232849e-06,3.232709e-06,3.233015e-06,3.233732e-06,3.234828e-06
0.000000e+00,3.687572e-09,4.917677e-08,5.135756e-08,3.277841e-07,1.185822e-06,1.239717e-06,3.043636e-06,5.191995e-06,5.332245e-06,7.620565e-06,9.584677e-06,9.747964e-06,1.168610e-05,1.327129e-05,1.343845e-05,1.501570e-05,1.626835e-05,1.642983e-05,1.769257e-05,1.866594e-05,1.881504e-05,1.980768e-05,2.054836e-05,2.068030e-05,2.144212e-05,2.199021e-05,2.210178e-05,2.266739e-05,2.305727e-05,2.314653e-05,2.354631e-05,2.380732e-05,2.387335e-05,2.413383e-05,2.429083e-05,2.433350e-05,2.447770e-05,2.455165e-05,2.457142e-05,2.461924e-05,2.462766e-05,2.462542e-05,2.459389e-05,2.455134e-05,2.452828e-05,2.443195e-05,2.435049e-05,2.430799e-05,2.415925e-05,2.404879e-05,2.398835e-05,2.379771e-05,2.366637e-05,2.358955e-05,2.336591e-05,2.322030e-05,2.312866e-05,2.287954e-05,2.272502e-05,2.262011e-05,2.235182e-05,2.219268e-05,2.207599e-05,2.179385e-05,2.163350e-05,2.150648e-05,2.121492e-05,2.105605e-05,2.092007e-05,2.062277e-05,2.046747e-05,2.032379e-05,2.002383e-05,1.987368e-05,1.972352e-05,1.942341e-05,1.927959e-05,1.912404e-05,1.882586e-05,1.868921e-05,1.852929e-05,1.823471e-05,1.810582e-05,1.794246e-05,1.765283e-05,1.753204e-05,1.736610e-05,1.708249e-05,1.696997e-05,1.680222e-05,1.652547e-05,1.642126e-05,1.625240e-05,1.598314e-05,1.588717e-05,1.571782e-05,1.545653e-05,1.536863e-05,1.519936e-05,1.494637e-05,1.486631e-05,1.469762e-05,1.445315e-05,1.438064e-05,1.421298e-05,1.397714e-05,1.391189e-05,1.374565e-05,1.351849e-05,1.346014e-05,1.329566e-05,1.307715e-05,1.302535e-05,1.286294e-05,1.265301e-05,1.260740e-05,1.244732e-05,1.224584e-05,1.220605e-05,1.204853e-05,1.185535e-05,1.182101e-05,1.166625e-05,1.148118e-05,1.145194e-05,1.130009e-05,1.112293e-05,1.109844e-05,1.094964e-05,1.078017e-05,1.076009e-05,1.061446e-05,1.045244e-05,1.043644e-05,1.029406e-05,1.013927e-05,1.012704e-05,9.987985e-06,9.840160e-06,9.831399e-06,9.695728e-06,9.554627e-06,9.549052e-06,9.416796e-06,9.282174e-06,9.279514e-06,9.150697e-06,9.022306e-06,8.776957e-06,8.542998e-06,8.319973e-06,8.107434e-06,7.904945e-06,7.712082e-06,7.528433e-06,7.353600e-06,7.187198e-06,7.028856e-06,6.878215e-06,6.734933e-06,6.598676e-06,6.469126e-06,6.345980e-06,6.228942e-06,6.117733e-06,6.012084e-06,5.911736e-06,5.816444e-06,5.725972e-06,5.640095e-06,5.558596e-06,5.481271e-06,5.407921e-06,5.338361e-06,5.272409e-06,5.209896e-06,5.150657e-06,5.094536e-06,5.041385e-06,4.991061e-06,4.943431e-06,4.898362e-06,4.855735e-06,4.815429e-06,4.777335e-06,4.741344e-06,4.707356e-06,4.675273e-06,4.645003e-06,4.616457e-06,4.589551e-06,4.564206e-06,4.540344e-06,4.517894e-06,4.496785e-06,4.476952e-06,4.458332e-06
0.000000e+00,5.512626e-08,1.133366e-06,1.190286e-06,9.187339e-06,3.611424e-05,3.784608e-05,9.773184e-05,1.740553e-04,1.792119e-04,2.656029e-04,3.423222e-04,3.487867e-04,4.264818e-04,4.914027e-04,4.983265e-04,5.644660e-04,6.181602e-04,6.251666e-04,6.807189e-04,7.245981e-04,7.314137e-04,7.775357e-04,8.129459e-04,8.193601e-04,8.571524e-04,8.853123e-04,8.911672e-04,9.216470e-04,9.436414e-04,9.488231e-04,9.729161e-04,9.897027e-04,9.941342e-04,1.012675e-03,1.025089e-03,1.028723e-03,1.042450e-03,1.051210e-03,1.054019e-03,1.063582e-03,1.069307e-03,1.071284e-03,1.077267e-03,1.080503e-03,1.081663e-03,1.084591e-03,1.085801e-03,1.086164e-03,1.086487e-03,1.086063e-03,1.085659e-03,1.083771e-03,1.082047e-03,1.080910e-03,1.077157e-03,1.074416e-03,1.072588e-03,1.067272e-03,1.063753e-03,1.061277e-03,1.054662e-03,1.050565e-03,1.047486e-03,1.039803e-03,1.035297e-03,1.031662e-03,1.023111e-03,1.018338e-03,1.014193e-03,1.004949e-03,1.000025e-03,9.954156e-04,9.856294e-04,9.806515e-04,9.756225e-04,9.654254e-04,9.604717e-04,9.550665e-04,9.445719e-04,9.397056e-04,9.339660e-04,9.232715e-04,9.185432e-04,9.125091e-04,9.016982e-04,8.971475e-04,8.908567e-04,8.800012e-04,8.756585e-04,8.691468e-04,8.583077e-04,8.541955e-04,8.474967e-04,8.367257e-04,8.328600e-04,8.260056e-04,8.153463e-04,8.117377e-04,8.047571e-04,7.942461e-04,7.909003e-04,7.838209e-04,7.734884e-04,7.704077e-04,7.632549e-04,7.531258e-04,7.503091e-04,7.431062e-04,7.332007e-04,7.306445e-04,7.234133e-04,7.137474e-04,7.114460e-04,7.042063e-04,6.947926e-04,6.927389e-04,6.855086e-04,6.763565e-04,6.745421e-04,6.673379e-04,6.584542e-04,6.568695e-04,6.497065e-04,6.410956e-04,6.397306e-04,6.326222e-04,6.242868e-04,6.231308e-04,6.160894e-04,6.080302e-04,6.070724e-04,6.001090e-04,5.923254e-04,5.915546e-04,5.846791e-04,5.771694e-04,5.765745e-04,5.697956e-04,5.625570e-04,5.621269e-04,5.554525e-04,5.484812e-04,5.482051e-04,5.416419e-04,5.349335e-04,5.348007e-04,5.283548e-04,5.219044e-04,5.095057e-04,4.975936e-04,4.861563e-04,4.751815e-04,4.646567e-04,4.545691e-04,4.449056e-04,4.356535e-04,4.267995e-04,4.183308e-04,4.102346e-04,4.024981e-04,3.951088e-04,3.880546e-04,3.813233e-04,3.749031e-04,3.687825e-04,3.629504e-04,3.573956e-04,3.521076e-04,3.470760e-04,3.422908e-04,3.377421e-04,3.334207e-04,3.293172e-04,3.254229e-04,3.217292e-04,3.182277e-04,3.149106e-04,3.117700e-04,3.087985e-04,3.059889e-04,3.033344e-04,3.008281e-04,2.984637e-04,2.962350e-04,2.941359e-04,2.921608e-04,2.903040e-04,2.885604e-04,2.869246e-04,2.853919e-04,2.839575e-04,2.826168e-04,2.813654e-04,2.801992e-04,2.791141e-04,2.781062e-04,2.771718e-04
0.000000e+00,1.152510e-07,2.258693e-06,2.368710e-06,1.762054e-05,7.162212e-05,7.525838e-05,2.141039e-04,4.310035e-04,4.472777e-04,7.471953e-04,1.049300e-03,1.075961e-03,1.407568e-03,1.696708e-03,1.728024e-03,2.030691e-03,2.280115e-03,2.312857e-03,2.573800e-03,2.781429e-03,2.813791e-03,3.033571e-03,3.203268e-03,3.234102e-03,3.416429e-03,3.553100e-03,3.581617e-03,3.730714e-03,3.839091e-03,3.864736e-03,3.984653e-03,4.068994e-03,4.091391e-03,4.185823e-03,4.249874e-03,4.268779e-03,4.341040e-03,4.388060e-03,4.403339e-03,4.456369e-03,4.489179e-03,4.500782e-03,4.537187e-03,4.558215e-03,4.566159e-03,4.588237e-03,4.599572e-03,4.603927e-03,4.613704e-03,4.617134e-03,4.618012e-03,4.617269e-03,4.614324e-03,4.611866e-03,4.602172e-03,4.594156e-03,4.588527e-03,4.571256e-03,4.559278e-03,4.550658e-03,4.527018e-03,4.512017e-03,4.500599e-03,4.471649e-03,4.454418e-03,4.440399e-03,4.407065e-03,4.388271e-03,4.371850e-03,4.334942e-03,4.315140e-03,4.296518e-03,4.256742e-03,4.236395e-03,4.215767e-03,4.173737e-03,4.153227e-03,4.130785e-03,4.087036e-03,4.066675e-03,4.042604e-03,3.997599e-03,3.977640e-03,3.952119e-03,3.906259e-03,3.886905e-03,3.860103e-03,3.813734e-03,3.795143e-03,3.767224e-03,3.720644e-03,3.702938e-03,3.674055e-03,3.627518e-03,3.610788e-03,3.581087e-03,3.534811e-03,3.519121e-03,3.488737e-03,3.442908e-03,3.428300e-03,3.397361e-03,3.352133e-03,3.338631e-03,3.307256e-03,3.262760e-03,3.250373e-03,3.218671e-03,3.175015e-03,3.163739e-03,3.131814e-03,3.089087e-03,3.078905e-03,3.046852e-03,3.005126e-03,2.996016e-03,2.963922e-03,2.923254e-03,2.915185e-03,2.883132e-03,2.843565e-03,2.836502e-03,2.804562e-03,2.766130e-03,2.760034e-03,2.728275e-03,2.691000e-03,2.685829e-03,2.654311e-03,2.618210e-03,2.613918e-03,2.582698e-03,2.547778e-03,2.544318e-03,2.513448e-03,2.479709e-03,2.477035e-03,2.446559e-03,2.413998e-03,2.412063e-03,2.382023e-03,2.350631e-03,2.349387e-03,2.319819e-03,2.289584e-03,2.288985e-03,2.259921e-03,2.230827e-03,2.174880e-03,2.121105e-03,2.069459e-03,2.019897e-03,1.972371e-03,1.926830e-03,1.883225e-03,1.841501e-03,1.801608e-03,1.763490e-03,1.727096e-03,1.692371e-03,1.659263e-03,1.627719e-03,1.597688e-03,1.569118e-03,1.541959e-03,1.516162e-03,1.491678e-03,1.468459e-03,1.446460e-03,1.425635e-03,1.405939e-03,1.387330e-03,1.369765e-03,1.353204e-03,1.337606e-03,1.322933e-03,1.309148e-03,1.296213e-03,1.284094e-03,1.272756e-03,1.262166e-03,1.252291e-03,1.243100e-03,1.234563e-03,1.226650e-03,1.219333e-03,1.212585e-03,1.206379e-03,1.200689e-03,1.195490e-03,1.190759e-03,1.186472e-03,1.182607e-03,1.179142e-03,1.176056e-03,1.173330e-03,1.170944e-03
0.000000e+00,1.633630e-09,2.055052e-08,2.142900e-08,1.257248e-07,4.243568e-07,4.427117e-07,1.065774e-06,1.870808e-06,1.925821e-06,2.850343e-06,3.667992e-06,3.736579e-06,4.556418e-06,5.234465e-06,5.306368e-06,5.988881e-06,6.536695e-06,6.607725e-06,7.166859e-06,7.602923e-06,7.670166e-06,8.121370e-06,8.462719e-06,8.524021e-06,8.881483e-06,9.143122e-06,9.196941e-06,9.473404e-06,9.668407e-06,9.713704e-06,9.920505e-06,1.006017e-05,1.009631e-05,1.024346e-05,1.033749e-05,1.036416e-05,1.046045e-05,1.051714e-05,1.053428e-05,1.058743e-05,1.061384e-05,1.062158e-05,1.063829e-05,1.064041e-05,1.063904e-05,1.062519e-05,1.060808e-05,1.059800e-05,1.055866e-05,1.052658e-05,1.050827e-05,1.044786e-05,1.040438e-05,1.037838e-05,1.030073e-05,1.024884e-05,1.021572e-05,1.012411e-05,1.006629e-05,1.002663e-05,9.923936e-06,9.862222e-06,9.816630e-06,9.705283e-06,9.641360e-06,9.590419e-06,9.472524e-06,9.407760e-06,9.352047e-06,9.229401e-06,9.164897e-06,9.104969e-06,8.979104e-06,8.915736e-06,8.852129e-06,8.724344e-06,8.662801e-06,8.596023e-06,8.467418e-06,8.408228e-06,8.338759e-06,8.210258e-06,8.153817e-06,8.082106e-06,7.954481e-06,7.901075e-06,7.827542e-06,7.701434e-06,7.651254e-06,7.576289e-06,7.452225e-06,7.405387e-06,7.329349e-06,7.207758e-06,7.164316e-06,7.087536e-06,6.968761e-06,6.928719e-06,6.851499e-06,6.735810e-06,6.699130e-06,6.621746e-06,6.509351e-06,6.475964e-06,6.398663e-06,6.289716e-06,6.259527e-06,6.182536e-06,6.077145e-06,6.050039e-06,5.973561e-06,5.871795e-06,5.847643e-06,5.771857e-06,5.673752e-06,5.652415e-06,5.577482e-06,5.483046e-06,5.464379e-06,5.390440e-06,5.299658e-06,5.283511e-06,5.210691e-06,5.123528e-06,5.109749e-06,5.038157e-06,4.954562e-06,4.943000e-06,4.872729e-06,4.792639e-06,4.783144e-06,4.714273e-06,4.637613e-06,4.630040e-06,4.562637e-06,4.489324e-06,4.483530e-06,4.417651e-06,4.347595e-06,4.343442e-06,4.279132e-06,4.212239e-06,4.209596e-06,4.146891e-06,4.083063e-06,4.081802e-06,4.020729e-06,3.959865e-06,3.843590e-06,3.732776e-06,3.627226e-06,3.526742e-06,3.431128e-06,3.340191e-06,3.253742e-06,3.171597e-06,3.093573e-06,3.019495e-06,2.949193e-06,2.882500e-06,2.819258e-06,2.759310e-06,2.702507e-06,2.648706e-06,2.597768e-06,2.549561e-06,2.503955e-06,2.460829e-06,2.420064e-06,2.381548e-06,2.345174e-06,2.310836e-06,2.278437e-06,2.247883e-06,2.219081e-06,2.191947e-06,2.166398e-06,2.142355e-06,2.119743e-06,2.098491e-06,2.078529e-06,2.059793e-06,2.042221e-06,2.025753e-06,2.010333e-06,1.995908e-06,1.982425e-06,1.969837e-06,1.958097e-06,1.947161e-06,1.936986e-06,1.927533e-06,1.918764e-06,1.910641e-06,1.903132e-06,1.896202e-06,1.889821e-06
0.000000e+00,1.166983e-09,1.582843e-08,1.651536e-08,9.553692e-08,3.027323e-07,3.148409e-07,6.985166e-07,1.145242e-06,1.174614e-06,1.657873e-06,2.077924e-06,2.113051e-06,2.532535e-06,2.879425e-06,2.916226e-06,3.265766e-06,3.546706e-06,3.583165e-06,3.870469e-06,4.094999e-06,4.129666e-06,4.362662e-06,4.539459e-06,4.571268e-06,4.757204e-06,4.893896e-06,4.922091e-06,5.067451e-06,5.170644e-06,5.194714e-06,5.305220e-06,5.380592e-06,5.400223e-06,5.480893e-06,5.533293e-06,5.548326e-06,5.603549e-06,5.637116e-06,5.647514e-06,5.681114e-06,5.699355e-06,5.705177e-06,5.720479e-06,5.726364e-06,5.727738e-06,5.727626e-06,5.723659e-06,5.720766e-06,5.707740e-06,5.696029e-06,5.689087e-06,5.665310e-06,5.647619e-06,5.636874e-06,5.604213e-06,5.582019e-06,5.567729e-06,5.527797e-06,5.502327e-06,5.484762e-06,5.438946e-06,5.411217e-06,5.390647e-06,5.340142e-06,5.310991e-06,5.287686e-06,5.233515e-06,5.203628e-06,5.177850e-06,5.120892e-06,5.090825e-06,5.062828e-06,5.003832e-06,4.974035e-06,4.944064e-06,4.883669e-06,4.854497e-06,4.822784e-06,4.761533e-06,4.733267e-06,4.700031e-06,4.638383e-06,4.611238e-06,4.576687e-06,4.515029e-06,4.489165e-06,4.453492e-06,4.392150e-06,4.367683e-06,4.331069e-06,4.270312e-06,4.247321e-06,4.209935e-06,4.149988e-06,4.128521e-06,4.090517e-06,4.031563e-06,4.011643e-06,3.973164e-06,3.915353e-06,3.896982e-06,3.858160e-06,3.801610e-06,3.784775e-06,3.745729e-06,3.690536e-06,3.675208e-06,3.636049e-06,3.582283e-06,3.568424e-06,3.529252e-06,3.476968e-06,3.464532e-06,3.425438e-06,3.374672e-06,3.363606e-06,3.324673e-06,3.275448e-06,3.265696e-06,3.226999e-06,3.179327e-06,3.170829e-06,3.132434e-06,3.086318e-06,3.079012e-06,3.040978e-06,2.996413e-06,2.990235e-06,2.952618e-06,2.909589e-06,2.904477e-06,2.867323e-06,2.825813e-06,2.821704e-06,2.785055e-06,2.745042e-06,2.741872e-06,2.705766e-06,2.667222e-06,2.664932e-06,2.629401e-06,2.592296e-06,2.590827e-06,2.555899e-06,2.520201e-06,2.519494e-06,2.485194e-06,2.450869e-06,2.384882e-06,2.321464e-06,2.260543e-06,2.202045e-06,2.145899e-06,2.092030e-06,2.040366e-06,1.990835e-06,1.943366e-06,1.897888e-06,1.854335e-06,1.812637e-06,1.772729e-06,1.734548e-06,1.698030e-06,1.663115e-06,1.629743e-06,1.597857e-06,1.567401e-06,1.538322e-06,1.510567e-06,1.484085e-06,1.458828e-06,1.434747e-06,1.411798e-06,1.389936e-06,1.369118e-06,1.349303e-06,1.330452e-06,1.312526e-06,1.295489e-06,1.279304e-06,1.263938e-06,1.249357e-06,1.235529e-06,1.222424e-06,1.210012e-06,1.198265e-06,1.187155e-06,1.176655e-06,1.166742e-06,1.157389e-06,1.148573e-06,1.140273e-06,1.132465e-06,1.125129e-06,1.118244e-06,1.111792e-06,1.105754e-06
0.000000e+00,3.304866e-09,4.325315e-08,4.513397e-08,2.688952e-07,8.706935e-07,9.053919e-07,1.940657e-06,3.012028e-06,3.079317e-06,4.155694e-06,5.059765e-06,5.134352e-06,6.013611e-06,6.724125e-06,6.798553e-06,7.495499e-06,8.041108e-06,8.110850e-06,8.650820e-06,9.059442e-06,9.121352e-06,9.528132e-06,9.824495e-06,9.876527e-06,1.017158e-05,1.037703e-05,1.041800e-05,1.062016e-05,1.075277e-05,1.078213e-05,1.090764e-05,1.098247e-05,1.100016e-05,1.106287e-05,1.109240e-05,1.109869e-05,1.111032e-05,1.110479e-05,1.110020e-05,1.107062e-05,1.103843e-05,1.102364e-05,1.096115e-05,1.090912e-05,1.088489e-05,1.079645e-05,1.073010e-05,1.069728e-05,1.058870e-05,1.051247e-05,1.047191e-05,1.034803e-05,1.026549e-05,1.021805e-05,1.008289e-05,9.996855e-06,9.943377e-06,9.800263e-06,9.712955e-06,9.654235e-06,9.505913e-06,9.419059e-06,9.355858e-06,9.204577e-06,9.119497e-06,9.052528e-06,8.900124e-06,8.817811e-06,8.747736e-06,8.595696e-06,8.516872e-06,8.444301e-06,8.293818e-06,8.218993e-06,8.144483e-06,7.996506e-06,7.926014e-06,7.850071e-06,7.705343e-06,7.639381e-06,7.562463e-06,7.421556e-06,7.360211e-06,7.282729e-06,7.146074e-06,7.089345e-06,7.011667e-06,6.879575e-06,6.827398e-06,6.749849e-06,6.622534e-06,6.574793e-06,6.497662e-06,6.375257e-06,6.331799e-06,6.255337e-06,6.137911e-06,6.098555e-06,6.022982e-06,5.910549e-06,5.875096e-06,5.800604e-06,5.693134e-06,5.661374e-06,5.588125e-06,5.485556e-06,5.457271e-06,5.385404e-06,5.287644e-06,5.262614e-06,5.192247e-06,5.099183e-06,5.077192e-06,5.008420e-06,4.919924e-06,4.900756e-06,4.833660e-06,4.749591e-06,4.733037e-06,4.667679e-06,4.587887e-06,4.573747e-06,4.510176e-06,4.434506e-06,4.422585e-06,4.360837e-06,4.289130e-06,4.279245e-06,4.219344e-06,4.151439e-06,4.143415e-06,4.085376e-06,4.021114e-06,4.014786e-06,3.958614e-06,3.897836e-06,3.893047e-06,3.838741e-06,3.781291e-06,3.777895e-06,3.725446e-06,3.671170e-06,3.669031e-06,3.618424e-06,3.567173e-06,3.566163e-06,3.517379e-06,3.469006e-06,3.377287e-06,3.290738e-06,3.209104e-06,3.132138e-06,3.059602e-06,2.991271e-06,2.926925e-06,2.866357e-06,2.809369e-06,2.755771e-06,2.705382e-06,2.658031e-06,2.613554e-06,2.571795e-06,2.532607e-06,2.495848e-06,2.461386e-06,2.429093e-06,2.398849e-06,2.370541e-06,2.344060e-06,2.319304e-06,2.296176e-06,2.274584e-06,2.254441e-06,2.235664e-06,2.218175e-06,2.201901e-06,2.186772e-06,2.172720e-06,2.159685e-06,2.147606e-06,2.136428e-06,2.126097e-06,2.116564e-06,2.107780e-06,2.099703e-06,2.092288e-06,2.085497e-06,2.079291e-06,2.073634e-06,2.068494e-06,2.063838e-06,2.059637e-06,2.055861e-06,2.052484e-06,2.049481e-06,2.046827e-06,2.044502e-06
0.000000e+00,3.696819e-09,4.258460e-08,4.433193e-08,2.455903e-07,8.116857e-07,8.463815e-07,2.020060e-06,3.525068e-06,3.627727e-06,5.358838e-06,6.907311e-06,7.038131e-06,8.613992e-06,9.935393e-06,1.007655e-05,1.142723e-05,1.252672e-05,1.267039e-05,1.381120e-05,1.471449e-05,1.485498e-05,1.580704e-05,1.653967e-05,1.667255e-05,1.745653e-05,1.804198e-05,1.816385e-05,1.879916e-05,1.925858e-05,1.936693e-05,1.987142e-05,2.022360e-05,2.031667e-05,2.070653e-05,2.096803e-05,2.104465e-05,2.133447e-05,2.151977e-05,2.157926e-05,2.178211e-05,2.190382e-05,2.194592e-05,2.207343e-05,2.214249e-05,2.216724e-05,2.222979e-05,2.225563e-05,2.226336e-05,2.227012e-05,2.226089e-05,2.225210e-05,2.221122e-05,2.217389e-05,2.214927e-05,2.206794e-05,2.200849e-05,2.196882e-05,2.185340e-05,2.177691e-05,2.172308e-05,2.157916e-05,2.148995e-05,2.142288e-05,2.125538e-05,2.115710e-05,2.107776e-05,2.089102e-05,2.078672e-05,2.069610e-05,2.049389e-05,2.038614e-05,2.028522e-05,2.007086e-05,1.996177e-05,1.985153e-05,1.962790e-05,1.951922e-05,1.940061e-05,1.917023e-05,1.906338e-05,1.893732e-05,1.870237e-05,1.859848e-05,1.846587e-05,1.822823e-05,1.812819e-05,1.798988e-05,1.775119e-05,1.765569e-05,1.751250e-05,1.727414e-05,1.718371e-05,1.703640e-05,1.679955e-05,1.671456e-05,1.656385e-05,1.632954e-05,1.625022e-05,1.609681e-05,1.586587e-05,1.579237e-05,1.563689e-05,1.541003e-05,1.534241e-05,1.518544e-05,1.496326e-05,1.490150e-05,1.474360e-05,1.452656e-05,1.447058e-05,1.431225e-05,1.410076e-05,1.405042e-05,1.389214e-05,1.368648e-05,1.364164e-05,1.348383e-05,1.328424e-05,1.324469e-05,1.308774e-05,1.289438e-05,1.285992e-05,1.270419e-05,1.251718e-05,1.248755e-05,1.233337e-05,1.215277e-05,1.212774e-05,1.197539e-05,1.180123e-05,1.178055e-05,1.163029e-05,1.146256e-05,1.144596e-05,1.129803e-05,1.113669e-05,1.112392e-05,1.097853e-05,1.082351e-05,1.081431e-05,1.067163e-05,1.052286e-05,1.051698e-05,1.037718e-05,1.023455e-05,1.023172e-05,1.009494e-05,9.958330e-06,9.696550e-06,9.446117e-06,9.206751e-06,8.978158e-06,8.760033e-06,8.552068e-06,8.353948e-06,8.165359e-06,7.985983e-06,7.815506e-06,7.653616e-06,7.500002e-06,7.354359e-06,7.216388e-06,7.085793e-06,6.962286e-06,6.845586e-06,6.735417e-06,6.631510e-06,6.533607e-06,6.441451e-06,6.354799e-06,6.273411e-06,6.197056e-06,6.125511e-06,6.058559e-06,5.995991e-06,5.937604e-06,5.883205e-06,5.832604e-06,5.785621e-06,5.742081e-06,5.701815e-06,5.664661e-06,5.630464e-06,5.599073e-06,5.570344e-06,5.544138e-06,5.520322e-06,5.498768e-06,5.479354e-06,5.461961e-06,5.446477e-06,5.432792e-06,5.420803e-06,5.410411e-06,5.401520e-06,5.394039e-06,5.387881e-06
0.000000e+00,2.585355e-08,4.297860e-07,4.497831e-07,2.963087e-06,1.029997e-05,1.074727e-05,2.561900e-05,4.422639e-05,4.548515e-05,6.660607e-05,8.545326e-05,8.704838e-05,1.063407e-04,1.226706e-04,1.244253e-04,1.413296e-04,1.552650e-04,1.570990e-04,1.717826e-04,1.835800e-04,1.854302e-04,1.980913e-04,2.079995e-04,2.098140e-04,2.206454e-04,2.288936e-04,2.306305e-04,2.398129e-04,2.466091e-04,2.482345e-04,2.559352e-04,2.614661e-04,2.629534e-04,2.693257e-04,2.737582e-04,2.750870e-04,2.802708e-04,2.837537e-04,2.849088e-04,2.890314e-04,2.916970e-04,2.926677e-04,2.958451e-04,2.978103e-04,2.985899e-04,3.009274e-04,3.022966e-04,3.028816e-04,3.044751e-04,3.053398e-04,3.057296e-04,3.066655e-04,3.071063e-04,3.073023e-04,3.076587e-04,3.077465e-04,3.077522e-04,3.075996e-04,3.073967e-04,3.072169e-04,3.066192e-04,3.061797e-04,3.058208e-04,3.048353e-04,3.042066e-04,3.036757e-04,3.023542e-04,3.015774e-04,3.008825e-04,2.992716e-04,2.983824e-04,2.975319e-04,2.956734e-04,2.947025e-04,2.937054e-04,2.916368e-04,2.906106e-04,2.894760e-04,2.872309e-04,2.861719e-04,2.849091e-04,2.825177e-04,2.814451e-04,2.800634e-04,2.775525e-04,2.764825e-04,2.749910e-04,2.723847e-04,2.713308e-04,2.697388e-04,2.670584e-04,2.660317e-04,2.643481e-04,2.616126e-04,2.606224e-04,2.588559e-04,2.560820e-04,2.551357e-04,2.532947e-04,2.504974e-04,2.496007e-04,2.476935e-04,2.448859e-04,2.440434e-04,2.420776e-04,2.392713e-04,2.384863e-04,2.364695e-04,2.336746e-04,2.329493e-04,2.308887e-04,2.281139e-04,2.274498e-04,2.253522e-04,2.226052e-04,2.220031e-04,2.198748e-04,2.171623e-04,2.166221e-04,2.144692e-04,2.117968e-04,2.113181e-04,2.091464e-04,2.065190e-04,2.061008e-04,2.039157e-04,2.013373e-04,2.009784e-04,1.987848e-04,1.962589e-04,1.959576e-04,1.937603e-04,1.912896e-04,1.910441e-04,1.888475e-04,1.864344e-04,1.862426e-04,1.840506e-04,1.816968e-04,1.815565e-04,1.793731e-04,1.770799e-04,1.769888e-04,1.748173e-04,1.725857e-04,1.725414e-04,1.703851e-04,1.682158e-04,1.640127e-04,1.599324e-04,1.559748e-04,1.521393e-04,1.484249e-04,1.448305e-04,1.413544e-04,1.379951e-04,1.347505e-04,1.316187e-04,1.285974e-04,1.256842e-04,1.228769e-04,1.201729e-04,1.175696e-04,1.150645e-04,1.126551e-04,1.103386e-04,1.081125e-04,1.059741e-04,1.039209e-04,1.019503e-04,1.000598e-04,9.824679e-05,9.650884e-05,9.484349e-05,9.324836e-05,9.172110e-05,9.025940e-05,8.886103e-05,8.752378e-05,8.624552e-05,8.502415e-05,8.385763e-05,8.274399e-05,8.168130e-05,8.066768e-05,7.970132e-05,7.878045e-05,7.790335e-05,7.706837e-05,7.627390e-05,7.551837e-05,7.480029e-05,7.411818e-05,7.347064e-05,7.285631e-05,7.227386e-05,7.172201e-05
0.000000e+00,1.433938e-09,1.510796e-08,1.570446e-08,8.388628e-08,2.826734e-07,2.952004e-07,7.385006e-07,1.352760e-06,1.396087e-06,2.141571e-06,2.816198e-06,2.873048e-06,3.553139e-06,4.114351e-06,4.173720e-06,4.735395e-06,5.183279e-06,5.241129e-06,5.694452e-06,6.045117e-06,6.098936e-06,6.458050e-06,6.727070e-06,6.775104e-06,7.053239e-06,7.254350e-06,7.295415e-06,7.504419e-06,7.649501e-06,7.682866e-06,7.833203e-06,7.932429e-06,7.957717e-06,8.058542e-06,8.120552e-06,8.137663e-06,8.196930e-06,8.229021e-06,8.238061e-06,8.262651e-06,8.270949e-06,8.272181e-06,8.268025e-06,8.257658e-06,8.251455e-06,8.223651e-06,8.198888e-06,8.185705e-06,8.138624e-06,8.103005e-06,8.083344e-06,8.020728e-06,7.977173e-06,7.951570e-06,7.876607e-06,7.827514e-06,7.796517e-06,7.711924e-06,7.659249e-06,7.623404e-06,7.531486e-06,7.476810e-06,7.436657e-06,7.339363e-06,7.283957e-06,7.240016e-06,7.138990e-06,7.083861e-06,7.036632e-06,6.933254e-06,6.879192e-06,6.829146e-06,6.724569e-06,6.672181e-06,6.619763e-06,6.514946e-06,6.464688e-06,6.410313e-06,6.306045e-06,6.258249e-06,6.202303e-06,6.099232e-06,6.054127e-06,5.996963e-06,5.895613e-06,5.853346e-06,5.795288e-06,5.696080e-06,5.656729e-06,5.598073e-06,5.501338e-06,5.464926e-06,5.405940e-06,5.311935e-06,5.278443e-06,5.219368e-06,5.128283e-06,5.097657e-06,5.038712e-06,4.950684e-06,4.922845e-06,4.864222e-06,4.779344e-06,4.754191e-06,4.696062e-06,4.614387e-06,4.591807e-06,4.534324e-06,4.455875e-06,4.435742e-06,4.379038e-06,4.303809e-06,4.285993e-06,4.230183e-06,4.158150e-06,4.142515e-06,4.087699e-06,4.018817e-06,4.005228e-06,3.951490e-06,3.885702e-06,3.874022e-06,3.821435e-06,3.758672e-06,3.748768e-06,3.697392e-06,3.637574e-06,3.629315e-06,3.579199e-06,3.522243e-06,3.515503e-06,3.466684e-06,3.412500e-06,3.407157e-06,3.359667e-06,3.308162e-06,3.304098e-06,3.257959e-06,3.209036e-06,3.206141e-06,3.161368e-06,3.114931e-06,3.113099e-06,3.069701e-06,3.025653e-06,3.024784e-06,2.982763e-06,2.941007e-06,2.861584e-06,2.786329e-06,2.715063e-06,2.647610e-06,2.583799e-06,2.523463e-06,2.466439e-06,2.412573e-06,2.361714e-06,2.313715e-06,2.268439e-06,2.225750e-06,2.185520e-06,2.147625e-06,2.111949e-06,2.078378e-06,2.046804e-06,2.017124e-06,1.989240e-06,1.963059e-06,1.938490e-06,1.915450e-06,1.893857e-06,1.873634e-06,1.854707e-06,1.837008e-06,1.820469e-06,1.805027e-06,1.790624e-06,1.777201e-06,1.764705e-06,1.753085e-06,1.742291e-06,1.732278e-06,1.723003e-06,1.714422e-06,1.706497e-06,1.699190e-06,1.692467e-06,1.686293e-06,1.680636e-06,1.675466e-06,1.670755e-06,1.666476e-06,1.662603e-06,1.659111e-06,1.655978e-06,1.653181e-06,1.650700e-06
0.000000e+00,1.069549e-07,2.141684e-06,2.247493e-06,1.690993e-05,6.597174e-05,6.912972e-05,1.794096e-04,3.227272e-04,3.324098e-04,4.905473e-04,6.181174e-04,6.280743e-04,7.362217e-04,8.089204e-04,8.156884e-04,8.708124e-04,9.032120e-04,9.066541e-04,9.278086e-04,9.371534e-04,9.380478e-04,9.403146e-04,9.377062e-04,9.368384e-04,9.292791e-04,9.209018e-04,9.188585e-04,9.064689e-04,8.955818e-04,8.927588e-04,8.781973e-04,8.664690e-04,8.631219e-04,8.477754e-04,8.360394e-04,8.323312e-04,8.169128e-04,8.055724e-04,8.016078e-04,7.864774e-04,7.757165e-04,7.715647e-04,7.568986e-04,7.467895e-04,7.424981e-04,7.283759e-04,7.189357e-04,7.145393e-04,7.009917e-04,6.922090e-04,6.877339e-04,6.747655e-04,6.666170e-04,6.620851e-04,6.496895e-04,6.421456e-04,6.375748e-04,6.257372e-04,6.187659e-04,6.141724e-04,6.028756e-04,5.964442e-04,5.918416e-04,5.810651e-04,5.751410e-04,5.705412e-04,5.602647e-04,5.548164e-04,5.502304e-04,5.404330e-04,5.354304e-04,5.308676e-04,5.215294e-04,5.169438e-04,5.124132e-04,5.035144e-04,4.993187e-04,4.948281e-04,4.863497e-04,4.825182e-04,4.780747e-04,4.699985e-04,4.665069e-04,4.621169e-04,4.544253e-04,4.512506e-04,4.469197e-04,4.395958e-04,4.367162e-04,4.324496e-04,4.254769e-04,4.228721e-04,4.186740e-04,4.120370e-04,4.096876e-04,4.055621e-04,3.992456e-04,3.971335e-04,3.930840e-04,3.870736e-04,3.851817e-04,3.812110e-04,3.754929e-04,3.738051e-04,3.699158e-04,3.644767e-04,3.629780e-04,3.591721e-04,3.539992e-04,3.526754e-04,3.489548e-04,3.440359e-04,3.428738e-04,3.392397e-04,3.345633e-04,3.335503e-04,3.300038e-04,3.255587e-04,3.246831e-04,3.212251e-04,3.170005e-04,3.162515e-04,3.128824e-04,3.088682e-04,3.082354e-04,3.049555e-04,3.011420e-04,3.006159e-04,2.974253e-04,2.938030e-04,2.933746e-04,2.902731e-04,2.868333e-04,2.864942e-04,2.834814e-04,2.802155e-04,2.799579e-04,2.770334e-04,2.739332e-04,2.737498e-04,2.709130e-04,2.679708e-04,2.678547e-04,2.651047e-04,2.623130e-04,2.622579e-04,2.595939e-04,2.569457e-04,2.519046e-04,2.471220e-04,2.425858e-04,2.382842e-04,2.342064e-04,2.303417e-04,2.266799e-04,2.232115e-04,2.199272e-04,2.168183e-04,2.138763e-04,2.110933e-04,2.084616e-04,2.059738e-04,2.036231e-04,2.014027e-04,1.993063e-04,1.973279e-04,1.954617e-04,1.937021e-04,1.920439e-04,1.904821e-04,1.890118e-04,1.876286e-04,1.863280e-04,1.851060e-04,1.839584e-04,1.828816e-04,1.818720e-04,1.809260e-04,1.800405e-04,1.792123e-04,1.784384e-04,1.777160e-04,1.770424e-04,1.764150e-04,1.758314e-04,1.752892e-04,1.747861e-04,1.743202e-04,1.738893e-04,1.734915e-04,1.731250e-04,1.727881e-04,1.724790e-04,1.721963e-04,1.719384e-04,1.717039e-04,1.714914e-04
0.000000e+00,2.300933e-07,3.999568e-06,4.182733e-06,2.768275e-05,1.064130e-04,1.116836e-04,3.164613e-04,6.586640e-04,6.855777e-04,1.210868e-03,1.786901e-03,1.839521e-03,2.512415e-03,3.120479e-03,3.187232e-03,3.839335e-03,4.384145e-03,4.456049e-03,5.031696e-03,5.492449e-03,5.564445e-03,6.054506e-03,6.434076e-03,6.503144e-03,6.912147e-03,7.219366e-03,7.283533e-03,7.619393e-03,7.863901e-03,7.921806e-03,8.192796e-03,8.383609e-03,8.434308e-03,8.648200e-03,8.793375e-03,8.836236e-03,9.000089e-03,9.106706e-03,9.141342e-03,9.261491e-03,9.335728e-03,9.361950e-03,9.444053e-03,9.491281e-03,9.509060e-03,9.558159e-03,9.583035e-03,9.592473e-03,9.613057e-03,9.619608e-03,9.620909e-03,9.616969e-03,9.608670e-03,9.602122e-03,9.577203e-03,9.557041e-03,9.542997e-03,9.500243e-03,9.470779e-03,9.449637e-03,9.391835e-03,9.355256e-03,9.327451e-03,9.257065e-03,9.215230e-03,9.181219e-03,9.100423e-03,9.054906e-03,9.015158e-03,8.925872e-03,8.877995e-03,8.832986e-03,8.736896e-03,8.687765e-03,8.637970e-03,8.536555e-03,8.487087e-03,8.432974e-03,8.327530e-03,8.278479e-03,8.220506e-03,8.112164e-03,8.064140e-03,8.002750e-03,7.892494e-03,7.845987e-03,7.781608e-03,7.670291e-03,7.625685e-03,7.558726e-03,7.447085e-03,7.404675e-03,7.335526e-03,7.224195e-03,7.184198e-03,7.113227e-03,7.002748e-03,6.965318e-03,6.892873e-03,6.783708e-03,6.748941e-03,6.675350e-03,6.567888e-03,6.535837e-03,6.461404e-03,6.355972e-03,6.326649e-03,6.251659e-03,6.148527e-03,6.121913e-03,6.046630e-03,5.946019e-03,5.922069e-03,5.846738e-03,5.748826e-03,5.727472e-03,5.652318e-03,5.557245e-03,5.538406e-03,5.463635e-03,5.371509e-03,5.355086e-03,5.280888e-03,5.191787e-03,5.177673e-03,5.104220e-03,5.018198e-03,5.006279e-03,4.933728e-03,4.850816e-03,4.840971e-03,4.769464e-03,4.689675e-03,4.681782e-03,4.611447e-03,4.534777e-03,4.528711e-03,4.459661e-03,4.386094e-03,4.381729e-03,4.314067e-03,4.243573e-03,4.240785e-03,4.174602e-03,4.107142e-03,4.105808e-03,4.041183e-03,3.976710e-03,3.853388e-03,3.735729e-03,3.623608e-03,3.516895e-03,3.415452e-03,3.319138e-03,3.227807e-03,3.141312e-03,3.059503e-03,2.982230e-03,2.909344e-03,2.840694e-03,2.776131e-03,2.715509e-03,2.658682e-03,2.605507e-03,2.555842e-03,2.509547e-03,2.466488e-03,2.426529e-03,2.389541e-03,2.355394e-03,2.323964e-03,2.295128e-03,2.268766e-03,2.244762e-03,2.223003e-03,2.203377e-03,2.185777e-03,2.170097e-03,2.156236e-03,2.144094e-03,2.133575e-03,2.124585e-03,2.117033e-03,2.110831e-03,2.105895e-03,2.102141e-03,2.099490e-03,2.097864e-03,2.097189e-03,2.097393e-03,2.098407e-03,2.100165e-03,2.102603e-03,2.105658e-03,2.109274e-03,2.113392e-03,2.117961e-03
0.000000e+00,9.613553e-09,1.081047e-07,1.123961e-07,5.752276e-07,1.767053e-06,1.837950e-06,4.210631e-06,7.379823e-06,7.605585e-06,1.160636e-05,1.542716e-05,1.575688e-05,1.978262e-05,2.321241e-05,2.358101e-05,2.712708e-05,3.003899e-05,3.042122e-05,3.347153e-05,3.590767e-05,3.628838e-05,3.888278e-05,4.089829e-05,4.126584e-05,4.344875e-05,4.509695e-05,4.544224e-05,4.725627e-05,4.858495e-05,4.890074e-05,5.038515e-05,5.143773e-05,5.171858e-05,5.290976e-05,5.372504e-05,5.396698e-05,5.489815e-05,5.551050e-05,5.571079e-05,5.641205e-05,5.685185e-05,5.700877e-05,5.750741e-05,5.780140e-05,5.791412e-05,5.823476e-05,5.840646e-05,5.847486e-05,5.863970e-05,5.870970e-05,5.873426e-05,5.876328e-05,5.874954e-05,5.873125e-05,5.864241e-05,5.856057e-05,5.850079e-05,5.831019e-05,5.817384e-05,5.807424e-05,5.779634e-05,5.761721e-05,5.747971e-05,5.712740e-05,5.691561e-05,5.674230e-05,5.632713e-05,5.609134e-05,5.588446e-05,5.541671e-05,5.516433e-05,5.492616e-05,5.441499e-05,5.415231e-05,5.388521e-05,5.333875e-05,5.307106e-05,5.277740e-05,5.220286e-05,5.193459e-05,5.161673e-05,5.102049e-05,5.075531e-05,5.041556e-05,4.980326e-05,4.954419e-05,4.918482e-05,4.856141e-05,4.831089e-05,4.793410e-05,4.730392e-05,4.706390e-05,4.667182e-05,4.603868e-05,4.581065e-05,4.540532e-05,4.477252e-05,4.455763e-05,4.414100e-05,4.351141e-05,4.331046e-05,4.288439e-05,4.226049e-05,4.207401e-05,4.164025e-05,4.102417e-05,4.085247e-05,4.041269e-05,3.980622e-05,3.964941e-05,3.920515e-05,3.860983e-05,3.846784e-05,3.802057e-05,3.743766e-05,3.731030e-05,3.686137e-05,3.629193e-05,3.617888e-05,3.572956e-05,3.517444e-05,3.507530e-05,3.462675e-05,3.408663e-05,3.400092e-05,3.355422e-05,3.302962e-05,3.295681e-05,3.251294e-05,3.200424e-05,3.194374e-05,3.150361e-05,3.101109e-05,3.096229e-05,3.052673e-05,3.005054e-05,3.001280e-05,2.958254e-05,2.912275e-05,2.909543e-05,2.867116e-05,2.822775e-05,2.821019e-05,2.779251e-05,2.736540e-05,2.735694e-05,2.694639e-05,2.653545e-05,2.574534e-05,2.498620e-05,2.425748e-05,2.355862e-05,2.288899e-05,2.224791e-05,2.163467e-05,2.104855e-05,2.048878e-05,1.995460e-05,1.944524e-05,1.895991e-05,1.849783e-05,1.805822e-05,1.764030e-05,1.724331e-05,1.686649e-05,1.650910e-05,1.617041e-05,1.584969e-05,1.554626e-05,1.525942e-05,1.498850e-05,1.473287e-05,1.449188e-05,1.426492e-05,1.405140e-05,1.385075e-05,1.366240e-05,1.348581e-05,1.332047e-05,1.316587e-05,1.302152e-05,1.288695e-05,1.276172e-05,1.264538e-05,1.253752e-05,1.243773e-05,1.234563e-05,1.226083e-05,1.218299e-05,1.211176e-05,1.204680e-05,1.198780e-05,1.193445e-05,1.188646e-05,1.184355e-05,1.180545e-05,1.177190e-05
0.000000e+00,3.046533e-09,3.556688e-08,3.703942e-08,2.082116e-07,6.839309e-07,7.125739e-07,1.644638e-06,2.752439e-06,2.825370e-06,4.022422e-06,5.056507e-06,5.142671e-06,6.167537e-06,7.008756e-06,7.097625e-06,7.937718e-06,8.607016e-06,8.693436e-06,9.370448e-06,9.893935e-06,9.974262e-06,1.051015e-05,1.091147e-05,1.098312e-05,1.139789e-05,1.169771e-05,1.175892e-05,1.207037e-05,1.228646e-05,1.233614e-05,1.255987e-05,1.270738e-05,1.274495e-05,1.289454e-05,1.298631e-05,1.301158e-05,1.309880e-05,1.314566e-05,1.315876e-05,1.319380e-05,1.320483e-05,1.320611e-05,1.319774e-05,1.318059e-05,1.317057e-05,1.312634e-05,1.308735e-05,1.306667e-05,1.299305e-05,1.293750e-05,1.290687e-05,1.280941e-05,1.274167e-05,1.270186e-05,1.258532e-05,1.250900e-05,1.246081e-05,1.232926e-05,1.224732e-05,1.219154e-05,1.204846e-05,1.196330e-05,1.190074e-05,1.174906e-05,1.166263e-05,1.159404e-05,1.143625e-05,1.135007e-05,1.127621e-05,1.111439e-05,1.102970e-05,1.095125e-05,1.078718e-05,1.070492e-05,1.062255e-05,1.045770e-05,1.037858e-05,1.029292e-05,1.012850e-05,1.005306e-05,9.964687e-06,9.801707e-06,9.730314e-06,9.639768e-06,9.479055e-06,9.411961e-06,9.319734e-06,9.161954e-06,9.099305e-06,9.005850e-06,8.851540e-06,8.793395e-06,8.699128e-06,8.548707e-06,8.495058e-06,8.400356e-06,8.254146e-06,8.204933e-06,8.110137e-06,7.968378e-06,7.923498e-06,7.828913e-06,7.691777e-06,7.651094e-06,7.556997e-06,7.424593e-06,7.387949e-06,7.294583e-06,7.166975e-06,7.134191e-06,7.041775e-06,6.918982e-06,6.889870e-06,6.798594e-06,6.680603e-06,6.654966e-06,6.564999e-06,6.451768e-06,6.429405e-06,6.340892e-06,6.232355e-06,6.213064e-06,6.126133e-06,6.022204e-06,6.005787e-06,5.920543e-06,5.821124e-06,5.807383e-06,5.723919e-06,5.628899e-06,5.617642e-06,5.536033e-06,5.445291e-06,5.436332e-06,5.356640e-06,5.270049e-06,5.263210e-06,5.185484e-06,5.102911e-06,5.098019e-06,5.022297e-06,4.943607e-06,4.940499e-06,4.866808e-06,4.791865e-06,4.790384e-06,4.718743e-06,4.647408e-06,4.511304e-06,4.381807e-06,4.258656e-06,4.141593e-06,4.030366e-06,3.924729e-06,3.824443e-06,3.729274e-06,3.638996e-06,3.553390e-06,3.472245e-06,3.395358e-06,3.322531e-06,3.253575e-06,3.188310e-06,3.126559e-06,3.068157e-06,3.012941e-06,2.960760e-06,2.911464e-06,2.864914e-06,2.820974e-06,2.779516e-06,2.740417e-06,2.703559e-06,2.668830e-06,2.636123e-06,2.605336e-06,2.576372e-06,2.549137e-06,2.523543e-06,2.499506e-06,2.476946e-06,2.455786e-06,2.435953e-06,2.417378e-06,2.399995e-06,2.383742e-06,2.368557e-06,2.354386e-06,2.341173e-06,2.328867e-06,2.317419e-06,2.306784e-06,2.296916e-06,2.287774e-06,2.279318e-06,2.271510e-06,2.264314e-06
0.000000e+00,3.221549e-06,5.857977e-05,6.132269e-05,4.323524e-04,1.795076e-03,1.889969e-03,5.734465e-03,1.241112e-02,1.294172e-02,2.345669e-02,3.549633e-02,3.663051e-02,5.173186e-02,6.643088e-02,6.810978e-02,8.521989e-02,1.005275e-01,1.026180e-01,1.199473e-01,1.345788e-01,1.369259e-01,1.533349e-01,1.665556e-01,1.690085e-01,1.838253e-01,1.952754e-01,1.977007e-01,2.105804e-01,2.201468e-01,2.224350e-01,2.332550e-01,2.409801e-01,2.430469e-01,2.518298e-01,2.578473e-01,2.596323e-01,2.664906e-01,2.709818e-01,2.724457e-01,2.775425e-01,2.807071e-01,2.818281e-01,2.853504e-01,2.873878e-01,2.881578e-01,2.902983e-01,2.913969e-01,2.918188e-01,2.927647e-01,2.930956e-01,2.931798e-01,2.931060e-01,2.928206e-01,2.925831e-01,2.916488e-01,2.908787e-01,2.903388e-01,2.886866e-01,2.875441e-01,2.867235e-01,2.844791e-01,2.830593e-01,2.819808e-01,2.792543e-01,2.776367e-01,2.763235e-01,2.732107e-01,2.714616e-01,2.699368e-01,2.665208e-01,2.646944e-01,2.629808e-01,2.593334e-01,2.574742e-01,2.555939e-01,2.517768e-01,2.499209e-01,2.478952e-01,2.439614e-01,2.421375e-01,2.399868e-01,2.359819e-01,2.342126e-01,2.319563e-01,2.279190e-01,2.262219e-01,2.238783e-01,2.198417e-01,2.182299e-01,2.158163e-01,2.118084e-01,2.102912e-01,2.078238e-01,2.038681e-01,2.024520e-01,1.999460e-01,1.960620e-01,1.947508e-01,1.922201e-01,1.884241e-01,1.872196e-01,1.846773e-01,1.809826e-01,1.798847e-01,1.773426e-01,1.737599e-01,1.727672e-01,1.702364e-01,1.667740e-01,1.658840e-01,1.633744e-01,1.600389e-01,1.592481e-01,1.567688e-01,1.535650e-01,1.528691e-01,1.504284e-01,1.473597e-01,1.467542e-01,1.443594e-01,1.414280e-01,1.409076e-01,1.385656e-01,1.357724e-01,1.353319e-01,1.330485e-01,1.303938e-01,1.300276e-01,1.278081e-01,1.252913e-01,1.249939e-01,1.228430e-01,1.204629e-01,1.202287e-01,1.181506e-01,1.159054e-01,1.157287e-01,1.137270e-01,1.116146e-01,1.114900e-01,1.095677e-01,1.075856e-01,1.075076e-01,1.056675e-01,1.038128e-01,1.037764e-01,1.020207e-01,1.002903e-01,9.704308e-02,9.402819e-02,9.123874e-02,8.866768e-02,8.630775e-02,8.415158e-02,8.219169e-02,8.042048e-02,7.883031e-02,7.741345e-02,7.616213e-02,7.506855e-02,7.412487e-02,7.332323e-02,7.265575e-02,7.211457e-02,7.169184e-02,7.137975e-02,7.117051e-02,7.105643e-02,7.102988e-02,7.108333e-02,7.120939e-02,7.140080e-02,7.165048e-02,7.195154e-02,7.229728e-02,7.268124e-02,7.309723e-02,7.353930e-02,7.400180e-02,7.447938e-02,7.496699e-02,7.545992e-02,7.595379e-02,7.644454e-02,7.692846e-02,7.740220e-02,7.786270e-02,7.830728e-02,7.873357e-02,7.913953e-02,7.952341e-02,7.988379e-02,8.021951e-02,8.052970e-02,8.081375e-02,8.107126e-02,8.130208e-02
0.000000e+00,4.552744e-08,7.620001e-07,7.964800e-07,5.160786e-06,1.947311e-05,2.042133e-05,5.669086e-05,1.157073e-04,1.202862e-04,2.081422e-04,3.013336e-04,3.096821e-04,4.140261e-04,5.045943e-04,5.143322e-04,6.074506e-04,6.825840e-04,6.923258e-04,7.688750e-04,8.282870e-04,8.374177e-04,8.984219e-04,9.442131e-04,9.523982e-04,9.998551e-04,1.034250e-03,1.041283e-03,1.077147e-03,1.102128e-03,1.107886e-03,1.133909e-03,1.151182e-03,1.155601e-03,1.173321e-03,1.184337e-03,1.187402e-03,1.198153e-03,1.204137e-03,1.205865e-03,1.210804e-03,1.212783e-03,1.213219e-03,1.213341e-03,1.212178e-03,1.211385e-03,1.207548e-03,1.203959e-03,1.202014e-03,1.194952e-03,1.189530e-03,1.186519e-03,1.176860e-03,1.170097e-03,1.166108e-03,1.154388e-03,1.146685e-03,1.141813e-03,1.128488e-03,1.120173e-03,1.114509e-03,1.099965e-03,1.091304e-03,1.084939e-03,1.069504e-03,1.060709e-03,1.053731e-03,1.037681e-03,1.028919e-03,1.021412e-03,1.004978e-03,9.963826e-04,9.884259e-04,9.718000e-04,9.634720e-04,9.551402e-04,9.384827e-04,9.304978e-04,9.218605e-04,9.053031e-04,8.977161e-04,8.888376e-04,8.724879e-04,8.653364e-04,8.562758e-04,8.402206e-04,8.335284e-04,8.243395e-04,8.086479e-04,8.024274e-04,7.931593e-04,7.778856e-04,7.721401e-04,7.628371e-04,7.480227e-04,7.427483e-04,7.334500e-04,7.191254e-04,7.143126e-04,7.050544e-04,6.912412e-04,6.868760e-04,6.776892e-04,6.644011e-04,6.604665e-04,6.513788e-04,6.386233e-04,6.350997e-04,6.261352e-04,6.139144e-04,6.107808e-04,6.019604e-04,5.902721e-04,5.875063e-04,5.788480e-04,5.676862e-04,5.652656e-04,5.567846e-04,5.461407e-04,5.440425e-04,5.357516e-04,5.256143e-04,5.238161e-04,5.157257e-04,5.060822e-04,5.045617e-04,4.966803e-04,4.875162e-04,4.862520e-04,4.785862e-04,4.698861e-04,4.688574e-04,4.614121e-04,4.531600e-04,4.523468e-04,4.451256e-04,4.373047e-04,4.366881e-04,4.296931e-04,4.222865e-04,4.218485e-04,4.150807e-04,4.080714e-04,4.077951e-04,4.012544e-04,3.946254e-04,3.944947e-04,3.881803e-04,3.819147e-04,3.700228e-04,3.587872e-04,3.481770e-04,3.381620e-04,3.287131e-04,3.198020e-04,3.114015e-04,3.034853e-04,2.960282e-04,2.890062e-04,2.823960e-04,2.761756e-04,2.703239e-04,2.648208e-04,2.596472e-04,2.547848e-04,2.502164e-04,2.459255e-04,2.418966e-04,2.381147e-04,2.345660e-04,2.312370e-04,2.281153e-04,2.251890e-04,2.224467e-04,2.198779e-04,2.174724e-04,2.152209e-04,2.131142e-04,2.111440e-04,2.093022e-04,2.075813e-04,2.059741e-04,2.044740e-04,2.030746e-04,2.017700e-04,2.005544e-04,1.994227e-04,1.983697e-04,1.973908e-04,1.964815e-04,1.956377e-04,1.948554e-04,1.941309e-04,1.934608e-04,1.928415e-04,1.922703e-04,1.917439e-04,1.912598e-04
0.000000e+00,1.655547e-06,2.763830e-05,2.886760e-05,1.828516e-04,7.149338e-04,7.517539e-04,2.276955e-03,5.139619e-03,5.378466e-03,1.038387e-02,1.656068e-02,1.715900e-02,2.530077e-02,3.342777e-02,3.436375e-02,4.395433e-02,5.257302e-02,5.375040e-02,6.349755e-02,7.169020e-02,7.299983e-02,8.211023e-02,8.938104e-02,9.072204e-02,9.876145e-02,1.048928e-01,1.061812e-01,1.129554e-01,1.179033e-01,1.190749e-01,1.245435e-01,1.283661e-01,1.293755e-01,1.335923e-01,1.364020e-01,1.372208e-01,1.402917e-01,1.422246e-01,1.428381e-01,1.448944e-01,1.460909e-01,1.464953e-01,1.476753e-01,1.482689e-01,1.484681e-01,1.489063e-01,1.490177e-01,1.490212e-01,1.488422e-01,1.485768e-01,1.483974e-01,1.477128e-01,1.471602e-01,1.468129e-01,1.457203e-01,1.449553e-01,1.444559e-01,1.430391e-01,1.421233e-01,1.414877e-01,1.398181e-01,1.388015e-01,1.380452e-01,1.361829e-01,1.351056e-01,1.342437e-01,1.322391e-01,1.311331e-01,1.301795e-01,1.280747e-01,1.269652e-01,1.259333e-01,1.237633e-01,1.226698e-01,1.215719e-01,1.193658e-01,1.183033e-01,1.171509e-01,1.149327e-01,1.139125e-01,1.127161e-01,1.105056e-01,1.095360e-01,1.083054e-01,1.061190e-01,1.052056e-01,1.039497e-01,1.018006e-01,1.009472e-01,9.967433e-02,9.757325e-02,9.678190e-02,9.549951e-02,9.345503e-02,9.272650e-02,9.144147e-02,8.946032e-02,8.879435e-02,8.751288e-02,8.560028e-02,8.499577e-02,8.372349e-02,8.188333e-02,8.133854e-02,8.008052e-02,7.831561e-02,7.782829e-02,7.658908e-02,7.490129e-02,7.446885e-02,7.325252e-02,7.164296e-02,7.126251e-02,7.007271e-02,6.854181e-02,6.821029e-02,6.705024e-02,6.559793e-02,6.531216e-02,6.418472e-02,6.281045e-02,6.256720e-02,6.147488e-02,6.017776e-02,5.997377e-02,5.891879e-02,5.769763e-02,5.752966e-02,5.651393e-02,5.536731e-02,5.523219e-02,5.425737e-02,5.318368e-02,5.307829e-02,5.214581e-02,5.114329e-02,5.106460e-02,5.017567e-02,4.924245e-02,4.918754e-02,4.834316e-02,4.747728e-02,4.744334e-02,4.664433e-02,4.584377e-02,4.582809e-02,4.507510e-02,4.433779e-02,4.296837e-02,4.171568e-02,4.057557e-02,3.954381e-02,3.861619e-02,3.778845e-02,3.705631e-02,3.641549e-02,3.586169e-02,3.539058e-02,3.499783e-02,3.467912e-02,3.443007e-02,3.424636e-02,3.412362e-02,3.405754e-02,3.404380e-02,3.407812e-02,3.415628e-02,3.427409e-02,3.442746e-02,3.461235e-02,3.482486e-02,3.506117e-02,3.531760e-02,3.559060e-02,3.587678e-02,3.617293e-02,3.647598e-02,3.678306e-02,3.709150e-02,3.739881e-02,3.770271e-02,3.800112e-02,3.829217e-02,3.857417e-02,3.884566e-02,3.910537e-02,3.935220e-02,3.958527e-02,3.980385e-02,4.000740e-02,4.019552e-02,4.036798e-02,4.052468e-02,4.066566e-02,4.079105e-02,4.090112e-02,4.099622e-02
0.000000e+00,3.408185e-09,3.876205e-08,4.034892e-08,2.248573e-07,7.538120e-07,7.865130e-07,1.905369e-06,3.367298e-06,3.467737e-06,5.166814e-06,6.690356e-06,6.819201e-06,8.373704e-06,9.681791e-06,9.821835e-06,1.116519e-05,1.226377e-05,1.240769e-05,1.355382e-05,1.446595e-05,1.460822e-05,1.557553e-05,1.632412e-05,1.646033e-05,1.726707e-05,1.787339e-05,1.800008e-05,1.866352e-05,1.914689e-05,1.926140e-05,1.979755e-05,2.017524e-05,2.027562e-05,2.069910e-05,2.098649e-05,2.107132e-05,2.139544e-05,2.160610e-05,2.167447e-05,2.191126e-05,2.205712e-05,2.210852e-05,2.226883e-05,2.236036e-05,2.239461e-05,2.248819e-05,2.253455e-05,2.255175e-05,2.258736e-05,2.259651e-05,2.259698e-05,2.258247e-05,2.256134e-05,2.254558e-05,2.248798e-05,2.244255e-05,2.241122e-05,2.231679e-05,2.225224e-05,2.220609e-05,2.208042e-05,2.200117e-05,2.194104e-05,2.178911e-05,2.169897e-05,2.162575e-05,2.145198e-05,2.135417e-05,2.126880e-05,2.107711e-05,2.097436e-05,2.087779e-05,2.067165e-05,2.056626e-05,2.045945e-05,2.024191e-05,2.013580e-05,2.001971e-05,1.979348e-05,1.968822e-05,1.956380e-05,1.933123e-05,1.922812e-05,1.909629e-05,1.885946e-05,1.875954e-05,1.862119e-05,1.838190e-05,1.828599e-05,1.814199e-05,1.790182e-05,1.781056e-05,1.766173e-05,1.742204e-05,1.733590e-05,1.718303e-05,1.694498e-05,1.686431e-05,1.670814e-05,1.647273e-05,1.639774e-05,1.623897e-05,1.600706e-05,1.593787e-05,1.577717e-05,1.554947e-05,1.548613e-05,1.532411e-05,1.510122e-05,1.504369e-05,1.488092e-05,1.466333e-05,1.461153e-05,1.444855e-05,1.423666e-05,1.419044e-05,1.402775e-05,1.382187e-05,1.378107e-05,1.361911e-05,1.341949e-05,1.338390e-05,1.322308e-05,1.302991e-05,1.299931e-05,1.284001e-05,1.265341e-05,1.262755e-05,1.247012e-05,1.229015e-05,1.226878e-05,1.211352e-05,1.194023e-05,1.192308e-05,1.177027e-05,1.160364e-05,1.159046e-05,1.144034e-05,1.128035e-05,1.127086e-05,1.112365e-05,1.097023e-05,1.096416e-05,1.082006e-05,1.067312e-05,1.067021e-05,1.052938e-05,1.038881e-05,1.011973e-05,9.862713e-06,9.617472e-06,9.383710e-06,9.161111e-06,8.949352e-06,8.748097e-06,8.557008e-06,8.375743e-06,8.203958e-06,8.041309e-06,7.887457e-06,7.742062e-06,7.604792e-06,7.475317e-06,7.353316e-06,7.238473e-06,7.130481e-06,7.029039e-06,6.933855e-06,6.844645e-06,6.761133e-06,6.683053e-06,6.610145e-06,6.542161e-06,6.478859e-06,6.420006e-06,6.365379e-06,6.314762e-06,6.267949e-06,6.224740e-06,6.184944e-06,6.148379e-06,6.114867e-06,6.084242e-06,6.056343e-06,6.031014e-06,6.008109e-06,5.987487e-06,5.969015e-06,5.952563e-06,5.938010e-06,5.925238e-06,5.914138e-06,5.904604e-06,5.896535e-06,5.889835e-06,5.884413e-06,5.880184e-06
0.000000e+00,4.094594e-08,7.612110e-07,7.976331e-07,5.723727e-06,2.244065e-05,2.354033e-05,6.382257e-05,1.217953e-04,1.259536e-04,1.988987e-04,2.667697e-04,2.725410e-04,3.418412e-04,3.990009e-04,4.050295e-04,4.617842e-04,5.065809e-04,5.123316e-04,5.570783e-04,5.912644e-04,5.964746e-04,6.309653e-04,6.564564e-04,6.609730e-04,6.868930e-04,7.053554e-04,7.090922e-04,7.279097e-04,7.407397e-04,7.436580e-04,7.566243e-04,7.649772e-04,7.670723e-04,7.752434e-04,7.800673e-04,7.813586e-04,7.856198e-04,7.876887e-04,7.882117e-04,7.893027e-04,7.892457e-04,7.890466e-04,7.875835e-04,7.859101e-04,7.850413e-04,7.815364e-04,7.786578e-04,7.771751e-04,7.720538e-04,7.683006e-04,7.662606e-04,7.598754e-04,7.555122e-04,7.529711e-04,7.456136e-04,7.408511e-04,7.378632e-04,7.297743e-04,7.247793e-04,7.213964e-04,7.127744e-04,7.076780e-04,7.039490e-04,6.949569e-04,6.898611e-04,6.858315e-04,6.766028e-04,6.715861e-04,6.672981e-04,6.579418e-04,6.530635e-04,6.485559e-04,6.391604e-04,6.344647e-04,6.297731e-04,6.204100e-04,6.159285e-04,6.110853e-04,6.018117e-04,5.975662e-04,5.926007e-04,5.834622e-04,5.794667e-04,5.744053e-04,5.654378e-04,5.616998e-04,5.565665e-04,5.477976e-04,5.443199e-04,5.391363e-04,5.305870e-04,5.273685e-04,5.221537e-04,5.138396e-04,5.108763e-04,5.056475e-04,4.975795e-04,4.948651e-04,4.896376e-04,4.818230e-04,4.793494e-04,4.741369e-04,4.665799e-04,4.643380e-04,4.591525e-04,4.518548e-04,4.498346e-04,4.446867e-04,4.376480e-04,4.358390e-04,4.307381e-04,4.239565e-04,4.223478e-04,4.173022e-04,4.107744e-04,4.093551e-04,4.043719e-04,3.980937e-04,3.968528e-04,3.919384e-04,3.859046e-04,3.848314e-04,3.799911e-04,3.741962e-04,3.732800e-04,3.685185e-04,3.629564e-04,3.621869e-04,3.575083e-04,3.521724e-04,3.515396e-04,3.469472e-04,3.418310e-04,3.413253e-04,3.368219e-04,3.319184e-04,3.315306e-04,3.271187e-04,3.224210e-04,3.221424e-04,3.178237e-04,3.133250e-04,3.131470e-04,3.089231e-04,3.046164e-04,3.045312e-04,3.004032e-04,2.962817e-04,2.883854e-04,2.808293e-04,2.736010e-04,2.666881e-04,2.600786e-04,2.537607e-04,2.477233e-04,2.419552e-04,2.364458e-04,2.311848e-04,2.261623e-04,2.213687e-04,2.167945e-04,2.124310e-04,2.082695e-04,2.043016e-04,2.005194e-04,1.969152e-04,1.934816e-04,1.902114e-04,1.870978e-04,1.841341e-04,1.813142e-04,1.786318e-04,1.760812e-04,1.736568e-04,1.713530e-04,1.691649e-04,1.670873e-04,1.651156e-04,1.632452e-04,1.614716e-04,1.597906e-04,1.581982e-04,1.566906e-04,1.552639e-04,1.539146e-04,1.526394e-04,1.514348e-04,1.502977e-04,1.492252e-04,1.482143e-04,1.472623e-04,1.463664e-04,1.455242e-04,1.447331e-04,1.439909e-04,1.432952e-04,1.426439e-04
0.000000e+00,1.714576e-07,3.011912e-06,3.151217e-06,2.168686e-05,8.805861e-05,9.262861e-05,2.751597e-04,5.844074e-04,6.085370e-04,1.069170e-03,1.550670e-03,1.593449e-03,2.122492e-03,2.569753e-03,2.616893e-03,3.054611e-03,3.384967e-03,3.425901e-03,3.728972e-03,3.937269e-03,3.966839e-03,4.145209e-03,4.254140e-03,4.271045e-03,4.351647e-03,4.388967e-03,4.394093e-03,4.404872e-03,4.394563e-03,4.389706e-03,4.353626e-03,4.313789e-03,4.300985e-03,4.235482e-03,4.179029e-03,4.160222e-03,4.077774e-03,4.013388e-03,3.990243e-03,3.899333e-03,3.832565e-03,3.806412e-03,3.712562e-03,3.646779e-03,3.618636e-03,3.525291e-03,3.462411e-03,3.433031e-03,3.342234e-03,3.283247e-03,3.253177e-03,3.166060e-03,3.111389e-03,3.081020e-03,2.998145e-03,2.947874e-03,2.917487e-03,2.839069e-03,2.793095e-03,2.762892e-03,2.688942e-03,2.647062e-03,2.617193e-03,2.547610e-03,2.509574e-03,2.480151e-03,2.414773e-03,2.380318e-03,2.351428e-03,2.290067e-03,2.258927e-03,2.230640e-03,2.173098e-03,2.145017e-03,2.117390e-03,2.063466e-03,2.038203e-03,2.011280e-03,1.960782e-03,1.938107e-03,1.911926e-03,1.864665e-03,1.844363e-03,1.818954e-03,1.774748e-03,1.756621e-03,1.732006e-03,1.690684e-03,1.674543e-03,1.650740e-03,1.612135e-03,1.597808e-03,1.574830e-03,1.538784e-03,1.526109e-03,1.503961e-03,1.470323e-03,1.459150e-03,1.437835e-03,1.406462e-03,1.396653e-03,1.376169e-03,1.346924e-03,1.338349e-03,1.318692e-03,1.291444e-03,1.283986e-03,1.265147e-03,1.239773e-03,1.233322e-03,1.215290e-03,1.191672e-03,1.186129e-03,1.168890e-03,1.146918e-03,1.142190e-03,1.125728e-03,1.105297e-03,1.101299e-03,1.085598e-03,1.066609e-03,1.063264e-03,1.048305e-03,1.030665e-03,1.027902e-03,1.013665e-03,9.972857e-04,9.950408e-04,9.815055e-04,9.663045e-04,9.645184e-04,9.516634e-04,9.375634e-04,9.361824e-04,9.239861e-04,9.109141e-04,9.098896e-04,8.983301e-04,8.862177e-04,8.855056e-04,8.745607e-04,8.633437e-04,8.629039e-04,8.525516e-04,8.421699e-04,8.419663e-04,8.321844e-04,8.225817e-04,8.046461e-04,7.880619e-04,7.727381e-04,7.585891e-04,7.455351e-04,7.335014e-04,7.224179e-04,7.122194e-04,7.028447e-04,6.942367e-04,6.863420e-04,6.791109e-04,6.724966e-04,6.664557e-04,6.609474e-04,6.559340e-04,6.513799e-04,6.472520e-04,6.435195e-04,6.401534e-04,6.371270e-04,6.344151e-04,6.319942e-04,6.298425e-04,6.279396e-04,6.262665e-04,6.248055e-04,6.235399e-04,6.224545e-04,6.215349e-04,6.207676e-04,6.201403e-04,6.196412e-04,6.192596e-04,6.189855e-04,6.188094e-04,6.187227e-04,6.187172e-04,6.187854e-04,6.189204e-04,6.191157e-04,6.193651e-04,6.196632e-04,6.200048e-04,6.203849e-04,6.207993e-04,6.212438e-04,6.217145e-04,6.222080e-04
0.000000e+00,2.103470e-10,2.803118e-09,2.924718e-09,1.707480e-08,5.509367e-08,5.734667e-08,1.303199e-07,2.187008e-07,2.246002e-07,3.220282e-07,4.059181e-07,4.128615e-07,4.946847e-07,5.606176e-07,5.675104e-07,6.319208e-07,6.821841e-07,6.885999e-07,7.382190e-07,7.757263e-07,7.814079e-07,8.187496e-07,8.459914e-07,8.507803e-07,8.779941e-07,8.970342e-07,9.008442e-07,9.197459e-07,9.322808e-07,9.350790e-07,9.471906e-07,9.546062e-07,9.563977e-07,9.629896e-07,9.664136e-07,9.672301e-07,9.693598e-07,9.697064e-07,9.695978e-07,9.681436e-07,9.661515e-07,9.651791e-07,9.608695e-07,9.571336e-07,9.553654e-07,9.488034e-07,9.438008e-07,9.413078e-07,9.329916e-07,9.271036e-07,9.239573e-07,9.142979e-07,9.078271e-07,9.040977e-07,8.934333e-07,8.866187e-07,8.823737e-07,8.709817e-07,8.640108e-07,8.593140e-07,8.474217e-07,8.404396e-07,8.353509e-07,8.231435e-07,8.162618e-07,8.108368e-07,7.984647e-07,7.917673e-07,7.860573e-07,7.736420e-07,7.671910e-07,7.612429e-07,7.488819e-07,7.427217e-07,7.365782e-07,7.243491e-07,7.185102e-07,7.122099e-07,7.001740e-07,6.946756e-07,6.882534e-07,6.764584e-07,6.713109e-07,6.647982e-07,6.532806e-07,6.484874e-07,6.419124e-07,6.306995e-07,6.262589e-07,6.196467e-07,6.087581e-07,6.046642e-07,5.980371e-07,5.874863e-07,5.837302e-07,5.771080e-07,5.669036e-07,5.634740e-07,5.568743e-07,5.470206e-07,5.439046e-07,5.373429e-07,5.278411e-07,5.250248e-07,5.185147e-07,5.093630e-07,5.068317e-07,5.003851e-07,4.915799e-07,4.893187e-07,4.829460e-07,4.744819e-07,4.724756e-07,4.661859e-07,4.580562e-07,4.562897e-07,4.500908e-07,4.422877e-07,4.407464e-07,4.346449e-07,4.271600e-07,4.258294e-07,4.198310e-07,4.126555e-07,4.115215e-07,4.056310e-07,3.987554e-07,3.978046e-07,3.920261e-07,3.854408e-07,3.846601e-07,3.789970e-07,3.726923e-07,3.720694e-07,3.665243e-07,3.604904e-07,3.600134e-07,3.545884e-07,3.488157e-07,3.484734e-07,3.431700e-07,3.376490e-07,3.374307e-07,3.322501e-07,3.269712e-07,3.268668e-07,3.218098e-07,3.167637e-07,3.071038e-07,2.978697e-07,2.890447e-07,2.806126e-07,2.725575e-07,2.648641e-07,2.575176e-07,2.505039e-07,2.438092e-07,2.374202e-07,2.313242e-07,2.255089e-07,2.199625e-07,2.146736e-07,2.096314e-07,2.048255e-07,2.002456e-07,1.958823e-07,1.917263e-07,1.877687e-07,1.840009e-07,1.804148e-07,1.770027e-07,1.737569e-07,1.706703e-07,1.677360e-07,1.649474e-07,1.622981e-07,1.597821e-07,1.573936e-07,1.551271e-07,1.529771e-07,1.509385e-07,1.490065e-07,1.471764e-07,1.454437e-07,1.438040e-07,1.422533e-07,1.407877e-07,1.394032e-07,1.380963e-07,1.368636e-07,1.357017e-07,1.346074e-07,1.335777e-07,1.326097e-07,1.317006e-07,1.308476e-07,1.300484e-07
0.000000e+00,8.028164e-08,1.646324e-06,1.728582e-06,1.351118e-05,5.608811e-05,5.895200e-05,1.658083e-04,3.207536e-04,3.318442e-04,5.261444e-04,7.072742e-04,7.227150e-04,9.087086e-04,1.062975e-03,1.079290e-03,1.233323e-03,1.355467e-03,1.371186e-03,1.493813e-03,1.587926e-03,1.602306e-03,1.697772e-03,1.768680e-03,1.781279e-03,1.853830e-03,1.905806e-03,1.916362e-03,1.969746e-03,2.006413e-03,2.014792e-03,2.052248e-03,2.076642e-03,2.082807e-03,2.107107e-03,2.121753e-03,2.125737e-03,2.139236e-03,2.146216e-03,2.148102e-03,2.152788e-03,2.153810e-03,2.153712e-03,2.151256e-03,2.147713e-03,2.145768e-03,2.137566e-03,2.130589e-03,2.126943e-03,2.114163e-03,2.104666e-03,2.099469e-03,2.083084e-03,2.071803e-03,2.065209e-03,2.046026e-03,2.033551e-03,2.025704e-03,2.004395e-03,1.991193e-03,1.982236e-03,1.959353e-03,1.945796e-03,1.935863e-03,1.911869e-03,1.898247e-03,1.887464e-03,1.862735e-03,1.849274e-03,1.837759e-03,1.812605e-03,1.799476e-03,1.787337e-03,1.762012e-03,1.749344e-03,1.736680e-03,1.711388e-03,1.699274e-03,1.686177e-03,1.661083e-03,1.649589e-03,1.636141e-03,1.611378e-03,1.600547e-03,1.586822e-03,1.562496e-03,1.552352e-03,1.538419e-03,1.514611e-03,1.505167e-03,1.491087e-03,1.467860e-03,1.459115e-03,1.444943e-03,1.422346e-03,1.414290e-03,1.400076e-03,1.378142e-03,1.370762e-03,1.356549e-03,1.335302e-03,1.328577e-03,1.314405e-03,1.293861e-03,1.287766e-03,1.273671e-03,1.253836e-03,1.248346e-03,1.234357e-03,1.215235e-03,1.210321e-03,1.196467e-03,1.178052e-03,1.173686e-03,1.159990e-03,1.142278e-03,1.138428e-03,1.124913e-03,1.107893e-03,1.104530e-03,1.091213e-03,1.074872e-03,1.071967e-03,1.058866e-03,1.043190e-03,1.040712e-03,1.027841e-03,1.012814e-03,1.010736e-03,9.981058e-04,9.837116e-04,9.820052e-04,9.696271e-04,9.558476e-04,9.544863e-04,9.423688e-04,9.291860e-04,9.281440e-04,9.162946e-04,9.036898e-04,9.029425e-04,8.913671e-04,8.793217e-04,8.788456e-04,8.675490e-04,8.560443e-04,8.558169e-04,8.448029e-04,8.338204e-04,8.128202e-04,7.927812e-04,7.736685e-04,7.554482e-04,7.380870e-04,7.215525e-04,7.058131e-04,6.908381e-04,6.765976e-04,6.630628e-04,6.502056e-04,6.379988e-04,6.264163e-04,6.154327e-04,6.050235e-04,5.951650e-04,5.858344e-04,5.770097e-04,5.686697e-04,5.607937e-04,5.533622e-04,5.463561e-04,5.397569e-04,5.335472e-04,5.277098e-04,5.222284e-04,5.170872e-04,5.122710e-04,5.077652e-04,5.035557e-04,4.996290e-04,4.959719e-04,4.925721e-04,4.894174e-04,4.864961e-04,4.837972e-04,4.813099e-04,4.790239e-04,4.769291e-04,4.750162e-04,4.732758e-04,4.716993e-04,4.702780e-04,4.690039e-04,4.678691e-04,4.668661e-04,4.659878e-04,4.652272e-04,4.645776e-04
0.000000e+00,2.733898e-09,3.354672e-08,3.497202e-08,2.053997e-07,6.979072e-07,7.281309e-07,1.737667e-06,2.989244e-06,3.073203e-06,4.473345e-06,5.712475e-06,5.816896e-06,7.073149e-06,8.125349e-06,8.237724e-06,9.312840e-06,1.018802e-05,1.030239e-05,1.121068e-05,1.193012e-05,1.204203e-05,1.280070e-05,1.338484e-05,1.349081e-05,1.411637e-05,1.458385e-05,1.468121e-05,1.518900e-05,1.555651e-05,1.564323e-05,1.604726e-05,1.632958e-05,1.640423e-05,1.671717e-05,1.692730e-05,1.698891e-05,1.722216e-05,1.737148e-05,1.741945e-05,1.758322e-05,1.768164e-05,1.771572e-05,1.781912e-05,1.787527e-05,1.789544e-05,1.794660e-05,1.796795e-05,1.797441e-05,1.798056e-05,1.797355e-05,1.796667e-05,1.793424e-05,1.790441e-05,1.788469e-05,1.781937e-05,1.777150e-05,1.773953e-05,1.764637e-05,1.758454e-05,1.754099e-05,1.742444e-05,1.735211e-05,1.729770e-05,1.716170e-05,1.708182e-05,1.701730e-05,1.686532e-05,1.678037e-05,1.670652e-05,1.654161e-05,1.645366e-05,1.637126e-05,1.619609e-05,1.610689e-05,1.601670e-05,1.583363e-05,1.574460e-05,1.564739e-05,1.545846e-05,1.537077e-05,1.526728e-05,1.507428e-05,1.498887e-05,1.487982e-05,1.468429e-05,1.460192e-05,1.448800e-05,1.429128e-05,1.421253e-05,1.409440e-05,1.389764e-05,1.382296e-05,1.370125e-05,1.350544e-05,1.343514e-05,1.331044e-05,1.311643e-05,1.305073e-05,1.292360e-05,1.273211e-05,1.267114e-05,1.254211e-05,1.235373e-05,1.229755e-05,1.216710e-05,1.198233e-05,1.193095e-05,1.179953e-05,1.161879e-05,1.157215e-05,1.144019e-05,1.126381e-05,1.122181e-05,1.108970e-05,1.091794e-05,1.088047e-05,1.074857e-05,1.058164e-05,1.054855e-05,1.041718e-05,1.025522e-05,1.022634e-05,1.009580e-05,9.938929e-06,9.914068e-06,9.784631e-06,9.632916e-06,9.611882e-06,9.483791e-06,9.337261e-06,9.319852e-06,9.193327e-06,9.051986e-06,9.037995e-06,8.913233e-06,8.777059e-06,8.766276e-06,8.643453e-06,8.512402e-06,8.504620e-06,8.383890e-06,8.257899e-06,8.252912e-06,8.134410e-06,8.013402e-06,8.011007e-06,7.894852e-06,7.778736e-06,7.555907e-06,7.342309e-06,7.137720e-06,6.941906e-06,6.754623e-06,6.575622e-06,6.404650e-06,6.241453e-06,6.085772e-06,5.937353e-06,5.795941e-06,5.661285e-06,5.533136e-06,5.411249e-06,5.295386e-06,5.185311e-06,5.080795e-06,4.981616e-06,4.887553e-06,4.798397e-06,4.713942e-06,4.633988e-06,4.558343e-06,4.486821e-06,4.419241e-06,4.355429e-06,4.295218e-06,4.238446e-06,4.184958e-06,4.134602e-06,4.087236e-06,4.042720e-06,4.000922e-06,3.961713e-06,3.924971e-06,3.890578e-06,3.858421e-06,3.828392e-06,3.800387e-06,3.774306e-06,3.750054e-06,3.727541e-06,3.706678e-06,3.687383e-06,3.669575e-06,3.653178e-06,3.638120e-06,3.624330e-06,3.611742e-06
0.000000e+00,1.042683e-07,2.290414e-06,2.407639e-06,1.970983e-05,8.379443e-05,8.812262e-05,2.494219e-04,4.856442e-04,5.028291e-04,8.125131e-04,1.117564e-03,1.144317e-03,1.475436e-03,1.761501e-03,1.792297e-03,2.087451e-03,2.326300e-03,2.357285e-03,2.600524e-03,2.788512e-03,2.817296e-03,3.008542e-03,3.150474e-03,3.175655e-03,3.320254e-03,3.423221e-03,3.444044e-03,3.548732e-03,3.619846e-03,3.635976e-03,3.707357e-03,3.752980e-03,3.764359e-03,3.808365e-03,3.833909e-03,3.840655e-03,3.862410e-03,3.872364e-03,3.874709e-03,3.878543e-03,3.876572e-03,3.874815e-03,3.864350e-03,3.853419e-03,3.847896e-03,3.826137e-03,3.808629e-03,3.799692e-03,3.769125e-03,3.746944e-03,3.734948e-03,3.697624e-03,3.672281e-03,3.657574e-03,3.615180e-03,3.587871e-03,3.570786e-03,3.524703e-03,3.496361e-03,3.477212e-03,3.428569e-03,3.399919e-03,3.379003e-03,3.328719e-03,3.300317e-03,3.277904e-03,3.226724e-03,3.198989e-03,3.175329e-03,3.123854e-03,3.097095e-03,3.072417e-03,3.021126e-03,2.995566e-03,2.970077e-03,2.919355e-03,2.895146e-03,2.869033e-03,2.819180e-03,2.796420e-03,2.769851e-03,2.721100e-03,2.699843e-03,2.672969e-03,2.625499e-03,2.605766e-03,2.578721e-03,2.532664e-03,2.514449e-03,2.487352e-03,2.442804e-03,2.426080e-03,2.399037e-03,2.356062e-03,2.340788e-03,2.313891e-03,2.272529e-03,2.258651e-03,2.231982e-03,2.192252e-03,2.179711e-03,2.153340e-03,2.115244e-03,2.103974e-03,2.077962e-03,2.041490e-03,2.031422e-03,2.005823e-03,1.970953e-03,1.962017e-03,1.936874e-03,1.903577e-03,1.895701e-03,1.871054e-03,1.839294e-03,1.832408e-03,1.808288e-03,1.778024e-03,1.772060e-03,1.748492e-03,1.719681e-03,1.714570e-03,1.691578e-03,1.664171e-03,1.659850e-03,1.637449e-03,1.611399e-03,1.607805e-03,1.586008e-03,1.561265e-03,1.558338e-03,1.537156e-03,1.513669e-03,1.511354e-03,1.490792e-03,1.468511e-03,1.466754e-03,1.446816e-03,1.425693e-03,1.424443e-03,1.405130e-03,1.385115e-03,1.384326e-03,1.365636e-03,1.346681e-03,1.346308e-03,1.328239e-03,1.310298e-03,1.276207e-03,1.243949e-03,1.213440e-03,1.184598e-03,1.157345e-03,1.131607e-03,1.107310e-03,1.084385e-03,1.062765e-03,1.042387e-03,1.023189e-03,1.005112e-03,9.881004e-04,9.721008e-04,9.570620e-04,9.429351e-04,9.296735e-04,9.172329e-04,9.055708e-04,8.946471e-04,8.844231e-04,8.748624e-04,8.659299e-04,8.575926e-04,8.498187e-04,8.425783e-04,8.358426e-04,8.295845e-04,8.237781e-04,8.183986e-04,8.134227e-04,8.088281e-04,8.045936e-04,8.006991e-04,7.971254e-04,7.938543e-04,7.908686e-04,7.881518e-04,7.856883e-04,7.834634e-04,7.814629e-04,7.796734e-04,7.780824e-04,7.766778e-04,7.754480e-04,7.743823e-04,7.734705e-04,7.727026e-04,7.720695e-04
0.000000e+00,1.155413e-08,1.619110e-07,1.690916e-07,1.044961e-06,3.578396e-06,3.733164e-06,8.862660e-06,1.512785e-05,1.554506e-05,2.246452e-05,2.854934e-05,2.906102e-05,3.520669e-05,4.034132e-05,4.088904e-05,4.612266e-05,5.037351e-05,5.092832e-05,5.532819e-05,5.880442e-05,5.934442e-05,6.299874e-05,6.580416e-05,6.631228e-05,6.930542e-05,7.153449e-05,7.199776e-05,7.440806e-05,7.614527e-05,7.655420e-05,7.845317e-05,7.977321e-05,8.012114e-05,8.157337e-05,8.254173e-05,8.282435e-05,8.388775e-05,8.456152e-05,8.477647e-05,8.550269e-05,8.593143e-05,8.607790e-05,8.651291e-05,8.673949e-05,8.681792e-05,8.700251e-05,8.706388e-05,8.707571e-05,8.704599e-05,8.697390e-05,8.692135e-05,8.670925e-05,8.653089e-05,8.641675e-05,8.605045e-05,8.578901e-05,8.561654e-05,8.512084e-05,8.479605e-05,8.456881e-05,8.396555e-05,8.359408e-05,8.331584e-05,8.262416e-05,8.222006e-05,8.189469e-05,8.113137e-05,8.070639e-05,8.033784e-05,7.951752e-05,7.908144e-05,7.867361e-05,7.780909e-05,7.736997e-05,7.692672e-05,7.602909e-05,7.559352e-05,7.511861e-05,7.419752e-05,7.377083e-05,7.326789e-05,7.233165e-05,7.191807e-05,7.139059e-05,7.044637e-05,7.004923e-05,6.950053e-05,6.855448e-05,6.817630e-05,6.760953e-05,6.666689e-05,6.630953e-05,6.572767e-05,6.479288e-05,6.445763e-05,6.386347e-05,6.294028e-05,6.262796e-05,6.202411e-05,6.111566e-05,6.082670e-05,6.021558e-05,5.932446e-05,5.905895e-05,5.844281e-05,5.757113e-05,5.732890e-05,5.670982e-05,5.585928e-05,5.563994e-05,5.501983e-05,5.419177e-05,5.399476e-05,5.337535e-05,5.257080e-05,5.239541e-05,5.177829e-05,5.099800e-05,5.084342e-05,5.023005e-05,4.947453e-05,4.933987e-05,4.873153e-05,4.800111e-05,4.788541e-05,4.728328e-05,4.657808e-05,4.648036e-05,4.588549e-05,4.520550e-05,4.512475e-05,4.453807e-05,4.388315e-05,4.381834e-05,4.324067e-05,4.261058e-05,4.256070e-05,4.199277e-05,4.138715e-05,4.135120e-05,4.079362e-05,4.021207e-05,4.018906e-05,3.964238e-05,3.908442e-05,3.907337e-05,3.853805e-05,3.800315e-05,3.697728e-05,3.599464e-05,3.505401e-05,3.415416e-05,3.329383e-05,3.247174e-05,3.168662e-05,3.093718e-05,3.022215e-05,2.954027e-05,2.889029e-05,2.827100e-05,2.768119e-05,2.711970e-05,2.658537e-05,2.607710e-05,2.559381e-05,2.513444e-05,2.469798e-05,2.428343e-05,2.388986e-05,2.351633e-05,2.316196e-05,2.282591e-05,2.250733e-05,2.220545e-05,2.191951e-05,2.164876e-05,2.139252e-05,2.115011e-05,2.092087e-05,2.070420e-05,2.049950e-05,2.030620e-05,2.012377e-05,1.995167e-05,1.978941e-05,1.963652e-05,1.949254e-05,1.935704e-05,1.922960e-05,1.910983e-05,1.899734e-05,1.889178e-05,1.879280e-05,1.870007e-05,1.861328e-05,1.853212e-05,1.845632e-05
0.000000e+00,4.966747e-08,8.593023e-07,8.992234e-07,6.147720e-06,2.360299e-05,2.474624e-05,6.654407e-05,1.265111e-04,1.307878e-04,2.046144e-04,2.703688e-04,2.757991e-04,3.387803e-04,3.873632e-04,3.922955e-04,4.368007e-04,4.692788e-04,4.732646e-04,5.027233e-04,5.231935e-04,5.261417e-04,5.443781e-04,5.562441e-04,5.581832e-04,5.682091e-04,5.740089e-04,5.750204e-04,5.791040e-04,5.806905e-04,5.808790e-04,5.807075e-04,5.794245e-04,5.789011e-04,5.757273e-04,5.725438e-04,5.714166e-04,5.661655e-04,5.617739e-04,5.601418e-04,5.534895e-04,5.483803e-04,5.463315e-04,5.387734e-04,5.332931e-04,5.309046e-04,5.228010e-04,5.171898e-04,5.145272e-04,5.061382e-04,5.005614e-04,4.976808e-04,4.891943e-04,4.837630e-04,4.807115e-04,4.722600e-04,4.670461e-04,4.638629e-04,4.555394e-04,4.505874e-04,4.473056e-04,4.391746e-04,4.345100e-04,4.311569e-04,4.232612e-04,4.188954e-04,4.154941e-04,4.078610e-04,4.037963e-04,4.003659e-04,3.930116e-04,3.892437e-04,3.858001e-04,3.787325e-04,3.752529e-04,3.718095e-04,3.650308e-04,3.618282e-04,3.583961e-04,3.519044e-04,3.489659e-04,3.455544e-04,3.393448e-04,3.366565e-04,3.332737e-04,3.273391e-04,3.248869e-04,3.215392e-04,3.158716e-04,3.136412e-04,3.103342e-04,3.049246e-04,3.029019e-04,2.996404e-04,2.944792e-04,2.926508e-04,2.894386e-04,2.845162e-04,2.828690e-04,2.797094e-04,2.750159e-04,2.735376e-04,2.704333e-04,2.659591e-04,2.646377e-04,2.615910e-04,2.573267e-04,2.561509e-04,2.531637e-04,2.490999e-04,2.480593e-04,2.451330e-04,2.412607e-04,2.403452e-04,2.374810e-04,2.337917e-04,2.329919e-04,2.301906e-04,2.266759e-04,2.259831e-04,2.232454e-04,2.198971e-04,2.193031e-04,2.166293e-04,2.134399e-04,2.129368e-04,2.103272e-04,2.072893e-04,2.068698e-04,2.043245e-04,2.014310e-04,2.010885e-04,1.986072e-04,1.958514e-04,1.955795e-04,1.931620e-04,1.905374e-04,1.903302e-04,1.879762e-04,1.854767e-04,1.853287e-04,1.830376e-04,1.806573e-04,1.805633e-04,1.783345e-04,1.760679e-04,1.760231e-04,1.738560e-04,1.716976e-04,1.675768e-04,1.636511e-04,1.599114e-04,1.563490e-04,1.529556e-04,1.497233e-04,1.466447e-04,1.437123e-04,1.409196e-04,1.382597e-04,1.357267e-04,1.333145e-04,1.310174e-04,1.288300e-04,1.267473e-04,1.247642e-04,1.228762e-04,1.210787e-04,1.193676e-04,1.177387e-04,1.161882e-04,1.147124e-04,1.133079e-04,1.119712e-04,1.106992e-04,1.094889e-04,1.083373e-04,1.072417e-04,1.061995e-04,1.052081e-04,1.042653e-04,1.033686e-04,1.025160e-04,1.017053e-04,1.009346e-04,1.002021e-04,9.950584e-05,9.884423e-05,9.821561e-05,9.761844e-05,9.705123e-05,9.651258e-05,9.600114e-05,9.551565e-05,9.505486e-05,9.461763e-05,9.420285e-05,9.380946e-05,9.343644e-05
0.000000e+00,4.683861e-09,5.594876e-08,5.829114e-08,3.367291e-07,1.158062e-06,1.209521e-06,3.002730e-06,5.412252e-06,5.579597e-06,8.422439e-06,1.095700e-05,1.116955e-05,1.370286e-05,1.578189e-05,1.600125e-05,1.807072e-05,1.971279e-05,1.992430e-05,2.157640e-05,2.284703e-05,2.304138e-05,2.433300e-05,2.529353e-05,2.546428e-05,2.644757e-05,2.715161e-05,2.729449e-05,2.801594e-05,2.850966e-05,2.862215e-05,2.912267e-05,2.944546e-05,2.952641e-05,2.984166e-05,3.002684e-05,3.007614e-05,3.023702e-05,3.031262e-05,3.033096e-05,3.036412e-05,3.035359e-05,3.034222e-05,3.027055e-05,3.019340e-05,3.015400e-05,2.999709e-05,2.986950e-05,2.980402e-05,2.957862e-05,2.941389e-05,2.932445e-05,2.904480e-05,2.885385e-05,2.874268e-05,2.842087e-05,2.821259e-05,2.808192e-05,2.772818e-05,2.750973e-05,2.736179e-05,2.698473e-05,2.676187e-05,2.659881e-05,2.620568e-05,2.598294e-05,2.580684e-05,2.540367e-05,2.518461e-05,2.499743e-05,2.458926e-05,2.437660e-05,2.418019e-05,2.377116e-05,2.356692e-05,2.336301e-05,2.295652e-05,2.276220e-05,2.255237e-05,2.215118e-05,2.196778e-05,2.175350e-05,2.135982e-05,2.118799e-05,2.097059e-05,2.058618e-05,2.042625e-05,2.020694e-05,1.983316e-05,1.968523e-05,1.946510e-05,1.910297e-05,1.896696e-05,1.874697e-05,1.839726e-05,1.827292e-05,1.805395e-05,1.771716e-05,1.760414e-05,1.738695e-05,1.706340e-05,1.696127e-05,1.674654e-05,1.643638e-05,1.634465e-05,1.613294e-05,1.583621e-05,1.575433e-05,1.554617e-05,1.526277e-05,1.519017e-05,1.498598e-05,1.471575e-05,1.465186e-05,1.445200e-05,1.419468e-05,1.413893e-05,1.394371e-05,1.369900e-05,1.365080e-05,1.346047e-05,1.322802e-05,1.318682e-05,1.300157e-05,1.278100e-05,1.274625e-05,1.256623e-05,1.235714e-05,1.232832e-05,1.215364e-05,1.195562e-05,1.193222e-05,1.176296e-05,1.157556e-05,1.155711e-05,1.139332e-05,1.121611e-05,1.120215e-05,1.104384e-05,1.087639e-05,1.086649e-05,1.071365e-05,1.055552e-05,1.054929e-05,1.040189e-05,1.025266e-05,1.024972e-05,1.010771e-05,9.966947e-06,9.700185e-06,9.448651e-06,9.211588e-06,8.988264e-06,8.777976e-06,8.580044e-06,8.393818e-06,8.218673e-06,8.054012e-06,7.899266e-06,7.753891e-06,7.617368e-06,7.489204e-06,7.368932e-06,7.256106e-06,7.150303e-06,7.051123e-06,6.958187e-06,6.871135e-06,6.789626e-06,6.713340e-06,6.641972e-06,6.575233e-06,6.512853e-06,6.454575e-06,6.400156e-06,6.349368e-06,6.301994e-06,6.257832e-06,6.216690e-06,6.178385e-06,6.142749e-06,6.109620e-06,6.078846e-06,6.050284e-06,6.023801e-06,5.999270e-06,5.976570e-06,5.955591e-06,5.936225e-06,5.918375e-06,5.901945e-06,5.886848e-06,5.873000e-06,5.860324e-06,5.848745e-06,5.838196e-06,5.828610e-06,5.819926e-06
0.000000e+00,1.224084e-07,2.198236e-06,2.303706e-06,1.683852e-05,6.715619e-05,7.047815e-05,1.909462e-04,3.570455e-04,3.686396e-04,5.676366e-04,7.500070e-04,7.655730e-04,9.549490e-04,1.116509e-03,1.133927e-03,1.302287e-03,1.441825e-03,1.460241e-03,1.608124e-03,1.727532e-03,1.746309e-03,1.875184e-03,1.976531e-03,1.995141e-03,2.106573e-03,2.191860e-03,2.209870e-03,2.305411e-03,2.376511e-03,2.393570e-03,2.474708e-03,2.533346e-03,2.549174e-03,2.617305e-03,2.665047e-03,2.679424e-03,2.735844e-03,2.774100e-03,2.786861e-03,2.832763e-03,2.862798e-03,2.873821e-03,2.910298e-03,2.933241e-03,2.942444e-03,2.970497e-03,2.987352e-03,2.994685e-03,3.015227e-03,3.026887e-03,3.032328e-03,3.046189e-03,3.053447e-03,3.056997e-03,3.064933e-03,3.068487e-03,3.070169e-03,3.072867e-03,3.073333e-03,3.073184e-03,3.071268e-03,3.069190e-03,3.067260e-03,3.061295e-03,3.057147e-03,3.053500e-03,3.043998e-03,3.038197e-03,3.032903e-03,3.020325e-03,3.013234e-03,3.006370e-03,2.991137e-03,2.983070e-03,2.974719e-03,2.957207e-03,2.948437e-03,2.938685e-03,2.919234e-03,2.909996e-03,2.898931e-03,2.877848e-03,2.868343e-03,2.856055e-03,2.833615e-03,2.824013e-03,2.810592e-03,2.787042e-03,2.777488e-03,2.763023e-03,2.738586e-03,2.729201e-03,2.713781e-03,2.688655e-03,2.679539e-03,2.663251e-03,2.637612e-03,2.628848e-03,2.611776e-03,2.585782e-03,2.577436e-03,2.559664e-03,2.533455e-03,2.525579e-03,2.507186e-03,2.480886e-03,2.473521e-03,2.454584e-03,2.428304e-03,2.421477e-03,2.402070e-03,2.375906e-03,2.369640e-03,2.349833e-03,2.323870e-03,2.318175e-03,2.298036e-03,2.272349e-03,2.267230e-03,2.246824e-03,2.221476e-03,2.216933e-03,2.196320e-03,2.171368e-03,2.167396e-03,2.146633e-03,2.122125e-03,2.118712e-03,2.097854e-03,2.073831e-03,2.070965e-03,2.050062e-03,2.026558e-03,2.024222e-03,2.003323e-03,1.980366e-03,1.978541e-03,1.957691e-03,1.935304e-03,1.933970e-03,1.913210e-03,1.891413e-03,1.890547e-03,1.869916e-03,1.848723e-03,1.848302e-03,1.827836e-03,1.807258e-03,1.767430e-03,1.728829e-03,1.691460e-03,1.655323e-03,1.620414e-03,1.586725e-03,1.554247e-03,1.522965e-03,1.492863e-03,1.463923e-03,1.436126e-03,1.409449e-03,1.383870e-03,1.359364e-03,1.335907e-03,1.313473e-03,1.292034e-03,1.271565e-03,1.252039e-03,1.233426e-03,1.215701e-03,1.198836e-03,1.182802e-03,1.167573e-03,1.153121e-03,1.139419e-03,1.126440e-03,1.114159e-03,1.102548e-03,1.091583e-03,1.081238e-03,1.071488e-03,1.062310e-03,1.053680e-03,1.045574e-03,1.037970e-03,1.030845e-03,1.024180e-03,1.017951e-03,1.012140e-03,1.006726e-03,1.001690e-03,9.970141e-04,9.926795e-04,9.886691e-04,9.849659e-04,9.815537e-04,9.784167e-04,9.755399e-04
0.000000e+00,1.216386e-08,1.509207e-07,1.573566e-07,9.575332e-07,3.499520e-06,3.663836e-06,9.560157e-06,1.762931e-05,1.818791e-05,2.759924e-05,3.586990e-05,3.655868e-05,4.471111e-05,5.131945e-05,5.201205e-05,5.849893e-05,6.357898e-05,6.422851e-05,6.926006e-05,7.307255e-05,7.365072e-05,7.745443e-05,8.023298e-05,8.072166e-05,8.349931e-05,8.544234e-05,8.583098e-05,8.775717e-05,8.903144e-05,8.931533e-05,9.054007e-05,9.128451e-05,9.146328e-05,9.211429e-05,9.244369e-05,9.252007e-05,9.270539e-05,9.271401e-05,9.269294e-05,9.250353e-05,9.226833e-05,9.215619e-05,9.166834e-05,9.125183e-05,9.105590e-05,9.033340e-05,8.978606e-05,8.951411e-05,8.861012e-05,8.797248e-05,8.763244e-05,8.659111e-05,8.589550e-05,8.549524e-05,8.435312e-05,8.362511e-05,8.317227e-05,8.195951e-05,8.121913e-05,8.072100e-05,7.946233e-05,7.872507e-05,7.818854e-05,7.690417e-05,7.618184e-05,7.561331e-05,7.431963e-05,7.362104e-05,7.302642e-05,7.173663e-05,7.106817e-05,7.045289e-05,6.917752e-05,6.854364e-05,6.791262e-05,6.665999e-05,6.606358e-05,6.542126e-05,6.419782e-05,6.364053e-05,6.299091e-05,6.180159e-05,6.128409e-05,6.063075e-05,5.947917e-05,5.900141e-05,5.834749e-05,5.723625e-05,5.679758e-05,5.614588e-05,5.507670e-05,5.467603e-05,5.402898e-05,5.300289e-05,5.263882e-05,5.199855e-05,5.101600e-05,5.068690e-05,5.005524e-05,4.911622e-05,4.882031e-05,4.819883e-05,4.730294e-05,4.703834e-05,4.642838e-05,4.557495e-05,4.533975e-05,4.474242e-05,4.393054e-05,4.372280e-05,4.313904e-05,4.236763e-05,4.218544e-05,4.161600e-05,4.088383e-05,4.072534e-05,4.017081e-05,3.947659e-05,3.933997e-05,3.880083e-05,3.814318e-05,3.802669e-05,3.750328e-05,3.688078e-05,3.678277e-05,3.627532e-05,3.568654e-05,3.560542e-05,3.511407e-05,3.455757e-05,3.449185e-05,3.401667e-05,3.349102e-05,3.343928e-05,3.298026e-05,3.248405e-05,3.244497e-05,3.200204e-05,3.153388e-05,3.150623e-05,3.107925e-05,3.063780e-05,3.062041e-05,3.020921e-05,2.979316e-05,2.978497e-05,2.938933e-05,2.899742e-05,2.825536e-05,2.755649e-05,2.689859e-05,2.627952e-05,2.569726e-05,2.514983e-05,2.463540e-05,2.415217e-05,2.369847e-05,2.327267e-05,2.287325e-05,2.249875e-05,2.214778e-05,2.181905e-05,2.151129e-05,2.122334e-05,2.095406e-05,2.070241e-05,2.046738e-05,2.024801e-05,2.004340e-05,1.985272e-05,1.967514e-05,1.950990e-05,1.935630e-05,1.921364e-05,1.908127e-05,1.895860e-05,1.884505e-05,1.874007e-05,1.864314e-05,1.855379e-05,1.847156e-05,1.839601e-05,1.832674e-05,1.826335e-05,1.820549e-05,1.815281e-05,1.810499e-05,1.806172e-05,1.802271e-05,1.798770e-05,1.795642e-05,1.792863e-05,1.790411e-05,1.788265e-05,1.786403e-05,1.784807e-05,1.783458e-05
0.000000e+00,3.583010e-08,7.204857e-07,7.566949e-07,5.840403e-06,2.267301e-05,2.374023e-05,5.952941e-05,1.023034e-04,1.051009e-04,1.507573e-04,1.899410e-04,1.931994e-04,2.319085e-04,2.636418e-04,2.669934e-04,2.986777e-04,3.239345e-04,3.271975e-04,3.527804e-04,3.725977e-04,3.756423e-04,3.959869e-04,4.112714e-04,4.140057e-04,4.298786e-04,4.414116e-04,4.437741e-04,4.558496e-04,4.642986e-04,4.662519e-04,4.751173e-04,4.810475e-04,4.825729e-04,4.887368e-04,4.926251e-04,4.937183e-04,4.976181e-04,4.998630e-04,5.005300e-04,5.025406e-04,5.034752e-04,5.037297e-04,5.041715e-04,5.040729e-04,5.039343e-04,5.030811e-04,5.021790e-04,5.016702e-04,4.997552e-04,4.982394e-04,4.973856e-04,4.946070e-04,4.926337e-04,4.914615e-04,4.879876e-04,4.856847e-04,4.842211e-04,4.801946e-04,4.776666e-04,4.759384e-04,4.714800e-04,4.688116e-04,4.668450e-04,4.620566e-04,4.593162e-04,4.571363e-04,4.521037e-04,4.493458e-04,4.469768e-04,4.417721e-04,4.390400e-04,4.365046e-04,4.311882e-04,4.285155e-04,4.258352e-04,4.204573e-04,4.178702e-04,4.150649e-04,4.096675e-04,4.071853e-04,4.042736e-04,3.988911e-04,3.965283e-04,3.935272e-04,3.881882e-04,3.859546e-04,3.828798e-04,3.776074e-04,3.755095e-04,3.723755e-04,3.671884e-04,3.652298e-04,3.620497e-04,3.569628e-04,3.551448e-04,3.519306e-04,3.469557e-04,3.452777e-04,3.420404e-04,3.371866e-04,3.356466e-04,3.323959e-04,3.276700e-04,3.262650e-04,3.230099e-04,3.184166e-04,3.171426e-04,3.138911e-04,3.094339e-04,3.082863e-04,3.050456e-04,3.007264e-04,2.997001e-04,2.964765e-04,2.922961e-04,2.913858e-04,2.881852e-04,2.841435e-04,2.833435e-04,2.801710e-04,2.762672e-04,2.755718e-04,2.724319e-04,2.686646e-04,2.680681e-04,2.649648e-04,2.613319e-04,2.608286e-04,2.577654e-04,2.542647e-04,2.538490e-04,2.508290e-04,2.474577e-04,2.471240e-04,2.441499e-04,2.409050e-04,2.406482e-04,2.377222e-04,2.346007e-04,2.344153e-04,2.315396e-04,2.285382e-04,2.284193e-04,2.255955e-04,2.227107e-04,2.226536e-04,2.198830e-04,2.171116e-04,2.117865e-04,2.066717e-04,2.017604e-04,1.970460e-04,1.925219e-04,1.881817e-04,1.840189e-04,1.800273e-04,1.762009e-04,1.725336e-04,1.690197e-04,1.656536e-04,1.624298e-04,1.593429e-04,1.563879e-04,1.535597e-04,1.508536e-04,1.482648e-04,1.457889e-04,1.434215e-04,1.411584e-04,1.389956e-04,1.369291e-04,1.349551e-04,1.330701e-04,1.312706e-04,1.295530e-04,1.279143e-04,1.263512e-04,1.248607e-04,1.234399e-04,1.220861e-04,1.207965e-04,1.195684e-04,1.183995e-04,1.172873e-04,1.162295e-04,1.152239e-04,1.142683e-04,1.133606e-04,1.124989e-04,1.116813e-04,1.109059e-04,1.101709e-04,1.094747e-04,1.088157e-04,1.081921e-04,1.076026e-04,1.070457e-04
0.000000e+00,1.477449e-07,3.149590e-06,3.308382e-06,2.619391e-05,1.098028e-04,1.154807e-04,3.342233e-04,6.818374e-04,7.082194e-04,1.202242e-03,1.713721e-03,1.759429e-03,2.333734e-03,2.840064e-03,2.895022e-03,3.425457e-03,3.858982e-03,3.915470e-03,4.360748e-03,4.707026e-03,4.760211e-03,5.114729e-03,5.379235e-03,5.426304e-03,5.697542e-03,5.891875e-03,5.931324e-03,6.130606e-03,6.267148e-03,6.298294e-03,6.437176e-03,6.527206e-03,6.549884e-03,6.638872e-03,6.692045e-03,6.706415e-03,6.754606e-03,6.778946e-03,6.785368e-03,6.800463e-03,6.802539e-03,6.801499e-03,6.789944e-03,6.775086e-03,6.767138e-03,6.734299e-03,6.706810e-03,6.692541e-03,6.642872e-03,6.606210e-03,6.586216e-03,6.523409e-03,6.480339e-03,6.455212e-03,6.382319e-03,6.335046e-03,6.305360e-03,6.224907e-03,6.175175e-03,6.141478e-03,6.055547e-03,6.004730e-03,5.967540e-03,5.877846e-03,5.827012e-03,5.786815e-03,5.694766e-03,5.644739e-03,5.601986e-03,5.508735e-03,5.460136e-03,5.415245e-03,5.321728e-03,5.275020e-03,5.228374e-03,5.135350e-03,5.090862e-03,5.042810e-03,4.950890e-03,4.908848e-03,4.859708e-03,4.769374e-03,4.729920e-03,4.679982e-03,4.591614e-03,4.554823e-03,4.504344e-03,4.418236e-03,4.384131e-03,4.333346e-03,4.249720e-03,4.218282e-03,4.167399e-03,4.086415e-03,4.057595e-03,4.006799e-03,3.928570e-03,3.902293e-03,3.851749e-03,3.776346e-03,3.752519e-03,3.702373e-03,3.629834e-03,3.608353e-03,3.558733e-03,3.489068e-03,3.469819e-03,3.420837e-03,3.354034e-03,3.336899e-03,3.288653e-03,3.224682e-03,3.209538e-03,3.162112e-03,3.100930e-03,3.087655e-03,3.041123e-03,2.982674e-03,2.971146e-03,2.925568e-03,2.869788e-03,2.859887e-03,2.815317e-03,2.762136e-03,2.753745e-03,2.710226e-03,2.659568e-03,2.652575e-03,2.610142e-03,2.561929e-03,2.556224e-03,2.514907e-03,2.469057e-03,2.464535e-03,2.424357e-03,2.380788e-03,2.377350e-03,2.338328e-03,2.296957e-03,2.294509e-03,2.256654e-03,2.217399e-03,2.215850e-03,2.179170e-03,2.141949e-03,2.141215e-03,2.105714e-03,2.070447e-03,2.003391e-03,1.939898e-03,1.879819e-03,1.823011e-03,1.769335e-03,1.718656e-03,1.670843e-03,1.625771e-03,1.583317e-03,1.543366e-03,1.505803e-03,1.470520e-03,1.437413e-03,1.406381e-03,1.377328e-03,1.350162e-03,1.324793e-03,1.301136e-03,1.279110e-03,1.258636e-03,1.239639e-03,1.222046e-03,1.205788e-03,1.190799e-03,1.177015e-03,1.164375e-03,1.152821e-03,1.142296e-03,1.132746e-03,1.124120e-03,1.116368e-03,1.109443e-03,1.103299e-03,1.097893e-03,1.093182e-03,1.089126e-03,1.085687e-03,1.082828e-03,1.080513e-03,1.078709e-03,1.077383e-03,1.076504e-03,1.076042e-03,1.075968e-03,1.076256e-03,1.076878e-03,1.077811e-03,1.079030e-03,1.080512e-03
0.000000e+00,8.396308e-08,2.281140e-06,2.407155e-06,2.174008e-05,8.496506e-05,8.873714e-05,2.031867e-04,3.273821e-04,3.354174e-04,4.676002e-04,5.837522e-04,5.935460e-04,7.116103e-04,8.109532e-04,8.215926e-04,9.237117e-04,1.007334e-03,1.018298e-03,1.105708e-03,1.175411e-03,1.186296e-03,1.260411e-03,1.317918e-03,1.328398e-03,1.390596e-03,1.437510e-03,1.447335e-03,1.498931e-03,1.536710e-03,1.545689e-03,1.587903e-03,1.617854e-03,1.625849e-03,1.659794e-03,1.683069e-03,1.689986e-03,1.716666e-03,1.734279e-03,1.740056e-03,1.760370e-03,1.773204e-03,1.777808e-03,1.792560e-03,1.801384e-03,1.804805e-03,1.814710e-03,1.820190e-03,1.822434e-03,1.828127e-03,1.830840e-03,1.831929e-03,1.833973e-03,1.834417e-03,1.834384e-03,1.833279e-03,1.831881e-03,1.830768e-03,1.826956e-03,1.824084e-03,1.821939e-03,1.815810e-03,1.811779e-03,1.808654e-03,1.800553e-03,1.795632e-03,1.791583e-03,1.781814e-03,1.776232e-03,1.771316e-03,1.760149e-03,1.754099e-03,1.748374e-03,1.736046e-03,1.729690e-03,1.723216e-03,1.709933e-03,1.703410e-03,1.696244e-03,1.682190e-03,1.675614e-03,1.667812e-03,1.653147e-03,1.646612e-03,1.638230e-03,1.623094e-03,1.616679e-03,1.607770e-03,1.592286e-03,1.586053e-03,1.576669e-03,1.560943e-03,1.554944e-03,1.545133e-03,1.529260e-03,1.523534e-03,1.513343e-03,1.497403e-03,1.491981e-03,1.481455e-03,1.465517e-03,1.460422e-03,1.449604e-03,1.433729e-03,1.428976e-03,1.417906e-03,1.402146e-03,1.397746e-03,1.386460e-03,1.370860e-03,1.366819e-03,1.355353e-03,1.339950e-03,1.336269e-03,1.324657e-03,1.309482e-03,1.306160e-03,1.294432e-03,1.279513e-03,1.276545e-03,1.264730e-03,1.250089e-03,1.247469e-03,1.235593e-03,1.221248e-03,1.218967e-03,1.207056e-03,1.193022e-03,1.191070e-03,1.179147e-03,1.165435e-03,1.163801e-03,1.151888e-03,1.138507e-03,1.137179e-03,1.125295e-03,1.112253e-03,1.111217e-03,1.099381e-03,1.086681e-03,1.085924e-03,1.074153e-03,1.061799e-03,1.061308e-03,1.049617e-03,1.037609e-03,1.037371e-03,1.025774e-03,1.014113e-03,9.915317e-04,9.696242e-04,9.483844e-04,9.278050e-04,9.078778e-04,8.885932e-04,8.699410e-04,8.519100e-04,8.344886e-04,8.176647e-04,8.014258e-04,7.857590e-04,7.706514e-04,7.560898e-04,7.420609e-04,7.285515e-04,7.155482e-04,7.030380e-04,6.910076e-04,6.794441e-04,6.683345e-04,6.576662e-04,6.474266e-04,6.376033e-04,6.281842e-04,6.191573e-04,6.105109e-04,6.022334e-04,5.943137e-04,5.867406e-04,5.795034e-04,5.725913e-04,5.659942e-04,5.597018e-04,5.537043e-04,5.479920e-04,5.425555e-04,5.373855e-04,5.324732e-04,5.278097e-04,5.233864e-04,5.191951e-04,5.152277e-04,5.114762e-04,5.079328e-04,5.045901e-04,5.014408e-04,4.984777e-04,4.956939e-04
0.000000e+00,8.373459e-08,1.361690e-06,1.422508e-06,9.228095e-06,3.661185e-05,3.849555e-05,1.139317e-04,2.414946e-04,2.513858e-04,4.377324e-04,6.276447e-04,6.443201e-04,8.489231e-04,1.021449e-03,1.039733e-03,1.211854e-03,1.346823e-03,1.364039e-03,1.496765e-03,1.596268e-03,1.611252e-03,1.708988e-03,1.779264e-03,1.791507e-03,1.860295e-03,1.907437e-03,1.916748e-03,1.962155e-03,1.991327e-03,1.997700e-03,2.024461e-03,2.039871e-03,2.043418e-03,2.055459e-03,2.060480e-03,2.061385e-03,2.061919e-03,2.059229e-03,2.057713e-03,2.049354e-03,2.041060e-03,2.037366e-03,2.022224e-03,2.009976e-03,2.004351e-03,1.984126e-03,1.969204e-03,1.961889e-03,1.937944e-03,1.921338e-03,1.912563e-03,1.885988e-03,1.868454e-03,1.858435e-03,1.830096e-03,1.812208e-03,1.801144e-03,1.771730e-03,1.753916e-03,1.741988e-03,1.712039e-03,1.694615e-03,1.681987e-03,1.651927e-03,1.635120e-03,1.621939e-03,1.592096e-03,1.576063e-03,1.562460e-03,1.533086e-03,1.517931e-03,1.504022e-03,1.475307e-03,1.461093e-03,1.446978e-03,1.419065e-03,1.405821e-03,1.391591e-03,1.364579e-03,1.352313e-03,1.338046e-03,1.312005e-03,1.300706e-03,1.286468e-03,1.261443e-03,1.251087e-03,1.236937e-03,1.212953e-03,1.203506e-03,1.189493e-03,1.166558e-03,1.157981e-03,1.144148e-03,1.122259e-03,1.114507e-03,1.100890e-03,1.080035e-03,1.073061e-03,1.059690e-03,1.039850e-03,1.033606e-03,1.020507e-03,1.001655e-03,9.960940e-04,9.832867e-04,9.653944e-04,9.604688e-04,9.479701e-04,9.310054e-04,9.266689e-04,9.144921e-04,8.984214e-04,8.946293e-04,8.827846e-04,8.675729e-04,8.642826e-04,8.527775e-04,8.383895e-04,8.355600e-04,8.243999e-04,8.108000e-04,8.083927e-04,7.975809e-04,7.847338e-04,7.827122e-04,7.722501e-04,7.601212e-04,7.584510e-04,7.483387e-04,7.368940e-04,7.355430e-04,7.257790e-04,7.149856e-04,7.139236e-04,7.045057e-04,6.943315e-04,6.935305e-04,6.844552e-04,6.748692e-04,6.743031e-04,6.655662e-04,6.565387e-04,6.561833e-04,6.477797e-04,6.392822e-04,6.391148e-04,6.310392e-04,6.230441e-04,6.079195e-04,5.936919e-04,5.803142e-04,5.677416e-04,5.559312e-04,5.448423e-04,5.344362e-04,5.246760e-04,5.155267e-04,5.069549e-04,4.989291e-04,4.914192e-04,4.843968e-04,4.778349e-04,4.717077e-04,4.659911e-04,4.606619e-04,4.556984e-04,4.510798e-04,4.467866e-04,4.428001e-04,4.391028e-04,4.356780e-04,4.325099e-04,4.295835e-04,4.268848e-04,4.244003e-04,4.221173e-04,4.200239e-04,4.181087e-04,4.163608e-04,4.147703e-04,4.133274e-04,4.120230e-04,4.108486e-04,4.097960e-04,4.088575e-04,4.080259e-04,4.072943e-04,4.066561e-04,4.061053e-04,4.056360e-04,4.052429e-04,4.049206e-04,4.046644e-04,4.044696e-04,4.043320e-04,4.042473e-04,4.042118e-04
0.000000e+00,1.977831e-08,2.170925e-07,2.256641e-07,1.192630e-06,3.960498e-06,4.133893e-06,1.027770e-05,1.901901e-05,1.965052e-05,3.081411e-05,4.124683e-05,4.213325e-05,5.276891e-05,6.154852e-05,6.247599e-05,7.123040e-05,7.817795e-05,7.907272e-05,8.606023e-05,9.143168e-05,9.225305e-05,9.770992e-05,1.017661e-04,1.024870e-04,1.066374e-04,1.096082e-04,1.102110e-04,1.132547e-04,1.153377e-04,1.158123e-04,1.179244e-04,1.192871e-04,1.196290e-04,1.209616e-04,1.217457e-04,1.219548e-04,1.226393e-04,1.229637e-04,1.230432e-04,1.231929e-04,1.231568e-04,1.231125e-04,1.228245e-04,1.225106e-04,1.223497e-04,1.217073e-04,1.211837e-04,1.209149e-04,1.199889e-04,1.193120e-04,1.189444e-04,1.177952e-04,1.170107e-04,1.165540e-04,1.152327e-04,1.143779e-04,1.138419e-04,1.123915e-04,1.114964e-04,1.108906e-04,1.093474e-04,1.084360e-04,1.077696e-04,1.061640e-04,1.052552e-04,1.045370e-04,1.028943e-04,1.020026e-04,1.012411e-04,9.958213e-05,9.871862e-05,9.792168e-05,9.626362e-05,9.543659e-05,9.461143e-05,9.296825e-05,9.218357e-05,9.133689e-05,8.971986e-05,8.898145e-05,8.811937e-05,8.653742e-05,8.584769e-05,8.497574e-05,8.343585e-05,8.279593e-05,8.191909e-05,8.042660e-05,7.983663e-05,7.895937e-05,7.751821e-05,7.697756e-05,7.610382e-05,7.471676e-05,7.422420e-05,7.335748e-05,7.202631e-05,7.158016e-05,7.072349e-05,6.944919e-05,6.904745e-05,6.820348e-05,6.698636e-05,6.662679e-05,6.579778e-05,6.463761e-05,6.431784e-05,6.350569e-05,6.240181e-05,6.211936e-05,6.132569e-05,6.027705e-05,6.002943e-05,5.925556e-05,5.826085e-05,5.804558e-05,5.729256e-05,5.635027e-05,5.616490e-05,5.543357e-05,5.454200e-05,5.438416e-05,5.367513e-05,5.283248e-05,5.269988e-05,5.201359e-05,5.121798e-05,5.110842e-05,5.044515e-05,4.969463e-05,4.960604e-05,4.896591e-05,4.825852e-05,4.818893e-05,4.757195e-05,4.690572e-05,4.685329e-05,4.625934e-05,4.563233e-05,4.559532e-05,4.502421e-05,4.443449e-05,4.441128e-05,4.386272e-05,4.330842e-05,4.329751e-05,4.277113e-05,4.225041e-05,4.126650e-05,4.034242e-05,3.947494e-05,3.866094e-05,3.789742e-05,3.718153e-05,3.651052e-05,3.588182e-05,3.529292e-05,3.474150e-05,3.422531e-05,3.374225e-05,3.329031e-05,3.286760e-05,3.247235e-05,3.210286e-05,3.175754e-05,3.143491e-05,3.113354e-05,3.085211e-05,3.058937e-05,3.034416e-05,3.011535e-05,2.990193e-05,2.970290e-05,2.951737e-05,2.934447e-05,2.918340e-05,2.903339e-05,2.889375e-05,2.876381e-05,2.864295e-05,2.853058e-05,2.842616e-05,2.832917e-05,2.823915e-05,2.815563e-05,2.807819e-05,2.800645e-05,2.794003e-05,2.787859e-05,2.782180e-05,2.776936e-05,2.772100e-05,2.767643e-05,2.763542e-05,2.759773e-05,2.756315e-05,2.753147e-05
0.000000e+00,2.204613e-06,5.146522e-05,5.416987e-05,4.743816e-04,2.157865e-03,2.275865e-03,6.936425e-03,1.451416e-02,1.509689e-02,2.629473e-02,3.860540e-02,3.974645e-02,5.471693e-02,6.897618e-02,7.058880e-02,8.686110e-02,1.011929e-01,1.031348e-01,1.190973e-01,1.323913e-01,1.345084e-01,1.491882e-01,1.608579e-01,1.630069e-01,1.758757e-01,1.856798e-01,1.877396e-01,1.985706e-01,2.064871e-01,2.083628e-01,2.171272e-01,2.232655e-01,2.248885e-01,2.316814e-01,2.362221e-01,2.375481e-01,2.425360e-01,2.456911e-01,2.466960e-01,2.500810e-01,2.520684e-01,2.527446e-01,2.547401e-01,2.557677e-01,2.561202e-01,2.569358e-01,2.571931e-01,2.572360e-01,2.570678e-01,2.567218e-01,2.564755e-01,2.555012e-01,2.546954e-01,2.541840e-01,2.525607e-01,2.514154e-01,2.506651e-01,2.485288e-01,2.471437e-01,2.461808e-01,2.436478e-01,2.421036e-01,2.409542e-01,2.381223e-01,2.364836e-01,2.351724e-01,2.321230e-01,2.304409e-01,2.289908e-01,2.257911e-01,2.241052e-01,2.225376e-01,2.192425e-01,2.175829e-01,2.159170e-01,2.125711e-01,2.109604e-01,2.092137e-01,2.058528e-01,2.043076e-01,2.024956e-01,1.991485e-01,1.976805e-01,1.958172e-01,1.925066e-01,1.911235e-01,1.892214e-01,1.859654e-01,1.846720e-01,1.827422e-01,1.795549e-01,1.783537e-01,1.764061e-01,1.732983e-01,1.721899e-01,1.702334e-01,1.672134e-01,1.661970e-01,1.642397e-01,1.613137e-01,1.603876e-01,1.584364e-01,1.556089e-01,1.547705e-01,1.528320e-01,1.501062e-01,1.493522e-01,1.474320e-01,1.448099e-01,1.441368e-01,1.422402e-01,1.397230e-01,1.391267e-01,1.372584e-01,1.348464e-01,1.343228e-01,1.324870e-01,1.301800e-01,1.297249e-01,1.279253e-01,1.257227e-01,1.253317e-01,1.235718e-01,1.214723e-01,1.211411e-01,1.194239e-01,1.174262e-01,1.171505e-01,1.154786e-01,1.135809e-01,1.133564e-01,1.117324e-01,1.099326e-01,1.097553e-01,1.081810e-01,1.064771e-01,1.063428e-01,1.048202e-01,1.032098e-01,1.031147e-01,1.016453e-01,1.001259e-01,1.000661e-01,9.865115e-02,9.722032e-02,9.719215e-02,9.583276e-02,9.448780e-02,9.194781e-02,8.956685e-02,8.733948e-02,8.526026e-02,8.332365e-02,8.152412e-02,7.985612e-02,7.831412e-02,7.689259e-02,7.558606e-02,7.438908e-02,7.329626e-02,7.230228e-02,7.140190e-02,7.058994e-02,6.986135e-02,6.921114e-02,6.863447e-02,6.812660e-02,6.768291e-02,6.729891e-02,6.697027e-02,6.669277e-02,6.646238e-02,6.627518e-02,6.612743e-02,6.601554e-02,6.593609e-02,6.588583e-02,6.586166e-02,6.586065e-02,6.588003e-02,6.591721e-02,6.596975e-02,6.603535e-02,6.611190e-02,6.619742e-02,6.629009e-02,6.638823e-02,6.649031e-02,6.659493e-02,6.670082e-02,6.680683e-02,6.691193e-02,6.701522e-02,6.711589e-02,6.721323e-02,6.730665e-02,6.739562e-02
0.000000e+00,5.383663e-08,1.054147e-06,1.106101e-06,8.699746e-06,3.816949e-05,4.023209e-05,1.222551e-04,2.552796e-04,2.653499e-04,4.519235e-04,6.408450e-04,6.575345e-04,8.649673e-04,1.045080e-03,1.064515e-03,1.251348e-03,1.403579e-03,1.423422e-03,1.580199e-03,1.702973e-03,1.721931e-03,1.849258e-03,1.945682e-03,1.963005e-03,2.064063e-03,2.138092e-03,2.153330e-03,2.231679e-03,2.287061e-03,2.299946e-03,2.358921e-03,2.398948e-03,2.409343e-03,2.451904e-03,2.479393e-03,2.487251e-03,2.515985e-03,2.533319e-03,2.538662e-03,2.555801e-03,2.564981e-03,2.567880e-03,2.575342e-03,2.578041e-03,2.578600e-03,2.578034e-03,2.575645e-03,2.573995e-03,2.566809e-03,2.560489e-03,2.556775e-03,2.544172e-03,2.534877e-03,2.529255e-03,2.512262e-03,2.500778e-03,2.493408e-03,2.472897e-03,2.459872e-03,2.450913e-03,2.427626e-03,2.413586e-03,2.403195e-03,2.377763e-03,2.363134e-03,2.351463e-03,2.324417e-03,2.309543e-03,2.296739e-03,2.268529e-03,2.253683e-03,2.239884e-03,2.210889e-03,2.196286e-03,2.181624e-03,2.152160e-03,2.137967e-03,2.122565e-03,2.092897e-03,2.079241e-03,2.063213e-03,2.033561e-03,2.020537e-03,2.003988e-03,1.974535e-03,1.962209e-03,1.945238e-03,1.916131e-03,1.904548e-03,1.887244e-03,1.858605e-03,1.847792e-03,1.830238e-03,1.802164e-03,1.792133e-03,1.774403e-03,1.746971e-03,1.737722e-03,1.719884e-03,1.693155e-03,1.684679e-03,1.666795e-03,1.640814e-03,1.633095e-03,1.615220e-03,1.590021e-03,1.583036e-03,1.565220e-03,1.540824e-03,1.534548e-03,1.516836e-03,1.493258e-03,1.487661e-03,1.470092e-03,1.447339e-03,1.442389e-03,1.424999e-03,1.403071e-03,1.398735e-03,1.381555e-03,1.360449e-03,1.356694e-03,1.339751e-03,1.319458e-03,1.316249e-03,1.299567e-03,1.280076e-03,1.277378e-03,1.260979e-03,1.242274e-03,1.240056e-03,1.223957e-03,1.206022e-03,1.204250e-03,1.188466e-03,1.171283e-03,1.169924e-03,1.154469e-03,1.138018e-03,1.137042e-03,1.121926e-03,1.106186e-03,1.105564e-03,1.090795e-03,1.075746e-03,1.075449e-03,1.061034e-03,1.046654e-03,1.019137e-03,9.928557e-04,9.677669e-04,9.438282e-04,9.209976e-04,8.992339e-04,8.784964e-04,8.587454e-04,8.399422e-04,8.220491e-04,8.050291e-04,7.888468e-04,7.734675e-04,7.588577e-04,7.449851e-04,7.318185e-04,7.193275e-04,7.074832e-04,6.962574e-04,6.856232e-04,6.755545e-04,6.660263e-04,6.570146e-04,6.484962e-04,6.404491e-04,6.328517e-04,6.256838e-04,6.189255e-04,6.125582e-04,6.065636e-04,6.009245e-04,5.956242e-04,5.906469e-04,5.859771e-04,5.816004e-04,5.775028e-04,5.736707e-04,5.700913e-04,5.667525e-04,5.636422e-04,5.607494e-04,5.580632e-04,5.555734e-04,5.532699e-04,5.511435e-04,5.491850e-04,5.473859e-04,5.457379e-04,5.442331e-04
0.000000e+00,3.531881e-08,6.669392e-07,6.992288e-07,4.994349e-06,1.851918e-05,1.936875e-05,4.838437e-05,8.542290e-05,8.792668e-05,1.295213e-04,1.655132e-04,1.684952e-04,2.036587e-04,2.320259e-04,2.349935e-04,2.627485e-04,2.844425e-04,2.872142e-04,3.086738e-04,3.249283e-04,3.273936e-04,3.436207e-04,3.554929e-04,3.575838e-04,3.694928e-04,3.778613e-04,3.795406e-04,3.879032e-04,3.934896e-04,3.947431e-04,4.002082e-04,4.036041e-04,4.044339e-04,4.075439e-04,4.092311e-04,4.096510e-04,4.108576e-04,4.112258e-04,4.112569e-04,4.109339e-04,4.102979e-04,4.099662e-04,4.084243e-04,4.070377e-04,4.063721e-04,4.038677e-04,4.019335e-04,4.009639e-04,3.977089e-04,3.953896e-04,3.941463e-04,3.903155e-04,3.877398e-04,3.862524e-04,3.819892e-04,3.792585e-04,3.775553e-04,3.729774e-04,3.701716e-04,3.682794e-04,3.634832e-04,3.606641e-04,3.586082e-04,3.536721e-04,3.508871e-04,3.486907e-04,3.436785e-04,3.409636e-04,3.386482e-04,3.336113e-04,3.309930e-04,3.285782e-04,3.235580e-04,3.210554e-04,3.185590e-04,3.135884e-04,3.112145e-04,3.086527e-04,3.037578e-04,3.015211e-04,2.989085e-04,2.941094e-04,2.920147e-04,2.893643e-04,2.846766e-04,2.827256e-04,2.800492e-04,2.754846e-04,2.736768e-04,2.709849e-04,2.665518e-04,2.648850e-04,2.621868e-04,2.578911e-04,2.563618e-04,2.536656e-04,2.495111e-04,2.481148e-04,2.454279e-04,2.414166e-04,2.401481e-04,2.374771e-04,2.336095e-04,2.324632e-04,2.298136e-04,2.260893e-04,2.250593e-04,2.224362e-04,2.188537e-04,2.179338e-04,2.153415e-04,2.118988e-04,2.110829e-04,2.085251e-04,2.052197e-04,2.045015e-04,2.019816e-04,1.988102e-04,1.981838e-04,1.957046e-04,1.926638e-04,1.921233e-04,1.896871e-04,1.867734e-04,1.863130e-04,1.839218e-04,1.811314e-04,1.807455e-04,1.784011e-04,1.757300e-04,1.754134e-04,1.731172e-04,1.705615e-04,1.703090e-04,1.680620e-04,1.656178e-04,1.654246e-04,1.632278e-04,1.608911e-04,1.607526e-04,1.586066e-04,1.563734e-04,1.562851e-04,1.541906e-04,1.520571e-04,1.520149e-04,1.499720e-04,1.479344e-04,1.440363e-04,1.403137e-04,1.367596e-04,1.333672e-04,1.301302e-04,1.270422e-04,1.240971e-04,1.212890e-04,1.186123e-04,1.160614e-04,1.136311e-04,1.113163e-04,1.091121e-04,1.070138e-04,1.050168e-04,1.031168e-04,1.013097e-04,9.959142e-05,9.795808e-05,9.640600e-05,9.493163e-05,9.353156e-05,9.220253e-05,9.094140e-05,8.974517e-05,8.861094e-05,8.753597e-05,8.651760e-05,8.555328e-05,8.464060e-05,8.377721e-05,8.296089e-05,8.218950e-05,8.146098e-05,8.077337e-05,8.012479e-05,7.951345e-05,7.893762e-05,7.839565e-05,7.788596e-05,7.740704e-05,7.695744e-05,7.653578e-05,7.614073e-05,7.577103e-05,7.542546e-05,7.510285e-05,7.480212e-05,7.452218e-05
0.000000e+00,1.342858e-07,2.805126e-06,2.945032e-06,2.240793e-05,8.829403e-05,9.257695e-05,2.450916e-04,4.520790e-04,4.664873e-04,7.122280e-04,9.308018e-04,9.489592e-04,1.161299e-03,1.327516e-03,1.344511e-03,1.498829e-03,1.612481e-03,1.626485e-03,1.730345e-03,1.802858e-03,1.813323e-03,1.878145e-03,1.920374e-03,1.927274e-03,1.962895e-03,1.983380e-03,1.986930e-03,2.001056e-03,2.006214e-03,2.006739e-03,2.005249e-03,1.999824e-03,1.997691e-03,1.985019e-03,1.972481e-03,1.968060e-03,1.947529e-03,1.930403e-03,1.924043e-03,1.898133e-03,1.878238e-03,1.870260e-03,1.840817e-03,1.819457e-03,1.810144e-03,1.778534e-03,1.756633e-03,1.746237e-03,1.713468e-03,1.691673e-03,1.680411e-03,1.647224e-03,1.625979e-03,1.614040e-03,1.580974e-03,1.560574e-03,1.548120e-03,1.515562e-03,1.496196e-03,1.483365e-03,1.451588e-03,1.433368e-03,1.420277e-03,1.389470e-03,1.372450e-03,1.359199e-03,1.329488e-03,1.313684e-03,1.300357e-03,1.271820e-03,1.257219e-03,1.243887e-03,1.216566e-03,1.203136e-03,1.189861e-03,1.163772e-03,1.151468e-03,1.138300e-03,1.113441e-03,1.102210e-03,1.089191e-03,1.065546e-03,1.055331e-03,1.042497e-03,1.020039e-03,1.010781e-03,9.981624e-04,9.768584e-04,9.684950e-04,9.561176e-04,9.359301e-04,9.284018e-04,9.162857e-04,8.971740e-04,8.904222e-04,8.785845e-04,8.605063e-04,8.544742e-04,8.429286e-04,8.258407e-04,8.204742e-04,8.092317e-04,7.930908e-04,7.883382e-04,7.774073e-04,7.621705e-04,7.579829e-04,7.473700e-04,7.329954e-04,7.293264e-04,7.190362e-04,7.054826e-04,7.022890e-04,6.923245e-04,6.795522e-04,6.767931e-04,6.671560e-04,6.551264e-04,6.527637e-04,6.434544e-04,6.321306e-04,6.301287e-04,6.211464e-04,6.104929e-04,6.088184e-04,6.001616e-04,5.901441e-04,5.887663e-04,5.804325e-04,5.710185e-04,5.699085e-04,5.618946e-04,5.530530e-04,5.521840e-04,5.444863e-04,5.361872e-04,5.355346e-04,5.281487e-04,5.203638e-04,5.199047e-04,5.128258e-04,5.055281e-04,5.052411e-04,4.984642e-04,4.916279e-04,4.914935e-04,4.850131e-04,4.786137e-04,4.665559e-04,4.552766e-04,4.447343e-04,4.348897e-04,4.257052e-04,4.171453e-04,4.091762e-04,4.017657e-04,3.948832e-04,3.884997e-04,3.825877e-04,3.771209e-04,3.720744e-04,3.674247e-04,3.631493e-04,3.592268e-04,3.556369e-04,3.523606e-04,3.493794e-04,3.466760e-04,3.442340e-04,3.420377e-04,3.400722e-04,3.383234e-04,3.367780e-04,3.354232e-04,3.342470e-04,3.332378e-04,3.323848e-04,3.316778e-04,3.311069e-04,3.306628e-04,3.303368e-04,3.301204e-04,3.300059e-04,3.299856e-04,3.300526e-04,3.302001e-04,3.304217e-04,3.307115e-04,3.310636e-04,3.314729e-04,3.319342e-04,3.324427e-04,3.329939e-04,3.335835e-04,3.342076e-04,3.348623e-04,3.355441e-04
0.000000e+00,1.186958e-07,2.090232e-06,2.187426e-06,1.531177e-05,6.308563e-05,6.638430e-05,1.971833e-04,4.118618e-04,4.282497e-04,7.332651e-04,1.040359e-03,1.067209e-03,1.394726e-03,1.666446e-03,1.694878e-03,1.957620e-03,2.155301e-03,2.179830e-03,2.362407e-03,2.490003e-03,2.508379e-03,2.621741e-03,2.694884e-03,2.706756e-03,2.767568e-03,2.802069e-03,2.808001e-03,2.831461e-03,2.840020e-03,2.840919e-03,2.838921e-03,2.830812e-03,2.827627e-03,2.808851e-03,2.790517e-03,2.784104e-03,2.754641e-03,2.730414e-03,2.721490e-03,2.685498e-03,2.658218e-03,2.647357e-03,2.607631e-03,2.579129e-03,2.566779e-03,2.525175e-03,2.496611e-03,2.483120e-03,2.440857e-03,2.412948e-03,2.398585e-03,2.356461e-03,2.329640e-03,2.314613e-03,2.273142e-03,2.247655e-03,2.232128e-03,2.191635e-03,2.167611e-03,2.151714e-03,2.112404e-03,2.089896e-03,2.073735e-03,2.035728e-03,2.014740e-03,1.998401e-03,1.961765e-03,1.942271e-03,1.925827e-03,1.890592e-03,1.872547e-03,1.856060e-03,1.822230e-03,1.805577e-03,1.789099e-03,1.756664e-03,1.741340e-03,1.724917e-03,1.693854e-03,1.679791e-03,1.663465e-03,1.633743e-03,1.620874e-03,1.604679e-03,1.576263e-03,1.564520e-03,1.548487e-03,1.521339e-03,1.510654e-03,1.494811e-03,1.468892e-03,1.459200e-03,1.443571e-03,1.418838e-03,1.410076e-03,1.394683e-03,1.371094e-03,1.363201e-03,1.348062e-03,1.325576e-03,1.318495e-03,1.303626e-03,1.282201e-03,1.275875e-03,1.261292e-03,1.240887e-03,1.235263e-03,1.220977e-03,1.201552e-03,1.196580e-03,1.182603e-03,1.164118e-03,1.159750e-03,1.146090e-03,1.128508e-03,1.124699e-03,1.111363e-03,1.094646e-03,1.091354e-03,1.078349e-03,1.062461e-03,1.059644e-03,1.046975e-03,1.031881e-03,1.029502e-03,1.017172e-03,1.002839e-03,1.000862e-03,9.888738e-04,9.752686e-04,9.736597e-04,9.620154e-04,9.491065e-04,9.478342e-04,9.365344e-04,9.242916e-04,9.233262e-04,9.123709e-04,9.007650e-04,9.000785e-04,8.894670e-04,8.784699e-04,8.780362e-04,8.677671e-04,8.573519e-04,8.571465e-04,8.472178e-04,8.373585e-04,8.186233e-04,8.008939e-04,7.841254e-04,7.682743e-04,7.532991e-04,7.391598e-04,7.258183e-04,7.132378e-04,7.013830e-04,6.902203e-04,6.797172e-04,6.698426e-04,6.605670e-04,6.518617e-04,6.436994e-04,6.360540e-04,6.289004e-04,6.222145e-04,6.159734e-04,6.101551e-04,6.047383e-04,5.997030e-04,5.950298e-04,5.907001e-04,5.866963e-04,5.830014e-04,5.795992e-04,5.764741e-04,5.736113e-04,5.709966e-04,5.686164e-04,5.664578e-04,5.645082e-04,5.627559e-04,5.611896e-04,5.597984e-04,5.585720e-04,5.575004e-04,5.565745e-04,5.557850e-04,5.551235e-04,5.545819e-04,5.541522e-04,5.538271e-04,5.535997e-04,5.534630e-04,5.534108e-04,5.534369e-04,5.535357e-04
0.000000e+00,9.948926e-08,1.557558e-06,1.625310e-06,9.805431e-06,3.566311e-05,3.736098e-05,1.016428e-04,2.040072e-04,2.118390e-04,3.590827e-04,5.089569e-04,5.220545e-04,6.807497e-04,8.099743e-04,8.233312e-04,9.450869e-04,1.034523e-03,1.045480e-03,1.125965e-03,1.180949e-03,1.188766e-03,1.236262e-03,1.265993e-03,1.270716e-03,1.294165e-03,1.306438e-03,1.308389e-03,1.314915e-03,1.315483e-03,1.315056e-03,1.309932e-03,1.302895e-03,1.300491e-03,1.287539e-03,1.275769e-03,1.271755e-03,1.253709e-03,1.239185e-03,1.233883e-03,1.212679e-03,1.196752e-03,1.190436e-03,1.167438e-03,1.151018e-03,1.143920e-03,1.120081e-03,1.103771e-03,1.096084e-03,1.072065e-03,1.056256e-03,1.048136e-03,1.024390e-03,1.009324e-03,1.000902e-03,9.777322e-04,9.635492e-04,9.549307e-04,9.325363e-04,9.193079e-04,9.105792e-04,8.890829e-04,8.768331e-04,8.680646e-04,8.475366e-04,8.362582e-04,8.275069e-04,8.079801e-04,7.976454e-04,7.889577e-04,7.704389e-04,7.610072e-04,7.524208e-04,7.348990e-04,7.263224e-04,7.178676e-04,7.013197e-04,6.935462e-04,6.852474e-04,6.696422e-04,6.626181e-04,6.544949e-04,6.397959e-04,6.334679e-04,6.255356e-04,6.117038e-04,6.060199e-04,5.982905e-04,5.852853e-04,5.801952e-04,5.726780e-04,5.604583e-04,5.559144e-04,5.486161e-04,5.371413e-04,5.330984e-04,5.260240e-04,5.152543e-04,5.116700e-04,5.048225e-04,4.947192e-04,4.915540e-04,4.849351e-04,4.754609e-04,4.726778e-04,4.662879e-04,4.574073e-04,4.549720e-04,4.488105e-04,4.404893e-04,4.383699e-04,4.324355e-04,4.246411e-04,4.228082e-04,4.170986e-04,4.098003e-04,4.082267e-04,4.027389e-04,3.959074e-04,3.945681e-04,3.892988e-04,3.829064e-04,3.817782e-04,3.767236e-04,3.707440e-04,3.698057e-04,3.649615e-04,3.593701e-04,3.586022e-04,3.539638e-04,3.487371e-04,3.481217e-04,3.436844e-04,3.388003e-04,3.383210e-04,3.340797e-04,3.295175e-04,3.291592e-04,3.251089e-04,3.208489e-04,3.205980e-04,3.167332e-04,3.127571e-04,3.126009e-04,3.089163e-04,3.052066e-04,3.051337e-04,3.016239e-04,2.981643e-04,2.916622e-04,2.855989e-04,2.799474e-04,2.746825e-04,2.697802e-04,2.652182e-04,2.609753e-04,2.570317e-04,2.533688e-04,2.499688e-04,2.468154e-04,2.438930e-04,2.411870e-04,2.386837e-04,2.363702e-04,2.342343e-04,2.322647e-04,2.304506e-04,2.287821e-04,2.272496e-04,2.258443e-04,2.245578e-04,2.233824e-04,2.223106e-04,2.213356e-04,2.204508e-04,2.196503e-04,2.189283e-04,2.182793e-04,2.176985e-04,2.171811e-04,2.167227e-04,2.163191e-04,2.159665e-04,2.156612e-04,2.153997e-04,2.151790e-04,2.149959e-04,2.148477e-04,2.147318e-04,2.146457e-04,2.145871e-04,2.145538e-04,2.145439e-04,2.145554e-04,2.145866e-04,2.146358e-04,2.147016e-04,2.147824e-04
0.000000e+00,3.336445e-10,4.678816e-09,4.890802e-09,3.163182e-08,1.090343e-07,1.136155e-07,2.518077e-07,3.941719e-07,4.030629e-07,5.445993e-07,6.625900e-07,6.722903e-07,7.862487e-07,8.777953e-07,8.873558e-07,9.765968e-07,1.046072e-06,1.054925e-06,1.123236e-06,1.174614e-06,1.182370e-06,1.233113e-06,1.269790e-06,1.276198e-06,1.312310e-06,1.337167e-06,1.342086e-06,1.366113e-06,1.381566e-06,1.384939e-06,1.399067e-06,1.407124e-06,1.408959e-06,1.415043e-06,1.417361e-06,1.417709e-06,1.417315e-06,1.415249e-06,1.414191e-06,1.408635e-06,1.403285e-06,1.400923e-06,1.391305e-06,1.383560e-06,1.380008e-06,1.367240e-06,1.357816e-06,1.353192e-06,1.338034e-06,1.327498e-06,1.321923e-06,1.305001e-06,1.293805e-06,1.287396e-06,1.269224e-06,1.257720e-06,1.250591e-06,1.231591e-06,1.220051e-06,1.212310e-06,1.192824e-06,1.181457e-06,1.173203e-06,1.153509e-06,1.142469e-06,1.133797e-06,1.114116e-06,1.103517e-06,1.094511e-06,1.075019e-06,1.064941e-06,1.055677e-06,1.036514e-06,1.027008e-06,1.017556e-06,9.988277e-07,9.899253e-07,9.803482e-07,9.621351e-07,9.538506e-07,9.442030e-07,9.265645e-07,9.188994e-07,9.092300e-07,8.922079e-07,8.851535e-07,8.755050e-07,8.591267e-07,8.526671e-07,8.430767e-07,8.273578e-07,8.214718e-07,8.119714e-07,7.969182e-07,7.915805e-07,7.821977e-07,7.678088e-07,7.629919e-07,7.537498e-07,7.400182e-07,7.356928e-07,7.266111e-07,7.135249e-07,7.096610e-07,7.007558e-07,6.882996e-07,6.848673e-07,6.761517e-07,6.643074e-07,6.612769e-07,6.527615e-07,6.415090e-07,6.388514e-07,6.305444e-07,6.198622e-07,6.175495e-07,6.094569e-07,5.993228e-07,5.973281e-07,5.894542e-07,5.798454e-07,5.781429e-07,5.704905e-07,5.613840e-07,5.599496e-07,5.525200e-07,5.438928e-07,5.427036e-07,5.354969e-07,5.273265e-07,5.263610e-07,5.193763e-07,5.116406e-07,5.108786e-07,5.041140e-07,4.967914e-07,4.962142e-07,4.896673e-07,4.827368e-07,4.823270e-07,4.759946e-07,4.694359e-07,4.691773e-07,4.630557e-07,4.568494e-07,4.567270e-07,4.508121e-07,4.449394e-07,4.337795e-07,4.232135e-07,4.132096e-07,4.037370e-07,3.947669e-07,3.862715e-07,3.782247e-07,3.706017e-07,3.633789e-07,3.565341e-07,3.500462e-07,3.438953e-07,3.380626e-07,3.325304e-07,3.272818e-07,3.223010e-07,3.175731e-07,3.130840e-07,3.088204e-07,3.047698e-07,3.009204e-07,2.972610e-07,2.937811e-07,2.904709e-07,2.873210e-07,2.843226e-07,2.814674e-07,2.787477e-07,2.761561e-07,2.736856e-07,2.713297e-07,2.690822e-07,2.669374e-07,2.648898e-07,2.629341e-07,2.610657e-07,2.592797e-07,2.575720e-07,2.559384e-07,2.543751e-07,2.528785e-07,2.514451e-07,2.500717e-07,2.487552e-07,2.474929e-07,2.462818e-07,2.451196e-07,2.440036e-07,2.429318e-07
0.000000e+00,4.524221e-10,6.334793e-09,6.620745e-09,4.207919e-08,1.392654e-07,1.447918e-07,3.035388e-07,4.602430e-07,4.699883e-07,6.255710e-07,7.565509e-07,7.673885e-07,8.956305e-07,1.000055e-06,1.011043e-06,1.114449e-06,1.196161e-06,1.206661e-06,1.288465e-06,1.351067e-06,1.360614e-06,1.423826e-06,1.470520e-06,1.478786e-06,1.526142e-06,1.559729e-06,1.566504e-06,1.600446e-06,1.623338e-06,1.628503e-06,1.651177e-06,1.665426e-06,1.668933e-06,1.682205e-06,1.689541e-06,1.691394e-06,1.696874e-06,1.698744e-06,1.698988e-06,1.698058e-06,1.695668e-06,1.694377e-06,1.688218e-06,1.682568e-06,1.679833e-06,1.669454e-06,1.661367e-06,1.657295e-06,1.643552e-06,1.633703e-06,1.628407e-06,1.612025e-06,1.600964e-06,1.594561e-06,1.576154e-06,1.564325e-06,1.556933e-06,1.537016e-06,1.524777e-06,1.516511e-06,1.495515e-06,1.483150e-06,1.474120e-06,1.452408e-06,1.440139e-06,1.430453e-06,1.408323e-06,1.396322e-06,1.386081e-06,1.363781e-06,1.352180e-06,1.341476e-06,1.319210e-06,1.308105e-06,1.297025e-06,1.274958e-06,1.264418e-06,1.253043e-06,1.231309e-06,1.221379e-06,1.209782e-06,1.188486e-06,1.179194e-06,1.167442e-06,1.146667e-06,1.138026e-06,1.126178e-06,1.105989e-06,1.098000e-06,1.086111e-06,1.066554e-06,1.059209e-06,1.047327e-06,1.028436e-06,1.021719e-06,1.009887e-06,9.916850e-07,9.855757e-07,9.738321e-07,9.563308e-07,9.508049e-07,9.391825e-07,9.223874e-07,9.174177e-07,9.059451e-07,8.898548e-07,8.854123e-07,8.741146e-07,8.587224e-07,8.547770e-07,8.436754e-07,8.289705e-07,8.254918e-07,8.146041e-07,8.005725e-07,7.975300e-07,7.868712e-07,7.734960e-07,7.708597e-07,7.604422e-07,7.477047e-07,7.454452e-07,7.352787e-07,7.231588e-07,7.212477e-07,7.113398e-07,6.998163e-07,6.982263e-07,6.885827e-07,6.776336e-07,6.763386e-07,6.669633e-07,6.565663e-07,6.555414e-07,6.464369e-07,6.365695e-07,6.357913e-07,6.269586e-07,6.175984e-07,6.170447e-07,6.084836e-07,5.996085e-07,5.992584e-07,5.909678e-07,5.825560e-07,5.823901e-07,5.743678e-07,5.663979e-07,5.512413e-07,5.368807e-07,5.232777e-07,5.103955e-07,4.981982e-07,4.866516e-07,4.757228e-07,4.653801e-07,4.555933e-07,4.463337e-07,4.375736e-07,4.292868e-07,4.214483e-07,4.140342e-07,4.070221e-07,4.003904e-07,3.941186e-07,3.881874e-07,3.825784e-07,3.772742e-07,3.722582e-07,3.675149e-07,3.630294e-07,3.587877e-07,3.547765e-07,3.509834e-07,3.473964e-07,3.440043e-07,3.407964e-07,3.377627e-07,3.348937e-07,3.321804e-07,3.296143e-07,3.271874e-07,3.248921e-07,3.227212e-07,3.206680e-07,3.187261e-07,3.168895e-07,3.151523e-07,3.135093e-07,3.119554e-07,3.104856e-07,3.090955e-07,3.077808e-07,3.065374e-07,3.053615e-07,3.042494e-07,3.031977e-07
0.000000e+00,5.345482e-08,9.392031e-07,9.841359e-07,7.260357e-06,2.970586e-05,3.121309e-05,8.719765e-05,1.667747e-04,1.723686e-04,2.680171e-04,3.538622e-04,3.610729e-04,4.470781e-04,5.177051e-04,5.251583e-04,5.954944e-04,6.513412e-04,6.585380e-04,7.147936e-04,7.581244e-04,7.647589e-04,8.089098e-04,8.418326e-04,8.476954e-04,8.815375e-04,9.058774e-04,9.108316e-04,9.359477e-04,9.532651e-04,9.572309e-04,9.750029e-04,9.866204e-04,9.895620e-04,1.001183e-03,1.008209e-03,1.010122e-03,1.016617e-03,1.019980e-03,1.020888e-03,1.023138e-03,1.023613e-03,1.023556e-03,1.022317e-03,1.020550e-03,1.019582e-03,1.015503e-03,1.012032e-03,1.010217e-03,1.003850e-03,9.991121e-04,9.965175e-04,9.883250e-04,9.826757e-04,9.793697e-04,9.697418e-04,9.634710e-04,9.595234e-04,9.487901e-04,9.421321e-04,9.376113e-04,9.260506e-04,9.191936e-04,9.141663e-04,9.020115e-04,8.951050e-04,8.896349e-04,8.770807e-04,8.702421e-04,8.643896e-04,8.515982e-04,8.449184e-04,8.387403e-04,8.258462e-04,8.193944e-04,8.129437e-04,8.000577e-04,7.938850e-04,7.872108e-04,7.744234e-04,7.685662e-04,7.617137e-04,7.490982e-04,7.435810e-04,7.365915e-04,7.242067e-04,7.190444e-04,7.119556e-04,6.998483e-04,6.950477e-04,6.878939e-04,6.761002e-04,6.716622e-04,6.644741e-04,6.530216e-04,6.489421e-04,6.417475e-04,6.306562e-04,6.269274e-04,6.197511e-04,6.090351e-04,6.056462e-04,5.985103e-04,5.881783e-04,5.851165e-04,5.780404e-04,5.680972e-04,5.653480e-04,5.583490e-04,5.487956e-04,5.463436e-04,5.394366e-04,5.302712e-04,5.281003e-04,5.212985e-04,5.125170e-04,5.106106e-04,5.039253e-04,4.955217e-04,4.938634e-04,4.873043e-04,4.792709e-04,4.778443e-04,4.714196e-04,4.637478e-04,4.625368e-04,4.562533e-04,4.489334e-04,4.479224e-04,4.417857e-04,4.348074e-04,4.339813e-04,4.279960e-04,4.213485e-04,4.206927e-04,4.148622e-04,4.085344e-04,4.080349e-04,4.023621e-04,3.963426e-04,3.959862e-04,3.904729e-04,3.847503e-04,3.845244e-04,3.791718e-04,3.737347e-04,3.736273e-04,3.684360e-04,3.632730e-04,3.534397e-04,3.441060e-04,3.352510e-04,3.268542e-04,3.188957e-04,3.113561e-04,3.042168e-04,2.974595e-04,2.910669e-04,2.850219e-04,2.793085e-04,2.739110e-04,2.688144e-04,2.640042e-04,2.594668e-04,2.551889e-04,2.511578e-04,2.473613e-04,2.437881e-04,2.404268e-04,2.372670e-04,2.342985e-04,2.315118e-04,2.288975e-04,2.264468e-04,2.241514e-04,2.220033e-04,2.199948e-04,2.181187e-04,2.163680e-04,2.147361e-04,2.132167e-04,2.118038e-04,2.104917e-04,2.092749e-04,2.081484e-04,2.071070e-04,2.061463e-04,2.052616e-04,2.044487e-04,2.037037e-04,2.030225e-04,2.024017e-04,2.018377e-04,2.013271e-04,2.008669e-04,2.004541e-04,2.000858e-04,1.997593e-04
0.000000e+00,7.275806e-08,9.416436e-07,9.808524e-07,5.326638e-06,1.645854e-05,1.710886e-05,3.805341e-05,6.381226e-05,6.556155e-05,9.493465e-05,1.206107e-04,1.227384e-04,1.477585e-04,1.677865e-04,1.698709e-04,1.892428e-04,2.041993e-04,2.060962e-04,2.206544e-04,2.315004e-04,2.331289e-04,2.437173e-04,2.512879e-04,2.526021e-04,2.599514e-04,2.649403e-04,2.659190e-04,2.706457e-04,2.736194e-04,2.742587e-04,2.768748e-04,2.782926e-04,2.786012e-04,2.795345e-04,2.797680e-04,2.797630e-04,2.793669e-04,2.787146e-04,2.784188e-04,2.769844e-04,2.756844e-04,2.751236e-04,2.728902e-04,2.711314e-04,2.703330e-04,2.674962e-04,2.654280e-04,2.644196e-04,2.611391e-04,2.588781e-04,2.576871e-04,2.540925e-04,2.517293e-04,2.503815e-04,2.465777e-04,2.441820e-04,2.427020e-04,2.387732e-04,2.363975e-04,2.348082e-04,2.308218e-04,2.285053e-04,2.268274e-04,2.228369e-04,2.206078e-04,2.188606e-04,2.149078e-04,2.127859e-04,2.109865e-04,2.071038e-04,2.051022e-04,2.032660e-04,1.994784e-04,1.976048e-04,1.957455e-04,1.920713e-04,1.903296e-04,1.884592e-04,1.849118e-04,1.833025e-04,1.814316e-04,1.780204e-04,1.765416e-04,1.746795e-04,1.714102e-04,1.700586e-04,1.682132e-04,1.650891e-04,1.638599e-04,1.620380e-04,1.590601e-04,1.579477e-04,1.561552e-04,1.533230e-04,1.523210e-04,1.505629e-04,1.478743e-04,1.469764e-04,1.452566e-04,1.427089e-04,1.419082e-04,1.402302e-04,1.378195e-04,1.371094e-04,1.354758e-04,1.331979e-04,1.325718e-04,1.309848e-04,1.288351e-04,1.282864e-04,1.267476e-04,1.247211e-04,1.242437e-04,1.227543e-04,1.208460e-04,1.204338e-04,1.189947e-04,1.171993e-04,1.168468e-04,1.154584e-04,1.137707e-04,1.134725e-04,1.121350e-04,1.105499e-04,1.103009e-04,1.090143e-04,1.075268e-04,1.073223e-04,1.060861e-04,1.046912e-04,1.045268e-04,1.033408e-04,1.020336e-04,1.019052e-04,1.007686e-04,9.954459e-05,9.944841e-05,9.836044e-05,9.721506e-05,9.714754e-05,9.610736e-05,9.503629e-05,9.499419e-05,9.400082e-05,9.299993e-05,9.298026e-05,9.203263e-05,9.109797e-05,8.933992e-05,8.769903e-05,8.616857e-05,8.474214e-05,8.341364e-05,8.217732e-05,8.102769e-05,7.995957e-05,7.896805e-05,7.804849e-05,7.719648e-05,7.640788e-05,7.567877e-05,7.500544e-05,7.438439e-05,7.381233e-05,7.328614e-05,7.280289e-05,7.235981e-05,7.195430e-05,7.158389e-05,7.124628e-05,7.093928e-05,7.066084e-05,7.040904e-05,7.018205e-05,6.997817e-05,6.979580e-05,6.963341e-05,6.948960e-05,6.936303e-05,6.925244e-05,6.915667e-05,6.907461e-05,6.900523e-05,6.894755e-05,6.890067e-05,6.886373e-05,6.883594e-05,6.881654e-05,6.880484e-05,6.880019e-05,6.880198e-05,6.880963e-05,6.882261e-05,6.884043e-05,6.886261e-05,6.888873e-05,6.891840e-05
0.000000e+00,7.302644e-10,9.592787e-09,1.000842e-08,5.920984e-08,1.967924e-07,2.051092e-07,4.796566e-07,8.173284e-07,8.399241e-07,1.214503e-06,1.540713e-06,1.567918e-06,1.891301e-06,2.156062e-06,2.183982e-06,2.447332e-06,2.656269e-06,2.683182e-06,2.893418e-06,3.055133e-06,3.079871e-06,3.244287e-06,3.366580e-06,3.388321e-06,3.513537e-06,3.603205e-06,3.621403e-06,3.713301e-06,3.776193e-06,3.790523e-06,3.854277e-06,3.895383e-06,3.905690e-06,3.945813e-06,3.969358e-06,3.975621e-06,3.996024e-06,4.005563e-06,4.007862e-06,4.011918e-06,4.010427e-06,4.008915e-06,3.999525e-06,3.989485e-06,3.984368e-06,3.964018e-06,3.947487e-06,3.939006e-06,3.909823e-06,3.888497e-06,3.876919e-06,3.840713e-06,3.815986e-06,3.801588e-06,3.759896e-06,3.732904e-06,3.715967e-06,3.670100e-06,3.641766e-06,3.622572e-06,3.573633e-06,3.544694e-06,3.523516e-06,3.472431e-06,3.443475e-06,3.420574e-06,3.368121e-06,3.339606e-06,3.315233e-06,3.262056e-06,3.234335e-06,3.208726e-06,3.155363e-06,3.128704e-06,3.102078e-06,3.048971e-06,3.023569e-06,2.996130e-06,2.943637e-06,2.919627e-06,2.891564e-06,2.839975e-06,2.817444e-06,2.788928e-06,2.738475e-06,2.717473e-06,2.688660e-06,2.639524e-06,2.620067e-06,2.591099e-06,2.543417e-06,2.525498e-06,2.496503e-06,2.450378e-06,2.433969e-06,2.405060e-06,2.360563e-06,2.345624e-06,2.316900e-06,2.274079e-06,2.260555e-06,2.232106e-06,2.190987e-06,2.178817e-06,2.150722e-06,2.111311e-06,2.100429e-06,2.072754e-06,2.035047e-06,2.025382e-06,1.998185e-06,1.962163e-06,1.953642e-06,1.926973e-06,1.892609e-06,1.885158e-06,1.859060e-06,1.826318e-06,1.819865e-06,1.794372e-06,1.763211e-06,1.757684e-06,1.732824e-06,1.703199e-06,1.698529e-06,1.674323e-06,1.646185e-06,1.642304e-06,1.618771e-06,1.592067e-06,1.588910e-06,1.566062e-06,1.540741e-06,1.538246e-06,1.516091e-06,1.492098e-06,1.490206e-06,1.468749e-06,1.446030e-06,1.444686e-06,1.423927e-06,1.402428e-06,1.401581e-06,1.381519e-06,1.361186e-06,1.360785e-06,1.341416e-06,1.322196e-06,1.285714e-06,1.251239e-06,1.218675e-06,1.187931e-06,1.158915e-06,1.131542e-06,1.105727e-06,1.081391e-06,1.058457e-06,1.036851e-06,1.016503e-06,9.973462e-07,9.793162e-07,9.623523e-07,9.463963e-07,9.313932e-07,9.172905e-07,9.040383e-07,8.915896e-07,8.798994e-07,8.689254e-07,8.586272e-07,8.489668e-07,8.399080e-07,8.314168e-07,8.234609e-07,8.160096e-07,8.090342e-07,8.025074e-07,7.964032e-07,7.906974e-07,7.853670e-07,7.803901e-07,7.757463e-07,7.714162e-07,7.673814e-07,7.636247e-07,7.601298e-07,7.568814e-07,7.538648e-07,7.510665e-07,7.484734e-07,7.460735e-07,7.438551e-07,7.418076e-07,7.399205e-07,7.381844e-07,7.365900e-07,7.351289e-07
0.000000e+00,8.784220e-08,1.973920e-06,2.076787e-06,1.741890e-05,7.100860e-05,7.441462e-05,1.865958e-04,3.203046e-04,3.291867e-04,4.770510e-04,6.074553e-04,6.183979e-04,7.490989e-04,8.568044e-04,8.681927e-04,9.758828e-04,1.061684e-03,1.072761e-03,1.159529e-03,1.226606e-03,1.236898e-03,1.305558e-03,1.356985e-03,1.366167e-03,1.419348e-03,1.457825e-03,1.465686e-03,1.505731e-03,1.533584e-03,1.539999e-03,1.568970e-03,1.588179e-03,1.593091e-03,1.612777e-03,1.625011e-03,1.628413e-03,1.640354e-03,1.647006e-03,1.648929e-03,1.654441e-03,1.656672e-03,1.657171e-03,1.657377e-03,1.656149e-03,1.655298e-03,1.651153e-03,1.647258e-03,1.645144e-03,1.637457e-03,1.631549e-03,1.628264e-03,1.617721e-03,1.610332e-03,1.605973e-03,1.593153e-03,1.584720e-03,1.579383e-03,1.564776e-03,1.555652e-03,1.549433e-03,1.533449e-03,1.523919e-03,1.516910e-03,1.499896e-03,1.490187e-03,1.482478e-03,1.464724e-03,1.455018e-03,1.446692e-03,1.428440e-03,1.418878e-03,1.410016e-03,1.391467e-03,1.382158e-03,1.372834e-03,1.354156e-03,1.345184e-03,1.335466e-03,1.316797e-03,1.308224e-03,1.298177e-03,1.279630e-03,1.271499e-03,1.261181e-03,1.242849e-03,1.235190e-03,1.224654e-03,1.206613e-03,1.199442e-03,1.188739e-03,1.171047e-03,1.164373e-03,1.153547e-03,1.136251e-03,1.130077e-03,1.119168e-03,1.102305e-03,1.096623e-03,1.085669e-03,1.069267e-03,1.064068e-03,1.053102e-03,1.037179e-03,1.032450e-03,1.021502e-03,1.006073e-03,1.001798e-03,9.908946e-04,9.759677e-04,9.721281e-04,9.612936e-04,9.468726e-04,9.434493e-04,9.327050e-04,9.187903e-04,9.157630e-04,9.051279e-04,8.917169e-04,8.890647e-04,8.785559e-04,8.656434e-04,8.633454e-04,8.529776e-04,8.405566e-04,8.385918e-04,8.283781e-04,8.164399e-04,8.147876e-04,8.047395e-04,7.932742e-04,7.919141e-04,7.820414e-04,7.710382e-04,7.699504e-04,7.602617e-04,7.497088e-04,7.488742e-04,7.393767e-04,7.292621e-04,7.286621e-04,7.193620e-04,7.096731e-04,7.092899e-04,7.001922e-04,6.909162e-04,6.907327e-04,6.818418e-04,6.729656e-04,6.559634e-04,6.397009e-04,6.241531e-04,6.092954e-04,5.951035e-04,5.815534e-04,5.686217e-04,5.562857e-04,5.445230e-04,5.333118e-04,5.226311e-04,5.124603e-04,5.027796e-04,4.935697e-04,4.848118e-04,4.764881e-04,4.685810e-04,4.610737e-04,4.539499e-04,4.471938e-04,4.407904e-04,4.347250e-04,4.289836e-04,4.235524e-04,4.184185e-04,4.135693e-04,4.089926e-04,4.046768e-04,4.006106e-04,3.967831e-04,3.931840e-04,3.898031e-04,3.866309e-04,3.836581e-04,3.808757e-04,3.782752e-04,3.758483e-04,3.735870e-04,3.714838e-04,3.695313e-04,3.677223e-04,3.660502e-04,3.645085e-04,3.630907e-04,3.617910e-04,3.606036e-04,3.595229e-04,3.585435e-04,3.576603e-04
0.000000e+00,8.916160e-10,1.468042e-08,1.537547e-08,1.028428e-07,3.413168e-07,3.548506e-07,7.448379e-07,1.132055e-06,1.156201e-06,1.542863e-06,1.870443e-06,1.897648e-06,2.220936e-06,2.486362e-06,2.514424e-06,2.779992e-06,2.992066e-06,3.019488e-06,3.234687e-06,3.401619e-06,3.427283e-06,3.598885e-06,3.727926e-06,3.751020e-06,3.885127e-06,3.982597e-06,4.002563e-06,4.104600e-06,4.175944e-06,4.192428e-06,4.267162e-06,4.317035e-06,4.329840e-06,4.381433e-06,4.413787e-06,4.422842e-06,4.454907e-06,4.473079e-06,4.478407e-06,4.494069e-06,4.500873e-06,4.502567e-06,4.504526e-06,4.502319e-06,4.500526e-06,4.491107e-06,4.481862e-06,4.476767e-06,4.457968e-06,4.443329e-06,4.435141e-06,4.408680e-06,4.390010e-06,4.378954e-06,4.346302e-06,4.324726e-06,4.311037e-06,4.273449e-06,4.249894e-06,4.233806e-06,4.192355e-06,4.167576e-06,4.149323e-06,4.104921e-06,4.079529e-06,4.059340e-06,4.012760e-06,3.987248e-06,3.965342e-06,3.917238e-06,3.891999e-06,3.868586e-06,3.819510e-06,3.794851e-06,3.770128e-06,3.720545e-06,3.696703e-06,3.670858e-06,3.621156e-06,3.598310e-06,3.571518e-06,3.522017e-06,3.500298e-06,3.472721e-06,3.423688e-06,3.403186e-06,3.374973e-06,3.326626e-06,3.307400e-06,3.278690e-06,3.231205e-06,3.213286e-06,3.184207e-06,3.137726e-06,3.121125e-06,3.091791e-06,3.046426e-06,3.031136e-06,3.001653e-06,2.957489e-06,2.943488e-06,2.913951e-06,2.871053e-06,2.858310e-06,2.828806e-06,2.787220e-06,2.775695e-06,2.746301e-06,2.706056e-06,2.695704e-06,2.666490e-06,2.627604e-06,2.618373e-06,2.589401e-06,2.551880e-06,2.543717e-06,2.515042e-06,2.478884e-06,2.471734e-06,2.443405e-06,2.408599e-06,2.402406e-06,2.374465e-06,2.340995e-06,2.335702e-06,2.308186e-06,2.276032e-06,2.271582e-06,2.244525e-06,2.213659e-06,2.209998e-06,2.183427e-06,2.153822e-06,2.150896e-06,2.124835e-06,2.096459e-06,2.094215e-06,2.068685e-06,2.041504e-06,2.039892e-06,2.014909e-06,1.988890e-06,1.987861e-06,1.963438e-06,1.938545e-06,1.938053e-06,1.914201e-06,1.890398e-06,1.844826e-06,1.801267e-06,1.759650e-06,1.719906e-06,1.681965e-06,1.645760e-06,1.611225e-06,1.578296e-06,1.546908e-06,1.517001e-06,1.488514e-06,1.461390e-06,1.435572e-06,1.411006e-06,1.387640e-06,1.365423e-06,1.344306e-06,1.324241e-06,1.305184e-06,1.287091e-06,1.269919e-06,1.253628e-06,1.238180e-06,1.223536e-06,1.209662e-06,1.196522e-06,1.184083e-06,1.172315e-06,1.161186e-06,1.150667e-06,1.140731e-06,1.131350e-06,1.122498e-06,1.114152e-06,1.106288e-06,1.098883e-06,1.091915e-06,1.085363e-06,1.079209e-06,1.073432e-06,1.068015e-06,1.062941e-06,1.058192e-06,1.053753e-06,1.049608e-06,1.045743e-06,1.042145e-06,1.038799e-06,1.035693e-06
0.000000e+00,4.385217e-08,6.829234e-07,7.139720e-07,4.770791e-06,1.817646e-05,1.904864e-05,5.008072e-05,9.133698e-05,9.416176e-05,1.418137e-04,1.844499e-04,1.880528e-04,2.314734e-04,2.679179e-04,2.718135e-04,3.091128e-04,3.395136e-04,3.434889e-04,3.750792e-04,4.001257e-04,4.040240e-04,4.304619e-04,4.508318e-04,4.545287e-04,4.763561e-04,4.926736e-04,4.960723e-04,5.138007e-04,5.266326e-04,5.296606e-04,5.437653e-04,5.536188e-04,5.562238e-04,5.671398e-04,5.744656e-04,5.766125e-04,5.847357e-04,5.899309e-04,5.915988e-04,5.972862e-04,6.006981e-04,6.018778e-04,6.054492e-04,6.073807e-04,6.080720e-04,6.098136e-04,6.105271e-04,6.107376e-04,6.109041e-04,6.106266e-04,6.103697e-04,6.091876e-04,6.081145e-04,6.074081e-04,6.050785e-04,6.033775e-04,6.022432e-04,5.989440e-04,5.967582e-04,5.952201e-04,5.911086e-04,5.885600e-04,5.866440e-04,5.818590e-04,5.790508e-04,5.767839e-04,5.714474e-04,5.684665e-04,5.658763e-04,5.600958e-04,5.570150e-04,5.541292e-04,5.479987e-04,5.448784e-04,5.417247e-04,5.353265e-04,5.322165e-04,5.288219e-04,5.222276e-04,5.191685e-04,5.155593e-04,5.088315e-04,5.058559e-04,5.020576e-04,4.952501e-04,4.923838e-04,4.884207e-04,4.815803e-04,4.788433e-04,4.747388e-04,4.679054e-04,4.653126e-04,4.610887e-04,4.542966e-04,4.518589e-04,4.475363e-04,4.408146e-04,4.385391e-04,4.341375e-04,4.275106e-04,4.254014e-04,4.209391e-04,4.144275e-04,4.124864e-04,4.079803e-04,4.016011e-04,3.998276e-04,3.952934e-04,3.890603e-04,3.874523e-04,3.829047e-04,3.768289e-04,3.753828e-04,3.708351e-04,3.649252e-04,3.636365e-04,3.591010e-04,3.533637e-04,3.522268e-04,3.477146e-04,3.421547e-04,3.411634e-04,3.366847e-04,3.313053e-04,3.304531e-04,3.260170e-04,3.208201e-04,3.200998e-04,3.157146e-04,3.107007e-04,3.101052e-04,3.057782e-04,3.009470e-04,3.004689e-04,2.962067e-04,2.915569e-04,2.911889e-04,2.869972e-04,2.825269e-04,2.822616e-04,2.781455e-04,2.738521e-04,2.736822e-04,2.696460e-04,2.655265e-04,2.654450e-04,2.614925e-04,2.575432e-04,2.499697e-04,2.427164e-04,2.357750e-04,2.291367e-04,2.227927e-04,2.167336e-04,2.109505e-04,2.054338e-04,2.001745e-04,1.951632e-04,1.903910e-04,1.858487e-04,1.815275e-04,1.774188e-04,1.735141e-04,1.698050e-04,1.662836e-04,1.629420e-04,1.597725e-04,1.567678e-04,1.539207e-04,1.512244e-04,1.486722e-04,1.462575e-04,1.439743e-04,1.418166e-04,1.397785e-04,1.378547e-04,1.360397e-04,1.343284e-04,1.327161e-04,1.311980e-04,1.297696e-04,1.284265e-04,1.271648e-04,1.259803e-04,1.248694e-04,1.238285e-04,1.228540e-04,1.219427e-04,1.210914e-04,1.202971e-04,1.195569e-04,1.188681e-04,1.182280e-04,1.176341e-04,1.170841e-04,1.165757e-04,1.161067e-04
0.000000e+00,1.321528e-06,2.582842e-05,2.707111e-05,1.959931e-04,7.934295e-04,8.340512e-04,2.428270e-03,5.090271e-03,5.298811e-03,9.376470e-03,1.395295e-02,1.438004e-02,2.000998e-02,2.539881e-02,2.600904e-02,3.216959e-02,3.759405e-02,3.832858e-02,4.436052e-02,4.937359e-02,5.017088e-02,5.569051e-02,6.006629e-02,6.087086e-02,6.568003e-02,6.933322e-02,7.009948e-02,7.412126e-02,7.705234e-02,7.774568e-02,8.097948e-02,8.323800e-02,8.383424e-02,8.632506e-02,8.798543e-02,8.846952e-02,9.028683e-02,9.143282e-02,9.179709e-02,9.302073e-02,9.373574e-02,9.397815e-02,9.468939e-02,9.505122e-02,9.517390e-02,9.545045e-02,9.552885e-02,9.553687e-02,9.545001e-02,9.530548e-02,9.520568e-02,9.481867e-02,9.450248e-02,9.430271e-02,9.367059e-02,9.322555e-02,9.293410e-02,9.210417e-02,9.156557e-02,9.119085e-02,9.020344e-02,8.960017e-02,8.915045e-02,8.803976e-02,8.739529e-02,8.687860e-02,8.567360e-02,8.500685e-02,8.443088e-02,8.315608e-02,8.248224e-02,8.185437e-02,8.053052e-02,7.986167e-02,7.918890e-02,7.783356e-02,7.717922e-02,7.646819e-02,7.509621e-02,7.446375e-02,7.372075e-02,7.234468e-02,7.173971e-02,7.097065e-02,6.960107e-02,6.902771e-02,6.823816e-02,6.688393e-02,6.634510e-02,6.554025e-02,6.420878e-02,6.370635e-02,6.289106e-02,6.158846e-02,6.112347e-02,6.030224e-02,5.903351e-02,5.860630e-02,5.778327e-02,5.655244e-02,5.616280e-02,5.534179e-02,5.415202e-02,5.379926e-02,5.298376e-02,5.183752e-02,5.152058e-02,5.071375e-02,4.961284e-02,4.933039e-02,4.853510e-02,4.748079e-02,4.723126e-02,4.645010e-02,4.544318e-02,4.522485e-02,4.446012e-02,4.350098e-02,4.331203e-02,4.256578e-02,4.165449e-02,4.149299e-02,4.076704e-02,3.990336e-02,3.976737e-02,3.906332e-02,3.824679e-02,3.813434e-02,3.745359e-02,3.668355e-02,3.659269e-02,3.593645e-02,3.521207e-02,3.514087e-02,3.451017e-02,3.383051e-02,3.377709e-02,3.317282e-02,3.253682e-02,3.249934e-02,3.192224e-02,3.132878e-02,3.130548e-02,3.075615e-02,3.020404e-02,3.019320e-02,2.967214e-02,2.916014e-02,2.820384e-02,2.732180e-02,2.651151e-02,2.577041e-02,2.509596e-02,2.448560e-02,2.393678e-02,2.344695e-02,2.301356e-02,2.263409e-02,2.230601e-02,2.202680e-02,2.179396e-02,2.160498e-02,2.145738e-02,2.134865e-02,2.127633e-02,2.123794e-02,2.123104e-02,2.125319e-02,2.130198e-02,2.137502e-02,2.146997e-02,2.158449e-02,2.171633e-02,2.186326e-02,2.202312e-02,2.219383e-02,2.237335e-02,2.255975e-02,2.275116e-02,2.294583e-02,2.314209e-02,2.333837e-02,2.353322e-02,2.372529e-02,2.391333e-02,2.409623e-02,2.427296e-02,2.444264e-02,2.460448e-02,2.475780e-02,2.490204e-02,2.503674e-02,2.516152e-02,2.527613e-02,2.538038e-02,2.547420e-02,2.555758e-02
0.000000e+00,8.986438e-09,1.308363e-07,1.368300e-07,8.982130e-07,3.089231e-06,3.217528e-06,7.048169e-06,1.105690e-05,1.131265e-05,1.549590e-05,1.917218e-05,1.948327e-05,2.325407e-05,2.646221e-05,2.680794e-05,3.014931e-05,3.291843e-05,3.328386e-05,3.621775e-05,3.858538e-05,3.895751e-05,4.150992e-05,4.351431e-05,4.388203e-05,4.608104e-05,4.776017e-05,4.811423e-05,4.998888e-05,5.137930e-05,5.171220e-05,5.329130e-05,5.442734e-05,5.473310e-05,5.604436e-05,5.695765e-05,5.723162e-05,5.830118e-05,5.902048e-05,5.925915e-05,6.011136e-05,6.066263e-05,6.086344e-05,6.152083e-05,6.192743e-05,6.208869e-05,6.257197e-05,6.285473e-05,6.297544e-05,6.330363e-05,6.348112e-05,6.356089e-05,6.375137e-05,6.384008e-05,6.387905e-05,6.394771e-05,6.396223e-05,6.396097e-05,6.392227e-05,6.387549e-05,6.383491e-05,6.370201e-05,6.360525e-05,6.352656e-05,6.331142e-05,6.317461e-05,6.305928e-05,6.277273e-05,6.260455e-05,6.245422e-05,6.210608e-05,6.191408e-05,6.173053e-05,6.132968e-05,6.112040e-05,6.090554e-05,6.046001e-05,6.023909e-05,5.999489e-05,5.951191e-05,5.928418e-05,5.901268e-05,5.849875e-05,5.826835e-05,5.797159e-05,5.743258e-05,5.720297e-05,5.688302e-05,5.632415e-05,5.609827e-05,5.575716e-05,5.518315e-05,5.496341e-05,5.460317e-05,5.401819e-05,5.380657e-05,5.342917e-05,5.283697e-05,5.263505e-05,5.224243e-05,5.164632e-05,5.145536e-05,5.104938e-05,5.045230e-05,5.027324e-05,4.985571e-05,4.926024e-05,4.909378e-05,4.866643e-05,4.807484e-05,4.792145e-05,4.748595e-05,4.690023e-05,4.676018e-05,4.631811e-05,4.573999e-05,4.561338e-05,4.516625e-05,4.459723e-05,4.448402e-05,4.403325e-05,4.347462e-05,4.337465e-05,4.292159e-05,4.237443e-05,4.228744e-05,4.183336e-05,4.129860e-05,4.122424e-05,4.077033e-05,4.024872e-05,4.018659e-05,3.973394e-05,3.922613e-05,3.917573e-05,3.872540e-05,3.823187e-05,3.819270e-05,3.774564e-05,3.726679e-05,3.723829e-05,3.679538e-05,3.633149e-05,3.631309e-05,3.587516e-05,3.542642e-05,3.541753e-05,3.498532e-05,3.455186e-05,3.371621e-05,3.291057e-05,3.213484e-05,3.138880e-05,3.067215e-05,2.998454e-05,2.932551e-05,2.869458e-05,2.809122e-05,2.751484e-05,2.696482e-05,2.644053e-05,2.594130e-05,2.546645e-05,2.501528e-05,2.458708e-05,2.418113e-05,2.379673e-05,2.343314e-05,2.308965e-05,2.276554e-05,2.246011e-05,2.217265e-05,2.190247e-05,2.164888e-05,2.141121e-05,2.118880e-05,2.098100e-05,2.078717e-05,2.060669e-05,2.043895e-05,2.028337e-05,2.013935e-05,2.000635e-05,1.988381e-05,1.977121e-05,1.966802e-05,1.957376e-05,1.948794e-05,1.941008e-05,1.933975e-05,1.927650e-05,1.921992e-05,1.916959e-05,1.912514e-05,1.908619e-05,1.905237e-05,1.902335e-05,1.899879e-05
0.000000e+00,1.968924e-08,2.820245e-07,2.942879e-07,1.679391e-06,5.221586e-06,5.427276e-06,1.197348e-05,1.979642e-05,2.031955e-05,2.904905e-05,3.678005e-05,3.743150e-05,4.526656e-05,5.182467e-05,5.252479e-05,5.921969e-05,6.466465e-05,6.537583e-05,7.102040e-05,7.548648e-05,7.618080e-05,8.088387e-05,8.449952e-05,8.515488e-05,8.901882e-05,9.190055e-05,9.249996e-05,9.562156e-05,9.787494e-05,9.840584e-05,1.008739e-04,1.025925e-04,1.030459e-04,1.049407e-04,1.062067e-04,1.065766e-04,1.079705e-04,1.088558e-04,1.091386e-04,1.100963e-04,1.106636e-04,1.108579e-04,1.114371e-04,1.117410e-04,1.118468e-04,1.120991e-04,1.121867e-04,1.122055e-04,1.121767e-04,1.120886e-04,1.120229e-04,1.117538e-04,1.115251e-04,1.113782e-04,1.109047e-04,1.105655e-04,1.103413e-04,1.096954e-04,1.092713e-04,1.089742e-04,1.081843e-04,1.076970e-04,1.073318e-04,1.064226e-04,1.058907e-04,1.054621e-04,1.044556e-04,1.038947e-04,1.034079e-04,1.023234e-04,1.017463e-04,1.012063e-04,1.000606e-04,9.947824e-05,9.889006e-05,9.769803e-05,9.711919e-05,9.648776e-05,9.526225e-05,9.469417e-05,9.402430e-05,9.277651e-05,9.222499e-05,9.152130e-05,9.026094e-05,8.973055e-05,8.899750e-05,8.773294e-05,8.722721e-05,8.646904e-05,8.520747e-05,8.472901e-05,8.394977e-05,8.269734e-05,8.224801e-05,8.145149e-05,8.021343e-05,7.979445e-05,7.898424e-05,7.776493e-05,7.737699e-05,7.655642e-05,7.535955e-05,7.500287e-05,7.417507e-05,7.300366e-05,7.267810e-05,7.184595e-05,7.070249e-05,7.040759e-05,6.957377e-05,6.846023e-05,6.819529e-05,6.736226e-05,6.628019e-05,6.604430e-05,6.521432e-05,6.416489e-05,6.395699e-05,6.313211e-05,6.211615e-05,6.193508e-05,6.111716e-05,6.013523e-05,5.997971e-05,5.917044e-05,5.822283e-05,5.809154e-05,5.729244e-05,5.637925e-05,5.627083e-05,5.548325e-05,5.460439e-05,5.451744e-05,5.374259e-05,5.289780e-05,5.283094e-05,5.206989e-05,5.125877e-05,5.121064e-05,5.046431e-05,4.968637e-05,4.965559e-05,4.892480e-05,4.817945e-05,4.816470e-05,4.745013e-05,4.673669e-05,4.537017e-05,4.406363e-05,4.281551e-05,4.162414e-05,4.048785e-05,3.940490e-05,3.837357e-05,3.739211e-05,3.645876e-05,3.557181e-05,3.472952e-05,3.393021e-05,3.317221e-05,3.245388e-05,3.177363e-05,3.112988e-05,3.052111e-05,2.994586e-05,2.940266e-05,2.889013e-05,2.840692e-05,2.795172e-05,2.752326e-05,2.712033e-05,2.674174e-05,2.638637e-05,2.605312e-05,2.574094e-05,2.544882e-05,2.517580e-05,2.492094e-05,2.468335e-05,2.446218e-05,2.425659e-05,2.406581e-05,2.388909e-05,2.372569e-05,2.357493e-05,2.343616e-05,2.330873e-05,2.319206e-05,2.308555e-05,2.298866e-05,2.290087e-05,2.282167e-05,2.275059e-05,2.268716e-05,2.263096e-05,2.258157e-05
0.000000e+00,4.317230e-08,6.555074e-07,6.850071e-07,4.366054e-06,1.545017e-05,1.614166e-05,3.989360e-05,7.109386e-05,7.324515e-05,1.097157e-04,1.423300e-04,1.450764e-04,1.780085e-04,2.053823e-04,2.082925e-04,2.359933e-04,2.583369e-04,2.612421e-04,2.841836e-04,3.021778e-04,3.049617e-04,3.237156e-04,3.380022e-04,3.405785e-04,3.556770e-04,3.668255e-04,3.691310e-04,3.810539e-04,3.895618e-04,3.915525e-04,4.007276e-04,4.070261e-04,4.086733e-04,4.154786e-04,4.199391e-04,4.212264e-04,4.259949e-04,4.289362e-04,4.298571e-04,4.328816e-04,4.345767e-04,4.351325e-04,4.366697e-04,4.373514e-04,4.375495e-04,4.378244e-04,4.376909e-04,4.375433e-04,4.367522e-04,4.359716e-04,4.354938e-04,4.338082e-04,4.325225e-04,4.317326e-04,4.293019e-04,4.276308e-04,4.265485e-04,4.235026e-04,4.215466e-04,4.201926e-04,4.166446e-04,4.144875e-04,4.128832e-04,4.089310e-04,4.066424e-04,4.048092e-04,4.005375e-04,3.981750e-04,3.961343e-04,3.916163e-04,3.892269e-04,3.869995e-04,3.822983e-04,3.799203e-04,3.775263e-04,3.726961e-04,3.703603e-04,3.678191e-04,3.629062e-04,3.606369e-04,3.579671e-04,3.530110e-04,3.508271e-04,3.480463e-04,3.430807e-04,3.409967e-04,3.381214e-04,3.331747e-04,3.312009e-04,3.282467e-04,3.233429e-04,3.214868e-04,3.184682e-04,3.136271e-04,3.118934e-04,3.088238e-04,3.040621e-04,3.024531e-04,2.993452e-04,2.946762e-04,2.931927e-04,2.900579e-04,2.854927e-04,2.841338e-04,2.809827e-04,2.765300e-04,2.752937e-04,2.721361e-04,2.678025e-04,2.666859e-04,2.635306e-04,2.593214e-04,2.583206e-04,2.551757e-04,2.510945e-04,2.502053e-04,2.470782e-04,2.431273e-04,2.423450e-04,2.392421e-04,2.354230e-04,2.347426e-04,2.316700e-04,2.279831e-04,2.273994e-04,2.243623e-04,2.208074e-04,2.203150e-04,2.173182e-04,2.138943e-04,2.134878e-04,2.105355e-04,2.072412e-04,2.069153e-04,2.040110e-04,2.008445e-04,2.005939e-04,1.977409e-04,1.946998e-04,1.945193e-04,1.917205e-04,1.888022e-04,1.886867e-04,1.859444e-04,1.831462e-04,1.830909e-04,1.804070e-04,1.777260e-04,1.725860e-04,1.676649e-04,1.629560e-04,1.584532e-04,1.541497e-04,1.500390e-04,1.461147e-04,1.423703e-04,1.387994e-04,1.353957e-04,1.321530e-04,1.290654e-04,1.261268e-04,1.233316e-04,1.206741e-04,1.181488e-04,1.157504e-04,1.134739e-04,1.113141e-04,1.092663e-04,1.073259e-04,1.054883e-04,1.037491e-04,1.021043e-04,1.005496e-04,9.908128e-05,9.769551e-05,9.638871e-05,9.515737e-05,9.399815e-05,9.290784e-05,9.188333e-05,9.092166e-05,9.001995e-05,8.917547e-05,8.838558e-05,8.764774e-05,8.695952e-05,8.631859e-05,8.572271e-05,8.516972e-05,8.465757e-05,8.418429e-05,8.374796e-05,8.334677e-05,8.297899e-05,8.264293e-05,8.233699e-05,8.205965e-05
0.000000e+00,1.347795e-05,3.317948e-04,3.494704e-04,3.087263e-03,1.377412e-02,1.451266e-02,4.319133e-02,8.909886e-02,9.262132e-02,1.604744e-01,2.358174e-01,2.428519e-01,3.360536e-01,4.265405e-01,4.368869e-01,5.426638e-01,6.380496e-01,6.511457e-01,7.604832e-01,8.540356e-01,8.691625e-01,9.759572e-01,1.063485e+00,1.079887e+00,1.180183e+00,1.259294e+00,1.276253e+00,1.367656e+00,1.437203e+00,1.454078e+00,1.535313e+00,1.594996e+00,1.611241e+00,1.681818e+00,1.731883e+00,1.747056e+00,1.807018e+00,1.848051e+00,1.861805e+00,1.911549e+00,1.944329e+00,1.956406e+00,1.996547e+00,2.021939e+00,2.032158e+00,2.063435e+00,2.082328e+00,2.090575e+00,2.113783e+00,2.127043e+00,2.133258e+00,2.149203e+00,2.157647e+00,2.161816e+00,2.171289e+00,2.175669e+00,2.177811e+00,2.181566e+00,2.182564e+00,2.182729e+00,2.181471e+00,2.179697e+00,2.177956e+00,2.172339e+00,2.168332e+00,2.164771e+00,2.155395e+00,2.149628e+00,2.144346e+00,2.131755e+00,2.124639e+00,2.117745e+00,2.102432e+00,2.094322e+00,2.085927e+00,2.068336e+00,2.059536e+00,2.049757e+00,2.030285e+00,2.021052e+00,2.010007e+00,1.989009e+00,1.979561e+00,1.967367e+00,1.945157e+00,1.935677e+00,1.922449e+00,1.899309e+00,1.889945e+00,1.875797e+00,1.851973e+00,1.842849e+00,1.827891e+00,1.803601e+00,1.794815e+00,1.779152e+00,1.754588e+00,1.746217e+00,1.729951e+00,1.705280e+00,1.697384e+00,1.680612e+00,1.655980e+00,1.648603e+00,1.631417e+00,1.606950e+00,1.600121e+00,1.582609e+00,1.558418e+00,1.552155e+00,1.534399e+00,1.510576e+00,1.504890e+00,1.486968e+00,1.463592e+00,1.458483e+00,1.440467e+00,1.417607e+00,1.413068e+00,1.395027e+00,1.372738e+00,1.368759e+00,1.350754e+00,1.329084e+00,1.325647e+00,1.307738e+00,1.286724e+00,1.283809e+00,1.266050e+00,1.245723e+00,1.243307e+00,1.225748e+00,1.206130e+00,1.204189e+00,1.186875e+00,1.167985e+00,1.166489e+00,1.149463e+00,1.131312e+00,1.130235e+00,1.113534e+00,1.096131e+00,1.095442e+00,1.079102e+00,1.062448e+00,1.062119e+00,1.046170e+00,1.030267e+00,9.998814e-01,9.709511e-01,9.434611e-01,9.173919e-01,8.927203e-01,8.694201e-01,8.474621e-01,8.268150e-01,8.074453e-01,7.893175e-01,7.723949e-01,7.566393e-01,7.420116e-01,7.284717e-01,7.159787e-01,7.044916e-01,6.939685e-01,6.843676e-01,6.756469e-01,6.677642e-01,6.606779e-01,6.543461e-01,6.487277e-01,6.437818e-01,6.394682e-01,6.357471e-01,6.325799e-01,6.299283e-01,6.277552e-01,6.260245e-01,6.247010e-01,6.237507e-01,6.231407e-01,6.228394e-01,6.228164e-01,6.230426e-01,6.234902e-01,6.241328e-01,6.249454e-01,6.259042e-01,6.269869e-01,6.281727e-01,6.294420e-01,6.307765e-01,6.321595e-01,6.335752e-01,6.350096e-01,6.364495e-01,6.378831e-01
0.000000e+00,4.743952e-09,1.287272e-07,1.354346e-07,9.290765e-07,2.401170e-06,2.466258e-06,4.038190e-06,5.372329e-06,5.452472e-06,6.703475e-06,7.721676e-06,7.804589e-06,8.770016e-06,9.533737e-06,9.612851e-06,1.034495e-05,1.090615e-05,1.097705e-05,1.151896e-05,1.191968e-05,1.197958e-05,1.236707e-05,1.264151e-05,1.268887e-05,1.295172e-05,1.312761e-05,1.316179e-05,1.332465e-05,1.342437e-05,1.344536e-05,1.352851e-05,1.356998e-05,1.357825e-05,1.359833e-05,1.359581e-05,1.359208e-05,1.356255e-05,1.352733e-05,1.351248e-05,1.344434e-05,1.338535e-05,1.336036e-05,1.326253e-05,1.318677e-05,1.315264e-05,1.303232e-05,1.294528e-05,1.290300e-05,1.276600e-05,1.267194e-05,1.262248e-05,1.247348e-05,1.237568e-05,1.231994e-05,1.216269e-05,1.206367e-05,1.200248e-05,1.183998e-05,1.174163e-05,1.167579e-05,1.151042e-05,1.141417e-05,1.134436e-05,1.117803e-05,1.108489e-05,1.101178e-05,1.084595e-05,1.075668e-05,1.068083e-05,1.051668e-05,1.043178e-05,1.035371e-05,1.019213e-05,1.011191e-05,1.003209e-05,9.873757e-06,9.798398e-06,9.717249e-06,9.562676e-06,9.492248e-06,9.410131e-06,9.259693e-06,9.194185e-06,9.111426e-06,8.965384e-06,8.904721e-06,8.821610e-06,8.680137e-06,8.624198e-06,8.540990e-06,8.404187e-06,8.352819e-06,8.269739e-06,8.137650e-06,8.090676e-06,8.007921e-06,7.880547e-06,7.837775e-06,7.755520e-06,7.632826e-06,7.594055e-06,7.512452e-06,7.394378e-06,7.359401e-06,7.278584e-06,7.165046e-06,7.133657e-06,7.053741e-06,6.944643e-06,6.916635e-06,6.837723e-06,6.732954e-06,6.708126e-06,6.630305e-06,6.529747e-06,6.507902e-06,6.431249e-06,6.334778e-06,6.315725e-06,6.240304e-06,6.147794e-06,6.131349e-06,6.057216e-06,5.968538e-06,5.954524e-06,5.881727e-06,5.796751e-06,5.784999e-06,5.713577e-06,5.632174e-06,5.622523e-06,5.552509e-06,5.474552e-06,5.466849e-06,5.398269e-06,5.323631e-06,5.317730e-06,5.250606e-06,5.179165e-06,5.174928e-06,5.109276e-06,5.040910e-06,5.038207e-06,4.974038e-06,4.908631e-06,4.907337e-06,4.844660e-06,4.782097e-06,4.662269e-06,4.547645e-06,4.438020e-06,4.333198e-06,4.232990e-06,4.137212e-06,4.045688e-06,3.958248e-06,3.874727e-06,3.794968e-06,3.718819e-06,3.646133e-06,3.576770e-06,3.510594e-06,3.447475e-06,3.387288e-06,3.329913e-06,3.275233e-06,3.223139e-06,3.173522e-06,3.126281e-06,3.081317e-06,3.038535e-06,2.997844e-06,2.959157e-06,2.922390e-06,2.887461e-06,2.854295e-06,2.822815e-06,2.792952e-06,2.764635e-06,2.737800e-06,2.712383e-06,2.688322e-06,2.665561e-06,2.644042e-06,2.623713e-06,2.604520e-06,2.586415e-06,2.569350e-06,2.553279e-06,2.538159e-06,2.523946e-06,2.510602e-06,2.498086e-06,2.486362e-06,2.475393e-06,2.465146e-06,2.455588e-06
0.000000e+00,7.634854e-06,1.716208e-04,1.804750e-04,1.517479e-03,6.755961e-03,7.122447e-03,2.176757e-02,4.638486e-02,4.831294e-02,8.610867e-02,1.289863e-01,1.330208e-01,1.868154e-01,2.394676e-01,2.455066e-01,3.074030e-01,3.633924e-01,3.710882e-01,4.353889e-01,4.904412e-01,4.993431e-01,5.621708e-01,6.136144e-01,6.232473e-01,6.820814e-01,7.283851e-01,7.382971e-01,7.916154e-01,8.320496e-01,8.418400e-01,8.888435e-01,9.232234e-01,9.325560e-01,9.729552e-01,1.001452e+00,1.010058e+00,1.043912e+00,1.066915e+00,1.074591e+00,1.102188e+00,1.120209e+00,1.126810e+00,1.148577e+00,1.162183e+00,1.167616e+00,1.184057e+00,1.193823e+00,1.198037e+00,1.209690e+00,1.216172e+00,1.219152e+00,1.226554e+00,1.230272e+00,1.232028e+00,1.235700e+00,1.237125e+00,1.237692e+00,1.238121e+00,1.237676e+00,1.237101e+00,1.234739e+00,1.232796e+00,1.231139e+00,1.226396e+00,1.223276e+00,1.220604e+00,1.213851e+00,1.209833e+00,1.206217e+00,1.197782e+00,1.193103e+00,1.188618e+00,1.178793e+00,1.173653e+00,1.168373e+00,1.157417e+00,1.151985e+00,1.145982e+00,1.134121e+00,1.128536e+00,1.121884e+00,1.109315e+00,1.103692e+00,1.096460e+00,1.083357e+00,1.077789e+00,1.070044e+00,1.056555e+00,1.051118e+00,1.042924e+00,1.029180e+00,1.023933e+00,1.015350e+00,1.001462e+00,9.964520e-01,9.875380e-01,9.736012e-01,9.688633e-01,9.596718e-01,9.457687e-01,9.413282e-01,9.319095e-01,9.181101e-01,9.139842e-01,9.043854e-01,8.907490e-01,8.869483e-01,8.772133e-01,8.637897e-01,8.603192e-01,8.504886e-01,8.373195e-01,8.341795e-01,8.242911e-01,8.114111e-01,8.085981e-01,7.986866e-01,7.861240e-01,7.836314e-01,7.737290e-01,7.615066e-01,7.593253e-01,7.494615e-01,7.375975e-01,7.357164e-01,7.259183e-01,7.144268e-01,7.128331e-01,7.031255e-01,6.920168e-01,6.906968e-01,6.811025e-01,6.703840e-01,6.693230e-01,6.598625e-01,6.495389e-01,6.487216e-01,6.394138e-01,6.294874e-01,6.288982e-01,6.197600e-01,6.102313e-01,6.098543e-01,6.009010e-01,5.917686e-01,5.915880e-01,5.828334e-01,5.740946e-01,5.573667e-01,5.413950e-01,5.261682e-01,5.116735e-01,4.978969e-01,4.848229e-01,4.724356e-01,4.607180e-01,4.496523e-01,4.392205e-01,4.294040e-01,4.201837e-01,4.115406e-01,4.034551e-01,3.959077e-01,3.888787e-01,3.823483e-01,3.762966e-01,3.707041e-01,3.655510e-01,3.608178e-01,3.564850e-01,3.525335e-01,3.489443e-01,3.456984e-01,3.427776e-01,3.401634e-01,3.378381e-01,3.357842e-01,3.339845e-01,3.324223e-01,3.310813e-01,3.299457e-01,3.290001e-01,3.282297e-01,3.276202e-01,3.271576e-01,3.268288e-01,3.266211e-01,3.265222e-01,3.265205e-01,3.266051e-01,3.267654e-01,3.269917e-01,3.272745e-01,3.276052e-01,3.279755e-01,3.283778e-01,3.288051e-01
0.000000e+00,8.713956e-10,9.374785e-09,9.748159e-09,5.244951e-08,1.764493e-07,1.842640e-07,4.635391e-07,8.666927e-07,8.960247e-07,1.418476e-06,1.913631e-06,1.956045e-06,2.469788e-06,2.901570e-06,2.947646e-06,3.387517e-06,3.743839e-06,3.790261e-06,4.157574e-06,4.446577e-06,4.491362e-06,4.793556e-06,5.024368e-06,5.066047e-06,5.310662e-06,5.491678e-06,5.529155e-06,5.723201e-06,5.861912e-06,5.894397e-06,6.044260e-06,6.147270e-06,6.174226e-06,6.285658e-06,6.358744e-06,6.379840e-06,6.457986e-06,6.506166e-06,6.521241e-06,6.570684e-06,6.598305e-06,6.607334e-06,6.632141e-06,6.642948e-06,6.646014e-06,6.649803e-06,6.647029e-06,6.644307e-06,6.630274e-06,6.616681e-06,6.608410e-06,6.579371e-06,6.557309e-06,6.543778e-06,6.502210e-06,6.473678e-06,6.455212e-06,6.403293e-06,6.369979e-06,6.346929e-06,6.286567e-06,6.249889e-06,6.222621e-06,6.155483e-06,6.116627e-06,6.085514e-06,6.013055e-06,5.973003e-06,5.938421e-06,5.861906e-06,5.821467e-06,5.783785e-06,5.704311e-06,5.664142e-06,5.623722e-06,5.542236e-06,5.502865e-06,5.460057e-06,5.377374e-06,5.339219e-06,5.294361e-06,5.211179e-06,5.174564e-06,5.127976e-06,5.044889e-06,5.010057e-06,4.962043e-06,4.879553e-06,4.846681e-06,4.797525e-06,4.716056e-06,4.685262e-06,4.635233e-06,4.555135e-06,4.526492e-06,4.475836e-06,4.397400e-06,4.370939e-06,4.319886e-06,4.243348e-06,4.219070e-06,4.167832e-06,4.093379e-06,4.071257e-06,4.020027e-06,3.947807e-06,3.927792e-06,3.876747e-06,3.806871e-06,3.788899e-06,3.738198e-06,3.670745e-06,3.654739e-06,3.604525e-06,3.539549e-06,3.525422e-06,3.475824e-06,3.413354e-06,3.401011e-06,3.352143e-06,3.292190e-06,3.281532e-06,3.233495e-06,3.176052e-06,3.166978e-06,3.119859e-06,3.064906e-06,3.057312e-06,3.011188e-06,2.958693e-06,2.952475e-06,2.907411e-06,2.857331e-06,2.852389e-06,2.808440e-06,2.760724e-06,2.756957e-06,2.714170e-06,2.668761e-06,2.666072e-06,2.624483e-06,2.581319e-06,2.579615e-06,2.539252e-06,2.498266e-06,2.497458e-06,2.458344e-06,2.419467e-06,2.345503e-06,2.275427e-06,2.209094e-06,2.146360e-06,2.087082e-06,2.031118e-06,1.978326e-06,1.928568e-06,1.881708e-06,1.837614e-06,1.796156e-06,1.757209e-06,1.720652e-06,1.686365e-06,1.654237e-06,1.624156e-06,1.596019e-06,1.569723e-06,1.545171e-06,1.522271e-06,1.500933e-06,1.481073e-06,1.462607e-06,1.445460e-06,1.429556e-06,1.414825e-06,1.401201e-06,1.388618e-06,1.377017e-06,1.366339e-06,1.356530e-06,1.347538e-06,1.339313e-06,1.331809e-06,1.324981e-06,1.318787e-06,1.313188e-06,1.308145e-06,1.303625e-06,1.299592e-06,1.296015e-06,1.292865e-06,1.290112e-06,1.287731e-06,1.285696e-06,1.283983e-06,1.282570e-06,1.281436e-06,1.280561e-06
0.000000e+00,8.895732e-09,1.553761e-07,1.627922e-07,1.085827e-06,3.584932e-06,3.728490e-06,8.011638e-06,1.247563e-05,1.275825e-05,1.733752e-05,2.129565e-05,2.162783e-05,2.561996e-05,2.896591e-05,2.932366e-05,3.275199e-05,3.555184e-05,3.591843e-05,3.883638e-05,4.115704e-05,4.151890e-05,4.397866e-05,4.588167e-05,4.622789e-05,4.827836e-05,4.981935e-05,5.014134e-05,5.182758e-05,5.305626e-05,5.334738e-05,5.471050e-05,5.567099e-05,5.592628e-05,5.700357e-05,5.773488e-05,5.795079e-05,5.877593e-05,5.931241e-05,5.948658e-05,6.008991e-05,6.046171e-05,6.059276e-05,6.100160e-05,6.123513e-05,6.132254e-05,6.156146e-05,6.167990e-05,6.172386e-05,6.181492e-05,6.183836e-05,6.183959e-05,6.180251e-05,6.174842e-05,6.170809e-05,6.156047e-05,6.144398e-05,6.136362e-05,6.112123e-05,6.095540e-05,6.083681e-05,6.051366e-05,6.030974e-05,6.015492e-05,5.976352e-05,5.953111e-05,5.934223e-05,5.889368e-05,5.864100e-05,5.842032e-05,5.792448e-05,5.765848e-05,5.740833e-05,5.687392e-05,5.660048e-05,5.632319e-05,5.575793e-05,5.548196e-05,5.517986e-05,5.459057e-05,5.431615e-05,5.399156e-05,5.338423e-05,5.311471e-05,5.276989e-05,5.214977e-05,5.188787e-05,5.152502e-05,5.089672e-05,5.064463e-05,5.026586e-05,4.963339e-05,4.939281e-05,4.900017e-05,4.836702e-05,4.813924e-05,4.773468e-05,4.710387e-05,4.688985e-05,4.647522e-05,4.584934e-05,4.564974e-05,4.522678e-05,4.460807e-05,4.442327e-05,4.399366e-05,4.338399e-05,4.321419e-05,4.277946e-05,4.218044e-05,4.202564e-05,4.158726e-05,4.100021e-05,4.086027e-05,4.041958e-05,3.984561e-05,3.972026e-05,3.927853e-05,3.871852e-05,3.860739e-05,3.816578e-05,3.762045e-05,3.752309e-05,3.708267e-05,3.655256e-05,3.646846e-05,3.603022e-05,3.551574e-05,3.544435e-05,3.500919e-05,3.451061e-05,3.445132e-05,3.402006e-05,3.353757e-05,3.348977e-05,3.306316e-05,3.259682e-05,3.255987e-05,3.213857e-05,3.168840e-05,3.166164e-05,3.124628e-05,3.081218e-05,3.079498e-05,3.038608e-05,2.996792e-05,2.995964e-05,2.955768e-05,2.915528e-05,2.838147e-05,2.763770e-05,2.692339e-05,2.623794e-05,2.558067e-05,2.495089e-05,2.434786e-05,2.377086e-05,2.321911e-05,2.269186e-05,2.218832e-05,2.170773e-05,2.124931e-05,2.081231e-05,2.039596e-05,1.999952e-05,1.962226e-05,1.926345e-05,1.892240e-05,1.859840e-05,1.829079e-05,1.799891e-05,1.772212e-05,1.745981e-05,1.721136e-05,1.697620e-05,1.675377e-05,1.654350e-05,1.634488e-05,1.615740e-05,1.598056e-05,1.581388e-05,1.565691e-05,1.550920e-05,1.537034e-05,1.523991e-05,1.511751e-05,1.500277e-05,1.489533e-05,1.479484e-05,1.470096e-05,1.461338e-05,1.453177e-05,1.445586e-05,1.438534e-05,1.431997e-05,1.425946e-05,1.420358e-05,1.415209e-05
0.000000e+00,4.828440e-10,6.177990e-09,6.447857e-09,3.994007e-08,1.407065e-07,1.469592e-07,3.552066e-07,6.046031e-07,6.209020e-07,8.851378e-07,1.107397e-06,1.125626e-06,1.338598e-06,1.507586e-06,1.525103e-06,1.687257e-06,1.811596e-06,1.827307e-06,1.947394e-06,2.036217e-06,2.049499e-06,2.135436e-06,2.196343e-06,2.206859e-06,2.265279e-06,2.304445e-06,2.312065e-06,2.348464e-06,2.370866e-06,2.375604e-06,2.394510e-06,2.404142e-06,2.406111e-06,2.411238e-06,2.411272e-06,2.410646e-06,2.405015e-06,2.397968e-06,2.394960e-06,2.381033e-06,2.368887e-06,2.363728e-06,2.343492e-06,2.327798e-06,2.320725e-06,2.295785e-06,2.277752e-06,2.268996e-06,2.240645e-06,2.221205e-06,2.210990e-06,2.180262e-06,2.160129e-06,2.148666e-06,2.116385e-06,2.096099e-06,2.083582e-06,2.050403e-06,2.030369e-06,2.016976e-06,1.983414e-06,1.963927e-06,1.949819e-06,1.916279e-06,1.897550e-06,1.882872e-06,1.849666e-06,1.831840e-06,1.816721e-06,1.784090e-06,1.767260e-06,1.751816e-06,1.719938e-06,1.704159e-06,1.688491e-06,1.657500e-06,1.642794e-06,1.626991e-06,1.596982e-06,1.583350e-06,1.567489e-06,1.538526e-06,1.525952e-06,1.510102e-06,1.482224e-06,1.470680e-06,1.454898e-06,1.428127e-06,1.417574e-06,1.401911e-06,1.376252e-06,1.366647e-06,1.351147e-06,1.326594e-06,1.317889e-06,1.302588e-06,1.279126e-06,1.271272e-06,1.256202e-06,1.233809e-06,1.226754e-06,1.211940e-06,1.190590e-06,1.184284e-06,1.169749e-06,1.149409e-06,1.143803e-06,1.129563e-06,1.110202e-06,1.105247e-06,1.091318e-06,1.072900e-06,1.068548e-06,1.054941e-06,1.037430e-06,1.033637e-06,1.020360e-06,1.003721e-06,1.000444e-06,9.875033e-07,9.716986e-07,9.688969e-07,9.562977e-07,9.412917e-07,9.389268e-07,9.266717e-07,9.124289e-07,9.104645e-07,8.985546e-07,8.850404e-07,8.834425e-07,8.718777e-07,8.590584e-07,8.577950e-07,8.465742e-07,8.344171e-07,8.334584e-07,8.225793e-07,8.110529e-07,8.103710e-07,7.998304e-07,7.889045e-07,7.884735e-07,7.782676e-07,7.679128e-07,7.677086e-07,7.578331e-07,7.480215e-07,7.293596e-07,7.116726e-07,6.949123e-07,6.790328e-07,6.639902e-07,6.497426e-07,6.362502e-07,6.234750e-07,6.113809e-07,5.999333e-07,5.890996e-07,5.788485e-07,5.691505e-07,5.599775e-07,5.513025e-07,5.431002e-07,5.353465e-07,5.280182e-07,5.210936e-07,5.145520e-07,5.083736e-07,5.025398e-07,4.970327e-07,4.918356e-07,4.869323e-07,4.823076e-07,4.779472e-07,4.738372e-07,4.699647e-07,4.663172e-07,4.628831e-07,4.596512e-07,4.566109e-07,4.537521e-07,4.510654e-07,4.485416e-07,4.461722e-07,4.439491e-07,4.418643e-07,4.399107e-07,4.380812e-07,4.363692e-07,4.347685e-07,4.332730e-07,4.318771e-07,4.305754e-07,4.293629e-07,4.282347e-07,4.271863e-07
0.000000e+00,3.016573e-09,5.188138e-08,5.437075e-08,3.737700e-07,1.291066e-06,1.345287e-06,3.011365e-06,4.816022e-06,4.931896e-06,6.829477e-06,8.495886e-06,8.636764e-06,1.034252e-05,1.179118e-05,1.194718e-05,1.345375e-05,1.470130e-05,1.486589e-05,1.618741e-05,1.725435e-05,1.742212e-05,1.857387e-05,1.947995e-05,1.964638e-05,2.064332e-05,2.140690e-05,2.156823e-05,2.242455e-05,2.306246e-05,2.321560e-05,2.394456e-05,2.447203e-05,2.461452e-05,2.522842e-05,2.565923e-05,2.578908e-05,2.629921e-05,2.664570e-05,2.676140e-05,2.717817e-05,2.745146e-05,2.755191e-05,2.788490e-05,2.809491e-05,2.817931e-05,2.843722e-05,2.859276e-05,2.866061e-05,2.885137e-05,2.896028e-05,2.901131e-05,2.914215e-05,2.921138e-05,2.924554e-05,2.932304e-05,2.935875e-05,2.937615e-05,2.940631e-05,2.941394e-05,2.941486e-05,2.940310e-05,2.938747e-05,2.937227e-05,2.932355e-05,2.928887e-05,2.925805e-05,2.917685e-05,2.912683e-05,2.908095e-05,2.897133e-05,2.890921e-05,2.884890e-05,2.871453e-05,2.864314e-05,2.856907e-05,2.841329e-05,2.833508e-05,2.824796e-05,2.807379e-05,2.799089e-05,2.789145e-05,2.770160e-05,2.761584e-05,2.750484e-05,2.730175e-05,2.721470e-05,2.709288e-05,2.687877e-05,2.679176e-05,2.665990e-05,2.643674e-05,2.635091e-05,2.620974e-05,2.597933e-05,2.589562e-05,2.574589e-05,2.550982e-05,2.542901e-05,2.527146e-05,2.503115e-05,2.495390e-05,2.478922e-05,2.454597e-05,2.447277e-05,2.430167e-05,2.405660e-05,2.398788e-05,2.381101e-05,2.356515e-05,2.350120e-05,2.331922e-05,2.307346e-05,2.301452e-05,2.282804e-05,2.258317e-05,2.252939e-05,2.233901e-05,2.209574e-05,2.204720e-05,2.185349e-05,2.161242e-05,2.156917e-05,2.137267e-05,2.113435e-05,2.109636e-05,2.089758e-05,2.066247e-05,2.062970e-05,2.042913e-05,2.019764e-05,2.016999e-05,1.996810e-05,1.974058e-05,1.971794e-05,1.951516e-05,1.929189e-05,1.927413e-05,1.907086e-05,1.885211e-05,1.883906e-05,1.863569e-05,1.842166e-05,1.841315e-05,1.821004e-05,1.800089e-05,1.799673e-05,1.779423e-05,1.759010e-05,1.719346e-05,1.680698e-05,1.643077e-05,1.606490e-05,1.570941e-05,1.536430e-05,1.502952e-05,1.470504e-05,1.439075e-05,1.408657e-05,1.379236e-05,1.350801e-05,1.323334e-05,1.296821e-05,1.271244e-05,1.246585e-05,1.222826e-05,1.199947e-05,1.177928e-05,1.156751e-05,1.136393e-05,1.116835e-05,1.098056e-05,1.080036e-05,1.062755e-05,1.046190e-05,1.030323e-05,1.015134e-05,1.000601e-05,9.867052e-06,9.734275e-06,9.607484e-06,9.486490e-06,9.371106e-06,9.261151e-06,9.156444e-06,9.056811e-06,8.962078e-06,8.872077e-06,8.786644e-06,8.705617e-06,8.628840e-06,8.556157e-06,8.487421e-06,8.422484e-06,8.361204e-06,8.303444e-06,8.249068e-06,8.197945e-06
0.000000e+00,3.026991e-08,4.541716e-07,4.745642e-07,2.897217e-06,9.416490e-06,9.799142e-06,2.187433e-05,3.574468e-05,3.665271e-05,5.162322e-05,6.478070e-05,6.589000e-05,7.926598e-05,9.053095e-05,9.173815e-05,1.033340e-04,1.128434e-04,1.140913e-04,1.240496e-04,1.320048e-04,1.332483e-04,1.417243e-04,1.483122e-04,1.495140e-04,1.566539e-04,1.620484e-04,1.631791e-04,1.691235e-04,1.734827e-04,1.745196e-04,1.793983e-04,1.828636e-04,1.837892e-04,1.877207e-04,1.904180e-04,1.912196e-04,1.943117e-04,1.963522e-04,1.970212e-04,1.993714e-04,2.008534e-04,2.013843e-04,2.030807e-04,2.040907e-04,2.044807e-04,2.056030e-04,2.062166e-04,2.064654e-04,2.070849e-04,2.073686e-04,2.074776e-04,2.076586e-04,2.076701e-04,2.076424e-04,2.074425e-04,2.072321e-04,2.070719e-04,2.065428e-04,2.061541e-04,2.058667e-04,2.050545e-04,2.045251e-04,2.041165e-04,2.030624e-04,2.024249e-04,2.019015e-04,2.006424e-04,1.999246e-04,1.992933e-04,1.978619e-04,1.970875e-04,1.963556e-04,1.947811e-04,1.939703e-04,1.931449e-04,1.914531e-04,1.906230e-04,1.897115e-04,1.879254e-04,1.870903e-04,1.860999e-04,1.842398e-04,1.834115e-04,1.823495e-04,1.804332e-04,1.796215e-04,1.784948e-04,1.765381e-04,1.757511e-04,1.745665e-04,1.725832e-04,1.718271e-04,1.705912e-04,1.685934e-04,1.678733e-04,1.665924e-04,1.645907e-04,1.639104e-04,1.625905e-04,1.605940e-04,1.599563e-04,1.586032e-04,1.566199e-04,1.560266e-04,1.546457e-04,1.526824e-04,1.521348e-04,1.507313e-04,1.487937e-04,1.482923e-04,1.468710e-04,1.449642e-04,1.445091e-04,1.430744e-04,1.412026e-04,1.407933e-04,1.393496e-04,1.375162e-04,1.371519e-04,1.357030e-04,1.339108e-04,1.335905e-04,1.321402e-04,1.303916e-04,1.301139e-04,1.286654e-04,1.269622e-04,1.267256e-04,1.252822e-04,1.236257e-04,1.234285e-04,1.219930e-04,1.203842e-04,1.202247e-04,1.187997e-04,1.172394e-04,1.171156e-04,1.157035e-04,1.141920e-04,1.141021e-04,1.127051e-04,1.112426e-04,1.111846e-04,1.098045e-04,1.083909e-04,1.083629e-04,1.070017e-04,1.056367e-04,1.030050e-04,1.004670e-04,9.802117e-05,9.566611e-05,9.340012e-05,9.122135e-05,8.912789e-05,8.711768e-05,8.518862e-05,8.333854e-05,8.156524e-05,7.986650e-05,7.824006e-05,7.668368e-05,7.519513e-05,7.377216e-05,7.241259e-05,7.111424e-05,6.987495e-05,6.869262e-05,6.756518e-05,6.649061e-05,6.546691e-05,6.449217e-05,6.356449e-05,6.268203e-05,6.184301e-05,6.104570e-05,6.028841e-05,5.956951e-05,5.888742e-05,5.824060e-05,5.762757e-05,5.704690e-05,5.649720e-05,5.597715e-05,5.548544e-05,5.502083e-05,5.458212e-05,5.416816e-05,5.377783e-05,5.341005e-05,5.306381e-05,5.273809e-05,5.243196e-05,5.214448e-05,5.187478e-05,5.162201e-05,5.138536e-05
0.000000e+00,4.729115e-10,5.984987e-09,6.241128e-09,3.640815e-08,1.205193e-07,1.255959e-07,2.923766e-07,4.947666e-07,5.082111e-07,7.300653e-07,9.226859e-07,9.387559e-07,1.130050e-06,1.287249e-06,1.303867e-06,1.461084e-06,1.586549e-06,1.602767e-06,1.729981e-06,1.828606e-06,1.843764e-06,1.945105e-06,2.021302e-06,2.034939e-06,2.114144e-06,2.171743e-06,2.183548e-06,2.243921e-06,2.286203e-06,2.295983e-06,2.340405e-06,2.370154e-06,2.377811e-06,2.408780e-06,2.428344e-06,2.433850e-06,2.453519e-06,2.464870e-06,2.468249e-06,2.478469e-06,2.483257e-06,2.484573e-06,2.486930e-06,2.486532e-06,2.485878e-06,2.481729e-06,2.477289e-06,2.474775e-06,2.465281e-06,2.457746e-06,2.453496e-06,2.439647e-06,2.429798e-06,2.423944e-06,2.406581e-06,2.395061e-06,2.387737e-06,2.367576e-06,2.354911e-06,2.346250e-06,2.323899e-06,2.310516e-06,2.300650e-06,2.276622e-06,2.262866e-06,2.251923e-06,2.226651e-06,2.212800e-06,2.200900e-06,2.174751e-06,2.161022e-06,2.148282e-06,2.121562e-06,2.108128e-06,2.094655e-06,2.067621e-06,2.054615e-06,2.040512e-06,2.013376e-06,2.000897e-06,1.986258e-06,1.959199e-06,1.947320e-06,1.932233e-06,1.905394e-06,1.894167e-06,1.878713e-06,1.852214e-06,1.841672e-06,1.825923e-06,1.799861e-06,1.790022e-06,1.774047e-06,1.748499e-06,1.739369e-06,1.723231e-06,1.698256e-06,1.689834e-06,1.673587e-06,1.649233e-06,1.641508e-06,1.625203e-06,1.601505e-06,1.594462e-06,1.578145e-06,1.555129e-06,1.548746e-06,1.532459e-06,1.510141e-06,1.504396e-06,1.488175e-06,1.466565e-06,1.461432e-06,1.445311e-06,1.424413e-06,1.419863e-06,1.403871e-06,1.383685e-06,1.379691e-06,1.363854e-06,1.344375e-06,1.340906e-06,1.325248e-06,1.306469e-06,1.303496e-06,1.288036e-06,1.269946e-06,1.267441e-06,1.252197e-06,1.234784e-06,1.232716e-06,1.217704e-06,1.200953e-06,1.199296e-06,1.184528e-06,1.168425e-06,1.167150e-06,1.152639e-06,1.137166e-06,1.136248e-06,1.122002e-06,1.107142e-06,1.106554e-06,1.092583e-06,1.078318e-06,1.078036e-06,1.064345e-06,1.050659e-06,1.024386e-06,9.991831e-07,9.750145e-07,9.518450e-07,9.296399e-07,9.083653e-07,8.879875e-07,8.684738e-07,8.497921e-07,8.319113e-07,8.148009e-07,7.984314e-07,7.827741e-07,7.678014e-07,7.534862e-07,7.398027e-07,7.267258e-07,7.142311e-07,7.022954e-07,6.908959e-07,6.800110e-07,6.696197e-07,6.597018e-07,6.502378e-07,6.412091e-07,6.325977e-07,6.243862e-07,6.165580e-07,6.090971e-07,6.019881e-07,5.952163e-07,5.887674e-07,5.826278e-07,5.767844e-07,5.712246e-07,5.659364e-07,5.609080e-07,5.561285e-07,5.515871e-07,5.472735e-07,5.431779e-07,5.392909e-07,5.356034e-07,5.321067e-07,5.287925e-07,5.256528e-07,5.226798e-07,5.198663e-07,5.172051e-07
0.000000e+00,1.210800e-07,2.684128e-06,2.821901e-06,2.295612e-05,9.405793e-05,9.869447e-05,2.610099e-04,4.764799e-04,4.915038e-04,7.517313e-04,9.926029e-04,1.013105e-03,1.259183e-03,1.460715e-03,1.481803e-03,1.677787e-03,1.827906e-03,1.846792e-03,1.990014e-03,2.094049e-03,2.109415e-03,2.207275e-03,2.274549e-03,2.285940e-03,2.347673e-03,2.387146e-03,2.394585e-03,2.428599e-03,2.447690e-03,2.451441e-03,2.464648e-03,2.469137e-03,2.469573e-03,2.467405e-03,2.461658e-03,2.459184e-03,2.445817e-03,2.433080e-03,2.428092e-03,2.406692e-03,2.389342e-03,2.382207e-03,2.355148e-03,2.334919e-03,2.325965e-03,2.295049e-03,2.273210e-03,2.262737e-03,2.229319e-03,2.206783e-03,2.195049e-03,2.160143e-03,2.137557e-03,2.124788e-03,2.089148e-03,2.066971e-03,2.053363e-03,2.017553e-03,1.996098e-03,1.981820e-03,1.946255e-03,1.925733e-03,1.910931e-03,1.875914e-03,1.856460e-03,1.841260e-03,1.807015e-03,1.788708e-03,1.773220e-03,1.739905e-03,1.722781e-03,1.707099e-03,1.674823e-03,1.658889e-03,1.643094e-03,1.611927e-03,1.597170e-03,1.581332e-03,1.551318e-03,1.537708e-03,1.521890e-03,1.493051e-03,1.480549e-03,1.464803e-03,1.437145e-03,1.425704e-03,1.410075e-03,1.383591e-03,1.373160e-03,1.357688e-03,1.332362e-03,1.322888e-03,1.307607e-03,1.283416e-03,1.274844e-03,1.259783e-03,1.236701e-03,1.228977e-03,1.214161e-03,1.192155e-03,1.185225e-03,1.170675e-03,1.149713e-03,1.143524e-03,1.129260e-03,1.109306e-03,1.103807e-03,1.089843e-03,1.070861e-03,1.066004e-03,1.052353e-03,1.034307e-03,1.030044e-03,1.016717e-03,9.995712e-04,9.958581e-04,9.828622e-04,9.665809e-04,9.633751e-04,9.507182e-04,9.352654e-04,9.325268e-04,9.202139e-04,9.055551e-04,9.032455e-04,8.912804e-04,8.773817e-04,8.754654e-04,8.638506e-04,8.506790e-04,8.491222e-04,8.378590e-04,8.253827e-04,8.241537e-04,8.132424e-04,8.014305e-04,8.004995e-04,7.899396e-04,7.787624e-04,7.781015e-04,7.678916e-04,7.573202e-04,7.569035e-04,7.470414e-04,7.370482e-04,7.368512e-04,7.273341e-04,7.178926e-04,6.999774e-04,6.830577e-04,6.670871e-04,6.520214e-04,6.378180e-04,6.244362e-04,6.118370e-04,5.999830e-04,5.888384e-04,5.783691e-04,5.685422e-04,5.593265e-04,5.506920e-04,5.426100e-04,5.350532e-04,5.279954e-04,5.214116e-04,5.152779e-04,5.095715e-04,5.042705e-04,4.993541e-04,4.948025e-04,4.905966e-04,4.867182e-04,4.831501e-04,4.798756e-04,4.768791e-04,4.741454e-04,4.716601e-04,4.694095e-04,4.673805e-04,4.655607e-04,4.639380e-04,4.625012e-04,4.612394e-04,4.601423e-04,4.592000e-04,4.584031e-04,4.577427e-04,4.572103e-04,4.567978e-04,4.564975e-04,4.563020e-04,4.562043e-04,4.561978e-04,4.562761e-04,4.564333e-04,4.566637e-04,4.569618e-04
0.000000e+00,1.119497e-07,2.048824e-06,2.145436e-06,1.485175e-05,5.668085e-05,5.941232e-05,1.600446e-04,3.108220e-04,3.219797e-04,5.251628e-04,7.259398e-04,7.434914e-04,9.597178e-04,1.145371e-03,1.165330e-03,1.356819e-03,1.512777e-03,1.533128e-03,1.694322e-03,1.821277e-03,1.840956e-03,1.973787e-03,2.075300e-03,2.093638e-03,2.201336e-03,2.281146e-03,2.297687e-03,2.383460e-03,2.444956e-03,2.459387e-03,2.526155e-03,2.572295e-03,2.584413e-03,2.634771e-03,2.668112e-03,2.677800e-03,2.714035e-03,2.736771e-03,2.743978e-03,2.768100e-03,2.782112e-03,2.786841e-03,2.800613e-03,2.807504e-03,2.809801e-03,2.814764e-03,2.815900e-03,2.815842e-03,2.813347e-03,2.809888e-03,2.807575e-03,2.798802e-03,2.791730e-03,2.787283e-03,2.773259e-03,2.763405e-03,2.756953e-03,2.738576e-03,2.726637e-03,2.718322e-03,2.696372e-03,2.682931e-03,2.672896e-03,2.648052e-03,2.633596e-03,2.621986e-03,2.594835e-03,2.579768e-03,2.566727e-03,2.537779e-03,2.522431e-03,2.508101e-03,2.477796e-03,2.462437e-03,2.446957e-03,2.415672e-03,2.400521e-03,2.384023e-03,2.352084e-03,2.337315e-03,2.319926e-03,2.287612e-03,2.273360e-03,2.255202e-03,2.222749e-03,2.209119e-03,2.190305e-03,2.157916e-03,2.144985e-03,2.125624e-03,2.093467e-03,2.081291e-03,2.061482e-03,2.029701e-03,2.018315e-03,1.998153e-03,1.966866e-03,1.956292e-03,1.935863e-03,1.905167e-03,1.895412e-03,1.874797e-03,1.844771e-03,1.835833e-03,1.815106e-03,1.785815e-03,1.777683e-03,1.756911e-03,1.728405e-03,1.721060e-03,1.700306e-03,1.672623e-03,1.666042e-03,1.645362e-03,1.618530e-03,1.612685e-03,1.592131e-03,1.566170e-03,1.561030e-03,1.540648e-03,1.515569e-03,1.511102e-03,1.490933e-03,1.466742e-03,1.462912e-03,1.442995e-03,1.419691e-03,1.416464e-03,1.396830e-03,1.374410e-03,1.371749e-03,1.352429e-03,1.330884e-03,1.328754e-03,1.309773e-03,1.289091e-03,1.287455e-03,1.268836e-03,1.249004e-03,1.247827e-03,1.229590e-03,1.210590e-03,1.209839e-03,1.192000e-03,1.173814e-03,1.173455e-03,1.156029e-03,1.138638e-03,1.105348e-03,1.073544e-03,1.043183e-03,1.014221e-03,9.866148e-04,9.603195e-04,9.352909e-04,9.114851e-04,8.888586e-04,8.673685e-04,8.469725e-04,8.276291e-04,8.092977e-04,7.919388e-04,7.755137e-04,7.599847e-04,7.453153e-04,7.314700e-04,7.184145e-04,7.061153e-04,6.945402e-04,6.836580e-04,6.734386e-04,6.638529e-04,6.548728e-04,6.464713e-04,6.386222e-04,6.313004e-04,6.244817e-04,6.181428e-04,6.122612e-04,6.068154e-04,6.017847e-04,5.971490e-04,5.928892e-04,5.889869e-04,5.854244e-04,5.821846e-04,5.792513e-04,5.766088e-04,5.742420e-04,5.721366e-04,5.702785e-04,5.686547e-04,5.672522e-04,5.660590e-04,5.650633e-04,5.642538e-04,5.636199e-04
0.000000e+00,1.010421e-07,1.896262e-06,1.987409e-06,1.474765e-05,6.179594e-05,6.502798e-05,1.910176e-04,3.914094e-04,4.065191e-04,6.866203e-04,9.720693e-04,9.974148e-04,1.314444e-03,1.592959e-03,1.623201e-03,1.915876e-03,2.157052e-03,2.188674e-03,2.440116e-03,2.639113e-03,2.670017e-03,2.878906e-03,3.038790e-03,3.067686e-03,3.237441e-03,3.363254e-03,3.389327e-03,3.524510e-03,3.621398e-03,3.644130e-03,3.749283e-03,3.821932e-03,3.841011e-03,3.920300e-03,3.972811e-03,3.988075e-03,4.045204e-03,4.081105e-03,4.092498e-03,4.130716e-03,4.153010e-03,4.160563e-03,4.182700e-03,4.193939e-03,4.197741e-03,4.206261e-03,4.208604e-03,4.208794e-03,4.205839e-03,4.201109e-03,4.197860e-03,4.185290e-03,4.175024e-03,4.168533e-03,4.147967e-03,4.133458e-03,4.123941e-03,4.096779e-03,4.079102e-03,4.066782e-03,4.034230e-03,4.014283e-03,3.999383e-03,3.962483e-03,3.941007e-03,3.923754e-03,3.883404e-03,3.861010e-03,3.841626e-03,3.798599e-03,3.775787e-03,3.754489e-03,3.709450e-03,3.686627e-03,3.663623e-03,3.617142e-03,3.594633e-03,3.570126e-03,3.522687e-03,3.500753e-03,3.474931e-03,3.426952e-03,3.405793e-03,3.378838e-03,3.330670e-03,3.310441e-03,3.282523e-03,3.234464e-03,3.215280e-03,3.186557e-03,3.138858e-03,3.120798e-03,3.091419e-03,3.044289e-03,3.027406e-03,2.997509e-03,2.951120e-03,2.935443e-03,2.905157e-03,2.859652e-03,2.845192e-03,2.814633e-03,2.770126e-03,2.756878e-03,2.726155e-03,2.682739e-03,2.670684e-03,2.639896e-03,2.597642e-03,2.586755e-03,2.555991e-03,2.514955e-03,2.505199e-03,2.474542e-03,2.434762e-03,2.426096e-03,2.395622e-03,2.357125e-03,2.349504e-03,2.319277e-03,2.282081e-03,2.275454e-03,2.245537e-03,2.209647e-03,2.203965e-03,2.174410e-03,2.139826e-03,2.135036e-03,2.105893e-03,2.072607e-03,2.068656e-03,2.039965e-03,2.007964e-03,2.004799e-03,1.976600e-03,1.945866e-03,1.943435e-03,1.915759e-03,1.886272e-03,1.884522e-03,1.857398e-03,1.829132e-03,1.828014e-03,1.801467e-03,1.774396e-03,1.773861e-03,1.747911e-03,1.722005e-03,1.672391e-03,1.624955e-03,1.579636e-03,1.536371e-03,1.495095e-03,1.455745e-03,1.418255e-03,1.382562e-03,1.348603e-03,1.316315e-03,1.285638e-03,1.256512e-03,1.228878e-03,1.202678e-03,1.177857e-03,1.154361e-03,1.132135e-03,1.111130e-03,1.091295e-03,1.072581e-03,1.054943e-03,1.038335e-03,1.022714e-03,1.008036e-03,9.942622e-04,9.813521e-04,9.692682e-04,9.579738e-04,9.474337e-04,9.376138e-04,9.284814e-04,9.200050e-04,9.121542e-04,9.048999e-04,8.982139e-04,8.920692e-04,8.864397e-04,8.813005e-04,8.766274e-04,8.723973e-04,8.685880e-04,8.651781e-04,8.621471e-04,8.594753e-04,8.571436e-04,8.551339e-04,8.534288e-04,8.520114e-04,8.508655e-04
0.000000e+00,2.052604e-10,2.468775e-09,2.572247e-09,1.469296e-08,4.932158e-08,5.145884e-08,1.248603e-07,2.225883e-07,2.293874e-07,3.452308e-07,4.486282e-07,4.572865e-07,5.602041e-07,6.441762e-07,6.530052e-07,7.359697e-07,8.013128e-07,8.096934e-07,8.748331e-07,9.244821e-07,9.320362e-07,9.819227e-07,1.018604e-06,1.025080e-06,1.062060e-06,1.088138e-06,1.093379e-06,1.119520e-06,1.137006e-06,1.140930e-06,1.158029e-06,1.168622e-06,1.171202e-06,1.180810e-06,1.185932e-06,1.187183e-06,1.190629e-06,1.191461e-06,1.191430e-06,1.189848e-06,1.187369e-06,1.186123e-06,1.180477e-06,1.175491e-06,1.173113e-06,1.164220e-06,1.157386e-06,1.153968e-06,1.142516e-06,1.134371e-06,1.130009e-06,1.116580e-06,1.107559e-06,1.102351e-06,1.087434e-06,1.077884e-06,1.071929e-06,1.055930e-06,1.046129e-06,1.039522e-06,1.022782e-06,1.012948e-06,1.005780e-06,9.885807e-07,9.788847e-07,9.712419e-07,9.538161e-07,9.443869e-07,9.363508e-07,9.188889e-07,9.098231e-07,9.014692e-07,8.841262e-07,8.754934e-07,8.668912e-07,8.497918e-07,8.416397e-07,8.328529e-07,8.160965e-07,8.084551e-07,7.995417e-07,7.832057e-07,7.760911e-07,7.671034e-07,7.512475e-07,7.446642e-07,7.356491e-07,7.203177e-07,7.142617e-07,7.052610e-07,6.904857e-07,6.849460e-07,6.759969e-07,6.617988e-07,6.567593e-07,6.478944e-07,6.342858e-07,6.297265e-07,6.209742e-07,6.079602e-07,6.038586e-07,5.952435e-07,5.828233e-07,5.791549e-07,5.706982e-07,5.588662e-07,5.556054e-07,5.473249e-07,5.360717e-07,5.331926e-07,5.251032e-07,5.144162e-07,5.118928e-07,5.040068e-07,4.938712e-07,4.916776e-07,4.840050e-07,4.744039e-07,4.725152e-07,4.650635e-07,4.559791e-07,4.543708e-07,4.471460e-07,4.385593e-07,4.372079e-07,4.302140e-07,4.221054e-07,4.209888e-07,4.142284e-07,4.065780e-07,4.056749e-07,3.991492e-07,3.919370e-07,3.912275e-07,3.849363e-07,3.781424e-07,3.776077e-07,3.715502e-07,3.651548e-07,3.647772e-07,3.589514e-07,3.529353e-07,3.526984e-07,3.471016e-07,3.414458e-07,3.413344e-07,3.359632e-07,3.306493e-07,3.206081e-07,3.111773e-07,3.023244e-07,2.940180e-07,2.862283e-07,2.789266e-07,2.720855e-07,2.656789e-07,2.596819e-07,2.540709e-07,2.488234e-07,2.439181e-07,2.393346e-07,2.350539e-07,2.310578e-07,2.273291e-07,2.238516e-07,2.206102e-07,2.175902e-07,2.147780e-07,2.121609e-07,2.097266e-07,2.074637e-07,2.053616e-07,2.034100e-07,2.015995e-07,1.999210e-07,1.983663e-07,1.969273e-07,1.955966e-07,1.943672e-07,1.932326e-07,1.921865e-07,1.912233e-07,1.903373e-07,1.895236e-07,1.887774e-07,1.880941e-07,1.874696e-07,1.868998e-07,1.863812e-07,1.859101e-07,1.854835e-07,1.850981e-07,1.847512e-07,1.844401e-07,1.841623e-07,1.839154e-07,1.836972e-07
0.000000e+00,2.936977e-09,3.481321e-08,3.625966e-08,2.040249e-07,6.768249e-07,7.058279e-07,1.694468e-06,2.995410e-06,3.085407e-06,4.611623e-06,5.968568e-06,6.082217e-06,7.435539e-06,8.545211e-06,8.662276e-06,9.766925e-06,1.064410e-05,1.075716e-05,1.164113e-05,1.232243e-05,1.242679e-05,1.312168e-05,1.364043e-05,1.373288e-05,1.426704e-05,1.465193e-05,1.473036e-05,1.512862e-05,1.540403e-05,1.546722e-05,1.575114e-05,1.593762e-05,1.598501e-05,1.617312e-05,1.628793e-05,1.631944e-05,1.642764e-05,1.648519e-05,1.650114e-05,1.654308e-05,1.655536e-05,1.655634e-05,1.654362e-05,1.652058e-05,1.650738e-05,1.644990e-05,1.639976e-05,1.637328e-05,1.627945e-05,1.620897e-05,1.617020e-05,1.604717e-05,1.596190e-05,1.591186e-05,1.576566e-05,1.567012e-05,1.560985e-05,1.544560e-05,1.534345e-05,1.527398e-05,1.509599e-05,1.499018e-05,1.491251e-05,1.472439e-05,1.461729e-05,1.453237e-05,1.433716e-05,1.423064e-05,1.413938e-05,1.393962e-05,1.383513e-05,1.373840e-05,1.353619e-05,1.343486e-05,1.333344e-05,1.313055e-05,1.303321e-05,1.292786e-05,1.272571e-05,1.263298e-05,1.252439e-05,1.232416e-05,1.223647e-05,1.212527e-05,1.192792e-05,1.184554e-05,1.173230e-05,1.153859e-05,1.146168e-05,1.134694e-05,1.115748e-05,1.108608e-05,1.097032e-05,1.078558e-05,1.071968e-05,1.060333e-05,1.042365e-05,1.036316e-05,1.024662e-05,1.007228e-05,1.001707e-05,9.900675e-06,9.731847e-06,9.681744e-06,9.565822e-06,9.402620e-06,9.357432e-06,9.242257e-06,9.084740e-06,9.044252e-06,8.930072e-06,8.778251e-06,8.742237e-06,8.629270e-06,8.483119e-06,8.451345e-06,8.339784e-06,8.199246e-06,8.171472e-06,8.061485e-06,7.926478e-06,7.902467e-06,7.794198e-06,7.664620e-06,7.644136e-06,7.537712e-06,7.413443e-06,7.396255e-06,7.291782e-06,7.172694e-06,7.158575e-06,7.056144e-06,6.942096e-06,6.930827e-06,6.830514e-06,6.721360e-06,6.712732e-06,6.614597e-06,6.510186e-06,6.503996e-06,6.408089e-06,6.308268e-06,6.304322e-06,6.210683e-06,6.115295e-06,6.113409e-06,6.022066e-06,5.930957e-06,5.756663e-06,5.590231e-06,5.431366e-06,5.279780e-06,5.135190e-06,4.997321e-06,4.865903e-06,4.740677e-06,4.621387e-06,4.507789e-06,4.399646e-06,4.296728e-06,4.198813e-06,4.105690e-06,4.017152e-06,3.933002e-06,3.853049e-06,3.777110e-06,3.705011e-06,3.636583e-06,3.571663e-06,3.510097e-06,3.451735e-06,3.396436e-06,3.344061e-06,3.294481e-06,3.247569e-06,3.203204e-06,3.161272e-06,3.121663e-06,3.084270e-06,3.048992e-06,3.015732e-06,2.984398e-06,2.954901e-06,2.927156e-06,2.901081e-06,2.876599e-06,2.853635e-06,2.832117e-06,2.811979e-06,2.793154e-06,2.775581e-06,2.759198e-06,2.743950e-06,2.729782e-06,2.716641e-06,2.704477e-06,2.693243e-06
0.000000e+00,9.477340e-09,1.081626e-07,1.124170e-07,5.513939e-07,1.598923e-06,1.659219e-06,3.613249e-06,6.136943e-06,6.315630e-06,9.498320e-06,1.260400e-05,1.287552e-05,1.622214e-05,1.908888e-05,1.939616e-05,2.233210e-05,2.470470e-05,2.501299e-05,2.744351e-05,2.934288e-05,2.963604e-05,3.160520e-05,3.309760e-05,3.336592e-05,3.493273e-05,3.608260e-05,3.631954e-05,3.753946e-05,3.840356e-05,3.860483e-05,3.952723e-05,4.015443e-05,4.031746e-05,4.098567e-05,4.141779e-05,4.154139e-05,4.199347e-05,4.226618e-05,4.235020e-05,4.261929e-05,4.276283e-05,4.280794e-05,4.292286e-05,4.296279e-05,4.297028e-05,4.295602e-05,4.291386e-05,4.288548e-05,4.276369e-05,4.265751e-05,4.259532e-05,4.238471e-05,4.222962e-05,4.213588e-05,4.185259e-05,4.166117e-05,4.153829e-05,4.119621e-05,4.097887e-05,4.082933e-05,4.044040e-05,4.020573e-05,4.003198e-05,3.960643e-05,3.936147e-05,3.916595e-05,3.871254e-05,3.846299e-05,3.824807e-05,3.777426e-05,3.752472e-05,3.729270e-05,3.680482e-05,3.655895e-05,3.631199e-05,3.581543e-05,3.557609e-05,3.531626e-05,3.481553e-05,3.458494e-05,3.431419e-05,3.381309e-05,3.359289e-05,3.331303e-05,3.281473e-05,3.260613e-05,3.231884e-05,3.182596e-05,3.162977e-05,3.133663e-05,3.085132e-05,3.066805e-05,3.037048e-05,2.989449e-05,2.972440e-05,2.942371e-05,2.895845e-05,2.880157e-05,2.849899e-05,2.804555e-05,2.790176e-05,2.759837e-05,2.715761e-05,2.702666e-05,2.672344e-05,2.629600e-05,2.617753e-05,2.587538e-05,2.546169e-05,2.535527e-05,2.505499e-05,2.465535e-05,2.456049e-05,2.426279e-05,2.387735e-05,2.379351e-05,2.349903e-05,2.312784e-05,2.305445e-05,2.276376e-05,2.240677e-05,2.234326e-05,2.205683e-05,2.171392e-05,2.165970e-05,2.137798e-05,2.104896e-05,2.100344e-05,2.072679e-05,2.041142e-05,2.037403e-05,2.010277e-05,1.980076e-05,1.977093e-05,1.950533e-05,1.921637e-05,1.919354e-05,1.893382e-05,1.865758e-05,1.864120e-05,1.838756e-05,1.812367e-05,1.811324e-05,1.786582e-05,1.761390e-05,1.760892e-05,1.736783e-05,1.712751e-05,1.666824e-05,1.623035e-05,1.581309e-05,1.541568e-05,1.503739e-05,1.467747e-05,1.433519e-05,1.400984e-05,1.370072e-05,1.340715e-05,1.312848e-05,1.286406e-05,1.261328e-05,1.237553e-05,1.215024e-05,1.193685e-05,1.173482e-05,1.154364e-05,1.136279e-05,1.119181e-05,1.103023e-05,1.087762e-05,1.073354e-05,1.059760e-05,1.046940e-05,1.034857e-05,1.023475e-05,1.012760e-05,1.002679e-05,9.932019e-06,9.842975e-06,9.759377e-06,9.680951e-06,9.607435e-06,9.538580e-06,9.474149e-06,9.413912e-06,9.357654e-06,9.305167e-06,9.256253e-06,9.210724e-06,9.168399e-06,9.129107e-06,9.092684e-06,9.058974e-06,9.027829e-06,8.999106e-06,8.972671e-06,8.948395e-06
0.000000e+00,1.925686e-08,2.558947e-07,2.668406e-07,1.523915e-06,4.890362e-06,5.090786e-06,1.168994e-05,2.008199e-05,2.066075e-05,3.054401e-05,3.947113e-05,4.022469e-05,4.926596e-05,5.677649e-05,5.757431e-05,6.515957e-05,7.126468e-05,7.205750e-05,7.830949e-05,8.320131e-05,8.395712e-05,8.904070e-05,9.290320e-05,9.359867e-05,9.766739e-05,1.006629e-04,1.012813e-04,1.044728e-04,1.067425e-04,1.072724e-04,1.097087e-04,1.113739e-04,1.118083e-04,1.135963e-04,1.147613e-04,1.150962e-04,1.163300e-04,1.170838e-04,1.173181e-04,1.180798e-04,1.184979e-04,1.186327e-04,1.189938e-04,1.191407e-04,1.191785e-04,1.192014e-04,1.191314e-04,1.190760e-04,1.188149e-04,1.185741e-04,1.184300e-04,1.179322e-04,1.175591e-04,1.173316e-04,1.166379e-04,1.161649e-04,1.158598e-04,1.150055e-04,1.144595e-04,1.140827e-04,1.130984e-04,1.125020e-04,1.120593e-04,1.109715e-04,1.103432e-04,1.098406e-04,1.086720e-04,1.080269e-04,1.074704e-04,1.062404e-04,1.055909e-04,1.049861e-04,1.037115e-04,1.030677e-04,1.024200e-04,1.011151e-04,1.004848e-04,9.979962e-05,9.847648e-05,9.786596e-05,9.714821e-05,9.581720e-05,9.523125e-05,9.448561e-05,9.315543e-05,9.259762e-05,9.182849e-05,9.050645e-05,8.997935e-05,8.919084e-05,8.788305e-05,8.738840e-05,8.658432e-05,8.529582e-05,8.483466e-05,8.401856e-05,8.275347e-05,8.232627e-05,8.150140e-05,8.026310e-05,7.986986e-05,7.903923e-05,7.783038e-05,7.747073e-05,7.663707e-05,7.545977e-05,7.513304e-05,7.429886e-05,7.315469e-05,7.285999e-05,7.202755e-05,7.091769e-05,7.065391e-05,6.982528e-05,6.875051e-05,6.851644e-05,6.769348e-05,6.665428e-05,6.644858e-05,6.563296e-05,6.462956e-05,6.445084e-05,6.364405e-05,6.267643e-05,6.252327e-05,6.172664e-05,6.079460e-05,6.066553e-05,5.988024e-05,5.898344e-05,5.887700e-05,5.810408e-05,5.724204e-05,5.715678e-05,5.639715e-05,5.556926e-05,5.550376e-05,5.475821e-05,5.396380e-05,5.391666e-05,5.318587e-05,5.242420e-05,5.239407e-05,5.167860e-05,5.094887e-05,5.093443e-05,5.023479e-05,4.953615e-05,4.819752e-05,4.691682e-05,4.569229e-05,4.452215e-05,4.340462e-05,4.233793e-05,4.132031e-05,4.035003e-05,3.942537e-05,3.854464e-05,3.770619e-05,3.690841e-05,3.614972e-05,3.542858e-05,3.474351e-05,3.409305e-05,3.347579e-05,3.289039e-05,3.233551e-05,3.180988e-05,3.131228e-05,3.084150e-05,3.039640e-05,2.997588e-05,2.957887e-05,2.920433e-05,2.885129e-05,2.851878e-05,2.820589e-05,2.791174e-05,2.763548e-05,2.737629e-05,2.713339e-05,2.690602e-05,2.669347e-05,2.649504e-05,2.631005e-05,2.613788e-05,2.597791e-05,2.582954e-05,2.569221e-05,2.556539e-05,2.544854e-05,2.534118e-05,2.524281e-05,2.515300e-05,2.507128e-05,2.499725e-05,2.493051e-05
0.000000e+00,2.064051e-08,3.480785e-07,3.645151e-07,2.397854e-06,7.738935e-06,8.035253e-06,1.642216e-05,2.474826e-05,2.527272e-05,3.378691e-05,4.119647e-05,4.182090e-05,4.935952e-05,5.572864e-05,5.641250e-05,6.299464e-05,6.841051e-05,6.912247e-05,7.481421e-05,7.937427e-05,8.008801e-05,8.495955e-05,8.875358e-05,8.944636e-05,9.356650e-05,9.668396e-05,9.733786e-05,1.007780e-04,1.033032e-04,1.039041e-04,1.067326e-04,1.087428e-04,1.092798e-04,1.115609e-04,1.131257e-04,1.135908e-04,1.153837e-04,1.165658e-04,1.169531e-04,1.183122e-04,1.191673e-04,1.194731e-04,1.204478e-04,1.210254e-04,1.212476e-04,1.218831e-04,1.222267e-04,1.223646e-04,1.227018e-04,1.228498e-04,1.229039e-04,1.229797e-04,1.229659e-04,1.229377e-04,1.227856e-04,1.226394e-04,1.225311e-04,1.221813e-04,1.219285e-04,1.217429e-04,1.212225e-04,1.208854e-04,1.206260e-04,1.199593e-04,1.195573e-04,1.192278e-04,1.184368e-04,1.179866e-04,1.175910e-04,1.166952e-04,1.162111e-04,1.157537e-04,1.147707e-04,1.142649e-04,1.137501e-04,1.126955e-04,1.121783e-04,1.116105e-04,1.104983e-04,1.099784e-04,1.093620e-04,1.082046e-04,1.076894e-04,1.070288e-04,1.058372e-04,1.053325e-04,1.046321e-04,1.034160e-04,1.029269e-04,1.021909e-04,1.009588e-04,1.004892e-04,9.972165e-05,9.848118e-05,9.803413e-05,9.723906e-05,9.599681e-05,9.557467e-05,9.475587e-05,9.351760e-05,9.312212e-05,9.228323e-05,9.105394e-05,9.068630e-05,8.983079e-05,8.861480e-05,8.827573e-05,8.740688e-05,8.620790e-05,8.589773e-05,8.501865e-05,8.383984e-05,8.355856e-05,8.267215e-05,8.151618e-05,8.126350e-05,8.037250e-05,7.924160e-05,7.901700e-05,7.812395e-05,7.701996e-05,7.682272e-05,7.593000e-05,7.485440e-05,7.468366e-05,7.379346e-05,7.274743e-05,7.260219e-05,7.171653e-05,7.070097e-05,7.058014e-05,6.970090e-05,6.871646e-05,6.861888e-05,6.774776e-05,6.679488e-05,6.671934e-05,6.585789e-05,6.493682e-05,6.488207e-05,6.403171e-05,6.314254e-05,6.310730e-05,6.226930e-05,6.141196e-05,6.139498e-05,6.057048e-05,5.974479e-05,5.815620e-05,5.662849e-05,5.516080e-05,5.375209e-05,5.240123e-05,5.110700e-05,4.986808e-05,4.868310e-05,4.755064e-05,4.646922e-05,4.543737e-05,4.445356e-05,4.351628e-05,4.262400e-05,4.177520e-05,4.096837e-05,4.020201e-05,3.947464e-05,3.878481e-05,3.813108e-05,3.751204e-05,3.692631e-05,3.637256e-05,3.584946e-05,3.535573e-05,3.489012e-05,3.445144e-05,3.403849e-05,3.365013e-05,3.328527e-05,3.294283e-05,3.262177e-05,3.232109e-05,3.203983e-05,3.177706e-05,3.153187e-05,3.130341e-05,3.109083e-05,3.089333e-05,3.071014e-05,3.054053e-05,3.038376e-05,3.023917e-05,3.010610e-05,2.998391e-05,2.987199e-05,2.976978e-05,2.967672e-05,2.959227e-05
0.000000e+00,8.150124e-10,9.779783e-09,1.019477e-08,6.090608e-08,2.134653e-07,2.229711e-07,5.421150e-07,9.323790e-07,9.582856e-07,1.387125e-06,1.763561e-06,1.795198e-06,2.175016e-06,2.492130e-06,2.525947e-06,2.849014e-06,3.111389e-06,3.145637e-06,3.417310e-06,3.632128e-06,3.665519e-06,3.891707e-06,4.065706e-06,4.097264e-06,4.283521e-06,4.422741e-06,4.451745e-06,4.603133e-06,4.712887e-06,4.738821e-06,4.859875e-06,4.944786e-06,4.967299e-06,5.062037e-06,5.126102e-06,5.144977e-06,5.216950e-06,5.263610e-06,5.278736e-06,5.331065e-06,5.363272e-06,5.374621e-06,5.410044e-06,5.430323e-06,5.437932e-06,5.458845e-06,5.469351e-06,5.473307e-06,5.481807e-06,5.484375e-06,5.484803e-06,5.482721e-06,5.478910e-06,5.475962e-06,5.464897e-06,5.456028e-06,5.449875e-06,5.431221e-06,5.418412e-06,5.409237e-06,5.384208e-06,5.368399e-06,5.356395e-06,5.326046e-06,5.308029e-06,5.293390e-06,5.258640e-06,5.239075e-06,5.221995e-06,5.183641e-06,5.163079e-06,5.143750e-06,5.102484e-06,5.081382e-06,5.059991e-06,5.016411e-06,4.995144e-06,4.971872e-06,4.926496e-06,4.905373e-06,4.880394e-06,4.833668e-06,4.812937e-06,4.786416e-06,4.738726e-06,4.718586e-06,4.690681e-06,4.642358e-06,4.622967e-06,4.593827e-06,4.545154e-06,4.526633e-06,4.496398e-06,4.447618e-06,4.430060e-06,4.398863e-06,4.350181e-06,4.333653e-06,4.301616e-06,4.253208e-06,4.237757e-06,4.204995e-06,4.157009e-06,4.142662e-06,4.109282e-06,4.061843e-06,4.048615e-06,4.014717e-06,3.967928e-06,3.955820e-06,3.921496e-06,3.875443e-06,3.864448e-06,3.829784e-06,3.784535e-06,3.774637e-06,3.739712e-06,3.695325e-06,3.686502e-06,3.651388e-06,3.607908e-06,3.600131e-06,3.564896e-06,3.522358e-06,3.515597e-06,3.480302e-06,3.438732e-06,3.432951e-06,3.397653e-06,3.357070e-06,3.352233e-06,3.316984e-06,3.277398e-06,3.273468e-06,3.238315e-06,3.199734e-06,3.196670e-06,3.161657e-06,3.124083e-06,3.121844e-06,3.087011e-06,3.050441e-06,3.048989e-06,3.014372e-06,2.978800e-06,2.978094e-06,2.943725e-06,2.909144e-06,2.842118e-06,2.776992e-06,2.713739e-06,2.652327e-06,2.592724e-06,2.534895e-06,2.478804e-06,2.424413e-06,2.371686e-06,2.320582e-06,2.271064e-06,2.223092e-06,2.176627e-06,2.131631e-06,2.088065e-06,2.045890e-06,2.005070e-06,1.965566e-06,1.927343e-06,1.890364e-06,1.854594e-06,1.819999e-06,1.786544e-06,1.754197e-06,1.722925e-06,1.692697e-06,1.663481e-06,1.635247e-06,1.607967e-06,1.581611e-06,1.556151e-06,1.531561e-06,1.507815e-06,1.484885e-06,1.462748e-06,1.441380e-06,1.420755e-06,1.400853e-06,1.381650e-06,1.363124e-06,1.345255e-06,1.328022e-06,1.311406e-06,1.295386e-06,1.279945e-06,1.265064e-06,1.250726e-06,1.236913e-06,1.223610e-06
0.000000e+00,1.502729e-08,3.640789e-07,3.833762e-07,3.019986e-06,9.853754e-06,1.020886e-05,1.959394e-05,2.836578e-05,2.891141e-05,3.770516e-05,4.528213e-05,4.591789e-05,5.356043e-05,5.997100e-05,6.065681e-05,6.723332e-05,7.261082e-05,7.331537e-05,7.892733e-05,8.339591e-05,8.409314e-05,8.883621e-05,9.251031e-05,9.317922e-05,9.714412e-05,1.001281e-04,1.007521e-04,1.040234e-04,1.064113e-04,1.069777e-04,1.096334e-04,1.115092e-04,1.120085e-04,1.141198e-04,1.155579e-04,1.159834e-04,1.176145e-04,1.186805e-04,1.190277e-04,1.202366e-04,1.209879e-04,1.212543e-04,1.220929e-04,1.225798e-04,1.227643e-04,1.232792e-04,1.235455e-04,1.236483e-04,1.238812e-04,1.239649e-04,1.239873e-04,1.239754e-04,1.239096e-04,1.238536e-04,1.236299e-04,1.234432e-04,1.233116e-04,1.229056e-04,1.226227e-04,1.224185e-04,1.218566e-04,1.214986e-04,1.212255e-04,1.205309e-04,1.201160e-04,1.197778e-04,1.189711e-04,1.185149e-04,1.181155e-04,1.172153e-04,1.167308e-04,1.162744e-04,1.152967e-04,1.147952e-04,1.142859e-04,1.132451e-04,1.127359e-04,1.121777e-04,1.110866e-04,1.105775e-04,1.099746e-04,1.088442e-04,1.083417e-04,1.076980e-04,1.065382e-04,1.060476e-04,1.053670e-04,1.041863e-04,1.037119e-04,1.029981e-04,1.018042e-04,1.013493e-04,1.006060e-04,9.940526e-05,9.897263e-05,9.820331e-05,9.700148e-05,9.659311e-05,9.580101e-05,9.460305e-05,9.422041e-05,9.340867e-05,9.221884e-05,9.186292e-05,9.103449e-05,8.985646e-05,8.952785e-05,8.868553e-05,8.752241e-05,8.722137e-05,8.636778e-05,8.522224e-05,8.494872e-05,8.408634e-05,8.296059e-05,8.271434e-05,8.184546e-05,8.074137e-05,8.052191e-05,7.964869e-05,7.856778e-05,7.837448e-05,7.749893e-05,7.644243e-05,7.627455e-05,7.539851e-05,7.436740e-05,7.422408e-05,7.334928e-05,7.234432e-05,7.222461e-05,7.135264e-05,7.037438e-05,7.027729e-05,6.940962e-05,6.845843e-05,6.838292e-05,6.752088e-05,6.659700e-05,6.654200e-05,6.568682e-05,6.479034e-05,6.475477e-05,6.390757e-05,6.303848e-05,6.302123e-05,6.218304e-05,6.134121e-05,5.971434e-05,5.814013e-05,5.661794e-05,5.514703e-05,5.372659e-05,5.235571e-05,5.103342e-05,4.975872e-05,4.853056e-05,4.734784e-05,4.620947e-05,4.511432e-05,4.406126e-05,4.304916e-05,4.207687e-05,4.114327e-05,4.024722e-05,3.938762e-05,3.856337e-05,3.777337e-05,3.701656e-05,3.629189e-05,3.559833e-05,3.493486e-05,3.430050e-05,3.369428e-05,3.311526e-05,3.256251e-05,3.203513e-05,3.153225e-05,3.105302e-05,3.059661e-05,3.016220e-05,2.974902e-05,2.935630e-05,2.898330e-05,2.862930e-05,2.829361e-05,2.797555e-05,2.767445e-05,2.738969e-05,2.712065e-05,2.686672e-05,2.662733e-05,2.640192e-05,2.618994e-05,2.599086e-05,2.580418e-05,2.562939e-05
0.000000e+00,3.703390e-10,5.177102e-09,5.411252e-09,3.525635e-08,1.268720e-07,1.325857e-07,3.236818e-07,5.560444e-07,5.714891e-07,8.290007e-07,1.059380e-06,1.078973e-06,1.317354e-06,1.521356e-06,1.543406e-06,1.757216e-06,1.935488e-06,1.959095e-06,2.149420e-06,2.304161e-06,2.328587e-06,2.496995e-06,2.630438e-06,2.655046e-06,2.803141e-06,2.917428e-06,2.941676e-06,3.071039e-06,3.168183e-06,3.191613e-06,3.303771e-06,3.385645e-06,3.407874e-06,3.504271e-06,3.572584e-06,3.593296e-06,3.675279e-06,3.731600e-06,3.750538e-06,3.819389e-06,3.865163e-06,3.882132e-06,3.939050e-06,3.975574e-06,3.990418e-06,4.036501e-06,4.064947e-06,4.077551e-06,4.113812e-06,4.135235e-06,4.145519e-06,4.172897e-06,4.188246e-06,4.196161e-06,4.215521e-06,4.225650e-06,4.231174e-06,4.243312e-06,4.248984e-06,4.252119e-06,4.257769e-06,4.259667e-06,4.260432e-06,4.260270e-06,4.259003e-06,4.257438e-06,4.252083e-06,4.248193e-06,4.244349e-06,4.234371e-06,4.228339e-06,4.222280e-06,4.208200e-06,4.200452e-06,4.192252e-06,4.174550e-06,4.165462e-06,4.155202e-06,4.134315e-06,4.124217e-06,4.111988e-06,4.088316e-06,4.077498e-06,4.063391e-06,4.037301e-06,4.026015e-06,4.010128e-06,3.981953e-06,3.970420e-06,3.952852e-06,3.922897e-06,3.911305e-06,3.892158e-06,3.860700e-06,3.849212e-06,3.828587e-06,3.795879e-06,3.784633e-06,3.762632e-06,3.728902e-06,3.718015e-06,3.694740e-06,3.660196e-06,3.649765e-06,3.625315e-06,3.590144e-06,3.580250e-06,3.554725e-06,3.519097e-06,3.509804e-06,3.483299e-06,3.447367e-06,3.438727e-06,3.411336e-06,3.375238e-06,3.367290e-06,3.339104e-06,3.302963e-06,3.295737e-06,3.266843e-06,3.230771e-06,3.224285e-06,3.194770e-06,3.158864e-06,3.153129e-06,3.123075e-06,3.087424e-06,3.082445e-06,3.051930e-06,3.016611e-06,3.012385e-06,2.981484e-06,2.946567e-06,2.943087e-06,2.911873e-06,2.877416e-06,2.874670e-06,2.843211e-06,2.809268e-06,2.807241e-06,2.775601e-06,2.742218e-06,2.740889e-06,2.709131e-06,2.676347e-06,2.675695e-06,2.643877e-06,2.611726e-06,2.549039e-06,2.487681e-06,2.427693e-06,2.369104e-06,2.311941e-06,2.256219e-06,2.201952e-06,2.149146e-06,2.097804e-06,2.047923e-06,1.999498e-06,1.952519e-06,1.906974e-06,1.862849e-06,1.820127e-06,1.778788e-06,1.738812e-06,1.700176e-06,1.662857e-06,1.626830e-06,1.592068e-06,1.558547e-06,1.526238e-06,1.495113e-06,1.465146e-06,1.436308e-06,1.408570e-06,1.381904e-06,1.356281e-06,1.331674e-06,1.308054e-06,1.285394e-06,1.263665e-06,1.242841e-06,1.222894e-06,1.203798e-06,1.185526e-06,1.168053e-06,1.151354e-06,1.135403e-06,1.120177e-06,1.105652e-06,1.091804e-06,1.078610e-06,1.066049e-06,1.054098e-06,1.042737e-06,1.031944e-06,1.021700e-06
0.000000e+00,8.372619e-08,1.203230e-06,1.255728e-06,7.802899e-06,2.855190e-05,2.988539e-05,7.682405e-05,1.385151e-04,1.427238e-04,2.135971e-04,2.770105e-04,2.823758e-04,3.471628e-04,4.017649e-04,4.076151e-04,4.637737e-04,5.097492e-04,5.157751e-04,5.637825e-04,6.020058e-04,6.079683e-04,6.485086e-04,6.798753e-04,6.855812e-04,7.193633e-04,7.447320e-04,7.500297e-04,7.777519e-04,7.979220e-04,8.026965e-04,8.250243e-04,8.407234e-04,8.448904e-04,8.624431e-04,8.743235e-04,8.778243e-04,8.911693e-04,8.998095e-04,9.026066e-04,9.122587e-04,9.181682e-04,9.202416e-04,9.266655e-04,9.302906e-04,9.316346e-04,9.352479e-04,9.369783e-04,9.375988e-04,9.387758e-04,9.389504e-04,9.388626e-04,9.379383e-04,9.368507e-04,9.360775e-04,9.333508e-04,9.312547e-04,9.298248e-04,9.255622e-04,9.226759e-04,9.206223e-04,9.150610e-04,9.115715e-04,9.089308e-04,9.022814e-04,8.983484e-04,8.951593e-04,8.876086e-04,8.833675e-04,8.796703e-04,8.713835e-04,8.669487e-04,8.627844e-04,8.539075e-04,8.493749e-04,8.447847e-04,8.354463e-04,8.308956e-04,8.259204e-04,8.162335e-04,8.117303e-04,8.064103e-04,7.964740e-04,7.920718e-04,7.864462e-04,7.763471e-04,7.720888e-04,7.661955e-04,7.560089e-04,7.519281e-04,7.458036e-04,7.355949e-04,7.317177e-04,7.253969e-04,7.152225e-04,7.115679e-04,7.050839e-04,6.949922e-04,6.915736e-04,6.849579e-04,6.749903e-04,6.718162e-04,6.650982e-04,6.552897e-04,6.523646e-04,6.455721e-04,6.359521e-04,6.332768e-04,6.264357e-04,6.170286e-04,6.146012e-04,6.077356e-04,5.985614e-04,5.963776e-04,5.895098e-04,5.805845e-04,5.786382e-04,5.717887e-04,5.631251e-04,5.614084e-04,5.545961e-04,5.462038e-04,5.447079e-04,5.379500e-04,5.298360e-04,5.285509e-04,5.218631e-04,5.140322e-04,5.129472e-04,5.063439e-04,4.987986e-04,4.979028e-04,4.913966e-04,4.841380e-04,4.834200e-04,4.770224e-04,4.700498e-04,4.694981e-04,4.632195e-04,4.565309e-04,4.561340e-04,4.499833e-04,4.435757e-04,4.433223e-04,4.373073e-04,4.311769e-04,4.310557e-04,4.251832e-04,4.193251e-04,4.081205e-04,3.974303e-04,3.872425e-04,3.775438e-04,3.683209e-04,3.595596e-04,3.512458e-04,3.433648e-04,3.359021e-04,3.288430e-04,3.221729e-04,3.158774e-04,3.099420e-04,3.043526e-04,2.990954e-04,2.941566e-04,2.895228e-04,2.851811e-04,2.811187e-04,2.773232e-04,2.737825e-04,2.704849e-04,2.674192e-04,2.645744e-04,2.619398e-04,2.595051e-04,2.572606e-04,2.551966e-04,2.533039e-04,2.515737e-04,2.499975e-04,2.485671e-04,2.472745e-04,2.461124e-04,2.450733e-04,2.441503e-04,2.433368e-04,2.426264e-04,2.420130e-04,2.414906e-04,2.410538e-04,2.406972e-04,2.404156e-04,2.402042e-04,2.400583e-04,2.399736e-04,2.399457e-04,2.399706e-04,2.400445e-04
0.000000e+00,2.910628e-08,4.936456e-07,5.171440e-07,3.625799e-06,1.325390e-05,1.384570e-05,3.274802e-05,5.391359e-05,5.527709e-05,7.752752e-05,9.684639e-05,9.846761e-05,1.179323e-04,1.342069e-04,1.359444e-04,1.525658e-04,1.660971e-04,1.678656e-04,1.819136e-04,1.930455e-04,1.947777e-04,2.065240e-04,2.155737e-04,2.172162e-04,2.269162e-04,2.341716e-04,2.356834e-04,2.435750e-04,2.492947e-04,2.506457e-04,2.569476e-04,2.613615e-04,2.625304e-04,2.674412e-04,2.707516e-04,2.717247e-04,2.754229e-04,2.778064e-04,2.785758e-04,2.812210e-04,2.828311e-04,2.833938e-04,2.851276e-04,2.860969e-04,2.864537e-04,2.874017e-04,2.878445e-04,2.879991e-04,2.882721e-04,2.882865e-04,2.882451e-04,2.879409e-04,2.876108e-04,2.873812e-04,2.865860e-04,2.859831e-04,2.855743e-04,2.843638e-04,2.835491e-04,2.829711e-04,2.814118e-04,2.804367e-04,2.797002e-04,2.778502e-04,2.767585e-04,2.758744e-04,2.737847e-04,2.726129e-04,2.715922e-04,2.693074e-04,2.680860e-04,2.669399e-04,2.644988e-04,2.632533e-04,2.619925e-04,2.594290e-04,2.581803e-04,2.568155e-04,2.541590e-04,2.529242e-04,2.514657e-04,2.487415e-04,2.475346e-04,2.459921e-04,2.432225e-04,2.420544e-04,2.404375e-04,2.376414e-04,2.365208e-04,2.348383e-04,2.320321e-04,2.309656e-04,2.292262e-04,2.264238e-04,2.254164e-04,2.236279e-04,2.208413e-04,2.198965e-04,2.180665e-04,2.153058e-04,2.144257e-04,2.125613e-04,2.098350e-04,2.090209e-04,2.071287e-04,2.044439e-04,2.036963e-04,2.017822e-04,1.991449e-04,1.984634e-04,1.965333e-04,1.939483e-04,1.933320e-04,1.913910e-04,1.888622e-04,1.883098e-04,1.863628e-04,1.838933e-04,1.834031e-04,1.814545e-04,1.790469e-04,1.786168e-04,1.766708e-04,1.743267e-04,1.739546e-04,1.720148e-04,1.697355e-04,1.694190e-04,1.674889e-04,1.652752e-04,1.650118e-04,1.630945e-04,1.609468e-04,1.607339e-04,1.588322e-04,1.567507e-04,1.565856e-04,1.547021e-04,1.526864e-04,1.525665e-04,1.507035e-04,1.487532e-04,1.486759e-04,1.468355e-04,1.449500e-04,1.449126e-04,1.430966e-04,1.412750e-04,1.377612e-04,1.343692e-04,1.310967e-04,1.279411e-04,1.249000e-04,1.219706e-04,1.191501e-04,1.164358e-04,1.138248e-04,1.113143e-04,1.089013e-04,1.065830e-04,1.043565e-04,1.022191e-04,1.001680e-04,9.820036e-05,9.631357e-05,9.450498e-05,9.277199e-05,9.111206e-05,8.952272e-05,8.800155e-05,8.654620e-05,8.515436e-05,8.382382e-05,8.255240e-05,8.133798e-05,8.017852e-05,7.907203e-05,7.801658e-05,7.701029e-05,7.605136e-05,7.513803e-05,7.426859e-05,7.344139e-05,7.265485e-05,7.190742e-05,7.119760e-05,7.052395e-05,6.988508e-05,6.927963e-05,6.870631e-05,6.816383e-05,6.765100e-05,6.716663e-05,6.670958e-05,6.627875e-05,6.587308e-05,6.549155e-05
0.000000e+00,1.056883e-06,2.671168e-05,2.816191e-05,2.613094e-04,1.174869e-03,1.236376e-03,3.470011e-03,6.698726e-03,6.936750e-03,1.136457e-02,1.604929e-02,1.647780e-02,2.204368e-02,2.728348e-02,2.787384e-02,3.381810e-02,3.904876e-02,3.975805e-02,4.560129e-02,5.049444e-02,5.127674e-02,5.673082e-02,6.111206e-02,6.192423e-02,6.682937e-02,7.062353e-02,7.142814e-02,7.571013e-02,7.890465e-02,7.967115e-02,8.331190e-02,8.593219e-02,8.663696e-02,8.965386e-02,9.174656e-02,9.237237e-02,9.480389e-02,9.642579e-02,9.696096e-02,9.885690e-02,1.000680e-01,1.005054e-01,1.019204e-01,1.027792e-01,1.031155e-01,1.041046e-01,1.046662e-01,1.049008e-01,1.055171e-01,1.058313e-01,1.059658e-01,1.062587e-01,1.063697e-01,1.064073e-01,1.064222e-01,1.063688e-01,1.063136e-01,1.060911e-01,1.059068e-01,1.057639e-01,1.053404e-01,1.050538e-01,1.048286e-01,1.042362e-01,1.038719e-01,1.035701e-01,1.028370e-01,1.024155e-01,1.020431e-01,1.011941e-01,1.007327e-01,1.002955e-01,9.935237e-02,9.886559e-02,9.836942e-02,9.735109e-02,9.685095e-02,9.630152e-02,9.522458e-02,9.472100e-02,9.412387e-02,9.300277e-02,9.250384e-02,9.186442e-02,9.071177e-02,9.022406e-02,8.954755e-02,8.837431e-02,8.790303e-02,8.719443e-02,8.601014e-02,8.555938e-02,8.482348e-02,8.363638e-02,8.320927e-02,8.245063e-02,8.126786e-02,8.086668e-02,8.008963e-02,7.891735e-02,7.854369e-02,7.775234e-02,7.659580e-02,7.625066e-02,7.544887e-02,7.431256e-02,7.399644e-02,7.318784e-02,7.207556e-02,7.178851e-02,7.097652e-02,6.989145e-02,6.963319e-02,6.882100e-02,6.776576e-02,6.753571e-02,6.672628e-02,6.570303e-02,6.550037e-02,6.469644e-02,6.370690e-02,6.353062e-02,6.273474e-02,6.178025e-02,6.162918e-02,6.084367e-02,5.992523e-02,5.979811e-02,5.902510e-02,5.814342e-02,5.803887e-02,5.728030e-02,5.643583e-02,5.635241e-02,5.561006e-02,5.480301e-02,5.473925e-02,5.401468e-02,5.324507e-02,5.319949e-02,5.249412e-02,5.176177e-02,5.173286e-02,5.104795e-02,5.035256e-02,5.033884e-02,4.967547e-02,4.901657e-02,4.776502e-02,4.658291e-02,4.546881e-02,4.442113e-02,4.343815e-02,4.251804e-02,4.165889e-02,4.085870e-02,4.011541e-02,3.942691e-02,3.879105e-02,3.820566e-02,3.766856e-02,3.717754e-02,3.673040e-02,3.632494e-02,3.595899e-02,3.563038e-02,3.533697e-02,3.507667e-02,3.484740e-02,3.464713e-02,3.447390e-02,3.432575e-02,3.420083e-02,3.409730e-02,3.401341e-02,3.394745e-02,3.389780e-02,3.386289e-02,3.384122e-02,3.383137e-02,3.383197e-02,3.384175e-02,3.385948e-02,3.388403e-02,3.391433e-02,3.394937e-02,3.398823e-02,3.403004e-02,3.407401e-02,3.411940e-02,3.416556e-02,3.421187e-02,3.425780e-02,3.430284e-02,3.434658e-02,3.438862e-02,3.442863e-02
0.000000e+00,2.593951e-08,3.889618e-07,4.063598e-07,2.544024e-06,8.876786e-06,9.271151e-06,2.293723e-05,4.145012e-05,4.275103e-05,6.514588e-05,8.547115e-05,8.718778e-05,1.077901e-04,1.249145e-04,1.267342e-04,1.440437e-04,1.579890e-04,1.598011e-04,1.741006e-04,1.853043e-04,1.870368e-04,1.987008e-04,2.075790e-04,2.091794e-04,2.185550e-04,2.254745e-04,2.269052e-04,2.343030e-04,2.395818e-04,2.408171e-04,2.465119e-04,2.504240e-04,2.514477e-04,2.556811e-04,2.584612e-04,2.592647e-04,2.622479e-04,2.640961e-04,2.646767e-04,2.665942e-04,2.676808e-04,2.680405e-04,2.690530e-04,2.695225e-04,2.696667e-04,2.699139e-04,2.698883e-04,2.698250e-04,2.694283e-04,2.690105e-04,2.687498e-04,2.678142e-04,2.670911e-04,2.666444e-04,2.652615e-04,2.643057e-04,2.636850e-04,2.619335e-04,2.608057e-04,2.600239e-04,2.579719e-04,2.567224e-04,2.557923e-04,2.534986e-04,2.521690e-04,2.511034e-04,2.486185e-04,2.472431e-04,2.460546e-04,2.434219e-04,2.420288e-04,2.407296e-04,2.379862e-04,2.365979e-04,2.351998e-04,2.323777e-04,2.310124e-04,2.295266e-04,2.266528e-04,2.253248e-04,2.237620e-04,2.208596e-04,2.195800e-04,2.179503e-04,2.150386e-04,2.138160e-04,2.121287e-04,2.092243e-04,2.080649e-04,2.063289e-04,2.034456e-04,2.023537e-04,2.005772e-04,1.977265e-04,1.967049e-04,1.948956e-04,1.920868e-04,1.911372e-04,1.893021e-04,1.865430e-04,1.856659e-04,1.838113e-04,1.811084e-04,1.803033e-04,1.784353e-04,1.757934e-04,1.750594e-04,1.731835e-04,1.706066e-04,1.699420e-04,1.680632e-04,1.655542e-04,1.649572e-04,1.630800e-04,1.606410e-04,1.601092e-04,1.582377e-04,1.558702e-04,1.554011e-04,1.535389e-04,1.512439e-04,1.508347e-04,1.489853e-04,1.467630e-04,1.464109e-04,1.445772e-04,1.424277e-04,1.421297e-04,1.403145e-04,1.382374e-04,1.379906e-04,1.361962e-04,1.341908e-04,1.339922e-04,1.322209e-04,1.302863e-04,1.301330e-04,1.283866e-04,1.265215e-04,1.264107e-04,1.246908e-04,1.228941e-04,1.228229e-04,1.211311e-04,1.194013e-04,1.193670e-04,1.177044e-04,1.160400e-04,1.128387e-04,1.097601e-04,1.068007e-04,1.039574e-04,1.012266e-04,9.860495e-05,9.608911e-05,9.367567e-05,9.136131e-05,8.914272e-05,8.701667e-05,8.497998e-05,8.302954e-05,8.116228e-05,7.937526e-05,7.766556e-05,7.603037e-05,7.446696e-05,7.297266e-05,7.154489e-05,7.018115e-05,6.887902e-05,6.763615e-05,6.645028e-05,6.531921e-05,6.424082e-05,6.321306e-05,6.223396e-05,6.130161e-05,6.041417e-05,5.956986e-05,5.876696e-05,5.800383e-05,5.727887e-05,5.659055e-05,5.593739e-05,5.531796e-05,5.473089e-05,5.417486e-05,5.364860e-05,5.315087e-05,5.268050e-05,5.223635e-05,5.181732e-05,5.142237e-05,5.105047e-05,5.070065e-05,5.037197e-05,5.006353e-05
0.000000e+00,1.031421e-07,1.709869e-06,1.790661e-06,1.273584e-05,4.814312e-05,5.034863e-05,1.211735e-04,2.011058e-04,2.062838e-04,2.913142e-04,3.659865e-04,3.722902e-04,4.484453e-04,5.128189e-04,5.197312e-04,5.862660e-04,6.410133e-04,6.482099e-04,7.057364e-04,7.518133e-04,7.590254e-04,8.082606e-04,8.466207e-04,8.536270e-04,8.953091e-04,9.268677e-04,9.334899e-04,9.683489e-04,9.939623e-04,1.000061e-03,1.028797e-03,1.049250e-03,1.054720e-03,1.077988e-03,1.093990e-03,1.098753e-03,1.117160e-03,1.129345e-03,1.133348e-03,1.147449e-03,1.156381e-03,1.159590e-03,1.169891e-03,1.176068e-03,1.178466e-03,1.185425e-03,1.189286e-03,1.190870e-03,1.194900e-03,1.196830e-03,1.197608e-03,1.199082e-03,1.199418e-03,1.199407e-03,1.198662e-03,1.197696e-03,1.196923e-03,1.194260e-03,1.192247e-03,1.190742e-03,1.186432e-03,1.183593e-03,1.181391e-03,1.175677e-03,1.172203e-03,1.169343e-03,1.162441e-03,1.158495e-03,1.155019e-03,1.147123e-03,1.142843e-03,1.138795e-03,1.130077e-03,1.125583e-03,1.121006e-03,1.111619e-03,1.107011e-03,1.101950e-03,1.092031e-03,1.087392e-03,1.081891e-03,1.071559e-03,1.066959e-03,1.061062e-03,1.050425e-03,1.045921e-03,1.039671e-03,1.028821e-03,1.024459e-03,1.017897e-03,1.006918e-03,1.002735e-03,9.959016e-04,9.848647e-04,9.808894e-04,9.738229e-04,9.627911e-04,9.590449e-04,9.517827e-04,9.408104e-04,9.373088e-04,9.298859e-04,9.190202e-04,9.157735e-04,9.082233e-04,8.975046e-04,8.945186e-04,8.868726e-04,8.763353e-04,8.736120e-04,8.658999e-04,8.555731e-04,8.531115e-04,8.453609e-04,8.352689e-04,8.330653e-04,8.253021e-04,8.154650e-04,8.135135e-04,8.057617e-04,7.961958e-04,7.944888e-04,7.867706e-04,7.774889e-04,7.760173e-04,7.683533e-04,7.593658e-04,7.581194e-04,7.505283e-04,7.418423e-04,7.408102e-04,7.333091e-04,7.249298e-04,7.241003e-04,7.167049e-04,7.086352e-04,7.079963e-04,7.007208e-04,6.929618e-04,6.925012e-04,6.853582e-04,6.779097e-04,6.776150e-04,6.706159e-04,6.634762e-04,6.633350e-04,6.564899e-04,6.496560e-04,6.365710e-04,6.240712e-04,6.121461e-04,6.007843e-04,5.899729e-04,5.796987e-04,5.699472e-04,5.607038e-04,5.519532e-04,5.436800e-04,5.358683e-04,5.285023e-04,5.215662e-04,5.150440e-04,5.089199e-04,5.031781e-04,4.978033e-04,4.927800e-04,4.880933e-04,4.837283e-04,4.796707e-04,4.759064e-04,4.724215e-04,4.692026e-04,4.662367e-04,4.635111e-04,4.610136e-04,4.587321e-04,4.566553e-04,4.547719e-04,4.530712e-04,4.515429e-04,4.501771e-04,4.489640e-04,4.478946e-04,4.469599e-04,4.461515e-04,4.454613e-04,4.448814e-04,4.444045e-04,4.440234e-04,4.437314e-04,4.435220e-04,4.433891e-04,4.433267e-04,4.433294e-04,4.433918e-04,4.435090e-04,4.436762e-04
0.000000e+00,3.727104e-08,5.685513e-07,5.944026e-07,3.808259e-06,1.320629e-05,1.377939e-05,3.250619e-05,5.471614e-05,5.618209e-05,8.050770e-05,1.021169e-04,1.039486e-04,1.261584e-04,1.450510e-04,1.470865e-04,1.667531e-04,1.830473e-04,1.851975e-04,2.024630e-04,2.164031e-04,2.185951e-04,2.336398e-04,2.454716e-04,2.476444e-04,2.606547e-04,2.706125e-04,2.727153e-04,2.838705e-04,2.921721e-04,2.941638e-04,3.036371e-04,3.104834e-04,3.123312e-04,3.202854e-04,3.258590e-04,3.275374e-04,3.341235e-04,3.385889e-04,3.400784e-04,3.454355e-04,3.489404e-04,3.502267e-04,3.544824e-04,3.571584e-04,3.582318e-04,3.615027e-04,3.634672e-04,3.643217e-04,3.667141e-04,3.680712e-04,3.687041e-04,3.703147e-04,3.711566e-04,3.715679e-04,3.724846e-04,3.728928e-04,3.730848e-04,3.733873e-04,3.734336e-04,3.734104e-04,3.731711e-04,3.729186e-04,3.726858e-04,3.719701e-04,3.714742e-04,3.710388e-04,3.699060e-04,3.692151e-04,3.685849e-04,3.670884e-04,3.662448e-04,3.654284e-04,3.636164e-04,3.626569e-04,3.616634e-04,3.595795e-04,3.585357e-04,3.573747e-04,3.550582e-04,3.539575e-04,3.526388e-04,3.501249e-04,3.489909e-04,3.475243e-04,3.448447e-04,3.436974e-04,3.420930e-04,3.392761e-04,3.381324e-04,3.364002e-04,3.334714e-04,3.323458e-04,3.304954e-04,3.274775e-04,3.263818e-04,3.244229e-04,3.213364e-04,3.202805e-04,3.182224e-04,3.150853e-04,3.140772e-04,3.119291e-04,3.087576e-04,3.078037e-04,3.055744e-04,3.023828e-04,3.014881e-04,2.991861e-04,2.959871e-04,2.951554e-04,2.927887e-04,2.895936e-04,2.888275e-04,2.864042e-04,2.832228e-04,2.825241e-04,2.800515e-04,2.768925e-04,2.762623e-04,2.737475e-04,2.706184e-04,2.700570e-04,2.675068e-04,2.644143e-04,2.639213e-04,2.613422e-04,2.582919e-04,2.578666e-04,2.552646e-04,2.522615e-04,2.519027e-04,2.492835e-04,2.463317e-04,2.460380e-04,2.434070e-04,2.405101e-04,2.402796e-04,2.376418e-04,2.348028e-04,2.346334e-04,2.319937e-04,2.292150e-04,2.291045e-04,2.264672e-04,2.237508e-04,2.236968e-04,2.210662e-04,2.184137e-04,2.132577e-04,2.082305e-04,2.033336e-04,1.985675e-04,1.939327e-04,1.894291e-04,1.850562e-04,1.808131e-04,1.766990e-04,1.727124e-04,1.688519e-04,1.651159e-04,1.615024e-04,1.580095e-04,1.546352e-04,1.513773e-04,1.482336e-04,1.452016e-04,1.422792e-04,1.394638e-04,1.367531e-04,1.341447e-04,1.316360e-04,1.292247e-04,1.269083e-04,1.246844e-04,1.225505e-04,1.205043e-04,1.185433e-04,1.166652e-04,1.148678e-04,1.131486e-04,1.115055e-04,1.099361e-04,1.084384e-04,1.070101e-04,1.056491e-04,1.043534e-04,1.031208e-04,1.019495e-04,1.008374e-04,9.978258e-05,9.878316e-05,9.783729e-05,9.694316e-05,9.609900e-05,9.530305e-05,9.455364e-05,9.384909e-05
0.000000e+00,1.647347e-07,3.233790e-06,3.392536e-06,2.650932e-05,1.175095e-04,1.239628e-04,3.876956e-04,8.378713e-04,8.729068e-04,1.544356e-03,2.265767e-03,2.331451e-03,3.173739e-03,3.943270e-03,4.028389e-03,4.867032e-03,5.577318e-03,5.671667e-03,6.431434e-03,7.044261e-03,7.140308e-03,7.795505e-03,8.303877e-03,8.396388e-03,8.943726e-03,9.353740e-03,9.439188e-03,9.884996e-03,1.020759e-02,1.028369e-02,1.063797e-02,1.088524e-02,1.095058e-02,1.122426e-02,1.140786e-02,1.146167e-02,1.166536e-02,1.179584e-02,1.183780e-02,1.198129e-02,1.206791e-02,1.209802e-02,1.219007e-02,1.224085e-02,1.225936e-02,1.230769e-02,1.232945e-02,1.233676e-02,1.234815e-02,1.234669e-02,1.234332e-02,1.232366e-02,1.230388e-02,1.229044e-02,1.224485e-02,1.221086e-02,1.218800e-02,1.212092e-02,1.207616e-02,1.204456e-02,1.195983e-02,1.190717e-02,1.186754e-02,1.176848e-02,1.171031e-02,1.166335e-02,1.155281e-02,1.149110e-02,1.143749e-02,1.131794e-02,1.125429e-02,1.119471e-02,1.106827e-02,1.100399e-02,1.093908e-02,1.080755e-02,1.074371e-02,1.067409e-02,1.053905e-02,1.047649e-02,1.040275e-02,1.026550e-02,1.020489e-02,1.012760e-02,9.989283e-03,9.931130e-03,9.850807e-03,9.712386e-03,9.657079e-03,9.574223e-03,9.436503e-03,9.384321e-03,9.299395e-03,9.163055e-03,9.114188e-03,9.027623e-03,8.893229e-03,8.847792e-03,8.759989e-03,8.628009e-03,8.586057e-03,8.497384e-03,8.368201e-03,8.329739e-03,8.240537e-03,8.114460e-03,8.079452e-03,7.990033e-03,7.867309e-03,7.835685e-03,7.746335e-03,7.627153e-03,7.598820e-03,7.509798e-03,7.394301e-03,7.369143e-03,7.280687e-03,7.168977e-03,7.146865e-03,7.059187e-03,6.951330e-03,6.932122e-03,6.845416e-03,6.741450e-03,6.724997e-03,6.639435e-03,6.539371e-03,6.525518e-03,6.441255e-03,6.345082e-03,6.333672e-03,6.250845e-03,6.158535e-03,6.149410e-03,6.068140e-03,5.979649e-03,5.972651e-03,5.893045e-03,5.808315e-03,5.803290e-03,5.725441e-03,5.644404e-03,5.641201e-03,5.565187e-03,5.487769e-03,5.486239e-03,5.412130e-03,5.338247e-03,5.197056e-03,5.062487e-03,4.934357e-03,4.812476e-03,4.696650e-03,4.586687e-03,4.482391e-03,4.383567e-03,4.290021e-03,4.201563e-03,4.118001e-03,4.039151e-03,3.964829e-03,3.894854e-03,3.829051e-03,3.767248e-03,3.709277e-03,3.654975e-03,3.604183e-03,3.556746e-03,3.512513e-03,3.471339e-03,3.433083e-03,3.397606e-03,3.364777e-03,3.334467e-03,3.306551e-03,3.280910e-03,3.257427e-03,3.235989e-03,3.216490e-03,3.198824e-03,3.182891e-03,3.168594e-03,3.155839e-03,3.144537e-03,3.134601e-03,3.125949e-03,3.118499e-03,3.112177e-03,3.106907e-03,3.102621e-03,3.099250e-03,3.096729e-03,3.094997e-03,3.093995e-03,3.093667e-03,3.093958e-03,3.094817e-03
0.000000e+00,3.953543e-09,6.159507e-08,6.431794e-08,3.615148e-07,1.055439e-06,1.093764e-06,2.243572e-06,3.499007e-06,3.579303e-06,4.847763e-06,5.845133e-06,5.923369e-06,6.792363e-06,7.418152e-06,7.479562e-06,8.014988e-06,8.382224e-06,8.425723e-06,8.734600e-06,8.933257e-06,8.960497e-06,9.118864e-06,9.209033e-06,9.222354e-06,9.281327e-06,9.302480e-06,9.304284e-06,9.298173e-06,9.276203e-06,9.268666e-06,9.220396e-06,9.172178e-06,9.157143e-06,9.081987e-06,9.018475e-06,8.997446e-06,8.905574e-06,8.833864e-06,8.808042e-06,8.706212e-06,8.630864e-06,8.601192e-06,8.493889e-06,8.417818e-06,8.385039e-06,8.275238e-06,8.200281e-06,8.164969e-06,8.054624e-06,7.981911e-06,7.944520e-06,7.834913e-06,7.765122e-06,7.726009e-06,7.617973e-06,7.551485e-06,7.510935e-06,7.405000e-06,7.342003e-06,7.300249e-06,7.196746e-06,7.137306e-06,7.094539e-06,6.993664e-06,6.937765e-06,6.894146e-06,6.796004e-06,6.743584e-06,6.699249e-06,6.603887e-06,6.554850e-06,6.509919e-06,6.417343e-06,6.371576e-06,6.326154e-06,6.236344e-06,6.193723e-06,6.147904e-06,6.060823e-06,6.021218e-06,5.975087e-06,5.890684e-06,5.853966e-06,5.807600e-06,5.725820e-06,5.691858e-06,5.645329e-06,5.566110e-06,5.534776e-06,5.488149e-06,5.411428e-06,5.382596e-06,5.335932e-06,5.261644e-06,5.235193e-06,5.188549e-06,5.116628e-06,5.092440e-06,5.045867e-06,4.976248e-06,4.954209e-06,4.907757e-06,4.840376e-06,4.820376e-06,4.774089e-06,4.708882e-06,4.690815e-06,4.644737e-06,4.581640e-06,4.565405e-06,4.519576e-06,4.458527e-06,4.444026e-06,4.398481e-06,4.339422e-06,4.326560e-06,4.281335e-06,4.224205e-06,4.212892e-06,4.168018e-06,4.112760e-06,4.102912e-06,4.058418e-06,4.004976e-06,3.996508e-06,3.952421e-06,3.900740e-06,3.893574e-06,3.849920e-06,3.799947e-06,3.794006e-06,3.750808e-06,3.702490e-06,3.697703e-06,3.654982e-06,3.608269e-06,3.604566e-06,3.562341e-06,3.517185e-06,3.514500e-06,3.472788e-06,3.429140e-06,3.427410e-06,3.386229e-06,3.344042e-06,3.343206e-06,3.302569e-06,3.261799e-06,3.183105e-06,3.107039e-06,3.033521e-06,2.962471e-06,2.893814e-06,2.827476e-06,2.763384e-06,2.701469e-06,2.641663e-06,2.583900e-06,2.528116e-06,2.474249e-06,2.422240e-06,2.372030e-06,2.323563e-06,2.276783e-06,2.231638e-06,2.188076e-06,2.146048e-06,2.105504e-06,2.066397e-06,2.028683e-06,1.992317e-06,1.957256e-06,1.923458e-06,1.890884e-06,1.859495e-06,1.829252e-06,1.800118e-06,1.772060e-06,1.745041e-06,1.719029e-06,1.693991e-06,1.669895e-06,1.646712e-06,1.624412e-06,1.602967e-06,1.582347e-06,1.562528e-06,1.543483e-06,1.525185e-06,1.507612e-06,1.490740e-06,1.474544e-06,1.459004e-06,1.444098e-06,1.429803e-06,1.416102e-06,1.402972e-06
0.000000e+00,5.474765e-08,1.227772e-06,1.292011e-06,1.082612e-05,4.213536e-05,4.402465e-05,1.018511e-04,1.644328e-04,1.684500e-04,2.337768e-04,2.898423e-04,2.945071e-04,3.499250e-04,3.953121e-04,4.001012e-04,4.453154e-04,4.812579e-04,4.858935e-04,5.221640e-04,5.501553e-04,5.544464e-04,5.830468e-04,6.044390e-04,6.082561e-04,6.303485e-04,6.463192e-04,6.495809e-04,6.661925e-04,6.777453e-04,6.804063e-04,6.924289e-04,7.004088e-04,7.024515e-04,7.106507e-04,7.157626e-04,7.171884e-04,7.222143e-04,7.250415e-04,7.258661e-04,7.282708e-04,7.292958e-04,7.295449e-04,7.297950e-04,7.294139e-04,7.291196e-04,7.276091e-04,7.261475e-04,7.253464e-04,7.224072e-04,7.201309e-04,7.188612e-04,7.147724e-04,7.118978e-04,7.101992e-04,7.051952e-04,7.018982e-04,6.998097e-04,6.940874e-04,6.905096e-04,6.880694e-04,6.817935e-04,6.780488e-04,6.752938e-04,6.686019e-04,6.647812e-04,6.617464e-04,6.547532e-04,6.509282e-04,6.476464e-04,6.404474e-04,6.366742e-04,6.331762e-04,6.258506e-04,6.221725e-04,6.184869e-04,6.111000e-04,6.075500e-04,6.037033e-04,5.963088e-04,5.929112e-04,5.889277e-04,5.815697e-04,5.783419e-04,5.742439e-04,5.669582e-04,5.639119e-04,5.597199e-04,5.525353e-04,5.496779e-04,5.454104e-04,5.383501e-04,5.356851e-04,5.313591e-04,5.244413e-04,5.219695e-04,5.176002e-04,5.108390e-04,5.085588e-04,5.041603e-04,4.975663e-04,4.954745e-04,4.910592e-04,4.846405e-04,4.827323e-04,4.783115e-04,4.720734e-04,4.703432e-04,4.659271e-04,4.598733e-04,4.583145e-04,4.539123e-04,4.480445e-04,4.466501e-04,4.422700e-04,4.365889e-04,4.353515e-04,4.310009e-04,4.255058e-04,4.244179e-04,4.201032e-04,4.147927e-04,4.138465e-04,4.095737e-04,4.044456e-04,4.036334e-04,3.994076e-04,3.944591e-04,3.937733e-04,3.895991e-04,3.848269e-04,3.842601e-04,3.801415e-04,3.755420e-04,3.750867e-04,3.710273e-04,3.665966e-04,3.662457e-04,3.622487e-04,3.579826e-04,3.577292e-04,3.537972e-04,3.496915e-04,3.495289e-04,3.456643e-04,3.417146e-04,3.416363e-04,3.378411e-04,3.340429e-04,3.267400e-04,3.197188e-04,3.129708e-04,3.064873e-04,3.002599e-04,2.942801e-04,2.885399e-04,2.830312e-04,2.777460e-04,2.726767e-04,2.678158e-04,2.631560e-04,2.586902e-04,2.544114e-04,2.503131e-04,2.463886e-04,2.426316e-04,2.390361e-04,2.355960e-04,2.323057e-04,2.291595e-04,2.261522e-04,2.232784e-04,2.205333e-04,2.179118e-04,2.154093e-04,2.130213e-04,2.107434e-04,2.085713e-04,2.065009e-04,2.045283e-04,2.026497e-04,2.008614e-04,1.991599e-04,1.975416e-04,1.960034e-04,1.945419e-04,1.931542e-04,1.918373e-04,1.905883e-04,1.894044e-04,1.882830e-04,1.872215e-04,1.862175e-04,1.852685e-04,1.843723e-04,1.835267e-04,1.827295e-04,1.819786e-04
0.000000e+00,8.879949e-08,2.498123e-06,2.635562e-06,2.265252e-05,8.142432e-05,8.470924e-05,1.761508e-04,2.635445e-04,2.689224e-04,3.539782e-04,4.244611e-04,4.302484e-04,4.982221e-04,5.528804e-04,5.585953e-04,6.120398e-04,6.538280e-04,6.591689e-04,7.005396e-04,7.319025e-04,7.366614e-04,7.680018e-04,7.909488e-04,7.949915e-04,8.180278e-04,8.342258e-04,8.374776e-04,8.536786e-04,8.645101e-04,8.669417e-04,8.775520e-04,8.841554e-04,8.857709e-04,8.918374e-04,8.951434e-04,8.959698e-04,8.983669e-04,8.991309e-04,8.992101e-04,8.986642e-04,8.974956e-04,8.968789e-04,8.939903e-04,8.913784e-04,8.901219e-04,8.853855e-04,8.817213e-04,8.798828e-04,8.737055e-04,8.692998e-04,8.669370e-04,8.596525e-04,8.547514e-04,8.519202e-04,8.438015e-04,8.385985e-04,8.353520e-04,8.266221e-04,8.212685e-04,8.176569e-04,8.084972e-04,8.031101e-04,7.991798e-04,7.897378e-04,7.844071e-04,7.802009e-04,7.705959e-04,7.653893e-04,7.609466e-04,7.512745e-04,7.462425e-04,7.415989e-04,7.319368e-04,7.271158e-04,7.223037e-04,7.127131e-04,7.081282e-04,7.031770e-04,6.937062e-04,6.893742e-04,6.843102e-04,6.749972e-04,6.709277e-04,6.657745e-04,6.566486e-04,6.528458e-04,6.476248e-04,6.387081e-04,6.351724e-04,6.299026e-04,6.212116e-04,6.179396e-04,6.126381e-04,6.041845e-04,6.011709e-04,5.958527e-04,5.876444e-04,5.848819e-04,5.795606e-04,5.716023e-04,5.690822e-04,5.637700e-04,5.560639e-04,5.537768e-04,5.484843e-04,5.410308e-04,5.389664e-04,5.337031e-04,5.265008e-04,5.246486e-04,5.194231e-04,5.124693e-04,5.108187e-04,5.056384e-04,4.989294e-04,4.974697e-04,4.923412e-04,4.858726e-04,4.845931e-04,4.795224e-04,4.732891e-04,4.721795e-04,4.671715e-04,4.611681e-04,4.602180e-04,4.552774e-04,4.494980e-04,4.486977e-04,4.438283e-04,4.382668e-04,4.376066e-04,4.328120e-04,4.274622e-04,4.269330e-04,4.222159e-04,4.170716e-04,4.166644e-04,4.120276e-04,4.070824e-04,4.067888e-04,4.022344e-04,3.974819e-04,3.972938e-04,3.928235e-04,3.882576e-04,3.881673e-04,3.837827e-04,3.793971e-04,3.709714e-04,3.628786e-04,3.551073e-04,3.476461e-04,3.404843e-04,3.336111e-04,3.270164e-04,3.206899e-04,3.146219e-04,3.088030e-04,3.032239e-04,2.978758e-04,2.927499e-04,2.878381e-04,2.831322e-04,2.786243e-04,2.743070e-04,2.701728e-04,2.662149e-04,2.624262e-04,2.588003e-04,2.553308e-04,2.520115e-04,2.488365e-04,2.458001e-04,2.428967e-04,2.401210e-04,2.374679e-04,2.349324e-04,2.325096e-04,2.301951e-04,2.279843e-04,2.258729e-04,2.238569e-04,2.219321e-04,2.200948e-04,2.183412e-04,2.166678e-04,2.150712e-04,2.135480e-04,2.120950e-04,2.107091e-04,2.093875e-04,2.081272e-04,2.069256e-04,2.057799e-04,2.046877e-04,2.036465e-04,2.026540e-04
0.000000e+00,3.504469e-09,6.290439e-08,6.599531e-08,4.775911e-07,1.671467e-06,1.740168e-06,3.723973e-06,5.726060e-06,5.852927e-06,7.925999e-06,9.753003e-06,9.908053e-06,1.179457e-05,1.341172e-05,1.358676e-05,1.528698e-05,1.670911e-05,1.689777e-05,1.842173e-05,1.966490e-05,1.986149e-05,2.121971e-05,2.229958e-05,2.249909e-05,2.370238e-05,2.463422e-05,2.483232e-05,2.589170e-05,2.669022e-05,2.688323e-05,2.780964e-05,2.848873e-05,2.867356e-05,2.947761e-05,3.005021e-05,3.022432e-05,3.091614e-05,3.139415e-05,3.155545e-05,3.214458e-05,3.253893e-05,3.268575e-05,3.318111e-05,3.350173e-05,3.363275e-05,3.404266e-05,3.429856e-05,3.441279e-05,3.474498e-05,3.494432e-05,3.504103e-05,3.530266e-05,3.545280e-05,3.553152e-05,3.572921e-05,3.583679e-05,3.589725e-05,3.603712e-05,3.610811e-05,3.615023e-05,3.623793e-05,3.627766e-05,3.630151e-05,3.634224e-05,3.635551e-05,3.636130e-05,3.635984e-05,3.635091e-05,3.633897e-05,3.629973e-05,3.627241e-05,3.624315e-05,3.617018e-05,3.612785e-05,3.608177e-05,3.597879e-05,3.592444e-05,3.586210e-05,3.573251e-05,3.566879e-05,3.559081e-05,3.543774e-05,3.536697e-05,3.527401e-05,3.510032e-05,3.502455e-05,3.491730e-05,3.472560e-05,3.464661e-05,3.452579e-05,3.431847e-05,3.423783e-05,3.410416e-05,3.388340e-05,3.380244e-05,3.365668e-05,3.342447e-05,3.334435e-05,3.318723e-05,3.294539e-05,3.286709e-05,3.269935e-05,3.244953e-05,3.237389e-05,3.219628e-05,3.193996e-05,3.186769e-05,3.168092e-05,3.141948e-05,3.135115e-05,3.115594e-05,3.089060e-05,3.082668e-05,3.062374e-05,3.035561e-05,3.029648e-05,3.008648e-05,2.981657e-05,2.976252e-05,2.954612e-05,2.927534e-05,2.922658e-05,2.900443e-05,2.873359e-05,2.869027e-05,2.846300e-05,2.819282e-05,2.815504e-05,2.792322e-05,2.765436e-05,2.762216e-05,2.738638e-05,2.711942e-05,2.709279e-05,2.685361e-05,2.658906e-05,2.656795e-05,2.632589e-05,2.606421e-05,2.604856e-05,2.580412e-05,2.554571e-05,2.553541e-05,2.528908e-05,2.503429e-05,2.502922e-05,2.478144e-05,2.453058e-05,2.404004e-05,2.355805e-05,2.308500e-05,2.262122e-05,2.216697e-05,2.172249e-05,2.128794e-05,2.086345e-05,2.044912e-05,2.004499e-05,1.965111e-05,1.926747e-05,1.889403e-05,1.853076e-05,1.817758e-05,1.783440e-05,1.750112e-05,1.717763e-05,1.686380e-05,1.655948e-05,1.626452e-05,1.597877e-05,1.570207e-05,1.543424e-05,1.517511e-05,1.492450e-05,1.468223e-05,1.444811e-05,1.422197e-05,1.400360e-05,1.379284e-05,1.358948e-05,1.339334e-05,1.320425e-05,1.302200e-05,1.284642e-05,1.267733e-05,1.251455e-05,1.235791e-05,1.220722e-05,1.206231e-05,1.192302e-05,1.178918e-05,1.166063e-05,1.153720e-05,1.141875e-05,1.130510e-05,1.119612e-05,1.109166e-05
0.000000e+00,8.277921e-08,1.838385e-06,1.932258e-06,1.529243e-05,6.074560e-05,6.368201e-05,1.667706e-04,3.042767e-04,3.138207e-04,4.769412e-04,6.231137e-04,6.353106e-04,7.785016e-04,8.911332e-04,9.026641e-04,1.007366e-03,1.084311e-03,1.093770e-03,1.163675e-03,1.212100e-03,1.219050e-03,1.261807e-03,1.289266e-03,1.293707e-03,1.316326e-03,1.328927e-03,1.331051e-03,1.339092e-03,1.341422e-03,1.341497e-03,1.339170e-03,1.334575e-03,1.332890e-03,1.323324e-03,1.314210e-03,1.311042e-03,1.296533e-03,1.284610e-03,1.280213e-03,1.262439e-03,1.248911e-03,1.243511e-03,1.223689e-03,1.209400e-03,1.203191e-03,1.182202e-03,1.167730e-03,1.160878e-03,1.139354e-03,1.125093e-03,1.117740e-03,1.096131e-03,1.082341e-03,1.074606e-03,1.053230e-03,1.040076e-03,1.032057e-03,1.011133e-03,9.987130e-04,9.904936e-04,9.701695e-04,9.585357e-04,9.501847e-04,9.305579e-04,9.197288e-04,9.113037e-04,8.924330e-04,8.824053e-04,8.739539e-04,8.558715e-04,8.466265e-04,8.381888e-04,8.209069e-04,8.124161e-04,8.040253e-04,7.875423e-04,7.797711e-04,7.714548e-04,7.557591e-04,7.486694e-04,7.404505e-04,7.255239e-04,7.190758e-04,7.109736e-04,6.967933e-04,6.909464e-04,6.829766e-04,6.695168e-04,6.642313e-04,6.564069e-04,6.436399e-04,6.388768e-04,6.312086e-04,6.191058e-04,6.148278e-04,6.073242e-04,5.958568e-04,5.920281e-04,5.846962e-04,5.738355e-04,5.704222e-04,5.632674e-04,5.529850e-04,5.499549e-04,5.429814e-04,5.332498e-04,5.305728e-04,5.237835e-04,5.145759e-04,5.122236e-04,5.056206e-04,4.969113e-04,4.948569e-04,4.884416e-04,4.802055e-04,4.784244e-04,4.721971e-04,4.644105e-04,4.628793e-04,4.568399e-04,4.494799e-04,4.481770e-04,4.423249e-04,4.353696e-04,4.342750e-04,4.286089e-04,4.220375e-04,4.211323e-04,4.156506e-04,4.094432e-04,4.087102e-04,4.034107e-04,3.975485e-04,3.969715e-04,3.918520e-04,3.863169e-04,3.858809e-04,3.809388e-04,3.757136e-04,3.754049e-04,3.706373e-04,3.657058e-04,3.655115e-04,3.609153e-04,3.562620e-04,3.561703e-04,3.517422e-04,3.473524e-04,3.390305e-04,3.311784e-04,3.237715e-04,3.167862e-04,3.102002e-04,3.039925e-04,2.981428e-04,2.926322e-04,2.874427e-04,2.825570e-04,2.779589e-04,2.736330e-04,2.695647e-04,2.657402e-04,2.621462e-04,2.587704e-04,2.556009e-04,2.526266e-04,2.498368e-04,2.472214e-04,2.447711e-04,2.424766e-04,2.403295e-04,2.383217e-04,2.364454e-04,2.346935e-04,2.330589e-04,2.315352e-04,2.301162e-04,2.287959e-04,2.275690e-04,2.264300e-04,2.253741e-04,2.243964e-04,2.234926e-04,2.226584e-04,2.218897e-04,2.211829e-04,2.205343e-04,2.199405e-04,2.193982e-04,2.189045e-04,2.184565e-04,2.180515e-04,2.176867e-04,2.173599e-04,2.170688e-04,2.168110e-04,2.165846e-04
0.000000e+00,1.653373e-07,3.332381e-06,3.496086e-06,2.671087e-05,1.137802e-04,1.198472e-04,3.661146e-04,7.985245e-04,8.330807e-04,1.517368e-03,2.287804e-03,2.359274e-03,3.289635e-03,4.154944e-03,4.251186e-03,5.201571e-03,6.004981e-03,6.111275e-03,6.960835e-03,7.634148e-03,7.738388e-03,8.437687e-03,8.962951e-03,9.056571e-03,9.595786e-03,9.980377e-03,1.005808e-02,1.044754e-02,1.070995e-02,1.076907e-02,1.102802e-02,1.119010e-02,1.122990e-02,1.138022e-02,1.146325e-02,1.148428e-02,1.154718e-02,1.157002e-02,1.157365e-02,1.156812e-02,1.154660e-02,1.153462e-02,1.147684e-02,1.142374e-02,1.139811e-02,1.130144e-02,1.122684e-02,1.118952e-02,1.106475e-02,1.097640e-02,1.092926e-02,1.078494e-02,1.068872e-02,1.063346e-02,1.047630e-02,1.037657e-02,1.031474e-02,1.014992e-02,1.004987e-02,9.982810e-03,9.814261e-03,9.716133e-03,9.644997e-03,9.475642e-03,9.380965e-03,9.306728e-03,9.138709e-03,9.048489e-03,8.971970e-03,8.806837e-03,8.721695e-03,8.643583e-03,8.482435e-03,8.402710e-03,8.323580e-03,8.167173e-03,8.093005e-03,8.013337e-03,7.862169e-03,7.793548e-03,7.713743e-03,7.568116e-03,7.504939e-03,7.425331e-03,7.285414e-03,7.227508e-03,7.148380e-03,7.014235e-03,6.961385e-03,6.882973e-03,6.754582e-03,6.706543e-03,6.629044e-03,6.506334e-03,6.462846e-03,6.386427e-03,6.269287e-03,6.230084e-03,6.154882e-03,6.043177e-03,6.007994e-03,5.934129e-03,5.827700e-03,5.796276e-03,5.723846e-03,5.622524e-03,5.594602e-03,5.523691e-03,5.427299e-03,5.402631e-03,5.333304e-03,5.241659e-03,5.220009e-03,5.152320e-03,5.065239e-03,5.046380e-03,4.980373e-03,4.897675e-03,4.881392e-03,4.817101e-03,4.738605e-03,4.724693e-03,4.662145e-03,4.587676e-03,4.575943e-03,4.515155e-03,4.444540e-03,4.434803e-03,4.375787e-03,4.308856e-03,4.300944e-03,4.243704e-03,4.180294e-03,4.174047e-03,4.118583e-03,4.058535e-03,4.053802e-03,4.000109e-03,3.943269e-03,3.939908e-03,3.887978e-03,3.834198e-03,3.832078e-03,3.781894e-03,3.731032e-03,3.730029e-03,3.681576e-03,3.633493e-03,3.542211e-03,3.455934e-03,3.374420e-03,3.297441e-03,3.224776e-03,3.156213e-03,3.091549e-03,3.030591e-03,2.973152e-03,2.919055e-03,2.868131e-03,2.820216e-03,2.775155e-03,2.732801e-03,2.693011e-03,2.655651e-03,2.620592e-03,2.587712e-03,2.556891e-03,2.528020e-03,2.500991e-03,2.475703e-03,2.452060e-03,2.429969e-03,2.409343e-03,2.390098e-03,2.372155e-03,2.355438e-03,2.339877e-03,2.325402e-03,2.311948e-03,2.299456e-03,2.287865e-03,2.277120e-03,2.267169e-03,2.257962e-03,2.249452e-03,2.241592e-03,2.234343e-03,2.227662e-03,2.221511e-03,2.215856e-03,2.210661e-03,2.205895e-03,2.201526e-03,2.197528e-03,2.193871e-03,2.190532e-03,2.187485e-03
0.000000e+00,1.377277e-09,2.606805e-08,2.731998e-08,1.797499e-07,5.800186e-07,6.027729e-07,1.277046e-06,1.977059e-06,2.021389e-06,2.740095e-06,3.361891e-06,3.414095e-06,4.041788e-06,4.568406e-06,4.624749e-06,5.165111e-06,5.607129e-06,5.665061e-06,6.126745e-06,6.494776e-06,6.552242e-06,6.943560e-06,7.247268e-06,7.302630e-06,7.631304e-06,7.879382e-06,7.931356e-06,8.204477e-06,8.404666e-06,8.452274e-06,8.676276e-06,8.835412e-06,8.877930e-06,9.058608e-06,9.182696e-06,9.219608e-06,9.362157e-06,9.456448e-06,9.487414e-06,9.596474e-06,9.665551e-06,9.690372e-06,9.770082e-06,9.817934e-06,9.836527e-06,9.890573e-06,9.920662e-06,9.933039e-06,9.964697e-06,9.980025e-06,9.986274e-06,9.998455e-06,1.000162e-05,1.000189e-05,9.997179e-06,9.990426e-06,9.984905e-06,9.965604e-06,9.950864e-06,9.939785e-06,9.907924e-06,9.886856e-06,9.870473e-06,9.827854e-06,9.801880e-06,9.780466e-06,9.728683e-06,9.699018e-06,9.672857e-06,9.613320e-06,9.580997e-06,9.550381e-06,9.484334e-06,9.450231e-06,9.415452e-06,9.343992e-06,9.308847e-06,9.270197e-06,9.194292e-06,9.158727e-06,9.116492e-06,9.036995e-06,9.001528e-06,8.955989e-06,8.873648e-06,8.838707e-06,8.790137e-06,8.705610e-06,8.671547e-06,8.620210e-06,8.534071e-06,8.501172e-06,8.447321e-06,8.360075e-06,8.328567e-06,8.272444e-06,8.184530e-06,8.154592e-06,8.096429e-06,8.008230e-06,7.980000e-06,7.920016e-06,7.831863e-06,7.805440e-06,7.743844e-06,7.656025e-06,7.631480e-06,7.568468e-06,7.481231e-06,7.458608e-06,7.394366e-06,7.307922e-06,7.287244e-06,7.221946e-06,7.136478e-06,7.117747e-06,7.051557e-06,6.967220e-06,6.950425e-06,6.883497e-06,6.800418e-06,6.785535e-06,6.718012e-06,6.636302e-06,6.623294e-06,6.555311e-06,6.475059e-06,6.463884e-06,6.395564e-06,6.316844e-06,6.307450e-06,6.238912e-06,6.161782e-06,6.154113e-06,6.085464e-06,6.009970e-06,6.003966e-06,5.935307e-06,5.861483e-06,5.857080e-06,5.788504e-06,5.716375e-06,5.713507e-06,5.645100e-06,5.574683e-06,5.573283e-06,5.505124e-06,5.436427e-06,5.302947e-06,5.172838e-06,5.046088e-06,4.922674e-06,4.802566e-06,4.685731e-06,4.572126e-06,4.461706e-06,4.354425e-06,4.250228e-06,4.149063e-06,4.050872e-06,3.955599e-06,3.863184e-06,3.773568e-06,3.686689e-06,3.602488e-06,3.520905e-06,3.441877e-06,3.365345e-06,3.291250e-06,3.219531e-06,3.150131e-06,3.082991e-06,3.018054e-06,2.955265e-06,2.894567e-06,2.835906e-06,2.779230e-06,2.724486e-06,2.671623e-06,2.620591e-06,2.571339e-06,2.523822e-06,2.477991e-06,2.433800e-06,2.391206e-06,2.350163e-06,2.310630e-06,2.272564e-06,2.235925e-06,2.200672e-06,2.166768e-06,2.134175e-06,2.102854e-06,2.072772e-06,2.043891e-06,2.016179e-06,1.989602e-06
0.000000e+00,3.039727e-09,4.168202e-08,4.354086e-08,2.712902e-07,9.066846e-07,9.439378e-07,2.077667e-06,3.295812e-06,3.374151e-06,4.663987e-06,5.811080e-06,5.908778e-06,7.101562e-06,8.129934e-06,8.241574e-06,9.329433e-06,1.024442e-05,1.036616e-05,1.135296e-05,1.216264e-05,1.229110e-05,1.318197e-05,1.389479e-05,1.402696e-05,1.482749e-05,1.545177e-05,1.558501e-05,1.630095e-05,1.684471e-05,1.697672e-05,1.761372e-05,1.808456e-05,1.821333e-05,1.877689e-05,1.918190e-05,1.930572e-05,1.980110e-05,2.014688e-05,2.026427e-05,2.069646e-05,2.098913e-05,2.109887e-05,2.147263e-05,2.171782e-05,2.181886e-05,2.213866e-05,2.234156e-05,2.243308e-05,2.270313e-05,2.286849e-05,2.294980e-05,2.317405e-05,2.330624e-05,2.337681e-05,2.355898e-05,2.366196e-05,2.372142e-05,2.386498e-05,2.394239e-05,2.399047e-05,2.409867e-05,2.415381e-05,2.419035e-05,2.426624e-05,2.430211e-05,2.432705e-05,2.437346e-05,2.439277e-05,2.440613e-05,2.442572e-05,2.443093e-05,2.443282e-05,2.442804e-05,2.442138e-05,2.441195e-05,2.438511e-05,2.436857e-05,2.434805e-05,2.430129e-05,2.427666e-05,2.424532e-05,2.418062e-05,2.414951e-05,2.410766e-05,2.402687e-05,2.399071e-05,2.393869e-05,2.384354e-05,2.380361e-05,2.374180e-05,2.363386e-05,2.359130e-05,2.352009e-05,2.340085e-05,2.335664e-05,2.327647e-05,2.314728e-05,2.310231e-05,2.301360e-05,2.287573e-05,2.283077e-05,2.273396e-05,2.258857e-05,2.254429e-05,2.243984e-05,2.228801e-05,2.224498e-05,2.213334e-05,2.197606e-05,2.193477e-05,2.181641e-05,2.165460e-05,2.161547e-05,2.149084e-05,2.132534e-05,2.128871e-05,2.115828e-05,2.098985e-05,2.095601e-05,2.082023e-05,2.064958e-05,2.061877e-05,2.047807e-05,2.030585e-05,2.027824e-05,2.013308e-05,1.995988e-05,1.993561e-05,1.978641e-05,1.961278e-05,1.959194e-05,1.943911e-05,1.926554e-05,1.924819e-05,1.909216e-05,1.891908e-05,1.890525e-05,1.874641e-05,1.857424e-05,1.856392e-05,1.840266e-05,1.823176e-05,1.822494e-05,1.806162e-05,1.789232e-05,1.788894e-05,1.772393e-05,1.755653e-05,1.722823e-05,1.690452e-05,1.658580e-05,1.627246e-05,1.596482e-05,1.566317e-05,1.536774e-05,1.507875e-05,1.479637e-05,1.452075e-05,1.425201e-05,1.399024e-05,1.373551e-05,1.348786e-05,1.324733e-05,1.301391e-05,1.278761e-05,1.256840e-05,1.235625e-05,1.215109e-05,1.195288e-05,1.176154e-05,1.157699e-05,1.139914e-05,1.122789e-05,1.106315e-05,1.090480e-05,1.075272e-05,1.060681e-05,1.046693e-05,1.033297e-05,1.020479e-05,1.008225e-05,9.965238e-06,9.853607e-06,9.747222e-06,9.645948e-06,9.549646e-06,9.458180e-06,9.371412e-06,9.289204e-06,9.211420e-06,9.137924e-06,9.068581e-06,9.003257e-06,8.941819e-06,8.884137e-06,8.830081e-06,8.779522e-06
0.000000e+00,2.497671e-09,4.995064e-08,5.241225e-08,3.614222e-07,1.165953e-06,1.210056e-06,2.431448e-06,3.598075e-06,3.670265e-06,4.822847e-06,5.797233e-06,5.878143e-06,6.839992e-06,7.630675e-06,7.714346e-06,8.507198e-06,9.142026e-06,9.224252e-06,9.870902e-06,1.037460e-05,1.045224e-05,1.097308e-05,1.136714e-05,1.143794e-05,1.185108e-05,1.215407e-05,1.221649e-05,1.253789e-05,1.276565e-05,1.281873e-05,1.306227e-05,1.322826e-05,1.327149e-05,1.344916e-05,1.356467e-05,1.359784e-05,1.371989e-05,1.379438e-05,1.381753e-05,1.389278e-05,1.393416e-05,1.394753e-05,1.398357e-05,1.399855e-05,1.400253e-05,1.400589e-05,1.399997e-05,1.399502e-05,1.397118e-05,1.394892e-05,1.393555e-05,1.388920e-05,1.385438e-05,1.383313e-05,1.376826e-05,1.372400e-05,1.369544e-05,1.361543e-05,1.356429e-05,1.352897e-05,1.343670e-05,1.338077e-05,1.333925e-05,1.323718e-05,1.317819e-05,1.313099e-05,1.302118e-05,1.296053e-05,1.290817e-05,1.279237e-05,1.273118e-05,1.267415e-05,1.255385e-05,1.249302e-05,1.243178e-05,1.230823e-05,1.224847e-05,1.218346e-05,1.205771e-05,1.199960e-05,1.193121e-05,1.180416e-05,1.174813e-05,1.167674e-05,1.154912e-05,1.149550e-05,1.142147e-05,1.129391e-05,1.124294e-05,1.116658e-05,1.103959e-05,1.099145e-05,1.091306e-05,1.078708e-05,1.074187e-05,1.066173e-05,1.053710e-05,1.049490e-05,1.041326e-05,1.029028e-05,1.025111e-05,1.016820e-05,1.004710e-05,1.001096e-05,9.927000e-06,9.807957e-06,9.774819e-06,9.690005e-06,9.573176e-06,9.542988e-06,9.457498e-06,9.342997e-06,9.315695e-06,9.229695e-06,9.117609e-06,9.093115e-06,9.006756e-06,8.897149e-06,8.875377e-06,8.788797e-06,8.681711e-06,8.662571e-06,8.575896e-06,8.471358e-06,8.454750e-06,8.368098e-06,8.266118e-06,8.251943e-06,8.165419e-06,8.065998e-06,8.054154e-06,7.967854e-06,7.870983e-06,7.861366e-06,7.775381e-06,7.681041e-06,7.673548e-06,7.587958e-06,7.496124e-06,7.490654e-06,7.405533e-06,7.316175e-06,7.312626e-06,7.228043e-06,7.141126e-06,7.139400e-06,7.055415e-06,6.970901e-06,6.807050e-06,6.647762e-06,6.492951e-06,6.342526e-06,6.196395e-06,6.054464e-06,5.916638e-06,5.782825e-06,5.652928e-06,5.526855e-06,5.404512e-06,5.285807e-06,5.170649e-06,5.058949e-06,4.950617e-06,4.845567e-06,4.743715e-06,4.644976e-06,4.549268e-06,4.456512e-06,4.366628e-06,4.279540e-06,4.195174e-06,4.113455e-06,4.034313e-06,3.957677e-06,3.883480e-06,3.811655e-06,3.742137e-06,3.674864e-06,3.609773e-06,3.546805e-06,3.485901e-06,3.427004e-06,3.370059e-06,3.315012e-06,3.261809e-06,3.210400e-06,3.160735e-06,3.112765e-06,3.066443e-06,3.021722e-06,2.978558e-06,2.936907e-06,2.896727e-06,2.857975e-06,2.820613e-06,2.784599e-06,2.749897e-06
0.000000e+00,1.216451e-07,2.345696e-06,2.460376e-06,1.815389e-05,6.937459e-05,7.259944e-05,1.789595e-04,3.044619e-04,3.127106e-04,4.486760e-04,5.673703e-04,5.773183e-04,6.963807e-04,7.952352e-04,8.057454e-04,9.058167e-04,9.865874e-04,9.970926e-04,1.080063e-03,1.145130e-03,1.155193e-03,1.222923e-03,1.274407e-03,1.283675e-03,1.337857e-03,1.377661e-03,1.385863e-03,1.428076e-03,1.457925e-03,1.464867e-03,1.496594e-03,1.518048e-03,1.523601e-03,1.546220e-03,1.560671e-03,1.564767e-03,1.579542e-03,1.588217e-03,1.590832e-03,1.598906e-03,1.602872e-03,1.604019e-03,1.606412e-03,1.606590e-03,1.606310e-03,1.603925e-03,1.601101e-03,1.599456e-03,1.593087e-03,1.587927e-03,1.584991e-03,1.575332e-03,1.568400e-03,1.564260e-03,1.551916e-03,1.543682e-03,1.538432e-03,1.523928e-03,1.514785e-03,1.508520e-03,1.492311e-03,1.482583e-03,1.475402e-03,1.457880e-03,1.447832e-03,1.439831e-03,1.421330e-03,1.411178e-03,1.402451e-03,1.383258e-03,1.373174e-03,1.363813e-03,1.344172e-03,1.334294e-03,1.324387e-03,1.304504e-03,1.294939e-03,1.284568e-03,1.264619e-03,1.255448e-03,1.244693e-03,1.224823e-03,1.216106e-03,1.205040e-03,1.185370e-03,1.177149e-03,1.165840e-03,1.146472e-03,1.138775e-03,1.127286e-03,1.108301e-03,1.101143e-03,1.089533e-03,1.070996e-03,1.064382e-03,1.052704e-03,1.034667e-03,1.028595e-03,1.016897e-03,9.994014e-04,9.938621e-04,9.821879e-04,9.652629e-04,9.602424e-04,9.486316e-04,9.322983e-04,9.277788e-04,9.162665e-04,9.005388e-04,8.964997e-04,8.851172e-04,8.700027e-04,8.664210e-04,8.551959e-04,8.406969e-04,8.375484e-04,8.265051e-04,8.126194e-04,8.098789e-04,7.990383e-04,7.857601e-04,7.834020e-04,7.727825e-04,7.601028e-04,7.581015e-04,7.477183e-04,7.356259e-04,7.339561e-04,7.238222e-04,7.123037e-04,7.109404e-04,7.010665e-04,6.901069e-04,6.890261e-04,6.794208e-04,6.690039e-04,6.681821e-04,6.588521e-04,6.489609e-04,6.483756e-04,6.393259e-04,6.299426e-04,6.295724e-04,6.208065e-04,6.119130e-04,6.117375e-04,6.032574e-04,5.948353e-04,5.788298e-04,5.636854e-04,5.493664e-04,5.358377e-04,5.230648e-04,5.110139e-04,4.996518e-04,4.889467e-04,4.788673e-04,4.693834e-04,4.604660e-04,4.520870e-04,4.442192e-04,4.368368e-04,4.299147e-04,4.234291e-04,4.173570e-04,4.116765e-04,4.063668e-04,4.014077e-04,3.967802e-04,3.924661e-04,3.884481e-04,3.847097e-04,3.812351e-04,3.780094e-04,3.750185e-04,3.722487e-04,3.696872e-04,3.673219e-04,3.651413e-04,3.631343e-04,3.612905e-04,3.596001e-04,3.580538e-04,3.566425e-04,3.553581e-04,3.541924e-04,3.531381e-04,3.521879e-04,3.513351e-04,3.505734e-04,3.498966e-04,3.492992e-04,3.487756e-04,3.483209e-04,3.479301e-04,3.475988e-04,3.473227e-04
0.000000e+00,3.739058e-08,4.793899e-07,4.993397e-07,2.798558e-06,9.355050e-06,9.763164e-06,2.418137e-05,4.504165e-05,4.657960e-05,7.467721e-05,1.024880e-04,1.049089e-04,1.344665e-04,1.593798e-04,1.620317e-04,1.872274e-04,2.074285e-04,2.100439e-04,2.305883e-04,2.465449e-04,2.489995e-04,2.654218e-04,2.777827e-04,2.799960e-04,2.928564e-04,3.022125e-04,3.041301e-04,3.139366e-04,3.208012e-04,3.223883e-04,3.295903e-04,3.344038e-04,3.356410e-04,3.406323e-04,3.437701e-04,3.446500e-04,3.477741e-04,3.495547e-04,3.500792e-04,3.516346e-04,3.523269e-04,3.525051e-04,3.527506e-04,3.525807e-04,3.524271e-04,3.515864e-04,3.507440e-04,3.502767e-04,3.485428e-04,3.471863e-04,3.464261e-04,3.439652e-04,3.422261e-04,3.411957e-04,3.381505e-04,3.361375e-04,3.348602e-04,3.313531e-04,3.291556e-04,3.276552e-04,3.237906e-04,3.214817e-04,3.197816e-04,3.156488e-04,3.132873e-04,3.114108e-04,3.070852e-04,3.047186e-04,3.026879e-04,2.982336e-04,2.958993e-04,2.937357e-04,2.892065e-04,2.869338e-04,2.846573e-04,2.800985e-04,2.779096e-04,2.755393e-04,2.709884e-04,2.688999e-04,2.664535e-04,2.619416e-04,2.599653e-04,2.574591e-04,2.530117e-04,2.511555e-04,2.486046e-04,2.442424e-04,2.425111e-04,2.399293e-04,2.356688e-04,2.340644e-04,2.314643e-04,2.273186e-04,2.258410e-04,2.232342e-04,2.192132e-04,2.178609e-04,2.152576e-04,2.113687e-04,2.101387e-04,2.075481e-04,2.037966e-04,2.026848e-04,2.001153e-04,1.965046e-04,1.955063e-04,1.929651e-04,1.894970e-04,1.886070e-04,1.861005e-04,1.827756e-04,1.819883e-04,1.795221e-04,1.763399e-04,1.756493e-04,1.732284e-04,1.701873e-04,1.695875e-04,1.672161e-04,1.643140e-04,1.637989e-04,1.614805e-04,1.587148e-04,1.582785e-04,1.560160e-04,1.533834e-04,1.530200e-04,1.508159e-04,1.483128e-04,1.480167e-04,1.458730e-04,1.434956e-04,1.432612e-04,1.411794e-04,1.389236e-04,1.387457e-04,1.367269e-04,1.345884e-04,1.344619e-04,1.325070e-04,1.304816e-04,1.304018e-04,1.285112e-04,1.265945e-04,1.265567e-04,1.247306e-04,1.229184e-04,1.194783e-04,1.162281e-04,1.131596e-04,1.102648e-04,1.075357e-04,1.049647e-04,1.025444e-04,1.002675e-04,9.812695e-05,9.611613e-05,9.422852e-05,9.245787e-05,9.079819e-05,8.924373e-05,8.778901e-05,8.642874e-05,8.515791e-05,8.397171e-05,8.286554e-05,8.183505e-05,8.087606e-05,7.998460e-05,7.915691e-05,7.838939e-05,7.767863e-05,7.702139e-05,7.641457e-05,7.585527e-05,7.534069e-05,7.486821e-05,7.443533e-05,7.403967e-05,7.367900e-05,7.335119e-05,7.305421e-05,7.278618e-05,7.254527e-05,7.232978e-05,7.213810e-05,7.196869e-05,7.182012e-05,7.169101e-05,7.158007e-05,7.148608e-05,7.140790e-05,7.134443e-05,7.129465e-05,7.125759e-05,7.123233e-05
0.000000e+00,1.439334e-08,2.059020e-07,2.149141e-07,1.265084e-06,4.134695e-06,4.307423e-06,1.006763e-05,1.742173e-05,1.792382e-05,2.633517e-05,3.367942e-05,3.428964e-05,4.150054e-05,4.733473e-05,4.794582e-05,5.366699e-05,5.814526e-05,5.871775e-05,6.315188e-05,6.651108e-05,6.702046e-05,7.037141e-05,7.281893e-05,7.324937e-05,7.569588e-05,7.740719e-05,7.774948e-05,7.944585e-05,8.056799e-05,8.081797e-05,8.189626e-05,8.255145e-05,8.270874e-05,8.328117e-05,8.357030e-05,8.363721e-05,8.379856e-05,8.380439e-05,8.378512e-05,8.361509e-05,8.340513e-05,8.330515e-05,8.287053e-05,8.249961e-05,8.232515e-05,8.168172e-05,8.119414e-05,8.095184e-05,8.014608e-05,7.957742e-05,7.927406e-05,7.834454e-05,7.772320e-05,7.736553e-05,7.634428e-05,7.569279e-05,7.528734e-05,7.420069e-05,7.353671e-05,7.308975e-05,7.195945e-05,7.129677e-05,7.081423e-05,6.965809e-05,6.900724e-05,6.849464e-05,6.732713e-05,6.669604e-05,6.615850e-05,6.499135e-05,6.438581e-05,6.382803e-05,6.267063e-05,6.209474e-05,6.152101e-05,6.038081e-05,5.983729e-05,5.925148e-05,5.813432e-05,5.762482e-05,5.703043e-05,5.594081e-05,5.546612e-05,5.486630e-05,5.380763e-05,5.336786e-05,5.276542e-05,5.174018e-05,5.133494e-05,5.073236e-05,4.974230e-05,4.937079e-05,4.877027e-05,4.781649e-05,4.747762e-05,4.688110e-05,4.596421e-05,4.565669e-05,4.506586e-05,4.418606e-05,4.390844e-05,4.332477e-05,4.248193e-05,4.223266e-05,4.165743e-05,4.085115e-05,4.062863e-05,4.006292e-05,3.929259e-05,3.909521e-05,3.853995e-05,3.780479e-05,3.763093e-05,3.708690e-05,3.638603e-05,3.623409e-05,3.570193e-05,3.503436e-05,3.490280e-05,3.438304e-05,3.374770e-05,3.363501e-05,3.312807e-05,3.252386e-05,3.242860e-05,3.193480e-05,3.136059e-05,3.128137e-05,3.080096e-05,3.025560e-05,3.019111e-05,2.972424e-05,2.920659e-05,2.915557e-05,2.870237e-05,2.821128e-05,2.817255e-05,2.773305e-05,2.726739e-05,2.723985e-05,2.681404e-05,2.637272e-05,2.635531e-05,2.594315e-05,2.552507e-05,2.551683e-05,2.511822e-05,2.472234e-05,2.396984e-05,2.325742e-05,2.258318e-05,2.194533e-05,2.134214e-05,2.077193e-05,2.023310e-05,1.972413e-05,1.924353e-05,1.878991e-05,1.836192e-05,1.795828e-05,1.757776e-05,1.721920e-05,1.688148e-05,1.656354e-05,1.626437e-05,1.598300e-05,1.571852e-05,1.547006e-05,1.523679e-05,1.501790e-05,1.481267e-05,1.462036e-05,1.444030e-05,1.427185e-05,1.411439e-05,1.396734e-05,1.383014e-05,1.370227e-05,1.358322e-05,1.347253e-05,1.336974e-05,1.327442e-05,1.318616e-05,1.310459e-05,1.302932e-05,1.296002e-05,1.289635e-05,1.283800e-05,1.278466e-05,1.273607e-05,1.269194e-05,1.265202e-05,1.261608e-05,1.258388e-05,1.255520e-05,1.252985e-05,1.250761e-05
0.000000e+00,4.934463e-10,7.524071e-09,7.863744e-09,4.786779e-08,1.538555e-07,1.600425e-07,3.545208e-07,5.767127e-07,5.912366e-07,8.310884e-07,1.043521e-06,1.061533e-06,1.280243e-06,1.466883e-06,1.487030e-06,1.682145e-06,1.844509e-06,1.865990e-06,2.039006e-06,2.179420e-06,2.201557e-06,2.353964e-06,2.474447e-06,2.496637e-06,2.629981e-06,2.732641e-06,2.754394e-06,2.870267e-06,2.957071e-06,2.977979e-06,3.077896e-06,3.150651e-06,3.170375e-06,3.255757e-06,3.316104e-06,3.334372e-06,3.406538e-06,3.455969e-06,3.472561e-06,3.532734e-06,3.572596e-06,3.587341e-06,3.636653e-06,3.668160e-06,3.680930e-06,3.720422e-06,3.744667e-06,3.755369e-06,3.786001e-06,3.803962e-06,3.812539e-06,3.835193e-06,3.847747e-06,3.854166e-06,3.869652e-06,3.877583e-06,3.881836e-06,3.890897e-06,3.894905e-06,3.897004e-06,3.900320e-06,3.901026e-06,3.901001e-06,3.899196e-06,3.897152e-06,3.895047e-06,3.888690e-06,3.884386e-06,3.880257e-06,3.869870e-06,3.863736e-06,3.857649e-06,3.843707e-06,3.836125e-06,3.828153e-06,3.811090e-06,3.802393e-06,3.792617e-06,3.772828e-06,3.763309e-06,3.751814e-06,3.729659e-06,3.719571e-06,3.706445e-06,3.682251e-06,3.671815e-06,3.657151e-06,3.631215e-06,3.620622e-06,3.604511e-06,3.577102e-06,3.566515e-06,3.549051e-06,3.520414e-06,3.509972e-06,3.491247e-06,3.461603e-06,3.451425e-06,3.431532e-06,3.401080e-06,3.391263e-06,3.370293e-06,3.339214e-06,3.329839e-06,3.307883e-06,3.276338e-06,3.267472e-06,3.244616e-06,3.212751e-06,3.204447e-06,3.180776e-06,3.148722e-06,3.141020e-06,3.116618e-06,3.084491e-06,3.077423e-06,3.052368e-06,3.020273e-06,3.013859e-06,2.988229e-06,2.956259e-06,2.950513e-06,2.924382e-06,2.892618e-06,2.887548e-06,2.860986e-06,2.829501e-06,2.825106e-06,2.798181e-06,2.767039e-06,2.763315e-06,2.736091e-06,2.705349e-06,2.702287e-06,2.674825e-06,2.644531e-06,2.642118e-06,2.614477e-06,2.584673e-06,2.582893e-06,2.555127e-06,2.525849e-06,2.524684e-06,2.496846e-06,2.468124e-06,2.467553e-06,2.439691e-06,2.411552e-06,2.356725e-06,2.303107e-06,2.250726e-06,2.199604e-06,2.149758e-06,2.101197e-06,2.053927e-06,2.007951e-06,1.963266e-06,1.919868e-06,1.877747e-06,1.836892e-06,1.797291e-06,1.758928e-06,1.721786e-06,1.685847e-06,1.651089e-06,1.617493e-06,1.585036e-06,1.553696e-06,1.523448e-06,1.494269e-06,1.466135e-06,1.439021e-06,1.412902e-06,1.387753e-06,1.363549e-06,1.340266e-06,1.317878e-06,1.296361e-06,1.275691e-06,1.255842e-06,1.236793e-06,1.218517e-06,1.200994e-06,1.184199e-06,1.168110e-06,1.152705e-06,1.137963e-06,1.123863e-06,1.110382e-06,1.097502e-06,1.085203e-06,1.073464e-06,1.062267e-06,1.051594e-06,1.041427e-06,1.031748e-06,1.022539e-06
0.000000e+00,5.310044e-09,7.057118e-08,7.358061e-08,4.148741e-07,1.323513e-06,1.377863e-06,3.193215e-06,5.567331e-06,5.733010e-06,8.580015e-06,1.115827e-05,1.137566e-05,1.397831e-05,1.613078e-05,1.635884e-05,1.852075e-05,2.025145e-05,2.047552e-05,2.223615e-05,2.360494e-05,2.381563e-05,2.522647e-05,2.628997e-05,2.648057e-05,2.758922e-05,2.839728e-05,2.856308e-05,2.941220e-05,3.000803e-05,3.014599e-05,3.077331e-05,3.119405e-05,3.130243e-05,3.174107e-05,3.201840e-05,3.209647e-05,3.237535e-05,3.253616e-05,3.258398e-05,3.272822e-05,3.279525e-05,3.281348e-05,3.284484e-05,3.283725e-05,3.282700e-05,3.276431e-05,3.269814e-05,3.266083e-05,3.252033e-05,3.240903e-05,3.234631e-05,3.214199e-05,3.199673e-05,3.191038e-05,3.165427e-05,3.148432e-05,3.137623e-05,3.107865e-05,3.089164e-05,3.076372e-05,3.043349e-05,3.023569e-05,3.008984e-05,2.973452e-05,2.953105e-05,2.936913e-05,2.899516e-05,2.879013e-05,2.861396e-05,2.822680e-05,2.802350e-05,2.783482e-05,2.743909e-05,2.724012e-05,2.704058e-05,2.664018e-05,2.644755e-05,2.623870e-05,2.583689e-05,2.565214e-05,2.543543e-05,2.503494e-05,2.485918e-05,2.463598e-05,2.423907e-05,2.407309e-05,2.384467e-05,2.345320e-05,2.329751e-05,2.306503e-05,2.268050e-05,2.253540e-05,2.229993e-05,2.192357e-05,2.178916e-05,2.155167e-05,2.118444e-05,2.106069e-05,2.082208e-05,2.046473e-05,2.035147e-05,2.011255e-05,1.976564e-05,1.966262e-05,1.942412e-05,1.908807e-05,1.899496e-05,1.875754e-05,1.843261e-05,1.834904e-05,1.811330e-05,1.779964e-05,1.772521e-05,1.749166e-05,1.718936e-05,1.712361e-05,1.689273e-05,1.660176e-05,1.654424e-05,1.631643e-05,1.603672e-05,1.598696e-05,1.576258e-05,1.549399e-05,1.545153e-05,1.523090e-05,1.497326e-05,1.493762e-05,1.472101e-05,1.447410e-05,1.444483e-05,1.423247e-05,1.399605e-05,1.397269e-05,1.376478e-05,1.353859e-05,1.352071e-05,1.331741e-05,1.310117e-05,1.308835e-05,1.288980e-05,1.268321e-05,1.267505e-05,1.248134e-05,1.228410e-05,1.228021e-05,1.209143e-05,1.190324e-05,1.154355e-05,1.120054e-05,1.087359e-05,1.056212e-05,1.026553e-05,9.983251e-06,9.714713e-06,9.459363e-06,9.216660e-06,8.986078e-06,8.767107e-06,8.559253e-06,8.362038e-06,8.175001e-06,7.997694e-06,7.829688e-06,7.670568e-06,7.519935e-06,7.377406e-06,7.242612e-06,7.115200e-06,6.994830e-06,6.881175e-06,6.773925e-06,6.672779e-06,6.577450e-06,6.487664e-06,6.403158e-06,6.323681e-06,6.248991e-06,6.178858e-06,6.113063e-06,6.051394e-06,5.993650e-06,5.939640e-06,5.889178e-06,5.842090e-06,5.798208e-06,5.757372e-06,5.719428e-06,5.684231e-06,5.651641e-06,5.621525e-06,5.593756e-06,5.568213e-06,5.544780e-06,5.523347e-06,5.503808e-06,5.486064e-06
0.000000e+00,9.168259e-08,1.608770e-06,1.683835e-06,1.157202e-05,4.461737e-05,4.679179e-05,1.271935e-04,2.456000e-04,2.541798e-04,4.049836e-04,5.433219e-04,5.549079e-04,6.910839e-04,7.985152e-04,8.095493e-04,9.103280e-04,9.854917e-04,9.948300e-04,1.064807e-03,1.114688e-03,1.121984e-03,1.167952e-03,1.198953e-03,1.204141e-03,1.231822e-03,1.248967e-03,1.252122e-03,1.266035e-03,1.273158e-03,1.274435e-03,1.278093e-03,1.278091e-03,1.277683e-03,1.273797e-03,1.268839e-03,1.266952e-03,1.257600e-03,1.249300e-03,1.246136e-03,1.232906e-03,1.222455e-03,1.218208e-03,1.202304e-03,1.190577e-03,1.185422e-03,1.167758e-03,1.155388e-03,1.149483e-03,1.130747e-03,1.118190e-03,1.111676e-03,1.092382e-03,1.079960e-03,1.072959e-03,1.053490e-03,1.041426e-03,1.034044e-03,1.014682e-03,1.003126e-03,9.954535e-04,9.764029e-04,9.654494e-04,9.575660e-04,9.389731e-04,9.286773e-04,9.206495e-04,9.026159e-04,8.930044e-04,8.848891e-04,8.674825e-04,8.585613e-04,8.504067e-04,8.336695e-04,8.254298e-04,8.172767e-04,8.012321e-04,7.936550e-04,7.855378e-04,7.701948e-04,7.632548e-04,7.552024e-04,7.405593e-04,7.342264e-04,7.262631e-04,7.123107e-04,7.065524e-04,6.986985e-04,6.854220e-04,6.802045e-04,6.724767e-04,6.598576e-04,6.551467e-04,6.475592e-04,6.355759e-04,6.313380e-04,6.239021e-04,6.125319e-04,6.087341e-04,6.014592e-04,5.906779e-04,5.872885e-04,5.801820e-04,5.699653e-04,5.669538e-04,5.600217e-04,5.503451e-04,5.476827e-04,5.409295e-04,5.317687e-04,5.294280e-04,5.228570e-04,5.141884e-04,5.121434e-04,5.057570e-04,4.975573e-04,4.957839e-04,4.895835e-04,4.818302e-04,4.803055e-04,4.742918e-04,4.669631e-04,4.656658e-04,4.598389e-04,4.529140e-04,4.518241e-04,4.461833e-04,4.396420e-04,4.387411e-04,4.332853e-04,4.271085e-04,4.263791e-04,4.211069e-04,4.152761e-04,4.147022e-04,4.096116e-04,4.041091e-04,4.036758e-04,3.987646e-04,3.935738e-04,3.932671e-04,3.885327e-04,3.836376e-04,3.834448e-04,3.788845e-04,3.742697e-04,3.741788e-04,3.697896e-04,3.654406e-04,3.572032e-04,3.494407e-04,3.421285e-04,3.352432e-04,3.287626e-04,3.226655e-04,3.169318e-04,3.115424e-04,3.064792e-04,3.017248e-04,2.972629e-04,2.930779e-04,2.891550e-04,2.854802e-04,2.820400e-04,2.788219e-04,2.758138e-04,2.730041e-04,2.703822e-04,2.679377e-04,2.656607e-04,2.635420e-04,2.615728e-04,2.597447e-04,2.580498e-04,2.564805e-04,2.550297e-04,2.536905e-04,2.524566e-04,2.513218e-04,2.502804e-04,2.493268e-04,2.484559e-04,2.476627e-04,2.469425e-04,2.462908e-04,2.457036e-04,2.451768e-04,2.447066e-04,2.442894e-04,2.439219e-04,2.436009e-04,2.433233e-04,2.430862e-04,2.428870e-04,2.427231e-04,2.425921e-04,2.424916e-04,2.424196e-04
0.000000e+00,3.459734e-07,6.568234e-06,6.884172e-06,5.154601e-05,2.235981e-04,2.357827e-04,7.416734e-04,1.657976e-03,1.732181e-03,3.223795e-03,4.947070e-03,5.109136e-03,7.252597e-03,9.303730e-03,9.535424e-03,1.186403e-02,1.389454e-02,1.416783e-02,1.639528e-02,1.822172e-02,1.850996e-02,2.048742e-02,2.203108e-02,2.231244e-02,2.397693e-02,2.522001e-02,2.547821e-02,2.681760e-02,2.777533e-02,2.799934e-02,2.902978e-02,2.973342e-02,2.991664e-02,3.066856e-02,3.115537e-02,3.129466e-02,3.180422e-02,3.211172e-02,3.220650e-02,3.251053e-02,3.267350e-02,3.272501e-02,3.285824e-02,3.290735e-02,3.291802e-02,3.291171e-02,3.287316e-02,3.284611e-02,3.272755e-02,3.262313e-02,3.256184e-02,3.235433e-02,3.220186e-02,3.210990e-02,3.183303e-02,3.164687e-02,3.152776e-02,3.119778e-02,3.098933e-02,3.084643e-02,3.047672e-02,3.025496e-02,3.009137e-02,2.969286e-02,2.946478e-02,2.928340e-02,2.886497e-02,2.863593e-02,2.843937e-02,2.800821e-02,2.778229e-02,2.757293e-02,2.713483e-02,2.691509e-02,2.669507e-02,2.625469e-02,2.604336e-02,2.581461e-02,2.537567e-02,2.517435e-02,2.493861e-02,2.450408e-02,2.431385e-02,2.407268e-02,2.364491e-02,2.346645e-02,2.322125e-02,2.280210e-02,2.263578e-02,2.238781e-02,2.197871e-02,2.182467e-02,2.157506e-02,2.117711e-02,2.103528e-02,2.078506e-02,2.039908e-02,2.026926e-02,2.001933e-02,1.964593e-02,1.952780e-02,1.927898e-02,1.891857e-02,1.881173e-02,1.856476e-02,1.821760e-02,1.812159e-02,1.787712e-02,1.754334e-02,1.745766e-02,1.721628e-02,1.689592e-02,1.682003e-02,1.658226e-02,1.627528e-02,1.620863e-02,1.597493e-02,1.568120e-02,1.562324e-02,1.539403e-02,1.511337e-02,1.506354e-02,1.483918e-02,1.457138e-02,1.452913e-02,1.430993e-02,1.405474e-02,1.401951e-02,1.380575e-02,1.356289e-02,1.353416e-02,1.332609e-02,1.309525e-02,1.307250e-02,1.287031e-02,1.265119e-02,1.263391e-02,1.243780e-02,1.223005e-02,1.221776e-02,1.202787e-02,1.183117e-02,1.182341e-02,1.163986e-02,1.145385e-02,1.145018e-02,1.127307e-02,1.109742e-02,1.076444e-02,1.045058e-02,1.015518e-02,9.877580e-03,9.617123e-03,9.373170e-03,9.145088e-03,8.932256e-03,8.734063e-03,8.549910e-03,8.379209e-03,8.221386e-03,8.075876e-03,7.942128e-03,7.819602e-03,7.707770e-03,7.606115e-03,7.514133e-03,7.431331e-03,7.357227e-03,7.291352e-03,7.233246e-03,7.182464e-03,7.138570e-03,7.101140e-03,7.069763e-03,7.044040e-03,7.023582e-03,7.008014e-03,6.996972e-03,6.990105e-03,6.987074e-03,6.987554e-03,6.991229e-03,6.997801e-03,7.006980e-03,7.018492e-03,7.032073e-03,7.047475e-03,7.064460e-03,7.082805e-03,7.102297e-03,7.122739e-03,7.143943e-03,7.165736e-03,7.187953e-03,7.210446e-03,7.233073e-03,7.255708e-03
0.000000e+00,8.943684e-10,1.086458e-08,1.132345e-08,6.559869e-08,2.204937e-07,2.299614e-07,5.443384e-07,9.265874e-07,9.518589e-07,1.366211e-06,1.721809e-06,1.751294e-06,2.099970e-06,2.383034e-06,2.412756e-06,2.691858e-06,2.911572e-06,2.939753e-06,3.158876e-06,3.326082e-06,3.351547e-06,3.519945e-06,3.644143e-06,3.666117e-06,3.791969e-06,3.881253e-06,3.899275e-06,3.989682e-06,4.050867e-06,4.064712e-06,4.125769e-06,4.164531e-06,4.174149e-06,4.211042e-06,4.232076e-06,4.237544e-06,4.254658e-06,4.261823e-06,4.263306e-06,4.264333e-06,4.260790e-06,4.258512e-06,4.246550e-06,4.234873e-06,4.229096e-06,4.206742e-06,4.189019e-06,4.180028e-06,4.149448e-06,4.127368e-06,4.115453e-06,4.078456e-06,4.053376e-06,4.038830e-06,3.996918e-06,3.969922e-06,3.953031e-06,3.907452e-06,3.879400e-06,3.860438e-06,3.812225e-06,3.783796e-06,3.763024e-06,3.713028e-06,3.684748e-06,3.662411e-06,3.611332e-06,3.583607e-06,3.559932e-06,3.508342e-06,3.481479e-06,3.456677e-06,3.405042e-06,3.379265e-06,3.353530e-06,3.302225e-06,3.277695e-06,3.251203e-06,3.200531e-06,3.177356e-06,3.150269e-06,3.100469e-06,3.078716e-06,3.051178e-06,3.002438e-06,2.982140e-06,2.954284e-06,2.906748e-06,2.887912e-06,2.859856e-06,2.813632e-06,2.796246e-06,2.768096e-06,2.723264e-06,2.707299e-06,2.679149e-06,2.635763e-06,2.621179e-06,2.593114e-06,2.551208e-06,2.537956e-06,2.510050e-06,2.469643e-06,2.457667e-06,2.429987e-06,2.391083e-06,2.380324e-06,2.352928e-06,2.315521e-06,2.305916e-06,2.278856e-06,2.242929e-06,2.234416e-06,2.207735e-06,2.173267e-06,2.165781e-06,2.139518e-06,2.106481e-06,2.099959e-06,2.074148e-06,2.042511e-06,2.036889e-06,2.011559e-06,1.981285e-06,1.976504e-06,1.951679e-06,1.922731e-06,1.918730e-06,1.894431e-06,1.866770e-06,1.863493e-06,1.839737e-06,1.813321e-06,1.810713e-06,1.787513e-06,1.762303e-06,1.760311e-06,1.737679e-06,1.713632e-06,1.712207e-06,1.690151e-06,1.667226e-06,1.666321e-06,1.644847e-06,1.623003e-06,1.622571e-06,1.601684e-06,1.580881e-06,1.541172e-06,1.503368e-06,1.467394e-06,1.433178e-06,1.400649e-06,1.369739e-06,1.340380e-06,1.312510e-06,1.286065e-06,1.260985e-06,1.237213e-06,1.214692e-06,1.193368e-06,1.173189e-06,1.154106e-06,1.136070e-06,1.119035e-06,1.102957e-06,1.087792e-06,1.073500e-06,1.060041e-06,1.047377e-06,1.035472e-06,1.024291e-06,1.013801e-06,1.003969e-06,9.947647e-07,9.861581e-07,9.781210e-07,9.706262e-07,9.636476e-07,9.571601e-07,9.511397e-07,9.455635e-07,9.404095e-07,9.356564e-07,9.312841e-07,9.272731e-07,9.236050e-07,9.202619e-07,9.172268e-07,9.144834e-07,9.120161e-07,9.098100e-07,9.078508e-07,9.061248e-07,9.046190e-07,9.033208e-07,9.022183e-07
0.000000e+00,7.656436e-08,1.768058e-06,1.859187e-06,1.493439e-05,6.058186e-05,6.359560e-05,1.748340e-04,3.400227e-04,3.521649e-04,5.716605e-04,7.851446e-04,8.035846e-04,1.026430e-03,1.208968e-03,1.227965e-03,1.402629e-03,1.532944e-03,1.549041e-03,1.668228e-03,1.750679e-03,1.762475e-03,1.834610e-03,1.880279e-03,1.887587e-03,1.924246e-03,1.943964e-03,1.947189e-03,1.958732e-03,1.961124e-03,1.960893e-03,1.955400e-03,1.946755e-03,1.943721e-03,1.927088e-03,1.911774e-03,1.906530e-03,1.882901e-03,1.863855e-03,1.856902e-03,1.829113e-03,1.808264e-03,1.800005e-03,1.769965e-03,1.748552e-03,1.739306e-03,1.708279e-03,1.687077e-03,1.677089e-03,1.645899e-03,1.625379e-03,1.614841e-03,1.584018e-03,1.564452e-03,1.553511e-03,1.523386e-03,1.504922e-03,1.493691e-03,1.464465e-03,1.447167e-03,1.435737e-03,1.407527e-03,1.391409e-03,1.379850e-03,1.352715e-03,1.337759e-03,1.326128e-03,1.300092e-03,1.286262e-03,1.274607e-03,1.249670e-03,1.236918e-03,1.225277e-03,1.201423e-03,1.189696e-03,1.178102e-03,1.155306e-03,1.144548e-03,1.133028e-03,1.111259e-03,1.101415e-03,1.089992e-03,1.069217e-03,1.060229e-03,1.048924e-03,1.029106e-03,1.020921e-03,1.009753e-03,9.908545e-04,9.834207e-04,9.724027e-04,9.543881e-04,9.476553e-04,9.368015e-04,9.196338e-04,9.135542e-04,9.028761e-04,8.865196e-04,8.810482e-04,8.705555e-04,8.549754e-04,8.500694e-04,8.397706e-04,8.249330e-04,8.205520e-04,8.104543e-04,7.963264e-04,7.924324e-04,7.825416e-04,7.690920e-04,7.656491e-04,7.559701e-04,7.431684e-04,7.401428e-04,7.306795e-04,7.184964e-04,7.158564e-04,7.066120e-04,6.950193e-04,6.927352e-04,6.837118e-04,6.726827e-04,6.707266e-04,6.619257e-04,6.514343e-04,6.497799e-04,6.412024e-04,6.312239e-04,6.298468e-04,6.214930e-04,6.120037e-04,6.108810e-04,6.027505e-04,5.937278e-04,5.928380e-04,5.849301e-04,5.763521e-04,5.756752e-04,5.679887e-04,5.598348e-04,5.593521e-04,5.518853e-04,5.441355e-04,5.438296e-04,5.365806e-04,5.292160e-04,5.290707e-04,5.220372e-04,5.150396e-04,5.017026e-04,4.890270e-04,4.769819e-04,4.655377e-04,4.546662e-04,4.443402e-04,4.345342e-04,4.252235e-04,4.163846e-04,4.079953e-04,4.000340e-04,3.924806e-04,3.853155e-04,3.785203e-04,3.720772e-04,3.659695e-04,3.601811e-04,3.546966e-04,3.495016e-04,3.445820e-04,3.399246e-04,3.355167e-04,3.313464e-04,3.274020e-04,3.236728e-04,3.201481e-04,3.168181e-04,3.136734e-04,3.107047e-04,3.079037e-04,3.052619e-04,3.027717e-04,3.004255e-04,2.982164e-04,2.961374e-04,2.941821e-04,2.923445e-04,2.906186e-04,2.889989e-04,2.874801e-04,2.860570e-04,2.847249e-04,2.834792e-04,2.823155e-04,2.812296e-04,2.802176e-04,2.792756e-04,2.784001e-04,2.775875e-04
0.000000e+00,7.116302e-08,1.182092e-06,1.235089e-06,7.780694e-06,2.838296e-05,2.972270e-05,7.975874e-05,1.585180e-04,1.645499e-04,2.790167e-04,3.983454e-04,4.089163e-04,5.386656e-04,6.464273e-04,6.576720e-04,7.611956e-04,8.386900e-04,8.482953e-04,9.198849e-04,9.702820e-04,9.775924e-04,1.023208e-03,1.053437e-03,1.058443e-03,1.084840e-03,1.100846e-03,1.103752e-03,1.116351e-03,1.122563e-03,1.123639e-03,1.126475e-03,1.126071e-03,1.125591e-03,1.121606e-03,1.116833e-03,1.115050e-03,1.106370e-03,1.098806e-03,1.095947e-03,1.084101e-03,1.074846e-03,1.071106e-03,1.057193e-03,1.047013e-03,1.042556e-03,1.027360e-03,1.016782e-03,1.011749e-03,9.958411e-04,9.852279e-04,9.797353e-04,9.635160e-04,9.531089e-04,9.472533e-04,9.310061e-04,9.209627e-04,9.148241e-04,8.987486e-04,8.891688e-04,8.828134e-04,8.670463e-04,8.579876e-04,8.514701e-04,8.361035e-04,8.275957e-04,8.209619e-04,8.060572e-04,7.981105e-04,7.913986e-04,7.769934e-04,7.696047e-04,7.628469e-04,7.489626e-04,7.421197e-04,7.353431e-04,7.219896e-04,7.156745e-04,7.089024e-04,6.960807e-04,6.902716e-04,6.835233e-04,6.712283e-04,6.659010e-04,6.591934e-04,6.474159e-04,6.425454e-04,6.358929e-04,6.246210e-04,6.201817e-04,6.135967e-04,6.028165e-04,5.987831e-04,5.922764e-04,5.819725e-04,5.783202e-04,5.719009e-04,5.620576e-04,5.587622e-04,5.524385e-04,5.430394e-04,5.400775e-04,5.338563e-04,5.248851e-04,5.222344e-04,5.161217e-04,5.075620e-04,5.052012e-04,4.992020e-04,4.910378e-04,4.889467e-04,4.830654e-04,4.752808e-04,4.734401e-04,4.676804e-04,4.602601e-04,4.586515e-04,4.530164e-04,4.459454e-04,4.445517e-04,4.390437e-04,4.323076e-04,4.311124e-04,4.257336e-04,4.193183e-04,4.183063e-04,4.130582e-04,4.069501e-04,4.061069e-04,4.009907e-04,3.951767e-04,3.944886e-04,3.895050e-04,3.839726e-04,3.834269e-04,3.785763e-04,3.733133e-04,3.728980e-04,3.681806e-04,3.631753e-04,3.628790e-04,3.582947e-04,3.535360e-04,3.533481e-04,3.488965e-04,3.443735e-04,3.442843e-04,3.399646e-04,3.356671e-04,3.274772e-04,3.196959e-04,3.123053e-04,3.052881e-04,2.986280e-04,2.923091e-04,2.863162e-04,2.806348e-04,2.752509e-04,2.701513e-04,2.653231e-04,2.607541e-04,2.564325e-04,2.523470e-04,2.484870e-04,2.448420e-04,2.414022e-04,2.381581e-04,2.351007e-04,2.322212e-04,2.295114e-04,2.269632e-04,2.245692e-04,2.223219e-04,2.202144e-04,2.182400e-04,2.163924e-04,2.146654e-04,2.130531e-04,2.115499e-04,2.101505e-04,2.088498e-04,2.076428e-04,2.065248e-04,2.054914e-04,2.045382e-04,2.036612e-04,2.028564e-04,2.021201e-04,2.014486e-04,2.008386e-04,2.002868e-04,1.997900e-04,1.993453e-04,1.989498e-04,1.986007e-04,1.982955e-04,1.980316e-04,1.978068e-04
0.000000e+00,3.067881e-10,5.709168e-09,5.984749e-09,3.946205e-08,1.207082e-07,1.249716e-07,2.369472e-07,3.336473e-07,3.392946e-07,4.239473e-07,4.872276e-07,4.921343e-07,5.463117e-07,5.850101e-07,5.887905e-07,6.215511e-07,6.436699e-07,6.462579e-07,6.643031e-07,6.753866e-07,6.768503e-07,6.848710e-07,6.887071e-07,6.891751e-07,6.904346e-07,6.895939e-07,6.892131e-07,6.859789e-07,6.822061e-07,6.811210e-07,6.749619e-07,6.694280e-07,6.677686e-07,6.597621e-07,6.532468e-07,6.511249e-07,6.420078e-07,6.350259e-07,6.325347e-07,6.228078e-07,6.156949e-07,6.129109e-07,6.029125e-07,5.958838e-07,5.928689e-07,5.828257e-07,5.760157e-07,5.728200e-07,5.628818e-07,5.563715e-07,5.530352e-07,5.432995e-07,5.371339e-07,5.336897e-07,5.242179e-07,5.184186e-07,5.148929e-07,5.057218e-07,5.002952e-07,4.967096e-07,4.878596e-07,4.828019e-07,4.791741e-07,4.706544e-07,4.659558e-07,4.623007e-07,4.541127e-07,4.497598e-07,4.460896e-07,4.382300e-07,4.342072e-07,4.305324e-07,4.229947e-07,4.192851e-07,4.156147e-07,4.083902e-07,4.049770e-07,4.013187e-07,3.943975e-07,3.912635e-07,3.876239e-07,3.809955e-07,3.781241e-07,3.745092e-07,3.681626e-07,3.655380e-07,3.619528e-07,3.558770e-07,3.534837e-07,3.499326e-07,3.441170e-07,3.419402e-07,3.384273e-07,3.328611e-07,3.308870e-07,3.274157e-07,3.220886e-07,3.203039e-07,3.168773e-07,3.117792e-07,3.101714e-07,3.067921e-07,3.019135e-07,3.004707e-07,2.971410e-07,2.924725e-07,2.911836e-07,2.879056e-07,2.834382e-07,2.822927e-07,2.790681e-07,2.747933e-07,2.737812e-07,2.706115e-07,2.665209e-07,2.656330e-07,2.625194e-07,2.586052e-07,2.578326e-07,2.547762e-07,2.510307e-07,2.503652e-07,2.473668e-07,2.437828e-07,2.432167e-07,2.402769e-07,2.368474e-07,2.363733e-07,2.334927e-07,2.302110e-07,2.298221e-07,2.270009e-07,2.238608e-07,2.235506e-07,2.207891e-07,2.177843e-07,2.175468e-07,2.148450e-07,2.119698e-07,2.117993e-07,2.091572e-07,2.064059e-07,2.062971e-07,2.037145e-07,2.010817e-07,2.010297e-07,1.985064e-07,1.959871e-07,1.911596e-07,1.865381e-07,1.821137e-07,1.778780e-07,1.738229e-07,1.699407e-07,1.662239e-07,1.626656e-07,1.592589e-07,1.559973e-07,1.528746e-07,1.498849e-07,1.470225e-07,1.442819e-07,1.416580e-07,1.391457e-07,1.367404e-07,1.344373e-07,1.322322e-07,1.301208e-07,1.280992e-07,1.261635e-07,1.243101e-07,1.225355e-07,1.208363e-07,1.192092e-07,1.176513e-07,1.161596e-07,1.147312e-07,1.133635e-07,1.120539e-07,1.107999e-07,1.095992e-07,1.084494e-07,1.073485e-07,1.062944e-07,1.052851e-07,1.043186e-07,1.033933e-07,1.025072e-07,1.016589e-07,1.008467e-07,1.000690e-07,9.932438e-08,9.861151e-08,9.792902e-08,9.727563e-08,9.665011e-08,9.605130e-08
0.000000e+00,1.163873e-07,2.420402e-06,2.541570e-06,1.982262e-05,8.190843e-05,8.608390e-05,2.430858e-04,4.772582e-04,4.943505e-04,8.009391e-04,1.098916e-03,1.124873e-03,1.444790e-03,1.721102e-03,1.750964e-03,2.039568e-03,2.278057e-03,2.309448e-03,2.560607e-03,2.761993e-03,2.793528e-03,3.008883e-03,3.176743e-03,3.207407e-03,3.389854e-03,3.528002e-03,3.556991e-03,3.709582e-03,3.821684e-03,3.848374e-03,3.974097e-03,4.063546e-03,4.087461e-03,4.189148e-03,4.259029e-03,4.279820e-03,4.360108e-03,4.413194e-03,4.430619e-03,4.491932e-03,4.530694e-03,4.544601e-03,4.589152e-03,4.615777e-03,4.626088e-03,4.655886e-03,4.672306e-03,4.679003e-03,4.695868e-03,4.703775e-03,4.706893e-03,4.712466e-03,4.713343e-03,4.712957e-03,4.708716e-03,4.703857e-03,4.700076e-03,4.687351e-03,4.677879e-03,4.670838e-03,4.650821e-03,4.637711e-03,4.627566e-03,4.601325e-03,4.585415e-03,4.572337e-03,4.540828e-03,4.522841e-03,4.507012e-03,4.471089e-03,4.451640e-03,4.433249e-03,4.393673e-03,4.373286e-03,4.352527e-03,4.309973e-03,4.289091e-03,4.266161e-03,4.221230e-03,4.200223e-03,4.175314e-03,4.128539e-03,4.107716e-03,4.081021e-03,4.032870e-03,4.012484e-03,3.984191e-03,3.935079e-03,3.915334e-03,3.885627e-03,3.835917e-03,3.816977e-03,3.786032e-03,3.736043e-03,3.718035e-03,3.686021e-03,3.636030e-03,3.619051e-03,3.586131e-03,3.536379e-03,3.520498e-03,3.486825e-03,3.437519e-03,3.422782e-03,3.388505e-03,3.339823e-03,3.326257e-03,3.291512e-03,3.243607e-03,3.231222e-03,3.196139e-03,3.149139e-03,3.137931e-03,3.102632e-03,3.056643e-03,3.046597e-03,3.011195e-03,2.966307e-03,2.957398e-03,2.921997e-03,2.878282e-03,2.870477e-03,2.835175e-03,2.792688e-03,2.785949e-03,2.750835e-03,2.709622e-03,2.703904e-03,2.669059e-03,2.629153e-03,2.624409e-03,2.589909e-03,2.551331e-03,2.547510e-03,2.513423e-03,2.476187e-03,2.473237e-03,2.439625e-03,2.403736e-03,2.401604e-03,2.368521e-03,2.333979e-03,2.332611e-03,2.300108e-03,2.266904e-03,2.266247e-03,2.234367e-03,2.202490e-03,2.141311e-03,2.082670e-03,2.026525e-03,1.972826e-03,1.921519e-03,1.872547e-03,1.825851e-03,1.781366e-03,1.739030e-03,1.698777e-03,1.660541e-03,1.624254e-03,1.589851e-03,1.557265e-03,1.526429e-03,1.497279e-03,1.469751e-03,1.443780e-03,1.419304e-03,1.396264e-03,1.374598e-03,1.354249e-03,1.335160e-03,1.317275e-03,1.300542e-03,1.284908e-03,1.270323e-03,1.256738e-03,1.244105e-03,1.232379e-03,1.221516e-03,1.211473e-03,1.202210e-03,1.193686e-03,1.185863e-03,1.178705e-03,1.172177e-03,1.166246e-03,1.160877e-03,1.156041e-03,1.151707e-03,1.147846e-03,1.144432e-03,1.141437e-03,1.138838e-03,1.136609e-03,1.134727e-03,1.133171e-03,1.131920e-03
0.000000e+00,6.220999e-10,9.578336e-09,1.001425e-08,6.222498e-08,2.040260e-07,2.123854e-07,4.771560e-07,7.815916e-07,8.014948e-07,1.129028e-06,1.415924e-06,1.440070e-06,1.730698e-06,1.974687e-06,2.000791e-06,2.251093e-06,2.455730e-06,2.482540e-06,2.696094e-06,2.866167e-06,2.892708e-06,3.073314e-06,3.213315e-06,3.238816e-06,3.390083e-06,3.504086e-06,3.527949e-06,3.653211e-06,3.744856e-06,3.766626e-06,3.868916e-06,3.941419e-06,3.960763e-06,4.042816e-06,4.099005e-06,4.115688e-06,4.179958e-06,4.222302e-06,4.236173e-06,4.284851e-06,4.315508e-06,4.326481e-06,4.361523e-06,4.382367e-06,4.390413e-06,4.413559e-06,4.426217e-06,4.431350e-06,4.444149e-06,4.450030e-06,4.452301e-06,4.456127e-06,4.456449e-06,4.455934e-06,4.452009e-06,4.447820e-06,4.444621e-06,4.434024e-06,4.426227e-06,4.420459e-06,4.404150e-06,4.393518e-06,4.385309e-06,4.364135e-06,4.351329e-06,4.340815e-06,4.315526e-06,4.301109e-06,4.288431e-06,4.259688e-06,4.244138e-06,4.229440e-06,4.197826e-06,4.181546e-06,4.164973e-06,4.131001e-06,4.114331e-06,4.096025e-06,4.060149e-06,4.043371e-06,4.023473e-06,3.986089e-06,3.969438e-06,3.948085e-06,3.909541e-06,3.893211e-06,3.870535e-06,3.831136e-06,3.815282e-06,3.791412e-06,3.751424e-06,3.736172e-06,3.711230e-06,3.670885e-06,3.656334e-06,3.630439e-06,3.589937e-06,3.576162e-06,3.549425e-06,3.508941e-06,3.495999e-06,3.468525e-06,3.428210e-06,3.416140e-06,3.388029e-06,3.348012e-06,3.336841e-06,3.308187e-06,3.268579e-06,3.258319e-06,3.229211e-06,3.190105e-06,3.180761e-06,3.151281e-06,3.112757e-06,3.104324e-06,3.074550e-06,3.036675e-06,3.029140e-06,2.999145e-06,2.961973e-06,2.955321e-06,2.925171e-06,2.888748e-06,2.882956e-06,2.852713e-06,2.817075e-06,2.812118e-06,2.781841e-06,2.747017e-06,2.742866e-06,2.712609e-06,2.678620e-06,2.675245e-06,2.645056e-06,2.611919e-06,2.609287e-06,2.579213e-06,2.546938e-06,2.545015e-06,2.515097e-06,2.483691e-06,2.482444e-06,2.452721e-06,2.422186e-06,2.421580e-06,2.392086e-06,2.362421e-06,2.304962e-06,2.249191e-06,2.195093e-06,2.142648e-06,2.091834e-06,2.042626e-06,1.994996e-06,1.948917e-06,1.904356e-06,1.861283e-06,1.819665e-06,1.779468e-06,1.740660e-06,1.703206e-06,1.667072e-06,1.632224e-06,1.598629e-06,1.566251e-06,1.535059e-06,1.505018e-06,1.476096e-06,1.448261e-06,1.421482e-06,1.395726e-06,1.370964e-06,1.347166e-06,1.324301e-06,1.302342e-06,1.281261e-06,1.261030e-06,1.241622e-06,1.223011e-06,1.205172e-06,1.188080e-06,1.171711e-06,1.156041e-06,1.141047e-06,1.126707e-06,1.113000e-06,1.099904e-06,1.087398e-06,1.075464e-06,1.064080e-06,1.053230e-06,1.042893e-06,1.033053e-06,1.023693e-06,1.014794e-06,1.006342e-06
0.000000e+00,4.282465e-10,5.665627e-09,5.912559e-09,3.534838e-08,1.175450e-07,1.224799e-07,2.820867e-07,4.693483e-07,4.816013e-07,6.818341e-07,8.537721e-07,8.680600e-07,1.037545e-06,1.175989e-06,1.190578e-06,1.328110e-06,1.437162e-06,1.451207e-06,1.560925e-06,1.645351e-06,1.658271e-06,1.744200e-06,1.808215e-06,1.819608e-06,1.885339e-06,1.932567e-06,1.942175e-06,1.990845e-06,2.024362e-06,2.032032e-06,2.066371e-06,2.088779e-06,2.094447e-06,2.116805e-06,2.130283e-06,2.133947e-06,2.146340e-06,2.152705e-06,2.154409e-06,2.158541e-06,2.159286e-06,2.159105e-06,2.156447e-06,2.152836e-06,2.150877e-06,2.142682e-06,2.135744e-06,2.132123e-06,2.119443e-06,2.110022e-06,2.104865e-06,2.088593e-06,2.077378e-06,2.070815e-06,2.051705e-06,2.039256e-06,2.031419e-06,2.010105e-06,1.996878e-06,1.987895e-06,1.964912e-06,1.951272e-06,1.941267e-06,1.917063e-06,1.903299e-06,1.892393e-06,1.867343e-06,1.853686e-06,1.841991e-06,1.816408e-06,1.803035e-06,1.790659e-06,1.764802e-06,1.751851e-06,1.738892e-06,1.712977e-06,1.700549e-06,1.687100e-06,1.661302e-06,1.649471e-06,1.635618e-06,1.610080e-06,1.598898e-06,1.584718e-06,1.559558e-06,1.549056e-06,1.534622e-06,1.509932e-06,1.500129e-06,1.485506e-06,1.461359e-06,1.452259e-06,1.437505e-06,1.413959e-06,1.405559e-06,1.390729e-06,1.367825e-06,1.360113e-06,1.345254e-06,1.323024e-06,1.315984e-06,1.301140e-06,1.279606e-06,1.273214e-06,1.258425e-06,1.237599e-06,1.231832e-06,1.217131e-06,1.197021e-06,1.191851e-06,1.177269e-06,1.157875e-06,1.153273e-06,1.138838e-06,1.120157e-06,1.116095e-06,1.101829e-06,1.083854e-06,1.080301e-06,1.066227e-06,1.048946e-06,1.045872e-06,1.032008e-06,1.015410e-06,1.012785e-06,9.991468e-07,9.832158e-07,9.810117e-07,9.676125e-07,9.523329e-07,9.505209e-07,9.373725e-07,9.227269e-07,9.212795e-07,9.083917e-07,8.943621e-07,8.932528e-07,8.806336e-07,8.672014e-07,8.664048e-07,8.540608e-07,8.412070e-07,8.406987e-07,8.286352e-07,8.163406e-07,8.160975e-07,8.043185e-07,7.925640e-07,7.700609e-07,7.485517e-07,7.280001e-07,7.083704e-07,6.896277e-07,6.717378e-07,6.546676e-07,6.383846e-07,6.228574e-07,6.080555e-07,5.939495e-07,5.805108e-07,5.677117e-07,5.555258e-07,5.439273e-07,5.328916e-07,5.223946e-07,5.124137e-07,5.029266e-07,4.939121e-07,4.853499e-07,4.772204e-07,4.695048e-07,4.621849e-07,4.552435e-07,4.486639e-07,4.424301e-07,4.365268e-07,4.309394e-07,4.256536e-07,4.206560e-07,4.159337e-07,4.114742e-07,4.072657e-07,4.032967e-07,3.995563e-07,3.960341e-07,3.927201e-07,3.896045e-07,3.866783e-07,3.839326e-07,3.813590e-07,3.789494e-07,3.766961e-07,3.745917e-07,3.726291e-07,3.708015e-07,3.691024e-07,3.675257e-07
0.000000e+00,7.083887e-10,1.592308e-08,1.671569e-08,1.097979e-07,3.040142e-07,3.132951e-07,5.483194e-07,7.605861e-07,7.736934e-07,9.840193e-07,1.164146e-06,1.179218e-06,1.359880e-06,1.510610e-06,1.526687e-06,1.680338e-06,1.805222e-06,1.821530e-06,1.950948e-06,2.053342e-06,2.069262e-06,2.177121e-06,2.260099e-06,2.275147e-06,2.363933e-06,2.430243e-06,2.444048e-06,2.516030e-06,2.568106e-06,2.580392e-06,2.637622e-06,2.677603e-06,2.688174e-06,2.732483e-06,2.762234e-06,2.770957e-06,2.803984e-06,2.825132e-06,2.831928e-06,2.855132e-06,2.869088e-06,2.873922e-06,2.888601e-06,2.896587e-06,2.899459e-06,2.906767e-06,2.909839e-06,2.910779e-06,2.911736e-06,2.910804e-06,2.909863e-06,2.905371e-06,2.901216e-06,2.898463e-06,2.889323e-06,2.882615e-06,2.878131e-06,2.865049e-06,2.856359e-06,2.850235e-06,2.833835e-06,2.823649e-06,2.815984e-06,2.796812e-06,2.785544e-06,2.776439e-06,2.754977e-06,2.742973e-06,2.732533e-06,2.709206e-06,2.696757e-06,2.685087e-06,2.660265e-06,2.647615e-06,2.634819e-06,2.608825e-06,2.596174e-06,2.582354e-06,2.555473e-06,2.542986e-06,2.528242e-06,2.500719e-06,2.488530e-06,2.472958e-06,2.445007e-06,2.433223e-06,2.416915e-06,2.388723e-06,2.377427e-06,2.360471e-06,2.332197e-06,2.321454e-06,2.303935e-06,2.275716e-06,2.265573e-06,2.247570e-06,2.219524e-06,2.210016e-06,2.191603e-06,2.163831e-06,2.154978e-06,2.136227e-06,2.108812e-06,2.100627e-06,2.081603e-06,2.054616e-06,2.047102e-06,2.027867e-06,2.001368e-06,1.994521e-06,1.975132e-06,1.949169e-06,1.942980e-06,1.923489e-06,1.898102e-06,1.892557e-06,1.873015e-06,1.848234e-06,1.843315e-06,1.823766e-06,1.799616e-06,1.795304e-06,1.775789e-06,1.752289e-06,1.748559e-06,1.729117e-06,1.706278e-06,1.703107e-06,1.683773e-06,1.661603e-06,1.658965e-06,1.639770e-06,1.618274e-06,1.616143e-06,1.597116e-06,1.576294e-06,1.574643e-06,1.555809e-06,1.535659e-06,1.534461e-06,1.515844e-06,1.496361e-06,1.495588e-06,1.477209e-06,1.458387e-06,1.458013e-06,1.439891e-06,1.421719e-06,1.386686e-06,1.352892e-06,1.320313e-06,1.288922e-06,1.258694e-06,1.229600e-06,1.201611e-06,1.174698e-06,1.148829e-06,1.123977e-06,1.100109e-06,1.077197e-06,1.055210e-06,1.034119e-06,1.013894e-06,9.945081e-07,9.759317e-07,9.581373e-07,9.410980e-07,9.247872e-07,9.091792e-07,8.942486e-07,8.799710e-07,8.663225e-07,8.532798e-07,8.408204e-07,8.289225e-07,8.175648e-07,8.067268e-07,7.963886e-07,7.865309e-07,7.771351e-07,7.681832e-07,7.596577e-07,7.515418e-07,7.438192e-07,7.364744e-07,7.294920e-07,7.228575e-07,7.165569e-07,7.105764e-07,7.049030e-07,6.995240e-07,6.944273e-07,6.896012e-07,6.850342e-07,6.807156e-07,6.766348e-07,6.727817e-07
0.000000e+00,2.698065e-07,6.447407e-06,6.785603e-06,5.693583e-05,2.355487e-04,2.472610e-04,6.654679e-04,1.251845e-03,1.294205e-03,2.060569e-03,2.828612e-03,2.896777e-03,3.752016e-03,4.508233e-03,4.590576e-03,5.388444e-03,6.044609e-03,6.130338e-03,6.807386e-03,7.334466e-03,7.415361e-03,7.953334e-03,8.352092e-03,8.422682e-03,8.826326e-03,9.111008e-03,9.168177e-03,9.452722e-03,9.642289e-03,9.684715e-03,9.868969e-03,9.982587e-03,1.001020e-02,1.011293e-02,1.016788e-02,1.018140e-02,1.021958e-02,1.023048e-02,1.023110e-02,1.021928e-02,1.019800e-02,1.018710e-02,1.013728e-02,1.009320e-02,1.007221e-02,9.994057e-03,9.934414e-03,9.904715e-03,9.805873e-03,9.736162e-03,9.699016e-03,9.585451e-03,9.509786e-03,9.466326e-03,9.342646e-03,9.264066e-03,9.215289e-03,9.085025e-03,9.005753e-03,8.952523e-03,8.818370e-03,8.740008e-03,8.683075e-03,8.547082e-03,8.470767e-03,8.410777e-03,8.274498e-03,8.201022e-03,8.138536e-03,8.003146e-03,7.933044e-03,7.868549e-03,7.734936e-03,7.668551e-03,7.602473e-03,7.471303e-03,7.408838e-03,7.341551e-03,7.213322e-03,7.154874e-03,7.086708e-03,6.961787e-03,6.907375e-03,6.838624e-03,6.717276e-03,6.666861e-03,6.597787e-03,6.480197e-03,6.433699e-03,6.364536e-03,6.250827e-03,6.208134e-03,6.139090e-03,6.029338e-03,5.990314e-03,5.921578e-03,5.815815e-03,5.780311e-03,5.712050e-03,5.610279e-03,5.578133e-03,5.510497e-03,5.412695e-03,5.383739e-03,5.316863e-03,5.222987e-03,5.197050e-03,5.131052e-03,5.041043e-03,5.017953e-03,4.952940e-03,4.866724e-03,4.846311e-03,4.782375e-03,4.699871e-03,4.681965e-03,4.619189e-03,4.540306e-03,4.524744e-03,4.463198e-03,4.387841e-03,4.374461e-03,4.314209e-03,4.242276e-03,4.230923e-03,4.172017e-03,4.103406e-03,4.093930e-03,4.036416e-03,3.971021e-03,3.963279e-03,3.907194e-03,3.844909e-03,3.838764e-03,3.784139e-03,3.724858e-03,3.720179e-03,3.667039e-03,3.610655e-03,3.607317e-03,3.555681e-03,3.502091e-03,3.499976e-03,3.449858e-03,3.398957e-03,3.397952e-03,3.349362e-03,3.301049e-03,3.209072e-03,3.121830e-03,3.039137e-03,2.960814e-03,2.886684e-03,2.816576e-03,2.750324e-03,2.687768e-03,2.628752e-03,2.573127e-03,2.520746e-03,2.471471e-03,2.425165e-03,2.381697e-03,2.340942e-03,2.302779e-03,2.267090e-03,2.233763e-03,2.202689e-03,2.173763e-03,2.146884e-03,2.121956e-03,2.098885e-03,2.077581e-03,2.057957e-03,2.039930e-03,2.023420e-03,2.008349e-03,1.994643e-03,1.982231e-03,1.971043e-03,1.961013e-03,1.952077e-03,1.944174e-03,1.937246e-03,1.931234e-03,1.926086e-03,1.921747e-03,1.918168e-03,1.915301e-03,1.913098e-03,1.911516e-03,1.910512e-03,1.910043e-03,1.910072e-03,1.910561e-03,1.911473e-03,1.912773e-03,1.914430e-03
0.000000e+00,2.409554e-08,3.950978e-07,4.134211e-07,2.692894e-06,9.257046e-06,9.654639e-06,2.266711e-05,3.829711e-05,3.933234e-05,5.644681e-05,7.144051e-05,7.269964e-05,8.780591e-05,1.004058e-04,1.017488e-04,1.145725e-04,1.249780e-04,1.263355e-04,1.370985e-04,1.455999e-04,1.469206e-04,1.558591e-04,1.627242e-04,1.639680e-04,1.712978e-04,1.767619e-04,1.778983e-04,1.838172e-04,1.880917e-04,1.890992e-04,1.937872e-04,1.970571e-04,1.979210e-04,2.015386e-04,2.039648e-04,2.046757e-04,2.073655e-04,2.090868e-04,2.096397e-04,2.115278e-04,2.126638e-04,2.130575e-04,2.142548e-04,2.149083e-04,2.151441e-04,2.157485e-04,2.160076e-04,2.160892e-04,2.161864e-04,2.161264e-04,2.160590e-04,2.157246e-04,2.154096e-04,2.151997e-04,2.144998e-04,2.139843e-04,2.136393e-04,2.126317e-04,2.119618e-04,2.114897e-04,2.102251e-04,2.094398e-04,2.088489e-04,2.073715e-04,2.065036e-04,2.058025e-04,2.041509e-04,2.032276e-04,2.024250e-04,2.006327e-04,1.996769e-04,1.987813e-04,1.968775e-04,1.959079e-04,1.949276e-04,1.929377e-04,1.919698e-04,1.909130e-04,1.888588e-04,1.879052e-04,1.867797e-04,1.846802e-04,1.837510e-04,1.825642e-04,1.804357e-04,1.795388e-04,1.782980e-04,1.761545e-04,1.752961e-04,1.740080e-04,1.718614e-04,1.710462e-04,1.697173e-04,1.675779e-04,1.668093e-04,1.654455e-04,1.633219e-04,1.626023e-04,1.612091e-04,1.591088e-04,1.584395e-04,1.570224e-04,1.549513e-04,1.543331e-04,1.528968e-04,1.508601e-04,1.502931e-04,1.488422e-04,1.468440e-04,1.463278e-04,1.448664e-04,1.429102e-04,1.424439e-04,1.409759e-04,1.390643e-04,1.386469e-04,1.371759e-04,1.353110e-04,1.349409e-04,1.334702e-04,1.316537e-04,1.313293e-04,1.298618e-04,1.280948e-04,1.278144e-04,1.263529e-04,1.246362e-04,1.243978e-04,1.229447e-04,1.212787e-04,1.210805e-04,1.196382e-04,1.180230e-04,1.178629e-04,1.164333e-04,1.148689e-04,1.147449e-04,1.133298e-04,1.118160e-04,1.117259e-04,1.103272e-04,1.088633e-04,1.088053e-04,1.074242e-04,1.060098e-04,1.059818e-04,1.046198e-04,1.032540e-04,1.006205e-04,9.807949e-05,9.562907e-05,9.326727e-05,9.099202e-05,8.880121e-05,8.669266e-05,8.466417e-05,8.271352e-05,8.083851e-05,7.903690e-05,7.730649e-05,7.564512e-05,7.405061e-05,7.252086e-05,7.105377e-05,6.964729e-05,6.829941e-05,6.700817e-05,6.577166e-05,6.458800e-05,6.345536e-05,6.237197e-05,6.133610e-05,6.034606e-05,5.940023e-05,5.849701e-05,5.763488e-05,5.681232e-05,5.602791e-05,5.528023e-05,5.456792e-05,5.388967e-05,5.324421e-05,5.263030e-05,5.204674e-05,5.149240e-05,5.096614e-05,5.046689e-05,4.999361e-05,4.954529e-05,4.912096e-05,4.871966e-05,4.834050e-05,4.798259e-05,4.764508e-05,4.732716e-05,4.702803e-05,4.674693e-05
0.000000e+00,3.646694e-09,5.539434e-08,5.793664e-08,3.727108e-07,1.260656e-06,1.313335e-06,2.958448e-06,4.776907e-06,4.893796e-06,6.796787e-06,8.441371e-06,8.579029e-06,1.022727e-05,1.159856e-05,1.174457e-05,1.313747e-05,1.426608e-05,1.441322e-05,1.557901e-05,1.649874e-05,1.664151e-05,1.760708e-05,1.834786e-05,1.848201e-05,1.927226e-05,1.986108e-05,1.998352e-05,2.062114e-05,2.108161e-05,2.119016e-05,2.169534e-05,2.204793e-05,2.214112e-05,2.253170e-05,2.279404e-05,2.287100e-05,2.316269e-05,2.334992e-05,2.341021e-05,2.361677e-05,2.374184e-05,2.378539e-05,2.391889e-05,2.399285e-05,2.401989e-05,2.409085e-05,2.412312e-05,2.413406e-05,2.415168e-05,2.415026e-05,2.414570e-05,2.411800e-05,2.408967e-05,2.407031e-05,2.400427e-05,2.395478e-05,2.392140e-05,2.382311e-05,2.375728e-05,2.371072e-05,2.358546e-05,2.350737e-05,2.344849e-05,2.330086e-05,2.321391e-05,2.314358e-05,2.297757e-05,2.288460e-05,2.280369e-05,2.262275e-05,2.252612e-05,2.243550e-05,2.224262e-05,2.214428e-05,2.204477e-05,2.184253e-05,2.174407e-05,2.163648e-05,2.142713e-05,2.132985e-05,2.121495e-05,2.100039e-05,2.090533e-05,2.078386e-05,2.056575e-05,2.047376e-05,2.034641e-05,2.012616e-05,2.003787e-05,1.990530e-05,1.968413e-05,1.960005e-05,1.946289e-05,1.924181e-05,1.916231e-05,1.902113e-05,1.880103e-05,1.872637e-05,1.858172e-05,1.836334e-05,1.829368e-05,1.814606e-05,1.793003e-05,1.786548e-05,1.771536e-05,1.750219e-05,1.744278e-05,1.729061e-05,1.708072e-05,1.702644e-05,1.687261e-05,1.666637e-05,1.661716e-05,1.646206e-05,1.625974e-05,1.621551e-05,1.605948e-05,1.586132e-05,1.582195e-05,1.566531e-05,1.547149e-05,1.543684e-05,1.527989e-05,1.509054e-05,1.506045e-05,1.490346e-05,1.471868e-05,1.469299e-05,1.453621e-05,1.435606e-05,1.433460e-05,1.417824e-05,1.400277e-05,1.398535e-05,1.382964e-05,1.365885e-05,1.364529e-05,1.349040e-05,1.332430e-05,1.331441e-05,1.316053e-05,1.299909e-05,1.299268e-05,1.283996e-05,1.268315e-05,1.268003e-05,1.252863e-05,1.237639e-05,1.208163e-05,1.179563e-05,1.151826e-05,1.124936e-05,1.098878e-05,1.073634e-05,1.049187e-05,1.025521e-05,1.002616e-05,9.804554e-06,9.590201e-06,9.382923e-06,9.182537e-06,8.988863e-06,8.801724e-06,8.620942e-06,8.446343e-06,8.277756e-06,8.115012e-06,7.957945e-06,7.806393e-06,7.660196e-06,7.519199e-06,7.383249e-06,7.252198e-06,7.125900e-06,7.004213e-06,6.886999e-06,6.774124e-06,6.665454e-06,6.560863e-06,6.460226e-06,6.363421e-06,6.270330e-06,6.180838e-06,6.094834e-06,6.012207e-06,5.932853e-06,5.856669e-06,5.783555e-06,5.713413e-06,5.646150e-06,5.581673e-06,5.519893e-06,5.460724e-06,5.404081e-06,5.349883e-06,5.298050e-06,5.248505e-06
0.000000e+00,6.366912e-10,9.929215e-09,1.039095e-08,6.794073e-08,2.254045e-07,2.344165e-07,4.990670e-07,7.711937e-07,7.884406e-07,1.068848e-06,1.312771e-06,1.333307e-06,1.580911e-06,1.789631e-06,1.812017e-06,2.027262e-06,2.204104e-06,2.227335e-06,2.412936e-06,2.561509e-06,2.584761e-06,2.743498e-06,2.867216e-06,2.889821e-06,3.024384e-06,3.126398e-06,3.147824e-06,3.260751e-06,3.343921e-06,3.363755e-06,3.457398e-06,3.524287e-06,3.542217e-06,3.618724e-06,3.671612e-06,3.687407e-06,3.748729e-06,3.789627e-06,3.803129e-06,3.851025e-06,3.881706e-06,3.892813e-06,3.928867e-06,3.950884e-06,3.959542e-06,3.985174e-06,3.999887e-06,4.006083e-06,4.022568e-06,4.031164e-06,4.034915e-06,4.043394e-06,4.046908e-06,4.048258e-06,4.049749e-06,4.049080e-06,4.048094e-06,4.043509e-06,4.039435e-06,4.036195e-06,4.026345e-06,4.019542e-06,4.014140e-06,3.999751e-06,3.990799e-06,3.983338e-06,3.965053e-06,3.954453e-06,3.945041e-06,3.923436e-06,3.911615e-06,3.900366e-06,3.875950e-06,3.863273e-06,3.850302e-06,3.823529e-06,3.810308e-06,3.795730e-06,3.767001e-06,3.753497e-06,3.737429e-06,3.707099e-06,3.693534e-06,3.676089e-06,3.644473e-06,3.631030e-06,3.612320e-06,3.579696e-06,3.566528e-06,3.546661e-06,3.513273e-06,3.500504e-06,3.479586e-06,3.445650e-06,3.433381e-06,3.411512e-06,3.377217e-06,3.365528e-06,3.342806e-06,3.308317e-06,3.297270e-06,3.273787e-06,3.239249e-06,3.228891e-06,3.204735e-06,3.170274e-06,3.160639e-06,3.135894e-06,3.101619e-06,3.092728e-06,3.067474e-06,3.033480e-06,3.025346e-06,2.999658e-06,2.966025e-06,2.958654e-06,2.932601e-06,2.899400e-06,2.892787e-06,2.866437e-06,2.833726e-06,2.827865e-06,2.801279e-06,2.769108e-06,2.763986e-06,2.737222e-06,2.705632e-06,2.701234e-06,2.674346e-06,2.643371e-06,2.639675e-06,2.612714e-06,2.582382e-06,2.579367e-06,2.552380e-06,2.522712e-06,2.520353e-06,2.493384e-06,2.464398e-06,2.462669e-06,2.435757e-06,2.407466e-06,2.406341e-06,2.379524e-06,2.351935e-06,2.351387e-06,2.324699e-06,2.297818e-06,2.245640e-06,2.194854e-06,2.145455e-06,2.097435e-06,2.050782e-06,2.005483e-06,1.961521e-06,1.918876e-06,1.877527e-06,1.837453e-06,1.798629e-06,1.761032e-06,1.724636e-06,1.689414e-06,1.655341e-06,1.622389e-06,1.590533e-06,1.559744e-06,1.529996e-06,1.501262e-06,1.473516e-06,1.446730e-06,1.420878e-06,1.395936e-06,1.371876e-06,1.348675e-06,1.326307e-06,1.304748e-06,1.283975e-06,1.263964e-06,1.244692e-06,1.226137e-06,1.208277e-06,1.191091e-06,1.174559e-06,1.158659e-06,1.143373e-06,1.128680e-06,1.114563e-06,1.101002e-06,1.087980e-06,1.075481e-06,1.063486e-06,1.051979e-06,1.040946e-06,1.030369e-06,1.020234e-06,1.010527e-06,1.001233e-06
0.000000e+00,1.364194e-09,1.604046e-08,1.671148e-08,9.661193e-08,3.275950e-07,3.417155e-07,8.031366e-07,1.343311e-06,1.378513e-06,1.952344e-06,2.443696e-06,2.484478e-06,2.967607e-06,3.361272e-06,3.402696e-06,3.792604e-06,4.100934e-06,4.140585e-06,4.449839e-06,4.687147e-06,4.723407e-06,4.964085e-06,5.142720e-06,5.174447e-06,5.357015e-06,5.487640e-06,5.514148e-06,5.648037e-06,5.739787e-06,5.760718e-06,5.854072e-06,5.914592e-06,5.929834e-06,5.989607e-06,6.025250e-06,6.034862e-06,6.066954e-06,6.082963e-06,6.087127e-06,6.096522e-06,6.097204e-06,6.096186e-06,6.087079e-06,6.075959e-06,6.070080e-06,6.045995e-06,6.025947e-06,6.015560e-06,5.979451e-06,5.952812e-06,5.938284e-06,5.892624e-06,5.861284e-06,5.842987e-06,5.789844e-06,5.755325e-06,5.733625e-06,5.674724e-06,5.638246e-06,5.613499e-06,5.550277e-06,5.512812e-06,5.485357e-06,5.419009e-06,5.381324e-06,5.351481e-06,5.282999e-06,5.245694e-06,5.213766e-06,5.143969e-06,5.107507e-06,5.073775e-06,5.003338e-06,4.968072e-06,4.932796e-06,4.862274e-06,4.828465e-06,4.791886e-06,4.721732e-06,4.689566e-06,4.651905e-06,4.582488e-06,4.552092e-06,4.513552e-06,4.445166e-06,4.416621e-06,4.377387e-06,4.310267e-06,4.283615e-06,4.243853e-06,4.178186e-06,4.153436e-06,4.113301e-06,4.049229e-06,4.026368e-06,3.985997e-06,3.923628e-06,3.902623e-06,3.862142e-06,3.801555e-06,3.782359e-06,3.741879e-06,3.683127e-06,3.665683e-06,3.625306e-06,3.568422e-06,3.552663e-06,3.512479e-06,3.457480e-06,3.443335e-06,3.403426e-06,3.350314e-06,3.337708e-06,3.298144e-06,3.246912e-06,3.235766e-06,3.196612e-06,3.147241e-06,3.137477e-06,3.098790e-06,3.051253e-06,3.042793e-06,3.004623e-06,2.958889e-06,2.951654e-06,2.914043e-06,2.870077e-06,2.863991e-06,2.826978e-06,2.784737e-06,2.779726e-06,2.743344e-06,2.702787e-06,2.698776e-06,2.663054e-06,2.624134e-06,2.621056e-06,2.586016e-06,2.548688e-06,2.546473e-06,2.512138e-06,2.476353e-06,2.474937e-06,2.441322e-06,2.407032e-06,2.406354e-06,2.373472e-06,2.340629e-06,2.277669e-06,2.217382e-06,2.159674e-06,2.104456e-06,2.051638e-06,2.001132e-06,1.952853e-06,1.906718e-06,1.862645e-06,1.820555e-06,1.780373e-06,1.742023e-06,1.705434e-06,1.670536e-06,1.637261e-06,1.605545e-06,1.575324e-06,1.546539e-06,1.519129e-06,1.493040e-06,1.468216e-06,1.444605e-06,1.422157e-06,1.400823e-06,1.380557e-06,1.361313e-06,1.343048e-06,1.325721e-06,1.309292e-06,1.293722e-06,1.278975e-06,1.265014e-06,1.251807e-06,1.239319e-06,1.227520e-06,1.216380e-06,1.205869e-06,1.195960e-06,1.186626e-06,1.177842e-06,1.169582e-06,1.161823e-06,1.154543e-06,1.147720e-06,1.141332e-06,1.135361e-06,1.129786e-06,1.124590e-06,1.119755e-06
0.000000e+00,1.248829e-08,1.466069e-07,1.525376e-07,8.222167e-07,2.699877e-06,2.816188e-06,6.903639e-06,1.276838e-05,1.319916e-05,2.104888e-05,2.882521e-05,2.950495e-05,3.787647e-05,4.508413e-05,4.586195e-05,5.337437e-05,5.958413e-05,6.040216e-05,6.695661e-05,7.222855e-05,7.305576e-05,7.871961e-05,8.315578e-05,8.396857e-05,8.882283e-05,9.252265e-05,9.330211e-05,9.742549e-05,1.004803e-04,1.012114e-04,1.046774e-04,1.071699e-04,1.078406e-04,1.107171e-04,1.127211e-04,1.133224e-04,1.156713e-04,1.172528e-04,1.177779e-04,1.196557e-04,1.208733e-04,1.213175e-04,1.227756e-04,1.236812e-04,1.240415e-04,1.251264e-04,1.257661e-04,1.260408e-04,1.267948e-04,1.272093e-04,1.273980e-04,1.278595e-04,1.280845e-04,1.281879e-04,1.283914e-04,1.284583e-04,1.284778e-04,1.284546e-04,1.283910e-04,1.283288e-04,1.281070e-04,1.279370e-04,1.277957e-04,1.274009e-04,1.271454e-04,1.269281e-04,1.263829e-04,1.260602e-04,1.257705e-04,1.250957e-04,1.247217e-04,1.243631e-04,1.235772e-04,1.231656e-04,1.227421e-04,1.218617e-04,1.214241e-04,1.209397e-04,1.199797e-04,1.195262e-04,1.189849e-04,1.179586e-04,1.174978e-04,1.169036e-04,1.158229e-04,1.153619e-04,1.147190e-04,1.135944e-04,1.131394e-04,1.124516e-04,1.112928e-04,1.108487e-04,1.101200e-04,1.089353e-04,1.085062e-04,1.077404e-04,1.065372e-04,1.061265e-04,1.053273e-04,1.041123e-04,1.037226e-04,1.028935e-04,1.016725e-04,1.013059e-04,1.004504e-04,9.922845e-05,9.888649e-05,9.800781e-05,9.678950e-05,9.647325e-05,9.557451e-05,9.436376e-05,9.407391e-05,9.315810e-05,9.195832e-05,9.169524e-05,9.076518e-05,8.957934e-05,8.934311e-05,8.840145e-05,8.723211e-05,8.702257e-05,8.607184e-05,8.492117e-05,8.473798e-05,8.378054e-05,8.265037e-05,8.249301e-05,8.153107e-05,8.042297e-05,8.029077e-05,7.932640e-05,7.824165e-05,7.813384e-05,7.716898e-05,7.610862e-05,7.602433e-05,7.506079e-05,7.402566e-05,7.396396e-05,7.300340e-05,7.199415e-05,7.195405e-05,7.099802e-05,7.001512e-05,6.999560e-05,6.904553e-05,6.808931e-05,6.623565e-05,6.443483e-05,6.268686e-05,6.099159e-05,5.934869e-05,5.775773e-05,5.621812e-05,5.472921e-05,5.329023e-05,5.190036e-05,5.055871e-05,4.926434e-05,4.801626e-05,4.681346e-05,4.565489e-05,4.453950e-05,4.346620e-05,4.243391e-05,4.144154e-05,4.048801e-05,3.957222e-05,3.869309e-05,3.784956e-05,3.704057e-05,3.626507e-05,3.552204e-05,3.481045e-05,3.412932e-05,3.347766e-05,3.285453e-05,3.225898e-05,3.169010e-05,3.114699e-05,3.062878e-05,3.013462e-05,2.966368e-05,2.921515e-05,2.878825e-05,2.838220e-05,2.799627e-05,2.762974e-05,2.728189e-05,2.695205e-05,2.663956e-05,2.634377e-05,2.606407e-05,2.579985e-05,2.555052e-05,2.531551e-05
0.000000e+00,1.434008e-09,1.867436e-08,1.946584e-08,1.068884e-07,3.207089e-07,3.327649e-07,6.979598e-07,1.097894e-06,1.123746e-06,1.547812e-06,1.919587e-06,1.950948e-06,2.329581e-06,2.649333e-06,2.683654e-06,3.013931e-06,3.285660e-06,3.321382e-06,3.607033e-06,3.836042e-06,3.871911e-06,4.116965e-06,4.308211e-06,4.343180e-06,4.551538e-06,4.709734e-06,4.742989e-06,4.918447e-06,5.047888e-06,5.078787e-06,5.224848e-06,5.329379e-06,5.357430e-06,5.477296e-06,5.560338e-06,5.585173e-06,5.681752e-06,5.746336e-06,5.767692e-06,5.843619e-06,5.892421e-06,5.910127e-06,5.967780e-06,6.003157e-06,6.017114e-06,6.058637e-06,6.082658e-06,6.092831e-06,6.120154e-06,6.134633e-06,6.141038e-06,6.155893e-06,6.162418e-06,6.165110e-06,6.169055e-06,6.169008e-06,6.168078e-06,6.162508e-06,6.157092e-06,6.152658e-06,6.138822e-06,6.129083e-06,6.121281e-06,6.100298e-06,6.087137e-06,6.076122e-06,6.048990e-06,6.033189e-06,6.019125e-06,5.986736e-06,5.968963e-06,5.952022e-06,5.915171e-06,5.896000e-06,5.876360e-06,5.835756e-06,5.815675e-06,5.793515e-06,5.749787e-06,5.729212e-06,5.704712e-06,5.658420e-06,5.637699e-06,5.611036e-06,5.562677e-06,5.542102e-06,5.513452e-06,5.463466e-06,5.443280e-06,5.412814e-06,5.361589e-06,5.341990e-06,5.309875e-06,5.257754e-06,5.238905e-06,5.205301e-06,5.152587e-06,5.134616e-06,5.099677e-06,5.046635e-06,5.029643e-06,4.993518e-06,4.940380e-06,4.924443e-06,4.887273e-06,4.834244e-06,4.819416e-06,4.781337e-06,4.728594e-06,4.714912e-06,4.676052e-06,4.623747e-06,4.611233e-06,4.571713e-06,4.519980e-06,4.508642e-06,4.468576e-06,4.417529e-06,4.407364e-06,4.366862e-06,4.316597e-06,4.307594e-06,4.266756e-06,4.217357e-06,4.209495e-06,4.168417e-06,4.119952e-06,4.113206e-06,4.071977e-06,4.024505e-06,4.018842e-06,3.977546e-06,3.931113e-06,3.926499e-06,3.885214e-06,3.839858e-06,3.836254e-06,3.795052e-06,3.750803e-06,3.748166e-06,3.707116e-06,3.663997e-06,3.662284e-06,3.621448e-06,3.579474e-06,3.578640e-06,3.538076e-06,3.497258e-06,3.418151e-06,3.341323e-06,3.266771e-06,3.194487e-06,3.124455e-06,3.056654e-06,2.991060e-06,2.927646e-06,2.866379e-06,2.807225e-06,2.750149e-06,2.695112e-06,2.642075e-06,2.590996e-06,2.541836e-06,2.494550e-06,2.449095e-06,2.405429e-06,2.363508e-06,2.323288e-06,2.284726e-06,2.247778e-06,2.212401e-06,2.178552e-06,2.146190e-06,2.115271e-06,2.085755e-06,2.057601e-06,2.030769e-06,2.005218e-06,1.980911e-06,1.957808e-06,1.935871e-06,1.915065e-06,1.895352e-06,1.876696e-06,1.859064e-06,1.842420e-06,1.826731e-06,1.811964e-06,1.798088e-06,1.785069e-06,1.772879e-06,1.761486e-06,1.750861e-06,1.740975e-06,1.731800e-06,1.723309e-06,1.715475e-06
0.000000e+00,4.374053e-08,6.025735e-07,6.282162e-07,3.773707e-06,1.402148e-05,1.470218e-05,4.069961e-05,8.175720e-05,8.484578e-05,1.412053e-04,1.960806e-04,2.008235e-04,2.586734e-04,3.077923e-04,3.130590e-04,3.635861e-04,4.048649e-04,4.102676e-04,4.532379e-04,4.873533e-04,4.926668e-04,5.287328e-04,5.565596e-04,5.616138e-04,5.914843e-04,6.138507e-04,6.185138e-04,6.428657e-04,6.605256e-04,6.646978e-04,6.841610e-04,6.977910e-04,7.013998e-04,7.165520e-04,7.267533e-04,7.297490e-04,7.411157e-04,7.484186e-04,7.507705e-04,7.588260e-04,7.636958e-04,7.653888e-04,7.705598e-04,7.734027e-04,7.744345e-04,7.771032e-04,7.782728e-04,7.786513e-04,7.791594e-04,7.789623e-04,7.787039e-04,7.773564e-04,7.760574e-04,7.751848e-04,7.722532e-04,7.700804e-04,7.686216e-04,7.643471e-04,7.614960e-04,7.594829e-04,7.540794e-04,7.507171e-04,7.481841e-04,7.418414e-04,7.381097e-04,7.350931e-04,7.279786e-04,7.239976e-04,7.205349e-04,7.127964e-04,7.086668e-04,7.047958e-04,6.965634e-04,6.923693e-04,6.881277e-04,6.795155e-04,6.753263e-04,6.707517e-04,6.618595e-04,6.577320e-04,6.528608e-04,6.437758e-04,6.397560e-04,6.346235e-04,6.254215e-04,6.215458e-04,6.161862e-04,6.069328e-04,6.032296e-04,5.976754e-04,5.884272e-04,5.849179e-04,5.792003e-04,5.700058e-04,5.667057e-04,5.608540e-04,5.517546e-04,5.486743e-04,5.427162e-04,5.337468e-04,5.308924e-04,5.248538e-04,5.160439e-04,5.134180e-04,5.073231e-04,4.986970e-04,4.962993e-04,4.901705e-04,4.817482e-04,4.795759e-04,4.734340e-04,4.652315e-04,4.632799e-04,4.571440e-04,4.491741e-04,4.474368e-04,4.413244e-04,4.335968e-04,4.320661e-04,4.259931e-04,4.185148e-04,4.171822e-04,4.111632e-04,4.039390e-04,4.027950e-04,3.968431e-04,3.898759e-04,3.889107e-04,3.830376e-04,3.763284e-04,3.755320e-04,3.697482e-04,3.632966e-04,3.626585e-04,3.569733e-04,3.507777e-04,3.502876e-04,3.447092e-04,3.387668e-04,3.384142e-04,3.329497e-04,3.272569e-04,3.270318e-04,3.216873e-04,3.162396e-04,3.161319e-04,3.109126e-04,3.057051e-04,2.957408e-04,2.862276e-04,2.771535e-04,2.685058e-04,2.602715e-04,2.524376e-04,2.449903e-04,2.379164e-04,2.312023e-04,2.248345e-04,2.188000e-04,2.130855e-04,2.076783e-04,2.025657e-04,1.977354e-04,1.931752e-04,1.888735e-04,1.848188e-04,1.810001e-04,1.774066e-04,1.740281e-04,1.708545e-04,1.678762e-04,1.650838e-04,1.624684e-04,1.600213e-04,1.577343e-04,1.555994e-04,1.536089e-04,1.517557e-04,1.500326e-04,1.484330e-04,1.469505e-04,1.455788e-04,1.443123e-04,1.431451e-04,1.420720e-04,1.410879e-04,1.401880e-04,1.393674e-04,1.386220e-04,1.379473e-04,1.373394e-04,1.367945e-04,1.363088e-04,1.358790e-04,1.355018e-04,1.351739e-04,1.348925e-04
0.000000e+00,2.801593e-09,3.523443e-08,3.671149e-08,2.022562e-07,6.330514e-07,6.583741e-07,1.471221e-06,2.437670e-06,2.501767e-06,3.564171e-06,4.498274e-06,4.576813e-06,5.519801e-06,6.306909e-06,6.390816e-06,7.191940e-06,7.841652e-06,7.926377e-06,8.597569e-06,9.126834e-06,9.208945e-06,9.763688e-06,1.018831e-05,1.026508e-05,1.071639e-05,1.105128e-05,1.112073e-05,1.148112e-05,1.173972e-05,1.180043e-05,1.208140e-05,1.227560e-05,1.232660e-05,1.253849e-05,1.267868e-05,1.271939e-05,1.287147e-05,1.296668e-05,1.299680e-05,1.309729e-05,1.315530e-05,1.317478e-05,1.323097e-05,1.325850e-05,1.326747e-05,1.328578e-05,1.328856e-05,1.328731e-05,1.327338e-05,1.325633e-05,1.324525e-05,1.320406e-05,1.317136e-05,1.315091e-05,1.308682e-05,1.304201e-05,1.301274e-05,1.292955e-05,1.287562e-05,1.283810e-05,1.273916e-05,1.267862e-05,1.263345e-05,1.252165e-05,1.245662e-05,1.240440e-05,1.228228e-05,1.221451e-05,1.215584e-05,1.202560e-05,1.195653e-05,1.189203e-05,1.175557e-05,1.168638e-05,1.161663e-05,1.147559e-05,1.140726e-05,1.133282e-05,1.118863e-05,1.112192e-05,1.104334e-05,1.089722e-05,1.083273e-05,1.075054e-05,1.060353e-05,1.054174e-05,1.045642e-05,1.030941e-05,1.025068e-05,1.016269e-05,1.001644e-05,9.961022e-06,9.870813e-06,9.725953e-06,9.674018e-06,9.581995e-06,9.439059e-06,9.390714e-06,9.297257e-06,9.156688e-06,9.111982e-06,9.017444e-06,8.879607e-06,8.838541e-06,8.743249e-06,8.608438e-06,8.570976e-06,8.475231e-06,8.343682e-06,8.309756e-06,8.213834e-06,8.085730e-06,8.055248e-06,7.959403e-06,7.834883e-06,7.807733e-06,7.712195e-06,7.591360e-06,7.567417e-06,7.472394e-06,7.355311e-06,7.334437e-06,7.240121e-06,7.126829e-06,7.108879e-06,7.015439e-06,6.905953e-06,6.890776e-06,6.798367e-06,6.692679e-06,6.680124e-06,6.588883e-06,6.486969e-06,6.476881e-06,6.386929e-06,6.288752e-06,6.280978e-06,6.192424e-06,6.097933e-06,6.092321e-06,6.005261e-06,5.914394e-06,5.910796e-06,5.825312e-06,5.738000e-06,5.736271e-06,5.652436e-06,5.568601e-06,5.407629e-06,5.253191e-06,5.105114e-06,4.963223e-06,4.827339e-06,4.697281e-06,4.572867e-06,4.453916e-06,4.340247e-06,4.231682e-06,4.128044e-06,4.029160e-06,3.934859e-06,3.844974e-06,3.759344e-06,3.677807e-06,3.600210e-06,3.526401e-06,3.456233e-06,3.389566e-06,3.326260e-06,3.266181e-06,3.209202e-06,3.155196e-06,3.104042e-06,3.055624e-06,3.009829e-06,2.966548e-06,2.925676e-06,2.887112e-06,2.850759e-06,2.816521e-06,2.784310e-06,2.754036e-06,2.725618e-06,2.698973e-06,2.674024e-06,2.650696e-06,2.628918e-06,2.608620e-06,2.589735e-06,2.572199e-06,2.555952e-06,2.540933e-06,2.527086e-06,2.514356e-06,2.502692e-06,2.492041e-06,2.482356e-06
0.000000e+00,6.756452e-08,1.308110e-06,1.372083e-06,1.059633e-05,4.605447e-05,4.853457e-05,1.472233e-04,3.068672e-04,3.189217e-04,5.417109e-04,7.668268e-04,7.867146e-04,1.034193e-03,1.249913e-03,1.273258e-03,1.498586e-03,1.683688e-03,1.707936e-03,1.900681e-03,2.053296e-03,2.077013e-03,2.237521e-03,2.360679e-03,2.382974e-03,2.514217e-03,2.611838e-03,2.632112e-03,2.737512e-03,2.813393e-03,2.831245e-03,2.914107e-03,2.971683e-03,2.986858e-03,3.050216e-03,3.092507e-03,3.104863e-03,3.151442e-03,3.181072e-03,3.190556e-03,3.222772e-03,3.241997e-03,3.248623e-03,3.268603e-03,3.279346e-03,3.283177e-03,3.292780e-03,3.296678e-03,3.297815e-03,3.298660e-03,3.297093e-03,3.295665e-03,3.289157e-03,3.283290e-03,3.279441e-03,3.266799e-03,3.257609e-03,3.251496e-03,3.233775e-03,3.222078e-03,3.213865e-03,3.191977e-03,3.178453e-03,3.168307e-03,3.143037e-03,3.128250e-03,3.116336e-03,3.088362e-03,3.072777e-03,3.059258e-03,3.029161e-03,3.013160e-03,2.998195e-03,2.966475e-03,2.950366e-03,2.934108e-03,2.901193e-03,2.885226e-03,2.867821e-03,2.834077e-03,2.818450e-03,2.800037e-03,2.765773e-03,2.750644e-03,2.731352e-03,2.696834e-03,2.682321e-03,2.662275e-03,2.627725e-03,2.613919e-03,2.593232e-03,2.558839e-03,2.545804e-03,2.524584e-03,2.490504e-03,2.478284e-03,2.456630e-03,2.422994e-03,2.411616e-03,2.389621e-03,2.356535e-03,2.346012e-03,2.323759e-03,2.291312e-03,2.281645e-03,2.259212e-03,2.227475e-03,2.218656e-03,2.196114e-03,2.165142e-03,2.157154e-03,2.134570e-03,2.104406e-03,2.097228e-03,2.074659e-03,2.045336e-03,2.038943e-03,2.016443e-03,1.987984e-03,1.982345e-03,1.959963e-03,1.932383e-03,1.927466e-03,1.905246e-03,1.878554e-03,1.874324e-03,1.852306e-03,1.826504e-03,1.822927e-03,1.801146e-03,1.776231e-03,1.773271e-03,1.751758e-03,1.727726e-03,1.725346e-03,1.704130e-03,1.680969e-03,1.679135e-03,1.658240e-03,1.635939e-03,1.634614e-03,1.614062e-03,1.592606e-03,1.591757e-03,1.571566e-03,1.550939e-03,1.550530e-03,1.530719e-03,1.510901e-03,1.472833e-03,1.436286e-03,1.401221e-03,1.367597e-03,1.335371e-03,1.304503e-03,1.274951e-03,1.246671e-03,1.219622e-03,1.193764e-03,1.169056e-03,1.145457e-03,1.122929e-03,1.101432e-03,1.080930e-03,1.061386e-03,1.042764e-03,1.025030e-03,1.008148e-03,9.920877e-04,9.768161e-04,9.623023e-04,9.485167e-04,9.354301e-04,9.230146e-04,9.112431e-04,9.000894e-04,8.895281e-04,8.795348e-04,8.700859e-04,8.611586e-04,8.527310e-04,8.447817e-04,8.372904e-04,8.302374e-04,8.236036e-04,8.173707e-04,8.115211e-04,8.060379e-04,8.009045e-04,7.961054e-04,7.916252e-04,7.874494e-04,7.835640e-04,7.799554e-04,7.766105e-04,7.735170e-04,7.706627e-04,7.680361e-04
0.000000e+00,1.483176e-07,3.672876e-06,3.867465e-06,3.235618e-05,1.287435e-04,1.348497e-04,3.394095e-04,5.922041e-04,6.092609e-04,8.962173e-04,1.151534e-03,1.172959e-03,1.427914e-03,1.635622e-03,1.657404e-03,1.861237e-03,2.020346e-03,2.040640e-03,2.197336e-03,2.315327e-03,2.333153e-03,2.449888e-03,2.534452e-03,2.549250e-03,2.632836e-03,2.690650e-03,2.702131e-03,2.758506e-03,2.795156e-03,2.803225e-03,2.837450e-03,2.857550e-03,2.862247e-03,2.878590e-03,2.885909e-03,2.887371e-03,2.889403e-03,2.886998e-03,2.885425e-03,2.876113e-03,2.866451e-03,2.862078e-03,2.843879e-03,2.828933e-03,2.822019e-03,2.796956e-03,2.778298e-03,2.769107e-03,2.738845e-03,2.717718e-03,2.706512e-03,2.672413e-03,2.649793e-03,2.636827e-03,2.600003e-03,2.576650e-03,2.562166e-03,2.523520e-03,2.500020e-03,2.484246e-03,2.444508e-03,2.421305e-03,2.404452e-03,2.364210e-03,2.341638e-03,2.323899e-03,2.283624e-03,2.261922e-03,2.243476e-03,2.203538e-03,2.182878e-03,2.163884e-03,2.124577e-03,2.105071e-03,2.085673e-03,2.047221e-03,2.028938e-03,2.009265e-03,1.971841e-03,1.954814e-03,1.934981e-03,1.898711e-03,1.882945e-03,1.863054e-03,1.828029e-03,1.813511e-03,1.793651e-03,1.759932e-03,1.746631e-03,1.726881e-03,1.694504e-03,1.682379e-03,1.662807e-03,1.631791e-03,1.620792e-03,1.601457e-03,1.571804e-03,1.561877e-03,1.542829e-03,1.514529e-03,1.505614e-03,1.486898e-03,1.459930e-03,1.451969e-03,1.433620e-03,1.407958e-03,1.400888e-03,1.382937e-03,1.358549e-03,1.352310e-03,1.334783e-03,1.311630e-03,1.306164e-03,1.289080e-03,1.267123e-03,1.262371e-03,1.245748e-03,1.224944e-03,1.220851e-03,1.204700e-03,1.185006e-03,1.181518e-03,1.165850e-03,1.147221e-03,1.144288e-03,1.129108e-03,1.111499e-03,1.109074e-03,1.094385e-03,1.077753e-03,1.075789e-03,1.061594e-03,1.045895e-03,1.044350e-03,1.030647e-03,1.015839e-03,1.014673e-03,1.001460e-03,9.874997e-04,9.866752e-04,9.739486e-04,9.607965e-04,9.602786e-04,9.480335e-04,9.356499e-04,9.354060e-04,9.236361e-04,9.119829e-04,8.899375e-04,8.692009e-04,8.497067e-04,8.313913e-04,8.141939e-04,7.980561e-04,7.829223e-04,7.687393e-04,7.554564e-04,7.430253e-04,7.314000e-04,7.205367e-04,7.103937e-04,7.009314e-04,6.921120e-04,6.838999e-04,6.762608e-04,6.691626e-04,6.625745e-04,6.564675e-04,6.508138e-04,6.455872e-04,6.407629e-04,6.363172e-04,6.322278e-04,6.284734e-04,6.250339e-04,6.218903e-04,6.190245e-04,6.164193e-04,6.140586e-04,6.119270e-04,6.100100e-04,6.082937e-04,6.067652e-04,6.054121e-04,6.042228e-04,6.031863e-04,6.022920e-04,6.015302e-04,6.008916e-04,6.003673e-04,5.999490e-04,5.996290e-04,5.993997e-04,5.992542e-04,5.991860e-04,5.991889e-04,5.992569e-04
0.000000e+00,5.189489e-10,5.861212e-09,6.100356e-09,3.367382e-08,1.116236e-07,1.164137e-07,2.792423e-07,4.905033e-07,5.050000e-07,7.502668e-07,9.700382e-07,9.886002e-07,1.212067e-06,1.399245e-06,1.419229e-06,1.610338e-06,1.765766e-06,1.786067e-06,1.947197e-06,2.074700e-06,2.094524e-06,2.228835e-06,2.332156e-06,2.350893e-06,2.461435e-06,2.543983e-06,2.561168e-06,2.650766e-06,2.715579e-06,2.730870e-06,2.802088e-06,2.851842e-06,2.864997e-06,2.920144e-06,2.957182e-06,2.968044e-06,3.009186e-06,3.035550e-06,3.044027e-06,3.072998e-06,3.090449e-06,3.096501e-06,3.114919e-06,3.124981e-06,3.128615e-06,3.137928e-06,3.141922e-06,3.143179e-06,3.144673e-06,3.143741e-06,3.142698e-06,3.137540e-06,3.132686e-06,3.129452e-06,3.118666e-06,3.110722e-06,3.105405e-06,3.089872e-06,3.079544e-06,3.072263e-06,3.052759e-06,3.040646e-06,3.031529e-06,3.008732e-06,2.995336e-06,2.984516e-06,2.959022e-06,2.944769e-06,2.932379e-06,2.904710e-06,2.889954e-06,2.876127e-06,2.846737e-06,2.831771e-06,2.816639e-06,2.785926e-06,2.770990e-06,2.754683e-06,2.722990e-06,2.708282e-06,2.690924e-06,2.658552e-06,2.644228e-06,2.625939e-06,2.593146e-06,2.579333e-06,2.560228e-06,2.527236e-06,2.514030e-06,2.494218e-06,2.461218e-06,2.448692e-06,2.428277e-06,2.395432e-06,2.383638e-06,2.362717e-06,2.330164e-06,2.319138e-06,2.297803e-06,2.265660e-06,2.255424e-06,2.233758e-06,2.202122e-06,2.192685e-06,2.170770e-06,2.139720e-06,2.131083e-06,2.108990e-06,2.078595e-06,2.070748e-06,2.048546e-06,2.018857e-06,2.011786e-06,1.989538e-06,1.960597e-06,1.954282e-06,1.932044e-06,1.903885e-06,1.898301e-06,1.876126e-06,1.848773e-06,1.843892e-06,1.821828e-06,1.795296e-06,1.791089e-06,1.769179e-06,1.743479e-06,1.739915e-06,1.718197e-06,1.693334e-06,1.690379e-06,1.668890e-06,1.644863e-06,1.642484e-06,1.621254e-06,1.598061e-06,1.596224e-06,1.575282e-06,1.552915e-06,1.551586e-06,1.530956e-06,1.509405e-06,1.508551e-06,1.488256e-06,1.467507e-06,1.467097e-06,1.447155e-06,1.427195e-06,1.388816e-06,1.351926e-06,1.316490e-06,1.282471e-06,1.249830e-06,1.218529e-06,1.188528e-06,1.159786e-06,1.132264e-06,1.105922e-06,1.080720e-06,1.056618e-06,1.033579e-06,1.011564e-06,9.905352e-07,9.704565e-07,9.512922e-07,9.330073e-07,9.155680e-07,8.989414e-07,8.830953e-07,8.679987e-07,8.536216e-07,8.399347e-07,8.269099e-07,8.145201e-07,8.027387e-07,7.915406e-07,7.809012e-07,7.707970e-07,7.612053e-07,7.521040e-07,7.434723e-07,7.352899e-07,7.275372e-07,7.201956e-07,7.132470e-07,7.066741e-07,7.004605e-07,6.945900e-07,6.890474e-07,6.838180e-07,6.788877e-07,6.742431e-07,6.698710e-07,6.657591e-07,6.618954e-07,6.582685e-07,6.548675e-07
0.000000e+00,5.634769e-08,8.237075e-07,8.591923e-07,5.274314e-06,2.031806e-05,2.134521e-05,6.242152e-05,1.325677e-04,1.380431e-04,2.413774e-04,3.457198e-04,3.548076e-04,4.655163e-04,5.583160e-04,5.681590e-04,6.612654e-04,7.352840e-04,7.448194e-04,8.192826e-04,8.765024e-04,8.852491e-04,9.433311e-04,9.864624e-04,9.941228e-04,1.038189e-03,1.069679e-03,1.076061e-03,1.108240e-03,1.130198e-03,1.135192e-03,1.157358e-03,1.171589e-03,1.175147e-03,1.188941e-03,1.196973e-03,1.199097e-03,1.205945e-03,1.209066e-03,1.209794e-03,1.210928e-03,1.210213e-03,1.209612e-03,1.206089e-03,1.202432e-03,1.200586e-03,1.193309e-03,1.187447e-03,1.184451e-03,1.174189e-03,1.166725e-03,1.162684e-03,1.150085e-03,1.141512e-03,1.136531e-03,1.122145e-03,1.112860e-03,1.107044e-03,1.091333e-03,1.081654e-03,1.075108e-03,1.058456e-03,1.048635e-03,1.041458e-03,1.024188e-03,1.014422e-03,1.006710e-03,9.890869e-04,9.795288e-04,9.713717e-04,9.536144e-04,9.443789e-04,9.358595e-04,9.181473e-04,9.093187e-04,9.005139e-04,8.829918e-04,8.746294e-04,8.656099e-04,8.483940e-04,8.405367e-04,8.313668e-04,8.145485e-04,8.072193e-04,7.979569e-04,7.816073e-04,7.748160e-04,7.655132e-04,7.496860e-04,7.434321e-04,7.341355e-04,7.188699e-04,7.131450e-04,7.038957e-04,6.892185e-04,6.840083e-04,6.748425e-04,6.607707e-04,6.560560e-04,6.470053e-04,6.335475e-04,6.293061e-04,6.203977e-04,6.075557e-04,6.037630e-04,5.950204e-04,5.827904e-04,5.794204e-04,5.708635e-04,5.592371e-04,5.562631e-04,5.479084e-04,5.368739e-04,5.342690e-04,5.261299e-04,5.156727e-04,5.134101e-04,5.054978e-04,4.956010e-04,4.936545e-04,4.859775e-04,4.766227e-04,4.749670e-04,4.675316e-04,4.586993e-04,4.573098e-04,4.501206e-04,4.417904e-04,4.406437e-04,4.337036e-04,4.258549e-04,4.249288e-04,4.182390e-04,4.108508e-04,4.101243e-04,4.036850e-04,3.967364e-04,3.961898e-04,3.899998e-04,3.834701e-04,3.830847e-04,3.771420e-04,3.710107e-04,3.707695e-04,3.650711e-04,3.593183e-04,3.592051e-04,3.537474e-04,3.483537e-04,3.381783e-04,3.286433e-04,3.197145e-04,3.113587e-04,3.035442e-04,2.962408e-04,2.894194e-04,2.830525e-04,2.771137e-04,2.715781e-04,2.664218e-04,2.616223e-04,2.571584e-04,2.530096e-04,2.491570e-04,2.455825e-04,2.422689e-04,2.392001e-04,2.363609e-04,2.337370e-04,2.313148e-04,2.290815e-04,2.270252e-04,2.251345e-04,2.233989e-04,2.218082e-04,2.203531e-04,2.190248e-04,2.178148e-04,2.167153e-04,2.157191e-04,2.148192e-04,2.140090e-04,2.132826e-04,2.126342e-04,2.120584e-04,2.115501e-04,2.111048e-04,2.107178e-04,2.103851e-04,2.101027e-04,2.098670e-04,2.096746e-04,2.095223e-04,2.094069e-04,2.093258e-04,2.092762e-04,2.092557e-04,2.092620e-04
0.000000e+00,5.280889e-08,8.313153e-07,8.682364e-07,5.501457e-06,2.069351e-05,2.170173e-05,6.032339e-05,1.228832e-04,1.277030e-04,2.188444e-04,3.128006e-04,3.211100e-04,4.241518e-04,5.133755e-04,5.230097e-04,6.159793e-04,6.926075e-04,7.026814e-04,7.831959e-04,8.476609e-04,8.577495e-04,9.266126e-04,9.802647e-04,9.900650e-04,1.048385e-03,1.092567e-03,1.101842e-03,1.150701e-03,1.186646e-03,1.195213e-03,1.235620e-03,1.264438e-03,1.272155e-03,1.305041e-03,1.327724e-03,1.334489e-03,1.360701e-03,1.378127e-03,1.383869e-03,1.404176e-03,1.417123e-03,1.421796e-03,1.436893e-03,1.446044e-03,1.449624e-03,1.460138e-03,1.466092e-03,1.468574e-03,1.475067e-03,1.478350e-03,1.479744e-03,1.482724e-03,1.483794e-03,1.484122e-03,1.484045e-03,1.483301e-03,1.482594e-03,1.479867e-03,1.477655e-03,1.475953e-03,1.470939e-03,1.467559e-03,1.464906e-03,1.457931e-03,1.453642e-03,1.450088e-03,1.441444e-03,1.436466e-03,1.432064e-03,1.422010e-03,1.416534e-03,1.411338e-03,1.400105e-03,1.394293e-03,1.388359e-03,1.376150e-03,1.370139e-03,1.363524e-03,1.350522e-03,1.344427e-03,1.337186e-03,1.323553e-03,1.317469e-03,1.309658e-03,1.295536e-03,1.289544e-03,1.281217e-03,1.266731e-03,1.260896e-03,1.252105e-03,1.237365e-03,1.231740e-03,1.222536e-03,1.207640e-03,1.202265e-03,1.192698e-03,1.177731e-03,1.172639e-03,1.162755e-03,1.147789e-03,1.143005e-03,1.132849e-03,1.117948e-03,1.113488e-03,1.103102e-03,1.088324e-03,1.084199e-03,1.073623e-03,1.059013e-03,1.055230e-03,1.044502e-03,1.030101e-03,1.026662e-03,1.015818e-03,1.001660e-03,9.985626e-04,9.876346e-04,9.737489e-04,9.709890e-04,9.600084e-04,9.464186e-04,9.439888e-04,9.329844e-04,9.197102e-04,9.176015e-04,9.065999e-04,8.936569e-04,8.918584e-04,8.808843e-04,8.682847e-04,8.667845e-04,8.558605e-04,8.436135e-04,8.423987e-04,8.315455e-04,8.196578e-04,8.187146e-04,8.079514e-04,7.964271e-04,7.957414e-04,7.850854e-04,7.739267e-04,7.734842e-04,7.629511e-04,7.521585e-04,7.519446e-04,7.415486e-04,7.311210e-04,7.110093e-04,6.916032e-04,6.728940e-04,6.548719e-04,6.375251e-04,6.208411e-04,6.048061e-04,5.894057e-04,5.746246e-04,5.604473e-04,5.468578e-04,5.338397e-04,5.213766e-04,5.094521e-04,4.980495e-04,4.871525e-04,4.767446e-04,4.668097e-04,4.573318e-04,4.482952e-04,4.396844e-04,4.314841e-04,4.236796e-04,4.162564e-04,4.092001e-04,4.024970e-04,3.961335e-04,3.900967e-04,3.843736e-04,3.789520e-04,3.738199e-04,3.689655e-04,3.643775e-04,3.600452e-04,3.559578e-04,3.521052e-04,3.484774e-04,3.450650e-04,3.418586e-04,3.388495e-04,3.360290e-04,3.333889e-04,3.309210e-04,3.286179e-04,3.264720e-04,3.244761e-04,3.226235e-04,3.209075e-04,3.193217e-04
0.000000e+00,8.632755e-07,2.440214e-05,2.573574e-05,2.269940e-04,9.491727e-04,9.969160e-04,2.742599e-03,5.313598e-03,5.504295e-03,9.060016e-03,1.281741e-02,1.316020e-02,1.759389e-02,2.172990e-02,2.219333e-02,2.682815e-02,3.085628e-02,3.139867e-02,3.583012e-02,3.948780e-02,4.006782e-02,4.407316e-02,4.723895e-02,4.782042e-02,5.129405e-02,5.393273e-02,5.448649e-02,5.739642e-02,5.952314e-02,6.002728e-02,6.238608e-02,6.404321e-02,6.448246e-02,6.632791e-02,6.757040e-02,6.793512e-02,6.931757e-02,7.020399e-02,7.048906e-02,7.146348e-02,7.205075e-02,7.225454e-02,7.287559e-02,7.321611e-02,7.333955e-02,7.365877e-02,7.379919e-02,7.384501e-02,7.390937e-02,7.389019e-02,7.386232e-02,7.371366e-02,7.356945e-02,7.347256e-02,7.314756e-02,7.290744e-02,7.274661e-02,7.227709e-02,7.196533e-02,7.174583e-02,7.115915e-02,7.079581e-02,7.052290e-02,6.984247e-02,6.944401e-02,6.912285e-02,6.836862e-02,6.794845e-02,6.758403e-02,6.677297e-02,6.634197e-02,6.593904e-02,6.508557e-02,6.465247e-02,6.421561e-02,6.333196e-02,6.290371e-02,6.243721e-02,6.153375e-02,6.111585e-02,6.062377e-02,5.970928e-02,5.930596e-02,5.879213e-02,5.787401e-02,5.748850e-02,5.695650e-02,5.604101e-02,5.567567e-02,5.512885e-02,5.422121e-02,5.387773e-02,5.331920e-02,5.242380e-02,5.210325e-02,5.153592e-02,5.065639e-02,5.035938e-02,4.978594e-02,4.892526e-02,4.865200e-02,4.807494e-02,4.723554e-02,4.698592e-02,4.640753e-02,4.559135e-02,4.536500e-02,4.478739e-02,4.399598e-02,4.379231e-02,4.321742e-02,4.245196e-02,4.227022e-02,4.169982e-02,4.096118e-02,4.080051e-02,4.023619e-02,3.952499e-02,3.938441e-02,3.882765e-02,3.814426e-02,3.802274e-02,3.747487e-02,3.681949e-02,3.671593e-02,3.617814e-02,3.555080e-02,3.546409e-02,3.493745e-02,3.433804e-02,3.426704e-02,3.375252e-02,3.318081e-02,3.312439e-02,3.262283e-02,3.207850e-02,3.203554e-02,3.154770e-02,3.103033e-02,3.099971e-02,3.052627e-02,3.003538e-02,3.001602e-02,2.955754e-02,2.909260e-02,2.908344e-02,2.864042e-02,2.820085e-02,2.736708e-02,2.658086e-02,2.584091e-02,2.514586e-02,2.449436e-02,2.388501e-02,2.331638e-02,2.278706e-02,2.229560e-02,2.184058e-02,2.142056e-02,2.103409e-02,2.067975e-02,2.035612e-02,2.006178e-02,1.979534e-02,1.955540e-02,1.934060e-02,1.914957e-02,1.898098e-02,1.883352e-02,1.870590e-02,1.859685e-02,1.850513e-02,1.842952e-02,1.836885e-02,1.832196e-02,1.828775e-02,1.826513e-02,1.825305e-02,1.825052e-02,1.825656e-02,1.827025e-02,1.829070e-02,1.831708e-02,1.834859e-02,1.838446e-02,1.842399e-02,1.846651e-02,1.851139e-02,1.855804e-02,1.860594e-02,1.865457e-02,1.870349e-02,1.875227e-02,1.880054e-02,1.884796e-02,1.889422e-02,1.893905e-02
0.000000e+00,8.289307e-08,1.540139e-06,1.613399e-06,1.151725e-05,4.608877e-05,4.841423e-05,1.372060e-04,2.750344e-04,2.853026e-04,4.721714e-04,6.549584e-04,6.707847e-04,8.629040e-04,1.022443e-03,1.039230e-03,1.196059e-03,1.317342e-03,1.332687e-03,1.449877e-03,1.536177e-03,1.549034e-03,1.631788e-03,1.689837e-03,1.699793e-03,1.754631e-03,1.790809e-03,1.797774e-03,1.830568e-03,1.850178e-03,1.854237e-03,1.869886e-03,1.877168e-03,1.878509e-03,1.880997e-03,1.879280e-03,1.878150e-03,1.870678e-03,1.862548e-03,1.859218e-03,1.844333e-03,1.831779e-03,1.826525e-03,1.806239e-03,1.790777e-03,1.783868e-03,1.759761e-03,1.742535e-03,1.734226e-03,1.707531e-03,1.689395e-03,1.679916e-03,1.651591e-03,1.633176e-03,1.622739e-03,1.593521e-03,1.575285e-03,1.564078e-03,1.534533e-03,1.516802e-03,1.504993e-03,1.475549e-03,1.458547e-03,1.446281e-03,1.417258e-03,1.401135e-03,1.388539e-03,1.360173e-03,1.345018e-03,1.332204e-03,1.304665e-03,1.290525e-03,1.277587e-03,1.250993e-03,1.237884e-03,1.224903e-03,1.199331e-03,1.187245e-03,1.174290e-03,1.149786e-03,1.138697e-03,1.125826e-03,1.102413e-03,1.092285e-03,1.079547e-03,1.057228e-03,1.048016e-03,1.035452e-03,1.014216e-03,1.005872e-03,9.935150e-04,9.733424e-04,9.658141e-04,9.536917e-04,9.345550e-04,9.277901e-04,9.159243e-04,8.977906e-04,8.917367e-04,8.801448e-04,8.629774e-04,8.575833e-04,8.462787e-04,8.300387e-04,8.252547e-04,8.142475e-04,7.988948e-04,7.946733e-04,7.839705e-04,7.694645e-04,7.657602e-04,7.553665e-04,7.416665e-04,7.384366e-04,7.283545e-04,7.154206e-04,7.126249e-04,7.028549e-04,6.906478e-04,6.882486e-04,6.787899e-04,6.672718e-04,6.652339e-04,6.560843e-04,6.452184e-04,6.435091e-04,6.346652e-04,6.244161e-04,6.230050e-04,6.144626e-04,6.047964e-04,6.036554e-04,5.954095e-04,5.862939e-04,5.853969e-04,5.774419e-04,5.688459e-04,5.681691e-04,5.604987e-04,5.523931e-04,5.519143e-04,5.445221e-04,5.368789e-04,5.365778e-04,5.294569e-04,5.222496e-04,5.221076e-04,5.152508e-04,5.084545e-04,4.955717e-04,4.834152e-04,4.719432e-04,4.611162e-04,4.508971e-04,4.412507e-04,4.321438e-04,4.235452e-04,4.154254e-04,4.077567e-04,4.005128e-04,3.936692e-04,3.872025e-04,3.810910e-04,3.753139e-04,3.698521e-04,3.646871e-04,3.598018e-04,3.551801e-04,3.508066e-04,3.466672e-04,3.427482e-04,3.390371e-04,3.355218e-04,3.321911e-04,3.290344e-04,3.260419e-04,3.232040e-04,3.205120e-04,3.179576e-04,3.155329e-04,3.132306e-04,3.110439e-04,3.089660e-04,3.069910e-04,3.051131e-04,3.033267e-04,3.016268e-04,3.000086e-04,2.984675e-04,2.969992e-04,2.955997e-04,2.942652e-04,2.929922e-04,2.917772e-04,2.906171e-04,2.895088e-04,2.884497e-04,2.874369e-04
0.000000e+00,9.105501e-08,1.507605e-06,1.575932e-06,1.006272e-05,3.605156e-05,3.770279e-05,9.677379e-05,1.819236e-04,1.881217e-04,2.989155e-04,4.049064e-04,4.140329e-04,5.251316e-04,6.192713e-04,6.293591e-04,7.261022e-04,8.051058e-04,8.154446e-04,8.976669e-04,9.629379e-04,9.731035e-04,1.042101e-03,1.095334e-03,1.105003e-03,1.162150e-03,1.204946e-03,1.213869e-03,1.260478e-03,1.294290e-03,1.302280e-03,1.339567e-03,1.365696e-03,1.372617e-03,1.401694e-03,1.421291e-03,1.427049e-03,1.448921e-03,1.462998e-03,1.467536e-03,1.483108e-03,1.492550e-03,1.495839e-03,1.505922e-03,1.511502e-03,1.513539e-03,1.518863e-03,1.521257e-03,1.522057e-03,1.523274e-03,1.523065e-03,1.522659e-03,1.520347e-03,1.518038e-03,1.516469e-03,1.511145e-03,1.507168e-03,1.504489e-03,1.496611e-03,1.491339e-03,1.487610e-03,1.477584e-03,1.471334e-03,1.466621e-03,1.454806e-03,1.447847e-03,1.442219e-03,1.428933e-03,1.421494e-03,1.415020e-03,1.400545e-03,1.392817e-03,1.385570e-03,1.370151e-03,1.362293e-03,1.354344e-03,1.338199e-03,1.330343e-03,1.321763e-03,1.305081e-03,1.297336e-03,1.288193e-03,1.271139e-03,1.263592e-03,1.253954e-03,1.236672e-03,1.229392e-03,1.219323e-03,1.201938e-03,1.194979e-03,1.184542e-03,1.167160e-03,1.160564e-03,1.149816e-03,1.132531e-03,1.126326e-03,1.115324e-03,1.098214e-03,1.092421e-03,1.081216e-03,1.064348e-03,1.058979e-03,1.047621e-03,1.031050e-03,1.026110e-03,1.014645e-03,9.984178e-04,9.939072e-04,9.823772e-04,9.665321e-04,9.624453e-04,9.508899e-04,9.354577e-04,9.317859e-04,9.202415e-04,9.052466e-04,9.019779e-04,8.904777e-04,8.759388e-04,8.730589e-04,8.616333e-04,8.475640e-04,8.450568e-04,8.337334e-04,8.201432e-04,8.179912e-04,8.067949e-04,7.936894e-04,7.918741e-04,7.808273e-04,7.682089e-04,7.667110e-04,7.558339e-04,7.437020e-04,7.425021e-04,7.318124e-04,7.201642e-04,7.192427e-04,7.087560e-04,6.975865e-04,6.969239e-04,6.866540e-04,6.759566e-04,6.755335e-04,6.654922e-04,6.552587e-04,6.550563e-04,6.452537e-04,6.354747e-04,6.167690e-04,5.989179e-04,5.818989e-04,5.656884e-04,5.502620e-04,5.355948e-04,5.216618e-04,5.084374e-04,4.958963e-04,4.840132e-04,4.727631e-04,4.621212e-04,4.520631e-04,4.425650e-04,4.336034e-04,4.251554e-04,4.171988e-04,4.097118e-04,4.026735e-04,3.960635e-04,3.898618e-04,3.840496e-04,3.786083e-04,3.735201e-04,3.687679e-04,3.643352e-04,3.602061e-04,3.563654e-04,3.527984e-04,3.494911e-04,3.464301e-04,3.436024e-04,3.409957e-04,3.385981e-04,3.363984e-04,3.343858e-04,3.325499e-04,3.308808e-04,3.293691e-04,3.280059e-04,3.267825e-04,3.256908e-04,3.247231e-04,3.238718e-04,3.231300e-04,3.224910e-04,3.219482e-04,3.214957e-04,3.211276e-04
0.000000e+00,1.855376e-06,4.871806e-05,5.136566e-05,4.662968e-04,2.057544e-03,2.165283e-03,6.176787e-03,1.221978e-02,1.267337e-02,2.126439e-02,3.061694e-02,3.148425e-02,4.291648e-02,5.394910e-02,5.520812e-02,6.806461e-02,7.965070e-02,8.124190e-02,9.453905e-02,1.059444e-01,1.077918e-01,1.208672e-01,1.316348e-01,1.336587e-01,1.460825e-01,1.559495e-01,1.580736e-01,1.695834e-01,1.784206e-01,1.805766e-01,1.910291e-01,1.987970e-01,2.009262e-01,2.102610e-01,2.169785e-01,2.190325e-01,2.272452e-01,2.329676e-01,2.349075e-01,2.420308e-01,2.468337e-01,2.486293e-01,2.547188e-01,2.586879e-01,2.603167e-01,2.654412e-01,2.686650e-01,2.701111e-01,2.743455e-01,2.769111e-01,2.781638e-01,2.815850e-01,2.835750e-01,2.846282e-01,2.873119e-01,2.888032e-01,2.896542e-01,2.916729e-01,2.927359e-01,2.933851e-01,2.948072e-01,2.955054e-01,2.959552e-01,2.968446e-01,2.972351e-01,2.974899e-01,2.979054e-01,2.980389e-01,2.981045e-01,2.981002e-01,2.980216e-01,2.979047e-01,2.975300e-01,2.972790e-01,2.969873e-01,2.962872e-01,2.958983e-01,2.954401e-01,2.944555e-01,2.939591e-01,2.933429e-01,2.921110e-01,2.915333e-01,2.907682e-01,2.893224e-01,2.886863e-01,2.877813e-01,2.861520e-01,2.854771e-01,2.844414e-01,2.826559e-01,2.819591e-01,2.808018e-01,2.788847e-01,2.781803e-01,2.769104e-01,2.748840e-01,2.741840e-01,2.728105e-01,2.706946e-01,2.700093e-01,2.685408e-01,2.663533e-01,2.656910e-01,2.641360e-01,2.618929e-01,2.612606e-01,2.596273e-01,2.573428e-01,2.567461e-01,2.550425e-01,2.527293e-01,2.521726e-01,2.504062e-01,2.480758e-01,2.475624e-01,2.457406e-01,2.434030e-01,2.429354e-01,2.410653e-01,2.387294e-01,2.383093e-01,2.363974e-01,2.340712e-01,2.336996e-01,2.317524e-01,2.294427e-01,2.291202e-01,2.271436e-01,2.248566e-01,2.245830e-01,2.225830e-01,2.203239e-01,2.200989e-01,2.180806e-01,2.158542e-01,2.156768e-01,2.136456e-01,2.114558e-01,2.113250e-01,2.092855e-01,2.071358e-01,2.070502e-01,2.050071e-01,2.029003e-01,2.028584e-01,2.008159e-01,1.987545e-01,1.947428e-01,1.908267e-01,1.870089e-01,1.832917e-01,1.796767e-01,1.761651e-01,1.727577e-01,1.694548e-01,1.662564e-01,1.631623e-01,1.601718e-01,1.572842e-01,1.544985e-01,1.518133e-01,1.492273e-01,1.467389e-01,1.443465e-01,1.420482e-01,1.398421e-01,1.377262e-01,1.356984e-01,1.337566e-01,1.318986e-01,1.301221e-01,1.284248e-01,1.268044e-01,1.252587e-01,1.237852e-01,1.223816e-01,1.210455e-01,1.197747e-01,1.185667e-01,1.174193e-01,1.163302e-01,1.152971e-01,1.143178e-01,1.133900e-01,1.125115e-01,1.116803e-01,1.108942e-01,1.101513e-01,1.094493e-01,1.087865e-01,1.081610e-01,1.075707e-01,1.070140e-01,1.064890e-01,1.059942e-01,1.055277e-01
0.000000e+00,2.894034e-08,4.971134e-07,5.209441e-07,3.680006e-06,1.337954e-05,1.397389e-05,3.306484e-05,5.459312e-05,5.597582e-05,7.838013e-05,9.755770e-05,9.915492e-05,1.181800e-04,1.338607e-04,1.355219e-04,1.512788e-04,1.639139e-04,1.655515e-04,1.784381e-04,1.884836e-04,1.900324e-04,2.004234e-04,2.082841e-04,2.096958e-04,2.179293e-04,2.239583e-04,2.251989e-04,2.315753e-04,2.360779e-04,2.371246e-04,2.419087e-04,2.451465e-04,2.459855e-04,2.494092e-04,2.516057e-04,2.522304e-04,2.544961e-04,2.558412e-04,2.562505e-04,2.575346e-04,2.581894e-04,2.583865e-04,2.588420e-04,2.589428e-04,2.589341e-04,2.586938e-04,2.583553e-04,2.581498e-04,2.573288e-04,2.566473e-04,2.562556e-04,2.549534e-04,2.540097e-04,2.534435e-04,2.517460e-04,2.506075e-04,2.498794e-04,2.478608e-04,2.465834e-04,2.457062e-04,2.434303e-04,2.420601e-04,2.410467e-04,2.385683e-04,2.371433e-04,2.360066e-04,2.333726e-04,2.319238e-04,2.306763e-04,2.279269e-04,2.264791e-04,2.251330e-04,2.223025e-04,2.208758e-04,2.194426e-04,2.165601e-04,2.151702e-04,2.136610e-04,2.107511e-04,2.094103e-04,2.078355e-04,2.049189e-04,2.036365e-04,2.020058e-04,1.991001e-04,1.978829e-04,1.962055e-04,1.933252e-04,1.921778e-04,1.904623e-04,1.876194e-04,1.865450e-04,1.847992e-04,1.820036e-04,1.810037e-04,1.792349e-04,1.764948e-04,1.755699e-04,1.737848e-04,1.711065e-04,1.702563e-04,1.684610e-04,1.658495e-04,1.650728e-04,1.632730e-04,1.607322e-04,1.600273e-04,1.582280e-04,1.557608e-04,1.551255e-04,1.533313e-04,1.509398e-04,1.503715e-04,1.485866e-04,1.462720e-04,1.457679e-04,1.439961e-04,1.417591e-04,1.413163e-04,1.395609e-04,1.374016e-04,1.370170e-04,1.352810e-04,1.331991e-04,1.328696e-04,1.311557e-04,1.291506e-04,1.288729e-04,1.271835e-04,1.252542e-04,1.250252e-04,1.233623e-04,1.215076e-04,1.213241e-04,1.196896e-04,1.179080e-04,1.177671e-04,1.161625e-04,1.144525e-04,1.143511e-04,1.127778e-04,1.111377e-04,1.110728e-04,1.095320e-04,1.079600e-04,1.079289e-04,1.064214e-04,1.049157e-04,1.020295e-04,9.926651e-05,9.662291e-05,9.409485e-05,9.167851e-05,8.937009e-05,8.716581e-05,8.506197e-05,8.305491e-05,8.114105e-05,7.931690e-05,7.757903e-05,7.592412e-05,7.434892e-05,7.285031e-05,7.142522e-05,7.007070e-05,6.878388e-05,6.756200e-05,6.640237e-05,6.530242e-05,6.425965e-05,6.327165e-05,6.233611e-05,6.145077e-05,6.061350e-05,5.982222e-05,5.907492e-05,5.836970e-05,5.770470e-05,5.707814e-05,5.648832e-05,5.593360e-05,5.541240e-05,5.492321e-05,5.446456e-05,5.403507e-05,5.363339e-05,5.325823e-05,5.290836e-05,5.258259e-05,5.227978e-05,5.199884e-05,5.173872e-05,5.149842e-05,5.127697e-05,5.107346e-05,5.088699e-05,5.071672e-05
0.000000e+00,1.627378e-06,3.007948e-05,3.148472e-05,2.146099e-04,8.365334e-04,8.783859e-04,2.519049e-03,5.317916e-03,5.541195e-03,1.000971e-02,1.520709e-02,1.569989e-02,2.229766e-02,2.876678e-02,2.950787e-02,3.708088e-02,4.388258e-02,4.481312e-02,5.254172e-02,5.908684e-02,6.013847e-02,6.750427e-02,7.345770e-02,7.456427e-02,8.126364e-02,8.646062e-02,8.756395e-02,9.344023e-02,9.782615e-02,9.887835e-02,1.038730e-01,1.074619e-01,1.084259e-01,1.125441e-01,1.153900e-01,1.162388e-01,1.195245e-01,1.217023e-01,1.224178e-01,1.249370e-01,1.265300e-01,1.271013e-01,1.289306e-01,1.300224e-01,1.304447e-01,1.316636e-01,1.323337e-01,1.326066e-01,1.332930e-01,1.336143e-01,1.337410e-01,1.339682e-01,1.340057e-01,1.339916e-01,1.338271e-01,1.336375e-01,1.334899e-01,1.329944e-01,1.326267e-01,1.323540e-01,1.315815e-01,1.310776e-01,1.306887e-01,1.296868e-01,1.290819e-01,1.285861e-01,1.273965e-01,1.267204e-01,1.261270e-01,1.247861e-01,1.240633e-01,1.233817e-01,1.219211e-01,1.211718e-01,1.204111e-01,1.188582e-01,1.180993e-01,1.172682e-01,1.156467e-01,1.148917e-01,1.139988e-01,1.123292e-01,1.115889e-01,1.106424e-01,1.089423e-01,1.082253e-01,1.072329e-01,1.055177e-01,1.048307e-01,1.037999e-01,1.020825e-01,1.014305e-01,1.003683e-01,9.865985e-02,9.804669e-02,9.695959e-02,9.526967e-02,9.469781e-02,9.359210e-02,9.192871e-02,9.139971e-02,9.028121e-02,8.865112e-02,8.816570e-02,8.703986e-02,8.544870e-02,8.500693e-02,8.387880e-02,8.233121e-02,8.193261e-02,8.080686e-02,7.930661e-02,7.895022e-02,7.783119e-02,7.638127e-02,7.606577e-02,7.495742e-02,7.356015e-02,7.328392e-02,7.218989e-02,7.084700e-02,7.060822e-02,6.953180e-02,6.824451e-02,6.804115e-02,6.698535e-02,6.575444e-02,6.558437e-02,6.455188e-02,6.337772e-02,6.323873e-02,6.223197e-02,6.111460e-02,6.100442e-02,6.002555e-02,5.896472e-02,5.888106e-02,5.793198e-02,5.692718e-02,5.686778e-02,5.595014e-02,5.500066e-02,5.496325e-02,5.407851e-02,5.318344e-02,5.316581e-02,5.231519e-02,5.147347e-02,4.988399e-02,4.839488e-02,4.700349e-02,4.570702e-02,4.450252e-02,4.338695e-02,4.235719e-02,4.141004e-02,4.054227e-02,3.975060e-02,3.903174e-02,3.838238e-02,3.779920e-02,3.727890e-02,3.681818e-02,3.641377e-02,3.606244e-02,3.576097e-02,3.550621e-02,3.529504e-02,3.512441e-02,3.499132e-02,3.489284e-02,3.482612e-02,3.478840e-02,3.477697e-02,3.478924e-02,3.482271e-02,3.487497e-02,3.494371e-02,3.502674e-02,3.512196e-02,3.522740e-02,3.534119e-02,3.546158e-02,3.558692e-02,3.571570e-02,3.584649e-02,3.597800e-02,3.610904e-02,3.623853e-02,3.636549e-02,3.648906e-02,3.660846e-02,3.672301e-02,3.683215e-02,3.693536e-02,3.703223e-02,3.712245e-02
0.000000e+00,1.449495e-07,5.288052e-06,5.595553e-06,5.300322e-05,2.063884e-04,2.156496e-04,5.104848e-04,8.643280e-04,8.883631e-04,1.299619e-03,1.677599e-03,1.709798e-03,2.097288e-03,2.416232e-03,2.449680e-03,2.760880e-03,2.999092e-03,3.028999e-03,3.254852e-03,3.417131e-03,3.440901e-03,3.590528e-03,3.690843e-03,3.707533e-03,3.795812e-03,3.849419e-03,3.859139e-03,3.901048e-03,3.921330e-03,3.924760e-03,3.933156e-03,3.930717e-03,3.928774e-03,3.913824e-03,3.896575e-03,3.890208e-03,3.859552e-03,3.833153e-03,3.823234e-03,3.782414e-03,3.750788e-03,3.738063e-03,3.690990e-03,3.656781e-03,3.641862e-03,3.591233e-03,3.556182e-03,3.539554e-03,3.487195e-03,3.452414e-03,3.434456e-03,3.381580e-03,3.347759e-03,3.328762e-03,3.276160e-03,3.243711e-03,3.223898e-03,3.172077e-03,3.141228e-03,3.120773e-03,3.070048e-03,3.040912e-03,3.019949e-03,2.970513e-03,2.943129e-03,2.921767e-03,2.873731e-03,2.848091e-03,2.826418e-03,2.779840e-03,2.755911e-03,2.734002e-03,2.688907e-03,2.666638e-03,2.644556e-03,2.600949e-03,2.580281e-03,2.558083e-03,2.515955e-03,2.496823e-03,2.474560e-03,2.433893e-03,2.416229e-03,2.393948e-03,2.354719e-03,2.338455e-03,2.316199e-03,2.278382e-03,2.263449e-03,2.241258e-03,2.204822e-03,2.191155e-03,2.169065e-03,2.133978e-03,2.121510e-03,2.099554e-03,2.065785e-03,2.054451e-03,2.032662e-03,2.000176e-03,1.989914e-03,1.968319e-03,1.937083e-03,1.927831e-03,1.906458e-03,1.876436e-03,1.868136e-03,1.847008e-03,1.818165e-03,1.810761e-03,1.789899e-03,1.762201e-03,1.755637e-03,1.735062e-03,1.708473e-03,1.702697e-03,1.682426e-03,1.656912e-03,1.651873e-03,1.631923e-03,1.607450e-03,1.603099e-03,1.583484e-03,1.560017e-03,1.556308e-03,1.537041e-03,1.514547e-03,1.511436e-03,1.492528e-03,1.470974e-03,1.468419e-03,1.449879e-03,1.429234e-03,1.427194e-03,1.409031e-03,1.389262e-03,1.387699e-03,1.369920e-03,1.350998e-03,1.349875e-03,1.332487e-03,1.314380e-03,1.313664e-03,1.296670e-03,1.279350e-03,1.279008e-03,1.262413e-03,1.245851e-03,1.214140e-03,1.183822e-03,1.154846e-03,1.127164e-03,1.100726e-03,1.075487e-03,1.051401e-03,1.028426e-03,1.006519e-03,9.856392e-04,9.657476e-04,9.468061e-04,9.287780e-04,9.116277e-04,8.953210e-04,8.798248e-04,8.651071e-04,8.511371e-04,8.378849e-04,8.253220e-04,8.134204e-04,8.021534e-04,7.914952e-04,7.814210e-04,7.719065e-04,7.629287e-04,7.544652e-04,7.464943e-04,7.389954e-04,7.319482e-04,7.253335e-04,7.191326e-04,7.133274e-04,7.079007e-04,7.028356e-04,6.981161e-04,6.937266e-04,6.896521e-04,6.858782e-04,6.823909e-04,6.791768e-04,6.762230e-04,6.735171e-04,6.710470e-04,6.688012e-04,6.667686e-04,6.649385e-04,6.633006e-04,6.618450e-04
0.000000e+00,1.471887e-09,2.350913e-08,2.460951e-08,1.627198e-07,5.543481e-07,5.775334e-07,1.295806e-06,2.077878e-06,2.127846e-06,2.937529e-06,3.632010e-06,3.689921e-06,4.380534e-06,4.950945e-06,5.011444e-06,5.586098e-06,6.048152e-06,6.108137e-06,6.581090e-06,6.951148e-06,7.008332e-06,7.393062e-06,7.685596e-06,7.738298e-06,8.046868e-06,8.274394e-06,8.321414e-06,8.564413e-06,8.737672e-06,8.778198e-06,8.964944e-06,9.093146e-06,9.126681e-06,9.265310e-06,9.356309e-06,9.382603e-06,9.480207e-06,9.540666e-06,9.559659e-06,9.622388e-06,9.657950e-06,9.669726e-06,9.702912e-06,9.718342e-06,9.723098e-06,9.731355e-06,9.730667e-06,9.728679e-06,9.715997e-06,9.702565e-06,9.694168e-06,9.663992e-06,9.640643e-06,9.626209e-06,9.581510e-06,9.550604e-06,9.530531e-06,9.473868e-06,9.437371e-06,9.412068e-06,9.345642e-06,9.305182e-06,9.275061e-06,9.200765e-06,9.157687e-06,9.123156e-06,9.042612e-06,8.998020e-06,8.959477e-06,8.874074e-06,8.828867e-06,8.786698e-06,8.697624e-06,8.652529e-06,8.607104e-06,8.515371e-06,8.470972e-06,8.422640e-06,8.329111e-06,8.285869e-06,8.234964e-06,8.140368e-06,8.098644e-06,8.045477e-06,7.950432e-06,7.910500e-06,7.855364e-06,7.760391e-06,7.722454e-06,7.665623e-06,7.571157e-06,7.535359e-06,7.477086e-06,7.383492e-06,7.349929e-06,7.290449e-06,7.198027e-06,7.166756e-06,7.106286e-06,7.015282e-06,6.986325e-06,6.925066e-06,6.835682e-06,6.809035e-06,6.747171e-06,6.659568e-06,6.635206e-06,6.572904e-06,6.487209e-06,6.465090e-06,6.402506e-06,6.318817e-06,6.298884e-06,6.236159e-06,6.154548e-06,6.136736e-06,6.073998e-06,5.994519e-06,5.978752e-06,5.916118e-06,5.838803e-06,5.825002e-06,5.762579e-06,5.687447e-06,5.675528e-06,5.613410e-06,5.540468e-06,5.530344e-06,5.468619e-06,5.397861e-06,5.389443e-06,5.328190e-06,5.259601e-06,5.252802e-06,5.192090e-06,5.125649e-06,5.120380e-06,5.060273e-06,4.995953e-06,4.992127e-06,4.932680e-06,4.870447e-06,4.867979e-06,4.809244e-06,4.749060e-06,4.747867e-06,4.689887e-06,4.631713e-06,4.519433e-06,4.410942e-06,4.306149e-06,4.204962e-06,4.107289e-06,4.013034e-06,3.922105e-06,3.834405e-06,3.749841e-06,3.668321e-06,3.589753e-06,3.514046e-06,3.441110e-06,3.370861e-06,3.303210e-06,3.238077e-06,3.175378e-06,3.115034e-06,3.056969e-06,3.001106e-06,2.947372e-06,2.895696e-06,2.846009e-06,2.798242e-06,2.752332e-06,2.708214e-06,2.665827e-06,2.625112e-06,2.586011e-06,2.548468e-06,2.512428e-06,2.477841e-06,2.444654e-06,2.412818e-06,2.382287e-06,2.353014e-06,2.324955e-06,2.298066e-06,2.272307e-06,2.247637e-06,2.224017e-06,2.201409e-06,2.179777e-06,2.159087e-06,2.139303e-06,2.120394e-06,2.102327e-06,2.085072e-06,2.068599e-06
0.000000e+00,6.468534e-08,1.387219e-06,1.457263e-06,1.155784e-05,4.860823e-05,5.113508e-05,1.496585e-04,3.107689e-04,3.231882e-04,5.590371e-04,8.070811e-04,8.293546e-04,1.110209e-03,1.359184e-03,1.386291e-03,1.648960e-03,1.865449e-03,1.893812e-03,2.118962e-03,2.296480e-03,2.323979e-03,2.509249e-03,2.650212e-03,2.675598e-03,2.824074e-03,2.933286e-03,2.955818e-03,3.071991e-03,3.154484e-03,3.173730e-03,3.262130e-03,3.322491e-03,3.338227e-03,3.402994e-03,3.445204e-03,3.457345e-03,3.502128e-03,3.529575e-03,3.538135e-03,3.566099e-03,3.581638e-03,3.586702e-03,3.600574e-03,3.606595e-03,3.608300e-03,3.610421e-03,3.608919e-03,3.607438e-03,3.599813e-03,3.592448e-03,3.587975e-03,3.572321e-03,3.560468e-03,3.553214e-03,3.530995e-03,3.515794e-03,3.505976e-03,3.478445e-03,3.460832e-03,3.448668e-03,3.416892e-03,3.397636e-03,3.383343e-03,3.348230e-03,3.327956e-03,3.311745e-03,3.274067e-03,3.253282e-03,3.235358e-03,3.195768e-03,3.174879e-03,3.155436e-03,3.114488e-03,3.093820e-03,3.073041e-03,3.031202e-03,3.011009e-03,2.989068e-03,2.946730e-03,2.927208e-03,2.904268e-03,2.861758e-03,2.843057e-03,2.819269e-03,2.776861e-03,2.759089e-03,2.734593e-03,2.692515e-03,2.675748e-03,2.650674e-03,2.609111e-03,2.593398e-03,2.567865e-03,2.526970e-03,2.512340e-03,2.486457e-03,2.446352e-03,2.432815e-03,2.406681e-03,2.367465e-03,2.355015e-03,2.328722e-03,2.290470e-03,2.279092e-03,2.252722e-03,2.215492e-03,2.205162e-03,2.178790e-03,2.142625e-03,2.133311e-03,2.107004e-03,2.071934e-03,2.063599e-03,2.037418e-03,2.003460e-03,1.996065e-03,1.970063e-03,1.937228e-03,1.930729e-03,1.904955e-03,1.873244e-03,1.867596e-03,1.842094e-03,1.811502e-03,1.806659e-03,1.781467e-03,1.751984e-03,1.747901e-03,1.723051e-03,1.694664e-03,1.691293e-03,1.666816e-03,1.639505e-03,1.636803e-03,1.612724e-03,1.586468e-03,1.584391e-03,1.560732e-03,1.535508e-03,1.534011e-03,1.510791e-03,1.486575e-03,1.485616e-03,1.462852e-03,1.439617e-03,1.439157e-03,1.416861e-03,1.394579e-03,1.351830e-03,1.310853e-03,1.271594e-03,1.233998e-03,1.198009e-03,1.163572e-03,1.130634e-03,1.099141e-03,1.069041e-03,1.040283e-03,1.012818e-03,9.865961e-04,9.615706e-04,9.376955e-04,9.149264e-04,8.932199e-04,8.725342e-04,8.528288e-04,8.340647e-04,8.162040e-04,7.992103e-04,7.830483e-04,7.676842e-04,7.530851e-04,7.392197e-04,7.260574e-04,7.135692e-04,7.017269e-04,6.905033e-04,6.798725e-04,6.698094e-04,6.602899e-04,6.512908e-04,6.427898e-04,6.347656e-04,6.271976e-04,6.200659e-04,6.133515e-04,6.070362e-04,6.011024e-04,5.955333e-04,5.903126e-04,5.854248e-04,5.808549e-04,5.765885e-04,5.726118e-04,5.689116e-04,5.654752e-04,5.622902e-04
0.000000e+00,7.183004e-08,1.175397e-06,1.228397e-06,8.082057e-06,3.176340e-05,3.337085e-05,9.640819e-05,2.002316e-04,2.082154e-04,3.577300e-04,5.088799e-04,5.221107e-04,6.842491e-04,8.213279e-04,8.359152e-04,9.742264e-04,1.084504e-03,1.098727e-03,1.209928e-03,1.295563e-03,1.308672e-03,1.395889e-03,1.460912e-03,1.472491e-03,1.539339e-03,1.587451e-03,1.597251e-03,1.646993e-03,1.681384e-03,1.689277e-03,1.724763e-03,1.748115e-03,1.754058e-03,1.777724e-03,1.792264e-03,1.796277e-03,1.810191e-03,1.817760e-03,1.819904e-03,1.825815e-03,1.827926e-03,1.828294e-03,1.827677e-03,1.825571e-03,1.824275e-03,1.818370e-03,1.813059e-03,1.810223e-03,1.800072e-03,1.792381e-03,1.788135e-03,1.774611e-03,1.765209e-03,1.759684e-03,1.743519e-03,1.732944e-03,1.726270e-03,1.708076e-03,1.696758e-03,1.689063e-03,1.669348e-03,1.657633e-03,1.649036e-03,1.628224e-03,1.616383e-03,1.606999e-03,1.585441e-03,1.573687e-03,1.563622e-03,1.541609e-03,1.530104e-03,1.519460e-03,1.497229e-03,1.486098e-03,1.474965e-03,1.452713e-03,1.442047e-03,1.430511e-03,1.408396e-03,1.398261e-03,1.386399e-03,1.364550e-03,1.354989e-03,1.342872e-03,1.321391e-03,1.312432e-03,1.300125e-03,1.279092e-03,1.270748e-03,1.258309e-03,1.237789e-03,1.230062e-03,1.217543e-03,1.197583e-03,1.190468e-03,1.177916e-03,1.158551e-03,1.152037e-03,1.139494e-03,1.120750e-03,1.114818e-03,1.102322e-03,1.084215e-03,1.078845e-03,1.066429e-03,1.048968e-03,1.044137e-03,1.031831e-03,1.015019e-03,1.010701e-03,9.985319e-04,9.823679e-04,9.785366e-04,9.665262e-04,9.510048e-04,9.476329e-04,9.358018e-04,9.209147e-04,9.179749e-04,9.063407e-04,8.920767e-04,8.895419e-04,8.781197e-04,8.644660e-04,8.623093e-04,8.511121e-04,8.380542e-04,8.362494e-04,8.252883e-04,8.128105e-04,8.113324e-04,8.006167e-04,7.887026e-04,7.875264e-04,7.770639e-04,7.656964e-04,7.647986e-04,7.545957e-04,7.437573e-04,7.431153e-04,7.331769e-04,7.228501e-04,7.224423e-04,7.127724e-04,7.029394e-04,7.027452e-04,6.933467e-04,6.839900e-04,6.661424e-04,6.491691e-04,6.330369e-04,6.177135e-04,6.031672e-04,5.893671e-04,5.762833e-04,5.638864e-04,5.521481e-04,5.410410e-04,5.305383e-04,5.206145e-04,5.112446e-04,5.024046e-04,4.940714e-04,4.862228e-04,4.788371e-04,4.718938e-04,4.653728e-04,4.592551e-04,4.535220e-04,4.481560e-04,4.431398e-04,4.384573e-04,4.340924e-04,4.300303e-04,4.262562e-04,4.227562e-04,4.195170e-04,4.165256e-04,4.137698e-04,4.112376e-04,4.089177e-04,4.067992e-04,4.048717e-04,4.031250e-04,4.015497e-04,4.001366e-04,3.988767e-04,3.977616e-04,3.967833e-04,3.959341e-04,3.952064e-04,3.945933e-04,3.940878e-04,3.936836e-04,3.933745e-04,3.931544e-04,3.930178e-04
0.000000e+00,2.784279e-06,9.284204e-05,9.827076e-05,9.995841e-04,4.282640e-03,4.491501e-03,1.160027e-02,2.118931e-02,2.188155e-02,3.456877e-02,4.776445e-02,4.896453e-02,6.448492e-02,7.901740e-02,8.065142e-02,9.707622e-02,1.114951e-01,1.134482e-01,1.295210e-01,1.429566e-01,1.451025e-01,1.600461e-01,1.720252e-01,1.742430e-01,1.876163e-01,1.979313e-01,2.001149e-01,2.117094e-01,2.203252e-01,2.223874e-01,2.321508e-01,2.391393e-01,2.410125e-01,2.489939e-01,2.544882e-01,2.561233e-01,2.624336e-01,2.665973e-01,2.679615e-01,2.727457e-01,2.757525e-01,2.768266e-01,2.802450e-01,2.822655e-01,2.830416e-01,2.852569e-01,2.864513e-01,2.869301e-01,2.880995e-01,2.886132e-01,2.888019e-01,2.890725e-01,2.890347e-01,2.889450e-01,2.884514e-01,2.879747e-01,2.876217e-01,2.864846e-01,2.856659e-01,2.850667e-01,2.833934e-01,2.823152e-01,2.814882e-01,2.793732e-01,2.781049e-01,2.770690e-01,2.745947e-01,2.731943e-01,2.719684e-01,2.692066e-01,2.677222e-01,2.663250e-01,2.633379e-01,2.618090e-01,2.602587e-01,2.570999e-01,2.555587e-01,2.538729e-01,2.505884e-01,2.490610e-01,2.472564e-01,2.438859e-01,2.423929e-01,2.404854e-01,2.370628e-01,2.356205e-01,2.336253e-01,2.301795e-01,2.288003e-01,2.267316e-01,2.232873e-01,2.219804e-01,2.198517e-01,2.164296e-01,2.152018e-01,2.130254e-01,2.096432e-01,2.084989e-01,2.062866e-01,2.029590e-01,2.019008e-01,1.996634e-01,1.964027e-01,1.954316e-01,1.931793e-01,1.899955e-01,1.891115e-01,1.868535e-01,1.837549e-01,1.829567e-01,1.807016e-01,1.776950e-01,1.769805e-01,1.747364e-01,1.718268e-01,1.711934e-01,1.689674e-01,1.661590e-01,1.656035e-01,1.634023e-01,1.606980e-01,1.602168e-01,1.580464e-01,1.554481e-01,1.550374e-01,1.529034e-01,1.504124e-01,1.500680e-01,1.479753e-01,1.455922e-01,1.453099e-01,1.432631e-01,1.409878e-01,1.407632e-01,1.387663e-01,1.365983e-01,1.364272e-01,1.344836e-01,1.324220e-01,1.322999e-01,1.304130e-01,1.284563e-01,1.283791e-01,1.265514e-01,1.246980e-01,1.246615e-01,1.228955e-01,1.211435e-01,1.178209e-01,1.146894e-01,1.117440e-01,1.089795e-01,1.063907e-01,1.039719e-01,1.017174e-01,9.962142e-02,9.767796e-02,9.588100e-02,9.422447e-02,9.270227e-02,9.130829e-02,9.003644e-02,8.888065e-02,8.783489e-02,8.689320e-02,8.604970e-02,8.529859e-02,8.463416e-02,8.405084e-02,8.354317e-02,8.310582e-02,8.273364e-02,8.242159e-02,8.216483e-02,8.195868e-02,8.179865e-02,8.168041e-02,8.159983e-02,8.155300e-02,8.153615e-02,8.154577e-02,8.157849e-02,8.163118e-02,8.170089e-02,8.178487e-02,8.188055e-02,8.198556e-02,8.209771e-02,8.221501e-02,8.233560e-02,8.245784e-02,8.258022e-02,8.270140e-02,8.282018e-02,8.293551e-02,8.304647e-02,8.315228e-02
0.000000e+00,9.027011e-08,1.994788e-06,2.097854e-06,1.768646e-05,7.706147e-05,8.110024e-05,2.314905e-04,4.492313e-04,4.649537e-04,7.460049e-04,1.019399e-03,1.043245e-03,1.337004e-03,1.589308e-03,1.616419e-03,1.876076e-03,2.086398e-03,2.113728e-03,2.328915e-03,2.496388e-03,2.522155e-03,2.694481e-03,2.824006e-03,2.847173e-03,2.981608e-03,3.079196e-03,3.099174e-03,3.201223e-03,3.272558e-03,3.289044e-03,3.363852e-03,3.413902e-03,3.426783e-03,3.478889e-03,3.511855e-03,3.521148e-03,3.554459e-03,3.573838e-03,3.579651e-03,3.597486e-03,3.606168e-03,3.608665e-03,3.613830e-03,3.614185e-03,3.613571e-03,3.608427e-03,3.602394e-03,3.598893e-03,3.585422e-03,3.574577e-03,3.568428e-03,3.548290e-03,3.533913e-03,3.525354e-03,3.499936e-03,3.483058e-03,3.472325e-03,3.442786e-03,3.424237e-03,3.411559e-03,3.378864e-03,3.359309e-03,3.344903e-03,3.309857e-03,3.289820e-03,3.273892e-03,3.237160e-03,3.217055e-03,3.199798e-03,3.161932e-03,3.142080e-03,3.123674e-03,3.085128e-03,3.065775e-03,3.046385e-03,3.007531e-03,2.988864e-03,2.968642e-03,2.929785e-03,2.911939e-03,2.891023e-03,2.852410e-03,2.835481e-03,2.813998e-03,2.775829e-03,2.759881e-03,2.737945e-03,2.700380e-03,2.685450e-03,2.663165e-03,2.626329e-03,2.612436e-03,2.589896e-03,2.553887e-03,2.541032e-03,2.518321e-03,2.483215e-03,2.471385e-03,2.448580e-03,2.414431e-03,2.403607e-03,2.380776e-03,2.347623e-03,2.337776e-03,2.314978e-03,2.282848e-03,2.273944e-03,2.251235e-03,2.220143e-03,2.212144e-03,2.189572e-03,2.159523e-03,2.152389e-03,2.129995e-03,2.100989e-03,2.094677e-03,2.072501e-03,2.044529e-03,2.038997e-03,2.017071e-03,1.990122e-03,1.985325e-03,1.963679e-03,1.937737e-03,1.933633e-03,1.912292e-03,1.887337e-03,1.883883e-03,1.862869e-03,1.838881e-03,1.836034e-03,1.815367e-03,1.792321e-03,1.790042e-03,1.769738e-03,1.747611e-03,1.745860e-03,1.725933e-03,1.704699e-03,1.703438e-03,1.683900e-03,1.663532e-03,1.662726e-03,1.643587e-03,1.624058e-03,1.623672e-03,1.604939e-03,1.586223e-03,1.550328e-03,1.515936e-03,1.482995e-03,1.451455e-03,1.421265e-03,1.392379e-03,1.364747e-03,1.338325e-03,1.313066e-03,1.288927e-03,1.265865e-03,1.243838e-03,1.222808e-03,1.202734e-03,1.183579e-03,1.165308e-03,1.147884e-03,1.131274e-03,1.115446e-03,1.100367e-03,1.086007e-03,1.072337e-03,1.059329e-03,1.046954e-03,1.035188e-03,1.024004e-03,1.013378e-03,1.003287e-03,9.937085e-04,9.846198e-04,9.760005e-04,9.678305e-04,9.600902e-04,9.527611e-04,9.458253e-04,9.392654e-04,9.330649e-04,9.272079e-04,9.216790e-04,9.164635e-04,9.115472e-04,9.069166e-04,9.025585e-04,8.984605e-04,8.946104e-04,8.909967e-04,8.876083e-04,8.844344e-04,8.814649e-04
0.000000e+00,1.126157e-09,2.223240e-08,2.332283e-08,1.567528e-07,4.704189e-07,4.864375e-07,9.109401e-07,1.313862e-06,1.339183e-06,1.752060e-06,2.115736e-06,2.146614e-06,2.522531e-06,2.845085e-06,2.880013e-06,3.219399e-06,3.503409e-06,3.541093e-06,3.845526e-06,4.093882e-06,4.133157e-06,4.404497e-06,4.620223e-06,4.660080e-06,4.900456e-06,5.086602e-06,5.126174e-06,5.337781e-06,5.497269e-06,5.535816e-06,5.720806e-06,5.856376e-06,5.893269e-06,6.053709e-06,6.167903e-06,6.202615e-06,6.340462e-06,6.435621e-06,6.467712e-06,6.584811e-06,6.663082e-06,6.692194e-06,6.790277e-06,6.853620e-06,6.879467e-06,6.960154e-06,7.010357e-06,7.032715e-06,7.097517e-06,7.136207e-06,7.154911e-06,7.205236e-06,7.233886e-06,7.248820e-06,7.285979e-06,7.305924e-06,7.317017e-06,7.342227e-06,7.354673e-06,7.361891e-06,7.376282e-06,7.382316e-06,7.385661e-06,7.390280e-06,7.390879e-06,7.390382e-06,7.386199e-06,7.382238e-06,7.377956e-06,7.365868e-06,7.358132e-06,7.350142e-06,7.330978e-06,7.320166e-06,7.308566e-06,7.283091e-06,7.269827e-06,7.254729e-06,7.223649e-06,7.208485e-06,7.190014e-06,7.153979e-06,7.137403e-06,7.115695e-06,7.075304e-06,7.057745e-06,7.032944e-06,6.988748e-06,6.970583e-06,6.942840e-06,6.895344e-06,6.876902e-06,6.846373e-06,6.796039e-06,6.777606e-06,6.744449e-06,6.691703e-06,6.673524e-06,6.637900e-06,6.583131e-06,6.565416e-06,6.527486e-06,6.471049e-06,6.453976e-06,6.413902e-06,6.356122e-06,6.339841e-06,6.297783e-06,6.238955e-06,6.223588e-06,6.179705e-06,6.120098e-06,6.105745e-06,6.060193e-06,6.000050e-06,5.986792e-06,5.939723e-06,5.879264e-06,5.867162e-06,5.818725e-06,5.758152e-06,5.747249e-06,5.697591e-06,5.637083e-06,5.627409e-06,5.576670e-06,5.516389e-06,5.507963e-06,5.456278e-06,5.396371e-06,5.389197e-06,5.336699e-06,5.277294e-06,5.271370e-06,5.218185e-06,5.159399e-06,5.154711e-06,5.100961e-06,5.042897e-06,5.039425e-06,4.985227e-06,4.927974e-06,4.925693e-06,4.871158e-06,4.814796e-06,4.813674e-06,4.758907e-06,4.703507e-06,4.595314e-06,4.489198e-06,4.385249e-06,4.283542e-06,4.184138e-06,4.087088e-06,3.992431e-06,3.900196e-06,3.810406e-06,3.723071e-06,3.638199e-06,3.555788e-06,3.475830e-06,3.398314e-06,3.323222e-06,3.250533e-06,3.180221e-06,3.112258e-06,3.046612e-06,2.983249e-06,2.922132e-06,2.863222e-06,2.806480e-06,2.751863e-06,2.699329e-06,2.648833e-06,2.600331e-06,2.553777e-06,2.509125e-06,2.466330e-06,2.425344e-06,2.386121e-06,2.348615e-06,2.312779e-06,2.278567e-06,2.245933e-06,2.214831e-06,2.185218e-06,2.157047e-06,2.130276e-06,2.104859e-06,2.080756e-06,2.057922e-06,2.036317e-06,2.015900e-06,1.996631e-06,1.978470e-06,1.961378e-06,1.945318e-06
0.000000e+00,1.050178e-09,1.823546e-08,1.911717e-08,1.335146e-07,4.578138e-07,4.764624e-07,1.018188e-06,1.564510e-06,1.598939e-06,2.157224e-06,2.641764e-06,2.682541e-06,3.174156e-06,3.588615e-06,3.633072e-06,4.060607e-06,4.411954e-06,4.458114e-06,4.826935e-06,5.122189e-06,5.168395e-06,5.483803e-06,5.729554e-06,5.774445e-06,6.041583e-06,6.243960e-06,6.286445e-06,6.510226e-06,6.674847e-06,6.714077e-06,6.899102e-06,7.031036e-06,7.066361e-06,7.216868e-06,7.320645e-06,7.351588e-06,7.471445e-06,7.551086e-06,7.577314e-06,7.670030e-06,7.729087e-06,7.750384e-06,7.819130e-06,7.860727e-06,7.876979e-06,7.924609e-06,7.951490e-06,7.962662e-06,7.991746e-06,8.006309e-06,8.012436e-06,8.025278e-06,8.029619e-06,8.030789e-06,8.029458e-06,8.025400e-06,8.021746e-06,8.008092e-06,7.997220e-06,7.988908e-06,7.964587e-06,7.948274e-06,7.935498e-06,7.901991e-06,7.881420e-06,7.864394e-06,7.823020e-06,7.799212e-06,7.778164e-06,7.730102e-06,7.703930e-06,7.679096e-06,7.625395e-06,7.597607e-06,7.569230e-06,7.510822e-06,7.482050e-06,7.450377e-06,7.388090e-06,7.358870e-06,7.324145e-06,7.258713e-06,7.229495e-06,7.191959e-06,7.124034e-06,7.095192e-06,7.055083e-06,6.985239e-06,6.957080e-06,6.914630e-06,6.843374e-06,6.816151e-06,6.771583e-06,6.699362e-06,6.673276e-06,6.626807e-06,6.554011e-06,6.529221e-06,6.481060e-06,6.408033e-06,6.384660e-06,6.335004e-06,6.262045e-06,6.240180e-06,6.189219e-06,6.116587e-06,6.096293e-06,6.044206e-06,5.972128e-06,5.953443e-06,5.900400e-06,5.829069e-06,5.812013e-06,5.758176e-06,5.687758e-06,5.672334e-06,5.617852e-06,5.548490e-06,5.534686e-06,5.479702e-06,5.411515e-06,5.399307e-06,5.343953e-06,5.277041e-06,5.266396e-06,5.210798e-06,5.145243e-06,5.136121e-06,5.080392e-06,5.016262e-06,5.008615e-06,4.952865e-06,4.890212e-06,4.883988e-06,4.828315e-06,4.767182e-06,4.762324e-06,4.706820e-06,4.647238e-06,4.643687e-06,4.588438e-06,4.530427e-06,4.528123e-06,4.473206e-06,4.416780e-06,4.415659e-06,4.361148e-06,4.306311e-06,4.200082e-06,4.096961e-06,3.996930e-06,3.899964e-06,3.806029e-06,3.715084e-06,3.627085e-06,3.541983e-06,3.459725e-06,3.380256e-06,3.303516e-06,3.229447e-06,3.157986e-06,3.089071e-06,3.022639e-06,2.958625e-06,2.896966e-06,2.837598e-06,2.780458e-06,2.725481e-06,2.672607e-06,2.621773e-06,2.572918e-06,2.525981e-06,2.480905e-06,2.437632e-06,2.396103e-06,2.356265e-06,2.318062e-06,2.281441e-06,2.246351e-06,2.212740e-06,2.180560e-06,2.149762e-06,2.120299e-06,2.092126e-06,2.065199e-06,2.039473e-06,2.014908e-06,1.991463e-06,1.969098e-06,1.947775e-06,1.927456e-06,1.908105e-06,1.889688e-06,1.872169e-06,1.855517e-06,1.839700e-06,1.824686e-06
0.000000e+00,3.909559e-10,7.899773e-09,8.282061e-09,5.354871e-08,1.616159e-07,1.673604e-07,3.255045e-07,4.797634e-07,4.894811e-07,6.478023e-07,7.868209e-07,7.986010e-07,9.417115e-07,1.064051e-06,1.077273e-06,1.205497e-06,1.312446e-06,1.326612e-06,1.440863e-06,1.533816e-06,1.548495e-06,1.649757e-06,1.730074e-06,1.744895e-06,1.834153e-06,1.903124e-06,1.917769e-06,1.995976e-06,2.054798e-06,2.068999e-06,2.137057e-06,2.186832e-06,2.200362e-06,2.259119e-06,2.300855e-06,2.313526e-06,2.363774e-06,2.398389e-06,2.410047e-06,2.452522e-06,2.480848e-06,2.491370e-06,2.526755e-06,2.549550e-06,2.558837e-06,2.587765e-06,2.605712e-06,2.613689e-06,2.636748e-06,2.650465e-06,2.657080e-06,2.674813e-06,2.684858e-06,2.690075e-06,2.702985e-06,2.709859e-06,2.713659e-06,2.722208e-06,2.726361e-06,2.728737e-06,2.733351e-06,2.735188e-06,2.736147e-06,2.737220e-06,2.737101e-06,2.736659e-06,2.734551e-06,2.732800e-06,2.730980e-06,2.726026e-06,2.722928e-06,2.719763e-06,2.712267e-06,2.708078e-06,2.703607e-06,2.693850e-06,2.688796e-06,2.683061e-06,2.671301e-06,2.665582e-06,2.658630e-06,2.645104e-06,2.638895e-06,2.630777e-06,2.615700e-06,2.609157e-06,2.599924e-06,2.583496e-06,2.576752e-06,2.566461e-06,2.548862e-06,2.542035e-06,2.530741e-06,2.512137e-06,2.505329e-06,2.493088e-06,2.473631e-06,2.466928e-06,2.453799e-06,2.433625e-06,2.427102e-06,2.413141e-06,2.392377e-06,2.386097e-06,2.371360e-06,2.350119e-06,2.344135e-06,2.328679e-06,2.307065e-06,2.301420e-06,2.285300e-06,2.263406e-06,2.258135e-06,2.241405e-06,2.219317e-06,2.214448e-06,2.197161e-06,2.174955e-06,2.170510e-06,2.152717e-06,2.130462e-06,2.126456e-06,2.108207e-06,2.085966e-06,2.082410e-06,2.063753e-06,2.041581e-06,2.038481e-06,2.019463e-06,1.997410e-06,1.994769e-06,1.975434e-06,1.953544e-06,1.951361e-06,1.931752e-06,1.910066e-06,1.908336e-06,1.888495e-06,1.867046e-06,1.865764e-06,1.845729e-06,1.824550e-06,1.823705e-06,1.803515e-06,1.782632e-06,1.782216e-06,1.761905e-06,1.741341e-06,1.701123e-06,1.661596e-06,1.622791e-06,1.584732e-06,1.547441e-06,1.510935e-06,1.475227e-06,1.440326e-06,1.406241e-06,1.372975e-06,1.340531e-06,1.308909e-06,1.278106e-06,1.248119e-06,1.218942e-06,1.190569e-06,1.162992e-06,1.136202e-06,1.110189e-06,1.084941e-06,1.060448e-06,1.036696e-06,1.013675e-06,9.913693e-07,9.697667e-07,9.488530e-07,9.286142e-07,9.090360e-07,8.901040e-07,8.718037e-07,8.541207e-07,8.370404e-07,8.205483e-07,8.046300e-07,7.892713e-07,7.744577e-07,7.601754e-07,7.464103e-07,7.331488e-07,7.203771e-07,7.080820e-07,6.962503e-07,6.848689e-07,6.739252e-07,6.634066e-07,6.533009e-07,6.435961e-07,6.342803e-07,6.253421e-07
0.000000e+00,7.251968e-08,1.282985e-06,1.343000e-06,9.416047e-06,3.800584e-05,3.994985e-05,1.155743e-04,2.365827e-04,2.456966e-04,4.115117e-04,5.697900e-04,5.831724e-04,7.402260e-04,8.615839e-04,8.737981e-04,9.821200e-04,1.057799e-03,1.066804e-03,1.130743e-03,1.171546e-03,1.177090e-03,1.208808e-03,1.226072e-03,1.228514e-03,1.238443e-03,1.240613e-03,1.240467e-03,1.236149e-03,1.229007e-03,1.226784e-03,1.213446e-03,1.200856e-03,1.197015e-03,1.178213e-03,1.162706e-03,1.157631e-03,1.135749e-03,1.118951e-03,1.112956e-03,1.089568e-03,1.072504e-03,1.065837e-03,1.041968e-03,1.025264e-03,1.018120e-03,9.944235e-04,9.784483e-04,9.709784e-04,9.478631e-04,9.328177e-04,9.251380e-04,9.028490e-04,8.888288e-04,8.810297e-04,8.597047e-04,8.467389e-04,8.388904e-04,8.185972e-04,8.066739e-04,7.988307e-04,7.795924e-04,7.686758e-04,7.608809e-04,7.426921e-04,7.327324e-04,7.250198e-04,7.078566e-04,6.987971e-04,6.911937e-04,6.750215e-04,6.668025e-04,6.593297e-04,6.441078e-04,6.366696e-04,6.293447e-04,6.150291e-04,6.083133e-04,6.011497e-04,5.876953e-04,5.816458e-04,5.746544e-04,5.620159e-04,5.565796e-04,5.497687e-04,5.379018e-04,5.330285e-04,5.264044e-04,5.152660e-04,5.109089e-04,5.044763e-04,4.940251e-04,4.901403e-04,4.839025e-04,4.740987e-04,4.706456e-04,4.646044e-04,4.554104e-04,4.523512e-04,4.465076e-04,4.378874e-04,4.351872e-04,4.295411e-04,4.214606e-04,4.190871e-04,4.136378e-04,4.060648e-04,4.039881e-04,3.987340e-04,3.916381e-04,3.898307e-04,3.847698e-04,3.781222e-04,3.765588e-04,3.716884e-04,3.654619e-04,3.641192e-04,3.594362e-04,3.536053e-04,3.524619e-04,3.479630e-04,3.425035e-04,3.415398e-04,3.372212e-04,3.321105e-04,3.313083e-04,3.271661e-04,3.223827e-04,3.217257e-04,3.177555e-04,3.132795e-04,3.127523e-04,3.089499e-04,3.047623e-04,3.043511e-04,3.007121e-04,2.967950e-04,2.964872e-04,2.930069e-04,2.893437e-04,2.891278e-04,2.858015e-04,2.823764e-04,2.822418e-04,2.790649e-04,2.758632e-04,2.758003e-04,2.727681e-04,2.697759e-04,2.641430e-04,2.588774e-04,2.539564e-04,2.493587e-04,2.450643e-04,2.410544e-04,2.373113e-04,2.338185e-04,2.305604e-04,2.275222e-04,2.246904e-04,2.220520e-04,2.195948e-04,2.173076e-04,2.151796e-04,2.132008e-04,2.113619e-04,2.096539e-04,2.080687e-04,2.065984e-04,2.052358e-04,2.039739e-04,2.028064e-04,2.017273e-04,2.007308e-04,1.998117e-04,1.989650e-04,1.981860e-04,1.974703e-04,1.968138e-04,1.962126e-04,1.956632e-04,1.951621e-04,1.947062e-04,1.942924e-04,1.939180e-04,1.935803e-04,1.932768e-04,1.930053e-04,1.927636e-04,1.925496e-04,1.923615e-04,1.921974e-04,1.920557e-04,1.919348e-04,1.918332e-04,1.917496e-04,1.916827e-04,1.916312e-04
0.000000e+00,3.410693e-06,1.107106e-04,1.170613e-04,1.124455e-03,4.653167e-03,4.875620e-03,1.231760e-02,2.192037e-02,2.259490e-02,3.455374e-02,4.625938e-02,4.729026e-02,6.015782e-02,7.147871e-02,7.271036e-02,8.465104e-02,9.450185e-02,9.579244e-02,1.060266e-01,1.140623e-01,1.153026e-01,1.236101e-01,1.298525e-01,1.309671e-01,1.374103e-01,1.420461e-01,1.429889e-01,1.477593e-01,1.510338e-01,1.517813e-01,1.551161e-01,1.572790e-01,1.578239e-01,1.599629e-01,1.612422e-01,1.615883e-01,1.627523e-01,1.633450e-01,1.635030e-01,1.638852e-01,1.639552e-01,1.639397e-01,1.637039e-01,1.633845e-01,1.632118e-01,1.624940e-01,1.618912e-01,1.615781e-01,1.604891e-01,1.596865e-01,1.592493e-01,1.578786e-01,1.569411e-01,1.563950e-01,1.548143e-01,1.537918e-01,1.531507e-01,1.514168e-01,1.503475e-01,1.496239e-01,1.477820e-01,1.466947e-01,1.458999e-01,1.439854e-01,1.429018e-01,1.420456e-01,1.400866e-01,1.390228e-01,1.381140e-01,1.361327e-01,1.351004e-01,1.341470e-01,1.321607e-01,1.311684e-01,1.301773e-01,1.281998e-01,1.272535e-01,1.262310e-01,1.242733e-01,1.233771e-01,1.223288e-01,1.203996e-01,1.195559e-01,1.184871e-01,1.165931e-01,1.158035e-01,1.147189e-01,1.128656e-01,1.121304e-01,1.110343e-01,1.092260e-01,1.085450e-01,1.074415e-01,1.056815e-01,1.050541e-01,1.039467e-01,1.022377e-01,1.016626e-01,1.005549e-01,9.889873e-02,9.837444e-02,9.726956e-02,9.566767e-02,9.519246e-02,9.409330e-02,9.254664e-02,9.211857e-02,9.102784e-02,8.953698e-02,8.915394e-02,8.807413e-02,8.663932e-02,8.629914e-02,8.523254e-02,8.385376e-02,8.355418e-02,8.250290e-02,8.117988e-02,8.091861e-02,7.988457e-02,7.861684e-02,7.839157e-02,7.737653e-02,7.616345e-02,7.597187e-02,7.497741e-02,7.381819e-02,7.365803e-02,7.268556e-02,7.157929e-02,7.144830e-02,7.049912e-02,6.944477e-02,6.934075e-02,6.841598e-02,6.741245e-02,6.733325e-02,6.643388e-02,6.547998e-02,6.542352e-02,6.455042e-02,6.364490e-02,6.360917e-02,6.276307e-02,6.190463e-02,6.188769e-02,6.106922e-02,6.025650e-02,5.871295e-02,5.725433e-02,5.587790e-02,5.458088e-02,5.336049e-02,5.221393e-02,5.113840e-02,5.013112e-02,4.918930e-02,4.831020e-02,4.749107e-02,4.672921e-02,4.602196e-02,4.536670e-02,4.476082e-02,4.420180e-02,4.368715e-02,4.321443e-02,4.278128e-02,4.238536e-02,4.202444e-02,4.169633e-02,4.139889e-02,4.113010e-02,4.088795e-02,4.067056e-02,4.047607e-02,4.030275e-02,4.014889e-02,4.001290e-02,3.989323e-02,3.978844e-02,3.969714e-02,3.961801e-02,3.954983e-02,3.949143e-02,3.944172e-02,3.939968e-02,3.936435e-02,3.933484e-02,3.931032e-02,3.929003e-02,3.927328e-02,3.925940e-02,3.924782e-02,3.923799e-02,3.922942e-02,3.922167e-02,3.921435e-02
0.000000e+00,1.340473e-08,1.847856e-07,1.930416e-07,1.239852e-06,4.488271e-06,4.693571e-06,1.180242e-05,2.103461e-05,2.166059e-05,3.203519e-05,4.093597e-05,4.166916e-05,5.025492e-05,5.708613e-05,5.779507e-05,6.436554e-05,6.941576e-05,7.005485e-05,7.494896e-05,7.858299e-05,7.912775e-05,8.266419e-05,8.518731e-05,8.562489e-05,8.807028e-05,8.972958e-05,9.005516e-05,9.162918e-05,9.262288e-05,9.283722e-05,9.371996e-05,9.420623e-05,9.431382e-05,9.465170e-05,9.475566e-05,9.476328e-05,9.467526e-05,9.449585e-05,9.441167e-05,9.399408e-05,9.360902e-05,9.344187e-05,9.277240e-05,9.224244e-05,9.200130e-05,9.114254e-05,9.051496e-05,9.020864e-05,8.921080e-05,8.852212e-05,8.815905e-05,8.706233e-05,8.634056e-05,8.592864e-05,8.476511e-05,8.403154e-05,8.357807e-05,8.237316e-05,8.164375e-05,8.115540e-05,7.992923e-05,7.921577e-05,7.869859e-05,7.746694e-05,7.677793e-05,7.623735e-05,7.501251e-05,7.435391e-05,7.379477e-05,7.258621e-05,7.196199e-05,7.138861e-05,7.020353e-05,6.961611e-05,6.903230e-05,6.787609e-05,6.732672e-05,6.673585e-05,6.561242e-05,6.510148e-05,6.450649e-05,6.341861e-05,6.294579e-05,6.234925e-05,6.129876e-05,6.086324e-05,6.026740e-05,5.925538e-05,5.885601e-05,5.826282e-05,5.728978e-05,5.692515e-05,5.633628e-05,5.540229e-05,5.507082e-05,5.448774e-05,5.359250e-05,5.329249e-05,5.271644e-05,5.185939e-05,5.158912e-05,5.102116e-05,5.020153e-05,4.995923e-05,4.940027e-05,4.861714e-05,4.840107e-05,4.785187e-05,4.710420e-05,4.691266e-05,4.637385e-05,4.566054e-05,4.549184e-05,4.496397e-05,4.428385e-05,4.413640e-05,4.361988e-05,4.297177e-05,4.284402e-05,4.233921e-05,4.172190e-05,4.161238e-05,4.111954e-05,4.053184e-05,4.043915e-05,3.995849e-05,3.939920e-05,3.932201e-05,3.885369e-05,3.832164e-05,3.825869e-05,3.780279e-05,3.729685e-05,3.724696e-05,3.680354e-05,3.632258e-05,3.628463e-05,3.585370e-05,3.539664e-05,3.536958e-05,3.495113e-05,3.451691e-05,3.449977e-05,3.409372e-05,3.368133e-05,3.367319e-05,3.327948e-05,3.288794e-05,3.214216e-05,3.143407e-05,3.076196e-05,3.012418e-05,2.951917e-05,2.894541e-05,2.840144e-05,2.788589e-05,2.739742e-05,2.693477e-05,2.649671e-05,2.608209e-05,2.568979e-05,2.531874e-05,2.496794e-05,2.463641e-05,2.432323e-05,2.402750e-05,2.374838e-05,2.348506e-05,2.323677e-05,2.300277e-05,2.278235e-05,2.257485e-05,2.237962e-05,2.219606e-05,2.202356e-05,2.186158e-05,2.170959e-05,2.156707e-05,2.143354e-05,2.130855e-05,2.119163e-05,2.108239e-05,2.098041e-05,2.088532e-05,2.079674e-05,2.071434e-05,2.063777e-05,2.056673e-05,2.050092e-05,2.044005e-05,2.038384e-05,2.033203e-05,2.028439e-05,2.024068e-05,2.020066e-05,2.016414e-05,2.013090e-05
0.000000e+00,4.583631e-10,5.610197e-09,5.849610e-09,3.495544e-08,1.220375e-07,1.274806e-07,3.133785e-07,5.491399e-07,5.649967e-07,8.281629e-07,1.057418e-06,1.076534e-06,1.303702e-06,1.489604e-06,1.509204e-06,1.694037e-06,1.840643e-06,1.859525e-06,2.007029e-06,2.120506e-06,2.137868e-06,2.253300e-06,2.339230e-06,2.354517e-06,2.442639e-06,2.505869e-06,2.518720e-06,2.583745e-06,2.628426e-06,2.638635e-06,2.684246e-06,2.713895e-06,2.721374e-06,2.750756e-06,2.768330e-06,2.773078e-06,2.788973e-06,2.796944e-06,2.799027e-06,2.803780e-06,2.804203e-06,2.803733e-06,2.799348e-06,2.793925e-06,2.791049e-06,2.779229e-06,2.769365e-06,2.764248e-06,2.746441e-06,2.733288e-06,2.726111e-06,2.703539e-06,2.688037e-06,2.678985e-06,2.652686e-06,2.635601e-06,2.624861e-06,2.595708e-06,2.577657e-06,2.565412e-06,2.534140e-06,2.515615e-06,2.502044e-06,2.469264e-06,2.450657e-06,2.435929e-06,2.402156e-06,2.383774e-06,2.368052e-06,2.333712e-06,2.315792e-06,2.299224e-06,2.264669e-06,2.247388e-06,2.230117e-06,2.195635e-06,2.179126e-06,2.161281e-06,2.127107e-06,2.111460e-06,2.093160e-06,2.059483e-06,2.044761e-06,2.026113e-06,1.993084e-06,1.979321e-06,1.960425e-06,1.928163e-06,1.915375e-06,1.896321e-06,1.864917e-06,1.853103e-06,1.833971e-06,1.803495e-06,1.792642e-06,1.773503e-06,1.744005e-06,1.734090e-06,1.715009e-06,1.686522e-06,1.677514e-06,1.658549e-06,1.631093e-06,1.622958e-06,1.604158e-06,1.577743e-06,1.570440e-06,1.551850e-06,1.526476e-06,1.519964e-06,1.501622e-06,1.477283e-06,1.471518e-06,1.453456e-06,1.430138e-06,1.425076e-06,1.407324e-06,1.385010e-06,1.380606e-06,1.363189e-06,1.341856e-06,1.338068e-06,1.321005e-06,1.300629e-06,1.297413e-06,1.280722e-06,1.261277e-06,1.258591e-06,1.242286e-06,1.223743e-06,1.221547e-06,1.205639e-06,1.187967e-06,1.186224e-06,1.170721e-06,1.153891e-06,1.152563e-06,1.137471e-06,1.121453e-06,1.120504e-06,1.105828e-06,1.090590e-06,1.089988e-06,1.075731e-06,1.061242e-06,1.060956e-06,1.047117e-06,1.033348e-06,1.007106e-06,9.821723e-07,9.584920e-07,9.360103e-07,9.146743e-07,8.944330e-07,8.752366e-07,8.570375e-07,8.397894e-07,8.234482e-07,8.079710e-07,7.933170e-07,7.794469e-07,7.663231e-07,7.539095e-07,7.421717e-07,7.310767e-07,7.205930e-07,7.106905e-07,7.013404e-07,6.925154e-07,6.841892e-07,6.763370e-07,6.689348e-07,6.619601e-07,6.553912e-07,6.492074e-07,6.433894e-07,6.379182e-07,6.327762e-07,6.279464e-07,6.234128e-07,6.191599e-07,6.151733e-07,6.114390e-07,6.079437e-07,6.046751e-07,6.016211e-07,5.987703e-07,5.961120e-07,5.936359e-07,5.913322e-07,5.891917e-07,5.872056e-07,5.853654e-07,5.836632e-07,5.820914e-07,5.806429e-07,5.793108e-07
0.000000e+00,3.046738e-08,5.603742e-07,5.872346e-07,4.210830e-06,1.646934e-05,1.727876e-05,4.751859e-05,9.351995e-05,9.693001e-05,1.586134e-04,2.183277e-04,2.234871e-04,2.864420e-04,3.399591e-04,3.457025e-04,4.008733e-04,4.460726e-04,4.519993e-04,4.992495e-04,5.369375e-04,5.428244e-04,5.829282e-04,6.140795e-04,6.197609e-04,6.535152e-04,6.790265e-04,6.843759e-04,7.125192e-04,7.331902e-04,7.381126e-04,7.613149e-04,7.778498e-04,7.822763e-04,8.011386e-04,8.141528e-04,8.180357e-04,8.330939e-04,8.431233e-04,8.464321e-04,8.581626e-04,8.656726e-04,8.683909e-04,8.772164e-04,8.826097e-04,8.847323e-04,8.910267e-04,8.946515e-04,8.961821e-04,9.002761e-04,9.024324e-04,9.033817e-04,9.055676e-04,9.065137e-04,9.068981e-04,9.074338e-04,9.073918e-04,9.072315e-04,9.063447e-04,9.055050e-04,9.048234e-04,9.027147e-04,9.012401e-04,9.000628e-04,8.969092e-04,8.949386e-04,8.932927e-04,8.892498e-04,8.869015e-04,8.848147e-04,8.800195e-04,8.773938e-04,8.748944e-04,8.694674e-04,8.666490e-04,8.637650e-04,8.578120e-04,8.548724e-04,8.516316e-04,8.452454e-04,8.422443e-04,8.386738e-04,8.319358e-04,8.289230e-04,8.250492e-04,8.180306e-04,8.150472e-04,8.108955e-04,8.036586e-04,8.007384e-04,7.963334e-04,7.889326e-04,7.861029e-04,7.814680e-04,7.739506e-04,7.712334e-04,7.663907e-04,7.587980e-04,7.562106e-04,7.511814e-04,7.435491e-04,7.411047e-04,7.359089e-04,7.282680e-04,7.259766e-04,7.206331e-04,7.130104e-04,7.108790e-04,7.054055e-04,6.978239e-04,6.958571e-04,6.902705e-04,6.827498e-04,6.809501e-04,6.752659e-04,6.678228e-04,6.661912e-04,6.604241e-04,6.530729e-04,6.516087e-04,6.457724e-04,6.385252e-04,6.372266e-04,6.313339e-04,6.242008e-04,6.230650e-04,6.171279e-04,6.101171e-04,6.091407e-04,6.031702e-04,5.962887e-04,5.954674e-04,5.894739e-04,5.827270e-04,5.820561e-04,5.760492e-04,5.694414e-04,5.689158e-04,5.629044e-04,5.564389e-04,5.560533e-04,5.500455e-04,5.437248e-04,5.434735e-04,5.374771e-04,5.313028e-04,5.311801e-04,5.252022e-04,5.191753e-04,5.074602e-04,4.960347e-04,4.848982e-04,4.740490e-04,4.634849e-04,4.532033e-04,4.432008e-04,4.334740e-04,4.240188e-04,4.148311e-04,4.059065e-04,3.972403e-04,3.888278e-04,3.806643e-04,3.727446e-04,3.650639e-04,3.576170e-04,3.503990e-04,3.434048e-04,3.366293e-04,3.300676e-04,3.237147e-04,3.175656e-04,3.116156e-04,3.058597e-04,3.002933e-04,2.949117e-04,2.897103e-04,2.846846e-04,2.798301e-04,2.751424e-04,2.706173e-04,2.662506e-04,2.620382e-04,2.579760e-04,2.540601e-04,2.502865e-04,2.466516e-04,2.431515e-04,2.397828e-04,2.365417e-04,2.334249e-04,2.304289e-04,2.275505e-04,2.247863e-04,2.221332e-04,2.195881e-04,2.171479e-04,2.148098e-04
0.000000e+00,9.247997e-08,2.447160e-06,2.578145e-06,2.183589e-05,8.970287e-05,9.419139e-05,2.606935e-04,5.118496e-04,5.305335e-04,8.749797e-04,1.225611e-03,1.256805e-03,1.648244e-03,1.994295e-03,2.031998e-03,2.398187e-03,2.701718e-03,2.741636e-03,3.060047e-03,3.313383e-03,3.352840e-03,3.620432e-03,3.826439e-03,3.863801e-03,4.084214e-03,4.248804e-03,4.283073e-03,4.461813e-03,4.591273e-03,4.621850e-03,4.764546e-03,4.864646e-03,4.891195e-03,5.003012e-03,5.078777e-03,5.101136e-03,5.186626e-03,5.242338e-03,5.260468e-03,5.323574e-03,5.362840e-03,5.376791e-03,5.420903e-03,5.446756e-03,5.456638e-03,5.484667e-03,5.499645e-03,5.505613e-03,5.520052e-03,5.526279e-03,5.528518e-03,5.531505e-03,5.530753e-03,5.529469e-03,5.522835e-03,5.516585e-03,5.511994e-03,5.497308e-03,5.486793e-03,5.479114e-03,5.457723e-03,5.443965e-03,5.433422e-03,5.406476e-03,5.390325e-03,5.377134e-03,5.345622e-03,5.327778e-03,5.312151e-03,5.276916e-03,5.257957e-03,5.240098e-03,5.201862e-03,5.182262e-03,5.162364e-03,5.121745e-03,5.101889e-03,5.080137e-03,5.037661e-03,5.017862e-03,4.994429e-03,4.950545e-03,4.931054e-03,4.906104e-03,4.861194e-03,4.842211e-03,4.815895e-03,4.770284e-03,4.751967e-03,4.724428e-03,4.678391e-03,4.660861e-03,4.632231e-03,4.586001e-03,4.569351e-03,4.539751e-03,4.493526e-03,4.477822e-03,4.447367e-03,4.401311e-03,4.386602e-03,4.355395e-03,4.309649e-03,4.295963e-03,4.264102e-03,4.218782e-03,4.206136e-03,4.173711e-03,4.128911e-03,4.117311e-03,4.084404e-03,4.040206e-03,4.029646e-03,3.996334e-03,3.952802e-03,3.943272e-03,3.909624e-03,3.866812e-03,3.858294e-03,3.824375e-03,3.782324e-03,3.774797e-03,3.740667e-03,3.699411e-03,3.692848e-03,3.658563e-03,3.618127e-03,3.612500e-03,3.578110e-03,3.538514e-03,3.533791e-03,3.499343e-03,3.460600e-03,3.456749e-03,3.422287e-03,3.384406e-03,3.381394e-03,3.346958e-03,3.309943e-03,3.307736e-03,3.273363e-03,3.237216e-03,3.235780e-03,3.201504e-03,3.166224e-03,3.165523e-03,3.131376e-03,3.096960e-03,3.030079e-03,2.964868e-03,2.901309e-03,2.839383e-03,2.779069e-03,2.720345e-03,2.663187e-03,2.607571e-03,2.553470e-03,2.500859e-03,2.449711e-03,2.400000e-03,2.351698e-03,2.304779e-03,2.259215e-03,2.214981e-03,2.172048e-03,2.130391e-03,2.089984e-03,2.050799e-03,2.012812e-03,1.975997e-03,1.940329e-03,1.905783e-03,1.872334e-03,1.839960e-03,1.808635e-03,1.778338e-03,1.749044e-03,1.720731e-03,1.693376e-03,1.666959e-03,1.641457e-03,1.616849e-03,1.593114e-03,1.570231e-03,1.548181e-03,1.526943e-03,1.506498e-03,1.486826e-03,1.467907e-03,1.449725e-03,1.432259e-03,1.415492e-03,1.399405e-03,1.383981e-03,1.369203e-03,1.355053e-03,1.341515e-03
0.000000e+00,3.766308e-08,1.071606e-06,1.130159e-06,9.358309e-06,3.249217e-05,3.376710e-05,6.905441e-05,1.035644e-04,1.057453e-04,1.414524e-04,1.731321e-04,1.758323e-04,2.088490e-04,2.374109e-04,2.405178e-04,2.708643e-04,2.964983e-04,2.999173e-04,3.277076e-04,3.506216e-04,3.542671e-04,3.796288e-04,4.000315e-04,4.038263e-04,4.268934e-04,4.449887e-04,4.488640e-04,4.697714e-04,4.857541e-04,4.896487e-04,5.085287e-04,5.225830e-04,5.264429e-04,5.434226e-04,5.557210e-04,5.594983e-04,5.746996e-04,5.854028e-04,5.890556e-04,6.025945e-04,6.118522e-04,6.153440e-04,6.273310e-04,6.352821e-04,6.385815e-04,6.491209e-04,6.558942e-04,6.589740e-04,6.681649e-04,6.738794e-04,6.767168e-04,6.846524e-04,6.894181e-04,6.919939e-04,6.987627e-04,7.026808e-04,7.049795e-04,7.106645e-04,7.138285e-04,7.158374e-04,7.205173e-04,7.230130e-04,7.247225e-04,7.284711e-04,7.303773e-04,7.317803e-04,7.346672e-04,7.360562e-04,7.371480e-04,7.392386e-04,7.401766e-04,7.409544e-04,7.423104e-04,7.428579e-04,7.433209e-04,7.440000e-04,7.442122e-04,7.443613e-04,7.444179e-04,7.443451e-04,7.441826e-04,7.436677e-04,7.433557e-04,7.428853e-04,7.418468e-04,7.413370e-04,7.405635e-04,7.390462e-04,7.383762e-04,7.373055e-04,7.353516e-04,7.345552e-04,7.331942e-04,7.308429e-04,7.299508e-04,7.283070e-04,7.255953e-04,7.246348e-04,7.227164e-04,7.196787e-04,7.186744e-04,7.164903e-04,7.131589e-04,7.121328e-04,7.096921e-04,7.060971e-04,7.050686e-04,7.023811e-04,6.985507e-04,6.975368e-04,6.946125e-04,6.905729e-04,6.895890e-04,6.864380e-04,6.822137e-04,6.812729e-04,6.779057e-04,6.735194e-04,6.726333e-04,6.690603e-04,6.645334e-04,6.637118e-04,6.599437e-04,6.552958e-04,6.545471e-04,6.505945e-04,6.458441e-04,6.451754e-04,6.410489e-04,6.362129e-04,6.356301e-04,6.313402e-04,6.264345e-04,6.259423e-04,6.214996e-04,6.165388e-04,6.161410e-04,6.115557e-04,6.065534e-04,6.062528e-04,6.015352e-04,5.965039e-04,5.963024e-04,5.914626e-04,5.864139e-04,5.863129e-04,5.813606e-04,5.763052e-04,5.662988e-04,5.563116e-04,5.463601e-04,5.364593e-04,5.266232e-04,5.168641e-04,5.071938e-04,4.976225e-04,4.881598e-04,4.788141e-04,4.695932e-04,4.605039e-04,4.515523e-04,4.427439e-04,4.340833e-04,4.255749e-04,4.172222e-04,4.090282e-04,4.009955e-04,3.931263e-04,3.854223e-04,3.778847e-04,3.705146e-04,3.633125e-04,3.562788e-04,3.494134e-04,3.427162e-04,3.361866e-04,3.298240e-04,3.236274e-04,3.175957e-04,3.117277e-04,3.060219e-04,3.004767e-04,2.950905e-04,2.898614e-04,2.847875e-04,2.798668e-04,2.750971e-04,2.704763e-04,2.660021e-04,2.616723e-04,2.574844e-04,2.534360e-04,2.495248e-04,2.457481e-04,2.421035e-04,2.385884e-04,2.352004e-04
0.000000e+00,4.077903e-08,7.768407e-07,8.144029e-07,5.940631e-06,2.351631e-05,2.468109e-05,6.824992e-05,1.343637e-04,1.392519e-04,2.272869e-04,3.113612e-04,3.185408e-04,4.045601e-04,4.747143e-04,4.820483e-04,5.503244e-04,6.030591e-04,6.097436e-04,6.610027e-04,6.991465e-04,7.048716e-04,7.420976e-04,7.687439e-04,7.733756e-04,7.993410e-04,8.170745e-04,8.205702e-04,8.375841e-04,8.484771e-04,8.508519e-04,8.607958e-04,8.664900e-04,8.677950e-04,8.721901e-04,8.739784e-04,8.742875e-04,8.743624e-04,8.732620e-04,8.726617e-04,8.694051e-04,8.662084e-04,8.647896e-04,8.589913e-04,8.543142e-04,8.521685e-04,8.444624e-04,8.387821e-04,8.359982e-04,8.268884e-04,8.205713e-04,8.172330e-04,8.071212e-04,8.004471e-04,7.966324e-04,7.858372e-04,7.790181e-04,7.747982e-04,7.635711e-04,7.567651e-04,7.522048e-04,7.407429e-04,7.340666e-04,7.292239e-04,7.176817e-04,7.112192e-04,7.061462e-04,6.946435e-04,6.884539e-04,6.831966e-04,6.718255e-04,6.659482e-04,6.605474e-04,6.493774e-04,6.438371e-04,6.383286e-04,6.274119e-04,6.222217e-04,6.166369e-04,6.060114e-04,6.011759e-04,5.955423e-04,5.852348e-04,5.807520e-04,5.750936e-04,5.651220e-04,5.609852e-04,5.553228e-04,5.456980e-04,5.418972e-04,5.362488e-04,5.269761e-04,5.234988e-04,5.178801e-04,5.089607e-04,5.057928e-04,5.002172e-04,4.916490e-04,4.887754e-04,4.832546e-04,4.750327e-04,4.724379e-04,4.669817e-04,4.590996e-04,4.567676e-04,4.513845e-04,4.438342e-04,4.417493e-04,4.364464e-04,4.292187e-04,4.273655e-04,4.221488e-04,4.152340e-04,4.135973e-04,4.084719e-04,4.018597e-04,4.004249e-04,3.953950e-04,3.890750e-04,3.878281e-04,3.828971e-04,3.768585e-04,3.757862e-04,3.709567e-04,3.651890e-04,3.642785e-04,3.595528e-04,3.540453e-04,3.532844e-04,3.486641e-04,3.434065e-04,3.427838e-04,3.382701e-04,3.332522e-04,3.327568e-04,3.283504e-04,3.235622e-04,3.231840e-04,3.188853e-04,3.143172e-04,3.140466e-04,3.098557e-04,3.054984e-04,3.053262e-04,3.012430e-04,2.970873e-04,2.970052e-04,2.930292e-04,2.890665e-04,2.814936e-04,2.742706e-04,2.673823e-04,2.608140e-04,2.545517e-04,2.485818e-04,2.428913e-04,2.374680e-04,2.322999e-04,2.273756e-04,2.226842e-04,2.182154e-04,2.139591e-04,2.099059e-04,2.060465e-04,2.023723e-04,1.988749e-04,1.955464e-04,1.923792e-04,1.893658e-04,1.864995e-04,1.837735e-04,1.811814e-04,1.787172e-04,1.763751e-04,1.741495e-04,1.720352e-04,1.700269e-04,1.681200e-04,1.663097e-04,1.645917e-04,1.629617e-04,1.614157e-04,1.599498e-04,1.585603e-04,1.572437e-04,1.559967e-04,1.548161e-04,1.536986e-04,1.526416e-04,1.516420e-04,1.506973e-04,1.498048e-04,1.489622e-04,1.481671e-04,1.474173e-04,1.467107e-04,1.460451e-04,1.454188e-04
0.000000e+00,3.389907e-09,5.690136e-08,5.958129e-08,3.886388e-07,1.242810e-06,1.289833e-06,2.603825e-06,3.875502e-06,3.954463e-06,5.216285e-06,6.282123e-06,6.370515e-06,7.419412e-06,8.278435e-06,8.369135e-06,9.226310e-06,9.909145e-06,9.997319e-06,1.068818e-05,1.122254e-05,1.130456e-05,1.185180e-05,1.226178e-05,1.233499e-05,1.275889e-05,1.306544e-05,1.312804e-05,1.344669e-05,1.366795e-05,1.371884e-05,1.394824e-05,1.409977e-05,1.413840e-05,1.429259e-05,1.438760e-05,1.441386e-05,1.450504e-05,1.455468e-05,1.456873e-05,1.460736e-05,1.462092e-05,1.462317e-05,1.461828e-05,1.460359e-05,1.459464e-05,1.455405e-05,1.451760e-05,1.449814e-05,1.442844e-05,1.437557e-05,1.434635e-05,1.425314e-05,1.418820e-05,1.415000e-05,1.403804e-05,1.396462e-05,1.391823e-05,1.379152e-05,1.371253e-05,1.365874e-05,1.352067e-05,1.343844e-05,1.337802e-05,1.323145e-05,1.314789e-05,1.308157e-05,1.292891e-05,1.284550e-05,1.277398e-05,1.261724e-05,1.253516e-05,1.245911e-05,1.229996e-05,1.222011e-05,1.214014e-05,1.197997e-05,1.190305e-05,1.181974e-05,1.165969e-05,1.158620e-05,1.150007e-05,1.134110e-05,1.127140e-05,1.118295e-05,1.102581e-05,1.096014e-05,1.086982e-05,1.071513e-05,1.065365e-05,1.056186e-05,1.041012e-05,1.035288e-05,1.026001e-05,1.011161e-05,1.005861e-05,9.964988e-06,9.820221e-06,9.771432e-06,9.677361e-06,9.536454e-06,9.491783e-06,9.397540e-06,9.260655e-06,9.219988e-06,9.125823e-06,8.993066e-06,8.956269e-06,8.862401e-06,8.733838e-06,8.700757e-06,8.607385e-06,8.483044e-06,8.453516e-06,8.360815e-06,8.240693e-06,8.214549e-06,8.122673e-06,8.006744e-06,7.983808e-06,7.892895e-06,7.781111e-06,7.761209e-06,7.671378e-06,7.563677e-06,7.546632e-06,7.457989e-06,7.354294e-06,7.339934e-06,7.252569e-06,7.152793e-06,7.140950e-06,7.054942e-06,6.958990e-06,6.949499e-06,6.864914e-06,6.772686e-06,6.765387e-06,6.682282e-06,6.593674e-06,6.588414e-06,6.506835e-06,6.421739e-06,6.418371e-06,6.338357e-06,6.256663e-06,6.255046e-06,6.176629e-06,6.098226e-06,5.947697e-06,5.803244e-06,5.664658e-06,5.531730e-06,5.404255e-06,5.282032e-06,5.164866e-06,5.052564e-06,4.944942e-06,4.841818e-06,4.743017e-06,4.648369e-06,4.557711e-06,4.470882e-06,4.387729e-06,4.308105e-06,4.231867e-06,4.158876e-06,4.089001e-06,4.022115e-06,3.958093e-06,3.896818e-06,3.838177e-06,3.782061e-06,3.728363e-06,3.676985e-06,3.627829e-06,3.580802e-06,3.535815e-06,3.492782e-06,3.451622e-06,3.412254e-06,3.374604e-06,3.338600e-06,3.304170e-06,3.271249e-06,3.239773e-06,3.209679e-06,3.180910e-06,3.153408e-06,3.127120e-06,3.101993e-06,3.077978e-06,3.055026e-06,3.033093e-06,3.012134e-06,2.992108e-06,2.972973e-06,2.954692e-06
0.000000e+00,4.443597e-06,8.906276e-05,9.343692e-05,7.203416e-04,3.116382e-03,3.284220e-03,1.006553e-02,2.167690e-02,2.259229e-02,4.060471e-02,6.107864e-02,6.300397e-02,8.863033e-02,1.136073e-01,1.164644e-01,1.456511e-01,1.718916e-01,1.754859e-01,2.053954e-01,2.308234e-01,2.349189e-01,2.636911e-01,2.870694e-01,2.914282e-01,3.179149e-01,3.385889e-01,3.429937e-01,3.665554e-01,3.842649e-01,3.885309e-01,4.088839e-01,4.236261e-01,4.276050e-01,4.447064e-01,4.566378e-01,4.602176e-01,4.741811e-01,4.835485e-01,4.866498e-01,4.976840e-01,5.047770e-01,5.073492e-01,5.157144e-01,5.208343e-01,5.228502e-01,5.288280e-01,5.322678e-01,5.337189e-01,5.375927e-01,5.396255e-01,5.405177e-01,5.425599e-01,5.434330e-01,5.437827e-01,5.442471e-01,5.441796e-01,5.440108e-01,5.431290e-01,5.423119e-01,5.416538e-01,5.396343e-01,5.382320e-01,5.371169e-01,5.341449e-01,5.322974e-01,5.307593e-01,5.269983e-01,5.248240e-01,5.228977e-01,5.184908e-01,5.160886e-01,5.138089e-01,5.088811e-01,5.063335e-01,5.037344e-01,4.983942e-01,4.957692e-01,4.928840e-01,4.872256e-01,4.845786e-01,4.814392e-01,4.755439e-01,4.729199e-01,4.695570e-01,4.634949e-01,4.609300e-01,4.573725e-01,4.512038e-01,4.487263e-01,4.450017e-01,4.387782e-01,4.364100e-01,4.325443e-01,4.263100e-01,4.240675e-01,4.200849e-01,4.138776e-01,4.117725e-01,4.076959e-01,4.015473e-01,3.995878e-01,3.954384e-01,3.893753e-01,3.875661e-01,3.833636e-01,3.774085e-01,3.757519e-01,3.715146e-01,3.656861e-01,3.641819e-01,3.599269e-01,3.542403e-01,3.528867e-01,3.486296e-01,3.430974e-01,3.418911e-01,3.376463e-01,3.322785e-01,3.312151e-01,3.269958e-01,3.218000e-01,3.208741e-01,3.166926e-01,3.116747e-01,3.108802e-01,3.067475e-01,3.019118e-01,3.012422e-01,2.971684e-01,2.925177e-01,2.919659e-01,2.879602e-01,2.834961e-01,2.830549e-01,2.791257e-01,2.748488e-01,2.745107e-01,2.706655e-01,2.665755e-01,2.663330e-01,2.625785e-01,2.586743e-01,2.585201e-01,2.548623e-01,2.511421e-01,2.510687e-01,2.475131e-01,2.439745e-01,2.372325e-01,2.308365e-01,2.247797e-01,2.190548e-01,2.136540e-01,2.085690e-01,2.037911e-01,1.993113e-01,1.951204e-01,1.912090e-01,1.875674e-01,1.841861e-01,1.810550e-01,1.781643e-01,1.755040e-01,1.730642e-01,1.708347e-01,1.688058e-01,1.669674e-01,1.653097e-01,1.638230e-01,1.624976e-01,1.613239e-01,1.602928e-01,1.593949e-01,1.586212e-01,1.579630e-01,1.574116e-01,1.569589e-01,1.565966e-01,1.563169e-01,1.561125e-01,1.559759e-01,1.559002e-01,1.558789e-01,1.559055e-01,1.559742e-01,1.560791e-01,1.562151e-01,1.563769e-01,1.565601e-01,1.567601e-01,1.569729e-01,1.571948e-01,1.574223e-01,1.576522e-01,1.578818e-01,1.581083e-01,1.583296e-01
0.000000e+00,5.622733e-08,1.057464e-06,1.108279e-06,7.543814e-06,2.563988e-05,2.670137e-05,5.919004e-05,9.400036e-05,9.620972e-05,1.317940e-04,1.620194e-04,1.645282e-04,1.943060e-04,2.186885e-04,2.212620e-04,2.455691e-04,2.649067e-04,2.674016e-04,2.869294e-04,3.020047e-04,3.043158e-04,3.197174e-04,3.312299e-04,3.332829e-04,3.451535e-04,3.537161e-04,3.554620e-04,3.643331e-04,3.704735e-04,3.718831e-04,3.782210e-04,3.823883e-04,3.834478e-04,3.876575e-04,3.902306e-04,3.909374e-04,3.933682e-04,3.946647e-04,3.950250e-04,3.959770e-04,3.962622e-04,3.962884e-04,3.960184e-04,3.955130e-04,3.952219e-04,3.939494e-04,3.928362e-04,3.922476e-04,3.901596e-04,3.885894e-04,3.877252e-04,3.849808e-04,3.830774e-04,3.819601e-04,3.786943e-04,3.765589e-04,3.752117e-04,3.715387e-04,3.692536e-04,3.676994e-04,3.637158e-04,3.613472e-04,3.596082e-04,3.553953e-04,3.529965e-04,3.510942e-04,3.467203e-04,3.443333e-04,3.422881e-04,3.378104e-04,3.354681e-04,3.332993e-04,3.287654e-04,3.264931e-04,3.242188e-04,3.196683e-04,3.174851e-04,3.151220e-04,3.105874e-04,3.085073e-04,3.060711e-04,3.015790e-04,2.996116e-04,2.971167e-04,2.926888e-04,2.908405e-04,2.882999e-04,2.839537e-04,2.822279e-04,2.796536e-04,2.754028e-04,2.738009e-04,2.712038e-04,2.670591e-04,2.655806e-04,2.629706e-04,2.589401e-04,2.575832e-04,2.549691e-04,2.510589e-04,2.498206e-04,2.472104e-04,2.434246e-04,2.423012e-04,2.397021e-04,2.360433e-04,2.350303e-04,2.324486e-04,2.289182e-04,2.280108e-04,2.254521e-04,2.220505e-04,2.212436e-04,2.187129e-04,2.154394e-04,2.147278e-04,2.122295e-04,2.090828e-04,2.084611e-04,2.059990e-04,2.029774e-04,2.024400e-04,2.000174e-04,1.971186e-04,1.966604e-04,1.942801e-04,1.915013e-04,1.911170e-04,1.887814e-04,1.861197e-04,1.858042e-04,1.835155e-04,1.809677e-04,1.807160e-04,1.784758e-04,1.760387e-04,1.758460e-04,1.736556e-04,1.713257e-04,1.711876e-04,1.690481e-04,1.668219e-04,1.667339e-04,1.646462e-04,1.625202e-04,1.624782e-04,1.604429e-04,1.584135e-04,1.545330e-04,1.508299e-04,1.472975e-04,1.439293e-04,1.407187e-04,1.376594e-04,1.347454e-04,1.319707e-04,1.293294e-04,1.268160e-04,1.244251e-04,1.221513e-04,1.199897e-04,1.179354e-04,1.159837e-04,1.141300e-04,1.123702e-04,1.106998e-04,1.091151e-04,1.076120e-04,1.061870e-04,1.048365e-04,1.035571e-04,1.023456e-04,1.011988e-04,1.001138e-04,9.908770e-05,9.811777e-05,9.720140e-05,9.633609e-05,9.551945e-05,9.474918e-05,9.402309e-05,9.333909e-05,9.269518e-05,9.208943e-05,9.152003e-05,9.098521e-05,9.048330e-05,9.001271e-05,8.957192e-05,8.915945e-05,8.877391e-05,8.841399e-05,8.807839e-05,8.776591e-05,8.747538e-05,8.720570e-05,8.695582e-05
0.000000e+00,7.831113e-07,1.298933e-05,1.356522e-05,8.474123e-05,3.220730e-04,3.381789e-04,9.859751e-04,2.148844e-03,2.243996e-03,4.195697e-03,6.519902e-03,6.740823e-03,9.679140e-03,1.249317e-02,1.280997e-02,1.597198e-02,1.868564e-02,1.904707e-02,2.195384e-02,2.427839e-02,2.463979e-02,2.707439e-02,2.891448e-02,2.924348e-02,3.114479e-02,3.250820e-02,3.278452e-02,3.417459e-02,3.511733e-02,3.533066e-02,3.627055e-02,3.686570e-02,3.701311e-02,3.757737e-02,3.789845e-02,3.798196e-02,3.824471e-02,3.835772e-02,3.838236e-02,3.841040e-02,3.837075e-02,3.834304e-02,3.819312e-02,3.804530e-02,3.797221e-02,3.769062e-02,3.746917e-02,3.735746e-02,3.698079e-02,3.671182e-02,3.656766e-02,3.612420e-02,3.582698e-02,3.565578e-02,3.516701e-02,3.485554e-02,3.466190e-02,3.414390e-02,3.382816e-02,3.361597e-02,3.308066e-02,3.276767e-02,3.254016e-02,3.199638e-02,3.169105e-02,3.145094e-02,3.090524e-02,3.061088e-02,3.036048e-02,2.981772e-02,2.953658e-02,2.927786e-02,2.874169e-02,2.847521e-02,2.820990e-02,2.768308e-02,2.743213e-02,2.716175e-02,2.664638e-02,2.641141e-02,2.613735e-02,2.563503e-02,2.541621e-02,2.513971e-02,2.465168e-02,2.444893e-02,2.417115e-02,2.369834e-02,2.351141e-02,2.323341e-02,2.277652e-02,2.260504e-02,2.232780e-02,2.188734e-02,2.173082e-02,2.145524e-02,2.103156e-02,2.088944e-02,2.061636e-02,2.020965e-02,2.008131e-02,1.981148e-02,1.942184e-02,1.930662e-02,1.904074e-02,1.866815e-02,1.856535e-02,1.830405e-02,1.794841e-02,1.785732e-02,1.760118e-02,1.726232e-02,1.718223e-02,1.693176e-02,1.660943e-02,1.653962e-02,1.629527e-02,1.598921e-02,1.592896e-02,1.569115e-02,1.540101e-02,1.534962e-02,1.511871e-02,1.484414e-02,1.480093e-02,1.457723e-02,1.431785e-02,1.428214e-02,1.406592e-02,1.382134e-02,1.379248e-02,1.358399e-02,1.335377e-02,1.333113e-02,1.313057e-02,1.291429e-02,1.289728e-02,1.270481e-02,1.250203e-02,1.249007e-02,1.230583e-02,1.211611e-02,1.210866e-02,1.193275e-02,1.175565e-02,1.175217e-02,1.158469e-02,1.141976e-02,1.111056e-02,1.082371e-02,1.055838e-02,1.031371e-02,1.008888e-02,9.883057e-03,9.695420e-03,9.525161e-03,9.371480e-03,9.233584e-03,9.110693e-03,9.002031e-03,8.906834e-03,8.824349e-03,8.753831e-03,8.694547e-03,8.645776e-03,8.606810e-03,8.576952e-03,8.555521e-03,8.541850e-03,8.535290e-03,8.535208e-03,8.540989e-03,8.552038e-03,8.567782e-03,8.587668e-03,8.611166e-03,8.637770e-03,8.666997e-03,8.698390e-03,8.731517e-03,8.765972e-03,8.801375e-03,8.837373e-03,8.873638e-03,8.909869e-03,8.945792e-03,8.981156e-03,9.015737e-03,9.049336e-03,9.081774e-03,9.112900e-03,9.142580e-03,9.170704e-03,9.197182e-03,9.221942e-03,9.244928e-03,9.266104e-03
0.000000e+00,5.396530e-09,7.326004e-08,7.644118e-08,4.455703e-07,1.429433e-06,1.487279e-06,3.318678e-06,5.421176e-06,5.558296e-06,7.804190e-06,9.749673e-06,9.912298e-06,1.185440e-05,1.346082e-05,1.363127e-05,1.525036e-05,1.655179e-05,1.672067e-05,1.805130e-05,1.909070e-05,1.925112e-05,2.032866e-05,2.114523e-05,2.129200e-05,2.214862e-05,2.277661e-05,2.290592e-05,2.357097e-05,2.404111e-05,2.415047e-05,2.465070e-05,2.498967e-05,2.507757e-05,2.543664e-05,2.566740e-05,2.573311e-05,2.597183e-05,2.611399e-05,2.615734e-05,2.629391e-05,2.636416e-05,2.638549e-05,2.643577e-05,2.644826e-05,2.644822e-05,2.642604e-05,2.639271e-05,2.637222e-05,2.628956e-05,2.622047e-05,2.618065e-05,2.604790e-05,2.595148e-05,2.589356e-05,2.571970e-05,2.560297e-05,2.552828e-05,2.532107e-05,2.518987e-05,2.509975e-05,2.486587e-05,2.472503e-05,2.462086e-05,2.436604e-05,2.421952e-05,2.410265e-05,2.383182e-05,2.368285e-05,2.355460e-05,2.327195e-05,2.312314e-05,2.298479e-05,2.269392e-05,2.254734e-05,2.240012e-05,2.210408e-05,2.196137e-05,2.180644e-05,2.150779e-05,2.137023e-05,2.120868e-05,2.090960e-05,2.077813e-05,2.061100e-05,2.031330e-05,2.018863e-05,2.001688e-05,1.972208e-05,1.960468e-05,1.942920e-05,1.913853e-05,1.902871e-05,1.885033e-05,1.856483e-05,1.846275e-05,1.828222e-05,1.800270e-05,1.790839e-05,1.772642e-05,1.745353e-05,1.736694e-05,1.718416e-05,1.691841e-05,1.683941e-05,1.665639e-05,1.639818e-05,1.632657e-05,1.614384e-05,1.589344e-05,1.582899e-05,1.564702e-05,1.540462e-05,1.534704e-05,1.516626e-05,1.493197e-05,1.488097e-05,1.470176e-05,1.447563e-05,1.443089e-05,1.425358e-05,1.403560e-05,1.399680e-05,1.382168e-05,1.361181e-05,1.357860e-05,1.340596e-05,1.320410e-05,1.317615e-05,1.300620e-05,1.281223e-05,1.278922e-05,1.262216e-05,1.243594e-05,1.241753e-05,1.225353e-05,1.207490e-05,1.206077e-05,1.189998e-05,1.172875e-05,1.171859e-05,1.156114e-05,1.139711e-05,1.139062e-05,1.123660e-05,1.107958e-05,1.107647e-05,1.092597e-05,1.077574e-05,1.048800e-05,1.021285e-05,9.949848e-06,9.698585e-06,9.458637e-06,9.229592e-06,9.011040e-06,8.802579e-06,8.603817e-06,8.414369e-06,8.233860e-06,8.061928e-06,7.898219e-06,7.742391e-06,7.594112e-06,7.453062e-06,7.318932e-06,7.191424e-06,7.070250e-06,6.955133e-06,6.845806e-06,6.742014e-06,6.643510e-06,6.550058e-06,6.461431e-06,6.377412e-06,6.297790e-06,6.222367e-06,6.150949e-06,6.083354e-06,6.019405e-06,5.958933e-06,5.901777e-06,5.847783e-06,5.796802e-06,5.748693e-06,5.703322e-06,5.660557e-06,5.620277e-06,5.582363e-06,5.546701e-06,5.513183e-06,5.481707e-06,5.452174e-06,5.424489e-06,5.398563e-06,5.374309e-06,5.351645e-06,5.330494e-06
0.000000e+00,7.348458e-09,1.308139e-07,1.369301e-07,8.532579e-07,2.632943e-06,2.731515e-06,5.573060e-06,8.407434e-06,8.583468e-06,1.137718e-05,1.369660e-05,1.388696e-05,1.611989e-05,1.790947e-05,1.809617e-05,1.983727e-05,2.119118e-05,2.136366e-05,2.269446e-05,2.369608e-05,2.384742e-05,2.483896e-05,2.555824e-05,2.568425e-05,2.639722e-05,2.689214e-05,2.699067e-05,2.747631e-05,2.779440e-05,2.786482e-05,2.816595e-05,2.834593e-05,2.838860e-05,2.854085e-05,2.861401e-05,2.863004e-05,2.866284e-05,2.865441e-05,2.864534e-05,2.858301e-05,2.851320e-05,2.848086e-05,2.834340e-05,2.822839e-05,2.817474e-05,2.797859e-05,2.783123e-05,2.775830e-05,2.751693e-05,2.734741e-05,2.725721e-05,2.698162e-05,2.679796e-05,2.669240e-05,2.639160e-05,2.620009e-05,2.608104e-05,2.576238e-05,2.556791e-05,2.543709e-05,2.510649e-05,2.491279e-05,2.477180e-05,2.443409e-05,2.424402e-05,2.409433e-05,2.375340e-05,2.356908e-05,2.341205e-05,2.307098e-05,2.289394e-05,2.273080e-05,2.239207e-05,2.222340e-05,2.205527e-05,2.172083e-05,2.156124e-05,2.138912e-05,2.106048e-05,2.091041e-05,2.073519e-05,2.041353e-05,2.027319e-05,2.009569e-05,1.978187e-05,1.965130e-05,1.947222e-05,1.916689e-05,1.904600e-05,1.886599e-05,1.856961e-05,1.845819e-05,1.827783e-05,1.799070e-05,1.788848e-05,1.770827e-05,1.743057e-05,1.733723e-05,1.715762e-05,1.688942e-05,1.680460e-05,1.662598e-05,1.636728e-05,1.629060e-05,1.611331e-05,1.586405e-05,1.579509e-05,1.561946e-05,1.537951e-05,1.531788e-05,1.514416e-05,1.491336e-05,1.485865e-05,1.468708e-05,1.446525e-05,1.441705e-05,1.424783e-05,1.403477e-05,1.399267e-05,1.382599e-05,1.362145e-05,1.358508e-05,1.342109e-05,1.322484e-05,1.319382e-05,1.303264e-05,1.284443e-05,1.281840e-05,1.266015e-05,1.247973e-05,1.245834e-05,1.230311e-05,1.213023e-05,1.211314e-05,1.196102e-05,1.179541e-05,1.178232e-05,1.163336e-05,1.147478e-05,1.146538e-05,1.131963e-05,1.116783e-05,1.116183e-05,1.101933e-05,1.087407e-05,1.087120e-05,1.073198e-05,1.059301e-05,1.032682e-05,1.007217e-05,9.828631e-06,9.595774e-06,9.373192e-06,9.160486e-06,8.957272e-06,8.763178e-06,8.577845e-06,8.400925e-06,8.232084e-06,8.070999e-06,7.917359e-06,7.770864e-06,7.631225e-06,7.498165e-06,7.371415e-06,7.250719e-06,7.135827e-06,7.026503e-06,6.922516e-06,6.823645e-06,6.729679e-06,6.640414e-06,6.555653e-06,6.475208e-06,6.398898e-06,6.326548e-06,6.257991e-06,6.193065e-06,6.131617e-06,6.073498e-06,6.018563e-06,5.966677e-06,5.917708e-06,5.871528e-06,5.828015e-06,5.787054e-06,5.748531e-06,5.712338e-06,5.678373e-06,5.646534e-06,5.616727e-06,5.588860e-06,5.562844e-06,5.538595e-06,5.516031e-06,5.495075e-06,5.475652e-06
0.000000e+00,6.807626e-09,8.344459e-08,8.693867e-08,4.906154e-07,1.608878e-06,1.676718e-06,3.946391e-06,6.822678e-06,7.018068e-06,1.030205e-05,1.323240e-05,1.348009e-05,1.646935e-05,1.898760e-05,1.925741e-05,2.184810e-05,2.397063e-05,2.424899e-05,2.646855e-05,2.823891e-05,2.851539e-05,3.039808e-05,3.185885e-05,3.212505e-05,3.370451e-05,3.489521e-05,3.514445e-05,3.645254e-05,3.740906e-05,3.763618e-05,3.870246e-05,3.945707e-05,3.965817e-05,4.050977e-05,4.109115e-05,4.126342e-05,4.192500e-05,4.235860e-05,4.250012e-05,4.299410e-05,4.330236e-05,4.341198e-05,4.375849e-05,4.396101e-05,4.403814e-05,4.425519e-05,4.436912e-05,4.441373e-05,4.451762e-05,4.455804e-05,4.457052e-05,4.457591e-05,4.455595e-05,4.453708e-05,4.445723e-05,4.438848e-05,4.433942e-05,4.418641e-05,4.407880e-05,4.400081e-05,4.378512e-05,4.364715e-05,4.354166e-05,4.327263e-05,4.311159e-05,4.298012e-05,4.266610e-05,4.248824e-05,4.233242e-05,4.198080e-05,4.179142e-05,4.161290e-05,4.123025e-05,4.103386e-05,4.083432e-05,4.042648e-05,4.022687e-05,4.000801e-05,3.958013e-05,3.938046e-05,3.914398e-05,3.870061e-05,3.850350e-05,3.825103e-05,3.779618e-05,3.760378e-05,3.733693e-05,3.687411e-05,3.668815e-05,3.640849e-05,3.594078e-05,3.576265e-05,3.547167e-05,3.500177e-05,3.483253e-05,3.453167e-05,3.406192e-05,3.390237e-05,3.359301e-05,3.312543e-05,3.297615e-05,3.265959e-05,3.219592e-05,3.205729e-05,3.173477e-05,3.127650e-05,3.114875e-05,3.082142e-05,3.036983e-05,3.025302e-05,2.992199e-05,2.947814e-05,2.937224e-05,2.903852e-05,2.860332e-05,2.850819e-05,2.817273e-05,2.774692e-05,2.766234e-05,2.732603e-05,2.691020e-05,2.683590e-05,2.649955e-05,2.609419e-05,2.602983e-05,2.569420e-05,2.529968e-05,2.524488e-05,2.491068e-05,2.452726e-05,2.448163e-05,2.414948e-05,2.377737e-05,2.374047e-05,2.341096e-05,2.305027e-05,2.302166e-05,2.269531e-05,2.234610e-05,2.232533e-05,2.200263e-05,2.166490e-05,2.165151e-05,2.133288e-05,2.100658e-05,2.100011e-05,2.068595e-05,2.037098e-05,1.976390e-05,1.917857e-05,1.861466e-05,1.807178e-05,1.754951e-05,1.704742e-05,1.656502e-05,1.610183e-05,1.565734e-05,1.523104e-05,1.482241e-05,1.443092e-05,1.405605e-05,1.369728e-05,1.335408e-05,1.302594e-05,1.271235e-05,1.241281e-05,1.212681e-05,1.185389e-05,1.159356e-05,1.134537e-05,1.110885e-05,1.088358e-05,1.066911e-05,1.046505e-05,1.027097e-05,1.008649e-05,9.911230e-06,9.744819e-06,9.586902e-06,9.437134e-06,9.295182e-06,9.160723e-06,9.033449e-06,8.913058e-06,8.799262e-06,8.691782e-06,8.590350e-06,8.494708e-06,8.404607e-06,8.319808e-06,8.240079e-06,8.165199e-06,8.094955e-06,8.029142e-06,7.967563e-06,7.910028e-06,7.856356e-06
0.000000e+00,2.911102e-08,5.846585e-07,6.136020e-07,4.279750e-06,1.394626e-05,1.448310e-05,2.957445e-05,4.380944e-05,4.467010e-05,5.800191e-05,6.861232e-05,6.946434e-05,7.923411e-05,8.674510e-05,8.751102e-05,9.447941e-05,9.966001e-05,1.003034e-04,1.051281e-04,1.085760e-04,1.090813e-04,1.122754e-04,1.144444e-04,1.148091e-04,1.167689e-04,1.180013e-04,1.182307e-04,1.192611e-04,1.198139e-04,1.199179e-04,1.202520e-04,1.203174e-04,1.203078e-04,1.201241e-04,1.198452e-04,1.197346e-04,1.191689e-04,1.186520e-04,1.184526e-04,1.176084e-04,1.169323e-04,1.166557e-04,1.156117e-04,1.148347e-04,1.144915e-04,1.133079e-04,1.124728e-04,1.120724e-04,1.107947e-04,1.099326e-04,1.094835e-04,1.081462e-04,1.072797e-04,1.067893e-04,1.054183e-04,1.045633e-04,1.040380e-04,1.026528e-04,1.018209e-04,1.012663e-04,9.988154e-05,9.908029e-05,9.850129e-05,9.712786e-05,9.636248e-05,9.576325e-05,9.440915e-05,9.368284e-05,9.306704e-05,9.173813e-05,9.105267e-05,9.042348e-05,8.912393e-05,8.848006e-05,8.784022e-05,8.657293e-05,8.597061e-05,8.532254e-05,8.408945e-05,8.352811e-05,8.287394e-05,8.167624e-05,8.115493e-05,8.049651e-05,7.933485e-05,7.885236e-05,7.819132e-05,7.706593e-05,7.662085e-05,7.595866e-05,7.486945e-05,7.446027e-05,7.379822e-05,7.274486e-05,7.237000e-05,7.170925e-05,7.069126e-05,7.034912e-05,6.969071e-05,6.870744e-05,6.839641e-05,6.774127e-05,6.679200e-05,6.651049e-05,6.585945e-05,6.494340e-05,6.468983e-05,6.404365e-05,6.315998e-05,6.293284e-05,6.229218e-05,6.144004e-05,6.123784e-05,6.060334e-05,5.978185e-05,5.960314e-05,5.897536e-05,5.818364e-05,5.802705e-05,5.740648e-05,5.664365e-05,5.650785e-05,5.589494e-05,5.516014e-05,5.504384e-05,5.443901e-05,5.373136e-05,5.363335e-05,5.303697e-05,5.235563e-05,5.227473e-05,5.168713e-05,5.103126e-05,5.096636e-05,5.038782e-05,4.975662e-05,4.970664e-05,4.913744e-05,4.853010e-05,4.849403e-05,4.793439e-05,4.735014e-05,4.732701e-05,4.677714e-05,4.621522e-05,4.620409e-05,4.566418e-05,4.512385e-05,4.408489e-05,4.308583e-05,4.212536e-05,4.120220e-05,4.031510e-05,3.946284e-05,3.864425e-05,3.785820e-05,3.710359e-05,3.637933e-05,3.568440e-05,3.501778e-05,3.437852e-05,3.376565e-05,3.317828e-05,3.261550e-05,3.207648e-05,3.156036e-05,3.106637e-05,3.059370e-05,3.014161e-05,2.970938e-05,2.929628e-05,2.890165e-05,2.852481e-05,2.816512e-05,2.782197e-05,2.749476e-05,2.718289e-05,2.688581e-05,2.660298e-05,2.633387e-05,2.607796e-05,2.583476e-05,2.560380e-05,2.538460e-05,2.517673e-05,2.497976e-05,2.479325e-05,2.461681e-05,2.445005e-05,2.429258e-05,2.414403e-05,2.400406e-05,2.387232e-05,2.374848e-05,2.363221e-05,2.352320e-05,2.342117e-05
0.000000e+00,1.268672e-07,2.503820e-06,2.626137e-06,1.976618e-05,8.186333e-05,8.609387e-05,2.503613e-04,5.141108e-04,5.341813e-04,9.099780e-04,1.297444e-03,1.331942e-03,1.763189e-03,2.139473e-03,2.180065e-03,2.569038e-03,2.882703e-03,2.923257e-03,3.240040e-03,3.482359e-03,3.519217e-03,3.762076e-03,3.939528e-03,3.970709e-03,4.147602e-03,4.270816e-03,4.295388e-03,4.416696e-03,4.496387e-03,4.514063e-03,4.589888e-03,4.635520e-03,4.646405e-03,4.685678e-03,4.705165e-03,4.709602e-03,4.719908e-03,4.719696e-03,4.718166e-03,4.705799e-03,4.691043e-03,4.684093e-03,4.654211e-03,4.628994e-03,4.617201e-03,4.574007e-03,4.541539e-03,4.525477e-03,4.472375e-03,4.435157e-03,4.415382e-03,4.355113e-03,4.315078e-03,4.292117e-03,4.226886e-03,4.185515e-03,4.159859e-03,4.091428e-03,4.049842e-03,4.021941e-03,3.951711e-03,3.910746e-03,3.881012e-03,3.810091e-03,3.770359e-03,3.739163e-03,3.668421e-03,3.630357e-03,3.598032e-03,3.528144e-03,3.492044e-03,3.458886e-03,3.390371e-03,3.356423e-03,3.322697e-03,3.255946e-03,3.224255e-03,3.190191e-03,3.125492e-03,3.096100e-03,3.061901e-03,2.999459e-03,2.972358e-03,2.938201e-03,2.878155e-03,2.853302e-03,2.819340e-03,2.761774e-03,2.739099e-03,2.705465e-03,2.650421e-03,2.629836e-03,2.596643e-03,2.544129e-03,2.525533e-03,2.492875e-03,2.442874e-03,2.426157e-03,2.394116e-03,2.346590e-03,2.331639e-03,2.300281e-03,2.255175e-03,2.241875e-03,2.211255e-03,2.168503e-03,2.156740e-03,2.126902e-03,2.086430e-03,2.076091e-03,2.047070e-03,2.008798e-03,1.999773e-03,1.971596e-03,1.935440e-03,1.927624e-03,1.900310e-03,1.866183e-03,1.859476e-03,1.833038e-03,1.800852e-03,1.795159e-03,1.769604e-03,1.739273e-03,1.734503e-03,1.709835e-03,1.681270e-03,1.677340e-03,1.653557e-03,1.626674e-03,1.623503e-03,1.600601e-03,1.575317e-03,1.572831e-03,1.550802e-03,1.527035e-03,1.525166e-03,1.503998e-03,1.481672e-03,1.480354e-03,1.460036e-03,1.439074e-03,1.438249e-03,1.418766e-03,1.399095e-03,1.398708e-03,1.380043e-03,1.361594e-03,1.326778e-03,1.294135e-03,1.263545e-03,1.234894e-03,1.208075e-03,1.182984e-03,1.159525e-03,1.137603e-03,1.117132e-03,1.098028e-03,1.080212e-03,1.063608e-03,1.048147e-03,1.033761e-03,1.020387e-03,1.007964e-03,9.964371e-04,9.857516e-04,9.758572e-04,9.667061e-04,9.582532e-04,9.504559e-04,9.432740e-04,9.366695e-04,9.306067e-04,9.250518e-04,9.199729e-04,9.153398e-04,9.111241e-04,9.072991e-04,9.038396e-04,9.007217e-04,8.979231e-04,8.954226e-04,8.932005e-04,8.912377e-04,8.895168e-04,8.880212e-04,8.867350e-04,8.856434e-04,8.847326e-04,8.839894e-04,8.834016e-04,8.829577e-04,8.826469e-04,8.824588e-04,8.823840e-04,8.824134e-04,8.825385e-04
0.000000e+00,2.605002e-09,3.138269e-08,3.270670e-08,1.911271e-07,6.561902e-07,6.851061e-07,1.676394e-06,2.964460e-06,3.052337e-06,4.520898e-06,5.799867e-06,5.906056e-06,7.160086e-06,8.173484e-06,8.279558e-06,9.271901e-06,1.004770e-05,1.014681e-05,1.091404e-05,1.149480e-05,1.158284e-05,1.216182e-05,1.258466e-05,1.265903e-05,1.308188e-05,1.337794e-05,1.343721e-05,1.373132e-05,1.392644e-05,1.397000e-05,1.415858e-05,1.427403e-05,1.430192e-05,1.440448e-05,1.445768e-05,1.447035e-05,1.450326e-05,1.450841e-05,1.450662e-05,1.448354e-05,1.445216e-05,1.443687e-05,1.436920e-05,1.431061e-05,1.428289e-05,1.418010e-05,1.410179e-05,1.406278e-05,1.393272e-05,1.384069e-05,1.379153e-05,1.364069e-05,1.353972e-05,1.348154e-05,1.331530e-05,1.320914e-05,1.314305e-05,1.296579e-05,1.285741e-05,1.278443e-05,1.259978e-05,1.249147e-05,1.241258e-05,1.222347e-05,1.211698e-05,1.203307e-05,1.184191e-05,1.173854e-05,1.165047e-05,1.145917e-05,1.135988e-05,1.126840e-05,1.107851e-05,1.098398e-05,1.088979e-05,1.070252e-05,1.061322e-05,1.051694e-05,1.033326e-05,1.024945e-05,1.015165e-05,9.972286e-06,9.894110e-06,9.795296e-06,9.620801e-06,9.548283e-06,9.448904e-06,9.279688e-06,9.212769e-06,9.113224e-06,8.949569e-06,8.888127e-06,8.788769e-06,8.630858e-06,8.574723e-06,8.475862e-06,8.323797e-06,8.272764e-06,8.174671e-06,8.028486e-06,7.982327e-06,7.885238e-06,7.744916e-06,7.703388e-06,7.607506e-06,7.472988e-06,7.435839e-06,7.341339e-06,7.212532e-06,7.179504e-06,7.086536e-06,6.963320e-06,6.934158e-06,6.842849e-06,6.725086e-06,6.699537e-06,6.609992e-06,6.497528e-06,6.475347e-06,6.387652e-06,6.280323e-06,6.261271e-06,6.175498e-06,6.073132e-06,6.056979e-06,5.973183e-06,5.875606e-06,5.862132e-06,5.780357e-06,5.687389e-06,5.676385e-06,5.596661e-06,5.508126e-06,5.499391e-06,5.421740e-06,5.337461e-06,5.330808e-06,5.255243e-06,5.175043e-06,5.170294e-06,5.096819e-06,5.020528e-06,5.017516e-06,4.946129e-06,4.873578e-06,4.872146e-06,4.802837e-06,4.733864e-06,4.602360e-06,4.477333e-06,4.358494e-06,4.245561e-06,4.138265e-06,4.036346e-06,3.939554e-06,3.847649e-06,3.760404e-06,3.677597e-06,3.599018e-06,3.524468e-06,3.453752e-06,3.386688e-06,3.323101e-06,3.262823e-06,3.205695e-06,3.151563e-06,3.100284e-06,3.051718e-06,3.005734e-06,2.962206e-06,2.921013e-06,2.882043e-06,2.845185e-06,2.810337e-06,2.777399e-06,2.746278e-06,2.716885e-06,2.689133e-06,2.662942e-06,2.638235e-06,2.614938e-06,2.592981e-06,2.572297e-06,2.552823e-06,2.534499e-06,2.517267e-06,2.501072e-06,2.485862e-06,2.471587e-06,2.458201e-06,2.445659e-06,2.433918e-06,2.422936e-06,2.412676e-06,2.403100e-06,2.394174e-06,2.385864e-06
0.000000e+00,7.358675e-08,1.179274e-06,1.232432e-06,8.135971e-06,3.175941e-05,3.334390e-05,9.346588e-05,1.842849e-04,1.908983e-04,3.077420e-04,4.172437e-04,4.265923e-04,5.395748e-04,6.342226e-04,6.443067e-04,7.404189e-04,8.180622e-04,8.281630e-04,9.079604e-04,9.705796e-04,9.802692e-04,1.045546e-03,1.095269e-03,1.104235e-03,1.156763e-03,1.195527e-03,1.203540e-03,1.244956e-03,1.274480e-03,1.281384e-03,1.313173e-03,1.334964e-03,1.340658e-03,1.364149e-03,1.379515e-03,1.383943e-03,1.400316e-03,1.410382e-03,1.413527e-03,1.423819e-03,1.429551e-03,1.431421e-03,1.436546e-03,1.438766e-03,1.439392e-03,1.440147e-03,1.439555e-03,1.438985e-03,1.436067e-03,1.433254e-03,1.431546e-03,1.425563e-03,1.421027e-03,1.418249e-03,1.409728e-03,1.403890e-03,1.400114e-03,1.389514e-03,1.382722e-03,1.378026e-03,1.365743e-03,1.358289e-03,1.352751e-03,1.339128e-03,1.331252e-03,1.324950e-03,1.310284e-03,1.302184e-03,1.295194e-03,1.279738e-03,1.271576e-03,1.263973e-03,1.247947e-03,1.239851e-03,1.231707e-03,1.215296e-03,1.207371e-03,1.198755e-03,1.182119e-03,1.174444e-03,1.165422e-03,1.148696e-03,1.141334e-03,1.131967e-03,1.115263e-03,1.108261e-03,1.098607e-03,1.082022e-03,1.075411e-03,1.065526e-03,1.049137e-03,1.042941e-03,1.032873e-03,1.016748e-03,1.010979e-03,1.000775e-03,9.849661e-04,9.796305e-04,9.693326e-04,9.538840e-04,9.489808e-04,9.386286e-04,9.235742e-04,9.190980e-04,9.087272e-04,8.940936e-04,8.900350e-04,8.796781e-04,8.654851e-04,8.618319e-04,8.515182e-04,8.377802e-04,8.345174e-04,8.242735e-04,8.109998e-04,8.081110e-04,7.979606e-04,7.851565e-04,7.826240e-04,7.725881e-04,7.602555e-04,7.580606e-04,7.481582e-04,7.362956e-04,7.344194e-04,7.246670e-04,7.132710e-04,7.116940e-04,7.021062e-04,6.911710e-04,6.898741e-04,6.804635e-04,6.699817e-04,6.689459e-04,6.597234e-04,6.496861e-04,6.488926e-04,6.398675e-04,6.302649e-04,6.296955e-04,6.208756e-04,6.116968e-04,6.113340e-04,6.027256e-04,5.939591e-04,5.937859e-04,5.853943e-04,5.770281e-04,5.610370e-04,5.457881e-04,5.312568e-04,5.174183e-04,5.042479e-04,4.917210e-04,4.798135e-04,4.685013e-04,4.577610e-04,4.475696e-04,4.379046e-04,4.287443e-04,4.200672e-04,4.118528e-04,4.040812e-04,3.967328e-04,3.897891e-04,3.832319e-04,3.770439e-04,3.712083e-04,3.657088e-04,3.605300e-04,3.556569e-04,3.510753e-04,3.467712e-04,3.427315e-04,3.389435e-04,3.353950e-04,3.320744e-04,3.289706e-04,3.260727e-04,3.233707e-04,3.208547e-04,3.185153e-04,3.163436e-04,3.143310e-04,3.124693e-04,3.107507e-04,3.091677e-04,3.077132e-04,3.063802e-04,3.051624e-04,3.040535e-04,3.030475e-04,3.021388e-04,3.013220e-04,3.005918e-04,2.999434e-04,2.993721e-04
0.000000e+00,7.340374e-08,1.245329e-06,1.302842e-06,8.676947e-06,3.189119e-05,3.337104e-05,8.570137e-05,1.575861e-04,1.626363e-04,2.493258e-04,3.274720e-04,3.340410e-04,4.123958e-04,4.767313e-04,4.835205e-04,5.475972e-04,5.984980e-04,6.050602e-04,6.563858e-04,6.959736e-04,7.020408e-04,7.424696e-04,7.726982e-04,7.780910e-04,8.092972e-04,8.318491e-04,8.364541e-04,8.599012e-04,8.762002e-04,8.799534e-04,8.969017e-04,9.081402e-04,9.110148e-04,9.225414e-04,9.297139e-04,9.317113e-04,9.387357e-04,9.426675e-04,9.438091e-04,9.471110e-04,9.484844e-04,9.488061e-04,9.490461e-04,9.484234e-04,9.479703e-04,9.457071e-04,9.435501e-04,9.423739e-04,9.380790e-04,9.347660e-04,9.329215e-04,9.269926e-04,9.228322e-04,9.203758e-04,9.131477e-04,9.083903e-04,9.053785e-04,8.971324e-04,8.919806e-04,8.884685e-04,8.794405e-04,8.740570e-04,8.700977e-04,8.604853e-04,8.550000e-04,8.506443e-04,8.406123e-04,8.351279e-04,8.304237e-04,8.201096e-04,8.147062e-04,8.096984e-04,7.992162e-04,7.939558e-04,7.886863e-04,7.781302e-04,7.730596e-04,7.675671e-04,7.570146e-04,7.521684e-04,7.464884e-04,7.360030e-04,7.314056e-04,7.255710e-04,7.152042e-04,7.108720e-04,7.049128e-04,6.947061e-04,6.906490e-04,6.845923e-04,6.745788e-04,6.708014e-04,6.646721e-04,6.548778e-04,6.513804e-04,6.452010e-04,6.356460e-04,6.324257e-04,6.262165e-04,6.169158e-04,6.139672e-04,6.077465e-04,5.987109e-04,5.960266e-04,5.898110e-04,5.810480e-04,5.786191e-04,5.724232e-04,5.639374e-04,5.617539e-04,5.555910e-04,5.473844e-04,5.454356e-04,5.393176e-04,5.313904e-04,5.296651e-04,5.236024e-04,5.159532e-04,5.144399e-04,5.084420e-04,5.010679e-04,4.997550e-04,4.938300e-04,4.867273e-04,4.856033e-04,4.797585e-04,4.729224e-04,4.719759e-04,4.662177e-04,4.596429e-04,4.588626e-04,4.531966e-04,4.468772e-04,4.462522e-04,4.406832e-04,4.346130e-04,4.341326e-04,4.286648e-04,4.228372e-04,4.224913e-04,4.171283e-04,4.115364e-04,4.113151e-04,4.060599e-04,4.006969e-04,4.005908e-04,3.954458e-04,3.903048e-04,3.804436e-04,3.709936e-04,3.619415e-04,3.532740e-04,3.449780e-04,3.370407e-04,3.294494e-04,3.221919e-04,3.152561e-04,3.086304e-04,3.023033e-04,2.962638e-04,2.905012e-04,2.850049e-04,2.797649e-04,2.747715e-04,2.700150e-04,2.654865e-04,2.611770e-04,2.570779e-04,2.531810e-04,2.494782e-04,2.459619e-04,2.426247e-04,2.394592e-04,2.364586e-04,2.336162e-04,2.309256e-04,2.283803e-04,2.259746e-04,2.237026e-04,2.215586e-04,2.195374e-04,2.176337e-04,2.158424e-04,2.141589e-04,2.125784e-04,2.110964e-04,2.097086e-04,2.084110e-04,2.071994e-04,2.060700e-04,2.050191e-04,2.040431e-04,2.031386e-04,2.023022e-04,2.015308e-04,2.008212e-04,2.001706e-04
0.000000e+00,9.558016e-08,1.885586e-06,1.978586e-06,1.535061e-05,6.515513e-05,6.856681e-05,1.996837e-04,3.992247e-04,4.137885e-04,6.711571e-04,9.084305e-04,9.282639e-04,1.159163e-03,1.335528e-03,1.353177e-03,1.508670e-03,1.615843e-03,1.628483e-03,1.717243e-03,1.772568e-03,1.779962e-03,1.821349e-03,1.842682e-03,1.845552e-03,1.856083e-03,1.856572e-03,1.855848e-03,1.847218e-03,1.835570e-03,1.832108e-03,1.812052e-03,1.793771e-03,1.788273e-03,1.761738e-03,1.740205e-03,1.733212e-03,1.703294e-03,1.680538e-03,1.672452e-03,1.641051e-03,1.618255e-03,1.609370e-03,1.577626e-03,1.555457e-03,1.545982e-03,1.514563e-03,1.493376e-03,1.483463e-03,1.452750e-03,1.432717e-03,1.422475e-03,1.392676e-03,1.373866e-03,1.363377e-03,1.334596e-03,1.317018e-03,1.306345e-03,1.278630e-03,1.262260e-03,1.251455e-03,1.224821e-03,1.209621e-03,1.198727e-03,1.173171e-03,1.159093e-03,1.148149e-03,1.123656e-03,1.110649e-03,1.099689e-03,1.076243e-03,1.064254e-03,1.053310e-03,1.030886e-03,1.019863e-03,1.008965e-03,9.875398e-04,9.774299e-04,9.666040e-04,9.461511e-04,9.369030e-04,9.261741e-04,9.066660e-04,8.982292e-04,8.876198e-04,8.690281e-04,8.613534e-04,8.508836e-04,8.331790e-04,8.262186e-04,8.159067e-04,7.990592e-04,7.927670e-04,7.826289e-04,7.666082e-04,7.609395e-04,7.509895e-04,7.357650e-04,7.306772e-04,7.209272e-04,7.064685e-04,7.019206e-04,6.923813e-04,6.786579e-04,6.746107e-04,6.652909e-04,6.522729e-04,6.486894e-04,6.395964e-04,6.272541e-04,6.240989e-04,6.152387e-04,6.035431e-04,6.007829e-04,5.921602e-04,5.810830e-04,5.786864e-04,5.703046e-04,5.598182e-04,5.577554e-04,5.496171e-04,5.396948e-04,5.379378e-04,5.300446e-04,5.206603e-04,5.191831e-04,5.115356e-04,5.026644e-04,5.014423e-04,4.940405e-04,4.856581e-04,4.846682e-04,4.775114e-04,4.695945e-04,4.688153e-04,4.619021e-04,4.544285e-04,4.538399e-04,4.471684e-04,4.401165e-04,4.396999e-04,4.332678e-04,4.266171e-04,4.263551e-04,4.201596e-04,4.138904e-04,4.137669e-04,4.078047e-04,4.018981e-04,3.907134e-04,3.801790e-04,3.702625e-04,3.609330e-04,3.521610e-04,3.439184e-04,3.361784e-04,3.289153e-04,3.221049e-04,3.157238e-04,3.097500e-04,3.041623e-04,2.989407e-04,2.940660e-04,2.895201e-04,2.852857e-04,2.813462e-04,2.776860e-04,2.742901e-04,2.711444e-04,2.682353e-04,2.655499e-04,2.630761e-04,2.608021e-04,2.587169e-04,2.568100e-04,2.550713e-04,2.534913e-04,2.520609e-04,2.507716e-04,2.496150e-04,2.485835e-04,2.476695e-04,2.468660e-04,2.461664e-04,2.455642e-04,2.450534e-04,2.446282e-04,2.442831e-04,2.440130e-04,2.438129e-04,2.436780e-04,2.436040e-04,2.435866e-04,2.436218e-04,2.437057e-04,2.438348e-04,2.440056e-04,2.442148e-04
0.000000e+00,5.649504e-08,9.128037e-07,9.551321e-07,6.346522e-06,2.235657e-05,2.333068e-05,5.470975e-05,9.077973e-05,9.312277e-05,1.314109e-04,1.645441e-04,1.673154e-04,2.004519e-04,2.279377e-04,2.308591e-04,2.586654e-04,2.810994e-04,2.840168e-04,3.070607e-04,3.251431e-04,3.279414e-04,3.467985e-04,3.611730e-04,3.637661e-04,3.789721e-04,3.902116e-04,3.925376e-04,4.045775e-04,4.131839e-04,4.151999e-04,4.245066e-04,4.309142e-04,4.325933e-04,4.395498e-04,4.441323e-04,4.454594e-04,4.504012e-04,4.534786e-04,4.544488e-04,4.576711e-04,4.595162e-04,4.601320e-04,4.618912e-04,4.627351e-04,4.630045e-04,4.635239e-04,4.635628e-04,4.634980e-04,4.629720e-04,4.623713e-04,4.619878e-04,4.605848e-04,4.594841e-04,4.587995e-04,4.566658e-04,4.551818e-04,4.542152e-04,4.514773e-04,4.497081e-04,4.484793e-04,4.452466e-04,4.432735e-04,4.418028e-04,4.381698e-04,4.360603e-04,4.343679e-04,4.304160e-04,4.282258e-04,4.263316e-04,4.221308e-04,4.199055e-04,4.178288e-04,4.134393e-04,4.112159e-04,4.089753e-04,4.044487e-04,4.022569e-04,3.998704e-04,3.952506e-04,3.931141e-04,3.905986e-04,3.859232e-04,3.838606e-04,3.812322e-04,3.765329e-04,3.745584e-04,3.718322e-04,3.671360e-04,3.652602e-04,3.624502e-04,3.577799e-04,3.560103e-04,3.531298e-04,3.485043e-04,3.468459e-04,3.439073e-04,3.393423e-04,3.377981e-04,3.348127e-04,3.303213e-04,3.288926e-04,3.258708e-04,3.214637e-04,3.201503e-04,3.171020e-04,3.127876e-04,3.115883e-04,3.085222e-04,3.043074e-04,3.032200e-04,3.001445e-04,2.960345e-04,2.950561e-04,2.919786e-04,2.879774e-04,2.871046e-04,2.840317e-04,2.801422e-04,2.793711e-04,2.763092e-04,2.725332e-04,2.718596e-04,2.688144e-04,2.651529e-04,2.645724e-04,2.615489e-04,2.580024e-04,2.575104e-04,2.545133e-04,2.510814e-04,2.506735e-04,2.477067e-04,2.443889e-04,2.440602e-04,2.411277e-04,2.379227e-04,2.376688e-04,2.347737e-04,2.316801e-04,2.314963e-04,2.286417e-04,2.256578e-04,2.255395e-04,2.227280e-04,2.198518e-04,2.197948e-04,2.170286e-04,2.142579e-04,2.089244e-04,2.037896e-04,1.988488e-04,1.940970e-04,1.895290e-04,1.851399e-04,1.809244e-04,1.768774e-04,1.729938e-04,1.692686e-04,1.656967e-04,1.622733e-04,1.589933e-04,1.558522e-04,1.528452e-04,1.499677e-04,1.472152e-04,1.445834e-04,1.420681e-04,1.396651e-04,1.373703e-04,1.351798e-04,1.330898e-04,1.310966e-04,1.291967e-04,1.273864e-04,1.256624e-04,1.240215e-04,1.224604e-04,1.209761e-04,1.195656e-04,1.182259e-04,1.169543e-04,1.157481e-04,1.146046e-04,1.135213e-04,1.124957e-04,1.115255e-04,1.106084e-04,1.097421e-04,1.089245e-04,1.081535e-04,1.074271e-04,1.067434e-04,1.061005e-04,1.054966e-04,1.049299e-04,1.043988e-04,1.039017e-04
0.000000e+00,4.378293e-09,5.273974e-08,5.495114e-08,3.150244e-07,1.059801e-06,1.105691e-06,2.668515e-06,4.688459e-06,4.825838e-06,7.105408e-06,9.057205e-06,9.217640e-06,1.109212e-05,1.257787e-05,1.273177e-05,1.415544e-05,1.524624e-05,1.538404e-05,1.643751e-05,1.721742e-05,1.733414e-05,1.809054e-05,1.862863e-05,1.872179e-05,1.924148e-05,1.959303e-05,1.966189e-05,1.999406e-05,2.020297e-05,2.024792e-05,2.043240e-05,2.053328e-05,2.055547e-05,2.062433e-05,2.064440e-05,2.064543e-05,2.062453e-05,2.058507e-05,2.056678e-05,2.047684e-05,2.039449e-05,2.035883e-05,2.021639e-05,2.010393e-05,2.005283e-05,1.987107e-05,1.973843e-05,1.967374e-05,1.946317e-05,1.931797e-05,1.924146e-05,1.901043e-05,1.885845e-05,1.877173e-05,1.852683e-05,1.837245e-05,1.827702e-05,1.802345e-05,1.786994e-05,1.776715e-05,1.750901e-05,1.735876e-05,1.724982e-05,1.699029e-05,1.684503e-05,1.673103e-05,1.647258e-05,1.633353e-05,1.621542e-05,1.595997e-05,1.582793e-05,1.570657e-05,1.545556e-05,1.533102e-05,1.520718e-05,1.496168e-05,1.484493e-05,1.471926e-05,1.448008e-05,1.437118e-05,1.424428e-05,1.401197e-05,1.391089e-05,1.378326e-05,1.355822e-05,1.346481e-05,1.333690e-05,1.311936e-05,1.303340e-05,1.290562e-05,1.269570e-05,1.261693e-05,1.248961e-05,1.228736e-05,1.221548e-05,1.208892e-05,1.189430e-05,1.182899e-05,1.170346e-05,1.151639e-05,1.145731e-05,1.133304e-05,1.115338e-05,1.110020e-05,1.097738e-05,1.080500e-05,1.075737e-05,1.063618e-05,1.047088e-05,1.042848e-05,1.030906e-05,1.015067e-05,1.011316e-05,9.995644e-06,9.843942e-06,9.811009e-06,9.695510e-06,9.550293e-06,9.521631e-06,9.408239e-06,9.269292e-06,9.244608e-06,9.133401e-06,9.000510e-06,8.979523e-06,8.870566e-06,8.743516e-06,8.725957e-06,8.619306e-06,8.497884e-06,8.483498e-06,8.379197e-06,8.263193e-06,8.251738e-06,8.149821e-06,8.039030e-06,8.030277e-06,7.930771e-06,7.824993e-06,7.818724e-06,7.721648e-06,7.620687e-06,7.616698e-06,7.522064e-06,7.425731e-06,7.423827e-06,7.331643e-06,7.239753e-06,7.064126e-06,6.896609e-06,6.736875e-06,6.584610e-06,6.439509e-06,6.301279e-06,6.169637e-06,6.044313e-06,5.925043e-06,5.811577e-06,5.703670e-06,5.601091e-06,5.503614e-06,5.411024e-06,5.323114e-06,5.239684e-06,5.160543e-06,5.085508e-06,5.014401e-06,4.947052e-06,4.883299e-06,4.822985e-06,4.765959e-06,4.712077e-06,4.661201e-06,4.613197e-06,4.567937e-06,4.525299e-06,4.485165e-06,4.447422e-06,4.411961e-06,4.378678e-06,4.347474e-06,4.318251e-06,4.290920e-06,4.265390e-06,4.241579e-06,4.219404e-06,4.198787e-06,4.179655e-06,4.161935e-06,4.145559e-06,4.130461e-06,4.116578e-06,4.103850e-06,4.092218e-06,4.081628e-06,4.072026e-06,4.063362e-06
0.000000e+00,8.258007e-08,1.240428e-06,1.294004e-06,7.713314e-06,2.736242e-05,2.862602e-05,7.494404e-05,1.449059e-04,1.501275e-04,2.459559e-04,3.408543e-04,3.491127e-04,4.500550e-04,5.354716e-04,5.445887e-04,6.314927e-04,7.015968e-04,7.107051e-04,7.825447e-04,8.387551e-04,8.474389e-04,9.058339e-04,9.501842e-04,9.581678e-04,1.004860e-03,1.039218e-03,1.046309e-03,1.082891e-03,1.108890e-03,1.114959e-03,1.142845e-03,1.161895e-03,1.166862e-03,1.187299e-03,1.200607e-03,1.204431e-03,1.218510e-03,1.227104e-03,1.229775e-03,1.238448e-03,1.243204e-03,1.244736e-03,1.248831e-03,1.250491e-03,1.250915e-03,1.251154e-03,1.250344e-03,1.249705e-03,1.246714e-03,1.243962e-03,1.242317e-03,1.236638e-03,1.232387e-03,1.229797e-03,1.221902e-03,1.216523e-03,1.213055e-03,1.203350e-03,1.197152e-03,1.192875e-03,1.181711e-03,1.174951e-03,1.169934e-03,1.157614e-03,1.150503e-03,1.144817e-03,1.131601e-03,1.124311e-03,1.118024e-03,1.104136e-03,1.096807e-03,1.089985e-03,1.075616e-03,1.068362e-03,1.061068e-03,1.046381e-03,1.039291e-03,1.031587e-03,1.016720e-03,1.009864e-03,1.001807e-03,9.868771e-04,9.803085e-04,9.719535e-04,9.570592e-04,9.508174e-04,9.422148e-04,9.274390e-04,9.215518e-04,9.127489e-04,8.981602e-04,8.926460e-04,8.836868e-04,8.693416e-04,8.642110e-04,8.551361e-04,8.410805e-04,8.363374e-04,8.271840e-04,8.134550e-04,8.090982e-04,7.999006e-04,7.865273e-04,7.825515e-04,7.733407e-04,7.603456e-04,7.567419e-04,7.475463e-04,7.349462e-04,7.317032e-04,7.225483e-04,7.103551e-04,7.074594e-04,6.983683e-04,6.865895e-04,6.840262e-04,6.750197e-04,6.636594e-04,6.614125e-04,6.525089e-04,6.415682e-04,6.396211e-04,6.308369e-04,6.203143e-04,6.186500e-04,6.099995e-04,5.998914e-04,5.984927e-04,5.899886e-04,5.802897e-04,5.791394e-04,5.707929e-04,5.614963e-04,5.605775e-04,5.523979e-04,5.434957e-04,5.427920e-04,5.347874e-04,5.262707e-04,5.257657e-04,5.179431e-04,5.098021e-04,5.094803e-04,5.018452e-04,4.940698e-04,4.939162e-04,4.864733e-04,4.790528e-04,4.648690e-04,4.513433e-04,4.384540e-04,4.261791e-04,4.144970e-04,4.033860e-04,3.928247e-04,3.827922e-04,3.732677e-04,3.642312e-04,3.556628e-04,3.475435e-04,3.398544e-04,3.325776e-04,3.256953e-04,3.191907e-04,3.130473e-04,3.072492e-04,3.017812e-04,2.966284e-04,2.917767e-04,2.872123e-04,2.829222e-04,2.788936e-04,2.751144e-04,2.715730e-04,2.682581e-04,2.651591e-04,2.622655e-04,2.595676e-04,2.570558e-04,2.547210e-04,2.525546e-04,2.505483e-04,2.486941e-04,2.469842e-04,2.454116e-04,2.439690e-04,2.426499e-04,2.414478e-04,2.403566e-04,2.393705e-04,2.384838e-04,2.376913e-04,2.369877e-04,2.363683e-04,2.358282e-04,2.353631e-04,2.349687e-04
0.000000e+00,8.953755e-07,2.027144e-05,2.132609e-05,1.840225e-04,8.286349e-04,8.733028e-04,2.584386e-03,5.228393e-03,5.427585e-03,9.189738e-03,1.323522e-02,1.360701e-02,1.844962e-02,2.301759e-02,2.353223e-02,2.870934e-02,3.325340e-02,3.386850e-02,3.892399e-02,4.313936e-02,4.381161e-02,4.848438e-02,5.221885e-02,5.290911e-02,5.706356e-02,6.025884e-02,6.093425e-02,6.451457e-02,6.716882e-02,6.780334e-02,7.080359e-02,7.294743e-02,7.352159e-02,7.596603e-02,7.764722e-02,7.814735e-02,8.007718e-02,8.135064e-02,8.176796e-02,8.323259e-02,8.415441e-02,8.448411e-02,8.553553e-02,8.615933e-02,8.639966e-02,8.708897e-02,8.746403e-02,8.761553e-02,8.799089e-02,8.816117e-02,8.822606e-02,8.833155e-02,8.833562e-02,8.831729e-02,8.819264e-02,8.806383e-02,8.796645e-02,8.764700e-02,8.741383e-02,8.724208e-02,8.675899e-02,8.644570e-02,8.620457e-02,8.558521e-02,8.521225e-02,8.490689e-02,8.417520e-02,8.375976e-02,8.339537e-02,8.257228e-02,8.212870e-02,8.171049e-02,8.081427e-02,8.035450e-02,7.988760e-02,7.893419e-02,7.846809e-02,7.795752e-02,7.696082e-02,7.649646e-02,7.594713e-02,7.491925e-02,7.446318e-02,7.387983e-02,7.283131e-02,7.238877e-02,7.177597e-02,7.071595e-02,7.029108e-02,6.965322e-02,6.858961e-02,6.818557e-02,6.752684e-02,6.646648e-02,6.608563e-02,6.541000e-02,6.435876e-02,6.400275e-02,6.331400e-02,6.227688e-02,6.194679e-02,6.124846e-02,6.022972e-02,5.992612e-02,5.922154e-02,5.822475e-02,5.794780e-02,5.724010e-02,5.626824e-02,5.601774e-02,5.530981e-02,5.436534e-02,5.414080e-02,5.343534e-02,5.252024e-02,5.232096e-02,5.162044e-02,5.073629e-02,5.056136e-02,4.986807e-02,4.901606e-02,4.886444e-02,4.818048e-02,4.736151e-02,4.723203e-02,4.655930e-02,4.577397e-02,4.566538e-02,4.500562e-02,4.425430e-02,4.416529e-02,4.352005e-02,4.280290e-02,4.273212e-02,4.210282e-02,4.141979e-02,4.136589e-02,4.075377e-02,4.010467e-02,4.006627e-02,3.947244e-02,3.885695e-02,3.883268e-02,3.825811e-02,3.767578e-02,3.766430e-02,3.710983e-02,3.656012e-02,3.551893e-02,3.453939e-02,3.362005e-02,3.275932e-02,3.195556e-02,3.120703e-02,3.051194e-02,2.986846e-02,2.927472e-02,2.872880e-02,2.822878e-02,2.777273e-02,2.735868e-02,2.698469e-02,2.664880e-02,2.634907e-02,2.608357e-02,2.585038e-02,2.564760e-02,2.547335e-02,2.532579e-02,2.520310e-02,2.510350e-02,2.502526e-02,2.496666e-02,2.492605e-02,2.490183e-02,2.489244e-02,2.489637e-02,2.491218e-02,2.493849e-02,2.497397e-02,2.501735e-02,2.506743e-02,2.512309e-02,2.518325e-02,2.524690e-02,2.531312e-02,2.538103e-02,2.544983e-02,2.551878e-02,2.558720e-02,2.565449e-02,2.572009e-02,2.578350e-02,2.584430e-02,2.590210e-02,2.595658e-02,2.600746e-02
0.000000e+00,5.358528e-08,1.068460e-06,1.121692e-06,8.802172e-06,3.708803e-05,3.901412e-05,1.128312e-04,2.257915e-04,2.340815e-04,3.821356e-04,5.237427e-04,5.359635e-04,6.853387e-04,8.129771e-04,8.267197e-04,9.592131e-04,1.068450e-03,1.082822e-03,1.197828e-03,1.290129e-03,1.304595e-03,1.403504e-03,1.480793e-03,1.494934e-03,1.579260e-03,1.643358e-03,1.656841e-03,1.728030e-03,1.780606e-03,1.793165e-03,1.852571e-03,1.895133e-03,1.906561e-03,1.955434e-03,1.989331e-03,1.999475e-03,2.038958e-03,2.065394e-03,2.074143e-03,2.105276e-03,2.125316e-03,2.132593e-03,2.156320e-03,2.170907e-03,2.176670e-03,2.193846e-03,2.203810e-03,2.208039e-03,2.219435e-03,2.225507e-03,2.228205e-03,2.234514e-03,2.237334e-03,2.238520e-03,2.240371e-03,2.240497e-03,2.240206e-03,2.238160e-03,2.236081e-03,2.234358e-03,2.228920e-03,2.225062e-03,2.221961e-03,2.213587e-03,2.208318e-03,2.203900e-03,2.192996e-03,2.186634e-03,2.180967e-03,2.167897e-03,2.160718e-03,2.153870e-03,2.138962e-03,2.131200e-03,2.123246e-03,2.106790e-03,2.098648e-03,2.089660e-03,2.071916e-03,2.063565e-03,2.053618e-03,2.034819e-03,2.026402e-03,2.015570e-03,1.995921e-03,1.987561e-03,1.975918e-03,1.955602e-03,1.947398e-03,1.935015e-03,1.914195e-03,1.906230e-03,1.893178e-03,1.871997e-03,1.864338e-03,1.850684e-03,1.829269e-03,1.821969e-03,1.807779e-03,1.786241e-03,1.779342e-03,1.764679e-03,1.743115e-03,1.736649e-03,1.721572e-03,1.700069e-03,1.694058e-03,1.678624e-03,1.657256e-03,1.651715e-03,1.635980e-03,1.614810e-03,1.609747e-03,1.593762e-03,1.572848e-03,1.568266e-03,1.552080e-03,1.531468e-03,1.527366e-03,1.511024e-03,1.490755e-03,1.487126e-03,1.470672e-03,1.450781e-03,1.447617e-03,1.431090e-03,1.411605e-03,1.408894e-03,1.392333e-03,1.373278e-03,1.371006e-03,1.354445e-03,1.335839e-03,1.333991e-03,1.317463e-03,1.299320e-03,1.297879e-03,1.281414e-03,1.263747e-03,1.262694e-03,1.246320e-03,1.229137e-03,1.228455e-03,1.212197e-03,1.195503e-03,1.195171e-03,1.179054e-03,1.162852e-03,1.131500e-03,1.101114e-03,1.071690e-03,1.043222e-03,1.015699e-03,9.891116e-04,9.634452e-04,9.386854e-04,9.148161e-04,8.918200e-04,8.696792e-04,8.483749e-04,8.278876e-04,8.081976e-04,7.892847e-04,7.711286e-04,7.537090e-04,7.370052e-04,7.209969e-04,7.056637e-04,6.909855e-04,6.769422e-04,6.635141e-04,6.506817e-04,6.384259e-04,6.267279e-04,6.155691e-04,6.049313e-04,5.947970e-04,5.851486e-04,5.759693e-04,5.672425e-04,5.589519e-04,5.510819e-04,5.436172e-04,5.365427e-04,5.298439e-04,5.235067e-04,5.175174e-04,5.118625e-04,5.065291e-04,5.015047e-04,4.967770e-04,4.923340e-04,4.881645e-04,4.842571e-04,4.806010e-04,4.771859e-04,4.740015e-04
0.000000e+00,4.092800e-08,7.862428e-07,8.251486e-07,6.100339e-06,2.245361e-05,2.345325e-05,5.529464e-05,9.075833e-05,9.302270e-05,1.294050e-04,1.599480e-04,1.624617e-04,1.920002e-04,2.157286e-04,2.182063e-04,2.413330e-04,2.593394e-04,2.616346e-04,2.793513e-04,2.926918e-04,2.947075e-04,3.079120e-04,3.174829e-04,3.191582e-04,3.286251e-04,3.351764e-04,3.364778e-04,3.428683e-04,3.470225e-04,3.479367e-04,3.518112e-04,3.540807e-04,3.546097e-04,3.564398e-04,3.572442e-04,3.574003e-04,3.575814e-04,3.572623e-04,3.570654e-04,3.559274e-04,3.547618e-04,3.542362e-04,3.520541e-04,3.502654e-04,3.494383e-04,3.464405e-04,3.442081e-04,3.431079e-04,3.394835e-04,3.369506e-04,3.356062e-04,3.315113e-04,3.287914e-04,3.272311e-04,3.227945e-04,3.199770e-04,3.182280e-04,3.135553e-04,3.107098e-04,3.087980e-04,3.039754e-04,3.011554e-04,2.991051e-04,2.942028e-04,2.914488e-04,2.892826e-04,2.843573e-04,2.816995e-04,2.794381e-04,2.745352e-04,2.719951e-04,2.696575e-04,2.648132e-04,2.624058e-04,2.600093e-04,2.552520e-04,2.529867e-04,2.505468e-04,2.458985e-04,2.437806e-04,2.413113e-04,2.367888e-04,2.348201e-04,2.323340e-04,2.279495e-04,2.261295e-04,2.236376e-04,2.193999e-04,2.177260e-04,2.152381e-04,2.111531e-04,2.096211e-04,2.071458e-04,2.032169e-04,2.018217e-04,1.993666e-04,1.955952e-04,1.943309e-04,1.919026e-04,1.882886e-04,1.871487e-04,1.847530e-04,1.812951e-04,1.802728e-04,1.779144e-04,1.746103e-04,1.736988e-04,1.713820e-04,1.682285e-04,1.674208e-04,1.651490e-04,1.621426e-04,1.614317e-04,1.592080e-04,1.563444e-04,1.557238e-04,1.535505e-04,1.508252e-04,1.502883e-04,1.481674e-04,1.455759e-04,1.451163e-04,1.430493e-04,1.405866e-04,1.401984e-04,1.381865e-04,1.358478e-04,1.355252e-04,1.335693e-04,1.313496e-04,1.310871e-04,1.291877e-04,1.270822e-04,1.268747e-04,1.250320e-04,1.230358e-04,1.228784e-04,1.210926e-04,1.192010e-04,1.190892e-04,1.173600e-04,1.155684e-04,1.154978e-04,1.138251e-04,1.121289e-04,1.120955e-04,1.104788e-04,1.088737e-04,1.058241e-04,1.029387e-04,1.002097e-04,9.762971e-05,9.519148e-05,9.288818e-05,9.071322e-05,8.866030e-05,8.672337e-05,8.489667e-05,8.317469e-05,8.155217e-05,8.002409e-05,7.858568e-05,7.723236e-05,7.595980e-05,7.476386e-05,7.364059e-05,7.258624e-05,7.159725e-05,7.067021e-05,6.980190e-05,6.898923e-05,6.822928e-05,6.751927e-05,6.685656e-05,6.623864e-05,6.566310e-05,6.512769e-05,6.463024e-05,6.416869e-05,6.374111e-05,6.334563e-05,6.298049e-05,6.264402e-05,6.233463e-05,6.205082e-05,6.179114e-05,6.155424e-05,6.133882e-05,6.114365e-05,6.096757e-05,6.080948e-05,6.066831e-05,6.054307e-05,6.043282e-05,6.033665e-05,6.025372e-05,6.018321e-05
0.000000e+00,1.482285e-09,2.386030e-08,2.496262e-08,1.573727e-07,5.059121e-07,5.258326e-07,1.121120e-06,1.745219e-06,1.784796e-06,2.425834e-06,2.978522e-06,3.024816e-06,3.579927e-06,4.043223e-06,4.092644e-06,4.565044e-06,4.949112e-06,4.999275e-06,5.397463e-06,5.712656e-06,5.761676e-06,6.093915e-06,6.349698e-06,6.396107e-06,6.670098e-06,6.874964e-06,6.917647e-06,7.140430e-06,7.301893e-06,7.340033e-06,7.517959e-06,7.642609e-06,7.675627e-06,7.814379e-06,7.907958e-06,7.935476e-06,8.040110e-06,8.107602e-06,8.129402e-06,8.204407e-06,8.250124e-06,8.266118e-06,8.315467e-06,8.343128e-06,8.353331e-06,8.380536e-06,8.393342e-06,8.397852e-06,8.406009e-06,8.406708e-06,8.405689e-06,8.397533e-06,8.388480e-06,8.382142e-06,8.360079e-06,8.343283e-06,8.331873e-06,8.298020e-06,8.275193e-06,8.258985e-06,8.215203e-06,8.187796e-06,8.167082e-06,8.115003e-06,8.084244e-06,8.059323e-06,8.000377e-06,7.967298e-06,7.938475e-06,7.873912e-06,7.839378e-06,7.806959e-06,7.737872e-06,7.702603e-06,7.666889e-06,7.594231e-06,7.558821e-06,7.520105e-06,7.444705e-06,7.409643e-06,7.368211e-06,7.290790e-06,7.256471e-06,7.212597e-06,7.133779e-06,7.100522e-06,7.054470e-06,6.974794e-06,6.942848e-06,6.894869e-06,6.814802e-06,6.784360e-06,6.734692e-06,6.654631e-06,6.625838e-06,6.574706e-06,6.494994e-06,6.467954e-06,6.415569e-06,6.336496e-06,6.311278e-06,6.257838e-06,6.179651e-06,6.156295e-06,6.101987e-06,6.024892e-06,6.003413e-06,5.948409e-06,5.872579e-06,5.852974e-06,5.797436e-06,5.723012e-06,5.705261e-06,5.649337e-06,5.576437e-06,5.560505e-06,5.504334e-06,5.433051e-06,5.418894e-06,5.362603e-06,5.293009e-06,5.280573e-06,5.224281e-06,5.156431e-06,5.145658e-06,5.089470e-06,5.023406e-06,5.014229e-06,4.958246e-06,4.893995e-06,4.886346e-06,4.830657e-06,4.768235e-06,4.762043e-06,4.706730e-06,4.646144e-06,4.641336e-06,4.586474e-06,4.527721e-06,4.524225e-06,4.469882e-06,4.412953e-06,4.410694e-06,4.356930e-06,4.301810e-06,4.300717e-06,4.247587e-06,4.194255e-06,4.091264e-06,3.991689e-06,3.895471e-06,3.802546e-06,3.712847e-06,3.626300e-06,3.542834e-06,3.462372e-06,3.384837e-06,3.310152e-06,3.238240e-06,3.169021e-06,3.102419e-06,3.038357e-06,2.976758e-06,2.917547e-06,2.860650e-06,2.805995e-06,2.753509e-06,2.703122e-06,2.654767e-06,2.608375e-06,2.563881e-06,2.521222e-06,2.480335e-06,2.441160e-06,2.403638e-06,2.367711e-06,2.333324e-06,2.300423e-06,2.268954e-06,2.238869e-06,2.210116e-06,2.182648e-06,2.156418e-06,2.131382e-06,2.107496e-06,2.084719e-06,2.063008e-06,2.042325e-06,2.022631e-06,2.003889e-06,1.986064e-06,1.969121e-06,1.953026e-06,1.937747e-06,1.923253e-06,1.909514e-06,1.896500e-06
0.000000e+00,4.103904e-07,7.283624e-06,7.619224e-06,5.135596e-05,2.036563e-04,2.140644e-04,6.301754e-04,1.352660e-03,1.410329e-03,2.554257e-03,3.849769e-03,3.970436e-03,5.549725e-03,7.034618e-03,7.200854e-03,8.855813e-03,1.027680e-02,1.046656e-02,1.200053e-02,1.324213e-02,1.343678e-02,1.476288e-02,1.578702e-02,1.597265e-02,1.706434e-02,1.787234e-02,1.803938e-02,1.890138e-02,1.951294e-02,1.965538e-02,2.030731e-02,2.074912e-02,2.086365e-02,2.133105e-02,2.163091e-02,2.171620e-02,2.202567e-02,2.220968e-02,2.226578e-02,2.244255e-02,2.253383e-02,2.256169e-02,2.262852e-02,2.264685e-02,2.264801e-02,2.262479e-02,2.258679e-02,2.256312e-02,2.246694e-02,2.238631e-02,2.233985e-02,2.218519e-02,2.207315e-02,2.200599e-02,2.180506e-02,2.167069e-02,2.158493e-02,2.134795e-02,2.119856e-02,2.109624e-02,2.083177e-02,2.067322e-02,2.055629e-02,2.027146e-02,2.010841e-02,1.997873e-02,1.967948e-02,1.951560e-02,1.937493e-02,1.906620e-02,1.890437e-02,1.875434e-02,1.844026e-02,1.828266e-02,1.812483e-02,1.780880e-02,1.765711e-02,1.749288e-02,1.717772e-02,1.703315e-02,1.686388e-02,1.655188e-02,1.641531e-02,1.624219e-02,1.593524e-02,1.580723e-02,1.563140e-02,1.533101e-02,1.521189e-02,1.503437e-02,1.474175e-02,1.463166e-02,1.445339e-02,1.416949e-02,1.406841e-02,1.389022e-02,1.361576e-02,1.352356e-02,1.334622e-02,1.308173e-02,1.299818e-02,1.282238e-02,1.256824e-02,1.249303e-02,1.231938e-02,1.207583e-02,1.200859e-02,1.183763e-02,1.160480e-02,1.154515e-02,1.137735e-02,1.115527e-02,1.110278e-02,1.093856e-02,1.072720e-02,1.068141e-02,1.052115e-02,1.032038e-02,1.028086e-02,1.012486e-02,9.934527e-03,9.900816e-03,9.749342e-03,9.569245e-03,9.540897e-03,9.394176e-03,9.224071e-03,9.200649e-03,9.058865e-03,8.898488e-03,8.879564e-03,8.742869e-03,8.591932e-03,8.577093e-03,8.445604e-03,8.303807e-03,8.292656e-03,8.166463e-03,8.033492e-03,8.025652e-03,7.904816e-03,7.780354e-03,7.775462e-03,7.660024e-03,7.543747e-03,7.541462e-03,7.431440e-03,7.323023e-03,7.119519e-03,6.930324e-03,6.754824e-03,6.592413e-03,6.442494e-03,6.304487e-03,6.177823e-03,6.061948e-03,5.956323e-03,5.860425e-03,5.773745e-03,5.695793e-03,5.626091e-03,5.564177e-03,5.509606e-03,5.461946e-03,5.420781e-03,5.385708e-03,5.356340e-03,5.332303e-03,5.313235e-03,5.298790e-03,5.288633e-03,5.282442e-03,5.279908e-03,5.280735e-03,5.284637e-03,5.291341e-03,5.300587e-03,5.312124e-03,5.325714e-03,5.341130e-03,5.358155e-03,5.376584e-03,5.396223e-03,5.416886e-03,5.438401e-03,5.460603e-03,5.483339e-03,5.506465e-03,5.529846e-03,5.553358e-03,5.576884e-03,5.600318e-03,5.623562e-03,5.646526e-03,5.669127e-03,5.691293e-03,5.712958e-03
0.000000e+00,2.357243e-08,4.483211e-07,4.706864e-07,3.535130e-06,1.291496e-05,1.347475e-05,3.035298e-05,4.784974e-05,4.895283e-05,6.676191e-05,8.205732e-05,8.333658e-05,9.865473e-05,1.114086e-04,1.127673e-04,1.257373e-04,1.362562e-04,1.376283e-04,1.485024e-04,1.570865e-04,1.584193e-04,1.674359e-04,1.743537e-04,1.756063e-04,1.829832e-04,1.884755e-04,1.896169e-04,1.955551e-04,1.998356e-04,2.008433e-04,2.055245e-04,2.087806e-04,2.096392e-04,2.132259e-04,2.156210e-04,2.163208e-04,2.189578e-04,2.206333e-04,2.211690e-04,2.229846e-04,2.240629e-04,2.244330e-04,2.255407e-04,2.261268e-04,2.263327e-04,2.268326e-04,2.270169e-04,2.270623e-04,2.270425e-04,2.269022e-04,2.267925e-04,2.263306e-04,2.259317e-04,2.256738e-04,2.248379e-04,2.242363e-04,2.238379e-04,2.226878e-04,2.219312e-04,2.214007e-04,2.199887e-04,2.191171e-04,2.184633e-04,2.168352e-04,2.158824e-04,2.151145e-04,2.133103e-04,2.123044e-04,2.114314e-04,2.094860e-04,2.084506e-04,2.074815e-04,2.054252e-04,2.043796e-04,2.033235e-04,2.011825e-04,2.001426e-04,1.990080e-04,1.968053e-04,1.957839e-04,1.945792e-04,1.923344e-04,1.913419e-04,1.900751e-04,1.878052e-04,1.868496e-04,1.855284e-04,1.832480e-04,1.823356e-04,1.809672e-04,1.786887e-04,1.778241e-04,1.764153e-04,1.741494e-04,1.733360e-04,1.718933e-04,1.696489e-04,1.688889e-04,1.674183e-04,1.652030e-04,1.644976e-04,1.630047e-04,1.608248e-04,1.601746e-04,1.586646e-04,1.565253e-04,1.559302e-04,1.544080e-04,1.523135e-04,1.517728e-04,1.502428e-04,1.481966e-04,1.477093e-04,1.461756e-04,1.441804e-04,1.437450e-04,1.422115e-04,1.402693e-04,1.398841e-04,1.383542e-04,1.364665e-04,1.361297e-04,1.346066e-04,1.327745e-04,1.324840e-04,1.309705e-04,1.291947e-04,1.289484e-04,1.274472e-04,1.257279e-04,1.255235e-04,1.240369e-04,1.223742e-04,1.222095e-04,1.207396e-04,1.191332e-04,1.190059e-04,1.175547e-04,1.160040e-04,1.159119e-04,1.144810e-04,1.129855e-04,1.129263e-04,1.115173e-04,1.100761e-04,1.100476e-04,1.086618e-04,1.072740e-04,1.046036e-04,1.020342e-04,9.956352e-05,9.718919e-05,9.490875e-05,9.271967e-05,9.061939e-05,8.860533e-05,8.667488e-05,8.482546e-05,8.305451e-05,8.135945e-05,7.973779e-05,7.818703e-05,7.670473e-05,7.528851e-05,7.393601e-05,7.264495e-05,7.141309e-05,7.023825e-05,6.911831e-05,6.805121e-05,6.703494e-05,6.606755e-05,6.514716e-05,6.427194e-05,6.344012e-05,6.264997e-05,6.189985e-05,6.118813e-05,6.051329e-05,5.987380e-05,5.926822e-05,5.869516e-05,5.815327e-05,5.764124e-05,5.715782e-05,5.670181e-05,5.627202e-05,5.586734e-05,5.548669e-05,5.512902e-05,5.479332e-05,5.447863e-05,5.418403e-05,5.390860e-05,5.365149e-05,5.341187e-05,5.318895e-05
0.000000e+00,7.848443e-08,1.614626e-06,1.695762e-06,1.343312e-05,5.577874e-05,5.860286e-05,1.615082e-04,3.044751e-04,3.145282e-04,4.885060e-04,6.488002e-04,6.624361e-04,8.267790e-04,9.636595e-04,9.781871e-04,1.115967e-03,1.226195e-03,1.240453e-03,1.352345e-03,1.439109e-03,1.452443e-03,1.541549e-03,1.608470e-03,1.620437e-03,1.689850e-03,1.740194e-03,1.750493e-03,1.803033e-03,1.839654e-03,1.848097e-03,1.886275e-03,1.911630e-03,1.918119e-03,1.944144e-03,1.960330e-03,1.964833e-03,1.980634e-03,1.989427e-03,1.991965e-03,1.999216e-03,2.002113e-03,2.002747e-03,2.002894e-03,2.001150e-03,1.999967e-03,1.994254e-03,1.988916e-03,1.986024e-03,1.975522e-03,1.967458e-03,1.962977e-03,1.948601e-03,1.938531e-03,1.932590e-03,1.915122e-03,1.903635e-03,1.896366e-03,1.876474e-03,1.864053e-03,1.855588e-03,1.833838e-03,1.820875e-03,1.811344e-03,1.788216e-03,1.775026e-03,1.764556e-03,1.740456e-03,1.727289e-03,1.716001e-03,1.691269e-03,1.678324e-03,1.666333e-03,1.641256e-03,1.628684e-03,1.616098e-03,1.590914e-03,1.578831e-03,1.565753e-03,1.540658e-03,1.529148e-03,1.515671e-03,1.490828e-03,1.479952e-03,1.466163e-03,1.441704e-03,1.431499e-03,1.417478e-03,1.393508e-03,1.383997e-03,1.369817e-03,1.346422e-03,1.337613e-03,1.323339e-03,1.300584e-03,1.292475e-03,1.278168e-03,1.256102e-03,1.248681e-03,1.234396e-03,1.213056e-03,1.206305e-03,1.192089e-03,1.171500e-03,1.165397e-03,1.151293e-03,1.131470e-03,1.125989e-03,1.112034e-03,1.092986e-03,1.088096e-03,1.074325e-03,1.056051e-03,1.051723e-03,1.038164e-03,1.020660e-03,1.016861e-03,1.003539e-03,9.867975e-04,9.834944e-04,9.704318e-04,9.544387e-04,9.515992e-04,9.388143e-04,9.235544e-04,9.211463e-04,9.086544e-04,8.941097e-04,8.921015e-04,8.799154e-04,8.660663e-04,8.644274e-04,8.525573e-04,8.393828e-04,8.380835e-04,8.265374e-04,8.140155e-04,8.130276e-04,8.018115e-04,7.899196e-04,7.892158e-04,7.783340e-04,7.670490e-04,7.666038e-04,7.560588e-04,7.453575e-04,7.451464e-04,7.349395e-04,7.247989e-04,7.055164e-04,6.872549e-04,6.699708e-04,6.536216e-04,6.381658e-04,6.235628e-04,6.097735e-04,5.967598e-04,5.844850e-04,5.729136e-04,5.620115e-04,5.517459e-04,5.420854e-04,5.329996e-04,5.244597e-04,5.164380e-04,5.089078e-04,5.018439e-04,4.952220e-04,4.890191e-04,4.832131e-04,4.777830e-04,4.727088e-04,4.679714e-04,4.635527e-04,4.594355e-04,4.556032e-04,4.520403e-04,4.487319e-04,4.456638e-04,4.428228e-04,4.401960e-04,4.377712e-04,4.355372e-04,4.334828e-04,4.315978e-04,4.298723e-04,4.282971e-04,4.268632e-04,4.255623e-04,4.243865e-04,4.233281e-04,4.223802e-04,4.215358e-04,4.207886e-04,4.201326e-04,4.195619e-04,4.190711e-04,4.186551e-04
0.000000e+00,4.698759e-08,1.307074e-06,1.378135e-06,1.115968e-05,3.586654e-05,3.712250e-05,6.978863e-05,9.992781e-05,1.017994e-04,1.319787e-04,1.580531e-04,1.602454e-04,1.866632e-04,2.089255e-04,2.113133e-04,2.342743e-04,2.531426e-04,2.556215e-04,2.754265e-04,2.912788e-04,2.937594e-04,3.106890e-04,3.238752e-04,3.262833e-04,3.406090e-04,3.514554e-04,3.537315e-04,3.657141e-04,3.745211e-04,3.766186e-04,3.865042e-04,3.935445e-04,3.954280e-04,4.034448e-04,4.089632e-04,4.106068e-04,4.169640e-04,4.211782e-04,4.225639e-04,4.274517e-04,4.305543e-04,4.316705e-04,4.352612e-04,4.374217e-04,4.382624e-04,4.407111e-04,4.420784e-04,4.426421e-04,4.440884e-04,4.447928e-04,4.450814e-04,4.456508e-04,4.458059e-04,4.458246e-04,4.456294e-04,4.453341e-04,4.450904e-04,4.442313e-04,4.435716e-04,4.430746e-04,4.416417e-04,4.406919e-04,4.399525e-04,4.380261e-04,4.368504e-04,4.358803e-04,4.335322e-04,4.321857e-04,4.309976e-04,4.282917e-04,4.268216e-04,4.254286e-04,4.224218e-04,4.208685e-04,4.192839e-04,4.160268e-04,4.144243e-04,4.126617e-04,4.091991e-04,4.075764e-04,4.056491e-04,4.020210e-04,4.004021e-04,3.983235e-04,3.945649e-04,3.929700e-04,3.907530e-04,3.868951e-04,3.853406e-04,3.829980e-04,3.790682e-04,3.775676e-04,3.751117e-04,3.711340e-04,3.696979e-04,3.671406e-04,3.631363e-04,3.617731e-04,3.591257e-04,3.551132e-04,3.538294e-04,3.511028e-04,3.470982e-04,3.458985e-04,3.431030e-04,3.391205e-04,3.380080e-04,3.351535e-04,3.312050e-04,3.301817e-04,3.272776e-04,3.233736e-04,3.224404e-04,3.194953e-04,3.156448e-04,3.148017e-04,3.118240e-04,3.080346e-04,3.072806e-04,3.042782e-04,3.005563e-04,2.998901e-04,2.968701e-04,2.932210e-04,2.926407e-04,2.896101e-04,2.860383e-04,2.855414e-04,2.825065e-04,2.790155e-04,2.785993e-04,2.755660e-04,2.721588e-04,2.718204e-04,2.687942e-04,2.654728e-04,2.652090e-04,2.621950e-04,2.589612e-04,2.587685e-04,2.557715e-04,2.526263e-04,2.525014e-04,2.495257e-04,2.464698e-04,2.464092e-04,2.434588e-04,2.404925e-04,2.347515e-04,2.291856e-04,2.237937e-04,2.185745e-04,2.135260e-04,2.086460e-04,2.039321e-04,1.993817e-04,1.949917e-04,1.907591e-04,1.866807e-04,1.827533e-04,1.789734e-04,1.753376e-04,1.718424e-04,1.684843e-04,1.652598e-04,1.621653e-04,1.591974e-04,1.563524e-04,1.536270e-04,1.510177e-04,1.485210e-04,1.461337e-04,1.438524e-04,1.416739e-04,1.395949e-04,1.376124e-04,1.357232e-04,1.339243e-04,1.322128e-04,1.305857e-04,1.290403e-04,1.275736e-04,1.261832e-04,1.248662e-04,1.236201e-04,1.224424e-04,1.213307e-04,1.202824e-04,1.192954e-04,1.183673e-04,1.174959e-04,1.166791e-04,1.159147e-04,1.152006e-04,1.145350e-04,1.139159e-04,1.133413e-04
0.000000e+00,7.466338e-09,1.240061e-07,1.298095e-07,8.440702e-07,2.797798e-06,2.911275e-06,6.335263e-06,9.905045e-06,1.012869e-05,1.368779e-05,1.664506e-05,1.688759e-05,1.972886e-05,2.199984e-05,2.223637e-05,2.443803e-05,2.614390e-05,2.636074e-05,2.802947e-05,2.927906e-05,2.946725e-05,3.069535e-05,3.157929e-05,3.173336e-05,3.259939e-05,3.319291e-05,3.331008e-05,3.388075e-05,3.424596e-05,3.432545e-05,3.465707e-05,3.484481e-05,3.488734e-05,3.502702e-05,3.507862e-05,3.508586e-05,3.507277e-05,3.502155e-05,3.499582e-05,3.486235e-05,3.473501e-05,3.467900e-05,3.445180e-05,3.426961e-05,3.418619e-05,3.388708e-05,3.366683e-05,3.355891e-05,3.320575e-05,3.296075e-05,3.283122e-05,3.243857e-05,3.217915e-05,3.203077e-05,3.161045e-05,3.134461e-05,3.117998e-05,3.074149e-05,3.047535e-05,3.029689e-05,2.984788e-05,2.958604e-05,2.939599e-05,2.894258e-05,2.868847e-05,2.848887e-05,2.803592e-05,2.779198e-05,2.758468e-05,2.713599e-05,2.690393e-05,2.669059e-05,2.624913e-05,2.603005e-05,2.581217e-05,2.538022e-05,2.517478e-05,2.495369e-05,2.453295e-05,2.434145e-05,2.411832e-05,2.371004e-05,2.353248e-05,2.330835e-05,2.291341e-05,2.274959e-05,2.252538e-05,2.214436e-05,2.199393e-05,2.177044e-05,2.140367e-05,2.126619e-05,2.104410e-05,2.069173e-05,2.056664e-05,2.034657e-05,2.000859e-05,1.989531e-05,1.967776e-05,1.935404e-05,1.925194e-05,1.903736e-05,1.872767e-05,1.863611e-05,1.842488e-05,1.812892e-05,1.804727e-05,1.783970e-05,1.755713e-05,1.748474e-05,1.728111e-05,1.701154e-05,1.694779e-05,1.674831e-05,1.649132e-05,1.643561e-05,1.624046e-05,1.599562e-05,1.594736e-05,1.575668e-05,1.552354e-05,1.548218e-05,1.529608e-05,1.507419e-05,1.503920e-05,1.485776e-05,1.464668e-05,1.461755e-05,1.444083e-05,1.424010e-05,1.421635e-05,1.404439e-05,1.385358e-05,1.383476e-05,1.366757e-05,1.348625e-05,1.347194e-05,1.330952e-05,1.313727e-05,1.312707e-05,1.296940e-05,1.280581e-05,1.279936e-05,1.264641e-05,1.249109e-05,1.248803e-05,1.233976e-05,1.219234e-05,1.191157e-05,1.164503e-05,1.139206e-05,1.115202e-05,1.092430e-05,1.070831e-05,1.050349e-05,1.030930e-05,1.012524e-05,9.950810e-06,9.785547e-06,9.629005e-06,9.480758e-06,9.340401e-06,9.207547e-06,9.081828e-06,8.962893e-06,8.850406e-06,8.744049e-06,8.643518e-06,8.548525e-06,8.458793e-06,8.374060e-06,8.294075e-06,8.218602e-06,8.147411e-06,8.080292e-06,8.017036e-06,7.957449e-06,7.901347e-06,7.848550e-06,7.798894e-06,7.752214e-06,7.708360e-06,7.667187e-06,7.628555e-06,7.592335e-06,7.558400e-06,7.526632e-06,7.496916e-06,7.469147e-06,7.443221e-06,7.419041e-06,7.396514e-06,7.375552e-06,7.356072e-06,7.337993e-06,7.321239e-06,7.305740e-06
0.000000e+00,3.605178e-06,8.087475e-05,8.505193e-05,7.212495e-04,3.247991e-03,3.425446e-03,1.050313e-02,2.225567e-02,2.316949e-02,4.095332e-02,6.092849e-02,6.280038e-02,8.766469e-02,1.118656e-01,1.146344e-01,1.429417e-01,1.684496e-01,1.719492e-01,2.011332e-01,2.260452e-01,2.300673e-01,2.584088e-01,2.815571e-01,2.858860e-01,3.122876e-01,3.330209e-01,3.374540e-01,3.612686e-01,3.792921e-01,3.836514e-01,4.045527e-01,4.198107e-01,4.239479e-01,4.418333e-01,4.544239e-01,4.582218e-01,4.731398e-01,4.832537e-01,4.866242e-01,4.987203e-01,5.065985e-01,5.094794e-01,5.189575e-01,5.248612e-01,5.272132e-01,5.343073e-01,5.384990e-01,5.403011e-01,5.452563e-01,5.479873e-01,5.492336e-01,5.522930e-01,5.537963e-01,5.544928e-01,5.558893e-01,5.563758e-01,5.565372e-01,5.564888e-01,5.561465e-01,5.557943e-01,5.545013e-01,5.534952e-01,5.526554e-01,5.502997e-01,5.487732e-01,5.474752e-01,5.442205e-01,5.422970e-01,5.405721e-01,5.365645e-01,5.343495e-01,5.322302e-01,5.275996e-01,5.251822e-01,5.227014e-01,5.175627e-01,5.150181e-01,5.122086e-01,5.066630e-01,5.040538e-01,5.009480e-01,4.950845e-01,4.924625e-01,4.890919e-01,4.829884e-01,4.803960e-01,4.767911e-01,4.705159e-01,4.679873e-01,4.641775e-01,4.577899e-01,4.553524e-01,4.513658e-01,4.449173e-01,4.425921e-01,4.384555e-01,4.319908e-01,4.297938e-01,4.255327e-01,4.190901e-01,4.170332e-01,4.126714e-01,4.062841e-01,4.043751e-01,3.999352e-01,3.936312e-01,3.918750e-01,3.873782e-01,3.811815e-01,3.795802e-01,3.750462e-01,3.689768e-01,3.675304e-01,3.629776e-01,3.570523e-01,3.557590e-01,3.512045e-01,3.454371e-01,3.442936e-01,3.397531e-01,3.341548e-01,3.331564e-01,3.286446e-01,3.232245e-01,3.223657e-01,3.178960e-01,3.126608e-01,3.119354e-01,3.075201e-01,3.024751e-01,3.018761e-01,2.975265e-01,2.926753e-01,2.921955e-01,2.879219e-01,2.832667e-01,2.828985e-01,2.787101e-01,2.742521e-01,2.739878e-01,2.698929e-01,2.656323e-01,2.654640e-01,2.614702e-01,2.574062e-01,2.573259e-01,2.534400e-01,2.495710e-01,2.421954e-01,2.351938e-01,2.285604e-01,2.222881e-01,2.163694e-01,2.107959e-01,2.055589e-01,2.006492e-01,1.960572e-01,1.917729e-01,1.877861e-01,1.840864e-01,1.806633e-01,1.775061e-01,1.746038e-01,1.719458e-01,1.695211e-01,1.673188e-01,1.653280e-01,1.635380e-01,1.619381e-01,1.605176e-01,1.592660e-01,1.581730e-01,1.572286e-01,1.564226e-01,1.557453e-01,1.551874e-01,1.547394e-01,1.543924e-01,1.541378e-01,1.539671e-01,1.538722e-01,1.538454e-01,1.538793e-01,1.539667e-01,1.541010e-01,1.542758e-01,1.544849e-01,1.547229e-01,1.549843e-01,1.552642e-01,1.555580e-01,1.558614e-01,1.561706e-01,1.564818e-01,1.567920e-01,1.570980e-01,1.573973e-01
0.000000e+00,4.201847e-09,7.422511e-08,7.765379e-08,4.681844e-07,1.391963e-06,1.441675e-06,2.835145e-06,4.218319e-06,4.305712e-06,5.730264e-06,6.980137e-06,7.085947e-06,8.369718e-06,9.464240e-06,9.582345e-06,1.072546e-05,1.167544e-05,1.180101e-05,1.281110e-05,1.362915e-05,1.375799e-05,1.464401e-05,1.534299e-05,1.547157e-05,1.624307e-05,1.683556e-05,1.696092e-05,1.762748e-05,1.812536e-05,1.824507e-05,1.881594e-05,1.923020e-05,1.934228e-05,1.982621e-05,2.016688e-05,2.026976e-05,2.067490e-05,2.095109e-05,2.104352e-05,2.137743e-05,2.159734e-05,2.167837e-05,2.194802e-05,2.211901e-05,2.218797e-05,2.239976e-05,2.252844e-05,2.258485e-05,2.274466e-05,2.283693e-05,2.288052e-05,2.299372e-05,2.305485e-05,2.308550e-05,2.315702e-05,2.319169e-05,2.320941e-05,2.324375e-05,2.325611e-05,2.326105e-05,2.326230e-05,2.325604e-05,2.324843e-05,2.322033e-05,2.319869e-05,2.317885e-05,2.312480e-05,2.309066e-05,2.305895e-05,2.298205e-05,2.293792e-05,2.289478e-05,2.279783e-05,2.274593e-05,2.269183e-05,2.257739e-05,2.251963e-05,2.245508e-05,2.232546e-05,2.226352e-05,2.218904e-05,2.204633e-05,2.198167e-05,2.189780e-05,2.174390e-05,2.167777e-05,2.158506e-05,2.142169e-05,2.135515e-05,2.125416e-05,2.108286e-05,2.101684e-05,2.090812e-05,2.073028e-05,2.066555e-05,2.054964e-05,2.036652e-05,2.030374e-05,2.018119e-05,1.999391e-05,1.993362e-05,1.980495e-05,1.961453e-05,1.955716e-05,1.942289e-05,1.923024e-05,1.917614e-05,1.903678e-05,1.884270e-05,1.879217e-05,1.864819e-05,1.845342e-05,1.840665e-05,1.825854e-05,1.806370e-05,1.802086e-05,1.786906e-05,1.767474e-05,1.763592e-05,1.748087e-05,1.728756e-05,1.725284e-05,1.709494e-05,1.690310e-05,1.687249e-05,1.671215e-05,1.652216e-05,1.649565e-05,1.633324e-05,1.614545e-05,1.612300e-05,1.595888e-05,1.577359e-05,1.575514e-05,1.558965e-05,1.540711e-05,1.539257e-05,1.522603e-05,1.504647e-05,1.503575e-05,1.486847e-05,1.469206e-05,1.468504e-05,1.451730e-05,1.434422e-05,1.434078e-05,1.417285e-05,1.400322e-05,1.367259e-05,1.334906e-05,1.303278e-05,1.272385e-05,1.242234e-05,1.212830e-05,1.184174e-05,1.156268e-05,1.129108e-05,1.102692e-05,1.077013e-05,1.052066e-05,1.027843e-05,1.004334e-05,9.815308e-06,9.594227e-06,9.379981e-06,9.172459e-06,8.971537e-06,8.777092e-06,8.588998e-06,8.407125e-06,8.231343e-06,8.061520e-06,7.897523e-06,7.739219e-06,7.586473e-06,7.439154e-06,7.297129e-06,7.160266e-06,7.028434e-06,6.901506e-06,6.779354e-06,6.661852e-06,6.548876e-06,6.440305e-06,6.336018e-06,6.235898e-06,6.139827e-06,6.047693e-06,5.959384e-06,5.874790e-06,5.793804e-06,5.716321e-06,5.642239e-06,5.571457e-06,5.503877e-06,5.439401e-06,5.377938e-06
0.000000e+00,6.304669e-06,1.410070e-04,1.482480e-04,1.223385e-03,5.299825e-03,5.580510e-03,1.655603e-02,3.441842e-02,3.579648e-02,6.235981e-02,9.167920e-02,9.440105e-02,1.301649e-01,1.643107e-01,1.681769e-01,2.072392e-01,2.417178e-01,2.463948e-01,2.848918e-01,3.170258e-01,3.221497e-01,3.577317e-01,3.860902e-01,3.913203e-01,4.226959e-01,4.466730e-01,4.517196e-01,4.783173e-01,4.978328e-01,5.024674e-01,5.241894e-01,5.394793e-01,5.435350e-01,5.605802e-01,5.720536e-01,5.754194e-01,5.881595e-01,5.963035e-01,5.989161e-01,6.078097e-01,6.131284e-01,6.149630e-01,6.204988e-01,6.234761e-01,6.245377e-01,6.271974e-01,6.282763e-01,6.285914e-01,6.288283e-01,6.284011e-01,6.280113e-01,6.262379e-01,6.246435e-01,6.235997e-01,6.201827e-01,6.177083e-01,6.160668e-01,6.113263e-01,6.082111e-01,6.060302e-01,6.002422e-01,5.966831e-01,5.940209e-01,5.874204e-01,5.835771e-01,5.804903e-01,5.732759e-01,5.692768e-01,5.658190e-01,5.581575e-01,5.541044e-01,5.503263e-01,5.423567e-01,5.383292e-01,5.342778e-01,5.261156e-01,5.221752e-01,5.178939e-01,5.096343e-01,5.058276e-01,5.013563e-01,4.930776e-01,4.894389e-01,4.848142e-01,4.765805e-01,4.731344e-01,4.683896e-01,4.602530e-01,4.570161e-01,4.521814e-01,4.441842e-01,4.411665e-01,4.362696e-01,4.284454e-01,4.256520e-01,4.207180e-01,4.130934e-01,4.105255e-01,4.055769e-01,3.981729e-01,3.958281e-01,3.908855e-01,3.837181e-01,3.815917e-01,3.766737e-01,3.697547e-01,3.678402e-01,3.629633e-01,3.563013e-01,3.545906e-01,3.497701e-01,3.433706e-01,3.418545e-01,3.371039e-01,3.309702e-01,3.296388e-01,3.249701e-01,3.191036e-01,3.179463e-01,3.133705e-01,3.077707e-01,3.067768e-01,3.023036e-01,2.969687e-01,2.961273e-01,2.917652e-01,2.866923e-01,2.859925e-01,2.817491e-01,2.769345e-01,2.763653e-01,2.722473e-01,2.676863e-01,2.672371e-01,2.632502e-01,2.589376e-01,2.585979e-01,2.547472e-01,2.506773e-01,2.504369e-01,2.467265e-01,2.428932e-01,2.427423e-01,2.391757e-01,2.355724e-01,2.355015e-01,2.320817e-01,2.287017e-01,2.223294e-01,2.163708e-01,2.108119e-01,2.056385e-01,2.008362e-01,1.963906e-01,1.922872e-01,1.885114e-01,1.850488e-01,1.818850e-01,1.790057e-01,1.763966e-01,1.740436e-01,1.719329e-01,1.700507e-01,1.683835e-01,1.669180e-01,1.656413e-01,1.645406e-01,1.636036e-01,1.628181e-01,1.621726e-01,1.616555e-01,1.612561e-01,1.609637e-01,1.607683e-01,1.606601e-01,1.606299e-01,1.606690e-01,1.607689e-01,1.609218e-01,1.611204e-01,1.613576e-01,1.616269e-01,1.619224e-01,1.622384e-01,1.625697e-01,1.629117e-01,1.632600e-01,1.636108e-01,1.639604e-01,1.643057e-01,1.646440e-01,1.649728e-01,1.652899e-01,1.655936e-01,1.658823e-01,1.661547e-01,1.664098e-01
0.000000e+00,7.768268e-08,2.204939e-06,2.328398e-06,2.203183e-05,9.332133e-05,9.786039e-05,2.478719e-04,4.313574e-04,4.437871e-04,6.550548e-04,8.472094e-04,8.635279e-04,1.060048e-03,1.223296e-03,1.240578e-03,1.403810e-03,1.533195e-03,1.549830e-03,1.679402e-03,1.778486e-03,1.793589e-03,1.893562e-03,1.967417e-03,1.980499e-03,2.055538e-03,2.108949e-03,2.119755e-03,2.174156e-03,2.211236e-03,2.219670e-03,2.257156e-03,2.281330e-03,2.287400e-03,2.311123e-03,2.325197e-03,2.328981e-03,2.341574e-03,2.347825e-03,2.349446e-03,2.353090e-03,2.353351e-03,2.352956e-03,2.349451e-03,2.345189e-03,2.342941e-03,2.333761e-03,2.326148e-03,2.322212e-03,2.308567e-03,2.298534e-03,2.293072e-03,2.275952e-03,2.264236e-03,2.257407e-03,2.237620e-03,2.224801e-03,2.216755e-03,2.194961e-03,2.181495e-03,2.172371e-03,2.149108e-03,2.135350e-03,2.125279e-03,2.100984e-03,2.087208e-03,2.076310e-03,2.051338e-03,2.037755e-03,2.026139e-03,2.000777e-03,1.987544e-03,1.975311e-03,1.949791e-03,1.937026e-03,1.924264e-03,1.898773e-03,1.886560e-03,1.873353e-03,1.848038e-03,1.836437e-03,1.822858e-03,1.797839e-03,1.786888e-03,1.773004e-03,1.748373e-03,1.738094e-03,1.723965e-03,1.699795e-03,1.690198e-03,1.675878e-03,1.652225e-03,1.643309e-03,1.628847e-03,1.605753e-03,1.597510e-03,1.582950e-03,1.560445e-03,1.552862e-03,1.538243e-03,1.516347e-03,1.509406e-03,1.494763e-03,1.473491e-03,1.467171e-03,1.452535e-03,1.431896e-03,1.426174e-03,1.411573e-03,1.391568e-03,1.386419e-03,1.371880e-03,1.352507e-03,1.347905e-03,1.333450e-03,1.314705e-03,1.310624e-03,1.296273e-03,1.278150e-03,1.274562e-03,1.260334e-03,1.242823e-03,1.239703e-03,1.225614e-03,1.208704e-03,1.206026e-03,1.192090e-03,1.175769e-03,1.173507e-03,1.159738e-03,1.143993e-03,1.142122e-03,1.128531e-03,1.113348e-03,1.111845e-03,1.098442e-03,1.083808e-03,1.082648e-03,1.069442e-03,1.055342e-03,1.054504e-03,1.041503e-03,1.027921e-03,1.027384e-03,1.014594e-03,1.001517e-03,1.001258e-03,9.886874e-04,9.761003e-04,9.518805e-04,9.285710e-04,9.061439e-04,8.845718e-04,8.638277e-04,8.438854e-04,8.247189e-04,8.063031e-04,7.886133e-04,7.716255e-04,7.553164e-04,7.396631e-04,7.246436e-04,7.102364e-04,6.964207e-04,6.831761e-04,6.704830e-04,6.583223e-04,6.466757e-04,6.355250e-04,6.248531e-04,6.146430e-04,6.048785e-04,5.955438e-04,5.866235e-04,5.781030e-04,5.699679e-04,5.622043e-04,5.547987e-04,5.477383e-04,5.410104e-04,5.346029e-04,5.285039e-04,5.227022e-04,5.171866e-04,5.119465e-04,5.069716e-04,5.022518e-04,4.977776e-04,4.935396e-04,4.895287e-04,4.857362e-04,4.821536e-04,4.787728e-04,4.755857e-04,4.725849e-04,4.697627e-04,4.671122e-04,4.646262e-04
0.000000e+00,2.223713e-07,6.104811e-06,6.438137e-06,5.614004e-05,2.192220e-04,2.292161e-04,5.502370e-04,9.352733e-04,9.613486e-04,1.407305e-03,1.820755e-03,1.856343e-03,2.292294e-03,2.666987e-03,2.707449e-03,3.098464e-03,3.421670e-03,3.464220e-03,3.804727e-03,4.077808e-03,4.120573e-03,4.412632e-03,4.640320e-03,4.681920e-03,4.929511e-03,5.117108e-03,5.156492e-03,5.363942e-03,5.516546e-03,5.552910e-03,5.724415e-03,5.846696e-03,5.879434e-03,6.018904e-03,6.115054e-03,6.143719e-03,6.254733e-03,6.328477e-03,6.352758e-03,6.438567e-03,6.493199e-03,6.512894e-03,6.576437e-03,6.614857e-03,6.629859e-03,6.673787e-03,6.698542e-03,6.708819e-03,6.735521e-03,6.748842e-03,6.754428e-03,6.766049e-03,6.769886e-03,6.770865e-03,6.769333e-03,6.765386e-03,6.761886e-03,6.748932e-03,6.738678e-03,6.730859e-03,6.708032e-03,6.692753e-03,6.680800e-03,6.649489e-03,6.630290e-03,6.614410e-03,6.575856e-03,6.553689e-03,6.534102e-03,6.489412e-03,6.465094e-03,6.442030e-03,6.392191e-03,6.366419e-03,6.340114e-03,6.286006e-03,6.259371e-03,6.230062e-03,6.172467e-03,6.145467e-03,6.113393e-03,6.053004e-03,6.026056e-03,5.991453e-03,5.928884e-03,5.902335e-03,5.865433e-03,5.801228e-03,5.775361e-03,5.736387e-03,5.671024e-03,5.646071e-03,5.605243e-03,5.539142e-03,5.515286e-03,5.472815e-03,5.406347e-03,5.383730e-03,5.339818e-03,5.273305e-03,5.252036e-03,5.206877e-03,5.140600e-03,5.120755e-03,5.074534e-03,5.008737e-03,4.990369e-03,4.943260e-03,4.878153e-03,4.861292e-03,4.813461e-03,4.749225e-03,4.733880e-03,4.685483e-03,4.622272e-03,4.608440e-03,4.559623e-03,4.497568e-03,4.485230e-03,4.436132e-03,4.375340e-03,4.364468e-03,4.315216e-03,4.255780e-03,4.246335e-03,4.197050e-03,4.139042e-03,4.130979e-03,4.081772e-03,4.025252e-03,4.018521e-03,3.969494e-03,3.914509e-03,3.909053e-03,3.860303e-03,3.806886e-03,3.802647e-03,3.754262e-03,3.702437e-03,3.699353e-03,3.651415e-03,3.601198e-03,3.599206e-03,3.551788e-03,3.503186e-03,3.502223e-03,3.455393e-03,3.408408e-03,3.317755e-03,3.230244e-03,3.145851e-03,3.064540e-03,2.986271e-03,2.910997e-03,2.838667e-03,2.769226e-03,2.702616e-03,2.638774e-03,2.577639e-03,2.519145e-03,2.463226e-03,2.409815e-03,2.358846e-03,2.310249e-03,2.263958e-03,2.219905e-03,2.178022e-03,2.138242e-03,2.100500e-03,2.064730e-03,2.030868e-03,1.998850e-03,1.968613e-03,1.940096e-03,1.913238e-03,1.887981e-03,1.864266e-03,1.842036e-03,1.821234e-03,1.801808e-03,1.783702e-03,1.766866e-03,1.751247e-03,1.736796e-03,1.723464e-03,1.711204e-03,1.699970e-03,1.689715e-03,1.680397e-03,1.671971e-03,1.664397e-03,1.657633e-03,1.651640e-03,1.646379e-03,1.641812e-03,1.637904e-03,1.634618e-03
0.000000e+00,1.161828e-06,2.168470e-05,2.270979e-05,1.616060e-04,6.701566e-04,7.056560e-04,2.171164e-03,4.861840e-03,5.082857e-03,9.622195e-03,1.507069e-02,1.559326e-02,2.265849e-02,2.968027e-02,3.048948e-02,3.880888e-02,4.635540e-02,4.739330e-02,5.606660e-02,6.349133e-02,6.469172e-02,7.316336e-02,8.010199e-02,8.140183e-02,8.934801e-02,9.561542e-02,9.695925e-02,1.042060e-01,1.097279e-01,1.110692e-01,1.175381e-01,1.223071e-01,1.236082e-01,1.292804e-01,1.333278e-01,1.345593e-01,1.394523e-01,1.428304e-01,1.439692e-01,1.481216e-01,1.508924e-01,1.519216e-01,1.553827e-01,1.576111e-01,1.585185e-01,1.613427e-01,1.630924e-01,1.638693e-01,1.661121e-01,1.674433e-01,1.680845e-01,1.697998e-01,1.707686e-01,1.712709e-01,1.725103e-01,1.731678e-01,1.735302e-01,1.743423e-01,1.747345e-01,1.749578e-01,1.753876e-01,1.755560e-01,1.756422e-01,1.757316e-01,1.757131e-01,1.756654e-01,1.754529e-01,1.752805e-01,1.751030e-01,1.746240e-01,1.743268e-01,1.740243e-01,1.733116e-01,1.729152e-01,1.724933e-01,1.715766e-01,1.711036e-01,1.705683e-01,1.694750e-01,1.689452e-01,1.683029e-01,1.670580e-01,1.664886e-01,1.657459e-01,1.643722e-01,1.637781e-01,1.629419e-01,1.614601e-01,1.608541e-01,1.599315e-01,1.583605e-01,1.577533e-01,1.567514e-01,1.551082e-01,1.545091e-01,1.534349e-01,1.517351e-01,1.511518e-01,1.500123e-01,1.482698e-01,1.477086e-01,1.465107e-01,1.447380e-01,1.442040e-01,1.429545e-01,1.411629e-01,1.406601e-01,1.393656e-01,1.375651e-01,1.370967e-01,1.357636e-01,1.339632e-01,1.335315e-01,1.321658e-01,1.303735e-01,1.299800e-01,1.285879e-01,1.268107e-01,1.264563e-01,1.250434e-01,1.232874e-01,1.229727e-01,1.215443e-01,1.198151e-01,1.195398e-01,1.181011e-01,1.164035e-01,1.161672e-01,1.147231e-01,1.130610e-01,1.128628e-01,1.114181e-01,1.097950e-01,1.096339e-01,1.081927e-01,1.066118e-01,1.064863e-01,1.050529e-01,1.035165e-01,1.034251e-01,1.020033e-01,1.005136e-01,1.004545e-01,9.904788e-02,9.760654e-02,9.757796e-02,9.618988e-02,9.479820e-02,9.211731e-02,8.953685e-02,8.705780e-02,8.468071e-02,8.240571e-02,8.023255e-02,7.816063e-02,7.618908e-02,7.431674e-02,7.254219e-02,7.086381e-02,6.927976e-02,6.778803e-02,6.638646e-02,6.507276e-02,6.384451e-02,6.269918e-02,6.163416e-02,6.064674e-02,5.973418e-02,5.889364e-02,5.812227e-02,5.741719e-02,5.677546e-02,5.619417e-02,5.567039e-02,5.520119e-02,5.478365e-02,5.441488e-02,5.409203e-02,5.381228e-02,5.357284e-02,5.337098e-02,5.320404e-02,5.306941e-02,5.296455e-02,5.288699e-02,5.283437e-02,5.280436e-02,5.279476e-02,5.280344e-02,5.282837e-02,5.286760e-02,5.291929e-02,5.298171e-02,5.305319e-02,5.313218e-02,5.321724e-02,5.330701e-02
0.000000e+00,1.225779e-07,2.301689e-06,2.412166e-06,1.765069e-05,7.155312e-05,7.516658e-05,2.103913e-04,4.112605e-04,4.259392e-04,6.903684e-04,9.495024e-04,9.721526e-04,1.251737e-03,1.492850e-03,1.518829e-03,1.768563e-03,1.972393e-03,1.999005e-03,2.209763e-03,2.375570e-03,2.401244e-03,2.574247e-03,2.706008e-03,2.729757e-03,2.868827e-03,2.971342e-03,2.992518e-03,3.101869e-03,3.179696e-03,3.197877e-03,3.281488e-03,3.338677e-03,3.353598e-03,3.415052e-03,3.455118e-03,3.466641e-03,3.509107e-03,3.535069e-03,3.543146e-03,3.569409e-03,3.583847e-03,3.588505e-03,3.601003e-03,3.606113e-03,3.607436e-03,3.608300e-03,3.605945e-03,3.604060e-03,3.595149e-03,3.586907e-03,3.581972e-03,3.564907e-03,3.552109e-03,3.544307e-03,3.520500e-03,3.504265e-03,3.493793e-03,3.464471e-03,3.445734e-03,3.432800e-03,3.399028e-03,3.378569e-03,3.363385e-03,3.326084e-03,3.304547e-03,3.287326e-03,3.247294e-03,3.225209e-03,3.206161e-03,3.164085e-03,3.141882e-03,3.121213e-03,3.077683e-03,3.055710e-03,3.033619e-03,2.989140e-03,2.967673e-03,2.944351e-03,2.899352e-03,2.878608e-03,2.854235e-03,2.809083e-03,2.789225e-03,2.763973e-03,2.718977e-03,2.700127e-03,2.674157e-03,2.629574e-03,2.611819e-03,2.585282e-03,2.541328e-03,2.524724e-03,2.497758e-03,2.454612e-03,2.439191e-03,2.411926e-03,2.369732e-03,2.355503e-03,2.328059e-03,2.286932e-03,2.273891e-03,2.246375e-03,2.206408e-03,2.194535e-03,2.167047e-03,2.128310e-03,2.117576e-03,2.090207e-03,2.052751e-03,2.043120e-03,2.015951e-03,1.979813e-03,1.971239e-03,1.944343e-03,1.909545e-03,1.901980e-03,1.875423e-03,1.841976e-03,1.835368e-03,1.809207e-03,1.777114e-03,1.771409e-03,1.745695e-03,1.714948e-03,1.710090e-03,1.684869e-03,1.655454e-03,1.651389e-03,1.626698e-03,1.598597e-03,1.595268e-03,1.571142e-03,1.544329e-03,1.541683e-03,1.518151e-03,1.492598e-03,1.490581e-03,1.467665e-03,1.443343e-03,1.441903e-03,1.419624e-03,1.396498e-03,1.395585e-03,1.373958e-03,1.351993e-03,1.351560e-03,1.330596e-03,1.309757e-03,1.270104e-03,1.232527e-03,1.196953e-03,1.163306e-03,1.131514e-03,1.101503e-03,1.073200e-03,1.046535e-03,1.021437e-03,9.978394e-04,9.756753e-04,9.548803e-04,9.353917e-04,9.171490e-04,9.000935e-04,8.841685e-04,8.693195e-04,8.554936e-04,8.426403e-04,8.307107e-04,8.196581e-04,8.094375e-04,8.000057e-04,7.913214e-04,7.833449e-04,7.760385e-04,7.693658e-04,7.632920e-04,7.577840e-04,7.528102e-04,7.483402e-04,7.443452e-04,7.407976e-04,7.376710e-04,7.349405e-04,7.325822e-04,7.305732e-04,7.288919e-04,7.275176e-04,7.264307e-04,7.256124e-04,7.250452e-04,7.247119e-04,7.245967e-04,7.246841e-04,7.249600e-04,7.254103e-04,7.260222e-04,7.267832e-04
0.000000e+00,1.107075e-06,2.277769e-05,2.391071e-05,1.884670e-04,8.195035e-04,8.636284e-04,2.644413e-03,5.706672e-03,5.948748e-03,1.071445e-02,1.610904e-02,1.661428e-02,2.329902e-02,2.973738e-02,3.046883e-02,3.788040e-02,4.444825e-02,4.534073e-02,5.269923e-02,5.885734e-02,5.984056e-02,6.667831e-02,7.214101e-02,7.314985e-02,7.921186e-02,8.385727e-02,8.483664e-02,9.000902e-02,9.381742e-02,9.472380e-02,9.898358e-02,1.019957e-01,1.027970e-01,1.061773e-01,1.084668e-01,1.091411e-01,1.117075e-01,1.133627e-01,1.138969e-01,1.157312e-01,1.168442e-01,1.172322e-01,1.184222e-01,1.190818e-01,1.193230e-01,1.199559e-01,1.202439e-01,1.203417e-01,1.205001e-01,1.204894e-01,1.204502e-01,1.202100e-01,1.199642e-01,1.197964e-01,1.192254e-01,1.187991e-01,1.185122e-01,1.176707e-01,1.171097e-01,1.167140e-01,1.156543e-01,1.149969e-01,1.145028e-01,1.132700e-01,1.125478e-01,1.119656e-01,1.105986e-01,1.098373e-01,1.091772e-01,1.077089e-01,1.069293e-01,1.062009e-01,1.046595e-01,1.038781e-01,1.030906e-01,1.014997e-01,1.007297e-01,9.989168e-02,9.827114e-02,9.752265e-02,9.664225e-02,9.500879e-02,9.428953e-02,9.337424e-02,9.174177e-02,9.105746e-02,9.011427e-02,8.849436e-02,8.784906e-02,8.688442e-02,8.528663e-02,8.468306e-02,8.370293e-02,8.213509e-02,8.157486e-02,8.058470e-02,7.905320e-02,7.853703e-02,7.754187e-02,7.605186e-02,7.557972e-02,7.458416e-02,7.313969e-02,7.271100e-02,7.171923e-02,7.032346e-02,6.993715e-02,6.895298e-02,6.760828e-02,6.726294e-02,6.628981e-02,6.499791e-02,6.469184e-02,6.373287e-02,6.249491e-02,6.222621e-02,6.128419e-02,6.010084e-02,5.986746e-02,5.894490e-02,5.781641e-02,5.761619e-02,5.671533e-02,5.564161e-02,5.547234e-02,5.459514e-02,5.357580e-02,5.343525e-02,5.258343e-02,5.161785e-02,5.150377e-02,5.067884e-02,4.976617e-02,4.967634e-02,4.887959e-02,4.801884e-02,4.795108e-02,4.718361e-02,4.637360e-02,4.632580e-02,4.558850e-02,4.482798e-02,4.479807e-02,4.409170e-02,4.337930e-02,4.336529e-02,4.269042e-02,4.202470e-02,4.077339e-02,3.960840e-02,3.852665e-02,3.752502e-02,3.660039e-02,3.574956e-02,3.496935e-02,3.425659e-02,3.360811e-02,3.302075e-02,3.249139e-02,3.201693e-02,3.159434e-02,3.122061e-02,3.089278e-02,3.060798e-02,3.036336e-02,3.015616e-02,2.998370e-02,2.984335e-02,2.973258e-02,2.964893e-02,2.959005e-02,2.955364e-02,2.953753e-02,2.953962e-02,2.955792e-02,2.959053e-02,2.963566e-02,2.969159e-02,2.975674e-02,2.982960e-02,2.990877e-02,2.999295e-02,3.008094e-02,3.017161e-02,3.026396e-02,3.035705e-02,3.045003e-02,3.054216e-02,3.063275e-02,3.072121e-02,3.080701e-02,3.088969e-02,3.096887e-02,3.104423e-02,3.111549e-02,3.118244e-02,3.124492e-02
0.000000e+00,7.017634e-08,1.305312e-06,1.368823e-06,1.006749e-05,3.862893e-05,4.044311e-05,1.017812e-04,1.765053e-04,1.814318e-04,2.619846e-04,3.306732e-04,3.363450e-04,4.030896e-04,4.567664e-04,4.623723e-04,5.146899e-04,5.554024e-04,5.605892e-04,6.006008e-04,6.306844e-04,6.352254e-04,6.649318e-04,6.864053e-04,6.901574e-04,7.113089e-04,7.258785e-04,7.287635e-04,7.428701e-04,7.519620e-04,7.539506e-04,7.623013e-04,7.670959e-04,7.681946e-04,7.718803e-04,7.733465e-04,7.735871e-04,7.735246e-04,7.724524e-04,7.718840e-04,7.688403e-04,7.658700e-04,7.645528e-04,7.591670e-04,7.548148e-04,7.528152e-04,7.456178e-04,7.402968e-04,7.376842e-04,7.291142e-04,7.231535e-04,7.199979e-04,7.104168e-04,7.040755e-04,7.004451e-04,6.901502e-04,6.836321e-04,6.795930e-04,6.688280e-04,6.622899e-04,6.579045e-04,6.468671e-04,6.404291e-04,6.357557e-04,6.246060e-04,6.183575e-04,6.134500e-04,6.023161e-04,5.963219e-04,5.912295e-04,5.802129e-04,5.745185e-04,5.692859e-04,5.584660e-04,5.531010e-04,5.477683e-04,5.372064e-04,5.321882e-04,5.267916e-04,5.165338e-04,5.118704e-04,5.064416e-04,4.965221e-04,4.922137e-04,4.867811e-04,4.772236e-04,4.732652e-04,4.678535e-04,4.586738e-04,4.550557e-04,4.496867e-04,4.408936e-04,4.376033e-04,4.322955e-04,4.238926e-04,4.209153e-04,4.156847e-04,4.076712e-04,4.049907e-04,3.998510e-04,3.922226e-04,3.898217e-04,3.847843e-04,3.775341e-04,3.753954e-04,3.704698e-04,3.635888e-04,3.616947e-04,3.568886e-04,3.503664e-04,3.486993e-04,3.440190e-04,3.378437e-04,3.363868e-04,3.318371e-04,3.259962e-04,3.247330e-04,3.203175e-04,3.147979e-04,3.137128e-04,3.094340e-04,3.042225e-04,3.033003e-04,2.991599e-04,2.942429e-04,2.934695e-04,2.894681e-04,2.848323e-04,2.841942e-04,2.803321e-04,2.759641e-04,2.754487e-04,2.717253e-04,2.676122e-04,2.672077e-04,2.636218e-04,2.597509e-04,2.594463e-04,2.559964e-04,2.523553e-04,2.521403e-04,2.488246e-04,2.454013e-04,2.452666e-04,2.420827e-04,2.388658e-04,2.388025e-04,2.357479e-04,2.327263e-04,2.270172e-04,2.216553e-04,2.166216e-04,2.118979e-04,2.074669e-04,2.033121e-04,1.994180e-04,1.957695e-04,1.923528e-04,1.891544e-04,1.861616e-04,1.833626e-04,1.807460e-04,1.783012e-04,1.760180e-04,1.738868e-04,1.718988e-04,1.700452e-04,1.683183e-04,1.667102e-04,1.652140e-04,1.638229e-04,1.625305e-04,1.613308e-04,1.602183e-04,1.591875e-04,1.582335e-04,1.573515e-04,1.565372e-04,1.557862e-04,1.550948e-04,1.544590e-04,1.538756e-04,1.533411e-04,1.528525e-04,1.524068e-04,1.520014e-04,1.516336e-04,1.513009e-04,1.510012e-04,1.507322e-04,1.504920e-04,1.502786e-04,1.500902e-04,1.499251e-04,1.497818e-04,1.496587e-04,1.495546e-04,1.494680e-04
0.000000e+00,3.800163e-08,5.321545e-07,5.559236e-07,3.585248e-06,1.297724e-05,1.356307e-05,3.276066e-05,5.487749e-05,5.631062e-05,7.973722e-05,1.000872e-04,1.017942e-04,1.222752e-04,1.393714e-04,1.411947e-04,1.586136e-04,1.727563e-04,1.746016e-04,1.892301e-04,2.007770e-04,2.025696e-04,2.146897e-04,2.239785e-04,2.256590e-04,2.355443e-04,2.428869e-04,2.444104e-04,2.523200e-04,2.579995e-04,2.593332e-04,2.655078e-04,2.697772e-04,2.708986e-04,2.755580e-04,2.786405e-04,2.795354e-04,2.828779e-04,2.849687e-04,2.856298e-04,2.878330e-04,2.891018e-04,2.895270e-04,2.907491e-04,2.913427e-04,2.915344e-04,2.919158e-04,2.919605e-04,2.919246e-04,2.915899e-04,2.911943e-04,2.909392e-04,2.899984e-04,2.892554e-04,2.887918e-04,2.873420e-04,2.863303e-04,2.856701e-04,2.837960e-04,2.825824e-04,2.817384e-04,2.795148e-04,2.781555e-04,2.771415e-04,2.746336e-04,2.731758e-04,2.720055e-04,2.692705e-04,2.677535e-04,2.664408e-04,2.635283e-04,2.619845e-04,2.605435e-04,2.574966e-04,2.559528e-04,2.543969e-04,2.512530e-04,2.497307e-04,2.480731e-04,2.448647e-04,2.433811e-04,2.416346e-04,2.383893e-04,2.369582e-04,2.351348e-04,2.318766e-04,2.305082e-04,2.286196e-04,2.253687e-04,2.240710e-04,2.221280e-04,2.189016e-04,2.176801e-04,2.156930e-04,2.125056e-04,2.113639e-04,2.093424e-04,2.062062e-04,2.051464e-04,2.030993e-04,2.000242e-04,1.990473e-04,1.969829e-04,1.939772e-04,1.930826e-04,1.910086e-04,1.880788e-04,1.872656e-04,1.851891e-04,1.823404e-04,1.816066e-04,1.795339e-04,1.767704e-04,1.761137e-04,1.740507e-04,1.713753e-04,1.707927e-04,1.687448e-04,1.661595e-04,1.656479e-04,1.636199e-04,1.611260e-04,1.606820e-04,1.586781e-04,1.562763e-04,1.558963e-04,1.539205e-04,1.516106e-04,1.512909e-04,1.493467e-04,1.471284e-04,1.468652e-04,1.449555e-04,1.428279e-04,1.426176e-04,1.407451e-04,1.387069e-04,1.385458e-04,1.367129e-04,1.347626e-04,1.346470e-04,1.328557e-04,1.309916e-04,1.309179e-04,1.291699e-04,1.273901e-04,1.273549e-04,1.256516e-04,1.239539e-04,1.207106e-04,1.176207e-04,1.146796e-04,1.118826e-04,1.092250e-04,1.067020e-04,1.043089e-04,1.020409e-04,9.989351e-05,9.786195e-05,9.594172e-05,9.412835e-05,9.241748e-05,9.080485e-05,8.928630e-05,8.785778e-05,8.651537e-05,8.525525e-05,8.407373e-05,8.296722e-05,8.193227e-05,8.096554e-05,8.006380e-05,7.922395e-05,7.844298e-05,7.771802e-05,7.704628e-05,7.642509e-05,7.585189e-05,7.532421e-05,7.483967e-05,7.439601e-05,7.399104e-05,7.362268e-05,7.328892e-05,7.298783e-05,7.271759e-05,7.247643e-05,7.226266e-05,7.207467e-05,7.191092e-05,7.176994e-05,7.165032e-05,7.155071e-05,7.146984e-05,7.140647e-05,7.135943e-05,7.132764e-05,7.130998e-05
0.000000e+00,1.123509e-09,1.291817e-08,1.345495e-08,7.810975e-08,2.752119e-07,2.877526e-07,7.304337e-07,1.325031e-06,1.365961e-06,2.053939e-06,2.658693e-06,2.709142e-06,3.307811e-06,3.795728e-06,3.847028e-06,4.329255e-06,4.709423e-06,4.758215e-06,5.137816e-06,5.427692e-06,5.471850e-06,5.763914e-06,5.979301e-06,6.017400e-06,6.235483e-06,6.389989e-06,6.421142e-06,6.577140e-06,6.682321e-06,6.706055e-06,6.810277e-06,6.875860e-06,6.892022e-06,6.953343e-06,6.987459e-06,6.996135e-06,7.022152e-06,7.031567e-06,7.033019e-06,7.030201e-06,7.020481e-06,7.015084e-06,6.988935e-06,6.964691e-06,6.952913e-06,6.908082e-06,6.873069e-06,6.855422e-06,6.795829e-06,6.753101e-06,6.730123e-06,6.659057e-06,6.611083e-06,6.583320e-06,6.503540e-06,6.452300e-06,6.420292e-06,6.334100e-06,6.281174e-06,6.245444e-06,6.154759e-06,6.101389e-06,6.062441e-06,5.968851e-06,5.916007e-06,5.874314e-06,5.779128e-06,5.727553e-06,5.683560e-06,5.587852e-06,5.538102e-06,5.492222e-06,5.396866e-06,5.349347e-06,5.301961e-06,5.207663e-06,5.162657e-06,5.114113e-06,5.021436e-06,4.979128e-06,4.929742e-06,4.839128e-06,4.799623e-06,4.749681e-06,4.661475e-06,4.624815e-06,4.574575e-06,4.489035e-06,4.455210e-06,4.404902e-06,4.322218e-06,4.291184e-06,4.241012e-06,4.161313e-06,4.132994e-06,4.083140e-06,4.006508e-06,3.980806e-06,3.931428e-06,3.857906e-06,3.834709e-06,3.785945e-06,3.715543e-06,3.694726e-06,3.646697e-06,3.579398e-06,3.560831e-06,3.513638e-06,3.449404e-06,3.432952e-06,3.386684e-06,3.325460e-06,3.310988e-06,3.265717e-06,3.207435e-06,3.194807e-06,3.150595e-06,3.095175e-06,3.084260e-06,3.041156e-06,2.988512e-06,2.979181e-06,2.937223e-06,2.887264e-06,2.879392e-06,2.838611e-06,2.791240e-06,2.784709e-06,2.745126e-06,2.700245e-06,2.694941e-06,2.656571e-06,2.614080e-06,2.609895e-06,2.572746e-06,2.532545e-06,2.529377e-06,2.493453e-06,2.455443e-06,2.453197e-06,2.418493e-06,2.382578e-06,2.381162e-06,2.347673e-06,2.313756e-06,2.313088e-06,2.280803e-06,2.248790e-06,2.188092e-06,2.130819e-06,2.076806e-06,2.025890e-06,1.977917e-06,1.932736e-06,1.890206e-06,1.850188e-06,1.812551e-06,1.777170e-06,1.743925e-06,1.712702e-06,1.683393e-06,1.655893e-06,1.630105e-06,1.605935e-06,1.583294e-06,1.562098e-06,1.542266e-06,1.523723e-06,1.506396e-06,1.490218e-06,1.475122e-06,1.461049e-06,1.447940e-06,1.435740e-06,1.424396e-06,1.413860e-06,1.404085e-06,1.395027e-06,1.386643e-06,1.378895e-06,1.371745e-06,1.365158e-06,1.359099e-06,1.353539e-06,1.348446e-06,1.343793e-06,1.339553e-06,1.335700e-06,1.332212e-06,1.329064e-06,1.326237e-06,1.323710e-06,1.321464e-06,1.319482e-06,1.317745e-06,1.316240e-06,1.314949e-06
0.000000e+00,6.995662e-08,1.090438e-06,1.138399e-06,7.092176e-06,2.652152e-05,2.781093e-05,7.725960e-05,1.579612e-04,1.642324e-04,2.849548e-04,4.139203e-04,4.255095e-04,5.705389e-04,6.963017e-04,7.098032e-04,8.386800e-04,9.423994e-04,9.558350e-04,1.061355e-03,1.143245e-03,1.155835e-03,1.240022e-03,1.303343e-03,1.314678e-03,1.380539e-03,1.428474e-03,1.438303e-03,1.488623e-03,1.523928e-03,1.532105e-03,1.569317e-03,1.594327e-03,1.600782e-03,1.626986e-03,1.643662e-03,1.648381e-03,1.665381e-03,1.675360e-03,1.678373e-03,1.687712e-03,1.692359e-03,1.693726e-03,1.696719e-03,1.697167e-03,1.696971e-03,1.694739e-03,1.691926e-03,1.690263e-03,1.683760e-03,1.678458e-03,1.675434e-03,1.665470e-03,1.658313e-03,1.654039e-03,1.641300e-03,1.632808e-03,1.627396e-03,1.612461e-03,1.603056e-03,1.596617e-03,1.579977e-03,1.570001e-03,1.562643e-03,1.544710e-03,1.534439e-03,1.526265e-03,1.507387e-03,1.497038e-03,1.488148e-03,1.468616e-03,1.458363e-03,1.448850e-03,1.428906e-03,1.418883e-03,1.408835e-03,1.388682e-03,1.378992e-03,1.368489e-03,1.348294e-03,1.339014e-03,1.328133e-03,1.308035e-03,1.299220e-03,1.288029e-03,1.268141e-03,1.259829e-03,1.248394e-03,1.228807e-03,1.221022e-03,1.209400e-03,1.190188e-03,1.182942e-03,1.171187e-03,1.152409e-03,1.145705e-03,1.133865e-03,1.115566e-03,1.109402e-03,1.097520e-03,1.079734e-03,1.074099e-03,1.062215e-03,1.044969e-03,1.039848e-03,1.027998e-03,1.011308e-03,1.006685e-03,9.949003e-04,9.787776e-04,9.746326e-04,9.629413e-04,9.473921e-04,9.437031e-04,9.321304e-04,9.171560e-04,9.139001e-04,9.024683e-04,8.880662e-04,8.852200e-04,8.739485e-04,8.601135e-04,8.576530e-04,8.465591e-04,8.332831e-04,8.311847e-04,8.202831e-04,8.075563e-04,8.057962e-04,7.950999e-04,7.829107e-04,7.814658e-04,7.709857e-04,7.593215e-04,7.581693e-04,7.479147e-04,7.367617e-04,7.358803e-04,7.258590e-04,7.152029e-04,7.145713e-04,7.047897e-04,6.946155e-04,6.942135e-04,6.846767e-04,6.749693e-04,6.747775e-04,6.654895e-04,6.562335e-04,6.385514e-04,6.217012e-04,6.056531e-04,5.903777e-04,5.758460e-04,5.620294e-04,5.489001e-04,5.364309e-04,5.245951e-04,5.133669e-04,5.027212e-04,4.926337e-04,4.830807e-04,4.740398e-04,4.654887e-04,4.574063e-04,4.497720e-04,4.425660e-04,4.357691e-04,4.293632e-04,4.233304e-04,4.176539e-04,4.123174e-04,4.073051e-04,4.026019e-04,3.981935e-04,3.940657e-04,3.902054e-04,3.865997e-04,3.832363e-04,3.801035e-04,3.771899e-04,3.744847e-04,3.719775e-04,3.696585e-04,3.675179e-04,3.655468e-04,3.637364e-04,3.620782e-04,3.605643e-04,3.591871e-04,3.579391e-04,3.568134e-04,3.558032e-04,3.549021e-04,3.541040e-04,3.534030e-04,3.527936e-04,3.522703e-04
0.000000e+00,2.968992e-07,7.711451e-06,8.122932e-06,6.920332e-05,2.897536e-04,3.045151e-04,8.599941e-04,1.717765e-03,1.782544e-03,3.005490e-03,4.312845e-03,4.432397e-03,5.978835e-03,7.417817e-03,7.578668e-03,9.182008e-03,1.056641e-02,1.075212e-02,1.226264e-02,1.349991e-02,1.369529e-02,1.503810e-02,1.609125e-02,1.628387e-02,1.742912e-02,1.829263e-02,1.847312e-02,1.941715e-02,2.010225e-02,2.026402e-02,2.101754e-02,2.154338e-02,2.168224e-02,2.226305e-02,2.265154e-02,2.276515e-02,2.319378e-02,2.346672e-02,2.355413e-02,2.385128e-02,2.402885e-02,2.409012e-02,2.427532e-02,2.437541e-02,2.441129e-02,2.450222e-02,2.454032e-02,2.455200e-02,2.456428e-02,2.455350e-02,2.454245e-02,2.448967e-02,2.444100e-02,2.440885e-02,2.430268e-02,2.422523e-02,2.417366e-02,2.402406e-02,2.392530e-02,2.385598e-02,2.367134e-02,2.355738e-02,2.347193e-02,2.325936e-02,2.313513e-02,2.303513e-02,2.280060e-02,2.267013e-02,2.255705e-02,2.230562e-02,2.217212e-02,2.204738e-02,2.178329e-02,2.164934e-02,2.151425e-02,2.124108e-02,2.110871e-02,2.096452e-02,2.068527e-02,2.055608e-02,2.040395e-02,2.012116e-02,1.999640e-02,1.983741e-02,1.955320e-02,1.943380e-02,1.926896e-02,1.898511e-02,1.887176e-02,1.870201e-02,1.842000e-02,1.831319e-02,1.813939e-02,1.786045e-02,1.776050e-02,1.758345e-02,1.730861e-02,1.721569e-02,1.703614e-02,1.676622e-02,1.668041e-02,1.649902e-02,1.623470e-02,1.615598e-02,1.597338e-02,1.571519e-02,1.564347e-02,1.546023e-02,1.520860e-02,1.514373e-02,1.496037e-02,1.471561e-02,1.465739e-02,1.447439e-02,1.423675e-02,1.418496e-02,1.400274e-02,1.377239e-02,1.372676e-02,1.354573e-02,1.332277e-02,1.328303e-02,1.310353e-02,1.288803e-02,1.285389e-02,1.267625e-02,1.246821e-02,1.243938e-02,1.226389e-02,1.206329e-02,1.203947e-02,1.186639e-02,1.167318e-02,1.165406e-02,1.148363e-02,1.129773e-02,1.128302e-02,1.111545e-02,1.093676e-02,1.092615e-02,1.076164e-02,1.059005e-02,1.058326e-02,1.042196e-02,1.025734e-02,1.025408e-02,1.009616e-02,9.938371e-03,9.635839e-03,9.346196e-03,9.069139e-03,8.804358e-03,8.551544e-03,8.310379e-03,8.080548e-03,7.861736e-03,7.653630e-03,7.455922e-03,7.268305e-03,7.090477e-03,6.922140e-03,6.763000e-03,6.612769e-03,6.471163e-03,6.337905e-03,6.212721e-03,6.095342e-03,5.985505e-03,5.882950e-03,5.787424e-03,5.698676e-03,5.616461e-03,5.540536e-03,5.470666e-03,5.406616e-03,5.348155e-03,5.295059e-03,5.247103e-03,5.204069e-03,5.165741e-03,5.131905e-03,5.102352e-03,5.076877e-03,5.055275e-03,5.037348e-03,5.022899e-03,5.011734e-03,5.003665e-03,4.998504e-03,4.996071e-03,4.996185e-03,4.998672e-03,5.003362e-03,5.010087e-03,5.018685e-03,5.028997e-03,5.040870e-03
0.000000e+00,6.892098e-06,1.344180e-04,1.408799e-04,1.019583e-03,4.129259e-03,4.340947e-03,1.273164e-02,2.734075e-02,2.852217e-02,5.267578e-02,8.188670e-02,8.471094e-02,1.233017e-01,1.623748e-01,1.669215e-01,2.141619e-01,2.577613e-01,2.638110e-01,3.148507e-01,3.592084e-01,3.664357e-01,4.178713e-01,4.605444e-01,4.685916e-01,5.181418e-01,5.576439e-01,5.661608e-01,6.123678e-01,6.478835e-01,6.565496e-01,6.985501e-01,7.297251e-01,7.382610e-01,7.756141e-01,8.024029e-01,8.105743e-01,8.431339e-01,8.656905e-01,8.733077e-01,9.011287e-01,9.197292e-01,9.266444e-01,9.499138e-01,9.649018e-01,9.710047e-01,9.899919e-01,1.001742e+00,1.006955e+00,1.021976e+00,1.030867e+00,1.035140e+00,1.046533e+00,1.052935e+00,1.056241e+00,1.064349e+00,1.068609e+00,1.070941e+00,1.076099e+00,1.078540e+00,1.079904e+00,1.082435e+00,1.083348e+00,1.083766e+00,1.083971e+00,1.083620e+00,1.083121e+00,1.081283e+00,1.079904e+00,1.078524e+00,1.074904e+00,1.072702e+00,1.070484e+00,1.065321e+00,1.062477e+00,1.059468e+00,1.052979e+00,1.049652e+00,1.045901e+00,1.038282e+00,1.034608e+00,1.030167e+00,1.021597e+00,1.017693e+00,1.012613e+00,1.003253e+00,9.992187e-01,9.935532e-01,9.835469e-01,9.794660e-01,9.732669e-01,9.627435e-01,9.586868e-01,9.520056e-01,9.410803e-01,9.371064e-01,9.299935e-01,9.187691e-01,9.149256e-01,9.074300e-01,8.959978e-01,8.923231e-01,8.844925e-01,8.729331e-01,8.694574e-01,8.613375e-01,8.497224e-01,8.464689e-01,8.381035e-01,8.264955e-01,8.234809e-01,8.149120e-01,8.033660e-01,8.006019e-01,7.918695e-01,7.804336e-01,7.779269e-01,7.690687e-01,7.577846e-01,7.555383e-01,7.465902e-01,7.354939e-01,7.335076e-01,7.245033e-01,7.136257e-01,7.118962e-01,7.028675e-01,6.922347e-01,6.907565e-01,6.817330e-01,6.713674e-01,6.701328e-01,6.611423e-01,6.510622e-01,6.500623e-01,6.411306e-01,6.313510e-01,6.305753e-01,6.217264e-01,6.122595e-01,6.116966e-01,6.029527e-01,5.938080e-01,5.934456e-01,5.848272e-01,5.760118e-01,5.758372e-01,5.673630e-01,5.588818e-01,5.425865e-01,5.269548e-01,5.119872e-01,4.976817e-01,4.840341e-01,4.710380e-01,4.586852e-01,4.469658e-01,4.358686e-01,4.253811e-01,4.154898e-01,4.061800e-01,3.974365e-01,3.892432e-01,3.815835e-01,3.744402e-01,3.677957e-01,3.616322e-01,3.559316e-01,3.506755e-01,3.458454e-01,3.414230e-01,3.373896e-01,3.337268e-01,3.304164e-01,3.274401e-01,3.247799e-01,3.224183e-01,3.203376e-01,3.185208e-01,3.169512e-01,3.156123e-01,3.144882e-01,3.135635e-01,3.128230e-01,3.122522e-01,3.118372e-01,3.115644e-01,3.114208e-01,3.113941e-01,3.114723e-01,3.116443e-01,3.118992e-01,3.122271e-01,3.126182e-01,3.130636e-01,3.135548e-01,3.140841e-01,3.146439e-01
0.000000e+00,2.222547e-08,2.935293e-07,3.059983e-07,1.768734e-06,5.933472e-06,6.189768e-06,1.496339e-05,2.663054e-05,2.744320e-05,4.129826e-05,5.363053e-05,5.465990e-05,6.684469e-05,7.670849e-05,7.774121e-05,8.740318e-05,9.495749e-05,9.592275e-05,1.033969e-04,1.090596e-04,1.099186e-04,1.155748e-04,1.197163e-04,1.204460e-04,1.246062e-04,1.275348e-04,1.281233e-04,1.310596e-04,1.330289e-04,1.334720e-04,1.354125e-04,1.366291e-04,1.369284e-04,1.380628e-04,1.386940e-04,1.388548e-04,1.393401e-04,1.395210e-04,1.395511e-04,1.395172e-04,1.393561e-04,1.392650e-04,1.388187e-04,1.384026e-04,1.382002e-04,1.374292e-04,1.368273e-04,1.365241e-04,1.355012e-04,1.347687e-04,1.343751e-04,1.331592e-04,1.323396e-04,1.318657e-04,1.305053e-04,1.296326e-04,1.290878e-04,1.276223e-04,1.267231e-04,1.261165e-04,1.245778e-04,1.236728e-04,1.230125e-04,1.214266e-04,1.205314e-04,1.198252e-04,1.182130e-04,1.173394e-04,1.165942e-04,1.149726e-04,1.141293e-04,1.133515e-04,1.117338e-04,1.109272e-04,1.101224e-04,1.085194e-04,1.077536e-04,1.069269e-04,1.053469e-04,1.046247e-04,1.037809e-04,1.022304e-04,1.015534e-04,1.006966e-04,9.918046e-05,9.854922e-05,9.768303e-05,9.620506e-05,9.561947e-05,9.474721e-05,9.331003e-05,9.276943e-05,9.189400e-05,9.049947e-05,9.000277e-05,8.912675e-05,8.777604e-05,8.732185e-05,8.644752e-05,8.514127e-05,8.472798e-05,8.385734e-05,8.259574e-05,8.222161e-05,8.135643e-05,8.013933e-05,7.980251e-05,7.894434e-05,7.777131e-05,7.746991e-05,7.662010e-05,7.549052e-05,7.522261e-05,7.438236e-05,7.329540e-05,7.305909e-05,7.222941e-05,7.118415e-05,7.097756e-05,7.015935e-05,6.915475e-05,6.897605e-05,6.817007e-05,6.720503e-05,6.705243e-05,6.625935e-05,6.533273e-05,6.520451e-05,6.442488e-05,6.353550e-05,6.343000e-05,6.266429e-05,6.181096e-05,6.172660e-05,6.097520e-05,6.015672e-05,6.009198e-05,5.935521e-05,5.857039e-05,5.852383e-05,5.780195e-05,5.704961e-05,5.701985e-05,5.631307e-05,5.559204e-05,5.557777e-05,5.488623e-05,5.419537e-05,5.287048e-05,5.160095e-05,5.038471e-05,4.921976e-05,4.810413e-05,4.703593e-05,4.601332e-05,4.503453e-05,4.409785e-05,4.320161e-05,4.234423e-05,4.152417e-05,4.073993e-05,3.999010e-05,3.927330e-05,3.858820e-05,3.793353e-05,3.730807e-05,3.671063e-05,3.614008e-05,3.559533e-05,3.507534e-05,3.457909e-05,3.410561e-05,3.365398e-05,3.322330e-05,3.281272e-05,3.242140e-05,3.204855e-05,3.169341e-05,3.135524e-05,3.103335e-05,3.072705e-05,3.043570e-05,3.015868e-05,2.989537e-05,2.964522e-05,2.940766e-05,2.918217e-05,2.896823e-05,2.876536e-05,2.857308e-05,2.839094e-05,2.821851e-05,2.805538e-05,2.790114e-05,2.775541e-05,2.761782e-05,2.748801e-05
0.000000e+00,1.376248e-07,2.259535e-06,2.360137e-06,1.496257e-05,5.720937e-05,6.006148e-05,1.723606e-04,3.617487e-04,3.765821e-04,6.618165e-04,9.644438e-04,9.915955e-04,1.332434e-03,1.631306e-03,1.663629e-03,1.974533e-03,2.227548e-03,2.260475e-03,2.520002e-03,2.722196e-03,2.753314e-03,2.961424e-03,3.117775e-03,3.145726e-03,3.307762e-03,3.425126e-03,3.449113e-03,3.571333e-03,3.656343e-03,3.675919e-03,3.764293e-03,3.822838e-03,3.837799e-03,3.897693e-03,3.934834e-03,3.945149e-03,3.981263e-03,4.001284e-03,4.007048e-03,4.023448e-03,4.029937e-03,4.031335e-03,4.031514e-03,4.027455e-03,4.024731e-03,4.011669e-03,3.999524e-03,3.992959e-03,3.969182e-03,3.950977e-03,3.940876e-03,3.908537e-03,3.885935e-03,3.872620e-03,3.833548e-03,3.807909e-03,3.791707e-03,3.747456e-03,3.719889e-03,3.701131e-03,3.653039e-03,3.624445e-03,3.603455e-03,3.552632e-03,3.523715e-03,3.500796e-03,3.448157e-03,3.419464e-03,3.394902e-03,3.341205e-03,3.313161e-03,3.287222e-03,3.233095e-03,3.206017e-03,3.178951e-03,3.124908e-03,3.099034e-03,3.071070e-03,3.017532e-03,2.993030e-03,2.964380e-03,2.911688e-03,2.888667e-03,2.859524e-03,2.807949e-03,2.786476e-03,2.757016e-03,2.706772e-03,2.686876e-03,2.657257e-03,2.608507e-03,2.590190e-03,2.560554e-03,2.513423e-03,2.496661e-03,2.467136e-03,2.421712e-03,2.406466e-03,2.377164e-03,2.333506e-03,2.319724e-03,2.290744e-03,2.248886e-03,2.236505e-03,2.207935e-03,2.167891e-03,2.156841e-03,2.128755e-03,2.090524e-03,2.080732e-03,2.053194e-03,2.016761e-03,2.008149e-03,1.981216e-03,1.946552e-03,1.939044e-03,1.912761e-03,1.879832e-03,1.873349e-03,1.847755e-03,1.816518e-03,1.810984e-03,1.786110e-03,1.756517e-03,1.751857e-03,1.727728e-03,1.699727e-03,1.695870e-03,1.672503e-03,1.646040e-03,1.642915e-03,1.620325e-03,1.595342e-03,1.592884e-03,1.571078e-03,1.547518e-03,1.545664e-03,1.524648e-03,1.502451e-03,1.501141e-03,1.480915e-03,1.460024e-03,1.459202e-03,1.439764e-03,1.420120e-03,1.419733e-03,1.401078e-03,1.382623e-03,1.347762e-03,1.315043e-03,1.284361e-03,1.255614e-03,1.228705e-03,1.203538e-03,1.180022e-03,1.158070e-03,1.137596e-03,1.118522e-03,1.100768e-03,1.084262e-03,1.068933e-03,1.054714e-03,1.041541e-03,1.029354e-03,1.018094e-03,1.007708e-03,9.981417e-04,9.893472e-04,9.812773e-04,9.738876e-04,9.671359e-04,9.609826e-04,9.553898e-04,9.503221e-04,9.457456e-04,9.416286e-04,9.379409e-04,9.346541e-04,9.317414e-04,9.291774e-04,9.269383e-04,9.250015e-04,9.233457e-04,9.219510e-04,9.207985e-04,9.198703e-04,9.191498e-04,9.186211e-04,9.182696e-04,9.180813e-04,9.180430e-04,9.181425e-04,9.183683e-04,9.187094e-04,9.191557e-04,9.196978e-04,9.203266e-04
0.000000e+00,5.127941e-08,7.977887e-07,8.330789e-07,5.304806e-06,2.033091e-05,2.133645e-05,5.968746e-05,1.188619e-04,1.232256e-04,2.006841e-04,2.719467e-04,2.778897e-04,3.471749e-04,4.008192e-04,4.062637e-04,4.552991e-04,4.908815e-04,4.952296e-04,5.271765e-04,5.490889e-04,5.522159e-04,5.713097e-04,5.833748e-04,5.853028e-04,5.949397e-04,6.000503e-04,6.008708e-04,6.036624e-04,6.039674e-04,6.038053e-04,6.017247e-04,5.987964e-04,5.977879e-04,5.923116e-04,5.872892e-04,5.855684e-04,5.777925e-04,5.714929e-04,5.691849e-04,5.599175e-04,5.529198e-04,5.501373e-04,5.399695e-04,5.326793e-04,5.295209e-04,5.188821e-04,5.115787e-04,5.081298e-04,4.973286e-04,4.902000e-04,4.865331e-04,4.757889e-04,4.689573e-04,4.651339e-04,4.545997e-04,4.481406e-04,4.442120e-04,4.339919e-04,4.279476e-04,4.239565e-04,4.141192e-04,4.085086e-04,4.044904e-04,3.950780e-04,3.899037e-04,3.858876e-04,3.769232e-04,3.721771e-04,3.681869e-04,3.596797e-04,3.553465e-04,3.514015e-04,3.433511e-04,3.394108e-04,3.355267e-04,3.279257e-04,3.243557e-04,3.205450e-04,3.133812e-04,3.101576e-04,3.064303e-04,2.996883e-04,2.967868e-04,2.931508e-04,2.868132e-04,2.842099e-04,2.806710e-04,2.747193e-04,2.723910e-04,2.689535e-04,2.633688e-04,2.612931e-04,2.579603e-04,2.527233e-04,2.508791e-04,2.476531e-04,2.427450e-04,2.411123e-04,2.379943e-04,2.333965e-04,2.319568e-04,2.289472e-04,2.246420e-04,2.233778e-04,2.204765e-04,2.164465e-04,2.153419e-04,2.125481e-04,2.087771e-04,2.078170e-04,2.051296e-04,2.016018e-04,2.007726e-04,1.981901e-04,1.948907e-04,1.941796e-04,1.917003e-04,1.886153e-04,1.880106e-04,1.856324e-04,1.827485e-04,1.822396e-04,1.799603e-04,1.772648e-04,1.768419e-04,1.746591e-04,1.721403e-04,1.717944e-04,1.697056e-04,1.673524e-04,1.670753e-04,1.650779e-04,1.628797e-04,1.626640e-04,1.607553e-04,1.587023e-04,1.585411e-04,1.567184e-04,1.548014e-04,1.546885e-04,1.529491e-04,1.511594e-04,1.510891e-04,1.494302e-04,1.477596e-04,1.477268e-04,1.461457e-04,1.445867e-04,1.416545e-04,1.389170e-04,1.363619e-04,1.339773e-04,1.317524e-04,1.296769e-04,1.277412e-04,1.259364e-04,1.242539e-04,1.226858e-04,1.212248e-04,1.198639e-04,1.185965e-04,1.174167e-04,1.163187e-04,1.152971e-04,1.143470e-04,1.134637e-04,1.126428e-04,1.118801e-04,1.111719e-04,1.105145e-04,1.099047e-04,1.093391e-04,1.088150e-04,1.083295e-04,1.078800e-04,1.074642e-04,1.070797e-04,1.067245e-04,1.063966e-04,1.060942e-04,1.058155e-04,1.055588e-04,1.053228e-04,1.051060e-04,1.049070e-04,1.047247e-04,1.045578e-04,1.044053e-04,1.042663e-04,1.041397e-04,1.040246e-04,1.039204e-04,1.038261e-04,1.037412e-04,1.036648e-04,1.035964e-04,1.035355e-04
0.000000e+00,2.237282e-06,6.249927e-05,6.594292e-05,5.994031e-04,2.549621e-03,2.678549e-03,7.364615e-03,1.424136e-02,1.475292e-02,2.436761e-02,3.472243e-02,3.567822e-02,4.821790e-02,6.022747e-02,6.159270e-02,7.547438e-02,8.789304e-02,8.959182e-02,1.037230e-01,1.157488e-01,1.176882e-01,1.313434e-01,1.424904e-01,1.445752e-01,1.572961e-01,1.672992e-01,1.694403e-01,1.809604e-01,1.897051e-01,1.918243e-01,2.020122e-01,2.094835e-01,2.115153e-01,2.203328e-01,2.265793e-01,2.284711e-01,2.359422e-01,2.410506e-01,2.427622e-01,2.489509e-01,2.530282e-01,2.545304e-01,2.595247e-01,2.626861e-01,2.639592e-01,2.678599e-01,2.702211e-01,2.712534e-01,2.741662e-01,2.758381e-01,2.766245e-01,2.786545e-01,2.797405e-01,2.802812e-01,2.815296e-01,2.821239e-01,2.824232e-01,2.829852e-01,2.831724e-01,2.832376e-01,2.832014e-01,2.830562e-01,2.828968e-01,2.823430e-01,2.819308e-01,2.815582e-01,2.805597e-01,2.799374e-01,2.793638e-01,2.779860e-01,2.772025e-01,2.764409e-01,2.747424e-01,2.738396e-01,2.729034e-01,2.709361e-01,2.699497e-01,2.688521e-01,2.666622e-01,2.656221e-01,2.643765e-01,2.620047e-01,2.609361e-01,2.595556e-01,2.570376e-01,2.559615e-01,2.544587e-01,2.518262e-01,2.507598e-01,2.491470e-01,2.464276e-01,2.453850e-01,2.436740e-01,2.408918e-01,2.398843e-01,2.380864e-01,2.352626e-01,2.342991e-01,2.324250e-01,2.295780e-01,2.286656e-01,2.267254e-01,2.238711e-01,2.230149e-01,2.210184e-01,2.181706e-01,2.173745e-01,2.153306e-01,2.125012e-01,2.117677e-01,2.096850e-01,2.068844e-01,2.062148e-01,2.041014e-01,2.013382e-01,2.007331e-01,1.985965e-01,1.958781e-01,1.953374e-01,1.931846e-01,1.905174e-01,1.900401e-01,1.878777e-01,1.852669e-01,1.848519e-01,1.826859e-01,1.801357e-01,1.797812e-01,1.776173e-01,1.751315e-01,1.748354e-01,1.726788e-01,1.702600e-01,1.700200e-01,1.678756e-01,1.655261e-01,1.653397e-01,1.632119e-01,1.609334e-01,1.607978e-01,1.586908e-01,1.564844e-01,1.563969e-01,1.543144e-01,1.521809e-01,1.521386e-01,1.500840e-01,1.480238e-01,1.440528e-01,1.402253e-01,1.365405e-01,1.329972e-01,1.295938e-01,1.263285e-01,1.231990e-01,1.202028e-01,1.173374e-01,1.145999e-01,1.119873e-01,1.094966e-01,1.071245e-01,1.048678e-01,1.027232e-01,1.006871e-01,9.875619e-02,9.692702e-02,9.519608e-02,9.355991e-02,9.201503e-02,9.055799e-02,8.918536e-02,8.789374e-02,8.667977e-02,8.554013e-02,8.447157e-02,8.347085e-02,8.253484e-02,8.166043e-02,8.084461e-02,8.008442e-02,7.937699e-02,7.871950e-02,7.810924e-02,7.754355e-02,7.701988e-02,7.653575e-02,7.608876e-02,7.567660e-02,7.529705e-02,7.494797e-02,7.462731e-02,7.433310e-02,7.406347e-02,7.381661e-02,7.359082e-02,7.338447e-02,7.319601e-02
0.000000e+00,2.333439e-09,4.595080e-08,4.824746e-08,3.510342e-07,1.193393e-06,1.240517e-06,2.559239e-06,3.835898e-06,3.915344e-06,5.189771e-06,6.275134e-06,6.365573e-06,7.444471e-06,8.336913e-06,8.431669e-06,9.332832e-06,1.005903e-05,1.015342e-05,1.089856e-05,1.148271e-05,1.157306e-05,1.218143e-05,1.264447e-05,1.272792e-05,1.321659e-05,1.357684e-05,1.365126e-05,1.403555e-05,1.430905e-05,1.437293e-05,1.466665e-05,1.486744e-05,1.491980e-05,1.513531e-05,1.527561e-05,1.531591e-05,1.546421e-05,1.555459e-05,1.558264e-05,1.567347e-05,1.572299e-05,1.573885e-05,1.578079e-05,1.579720e-05,1.580115e-05,1.580170e-05,1.579160e-05,1.578407e-05,1.574980e-05,1.571875e-05,1.570029e-05,1.563688e-05,1.558959e-05,1.556082e-05,1.547327e-05,1.541369e-05,1.537529e-05,1.526789e-05,1.519933e-05,1.515201e-05,1.502851e-05,1.495370e-05,1.489819e-05,1.476180e-05,1.468304e-05,1.462004e-05,1.447354e-05,1.439268e-05,1.432290e-05,1.416867e-05,1.408722e-05,1.401135e-05,1.385142e-05,1.377062e-05,1.368932e-05,1.352545e-05,1.344627e-05,1.336017e-05,1.319384e-05,1.311706e-05,1.302676e-05,1.285924e-05,1.278545e-05,1.269153e-05,1.252388e-05,1.245354e-05,1.235651e-05,1.218964e-05,1.212307e-05,1.202344e-05,1.185810e-05,1.179552e-05,1.169376e-05,1.153057e-05,1.147213e-05,1.136865e-05,1.120813e-05,1.115389e-05,1.104911e-05,1.089168e-05,1.084166e-05,1.073593e-05,1.058193e-05,1.053608e-05,1.042975e-05,1.027944e-05,1.023770e-05,1.013107e-05,9.984665e-06,9.946928e-06,9.840274e-06,9.697926e-06,9.664070e-06,9.557650e-06,9.419467e-06,9.389349e-06,9.283395e-06,9.149447e-06,9.122914e-06,9.017634e-06,8.887960e-06,8.864846e-06,8.760429e-06,8.635040e-06,8.615176e-06,8.511790e-06,8.390673e-06,8.373887e-06,8.271682e-06,8.154805e-06,8.140922e-06,8.040032e-06,7.927347e-06,7.916193e-06,7.816737e-06,7.708184e-06,7.699588e-06,7.601669e-06,7.497174e-06,7.490968e-06,7.394679e-06,7.294161e-06,7.290181e-06,7.195599e-06,7.098971e-06,7.097058e-06,7.004252e-06,6.911418e-06,6.733073e-06,6.561828e-06,6.397483e-06,6.239836e-06,6.088684e-06,5.943823e-06,5.805050e-06,5.672164e-06,5.544966e-06,5.423260e-06,5.306854e-06,5.195559e-06,5.089191e-06,4.987569e-06,4.890519e-06,4.797868e-06,4.709452e-06,4.625108e-06,4.544681e-06,4.468019e-06,4.394973e-06,4.325404e-06,4.259173e-06,4.196146e-06,4.136197e-06,4.079200e-06,4.025037e-06,3.973592e-06,3.924754e-06,3.878414e-06,3.834471e-06,3.792824e-06,3.753378e-06,3.716040e-06,3.680720e-06,3.647334e-06,3.615798e-06,3.586034e-06,3.557965e-06,3.531517e-06,3.506621e-06,3.483207e-06,3.461210e-06,3.440568e-06,3.421221e-06,3.403109e-06,3.386177e-06,3.370372e-06,3.355641e-06
0.000000e+00,9.771910e-08,2.722619e-06,2.874366e-06,2.713131e-05,1.163353e-04,1.220990e-04,3.183799e-04,5.723984e-04,5.901111e-04,9.002415e-04,1.196374e-03,1.222111e-03,1.539004e-03,1.811698e-03,1.841053e-03,2.122797e-03,2.351765e-03,2.381560e-03,2.616401e-03,2.799307e-03,2.827445e-03,3.015462e-03,3.156428e-03,3.181591e-03,3.327166e-03,3.432195e-03,3.453607e-03,3.562348e-03,3.637544e-03,3.654796e-03,3.732301e-03,3.783209e-03,3.796145e-03,3.847530e-03,3.878946e-03,3.887582e-03,3.917343e-03,3.933311e-03,3.937779e-03,3.949782e-03,3.953666e-03,3.954174e-03,3.951709e-03,3.946277e-03,3.943080e-03,3.928924e-03,3.916439e-03,3.909822e-03,3.886308e-03,3.868610e-03,3.858869e-03,3.827950e-03,3.806524e-03,3.793957e-03,3.757264e-03,3.733307e-03,3.718207e-03,3.677097e-03,3.651563e-03,3.634214e-03,3.589815e-03,3.563461e-03,3.544133e-03,3.497379e-03,3.470802e-03,3.449747e-03,3.401412e-03,3.375076e-03,3.352533e-03,3.303253e-03,3.277513e-03,3.253703e-03,3.204000e-03,3.179126e-03,3.154252e-03,3.104555e-03,3.080744e-03,3.054994e-03,3.005649e-03,2.983041e-03,2.956588e-03,2.907874e-03,2.886565e-03,2.859564e-03,2.811708e-03,2.791754e-03,2.764348e-03,2.717524e-03,2.698953e-03,2.671271e-03,2.625619e-03,2.608434e-03,2.580593e-03,2.536216e-03,2.520403e-03,2.492507e-03,2.449483e-03,2.435013e-03,2.407157e-03,2.365540e-03,2.352374e-03,2.324641e-03,2.284467e-03,2.272557e-03,2.245022e-03,2.206310e-03,2.195602e-03,2.168332e-03,2.131088e-03,2.121525e-03,2.094577e-03,2.058798e-03,2.050319e-03,2.023746e-03,1.989418e-03,1.981963e-03,1.955808e-03,1.922911e-03,1.916417e-03,1.890720e-03,1.859229e-03,1.853634e-03,1.828428e-03,1.798312e-03,1.793556e-03,1.768870e-03,1.740094e-03,1.736118e-03,1.711975e-03,1.684504e-03,1.681251e-03,1.657671e-03,1.631466e-03,1.628880e-03,1.605879e-03,1.580900e-03,1.578928e-03,1.556519e-03,1.532725e-03,1.531316e-03,1.509508e-03,1.486859e-03,1.485964e-03,1.464765e-03,1.443218e-03,1.442793e-03,1.422206e-03,1.401720e-03,1.362668e-03,1.325558e-03,1.290311e-03,1.256853e-03,1.225109e-03,1.195008e-03,1.166478e-03,1.139453e-03,1.113866e-03,1.089654e-03,1.066755e-03,1.045110e-03,1.024662e-03,1.005355e-03,9.871372e-04,9.699575e-04,9.537671e-04,9.385193e-04,9.241692e-04,9.106737e-04,8.979917e-04,8.860838e-04,8.749121e-04,8.644405e-04,8.546346e-04,8.454612e-04,8.368888e-04,8.288872e-04,8.214275e-04,8.144823e-04,8.080252e-04,8.020311e-04,7.964760e-04,7.913371e-04,7.865925e-04,7.822213e-04,7.782037e-04,7.745208e-04,7.711545e-04,7.680874e-04,7.653033e-04,7.627864e-04,7.605219e-04,7.584954e-04,7.566935e-04,7.551031e-04,7.537121e-04,7.525087e-04,7.514817e-04
0.000000e+00,6.475736e-08,1.396128e-06,1.467706e-06,1.196820e-05,4.899994e-05,5.140044e-05,1.335598e-04,2.367152e-04,2.436908e-04,3.612987e-04,4.668482e-04,4.757740e-04,5.832153e-04,6.729890e-04,6.825532e-04,7.737570e-04,8.475294e-04,8.571344e-04,9.330893e-04,9.928025e-04,1.002053e-03,1.064452e-03,1.112100e-03,1.120704e-03,1.171208e-03,1.208599e-03,1.216344e-03,1.256476e-03,1.285210e-03,1.291948e-03,1.323085e-03,1.344561e-03,1.350194e-03,1.373564e-03,1.388992e-03,1.393466e-03,1.410154e-03,1.420575e-03,1.423867e-03,1.434830e-03,1.441137e-03,1.443250e-03,1.449324e-03,1.452278e-03,1.453234e-03,1.455153e-03,1.455402e-03,1.455240e-03,1.453643e-03,1.451736e-03,1.450504e-03,1.445950e-03,1.442350e-03,1.440104e-03,1.433080e-03,1.428179e-03,1.424981e-03,1.415907e-03,1.410033e-03,1.405950e-03,1.395193e-03,1.388620e-03,1.383717e-03,1.371596e-03,1.364552e-03,1.358898e-03,1.345686e-03,1.338359e-03,1.332020e-03,1.317956e-03,1.310502e-03,1.303543e-03,1.288830e-03,1.281374e-03,1.273860e-03,1.258673e-03,1.251318e-03,1.243308e-03,1.227800e-03,1.220626e-03,1.212179e-03,1.196476e-03,1.189548e-03,1.180719e-03,1.164932e-03,1.158299e-03,1.149139e-03,1.133361e-03,1.127058e-03,1.117617e-03,1.101926e-03,1.095981e-03,1.086304e-03,1.070765e-03,1.065195e-03,1.055325e-03,1.039994e-03,1.034808e-03,1.024784e-03,1.009706e-03,1.004911e-03,9.947690e-04,9.799808e-04,9.755746e-04,9.653492e-04,9.508807e-04,9.468596e-04,9.365813e-04,9.224563e-04,9.188129e-04,9.085101e-04,8.947468e-04,8.914712e-04,8.811698e-04,8.677821e-04,8.648624e-04,8.545860e-04,8.415837e-04,8.390066e-04,8.287767e-04,8.161662e-04,8.139172e-04,8.037532e-04,7.915382e-04,7.896022e-04,7.795215e-04,7.677032e-04,7.660644e-04,7.560829e-04,7.446604e-04,7.433029e-04,7.334348e-04,7.224053e-04,7.213131e-04,7.115709e-04,7.009305e-04,7.000876e-04,6.904825e-04,6.802257e-04,6.796163e-04,6.701583e-04,6.602788e-04,6.598875e-04,6.505853e-04,6.410759e-04,6.408876e-04,6.317487e-04,6.226017e-04,6.050140e-04,5.881076e-04,5.718654e-04,5.562693e-04,5.413015e-04,5.269436e-04,5.131774e-04,4.999845e-04,4.873468e-04,4.752464e-04,4.636655e-04,4.525867e-04,4.419929e-04,4.318671e-04,4.221931e-04,4.129548e-04,4.041365e-04,3.957231e-04,3.876996e-04,3.800518e-04,3.727656e-04,3.658275e-04,3.592243e-04,3.529434e-04,3.469725e-04,3.412995e-04,3.359130e-04,3.308018e-04,3.259551e-04,3.213626e-04,3.170142e-04,3.129001e-04,3.090111e-04,3.053380e-04,3.018722e-04,2.986051e-04,2.955288e-04,2.926354e-04,2.899172e-04,2.873671e-04,2.849780e-04,2.827431e-04,2.806559e-04,2.787101e-04,2.768997e-04,2.752187e-04,2.736616e-04,2.722230e-04,2.708975e-04
0.000000e+00,9.828766e-09,1.278032e-07,1.333449e-07,8.060329e-07,2.767189e-06,2.887473e-06,6.868724e-06,1.167058e-05,1.198770e-05,1.720569e-05,2.173239e-05,2.211036e-05,2.661546e-05,3.032716e-05,3.072008e-05,3.444303e-05,3.742174e-05,3.780729e-05,4.083620e-05,4.319019e-05,4.355247e-05,4.597786e-05,4.780561e-05,4.813313e-05,5.003795e-05,5.142610e-05,5.171093e-05,5.316954e-05,5.419317e-05,5.443022e-05,5.550837e-05,5.623189e-05,5.641836e-05,5.717360e-05,5.765182e-05,5.778661e-05,5.826903e-05,5.854836e-05,5.863171e-05,5.888471e-05,5.900425e-05,5.903741e-05,5.909849e-05,5.909108e-05,5.907602e-05,5.897749e-05,5.887059e-05,5.880982e-05,5.857946e-05,5.839601e-05,5.829239e-05,5.795412e-05,5.771314e-05,5.756977e-05,5.714405e-05,5.686128e-05,5.668136e-05,5.618574e-05,5.587411e-05,5.566090e-05,5.511031e-05,5.478042e-05,5.453712e-05,5.394425e-05,5.360466e-05,5.333441e-05,5.271012e-05,5.236781e-05,5.207367e-05,5.142717e-05,5.108766e-05,5.077254e-05,5.011154e-05,4.977918e-05,4.944581e-05,4.877683e-05,4.845496e-05,4.810595e-05,4.743441e-05,4.712560e-05,4.676335e-05,4.609378e-05,4.579989e-05,4.542665e-05,4.476280e-05,4.448515e-05,4.410300e-05,4.344794e-05,4.318738e-05,4.279824e-05,4.215447e-05,4.191150e-05,4.151713e-05,4.088667e-05,4.066147e-05,4.026348e-05,3.964791e-05,3.944041e-05,3.904028e-05,3.844084e-05,3.825080e-05,3.784984e-05,3.726747e-05,3.709447e-05,3.669389e-05,3.612925e-05,3.597277e-05,3.557366e-05,3.502720e-05,3.488663e-05,3.448996e-05,3.396196e-05,3.383662e-05,3.344325e-05,3.293384e-05,3.282302e-05,3.243372e-05,3.194287e-05,3.184582e-05,3.146128e-05,3.098888e-05,3.090483e-05,3.052565e-05,3.007150e-05,2.999968e-05,2.962639e-05,2.919022e-05,2.912986e-05,2.876291e-05,2.834438e-05,2.829474e-05,2.793453e-05,2.753326e-05,2.749360e-05,2.714046e-05,2.675603e-05,2.672563e-05,2.637986e-05,2.601183e-05,2.599000e-05,2.565182e-05,2.529972e-05,2.528580e-05,2.495541e-05,2.461877e-05,2.461212e-05,2.428968e-05,2.396800e-05,2.335250e-05,2.276465e-05,2.220349e-05,2.166808e-05,2.115748e-05,2.067077e-05,2.020703e-05,1.976538e-05,1.934495e-05,1.894490e-05,1.856440e-05,1.820267e-05,1.785892e-05,1.753240e-05,1.722240e-05,1.692822e-05,1.664918e-05,1.638463e-05,1.613394e-05,1.589651e-05,1.567176e-05,1.545912e-05,1.525807e-05,1.506809e-05,1.488867e-05,1.471934e-05,1.455965e-05,1.440915e-05,1.426742e-05,1.413406e-05,1.400868e-05,1.389091e-05,1.378039e-05,1.367678e-05,1.357975e-05,1.348899e-05,1.340420e-05,1.332508e-05,1.325137e-05,1.318279e-05,1.311910e-05,1.306006e-05,1.300542e-05,1.295498e-05,1.290851e-05,1.286582e-05,1.282670e-05,1.279098e-05,1.275848e-05
0.000000e+00,3.795206e-08,6.762421e-07,7.091795e-07,5.222192e-06,1.945757e-05,2.032543e-05,4.726136e-05,7.582217e-05,7.761190e-05,1.059981e-04,1.293804e-04,1.312878e-04,1.535036e-04,1.710670e-04,1.728852e-04,1.896983e-04,2.025708e-04,2.041963e-04,2.166125e-04,2.257890e-04,2.271608e-04,2.360359e-04,2.423281e-04,2.434151e-04,2.494593e-04,2.535221e-04,2.543142e-04,2.581112e-04,2.604670e-04,2.609687e-04,2.629934e-04,2.640566e-04,2.642812e-04,2.649182e-04,2.650150e-04,2.649818e-04,2.645416e-04,2.639281e-04,2.636594e-04,2.623903e-04,2.612657e-04,2.607849e-04,2.588876e-04,2.574073e-04,2.567382e-04,2.543722e-04,2.526559e-04,2.518213e-04,2.491138e-04,2.472534e-04,2.462748e-04,2.433268e-04,2.413921e-04,2.402897e-04,2.371811e-04,2.352249e-04,2.340168e-04,2.308108e-04,2.288724e-04,2.275754e-04,2.243214e-04,2.224295e-04,2.210585e-04,2.177952e-04,2.159704e-04,2.145389e-04,2.112961e-04,2.095526e-04,2.080724e-04,2.048730e-04,2.032203e-04,2.017021e-04,1.985634e-04,1.970071e-04,1.954601e-04,1.923950e-04,1.909379e-04,1.893703e-04,1.863881e-04,1.850309e-04,1.834499e-04,1.805571e-04,1.792989e-04,1.777108e-04,1.749117e-04,1.737504e-04,1.721606e-04,1.694578e-04,1.683903e-04,1.668037e-04,1.641984e-04,1.632211e-04,1.616419e-04,1.591341e-04,1.582432e-04,1.566749e-04,1.542640e-04,1.534552e-04,1.519010e-04,1.495856e-04,1.488547e-04,1.473173e-04,1.450956e-04,1.444380e-04,1.429199e-04,1.407896e-04,1.402012e-04,1.387042e-04,1.366630e-04,1.361394e-04,1.346653e-04,1.327106e-04,1.322477e-04,1.307980e-04,1.289270e-04,1.285208e-04,1.270967e-04,1.253066e-04,1.249533e-04,1.235558e-04,1.218437e-04,1.215396e-04,1.201696e-04,1.185328e-04,1.182743e-04,1.169326e-04,1.153682e-04,1.151520e-04,1.138390e-04,1.123443e-04,1.121672e-04,1.108834e-04,1.094556e-04,1.093146e-04,1.080604e-04,1.066969e-04,1.065892e-04,1.053647e-04,1.040630e-04,1.039858e-04,1.027912e-04,1.015487e-04,1.014996e-04,1.003349e-04,9.914918e-05,9.912575e-05,9.799100e-05,9.685975e-05,9.469713e-05,9.263361e-05,9.066506e-05,8.878750e-05,8.699711e-05,8.529021e-05,8.366325e-05,8.211284e-05,8.063572e-05,7.922874e-05,7.788889e-05,7.661330e-05,7.539918e-05,7.424389e-05,7.314486e-05,7.209965e-05,7.110593e-05,7.016144e-05,6.926402e-05,6.841161e-05,6.760223e-05,6.683397e-05,6.610503e-05,6.541366e-05,6.475818e-05,6.413699e-05,6.354857e-05,6.299143e-05,6.246416e-05,6.196543e-05,6.149394e-05,6.104844e-05,6.062775e-05,6.023074e-05,5.985632e-05,5.950343e-05,5.917109e-05,5.885834e-05,5.856427e-05,5.828798e-05,5.802866e-05,5.778549e-05,5.755770e-05,5.734456e-05,5.714536e-05,5.695944e-05,5.678613e-05,5.662483e-05,5.647494e-05
0.000000e+00,4.156662e-07,1.729272e-05,1.834379e-05,1.906878e-04,7.521936e-04,7.856802e-04,1.855534e-03,3.193102e-03,3.286980e-03,4.965268e-03,6.648722e-03,6.799436e-03,8.720033e-03,1.047887e-02,1.067466e-02,1.262412e-02,1.431216e-02,1.453943e-02,1.639949e-02,1.794337e-02,1.818928e-02,1.989850e-02,2.126699e-02,2.152045e-02,2.305121e-02,2.423705e-02,2.448895e-02,2.583347e-02,2.684257e-02,2.708571e-02,2.824752e-02,2.909252e-02,2.932135e-02,3.031011e-02,3.100663e-02,3.121699e-02,3.204536e-02,3.260986e-02,3.279870e-02,3.348051e-02,3.392907e-02,3.409427e-02,3.464342e-02,3.499118e-02,3.513131e-02,3.556122e-02,3.582205e-02,3.593629e-02,3.625956e-02,3.644597e-02,3.653395e-02,3.676225e-02,3.688542e-02,3.694714e-02,3.709116e-02,3.716101e-02,3.719676e-02,3.726624e-02,3.729152e-02,3.730182e-02,3.730560e-02,3.729401e-02,3.727957e-02,3.722564e-02,3.718393e-02,3.714561e-02,3.704119e-02,3.697524e-02,3.691401e-02,3.676563e-02,3.668059e-02,3.659751e-02,3.641106e-02,3.631136e-02,3.620758e-02,3.598835e-02,3.587787e-02,3.575455e-02,3.550733e-02,3.538940e-02,3.524776e-02,3.497685e-02,3.485432e-02,3.469559e-02,3.440488e-02,3.428018e-02,3.410560e-02,3.379857e-02,3.367376e-02,3.348457e-02,3.316435e-02,3.304119e-02,3.283862e-02,3.250802e-02,3.238794e-02,3.217319e-02,3.183473e-02,3.171893e-02,3.149320e-02,3.114912e-02,3.103856e-02,3.080301e-02,3.045532e-02,3.035078e-02,3.010652e-02,2.975702e-02,2.965909e-02,2.940721e-02,2.905747e-02,2.896660e-02,2.870816e-02,2.835959e-02,2.827608e-02,2.801209e-02,2.766593e-02,2.758998e-02,2.732139e-02,2.697874e-02,2.691045e-02,2.663819e-02,2.629999e-02,2.623937e-02,2.596432e-02,2.563140e-02,2.557840e-02,2.530139e-02,2.497446e-02,2.492894e-02,2.465077e-02,2.433045e-02,2.429225e-02,2.401365e-02,2.370048e-02,2.366936e-02,2.339104e-02,2.308545e-02,2.306117e-02,2.278379e-02,2.248615e-02,2.246842e-02,2.219260e-02,2.190321e-02,2.189172e-02,2.161803e-02,2.133713e-02,2.133156e-02,2.106055e-02,2.078833e-02,2.026231e-02,1.975372e-02,1.926267e-02,1.878923e-02,1.833339e-02,1.789510e-02,1.747423e-02,1.707066e-02,1.668417e-02,1.631457e-02,1.596158e-02,1.562494e-02,1.530434e-02,1.499946e-02,1.470997e-02,1.443552e-02,1.417574e-02,1.393025e-02,1.369869e-02,1.348065e-02,1.327574e-02,1.308357e-02,1.290373e-02,1.273582e-02,1.257943e-02,1.243416e-02,1.229960e-02,1.217536e-02,1.206103e-02,1.195622e-02,1.186052e-02,1.177356e-02,1.169495e-02,1.162430e-02,1.156124e-02,1.150540e-02,1.145643e-02,1.141395e-02,1.137763e-02,1.134712e-02,1.132208e-02,1.130220e-02,1.128714e-02,1.127661e-02,1.127029e-02,1.126790e-02,1.126915e-02,1.127376e-02,1.128147e-02
0.000000e+00,9.711919e-09,1.647500e-07,1.725864e-07,1.157655e-06,3.815044e-06,3.964429e-06,8.235156e-06,1.249316e-05,1.276078e-05,1.708821e-05,2.082298e-05,2.113628e-05,2.489982e-05,2.805173e-05,2.838860e-05,3.161540e-05,3.424881e-05,3.459348e-05,3.733590e-05,3.951560e-05,3.985536e-05,4.216393e-05,4.394865e-05,4.427322e-05,4.619477e-05,4.763816e-05,4.793969e-05,4.951866e-05,5.066922e-05,5.094187e-05,5.221901e-05,5.311971e-05,5.335928e-05,5.437144e-05,5.506010e-05,5.526375e-05,5.604401e-05,5.655363e-05,5.671962e-05,5.729753e-05,5.765683e-05,5.778430e-05,5.818613e-05,5.842001e-05,5.850885e-05,5.875793e-05,5.888790e-05,5.893855e-05,5.905556e-05,5.910017e-05,5.911353e-05,5.911675e-05,5.909196e-05,5.906927e-05,5.897487e-05,5.889436e-05,5.883712e-05,5.865937e-05,5.853482e-05,5.844474e-05,5.819620e-05,5.803760e-05,5.791651e-05,5.760825e-05,5.742407e-05,5.727387e-05,5.691564e-05,5.671304e-05,5.653570e-05,5.613604e-05,5.592106e-05,5.571855e-05,5.528497e-05,5.506267e-05,5.483695e-05,5.437602e-05,5.415062e-05,5.390362e-05,5.342109e-05,5.319607e-05,5.292967e-05,5.243055e-05,5.220878e-05,5.192481e-05,5.141347e-05,5.119727e-05,5.089748e-05,5.037772e-05,5.016895e-05,4.985502e-05,4.933014e-05,4.913026e-05,4.880379e-05,4.827664e-05,4.808678e-05,4.774929e-05,4.722232e-05,4.704333e-05,4.669626e-05,4.617158e-05,4.600405e-05,4.564875e-05,4.512817e-05,4.497250e-05,4.461024e-05,4.409529e-05,4.395169e-05,4.358366e-05,4.307565e-05,4.294420e-05,4.257153e-05,4.207154e-05,4.195218e-05,4.157590e-05,4.108484e-05,4.097744e-05,4.059853e-05,4.011714e-05,4.002147e-05,3.964083e-05,3.916972e-05,3.908548e-05,3.870394e-05,3.824360e-05,3.817045e-05,3.778878e-05,3.733958e-05,3.727714e-05,3.689605e-05,3.645827e-05,3.640612e-05,3.602627e-05,3.560011e-05,3.555781e-05,3.517981e-05,3.476540e-05,3.473250e-05,3.435689e-05,3.395429e-05,3.393033e-05,3.355762e-05,3.316686e-05,3.315135e-05,3.278201e-05,3.240305e-05,3.239553e-05,3.202997e-05,3.166275e-05,3.095282e-05,3.026549e-05,2.960049e-05,2.895748e-05,2.833608e-05,2.773592e-05,2.715658e-05,2.659762e-05,2.605860e-05,2.553905e-05,2.503852e-05,2.455653e-05,2.409260e-05,2.364627e-05,2.321706e-05,2.280451e-05,2.240813e-05,2.202747e-05,2.166208e-05,2.131150e-05,2.097528e-05,2.065300e-05,2.034422e-05,2.004852e-05,1.976549e-05,1.949472e-05,1.923583e-05,1.898842e-05,1.875212e-05,1.852657e-05,1.831139e-05,1.810625e-05,1.791080e-05,1.772471e-05,1.754766e-05,1.737932e-05,1.721940e-05,1.706759e-05,1.692360e-05,1.678716e-05,1.665798e-05,1.653579e-05,1.642035e-05,1.631139e-05,1.620867e-05,1.611196e-05,1.602102e-05,1.593562e-05,1.585555e-05
0.000000e+00,1.430776e-06,3.391968e-05,3.572337e-05,3.242742e-04,1.530628e-03,1.616775e-03,5.110760e-03,1.099241e-02,1.144985e-02,2.029564e-02,3.004876e-02,3.095153e-02,4.275435e-02,5.390307e-02,5.515724e-02,6.772938e-02,7.866813e-02,8.013998e-02,9.214110e-02,1.019954e-01,1.035523e-01,1.142476e-01,1.226171e-01,1.241447e-01,1.331960e-01,1.399717e-01,1.413809e-01,1.486998e-01,1.539420e-01,1.551691e-01,1.608171e-01,1.646757e-01,1.656805e-01,1.698018e-01,1.724661e-01,1.732274e-01,1.760056e-01,1.776734e-01,1.781853e-01,1.798152e-01,1.806749e-01,1.809426e-01,1.816132e-01,1.818344e-01,1.818709e-01,1.817567e-01,1.814865e-01,1.813093e-01,1.805650e-01,1.799275e-01,1.795572e-01,1.783167e-01,1.774138e-01,1.768718e-01,1.752485e-01,1.741628e-01,1.734703e-01,1.715586e-01,1.703558e-01,1.695330e-01,1.674108e-01,1.661420e-01,1.652078e-01,1.629381e-01,1.616428e-01,1.606145e-01,1.582482e-01,1.569563e-01,1.558493e-01,1.534269e-01,1.521606e-01,1.509888e-01,1.485423e-01,1.473178e-01,1.460935e-01,1.436481e-01,1.424769e-01,1.412108e-01,1.387861e-01,1.376760e-01,1.363776e-01,1.339888e-01,1.329447e-01,1.316225e-01,1.292812e-01,1.283059e-01,1.269671e-01,1.246822e-01,1.237768e-01,1.224280e-01,1.202060e-01,1.193704e-01,1.180174e-01,1.158632e-01,1.150963e-01,1.137442e-01,1.116612e-01,1.109612e-01,1.096146e-01,1.076051e-01,1.069699e-01,1.056328e-01,1.036982e-01,1.031251e-01,1.018013e-01,9.994229e-02,9.942856e-02,9.812119e-02,9.633798e-02,9.588054e-02,9.459259e-02,9.288491e-02,9.248066e-02,9.121477e-02,8.958198e-02,8.922775e-02,8.798631e-02,8.642749e-02,8.612013e-02,8.490525e-02,8.341926e-02,8.315561e-02,8.196920e-02,8.055471e-02,8.033167e-02,7.917543e-02,7.783097e-02,7.764550e-02,7.652093e-02,7.524490e-02,7.509404e-02,7.400247e-02,7.279319e-02,7.267407e-02,7.161664e-02,7.047236e-02,7.038220e-02,6.935990e-02,6.827879e-02,6.821491e-02,6.722858e-02,6.620879e-02,6.616862e-02,6.521894e-02,6.425857e-02,6.423966e-02,6.332719e-02,6.242432e-02,6.071884e-02,5.911943e-02,5.762231e-02,5.622367e-02,5.491970e-02,5.370662e-02,5.258066e-02,5.153805e-02,5.057509e-02,4.968808e-02,4.887337e-02,4.812737e-02,4.744654e-02,4.682739e-02,4.626649e-02,4.576050e-02,4.530613e-02,4.490020e-02,4.453958e-02,4.422126e-02,4.394229e-02,4.369986e-02,4.349123e-02,4.331375e-02,4.316492e-02,4.304231e-02,4.294361e-02,4.286661e-02,4.280924e-02,4.276950e-02,4.274552e-02,4.273555e-02,4.273792e-02,4.275108e-02,4.277360e-02,4.280411e-02,4.284137e-02,4.288423e-02,4.293163e-02,4.298260e-02,4.303626e-02,4.309179e-02,4.314848e-02,4.320568e-02,4.326280e-02,4.331933e-02,4.337482e-02,4.342887e-02,4.348115e-02
0.000000e+00,1.244585e-07,2.636019e-06,2.768968e-06,2.153324e-05,8.409440e-05,8.805468e-05,2.205686e-04,3.834395e-04,3.943941e-04,5.784334e-04,7.426642e-04,7.565079e-04,9.224945e-04,1.060081e-03,1.074669e-03,1.212983e-03,1.323661e-03,1.337982e-03,1.450404e-03,1.537629e-03,1.551038e-03,1.640670e-03,1.708019e-03,1.720065e-03,1.789966e-03,1.840696e-03,1.851079e-03,1.904078e-03,1.941064e-03,1.949600e-03,1.988242e-03,2.013969e-03,2.020565e-03,2.047094e-03,2.063682e-03,2.068316e-03,2.084686e-03,2.093926e-03,2.096627e-03,2.104529e-03,2.107922e-03,2.108755e-03,2.109643e-03,2.108444e-03,2.107501e-03,2.102619e-03,2.097870e-03,2.095262e-03,2.085674e-03,2.078235e-03,2.074083e-03,2.060696e-03,2.051276e-03,2.045707e-03,2.029293e-03,2.018472e-03,2.011617e-03,1.992828e-03,1.981079e-03,1.973065e-03,1.952456e-03,1.940160e-03,1.931115e-03,1.909150e-03,1.896614e-03,1.886659e-03,1.863731e-03,1.851198e-03,1.840449e-03,1.816886e-03,1.804546e-03,1.793113e-03,1.769190e-03,1.757190e-03,1.745174e-03,1.721118e-03,1.709571e-03,1.697068e-03,1.673067e-03,1.662053e-03,1.649152e-03,1.625359e-03,1.614936e-03,1.601718e-03,1.578258e-03,1.568465e-03,1.555004e-03,1.531978e-03,1.522836e-03,1.509199e-03,1.486687e-03,1.478205e-03,1.464455e-03,1.442517e-03,1.434694e-03,1.420886e-03,1.399572e-03,1.392398e-03,1.378582e-03,1.357924e-03,1.351385e-03,1.337605e-03,1.317629e-03,1.311704e-03,1.298000e-03,1.278720e-03,1.273385e-03,1.259793e-03,1.241218e-03,1.236447e-03,1.222997e-03,1.205129e-03,1.200893e-03,1.187614e-03,1.170449e-03,1.166720e-03,1.153634e-03,1.137166e-03,1.133914e-03,1.121043e-03,1.105261e-03,1.102456e-03,1.089817e-03,1.074708e-03,1.072321e-03,1.059929e-03,1.045477e-03,1.043480e-03,1.031348e-03,1.017537e-03,1.015900e-03,1.004039e-03,9.908502e-04,9.895481e-04,9.779655e-04,9.653801e-04,9.643860e-04,9.530890e-04,9.410874e-04,9.403764e-04,9.293701e-04,9.179323e-04,9.174805e-04,9.067687e-04,8.958743e-04,8.956592e-04,8.852442e-04,8.748732e-04,8.550835e-04,8.362514e-04,8.183387e-04,8.013081e-04,7.851229e-04,7.697474e-04,7.551469e-04,7.412878e-04,7.281373e-04,7.156639e-04,7.038371e-04,6.926276e-04,6.820070e-04,6.719482e-04,6.624250e-04,6.534122e-04,6.448858e-04,6.368227e-04,6.292007e-04,6.219987e-04,6.151963e-04,6.087741e-04,6.027135e-04,5.969968e-04,5.916070e-04,5.865280e-04,5.817442e-04,5.772408e-04,5.730038e-04,5.690197e-04,5.652756e-04,5.617593e-04,5.584591e-04,5.553638e-04,5.524629e-04,5.497462e-04,5.472041e-04,5.448273e-04,5.426072e-04,5.405353e-04,5.386037e-04,5.368049e-04,5.351317e-04,5.335771e-04,5.321347e-04,5.307983e-04,5.295620e-04,5.284200e-04,5.273672e-04
0.000000e+00,4.847691e-08,8.652710e-07,9.074150e-07,6.704747e-06,2.526138e-05,2.640172e-05,6.215801e-05,1.011629e-04,1.036595e-04,1.442907e-04,1.794780e-04,1.824284e-04,2.178230e-04,2.473721e-04,2.505242e-04,2.806475e-04,3.051248e-04,3.083204e-04,3.336700e-04,3.537072e-04,3.568204e-04,3.778922e-04,3.940723e-04,3.970030e-04,4.142669e-04,4.271225e-04,4.297940e-04,4.436907e-04,4.537030e-04,4.560592e-04,4.669973e-04,4.745961e-04,4.765981e-04,4.849506e-04,4.905154e-04,4.921387e-04,4.982417e-04,5.021039e-04,5.033352e-04,5.074906e-04,5.099394e-04,5.107749e-04,5.132511e-04,5.145356e-04,5.149787e-04,5.160133e-04,5.163481e-04,5.164077e-04,5.162109e-04,5.157797e-04,5.154691e-04,5.142257e-04,5.131857e-04,5.125215e-04,5.103945e-04,5.088791e-04,5.078804e-04,5.050126e-04,5.031354e-04,5.018227e-04,4.983397e-04,4.961962e-04,4.945912e-04,4.906027e-04,4.882734e-04,4.863983e-04,4.820003e-04,4.795523e-04,4.774296e-04,4.727057e-04,4.701948e-04,4.678467e-04,4.628696e-04,4.603418e-04,4.577902e-04,4.526231e-04,4.501158e-04,4.473820e-04,4.420796e-04,4.396232e-04,4.367277e-04,4.313372e-04,4.289558e-04,4.259183e-04,4.204803e-04,4.181928e-04,4.150319e-04,4.095813e-04,4.074020e-04,4.041357e-04,3.987020e-04,3.966417e-04,3.932866e-04,3.878951e-04,3.859611e-04,3.825329e-04,3.772048e-04,3.754019e-04,3.719154e-04,3.666685e-04,3.649992e-04,3.614680e-04,3.563171e-04,3.547820e-04,3.512189e-04,3.461761e-04,3.447744e-04,3.411911e-04,3.362661e-04,3.349957e-04,3.314031e-04,3.266037e-04,3.254615e-04,3.218695e-04,3.172018e-04,3.161839e-04,3.126016e-04,3.080699e-04,3.071719e-04,3.036076e-04,2.992152e-04,2.984321e-04,2.948933e-04,2.906422e-04,2.899687e-04,2.864623e-04,2.823536e-04,2.817840e-04,2.783162e-04,2.743500e-04,2.738789e-04,2.704550e-04,2.666310e-04,2.662524e-04,2.628775e-04,2.591944e-04,2.589028e-04,2.555812e-04,2.520375e-04,2.518270e-04,2.485626e-04,2.451562e-04,2.450213e-04,2.418175e-04,2.385459e-04,2.384811e-04,2.353408e-04,2.322014e-04,2.261765e-04,2.204005e-04,2.148671e-04,2.095699e-04,2.045021e-04,1.996571e-04,1.950279e-04,1.906078e-04,1.863900e-04,1.823675e-04,1.785337e-04,1.748819e-04,1.714056e-04,1.680984e-04,1.649539e-04,1.619661e-04,1.591289e-04,1.564365e-04,1.538831e-04,1.514632e-04,1.491715e-04,1.470027e-04,1.449517e-04,1.430138e-04,1.411840e-04,1.394579e-04,1.378310e-04,1.362991e-04,1.348580e-04,1.335038e-04,1.322325e-04,1.310405e-04,1.299243e-04,1.288804e-04,1.279054e-04,1.269963e-04,1.261499e-04,1.253633e-04,1.246337e-04,1.239583e-04,1.233345e-04,1.227599e-04,1.222319e-04,1.217483e-04,1.213068e-04,1.209053e-04,1.205418e-04,1.202142e-04,1.199207e-04
0.000000e+00,3.499361e-09,6.779124e-08,7.109327e-08,4.693249e-07,1.393415e-06,1.440361e-06,2.658452e-06,3.754646e-06,3.821487e-06,4.877444e-06,5.754923e-06,5.827156e-06,6.677977e-06,7.365646e-06,7.437741e-06,8.113918e-06,8.645371e-06,8.713496e-06,9.242986e-06,9.646910e-06,9.708430e-06,1.011542e-05,1.041592e-05,1.046913e-05,1.077430e-05,1.099141e-05,1.103532e-05,1.125620e-05,1.140648e-05,1.144062e-05,1.159194e-05,1.168898e-05,1.171324e-05,1.180736e-05,1.186231e-05,1.187688e-05,1.192417e-05,1.194614e-05,1.195140e-05,1.196054e-05,1.195694e-05,1.195340e-05,1.193163e-05,1.190849e-05,1.189673e-05,1.185008e-05,1.181229e-05,1.179294e-05,1.172644e-05,1.167794e-05,1.165164e-05,1.156948e-05,1.151343e-05,1.148082e-05,1.138645e-05,1.132540e-05,1.128710e-05,1.118342e-05,1.111937e-05,1.107599e-05,1.096535e-05,1.089991e-05,1.085201e-05,1.073639e-05,1.067081e-05,1.061892e-05,1.049994e-05,1.043518e-05,1.037979e-05,1.025877e-05,1.019559e-05,1.013716e-05,1.001519e-05,9.954141e-06,9.893085e-06,9.771046e-06,9.712543e-06,9.649250e-06,9.527856e-06,9.472190e-06,9.407008e-06,9.286836e-06,9.234203e-06,9.167452e-06,9.048960e-06,8.999480e-06,8.931448e-06,8.814998e-06,8.768732e-06,8.699680e-06,8.585555e-06,8.542511e-06,8.472677e-06,8.361092e-06,8.321246e-06,8.250841e-06,8.141958e-06,8.105254e-06,8.034471e-06,7.928404e-06,7.894766e-06,7.823778e-06,7.720606e-06,7.689940e-06,7.618901e-06,7.518671e-06,7.490872e-06,7.419922e-06,7.322656e-06,7.297610e-06,7.226875e-06,7.132575e-06,7.110163e-06,7.039754e-06,6.948405e-06,6.928505e-06,6.858522e-06,6.770096e-06,6.752585e-06,6.683118e-06,6.597576e-06,6.582330e-06,6.513459e-06,6.430753e-06,6.417650e-06,6.349446e-06,6.269523e-06,6.258443e-06,6.190969e-06,6.113769e-06,6.104596e-06,6.037908e-06,5.963369e-06,5.955987e-06,5.890136e-06,5.818192e-06,5.812492e-06,5.747520e-06,5.678104e-06,5.673979e-06,5.609926e-06,5.542969e-06,5.540315e-06,5.477215e-06,5.412647e-06,5.411368e-06,5.349249e-06,5.287002e-06,5.167083e-06,5.051479e-06,4.940057e-06,4.832689e-06,4.729247e-06,4.629606e-06,4.533644e-06,4.441241e-06,4.352282e-06,4.266653e-06,4.184243e-06,4.104945e-06,4.028654e-06,3.955270e-06,3.884694e-06,3.816830e-06,3.751587e-06,3.688873e-06,3.628603e-06,3.570692e-06,3.515059e-06,3.461625e-06,3.410312e-06,3.361049e-06,3.313761e-06,3.268382e-06,3.224843e-06,3.183079e-06,3.143029e-06,3.104631e-06,3.067827e-06,3.032559e-06,2.998774e-06,2.966418e-06,2.935440e-06,2.905789e-06,2.877419e-06,2.850283e-06,2.824337e-06,2.799535e-06,2.775838e-06,2.753205e-06,2.731595e-06,2.710972e-06,2.691300e-06,2.672542e-06,2.654664e-06,2.637634e-06,2.621420e-06
0.000000e+00,5.477372e-10,7.796721e-09,8.142251e-09,4.874494e-08,1.565074e-07,1.627664e-07,3.552131e-07,5.658388e-07,5.793855e-07,8.005228e-07,9.927440e-07,1.008885e-06,1.202798e-06,1.365074e-06,1.382406e-06,1.548264e-06,1.683361e-06,1.701022e-06,1.841342e-06,1.952573e-06,1.969884e-06,2.087299e-06,2.177795e-06,2.194223e-06,2.291275e-06,2.363907e-06,2.379047e-06,2.458109e-06,2.515455e-06,2.529007e-06,2.592259e-06,2.636607e-06,2.648360e-06,2.697776e-06,2.731134e-06,2.740950e-06,2.778299e-06,2.802419e-06,2.810216e-06,2.837074e-06,2.853476e-06,2.859222e-06,2.876989e-06,2.886985e-06,2.890684e-06,2.900599e-06,2.905321e-06,2.907007e-06,2.910165e-06,2.910587e-06,2.910315e-06,2.907685e-06,2.904640e-06,2.902486e-06,2.894918e-06,2.889120e-06,2.885170e-06,2.873415e-06,2.865469e-06,2.859821e-06,2.844539e-06,2.834961e-06,2.827716e-06,2.809487e-06,2.798711e-06,2.789977e-06,2.769307e-06,2.757702e-06,2.747586e-06,2.724920e-06,2.712791e-06,2.701403e-06,2.677128e-06,2.664733e-06,2.652179e-06,2.626635e-06,2.614184e-06,2.600569e-06,2.574050e-06,2.561717e-06,2.547143e-06,2.519906e-06,2.507832e-06,2.492396e-06,2.464663e-06,2.452961e-06,2.436757e-06,2.408721e-06,2.397479e-06,2.380597e-06,2.352423e-06,2.341711e-06,2.324235e-06,2.296065e-06,2.285934e-06,2.267944e-06,2.239901e-06,2.230388e-06,2.211960e-06,2.184146e-06,2.175276e-06,2.156481e-06,2.128985e-06,2.120771e-06,2.101675e-06,2.074570e-06,2.067019e-06,2.047684e-06,2.021031e-06,2.014141e-06,1.994624e-06,1.968475e-06,1.962239e-06,1.942593e-06,1.916989e-06,1.911394e-06,1.891670e-06,1.866644e-06,1.861674e-06,1.841917e-06,1.817495e-06,1.813132e-06,1.793383e-06,1.769585e-06,1.765807e-06,1.746105e-06,1.722946e-06,1.719730e-06,1.700110e-06,1.677600e-06,1.674920e-06,1.655416e-06,1.633560e-06,1.631392e-06,1.612032e-06,1.590832e-06,1.589150e-06,1.569961e-06,1.549417e-06,1.548195e-06,1.529201e-06,1.509310e-06,1.508521e-06,1.489744e-06,1.470500e-06,1.470119e-06,1.451578e-06,1.432975e-06,1.397073e-06,1.362394e-06,1.328917e-06,1.296620e-06,1.265477e-06,1.235464e-06,1.206554e-06,1.178720e-06,1.151936e-06,1.126172e-06,1.101402e-06,1.077598e-06,1.054731e-06,1.032775e-06,1.011702e-06,9.914856e-07,9.720988e-07,9.535156e-07,9.357104e-07,9.186581e-07,9.023340e-07,8.867143e-07,8.717752e-07,8.574940e-07,8.438483e-07,8.308163e-07,8.183767e-07,8.065089e-07,7.951929e-07,7.844091e-07,7.741385e-07,7.643628e-07,7.550641e-07,7.462251e-07,7.378288e-07,7.298591e-07,7.223001e-07,7.151365e-07,7.083534e-07,7.019363e-07,6.958715e-07,6.901452e-07,6.847445e-07,6.796567e-07,6.748695e-07,6.703711e-07,6.661499e-07,6.621947e-07,6.584950e-07
0.000000e+00,8.193548e-08,1.457173e-06,1.525191e-06,1.025897e-05,3.773438e-05,3.948911e-05,1.022368e-04,1.919321e-04,1.984197e-04,3.134855e-04,4.218569e-04,4.310942e-04,5.420137e-04,6.333264e-04,6.429427e-04,7.333269e-04,8.044769e-04,8.135986e-04,8.844844e-04,9.385345e-04,9.467642e-04,1.001193e-03,1.041366e-03,1.048479e-03,1.089278e-03,1.118317e-03,1.124193e-03,1.153777e-03,1.173948e-03,1.178537e-03,1.198935e-03,1.212092e-03,1.215395e-03,1.228301e-03,1.235951e-03,1.238006e-03,1.244828e-03,1.248194e-03,1.249061e-03,1.250969e-03,1.251039e-03,1.250793e-03,1.248755e-03,1.246326e-03,1.245052e-03,1.239868e-03,1.235581e-03,1.233367e-03,1.225698e-03,1.220065e-03,1.216999e-03,1.207393e-03,1.200822e-03,1.196992e-03,1.185898e-03,1.178712e-03,1.174203e-03,1.161990e-03,1.154446e-03,1.149336e-03,1.136309e-03,1.128607e-03,1.122970e-03,1.109376e-03,1.101671e-03,1.095577e-03,1.081619e-03,1.074030e-03,1.067543e-03,1.053386e-03,1.046003e-03,1.039181e-03,1.024958e-03,1.017848e-03,1.010744e-03,9.965623e-04,9.897734e-04,9.824353e-04,9.683817e-04,9.619464e-04,9.544185e-04,9.405607e-04,9.345003e-04,9.268218e-04,9.132135e-04,9.075395e-04,8.997462e-04,8.864288e-04,8.811456e-04,8.732692e-04,8.602742e-04,8.553805e-04,8.474496e-04,8.348004e-04,8.302904e-04,8.223306e-04,8.100437e-04,8.059083e-04,7.979424e-04,7.860289e-04,7.822566e-04,7.743049e-04,7.627715e-04,7.593487e-04,7.514294e-04,7.402791e-04,7.371913e-04,7.293204e-04,7.185532e-04,7.157850e-04,7.079768e-04,6.975904e-04,6.951258e-04,6.873928e-04,6.773830e-04,6.752058e-04,6.675593e-04,6.579202e-04,6.560144e-04,6.484641e-04,6.391890e-04,6.375385e-04,6.300930e-04,6.211740e-04,6.197633e-04,6.124300e-04,6.038587e-04,6.026724e-04,5.954579e-04,5.872254e-04,5.862486e-04,5.791587e-04,5.712555e-04,5.704741e-04,5.635134e-04,5.559301e-04,5.553302e-04,5.485030e-04,5.412298e-04,5.407983e-04,5.341081e-04,5.271353e-04,5.268595e-04,5.203092e-04,5.136272e-04,5.134950e-04,5.070870e-04,5.006861e-04,4.884144e-04,4.766615e-04,4.654095e-04,4.546410e-04,4.443387e-04,4.344860e-04,4.250666e-04,4.160647e-04,4.074647e-04,3.992519e-04,3.914118e-04,3.839303e-04,3.767938e-04,3.699892e-04,3.635038e-04,3.573253e-04,3.514418e-04,3.458418e-04,3.405143e-04,3.354486e-04,3.306342e-04,3.260613e-04,3.217202e-04,3.176015e-04,3.136965e-04,3.099963e-04,3.064927e-04,3.031776e-04,3.000433e-04,2.970822e-04,2.942872e-04,2.916513e-04,2.891678e-04,2.868302e-04,2.846322e-04,2.825680e-04,2.806316e-04,2.788176e-04,2.771205e-04,2.755352e-04,2.740566e-04,2.726799e-04,2.714006e-04,2.702141e-04,2.691163e-04,2.681028e-04,2.671698e-04,2.663134e-04,2.655299e-04
0.000000e+00,1.030286e-07,1.931658e-06,2.024887e-06,1.513113e-05,6.286375e-05,6.609880e-05,1.878055e-04,3.655560e-04,3.782830e-04,6.002315e-04,8.033898e-04,8.204477e-04,1.021514e-03,1.180490e-03,1.196802e-03,1.345262e-03,1.454862e-03,1.468375e-03,1.568609e-03,1.638582e-03,1.648678e-03,1.711217e-03,1.751979e-03,1.758644e-03,1.793125e-03,1.813084e-03,1.816566e-03,1.830633e-03,1.836116e-03,1.836773e-03,1.836237e-03,1.831885e-03,1.830105e-03,1.819307e-03,1.808474e-03,1.804640e-03,1.786788e-03,1.771875e-03,1.766337e-03,1.743787e-03,1.726493e-03,1.719565e-03,1.694035e-03,1.675553e-03,1.667506e-03,1.640241e-03,1.621396e-03,1.612463e-03,1.584360e-03,1.565712e-03,1.556090e-03,1.527788e-03,1.509710e-03,1.499565e-03,1.471513e-03,1.454243e-03,1.443712e-03,1.416226e-03,1.399907e-03,1.389106e-03,1.362397e-03,1.347107e-03,1.336131e-03,1.310336e-03,1.296105e-03,1.285033e-03,1.260238e-03,1.247065e-03,1.235963e-03,1.212214e-03,1.200075e-03,1.188998e-03,1.166314e-03,1.155172e-03,1.144163e-03,1.122543e-03,1.112352e-03,1.101449e-03,1.080877e-03,1.071587e-03,1.060820e-03,1.041271e-03,1.032828e-03,1.022222e-03,1.003666e-03,9.960163e-04,9.855919e-04,9.679922e-04,9.610828e-04,9.508569e-04,9.341766e-04,9.279553e-04,9.179415e-04,9.021419e-04,8.965587e-04,8.867680e-04,8.718100e-04,8.668173e-04,8.572583e-04,8.431032e-04,8.386558e-04,8.293353e-04,8.159450e-04,8.120002e-04,8.029231e-04,7.902605e-04,7.867781e-04,7.779482e-04,7.659773e-04,7.629197e-04,7.543392e-04,7.430254e-04,7.403574e-04,7.320276e-04,7.213376e-04,7.190263e-04,7.109475e-04,7.008495e-04,6.988643e-04,6.910360e-04,6.814995e-04,6.798117e-04,6.722327e-04,6.632287e-04,6.618119e-04,6.544803e-04,6.459810e-04,6.448106e-04,6.377240e-04,6.297030e-04,6.287561e-04,6.219117e-04,6.143439e-04,6.135992e-04,6.069937e-04,5.998553e-04,5.992932e-04,5.929230e-04,5.861913e-04,5.857936e-04,5.796547e-04,5.733081e-04,5.730581e-04,5.671463e-04,5.611644e-04,5.610466e-04,5.553574e-04,5.497208e-04,5.390445e-04,5.289833e-04,5.195046e-04,5.105774e-04,5.021723e-04,4.942612e-04,4.868179e-04,4.798171e-04,4.732350e-04,4.670491e-04,4.612378e-04,4.557809e-04,4.506591e-04,4.458541e-04,4.413486e-04,4.371262e-04,4.331712e-04,4.294690e-04,4.260055e-04,4.227674e-04,4.197423e-04,4.169181e-04,4.142836e-04,4.118282e-04,4.095416e-04,4.074142e-04,4.054371e-04,4.036015e-04,4.018993e-04,4.003228e-04,3.988646e-04,3.975179e-04,3.962760e-04,3.951329e-04,3.940825e-04,3.931193e-04,3.922381e-04,3.914339e-04,3.907020e-04,3.900380e-04,3.894376e-04,3.888968e-04,3.884119e-04,3.879793e-04,3.875957e-04,3.872579e-04,3.869629e-04,3.867079e-04,3.864901e-04
0.000000e+00,6.138438e-08,1.026508e-06,1.073224e-06,7.132616e-06,2.771419e-05,2.909130e-05,8.160240e-05,1.634467e-04,1.695487e-04,2.795558e-04,3.831520e-04,3.918599e-04,4.935906e-04,5.718083e-04,5.796737e-04,6.494984e-04,6.985396e-04,7.044041e-04,7.463707e-04,7.736692e-04,7.774335e-04,7.994526e-04,8.121487e-04,8.140433e-04,8.225738e-04,8.258555e-04,8.261882e-04,8.258364e-04,8.232311e-04,8.223026e-04,8.162329e-04,8.100832e-04,8.081583e-04,7.985139e-04,7.903563e-04,7.876564e-04,7.758774e-04,7.667094e-04,7.634150e-04,7.504637e-04,7.409253e-04,7.371803e-04,7.236908e-04,7.141809e-04,7.100971e-04,6.964818e-04,6.872453e-04,6.829109e-04,6.694375e-04,6.606197e-04,6.561045e-04,6.429455e-04,6.346276e-04,6.299871e-04,6.172504e-04,6.094731e-04,6.047537e-04,5.925107e-04,5.852899e-04,5.805288e-04,5.688126e-04,5.621400e-04,5.573644e-04,5.461841e-04,5.400399e-04,5.352710e-04,5.246232e-04,5.189827e-04,5.142379e-04,5.041114e-04,4.989465e-04,4.942395e-04,4.846178e-04,4.798994e-04,4.752418e-04,4.661068e-04,4.618061e-04,4.572078e-04,4.485397e-04,4.446286e-04,4.400976e-04,4.318762e-04,4.283274e-04,4.238704e-04,4.160752e-04,4.128627e-04,4.084854e-04,4.010963e-04,3.981956e-04,3.939027e-04,3.868999e-04,3.842879e-04,3.800831e-04,3.734477e-04,3.711024e-04,3.669890e-04,3.607025e-04,3.586036e-04,3.545840e-04,3.486290e-04,3.467573e-04,3.428335e-04,3.371932e-04,3.355308e-04,3.317043e-04,3.263627e-04,3.248929e-04,3.211647e-04,3.161065e-04,3.148138e-04,3.111845e-04,3.063951e-04,3.052650e-04,3.017349e-04,2.972006e-04,2.962196e-04,2.927888e-04,2.884963e-04,2.876518e-04,2.843199e-04,2.802568e-04,2.795372e-04,2.763038e-04,2.724581e-04,2.718526e-04,2.687169e-04,2.650774e-04,2.645758e-04,2.615369e-04,2.580929e-04,2.576860e-04,2.547428e-04,2.514841e-04,2.511631e-04,2.483143e-04,2.452313e-04,2.449883e-04,2.422326e-04,2.393160e-04,2.391436e-04,2.364794e-04,2.337206e-04,2.336119e-04,2.310376e-04,2.284284e-04,2.283770e-04,2.258910e-04,2.234235e-04,2.187370e-04,2.143034e-04,2.101098e-04,2.061435e-04,2.023928e-04,1.988465e-04,1.954938e-04,1.923248e-04,1.893297e-04,1.864996e-04,1.838257e-04,1.813000e-04,1.789146e-04,1.766621e-04,1.745357e-04,1.725286e-04,1.706347e-04,1.688478e-04,1.671625e-04,1.655733e-04,1.640751e-04,1.626632e-04,1.613329e-04,1.600800e-04,1.589004e-04,1.577900e-04,1.567453e-04,1.557628e-04,1.548391e-04,1.539710e-04,1.531557e-04,1.523902e-04,1.516720e-04,1.509983e-04,1.503669e-04,1.497755e-04,1.492219e-04,1.487040e-04,1.482198e-04,1.477677e-04,1.473457e-04,1.469523e-04,1.465859e-04,1.462449e-04,1.459281e-04,1.456339e-04,1.453613e-04,1.451089e-04,1.448757e-04
0.000000e+00,6.918902e-10,1.040356e-08,1.087151e-08,6.584396e-08,2.092445e-07,2.174666e-07,4.660502e-07,7.347249e-07,7.520726e-07,1.038305e-06,1.293278e-06,1.314997e-06,1.580113e-06,1.808525e-06,1.833308e-06,2.074640e-06,2.277342e-06,2.304290e-06,2.522494e-06,2.701199e-06,2.729520e-06,2.925666e-06,3.082250e-06,3.111245e-06,3.286584e-06,3.422955e-06,3.452017e-06,3.607879e-06,3.725904e-06,3.754507e-06,3.892232e-06,3.993689e-06,4.021383e-06,4.142282e-06,4.228838e-06,4.255241e-06,4.360569e-06,4.433774e-06,4.458564e-06,4.549517e-06,4.610801e-06,4.633710e-06,4.711417e-06,4.762096e-06,4.782904e-06,4.848429e-06,4.889707e-06,4.908240e-06,4.962580e-06,4.995560e-06,5.011681e-06,5.055769e-06,5.081456e-06,5.095063e-06,5.129773e-06,5.149081e-06,5.160103e-06,5.186250e-06,5.200009e-06,5.208403e-06,5.226746e-06,5.235708e-06,5.241455e-06,5.252700e-06,5.257546e-06,5.260646e-06,5.265452e-06,5.266794e-06,5.267269e-06,5.266245e-06,5.264637e-06,5.262521e-06,5.256235e-06,5.252171e-06,5.247516e-06,5.236492e-06,5.230417e-06,5.223284e-06,5.208010e-06,5.200320e-06,5.190781e-06,5.171706e-06,5.162755e-06,5.150889e-06,5.128431e-06,5.118532e-06,5.104426e-06,5.078968e-06,5.068398e-06,5.052146e-06,5.024044e-06,5.013047e-06,4.994745e-06,4.964326e-06,4.953116e-06,4.932864e-06,4.900430e-06,4.889194e-06,4.867094e-06,4.832923e-06,4.821822e-06,4.797979e-06,4.762324e-06,4.751498e-06,4.726017e-06,4.689113e-06,4.678680e-06,4.651666e-06,4.613728e-06,4.603790e-06,4.575347e-06,4.536571e-06,4.527211e-06,4.497445e-06,4.458010e-06,4.449298e-06,4.418309e-06,4.378381e-06,4.370371e-06,4.338262e-06,4.297988e-06,4.290725e-06,4.257594e-06,4.217112e-06,4.210628e-06,4.176572e-06,4.136004e-06,4.130324e-06,4.095437e-06,4.054896e-06,4.050034e-06,4.014408e-06,3.973995e-06,3.969959e-06,3.933682e-06,3.893489e-06,3.890280e-06,3.853437e-06,3.813546e-06,3.811158e-06,3.773834e-06,3.734318e-06,3.732741e-06,3.695015e-06,3.655940e-06,3.655161e-06,3.617108e-06,3.578533e-06,3.502961e-06,3.428539e-06,3.355346e-06,3.283452e-06,3.212920e-06,3.143801e-06,3.076140e-06,3.009974e-06,2.945333e-06,2.882242e-06,2.820719e-06,2.760779e-06,2.702429e-06,2.645675e-06,2.590518e-06,2.536954e-06,2.484979e-06,2.434583e-06,2.385755e-06,2.338482e-06,2.292747e-06,2.248534e-06,2.205822e-06,2.164592e-06,2.124822e-06,2.086488e-06,2.049566e-06,2.014031e-06,1.979859e-06,1.947021e-06,1.915492e-06,1.885245e-06,1.856251e-06,1.828483e-06,1.801912e-06,1.776512e-06,1.752253e-06,1.729107e-06,1.707045e-06,1.686041e-06,1.666065e-06,1.647090e-06,1.629088e-06,1.612031e-06,1.595893e-06,1.580645e-06,1.566262e-06,1.552717e-06,1.539984e-06
0.000000e+00,1.592733e-08,2.543907e-07,2.665073e-07,1.894665e-06,6.990689e-06,7.302741e-06,1.707786e-05,2.757007e-05,2.823263e-05,3.886084e-05,4.783010e-05,4.857207e-05,5.734650e-05,6.448274e-05,6.523317e-05,7.229262e-05,7.786819e-05,7.858462e-05,8.416601e-05,8.843865e-05,8.909044e-05,9.340844e-05,9.660176e-05,9.716754e-05,1.004124e-04,1.027188e-04,1.031847e-04,1.055237e-04,1.071075e-04,1.074658e-04,1.090449e-04,1.100451e-04,1.102926e-04,1.112382e-04,1.117715e-04,1.119088e-04,1.123295e-04,1.124937e-04,1.125235e-04,1.125124e-04,1.123886e-04,1.123160e-04,1.119526e-04,1.116079e-04,1.114390e-04,1.107909e-04,1.102806e-04,1.100224e-04,1.091469e-04,1.085164e-04,1.081765e-04,1.071222e-04,1.064083e-04,1.059944e-04,1.048024e-04,1.040350e-04,1.035549e-04,1.022597e-04,1.014627e-04,1.009240e-04,9.955450e-05,9.874709e-05,9.815720e-05,9.673760e-05,9.593477e-05,9.530072e-05,9.385112e-05,9.306453e-05,9.239296e-05,9.093000e-05,9.016851e-05,8.946565e-05,8.800300e-05,8.727319e-05,8.654483e-05,8.509365e-05,8.440023e-05,8.365170e-05,8.222100e-05,8.156716e-05,8.080335e-05,7.940035e-05,7.878804e-05,7.801340e-05,7.664376e-05,7.607394e-05,7.529252e-05,7.396062e-05,7.343347e-05,7.264889e-05,7.135804e-05,7.087311e-05,7.008864e-05,6.884120e-05,6.839758e-05,6.761613e-05,6.641373e-05,6.601013e-05,6.523426e-05,6.407789e-05,6.371275e-05,6.294474e-05,6.183486e-05,6.150643e-05,6.074826e-05,5.968490e-05,5.939131e-05,5.864469e-05,5.762753e-05,5.736682e-05,5.663325e-05,5.566168e-05,5.543186e-05,5.471260e-05,5.378579e-05,5.358485e-05,5.288098e-05,5.199790e-05,5.182387e-05,5.113626e-05,5.029577e-05,5.014670e-05,4.947610e-05,4.867693e-05,4.855094e-05,4.789792e-05,4.713874e-05,4.703401e-05,4.639903e-05,4.567845e-05,4.559324e-05,4.497663e-05,4.429322e-05,4.422588e-05,4.362786e-05,4.298019e-05,4.292912e-05,4.234984e-05,4.173646e-05,4.170019e-05,4.113968e-05,4.055916e-05,4.053627e-05,3.999453e-05,3.944545e-05,3.943463e-05,3.891157e-05,3.839254e-05,3.740735e-05,3.647647e-05,3.559737e-05,3.476761e-05,3.398483e-05,3.324674e-05,3.255115e-05,3.189594e-05,3.127909e-05,3.069865e-05,3.015276e-05,2.963965e-05,2.915760e-05,2.870499e-05,2.828028e-05,2.788197e-05,2.750868e-05,2.715904e-05,2.683179e-05,2.652572e-05,2.623966e-05,2.597252e-05,2.572326e-05,2.549089e-05,2.527446e-05,2.507309e-05,2.488592e-05,2.471215e-05,2.455102e-05,2.440181e-05,2.426382e-05,2.413641e-05,2.401896e-05,2.391089e-05,2.381164e-05,2.372069e-05,2.363755e-05,2.356174e-05,2.349283e-05,2.343039e-05,2.337402e-05,2.332335e-05,2.327802e-05,2.323769e-05,2.320204e-05,2.317077e-05,2.314360e-05,2.312026e-05,2.310048e-05
0.000000e+00,5.752039e-09,8.305138e-08,8.683957e-08,5.667729e-07,1.980965e-06,2.066387e-06,4.770567e-06,7.802451e-06,7.998601e-06,1.121626e-05,1.403793e-05,1.427600e-05,1.715091e-05,1.957970e-05,1.984045e-05,2.235008e-05,2.441522e-05,2.468673e-05,2.685775e-05,2.859803e-05,2.887059e-05,3.073263e-05,3.218553e-05,3.245114e-05,3.403325e-05,3.523363e-05,3.548584e-05,3.681561e-05,3.779532e-05,3.802898e-05,3.913214e-05,3.991993e-05,4.013103e-05,4.103132e-05,4.165295e-05,4.183844e-05,4.255760e-05,4.303605e-05,4.319373e-05,4.375157e-05,4.410728e-05,4.423563e-05,4.465021e-05,4.490127e-05,4.499939e-05,4.528708e-05,4.544949e-05,4.551699e-05,4.569265e-05,4.578051e-05,4.581742e-05,4.589450e-05,4.592021e-05,4.592692e-05,4.591758e-05,4.589202e-05,4.586921e-05,4.578442e-05,4.571710e-05,4.566569e-05,4.551536e-05,4.541457e-05,4.533566e-05,4.512871e-05,4.500166e-05,4.489651e-05,4.464096e-05,4.449389e-05,4.436386e-05,4.406692e-05,4.390521e-05,4.375175e-05,4.341989e-05,4.324815e-05,4.307277e-05,4.271177e-05,4.253394e-05,4.233818e-05,4.195322e-05,4.177264e-05,4.155805e-05,4.115376e-05,4.097325e-05,4.074137e-05,4.032186e-05,4.014376e-05,3.989614e-05,3.946507e-05,3.929133e-05,3.902946e-05,3.859008e-05,3.842228e-05,3.814764e-05,3.770282e-05,3.754223e-05,3.725625e-05,3.680852e-05,3.665613e-05,3.636019e-05,3.591178e-05,3.576836e-05,3.546378e-05,3.501664e-05,3.488273e-05,3.457079e-05,3.412661e-05,3.400260e-05,3.368449e-05,3.324477e-05,3.313087e-05,3.280776e-05,3.237375e-05,3.227007e-05,3.194303e-05,3.151584e-05,3.142235e-05,3.109241e-05,3.067296e-05,3.058957e-05,3.025769e-05,2.984677e-05,2.977328e-05,2.944036e-05,2.903862e-05,2.897479e-05,2.864168e-05,2.824965e-05,2.819517e-05,2.786265e-05,2.748077e-05,2.743530e-05,2.710410e-05,2.673271e-05,2.669586e-05,2.636666e-05,2.600600e-05,2.597739e-05,2.565079e-05,2.530106e-05,2.528025e-05,2.495684e-05,2.461815e-05,2.460472e-05,2.428501e-05,2.395742e-05,2.395092e-05,2.363538e-05,2.331890e-05,2.270861e-05,2.211993e-05,2.155266e-05,2.100656e-05,2.048133e-05,1.997663e-05,1.949209e-05,1.902729e-05,1.858180e-05,1.815518e-05,1.774695e-05,1.735662e-05,1.698371e-05,1.662772e-05,1.628815e-05,1.596449e-05,1.565625e-05,1.536291e-05,1.508398e-05,1.481898e-05,1.456741e-05,1.432879e-05,1.410266e-05,1.388854e-05,1.368600e-05,1.349458e-05,1.331386e-05,1.314340e-05,1.298281e-05,1.283167e-05,1.268959e-05,1.255621e-05,1.243115e-05,1.231405e-05,1.220457e-05,1.210238e-05,1.200715e-05,1.191856e-05,1.183632e-05,1.176013e-05,1.168972e-05,1.162480e-05,1.156512e-05,1.151042e-05,1.146046e-05,1.141501e-05,1.137384e-05,1.133673e-05,1.130347e-05
0.000000e+00,4.581091e-10,7.430521e-09,7.784064e-09,5.364091e-08,1.851128e-07,1.927274e-07,4.162705e-07,6.449492e-07,6.594163e-07,8.943514e-07,1.098345e-06,1.115503e-06,1.322163e-06,1.496012e-06,1.514635e-06,1.693443e-06,1.839946e-06,1.859160e-06,2.012372e-06,2.134578e-06,2.153663e-06,2.283611e-06,2.384422e-06,2.402790e-06,2.511760e-06,2.593881e-06,2.611067e-06,2.701241e-06,2.767147e-06,2.782790e-06,2.856207e-06,2.908132e-06,2.921964e-06,2.980512e-06,3.020453e-06,3.032282e-06,3.077679e-06,3.107394e-06,3.117083e-06,3.150860e-06,3.171890e-06,3.179356e-06,3.202912e-06,3.216645e-06,3.221865e-06,3.236516e-06,3.244167e-06,3.247149e-06,3.254032e-06,3.256646e-06,3.257421e-06,3.257554e-06,3.256037e-06,3.254661e-06,3.248956e-06,3.244097e-06,3.240643e-06,3.229915e-06,3.222394e-06,3.216952e-06,3.201927e-06,3.192331e-06,3.185001e-06,3.166326e-06,3.155159e-06,3.146048e-06,3.124300e-06,3.111991e-06,3.101212e-06,3.076904e-06,3.063819e-06,3.051488e-06,3.025073e-06,3.011521e-06,2.997757e-06,2.969636e-06,2.955878e-06,2.940798e-06,2.911326e-06,2.897578e-06,2.881298e-06,2.850788e-06,2.837229e-06,2.819865e-06,2.788592e-06,2.775368e-06,2.757030e-06,2.725236e-06,2.712465e-06,2.693261e-06,2.661156e-06,2.648931e-06,2.628966e-06,2.596733e-06,2.585127e-06,2.564498e-06,2.532298e-06,2.521364e-06,2.500166e-06,2.468136e-06,2.457913e-06,2.436237e-06,2.404495e-06,2.395008e-06,2.372937e-06,2.341586e-06,2.332847e-06,2.310462e-06,2.279587e-06,2.271602e-06,2.248977e-06,2.218650e-06,2.211415e-06,2.188620e-06,2.158901e-06,2.152406e-06,2.129506e-06,2.100446e-06,2.094675e-06,2.071730e-06,2.043367e-06,2.038300e-06,2.015367e-06,1.987734e-06,1.983348e-06,1.960476e-06,1.933598e-06,1.929866e-06,1.907104e-06,1.880998e-06,1.877892e-06,1.855283e-06,1.829962e-06,1.827451e-06,1.805035e-06,1.780505e-06,1.778560e-06,1.756372e-06,1.732636e-06,1.731225e-06,1.709298e-06,1.686355e-06,1.685446e-06,1.663808e-06,1.641655e-06,1.641216e-06,1.619894e-06,1.598524e-06,1.557352e-06,1.517679e-06,1.479480e-06,1.442729e-06,1.407395e-06,1.373447e-06,1.340852e-06,1.309574e-06,1.279579e-06,1.250830e-06,1.223291e-06,1.196926e-06,1.171697e-06,1.147568e-06,1.124503e-06,1.102466e-06,1.081421e-06,1.061334e-06,1.042170e-06,1.023895e-06,1.006476e-06,9.898823e-07,9.740813e-07,9.590428e-07,9.447369e-07,9.311349e-07,9.182086e-07,9.059309e-07,8.942754e-07,8.832166e-07,8.727298e-07,8.627912e-07,8.533777e-07,8.444670e-07,8.360377e-07,8.280690e-07,8.205411e-07,8.134345e-07,8.067309e-07,8.004123e-07,7.944617e-07,7.888625e-07,7.835987e-07,7.786553e-07,7.740175e-07,7.696712e-07,7.656029e-07,7.617996e-07,7.582488e-07
0.000000e+00,6.490605e-08,1.272952e-06,1.334424e-06,9.432650e-06,3.539225e-05,3.706035e-05,9.710009e-05,1.833210e-04,1.895536e-04,3.000036e-04,4.042653e-04,4.131804e-04,5.207055e-04,6.099729e-04,6.194161e-04,7.085865e-04,7.793268e-04,7.884324e-04,8.594888e-04,9.140403e-04,9.223764e-04,9.777206e-04,1.018821e-03,1.026123e-03,1.068152e-03,1.098235e-03,1.104341e-03,1.135188e-03,1.156331e-03,1.161155e-03,1.182673e-03,1.196625e-03,1.200139e-03,1.213920e-03,1.222139e-03,1.224356e-03,1.231759e-03,1.235454e-03,1.236416e-03,1.238592e-03,1.238759e-03,1.238530e-03,1.236452e-03,1.233909e-03,1.232563e-03,1.227051e-03,1.222463e-03,1.220087e-03,1.211830e-03,1.205743e-03,1.202424e-03,1.192004e-03,1.184858e-03,1.180688e-03,1.168589e-03,1.160740e-03,1.155809e-03,1.142438e-03,1.134168e-03,1.128562e-03,1.114257e-03,1.105792e-03,1.099594e-03,1.084634e-03,1.076150e-03,1.069437e-03,1.054055e-03,1.045689e-03,1.038536e-03,1.022922e-03,1.014779e-03,1.007253e-03,9.915634e-04,9.837213e-04,9.758858e-04,9.602483e-04,9.527642e-04,9.446767e-04,9.291941e-04,9.221077e-04,9.138210e-04,8.985757e-04,8.919125e-04,8.834744e-04,8.685316e-04,8.623060e-04,8.537599e-04,8.391703e-04,8.333876e-04,8.247725e-04,8.105748e-04,8.052337e-04,7.965845e-04,7.828074e-04,7.779009e-04,7.692488e-04,7.559127e-04,7.514297e-04,7.428024e-04,7.299205e-04,7.258469e-04,7.172690e-04,7.048490e-04,7.011683e-04,6.926614e-04,6.807064e-04,6.774007e-04,6.689838e-04,6.574929e-04,6.545431e-04,6.462328e-04,6.352021e-04,6.325887e-04,6.243993e-04,6.138224e-04,6.115256e-04,6.034693e-04,5.933378e-04,5.913378e-04,5.834253e-04,5.737291e-04,5.720065e-04,5.642465e-04,5.549745e-04,5.535104e-04,5.459103e-04,5.370506e-04,5.358264e-04,5.283923e-04,5.199321e-04,5.189300e-04,5.116668e-04,5.035931e-04,5.027962e-04,4.957077e-04,4.880071e-04,4.873989e-04,4.804880e-04,4.731470e-04,4.727122e-04,4.659808e-04,4.589860e-04,4.587097e-04,4.521593e-04,4.454972e-04,4.453656e-04,4.389966e-04,4.326542e-04,4.205499e-04,4.090282e-04,3.980647e-04,3.876358e-04,3.777187e-04,3.682911e-04,3.593316e-04,3.508194e-04,3.427346e-04,3.350580e-04,3.277709e-04,3.208556e-04,3.142952e-04,3.080731e-04,3.021737e-04,2.965820e-04,2.912835e-04,2.862645e-04,2.815119e-04,2.770129e-04,2.727557e-04,2.687286e-04,2.649206e-04,2.613214e-04,2.579208e-04,2.547093e-04,2.516777e-04,2.488174e-04,2.461200e-04,2.435775e-04,2.411825e-04,2.389276e-04,2.368061e-04,2.348113e-04,2.329370e-04,2.311771e-04,2.295262e-04,2.279786e-04,2.265292e-04,2.251732e-04,2.239057e-04,2.227223e-04,2.216188e-04,2.205910e-04,2.196351e-04,2.187474e-04,2.179243e-04,2.171626e-04,2.164590e-04
0.000000e+00,1.052743e-07,2.778145e-06,2.929974e-06,2.687826e-05,1.191627e-04,1.254361e-04,3.602352e-04,7.082809e-04,7.338499e-04,1.201090e-03,1.673332e-03,1.715292e-03,2.241267e-03,2.704409e-03,2.754675e-03,3.239563e-03,3.634794e-03,3.686153e-03,4.089118e-03,4.399053e-03,4.446280e-03,4.757644e-03,4.984843e-03,5.024682e-03,5.249805e-03,5.405204e-03,5.435986e-03,5.586485e-03,5.683445e-03,5.704653e-03,5.793806e-03,5.845260e-03,5.857131e-03,5.897633e-03,5.914874e-03,5.918100e-03,5.921092e-03,5.913431e-03,5.908934e-03,5.883723e-03,5.858550e-03,5.847335e-03,5.801444e-03,5.764466e-03,5.747530e-03,5.686899e-03,5.642425e-03,5.620700e-03,5.549937e-03,5.501165e-03,5.475489e-03,5.398119e-03,5.347377e-03,5.318487e-03,5.237167e-03,5.186120e-03,5.154651e-03,5.071364e-03,5.021174e-03,4.987668e-03,4.903875e-03,4.855336e-03,4.820248e-03,4.737012e-03,4.690642e-03,4.654354e-03,4.572434e-03,4.528551e-03,4.491383e-03,4.411311e-03,4.370091e-03,4.332308e-03,4.254446e-03,4.215963e-03,4.177785e-03,4.102372e-03,4.066628e-03,4.028242e-03,3.955422e-03,3.922370e-03,3.883931e-03,3.813782e-03,3.783343e-03,3.744981e-03,3.677531e-03,3.649604e-03,3.611429e-03,3.546672e-03,3.521143e-03,3.483249e-03,3.421151e-03,3.397898e-03,3.360365e-03,3.300876e-03,3.279775e-03,3.242670e-03,3.185728e-03,3.166653e-03,3.130034e-03,3.075569e-03,3.058396e-03,3.022313e-03,2.970248e-03,2.954857e-03,2.919353e-03,2.869608e-03,2.855883e-03,2.820993e-03,2.773487e-03,2.761315e-03,2.727071e-03,2.681724e-03,2.670998e-03,2.637425e-03,2.594155e-03,2.584771e-03,2.551893e-03,2.510619e-03,2.502481e-03,2.470314e-03,2.430958e-03,2.423973e-03,2.392532e-03,2.355017e-03,2.349098e-03,2.318394e-03,2.282645e-03,2.277709e-03,2.247751e-03,2.213696e-03,2.209664e-03,2.180460e-03,2.148026e-03,2.144826e-03,2.116378e-03,2.085498e-03,2.083061e-03,2.055371e-03,2.025979e-03,2.024239e-03,1.997307e-03,1.969340e-03,1.968235e-03,1.942061e-03,1.915456e-03,1.914931e-03,1.889510e-03,1.864208e-03,1.815956e-03,1.770067e-03,1.726438e-03,1.684969e-03,1.645564e-03,1.608133e-03,1.572587e-03,1.538841e-03,1.506815e-03,1.476431e-03,1.447615e-03,1.420295e-03,1.394402e-03,1.369872e-03,1.346642e-03,1.324651e-03,1.303842e-03,1.284161e-03,1.265554e-03,1.247970e-03,1.231363e-03,1.215686e-03,1.200893e-03,1.186945e-03,1.173799e-03,1.161418e-03,1.149764e-03,1.138802e-03,1.128498e-03,1.118821e-03,1.109739e-03,1.101223e-03,1.093245e-03,1.085777e-03,1.078795e-03,1.072273e-03,1.066188e-03,1.060518e-03,1.055241e-03,1.050338e-03,1.045787e-03,1.041571e-03,1.037672e-03,1.034073e-03,1.030758e-03,1.027712e-03,1.024919e-03,1.022366e-03,1.020039e-03
0.000000e+00,2.402633e-09,4.045928e-08,4.234960e-08,2.646612e-07,7.852394e-07,8.123293e-07,1.539841e-06,2.228779e-06,2.271714e-06,2.964218e-06,3.561367e-06,3.611481e-06,4.213895e-06,4.718969e-06,4.772977e-06,5.290506e-06,5.713047e-06,5.768356e-06,6.208435e-06,6.558149e-06,6.612651e-06,6.982892e-06,7.268987e-06,7.320999e-06,7.628750e-06,7.859659e-06,7.907860e-06,8.159982e-06,8.343310e-06,8.386692e-06,8.589498e-06,8.732018e-06,8.769836e-06,8.929078e-06,9.036785e-06,9.068509e-06,9.189361e-06,9.267520e-06,9.292802e-06,9.379941e-06,9.433179e-06,9.451828e-06,9.509457e-06,9.541820e-06,9.553770e-06,9.585659e-06,9.600678e-06,9.605966e-06,9.615489e-06,9.616235e-06,9.614982e-06,9.605158e-06,9.594292e-06,9.586688e-06,9.560208e-06,9.540033e-06,9.526318e-06,9.485584e-06,9.458082e-06,9.438540e-06,9.385689e-06,9.352563e-06,9.327506e-06,9.264438e-06,9.227143e-06,9.196905e-06,9.125304e-06,9.085081e-06,9.050009e-06,8.971370e-06,8.929266e-06,8.889716e-06,8.805359e-06,8.762257e-06,8.718588e-06,8.629677e-06,8.586316e-06,8.538883e-06,8.446447e-06,8.403437e-06,8.352592e-06,8.257531e-06,8.215373e-06,8.161461e-06,8.064566e-06,8.023666e-06,7.967019e-06,7.868981e-06,7.829663e-06,7.770603e-06,7.672025e-06,7.634540e-06,7.573376e-06,7.474779e-06,7.439319e-06,7.376346e-06,7.278182e-06,7.244884e-06,7.180383e-06,7.083039e-06,7.051999e-06,6.986234e-06,6.890043e-06,6.861316e-06,6.794537e-06,6.699780e-06,6.673391e-06,6.605832e-06,6.512747e-06,6.488693e-06,6.420575e-06,6.329360e-06,6.307615e-06,6.239143e-06,6.149961e-06,6.130483e-06,6.061847e-06,5.974830e-06,5.957561e-06,5.888937e-06,5.804190e-06,5.789059e-06,5.720611e-06,5.638216e-06,5.625144e-06,5.557021e-06,5.477037e-06,5.465937e-06,5.398277e-06,5.320747e-06,5.311527e-06,5.244455e-06,5.169405e-06,5.161968e-06,5.095599e-06,5.023040e-06,5.017289e-06,4.951726e-06,4.881657e-06,4.877492e-06,4.812829e-06,4.745240e-06,4.742562e-06,4.678882e-06,4.613752e-06,4.612462e-06,4.549841e-06,4.487142e-06,4.366538e-06,4.250577e-06,4.139172e-06,4.032234e-06,3.929663e-06,3.831357e-06,3.737207e-06,3.647104e-06,3.560936e-06,3.478589e-06,3.399947e-06,3.324898e-06,3.253325e-06,3.185116e-06,3.120156e-06,3.058335e-06,2.999544e-06,2.943673e-06,2.890617e-06,2.840273e-06,2.792538e-06,2.747314e-06,2.704503e-06,2.664013e-06,2.625751e-06,2.589627e-06,2.555557e-06,2.523455e-06,2.493240e-06,2.464834e-06,2.438160e-06,2.413145e-06,2.389716e-06,2.367805e-06,2.347345e-06,2.328272e-06,2.310524e-06,2.294040e-06,2.278762e-06,2.264636e-06,2.251606e-06,2.239622e-06,2.228633e-06,2.218591e-06,2.209451e-06,2.201167e-06,2.193697e-06,2.186999e-06,2.181034e-06
0.000000e+00,6.001901e-08,2.071940e-06,2.191852e-06,2.043519e-05,7.420566e-05,7.722058e-05,1.644802e-04,2.553466e-04,2.611591e-04,3.557088e-04,4.367736e-04,4.435025e-04,5.230732e-04,5.875142e-04,5.942643e-04,6.574339e-04,7.068177e-04,7.131254e-04,7.619327e-04,7.988514e-04,8.044457e-04,8.412280e-04,8.680841e-04,8.728079e-04,8.996755e-04,9.185084e-04,9.222822e-04,9.410420e-04,9.535357e-04,9.563336e-04,9.685027e-04,9.760303e-04,9.778638e-04,9.847029e-04,9.883748e-04,9.892801e-04,9.918314e-04,9.925418e-04,9.925710e-04,9.916934e-04,9.901597e-04,9.893747e-04,9.857750e-04,9.825710e-04,9.810389e-04,9.752978e-04,9.708808e-04,9.686704e-04,9.612642e-04,9.559971e-04,9.531764e-04,9.444948e-04,9.386639e-04,9.352988e-04,9.256601e-04,9.194905e-04,9.156435e-04,9.053074e-04,8.989744e-04,8.947043e-04,8.838817e-04,8.775210e-04,8.728823e-04,8.617446e-04,8.554600e-04,8.505029e-04,8.391883e-04,8.330579e-04,8.278284e-04,8.164481e-04,8.105298e-04,8.050696e-04,7.937128e-04,7.880481e-04,7.823952e-04,7.711326e-04,7.657502e-04,7.599388e-04,7.488262e-04,7.437447e-04,7.378056e-04,7.268864e-04,7.221163e-04,7.160771e-04,7.053849e-04,7.009306e-04,6.948160e-04,6.843759e-04,6.802369e-04,6.740690e-04,6.638994e-04,6.600716e-04,6.538703e-04,6.439842e-04,6.404607e-04,6.342434e-04,6.246494e-04,6.214212e-04,6.152036e-04,6.059067e-04,6.029633e-04,5.967593e-04,5.877615e-04,5.850914e-04,5.789133e-04,5.702143e-04,5.678053e-04,5.616640e-04,5.532617e-04,5.511012e-04,5.450064e-04,5.368970e-04,5.349724e-04,5.289325e-04,5.211115e-04,5.194099e-04,5.134325e-04,5.058940e-04,5.044031e-04,4.984945e-04,4.912324e-04,4.899396e-04,4.841058e-04,4.771130e-04,4.760065e-04,4.702523e-04,4.635218e-04,4.625899e-04,4.569197e-04,4.504440e-04,4.496754e-04,4.440929e-04,4.378645e-04,4.372483e-04,4.317568e-04,4.257680e-04,4.252939e-04,4.198960e-04,4.141391e-04,4.137973e-04,4.084953e-04,4.029627e-04,4.027437e-04,3.975395e-04,3.922237e-04,3.921184e-04,3.870135e-04,3.819071e-04,3.720953e-04,3.626693e-04,3.536155e-04,3.449206e-04,3.365716e-04,3.285560e-04,3.208617e-04,3.134767e-04,3.063898e-04,2.995898e-04,2.930659e-04,2.868079e-04,2.808057e-04,2.750497e-04,2.695306e-04,2.642394e-04,2.591673e-04,2.543061e-04,2.496476e-04,2.451842e-04,2.409083e-04,2.368127e-04,2.328904e-04,2.291349e-04,2.255395e-04,2.220982e-04,2.188049e-04,2.156539e-04,2.126397e-04,2.097569e-04,2.070004e-04,2.043652e-04,2.018467e-04,1.994402e-04,1.971413e-04,1.949459e-04,1.928497e-04,1.908490e-04,1.889399e-04,1.871188e-04,1.853822e-04,1.837268e-04,1.821494e-04,1.806467e-04,1.792158e-04,1.778539e-04,1.765582e-04,1.753259e-04,1.741546e-04
0.000000e+00,1.018023e-07,1.604215e-06,1.676363e-06,1.060338e-05,3.746554e-05,3.914763e-05,9.733939e-05,1.745598e-04,1.799115e-04,2.714568e-04,3.551911e-04,3.623437e-04,4.495371e-04,5.242649e-04,5.323436e-04,6.106672e-04,6.759266e-04,6.845636e-04,7.541358e-04,8.106033e-04,8.195074e-04,8.808137e-04,9.292737e-04,9.381976e-04,9.918058e-04,1.033051e-03,1.041787e-03,1.088288e-03,1.123083e-03,1.131457e-03,1.171437e-03,1.200498e-03,1.208368e-03,1.242386e-03,1.266373e-03,1.273623e-03,1.302208e-03,1.321727e-03,1.328265e-03,1.351912e-03,1.367511e-03,1.373265e-03,1.392435e-03,1.404613e-03,1.409529e-03,1.424648e-03,1.433853e-03,1.437893e-03,1.449357e-03,1.455993e-03,1.459133e-03,1.467307e-03,1.471737e-03,1.473963e-03,1.479183e-03,1.481732e-03,1.483044e-03,1.485619e-03,1.486577e-03,1.486981e-03,1.487196e-03,1.486822e-03,1.486332e-03,1.484449e-03,1.482973e-03,1.481608e-03,1.477867e-03,1.475491e-03,1.473279e-03,1.467898e-03,1.464803e-03,1.461774e-03,1.454954e-03,1.451298e-03,1.447484e-03,1.439409e-03,1.435329e-03,1.430769e-03,1.421604e-03,1.417223e-03,1.411954e-03,1.401853e-03,1.397275e-03,1.391337e-03,1.380438e-03,1.375755e-03,1.369189e-03,1.357619e-03,1.352907e-03,1.345756e-03,1.333628e-03,1.328955e-03,1.321261e-03,1.308679e-03,1.304101e-03,1.295906e-03,1.282963e-03,1.278528e-03,1.269873e-03,1.256654e-03,1.252400e-03,1.243327e-03,1.229908e-03,1.225868e-03,1.216416e-03,1.202866e-03,1.199063e-03,1.189273e-03,1.175653e-03,1.172109e-03,1.162018e-03,1.148382e-03,1.145111e-03,1.134757e-03,1.121154e-03,1.118166e-03,1.107585e-03,1.094059e-03,1.091360e-03,1.080586e-03,1.067175e-03,1.064768e-03,1.053835e-03,1.040573e-03,1.038459e-03,1.027397e-03,1.014315e-03,1.012491e-03,1.001331e-03,9.884529e-04,9.869149e-04,9.756858e-04,9.630349e-04,9.617764e-04,9.505051e-04,9.381009e-04,9.371141e-04,9.258263e-04,9.136852e-04,9.129610e-04,9.016810e-04,8.898169e-04,8.893453e-04,8.780957e-04,8.665202e-04,8.662902e-04,8.550927e-04,8.438152e-04,8.219356e-04,8.006635e-04,7.800078e-04,7.599748e-04,7.405680e-04,7.217890e-04,7.036373e-04,6.861105e-04,6.692047e-04,6.529147e-04,6.372338e-04,6.221543e-04,6.076677e-04,5.937646e-04,5.804347e-04,5.676673e-04,5.554512e-04,5.437746e-04,5.326254e-04,5.219913e-04,5.118597e-04,5.022178e-04,4.930527e-04,4.843515e-04,4.761011e-04,4.682884e-04,4.609006e-04,4.539247e-04,4.473477e-04,4.411570e-04,4.353400e-04,4.298840e-04,4.247768e-04,4.200063e-04,4.155603e-04,4.114271e-04,4.075951e-04,4.040528e-04,4.007890e-04,3.977928e-04,3.950533e-04,3.925600e-04,3.903025e-04,3.882707e-04,3.864547e-04,3.848448e-04,3.834316e-04,3.822059e-04,3.811587e-04
0.000000e+00,1.024003e-08,1.364072e-07,1.423764e-07,8.698076e-07,2.982245e-06,3.111230e-06,7.339794e-06,1.233833e-05,1.266576e-05,1.804151e-05,2.272409e-05,2.311699e-05,2.783064e-05,3.176439e-05,3.218386e-05,3.619080e-05,3.944371e-05,3.986816e-05,4.323304e-05,4.588985e-05,4.630239e-05,4.909279e-05,5.123300e-05,5.162041e-05,5.390089e-05,5.559705e-05,5.594929e-05,5.778004e-05,5.909722e-05,5.940693e-05,6.084309e-05,6.183892e-05,6.210098e-05,6.319244e-05,6.391755e-05,6.412867e-05,6.492026e-05,6.541883e-05,6.557722e-05,6.610901e-05,6.641941e-05,6.652453e-05,6.683218e-05,6.698762e-05,6.703989e-05,6.715510e-05,6.718421e-05,6.718483e-05,6.713568e-05,6.706305e-05,6.701384e-05,6.682514e-05,6.667183e-05,6.657506e-05,6.626873e-05,6.605268e-05,6.591098e-05,6.550634e-05,6.524281e-05,6.505903e-05,6.457304e-05,6.427491e-05,6.405207e-05,6.349961e-05,6.317771e-05,6.291892e-05,6.231304e-05,6.197639e-05,6.168480e-05,6.103687e-05,6.069299e-05,6.037172e-05,5.969165e-05,5.934669e-05,5.899880e-05,5.829519e-05,5.795418e-05,5.758267e-05,5.686297e-05,5.652994e-05,5.613768e-05,5.540830e-05,5.508643e-05,5.467620e-05,5.394265e-05,5.363442e-05,5.320883e-05,5.247583e-05,5.218308e-05,5.174464e-05,5.101617e-05,5.074025e-05,5.029129e-05,4.957074e-05,4.931255e-05,4.885526e-05,4.814546e-05,4.790554e-05,4.744196e-05,4.674526e-05,4.652384e-05,4.605587e-05,4.537420e-05,4.517127e-05,4.470065e-05,4.403557e-05,4.385090e-05,4.337926e-05,4.273198e-05,4.256521e-05,4.209399e-05,4.146549e-05,4.131608e-05,4.084665e-05,4.023762e-05,4.010496e-05,3.963852e-05,3.904946e-05,3.893286e-05,3.847051e-05,3.790174e-05,3.780044e-05,3.734317e-05,3.679483e-05,3.670805e-05,3.625673e-05,3.572886e-05,3.565577e-05,3.521119e-05,3.470368e-05,3.464346e-05,3.420630e-05,3.371897e-05,3.367079e-05,3.324164e-05,3.277423e-05,3.273726e-05,3.231665e-05,3.186881e-05,3.184225e-05,3.143061e-05,3.100195e-05,3.098500e-05,3.058271e-05,3.017278e-05,3.016468e-05,2.977205e-05,2.938038e-05,2.863115e-05,2.791597e-05,2.723380e-05,2.658357e-05,2.596422e-05,2.537464e-05,2.481378e-05,2.428053e-05,2.377385e-05,2.329268e-05,2.283599e-05,2.240278e-05,2.199205e-05,2.160284e-05,2.123422e-05,2.088528e-05,2.055513e-05,2.024294e-05,1.994787e-05,1.966913e-05,1.940596e-05,1.915762e-05,1.892340e-05,1.870263e-05,1.849464e-05,1.829882e-05,1.811456e-05,1.794128e-05,1.777844e-05,1.762551e-05,1.748199e-05,1.734739e-05,1.722126e-05,1.710316e-05,1.699266e-05,1.688938e-05,1.679292e-05,1.670293e-05,1.661907e-05,1.654099e-05,1.646839e-05,1.640098e-05,1.633846e-05,1.628057e-05,1.622705e-05,1.617765e-05,1.613216e-05,1.609033e-05,1.605197e-05
0.000000e+00,2.507950e-09,3.714635e-08,3.880827e-08,2.348716e-07,7.658752e-07,7.974057e-07,1.817875e-06,3.040032e-06,3.120856e-06,4.443744e-06,5.568213e-06,5.660751e-06,6.745075e-06,7.609869e-06,7.699769e-06,8.534656e-06,9.178846e-06,9.260548e-06,9.887829e-06,1.035579e-05,1.042613e-05,1.088427e-05,1.121309e-05,1.127032e-05,1.159164e-05,1.181151e-05,1.185490e-05,1.206618e-05,1.220150e-05,1.223099e-05,1.235431e-05,1.242461e-05,1.244064e-05,1.249407e-05,1.251495e-05,1.251828e-05,1.251657e-05,1.250040e-05,1.249195e-05,1.244711e-05,1.240369e-05,1.238449e-05,1.230626e-05,1.224327e-05,1.221439e-05,1.211064e-05,1.203414e-05,1.199662e-05,1.187374e-05,1.178841e-05,1.174328e-05,1.160640e-05,1.151589e-05,1.146411e-05,1.131734e-05,1.122446e-05,1.116692e-05,1.101358e-05,1.092046e-05,1.085798e-05,1.070071e-05,1.060893e-05,1.054228e-05,1.038317e-05,1.029393e-05,1.022379e-05,1.006449e-05,9.978624e-06,9.905609e-06,9.747428e-06,9.665535e-06,9.590197e-06,9.434138e-06,9.356608e-06,9.279442e-06,9.126278e-06,9.053347e-06,8.974791e-06,8.825105e-06,8.756885e-06,8.677330e-06,8.531554e-06,8.468067e-06,8.387856e-06,8.246298e-06,8.187496e-06,8.106935e-06,7.969806e-06,7.915587e-06,7.834945e-06,7.702375e-06,7.652603e-06,7.572114e-06,7.444172e-06,7.398681e-06,7.318552e-06,7.195255e-06,7.153862e-06,7.074274e-06,6.955601e-06,6.918111e-06,6.839223e-06,6.725123e-06,6.691334e-06,6.613282e-06,6.503680e-06,6.473390e-06,6.396294e-06,6.291098e-06,6.264102e-06,6.188065e-06,6.087168e-06,6.063267e-06,5.988378e-06,5.891664e-06,5.870663e-06,5.796997e-06,5.704344e-06,5.686053e-06,5.613675e-06,5.524957e-06,5.509192e-06,5.438157e-06,5.353243e-06,5.339830e-06,5.270183e-06,5.188943e-06,5.177713e-06,5.109492e-06,5.031797e-06,5.022590e-06,4.955825e-06,4.881544e-06,4.874208e-06,4.808923e-06,4.737930e-06,4.732320e-06,4.668534e-06,4.600703e-06,4.596682e-06,4.534408e-06,4.469617e-06,4.467057e-06,4.406303e-06,4.344434e-06,4.343211e-06,4.283982e-06,4.224919e-06,4.111960e-06,4.004123e-06,3.901201e-06,3.802996e-06,3.709314e-06,3.619972e-06,3.534789e-06,3.453596e-06,3.376225e-06,3.302518e-06,3.232322e-06,3.165489e-06,3.101878e-06,3.041354e-06,2.983785e-06,2.929047e-06,2.877018e-06,2.827584e-06,2.780633e-06,2.736059e-06,2.693760e-06,2.653638e-06,2.615599e-06,2.579551e-06,2.545410e-06,2.513090e-06,2.482514e-06,2.453604e-06,2.426286e-06,2.400491e-06,2.376150e-06,2.353200e-06,2.331576e-06,2.311221e-06,2.292077e-06,2.274088e-06,2.257204e-06,2.241372e-06,2.226545e-06,2.212676e-06,2.199721e-06,2.187637e-06,2.176383e-06,2.165920e-06,2.156210e-06,2.147217e-06,2.138907e-06,2.131246e-06,2.124202e-06
0.000000e+00,1.697490e-08,1.864322e-07,1.936777e-07,9.772876e-07,3.061235e-06,3.187374e-06,7.478469e-06,1.327771e-05,1.369003e-05,2.091512e-05,2.753965e-05,2.809165e-05,3.448755e-05,3.934253e-05,3.982829e-05,4.412851e-05,4.714455e-05,4.750552e-05,5.009334e-05,5.178283e-05,5.201624e-05,5.338292e-05,5.416960e-05,5.428645e-05,5.480590e-05,5.499246e-05,5.500808e-05,5.494926e-05,5.474644e-05,5.467689e-05,5.423077e-05,5.378389e-05,5.364434e-05,5.294557e-05,5.235395e-05,5.215791e-05,5.130091e-05,5.063182e-05,5.039093e-05,4.944157e-05,4.874009e-05,4.846416e-05,4.746809e-05,4.676397e-05,4.646115e-05,4.544975e-05,4.476219e-05,4.443919e-05,4.343378e-05,4.277479e-05,4.243708e-05,4.145194e-05,4.082860e-05,4.048066e-05,3.952508e-05,3.894114e-05,3.858663e-05,3.766640e-05,3.712337e-05,3.676524e-05,3.588375e-05,3.538167e-05,3.502235e-05,3.418129e-05,3.371923e-05,3.336069e-05,3.256058e-05,3.213701e-05,3.178088e-05,3.102144e-05,3.063448e-05,3.028207e-05,2.956250e-05,2.921005e-05,2.886245e-05,2.818159e-05,2.786149e-05,2.751958e-05,2.687604e-05,2.658612e-05,2.625061e-05,2.564289e-05,2.538100e-05,2.505249e-05,2.447900e-05,2.424308e-05,2.392202e-05,2.338115e-05,2.316923e-05,2.285600e-05,2.234616e-05,2.215635e-05,2.185124e-05,2.137086e-05,2.120141e-05,2.090463e-05,2.045218e-05,2.030141e-05,2.001313e-05,1.958712e-05,1.945349e-05,1.917380e-05,1.877282e-05,1.865488e-05,1.838384e-05,1.800652e-05,1.790292e-05,1.764055e-05,1.728559e-05,1.719507e-05,1.694136e-05,1.660753e-05,1.652892e-05,1.628381e-05,1.596993e-05,1.590216e-05,1.566559e-05,1.537053e-05,1.531260e-05,1.508447e-05,1.480717e-05,1.475816e-05,1.453836e-05,1.427781e-05,1.423687e-05,1.402527e-05,1.378052e-05,1.374686e-05,1.354332e-05,1.331345e-05,1.328635e-05,1.309071e-05,1.287489e-05,1.285368e-05,1.266577e-05,1.246317e-05,1.244724e-05,1.226690e-05,1.207677e-05,1.206555e-05,1.189259e-05,1.171420e-05,1.170719e-05,1.154143e-05,1.137410e-05,1.137080e-05,1.121205e-05,1.105514e-05,1.075899e-05,1.048124e-05,1.022080e-05,9.976683e-06,9.747926e-06,9.533635e-06,9.332962e-06,9.145109e-06,8.969322e-06,8.804889e-06,8.651140e-06,8.507442e-06,8.373200e-06,8.247850e-06,8.130862e-06,8.021738e-06,7.920005e-06,7.825221e-06,7.736966e-06,7.654847e-06,7.578491e-06,7.507550e-06,7.441693e-06,7.380610e-06,7.324008e-06,7.271613e-06,7.223163e-06,7.178416e-06,7.137141e-06,7.099122e-06,7.064156e-06,7.032049e-06,7.002622e-06,6.975704e-06,6.951136e-06,6.928768e-06,6.908458e-06,6.890072e-06,6.873486e-06,6.858582e-06,6.845250e-06,6.833385e-06,6.822890e-06,6.813672e-06,6.805647e-06,6.798731e-06,6.792851e-06,6.787933e-06,6.783910e-06
0.000000e+00,1.705356e-09,3.741862e-08,3.933954e-08,2.939325e-07,9.608774e-07,9.962997e-07,1.951535e-06,2.867968e-06,2.925634e-06,3.866100e-06,4.694436e-06,4.764759e-06,5.620928e-06,6.355788e-06,6.435386e-06,7.209178e-06,7.857339e-06,7.943390e-06,8.639114e-06,9.207496e-06,9.297455e-06,9.919546e-06,1.041493e-05,1.050654e-05,1.105960e-05,1.148863e-05,1.157993e-05,1.206870e-05,1.243779e-05,1.252709e-05,1.295627e-05,1.327149e-05,1.335739e-05,1.373156e-05,1.399858e-05,1.407988e-05,1.440342e-05,1.462749e-05,1.470321e-05,1.498024e-05,1.516617e-05,1.523550e-05,1.546991e-05,1.562209e-05,1.568439e-05,1.587981e-05,1.600224e-05,1.605702e-05,1.621682e-05,1.631314e-05,1.636000e-05,1.648733e-05,1.656083e-05,1.659952e-05,1.669728e-05,1.675095e-05,1.678129e-05,1.685220e-05,1.688872e-05,1.691063e-05,1.695718e-05,1.697897e-05,1.699244e-05,1.701696e-05,1.702620e-05,1.703127e-05,1.703590e-05,1.703455e-05,1.703133e-05,1.701804e-05,1.700784e-05,1.699649e-05,1.696712e-05,1.694963e-05,1.693034e-05,1.688656e-05,1.686318e-05,1.683617e-05,1.677955e-05,1.675150e-05,1.671704e-05,1.664899e-05,1.661738e-05,1.657573e-05,1.649757e-05,1.646336e-05,1.641483e-05,1.632777e-05,1.629181e-05,1.623670e-05,1.614186e-05,1.610489e-05,1.604351e-05,1.594191e-05,1.590457e-05,1.583727e-05,1.572983e-05,1.569269e-05,1.561979e-05,1.550737e-05,1.547092e-05,1.539275e-05,1.527613e-05,1.524078e-05,1.515768e-05,1.503757e-05,1.500367e-05,1.491597e-05,1.479303e-05,1.476087e-05,1.466890e-05,1.454372e-05,1.451354e-05,1.441763e-05,1.429075e-05,1.426275e-05,1.416322e-05,1.403513e-05,1.400946e-05,1.390661e-05,1.377777e-05,1.375455e-05,1.364869e-05,1.351948e-05,1.349880e-05,1.339023e-05,1.326103e-05,1.324295e-05,1.313195e-05,1.300308e-05,1.298763e-05,1.287448e-05,1.274624e-05,1.273343e-05,1.261840e-05,1.249104e-05,1.248088e-05,1.236422e-05,1.223799e-05,1.223044e-05,1.211240e-05,1.198751e-05,1.198252e-05,1.186335e-05,1.173997e-05,1.173751e-05,1.161742e-05,1.149573e-05,1.125747e-05,1.102298e-05,1.079248e-05,1.056616e-05,1.034417e-05,1.012667e-05,9.913749e-06,9.705508e-06,9.502017e-06,9.303329e-06,9.109482e-06,8.920497e-06,8.736385e-06,8.557144e-06,8.382759e-06,8.213209e-06,8.048461e-06,7.888476e-06,7.733207e-06,7.582602e-06,7.436602e-06,7.295144e-06,7.158162e-06,7.025584e-06,6.897335e-06,6.773340e-06,6.653519e-06,6.537791e-06,6.426073e-06,6.318281e-06,6.214331e-06,6.114137e-06,6.017613e-06,5.924674e-06,5.835232e-06,5.749202e-06,5.666498e-06,5.587035e-06,5.510729e-06,5.437495e-06,5.367250e-06,5.299912e-06,5.235400e-06,5.173633e-06,5.114533e-06,5.058021e-06,5.004020e-06,4.952456e-06,4.903254e-06
0.000000e+00,3.415412e-08,6.871864e-07,7.215159e-07,5.594607e-06,2.272489e-05,2.386134e-05,6.563875e-05,1.250244e-04,1.292256e-04,2.017603e-04,2.680268e-04,2.736440e-04,3.412803e-04,3.977794e-04,4.037977e-04,4.611851e-04,5.076183e-04,5.136660e-04,5.615181e-04,5.991843e-04,6.050238e-04,6.444572e-04,6.746263e-04,6.800804e-04,7.121429e-04,7.359435e-04,7.408813e-04,7.665192e-04,7.849396e-04,7.892679e-04,8.093267e-04,8.232264e-04,8.268833e-04,8.421143e-04,8.522373e-04,8.551861e-04,8.662542e-04,8.732409e-04,8.754647e-04,8.829546e-04,8.873542e-04,8.888521e-04,8.932774e-04,8.955596e-04,8.963429e-04,8.981539e-04,8.987192e-04,8.988087e-04,8.983993e-04,8.975882e-04,8.970119e-04,8.947266e-04,8.928277e-04,8.916186e-04,8.877580e-04,8.850153e-04,8.832101e-04,8.780361e-04,8.746549e-04,8.722928e-04,8.660333e-04,8.621860e-04,8.593072e-04,8.521604e-04,8.479907e-04,8.446360e-04,8.367739e-04,8.324012e-04,8.286113e-04,8.201828e-04,8.157056e-04,8.115204e-04,8.026542e-04,7.981533e-04,7.936117e-04,7.844186e-04,7.799596e-04,7.750989e-04,7.656746e-04,7.613100e-04,7.561662e-04,7.465925e-04,7.423640e-04,7.369711e-04,7.273181e-04,7.232580e-04,7.176484e-04,7.079757e-04,7.041086e-04,6.983126e-04,6.886707e-04,6.850146e-04,6.790607e-04,6.694923e-04,6.660597e-04,6.599745e-04,6.505154e-04,6.473140e-04,6.411224e-04,6.318022e-04,6.288362e-04,6.225611e-04,6.134044e-04,6.106747e-04,6.043372e-04,5.953640e-04,5.928689e-04,5.864888e-04,5.777151e-04,5.754509e-04,5.690460e-04,5.604844e-04,5.584459e-04,5.520327e-04,5.436929e-04,5.418734e-04,5.354670e-04,5.273562e-04,5.257480e-04,5.193619e-04,5.114851e-04,5.100798e-04,5.037265e-04,4.960867e-04,4.948754e-04,4.885661e-04,4.811648e-04,4.801382e-04,4.738829e-04,4.667204e-04,4.658689e-04,4.596768e-04,4.527519e-04,4.520659e-04,4.459451e-04,4.392559e-04,4.387258e-04,4.326835e-04,4.262272e-04,4.258435e-04,4.198860e-04,4.136591e-04,4.134124e-04,4.075454e-04,4.015439e-04,4.014250e-04,3.956534e-04,3.898728e-04,3.787467e-04,3.680367e-04,3.577326e-04,3.478239e-04,3.382998e-04,3.291492e-04,3.203612e-04,3.119247e-04,3.038286e-04,2.960621e-04,2.886144e-04,2.814747e-04,2.746327e-04,2.680779e-04,2.618005e-04,2.557904e-04,2.500382e-04,2.445345e-04,2.392702e-04,2.342365e-04,2.294247e-04,2.248265e-04,2.204339e-04,2.162391e-04,2.122344e-04,2.084127e-04,2.047667e-04,2.012897e-04,1.979750e-04,1.948164e-04,1.918075e-04,1.889426e-04,1.862159e-04,1.836218e-04,1.811550e-04,1.788105e-04,1.765833e-04,1.744686e-04,1.724619e-04,1.705587e-04,1.687548e-04,1.670461e-04,1.654286e-04,1.638987e-04,1.624526e-04,1.610868e-04,1.597979e-04,1.585828e-04,1.574383e-04
0.000000e+00,6.850495e-10,1.060933e-08,1.109559e-08,6.969976e-08,2.230260e-07,2.316427e-07,4.805790e-07,7.318775e-07,7.477035e-07,1.003535e-06,1.223789e-06,1.242229e-06,1.463208e-06,1.647349e-06,1.666970e-06,1.854240e-06,2.006000e-06,2.025779e-06,2.182352e-06,2.305610e-06,2.324713e-06,2.453616e-06,2.552036e-06,2.569802e-06,2.674004e-06,2.751000e-06,2.766925e-06,2.849255e-06,2.907943e-06,2.921661e-06,2.984780e-06,3.027960e-06,3.039224e-06,3.085576e-06,3.115733e-06,3.124389e-06,3.156190e-06,3.175501e-06,3.181476e-06,3.200717e-06,3.211080e-06,3.214360e-06,3.222822e-06,3.225876e-06,3.226500e-06,3.225765e-06,3.222925e-06,3.220969e-06,3.212440e-06,3.204918e-06,3.200489e-06,3.185407e-06,3.174237e-06,3.167465e-06,3.146921e-06,3.132983e-06,3.124015e-06,3.098971e-06,3.083007e-06,3.072000e-06,3.043298e-06,3.025931e-06,3.013050e-06,2.981428e-06,2.963179e-06,2.948591e-06,2.914691e-06,2.895992e-06,2.879866e-06,2.844246e-06,2.825449e-06,2.807951e-06,2.771095e-06,2.752490e-06,2.733782e-06,2.696107e-06,2.677922e-06,2.658161e-06,2.620027e-06,2.602443e-06,2.581781e-06,2.543493e-06,2.526650e-06,2.505229e-06,2.467049e-06,2.451051e-06,2.429006e-06,2.391153e-06,2.376075e-06,2.353534e-06,2.316192e-06,2.302083e-06,2.279165e-06,2.242487e-06,2.229374e-06,2.206189e-06,2.170301e-06,2.158197e-06,2.134846e-06,2.099848e-06,2.088749e-06,2.065327e-06,2.031300e-06,2.021190e-06,1.997782e-06,1.964788e-06,1.955645e-06,1.932328e-06,1.900412e-06,1.892204e-06,1.869048e-06,1.838243e-06,1.830933e-06,1.808001e-06,1.778328e-06,1.771876e-06,1.749224e-06,1.720692e-06,1.715054e-06,1.692731e-06,1.665342e-06,1.660473e-06,1.638523e-06,1.612272e-06,1.608124e-06,1.586585e-06,1.561459e-06,1.557986e-06,1.536891e-06,1.512874e-06,1.510028e-06,1.489403e-06,1.466474e-06,1.464210e-06,1.444079e-06,1.422212e-06,1.420485e-06,1.400866e-06,1.380035e-06,1.378801e-06,1.359710e-06,1.339883e-06,1.339101e-06,1.320548e-06,1.301696e-06,1.301324e-06,1.283319e-06,1.265409e-06,1.231290e-06,1.198903e-06,1.168180e-06,1.139055e-06,1.111464e-06,1.085340e-06,1.060619e-06,1.037239e-06,1.015138e-06,9.942566e-07,9.745357e-07,9.559194e-07,9.383531e-07,9.217843e-07,9.061622e-07,8.914381e-07,8.775653e-07,8.644989e-07,8.521960e-07,8.406156e-07,8.297186e-07,8.194676e-07,8.098270e-07,8.007629e-07,7.922431e-07,7.842369e-07,7.767153e-07,7.696506e-07,7.630167e-07,7.567887e-07,7.509431e-07,7.454577e-07,7.403113e-07,7.354842e-07,7.309573e-07,7.267131e-07,7.227346e-07,7.190060e-07,7.155123e-07,7.122394e-07,7.091740e-07,7.063035e-07,7.036161e-07,7.011007e-07,6.987467e-07,6.965442e-07,6.944839e-07,6.925572e-07,6.907556e-07
0.000000e+00,5.235788e-08,1.127638e-06,1.185204e-06,9.700504e-06,4.135417e-05,4.349380e-05,1.229909e-04,2.368517e-04,2.449591e-04,3.861980e-04,5.157609e-04,5.266596e-04,6.553010e-04,7.570708e-04,7.675038e-04,8.622510e-04,9.317857e-04,9.403216e-04,1.003279e-03,1.046718e-03,1.052938e-03,1.091101e-03,1.115501e-03,1.119438e-03,1.139448e-03,1.150567e-03,1.152441e-03,1.159556e-03,1.161676e-03,1.161769e-03,1.159914e-03,1.156104e-03,1.154701e-03,1.146732e-03,1.139149e-03,1.136517e-03,1.124484e-03,1.114625e-03,1.110997e-03,1.096358e-03,1.085251e-03,1.080824e-03,1.064609e-03,1.052950e-03,1.047891e-03,1.030821e-03,1.019075e-03,1.013521e-03,9.960970e-04,9.845707e-04,9.786334e-04,9.612013e-04,9.500888e-04,9.438592e-04,9.266547e-04,9.160745e-04,9.096268e-04,8.928072e-04,8.828260e-04,8.762209e-04,8.598881e-04,8.505376e-04,8.438244e-04,8.280418e-04,8.193297e-04,8.125492e-04,7.973530e-04,7.892719e-04,7.824575e-04,7.678650e-04,7.603969e-04,7.535763e-04,7.395912e-04,7.327122e-04,7.259084e-04,7.125257e-04,7.062078e-04,6.994402e-04,6.866486e-04,6.808621e-04,6.741470e-04,6.619312e-04,6.566456e-04,6.499967e-04,6.383387e-04,6.335236e-04,6.269524e-04,6.158328e-04,6.114585e-04,6.049747e-04,5.943731e-04,5.904107e-04,5.840228e-04,5.739185e-04,5.703402e-04,5.640552e-04,5.544276e-04,5.512070e-04,5.450307e-04,5.358594e-04,5.329714e-04,5.269087e-04,5.181737e-04,5.155946e-04,5.096496e-04,5.013316e-04,4.990388e-04,4.932149e-04,4.852950e-04,4.832674e-04,4.775673e-04,4.700273e-04,4.682452e-04,4.626708e-04,4.554934e-04,4.539380e-04,4.484909e-04,4.416593e-04,4.403131e-04,4.349944e-04,4.284924e-04,4.273391e-04,4.221495e-04,4.159618e-04,4.149859e-04,4.099256e-04,4.040374e-04,4.032246e-04,3.982936e-04,3.926908e-04,3.920277e-04,3.872256e-04,3.818947e-04,3.813688e-04,3.766949e-04,3.716230e-04,3.712227e-04,3.666760e-04,3.618509e-04,3.615652e-04,3.571447e-04,3.525546e-04,3.523734e-04,3.480778e-04,3.437115e-04,3.436253e-04,3.394531e-04,3.352999e-04,3.273773e-04,3.198383e-04,3.126648e-04,3.058394e-04,2.993456e-04,2.931675e-04,2.872902e-04,2.816992e-04,2.763811e-04,2.713226e-04,2.665115e-04,2.619359e-04,2.575845e-04,2.534467e-04,2.495121e-04,2.457711e-04,2.422144e-04,2.388331e-04,2.356189e-04,2.325637e-04,2.296599e-04,2.269002e-04,2.242778e-04,2.217859e-04,2.194184e-04,2.171693e-04,2.150329e-04,2.130037e-04,2.110767e-04,2.092468e-04,2.075094e-04,2.058601e-04,2.042947e-04,2.028090e-04,2.013992e-04,2.000617e-04,1.987930e-04,1.975898e-04,1.964489e-04,1.953672e-04,1.943421e-04,1.933706e-04,1.924502e-04,1.915785e-04,1.907531e-04,1.899717e-04,1.892322e-04,1.885326e-04,1.878710e-04
0.000000e+00,9.841074e-08,1.707386e-06,1.787818e-06,1.272947e-05,5.098751e-05,5.354704e-05,1.493082e-04,2.901814e-04,3.003344e-04,4.789513e-04,6.469720e-04,6.614110e-04,8.376689e-04,9.884260e-04,1.004685e-03,1.161817e-03,1.291976e-03,1.309147e-03,1.446969e-03,1.558164e-03,1.575641e-03,1.695535e-03,1.789738e-03,1.807028e-03,1.910492e-03,1.989600e-03,2.006296e-03,2.094798e-03,2.160580e-03,2.176351e-03,2.251292e-03,2.305371e-03,2.319954e-03,2.382653e-03,2.426505e-03,2.439695e-03,2.491374e-03,2.526331e-03,2.537974e-03,2.579763e-03,2.607019e-03,2.617001e-03,2.649937e-03,2.670558e-03,2.678806e-03,2.703834e-03,2.718771e-03,2.725239e-03,2.743225e-03,2.753320e-03,2.757991e-03,2.769723e-03,2.775723e-03,2.778601e-03,2.784795e-03,2.787358e-03,2.788467e-03,2.789772e-03,2.789481e-03,2.788859e-03,2.785866e-03,2.783231e-03,2.780929e-03,2.774173e-03,2.769640e-03,2.765719e-03,2.755683e-03,2.749644e-03,2.744174e-03,2.731295e-03,2.724090e-03,2.717146e-03,2.701819e-03,2.693743e-03,2.685405e-03,2.667986e-03,2.659292e-03,2.649644e-03,2.630454e-03,2.621361e-03,2.610488e-03,2.589814e-03,2.580510e-03,2.568498e-03,2.546599e-03,2.537243e-03,2.524177e-03,2.501286e-03,2.492010e-03,2.477978e-03,2.454301e-03,2.445217e-03,2.430302e-03,2.406026e-03,2.397226e-03,2.381512e-03,2.356800e-03,2.348359e-03,2.331927e-03,2.306926e-03,2.298905e-03,2.281832e-03,2.256673e-03,2.249117e-03,2.231479e-03,2.206277e-03,2.199222e-03,2.181092e-03,2.155947e-03,2.149419e-03,2.130866e-03,2.105868e-03,2.099883e-03,2.080973e-03,2.056200e-03,2.050767e-03,2.031564e-03,2.007082e-03,2.002205e-03,1.982768e-03,1.958636e-03,1.954313e-03,1.934699e-03,1.910967e-03,1.907189e-03,1.887451e-03,1.864162e-03,1.860920e-03,1.841107e-03,1.818297e-03,1.815576e-03,1.795736e-03,1.773434e-03,1.771218e-03,1.751395e-03,1.729625e-03,1.727895e-03,1.708129e-03,1.686912e-03,1.685647e-03,1.665976e-03,1.645326e-03,1.644506e-03,1.624965e-03,1.604894e-03,1.604495e-03,1.585115e-03,1.565631e-03,1.527925e-03,1.491382e-03,1.456004e-03,1.421786e-03,1.388722e-03,1.356801e-03,1.326009e-03,1.296332e-03,1.267752e-03,1.240248e-03,1.213801e-03,1.188386e-03,1.163982e-03,1.140563e-03,1.118105e-03,1.096583e-03,1.075970e-03,1.056240e-03,1.037368e-03,1.019327e-03,1.002091e-03,9.856335e-04,9.699297e-04,9.549536e-04,9.406802e-04,9.270845e-04,9.141423e-04,9.018295e-04,8.901227e-04,8.789989e-04,8.684357e-04,8.584111e-04,8.489037e-04,8.398927e-04,8.313578e-04,8.232792e-04,8.156377e-04,8.084148e-04,8.015924e-04,7.951529e-04,7.890794e-04,7.833554e-04,7.779652e-04,7.728933e-04,7.681250e-04,7.636458e-04,7.594420e-04,7.555003e-04,7.518078e-04
0.000000e+00,2.794347e-07,6.211617e-06,6.530297e-06,5.316176e-05,2.197338e-04,2.307010e-04,6.228859e-04,1.168494e-03,1.207596e-03,1.906733e-03,2.591345e-03,2.651331e-03,3.393428e-03,4.033622e-03,4.102439e-03,4.760221e-03,5.288910e-03,5.357159e-03,5.889321e-03,6.294862e-03,6.356388e-03,6.760337e-03,7.053346e-03,7.104580e-03,7.393328e-03,7.591902e-03,7.631166e-03,7.822773e-03,7.945861e-03,7.972736e-03,8.085433e-03,8.150121e-03,8.164974e-03,8.215158e-03,8.235817e-03,8.239465e-03,8.241057e-03,8.229299e-03,8.222785e-03,8.187215e-03,8.152191e-03,8.136640e-03,8.073107e-03,8.021907e-03,7.998437e-03,7.914248e-03,7.852300e-03,7.821973e-03,7.722884e-03,7.654303e-03,7.618103e-03,7.508625e-03,7.436502e-03,7.395326e-03,7.278981e-03,7.205621e-03,7.160274e-03,7.039807e-03,6.966906e-03,6.918112e-03,6.795656e-03,6.724447e-03,6.672850e-03,6.550055e-03,6.481415e-03,6.427589e-03,6.305728e-03,6.240262e-03,6.184716e-03,6.064763e-03,6.002867e-03,5.946052e-03,5.828743e-03,5.770658e-03,5.712972e-03,5.598857e-03,5.544699e-03,5.486496e-03,5.375974e-03,5.325770e-03,5.267359e-03,5.160711e-03,5.114420e-03,5.056074e-03,4.953484e-03,4.911014e-03,4.852970e-03,4.754550e-03,4.715772e-03,4.658238e-03,4.564040e-03,4.528799e-03,4.471955e-03,4.381980e-03,4.350104e-03,4.294106e-03,4.208320e-03,4.179626e-03,4.124606e-03,4.042945e-03,4.017244e-03,3.963315e-03,3.885693e-03,3.862794e-03,3.810053e-03,3.736367e-03,3.716081e-03,3.664606e-03,3.594739e-03,3.576881e-03,3.526737e-03,3.460565e-03,3.444953e-03,3.396192e-03,3.333585e-03,3.320045e-03,3.272709e-03,3.213530e-03,3.201895e-03,3.156014e-03,3.100128e-03,3.090238e-03,3.045835e-03,2.993103e-03,2.984809e-03,2.941897e-03,2.892183e-03,2.885340e-03,2.843928e-03,2.797097e-03,2.791572e-03,2.751659e-03,2.707580e-03,2.703246e-03,2.664828e-03,2.623371e-03,2.620109e-03,2.583178e-03,2.544217e-03,2.541918e-03,2.506459e-03,2.469874e-03,2.468434e-03,2.434431e-03,2.400102e-03,2.399427e-03,2.366859e-03,2.334674e-03,2.273963e-03,2.217085e-03,2.163845e-03,2.114053e-03,2.067527e-03,2.024093e-03,1.983587e-03,1.945849e-03,1.910729e-03,1.878083e-03,1.847773e-03,1.819668e-03,1.793644e-03,1.769583e-03,1.747371e-03,1.726901e-03,1.708072e-03,1.690785e-03,1.674949e-03,1.660477e-03,1.647284e-03,1.635292e-03,1.624425e-03,1.614612e-03,1.605786e-03,1.597881e-03,1.590838e-03,1.584598e-03,1.579106e-03,1.574310e-03,1.570160e-03,1.566611e-03,1.563618e-03,1.561138e-03,1.559132e-03,1.557563e-03,1.556396e-03,1.555595e-03,1.555131e-03,1.554973e-03,1.555093e-03,1.555465e-03,1.556063e-03,1.556863e-03,1.557845e-03,1.558987e-03,1.560270e-03,1.561675e-03,1.563186e-03
0.000000e+00,4.128181e-09,7.000424e-08,7.323014e-08,4.477946e-07,1.388709e-06,1.441737e-06,3.023066e-06,4.683469e-06,4.788336e-06,6.470101e-06,7.886520e-06,8.003504e-06,9.384305e-06,1.050316e-05,1.062057e-05,1.172246e-05,1.258905e-05,1.270014e-05,1.356333e-05,1.422111e-05,1.432119e-05,1.498233e-05,1.546883e-05,1.555478e-05,1.604604e-05,1.639320e-05,1.646308e-05,1.681237e-05,1.704705e-05,1.709989e-05,1.733118e-05,1.747586e-05,1.751135e-05,1.764513e-05,1.771845e-05,1.773685e-05,1.779052e-05,1.780792e-05,1.780983e-05,1.779815e-05,1.777232e-05,1.775860e-05,1.769404e-05,1.763538e-05,1.760710e-05,1.750017e-05,1.741718e-05,1.737547e-05,1.723502e-05,1.713460e-05,1.708067e-05,1.691413e-05,1.680186e-05,1.673693e-05,1.655049e-05,1.643084e-05,1.635612e-05,1.615499e-05,1.603151e-05,1.594817e-05,1.573664e-05,1.561215e-05,1.552129e-05,1.530293e-05,1.517961e-05,1.508229e-05,1.486004e-05,1.473957e-05,1.463677e-05,1.441303e-05,1.429667e-05,1.418931e-05,1.396605e-05,1.385471e-05,1.374363e-05,1.352243e-05,1.341677e-05,1.330274e-05,1.308486e-05,1.298531e-05,1.286904e-05,1.265548e-05,1.256229e-05,1.244439e-05,1.223595e-05,1.214922e-05,1.203028e-05,1.182753e-05,1.174727e-05,1.162781e-05,1.143119e-05,1.135731e-05,1.123777e-05,1.104760e-05,1.097995e-05,1.086074e-05,1.067721e-05,1.061558e-05,1.049706e-05,1.032030e-05,1.026445e-05,1.014694e-05,9.976979e-06,9.926654e-06,9.810418e-06,9.647246e-06,9.602163e-06,9.487446e-06,9.330997e-06,9.290867e-06,9.177874e-06,9.028048e-06,8.992576e-06,8.881485e-06,8.738149e-06,8.707045e-06,8.598003e-06,8.461004e-06,8.433979e-06,8.327111e-06,8.196278e-06,8.173049e-06,8.068459e-06,7.943606e-06,7.923901e-06,7.821671e-06,7.702605e-06,7.686162e-06,7.586357e-06,7.472877e-06,7.459444e-06,7.362115e-06,7.254019e-06,7.243354e-06,7.148538e-06,7.045620e-06,7.037496e-06,6.945216e-06,6.847274e-06,6.841474e-06,6.751743e-06,6.658574e-06,6.654896e-06,6.567716e-06,6.479121e-06,6.477372e-06,6.392740e-06,6.308524e-06,6.147980e-06,5.995377e-06,5.850365e-06,5.712603e-06,5.581762e-06,5.457524e-06,5.339585e-06,5.227650e-06,5.121436e-06,5.020675e-06,4.925105e-06,4.834480e-06,4.748560e-06,4.667119e-06,4.589940e-06,4.516816e-06,4.447549e-06,4.381950e-06,4.319838e-06,4.261043e-06,4.205401e-06,4.152755e-06,4.102958e-06,4.055867e-06,4.011348e-06,3.969273e-06,3.929520e-06,3.891972e-06,3.856518e-06,3.823054e-06,3.791479e-06,3.761699e-06,3.733621e-06,3.707160e-06,3.682235e-06,3.658766e-06,3.636680e-06,3.615906e-06,3.596377e-06,3.578028e-06,3.560801e-06,3.544635e-06,3.529478e-06,3.515276e-06,3.501980e-06,3.489542e-06,3.477918e-06,3.467066e-06,3.456944e-06
0.000000e+00,1.374756e-06,2.783932e-05,2.921273e-05,2.278725e-04,1.001530e-03,1.056310e-03,3.316590e-03,7.342333e-03,7.665849e-03,1.415708e-02,2.174420e-02,2.246648e-02,3.219950e-02,4.187424e-02,4.299175e-02,5.452774e-02,6.508116e-02,6.653998e-02,7.880398e-02,8.940893e-02,9.113278e-02,1.033720e-01,1.134908e-01,1.153956e-01,1.271017e-01,1.364066e-01,1.384095e-01,1.492562e-01,1.575690e-01,1.595941e-01,1.693888e-01,1.766361e-01,1.786168e-01,1.872639e-01,1.934429e-01,1.953235e-01,2.027956e-01,2.079497e-01,2.096855e-01,2.160025e-01,2.202033e-01,2.217598e-01,2.269728e-01,2.303076e-01,2.316594e-01,2.358390e-01,2.384019e-01,2.395320e-01,2.427596e-01,2.446455e-01,2.455436e-01,2.479059e-01,2.492065e-01,2.498683e-01,2.514524e-01,2.522539e-01,2.526794e-01,2.535704e-01,2.539520e-01,2.541454e-01,2.544241e-01,2.544575e-01,2.544256e-01,2.541680e-01,2.539171e-01,2.536689e-01,2.529450e-01,2.524664e-01,2.520125e-01,2.508865e-01,2.502294e-01,2.495816e-01,2.481117e-01,2.473190e-01,2.464899e-01,2.447285e-01,2.438370e-01,2.428394e-01,2.408337e-01,2.398749e-01,2.387220e-01,2.365141e-01,2.355147e-01,2.342195e-01,2.318470e-01,2.308294e-01,2.294049e-01,2.269011e-01,2.258840e-01,2.243430e-01,2.217374e-01,2.207363e-01,2.190910e-01,2.164099e-01,2.154373e-01,2.136998e-01,2.109661e-01,2.100322e-01,2.082140e-01,2.054481e-01,2.045608e-01,2.026729e-01,1.998925e-01,1.990580e-01,1.971110e-01,1.943318e-01,1.935546e-01,1.915585e-01,1.887941e-01,1.880772e-01,1.860417e-01,1.833040e-01,1.826494e-01,1.805834e-01,1.778825e-01,1.772912e-01,1.752034e-01,1.725482e-01,1.720202e-01,1.699187e-01,1.673166e-01,1.668512e-01,1.647435e-01,1.622009e-01,1.617971e-01,1.596902e-01,1.572125e-01,1.568684e-01,1.547690e-01,1.523606e-01,1.520740e-01,1.499883e-01,1.476529e-01,1.474214e-01,1.453549e-01,1.430952e-01,1.429161e-01,1.408743e-01,1.386925e-01,1.385629e-01,1.365504e-01,1.344482e-01,1.343650e-01,1.323863e-01,1.303648e-01,1.303248e-01,1.283839e-01,1.264437e-01,1.227223e-01,1.191606e-01,1.157576e-01,1.125121e-01,1.094221e-01,1.064855e-01,1.036995e-01,1.010611e-01,9.856692e-02,9.621349e-02,9.399700e-02,9.191348e-02,8.995883e-02,8.812882e-02,8.641913e-02,8.482535e-02,8.334303e-02,8.196769e-02,8.069483e-02,7.951995e-02,7.843856e-02,7.744622e-02,7.653850e-02,7.571104e-02,7.495955e-02,7.427980e-02,7.366764e-02,7.311902e-02,7.262997e-02,7.219664e-02,7.181527e-02,7.148222e-02,7.119398e-02,7.094715e-02,7.073844e-02,7.056472e-02,7.042296e-02,7.031028e-02,7.022391e-02,7.016123e-02,7.011975e-02,7.009711e-02,7.009107e-02,7.009952e-02,7.012051e-02,7.015216e-02,7.019275e-02,7.024068e-02,7.029445e-02
0.000000e+00,8.611669e-10,1.532870e-08,1.605269e-08,1.006203e-07,2.946507e-07,3.046256e-07,5.681220e-07,8.109586e-07,8.259126e-07,1.064465e-06,1.266318e-06,1.283097e-06,1.482841e-06,1.647472e-06,1.664920e-06,1.830547e-06,1.963616e-06,1.980886e-06,2.117048e-06,2.223609e-06,2.240081e-06,2.350972e-06,2.435415e-06,2.450645e-06,2.539963e-06,2.606041e-06,2.619728e-06,2.690684e-06,2.741573e-06,2.753523e-06,2.808885e-06,2.847260e-06,2.857363e-06,2.899506e-06,2.927613e-06,2.935823e-06,2.966781e-06,2.986498e-06,2.992816e-06,3.014329e-06,3.027227e-06,3.031689e-06,3.045240e-06,3.052630e-06,3.055298e-06,3.062155e-06,3.065128e-06,3.066081e-06,3.067324e-06,3.066787e-06,3.066115e-06,3.062665e-06,3.059372e-06,3.057170e-06,3.049812e-06,3.044387e-06,3.040756e-06,3.030157e-06,3.023116e-06,3.018156e-06,3.004884e-06,2.996652e-06,2.990462e-06,2.975001e-06,2.965928e-06,2.958604e-06,2.941364e-06,2.931736e-06,2.923370e-06,2.904700e-06,2.894751e-06,2.885430e-06,2.865628e-06,2.855547e-06,2.845356e-06,2.824671e-06,2.814611e-06,2.803627e-06,2.782272e-06,2.772357e-06,2.760652e-06,2.738807e-06,2.729135e-06,2.716777e-06,2.694596e-06,2.685242e-06,2.672296e-06,2.649906e-06,2.640931e-06,2.627453e-06,2.604962e-06,2.596411e-06,2.582456e-06,2.559956e-06,2.551861e-06,2.537480e-06,2.515046e-06,2.507431e-06,2.492670e-06,2.470367e-06,2.463247e-06,2.448149e-06,2.426029e-06,2.419413e-06,2.404017e-06,2.382124e-06,2.376017e-06,2.360359e-06,2.338730e-06,2.333129e-06,2.317244e-06,2.295907e-06,2.290809e-06,2.274726e-06,2.253707e-06,2.249105e-06,2.232853e-06,2.212170e-06,2.208054e-06,2.191660e-06,2.171328e-06,2.167687e-06,2.151176e-06,2.131206e-06,2.128028e-06,2.111422e-06,2.091824e-06,2.089096e-06,2.072415e-06,2.053196e-06,2.050902e-06,2.034167e-06,2.015329e-06,2.013456e-06,1.996684e-06,1.978231e-06,1.976764e-06,1.959971e-06,1.941904e-06,1.940826e-06,1.924030e-06,1.906348e-06,1.905644e-06,1.888858e-06,1.871560e-06,1.871215e-06,1.854452e-06,1.837536e-06,1.804599e-06,1.772399e-06,1.740927e-06,1.710176e-06,1.680135e-06,1.650795e-06,1.622145e-06,1.594174e-06,1.566872e-06,1.540227e-06,1.514227e-06,1.488862e-06,1.464119e-06,1.439988e-06,1.416456e-06,1.393512e-06,1.371144e-06,1.349342e-06,1.328095e-06,1.307390e-06,1.287217e-06,1.267565e-06,1.248424e-06,1.229783e-06,1.211631e-06,1.193959e-06,1.176755e-06,1.160011e-06,1.143717e-06,1.127863e-06,1.112439e-06,1.097436e-06,1.082846e-06,1.068659e-06,1.054866e-06,1.041459e-06,1.028430e-06,1.015770e-06,1.003470e-06,9.915239e-07,9.799227e-07,9.686589e-07,9.577250e-07,9.471136e-07,9.368175e-07,9.268294e-07,9.171425e-07,9.077499e-07,8.986447e-07
0.000000e+00,1.846811e-08,3.045313e-07,3.188319e-07,2.094874e-06,6.860000e-06,7.128909e-06,1.484455e-05,2.247576e-05,2.295149e-05,3.057678e-05,3.705498e-05,3.759398e-05,4.401344e-05,4.930650e-05,4.986746e-05,5.519099e-05,5.946409e-05,6.001826e-05,6.438209e-05,6.778830e-05,6.831387e-05,7.184350e-05,7.451841e-05,7.499936e-05,7.780829e-05,7.987053e-05,8.029559e-05,8.248507e-05,8.403724e-05,8.439901e-05,8.605830e-05,8.718836e-05,8.748244e-05,8.868965e-05,8.947254e-05,8.969692e-05,9.052006e-05,9.101931e-05,9.117375e-05,9.167167e-05,9.194091e-05,9.202656e-05,9.225027e-05,9.233472e-05,9.235378e-05,9.234732e-05,9.228499e-05,9.224039e-05,9.204180e-05,9.186451e-05,9.175972e-05,9.140173e-05,9.113606e-05,9.097488e-05,9.048571e-05,9.015379e-05,8.994025e-05,8.934410e-05,8.896423e-05,8.870240e-05,8.801994e-05,8.760719e-05,8.730114e-05,8.655009e-05,8.611683e-05,8.577055e-05,8.496603e-05,8.452234e-05,8.413973e-05,8.329463e-05,8.284867e-05,8.243347e-05,8.155878e-05,8.111709e-05,8.067287e-05,7.977789e-05,7.934566e-05,7.887580e-05,7.796840e-05,7.754968e-05,7.705737e-05,7.614421e-05,7.574210e-05,7.523031e-05,7.431696e-05,7.393379e-05,7.340531e-05,7.249643e-05,7.213387e-05,7.159128e-05,7.069074e-05,7.034991e-05,6.979562e-05,6.890663e-05,6.858822e-05,6.802442e-05,6.714960e-05,6.685393e-05,6.628267e-05,6.542413e-05,6.515124e-05,6.457439e-05,6.373382e-05,6.348349e-05,6.290276e-05,6.208151e-05,6.185335e-05,6.127030e-05,6.046938e-05,6.026284e-05,5.967891e-05,5.889907e-05,5.871350e-05,5.812998e-05,5.737175e-05,5.720641e-05,5.662447e-05,5.588820e-05,5.574227e-05,5.516298e-05,5.444885e-05,5.432148e-05,5.374580e-05,5.305385e-05,5.294416e-05,5.237296e-05,5.170312e-05,5.161022e-05,5.104428e-05,5.039638e-05,5.031937e-05,4.975937e-05,4.913318e-05,4.907116e-05,4.851774e-05,4.791295e-05,4.786502e-05,4.731873e-05,4.673498e-05,4.670028e-05,4.616160e-05,4.559849e-05,4.557618e-05,4.504554e-05,4.450263e-05,4.449188e-05,4.396966e-05,4.344650e-05,4.243911e-05,4.146877e-05,4.053451e-05,3.963532e-05,3.877022e-05,3.793822e-05,3.713832e-05,3.636954e-05,3.563092e-05,3.492148e-05,3.424029e-05,3.358642e-05,3.295898e-05,3.235706e-05,3.177981e-05,3.122638e-05,3.069595e-05,3.018771e-05,2.970090e-05,2.923475e-05,2.878853e-05,2.836152e-05,2.795304e-05,2.756242e-05,2.718900e-05,2.683216e-05,2.649129e-05,2.616579e-05,2.585511e-05,2.555868e-05,2.527597e-05,2.500647e-05,2.474968e-05,2.450512e-05,2.427231e-05,2.405082e-05,2.384021e-05,2.364004e-05,2.344993e-05,2.326948e-05,2.309830e-05,2.293604e-05,2.278234e-05,2.263686e-05,2.249927e-05,2.236926e-05,2.224651e-05,2.213073e-05,2.202164e-05
0.000000e+00,1.428405e-07,2.993594e-06,3.144757e-06,2.553257e-05,1.110671e-04,1.169515e-04,3.417459e-04,6.809908e-04,7.059075e-04,1.157353e-03,1.603352e-03,1.642427e-03,2.124586e-03,2.537975e-03,2.582253e-03,3.003977e-03,3.341202e-03,3.384646e-03,3.722955e-03,3.980673e-03,4.019806e-03,4.277315e-03,4.465206e-03,4.498211e-03,4.685481e-03,4.816072e-03,4.842147e-03,4.971149e-03,5.056310e-03,5.075272e-03,5.157116e-03,5.207036e-03,5.219076e-03,5.263346e-03,5.286393e-03,5.291918e-03,5.306598e-03,5.309480e-03,5.309012e-03,5.300626e-03,5.288645e-03,5.282755e-03,5.256579e-03,5.233885e-03,5.223154e-03,5.183423e-03,5.153239e-03,5.138231e-03,5.088331e-03,5.053148e-03,5.034396e-03,4.977026e-03,4.938757e-03,4.916757e-03,4.854066e-03,4.814170e-03,4.789379e-03,4.723074e-03,4.682657e-03,4.655489e-03,4.586924e-03,4.546813e-03,4.517645e-03,4.447891e-03,4.408700e-03,4.377872e-03,4.307773e-03,4.269946e-03,4.237761e-03,4.167979e-03,4.131828e-03,4.098558e-03,4.029609e-03,3.995344e-03,3.961233e-03,3.893514e-03,3.861266e-03,3.826530e-03,3.760344e-03,3.730183e-03,3.695014e-03,3.630588e-03,3.602537e-03,3.567106e-03,3.504603e-03,3.478651e-03,3.443108e-03,3.382644e-03,3.358752e-03,3.323230e-03,3.264881e-03,3.242990e-03,3.207607e-03,3.151415e-03,3.131452e-03,3.096311e-03,3.042295e-03,3.024178e-03,2.989368e-03,2.937527e-03,2.921167e-03,2.886767e-03,2.837082e-03,2.822385e-03,2.788464e-03,2.740905e-03,2.727776e-03,2.694394e-03,2.648920e-03,2.637265e-03,2.604471e-03,2.561036e-03,2.550761e-03,2.518600e-03,2.477150e-03,2.468161e-03,2.436671e-03,2.397148e-03,2.389357e-03,2.358568e-03,2.320914e-03,2.314234e-03,2.284172e-03,2.248325e-03,2.242671e-03,2.213358e-03,2.179255e-03,2.174549e-03,2.146001e-03,2.113580e-03,2.109745e-03,2.081976e-03,2.051173e-03,2.048136e-03,2.021156e-03,1.991910e-03,1.989603e-03,1.963419e-03,1.935667e-03,1.934025e-03,1.908641e-03,1.882324e-03,1.881286e-03,1.856703e-03,1.831763e-03,1.831271e-03,1.807489e-03,1.783867e-03,1.738965e-03,1.696460e-03,1.656248e-03,1.618231e-03,1.582311e-03,1.548397e-03,1.516399e-03,1.486230e-03,1.457807e-03,1.431050e-03,1.405883e-03,1.382231e-03,1.360023e-03,1.339192e-03,1.319670e-03,1.301396e-03,1.284310e-03,1.268352e-03,1.253468e-03,1.239604e-03,1.226708e-03,1.214733e-03,1.203632e-03,1.193358e-03,1.183869e-03,1.175123e-03,1.167082e-03,1.159706e-03,1.152960e-03,1.146809e-03,1.141219e-03,1.136160e-03,1.131600e-03,1.127509e-03,1.123862e-03,1.120630e-03,1.117788e-03,1.115312e-03,1.113179e-03,1.111366e-03,1.109853e-03,1.108619e-03,1.107646e-03,1.106913e-03,1.106406e-03,1.106105e-03,1.105997e-03,1.106066e-03,1.106297e-03
0.000000e+00,1.398561e-07,2.888499e-06,3.031494e-06,2.271448e-05,8.892108e-05,9.323031e-05,2.485014e-04,4.678300e-04,4.835291e-04,7.605143e-04,1.022444e-03,1.044916e-03,1.316755e-03,1.542821e-03,1.566704e-03,1.791382e-03,1.967857e-03,1.990414e-03,2.164851e-03,2.296459e-03,2.316359e-03,2.446809e-03,2.541485e-03,2.558073e-03,2.651963e-03,2.717185e-03,2.730180e-03,2.794302e-03,2.836429e-03,2.845778e-03,2.885931e-03,2.910167e-03,2.915963e-03,2.936966e-03,2.947499e-03,2.949925e-03,2.955736e-03,2.955910e-03,2.955204e-03,2.949058e-03,2.941528e-03,2.937954e-03,2.922487e-03,2.909350e-03,2.903188e-03,2.880540e-03,2.863449e-03,2.854976e-03,2.826885e-03,2.807132e-03,2.796618e-03,2.764490e-03,2.743083e-03,2.730784e-03,2.695755e-03,2.673474e-03,2.659632e-03,2.622617e-03,2.600058e-03,2.584896e-03,2.546631e-03,2.524246e-03,2.507969e-03,2.469040e-03,2.447168e-03,2.429962e-03,2.390838e-03,2.369725e-03,2.351760e-03,2.312810e-03,2.292630e-03,2.274059e-03,2.235571e-03,2.216444e-03,2.197403e-03,2.159603e-03,2.141602e-03,2.122213e-03,2.085272e-03,2.068438e-03,2.048810e-03,2.012856e-03,1.997202e-03,1.977432e-03,1.942558e-03,1.928079e-03,1.908250e-03,1.874522e-03,1.861196e-03,1.841384e-03,1.808845e-03,1.796638e-03,1.776909e-03,1.745582e-03,1.734454e-03,1.714866e-03,1.684762e-03,1.674666e-03,1.655269e-03,1.626385e-03,1.617270e-03,1.598108e-03,1.570433e-03,1.562248e-03,1.543358e-03,1.516875e-03,1.509565e-03,1.490979e-03,1.465663e-03,1.459176e-03,1.440922e-03,1.416746e-03,1.411027e-03,1.393129e-03,1.370062e-03,1.365061e-03,1.347538e-03,1.325547e-03,1.321212e-03,1.304081e-03,1.283131e-03,1.279414e-03,1.262688e-03,1.242744e-03,1.239598e-03,1.223288e-03,1.204313e-03,1.201694e-03,1.185808e-03,1.167766e-03,1.165632e-03,1.150177e-03,1.133032e-03,1.131341e-03,1.116321e-03,1.100038e-03,1.098753e-03,1.084171e-03,1.068714e-03,1.067800e-03,1.053657e-03,1.038992e-03,1.038414e-03,1.024711e-03,1.010805e-03,1.010530e-03,9.972656e-04,9.840858e-04,9.590187e-04,9.352694e-04,9.127800e-04,8.914950e-04,8.713604e-04,8.523246e-04,8.343378e-04,8.173520e-04,8.013214e-04,7.862016e-04,7.719504e-04,7.585271e-04,7.458928e-04,7.340100e-04,7.228430e-04,7.123576e-04,7.025208e-04,6.933013e-04,6.846691e-04,6.765952e-04,6.690523e-04,6.620138e-04,6.554546e-04,6.493507e-04,6.436788e-04,6.384171e-04,6.335442e-04,6.290402e-04,6.248857e-04,6.210623e-04,6.175524e-04,6.143391e-04,6.114064e-04,6.087388e-04,6.063217e-04,6.041411e-04,6.021836e-04,6.004363e-04,5.988871e-04,5.975243e-04,5.963368e-04,5.953139e-04,5.944457e-04,5.937223e-04,5.931347e-04,5.926739e-04,5.923318e-04,5.921003e-04,5.919719e-04
0.000000e+00,3.360891e-09,5.841827e-08,6.115638e-08,3.806172e-07,1.111456e-06,1.148781e-06,2.132600e-06,3.047891e-06,3.104705e-06,4.018952e-06,4.804945e-06,4.870825e-06,5.661818e-06,6.323643e-06,6.394336e-06,7.070937e-06,7.622157e-06,7.694223e-06,8.266824e-06,8.720731e-06,8.791373e-06,9.270482e-06,9.639694e-06,9.706713e-06,1.010256e-05,1.039872e-05,1.046044e-05,1.078266e-05,1.101625e-05,1.107144e-05,1.132887e-05,1.150921e-05,1.155698e-05,1.175765e-05,1.189292e-05,1.193269e-05,1.208379e-05,1.218115e-05,1.221257e-05,1.232055e-05,1.238621e-05,1.240915e-05,1.247973e-05,1.251909e-05,1.253355e-05,1.257183e-05,1.258955e-05,1.259567e-05,1.260616e-05,1.260625e-05,1.260428e-05,1.259097e-05,1.257687e-05,1.256712e-05,1.253355e-05,1.250820e-05,1.249104e-05,1.244033e-05,1.240625e-05,1.238209e-05,1.231697e-05,1.227628e-05,1.224557e-05,1.216845e-05,1.212297e-05,1.208615e-05,1.199916e-05,1.195039e-05,1.190793e-05,1.181291e-05,1.176214e-05,1.171450e-05,1.161307e-05,1.156134e-05,1.150899e-05,1.140257e-05,1.135075e-05,1.129412e-05,1.118394e-05,1.113275e-05,1.107229e-05,1.095941e-05,1.090942e-05,1.084555e-05,1.073090e-05,1.068257e-05,1.061568e-05,1.050007e-05,1.045375e-05,1.038423e-05,1.026834e-05,1.022431e-05,1.015253e-05,1.003694e-05,9.995401e-06,9.921691e-06,9.806908e-06,9.768006e-06,9.692692e-06,9.579140e-06,9.542959e-06,9.466343e-06,9.354381e-06,9.320967e-06,9.243329e-06,9.133255e-06,9.102619e-06,9.024221e-06,8.916282e-06,8.888404e-06,8.809488e-06,8.703885e-06,8.678722e-06,8.599513e-06,8.496408e-06,8.473898e-06,8.394601e-06,8.294120e-06,8.274185e-06,8.194989e-06,8.097230e-06,8.079780e-06,8.000859e-06,7.905891e-06,7.890827e-06,7.812339e-06,7.720211e-06,7.707427e-06,7.629515e-06,7.540255e-06,7.529640e-06,7.452434e-06,7.366054e-06,7.357495e-06,7.281113e-06,7.197608e-06,7.190990e-06,7.115537e-06,7.034893e-06,7.030099e-06,6.955670e-06,6.877860e-06,6.874777e-06,6.801455e-06,6.726445e-06,6.724959e-06,6.652819e-06,6.580565e-06,6.441504e-06,6.307674e-06,6.178964e-06,6.055258e-06,5.936433e-06,5.822362e-06,5.712916e-06,5.607964e-06,5.507374e-06,5.411013e-06,5.318748e-06,5.230448e-06,5.145981e-06,5.065220e-06,4.988037e-06,4.914306e-06,4.843906e-06,4.776715e-06,4.712618e-06,4.651498e-06,4.593246e-06,4.537750e-06,4.484907e-06,4.434612e-06,4.386767e-06,4.341273e-06,4.298039e-06,4.256971e-06,4.217983e-06,4.180990e-06,4.145908e-06,4.112659e-06,4.081165e-06,4.051352e-06,4.023149e-06,3.996487e-06,3.971298e-06,3.947519e-06,3.925088e-06,3.903944e-06,3.884032e-06,3.865294e-06,3.847679e-06,3.831134e-06,3.815611e-06,3.801062e-06,3.787441e-06,3.774705e-06,3.762811e-06
0.000000e+00,3.590916e-10,5.798363e-09,6.073491e-09,4.147448e-08,1.414495e-07,1.471921e-07,3.137006e-07,4.795904e-07,4.899222e-07,6.548109e-07,7.933145e-07,8.047558e-07,9.398947e-07,1.049579e-06,1.061100e-06,1.169362e-06,1.254696e-06,1.265649e-06,1.350878e-06,1.415993e-06,1.425915e-06,1.491572e-06,1.540035e-06,1.548612e-06,1.597748e-06,1.632610e-06,1.639646e-06,1.674925e-06,1.698772e-06,1.704163e-06,1.727894e-06,1.742902e-06,1.746614e-06,1.760782e-06,1.768765e-06,1.770819e-06,1.777118e-06,1.779584e-06,1.780036e-06,1.779907e-06,1.778098e-06,1.777034e-06,1.771697e-06,1.766634e-06,1.764154e-06,1.754639e-06,1.747155e-06,1.743371e-06,1.730545e-06,1.721317e-06,1.716345e-06,1.700936e-06,1.690510e-06,1.684470e-06,1.667085e-06,1.655901e-06,1.648909e-06,1.630056e-06,1.618463e-06,1.610631e-06,1.590732e-06,1.579007e-06,1.570443e-06,1.549845e-06,1.538202e-06,1.529009e-06,1.508000e-06,1.496605e-06,1.486877e-06,1.465692e-06,1.454668e-06,1.444494e-06,1.423325e-06,1.412763e-06,1.402223e-06,1.381224e-06,1.371190e-06,1.360358e-06,1.339652e-06,1.330188e-06,1.319130e-06,1.298815e-06,1.289947e-06,1.278725e-06,1.258876e-06,1.250615e-06,1.239282e-06,1.219957e-06,1.212304e-06,1.200910e-06,1.182151e-06,1.175100e-06,1.163687e-06,1.145524e-06,1.139060e-06,1.127667e-06,1.110119e-06,1.104224e-06,1.092884e-06,1.075963e-06,1.070615e-06,1.059357e-06,1.043067e-06,1.038241e-06,1.027092e-06,1.011431e-06,1.007102e-06,9.960822e-07,9.810445e-07,9.771853e-07,9.663151e-07,9.518911e-07,9.484744e-07,9.377694e-07,9.239467e-07,9.209455e-07,9.104194e-07,8.971834e-07,8.945708e-07,8.842348e-07,8.715693e-07,8.693192e-07,8.591825e-07,8.470701e-07,8.451573e-07,8.352274e-07,8.236497e-07,8.220498e-07,8.123325e-07,8.012709e-07,7.999604e-07,7.904601e-07,7.798955e-07,7.788524e-07,7.695721e-07,7.594853e-07,7.586884e-07,7.496302e-07,7.400021e-07,7.394315e-07,7.305963e-07,7.214082e-07,7.210451e-07,7.124330e-07,7.036663e-07,7.034931e-07,6.951035e-07,6.867401e-07,6.707517e-07,6.554943e-07,6.409356e-07,6.270440e-07,6.137894e-07,6.011425e-07,5.890754e-07,5.775610e-07,5.665736e-07,5.560886e-07,5.460822e-07,5.365318e-07,5.274159e-07,5.187138e-07,5.104059e-07,5.024734e-07,4.948984e-07,4.876639e-07,4.807536e-07,4.741521e-07,4.678447e-07,4.618172e-07,4.560564e-07,4.505497e-07,4.452848e-07,4.402503e-07,4.354352e-07,4.308293e-07,4.264224e-07,4.222053e-07,4.181690e-07,4.143049e-07,4.106050e-07,4.070615e-07,4.036671e-07,4.004149e-07,3.972981e-07,3.943106e-07,3.914462e-07,3.886992e-07,3.860644e-07,3.835363e-07,3.811102e-07,3.787814e-07,3.765454e-07,3.743979e-07,3.723350e-07,3.703527e-07,3.684475e-07
0.000000e+00,1.093312e-09,1.920849e-08,2.011819e-08,1.291741e-07,3.940628e-07,4.081078e-07,7.899159e-07,1.153821e-06,1.176475e-06,1.540819e-06,1.853030e-06,1.879137e-06,2.191729e-06,2.451930e-06,2.479644e-06,2.744063e-06,2.958263e-06,2.986179e-06,3.207168e-06,3.381207e-06,3.408190e-06,3.590376e-06,3.729663e-06,3.754828e-06,3.902605e-06,4.012057e-06,4.034729e-06,4.152183e-06,4.236215e-06,4.255903e-06,4.346781e-06,4.409295e-06,4.425661e-06,4.493347e-06,4.537769e-06,4.550597e-06,4.598128e-06,4.627444e-06,4.636619e-06,4.666708e-06,4.683510e-06,4.688999e-06,4.704060e-06,4.710589e-06,4.712426e-06,4.714600e-06,4.712785e-06,4.711057e-06,4.702242e-06,4.693740e-06,4.688574e-06,4.670446e-06,4.656676e-06,4.648229e-06,4.622268e-06,4.604437e-06,4.592891e-06,4.560401e-06,4.539532e-06,4.525084e-06,4.487210e-06,4.464171e-06,4.447029e-06,4.404775e-06,4.380290e-06,4.360669e-06,4.314915e-06,4.289591e-06,4.267705e-06,4.219220e-06,4.193558e-06,4.169624e-06,4.119075e-06,4.093488e-06,4.067717e-06,4.015685e-06,3.990507e-06,3.963105e-06,3.910093e-06,3.885593e-06,3.856758e-06,3.803200e-06,3.779588e-06,3.749512e-06,3.695780e-06,3.673219e-06,3.642084e-06,3.588496e-06,3.567107e-06,3.535085e-06,3.481913e-06,3.461782e-06,3.429036e-06,3.376507e-06,3.357690e-06,3.324373e-06,3.272678e-06,3.255209e-06,3.221462e-06,3.170760e-06,3.154649e-06,3.120605e-06,3.071026e-06,3.056269e-06,3.022050e-06,2.973700e-06,2.960276e-06,2.925995e-06,2.878956e-06,2.866837e-06,2.832597e-06,2.786933e-06,2.776078e-06,2.741975e-06,2.697733e-06,2.688097e-06,2.654216e-06,2.611429e-06,2.602960e-06,2.569379e-06,2.528068e-06,2.520711e-06,2.487500e-06,2.447675e-06,2.441372e-06,2.408593e-06,2.370255e-06,2.364946e-06,2.332657e-06,2.295797e-06,2.291424e-06,2.259673e-06,2.224278e-06,2.220779e-06,2.189610e-06,2.155661e-06,2.152976e-06,2.122427e-06,2.089900e-06,2.087971e-06,2.058074e-06,2.026940e-06,2.025709e-06,1.996493e-06,1.966722e-06,1.966134e-06,1.937620e-06,1.909179e-06,1.854777e-06,1.802858e-06,1.753346e-06,1.706167e-06,1.661246e-06,1.618504e-06,1.577866e-06,1.539256e-06,1.502597e-06,1.467816e-06,1.434839e-06,1.403594e-06,1.374010e-06,1.346019e-06,1.319555e-06,1.294551e-06,1.270945e-06,1.248675e-06,1.227682e-06,1.207909e-06,1.189300e-06,1.171801e-06,1.155362e-06,1.139933e-06,1.125466e-06,1.111914e-06,1.099235e-06,1.087385e-06,1.076324e-06,1.066013e-06,1.056415e-06,1.047493e-06,1.039213e-06,1.031543e-06,1.024451e-06,1.017907e-06,1.011882e-06,1.006348e-06,1.001280e-06,9.966526e-07,9.924411e-07,9.886229e-07,9.851762e-07,9.820800e-07,9.793145e-07,9.768607e-07,9.747004e-07,9.728163e-07,9.711921e-07
0.000000e+00,2.751587e-10,3.646038e-09,3.803291e-09,2.187484e-08,6.926898e-08,7.203952e-08,1.600192e-07,2.630195e-07,2.697995e-07,3.811654e-07,4.775049e-07,4.855403e-07,5.812501e-07,6.600471e-07,6.683869e-07,7.473983e-07,8.106108e-07,8.187928e-07,8.830760e-07,9.330442e-07,9.407354e-07,9.922356e-07,1.031059e-06,1.038017e-06,1.078496e-06,1.108007e-06,1.114063e-06,1.145087e-06,1.166867e-06,1.171912e-06,1.194860e-06,1.210263e-06,1.214232e-06,1.230310e-06,1.240487e-06,1.243355e-06,1.253612e-06,1.259543e-06,1.261310e-06,1.266659e-06,1.269167e-06,1.269857e-06,1.271087e-06,1.270869e-06,1.270520e-06,1.268316e-06,1.265957e-06,1.264621e-06,1.259573e-06,1.255563e-06,1.253300e-06,1.245920e-06,1.240666e-06,1.237541e-06,1.228265e-06,1.222105e-06,1.218186e-06,1.207390e-06,1.200602e-06,1.195958e-06,1.183966e-06,1.176780e-06,1.171480e-06,1.158564e-06,1.151166e-06,1.145277e-06,1.131674e-06,1.124214e-06,1.117803e-06,1.103710e-06,1.096308e-06,1.089437e-06,1.075022e-06,1.067773e-06,1.060501e-06,1.045907e-06,1.038884e-06,1.031268e-06,1.016613e-06,1.009873e-06,1.001966e-06,9.873495e-07,9.809333e-07,9.727840e-07,9.582884e-07,9.522252e-07,9.438794e-07,9.295725e-07,9.238814e-07,9.153813e-07,9.013183e-07,8.960103e-07,8.873944e-07,8.736198e-07,8.686991e-07,8.600030e-07,8.465518e-07,8.420174e-07,8.332731e-07,8.201727e-07,8.160191e-07,8.072557e-07,7.945266e-07,7.907451e-07,7.819891e-07,7.696461e-07,7.662253e-07,7.575003e-07,7.455535e-07,7.424802e-07,7.338073e-07,7.222626e-07,7.195220e-07,7.109202e-07,6.997801e-07,6.973565e-07,6.888424e-07,6.781066e-07,6.759836e-07,6.675719e-07,6.572376e-07,6.553986e-07,6.471024e-07,6.371648e-07,6.355930e-07,6.274233e-07,6.178762e-07,6.165550e-07,6.085216e-07,5.993573e-07,5.982703e-07,5.903813e-07,5.815912e-07,5.807223e-07,5.729847e-07,5.645594e-07,5.638931e-07,5.563127e-07,5.482421e-07,5.477634e-07,5.403450e-07,5.326186e-07,5.323130e-07,5.250602e-07,5.176672e-07,5.175210e-07,5.104367e-07,5.033660e-07,4.898267e-07,4.768814e-07,4.645087e-07,4.526873e-07,4.413962e-07,4.306148e-07,4.203227e-07,4.105005e-07,4.011287e-07,3.921887e-07,3.836624e-07,3.755323e-07,3.677814e-07,3.603934e-07,3.533523e-07,3.466431e-07,3.402511e-07,3.341621e-07,3.283628e-07,3.228401e-07,3.175816e-07,3.125753e-07,3.078098e-07,3.032741e-07,2.989578e-07,2.948508e-07,2.909435e-07,2.872267e-07,2.836916e-07,2.803299e-07,2.771336e-07,2.740949e-07,2.712065e-07,2.684615e-07,2.658532e-07,2.633751e-07,2.610213e-07,2.587860e-07,2.566635e-07,2.546485e-07,2.527362e-07,2.509215e-07,2.492000e-07,2.475673e-07,2.460193e-07,2.445518e-07,2.431611e-07,2.418435e-07,2.405957e-07
0.000000e+00,5.373674e-10,8.165601e-09,8.538689e-09,5.358912e-08,1.735448e-07,1.804181e-07,3.851976e-07,5.974548e-07,6.108005e-07,8.245731e-07,1.004710e-06,1.019603e-06,1.195646e-06,1.338711e-06,1.353749e-06,1.495177e-06,1.606837e-06,1.621184e-06,1.732970e-06,1.818596e-06,1.831666e-06,1.918339e-06,1.982580e-06,1.993980e-06,2.059513e-06,2.106312e-06,2.115796e-06,2.163624e-06,2.196295e-06,2.203732e-06,2.236796e-06,2.258104e-06,2.263447e-06,2.284260e-06,2.296500e-06,2.299764e-06,2.310456e-06,2.315538e-06,2.316789e-06,2.319180e-06,2.318674e-06,2.318007e-06,2.313621e-06,2.308813e-06,2.306345e-06,2.296473e-06,2.288416e-06,2.284276e-06,2.270002e-06,2.259555e-06,2.253880e-06,2.236116e-06,2.223976e-06,2.216903e-06,2.196415e-06,2.183142e-06,2.174811e-06,2.152237e-06,2.138284e-06,2.128828e-06,2.104703e-06,2.090428e-06,2.079976e-06,2.054746e-06,2.040432e-06,2.029106e-06,2.003139e-06,1.989009e-06,1.976923e-06,1.950525e-06,1.936748e-06,1.924009e-06,1.897432e-06,1.884137e-06,1.870845e-06,1.844294e-06,1.831575e-06,1.817821e-06,1.791464e-06,1.779388e-06,1.765256e-06,1.739227e-06,1.727839e-06,1.713405e-06,1.687814e-06,1.677139e-06,1.662474e-06,1.637404e-06,1.627456e-06,1.612622e-06,1.588141e-06,1.578920e-06,1.563974e-06,1.540132e-06,1.531630e-06,1.516623e-06,1.493457e-06,1.485659e-06,1.470638e-06,1.448174e-06,1.441060e-06,1.426066e-06,1.404320e-06,1.397867e-06,1.382936e-06,1.361917e-06,1.356098e-06,1.341264e-06,1.320975e-06,1.315760e-06,1.301052e-06,1.281492e-06,1.276852e-06,1.262294e-06,1.243457e-06,1.239360e-06,1.224977e-06,1.206852e-06,1.203269e-06,1.189079e-06,1.171654e-06,1.168554e-06,1.154574e-06,1.137835e-06,1.135189e-06,1.121434e-06,1.105365e-06,1.103142e-06,1.089625e-06,1.074209e-06,1.072381e-06,1.059113e-06,1.044332e-06,1.042871e-06,1.029861e-06,1.015696e-06,1.014576e-06,1.001832e-06,9.882642e-07,9.874595e-07,9.749874e-07,9.619971e-07,9.614833e-07,9.492883e-07,9.368563e-07,9.366104e-07,9.246962e-07,9.128033e-07,8.900248e-07,8.682384e-07,8.474080e-07,8.274983e-07,8.084748e-07,7.903038e-07,7.729525e-07,7.563890e-07,7.405824e-07,7.255028e-07,7.111212e-07,6.974096e-07,6.843408e-07,6.718888e-07,6.600283e-07,6.487350e-07,6.379854e-07,6.277571e-07,6.180283e-07,6.087779e-07,5.999861e-07,5.916333e-07,5.837009e-07,5.761712e-07,5.690267e-07,5.622511e-07,5.558285e-07,5.497435e-07,5.439815e-07,5.385285e-07,5.333708e-07,5.284955e-07,5.238902e-07,5.195428e-07,5.154419e-07,5.115764e-07,5.079357e-07,5.045096e-07,5.012884e-07,4.982628e-07,4.954237e-07,4.927625e-07,4.902709e-07,4.879410e-07,4.857652e-07,4.837362e-07,4.818470e-07,4.800908e-07,4.784612e-07
0.000000e+00,1.152630e-08,1.583712e-07,1.652967e-07,9.801476e-07,3.174563e-06,3.303229e-06,7.301841e-06,1.165298e-05,1.192726e-05,1.625525e-05,1.975108e-05,2.003242e-05,2.325859e-05,2.573442e-05,2.598647e-05,2.827450e-05,2.996766e-05,3.017733e-05,3.174384e-05,3.285518e-05,3.301729e-05,3.403583e-05,3.471889e-05,3.483271e-05,3.543691e-05,3.580693e-05,3.587445e-05,3.616818e-05,3.631316e-05,3.633812e-05,3.640176e-05,3.638747e-05,3.637433e-05,3.626913e-05,3.614436e-05,3.609776e-05,3.587026e-05,3.567097e-05,3.559539e-05,3.528076e-05,3.503333e-05,3.493295e-05,3.455768e-05,3.428133e-05,3.415990e-05,3.374392e-05,3.345257e-05,3.331344e-05,3.287168e-05,3.257529e-05,3.242139e-05,3.196497e-05,3.167060e-05,3.150448e-05,3.104169e-05,3.075428e-05,3.057812e-05,3.011507e-05,2.983795e-05,2.965364e-05,2.919479e-05,2.893016e-05,2.873932e-05,2.828790e-05,2.803710e-05,2.784112e-05,2.739944e-05,2.716319e-05,2.696326e-05,2.653291e-05,2.631152e-05,2.610866e-05,2.569071e-05,2.548416e-05,2.527924e-05,2.487437e-05,2.468241e-05,2.447620e-05,2.408479e-05,2.390702e-05,2.370017e-05,2.332237e-05,2.315830e-05,2.295138e-05,2.258719e-05,2.243625e-05,2.222976e-05,2.187906e-05,2.174064e-05,2.153501e-05,2.119758e-05,2.107107e-05,2.086668e-05,2.054224e-05,2.042701e-05,2.022418e-05,1.991243e-05,1.980785e-05,1.960688e-05,1.930746e-05,1.921292e-05,1.901406e-05,1.872660e-05,1.864151e-05,1.844499e-05,1.816912e-05,1.809289e-05,1.789890e-05,1.763424e-05,1.756633e-05,1.737504e-05,1.712121e-05,1.706107e-05,1.687264e-05,1.662925e-05,1.657639e-05,1.639095e-05,1.615763e-05,1.611156e-05,1.592921e-05,1.570560e-05,1.566585e-05,1.548671e-05,1.527244e-05,1.523858e-05,1.506272e-05,1.485745e-05,1.482906e-05,1.465655e-05,1.445993e-05,1.443663e-05,1.426753e-05,1.407924e-05,1.406064e-05,1.389500e-05,1.371472e-05,1.370047e-05,1.353833e-05,1.336575e-05,1.335551e-05,1.319690e-05,1.303172e-05,1.302519e-05,1.287014e-05,1.271207e-05,1.270894e-05,1.255745e-05,1.240621e-05,1.211648e-05,1.183924e-05,1.157400e-05,1.132030e-05,1.107767e-05,1.084568e-05,1.062390e-05,1.041194e-05,1.020941e-05,1.001592e-05,9.831117e-06,9.654653e-06,9.486192e-06,9.325413e-06,9.172007e-06,9.025675e-06,8.886130e-06,8.753099e-06,8.626315e-06,8.505523e-06,8.390480e-06,8.280949e-06,8.176705e-06,8.077529e-06,7.983211e-06,7.893552e-06,7.808358e-06,7.727442e-06,7.650626e-06,7.577738e-06,7.508614e-06,7.443093e-06,7.381025e-06,7.322262e-06,7.266664e-06,7.214095e-06,7.164425e-06,7.117530e-06,7.073288e-06,7.031585e-06,6.992309e-06,6.955355e-06,6.920620e-06,6.888005e-06,6.857417e-06,6.828764e-06,6.801959e-06,6.776919e-06,6.753563e-06
0.000000e+00,1.291941e-09,2.230009e-08,2.335615e-08,1.519756e-07,4.830894e-07,5.014650e-07,1.026324e-06,1.549962e-06,1.582841e-06,2.113639e-06,2.570352e-06,2.608602e-06,3.067310e-06,3.450291e-06,3.491157e-06,3.881921e-06,4.199868e-06,4.241415e-06,4.571379e-06,4.832728e-06,4.873386e-06,5.149054e-06,5.361412e-06,5.399954e-06,5.627590e-06,5.797897e-06,5.833392e-06,6.018721e-06,6.153110e-06,6.184863e-06,6.333038e-06,6.436885e-06,6.464399e-06,6.580035e-06,6.658037e-06,6.680975e-06,6.768189e-06,6.824431e-06,6.842593e-06,6.905047e-06,6.943075e-06,6.956366e-06,6.997315e-06,7.020196e-06,7.028614e-06,7.050942e-06,7.061327e-06,7.064936e-06,7.071199e-06,7.071372e-06,7.070294e-06,7.062752e-06,7.054675e-06,7.049073e-06,7.029726e-06,7.015079e-06,7.005152e-06,6.975763e-06,6.955982e-06,6.941949e-06,6.904074e-06,6.880381e-06,6.862480e-06,6.817489e-06,6.790922e-06,6.769400e-06,6.718496e-06,6.689932e-06,6.665042e-06,6.609285e-06,6.579458e-06,6.551455e-06,6.491772e-06,6.461298e-06,6.430436e-06,6.367638e-06,6.337027e-06,6.303554e-06,6.238352e-06,6.208025e-06,6.172184e-06,6.105195e-06,6.075495e-06,6.037520e-06,5.969284e-06,5.940486e-06,5.900603e-06,5.831586e-06,5.803909e-06,5.762335e-06,5.692941e-06,5.666553e-06,5.623493e-06,5.554071e-06,5.529101e-06,5.484750e-06,5.415599e-06,5.392138e-06,5.346681e-06,5.278056e-06,5.256167e-06,5.209778e-06,5.141896e-06,5.121615e-06,5.074456e-06,5.007501e-06,4.988846e-06,4.941068e-06,4.875194e-06,4.858162e-06,4.809908e-06,4.745242e-06,4.729817e-06,4.681219e-06,4.617865e-06,4.604019e-06,4.555200e-06,4.493243e-06,4.480938e-06,4.432011e-06,4.371518e-06,4.360708e-06,4.311777e-06,4.252799e-06,4.243434e-06,4.194595e-06,4.137171e-06,4.129194e-06,4.080534e-06,4.024691e-06,4.018043e-06,3.969644e-06,3.915396e-06,3.910016e-06,3.861951e-06,3.809308e-06,3.805132e-06,3.757468e-06,3.706430e-06,3.703393e-06,3.656192e-06,3.606751e-06,3.604790e-06,3.558106e-06,3.510251e-06,3.509302e-06,3.463184e-06,3.416899e-06,3.327542e-06,3.241187e-06,3.157783e-06,3.077275e-06,2.999604e-06,2.924709e-06,2.852524e-06,2.782986e-06,2.716025e-06,2.651574e-06,2.589565e-06,2.529930e-06,2.472599e-06,2.417504e-06,2.364579e-06,2.313757e-06,2.264971e-06,2.218158e-06,2.173254e-06,2.130196e-06,2.088924e-06,2.049378e-06,2.011499e-06,1.975232e-06,1.940520e-06,1.907311e-06,1.875550e-06,1.845188e-06,1.816175e-06,1.788462e-06,1.762003e-06,1.736753e-06,1.712668e-06,1.689705e-06,1.667823e-06,1.646982e-06,1.627143e-06,1.608270e-06,1.590324e-06,1.573273e-06,1.557080e-06,1.541715e-06,1.527145e-06,1.513339e-06,1.500268e-06,1.487903e-06,1.476217e-06,1.465183e-06,1.454774e-06
0.000000e+00,2.701943e-08,4.602076e-07,4.822336e-07,3.427615e-06,1.267199e-05,1.324306e-05,3.154436e-05,5.202292e-05,5.334061e-05,7.484862e-05,9.357204e-05,9.514669e-05,1.141033e-04,1.300343e-04,1.317399e-04,1.481077e-04,1.615062e-04,1.632626e-04,1.772604e-04,1.884154e-04,1.901566e-04,2.020057e-04,2.111890e-04,2.128613e-04,2.227761e-04,2.302402e-04,2.318014e-04,2.399867e-04,2.459627e-04,2.473803e-04,2.540283e-04,2.587246e-04,2.599749e-04,2.652626e-04,2.688653e-04,2.699316e-04,2.740202e-04,2.766937e-04,2.775650e-04,2.806004e-04,2.824889e-04,2.831592e-04,2.852724e-04,2.865024e-04,2.869695e-04,2.882783e-04,2.889601e-04,2.892253e-04,2.898354e-04,2.900650e-04,2.901321e-04,2.901377e-04,2.899982e-04,2.898730e-04,2.893578e-04,2.889207e-04,2.886106e-04,2.876492e-04,2.869763e-04,2.864899e-04,2.851484e-04,2.842927e-04,2.836394e-04,2.819767e-04,2.809833e-04,2.801732e-04,2.782412e-04,2.771486e-04,2.761922e-04,2.740369e-04,2.728776e-04,2.717855e-04,2.694476e-04,2.682490e-04,2.670320e-04,2.645472e-04,2.633322e-04,2.620010e-04,2.594007e-04,2.581883e-04,2.567532e-04,2.540650e-04,2.528709e-04,2.513421e-04,2.485902e-04,2.474270e-04,2.458145e-04,2.430199e-04,2.418978e-04,2.402109e-04,2.373920e-04,2.363189e-04,2.345669e-04,2.317394e-04,2.307216e-04,2.289130e-04,2.260908e-04,2.251327e-04,2.232757e-04,2.204705e-04,2.195753e-04,2.176776e-04,2.148995e-04,2.140693e-04,2.121383e-04,2.093958e-04,2.086316e-04,2.066740e-04,2.039744e-04,2.032764e-04,2.012987e-04,1.986480e-04,1.980157e-04,1.960237e-04,1.934270e-04,1.928595e-04,1.908588e-04,1.883200e-04,1.878158e-04,1.858114e-04,1.833338e-04,1.828912e-04,1.808878e-04,1.784740e-04,1.780908e-04,1.760927e-04,1.737445e-04,1.734184e-04,1.714296e-04,1.691484e-04,1.688769e-04,1.669010e-04,1.646877e-04,1.644682e-04,1.625085e-04,1.603635e-04,1.601933e-04,1.582527e-04,1.561761e-04,1.560526e-04,1.541337e-04,1.521254e-04,1.520457e-04,1.501510e-04,1.482104e-04,1.481720e-04,1.463035e-04,1.444300e-04,1.408182e-04,1.373347e-04,1.339771e-04,1.307431e-04,1.276299e-04,1.246348e-04,1.217549e-04,1.189871e-04,1.163284e-04,1.137757e-04,1.113258e-04,1.089757e-04,1.067221e-04,1.045621e-04,1.024924e-04,1.005101e-04,9.861212e-05,9.679558e-05,9.505756e-05,9.339524e-05,9.180586e-05,9.028672e-05,8.883521e-05,8.744875e-05,8.612488e-05,8.486118e-05,8.365531e-05,8.250501e-05,8.140808e-05,8.036240e-05,7.936591e-05,7.841663e-05,7.751264e-05,7.665210e-05,7.583321e-05,7.505426e-05,7.431358e-05,7.360958e-05,7.294071e-05,7.230550e-05,7.170251e-05,7.113037e-05,7.058776e-05,7.007341e-05,6.958610e-05,6.912464e-05,6.868792e-05,6.827484e-05,6.788437e-05
0.000000e+00,9.047322e-08,2.597627e-06,2.742452e-06,2.482483e-05,9.693374e-05,1.012686e-04,2.338342e-04,3.777840e-04,3.870648e-04,5.390410e-04,6.715046e-04,6.826284e-04,8.161699e-04,9.277140e-04,9.396133e-04,1.053330e-03,1.145728e-03,1.157791e-03,1.253483e-03,1.329131e-03,1.340886e-03,1.420468e-03,1.481605e-03,1.492682e-03,1.557964e-03,1.606617e-03,1.616734e-03,1.669392e-03,1.707376e-03,1.716321e-03,1.757884e-03,1.786801e-03,1.794426e-03,1.826274e-03,1.847531e-03,1.853738e-03,1.877110e-03,1.891934e-03,1.896666e-03,1.912667e-03,1.922124e-03,1.925358e-03,1.934973e-03,1.939990e-03,1.941730e-03,1.945835e-03,1.947212e-03,1.947484e-03,1.946859e-03,1.945286e-03,1.944135e-03,1.939473e-03,1.935543e-03,1.933026e-03,1.924938e-03,1.919159e-03,1.915344e-03,1.904370e-03,1.897174e-03,1.892136e-03,1.878752e-03,1.870505e-03,1.864325e-03,1.848951e-03,1.839963e-03,1.832723e-03,1.815727e-03,1.806259e-03,1.798044e-03,1.779749e-03,1.770018e-03,1.760914e-03,1.741604e-03,1.731790e-03,1.721881e-03,1.701802e-03,1.692054e-03,1.681422e-03,1.660791e-03,1.651229e-03,1.639955e-03,1.618958e-03,1.609679e-03,1.597840e-03,1.576639e-03,1.567719e-03,1.555390e-03,1.534124e-03,1.525620e-03,1.512873e-03,1.491662e-03,1.483619e-03,1.470519e-03,1.449466e-03,1.441914e-03,1.428526e-03,1.407718e-03,1.400677e-03,1.387060e-03,1.366570e-03,1.360051e-03,1.346262e-03,1.326149e-03,1.320156e-03,1.306246e-03,1.286563e-03,1.281093e-03,1.267110e-03,1.247897e-03,1.242942e-03,1.228932e-03,1.210222e-03,1.205770e-03,1.191773e-03,1.173591e-03,1.169627e-03,1.155681e-03,1.138047e-03,1.134554e-03,1.120693e-03,1.103621e-03,1.100578e-03,1.086833e-03,1.070332e-03,1.067719e-03,1.054119e-03,1.038194e-03,1.035987e-03,1.022558e-03,1.007210e-03,1.005388e-03,9.921513e-04,9.773800e-04,9.759187e-04,9.628953e-04,9.486960e-04,9.475723e-04,9.347803e-04,9.211466e-04,9.203375e-04,9.077927e-04,8.947164e-04,8.941991e-04,8.819153e-04,8.693867e-04,8.691389e-04,8.571279e-04,8.451359e-04,8.221671e-04,8.002077e-04,7.792316e-04,7.592118e-04,7.401202e-04,7.219284e-04,7.046077e-04,6.881291e-04,6.724636e-04,6.575824e-04,6.434571e-04,6.300593e-04,6.173614e-04,6.053360e-04,5.939564e-04,5.831966e-04,5.730309e-04,5.634345e-04,5.543834e-04,5.458539e-04,5.378234e-04,5.302699e-04,5.231719e-04,5.165089e-04,5.102609e-04,5.044087e-04,4.989338e-04,4.938184e-04,4.890451e-04,4.845976e-04,4.804599e-04,4.766166e-04,4.730532e-04,4.697555e-04,4.667101e-04,4.639039e-04,4.613244e-04,4.589599e-04,4.567989e-04,4.548304e-04,4.530440e-04,4.514297e-04,4.499780e-04,4.486797e-04,4.475260e-04,4.465087e-04,4.456197e-04,4.448516e-04,4.441969e-04
0.000000e+00,8.611985e-10,1.308314e-08,1.368388e-08,8.799215e-08,3.002330e-07,3.130436e-07,7.318516e-07,1.236049e-06,1.269407e-06,1.817408e-06,2.290035e-06,2.329362e-06,2.796508e-06,3.179191e-06,3.219586e-06,3.601210e-06,3.905041e-06,3.944266e-06,4.251572e-06,4.489305e-06,4.525801e-06,4.769468e-06,4.952256e-06,4.984926e-06,5.174371e-06,5.311748e-06,5.339854e-06,5.483281e-06,5.583342e-06,5.606430e-06,5.710936e-06,5.780496e-06,5.798328e-06,5.870027e-06,5.914835e-06,5.927347e-06,5.971507e-06,5.996378e-06,6.003633e-06,6.024769e-06,6.033730e-06,6.035886e-06,6.037877e-06,6.034287e-06,6.031571e-06,6.017731e-06,6.004380e-06,5.997065e-06,5.970227e-06,5.949427e-06,5.937819e-06,5.900398e-06,5.874056e-06,5.858477e-06,5.812532e-06,5.782217e-06,5.762998e-06,5.710280e-06,5.677275e-06,5.654747e-06,5.596742e-06,5.562090e-06,5.536578e-06,5.474544e-06,5.439088e-06,5.410905e-06,5.345906e-06,5.310321e-06,5.279770e-06,5.212703e-06,5.177522e-06,5.144890e-06,5.076506e-06,5.042149e-06,5.007706e-06,4.938635e-06,4.905423e-06,4.869423e-06,4.800188e-06,4.768364e-06,4.731041e-06,4.662079e-06,4.631818e-06,4.593391e-06,4.525059e-06,4.496483e-06,4.457154e-06,4.389743e-06,4.362930e-06,4.322884e-06,4.256631e-06,4.231623e-06,4.191029e-06,4.126122e-06,4.102933e-06,4.061946e-06,3.998534e-06,3.977153e-06,3.935913e-06,3.874110e-06,3.854509e-06,3.813144e-06,3.753035e-06,3.735171e-06,3.693797e-06,3.635442e-06,3.619263e-06,3.577982e-06,3.521423e-06,3.506866e-06,3.465771e-06,3.411030e-06,3.398029e-06,3.357204e-06,3.304291e-06,3.292772e-06,3.252291e-06,3.201202e-06,3.191094e-06,3.151022e-06,3.101745e-06,3.092970e-06,3.053366e-06,3.005880e-06,2.998364e-06,2.959278e-06,2.913555e-06,2.907223e-06,2.868701e-06,2.824708e-06,2.819486e-06,2.781567e-06,2.739267e-06,2.735083e-06,2.697799e-06,2.657153e-06,2.653936e-06,2.617317e-06,2.578281e-06,2.575964e-06,2.540034e-06,2.502565e-06,2.501082e-06,2.465861e-06,2.429912e-06,2.429201e-06,2.394706e-06,2.360231e-06,2.294083e-06,2.230665e-06,2.169886e-06,2.111657e-06,2.055889e-06,2.002495e-06,1.951389e-06,1.902487e-06,1.855707e-06,1.810971e-06,1.768199e-06,1.727317e-06,1.688252e-06,1.650933e-06,1.615291e-06,1.581260e-06,1.548776e-06,1.517777e-06,1.488204e-06,1.459999e-06,1.433105e-06,1.407471e-06,1.383044e-06,1.359775e-06,1.337616e-06,1.316522e-06,1.296447e-06,1.277351e-06,1.259190e-06,1.241928e-06,1.225525e-06,1.209946e-06,1.195155e-06,1.181120e-06,1.167808e-06,1.155188e-06,1.143230e-06,1.131907e-06,1.121190e-06,1.111054e-06,1.101473e-06,1.092424e-06,1.083882e-06,1.075826e-06,1.068234e-06,1.061086e-06,1.054361e-06,1.048042e-06,1.042110e-06
0.000000e+00,4.139590e-08,9.029987e-07,9.497099e-07,7.428638e-06,2.640201e-05,2.747941e-05,5.794867e-05,8.805669e-05,8.995480e-05,1.208756e-04,1.480137e-04,1.503126e-04,1.782337e-04,2.020912e-04,2.046689e-04,2.296584e-04,2.504859e-04,2.532433e-04,2.754648e-04,2.935167e-04,2.963647e-04,3.159860e-04,3.315118e-04,3.343725e-04,3.515691e-04,3.648139e-04,3.676208e-04,3.825729e-04,3.937732e-04,3.964705e-04,4.093578e-04,4.187366e-04,4.212783e-04,4.322747e-04,4.400394e-04,4.423883e-04,4.516592e-04,4.580001e-04,4.601264e-04,4.678274e-04,4.729180e-04,4.747984e-04,4.810744e-04,4.850722e-04,4.866892e-04,4.916751e-04,4.947224e-04,4.960635e-04,4.998843e-04,5.021092e-04,5.031664e-04,5.059375e-04,5.074552e-04,5.082242e-04,5.100519e-04,5.109655e-04,5.114453e-04,5.124277e-04,5.128293e-04,5.130217e-04,5.132487e-04,5.132204e-04,5.131294e-04,5.126835e-04,5.122983e-04,5.119300e-04,5.108868e-04,5.102093e-04,5.095714e-04,5.080003e-04,5.070876e-04,5.061893e-04,5.041536e-04,5.030560e-04,5.019076e-04,4.994652e-04,4.982269e-04,4.968395e-04,4.940432e-04,4.927030e-04,4.910883e-04,4.879863e-04,4.865776e-04,4.847480e-04,4.813841e-04,4.799361e-04,4.779043e-04,4.743183e-04,4.728562e-04,4.706350e-04,4.668631e-04,4.654083e-04,4.630107e-04,4.590857e-04,4.576564e-04,4.550955e-04,4.510470e-04,4.496585e-04,4.469470e-04,4.428019e-04,4.414670e-04,4.386177e-04,4.344001e-04,4.331292e-04,4.301546e-04,4.258863e-04,4.246877e-04,4.216000e-04,4.173005e-04,4.161810e-04,4.129920e-04,4.086787e-04,4.076432e-04,4.043645e-04,4.000530e-04,3.991052e-04,3.957478e-04,3.914521e-04,3.905944e-04,3.871690e-04,3.829014e-04,3.821351e-04,3.786520e-04,3.744233e-04,3.737488e-04,3.702178e-04,3.660377e-04,3.654547e-04,3.618851e-04,3.577620e-04,3.572693e-04,3.536701e-04,3.496112e-04,3.492072e-04,3.455868e-04,3.415984e-04,3.412809e-04,3.376474e-04,3.337350e-04,3.335015e-04,3.298623e-04,3.260304e-04,3.258779e-04,3.222402e-04,3.184926e-04,3.184181e-04,3.147885e-04,3.111285e-04,3.040142e-04,2.970794e-04,2.903273e-04,2.837602e-04,2.773794e-04,2.711858e-04,2.651795e-04,2.593601e-04,2.537264e-04,2.482772e-04,2.430106e-04,2.379245e-04,2.330163e-04,2.282832e-04,2.237224e-04,2.193307e-04,2.151046e-04,2.110407e-04,2.071353e-04,2.033849e-04,1.997856e-04,1.963335e-04,1.930249e-04,1.898558e-04,1.868223e-04,1.839205e-04,1.811465e-04,1.784964e-04,1.759665e-04,1.735529e-04,1.712518e-04,1.690596e-04,1.669725e-04,1.649871e-04,1.630998e-04,1.613070e-04,1.596055e-04,1.579919e-04,1.564629e-04,1.550154e-04,1.536462e-04,1.523524e-04,1.511309e-04,1.499789e-04,1.488936e-04,1.478723e-04,1.469123e-04,1.460111e-04,1.451661e-04
0.000000e+00,3.322589e-06,6.038671e-05,6.320881e-05,4.440821e-04,1.857477e-03,1.957024e-03,6.113608e-03,1.383035e-02,1.446590e-02,2.754785e-02,4.332594e-02,4.484414e-02,6.545972e-02,8.611247e-02,8.850275e-02,1.131920e-01,1.357567e-01,1.388717e-01,1.650013e-01,1.874953e-01,1.911415e-01,2.169392e-01,2.381378e-01,2.421143e-01,2.664490e-01,2.856582e-01,2.897769e-01,3.119754e-01,3.288619e-01,3.329580e-01,3.526680e-01,3.671370e-01,3.710734e-01,3.881622e-01,4.002713e-01,4.039388e-01,4.184203e-01,4.283188e-01,4.316343e-01,4.436161e-01,4.515030e-01,4.544070e-01,4.640525e-01,4.701487e-01,4.726011e-01,4.801035e-01,4.846336e-01,4.866108e-01,4.921750e-01,4.953556e-01,4.968473e-01,5.006784e-01,5.027118e-01,5.037179e-01,5.060138e-01,5.070844e-01,5.076129e-01,5.085600e-01,5.088334e-01,5.088983e-01,5.086691e-01,5.082918e-01,5.079120e-01,5.066644e-01,5.057650e-01,5.049623e-01,5.028397e-01,5.015301e-01,5.003289e-01,4.974605e-01,4.958373e-01,4.942635e-01,4.907653e-01,4.889114e-01,4.869918e-01,4.829675e-01,4.809536e-01,4.787155e-01,4.742577e-01,4.721436e-01,4.696145e-01,4.648053e-01,4.626414e-01,4.598483e-01,4.547607e-01,4.525889e-01,4.495586e-01,4.442571e-01,4.421119e-01,4.388704e-01,4.334119e-01,4.313215e-01,4.278941e-01,4.223286e-01,4.203155e-01,4.167264e-01,4.110979e-01,4.091799e-01,4.054525e-01,3.997992e-01,3.979898e-01,3.941463e-01,3.885017e-01,3.868110e-01,3.828725e-01,3.772654e-01,3.757003e-01,3.716867e-01,3.661422e-01,3.647069e-01,3.606371e-01,3.551765e-01,3.538731e-01,3.497648e-01,3.444063e-01,3.432350e-01,3.391048e-01,3.338638e-01,3.328232e-01,3.286865e-01,3.235759e-01,3.226632e-01,3.185345e-01,3.135648e-01,3.127765e-01,3.086690e-01,3.038489e-01,3.031802e-01,2.991063e-01,2.944427e-01,2.938885e-01,2.898595e-01,2.853577e-01,2.849120e-01,2.809384e-01,2.766023e-01,2.762591e-01,2.723503e-01,2.681827e-01,2.679354e-01,2.641001e-01,2.601027e-01,2.599446e-01,2.561907e-01,2.523642e-01,2.522885e-01,2.486231e-01,2.449674e-01,2.379799e-01,2.313235e-01,2.249947e-01,2.189889e-01,2.133006e-01,2.079237e-01,2.028514e-01,1.980765e-01,1.935911e-01,1.893870e-01,1.854558e-01,1.817885e-01,1.783761e-01,1.752094e-01,1.722789e-01,1.695752e-01,1.670887e-01,1.648097e-01,1.627286e-01,1.608357e-01,1.591215e-01,1.575764e-01,1.561911e-01,1.549563e-01,1.538628e-01,1.529015e-01,1.520638e-01,1.513410e-01,1.507248e-01,1.502069e-01,1.497796e-01,1.494351e-01,1.491661e-01,1.489657e-01,1.488269e-01,1.487433e-01,1.487089e-01,1.487176e-01,1.487641e-01,1.488431e-01,1.489497e-01,1.490792e-01,1.492276e-01,1.493907e-01,1.495649e-01,1.497468e-01,1.499334e-01,1.501218e-01,1.503096e-01
0.000000e+00,8.743587e-08,1.865402e-06,1.960628e-06,1.611840e-05,6.872104e-05,7.225597e-05,2.011087e-04,3.791361e-04,3.916378e-04,6.082924e-04,8.086720e-04,8.257449e-04,1.031588e-03,1.202698e-03,1.220815e-03,1.391986e-03,1.527791e-03,1.545264e-03,1.681490e-03,1.785841e-03,1.801762e-03,1.907250e-03,1.985284e-03,1.999114e-03,2.078466e-03,2.134941e-03,2.146361e-03,2.203785e-03,2.242805e-03,2.251657e-03,2.290831e-03,2.315859e-03,2.322097e-03,2.346187e-03,2.360111e-03,2.363772e-03,2.375473e-03,2.380679e-03,2.381858e-03,2.383452e-03,2.381903e-03,2.380733e-03,2.374144e-03,2.367446e-03,2.364087e-03,2.350934e-03,2.340396e-03,2.335025e-03,2.316670e-03,2.303355e-03,2.296153e-03,2.273735e-03,2.258499e-03,2.249652e-03,2.224120e-03,2.207651e-03,2.197339e-03,2.169486e-03,2.152330e-03,2.140728e-03,2.111212e-03,2.093800e-03,2.081075e-03,2.050440e-03,2.033110e-03,2.019420e-03,1.988114e-03,1.971123e-03,1.956616e-03,1.925007e-03,1.908553e-03,1.893364e-03,1.861752e-03,1.845978e-03,1.830234e-03,1.798862e-03,1.783871e-03,1.767686e-03,1.736749e-03,1.722609e-03,1.706090e-03,1.675742e-03,1.662495e-03,1.645735e-03,1.616097e-03,1.603764e-03,1.586849e-03,1.558013e-03,1.546597e-03,1.529604e-03,1.501639e-03,1.491131e-03,1.474128e-03,1.447083e-03,1.437462e-03,1.420511e-03,1.394419e-03,1.385658e-03,1.368813e-03,1.343694e-03,1.335760e-03,1.319066e-03,1.294930e-03,1.287785e-03,1.271286e-03,1.248132e-03,1.241737e-03,1.225467e-03,1.203288e-03,1.197601e-03,1.181592e-03,1.160375e-03,1.155354e-03,1.139632e-03,1.119359e-03,1.114962e-03,1.099551e-03,1.080201e-03,1.076385e-03,1.061303e-03,1.042851e-03,1.039577e-03,1.024839e-03,1.007260e-03,1.004488e-03,9.901074e-04,9.733732e-04,9.710635e-04,9.570507e-04,9.411326e-04,9.392492e-04,9.256115e-04,9.104801e-04,9.089881e-04,8.957310e-04,8.813567e-04,8.802228e-04,8.673500e-04,8.537033e-04,8.528958e-04,8.404094e-04,8.274609e-04,8.269500e-04,8.148506e-04,8.025712e-04,8.023289e-04,7.906157e-04,7.789770e-04,7.568397e-04,7.358641e-04,7.159985e-04,6.971929e-04,6.793988e-04,6.625695e-04,6.466598e-04,6.316265e-04,6.174277e-04,6.040234e-04,5.913752e-04,5.794463e-04,5.682015e-04,5.576071e-04,5.476308e-04,5.382418e-04,5.294108e-04,5.211096e-04,5.133115e-04,5.059910e-04,4.991236e-04,4.926862e-04,4.866566e-04,4.810137e-04,4.757375e-04,4.708088e-04,4.662094e-04,4.619220e-04,4.579300e-04,4.542178e-04,4.507703e-04,4.475735e-04,4.446137e-04,4.418780e-04,4.393542e-04,4.370307e-04,4.348963e-04,4.329406e-04,4.311535e-04,4.295256e-04,4.280476e-04,4.267111e-04,4.255079e-04,4.244301e-04,4.234704e-04,4.226218e-04,4.218776e-04,4.212315e-04,4.206775e-04
0.000000e+00,1.240154e-07,3.332358e-06,3.514475e-06,3.139946e-05,1.294701e-04,1.357493e-04,3.496163e-04,6.268526e-04,6.461804e-04,9.843977e-04,1.307433e-03,1.335542e-03,1.682642e-03,1.983716e-03,2.016316e-03,2.331702e-03,2.592306e-03,2.626574e-03,2.900216e-03,3.118665e-03,3.152773e-03,3.384862e-03,3.564631e-03,3.597352e-03,3.791229e-03,3.937044e-03,3.967527e-03,4.127287e-03,4.243873e-03,4.271527e-03,4.401231e-03,4.492913e-03,4.517336e-03,4.620733e-03,4.691337e-03,4.712266e-03,4.792728e-03,4.845584e-03,4.862868e-03,4.923389e-03,4.961380e-03,4.974951e-03,5.018177e-03,5.043788e-03,5.053648e-03,5.081910e-03,5.097274e-03,5.103477e-03,5.118829e-03,5.125777e-03,5.128417e-03,5.132664e-03,5.132763e-03,5.131966e-03,5.126696e-03,5.121285e-03,5.117200e-03,5.103806e-03,5.094026e-03,5.086819e-03,5.066526e-03,5.053347e-03,5.043194e-03,5.017075e-03,5.001319e-03,4.988404e-03,4.957402e-03,4.939764e-03,4.924274e-03,4.889212e-03,4.870277e-03,4.852399e-03,4.814001e-03,4.794258e-03,4.774177e-03,4.733074e-03,4.712930e-03,4.690829e-03,4.647571e-03,4.627366e-03,4.603421e-03,4.558490e-03,4.538500e-03,4.512882e-03,4.466695e-03,4.447145e-03,4.420019e-03,4.372939e-03,4.354012e-03,4.325535e-03,4.277878e-03,4.259716e-03,4.230036e-03,4.182074e-03,4.164789e-03,4.134049e-03,4.086017e-03,4.069693e-03,4.038026e-03,3.990124e-03,3.974822e-03,3.942355e-03,3.894757e-03,3.880517e-03,3.847368e-03,3.800220e-03,3.787067e-03,3.753347e-03,3.706775e-03,3.694719e-03,3.660531e-03,3.614639e-03,3.603680e-03,3.569121e-03,3.523997e-03,3.514124e-03,3.479285e-03,3.435000e-03,3.426196e-03,3.391159e-03,3.347773e-03,3.340013e-03,3.304856e-03,3.262417e-03,3.255672e-03,3.220466e-03,3.179011e-03,3.173248e-03,3.138059e-03,3.097617e-03,3.092798e-03,3.057688e-03,3.018279e-03,3.014366e-03,2.979391e-03,2.941029e-03,2.937982e-03,2.903193e-03,2.865886e-03,2.863664e-03,2.829108e-03,2.792859e-03,2.791420e-03,2.757140e-03,2.721949e-03,2.721250e-03,2.687285e-03,2.653147e-03,2.587097e-03,2.523081e-03,2.461074e-03,2.401049e-03,2.342976e-03,2.286821e-03,2.232548e-03,2.180120e-03,2.129498e-03,2.080642e-03,2.033512e-03,1.988065e-03,1.944262e-03,1.902059e-03,1.861416e-03,1.822290e-03,1.784641e-03,1.748429e-03,1.713611e-03,1.680149e-03,1.648004e-03,1.617136e-03,1.587508e-03,1.559083e-03,1.531823e-03,1.505694e-03,1.480659e-03,1.456686e-03,1.433739e-03,1.411788e-03,1.390798e-03,1.370741e-03,1.351584e-03,1.333299e-03,1.315855e-03,1.299226e-03,1.283384e-03,1.268302e-03,1.253953e-03,1.240313e-03,1.227356e-03,1.215059e-03,1.203398e-03,1.192351e-03,1.181895e-03,1.172008e-03,1.162670e-03,1.153860e-03,1.145558e-03
0.000000e+00,1.315709e-07,2.728304e-06,2.864716e-06,2.231238e-05,9.135987e-05,9.593826e-05,2.614067e-04,4.878444e-04,5.036130e-04,7.718717e-04,1.007486e-03,1.026830e-03,1.248998e-03,1.415666e-03,1.432230e-03,1.577457e-03,1.677033e-03,1.688766e-03,1.771241e-03,1.822949e-03,1.829903e-03,1.869246e-03,1.890174e-03,1.893083e-03,1.904563e-03,1.906561e-03,1.906236e-03,1.900155e-03,1.890828e-03,1.887970e-03,1.870996e-03,1.855122e-03,1.850293e-03,1.826709e-03,1.807283e-03,1.800926e-03,1.773492e-03,1.752391e-03,1.744848e-03,1.715353e-03,1.693753e-03,1.685294e-03,1.654906e-03,1.633542e-03,1.624378e-03,1.593861e-03,1.573178e-03,1.563476e-03,1.533324e-03,1.513588e-03,1.503480e-03,1.474008e-03,1.455363e-03,1.444955e-03,1.416361e-03,1.398875e-03,1.388253e-03,1.360655e-03,1.344348e-03,1.333584e-03,1.307049e-03,1.291908e-03,1.281059e-03,1.255618e-03,1.241611e-03,1.230728e-03,1.206388e-03,1.193472e-03,1.182596e-03,1.159349e-03,1.147474e-03,1.136641e-03,1.114467e-03,1.103578e-03,1.092820e-03,1.071692e-03,1.061733e-03,1.051077e-03,1.030964e-03,1.021880e-03,1.011348e-03,9.922168e-04,9.839511e-04,9.735635e-04,9.553784e-04,9.478781e-04,9.376523e-04,9.203760e-04,9.135894e-04,9.035403e-04,8.871358e-04,8.810133e-04,8.711535e-04,8.555841e-04,8.500784e-04,8.404185e-04,8.256478e-04,8.207141e-04,8.112629e-04,7.972553e-04,7.928510e-04,7.836160e-04,7.703366e-04,7.664217e-04,7.574086e-04,7.448238e-04,7.413604e-04,7.325739e-04,7.206510e-04,7.176036e-04,7.090471e-04,6.977545e-04,6.950897e-04,6.867656e-04,6.760729e-04,6.737596e-04,6.656692e-04,6.555473e-04,6.535561e-04,6.457002e-04,6.361210e-04,6.344247e-04,6.268030e-04,6.177396e-04,6.163126e-04,6.089244e-04,6.003511e-04,5.991697e-04,5.920135e-04,5.839056e-04,5.829478e-04,5.760216e-04,5.683557e-04,5.676008e-04,5.609022e-04,5.536557e-04,5.530848e-04,5.466109e-04,5.397625e-04,5.393577e-04,5.331053e-04,5.266345e-04,5.263795e-04,5.203451e-04,5.142324e-04,5.141119e-04,5.082917e-04,5.025185e-04,4.915646e-04,4.812172e-04,4.714448e-04,4.622175e-04,4.535069e-04,4.452857e-04,4.375282e-04,4.302101e-04,4.233078e-04,4.167995e-04,4.106640e-04,4.048815e-04,3.994328e-04,3.943001e-04,3.894663e-04,3.849151e-04,3.806311e-04,3.765998e-04,3.728072e-04,3.692401e-04,3.658861e-04,3.627334e-04,3.597707e-04,3.569873e-04,3.543731e-04,3.519186e-04,3.496146e-04,3.474525e-04,3.454243e-04,3.435220e-04,3.417384e-04,3.400666e-04,3.384999e-04,3.370322e-04,3.356574e-04,3.343700e-04,3.331648e-04,3.320366e-04,3.309808e-04,3.299929e-04,3.290686e-04,3.282039e-04,3.273949e-04,3.266382e-04,3.259303e-04,3.252680e-04,3.246482e-04,3.240682e-04,3.235252e-04
0.000000e+00,1.917104e-09,2.070322e-08,2.153365e-08,1.188325e-07,4.113301e-07,4.299322e-07,1.089221e-06,1.988532e-06,2.051155e-06,3.117003e-06,4.071999e-06,4.152354e-06,5.113795e-06,5.908529e-06,5.992712e-06,6.790389e-06,7.428277e-06,7.510798e-06,8.158560e-06,8.661110e-06,8.738364e-06,9.254771e-06,9.642771e-06,9.712162e-06,1.011471e-05,1.040666e-05,1.046638e-05,1.077092e-05,1.098300e-05,1.103187e-05,1.125257e-05,1.139879e-05,1.143615e-05,1.158554e-05,1.167792e-05,1.170351e-05,1.179263e-05,1.184142e-05,1.185530e-05,1.189377e-05,1.190766e-05,1.191013e-05,1.190635e-05,1.189268e-05,1.188422e-05,1.184546e-05,1.181040e-05,1.179163e-05,1.172418e-05,1.167288e-05,1.164449e-05,1.155381e-05,1.149054e-05,1.145330e-05,1.134404e-05,1.127236e-05,1.122705e-05,1.110324e-05,1.102604e-05,1.097347e-05,1.083854e-05,1.075820e-05,1.069917e-05,1.055603e-05,1.047446e-05,1.040974e-05,1.026088e-05,1.017961e-05,1.010996e-05,9.957474e-06,9.877704e-06,9.803849e-06,9.649491e-06,9.572154e-06,9.494768e-06,9.340014e-06,9.265812e-06,9.185535e-06,9.031606e-06,8.961053e-06,8.878478e-06,8.726377e-06,8.659832e-06,8.575508e-06,8.426053e-06,8.363744e-06,8.278177e-06,8.132024e-06,8.074075e-06,7.987724e-06,7.845392e-06,7.791843e-06,7.705127e-06,7.567016e-06,7.517838e-06,7.431134e-06,7.297544e-06,7.252656e-06,7.166301e-06,7.037447e-06,6.996725e-06,6.911019e-06,6.787043e-06,6.750332e-06,6.665541e-06,6.546526e-06,6.513648e-06,6.430005e-06,6.315980e-06,6.286743e-06,6.204449e-06,6.095403e-06,6.069601e-06,5.988831e-06,5.884717e-06,5.862139e-06,5.783041e-06,5.683783e-06,5.664220e-06,5.586918e-06,5.492417e-06,5.475656e-06,5.400253e-06,5.310393e-06,5.296227e-06,5.222805e-06,5.137455e-06,5.125682e-06,5.054306e-06,4.973323e-06,4.963748e-06,4.894467e-06,4.817700e-06,4.810137e-06,4.742983e-06,4.670278e-06,4.664547e-06,4.599543e-06,4.530739e-06,4.526671e-06,4.463826e-06,4.398763e-06,4.396198e-06,4.335511e-06,4.274028e-06,4.272816e-06,4.214276e-06,4.156215e-06,4.046087e-06,3.942131e-06,3.844052e-06,3.751562e-06,3.664382e-06,3.582241e-06,3.504879e-06,3.432044e-06,3.363495e-06,3.299000e-06,3.238340e-06,3.181301e-06,3.127682e-06,3.077291e-06,3.029945e-06,2.985471e-06,2.943703e-06,2.904484e-06,2.867666e-06,2.833109e-06,2.800679e-06,2.770252e-06,2.741707e-06,2.714933e-06,2.689824e-06,2.666280e-06,2.644206e-06,2.623513e-06,2.604119e-06,2.585944e-06,2.568913e-06,2.552957e-06,2.538011e-06,2.524011e-06,2.510901e-06,2.498625e-06,2.487131e-06,2.476372e-06,2.466303e-06,2.456880e-06,2.448063e-06,2.439815e-06,2.432101e-06,2.424887e-06,2.418142e-06,2.411838e-06,2.405946e-06,2.400441e-06,2.395298e-06
0.000000e+00,5.458097e-08,8.852022e-07,9.256626e-07,6.043920e-06,2.180153e-05,2.279584e-05,5.748612e-05,1.040480e-04,1.072815e-04,1.622639e-04,2.114289e-04,2.155614e-04,2.649774e-04,3.058247e-04,3.101534e-04,3.512035e-04,3.840886e-04,3.883476e-04,4.218241e-04,4.478614e-04,4.518700e-04,4.787141e-04,4.989497e-04,5.025759e-04,5.236641e-04,5.390262e-04,5.421770e-04,5.583019e-04,5.696014e-04,5.722152e-04,5.840831e-04,5.920205e-04,5.940611e-04,6.022952e-04,6.074713e-04,6.089222e-04,6.140698e-04,6.169970e-04,6.178572e-04,6.203958e-04,6.215090e-04,6.217895e-04,6.221351e-04,6.218020e-04,6.215230e-04,6.200374e-04,6.185684e-04,6.177566e-04,6.147537e-04,6.124093e-04,6.110965e-04,6.068482e-04,6.038464e-04,6.020675e-04,5.968089e-04,5.933309e-04,5.911229e-04,5.850565e-04,5.812523e-04,5.786533e-04,5.719538e-04,5.679470e-04,5.649951e-04,5.578116e-04,5.537026e-04,5.504351e-04,5.428951e-04,5.387651e-04,5.352186e-04,5.274306e-04,5.233445e-04,5.195542e-04,5.116104e-04,5.076194e-04,5.036187e-04,4.955970e-04,4.917407e-04,4.875616e-04,4.795274e-04,4.758360e-04,4.715082e-04,4.635163e-04,4.600115e-04,4.555631e-04,4.476589e-04,4.443560e-04,4.398129e-04,4.320336e-04,4.289423e-04,4.243286e-04,4.167047e-04,4.138301e-04,4.091678e-04,4.017235e-04,3.990671e-04,3.943764e-04,3.871308e-04,3.846911e-04,3.799904e-04,3.729584e-04,3.707315e-04,3.660374e-04,3.592298e-04,3.572100e-04,3.525376e-04,3.459622e-04,3.441422e-04,3.395049e-04,3.331666e-04,3.315382e-04,3.269480e-04,3.208496e-04,3.194038e-04,3.148713e-04,3.090134e-04,3.077407e-04,3.032753e-04,2.976569e-04,2.965475e-04,2.921574e-04,2.867762e-04,2.858201e-04,2.815124e-04,2.763650e-04,2.755521e-04,2.713329e-04,2.664150e-04,2.657355e-04,2.616099e-04,2.569164e-04,2.563606e-04,2.523330e-04,2.478583e-04,2.474167e-04,2.434907e-04,2.392286e-04,2.388921e-04,2.350704e-04,2.310146e-04,2.307745e-04,2.270594e-04,2.232031e-04,2.230509e-04,2.194440e-04,2.157805e-04,2.157082e-04,2.122107e-04,2.087330e-04,2.021118e-04,1.958310e-04,1.898775e-04,1.842377e-04,1.788989e-04,1.738481e-04,1.690730e-04,1.645614e-04,1.603015e-04,1.562818e-04,1.524913e-04,1.489192e-04,1.455554e-04,1.423897e-04,1.394128e-04,1.366153e-04,1.339885e-04,1.315239e-04,1.292135e-04,1.270495e-04,1.250245e-04,1.231313e-04,1.213633e-04,1.197139e-04,1.181771e-04,1.167468e-04,1.154175e-04,1.141839e-04,1.130408e-04,1.119834e-04,1.110070e-04,1.101073e-04,1.092800e-04,1.085212e-04,1.078270e-04,1.071939e-04,1.066184e-04,1.060972e-04,1.056273e-04,1.052057e-04,1.048296e-04,1.044963e-04,1.042032e-04,1.039481e-04,1.037285e-04,1.035424e-04,1.033876e-04,1.032623e-04,1.031645e-04
0.000000e+00,1.097777e-07,2.201649e-06,2.311153e-06,1.845852e-05,8.133981e-05,8.573136e-05,2.584075e-04,5.317106e-04,5.522007e-04,9.302416e-04,1.313464e-03,1.347424e-03,1.771241e-03,2.141682e-03,2.181766e-03,2.567848e-03,2.882848e-03,2.923891e-03,3.247672e-03,3.500108e-03,3.538957e-03,3.798647e-03,3.993473e-03,4.028265e-03,4.229644e-03,4.375078e-03,4.404745e-03,4.555543e-03,4.659985e-03,4.683971e-03,4.791879e-03,4.862930e-03,4.881014e-03,4.953016e-03,4.997224e-03,5.009414e-03,5.051630e-03,5.074517e-03,5.080980e-03,5.098677e-03,5.104837e-03,5.105843e-03,5.103510e-03,5.096737e-03,5.092628e-03,5.074067e-03,5.057472e-03,5.048630e-03,5.017051e-03,4.993174e-03,4.980004e-03,4.938106e-03,4.909010e-03,4.891924e-03,4.841975e-03,4.809324e-03,4.788733e-03,4.732631e-03,4.697764e-03,4.674066e-03,4.613400e-03,4.577381e-03,4.550961e-03,4.487052e-03,4.450723e-03,4.421946e-03,4.355893e-03,4.319911e-03,4.289120e-03,4.221832e-03,4.186703e-03,4.154218e-03,4.086445e-03,4.052548e-03,4.018667e-03,3.951021e-03,3.918635e-03,3.883633e-03,3.816613e-03,3.785935e-03,3.750062e-03,3.684069e-03,3.655230e-03,3.618714e-03,3.554068e-03,3.527144e-03,3.490194e-03,3.427145e-03,3.402168e-03,3.364970e-03,3.303712e-03,3.280681e-03,3.243405e-03,3.184081e-03,3.162969e-03,3.125764e-03,3.068478e-03,3.049238e-03,3.012238e-03,2.957059e-03,2.939628e-03,2.902951e-03,2.849921e-03,2.834223e-03,2.797974e-03,2.747111e-03,2.733064e-03,2.697333e-03,2.648637e-03,2.636153e-03,2.601019e-03,2.554473e-03,2.543461e-03,2.508992e-03,2.464567e-03,2.454935e-03,2.421189e-03,2.378846e-03,2.370501e-03,2.337527e-03,2.297219e-03,2.290070e-03,2.257908e-03,2.219582e-03,2.213540e-03,2.182225e-03,2.145822e-03,2.140800e-03,2.110357e-03,2.075816e-03,2.071733e-03,2.042183e-03,2.009440e-03,2.006214e-03,1.977572e-03,1.946563e-03,1.944119e-03,1.916395e-03,1.887053e-03,1.885318e-03,1.858519e-03,1.830778e-03,1.829685e-03,1.803813e-03,1.777607e-03,1.777090e-03,1.752144e-03,1.727408e-03,1.680514e-03,1.636285e-03,1.594602e-03,1.555350e-03,1.518415e-03,1.483688e-03,1.451063e-03,1.420438e-03,1.391716e-03,1.364802e-03,1.339605e-03,1.316038e-03,1.294019e-03,1.273466e-03,1.254304e-03,1.236461e-03,1.219865e-03,1.204450e-03,1.190154e-03,1.176915e-03,1.164675e-03,1.153380e-03,1.142977e-03,1.133415e-03,1.124648e-03,1.116629e-03,1.109317e-03,1.102669e-03,1.096647e-03,1.091214e-03,1.086334e-03,1.081975e-03,1.078103e-03,1.074689e-03,1.071704e-03,1.069121e-03,1.066914e-03,1.065058e-03,1.063531e-03,1.062309e-03,1.061372e-03,1.060701e-03,1.060276e-03,1.060079e-03,1.060094e-03,1.060305e-03,1.060697e-03,1.061255e-03,1.061965e-03
0.000000e+00,6.485073e-09,1.244263e-07,1.303823e-07,8.338707e-07,2.495705e-06,2.582771e-06,4.927007e-06,7.134695e-06,7.271478e-06,9.461993e-06,1.132511e-05,1.148031e-05,1.333123e-05,1.486098e-05,1.502329e-05,1.656554e-05,1.780586e-05,1.796687e-05,1.923592e-05,2.022782e-05,2.038097e-05,2.141012e-05,2.219071e-05,2.233111e-05,2.315136e-05,2.375371e-05,2.387787e-05,2.451731e-05,2.497038e-05,2.507593e-05,2.555965e-05,2.588851e-05,2.597398e-05,2.632412e-05,2.655029e-05,2.661492e-05,2.685092e-05,2.699278e-05,2.703635e-05,2.717520e-05,2.724840e-05,2.727114e-05,2.732763e-05,2.734543e-05,2.734789e-05,2.733491e-05,2.730853e-05,2.729149e-05,2.722022e-05,2.715912e-05,2.712353e-05,2.700368e-05,2.691579e-05,2.686276e-05,2.670272e-05,2.659469e-05,2.652537e-05,2.633240e-05,2.620977e-05,2.612537e-05,2.590573e-05,2.577310e-05,2.567484e-05,2.543394e-05,2.529510e-05,2.518419e-05,2.492667e-05,2.478473e-05,2.466237e-05,2.439221e-05,2.424969e-05,2.411704e-05,2.383766e-05,2.369661e-05,2.355478e-05,2.326908e-05,2.313113e-05,2.298118e-05,2.269165e-05,2.255807e-05,2.240102e-05,2.210975e-05,2.198152e-05,2.181831e-05,2.152710e-05,2.140495e-05,2.123649e-05,2.094682e-05,2.083128e-05,2.065840e-05,2.037151e-05,2.026296e-05,2.008643e-05,1.980337e-05,1.970201e-05,1.952256e-05,1.924418e-05,1.915012e-05,1.896842e-05,1.869542e-05,1.860866e-05,1.842532e-05,1.815825e-05,1.807874e-05,1.789432e-05,1.763363e-05,1.756123e-05,1.737626e-05,1.712228e-05,1.705681e-05,1.687177e-05,1.662476e-05,1.656601e-05,1.638131e-05,1.614146e-05,1.608917e-05,1.590522e-05,1.567264e-05,1.562656e-05,1.544371e-05,1.521846e-05,1.517830e-05,1.499688e-05,1.477898e-05,1.474445e-05,1.456474e-05,1.435417e-05,1.432498e-05,1.414725e-05,1.394396e-05,1.391981e-05,1.374428e-05,1.354819e-05,1.352878e-05,1.335567e-05,1.316668e-05,1.315172e-05,1.298121e-05,1.279920e-05,1.278839e-05,1.262064e-05,1.244549e-05,1.243855e-05,1.227371e-05,1.210526e-05,1.210193e-05,1.194011e-05,1.177822e-05,1.146711e-05,1.116829e-05,1.088143e-05,1.060619e-05,1.034224e-05,1.008924e-05,9.846855e-06,9.614756e-06,9.392611e-06,9.180093e-06,8.976884e-06,8.782669e-06,8.597138e-06,8.419992e-06,8.250935e-06,8.089681e-06,7.935950e-06,7.789468e-06,7.649972e-06,7.517205e-06,7.390916e-06,7.270863e-06,7.156811e-06,7.048532e-06,6.945805e-06,6.848418e-06,6.756162e-06,6.668839e-06,6.586253e-06,6.508218e-06,6.434553e-06,6.365082e-06,6.299637e-06,6.238053e-06,6.180173e-06,6.125843e-06,6.074917e-06,6.027252e-06,5.982711e-06,5.941160e-06,5.902471e-06,5.866520e-06,5.833188e-06,5.802360e-06,5.773923e-06,5.747770e-06,5.723799e-06,5.701908e-06,5.682000e-06
0.000000e+00,3.364619e-08,6.693006e-07,7.021818e-07,4.841295e-06,1.586513e-05,1.648486e-05,3.428091e-05,5.185924e-05,5.295182e-05,7.039491e-05,8.509964e-05,8.631789e-05,1.007587e-04,1.125602e-04,1.138047e-04,1.255481e-04,1.348763e-04,1.360788e-04,1.454829e-04,1.527317e-04,1.538420e-04,1.612335e-04,1.667478e-04,1.677300e-04,1.733999e-04,1.774778e-04,1.783078e-04,1.825138e-04,1.854114e-04,1.860744e-04,1.890419e-04,1.909763e-04,1.914650e-04,1.933891e-04,1.945439e-04,1.948565e-04,1.959061e-04,1.964354e-04,1.965743e-04,1.968948e-04,1.969278e-04,1.968986e-04,1.966148e-04,1.962593e-04,1.960700e-04,1.952889e-04,1.946347e-04,1.942946e-04,1.931081e-04,1.922294e-04,1.917491e-04,1.902356e-04,1.891936e-04,1.885843e-04,1.868106e-04,1.856557e-04,1.849287e-04,1.829517e-04,1.817249e-04,1.808917e-04,1.787598e-04,1.774943e-04,1.765661e-04,1.743201e-04,1.730427e-04,1.720304e-04,1.697049e-04,1.684368e-04,1.673508e-04,1.649748e-04,1.637326e-04,1.625829e-04,1.601808e-04,1.589775e-04,1.577734e-04,1.553654e-04,1.542106e-04,1.529610e-04,1.505639e-04,1.494647e-04,1.481777e-04,1.458054e-04,1.447667e-04,1.434498e-04,1.411136e-04,1.401386e-04,1.387989e-04,1.365078e-04,1.355983e-04,1.342420e-04,1.320033e-04,1.311599e-04,1.297930e-04,1.276123e-04,1.268347e-04,1.254623e-04,1.233440e-04,1.226311e-04,1.212581e-04,1.192053e-04,1.185555e-04,1.171862e-04,1.152013e-04,1.146125e-04,1.132507e-04,1.113350e-04,1.108048e-04,1.094541e-04,1.076082e-04,1.071340e-04,1.057974e-04,1.040217e-04,1.036007e-04,1.022809e-04,1.005750e-04,1.002044e-04,9.890378e-05,9.726700e-05,9.694376e-05,9.566444e-05,9.409582e-05,9.381705e-05,9.256081e-05,9.105909e-05,9.082188e-05,8.959028e-05,8.815401e-05,8.795550e-05,8.674986e-05,8.537743e-05,8.521485e-05,8.403627e-05,8.272595e-05,8.259659e-05,8.144600e-05,8.019596e-05,8.009723e-05,7.897536e-05,7.778372e-05,7.771313e-05,7.662056e-05,7.548539e-05,7.544056e-05,7.437773e-05,7.329708e-05,7.327574e-05,7.224296e-05,7.121488e-05,6.925420e-05,6.738993e-05,6.561835e-05,6.393582e-05,6.233874e-05,6.082363e-05,5.938706e-05,5.802571e-05,5.673637e-05,5.551590e-05,5.436129e-05,5.326961e-05,5.223806e-05,5.126391e-05,5.034455e-05,4.947745e-05,4.866022e-05,4.789051e-05,4.716610e-05,4.648484e-05,4.584468e-05,4.524366e-05,4.467989e-05,4.415155e-05,4.365692e-05,4.319435e-05,4.276225e-05,4.235910e-05,4.198345e-05,4.163392e-05,4.130918e-05,4.100797e-05,4.072907e-05,4.047133e-05,4.023365e-05,4.001497e-05,3.981428e-05,3.963063e-05,3.946309e-05,3.931080e-05,3.917291e-05,3.904864e-05,3.893722e-05,3.883792e-05,3.875006e-05,3.867298e-05,3.860605e-05,3.854867e-05,3.850028e-05
0.000000e+00,2.736209e-06,5.372506e-05,5.632043e-05,4.124103e-04,1.690573e-03,1.778173e-03,5.279218e-03,1.140172e-02,1.189499e-02,2.185323e-02,3.354177e-02,3.465244e-02,4.952874e-02,6.408900e-02,6.575374e-02,8.271378e-02,9.785044e-02,9.991318e-02,1.169605e-01,1.312665e-01,1.335527e-01,1.494607e-01,1.621701e-01,1.645163e-01,1.786021e-01,1.893739e-01,1.916415e-01,2.035910e-01,2.123540e-01,2.144340e-01,2.241748e-01,2.310201e-01,2.328338e-01,2.404442e-01,2.455524e-01,2.470481e-01,2.526942e-01,2.562868e-01,2.574356e-01,2.613280e-01,2.636367e-01,2.644282e-01,2.667929e-01,2.680408e-01,2.684784e-01,2.695389e-01,2.699301e-01,2.700271e-01,2.699932e-01,2.697079e-01,2.694846e-01,2.685462e-01,2.677396e-01,2.672200e-01,2.655453e-01,2.643481e-01,2.635586e-01,2.612937e-01,2.598143e-01,2.587818e-01,2.560519e-01,2.543792e-01,2.531304e-01,2.500416e-01,2.482472e-01,2.468079e-01,2.434496e-01,2.415910e-01,2.399855e-01,2.364326e-01,2.345552e-01,2.328065e-01,2.291213e-01,2.272607e-01,2.253900e-01,2.216243e-01,2.198077e-01,2.178348e-01,2.140313e-01,2.122794e-01,2.102226e-01,2.064165e-01,2.047446e-01,2.026204e-01,1.988408e-01,1.972596e-01,1.950834e-01,1.913536e-01,1.898705e-01,1.876562e-01,1.839955e-01,1.826148e-01,1.803752e-01,1.767987e-01,1.755225e-01,1.732692e-01,1.697893e-01,1.686178e-01,1.663613e-01,1.629873e-01,1.619194e-01,1.596692e-01,1.564086e-01,1.554418e-01,1.532066e-01,1.500646e-01,1.491956e-01,1.469833e-01,1.439637e-01,1.431887e-01,1.410062e-01,1.381114e-01,1.374260e-01,1.352796e-01,1.325110e-01,1.319104e-01,1.298057e-01,1.271638e-01,1.266430e-01,1.245851e-01,1.220694e-01,1.216232e-01,1.196165e-01,1.172262e-01,1.168495e-01,1.148979e-01,1.126313e-01,1.123189e-01,1.104260e-01,1.082813e-01,1.080280e-01,1.061967e-01,1.041716e-01,1.039724e-01,1.022055e-01,1.002975e-01,1.001473e-01,9.844704e-02,9.665340e-02,9.654757e-02,9.491584e-02,9.323362e-02,9.316747e-02,9.160596e-02,9.003209e-02,9.000115e-02,8.851121e-02,8.704254e-02,8.428540e-02,8.172337e-02,7.935003e-02,7.715885e-02,7.514332e-02,7.329684e-02,7.161284e-02,7.008473e-02,6.870588e-02,6.746972e-02,6.636965e-02,6.539909e-02,6.455149e-02,6.382030e-02,6.319902e-02,6.268119e-02,6.226039e-02,6.193027e-02,6.168454e-02,6.151701e-02,6.142156e-02,6.139222e-02,6.142312e-02,6.150853e-02,6.164289e-02,6.182078e-02,6.203701e-02,6.228655e-02,6.256457e-02,6.286650e-02,6.318796e-02,6.352482e-02,6.387321e-02,6.422947e-02,6.459023e-02,6.495235e-02,6.531297e-02,6.566944e-02,6.601942e-02,6.636076e-02,6.669158e-02,6.701024e-02,6.731531e-02,6.760559e-02,6.788006e-02,6.813795e-02,6.837862e-02,6.860165e-02,6.880675e-02
0.000000e+00,4.064852e-06,1.021544e-04,1.076662e-04,9.747790e-04,4.284138e-03,4.505967e-03,1.258919e-02,2.437811e-02,2.525152e-02,4.159819e-02,5.908763e-02,6.069694e-02,8.174121e-02,1.017847e-01,1.040568e-01,1.270867e-01,1.475797e-01,1.503750e-01,1.735522e-01,1.931687e-01,1.963227e-01,2.184536e-01,2.364161e-01,2.397647e-01,2.601210e-01,2.760309e-01,2.794245e-01,2.976081e-01,3.113204e-01,3.146308e-01,3.304722e-01,3.420060e-01,3.451292e-01,3.586123e-01,3.680871e-01,3.709428e-01,3.821506e-01,3.897426e-01,3.922718e-01,4.013476e-01,4.072595e-01,4.094222e-01,4.165422e-01,4.209838e-01,4.227555e-01,4.281103e-01,4.312858e-01,4.326549e-01,4.364367e-01,4.385376e-01,4.395024e-01,4.418972e-01,4.430981e-01,4.436649e-01,4.448477e-01,4.453049e-01,4.454857e-01,4.456177e-01,4.454693e-01,4.452802e-01,4.445082e-01,4.438745e-01,4.433347e-01,4.417909e-01,4.407758e-01,4.399064e-01,4.377089e-01,4.364015e-01,4.352247e-01,4.324785e-01,4.309547e-01,4.294934e-01,4.262912e-01,4.246152e-01,4.228924e-01,4.193161e-01,4.175418e-01,4.155803e-01,4.117018e-01,4.098742e-01,4.076964e-01,4.035789e-01,4.017352e-01,3.993628e-01,3.950613e-01,3.932321e-01,3.906863e-01,3.862489e-01,3.844589e-01,3.817598e-01,3.772286e-01,3.754977e-01,3.726645e-01,3.680759e-01,3.664196e-01,3.634707e-01,3.588563e-01,3.572865e-01,3.542394e-01,3.496263e-01,3.481519e-01,3.450229e-01,3.404347e-01,3.390619e-01,3.358666e-01,3.313232e-01,3.300561e-01,3.268089e-01,3.223276e-01,3.211683e-01,3.178829e-01,3.134781e-01,3.124272e-01,3.091162e-01,3.048002e-01,3.038571e-01,3.005324e-01,2.963153e-01,2.954782e-01,2.921509e-01,2.880411e-01,2.873073e-01,2.839877e-01,2.799921e-01,2.793582e-01,2.760557e-01,2.721798e-01,2.716420e-01,2.683653e-01,2.646133e-01,2.641673e-01,2.609246e-01,2.572997e-01,2.569408e-01,2.537393e-01,2.502439e-01,2.499671e-01,2.468139e-01,2.434494e-01,2.432496e-01,2.401507e-01,2.369179e-01,2.367900e-01,2.337511e-01,2.306502e-01,2.305889e-01,2.276151e-01,2.246457e-01,2.189590e-01,2.135267e-01,2.083456e-01,2.034121e-01,1.987222e-01,1.942712e-01,1.900541e-01,1.860654e-01,1.822995e-01,1.787503e-01,1.754118e-01,1.722775e-01,1.693409e-01,1.665953e-01,1.640340e-01,1.616500e-01,1.594366e-01,1.573868e-01,1.554936e-01,1.537501e-01,1.521495e-01,1.506848e-01,1.493493e-01,1.481362e-01,1.470390e-01,1.460512e-01,1.451662e-01,1.443779e-01,1.436802e-01,1.430670e-01,1.425326e-01,1.420714e-01,1.416778e-01,1.413467e-01,1.410730e-01,1.408518e-01,1.406784e-01,1.405485e-01,1.404577e-01,1.404020e-01,1.403775e-01,1.403808e-01,1.404082e-01,1.404568e-01,1.405234e-01,1.406052e-01,1.406997e-01,1.408045e-01,1.409172e-01
0.000000e+00,3.167873e-08,5.145043e-07,5.384448e-07,3.501849e-06,1.152870e-05,1.198892e-05,2.566583e-05,3.980929e-05,4.069884e-05,5.497140e-05,6.705214e-05,6.805377e-05,7.993022e-05,8.963633e-05,9.065967e-05,1.003134e-04,1.079762e-04,1.089636e-04,1.166801e-04,1.226209e-04,1.235301e-04,1.295777e-04,1.340817e-04,1.348831e-04,1.395033e-04,1.428180e-04,1.434915e-04,1.468977e-04,1.492349e-04,1.497684e-04,1.521471e-04,1.536872e-04,1.540744e-04,1.555879e-04,1.564830e-04,1.567226e-04,1.575112e-04,1.578897e-04,1.579839e-04,1.581688e-04,1.581384e-04,1.580919e-04,1.577775e-04,1.574281e-04,1.572479e-04,1.565238e-04,1.559302e-04,1.556245e-04,1.545676e-04,1.537918e-04,1.533697e-04,1.520459e-04,1.511392e-04,1.506104e-04,1.490760e-04,1.480803e-04,1.474547e-04,1.457575e-04,1.447069e-04,1.439944e-04,1.421749e-04,1.410972e-04,1.403076e-04,1.384003e-04,1.373175e-04,1.364603e-04,1.344943e-04,1.334239e-04,1.325081e-04,1.305075e-04,1.294631e-04,1.284974e-04,1.264825e-04,1.254746e-04,1.244670e-04,1.224547e-04,1.214909e-04,1.204490e-04,1.184531e-04,1.175390e-04,1.164698e-04,1.145016e-04,1.136410e-04,1.125509e-04,1.106196e-04,1.098147e-04,1.087096e-04,1.068226e-04,1.060745e-04,1.049598e-04,1.031226e-04,1.024314e-04,1.013121e-04,9.952923e-05,9.889431e-05,9.777476e-05,9.604937e-05,9.546947e-05,9.435365e-05,9.268804e-05,9.216146e-05,9.105290e-05,8.944852e-05,8.897323e-05,8.787508e-05,8.633271e-05,8.590642e-05,8.482145e-05,8.334130e-05,8.296155e-05,8.189218e-05,8.047400e-05,8.013822e-05,7.908657e-05,7.772971e-05,7.743528e-05,7.640317e-05,7.510668e-05,7.485096e-05,7.383994e-05,7.260262e-05,7.238300e-05,7.139436e-05,7.021480e-05,7.002871e-05,6.906354e-05,6.794018e-05,6.778512e-05,6.684430e-05,6.577547e-05,6.564900e-05,6.473324e-05,6.371716e-05,6.361698e-05,6.272679e-05,6.176165e-05,6.168552e-05,6.082129e-05,5.990524e-05,5.985104e-05,5.901302e-05,5.814418e-05,5.810990e-05,5.729823e-05,5.647471e-05,5.645846e-05,5.567315e-05,5.489310e-05,5.341023e-05,5.200631e-05,5.067790e-05,4.942161e-05,4.823416e-05,4.711234e-05,4.605307e-05,4.505336e-05,4.411032e-05,4.322118e-05,4.238327e-05,4.159404e-05,4.085103e-05,4.015188e-05,3.949434e-05,3.887627e-05,3.829561e-05,3.775040e-05,3.723877e-05,3.675894e-05,3.630921e-05,3.588796e-05,3.549366e-05,3.512484e-05,3.478011e-05,3.445815e-05,3.415771e-05,3.387759e-05,3.361665e-05,3.337383e-05,3.314811e-05,3.293851e-05,3.274412e-05,3.256407e-05,3.239753e-05,3.224373e-05,3.210192e-05,3.197141e-05,3.185152e-05,3.174163e-05,3.164115e-05,3.154950e-05,3.146617e-05,3.139063e-05,3.132243e-05,3.126109e-05,3.120621e-05,3.115737e-05,3.111420e-05
0.000000e+00,8.445692e-08,2.681071e-06,2.836701e-06,2.853966e-05,1.196906e-04,1.252930e-04,2.992556e-04,4.893078e-04,5.014068e-04,6.928324e-04,8.438380e-04,8.556417e-04,9.850379e-04,1.074298e-03,1.082761e-03,1.153230e-03,1.196723e-03,1.201508e-03,1.232348e-03,1.248049e-03,1.249821e-03,1.257232e-03,1.257602e-03,1.257180e-03,1.251665e-03,1.244140e-03,1.242200e-03,1.229922e-03,1.218649e-03,1.215674e-03,1.200078e-03,1.187275e-03,1.183590e-03,1.166545e-03,1.153368e-03,1.149183e-03,1.131680e-03,1.118713e-03,1.114162e-03,1.096718e-03,1.084239e-03,1.079410e-03,1.062284e-03,1.050421e-03,1.045370e-03,1.028691e-03,1.017489e-03,1.012259e-03,9.960840e-04,9.855527e-04,9.801726e-04,9.645275e-04,9.546551e-04,9.491501e-04,9.340402e-04,9.248063e-04,9.191974e-04,9.046202e-04,8.960006e-04,8.903066e-04,8.762545e-04,8.682229e-04,8.624609e-04,8.489230e-04,8.414523e-04,8.356377e-04,8.226020e-04,8.156652e-04,8.098124e-04,7.972657e-04,7.908363e-04,7.849585e-04,7.728873e-04,7.669391e-04,7.610487e-04,7.494392e-04,7.439470e-04,7.380553e-04,7.268936e-04,7.218329e-04,7.159506e-04,7.052227e-04,7.005697e-04,6.947065e-04,6.843984e-04,6.801303e-04,6.742951e-04,6.643932e-04,6.604879e-04,6.546890e-04,6.451794e-04,6.416160e-04,6.358608e-04,6.267301e-04,6.234884e-04,6.177838e-04,6.090188e-04,6.060794e-04,6.004318e-04,5.920195e-04,5.893640e-04,5.837789e-04,5.757068e-04,5.733175e-04,5.678001e-04,5.600559e-04,5.579162e-04,5.524710e-04,5.450426e-04,5.431365e-04,5.377678e-04,5.306436e-04,5.289559e-04,5.236673e-04,5.168361e-04,5.153524e-04,5.101472e-04,5.035980e-04,5.023046e-04,4.971857e-04,4.909078e-04,4.897918e-04,4.847617e-04,4.787448e-04,4.777939e-04,4.728547e-04,4.670890e-04,4.662916e-04,4.614452e-04,4.559210e-04,4.552660e-04,4.505140e-04,4.452220e-04,4.446991e-04,4.400427e-04,4.349740e-04,4.345732e-04,4.300135e-04,4.251593e-04,4.248714e-04,4.204092e-04,4.157612e-04,4.155774e-04,4.112133e-04,4.067634e-04,4.066754e-04,4.024097e-04,3.981502e-04,3.899870e-04,3.821718e-04,3.746908e-04,3.675309e-04,3.606794e-04,3.541241e-04,3.478533e-04,3.418556e-04,3.361200e-04,3.306362e-04,3.253939e-04,3.203835e-04,3.155955e-04,3.110210e-04,3.066513e-04,3.024780e-04,2.984931e-04,2.946889e-04,2.910580e-04,2.875931e-04,2.842876e-04,2.811347e-04,2.781280e-04,2.752616e-04,2.725295e-04,2.699260e-04,2.674458e-04,2.650837e-04,2.628346e-04,2.606937e-04,2.586564e-04,2.567182e-04,2.548750e-04,2.531225e-04,2.514569e-04,2.498743e-04,2.483712e-04,2.469440e-04,2.455894e-04,2.443041e-04,2.430852e-04,2.419296e-04,2.408344e-04,2.397971e-04,2.388148e-04,2.378852e-04,2.370058e-04,2.361743e-04,2.353884e-04
0.000000e+00,2.814070e-06,7.172926e-05,7.564575e-05,7.168386e-04,3.341424e-03,3.523070e-03,1.038915e-02,2.086127e-02,2.165060e-02,3.667009e-02,5.315550e-02,5.469083e-02,7.502547e-02,9.480982e-02,9.707701e-02,1.203331e-01,1.414463e-01,1.443568e-01,1.687777e-01,1.898581e-01,1.932839e-01,2.176149e-01,2.377586e-01,2.415551e-01,2.649286e-01,2.835714e-01,2.875934e-01,3.094372e-01,3.262621e-01,3.303733e-01,3.503369e-01,3.652032e-01,3.692820e-01,3.871787e-01,4.000683e-01,4.040103e-01,4.197715e-01,4.307480e-01,4.344667e-01,4.481078e-01,4.572868e-01,4.607132e-01,4.723065e-01,4.798343e-01,4.829153e-01,4.925705e-01,4.986082e-01,5.013053e-01,5.091548e-01,5.138679e-01,5.161550e-01,5.223428e-01,5.258939e-01,5.277554e-01,5.324300e-01,5.349737e-01,5.364032e-01,5.397113e-01,5.413918e-01,5.423900e-01,5.444738e-01,5.454231e-01,5.459964e-01,5.469904e-01,5.473280e-01,5.474874e-01,5.475176e-01,5.473502e-01,5.471103e-01,5.462933e-01,5.457154e-01,5.450933e-01,5.435360e-01,5.426310e-01,5.416458e-01,5.394458e-01,5.382864e-01,5.369583e-01,5.342043e-01,5.328535e-01,5.312038e-01,5.279757e-01,5.264880e-01,5.245382e-01,5.209083e-01,5.193303e-01,5.171021e-01,5.131351e-01,5.115065e-01,5.090216e-01,5.047755e-01,5.031299e-01,5.004096e-01,4.959364e-01,4.943019e-01,4.913672e-01,4.867131e-01,4.851132e-01,4.819844e-01,4.771908e-01,4.756446e-01,4.723414e-01,4.674448e-01,4.659679e-01,4.625093e-01,4.575425e-01,4.561472e-01,4.525515e-01,4.475432e-01,4.462390e-01,4.425239e-01,4.374995e-01,4.362935e-01,4.324757e-01,4.274577e-01,4.263550e-01,4.224505e-01,4.174585e-01,4.164624e-01,4.124863e-01,4.075377e-01,4.066497e-01,4.026165e-01,3.977263e-01,3.969469e-01,3.928702e-01,3.880514e-01,3.873799e-01,3.832725e-01,3.785364e-01,3.779710e-01,3.738453e-01,3.692014e-01,3.687397e-01,3.646069e-01,3.600637e-01,3.597025e-01,3.555733e-01,3.511375e-01,3.508732e-01,3.467577e-01,3.424352e-01,3.422635e-01,3.381712e-01,3.339667e-01,3.338832e-01,3.298226e-01,3.257399e-01,3.178399e-01,3.101877e-01,3.027868e-01,2.956393e-01,2.887464e-01,2.821081e-01,2.757238e-01,2.695920e-01,2.637107e-01,2.580771e-01,2.526879e-01,2.475396e-01,2.426278e-01,2.379482e-01,2.334960e-01,2.292659e-01,2.252528e-01,2.214509e-01,2.178547e-01,2.144582e-01,2.112554e-01,2.082403e-01,2.054065e-01,2.027480e-01,2.002585e-01,1.979315e-01,1.957610e-01,1.937405e-01,1.918639e-01,1.901250e-01,1.885175e-01,1.870355e-01,1.856730e-01,1.844239e-01,1.832826e-01,1.822434e-01,1.813006e-01,1.804489e-01,1.796829e-01,1.789974e-01,1.783875e-01,1.778482e-01,1.773748e-01,1.769627e-01,1.766077e-01,1.763053e-01,1.760515e-01,1.758425e-01,1.756744e-01
0.000000e+00,7.306084e-07,1.799964e-05,1.897166e-05,1.745824e-04,7.819329e-04,8.227507e-04,2.284722e-03,4.293113e-03,4.435948e-03,6.970500e-03,9.421661e-03,9.635079e-03,1.225679e-02,1.448891e-02,1.472705e-02,1.698330e-02,1.876660e-02,1.899453e-02,2.075077e-02,2.205966e-02,2.225558e-02,2.352093e-02,2.441099e-02,2.456364e-02,2.540303e-02,2.595378e-02,2.605930e-02,2.655252e-02,2.684267e-02,2.690193e-02,2.712559e-02,2.722350e-02,2.724012e-02,2.726067e-02,2.722186e-02,2.720084e-02,2.707278e-02,2.694045e-02,2.688723e-02,2.665364e-02,2.646038e-02,2.638026e-02,2.607429e-02,2.584407e-02,2.574193e-02,2.538852e-02,2.513855e-02,2.501865e-02,2.463623e-02,2.437860e-02,2.424459e-02,2.384652e-02,2.358950e-02,2.344440e-02,2.304021e-02,2.278931e-02,2.263561e-02,2.223196e-02,2.199072e-02,2.183041e-02,2.143189e-02,2.120244e-02,2.103715e-02,2.064682e-02,2.043035e-02,2.026140e-02,1.988127e-02,1.967832e-02,1.950676e-02,1.913811e-02,1.894879e-02,1.877551e-02,1.841909e-02,1.824323e-02,1.806895e-02,1.772518e-02,1.756245e-02,1.738782e-02,1.705690e-02,1.690684e-02,1.673242e-02,1.641438e-02,1.627648e-02,1.610277e-02,1.579756e-02,1.567127e-02,1.549873e-02,1.520623e-02,1.509100e-02,1.492004e-02,1.464010e-02,1.453535e-02,1.436637e-02,1.409879e-02,1.400395e-02,1.383731e-02,1.358187e-02,1.349639e-02,1.333242e-02,1.308890e-02,1.301222e-02,1.285124e-02,1.261938e-02,1.255094e-02,1.239325e-02,1.217279e-02,1.211207e-02,1.195793e-02,1.174859e-02,1.169506e-02,1.154470e-02,1.134620e-02,1.129935e-02,1.115301e-02,1.096505e-02,1.092439e-02,1.078224e-02,1.060451e-02,1.056957e-02,1.043179e-02,1.026398e-02,1.023429e-02,1.010102e-02,9.942817e-03,9.917941e-03,9.789295e-03,9.640372e-03,9.619885e-03,9.495966e-03,9.355996e-03,9.339493e-03,9.220378e-03,9.089031e-03,9.076128e-03,8.961872e-03,8.838819e-03,8.829150e-03,8.719789e-03,8.604701e-03,8.597920e-03,8.493473e-03,8.386022e-03,8.381801e-03,8.282268e-03,8.182129e-03,8.180162e-03,8.085525e-03,7.992377e-03,7.817825e-03,7.655897e-03,7.505993e-03,7.367523e-03,7.239911e-03,7.122591e-03,7.015010e-03,6.916632e-03,6.826932e-03,6.745401e-03,6.671545e-03,6.604883e-03,6.544952e-03,6.491304e-03,6.443506e-03,6.401142e-03,6.363811e-03,6.331129e-03,6.302727e-03,6.278252e-03,6.257369e-03,6.239757e-03,6.225111e-03,6.213142e-03,6.203577e-03,6.196157e-03,6.190640e-03,6.186797e-03,6.184414e-03,6.183292e-03,6.183244e-03,6.184098e-03,6.185696e-03,6.187889e-03,6.190543e-03,6.193536e-03,6.196754e-03,6.200097e-03,6.203473e-03,6.206802e-03,6.210011e-03,6.213036e-03,6.215822e-03,6.218321e-03,6.220492e-03,6.222302e-03,6.223723e-03,6.224732e-03,6.225312e-03
0.000000e+00,4.019771e-10,4.968816e-09,5.182701e-09,3.152882e-08,1.109067e-07,1.158496e-07,2.815915e-07,4.820416e-07,4.951781e-07,7.083817e-07,8.879449e-07,9.026815e-07,1.074994e-06,1.211927e-06,1.226132e-06,1.357728e-06,1.458736e-06,1.471504e-06,1.569112e-06,1.641297e-06,1.652086e-06,1.721847e-06,1.771192e-06,1.779699e-06,1.826840e-06,1.858278e-06,1.864370e-06,1.893291e-06,1.910849e-06,1.914521e-06,1.928891e-06,1.935828e-06,1.937159e-06,1.940015e-06,1.938950e-06,1.938080e-06,1.931921e-06,1.924946e-06,1.922048e-06,1.908924e-06,1.897695e-06,1.892962e-06,1.874541e-06,1.860368e-06,1.854002e-06,1.831650e-06,1.815555e-06,1.807758e-06,1.782575e-06,1.765354e-06,1.756320e-06,1.729191e-06,1.711452e-06,1.701365e-06,1.673002e-06,1.655209e-06,1.644241e-06,1.615209e-06,1.597706e-06,1.586017e-06,1.556763e-06,1.539802e-06,1.527535e-06,1.498410e-06,1.482170e-06,1.469456e-06,1.440731e-06,1.425334e-06,1.412287e-06,1.384170e-06,1.369690e-06,1.356416e-06,1.329060e-06,1.315540e-06,1.302130e-06,1.275648e-06,1.263101e-06,1.249634e-06,1.224104e-06,1.212526e-06,1.199070e-06,1.174544e-06,1.163914e-06,1.150530e-06,1.127036e-06,1.117323e-06,1.104062e-06,1.081611e-06,1.072777e-06,1.059683e-06,1.038275e-06,1.030275e-06,1.017383e-06,9.970053e-07,9.897939e-07,9.771353e-07,9.577674e-07,9.512956e-07,9.388952e-07,9.205113e-07,9.147304e-07,9.026082e-07,8.851778e-07,8.800396e-07,8.682116e-07,8.517010e-07,8.471585e-07,8.356370e-07,8.200105e-07,8.160181e-07,8.048122e-07,7.900328e-07,7.865470e-07,7.756629e-07,7.616931e-07,7.586725e-07,7.481141e-07,7.349163e-07,7.323217e-07,7.220907e-07,7.096278e-07,7.074223e-07,6.975186e-07,6.857541e-07,6.839031e-07,6.743253e-07,6.632234e-07,6.616948e-07,6.524399e-07,6.419662e-07,6.407298e-07,6.317940e-07,6.219151e-07,6.209430e-07,6.123214e-07,6.030052e-07,6.022717e-07,5.939587e-07,5.851744e-07,5.846555e-07,5.766450e-07,5.683633e-07,5.680370e-07,5.603222e-07,5.525149e-07,5.523611e-07,5.449349e-07,5.375754e-07,5.236300e-07,5.104777e-07,4.980734e-07,4.863747e-07,4.753412e-07,4.649349e-07,4.551198e-07,4.458618e-07,4.371289e-07,4.288907e-07,4.211188e-07,4.137860e-07,4.068671e-07,4.003381e-07,3.941763e-07,3.883607e-07,3.828711e-07,3.776887e-07,3.727958e-07,3.681756e-07,3.638124e-07,3.596914e-07,3.557986e-07,3.521209e-07,3.486460e-07,3.453621e-07,3.422584e-07,3.393245e-07,3.365507e-07,3.339279e-07,3.314475e-07,3.291013e-07,3.268818e-07,3.247817e-07,3.227944e-07,3.209133e-07,3.191326e-07,3.174466e-07,3.158500e-07,3.143377e-07,3.129050e-07,3.115476e-07,3.102611e-07,3.090417e-07,3.078857e-07,3.067895e-07,3.057498e-07,3.047636e-07,3.038279e-07
0.000000e+00,3.041404e-08,4.623716e-07,4.836628e-07,3.242347e-06,1.176051e-05,1.228818e-05,2.951878e-05,4.953087e-05,5.083612e-05,7.228704e-05,9.106171e-05,9.264171e-05,1.116566e-04,1.276120e-04,1.293182e-04,1.456675e-04,1.590121e-04,1.607585e-04,1.746491e-04,1.856798e-04,1.873981e-04,1.990637e-04,2.080674e-04,2.097031e-04,2.193725e-04,2.266157e-04,2.281262e-04,2.360165e-04,2.417413e-04,2.430941e-04,2.494075e-04,2.538313e-04,2.550030e-04,2.599242e-04,2.632386e-04,2.642121e-04,2.679063e-04,2.702801e-04,2.710446e-04,2.736629e-04,2.752455e-04,2.757957e-04,2.774781e-04,2.784048e-04,2.787417e-04,2.796157e-04,2.800014e-04,2.801273e-04,2.803025e-04,2.802458e-04,2.801657e-04,2.797399e-04,2.793260e-04,2.790471e-04,2.781077e-04,2.774099e-04,2.769410e-04,2.755655e-04,2.746471e-04,2.739983e-04,2.722556e-04,2.711705e-04,2.703527e-04,2.683038e-04,2.670978e-04,2.661226e-04,2.638217e-04,2.625336e-04,2.614130e-04,2.589076e-04,2.575702e-04,2.563162e-04,2.536484e-04,2.522888e-04,2.509135e-04,2.481202e-04,2.467611e-04,2.452766e-04,2.423900e-04,2.410498e-04,2.394677e-04,2.365161e-04,2.352098e-04,2.335415e-04,2.305495e-04,2.292890e-04,2.275455e-04,2.245344e-04,2.233290e-04,2.215207e-04,2.185088e-04,2.173656e-04,2.155027e-04,2.125058e-04,2.114299e-04,2.095217e-04,2.065533e-04,2.055482e-04,2.036037e-04,2.006753e-04,1.997431e-04,1.977707e-04,1.948919e-04,1.940336e-04,1.920410e-04,1.892199e-04,1.884355e-04,1.864301e-04,1.836731e-04,1.829619e-04,1.809504e-04,1.782630e-04,1.776234e-04,1.756120e-04,1.729984e-04,1.724285e-04,1.704230e-04,1.678864e-04,1.673839e-04,1.653894e-04,1.629324e-04,1.624944e-04,1.605157e-04,1.581399e-04,1.577635e-04,1.558050e-04,1.535114e-04,1.531936e-04,1.512590e-04,1.490481e-04,1.487856e-04,1.468785e-04,1.447503e-04,1.445397e-04,1.426632e-04,1.406173e-04,1.404554e-04,1.386122e-04,1.366477e-04,1.365312e-04,1.347237e-04,1.328397e-04,1.327651e-04,1.309954e-04,1.291905e-04,1.291548e-04,1.274246e-04,1.256974e-04,1.223895e-04,1.192277e-04,1.162083e-04,1.133273e-04,1.105806e-04,1.079642e-04,1.054737e-04,1.031049e-04,1.008536e-04,9.871543e-05,9.668629e-05,9.476195e-05,9.293830e-05,9.121129e-05,8.957698e-05,8.803148e-05,8.657103e-05,8.519193e-05,8.389063e-05,8.266365e-05,8.150763e-05,8.041933e-05,7.939561e-05,7.843342e-05,7.752986e-05,7.668211e-05,7.588746e-05,7.514330e-05,7.444713e-05,7.379656e-05,7.318928e-05,7.262308e-05,7.209585e-05,7.160556e-05,7.115027e-05,7.072814e-05,7.033739e-05,6.997632e-05,6.964333e-05,6.933687e-05,6.905546e-05,6.879772e-05,6.856229e-05,6.834791e-05,6.815337e-05,6.797750e-05,6.781921e-05,6.767745e-05,6.755123e-05
0.000000e+00,1.668306e-08,1.992987e-07,2.076320e-07,1.213821e-06,4.288648e-06,4.484454e-06,1.141864e-05,2.086620e-05,2.152370e-05,3.270053e-05,4.268527e-05,4.352399e-05,5.354251e-05,6.180117e-05,6.267479e-05,7.094170e-05,7.753803e-05,7.839042e-05,8.507375e-05,9.024938e-05,9.104425e-05,9.635249e-05,1.003349e-04,1.010467e-04,1.051722e-04,1.081612e-04,1.087723e-04,1.118872e-04,1.140552e-04,1.145546e-04,1.168100e-04,1.183046e-04,1.186866e-04,1.202150e-04,1.211617e-04,1.214242e-04,1.223409e-04,1.228457e-04,1.229901e-04,1.233949e-04,1.235472e-04,1.235769e-04,1.235562e-04,1.234310e-04,1.233511e-04,1.229790e-04,1.226387e-04,1.224558e-04,1.217961e-04,1.212927e-04,1.210137e-04,1.201212e-04,1.194976e-04,1.191302e-04,1.180515e-04,1.173431e-04,1.168952e-04,1.156703e-04,1.149060e-04,1.143853e-04,1.130481e-04,1.122515e-04,1.116659e-04,1.102452e-04,1.094351e-04,1.087921e-04,1.073123e-04,1.065039e-04,1.058108e-04,1.042924e-04,1.034975e-04,1.027613e-04,1.012214e-04,1.004494e-04,9.967645e-05,9.812958e-05,9.738729e-05,9.658380e-05,9.504182e-05,9.433447e-05,9.350610e-05,9.197884e-05,9.131005e-05,9.046205e-05,8.895753e-05,8.832968e-05,8.746689e-05,8.599159e-05,8.540606e-05,8.453291e-05,8.309200e-05,8.254932e-05,8.166985e-05,8.026736e-05,7.976742e-05,7.888528e-05,7.752430e-05,7.706647e-05,7.618497e-05,7.486778e-05,7.445102e-05,7.357311e-05,7.230130e-05,7.192425e-05,7.105259e-05,6.982718e-05,6.948826e-05,6.862520e-05,6.744672e-05,6.714417e-05,6.629178e-05,6.516038e-05,6.489233e-05,6.405244e-05,6.296790e-05,6.273243e-05,6.190662e-05,6.086847e-05,6.066360e-05,5.985326e-05,5.886079e-05,5.868455e-05,5.789085e-05,5.694320e-05,5.679363e-05,5.601758e-05,5.511371e-05,5.498889e-05,5.423131e-05,5.337009e-05,5.326816e-05,5.252974e-05,5.170995e-05,5.162909e-05,5.091039e-05,5.013073e-05,5.006920e-05,4.937064e-05,4.862979e-05,4.858594e-05,4.790784e-05,4.720444e-05,4.717668e-05,4.651925e-05,4.585193e-05,4.583876e-05,4.520214e-05,4.456952e-05,4.336629e-05,4.222644e-05,4.114738e-05,4.012654e-05,3.916143e-05,3.824962e-05,3.738874e-05,3.657647e-05,3.581060e-05,3.508896e-05,3.440947e-05,3.377014e-05,3.316902e-05,3.260426e-05,3.207408e-05,3.157676e-05,3.111066e-05,3.067420e-05,3.026588e-05,2.988426e-05,2.952796e-05,2.919566e-05,2.888610e-05,2.859807e-05,2.833043e-05,2.808209e-05,2.785199e-05,2.763914e-05,2.744258e-05,2.726142e-05,2.709479e-05,2.694187e-05,2.680187e-05,2.667406e-05,2.655771e-05,2.645216e-05,2.635676e-05,2.627091e-05,2.619403e-05,2.612556e-05,2.606497e-05,2.601179e-05,2.596552e-05,2.592573e-05,2.589198e-05,2.586388e-05,2.584104e-05,2.582310e-05,2.580971e-05
0.000000e+00,1.962888e-08,3.041255e-07,3.180009e-07,2.027808e-06,6.949619e-06,7.248656e-06,1.709033e-05,2.904516e-05,2.984288e-05,4.316123e-05,5.506002e-05,5.607013e-05,6.833194e-05,7.877950e-05,7.990602e-05,9.079964e-05,9.983849e-05,1.010323e-04,1.106271e-04,1.183872e-04,1.196087e-04,1.280033e-04,1.346188e-04,1.358351e-04,1.431283e-04,1.487239e-04,1.499072e-04,1.561957e-04,1.608889e-04,1.620168e-04,1.673929e-04,1.712911e-04,1.723454e-04,1.768953e-04,1.800963e-04,1.810625e-04,1.848661e-04,1.874576e-04,1.883246e-04,1.914555e-04,1.935164e-04,1.942757e-04,1.968015e-04,1.984026e-04,1.990482e-04,2.010306e-04,2.022350e-04,2.027630e-04,2.042586e-04,2.051225e-04,2.055306e-04,2.065912e-04,2.071644e-04,2.074521e-04,2.081245e-04,2.084515e-04,2.086193e-04,2.089465e-04,2.090665e-04,2.091159e-04,2.091369e-04,2.090845e-04,2.090182e-04,2.087684e-04,2.085741e-04,2.083953e-04,2.079068e-04,2.075976e-04,2.073101e-04,2.066121e-04,2.062113e-04,2.058195e-04,2.049385e-04,2.044667e-04,2.039751e-04,2.029350e-04,2.024102e-04,2.018237e-04,2.006462e-04,2.000838e-04,1.994076e-04,1.981123e-04,1.975256e-04,1.967648e-04,1.953694e-04,1.947700e-04,1.939300e-04,1.924504e-04,1.918481e-04,1.909342e-04,1.893847e-04,1.887879e-04,1.878052e-04,1.861988e-04,1.856144e-04,1.845683e-04,1.829165e-04,1.823505e-04,1.812460e-04,1.795592e-04,1.790163e-04,1.778584e-04,1.761459e-04,1.756302e-04,1.744238e-04,1.726939e-04,1.722084e-04,1.709581e-04,1.692182e-04,1.687654e-04,1.674759e-04,1.657325e-04,1.653142e-04,1.639897e-04,1.622488e-04,1.618662e-04,1.605111e-04,1.587777e-04,1.584317e-04,1.570499e-04,1.553286e-04,1.550195e-04,1.536149e-04,1.519097e-04,1.516378e-04,1.502139e-04,1.485283e-04,1.482932e-04,1.468537e-04,1.451907e-04,1.449919e-04,1.435400e-04,1.419022e-04,1.417391e-04,1.402779e-04,1.386676e-04,1.385393e-04,1.370717e-04,1.354907e-04,1.353964e-04,1.339251e-04,1.323751e-04,1.323134e-04,1.308411e-04,1.293234e-04,1.292932e-04,1.278223e-04,1.263381e-04,1.234497e-04,1.206296e-04,1.178787e-04,1.151978e-04,1.125874e-04,1.100478e-04,1.075788e-04,1.051803e-04,1.028519e-04,1.005931e-04,9.840336e-05,9.628177e-05,9.422750e-05,9.223959e-05,9.031699e-05,8.845861e-05,8.666328e-05,8.492981e-05,8.325694e-05,8.164341e-05,8.008795e-05,7.858923e-05,7.714594e-05,7.575676e-05,7.442035e-05,7.313539e-05,7.190055e-05,7.071453e-05,6.957600e-05,6.848368e-05,6.743628e-05,6.643254e-05,6.547121e-05,6.455106e-05,6.367087e-05,6.282947e-05,6.202568e-05,6.125834e-05,6.052634e-05,5.982857e-05,5.916394e-05,5.853140e-05,5.792991e-05,5.735845e-05,5.681605e-05,5.630172e-05,5.581452e-05,5.535354e-05,5.491787e-05
0.000000e+00,5.846000e-09,6.769603e-08,7.048014e-08,3.960006e-07,1.336574e-06,1.394814e-06,3.373042e-06,5.873951e-06,6.042010e-06,8.829511e-06,1.125966e-05,1.146258e-05,1.387907e-05,1.586565e-05,1.607566e-05,1.806240e-05,1.964726e-05,1.985204e-05,2.145757e-05,2.270069e-05,2.289158e-05,2.416619e-05,2.512213e-05,2.529293e-05,2.628272e-05,2.699946e-05,2.714594e-05,2.789231e-05,2.841145e-05,2.853099e-05,2.907057e-05,2.942782e-05,2.951906e-05,2.988394e-05,3.010961e-05,3.017215e-05,3.039018e-05,3.050990e-05,3.054405e-05,3.063934e-05,3.067461e-05,3.068124e-05,3.067454e-05,3.064333e-05,3.062369e-05,3.053280e-05,3.045009e-05,3.040570e-05,3.024590e-05,3.012413e-05,3.005669e-05,2.984109e-05,2.969055e-05,2.960187e-05,2.934161e-05,2.917072e-05,2.906266e-05,2.876723e-05,2.858289e-05,2.845731e-05,2.813475e-05,2.794255e-05,2.780126e-05,2.745840e-05,2.726286e-05,2.710763e-05,2.675025e-05,2.655495e-05,2.638748e-05,2.602043e-05,2.582821e-05,2.565011e-05,2.527744e-05,2.509050e-05,2.490329e-05,2.452841e-05,2.434842e-05,2.415352e-05,2.377924e-05,2.360745e-05,2.340617e-05,2.303483e-05,2.287211e-05,2.266568e-05,2.229916e-05,2.214610e-05,2.193565e-05,2.157550e-05,2.143245e-05,2.121901e-05,2.086646e-05,2.073357e-05,2.051808e-05,2.017409e-05,2.005137e-05,1.983468e-05,1.950001e-05,1.938732e-05,1.917021e-05,1.884541e-05,1.874255e-05,1.852571e-05,1.821119e-05,1.811785e-05,1.790191e-05,1.759793e-05,1.751377e-05,1.729928e-05,1.700600e-05,1.693062e-05,1.671809e-05,1.643556e-05,1.636856e-05,1.615842e-05,1.588663e-05,1.582756e-05,1.562019e-05,1.535907e-05,1.530748e-05,1.510323e-05,1.485264e-05,1.480808e-05,1.460724e-05,1.436700e-05,1.432903e-05,1.413185e-05,1.390175e-05,1.386993e-05,1.367663e-05,1.345643e-05,1.343034e-05,1.324109e-05,1.303054e-05,1.300975e-05,1.282471e-05,1.262354e-05,1.260764e-05,1.242694e-05,1.223485e-05,1.222347e-05,1.204720e-05,1.186391e-05,1.185667e-05,1.168491e-05,1.151011e-05,1.150666e-05,1.133946e-05,1.117287e-05,1.085472e-05,1.055164e-05,1.026305e-05,9.988385e-06,9.727105e-06,9.478666e-06,9.242543e-06,9.018224e-06,8.805211e-06,8.603022e-06,8.411190e-06,8.229263e-06,8.056807e-06,7.893399e-06,7.738636e-06,7.592129e-06,7.453501e-06,7.322394e-06,7.198462e-06,7.081372e-06,6.970806e-06,6.866459e-06,6.768038e-06,6.675264e-06,6.587868e-06,6.505592e-06,6.428192e-06,6.355431e-06,6.287086e-06,6.222940e-06,6.162789e-06,6.106435e-06,6.053691e-06,6.004378e-06,5.958324e-06,5.915365e-06,5.875346e-06,5.838116e-06,5.803534e-06,5.771463e-06,5.741775e-06,5.714344e-06,5.689054e-06,5.665791e-06,5.644448e-06,5.624923e-06,5.607118e-06,5.590940e-06,5.576301e-06
0.000000e+00,9.546141e-08,1.686652e-06,1.766199e-06,1.276357e-05,5.327773e-05,5.606944e-05,1.649961e-04,3.347853e-04,3.473151e-04,5.721232e-04,7.878863e-04,8.064777e-04,1.032446e-03,1.222502e-03,1.242741e-03,1.435170e-03,1.589644e-03,1.609654e-03,1.766915e-03,1.889136e-03,1.907942e-03,2.033793e-03,2.128542e-03,2.145508e-03,2.244094e-03,2.315809e-03,2.330507e-03,2.405655e-03,2.458242e-03,2.470397e-03,2.525539e-03,2.562378e-03,2.571843e-03,2.610021e-03,2.634015e-03,2.640742e-03,2.664629e-03,2.678249e-03,2.682264e-03,2.694189e-03,2.699525e-03,2.700910e-03,2.702895e-03,2.701703e-03,2.700583e-03,2.694377e-03,2.688125e-03,2.684653e-03,2.671757e-03,2.661666e-03,2.656011e-03,2.637711e-03,2.624786e-03,2.617131e-03,2.594523e-03,2.579592e-03,2.570122e-03,2.544142e-03,2.527879e-03,2.516781e-03,2.488221e-03,2.471174e-03,2.458630e-03,2.428162e-03,2.410771e-03,2.396959e-03,2.365149e-03,2.347762e-03,2.332852e-03,2.300174e-03,2.283066e-03,2.267217e-03,2.234070e-03,2.217451e-03,2.200814e-03,2.167526e-03,2.151556e-03,2.134273e-03,2.101115e-03,2.085911e-03,2.068110e-03,2.035306e-03,2.020948e-03,2.002749e-03,1.970479e-03,1.957020e-03,1.938532e-03,1.906939e-03,1.894408e-03,1.875731e-03,1.844930e-03,1.833338e-03,1.814560e-03,1.784639e-03,1.773981e-03,1.755184e-03,1.726208e-03,1.716467e-03,1.697723e-03,1.669739e-03,1.660891e-03,1.642264e-03,1.615304e-03,1.607317e-03,1.588863e-03,1.562945e-03,1.555782e-03,1.537552e-03,1.512684e-03,1.506304e-03,1.488341e-03,1.464521e-03,1.458882e-03,1.441223e-03,1.418443e-03,1.413501e-03,1.396178e-03,1.374423e-03,1.370133e-03,1.353174e-03,1.332424e-03,1.328742e-03,1.312169e-03,1.292402e-03,1.289284e-03,1.273116e-03,1.254305e-03,1.251709e-03,1.235961e-03,1.218077e-03,1.215961e-03,1.200645e-03,1.183658e-03,1.181983e-03,1.167107e-03,1.150986e-03,1.149714e-03,1.135285e-03,1.119997e-03,1.119092e-03,1.105113e-03,1.090626e-03,1.090055e-03,1.076527e-03,1.062808e-03,1.062538e-03,1.049462e-03,1.036479e-03,1.011816e-03,9.884878e-04,9.664341e-04,9.455963e-04,9.259176e-04,9.073425e-04,8.898175e-04,8.732912e-04,8.577136e-04,8.430371e-04,8.292156e-04,8.162052e-04,8.039637e-04,7.924507e-04,7.816278e-04,7.714583e-04,7.619069e-04,7.529405e-04,7.445270e-04,7.366364e-04,7.292397e-04,7.223096e-04,7.158201e-04,7.097465e-04,7.040654e-04,6.987546e-04,6.937929e-04,6.891604e-04,6.848380e-04,6.808079e-04,6.770530e-04,6.735572e-04,6.703053e-04,6.672828e-04,6.644760e-04,6.618721e-04,6.594588e-04,6.572246e-04,6.551585e-04,6.532502e-04,6.514899e-04,6.498685e-04,6.483772e-04,6.470079e-04,6.457527e-04,6.446043e-04,6.435558e-04,6.426007e-04,6.417329e-04
0.000000e+00,2.309987e-08,2.912091e-07,3.036810e-07,1.828365e-06,6.338703e-06,6.614906e-06,1.552699e-05,2.568980e-05,2.634817e-05,3.713050e-05,4.654517e-05,4.733748e-05,5.687862e-05,6.489777e-05,6.575622e-05,7.399130e-05,8.072689e-05,8.160936e-05,8.863727e-05,9.423017e-05,9.510245e-05,1.010325e-04,1.056203e-04,1.064549e-04,1.113967e-04,1.151090e-04,1.158845e-04,1.199439e-04,1.228996e-04,1.235997e-04,1.268757e-04,1.291821e-04,1.297948e-04,1.323786e-04,1.341310e-04,1.346480e-04,1.366226e-04,1.379051e-04,1.383211e-04,1.397614e-04,1.406480e-04,1.409603e-04,1.419337e-04,1.424890e-04,1.426966e-04,1.432634e-04,1.435437e-04,1.436476e-04,1.438619e-04,1.439162e-04,1.439185e-04,1.438288e-04,1.436995e-04,1.436035e-04,1.432528e-04,1.429767e-04,1.427864e-04,1.422134e-04,1.418219e-04,1.415422e-04,1.407809e-04,1.403012e-04,1.399373e-04,1.390183e-04,1.384732e-04,1.380306e-04,1.369806e-04,1.363897e-04,1.358741e-04,1.347166e-04,1.340964e-04,1.335135e-04,1.322695e-04,1.316337e-04,1.309893e-04,1.296772e-04,1.290372e-04,1.283371e-04,1.269730e-04,1.263383e-04,1.255882e-04,1.241861e-04,1.235645e-04,1.227697e-04,1.213420e-04,1.207397e-04,1.199057e-04,1.184631e-04,1.178849e-04,1.170167e-04,1.155685e-04,1.150182e-04,1.141207e-04,1.126750e-04,1.121555e-04,1.112333e-04,1.097970e-04,1.093102e-04,1.083677e-04,1.069467e-04,1.064940e-04,1.055353e-04,1.041346e-04,1.037167e-04,1.027457e-04,1.013695e-04,1.009866e-04,1.000069e-04,9.865876e-05,9.831069e-05,9.732573e-05,9.600849e-05,9.569476e-05,9.470762e-05,9.342365e-05,9.314349e-05,9.215705e-05,9.090823e-05,9.066063e-05,8.967754e-05,8.846530e-05,8.824908e-05,8.727178e-05,8.609720e-05,8.591104e-05,8.494175e-05,8.380558e-05,8.364806e-05,8.268879e-05,8.159149e-05,8.146113e-05,8.051372e-05,7.945551e-05,7.935076e-05,7.841686e-05,7.739774e-05,7.731705e-05,7.639812e-05,7.541792e-05,7.535973e-05,7.445707e-05,7.351546e-05,7.347820e-05,7.259298e-05,7.168949e-05,7.167161e-05,7.080484e-05,6.993888e-05,6.827874e-05,6.668975e-05,6.517035e-05,6.371888e-05,6.233356e-05,6.101260e-05,5.975410e-05,5.855617e-05,5.741689e-05,5.633431e-05,5.530650e-05,5.433154e-05,5.340750e-05,5.253250e-05,5.170467e-05,5.092218e-05,5.018324e-05,4.948607e-05,4.882896e-05,4.821023e-05,4.762825e-05,4.708143e-05,4.656821e-05,4.608712e-05,4.563669e-05,4.521553e-05,4.482227e-05,4.445561e-05,4.411427e-05,4.379704e-05,4.350273e-05,4.323022e-05,4.297841e-05,4.274626e-05,4.253274e-05,4.233691e-05,4.215781e-05,4.199457e-05,4.184633e-05,4.171226e-05,4.159158e-05,4.148353e-05,4.138740e-05,4.130249e-05,4.122815e-05,4.116375e-05,4.110868e-05,4.106237e-05,4.102428e-05
0.000000e+00,6.471516e-08,1.197472e-06,1.254997e-06,9.409746e-06,4.037192e-05,4.252881e-05,1.276373e-04,2.625578e-04,2.726237e-04,4.561400e-04,6.375313e-04,6.533891e-04,8.486969e-04,1.016117e-03,1.034087e-03,1.206068e-03,1.345359e-03,1.363470e-03,1.506259e-03,1.617737e-03,1.634925e-03,1.750186e-03,1.837233e-03,1.852845e-03,1.943721e-03,2.010014e-03,2.023621e-03,2.093321e-03,2.142239e-03,2.153566e-03,2.205062e-03,2.239589e-03,2.248480e-03,2.284452e-03,2.307178e-03,2.313573e-03,2.336401e-03,2.349553e-03,2.353461e-03,2.365243e-03,2.370715e-03,2.372204e-03,2.374771e-03,2.374168e-03,2.373342e-03,2.368287e-03,2.362954e-03,2.359949e-03,2.348648e-03,2.339712e-03,2.334681e-03,2.318320e-03,2.306712e-03,2.299821e-03,2.279419e-03,2.265909e-03,2.257330e-03,2.233756e-03,2.218976e-03,2.208881e-03,2.182876e-03,2.167338e-03,2.155899e-03,2.128093e-03,2.112211e-03,2.099593e-03,2.070519e-03,2.054620e-03,2.040984e-03,2.011089e-03,1.995434e-03,1.980930e-03,1.950590e-03,1.935377e-03,1.920149e-03,1.889676e-03,1.875057e-03,1.859237e-03,1.828889e-03,1.814975e-03,1.798686e-03,1.768675e-03,1.755542e-03,1.738899e-03,1.709396e-03,1.697094e-03,1.680200e-03,1.651341e-03,1.639899e-03,1.622848e-03,1.594742e-03,1.584168e-03,1.567045e-03,1.539775e-03,1.530066e-03,1.512948e-03,1.486575e-03,1.477715e-03,1.460669e-03,1.435239e-03,1.427202e-03,1.410290e-03,1.385830e-03,1.378588e-03,1.361862e-03,1.338388e-03,1.331904e-03,1.315411e-03,1.292930e-03,1.287166e-03,1.270944e-03,1.249453e-03,1.244368e-03,1.228453e-03,1.207942e-03,1.203494e-03,1.187915e-03,1.168367e-03,1.164515e-03,1.149294e-03,1.130690e-03,1.127391e-03,1.112549e-03,1.094865e-03,1.092077e-03,1.077630e-03,1.060838e-03,1.058522e-03,1.044481e-03,1.028553e-03,1.026670e-03,1.013045e-03,9.979495e-04,9.964623e-04,9.832588e-04,9.689649e-04,9.678383e-04,9.550598e-04,9.415353e-04,9.407357e-04,9.283833e-04,9.155958e-04,9.150918e-04,9.031646e-04,8.910817e-04,8.908435e-04,8.793391e-04,8.679288e-04,8.462860e-04,8.258549e-04,8.065767e-04,7.883942e-04,7.712518e-04,7.550960e-04,7.398752e-04,7.255396e-04,7.120419e-04,6.993364e-04,6.873796e-04,6.761300e-04,6.655480e-04,6.555961e-04,6.462383e-04,6.374409e-04,6.291715e-04,6.213997e-04,6.140966e-04,6.072348e-04,6.007885e-04,5.947333e-04,5.890461e-04,5.837052e-04,5.786900e-04,5.739812e-04,5.695606e-04,5.654108e-04,5.615159e-04,5.578604e-04,5.544301e-04,5.512114e-04,5.481917e-04,5.453589e-04,5.427019e-04,5.402101e-04,5.378736e-04,5.356829e-04,5.336294e-04,5.317048e-04,5.299013e-04,5.282117e-04,5.266290e-04,5.251470e-04,5.237595e-04,5.224608e-04,5.212457e-04,5.201092e-04,5.190464e-04
0.000000e+00,4.711777e-10,5.440943e-09,5.666337e-09,3.218490e-08,1.086117e-07,1.133239e-07,2.725046e-07,4.729196e-07,4.863576e-07,7.072469e-07,8.944328e-07,9.097560e-07,1.087955e-06,1.227810e-06,1.242207e-06,1.374363e-06,1.474047e-06,1.486517e-06,1.580691e-06,1.648739e-06,1.658766e-06,1.722463e-06,1.766011e-06,1.773354e-06,1.812868e-06,1.837693e-06,1.842301e-06,1.862825e-06,1.873543e-06,1.875497e-06,1.881272e-06,1.881542e-06,1.881005e-06,1.875468e-06,1.868162e-06,1.865350e-06,1.851271e-06,1.838630e-06,1.833784e-06,1.813383e-06,1.797140e-06,1.790510e-06,1.765555e-06,1.747037e-06,1.738868e-06,1.710761e-06,1.690979e-06,1.681510e-06,1.651359e-06,1.631074e-06,1.620526e-06,1.589203e-06,1.568979e-06,1.557560e-06,1.525743e-06,1.505989e-06,1.493886e-06,1.462100e-06,1.443106e-06,1.430488e-06,1.399139e-06,1.381107e-06,1.368127e-06,1.337512e-06,1.320562e-06,1.307349e-06,1.277682e-06,1.261882e-06,1.248550e-06,1.219982e-06,1.205359e-06,1.192005e-06,1.164638e-06,1.151187e-06,1.137895e-06,1.111788e-06,1.099486e-06,1.086326e-06,1.061512e-06,1.050317e-06,1.037349e-06,1.013836e-06,1.003696e-06,9.909702e-07,9.687471e-07,9.596038e-07,9.471609e-07,9.262039e-07,9.179955e-07,9.058676e-07,8.861424e-07,8.788049e-07,8.670179e-07,8.484831e-07,8.419527e-07,8.305266e-07,8.131361e-07,8.073501e-07,7.962994e-07,7.800038e-07,7.749013e-07,7.642362e-07,7.489838e-07,7.445065e-07,7.342333e-07,7.199717e-07,7.160643e-07,7.061860e-07,6.928631e-07,6.894733e-07,6.799902e-07,6.675548e-07,6.646339e-07,6.555439e-07,6.439454e-07,6.414479e-07,6.327472e-07,6.219371e-07,6.198206e-07,6.115034e-07,6.014346e-07,5.996601e-07,5.917194e-07,5.823467e-07,5.808781e-07,5.733056e-07,5.645858e-07,5.633900e-07,5.561769e-07,5.480688e-07,5.471156e-07,5.402519e-07,5.327168e-07,5.319784e-07,5.254541e-07,5.184549e-07,5.179061e-07,5.117106e-07,5.052126e-07,5.048303e-07,4.989527e-07,4.929230e-07,4.926864e-07,4.871156e-07,4.815232e-07,4.814135e-07,4.761384e-07,4.709542e-07,4.612545e-07,4.522640e-07,4.439350e-07,4.362230e-07,4.290864e-07,4.224859e-07,4.163851e-07,4.107496e-07,4.055475e-07,4.007489e-07,3.963257e-07,3.922519e-07,3.885031e-07,3.850564e-07,3.818908e-07,3.789862e-07,3.763241e-07,3.738874e-07,3.716599e-07,3.696266e-07,3.677735e-07,3.660875e-07,3.645565e-07,3.631691e-07,3.619148e-07,3.607838e-07,3.597668e-07,3.588553e-07,3.580415e-07,3.573179e-07,3.566776e-07,3.561143e-07,3.556220e-07,3.551951e-07,3.548285e-07,3.545174e-07,3.542574e-07,3.540443e-07,3.538744e-07,3.537439e-07,3.536497e-07,3.535886e-07,3.535579e-07,3.535548e-07,3.535769e-07,3.536220e-07,3.536879e-07,3.537728e-07,3.538747e-07
0.000000e+00,1.410810e-07,4.167444e-06,4.398490e-06,3.782035e-05,1.337550e-04,1.390820e-04,2.893243e-04,4.400178e-04,4.495938e-04,6.065758e-04,7.457325e-04,7.575782e-04,9.021786e-04,1.026860e-03,1.040398e-03,1.172346e-03,1.283376e-03,1.298153e-03,1.417957e-03,1.516301e-03,1.531907e-03,1.640159e-03,1.726806e-03,1.742875e-03,1.840223e-03,1.916161e-03,1.932372e-03,2.019491e-03,2.085678e-03,2.101749e-03,2.179314e-03,2.236663e-03,2.252351e-03,2.321022e-03,2.370389e-03,2.385485e-03,2.445895e-03,2.488078e-03,2.502402e-03,2.555155e-03,2.590892e-03,2.604295e-03,2.649961e-03,2.679933e-03,2.692289e-03,2.731409e-03,2.756243e-03,2.767448e-03,2.800529e-03,2.820800e-03,2.830772e-03,2.858291e-03,2.874526e-03,2.883199e-03,2.905603e-03,2.918283e-03,2.925609e-03,2.943318e-03,2.952882e-03,2.958828e-03,2.972234e-03,2.979081e-03,2.983626e-03,2.993095e-03,2.997588e-03,3.000724e-03,3.006597e-03,3.009067e-03,3.010794e-03,3.013391e-03,3.014134e-03,3.014463e-03,3.014082e-03,3.013369e-03,3.012317e-03,3.009235e-03,3.007307e-03,3.004900e-03,2.999374e-03,2.996449e-03,2.992718e-03,2.984989e-03,2.981263e-03,2.976243e-03,2.966533e-03,2.962181e-03,2.955912e-03,2.944429e-03,2.939605e-03,2.932132e-03,2.919067e-03,2.913910e-03,2.905279e-03,2.890810e-03,2.885443e-03,2.875703e-03,2.859995e-03,2.854525e-03,2.843726e-03,2.826933e-03,2.821454e-03,2.809649e-03,2.791911e-03,2.786505e-03,2.773748e-03,2.755194e-03,2.749933e-03,2.736278e-03,2.717029e-03,2.711974e-03,2.697475e-03,2.677642e-03,2.672843e-03,2.657556e-03,2.637240e-03,2.632742e-03,2.616719e-03,2.596015e-03,2.591854e-03,2.575150e-03,2.554143e-03,2.550348e-03,2.533015e-03,2.511785e-03,2.508380e-03,2.490470e-03,2.469088e-03,2.466090e-03,2.447655e-03,2.426188e-03,2.423610e-03,2.404701e-03,2.383208e-03,2.381059e-03,2.361724e-03,2.340260e-03,2.338544e-03,2.318831e-03,2.297447e-03,2.296166e-03,2.276120e-03,2.254860e-03,2.254012e-03,2.233679e-03,2.212585e-03,2.212164e-03,2.191587e-03,2.170695e-03,2.129670e-03,2.089149e-03,2.049184e-03,2.009822e-03,1.971105e-03,1.933069e-03,1.895745e-03,1.859162e-03,1.823343e-03,1.788307e-03,1.754070e-03,1.720647e-03,1.688046e-03,1.656277e-03,1.625344e-03,1.595250e-03,1.565996e-03,1.537582e-03,1.510005e-03,1.483260e-03,1.457342e-03,1.432244e-03,1.407958e-03,1.384476e-03,1.361786e-03,1.339879e-03,1.318741e-03,1.298362e-03,1.278728e-03,1.259826e-03,1.241641e-03,1.224159e-03,1.207366e-03,1.191246e-03,1.175785e-03,1.160967e-03,1.146776e-03,1.133197e-03,1.120213e-03,1.107810e-03,1.095971e-03,1.084680e-03,1.073921e-03,1.063680e-03,1.053939e-03,1.044684e-03,1.035900e-03,1.027570e-03,1.019680e-03
0.000000e+00,8.778568e-07,2.744499e-05,2.902081e-05,2.866313e-04,1.234634e-03,1.295564e-03,3.377792e-03,6.160912e-03,6.359948e-03,9.960077e-03,1.360970e-02,1.393695e-02,1.810116e-02,2.188853e-02,2.230774e-02,2.644773e-02,2.997168e-02,3.044106e-02,3.423068e-02,3.729684e-02,3.777780e-02,4.105800e-02,4.359721e-02,4.405814e-02,4.677370e-02,4.878942e-02,4.920678e-02,5.136437e-02,5.289908e-02,5.325701e-02,5.489768e-02,5.601184e-02,5.630098e-02,5.748243e-02,5.824175e-02,5.845796e-02,5.924349e-02,5.971169e-02,5.985469e-02,6.030666e-02,6.054164e-02,6.061388e-02,6.079004e-02,6.084230e-02,6.084801e-02,6.079980e-02,6.071207e-02,6.065653e-02,6.042850e-02,6.023620e-02,6.012516e-02,5.975518e-02,5.948709e-02,5.932644e-02,5.884616e-02,5.852539e-02,5.832087e-02,5.775648e-02,5.740132e-02,5.715834e-02,5.653127e-02,5.615605e-02,5.587963e-02,5.520732e-02,5.482312e-02,5.451785e-02,5.381440e-02,5.342972e-02,5.309978e-02,5.237654e-02,5.199781e-02,5.164695e-02,5.091305e-02,5.054506e-02,5.017665e-02,4.943940e-02,4.908564e-02,4.870273e-02,4.796795e-02,4.763091e-02,4.723622e-02,4.650858e-02,4.618995e-02,4.578593e-02,4.506912e-02,4.476997e-02,4.435885e-02,4.365577e-02,4.337669e-02,4.296046e-02,4.227341e-02,4.201459e-02,4.159506e-02,4.092581e-02,4.068717e-02,4.026599e-02,3.961589e-02,3.939711e-02,3.897576e-02,3.834583e-02,3.814643e-02,3.772627e-02,3.711723e-02,3.693658e-02,3.651883e-02,3.593118e-02,3.576857e-02,3.535434e-02,3.478838e-02,3.464302e-02,3.423333e-02,3.368920e-02,3.356023e-02,3.315600e-02,3.263371e-02,3.252026e-02,3.212230e-02,3.162174e-02,3.152293e-02,3.113198e-02,3.065296e-02,3.056788e-02,3.018461e-02,2.972685e-02,2.965459e-02,2.927960e-02,2.884275e-02,2.878242e-02,2.841623e-02,2.799991e-02,2.795063e-02,2.759369e-02,2.719746e-02,2.715838e-02,2.681110e-02,2.643447e-02,2.640476e-02,2.606747e-02,2.570995e-02,2.568880e-02,2.536179e-02,2.502284e-02,2.500948e-02,2.469298e-02,2.437207e-02,2.436574e-02,2.405995e-02,2.375649e-02,2.318063e-02,2.263703e-02,2.212455e-02,2.164204e-02,2.118836e-02,2.076236e-02,2.036291e-02,1.998888e-02,1.963914e-02,1.931259e-02,1.900815e-02,1.872474e-02,1.846130e-02,1.821682e-02,1.799028e-02,1.778070e-02,1.758714e-02,1.740864e-02,1.724433e-02,1.709331e-02,1.695476e-02,1.682785e-02,1.671180e-02,1.660586e-02,1.650931e-02,1.642146e-02,1.634166e-02,1.626926e-02,1.620368e-02,1.614435e-02,1.609073e-02,1.604231e-02,1.599863e-02,1.595922e-02,1.592368e-02,1.589159e-02,1.586261e-02,1.583638e-02,1.581259e-02,1.579094e-02,1.577117e-02,1.575302e-02,1.573626e-02,1.572068e-02,1.570610e-02,1.569234e-02,1.567925e-02,1.566668e-02,1.565451e-02
0.000000e+00,3.263327e-06,6.650540e-05,6.979765e-05,5.364125e-04,2.210841e-03,2.323348e-03,6.555593e-03,1.295938e-02,1.343350e-02,2.210947e-02,3.081858e-02,3.158725e-02,4.113738e-02,4.940815e-02,5.029781e-02,5.880005e-02,6.562509e-02,6.650522e-02,7.335854e-02,7.856890e-02,7.935841e-02,8.453576e-02,8.828513e-02,8.894031e-02,9.263158e-02,9.517061e-02,9.567297e-02,9.812803e-02,9.971128e-02,1.000581e-01,1.015212e-01,1.023728e-01,1.025708e-01,1.032562e-01,1.035610e-01,1.036219e-01,1.037081e-01,1.036133e-01,1.035509e-01,1.031824e-01,1.028025e-01,1.026313e-01,1.019228e-01,1.013455e-01,1.010795e-01,1.001211e-01,9.941267e-02,9.906508e-02,9.792667e-02,9.713681e-02,9.671935e-02,9.545492e-02,9.462054e-02,9.414371e-02,9.279477e-02,9.194299e-02,9.141600e-02,9.001430e-02,8.916483e-02,8.859572e-02,8.716554e-02,8.633256e-02,8.572837e-02,8.428825e-02,8.348182e-02,8.284869e-02,8.141277e-02,8.063985e-02,7.998319e-02,7.856230e-02,7.782757e-02,7.715217e-02,7.575460e-02,7.506103e-02,7.437117e-02,7.300326e-02,7.235253e-02,7.165207e-02,7.031865e-02,6.971150e-02,6.900392e-02,6.770867e-02,6.714512e-02,6.643360e-02,6.517929e-02,6.465879e-02,6.394624e-02,6.273488e-02,6.225649e-02,6.154557e-02,6.037861e-02,5.994107e-02,5.923423e-02,5.811261e-02,5.771442e-02,5.701389e-02,5.593817e-02,5.557767e-02,5.488549e-02,5.385588e-02,5.353128e-02,5.284933e-02,5.186579e-02,5.157521e-02,5.090519e-02,4.996742e-02,4.970892e-02,4.905238e-02,4.815990e-02,4.793154e-02,4.728985e-02,4.644202e-02,4.624183e-02,4.561623e-02,4.481227e-02,4.463830e-02,4.402990e-02,4.326891e-02,4.311925e-02,4.252903e-02,4.181000e-02,4.168277e-02,4.111157e-02,4.043345e-02,4.032682e-02,3.977537e-02,3.913702e-02,3.904921e-02,3.851813e-02,3.791837e-02,3.784768e-02,3.733746e-02,3.677508e-02,3.671985e-02,3.623091e-02,3.570464e-02,3.566330e-02,3.519595e-02,3.470452e-02,3.467558e-02,3.423003e-02,3.377214e-02,3.375417e-02,3.333054e-02,3.290490e-02,3.289655e-02,3.249489e-02,3.210018e-02,3.136252e-02,3.068104e-02,3.005319e-02,2.947648e-02,2.894841e-02,2.846652e-02,2.802838e-02,2.763160e-02,2.727381e-02,2.695272e-02,2.666606e-02,2.641162e-02,2.618726e-02,2.599087e-02,2.582045e-02,2.567401e-02,2.554966e-02,2.544558e-02,2.536002e-02,2.529130e-02,2.523781e-02,2.519804e-02,2.517053e-02,2.515392e-02,2.514691e-02,2.514829e-02,2.515693e-02,2.517176e-02,2.519180e-02,2.521614e-02,2.524394e-02,2.527442e-02,2.530688e-02,2.534069e-02,2.537527e-02,2.541009e-02,2.544471e-02,2.547870e-02,2.551173e-02,2.554347e-02,2.557367e-02,2.560210e-02,2.562858e-02,2.565296e-02,2.567514e-02,2.569502e-02,2.571255e-02,2.572770e-02,2.574046e-02
0.000000e+00,6.319812e-08,1.145813e-06,1.199714e-06,8.518970e-06,3.514543e-05,3.698720e-05,1.111626e-04,2.397111e-04,2.498998e-04,4.484257e-04,6.625856e-04,6.818710e-04,9.231679e-04,1.130636e-03,1.152671e-03,1.358837e-03,1.516535e-03,1.536229e-03,1.683452e-03,1.786702e-03,1.801567e-03,1.892993e-03,1.951391e-03,1.960781e-03,2.008154e-03,2.033975e-03,2.038251e-03,2.053976e-03,2.057961e-03,2.057922e-03,2.052348e-03,2.042646e-03,2.039187e-03,2.020062e-03,2.002381e-03,1.996327e-03,1.969091e-03,1.947223e-03,1.939261e-03,1.907567e-03,1.883926e-03,1.874594e-03,1.840807e-03,1.816872e-03,1.806573e-03,1.772177e-03,1.748811e-03,1.737842e-03,1.703736e-03,1.681417e-03,1.669990e-03,1.636697e-03,1.615662e-03,1.603929e-03,1.571737e-03,1.552081e-03,1.540153e-03,1.509203e-03,1.490942e-03,1.478898e-03,1.449247e-03,1.432348e-03,1.420249e-03,1.391903e-03,1.376312e-03,1.364204e-03,1.337143e-03,1.322792e-03,1.310711e-03,1.284900e-03,1.271719e-03,1.259697e-03,1.235092e-03,1.223010e-03,1.211074e-03,1.187630e-03,1.176578e-03,1.164751e-03,1.142423e-03,1.132334e-03,1.120635e-03,1.099377e-03,1.090188e-03,1.078637e-03,1.058404e-03,1.050055e-03,1.038668e-03,1.019417e-03,1.011851e-03,1.000642e-03,9.823321e-04,9.754941e-04,9.644769e-04,9.470668e-04,9.409062e-04,9.300919e-04,9.135426e-04,9.080111e-04,8.974095e-04,8.816834e-04,8.767355e-04,8.663550e-04,8.514156e-04,8.470082e-04,8.368561e-04,8.226682e-04,8.187609e-04,8.088431e-04,7.953727e-04,7.919275e-04,7.822487e-04,7.694632e-04,7.664442e-04,7.570083e-04,7.448762e-04,7.422497e-04,7.330595e-04,7.215506e-04,7.192851e-04,7.103424e-04,6.994277e-04,6.974937e-04,6.887995e-04,6.784511e-04,6.768208e-04,6.683757e-04,6.585668e-04,6.572144e-04,6.490179e-04,6.397229e-04,6.386243e-04,6.306755e-04,6.218699e-04,6.210023e-04,6.132999e-04,6.049601e-04,6.043027e-04,5.968446e-04,5.889481e-04,5.884812e-04,5.812652e-04,5.737905e-04,5.734958e-04,5.665190e-04,5.594457e-04,5.593062e-04,5.525656e-04,5.458740e-04,5.331623e-04,5.211360e-04,5.097617e-04,4.990074e-04,4.888424e-04,4.792377e-04,4.701655e-04,4.615994e-04,4.535141e-04,4.458855e-04,4.386908e-04,4.319080e-04,4.255165e-04,4.194963e-04,4.138286e-04,4.084954e-04,4.034797e-04,3.987651e-04,3.943361e-04,3.901780e-04,3.862767e-04,3.826190e-04,3.791919e-04,3.759836e-04,3.729824e-04,3.701774e-04,3.675582e-04,3.651149e-04,3.628381e-04,3.607188e-04,3.587486e-04,3.569193e-04,3.552233e-04,3.536532e-04,3.522021e-04,3.508634e-04,3.496309e-04,3.484985e-04,3.474607e-04,3.465120e-04,3.456474e-04,3.448620e-04,3.441512e-04,3.435107e-04,3.429364e-04,3.424242e-04,3.419704e-04,3.415716e-04,3.412244e-04
0.000000e+00,3.244209e-08,6.018042e-07,6.309124e-07,4.681569e-06,1.899610e-05,1.995367e-05,5.561641e-05,1.072596e-04,1.109360e-04,1.744110e-04,2.316463e-04,2.364357e-04,2.930734e-04,3.386523e-04,3.434018e-04,3.875705e-04,4.217041e-04,4.260358e-04,4.593119e-04,4.841588e-04,4.878958e-04,5.122503e-04,5.297521e-04,5.328010e-04,5.499359e-04,5.616870e-04,5.640091e-04,5.753432e-04,5.826361e-04,5.842311e-04,5.909384e-04,5.948119e-04,5.957056e-04,5.987501e-04,6.000334e-04,6.002683e-04,6.004372e-04,5.997878e-04,5.994162e-04,5.973489e-04,5.952857e-04,5.943646e-04,5.905791e-04,5.875089e-04,5.860968e-04,5.810110e-04,5.772511e-04,5.754056e-04,5.693556e-04,5.651521e-04,5.629283e-04,5.561838e-04,5.517258e-04,5.491756e-04,5.419518e-04,5.373836e-04,5.345550e-04,5.270233e-04,5.224537e-04,5.193905e-04,5.116866e-04,5.071964e-04,5.039383e-04,4.961690e-04,4.918169e-04,4.883996e-04,4.806483e-04,4.764759e-04,4.729313e-04,4.652625e-04,4.612980e-04,4.576544e-04,4.501176e-04,4.463788e-04,4.426613e-04,4.352934e-04,4.317903e-04,4.280208e-04,4.208493e-04,4.175856e-04,4.137836e-04,4.068278e-04,4.038029e-04,3.999851e-04,3.932583e-04,3.904680e-04,3.866493e-04,3.801596e-04,3.775974e-04,3.737903e-04,3.675422e-04,3.651997e-04,3.614153e-04,3.554099e-04,3.532776e-04,3.495255e-04,3.437615e-04,3.418291e-04,3.381174e-04,3.325920e-04,3.308487e-04,3.271842e-04,3.218929e-04,3.203280e-04,3.167166e-04,3.116539e-04,3.102565e-04,3.067032e-04,3.018628e-04,3.006221e-04,2.971310e-04,2.925062e-04,2.914119e-04,2.879864e-04,2.835700e-04,2.826120e-04,2.792549e-04,2.750395e-04,2.742082e-04,2.709217e-04,2.668998e-04,2.661858e-04,2.629718e-04,2.591359e-04,2.585305e-04,2.553902e-04,2.517328e-04,2.512277e-04,2.481620e-04,2.446759e-04,2.442632e-04,2.412727e-04,2.379507e-04,2.376228e-04,2.347080e-04,2.315429e-04,2.312930e-04,2.284539e-04,2.254390e-04,2.252605e-04,2.224968e-04,2.196256e-04,2.195122e-04,2.168238e-04,2.140897e-04,2.140358e-04,2.114220e-04,2.088191e-04,2.038506e-04,1.991190e-04,1.946138e-04,1.903245e-04,1.862414e-04,1.823549e-04,1.786560e-04,1.751362e-04,1.717870e-04,1.686006e-04,1.655694e-04,1.626863e-04,1.599442e-04,1.573367e-04,1.548574e-04,1.525003e-04,1.502597e-04,1.481302e-04,1.461066e-04,1.441838e-04,1.423571e-04,1.406220e-04,1.389742e-04,1.374095e-04,1.359241e-04,1.345141e-04,1.331761e-04,1.319066e-04,1.307023e-04,1.295602e-04,1.284773e-04,1.274508e-04,1.264780e-04,1.255563e-04,1.246834e-04,1.238568e-04,1.230744e-04,1.223340e-04,1.216336e-04,1.209713e-04,1.203453e-04,1.197538e-04,1.191951e-04,1.186677e-04,1.181700e-04,1.177007e-04,1.172582e-04,1.168414e-04,1.164489e-04
0.000000e+00,4.174984e-08,8.214267e-07,8.617105e-07,6.533552e-06,2.703811e-05,2.843054e-05,8.213571e-05,1.668341e-04,1.731804e-04,2.884231e-04,3.986429e-04,4.079893e-04,5.181116e-04,6.038617e-04,6.125295e-04,6.897596e-04,7.442059e-04,7.507212e-04,7.973215e-04,8.275598e-04,8.317205e-04,8.559875e-04,8.698955e-04,8.719624e-04,8.812203e-04,8.847317e-04,8.850795e-04,8.846289e-04,8.817708e-04,8.807608e-04,8.742024e-04,8.676032e-04,8.655441e-04,8.552639e-04,8.466068e-04,8.437481e-04,8.313077e-04,8.216556e-04,8.181929e-04,8.046045e-04,7.946193e-04,7.907034e-04,7.766180e-04,7.667041e-04,7.624504e-04,7.482816e-04,7.386795e-04,7.341758e-04,7.201834e-04,7.110300e-04,7.063436e-04,6.926867e-04,6.840530e-04,6.792354e-04,6.660070e-04,6.579233e-04,6.530146e-04,6.402672e-04,6.327389e-04,6.277706e-04,6.155285e-04,6.085457e-04,6.035432e-04,5.918155e-04,5.853601e-04,5.803443e-04,5.691279e-04,5.631761e-04,5.581637e-04,5.474489e-04,5.419746e-04,5.369800e-04,5.267528e-04,5.217286e-04,5.167632e-04,5.070067e-04,5.024051e-04,4.974789e-04,4.881750e-04,4.839692e-04,4.790906e-04,4.702211e-04,4.663855e-04,4.615620e-04,4.531086e-04,4.496185e-04,4.448565e-04,4.368012e-04,4.336332e-04,4.289384e-04,4.212636e-04,4.183957e-04,4.137728e-04,4.064617e-04,4.038728e-04,3.993261e-04,3.923620e-04,3.900326e-04,3.855654e-04,3.789326e-04,3.768440e-04,3.724596e-04,3.661427e-04,3.642776e-04,3.599784e-04,3.539631e-04,3.523050e-04,3.480932e-04,3.423654e-04,3.408990e-04,3.367763e-04,3.313227e-04,3.300336e-04,3.260013e-04,3.208091e-04,3.196839e-04,3.157431e-04,3.108001e-04,3.098261e-04,3.059775e-04,3.012721e-04,3.004374e-04,2.966814e-04,2.922026e-04,2.914962e-04,2.878331e-04,2.835701e-04,2.829817e-04,2.794113e-04,2.753541e-04,2.748740e-04,2.713961e-04,2.675350e-04,2.671542e-04,2.637685e-04,2.600942e-04,2.598042e-04,2.565101e-04,2.530139e-04,2.528069e-04,2.496036e-04,2.462770e-04,2.461457e-04,2.430323e-04,2.398674e-04,2.398049e-04,2.367805e-04,2.337697e-04,2.280255e-04,2.225590e-04,2.173569e-04,2.124070e-04,2.076973e-04,2.032166e-04,1.989542e-04,1.948998e-04,1.910435e-04,1.873761e-04,1.838887e-04,1.805727e-04,1.774201e-04,1.744232e-04,1.715747e-04,1.688674e-04,1.662948e-04,1.638505e-04,1.615284e-04,1.593227e-04,1.572280e-04,1.552389e-04,1.533504e-04,1.515578e-04,1.498565e-04,1.482422e-04,1.467107e-04,1.452582e-04,1.438807e-04,1.425749e-04,1.413372e-04,1.401644e-04,1.390534e-04,1.380012e-04,1.370051e-04,1.360623e-04,1.351703e-04,1.343266e-04,1.335290e-04,1.327752e-04,1.320631e-04,1.313907e-04,1.307561e-04,1.301574e-04,1.295929e-04,1.290610e-04,1.285600e-04,1.280885e-04,1.276450e-04
0.000000e+00,4.942360e-10,6.816348e-09,7.115142e-09,4.196400e-08,1.345261e-07,1.399431e-07,3.101911e-07,5.030491e-07,5.155350e-07,7.184512e-07,8.918213e-07,9.062124e-07,1.076849e-06,1.216235e-06,1.230927e-06,1.369519e-06,1.479574e-06,1.493763e-06,1.604764e-06,1.690435e-06,1.703571e-06,1.791165e-06,1.856755e-06,1.868467e-06,1.936332e-06,1.985499e-06,1.995555e-06,2.046870e-06,2.082687e-06,2.090957e-06,2.128441e-06,2.153469e-06,2.159900e-06,2.185865e-06,2.202224e-06,2.206822e-06,2.223222e-06,2.232667e-06,2.235476e-06,2.243964e-06,2.247939e-06,2.249032e-06,2.250999e-06,2.250687e-06,2.250156e-06,2.246772e-06,2.243146e-06,2.241094e-06,2.233350e-06,2.227207e-06,2.223745e-06,2.212471e-06,2.204459e-06,2.199700e-06,2.185592e-06,2.176238e-06,2.170292e-06,2.153935e-06,2.143664e-06,2.136643e-06,2.118528e-06,2.107685e-06,2.099692e-06,2.080228e-06,2.069086e-06,2.060221e-06,2.039750e-06,2.028527e-06,2.018885e-06,1.997690e-06,1.986559e-06,1.976225e-06,1.954544e-06,1.943637e-06,1.932695e-06,1.910722e-06,1.900144e-06,1.888667e-06,1.866566e-06,1.856393e-06,1.844452e-06,1.822355e-06,1.812646e-06,1.800304e-06,1.778321e-06,1.769115e-06,1.756430e-06,1.734651e-06,1.725975e-06,1.713001e-06,1.691498e-06,1.683367e-06,1.670154e-06,1.648984e-06,1.641407e-06,1.627999e-06,1.607208e-06,1.600185e-06,1.586621e-06,1.566246e-06,1.559772e-06,1.546090e-06,1.526158e-06,1.520223e-06,1.506456e-06,1.486987e-06,1.481579e-06,1.467757e-06,1.448767e-06,1.443869e-06,1.430020e-06,1.411519e-06,1.407115e-06,1.393263e-06,1.375256e-06,1.371327e-06,1.357496e-06,1.339985e-06,1.336513e-06,1.322722e-06,1.305707e-06,1.302671e-06,1.288939e-06,1.272418e-06,1.269797e-06,1.256141e-06,1.240109e-06,1.237883e-06,1.224318e-06,1.208769e-06,1.206919e-06,1.193458e-06,1.178385e-06,1.176891e-06,1.163546e-06,1.148941e-06,1.147782e-06,1.134565e-06,1.120419e-06,1.119577e-06,1.106498e-06,1.092800e-06,1.092257e-06,1.079324e-06,1.066066e-06,1.065803e-06,1.053024e-06,1.040195e-06,1.015414e-06,9.914378e-07,9.682470e-07,9.458207e-07,9.241383e-07,9.031793e-07,8.829236e-07,8.633512e-07,8.444425e-07,8.261781e-07,8.085392e-07,7.915073e-07,7.750641e-07,7.591920e-07,7.438736e-07,7.290920e-07,7.148309e-07,7.010742e-07,6.878062e-07,6.750119e-07,6.626763e-07,6.507853e-07,6.393247e-07,6.282811e-07,6.176413e-07,6.073925e-07,5.975222e-07,5.880184e-07,5.788695e-07,5.700640e-07,5.615909e-07,5.534396e-07,5.455996e-07,5.380610e-07,5.308139e-07,5.238488e-07,5.171567e-07,5.107285e-07,5.045557e-07,4.986299e-07,4.929430e-07,4.874870e-07,4.822545e-07,4.772379e-07,4.724301e-07,4.678242e-07,4.634134e-07,4.591912e-07,4.551512e-07
0.000000e+00,7.912668e-10,1.107453e-08,1.154900e-08,6.304132e-08,1.853860e-07,1.922155e-07,3.976694e-07,6.191065e-07,6.332177e-07,8.599748e-07,1.050461e-06,1.066145e-06,1.250517e-06,1.398706e-06,1.414183e-06,1.558647e-06,1.671106e-06,1.685437e-06,1.796020e-06,1.879222e-06,1.891786e-06,1.974037e-06,2.033575e-06,2.043989e-06,2.102767e-06,2.143363e-06,2.151416e-06,2.190893e-06,2.216466e-06,2.222080e-06,2.245791e-06,2.259577e-06,2.262770e-06,2.273698e-06,2.278341e-06,2.279198e-06,2.279840e-06,2.277491e-06,2.276137e-06,2.268556e-06,2.260939e-06,2.257527e-06,2.243440e-06,2.231952e-06,2.226653e-06,2.207506e-06,2.193297e-06,2.186305e-06,2.163315e-06,2.147281e-06,2.138780e-06,2.112921e-06,2.095769e-06,2.085937e-06,2.058010e-06,2.040293e-06,2.029302e-06,1.999961e-06,1.982108e-06,1.970119e-06,1.939898e-06,1.922238e-06,1.909404e-06,1.878736e-06,1.861517e-06,1.847978e-06,1.817210e-06,1.800616e-06,1.786500e-06,1.755910e-06,1.740070e-06,1.725496e-06,1.695305e-06,1.680307e-06,1.665381e-06,1.635761e-06,1.621662e-06,1.606479e-06,1.577563e-06,1.564392e-06,1.549038e-06,1.520926e-06,1.508692e-06,1.493244e-06,1.466008e-06,1.454705e-06,1.439231e-06,1.412923e-06,1.402533e-06,1.387092e-06,1.361744e-06,1.352240e-06,1.336884e-06,1.312515e-06,1.303863e-06,1.288639e-06,1.265255e-06,1.257416e-06,1.242363e-06,1.219961e-06,1.212896e-06,1.198047e-06,1.176617e-06,1.170282e-06,1.155668e-06,1.135194e-06,1.129545e-06,1.115190e-06,1.095650e-06,1.090645e-06,1.076569e-06,1.057940e-06,1.053536e-06,1.039757e-06,1.022011e-06,1.018165e-06,1.004697e-06,9.878058e-07,9.844778e-07,9.713311e-07,9.552651e-07,9.524161e-07,9.396000e-07,9.243281e-07,9.219206e-07,9.094416e-07,8.949327e-07,8.929312e-07,8.807938e-07,8.670169e-07,8.653877e-07,8.535946e-07,8.405190e-07,8.392303e-07,8.277827e-07,8.153780e-07,8.143998e-07,8.032976e-07,7.915342e-07,7.908383e-07,7.800804e-07,7.689290e-07,7.684892e-07,7.580732e-07,7.475058e-07,7.472974e-07,7.372201e-07,7.272094e-07,7.081737e-07,6.901403e-07,6.730614e-07,6.568908e-07,6.415842e-07,6.270993e-07,6.133954e-07,6.004336e-07,5.881770e-07,5.765901e-07,5.656391e-07,5.552919e-07,5.455177e-07,5.362873e-07,5.275730e-07,5.193481e-07,5.115877e-07,5.042676e-07,4.973651e-07,4.908586e-07,4.847275e-07,4.789522e-07,4.735141e-07,4.683957e-07,4.635801e-07,4.590515e-07,4.547946e-07,4.507953e-07,4.470398e-07,4.435152e-07,4.402092e-07,4.371103e-07,4.342073e-07,4.314898e-07,4.289477e-07,4.265717e-07,4.243528e-07,4.222825e-07,4.203526e-07,4.185557e-07,4.168843e-07,4.153316e-07,4.138911e-07,4.125566e-07,4.113222e-07,4.101824e-07,4.091318e-07,4.081654e-07,4.072786e-07
0.000000e+00,7.942740e-10,9.802907e-09,1.021433e-08,5.701509e-08,1.810341e-07,1.883600e-07,4.243949e-07,7.065026e-07,7.251993e-07,1.032612e-06,1.296612e-06,1.318473e-06,1.576423e-06,1.784860e-06,1.806686e-06,2.010979e-06,2.170848e-06,2.191283e-06,2.349556e-06,2.469472e-06,2.487659e-06,2.607343e-06,2.694838e-06,2.710236e-06,2.797850e-06,2.859275e-06,2.871582e-06,2.932720e-06,2.973361e-06,2.982448e-06,3.021852e-06,3.046066e-06,3.051930e-06,3.073593e-06,3.084945e-06,3.087675e-06,3.094940e-06,3.096340e-06,3.096085e-06,3.091749e-06,3.085561e-06,3.082513e-06,3.068908e-06,3.057047e-06,3.051419e-06,3.030487e-06,3.014492e-06,3.006513e-06,2.979864e-06,2.960973e-06,2.950872e-06,2.919841e-06,2.899039e-06,2.887045e-06,2.852735e-06,2.830802e-06,2.817136e-06,2.780455e-06,2.758005e-06,2.742878e-06,2.704572e-06,2.682082e-06,2.665691e-06,2.626372e-06,2.604208e-06,2.586738e-06,2.546901e-06,2.525340e-06,2.506962e-06,2.467010e-06,2.446258e-06,2.427127e-06,2.387384e-06,2.367586e-06,2.347846e-06,2.308571e-06,2.289827e-06,2.269608e-06,2.231003e-06,2.213376e-06,2.192795e-06,2.155019e-06,2.138542e-06,2.117704e-06,2.080878e-06,2.065562e-06,2.044563e-06,2.008777e-06,1.994615e-06,1.973538e-06,1.938857e-06,1.925828e-06,1.904748e-06,1.871216e-06,1.859288e-06,1.838271e-06,1.805916e-06,1.795050e-06,1.774155e-06,1.742989e-06,1.733142e-06,1.712419e-06,1.682444e-06,1.673567e-06,1.653062e-06,1.624270e-06,1.616314e-06,1.596065e-06,1.568443e-06,1.561356e-06,1.541398e-06,1.514924e-06,1.508655e-06,1.489016e-06,1.463667e-06,1.458165e-06,1.438870e-06,1.414618e-06,1.409832e-06,1.390902e-06,1.367715e-06,1.363597e-06,1.345050e-06,1.322897e-06,1.319400e-06,1.301249e-06,1.280096e-06,1.277174e-06,1.259431e-06,1.239245e-06,1.236855e-06,1.219529e-06,1.200275e-06,1.198374e-06,1.181473e-06,1.163116e-06,1.161666e-06,1.145195e-06,1.127700e-06,1.126664e-06,1.110625e-06,1.093959e-06,1.093301e-06,1.077696e-06,1.061827e-06,1.061513e-06,1.046343e-06,1.031237e-06,1.002409e-06,9.749706e-07,9.488623e-07,9.240274e-07,9.004110e-07,8.779601e-07,8.566236e-07,8.363521e-07,8.170984e-07,7.988170e-07,7.814640e-07,7.649975e-07,7.493773e-07,7.345647e-07,7.205229e-07,7.072163e-07,6.946112e-07,6.826750e-07,6.713767e-07,6.606865e-07,6.505762e-07,6.410185e-07,6.319874e-07,6.234582e-07,6.154071e-07,6.078115e-07,6.006496e-07,5.939008e-07,5.875453e-07,5.815644e-07,5.759398e-07,5.706545e-07,5.656919e-07,5.610364e-07,5.566730e-07,5.525872e-07,5.487656e-07,5.451950e-07,5.418629e-07,5.387576e-07,5.358676e-07,5.331821e-07,5.306910e-07,5.283842e-07,5.262523e-07,5.242865e-07,5.224780e-07,5.208188e-07,5.193009e-07
0.000000e+00,6.195036e-09,6.691696e-08,6.955688e-08,3.597233e-07,1.135518e-06,1.182353e-06,2.760545e-06,4.829214e-06,4.973084e-06,7.441245e-06,9.692170e-06,9.883485e-06,1.219889e-05,1.415459e-05,1.436427e-05,1.637817e-05,1.802850e-05,1.824494e-05,1.997053e-05,2.134648e-05,2.156131e-05,2.302368e-05,2.415759e-05,2.436413e-05,2.558906e-05,2.651166e-05,2.670468e-05,2.771703e-05,2.845646e-05,2.863191e-05,2.945488e-05,3.003645e-05,3.019130e-05,3.084625e-05,3.129254e-05,3.142461e-05,3.193102e-05,3.226204e-05,3.236989e-05,3.274543e-05,3.297884e-05,3.306162e-05,3.332226e-05,3.347359e-05,3.353095e-05,3.369110e-05,3.377394e-05,3.380596e-05,3.387858e-05,3.390480e-05,3.391189e-05,3.390862e-05,3.388855e-05,3.387139e-05,3.380266e-05,3.374526e-05,3.370476e-05,3.357990e-05,3.349290e-05,3.343014e-05,3.325746e-05,3.314754e-05,3.306372e-05,3.285066e-05,3.272352e-05,3.261993e-05,3.237309e-05,3.223361e-05,3.211160e-05,3.183684e-05,3.168916e-05,3.155012e-05,3.125265e-05,3.110025e-05,3.094558e-05,3.063000e-05,3.047579e-05,3.030690e-05,2.997726e-05,2.982366e-05,2.964194e-05,2.930180e-05,2.915081e-05,2.895761e-05,2.861011e-05,2.846333e-05,2.825997e-05,2.790784e-05,2.776657e-05,2.755431e-05,2.719994e-05,2.706517e-05,2.684525e-05,2.649071e-05,2.636320e-05,2.613678e-05,2.578386e-05,2.566416e-05,2.543234e-05,2.508257e-05,2.497107e-05,2.473489e-05,2.438959e-05,2.428651e-05,2.404695e-05,2.370723e-05,2.361266e-05,2.337066e-05,2.303745e-05,2.295139e-05,2.270779e-05,2.238187e-05,2.230422e-05,2.205983e-05,2.174182e-05,2.167241e-05,2.142797e-05,2.111839e-05,2.105700e-05,2.081318e-05,2.051244e-05,2.045878e-05,2.021622e-05,1.992461e-05,1.987838e-05,1.963765e-05,1.935538e-05,1.931624e-05,1.907786e-05,1.880509e-05,1.877268e-05,1.853711e-05,1.827393e-05,1.824787e-05,1.801555e-05,1.776196e-05,1.774188e-05,1.751318e-05,1.726917e-05,1.725468e-05,1.702993e-05,1.679544e-05,1.678616e-05,1.656566e-05,1.634058e-05,1.633612e-05,1.612015e-05,1.590434e-05,1.549050e-05,1.509427e-05,1.471528e-05,1.435311e-05,1.400734e-05,1.367751e-05,1.336317e-05,1.306383e-05,1.277903e-05,1.250827e-05,1.225108e-05,1.200696e-05,1.177545e-05,1.155606e-05,1.134832e-05,1.115178e-05,1.096599e-05,1.079049e-05,1.062487e-05,1.046869e-05,1.032154e-05,1.018303e-05,1.005278e-05,9.930392e-06,9.815520e-06,9.707808e-06,9.606916e-06,9.512517e-06,9.424296e-06,9.341947e-06,9.265179e-06,9.193710e-06,9.127268e-06,9.065595e-06,9.008440e-06,8.955564e-06,8.906739e-06,8.861743e-06,8.820367e-06,8.782409e-06,8.747678e-06,8.715988e-06,8.687164e-06,8.661037e-06,8.637449e-06,8.616244e-06,8.597279e-06,8.580414e-06,8.565515e-06
0.000000e+00,1.874735e-07,4.512677e-06,4.753094e-06,4.255866e-05,1.937805e-04,2.043220e-04,6.146711e-04,1.258038e-03,1.306349e-03,2.205120e-03,3.134306e-03,3.217571e-03,4.268519e-03,5.202509e-03,5.304251e-03,6.288696e-03,7.094281e-03,7.199121e-03,8.022567e-03,8.656477e-03,8.753071e-03,9.389587e-03,9.853240e-03,9.934418e-03,1.039207e-02,1.070636e-02,1.076839e-02,1.106997e-02,1.126205e-02,1.130371e-02,1.147648e-02,1.157322e-02,1.159496e-02,1.166547e-02,1.169063e-02,1.169392e-02,1.168572e-02,1.165899e-02,1.164582e-02,1.157869e-02,1.151574e-02,1.148830e-02,1.137820e-02,1.129109e-02,1.125152e-02,1.111100e-02,1.100881e-02,1.095910e-02,1.079795e-02,1.068743e-02,1.062940e-02,1.045508e-02,1.034113e-02,1.027636e-02,1.009445e-02,9.980520e-03,9.910377e-03,9.725025e-03,9.613518e-03,9.539147e-03,9.353384e-03,9.245912e-03,9.168281e-03,8.984301e-03,8.881912e-03,8.801836e-03,8.621215e-03,8.524546e-03,8.442714e-03,8.266561e-03,8.175954e-03,8.092946e-03,7.922024e-03,7.837613e-03,7.753920e-03,7.588736e-03,7.510508e-03,7.426549e-03,7.267419e-03,7.195259e-03,7.111391e-03,6.958493e-03,6.892215e-03,6.808744e-03,6.662151e-03,6.601523e-03,6.518712e-03,6.378419e-03,6.323180e-03,6.241257e-03,6.107205e-03,6.057076e-03,5.976238e-03,5.848325e-03,5.803017e-03,5.723432e-03,5.601523e-03,5.560747e-03,5.482560e-03,5.366500e-03,5.329967e-03,5.253300e-03,5.142918e-03,5.110345e-03,5.035306e-03,4.930418e-03,4.901532e-03,4.828208e-03,4.728628e-03,4.703161e-03,4.631628e-03,4.537161e-03,4.514860e-03,4.445177e-03,4.355629e-03,4.336250e-03,4.268467e-03,4.183644e-03,4.166956e-03,4.101111e-03,4.020820e-03,4.006602e-03,3.942724e-03,3.866776e-03,3.854820e-03,3.792929e-03,3.721138e-03,3.711248e-03,3.651356e-03,3.583540e-03,3.575532e-03,3.517644e-03,3.453626e-03,3.447326e-03,3.391443e-03,3.331051e-03,3.326296e-03,3.272410e-03,3.215478e-03,3.212116e-03,3.160216e-03,3.106585e-03,3.104473e-03,3.054544e-03,3.004057e-03,3.003063e-03,2.955086e-03,2.907594e-03,2.817784e-03,2.733364e-03,2.654072e-03,2.579661e-03,2.509889e-03,2.444529e-03,2.383360e-03,2.326172e-03,2.272764e-03,2.222943e-03,2.176525e-03,2.133334e-03,2.093201e-03,2.055965e-03,2.021472e-03,1.989574e-03,1.960132e-03,1.933011e-03,1.908081e-03,1.885221e-03,1.864313e-03,1.845245e-03,1.827911e-03,1.812206e-03,1.798035e-03,1.785304e-03,1.773923e-03,1.763809e-03,1.754879e-03,1.747056e-03,1.740267e-03,1.734441e-03,1.729511e-03,1.725414e-03,1.722088e-03,1.719476e-03,1.717522e-03,1.716175e-03,1.715384e-03,1.715103e-03,1.715287e-03,1.715893e-03,1.716881e-03,1.718214e-03,1.719856e-03,1.721773e-03,1.723932e-03,1.726305e-03,1.728863e-03
0.000000e+00,1.260594e-06,2.253344e-05,2.357919e-05,1.613467e-04,6.425003e-04,6.752681e-04,1.971162e-03,4.164668e-03,4.337006e-03,7.680127e-03,1.131050e-02,1.164102e-02,1.585779e-02,1.965125e-02,2.006625e-02,2.409630e-02,2.741421e-02,2.784755e-02,3.126733e-02,3.392652e-02,3.433450e-02,3.704815e-02,3.906276e-02,3.942002e-02,4.146928e-02,4.292515e-02,4.321913e-02,4.469450e-02,4.569411e-02,4.592057e-02,4.692184e-02,4.756179e-02,4.772157e-02,4.834147e-02,4.870469e-02,4.880152e-02,4.911996e-02,4.927420e-02,4.931329e-02,4.939638e-02,4.939547e-02,4.938254e-02,4.928363e-02,4.916949e-02,4.911023e-02,4.887169e-02,4.867655e-02,4.857630e-02,4.823137e-02,4.797975e-02,4.784335e-02,4.741793e-02,4.712836e-02,4.696010e-02,4.647427e-02,4.616072e-02,4.596433e-02,4.543368e-02,4.510663e-02,4.488536e-02,4.432204e-02,4.398938e-02,4.374609e-02,4.315962e-02,4.282732e-02,4.256453e-02,4.196249e-02,4.163505e-02,4.135503e-02,4.074352e-02,4.042435e-02,4.012919e-02,3.951316e-02,3.920484e-02,3.889647e-02,3.828004e-02,3.798450e-02,3.766472e-02,3.705130e-02,3.676997e-02,3.644050e-02,3.583296e-02,3.556683e-02,3.522929e-02,3.463004e-02,3.437980e-02,3.403572e-02,3.344679e-02,3.321282e-02,3.286366e-02,3.228673e-02,3.206919e-02,3.171633e-02,3.115280e-02,3.095166e-02,3.059640e-02,3.004740e-02,2.986246e-02,2.950602e-02,2.897247e-02,2.880341e-02,2.844691e-02,2.792952e-02,2.777591e-02,2.742042e-02,2.691972e-02,2.678105e-02,2.642753e-02,2.594391e-02,2.581958e-02,2.546894e-02,2.500266e-02,2.489205e-02,2.454510e-02,2.409628e-02,2.399872e-02,2.365623e-02,2.322492e-02,2.313971e-02,2.280235e-02,2.238850e-02,2.231493e-02,2.198334e-02,2.158684e-02,2.152420e-02,2.119894e-02,2.081960e-02,2.076717e-02,2.044876e-02,2.008636e-02,2.004343e-02,1.973233e-02,1.938660e-02,1.935248e-02,1.904910e-02,1.871975e-02,1.869375e-02,1.839847e-02,1.808517e-02,1.806663e-02,1.777977e-02,1.748218e-02,1.747044e-02,1.719231e-02,1.691008e-02,1.690451e-02,1.663537e-02,1.636811e-02,1.586053e-02,1.538100e-02,1.492880e-02,1.450315e-02,1.410330e-02,1.372850e-02,1.337799e-02,1.305102e-02,1.274684e-02,1.246471e-02,1.220387e-02,1.196359e-02,1.174314e-02,1.154176e-02,1.135874e-02,1.119334e-02,1.104483e-02,1.091248e-02,1.079556e-02,1.069335e-02,1.060512e-02,1.053016e-02,1.046773e-02,1.041714e-02,1.037767e-02,1.034861e-02,1.032927e-02,1.031896e-02,1.031700e-02,1.032272e-02,1.033547e-02,1.035459e-02,1.037947e-02,1.040948e-02,1.044405e-02,1.048259e-02,1.052455e-02,1.056939e-02,1.061662e-02,1.066574e-02,1.071630e-02,1.076786e-02,1.082001e-02,1.087236e-02,1.092457e-02,1.097631e-02,1.102726e-02,1.107716e-02,1.112575e-02
0.000000e+00,4.428360e-08,6.848373e-07,7.164915e-07,4.853938e-06,1.788751e-05,1.870542e-05,4.599498e-05,7.865909e-05,8.081153e-05,1.164831e-04,1.481784e-04,1.508679e-04,1.835380e-04,2.114311e-04,2.144427e-04,2.436125e-04,2.678863e-04,2.710974e-04,2.969532e-04,3.179306e-04,3.212381e-04,3.440110e-04,3.620151e-04,3.653312e-04,3.852578e-04,4.005987e-04,4.038492e-04,4.211628e-04,4.341316e-04,4.372549e-04,4.521801e-04,4.630458e-04,4.659914e-04,4.787400e-04,4.877489e-04,4.904756e-04,5.012460e-04,5.086218e-04,5.110972e-04,5.200735e-04,5.260185e-04,5.282173e-04,5.355698e-04,5.402668e-04,5.421702e-04,5.480560e-04,5.516688e-04,5.532635e-04,5.578276e-04,5.605037e-04,5.617815e-04,5.651572e-04,5.670282e-04,5.679851e-04,5.702945e-04,5.714784e-04,5.721136e-04,5.734690e-04,5.740704e-04,5.743864e-04,5.748905e-04,5.750026e-04,5.750045e-04,5.747509e-04,5.744564e-04,5.741512e-04,5.732259e-04,5.725977e-04,5.719944e-04,5.704756e-04,5.695782e-04,5.686872e-04,5.666462e-04,5.655362e-04,5.643691e-04,5.618711e-04,5.605981e-04,5.591673e-04,5.562716e-04,5.548790e-04,5.531976e-04,5.499581e-04,5.484835e-04,5.465653e-04,5.430309e-04,5.415069e-04,5.393659e-04,5.355809e-04,5.340356e-04,5.316860e-04,5.276907e-04,5.261481e-04,5.236042e-04,5.194350e-04,5.179155e-04,5.151915e-04,5.108813e-04,5.094020e-04,5.065119e-04,5.020904e-04,5.006656e-04,4.976234e-04,4.931173e-04,4.917588e-04,4.885781e-04,4.840113e-04,4.827285e-04,4.794226e-04,4.748168e-04,4.736172e-04,4.701989e-04,4.655734e-04,4.644627e-04,4.609446e-04,4.563166e-04,4.552989e-04,4.516932e-04,4.470780e-04,4.461562e-04,4.424744e-04,4.378856e-04,4.370614e-04,4.333146e-04,4.287642e-04,4.280383e-04,4.242372e-04,4.197359e-04,4.191079e-04,4.152627e-04,4.108197e-04,4.102887e-04,4.064091e-04,4.020326e-04,4.015969e-04,3.976921e-04,3.933891e-04,3.930465e-04,3.891252e-04,3.849018e-04,3.846497e-04,3.807201e-04,3.765814e-04,3.764167e-04,3.724867e-04,3.684370e-04,3.683565e-04,3.644332e-04,3.604762e-04,3.527820e-04,3.452787e-04,3.379701e-04,3.308591e-04,3.239476e-04,3.172367e-04,3.107271e-04,3.044186e-04,2.983104e-04,2.924015e-04,2.866902e-04,2.811745e-04,2.758520e-04,2.707201e-04,2.657760e-04,2.610164e-04,2.564381e-04,2.520375e-04,2.478110e-04,2.437549e-04,2.398653e-04,2.361383e-04,2.325700e-04,2.291562e-04,2.258930e-04,2.227763e-04,2.198020e-04,2.169661e-04,2.142645e-04,2.116932e-04,2.092482e-04,2.069256e-04,2.047215e-04,2.026319e-04,2.006531e-04,1.987813e-04,1.970129e-04,1.953442e-04,1.937716e-04,1.922917e-04,1.909010e-04,1.895962e-04,1.883739e-04,1.872310e-04,1.861643e-04,1.851707e-04,1.842473e-04,1.833912e-04,1.825994e-04
0.000000e+00,1.081624e-07,1.868283e-06,1.956154e-06,1.338773e-05,4.882069e-05,5.102717e-05,1.243026e-04,2.125624e-04,2.184151e-04,3.157703e-04,4.024150e-04,4.097612e-04,4.988413e-04,5.745997e-04,5.827599e-04,6.615662e-04,7.267854e-04,7.353852e-04,8.043674e-04,8.599477e-04,8.686758e-04,9.284823e-04,9.753704e-04,9.839643e-04,1.035303e-03,1.074436e-03,1.082680e-03,1.126276e-03,1.158551e-03,1.166269e-03,1.202835e-03,1.229085e-03,1.236142e-03,1.266355e-03,1.287345e-03,1.293633e-03,1.318129e-03,1.334552e-03,1.339990e-03,1.359359e-03,1.371837e-03,1.376370e-03,1.391153e-03,1.400243e-03,1.403833e-03,1.414529e-03,1.420728e-03,1.423355e-03,1.430420e-03,1.434168e-03,1.435826e-03,1.439674e-03,1.441363e-03,1.442059e-03,1.443069e-03,1.443044e-03,1.442792e-03,1.441309e-03,1.439873e-03,1.438698e-03,1.435034e-03,1.432454e-03,1.430387e-03,1.424824e-03,1.421333e-03,1.418409e-03,1.411204e-03,1.407005e-03,1.403266e-03,1.394649e-03,1.389918e-03,1.385406e-03,1.375586e-03,1.370475e-03,1.365237e-03,1.354402e-03,1.349042e-03,1.343125e-03,1.331444e-03,1.325945e-03,1.319397e-03,1.307021e-03,1.301481e-03,1.294350e-03,1.281415e-03,1.275911e-03,1.268247e-03,1.254874e-03,1.249474e-03,1.241324e-03,1.227621e-03,1.222380e-03,1.213791e-03,1.199855e-03,1.194816e-03,1.185835e-03,1.171751e-03,1.166951e-03,1.157621e-03,1.143465e-03,1.138932e-03,1.129297e-03,1.115135e-03,1.110889e-03,1.100992e-03,1.086882e-03,1.082938e-03,1.072817e-03,1.058811e-03,1.055180e-03,1.044874e-03,1.031016e-03,1.027703e-03,1.017247e-03,1.003576e-03,1.000582e-03,9.900108e-04,9.765598e-04,9.738839e-04,9.632298e-04,9.500272e-04,9.476647e-04,9.369581e-04,9.240279e-04,9.219723e-04,9.112416e-04,8.986038e-04,8.968465e-04,8.861185e-04,8.737896e-04,8.723208e-04,8.616203e-04,8.496136e-04,8.484220e-04,8.377721e-04,8.260982e-04,8.251716e-04,8.145938e-04,8.032606e-04,8.025861e-04,7.921002e-04,7.811135e-04,7.806777e-04,7.703017e-04,7.596655e-04,7.594545e-04,7.492052e-04,7.389213e-04,7.190798e-04,6.999287e-04,6.814648e-04,6.636824e-04,6.465742e-04,6.301314e-04,6.143437e-04,5.991996e-04,5.846868e-04,5.707921e-04,5.575016e-04,5.448008e-04,5.326750e-04,5.211088e-04,5.100869e-04,4.995937e-04,4.896135e-04,4.801306e-04,4.711292e-04,4.625938e-04,4.545089e-04,4.468591e-04,4.396292e-04,4.328043e-04,4.263696e-04,4.203107e-04,4.146134e-04,4.092638e-04,4.042481e-04,3.995532e-04,3.951660e-04,3.910737e-04,3.872640e-04,3.837248e-04,3.804445e-04,3.774114e-04,3.746146e-04,3.720432e-04,3.696868e-04,3.675352e-04,3.655785e-04,3.638072e-04,3.622121e-04,3.607840e-04,3.595145e-04,3.583951e-04,3.574177e-04,3.565745e-04,3.558579e-04
0.000000e+00,6.286427e-08,1.230674e-06,1.290131e-06,9.045628e-06,3.327064e-05,3.480670e-05,8.923552e-05,1.659537e-04,1.714602e-04,2.680742e-04,3.569650e-04,3.644357e-04,4.527170e-04,5.232579e-04,5.305651e-04,5.980178e-04,6.494135e-04,6.558832e-04,7.051371e-04,7.413351e-04,7.467307e-04,7.815395e-04,8.061152e-04,8.103524e-04,8.338755e-04,8.496606e-04,8.527377e-04,8.674989e-04,8.766914e-04,8.786566e-04,8.866516e-04,8.909453e-04,8.918749e-04,8.946741e-04,8.953709e-04,8.953567e-04,8.941949e-04,8.922905e-04,8.914297e-04,8.872744e-04,8.835284e-04,8.819173e-04,8.755251e-04,8.705143e-04,8.682451e-04,8.602074e-04,8.543680e-04,8.515266e-04,8.423042e-04,8.359645e-04,8.326294e-04,8.225810e-04,8.159863e-04,8.122284e-04,8.016326e-04,7.949650e-04,7.908475e-04,7.799202e-04,7.733130e-04,7.688921e-04,7.577996e-04,7.513491e-04,7.466744e-04,7.355445e-04,7.293188e-04,7.244341e-04,7.133643e-04,7.074101e-04,7.023536e-04,6.914177e-04,6.857652e-04,6.805703e-04,6.698234e-04,6.644908e-04,6.591870e-04,6.486698e-04,6.436660e-04,6.382789e-04,6.280206e-04,6.233477e-04,6.178999e-04,6.079210e-04,6.035761e-04,5.980872e-04,5.884012e-04,5.843776e-04,5.788650e-04,5.694801e-04,5.657687e-04,5.602475e-04,5.511677e-04,5.477576e-04,5.422410e-04,5.334673e-04,5.303461e-04,5.248461e-04,5.163768e-04,5.135317e-04,5.080585e-04,4.998901e-04,4.973077e-04,4.918705e-04,4.839983e-04,4.816651e-04,4.762719e-04,4.686899e-04,4.665926e-04,4.612505e-04,4.539521e-04,4.520774e-04,4.467928e-04,4.397707e-04,4.381057e-04,4.328841e-04,4.261309e-04,4.246629e-04,4.195093e-04,4.130172e-04,4.117341e-04,4.066527e-04,4.004138e-04,3.993040e-04,3.942986e-04,3.883051e-04,3.873573e-04,3.824313e-04,3.766751e-04,3.758786e-04,3.710348e-04,3.655083e-04,3.648527e-04,3.600937e-04,3.547892e-04,3.542647e-04,3.495927e-04,3.445025e-04,3.440998e-04,3.395167e-04,3.346335e-04,3.343437e-04,3.298510e-04,3.251675e-04,3.249822e-04,3.205812e-04,3.160904e-04,3.160016e-04,3.116934e-04,3.073885e-04,2.991300e-04,2.912135e-04,2.836266e-04,2.763577e-04,2.693951e-04,2.627278e-04,2.563450e-04,2.502364e-04,2.443919e-04,2.388018e-04,2.334567e-04,2.283476e-04,2.234657e-04,2.188027e-04,2.143502e-04,2.101005e-04,2.060460e-04,2.021793e-04,1.984934e-04,1.949814e-04,1.916366e-04,1.884529e-04,1.854239e-04,1.825438e-04,1.798068e-04,1.772075e-04,1.747404e-04,1.724005e-04,1.701827e-04,1.680823e-04,1.660946e-04,1.642152e-04,1.624397e-04,1.607641e-04,1.591841e-04,1.576961e-04,1.562961e-04,1.549807e-04,1.537462e-04,1.525894e-04,1.515070e-04,1.504958e-04,1.495528e-04,1.486751e-04,1.478598e-04,1.471042e-04,1.464056e-04,1.457616e-04,1.451696e-04
0.000000e+00,3.064506e-07,5.011828e-06,5.233372e-06,3.225578e-05,1.180151e-04,1.236488e-04,3.371532e-04,6.771752e-04,7.031471e-04,1.189914e-03,1.684319e-03,1.727595e-03,2.253968e-03,2.685800e-03,2.730576e-03,3.139155e-03,3.438211e-03,3.474649e-03,3.739628e-03,3.916000e-03,3.940572e-03,4.085584e-03,4.170327e-03,4.183068e-03,4.241004e-03,4.264082e-03,4.266595e-03,4.266134e-03,4.250646e-03,4.244991e-03,4.207669e-03,4.169747e-03,4.157892e-03,4.098705e-03,4.048963e-03,4.032569e-03,3.961456e-03,3.906561e-03,3.886929e-03,3.810218e-03,3.754181e-03,3.732281e-03,3.653853e-03,3.598969e-03,3.575498e-03,3.497638e-03,3.445140e-03,3.420587e-03,3.344573e-03,3.295054e-03,3.269760e-03,3.196261e-03,3.149949e-03,3.124154e-03,3.053486e-03,3.010407e-03,2.984284e-03,2.916563e-03,2.876643e-03,2.850326e-03,2.785572e-03,2.748689e-03,2.722289e-03,2.660466e-03,2.626478e-03,2.600090e-03,2.541144e-03,2.509903e-03,2.483614e-03,2.427480e-03,2.398837e-03,2.372726e-03,2.319334e-03,2.293143e-03,2.267286e-03,2.216565e-03,2.192684e-03,2.167151e-03,2.119028e-03,2.097319e-03,2.072176e-03,2.026577e-03,2.006905e-03,1.982211e-03,1.939060e-03,1.921294e-03,1.897104e-03,1.856322e-03,1.840334e-03,1.816694e-03,1.778200e-03,1.763865e-03,1.740819e-03,1.704528e-03,1.691726e-03,1.669307e-03,1.635134e-03,1.623750e-03,1.601987e-03,1.569845e-03,1.559767e-03,1.538684e-03,1.508484e-03,1.499608e-03,1.479222e-03,1.450876e-03,1.443100e-03,1.423424e-03,1.396846e-03,1.390076e-03,1.371119e-03,1.346221e-03,1.340367e-03,1.322133e-03,1.298832e-03,1.293810e-03,1.276299e-03,1.254513e-03,1.250244e-03,1.233454e-03,1.213102e-03,1.209512e-03,1.193438e-03,1.174443e-03,1.171465e-03,1.156099e-03,1.138387e-03,1.135956e-03,1.121288e-03,1.104787e-03,1.102846e-03,1.088864e-03,1.073504e-03,1.071998e-03,1.058690e-03,1.044406e-03,1.043286e-03,1.030637e-03,1.017366e-03,1.016585e-03,1.004579e-03,9.922622e-04,9.917791e-04,9.804002e-04,9.689796e-04,9.687556e-04,9.579868e-04,9.474087e-04,9.276375e-04,9.093464e-04,8.924448e-04,8.768469e-04,8.624715e-04,8.492419e-04,8.370855e-04,8.259339e-04,8.157223e-04,8.063897e-04,7.978786e-04,7.901347e-04,7.831068e-04,7.767467e-04,7.710091e-04,7.658510e-04,7.612323e-04,7.571150e-04,7.534633e-04,7.502438e-04,7.474248e-04,7.449767e-04,7.428714e-04,7.410828e-04,7.395862e-04,7.383584e-04,7.373776e-04,7.366235e-04,7.360770e-04,7.357199e-04,7.355356e-04,7.355083e-04,7.356231e-04,7.358664e-04,7.362251e-04,7.366873e-04,7.372417e-04,7.378777e-04,7.385856e-04,7.393564e-04,7.401814e-04,7.410530e-04,7.419637e-04,7.429068e-04,7.438761e-04,7.448658e-04,7.458707e-04,7.468857e-04,7.479065e-04
0.000000e+00,1.011025e-07,2.100135e-06,2.206414e-06,1.813773e-05,8.001172e-05,8.429896e-05,2.502281e-04,5.055969e-04,5.244693e-04,8.675384e-04,1.208162e-03,1.238113e-03,1.610081e-03,1.934251e-03,1.969375e-03,2.309094e-03,2.589437e-03,2.626266e-03,2.920012e-03,3.154042e-03,3.190543e-03,3.438619e-03,3.630395e-03,3.665265e-03,3.871620e-03,4.026511e-03,4.058855e-03,4.228126e-03,4.351366e-03,4.380557e-03,4.517222e-03,4.613536e-03,4.639144e-03,4.747294e-03,4.820843e-03,4.842589e-03,4.925896e-03,4.980304e-03,4.998027e-03,5.059749e-03,5.098150e-03,5.111783e-03,5.154807e-03,5.179906e-03,5.189458e-03,5.216336e-03,5.230461e-03,5.236002e-03,5.248985e-03,5.254135e-03,5.255781e-03,5.256853e-03,5.254738e-03,5.252638e-03,5.243546e-03,5.235629e-03,5.229960e-03,5.212240e-03,5.199764e-03,5.190722e-03,5.165721e-03,5.149743e-03,5.137535e-03,5.106438e-03,5.087851e-03,5.072691e-03,5.036536e-03,5.016091e-03,4.998199e-03,4.957893e-03,4.936222e-03,4.915816e-03,4.872152e-03,4.849780e-03,4.827075e-03,4.780747e-03,4.758109e-03,4.733317e-03,4.684926e-03,4.662381e-03,4.635706e-03,4.585778e-03,4.563615e-03,4.535256e-03,4.484245e-03,4.462699e-03,4.432844e-03,4.381144e-03,4.360399e-03,4.329229e-03,4.277179e-03,4.257379e-03,4.225065e-03,4.172956e-03,4.154210e-03,4.120914e-03,4.068995e-03,4.051381e-03,4.017255e-03,3.965740e-03,3.949311e-03,3.914497e-03,3.863566e-03,3.848354e-03,3.812986e-03,3.762791e-03,3.748810e-03,3.713013e-03,3.663680e-03,3.650929e-03,3.614818e-03,3.566452e-03,3.554921e-03,3.518603e-03,3.471289e-03,3.460954e-03,3.424529e-03,3.378336e-03,3.369167e-03,3.332725e-03,3.287708e-03,3.279669e-03,3.243294e-03,3.199494e-03,3.192543e-03,3.156313e-03,3.113759e-03,3.107852e-03,3.071837e-03,3.030550e-03,3.025639e-03,2.989903e-03,2.949896e-03,2.945930e-03,2.910531e-03,2.871809e-03,2.868739e-03,2.833729e-03,2.796291e-03,2.794065e-03,2.759492e-03,2.723331e-03,2.721898e-03,2.687805e-03,2.652911e-03,2.652220e-03,2.618645e-03,2.585003e-03,2.520214e-03,2.457815e-03,2.397762e-03,2.340010e-03,2.284507e-03,2.231203e-03,2.180044e-03,2.130973e-03,2.083936e-03,2.038875e-03,1.995733e-03,1.954454e-03,1.914979e-03,1.877253e-03,1.841220e-03,1.806824e-03,1.774010e-03,1.742726e-03,1.712918e-03,1.684535e-03,1.657526e-03,1.631841e-03,1.607433e-03,1.584254e-03,1.562258e-03,1.541401e-03,1.521638e-03,1.502928e-03,1.485229e-03,1.468502e-03,1.452707e-03,1.437807e-03,1.423765e-03,1.410545e-03,1.398114e-03,1.386438e-03,1.375485e-03,1.365224e-03,1.355624e-03,1.346657e-03,1.338293e-03,1.330507e-03,1.323271e-03,1.316560e-03,1.310349e-03,1.304615e-03,1.299334e-03,1.294486e-03,1.290047e-03
0.000000e+00,5.909588e-08,1.705871e-06,1.797500e-06,1.391461e-05,4.423763e-05,4.582621e-05,8.851289e-05,1.279992e-04,1.303960e-04,1.676788e-04,1.975150e-04,1.999157e-04,2.274922e-04,2.487569e-04,2.509289e-04,2.707263e-04,2.854970e-04,2.873354e-04,3.011566e-04,3.110850e-04,3.125450e-04,3.218146e-04,3.281668e-04,3.292417e-04,3.350688e-04,3.388033e-04,3.395088e-04,3.427474e-04,3.445831e-04,3.449470e-04,3.462495e-04,3.467226e-04,3.467783e-04,3.466410e-04,3.461494e-04,3.459315e-04,3.447314e-04,3.435695e-04,3.431116e-04,3.411342e-04,3.395194e-04,3.388528e-04,3.363142e-04,3.344062e-04,3.335592e-04,3.306231e-04,3.285389e-04,3.275366e-04,3.243265e-04,3.221515e-04,3.210160e-04,3.176253e-04,3.154212e-04,3.141718e-04,3.106706e-04,3.084818e-04,3.071350e-04,3.035763e-04,3.014342e-04,3.000044e-04,2.964277e-04,2.943540e-04,2.928537e-04,2.892886e-04,2.872982e-04,2.857380e-04,2.822065e-04,2.803089e-04,2.786981e-04,2.752163e-04,2.734173e-04,2.717640e-04,2.683437e-04,2.666462e-04,2.649574e-04,2.616070e-04,2.600120e-04,2.582939e-04,2.550192e-04,2.535260e-04,2.517840e-04,2.485890e-04,2.471962e-04,2.454349e-04,2.423222e-04,2.410273e-04,2.392511e-04,2.362219e-04,2.350220e-04,2.332348e-04,2.302897e-04,2.291816e-04,2.273866e-04,2.245255e-04,2.235058e-04,2.217062e-04,2.189285e-04,2.179935e-04,2.161921e-04,2.134968e-04,2.126429e-04,2.108422e-04,2.082281e-04,2.074517e-04,2.056540e-04,2.031197e-04,2.024171e-04,2.006246e-04,1.981684e-04,1.975361e-04,1.957507e-04,1.933711e-04,1.928055e-04,1.910290e-04,1.887241e-04,1.882219e-04,1.864559e-04,1.842240e-04,1.837819e-04,1.820278e-04,1.798670e-04,1.794818e-04,1.777412e-04,1.756497e-04,1.753182e-04,1.735922e-04,1.715683e-04,1.712876e-04,1.695774e-04,1.676192e-04,1.673863e-04,1.656931e-04,1.637987e-04,1.636110e-04,1.619356e-04,1.601034e-04,1.599581e-04,1.583015e-04,1.565296e-04,1.564242e-04,1.547873e-04,1.530740e-04,1.530061e-04,1.513894e-04,1.497331e-04,1.497003e-04,1.481047e-04,1.465037e-04,1.434131e-04,1.404255e-04,1.375378e-04,1.347470e-04,1.320503e-04,1.294449e-04,1.269281e-04,1.244971e-04,1.221494e-04,1.198825e-04,1.176938e-04,1.155811e-04,1.135419e-04,1.115741e-04,1.096753e-04,1.078436e-04,1.060767e-04,1.043726e-04,1.027295e-04,1.011454e-04,9.961841e-05,9.814677e-05,9.672872e-05,9.536258e-05,9.404669e-05,9.277946e-05,9.155933e-05,9.038479e-05,8.925439e-05,8.816671e-05,8.712037e-05,8.611404e-05,8.514642e-05,8.421625e-05,8.332231e-05,8.246343e-05,8.163845e-05,8.084626e-05,8.008579e-05,7.935598e-05,7.865582e-05,7.798432e-05,7.734054e-05,7.672355e-05,7.613244e-05,7.556635e-05,7.502444e-05,7.450588e-05,7.400988e-05
0.000000e+00,8.860061e-09,1.508139e-07,1.578341e-07,1.002453e-06,3.254484e-06,3.385698e-06,7.523053e-06,1.232594e-05,1.264072e-05,1.776156e-05,2.207897e-05,2.243323e-05,2.657632e-05,2.987353e-05,3.021609e-05,3.339658e-05,3.585107e-05,3.616251e-05,3.855565e-05,4.034485e-05,4.061424e-05,4.237298e-05,4.364167e-05,4.386329e-05,4.511351e-05,4.597754e-05,4.614920e-05,4.699337e-05,4.754479e-05,4.766672e-05,4.818787e-05,4.849953e-05,4.857354e-05,4.883879e-05,4.896818e-05,4.899709e-05,4.906059e-05,4.905297e-05,4.904015e-05,4.894555e-05,4.883647e-05,4.878554e-05,4.856799e-05,4.838527e-05,4.829994e-05,4.798770e-05,4.775306e-05,4.763694e-05,4.725273e-05,4.698303e-05,4.683958e-05,4.640157e-05,4.610990e-05,4.594234e-05,4.546514e-05,4.516154e-05,4.497288e-05,4.446815e-05,4.416031e-05,4.395328e-05,4.343030e-05,4.312400e-05,4.290108e-05,4.236724e-05,4.206683e-05,4.183026e-05,4.129141e-05,4.100007e-05,4.075185e-05,4.021259e-05,3.993260e-05,3.967453e-05,3.913846e-05,3.887139e-05,3.860508e-05,3.807500e-05,3.782189e-05,3.754875e-05,3.702680e-05,3.678826e-05,3.650956e-05,3.599739e-05,3.577372e-05,3.549059e-05,3.498941e-05,3.478065e-05,3.449408e-05,3.400478e-05,3.381078e-05,3.352166e-05,3.304486e-05,3.286536e-05,3.257448e-05,3.211058e-05,3.194518e-05,3.165324e-05,3.120250e-05,3.105075e-05,3.075837e-05,3.032087e-05,3.018228e-05,2.989001e-05,2.946577e-05,2.933978e-05,2.904812e-05,2.863705e-05,2.852312e-05,2.823251e-05,2.783446e-05,2.773202e-05,2.744285e-05,2.705763e-05,2.696612e-05,2.667874e-05,2.630611e-05,2.622497e-05,2.593968e-05,2.557939e-05,2.550806e-05,2.522515e-05,2.487690e-05,2.481485e-05,2.453457e-05,2.419807e-05,2.414476e-05,2.386733e-05,2.354228e-05,2.349722e-05,2.322283e-05,2.290890e-05,2.287160e-05,2.260043e-05,2.229732e-05,2.226730e-05,2.199951e-05,2.170690e-05,2.168371e-05,2.141943e-05,2.113701e-05,2.112022e-05,2.085957e-05,2.058702e-05,2.057622e-05,2.031931e-05,2.005634e-05,2.005112e-05,1.979804e-05,1.954434e-05,1.905529e-05,1.858342e-05,1.812817e-05,1.768902e-05,1.726544e-05,1.685692e-05,1.646297e-05,1.608311e-05,1.571687e-05,1.536381e-05,1.502348e-05,1.469546e-05,1.437934e-05,1.407471e-05,1.378120e-05,1.349842e-05,1.322602e-05,1.296365e-05,1.271095e-05,1.246762e-05,1.223332e-05,1.200775e-05,1.179061e-05,1.158162e-05,1.138049e-05,1.118695e-05,1.100075e-05,1.082164e-05,1.064936e-05,1.048368e-05,1.032437e-05,1.017122e-05,1.002401e-05,9.882534e-06,9.746591e-06,9.615989e-06,9.490542e-06,9.370070e-06,9.254398e-06,9.143359e-06,9.036788e-06,8.934530e-06,8.836431e-06,8.742346e-06,8.652131e-06,8.565649e-06,8.482769e-06,8.403361e-06,8.327302e-06
0.000000e+00,5.647673e-08,1.399986e-06,1.472732e-06,1.125331e-05,3.934863e-05,4.097700e-05,8.942784e-05,1.394745e-04,1.426069e-04,1.922455e-04,2.329550e-04,2.362648e-04,2.746646e-04,3.048118e-04,3.079215e-04,3.365701e-04,3.583677e-04,3.611112e-04,3.819986e-04,3.973516e-04,3.996401e-04,4.144023e-04,4.248196e-04,4.266148e-04,4.365732e-04,4.432435e-04,4.445420e-04,4.507576e-04,4.546101e-04,4.554307e-04,4.587496e-04,4.605063e-04,4.608811e-04,4.619727e-04,4.621879e-04,4.621552e-04,4.615448e-04,4.606436e-04,4.602444e-04,4.583447e-04,4.566514e-04,4.559261e-04,4.530595e-04,4.508201e-04,4.498074e-04,4.462252e-04,4.436260e-04,4.423618e-04,4.382601e-04,4.354411e-04,4.339581e-04,4.294893e-04,4.265555e-04,4.248831e-04,4.201656e-04,4.171949e-04,4.153595e-04,4.104850e-04,4.075349e-04,4.055597e-04,4.005992e-04,3.977113e-04,3.956169e-04,3.906249e-04,3.878290e-04,3.856336e-04,3.806520e-04,3.779689e-04,3.756882e-04,3.707491e-04,3.681925e-04,3.658406e-04,3.609681e-04,3.585467e-04,3.561360e-04,3.513481e-04,3.490666e-04,3.466078e-04,3.419180e-04,3.397783e-04,3.372810e-04,3.326988e-04,3.307004e-04,3.281731e-04,3.237052e-04,3.218463e-04,3.192964e-04,3.149474e-04,3.132247e-04,3.106590e-04,3.064315e-04,3.048412e-04,3.022655e-04,2.981610e-04,2.966985e-04,2.941181e-04,2.901369e-04,2.887972e-04,2.862170e-04,2.823584e-04,2.811365e-04,2.785607e-04,2.748236e-04,2.737142e-04,2.711466e-04,2.675293e-04,2.665271e-04,2.639712e-04,2.604718e-04,2.595715e-04,2.570304e-04,2.536465e-04,2.528429e-04,2.503195e-04,2.470488e-04,2.463367e-04,2.438335e-04,2.406732e-04,2.400477e-04,2.375672e-04,2.345146e-04,2.339708e-04,2.315150e-04,2.285674e-04,2.281006e-04,2.256713e-04,2.228260e-04,2.224317e-04,2.200307e-04,2.172848e-04,2.169586e-04,2.145875e-04,2.119382e-04,2.116759e-04,2.093361e-04,2.067806e-04,2.065781e-04,2.042709e-04,2.018065e-04,2.016600e-04,1.993865e-04,1.970104e-04,1.969163e-04,1.946775e-04,1.923871e-04,1.923418e-04,1.901386e-04,1.879313e-04,1.836800e-04,1.795829e-04,1.756354e-04,1.718326e-04,1.681701e-04,1.646435e-04,1.612485e-04,1.579809e-04,1.548366e-04,1.518116e-04,1.489022e-04,1.461045e-04,1.434150e-04,1.408300e-04,1.383463e-04,1.359604e-04,1.336691e-04,1.314694e-04,1.293581e-04,1.273324e-04,1.253893e-04,1.235262e-04,1.217402e-04,1.200289e-04,1.183897e-04,1.168201e-04,1.153177e-04,1.138803e-04,1.125057e-04,1.111917e-04,1.099361e-04,1.087369e-04,1.075923e-04,1.065002e-04,1.054589e-04,1.044665e-04,1.035213e-04,1.026217e-04,1.017659e-04,1.009525e-04,1.001799e-04,9.944654e-05,9.875110e-05,9.809215e-05,9.746835e-05,9.687839e-05,9.632101e-05,9.579499e-05,9.529913e-05
0.000000e+00,8.654831e-08,1.286142e-06,1.342648e-06,8.442285e-06,3.149616e-05,3.300512e-05,8.838659e-05,1.680883e-04,1.737780e-04,2.728267e-04,3.644361e-04,3.722494e-04,4.669706e-04,5.470887e-04,5.556806e-04,6.382088e-04,7.058298e-04,7.146965e-04,7.853722e-04,8.416990e-04,8.504908e-04,9.103155e-04,9.566692e-04,9.651088e-04,1.015130e-03,1.052765e-03,1.060634e-03,1.101866e-03,1.131937e-03,1.139065e-03,1.172462e-03,1.196015e-03,1.202278e-03,1.228727e-03,1.246701e-03,1.252010e-03,1.272321e-03,1.285546e-03,1.289843e-03,1.304753e-03,1.313966e-03,1.317219e-03,1.327399e-03,1.333246e-03,1.335443e-03,1.341494e-03,1.344539e-03,1.345686e-03,1.348147e-03,1.348883e-03,1.349000e-03,1.348358e-03,1.347212e-03,1.346329e-03,1.343017e-03,1.340362e-03,1.338518e-03,1.332924e-03,1.329079e-03,1.326322e-03,1.318793e-03,1.314031e-03,1.310413e-03,1.301256e-03,1.295815e-03,1.291391e-03,1.280880e-03,1.274958e-03,1.269786e-03,1.258165e-03,1.251932e-03,1.246072e-03,1.233555e-03,1.227153e-03,1.220663e-03,1.207441e-03,1.200989e-03,1.193930e-03,1.180169e-03,1.173765e-03,1.166194e-03,1.152041e-03,1.145766e-03,1.137741e-03,1.123325e-03,1.117242e-03,1.108820e-03,1.094251e-03,1.088412e-03,1.079645e-03,1.065023e-03,1.059467e-03,1.050406e-03,1.035814e-03,1.030571e-03,1.021265e-03,1.006775e-03,1.001865e-03,9.923611e-04,9.780362e-04,9.734733e-04,9.638138e-04,9.497061e-04,9.454978e-04,9.357240e-04,9.218776e-04,9.180263e-04,9.081763e-04,8.946284e-04,8.911320e-04,8.812413e-04,8.680221e-04,8.648752e-04,8.549768e-04,8.421108e-04,8.393049e-04,8.294291e-04,8.169358e-04,8.144601e-04,8.046348e-04,7.925291e-04,7.903711e-04,7.806216e-04,7.689146e-04,7.670602e-04,7.574098e-04,7.461089e-04,7.445431e-04,7.350128e-04,7.241223e-04,7.228293e-04,7.134379e-04,7.029598e-04,7.019234e-04,6.926878e-04,6.826216e-04,6.818251e-04,6.727604e-04,6.631036e-04,6.625307e-04,6.536500e-04,6.443985e-04,6.440326e-04,6.353476e-04,6.264958e-04,6.263207e-04,6.178413e-04,6.093825e-04,5.932031e-04,5.777663e-04,5.630542e-04,5.490482e-04,5.357283e-04,5.230741e-04,5.110648e-04,4.996792e-04,4.888958e-04,4.786931e-04,4.690499e-04,4.599448e-04,4.513568e-04,4.432653e-04,4.356496e-04,4.284900e-04,4.217666e-04,4.154605e-04,4.095530e-04,4.040259e-04,3.988618e-04,3.940435e-04,3.895544e-04,3.853787e-04,3.815009e-04,3.779062e-04,3.745800e-04,3.715088e-04,3.686790e-04,3.660781e-04,3.636937e-04,3.615141e-04,3.595279e-04,3.577243e-04,3.560931e-04,3.546243e-04,3.533084e-04,3.521363e-04,3.510995e-04,3.501896e-04,3.493989e-04,3.487197e-04,3.481451e-04,3.476680e-04,3.472821e-04,3.469813e-04,3.467596e-04,3.466115e-04,3.465317e-04
0.000000e+00,1.050691e-07,2.229157e-06,2.338163e-06,1.630007e-05,5.792624e-05,6.050351e-05,1.491890e-04,2.694591e-04,2.779868e-04,4.274246e-04,5.675527e-04,5.795526e-04,7.249471e-04,8.469893e-04,8.599887e-04,9.837217e-04,1.083325e-03,1.096252e-03,1.198076e-03,1.277561e-03,1.289823e-03,1.372152e-03,1.434505e-03,1.445711e-03,1.511122e-03,1.559096e-03,1.568978e-03,1.619835e-03,1.655835e-03,1.664217e-03,1.702615e-03,1.728707e-03,1.735487e-03,1.763261e-03,1.781208e-03,1.786338e-03,1.805088e-03,1.816383e-03,1.819859e-03,1.830973e-03,1.836881e-03,1.838731e-03,1.843411e-03,1.844997e-03,1.845274e-03,1.844561e-03,1.842720e-03,1.841496e-03,1.836287e-03,1.831769e-03,1.829128e-03,1.820198e-03,1.813632e-03,1.809665e-03,1.797682e-03,1.789588e-03,1.784393e-03,1.769930e-03,1.760741e-03,1.754418e-03,1.737969e-03,1.728041e-03,1.720689e-03,1.702676e-03,1.692302e-03,1.684020e-03,1.664804e-03,1.654222e-03,1.645106e-03,1.624995e-03,1.614397e-03,1.604539e-03,1.583796e-03,1.573336e-03,1.562824e-03,1.541672e-03,1.531469e-03,1.520388e-03,1.499014e-03,1.489164e-03,1.477592e-03,1.456155e-03,1.446728e-03,1.434739e-03,1.413372e-03,1.404420e-03,1.392083e-03,1.370897e-03,1.362457e-03,1.349836e-03,1.328921e-03,1.321016e-03,1.308171e-03,1.287603e-03,1.280246e-03,1.267231e-03,1.247070e-03,1.240265e-03,1.227131e-03,1.207425e-03,1.201170e-03,1.187961e-03,1.168749e-03,1.163035e-03,1.149795e-03,1.131105e-03,1.125920e-03,1.112685e-03,1.094540e-03,1.089868e-03,1.076673e-03,1.059087e-03,1.054908e-03,1.041784e-03,1.024767e-03,1.021062e-03,1.008036e-03,9.915931e-04,9.883389e-04,9.754373e-04,9.595688e-04,9.567429e-04,9.439870e-04,9.286912e-04,9.262703e-04,9.136799e-04,8.989516e-04,8.969122e-04,8.845046e-04,8.703368e-04,8.686553e-04,8.564459e-04,8.428295e-04,8.414828e-04,8.294848e-04,8.164092e-04,8.153747e-04,8.035997e-04,7.910531e-04,7.903086e-04,7.787664e-04,7.667363e-04,7.662604e-04,7.549594e-04,7.434323e-04,7.432043e-04,7.321515e-04,7.211135e-04,6.999604e-04,6.797168e-04,6.603546e-04,6.418453e-04,6.241608e-04,6.072727e-04,5.911534e-04,5.757754e-04,5.611117e-04,5.471360e-04,5.338226e-04,5.211462e-04,5.090828e-04,4.976083e-04,4.866999e-04,4.763349e-04,4.664916e-04,4.571490e-04,4.482868e-04,4.398854e-04,4.319259e-04,4.243900e-04,4.172601e-04,4.105192e-04,4.041508e-04,3.981391e-04,3.924690e-04,3.871258e-04,3.820955e-04,3.773645e-04,3.729197e-04,3.687485e-04,3.648391e-04,3.611796e-04,3.577590e-04,3.545665e-04,3.515918e-04,3.488251e-04,3.462567e-04,3.438776e-04,3.416789e-04,3.396522e-04,3.377894e-04,3.360825e-04,3.345243e-04,3.331074e-04,3.318249e-04,3.306703e-04,3.296370e-04
0.000000e+00,2.590231e-07,5.144652e-06,5.398035e-06,4.174586e-05,1.763913e-04,1.855591e-04,5.328285e-04,1.056705e-03,1.095389e-03,1.803462e-03,2.518861e-03,2.582386e-03,3.378804e-03,4.082278e-03,4.158896e-03,4.902566e-03,5.517872e-03,5.598674e-03,6.241765e-03,6.750900e-03,6.829930e-03,7.363433e-03,7.770462e-03,7.843851e-03,8.273514e-03,8.589883e-03,8.655167e-03,8.991746e-03,9.230558e-03,9.286230e-03,9.541564e-03,9.715387e-03,9.760603e-03,9.946086e-03,1.006621e-02,1.010061e-02,1.022663e-02,1.030288e-02,1.032644e-02,1.040220e-02,1.044299e-02,1.045592e-02,1.048948e-02,1.050192e-02,1.050463e-02,1.050299e-02,1.049305e-02,1.048606e-02,1.045525e-02,1.042794e-02,1.041185e-02,1.035706e-02,1.031654e-02,1.029200e-02,1.021771e-02,1.016744e-02,1.013514e-02,1.004517e-02,9.987988e-03,9.948632e-03,9.846273e-03,9.784517e-03,9.738796e-03,9.626850e-03,9.562432e-03,9.511031e-03,9.391892e-03,9.326357e-03,9.269941e-03,9.145648e-03,9.080235e-03,9.019444e-03,8.891727e-03,8.827417e-03,8.762862e-03,8.633184e-03,8.570741e-03,8.503000e-03,8.372593e-03,8.312602e-03,8.242219e-03,8.112114e-03,8.055010e-03,7.982493e-03,7.853551e-03,7.799640e-03,7.725463e-03,7.598392e-03,7.547881e-03,7.472482e-03,7.347862e-03,7.300870e-03,7.224651e-03,7.102953e-03,7.059530e-03,6.982860e-03,6.864456e-03,6.824596e-03,6.747813e-03,6.632994e-03,6.596646e-03,6.520054e-03,6.409040e-03,6.376117e-03,6.299992e-03,6.192943e-03,6.163332e-03,6.087921e-03,5.984946e-03,5.958510e-03,5.884035e-03,5.785198e-03,5.761787e-03,5.688443e-03,5.593773e-03,5.573225e-03,5.501186e-03,5.410678e-03,5.392825e-03,5.322241e-03,5.235867e-03,5.220537e-03,5.151541e-03,5.069249e-03,5.056269e-03,4.988973e-03,4.910695e-03,4.899894e-03,4.834394e-03,4.760047e-03,4.751255e-03,4.687630e-03,4.617120e-03,4.610172e-03,4.548489e-03,4.481710e-03,4.476447e-03,4.416757e-03,4.353600e-03,4.349868e-03,4.292211e-03,4.232560e-03,4.230210e-03,4.174617e-03,4.118352e-03,4.117244e-03,4.063734e-03,4.010733e-03,3.910439e-03,3.816122e-03,3.727542e-03,3.644463e-03,3.566649e-03,3.493871e-03,3.425901e-03,3.362519e-03,3.303509e-03,3.248661e-03,3.197773e-03,3.150646e-03,3.107091e-03,3.066922e-03,3.029963e-03,2.996042e-03,2.964995e-03,2.936663e-03,2.910893e-03,2.887541e-03,2.866465e-03,2.847532e-03,2.830613e-03,2.815586e-03,2.802332e-03,2.790739e-03,2.780700e-03,2.772113e-03,2.764879e-03,2.758906e-03,2.754104e-03,2.750390e-03,2.747682e-03,2.745904e-03,2.744985e-03,2.744854e-03,2.745446e-03,2.746700e-03,2.748556e-03,2.750959e-03,2.753857e-03,2.757200e-03,2.760941e-03,2.765036e-03,2.769444e-03,2.774126e-03,2.779045e-03,2.784166e-03,2.789459e-03
0.000000e+00,1.949851e-08,3.797601e-07,3.981372e-07,2.613405e-06,7.990054e-06,8.275404e-06,1.604822e-05,2.346978e-05,2.393200e-05,3.137030e-05,3.775219e-05,3.828627e-05,4.468730e-05,5.002641e-05,5.059580e-05,5.603662e-05,6.045726e-05,6.103441e-05,6.561321e-05,6.923375e-05,6.979644e-05,7.360684e-05,7.653553e-05,7.706636e-05,8.019613e-05,8.253072e-05,8.301641e-05,8.554654e-05,8.737416e-05,8.780496e-05,8.980914e-05,9.120662e-05,9.157569e-05,9.312028e-05,9.415489e-05,9.445776e-05,9.560213e-05,9.633242e-05,9.656658e-05,9.736358e-05,9.784034e-05,9.800484e-05,9.850141e-05,9.876850e-05,9.886367e-05,9.910139e-05,9.919661e-05,9.922375e-05,9.923937e-05,9.919518e-05,9.915638e-05,9.898238e-05,9.882657e-05,9.872451e-05,9.838948e-05,9.814578e-05,9.798357e-05,9.751269e-05,9.720128e-05,9.698236e-05,9.639775e-05,9.603573e-05,9.576372e-05,9.508480e-05,9.468660e-05,9.436525e-05,9.360904e-05,9.318675e-05,9.281987e-05,9.200123e-05,9.156498e-05,9.115636e-05,9.028828e-05,8.984643e-05,8.939982e-05,8.849361e-05,8.805305e-05,8.757211e-05,8.663760e-05,8.620395e-05,8.569221e-05,8.473792e-05,8.431570e-05,8.377658e-05,8.280988e-05,8.240266e-05,8.183941e-05,8.086665e-05,8.047720e-05,7.989294e-05,7.891955e-05,7.854999e-05,7.794764e-05,7.697828e-05,7.663013e-05,7.601246e-05,7.505109e-05,7.472539e-05,7.409500e-05,7.314495e-05,7.284233e-05,7.220165e-05,7.126573e-05,7.098648e-05,7.033778e-05,6.941832e-05,6.916246e-05,6.850783e-05,6.760675e-05,6.737406e-05,6.671546e-05,6.583431e-05,6.562437e-05,6.496360e-05,6.410362e-05,6.391588e-05,6.325459e-05,6.241674e-05,6.225053e-05,6.159024e-05,6.077524e-05,6.062977e-05,5.997188e-05,5.918025e-05,5.905468e-05,5.840044e-05,5.763252e-05,5.752596e-05,5.687653e-05,5.613249e-05,5.604401e-05,5.540042e-05,5.468032e-05,5.460897e-05,5.397217e-05,5.327593e-05,5.322075e-05,5.259157e-05,5.191904e-05,5.187906e-05,5.125827e-05,5.060920e-05,5.058348e-05,4.997173e-05,4.934580e-05,4.933340e-05,4.873130e-05,4.812813e-05,4.696688e-05,4.584877e-05,4.477286e-05,4.373817e-05,4.274367e-05,4.178830e-05,4.087098e-05,3.999063e-05,3.914614e-05,3.833642e-05,3.756037e-05,3.681692e-05,3.610498e-05,3.542351e-05,3.477145e-05,3.414779e-05,3.355152e-05,3.298167e-05,3.243726e-05,3.191738e-05,3.142111e-05,3.094757e-05,3.049589e-05,3.006525e-05,2.965482e-05,2.926383e-05,2.889151e-05,2.853714e-05,2.819998e-05,2.787937e-05,2.757462e-05,2.728510e-05,2.701018e-05,2.674927e-05,2.650178e-05,2.626716e-05,2.604487e-05,2.583439e-05,2.563521e-05,2.544686e-05,2.526887e-05,2.510080e-05,2.494221e-05,2.479269e-05,2.465183e-05,2.451927e-05,2.439461e-05,2.427752e-05,2.416765e-05
0.000000e+00,2.216908e-06,4.162150e-05,4.360579e-05,3.189223e-04,1.355660e-03,1.428488e-03,4.420435e-03,9.737383e-03,1.016332e-02,1.860658e-02,2.813814e-02,2.902442e-02,4.060536e-02,5.146475e-02,5.267862e-02,6.473876e-02,7.504903e-02,7.642187e-02,8.747627e-02,9.635249e-02,9.773690e-02,1.071046e-01,1.142459e-01,1.155297e-01,1.229992e-01,1.284201e-01,1.295268e-01,1.351452e-01,1.390155e-01,1.398998e-01,1.438446e-01,1.463969e-01,1.470381e-01,1.495411e-01,1.510192e-01,1.514146e-01,1.527184e-01,1.533502e-01,1.535097e-01,1.538433e-01,1.538289e-01,1.537702e-01,1.533381e-01,1.528457e-01,1.525909e-01,1.515689e-01,1.507357e-01,1.503085e-01,1.488431e-01,1.477783e-01,1.472026e-01,1.454139e-01,1.442025e-01,1.435009e-01,1.414851e-01,1.401921e-01,1.393855e-01,1.372188e-01,1.358928e-01,1.349998e-01,1.327415e-01,1.314183e-01,1.304554e-01,1.281515e-01,1.268567e-01,1.258382e-01,1.235233e-01,1.222749e-01,1.212132e-01,1.189135e-01,1.177234e-01,1.166290e-01,1.143639e-01,1.132398e-01,1.121218e-01,1.099055e-01,1.088517e-01,1.077177e-01,1.055604e-01,1.045789e-01,1.034356e-01,1.013446e-01,1.004356e-01,9.928876e-02,9.726905e-02,9.643175e-02,9.528631e-02,9.334119e-02,9.257379e-02,9.143420e-02,8.956574e-02,8.886589e-02,8.773608e-02,8.594541e-02,8.531033e-02,8.419382e-02,8.248134e-02,8.190800e-02,8.080793e-02,7.917351e-02,7.865871e-02,7.757794e-02,7.602104e-02,7.556148e-02,7.450259e-02,7.302233e-02,7.261467e-02,7.157999e-02,7.017525e-02,6.981613e-02,6.880777e-02,6.747721e-02,6.716332e-02,6.618318e-02,6.492529e-02,6.465336e-02,6.370313e-02,6.251627e-02,6.228309e-02,6.136427e-02,6.024669e-02,6.004915e-02,5.916306e-02,5.811291e-02,5.794797e-02,5.709577e-02,5.611113e-02,5.597584e-02,5.515850e-02,5.423739e-02,5.412895e-02,5.334728e-02,5.248766e-02,5.240335e-02,5.165801e-02,5.085781e-02,5.079505e-02,5.008653e-02,4.934366e-02,4.929998e-02,4.862865e-02,4.794098e-02,4.791404e-02,4.728012e-02,4.664553e-02,4.663310e-02,4.603667e-02,4.545302e-02,4.436966e-02,4.337888e-02,4.247654e-02,4.165857e-02,4.092088e-02,4.025944e-02,3.967028e-02,3.914945e-02,3.869307e-02,3.829731e-02,3.795843e-02,3.767273e-02,3.743660e-02,3.724652e-02,3.709904e-02,3.699082e-02,3.691860e-02,3.687924e-02,3.686970e-02,3.688704e-02,3.692846e-02,3.699125e-02,3.707285e-02,3.717081e-02,3.728282e-02,3.740668e-02,3.754033e-02,3.768186e-02,3.782945e-02,3.798144e-02,3.813630e-02,3.829261e-02,3.844907e-02,3.860453e-02,3.875793e-02,3.890832e-02,3.905488e-02,3.919689e-02,3.933371e-02,3.946482e-02,3.958977e-02,3.970821e-02,3.981984e-02,3.992447e-02,4.002195e-02,4.011221e-02,4.019522e-02,4.027100e-02,4.033965e-02
0.000000e+00,1.260770e-08,3.366760e-07,3.544216e-07,2.562900e-06,7.102957e-06,7.314053e-06,1.259662e-05,1.732554e-05,1.761680e-05,2.227893e-05,2.625370e-05,2.658551e-05,3.055297e-05,3.384858e-05,3.419926e-05,3.754188e-05,4.024562e-05,4.059773e-05,4.338309e-05,4.557415e-05,4.591367e-05,4.820479e-05,4.995508e-05,5.027120e-05,5.212709e-05,5.350138e-05,5.378604e-05,5.526096e-05,5.631666e-05,5.656412e-05,5.770714e-05,5.849461e-05,5.870099e-05,5.955602e-05,6.011902e-05,6.028198e-05,6.088803e-05,6.126441e-05,6.138280e-05,6.177439e-05,6.199674e-05,6.207041e-05,6.227797e-05,6.237425e-05,6.240379e-05,6.245412e-05,6.244824e-05,6.243484e-05,6.235147e-05,6.226384e-05,6.220914e-05,6.201270e-05,6.186066e-05,6.176664e-05,6.147519e-05,6.127344e-05,6.114230e-05,6.077165e-05,6.053259e-05,6.036670e-05,5.993064e-05,5.966467e-05,5.946649e-05,5.897705e-05,5.869289e-05,5.846492e-05,5.793255e-05,5.763745e-05,5.738220e-05,5.681597e-05,5.651592e-05,5.623584e-05,5.564363e-05,5.534353e-05,5.504104e-05,5.442965e-05,5.413349e-05,5.381092e-05,5.318620e-05,5.289718e-05,5.255676e-05,5.192377e-05,5.164440e-05,5.128829e-05,5.065132e-05,5.038357e-05,5.001379e-05,4.937653e-05,4.912189e-05,4.874034e-05,4.810593e-05,4.786546e-05,4.747395e-05,4.684502e-05,4.661946e-05,4.621968e-05,4.559845e-05,4.538824e-05,4.498177e-05,4.437007e-05,4.417544e-05,4.376373e-05,4.316309e-05,4.298406e-05,4.256847e-05,4.198013e-05,4.181656e-05,4.139833e-05,4.082329e-05,4.067491e-05,4.025520e-05,3.969424e-05,3.956068e-05,3.914055e-05,3.859426e-05,3.847508e-05,3.805548e-05,3.752431e-05,3.741899e-05,3.700081e-05,3.648506e-05,3.639305e-05,3.597708e-05,3.547693e-05,3.539763e-05,3.498461e-05,3.450014e-05,3.443294e-05,3.402352e-05,3.355473e-05,3.349900e-05,3.309376e-05,3.264059e-05,3.259569e-05,3.219516e-05,3.175746e-05,3.172277e-05,3.132742e-05,3.090500e-05,3.087989e-05,3.049013e-05,3.008276e-05,3.006662e-05,2.968282e-05,2.929024e-05,2.928246e-05,2.890494e-05,2.852685e-05,2.779917e-05,2.709878e-05,2.642501e-05,2.577717e-05,2.515454e-05,2.455640e-05,2.398203e-05,2.343070e-05,2.290168e-05,2.239427e-05,2.190774e-05,2.144141e-05,2.099457e-05,2.056656e-05,2.015670e-05,1.976436e-05,1.938891e-05,1.902972e-05,1.868620e-05,1.835777e-05,1.804386e-05,1.774392e-05,1.745742e-05,1.718384e-05,1.692270e-05,1.667349e-05,1.643576e-05,1.620906e-05,1.599295e-05,1.578701e-05,1.559084e-05,1.540404e-05,1.522624e-05,1.505707e-05,1.489619e-05,1.474326e-05,1.459794e-05,1.445993e-05,1.432893e-05,1.420465e-05,1.408680e-05,1.397512e-05,1.386935e-05,1.376923e-05,1.367454e-05,1.358504e-05,1.350050e-05,1.342073e-05,1.334550e-05
0.000000e+00,4.255026e-09,7.725629e-08,8.099782e-08,5.585708e-07,1.882095e-06,1.957572e-06,4.142653e-06,6.349347e-06,6.488556e-06,8.745651e-06,1.070177e-05,1.086620e-05,1.284583e-05,1.451077e-05,1.468915e-05,1.640248e-05,1.780783e-05,1.799229e-05,1.946484e-05,2.064204e-05,2.082615e-05,2.208197e-05,2.305944e-05,2.323790e-05,2.429928e-05,2.510274e-05,2.527135e-05,2.615921e-05,2.681214e-05,2.696772e-05,2.770159e-05,2.822507e-05,2.836528e-05,2.896303e-05,2.937578e-05,2.949898e-05,2.997699e-05,3.029559e-05,3.040074e-05,3.077367e-05,3.101255e-05,3.109905e-05,3.137998e-05,3.155175e-05,3.161937e-05,3.181997e-05,3.193555e-05,3.198438e-05,3.211502e-05,3.218387e-05,3.221419e-05,3.228405e-05,3.231433e-05,3.232664e-05,3.234384e-05,3.234256e-05,3.233747e-05,3.230920e-05,3.228240e-05,3.226062e-05,3.219321e-05,3.214604e-05,3.210837e-05,3.200741e-05,3.194428e-05,3.189155e-05,3.176194e-05,3.168663e-05,3.161968e-05,3.146577e-05,3.138145e-05,3.130117e-05,3.112676e-05,3.103614e-05,3.094338e-05,3.075182e-05,3.065718e-05,3.055280e-05,3.034702e-05,3.025026e-05,3.013511e-05,2.991768e-05,2.982041e-05,2.969530e-05,2.946848e-05,2.937201e-05,2.923772e-05,2.900348e-05,2.890890e-05,2.876619e-05,2.852625e-05,2.843446e-05,2.828404e-05,2.803991e-05,2.795162e-05,2.779419e-05,2.754717e-05,2.746295e-05,2.729915e-05,2.705039e-05,2.697067e-05,2.680114e-05,2.655162e-05,2.647674e-05,2.630204e-05,2.605262e-05,2.598283e-05,2.580352e-05,2.555493e-05,2.549039e-05,2.530699e-05,2.505986e-05,2.500069e-05,2.481368e-05,2.456856e-05,2.451479e-05,2.432462e-05,2.408198e-05,2.403362e-05,2.384073e-05,2.360095e-05,2.355796e-05,2.336274e-05,2.312617e-05,2.308847e-05,2.289131e-05,2.265821e-05,2.262572e-05,2.242695e-05,2.219757e-05,2.217017e-05,2.197012e-05,2.174464e-05,2.172220e-05,2.152117e-05,2.129974e-05,2.128212e-05,2.108039e-05,2.086314e-05,2.085018e-05,2.064802e-05,2.043504e-05,2.042657e-05,2.022423e-05,2.001559e-05,2.001144e-05,1.980914e-05,1.960488e-05,1.920698e-05,1.881776e-05,1.843722e-05,1.806536e-05,1.770213e-05,1.734748e-05,1.700133e-05,1.666361e-05,1.633422e-05,1.601306e-05,1.570000e-05,1.539494e-05,1.509775e-05,1.480830e-05,1.452646e-05,1.425210e-05,1.398508e-05,1.372525e-05,1.347249e-05,1.322666e-05,1.298761e-05,1.275521e-05,1.252932e-05,1.230981e-05,1.209653e-05,1.188935e-05,1.168815e-05,1.149279e-05,1.130313e-05,1.111906e-05,1.094045e-05,1.076717e-05,1.059910e-05,1.043613e-05,1.027813e-05,1.012499e-05,9.976595e-06,9.832835e-06,9.693601e-06,9.558785e-06,9.428282e-06,9.301990e-06,9.179806e-06,9.061632e-06,8.947370e-06,8.836926e-06,8.730206e-06,8.627119e-06,8.527574e-06
0.000000e+00,6.889274e-04,1.434179e-02,1.505408e-02,1.155309e-01,4.771231e-01,5.016442e-01,1.451657e+00,2.992610e+00,3.111220e+00,5.373627e+00,7.793746e+00,8.013652e+00,1.082480e+01,1.337318e+01,1.365350e+01,1.639410e+01,1.867758e+01,1.897773e+01,2.136248e+01,2.323667e+01,2.352574e+01,2.545850e+01,2.690402e+01,2.716121e+01,2.864065e+01,2.969474e+01,2.990771e+01,3.097578e+01,3.169682e+01,3.185957e+01,3.257429e+01,3.302419e+01,3.313513e+01,3.355681e+01,3.379292e+01,3.385342e+01,3.403816e+01,3.411010e+01,3.412331e+01,3.412021e+01,3.406918e+01,3.403922e+01,3.388979e+01,3.374910e+01,3.368050e+01,3.341907e+01,3.321510e+01,3.311247e+01,3.276692e+01,3.252026e+01,3.238801e+01,3.198072e+01,3.170723e+01,3.154949e+01,3.109828e+01,3.081005e+01,3.063059e+01,3.014953e+01,2.985563e+01,2.965785e+01,2.915800e+01,2.886521e+01,2.865214e+01,2.814218e+01,2.785545e+01,2.762980e+01,2.711650e+01,2.683940e+01,2.660359e+01,2.609222e+01,2.582726e+01,2.558342e+01,2.507808e+01,2.482697e+01,2.457701e+01,2.408088e+01,2.384468e+01,2.359032e+01,2.310585e+01,2.288517e+01,2.262793e+01,2.215698e+01,2.195206e+01,2.169334e+01,2.123731e+01,2.104811e+01,2.078915e+01,2.034908e+01,2.017535e+01,1.991727e+01,1.949389e+01,1.933524e+01,1.907905e+01,1.867285e+01,1.852875e+01,1.827536e+01,1.788664e+01,1.775648e+01,1.750671e+01,1.713559e+01,1.701870e+01,1.677328e+01,1.641977e+01,1.631543e+01,1.607502e+01,1.573900e+01,1.564647e+01,1.541165e+01,1.509291e+01,1.501144e+01,1.478272e+01,1.448100e+01,1.440983e+01,1.418766e+01,1.390261e+01,1.384100e+01,1.362576e+01,1.335700e+01,1.330421e+01,1.309624e+01,1.284335e+01,1.279866e+01,1.259824e+01,1.236077e+01,1.232348e+01,1.213084e+01,1.190832e+01,1.187775e+01,1.169309e+01,1.148502e+01,1.146053e+01,1.128400e+01,1.108988e+01,1.107084e+01,1.090255e+01,1.072187e+01,1.070770e+01,1.054772e+01,1.037997e+01,1.037011e+01,1.021849e+01,1.006315e+01,1.005706e+01,9.913822e+00,9.770374e+00,9.767564e+00,9.632680e+00,9.500613e+00,9.255222e+00,9.030413e+00,8.825217e+00,8.638682e+00,8.469868e+00,8.317852e+00,8.181726e+00,8.060602e+00,7.953607e+00,7.859887e+00,7.778610e+00,7.708961e+00,7.650146e+00,7.601392e+00,7.561949e+00,7.531087e+00,7.508102e+00,7.492314e+00,7.483064e+00,7.479723e+00,7.481685e+00,7.488372e+00,7.499231e+00,7.513739e+00,7.531399e+00,7.551743e+00,7.574330e+00,7.598748e+00,7.624613e+00,7.651567e+00,7.679282e+00,7.707454e+00,7.735808e+00,7.764093e+00,7.792083e+00,7.819576e+00,7.846394e+00,7.872380e+00,7.897398e+00,7.921333e+00,7.944088e+00,7.965584e+00,7.985758e+00,8.004563e+00,8.021966e+00,8.037947e+00,8.052499e+00,8.065623e+00,8.077332e+00
0.000000e+00,8.713577e-08,1.669111e-06,1.750000e-06,1.298010e-05,5.300087e-05,5.570396e-05,1.592860e-04,3.217520e-04,3.339463e-04,5.579418e-04,7.810376e-04,8.005739e-04,1.041387e-03,1.248127e-03,1.270344e-03,1.483382e-03,1.656716e-03,1.679323e-03,1.858276e-03,1.999083e-03,2.020898e-03,2.168058e-03,2.280408e-03,2.300693e-03,2.419738e-03,2.507854e-03,2.526104e-03,2.620660e-03,2.688358e-03,2.704232e-03,2.777599e-03,2.828214e-03,2.841494e-03,2.896606e-03,2.933016e-03,2.943581e-03,2.983025e-03,3.007699e-03,3.015504e-03,3.041548e-03,3.056595e-03,3.061653e-03,3.076284e-03,3.083501e-03,3.085873e-03,3.090824e-03,3.091735e-03,3.091515e-03,3.088299e-03,3.084196e-03,3.081504e-03,3.071437e-03,3.063410e-03,3.058385e-03,3.042613e-03,3.031579e-03,3.024371e-03,3.003889e-03,2.990616e-03,2.981384e-03,2.957055e-03,2.942183e-03,2.931089e-03,2.903661e-03,2.887722e-03,2.874930e-03,2.845046e-03,2.828479e-03,2.814149e-03,2.782368e-03,2.765532e-03,2.749822e-03,2.716621e-03,2.699808e-03,2.682870e-03,2.648661e-03,2.632105e-03,2.614084e-03,2.579219e-03,2.563106e-03,2.544142e-03,2.508920e-03,2.493393e-03,2.473618e-03,2.438294e-03,2.423464e-03,2.403001e-03,2.367789e-03,2.353737e-03,2.332703e-03,2.297784e-03,2.284567e-03,2.263070e-03,2.228595e-03,2.216249e-03,2.194390e-03,2.160483e-03,2.149027e-03,2.126900e-03,2.093664e-03,2.083105e-03,2.060794e-03,2.028311e-03,2.018644e-03,1.996229e-03,1.964565e-03,1.955775e-03,1.933329e-03,1.902534e-03,1.894601e-03,1.872189e-03,1.842302e-03,1.835198e-03,1.812881e-03,1.783930e-03,1.777625e-03,1.755455e-03,1.727459e-03,1.721918e-03,1.699945e-03,1.672914e-03,1.668100e-03,1.646368e-03,1.620307e-03,1.616182e-03,1.594729e-03,1.569635e-03,1.566160e-03,1.545022e-03,1.520889e-03,1.518025e-03,1.497232e-03,1.474049e-03,1.471757e-03,1.451336e-03,1.429089e-03,1.427330e-03,1.407305e-03,1.385978e-03,1.384712e-03,1.365103e-03,1.344677e-03,1.343869e-03,1.324694e-03,1.305148e-03,1.304762e-03,1.286034e-03,1.267347e-03,1.231580e-03,1.197416e-03,1.164808e-03,1.133708e-03,1.104066e-03,1.075836e-03,1.048969e-03,1.023416e-03,9.991314e-04,9.760676e-04,9.541790e-04,9.334208e-04,9.137490e-04,8.951210e-04,8.774948e-04,8.608300e-04,8.450869e-04,8.302273e-04,8.162141e-04,8.030112e-04,7.905840e-04,7.788986e-04,7.679228e-04,7.576249e-04,7.479749e-04,7.389434e-04,7.305023e-04,7.226245e-04,7.152838e-04,7.084551e-04,7.021142e-04,6.962377e-04,6.908034e-04,6.857896e-04,6.811757e-04,6.769417e-04,6.730685e-04,6.695379e-04,6.663321e-04,6.634343e-04,6.608282e-04,6.584983e-04,6.564296e-04,6.546077e-04,6.530191e-04,6.516504e-04,6.504892e-04,6.495232e-04,6.487410e-04
0.000000e+00,8.238439e-07,1.576002e-05,1.651875e-05,1.230505e-04,5.249494e-04,5.530467e-04,1.690549e-03,3.653015e-03,3.808133e-03,6.855585e-03,1.028601e-02,1.060615e-02,1.482320e-02,1.885184e-02,1.930749e-02,2.390072e-02,2.793474e-02,2.848024e-02,3.295293e-02,3.666084e-02,3.724978e-02,4.132126e-02,4.454198e-02,4.513351e-02,4.866515e-02,5.134337e-02,5.190466e-02,5.484822e-02,5.699122e-02,5.749791e-02,5.986030e-02,6.150977e-02,6.194525e-02,6.376497e-02,6.497902e-02,6.533325e-02,6.666486e-02,6.750685e-02,6.777507e-02,6.867927e-02,6.921130e-02,6.939270e-02,6.993025e-02,7.020958e-02,7.030625e-02,7.053441e-02,7.061179e-02,7.062775e-02,7.059850e-02,7.051765e-02,7.045815e-02,7.021741e-02,7.001529e-02,6.988625e-02,6.947388e-02,6.918119e-02,6.898881e-02,6.843890e-02,6.808085e-02,6.783135e-02,6.717279e-02,6.676986e-02,6.646928e-02,6.572640e-02,6.529510e-02,6.494922e-02,6.414239e-02,6.369588e-02,6.331015e-02,6.245639e-02,6.200511e-02,6.158463e-02,6.069811e-02,6.025025e-02,5.979977e-02,5.889229e-02,5.845418e-02,5.797812e-02,5.705947e-02,5.663595e-02,5.613838e-02,5.521669e-02,5.481139e-02,5.429607e-02,5.337805e-02,5.299359e-02,5.246401e-02,5.155520e-02,5.119339e-02,5.065274e-02,4.975768e-02,4.941968e-02,4.887092e-02,4.799330e-02,4.767974e-02,4.712556e-02,4.626838e-02,4.597945e-02,4.542234e-02,4.458798e-02,4.432353e-02,4.376576e-02,4.295609e-02,4.271569e-02,4.215933e-02,4.137579e-02,4.115881e-02,4.060575e-02,3.984941e-02,3.965504e-02,3.910699e-02,3.837862e-02,3.820591e-02,3.766443e-02,3.696451e-02,3.681246e-02,3.627894e-02,3.560775e-02,3.547524e-02,3.495096e-02,3.430857e-02,3.419446e-02,3.368055e-02,3.306689e-02,3.297003e-02,3.246750e-02,3.188235e-02,3.180155e-02,3.131133e-02,3.075436e-02,3.068846e-02,3.021133e-02,2.968214e-02,2.962998e-02,2.916666e-02,2.866475e-02,2.862518e-02,2.817629e-02,2.770113e-02,2.767304e-02,2.723912e-02,2.679010e-02,2.677241e-02,2.635392e-02,2.593042e-02,2.592207e-02,2.551942e-02,2.512075e-02,2.436711e-02,2.365979e-02,2.299738e-02,2.237849e-02,2.180166e-02,2.126548e-02,2.076849e-02,2.030925e-02,1.988632e-02,1.949825e-02,1.914362e-02,1.882099e-02,1.852895e-02,1.826609e-02,1.803101e-02,1.782231e-02,1.763864e-02,1.747863e-02,1.734093e-02,1.722422e-02,1.712720e-02,1.704859e-02,1.698711e-02,1.694154e-02,1.691067e-02,1.689331e-02,1.688832e-02,1.689458e-02,1.691100e-02,1.693656e-02,1.697022e-02,1.701105e-02,1.705809e-02,1.711048e-02,1.716738e-02,1.722799e-02,1.729156e-02,1.735739e-02,1.742483e-02,1.749326e-02,1.756211e-02,1.763088e-02,1.769907e-02,1.776626e-02,1.783207e-02,1.789614e-02,1.795817e-02,1.801789e-02,1.807506e-02
0.000000e+00,5.780184e-09,9.409604e-08,9.845290e-08,6.304483e-07,2.110094e-06,2.198061e-06,4.992754e-06,8.178157e-06,8.384583e-06,1.174565e-05,1.462987e-05,1.486987e-05,1.772283e-05,2.006346e-05,2.031073e-05,2.264854e-05,2.451195e-05,2.475265e-05,2.663917e-05,2.809932e-05,2.832351e-05,2.982036e-05,3.094300e-05,3.114361e-05,3.230638e-05,3.314879e-05,3.332102e-05,3.419915e-05,3.481067e-05,3.495160e-05,3.558853e-05,3.601124e-05,3.611938e-05,3.655295e-05,3.682244e-05,3.689740e-05,3.716033e-05,3.730656e-05,3.734876e-05,3.746922e-05,3.751727e-05,3.752774e-05,3.752991e-05,3.750068e-05,3.748089e-05,3.738547e-05,3.729634e-05,3.724806e-05,3.707273e-05,3.693808e-05,3.686324e-05,3.662307e-05,3.645476e-05,3.635543e-05,3.606328e-05,3.587103e-05,3.574933e-05,3.541610e-05,3.520788e-05,3.506590e-05,3.470085e-05,3.448310e-05,3.432291e-05,3.393387e-05,3.371178e-05,3.353537e-05,3.312893e-05,3.290665e-05,3.271594e-05,3.229765e-05,3.207844e-05,3.187524e-05,3.144976e-05,3.123617e-05,3.102217e-05,3.059337e-05,3.038735e-05,3.016416e-05,2.973526e-05,2.953825e-05,2.930733e-05,2.888099e-05,2.869404e-05,2.845677e-05,2.803516e-05,2.785897e-05,2.761661e-05,2.720150e-05,2.703650e-05,2.679020e-05,2.638302e-05,2.622943e-05,2.598024e-05,2.558211e-05,2.543996e-05,2.518884e-05,2.480064e-05,2.466984e-05,2.441766e-05,2.404006e-05,2.392037e-05,2.366794e-05,2.330141e-05,2.319255e-05,2.294055e-05,2.258544e-05,2.248704e-05,2.223611e-05,2.189262e-05,2.180427e-05,2.155499e-05,2.122323e-05,2.114448e-05,2.089734e-05,2.057733e-05,2.050771e-05,2.026317e-05,1.995485e-05,1.989388e-05,1.965233e-05,1.935558e-05,1.930278e-05,1.906457e-05,1.877923e-05,1.873410e-05,1.849953e-05,1.822541e-05,1.818747e-05,1.795681e-05,1.769366e-05,1.766245e-05,1.743591e-05,1.718349e-05,1.715854e-05,1.693632e-05,1.669434e-05,1.667521e-05,1.645748e-05,1.622565e-05,1.621190e-05,1.599879e-05,1.577682e-05,1.576804e-05,1.555966e-05,1.534724e-05,1.534304e-05,1.513948e-05,1.493629e-05,1.454720e-05,1.417516e-05,1.381958e-05,1.347986e-05,1.315543e-05,1.284571e-05,1.255015e-05,1.226819e-05,1.199931e-05,1.174299e-05,1.149873e-05,1.126604e-05,1.104446e-05,1.083351e-05,1.063277e-05,1.044181e-05,1.026021e-05,1.008759e-05,9.923555e-06,9.767746e-06,9.619809e-06,9.479403e-06,9.346201e-06,9.219889e-06,9.100165e-06,8.986740e-06,8.879335e-06,8.777683e-06,8.681528e-06,8.590622e-06,8.504731e-06,8.423628e-06,8.347095e-06,8.274923e-06,8.206915e-06,8.142877e-06,8.082627e-06,8.025988e-06,7.972793e-06,7.922880e-06,7.876094e-06,7.832288e-06,7.791319e-06,7.753052e-06,7.717357e-06,7.684110e-06,7.653191e-06,7.624487e-06,7.597888e-06
0.000000e+00,9.350263e-10,1.084746e-08,1.129111e-08,6.126875e-08,1.963976e-07,2.045477e-07,4.775079e-07,8.287282e-07,8.527954e-07,1.255725e-06,1.602834e-06,1.631310e-06,1.962231e-06,2.221048e-06,2.247625e-06,2.490890e-06,2.673414e-06,2.696179e-06,2.867534e-06,2.990616e-06,3.008691e-06,3.123052e-06,3.200668e-06,3.213696e-06,3.283400e-06,3.326694e-06,3.334664e-06,3.369732e-06,3.387483e-06,3.390614e-06,3.399107e-06,3.398172e-06,3.396818e-06,3.385179e-06,3.370868e-06,3.365463e-06,3.338805e-06,3.315205e-06,3.306212e-06,3.268577e-06,3.238807e-06,3.226694e-06,3.181262e-06,3.147684e-06,3.132903e-06,3.082163e-06,3.046549e-06,3.029525e-06,2.975415e-06,2.939078e-06,2.920204e-06,2.864221e-06,2.828121e-06,2.807753e-06,2.751049e-06,2.715871e-06,2.694327e-06,2.637776e-06,2.603996e-06,2.581559e-06,2.525818e-06,2.493753e-06,2.470671e-06,2.416223e-06,2.386069e-06,2.362558e-06,2.309751e-06,2.281614e-06,2.257862e-06,2.206939e-06,2.180854e-06,2.157022e-06,2.108143e-06,2.084100e-06,2.060325e-06,2.013584e-06,1.991536e-06,1.967933e-06,1.923378e-06,1.903252e-06,1.879921e-06,1.837559e-06,1.819266e-06,1.796288e-06,1.756099e-06,1.739540e-06,1.716983e-06,1.678925e-06,1.663996e-06,1.641914e-06,1.605931e-06,1.592525e-06,1.570961e-06,1.536986e-06,1.524995e-06,1.503986e-06,1.471942e-06,1.461261e-06,1.440834e-06,1.410642e-06,1.401170e-06,1.381345e-06,1.352922e-06,1.344562e-06,1.325352e-06,1.298615e-06,1.291274e-06,1.272689e-06,1.247554e-06,1.241146e-06,1.223189e-06,1.199575e-06,1.194017e-06,1.176691e-06,1.154516e-06,1.149732e-06,1.133033e-06,1.112222e-06,1.108138e-06,1.092063e-06,1.072539e-06,1.069091e-06,1.053632e-06,1.035324e-06,1.032449e-06,1.017597e-06,1.000435e-06,9.980769e-07,9.838221e-07,9.677412e-07,9.658465e-07,9.521769e-07,9.371141e-07,9.356348e-07,9.225378e-07,9.084335e-07,9.073251e-07,8.947872e-07,8.815851e-07,8.808068e-07,8.688138e-07,8.564603e-07,8.559747e-07,8.445120e-07,8.329566e-07,8.327294e-07,8.217821e-07,8.109770e-07,7.906286e-07,7.716003e-07,7.538129e-07,7.371918e-07,7.216668e-07,7.071713e-07,6.936431e-07,6.810232e-07,6.692564e-07,6.582904e-07,6.480763e-07,6.385679e-07,6.297217e-07,6.214970e-07,6.138554e-07,6.067606e-07,6.001788e-07,5.940780e-07,5.884281e-07,5.832009e-07,5.783700e-07,5.739102e-07,5.697983e-07,5.660120e-07,5.625308e-07,5.593351e-07,5.564066e-07,5.537282e-07,5.512837e-07,5.490578e-07,5.470364e-07,5.452060e-07,5.435541e-07,5.420687e-07,5.407390e-07,5.395543e-07,5.385049e-07,5.375816e-07,5.367758e-07,5.360794e-07,5.354848e-07,5.349848e-07,5.345728e-07,5.342425e-07,5.339879e-07,5.338036e-07,5.336843e-07,5.336252e-07,5.336217e-07
0.000000e+00,5.006159e-10,6.262384e-09,6.529746e-09,3.797245e-08,1.247166e-07,1.299036e-07,2.974340e-07,4.949510e-07,5.079289e-07,7.209061e-07,9.052184e-07,9.206016e-07,1.103974e-06,1.255156e-06,1.271170e-06,1.423019e-06,1.544710e-06,1.560477e-06,1.684499e-06,1.781116e-06,1.796007e-06,1.895881e-06,1.971394e-06,1.984952e-06,2.064004e-06,2.121870e-06,2.133775e-06,2.194957e-06,2.238155e-06,2.248197e-06,2.294099e-06,2.325173e-06,2.333227e-06,2.366109e-06,2.387224e-06,2.393234e-06,2.415060e-06,2.428051e-06,2.432012e-06,2.444486e-06,2.450902e-06,2.452849e-06,2.457443e-06,2.458588e-06,2.458586e-06,2.456574e-06,2.453544e-06,2.451681e-06,2.444162e-06,2.437878e-06,2.434256e-06,2.422182e-06,2.413412e-06,2.408144e-06,2.392332e-06,2.381716e-06,2.374924e-06,2.356083e-06,2.344155e-06,2.335961e-06,2.314696e-06,2.301890e-06,2.292417e-06,2.269242e-06,2.255914e-06,2.245282e-06,2.220638e-06,2.207079e-06,2.195404e-06,2.169667e-06,2.156111e-06,2.143506e-06,2.116994e-06,2.103628e-06,2.090200e-06,2.063185e-06,2.050157e-06,2.036007e-06,2.008719e-06,1.996142e-06,1.981368e-06,1.953998e-06,1.941960e-06,1.926650e-06,1.899360e-06,1.887924e-06,1.872163e-06,1.845088e-06,1.834298e-06,1.818163e-06,1.791415e-06,1.781301e-06,1.764865e-06,1.738535e-06,1.729113e-06,1.712442e-06,1.686604e-06,1.677880e-06,1.661035e-06,1.635749e-06,1.627719e-06,1.610756e-06,1.586069e-06,1.578723e-06,1.561695e-06,1.537642e-06,1.530966e-06,1.513918e-06,1.490528e-06,1.484502e-06,1.467477e-06,1.444768e-06,1.439370e-06,1.422406e-06,1.400391e-06,1.395595e-06,1.378727e-06,1.357414e-06,1.353194e-06,1.336453e-06,1.315843e-06,1.312171e-06,1.295585e-06,1.275677e-06,1.272524e-06,1.256119e-06,1.236908e-06,1.234246e-06,1.218042e-06,1.199521e-06,1.197321e-06,1.181340e-06,1.163498e-06,1.161732e-06,1.145990e-06,1.128815e-06,1.127455e-06,1.111969e-06,1.095448e-06,1.094467e-06,1.079249e-06,1.063368e-06,1.062739e-06,1.047801e-06,1.032544e-06,1.032242e-06,1.017594e-06,1.002945e-06,9.748169e-07,9.478244e-07,9.219348e-07,8.971151e-07,8.733322e-07,8.505529e-07,8.287447e-07,8.078753e-07,7.879128e-07,7.688262e-07,7.505848e-07,7.331586e-07,7.165186e-07,7.006363e-07,6.854839e-07,6.710345e-07,6.572620e-07,6.441411e-07,6.316470e-07,6.197560e-07,6.084449e-07,5.976915e-07,5.874741e-07,5.777719e-07,5.685646e-07,5.598327e-07,5.515574e-07,5.437206e-07,5.363047e-07,5.292926e-07,5.226682e-07,5.164156e-07,5.105196e-07,5.049655e-07,4.997393e-07,4.948272e-07,4.902161e-07,4.858934e-07,4.818468e-07,4.780645e-07,4.745353e-07,4.712481e-07,4.681925e-07,4.653583e-07,4.627357e-07,4.603152e-07,4.580879e-07,4.560449e-07,4.541779e-07
0.000000e+00,2.952961e-04,5.145713e-03,5.380489e-03,3.559786e-02,1.402953e-01,1.474735e-01,4.385034e-01,9.639531e-01,1.006964e+00,1.887646e+00,2.931039e+00,3.029883e+00,4.339060e+00,5.583794e+00,5.723412e+00,7.112036e+00,8.297938e+00,8.455591e+00,9.722091e+00,1.073479e+01,1.089239e+01,1.195645e+01,1.276532e+01,1.291058e+01,1.375538e+01,1.436889e+01,1.449430e+01,1.513254e+01,1.557486e+01,1.567641e+01,1.613271e+01,1.643236e+01,1.650847e+01,1.681064e+01,1.699523e+01,1.704596e+01,1.722085e+01,1.731493e+01,1.734135e+01,1.741308e+01,1.743747e+01,1.744125e+01,1.743065e+01,1.740252e+01,1.738565e+01,1.731026e+01,1.724348e+01,1.720808e+01,1.708242e+01,1.698806e+01,1.693623e+01,1.677219e+01,1.665897e+01,1.659272e+01,1.639998e+01,1.627467e+01,1.619591e+01,1.598225e+01,1.585011e+01,1.576056e+01,1.553224e+01,1.539727e+01,1.529853e+01,1.506055e+01,1.492579e+01,1.481929e+01,1.457563e+01,1.444334e+01,1.433036e+01,1.408418e+01,1.395602e+01,1.383772e+01,1.359153e+01,1.346870e+01,1.334611e+01,1.310189e+01,1.298521e+01,1.285926e+01,1.261856e+01,1.250858e+01,1.238011e+01,1.214416e+01,1.204119e+01,1.191095e+01,1.168068e+01,1.158490e+01,1.145355e+01,1.122971e+01,1.114112e+01,1.100929e+01,1.079241e+01,1.071095e+01,1.057918e+01,1.036968e+01,1.029518e+01,1.016397e+01,9.962128e+00,9.894389e+00,9.764192e+00,9.570199e+00,9.508959e+00,9.380178e+00,9.194148e+00,9.139119e+00,9.012119e+00,8.834097e+00,8.784969e+00,8.660079e+00,8.490057e+00,8.446504e+00,8.324017e+00,8.161941e+00,8.123630e+00,8.003806e+00,7.849586e+00,7.816180e+00,7.699249e+00,7.552762e+00,7.523923e+00,7.410088e+00,7.271188e+00,7.246583e+00,7.136020e+00,7.004540e+00,6.983842e+00,6.876702e+00,6.752459e+00,6.735349e+00,6.631762e+00,6.514560e+00,6.500728e+00,6.400802e+00,6.290434e+00,6.279582e+00,6.183404e+00,6.079657e+00,6.071498e+00,5.979139e+00,5.881793e+00,5.876052e+00,5.787564e+00,5.696397e+00,5.692813e+00,5.608233e+00,5.523018e+00,5.521344e+00,5.440694e+00,5.361205e+00,5.211958e+00,5.073164e+00,4.944388e+00,4.825198e+00,4.715168e+00,4.613879e+00,4.520915e+00,4.435871e+00,4.358347e+00,4.287952e+00,4.224303e+00,4.167025e+00,4.115754e+00,4.070131e+00,4.029810e+00,3.994453e+00,3.963730e+00,3.937323e+00,3.914923e+00,3.896232e+00,3.880960e+00,3.868830e+00,3.859575e+00,3.852936e+00,3.848668e+00,3.846537e+00,3.846317e+00,3.847795e+00,3.850770e+00,3.855050e+00,3.860455e+00,3.866815e+00,3.873972e+00,3.881778e+00,3.890094e+00,3.898795e+00,3.907762e+00,3.916888e+00,3.926075e+00,3.935233e+00,3.944283e+00,3.953152e+00,3.961777e+00,3.970102e+00,3.978079e+00,3.985665e+00,3.992825e+00,3.999530e+00,4.005756e+00
0.000000e+00,3.508828e-08,6.826508e-07,7.165508e-07,5.392191e-06,2.052543e-05,2.147570e-05,5.294831e-05,8.984278e-05,9.223597e-05,1.310372e-04,1.639950e-04,1.667218e-04,1.989424e-04,2.250986e-04,2.278463e-04,2.536680e-04,2.740315e-04,2.766464e-04,2.970081e-04,3.125878e-04,3.149645e-04,3.307133e-04,3.423712e-04,3.444384e-04,3.563109e-04,3.647754e-04,3.664893e-04,3.751206e-04,3.810036e-04,3.823410e-04,3.882759e-04,3.920876e-04,3.930412e-04,3.967435e-04,3.989071e-04,3.994811e-04,4.013442e-04,4.022090e-04,4.024159e-04,4.027722e-04,4.026254e-04,4.024832e-04,4.016130e-04,4.006896e-04,4.002203e-04,3.983591e-04,3.968513e-04,3.960789e-04,3.934249e-04,3.914887e-04,3.904384e-04,3.871574e-04,3.849191e-04,3.836164e-04,3.798473e-04,3.774086e-04,3.758789e-04,3.717375e-04,3.691799e-04,3.674474e-04,3.630304e-04,3.604184e-04,3.585066e-04,3.538941e-04,3.512786e-04,3.492095e-04,3.444680e-04,3.418887e-04,3.396831e-04,3.348672e-04,3.323544e-04,3.300315e-04,3.251863e-04,3.227630e-04,3.203406e-04,3.155028e-04,3.131857e-04,3.106803e-04,3.058797e-04,3.036805e-04,3.011071e-04,2.963679e-04,2.942944e-04,2.916667e-04,2.870079e-04,2.850647e-04,2.823952e-04,2.778319e-04,2.760211e-04,2.733209e-04,2.688648e-04,2.671863e-04,2.644658e-04,2.601257e-04,2.585780e-04,2.558462e-04,2.516286e-04,2.502089e-04,2.474740e-04,2.433834e-04,2.420880e-04,2.393574e-04,2.353967e-04,2.342212e-04,2.315014e-04,2.276720e-04,2.266116e-04,2.239085e-04,2.202109e-04,2.192603e-04,2.165791e-04,2.130128e-04,2.121666e-04,2.095117e-04,2.060756e-04,2.053283e-04,2.027039e-04,1.993961e-04,1.987422e-04,1.961517e-04,1.929700e-04,1.924039e-04,1.898504e-04,1.867922e-04,1.863085e-04,1.837947e-04,1.808571e-04,1.804506e-04,1.779786e-04,1.751585e-04,1.748240e-04,1.723960e-04,1.696901e-04,1.694226e-04,1.670401e-04,1.644451e-04,1.642399e-04,1.619043e-04,1.594168e-04,1.592692e-04,1.569817e-04,1.545982e-04,1.545039e-04,1.522654e-04,1.499824e-04,1.499372e-04,1.477483e-04,1.455624e-04,1.413730e-04,1.373622e-04,1.335238e-04,1.298514e-04,1.263389e-04,1.229802e-04,1.197694e-04,1.167010e-04,1.137694e-04,1.109693e-04,1.082955e-04,1.057430e-04,1.033069e-04,1.009828e-04,9.876592e-05,9.665211e-05,9.463714e-05,9.271701e-05,9.088785e-05,8.914593e-05,8.748767e-05,8.590964e-05,8.440852e-05,8.298113e-05,8.162440e-05,8.033539e-05,7.911127e-05,7.794933e-05,7.684696e-05,7.580165e-05,7.481099e-05,7.387267e-05,7.298446e-05,7.214423e-05,7.134992e-05,7.059957e-05,6.989129e-05,6.922326e-05,6.859373e-05,6.800104e-05,6.744357e-05,6.691978e-05,6.642818e-05,6.596735e-05,6.553593e-05,6.513260e-05,6.475610e-05,6.440522e-05,6.407879e-05
0.000000e+00,1.092729e-07,3.118074e-06,3.293775e-06,3.191700e-05,1.395411e-04,1.465474e-04,3.856774e-04,6.932285e-04,7.145565e-04,1.085714e-03,1.436890e-03,1.467302e-03,1.840909e-03,2.162006e-03,2.196601e-03,2.529442e-03,2.801766e-03,2.837379e-03,3.119987e-03,3.343125e-03,3.377748e-03,3.611637e-03,3.790546e-03,3.822876e-03,4.012797e-03,4.153579e-03,4.182761e-03,4.334111e-03,4.442664e-03,4.468147e-03,4.586111e-03,4.667725e-03,4.689179e-03,4.778462e-03,4.837739e-03,4.854999e-03,4.919765e-03,4.960652e-03,4.973671e-03,5.017567e-03,5.043419e-03,5.052243e-03,5.078436e-03,5.092094e-03,5.096834e-03,5.108073e-03,5.111931e-03,5.112747e-03,5.111409e-03,5.107483e-03,5.104572e-03,5.092712e-03,5.082691e-03,5.076272e-03,5.055667e-03,5.040969e-03,5.031279e-03,5.003460e-03,4.985261e-03,4.972541e-03,4.938826e-03,4.918102e-03,4.902596e-03,4.864115e-03,4.841672e-03,4.823623e-03,4.781345e-03,4.757846e-03,4.737488e-03,4.692244e-03,4.668229e-03,4.645792e-03,4.598294e-03,4.574202e-03,4.549904e-03,4.500760e-03,4.476941e-03,4.450991e-03,4.400718e-03,4.377454e-03,4.350050e-03,4.299087e-03,4.276595e-03,4.247924e-03,4.196645e-03,4.175093e-03,4.145330e-03,4.094049e-03,4.073562e-03,4.042869e-03,3.991851e-03,3.972518e-03,3.941049e-03,3.890512e-03,3.872394e-03,3.840288e-03,3.790418e-03,3.773549e-03,3.740939e-03,3.691885e-03,3.676282e-03,3.643286e-03,3.595172e-03,3.580835e-03,3.547565e-03,3.500488e-03,3.487405e-03,3.453961e-03,3.408001e-03,3.396146e-03,3.362623e-03,3.317840e-03,3.307182e-03,3.273664e-03,3.230103e-03,3.220604e-03,3.187168e-03,3.144863e-03,3.136478e-03,3.103194e-03,3.062166e-03,3.054849e-03,3.021782e-03,2.982043e-03,2.975745e-03,2.942951e-03,2.904506e-03,2.899175e-03,2.866706e-03,2.829552e-03,2.825137e-03,2.793041e-03,2.757170e-03,2.753618e-03,2.721936e-03,2.687336e-03,2.684595e-03,2.653364e-03,2.620017e-03,2.618036e-03,2.587290e-03,2.555177e-03,2.553905e-03,2.523672e-03,2.492770e-03,2.492158e-03,2.462465e-03,2.432749e-03,2.375628e-03,2.320741e-03,2.268033e-03,2.217449e-03,2.168930e-03,2.122419e-03,2.077856e-03,2.035184e-03,1.994345e-03,1.955281e-03,1.917934e-03,1.882249e-03,1.848171e-03,1.815644e-03,1.784616e-03,1.755035e-03,1.726849e-03,1.700008e-03,1.674465e-03,1.650171e-03,1.627081e-03,1.605149e-03,1.584333e-03,1.564589e-03,1.545876e-03,1.528154e-03,1.511386e-03,1.495532e-03,1.480556e-03,1.466424e-03,1.453100e-03,1.440552e-03,1.428747e-03,1.417654e-03,1.407244e-03,1.397486e-03,1.388354e-03,1.379819e-03,1.371855e-03,1.364437e-03,1.357540e-03,1.351141e-03,1.345216e-03,1.339743e-03,1.334702e-03,1.330070e-03,1.325829e-03,1.321959e-03,1.318441e-03
0.000000e+00,3.756028e-07,6.826034e-06,7.146972e-06,5.078733e-05,2.095860e-04,2.205210e-04,6.510485e-04,1.352109e-03,1.405793e-03,2.422534e-03,3.500207e-03,3.597854e-03,4.844835e-03,5.977072e-03,6.101942e-03,7.328391e-03,8.361527e-03,8.498351e-03,9.596336e-03,1.047647e-02,1.061391e-02,1.154737e-02,1.226604e-02,1.239621e-02,1.316196e-02,1.372986e-02,1.384750e-02,1.445656e-02,1.489153e-02,1.499330e-02,1.546214e-02,1.578356e-02,1.586752e-02,1.621387e-02,1.644025e-02,1.650546e-02,1.674640e-02,1.689439e-02,1.694059e-02,1.709173e-02,1.717585e-02,1.720329e-02,1.727854e-02,1.731123e-02,1.732050e-02,1.733203e-02,1.732383e-02,1.731576e-02,1.727415e-02,1.723394e-02,1.720950e-02,1.712393e-02,1.705910e-02,1.701941e-02,1.689778e-02,1.681453e-02,1.676074e-02,1.660987e-02,1.651332e-02,1.644663e-02,1.627238e-02,1.616677e-02,1.608839e-02,1.589582e-02,1.578464e-02,1.569575e-02,1.548920e-02,1.537529e-02,1.527708e-02,1.506026e-02,1.494593e-02,1.483954e-02,1.461564e-02,1.450272e-02,1.438925e-02,1.416099e-02,1.405093e-02,1.393144e-02,1.370112e-02,1.359505e-02,1.347053e-02,1.324011e-02,1.313889e-02,1.301027e-02,1.278139e-02,1.268563e-02,1.255381e-02,1.232784e-02,1.223796e-02,1.210376e-02,1.188183e-02,1.179810e-02,1.166228e-02,1.144531e-02,1.136788e-02,1.123113e-02,1.101988e-02,1.094876e-02,1.081173e-02,1.060680e-02,1.054192e-02,1.040520e-02,1.020704e-02,1.014827e-02,1.001240e-02,9.821349e-03,9.768508e-03,9.633954e-03,9.450262e-03,9.403113e-03,9.270312e-03,9.094134e-03,9.052416e-03,8.921750e-03,8.753172e-03,8.716596e-03,8.588406e-03,8.427450e-03,8.395716e-03,8.270298e-03,8.116935e-03,8.089731e-03,7.967345e-03,7.821503e-03,7.798514e-03,7.679382e-03,7.540951e-03,7.521864e-03,7.406175e-03,7.275017e-03,7.259519e-03,7.147434e-03,7.023383e-03,7.011170e-03,6.902819e-03,6.785694e-03,6.776471e-03,6.671958e-03,6.561559e-03,6.555041e-03,6.454447e-03,6.350566e-03,6.346477e-03,6.249862e-03,6.152279e-03,6.150359e-03,6.057763e-03,5.966255e-03,5.793723e-03,5.632318e-03,5.481595e-03,5.341110e-03,5.210422e-03,5.089097e-03,4.976709e-03,4.872839e-03,4.777078e-03,4.689029e-03,4.608304e-03,4.534527e-03,4.467334e-03,4.406371e-03,4.351297e-03,4.301784e-03,4.257513e-03,4.218178e-03,4.183486e-03,4.153151e-03,4.126903e-03,4.104478e-03,4.085627e-03,4.070107e-03,4.057689e-03,4.048150e-03,4.041280e-03,4.036875e-03,4.034743e-03,4.034697e-03,4.036563e-03,4.040172e-03,4.045364e-03,4.051987e-03,4.059897e-03,4.068955e-03,4.079033e-03,4.090007e-03,4.101761e-03,4.114186e-03,4.127177e-03,4.140639e-03,4.154480e-03,4.168616e-03,4.182966e-03,4.197457e-03,4.212020e-03,4.226592e-03,4.241114e-03
0.000000e+00,1.555252e-07,4.650227e-06,4.917512e-06,5.008028e-05,2.253915e-04,2.368600e-04,6.288974e-04,1.137220e-03,1.172718e-03,1.796702e-03,2.399633e-03,2.452502e-03,3.111671e-03,3.694452e-03,3.758258e-03,4.383615e-03,4.912745e-03,4.983258e-03,5.555064e-03,6.023933e-03,6.098249e-03,6.612792e-03,7.023171e-03,7.099111e-03,7.557875e-03,7.914064e-03,7.989893e-03,8.396055e-03,8.702992e-03,8.777289e-03,9.134536e-03,9.397140e-03,9.468734e-03,9.780811e-03,1.000375e-02,1.007168e-02,1.034221e-02,1.052983e-02,1.059328e-02,1.082572e-02,1.098200e-02,1.104034e-02,1.123791e-02,1.136647e-02,1.141918e-02,1.158489e-02,1.168904e-02,1.173574e-02,1.187239e-02,1.195512e-02,1.199550e-02,1.210569e-02,1.216971e-02,1.220356e-02,1.228970e-02,1.233746e-02,1.236466e-02,1.242897e-02,1.246266e-02,1.248315e-02,1.252770e-02,1.254932e-02,1.256310e-02,1.258979e-02,1.260110e-02,1.260822e-02,1.261881e-02,1.262141e-02,1.262196e-02,1.261808e-02,1.261340e-02,1.260752e-02,1.259066e-02,1.257996e-02,1.256782e-02,1.253935e-02,1.252378e-02,1.250556e-02,1.246676e-02,1.244731e-02,1.242323e-02,1.237526e-02,1.235282e-02,1.232311e-02,1.226705e-02,1.224239e-02,1.220731e-02,1.214413e-02,1.211795e-02,1.207774e-02,1.200836e-02,1.198125e-02,1.193618e-02,1.186142e-02,1.183390e-02,1.178425e-02,1.170486e-02,1.167739e-02,1.162343e-02,1.154011e-02,1.151307e-02,1.145506e-02,1.136845e-02,1.134218e-02,1.128040e-02,1.119107e-02,1.116584e-02,1.110057e-02,1.100904e-02,1.098509e-02,1.091660e-02,1.082335e-02,1.080087e-02,1.072942e-02,1.063489e-02,1.061403e-02,1.053988e-02,1.044447e-02,1.042534e-02,1.034875e-02,1.025281e-02,1.023552e-02,1.015673e-02,1.006059e-02,1.004520e-02,9.964453e-03,9.868397e-03,9.854959e-03,9.772483e-03,9.676775e-03,9.665307e-03,9.581331e-03,9.486207e-03,9.476714e-03,9.391456e-03,9.297126e-03,9.289600e-03,9.203266e-03,9.109920e-03,9.104336e-03,9.017129e-03,8.924932e-03,8.921257e-03,8.833367e-03,8.742468e-03,8.740657e-03,8.652268e-03,8.562798e-03,8.387908e-03,8.216188e-03,8.047811e-03,7.882926e-03,7.721661e-03,7.564120e-03,7.410392e-03,7.260548e-03,7.114642e-03,6.972716e-03,6.834797e-03,6.700902e-03,6.571036e-03,6.445195e-03,6.323365e-03,6.205526e-03,6.091649e-03,5.981699e-03,5.875636e-03,5.773414e-03,5.674982e-03,5.580286e-03,5.489267e-03,5.401863e-03,5.318010e-03,5.237640e-03,5.160683e-03,5.087069e-03,5.016724e-03,4.949573e-03,4.885541e-03,4.824551e-03,4.766525e-03,4.711386e-03,4.659054e-03,4.609451e-03,4.562498e-03,4.518117e-03,4.476228e-03,4.436753e-03,4.399615e-03,4.364734e-03,4.332035e-03,4.301441e-03,4.272877e-03,4.246267e-03,4.221537e-03,4.198615e-03,4.177428e-03
0.000000e+00,1.403003e-08,1.625974e-07,1.692020e-07,9.369646e-07,3.193591e-06,3.335711e-06,8.355760e-06,1.531778e-05,1.580973e-05,2.427792e-05,3.192519e-05,3.256861e-05,4.025585e-05,4.659014e-05,4.725994e-05,5.359530e-05,5.864625e-05,5.929863e-05,6.441104e-05,6.836627e-05,6.897337e-05,7.302496e-05,7.606106e-05,7.660328e-05,7.974375e-05,8.201575e-05,8.247983e-05,8.484285e-05,8.648447e-05,8.686219e-05,8.856526e-05,8.969062e-05,8.997764e-05,9.112323e-05,9.182926e-05,9.202438e-05,9.270181e-05,9.307046e-05,9.317480e-05,9.346130e-05,9.356148e-05,9.357793e-05,9.354014e-05,9.342952e-05,9.336225e-05,9.305751e-05,9.278416e-05,9.263823e-05,9.211578e-05,9.171958e-05,9.150067e-05,9.080263e-05,9.031655e-05,9.003066e-05,8.919305e-05,8.864415e-05,8.829746e-05,8.735094e-05,8.676131e-05,8.636000e-05,8.533063e-05,8.471817e-05,8.426832e-05,8.317814e-05,8.255722e-05,8.206474e-05,8.093236e-05,8.031438e-05,7.978492e-05,7.862597e-05,7.801987e-05,7.745879e-05,7.628635e-05,7.569901e-05,7.511135e-05,7.393626e-05,7.337285e-05,7.276332e-05,7.159455e-05,7.105883e-05,7.043179e-05,6.927668e-05,6.877125e-05,6.813071e-05,6.699521e-05,6.652172e-05,6.587137e-05,6.476024e-05,6.431956e-05,6.366275e-05,6.257974e-05,6.217214e-05,6.151192e-05,6.045991e-05,6.008517e-05,5.942426e-05,5.840542e-05,5.806291e-05,5.740377e-05,5.641963e-05,5.610845e-05,5.545326e-05,5.450485e-05,5.422386e-05,5.357456e-05,5.266247e-05,5.241036e-05,5.176865e-05,5.089310e-05,5.066846e-05,5.003582e-05,4.919675e-05,4.899808e-05,4.837581e-05,4.757289e-05,4.739866e-05,4.678787e-05,4.602058e-05,4.586923e-05,4.527086e-05,4.453851e-05,4.440852e-05,4.382335e-05,4.312514e-05,4.301499e-05,4.244366e-05,4.177868e-05,4.168688e-05,4.112994e-05,4.049719e-05,4.042232e-05,3.988016e-05,3.927860e-05,3.921928e-05,3.869223e-05,3.812077e-05,3.807569e-05,3.756395e-05,3.702149e-05,3.698940e-05,3.649312e-05,3.597854e-05,3.595824e-05,3.547748e-05,3.498966e-05,3.498003e-05,3.451480e-05,3.405262e-05,3.317384e-05,3.234160e-05,3.155381e-05,3.080845e-05,3.010356e-05,2.943723e-05,2.880760e-05,2.821290e-05,2.765141e-05,2.712147e-05,2.662149e-05,2.614996e-05,2.570540e-05,2.528644e-05,2.489173e-05,2.452000e-05,2.417004e-05,2.384069e-05,2.353085e-05,2.323946e-05,2.296555e-05,2.270814e-05,2.246635e-05,2.223932e-05,2.202623e-05,2.182631e-05,2.163884e-05,2.146311e-05,2.129848e-05,2.114432e-05,2.100004e-05,2.086508e-05,2.073891e-05,2.062103e-05,2.051096e-05,2.040826e-05,2.031251e-05,2.022330e-05,2.014025e-05,2.006300e-05,1.999121e-05,1.992457e-05,1.986277e-05,1.980552e-05,1.975256e-05,1.970362e-05,1.965847e-05,1.961688e-05,1.957863e-05
0.000000e+00,1.981784e-07,4.400507e-06,4.626080e-06,3.763407e-05,1.576911e-04,1.657453e-04,4.651443e-04,9.034352e-04,9.352244e-04,1.502370e-03,2.045023e-03,2.091636e-03,2.652760e-03,3.110144e-03,3.157646e-03,3.593540e-03,3.917473e-03,3.957382e-03,4.251849e-03,4.453969e-03,4.482725e-03,4.657218e-03,4.765776e-03,4.782918e-03,4.867183e-03,4.910145e-03,4.916801e-03,4.937829e-03,4.937640e-03,4.935546e-03,4.914468e-03,4.887455e-03,4.878407e-03,4.830537e-03,4.787889e-03,4.773478e-03,4.709372e-03,4.658432e-03,4.639957e-03,4.566633e-03,4.512060e-03,4.490525e-03,4.412526e-03,4.357188e-03,4.333345e-03,4.253544e-03,4.199153e-03,4.173562e-03,4.093745e-03,4.041290e-03,4.014363e-03,3.935631e-03,3.885659e-03,3.857710e-03,3.780731e-03,3.733520e-03,3.704790e-03,3.629968e-03,3.585637e-03,3.556323e-03,3.483901e-03,3.442471e-03,3.412736e-03,3.342856e-03,3.304291e-03,3.274279e-03,3.207019e-03,3.171250e-03,3.141086e-03,3.076481e-03,3.043413e-03,3.013206e-03,2.951258e-03,2.920780e-03,2.890632e-03,2.831320e-03,2.803314e-03,2.773314e-03,2.716602e-03,2.690946e-03,2.661172e-03,2.607011e-03,2.583579e-03,2.554104e-03,2.502435e-03,2.481100e-03,2.451989e-03,2.402749e-03,2.383386e-03,2.354697e-03,2.307815e-03,2.290303e-03,2.262085e-03,2.217489e-03,2.201708e-03,2.174007e-03,2.131620e-03,2.117454e-03,2.090309e-03,2.050054e-03,2.037393e-03,2.010837e-03,1.972637e-03,1.961373e-03,1.935435e-03,1.899212e-03,1.889242e-03,1.863948e-03,1.829624e-03,1.820851e-03,1.796220e-03,1.763718e-03,1.756050e-03,1.732100e-03,1.701346e-03,1.694694e-03,1.671438e-03,1.642359e-03,1.636641e-03,1.614090e-03,1.586613e-03,1.581750e-03,1.559912e-03,1.533969e-03,1.529887e-03,1.508767e-03,1.484290e-03,1.480921e-03,1.460522e-03,1.437446e-03,1.434723e-03,1.415047e-03,1.393309e-03,1.391171e-03,1.372218e-03,1.351757e-03,1.350147e-03,1.331914e-03,1.312672e-03,1.311537e-03,1.294019e-03,1.275940e-03,1.275229e-03,1.258423e-03,1.241452e-03,1.241118e-03,1.225017e-03,1.209103e-03,1.179085e-03,1.150971e-03,1.124669e-03,1.100094e-03,1.077163e-03,1.055795e-03,1.035914e-03,1.017446e-03,1.000323e-03,9.844748e-04,9.698383e-04,9.563510e-04,9.439536e-04,9.325889e-04,9.222022e-04,9.127413e-04,9.041557e-04,8.963972e-04,8.894197e-04,8.831788e-04,8.776321e-04,8.727388e-04,8.684599e-04,8.647580e-04,8.615973e-04,8.589434e-04,8.567636e-04,8.550263e-04,8.537015e-04,8.527603e-04,8.521754e-04,8.519203e-04,8.519701e-04,8.523007e-04,8.528894e-04,8.537143e-04,8.547548e-04,8.559913e-04,8.574048e-04,8.589778e-04,8.606934e-04,8.625356e-04,8.644894e-04,8.665405e-04,8.686755e-04,8.708817e-04,8.731473e-04,8.754611e-04,8.778127e-04
0.000000e+00,6.601515e-08,2.063386e-06,2.178318e-06,1.911807e-05,7.347830e-05,7.679027e-05,1.818308e-04,3.024518e-04,3.103763e-04,4.410900e-04,5.544194e-04,5.638346e-04,6.749581e-04,7.643919e-04,7.737195e-04,8.605620e-04,9.278138e-04,9.363587e-04,1.002099e-03,1.051340e-03,1.058762e-03,1.107270e-03,1.142339e-03,1.148473e-03,1.183147e-03,1.207201e-03,1.211992e-03,1.235644e-03,1.251210e-03,1.254671e-03,1.269589e-03,1.278668e-03,1.280854e-03,1.288880e-03,1.293042e-03,1.294036e-03,1.296651e-03,1.297125e-03,1.297020e-03,1.295407e-03,1.293153e-03,1.292049e-03,1.287157e-03,1.282922e-03,1.280919e-03,1.273504e-03,1.267866e-03,1.265062e-03,1.255726e-03,1.249135e-03,1.245618e-03,1.234844e-03,1.227643e-03,1.223499e-03,1.211669e-03,1.204124e-03,1.199429e-03,1.186847e-03,1.179159e-03,1.173983e-03,1.160891e-03,1.153212e-03,1.147618e-03,1.134207e-03,1.126651e-03,1.120696e-03,1.107118e-03,1.099769e-03,1.093503e-03,1.079877e-03,1.072795e-03,1.066263e-03,1.052682e-03,1.045910e-03,1.039152e-03,1.025689e-03,1.019255e-03,1.012308e-03,9.990192e-04,9.929409e-04,9.858350e-04,9.727644e-04,9.670514e-04,9.598155e-04,9.469953e-04,9.416508e-04,9.343100e-04,9.217646e-04,9.167866e-04,9.093635e-04,8.971104e-04,8.924937e-04,8.850083e-04,8.730596e-04,8.687960e-04,8.612663e-04,8.496300e-04,8.457097e-04,8.381518e-04,8.268325e-04,8.232439e-04,8.156724e-04,8.046717e-04,8.014026e-04,7.938305e-04,7.831483e-04,7.801857e-04,7.726247e-04,7.622589e-04,7.595896e-04,7.520503e-04,7.419978e-04,7.396083e-04,7.321003e-04,7.223566e-04,7.202335e-04,7.127656e-04,7.033257e-04,7.014558e-04,6.940357e-04,6.848940e-04,6.832641e-04,6.758990e-04,6.670493e-04,6.656467e-04,6.583432e-04,6.497791e-04,6.485913e-04,6.413552e-04,6.330700e-04,6.320850e-04,6.249216e-04,6.169085e-04,6.161146e-04,6.090288e-04,6.012809e-04,6.006667e-04,5.936630e-04,5.861734e-04,5.857281e-04,5.788104e-04,5.715722e-04,5.712853e-04,5.644572e-04,5.574635e-04,5.573249e-04,5.505897e-04,5.438338e-04,5.307990e-04,5.182076e-04,5.060469e-04,4.943047e-04,4.829687e-04,4.720271e-04,4.614683e-04,4.512809e-04,4.414540e-04,4.319766e-04,4.228383e-04,4.140288e-04,4.055382e-04,3.973568e-04,3.894751e-04,3.818839e-04,3.745743e-04,3.675376e-04,3.607654e-04,3.542494e-04,3.479817e-04,3.419545e-04,3.361603e-04,3.305918e-04,3.252418e-04,3.201034e-04,3.151700e-04,3.104350e-04,3.058921e-04,3.015351e-04,2.973581e-04,2.933552e-04,2.895208e-04,2.858494e-04,2.823358e-04,2.789748e-04,2.757613e-04,2.726905e-04,2.697577e-04,2.669582e-04,2.642876e-04,2.617416e-04,2.593159e-04,2.570065e-04,2.548094e-04,2.527207e-04,2.507367e-04,2.488538e-04,2.470683e-04
0.000000e+00,4.268445e-10,7.315079e-09,7.655045e-09,4.746542e-08,1.469337e-07,1.524767e-07,3.137383e-07,4.739063e-07,4.836933e-07,6.350576e-07,7.539223e-07,7.633667e-07,8.702844e-07,9.503750e-07,9.584166e-07,1.030280e-06,1.081853e-06,1.088121e-06,1.133906e-06,1.164949e-06,1.169345e-06,1.195924e-06,1.212351e-06,1.214931e-06,1.227481e-06,1.233632e-06,1.234535e-06,1.236925e-06,1.235969e-06,1.235374e-06,1.230504e-06,1.224748e-06,1.222849e-06,1.212873e-06,1.203984e-06,1.200970e-06,1.187483e-06,1.176656e-06,1.172704e-06,1.156884e-06,1.144971e-06,1.140238e-06,1.122949e-06,1.110550e-06,1.105176e-06,1.087051e-06,1.074585e-06,1.068690e-06,1.050189e-06,1.037942e-06,1.031630e-06,1.013082e-06,1.001246e-06,9.946052e-07,9.762474e-07,9.649438e-07,9.580499e-07,9.400466e-07,9.293498e-07,9.222657e-07,9.047300e-07,8.946791e-07,8.874580e-07,8.704646e-07,8.610744e-07,8.537613e-07,8.373568e-07,8.286250e-07,8.212576e-07,8.054681e-07,7.973810e-07,7.899912e-07,7.748280e-07,7.673642e-07,7.599788e-07,7.454424e-07,7.385757e-07,7.312173e-07,7.173008e-07,7.110020e-07,7.036899e-07,6.903809e-07,6.846196e-07,6.773699e-07,6.646524e-07,6.593975e-07,6.522238e-07,6.400794e-07,6.353000e-07,6.282140e-07,6.166227e-07,6.122888e-07,6.053002e-07,5.942414e-07,5.903237e-07,5.834408e-07,5.728933e-07,5.693639e-07,5.625936e-07,5.525365e-07,5.493686e-07,5.427167e-07,5.331290e-07,5.302973e-07,5.237685e-07,5.146300e-07,5.121104e-07,5.057087e-07,4.969995e-07,4.947693e-07,4.884978e-07,4.801988e-07,4.782366e-07,4.720978e-07,4.641903e-07,4.624762e-07,4.564719e-07,4.489381e-07,4.474531e-07,4.415847e-07,4.344075e-07,4.331340e-07,4.274024e-07,4.205653e-07,4.194867e-07,4.138923e-07,4.073796e-07,4.064804e-07,4.010233e-07,3.948199e-07,3.940855e-07,3.887656e-07,3.828570e-07,3.822740e-07,3.770907e-07,3.714632e-07,3.710189e-07,3.659713e-07,3.606117e-07,3.602943e-07,3.553814e-07,3.502772e-07,3.500756e-07,3.452962e-07,3.404355e-07,3.403395e-07,3.356921e-07,3.310633e-07,3.222258e-07,3.138065e-07,3.057859e-07,2.981453e-07,2.908671e-07,2.839344e-07,2.773309e-07,2.710414e-07,2.650510e-07,2.593459e-07,2.539127e-07,2.487387e-07,2.438116e-07,2.391200e-07,2.346528e-07,2.303995e-07,2.263501e-07,2.224949e-07,2.188250e-07,2.153315e-07,2.120063e-07,2.088413e-07,2.058292e-07,2.029626e-07,2.002348e-07,1.976392e-07,1.951697e-07,1.928202e-07,1.905851e-07,1.884592e-07,1.864371e-07,1.845140e-07,1.826853e-07,1.809465e-07,1.792934e-07,1.777218e-07,1.762281e-07,1.748084e-07,1.734594e-07,1.721776e-07,1.709599e-07,1.698033e-07,1.687048e-07,1.676617e-07,1.666714e-07,1.657314e-07,1.648393e-07,1.639929e-07,1.631899e-07
0.000000e+00,3.349292e-08,4.871557e-07,5.087514e-07,3.075574e-06,1.013114e-05,1.055240e-05,2.428187e-05,4.104634e-05,4.217122e-05,6.093421e-05,7.750374e-05,7.889746e-05,9.562922e-05,1.095901e-04,1.110781e-04,1.252830e-04,1.368019e-04,1.383040e-04,1.502052e-04,1.595934e-04,1.610505e-04,1.709018e-04,1.784526e-04,1.798190e-04,1.878592e-04,1.938363e-04,1.950772e-04,2.015248e-04,2.061613e-04,2.072511e-04,2.123031e-04,2.158041e-04,2.167250e-04,2.205588e-04,2.231035e-04,2.238440e-04,2.266181e-04,2.283627e-04,2.289164e-04,2.307721e-04,2.318519e-04,2.322167e-04,2.332797e-04,2.338117e-04,2.339889e-04,2.343706e-04,2.344558e-04,2.344495e-04,2.342487e-04,2.339736e-04,2.337900e-04,2.330940e-04,2.325330e-04,2.321799e-04,2.310659e-04,2.302822e-04,2.297688e-04,2.283046e-04,2.273522e-04,2.266883e-04,2.249339e-04,2.238582e-04,2.230544e-04,2.210622e-04,2.199017e-04,2.189688e-04,2.167850e-04,2.155716e-04,2.145207e-04,2.121854e-04,2.109460e-04,2.097880e-04,2.073364e-04,2.060928e-04,2.048385e-04,2.023013e-04,2.010715e-04,1.997315e-04,1.971351e-04,1.959335e-04,1.945180e-04,1.918855e-04,1.907236e-04,1.892424e-04,1.865934e-04,1.854801e-04,1.839427e-04,1.812942e-04,1.802363e-04,1.786515e-04,1.760180e-04,1.750202e-04,1.733966e-04,1.707902e-04,1.698560e-04,1.682013e-04,1.656324e-04,1.647639e-04,1.630855e-04,1.605627e-04,1.597607e-04,1.580656e-04,1.555959e-04,1.548606e-04,1.531550e-04,1.507443e-04,1.500748e-04,1.483648e-04,1.460176e-04,1.454127e-04,1.437035e-04,1.414235e-04,1.408814e-04,1.391781e-04,1.369679e-04,1.364865e-04,1.347935e-04,1.326552e-04,1.322319e-04,1.305534e-04,1.284882e-04,1.281204e-04,1.264600e-04,1.244687e-04,1.241535e-04,1.225145e-04,1.205974e-04,1.203319e-04,1.187173e-04,1.168741e-04,1.166554e-04,1.150677e-04,1.132979e-04,1.131229e-04,1.115645e-04,1.098673e-04,1.097331e-04,1.082059e-04,1.065802e-04,1.064837e-04,1.049896e-04,1.034340e-04,1.033725e-04,1.019129e-04,1.004259e-04,1.003965e-04,9.897263e-05,9.755267e-05,9.483767e-05,9.224801e-05,8.978002e-05,8.742998e-05,8.519408e-05,8.306847e-05,8.104931e-05,7.913274e-05,7.731495e-05,7.559216e-05,7.396064e-05,7.241674e-05,7.095686e-05,6.957752e-05,6.827528e-05,6.704683e-05,6.588892e-05,6.479842e-05,6.377230e-05,6.280762e-05,6.190153e-05,6.105130e-05,6.025428e-05,5.950794e-05,5.880982e-05,5.815757e-05,5.754892e-05,5.698171e-05,5.645384e-05,5.596332e-05,5.550824e-05,5.508676e-05,5.469712e-05,5.433765e-05,5.400674e-05,5.370285e-05,5.342451e-05,5.317033e-05,5.293897e-05,5.272915e-05,5.253964e-05,5.236930e-05,5.221701e-05,5.208172e-05,5.196242e-05,5.185816e-05,5.176803e-05,5.169115e-05,5.162672e-05
0.000000e+00,1.387259e-07,3.189687e-06,3.356759e-06,2.906651e-05,1.293488e-04,1.362643e-04,4.012895e-04,8.060742e-04,8.360671e-04,1.385849e-03,1.940700e-03,1.989851e-03,2.603241e-03,3.138778e-03,3.196634e-03,3.752079e-03,4.201382e-03,4.259552e-03,4.714371e-03,5.062442e-03,5.115364e-03,5.463624e-03,5.717206e-03,5.761642e-03,6.012711e-03,6.186145e-03,6.220533e-03,6.388948e-03,6.497870e-03,6.521763e-03,6.622644e-03,6.681395e-03,6.695048e-03,6.742187e-03,6.762943e-03,6.767016e-03,6.772232e-03,6.764911e-03,6.760278e-03,6.733357e-03,6.705825e-03,6.693447e-03,6.642321e-03,6.600712e-03,6.581559e-03,6.512569e-03,6.461602e-03,6.436604e-03,6.354773e-03,6.298035e-03,6.268061e-03,6.177338e-03,6.117529e-03,6.083373e-03,5.986843e-03,5.925972e-03,5.888347e-03,5.788410e-03,5.727950e-03,5.687492e-03,5.585999e-03,5.527011e-03,5.484285e-03,5.382658e-03,5.325887e-03,5.281388e-03,5.180708e-03,5.126659e-03,5.080822e-03,4.981903e-03,4.930898e-03,4.884101e-03,4.787545e-03,4.739769e-03,4.692343e-03,4.598586e-03,4.554120e-03,4.506351e-03,4.415701e-03,4.374548e-03,4.326685e-03,4.239345e-03,4.201455e-03,4.153712e-03,4.069807e-03,4.035087e-03,3.987648e-03,3.907242e-03,3.875572e-03,3.828594e-03,3.751702e-03,3.722942e-03,3.676560e-03,3.603160e-03,3.577160e-03,3.531488e-03,3.461530e-03,3.438132e-03,3.393268e-03,3.326681e-03,3.305723e-03,3.261748e-03,3.198445e-03,3.179769e-03,3.136749e-03,3.076633e-03,3.060080e-03,3.018071e-03,2.961036e-03,2.946453e-03,2.905500e-03,2.851435e-03,2.838675e-03,2.798812e-03,2.747604e-03,2.736525e-03,2.697780e-03,2.649313e-03,2.639780e-03,2.602174e-03,2.556334e-03,2.548219e-03,2.511765e-03,2.468438e-03,2.461619e-03,2.426325e-03,2.385400e-03,2.379763e-03,2.345634e-03,2.307000e-03,2.302439e-03,2.269472e-03,2.233024e-03,2.229438e-03,2.197630e-03,2.163264e-03,2.160559e-03,2.129902e-03,2.097519e-03,2.095606e-03,2.066090e-03,2.035593e-03,2.034392e-03,2.006004e-03,1.977300e-03,1.976734e-03,1.949459e-03,1.922459e-03,1.871399e-03,1.823392e-03,1.778286e-03,1.735933e-03,1.696192e-03,1.658928e-03,1.624014e-03,1.591328e-03,1.560751e-03,1.532174e-03,1.505489e-03,1.480596e-03,1.457399e-03,1.435806e-03,1.415729e-03,1.397086e-03,1.379798e-03,1.363789e-03,1.348988e-03,1.335327e-03,1.322741e-03,1.311170e-03,1.300553e-03,1.290837e-03,1.281967e-03,1.273894e-03,1.266570e-03,1.259951e-03,1.253992e-03,1.248653e-03,1.243895e-03,1.239681e-03,1.235978e-03,1.232750e-03,1.229968e-03,1.227600e-03,1.225620e-03,1.224000e-03,1.222714e-03,1.221740e-03,1.221053e-03,1.220633e-03,1.220459e-03,1.220513e-03,1.220775e-03,1.221229e-03,1.221859e-03,1.222649e-03,1.223584e-03
0.000000e+00,7.783548e-08,1.676799e-06,1.761525e-06,1.353462e-05,5.231633e-05,5.479602e-05,1.415272e-04,2.570705e-04,2.650485e-04,3.996724e-04,5.174120e-04,5.271387e-04,6.407842e-04,7.303500e-04,7.395793e-04,8.243742e-04,8.884611e-04,8.964911e-04,9.572840e-04,1.001476e-03,1.008017e-03,1.049837e-03,1.078837e-03,1.083777e-03,1.110763e-03,1.128285e-03,1.131622e-03,1.147093e-03,1.156036e-03,1.157835e-03,1.164435e-03,1.167046e-03,1.167416e-03,1.167240e-03,1.165252e-03,1.164322e-03,1.159027e-03,1.153770e-03,1.151679e-03,1.142565e-03,1.135055e-03,1.131942e-03,1.120033e-03,1.111041e-03,1.107039e-03,1.093137e-03,1.083245e-03,1.078482e-03,1.063213e-03,1.052858e-03,1.047450e-03,1.031301e-03,1.020806e-03,1.014858e-03,9.982057e-04,9.878074e-04,9.814148e-04,9.645490e-04,9.544167e-04,9.476632e-04,9.308056e-04,9.210578e-04,9.140179e-04,8.973363e-04,8.880527e-04,8.807918e-04,8.644112e-04,8.556421e-04,8.482174e-04,8.322298e-04,8.240033e-04,8.164648e-04,8.009361e-04,7.932639e-04,7.856548e-04,7.706303e-04,7.635119e-04,7.558697e-04,7.413788e-04,7.348048e-04,7.271619e-04,7.132219e-04,7.071765e-04,6.995607e-04,6.861794e-04,6.806426e-04,6.730778e-04,6.602555e-04,6.552045e-04,6.477111e-04,6.354428e-04,6.308528e-04,6.234483e-04,6.117248e-04,6.075701e-04,6.002693e-04,5.890785e-04,5.853332e-04,5.781486e-04,5.674760e-04,5.641144e-04,5.570565e-04,5.468861e-04,5.438829e-04,5.369605e-04,5.272754e-04,5.246061e-04,5.178264e-04,5.086091e-04,5.062500e-04,4.996190e-04,4.908516e-04,4.887801e-04,4.823025e-04,4.739672e-04,4.721617e-04,4.658413e-04,4.579203e-04,4.563603e-04,4.501999e-04,4.426757e-04,4.413418e-04,4.353434e-04,4.281989e-04,4.270729e-04,4.212379e-04,4.144564e-04,4.135210e-04,4.078502e-04,4.014155e-04,4.006546e-04,3.951482e-04,3.890446e-04,3.884431e-04,3.831009e-04,3.773133e-04,3.768569e-04,3.716782e-04,3.661921e-04,3.658676e-04,3.608514e-04,3.556528e-04,3.554477e-04,3.505928e-04,3.456682e-04,3.455711e-04,3.408757e-04,3.362123e-04,3.273473e-04,3.189528e-04,3.110066e-04,3.034877e-04,2.963755e-04,2.896509e-04,2.832952e-04,2.772907e-04,2.716205e-04,2.662686e-04,2.612195e-04,2.564585e-04,2.519716e-04,2.477453e-04,2.437670e-04,2.400244e-04,2.365059e-04,2.332004e-04,2.300974e-04,2.271867e-04,2.244587e-04,2.219042e-04,2.195145e-04,2.172812e-04,2.151963e-04,2.132523e-04,2.114419e-04,2.097583e-04,2.081947e-04,2.067449e-04,2.054030e-04,2.041633e-04,2.030202e-04,2.019687e-04,2.010037e-04,2.001205e-04,1.993148e-04,1.985821e-04,1.979185e-04,1.973199e-04,1.967829e-04,1.963037e-04,1.958791e-04,1.955058e-04,1.951809e-04,1.949014e-04,1.946646e-04,1.944678e-04,1.943086e-04
0.000000e+00,1.060466e-08,1.919592e-07,2.012628e-07,1.383245e-06,4.555143e-06,4.731719e-06,9.694137e-06,1.450192e-05,1.480021e-05,1.956544e-05,2.359089e-05,2.392482e-05,2.788885e-05,3.113743e-05,3.148054e-05,3.472418e-05,3.730941e-05,3.764332e-05,4.026043e-05,4.228590e-05,4.259688e-05,4.467300e-05,4.622989e-05,4.650806e-05,4.812025e-05,4.928799e-05,4.952670e-05,5.074345e-05,5.159041e-05,5.178554e-05,5.266706e-05,5.325162e-05,5.340108e-05,5.399974e-05,5.437114e-05,5.447429e-05,5.483523e-05,5.503492e-05,5.509227e-05,5.525443e-05,5.531714e-05,5.533005e-05,5.532686e-05,5.528158e-05,5.525200e-05,5.511207e-05,5.498290e-05,5.491320e-05,5.466101e-05,5.446791e-05,5.436073e-05,5.401716e-05,5.377663e-05,5.363475e-05,5.321758e-05,5.294316e-05,5.276944e-05,5.229381e-05,5.199657e-05,5.179388e-05,5.127261e-05,5.096157e-05,5.073271e-05,5.017668e-05,4.985912e-05,4.960681e-05,4.902520e-05,4.870694e-05,4.843379e-05,4.783436e-05,4.752002e-05,4.722851e-05,4.661774e-05,4.631094e-05,4.600341e-05,4.538674e-05,4.509026e-05,4.476889e-05,4.415087e-05,4.386679e-05,4.353363e-05,4.291801e-05,4.264785e-05,4.230479e-05,4.169466e-05,4.143949e-05,4.108827e-05,4.048617e-05,4.024665e-05,3.988888e-05,3.929686e-05,3.907336e-05,3.871051e-05,3.813020e-05,3.792283e-05,3.755625e-05,3.698895e-05,3.679763e-05,3.642855e-05,3.587525e-05,3.569973e-05,3.532925e-05,3.479071e-05,3.463062e-05,3.425976e-05,3.373651e-05,3.359139e-05,3.322105e-05,3.271345e-05,3.258277e-05,3.221377e-05,3.172204e-05,3.160521e-05,3.123829e-05,3.076252e-05,3.065892e-05,3.029472e-05,2.983489e-05,2.974388e-05,2.938300e-05,2.893901e-05,2.885993e-05,2.850288e-05,2.807457e-05,2.800676e-05,2.765400e-05,2.724114e-05,2.718394e-05,2.683589e-05,2.643820e-05,2.639098e-05,2.604797e-05,2.566514e-05,2.562727e-05,2.528962e-05,2.492132e-05,2.489217e-05,2.456015e-05,2.420601e-05,2.418499e-05,2.385882e-05,2.351848e-05,2.350501e-05,2.318489e-05,2.285795e-05,2.285148e-05,2.253757e-05,2.222364e-05,2.162072e-05,2.104195e-05,2.048654e-05,1.995373e-05,1.944277e-05,1.895290e-05,1.848338e-05,1.803350e-05,1.760255e-05,1.718984e-05,1.679471e-05,1.641649e-05,1.605457e-05,1.570832e-05,1.537714e-05,1.506048e-05,1.475776e-05,1.446844e-05,1.419202e-05,1.392797e-05,1.367583e-05,1.343512e-05,1.320538e-05,1.298619e-05,1.277713e-05,1.257778e-05,1.238777e-05,1.220671e-05,1.203425e-05,1.187004e-05,1.171375e-05,1.156505e-05,1.142363e-05,1.128919e-05,1.116146e-05,1.104015e-05,1.092500e-05,1.081575e-05,1.071216e-05,1.061399e-05,1.052102e-05,1.043303e-05,1.034981e-05,1.027116e-05,1.019688e-05,1.012679e-05,1.006071e-05,9.998469e-06,9.939899e-06
0.000000e+00,4.712946e-08,8.480134e-07,8.881884e-07,6.107369e-06,2.243759e-05,2.347148e-05,5.966276e-05,1.085531e-04,1.119610e-04,1.701121e-04,2.222952e-04,2.266834e-04,2.791444e-04,3.224699e-04,3.270592e-04,3.705702e-04,4.054335e-04,4.099507e-04,4.454920e-04,4.732025e-04,4.774762e-04,5.061693e-04,5.279117e-04,5.318215e-04,5.546668e-04,5.714587e-04,5.749230e-04,5.927936e-04,6.055000e-04,6.084676e-04,6.221204e-04,6.314719e-04,6.339152e-04,6.440029e-04,6.506145e-04,6.525237e-04,6.596069e-04,6.639938e-04,6.653724e-04,6.699309e-04,6.725234e-04,6.733848e-04,6.758286e-04,6.769853e-04,6.773496e-04,6.780285e-04,6.780473e-04,6.779396e-04,6.771517e-04,6.762797e-04,6.757280e-04,6.737271e-04,6.721686e-04,6.712028e-04,6.682049e-04,6.661286e-04,6.647792e-04,6.609679e-04,6.585124e-04,6.568099e-04,6.523412e-04,6.496200e-04,6.475947e-04,6.426007e-04,6.397066e-04,6.373874e-04,6.319805e-04,6.289886e-04,6.264035e-04,6.206784e-04,6.176495e-04,6.148251e-04,6.088620e-04,6.058447e-04,6.028060e-04,5.966726e-04,5.937053e-04,5.904759e-04,5.842291e-04,5.813421e-04,5.779441e-04,5.716317e-04,5.688482e-04,5.653019e-04,5.589640e-04,5.563017e-04,5.526262e-04,5.462962e-04,5.437679e-04,5.399808e-04,5.336863e-04,5.313011e-04,5.274186e-04,5.211827e-04,5.189465e-04,5.149834e-04,5.088250e-04,5.067411e-04,5.027112e-04,4.966456e-04,4.947153e-04,4.906312e-04,4.846708e-04,4.828936e-04,4.787669e-04,4.729216e-04,4.712958e-04,4.671370e-04,4.614147e-04,4.599373e-04,4.557562e-04,4.501628e-04,4.488302e-04,4.446356e-04,4.391756e-04,4.379835e-04,4.337835e-04,4.284600e-04,4.274036e-04,4.232056e-04,4.180208e-04,4.170949e-04,4.129057e-04,4.078607e-04,4.070599e-04,4.028857e-04,3.979808e-04,3.972997e-04,3.931460e-04,3.883811e-04,3.878140e-04,3.836859e-04,3.790602e-04,3.786015e-04,3.745037e-04,3.700160e-04,3.696600e-04,3.655967e-04,3.612455e-04,3.609865e-04,3.569617e-04,3.527450e-04,3.525777e-04,3.485948e-04,3.445105e-04,3.444295e-04,3.404916e-04,3.365375e-04,3.288970e-04,3.215032e-04,3.143508e-04,3.074347e-04,3.007494e-04,2.942897e-04,2.880500e-04,2.820250e-04,2.762092e-04,2.705972e-04,2.651838e-04,2.599636e-04,2.549315e-04,2.500823e-04,2.454110e-04,2.409127e-04,2.365825e-04,2.324156e-04,2.284075e-04,2.245535e-04,2.208491e-04,2.172901e-04,2.138722e-04,2.105911e-04,2.074429e-04,2.044236e-04,2.015293e-04,1.987562e-04,1.961006e-04,1.935590e-04,1.911279e-04,1.888038e-04,1.865834e-04,1.844635e-04,1.824408e-04,1.805124e-04,1.786752e-04,1.769263e-04,1.752627e-04,1.736819e-04,1.721809e-04,1.707573e-04,1.694083e-04,1.681315e-04,1.669245e-04,1.657849e-04,1.647103e-04,1.636986e-04,1.627474e-04
0.000000e+00,2.298439e-09,2.439509e-08,2.534042e-08,1.256460e-07,3.815001e-07,3.967079e-07,9.062069e-07,1.589851e-06,1.638750e-06,2.511478e-06,3.355941e-06,3.429169e-06,4.324056e-06,5.083102e-06,5.164298e-06,5.940527e-06,6.570262e-06,6.652351e-06,7.302232e-06,7.814069e-06,7.893432e-06,8.429366e-06,8.839310e-06,8.913406e-06,9.348819e-06,9.671770e-06,9.738732e-06,1.008612e-05,1.033532e-05,1.039381e-05,1.066448e-05,1.085152e-05,1.090064e-05,1.110470e-05,1.123969e-05,1.127888e-05,1.142533e-05,1.151701e-05,1.154602e-05,1.164283e-05,1.169874e-05,1.171753e-05,1.177177e-05,1.179840e-05,1.180711e-05,1.182500e-05,1.182791e-05,1.182683e-05,1.181387e-05,1.179780e-05,1.178732e-05,1.174833e-05,1.171733e-05,1.169794e-05,1.163714e-05,1.159463e-05,1.156686e-05,1.148797e-05,1.143684e-05,1.140127e-05,1.130753e-05,1.125021e-05,1.120744e-05,1.110167e-05,1.104019e-05,1.099084e-05,1.087551e-05,1.081155e-05,1.075622e-05,1.063347e-05,1.056843e-05,1.050773e-05,1.037941e-05,1.031441e-05,1.024892e-05,1.011663e-05,1.005260e-05,9.982889e-06,9.848009e-06,9.785664e-06,9.712286e-06,9.575992e-06,9.515908e-06,9.439379e-06,9.302679e-06,9.245291e-06,9.166105e-06,9.029853e-06,8.975484e-06,8.894103e-06,8.759020e-06,8.707895e-06,8.624754e-06,8.491442e-06,8.443707e-06,8.359209e-06,8.228168e-06,8.183905e-06,8.098423e-06,7.970066e-06,7.929298e-06,7.843178e-06,7.717836e-06,7.680544e-06,7.594104e-06,7.472041e-06,7.438170e-06,7.351699e-06,7.233122e-06,7.202586e-06,7.116348e-06,7.001410e-06,6.974101e-06,6.888334e-06,6.777144e-06,6.752937e-06,6.667857e-06,6.560485e-06,6.539242e-06,6.455039e-06,6.351526e-06,6.333099e-06,6.249947e-06,6.150302e-06,6.134539e-06,6.052589e-06,5.956802e-06,5.943545e-06,5.862932e-06,5.770969e-06,5.760061e-06,5.680900e-06,5.592712e-06,5.583996e-06,5.506387e-06,5.421909e-06,5.415230e-06,5.339258e-06,5.258416e-06,5.253622e-06,5.179360e-06,5.102069e-06,5.099014e-06,5.026519e-06,4.952687e-06,4.951228e-06,4.880551e-06,4.810085e-06,4.675389e-06,4.546938e-06,4.424526e-06,4.307942e-06,4.196978e-06,4.091424e-06,3.991075e-06,3.895724e-06,3.805171e-06,3.719216e-06,3.637666e-06,3.560331e-06,3.487027e-06,3.417575e-06,3.351803e-06,3.289543e-06,3.230632e-06,3.174914e-06,3.122239e-06,3.072461e-06,3.025443e-06,2.981049e-06,2.939153e-06,2.899630e-06,2.862364e-06,2.827242e-06,2.794155e-06,2.763003e-06,2.733685e-06,2.706109e-06,2.680184e-06,2.655826e-06,2.632953e-06,2.611488e-06,2.591356e-06,2.572489e-06,2.554818e-06,2.538280e-06,2.522815e-06,2.508365e-06,2.494876e-06,2.482295e-06,2.470574e-06,2.459664e-06,2.449522e-06,2.440106e-06,2.431375e-06,2.423291e-06,2.415818e-06
0.000000e+00,1.748638e-07,6.234144e-06,6.597225e-06,6.370531e-05,2.542415e-04,2.658795e-04,6.413390e-04,1.104093e-03,1.136028e-03,1.693274e-03,2.225648e-03,2.272015e-03,2.844555e-03,3.339555e-03,3.392949e-03,3.906149e-03,4.323615e-03,4.377919e-03,4.805351e-03,5.136941e-03,5.187795e-03,5.526116e-03,5.777532e-03,5.822151e-03,6.078331e-03,6.260590e-03,6.297417e-03,6.482313e-03,6.607574e-03,6.635935e-03,6.761130e-03,6.840803e-03,6.860618e-03,6.936961e-03,6.980977e-03,6.992544e-03,7.029566e-03,7.046207e-03,7.050045e-03,7.055819e-03,7.051814e-03,7.048557e-03,7.029767e-03,7.010490e-03,7.000812e-03,6.962917e-03,6.932609e-03,6.917184e-03,6.864601e-03,6.826578e-03,6.806055e-03,6.742339e-03,6.699179e-03,6.674164e-03,6.602165e-03,6.555858e-03,6.526912e-03,6.448913e-03,6.400987e-03,6.368623e-03,6.286447e-03,6.238066e-03,6.202750e-03,6.117855e-03,6.069899e-03,6.032051e-03,5.945599e-03,5.898727e-03,5.858728e-03,5.771643e-03,5.726337e-03,5.684529e-03,5.597548e-03,5.554153e-03,5.510845e-03,5.424549e-03,5.383305e-03,5.338774e-03,5.253620e-03,5.214683e-03,5.169177e-03,5.085523e-03,5.048983e-03,5.002726e-03,4.920846e-03,4.886743e-03,4.839936e-03,4.760041e-03,4.728376e-03,4.681199e-03,4.603442e-03,4.574185e-03,4.526800e-03,4.451294e-03,4.424394e-03,4.376944e-03,4.303764e-03,4.279152e-03,4.231767e-03,4.160960e-03,4.138555e-03,4.091351e-03,4.022940e-03,4.002651e-03,3.955731e-03,3.889721e-03,3.871452e-03,3.824907e-03,3.761286e-03,3.744939e-03,3.698851e-03,3.637596e-03,3.623069e-03,3.577511e-03,3.518588e-03,3.505780e-03,3.460816e-03,3.404184e-03,3.392993e-03,3.348680e-03,3.294293e-03,3.284620e-03,3.241008e-03,3.188813e-03,3.180562e-03,3.137694e-03,3.087637e-03,3.080713e-03,3.038627e-03,2.990650e-03,2.984962e-03,2.943692e-03,2.897736e-03,2.893196e-03,2.852769e-03,2.808775e-03,2.805297e-03,2.765739e-03,2.723646e-03,2.721150e-03,2.682480e-03,2.642227e-03,2.640636e-03,2.602872e-03,2.564399e-03,2.563638e-03,2.526793e-03,2.490040e-03,2.419727e-03,2.352586e-03,2.288506e-03,2.227380e-03,2.169101e-03,2.113566e-03,2.060674e-03,2.010327e-03,1.962432e-03,1.916894e-03,1.873626e-03,1.832540e-03,1.793552e-03,1.756582e-03,1.721551e-03,1.688382e-03,1.657002e-03,1.627341e-03,1.599330e-03,1.572901e-03,1.547992e-03,1.524541e-03,1.502487e-03,1.481773e-03,1.462344e-03,1.444144e-03,1.427123e-03,1.411230e-03,1.396417e-03,1.382637e-03,1.369844e-03,1.357994e-03,1.347047e-03,1.336960e-03,1.327695e-03,1.319213e-03,1.311478e-03,1.304453e-03,1.298106e-03,1.292403e-03,1.287312e-03,1.282801e-03,1.278842e-03,1.275406e-03,1.272464e-03,1.269990e-03,1.267959e-03,1.266344e-03,1.265123e-03
0.000000e+00,2.395746e-08,3.860175e-07,4.035465e-07,2.451198e-06,7.793646e-06,8.103523e-06,1.779500e-05,2.881453e-05,2.953245e-05,4.129957e-05,5.152346e-05,5.237998e-05,6.263670e-05,7.116553e-05,7.207318e-05,8.072439e-05,8.772083e-05,8.863186e-05,9.583786e-05,1.015057e-04,1.023840e-04,1.083109e-04,1.128396e-04,1.136577e-04,1.184619e-04,1.220216e-04,1.227592e-04,1.265836e-04,1.293242e-04,1.299671e-04,1.329399e-04,1.349922e-04,1.355308e-04,1.377664e-04,1.392436e-04,1.396722e-04,1.412717e-04,1.422714e-04,1.425874e-04,1.436400e-04,1.442461e-04,1.444492e-04,1.450334e-04,1.453176e-04,1.454097e-04,1.455943e-04,1.456180e-04,1.456022e-04,1.454475e-04,1.452629e-04,1.451435e-04,1.447025e-04,1.443537e-04,1.441360e-04,1.434548e-04,1.429793e-04,1.426690e-04,1.417879e-04,1.412172e-04,1.408203e-04,1.397745e-04,1.391350e-04,1.386579e-04,1.374779e-04,1.367918e-04,1.362409e-04,1.349531e-04,1.342386e-04,1.336203e-04,1.322478e-04,1.315201e-04,1.308406e-04,1.294033e-04,1.286747e-04,1.279402e-04,1.264552e-04,1.257358e-04,1.249521e-04,1.234342e-04,1.227319e-04,1.219047e-04,1.203665e-04,1.196877e-04,1.188224e-04,1.172748e-04,1.166243e-04,1.157260e-04,1.141782e-04,1.135597e-04,1.126332e-04,1.110929e-04,1.105092e-04,1.095590e-04,1.080328e-04,1.074856e-04,1.065159e-04,1.050094e-04,1.044998e-04,1.035145e-04,1.020322e-04,1.015607e-04,1.005634e-04,9.910910e-05,9.867573e-05,9.766993e-05,9.624659e-05,9.585098e-05,9.483970e-05,9.344979e-05,9.309126e-05,9.207735e-05,9.072278e-05,9.040038e-05,8.938644e-05,8.806864e-05,8.778124e-05,8.676965e-05,8.548968e-05,8.523598e-05,8.422889e-05,8.298745e-05,8.276605e-05,8.176543e-05,8.056293e-05,8.037234e-05,7.937996e-05,7.821656e-05,7.805525e-05,7.707270e-05,7.594836e-05,7.581474e-05,7.484347e-05,7.375795e-05,7.365046e-05,7.269172e-05,7.164467e-05,7.156173e-05,7.061666e-05,6.960756e-05,6.954762e-05,6.861722e-05,6.764547e-05,6.760698e-05,6.669214e-05,6.575704e-05,6.573853e-05,6.483999e-05,6.394078e-05,6.221220e-05,6.055112e-05,5.895582e-05,5.742455e-05,5.595549e-05,5.454682e-05,5.319671e-05,5.190332e-05,5.066485e-05,4.947946e-05,4.834539e-05,4.726087e-05,4.622416e-05,4.523358e-05,4.428747e-05,4.338419e-05,4.252218e-05,4.169988e-05,4.091580e-05,4.016848e-05,3.945650e-05,3.877850e-05,3.813313e-05,3.751912e-05,3.693522e-05,3.638021e-05,3.585293e-05,3.535225e-05,3.487708e-05,3.442637e-05,3.399910e-05,3.359430e-05,3.321102e-05,3.284834e-05,3.250538e-05,3.218131e-05,3.187530e-05,3.158656e-05,3.131434e-05,3.105791e-05,3.081657e-05,3.058963e-05,3.037645e-05,3.017641e-05,2.998889e-05,2.981332e-05,2.964914e-05,2.949581e-05,2.935283e-05
0.000000e+00,3.469157e-07,8.594804e-06,9.050348e-06,7.683167e-05,3.170889e-04,3.327814e-04,8.872852e-04,1.642840e-03,1.696409e-03,2.642742e-03,3.549250e-03,3.627725e-03,4.585111e-03,5.389338e-03,5.474467e-03,6.273655e-03,6.894428e-03,6.972963e-03,7.570859e-03,8.006625e-03,8.070985e-03,8.480059e-03,8.759407e-03,8.806439e-03,9.059141e-03,9.217725e-03,9.247200e-03,9.379263e-03,9.450011e-03,9.463351e-03,9.506734e-03,9.516505e-03,9.515881e-03,9.496468e-03,9.465668e-03,9.453416e-03,9.390949e-03,9.334358e-03,9.312659e-03,9.221578e-03,9.149526e-03,9.120251e-03,9.010797e-03,8.930300e-03,8.894977e-03,8.774241e-03,8.689954e-03,8.649788e-03,8.522598e-03,8.437550e-03,8.393476e-03,8.263080e-03,8.179211e-03,8.131949e-03,8.000525e-03,7.919056e-03,7.869169e-03,7.738181e-03,7.659870e-03,7.607808e-03,7.478255e-03,7.403559e-03,7.349694e-03,7.222271e-03,7.151456e-03,7.096105e-03,6.971302e-03,6.904506e-03,6.847949e-03,6.726122e-03,6.663397e-03,6.605885e-03,6.487296e-03,6.428634e-03,6.370401e-03,6.255242e-03,6.200593e-03,6.141854e-03,6.030265e-03,5.979546e-03,5.920501e-03,5.812582e-03,5.765686e-03,5.706522e-03,5.602335e-03,5.559137e-03,5.500029e-03,5.399608e-03,5.359968e-03,5.301075e-03,5.204430e-03,5.168199e-03,5.109669e-03,5.016787e-03,4.983808e-03,4.925776e-03,4.836627e-03,4.806739e-03,4.749328e-03,4.663867e-03,4.636905e-03,4.580229e-03,4.498397e-03,4.474198e-03,4.418356e-03,4.340086e-03,4.318485e-03,4.263569e-03,4.188785e-03,4.169622e-03,4.115713e-03,4.044331e-03,4.027449e-03,3.974619e-03,3.906554e-03,3.891798e-03,3.840112e-03,3.775272e-03,3.762494e-03,3.712009e-03,3.650301e-03,3.639356e-03,3.590123e-03,3.531452e-03,3.522203e-03,3.474264e-03,3.418535e-03,3.410849e-03,3.364243e-03,3.311362e-03,3.305110e-03,3.259869e-03,3.209741e-03,3.204802e-03,3.160955e-03,3.113486e-03,3.109745e-03,3.067313e-03,3.022413e-03,3.019759e-03,2.978761e-03,2.936338e-03,2.934666e-03,2.895119e-03,2.855083e-03,2.854294e-03,2.816208e-03,2.778473e-03,2.707037e-03,2.639825e-03,2.576677e-03,2.517439e-03,2.461962e-03,2.410099e-03,2.361707e-03,2.316647e-03,2.274785e-03,2.235988e-03,2.200129e-03,2.167081e-03,2.136725e-03,2.108940e-03,2.083611e-03,2.060625e-03,2.039873e-03,2.021246e-03,2.004641e-03,1.989954e-03,1.977087e-03,1.965942e-03,1.956425e-03,1.948442e-03,1.941905e-03,1.936724e-03,1.932815e-03,1.930095e-03,1.928483e-03,1.927900e-03,1.928270e-03,1.929520e-03,1.931578e-03,1.934375e-03,1.937844e-03,1.941922e-03,1.946546e-03,1.951658e-03,1.957199e-03,1.963117e-03,1.969359e-03,1.975875e-03,1.982619e-03,1.989547e-03,1.996616e-03,2.003787e-03,2.011022e-03,2.018288e-03,2.025552e-03
0.000000e+00,1.055209e-07,1.526778e-06,1.591582e-06,9.119370e-06,3.112616e-05,3.251594e-05,8.251141e-05,1.562195e-04,1.616617e-04,2.602498e-04,3.557397e-04,3.639687e-04,4.638283e-04,5.476626e-04,5.565907e-04,6.415824e-04,7.100490e-04,7.189399e-04,7.890209e-04,8.437854e-04,8.522384e-04,9.090124e-04,9.520254e-04,9.597557e-04,1.004868e-03,1.037929e-03,1.044734e-03,1.079720e-03,1.104431e-03,1.110175e-03,1.136429e-03,1.154191e-03,1.158793e-03,1.177558e-03,1.189584e-03,1.193001e-03,1.205377e-03,1.212704e-03,1.214929e-03,1.221883e-03,1.225400e-03,1.226450e-03,1.228826e-03,1.229285e-03,1.229196e-03,1.227735e-03,1.225778e-03,1.224604e-03,1.219951e-03,1.216117e-03,1.213919e-03,1.206636e-03,1.201374e-03,1.198222e-03,1.188789e-03,1.182476e-03,1.178443e-03,1.167280e-03,1.160228e-03,1.155390e-03,1.142856e-03,1.135321e-03,1.129755e-03,1.116159e-03,1.108355e-03,1.102135e-03,1.087744e-03,1.079840e-03,1.073042e-03,1.058081e-03,1.050216e-03,1.042911e-03,1.027574e-03,1.019856e-03,1.012112e-03,9.965625e-04,9.890778e-04,9.809597e-04,9.653353e-04,9.581488e-04,9.497180e-04,9.341343e-04,9.272943e-04,9.186080e-04,9.031611e-04,8.967019e-04,8.878134e-04,8.725828e-04,8.665270e-04,8.574855e-04,8.425362e-04,8.368970e-04,8.277479e-04,8.131323e-04,8.079150e-04,7.986997e-04,7.844594e-04,7.796630e-04,7.704195e-04,7.565868e-04,7.522052e-04,7.429676e-04,7.295670e-04,7.255901e-04,7.163894e-04,7.034385e-04,6.998532e-04,6.907171e-04,6.782277e-04,6.750186e-04,6.659719e-04,6.539509e-04,6.511009e-04,6.421653e-04,6.306155e-04,6.281062e-04,6.193013e-04,6.082219e-04,6.060342e-04,5.973767e-04,5.867642e-04,5.848786e-04,5.763831e-04,5.662315e-04,5.646285e-04,5.563076e-04,5.466089e-04,5.452690e-04,5.371333e-04,5.278780e-04,5.267821e-04,5.188405e-04,5.100179e-04,5.091473e-04,5.014071e-04,4.930053e-04,4.923420e-04,4.848091e-04,4.768155e-04,4.763422e-04,4.690211e-04,4.614226e-04,4.611227e-04,4.540167e-04,4.467999e-04,4.466575e-04,4.397688e-04,4.329200e-04,4.198836e-04,4.075215e-04,3.958070e-04,3.847138e-04,3.742159e-04,3.642877e-04,3.549044e-04,3.460416e-04,3.376756e-04,3.297837e-04,3.223436e-04,3.153338e-04,3.087337e-04,3.025234e-04,2.966837e-04,2.911962e-04,2.860434e-04,2.812082e-04,2.766745e-04,2.724267e-04,2.684501e-04,2.647305e-04,2.612543e-04,2.580087e-04,2.549813e-04,2.521604e-04,2.495347e-04,2.470937e-04,2.448272e-04,2.427255e-04,2.407795e-04,2.389803e-04,2.373196e-04,2.357896e-04,2.343827e-04,2.330918e-04,2.319100e-04,2.308310e-04,2.298486e-04,2.289570e-04,2.281507e-04,2.274244e-04,2.267732e-04,2.261923e-04,2.256773e-04,2.252239e-04,2.248282e-04,2.244863e-04,2.241945e-04
0.000000e+00,1.392870e-08,1.660548e-07,1.728827e-07,9.507083e-07,3.093261e-06,3.223264e-06,7.564469e-06,1.301128e-05,1.337896e-05,1.952334e-05,2.494866e-05,2.540439e-05,3.086323e-05,3.539563e-05,3.587725e-05,4.045852e-05,4.414850e-05,4.462780e-05,4.840784e-05,5.136479e-05,5.182148e-05,5.489119e-05,5.721995e-05,5.763879e-05,6.008534e-05,6.188108e-05,6.225105e-05,6.415524e-05,6.550265e-05,6.581625e-05,6.725150e-05,6.822488e-05,6.847743e-05,6.950953e-05,7.017329e-05,7.036237e-05,7.104963e-05,7.145919e-05,7.158415e-05,7.197795e-05,7.218070e-05,7.224229e-05,7.238767e-05,7.242392e-05,7.242387e-05,7.236002e-05,7.226386e-05,7.220470e-05,7.196594e-05,7.176628e-05,7.165118e-05,7.126739e-05,7.098853e-05,7.082101e-05,7.031811e-05,6.998039e-05,6.976429e-05,6.916480e-05,6.878522e-05,6.852450e-05,6.784787e-05,6.744041e-05,6.713904e-05,6.640189e-05,6.597806e-05,6.563999e-05,6.485667e-05,6.442585e-05,6.405497e-05,6.323773e-05,6.280750e-05,6.240756e-05,6.156687e-05,6.114328e-05,6.071788e-05,5.986264e-05,5.945046e-05,5.900302e-05,5.814076e-05,5.774368e-05,5.727745e-05,5.641453e-05,5.603532e-05,5.555333e-05,5.469508e-05,5.433576e-05,5.384087e-05,5.299170e-05,5.265366e-05,5.214850e-05,5.131209e-05,5.099619e-05,5.048320e-05,4.966252e-05,4.936919e-05,4.885063e-05,4.804808e-05,4.777743e-05,4.725534e-05,4.647284e-05,4.622466e-05,4.570093e-05,4.493995e-05,4.471383e-05,4.419017e-05,4.345183e-05,4.324717e-05,4.272512e-05,4.201020e-05,4.182627e-05,4.130721e-05,4.061625e-05,4.045222e-05,3.993740e-05,3.927069e-05,3.912565e-05,3.861617e-05,3.797383e-05,3.784682e-05,3.734366e-05,3.672563e-05,3.661567e-05,3.611969e-05,3.552578e-05,3.543187e-05,3.494382e-05,3.437373e-05,3.429486e-05,3.381541e-05,3.326874e-05,3.320392e-05,3.273362e-05,3.220991e-05,3.215816e-05,3.169749e-05,3.119621e-05,3.115659e-05,3.070594e-05,3.022652e-05,3.019809e-05,2.975780e-05,2.929962e-05,2.928151e-05,2.885183e-05,2.841426e-05,2.840561e-05,2.798675e-05,2.756913e-05,2.677079e-05,2.600927e-05,2.528327e-05,2.459149e-05,2.393263e-05,2.330542e-05,2.270860e-05,2.214095e-05,2.160126e-05,2.108836e-05,2.060111e-05,2.013841e-05,1.969919e-05,1.928241e-05,1.888708e-05,1.851223e-05,1.815693e-05,1.782029e-05,1.750145e-05,1.719959e-05,1.691391e-05,1.664365e-05,1.638808e-05,1.614652e-05,1.591828e-05,1.570274e-05,1.549927e-05,1.530730e-05,1.512627e-05,1.495564e-05,1.479491e-05,1.464358e-05,1.450120e-05,1.436731e-05,1.424150e-05,1.412337e-05,1.401252e-05,1.390860e-05,1.381124e-05,1.372013e-05,1.363493e-05,1.355535e-05,1.348110e-05,1.341190e-05,1.334750e-05,1.328763e-05,1.323208e-05,1.318059e-05,1.313298e-05
0.000000e+00,6.603923e-09,7.301560e-08,7.593544e-08,4.043524e-07,1.314401e-06,1.370177e-06,3.274977e-06,5.789448e-06,5.963922e-06,8.948170e-06,1.166418e-05,1.189507e-05,1.469113e-05,1.705572e-05,1.730940e-05,1.974773e-05,2.174841e-05,2.201097e-05,2.410600e-05,2.577887e-05,2.604027e-05,2.782140e-05,2.920473e-05,2.945694e-05,3.095433e-05,3.208419e-05,3.232082e-05,3.356344e-05,3.447293e-05,3.468900e-05,3.570404e-05,3.642311e-05,3.661486e-05,3.742745e-05,3.798287e-05,3.814756e-05,3.878068e-05,3.919627e-05,3.933204e-05,3.980661e-05,4.010342e-05,4.020912e-05,4.054411e-05,4.074073e-05,4.081585e-05,4.102842e-05,4.114113e-05,4.118564e-05,4.129120e-05,4.133425e-05,4.134855e-05,4.136098e-05,4.134681e-05,4.133160e-05,4.126336e-05,4.120276e-05,4.115904e-05,4.102129e-05,4.092363e-05,4.085259e-05,4.065530e-05,4.052866e-05,4.043165e-05,4.018375e-05,4.003507e-05,3.991358e-05,3.962301e-05,3.945824e-05,3.931381e-05,3.898765e-05,3.881187e-05,3.864609e-05,3.829063e-05,3.810812e-05,3.792264e-05,3.754345e-05,3.735781e-05,3.715427e-05,3.675627e-05,3.657053e-05,3.635054e-05,3.593810e-05,3.575475e-05,3.551990e-05,3.509684e-05,3.491792e-05,3.466977e-05,3.423947e-05,3.406661e-05,3.380667e-05,3.337206e-05,3.320657e-05,3.293629e-05,3.249996e-05,3.234284e-05,3.206361e-05,3.162777e-05,3.147979e-05,3.119292e-05,3.075951e-05,3.062119e-05,3.032795e-05,2.989862e-05,2.977031e-05,2.947188e-05,2.904806e-05,2.892995e-05,2.862745e-05,2.821033e-05,2.810248e-05,2.779695e-05,2.738754e-05,2.728990e-05,2.698232e-05,2.658147e-05,2.649388e-05,2.618516e-05,2.579355e-05,2.571580e-05,2.540677e-05,2.502496e-05,2.495676e-05,2.464821e-05,2.427662e-05,2.421766e-05,2.391029e-05,2.354926e-05,2.349915e-05,2.319362e-05,2.284340e-05,2.280174e-05,2.249864e-05,2.215938e-05,2.212576e-05,2.182564e-05,2.149743e-05,2.147141e-05,2.117475e-05,2.085761e-05,2.083876e-05,2.054601e-05,2.023992e-05,2.022779e-05,1.993933e-05,1.964421e-05,1.963837e-05,1.935455e-05,1.907030e-05,1.852331e-05,1.799709e-05,1.749125e-05,1.700538e-05,1.653905e-05,1.609177e-05,1.566305e-05,1.525238e-05,1.485925e-05,1.448312e-05,1.412347e-05,1.377974e-05,1.345142e-05,1.313797e-05,1.283887e-05,1.255359e-05,1.228163e-05,1.202248e-05,1.177566e-05,1.154068e-05,1.131708e-05,1.110439e-05,1.090218e-05,1.071001e-05,1.052746e-05,1.035414e-05,1.018964e-05,1.003358e-05,9.885609e-06,9.745363e-06,9.612503e-06,9.486701e-06,9.367641e-06,9.255018e-06,9.148539e-06,9.047923e-06,8.952900e-06,8.863211e-06,8.778608e-06,8.698850e-06,8.623710e-06,8.552968e-06,8.486414e-06,8.423847e-06,8.365074e-06,8.309911e-06,8.258181e-06,8.209716e-06,8.164355e-06
0.000000e+00,8.061711e-08,2.228344e-06,2.342252e-06,1.614319e-05,4.999595e-05,5.183779e-05,1.036178e-04,1.525279e-04,1.554543e-04,1.998137e-04,2.333709e-04,2.359841e-04,2.649562e-04,2.858257e-04,2.878756e-04,3.057609e-04,3.180232e-04,3.194734e-04,3.297324e-04,3.362469e-04,3.371294e-04,3.421578e-04,3.448590e-04,3.452355e-04,3.467115e-04,3.469319e-04,3.468761e-04,3.459711e-04,3.446131e-04,3.441972e-04,3.417205e-04,3.393905e-04,3.386790e-04,3.351869e-04,3.322903e-04,3.313387e-04,3.272126e-04,3.240189e-04,3.228733e-04,3.183741e-04,3.150606e-04,3.137589e-04,3.090641e-04,3.057465e-04,3.043194e-04,2.995494e-04,2.963017e-04,2.947741e-04,2.900100e-04,2.868783e-04,2.852702e-04,2.805658e-04,2.775776e-04,2.759054e-04,2.712961e-04,2.684664e-04,2.667433e-04,2.622517e-04,2.595874e-04,2.578244e-04,2.534642e-04,2.509667e-04,2.491729e-04,2.449520e-04,2.426193e-04,2.408023e-04,2.367244e-04,2.345522e-04,2.327185e-04,2.287845e-04,2.267672e-04,2.249223e-04,2.211314e-04,2.192625e-04,2.174113e-04,2.137612e-04,2.120339e-04,2.101805e-04,2.066683e-04,2.050754e-04,2.032237e-04,1.998458e-04,1.983804e-04,1.965336e-04,1.932861e-04,1.919412e-04,1.901023e-04,1.869813e-04,1.857501e-04,1.839218e-04,1.809229e-04,1.797991e-04,1.779837e-04,1.751029e-04,1.740800e-04,1.722797e-04,1.695129e-04,1.685849e-04,1.668015e-04,1.641447e-04,1.633058e-04,1.615413e-04,1.589903e-04,1.582351e-04,1.564909e-04,1.540420e-04,1.533652e-04,1.516426e-04,1.492920e-04,1.486887e-04,1.469891e-04,1.447330e-04,1.441984e-04,1.425229e-04,1.403579e-04,1.398875e-04,1.382370e-04,1.361595e-04,1.357492e-04,1.341246e-04,1.321314e-04,1.317770e-04,1.301790e-04,1.282668e-04,1.279645e-04,1.263939e-04,1.245596e-04,1.243059e-04,1.227632e-04,1.210038e-04,1.207951e-04,1.192807e-04,1.175933e-04,1.174265e-04,1.159409e-04,1.143227e-04,1.141947e-04,1.127382e-04,1.111865e-04,1.110945e-04,1.096672e-04,1.081795e-04,1.081206e-04,1.067228e-04,1.052965e-04,1.052683e-04,1.039001e-04,1.025328e-04,9.990968e-05,9.739444e-05,9.498292e-05,9.267107e-05,9.045499e-05,8.833093e-05,8.629528e-05,8.434455e-05,8.247541e-05,8.068464e-05,7.896913e-05,7.732592e-05,7.575214e-05,7.424503e-05,7.280194e-05,7.142033e-05,7.009774e-05,6.883182e-05,6.762030e-05,6.646101e-05,6.535184e-05,6.429079e-05,6.327592e-05,6.230536e-05,6.137733e-05,6.049011e-05,5.964204e-05,5.883153e-05,5.805705e-05,5.731714e-05,5.661039e-05,5.593543e-05,5.529096e-05,5.467573e-05,5.408854e-05,5.352822e-05,5.299366e-05,5.248379e-05,5.199759e-05,5.153406e-05,5.109226e-05,5.067128e-05,5.027023e-05,4.988827e-05,4.952460e-05,4.917843e-05,4.884903e-05,4.853567e-05,4.823766e-05
0.000000e+00,1.188797e-07,1.682906e-06,1.754511e-06,1.017670e-05,3.471584e-05,3.624618e-05,8.956557e-05,1.626449e-04,1.678127e-04,2.569942e-04,3.370619e-04,3.437341e-04,4.222782e-04,4.850251e-04,4.915403e-04,5.519067e-04,5.982382e-04,6.040937e-04,6.488480e-04,6.819352e-04,6.868803e-04,7.188498e-04,7.414644e-04,7.453635e-04,7.669768e-04,7.814003e-04,7.841971e-04,7.974865e-04,8.055718e-04,8.072656e-04,8.139162e-04,8.171559e-04,8.177848e-04,8.191854e-04,8.187754e-04,8.184026e-04,8.156938e-04,8.125871e-04,8.112918e-04,8.054070e-04,8.003591e-04,7.982293e-04,7.899300e-04,7.835364e-04,7.806635e-04,7.705690e-04,7.632961e-04,7.597715e-04,7.483836e-04,7.405936e-04,7.365062e-04,7.242299e-04,7.162015e-04,7.116356e-04,6.987957e-04,6.907404e-04,6.857750e-04,6.726314e-04,6.647077e-04,6.594160e-04,6.461743e-04,6.384982e-04,6.329468e-04,6.197689e-04,6.124228e-04,6.066719e-04,5.936831e-04,5.867226e-04,5.808263e-04,5.681227e-04,5.615835e-04,5.555905e-04,5.432451e-04,5.371465e-04,5.310994e-04,5.191644e-04,5.135132e-04,5.074493e-04,4.959619e-04,4.907558e-04,4.847082e-04,4.736928e-04,4.689225e-04,4.629192e-04,4.523898e-04,4.480407e-04,4.421062e-04,4.320688e-04,4.281228e-04,4.222775e-04,4.127316e-04,4.091683e-04,4.034298e-04,3.943701e-04,3.911675e-04,3.855504e-04,3.769680e-04,3.741035e-04,3.686198e-04,3.605025e-04,3.579532e-04,3.526127e-04,3.449466e-04,3.426898e-04,3.375002e-04,3.302696e-04,3.282831e-04,3.232505e-04,3.164386e-04,3.147010e-04,3.098298e-04,3.034194e-04,3.019100e-04,2.972033e-04,2.911769e-04,2.898761e-04,2.853358e-04,2.796755e-04,2.785648e-04,2.741918e-04,2.688801e-04,2.679420e-04,2.637362e-04,2.587559e-04,2.579739e-04,2.539348e-04,2.492688e-04,2.486277e-04,2.447537e-04,2.403856e-04,2.398711e-04,2.361605e-04,2.320743e-04,2.316732e-04,2.281234e-04,2.243039e-04,2.240039e-04,2.206121e-04,2.170445e-04,2.168343e-04,2.135975e-04,2.102676e-04,2.101368e-04,2.070516e-04,2.039460e-04,2.038850e-04,2.009478e-04,1.980537e-04,1.926187e-04,1.875573e-04,1.828477e-04,1.784693e-04,1.744025e-04,1.706288e-04,1.671307e-04,1.638917e-04,1.608961e-04,1.581291e-04,1.555768e-04,1.532258e-04,1.510639e-04,1.490792e-04,1.472607e-04,1.455979e-04,1.440810e-04,1.427007e-04,1.414482e-04,1.403154e-04,1.392944e-04,1.383779e-04,1.375590e-04,1.368312e-04,1.361884e-04,1.356249e-04,1.351351e-04,1.347141e-04,1.343570e-04,1.340592e-04,1.338166e-04,1.336250e-04,1.334808e-04,1.333803e-04,1.333203e-04,1.332976e-04,1.333092e-04,1.333525e-04,1.334247e-04,1.335234e-04,1.336464e-04,1.337915e-04,1.339566e-04,1.341399e-04,1.343395e-04,1.345540e-04,1.347815e-04,1.350208e-04,1.352705e-04
0.000000e+00,4.274341e-10,5.719427e-09,5.975179e-09,3.879499e-08,1.415442e-07,1.480003e-07,3.641419e-07,6.249454e-07,6.422080e-07,9.292552e-07,1.185196e-06,1.206932e-06,1.471037e-06,1.696507e-06,1.720846e-06,1.956488e-06,2.152419e-06,2.178324e-06,2.386786e-06,2.555717e-06,2.582333e-06,2.765442e-06,2.909990e-06,2.936590e-06,3.096261e-06,3.218961e-06,3.244931e-06,3.383069e-06,3.486306e-06,3.511136e-06,3.629578e-06,3.715562e-06,3.738831e-06,3.839318e-06,3.910077e-06,3.931448e-06,4.015615e-06,4.072994e-06,4.092195e-06,4.161557e-06,4.207229e-06,4.224057e-06,4.280033e-06,4.315510e-06,4.329812e-06,4.373705e-06,4.400346e-06,4.412015e-06,4.445030e-06,4.464055e-06,4.473028e-06,4.496273e-06,4.508774e-06,4.515019e-06,4.529510e-06,4.536461e-06,4.539980e-06,4.546652e-06,4.548922e-06,4.549741e-06,4.549451e-06,4.547812e-06,4.545979e-06,4.539512e-06,4.534650e-06,4.530231e-06,4.518306e-06,4.510826e-06,4.503903e-06,4.487178e-06,4.477612e-06,4.468279e-06,4.447351e-06,4.436169e-06,4.424530e-06,4.399946e-06,4.387557e-06,4.373724e-06,4.345981e-06,4.332741e-06,4.316832e-06,4.286383e-06,4.272600e-06,4.254737e-06,4.221993e-06,4.207935e-06,4.188242e-06,4.153574e-06,4.139469e-06,4.118073e-06,4.081819e-06,4.067861e-06,4.044888e-06,4.007353e-06,3.993705e-06,3.969281e-06,3.930739e-06,3.917538e-06,3.891787e-06,3.852485e-06,3.839844e-06,3.812889e-06,3.773050e-06,3.761058e-06,3.733018e-06,3.692841e-06,3.681571e-06,3.652563e-06,3.612226e-06,3.601733e-06,3.571869e-06,3.531531e-06,3.521856e-06,3.491245e-06,3.451046e-06,3.442217e-06,3.410964e-06,3.371029e-06,3.363062e-06,3.331268e-06,3.291707e-06,3.284610e-06,3.252370e-06,3.213280e-06,3.207049e-06,3.174456e-06,3.135920e-06,3.130549e-06,3.097689e-06,3.059780e-06,3.055253e-06,3.022209e-06,2.984990e-06,2.981288e-06,2.948136e-06,2.911660e-06,2.908759e-06,2.875573e-06,2.839886e-06,2.837757e-06,2.804607e-06,2.769745e-06,2.768359e-06,2.735307e-06,2.701301e-06,2.700626e-06,2.667733e-06,2.634607e-06,2.570343e-06,2.507860e-06,2.447181e-06,2.388315e-06,2.331268e-06,2.276039e-06,2.222619e-06,2.170997e-06,2.121155e-06,2.073073e-06,2.026726e-06,1.982088e-06,1.939128e-06,1.897814e-06,1.858113e-06,1.819990e-06,1.783407e-06,1.748328e-06,1.714714e-06,1.682525e-06,1.651723e-06,1.622269e-06,1.594122e-06,1.567242e-06,1.541591e-06,1.517130e-06,1.493819e-06,1.471620e-06,1.450495e-06,1.430407e-06,1.411320e-06,1.393197e-06,1.376002e-06,1.359703e-06,1.344264e-06,1.329653e-06,1.315838e-06,1.302786e-06,1.290469e-06,1.278855e-06,1.267916e-06,1.257625e-06,1.247953e-06,1.238875e-06,1.230364e-06,1.222396e-06,1.214947e-06,1.207994e-06,1.201515e-06
0.000000e+00,3.163253e-09,4.716369e-08,4.933306e-08,3.227358e-07,1.109244e-06,1.155837e-06,2.577674e-06,4.093525e-06,4.190355e-06,5.772407e-06,7.159180e-06,7.276380e-06,8.695262e-06,9.900144e-06,1.002988e-05,1.128268e-05,1.231971e-05,1.245649e-05,1.355423e-05,1.443970e-05,1.457886e-05,1.553334e-05,1.628307e-05,1.642064e-05,1.724371e-05,1.787274e-05,1.800545e-05,1.870869e-05,1.923102e-05,1.935620e-05,1.995070e-05,2.037930e-05,2.049480e-05,2.099100e-05,2.133757e-05,2.144172e-05,2.184931e-05,2.212446e-05,2.221598e-05,2.254390e-05,2.275717e-05,2.283512e-05,2.309162e-05,2.325151e-05,2.331526e-05,2.350785e-05,2.362196e-05,2.367112e-05,2.380670e-05,2.388179e-05,2.391618e-05,2.400105e-05,2.404311e-05,2.406274e-05,2.410262e-05,2.411696e-05,2.412198e-05,2.412208e-05,2.411339e-05,2.410409e-05,2.406915e-05,2.404153e-05,2.401832e-05,2.395262e-05,2.390970e-05,2.387304e-05,2.378049e-05,2.372543e-05,2.367586e-05,2.355998e-05,2.349555e-05,2.343366e-05,2.329764e-05,2.322622e-05,2.315265e-05,2.299938e-05,2.292305e-05,2.283846e-05,2.267052e-05,2.259107e-05,2.249614e-05,2.231588e-05,2.223484e-05,2.213026e-05,2.193977e-05,2.185844e-05,2.174490e-05,2.154609e-05,2.146555e-05,2.134375e-05,2.113830e-05,2.105949e-05,2.093010e-05,2.071953e-05,2.064320e-05,2.050691e-05,2.029256e-05,2.021934e-05,2.007679e-05,1.985987e-05,1.979027e-05,1.964209e-05,1.942368e-05,1.935807e-05,1.920489e-05,1.898594e-05,1.892463e-05,1.876703e-05,1.854837e-05,1.849159e-05,1.833014e-05,1.811252e-05,1.806040e-05,1.789566e-05,1.767971e-05,1.763234e-05,1.746482e-05,1.725112e-05,1.720853e-05,1.703873e-05,1.682776e-05,1.678995e-05,1.661833e-05,1.641053e-05,1.637744e-05,1.620445e-05,1.600017e-05,1.597172e-05,1.579777e-05,1.559733e-05,1.557341e-05,1.539890e-05,1.520255e-05,1.518303e-05,1.500833e-05,1.481629e-05,1.480102e-05,1.462647e-05,1.443891e-05,1.442773e-05,1.425366e-05,1.407073e-05,1.406346e-05,1.389016e-05,1.371196e-05,1.370842e-05,1.353617e-05,1.336279e-05,1.302668e-05,1.270017e-05,1.238329e-05,1.207604e-05,1.177839e-05,1.149029e-05,1.121164e-05,1.094235e-05,1.068230e-05,1.043135e-05,1.018934e-05,9.956126e-06,9.731525e-06,9.515364e-06,9.307455e-06,9.107611e-06,8.915636e-06,8.731334e-06,8.554506e-06,8.384953e-06,8.222475e-06,8.066872e-06,7.917945e-06,7.775497e-06,7.639331e-06,7.509256e-06,7.385080e-06,7.266614e-06,7.153674e-06,7.046078e-06,6.943648e-06,6.846208e-06,6.753589e-06,6.665621e-06,6.582143e-06,6.502993e-06,6.428017e-06,6.357063e-06,6.289981e-06,6.226630e-06,6.166867e-06,6.110557e-06,6.057568e-06,6.007769e-06,5.961037e-06,5.917250e-06,5.876289e-06,5.838041e-06,5.802394e-06
0.000000e+00,9.885232e-08,1.556365e-06,1.627921e-06,1.069900e-05,3.777151e-05,3.942980e-05,9.351254e-05,1.568658e-04,1.610145e-04,2.293948e-04,2.895737e-04,2.946550e-04,3.560475e-04,4.079551e-04,4.135300e-04,4.672084e-04,5.114094e-04,5.172225e-04,5.637203e-04,6.010104e-04,6.068517e-04,6.467672e-04,6.779198e-04,6.836155e-04,7.175437e-04,7.432865e-04,7.486952e-04,7.772096e-04,7.982134e-04,8.032221e-04,8.268635e-04,8.437388e-04,8.482595e-04,8.675314e-04,8.808290e-04,8.847952e-04,9.001614e-04,9.103734e-04,9.137363e-04,9.256218e-04,9.331883e-04,9.359155e-04,9.447102e-04,9.500219e-04,9.520941e-04,9.581512e-04,9.615532e-04,9.629617e-04,9.666019e-04,9.683988e-04,9.691445e-04,9.706587e-04,9.711184e-04,9.712100e-04,9.708611e-04,9.702189e-04,9.696713e-04,9.676972e-04,9.661585e-04,9.649921e-04,9.616072e-04,9.593514e-04,9.575905e-04,9.529879e-04,9.501709e-04,9.478429e-04,9.421967e-04,9.389532e-04,9.360883e-04,9.295547e-04,9.260009e-04,9.226310e-04,9.153501e-04,9.115857e-04,9.077436e-04,8.998410e-04,8.959509e-04,8.916704e-04,8.832583e-04,8.793146e-04,8.746298e-04,8.658084e-04,8.618716e-04,8.568164e-04,8.476749e-04,8.437957e-04,8.384037e-04,8.290214e-04,8.252414e-04,8.195456e-04,8.099928e-04,8.063458e-04,8.003786e-04,7.907174e-04,7.872306e-04,7.810231e-04,7.713085e-04,7.680031e-04,7.615856e-04,7.518657e-04,7.487577e-04,7.421593e-04,7.324762e-04,7.295773e-04,7.228258e-04,7.132164e-04,7.105343e-04,7.036562e-04,6.941525e-04,6.916917e-04,6.847122e-04,6.753417e-04,6.731039e-04,6.660469e-04,6.568332e-04,6.548176e-04,6.477057e-04,6.386690e-04,6.368729e-04,6.297273e-04,6.208844e-04,6.193035e-04,6.121440e-04,6.035092e-04,6.021376e-04,5.949829e-04,5.865677e-04,5.853985e-04,5.782659e-04,5.700796e-04,5.691051e-04,5.620107e-04,5.540608e-04,5.532724e-04,5.462311e-04,5.385230e-04,5.379116e-04,5.309373e-04,5.234749e-04,5.230311e-04,5.161365e-04,5.089225e-04,5.086366e-04,5.018333e-04,4.948690e-04,4.947309e-04,4.880296e-04,4.813152e-04,4.683885e-04,4.559480e-04,4.439898e-04,4.325085e-04,4.214978e-04,4.109502e-04,4.008575e-04,3.912110e-04,3.820013e-04,3.732184e-04,3.648521e-04,3.568918e-04,3.493268e-04,3.421459e-04,3.353381e-04,3.288922e-04,3.227970e-04,3.170412e-04,3.116136e-04,3.065032e-04,3.016987e-04,2.971894e-04,2.929643e-04,2.890127e-04,2.853243e-04,2.818885e-04,2.786953e-04,2.757346e-04,2.729966e-04,2.704717e-04,2.681505e-04,2.660239e-04,2.640827e-04,2.623183e-04,2.607221e-04,2.592857e-04,2.580010e-04,2.568601e-04,2.558554e-04,2.549793e-04,2.542246e-04,2.535843e-04,2.530515e-04,2.526197e-04,2.522825e-04,2.520337e-04,2.518673e-04,2.517777e-04,2.517593e-04
0.000000e+00,8.277851e-09,1.160484e-07,1.211816e-07,7.369452e-07,2.461512e-06,2.565330e-06,5.962698e-06,1.005703e-05,1.032727e-05,1.473696e-05,1.847677e-05,1.878476e-05,2.240146e-05,2.530166e-05,2.560423e-05,2.842613e-05,3.062151e-05,3.090131e-05,3.306203e-05,3.469158e-05,3.493815e-05,3.655714e-05,3.773683e-05,3.794413e-05,3.912208e-05,3.994674e-05,4.011190e-05,4.093263e-05,4.147913e-05,4.160154e-05,4.213430e-05,4.246452e-05,4.254511e-05,4.284681e-05,4.301033e-05,4.305103e-05,4.316826e-05,4.320464e-05,4.320802e-05,4.317886e-05,4.311957e-05,4.308853e-05,4.294403e-05,4.281403e-05,4.275164e-05,4.251707e-05,4.233609e-05,4.224542e-05,4.194133e-05,4.172489e-05,4.160895e-05,4.125202e-05,4.101228e-05,4.087392e-05,4.047768e-05,4.022410e-05,4.006601e-05,3.964137e-05,3.938129e-05,3.920596e-05,3.876174e-05,3.850077e-05,3.831049e-05,3.785378e-05,3.759618e-05,3.739303e-05,3.692951e-05,3.667846e-05,3.646435e-05,3.599854e-05,3.575638e-05,3.553300e-05,3.506851e-05,3.483688e-05,3.460578e-05,3.414543e-05,3.392547e-05,3.368802e-05,3.323402e-05,3.302646e-05,3.278388e-05,3.233796e-05,3.214317e-05,3.189658e-05,3.146002e-05,3.127817e-05,3.102853e-05,3.060232e-05,3.043335e-05,3.018155e-05,2.976637e-05,2.961010e-05,2.935691e-05,2.895326e-05,2.880939e-05,2.855550e-05,2.816369e-05,2.803184e-05,2.777788e-05,2.739808e-05,2.727782e-05,2.702432e-05,2.665660e-05,2.654746e-05,2.629490e-05,2.593923e-05,2.584072e-05,2.558955e-05,2.524582e-05,2.515742e-05,2.490802e-05,2.457609e-05,2.449730e-05,2.424999e-05,2.392967e-05,2.385997e-05,2.361507e-05,2.330612e-05,2.324501e-05,2.300277e-05,2.270496e-05,2.265193e-05,2.241260e-05,2.212564e-05,2.208023e-05,2.184401e-05,2.156763e-05,2.152935e-05,2.129643e-05,2.103033e-05,2.099874e-05,2.076927e-05,2.051317e-05,2.048783e-05,2.026196e-05,2.001555e-05,1.999604e-05,1.977388e-05,1.953688e-05,1.952281e-05,1.930447e-05,1.907657e-05,1.906755e-05,1.885312e-05,1.863404e-05,1.862970e-05,1.841926e-05,1.820871e-05,1.780402e-05,1.741510e-05,1.704142e-05,1.668246e-05,1.633774e-05,1.600675e-05,1.568904e-05,1.538413e-05,1.509158e-05,1.481095e-05,1.454184e-05,1.428382e-05,1.403650e-05,1.379951e-05,1.357247e-05,1.335503e-05,1.314683e-05,1.294755e-05,1.275685e-05,1.257443e-05,1.239998e-05,1.223321e-05,1.207384e-05,1.192159e-05,1.177620e-05,1.163741e-05,1.150497e-05,1.137865e-05,1.125821e-05,1.114343e-05,1.103410e-05,1.093001e-05,1.083096e-05,1.073675e-05,1.064719e-05,1.056211e-05,1.048133e-05,1.040468e-05,1.033200e-05,1.026313e-05,1.019792e-05,1.013622e-05,1.007789e-05,1.002279e-05,9.970797e-06,9.921777e-06,9.875610e-06,9.832176e-06,9.791362e-06
0.000000e+00,3.012243e-07,5.090592e-06,5.318399e-06,3.351268e-05,1.254532e-04,1.315958e-04,3.729567e-04,7.936526e-04,8.278019e-04,1.529049e-03,2.379997e-03,2.462167e-03,3.577955e-03,4.684845e-03,4.811602e-03,6.097596e-03,7.226827e-03,7.378693e-03,8.610076e-03,9.604726e-03,9.759930e-03,1.080792e-02,1.160114e-02,1.174290e-02,1.256059e-02,1.314395e-02,1.326169e-02,1.385031e-02,1.424442e-02,1.433277e-02,1.471674e-02,1.495323e-02,1.501058e-02,1.522287e-02,1.533490e-02,1.536209e-02,1.543641e-02,1.545419e-02,1.545355e-02,1.542068e-02,1.536977e-02,1.534438e-02,1.523067e-02,1.513172e-02,1.508495e-02,1.491209e-02,1.478128e-02,1.471643e-02,1.450183e-02,1.435147e-02,1.427167e-02,1.402894e-02,1.386823e-02,1.377628e-02,1.351596e-02,1.335160e-02,1.324998e-02,1.298006e-02,1.281686e-02,1.270771e-02,1.243421e-02,1.227549e-02,1.216066e-02,1.188802e-02,1.173605e-02,1.161710e-02,1.134858e-02,1.120479e-02,1.108305e-02,1.082100e-02,1.068624e-02,1.056283e-02,1.030889e-02,1.018359e-02,1.005945e-02,9.814746e-03,9.699020e-03,9.574946e-03,9.340193e-03,9.233932e-03,9.110592e-03,8.886218e-03,8.789163e-03,8.667121e-03,8.453326e-03,8.365115e-03,8.244840e-03,8.041656e-03,7.961862e-03,7.843749e-03,7.651083e-03,7.579234e-03,7.463611e-03,7.281279e-03,7.216885e-03,7.104023e-03,6.931773e-03,6.874335e-03,6.764455e-03,6.601988e-03,6.551010e-03,6.444290e-03,6.291274e-03,6.246269e-03,6.142852e-03,5.998932e-03,5.959429e-03,5.859423e-03,5.724233e-03,5.689779e-03,5.593267e-03,5.466432e-03,5.436596e-03,5.343635e-03,5.224781e-03,5.199153e-03,5.109777e-03,4.998531e-03,4.976725e-03,4.890951e-03,4.786947e-03,4.768599e-03,4.686428e-03,4.589306e-03,4.574076e-03,4.495494e-03,4.404906e-03,4.392476e-03,4.317458e-03,4.233066e-03,4.223140e-03,4.151649e-03,4.073126e-03,4.065430e-03,3.997420e-03,3.924453e-03,3.918732e-03,3.854150e-03,3.786437e-03,3.782455e-03,3.721241e-03,3.658493e-03,3.656033e-03,3.598123e-03,3.540063e-03,3.538925e-03,3.484248e-03,3.430612e-03,3.330602e-03,3.238421e-03,3.153621e-03,3.075774e-03,3.004473e-03,2.939332e-03,2.879983e-03,2.826075e-03,2.777277e-03,2.733273e-03,2.693763e-03,2.658462e-03,2.627101e-03,2.599421e-03,2.575180e-03,2.554146e-03,2.536098e-03,2.520829e-03,2.508139e-03,2.497841e-03,2.489757e-03,2.483716e-03,2.479559e-03,2.477133e-03,2.476295e-03,2.476906e-03,2.478839e-03,2.481970e-03,2.486185e-03,2.491373e-03,2.497433e-03,2.504266e-03,2.511783e-03,2.519895e-03,2.528524e-03,2.537594e-03,2.547033e-03,2.556776e-03,2.566761e-03,2.576932e-03,2.587235e-03,2.597620e-03,2.608043e-03,2.618462e-03,2.628839e-03,2.639139e-03,2.649331e-03,2.659384e-03,2.669275e-03
0.000000e+00,1.777052e-08,3.791660e-07,3.983543e-07,2.904749e-06,9.727167e-06,1.010822e-05,2.088098e-05,3.143235e-05,3.209029e-05,4.265044e-05,5.164552e-05,5.239496e-05,6.133342e-05,6.872343e-05,6.950783e-05,7.696521e-05,8.297126e-05,8.375169e-05,8.991147e-05,9.473962e-05,9.548640e-05,1.005161e-04,1.043473e-04,1.050382e-04,1.090882e-04,1.120803e-04,1.126994e-04,1.159032e-04,1.181928e-04,1.187292e-04,1.212048e-04,1.229093e-04,1.233560e-04,1.252068e-04,1.264265e-04,1.267798e-04,1.280961e-04,1.289164e-04,1.291752e-04,1.300355e-04,1.305291e-04,1.306941e-04,1.311668e-04,1.313950e-04,1.314684e-04,1.316128e-04,1.316277e-04,1.316127e-04,1.314801e-04,1.313255e-04,1.312262e-04,1.308613e-04,1.305739e-04,1.303949e-04,1.298360e-04,1.294467e-04,1.291929e-04,1.284734e-04,1.280080e-04,1.276846e-04,1.268331e-04,1.263129e-04,1.259251e-04,1.249663e-04,1.244093e-04,1.239622e-04,1.229175e-04,1.223381e-04,1.218368e-04,1.207245e-04,1.201348e-04,1.195843e-04,1.184200e-04,1.178298e-04,1.172349e-04,1.160320e-04,1.154492e-04,1.148142e-04,1.135843e-04,1.130151e-04,1.123446e-04,1.110973e-04,1.105467e-04,1.098446e-04,1.085884e-04,1.080602e-04,1.073304e-04,1.060722e-04,1.055692e-04,1.048153e-04,1.035611e-04,1.030854e-04,1.023107e-04,1.010655e-04,1.006186e-04,9.982625e-05,9.859406e-05,9.817687e-05,9.736975e-05,9.615410e-05,9.576704e-05,9.494781e-05,9.375153e-05,9.339468e-05,9.256582e-05,9.139120e-05,9.106436e-05,9.022813e-05,8.907702e-05,8.877974e-05,8.793823e-05,8.681208e-05,8.654372e-05,8.569885e-05,8.459879e-05,8.435856e-05,8.351209e-05,8.243894e-05,8.222595e-05,8.137948e-05,8.033382e-05,8.014708e-05,7.930206e-05,7.828427e-05,7.812273e-05,7.728050e-05,7.629078e-05,7.615334e-05,7.531512e-05,7.435352e-05,7.423907e-05,7.340595e-05,7.247238e-05,7.237979e-05,7.155277e-05,7.064705e-05,7.057519e-05,6.975516e-05,6.887701e-05,6.882476e-05,6.801253e-05,6.716161e-05,6.712786e-05,6.632416e-05,6.550005e-05,6.548371e-05,6.468919e-05,6.389144e-05,6.235011e-05,6.085868e-05,5.941609e-05,5.802123e-05,5.667296e-05,5.537013e-05,5.411159e-05,5.289616e-05,5.172268e-05,5.058999e-05,4.949692e-05,4.844234e-05,4.742512e-05,4.644415e-05,4.549835e-05,4.458664e-05,4.370798e-05,4.286134e-05,4.204572e-05,4.126015e-05,4.050367e-05,3.977535e-05,3.907429e-05,3.839961e-05,3.775044e-05,3.712596e-05,3.652536e-05,3.594784e-05,3.539265e-05,3.485904e-05,3.434629e-05,3.385370e-05,3.338060e-05,3.292632e-05,3.249023e-05,3.207171e-05,3.167016e-05,3.128499e-05,3.091565e-05,3.056159e-05,3.022227e-05,2.989719e-05,2.958585e-05,2.928776e-05,2.900246e-05,2.872949e-05,2.846843e-05,2.821884e-05,2.798031e-05
0.000000e+00,3.208160e-08,6.569224e-07,6.901616e-07,5.477644e-06,2.213142e-05,2.321501e-05,6.103725e-05,1.094947e-04,1.127629e-04,1.672367e-04,2.150099e-04,2.190045e-04,2.665949e-04,3.057220e-04,3.098582e-04,3.489904e-04,3.802247e-04,3.842629e-04,4.159534e-04,4.405462e-04,4.443288e-04,4.696408e-04,4.887083e-04,4.921251e-04,5.120023e-04,5.265010e-04,5.294782e-04,5.447448e-04,5.554876e-04,5.579804e-04,5.693509e-04,5.770244e-04,5.790100e-04,5.871001e-04,5.922808e-04,5.937531e-04,5.990913e-04,6.022618e-04,6.032276e-04,6.062664e-04,6.078292e-04,6.083042e-04,6.094302e-04,6.097202e-04,6.097267e-04,6.092697e-04,6.085645e-04,6.081292e-04,6.063700e-04,6.048991e-04,6.040517e-04,6.012291e-04,5.991816e-04,5.979530e-04,5.942699e-04,5.918009e-04,5.902227e-04,5.858509e-04,5.830873e-04,5.811909e-04,5.762759e-04,5.733206e-04,5.711367e-04,5.658014e-04,5.627376e-04,5.602958e-04,5.546436e-04,5.515382e-04,5.488665e-04,5.429845e-04,5.398905e-04,5.370157e-04,5.309768e-04,5.279358e-04,5.248829e-04,5.187480e-04,5.157924e-04,5.125847e-04,5.064045e-04,5.035589e-04,5.002180e-04,4.940345e-04,4.913170e-04,4.878628e-04,4.817107e-04,4.791344e-04,4.755852e-04,4.694927e-04,4.670663e-04,4.634390e-04,4.574292e-04,4.551579e-04,4.514678e-04,4.455591e-04,4.434456e-04,4.397067e-04,4.339138e-04,4.319582e-04,4.281832e-04,4.225175e-04,4.207185e-04,4.169188e-04,4.113890e-04,4.097437e-04,4.059297e-04,4.005422e-04,3.990468e-04,3.952278e-04,3.899872e-04,3.886369e-04,3.848213e-04,3.797305e-04,3.785199e-04,3.747153e-04,3.697759e-04,3.686994e-04,3.649124e-04,3.601248e-04,3.591764e-04,3.554131e-04,3.507769e-04,3.499504e-04,3.462160e-04,3.417301e-04,3.410193e-04,3.373186e-04,3.329811e-04,3.323797e-04,3.287169e-04,3.245254e-04,3.240273e-04,3.204061e-04,3.163581e-04,3.159572e-04,3.123807e-04,3.084731e-04,3.081635e-04,3.046345e-04,3.008641e-04,3.006401e-04,2.971611e-04,2.935245e-04,2.933804e-04,2.899535e-04,2.864471e-04,2.863777e-04,2.830046e-04,2.796248e-04,2.731148e-04,2.668404e-04,2.607945e-04,2.549699e-04,2.493595e-04,2.439564e-04,2.387537e-04,2.337446e-04,2.289226e-04,2.242813e-04,2.198143e-04,2.155156e-04,2.113790e-04,2.073990e-04,2.035698e-04,1.998861e-04,1.963427e-04,1.929343e-04,1.896561e-04,1.865034e-04,1.834715e-04,1.805559e-04,1.777525e-04,1.750571e-04,1.724656e-04,1.699742e-04,1.675792e-04,1.652771e-04,1.630643e-04,1.609375e-04,1.588936e-04,1.569294e-04,1.550419e-04,1.532283e-04,1.514859e-04,1.498118e-04,1.482036e-04,1.466588e-04,1.451750e-04,1.437500e-04,1.423814e-04,1.410672e-04,1.398053e-04,1.385938e-04,1.374307e-04,1.363142e-04,1.352426e-04,1.342141e-04,1.332271e-04
0.000000e+00,6.307123e-08,1.353923e-06,1.423556e-06,1.173635e-05,4.871073e-05,5.113398e-05,1.356636e-04,2.436171e-04,2.509037e-04,3.724741e-04,4.787234e-04,4.875628e-04,5.920336e-04,6.764306e-04,6.852578e-04,7.677531e-04,8.321305e-04,8.403482e-04,9.039148e-04,9.519983e-04,9.592866e-04,1.007237e-03,1.042301e-03,1.048475e-03,1.083650e-03,1.108387e-03,1.113355e-03,1.138135e-03,1.154746e-03,1.158483e-03,1.174850e-03,1.185115e-03,1.187642e-03,1.197230e-03,1.202583e-03,1.203951e-03,1.208108e-03,1.209697e-03,1.209978e-03,1.209809e-03,1.208553e-03,1.207827e-03,1.204237e-03,1.200866e-03,1.199223e-03,1.192951e-03,1.188046e-03,1.185573e-03,1.177224e-03,1.171242e-03,1.168027e-03,1.158093e-03,1.151394e-03,1.147521e-03,1.136401e-03,1.129268e-03,1.124815e-03,1.112834e-03,1.105485e-03,1.100525e-03,1.087947e-03,1.080549e-03,1.075151e-03,1.062186e-03,1.054867e-03,1.049094e-03,1.035912e-03,1.028769e-03,1.022675e-03,1.009413e-03,1.002516e-03,9.961535e-04,9.829196e-04,9.763192e-04,9.697330e-04,9.566124e-04,9.503430e-04,9.435747e-04,9.306344e-04,9.247183e-04,9.178045e-04,9.050963e-04,8.995458e-04,8.925195e-04,8.800827e-04,8.749027e-04,8.677931e-04,8.556570e-04,8.508468e-04,8.436797e-04,8.318657e-04,8.274199e-04,8.202185e-04,8.087412e-04,8.046514e-04,7.974361e-04,7.863049e-04,7.825602e-04,7.753490e-04,7.645691e-04,7.611568e-04,7.539657e-04,7.435388e-04,7.404451e-04,7.332882e-04,7.232134e-04,7.204238e-04,7.133135e-04,7.035878e-04,7.010874e-04,6.940348e-04,6.846533e-04,6.824270e-04,6.754417e-04,6.663983e-04,6.644312e-04,6.575215e-04,6.488093e-04,6.470864e-04,6.402598e-04,6.318709e-04,6.303778e-04,6.236406e-04,6.155668e-04,6.142893e-04,6.076472e-04,5.998797e-04,5.988043e-04,5.922621e-04,5.847921e-04,5.839055e-04,5.774674e-04,5.702857e-04,5.695754e-04,5.632449e-04,5.563426e-04,5.557963e-04,5.495765e-04,5.429444e-04,5.425507e-04,5.364441e-04,5.300733e-04,5.298211e-04,5.238297e-04,5.177113e-04,5.175902e-04,5.117158e-04,5.058410e-04,4.945569e-04,4.837216e-04,4.733192e-04,4.633341e-04,4.537515e-04,4.445566e-04,4.357352e-04,4.272736e-04,4.191586e-04,4.113772e-04,4.039170e-04,3.967660e-04,3.899125e-04,3.833454e-04,3.770537e-04,3.710270e-04,3.652553e-04,3.597287e-04,3.544380e-04,3.493740e-04,3.445280e-04,3.398916e-04,3.354567e-04,3.312154e-04,3.271602e-04,3.232839e-04,3.195794e-04,3.160399e-04,3.126591e-04,3.094306e-04,3.063483e-04,3.034065e-04,3.005996e-04,2.979222e-04,2.953690e-04,2.929350e-04,2.906156e-04,2.884059e-04,2.863015e-04,2.842982e-04,2.823917e-04,2.805781e-04,2.788536e-04,2.772145e-04,2.756571e-04,2.741780e-04,2.727740e-04,2.714420e-04,2.701787e-04
0.000000e+00,2.418312e-08,3.872902e-07,4.055424e-07,2.789246e-06,9.866141e-06,1.028633e-05,2.301119e-05,3.648311e-05,3.734330e-05,5.139452e-05,6.369574e-05,6.473421e-05,7.728822e-05,8.791775e-05,8.906035e-05,1.000726e-04,1.091559e-04,1.103516e-04,1.199251e-04,1.276159e-04,1.288217e-04,1.370701e-04,1.435189e-04,1.446991e-04,1.517376e-04,1.570884e-04,1.582140e-04,1.641563e-04,1.685441e-04,1.695920e-04,1.745474e-04,1.780959e-04,1.790483e-04,1.831194e-04,1.859405e-04,1.867843e-04,1.900657e-04,1.922598e-04,1.929853e-04,1.955639e-04,1.972205e-04,1.978213e-04,1.997763e-04,2.009745e-04,2.014468e-04,2.028500e-04,2.036597e-04,2.040020e-04,2.049183e-04,2.054010e-04,2.056135e-04,2.061016e-04,2.063115e-04,2.063959e-04,2.065087e-04,2.064929e-04,2.064522e-04,2.062374e-04,2.060372e-04,2.058753e-04,2.053758e-04,2.050269e-04,2.047486e-04,2.040027e-04,2.035365e-04,2.031469e-04,2.021893e-04,2.016325e-04,2.011375e-04,1.999989e-04,1.993748e-04,1.987803e-04,1.974884e-04,1.968168e-04,1.961292e-04,1.947086e-04,1.940065e-04,1.932321e-04,1.917048e-04,1.909866e-04,1.901317e-04,1.885173e-04,1.877950e-04,1.868660e-04,1.851820e-04,1.844659e-04,1.834690e-04,1.817308e-04,1.810291e-04,1.799706e-04,1.781918e-04,1.775116e-04,1.763973e-04,1.745900e-04,1.739367e-04,1.727725e-04,1.709474e-04,1.703255e-04,1.691169e-04,1.672832e-04,1.666962e-04,1.654485e-04,1.636146e-04,1.630648e-04,1.617833e-04,1.599562e-04,1.594456e-04,1.581350e-04,1.563210e-04,1.558507e-04,1.545156e-04,1.527201e-04,1.522907e-04,1.509355e-04,1.491631e-04,1.487748e-04,1.474037e-04,1.456582e-04,1.453109e-04,1.439276e-04,1.422125e-04,1.419055e-04,1.405137e-04,1.388319e-04,1.385644e-04,1.371675e-04,1.355212e-04,1.352921e-04,1.338933e-04,1.322844e-04,1.320927e-04,1.306949e-04,1.291249e-04,1.289690e-04,1.275750e-04,1.260452e-04,1.259237e-04,1.245359e-04,1.230473e-04,1.229586e-04,1.215794e-04,1.201324e-04,1.200750e-04,1.187065e-04,1.173016e-04,1.172737e-04,1.159179e-04,1.145554e-04,1.119200e-04,1.093675e-04,1.068974e-04,1.045089e-04,1.022012e-04,9.997320e-05,9.782372e-05,9.575139e-05,9.375477e-05,9.183233e-05,8.998245e-05,8.820346e-05,8.649366e-05,8.485129e-05,8.327459e-05,8.176178e-05,8.031106e-05,7.892065e-05,7.758877e-05,7.631364e-05,7.509351e-05,7.392665e-05,7.281134e-05,7.174589e-05,7.072865e-05,6.975798e-05,6.883229e-05,6.795003e-05,6.710965e-05,6.630966e-05,6.554862e-05,6.482508e-05,6.413768e-05,6.348506e-05,6.286590e-05,6.227894e-05,6.172293e-05,6.119666e-05,6.069897e-05,6.022871e-05,5.978480e-05,5.936616e-05,5.897177e-05,5.860061e-05,5.825172e-05,5.792416e-05,5.761703e-05,5.732944e-05,5.706055e-05
0.000000e+00,1.431053e-07,2.716939e-06,2.850020e-06,2.177204e-05,8.830720e-05,9.263750e-05,2.406562e-04,4.242661e-04,4.366058e-04,6.442647e-04,8.317110e-04,8.476759e-04,1.041889e-03,1.207785e-03,1.225689e-03,1.398952e-03,1.542842e-03,1.561850e-03,1.714639e-03,1.838171e-03,1.857606e-03,1.991064e-03,2.096063e-03,2.115345e-03,2.230796e-03,2.319128e-03,2.337775e-03,2.436648e-03,2.510156e-03,2.527781e-03,2.611537e-03,2.671977e-03,2.688275e-03,2.758344e-03,2.807345e-03,2.822083e-03,2.879820e-03,2.918868e-03,2.931872e-03,2.978544e-03,3.008980e-03,3.020127e-03,3.056900e-03,3.079924e-03,3.089133e-03,3.117079e-03,3.133760e-03,3.140985e-03,3.161083e-03,3.172370e-03,3.177595e-03,3.190735e-03,3.197468e-03,3.200704e-03,3.207695e-03,3.210615e-03,3.211892e-03,3.213468e-03,3.213226e-03,3.212591e-03,3.209418e-03,3.206585e-03,3.204099e-03,3.196778e-03,3.191853e-03,3.187589e-03,3.176661e-03,3.170081e-03,3.164117e-03,3.150073e-03,3.142213e-03,3.134638e-03,3.117917e-03,3.109105e-03,3.100008e-03,3.081007e-03,3.071524e-03,3.061001e-03,3.040075e-03,3.030162e-03,3.018309e-03,2.995777e-03,2.985639e-03,2.972552e-03,2.948700e-03,2.938512e-03,2.924287e-03,2.899372e-03,2.889278e-03,2.874011e-03,2.848260e-03,2.838383e-03,2.822168e-03,2.795784e-03,2.786223e-03,2.769152e-03,2.742315e-03,2.733151e-03,2.715313e-03,2.688184e-03,2.679482e-03,2.660963e-03,2.633684e-03,2.625493e-03,2.606377e-03,2.579072e-03,2.571430e-03,2.551796e-03,2.524575e-03,2.517510e-03,2.497434e-03,2.470394e-03,2.463922e-03,2.443476e-03,2.416700e-03,2.410831e-03,2.390085e-03,2.363647e-03,2.358382e-03,2.337401e-03,2.311363e-03,2.306700e-03,2.285546e-03,2.259962e-03,2.255891e-03,2.234623e-03,2.209539e-03,2.206048e-03,2.184720e-03,2.160174e-03,2.157247e-03,2.135910e-03,2.111935e-03,2.109553e-03,2.088255e-03,2.064877e-03,2.063019e-03,2.041805e-03,2.019044e-03,2.017689e-03,1.996599e-03,1.974473e-03,1.973595e-03,1.952669e-03,1.931189e-03,1.930763e-03,1.910037e-03,1.889212e-03,1.848954e-03,1.809995e-03,1.772335e-03,1.735972e-03,1.700899e-03,1.667103e-03,1.634572e-03,1.603290e-03,1.573236e-03,1.544392e-03,1.516734e-03,1.490239e-03,1.464882e-03,1.440636e-03,1.417476e-03,1.395375e-03,1.374303e-03,1.354234e-03,1.335138e-03,1.316988e-03,1.299755e-03,1.283411e-03,1.267926e-03,1.253274e-03,1.239426e-03,1.226354e-03,1.214032e-03,1.202432e-03,1.191528e-03,1.181294e-03,1.171704e-03,1.162733e-03,1.154357e-03,1.146551e-03,1.139291e-03,1.132555e-03,1.126320e-03,1.120564e-03,1.115266e-03,1.110404e-03,1.105958e-03,1.101909e-03,1.098237e-03,1.094922e-03,1.091948e-03,1.089297e-03,1.086950e-03,1.084893e-03,1.083108e-03
0.000000e+00,8.041590e-08,1.396102e-06,1.459778e-06,9.095337e-06,3.070732e-05,3.203002e-05,7.743564e-05,1.399438e-04,1.444427e-04,2.247324e-04,3.019146e-04,3.085811e-04,3.898753e-04,4.588033e-04,4.661849e-04,5.368867e-04,5.944721e-04,6.019961e-04,6.617238e-04,7.089885e-04,7.163367e-04,7.661128e-04,8.043896e-04,8.113290e-04,8.522561e-04,8.828028e-04,8.891603e-04,9.222939e-04,9.462398e-04,9.518856e-04,9.781582e-04,9.964846e-04,1.001325e-03,1.021590e-03,1.035169e-03,1.039145e-03,1.054171e-03,1.063764e-03,1.066840e-03,1.077314e-03,1.083581e-03,1.085744e-03,1.092276e-03,1.095791e-03,1.097045e-03,1.100177e-03,1.101435e-03,1.101794e-03,1.102009e-03,1.101434e-03,1.100928e-03,1.098650e-03,1.096609e-03,1.095271e-03,1.090879e-03,1.087683e-03,1.085556e-03,1.079380e-03,1.075296e-03,1.072425e-03,1.064760e-03,1.060014e-03,1.056448e-03,1.047551e-03,1.042333e-03,1.038124e-03,1.028221e-03,1.022692e-03,1.017890e-03,1.007180e-03,1.001474e-03,9.961321e-04,9.847877e-04,9.790162e-04,9.731846e-04,9.613579e-04,9.556114e-04,9.493406e-04,9.371634e-04,9.315161e-04,9.248549e-04,9.124415e-04,9.069528e-04,8.999480e-04,8.873974e-04,8.821142e-04,8.748108e-04,8.622080e-04,8.571665e-04,8.496073e-04,8.370254e-04,8.322526e-04,8.244780e-04,8.119793e-04,8.074943e-04,7.995426e-04,7.871799e-04,7.829955e-04,7.749024e-04,7.627202e-04,7.588436e-04,7.506426e-04,7.386780e-04,7.351118e-04,7.268339e-04,7.151175e-04,7.118606e-04,7.035348e-04,6.920914e-04,6.891396e-04,6.807924e-04,6.696420e-04,6.669885e-04,6.586443e-04,6.478026e-04,6.454387e-04,6.371199e-04,6.265986e-04,6.245139e-04,6.162409e-04,6.060486e-04,6.042316e-04,5.960230e-04,5.861652e-04,5.846036e-04,5.764760e-04,5.669560e-04,5.656367e-04,5.576053e-04,5.484240e-04,5.473336e-04,5.394119e-04,5.305685e-04,5.296934e-04,5.218933e-04,5.133855e-04,5.127121e-04,5.050442e-04,4.968682e-04,4.963829e-04,4.888565e-04,4.810077e-04,4.806971e-04,4.733203e-04,4.657928e-04,4.656439e-04,4.584237e-04,4.512111e-04,4.373853e-04,4.241518e-04,4.114955e-04,3.994003e-04,3.878501e-04,3.768281e-04,3.663175e-04,3.563014e-04,3.467630e-04,3.376855e-04,3.290523e-04,3.208469e-04,3.130534e-04,3.056558e-04,2.986386e-04,2.919868e-04,2.856856e-04,2.797206e-04,2.740779e-04,2.687440e-04,2.637057e-04,2.589504e-04,2.544659e-04,2.502402e-04,2.462619e-04,2.425200e-04,2.390037e-04,2.357030e-04,2.326079e-04,2.297090e-04,2.269971e-04,2.244635e-04,2.220997e-04,2.198977e-04,2.178497e-04,2.159483e-04,2.141863e-04,2.125569e-04,2.110536e-04,2.096700e-04,2.084001e-04,2.072382e-04,2.061787e-04,2.052163e-04,2.043461e-04,2.035630e-04,2.028626e-04,2.022404e-04,2.016920e-04
0.000000e+00,8.320521e-08,1.640234e-06,1.721108e-06,1.298237e-05,5.156103e-05,5.408886e-05,1.454282e-04,2.721721e-04,2.810439e-04,4.322608e-04,5.664999e-04,5.776718e-04,7.092451e-04,8.145085e-04,8.254483e-04,9.269234e-04,1.004997e-03,1.014881e-03,1.090605e-03,1.146873e-03,1.155312e-03,1.210126e-03,1.249277e-03,1.256072e-03,1.294083e-03,1.319927e-03,1.325005e-03,1.349604e-03,1.365198e-03,1.368572e-03,1.382534e-03,1.390314e-03,1.392054e-03,1.397641e-03,1.399538e-03,1.399749e-03,1.398791e-03,1.396326e-03,1.395135e-03,1.389112e-03,1.383479e-03,1.381021e-03,1.371127e-03,1.363258e-03,1.359670e-03,1.346864e-03,1.337483e-03,1.332899e-03,1.317949e-03,1.307617e-03,1.302166e-03,1.285686e-03,1.274830e-03,1.268632e-03,1.251112e-03,1.240059e-03,1.233224e-03,1.215054e-03,1.204049e-03,1.196679e-03,1.178167e-03,1.167390e-03,1.159577e-03,1.140963e-03,1.130547e-03,1.122373e-03,1.103847e-03,1.093883e-03,1.085422e-03,1.067129e-03,1.057678e-03,1.048996e-03,1.031047e-03,1.022148e-03,1.013303e-03,9.957815e-04,9.874548e-04,9.784976e-04,9.614644e-04,9.537162e-04,9.446924e-04,9.281908e-04,9.210176e-04,9.119666e-04,8.960259e-04,8.894164e-04,8.803730e-04,8.650111e-04,8.589484e-04,8.499427e-04,8.351689e-04,8.296323e-04,8.206904e-04,8.065070e-04,8.014731e-04,7.926178e-04,7.790215e-04,7.744652e-04,7.657162e-04,7.526996e-04,7.485948e-04,7.399690e-04,7.275214e-04,7.238418e-04,7.153536e-04,7.034620e-04,7.001813e-04,6.918429e-04,6.804925e-04,6.775849e-04,6.694067e-04,6.585815e-04,6.560217e-04,6.480124e-04,6.376953e-04,6.354590e-04,6.276258e-04,6.177996e-04,6.158631e-04,6.082121e-04,5.988589e-04,5.971999e-04,5.897356e-04,5.808378e-04,5.794348e-04,5.721610e-04,5.637009e-04,5.625335e-04,5.554530e-04,5.474131e-04,5.464620e-04,5.395768e-04,5.319399e-04,5.311870e-04,5.244982e-04,5.172476e-04,5.166757e-04,5.101840e-04,5.033034e-04,5.028963e-04,4.966017e-04,4.900752e-04,4.898177e-04,4.837199e-04,4.775320e-04,4.774100e-04,4.715079e-04,4.656439e-04,4.544915e-04,4.439255e-04,4.339198e-04,4.244494e-04,4.154900e-04,4.070183e-04,3.990121e-04,3.914499e-04,3.843112e-04,3.775763e-04,3.712262e-04,3.652429e-04,3.596090e-04,3.543079e-04,3.493237e-04,3.446411e-04,3.402456e-04,3.361231e-04,3.322604e-04,3.286445e-04,3.252634e-04,3.221052e-04,3.191588e-04,3.164134e-04,3.138589e-04,3.114854e-04,3.092835e-04,3.072443e-04,3.053593e-04,3.036203e-04,3.020194e-04,3.005492e-04,2.992025e-04,2.979727e-04,2.968530e-04,2.958375e-04,2.949201e-04,2.940952e-04,2.933574e-04,2.927016e-04,2.921229e-04,2.916166e-04,2.911782e-04,2.908036e-04,2.904887e-04,2.902297e-04,2.900229e-04,2.898649e-04,2.897523e-04
0.000000e+00,8.948756e-08,1.952127e-06,2.049818e-06,1.549009e-05,6.109536e-05,6.410421e-05,1.769709e-04,3.528985e-04,3.662307e-04,6.161256e-04,8.750330e-04,8.981616e-04,1.188557e-03,1.444328e-03,1.472085e-03,1.740096e-03,1.959539e-03,1.988178e-03,2.214482e-03,2.391407e-03,2.418676e-03,2.601289e-03,2.738731e-03,2.763324e-03,2.906025e-03,3.009553e-03,3.030733e-03,3.138810e-03,3.214192e-03,3.231585e-03,3.310329e-03,3.362786e-03,3.376246e-03,3.430458e-03,3.464478e-03,3.474012e-03,3.507875e-03,3.527224e-03,3.532942e-03,3.550035e-03,3.557832e-03,3.559911e-03,3.563267e-03,3.562081e-03,3.560741e-03,3.552918e-03,3.544849e-03,3.540336e-03,3.523487e-03,3.510250e-03,3.502821e-03,3.478752e-03,3.461737e-03,3.451657e-03,3.421881e-03,3.402215e-03,3.389742e-03,3.355528e-03,3.334115e-03,3.319504e-03,3.281911e-03,3.259476e-03,3.242969e-03,3.202880e-03,3.179998e-03,3.161827e-03,3.119978e-03,3.097102e-03,3.077484e-03,3.034484e-03,3.011966e-03,2.991104e-03,2.947458e-03,2.925568e-03,2.903650e-03,2.859774e-03,2.838714e-03,2.815914e-03,2.772148e-03,2.752066e-03,2.728544e-03,2.685165e-03,2.666164e-03,2.642066e-03,2.599297e-03,2.581444e-03,2.556904e-03,2.514925e-03,2.498257e-03,2.473396e-03,2.432347e-03,2.416880e-03,2.391806e-03,2.351797e-03,2.337528e-03,2.312341e-03,2.273454e-03,2.260365e-03,2.235153e-03,2.197449e-03,2.185511e-03,2.160353e-03,2.123873e-03,2.113051e-03,2.088017e-03,2.052788e-03,2.043037e-03,2.018191e-03,1.984227e-03,1.975500e-03,1.950897e-03,1.918200e-03,1.910447e-03,1.886136e-03,1.854701e-03,1.847870e-03,1.823893e-03,1.793708e-03,1.787746e-03,1.764141e-03,1.735187e-03,1.730040e-03,1.706841e-03,1.679095e-03,1.674711e-03,1.651944e-03,1.625380e-03,1.621708e-03,1.599396e-03,1.573985e-03,1.570974e-03,1.549139e-03,1.524849e-03,1.522451e-03,1.501108e-03,1.477908e-03,1.476075e-03,1.455238e-03,1.433092e-03,1.431780e-03,1.411461e-03,1.390335e-03,1.389500e-03,1.369706e-03,1.349566e-03,1.349168e-03,1.329906e-03,1.310716e-03,1.274077e-03,1.239184e-03,1.205971e-03,1.174373e-03,1.144328e-03,1.115772e-03,1.088647e-03,1.062893e-03,1.038454e-03,1.015274e-03,9.933008e-04,9.724817e-04,9.527674e-04,9.341101e-04,9.164633e-04,8.997827e-04,8.840253e-04,8.691500e-04,8.551171e-04,8.418886e-04,8.294280e-04,8.177001e-04,8.066713e-04,7.963092e-04,7.865829e-04,7.774626e-04,7.689199e-04,7.609274e-04,7.534590e-04,7.464895e-04,7.399950e-04,7.339524e-04,7.283396e-04,7.231356e-04,7.183201e-04,7.138738e-04,7.097781e-04,7.060153e-04,7.025684e-04,6.994211e-04,6.965580e-04,6.939641e-04,6.916252e-04,6.895276e-04,6.876585e-04,6.860052e-04,6.845559e-04,6.832993e-04,6.822245e-04
0.000000e+00,2.705369e-10,3.270862e-09,3.408511e-09,1.962154e-08,6.619449e-08,6.907323e-08,1.679625e-07,2.990710e-07,3.081511e-07,4.619520e-07,5.979764e-07,6.093230e-07,7.437558e-07,8.529042e-07,8.643547e-07,9.717325e-07,1.056043e-06,1.066842e-06,1.150673e-06,1.214477e-06,1.224181e-06,1.288259e-06,1.335409e-06,1.343741e-06,1.391398e-06,1.425140e-06,1.431943e-06,1.466031e-06,1.489059e-06,1.494266e-06,1.517201e-06,1.531742e-06,1.535347e-06,1.549168e-06,1.557042e-06,1.559089e-06,1.565501e-06,1.568196e-06,1.568759e-06,1.569189e-06,1.567914e-06,1.567087e-06,1.562723e-06,1.558456e-06,1.556345e-06,1.548177e-06,1.541705e-06,1.538423e-06,1.527270e-06,1.519225e-06,1.514887e-06,1.501427e-06,1.492314e-06,1.487032e-06,1.471827e-06,1.462044e-06,1.455927e-06,1.439438e-06,1.429301e-06,1.422453e-06,1.405058e-06,1.394812e-06,1.387330e-06,1.369340e-06,1.359174e-06,1.351150e-06,1.332817e-06,1.322875e-06,1.314391e-06,1.295919e-06,1.286310e-06,1.277442e-06,1.258997e-06,1.249797e-06,1.240616e-06,1.222329e-06,1.213592e-06,1.204161e-06,1.186136e-06,1.177899e-06,1.168275e-06,1.150594e-06,1.142876e-06,1.133110e-06,1.115836e-06,1.108647e-06,1.098785e-06,1.081966e-06,1.075305e-06,1.065388e-06,1.049058e-06,1.042919e-06,1.032982e-06,1.017165e-06,1.011536e-06,1.001612e-06,9.863244e-07,9.811877e-07,9.713052e-07,9.565557e-07,9.518929e-07,9.420766e-07,9.278681e-07,9.236583e-07,9.139299e-07,9.002612e-07,8.964820e-07,8.868606e-07,8.737266e-07,8.703552e-07,8.608573e-07,8.482503e-07,8.452634e-07,8.359031e-07,8.238130e-07,8.211874e-07,8.119770e-07,8.003920e-07,7.981049e-07,7.890548e-07,7.779619e-07,7.759909e-07,7.671099e-07,7.564951e-07,7.548185e-07,7.461139e-07,7.359625e-07,7.345595e-07,7.260373e-07,7.163343e-07,7.151847e-07,7.068498e-07,6.975798e-07,6.966645e-07,6.885207e-07,6.796685e-07,6.789691e-07,6.710193e-07,6.625694e-07,6.620687e-07,6.543150e-07,6.462523e-07,6.459337e-07,6.383775e-07,6.306870e-07,6.305350e-07,6.231771e-07,6.158441e-07,6.018328e-07,5.884739e-07,5.757408e-07,5.636077e-07,5.520496e-07,5.410424e-07,5.305627e-07,5.205880e-07,5.110966e-07,5.020676e-07,4.934809e-07,4.853172e-07,4.775578e-07,4.701850e-07,4.631816e-07,4.565311e-07,4.502180e-07,4.442269e-07,4.385434e-07,4.331537e-07,4.280444e-07,4.232028e-07,4.186167e-07,4.142744e-07,4.101646e-07,4.062767e-07,4.026004e-07,3.991259e-07,3.958438e-07,3.927451e-07,3.898212e-07,3.870639e-07,3.844652e-07,3.820176e-07,3.797141e-07,3.775475e-07,3.755114e-07,3.735995e-07,3.718058e-07,3.701244e-07,3.685499e-07,3.670771e-07,3.657008e-07,3.644163e-07,3.632191e-07,3.621047e-07,3.610689e-07,3.601078e-07,3.592175e-07
0.000000e+00,2.331668e-10,3.409239e-09,3.566875e-09,2.422549e-08,8.955745e-08,9.366236e-08,2.299706e-07,3.898927e-07,4.002773e-07,5.691074e-07,7.132038e-07,7.251481e-07,8.664600e-07,9.813196e-07,9.933889e-07,1.106814e-06,1.196231e-06,1.207708e-06,1.297025e-06,1.365264e-06,1.375662e-06,1.444466e-06,1.495241e-06,1.504226e-06,1.555680e-06,1.592159e-06,1.599517e-06,1.636380e-06,1.661254e-06,1.666869e-06,1.691542e-06,1.707085e-06,1.710918e-06,1.725475e-06,1.733592e-06,1.735660e-06,1.741883e-06,1.744161e-06,1.744523e-06,1.743931e-06,1.741685e-06,1.740429e-06,1.734314e-06,1.728626e-06,1.725860e-06,1.715316e-06,1.707071e-06,1.702913e-06,1.688864e-06,1.678783e-06,1.673360e-06,1.656580e-06,1.645247e-06,1.638686e-06,1.619827e-06,1.607710e-06,1.600138e-06,1.579743e-06,1.567214e-06,1.558755e-06,1.537276e-06,1.524631e-06,1.515400e-06,1.493212e-06,1.480680e-06,1.470790e-06,1.448202e-06,1.435958e-06,1.425512e-06,1.402777e-06,1.390954e-06,1.380048e-06,1.357372e-06,1.346067e-06,1.334790e-06,1.312339e-06,1.301619e-06,1.290052e-06,1.267959e-06,1.257869e-06,1.246086e-06,1.224454e-06,1.215019e-06,1.203086e-06,1.181998e-06,1.173228e-06,1.161205e-06,1.140721e-06,1.132616e-06,1.120556e-06,1.100721e-06,1.093271e-06,1.081222e-06,1.062066e-06,1.055255e-06,1.043258e-06,1.024801e-06,1.018606e-06,1.006698e-06,9.889509e-07,9.833470e-07,9.715599e-07,9.545250e-07,9.494839e-07,9.378454e-07,9.215196e-07,9.170115e-07,9.055454e-07,8.899202e-07,8.859145e-07,8.746411e-07,8.597044e-07,8.561701e-07,8.451063e-07,8.308428e-07,8.277493e-07,8.169093e-07,8.033012e-07,8.006183e-07,7.900137e-07,7.770416e-07,7.747398e-07,7.643798e-07,7.520230e-07,7.500739e-07,7.399658e-07,7.282027e-07,7.265790e-07,7.167281e-07,7.055365e-07,7.042123e-07,6.946223e-07,6.839799e-07,6.829304e-07,6.736037e-07,6.634880e-07,6.626898e-07,6.536273e-07,6.440162e-07,6.434473e-07,6.346490e-07,6.255204e-07,6.251602e-07,6.166250e-07,6.079575e-07,6.077864e-07,5.995125e-07,5.912850e-07,5.756160e-07,5.607406e-07,5.466215e-07,5.332224e-07,5.205084e-07,5.084462e-07,4.970036e-07,4.861498e-07,4.758555e-07,4.660925e-07,4.568340e-07,4.480544e-07,4.397293e-07,4.318355e-07,4.243509e-07,4.172544e-07,4.105260e-07,4.041469e-07,3.980988e-07,3.923648e-07,3.869284e-07,3.817744e-07,3.768880e-07,3.722554e-07,3.678633e-07,3.636994e-07,3.597517e-07,3.560090e-07,3.524606e-07,3.490966e-07,3.459072e-07,3.428836e-07,3.400169e-07,3.372993e-07,3.347228e-07,3.322803e-07,3.299647e-07,3.277696e-07,3.256887e-07,3.237161e-07,3.218462e-07,3.200738e-07,3.183939e-07,3.168016e-07,3.152926e-07,3.138624e-07,3.125072e-07,3.112231e-07,3.100063e-07
0.000000e+00,3.542338e-10,5.667210e-09,5.927586e-09,3.694400e-08,1.190085e-07,1.237682e-07,2.715528e-07,4.356011e-07,4.460933e-07,6.141791e-07,7.540287e-07,7.654763e-07,8.992431e-07,1.005656e-06,1.016712e-06,1.119386e-06,1.198652e-06,1.208712e-06,1.286022e-06,1.343831e-06,1.352535e-06,1.409357e-06,1.450334e-06,1.457490e-06,1.497845e-06,1.525709e-06,1.531241e-06,1.558420e-06,1.576139e-06,1.580051e-06,1.596736e-06,1.606667e-06,1.609017e-06,1.617383e-06,1.621394e-06,1.622272e-06,1.624080e-06,1.623644e-06,1.623161e-06,1.619833e-06,1.616108e-06,1.614383e-06,1.607067e-06,1.600960e-06,1.598115e-06,1.587734e-06,1.579953e-06,1.576108e-06,1.563404e-06,1.554501e-06,1.549770e-06,1.535339e-06,1.525740e-06,1.520229e-06,1.504547e-06,1.494579e-06,1.488388e-06,1.471839e-06,1.461753e-06,1.454974e-06,1.437861e-06,1.427846e-06,1.420561e-06,1.403125e-06,1.393320e-06,1.385602e-06,1.368034e-06,1.358541e-06,1.350457e-06,1.332904e-06,1.323795e-06,1.315404e-06,1.297982e-06,1.289308e-06,1.280662e-06,1.263462e-06,1.255254e-06,1.246399e-06,1.229489e-06,1.221765e-06,1.212744e-06,1.196175e-06,1.188943e-06,1.179791e-06,1.163601e-06,1.156860e-06,1.147611e-06,1.131826e-06,1.125571e-06,1.116252e-06,1.100892e-06,1.095112e-06,1.085748e-06,1.070823e-06,1.065504e-06,1.056118e-06,1.041634e-06,1.036760e-06,1.027372e-06,1.013330e-06,1.008884e-06,9.995102e-07,9.859101e-07,9.818728e-07,9.725289e-07,9.593654e-07,9.557184e-07,9.464179e-07,9.336847e-07,9.304089e-07,9.211637e-07,9.088529e-07,9.059293e-07,8.967499e-07,8.848524e-07,8.822623e-07,8.731579e-07,8.616640e-07,8.593891e-07,8.503680e-07,8.392672e-07,8.372896e-07,8.283590e-07,8.176406e-07,8.159431e-07,8.071093e-07,7.967623e-07,7.953283e-07,7.865969e-07,7.766102e-07,7.754237e-07,7.667996e-07,7.571622e-07,7.562079e-07,7.476953e-07,7.383961e-07,7.376593e-07,7.292620e-07,7.202902e-07,7.197570e-07,7.114781e-07,7.028230e-07,7.024800e-07,6.943223e-07,6.859734e-07,6.858080e-07,6.777738e-07,6.697209e-07,6.541992e-07,6.392240e-07,6.247768e-07,6.108396e-07,5.973951e-07,5.844262e-07,5.719167e-07,5.598507e-07,5.482130e-07,5.369886e-07,5.261633e-07,5.157232e-07,5.056549e-07,4.959455e-07,4.865825e-07,4.775538e-07,4.688477e-07,4.604531e-07,4.523589e-07,4.445548e-07,4.370306e-07,4.297765e-07,4.227831e-07,4.160412e-07,4.095420e-07,4.032771e-07,3.972382e-07,3.914174e-07,3.858071e-07,3.803998e-07,3.751885e-07,3.701662e-07,3.653264e-07,3.606626e-07,3.561687e-07,3.518386e-07,3.476665e-07,3.436470e-07,3.397747e-07,3.360443e-07,3.324509e-07,3.289896e-07,3.256557e-07,3.224448e-07,3.193526e-07,3.163747e-07,3.135072e-07,3.107461e-07,3.080878e-07
0.000000e+00,5.727635e-08,9.725556e-07,1.017065e-06,6.343062e-06,2.101620e-05,2.189511e-05,5.082992e-05,8.702408e-05,8.948490e-05,1.309753e-04,1.680768e-04,1.712100e-04,2.089373e-04,2.405532e-04,2.439297e-04,2.762265e-04,3.025021e-04,3.059343e-04,3.331766e-04,3.547296e-04,3.580801e-04,3.807711e-04,3.982126e-04,4.013737e-04,4.200087e-04,4.339031e-04,4.367926e-04,4.518375e-04,4.626936e-04,4.652507e-04,4.771343e-04,4.854047e-04,4.875860e-04,4.966988e-04,5.027834e-04,5.045607e-04,5.112551e-04,5.155043e-04,5.168615e-04,5.214542e-04,5.241729e-04,5.251035e-04,5.278761e-04,5.293290e-04,5.298347e-04,5.310387e-04,5.314551e-04,5.315441e-04,5.314033e-04,5.309805e-04,5.306657e-04,5.293781e-04,5.282856e-04,5.275841e-04,5.253251e-04,5.237081e-04,5.226399e-04,5.195647e-04,5.175468e-04,5.161338e-04,5.123791e-04,5.100650e-04,5.083307e-04,5.040168e-04,5.014949e-04,4.994637e-04,4.946962e-04,4.920408e-04,4.897374e-04,4.846089e-04,4.818818e-04,4.793310e-04,4.739225e-04,4.711748e-04,4.684011e-04,4.627831e-04,4.600568e-04,4.570840e-04,4.513179e-04,4.486467e-04,4.454981e-04,4.396370e-04,4.370480e-04,4.337459e-04,4.278356e-04,4.253498e-04,4.219157e-04,4.159955e-04,4.136292e-04,4.100832e-04,4.041868e-04,4.019518e-04,3.983132e-04,3.924691e-04,3.903735e-04,3.866604e-04,3.808926e-04,3.789418e-04,3.751709e-04,3.694997e-04,3.676963e-04,3.638833e-04,3.583253e-04,3.566699e-04,3.528293e-04,3.473982e-04,3.458895e-04,3.420348e-04,3.367415e-04,3.353770e-04,3.315205e-04,3.263736e-04,3.251496e-04,3.213025e-04,3.163086e-04,3.152204e-04,3.113931e-04,3.065569e-04,3.055992e-04,3.018009e-04,2.971257e-04,2.962928e-04,2.925318e-04,2.880195e-04,2.873051e-04,2.835890e-04,2.792404e-04,2.786381e-04,2.749735e-04,2.707883e-04,2.702916e-04,2.666844e-04,2.626616e-04,2.622637e-04,2.587192e-04,2.548569e-04,2.545514e-04,2.510740e-04,2.473699e-04,2.471502e-04,2.437439e-04,2.401951e-04,2.400547e-04,2.367227e-04,2.333260e-04,2.332588e-04,2.300039e-04,2.267556e-04,2.205377e-04,2.145972e-04,2.089261e-04,2.035159e-04,1.983581e-04,1.934441e-04,1.887653e-04,1.843130e-04,1.800787e-04,1.760539e-04,1.722303e-04,1.685997e-04,1.651541e-04,1.618857e-04,1.587868e-04,1.558501e-04,1.530683e-04,1.504346e-04,1.479421e-04,1.455843e-04,1.433551e-04,1.412484e-04,1.392583e-04,1.373792e-04,1.356059e-04,1.339331e-04,1.323560e-04,1.308697e-04,1.294699e-04,1.281520e-04,1.269121e-04,1.257462e-04,1.246504e-04,1.236212e-04,1.226551e-04,1.217489e-04,1.208995e-04,1.201038e-04,1.193590e-04,1.186624e-04,1.180115e-04,1.174037e-04,1.168369e-04,1.163087e-04,1.158171e-04,1.153600e-04,1.149356e-04,1.145420e-04,1.141776e-04
0.000000e+00,1.804720e-09,2.842361e-08,2.974449e-08,1.922284e-07,6.196193e-07,6.434031e-07,1.319403e-06,1.993758e-06,2.036301e-06,2.727887e-06,3.331177e-06,3.382083e-06,3.997486e-06,4.518706e-06,4.574746e-06,5.115038e-06,5.560958e-06,5.619667e-06,6.089822e-06,6.467625e-06,6.526870e-06,6.932211e-06,7.249226e-06,7.307256e-06,7.653409e-06,7.916666e-06,7.972053e-06,8.264539e-06,8.480579e-06,8.532181e-06,8.776251e-06,8.951051e-06,8.997974e-06,9.198528e-06,9.337490e-06,9.379045e-06,9.540610e-06,9.648580e-06,9.684262e-06,9.810993e-06,9.892297e-06,9.921753e-06,1.001745e-05,1.007594e-05,1.009895e-05,1.016707e-05,1.020616e-05,1.022261e-05,1.026631e-05,1.028902e-05,1.029889e-05,1.032103e-05,1.033003e-05,1.033338e-05,1.033656e-05,1.033418e-05,1.033115e-05,1.031771e-05,1.030602e-05,1.029678e-05,1.026885e-05,1.024963e-05,1.023440e-05,1.019390e-05,1.016873e-05,1.014777e-05,1.009642e-05,1.006666e-05,1.004024e-05,9.979606e-06,9.946431e-06,9.914863e-06,9.846343e-06,9.810765e-06,9.774359e-06,9.699211e-06,9.662098e-06,9.621178e-06,9.540529e-06,9.502622e-06,9.457515e-06,9.372373e-06,9.334296e-06,9.285331e-06,9.196599e-06,9.158876e-06,9.106378e-06,9.014859e-06,8.977928e-06,8.922220e-06,8.828628e-06,8.792847e-06,8.734243e-06,8.639213e-06,8.604872e-06,8.543679e-06,8.447773e-06,8.415102e-06,8.351617e-06,8.255328e-06,8.224506e-06,8.159016e-06,8.062781e-06,8.033941e-06,7.966720e-06,7.870921e-06,7.844156e-06,7.775467e-06,7.680437e-06,7.655807e-06,7.585901e-06,7.491928e-06,7.469465e-06,7.398579e-06,7.305913e-06,7.285623e-06,7.213982e-06,7.122836e-06,7.104705e-06,7.032519e-06,6.943075e-06,6.927071e-06,6.854541e-06,6.766952e-06,6.753027e-06,6.680339e-06,6.594731e-06,6.582828e-06,6.510155e-06,6.426634e-06,6.416683e-06,6.344188e-06,6.262836e-06,6.254762e-06,6.182594e-06,6.103477e-06,6.097196e-06,6.025496e-06,5.948661e-06,5.944088e-06,5.872982e-06,5.798465e-06,5.795509e-06,5.725115e-06,5.652937e-06,5.651505e-06,5.581932e-06,5.512102e-06,5.377303e-06,5.247095e-06,5.121450e-06,5.000327e-06,4.883672e-06,4.771421e-06,4.663504e-06,4.559841e-06,4.460347e-06,4.364932e-06,4.273501e-06,4.185956e-06,4.102199e-06,4.022125e-06,3.945632e-06,3.872616e-06,3.802971e-06,3.736593e-06,3.673377e-06,3.613221e-06,3.556021e-06,3.501676e-06,3.450087e-06,3.401153e-06,3.354780e-06,3.310872e-06,3.269335e-06,3.230080e-06,3.193018e-06,3.158061e-06,3.125125e-06,3.094129e-06,3.064991e-06,3.037635e-06,3.011985e-06,2.987967e-06,2.965511e-06,2.944547e-06,2.925009e-06,2.906832e-06,2.889954e-06,2.874314e-06,2.859853e-06,2.846517e-06,2.834249e-06,2.822998e-06,2.812713e-06,2.803346e-06,2.794849e-06
0.000000e+00,6.578504e-08,2.171383e-06,2.291505e-06,1.870163e-05,6.215134e-05,6.449695e-05,1.286955e-04,1.883164e-04,1.919048e-04,2.469365e-04,2.895893e-04,2.929559e-04,3.308120e-04,3.588231e-04,3.616169e-04,3.864089e-04,4.039737e-04,4.060928e-04,4.214442e-04,4.316892e-04,4.331258e-04,4.417053e-04,4.468717e-04,4.476677e-04,4.514273e-04,4.531162e-04,4.533378e-04,4.537005e-04,4.530500e-04,4.527720e-04,4.507704e-04,4.485845e-04,4.478810e-04,4.442609e-04,4.411038e-04,4.400435e-04,4.353414e-04,4.316067e-04,4.302503e-04,4.248508e-04,4.208109e-04,4.192110e-04,4.133885e-04,4.092303e-04,4.074317e-04,4.013814e-04,3.972314e-04,3.952717e-04,3.891313e-04,3.850737e-04,3.829842e-04,3.768505e-04,3.729397e-04,3.707468e-04,3.646867e-04,3.609565e-04,3.586817e-04,3.527410e-04,3.492107e-04,3.468723e-04,3.410815e-04,3.377606e-04,3.353737e-04,3.297526e-04,3.266437e-04,3.242210e-04,3.187811e-04,3.158823e-04,3.134345e-04,3.081822e-04,3.054884e-04,3.030247e-04,2.979622e-04,2.954666e-04,2.929947e-04,2.881217e-04,2.858161e-04,2.833426e-04,2.786567e-04,2.765322e-04,2.740631e-04,2.695606e-04,2.676081e-04,2.651482e-04,2.608247e-04,2.590350e-04,2.565887e-04,2.524390e-04,2.508030e-04,2.483742e-04,2.443929e-04,2.429016e-04,2.404936e-04,2.366751e-04,2.353199e-04,2.329358e-04,2.292744e-04,2.280469e-04,2.256893e-04,2.221792e-04,2.210716e-04,2.187428e-04,2.153785e-04,2.143830e-04,2.120850e-04,2.088610e-04,2.079705e-04,2.057050e-04,2.026159e-04,2.018235e-04,1.995922e-04,1.966326e-04,1.959318e-04,1.937360e-04,1.909010e-04,1.902855e-04,1.881265e-04,1.854111e-04,1.848750e-04,1.827537e-04,1.801532e-04,1.796911e-04,1.776084e-04,1.751182e-04,1.747248e-04,1.726814e-04,1.702971e-04,1.699674e-04,1.679640e-04,1.656812e-04,1.654106e-04,1.634476e-04,1.612623e-04,1.610464e-04,1.591242e-04,1.570324e-04,1.568671e-04,1.549860e-04,1.529839e-04,1.528652e-04,1.510253e-04,1.491093e-04,1.490336e-04,1.472350e-04,1.454016e-04,1.453653e-04,1.436082e-04,1.418539e-04,1.384930e-04,1.352763e-04,1.321981e-04,1.292528e-04,1.264349e-04,1.237391e-04,1.211606e-04,1.186945e-04,1.163363e-04,1.140814e-04,1.119256e-04,1.098650e-04,1.078954e-04,1.060133e-04,1.042149e-04,1.024969e-04,1.008558e-04,9.928863e-05,9.779216e-05,9.636351e-05,9.499985e-05,9.369848e-05,9.245681e-05,9.127234e-05,9.014269e-05,8.906556e-05,8.803875e-05,8.706015e-05,8.612773e-05,8.523956e-05,8.439376e-05,8.358855e-05,8.282220e-05,8.209309e-05,8.139961e-05,8.074027e-05,8.011360e-05,7.951821e-05,7.895276e-05,7.841598e-05,7.790662e-05,7.742351e-05,7.696552e-05,7.653155e-05,7.612057e-05,7.573158e-05,7.536362e-05,7.501576e-05,7.468714e-05
0.000000e+00,1.829225e-09,3.258706e-08,3.417682e-08,2.428249e-07,8.474457e-07,8.827859e-07,1.933913e-06,3.019238e-06,3.087872e-06,4.200280e-06,5.162249e-06,5.242982e-06,6.213124e-06,7.025902e-06,7.112781e-06,7.945016e-06,8.624184e-06,8.713069e-06,9.420166e-06,9.981940e-06,1.006948e-05,1.066412e-05,1.112358e-05,1.120710e-05,1.170135e-05,1.207225e-05,1.214968e-05,1.255478e-05,1.284947e-05,1.291923e-05,1.324549e-05,1.347496e-05,1.353589e-05,1.379266e-05,1.396661e-05,1.401790e-05,1.421361e-05,1.434055e-05,1.438169e-05,1.452392e-05,1.461127e-05,1.464199e-05,1.473752e-05,1.479178e-05,1.481200e-05,1.486688e-05,1.489369e-05,1.490351e-05,1.492314e-05,1.492739e-05,1.492700e-05,1.491621e-05,1.490212e-05,1.489184e-05,1.485491e-05,1.482611e-05,1.480635e-05,1.474707e-05,1.470670e-05,1.467790e-05,1.459965e-05,1.455040e-05,1.451305e-05,1.441882e-05,1.436296e-05,1.431760e-05,1.421002e-05,1.414949e-05,1.409667e-05,1.397808e-05,1.391452e-05,1.385478e-05,1.372725e-05,1.366204e-05,1.359593e-05,1.346126e-05,1.339554e-05,1.332363e-05,1.318341e-05,1.311813e-05,1.304094e-05,1.289657e-05,1.283251e-05,1.275058e-05,1.260326e-05,1.254106e-05,1.245489e-05,1.230570e-05,1.224584e-05,1.215592e-05,1.200577e-05,1.194866e-05,1.185546e-05,1.170515e-05,1.165108e-05,1.155503e-05,1.140526e-05,1.135444e-05,1.125598e-05,1.110732e-05,1.105991e-05,1.095942e-05,1.081239e-05,1.076847e-05,1.066634e-05,1.052136e-05,1.048097e-05,1.037754e-05,1.023497e-05,1.019811e-05,1.009372e-05,9.953851e-06,9.920496e-06,9.815432e-06,9.678517e-06,9.648602e-06,9.543154e-06,9.409388e-06,9.382830e-06,9.277258e-06,9.146799e-06,9.123496e-06,9.018041e-06,8.891009e-06,8.870846e-06,8.765728e-06,8.642214e-06,8.625064e-06,8.520484e-06,8.400550e-06,8.386279e-06,8.282421e-06,8.166105e-06,8.154574e-06,8.051606e-06,7.938924e-06,7.929989e-06,7.828061e-06,7.719014e-06,7.712529e-06,7.611779e-06,7.506350e-06,7.502171e-06,7.402720e-06,7.300879e-06,7.298860e-06,7.200818e-06,7.102524e-06,6.913068e-06,6.730383e-06,6.554344e-06,6.384818e-06,6.221661e-06,6.064723e-06,5.913846e-06,5.768872e-06,5.629635e-06,5.495971e-06,5.367714e-06,5.244697e-06,5.126756e-06,5.013724e-06,4.905441e-06,4.801745e-06,4.702478e-06,4.607485e-06,4.516614e-06,4.429717e-06,4.346648e-06,4.267265e-06,4.191430e-06,4.119010e-06,4.049874e-06,3.983895e-06,3.920950e-06,3.860921e-06,3.803693e-06,3.749153e-06,3.697195e-06,3.647713e-06,3.600609e-06,3.555784e-06,3.513144e-06,3.472601e-06,3.434065e-06,3.397455e-06,3.362689e-06,3.329689e-06,3.298380e-06,3.268691e-06,3.240552e-06,3.213896e-06,3.188660e-06,3.164782e-06,3.142203e-06,3.120866e-06,3.100717e-06
0.000000e+00,2.019894e-08,2.899517e-07,3.030169e-07,2.005310e-06,7.570487e-06,7.930214e-06,2.059091e-05,3.711103e-05,3.823429e-05,5.716259e-05,7.421441e-05,7.566476e-05,9.328886e-05,1.083203e-04,1.099415e-04,1.256218e-04,1.386354e-04,1.403542e-04,1.541699e-04,1.653442e-04,1.671030e-04,1.791884e-04,1.887107e-04,1.904612e-04,2.009562e-04,2.090061e-04,2.107082e-04,2.197510e-04,2.264969e-04,2.281177e-04,2.358407e-04,2.414378e-04,2.429511e-04,2.494790e-04,2.540687e-04,2.554536e-04,2.609027e-04,2.646126e-04,2.658532e-04,2.703308e-04,2.732757e-04,2.743601e-04,2.779647e-04,2.802474e-04,2.811673e-04,2.839892e-04,2.857014e-04,2.864513e-04,2.885732e-04,2.897965e-04,2.903738e-04,2.918709e-04,2.926778e-04,2.930818e-04,2.940227e-04,2.944775e-04,2.947094e-04,2.951567e-04,2.953161e-04,2.953787e-04,2.953891e-04,2.953032e-04,2.952006e-04,2.948255e-04,2.945383e-04,2.942755e-04,2.935618e-04,2.931120e-04,2.926948e-04,2.916847e-04,2.911061e-04,2.905411e-04,2.892730e-04,2.885950e-04,2.878891e-04,2.863977e-04,2.856460e-04,2.848066e-04,2.831231e-04,2.823197e-04,2.813544e-04,2.795071e-04,2.786711e-04,2.775877e-04,2.756020e-04,2.747497e-04,2.735559e-04,2.714548e-04,2.706001e-04,2.693037e-04,2.671077e-04,2.662623e-04,2.648712e-04,2.625987e-04,2.617725e-04,2.602942e-04,2.579617e-04,2.571629e-04,2.556048e-04,2.532272e-04,2.524624e-04,2.508319e-04,2.484222e-04,2.476969e-04,2.460010e-04,2.435710e-04,2.428894e-04,2.411349e-04,2.386951e-04,2.380604e-04,2.362538e-04,2.338133e-04,2.332280e-04,2.313757e-04,2.289427e-04,2.284083e-04,2.265162e-04,2.240979e-04,2.236154e-04,2.216894e-04,2.192920e-04,2.188618e-04,2.169072e-04,2.145363e-04,2.141583e-04,2.121804e-04,2.098407e-04,2.095145e-04,2.075181e-04,2.052136e-04,2.049384e-04,2.029281e-04,2.006625e-04,2.004370e-04,1.984173e-04,1.961934e-04,1.960164e-04,1.939913e-04,1.918116e-04,1.916815e-04,1.896548e-04,1.875215e-04,1.874366e-04,1.854119e-04,1.833265e-04,1.832851e-04,1.812657e-04,1.792296e-04,1.752724e-04,1.714150e-04,1.676586e-04,1.640037e-04,1.604506e-04,1.569994e-04,1.536495e-04,1.504004e-04,1.472511e-04,1.442007e-04,1.412478e-04,1.383910e-04,1.356288e-04,1.329596e-04,1.303815e-04,1.278928e-04,1.254916e-04,1.231759e-04,1.209437e-04,1.187931e-04,1.167220e-04,1.147284e-04,1.128102e-04,1.109654e-04,1.091920e-04,1.074878e-04,1.058511e-04,1.042796e-04,1.027716e-04,1.013250e-04,9.993799e-05,9.860866e-05,9.733518e-05,9.611577e-05,9.494865e-05,9.383209e-05,9.276442e-05,9.174397e-05,9.076915e-05,8.983837e-05,8.895012e-05,8.810288e-05,8.729522e-05,8.652572e-05,8.579299e-05,8.509571e-05,8.443257e-05,8.380231e-05,8.320370e-05
0.000000e+00,2.541703e-09,3.140081e-08,3.273582e-08,1.917945e-07,6.494621e-07,6.774685e-07,1.600952e-06,2.698020e-06,2.769615e-06,3.929966e-06,4.906165e-06,4.986251e-06,5.922326e-06,6.665766e-06,6.742876e-06,7.457134e-06,8.005488e-06,8.074824e-06,8.605172e-06,8.997922e-06,9.056687e-06,9.437168e-06,9.707117e-06,9.753753e-06,1.001297e-05,1.018693e-05,1.022080e-05,1.038267e-05,1.048244e-05,1.050356e-05,1.058797e-05,1.063115e-05,1.064001e-05,1.066338e-05,1.066405e-05,1.066144e-05,1.063722e-05,1.060655e-05,1.059343e-05,1.053255e-05,1.047937e-05,1.045677e-05,1.036809e-05,1.029931e-05,1.026830e-05,1.015897e-05,1.007992e-05,1.004155e-05,9.917292e-06,9.832101e-06,9.787347e-06,9.652729e-06,9.564543e-06,9.514342e-06,9.372990e-06,9.284180e-06,9.229388e-06,9.084170e-06,8.996500e-06,8.937898e-06,8.791067e-06,8.705823e-06,8.644114e-06,8.497423e-06,8.415518e-06,8.351331e-06,8.206135e-06,8.128193e-06,8.062091e-06,7.919422e-06,7.845843e-06,7.778322e-06,7.638955e-06,7.569966e-06,7.501462e-06,7.365965e-06,7.301664e-06,7.232562e-06,7.101336e-06,7.041723e-06,6.972357e-06,6.845676e-06,6.790676e-06,6.721336e-06,6.599367e-06,6.548853e-06,6.479792e-06,6.362622e-06,6.316429e-06,6.247864e-06,6.135515e-06,6.093453e-06,6.025569e-06,5.918014e-06,5.879877e-06,5.812834e-06,5.710007e-06,5.675577e-06,5.609509e-06,5.511316e-06,5.480376e-06,5.415397e-06,5.321721e-06,5.294051e-06,5.230256e-06,5.140967e-06,5.116351e-06,5.053818e-06,4.968773e-06,4.947002e-06,4.885795e-06,4.804845e-06,4.785715e-06,4.725885e-06,4.648876e-06,4.632193e-06,4.573780e-06,4.500558e-06,4.486135e-06,4.429170e-06,4.359579e-06,4.347240e-06,4.291745e-06,4.225631e-06,4.215210e-06,4.161199e-06,4.098411e-06,4.089749e-06,4.037230e-06,3.977620e-06,3.970571e-06,3.919546e-06,3.862970e-06,3.857394e-06,3.807860e-06,3.754180e-06,3.749946e-06,3.701896e-06,3.650976e-06,3.647963e-06,3.601387e-06,3.553097e-06,3.551192e-06,3.506074e-06,3.460289e-06,3.459386e-06,3.415711e-06,3.372311e-06,3.289740e-06,3.211458e-06,3.137257e-06,3.066939e-06,3.000315e-06,2.937203e-06,2.877431e-06,2.820835e-06,2.767257e-06,2.716549e-06,2.668566e-06,2.623175e-06,2.580244e-06,2.539652e-06,2.501281e-06,2.465019e-06,2.430761e-06,2.398405e-06,2.367856e-06,2.339021e-06,2.311814e-06,2.286153e-06,2.261958e-06,2.239155e-06,2.217673e-06,2.197444e-06,2.178403e-06,2.160490e-06,2.143646e-06,2.127816e-06,2.112948e-06,2.098991e-06,2.085898e-06,2.073623e-06,2.062125e-06,2.051361e-06,2.041294e-06,2.031886e-06,2.023102e-06,2.014909e-06,2.007275e-06,2.000170e-06,1.993566e-06,1.987435e-06,1.981751e-06,1.976491e-06,1.971630e-06,1.967146e-06,1.963019e-06
0.000000e+00,5.712403e-10,7.348673e-09,7.670058e-09,4.742888e-08,1.661867e-07,1.735337e-07,4.179085e-07,7.132349e-07,7.327900e-07,1.057039e-06,1.343863e-06,1.368102e-06,1.660998e-06,1.908551e-06,1.935130e-06,2.190944e-06,2.401475e-06,2.429156e-06,2.650543e-06,2.828079e-06,2.855892e-06,3.045977e-06,3.194407e-06,3.221556e-06,3.383366e-06,3.506277e-06,3.532120e-06,3.668504e-06,3.769149e-06,3.793178e-06,3.906777e-06,3.988086e-06,4.009906e-06,4.103147e-06,4.167738e-06,4.187053e-06,4.262152e-06,4.312354e-06,4.328950e-06,4.387925e-06,4.425802e-06,4.439537e-06,4.484219e-06,4.511594e-06,4.522383e-06,4.554422e-06,4.572903e-06,4.580712e-06,4.601610e-06,4.612613e-06,4.617453e-06,4.628562e-06,4.633330e-06,4.635243e-06,4.637784e-06,4.637402e-06,4.636461e-06,4.631532e-06,4.626948e-06,4.623245e-06,4.611834e-06,4.603871e-06,4.597518e-06,4.580508e-06,4.569880e-06,4.561001e-06,4.539186e-06,4.526509e-06,4.515239e-06,4.489329e-06,4.475132e-06,4.461613e-06,4.432243e-06,4.416981e-06,4.401358e-06,4.369094e-06,4.353154e-06,4.335576e-06,4.300924e-06,4.284634e-06,4.265249e-06,4.228658e-06,4.212294e-06,4.191251e-06,4.153121e-06,4.136913e-06,4.114358e-06,4.075043e-06,4.059181e-06,4.035256e-06,3.995070e-06,3.979709e-06,3.954554e-06,3.913772e-06,3.899038e-06,3.872786e-06,3.831652e-06,3.817643e-06,3.790424e-06,3.749151e-06,3.735942e-06,3.707881e-06,3.666656e-06,3.654303e-06,3.625517e-06,3.584501e-06,3.573044e-06,3.543645e-06,3.502980e-06,3.492443e-06,3.462537e-06,3.422344e-06,3.412738e-06,3.382428e-06,3.342810e-06,3.334137e-06,3.303515e-06,3.264562e-06,3.256814e-06,3.225970e-06,3.187755e-06,3.180918e-06,3.149934e-06,3.112520e-06,3.106573e-06,3.075527e-06,3.038965e-06,3.033881e-06,3.002845e-06,2.967176e-06,2.962927e-06,2.931966e-06,2.897223e-06,2.893775e-06,2.862953e-06,2.829160e-06,2.826477e-06,2.795849e-06,2.763025e-06,2.761071e-06,2.730689e-06,2.698845e-06,2.697582e-06,2.667494e-06,2.636637e-06,2.636025e-06,2.606274e-06,2.576406e-06,2.518723e-06,2.462967e-06,2.409122e-06,2.357168e-06,2.307080e-06,2.258828e-06,2.212381e-06,2.167702e-06,2.124755e-06,2.083500e-06,2.043897e-06,2.005904e-06,1.969477e-06,1.934574e-06,1.901150e-06,1.869162e-06,1.838565e-06,1.809317e-06,1.781373e-06,1.754690e-06,1.729227e-06,1.704940e-06,1.681789e-06,1.659734e-06,1.638734e-06,1.618751e-06,1.599746e-06,1.581683e-06,1.564526e-06,1.548239e-06,1.532788e-06,1.518139e-06,1.504261e-06,1.491121e-06,1.478690e-06,1.466938e-06,1.455835e-06,1.445356e-06,1.435471e-06,1.426157e-06,1.417387e-06,1.409138e-06,1.401386e-06,1.394109e-06,1.387284e-06,1.380892e-06,1.374911e-06,1.369323e-06,1.364109e-06
0.000000e+00,2.365259e-08,3.365890e-07,3.509237e-07,1.945239e-06,6.031751e-06,6.271335e-06,1.408636e-05,2.404791e-05,2.474096e-05,3.672186e-05,4.769870e-05,4.862655e-05,5.971438e-05,6.880861e-05,6.976629e-05,7.877728e-05,8.589133e-05,8.680512e-05,9.392228e-05,9.937078e-05,1.002022e-04,1.057150e-04,1.098012e-04,1.105264e-04,1.146973e-04,1.176791e-04,1.182840e-04,1.213390e-04,1.234324e-04,1.239101e-04,1.260417e-04,1.274255e-04,1.277744e-04,1.291453e-04,1.299663e-04,1.301885e-04,1.309355e-04,1.313144e-04,1.314147e-04,1.316524e-04,1.316876e-04,1.316726e-04,1.314972e-04,1.312688e-04,1.311462e-04,1.306379e-04,1.302111e-04,1.299892e-04,1.292152e-04,1.286426e-04,1.283299e-04,1.273461e-04,1.266701e-04,1.262753e-04,1.251280e-04,1.243827e-04,1.239141e-04,1.226421e-04,1.218544e-04,1.213201e-04,1.199553e-04,1.191468e-04,1.185544e-04,1.171233e-04,1.163107e-04,1.156674e-04,1.141918e-04,1.133883e-04,1.127008e-04,1.111985e-04,1.104141e-04,1.096885e-04,1.081742e-04,1.074164e-04,1.066585e-04,1.051441e-04,1.044183e-04,1.036333e-04,1.021284e-04,1.014386e-04,1.006313e-04,9.914359e-05,9.849243e-05,9.766695e-05,9.620269e-05,9.559169e-05,9.475202e-05,9.331599e-05,9.274589e-05,9.189554e-05,9.049148e-05,8.996238e-05,8.910451e-05,8.773524e-05,8.724673e-05,8.638417e-05,8.505176e-05,8.460305e-05,8.373835e-05,8.244425e-05,8.203425e-05,8.116968e-05,7.991483e-05,7.954224e-05,7.867982e-05,7.746474e-05,7.712809e-05,7.626962e-05,7.509447e-05,7.479219e-05,7.393926e-05,7.280393e-05,7.253441e-05,7.168841e-05,7.059259e-05,7.035413e-05,6.951632e-05,6.845948e-05,6.825043e-05,6.742189e-05,6.640337e-05,6.622205e-05,6.540373e-05,6.442277e-05,6.426754e-05,6.346027e-05,6.251601e-05,6.238526e-05,6.158976e-05,6.068129e-05,6.057345e-05,5.979034e-05,5.891668e-05,5.883026e-05,5.806006e-05,5.722022e-05,5.715375e-05,5.639690e-05,5.558986e-05,5.554195e-05,5.479883e-05,5.402356e-05,5.399287e-05,5.326378e-05,5.251925e-05,5.250451e-05,5.178970e-05,5.107488e-05,4.970200e-05,4.838391e-05,4.711869e-05,4.590448e-05,4.473942e-05,4.362172e-05,4.254964e-05,4.152148e-05,4.053558e-05,3.959034e-05,3.868423e-05,3.781573e-05,3.698341e-05,3.618586e-05,3.542174e-05,3.468973e-05,3.398860e-05,3.331712e-05,3.267412e-05,3.205849e-05,3.146915e-05,3.090504e-05,3.036518e-05,2.984858e-05,2.935434e-05,2.888155e-05,2.842935e-05,2.799692e-05,2.758347e-05,2.718823e-05,2.681048e-05,2.644950e-05,2.610462e-05,2.577518e-05,2.546057e-05,2.516018e-05,2.487343e-05,2.459978e-05,2.433868e-05,2.408962e-05,2.385211e-05,2.362569e-05,2.340989e-05,2.320429e-05,2.300845e-05,2.282198e-05,2.264450e-05,2.247563e-05,2.231502e-05
0.000000e+00,1.826152e-08,2.769654e-07,2.894370e-07,1.790384e-06,5.983359e-06,6.235599e-06,1.451246e-05,2.460240e-05,2.527391e-05,3.632978e-05,4.584669e-05,4.663614e-05,5.597321e-05,6.355435e-05,6.435042e-05,7.182602e-05,7.771099e-05,7.846580e-05,8.433425e-05,8.881100e-05,8.949261e-05,9.399840e-05,9.731844e-05,9.790545e-05,1.012640e-04,1.036418e-04,1.041210e-04,1.065198e-04,1.081361e-04,1.085007e-04,1.101011e-04,1.111075e-04,1.113554e-04,1.122956e-04,1.128181e-04,1.129509e-04,1.133484e-04,1.134913e-04,1.135130e-04,1.134675e-04,1.133165e-04,1.132330e-04,1.128288e-04,1.124544e-04,1.122726e-04,1.115807e-04,1.110404e-04,1.107681e-04,1.098484e-04,1.091888e-04,1.088340e-04,1.077365e-04,1.069954e-04,1.065664e-04,1.053332e-04,1.045408e-04,1.040456e-04,1.027118e-04,1.018922e-04,1.013388e-04,9.993347e-05,9.910591e-05,9.850174e-05,9.704909e-05,9.622835e-05,9.558051e-05,9.410051e-05,9.329801e-05,9.261317e-05,9.112219e-05,9.034655e-05,8.963089e-05,8.814226e-05,8.739981e-05,8.665900e-05,8.518353e-05,8.447871e-05,8.371799e-05,8.226433e-05,8.160010e-05,8.082424e-05,7.939926e-05,7.877740e-05,7.799070e-05,7.659976e-05,7.602106e-05,7.522743e-05,7.387461e-05,7.333912e-05,7.254207e-05,7.123043e-05,7.073760e-05,6.994024e-05,6.867194e-05,6.822079e-05,6.742590e-05,6.620239e-05,6.579157e-05,6.500161e-05,6.382372e-05,6.345164e-05,6.266879e-05,6.153687e-05,6.120177e-05,6.042792e-05,5.934190e-05,5.904191e-05,5.827871e-05,5.723821e-05,5.697138e-05,5.622025e-05,5.522463e-05,5.498899e-05,5.425115e-05,5.329955e-05,5.309312e-05,5.236960e-05,5.146102e-05,5.128184e-05,5.057353e-05,4.970683e-05,4.955300e-05,4.886060e-05,4.803455e-05,4.790423e-05,4.722833e-05,4.644161e-05,4.633301e-05,4.567407e-05,4.492537e-05,4.483677e-05,4.419515e-05,4.348307e-05,4.341285e-05,4.278880e-05,4.211197e-05,4.205857e-05,4.145226e-05,4.080932e-05,4.077127e-05,4.018279e-05,3.957236e-05,3.954827e-05,3.897766e-05,3.839838e-05,3.838695e-05,3.783418e-05,3.728473e-05,3.623907e-05,3.524751e-05,3.430765e-05,3.341717e-05,3.257381e-05,3.177541e-05,3.101987e-05,3.030517e-05,2.962938e-05,2.899064e-05,2.838716e-05,2.781724e-05,2.727924e-05,2.677159e-05,2.629281e-05,2.584145e-05,2.541616e-05,2.501563e-05,2.463862e-05,2.428394e-05,2.395047e-05,2.363711e-05,2.334285e-05,2.306671e-05,2.280775e-05,2.256509e-05,2.233788e-05,2.212532e-05,2.192665e-05,2.174112e-05,2.156806e-05,2.140679e-05,2.125670e-05,2.111718e-05,2.098768e-05,2.086764e-05,2.075656e-05,2.065394e-05,2.055934e-05,2.047229e-05,2.039240e-05,2.031925e-05,2.025247e-05,2.019170e-05,2.013660e-05,2.008685e-05,2.004213e-05,2.000216e-05,1.996665e-05
0.000000e+00,3.427737e-09,4.870957e-08,5.091616e-08,3.300676e-07,1.162551e-06,1.213291e-06,2.831100e-06,4.618461e-06,4.731525e-06,6.525304e-06,7.992170e-06,8.111093e-06,9.485968e-06,1.055775e-05,1.066785e-05,1.167754e-05,1.243929e-05,1.253470e-05,1.325712e-05,1.378281e-05,1.386070e-05,1.435962e-05,1.470714e-05,1.476654e-05,1.509267e-05,1.530685e-05,1.534799e-05,1.554136e-05,1.565675e-05,1.568062e-05,1.577268e-05,1.581570e-05,1.582368e-05,1.583902e-05,1.582979e-05,1.582347e-05,1.578119e-05,1.573490e-05,1.571590e-05,1.563085e-05,1.555899e-05,1.552888e-05,1.541250e-05,1.532363e-05,1.528388e-05,1.514495e-05,1.504546e-05,1.499740e-05,1.484269e-05,1.473729e-05,1.468211e-05,1.451678e-05,1.440895e-05,1.434770e-05,1.417572e-05,1.406798e-05,1.400160e-05,1.382598e-05,1.372012e-05,1.364943e-05,1.347244e-05,1.336976e-05,1.329545e-05,1.311882e-05,1.302019e-05,1.294288e-05,1.276789e-05,1.267388e-05,1.259410e-05,1.242172e-05,1.233269e-05,1.225090e-05,1.208181e-05,1.199794e-05,1.191455e-05,1.174925e-05,1.167062e-05,1.158598e-05,1.142481e-05,1.135139e-05,1.126580e-05,1.110900e-05,1.104072e-05,1.095444e-05,1.080215e-05,1.073887e-05,1.065215e-05,1.050444e-05,1.044600e-05,1.035904e-05,1.021594e-05,1.016216e-05,1.007513e-05,9.936622e-06,9.887316e-06,9.800389e-06,9.666422e-06,9.621386e-06,9.534702e-06,9.405213e-06,9.364244e-06,9.277932e-06,9.152838e-06,9.115732e-06,9.029906e-06,8.909112e-06,8.875669e-06,8.790430e-06,8.673835e-06,8.643858e-06,8.559298e-06,8.446793e-06,8.420091e-06,8.336291e-06,8.227766e-06,8.204152e-06,8.121188e-06,8.016529e-06,7.995826e-06,7.913762e-06,7.812858e-06,7.794891e-06,7.713788e-06,7.616524e-06,7.601128e-06,7.521039e-06,7.427305e-06,7.414320e-06,7.335293e-06,7.244978e-06,7.234253e-06,7.156331e-06,7.069325e-06,7.060714e-06,6.983935e-06,6.900134e-06,6.893498e-06,6.817896e-06,6.737195e-06,6.732401e-06,6.658005e-06,6.580303e-06,6.577225e-06,6.504063e-06,6.429260e-06,6.427779e-06,6.355871e-06,6.283873e-06,6.145325e-06,6.011957e-06,5.883598e-06,5.760079e-06,5.641238e-06,5.526917e-06,5.416965e-06,5.311231e-06,5.209574e-06,5.111854e-06,5.017936e-06,4.927690e-06,4.840990e-06,4.757713e-06,4.677742e-06,4.600961e-06,4.527260e-06,4.456532e-06,4.388673e-06,4.323582e-06,4.261162e-06,4.201319e-06,4.143963e-06,4.089005e-06,4.036360e-06,3.985946e-06,3.937683e-06,3.891495e-06,3.847306e-06,3.805044e-06,3.764641e-06,3.726029e-06,3.689142e-06,3.653918e-06,3.620296e-06,3.588217e-06,3.557623e-06,3.528461e-06,3.500677e-06,3.474218e-06,3.449037e-06,3.425085e-06,3.402314e-06,3.380681e-06,3.360143e-06,3.340656e-06,3.322181e-06,3.304679e-06,3.288112e-06
0.000000e+00,2.143034e-05,4.778622e-04,5.023826e-04,4.109316e-03,1.735424e-02,1.824612e-02,5.158718e-02,1.015243e-01,1.052226e-01,1.734546e-01,2.435642e-01,2.498467e-01,3.293348e-01,4.005117e-01,4.083085e-01,4.843213e-01,5.474961e-01,5.557978e-01,6.217985e-01,6.738025e-01,6.818410e-01,7.357660e-01,7.763771e-01,7.836370e-01,8.256666e-01,8.559861e-01,8.621629e-01,8.934896e-01,9.150913e-01,9.200378e-01,9.422068e-01,9.567120e-01,9.603897e-01,9.749634e-01,9.838444e-01,9.862821e-01,9.946745e-01,9.991804e-01,1.000444e+00,1.003868e+00,1.005024e+00,1.005199e+00,1.004670e+00,1.003306e+00,1.002490e+00,9.988518e-01,9.956312e-01,9.939234e-01,9.878572e-01,9.832965e-01,9.807885e-01,9.728387e-01,9.673391e-01,9.641166e-01,9.547198e-01,9.485937e-01,9.447358e-01,9.342434e-01,9.277338e-01,9.233137e-01,9.120108e-01,9.053071e-01,9.003924e-01,8.885109e-01,8.817601e-01,8.764135e-01,8.641429e-01,8.574587e-01,8.517380e-01,8.392337e-01,8.327028e-01,8.266617e-01,8.140507e-01,8.077388e-01,8.014266e-01,7.888127e-01,7.827680e-01,7.762301e-01,7.636978e-01,7.579546e-01,7.512328e-01,7.388505e-01,7.334321e-01,7.265646e-01,7.143873e-01,7.093079e-01,7.023296e-01,6.904010e-01,6.856677e-01,6.786102e-01,6.669647e-01,6.625789e-01,6.554710e-01,6.441350e-01,6.400936e-01,6.329616e-01,6.219550e-01,6.182514e-01,6.111189e-01,6.004564e-01,5.970815e-01,5.899700e-01,5.796616e-01,5.766041e-01,5.695330e-01,5.595853e-01,5.568325e-01,5.498194e-01,5.402358e-01,5.377740e-01,5.308348e-01,5.216165e-01,5.194312e-01,5.125805e-01,5.037264e-01,5.018029e-01,4.950537e-01,4.865614e-01,4.848846e-01,4.782488e-01,4.701147e-01,4.686694e-01,4.621580e-01,4.543773e-01,4.531487e-01,4.467714e-01,4.393387e-01,4.383118e-01,4.320777e-01,4.249870e-01,4.241474e-01,4.180647e-01,4.113094e-01,4.106429e-01,4.047192e-01,3.982924e-01,3.977852e-01,3.920272e-01,3.859219e-01,3.855606e-01,3.799745e-01,3.741834e-01,3.739550e-01,3.685466e-01,3.630622e-01,3.629541e-01,3.577284e-01,3.525434e-01,3.427082e-01,3.334339e-01,3.247056e-01,3.165084e-01,3.088275e-01,3.016479e-01,2.949544e-01,2.887322e-01,2.829659e-01,2.776403e-01,2.727401e-01,2.682499e-01,2.641541e-01,2.604371e-01,2.570831e-01,2.540764e-01,2.514011e-01,2.490412e-01,2.469807e-01,2.452037e-01,2.436942e-01,2.424363e-01,2.414141e-01,2.406119e-01,2.400142e-01,2.396055e-01,2.393708e-01,2.392951e-01,2.393641e-01,2.395635e-01,2.398795e-01,2.402990e-01,2.408089e-01,2.413970e-01,2.420516e-01,2.427613e-01,2.435156e-01,2.443045e-01,2.451185e-01,2.459489e-01,2.467876e-01,2.476270e-01,2.484604e-01,2.492815e-01,2.500847e-01,2.508651e-01,2.516183e-01,2.523404e-01,2.530282e-01
0.000000e+00,3.785445e-06,9.681536e-05,1.019904e-04,8.829885e-04,3.775784e-03,3.971314e-03,1.140312e-02,2.299662e-02,2.387401e-02,4.042460e-02,5.801770e-02,5.961910e-02,8.020066e-02,9.910452e-02,1.012014e-01,1.219112e-01,1.394909e-01,1.418261e-01,1.606027e-01,1.756693e-01,1.780203e-01,1.939510e-01,2.061392e-01,2.083362e-01,2.211687e-01,2.305527e-01,2.324782e-01,2.423203e-01,2.491862e-01,2.507682e-01,2.579060e-01,2.626223e-01,2.638244e-01,2.686165e-01,2.715625e-01,2.723754e-01,2.751921e-01,2.767215e-01,2.771541e-01,2.783449e-01,2.787688e-01,2.788427e-01,2.787208e-01,2.783034e-01,2.780472e-01,2.768846e-01,2.758442e-01,2.752904e-01,2.733172e-01,2.718306e-01,2.710127e-01,2.684204e-01,2.666285e-01,2.655795e-01,2.625254e-01,2.605388e-01,2.592898e-01,2.559014e-01,2.538057e-01,2.523857e-01,2.487654e-01,2.466260e-01,2.450611e-01,2.412908e-01,2.391567e-01,2.374706e-01,2.336149e-01,2.315225e-01,2.297363e-01,2.258459e-01,2.238217e-01,2.219538e-01,2.180686e-01,2.161310e-01,2.141980e-01,2.103487e-01,2.085104e-01,2.065267e-01,2.027371e-01,2.010061e-01,1.989845e-01,1.952729e-01,1.936537e-01,1.916057e-01,1.879858e-01,1.864802e-01,1.844159e-01,1.808980e-01,1.795059e-01,1.774342e-01,1.740259e-01,1.727456e-01,1.706746e-01,1.673813e-01,1.662100e-01,1.641469e-01,1.609721e-01,1.599064e-01,1.578576e-01,1.548037e-01,1.538393e-01,1.518106e-01,1.488787e-01,1.480110e-01,1.460078e-01,1.431981e-01,1.424223e-01,1.404493e-01,1.377613e-01,1.370723e-01,1.351338e-01,1.325664e-01,1.319592e-01,1.300588e-01,1.276106e-01,1.270799e-01,1.252213e-01,1.228903e-01,1.224311e-01,1.206171e-01,1.184011e-01,1.180083e-01,1.162417e-01,1.141382e-01,1.138068e-01,1.120900e-01,1.100964e-01,1.098216e-01,1.081566e-01,1.062700e-01,1.060472e-01,1.044358e-01,1.026532e-01,1.024778e-01,1.009215e-01,9.923992e-02,9.910754e-02,9.760766e-02,9.602393e-02,9.593043e-02,9.448794e-02,9.299890e-02,9.294031e-02,9.155600e-02,9.015845e-02,9.013095e-02,8.880542e-02,8.749612e-02,8.502955e-02,8.272499e-02,8.057621e-02,7.857701e-02,7.672127e-02,7.500289e-02,7.341589e-02,7.195432e-02,7.061236e-02,6.938425e-02,6.826434e-02,6.724708e-02,6.632703e-02,6.549886e-02,6.475735e-02,6.409741e-02,6.351408e-02,6.300250e-02,6.255798e-02,6.217594e-02,6.185195e-02,6.158173e-02,6.136114e-02,6.118619e-02,6.105306e-02,6.095806e-02,6.089767e-02,6.086854e-02,6.086746e-02,6.089139e-02,6.093745e-02,6.100293e-02,6.108525e-02,6.118202e-02,6.129098e-02,6.141003e-02,6.153723e-02,6.167077e-02,6.180899e-02,6.195036e-02,6.209349e-02,6.223712e-02,6.238010e-02,6.252141e-02,6.266015e-02,6.279550e-02,6.292676e-02,6.305333e-02,6.317468e-02
0.000000e+00,1.572871e-08,1.864760e-07,1.940445e-07,1.040435e-06,3.333254e-06,3.472157e-06,8.167813e-06,1.433302e-05,1.476036e-05,2.199078e-05,2.829561e-05,2.881439e-05,3.484845e-05,3.956617e-05,4.005025e-05,4.447714e-05,4.779391e-05,4.820737e-05,5.131875e-05,5.355461e-05,5.388321e-05,5.596579e-05,5.738558e-05,5.762477e-05,5.891222e-05,5.972340e-05,5.987453e-05,6.055293e-05,6.091597e-05,6.098402e-05,6.120026e-05,6.123837e-05,6.123037e-05,6.109976e-05,6.090690e-05,6.083086e-05,6.044346e-05,6.009084e-05,5.995501e-05,5.938087e-05,5.892208e-05,5.873455e-05,5.802792e-05,5.750304e-05,5.727142e-05,5.647418e-05,5.591292e-05,5.564421e-05,5.478851e-05,5.421265e-05,5.391319e-05,5.302359e-05,5.244891e-05,5.212433e-05,5.121943e-05,5.065712e-05,5.031240e-05,4.940628e-05,4.886414e-05,4.850367e-05,4.760677e-05,4.708994e-05,4.671748e-05,4.583744e-05,4.534919e-05,4.496805e-05,4.411047e-05,4.365263e-05,4.326565e-05,4.243436e-05,4.200766e-05,4.161725e-05,4.081483e-05,4.041926e-05,4.002750e-05,3.925555e-05,3.889053e-05,3.849916e-05,3.775849e-05,3.742307e-05,3.703359e-05,3.632447e-05,3.601746e-05,3.563111e-05,3.495342e-05,3.467344e-05,3.429129e-05,3.364457e-05,3.339017e-05,3.301310e-05,3.239668e-05,3.216634e-05,3.179510e-05,3.120813e-05,3.100035e-05,3.063553e-05,3.007707e-05,2.989036e-05,2.953247e-05,2.900148e-05,2.883439e-05,2.848383e-05,2.797926e-05,2.783039e-05,2.748748e-05,2.700824e-05,2.687626e-05,2.654125e-05,2.608624e-05,2.596987e-05,2.564295e-05,2.521110e-05,2.510913e-05,2.479043e-05,2.438068e-05,2.429198e-05,2.398159e-05,2.359291e-05,2.351640e-05,2.321438e-05,2.284576e-05,2.278044e-05,2.248680e-05,2.213727e-05,2.208220e-05,2.179693e-05,2.146555e-05,2.141986e-05,2.114292e-05,2.082880e-05,2.079167e-05,2.052299e-05,2.022527e-05,2.019594e-05,1.993544e-05,1.965330e-05,1.963106e-05,1.937865e-05,1.911130e-05,1.909549e-05,1.885106e-05,1.859775e-05,1.858776e-05,1.835119e-05,1.811121e-05,1.810647e-05,1.787763e-05,1.765029e-05,1.721794e-05,1.680821e-05,1.641994e-05,1.605205e-05,1.570350e-05,1.537328e-05,1.506048e-05,1.476418e-05,1.448354e-05,1.421777e-05,1.396609e-05,1.372779e-05,1.350216e-05,1.328857e-05,1.308638e-05,1.289502e-05,1.271392e-05,1.254256e-05,1.238042e-05,1.222705e-05,1.208197e-05,1.194477e-05,1.181504e-05,1.169239e-05,1.157646e-05,1.146689e-05,1.136337e-05,1.126556e-05,1.117319e-05,1.108597e-05,1.100363e-05,1.092592e-05,1.085259e-05,1.078343e-05,1.071821e-05,1.065673e-05,1.059880e-05,1.054422e-05,1.049284e-05,1.044447e-05,1.039897e-05,1.035618e-05,1.031596e-05,1.027818e-05,1.024271e-05,1.020943e-05,1.017822e-05,1.014898e-05,1.012160e-05
0.000000e+00,4.352227e-09,5.003762e-08,5.207473e-08,2.828386e-07,9.144958e-07,9.527106e-07,2.225101e-06,3.816954e-06,3.924213e-06,5.711172e-06,7.281054e-06,7.412667e-06,8.987005e-06,1.029195e-05,1.043054e-05,1.174806e-05,1.280846e-05,1.294616e-05,1.403188e-05,1.488097e-05,1.501210e-05,1.589352e-05,1.656235e-05,1.668268e-05,1.738588e-05,1.790257e-05,1.800911e-05,1.855807e-05,1.894738e-05,1.903813e-05,1.945435e-05,1.973775e-05,1.981149e-05,2.011399e-05,2.030995e-05,2.036605e-05,2.057156e-05,2.069583e-05,2.073417e-05,2.085728e-05,2.092325e-05,2.094407e-05,2.099750e-05,2.101653e-05,2.102032e-05,2.101512e-05,2.099680e-05,2.098428e-05,2.093002e-05,2.088241e-05,2.085444e-05,2.075944e-05,2.068928e-05,2.064682e-05,2.051825e-05,2.043121e-05,2.037527e-05,2.021932e-05,2.012008e-05,2.005173e-05,1.987374e-05,1.976618e-05,1.968648e-05,1.949102e-05,1.937836e-05,1.928835e-05,1.907937e-05,1.896420e-05,1.886492e-05,1.864579e-05,1.853022e-05,1.842268e-05,1.819626e-05,1.808201e-05,1.796715e-05,1.773589e-05,1.762429e-05,1.750303e-05,1.726902e-05,1.716111e-05,1.703430e-05,1.679929e-05,1.669588e-05,1.656434e-05,1.632979e-05,1.623148e-05,1.609596e-05,1.586311e-05,1.577031e-05,1.563151e-05,1.540139e-05,1.531438e-05,1.517296e-05,1.494641e-05,1.486534e-05,1.472191e-05,1.449961e-05,1.442456e-05,1.427966e-05,1.406217e-05,1.399311e-05,1.384725e-05,1.363501e-05,1.357187e-05,1.342553e-05,1.321887e-05,1.316152e-05,1.301511e-05,1.281429e-05,1.276257e-05,1.261647e-05,1.242168e-05,1.237539e-05,1.222996e-05,1.204131e-05,1.200023e-05,1.185577e-05,1.167334e-05,1.163723e-05,1.149403e-05,1.131785e-05,1.128646e-05,1.114478e-05,1.097482e-05,1.094791e-05,1.080796e-05,1.064418e-05,1.062150e-05,1.048348e-05,1.032583e-05,1.030711e-05,1.017120e-05,1.001957e-05,1.000457e-05,9.870922e-06,9.725218e-06,9.713688e-06,9.582429e-06,9.442525e-06,9.434222e-06,9.305472e-06,9.171236e-06,9.165925e-06,9.039782e-06,8.911073e-06,8.908527e-06,8.785073e-06,8.661745e-06,8.425287e-06,8.198853e-06,7.982139e-06,7.774839e-06,7.576647e-06,7.387259e-06,7.206372e-06,7.033690e-06,6.868919e-06,6.711770e-06,6.561962e-06,6.419219e-06,6.283273e-06,6.153862e-06,6.030732e-06,5.913636e-06,5.802334e-06,5.696594e-06,5.596192e-06,5.500910e-06,5.410538e-06,5.324873e-06,5.243720e-06,5.166889e-06,5.094198e-06,5.025471e-06,4.960539e-06,4.899239e-06,4.841415e-06,4.786914e-06,4.735592e-06,4.687309e-06,4.641930e-06,4.599327e-06,4.559373e-06,4.521951e-06,4.486945e-06,4.454246e-06,4.423746e-06,4.395344e-06,4.368943e-06,4.344449e-06,4.321770e-06,4.300822e-06,4.281521e-06,4.263788e-06,4.247545e-06,4.232720e-06,4.219242e-06
0.000000e+00,1.406638e-09,2.086388e-08,2.179990e-08,1.311853e-07,4.138284e-07,4.300338e-07,9.250868e-07,1.462542e-06,1.496810e-06,2.049013e-06,2.517034e-06,2.555806e-06,3.014967e-06,3.389426e-06,3.428866e-06,3.800602e-06,4.095320e-06,4.133278e-06,4.429861e-06,4.658193e-06,4.693149e-06,4.925765e-06,5.099256e-06,5.130158e-06,5.308611e-06,5.437077e-06,5.463243e-06,5.596023e-06,5.687744e-06,5.708774e-06,5.803185e-06,5.865103e-06,5.880818e-06,5.943116e-06,5.981031e-06,5.991414e-06,6.026944e-06,6.045689e-06,6.050844e-06,6.064164e-06,6.067750e-06,6.067873e-06,6.062862e-06,6.054610e-06,6.049956e-06,6.029910e-06,6.012560e-06,6.003424e-06,5.971141e-06,5.946950e-06,5.933656e-06,5.891513e-06,5.862330e-06,5.845213e-06,5.795215e-06,5.762546e-06,5.741943e-06,5.685788e-06,5.650860e-06,5.627106e-06,5.566224e-06,5.530024e-06,5.503443e-06,5.439036e-06,5.402354e-06,5.373257e-06,5.306336e-06,5.269798e-06,5.238482e-06,5.169888e-06,5.133986e-06,5.100730e-06,5.031167e-06,4.996279e-06,4.961344e-06,4.891395e-06,4.857810e-06,4.821439e-06,4.751584e-06,4.719513e-06,4.681931e-06,4.612568e-06,4.582162e-06,4.543576e-06,4.475026e-06,4.446383e-06,4.406984e-06,4.339508e-06,4.312687e-06,4.272649e-06,4.206454e-06,4.181483e-06,4.140964e-06,4.076214e-06,4.053092e-06,4.012236e-06,3.949058e-06,3.927764e-06,3.886703e-06,3.825191e-06,3.805688e-06,3.764539e-06,3.704762e-06,3.687001e-06,3.645871e-06,3.587875e-06,3.571798e-06,3.530781e-06,3.474595e-06,3.460136e-06,3.419319e-06,3.364955e-06,3.352043e-06,3.311503e-06,3.258961e-06,3.247523e-06,3.207326e-06,3.156596e-06,3.146558e-06,3.106764e-06,3.057827e-06,3.049112e-06,3.009776e-06,2.962605e-06,2.955139e-06,2.916306e-06,2.870871e-06,2.864579e-06,2.826291e-06,2.782555e-06,2.777364e-06,2.739656e-06,2.697581e-06,2.693419e-06,2.656321e-06,2.615866e-06,2.612664e-06,2.576204e-06,2.537324e-06,2.535015e-06,2.499214e-06,2.461865e-06,2.460387e-06,2.425264e-06,2.389399e-06,2.388689e-06,2.354260e-06,2.319834e-06,2.253731e-06,2.190292e-06,2.129426e-06,2.071047e-06,2.015068e-06,1.961405e-06,1.909975e-06,1.860697e-06,1.813491e-06,1.768282e-06,1.724994e-06,1.683556e-06,1.643896e-06,1.605948e-06,1.569645e-06,1.534925e-06,1.501724e-06,1.469985e-06,1.439650e-06,1.410665e-06,1.382975e-06,1.356530e-06,1.331280e-06,1.307177e-06,1.284177e-06,1.262235e-06,1.241309e-06,1.221357e-06,1.202340e-06,1.184222e-06,1.166965e-06,1.150534e-06,1.134897e-06,1.120020e-06,1.105873e-06,1.092425e-06,1.079649e-06,1.067516e-06,1.056000e-06,1.045075e-06,1.034717e-06,1.024903e-06,1.015609e-06,1.006815e-06,9.984985e-07,9.906402e-07,9.832207e-07,9.762213e-07,9.696242e-07
0.000000e+00,5.351576e-08,1.141554e-06,1.199139e-06,9.367549e-06,3.772041e-05,3.958545e-05,1.075278e-04,2.047735e-04,2.117651e-04,3.355872e-04,4.536255e-04,4.638116e-04,5.880899e-04,6.934741e-04,7.047488e-04,8.124971e-04,8.997772e-04,9.111406e-04,1.000965e-03,1.071521e-03,1.082447e-03,1.156129e-03,1.212398e-03,1.222563e-03,1.282279e-03,1.326587e-03,1.335781e-03,1.383540e-03,1.417911e-03,1.425999e-03,1.463571e-03,1.489731e-03,1.496638e-03,1.525555e-03,1.544960e-03,1.550651e-03,1.572231e-03,1.586103e-03,1.590577e-03,1.605950e-03,1.615314e-03,1.618591e-03,1.628723e-03,1.634434e-03,1.636553e-03,1.642271e-03,1.645044e-03,1.646054e-03,1.648064e-03,1.648494e-03,1.648453e-03,1.647359e-03,1.645941e-03,1.644912e-03,1.641229e-03,1.638374e-03,1.636421e-03,1.630590e-03,1.626639e-03,1.623829e-03,1.616224e-03,1.611458e-03,1.607856e-03,1.598798e-03,1.593449e-03,1.589118e-03,1.578879e-03,1.573138e-03,1.568140e-03,1.556953e-03,1.550975e-03,1.545368e-03,1.533430e-03,1.527343e-03,1.521182e-03,1.508663e-03,1.502567e-03,1.495906e-03,1.482947e-03,1.476925e-03,1.469814e-03,1.456535e-03,1.450653e-03,1.443136e-03,1.429641e-03,1.423950e-03,1.416071e-03,1.402447e-03,1.396985e-03,1.388785e-03,1.375103e-03,1.369902e-03,1.361416e-03,1.347739e-03,1.342820e-03,1.334083e-03,1.320462e-03,1.315840e-03,1.306885e-03,1.293362e-03,1.289047e-03,1.279902e-03,1.266513e-03,1.262512e-03,1.253204e-03,1.239979e-03,1.236292e-03,1.226846e-03,1.213809e-03,1.210436e-03,1.200875e-03,1.188046e-03,1.184983e-03,1.175327e-03,1.162722e-03,1.159965e-03,1.150234e-03,1.137865e-03,1.135406e-03,1.125618e-03,1.113495e-03,1.111326e-03,1.101498e-03,1.089628e-03,1.087741e-03,1.077887e-03,1.066276e-03,1.064661e-03,1.054796e-03,1.043447e-03,1.042094e-03,1.032231e-03,1.021146e-03,1.020045e-03,1.010195e-03,9.993759e-04,9.985161e-04,9.886898e-04,9.781363e-04,9.775073e-04,9.677152e-04,9.574260e-04,9.570172e-04,9.472685e-04,9.372421e-04,9.370430e-04,9.273463e-04,9.175803e-04,8.986241e-04,8.801683e-04,8.622062e-04,8.447305e-04,8.277334e-04,8.112068e-04,7.951423e-04,7.795314e-04,7.643653e-04,7.496352e-04,7.353322e-04,7.214472e-04,7.079714e-04,6.948959e-04,6.822117e-04,6.699102e-04,6.579826e-04,6.464203e-04,6.352149e-04,6.243580e-04,6.138413e-04,6.036567e-04,5.937963e-04,5.842521e-04,5.750166e-04,5.660820e-04,5.574410e-04,5.490864e-04,5.410109e-04,5.332075e-04,5.256695e-04,5.183900e-04,5.113625e-04,5.045804e-04,4.980376e-04,4.917278e-04,4.856449e-04,4.797830e-04,4.741362e-04,4.686990e-04,4.634657e-04,4.584309e-04,4.535892e-04,4.489354e-04,4.444644e-04,4.401712e-04,4.360509e-04,4.320987e-04,4.283100e-04
0.000000e+00,5.119520e-08,8.981392e-07,9.407317e-07,6.829951e-06,2.781368e-05,2.922152e-05,8.124556e-05,1.545363e-04,1.596897e-04,2.485104e-04,3.299370e-04,3.368658e-04,4.206960e-04,4.913477e-04,4.989097e-04,5.713893e-04,6.305627e-04,6.383072e-04,6.999151e-04,7.488530e-04,7.564777e-04,8.082534e-04,8.482362e-04,8.555025e-04,8.984806e-04,9.307102e-04,9.374362e-04,9.726085e-04,9.981770e-04,1.004227e-03,1.032512e-03,1.052394e-03,1.057672e-03,1.079905e-03,1.094963e-03,1.099402e-03,1.116339e-03,1.127326e-03,1.130888e-03,1.143206e-03,1.150779e-03,1.153445e-03,1.161748e-03,1.166479e-03,1.168248e-03,1.173072e-03,1.175457e-03,1.176340e-03,1.178164e-03,1.178628e-03,1.178649e-03,1.177896e-03,1.176807e-03,1.175997e-03,1.173040e-03,1.170713e-03,1.169110e-03,1.164282e-03,1.160985e-03,1.158631e-03,1.152224e-03,1.148188e-03,1.145127e-03,1.137399e-03,1.132818e-03,1.129098e-03,1.120276e-03,1.115314e-03,1.110984e-03,1.101268e-03,1.096062e-03,1.091171e-03,1.080735e-03,1.075401e-03,1.069997e-03,1.058994e-03,1.053629e-03,1.047760e-03,1.036324e-03,1.031004e-03,1.024716e-03,1.012964e-03,1.007754e-03,1.001093e-03,9.891256e-04,9.840761e-04,9.770846e-04,9.649902e-04,9.601418e-04,9.528613e-04,9.407155e-04,9.360990e-04,9.285690e-04,9.164369e-04,9.120756e-04,9.043332e-04,8.922707e-04,8.881810e-04,8.802613e-04,8.683160e-04,8.645086e-04,8.564446e-04,8.446566e-04,8.411377e-04,8.329603e-04,8.213633e-04,8.181349e-04,8.098728e-04,7.984951e-04,7.955560e-04,7.872359e-04,7.761005e-04,7.734469e-04,7.650935e-04,7.542191e-04,7.518450e-04,7.434811e-04,7.328827e-04,7.307800e-04,7.224268e-04,7.121158e-04,7.102754e-04,7.019520e-04,6.919372e-04,6.903487e-04,6.820728e-04,6.723602e-04,6.710126e-04,6.628002e-04,6.533936e-04,6.522751e-04,6.441409e-04,6.350423e-04,6.341409e-04,6.260979e-04,6.173076e-04,6.166111e-04,6.086712e-04,6.001882e-04,5.996840e-04,5.918579e-04,5.836797e-04,5.833557e-04,5.756527e-04,5.677760e-04,5.676200e-04,5.600486e-04,5.524692e-04,5.378940e-04,5.238839e-04,5.104275e-04,4.975125e-04,4.851259e-04,4.732544e-04,4.618841e-04,4.510011e-04,4.405910e-04,4.306396e-04,4.211326e-04,4.120557e-04,4.033948e-04,3.951358e-04,3.872648e-04,3.797684e-04,3.726331e-04,3.658457e-04,3.593936e-04,3.532641e-04,3.474450e-04,3.419245e-04,3.366908e-04,3.317328e-04,3.270395e-04,3.226004e-04,3.184050e-04,3.144434e-04,3.107060e-04,3.071834e-04,3.038666e-04,3.007469e-04,2.978157e-04,2.950650e-04,2.924868e-04,2.900737e-04,2.878183e-04,2.857135e-04,2.837525e-04,2.819288e-04,2.802362e-04,2.786684e-04,2.772197e-04,2.758844e-04,2.746571e-04,2.735327e-04,2.725062e-04,2.715726e-04,2.707274e-04
0.000000e+00,4.806302e-08,5.687926e-07,5.920440e-07,3.305957e-06,1.122798e-05,1.172083e-05,2.845349e-05,4.946118e-05,5.087333e-05,7.452032e-05,9.571174e-05,9.751285e-05,1.194020e-04,1.380868e-04,1.401032e-04,1.596156e-04,1.758198e-04,1.779605e-04,1.951674e-04,2.090808e-04,2.112701e-04,2.263058e-04,2.381397e-04,2.403135e-04,2.533335e-04,2.633015e-04,2.654067e-04,2.765740e-04,2.848828e-04,2.868759e-04,2.963521e-04,3.031954e-04,3.050414e-04,3.129815e-04,3.185373e-04,3.202087e-04,3.267585e-04,3.311892e-04,3.326648e-04,3.379604e-04,3.414127e-04,3.426766e-04,3.468437e-04,3.494497e-04,3.504910e-04,3.536464e-04,3.555248e-04,3.563367e-04,3.585874e-04,3.598441e-04,3.604231e-04,3.618673e-04,3.625965e-04,3.629424e-04,3.636698e-04,3.639554e-04,3.640703e-04,3.641632e-04,3.640793e-04,3.639675e-04,3.635010e-04,3.631132e-04,3.627808e-04,3.618232e-04,3.611891e-04,3.606438e-04,3.592573e-04,3.584276e-04,3.576780e-04,3.559193e-04,3.549381e-04,3.539939e-04,3.519143e-04,3.508202e-04,3.496918e-04,3.473377e-04,3.461641e-04,3.448624e-04,3.422760e-04,3.410515e-04,3.395879e-04,3.368071e-04,3.355565e-04,3.339423e-04,3.310015e-04,3.297456e-04,3.279925e-04,3.249226e-04,3.236791e-04,3.217987e-04,3.186273e-04,3.174111e-04,3.154148e-04,3.121669e-04,3.109900e-04,3.088892e-04,3.055869e-04,3.044594e-04,3.022650e-04,2.989283e-04,2.978581e-04,2.955810e-04,2.922273e-04,2.912206e-04,2.888712e-04,2.855163e-04,2.845776e-04,2.821660e-04,2.788237e-04,2.779564e-04,2.754923e-04,2.721747e-04,2.713808e-04,2.688735e-04,2.655912e-04,2.648719e-04,2.623302e-04,2.590926e-04,2.584480e-04,2.558804e-04,2.526954e-04,2.521251e-04,2.495394e-04,2.464141e-04,2.459169e-04,2.433207e-04,2.402608e-04,2.398352e-04,2.372355e-04,2.342460e-04,2.338897e-04,2.312933e-04,2.283784e-04,2.280890e-04,2.255020e-04,2.226650e-04,2.224398e-04,2.198680e-04,2.171117e-04,2.169476e-04,2.143964e-04,2.117228e-04,2.116167e-04,2.090912e-04,2.065018e-04,2.064505e-04,2.039551e-04,2.014511e-04,1.966200e-04,1.919580e-04,1.874649e-04,1.831401e-04,1.789826e-04,1.749907e-04,1.711625e-04,1.674954e-04,1.639869e-04,1.606340e-04,1.574336e-04,1.543822e-04,1.514764e-04,1.487126e-04,1.460868e-04,1.435955e-04,1.412345e-04,1.390001e-04,1.368883e-04,1.348951e-04,1.330165e-04,1.312487e-04,1.295877e-04,1.280296e-04,1.265706e-04,1.252070e-04,1.239350e-04,1.227509e-04,1.216513e-04,1.206324e-04,1.196910e-04,1.188236e-04,1.180270e-04,1.172980e-04,1.166333e-04,1.160301e-04,1.154852e-04,1.149960e-04,1.145595e-04,1.141731e-04,1.138341e-04,1.135400e-04,1.132884e-04,1.130769e-04,1.129032e-04,1.127650e-04,1.126604e-04,1.125871e-04,1.125433e-04
0.000000e+00,3.761549e-08,4.882835e-07,5.088773e-07,2.973924e-06,1.038434e-05,1.085222e-05,2.719790e-05,4.891982e-05,5.041487e-05,7.567550e-05,9.819214e-05,1.000870e-04,1.227973e-04,1.416535e-04,1.436566e-04,1.627005e-04,1.780237e-04,1.800128e-04,1.956885e-04,2.079341e-04,2.098239e-04,2.225138e-04,2.321238e-04,2.338504e-04,2.439225e-04,2.512976e-04,2.528148e-04,2.606086e-04,2.661044e-04,2.673807e-04,2.732043e-04,2.771326e-04,2.781482e-04,2.822776e-04,2.849094e-04,2.856542e-04,2.883357e-04,2.899041e-04,2.903756e-04,2.918239e-04,2.925268e-04,2.927276e-04,2.931311e-04,2.931381e-04,2.930757e-04,2.926005e-04,2.920563e-04,2.917422e-04,2.905372e-04,2.895678e-04,2.890179e-04,2.872138e-04,2.859224e-04,2.851523e-04,2.828590e-04,2.813312e-04,2.803576e-04,2.776702e-04,2.759772e-04,2.748175e-04,2.718184e-04,2.700189e-04,2.686907e-04,2.654507e-04,2.635930e-04,2.621137e-04,2.586939e-04,2.568173e-04,2.552041e-04,2.516565e-04,2.497927e-04,2.480623e-04,2.444315e-04,2.426054e-04,2.407737e-04,2.370976e-04,2.353289e-04,2.334111e-04,2.297216e-04,2.280252e-04,2.260356e-04,2.223595e-04,2.207465e-04,2.186987e-04,2.150583e-04,2.135366e-04,2.114430e-04,2.078569e-04,2.064315e-04,2.043038e-04,2.007871e-04,1.994610e-04,1.973099e-04,1.938748e-04,1.926490e-04,1.904844e-04,1.871407e-04,1.860148e-04,1.838455e-04,1.806007e-04,1.795732e-04,1.774075e-04,1.742671e-04,1.733355e-04,1.711806e-04,1.681489e-04,1.673099e-04,1.651725e-04,1.622521e-04,1.615020e-04,1.593879e-04,1.565803e-04,1.559149e-04,1.538293e-04,1.511351e-04,1.505500e-04,1.484976e-04,1.459165e-04,1.454070e-04,1.433917e-04,1.409228e-04,1.404843e-04,1.385095e-04,1.361513e-04,1.357790e-04,1.338477e-04,1.315981e-04,1.312875e-04,1.294021e-04,1.272588e-04,1.270052e-04,1.251678e-04,1.231282e-04,1.229271e-04,1.211394e-04,1.192005e-04,1.190476e-04,1.173109e-04,1.154697e-04,1.153607e-04,1.136761e-04,1.119293e-04,1.118604e-04,1.102285e-04,1.085729e-04,1.085402e-04,1.069615e-04,1.053937e-04,1.024141e-04,9.959512e-05,9.693006e-05,9.441249e-05,9.203606e-05,8.979453e-05,8.768179e-05,8.569190e-05,8.381909e-05,8.205777e-05,8.040251e-05,7.884810e-05,7.738951e-05,7.602188e-05,7.474057e-05,7.354111e-05,7.241922e-05,7.137082e-05,7.039197e-05,6.947895e-05,6.862818e-05,6.783625e-05,6.709992e-05,6.641609e-05,6.578182e-05,6.519431e-05,6.465089e-05,6.414904e-05,6.368635e-05,6.326053e-05,6.286943e-05,6.251099e-05,6.218325e-05,6.188438e-05,6.161262e-05,6.136631e-05,6.114389e-05,6.094386e-05,6.076483e-05,6.060546e-05,6.046449e-05,6.034074e-05,6.023309e-05,6.014046e-05,6.006186e-05,5.999635e-05,5.994302e-05,5.990104e-05,5.986961e-05
0.000000e+00,1.196140e-09,1.393806e-08,1.451762e-08,8.332538e-08,2.876094e-07,3.004965e-07,7.581139e-07,1.405759e-06,1.452232e-06,2.265996e-06,3.018312e-06,3.082184e-06,3.851359e-06,4.493613e-06,4.562002e-06,5.213842e-06,5.740807e-06,5.809407e-06,6.351856e-06,6.778346e-06,6.844421e-06,7.290254e-06,7.630856e-06,7.692378e-06,8.053663e-06,8.321354e-06,8.376827e-06,8.664441e-06,8.870565e-06,8.918923e-06,9.142561e-06,9.296985e-06,9.337521e-06,9.505818e-06,9.617048e-06,9.649323e-06,9.769786e-06,9.845082e-06,9.868880e-06,9.948169e-06,9.993828e-06,1.000913e-05,1.005318e-05,1.007471e-05,1.008171e-05,1.009595e-05,1.009806e-05,1.009704e-05,1.008603e-05,1.007263e-05,1.006392e-05,1.003164e-05,1.000603e-05,9.990040e-06,9.939944e-06,9.904949e-06,9.882104e-06,9.817226e-06,9.775196e-06,9.745967e-06,9.668941e-06,9.621851e-06,9.586720e-06,9.499839e-06,9.449337e-06,9.408794e-06,9.314048e-06,9.261498e-06,9.216030e-06,9.115142e-06,9.061669e-06,9.011753e-06,8.906210e-06,8.852732e-06,8.798833e-06,8.689918e-06,8.637174e-06,8.579740e-06,8.468554e-06,8.417135e-06,8.356595e-06,8.244081e-06,8.194451e-06,8.131212e-06,8.018173e-06,7.970687e-06,7.905134e-06,7.792252e-06,7.747176e-06,7.679671e-06,7.567522e-06,7.525045e-06,7.455927e-06,7.344994e-06,7.305241e-06,7.234825e-06,7.125511e-06,7.088554e-06,7.017134e-06,6.909769e-06,6.875637e-06,6.803483e-06,6.698337e-06,6.667023e-06,6.594384e-06,6.491674e-06,6.463144e-06,6.390249e-06,6.290145e-06,6.264339e-06,6.191396e-06,6.094030e-06,6.070871e-06,5.998070e-06,5.903538e-06,5.882934e-06,5.810448e-06,5.718816e-06,5.700666e-06,5.628651e-06,5.539961e-06,5.524153e-06,5.452750e-06,5.367021e-06,5.353442e-06,5.282775e-06,5.200010e-06,5.188540e-06,5.118721e-06,5.038905e-06,5.029426e-06,4.960554e-06,4.883660e-06,4.876050e-06,4.808212e-06,4.734202e-06,4.728343e-06,4.661616e-06,4.590442e-06,4.586217e-06,4.520667e-06,4.452276e-06,4.449569e-06,4.385253e-06,4.319583e-06,4.318284e-06,4.255250e-06,4.192237e-06,4.071297e-06,3.955326e-06,3.844181e-06,3.737719e-06,3.635792e-06,3.538253e-06,3.444957e-06,3.355756e-06,3.270506e-06,3.189065e-06,3.111292e-06,3.037051e-06,2.966206e-06,2.898627e-06,2.834186e-06,2.772758e-06,2.714223e-06,2.658463e-06,2.605366e-06,2.554822e-06,2.506724e-06,2.460969e-06,2.417461e-06,2.376102e-06,2.336801e-06,2.299470e-06,2.264024e-06,2.230381e-06,2.198462e-06,2.168192e-06,2.139497e-06,2.112309e-06,2.086560e-06,2.062186e-06,2.039126e-06,2.017319e-06,1.996710e-06,1.977244e-06,1.958870e-06,1.941536e-06,1.925196e-06,1.909803e-06,1.895315e-06,1.881687e-06,1.868882e-06,1.856859e-06,1.845583e-06,1.835017e-06,1.825129e-06
0.000000e+00,3.496738e-05,7.170054e-04,7.527923e-04,6.039950e-03,2.679449e-02,2.825172e-02,8.617423e-02,1.805275e-01,1.877488e-01,3.249160e-01,4.716970e-01,4.850791e-01,6.571595e-01,8.151261e-01,8.326330e-01,1.005289e+00,1.151405e+00,1.170777e+00,1.326185e+00,1.450358e+00,1.469686e+00,1.600263e+00,1.699636e+00,1.717492e+00,1.821384e+00,1.896841e+00,1.912260e+00,1.990654e+00,2.044834e+00,2.057243e+00,2.112794e+00,2.148982e+00,2.158118e+00,2.194046e+00,2.215573e+00,2.221399e+00,2.240980e+00,2.250917e+00,2.253553e+00,2.259844e+00,2.260866e+00,2.260531e+00,2.256243e+00,2.250595e+00,2.247562e+00,2.235016e+00,2.224528e+00,2.219091e+00,2.200225e+00,2.186355e+00,2.178812e+00,2.155210e+00,2.139104e+00,2.129737e+00,2.102679e+00,2.085220e+00,2.074291e+00,2.044799e+00,2.026659e+00,2.014405e+00,1.983289e+00,1.964974e+00,1.951610e+00,1.919507e+00,1.901393e+00,1.887107e+00,1.854519e+00,1.836879e+00,1.821842e+00,1.789161e+00,1.772191e+00,1.756553e+00,1.724085e+00,1.707923e+00,1.691817e+00,1.659803e+00,1.644539e+00,1.628087e+00,1.596712e+00,1.582403e+00,1.565712e+00,1.535121e+00,1.521797e+00,1.504965e+00,1.475268e+00,1.462938e+00,1.446052e+00,1.417335e+00,1.405992e+00,1.389133e+00,1.361458e+00,1.351082e+00,1.334322e+00,1.307734e+00,1.298298e+00,1.281702e+00,1.256232e+00,1.247701e+00,1.231328e+00,1.206995e+00,1.199329e+00,1.183233e+00,1.160044e+00,1.153199e+00,1.137428e+00,1.115384e+00,1.109314e+00,1.093911e+00,1.073005e+00,1.067662e+00,1.052664e+00,1.032884e+00,1.028219e+00,1.013660e+00,9.949879e-01,9.909536e-01,9.768620e-01,9.592764e-01,9.558236e-01,9.422249e-01,9.257008e-01,9.227820e-01,9.096974e-01,8.942073e-01,8.917760e-01,8.792231e-01,8.647372e-01,8.627485e-01,8.507415e-01,8.372281e-01,8.356384e-01,8.241885e-01,8.116146e-01,8.103825e-01,7.994976e-01,7.878291e-01,7.869147e-01,7.766003e-01,7.658023e-01,7.651679e-01,7.554264e-01,7.454636e-01,7.450736e-01,7.359051e-01,7.267417e-01,7.265624e-01,7.179647e-01,7.095649e-01,6.940112e-01,6.798318e-01,6.669575e-01,6.553197e-01,6.448504e-01,6.354826e-01,6.271504e-01,6.197890e-01,6.133349e-01,6.077260e-01,6.029016e-01,5.988029e-01,5.953727e-01,5.925554e-01,5.902977e-01,5.885480e-01,5.872567e-01,5.863767e-01,5.858628e-01,5.856719e-01,5.857636e-01,5.860993e-01,5.866431e-01,5.873612e-01,5.882222e-01,5.891969e-01,5.902585e-01,5.913822e-01,5.925455e-01,5.937282e-01,5.949117e-01,5.960796e-01,5.972176e-01,5.983128e-01,5.993543e-01,6.003327e-01,6.012402e-01,6.020702e-01,6.028178e-01,6.034790e-01,6.040511e-01,6.045323e-01,6.049219e-01,6.052200e-01,6.054273e-01,6.055454e-01,6.055763e-01,6.055227e-01,6.053875e-01
0.000000e+00,1.142763e-05,2.451755e-04,2.574863e-04,2.010141e-03,8.354576e-03,8.785645e-03,2.555614e-02,5.307032e-02,5.520448e-02,9.632316e-02,1.410616e-01,1.451607e-01,1.980104e-01,2.465948e-01,2.519768e-01,3.049824e-01,3.496967e-01,3.556129e-01,4.029572e-01,4.406263e-01,4.464763e-01,4.858999e-01,5.157885e-01,5.211488e-01,5.522788e-01,5.748339e-01,5.794384e-01,6.028359e-01,6.190086e-01,6.227155e-01,6.393402e-01,6.502208e-01,6.529788e-01,6.638971e-01,6.705345e-01,6.723525e-01,6.785896e-01,6.819123e-01,6.828377e-01,6.853098e-01,6.861009e-01,6.862021e-01,6.856939e-01,6.845928e-01,6.839483e-01,6.811130e-01,6.786311e-01,6.773211e-01,6.726924e-01,6.692315e-01,6.673340e-01,6.613419e-01,6.572144e-01,6.548019e-01,6.477902e-01,6.432363e-01,6.403750e-01,6.326169e-01,6.278201e-01,6.245697e-01,6.162814e-01,6.113808e-01,6.077948e-01,5.991478e-01,5.942481e-01,5.903742e-01,5.815042e-01,5.766839e-01,5.725647e-01,5.635797e-01,5.588968e-01,5.545706e-01,5.455565e-01,5.410530e-01,5.365546e-01,5.275799e-01,5.232859e-01,5.186463e-01,5.097660e-01,5.057019e-01,5.009497e-01,4.922073e-01,4.883863e-01,4.835475e-01,4.749779e-01,4.714072e-01,4.665054e-01,4.581362e-01,4.548186e-01,4.498756e-01,4.417284e-01,4.386630e-01,4.336987e-01,4.257901e-01,4.229733e-01,4.180058e-01,4.103484e-01,4.077742e-01,4.028202e-01,3.954232e-01,3.930841e-01,3.881589e-01,3.810285e-01,3.789156e-01,3.740330e-01,3.671731e-01,3.652767e-01,3.604493e-01,3.538618e-01,3.521714e-01,3.474106e-01,3.410957e-01,3.396003e-01,3.349166e-01,3.288731e-01,3.275616e-01,3.229643e-01,3.171897e-01,3.160508e-01,3.115483e-01,3.060393e-01,3.050617e-01,3.006616e-01,2.954141e-01,2.945864e-01,2.902955e-01,2.853046e-01,2.846160e-01,2.804401e-01,2.757006e-01,2.751402e-01,2.710847e-01,2.665908e-01,2.661480e-01,2.622174e-01,2.579631e-01,2.576278e-01,2.538262e-01,2.498050e-01,2.495674e-01,2.458981e-01,2.421036e-01,2.419541e-01,2.384199e-01,2.348454e-01,2.347750e-01,2.313783e-01,2.280170e-01,2.216666e-01,2.157105e-01,2.101352e-01,2.049271e-01,2.000727e-01,1.955584e-01,1.913710e-01,1.874968e-01,1.839228e-01,1.806356e-01,1.776222e-01,1.748696e-01,1.723651e-01,1.700959e-01,1.680497e-01,1.662142e-01,1.645772e-01,1.631269e-01,1.618518e-01,1.607404e-01,1.597816e-01,1.589648e-01,1.582793e-01,1.577150e-01,1.572621e-01,1.569111e-01,1.566528e-01,1.564784e-01,1.563797e-01,1.563485e-01,1.563772e-01,1.564586e-01,1.565859e-01,1.567527e-01,1.569529e-01,1.571809e-01,1.574315e-01,1.576996e-01,1.579810e-01,1.582714e-01,1.585670e-01,1.588645e-01,1.591607e-01,1.594529e-01,1.597387e-01,1.600158e-01,1.602823e-01,1.605366e-01,1.607774e-01
0.000000e+00,1.957732e-07,5.259405e-06,5.544504e-06,4.817637e-05,1.942372e-04,2.035154e-04,5.177514e-04,9.231524e-04,9.513879e-04,1.445438e-03,1.917851e-03,1.959007e-03,2.468127e-03,2.911490e-03,2.959614e-03,3.426608e-03,3.814674e-03,3.865868e-03,4.276202e-03,4.605909e-03,4.657576e-03,5.010605e-03,5.285945e-03,5.336255e-03,5.635682e-03,5.862513e-03,5.910126e-03,6.160859e-03,6.345224e-03,6.389145e-03,6.596222e-03,6.743792e-03,6.783289e-03,6.951502e-03,7.067416e-03,7.101965e-03,7.235733e-03,7.324566e-03,7.353811e-03,7.457152e-03,7.522944e-03,7.546664e-03,7.623205e-03,7.669504e-03,7.687590e-03,7.740589e-03,7.770501e-03,7.782935e-03,7.815318e-03,7.831552e-03,7.838392e-03,7.852777e-03,7.857695e-03,7.859058e-03,7.857789e-03,7.853442e-03,7.849494e-03,7.834668e-03,7.822833e-03,7.813779e-03,7.787268e-03,7.769481e-03,7.755553e-03,7.719029e-03,7.696614e-03,7.678067e-03,7.633019e-03,7.607111e-03,7.584216e-03,7.531972e-03,7.503543e-03,7.476580e-03,7.418320e-03,7.388196e-03,7.357453e-03,7.294225e-03,7.263106e-03,7.228869e-03,7.161604e-03,7.130078e-03,7.092636e-03,7.022157e-03,6.990715e-03,6.950350e-03,6.877385e-03,6.846433e-03,6.803423e-03,6.728614e-03,6.698485e-03,6.653099e-03,6.577012e-03,6.547974e-03,6.500474e-03,6.423603e-03,6.395868e-03,6.346506e-03,6.269285e-03,6.243019e-03,6.192034e-03,6.114842e-03,6.090166e-03,6.037790e-03,5.960955e-03,5.937958e-03,5.884408e-03,5.808214e-03,5.786952e-03,5.732436e-03,5.657128e-03,5.637632e-03,5.582345e-03,5.508133e-03,5.490412e-03,5.434537e-03,5.361599e-03,5.345644e-03,5.289354e-03,5.217839e-03,5.203626e-03,5.147082e-03,5.077114e-03,5.064606e-03,5.007960e-03,4.939642e-03,4.928790e-03,4.872181e-03,4.805597e-03,4.796346e-03,4.739904e-03,4.675119e-03,4.667406e-03,4.611252e-03,4.548315e-03,4.542073e-03,4.486318e-03,4.425267e-03,4.420424e-03,4.365170e-03,4.306030e-03,4.302512e-03,4.247851e-03,4.190636e-03,4.188368e-03,4.134387e-03,4.079103e-03,4.078007e-03,4.024783e-03,3.971427e-03,3.868614e-03,3.769539e-03,3.674165e-03,3.582446e-03,3.494329e-03,3.409752e-03,3.328650e-03,3.250954e-03,3.176589e-03,3.105480e-03,3.037546e-03,2.972707e-03,2.910882e-03,2.851988e-03,2.795940e-03,2.742657e-03,2.692054e-03,2.644049e-03,2.598560e-03,2.555504e-03,2.514801e-03,2.476372e-03,2.440138e-03,2.406022e-03,2.373948e-03,2.343842e-03,2.315630e-03,2.289242e-03,2.264606e-03,2.241654e-03,2.220320e-03,2.200538e-03,2.182243e-03,2.165373e-03,2.149868e-03,2.135668e-03,2.122714e-03,2.110952e-03,2.100325e-03,2.090781e-03,2.082267e-03,2.074733e-03,2.068130e-03,2.062410e-03,2.057527e-03,2.053436e-03,2.050093e-03,2.047457e-03,2.045486e-03
0.000000e+00,4.724840e-08,7.305166e-07,7.645632e-07,5.281977e-06,1.963900e-05,2.053663e-05,4.995977e-05,8.393825e-05,8.614049e-05,1.220714e-04,1.531040e-04,1.556971e-04,1.866686e-04,2.123004e-04,2.150210e-04,2.408738e-04,2.616657e-04,2.643645e-04,2.856314e-04,3.022455e-04,3.048096e-04,3.220295e-04,3.350728e-04,3.374165e-04,3.510908e-04,3.611062e-04,3.631669e-04,3.737538e-04,3.812207e-04,3.829549e-04,3.908681e-04,3.962062e-04,3.975861e-04,4.031958e-04,4.067688e-04,4.077795e-04,4.114145e-04,4.135364e-04,4.141733e-04,4.161242e-04,4.170647e-04,4.173312e-04,4.178540e-04,4.178429e-04,4.177485e-04,4.170675e-04,4.163010e-04,4.158603e-04,4.141732e-04,4.128178e-04,4.120492e-04,4.095287e-04,4.077251e-04,4.066495e-04,4.034466e-04,4.013127e-04,3.999528e-04,3.961987e-04,3.938333e-04,3.922129e-04,3.880217e-04,3.855066e-04,3.836500e-04,3.791205e-04,3.765231e-04,3.744546e-04,3.696718e-04,3.670470e-04,3.647904e-04,3.598272e-04,3.572193e-04,3.547979e-04,3.497169e-04,3.471612e-04,3.445975e-04,3.394519e-04,3.369761e-04,3.342915e-04,3.291266e-04,3.267519e-04,3.239667e-04,3.188206e-04,3.165628e-04,3.136962e-04,3.086009e-04,3.064711e-04,3.035412e-04,2.985231e-04,2.965287e-04,2.935521e-04,2.886330e-04,2.867784e-04,2.837704e-04,2.789682e-04,2.772548e-04,2.742298e-04,2.695584e-04,2.679859e-04,2.649568e-04,2.604273e-04,2.589935e-04,2.559721e-04,2.515930e-04,2.502943e-04,2.472913e-04,2.430685e-04,2.419004e-04,2.389255e-04,2.348631e-04,2.338201e-04,2.308819e-04,2.269823e-04,2.260586e-04,2.231646e-04,2.194288e-04,2.186180e-04,2.157749e-04,2.122027e-04,2.114981e-04,2.087119e-04,2.053020e-04,2.046968e-04,2.019726e-04,1.987229e-04,1.982103e-04,1.955523e-04,1.924600e-04,1.920333e-04,1.894452e-04,1.865069e-04,1.861594e-04,1.836442e-04,1.808562e-04,1.805814e-04,1.781416e-04,1.754995e-04,1.752912e-04,1.729287e-04,1.704281e-04,1.702802e-04,1.679964e-04,1.656326e-04,1.655394e-04,1.633354e-04,1.611035e-04,1.610595e-04,1.589358e-04,1.568310e-04,1.528441e-04,1.490893e-04,1.455569e-04,1.422373e-04,1.391210e-04,1.361989e-04,1.334618e-04,1.309009e-04,1.285076e-04,1.262735e-04,1.241906e-04,1.222510e-04,1.204471e-04,1.187718e-04,1.172181e-04,1.157793e-04,1.144489e-04,1.132209e-04,1.120893e-04,1.110486e-04,1.100933e-04,1.092185e-04,1.084192e-04,1.076909e-04,1.070291e-04,1.064296e-04,1.058885e-04,1.054021e-04,1.049666e-04,1.045789e-04,1.042357e-04,1.039339e-04,1.036707e-04,1.034433e-04,1.032493e-04,1.030862e-04,1.029517e-04,1.028438e-04,1.027602e-04,1.026993e-04,1.026591e-04,1.026380e-04,1.026345e-04,1.026469e-04,1.026740e-04,1.027144e-04,1.027669e-04,1.028304e-04,1.029037e-04
0.000000e+00,1.065559e-05,2.014666e-04,2.111176e-04,1.559152e-03,6.641287e-03,6.997078e-03,2.141560e-02,4.615728e-02,4.810088e-02,8.586872e-02,1.273947e-01,1.312163e-01,1.807103e-01,2.265550e-01,2.316534e-01,2.820844e-01,3.249458e-01,3.306399e-01,3.764150e-01,4.131210e-01,4.188462e-01,4.576216e-01,4.872690e-01,4.926119e-01,5.238184e-01,5.466469e-01,5.513336e-01,5.753122e-01,5.920789e-01,5.959492e-01,6.134630e-01,6.251036e-01,6.280839e-01,6.400452e-01,6.474988e-01,6.495768e-01,6.569010e-01,6.610245e-01,6.622291e-01,6.657604e-01,6.672951e-01,6.676804e-01,6.681609e-01,6.677257e-01,6.673596e-01,6.654211e-01,6.635208e-01,6.624767e-01,6.586456e-01,6.556841e-01,6.540355e-01,6.487434e-01,6.450392e-01,6.428566e-01,6.364532e-01,6.322548e-01,6.296035e-01,6.223699e-01,6.178691e-01,6.148086e-01,6.069696e-01,6.023135e-01,5.988974e-01,5.906321e-01,5.859326e-01,5.822092e-01,5.736604e-01,5.690019e-01,5.650142e-01,5.562960e-01,5.517418e-01,5.475286e-01,5.387323e-01,5.343291e-01,5.299255e-01,5.211245e-01,5.169065e-01,5.123442e-01,5.035978e-01,4.995892e-01,4.948973e-01,4.862535e-01,4.824707e-01,4.776761e-01,4.691737e-01,4.656271e-01,4.607544e-01,4.524252e-01,4.491202e-01,4.441924e-01,4.360618e-01,4.330000e-01,4.280385e-01,4.201270e-01,4.173070e-01,4.123314e-01,4.046554e-01,4.020733e-01,3.971020e-01,3.896741e-01,3.873240e-01,3.823740e-01,3.752039e-01,3.730784e-01,3.681654e-01,3.612599e-01,3.593504e-01,3.544887e-01,3.478527e-01,3.461496e-01,3.413526e-01,3.349887e-01,3.334817e-01,3.287614e-01,3.226707e-01,3.213491e-01,3.167165e-01,3.108986e-01,3.097513e-01,3.052165e-01,2.996696e-01,2.986855e-01,2.942574e-01,2.889788e-01,2.881466e-01,2.838332e-01,2.788193e-01,2.781278e-01,2.739362e-01,2.691826e-01,2.686208e-01,2.645573e-01,2.600589e-01,2.596160e-01,2.556860e-01,2.514373e-01,2.511027e-01,2.473111e-01,2.433059e-01,2.430694e-01,2.394201e-01,2.356522e-01,2.355039e-01,2.320004e-01,2.284630e-01,2.283934e-01,2.250383e-01,2.217246e-01,2.154840e-01,2.096578e-01,2.042319e-01,1.991921e-01,1.945243e-01,1.902142e-01,1.862475e-01,1.826102e-01,1.792879e-01,1.762668e-01,1.735328e-01,1.710721e-01,1.688710e-01,1.669160e-01,1.651936e-01,1.636908e-01,1.623946e-01,1.612920e-01,1.603707e-01,1.596182e-01,1.590225e-01,1.585720e-01,1.582550e-01,1.580605e-01,1.579777e-01,1.579960e-01,1.581055e-01,1.582963e-01,1.585591e-01,1.588851e-01,1.592656e-01,1.596927e-01,1.601587e-01,1.606563e-01,1.611789e-01,1.617200e-01,1.622737e-01,1.628347e-01,1.633978e-01,1.639586e-01,1.645127e-01,1.650564e-01,1.655864e-01,1.660996e-01,1.665934e-01,1.670655e-01,1.675140e-01,1.679372e-01,1.683338e-01
0.000000e+00,1.444446e-06,2.775114e-05,2.909350e-05,2.183945e-04,9.316137e-04,9.813877e-04,2.991092e-03,6.433319e-03,6.703435e-03,1.192339e-02,1.756201e-02,1.807442e-02,2.460181e-02,3.045835e-02,3.109799e-02,3.729505e-02,4.237059e-02,4.303116e-02,4.821940e-02,5.221483e-02,5.282398e-02,5.684287e-02,5.977998e-02,6.029561e-02,6.321487e-02,6.523845e-02,6.564057e-02,6.761590e-02,6.890141e-02,6.918473e-02,7.038987e-02,7.110365e-02,7.127197e-02,7.186896e-02,7.215355e-02,7.221569e-02,7.234389e-02,7.231499e-02,7.228214e-02,7.205605e-02,7.180440e-02,7.168840e-02,7.119939e-02,7.079450e-02,7.060683e-02,6.992635e-02,6.942049e-02,6.917168e-02,6.835480e-02,6.778669e-02,6.748613e-02,6.657476e-02,6.597275e-02,6.562856e-02,6.465438e-02,6.403897e-02,6.365815e-02,6.264501e-02,6.203089e-02,6.161941e-02,6.058521e-02,5.998277e-02,5.954576e-02,5.850396e-02,5.792047e-02,5.746232e-02,5.642306e-02,5.586353e-02,5.538808e-02,5.435905e-02,5.382681e-02,5.333744e-02,5.232453e-02,5.182169e-02,5.132143e-02,5.032913e-02,4.985691e-02,4.934849e-02,4.838026e-02,4.793924e-02,4.742513e-02,4.648365e-02,4.607386e-02,4.555634e-02,4.464365e-02,4.426477e-02,4.374594e-02,4.286355e-02,4.251494e-02,4.199675e-02,4.114577e-02,4.082659e-02,4.031081e-02,3.949201e-02,3.920122e-02,3.868949e-02,3.790335e-02,3.763980e-02,3.713363e-02,3.638037e-02,3.614281e-02,3.564358e-02,3.492322e-02,3.471032e-02,3.421927e-02,3.353168e-02,3.334207e-02,3.286035e-02,3.220522e-02,3.203752e-02,3.156616e-02,3.094306e-02,3.079588e-02,3.033580e-02,2.974423e-02,2.961617e-02,2.916819e-02,2.860754e-02,2.849724e-02,2.806209e-02,2.753168e-02,2.743779e-02,2.701613e-02,2.651525e-02,2.643646e-02,2.602884e-02,2.555672e-02,2.549175e-02,2.509867e-02,2.465450e-02,2.460213e-02,2.422400e-02,2.380697e-02,2.376599e-02,2.340318e-02,2.301243e-02,2.298173e-02,2.263451e-02,2.226919e-02,2.224767e-02,2.191627e-02,2.157552e-02,2.156214e-02,2.124673e-02,2.092969e-02,2.092346e-02,2.062416e-02,2.032994e-02,1.977989e-02,1.927160e-02,1.880342e-02,1.837365e-02,1.798063e-02,1.762270e-02,1.729823e-02,1.700557e-02,1.674313e-02,1.650929e-02,1.630249e-02,1.612116e-02,1.596378e-02,1.582882e-02,1.571480e-02,1.562028e-02,1.554382e-02,1.548405e-02,1.543961e-02,1.540919e-02,1.539152e-02,1.538537e-02,1.538958e-02,1.540300e-02,1.542456e-02,1.545323e-02,1.548804e-02,1.552806e-02,1.557242e-02,1.562032e-02,1.567099e-02,1.572373e-02,1.577789e-02,1.583287e-02,1.588814e-02,1.594319e-02,1.599758e-02,1.605092e-02,1.610286e-02,1.615309e-02,1.620135e-02,1.624741e-02,1.629110e-02,1.633224e-02,1.637074e-02,1.640651e-02,1.643947e-02,1.646961e-02,1.649691e-02
0.000000e+00,3.598973e-08,4.905108e-07,5.112384e-07,2.922759e-06,9.800179e-06,1.022568e-05,2.502821e-05,4.576640e-05,4.727005e-05,7.430662e-05,1.004969e-04,1.027563e-04,1.300820e-04,1.527030e-04,1.550863e-04,1.774716e-04,1.950529e-04,1.973032e-04,2.147524e-04,2.280000e-04,2.300116e-04,2.432694e-04,2.529895e-04,2.547034e-04,2.644783e-04,2.713630e-04,2.727465e-04,2.796480e-04,2.842719e-04,2.853114e-04,2.898546e-04,2.926907e-04,2.933859e-04,2.960039e-04,2.974388e-04,2.977992e-04,2.988545e-04,2.992038e-04,2.992455e-04,2.990413e-04,2.985614e-04,2.983050e-04,2.970940e-04,2.959923e-04,2.954610e-04,2.934532e-04,2.918963e-04,2.911143e-04,2.884838e-04,2.866058e-04,2.855981e-04,2.824898e-04,2.803977e-04,2.791890e-04,2.757228e-04,2.735016e-04,2.721160e-04,2.683909e-04,2.661077e-04,2.645680e-04,2.606657e-04,2.583728e-04,2.567010e-04,2.526894e-04,2.504275e-04,2.486443e-04,2.445777e-04,2.423766e-04,2.405004e-04,2.364222e-04,2.343041e-04,2.323518e-04,2.282970e-04,2.262777e-04,2.242647e-04,2.202611e-04,2.183511e-04,2.162915e-04,2.123609e-04,2.105671e-04,2.084735e-04,2.046329e-04,2.029587e-04,2.008423e-04,1.971046e-04,1.955511e-04,1.934220e-04,1.897967e-04,1.883629e-04,1.862302e-04,1.827240e-04,1.814078e-04,1.792793e-04,1.758968e-04,1.746944e-04,1.725772e-04,1.693209e-04,1.682283e-04,1.661283e-04,1.629995e-04,1.620117e-04,1.599344e-04,1.569329e-04,1.560448e-04,1.539947e-04,1.511195e-04,1.503257e-04,1.483069e-04,1.455562e-04,1.448510e-04,1.428668e-04,1.402381e-04,1.396162e-04,1.376694e-04,1.351598e-04,1.346156e-04,1.327086e-04,1.303149e-04,1.298430e-04,1.279779e-04,1.256966e-04,1.252918e-04,1.234701e-04,1.212975e-04,1.209548e-04,1.191778e-04,1.171101e-04,1.168247e-04,1.150934e-04,1.131267e-04,1.128940e-04,1.112091e-04,1.093395e-04,1.091551e-04,1.075170e-04,1.057407e-04,1.056006e-04,1.040096e-04,1.023227e-04,1.022229e-04,1.006791e-04,9.907782e-05,9.901464e-05,9.751798e-05,9.599867e-05,9.596869e-05,9.451897e-05,9.307799e-05,9.033569e-05,8.773514e-05,8.526991e-05,8.293378e-05,8.072078e-05,7.862514e-05,7.664133e-05,7.476403e-05,7.298815e-05,7.130881e-05,6.972133e-05,6.822124e-05,6.680428e-05,6.546637e-05,6.420360e-05,6.301226e-05,6.188880e-05,6.082983e-05,5.983214e-05,5.889264e-05,5.800840e-05,5.717664e-05,5.639469e-05,5.566001e-05,5.497021e-05,5.432297e-05,5.371612e-05,5.314757e-05,5.261534e-05,5.211756e-05,5.165241e-05,5.121821e-05,5.081333e-05,5.043622e-05,5.008542e-05,4.975952e-05,4.945721e-05,4.917721e-05,4.891833e-05,4.867942e-05,4.845941e-05,4.825725e-05,4.807197e-05,4.790264e-05,4.774836e-05,4.760831e-05,4.748167e-05,4.736769e-05,4.726565e-05
0.000000e+00,3.231959e-06,6.655133e-05,6.986997e-05,5.463505e-04,2.286693e-03,2.404512e-03,6.872605e-03,1.367439e-02,1.417769e-02,2.334716e-02,3.244409e-02,3.324104e-02,4.305994e-02,5.144239e-02,5.233767e-02,6.083541e-02,6.758725e-02,6.845394e-02,7.517549e-02,8.025899e-02,8.102773e-02,8.606223e-02,8.970501e-02,9.034172e-02,9.393267e-02,9.640989e-02,9.690115e-02,9.931044e-02,1.008752e-01,1.012198e-01,1.026840e-01,1.035495e-01,1.037532e-01,1.044729e-01,1.048115e-01,1.048841e-01,1.050239e-01,1.049723e-01,1.049255e-01,1.046185e-01,1.042833e-01,1.041295e-01,1.034821e-01,1.029461e-01,1.026974e-01,1.017939e-01,1.011204e-01,1.007884e-01,9.969564e-02,9.893294e-02,9.852854e-02,9.729868e-02,9.648339e-02,9.601625e-02,9.469024e-02,9.384977e-02,9.332863e-02,9.193844e-02,9.109322e-02,9.052587e-02,8.909642e-02,8.826154e-02,8.765494e-02,8.620570e-02,8.539218e-02,8.475252e-02,8.329875e-02,8.251453e-02,8.184736e-02,8.040100e-02,7.965167e-02,7.896200e-02,7.753244e-02,7.682177e-02,7.611413e-02,7.470872e-02,7.403914e-02,7.331765e-02,7.194219e-02,7.131503e-02,7.058346e-02,6.924247e-02,6.865827e-02,6.792007e-02,6.661704e-02,6.607570e-02,6.533404e-02,6.407165e-02,6.357257e-02,6.283036e-02,6.161060e-02,6.115281e-02,6.041272e-02,5.923701e-02,5.881923e-02,5.808372e-02,5.695303e-02,5.657377e-02,5.584509e-02,5.475998e-02,5.441758e-02,5.369777e-02,5.265847e-02,5.235115e-02,5.164208e-02,5.064854e-02,5.037444e-02,4.967780e-02,4.872974e-02,4.848695e-02,4.780425e-02,4.690120e-02,4.668778e-02,4.602041e-02,4.516171e-02,4.497574e-02,4.432490e-02,4.350978e-02,4.334934e-02,4.271612e-02,4.194368e-02,4.180688e-02,4.119223e-02,4.046150e-02,4.034649e-02,3.975123e-02,3.906114e-02,3.896613e-02,3.839097e-02,3.774042e-02,3.766366e-02,3.710920e-02,3.649702e-02,3.643684e-02,3.590359e-02,3.532859e-02,3.528338e-02,3.477173e-02,3.423269e-02,3.420090e-02,3.371116e-02,3.320685e-02,3.318703e-02,3.271942e-02,3.224858e-02,3.223933e-02,3.179400e-02,3.135537e-02,3.053273e-02,2.976897e-02,2.906167e-02,2.840843e-02,2.780685e-02,2.725459e-02,2.674930e-02,2.628868e-02,2.587046e-02,2.549240e-02,2.515231e-02,2.484803e-02,2.457745e-02,2.433849e-02,2.412914e-02,2.394742e-02,2.379142e-02,2.365927e-02,2.354916e-02,2.345935e-02,2.338815e-02,2.333393e-02,2.329513e-02,2.327026e-02,2.325788e-02,2.325664e-02,2.326525e-02,2.328248e-02,2.330718e-02,2.333827e-02,2.337473e-02,2.341561e-02,2.346004e-02,2.350719e-02,2.355632e-02,2.360674e-02,2.365783e-02,2.370902e-02,2.375980e-02,2.380971e-02,2.385835e-02,2.390536e-02,2.395045e-02,2.399334e-02,2.403381e-02,2.407169e-02,2.410683e-02,2.413911e-02,2.416846e-02
0.000000e+00,2.111767e-08,3.027537e-07,3.160415e-07,2.011195e-06,7.668437e-06,8.044032e-06,2.217315e-05,4.344030e-05,4.498691e-05,7.205244e-05,9.673263e-05,9.880547e-05,1.234454e-04,1.435179e-04,1.456260e-04,1.654161e-04,1.809835e-04,1.829795e-04,1.984939e-04,2.103290e-04,2.121314e-04,2.240534e-04,2.328521e-04,2.344098e-04,2.433397e-04,2.496880e-04,2.509713e-04,2.574229e-04,2.618079e-04,2.628032e-04,2.672121e-04,2.700357e-04,2.707409e-04,2.734737e-04,2.750661e-04,2.754878e-04,2.768536e-04,2.774853e-04,2.776360e-04,2.778936e-04,2.777835e-04,2.776784e-04,2.770389e-04,2.763628e-04,2.760196e-04,2.746607e-04,2.735621e-04,2.730002e-04,2.710753e-04,2.696759e-04,2.689183e-04,2.665572e-04,2.649509e-04,2.640176e-04,2.613227e-04,2.595830e-04,2.584933e-04,2.555486e-04,2.537337e-04,2.525059e-04,2.493810e-04,2.475366e-04,2.461881e-04,2.429401e-04,2.411015e-04,2.396486e-04,2.363241e-04,2.345185e-04,2.329761e-04,2.296133e-04,2.278613e-04,2.262432e-04,2.228728e-04,2.211895e-04,2.195083e-04,2.161553e-04,2.145514e-04,2.128187e-04,2.095029e-04,2.079857e-04,2.062118e-04,2.029490e-04,2.015232e-04,1.997175e-04,1.965200e-04,1.951878e-04,1.933588e-04,1.902360e-04,1.889981e-04,1.871534e-04,1.841125e-04,1.829682e-04,1.811146e-04,1.781608e-04,1.771083e-04,1.752519e-04,1.723887e-04,1.714257e-04,1.695717e-04,1.668015e-04,1.659249e-04,1.640782e-04,1.614020e-04,1.606084e-04,1.587731e-04,1.561914e-04,1.554770e-04,1.536569e-04,1.511693e-04,1.505302e-04,1.487285e-04,1.463341e-04,1.457664e-04,1.439859e-04,1.416834e-04,1.411829e-04,1.394262e-04,1.372138e-04,1.367767e-04,1.350458e-04,1.329216e-04,1.325439e-04,1.308407e-04,1.288026e-04,1.284804e-04,1.268065e-04,1.248520e-04,1.245816e-04,1.229383e-04,1.210650e-04,1.208429e-04,1.192314e-04,1.174368e-04,1.172595e-04,1.156806e-04,1.139622e-04,1.138263e-04,1.122809e-04,1.106361e-04,1.105386e-04,1.090271e-04,1.074534e-04,1.073911e-04,1.059142e-04,1.044090e-04,1.043792e-04,1.029370e-04,1.014978e-04,9.874221e-05,9.610768e-05,9.358964e-05,9.118359e-05,8.888518e-05,8.669018e-05,8.459447e-05,8.259409e-05,8.068519e-05,7.886406e-05,7.712712e-05,7.547092e-05,7.389211e-05,7.238751e-05,7.095400e-05,6.958863e-05,6.828853e-05,6.705096e-05,6.587328e-05,6.475294e-05,6.368751e-05,6.267465e-05,6.171210e-05,6.079770e-05,5.992939e-05,5.910517e-05,5.832313e-05,5.758145e-05,5.687835e-05,5.621216e-05,5.558126e-05,5.498408e-05,5.441916e-05,5.388505e-05,5.338039e-05,5.290386e-05,5.245421e-05,5.203024e-05,5.163077e-05,5.125470e-05,5.090098e-05,5.056857e-05,5.025651e-05,4.996386e-05,4.968971e-05,4.943322e-05,4.919356e-05,4.896994e-05,4.876161e-05
0.000000e+00,2.534697e-08,3.675469e-07,3.840236e-07,2.415864e-06,8.341927e-06,8.704242e-06,2.067201e-05,3.509688e-05,3.604738e-05,5.158410e-05,6.483829e-05,6.593351e-05,7.883526e-05,8.923351e-05,9.032094e-05,1.004868e-04,1.084254e-04,1.094391e-04,1.172811e-04,1.232113e-04,1.241098e-04,1.300153e-04,1.343237e-04,1.350810e-04,1.393839e-04,1.423931e-04,1.429951e-04,1.459796e-04,1.479565e-04,1.483974e-04,1.503032e-04,1.514668e-04,1.517472e-04,1.527754e-04,1.533047e-04,1.534297e-04,1.537486e-04,1.537892e-04,1.537669e-04,1.535163e-04,1.531857e-04,1.530257e-04,1.523214e-04,1.517140e-04,1.514272e-04,1.503651e-04,1.495572e-04,1.491551e-04,1.478151e-04,1.468677e-04,1.463618e-04,1.448102e-04,1.437722e-04,1.431745e-04,1.414675e-04,1.403780e-04,1.396998e-04,1.378817e-04,1.367704e-04,1.360222e-04,1.341293e-04,1.330191e-04,1.322104e-04,1.302722e-04,1.291807e-04,1.283207e-04,1.263610e-04,1.253011e-04,1.243981e-04,1.224362e-04,1.214177e-04,1.204791e-04,1.185303e-04,1.175600e-04,1.165929e-04,1.146695e-04,1.137519e-04,1.127624e-04,1.108739e-04,1.100119e-04,1.090057e-04,1.071595e-04,1.063545e-04,1.053366e-04,1.035383e-04,1.027905e-04,1.017655e-04,1.000192e-04,9.932819e-05,9.829997e-05,9.660854e-05,9.597318e-05,9.494535e-05,9.331075e-05,9.272935e-05,9.170503e-05,9.012839e-05,8.959897e-05,8.858092e-05,8.706269e-05,8.658303e-05,8.557368e-05,8.411381e-05,8.368152e-05,8.268296e-05,8.128098e-05,8.089357e-05,7.990765e-05,7.856275e-05,7.821770e-05,7.724600e-05,7.595711e-05,7.565189e-05,7.469577e-05,7.346163e-05,7.319374e-05,7.225435e-05,7.107355e-05,7.084054e-05,6.991885e-05,6.878987e-05,6.858935e-05,6.768620e-05,6.660743e-05,6.643711e-05,6.555314e-05,6.452293e-05,6.438060e-05,6.351638e-05,6.253305e-05,6.241659e-05,6.157253e-05,6.063440e-05,6.054180e-05,5.971824e-05,5.882361e-05,5.875296e-05,5.795012e-05,5.709733e-05,5.704681e-05,5.626485e-05,5.545226e-05,5.542016e-05,5.465915e-05,5.388514e-05,5.386985e-05,5.312983e-05,5.239282e-05,5.098605e-05,4.964663e-05,4.837172e-05,4.715860e-05,4.600460e-05,4.490718e-05,4.386386e-05,4.287227e-05,4.193013e-05,4.103525e-05,4.018552e-05,3.937891e-05,3.861349e-05,3.788739e-05,3.719883e-05,3.654609e-05,3.592755e-05,3.534164e-05,3.478684e-05,3.426173e-05,3.376493e-05,3.329512e-05,3.285105e-05,3.243150e-05,3.203533e-05,3.166144e-05,3.130877e-05,3.097631e-05,3.066310e-05,3.036823e-05,3.009080e-05,2.982997e-05,2.958495e-05,2.935497e-05,2.913928e-05,2.893718e-05,2.874801e-05,2.857112e-05,2.840591e-05,2.825177e-05,2.810816e-05,2.797454e-05,2.785039e-05,2.773524e-05,2.762861e-05,2.753006e-05,2.743917e-05,2.735553e-05,2.727875e-05
0.000000e+00,7.692921e-06,1.678240e-04,1.764068e-04,1.466669e-03,6.503418e-03,6.854342e-03,2.067023e-02,4.301062e-02,4.471916e-02,7.720707e-02,1.121096e-01,1.153009e-01,1.564967e-01,1.946060e-01,1.988486e-01,2.409139e-01,2.768636e-01,2.816566e-01,3.203582e-01,3.516427e-01,3.565451e-01,3.899301e-01,4.156980e-01,4.203670e-01,4.478144e-01,4.681134e-01,4.723076e-01,4.939367e-01,5.092627e-01,5.128294e-01,5.291381e-01,5.401722e-01,5.430298e-01,5.546789e-01,5.621405e-01,5.642610e-01,5.719493e-01,5.765181e-01,5.779112e-01,5.823064e-01,5.845855e-01,5.852850e-01,5.869874e-01,5.874899e-01,5.875439e-01,5.870759e-01,5.862302e-01,5.856957e-01,5.835058e-01,5.816626e-01,5.805994e-01,5.770613e-01,5.745009e-01,5.729678e-01,5.683883e-01,5.653323e-01,5.633847e-01,5.580132e-01,5.546348e-01,5.523240e-01,5.463622e-01,5.427956e-01,5.401683e-01,5.337783e-01,5.301266e-01,5.272248e-01,5.205367e-01,5.168784e-01,5.137399e-01,5.068577e-01,5.032522e-01,4.999109e-01,4.929181e-01,4.894098e-01,4.858961e-01,4.788596e-01,4.754809e-01,4.718221e-01,4.647955e-01,4.615699e-01,4.577905e-01,4.508166e-01,4.477603e-01,4.438826e-01,4.369961e-01,4.341196e-01,4.301640e-01,4.233924e-01,4.207020e-01,4.166869e-01,4.100524e-01,4.075508e-01,4.034932e-01,3.970133e-01,3.947006e-01,3.906160e-01,3.843046e-01,3.821787e-01,3.780815e-01,3.719492e-01,3.700064e-01,3.659097e-01,3.599648e-01,3.582000e-01,3.541159e-01,3.483644e-01,3.467715e-01,3.427112e-01,3.371573e-01,3.357297e-01,3.317034e-01,3.263498e-01,3.250799e-01,3.210970e-01,3.159451e-01,3.148253e-01,3.108943e-01,3.059445e-01,3.049667e-01,3.010956e-01,2.963472e-01,2.955031e-01,2.916990e-01,2.871507e-01,2.864321e-01,2.827015e-01,2.783511e-01,2.777498e-01,2.740986e-01,2.699434e-01,2.694513e-01,2.658846e-01,2.619216e-01,2.615305e-01,2.580532e-01,2.542788e-01,2.539808e-01,2.505971e-01,2.470073e-01,2.467949e-01,2.435084e-01,2.400992e-01,2.399646e-01,2.367786e-01,2.335455e-01,2.334817e-01,2.303988e-01,2.273373e-01,2.215223e-01,2.160272e-01,2.108424e-01,2.059583e-01,2.013649e-01,1.970522e-01,1.930103e-01,1.892290e-01,1.856985e-01,1.824085e-01,1.793492e-01,1.765107e-01,1.738832e-01,1.714568e-01,1.692221e-01,1.671694e-01,1.652895e-01,1.635733e-01,1.620116e-01,1.605957e-01,1.593170e-01,1.581671e-01,1.571378e-01,1.562211e-01,1.554094e-01,1.546952e-01,1.540713e-01,1.535307e-01,1.530669e-01,1.526735e-01,1.523442e-01,1.520733e-01,1.518553e-01,1.516849e-01,1.515571e-01,1.514672e-01,1.514107e-01,1.513836e-01,1.513818e-01,1.514018e-01,1.514403e-01,1.514939e-01,1.515600e-01,1.516358e-01,1.517188e-01,1.518070e-01,1.518982e-01,1.519907e-01,1.520827e-01
0.000000e+00,3.498026e-06,6.264169e-05,6.555818e-05,4.605109e-04,1.939719e-03,2.044222e-03,6.412671e-03,1.450233e-02,1.516646e-02,2.871752e-02,4.464383e-02,4.614829e-02,6.606557e-02,8.506309e-02,8.720107e-02,1.085676e-01,1.269849e-01,1.294463e-01,1.493373e-01,1.653985e-01,1.679109e-01,1.849658e-01,1.980394e-01,2.003973e-01,2.141712e-01,2.242394e-01,2.263042e-01,2.368489e-01,2.441919e-01,2.458817e-01,2.534944e-01,2.585109e-01,2.597874e-01,2.648650e-01,2.679753e-01,2.688314e-01,2.717888e-01,2.733855e-01,2.738352e-01,2.750632e-01,2.754898e-01,2.755599e-01,2.754056e-01,2.749503e-01,2.746746e-01,2.734347e-01,2.723326e-01,2.717477e-01,2.696695e-01,2.681083e-01,2.672506e-01,2.645365e-01,2.626635e-01,2.615678e-01,2.583811e-01,2.563103e-01,2.550089e-01,2.514802e-01,2.492987e-01,2.478208e-01,2.440539e-01,2.418280e-01,2.401999e-01,2.362770e-01,2.340561e-01,2.323013e-01,2.282873e-01,2.261084e-01,2.242477e-01,2.201940e-01,2.180838e-01,2.161361e-01,2.120832e-01,2.100611e-01,2.080431e-01,2.040231e-01,2.021024e-01,2.000293e-01,1.960675e-01,1.942571e-01,1.921425e-01,1.882588e-01,1.865641e-01,1.844203e-01,1.806305e-01,1.790539e-01,1.768922e-01,1.732083e-01,1.717504e-01,1.695809e-01,1.660121e-01,1.646717e-01,1.625036e-01,1.590569e-01,1.578314e-01,1.556731e-01,1.523534e-01,1.512394e-01,1.490985e-01,1.459092e-01,1.449025e-01,1.427858e-01,1.397288e-01,1.388246e-01,1.367383e-01,1.338146e-01,1.330078e-01,1.309574e-01,1.281669e-01,1.274522e-01,1.254427e-01,1.227845e-01,1.221564e-01,1.201921e-01,1.176650e-01,1.171177e-01,1.152027e-01,1.128047e-01,1.123327e-01,1.104704e-01,1.081992e-01,1.077970e-01,1.059904e-01,1.038434e-01,1.035056e-01,1.017575e-01,9.973180e-02,9.945297e-02,9.776565e-02,9.585825e-02,9.563327e-02,9.400879e-02,9.221645e-02,9.204033e-02,9.048042e-02,8.879987e-02,8.866779e-02,8.717394e-02,8.560180e-02,8.550917e-02,8.408260e-02,8.261549e-02,8.255787e-02,8.119960e-02,7.983409e-02,7.980728e-02,7.851809e-02,7.725076e-02,7.488167e-02,7.269341e-02,7.067940e-02,6.883313e-02,6.714812e-02,6.561792e-02,6.423615e-02,6.299648e-02,6.189258e-02,6.091820e-02,6.006711e-02,5.933311e-02,5.871005e-02,5.819180e-02,5.777230e-02,5.744550e-02,5.720543e-02,5.704617e-02,5.696188e-02,5.694678e-02,5.699520e-02,5.710157e-02,5.726045e-02,5.746650e-02,5.771456e-02,5.799961e-02,5.831682e-02,5.866152e-02,5.902926e-02,5.941577e-02,5.981703e-02,6.022921e-02,6.064873e-02,6.107224e-02,6.149663e-02,6.191902e-02,6.233680e-02,6.274757e-02,6.314917e-02,6.353971e-02,6.391747e-02,6.428101e-02,6.462906e-02,6.496058e-02,6.527472e-02,6.557082e-02,6.584838e-02,6.610709e-02,6.634677e-02
0.000000e+00,1.447451e-09,1.933635e-08,2.017629e-08,1.178005e-07,3.721326e-07,3.866873e-07,8.224915e-07,1.280149e-06,1.309132e-06,1.776588e-06,2.175180e-06,2.208332e-06,2.602600e-06,2.926500e-06,2.960744e-06,3.284763e-06,3.543341e-06,3.576759e-06,3.838787e-06,4.041668e-06,4.072819e-06,4.280771e-06,4.436651e-06,4.464492e-06,4.625738e-06,4.742363e-06,4.766179e-06,4.887391e-06,4.971520e-06,4.990863e-06,5.077987e-06,5.135438e-06,5.150069e-06,5.208329e-06,5.244067e-06,5.253907e-06,5.287863e-06,5.306092e-06,5.311185e-06,5.324791e-06,5.329052e-06,5.329534e-06,5.326208e-06,5.319474e-06,5.315548e-06,5.298236e-06,5.282989e-06,5.274904e-06,5.246139e-06,5.224443e-06,5.212483e-06,5.174438e-06,5.148001e-06,5.132467e-06,5.087001e-06,5.057231e-06,5.038434e-06,4.987134e-06,4.955183e-06,4.933437e-06,4.877653e-06,4.844457e-06,4.820071e-06,4.760953e-06,4.727267e-06,4.700541e-06,4.639058e-06,4.605485e-06,4.576710e-06,4.513682e-06,4.480697e-06,4.450147e-06,4.386261e-06,4.354232e-06,4.322168e-06,4.257998e-06,4.227205e-06,4.193871e-06,4.129895e-06,4.100544e-06,4.066167e-06,4.002778e-06,3.975014e-06,3.939806e-06,3.877324e-06,3.851244e-06,3.815398e-06,3.754085e-06,3.729743e-06,3.693437e-06,3.633499e-06,3.610918e-06,3.574314e-06,3.515915e-06,3.495091e-06,3.458335e-06,3.401601e-06,3.382508e-06,3.345734e-06,3.290755e-06,3.273352e-06,3.236680e-06,3.183523e-06,3.167756e-06,3.131292e-06,3.079998e-06,3.065804e-06,3.029644e-06,2.980236e-06,2.967544e-06,2.931773e-06,2.884257e-06,2.872993e-06,2.837684e-06,2.792053e-06,2.782140e-06,2.747358e-06,2.703594e-06,2.694952e-06,2.660754e-06,2.618830e-06,2.611380e-06,2.577813e-06,2.537695e-06,2.531358e-06,2.498464e-06,2.460111e-06,2.454811e-06,2.422624e-06,2.385992e-06,2.381653e-06,2.350202e-06,2.315242e-06,2.311791e-06,2.281099e-06,2.247761e-06,2.245128e-06,2.215213e-06,2.183444e-06,2.181562e-06,2.152438e-06,2.122183e-06,2.120989e-06,2.092666e-06,2.063871e-06,2.063303e-06,2.035787e-06,2.008398e-06,1.956170e-06,1.906512e-06,1.859322e-06,1.814497e-06,1.771939e-06,1.731550e-06,1.693236e-06,1.656906e-06,1.622470e-06,1.589842e-06,1.558940e-06,1.529684e-06,1.501996e-06,1.475804e-06,1.451035e-06,1.427622e-06,1.405500e-06,1.384605e-06,1.364878e-06,1.346263e-06,1.328703e-06,1.312146e-06,1.296544e-06,1.281848e-06,1.268012e-06,1.254993e-06,1.242750e-06,1.231243e-06,1.220435e-06,1.210290e-06,1.200774e-06,1.191854e-06,1.183499e-06,1.175680e-06,1.168369e-06,1.161539e-06,1.155165e-06,1.149223e-06,1.143690e-06,1.138543e-06,1.133763e-06,1.129329e-06,1.125223e-06,1.121427e-06,1.117924e-06,1.114698e-06,1.111733e-06,1.109016e-06,1.106532e-06
0.000000e+00,6.634690e-08,1.758235e-06,1.850647e-06,1.442095e-05,5.257783e-05,5.491023e-05,1.318010e-04,2.264008e-04,2.327888e-04,3.405900e-04,4.377541e-04,4.459989e-04,5.456991e-04,6.297854e-04,6.387926e-04,7.252185e-04,7.959221e-04,8.051867e-04,8.789892e-04,9.377670e-04,9.469396e-04,1.009351e-03,1.057722e-03,1.066532e-03,1.118778e-03,1.158137e-03,1.166374e-03,1.209593e-03,1.241192e-03,1.248695e-03,1.283927e-03,1.308874e-03,1.315525e-03,1.343712e-03,1.362982e-03,1.368697e-03,1.390682e-03,1.405131e-03,1.409856e-03,1.426397e-03,1.436772e-03,1.440474e-03,1.452248e-03,1.459199e-03,1.461868e-03,1.469479e-03,1.473576e-03,1.475215e-03,1.479204e-03,1.480937e-03,1.481565e-03,1.482411e-03,1.482207e-03,1.481849e-03,1.479979e-03,1.478205e-03,1.476897e-03,1.472692e-03,1.469665e-03,1.467448e-03,1.461247e-03,1.457240e-03,1.454161e-03,1.446261e-03,1.441507e-03,1.437614e-03,1.428282e-03,1.422979e-03,1.418323e-03,1.407793e-03,1.402108e-03,1.396742e-03,1.385220e-03,1.379296e-03,1.373271e-03,1.360940e-03,1.354896e-03,1.348265e-03,1.335286e-03,1.329222e-03,1.322036e-03,1.308549e-03,1.302548e-03,1.294857e-03,1.280988e-03,1.275116e-03,1.266969e-03,1.252825e-03,1.247138e-03,1.238581e-03,1.224258e-03,1.218800e-03,1.209878e-03,1.195459e-03,1.190262e-03,1.181019e-03,1.166575e-03,1.161666e-03,1.152143e-03,1.137736e-03,1.133134e-03,1.123369e-03,1.109054e-03,1.104771e-03,1.094801e-03,1.080622e-03,1.076666e-03,1.066526e-03,1.052523e-03,1.048899e-03,1.038621e-03,1.024826e-03,1.021533e-03,1.011147e-03,9.975896e-04,9.946238e-04,9.841591e-04,9.708611e-04,9.682179e-04,9.577003e-04,9.446810e-04,9.423529e-04,9.318069e-04,9.190815e-04,9.170594e-04,9.065078e-04,8.940883e-04,8.923621e-04,8.818255e-04,8.697213e-04,8.682796e-04,8.577774e-04,8.459953e-04,8.448260e-04,8.343759e-04,8.229204e-04,8.220110e-04,8.116292e-04,8.005030e-04,7.998407e-04,7.895419e-04,7.787461e-04,7.783177e-04,7.681155e-04,7.576497e-04,7.574421e-04,7.473485e-04,7.372113e-04,7.176206e-04,6.986637e-04,6.803327e-04,6.626182e-04,6.455099e-04,6.289966e-04,6.130662e-04,5.977063e-04,5.829036e-04,5.686449e-04,5.549163e-04,5.417041e-04,5.289943e-04,5.167730e-04,5.050260e-04,4.937396e-04,4.829000e-04,4.724935e-04,4.625066e-04,4.529262e-04,4.437391e-04,4.349326e-04,4.264941e-04,4.184115e-04,4.106727e-04,4.032661e-04,3.961801e-04,3.894038e-04,3.829263e-04,3.767371e-04,3.708259e-04,3.651829e-04,3.597983e-04,3.546628e-04,3.497673e-04,3.451031e-04,3.406615e-04,3.364344e-04,3.324137e-04,3.285917e-04,3.249608e-04,3.215139e-04,3.182438e-04,3.151438e-04,3.122074e-04,3.094282e-04,3.068001e-04,3.043171e-04,3.019735e-04
0.000000e+00,9.340403e-07,1.829450e-05,1.918974e-05,1.502437e-04,6.797915e-04,7.179360e-04,2.321473e-03,5.212657e-03,5.444489e-03,1.004510e-02,1.527132e-02,1.575987e-02,2.219271e-02,2.831619e-02,2.900659e-02,3.593448e-02,4.196158e-02,4.277180e-02,4.936612e-02,5.475804e-02,5.560742e-02,6.141993e-02,6.593490e-02,6.675512e-02,7.158600e-02,7.516343e-02,7.590238e-02,7.970695e-02,8.239018e-02,8.301211e-02,8.583733e-02,8.772345e-02,8.820709e-02,9.014918e-02,9.135738e-02,9.169332e-02,9.287016e-02,9.352266e-02,9.371046e-02,9.424443e-02,9.445564e-02,9.450126e-02,9.450889e-02,9.438013e-02,9.429366e-02,9.388029e-02,9.349781e-02,9.329174e-02,9.254918e-02,9.198426e-02,9.167210e-02,9.067824e-02,8.998842e-02,8.958376e-02,8.840326e-02,8.763398e-02,8.714990e-02,8.583551e-02,8.502203e-02,8.447068e-02,8.306488e-02,8.223411e-02,8.162654e-02,8.016316e-02,7.933525e-02,7.868140e-02,7.718716e-02,7.637693e-02,7.568564e-02,7.418145e-02,7.339958e-02,7.267864e-02,7.118079e-02,7.043472e-02,6.969102e-02,6.821209e-02,6.750677e-02,6.674640e-02,6.529606e-02,6.463456e-02,6.386288e-02,6.244845e-02,6.183241e-02,6.105415e-02,5.968116e-02,5.911110e-02,5.833048e-02,5.700297e-02,5.647862e-02,5.569936e-02,5.442024e-02,5.394070e-02,5.316610e-02,5.193735e-02,5.150127e-02,5.073428e-02,4.955713e-02,4.916283e-02,4.840606e-02,4.728116e-02,4.692673e-02,4.618249e-02,4.511003e-02,4.479340e-02,4.406373e-02,4.304351e-02,4.276250e-02,4.204922e-02,4.108072e-02,4.083311e-02,4.013781e-02,3.922028e-02,3.900382e-02,3.832789e-02,3.746040e-02,3.727286e-02,3.661752e-02,3.579897e-02,3.563815e-02,3.500445e-02,3.423364e-02,3.409739e-02,3.348623e-02,3.276189e-02,3.264812e-02,3.206028e-02,3.138105e-02,3.128773e-02,3.072387e-02,3.008837e-02,3.001356e-02,2.947422e-02,2.888104e-02,2.882287e-02,2.830849e-02,2.775622e-02,2.771290e-02,2.722385e-02,2.671104e-02,2.668089e-02,2.621743e-02,2.574267e-02,2.572407e-02,2.528640e-02,2.484827e-02,2.483969e-02,2.442794e-02,2.402504e-02,2.327742e-02,2.259416e-02,2.197266e-02,2.141030e-02,2.090453e-02,2.045282e-02,2.005268e-02,1.970161e-02,1.939718e-02,1.913695e-02,1.891851e-02,1.873949e-02,1.859750e-02,1.849020e-02,1.841527e-02,1.837042e-02,1.835337e-02,1.836188e-02,1.839375e-02,1.844683e-02,1.851900e-02,1.860820e-02,1.871243e-02,1.882974e-02,1.895826e-02,1.909620e-02,1.924183e-02,1.939352e-02,1.954972e-02,1.970897e-02,1.986990e-02,2.003126e-02,2.019185e-02,2.035062e-02,2.050658e-02,2.065886e-02,2.080666e-02,2.094932e-02,2.108622e-02,2.121687e-02,2.134085e-02,2.145781e-02,2.156750e-02,2.166972e-02,2.176437e-02,2.185138e-02,2.193075e-02,2.200255e-02,2.206688e-02
0.000000e+00,1.607292e-07,3.534062e-06,3.712606e-06,2.903277e-05,1.192809e-04,1.253628e-04,3.591444e-04,7.345009e-04,7.632647e-04,1.308641e-03,1.884417e-03,1.936305e-03,2.592783e-03,3.176209e-03,3.239666e-03,3.852065e-03,4.350520e-03,4.415186e-03,4.921314e-03,5.308692e-03,5.367542e-03,5.754131e-03,6.034407e-03,6.083363e-03,6.358734e-03,6.547252e-03,6.584401e-03,6.764810e-03,6.879564e-03,6.904440e-03,7.007648e-03,7.065532e-03,7.078563e-03,7.121030e-03,7.136466e-03,7.138584e-03,7.134443e-03,7.119130e-03,7.111510e-03,7.072388e-03,7.035509e-03,7.019397e-03,6.954597e-03,6.903196e-03,6.879811e-03,6.796643e-03,6.736030e-03,6.706507e-03,6.610641e-03,6.544763e-03,6.510129e-03,6.405918e-03,6.337668e-03,6.298834e-03,6.189597e-03,6.121067e-03,6.078832e-03,5.967082e-03,5.899757e-03,5.854817e-03,5.742443e-03,5.677357e-03,5.630312e-03,5.518725e-03,5.456573e-03,5.407943e-03,5.298185e-03,5.239411e-03,5.189643e-03,5.082475e-03,5.027336e-03,4.976816e-03,4.872780e-03,4.821401e-03,4.770461e-03,4.669936e-03,4.622340e-03,4.571266e-03,4.474501e-03,4.430640e-03,4.379679e-03,4.286825e-03,4.246599e-03,4.195960e-03,4.107095e-03,4.070369e-03,4.020233e-03,3.935375e-03,3.901991e-03,3.852513e-03,3.771638e-03,3.741423e-03,3.692733e-03,3.615783e-03,3.588555e-03,3.540766e-03,3.467658e-03,3.443232e-03,3.396435e-03,3.327071e-03,3.305262e-03,3.259536e-03,3.193800e-03,3.174426e-03,3.129835e-03,3.067607e-03,3.050490e-03,3.007085e-03,2.948236e-03,2.933205e-03,2.891028e-03,2.835427e-03,2.822318e-03,2.781400e-03,2.728915e-03,2.717572e-03,2.677937e-03,2.628434e-03,2.618707e-03,2.580373e-03,2.533721e-03,2.525471e-03,2.488446e-03,2.444516e-03,2.437610e-03,2.401899e-03,2.360565e-03,2.354878e-03,2.320482e-03,2.281620e-03,2.277037e-03,2.243950e-03,2.207441e-03,2.203853e-03,2.172066e-03,2.137795e-03,2.135101e-03,2.104602e-03,2.072458e-03,2.070562e-03,2.041337e-03,2.011213e-03,2.010029e-03,1.982060e-03,1.953853e-03,1.953298e-03,1.926567e-03,1.900178e-03,1.850482e-03,1.804034e-03,1.760663e-03,1.720209e-03,1.682515e-03,1.647436e-03,1.614829e-03,1.584562e-03,1.556505e-03,1.530538e-03,1.506544e-03,1.484413e-03,1.464041e-03,1.445327e-03,1.428176e-03,1.412499e-03,1.398208e-03,1.385224e-03,1.373467e-03,1.362864e-03,1.353345e-03,1.344844e-03,1.337296e-03,1.330643e-03,1.324826e-03,1.319792e-03,1.315489e-03,1.311868e-03,1.308884e-03,1.306490e-03,1.304647e-03,1.303315e-03,1.302456e-03,1.302034e-03,1.302016e-03,1.302370e-03,1.303066e-03,1.304075e-03,1.305371e-03,1.306928e-03,1.308722e-03,1.310731e-03,1.312932e-03,1.315306e-03,1.317835e-03,1.320499e-03,1.323283e-03,1.326170e-03,1.329146e-03
0.000000e+00,1.568031e-08,1.918078e-07,1.997982e-07,1.168068e-06,4.193982e-06,4.388880e-06,1.132581e-05,2.060417e-05,2.123916e-05,3.188187e-05,4.123817e-05,4.201994e-05,5.131774e-05,5.892903e-05,5.973131e-05,6.729414e-05,7.328741e-05,7.405890e-05,8.008137e-05,8.470865e-05,8.541608e-05,9.011508e-05,9.360725e-05,9.422786e-05,9.780091e-05,1.003589e-04,1.008781e-04,1.035003e-04,1.052966e-04,1.057062e-04,1.075315e-04,1.087126e-04,1.090096e-04,1.101713e-04,1.108604e-04,1.110454e-04,1.116585e-04,1.119587e-04,1.120351e-04,1.121974e-04,1.121930e-04,1.121657e-04,1.119592e-04,1.117201e-04,1.115955e-04,1.110905e-04,1.106742e-04,1.104593e-04,1.097160e-04,1.091709e-04,1.088745e-04,1.079463e-04,1.073116e-04,1.069419e-04,1.058707e-04,1.051768e-04,1.047414e-04,1.035620e-04,1.028333e-04,1.023397e-04,1.010813e-04,1.003372e-04,9.979261e-05,9.847920e-05,9.773475e-05,9.714603e-05,9.579762e-05,9.506461e-05,9.443809e-05,9.307115e-05,9.235853e-05,9.170014e-05,9.032811e-05,8.964257e-05,8.895778e-05,8.759159e-05,8.693795e-05,8.623176e-05,8.488025e-05,8.426184e-05,8.353882e-05,8.220905e-05,8.162801e-05,8.089233e-05,7.958987e-05,7.904735e-05,7.830275e-05,7.703191e-05,7.652831e-05,7.577816e-05,7.454220e-05,7.407733e-05,7.332464e-05,7.212598e-05,7.169918e-05,7.094664e-05,6.978697e-05,6.939721e-05,6.864723e-05,6.752764e-05,6.717365e-05,6.642834e-05,6.534942e-05,6.502972e-05,6.429093e-05,6.325288e-05,6.296588e-05,6.223522e-05,6.123790e-05,6.098191e-05,6.026080e-05,5.930381e-05,5.907710e-05,5.836676e-05,5.744948e-05,5.725032e-05,5.655179e-05,5.567346e-05,5.550010e-05,5.481427e-05,5.397397e-05,5.382471e-05,5.315232e-05,5.234905e-05,5.222222e-05,5.156390e-05,5.079657e-05,5.069056e-05,5.004680e-05,4.931429e-05,4.922754e-05,4.859875e-05,4.789988e-05,4.783090e-05,4.721739e-05,4.655099e-05,4.649836e-05,4.590036e-05,4.526521e-05,4.522759e-05,4.464525e-05,4.404018e-05,4.401628e-05,4.344969e-05,4.287351e-05,4.286213e-05,4.231133e-05,4.176287e-05,4.071627e-05,3.972014e-05,3.877237e-05,3.787087e-05,3.701364e-05,3.619873e-05,3.542427e-05,3.468845e-05,3.398950e-05,3.332577e-05,3.269563e-05,3.209752e-05,3.152997e-05,3.099155e-05,3.048089e-05,2.999669e-05,2.953769e-05,2.910269e-05,2.869056e-05,2.830019e-05,2.793055e-05,2.758064e-05,2.724950e-05,2.693623e-05,2.663996e-05,2.635986e-05,2.609514e-05,2.584505e-05,2.560887e-05,2.538592e-05,2.517554e-05,2.497712e-05,2.479005e-05,2.461378e-05,2.444777e-05,2.429150e-05,2.414449e-05,2.400627e-05,2.387639e-05,2.375444e-05,2.364002e-05,2.353273e-05,2.343222e-05,2.333814e-05,2.325016e-05,2.316796e-05,2.309124e-05,2.301972e-05,2.295313e-05
0.000000e+00,5.270471e-10,1.145673e-08,1.203102e-08,8.212317e-08,2.365025e-07,2.440248e-07,4.369800e-07,6.140811e-07,6.250855e-07,8.026820e-07,9.563364e-07,9.692624e-07,1.125096e-06,1.256481e-06,1.270574e-06,1.406101e-06,1.517454e-06,1.532081e-06,1.648915e-06,1.742384e-06,1.757006e-06,1.856755e-06,1.934391e-06,1.948563e-06,2.032820e-06,2.096548e-06,2.109913e-06,2.180214e-06,2.231809e-06,2.244086e-06,2.301879e-06,2.342952e-06,2.353926e-06,2.400551e-06,2.432549e-06,2.442060e-06,2.478748e-06,2.502958e-06,2.510894e-06,2.538766e-06,2.556330e-06,2.562617e-06,2.582691e-06,2.594619e-06,2.599217e-06,2.612417e-06,2.619599e-06,2.622498e-06,2.629658e-06,2.632876e-06,2.634086e-06,2.635960e-06,2.635896e-06,2.635447e-06,2.632710e-06,2.629964e-06,2.627901e-06,2.621164e-06,2.616253e-06,2.612635e-06,2.602445e-06,2.595821e-06,2.590714e-06,2.577559e-06,2.569611e-06,2.563089e-06,2.547408e-06,2.538472e-06,2.530615e-06,2.512801e-06,2.503164e-06,2.494054e-06,2.474456e-06,2.464363e-06,2.454085e-06,2.433015e-06,2.422674e-06,2.411315e-06,2.389050e-06,2.378636e-06,2.366282e-06,2.343069e-06,2.332728e-06,2.319465e-06,2.295521e-06,2.285375e-06,2.271286e-06,2.246805e-06,2.236954e-06,2.222121e-06,2.197272e-06,2.187795e-06,2.172298e-06,2.147232e-06,2.138192e-06,2.122108e-06,2.096956e-06,2.088403e-06,2.071804e-06,2.046680e-06,2.038650e-06,2.021609e-06,1.996612e-06,1.989132e-06,1.971713e-06,1.946931e-06,1.940016e-06,1.922285e-06,1.897791e-06,1.891450e-06,1.873467e-06,1.849325e-06,1.843560e-06,1.825381e-06,1.801645e-06,1.796453e-06,1.778130e-06,1.754847e-06,1.750218e-06,1.731803e-06,1.709009e-06,1.704933e-06,1.686471e-06,1.664197e-06,1.660658e-06,1.642193e-06,1.620464e-06,1.617444e-06,1.599016e-06,1.577852e-06,1.575332e-06,1.556977e-06,1.536393e-06,1.534351e-06,1.516104e-06,1.496110e-06,1.494524e-06,1.476415e-06,1.457020e-06,1.455866e-06,1.437925e-06,1.419131e-06,1.418385e-06,1.400638e-06,1.382446e-06,1.382085e-06,1.364555e-06,1.346964e-06,1.313015e-06,1.280228e-06,1.248591e-06,1.218088e-06,1.188700e-06,1.160407e-06,1.133188e-06,1.107019e-06,1.081876e-06,1.057734e-06,1.034567e-06,1.012349e-06,9.910537e-07,9.706539e-07,9.511229e-07,9.324341e-07,9.145608e-07,8.974765e-07,8.811554e-07,8.655716e-07,8.506997e-07,8.365149e-07,8.229929e-07,8.101097e-07,7.978419e-07,7.861668e-07,7.750621e-07,7.645063e-07,7.544781e-07,7.449572e-07,7.359236e-07,7.273581e-07,7.192419e-07,7.115570e-07,7.042856e-07,6.974109e-07,6.909165e-07,6.847863e-07,6.790052e-07,6.735582e-07,6.684311e-07,6.636099e-07,6.590815e-07,6.548330e-07,6.508520e-07,6.471265e-07,6.436452e-07,6.403969e-07,6.373711e-07
0.000000e+00,4.987252e-10,1.057887e-08,1.111357e-08,7.936659e-08,2.448982e-07,2.533279e-07,4.731442e-07,6.751520e-07,6.876331e-07,8.875544e-07,1.057990e-06,1.072213e-06,1.242200e-06,1.383292e-06,1.398300e-06,1.541302e-06,1.656911e-06,1.671963e-06,1.791012e-06,1.884640e-06,1.899148e-06,1.997043e-06,2.071834e-06,2.085343e-06,2.164665e-06,2.223423e-06,2.235598e-06,2.298700e-06,2.343900e-06,2.354501e-06,2.403501e-06,2.437306e-06,2.446174e-06,2.482962e-06,2.507243e-06,2.514284e-06,2.540535e-06,2.556915e-06,2.562085e-06,2.579281e-06,2.589149e-06,2.592447e-06,2.601888e-06,2.606433e-06,2.607888e-06,2.610713e-06,2.610950e-06,2.610614e-06,2.607825e-06,2.604616e-06,2.602562e-06,2.595029e-06,2.589106e-06,2.585418e-06,2.573906e-06,2.565887e-06,2.560659e-06,2.545831e-06,2.536237e-06,2.529569e-06,2.512006e-06,2.501273e-06,2.493268e-06,2.473472e-06,2.461965e-06,2.452727e-06,2.431135e-06,2.419156e-06,2.408789e-06,2.385779e-06,2.373578e-06,2.362185e-06,2.338084e-06,2.325865e-06,2.313545e-06,2.288634e-06,2.276563e-06,2.263412e-06,2.237934e-06,2.226143e-06,2.212253e-06,2.186417e-06,2.175011e-06,2.160470e-06,2.134452e-06,2.123513e-06,2.108403e-06,2.082356e-06,2.071946e-06,2.056345e-06,2.030397e-06,2.020560e-06,2.004541e-06,1.978801e-06,1.969567e-06,1.953199e-06,1.927757e-06,1.919147e-06,1.902494e-06,1.877426e-06,1.869448e-06,1.852569e-06,1.827937e-06,1.820593e-06,1.803542e-06,1.779397e-06,1.772683e-06,1.755511e-06,1.731894e-06,1.725798e-06,1.708553e-06,1.685495e-06,1.680004e-06,1.662727e-06,1.640253e-06,1.635349e-06,1.618080e-06,1.596209e-06,1.591871e-06,1.574645e-06,1.553389e-06,1.549596e-06,1.532445e-06,1.511813e-06,1.508541e-06,1.491494e-06,1.471489e-06,1.468713e-06,1.451798e-06,1.432420e-06,1.430116e-06,1.413356e-06,1.394603e-06,1.392745e-06,1.376161e-06,1.358029e-06,1.356591e-06,1.340203e-06,1.322683e-06,1.321642e-06,1.305467e-06,1.288551e-06,1.287881e-06,1.271933e-06,1.255611e-06,1.255288e-06,1.239582e-06,1.223842e-06,1.193520e-06,1.164297e-06,1.136146e-06,1.109040e-06,1.082951e-06,1.057853e-06,1.033715e-06,1.010511e-06,9.882106e-07,9.667871e-07,9.462122e-07,9.264585e-07,9.074989e-07,8.893070e-07,8.718568e-07,8.551228e-07,8.390801e-07,8.237045e-07,8.089722e-07,7.948603e-07,7.813464e-07,7.684089e-07,7.560266e-07,7.441791e-07,7.328468e-07,7.220103e-07,7.116511e-07,7.017513e-07,6.922933e-07,6.832603e-07,6.746363e-07,6.664054e-07,6.585526e-07,6.510631e-07,6.439230e-07,6.371187e-07,6.306369e-07,6.244649e-07,6.185907e-07,6.130023e-07,6.076885e-07,6.026382e-07,5.978410e-07,5.932866e-07,5.889653e-07,5.848676e-07,5.809844e-07,5.773070e-07,5.738270e-07
0.000000e+00,4.618046e-09,5.065453e-08,5.265474e-08,2.689392e-07,8.289484e-07,8.623140e-07,1.978156e-06,3.458325e-06,3.563093e-06,5.400979e-06,7.119358e-06,7.265887e-06,9.031999e-06,1.050246e-05,1.065855e-05,1.214008e-05,1.332796e-05,1.348185e-05,1.469196e-05,1.563393e-05,1.577904e-05,1.675160e-05,1.748606e-05,1.761784e-05,1.838564e-05,1.894700e-05,1.906240e-05,1.965480e-05,2.007231e-05,2.016925e-05,2.061176e-05,2.091061e-05,2.098796e-05,2.130307e-05,2.150473e-05,2.156200e-05,2.176927e-05,2.189190e-05,2.192912e-05,2.204549e-05,2.210441e-05,2.212203e-05,2.216214e-05,2.217024e-05,2.216897e-05,2.214546e-05,2.211353e-05,2.209431e-05,2.201806e-05,2.195512e-05,2.191903e-05,2.179940e-05,2.171295e-05,2.166116e-05,2.150618e-05,2.140245e-05,2.133618e-05,2.115274e-05,2.103684e-05,2.095734e-05,2.075133e-05,2.062748e-05,2.053596e-05,2.031241e-05,2.018404e-05,2.008173e-05,1.984491e-05,1.971480e-05,1.960286e-05,1.935640e-05,1.922677e-05,1.910632e-05,1.885331e-05,1.872592e-05,1.859803e-05,1.834106e-05,1.821728e-05,1.808296e-05,1.782421e-05,1.770510e-05,1.756528e-05,1.730657e-05,1.719291e-05,1.704847e-05,1.679133e-05,1.668368e-05,1.653544e-05,1.628110e-05,1.617986e-05,1.602856e-05,1.577806e-05,1.568344e-05,1.552979e-05,1.528394e-05,1.519606e-05,1.504069e-05,1.480017e-05,1.471904e-05,1.456251e-05,1.432784e-05,1.425339e-05,1.409624e-05,1.386782e-05,1.379992e-05,1.364263e-05,1.342075e-05,1.335922e-05,1.320222e-05,1.298709e-05,1.293171e-05,1.277539e-05,1.256714e-05,1.251768e-05,1.236238e-05,1.216110e-05,1.211729e-05,1.196331e-05,1.176902e-05,1.173058e-05,1.157821e-05,1.139088e-05,1.135753e-05,1.120701e-05,1.102659e-05,1.099804e-05,1.084958e-05,1.067597e-05,1.065194e-05,1.050574e-05,1.033884e-05,1.031903e-05,1.017524e-05,1.001492e-05,9.999062e-06,9.857824e-06,9.703928e-06,9.691754e-06,9.553188e-06,9.405563e-06,9.396803e-06,9.261010e-06,9.119487e-06,9.113889e-06,8.980951e-06,8.845358e-06,8.842675e-06,8.712662e-06,8.582818e-06,8.333966e-06,8.095764e-06,7.867858e-06,7.649893e-06,7.441518e-06,7.242386e-06,7.052159e-06,6.870503e-06,6.697090e-06,6.531604e-06,6.373733e-06,6.223176e-06,6.079639e-06,5.942839e-06,5.812502e-06,5.688361e-06,5.570160e-06,5.457652e-06,5.350597e-06,5.248765e-06,5.151934e-06,5.059891e-06,4.972431e-06,4.889355e-06,4.810473e-06,4.735603e-06,4.664570e-06,4.597205e-06,4.533346e-06,4.472838e-06,4.415532e-06,4.361284e-06,4.309958e-06,4.261422e-06,4.215549e-06,4.172219e-06,4.131315e-06,4.092726e-06,4.056345e-06,4.022070e-06,3.989803e-06,3.959449e-06,3.930920e-06,3.904128e-06,3.878991e-06,3.855430e-06,3.833368e-06,3.812734e-06,3.793457e-06
0.000000e+00,1.650887e-06,4.216610e-05,4.447145e-05,4.236505e-04,2.005967e-03,2.117216e-03,6.441190e-03,1.324075e-02,1.375683e-02,2.358943e-02,3.433200e-02,3.532778e-02,4.842659e-02,6.099986e-02,6.242958e-02,7.696192e-02,8.994467e-02,9.171870e-02,1.064539e-01,1.189581e-01,1.209712e-01,1.351157e-01,1.466202e-01,1.487673e-01,1.618349e-01,1.720670e-01,1.742517e-01,1.859707e-01,1.948227e-01,1.969617e-01,2.072079e-01,2.146789e-01,2.167036e-01,2.254520e-01,2.316071e-01,2.334634e-01,2.407540e-01,2.456966e-01,2.473439e-01,2.532569e-01,2.571097e-01,2.585191e-01,2.631583e-01,2.660505e-01,2.672034e-01,2.706839e-01,2.727434e-01,2.736297e-01,2.760704e-01,2.774188e-01,2.780352e-01,2.795530e-01,2.803027e-01,2.806517e-01,2.813585e-01,2.816114e-01,2.816996e-01,2.817003e-01,2.815473e-01,2.813846e-01,2.807759e-01,2.802972e-01,2.798960e-01,2.787660e-01,2.780314e-01,2.774057e-01,2.758341e-01,2.749039e-01,2.740690e-01,2.721273e-01,2.710531e-01,2.700249e-01,2.677768e-01,2.666026e-01,2.653972e-01,2.628993e-01,2.616620e-01,2.602956e-01,2.575979e-01,2.563284e-01,2.548172e-01,2.519637e-01,2.506876e-01,2.490471e-01,2.460765e-01,2.448147e-01,2.430602e-01,2.400063e-01,2.387758e-01,2.369220e-01,2.338143e-01,2.326285e-01,2.306894e-01,2.275535e-01,2.264230e-01,2.244121e-01,2.212702e-01,2.202028e-01,2.181327e-01,2.150041e-01,2.140055e-01,2.118884e-01,2.087894e-01,2.078635e-01,2.057107e-01,2.026554e-01,2.018045e-01,1.996266e-01,1.966269e-01,1.958521e-01,1.936589e-01,1.907248e-01,1.900260e-01,1.878268e-01,1.849667e-01,1.843428e-01,1.821463e-01,1.793670e-01,1.788162e-01,1.766302e-01,1.739372e-01,1.734572e-01,1.712890e-01,1.686867e-01,1.682746e-01,1.661309e-01,1.636225e-01,1.632752e-01,1.611620e-01,1.587500e-01,1.584638e-01,1.563867e-01,1.540726e-01,1.538439e-01,1.518078e-01,1.495925e-01,1.494174e-01,1.474267e-01,1.453104e-01,1.451850e-01,1.432436e-01,1.412261e-01,1.411465e-01,1.392578e-01,1.373383e-01,1.373004e-01,1.354673e-01,1.336446e-01,1.301763e-01,1.268921e-01,1.237879e-01,1.208592e-01,1.181013e-01,1.155089e-01,1.130767e-01,1.107991e-01,1.086702e-01,1.066843e-01,1.048353e-01,1.031173e-01,1.015243e-01,1.000503e-01,9.868937e-02,9.743568e-02,9.628346e-02,9.522705e-02,9.426092e-02,9.337968e-02,9.257808e-02,9.185104e-02,9.119364e-02,9.060113e-02,9.006895e-02,8.959272e-02,8.916823e-02,8.879149e-02,8.845868e-02,8.816616e-02,8.791049e-02,8.768840e-02,8.749683e-02,8.733288e-02,8.719383e-02,8.707712e-02,8.698037e-02,8.690136e-02,8.683803e-02,8.678845e-02,8.675086e-02,8.672363e-02,8.670525e-02,8.669435e-02,8.668968e-02,8.669010e-02,8.669457e-02,8.670217e-02,8.671206e-02
0.000000e+00,1.370780e-06,3.710607e-05,3.917816e-05,3.888407e-04,1.878432e-03,1.983700e-03,6.082756e-03,1.251904e-02,1.300684e-02,2.228451e-02,3.239152e-02,3.332707e-02,4.561519e-02,5.738217e-02,5.871866e-02,7.228763e-02,8.438832e-02,8.604046e-02,9.975242e-02,1.113756e-01,1.132460e-01,1.263828e-01,1.370637e-01,1.390569e-01,1.511890e-01,1.606920e-01,1.627217e-01,1.736159e-01,1.818545e-01,1.838468e-01,1.934020e-01,2.003837e-01,2.022784e-01,2.104805e-01,2.162697e-01,2.180193e-01,2.249099e-01,2.296029e-01,2.311716e-01,2.368260e-01,2.405344e-01,2.418969e-01,2.464091e-01,2.492491e-01,2.503885e-01,2.538612e-01,2.559466e-01,2.568534e-01,2.593912e-01,2.608297e-01,2.615002e-01,2.632054e-01,2.640961e-01,2.645312e-01,2.655010e-01,2.659335e-01,2.661375e-01,2.664627e-01,2.665170e-01,2.664972e-01,2.662611e-01,2.660077e-01,2.657733e-01,2.650520e-01,2.645525e-01,2.641142e-01,2.629764e-01,2.622841e-01,2.616538e-01,2.601611e-01,2.593222e-01,2.585120e-01,2.567197e-01,2.557737e-01,2.547964e-01,2.527536e-01,2.517340e-01,2.506025e-01,2.483531e-01,2.472881e-01,2.460153e-01,2.435982e-01,2.425117e-01,2.411103e-01,2.385598e-01,2.374717e-01,2.359542e-01,2.333007e-01,2.322274e-01,2.306060e-01,2.278764e-01,2.268312e-01,2.251178e-01,2.223357e-01,2.213294e-01,2.195353e-01,2.167216e-01,2.157627e-01,2.138990e-01,2.110718e-01,2.101668e-01,2.082441e-01,2.054194e-01,2.045732e-01,2.026014e-01,1.997933e-01,1.990092e-01,1.969980e-01,1.942185e-01,1.934987e-01,1.914572e-01,1.887166e-01,1.880622e-01,1.859990e-01,1.833065e-01,1.827177e-01,1.806409e-01,1.780040e-01,1.774802e-01,1.753974e-01,1.728227e-01,1.723627e-01,1.702811e-01,1.677739e-01,1.673760e-01,1.653022e-01,1.628670e-01,1.625290e-01,1.604692e-01,1.581096e-01,1.578291e-01,1.557890e-01,1.535079e-01,1.532820e-01,1.512669e-01,1.490664e-01,1.488921e-01,1.469069e-01,1.447886e-01,1.446628e-01,1.427118e-01,1.406767e-01,1.405961e-01,1.386834e-01,1.367320e-01,1.366934e-01,1.348224e-01,1.329548e-01,1.293800e-01,1.259680e-01,1.227170e-01,1.196248e-01,1.166888e-01,1.139058e-01,1.112726e-01,1.087854e-01,1.064401e-01,1.042327e-01,1.021589e-01,1.002140e-01,9.839355e-02,9.669286e-02,9.510720e-02,9.363181e-02,9.226193e-02,9.099281e-02,8.981972e-02,8.873798e-02,8.774297e-02,8.683014e-02,8.599502e-02,8.523325e-02,8.454056e-02,8.391279e-02,8.334590e-02,8.283599e-02,8.237927e-02,8.197208e-02,8.161092e-02,8.129241e-02,8.101332e-02,8.077056e-02,8.056117e-02,8.038235e-02,8.023143e-02,8.010588e-02,8.000332e-02,7.992148e-02,7.985826e-02,7.981165e-02,7.977979e-02,7.976095e-02,7.975350e-02,7.975593e-02,7.976684e-02,7.978496e-02,7.980909e-02
0.000000e+00,2.054639e-07,4.030638e-06,4.229259e-06,3.317191e-05,1.445570e-04,1.523020e-04,4.543167e-04,9.205090e-04,9.547719e-04,1.567425e-03,2.147774e-03,2.197111e-03,2.782791e-03,3.247007e-03,3.294446e-03,3.722123e-03,4.029937e-03,4.067183e-03,4.336629e-03,4.514943e-03,4.539753e-03,4.686273e-03,4.772363e-03,4.785389e-03,4.845346e-03,4.870351e-03,4.873310e-03,4.875376e-03,4.861861e-03,4.856676e-03,4.821486e-03,4.784886e-03,4.773339e-03,4.715142e-03,4.665671e-03,4.649273e-03,4.577670e-03,4.521923e-03,4.501895e-03,4.423206e-03,4.365320e-03,4.342611e-03,4.260915e-03,4.203419e-03,4.178754e-03,4.096631e-03,4.041010e-03,4.014933e-03,3.933960e-03,3.881029e-03,3.853943e-03,3.775054e-03,3.725219e-03,3.697423e-03,3.621141e-03,3.574552e-03,3.546272e-03,3.472860e-03,3.429524e-03,3.400932e-03,3.330502e-03,3.290342e-03,3.261576e-03,3.194149e-03,3.157042e-03,3.128214e-03,3.063758e-03,3.029562e-03,3.000767e-03,2.939223e-03,2.907787e-03,2.879109e-03,2.820404e-03,2.791574e-03,2.763088e-03,2.707142e-03,2.680767e-03,2.652543e-03,2.599271e-03,2.575206e-03,2.547305e-03,2.496623e-03,2.474725e-03,2.447205e-03,2.399029e-03,2.379160e-03,2.352073e-03,2.306316e-03,2.288345e-03,2.261738e-03,2.218317e-03,2.202116e-03,2.176032e-03,2.134861e-03,2.120308e-03,2.094784e-03,2.055780e-03,2.042759e-03,2.017827e-03,1.980905e-03,1.969304e-03,1.944993e-03,1.910071e-03,1.899784e-03,1.876117e-03,1.843113e-03,1.834039e-03,1.811036e-03,1.779868e-03,1.771911e-03,1.749588e-03,1.720178e-03,1.713246e-03,1.691616e-03,1.663885e-03,1.657893e-03,1.636965e-03,1.610837e-03,1.605705e-03,1.585483e-03,1.560885e-03,1.556536e-03,1.537024e-03,1.513883e-03,1.510247e-03,1.491445e-03,1.469693e-03,1.466701e-03,1.448608e-03,1.428176e-03,1.425767e-03,1.408379e-03,1.389202e-03,1.387318e-03,1.370629e-03,1.352645e-03,1.351231e-03,1.335234e-03,1.318381e-03,1.317388e-03,1.302073e-03,1.286295e-03,1.285675e-03,1.271033e-03,1.256273e-03,1.255982e-03,1.242002e-03,1.228206e-03,1.202246e-03,1.178005e-03,1.155391e-03,1.134317e-03,1.114698e-03,1.096454e-03,1.079508e-03,1.063787e-03,1.049221e-03,1.035744e-03,1.023292e-03,1.011805e-03,1.001225e-03,9.914975e-04,9.825706e-04,9.743948e-04,9.669228e-04,9.601100e-04,9.539140e-04,9.482942e-04,9.432126e-04,9.386326e-04,9.345199e-04,9.308419e-04,9.275676e-04,9.246677e-04,9.221146e-04,9.198821e-04,9.179455e-04,9.162814e-04,9.148678e-04,9.136838e-04,9.127101e-04,9.119281e-04,9.113205e-04,9.108711e-04,9.105647e-04,9.103870e-04,9.103245e-04,9.103649e-04,9.104963e-04,9.107080e-04,9.109898e-04,9.113323e-04,9.117267e-04,9.121650e-04,9.126397e-04,9.131438e-04,9.136711e-04
0.000000e+00,8.437727e-07,1.846267e-05,1.940990e-05,1.636228e-04,7.360522e-04,7.760647e-04,2.341556e-03,4.832414e-03,5.021880e-03,8.623449e-03,1.252128e-02,1.288010e-02,1.755699e-02,2.196722e-02,2.246365e-02,2.744971e-02,3.180965e-02,3.239833e-02,3.722029e-02,4.121451e-02,4.184891e-02,4.623588e-02,4.970938e-02,5.034779e-02,5.416322e-02,5.706211e-02,5.767037e-02,6.086502e-02,6.319674e-02,6.374890e-02,6.632829e-02,6.813499e-02,6.861290e-02,7.061493e-02,7.195601e-02,7.234831e-02,7.382811e-02,7.476912e-02,7.507002e-02,7.608999e-02,7.669587e-02,7.690390e-02,7.752737e-02,7.785863e-02,7.797556e-02,7.826301e-02,7.837378e-02,7.840361e-02,7.841053e-02,7.834791e-02,7.829615e-02,7.807208e-02,7.787614e-02,7.774915e-02,7.733741e-02,7.704166e-02,7.684620e-02,7.628412e-02,7.591618e-02,7.565911e-02,7.497845e-02,7.456084e-02,7.424884e-02,7.347639e-02,7.302722e-02,7.266670e-02,7.182487e-02,7.135858e-02,7.095556e-02,7.006301e-02,6.959099e-02,6.915106e-02,6.822323e-02,6.775437e-02,6.728270e-02,6.633235e-02,6.587347e-02,6.537480e-02,6.441242e-02,6.396870e-02,6.344736e-02,6.248157e-02,6.205684e-02,6.151679e-02,6.055463e-02,6.015165e-02,5.959650e-02,5.864372e-02,5.826436e-02,5.769743e-02,5.675869e-02,5.640414e-02,5.582844e-02,5.490751e-02,5.457841e-02,5.399667e-02,5.309659e-02,5.279313e-02,5.220787e-02,5.133103e-02,5.105303e-02,5.046655e-02,4.961483e-02,4.936186e-02,4.877624e-02,4.795108e-02,4.772248e-02,4.713961e-02,4.634207e-02,4.613702e-02,4.555865e-02,4.478949e-02,4.460702e-02,4.403471e-02,4.329442e-02,4.313351e-02,4.256868e-02,4.185752e-02,4.171704e-02,4.116097e-02,4.047902e-02,4.035782e-02,3.981165e-02,3.915883e-02,3.905573e-02,3.852050e-02,3.789659e-02,3.781039e-02,3.728701e-02,3.669167e-02,3.662118e-02,3.611045e-02,3.554325e-02,3.548729e-02,3.498993e-02,3.445035e-02,3.440777e-02,3.392437e-02,3.341184e-02,3.338151e-02,3.291260e-02,3.242647e-02,3.240730e-02,3.195330e-02,3.149290e-02,3.148382e-02,3.104510e-02,3.060970e-02,2.978349e-02,2.900371e-02,2.826882e-02,2.757726e-02,2.692747e-02,2.631787e-02,2.574686e-02,2.521285e-02,2.471427e-02,2.424955e-02,2.381714e-02,2.341551e-02,2.304314e-02,2.269855e-02,2.238028e-02,2.208690e-02,2.181703e-02,2.156929e-02,2.134236e-02,2.113496e-02,2.094584e-02,2.077379e-02,2.061764e-02,2.047627e-02,2.034859e-02,2.023357e-02,2.013021e-02,2.003755e-02,1.995469e-02,1.988077e-02,1.981496e-02,1.975649e-02,1.970462e-02,1.965865e-02,1.961795e-02,1.958189e-02,1.954992e-02,1.952149e-02,1.949611e-02,1.947333e-02,1.945273e-02,1.943391e-02,1.941652e-02,1.940025e-02,1.938478e-02,1.936987e-02,1.935527e-02,1.934078e-02,1.932619e-02
0.000000e+00,2.754286e-10,4.133939e-09,4.323325e-09,2.784094e-08,9.560125e-08,9.969638e-08,2.320687e-07,3.869397e-07,3.971190e-07,5.656804e-07,7.151805e-07,7.278502e-07,8.815009e-07,1.012280e-06,1.026376e-06,1.162660e-06,1.275712e-06,1.290642e-06,1.410642e-06,1.507707e-06,1.522986e-06,1.627999e-06,1.710780e-06,1.726002e-06,1.817308e-06,1.887398e-06,1.902225e-06,1.981048e-06,2.039913e-06,2.054066e-06,2.121557e-06,2.170534e-06,2.183787e-06,2.241014e-06,2.281313e-06,2.293485e-06,2.341436e-06,2.374144e-06,2.385095e-06,2.424679e-06,2.450774e-06,2.460397e-06,2.492447e-06,2.512802e-06,2.521020e-06,2.546300e-06,2.561697e-06,2.568459e-06,2.587665e-06,2.598800e-06,2.604075e-06,2.617843e-06,2.625335e-06,2.629113e-06,2.638025e-06,2.642425e-06,2.644711e-06,2.649296e-06,2.651090e-06,2.651902e-06,2.652643e-06,2.652261e-06,2.651628e-06,2.648963e-06,2.646787e-06,2.644747e-06,2.639074e-06,2.635437e-06,2.632035e-06,2.623716e-06,2.618912e-06,2.614200e-06,2.603563e-06,2.597848e-06,2.591881e-06,2.579224e-06,2.572822e-06,2.565660e-06,2.551251e-06,2.544357e-06,2.536060e-06,2.520144e-06,2.512925e-06,2.503557e-06,2.486353e-06,2.478955e-06,2.468581e-06,2.450288e-06,2.442834e-06,2.431518e-06,2.412314e-06,2.404911e-06,2.392717e-06,2.372764e-06,2.365501e-06,2.352492e-06,2.331935e-06,2.324886e-06,2.311125e-06,2.290094e-06,2.283322e-06,2.268870e-06,2.247482e-06,2.241037e-06,2.225954e-06,2.204312e-06,2.198235e-06,2.182580e-06,2.160778e-06,2.155100e-06,2.138927e-06,2.117048e-06,2.111795e-06,2.095159e-06,2.073277e-06,2.068465e-06,2.051418e-06,2.029597e-06,2.025239e-06,2.007829e-06,1.986128e-06,1.982230e-06,1.964507e-06,1.942976e-06,1.939540e-06,1.921547e-06,1.900231e-06,1.897256e-06,1.879037e-06,1.857975e-06,1.855457e-06,1.837052e-06,1.816277e-06,1.814208e-06,1.795656e-06,1.775197e-06,1.773568e-06,1.754906e-06,1.734788e-06,1.733586e-06,1.714848e-06,1.695092e-06,1.694306e-06,1.675524e-06,1.656147e-06,1.655761e-06,1.636966e-06,1.617983e-06,1.580994e-06,1.544815e-06,1.509459e-06,1.474938e-06,1.441259e-06,1.408425e-06,1.376438e-06,1.345298e-06,1.314999e-06,1.285538e-06,1.256906e-06,1.229096e-06,1.202097e-06,1.175899e-06,1.150489e-06,1.125854e-06,1.101981e-06,1.078855e-06,1.056463e-06,1.034788e-06,1.013816e-06,9.935315e-07,9.739179e-07,9.549599e-07,9.366414e-07,9.189466e-07,9.018597e-07,8.853650e-07,8.694467e-07,8.540896e-07,8.392781e-07,8.249972e-07,8.112321e-07,7.979679e-07,7.851904e-07,7.728853e-07,7.610387e-07,7.496369e-07,7.386666e-07,7.281148e-07,7.179686e-07,7.082155e-07,6.988434e-07,6.898402e-07,6.811944e-07,6.728946e-07,6.649298e-07,6.572891e-07,6.499622e-07
0.000000e+00,2.562404e-07,4.697835e-06,4.918372e-06,3.440884e-05,1.389856e-04,1.461420e-04,4.304670e-04,9.146667e-04,9.528608e-04,1.700219e-03,2.529610e-03,2.606168e-03,3.599199e-03,4.519116e-03,4.621308e-03,5.629821e-03,6.482214e-03,6.595024e-03,7.497336e-03,8.213788e-03,8.324857e-03,9.071385e-03,9.634292e-03,9.734881e-03,1.031627e-02,1.073377e-02,1.081851e-02,1.124593e-02,1.153743e-02,1.160367e-02,1.189730e-02,1.208550e-02,1.213253e-02,1.231505e-02,1.242186e-02,1.245029e-02,1.254346e-02,1.258817e-02,1.259939e-02,1.262252e-02,1.262117e-02,1.261693e-02,1.258629e-02,1.255172e-02,1.253390e-02,1.246273e-02,1.240495e-02,1.237539e-02,1.227420e-02,1.220084e-02,1.216122e-02,1.203823e-02,1.195501e-02,1.190682e-02,1.176835e-02,1.167950e-02,1.162404e-02,1.147492e-02,1.138354e-02,1.132192e-02,1.116582e-02,1.107415e-02,1.100732e-02,1.084702e-02,1.075667e-02,1.068545e-02,1.052306e-02,1.043517e-02,1.036025e-02,1.019738e-02,1.011276e-02,1.003475e-02,9.872623e-03,9.791826e-03,9.711242e-03,9.550811e-03,9.474196e-03,9.391512e-03,9.233505e-03,9.161295e-03,9.076929e-03,8.921909e-03,8.854221e-03,8.768551e-03,8.616951e-03,8.553823e-03,8.467191e-03,8.319343e-03,8.260753e-03,8.173469e-03,8.029624e-03,7.975504e-03,7.887852e-03,7.748192e-03,7.698438e-03,7.610676e-03,7.475331e-03,7.429812e-03,7.342176e-03,7.211228e-03,7.169793e-03,7.082498e-03,6.955993e-03,6.918477e-03,6.831718e-03,6.709672e-03,6.675898e-03,6.589852e-03,6.472252e-03,6.442039e-03,6.356865e-03,6.243679e-03,6.216841e-03,6.132682e-03,6.023859e-03,6.000209e-03,5.917194e-03,5.812669e-03,5.792019e-03,5.710265e-03,5.609960e-03,5.592126e-03,5.511733e-03,5.415562e-03,5.400364e-03,5.321423e-03,5.229291e-03,5.216552e-03,5.139142e-03,5.050950e-03,5.040498e-03,4.964690e-03,4.880333e-03,4.872002e-03,4.797855e-03,4.717228e-03,4.710857e-03,4.638424e-03,4.561417e-03,4.556853e-03,4.486179e-03,4.412682e-03,4.409778e-03,4.340900e-03,4.270804e-03,4.269419e-03,4.202367e-03,4.135562e-03,4.007997e-03,3.886515e-03,3.770912e-03,3.660984e-03,3.556535e-03,3.457371e-03,3.363303e-03,3.274148e-03,3.189727e-03,3.109865e-03,3.034394e-03,2.963148e-03,2.895969e-03,2.832703e-03,2.773198e-03,2.717310e-03,2.664898e-03,2.615825e-03,2.569958e-03,2.527170e-03,2.487335e-03,2.450332e-03,2.416045e-03,2.384360e-03,2.355165e-03,2.328354e-03,2.303823e-03,2.281470e-03,2.261197e-03,2.242907e-03,2.226508e-03,2.211910e-03,2.199023e-03,2.187763e-03,2.178046e-03,2.169791e-03,2.162918e-03,2.157351e-03,2.153014e-03,2.149835e-03,2.147744e-03,2.146670e-03,2.146548e-03,2.147312e-03,2.148900e-03,2.151249e-03,2.154300e-03,2.157997e-03,2.162284e-03
0.000000e+00,1.418637e-09,1.561717e-08,1.624467e-08,8.797951e-08,2.924839e-07,3.051672e-07,7.420242e-07,1.317728e-06,1.357397e-06,2.029662e-06,2.632098e-06,2.682923e-06,3.293544e-06,3.802601e-06,3.856791e-06,4.373145e-06,4.790239e-06,4.844499e-06,5.273114e-06,5.609326e-06,5.661332e-06,6.011476e-06,6.277847e-06,6.325830e-06,6.606614e-06,6.813319e-06,6.855981e-06,7.075994e-06,7.232199e-06,7.268627e-06,7.435764e-06,7.549584e-06,7.579191e-06,7.700607e-06,7.779150e-06,7.801613e-06,7.883723e-06,7.933162e-06,7.948364e-06,7.996877e-06,8.022530e-06,8.030522e-06,8.050480e-06,8.056905e-06,8.057862e-06,8.053706e-06,8.044788e-06,8.038985e-06,8.014610e-06,7.993650e-06,7.981433e-06,7.940249e-06,7.910034e-06,7.891801e-06,7.836783e-06,7.799658e-06,7.775841e-06,7.709580e-06,7.667505e-06,7.638560e-06,7.563304e-06,7.517908e-06,7.484299e-06,7.401996e-06,7.354623e-06,7.316815e-06,7.229145e-06,7.180897e-06,7.139349e-06,7.047759e-06,6.999528e-06,6.954686e-06,6.860416e-06,6.812915e-06,6.765213e-06,6.669319e-06,6.623111e-06,6.572960e-06,6.476341e-06,6.431862e-06,6.379652e-06,6.283066e-06,6.240643e-06,6.186743e-06,6.090826e-06,6.050695e-06,5.995450e-06,5.900732e-06,5.863055e-06,5.806783e-06,5.713701e-06,5.678576e-06,5.621575e-06,5.530484e-06,5.497959e-06,5.440500e-06,5.351685e-06,5.321765e-06,5.264096e-06,5.177782e-06,5.150438e-06,5.092787e-06,5.009146e-06,4.984322e-06,4.926891e-06,4.846050e-06,4.823671e-06,4.766645e-06,4.688692e-06,4.668664e-06,4.612206e-06,4.537198e-06,4.519416e-06,4.463672e-06,4.391634e-06,4.375985e-06,4.321084e-06,4.252020e-06,4.238385e-06,4.184437e-06,4.118330e-06,4.106587e-06,4.053690e-06,3.990507e-06,3.980533e-06,3.928770e-06,3.868464e-06,3.860134e-06,3.809575e-06,3.752088e-06,3.745282e-06,3.695985e-06,3.641249e-06,3.635850e-06,3.587861e-06,3.535802e-06,3.531694e-06,3.485051e-06,3.435589e-06,3.432661e-06,3.387393e-06,3.340443e-06,3.338591e-06,3.294717e-06,3.250192e-06,3.249314e-06,3.206847e-06,3.164659e-06,3.084452e-06,3.008518e-06,2.936682e-06,2.868770e-06,2.804613e-06,2.744041e-06,2.686891e-06,2.633004e-06,2.582222e-06,2.534395e-06,2.489378e-06,2.447028e-06,2.407212e-06,2.369797e-06,2.334659e-06,2.301678e-06,2.270739e-06,2.241731e-06,2.214551e-06,2.189097e-06,2.165274e-06,2.142991e-06,2.122163e-06,2.102705e-06,2.084541e-06,2.067597e-06,2.051801e-06,2.037087e-06,2.023392e-06,2.010656e-06,1.998822e-06,1.987836e-06,1.977648e-06,1.968209e-06,1.959475e-06,1.951402e-06,1.943950e-06,1.937080e-06,1.930758e-06,1.924948e-06,1.919619e-06,1.914740e-06,1.910282e-06,1.906220e-06,1.902527e-06,1.899180e-06,1.896156e-06,1.893434e-06,1.890994e-06
0.000000e+00,6.590622e-10,7.510738e-09,7.819880e-09,4.421579e-08,1.510047e-07,1.576777e-07,3.875327e-07,6.851908e-07,7.054244e-07,1.044231e-06,1.343290e-06,1.368379e-06,1.668366e-06,1.916595e-06,1.942925e-06,2.192929e-06,2.393736e-06,2.419788e-06,2.625033e-06,2.785393e-06,2.810150e-06,2.976471e-06,3.102592e-06,3.125277e-06,3.257826e-06,3.355218e-06,3.375302e-06,3.478824e-06,3.552300e-06,3.569439e-06,3.648133e-06,3.701831e-06,3.715824e-06,3.773374e-06,3.810825e-06,3.821585e-06,3.861203e-06,3.885400e-06,3.892924e-06,3.917395e-06,3.930864e-06,3.935217e-06,3.946947e-06,3.951813e-06,3.953104e-06,3.954168e-06,3.952210e-06,3.950583e-06,3.942764e-06,3.935469e-06,3.931091e-06,3.915919e-06,3.904525e-06,3.897576e-06,3.876364e-06,3.861897e-06,3.852565e-06,3.826437e-06,3.809744e-06,3.798221e-06,3.768137e-06,3.749914e-06,3.736390e-06,3.703169e-06,3.683986e-06,3.668647e-06,3.632987e-06,3.613308e-06,3.596334e-06,3.558826e-06,3.539026e-06,3.520588e-06,3.481736e-06,3.462113e-06,3.442376e-06,3.402605e-06,3.383395e-06,3.362512e-06,3.322181e-06,3.303569e-06,3.281685e-06,3.241094e-06,3.223220e-06,3.200471e-06,3.159873e-06,3.142843e-06,3.119354e-06,3.078959e-06,3.062847e-06,3.038734e-06,2.998717e-06,2.983573e-06,2.958945e-06,2.919448e-06,2.905303e-06,2.880257e-06,2.841398e-06,2.828266e-06,2.802894e-06,2.764766e-06,2.752647e-06,2.727033e-06,2.689711e-06,2.678597e-06,2.652815e-06,2.616357e-06,2.606229e-06,2.580349e-06,2.544801e-06,2.535634e-06,2.509720e-06,2.475113e-06,2.466878e-06,2.440985e-06,2.407342e-06,2.400006e-06,2.374187e-06,2.341523e-06,2.335049e-06,2.309351e-06,2.277671e-06,2.272022e-06,2.246486e-06,2.215793e-06,2.210928e-06,2.185592e-06,2.155882e-06,2.151761e-06,2.126660e-06,2.097924e-06,2.094508e-06,2.069671e-06,2.041898e-06,2.039147e-06,2.014601e-06,1.987777e-06,1.985651e-06,1.961421e-06,1.935529e-06,1.933990e-06,1.910096e-06,1.885117e-06,1.884128e-06,1.860589e-06,1.836505e-06,1.836027e-06,1.812860e-06,1.789649e-06,1.744951e-06,1.701890e-06,1.660423e-06,1.620505e-06,1.582093e-06,1.545142e-06,1.509608e-06,1.475448e-06,1.442617e-06,1.411075e-06,1.380779e-06,1.351689e-06,1.323764e-06,1.296965e-06,1.271255e-06,1.246596e-06,1.222952e-06,1.200288e-06,1.178569e-06,1.157763e-06,1.137837e-06,1.118761e-06,1.100502e-06,1.083034e-06,1.066326e-06,1.050352e-06,1.035084e-06,1.020497e-06,1.006567e-06,9.932681e-07,9.805780e-07,9.684740e-07,9.569342e-07,9.459376e-07,9.354638e-07,9.254930e-07,9.160064e-07,9.069856e-07,8.984127e-07,8.902707e-07,8.825430e-07,8.752137e-07,8.682673e-07,8.616889e-07,8.554642e-07,8.495791e-07,8.440204e-07,8.387751e-07,8.338305e-07
0.000000e+00,1.139301e-06,2.762219e-05,2.910021e-05,2.658705e-04,1.243858e-03,1.312978e-03,4.055948e-03,8.526437e-03,8.870418e-03,1.548759e-02,2.278110e-02,2.345819e-02,3.235848e-02,4.086498e-02,4.182876e-02,5.157348e-02,6.018510e-02,6.135395e-02,7.098021e-02,7.902116e-02,8.030363e-02,8.921042e-02,9.630752e-02,9.761598e-02,1.054601e-01,1.114447e-01,1.127028e-01,1.193207e-01,1.241583e-01,1.253042e-01,1.306545e-01,1.343944e-01,1.353817e-01,1.395027e-01,1.422429e-01,1.430398e-01,1.460191e-01,1.478816e-01,1.484696e-01,1.504219e-01,1.515371e-01,1.519081e-01,1.529604e-01,1.534561e-01,1.536111e-01,1.538920e-01,1.538877e-01,1.538342e-01,1.534675e-01,1.530703e-01,1.528207e-01,1.519211e-01,1.512249e-01,1.507948e-01,1.494661e-01,1.485508e-01,1.479580e-01,1.462918e-01,1.452245e-01,1.444874e-01,1.425632e-01,1.413991e-01,1.405364e-01,1.384224e-01,1.372059e-01,1.362357e-01,1.339893e-01,1.327556e-01,1.316951e-01,1.293641e-01,1.281407e-01,1.270060e-01,1.246296e-01,1.234371e-01,1.222429e-01,1.198531e-01,1.187068e-01,1.174665e-01,1.150889e-01,1.139996e-01,1.127253e-01,1.103802e-01,1.093553e-01,1.080576e-01,1.057608e-01,1.048047e-01,1.034931e-01,1.012569e-01,1.003718e-01,9.905455e-02,9.688804e-02,9.607451e-02,9.475901e-02,9.266883e-02,9.192611e-02,9.061868e-02,8.860948e-02,8.793583e-02,8.664200e-02,8.471681e-02,8.410976e-02,8.283435e-02,8.099489e-02,8.045147e-02,7.919861e-02,7.744559e-02,7.696249e-02,7.573578e-02,7.406907e-02,7.364276e-02,7.244527e-02,7.086412e-02,7.049095e-02,6.932530e-02,6.782843e-02,6.750472e-02,6.637312e-02,6.495889e-02,6.468093e-02,6.358526e-02,6.225172e-02,6.201589e-02,6.095771e-02,5.970269e-02,5.950546e-02,5.848605e-02,5.730722e-02,5.714516e-02,5.616556e-02,5.506047e-02,5.493028e-02,5.399130e-02,5.295742e-02,5.285595e-02,5.195819e-02,5.099296e-02,5.091719e-02,5.006108e-02,4.916190e-02,4.910897e-02,4.829477e-02,4.745904e-02,4.742626e-02,4.665406e-02,4.587919e-02,4.586400e-02,4.513378e-02,4.441720e-02,4.308091e-02,4.185024e-02,4.072040e-02,3.968665e-02,3.874435e-02,3.788896e-02,3.711604e-02,3.642123e-02,3.580028e-02,3.524904e-02,3.476344e-02,3.433955e-02,3.397351e-02,3.366157e-02,3.340008e-02,3.318551e-02,3.301442e-02,3.288349e-02,3.278949e-02,3.272932e-02,3.269998e-02,3.269859e-02,3.272239e-02,3.276873e-02,3.283508e-02,3.291904e-02,3.301831e-02,3.313075e-02,3.325429e-02,3.338703e-02,3.352717e-02,3.367303e-02,3.382305e-02,3.397579e-02,3.412993e-02,3.428426e-02,3.443767e-02,3.458918e-02,3.473789e-02,3.488301e-02,3.502385e-02,3.515979e-02,3.529033e-02,3.541502e-02,3.553351e-02,3.564550e-02,3.575079e-02,3.584921e-02,3.594066e-02
0.000000e+00,3.706293e-06,8.375502e-05,8.804167e-05,7.129409e-04,3.027212e-03,3.185540e-03,9.378659e-03,1.961913e-02,2.041931e-02,3.611101e-02,5.396825e-02,5.565258e-02,7.818435e-02,1.003792e-01,1.029342e-01,1.292377e-01,1.532205e-01,1.565316e-01,1.843425e-01,2.083707e-01,2.122759e-01,2.400056e-01,2.629445e-01,2.672649e-01,2.938383e-01,3.149952e-01,3.195543e-01,3.442790e-01,3.632757e-01,3.679106e-01,3.903749e-01,4.070529e-01,4.116205e-01,4.316157e-01,4.459656e-01,4.503448e-01,4.678057e-01,4.799152e-01,4.840074e-01,4.989677e-01,5.089844e-01,5.127119e-01,5.252709e-01,5.333759e-01,5.366802e-01,5.469787e-01,5.533682e-01,5.562077e-01,5.644101e-01,5.692827e-01,5.716301e-01,5.779121e-01,5.814610e-01,5.833009e-01,5.878408e-01,5.902484e-01,5.915755e-01,5.945480e-01,5.959832e-01,5.968003e-01,5.983731e-01,5.989896e-01,5.993060e-01,5.996371e-01,5.995735e-01,5.994034e-01,5.986402e-01,5.980200e-01,5.973817e-01,5.956603e-01,5.945927e-01,5.935073e-01,5.909525e-01,5.895334e-01,5.880244e-01,5.847500e-01,5.830630e-01,5.811554e-01,5.772650e-01,5.753826e-01,5.731024e-01,5.686896e-01,5.666743e-01,5.640480e-01,5.591975e-01,5.571026e-01,5.541572e-01,5.489451e-01,5.468161e-01,5.435784e-01,5.380731e-01,5.359481e-01,5.324448e-01,5.267077e-01,5.246185e-01,5.208757e-01,5.149617e-01,5.129345e-01,5.089780e-01,5.029360e-01,5.009920e-01,4.968466e-01,4.907202e-01,4.888765e-01,4.845663e-01,4.783941e-01,4.766637e-01,4.722120e-01,4.660282e-01,4.644210e-01,4.598501e-01,4.536848e-01,4.522077e-01,4.475389e-01,4.414186e-01,4.400762e-01,4.353298e-01,4.292777e-01,4.280722e-01,4.232675e-01,4.173037e-01,4.162355e-01,4.113909e-01,4.055329e-01,4.046009e-01,3.997335e-01,3.939963e-01,3.931982e-01,3.883243e-01,3.827205e-01,3.820527e-01,3.771876e-01,3.717280e-01,3.711861e-01,3.663439e-01,3.610374e-01,3.606163e-01,3.558103e-01,3.506643e-01,3.503581e-01,3.456007e-01,3.406208e-01,3.404234e-01,3.357259e-01,3.309168e-01,3.308215e-01,3.261945e-01,3.215596e-01,3.126425e-01,3.040734e-01,2.958537e-01,2.879834e-01,2.804610e-01,2.732840e-01,2.664486e-01,2.599505e-01,2.537843e-01,2.479438e-01,2.424225e-01,2.372130e-01,2.323076e-01,2.276981e-01,2.233759e-01,2.193323e-01,2.155582e-01,2.120443e-01,2.087811e-01,2.057592e-01,2.029689e-01,2.004005e-01,1.980442e-01,1.958905e-01,1.939297e-01,1.921522e-01,1.905485e-01,1.891093e-01,1.878253e-01,1.866874e-01,1.856868e-01,1.848148e-01,1.840629e-01,1.834228e-01,1.828865e-01,1.824461e-01,1.820943e-01,1.818236e-01,1.816272e-01,1.814983e-01,1.814305e-01,1.814177e-01,1.814540e-01,1.815339e-01,1.816522e-01,1.818038e-01,1.819842e-01,1.821889e-01,1.824138e-01
0.000000e+00,3.004476e-07,7.258448e-06,7.647786e-06,7.041204e-05,3.286041e-04,3.466681e-04,1.041648e-03,2.107989e-03,2.187644e-03,3.672457e-03,5.227733e-03,5.368563e-03,7.171287e-03,8.818816e-03,9.001234e-03,1.080028e-02,1.232477e-02,1.252714e-02,1.415357e-02,1.545787e-02,1.566135e-02,1.703988e-02,1.809428e-02,1.828431e-02,1.939404e-02,2.020519e-02,2.037158e-02,2.122168e-02,2.181416e-02,2.195057e-02,2.256546e-02,2.297093e-02,2.307413e-02,2.348459e-02,2.373580e-02,2.380487e-02,2.404286e-02,2.417048e-02,2.420617e-02,2.430204e-02,2.433316e-02,2.433731e-02,2.431840e-02,2.427613e-02,2.425125e-02,2.414138e-02,2.404485e-02,2.399383e-02,2.381325e-02,2.367803e-02,2.360385e-02,2.336949e-02,2.320802e-02,2.311364e-02,2.283945e-02,2.266149e-02,2.254974e-02,2.224708e-02,2.206021e-02,2.193373e-02,2.161175e-02,2.142177e-02,2.128296e-02,2.094899e-02,2.076025e-02,2.061129e-02,2.027113e-02,2.008684e-02,1.992967e-02,1.958790e-02,1.941036e-02,1.924671e-02,1.890688e-02,1.873769e-02,1.856909e-02,1.823395e-02,1.807417e-02,1.790196e-02,1.757359e-02,1.742386e-02,1.724922e-02,1.692919e-02,1.678982e-02,1.661378e-02,1.630324e-02,1.617432e-02,1.599777e-02,1.569755e-02,1.557895e-02,1.540270e-02,1.511334e-02,1.500484e-02,1.482955e-02,1.455140e-02,1.445266e-02,1.427894e-02,1.401218e-02,1.392279e-02,1.375115e-02,1.349585e-02,1.341536e-02,1.324625e-02,1.300234e-02,1.293028e-02,1.276409e-02,1.253145e-02,1.246731e-02,1.230438e-02,1.208282e-02,1.202611e-02,1.186670e-02,1.165598e-02,1.160620e-02,1.145057e-02,1.125041e-02,1.120707e-02,1.105542e-02,1.086552e-02,1.082815e-02,1.068064e-02,1.050069e-02,1.046881e-02,1.032558e-02,1.015524e-02,1.012842e-02,9.989571e-03,9.828497e-03,9.806308e-03,9.671929e-03,9.519779e-03,9.501814e-03,9.371961e-03,9.228389e-03,9.214262e-03,9.088976e-03,8.953635e-03,8.942982e-03,8.822283e-03,8.694832e-03,8.687307e-03,8.571200e-03,8.451302e-03,8.446582e-03,8.335056e-03,8.222379e-03,8.220161e-03,8.113191e-03,8.007411e-03,7.807715e-03,7.620471e-03,7.445094e-03,7.281016e-03,7.127686e-03,6.984573e-03,6.851163e-03,6.726958e-03,6.611481e-03,6.504270e-03,6.404882e-03,6.312890e-03,6.227885e-03,6.149473e-03,6.077277e-03,6.010936e-03,5.950102e-03,5.894444e-03,5.843645e-03,5.797401e-03,5.755423e-03,5.717434e-03,5.683170e-03,5.652381e-03,5.624826e-03,5.600279e-03,5.578522e-03,5.559350e-03,5.542569e-03,5.527993e-03,5.515448e-03,5.504767e-03,5.495796e-03,5.488385e-03,5.482397e-03,5.477700e-03,5.474172e-03,5.471697e-03,5.470167e-03,5.469481e-03,5.469545e-03,5.470269e-03,5.471574e-03,5.473381e-03,5.475621e-03,5.478228e-03,5.481143e-03,5.484309e-03,5.487676e-03
0.000000e+00,1.057557e-08,1.201869e-07,1.250512e-07,6.826083e-07,2.275085e-06,2.374019e-06,5.803100e-06,1.039393e-05,1.071258e-05,1.612590e-05,2.095853e-05,2.136433e-05,2.620971e-05,3.020110e-05,3.062315e-05,3.461496e-05,3.779696e-05,3.820788e-05,4.142712e-05,4.391604e-05,4.429788e-05,4.684448e-05,4.875016e-05,4.909017e-05,5.105706e-05,5.247658e-05,5.276607e-05,5.423693e-05,5.525468e-05,5.548823e-05,5.653740e-05,5.722598e-05,5.740077e-05,5.809360e-05,5.851490e-05,5.863014e-05,5.902364e-05,5.923005e-05,5.928647e-05,5.943009e-05,5.946572e-05,5.946519e-05,5.940167e-05,5.930346e-05,5.924869e-05,5.901479e-05,5.881355e-05,5.870783e-05,5.833511e-05,5.805640e-05,5.790340e-05,5.741892e-05,5.708384e-05,5.688744e-05,5.631428e-05,5.594016e-05,5.570436e-05,5.506220e-05,5.466318e-05,5.439197e-05,5.369752e-05,5.328504e-05,5.298237e-05,5.224977e-05,5.183301e-05,5.150269e-05,5.074387e-05,5.033012e-05,4.997582e-05,4.920080e-05,4.879575e-05,4.842093e-05,4.763810e-05,4.724613e-05,4.685405e-05,4.607037e-05,4.569475e-05,4.528848e-05,4.450969e-05,4.415281e-05,4.373516e-05,4.296596e-05,4.262945e-05,4.220304e-05,4.144725e-05,4.113213e-05,4.069935e-05,3.996001e-05,3.966681e-05,3.922984e-05,3.850937e-05,3.823823e-05,3.779905e-05,3.709928e-05,3.685002e-05,3.641041e-05,3.573273e-05,3.550492e-05,3.506649e-05,3.441189e-05,3.420490e-05,3.376908e-05,3.313820e-05,3.295128e-05,3.251935e-05,3.191257e-05,3.174484e-05,3.131791e-05,3.073537e-05,3.058590e-05,3.016494e-05,2.960659e-05,2.947438e-05,2.906027e-05,2.852589e-05,2.840993e-05,2.800338e-05,2.749264e-05,2.739190e-05,2.699356e-05,2.650600e-05,2.641946e-05,2.602985e-05,2.556496e-05,2.549161e-05,2.511118e-05,2.466835e-05,2.460722e-05,2.423631e-05,2.381491e-05,2.376505e-05,2.340396e-05,2.300330e-05,2.296380e-05,2.261275e-05,2.223213e-05,2.220210e-05,2.186126e-05,2.149995e-05,2.147857e-05,2.114803e-05,2.080532e-05,2.079180e-05,2.047162e-05,2.014677e-05,2.014036e-05,1.983057e-05,1.952284e-05,1.893784e-05,1.838399e-05,1.785994e-05,1.736435e-05,1.689595e-05,1.645348e-05,1.603572e-05,1.564152e-05,1.526973e-05,1.491928e-05,1.458911e-05,1.427823e-05,1.398566e-05,1.371049e-05,1.345183e-05,1.320884e-05,1.298071e-05,1.276668e-05,1.256600e-05,1.237799e-05,1.220196e-05,1.203729e-05,1.188337e-05,1.173963e-05,1.160552e-05,1.148051e-05,1.136411e-05,1.125586e-05,1.115531e-05,1.106202e-05,1.097561e-05,1.089568e-05,1.082187e-05,1.075384e-05,1.069126e-05,1.063383e-05,1.058124e-05,1.053322e-05,1.048950e-05,1.044984e-05,1.041399e-05,1.038172e-05,1.035284e-05,1.032713e-05,1.030439e-05,1.028446e-05,1.026715e-05,1.025231e-05,1.023978e-05
0.000000e+00,3.648128e-08,8.003646e-07,8.410727e-07,6.237969e-06,2.162905e-05,2.251869e-05,4.867034e-05,7.525642e-05,7.692820e-05,1.039153e-04,1.271261e-04,1.290697e-04,1.523778e-04,1.718400e-04,1.739168e-04,1.937777e-04,2.099391e-04,2.120510e-04,2.288248e-04,2.421161e-04,2.441844e-04,2.582125e-04,2.690254e-04,2.709886e-04,2.825890e-04,2.912754e-04,2.930867e-04,3.025514e-04,3.094237e-04,3.110489e-04,3.186420e-04,3.239747e-04,3.253895e-04,3.313477e-04,3.353806e-04,3.365693e-04,3.411039e-04,3.440447e-04,3.449981e-04,3.482960e-04,3.503244e-04,3.510386e-04,3.532649e-04,3.545357e-04,3.550112e-04,3.563118e-04,3.569581e-04,3.571988e-04,3.577023e-04,3.578383e-04,3.578505e-04,3.576700e-04,3.573936e-04,3.571857e-04,3.564208e-04,3.558154e-04,3.553973e-04,3.541355e-04,3.532721e-04,3.526547e-04,3.509728e-04,3.499118e-04,3.491066e-04,3.470719e-04,3.458644e-04,3.448834e-04,3.425549e-04,3.412439e-04,3.400993e-04,3.375286e-04,3.361501e-04,3.348541e-04,3.320863e-04,3.306705e-04,3.292350e-04,3.263094e-04,3.248813e-04,3.233181e-04,3.202691e-04,3.188492e-04,3.171697e-04,3.140270e-04,3.126322e-04,3.108475e-04,3.076370e-04,3.062808e-04,3.044013e-04,3.011455e-04,2.998386e-04,2.978745e-04,2.945927e-04,2.933437e-04,2.913044e-04,2.880134e-04,2.868287e-04,2.847232e-04,2.814373e-04,2.803216e-04,2.781586e-04,2.748900e-04,2.738466e-04,2.716341e-04,2.683933e-04,2.674243e-04,2.651698e-04,2.619656e-04,2.610722e-04,2.587827e-04,2.556226e-04,2.548049e-04,2.524870e-04,2.493772e-04,2.486349e-04,2.462947e-04,2.432404e-04,2.425724e-04,2.402155e-04,2.372210e-04,2.366258e-04,2.342576e-04,2.313262e-04,2.308020e-04,2.284274e-04,2.255617e-04,2.251063e-04,2.227298e-04,2.199321e-04,2.195431e-04,2.171688e-04,2.144405e-04,2.141154e-04,2.117473e-04,2.090894e-04,2.088255e-04,2.064670e-04,2.038802e-04,2.036748e-04,2.013291e-04,1.988138e-04,1.986640e-04,1.963342e-04,1.938903e-04,1.937933e-04,1.914821e-04,1.891094e-04,1.890623e-04,1.867721e-04,1.844701e-04,1.800157e-04,1.756974e-04,1.715136e-04,1.674621e-04,1.635409e-04,1.597476e-04,1.560798e-04,1.525348e-04,1.491102e-04,1.458031e-04,1.426108e-04,1.395307e-04,1.365600e-04,1.336958e-04,1.309355e-04,1.282764e-04,1.257156e-04,1.232505e-04,1.208786e-04,1.185971e-04,1.164034e-04,1.142952e-04,1.122698e-04,1.103248e-04,1.084579e-04,1.066667e-04,1.049489e-04,1.033023e-04,1.017247e-04,1.002139e-04,9.876788e-05,9.738458e-05,9.606200e-05,9.479820e-05,9.359128e-05,9.243939e-05,9.134073e-05,9.029353e-05,8.929610e-05,8.834676e-05,8.744388e-05,8.658588e-05,8.577122e-05,8.499838e-05,8.426591e-05,8.357238e-05,8.291641e-05,8.229663e-05,8.171174e-05
0.000000e+00,4.237539e-08,1.208031e-06,1.274536e-06,1.067799e-05,3.547384e-05,3.675993e-05,7.067312e-05,1.025070e-04,1.044984e-04,1.368447e-04,1.651639e-04,1.675614e-04,1.966685e-04,2.215259e-04,2.242111e-04,2.502376e-04,2.719253e-04,2.747965e-04,2.979365e-04,3.167397e-04,3.197069e-04,3.401577e-04,3.563532e-04,3.593390e-04,3.773012e-04,3.911552e-04,3.940938e-04,4.097660e-04,4.215293e-04,4.243657e-04,4.379397e-04,4.478446e-04,4.505334e-04,4.621908e-04,4.704505e-04,4.729545e-04,4.828655e-04,4.896740e-04,4.919634e-04,5.002862e-04,5.058194e-04,5.078706e-04,5.147518e-04,5.191684e-04,5.209637e-04,5.265386e-04,5.299818e-04,5.315079e-04,5.359014e-04,5.384997e-04,5.397478e-04,5.430747e-04,5.449435e-04,5.459085e-04,5.482745e-04,5.495171e-04,5.501968e-04,5.516988e-04,5.524076e-04,5.528027e-04,5.535298e-04,5.537870e-04,5.539005e-04,5.539342e-04,5.538130e-04,5.536497e-04,5.530649e-04,5.526302e-04,5.521967e-04,5.510617e-04,5.503712e-04,5.496753e-04,5.480526e-04,5.471570e-04,5.462077e-04,5.441545e-04,5.430987e-04,5.419058e-04,5.394741e-04,5.382974e-04,5.368714e-04,5.341089e-04,5.328456e-04,5.311975e-04,5.281476e-04,5.268277e-04,5.249689e-04,5.216709e-04,5.203204e-04,5.182626e-04,5.147525e-04,5.133937e-04,5.111487e-04,5.074590e-04,5.061111e-04,5.036908e-04,4.998511e-04,4.985305e-04,4.959466e-04,4.919837e-04,4.907042e-04,4.879684e-04,4.839065e-04,4.826797e-04,4.798035e-04,4.756645e-04,4.744999e-04,4.714946e-04,4.672983e-04,4.662035e-04,4.630802e-04,4.588444e-04,4.578256e-04,4.545949e-04,4.503356e-04,4.493976e-04,4.460700e-04,4.418015e-04,4.409477e-04,4.375332e-04,4.332684e-04,4.325013e-04,4.290097e-04,4.247599e-04,4.240809e-04,4.205216e-04,4.162971e-04,4.157069e-04,4.120887e-04,4.078985e-04,4.073970e-04,4.037285e-04,3.995806e-04,3.991671e-04,3.954566e-04,3.913580e-04,3.910312e-04,3.872864e-04,3.832433e-04,3.830016e-04,3.792300e-04,3.752476e-04,3.750890e-04,3.712975e-04,3.673806e-04,3.673026e-04,3.634980e-04,3.596504e-04,3.521393e-04,3.447748e-04,3.375618e-04,3.305042e-04,3.236049e-04,3.168664e-04,3.102903e-04,3.038778e-04,2.976293e-04,2.915451e-04,2.856247e-04,2.798675e-04,2.742724e-04,2.688381e-04,2.635629e-04,2.584450e-04,2.534824e-04,2.486728e-04,2.440139e-04,2.395031e-04,2.351377e-04,2.309151e-04,2.268325e-04,2.228869e-04,2.190754e-04,2.153951e-04,2.118430e-04,2.084160e-04,2.051112e-04,2.019255e-04,1.988559e-04,1.958994e-04,1.930529e-04,1.903136e-04,1.876785e-04,1.851447e-04,1.827093e-04,1.803694e-04,1.781224e-04,1.759653e-04,1.738956e-04,1.719105e-04,1.700074e-04,1.681838e-04,1.664372e-04,1.647650e-04,1.631649e-04,1.616345e-04,1.601715e-04
0.000000e+00,6.409730e-07,1.165070e-05,1.219545e-05,8.539415e-05,3.516670e-04,3.701646e-04,1.120637e-03,2.432182e-03,2.536610e-03,4.600012e-03,6.930279e-03,7.147475e-03,9.997254e-03,1.269277e-02,1.299563e-02,1.602306e-02,1.863966e-02,1.899019e-02,2.183237e-02,2.414192e-02,2.450455e-02,2.697708e-02,2.888651e-02,2.923229e-02,3.126168e-02,3.275605e-02,3.306375e-02,3.464221e-02,3.574891e-02,3.600454e-02,3.716092e-02,3.792757e-02,3.812330e-02,3.890472e-02,3.938591e-02,3.951875e-02,3.997913e-02,4.022888e-02,4.029942e-02,4.049280e-02,4.056055e-02,4.057186e-02,4.054853e-02,4.047729e-02,4.043398e-02,4.023863e-02,4.006459e-02,3.997212e-02,3.964329e-02,3.939610e-02,3.926026e-02,3.883041e-02,3.853386e-02,3.836046e-02,3.785654e-02,3.752947e-02,3.732411e-02,3.676811e-02,3.642504e-02,3.619292e-02,3.560245e-02,3.525436e-02,3.500018e-02,3.438917e-02,3.404422e-02,3.377216e-02,3.315154e-02,3.281565e-02,3.252942e-02,3.190766e-02,3.158504e-02,3.128789e-02,3.067153e-02,3.036503e-02,3.005983e-02,2.945386e-02,2.916531e-02,2.885456e-02,2.826274e-02,2.799322e-02,2.767911e-02,2.710425e-02,2.685423e-02,2.653869e-02,2.598285e-02,2.575238e-02,2.543709e-02,2.490172e-02,2.469054e-02,2.437698e-02,2.386306e-02,2.367065e-02,2.336013e-02,2.286829e-02,2.269395e-02,2.238762e-02,2.191817e-02,2.176113e-02,2.145998e-02,2.101303e-02,2.087237e-02,2.057730e-02,2.015275e-02,2.002755e-02,1.973931e-02,1.933692e-02,1.922622e-02,1.894548e-02,1.856489e-02,1.846770e-02,1.819504e-02,1.783580e-02,1.775115e-02,1.748704e-02,1.714863e-02,1.707555e-02,1.682041e-02,1.650224e-02,1.643980e-02,1.619396e-02,1.589541e-02,1.584269e-02,1.560642e-02,1.532682e-02,1.528295e-02,1.505645e-02,1.479513e-02,1.475926e-02,1.454268e-02,1.429894e-02,1.427026e-02,1.406371e-02,1.383683e-02,1.381460e-02,1.361812e-02,1.340740e-02,1.339088e-02,1.320449e-02,1.300921e-02,1.299774e-02,1.282140e-02,1.264086e-02,1.263379e-02,1.246744e-02,1.230096e-02,1.229770e-02,1.214124e-02,1.198811e-02,1.170373e-02,1.144327e-02,1.120547e-02,1.098912e-02,1.079303e-02,1.061606e-02,1.045708e-02,1.031502e-02,1.018884e-02,1.007753e-02,9.980126e-03,9.895692e-03,9.823331e-03,9.762183e-03,9.711418e-03,9.670245e-03,9.637903e-03,9.613666e-03,9.596839e-03,9.586759e-03,9.582796e-03,9.584350e-03,9.590850e-03,9.601756e-03,9.616556e-03,9.634768e-03,9.655936e-03,9.679635e-03,9.705461e-03,9.733042e-03,9.762028e-03,9.792095e-03,9.822943e-03,9.854296e-03,9.885898e-03,9.917518e-03,9.948946e-03,9.979990e-03,1.001048e-02,1.004026e-02,1.006920e-02,1.009718e-02,1.012410e-02,1.014987e-02,1.017442e-02,1.019769e-02,1.021964e-02,1.024022e-02,1.025942e-02
0.000000e+00,8.636663e-08,1.495034e-06,1.563544e-06,1.028358e-05,3.840596e-05,4.023855e-05,1.077813e-04,2.084234e-04,2.158082e-04,3.478347e-04,4.722152e-04,4.827376e-04,6.070009e-04,7.048428e-04,7.148269e-04,8.049515e-04,8.703099e-04,8.782765e-04,9.365660e-04,9.761859e-04,9.818076e-04,1.015923e-03,1.037261e-03,1.040653e-03,1.057522e-03,1.066417e-03,1.067844e-03,1.072738e-03,1.073385e-03,1.073149e-03,1.069874e-03,1.065196e-03,1.063583e-03,1.054837e-03,1.046840e-03,1.044106e-03,1.031783e-03,1.021834e-03,1.018196e-03,1.003621e-03,9.926429e-04,9.882832e-04,9.723730e-04,9.609807e-04,9.560479e-04,9.394389e-04,9.280391e-04,9.226552e-04,9.057881e-04,8.946474e-04,8.889132e-04,8.720929e-04,8.613811e-04,8.553796e-04,8.388176e-04,8.286420e-04,8.224446e-04,8.062891e-04,7.967096e-04,7.903732e-04,7.747147e-04,7.657563e-04,7.593274e-04,7.442211e-04,7.358869e-04,7.294026e-04,7.148770e-04,7.071564e-04,7.006480e-04,6.867174e-04,6.795916e-04,6.730857e-04,6.597521e-04,6.531967e-04,6.467152e-04,6.339731e-04,6.279608e-04,6.215231e-04,6.093622e-04,6.038642e-04,5.974867e-04,5.858925e-04,5.808792e-04,5.745755e-04,5.635310e-04,5.589726e-04,5.527546e-04,5.422414e-04,5.381087e-04,5.319866e-04,5.219852e-04,5.182501e-04,5.122323e-04,5.027229e-04,4.993582e-04,4.934520e-04,4.844145e-04,4.813940e-04,4.756055e-04,4.670201e-04,4.643192e-04,4.586534e-04,4.505007e-04,4.480959e-04,4.425571e-04,4.348179e-04,4.326870e-04,4.272786e-04,4.199344e-04,4.180563e-04,4.127809e-04,4.058136e-04,4.041687e-04,3.990283e-04,3.924206e-04,3.909904e-04,3.859864e-04,3.797215e-04,3.784885e-04,3.736219e-04,3.676836e-04,3.666316e-04,3.619028e-04,3.562757e-04,3.553893e-04,3.507984e-04,3.454675e-04,3.447327e-04,3.402793e-04,3.352304e-04,3.346337e-04,3.303172e-04,3.255366e-04,3.250657e-04,3.208852e-04,3.163598e-04,3.160031e-04,3.119573e-04,3.076747e-04,3.074215e-04,3.035090e-04,2.994572e-04,2.992975e-04,2.955166e-04,2.916843e-04,2.916087e-04,2.879576e-04,2.843339e-04,2.774526e-04,2.709456e-04,2.647942e-04,2.589808e-04,2.534886e-04,2.483015e-04,2.434043e-04,2.387824e-04,2.344219e-04,2.303097e-04,2.264332e-04,2.227805e-04,2.193401e-04,2.161012e-04,2.130536e-04,2.101873e-04,2.074932e-04,2.049623e-04,2.025861e-04,2.003567e-04,1.982664e-04,1.963079e-04,1.944745e-04,1.927593e-04,1.911564e-04,1.896596e-04,1.882634e-04,1.869625e-04,1.857516e-04,1.846261e-04,1.835812e-04,1.826126e-04,1.817161e-04,1.808878e-04,1.801240e-04,1.794210e-04,1.787756e-04,1.781844e-04,1.776444e-04,1.771528e-04,1.767067e-04,1.763036e-04,1.759409e-04,1.756163e-04,1.753276e-04,1.750726e-04,1.748494e-04,1.746560e-04,1.744906e-04
0.000000e+00,4.485518e-08,1.092120e-06,1.149582e-06,8.832740e-06,2.796762e-05,2.894108e-05,5.429852e-05,7.773600e-05,7.919241e-05,1.026913e-04,1.230168e-04,1.247267e-04,1.453416e-04,1.627268e-04,1.645920e-04,1.825338e-04,1.972828e-04,1.992207e-04,2.147061e-04,2.271029e-04,2.290428e-04,2.422837e-04,2.525978e-04,2.544815e-04,2.656879e-04,2.741731e-04,2.759538e-04,2.853292e-04,2.922206e-04,2.938620e-04,3.015988e-04,3.071101e-04,3.085848e-04,3.148628e-04,3.191860e-04,3.204740e-04,3.254576e-04,3.287635e-04,3.298510e-04,3.336901e-04,3.361299e-04,3.370084e-04,3.398384e-04,3.415452e-04,3.422105e-04,3.441536e-04,3.452441e-04,3.456954e-04,3.468617e-04,3.474379e-04,3.476774e-04,3.481657e-04,3.483166e-04,3.483487e-04,3.482475e-04,3.480506e-04,3.478817e-04,3.472700e-04,3.467924e-04,3.464302e-04,3.453789e-04,3.446786e-04,3.441320e-04,3.427042e-04,3.418309e-04,3.411096e-04,3.393615e-04,3.383581e-04,3.374724e-04,3.354540e-04,3.343571e-04,3.333174e-04,3.310732e-04,3.299137e-04,3.287310e-04,3.263002e-04,3.251045e-04,3.237895e-04,3.212071e-04,3.199972e-04,3.185606e-04,3.158573e-04,3.146517e-04,3.131040e-04,3.103070e-04,3.091207e-04,3.074724e-04,3.046056e-04,3.034510e-04,3.017119e-04,2.987963e-04,2.976835e-04,2.958632e-04,2.929171e-04,2.918541e-04,2.899619e-04,2.870013e-04,2.859941e-04,2.840388e-04,2.810777e-04,2.801309e-04,2.781209e-04,2.751712e-04,2.742881e-04,2.722313e-04,2.693036e-04,2.684864e-04,2.663903e-04,2.634934e-04,2.627432e-04,2.606149e-04,2.577564e-04,2.570736e-04,2.549197e-04,2.521061e-04,2.514904e-04,2.493171e-04,2.465538e-04,2.460043e-04,2.438174e-04,2.411088e-04,2.406243e-04,2.384291e-04,2.357789e-04,2.353577e-04,2.331592e-04,2.305704e-04,2.302104e-04,2.280132e-04,2.254880e-04,2.251872e-04,2.229954e-04,2.205357e-04,2.202915e-04,2.181092e-04,2.157161e-04,2.155261e-04,2.133567e-04,2.110311e-04,2.108927e-04,2.087395e-04,2.064819e-04,2.063923e-04,2.042583e-04,2.020687e-04,2.020253e-04,1.999131e-04,1.977915e-04,1.936902e-04,1.897204e-04,1.858806e-04,1.821690e-04,1.785836e-04,1.751222e-04,1.717822e-04,1.685613e-04,1.654566e-04,1.624653e-04,1.595847e-04,1.568118e-04,1.541437e-04,1.515774e-04,1.491099e-04,1.467383e-04,1.444597e-04,1.422711e-04,1.401697e-04,1.381526e-04,1.362171e-04,1.343604e-04,1.325798e-04,1.308727e-04,1.292365e-04,1.276687e-04,1.261669e-04,1.247286e-04,1.233516e-04,1.220336e-04,1.207723e-04,1.195657e-04,1.184117e-04,1.173083e-04,1.162535e-04,1.152454e-04,1.142823e-04,1.133624e-04,1.124839e-04,1.116453e-04,1.108449e-04,1.100812e-04,1.093526e-04,1.086579e-04,1.079955e-04,1.073642e-04,1.067627e-04,1.061897e-04,1.056440e-04
0.000000e+00,2.464058e-09,3.361739e-08,3.510740e-08,2.175595e-07,7.484157e-07,7.810042e-07,1.878717e-06,3.279125e-06,3.374408e-06,4.969628e-06,6.368186e-06,6.484838e-06,7.870010e-06,9.001419e-06,9.120572e-06,1.024300e-05,1.113166e-05,1.124602e-05,1.213854e-05,1.282427e-05,1.292912e-05,1.362581e-05,1.414401e-05,1.423615e-05,1.476718e-05,1.514803e-05,1.522542e-05,1.561693e-05,1.588590e-05,1.594735e-05,1.622186e-05,1.640028e-05,1.644528e-05,1.662204e-05,1.672773e-05,1.675627e-05,1.685176e-05,1.689955e-05,1.691201e-05,1.694028e-05,1.694251e-05,1.693954e-05,1.691255e-05,1.687940e-05,1.686184e-05,1.678976e-05,1.672963e-05,1.669845e-05,1.658990e-05,1.650970e-05,1.646593e-05,1.632823e-05,1.623361e-05,1.617833e-05,1.601765e-05,1.591320e-05,1.584750e-05,1.566907e-05,1.555850e-05,1.548345e-05,1.529166e-05,1.517795e-05,1.509460e-05,1.489313e-05,1.477866e-05,1.468800e-05,1.447993e-05,1.436658e-05,1.426956e-05,1.405747e-05,1.394668e-05,1.384419e-05,1.363021e-05,1.352310e-05,1.341597e-05,1.320186e-05,1.309925e-05,1.298826e-05,1.277547e-05,1.267795e-05,1.256380e-05,1.235352e-05,1.226149e-05,1.214485e-05,1.193801e-05,1.185173e-05,1.173319e-05,1.153056e-05,1.145015e-05,1.133026e-05,1.113243e-05,1.105792e-05,1.093717e-05,1.074459e-05,1.067594e-05,1.055478e-05,1.036779e-05,1.030488e-05,1.018371e-05,1.000256e-05,9.945226e-06,9.824405e-06,9.649265e-06,9.597314e-06,9.477164e-06,9.308121e-06,9.261338e-06,9.142144e-06,8.979237e-06,8.937383e-06,8.819397e-06,8.662619e-06,8.625446e-06,8.508890e-06,8.358195e-06,8.325447e-06,8.210514e-06,8.065826e-06,8.037246e-06,7.924105e-06,7.785323e-06,7.760652e-06,7.649449e-06,7.516453e-06,7.495438e-06,7.386298e-06,7.258950e-06,7.241343e-06,7.134372e-06,7.012525e-06,6.998085e-06,6.893371e-06,6.776869e-06,6.765363e-06,6.662978e-06,6.551656e-06,6.542860e-06,6.442863e-06,6.336555e-06,6.330255e-06,6.232690e-06,6.131226e-06,6.127217e-06,6.032120e-06,5.935330e-06,5.933417e-06,5.840812e-06,5.748526e-06,5.572213e-06,5.404156e-06,5.244035e-06,5.091537e-06,4.946357e-06,4.808196e-06,4.676764e-06,4.551779e-06,4.432970e-06,4.320072e-06,4.212830e-06,4.110999e-06,4.014340e-06,3.922627e-06,3.835639e-06,3.753165e-06,3.675003e-06,3.600957e-06,3.530842e-06,3.464476e-06,3.401690e-06,3.342318e-06,3.286202e-06,3.233192e-06,3.183142e-06,3.135916e-06,3.091380e-06,3.049407e-06,3.009878e-06,2.972675e-06,2.937689e-06,2.904813e-06,2.873948e-06,2.844995e-06,2.817864e-06,2.792466e-06,2.768717e-06,2.746536e-06,2.725848e-06,2.706579e-06,2.688658e-06,2.672020e-06,2.656600e-06,2.642338e-06,2.629176e-06,2.617057e-06,2.605931e-06,2.595745e-06,2.586451e-06
0.000000e+00,1.071738e-07,2.155457e-06,2.262019e-06,1.746132e-05,7.338567e-05,7.720821e-05,2.252566e-04,4.582960e-04,4.757436e-04,7.955540e-04,1.114058e-03,1.141977e-03,1.486366e-03,1.781766e-03,1.813451e-03,2.116215e-03,2.360475e-03,2.392151e-03,2.641079e-03,2.834279e-03,2.863968e-03,3.062309e-03,3.211186e-03,3.237802e-03,3.392186e-03,3.504225e-03,3.527162e-03,3.644353e-03,3.726328e-03,3.745282e-03,3.831372e-03,3.889073e-03,3.903941e-03,3.964207e-03,4.002476e-03,4.013294e-03,4.052234e-03,4.075080e-03,4.081978e-03,4.103395e-03,4.114106e-03,4.117278e-03,4.124355e-03,4.125618e-03,4.125291e-03,4.120698e-03,4.114702e-03,4.111131e-03,4.097106e-03,4.085637e-03,4.079094e-03,4.057530e-03,4.042046e-03,4.032804e-03,4.005270e-03,3.986933e-03,3.975254e-03,3.943052e-03,3.922794e-03,3.908932e-03,3.873139e-03,3.851701e-03,3.835897e-03,3.797409e-03,3.775382e-03,3.757862e-03,3.717421e-03,3.695267e-03,3.676241e-03,3.634458e-03,3.612536e-03,3.592200e-03,3.549581e-03,3.528168e-03,3.506703e-03,3.463662e-03,3.442969e-03,3.420542e-03,3.377419e-03,3.357600e-03,3.334362e-03,3.291432e-03,3.272599e-03,3.248687e-03,3.206175e-03,3.188400e-03,3.163941e-03,3.122025e-03,3.105356e-03,3.080463e-03,3.039287e-03,3.023748e-03,2.998525e-03,2.958201e-03,2.943796e-03,2.918336e-03,2.878950e-03,2.865671e-03,2.840059e-03,2.801677e-03,2.789504e-03,2.763816e-03,2.726485e-03,2.715390e-03,2.689693e-03,2.653447e-03,2.643397e-03,2.617752e-03,2.582612e-03,2.573567e-03,2.548030e-03,2.514007e-03,2.505924e-03,2.480544e-03,2.447640e-03,2.440477e-03,2.415296e-03,2.383509e-03,2.377218e-03,2.352277e-03,2.321597e-03,2.316133e-03,2.291466e-03,2.261880e-03,2.257196e-03,2.232834e-03,2.204324e-03,2.200375e-03,2.176345e-03,2.148892e-03,2.145632e-03,2.121959e-03,2.095540e-03,2.092927e-03,2.069631e-03,2.044223e-03,2.042212e-03,2.019312e-03,1.994891e-03,1.993441e-03,1.970953e-03,1.947493e-03,1.946564e-03,1.924502e-03,1.901975e-03,1.901529e-03,1.879905e-03,1.858286e-03,1.816781e-03,1.776963e-03,1.738779e-03,1.702178e-03,1.667110e-03,1.633522e-03,1.601367e-03,1.570596e-03,1.541161e-03,1.513016e-03,1.486116e-03,1.460416e-03,1.435873e-03,1.412446e-03,1.390094e-03,1.368776e-03,1.348455e-03,1.329094e-03,1.310655e-03,1.293105e-03,1.276408e-03,1.260531e-03,1.245444e-03,1.231114e-03,1.217511e-03,1.204607e-03,1.192373e-03,1.180782e-03,1.169807e-03,1.159424e-03,1.149606e-03,1.140332e-03,1.131576e-03,1.123318e-03,1.115535e-03,1.108207e-03,1.101313e-03,1.094835e-03,1.088753e-03,1.083049e-03,1.077706e-03,1.072706e-03,1.068035e-03,1.063675e-03,1.059613e-03,1.055833e-03,1.052321e-03,1.049064e-03,1.046049e-03
0.000000e+00,2.224196e-07,4.247122e-06,4.448315e-06,3.066639e-05,1.170441e-04,1.227389e-04,3.384458e-04,6.831272e-04,7.096322e-04,1.215532e-03,1.756715e-03,1.805859e-03,2.433555e-03,3.002162e-03,3.064729e-03,3.677261e-03,4.189931e-03,4.257568e-03,4.797895e-03,5.227572e-03,5.294368e-03,5.745664e-03,6.090042e-03,6.152106e-03,6.515055e-03,6.781603e-03,6.836503e-03,7.118793e-03,7.318119e-03,7.364439e-03,7.576001e-03,7.718987e-03,7.756007e-03,7.906902e-03,8.003551e-03,8.031017e-03,8.130552e-03,8.189604e-03,8.207573e-03,8.264005e-03,8.292897e-03,8.301638e-03,8.322132e-03,8.327109e-03,8.327026e-03,8.317742e-03,8.304004e-03,8.295592e-03,8.261793e-03,8.233653e-03,8.217467e-03,8.163651e-03,8.124674e-03,8.101303e-03,8.031308e-03,7.984433e-03,7.954484e-03,7.871586e-03,7.819223e-03,7.783310e-03,7.690298e-03,7.634417e-03,7.593145e-03,7.492400e-03,7.434604e-03,7.388569e-03,7.282118e-03,7.223698e-03,7.173477e-03,7.063041e-03,7.005026e-03,6.951171e-03,6.838201e-03,6.781400e-03,6.724435e-03,6.610153e-03,6.555190e-03,6.495610e-03,6.381040e-03,6.328388e-03,6.266655e-03,6.152649e-03,6.102651e-03,6.039196e-03,5.926456e-03,5.879352e-03,5.814571e-03,5.703672e-03,5.659615e-03,5.593874e-03,5.485282e-03,5.444352e-03,5.377988e-03,5.272074e-03,5.234297e-03,5.167613e-03,5.064669e-03,5.030024e-03,4.963297e-03,4.863543e-03,4.831970e-03,4.765448e-03,4.669047e-03,4.640461e-03,4.574367e-03,4.481431e-03,4.455723e-03,4.390255e-03,4.300855e-03,4.277902e-03,4.213237e-03,4.127407e-03,4.107074e-03,4.043365e-03,3.961112e-03,3.943255e-03,3.880640e-03,3.801944e-03,3.786417e-03,3.725012e-03,3.649834e-03,3.636487e-03,3.576394e-03,3.504679e-03,3.493363e-03,3.434669e-03,3.366347e-03,3.356915e-03,3.299692e-03,3.234685e-03,3.226993e-03,3.171302e-03,3.109521e-03,3.103430e-03,3.049319e-03,2.990672e-03,2.986047e-03,2.933555e-03,2.877943e-03,2.874653e-03,2.823811e-03,2.771133e-03,2.769056e-03,2.719884e-03,2.670037e-03,2.669055e-03,2.621568e-03,2.574449e-03,2.485036e-03,2.400618e-03,2.320994e-03,2.245969e-03,2.175353e-03,2.108958e-03,2.046601e-03,1.988106e-03,1.933300e-03,1.882017e-03,1.834097e-03,1.789384e-03,1.747728e-03,1.708987e-03,1.673022e-03,1.639699e-03,1.608891e-03,1.580476e-03,1.554336e-03,1.530358e-03,1.508435e-03,1.488461e-03,1.470339e-03,1.453973e-03,1.439271e-03,1.426146e-03,1.414514e-03,1.404296e-03,1.395413e-03,1.387792e-03,1.381361e-03,1.376054e-03,1.371805e-03,1.368551e-03,1.366231e-03,1.364789e-03,1.364170e-03,1.364319e-03,1.365186e-03,1.366722e-03,1.368881e-03,1.371616e-03,1.374885e-03,1.378647e-03,1.382860e-03,1.387488e-03,1.392494e-03,1.397841e-03,1.403498e-03
0.000000e+00,1.371102e-07,2.863780e-06,3.009244e-06,2.427886e-05,9.921652e-05,1.040704e-04,2.694328e-04,4.723382e-04,4.857898e-04,7.063088e-04,8.926997e-04,9.079058e-04,1.083550e-03,1.219092e-03,1.232890e-03,1.357862e-03,1.449692e-03,1.461002e-03,1.544854e-03,1.603349e-03,1.611783e-03,1.663924e-03,1.697699e-03,1.703189e-03,1.731275e-03,1.747025e-03,1.749687e-03,1.759756e-03,1.762598e-03,1.762655e-03,1.759417e-03,1.753220e-03,1.750950e-03,1.738049e-03,1.725711e-03,1.721411e-03,1.701647e-03,1.685326e-03,1.679291e-03,1.654808e-03,1.636093e-03,1.628604e-03,1.601032e-03,1.581083e-03,1.572398e-03,1.542967e-03,1.522619e-03,1.512971e-03,1.482607e-03,1.462448e-03,1.452045e-03,1.421433e-03,1.401873e-03,1.390895e-03,1.360539e-03,1.341849e-03,1.330454e-03,1.300717e-03,1.283068e-03,1.271391e-03,1.242529e-03,1.226019e-03,1.214175e-03,1.186363e-03,1.171037e-03,1.159122e-03,1.132474e-03,1.118336e-03,1.106434e-03,1.081015e-03,1.068044e-03,1.056223e-03,1.032063e-03,1.020221e-03,1.008537e-03,9.856417e-04,9.748755e-04,9.633749e-04,9.417309e-04,9.319818e-04,9.207025e-04,9.002816e-04,8.914865e-04,8.804588e-04,8.612238e-04,8.533178e-04,8.425657e-04,8.244729e-04,8.173914e-04,8.069334e-04,7.899350e-04,7.836148e-04,7.734649e-04,7.575105e-04,7.518907e-04,7.420590e-04,7.270975e-04,7.221199e-04,7.126131e-04,6.985932e-04,6.942028e-04,6.850250e-04,6.718960e-04,6.680411e-04,6.591939e-04,6.469064e-04,6.435386e-04,6.350217e-04,6.235280e-04,6.206022e-04,6.124137e-04,6.016675e-04,5.991420e-04,5.912785e-04,5.812359e-04,5.790719e-04,5.715291e-04,5.621478e-04,5.603097e-04,5.530821e-04,5.443222e-04,5.427772e-04,5.358586e-04,5.276821e-04,5.263999e-04,5.197837e-04,5.121547e-04,5.111076e-04,5.047865e-04,4.976710e-04,4.968337e-04,4.908000e-04,4.841659e-04,4.835153e-04,4.777611e-04,4.715783e-04,4.710930e-04,4.656103e-04,4.598503e-04,4.595112e-04,4.542916e-04,4.489276e-04,4.487170e-04,4.437522e-04,4.387591e-04,4.386611e-04,4.339426e-04,4.292969e-04,4.205806e-04,4.124711e-04,4.049298e-04,3.979206e-04,3.914092e-04,3.853639e-04,3.797546e-04,3.745532e-04,3.697333e-04,3.652702e-04,3.611407e-04,3.573231e-04,3.537968e-04,3.505429e-04,3.475433e-04,3.447812e-04,3.422409e-04,3.399075e-04,3.377673e-04,3.358073e-04,3.340153e-04,3.323798e-04,3.308903e-04,3.295367e-04,3.283097e-04,3.272004e-04,3.262006e-04,3.253027e-04,3.244994e-04,3.237840e-04,3.231502e-04,3.225920e-04,3.221040e-04,3.216808e-04,3.213178e-04,3.210104e-04,3.207543e-04,3.205455e-04,3.203805e-04,3.202556e-04,3.201678e-04,3.201140e-04,3.200913e-04,3.200971e-04,3.201291e-04,3.201848e-04,3.202622e-04,3.203593e-04,3.204741e-04
0.000000e+00,1.707480e-07,3.794444e-06,3.986315e-06,3.073638e-05,1.214711e-04,1.274106e-04,3.455119e-04,6.697130e-04,6.936480e-04,1.130301e-03,1.564722e-03,1.602806e-03,2.071585e-03,2.469672e-03,2.511979e-03,2.910448e-03,3.221465e-03,3.260909e-03,3.562046e-03,3.782733e-03,3.815445e-03,4.024352e-03,4.168426e-03,4.192850e-03,4.325333e-03,4.410168e-03,4.426175e-03,4.499532e-03,4.541018e-03,4.549239e-03,4.578754e-03,4.589749e-03,4.591150e-03,4.589124e-03,4.579392e-03,4.575019e-03,4.550864e-03,4.527547e-03,4.518390e-03,4.479079e-03,4.447254e-03,4.434187e-03,4.384780e-03,4.347995e-03,4.331756e-03,4.275877e-03,4.236577e-03,4.217779e-03,4.157998e-03,4.117841e-03,4.096982e-03,4.035108e-03,3.995205e-03,3.972690e-03,3.909991e-03,3.871075e-03,3.847231e-03,3.784594e-03,3.747136e-03,3.722233e-03,3.660275e-03,3.624566e-03,3.598826e-03,3.537974e-03,3.504186e-03,3.477792e-03,3.418339e-03,3.386554e-03,3.359663e-03,3.301803e-03,3.272050e-03,3.244792e-03,3.188656e-03,3.160921e-03,3.133412e-03,3.079077e-03,3.053322e-03,3.025660e-03,2.973170e-03,2.949337e-03,2.921610e-03,2.870982e-03,2.849001e-03,2.821286e-03,2.772519e-03,2.752313e-03,2.724677e-03,2.677756e-03,2.659243e-03,2.631747e-03,2.586645e-03,2.569742e-03,2.542440e-03,2.499124e-03,2.483745e-03,2.456686e-03,2.415116e-03,2.401178e-03,2.374403e-03,2.334537e-03,2.321957e-03,2.295506e-03,2.257298e-03,2.245994e-03,2.219900e-03,2.183302e-03,2.173196e-03,2.147490e-03,2.112452e-03,2.103468e-03,2.078177e-03,2.044651e-03,2.036715e-03,2.011862e-03,1.979798e-03,1.972840e-03,1.948446e-03,1.917795e-03,1.911747e-03,1.887831e-03,1.858543e-03,1.853342e-03,1.829919e-03,1.801946e-03,1.797530e-03,1.774613e-03,1.747908e-03,1.744219e-03,1.721820e-03,1.696337e-03,1.693319e-03,1.671447e-03,1.647140e-03,1.644740e-03,1.623404e-03,1.600228e-03,1.598398e-03,1.577603e-03,1.555516e-03,1.554208e-03,1.533958e-03,1.512919e-03,1.512088e-03,1.492387e-03,1.472354e-03,1.471959e-03,1.452809e-03,1.433743e-03,1.397368e-03,1.362759e-03,1.329848e-03,1.298567e-03,1.268850e-03,1.240636e-03,1.213862e-03,1.188470e-03,1.164404e-03,1.141609e-03,1.120032e-03,1.099623e-03,1.080332e-03,1.062113e-03,1.044919e-03,1.028708e-03,1.013436e-03,9.990635e-04,9.855510e-04,9.728608e-04,9.609565e-04,9.498031e-04,9.393669e-04,9.296153e-04,9.205170e-04,9.120420e-04,9.041612e-04,8.968467e-04,8.900715e-04,8.838098e-04,8.780366e-04,8.727278e-04,8.678605e-04,8.634122e-04,8.593617e-04,8.556883e-04,8.523723e-04,8.493945e-04,8.467366e-04,8.443811e-04,8.423109e-04,8.405100e-04,8.389625e-04,8.376535e-04,8.365687e-04,8.356942e-04,8.350167e-04,8.345235e-04,8.342026e-04
0.000000e+00,4.384709e-08,5.954484e-07,6.206559e-07,3.662834e-06,1.298588e-05,1.357814e-05,3.423148e-05,6.091747e-05,6.269950e-05,9.131183e-05,1.140194e-04,1.158001e-04,1.355380e-04,1.496722e-04,1.510538e-04,1.630420e-04,1.711756e-04,1.721318e-04,1.788538e-04,1.830782e-04,1.836475e-04,1.868746e-04,1.885939e-04,1.888326e-04,1.897657e-04,1.899079e-04,1.898744e-04,1.893227e-04,1.884971e-04,1.882451e-04,1.867512e-04,1.853552e-04,1.849305e-04,1.828561e-04,1.811467e-04,1.805871e-04,1.781719e-04,1.763138e-04,1.756496e-04,1.730518e-04,1.711492e-04,1.704041e-04,1.677272e-04,1.658450e-04,1.650377e-04,1.623490e-04,1.605267e-04,1.596718e-04,1.570143e-04,1.552745e-04,1.543833e-04,1.517841e-04,1.501393e-04,1.492209e-04,1.466966e-04,1.451520e-04,1.442133e-04,1.417732e-04,1.403305e-04,1.393777e-04,1.370273e-04,1.356851e-04,1.347227e-04,1.324642e-04,1.312195e-04,1.302517e-04,1.280851e-04,1.269340e-04,1.259640e-04,1.238881e-04,1.228263e-04,1.218568e-04,1.198695e-04,1.188922e-04,1.179256e-04,1.160243e-04,1.151266e-04,1.141650e-04,1.123468e-04,1.115241e-04,1.105691e-04,1.088311e-04,1.080787e-04,1.071320e-04,1.054710e-04,1.047846e-04,1.038475e-04,1.022606e-04,1.016360e-04,1.007097e-04,9.919389e-05,9.862697e-05,9.771256e-05,9.626497e-05,9.575196e-05,9.485042e-05,9.346820e-05,9.300548e-05,9.211763e-05,9.079804e-05,9.038221e-05,8.950878e-05,8.824918e-05,8.787700e-05,8.701863e-05,8.581649e-05,8.548490e-05,8.464215e-05,8.349501e-05,8.320113e-05,8.237448e-05,8.127999e-05,8.102112e-05,8.021097e-05,7.916686e-05,7.894044e-05,7.814712e-05,7.715122e-05,7.695486e-05,7.617864e-05,7.522887e-05,7.506029e-05,7.430140e-05,7.339575e-05,7.325283e-05,7.251143e-05,7.164798e-05,7.152873e-05,7.080493e-05,6.998184e-05,6.988439e-05,6.917826e-05,6.839377e-05,6.831635e-05,6.762793e-05,6.688033e-05,6.682130e-05,6.615058e-05,6.543827e-05,6.539607e-05,6.474301e-05,6.406442e-05,6.403762e-05,6.340214e-05,6.275579e-05,6.274302e-05,6.212502e-05,6.150949e-05,6.033434e-05,5.921500e-05,5.814902e-05,5.713404e-05,5.616781e-05,5.524816e-05,5.437302e-05,5.354042e-05,5.274845e-05,5.199530e-05,5.127923e-05,5.059857e-05,4.995173e-05,4.933719e-05,4.875348e-05,4.819920e-05,4.767303e-05,4.717367e-05,4.669991e-05,4.625058e-05,4.582454e-05,4.542074e-05,4.503814e-05,4.467577e-05,4.433268e-05,4.400798e-05,4.370081e-05,4.341035e-05,4.313581e-05,4.287645e-05,4.263154e-05,4.240041e-05,4.218239e-05,4.197686e-05,4.178323e-05,4.160091e-05,4.142936e-05,4.126806e-05,4.111652e-05,4.097424e-05,4.084079e-05,4.071572e-05,4.059862e-05,4.048909e-05,4.038675e-05,4.029124e-05,4.020222e-05,4.011936e-05,4.004234e-05
0.000000e+00,5.569676e-08,1.364838e-06,1.437388e-06,1.189790e-05,4.514241e-05,4.715430e-05,1.093809e-04,1.765013e-04,1.807746e-04,2.497436e-04,3.084085e-04,3.132774e-04,3.710468e-04,4.183201e-04,4.233087e-04,4.704260e-04,5.079271e-04,5.127679e-04,5.506872e-04,5.800150e-04,5.845169e-04,6.145681e-04,6.371053e-04,6.411329e-04,6.644850e-04,6.814159e-04,6.848795e-04,7.025544e-04,7.148852e-04,7.177307e-04,7.306136e-04,7.391932e-04,7.413936e-04,7.502471e-04,7.557883e-04,7.573375e-04,7.628162e-04,7.659154e-04,7.668229e-04,7.694872e-04,7.706416e-04,7.709283e-04,7.712569e-04,7.708799e-04,7.705749e-04,7.689763e-04,7.674103e-04,7.665480e-04,7.633701e-04,7.608981e-04,7.595164e-04,7.550551e-04,7.519100e-04,7.500487e-04,7.445552e-04,7.409280e-04,7.386275e-04,7.323147e-04,7.283610e-04,7.256617e-04,7.187099e-04,7.145560e-04,7.114972e-04,7.040585e-04,6.998062e-04,6.964259e-04,6.886285e-04,6.843591e-04,6.806934e-04,6.726452e-04,6.684230e-04,6.645063e-04,6.562975e-04,6.521727e-04,6.480374e-04,6.397432e-04,6.357545e-04,6.314306e-04,6.231136e-04,6.192900e-04,6.148054e-04,6.065175e-04,6.028801e-04,5.982607e-04,5.900444e-04,5.866078e-04,5.818774e-04,5.737675e-04,5.705411e-04,5.657216e-04,5.577460e-04,5.547349e-04,5.498464e-04,5.420276e-04,5.392334e-04,5.342940e-04,5.266496e-04,5.240715e-04,5.190978e-04,5.116414e-04,5.092760e-04,5.042830e-04,4.970249e-04,4.948672e-04,4.898687e-04,4.828160e-04,4.808600e-04,4.758681e-04,4.690259e-04,4.672643e-04,4.622901e-04,4.556612e-04,4.540862e-04,4.491395e-04,4.427252e-04,4.413285e-04,4.364183e-04,4.302184e-04,4.289912e-04,4.241253e-04,4.181386e-04,4.170722e-04,4.122576e-04,4.064817e-04,4.055673e-04,4.008102e-04,3.952422e-04,3.944709e-04,3.897768e-04,3.844131e-04,3.837762e-04,3.791499e-04,3.739863e-04,3.734754e-04,3.689211e-04,3.639531e-04,3.635599e-04,3.590812e-04,3.543041e-04,3.540205e-04,3.496206e-04,3.450294e-04,3.448476e-04,3.405292e-04,3.361186e-04,3.360313e-04,3.317965e-04,3.275615e-04,3.194279e-04,3.116201e-04,3.041280e-04,2.969412e-04,2.900497e-04,2.834435e-04,2.771129e-04,2.710481e-04,2.652399e-04,2.596789e-04,2.543564e-04,2.492636e-04,2.443920e-04,2.397335e-04,2.352799e-04,2.310238e-04,2.269574e-04,2.230737e-04,2.193656e-04,2.158263e-04,2.124494e-04,2.092284e-04,2.061573e-04,2.032301e-04,2.004413e-04,1.977853e-04,1.952568e-04,1.928507e-04,1.905621e-04,1.883864e-04,1.863188e-04,1.843549e-04,1.824907e-04,1.807219e-04,1.790446e-04,1.774551e-04,1.759496e-04,1.745247e-04,1.731770e-04,1.719032e-04,1.707001e-04,1.695648e-04,1.684943e-04,1.674859e-04,1.665368e-04,1.656444e-04,1.648063e-04,1.640200e-04,1.632833e-04
0.000000e+00,3.167392e-09,5.585328e-08,5.855985e-08,4.098082e-07,1.418372e-06,1.477406e-06,3.243145e-06,5.052716e-06,5.165567e-06,6.958539e-06,8.447100e-06,8.569198e-06,1.000023e-05,1.114526e-05,1.126461e-05,1.237657e-05,1.323988e-05,1.334976e-05,1.419690e-05,1.483357e-05,1.492969e-05,1.555894e-05,1.601476e-05,1.609455e-05,1.654560e-05,1.685820e-05,1.692038e-05,1.722646e-05,1.742651e-05,1.747073e-05,1.765948e-05,1.777186e-05,1.779842e-05,1.789274e-05,1.793750e-05,1.794716e-05,1.796597e-05,1.795923e-05,1.795300e-05,1.791174e-05,1.786628e-05,1.784532e-05,1.775663e-05,1.768271e-05,1.764829e-05,1.752264e-05,1.742842e-05,1.738184e-05,1.722787e-05,1.711997e-05,1.706263e-05,1.688771e-05,1.677133e-05,1.670450e-05,1.651429e-05,1.639334e-05,1.631821e-05,1.611729e-05,1.599480e-05,1.591246e-05,1.570453e-05,1.558282e-05,1.549426e-05,1.528231e-05,1.516311e-05,1.506928e-05,1.485569e-05,1.474029e-05,1.464202e-05,1.442870e-05,1.431803e-05,1.421609e-05,1.400453e-05,1.389923e-05,1.379430e-05,1.358567e-05,1.348617e-05,1.337887e-05,1.317409e-05,1.308062e-05,1.297151e-05,1.277127e-05,1.268394e-05,1.257350e-05,1.237832e-05,1.229713e-05,1.218580e-05,1.199604e-05,1.192091e-05,1.180908e-05,1.162499e-05,1.155580e-05,1.144380e-05,1.126554e-05,1.120209e-05,1.109024e-05,1.091790e-05,1.085998e-05,1.074853e-05,1.058213e-05,1.052951e-05,1.041869e-05,1.025821e-05,1.021063e-05,1.010066e-05,9.946026e-06,9.903248e-06,9.794287e-06,9.645415e-06,9.607174e-06,9.499382e-06,9.356156e-06,9.322196e-06,9.215705e-06,9.077995e-06,9.048062e-06,8.942988e-06,8.810647e-06,8.784496e-06,8.680935e-06,8.553813e-06,8.531203e-06,8.429240e-06,8.307176e-06,8.287876e-06,8.187581e-06,8.070414e-06,8.054202e-06,7.955634e-06,7.843200e-06,7.829864e-06,7.733071e-06,7.625205e-06,7.614542e-06,7.519563e-06,7.416103e-06,7.407920e-06,7.314786e-06,7.215572e-06,7.209685e-06,7.118420e-06,7.023293e-06,7.019529e-06,6.930151e-06,6.838956e-06,6.837152e-06,6.749670e-06,6.662257e-06,6.494559e-06,6.333778e-06,6.179645e-06,6.031898e-06,5.890283e-06,5.754557e-06,5.624483e-06,5.499836e-06,5.380395e-06,5.265950e-06,5.156299e-06,5.051247e-06,4.950606e-06,4.854196e-06,4.761845e-06,4.673387e-06,4.588661e-06,4.507515e-06,4.429802e-06,4.355381e-06,4.284116e-06,4.215878e-06,4.150542e-06,4.087988e-06,4.028101e-06,3.970772e-06,3.915896e-06,3.863370e-06,3.813097e-06,3.764986e-06,3.718945e-06,3.674890e-06,3.632739e-06,3.592412e-06,3.553834e-06,3.516933e-06,3.481639e-06,3.447886e-06,3.415609e-06,3.384748e-06,3.355243e-06,3.327038e-06,3.300080e-06,3.274317e-06,3.249698e-06,3.226176e-06,3.203705e-06,3.182243e-06,3.161746e-06
0.000000e+00,5.796924e-09,7.207464e-08,7.506258e-08,4.036810e-07,1.245259e-06,1.294826e-06,2.927486e-06,5.048540e-06,5.197554e-06,7.797673e-06,1.020774e-05,1.041208e-05,1.285487e-05,1.485293e-05,1.506275e-05,1.702910e-05,1.856880e-05,1.876557e-05,2.028855e-05,2.144059e-05,2.161511e-05,2.276171e-05,2.359718e-05,2.374388e-05,2.457611e-05,2.515612e-05,2.527185e-05,2.584351e-05,2.621926e-05,2.630259e-05,2.665966e-05,2.687365e-05,2.692445e-05,2.710591e-05,2.719318e-05,2.721227e-05,2.725107e-05,2.724038e-05,2.722924e-05,2.715315e-05,2.706805e-05,2.702862e-05,2.686099e-05,2.672063e-05,2.665513e-05,2.641552e-05,2.623540e-05,2.614623e-05,2.585097e-05,2.564355e-05,2.553316e-05,2.519588e-05,2.497112e-05,2.484196e-05,2.447395e-05,2.423975e-05,2.409420e-05,2.370482e-05,2.346738e-05,2.330773e-05,2.290467e-05,2.266878e-05,2.249720e-05,2.208675e-05,2.185607e-05,2.167458e-05,2.126187e-05,2.103913e-05,2.084962e-05,2.043876e-05,2.022595e-05,2.003013e-05,1.962445e-05,1.942292e-05,1.922237e-05,1.882446e-05,1.863510e-05,1.843124e-05,1.804313e-05,1.786644e-05,1.766054e-05,1.728379e-05,1.711994e-05,1.691316e-05,1.654889e-05,1.639785e-05,1.619119e-05,1.584022e-05,1.570175e-05,1.549611e-05,1.515897e-05,1.503270e-05,1.482886e-05,1.450585e-05,1.439131e-05,1.418996e-05,1.388121e-05,1.377785e-05,1.357958e-05,1.328505e-05,1.319230e-05,1.299759e-05,1.271715e-05,1.263438e-05,1.244367e-05,1.217708e-05,1.210366e-05,1.191730e-05,1.166424e-05,1.159953e-05,1.141781e-05,1.117791e-05,1.112130e-05,1.094445e-05,1.071730e-05,1.066817e-05,1.049637e-05,1.028154e-05,1.023929e-05,1.007269e-05,9.869701e-06,9.833777e-06,9.672461e-06,9.480847e-06,9.450703e-06,9.294739e-06,9.114015e-06,9.089137e-06,8.938557e-06,8.768242e-06,8.748144e-06,8.602952e-06,8.442567e-06,8.426794e-06,8.286971e-06,8.136047e-06,8.124171e-06,7.989678e-06,7.847752e-06,7.839375e-06,7.710155e-06,7.576778e-06,7.571530e-06,7.447512e-06,7.322248e-06,7.319783e-06,7.200882e-06,7.083309e-06,6.861314e-06,6.653031e-06,6.457726e-06,6.274695e-06,6.103268e-06,5.942801e-06,5.792683e-06,5.652333e-06,5.521197e-06,5.398748e-06,5.284489e-06,5.177946e-06,5.078671e-06,4.986240e-06,4.900251e-06,4.820324e-06,4.746100e-06,4.677239e-06,4.613421e-06,4.554342e-06,4.499717e-06,4.449276e-06,4.402763e-06,4.359940e-06,4.320578e-06,4.284465e-06,4.251398e-06,4.221188e-06,4.193656e-06,4.168633e-06,4.145960e-06,4.125487e-06,4.107073e-06,4.090586e-06,4.075899e-06,4.062895e-06,4.051463e-06,4.041499e-06,4.032903e-06,4.025585e-06,4.019456e-06,4.014434e-06,4.010443e-06,4.007409e-06,4.005265e-06,4.003946e-06,4.003392e-06,4.003546e-06,4.004356e-06
0.000000e+00,5.281732e-07,1.130317e-05,1.187525e-05,9.671142e-05,4.275538e-04,4.507930e-04,1.392927e-03,3.021190e-03,3.150066e-03,5.686417e-03,8.549024e-03,8.816485e-03,1.234357e-02,1.571911e-02,1.610122e-02,1.995679e-02,2.334829e-02,2.380728e-02,2.757423e-02,3.070202e-02,3.119926e-02,3.464021e-02,3.736674e-02,3.786798e-02,4.086388e-02,4.313996e-02,4.361748e-02,4.612476e-02,4.795379e-02,4.838674e-02,5.040820e-02,5.182279e-02,5.219675e-02,5.376204e-02,5.480908e-02,5.511509e-02,5.626784e-02,5.699923e-02,5.723273e-02,5.802238e-02,5.848948e-02,5.864935e-02,5.912597e-02,5.937657e-02,5.946419e-02,5.967549e-02,5.975228e-02,5.977081e-02,5.976050e-02,5.970060e-02,5.965432e-02,5.946141e-02,5.929638e-02,5.919028e-02,5.884887e-02,5.860514e-02,5.844452e-02,5.798403e-02,5.768342e-02,5.747367e-02,5.691918e-02,5.657947e-02,5.632587e-02,5.569859e-02,5.533415e-02,5.504178e-02,5.435949e-02,5.398179e-02,5.365544e-02,5.293301e-02,5.255111e-02,5.219527e-02,5.144504e-02,5.106604e-02,5.068486e-02,4.991706e-02,4.954644e-02,4.914375e-02,4.836683e-02,4.800872e-02,4.758804e-02,4.680894e-02,4.646641e-02,4.603096e-02,4.525537e-02,4.493062e-02,4.448334e-02,4.371591e-02,4.341043e-02,4.295401e-02,4.219849e-02,4.191322e-02,4.145010e-02,4.070951e-02,4.044493e-02,3.997733e-02,3.925409e-02,3.901031e-02,3.854026e-02,3.783626e-02,3.761311e-02,3.714245e-02,3.645914e-02,3.625624e-02,3.578661e-02,3.512510e-02,3.494188e-02,3.447480e-02,3.383587e-02,3.367163e-02,3.320845e-02,3.259264e-02,3.244659e-02,3.198853e-02,3.139617e-02,3.126743e-02,3.081559e-02,3.024681e-02,3.013447e-02,2.968983e-02,2.914463e-02,2.904774e-02,2.861117e-02,2.808941e-02,2.800701e-02,2.757929e-02,2.708074e-02,2.701186e-02,2.659368e-02,2.611802e-02,2.606170e-02,2.565366e-02,2.520050e-02,2.515580e-02,2.475843e-02,2.432732e-02,2.429330e-02,2.390706e-02,2.349752e-02,2.347329e-02,2.309857e-02,2.271006e-02,2.269474e-02,2.233187e-02,2.196385e-02,2.195659e-02,2.160585e-02,2.125774e-02,2.059705e-02,1.997335e-02,1.938546e-02,1.883221e-02,1.831240e-02,1.782484e-02,1.736836e-02,1.694177e-02,1.654392e-02,1.617365e-02,1.582983e-02,1.551133e-02,1.521705e-02,1.494591e-02,1.469683e-02,1.446876e-02,1.426069e-02,1.407158e-02,1.390047e-02,1.374637e-02,1.360834e-02,1.348546e-02,1.337683e-02,1.328156e-02,1.319881e-02,1.312774e-02,1.306756e-02,1.301747e-02,1.297672e-02,1.294459e-02,1.292038e-02,1.290341e-02,1.289303e-02,1.288863e-02,1.288960e-02,1.289540e-02,1.290547e-02,1.291932e-02,1.293646e-02,1.295643e-02,1.297882e-02,1.300321e-02,1.302924e-02,1.305656e-02,1.308484e-02,1.311379e-02,1.314314e-02,1.317263e-02,1.320204e-02
0.000000e+00,5.216656e-08,7.914965e-07,8.268132e-07,5.237689e-06,1.881817e-05,1.967655e-05,4.948986e-05,8.857391e-05,9.124441e-05,1.359850e-04,1.751786e-04,1.784438e-04,2.171426e-04,2.486255e-04,2.519332e-04,2.830095e-04,3.074969e-04,3.106398e-04,3.350972e-04,3.537920e-04,3.566423e-04,3.755192e-04,3.894804e-04,3.919550e-04,4.061598e-04,4.162809e-04,4.183295e-04,4.286448e-04,4.356745e-04,4.372727e-04,4.443672e-04,4.489281e-04,4.500701e-04,4.545118e-04,4.571179e-04,4.578118e-04,4.600800e-04,4.611536e-04,4.614169e-04,4.619148e-04,4.618013e-04,4.616579e-04,4.607233e-04,4.597038e-04,4.591814e-04,4.570968e-04,4.553994e-04,4.545281e-04,4.515290e-04,4.493378e-04,4.481485e-04,4.444312e-04,4.418944e-04,4.404178e-04,4.361454e-04,4.333813e-04,4.316476e-04,4.269553e-04,4.240581e-04,4.220962e-04,4.170958e-04,4.141400e-04,4.119771e-04,4.067610e-04,4.038046e-04,4.014666e-04,3.961108e-04,3.931988e-04,3.907094e-04,3.852762e-04,3.824427e-04,3.798241e-04,3.743644e-04,3.716349e-04,3.689074e-04,3.634624e-04,3.608555e-04,3.580376e-04,3.526406e-04,3.501691e-04,3.472779e-04,3.419554e-04,3.396276e-04,3.366784e-04,3.314515e-04,3.292722e-04,3.262789e-04,3.211641e-04,3.191351e-04,3.161103e-04,3.111202e-04,3.092412e-04,3.061962e-04,3.013402e-04,2.996091e-04,2.965540e-04,2.918390e-04,2.902523e-04,2.871963e-04,2.826268e-04,2.811801e-04,2.781313e-04,2.737102e-04,2.723985e-04,2.693640e-04,2.650927e-04,2.639102e-04,2.608966e-04,2.567753e-04,2.557161e-04,2.527289e-04,2.487570e-04,2.478147e-04,2.448591e-04,2.410349e-04,2.402034e-04,2.372837e-04,2.336051e-04,2.328780e-04,2.299983e-04,2.264625e-04,2.258336e-04,2.229972e-04,2.196013e-04,2.190644e-04,2.162742e-04,2.130150e-04,2.125640e-04,2.098227e-04,2.066965e-04,2.063257e-04,2.036354e-04,2.006386e-04,2.003424e-04,1.977050e-04,1.948337e-04,1.946066e-04,1.920237e-04,1.892741e-04,1.891110e-04,1.865839e-04,1.839522e-04,1.838481e-04,1.813779e-04,1.788601e-04,1.788103e-04,1.763978e-04,1.739901e-04,1.693802e-04,1.649733e-04,1.607621e-04,1.567396e-04,1.528990e-04,1.492335e-04,1.457367e-04,1.424021e-04,1.392238e-04,1.361955e-04,1.333117e-04,1.305666e-04,1.279549e-04,1.254714e-04,1.231110e-04,1.208687e-04,1.187400e-04,1.167202e-04,1.148050e-04,1.129901e-04,1.112715e-04,1.096452e-04,1.081075e-04,1.066547e-04,1.052832e-04,1.039898e-04,1.027711e-04,1.016239e-04,1.005454e-04,9.953242e-05,9.858232e-05,9.769235e-05,9.685991e-05,9.608248e-05,9.535765e-05,9.468310e-05,9.405657e-05,9.347593e-05,9.293908e-05,9.244404e-05,9.198888e-05,9.157173e-05,9.119083e-05,9.084445e-05,9.053095e-05,9.024872e-05,8.999624e-05,8.977204e-05,8.957471e-05
0.000000e+00,5.714433e-08,1.068883e-06,1.120241e-06,8.135256e-06,3.235980e-05,3.396884e-05,9.401600e-05,1.837847e-04,1.903481e-04,3.072231e-04,4.175333e-04,4.269350e-04,5.397050e-04,6.321766e-04,6.418838e-04,7.327150e-04,8.035462e-04,8.125734e-04,8.822177e-04,9.345941e-04,9.425024e-04,9.942730e-04,1.031767e-03,1.038329e-03,1.075414e-03,1.101102e-03,1.106210e-03,1.131346e-03,1.147765e-03,1.151393e-03,1.166874e-03,1.176086e-03,1.178264e-03,1.185995e-03,1.189669e-03,1.190463e-03,1.192024e-03,1.191498e-03,1.191000e-03,1.187686e-03,1.184031e-03,1.182346e-03,1.175222e-03,1.169291e-03,1.166531e-03,1.156471e-03,1.148939e-03,1.145219e-03,1.132938e-03,1.124341e-03,1.119774e-03,1.105857e-03,1.096609e-03,1.091304e-03,1.076220e-03,1.066645e-03,1.060703e-03,1.044837e-03,1.035182e-03,1.028698e-03,1.012356e-03,1.002809e-03,9.958719e-04,9.793003e-04,9.700005e-04,9.626903e-04,9.460856e-04,9.371349e-04,9.295245e-04,9.130410e-04,9.045104e-04,8.966651e-04,8.804233e-04,8.723601e-04,8.643388e-04,8.484316e-04,8.408645e-04,8.327194e-04,8.172172e-04,8.101604e-04,8.019379e-04,7.868924e-04,7.803489e-04,7.720899e-04,7.575379e-04,7.515023e-04,7.432426e-04,7.292088e-04,7.236694e-04,7.154403e-04,7.019397e-04,6.968801e-04,6.887088e-04,6.757485e-04,6.711491e-04,6.630590e-04,6.506398e-04,6.464788e-04,6.384900e-04,6.266081e-04,6.228621e-04,6.149920e-04,6.036394e-04,6.002846e-04,5.925477e-04,5.817137e-04,5.787260e-04,5.711344e-04,5.608061e-04,5.581614e-04,5.507252e-04,5.408879e-04,5.385627e-04,5.312902e-04,5.219279e-04,5.198994e-04,5.127971e-04,5.038934e-04,5.021395e-04,4.952125e-04,4.867503e-04,4.852499e-04,4.785022e-04,4.704640e-04,4.691971e-04,4.626314e-04,4.550000e-04,4.539474e-04,4.475655e-04,4.403237e-04,4.394674e-04,4.332702e-04,4.264009e-04,4.257239e-04,4.197116e-04,4.131983e-04,4.126847e-04,4.068568e-04,4.006831e-04,4.003180e-04,3.946734e-04,3.888237e-04,3.885930e-04,3.831303e-04,3.775893e-04,3.774801e-04,3.721972e-04,3.669502e-04,3.569758e-04,3.475300e-04,3.385873e-04,3.301229e-04,3.221134e-04,3.145362e-04,3.073697e-04,3.005935e-04,2.941879e-04,2.881342e-04,2.824146e-04,2.770120e-04,2.719104e-04,2.670944e-04,2.625493e-04,2.582611e-04,2.542168e-04,2.504036e-04,2.468096e-04,2.434235e-04,2.402344e-04,2.372320e-04,2.344068e-04,2.317492e-04,2.292507e-04,2.269028e-04,2.246976e-04,2.226276e-04,2.206855e-04,2.188647e-04,2.171587e-04,2.155614e-04,2.140670e-04,2.126699e-04,2.113649e-04,2.101471e-04,2.090117e-04,2.079544e-04,2.069707e-04,2.060568e-04,2.052088e-04,2.044231e-04,2.036962e-04,2.030248e-04,2.024060e-04,2.018367e-04,2.013142e-04,2.008357e-04,2.003989e-04
0.000000e+00,2.722212e-07,6.427533e-06,6.764060e-06,5.629912e-05,2.300562e-04,2.413447e-04,6.351364e-04,1.153664e-03,1.189649e-03,1.811307e-03,2.388848e-03,2.438354e-03,3.040547e-03,3.550526e-03,3.605128e-03,4.127769e-03,4.552550e-03,4.607961e-03,5.046845e-03,5.392644e-03,5.446264e-03,5.808322e-03,6.085168e-03,6.135193e-03,6.429039e-03,6.646829e-03,6.691966e-03,6.926001e-03,7.093733e-03,7.133083e-03,7.315058e-03,7.440698e-03,7.473675e-03,7.610586e-03,7.701082e-03,7.727347e-03,7.825424e-03,7.886782e-03,7.906189e-03,7.970934e-03,8.008311e-03,8.020865e-03,8.057113e-03,8.074916e-03,8.080737e-03,8.092727e-03,8.094708e-03,8.094006e-03,8.085441e-03,8.074790e-03,8.067839e-03,8.041955e-03,8.021371e-03,8.008495e-03,7.968117e-03,7.939880e-03,7.921436e-03,7.869026e-03,7.835054e-03,7.811422e-03,7.749123e-03,7.711023e-03,7.682595e-03,7.612274e-03,7.571388e-03,7.538563e-03,7.461839e-03,7.419280e-03,7.382453e-03,7.300734e-03,7.257418e-03,7.216983e-03,7.131484e-03,7.088162e-03,7.044499e-03,6.956273e-03,6.913550e-03,6.867030e-03,6.776981e-03,6.735342e-03,6.686321e-03,6.595228e-03,6.555053e-03,6.503868e-03,6.412396e-03,6.373979e-03,6.320953e-03,6.229669e-03,6.193227e-03,6.138664e-03,6.048049e-03,6.013739e-03,5.957924e-03,5.868383e-03,5.836307e-03,5.779509e-03,5.691379e-03,5.661597e-03,5.604064e-03,5.517627e-03,5.490162e-03,5.432126e-03,5.347612e-03,5.322457e-03,5.264131e-03,5.181726e-03,5.158850e-03,5.100432e-03,5.020283e-03,4.999635e-03,4.941307e-03,4.863528e-03,4.845041e-03,4.786967e-03,4.711644e-03,4.695240e-03,4.637572e-03,4.564764e-03,4.550355e-03,4.493230e-03,4.422977e-03,4.410468e-03,4.354009e-03,4.286331e-03,4.275622e-03,4.219942e-03,4.154842e-03,4.145831e-03,4.091029e-03,4.028499e-03,4.021081e-03,3.967246e-03,3.907265e-03,3.901336e-03,3.848546e-03,3.791083e-03,3.786540e-03,3.734865e-03,3.679881e-03,3.676621e-03,3.626120e-03,3.573571e-03,3.571494e-03,3.522220e-03,3.472054e-03,3.471063e-03,3.423059e-03,3.375221e-03,3.283858e-03,3.196853e-03,3.114084e-03,3.035425e-03,2.960747e-03,2.889922e-03,2.822819e-03,2.759307e-03,2.699257e-03,2.642541e-03,2.589031e-03,2.538601e-03,2.491130e-03,2.446494e-03,2.404576e-03,2.365259e-03,2.328430e-03,2.293978e-03,2.261795e-03,2.231776e-03,2.203818e-03,2.177823e-03,2.153694e-03,2.131338e-03,2.110663e-03,2.091583e-03,2.074013e-03,2.057870e-03,2.043076e-03,2.029554e-03,2.017231e-03,2.006035e-03,1.995898e-03,1.986754e-03,1.978541e-03,1.971197e-03,1.964665e-03,1.958888e-03,1.953813e-03,1.949389e-03,1.945568e-03,1.942302e-03,1.939547e-03,1.937260e-03,1.935403e-03,1.933935e-03,1.932821e-03,1.932027e-03,1.931520e-03
0.000000e+00,1.055753e-08,1.228490e-07,1.278212e-07,6.743009e-07,2.097570e-06,2.182192e-06,4.998480e-06,8.714817e-06,8.978048e-06,1.362195e-05,1.802531e-05,1.840345e-05,2.298531e-05,2.682359e-05,2.723186e-05,3.111307e-05,3.423177e-05,3.463620e-05,3.781954e-05,4.030144e-05,4.068408e-05,4.325097e-05,4.519214e-05,4.554068e-05,4.757276e-05,4.905981e-05,4.936567e-05,5.093684e-05,5.204516e-05,5.230265e-05,5.347845e-05,5.427297e-05,5.447864e-05,5.531670e-05,5.585298e-05,5.600524e-05,5.655604e-05,5.688147e-05,5.698013e-05,5.728779e-05,5.744262e-05,5.748862e-05,5.759158e-05,5.760992e-05,5.760504e-05,5.753676e-05,5.744738e-05,5.739401e-05,5.718351e-05,5.701054e-05,5.691155e-05,5.658396e-05,5.634763e-05,5.620616e-05,5.578316e-05,5.550025e-05,5.531961e-05,5.481989e-05,5.450441e-05,5.428807e-05,5.372785e-05,5.339127e-05,5.314267e-05,5.253574e-05,5.218746e-05,5.191000e-05,5.126818e-05,5.091581e-05,5.061279e-05,4.994614e-05,4.959575e-05,4.927038e-05,4.858747e-05,4.824391e-05,4.789923e-05,4.720732e-05,4.687435e-05,4.651326e-05,4.581844e-05,4.549891e-05,4.512412e-05,4.443146e-05,4.412749e-05,4.374152e-05,4.305526e-05,4.276834e-05,4.237355e-05,4.169718e-05,4.142829e-05,4.102686e-05,4.036322e-05,4.011292e-05,3.970685e-05,3.905824e-05,3.882673e-05,3.841784e-05,3.778606e-05,3.757328e-05,3.716323e-05,3.654967e-05,3.635533e-05,3.594563e-05,3.535133e-05,3.517497e-05,3.476697e-05,3.419269e-05,3.403372e-05,3.362862e-05,3.307486e-05,3.293257e-05,3.253146e-05,3.199848e-05,3.187212e-05,3.147595e-05,3.096386e-05,3.085260e-05,3.046220e-05,2.997094e-05,2.987393e-05,2.949004e-05,2.901944e-05,2.893582e-05,2.855907e-05,2.810884e-05,2.803774e-05,2.766867e-05,2.723845e-05,2.717900e-05,2.681807e-05,2.640742e-05,2.635879e-05,2.600637e-05,2.561481e-05,2.557617e-05,2.523258e-05,2.485956e-05,2.483012e-05,2.449561e-05,2.414058e-05,2.411956e-05,2.379433e-05,2.345670e-05,2.344338e-05,2.312755e-05,2.280673e-05,2.280040e-05,2.249408e-05,2.218944e-05,2.160933e-05,2.105887e-05,2.053687e-05,2.004217e-05,1.957363e-05,1.913011e-05,1.871051e-05,1.831377e-05,1.793883e-05,1.758469e-05,1.725038e-05,1.693494e-05,1.663748e-05,1.635711e-05,1.609300e-05,1.584433e-05,1.561035e-05,1.539029e-05,1.518346e-05,1.498917e-05,1.480678e-05,1.463567e-05,1.447524e-05,1.432494e-05,1.418422e-05,1.405257e-05,1.392951e-05,1.381458e-05,1.370732e-05,1.360732e-05,1.351419e-05,1.342754e-05,1.334701e-05,1.327226e-05,1.320296e-05,1.313881e-05,1.307952e-05,1.302480e-05,1.297439e-05,1.292804e-05,1.288552e-05,1.284660e-05,1.281106e-05,1.277871e-05,1.274936e-05,1.272282e-05,1.269892e-05,1.267750e-05,1.265841e-05
0.000000e+00,2.151133e-07,3.778355e-06,3.952286e-06,2.661474e-05,1.048070e-04,1.101114e-04,3.193987e-04,6.750377e-04,7.031286e-04,1.252346e-03,1.855947e-03,1.911191e-03,2.619944e-03,3.264545e-03,3.335546e-03,4.031280e-03,4.614753e-03,4.691849e-03,5.309217e-03,5.802794e-03,5.879806e-03,6.402723e-03,6.805618e-03,6.878672e-03,7.309272e-03,7.630003e-03,7.696644e-03,8.043153e-03,8.292592e-03,8.351260e-03,8.623417e-03,8.812289e-03,8.862022e-03,9.069381e-03,9.207432e-03,9.247691e-03,9.399035e-03,9.494828e-03,9.525377e-03,9.628568e-03,9.689508e-03,9.710343e-03,9.772331e-03,9.804771e-03,9.816059e-03,9.842955e-03,9.852317e-03,9.854358e-03,9.851519e-03,9.842415e-03,9.835609e-03,9.807723e-03,9.784066e-03,9.768884e-03,9.720050e-03,9.685149e-03,9.662116e-03,9.595916e-03,9.552555e-03,9.522231e-03,9.441789e-03,9.392306e-03,9.355269e-03,9.263307e-03,9.209653e-03,9.166493e-03,9.065378e-03,9.009170e-03,8.960476e-03,8.852264e-03,8.794834e-03,8.741185e-03,8.627652e-03,8.570087e-03,8.512049e-03,8.394730e-03,8.337906e-03,8.276026e-03,8.156240e-03,8.100854e-03,8.035656e-03,7.914534e-03,7.861132e-03,7.793115e-03,7.671621e-03,7.620621e-03,7.550257e-03,7.429211e-03,7.380921e-03,7.308657e-03,7.188751e-03,7.143388e-03,7.069640e-03,6.951452e-03,6.909155e-03,6.834311e-03,6.718322e-03,6.679166e-03,6.603585e-03,6.490190e-03,6.454200e-03,6.378217e-03,6.267736e-03,6.234893e-03,6.158813e-03,6.051502e-03,6.021751e-03,5.945854e-03,5.841911e-03,5.815170e-03,5.739711e-03,5.639285e-03,5.615450e-03,5.540659e-03,5.443856e-03,5.422806e-03,5.348893e-03,5.255783e-03,5.237384e-03,5.164536e-03,5.075157e-03,5.059268e-03,4.987651e-03,4.902017e-03,4.888489e-03,4.818251e-03,4.736349e-03,4.725031e-03,4.656304e-03,4.578105e-03,4.568844e-03,4.501740e-03,4.427197e-03,4.419843e-03,4.354461e-03,4.283514e-03,4.277915e-03,4.214340e-03,4.146920e-03,4.142930e-03,4.081232e-03,4.017257e-03,4.014734e-03,3.954973e-03,3.894357e-03,3.893162e-03,3.835386e-03,3.778036e-03,3.669170e-03,3.566370e-03,3.469439e-03,3.378175e-03,3.292377e-03,3.211842e-03,3.136368e-03,3.065754e-03,2.999802e-03,2.938318e-03,2.881110e-03,2.827990e-03,2.778775e-03,2.733286e-03,2.691348e-03,2.652792e-03,2.617454e-03,2.585172e-03,2.555793e-03,2.529165e-03,2.505146e-03,2.483593e-03,2.464372e-03,2.447353e-03,2.432409e-03,2.419419e-03,2.408267e-03,2.398841e-03,2.391031e-03,2.384736e-03,2.379854e-03,2.376291e-03,2.373955e-03,2.372759e-03,2.372617e-03,2.373450e-03,2.375181e-03,2.377737e-03,2.381048e-03,2.385046e-03,2.389669e-03,2.394856e-03,2.400550e-03,2.406696e-03,2.413243e-03,2.420141e-03,2.427345e-03,2.434812e-03,2.442499e-03
0.000000e+00,1.445674e-08,2.468973e-07,2.583235e-07,1.604288e-06,5.081324e-06,5.280854e-06,1.143049e-05,1.825303e-05,1.869068e-05,2.571236e-05,3.154863e-05,3.202546e-05,3.758244e-05,4.197826e-05,4.243345e-05,4.664401e-05,4.987054e-05,5.027823e-05,5.339557e-05,5.570459e-05,5.605029e-05,5.829162e-05,5.988755e-05,6.016405e-05,6.170772e-05,6.275361e-05,6.295868e-05,6.394938e-05,6.457421e-05,6.470891e-05,6.526333e-05,6.556852e-05,6.563602e-05,6.584792e-05,6.591303e-05,6.591777e-05,6.586237e-05,6.574963e-05,6.569672e-05,6.543420e-05,6.519193e-05,6.508671e-05,6.466498e-05,6.433083e-05,6.417871e-05,6.363674e-05,6.324037e-05,6.304680e-05,6.241569e-05,6.197961e-05,6.174954e-05,6.105384e-05,6.059534e-05,6.033342e-05,5.959258e-05,5.912469e-05,5.883514e-05,5.806453e-05,5.759713e-05,5.728381e-05,5.649567e-05,5.603609e-05,5.570249e-05,5.490638e-05,5.446000e-05,5.410924e-05,5.331271e-05,5.288336e-05,5.251825e-05,5.172716e-05,5.131751e-05,5.094057e-05,5.015944e-05,4.977120e-05,4.938464e-05,4.861692e-05,4.825112e-05,4.785691e-05,4.710519e-05,4.676231e-05,4.636222e-05,4.562840e-05,4.530851e-05,4.490408e-05,4.418954e-05,4.389240e-05,4.348500e-05,4.279066e-05,4.251581e-05,4.210666e-05,4.143312e-05,4.117993e-05,4.077011e-05,4.011769e-05,3.988541e-05,3.947588e-05,3.884468e-05,3.863248e-05,3.822407e-05,3.761404e-05,3.742105e-05,3.701452e-05,3.642545e-05,3.625076e-05,3.584676e-05,3.527838e-05,3.512106e-05,3.472020e-05,3.417212e-05,3.403126e-05,3.363405e-05,3.310586e-05,3.298056e-05,3.258745e-05,3.207869e-05,3.196804e-05,3.157945e-05,3.108962e-05,3.099277e-05,3.060905e-05,3.013763e-05,3.005373e-05,2.967522e-05,2.922168e-05,2.914993e-05,2.877688e-05,2.834069e-05,2.828031e-05,2.791298e-05,2.749361e-05,2.744384e-05,2.708245e-05,2.667936e-05,2.663949e-05,2.628422e-05,2.589689e-05,2.586624e-05,2.551725e-05,2.514516e-05,2.512307e-05,2.478049e-05,2.442313e-05,2.440899e-05,2.407295e-05,2.372981e-05,2.372302e-05,2.339361e-05,2.306422e-05,2.243166e-05,2.182444e-05,2.124167e-05,2.068250e-05,2.014611e-05,1.963170e-05,1.913848e-05,1.866570e-05,1.821263e-05,1.777857e-05,1.736283e-05,1.696477e-05,1.658373e-05,1.621910e-05,1.587028e-05,1.553671e-05,1.521783e-05,1.491309e-05,1.462198e-05,1.434400e-05,1.407867e-05,1.382551e-05,1.358408e-05,1.335395e-05,1.313468e-05,1.292587e-05,1.272714e-05,1.253810e-05,1.235839e-05,1.218765e-05,1.202555e-05,1.187175e-05,1.172593e-05,1.158779e-05,1.145704e-05,1.133337e-05,1.121653e-05,1.110624e-05,1.100223e-05,1.090428e-05,1.081212e-05,1.072553e-05,1.064429e-05,1.056818e-05,1.049698e-05,1.043050e-05,1.036855e-05,1.031093e-05,1.025746e-05
0.000000e+00,5.624150e-09,6.560765e-08,6.834291e-08,3.972262e-07,1.383075e-06,1.444825e-06,3.547175e-06,6.188628e-06,6.366291e-06,9.342874e-06,1.200796e-05,1.223416e-05,1.497734e-05,1.730899e-05,1.756001e-05,1.998282e-05,2.198589e-05,2.224988e-05,2.436647e-05,2.607074e-05,2.633830e-05,2.817129e-05,2.960810e-05,2.987144e-05,3.144476e-05,3.264441e-05,3.289719e-05,3.423458e-05,3.522548e-05,3.546261e-05,3.658682e-05,3.739508e-05,3.761256e-05,3.854498e-05,3.919427e-05,3.938904e-05,4.014948e-05,4.066106e-05,4.083086e-05,4.143752e-05,4.183041e-05,4.197365e-05,4.244321e-05,4.273434e-05,4.285001e-05,4.319766e-05,4.340204e-05,4.348961e-05,4.372917e-05,4.386010e-05,4.391947e-05,4.406348e-05,4.413269e-05,4.416407e-05,4.422392e-05,4.424171e-05,4.424562e-05,4.423161e-05,4.420703e-05,4.418421e-05,4.410564e-05,4.404662e-05,4.399800e-05,4.386328e-05,4.377672e-05,4.370337e-05,4.352008e-05,4.341198e-05,4.331511e-05,4.309007e-05,4.296563e-05,4.284650e-05,4.258585e-05,4.244955e-05,4.230949e-05,4.201873e-05,4.187442e-05,4.171481e-05,4.139888e-05,4.124983e-05,4.107206e-05,4.073538e-05,4.058438e-05,4.038984e-05,4.003637e-05,3.988576e-05,3.967584e-05,3.930909e-05,3.916082e-05,3.893689e-05,3.856000e-05,3.841569e-05,3.817909e-05,3.779484e-05,3.765580e-05,3.740785e-05,3.701870e-05,3.688599e-05,3.662794e-05,3.623608e-05,3.611053e-05,3.584360e-05,3.545094e-05,3.533318e-05,3.505854e-05,3.466678e-05,3.455725e-05,3.427602e-05,3.388663e-05,3.378565e-05,3.349890e-05,3.311315e-05,3.302090e-05,3.272965e-05,3.234866e-05,3.226520e-05,3.197041e-05,3.159513e-05,3.152044e-05,3.122301e-05,3.085426e-05,3.078825e-05,3.048903e-05,3.012750e-05,3.007000e-05,2.976979e-05,2.941605e-05,2.936685e-05,2.906640e-05,2.872094e-05,2.867977e-05,2.837976e-05,2.804296e-05,2.800953e-05,2.771062e-05,2.738280e-05,2.735677e-05,2.705955e-05,2.674094e-05,2.672197e-05,2.642700e-05,2.611778e-05,2.610551e-05,2.581329e-05,2.551357e-05,2.550762e-05,2.521862e-05,2.492847e-05,2.436813e-05,2.382658e-05,2.330374e-05,2.279949e-05,2.231364e-05,2.184594e-05,2.139614e-05,2.096393e-05,2.054898e-05,2.015093e-05,1.976942e-05,1.940405e-05,1.905441e-05,1.872011e-05,1.840071e-05,1.809580e-05,1.780495e-05,1.752773e-05,1.726371e-05,1.701246e-05,1.677357e-05,1.654661e-05,1.633117e-05,1.612683e-05,1.593321e-05,1.574990e-05,1.557651e-05,1.541266e-05,1.525799e-05,1.511212e-05,1.497471e-05,1.484540e-05,1.472386e-05,1.460977e-05,1.450280e-05,1.440264e-05,1.430899e-05,1.422156e-05,1.414007e-05,1.406424e-05,1.399381e-05,1.392852e-05,1.386812e-05,1.381237e-05,1.376105e-05,1.371393e-05,1.367079e-05,1.363142e-05,1.359563e-05
0.000000e+00,4.894695e-08,9.808093e-07,1.029705e-06,7.929944e-06,3.116092e-05,3.264002e-05,8.224911e-05,1.423475e-04,1.463330e-04,2.122353e-04,2.696285e-04,2.744180e-04,3.313805e-04,3.780686e-04,3.829957e-04,4.295212e-04,4.665287e-04,4.713041e-04,5.086993e-04,5.376109e-04,5.420485e-04,5.716751e-04,5.939074e-04,5.978828e-04,6.209554e-04,6.377217e-04,6.411574e-04,6.587327e-04,6.710545e-04,6.739077e-04,6.868911e-04,6.956211e-04,6.978754e-04,7.070379e-04,7.128835e-04,7.145412e-04,7.205348e-04,7.240791e-04,7.251557e-04,7.285295e-04,7.302516e-04,7.307716e-04,7.319876e-04,7.322805e-04,7.322743e-04,7.317204e-04,7.309053e-04,7.304070e-04,7.284086e-04,7.267477e-04,7.257932e-04,7.226232e-04,7.203298e-04,7.189556e-04,7.148426e-04,7.120899e-04,7.103319e-04,7.054673e-04,7.023953e-04,7.002886e-04,6.948323e-04,6.915538e-04,6.891318e-04,6.832176e-04,6.798227e-04,6.771174e-04,6.708566e-04,6.674172e-04,6.644584e-04,6.579440e-04,6.545170e-04,6.513325e-04,6.446416e-04,6.412714e-04,6.378872e-04,6.310839e-04,6.278049e-04,6.242449e-04,6.173822e-04,6.142205e-04,6.105068e-04,6.036285e-04,6.006034e-04,5.967562e-04,5.898982e-04,5.870238e-04,5.830617e-04,5.762533e-04,5.735393e-04,5.694792e-04,5.627445e-04,5.601967e-04,5.560541e-04,5.494124e-04,5.470340e-04,5.428231e-04,5.362898e-04,5.340818e-04,5.298155e-04,5.234029e-04,5.213642e-04,5.170543e-04,5.107718e-04,5.089003e-04,5.045573e-04,4.984123e-04,4.967044e-04,4.923382e-04,4.863361e-04,4.847874e-04,4.804069e-04,4.745514e-04,4.731572e-04,4.687703e-04,4.630640e-04,4.618187e-04,4.574329e-04,4.518772e-04,4.507751e-04,4.463969e-04,4.409923e-04,4.400275e-04,4.356631e-04,4.304093e-04,4.295756e-04,4.252306e-04,4.201267e-04,4.194181e-04,4.150974e-04,4.101422e-04,4.095525e-04,4.052606e-04,4.004522e-04,3.999754e-04,3.957165e-04,3.910529e-04,3.906829e-04,3.864608e-04,3.819396e-04,3.816706e-04,3.774887e-04,3.731074e-04,3.729335e-04,3.687949e-04,3.645507e-04,3.644665e-04,3.603740e-04,3.562641e-04,3.483206e-04,3.406302e-04,3.331871e-04,3.259854e-04,3.190190e-04,3.122821e-04,3.057687e-04,2.994730e-04,2.933893e-04,2.875118e-04,2.818348e-04,2.763530e-04,2.710607e-04,2.659528e-04,2.610240e-04,2.562691e-04,2.516833e-04,2.472616e-04,2.429992e-04,2.388914e-04,2.349339e-04,2.311220e-04,2.274516e-04,2.239183e-04,2.205181e-04,2.172470e-04,2.141010e-04,2.110765e-04,2.081696e-04,2.053769e-04,2.026947e-04,2.001198e-04,1.976487e-04,1.952783e-04,1.930054e-04,1.908270e-04,1.887400e-04,1.867417e-04,1.848292e-04,1.829997e-04,1.812506e-04,1.795793e-04,1.779834e-04,1.764602e-04,1.750076e-04,1.736231e-04,1.723045e-04,1.710496e-04,1.698563e-04
0.000000e+00,4.103801e-08,6.970988e-07,7.294106e-07,4.940245e-06,1.856899e-05,1.944624e-05,5.037043e-05,9.069605e-05,9.338559e-05,1.359415e-04,1.677330e-04,1.701000e-04,1.946065e-04,2.096799e-04,2.110151e-04,2.213388e-04,2.267603e-04,2.272899e-04,2.301581e-04,2.308742e-04,2.308712e-04,2.300851e-04,2.286083e-04,2.282615e-04,2.257243e-04,2.232740e-04,2.227022e-04,2.193560e-04,2.165247e-04,2.158015e-04,2.121214e-04,2.092024e-04,2.083749e-04,2.046043e-04,2.017418e-04,2.008404e-04,1.971046e-04,1.943668e-04,1.934114e-04,1.897715e-04,1.871879e-04,1.861921e-04,1.826783e-04,1.802594e-04,1.792331e-04,1.758584e-04,1.736042e-04,1.725549e-04,1.693231e-04,1.672292e-04,1.661626e-04,1.630728e-04,1.611321e-04,1.600529e-04,1.571019e-04,1.553064e-04,1.542187e-04,1.514020e-04,1.497434e-04,1.486505e-04,1.459631e-04,1.444331e-04,1.433383e-04,1.407748e-04,1.393655e-04,1.382713e-04,1.358265e-04,1.345303e-04,1.334391e-04,1.311078e-04,1.299173e-04,1.288314e-04,1.266085e-04,1.255168e-04,1.244380e-04,1.223187e-04,1.213192e-04,1.202493e-04,1.182288e-04,1.173154e-04,1.162559e-04,1.143296e-04,1.134965e-04,1.124487e-04,1.106123e-04,1.098540e-04,1.088193e-04,1.070686e-04,1.063799e-04,1.053592e-04,1.036902e-04,1.030664e-04,1.020606e-04,1.004695e-04,9.990599e-05,9.891601e-05,9.739917e-05,9.689164e-05,9.591813e-05,9.447205e-05,9.401655e-05,9.306010e-05,9.168145e-05,9.127424e-05,9.033533e-05,8.902095e-05,8.865850e-05,8.773755e-05,8.648440e-05,8.616344e-05,8.526077e-05,8.406596e-05,8.378342e-05,8.289928e-05,8.176005e-05,8.151304e-05,8.064763e-05,7.956136e-05,7.934719e-05,7.850063e-05,7.746482e-05,7.728097e-05,7.645333e-05,7.546559e-05,7.530971e-05,7.450101e-05,7.355906e-05,7.342896e-05,7.263918e-05,7.174085e-05,7.163447e-05,7.086355e-05,7.000678e-05,6.992221e-05,6.917004e-05,6.835285e-05,6.828831e-05,6.755475e-05,6.677528e-05,6.672910e-05,6.601399e-05,6.527045e-05,6.524107e-05,6.454423e-05,6.383492e-05,6.382090e-05,6.314210e-05,6.246540e-05,6.117153e-05,5.993641e-05,5.875729e-05,5.763154e-05,5.655668e-05,5.553030e-05,5.455016e-05,5.361409e-05,5.272002e-05,5.186601e-05,5.105018e-05,5.027076e-05,4.952605e-05,4.881444e-05,4.813439e-05,4.748443e-05,4.686316e-05,4.626926e-05,4.570146e-05,4.515856e-05,4.463940e-05,4.414290e-05,4.366800e-05,4.321371e-05,4.277909e-05,4.236323e-05,4.196528e-05,4.158442e-05,4.121986e-05,4.087086e-05,4.053672e-05,4.021676e-05,3.991033e-05,3.961682e-05,3.933566e-05,3.906628e-05,3.880814e-05,3.856076e-05,3.832364e-05,3.809632e-05,3.787837e-05,3.766936e-05,3.746891e-05,3.727662e-05,3.709215e-05,3.691514e-05,3.674526e-05,3.658221e-05,3.642567e-05
0.000000e+00,5.232485e-08,8.668792e-07,9.064136e-07,5.808892e-06,2.036251e-05,2.126533e-05,5.218655e-05,9.298369e-05,9.581126e-05,1.439150e-04,1.868141e-04,1.904054e-04,2.330782e-04,2.678800e-04,2.715388e-04,3.059213e-04,3.330124e-04,3.364884e-04,3.635238e-04,3.841616e-04,3.873051e-04,4.080950e-04,4.234244e-04,4.261356e-04,4.416556e-04,4.526531e-04,4.548710e-04,4.659834e-04,4.734851e-04,4.751794e-04,4.826314e-04,4.873363e-04,4.884989e-04,4.929291e-04,4.954184e-04,4.960572e-04,4.980080e-04,4.987614e-04,4.988962e-04,4.988269e-04,4.982390e-04,4.978972e-04,4.961958e-04,4.945896e-04,4.938043e-04,4.907973e-04,4.884363e-04,4.872435e-04,4.832054e-04,4.803031e-04,4.787405e-04,4.739011e-04,4.706298e-04,4.687353e-04,4.632868e-04,4.597843e-04,4.575954e-04,4.516976e-04,4.480737e-04,4.456265e-04,4.394122e-04,4.357531e-04,4.330820e-04,4.266608e-04,4.230337e-04,4.201712e-04,4.136334e-04,4.100895e-04,4.070658e-04,4.004852e-04,3.970631e-04,3.939064e-04,3.873428e-04,3.840706e-04,3.808066e-04,3.743084e-04,3.712056e-04,3.678578e-04,3.614634e-04,3.585429e-04,3.551327e-04,3.488724e-04,3.461416e-04,3.426882e-04,3.365854e-04,3.340475e-04,3.305682e-04,3.246404e-04,3.222951e-04,3.188053e-04,3.130656e-04,3.109100e-04,3.074235e-04,3.018808e-04,2.999100e-04,2.964389e-04,2.910988e-04,2.893065e-04,2.858614e-04,2.807270e-04,2.791058e-04,2.756959e-04,2.707681e-04,2.693099e-04,2.659433e-04,2.612211e-04,2.599172e-04,2.566009e-04,2.520820e-04,2.509235e-04,2.476634e-04,2.433442e-04,2.423223e-04,2.391233e-04,2.349995e-04,2.341051e-04,2.309715e-04,2.270380e-04,2.262625e-04,2.231977e-04,2.194489e-04,2.187838e-04,2.157904e-04,2.122205e-04,2.116575e-04,2.087377e-04,2.053405e-04,2.048716e-04,2.020272e-04,1.987962e-04,1.984140e-04,1.956460e-04,1.925749e-04,1.922721e-04,1.895814e-04,1.866637e-04,1.864336e-04,1.838204e-04,1.810498e-04,1.808858e-04,1.783503e-04,1.757205e-04,1.756167e-04,1.731586e-04,1.706633e-04,1.706141e-04,1.682330e-04,1.658661e-04,1.613614e-04,1.570886e-04,1.530371e-04,1.491962e-04,1.455560e-04,1.421068e-04,1.388392e-04,1.357443e-04,1.328135e-04,1.300388e-04,1.274122e-04,1.249264e-04,1.225741e-04,1.203486e-04,1.182435e-04,1.162526e-04,1.143699e-04,1.125901e-04,1.109076e-04,1.093176e-04,1.078152e-04,1.063959e-04,1.050553e-04,1.037894e-04,1.025942e-04,1.014660e-04,1.004014e-04,9.939702e-05,9.844968e-05,9.755639e-05,9.671431e-05,9.592074e-05,9.517312e-05,9.446904e-05,9.380618e-05,9.318238e-05,9.259555e-05,9.204374e-05,9.152508e-05,9.103783e-05,9.058029e-05,9.015090e-05,8.974815e-05,8.937061e-05,8.901694e-05,8.868586e-05,8.837615e-05,8.808666e-05,8.781631e-05
0.000000e+00,6.084182e-09,7.223415e-08,7.525173e-08,4.399414e-07,1.551164e-06,1.621579e-06,4.070687e-06,7.222101e-06,7.433036e-06,1.087539e-05,1.375474e-05,1.398902e-05,1.669893e-05,1.880801e-05,1.902429e-05,2.100303e-05,2.248858e-05,2.267408e-05,2.407339e-05,2.508419e-05,2.523327e-05,2.618261e-05,2.683625e-05,2.694713e-05,2.754974e-05,2.793742e-05,2.801080e-05,2.834840e-05,2.854041e-05,2.857854e-05,2.871539e-05,2.876547e-05,2.877145e-05,2.875774e-05,2.870668e-05,2.868398e-05,2.855869e-05,2.843726e-05,2.838938e-05,2.818265e-05,2.801389e-05,2.794426e-05,2.767926e-05,2.748032e-05,2.739206e-05,2.708650e-05,2.686996e-05,2.676592e-05,2.643320e-05,2.620822e-05,2.609090e-05,2.574127e-05,2.551457e-05,2.538625e-05,2.502755e-05,2.480395e-05,2.466662e-05,2.430477e-05,2.408772e-05,2.394320e-05,2.358305e-05,2.337513e-05,2.322510e-05,2.286999e-05,2.267258e-05,2.251829e-05,2.217048e-05,2.198441e-05,2.182693e-05,2.148799e-05,2.131365e-05,2.115392e-05,2.082494e-05,2.066241e-05,2.050121e-05,2.018289e-05,2.003204e-05,1.987007e-05,1.956282e-05,1.942338e-05,1.926121e-05,1.896524e-05,1.883681e-05,1.867493e-05,1.839027e-05,1.827240e-05,1.811125e-05,1.783782e-05,1.773000e-05,1.756994e-05,1.730757e-05,1.720930e-05,1.705063e-05,1.679908e-05,1.670982e-05,1.655282e-05,1.631180e-05,1.623103e-05,1.607593e-05,1.584512e-05,1.577232e-05,1.561930e-05,1.539839e-05,1.533306e-05,1.518229e-05,1.497092e-05,1.491257e-05,1.476420e-05,1.456203e-05,1.451020e-05,1.436433e-05,1.417101e-05,1.412526e-05,1.398200e-05,1.379719e-05,1.375709e-05,1.361650e-05,1.343986e-05,1.340501e-05,1.326718e-05,1.309838e-05,1.306840e-05,1.293337e-05,1.277208e-05,1.274661e-05,1.261443e-05,1.246034e-05,1.243905e-05,1.230974e-05,1.216255e-05,1.214511e-05,1.201870e-05,1.187811e-05,1.186423e-05,1.174073e-05,1.160647e-05,1.159586e-05,1.147528e-05,1.134707e-05,1.133947e-05,1.122180e-05,1.109939e-05,1.109455e-05,1.097979e-05,1.086292e-05,1.086061e-05,1.074874e-05,1.063718e-05,1.042381e-05,1.022007e-05,1.002553e-05,9.839807e-06,9.662515e-06,9.493287e-06,9.331775e-06,9.177643e-06,9.030569e-06,8.890246e-06,8.756378e-06,8.628684e-06,8.506894e-06,8.390749e-06,8.280001e-06,8.174412e-06,8.073757e-06,7.977818e-06,7.886386e-06,7.799263e-06,7.716258e-06,7.637188e-06,7.561880e-06,7.490166e-06,7.421886e-06,7.356887e-06,7.295022e-06,7.236153e-06,7.180143e-06,7.126866e-06,7.076199e-06,7.028023e-06,6.982227e-06,6.938704e-06,6.897350e-06,6.858066e-06,6.820760e-06,6.785341e-06,6.751722e-06,6.719823e-06,6.689563e-06,6.660867e-06,6.633664e-06,6.607885e-06,6.583464e-06,6.560338e-06,6.538446e-06,6.517732e-06,6.498140e-06
0.000000e+00,1.229180e-06,3.972660e-05,4.198042e-05,3.865303e-04,1.522418e-03,1.592334e-03,3.910412e-03,6.946911e-03,7.163831e-03,1.110328e-02,1.514720e-02,1.551291e-02,2.021790e-02,2.458922e-02,2.507903e-02,2.998651e-02,3.427498e-02,3.485476e-02,3.961794e-02,4.359201e-02,4.422639e-02,4.864353e-02,5.218684e-02,5.284342e-02,5.680865e-02,5.987744e-02,6.052865e-02,6.399826e-02,6.659295e-02,6.721658e-02,7.018597e-02,7.233236e-02,7.291132e-02,7.539941e-02,7.713665e-02,7.765838e-02,7.969731e-02,8.107016e-02,8.152593e-02,8.315431e-02,8.420852e-02,8.459271e-02,8.585136e-02,8.663089e-02,8.694037e-02,8.786965e-02,8.841523e-02,8.864880e-02,8.928710e-02,8.963556e-02,8.979346e-02,9.017641e-02,9.036051e-02,9.044409e-02,9.060426e-02,9.065280e-02,9.066424e-02,9.063102e-02,9.056911e-02,9.051119e-02,9.031098e-02,9.016037e-02,9.003629e-02,8.969267e-02,8.947211e-02,8.928538e-02,8.881936e-02,8.854495e-02,8.829929e-02,8.772955e-02,8.741505e-02,8.711430e-02,8.645744e-02,8.611457e-02,8.576266e-02,8.503341e-02,8.467210e-02,8.427296e-02,8.348438e-02,8.311299e-02,8.267055e-02,8.183420e-02,8.145974e-02,8.097788e-02,8.010400e-02,7.973227e-02,7.921480e-02,7.831241e-02,7.794821e-02,7.739882e-02,7.647590e-02,7.612311e-02,7.554540e-02,7.460895e-02,7.427067e-02,7.366809e-02,7.272426e-02,7.240292e-02,7.177880e-02,7.083296e-02,7.053041e-02,6.988792e-02,6.894477e-02,6.866235e-02,6.800453e-02,6.706813e-02,6.680675e-02,6.613646e-02,6.521034e-02,6.497055e-02,6.429051e-02,6.337768e-02,6.315972e-02,6.247250e-02,6.157555e-02,6.137938e-02,6.068739e-02,5.980851e-02,5.963389e-02,5.893939e-02,5.808043e-02,5.792693e-02,5.723202e-02,5.639451e-02,5.626155e-02,5.556822e-02,5.475342e-02,5.464028e-02,5.395037e-02,5.315929e-02,5.306518e-02,5.238039e-02,5.161384e-02,5.153787e-02,5.085979e-02,5.011837e-02,5.005960e-02,4.938969e-02,4.867384e-02,4.863129e-02,4.797089e-02,4.728091e-02,4.725358e-02,4.660393e-02,4.593998e-02,4.592683e-02,4.528907e-02,4.465120e-02,4.342663e-02,4.225289e-02,4.112962e-02,4.005630e-02,3.903230e-02,3.805690e-02,3.712927e-02,3.624854e-02,3.541372e-02,3.462382e-02,3.387775e-02,3.317440e-02,3.251264e-02,3.189127e-02,3.130908e-02,3.076485e-02,3.025732e-02,2.978523e-02,2.934730e-02,2.894223e-02,2.856875e-02,2.822556e-02,2.791136e-02,2.762486e-02,2.736478e-02,2.712983e-02,2.691874e-02,2.673027e-02,2.656317e-02,2.641621e-02,2.628819e-02,2.617794e-02,2.608428e-02,2.600608e-02,2.594225e-02,2.589170e-02,2.585338e-02,2.582629e-02,2.580945e-02,2.580191e-02,2.580276e-02,2.581115e-02,2.582622e-02,2.584720e-02,2.587333e-02,2.590389e-02,2.593821e-02,2.597565e-02,2.601562e-02
0.000000e+00,4.766571e-08,6.519444e-07,6.797551e-07,4.038522e-06,1.435481e-05,1.501608e-05,3.895587e-05,7.385825e-05,7.640077e-05,1.216320e-04,1.642378e-04,1.678689e-04,2.115648e-04,2.478344e-04,2.516782e-04,2.880988e-04,3.172120e-04,3.209774e-04,3.505295e-04,3.734560e-04,3.769808e-04,4.005516e-04,4.182794e-04,4.214524e-04,4.398829e-04,4.532844e-04,4.560306e-04,4.700718e-04,4.798996e-04,4.821718e-04,4.924842e-04,4.993797e-04,5.011526e-04,5.083107e-04,5.128177e-04,5.140829e-04,5.185844e-04,5.211610e-04,5.219228e-04,5.241980e-04,5.252301e-04,5.255027e-04,5.259228e-04,5.257334e-04,5.255379e-04,5.244220e-04,5.232807e-04,5.226434e-04,5.202654e-04,5.183962e-04,5.173466e-04,5.139412e-04,5.115297e-04,5.100993e-04,5.058672e-04,5.030662e-04,5.012876e-04,4.964000e-04,4.933348e-04,4.912408e-04,4.858434e-04,4.826162e-04,4.802389e-04,4.744557e-04,4.711489e-04,4.685199e-04,4.624557e-04,4.591354e-04,4.562850e-04,4.500281e-04,4.467468e-04,4.437037e-04,4.373288e-04,4.341273e-04,4.309188e-04,4.244880e-04,4.213976e-04,4.180493e-04,4.116145e-04,4.086588e-04,4.051944e-04,3.987986e-04,3.959945e-04,3.924360e-04,3.861145e-04,3.834734e-04,3.798412e-04,3.736227e-04,3.711519e-04,3.674646e-04,3.613722e-04,3.590752e-04,3.553499e-04,3.494019e-04,3.472795e-04,3.435316e-04,3.377423e-04,3.357928e-04,3.320365e-04,3.264166e-04,3.246367e-04,3.208846e-04,3.154421e-04,3.138270e-04,3.100903e-04,3.048305e-04,3.033744e-04,2.996634e-04,2.945897e-04,2.932858e-04,2.896096e-04,2.847235e-04,2.835648e-04,2.799313e-04,2.752329e-04,2.742118e-04,2.706280e-04,2.661163e-04,2.652251e-04,2.616972e-04,2.573700e-04,2.566009e-04,2.531342e-04,2.489888e-04,2.483338e-04,2.449329e-04,2.409657e-04,2.404173e-04,2.370861e-04,2.332931e-04,2.328437e-04,2.295855e-04,2.259622e-04,2.256044e-04,2.224220e-04,2.189636e-04,2.186905e-04,2.155859e-04,2.122876e-04,2.120922e-04,2.090674e-04,2.059240e-04,2.057998e-04,2.028561e-04,1.998624e-04,1.998032e-04,1.969415e-04,1.940922e-04,1.886565e-04,1.834860e-04,1.785705e-04,1.739001e-04,1.694650e-04,1.652556e-04,1.612626e-04,1.574769e-04,1.538895e-04,1.504919e-04,1.472757e-04,1.442330e-04,1.413560e-04,1.386372e-04,1.360693e-04,1.336455e-04,1.313590e-04,1.292035e-04,1.271727e-04,1.252609e-04,1.234623e-04,1.217715e-04,1.201832e-04,1.186926e-04,1.172949e-04,1.159854e-04,1.147598e-04,1.136140e-04,1.125439e-04,1.115457e-04,1.106158e-04,1.097507e-04,1.089471e-04,1.082018e-04,1.075117e-04,1.068740e-04,1.062858e-04,1.057446e-04,1.052478e-04,1.047931e-04,1.043780e-04,1.040005e-04,1.036585e-04,1.033499e-04,1.030729e-04,1.028257e-04,1.026065e-04,1.024137e-04,1.022457e-04
0.000000e+00,1.895347e-09,3.113847e-08,3.255835e-08,1.969799e-07,6.169136e-07,6.409527e-07,1.377132e-06,2.186344e-06,2.238465e-06,3.088115e-06,3.823020e-06,3.884530e-06,4.620771e-06,5.232775e-06,5.297904e-06,5.918755e-06,6.421059e-06,6.486487e-06,7.004256e-06,7.411913e-06,7.475122e-06,7.902037e-06,8.228744e-06,8.287818e-06,8.635164e-06,8.893102e-06,8.946628e-06,9.224636e-06,9.424497e-06,9.471477e-06,9.689313e-06,9.840403e-06,9.880178e-06,1.004598e-05,1.015635e-05,1.018853e-05,1.030950e-05,1.038606e-05,1.041047e-05,1.049293e-05,1.054162e-05,1.055826e-05,1.060776e-05,1.063364e-05,1.064264e-05,1.066403e-05,1.067143e-05,1.067302e-05,1.067058e-05,1.066317e-05,1.065765e-05,1.063507e-05,1.061594e-05,1.060366e-05,1.056418e-05,1.053594e-05,1.051730e-05,1.046370e-05,1.042857e-05,1.040398e-05,1.033871e-05,1.029851e-05,1.026840e-05,1.019356e-05,1.014984e-05,1.011464e-05,1.003207e-05,9.986100e-06,9.946236e-06,9.857510e-06,9.810343e-06,9.766232e-06,9.672720e-06,9.625218e-06,9.577266e-06,9.480144e-06,9.433007e-06,9.381605e-06,9.281884e-06,9.235676e-06,9.181197e-06,9.079743e-06,9.034908e-06,8.977707e-06,8.875261e-06,8.832149e-06,8.772561e-06,8.669752e-06,8.628628e-06,8.566968e-06,8.464332e-06,8.425393e-06,8.361957e-06,8.259945e-06,8.223328e-06,8.158392e-06,8.057383e-06,8.023178e-06,7.956998e-06,7.857308e-06,7.825565e-06,7.758379e-06,7.660270e-06,7.631005e-06,7.563034e-06,7.466719e-06,7.439922e-06,7.371369e-06,7.277022e-06,7.252660e-06,7.183712e-06,7.091470e-06,7.069494e-06,7.000322e-06,6.910292e-06,6.890637e-06,6.821399e-06,6.733662e-06,6.716254e-06,6.647093e-06,6.561706e-06,6.546463e-06,6.477510e-06,6.394512e-06,6.381344e-06,6.312718e-06,6.232132e-06,6.220946e-06,6.152754e-06,6.074587e-06,6.065288e-06,5.997628e-06,5.921876e-06,5.914367e-06,5.847326e-06,5.773974e-06,5.768158e-06,5.701815e-06,5.630841e-06,5.626620e-06,5.561046e-06,5.492420e-06,5.489699e-06,5.424956e-06,5.358643e-06,5.357328e-06,5.293471e-06,5.229430e-06,5.105921e-06,4.986710e-06,4.871701e-06,4.760795e-06,4.653888e-06,4.550878e-06,4.451658e-06,4.356123e-06,4.264165e-06,4.175680e-06,4.090562e-06,4.008708e-06,3.930015e-06,3.854382e-06,3.781711e-06,3.711904e-06,3.644867e-06,3.580506e-06,3.518732e-06,3.459455e-06,3.402590e-06,3.348052e-06,3.295761e-06,3.245638e-06,3.197605e-06,3.151588e-06,3.107514e-06,3.065315e-06,3.024920e-06,2.986266e-06,2.949288e-06,2.913924e-06,2.880115e-06,2.847803e-06,2.816933e-06,2.787449e-06,2.759300e-06,2.732435e-06,2.706806e-06,2.682366e-06,2.659068e-06,2.636869e-06,2.615726e-06,2.595599e-06,2.576447e-06,2.558232e-06,2.540918e-06,2.524468e-06,2.508848e-06
0.000000e+00,3.644679e-08,7.020111e-07,7.364818e-07,5.588108e-06,2.278810e-05,2.393699e-05,6.646355e-05,1.271570e-04,1.314508e-04,2.055410e-04,2.730652e-04,2.787767e-04,3.473344e-04,4.042251e-04,4.102610e-04,4.675535e-04,5.135205e-04,5.194790e-04,5.663675e-04,6.029178e-04,6.085528e-04,6.463576e-04,6.749538e-04,6.800895e-04,7.100405e-04,7.319736e-04,7.364874e-04,7.596912e-04,7.760854e-04,7.798984e-04,7.973401e-04,8.091648e-04,8.122332e-04,8.247806e-04,8.328648e-04,8.351716e-04,8.435827e-04,8.486291e-04,8.501778e-04,8.551097e-04,8.577108e-04,8.585201e-04,8.605405e-04,8.611935e-04,8.612930e-04,8.608903e-04,8.600104e-04,8.594372e-04,8.570304e-04,8.549633e-04,8.537595e-04,8.497071e-04,8.467391e-04,8.449499e-04,8.395586e-04,8.359265e-04,8.335986e-04,8.271299e-04,8.230278e-04,8.202081e-04,8.128848e-04,8.084722e-04,8.052075e-04,7.972196e-04,7.926258e-04,7.889613e-04,7.804696e-04,7.757991e-04,7.717784e-04,7.629190e-04,7.582552e-04,7.539198e-04,7.448069e-04,7.402154e-04,7.356044e-04,7.263344e-04,7.218667e-04,7.170168e-04,7.076701e-04,7.033654e-04,6.983109e-04,6.889545e-04,6.848422e-04,6.796148e-04,6.703045e-04,6.664056e-04,6.610349e-04,6.518163e-04,6.481453e-04,6.426582e-04,6.335689e-04,6.301346e-04,6.245560e-04,6.156262e-04,6.124330e-04,6.067856e-04,5.980394e-04,5.950881e-04,5.893925e-04,5.808490e-04,5.781375e-04,5.724126e-04,5.640864e-04,5.616104e-04,5.558731e-04,5.477751e-04,5.455286e-04,5.397943e-04,5.319323e-04,5.299077e-04,5.241902e-04,5.165692e-04,5.147582e-04,5.090699e-04,5.016927e-04,5.000862e-04,4.944381e-04,4.873059e-04,4.858941e-04,4.802961e-04,4.734083e-04,4.721814e-04,4.666422e-04,4.599971e-04,4.589450e-04,4.534723e-04,4.470670e-04,4.461798e-04,4.407803e-04,4.346112e-04,4.338788e-04,4.285586e-04,4.226212e-04,4.220338e-04,4.167979e-04,4.110875e-04,4.106355e-04,4.054885e-04,3.999995e-04,3.996737e-04,3.946193e-04,3.893462e-04,3.891375e-04,3.841789e-04,3.791159e-04,3.790157e-04,3.741556e-04,3.692965e-04,3.599680e-04,3.510183e-04,3.424352e-04,3.342067e-04,3.263210e-04,3.187661e-04,3.115305e-04,3.046029e-04,2.979720e-04,2.916270e-04,2.855572e-04,2.797522e-04,2.742021e-04,2.688970e-04,2.638275e-04,2.589844e-04,2.543589e-04,2.499424e-04,2.457265e-04,2.417033e-04,2.378651e-04,2.342045e-04,2.307141e-04,2.273872e-04,2.242171e-04,2.211974e-04,2.183218e-04,2.155844e-04,2.129796e-04,2.105018e-04,2.081457e-04,2.059062e-04,2.037785e-04,2.017578e-04,1.998396e-04,1.980196e-04,1.962936e-04,1.946576e-04,1.931077e-04,1.916403e-04,1.902517e-04,1.889386e-04,1.876977e-04,1.865258e-04,1.854199e-04,1.843771e-04,1.833946e-04,1.824698e-04,1.816000e-04
0.000000e+00,5.851303e-09,6.727380e-08,7.004318e-08,3.980176e-07,1.378506e-06,1.440587e-06,3.646088e-06,6.734667e-06,6.954225e-06,1.076656e-05,1.427248e-05,1.457056e-05,1.817323e-05,2.120550e-05,2.152990e-05,2.463805e-05,2.717424e-05,2.750609e-05,3.014516e-05,3.224061e-05,3.256703e-05,3.478339e-05,3.649466e-05,3.680564e-05,3.864483e-05,4.002385e-05,4.031161e-05,4.181616e-05,4.290952e-05,4.316817e-05,4.437691e-05,4.522595e-05,4.545118e-05,4.639937e-05,4.704057e-05,4.722941e-05,4.794888e-05,4.841431e-05,4.856491e-05,4.908429e-05,4.940201e-05,4.951343e-05,4.985839e-05,5.005287e-05,5.012493e-05,5.031845e-05,5.041096e-05,5.044407e-05,5.050664e-05,5.051563e-05,5.051073e-05,5.046063e-05,5.040201e-05,5.036041e-05,5.021390e-05,5.010140e-05,5.002470e-05,4.979623e-05,4.964163e-05,4.953168e-05,4.923406e-05,4.904741e-05,4.890621e-05,4.855079e-05,4.834066e-05,4.817032e-05,4.776714e-05,4.754077e-05,4.734347e-05,4.690138e-05,4.666487e-05,4.644282e-05,4.596961e-05,4.572805e-05,4.548346e-05,4.498598e-05,4.474360e-05,4.447866e-05,4.396289e-05,4.372317e-05,4.344000e-05,4.291120e-05,4.267695e-05,4.237763e-05,4.184035e-05,4.161383e-05,4.130035e-05,4.075856e-05,4.054153e-05,4.021582e-05,3.967294e-05,3.946675e-05,3.913063e-05,3.858960e-05,3.839526e-05,3.805046e-05,3.751379e-05,3.733198e-05,3.698013e-05,3.644998e-05,3.628114e-05,3.592377e-05,3.540194e-05,3.524630e-05,3.488485e-05,3.437284e-05,3.423044e-05,3.386624e-05,3.336532e-05,3.323604e-05,3.287033e-05,3.238151e-05,3.226513e-05,3.189905e-05,3.142315e-05,3.131934e-05,3.095395e-05,3.049159e-05,3.039996e-05,3.003620e-05,2.958788e-05,2.950794e-05,2.914672e-05,2.871277e-05,2.864401e-05,2.828610e-05,2.786676e-05,2.780864e-05,2.745477e-05,2.705015e-05,2.700209e-05,2.665290e-05,2.626304e-05,2.622445e-05,2.588053e-05,2.550537e-05,2.547567e-05,2.513753e-05,2.477696e-05,2.475556e-05,2.442363e-05,2.407750e-05,2.406380e-05,2.373850e-05,2.340657e-05,2.340001e-05,2.308166e-05,2.276370e-05,2.215433e-05,2.157130e-05,2.101396e-05,2.048165e-05,1.997364e-05,1.948923e-05,1.902766e-05,1.858820e-05,1.817009e-05,1.777257e-05,1.739491e-05,1.703636e-05,1.669619e-05,1.637369e-05,1.606814e-05,1.577885e-05,1.550516e-05,1.524639e-05,1.500191e-05,1.477110e-05,1.455335e-05,1.434808e-05,1.415472e-05,1.397272e-05,1.380156e-05,1.364072e-05,1.348972e-05,1.334808e-05,1.321535e-05,1.309110e-05,1.297489e-05,1.286634e-05,1.276505e-05,1.267066e-05,1.258280e-05,1.250115e-05,1.242538e-05,1.235518e-05,1.229024e-05,1.223030e-05,1.217507e-05,1.212430e-05,1.207775e-05,1.203518e-05,1.199636e-05,1.196108e-05,1.192914e-05,1.190035e-05,1.187452e-05
0.000000e+00,2.340039e-09,2.795017e-08,2.912500e-08,1.698212e-07,5.872366e-07,6.133836e-07,1.520846e-06,2.729442e-06,2.813078e-06,4.231993e-06,5.498661e-06,5.605100e-06,6.877466e-06,7.928080e-06,8.039329e-06,9.093273e-06,9.935976e-06,1.004499e-05,1.090086e-05,1.156509e-05,1.166722e-05,1.235024e-05,1.286388e-05,1.295580e-05,1.348947e-05,1.387716e-05,1.395655e-05,1.436200e-05,1.464516e-05,1.471052e-05,1.500649e-05,1.520352e-05,1.525402e-05,1.545695e-05,1.558356e-05,1.561886e-05,1.574311e-05,1.581265e-05,1.583282e-05,1.589090e-05,1.591466e-05,1.592006e-05,1.592284e-05,1.591035e-05,1.590158e-05,1.585845e-05,1.581768e-05,1.579549e-05,1.571456e-05,1.565216e-05,1.561742e-05,1.550568e-05,1.542720e-05,1.538084e-05,1.524430e-05,1.515433e-05,1.509733e-05,1.494114e-05,1.484345e-05,1.477681e-05,1.460537e-05,1.450304e-05,1.442775e-05,1.424482e-05,1.414036e-05,1.405737e-05,1.386615e-05,1.376156e-05,1.367183e-05,1.347503e-05,1.337190e-05,1.327632e-05,1.307622e-05,1.297580e-05,1.287521e-05,1.267373e-05,1.257697e-05,1.247218e-05,1.227092e-05,1.217853e-05,1.207028e-05,1.187057e-05,1.178307e-05,1.167206e-05,1.147499e-05,1.139271e-05,1.127959e-05,1.108605e-05,1.100920e-05,1.089456e-05,1.070526e-05,1.063394e-05,1.051831e-05,1.033382e-05,1.026803e-05,1.015190e-05,9.972656e-06,9.912336e-06,9.796161e-06,9.622486e-06,9.567515e-06,9.451689e-06,9.283820e-06,9.234035e-06,9.118915e-06,8.957007e-06,8.912213e-06,8.798117e-06,8.642260e-06,8.602235e-06,8.489445e-06,8.339674e-06,8.304181e-06,8.192943e-06,8.049246e-06,8.018039e-06,7.908569e-06,7.770895e-06,7.743719e-06,7.636204e-06,7.504472e-06,7.481072e-06,7.375672e-06,7.249773e-06,7.229897e-06,7.126745e-06,7.006553e-06,6.989950e-06,6.889160e-06,6.774529e-06,6.760957e-06,6.662620e-06,6.553394e-06,6.542617e-06,6.446807e-06,6.342818e-06,6.334610e-06,6.241384e-06,6.142460e-06,6.136604e-06,6.046003e-06,5.951966e-06,5.948255e-06,5.860306e-06,5.770978e-06,5.769215e-06,5.683935e-06,5.599133e-06,5.437659e-06,5.284445e-06,5.139147e-06,5.001428e-06,4.870957e-06,4.747412e-06,4.630479e-06,4.519853e-06,4.415239e-06,4.316353e-06,4.222920e-06,4.134675e-06,4.051366e-06,3.972746e-06,3.898584e-06,3.828655e-06,3.762743e-06,3.700646e-06,3.642166e-06,3.587117e-06,3.535320e-06,3.486607e-06,3.440815e-06,3.397789e-06,3.357384e-06,3.319460e-06,3.283884e-06,3.250530e-06,3.219278e-06,3.190014e-06,3.162631e-06,3.137025e-06,3.113100e-06,3.090762e-06,3.069924e-06,3.050504e-06,3.032421e-06,3.015603e-06,2.999976e-06,2.985475e-06,2.972036e-06,2.959598e-06,2.948105e-06,2.937502e-06,2.927738e-06,2.918764e-06,2.910535e-06,2.903007e-06,2.896138e-06
0.000000e+00,7.065869e-10,6.941660e-09,7.200802e-09,3.393068e-08,1.003146e-07,1.042230e-07,2.336383e-07,4.037383e-07,4.157728e-07,6.277967e-07,8.277171e-07,8.447699e-07,1.048427e-06,1.212411e-06,1.229376e-06,1.385162e-06,1.502244e-06,1.516843e-06,1.626676e-06,1.705535e-06,1.717120e-06,1.790513e-06,1.840548e-06,1.848981e-06,1.894422e-06,1.923150e-06,1.928520e-06,1.952759e-06,1.965937e-06,1.968448e-06,1.976737e-06,1.978718e-06,1.978634e-06,1.975030e-06,1.969096e-06,1.966706e-06,1.954348e-06,1.942961e-06,1.938556e-06,1.919858e-06,1.904858e-06,1.898715e-06,1.875518e-06,1.858243e-06,1.850610e-06,1.824295e-06,1.805735e-06,1.796840e-06,1.768502e-06,1.749426e-06,1.739504e-06,1.710025e-06,1.690976e-06,1.680215e-06,1.650208e-06,1.631555e-06,1.620117e-06,1.590040e-06,1.572037e-06,1.560063e-06,1.530258e-06,1.513075e-06,1.500687e-06,1.471404e-06,1.455147e-06,1.442451e-06,1.413869e-06,1.398598e-06,1.385686e-06,1.357930e-06,1.343672e-06,1.330620e-06,1.303776e-06,1.290531e-06,1.277408e-06,1.251528e-06,1.239281e-06,1.226143e-06,1.201257e-06,1.189978e-06,1.176873e-06,1.152993e-06,1.142645e-06,1.129616e-06,1.106741e-06,1.097282e-06,1.084363e-06,1.062480e-06,1.053865e-06,1.041087e-06,1.020178e-06,1.012358e-06,9.997461e-07,9.797860e-07,9.727144e-07,9.602903e-07,9.412516e-07,9.348812e-07,9.226624e-07,9.045149e-07,8.987996e-07,8.868010e-07,8.695128e-07,8.644081e-07,8.526420e-07,8.361805e-07,8.316435e-07,8.201201e-07,8.044524e-07,8.004422e-07,7.891695e-07,7.742630e-07,7.707406e-07,7.597250e-07,7.455474e-07,7.424759e-07,7.317223e-07,7.182419e-07,7.155866e-07,7.050986e-07,6.922846e-07,6.900125e-07,6.797926e-07,6.676152e-07,6.656955e-07,6.557450e-07,6.441752e-07,6.425789e-07,6.328985e-07,6.219083e-07,6.206084e-07,6.111978e-07,6.007603e-07,5.997314e-07,5.905896e-07,5.806792e-07,5.798974e-07,5.710230e-07,5.616148e-07,5.610581e-07,5.524489e-07,5.435193e-07,5.431670e-07,5.348205e-07,5.263468e-07,5.261796e-07,5.180929e-07,5.100535e-07,4.947478e-07,4.802238e-07,4.664443e-07,4.533738e-07,4.409784e-07,4.292260e-07,4.180857e-07,4.075281e-07,3.975251e-07,3.880502e-07,3.790778e-07,3.705836e-07,3.625445e-07,3.549385e-07,3.477446e-07,3.409428e-07,3.345140e-07,3.284400e-07,3.227035e-07,3.172880e-07,3.121778e-07,3.073580e-07,3.028143e-07,2.985331e-07,2.945014e-07,2.907070e-07,2.871382e-07,2.837836e-07,2.806327e-07,2.776753e-07,2.749018e-07,2.723028e-07,2.698698e-07,2.675943e-07,2.654682e-07,2.634842e-07,2.616349e-07,2.599134e-07,2.583132e-07,2.568281e-07,2.554520e-07,2.541794e-07,2.530048e-07,2.519231e-07,2.509293e-07,2.500189e-07,2.491873e-07,2.484304e-07,2.477440e-07
0.000000e+00,3.030486e-08,6.393433e-07,6.709788e-07,4.627350e-06,1.513992e-05,1.573649e-05,3.330570e-05,5.129894e-05,5.242960e-05,7.061848e-05,8.614330e-05,8.743773e-05,1.028881e-04,1.156789e-04,1.170375e-04,1.299631e-04,1.403862e-04,1.417416e-04,1.524471e-04,1.608503e-04,1.621511e-04,1.709211e-04,1.776133e-04,1.788214e-04,1.859124e-04,1.911632e-04,1.922511e-04,1.978913e-04,2.019342e-04,2.028830e-04,2.072737e-04,2.103095e-04,2.111072e-04,2.144238e-04,2.166223e-04,2.172616e-04,2.196562e-04,2.211635e-04,2.216425e-04,2.232517e-04,2.241933e-04,2.245130e-04,2.254536e-04,2.259347e-04,2.260987e-04,2.264717e-04,2.265813e-04,2.265947e-04,2.264878e-04,2.263007e-04,2.261702e-04,2.256596e-04,2.252391e-04,2.249723e-04,2.241236e-04,2.235227e-04,2.231278e-04,2.219981e-04,2.212611e-04,2.207467e-04,2.193851e-04,2.185490e-04,2.179238e-04,2.163727e-04,2.154683e-04,2.147410e-04,2.130371e-04,2.120897e-04,2.112688e-04,2.094434e-04,2.084740e-04,2.075678e-04,2.056481e-04,2.046735e-04,2.036901e-04,2.016993e-04,2.007334e-04,1.996804e-04,1.976382e-04,1.966922e-04,1.955769e-04,1.935003e-04,1.925827e-04,1.914121e-04,1.893156e-04,1.884333e-04,1.872138e-04,1.851096e-04,1.842678e-04,1.830055e-04,1.809040e-04,1.801065e-04,1.788072e-04,1.767170e-04,1.759665e-04,1.746354e-04,1.725639e-04,1.718622e-04,1.705042e-04,1.684575e-04,1.678055e-04,1.664252e-04,1.644083e-04,1.638065e-04,1.624080e-04,1.604251e-04,1.598731e-04,1.584605e-04,1.565148e-04,1.560122e-04,1.545889e-04,1.526832e-04,1.522289e-04,1.507983e-04,1.489346e-04,1.485275e-04,1.470926e-04,1.452725e-04,1.449112e-04,1.434747e-04,1.416993e-04,1.413822e-04,1.399467e-04,1.382169e-04,1.379422e-04,1.365100e-04,1.348262e-04,1.345924e-04,1.331655e-04,1.315280e-04,1.313330e-04,1.299135e-04,1.283221e-04,1.281642e-04,1.267538e-04,1.252084e-04,1.250858e-04,1.236859e-04,1.221862e-04,1.220969e-04,1.207091e-04,1.192545e-04,1.191968e-04,1.178223e-04,1.164123e-04,1.163843e-04,1.150243e-04,1.136581e-04,1.110168e-04,1.084587e-04,1.059822e-04,1.035856e-04,1.012671e-04,9.902473e-05,9.685677e-05,9.476130e-05,9.273644e-05,9.078029e-05,8.889098e-05,8.706666e-05,8.530548e-05,8.360564e-05,8.196536e-05,8.038288e-05,7.885649e-05,7.738450e-05,7.596527e-05,7.459718e-05,7.327865e-05,7.200814e-05,7.078416e-05,6.960524e-05,6.846996e-05,6.737694e-05,6.632483e-05,6.531231e-05,6.433811e-05,6.340099e-05,6.249975e-05,6.163322e-05,6.080025e-05,5.999976e-05,5.923067e-05,5.849193e-05,5.778254e-05,5.710153e-05,5.644794e-05,5.582085e-05,5.521938e-05,5.464265e-05,5.408982e-05,5.356008e-05,5.305264e-05,5.256674e-05,5.210163e-05,5.165660e-05,5.123095e-05
0.000000e+00,9.844793e-09,1.599801e-07,1.673779e-07,1.049433e-06,3.275580e-06,3.398223e-06,6.837848e-06,1.005690e-05,1.025010e-05,1.321566e-05,1.553400e-05,1.571836e-05,1.781109e-05,1.939066e-05,1.955014e-05,2.098581e-05,2.203313e-05,2.216185e-05,2.311607e-05,2.378426e-05,2.388106e-05,2.448487e-05,2.488522e-05,2.495156e-05,2.530177e-05,2.551449e-05,2.555315e-05,2.572078e-05,2.580329e-05,2.581752e-05,2.585434e-05,2.584753e-05,2.584059e-05,2.578423e-05,2.571711e-05,2.569204e-05,2.556980e-05,2.546292e-05,2.542244e-05,2.525413e-05,2.512201e-05,2.506845e-05,2.486844e-05,2.472130e-05,2.465667e-05,2.443535e-05,2.428036e-05,2.420635e-05,2.397126e-05,2.381343e-05,2.373143e-05,2.348802e-05,2.333081e-05,2.324200e-05,2.299421e-05,2.284001e-05,2.274536e-05,2.249605e-05,2.234646e-05,2.224679e-05,2.199801e-05,2.185408e-05,2.175007e-05,2.150329e-05,2.136569e-05,2.125792e-05,2.101418e-05,2.088331e-05,2.077227e-05,2.053233e-05,2.040838e-05,2.029449e-05,2.005886e-05,1.994190e-05,1.982553e-05,1.959456e-05,1.948456e-05,1.936602e-05,1.913996e-05,1.903681e-05,1.891640e-05,1.869537e-05,1.859893e-05,1.847690e-05,1.826099e-05,1.817108e-05,1.804766e-05,1.783691e-05,1.775333e-05,1.762873e-05,1.742313e-05,1.734567e-05,1.722009e-05,1.701960e-05,1.694805e-05,1.682166e-05,1.662625e-05,1.656038e-05,1.643334e-05,1.624293e-05,1.618253e-05,1.605500e-05,1.586953e-05,1.581436e-05,1.568649e-05,1.550586e-05,1.545572e-05,1.532763e-05,1.515177e-05,1.510643e-05,1.497826e-05,1.480708e-05,1.476633e-05,1.463819e-05,1.447159e-05,1.443524e-05,1.430724e-05,1.414513e-05,1.411297e-05,1.398522e-05,1.382750e-05,1.379934e-05,1.367194e-05,1.351851e-05,1.349416e-05,1.336720e-05,1.321798e-05,1.319725e-05,1.307082e-05,1.292571e-05,1.290843e-05,1.278261e-05,1.264150e-05,1.262750e-05,1.250237e-05,1.236519e-05,1.235430e-05,1.222993e-05,1.209658e-05,1.208864e-05,1.196510e-05,1.183549e-05,1.183034e-05,1.170771e-05,1.158174e-05,1.157924e-05,1.145756e-05,1.133515e-05,1.109791e-05,1.086736e-05,1.064334e-05,1.042568e-05,1.021422e-05,1.000882e-05,9.809327e-06,9.615589e-06,9.427465e-06,9.244814e-06,9.067498e-06,8.895383e-06,8.728337e-06,8.566232e-06,8.408942e-06,8.256343e-06,8.108316e-06,7.964744e-06,7.825513e-06,7.690509e-06,7.559625e-06,7.432754e-06,7.309791e-06,7.190636e-06,7.075188e-06,6.963352e-06,6.855032e-06,6.750137e-06,6.648578e-06,6.550265e-06,6.455113e-06,6.363040e-06,6.273963e-06,6.187804e-06,6.104483e-06,6.023927e-06,5.946061e-06,5.870812e-06,5.798112e-06,5.727891e-06,5.660082e-06,5.594620e-06,5.531441e-06,5.470484e-06,5.411688e-06,5.354993e-06,5.300342e-06,5.247679e-06,5.196949e-06
0.000000e+00,1.080093e-07,2.051360e-06,2.148937e-06,1.496906e-05,5.731856e-05,6.010457e-05,1.649167e-04,3.297561e-04,3.422951e-04,5.769729e-04,8.162215e-04,8.372863e-04,1.096596e-03,1.316425e-03,1.339780e-03,1.560126e-03,1.733454e-03,1.755592e-03,1.926455e-03,2.054720e-03,2.074045e-03,2.200115e-03,2.290751e-03,2.306534e-03,2.395142e-03,2.455740e-03,2.467687e-03,2.525797e-03,2.562907e-03,2.570976e-03,2.604597e-03,2.623610e-03,2.627916e-03,2.642075e-03,2.647349e-03,2.648107e-03,2.646952e-03,2.641972e-03,2.639458e-03,2.626392e-03,2.613926e-03,2.608446e-03,2.586245e-03,2.568476e-03,2.560351e-03,2.531271e-03,2.509911e-03,2.499461e-03,2.465330e-03,2.441713e-03,2.429247e-03,2.391541e-03,2.366696e-03,2.352509e-03,2.312415e-03,2.287127e-03,2.271494e-03,2.229959e-03,2.204822e-03,2.187998e-03,2.145778e-03,2.121231e-03,2.103448e-03,2.061139e-03,2.037500e-03,2.018969e-03,1.977039e-03,1.954528e-03,1.935438e-03,1.894246e-03,1.873010e-03,1.853530e-03,1.813348e-03,1.793475e-03,1.773753e-03,1.734787e-03,1.716317e-03,1.696486e-03,1.658881e-03,1.641823e-03,1.621996e-03,1.585852e-03,1.570188e-03,1.550465e-03,1.515846e-03,1.501537e-03,1.482003e-03,1.448943e-03,1.435938e-03,1.416667e-03,1.385176e-03,1.373414e-03,1.354467e-03,1.324538e-03,1.313953e-03,1.295381e-03,1.266991e-03,1.257512e-03,1.239359e-03,1.212476e-03,1.204030e-03,1.186331e-03,1.160914e-03,1.153429e-03,1.136212e-03,1.112213e-03,1.105618e-03,1.088905e-03,1.066273e-03,1.060498e-03,1.044305e-03,1.022987e-03,1.017966e-03,1.002305e-03,9.822441e-04,9.779128e-04,9.627910e-04,9.439314e-04,9.402294e-04,9.256511e-04,9.079360e-04,9.048063e-04,8.907722e-04,8.741458e-04,8.715345e-04,8.580430e-04,8.424503e-04,8.403073e-04,8.273543e-04,8.127418e-04,8.110202e-04,7.985998e-04,7.849155e-04,7.835718e-04,7.716763e-04,7.588700e-04,7.578638e-04,7.464844e-04,7.345077e-04,7.338018e-04,7.229283e-04,7.117349e-04,7.112951e-04,7.009164e-04,6.904620e-04,6.902565e-04,6.803610e-04,6.706032e-04,6.522558e-04,6.351388e-04,6.191806e-04,6.043131e-04,5.904717e-04,5.775954e-04,5.656263e-04,5.545096e-04,5.441938e-04,5.346300e-04,5.257720e-04,5.175765e-04,5.100024e-04,5.030110e-04,4.965659e-04,4.906329e-04,4.851795e-04,4.801753e-04,4.755916e-04,4.714015e-04,4.675796e-04,4.641019e-04,4.609461e-04,4.580908e-04,4.555163e-04,4.532039e-04,4.511359e-04,4.492958e-04,4.476681e-04,4.462381e-04,4.449921e-04,4.439173e-04,4.430014e-04,4.422332e-04,4.416018e-04,4.410974e-04,4.407104e-04,4.404320e-04,4.402539e-04,4.401683e-04,4.401679e-04,4.402458e-04,4.403957e-04,4.406115e-04,4.408876e-04,4.412186e-04,4.415998e-04,4.420263e-04,4.424940e-04
0.000000e+00,1.144107e-07,2.409918e-06,2.531714e-06,1.983173e-05,7.814607e-05,8.185428e-05,2.056320e-04,3.537795e-04,3.635202e-04,5.225406e-04,6.569241e-04,6.679251e-04,7.958274e-04,8.961138e-04,9.064314e-04,1.001107e-03,1.072510e-03,1.081446e-03,1.148977e-03,1.197878e-03,1.205096e-03,1.251066e-03,1.282676e-03,1.288028e-03,1.317013e-03,1.335484e-03,1.338951e-03,1.354681e-03,1.363306e-03,1.364959e-03,1.370464e-03,1.371838e-03,1.371804e-03,1.369522e-03,1.365667e-03,1.364105e-03,1.355983e-03,1.348459e-03,1.345541e-03,1.333118e-03,1.323118e-03,1.319016e-03,1.303501e-03,1.291927e-03,1.286808e-03,1.269146e-03,1.256675e-03,1.250696e-03,1.231619e-03,1.218754e-03,1.212057e-03,1.192132e-03,1.179242e-03,1.171955e-03,1.151618e-03,1.138966e-03,1.131204e-03,1.110786e-03,1.098559e-03,1.090425e-03,1.070175e-03,1.058499e-03,1.050081e-03,1.030185e-03,1.019141e-03,1.010519e-03,9.911114e-04,9.807479e-04,9.719874e-04,9.531666e-04,9.435052e-04,9.346654e-04,9.164972e-04,9.075414e-04,8.986727e-04,8.812001e-04,8.729402e-04,8.640856e-04,8.473334e-04,8.397498e-04,8.309462e-04,8.149253e-04,8.079921e-04,7.992706e-04,7.839813e-04,7.776682e-04,7.690553e-04,7.544898e-04,7.487639e-04,7.402815e-04,7.264264e-04,7.212531e-04,7.129200e-04,6.997572e-04,6.951018e-04,6.869330e-04,6.744417e-04,6.702695e-04,6.622776e-04,6.504347e-04,6.467118e-04,6.389069e-04,6.276879e-04,6.243815e-04,6.167715e-04,6.061513e-04,6.032298e-04,5.958209e-04,5.857741e-04,5.832075e-04,5.760043e-04,5.665053e-04,5.642651e-04,5.572708e-04,5.482945e-04,5.463537e-04,5.395703e-04,5.310920e-04,5.294254e-04,5.228538e-04,5.148496e-04,5.134333e-04,5.070736e-04,4.995201e-04,4.983319e-04,4.921835e-04,4.850582e-04,4.840772e-04,4.781388e-04,4.714200e-04,4.706270e-04,4.648966e-04,4.585635e-04,4.579405e-04,4.524157e-04,4.464483e-04,4.459786e-04,4.406566e-04,4.350359e-04,4.347040e-04,4.295816e-04,4.242893e-04,4.240809e-04,4.191546e-04,4.141733e-04,4.140752e-04,4.093412e-04,4.046544e-04,3.957875e-04,3.874451e-04,3.795990e-04,3.722226e-04,3.652905e-04,3.587788e-04,3.526645e-04,3.469260e-04,3.415426e-04,3.364948e-04,3.317642e-04,3.273331e-04,3.231849e-04,3.193039e-04,3.156750e-04,3.122842e-04,3.091179e-04,3.061634e-04,3.034087e-04,3.008423e-04,2.984535e-04,2.962320e-04,2.941681e-04,2.922525e-04,2.904767e-04,2.888324e-04,2.873118e-04,2.859075e-04,2.846125e-04,2.834203e-04,2.823246e-04,2.813194e-04,2.803993e-04,2.795588e-04,2.787931e-04,2.780973e-04,2.774671e-04,2.768982e-04,2.763866e-04,2.759286e-04,2.755206e-04,2.751592e-04,2.748413e-04,2.745639e-04,2.743242e-04,2.741194e-04,2.739472e-04,2.738051e-04,2.736908e-04
0.000000e+00,3.860699e-08,6.634494e-07,6.948539e-07,4.666043e-06,1.591567e-05,1.657680e-05,3.662403e-05,5.762332e-05,5.894604e-05,8.019381e-05,9.822907e-05,9.972721e-05,1.175334e-04,1.321583e-04,1.337050e-04,1.483485e-04,1.600536e-04,1.615681e-04,1.734631e-04,1.827054e-04,1.841278e-04,1.936514e-04,2.008312e-04,2.021183e-04,2.096081e-04,2.150733e-04,2.161956e-04,2.219510e-04,2.260004e-04,2.269398e-04,2.312231e-04,2.341112e-04,2.348580e-04,2.378975e-04,2.398395e-04,2.403904e-04,2.423823e-04,2.435588e-04,2.439156e-04,2.450292e-04,2.455917e-04,2.457595e-04,2.461398e-04,2.462146e-04,2.462012e-04,2.459724e-04,2.456646e-04,2.454798e-04,2.447479e-04,2.441447e-04,2.437992e-04,2.426545e-04,2.418281e-04,2.413332e-04,2.398528e-04,2.388624e-04,2.382298e-04,2.364792e-04,2.353734e-04,2.346148e-04,2.326495e-04,2.314680e-04,2.305949e-04,2.284619e-04,2.272369e-04,2.262605e-04,2.239997e-04,2.227572e-04,2.216880e-04,2.193330e-04,2.180938e-04,2.169420e-04,2.145212e-04,2.133016e-04,2.120767e-04,2.096140e-04,2.084269e-04,2.071379e-04,2.046531e-04,2.035083e-04,2.021637e-04,1.996734e-04,1.985783e-04,1.971857e-04,1.947038e-04,1.936639e-04,1.922306e-04,1.897685e-04,1.887873e-04,1.873199e-04,1.848870e-04,1.839670e-04,1.824716e-04,1.800755e-04,1.792179e-04,1.777002e-04,1.753471e-04,1.745523e-04,1.730173e-04,1.707120e-04,1.699797e-04,1.684322e-04,1.661786e-04,1.655078e-04,1.639521e-04,1.617531e-04,1.611425e-04,1.595824e-04,1.574403e-04,1.568881e-04,1.553272e-04,1.532435e-04,1.527478e-04,1.511893e-04,1.491649e-04,1.487236e-04,1.471704e-04,1.452060e-04,1.448167e-04,1.432715e-04,1.413671e-04,1.410275e-04,1.394927e-04,1.376482e-04,1.373559e-04,1.358336e-04,1.340486e-04,1.338011e-04,1.322932e-04,1.305671e-04,1.303620e-04,1.288702e-04,1.272023e-04,1.270370e-04,1.255630e-04,1.239522e-04,1.238246e-04,1.223696e-04,1.208149e-04,1.207225e-04,1.192878e-04,1.177881e-04,1.177287e-04,1.163154e-04,1.148694e-04,1.148407e-04,1.134498e-04,1.120563e-04,1.093729e-04,1.067878e-04,1.042986e-04,1.019025e-04,9.959703e-05,9.737951e-05,9.524736e-05,9.319802e-05,9.122896e-05,8.933770e-05,8.752180e-05,8.577885e-05,8.410651e-05,8.250249e-05,8.096456e-05,7.949051e-05,7.807824e-05,7.672565e-05,7.543074e-05,7.419154e-05,7.300613e-05,7.187267e-05,7.078935e-05,6.975441e-05,6.876617e-05,6.782296e-05,6.692319e-05,6.606530e-05,6.524779e-05,6.446920e-05,6.372810e-05,6.302313e-05,6.235296e-05,6.171628e-05,6.111186e-05,6.053847e-05,5.999495e-05,5.948016e-05,5.899298e-05,5.853236e-05,5.809725e-05,5.768666e-05,5.729961e-05,5.693516e-05,5.659241e-05,5.627046e-05,5.596846e-05,5.568559e-05,5.542105e-05
0.000000e+00,1.073547e-07,2.589231e-06,2.724048e-06,2.188149e-05,8.538608e-05,8.942110e-05,2.278285e-04,4.086162e-04,4.211892e-04,6.393405e-04,8.434506e-04,8.609920e-04,1.074587e-03,1.255281e-03,1.274587e-03,1.458729e-03,1.607190e-03,1.626456e-03,1.778069e-03,1.896115e-03,1.914293e-03,2.036038e-03,2.127831e-03,2.144284e-03,2.240017e-03,2.309853e-03,2.324194e-03,2.397729e-03,2.449475e-03,2.461483e-03,2.516260e-03,2.553240e-03,2.562811e-03,2.601832e-03,2.626850e-03,2.633966e-03,2.659809e-03,2.675208e-03,2.679911e-03,2.694778e-03,2.702505e-03,2.704878e-03,2.710641e-03,2.712309e-03,2.712465e-03,2.710714e-03,2.707655e-03,2.705726e-03,2.697809e-03,2.691118e-03,2.687248e-03,2.674304e-03,2.664883e-03,2.659220e-03,2.642216e-03,2.630799e-03,2.623496e-03,2.603246e-03,2.590434e-03,2.581639e-03,2.558832e-03,2.545112e-03,2.534970e-03,2.510186e-03,2.495949e-03,2.484601e-03,2.458327e-03,2.443889e-03,2.431467e-03,2.404113e-03,2.389723e-03,2.376352e-03,2.348262e-03,2.334117e-03,2.319915e-03,2.291376e-03,2.277626e-03,2.262703e-03,2.233953e-03,2.220715e-03,2.205174e-03,2.176411e-03,2.163771e-03,2.147705e-03,2.119092e-03,2.107111e-03,2.090607e-03,2.062280e-03,2.050999e-03,2.034137e-03,2.006203e-03,1.995648e-03,1.978501e-03,1.951050e-03,1.941232e-03,1.923867e-03,1.896968e-03,1.887890e-03,1.870368e-03,1.844077e-03,1.835731e-03,1.818106e-03,1.792466e-03,1.784839e-03,1.767163e-03,1.742205e-03,1.735279e-03,1.717596e-03,1.693343e-03,1.687095e-03,1.669448e-03,1.645914e-03,1.640320e-03,1.622745e-03,1.599940e-03,1.594972e-03,1.577502e-03,1.555430e-03,1.551059e-03,1.533724e-03,1.512384e-03,1.508581e-03,1.491408e-03,1.470795e-03,1.467531e-03,1.450544e-03,1.430651e-03,1.427894e-03,1.411114e-03,1.391932e-03,1.389653e-03,1.373099e-03,1.354615e-03,1.352786e-03,1.336475e-03,1.318675e-03,1.317266e-03,1.301213e-03,1.284084e-03,1.283067e-03,1.267284e-03,1.250810e-03,1.250158e-03,1.234657e-03,1.218821e-03,1.218508e-03,1.203299e-03,1.188085e-03,1.158856e-03,1.130787e-03,1.103845e-03,1.077996e-03,1.053206e-03,1.029442e-03,1.006671e-03,9.848615e-04,9.639806e-04,9.439975e-04,9.248815e-04,9.066028e-04,8.891322e-04,8.724414e-04,8.565027e-04,8.412891e-04,8.267746e-04,8.129337e-04,7.997417e-04,7.871749e-04,7.752099e-04,7.638244e-04,7.529964e-04,7.427051e-04,7.329300e-04,7.236513e-04,7.148499e-04,7.065073e-04,6.986057e-04,6.911278e-04,6.840569e-04,6.773767e-04,6.710717e-04,6.651268e-04,6.595274e-04,6.542594e-04,6.493092e-04,6.446636e-04,6.403099e-04,6.362359e-04,6.324297e-04,6.288797e-04,6.255751e-04,6.225051e-04,6.196594e-04,6.170280e-04,6.146014e-04,6.123703e-04,6.103258e-04
0.000000e+00,2.722509e-09,4.166560e-08,4.358518e-08,2.795209e-07,9.164705e-07,9.529455e-07,2.029792e-06,3.123189e-06,3.191208e-06,4.269596e-06,5.161817e-06,5.234882e-06,6.089847e-06,6.771978e-06,6.842969e-06,7.503325e-06,8.014546e-06,8.079514e-06,8.579509e-06,8.954175e-06,9.010646e-06,9.379647e-06,9.646105e-06,9.692663e-06,9.955299e-06,1.013666e-05,1.017266e-05,1.034938e-05,1.046434e-05,1.048967e-05,1.059734e-05,1.066091e-05,1.067585e-05,1.072831e-05,1.075251e-05,1.075756e-05,1.076614e-05,1.076056e-05,1.075638e-05,1.073034e-05,1.070258e-05,1.068992e-05,1.063680e-05,1.059289e-05,1.057252e-05,1.049845e-05,1.044314e-05,1.041585e-05,1.032582e-05,1.026284e-05,1.022938e-05,1.012743e-05,1.005967e-05,1.002079e-05,9.910179e-06,9.839901e-06,9.796261e-06,9.679625e-06,9.608559e-06,9.560796e-06,9.440248e-06,9.369711e-06,9.318403e-06,9.195637e-06,9.126614e-06,9.072288e-06,8.948655e-06,8.881870e-06,8.825004e-06,8.701572e-06,8.637544e-06,8.578568e-06,8.456178e-06,8.395265e-06,8.334565e-06,8.213872e-06,8.156303e-06,8.094224e-06,7.975733e-06,7.921641e-06,7.858491e-06,7.742582e-06,7.692023e-06,7.628077e-06,7.515034e-06,7.468004e-06,7.403504e-06,7.293530e-06,7.249984e-06,7.185146e-06,7.078379e-06,7.038236e-06,6.973250e-06,6.869777e-06,6.832934e-06,6.767970e-06,6.667836e-06,6.634172e-06,6.569379e-06,6.472597e-06,6.441981e-06,6.377489e-06,6.284047e-06,6.256338e-06,6.192263e-06,6.102127e-06,6.077182e-06,6.013626e-06,5.926745e-06,5.904420e-06,5.841469e-06,5.757782e-06,5.737932e-06,5.675666e-06,5.595102e-06,5.577584e-06,5.516071e-06,5.438552e-06,5.423228e-06,5.362525e-06,5.287969e-06,5.274704e-06,5.214863e-06,5.143184e-06,5.131847e-06,5.072911e-06,5.004022e-06,4.994487e-06,4.936495e-06,4.870307e-06,4.862453e-06,4.805436e-06,4.741860e-06,4.735573e-06,4.679557e-06,4.618506e-06,4.613675e-06,4.558684e-06,4.500069e-06,4.496590e-06,4.442641e-06,4.386378e-06,4.384151e-06,4.331258e-06,4.277262e-06,4.276194e-06,4.224369e-06,4.172557e-06,4.073086e-06,3.977627e-06,3.886031e-06,3.798156e-06,3.713863e-06,3.633015e-06,3.555483e-06,3.481141e-06,3.409866e-06,3.341542e-06,3.276054e-06,3.213294e-06,3.153156e-06,3.095538e-06,3.040342e-06,2.987475e-06,2.936844e-06,2.888364e-06,2.841949e-06,2.797518e-06,2.754993e-06,2.714300e-06,2.675366e-06,2.638122e-06,2.602500e-06,2.568436e-06,2.535869e-06,2.504739e-06,2.474987e-06,2.446561e-06,2.419405e-06,2.393470e-06,2.368706e-06,2.345067e-06,2.322506e-06,2.300981e-06,2.280449e-06,2.260870e-06,2.242205e-06,2.224418e-06,2.207472e-06,2.191332e-06,2.175966e-06,2.161342e-06,2.147430e-06,2.134199e-06,2.121622e-06,2.109671e-06,2.098321e-06
0.000000e+00,6.346661e-05,1.572115e-03,1.654076e-03,1.339997e-02,5.475604e-02,5.752241e-02,1.635386e-01,3.366040e-01,3.501229e-01,6.156032e-01,9.183753e-01,9.469548e-01,1.329446e+00,1.706299e+00,1.749676e+00,2.196042e+00,2.602581e+00,2.658665e+00,3.129210e+00,3.534865e+00,3.600704e+00,4.067375e+00,4.452162e+00,4.524491e+00,4.968232e+00,5.319969e+00,5.395564e+00,5.804131e+00,6.116266e+00,6.192161e+00,6.558380e+00,6.828328e+00,6.901936e+00,7.222335e+00,7.450222e+00,7.519383e+00,7.793135e+00,7.980861e+00,8.043853e+00,8.271964e+00,8.422518e+00,8.478032e+00,8.662728e+00,8.779698e+00,8.826803e+00,8.971072e+00,9.058297e+00,9.096392e+00,9.203649e+00,9.264982e+00,9.293745e+00,9.367588e+00,9.406734e+00,9.426080e+00,9.470115e+00,9.490541e+00,9.500569e+00,9.518298e+00,9.523174e+00,9.524133e+00,9.518876e+00,9.511052e+00,9.503302e+00,9.478152e+00,9.460152e+00,9.444138e+00,9.401937e+00,9.375973e+00,9.352195e+00,9.295527e+00,9.263516e+00,9.232513e+00,9.163705e+00,9.127293e+00,9.089625e+00,9.010763e+00,8.971348e+00,8.927583e+00,8.840521e+00,8.799284e+00,8.749988e+00,8.656368e+00,8.614292e+00,8.560023e+00,8.461291e+00,8.419188e+00,8.360488e+00,8.257911e+00,8.216447e+00,8.153838e+00,8.048525e+00,8.008232e+00,7.942215e+00,7.835131e+00,7.796432e+00,7.727483e+00,7.619464e+00,7.582685e+00,7.511254e+00,7.403022e+00,7.368408e+00,7.294921e+00,7.187096e+00,7.154822e+00,7.079678e+00,6.972789e+00,6.942971e+00,6.866543e+00,6.761043e+00,6.733747e+00,6.656383e+00,6.552652e+00,6.527903e+00,6.449927e+00,6.348283e+00,6.326073e+00,6.247785e+00,6.148493e+00,6.128784e+00,6.050460e+00,5.953737e+00,5.936469e+00,5.858366e+00,5.764386e+00,5.749480e+00,5.671831e+00,5.580733e+00,5.568097e+00,5.491117e+00,5.403006e+00,5.392535e+00,5.316421e+00,5.231376e+00,5.222957e+00,5.147886e+00,5.065961e+00,5.059475e+00,4.985609e+00,4.906836e+00,4.902160e+00,4.829646e+00,4.754039e+00,4.751048e+00,4.680016e+00,4.607574e+00,4.606141e+00,4.536709e+00,4.467415e+00,4.334823e+00,4.208295e+00,4.087747e+00,3.973077e+00,3.864173e+00,3.760910e+00,3.663154e+00,3.570766e+00,3.483598e+00,3.401499e+00,3.324311e+00,3.251876e+00,3.184031e+00,3.120614e+00,3.061460e+00,3.006403e+00,2.955279e+00,2.907923e+00,2.864170e+00,2.823859e+00,2.786827e+00,2.752917e+00,2.721970e+00,2.693832e+00,2.668350e+00,2.645377e+00,2.624766e+00,2.606374e+00,2.590062e+00,2.575696e+00,2.563143e+00,2.552277e+00,2.542974e+00,2.535115e+00,2.528586e+00,2.523276e+00,2.519081e+00,2.515898e+00,2.513633e+00,2.512191e+00,2.511488e+00,2.511439e+00,2.511967e+00,2.512998e+00,2.514463e+00,2.516298e+00,2.518441e+00,2.520837e+00,2.523434e+00
0.000000e+00,6.589689e-10,8.867618e-09,9.259470e-09,5.741830e-08,1.988395e-07,2.075222e-07,4.941314e-07,8.372853e-07,8.599115e-07,1.232994e-06,1.558979e-06,1.586325e-06,1.913989e-06,2.186571e-06,2.215579e-06,2.492036e-06,2.715528e-06,2.744622e-06,2.974656e-06,3.155442e-06,3.183440e-06,3.372235e-06,3.516270e-06,3.542262e-06,3.694702e-06,3.807374e-06,3.830685e-06,3.951292e-06,4.037399e-06,4.057550e-06,4.150441e-06,4.214210e-06,4.230884e-06,4.299749e-06,4.344849e-06,4.357856e-06,4.405984e-06,4.435606e-06,4.444865e-06,4.475185e-06,4.492077e-06,4.497587e-06,4.512676e-06,4.519192e-06,4.521018e-06,4.523146e-06,4.521298e-06,4.519557e-06,4.510716e-06,4.502219e-06,4.497062e-06,4.479001e-06,4.465306e-06,4.456915e-06,4.431162e-06,4.413500e-06,4.402074e-06,4.369963e-06,4.349368e-06,4.335120e-06,4.297816e-06,4.275152e-06,4.258303e-06,4.216816e-06,4.192805e-06,4.173576e-06,4.128786e-06,4.104022e-06,4.082636e-06,4.035303e-06,4.010277e-06,3.986950e-06,3.937730e-06,3.912839e-06,3.887783e-06,3.837242e-06,3.812806e-06,3.786225e-06,3.734847e-06,3.711120e-06,3.683209e-06,3.631408e-06,3.608587e-06,3.579532e-06,3.527661e-06,3.505895e-06,3.475871e-06,3.424229e-06,3.403628e-06,3.372798e-06,3.321636e-06,3.302276e-06,3.270795e-06,3.220322e-06,3.202251e-06,3.170261e-06,3.120652e-06,3.103893e-06,3.071528e-06,3.022924e-06,3.007484e-06,2.974866e-06,2.927381e-06,2.913251e-06,2.880492e-06,2.834217e-06,2.821373e-06,2.788576e-06,2.743583e-06,2.731993e-06,2.699251e-06,2.655592e-06,2.645215e-06,2.612615e-06,2.570327e-06,2.561116e-06,2.528734e-06,2.487841e-06,2.479747e-06,2.447652e-06,2.408168e-06,2.401136e-06,2.369390e-06,2.331318e-06,2.325292e-06,2.293951e-06,2.257286e-06,2.252209e-06,2.221321e-06,2.186053e-06,2.181867e-06,2.151476e-06,2.117586e-06,2.114234e-06,2.084378e-06,2.051845e-06,2.049271e-06,2.019981e-06,1.988779e-06,1.986928e-06,1.958232e-06,1.928333e-06,1.927150e-06,1.899073e-06,1.870445e-06,1.869879e-06,1.842439e-06,1.815048e-06,1.762593e-06,1.712443e-06,1.664528e-06,1.618776e-06,1.575114e-06,1.533472e-06,1.493777e-06,1.455957e-06,1.419944e-06,1.385669e-06,1.353062e-06,1.322060e-06,1.292597e-06,1.264610e-06,1.238039e-06,1.212824e-06,1.188908e-06,1.166236e-06,1.144753e-06,1.124409e-06,1.105152e-06,1.086935e-06,1.069712e-06,1.053438e-06,1.038069e-06,1.023565e-06,1.009886e-06,9.969936e-07,9.848514e-07,9.734244e-07,9.626789e-07,9.525826e-07,9.431048e-07,9.342158e-07,9.258872e-07,9.180920e-07,9.108041e-07,9.039987e-07,8.976520e-07,8.917412e-07,8.862447e-07,8.811414e-07,8.764117e-07,8.720365e-07,8.679976e-07,8.642776e-07,8.608600e-07,8.577289e-07,8.548692e-07
0.000000e+00,1.682231e-06,3.411229e-05,3.579866e-05,2.787071e-04,1.200184e-03,1.264281e-03,3.827702e-03,8.170737e-03,8.511942e-03,1.519551e-02,2.272024e-02,2.342394e-02,3.272973e-02,4.170063e-02,4.272119e-02,5.308771e-02,6.232758e-02,6.358812e-02,7.403766e-02,8.287611e-02,8.429670e-02,9.426144e-02,1.023485e-01,1.038565e-01,1.130288e-01,1.202093e-01,1.217429e-01,1.299770e-01,1.362108e-01,1.377199e-01,1.449685e-01,1.502812e-01,1.517260e-01,1.580003e-01,1.624525e-01,1.638027e-01,1.691470e-01,1.728159e-01,1.740487e-01,1.785246e-01,1.814934e-01,1.825921e-01,1.862690e-01,1.886199e-01,1.895730e-01,1.925220e-01,1.943334e-01,1.951334e-01,1.974242e-01,1.987687e-01,1.994112e-01,2.011103e-01,2.020539e-01,2.025372e-01,2.037069e-01,2.043092e-01,2.046337e-01,2.053316e-01,2.056460e-01,2.058138e-01,2.060931e-01,2.061669e-01,2.061816e-01,2.060910e-01,2.059662e-01,2.058324e-01,2.054165e-01,2.051301e-01,2.048534e-01,2.041528e-01,2.037373e-01,2.033240e-01,2.023758e-01,2.018596e-01,2.013166e-01,2.001545e-01,1.995623e-01,1.988970e-01,1.975515e-01,1.969049e-01,1.961249e-01,1.946238e-01,1.939413e-01,1.930544e-01,1.914228e-01,1.907203e-01,1.897346e-01,1.879951e-01,1.872861e-01,1.862096e-01,1.843828e-01,1.836787e-01,1.825193e-01,1.806236e-01,1.799340e-01,1.786998e-01,1.767517e-01,1.760845e-01,1.747831e-01,1.727975e-01,1.721590e-01,1.707982e-01,1.687883e-01,1.681837e-01,1.667708e-01,1.647485e-01,1.641817e-01,1.627239e-01,1.606996e-01,1.601736e-01,1.586779e-01,1.566609e-01,1.561778e-01,1.546507e-01,1.526492e-01,1.522103e-01,1.506583e-01,1.486795e-01,1.482854e-01,1.467145e-01,1.447647e-01,1.444154e-01,1.428314e-01,1.409160e-01,1.406113e-01,1.390196e-01,1.371433e-01,1.368822e-01,1.352880e-01,1.334547e-01,1.332363e-01,1.316443e-01,1.298575e-01,1.296801e-01,1.280950e-01,1.263574e-01,1.262195e-01,1.246454e-01,1.229593e-01,1.228590e-01,1.212998e-01,1.196671e-01,1.196024e-01,1.180617e-01,1.164839e-01,1.164526e-01,1.149339e-01,1.134118e-01,1.104816e-01,1.076628e-01,1.049558e-01,1.023605e-01,9.987646e-02,9.750265e-02,9.523783e-02,9.308044e-02,9.102863e-02,8.908032e-02,8.723324e-02,8.548492e-02,8.383274e-02,8.227394e-02,8.080568e-02,7.942500e-02,7.812890e-02,7.691429e-02,7.577808e-02,7.471714e-02,7.372832e-02,7.280847e-02,7.195449e-02,7.116326e-02,7.043173e-02,6.975683e-02,6.913561e-02,6.856512e-02,6.804251e-02,6.756499e-02,6.712984e-02,6.673442e-02,6.637618e-02,6.605264e-02,6.576142e-02,6.550021e-02,6.526682e-02,6.505912e-02,6.487510e-02,6.471283e-02,6.457048e-02,6.444630e-02,6.433866e-02,6.424600e-02,6.416684e-02,6.409981e-02,6.404362e-02,6.399704e-02,6.395896e-02
0.000000e+00,8.998445e-09,1.835243e-07,1.927323e-07,1.396048e-06,4.663595e-06,4.844206e-06,9.881336e-06,1.479650e-05,1.510454e-05,2.008511e-05,2.438957e-05,2.475105e-05,2.909946e-05,3.275077e-05,3.314160e-05,3.689133e-05,3.996023e-05,4.036251e-05,4.356859e-05,4.612371e-05,4.652255e-05,4.923689e-05,5.134050e-05,5.172356e-05,5.399432e-05,5.570331e-05,5.606067e-05,5.793378e-05,5.930040e-05,5.962444e-05,6.114311e-05,6.221475e-05,6.249983e-05,6.370423e-05,6.452339e-05,6.476552e-05,6.569251e-05,6.629695e-05,6.649356e-05,6.717663e-05,6.759966e-05,6.774930e-05,6.821873e-05,6.848957e-05,6.859173e-05,6.887471e-05,6.901885e-05,6.907378e-05,6.919469e-05,6.923433e-05,6.924288e-05,6.922349e-05,6.917786e-05,6.914137e-05,6.900109e-05,6.888682e-05,6.880698e-05,6.856310e-05,6.839450e-05,6.827330e-05,6.794120e-05,6.773055e-05,6.757020e-05,6.716350e-05,6.692129e-05,6.672412e-05,6.625492e-05,6.599009e-05,6.575854e-05,6.523752e-05,6.495763e-05,6.469419e-05,6.413079e-05,6.384221e-05,6.354937e-05,6.295191e-05,6.265997e-05,6.234022e-05,6.171602e-05,6.142513e-05,6.108091e-05,6.043640e-05,6.015021e-05,5.978390e-05,5.912471e-05,5.884616e-05,5.846007e-05,5.779111e-05,5.752257e-05,5.711892e-05,5.644448e-05,5.618780e-05,5.576873e-05,5.509253e-05,5.484914e-05,5.441667e-05,5.374191e-05,5.351286e-05,5.306893e-05,5.239837e-05,5.218440e-05,5.173082e-05,5.106683e-05,5.086840e-05,5.040690e-05,4.975149e-05,4.956884e-05,4.910103e-05,4.845590e-05,4.828908e-05,4.781646e-05,4.718303e-05,4.703193e-05,4.655591e-05,4.593536e-05,4.579974e-05,4.532162e-05,4.471491e-05,4.459442e-05,4.411541e-05,4.352331e-05,4.341753e-05,4.293875e-05,4.236186e-05,4.227027e-05,4.179275e-05,4.123153e-05,4.115359e-05,4.067827e-05,4.013304e-05,4.006816e-05,3.959590e-05,3.906688e-05,3.901442e-05,3.854601e-05,3.803332e-05,3.799266e-05,3.752881e-05,3.703247e-05,3.700295e-05,3.654431e-05,3.606429e-05,3.604526e-05,3.559240e-05,3.512859e-05,3.511940e-05,3.467284e-05,3.422509e-05,3.336195e-05,3.252952e-05,3.172730e-05,3.095469e-05,3.021109e-05,2.949583e-05,2.880824e-05,2.814759e-05,2.751318e-05,2.690426e-05,2.632010e-05,2.575994e-05,2.522304e-05,2.470867e-05,2.421608e-05,2.374454e-05,2.329335e-05,2.286178e-05,2.244916e-05,2.205478e-05,2.167800e-05,2.131816e-05,2.097463e-05,2.064677e-05,2.033400e-05,2.003572e-05,1.975136e-05,1.948038e-05,1.922223e-05,1.897639e-05,1.874237e-05,1.851967e-05,1.830782e-05,1.810636e-05,1.791486e-05,1.773288e-05,1.756003e-05,1.739589e-05,1.724010e-05,1.709227e-05,1.695206e-05,1.681912e-05,1.669313e-05,1.657376e-05,1.646071e-05,1.635369e-05,1.625242e-05,1.615662e-05,1.606602e-05
0.000000e+00,1.322141e-07,3.652959e-06,3.856592e-06,3.677097e-05,1.617023e-04,1.699344e-04,4.575878e-04,8.417853e-04,8.688704e-04,1.347067e-03,1.808495e-03,1.848750e-03,2.345831e-03,2.775056e-03,2.821314e-03,3.265558e-03,3.626679e-03,3.673658e-03,4.043713e-03,4.331471e-03,4.375686e-03,4.670675e-03,4.891164e-03,4.930446e-03,5.157131e-03,5.319933e-03,5.353027e-03,5.520471e-03,5.635487e-03,5.661761e-03,5.779108e-03,5.855370e-03,5.874608e-03,5.950232e-03,5.995545e-03,6.007812e-03,6.049051e-03,6.069975e-03,6.075519e-03,6.088663e-03,6.090627e-03,6.089813e-03,6.080188e-03,6.067643e-03,6.060907e-03,6.032993e-03,6.009560e-03,5.997381e-03,5.954927e-03,5.923541e-03,5.906411e-03,5.852548e-03,5.815573e-03,5.793989e-03,5.731325e-03,5.690652e-03,5.665099e-03,5.595803e-03,5.552940e-03,5.523885e-03,5.449754e-03,5.405891e-03,5.373780e-03,5.296302e-03,5.252371e-03,5.217623e-03,5.138022e-03,5.094744e-03,5.057751e-03,4.977035e-03,4.934956e-03,4.896080e-03,4.815071e-03,4.774600e-03,4.734176e-03,4.653543e-03,4.614973e-03,4.573308e-03,4.493589e-03,4.457123e-03,4.414496e-03,4.336122e-03,4.301888e-03,4.258553e-03,4.181863e-03,4.149931e-03,4.106118e-03,4.031375e-03,4.001770e-03,3.957684e-03,3.885089e-03,3.857797e-03,3.813624e-03,3.743322e-03,3.718303e-03,3.674208e-03,3.606303e-03,3.583494e-03,3.539624e-03,3.474183e-03,3.453505e-03,3.409989e-03,3.347048e-03,3.328411e-03,3.285363e-03,3.224935e-03,3.208240e-03,3.165761e-03,3.107838e-03,3.092982e-03,3.051159e-03,2.995716e-03,2.982592e-03,2.941500e-03,2.888500e-03,2.877003e-03,2.836705e-03,2.786102e-03,2.776123e-03,2.736675e-03,2.688412e-03,2.679847e-03,2.641295e-03,2.595310e-03,2.588056e-03,2.550439e-03,2.506666e-03,2.500624e-03,2.463973e-03,2.422341e-03,2.417416e-03,2.381754e-03,2.342193e-03,2.338293e-03,2.303640e-03,2.266075e-03,2.263112e-03,2.229482e-03,2.193840e-03,2.191732e-03,2.159133e-03,2.125341e-03,2.124008e-03,2.092446e-03,2.060430e-03,2.059798e-03,2.029274e-03,1.998962e-03,1.941361e-03,1.886859e-03,1.835324e-03,1.786627e-03,1.740642e-03,1.697249e-03,1.656330e-03,1.617771e-03,1.581463e-03,1.547300e-03,1.515182e-03,1.485011e-03,1.456694e-03,1.430139e-03,1.405263e-03,1.381981e-03,1.360216e-03,1.339890e-03,1.320932e-03,1.303272e-03,1.286845e-03,1.271586e-03,1.257435e-03,1.244335e-03,1.232229e-03,1.221065e-03,1.210792e-03,1.201362e-03,1.192729e-03,1.184850e-03,1.177681e-03,1.171184e-03,1.165319e-03,1.160051e-03,1.155345e-03,1.151167e-03,1.147487e-03,1.144273e-03,1.141497e-03,1.139132e-03,1.137152e-03,1.135531e-03,1.134248e-03,1.133278e-03,1.132601e-03,1.132196e-03,1.132044e-03,1.132127e-03,1.132427e-03
0.000000e+00,1.842476e-09,3.156313e-08,3.307518e-08,2.276249e-07,7.909345e-07,8.242576e-07,1.838816e-06,2.914940e-06,2.983331e-06,4.091681e-06,5.045954e-06,5.125759e-06,6.080664e-06,6.874314e-06,6.958780e-06,7.764091e-06,8.415886e-06,8.500807e-06,9.173017e-06,9.702510e-06,9.784628e-06,1.033937e-05,1.076400e-05,1.084079e-05,1.129228e-05,1.162752e-05,1.169708e-05,1.205827e-05,1.231779e-05,1.237878e-05,1.266140e-05,1.285723e-05,1.290874e-05,1.312325e-05,1.326575e-05,1.330725e-05,1.346300e-05,1.356130e-05,1.359259e-05,1.369795e-05,1.375984e-05,1.378092e-05,1.384318e-05,1.387532e-05,1.388635e-05,1.391190e-05,1.391994e-05,1.392124e-05,1.391566e-05,1.390440e-05,1.389639e-05,1.386454e-05,1.383806e-05,1.382119e-05,1.376732e-05,1.372905e-05,1.370386e-05,1.363165e-05,1.358447e-05,1.355150e-05,1.346415e-05,1.341047e-05,1.337030e-05,1.327059e-05,1.321241e-05,1.316561e-05,1.305592e-05,1.299492e-05,1.294205e-05,1.282447e-05,1.276201e-05,1.270362e-05,1.257993e-05,1.251713e-05,1.245376e-05,1.232549e-05,1.226327e-05,1.219544e-05,1.206390e-05,1.200298e-05,1.193118e-05,1.179751e-05,1.173846e-05,1.166315e-05,1.152831e-05,1.147158e-05,1.139320e-05,1.125800e-05,1.120394e-05,1.112289e-05,1.098803e-05,1.093688e-05,1.085357e-05,1.071962e-05,1.067155e-05,1.058632e-05,1.045378e-05,1.040891e-05,1.032210e-05,1.019136e-05,1.014974e-05,1.006166e-05,9.933059e-06,9.894706e-06,9.805637e-06,9.679451e-06,9.644347e-06,9.554554e-06,9.430994e-06,9.399094e-06,9.308816e-06,9.188056e-06,9.159288e-06,9.068747e-06,8.950917e-06,8.925196e-06,8.834592e-06,8.719791e-06,8.697015e-06,8.606531e-06,8.494828e-06,8.474887e-06,8.384690e-06,8.276127e-06,8.258903e-06,8.169143e-06,8.063743e-06,8.049113e-06,7.959927e-06,7.857694e-06,7.845532e-06,7.757041e-06,7.657964e-06,7.648142e-06,7.560456e-06,7.464512e-06,7.456903e-06,7.370121e-06,7.277273e-06,7.271751e-06,7.185959e-06,7.096166e-06,7.092606e-06,7.007882e-06,6.921092e-06,6.919371e-06,6.835783e-06,6.751940e-06,6.590195e-06,6.434012e-06,6.283259e-06,6.137801e-06,5.997500e-06,5.862216e-06,5.731807e-06,5.606131e-06,5.485047e-06,5.368416e-06,5.256097e-06,5.147955e-06,5.043854e-06,4.943661e-06,4.847247e-06,4.754485e-06,4.665250e-06,4.579421e-06,4.496882e-06,4.417516e-06,4.341213e-06,4.267864e-06,4.197364e-06,4.129611e-06,4.064507e-06,4.001955e-06,3.941863e-06,3.884142e-06,3.828704e-06,3.775465e-06,3.724345e-06,3.675266e-06,3.628150e-06,3.582926e-06,3.539524e-06,3.497873e-06,3.457910e-06,3.419570e-06,3.382793e-06,3.347519e-06,3.313691e-06,3.281254e-06,3.250156e-06,3.220345e-06,3.191772e-06,3.164390e-06,3.138153e-06,3.113016e-06,3.088938e-06
0.000000e+00,6.411948e-08,1.197450e-06,1.255466e-06,9.136867e-06,3.454412e-05,3.613821e-05,8.909605e-05,1.527900e-04,1.570068e-04,2.267380e-04,2.876871e-04,2.927910e-04,3.537784e-04,4.042345e-04,4.095874e-04,4.604291e-04,5.012854e-04,5.065868e-04,5.483542e-04,5.809826e-04,5.860192e-04,6.198591e-04,6.455226e-04,6.501385e-04,6.771086e-04,6.969215e-04,7.010066e-04,7.220559e-04,7.369857e-04,7.404663e-04,7.564346e-04,7.673133e-04,7.701447e-04,7.817689e-04,7.893075e-04,7.914679e-04,7.993919e-04,8.041956e-04,8.056809e-04,8.104654e-04,8.130473e-04,8.138671e-04,8.159994e-04,8.167935e-04,8.169677e-04,8.168703e-04,8.162421e-04,8.157983e-04,8.138370e-04,8.120939e-04,8.110652e-04,8.075563e-04,8.049555e-04,8.033785e-04,7.985952e-04,7.953514e-04,7.932652e-04,7.874429e-04,7.837345e-04,7.811790e-04,7.745203e-04,7.704946e-04,7.675103e-04,7.601890e-04,7.559672e-04,7.525938e-04,7.447592e-04,7.404403e-04,7.367170e-04,7.284965e-04,7.241603e-04,7.201246e-04,7.116265e-04,7.073374e-04,7.030253e-04,6.943422e-04,6.901510e-04,6.855967e-04,6.768068e-04,6.727530e-04,6.679887e-04,6.591577e-04,6.552715e-04,6.503275e-04,6.415107e-04,6.378146e-04,6.327191e-04,6.239630e-04,6.204727e-04,6.152521e-04,6.065950e-04,6.033211e-04,5.979997e-04,5.894732e-04,5.864218e-04,5.810220e-04,5.726519e-04,5.698254e-04,5.643680e-04,5.561749e-04,5.535730e-04,5.480768e-04,5.400772e-04,5.376970e-04,5.321793e-04,5.243858e-04,5.222227e-04,5.166992e-04,5.091214e-04,5.071693e-04,5.016542e-04,4.942989e-04,4.925504e-04,4.870566e-04,4.799283e-04,4.783754e-04,4.729145e-04,4.660158e-04,4.646499e-04,4.592323e-04,4.525641e-04,4.513760e-04,4.460110e-04,4.395729e-04,4.385534e-04,4.332492e-04,4.270396e-04,4.261793e-04,4.209433e-04,4.149596e-04,4.142490e-04,4.090876e-04,4.033265e-04,4.027564e-04,3.976752e-04,3.921328e-04,3.916940e-04,3.866979e-04,3.813696e-04,3.810533e-04,3.761465e-04,3.710274e-04,3.708248e-04,3.660110e-04,3.610959e-04,3.609987e-04,3.562808e-04,3.515643e-04,3.425110e-04,3.338275e-04,3.255026e-04,3.175251e-04,3.098836e-04,3.025669e-04,2.955639e-04,2.888635e-04,2.824550e-04,2.763277e-04,2.704713e-04,2.648756e-04,2.595308e-04,2.544272e-04,2.495556e-04,2.449068e-04,2.404721e-04,2.362430e-04,2.322112e-04,2.283689e-04,2.247082e-04,2.212218e-04,2.179026e-04,2.147437e-04,2.117384e-04,2.088803e-04,2.061633e-04,2.035815e-04,2.011290e-04,1.988006e-04,1.965908e-04,1.944946e-04,1.925071e-04,1.906238e-04,1.888399e-04,1.871514e-04,1.855539e-04,1.840435e-04,1.826164e-04,1.812689e-04,1.799975e-04,1.787989e-04,1.776697e-04,1.766068e-04,1.756073e-04,1.746684e-04,1.737871e-04,1.729610e-04,1.721875e-04
0.000000e+00,1.669331e-04,3.892775e-03,4.095503e-03,3.461817e-02,1.521260e-01,1.602743e-01,4.823961e-01,1.016236e+00,1.057802e+00,1.867990e+00,2.779814e+00,2.865324e+00,4.001798e+00,5.108705e+00,5.235370e+00,6.530480e+00,7.697401e+00,7.857468e+00,9.191839e+00,1.032993e+01,1.051357e+01,1.180648e+01,1.286076e+01,1.305772e+01,1.425724e+01,1.519686e+01,1.539744e+01,1.647273e+01,1.728361e+01,1.747929e+01,1.841474e+01,1.909422e+01,1.927789e+01,2.006859e+01,2.062144e+01,2.078748e+01,2.143587e+01,2.187134e+01,2.201557e+01,2.252884e+01,2.285866e+01,2.297820e+01,2.336644e+01,2.360340e+01,2.369648e+01,2.397134e+01,2.412829e+01,2.419409e+01,2.436781e+01,2.445710e+01,2.449557e+01,2.458036e+01,2.461344e+01,2.462512e+01,2.463269e+01,2.461992e+01,2.460582e+01,2.454716e+01,2.449775e+01,2.445922e+01,2.434442e+01,2.426643e+01,2.420504e+01,2.404326e+01,2.394364e+01,2.386112e+01,2.366056e+01,2.354525e+01,2.344340e+01,2.321136e+01,2.308535e+01,2.296603e+01,2.270893e+01,2.257640e+01,2.244145e+01,2.216490e+01,2.202930e+01,2.188051e+01,2.158943e+01,2.145357e+01,2.129269e+01,2.099130e+01,2.085744e+01,2.068615e+01,2.037810e+01,2.024805e+01,2.006793e+01,1.975636e+01,1.963149e+01,1.944405e+01,1.913162e+01,1.901298e+01,1.881963e+01,1.850860e+01,1.839696e+01,1.819901e+01,1.789129e+01,1.778716e+01,1.758584e+01,1.728301e+01,1.718672e+01,1.698315e+01,1.668655e+01,1.659824e+01,1.639347e+01,1.610417e+01,1.602387e+01,1.581885e+01,1.553772e+01,1.546533e+01,1.526094e+01,1.498867e+01,1.492401e+01,1.472105e+01,1.445818e+01,1.440100e+01,1.420018e+01,1.394712e+01,1.389711e+01,1.369909e+01,1.345612e+01,1.341293e+01,1.321828e+01,1.298560e+01,1.294885e+01,1.275810e+01,1.253579e+01,1.250509e+01,1.231870e+01,1.210680e+01,1.208172e+01,1.190010e+01,1.169857e+01,1.167870e+01,1.150220e+01,1.131096e+01,1.129588e+01,1.112480e+01,1.094370e+01,1.093299e+01,1.076760e+01,1.059647e+01,1.058973e+01,1.043024e+01,1.026887e+01,1.026569e+01,1.011229e+01,9.960446e+00,9.673499e+00,9.404328e+00,9.152376e+00,8.917065e+00,8.697796e+00,8.493958e+00,8.304930e+00,8.130082e+00,7.968783e+00,7.820402e+00,7.684309e+00,7.559879e+00,7.446494e+00,7.343542e+00,7.250425e+00,7.166552e+00,7.091348e+00,7.024250e+00,6.964711e+00,6.912200e+00,6.866203e+00,6.826222e+00,6.791780e+00,6.762416e+00,6.737691e+00,6.717183e+00,6.700492e+00,6.687237e+00,6.677057e+00,6.669612e+00,6.664579e+00,6.661658e+00,6.660568e+00,6.661045e+00,6.662847e+00,6.665746e+00,6.669536e+00,6.674025e+00,6.679040e+00,6.684423e+00,6.690031e+00,6.695735e+00,6.701422e+00,6.706990e+00,6.712350e+00,6.717426e+00,6.722151e+00,6.726470e+00,6.730335e+00
0.000000e+00,2.223303e-08,3.529591e-07,3.692923e-07,2.530177e-06,9.635616e-06,1.009548e-05,2.643874e-05,4.828453e-05,4.977715e-05,7.457886e-05,9.584249e-05,9.759061e-05,1.180077e-04,1.341697e-04,1.358422e-04,1.512973e-04,1.631140e-04,1.646051e-04,1.759888e-04,1.843967e-04,1.856534e-04,1.937852e-04,1.995546e-04,2.005520e-04,2.061054e-04,2.098497e-04,2.105816e-04,2.141029e-04,2.163065e-04,2.167790e-04,2.187085e-04,2.197523e-04,2.199795e-04,2.206708e-04,2.208522e-04,2.208529e-04,2.205888e-04,2.201394e-04,2.199347e-04,2.189407e-04,2.180399e-04,2.176516e-04,2.161071e-04,2.148931e-04,2.143427e-04,2.123899e-04,2.109689e-04,2.102768e-04,2.080283e-04,2.064810e-04,2.056665e-04,2.032110e-04,2.015984e-04,2.006791e-04,1.980863e-04,1.964542e-04,1.954462e-04,1.927707e-04,1.911529e-04,1.900705e-04,1.873548e-04,1.857759e-04,1.846319e-04,1.819089e-04,1.803863e-04,1.791921e-04,1.764869e-04,1.750327e-04,1.737982e-04,1.711300e-04,1.697519e-04,1.684860e-04,1.658692e-04,1.645718e-04,1.632821e-04,1.607271e-04,1.595126e-04,1.582059e-04,1.557202e-04,1.545890e-04,1.532712e-04,1.508599e-04,1.498112e-04,1.484872e-04,1.461537e-04,1.451855e-04,1.438599e-04,1.416060e-04,1.407156e-04,1.393922e-04,1.372186e-04,1.364032e-04,1.350853e-04,1.329919e-04,1.322481e-04,1.309384e-04,1.289245e-04,1.282488e-04,1.269499e-04,1.250141e-04,1.244029e-04,1.231169e-04,1.212576e-04,1.207072e-04,1.194360e-04,1.176513e-04,1.171582e-04,1.159032e-04,1.141910e-04,1.137517e-04,1.125143e-04,1.108724e-04,1.104835e-04,1.092648e-04,1.076909e-04,1.073491e-04,1.061501e-04,1.046418e-04,1.043439e-04,1.031654e-04,1.017203e-04,1.014635e-04,1.003060e-04,9.892191e-05,9.870321e-05,9.756738e-05,9.624188e-05,9.605859e-05,9.494483e-05,9.367568e-05,9.352523e-05,9.243387e-05,9.121886e-05,9.109881e-05,9.003010e-05,8.886707e-05,8.877512e-05,8.772923e-05,8.661609e-05,8.655007e-05,8.552712e-05,8.446184e-05,8.441971e-05,8.341975e-05,8.240037e-05,8.238021e-05,8.140323e-05,8.042787e-05,7.855912e-05,7.677053e-05,7.505879e-05,7.342074e-05,7.185331e-05,7.035356e-05,6.891869e-05,6.754599e-05,6.623286e-05,6.497682e-05,6.377547e-05,6.262653e-05,6.152780e-05,6.047718e-05,5.947264e-05,5.851226e-05,5.759417e-05,5.671660e-05,5.587785e-05,5.507628e-05,5.431033e-05,5.357849e-05,5.287932e-05,5.221146e-05,5.157358e-05,5.096441e-05,5.038274e-05,4.982740e-05,4.929729e-05,4.879132e-05,4.830849e-05,4.784781e-05,4.740833e-05,4.698916e-05,4.658944e-05,4.620832e-05,4.584504e-05,4.549881e-05,4.516891e-05,4.485465e-05,4.455536e-05,4.427039e-05,4.399913e-05,4.374099e-05,4.349541e-05,4.326184e-05,4.303977e-05,4.282869e-05,4.262815e-05
0.000000e+00,1.003645e-07,2.813690e-06,2.962052e-06,2.260409e-05,7.789466e-05,8.110602e-05,1.786210e-04,2.827758e-04,2.893404e-04,3.924942e-04,4.737356e-04,4.801254e-04,5.511479e-04,6.020869e-04,6.070593e-04,6.500454e-04,6.789071e-04,6.822725e-04,7.056611e-04,7.199576e-04,7.218426e-04,7.321773e-04,7.371684e-04,7.377892e-04,7.396023e-04,7.387898e-04,7.383735e-04,7.347213e-04,7.303972e-04,7.291504e-04,7.220713e-04,7.157199e-04,7.138182e-04,7.046623e-04,6.972368e-04,6.948232e-04,6.844782e-04,6.765827e-04,6.737709e-04,6.628179e-04,6.548334e-04,6.517136e-04,6.405339e-04,6.326958e-04,6.293388e-04,6.181770e-04,6.106261e-04,6.070872e-04,5.960996e-04,5.889154e-04,5.852377e-04,5.745204e-04,5.677448e-04,5.639637e-04,5.535784e-04,5.472291e-04,5.433723e-04,5.333510e-04,5.274289e-04,5.235190e-04,5.138788e-04,5.083758e-04,5.044314e-04,4.951766e-04,4.900778e-04,4.861138e-04,4.772419e-04,4.725299e-04,4.685594e-04,4.600642e-04,4.557199e-04,4.517539e-04,4.436258e-04,4.396293e-04,4.356774e-04,4.279055e-04,4.242370e-04,4.203074e-04,4.128798e-04,4.095195e-04,4.056196e-04,3.985238e-04,3.954528e-04,3.915889e-04,3.848120e-04,3.820120e-04,3.781897e-04,3.717190e-04,3.691724e-04,3.653967e-04,3.592197e-04,3.569100e-04,3.531851e-04,3.472896e-04,3.452008e-04,3.415305e-04,3.359047e-04,3.340218e-04,3.304093e-04,3.250417e-04,3.233505e-04,3.197988e-04,3.146781e-04,3.131653e-04,3.096768e-04,3.047923e-04,3.034452e-04,3.000220e-04,2.953633e-04,2.941701e-04,2.908139e-04,2.863712e-04,2.853205e-04,2.820328e-04,2.777965e-04,2.768779e-04,2.736599e-04,2.696207e-04,2.688244e-04,2.656769e-04,2.618261e-04,2.611427e-04,2.580664e-04,2.543957e-04,2.538165e-04,2.508118e-04,2.473130e-04,2.468298e-04,2.438971e-04,2.405624e-04,2.401676e-04,2.373070e-04,2.341290e-04,2.338154e-04,2.310268e-04,2.279984e-04,2.277593e-04,2.250424e-04,2.221570e-04,2.219860e-04,2.193405e-04,2.165914e-04,2.164829e-04,2.139082e-04,2.112893e-04,2.112376e-04,2.087333e-04,2.062387e-04,2.014749e-04,1.969356e-04,1.926106e-04,1.884902e-04,1.845652e-04,1.808265e-04,1.772657e-04,1.738748e-04,1.706458e-04,1.675714e-04,1.646446e-04,1.618586e-04,1.592068e-04,1.566832e-04,1.542818e-04,1.519971e-04,1.498235e-04,1.477561e-04,1.457899e-04,1.439202e-04,1.421425e-04,1.404526e-04,1.388464e-04,1.373201e-04,1.358698e-04,1.344922e-04,1.331837e-04,1.319411e-04,1.307614e-04,1.296417e-04,1.285791e-04,1.275709e-04,1.266146e-04,1.257077e-04,1.248479e-04,1.240330e-04,1.232609e-04,1.225295e-04,1.218369e-04,1.211813e-04,1.205608e-04,1.199739e-04,1.194188e-04,1.188942e-04,1.183984e-04,1.179302e-04,1.174882e-04,1.170711e-04,1.166777e-04
0.000000e+00,8.923668e-09,1.660334e-07,1.742137e-07,1.257077e-06,4.438127e-06,4.625861e-06,1.028776e-05,1.620869e-05,1.658340e-05,2.264503e-05,2.785882e-05,2.829493e-05,3.351595e-05,3.786035e-05,3.832302e-05,4.273749e-05,4.631499e-05,4.678142e-05,5.047637e-05,5.339079e-05,5.384313e-05,5.690168e-05,5.924670e-05,5.967115e-05,6.216978e-05,6.402881e-05,6.441499e-05,6.642331e-05,6.786997e-05,6.821042e-05,6.979112e-05,7.088983e-05,7.117943e-05,7.238862e-05,7.319551e-05,7.343116e-05,7.431869e-05,7.488212e-05,7.506214e-05,7.567176e-05,7.603328e-05,7.615723e-05,7.652760e-05,7.672298e-05,7.679143e-05,7.695690e-05,7.701725e-05,7.703179e-05,7.702309e-05,7.697478e-05,7.693740e-05,7.678085e-05,7.664617e-05,7.655923e-05,7.627793e-05,7.607578e-05,7.594199e-05,7.555610e-05,7.530243e-05,7.512466e-05,7.465178e-05,7.436004e-05,7.414129e-05,7.359680e-05,7.327828e-05,7.302163e-05,7.241890e-05,7.208301e-05,7.179153e-05,7.114221e-05,7.079674e-05,7.047347e-05,6.978764e-05,6.943900e-05,6.908691e-05,6.837330e-05,6.802676e-05,6.764872e-05,6.691489e-05,6.657468e-05,6.617344e-05,6.542589e-05,6.509539e-05,6.467361e-05,6.391791e-05,6.359978e-05,6.315997e-05,6.240088e-05,6.209716e-05,6.164168e-05,6.088329e-05,6.059550e-05,6.012657e-05,5.937232e-05,5.910154e-05,5.862127e-05,5.787407e-05,5.762102e-05,5.713135e-05,5.639364e-05,5.615872e-05,5.566146e-05,5.493528e-05,5.471865e-05,5.421549e-05,5.350249e-05,5.330411e-05,5.279661e-05,5.209815e-05,5.191780e-05,5.140738e-05,5.072455e-05,5.056187e-05,5.004986e-05,4.938350e-05,4.923803e-05,4.872563e-05,4.807640e-05,4.794760e-05,4.743591e-05,4.680427e-05,4.669152e-05,4.618155e-05,4.556782e-05,4.547046e-05,4.496312e-05,4.436749e-05,4.428483e-05,4.378095e-05,4.320350e-05,4.313482e-05,4.263514e-05,4.207585e-05,4.202042e-05,4.152561e-05,4.098439e-05,4.094148e-05,4.045215e-05,3.992883e-05,3.989771e-05,3.941438e-05,3.890874e-05,3.888869e-05,3.841184e-05,3.792361e-05,3.791393e-05,3.744397e-05,3.697284e-05,3.606478e-05,3.518906e-05,3.434494e-05,3.353164e-05,3.274838e-05,3.199435e-05,3.126874e-05,3.057071e-05,2.989945e-05,2.925414e-05,2.863395e-05,2.803809e-05,2.746576e-05,2.691618e-05,2.638857e-05,2.588219e-05,2.539631e-05,2.493020e-05,2.448317e-05,2.405453e-05,2.364363e-05,2.324981e-05,2.287246e-05,2.251096e-05,2.216473e-05,2.183321e-05,2.151583e-05,2.121207e-05,2.092141e-05,2.064335e-05,2.037741e-05,2.012313e-05,1.988006e-05,1.964777e-05,1.942583e-05,1.921384e-05,1.901141e-05,1.881818e-05,1.863377e-05,1.845785e-05,1.829007e-05,1.813010e-05,1.797765e-05,1.783241e-05,1.769408e-05,1.756240e-05,1.743709e-05,1.731790e-05,1.720457e-05
0.000000e+00,1.758597e-08,2.785052e-07,2.911774e-07,1.782658e-06,5.680982e-06,5.906277e-06,1.289220e-05,2.074095e-05,2.125150e-05,2.964838e-05,3.702437e-05,3.764677e-05,4.516199e-05,5.150898e-05,5.219025e-05,5.874590e-05,6.413877e-05,6.484767e-05,7.051547e-05,7.505785e-05,7.576919e-05,8.062861e-05,8.442000e-05,8.511311e-05,8.924150e-05,9.237388e-05,9.303204e-05,9.650231e-05,9.905937e-05,9.966928e-05,1.025491e-04,1.046059e-04,1.051570e-04,1.075079e-04,1.091314e-04,1.096159e-04,1.114946e-04,1.127451e-04,1.131574e-04,1.146167e-04,1.155480e-04,1.158843e-04,1.169713e-04,1.176305e-04,1.178884e-04,1.186458e-04,1.190746e-04,1.192532e-04,1.197198e-04,1.199549e-04,1.200543e-04,1.202650e-04,1.203386e-04,1.203598e-04,1.203463e-04,1.202866e-04,1.202314e-04,1.200221e-04,1.198539e-04,1.197248e-04,1.193454e-04,1.190901e-04,1.188898e-04,1.183634e-04,1.180397e-04,1.177715e-04,1.171189e-04,1.167429e-04,1.164103e-04,1.156501e-04,1.152358e-04,1.148425e-04,1.139914e-04,1.135507e-04,1.131006e-04,1.121735e-04,1.117166e-04,1.112136e-04,1.102239e-04,1.097595e-04,1.092075e-04,1.081670e-04,1.077024e-04,1.071053e-04,1.060248e-04,1.055659e-04,1.049277e-04,1.038164e-04,1.033684e-04,1.026930e-04,1.015592e-04,1.011261e-04,1.004171e-04,9.926839e-05,9.885352e-05,9.811459e-05,9.695728e-05,9.656324e-05,9.579786e-05,9.463769e-05,9.426648e-05,9.347800e-05,9.231996e-05,9.197304e-05,9.116466e-05,9.001311e-05,8.969148e-05,8.886625e-05,8.772496e-05,8.742924e-05,8.659006e-05,8.546230e-05,8.519278e-05,8.434237e-05,8.323093e-05,8.298761e-05,8.212857e-05,8.103582e-05,8.081847e-05,7.995321e-05,7.888117e-05,7.868936e-05,7.782014e-05,7.677048e-05,7.660362e-05,7.573255e-05,7.470666e-05,7.456401e-05,7.369308e-05,7.269205e-05,7.257278e-05,7.170380e-05,7.072852e-05,7.063171e-05,6.976638e-05,6.881751e-05,6.874218e-05,6.788204e-05,6.696006e-05,6.690517e-05,6.605166e-05,6.515690e-05,6.512139e-05,6.427581e-05,6.340843e-05,6.339122e-05,6.255476e-05,6.171481e-05,6.009209e-05,5.852277e-05,5.700644e-05,5.554251e-05,5.413027e-05,5.276891e-05,5.145754e-05,5.019518e-05,4.898078e-05,4.781325e-05,4.669145e-05,4.561423e-05,4.458039e-05,4.358875e-05,4.263808e-05,4.172719e-05,4.085484e-05,4.001984e-05,3.922098e-05,3.845708e-05,3.772695e-05,3.702945e-05,3.636344e-05,3.572781e-05,3.512147e-05,3.454335e-05,3.399240e-05,3.346761e-05,3.296799e-05,3.249257e-05,3.204041e-05,3.161061e-05,3.120227e-05,3.081455e-05,3.044660e-05,3.009762e-05,2.976684e-05,2.945349e-05,2.915685e-05,2.887621e-05,2.861089e-05,2.836024e-05,2.812362e-05,2.790042e-05,2.769005e-05,2.749194e-05,2.730554e-05,2.713034e-05,2.696581e-05
0.000000e+00,3.146705e-07,9.553167e-06,1.010079e-05,9.953283e-05,4.184031e-04,4.383041e-04,1.081089e-03,1.848773e-03,1.900348e-03,2.768853e-03,3.542008e-03,3.606709e-03,4.370630e-03,4.978273e-03,5.040839e-03,5.611757e-03,6.033961e-03,6.085963e-03,6.470407e-03,6.736068e-03,6.774078e-03,7.006613e-03,7.153918e-03,7.177489e-03,7.295579e-03,7.358706e-03,7.368944e-03,7.404752e-03,7.410605e-03,7.409282e-03,7.387968e-03,7.356425e-03,7.345471e-03,7.285760e-03,7.230954e-03,7.212194e-03,7.127599e-03,7.059307e-03,7.034345e-03,6.934404e-03,6.859239e-03,6.829417e-03,6.720740e-03,6.643077e-03,6.609490e-03,6.496582e-03,6.419245e-03,6.382763e-03,6.268641e-03,6.193397e-03,6.154707e-03,6.041354e-03,5.969261e-03,5.928896e-03,5.817581e-03,5.749227e-03,5.707604e-03,5.599116e-03,5.534787e-03,5.492231e-03,5.387037e-03,5.326825e-03,5.283596e-03,5.181952e-03,5.125828e-03,5.082136e-03,4.984164e-03,4.932031e-03,4.888047e-03,4.793786e-03,4.745502e-03,4.701376e-03,4.610807e-03,4.566210e-03,4.522069e-03,4.435145e-03,4.394061e-03,4.350018e-03,4.266672e-03,4.228924e-03,4.185085e-03,4.105238e-03,4.070651e-03,4.027109e-03,3.950678e-03,3.919078e-03,3.875922e-03,3.802819e-03,3.774035e-03,3.731346e-03,3.661482e-03,3.635351e-03,3.593203e-03,3.526487e-03,3.502848e-03,3.461311e-03,3.397652e-03,3.376350e-03,3.335487e-03,3.274794e-03,3.255678e-03,3.215548e-03,3.157727e-03,3.140655e-03,3.101308e-03,3.046268e-03,3.031101e-03,2.992585e-03,2.940234e-03,2.926838e-03,2.889193e-03,2.839439e-03,2.827687e-03,2.790949e-03,2.743701e-03,2.733471e-03,2.697672e-03,2.652839e-03,2.644015e-03,2.609181e-03,2.566675e-03,2.559144e-03,2.525298e-03,2.485030e-03,2.478688e-03,2.445848e-03,2.407731e-03,2.402478e-03,2.370657e-03,2.334606e-03,2.330348e-03,2.299557e-03,2.265488e-03,2.262135e-03,2.232380e-03,2.200213e-03,2.197680e-03,2.168967e-03,2.138621e-03,2.136829e-03,2.109157e-03,2.080556e-03,2.079429e-03,2.052798e-03,2.025866e-03,2.025335e-03,1.999740e-03,1.974404e-03,1.926495e-03,1.881476e-03,1.839216e-03,1.799589e-03,1.762473e-03,1.727751e-03,1.695310e-03,1.665039e-03,1.636834e-03,1.610594e-03,1.586219e-03,1.563616e-03,1.542693e-03,1.523365e-03,1.505546e-03,1.489157e-03,1.474119e-03,1.460357e-03,1.447801e-03,1.436382e-03,1.426033e-03,1.416692e-03,1.408297e-03,1.400791e-03,1.394118e-03,1.388224e-03,1.383058e-03,1.378573e-03,1.374720e-03,1.371456e-03,1.368738e-03,1.366525e-03,1.364779e-03,1.363463e-03,1.362542e-03,1.361983e-03,1.361754e-03,1.361826e-03,1.362170e-03,1.362759e-03,1.363569e-03,1.364575e-03,1.365755e-03,1.367088e-03,1.368553e-03,1.370134e-03,1.371811e-03,1.373569e-03,1.375394e-03
0.000000e+00,2.811127e-08,4.787885e-07,5.009143e-07,3.426875e-06,1.348076e-05,1.415460e-05,3.992668e-05,8.064272e-05,8.371539e-05,1.402763e-04,1.963204e-04,2.012020e-04,2.610514e-04,3.121051e-04,3.175835e-04,3.701371e-04,4.130363e-04,4.186477e-04,4.632506e-04,4.986319e-04,5.041409e-04,5.415274e-04,5.703764e-04,5.756177e-04,6.066126e-04,6.298540e-04,6.347047e-04,6.600773e-04,6.785349e-04,6.829049e-04,7.033523e-04,7.177496e-04,7.215755e-04,7.377214e-04,7.486887e-04,7.519288e-04,7.643280e-04,7.724122e-04,7.750425e-04,7.841883e-04,7.898632e-04,7.918741e-04,7.982018e-04,8.018745e-04,8.032668e-04,8.071587e-04,8.091783e-04,8.099618e-04,8.117561e-04,8.124242e-04,8.126163e-04,8.126129e-04,8.121883e-04,8.118123e-04,8.102782e-04,8.089857e-04,8.080716e-04,8.052473e-04,8.032778e-04,8.018567e-04,7.979472e-04,7.954596e-04,7.935633e-04,7.887468e-04,7.858753e-04,7.835367e-04,7.779693e-04,7.748264e-04,7.720785e-04,7.658961e-04,7.625760e-04,7.594519e-04,7.527737e-04,7.493549e-04,7.458873e-04,7.388168e-04,7.353642e-04,7.315847e-04,7.242118e-04,7.207784e-04,7.167176e-04,7.091202e-04,7.057491e-04,7.014365e-04,6.936823e-04,6.904080e-04,6.858719e-04,6.780191e-04,6.748689e-04,6.701363e-04,6.622350e-04,6.592299e-04,6.543259e-04,6.464190e-04,6.435748e-04,6.385233e-04,6.306472e-04,6.279752e-04,6.227985e-04,6.149843e-04,6.124921e-04,6.072111e-04,5.994850e-04,5.971772e-04,5.918114e-04,5.841952e-04,5.820736e-04,5.766411e-04,5.691530e-04,5.672175e-04,5.617349e-04,5.543899e-04,5.526383e-04,5.471211e-04,5.399313e-04,5.383604e-04,5.328228e-04,5.257977e-04,5.244028e-04,5.188578e-04,5.120049e-04,5.107807e-04,5.052403e-04,4.985651e-04,4.975055e-04,4.919804e-04,4.854870e-04,4.845852e-04,4.790854e-04,4.727763e-04,4.720254e-04,4.665599e-04,4.604364e-04,4.598292e-04,4.544060e-04,4.484685e-04,4.479976e-04,4.426240e-04,4.368720e-04,4.365298e-04,4.312123e-04,4.256445e-04,4.254237e-04,4.201682e-04,4.147827e-04,4.146759e-04,4.094875e-04,4.042819e-04,3.942362e-04,3.845327e-04,3.751648e-04,3.661252e-04,3.574063e-04,3.490003e-04,3.408992e-04,3.330946e-04,3.255782e-04,3.183418e-04,3.113769e-04,3.046752e-04,2.982285e-04,2.920286e-04,2.860674e-04,2.803370e-04,2.748297e-04,2.695379e-04,2.644541e-04,2.595710e-04,2.548817e-04,2.503791e-04,2.460567e-04,2.419078e-04,2.379262e-04,2.341058e-04,2.304405e-04,2.269247e-04,2.235528e-04,2.203194e-04,2.172193e-04,2.142474e-04,2.113990e-04,2.086692e-04,2.060536e-04,2.035479e-04,2.011477e-04,1.988490e-04,1.966479e-04,1.945407e-04,1.925236e-04,1.905932e-04,1.887462e-04,1.869791e-04,1.852889e-04,1.836727e-04,1.821274e-04,1.806503e-04,1.792387e-04
0.000000e+00,1.526495e-09,1.703957e-08,1.772978e-08,9.696460e-08,3.224375e-07,3.363968e-07,8.170454e-07,1.453238e-06,1.497259e-06,2.247479e-06,2.927069e-06,2.984746e-06,3.682243e-06,4.270802e-06,4.333874e-06,4.939329e-06,5.434956e-06,5.499914e-06,6.017405e-06,6.429448e-06,6.493728e-06,6.930842e-06,7.269155e-06,7.330711e-06,7.695254e-06,7.969142e-06,8.026354e-06,8.325836e-06,8.543846e-06,8.595467e-06,8.836945e-06,9.006809e-06,9.051906e-06,9.241905e-06,9.370530e-06,9.408437e-06,9.552950e-06,9.646518e-06,9.676809e-06,9.781315e-06,9.845267e-06,9.867696e-06,9.937122e-06,9.976232e-06,9.990709e-06,1.002951e-05,1.004797e-05,1.005453e-05,1.006672e-05,1.006818e-05,1.006698e-05,1.005616e-05,1.004380e-05,1.003507e-05,1.000448e-05,9.981049e-06,9.965093e-06,9.917607e-06,9.885496e-06,9.862663e-06,9.800870e-06,9.762119e-06,9.732802e-06,9.659002e-06,9.615361e-06,9.579980e-06,9.496218e-06,9.449177e-06,9.408170e-06,9.316263e-06,9.267081e-06,9.220899e-06,9.122455e-06,9.072190e-06,9.021286e-06,8.917725e-06,8.867259e-06,8.812085e-06,8.704658e-06,8.654718e-06,8.595719e-06,8.485525e-06,8.436704e-06,8.374316e-06,8.262316e-06,8.215092e-06,8.149736e-06,8.036770e-06,7.991517e-06,7.923600e-06,7.810396e-06,7.767402e-06,7.697314e-06,7.584501e-06,7.543981e-06,7.472092e-06,7.360210e-06,7.322312e-06,7.248973e-06,7.138486e-06,7.103304e-06,7.028846e-06,6.920144e-06,6.887729e-06,6.812461e-06,6.705873e-06,6.676234e-06,6.600447e-06,6.496245e-06,6.469360e-06,6.393323e-06,6.291731e-06,6.267552e-06,6.191514e-06,6.092711e-06,6.071168e-06,5.995358e-06,5.899486e-06,5.880491e-06,5.805120e-06,5.712284e-06,5.695737e-06,5.620997e-06,5.531274e-06,5.517065e-06,5.443129e-06,5.356570e-06,5.344579e-06,5.271605e-06,5.188238e-06,5.178341e-06,5.106471e-06,5.026303e-06,5.018374e-06,4.947732e-06,4.870754e-06,4.864665e-06,4.795363e-06,4.721551e-06,4.717173e-06,4.649309e-06,4.578626e-06,4.575831e-06,4.509490e-06,4.441889e-06,4.440552e-06,4.375807e-06,4.311230e-06,4.187744e-06,4.069961e-06,3.957737e-06,3.850920e-06,3.749354e-06,3.652874e-06,3.561317e-06,3.474514e-06,3.392296e-06,3.314496e-06,3.240945e-06,3.171478e-06,3.105930e-06,3.044139e-06,2.985949e-06,2.931203e-06,2.879750e-06,2.831442e-06,2.786137e-06,2.743695e-06,2.703981e-06,2.666865e-06,2.632220e-06,2.599925e-06,2.569862e-06,2.541919e-06,2.515986e-06,2.491960e-06,2.469741e-06,2.449231e-06,2.430340e-06,2.412978e-06,2.397062e-06,2.382511e-06,2.369247e-06,2.357197e-06,2.346290e-06,2.336461e-06,2.327644e-06,2.319779e-06,2.312808e-06,2.306676e-06,2.301331e-06,2.296722e-06,2.292803e-06,2.289528e-06,2.286855e-06,2.284743e-06,2.283154e-06
0.000000e+00,1.226553e-08,1.303948e-07,1.355225e-07,7.181624e-07,2.423823e-06,2.532096e-06,6.432406e-06,1.206358e-05,1.247054e-05,1.965688e-05,2.643477e-05,2.701732e-05,3.412754e-05,4.020597e-05,4.086125e-05,4.719025e-05,5.242582e-05,5.311592e-05,5.864885e-05,6.310343e-05,6.380269e-05,6.859226e-05,7.234510e-05,7.303275e-05,7.713946e-05,8.026855e-05,8.092757e-05,8.441210e-05,8.699093e-05,8.760760e-05,9.052826e-05,9.262446e-05,9.318787e-05,9.559976e-05,9.727504e-05,9.777676e-05,9.973124e-05,1.010413e-04,1.014750e-04,1.030196e-04,1.040144e-04,1.043758e-04,1.055541e-04,1.062785e-04,1.065645e-04,1.074166e-04,1.079103e-04,1.081196e-04,1.086821e-04,1.089805e-04,1.091125e-04,1.094188e-04,1.095532e-04,1.096085e-04,1.096890e-04,1.096870e-04,1.096671e-04,1.095494e-04,1.094354e-04,1.093421e-04,1.090513e-04,1.088465e-04,1.086825e-04,1.082413e-04,1.079645e-04,1.077328e-04,1.071618e-04,1.068291e-04,1.065330e-04,1.058508e-04,1.054763e-04,1.051193e-04,1.043427e-04,1.039386e-04,1.035246e-04,1.026686e-04,1.022452e-04,1.017781e-04,1.008563e-04,1.004226e-04,9.990631e-05,9.893096e-05,9.849449e-05,9.793299e-05,9.691496e-05,9.648200e-05,9.587932e-05,9.482837e-05,9.440419e-05,9.376428e-05,9.268909e-05,9.227801e-05,9.160473e-05,9.051302e-05,9.011854e-05,8.941567e-05,8.831430e-05,8.793918e-05,8.721040e-05,8.610540e-05,8.575179e-05,8.500063e-05,8.389733e-05,8.356681e-05,8.279667e-05,8.169974e-05,8.139341e-05,8.060756e-05,7.952107e-05,7.923962e-05,7.844115e-05,7.736863e-05,7.711242e-05,7.630427e-05,7.524877e-05,7.501781e-05,7.420277e-05,7.316689e-05,7.296097e-05,7.214166e-05,7.112761e-05,7.094630e-05,7.012519e-05,6.913482e-05,6.897750e-05,6.815688e-05,6.719173e-05,6.705764e-05,6.623967e-05,6.530098e-05,6.518924e-05,6.437590e-05,6.346465e-05,6.337430e-05,6.256743e-05,6.168439e-05,6.161436e-05,6.081567e-05,5.996139e-05,5.991059e-05,5.912163e-05,5.829647e-05,5.826377e-05,5.748596e-05,5.669014e-05,5.667437e-05,5.590901e-05,5.514259e-05,5.366836e-05,5.225141e-05,5.089126e-05,4.958727e-05,4.833867e-05,4.714454e-05,4.600387e-05,4.491555e-05,4.387840e-05,4.289117e-05,4.195258e-05,4.106128e-05,4.021592e-05,3.941511e-05,3.865745e-05,3.794152e-05,3.726593e-05,3.662926e-05,3.603011e-05,3.546711e-05,3.493887e-05,3.444405e-05,3.398132e-05,3.354937e-05,3.314692e-05,3.277272e-05,3.242553e-05,3.210417e-05,3.180745e-05,3.153426e-05,3.128348e-05,3.105404e-05,3.084489e-05,3.065504e-05,3.048349e-05,3.032931e-05,3.019158e-05,3.006941e-05,2.996196e-05,2.986839e-05,2.978793e-05,2.971979e-05,2.966326e-05,2.961761e-05,2.958219e-05,2.955632e-05,2.953940e-05,2.953081e-05,2.952999e-05
0.000000e+00,4.379009e-08,9.888465e-07,1.039073e-06,7.633153e-06,2.641739e-05,2.751900e-05,6.129471e-05,9.773621e-05,1.000561e-04,1.374723e-04,1.692771e-04,1.719168e-04,2.032454e-04,2.288983e-04,2.316064e-04,2.571977e-04,2.775855e-04,2.802187e-04,3.008594e-04,3.168436e-04,3.192989e-04,3.357020e-04,3.480201e-04,3.502232e-04,3.630094e-04,3.722958e-04,3.741975e-04,3.839153e-04,3.907106e-04,3.922809e-04,3.994041e-04,4.041637e-04,4.053870e-04,4.103239e-04,4.134303e-04,4.143021e-04,4.174026e-04,4.191761e-04,4.197002e-04,4.212640e-04,4.219718e-04,4.221581e-04,4.224417e-04,4.223063e-04,4.221693e-04,4.213915e-04,4.205979e-04,4.201549e-04,4.185027e-04,4.172039e-04,4.164745e-04,4.141070e-04,4.124296e-04,4.114342e-04,4.084871e-04,4.065349e-04,4.052945e-04,4.018830e-04,3.997413e-04,3.982770e-04,3.944989e-04,3.922370e-04,3.905694e-04,3.865076e-04,3.841818e-04,3.823310e-04,3.780556e-04,3.757110e-04,3.736962e-04,3.692663e-04,3.669391e-04,3.647784e-04,3.602438e-04,3.579623e-04,3.556730e-04,3.510756e-04,3.488619e-04,3.464601e-04,3.418347e-04,3.397056e-04,3.372065e-04,3.325822e-04,3.305503e-04,3.279678e-04,3.233687e-04,3.214429e-04,3.187899e-04,3.142359e-04,3.124222e-04,3.097107e-04,3.052181e-04,3.035200e-04,3.007611e-04,2.963429e-04,2.947623e-04,2.919660e-04,2.876328e-04,2.861698e-04,2.833453e-04,2.791053e-04,2.777589e-04,2.749145e-04,2.707743e-04,2.695423e-04,2.666859e-04,2.626502e-04,2.615298e-04,2.586682e-04,2.547405e-04,2.537283e-04,2.508678e-04,2.470505e-04,2.461427e-04,2.432891e-04,2.395836e-04,2.387759e-04,2.359343e-04,2.323412e-04,2.316293e-04,2.288043e-04,2.253235e-04,2.247030e-04,2.218988e-04,2.185297e-04,2.179959e-04,2.152162e-04,2.119579e-04,2.115061e-04,2.087543e-04,2.056053e-04,2.052310e-04,2.025102e-04,1.994686e-04,1.991674e-04,1.964801e-04,1.935441e-04,1.933115e-04,1.906601e-04,1.878275e-04,1.876592e-04,1.850458e-04,1.823144e-04,1.822061e-04,1.796326e-04,1.769998e-04,1.769476e-04,1.744154e-04,1.718789e-04,1.669950e-04,1.622909e-04,1.577617e-04,1.534023e-04,1.492076e-04,1.451728e-04,1.412928e-04,1.375629e-04,1.339782e-04,1.305342e-04,1.272262e-04,1.240498e-04,1.210006e-04,1.180744e-04,1.152669e-04,1.125743e-04,1.099925e-04,1.075177e-04,1.051464e-04,1.028749e-04,1.006997e-04,9.861743e-05,9.662490e-05,9.471893e-05,9.289646e-05,9.115454e-05,8.949029e-05,8.790096e-05,8.638387e-05,8.493643e-05,8.355613e-05,8.224055e-05,8.098734e-05,7.979424e-05,7.865907e-05,7.757971e-05,7.655410e-05,7.558027e-05,7.465631e-05,7.378037e-05,7.295067e-05,7.216547e-05,7.142310e-05,7.072195e-05,7.006045e-05,6.943711e-05,6.885045e-05,6.829907e-05,6.778161e-05
0.000000e+00,2.596523e-07,8.196861e-06,8.666747e-06,8.455929e-05,3.635991e-04,3.817048e-04,1.008430e-03,1.850752e-03,1.910797e-03,2.989160e-03,4.065624e-03,4.161301e-03,5.366923e-03,6.445042e-03,6.563345e-03,7.721156e-03,8.692364e-03,8.820783e-03,9.849888e-03,1.067303e-02,1.080142e-02,1.167214e-02,1.234065e-02,1.246153e-02,1.317101e-02,1.369500e-02,1.380326e-02,1.436185e-02,1.475841e-02,1.485085e-02,1.527464e-02,1.556280e-02,1.563768e-02,1.594443e-02,1.614260e-02,1.619925e-02,1.640634e-02,1.653121e-02,1.656969e-02,1.669310e-02,1.675922e-02,1.678011e-02,1.683406e-02,1.685381e-02,1.685802e-02,1.685487e-02,1.683860e-02,1.682725e-02,1.677761e-02,1.673388e-02,1.670819e-02,1.662107e-02,1.655691e-02,1.651815e-02,1.640116e-02,1.632227e-02,1.627171e-02,1.613123e-02,1.604222e-02,1.598108e-02,1.582246e-02,1.572702e-02,1.565648e-02,1.548416e-02,1.538524e-02,1.530642e-02,1.512410e-02,1.502402e-02,1.493797e-02,1.474871e-02,1.464927e-02,1.455695e-02,1.436329e-02,1.426590e-02,1.416822e-02,1.397222e-02,1.387794e-02,1.377573e-02,1.357912e-02,1.348873e-02,1.338274e-02,1.318690e-02,1.310098e-02,1.299190e-02,1.279797e-02,1.271690e-02,1.260535e-02,1.241425e-02,1.233827e-02,1.222483e-02,1.203728e-02,1.196652e-02,1.185171e-02,1.166828e-02,1.160278e-02,1.148707e-02,1.130820e-02,1.124793e-02,1.113174e-02,1.095776e-02,1.090263e-02,1.078634e-02,1.061751e-02,1.056738e-02,1.045133e-02,1.028782e-02,1.024252e-02,1.012702e-02,9.968940e-03,9.928288e-03,9.813602e-03,9.661011e-03,9.624799e-03,9.511173e-03,9.364086e-03,9.332095e-03,9.219745e-03,9.078141e-03,9.050148e-03,8.939263e-03,8.803095e-03,8.778872e-03,8.669620e-03,8.538816e-03,8.518134e-03,8.410662e-03,8.285132e-03,8.267766e-03,8.162201e-03,8.041840e-03,8.027568e-03,7.924020e-03,7.808711e-03,7.797317e-03,7.695881e-03,7.585498e-03,7.576772e-03,7.477528e-03,7.371938e-03,7.365677e-03,7.268693e-03,7.167757e-03,7.163767e-03,7.069097e-03,6.972675e-03,6.970769e-03,6.878457e-03,6.786405e-03,6.610397e-03,6.442463e-03,6.282326e-03,6.129709e-03,5.984337e-03,5.845944e-03,5.714263e-03,5.589036e-03,5.470011e-03,5.356939e-03,5.249581e-03,5.147701e-03,5.051073e-03,4.959475e-03,4.872692e-03,4.790518e-03,4.712751e-03,4.639196e-03,4.569665e-03,4.503977e-03,4.441955e-03,4.383431e-03,4.328241e-03,4.276227e-03,4.227237e-03,4.181127e-03,4.137753e-03,4.096982e-03,4.058683e-03,4.022730e-03,3.989004e-03,3.957389e-03,3.927773e-03,3.900051e-03,3.874120e-03,3.849882e-03,3.827244e-03,3.806116e-03,3.786412e-03,3.768051e-03,3.750952e-03,3.735043e-03,3.720250e-03,3.706506e-03,3.693745e-03,3.681906e-03,3.670930e-03,3.660759e-03,3.651341e-03
0.000000e+00,3.598270e-08,5.544809e-07,5.799785e-07,3.975125e-06,1.516053e-05,1.587614e-05,4.006163e-05,6.882931e-05,7.069199e-05,1.006203e-04,1.254231e-04,1.274422e-04,1.508545e-04,1.691766e-04,1.710615e-04,1.883648e-04,2.014300e-04,2.030664e-04,2.154466e-04,2.244319e-04,2.257603e-04,2.342379e-04,2.400930e-04,2.410874e-04,2.464964e-04,2.499755e-04,2.506333e-04,2.536496e-04,2.553474e-04,2.556809e-04,2.568490e-04,2.572310e-04,2.572623e-04,2.570176e-04,2.564451e-04,2.562013e-04,2.548904e-04,2.536426e-04,2.531536e-04,2.510514e-04,2.493418e-04,2.486373e-04,2.459581e-04,2.439476e-04,2.430558e-04,2.399672e-04,2.377776e-04,2.367254e-04,2.333591e-04,2.310819e-04,2.298944e-04,2.263557e-04,2.240621e-04,2.227642e-04,2.191369e-04,2.168767e-04,2.154889e-04,2.118333e-04,2.096410e-04,2.081813e-04,2.045428e-04,2.024422e-04,2.009265e-04,1.973395e-04,1.953460e-04,1.937881e-04,1.902778e-04,1.884009e-04,1.868130e-04,1.833976e-04,1.816421e-04,1.800346e-04,1.767268e-04,1.750942e-04,1.734762e-04,1.702844e-04,1.687737e-04,1.671528e-04,1.640823e-04,1.626905e-04,1.610735e-04,1.581268e-04,1.568499e-04,1.552423e-04,1.524201e-04,1.512533e-04,1.496599e-04,1.469613e-04,1.458991e-04,1.443240e-04,1.417472e-04,1.407838e-04,1.392304e-04,1.367726e-04,1.359022e-04,1.343732e-04,1.320312e-04,1.312478e-04,1.297457e-04,1.275157e-04,1.268137e-04,1.253403e-04,1.232183e-04,1.225920e-04,1.211489e-04,1.191309e-04,1.185749e-04,1.171632e-04,1.152449e-04,1.147541e-04,1.133748e-04,1.115520e-04,1.111214e-04,1.097753e-04,1.080438e-04,1.076688e-04,1.063563e-04,1.047120e-04,1.043882e-04,1.031097e-04,1.015485e-04,1.012718e-04,1.000274e-04,9.854545e-05,9.831190e-05,9.710170e-05,9.569523e-05,9.550125e-05,9.432512e-05,9.299049e-05,9.283267e-05,9.169045e-05,9.042415e-05,9.029934e-05,8.919075e-05,8.798942e-05,8.789468e-05,8.681937e-05,8.567981e-05,8.561239e-05,8.456997e-05,8.348909e-05,8.344645e-05,8.243645e-05,8.141133e-05,8.139111e-05,8.041303e-05,7.944087e-05,7.759049e-05,7.583499e-05,7.416960e-05,7.258981e-05,7.109132e-05,6.967001e-05,6.832201e-05,6.704361e-05,6.583130e-05,6.468173e-05,6.359173e-05,6.255828e-05,6.157852e-05,6.064973e-05,5.976931e-05,5.893483e-05,5.814395e-05,5.739445e-05,5.668424e-05,5.601131e-05,5.537379e-05,5.476985e-05,5.419781e-05,5.365604e-05,5.314300e-05,5.265722e-05,5.219733e-05,5.176199e-05,5.134997e-05,5.096008e-05,5.059118e-05,5.024221e-05,4.991215e-05,4.960003e-05,4.930494e-05,4.902601e-05,4.876242e-05,4.851337e-05,4.827812e-05,4.805598e-05,4.784625e-05,4.764832e-05,4.746157e-05,4.728543e-05,4.711934e-05,4.696281e-05,4.681532e-05,4.667642e-05,4.654566e-05
0.000000e+00,5.906895e-10,9.364338e-09,9.800425e-09,6.423553e-08,2.176967e-07,2.267486e-07,5.055662e-07,8.087394e-07,8.282109e-07,1.146716e-06,1.425478e-06,1.448993e-06,1.732977e-06,1.972980e-06,1.998753e-06,2.246881e-06,2.451174e-06,2.478041e-06,2.692936e-06,2.865281e-06,2.892280e-06,3.076780e-06,3.220805e-06,3.247141e-06,3.404057e-06,3.523170e-06,3.548203e-06,3.680237e-06,3.777570e-06,3.800793e-06,3.910484e-06,3.988881e-06,4.009900e-06,4.099606e-06,4.161621e-06,4.180141e-06,4.252019e-06,4.299926e-06,4.315734e-06,4.371763e-06,4.407597e-06,4.420554e-06,4.462533e-06,4.488085e-06,4.498108e-06,4.527666e-06,4.544518e-06,4.551576e-06,4.570188e-06,4.579733e-06,4.583835e-06,4.592833e-06,4.596290e-06,4.597480e-06,4.598063e-06,4.596501e-06,4.594850e-06,4.588099e-06,4.582451e-06,4.578052e-06,4.564940e-06,4.556017e-06,4.548981e-06,4.530381e-06,4.518886e-06,4.509337e-06,4.486034e-06,4.472573e-06,4.460646e-06,4.433341e-06,4.418437e-06,4.404275e-06,4.373596e-06,4.357696e-06,4.341444e-06,4.307952e-06,4.291437e-06,4.273245e-06,4.237439e-06,4.220631e-06,4.200648e-06,4.162974e-06,4.146144e-06,4.124518e-06,4.085371e-06,4.068745e-06,4.045622e-06,4.005353e-06,3.989117e-06,3.964641e-06,3.923559e-06,3.907865e-06,3.882175e-06,3.840553e-06,3.825522e-06,3.798753e-06,3.756831e-06,3.742559e-06,3.714840e-06,3.672829e-06,3.659389e-06,3.630844e-06,3.588928e-06,3.576373e-06,3.547121e-06,3.505459e-06,3.493825e-06,3.463978e-06,3.422709e-06,3.412018e-06,3.381683e-06,3.340926e-06,3.331187e-06,3.300464e-06,3.260321e-06,3.251535e-06,3.220518e-06,3.181075e-06,3.173231e-06,3.142010e-06,3.103339e-06,3.096421e-06,3.065077e-06,3.027238e-06,3.021224e-06,2.989835e-06,2.952877e-06,2.947740e-06,2.916376e-06,2.880340e-06,2.876047e-06,2.844775e-06,2.809690e-06,2.806208e-06,2.775089e-06,2.740978e-06,2.738271e-06,2.707361e-06,2.674240e-06,2.672269e-06,2.641619e-06,2.609499e-06,2.608225e-06,2.577882e-06,2.546767e-06,2.546150e-06,2.516156e-06,2.486048e-06,2.427912e-06,2.371730e-06,2.317485e-06,2.265153e-06,2.214705e-06,2.166110e-06,2.119334e-06,2.074338e-06,2.031083e-06,1.989528e-06,1.949629e-06,1.911343e-06,1.874625e-06,1.839430e-06,1.805712e-06,1.773427e-06,1.742528e-06,1.712972e-06,1.684713e-06,1.657707e-06,1.631911e-06,1.607282e-06,1.583778e-06,1.561357e-06,1.539981e-06,1.519608e-06,1.500202e-06,1.481724e-06,1.464139e-06,1.447411e-06,1.431505e-06,1.416388e-06,1.402028e-06,1.388394e-06,1.375454e-06,1.363181e-06,1.351545e-06,1.340519e-06,1.330076e-06,1.320192e-06,1.310841e-06,1.301999e-06,1.293644e-06,1.285754e-06,1.278307e-06,1.271284e-06,1.264663e-06,1.258428e-06,1.252558e-06
0.000000e+00,4.282258e-09,6.157770e-08,6.440086e-08,4.284515e-07,1.507596e-06,1.571678e-06,3.503011e-06,5.519731e-06,5.647425e-06,7.713782e-06,9.490485e-06,9.639002e-06,1.141514e-05,1.288949e-05,1.304626e-05,1.453907e-05,1.574399e-05,1.590070e-05,1.713819e-05,1.810838e-05,1.825840e-05,1.926800e-05,2.003535e-05,2.017349e-05,2.098122e-05,2.157491e-05,2.169731e-05,2.232771e-05,2.277417e-05,2.287812e-05,2.335399e-05,2.367678e-05,2.376053e-05,2.410270e-05,2.432259e-05,2.438518e-05,2.461242e-05,2.474748e-05,2.478860e-05,2.491763e-05,2.498345e-05,2.500326e-05,2.504897e-05,2.505898e-05,2.505803e-05,2.503350e-05,2.499911e-05,2.497825e-05,2.489495e-05,2.482584e-05,2.478611e-05,2.465408e-05,2.455842e-05,2.450103e-05,2.432901e-05,2.421367e-05,2.413991e-05,2.393551e-05,2.380621e-05,2.371744e-05,2.348724e-05,2.334873e-05,2.324634e-05,2.299604e-05,2.285224e-05,2.273759e-05,2.247211e-05,2.232620e-05,2.220066e-05,2.192421e-05,2.177878e-05,2.164365e-05,2.135983e-05,2.121694e-05,2.107351e-05,2.078538e-05,2.064663e-05,2.049610e-05,2.020626e-05,2.007290e-05,1.991641e-05,1.962705e-05,1.950001e-05,1.933864e-05,1.905158e-05,1.893151e-05,1.876626e-05,1.848302e-05,1.837037e-05,1.820216e-05,1.792398e-05,1.781902e-05,1.764872e-05,1.737660e-05,1.727944e-05,1.710782e-05,1.684257e-05,1.675322e-05,1.658100e-05,1.632324e-05,1.624159e-05,1.606942e-05,1.581963e-05,1.574549e-05,1.557396e-05,1.533249e-05,1.526563e-05,1.509526e-05,1.486234e-05,1.480248e-05,1.463374e-05,1.440950e-05,1.435633e-05,1.418962e-05,1.397413e-05,1.392731e-05,1.376301e-05,1.355625e-05,1.351542e-05,1.335384e-05,1.315575e-05,1.312055e-05,1.296196e-05,1.277243e-05,1.274250e-05,1.258714e-05,1.240602e-05,1.238100e-05,1.222905e-05,1.205617e-05,1.203569e-05,1.188732e-05,1.172247e-05,1.170620e-05,1.156154e-05,1.140448e-05,1.139208e-05,1.125124e-05,1.110174e-05,1.109289e-05,1.095593e-05,1.081374e-05,1.080813e-05,1.067512e-05,1.053998e-05,1.053732e-05,1.040828e-05,1.027993e-05,1.003547e-05,9.803422e-06,9.583268e-06,9.374509e-06,9.176646e-06,8.989194e-06,8.811677e-06,8.643633e-06,8.484611e-06,8.334179e-06,8.191915e-06,8.057415e-06,7.930289e-06,7.810165e-06,7.696683e-06,7.589500e-06,7.488287e-06,7.392730e-06,7.302530e-06,7.217401e-06,7.137072e-06,7.061283e-06,6.989788e-06,6.922353e-06,6.858756e-06,6.798786e-06,6.742241e-06,6.688934e-06,6.638682e-06,6.591317e-06,6.546675e-06,6.504606e-06,6.464964e-06,6.427612e-06,6.392420e-06,6.359268e-06,6.328038e-06,6.298623e-06,6.270918e-06,6.244826e-06,6.220255e-06,6.197119e-06,6.175334e-06,6.154824e-06,6.135515e-06,6.117339e-06,6.100231e-06,6.084129e-06,6.068976e-06
0.000000e+00,3.220292e-10,4.058270e-09,4.233632e-09,2.559087e-08,8.842667e-08,9.230616e-08,2.225602e-07,3.834524e-07,3.941224e-07,5.681402e-07,7.145934e-07,7.265738e-07,8.660474e-07,9.759579e-07,9.873082e-07,1.091951e-06,1.171617e-06,1.181644e-06,1.257956e-06,1.313980e-06,1.322322e-06,1.376044e-06,1.413807e-06,1.420296e-06,1.456136e-06,1.479920e-06,1.484518e-06,1.506295e-06,1.519479e-06,1.522234e-06,1.533023e-06,1.538259e-06,1.539275e-06,1.541538e-06,1.540896e-06,1.540305e-06,1.536013e-06,1.531099e-06,1.529053e-06,1.519772e-06,1.511829e-06,1.508482e-06,1.495458e-06,1.485443e-06,1.480947e-06,1.465167e-06,1.453812e-06,1.448312e-06,1.430558e-06,1.418421e-06,1.412056e-06,1.392943e-06,1.380447e-06,1.373340e-06,1.353355e-06,1.340814e-06,1.333082e-06,1.312606e-06,1.300255e-06,1.292002e-06,1.271333e-06,1.259338e-06,1.250656e-06,1.230021e-06,1.218499e-06,1.209470e-06,1.189042e-06,1.178073e-06,1.168769e-06,1.148679e-06,1.138313e-06,1.128797e-06,1.109144e-06,1.099410e-06,1.089738e-06,1.070594e-06,1.061502e-06,1.051724e-06,1.033139e-06,1.024687e-06,1.014846e-06,9.968532e-07,9.890326e-07,9.791652e-07,9.617860e-07,9.545795e-07,9.447183e-07,9.279638e-07,9.213499e-07,9.115232e-07,8.953963e-07,8.893502e-07,8.795825e-07,8.640802e-07,8.585754e-07,8.488878e-07,8.340026e-07,8.290112e-07,8.194220e-07,8.051429e-07,8.006366e-07,7.911617e-07,7.774749e-07,7.734257e-07,7.640785e-07,7.509684e-07,7.473483e-07,7.381404e-07,7.255901e-07,7.223720e-07,7.133131e-07,7.013048e-07,6.984623e-07,6.895607e-07,6.780761e-07,6.755839e-07,6.668465e-07,6.558672e-07,6.537010e-07,6.451335e-07,6.346409e-07,6.327774e-07,6.243846e-07,6.143601e-07,6.127774e-07,6.045629e-07,5.949885e-07,5.936656e-07,5.856324e-07,5.764901e-07,5.754072e-07,5.675574e-07,5.588299e-07,5.579683e-07,5.503035e-07,5.419738e-07,5.413158e-07,5.338369e-07,5.258886e-07,5.254176e-07,5.181250e-07,5.105422e-07,5.102426e-07,5.031362e-07,4.959034e-07,4.957605e-07,4.888400e-07,4.819424e-07,4.687602e-07,4.561869e-07,4.441966e-07,4.327642e-07,4.218657e-07,4.114781e-07,4.015793e-07,3.921481e-07,3.831640e-07,3.746076e-07,3.664602e-07,3.587038e-07,3.513212e-07,3.442960e-07,3.376124e-07,3.312554e-07,3.252104e-07,3.194636e-07,3.140017e-07,3.088122e-07,3.038827e-07,2.992017e-07,2.947581e-07,2.905412e-07,2.865408e-07,2.827471e-07,2.791509e-07,2.757431e-07,2.725152e-07,2.694591e-07,2.665669e-07,2.638311e-07,2.612446e-07,2.588005e-07,2.564922e-07,2.543135e-07,2.522584e-07,2.503211e-07,2.484962e-07,2.467784e-07,2.451627e-07,2.436443e-07,2.422186e-07,2.408813e-07,2.396280e-07,2.384548e-07,2.373580e-07,2.363337e-07,2.353785e-07
0.000000e+00,1.269914e-07,2.589186e-06,2.718335e-06,2.161198e-05,9.312897e-05,9.803864e-05,2.861522e-04,5.738917e-04,5.951922e-04,9.836949e-04,1.369767e-03,1.403584e-03,1.819243e-03,2.170803e-03,2.208049e-03,2.557230e-03,2.826896e-03,2.860845e-03,3.117473e-03,3.301634e-03,3.328546e-03,3.497191e-03,3.608994e-03,3.627431e-03,3.723653e-03,3.780270e-03,3.790268e-03,3.831489e-03,3.848813e-03,3.851211e-03,3.852946e-03,3.843827e-03,3.839804e-03,3.814495e-03,3.788575e-03,3.779358e-03,3.736382e-03,3.700533e-03,3.687248e-03,3.633363e-03,3.592287e-03,3.575894e-03,3.515809e-03,3.472621e-03,3.453897e-03,3.390805e-03,3.347502e-03,3.327060e-03,3.263087e-03,3.220906e-03,3.199222e-03,3.135733e-03,3.095396e-03,3.072829e-03,3.010671e-03,2.972563e-03,2.949382e-03,2.889053e-03,2.853346e-03,2.829753e-03,2.771528e-03,2.738265e-03,2.714413e-03,2.658429e-03,2.627577e-03,2.603588e-03,2.549894e-03,2.521376e-03,2.497347e-03,2.445942e-03,2.419659e-03,2.395669e-03,2.346519e-03,2.322361e-03,2.298479e-03,2.251534e-03,2.229386e-03,2.205671e-03,2.160874e-03,2.140621e-03,2.117126e-03,2.074411e-03,2.055938e-03,2.032711e-03,1.992009e-03,1.975208e-03,1.952289e-03,1.913532e-03,1.898296e-03,1.875723e-03,1.838843e-03,1.825068e-03,1.802875e-03,1.767801e-03,1.755391e-03,1.733606e-03,1.700271e-03,1.689130e-03,1.667780e-03,1.636116e-03,1.626156e-03,1.605262e-03,1.575202e-03,1.566336e-03,1.545919e-03,1.517396e-03,1.509544e-03,1.489619e-03,1.462570e-03,1.455655e-03,1.436234e-03,1.410596e-03,1.404545e-03,1.385640e-03,1.361350e-03,1.356095e-03,1.337713e-03,1.314713e-03,1.310188e-03,1.292335e-03,1.270566e-03,1.266711e-03,1.249391e-03,1.228797e-03,1.225555e-03,1.208770e-03,1.189296e-03,1.186613e-03,1.170363e-03,1.151957e-03,1.149783e-03,1.134066e-03,1.116678e-03,1.114966e-03,1.099780e-03,1.083361e-03,1.082068e-03,1.067408e-03,1.051911e-03,1.050996e-03,1.036858e-03,1.022238e-03,1.021662e-03,1.008041e-03,9.942551e-04,9.939835e-04,9.808711e-04,9.678787e-04,9.432705e-04,9.200850e-04,8.982515e-04,8.777023e-04,8.583731e-04,8.402022e-04,8.231307e-04,8.071027e-04,7.920646e-04,7.779655e-04,7.647568e-04,7.523923e-04,7.408279e-04,7.300216e-04,7.199334e-04,7.105254e-04,7.017613e-04,6.936066e-04,6.860286e-04,6.789961e-04,6.724794e-04,6.664502e-04,6.608818e-04,6.557486e-04,6.510262e-04,6.466917e-04,6.427231e-04,6.390995e-04,6.358011e-04,6.328091e-04,6.301055e-04,6.276733e-04,6.254963e-04,6.235593e-04,6.218475e-04,6.203472e-04,6.190451e-04,6.179288e-04,6.169865e-04,6.162069e-04,6.155793e-04,6.150936e-04,6.147402e-04,6.145100e-04,6.143944e-04,6.143852e-04,6.144747e-04,6.146555e-04,6.149206e-04
0.000000e+00,4.478472e-09,6.012785e-08,6.281135e-08,4.017522e-07,1.400234e-06,1.459978e-06,3.298561e-06,5.285456e-06,5.413087e-06,7.506096e-06,9.348479e-06,9.504391e-06,1.139372e-05,1.299997e-05,1.317300e-05,1.484438e-05,1.622840e-05,1.641096e-05,1.787622e-05,1.905811e-05,1.924384e-05,2.051760e-05,2.151786e-05,2.170138e-05,2.279906e-05,2.363765e-05,2.381454e-05,2.475159e-05,2.544728e-05,2.561395e-05,2.640523e-05,2.697535e-05,2.712895e-05,2.778850e-05,2.824886e-05,2.838715e-05,2.892805e-05,2.929292e-05,2.941422e-05,2.984857e-05,3.013078e-05,3.023388e-05,3.057281e-05,3.078384e-05,3.086792e-05,3.112166e-05,3.127176e-05,3.133635e-05,3.151424e-05,3.161252e-05,3.165744e-05,3.176801e-05,3.182254e-05,3.184788e-05,3.189890e-05,3.191682e-05,3.192284e-05,3.192140e-05,3.190901e-05,3.189616e-05,3.184868e-05,3.181151e-05,3.178039e-05,3.169268e-05,3.163559e-05,3.158689e-05,3.146425e-05,3.139145e-05,3.132597e-05,3.117317e-05,3.108835e-05,3.100694e-05,3.082830e-05,3.073463e-05,3.063822e-05,3.043761e-05,3.033785e-05,3.022737e-05,3.000830e-05,2.990479e-05,2.978121e-05,2.954683e-05,2.944157e-05,2.930586e-05,2.905899e-05,2.895369e-05,2.880682e-05,2.854998e-05,2.844605e-05,2.828900e-05,2.802444e-05,2.792307e-05,2.775678e-05,2.748651e-05,2.738866e-05,2.721407e-05,2.693988e-05,2.684633e-05,2.666433e-05,2.638781e-05,2.629917e-05,2.611065e-05,2.583319e-05,2.574994e-05,2.555573e-05,2.527857e-05,2.520105e-05,2.500197e-05,2.472618e-05,2.465464e-05,2.445145e-05,2.417798e-05,2.411256e-05,2.390599e-05,2.363567e-05,2.357644e-05,2.336719e-05,2.310072e-05,2.304768e-05,2.283640e-05,2.257439e-05,2.252748e-05,2.231480e-05,2.205775e-05,2.201687e-05,2.180336e-05,2.155172e-05,2.151671e-05,2.130292e-05,2.105705e-05,2.102774e-05,2.081417e-05,2.057435e-05,2.055054e-05,2.033766e-05,2.010414e-05,2.008560e-05,1.987384e-05,1.964679e-05,1.963327e-05,1.942304e-05,1.920260e-05,1.919385e-05,1.898551e-05,1.877178e-05,1.876754e-05,1.856142e-05,1.835445e-05,1.795464e-05,1.756813e-05,1.719486e-05,1.683474e-05,1.648764e-05,1.615339e-05,1.583180e-05,1.552264e-05,1.522569e-05,1.494068e-05,1.466734e-05,1.440540e-05,1.415455e-05,1.391450e-05,1.368493e-05,1.346555e-05,1.325604e-05,1.305609e-05,1.286539e-05,1.268363e-05,1.251051e-05,1.234571e-05,1.218895e-05,1.203993e-05,1.189835e-05,1.176394e-05,1.163642e-05,1.151551e-05,1.140095e-05,1.129248e-05,1.118985e-05,1.109282e-05,1.100114e-05,1.091460e-05,1.083296e-05,1.075601e-05,1.068354e-05,1.061534e-05,1.055123e-05,1.049101e-05,1.043450e-05,1.038153e-05,1.033193e-05,1.028553e-05,1.024217e-05,1.020172e-05,1.016401e-05,1.012892e-05,1.009631e-05
0.000000e+00,1.912689e-05,5.314943e-04,5.609964e-04,5.293082e-03,2.371297e-02,2.496572e-02,7.182144e-02,1.420006e-01,1.472177e-01,2.443897e-01,3.465208e-01,3.558011e-01,4.752025e-01,5.854642e-01,5.977479e-01,7.197848e-01,8.246019e-01,8.386239e-01,9.523414e-01,1.045021e+00,1.059616e+00,1.159597e+00,1.237580e+00,1.251798e+00,1.336012e+00,1.399103e+00,1.412240e+00,1.480639e+00,1.529900e+00,1.541478e+00,1.595103e+00,1.632176e+00,1.641910e+00,1.682325e+00,1.709035e+00,1.716787e+00,1.745737e+00,1.763868e+00,1.769611e+00,1.788828e+00,1.800007e+00,1.803791e+00,1.814881e+00,1.820532e+00,1.822457e+00,1.826853e+00,1.828186e+00,1.828381e+00,1.827328e+00,1.825349e+00,1.823959e+00,1.818517e+00,1.814049e+00,1.811223e+00,1.802281e+00,1.795990e+00,1.791874e+00,1.780172e+00,1.772592e+00,1.767326e+00,1.753473e+00,1.745028e+00,1.738740e+00,1.723238e+00,1.714260e+00,1.707070e+00,1.690328e+00,1.681079e+00,1.673095e+00,1.655447e+00,1.646127e+00,1.637449e+00,1.619165e+00,1.609932e+00,1.600648e+00,1.581948e+00,1.572920e+00,1.563110e+00,1.544174e+00,1.535441e+00,1.525177e+00,1.506151e+00,1.497778e+00,1.487125e+00,1.468127e+00,1.460161e+00,1.449179e+00,1.430304e+00,1.422779e+00,1.411521e+00,1.392847e+00,1.385783e+00,1.374297e+00,1.355886e+00,1.349295e+00,1.337627e+00,1.319529e+00,1.313415e+00,1.301604e+00,1.283860e+00,1.278222e+00,1.266305e+00,1.248947e+00,1.243778e+00,1.231790e+00,1.214841e+00,1.210133e+00,1.198105e+00,1.181585e+00,1.177325e+00,1.165285e+00,1.149208e+00,1.145383e+00,1.133356e+00,1.117732e+00,1.114326e+00,1.102338e+00,1.087174e+00,1.084169e+00,1.072241e+00,1.057541e+00,1.054920e+00,1.043074e+00,1.028839e+00,1.026583e+00,1.014837e+00,1.001067e+00,9.991580e-01,9.875294e-01,9.742226e-01,9.726413e-01,9.611461e-01,9.482989e-01,9.470268e-01,9.356798e-01,9.232874e-01,9.223057e-01,9.111204e-01,8.991772e-01,8.984677e-01,8.874562e-01,8.759558e-01,8.755004e-01,8.646741e-01,8.536093e-01,8.533902e-01,8.427595e-01,8.321226e-01,8.116817e-01,7.920510e-01,7.732135e-01,7.551513e-01,7.378464e-01,7.212802e-01,7.054340e-01,6.902886e-01,6.758250e-01,6.620239e-01,6.488659e-01,6.363316e-01,6.244018e-01,6.130570e-01,6.022780e-01,5.920457e-01,5.823412e-01,5.731455e-01,5.644401e-01,5.562065e-01,5.484264e-01,5.410820e-01,5.341554e-01,5.276294e-01,5.214867e-01,5.157107e-01,5.102848e-01,5.051931e-01,5.004196e-01,4.959492e-01,4.917669e-01,4.878580e-01,4.842085e-01,4.808046e-01,4.776330e-01,4.746808e-01,4.719356e-01,4.693854e-01,4.670185e-01,4.648238e-01,4.627906e-01,4.609086e-01,4.591680e-01,4.575593e-01,4.560736e-01,4.547023e-01,4.534371e-01,4.522703e-01,4.511946e-01
0.000000e+00,3.691850e-05,7.942194e-04,8.343026e-04,6.670097e-03,2.873064e-02,3.026177e-02,9.176375e-02,1.983307e-01,2.068351e-01,3.766347e-01,5.736004e-01,5.922748e-01,8.426607e-01,1.089266e+00,1.117607e+00,1.408452e+00,1.671818e+00,1.708021e+00,2.010451e+00,2.269191e+00,2.311006e+00,2.605905e+00,2.847059e+00,2.892182e+00,3.167548e+00,3.383986e+00,3.430286e+00,3.679157e+00,3.867689e+00,3.913314e+00,4.132237e+00,4.292250e+00,4.335672e+00,4.523580e+00,4.656083e+00,4.696095e+00,4.853491e+00,4.960450e+00,4.996147e+00,5.124525e+00,5.208407e+00,5.239147e+00,5.340580e+00,5.404053e+00,5.429419e+00,5.506277e+00,5.552014e+00,5.571775e+00,5.626534e+00,5.657091e+00,5.671169e+00,5.706284e+00,5.724035e+00,5.732469e+00,5.750295e+00,5.757393e+00,5.760315e+00,5.763061e+00,5.761431e+00,5.759044e+00,5.748750e+00,5.740089e+00,5.732646e+00,5.711174e+00,5.696963e+00,5.684755e+00,5.653787e+00,5.635307e+00,5.618649e+00,5.579696e+00,5.558045e+00,5.537265e+00,5.491675e+00,5.467790e+00,5.443225e+00,5.392196e+00,5.366864e+00,5.338853e+00,5.283444e+00,5.257328e+00,5.226204e+00,5.167350e+00,5.140996e+00,5.107087e+00,5.045607e+00,5.019467e+00,4.983090e+00,4.919703e+00,4.894140e+00,4.855602e+00,4.790932e+00,4.766237e+00,4.725830e+00,4.660422e+00,4.636823e+00,4.594826e+00,4.529150e+00,4.506820e+00,4.463496e+00,4.397957e+00,4.377023e+00,4.332620e+00,4.267566e+00,4.248117e+00,4.202869e+00,4.138596e+00,4.120684e+00,4.074810e+00,4.011569e+00,3.995222e+00,3.948925e+00,3.886927e+00,3.872148e+00,3.825618e+00,3.765038e+00,3.751812e+00,3.705224e+00,3.646207e+00,3.634502e+00,3.588018e+00,3.530682e+00,3.520454e+00,3.474223e+00,3.418662e+00,3.409856e+00,3.364016e+00,3.310301e+00,3.302856e+00,3.257531e+00,3.205717e+00,3.199564e+00,3.154869e+00,3.104994e+00,3.100061e+00,3.056099e+00,3.008188e+00,3.004398e+00,2.961264e+00,2.915329e+00,2.912604e+00,2.870382e+00,2.826424e+00,2.824686e+00,2.783452e+00,2.741463e+00,2.740633e+00,2.700454e+00,2.660419e+00,2.584002e+00,2.511331e+00,2.442343e+00,2.376967e+00,2.315125e+00,2.256730e+00,2.201693e+00,2.149918e+00,2.101307e+00,2.055757e+00,2.013165e+00,1.973424e+00,1.936426e+00,1.902063e+00,1.870225e+00,1.840804e+00,1.813690e+00,1.788774e+00,1.765948e+00,1.745107e+00,1.726145e+00,1.708957e+00,1.693443e+00,1.679502e+00,1.667037e+00,1.655953e+00,1.646158e+00,1.637562e+00,1.630078e+00,1.623623e+00,1.618115e+00,1.613477e+00,1.609635e+00,1.606519e+00,1.604059e+00,1.602192e+00,1.600858e+00,1.599997e+00,1.599557e+00,1.599487e+00,1.599737e+00,1.600265e+00,1.601028e+00,1.601988e+00,1.603109e+00,1.604360e+00,1.605710e+00,1.607132e+00,1.608601e+00
0.000000e+00,2.176742e-08,3.325955e-07,3.476337e-07,2.171623e-06,7.375939e-06,7.693431e-06,1.834767e-05,3.190631e-05,3.283135e-05,4.850976e-05,6.275734e-05,6.397405e-05,7.882071e-05,9.157801e-05,9.295949e-05,1.063800e-04,1.176042e-04,1.190929e-04,1.311154e-04,1.409176e-04,1.424673e-04,1.531692e-04,1.616725e-04,1.632429e-04,1.727103e-04,1.800366e-04,1.815934e-04,1.899143e-04,1.961808e-04,1.976947e-04,2.049560e-04,2.102730e-04,2.117192e-04,2.180049e-04,2.224748e-04,2.238328e-04,2.292224e-04,2.329396e-04,2.341925e-04,2.387611e-04,2.418118e-04,2.429458e-04,2.467637e-04,2.492267e-04,2.502311e-04,2.533639e-04,2.553109e-04,2.561773e-04,2.586861e-04,2.601820e-04,2.609045e-04,2.628460e-04,2.639495e-04,2.645240e-04,2.659511e-04,2.667153e-04,2.671396e-04,2.681010e-04,2.685737e-04,2.688468e-04,2.693879e-04,2.696121e-04,2.697347e-04,2.698973e-04,2.699115e-04,2.698853e-04,2.697081e-04,2.695468e-04,2.693745e-04,2.688931e-04,2.685871e-04,2.682721e-04,2.675195e-04,2.670962e-04,2.666428e-04,2.656492e-04,2.651329e-04,2.645458e-04,2.633392e-04,2.627512e-04,2.620357e-04,2.606416e-04,2.600010e-04,2.591627e-04,2.576047e-04,2.569280e-04,2.559729e-04,2.542725e-04,2.535742e-04,2.525084e-04,2.506854e-04,2.499781e-04,2.488080e-04,2.468804e-04,2.461750e-04,2.449069e-04,2.428914e-04,2.421972e-04,2.408376e-04,2.387491e-04,2.380740e-04,2.366294e-04,2.344817e-04,2.338325e-04,2.323092e-04,2.301149e-04,2.294969e-04,2.279015e-04,2.256718e-04,2.250897e-04,2.234283e-04,2.211735e-04,2.206310e-04,2.189098e-04,2.166392e-04,2.161390e-04,2.143640e-04,2.120860e-04,2.116303e-04,2.098073e-04,2.075295e-04,2.071198e-04,2.052544e-04,2.029836e-04,2.026208e-04,2.007186e-04,1.984609e-04,1.981454e-04,1.962117e-04,1.939723e-04,1.937043e-04,1.917440e-04,1.895280e-04,1.893071e-04,1.873251e-04,1.851365e-04,1.849621e-04,1.829631e-04,1.808058e-04,1.806768e-04,1.786653e-04,1.765424e-04,1.764579e-04,1.744380e-04,1.723525e-04,1.723110e-04,1.702866e-04,1.682410e-04,1.642522e-04,1.603481e-04,1.565317e-04,1.528055e-04,1.491715e-04,1.456311e-04,1.421855e-04,1.388354e-04,1.355813e-04,1.324232e-04,1.293610e-04,1.263943e-04,1.235224e-04,1.207446e-04,1.180598e-04,1.154670e-04,1.129648e-04,1.105519e-04,1.082268e-04,1.059878e-04,1.038334e-04,1.017619e-04,9.977135e-05,9.786009e-05,9.602621e-05,9.426787e-05,9.258315e-05,9.097016e-05,8.942699e-05,8.795173e-05,8.654246e-05,8.519730e-05,8.391435e-05,8.269175e-05,8.152764e-05,8.042020e-05,7.936761e-05,7.836810e-05,7.741992e-05,7.652134e-05,7.567067e-05,7.486625e-05,7.410646e-05,7.338970e-05,7.271441e-05,7.207906e-05,7.148218e-05,7.092230e-05,7.039800e-05
0.000000e+00,7.886547e-09,1.086194e-07,1.134064e-07,6.800604e-07,2.176471e-06,2.262066e-06,4.794701e-06,7.361495e-06,7.520474e-06,1.002472e-05,1.206850e-05,1.223454e-05,1.416047e-05,1.567145e-05,1.582720e-05,1.726040e-05,1.834789e-05,1.848447e-05,1.952082e-05,2.027700e-05,2.038915e-05,2.110764e-05,2.160747e-05,2.169276e-05,2.215946e-05,2.246331e-05,2.252125e-05,2.279030e-05,2.294617e-05,2.297757e-05,2.309291e-05,2.313865e-05,2.314514e-05,2.314215e-05,2.310732e-05,2.309100e-05,2.299798e-05,2.290552e-05,2.286871e-05,2.270820e-05,2.257579e-05,2.252088e-05,2.231072e-05,2.215190e-05,2.208122e-05,2.183550e-05,2.166056e-05,2.157631e-05,2.130610e-05,2.112278e-05,2.102703e-05,2.074098e-05,2.055505e-05,2.044965e-05,2.015451e-05,1.997018e-05,1.985685e-05,1.955780e-05,1.937813e-05,1.925836e-05,1.895938e-05,1.878649e-05,1.866163e-05,1.836574e-05,1.820107e-05,1.807228e-05,1.778172e-05,1.762618e-05,1.749448e-05,1.721091e-05,1.706500e-05,1.693129e-05,1.665587e-05,1.651980e-05,1.638485e-05,1.611839e-05,1.599214e-05,1.585661e-05,1.559962e-05,1.548303e-05,1.534749e-05,1.510026e-05,1.499304e-05,1.485796e-05,1.462062e-05,1.452241e-05,1.438821e-05,1.416074e-05,1.407112e-05,1.393815e-05,1.372043e-05,1.363896e-05,1.350751e-05,1.329936e-05,1.322558e-05,1.309590e-05,1.289707e-05,1.283051e-05,1.270281e-05,1.251303e-05,1.245324e-05,1.232767e-05,1.214664e-05,1.209316e-05,1.196986e-05,1.179726e-05,1.174967e-05,1.162875e-05,1.146424e-05,1.142212e-05,1.130366e-05,1.114692e-05,1.110987e-05,1.099394e-05,1.084464e-05,1.081228e-05,1.069893e-05,1.055674e-05,1.052872e-05,1.041798e-05,1.028258e-05,1.025855e-05,1.015045e-05,1.002152e-05,1.000119e-05,9.895723e-06,9.772973e-06,9.756028e-06,9.653202e-06,9.536338e-06,9.522507e-06,9.422312e-06,9.311053e-06,9.300077e-06,9.202495e-06,9.096573e-06,9.088211e-06,8.993222e-06,8.892378e-06,8.886406e-06,8.793981e-06,8.697970e-06,8.694178e-06,8.604286e-06,8.512872e-06,8.511067e-06,8.423672e-06,8.336630e-06,8.170449e-06,8.012121e-06,7.861266e-06,7.717520e-06,7.580538e-06,7.449989e-06,7.325562e-06,7.206958e-06,7.093894e-06,6.986102e-06,6.883325e-06,6.785320e-06,6.691856e-06,6.602714e-06,6.517684e-06,6.436569e-06,6.359179e-06,6.285336e-06,6.214868e-06,6.147614e-06,6.083419e-06,6.022139e-06,5.963632e-06,5.907767e-06,5.854419e-06,5.803467e-06,5.754797e-06,5.708303e-06,5.663880e-06,5.621431e-06,5.580864e-06,5.542089e-06,5.505022e-06,5.469584e-06,5.435697e-06,5.403291e-06,5.372295e-06,5.342645e-06,5.314277e-06,5.287133e-06,5.261156e-06,5.236292e-06,5.212489e-06,5.189700e-06,5.167878e-06,5.146978e-06,5.126959e-06,5.107780e-06,5.089404e-06
0.000000e+00,6.314556e-08,1.470936e-06,1.542625e-06,9.915497e-06,3.038360e-05,3.151335e-05,6.426544e-05,9.767455e-05,9.978151e-05,1.338094e-04,1.630334e-04,1.654769e-04,1.947221e-04,2.190410e-04,2.216297e-04,2.463099e-04,2.662770e-04,2.688773e-04,2.894460e-04,3.056227e-04,3.081290e-04,3.250372e-04,3.379477e-04,3.402786e-04,3.539578e-04,3.640795e-04,3.661750e-04,3.770263e-04,3.847853e-04,3.866028e-04,3.949911e-04,4.007618e-04,4.022729e-04,4.085256e-04,4.126342e-04,4.138218e-04,4.182300e-04,4.209584e-04,4.218146e-04,4.246360e-04,4.262269e-04,4.267511e-04,4.282132e-04,4.288752e-04,4.290725e-04,4.293758e-04,4.292870e-04,4.291670e-04,4.284872e-04,4.277993e-04,4.273750e-04,4.258665e-04,4.247087e-04,4.239954e-04,4.217933e-04,4.202748e-04,4.192898e-04,4.165124e-04,4.147252e-04,4.134868e-04,4.102369e-04,4.082582e-04,4.067852e-04,4.031525e-04,4.010465e-04,3.993583e-04,3.954205e-04,3.932405e-04,3.913562e-04,3.871808e-04,3.849706e-04,3.829090e-04,3.785544e-04,3.763500e-04,3.741295e-04,3.696460e-04,3.674763e-04,3.651147e-04,3.605456e-04,3.584337e-04,3.559480e-04,3.513303e-04,3.492943e-04,3.467007e-04,3.420662e-04,3.401199e-04,3.374337e-04,3.328093e-04,3.309631e-04,3.281987e-04,3.236071e-04,3.218683e-04,3.190394e-04,3.144998e-04,3.128732e-04,3.099924e-04,3.055207e-04,3.040091e-04,3.010881e-04,2.966975e-04,2.953019e-04,2.923516e-04,2.880528e-04,2.867727e-04,2.838032e-04,2.796049e-04,2.784387e-04,2.754594e-04,2.713682e-04,2.703136e-04,2.673328e-04,2.633542e-04,2.624079e-04,2.594334e-04,2.555712e-04,2.547295e-04,2.517683e-04,2.480252e-04,2.472838e-04,2.443423e-04,2.407200e-04,2.400744e-04,2.371584e-04,2.336576e-04,2.331032e-04,2.302177e-04,2.268387e-04,2.263705e-04,2.235203e-04,2.202624e-04,2.198755e-04,2.170647e-04,2.139269e-04,2.136164e-04,2.108486e-04,2.078294e-04,2.075904e-04,2.048688e-04,2.019663e-04,2.017940e-04,1.991215e-04,1.963335e-04,1.962232e-04,1.936020e-04,1.909263e-04,1.908734e-04,1.883057e-04,1.857395e-04,1.808163e-04,1.760983e-04,1.715798e-04,1.672549e-04,1.631178e-04,1.591625e-04,1.553831e-04,1.517736e-04,1.483282e-04,1.450411e-04,1.419065e-04,1.389190e-04,1.360730e-04,1.333630e-04,1.307840e-04,1.283308e-04,1.259984e-04,1.237820e-04,1.216770e-04,1.196788e-04,1.177830e-04,1.159854e-04,1.142818e-04,1.126684e-04,1.111413e-04,1.096968e-04,1.083313e-04,1.070415e-04,1.058240e-04,1.046756e-04,1.035934e-04,1.025743e-04,1.016156e-04,1.007145e-04,9.986836e-05,9.907475e-05,9.833123e-05,9.763549e-05,9.698531e-05,9.637856e-05,9.581319e-05,9.528724e-05,9.479882e-05,9.434613e-05,9.392744e-05,9.354108e-05,9.318547e-05,9.285907e-05,9.256044e-05
0.000000e+00,2.787110e-08,5.534133e-07,5.792753e-07,3.489402e-06,1.040671e-05,1.078799e-05,2.197796e-05,3.363087e-05,3.437043e-05,4.636620e-05,5.674137e-05,5.761205e-05,6.807385e-05,7.683810e-05,7.777491e-05,8.674873e-05,9.407178e-05,9.503016e-05,1.026541e-04,1.087112e-04,1.096551e-04,1.160669e-04,1.210216e-04,1.219225e-04,1.272537e-04,1.312556e-04,1.320912e-04,1.364645e-04,1.396477e-04,1.404015e-04,1.439290e-04,1.464125e-04,1.470723e-04,1.498555e-04,1.517439e-04,1.523014e-04,1.544315e-04,1.558166e-04,1.562663e-04,1.578250e-04,1.587866e-04,1.591258e-04,1.601860e-04,1.607936e-04,1.610217e-04,1.616482e-04,1.619622e-04,1.620800e-04,1.623307e-04,1.624031e-04,1.624130e-04,1.623391e-04,1.622151e-04,1.621204e-04,1.617674e-04,1.614857e-04,1.612904e-04,1.606988e-04,1.602925e-04,1.600015e-04,1.592069e-04,1.587045e-04,1.583228e-04,1.573568e-04,1.567826e-04,1.563156e-04,1.552060e-04,1.545805e-04,1.540340e-04,1.528053e-04,1.521458e-04,1.515254e-04,1.501994e-04,1.495205e-04,1.488319e-04,1.474275e-04,1.467414e-04,1.459902e-04,1.445241e-04,1.438409e-04,1.430327e-04,1.415194e-04,1.408475e-04,1.399875e-04,1.384399e-04,1.377859e-04,1.368795e-04,1.353087e-04,1.346780e-04,1.337300e-04,1.321457e-04,1.315427e-04,1.305579e-04,1.289684e-04,1.283962e-04,1.273792e-04,1.257919e-04,1.252529e-04,1.242080e-04,1.226290e-04,1.221250e-04,1.210562e-04,1.194909e-04,1.190229e-04,1.179341e-04,1.163870e-04,1.159556e-04,1.148504e-04,1.133253e-04,1.129308e-04,1.118125e-04,1.103126e-04,1.099547e-04,1.088264e-04,1.073545e-04,1.070326e-04,1.058974e-04,1.044556e-04,1.041691e-04,1.030295e-04,1.016196e-04,1.013675e-04,1.002261e-04,9.884950e-05,9.863082e-05,9.748992e-05,9.614764e-05,9.596111e-05,9.482284e-05,9.351570e-05,9.336004e-05,9.222636e-05,9.095490e-05,9.082875e-05,8.970143e-05,8.846599e-05,8.836794e-05,8.724863e-05,8.604934e-05,8.597796e-05,8.486814e-05,8.370499e-05,8.365884e-05,8.255985e-05,8.143267e-05,8.141031e-05,8.032338e-05,7.923189e-05,7.712289e-05,7.508243e-05,7.310950e-05,7.120298e-05,6.936163e-05,6.758413e-05,6.586911e-05,6.421512e-05,6.262069e-05,6.108434e-05,5.960453e-05,5.817973e-05,5.680843e-05,5.548908e-05,5.422017e-05,5.300019e-05,5.182766e-05,5.070110e-05,4.961906e-05,4.858013e-05,4.758292e-05,4.662605e-05,4.570820e-05,4.482806e-05,4.398436e-05,4.317586e-05,4.240136e-05,4.165967e-05,4.094967e-05,4.027023e-05,3.962029e-05,3.899880e-05,3.840473e-05,3.783712e-05,3.729501e-05,3.677746e-05,3.628360e-05,3.581256e-05,3.536349e-05,3.493558e-05,3.452806e-05,3.414015e-05,3.377114e-05,3.342031e-05,3.308699e-05,3.277049e-05,3.247019e-05,3.218547e-05,3.191574e-05
0.000000e+00,5.930552e-07,1.214432e-05,1.274617e-05,9.925163e-05,4.264145e-04,4.491985e-04,1.368661e-03,2.964567e-03,3.091586e-03,5.609585e-03,8.483108e-03,8.752941e-03,1.232990e-02,1.578362e-02,1.617644e-02,2.016209e-02,2.370370e-02,2.418581e-02,2.817064e-02,3.152210e-02,3.205892e-02,3.580843e-02,3.882848e-02,3.938910e-02,4.278049e-02,4.541094e-02,4.596969e-02,4.894963e-02,5.118109e-02,5.171778e-02,5.427504e-02,5.612549e-02,5.662492e-02,5.877283e-02,6.027431e-02,6.072556e-02,6.249084e-02,6.368136e-02,6.407702e-02,6.549282e-02,6.641167e-02,6.674710e-02,6.784872e-02,6.853373e-02,6.880645e-02,6.962884e-02,7.011501e-02,7.032420e-02,7.090052e-02,7.121942e-02,7.136547e-02,7.172639e-02,7.190601e-02,7.199024e-02,7.216367e-02,7.222855e-02,7.225295e-02,7.226402e-02,7.223548e-02,7.220251e-02,7.207371e-02,7.197016e-02,7.188262e-02,7.163396e-02,7.147123e-02,7.133216e-02,7.098140e-02,7.077303e-02,7.058561e-02,7.014850e-02,6.990603e-02,6.967354e-02,6.916400e-02,6.889724e-02,6.862297e-02,6.805334e-02,6.777057e-02,6.745783e-02,6.683900e-02,6.654717e-02,6.619925e-02,6.554083e-02,6.524576e-02,6.486587e-02,6.417635e-02,6.388286e-02,6.347414e-02,6.276100e-02,6.247305e-02,6.203856e-02,6.130837e-02,6.102916e-02,6.057186e-02,5.983039e-02,5.956249e-02,5.908522e-02,5.833752e-02,5.808292e-02,5.758840e-02,5.683889e-02,5.659912e-02,5.608995e-02,5.534247e-02,5.511863e-02,5.459728e-02,5.385516e-02,5.364802e-02,5.311683e-02,5.238296e-02,5.219296e-02,5.165415e-02,5.093099e-02,5.075833e-02,5.021400e-02,4.950367e-02,4.934833e-02,4.880044e-02,4.810473e-02,4.796652e-02,4.741690e-02,4.673731e-02,4.661589e-02,4.606628e-02,4.540407e-02,4.529895e-02,4.475095e-02,4.410716e-02,4.401778e-02,4.347289e-02,4.284834e-02,4.277406e-02,4.223367e-02,4.162902e-02,4.156911e-02,4.103451e-02,4.045025e-02,4.040396e-02,3.987634e-02,3.931284e-02,3.927936e-02,3.875982e-02,3.821732e-02,3.819584e-02,3.768538e-02,3.716401e-02,3.715369e-02,3.665324e-02,3.615305e-02,3.519386e-02,3.427593e-02,3.339895e-02,3.256250e-02,3.176605e-02,3.100899e-02,3.029063e-02,2.961022e-02,2.896697e-02,2.836000e-02,2.778841e-02,2.725128e-02,2.674762e-02,2.627645e-02,2.583672e-02,2.542742e-02,2.504748e-02,2.469584e-02,2.437141e-02,2.407311e-02,2.379987e-02,2.355059e-02,2.332419e-02,2.311959e-02,2.293572e-02,2.277153e-02,2.262594e-02,2.249794e-02,2.238650e-02,2.229061e-02,2.220930e-02,2.214159e-02,2.208656e-02,2.204328e-02,2.201086e-02,2.198846e-02,2.197523e-02,2.197037e-02,2.197310e-02,2.198270e-02,2.199844e-02,2.201966e-02,2.204570e-02,2.207597e-02,2.210987e-02,2.214687e-02,2.218645e-02,2.222814e-02,2.227149e-02
0.000000e+00,3.934246e-08,5.677760e-07,5.919125e-07,3.429459e-06,1.185399e-05,1.238740e-05,3.148429e-05,5.913888e-05,6.115712e-05,9.714290e-05,1.305452e-04,1.333274e-04,1.654691e-04,1.897276e-04,1.921480e-04,2.135260e-04,2.284811e-04,2.302702e-04,2.431080e-04,2.515275e-04,2.526962e-04,2.595970e-04,2.636653e-04,2.642835e-04,2.671511e-04,2.683780e-04,2.685290e-04,2.686910e-04,2.680993e-04,2.678645e-04,2.662382e-04,2.645161e-04,2.639686e-04,2.611853e-04,2.587930e-04,2.579954e-04,2.544876e-04,2.517309e-04,2.507353e-04,2.467988e-04,2.438788e-04,2.427279e-04,2.385636e-04,2.356114e-04,2.343397e-04,2.300834e-04,2.271824e-04,2.258173e-04,2.215598e-04,2.187620e-04,2.173260e-04,2.131280e-04,2.104647e-04,2.089757e-04,2.048770e-04,2.023653e-04,2.008377e-04,1.968626e-04,1.945099e-04,1.929553e-04,1.891182e-04,1.869257e-04,1.853534e-04,1.816622e-04,1.796277e-04,1.780457e-04,1.745041e-04,1.726229e-04,1.710376e-04,1.676459e-04,1.659117e-04,1.643286e-04,1.610849e-04,1.594903e-04,1.579138e-04,1.548145e-04,1.533521e-04,1.517859e-04,1.488269e-04,1.474888e-04,1.459362e-04,1.431126e-04,1.418912e-04,1.403550e-04,1.376619e-04,1.365498e-04,1.350322e-04,1.324645e-04,1.314545e-04,1.299576e-04,1.275101e-04,1.265954e-04,1.251209e-04,1.227886e-04,1.219627e-04,1.205120e-04,1.182899e-04,1.175466e-04,1.161210e-04,1.140042e-04,1.133377e-04,1.119383e-04,1.099222e-04,1.093269e-04,1.079546e-04,1.060345e-04,1.055053e-04,1.041609e-04,1.023325e-04,1.018644e-04,1.005484e-04,9.880758e-05,9.839610e-05,9.710899e-05,9.545165e-05,9.509247e-05,9.383459e-05,9.225688e-05,9.194598e-05,9.071759e-05,8.921582e-05,8.894941e-05,8.775067e-05,8.632129e-05,8.609585e-05,8.492683e-05,8.356647e-05,8.337869e-05,8.223938e-05,8.094479e-05,8.079159e-05,7.968193e-05,7.845003e-05,7.832851e-05,7.724835e-05,7.607619e-05,7.598367e-05,7.493283e-05,7.381759e-05,7.375156e-05,7.272979e-05,7.166878e-05,7.162689e-05,7.063392e-05,6.962458e-05,6.960464e-05,6.864014e-05,6.768001e-05,6.584841e-05,6.410546e-05,6.244699e-05,6.086902e-05,5.936775e-05,5.793956e-05,5.658099e-05,5.528876e-05,5.405972e-05,5.289088e-05,5.177939e-05,5.072253e-05,4.971770e-05,4.876243e-05,4.785437e-05,4.699128e-05,4.617102e-05,4.539155e-05,4.465092e-05,4.394730e-05,4.327891e-05,4.264408e-05,4.204121e-05,4.146877e-05,4.092531e-05,4.040945e-05,3.991986e-05,3.945531e-05,3.901458e-05,3.859654e-05,3.820011e-05,3.782424e-05,3.746796e-05,3.713033e-05,3.681045e-05,3.650748e-05,3.622059e-05,3.594902e-05,3.569204e-05,3.544894e-05,3.521905e-05,3.500175e-05,3.479641e-05,3.460247e-05,3.441938e-05,3.424660e-05,3.408366e-05,3.393005e-05,3.378535e-05
0.000000e+00,6.435074e-08,9.553677e-07,9.963980e-07,6.004137e-06,2.246370e-05,2.356764e-05,6.659047e-05,1.377445e-04,1.432562e-04,2.474886e-04,3.538841e-04,3.631979e-04,4.768451e-04,5.717753e-04,5.817974e-04,6.759447e-04,7.497387e-04,7.591646e-04,8.320471e-04,8.870650e-04,8.953896e-04,9.500158e-04,9.897454e-04,9.967159e-04,1.036229e-03,1.063748e-03,1.069238e-03,1.096372e-03,1.114238e-03,1.118207e-03,1.135271e-03,1.145582e-03,1.148048e-03,1.156979e-03,1.161443e-03,1.162466e-03,1.164876e-03,1.164874e-03,1.164541e-03,1.161765e-03,1.158411e-03,1.156825e-03,1.149972e-03,1.144160e-03,1.141434e-03,1.131418e-03,1.123859e-03,1.120111e-03,1.107682e-03,1.098941e-03,1.094287e-03,1.080063e-03,1.070584e-03,1.065138e-03,1.049623e-03,1.039754e-03,1.033623e-03,1.017228e-03,1.007237e-03,1.000522e-03,9.835805e-04,9.736726e-04,9.664693e-04,9.492488e-04,9.395778e-04,9.319726e-04,9.146887e-04,9.053674e-04,8.974397e-04,8.802634e-04,8.713717e-04,8.631933e-04,8.462590e-04,8.378511e-04,8.294866e-04,8.128988e-04,8.050082e-04,7.965154e-04,7.803536e-04,7.729977e-04,7.644281e-04,7.487516e-04,7.419356e-04,7.333347e-04,7.181862e-04,7.119057e-04,7.033134e-04,6.887220e-04,6.829652e-04,6.744164e-04,6.604001e-04,6.551503e-04,6.466754e-04,6.332434e-04,6.284798e-04,6.201049e-04,6.072594e-04,6.029586e-04,5.947062e-04,5.824436e-04,5.785807e-04,5.704697e-04,5.587821e-04,5.553312e-04,5.473778e-04,5.362536e-04,5.331885e-04,5.254059e-04,5.148310e-04,5.121257e-04,5.045249e-04,4.944832e-04,4.921121e-04,4.847017e-04,4.751758e-04,4.731139e-04,4.659008e-04,4.568722e-04,4.550956e-04,4.480851e-04,4.395346e-04,4.380203e-04,4.312160e-04,4.231243e-04,4.218504e-04,4.152548e-04,4.076024e-04,4.065481e-04,4.001624e-04,3.929300e-04,3.920759e-04,3.859004e-04,3.790689e-04,3.783964e-04,3.724307e-04,3.659813e-04,3.654734e-04,3.597161e-04,3.536305e-04,3.532710e-04,3.477202e-04,3.419808e-04,3.417547e-04,3.364080e-04,3.309975e-04,3.308909e-04,3.257453e-04,3.206472e-04,3.109923e-04,3.018962e-04,2.933302e-04,2.852667e-04,2.776795e-04,2.705433e-04,2.638343e-04,2.575296e-04,2.516075e-04,2.460473e-04,2.408294e-04,2.359352e-04,2.313468e-04,2.270477e-04,2.230217e-04,2.192538e-04,2.157297e-04,2.124357e-04,2.093591e-04,2.064877e-04,2.038098e-04,2.013147e-04,1.989918e-04,1.968316e-04,1.948246e-04,1.929622e-04,1.912360e-04,1.896383e-04,1.881614e-04,1.867985e-04,1.855429e-04,1.843883e-04,1.833288e-04,1.823587e-04,1.814728e-04,1.806659e-04,1.799334e-04,1.792708e-04,1.786738e-04,1.781383e-04,1.776607e-04,1.772373e-04,1.768647e-04,1.765397e-04,1.762593e-04,1.760206e-04,1.758209e-04,1.756577e-04,1.755285e-04
0.000000e+00,4.303511e-07,7.980783e-06,8.360467e-06,6.153546e-05,2.666167e-04,2.811867e-04,8.878663e-04,1.980723e-03,2.068609e-03,3.817472e-03,5.807338e-03,5.993283e-03,8.439025e-03,1.076266e-02,1.102443e-02,1.365016e-02,1.593565e-02,1.624320e-02,1.875136e-02,2.081259e-02,2.113851e-02,2.338079e-02,2.514146e-02,2.546361e-02,2.737936e-02,2.882374e-02,2.912556e-02,3.070356e-02,3.184749e-02,3.211739e-02,3.337300e-02,3.424715e-02,3.447761e-02,3.543923e-02,3.607963e-02,3.626632e-02,3.696751e-02,3.741040e-02,3.755141e-02,3.802648e-02,3.830575e-02,3.840090e-02,3.868253e-02,3.882849e-02,3.887886e-02,3.899695e-02,3.903599e-02,3.904348e-02,3.902470e-02,3.897938e-02,3.894645e-02,3.881418e-02,3.870353e-02,3.863295e-02,3.840749e-02,3.824741e-02,3.814215e-02,3.784098e-02,3.764464e-02,3.750772e-02,3.714583e-02,3.692409e-02,3.675851e-02,3.634871e-02,3.611043e-02,3.591916e-02,3.547238e-02,3.522477e-02,3.501067e-02,3.453618e-02,3.428506e-02,3.405088e-02,3.355658e-02,3.330658e-02,3.305495e-02,3.254753e-02,3.230232e-02,3.203572e-02,3.152082e-02,3.128327e-02,3.100403e-02,3.048643e-02,3.025869e-02,2.996902e-02,2.945272e-02,2.923641e-02,2.893836e-02,2.842670e-02,2.822295e-02,2.791844e-02,2.741419e-02,2.722375e-02,2.691454e-02,2.642000e-02,2.624331e-02,2.593103e-02,2.544806e-02,2.528527e-02,2.497144e-02,2.450153e-02,2.435262e-02,2.403860e-02,2.358293e-02,2.344767e-02,2.313473e-02,2.269421e-02,2.257227e-02,2.226154e-02,2.183686e-02,2.172776e-02,2.142028e-02,2.101191e-02,2.091513e-02,2.061182e-02,2.022007e-02,2.013501e-02,1.983670e-02,1.946174e-02,1.938776e-02,1.909519e-02,1.873705e-02,1.867348e-02,1.838731e-02,1.804594e-02,1.799209e-02,1.771290e-02,1.738814e-02,1.734333e-02,1.707161e-02,1.676324e-02,1.672678e-02,1.646296e-02,1.617070e-02,1.614191e-02,1.588637e-02,1.560988e-02,1.558810e-02,1.534115e-02,1.508006e-02,1.506464e-02,1.482653e-02,1.458044e-02,1.457075e-02,1.434170e-02,1.411018e-02,1.410563e-02,1.388579e-02,1.366839e-02,1.325816e-02,1.287403e-02,1.251506e-02,1.218034e-02,1.186892e-02,1.157989e-02,1.131230e-02,1.106526e-02,1.083785e-02,1.062918e-02,1.043838e-02,1.026458e-02,1.010695e-02,9.964645e-03,9.836873e-03,9.722839e-03,9.621775e-03,9.532932e-03,9.455579e-03,9.389008e-03,9.332529e-03,9.285475e-03,9.247199e-03,9.217074e-03,9.194495e-03,9.178878e-03,9.169661e-03,9.166302e-03,9.168281e-03,9.175100e-03,9.186282e-03,9.201372e-03,9.219936e-03,9.241561e-03,9.265857e-03,9.292452e-03,9.320999e-03,9.351169e-03,9.382654e-03,9.415166e-03,9.448436e-03,9.482217e-03,9.516278e-03,9.550407e-03,9.584412e-03,9.618115e-03,9.651357e-03,9.683994e-03,9.715899e-03
0.000000e+00,8.725150e-07,1.497507e-05,1.565385e-05,1.037652e-04,4.216681e-04,4.439629e-04,1.375576e-03,3.115695e-03,3.259481e-03,6.223313e-03,9.784024e-03,1.012497e-02,1.471733e-02,1.924021e-02,1.975834e-02,2.504294e-02,2.976308e-02,3.040627e-02,3.571936e-02,4.017256e-02,4.088361e-02,4.582551e-02,4.976555e-02,5.049199e-02,5.484643e-02,5.816763e-02,5.886567e-02,6.253726e-02,6.522135e-02,6.585727e-02,6.882835e-02,7.090839e-02,7.145822e-02,7.375837e-02,7.529467e-02,7.574306e-02,7.742843e-02,7.849308e-02,7.883185e-02,7.997136e-02,8.063868e-02,8.086528e-02,8.153179e-02,8.187262e-02,8.198875e-02,8.225348e-02,8.233221e-02,8.234261e-02,8.227198e-02,8.214517e-02,8.205660e-02,8.171056e-02,8.142667e-02,8.124709e-02,8.067850e-02,8.027823e-02,8.001622e-02,7.927086e-02,7.878785e-02,7.845217e-02,7.756914e-02,7.703079e-02,7.663004e-02,7.564241e-02,7.507074e-02,7.461317e-02,7.354864e-02,7.296116e-02,7.245457e-02,7.133619e-02,7.074663e-02,7.019827e-02,6.904513e-02,6.846410e-02,6.788070e-02,6.670852e-02,6.614409e-02,6.553182e-02,6.435351e-02,6.381167e-02,6.317621e-02,6.200229e-02,6.148739e-02,6.083389e-02,5.967293e-02,5.918797e-02,5.852114e-02,5.738006e-02,5.692694e-02,5.625108e-02,5.513543e-02,5.471521e-02,5.403422e-02,5.294842e-02,5.256147e-02,5.187889e-02,5.082639e-02,5.047254e-02,4.979158e-02,4.877503e-02,4.845368e-02,4.777725e-02,4.679865e-02,4.650886e-02,4.583958e-02,4.490034e-02,4.464093e-02,4.398116e-02,4.308223e-02,4.285185e-02,4.220369e-02,4.134564e-02,4.114276e-02,4.050811e-02,3.969114e-02,3.951417e-02,3.889471e-02,3.811877e-02,3.796604e-02,3.736325e-02,3.662806e-02,3.649787e-02,3.591306e-02,3.521812e-02,3.510878e-02,3.454307e-02,3.388774e-02,3.379756e-02,3.325193e-02,3.263544e-02,3.256275e-02,3.203804e-02,3.145950e-02,3.140267e-02,3.089958e-02,3.035803e-02,3.031549e-02,2.983458e-02,2.932898e-02,2.929920e-02,2.884094e-02,2.837020e-02,2.835173e-02,2.791646e-02,2.747944e-02,2.747087e-02,2.705886e-02,2.665440e-02,2.590003e-02,2.520543e-02,2.456828e-02,2.398623e-02,2.345695e-02,2.297810e-02,2.254735e-02,2.216242e-02,2.182102e-02,2.152089e-02,2.125983e-02,2.103562e-02,2.084611e-02,2.068917e-02,2.056272e-02,2.046471e-02,2.039314e-02,2.034604e-02,2.032150e-02,2.031766e-02,2.033271e-02,2.036488e-02,2.041248e-02,2.047386e-02,2.054745e-02,2.063172e-02,2.072523e-02,2.082659e-02,2.093449e-02,2.104768e-02,2.116500e-02,2.128533e-02,2.140766e-02,2.153102e-02,2.165455e-02,2.177742e-02,2.189890e-02,2.201831e-02,2.213507e-02,2.224863e-02,2.235852e-02,2.246433e-02,2.256573e-02,2.266241e-02,2.275414e-02,2.284073e-02,2.292205e-02,2.299801e-02,2.306854e-02
0.000000e+00,2.665427e-08,4.409035e-07,4.607908e-07,2.740774e-06,8.579987e-06,8.917504e-06,1.949524e-05,3.153044e-05,3.230830e-05,4.480410e-05,5.513454e-05,5.597382e-05,6.568293e-05,7.324891e-05,7.402548e-05,8.113677e-05,8.648281e-05,8.715074e-05,9.219093e-05,9.583226e-05,9.636921e-05,9.978628e-05,1.021348e-04,1.025325e-04,1.046888e-04,1.060677e-04,1.063274e-04,1.075125e-04,1.081728e-04,1.083014e-04,1.087447e-04,1.088798e-04,1.088875e-04,1.087695e-04,1.085271e-04,1.084257e-04,1.078873e-04,1.073798e-04,1.071816e-04,1.063328e-04,1.056450e-04,1.053620e-04,1.042880e-04,1.034837e-04,1.031273e-04,1.018942e-04,1.010210e-04,1.006016e-04,9.926050e-05,9.835368e-05,9.788080e-05,9.647099e-05,9.555640e-05,9.503855e-05,9.359007e-05,9.268651e-05,9.213129e-05,9.066719e-05,8.978798e-05,8.920206e-05,8.773967e-05,8.689404e-05,8.628327e-05,8.483567e-05,8.402976e-05,8.339925e-05,8.197606e-05,8.121367e-05,8.056787e-05,7.917615e-05,7.845938e-05,7.780215e-05,7.644691e-05,7.577660e-05,7.511129e-05,7.379599e-05,7.317203e-05,7.250156e-05,7.122845e-05,7.065008e-05,6.997699e-05,6.874739e-05,6.821335e-05,6.753983e-05,6.635437e-05,6.586307e-05,6.519103e-05,6.404979e-05,6.359946e-05,6.293055e-05,6.183319e-05,6.142189e-05,6.075754e-05,5.970342e-05,5.932917e-05,5.867062e-05,5.765889e-05,5.731966e-05,5.666798e-05,5.569762e-05,5.539140e-05,5.474753e-05,5.381740e-05,5.354221e-05,5.290694e-05,5.201584e-05,5.176976e-05,5.114378e-05,5.029044e-05,5.007160e-05,4.945550e-05,4.863864e-05,4.844524e-05,4.783953e-05,4.705785e-05,4.688819e-05,4.629328e-05,4.554550e-05,4.539793e-05,4.481418e-05,4.409902e-05,4.397198e-05,4.339969e-05,4.271588e-05,4.260790e-05,4.204730e-05,4.139364e-05,4.130330e-05,4.075460e-05,4.012988e-05,4.005586e-05,3.951919e-05,3.892224e-05,3.886330e-05,3.833877e-05,3.776847e-05,3.772341e-05,3.721109e-05,3.666636e-05,3.663407e-05,3.613401e-05,3.561378e-05,3.559322e-05,3.510542e-05,3.460867e-05,3.459885e-05,3.412330e-05,3.364906e-05,3.274200e-05,3.187587e-05,3.104898e-05,3.025966e-05,2.950634e-05,2.878751e-05,2.810168e-05,2.744748e-05,2.682354e-05,2.622859e-05,2.566138e-05,2.512072e-05,2.460547e-05,2.411455e-05,2.364691e-05,2.320155e-05,2.277749e-05,2.237383e-05,2.198968e-05,2.162419e-05,2.127656e-05,2.094600e-05,2.063177e-05,2.033316e-05,2.004949e-05,1.978010e-05,1.952436e-05,1.928168e-05,1.905149e-05,1.883322e-05,1.862636e-05,1.843040e-05,1.824485e-05,1.806925e-05,1.790316e-05,1.774616e-05,1.759783e-05,1.745779e-05,1.732567e-05,1.720110e-05,1.708375e-05,1.697328e-05,1.686939e-05,1.677178e-05,1.668014e-05,1.659422e-05,1.651375e-05,1.643847e-05,1.636815e-05
0.000000e+00,2.067430e-09,2.689635e-08,2.806817e-08,1.706921e-07,5.873407e-07,6.129548e-07,1.467502e-06,2.519213e-06,2.589543e-06,3.764838e-06,4.817435e-06,4.906955e-06,5.996230e-06,6.928633e-06,7.029432e-06,8.006989e-06,8.822268e-06,8.930244e-06,9.800821e-06,1.050871e-05,1.062046e-05,1.139097e-05,1.200156e-05,1.211417e-05,1.279190e-05,1.331497e-05,1.342596e-05,1.401817e-05,1.446296e-05,1.457025e-05,1.508393e-05,1.545901e-05,1.556087e-05,1.600267e-05,1.631590e-05,1.641089e-05,1.678704e-05,1.704560e-05,1.713257e-05,1.744887e-05,1.765927e-05,1.773730e-05,1.799915e-05,1.816731e-05,1.823569e-05,1.844810e-05,1.857935e-05,1.863755e-05,1.880515e-05,1.890431e-05,1.895196e-05,1.907902e-05,1.915043e-05,1.918732e-05,1.927778e-05,1.932533e-05,1.935134e-05,1.940885e-05,1.943601e-05,1.945116e-05,1.947907e-05,1.948896e-05,1.949334e-05,1.949471e-05,1.949011e-05,1.948390e-05,1.946157e-05,1.944495e-05,1.942838e-05,1.938494e-05,1.935851e-05,1.933187e-05,1.926971e-05,1.923540e-05,1.919902e-05,1.912032e-05,1.907985e-05,1.903411e-05,1.894087e-05,1.889575e-05,1.884105e-05,1.873510e-05,1.868664e-05,1.862341e-05,1.850641e-05,1.845577e-05,1.838445e-05,1.825792e-05,1.820610e-05,1.812715e-05,1.799248e-05,1.794035e-05,1.785422e-05,1.771268e-05,1.766098e-05,1.756814e-05,1.742087e-05,1.737022e-05,1.727113e-05,1.711918e-05,1.707013e-05,1.696525e-05,1.680957e-05,1.676255e-05,1.665234e-05,1.649377e-05,1.644916e-05,1.633406e-05,1.617338e-05,1.613147e-05,1.601192e-05,1.584984e-05,1.581086e-05,1.568729e-05,1.552442e-05,1.548856e-05,1.536138e-05,1.519829e-05,1.516568e-05,1.503529e-05,1.487249e-05,1.484321e-05,1.471000e-05,1.454793e-05,1.452205e-05,1.438639e-05,1.422545e-05,1.420298e-05,1.406523e-05,1.390578e-05,1.388671e-05,1.374720e-05,1.358957e-05,1.357386e-05,1.343293e-05,1.327737e-05,1.326497e-05,1.312294e-05,1.296970e-05,1.296054e-05,1.281769e-05,1.266698e-05,1.266098e-05,1.251760e-05,1.236959e-05,1.236664e-05,1.222299e-05,1.207784e-05,1.179485e-05,1.151787e-05,1.124708e-05,1.098265e-05,1.072467e-05,1.047322e-05,1.022838e-05,9.990162e-06,9.758588e-06,9.533650e-06,9.315323e-06,9.103569e-06,8.898334e-06,8.699555e-06,8.507155e-06,8.321051e-06,8.141149e-06,7.967350e-06,7.799549e-06,7.637635e-06,7.481492e-06,7.331002e-06,7.186043e-06,7.046492e-06,6.912223e-06,6.783109e-06,6.659022e-06,6.539835e-06,6.425419e-06,6.315647e-06,6.210391e-06,6.109525e-06,6.012925e-06,5.920465e-06,5.832024e-06,5.747480e-06,5.666715e-06,5.589611e-06,5.516052e-06,5.445926e-06,5.379121e-06,5.315528e-06,5.255041e-06,5.197554e-06,5.142967e-06,5.091177e-06,5.042089e-06,4.995605e-06,4.951634e-06
0.000000e+00,7.317987e-08,1.280372e-06,1.339450e-06,8.621453e-06,2.987934e-05,3.119123e-05,7.635543e-05,1.382216e-04,1.426476e-04,2.209183e-04,2.949108e-04,3.012516e-04,3.780573e-04,4.425637e-04,4.494434e-04,5.150855e-04,5.682207e-04,5.751414e-04,6.298959e-04,6.729820e-04,6.796604e-04,7.247435e-04,7.592123e-04,7.654411e-04,8.020373e-04,8.291758e-04,8.348024e-04,8.639926e-04,8.849339e-04,8.898498e-04,9.126027e-04,9.283337e-04,9.324663e-04,9.496434e-04,9.610189e-04,9.643245e-04,9.766889e-04,9.844462e-04,9.869046e-04,9.951297e-04,9.999027e-04,1.001512e-03,1.006191e-03,1.008523e-03,1.009297e-03,1.010952e-03,1.011307e-03,1.011270e-03,1.010358e-03,1.009132e-03,1.008317e-03,1.005240e-03,1.002767e-03,1.001214e-03,9.963222e-04,9.928880e-04,9.906406e-04,9.842407e-04,9.800839e-04,9.771892e-04,9.695485e-04,9.648699e-04,9.613766e-04,9.527276e-04,9.476947e-04,9.436520e-04,9.341968e-04,9.289487e-04,9.244058e-04,9.143195e-04,9.089706e-04,9.039758e-04,8.934098e-04,8.880537e-04,8.826541e-04,8.717389e-04,8.664513e-04,8.606923e-04,8.495402e-04,8.443815e-04,8.383066e-04,8.270137e-04,8.220314e-04,8.156820e-04,8.043304e-04,7.995610e-04,7.929762e-04,7.816355e-04,7.771063e-04,7.703229e-04,7.590519e-04,7.547825e-04,7.478349e-04,7.366831e-04,7.326865e-04,7.256068e-04,7.146154e-04,7.108991e-04,7.037172e-04,6.929199e-04,6.894872e-04,6.822305e-04,6.716551e-04,6.685055e-04,6.611992e-04,6.508679e-04,6.479981e-04,6.406655e-04,6.305958e-04,6.279998e-04,6.206621e-04,6.108675e-04,6.085377e-04,6.012143e-04,5.917046e-04,5.896319e-04,5.823400e-04,5.731221e-04,5.712961e-04,5.640517e-04,5.551296e-04,5.535394e-04,5.463564e-04,5.377324e-04,5.363664e-04,5.292575e-04,5.209316e-04,5.197778e-04,5.127543e-04,5.047252e-04,5.037716e-04,4.968435e-04,4.891083e-04,4.883428e-04,4.815187e-04,4.740735e-04,4.734841e-04,4.667716e-04,4.596116e-04,4.591864e-04,4.525921e-04,4.457116e-04,4.454392e-04,4.389686e-04,4.323614e-04,4.322306e-04,4.258884e-04,4.195479e-04,4.073773e-04,3.957049e-04,3.845158e-04,3.737954e-04,3.635286e-04,3.537002e-04,3.442952e-04,3.352986e-04,3.266957e-04,3.184718e-04,3.106127e-04,3.031043e-04,2.959328e-04,2.890849e-04,2.825476e-04,2.763083e-04,2.703546e-04,2.646747e-04,2.592570e-04,2.540906e-04,2.491646e-04,2.444688e-04,2.399931e-04,2.357280e-04,2.316643e-04,2.277930e-04,2.241056e-04,2.205940e-04,2.172504e-04,2.140670e-04,2.110368e-04,2.081528e-04,2.054084e-04,2.027971e-04,2.003130e-04,1.979501e-04,1.957030e-04,1.935662e-04,1.915347e-04,1.896036e-04,1.877682e-04,1.860241e-04,1.843669e-04,1.827926e-04,1.812972e-04,1.798771e-04,1.785287e-04,1.772486e-04,1.760335e-04
0.000000e+00,3.024880e-07,6.321306e-06,6.637435e-06,5.248409e-05,2.262723e-04,2.383530e-04,7.230168e-04,1.553766e-03,1.619470e-03,2.913911e-03,4.378939e-03,4.516048e-03,6.327972e-03,8.069642e-03,8.267347e-03,1.026970e-02,1.204455e-02,1.228591e-02,1.427924e-02,1.595439e-02,1.622267e-02,1.809678e-02,1.960742e-02,1.988804e-02,2.158750e-02,2.290862e-02,2.318968e-02,2.469179e-02,2.582085e-02,2.609306e-02,2.739422e-02,2.834079e-02,2.859712e-02,2.970442e-02,3.048400e-02,3.071934e-02,3.164548e-02,3.227592e-02,3.248669e-02,3.324693e-02,3.374643e-02,3.393023e-02,3.454058e-02,3.492654e-02,3.508193e-02,3.555812e-02,3.584662e-02,3.597288e-02,3.632982e-02,3.653539e-02,3.663236e-02,3.688383e-02,3.701942e-02,3.708737e-02,3.724597e-02,3.732300e-02,3.736249e-02,3.743964e-02,3.746809e-02,3.747997e-02,3.748591e-02,3.747452e-02,3.745978e-02,3.740373e-02,3.736005e-02,3.731984e-02,3.721004e-02,3.714062e-02,3.707617e-02,3.691997e-02,3.683047e-02,3.674308e-02,3.654706e-02,3.644234e-02,3.633337e-02,3.610340e-02,3.598761e-02,3.585844e-02,3.559975e-02,3.547646e-02,3.532848e-02,3.504573e-02,3.491796e-02,3.475255e-02,3.444992e-02,3.432022e-02,3.413876e-02,3.381994e-02,3.369046e-02,3.349430e-02,3.316260e-02,3.303512e-02,3.282558e-02,3.248393e-02,3.235993e-02,3.213830e-02,3.178930e-02,3.166998e-02,3.143751e-02,3.108347e-02,3.096978e-02,3.072768e-02,3.037063e-02,3.026333e-02,3.001276e-02,2.965450e-02,2.955417e-02,2.929624e-02,2.893834e-02,2.884539e-02,2.858116e-02,2.822502e-02,2.813974e-02,2.787023e-02,2.751705e-02,2.743960e-02,2.716576e-02,2.681661e-02,2.674705e-02,2.646981e-02,2.612558e-02,2.606390e-02,2.578411e-02,2.544559e-02,2.539172e-02,2.511019e-02,2.477805e-02,2.473182e-02,2.444933e-02,2.412414e-02,2.408536e-02,2.380261e-02,2.348485e-02,2.345329e-02,2.317095e-02,2.286101e-02,2.283639e-02,2.255511e-02,2.225331e-02,2.223533e-02,2.195568e-02,2.166228e-02,2.165064e-02,2.137316e-02,2.108836e-02,2.108271e-02,2.080792e-02,2.053186e-02,1.999832e-02,1.948220e-02,1.898360e-02,1.850250e-02,1.803886e-02,1.759259e-02,1.716353e-02,1.675151e-02,1.635632e-02,1.597772e-02,1.561544e-02,1.526919e-02,1.493868e-02,1.462358e-02,1.432356e-02,1.403827e-02,1.376737e-02,1.351048e-02,1.326725e-02,1.303729e-02,1.282024e-02,1.261572e-02,1.242334e-02,1.224272e-02,1.207349e-02,1.191526e-02,1.176765e-02,1.163029e-02,1.150279e-02,1.138479e-02,1.127591e-02,1.117579e-02,1.108406e-02,1.100037e-02,1.092436e-02,1.085568e-02,1.079399e-02,1.073894e-02,1.069022e-02,1.064748e-02,1.061041e-02,1.057869e-02,1.055202e-02,1.053010e-02,1.051263e-02,1.049933e-02,1.048992e-02,1.048414e-02,1.048172e-02
0.000000e+00,7.714859e-06,1.650502e-04,1.733074e-04,1.344293e-03,5.595413e-03,5.885514e-03,1.729703e-02,3.652224e-02,3.803963e-02,6.806377e-02,1.025875e-01,1.058550e-01,1.496796e-01,1.929851e-01,1.979762e-01,2.494126e-01,2.963805e-01,3.028696e-01,3.574161e-01,4.046068e-01,4.122825e-01,4.668382e-01,5.120472e-01,5.205712e-01,5.730705e-01,6.149688e-01,6.240108e-01,6.731395e-01,7.110079e-01,7.202654e-01,7.652488e-01,7.987850e-01,8.079930e-01,8.484372e-01,8.776164e-01,8.865502e-01,9.223255e-01,9.473013e-01,9.557763e-01,9.869322e-01,1.007967e+00,1.015836e+00,1.042539e+00,1.059955e+00,1.067104e+00,1.089596e+00,1.103743e+00,1.110086e+00,1.128649e+00,1.139882e+00,1.145361e+00,1.160297e+00,1.168961e+00,1.173537e+00,1.185155e+00,1.191578e+00,1.195229e+00,1.203832e+00,1.208318e+00,1.211037e+00,1.216916e+00,1.219746e+00,1.221538e+00,1.224970e+00,1.226395e+00,1.227275e+00,1.228518e+00,1.228768e+00,1.228757e+00,1.228051e+00,1.227329e+00,1.226455e+00,1.224022e+00,1.222509e+00,1.220805e+00,1.216850e+00,1.214705e+00,1.212207e+00,1.206918e+00,1.204281e+00,1.201028e+00,1.194576e+00,1.191570e+00,1.187603e+00,1.180146e+00,1.176878e+00,1.172239e+00,1.163918e+00,1.160481e+00,1.155215e+00,1.146161e+00,1.142634e+00,1.136784e+00,1.127115e+00,1.123567e+00,1.117178e+00,1.107000e+00,1.103489e+00,1.096605e+00,1.086016e+00,1.082590e+00,1.075255e+00,1.064343e+00,1.061043e+00,1.053300e+00,1.042145e+00,1.039003e+00,1.030895e+00,1.019567e+00,1.016611e+00,1.008179e+00,9.967438e-01,9.939942e-01,9.852774e-01,9.737930e-01,9.712653e-01,9.623036e-01,9.508214e-01,9.485268e-01,9.393579e-01,9.279240e-01,9.258698e-01,9.165300e-01,9.051854e-01,9.033755e-01,8.938995e-01,8.826807e-01,8.811158e-01,8.715369e-01,8.604758e-01,8.591543e-01,8.495042e-01,8.386287e-01,8.375467e-01,8.278555e-01,8.171901e-01,8.163417e-01,8.066379e-01,7.962037e-01,7.955815e-01,7.858920e-01,7.757070e-01,7.753023e-01,7.656525e-01,7.557319e-01,7.555349e-01,7.459484e-01,7.363050e-01,7.176338e-01,6.995386e-01,6.820325e-01,6.651255e-01,6.488243e-01,6.331329e-01,6.180527e-01,6.035827e-01,5.897199e-01,5.764595e-01,5.637949e-01,5.517180e-01,5.402194e-01,5.292886e-01,5.189138e-01,5.090827e-01,4.997818e-01,4.909971e-01,4.827141e-01,4.749175e-01,4.675920e-01,4.607217e-01,4.542904e-01,4.482820e-01,4.426801e-01,4.374682e-01,4.326300e-01,4.281492e-01,4.240093e-01,4.201944e-01,4.166885e-01,4.134760e-01,4.105413e-01,4.078693e-01,4.054452e-01,4.032545e-01,4.012830e-01,3.995171e-01,3.979434e-01,3.965489e-01,3.953212e-01,3.942482e-01,3.933183e-01,3.925204e-01,3.918438e-01,3.912782e-01,3.908140e-01,3.904418e-01,3.901528e-01
0.000000e+00,2.876140e-05,5.705737e-04,5.987352e-04,4.716271e-03,2.084996e-02,2.198866e-02,6.816005e-02,1.462700e-01,1.523302e-01,2.679498e-01,3.907524e-01,4.018453e-01,5.425876e-01,6.684393e-01,6.821833e-01,8.155452e-01,9.253337e-01,9.396806e-01,1.053021e+00,1.141363e+00,1.154938e+00,1.245406e+00,1.312801e+00,1.324776e+00,1.393621e+00,1.442705e+00,1.452635e+00,1.502571e+00,1.536496e+00,1.544191e+00,1.578244e+00,1.600015e+00,1.605446e+00,1.626474e+00,1.638713e+00,1.641955e+00,1.652472e+00,1.657373e+00,1.658556e+00,1.660696e+00,1.660044e+00,1.659333e+00,1.654868e+00,1.650092e+00,1.647663e+00,1.638045e+00,1.630277e+00,1.626308e+00,1.612716e+00,1.602847e+00,1.597508e+00,1.580896e+00,1.569616e+00,1.563071e+00,1.544203e+00,1.532050e+00,1.524447e+00,1.503940e+00,1.491327e+00,1.482804e+00,1.461150e+00,1.448392e+00,1.439075e+00,1.416669e+00,1.404007e+00,1.394011e+00,1.371171e+00,1.358784e+00,1.348212e+00,1.325193e+00,1.313215e+00,1.302163e+00,1.279168e+00,1.267697e+00,1.256249e+00,1.233444e+00,1.222547e+00,1.210783e+00,1.188298e+00,1.178021e+00,1.166013e+00,1.143953e+00,1.134322e+00,1.122137e+00,1.100584e+00,1.091614e+00,1.079310e+00,1.058330e+00,1.050022e+00,1.037655e+00,1.017297e+00,1.009646e+00,9.972656e-01,9.775681e-01,9.705602e-01,9.582117e-01,9.392019e-01,9.328185e-01,9.205436e-01,9.022404e-01,8.964589e-01,8.842953e-01,8.667104e-01,8.615053e-01,8.494869e-01,8.326258e-01,8.279697e-01,8.161271e-01,7.999904e-01,7.958541e-01,7.842148e-01,7.687989e-01,7.651524e-01,7.537410e-01,7.390388e-01,7.358519e-01,7.246900e-01,7.106917e-01,7.079338e-01,6.970408e-01,6.837341e-01,6.813752e-01,6.707680e-01,6.581388e-01,6.561491e-01,6.458424e-01,6.338750e-01,6.322255e-01,6.222321e-01,6.109096e-01,6.095722e-01,5.999029e-01,5.892075e-01,5.881549e-01,5.788188e-01,5.687320e-01,5.679380e-01,5.589426e-01,5.494456e-01,5.488850e-01,5.402362e-01,5.313096e-01,5.309584e-01,5.226610e-01,5.142853e-01,5.141206e-01,5.061778e-01,4.983335e-01,4.835591e-01,4.697595e-01,4.568969e-01,4.449339e-01,4.338336e-01,4.235593e-01,4.140749e-01,4.053450e-01,3.973345e-01,3.900089e-01,3.833345e-01,3.772781e-01,3.718071e-01,3.668897e-01,3.624945e-01,3.585910e-01,3.551494e-01,3.521406e-01,3.495361e-01,3.473085e-01,3.454308e-01,3.438770e-01,3.426220e-01,3.416414e-01,3.409119e-01,3.404108e-01,3.401166e-01,3.400084e-01,3.400666e-01,3.402724e-01,3.406078e-01,3.410559e-01,3.416008e-01,3.422276e-01,3.429221e-01,3.436713e-01,3.444631e-01,3.452860e-01,3.461299e-01,3.469851e-01,3.478431e-01,3.486959e-01,3.495366e-01,3.503588e-01,3.511570e-01,3.519262e-01,3.526623e-01,3.533616e-01,3.540211e-01
0.000000e+00,6.160337e-08,1.464173e-06,1.542158e-06,1.350384e-05,5.692814e-05,5.974061e-05,1.538694e-04,2.660880e-04,2.734700e-04,3.945555e-04,4.982711e-04,5.068384e-04,6.075076e-04,6.881012e-04,6.964934e-04,7.745629e-04,8.349909e-04,8.426691e-04,9.017478e-04,9.459976e-04,9.526649e-04,9.962097e-04,1.027617e-03,1.033100e-03,1.063991e-03,1.085266e-03,1.089480e-03,1.110114e-03,1.123464e-03,1.126394e-03,1.138774e-03,1.145994e-03,1.147672e-03,1.153467e-03,1.156007e-03,1.156501e-03,1.157088e-03,1.156114e-03,1.155510e-03,1.152021e-03,1.148456e-03,1.146852e-03,1.140210e-03,1.134785e-03,1.132282e-03,1.123236e-03,1.116523e-03,1.113221e-03,1.102374e-03,1.094819e-03,1.090816e-03,1.078654e-03,1.070600e-03,1.065987e-03,1.052900e-03,1.044611e-03,1.039473e-03,1.025773e-03,1.017448e-03,1.011862e-03,9.977960e-04,9.895857e-04,9.836228e-04,9.693860e-04,9.614001e-04,9.551239e-04,9.408705e-04,9.331879e-04,9.266556e-04,9.125057e-04,9.051813e-04,8.984440e-04,8.844906e-04,8.775601e-04,8.706631e-04,8.569769e-04,8.504616e-04,8.434451e-04,8.300792e-04,8.239893e-04,8.168888e-04,8.038821e-04,7.982191e-04,7.910659e-04,7.784459e-04,7.732052e-04,7.660267e-04,7.538119e-04,7.489839e-04,7.418044e-04,7.300062e-04,7.255781e-04,7.184187e-04,7.070426e-04,7.029991e-04,6.958782e-04,6.849252e-04,6.812493e-04,6.741831e-04,6.636507e-04,6.603244e-04,6.533268e-04,6.432098e-04,6.402148e-04,6.332978e-04,6.235889e-04,6.209064e-04,6.140806e-04,6.047707e-04,6.023824e-04,5.956567e-04,5.867358e-04,5.846232e-04,5.780053e-04,5.694624e-04,5.676079e-04,5.611043e-04,5.529279e-04,5.513142e-04,5.449304e-04,5.371086e-04,5.357191e-04,5.294597e-04,5.219805e-04,5.207994e-04,5.146680e-04,5.075192e-04,5.065313e-04,5.005311e-04,4.937006e-04,4.928914e-04,4.870247e-04,4.805006e-04,4.798564e-04,4.741251e-04,4.678955e-04,4.674034e-04,4.618088e-04,4.558622e-04,4.555098e-04,4.500529e-04,4.443780e-04,4.441537e-04,4.388348e-04,4.334207e-04,4.333137e-04,4.281329e-04,4.229689e-04,4.130991e-04,4.036847e-04,3.947069e-04,3.861474e-04,3.779886e-04,3.702136e-04,3.628060e-04,3.557502e-04,3.490311e-04,3.426341e-04,3.365453e-04,3.307514e-04,3.252394e-04,3.199972e-04,3.150128e-04,3.102750e-04,3.057728e-04,3.014958e-04,2.974342e-04,2.935781e-04,2.899186e-04,2.864468e-04,2.831542e-04,2.800329e-04,2.770751e-04,2.742733e-04,2.716205e-04,2.691099e-04,2.667350e-04,2.644895e-04,2.623676e-04,2.603634e-04,2.584715e-04,2.566868e-04,2.550041e-04,2.534187e-04,2.519260e-04,2.505216e-04,2.492013e-04,2.479611e-04,2.467971e-04,2.457057e-04,2.446833e-04,2.437265e-04,2.428322e-04,2.419973e-04,2.412188e-04,2.404938e-04,2.398198e-04
0.000000e+00,2.296083e-09,3.054080e-08,3.187139e-08,1.916035e-07,6.537708e-07,6.823273e-07,1.661007e-06,2.951471e-06,3.040693e-06,4.558246e-06,5.925821e-06,6.041536e-06,7.436587e-06,8.607626e-06,8.732789e-06,9.931092e-06,1.090770e-05,1.103541e-05,1.205034e-05,1.285518e-05,1.298047e-05,1.383037e-05,1.448562e-05,1.460459e-05,1.530748e-05,1.583358e-05,1.594325e-05,1.651594e-05,1.693127e-05,1.702940e-05,1.748729e-05,1.780812e-05,1.789310e-05,1.825013e-05,1.849080e-05,1.856154e-05,1.883027e-05,1.900333e-05,1.905915e-05,1.925083e-05,1.936721e-05,1.940780e-05,1.953245e-05,1.960166e-05,1.962699e-05,1.969355e-05,1.972383e-05,1.973409e-05,1.975051e-05,1.974898e-05,1.974455e-05,1.971788e-05,1.969066e-05,1.967206e-05,1.960856e-05,1.956093e-05,1.952877e-05,1.943399e-05,1.937044e-05,1.932545e-05,1.920428e-05,1.912865e-05,1.907158e-05,1.892835e-05,1.884391e-05,1.877556e-05,1.861408e-05,1.852357e-05,1.844477e-05,1.826840e-05,1.817414e-05,1.808571e-05,1.789738e-05,1.780132e-05,1.770408e-05,1.750639e-05,1.741010e-05,1.730488e-05,1.710007e-05,1.700489e-05,1.689247e-05,1.668252e-05,1.658951e-05,1.647066e-05,1.625728e-05,1.616730e-05,1.604275e-05,1.582743e-05,1.574114e-05,1.561162e-05,1.539563e-05,1.531356e-05,1.517972e-05,1.496417e-05,1.488670e-05,1.474920e-05,1.453502e-05,1.446242e-05,1.432185e-05,1.410986e-05,1.404231e-05,1.389923e-05,1.369011e-05,1.362769e-05,1.348264e-05,1.327695e-05,1.321969e-05,1.307316e-05,1.287138e-05,1.281926e-05,1.267171e-05,1.247423e-05,1.242717e-05,1.227902e-05,1.208614e-05,1.204403e-05,1.189567e-05,1.170766e-05,1.167036e-05,1.152215e-05,1.133919e-05,1.130653e-05,1.115881e-05,1.098104e-05,1.095284e-05,1.080590e-05,1.063342e-05,1.060948e-05,1.046360e-05,1.029646e-05,1.027659e-05,1.013201e-05,9.970253e-06,9.954224e-06,9.811180e-06,9.654793e-06,9.642398e-06,9.501085e-06,9.350046e-06,9.341069e-06,9.201666e-06,9.055931e-06,9.050157e-06,8.912825e-06,8.772330e-06,8.769546e-06,8.634426e-06,8.499092e-06,8.238623e-06,7.987951e-06,7.746867e-06,7.515152e-06,7.292576e-06,7.078898e-06,6.873875e-06,6.677258e-06,6.488795e-06,6.308235e-06,6.135325e-06,5.969816e-06,5.811460e-06,5.660011e-06,5.515230e-06,5.376878e-06,5.244723e-06,5.118539e-06,4.998104e-06,4.883200e-06,4.773619e-06,4.669154e-06,4.569608e-06,4.474787e-06,4.384504e-06,4.298578e-06,4.216835e-06,4.139105e-06,4.065224e-06,3.995035e-06,3.928386e-06,3.865129e-06,3.805123e-06,3.748231e-06,3.694323e-06,3.643271e-06,3.594954e-06,3.549254e-06,3.506060e-06,3.465263e-06,3.426758e-06,3.390447e-06,3.356232e-06,3.324022e-06,3.293728e-06,3.265264e-06,3.238550e-06,3.213506e-06,3.190058e-06
0.000000e+00,1.342983e-06,2.379419e-05,2.488133e-05,1.624085e-04,6.185176e-04,6.491016e-04,1.853145e-03,3.950936e-03,4.120922e-03,7.596012e-03,1.176817e-02,1.216865e-02,1.757940e-02,2.293215e-02,2.354653e-02,2.982438e-02,3.544727e-02,3.621452e-02,4.256206e-02,4.789596e-02,4.874888e-02,5.468722e-02,5.943659e-02,6.031393e-02,6.558575e-02,6.962420e-02,7.047529e-02,7.496773e-02,7.827215e-02,7.905809e-02,8.274898e-02,8.535580e-02,8.604880e-02,8.897021e-02,9.094700e-02,9.152895e-02,9.374283e-02,9.517034e-02,9.563104e-02,9.721345e-02,9.817472e-02,9.851016e-02,9.954116e-02,1.001153e-01,1.003260e-01,1.008837e-01,1.011425e-01,1.012324e-01,1.013894e-01,1.013961e-01,1.013712e-01,1.011932e-01,1.010021e-01,1.008698e-01,1.004147e-01,1.000719e-01,9.984046e-02,9.915883e-02,9.870287e-02,9.838069e-02,9.751614e-02,9.697881e-02,9.657450e-02,9.556438e-02,9.497179e-02,9.449375e-02,9.336995e-02,9.274340e-02,9.219977e-02,9.098942e-02,9.034610e-02,8.974467e-02,8.847080e-02,8.782448e-02,8.717268e-02,8.585479e-02,8.521640e-02,8.452125e-02,8.317585e-02,8.255396e-02,8.182208e-02,8.046311e-02,7.986429e-02,7.910189e-02,7.774110e-02,7.717029e-02,7.638320e-02,7.503044e-02,7.449124e-02,7.368487e-02,7.234837e-02,7.184324e-02,7.102266e-02,6.970927e-02,6.923975e-02,6.840963e-02,6.712500e-02,6.669185e-02,6.585653e-02,6.460526e-02,6.420864e-02,6.337212e-02,6.215792e-02,6.179747e-02,6.096340e-02,5.978920e-02,5.946415e-02,5.863589e-02,5.750397e-02,5.721322e-02,5.639385e-02,5.530589e-02,5.504811e-02,5.424039e-02,5.319759e-02,5.297125e-02,5.217770e-02,5.118085e-02,5.098425e-02,5.020715e-02,4.925665e-02,4.908803e-02,4.832940e-02,4.742538e-02,4.728289e-02,4.654455e-02,4.568684e-02,4.556861e-02,4.485217e-02,4.404040e-02,4.394453e-02,4.325141e-02,4.248503e-02,4.240963e-02,4.174108e-02,4.101937e-02,4.096258e-02,4.031968e-02,3.964178e-02,3.960180e-02,3.898545e-02,3.835043e-02,3.832547e-02,3.773645e-02,3.714325e-02,3.713160e-02,3.657055e-02,3.601806e-02,3.498260e-02,3.402287e-02,3.313643e-02,3.232078e-02,3.157337e-02,3.089161e-02,3.027287e-02,2.971451e-02,2.921386e-02,2.876825e-02,2.837500e-02,2.803143e-02,2.773488e-02,2.748267e-02,2.727216e-02,2.710073e-02,2.696578e-02,2.686475e-02,2.679510e-02,2.675436e-02,2.674010e-02,2.674992e-02,2.678153e-02,2.683266e-02,2.690115e-02,2.698489e-02,2.708187e-02,2.719016e-02,2.730792e-02,2.743341e-02,2.756499e-02,2.770111e-02,2.784033e-02,2.798130e-02,2.812280e-02,2.826367e-02,2.840289e-02,2.853953e-02,2.867275e-02,2.880182e-02,2.892608e-02,2.904498e-02,2.915806e-02,2.926492e-02,2.936527e-02,2.945885e-02,2.954550e-02,2.962512e-02,2.969767e-02
0.000000e+00,6.135557e-05,1.252945e-03,1.315571e-03,1.047316e-02,4.503271e-02,4.740396e-02,1.383315e-01,2.772876e-01,2.875485e-01,4.739397e-01,6.581629e-01,6.742862e-01,8.729500e-01,1.042896e+00,1.061085e+00,1.234286e+00,1.372910e+00,1.390790e+00,1.530320e+00,1.637134e+00,1.653410e+00,1.760999e+00,1.840218e+00,1.854216e+00,1.934244e+00,1.990849e+00,2.002256e+00,2.059376e+00,2.097940e+00,2.106658e+00,2.145083e+00,2.169487e+00,2.175551e+00,2.198886e+00,2.212316e+00,2.215841e+00,2.227096e+00,2.232122e+00,2.233270e+00,2.234922e+00,2.233596e+00,2.232556e+00,2.226626e+00,2.220576e+00,2.217543e+00,2.205674e+00,2.196183e+00,2.191352e+00,2.174873e+00,2.162947e+00,2.156506e+00,2.136490e+00,2.122916e+00,2.115042e+00,2.092355e+00,2.077745e+00,2.068604e+00,2.043945e+00,2.028772e+00,2.018518e+00,1.992449e+00,1.977080e+00,1.965852e+00,1.938829e+00,1.923545e+00,1.911472e+00,1.883863e+00,1.868876e+00,1.856077e+00,1.828179e+00,1.813649e+00,1.800231e+00,1.772287e+00,1.758332e+00,1.744395e+00,1.716599e+00,1.703302e+00,1.688938e+00,1.661448e+00,1.648869e+00,1.634161e+00,1.607105e+00,1.595281e+00,1.580306e+00,1.553787e+00,1.542737e+00,1.527567e+00,1.501665e+00,1.491397e+00,1.476097e+00,1.450878e+00,1.441388e+00,1.426019e+00,1.401532e+00,1.392810e+00,1.377426e+00,1.353710e+00,1.345736e+00,1.330389e+00,1.307471e+00,1.300223e+00,1.284960e+00,1.262859e+00,1.256310e+00,1.241172e+00,1.219902e+00,1.214021e+00,1.199049e+00,1.178614e+00,1.173370e+00,1.158598e+00,1.139000e+00,1.134359e+00,1.119820e+00,1.101056e+00,1.096984e+00,1.082707e+00,1.064769e+00,1.061231e+00,1.047242e+00,1.030122e+00,1.027084e+00,1.013406e+00,9.970910e-01,9.945175e-01,9.811726e-01,9.656475e-01,9.635051e-01,9.505115e-01,9.357603e-01,9.340159e-01,9.213897e-01,9.073951e-01,9.060161e-01,8.937717e-01,8.805149e-01,8.794700e-01,8.676196e-01,8.550809e-01,8.543398e-01,8.428937e-01,8.310529e-01,8.305864e-01,8.195532e-01,8.083893e-01,8.081694e-01,7.975559e-01,7.870477e-01,7.671796e-01,7.485229e-01,7.310351e-01,7.146736e-01,6.993959e-01,6.851596e-01,6.719224e-01,6.596424e-01,6.482781e-01,6.377882e-01,6.281321e-01,6.192697e-01,6.111615e-01,6.037686e-01,5.970527e-01,5.909766e-01,5.855036e-01,5.805978e-01,5.762244e-01,5.723493e-01,5.689394e-01,5.659628e-01,5.633884e-01,5.611861e-01,5.593271e-01,5.577836e-01,5.565288e-01,5.555373e-01,5.547845e-01,5.542473e-01,5.539036e-01,5.537324e-01,5.537139e-01,5.538295e-01,5.540618e-01,5.543942e-01,5.548115e-01,5.552995e-01,5.558451e-01,5.564359e-01,5.570610e-01,5.577099e-01,5.583735e-01,5.590434e-01,5.597118e-01,5.603721e-01,5.610181e-01,5.616447e-01,5.622472e-01
0.000000e+00,7.959974e-08,1.348572e-06,1.410632e-06,9.515905e-06,3.651038e-05,3.828303e-05,1.032897e-04,1.971501e-04,2.038971e-04,3.227425e-04,4.347485e-04,4.443683e-04,5.614868e-04,6.609277e-04,6.715992e-04,7.741050e-04,8.580535e-04,8.690567e-04,9.567179e-04,1.026527e-03,1.037419e-03,1.111510e-03,1.168895e-03,1.179342e-03,1.241259e-03,1.287853e-03,1.297597e-03,1.348679e-03,1.385970e-03,1.394815e-03,1.436301e-03,1.465613e-03,1.473418e-03,1.506434e-03,1.528941e-03,1.535604e-03,1.561168e-03,1.577900e-03,1.583357e-03,1.602385e-03,1.614244e-03,1.618458e-03,1.631769e-03,1.639543e-03,1.642503e-03,1.650831e-03,1.655204e-03,1.656917e-03,1.660917e-03,1.662484e-03,1.662975e-03,1.663230e-03,1.662506e-03,1.661811e-03,1.658840e-03,1.656270e-03,1.654434e-03,1.648701e-03,1.644667e-03,1.641743e-03,1.633658e-03,1.628488e-03,1.624536e-03,1.614463e-03,1.608437e-03,1.603520e-03,1.591781e-03,1.585137e-03,1.579320e-03,1.566201e-03,1.559141e-03,1.552489e-03,1.538242e-03,1.530936e-03,1.523516e-03,1.508363e-03,1.500952e-03,1.492832e-03,1.476967e-03,1.469570e-03,1.460813e-03,1.444409e-03,1.437121e-03,1.427792e-03,1.410997e-03,1.403899e-03,1.394058e-03,1.377004e-03,1.370157e-03,1.359865e-03,1.342666e-03,1.336120e-03,1.325433e-03,1.308187e-03,1.301980e-03,1.290952e-03,1.273746e-03,1.267905e-03,1.256587e-03,1.239493e-03,1.234040e-03,1.222480e-03,1.205561e-03,1.200506e-03,1.188751e-03,1.172061e-03,1.167411e-03,1.155503e-03,1.139088e-03,1.134844e-03,1.122823e-03,1.106719e-03,1.102878e-03,1.090782e-03,1.075020e-03,1.071577e-03,1.059440e-03,1.044047e-03,1.040991e-03,1.028845e-03,1.013840e-03,1.011161e-03,9.990361e-04,9.844359e-04,9.821190e-04,9.700426e-04,9.558589e-04,9.538901e-04,9.418870e-04,9.281286e-04,9.264920e-04,9.145851e-04,9.012575e-04,8.999367e-04,8.881467e-04,8.752531e-04,8.742310e-04,8.625769e-04,8.501180e-04,8.493774e-04,8.378763e-04,8.258511e-04,8.253746e-04,8.140418e-04,8.024474e-04,8.022177e-04,7.910671e-04,7.798994e-04,7.584095e-04,7.377359e-04,7.178649e-04,6.987811e-04,6.804682e-04,6.629088e-04,6.460848e-04,6.299774e-04,6.145673e-04,5.998353e-04,5.857616e-04,5.723265e-04,5.595103e-04,5.472934e-04,5.356563e-04,5.245796e-04,5.140444e-04,5.040320e-04,4.945239e-04,4.855020e-04,4.769488e-04,4.688468e-04,4.611792e-04,4.539295e-04,4.470817e-04,4.406201e-04,4.345296e-04,4.287953e-04,4.234031e-04,4.183388e-04,4.135892e-04,4.091410e-04,4.049817e-04,4.010990e-04,3.974810e-04,3.941162e-04,3.909937e-04,3.881026e-04,3.854327e-04,3.829739e-04,3.807165e-04,3.786514e-04,3.767694e-04,3.750620e-04,3.735207e-04,3.721376e-04,3.709049e-04,3.698151e-04,3.688609e-04
0.000000e+00,8.798546e-08,1.432554e-06,1.496596e-06,9.492968e-06,3.526943e-05,3.696321e-05,1.008496e-04,2.018489e-04,2.095506e-04,3.537660e-04,4.993600e-04,5.120280e-04,6.650544e-04,7.896717e-04,8.025985e-04,9.213522e-04,1.010389e-03,1.021461e-03,1.104423e-03,1.163492e-03,1.172123e-03,1.226442e-03,1.263009e-03,1.269122e-03,1.301726e-03,1.321917e-03,1.325635e-03,1.342066e-03,1.350544e-03,1.352080e-03,1.356607e-03,1.356855e-03,1.356458e-03,1.352336e-03,1.346928e-03,1.344856e-03,1.334548e-03,1.325375e-03,1.321876e-03,1.307240e-03,1.295681e-03,1.290985e-03,1.273415e-03,1.260474e-03,1.254789e-03,1.235334e-03,1.221729e-03,1.215240e-03,1.194676e-03,1.180915e-03,1.173783e-03,1.152684e-03,1.139121e-03,1.131483e-03,1.110270e-03,1.097145e-03,1.089119e-03,1.068095e-03,1.055565e-03,1.047252e-03,1.026636e-03,1.014797e-03,1.006283e-03,9.862256e-04,9.751316e-04,9.664879e-04,9.470907e-04,9.367636e-04,9.280501e-04,9.093786e-04,8.998187e-04,8.910858e-04,8.731783e-04,8.643705e-04,8.556606e-04,8.385350e-04,8.304542e-04,8.218021e-04,8.054611e-04,7.980753e-04,7.895099e-04,7.739456e-04,7.672188e-04,7.587641e-04,7.439610e-04,7.378553e-04,7.295310e-04,7.154685e-04,7.099450e-04,7.017674e-04,6.884211e-04,6.834412e-04,6.754232e-04,6.627666e-04,6.582925e-04,6.504445e-04,6.384498e-04,6.344449e-04,6.267753e-04,6.154139e-04,6.118432e-04,6.043584e-04,5.936018e-04,5.904321e-04,5.831370e-04,5.729569e-04,5.701565e-04,5.630546e-04,5.534233e-04,5.509627e-04,5.440563e-04,5.349469e-04,5.327982e-04,5.260886e-04,5.174750e-04,5.156122e-04,5.090999e-04,5.009570e-04,4.993558e-04,4.930404e-04,4.853442e-04,4.839819e-04,4.778627e-04,4.705900e-04,4.694454e-04,4.635209e-04,4.566498e-04,4.557034e-04,4.499716e-04,4.434810e-04,4.427146e-04,4.371732e-04,4.310432e-04,4.304398e-04,4.250863e-04,4.192978e-04,4.188418e-04,4.136732e-04,4.082081e-04,4.078851e-04,4.028981e-04,3.977392e-04,3.975360e-04,3.927272e-04,3.878582e-04,3.877623e-04,3.831283e-04,3.785336e-04,3.698212e-04,3.615975e-04,3.538366e-04,3.465138e-04,3.396058e-04,3.330903e-04,3.269465e-04,3.211543e-04,3.156948e-04,3.105503e-04,3.057038e-04,3.011391e-04,2.968411e-04,2.927954e-04,2.889883e-04,2.854068e-04,2.820388e-04,2.788726e-04,2.758971e-04,2.731020e-04,2.704774e-04,2.680140e-04,2.657029e-04,2.635356e-04,2.615044e-04,2.596016e-04,2.578201e-04,2.561532e-04,2.545944e-04,2.531378e-04,2.517776e-04,2.505084e-04,2.493250e-04,2.482226e-04,2.471965e-04,2.462425e-04,2.453563e-04,2.445341e-04,2.437722e-04,2.430671e-04,2.424155e-04,2.418142e-04,2.412602e-04,2.407509e-04,2.402834e-04,2.398554e-04,2.394644e-04,2.391082e-04,2.387846e-04
0.000000e+00,1.069001e-07,2.832937e-06,2.985999e-06,2.585243e-05,1.048721e-04,1.099313e-04,2.823909e-04,5.006491e-04,5.154579e-04,7.634755e-04,9.780318e-04,9.955815e-04,1.196766e-03,1.347314e-03,1.362252e-03,1.492902e-03,1.581860e-03,1.592282e-03,1.664960e-03,1.709653e-03,1.715576e-03,1.748394e-03,1.764931e-03,1.767113e-03,1.774829e-03,1.774732e-03,1.774066e-03,1.766851e-03,1.757519e-03,1.754781e-03,1.739107e-03,1.725009e-03,1.720795e-03,1.700586e-03,1.684310e-03,1.679044e-03,1.656595e-03,1.639591e-03,1.633561e-03,1.610180e-03,1.593234e-03,1.586631e-03,1.563045e-03,1.546566e-03,1.539519e-03,1.516122e-03,1.500314e-03,1.492907e-03,1.469912e-03,1.454868e-03,1.447162e-03,1.424678e-03,1.410435e-03,1.402474e-03,1.380560e-03,1.367123e-03,1.358944e-03,1.337629e-03,1.324988e-03,1.316621e-03,1.295921e-03,1.284057e-03,1.275531e-03,1.255452e-03,1.244343e-03,1.235683e-03,1.216226e-03,1.205848e-03,1.197078e-03,1.178240e-03,1.168566e-03,1.159709e-03,1.141485e-03,1.132488e-03,1.123566e-03,1.105949e-03,1.097600e-03,1.088633e-03,1.071615e-03,1.063886e-03,1.054893e-03,1.038464e-03,1.031327e-03,1.022325e-03,1.006473e-03,9.999003e-04,9.909056e-04,9.756194e-04,9.695830e-04,9.606112e-04,9.458776e-04,9.403501e-04,9.314152e-04,9.172207e-04,9.121756e-04,9.032906e-04,8.896213e-04,8.850325e-04,8.762092e-04,8.630509e-04,8.588932e-04,8.501427e-04,8.374809e-04,8.337299e-04,8.250621e-04,8.128825e-04,8.095145e-04,8.009385e-04,7.892265e-04,7.862189e-04,7.777429e-04,7.664842e-04,7.638152e-04,7.554467e-04,7.446270e-04,7.422755e-04,7.340214e-04,7.236266e-04,7.215726e-04,7.134390e-04,7.034552e-04,7.016795e-04,6.936718e-04,6.840854e-04,6.825696e-04,6.746927e-04,6.654904e-04,6.642171e-04,6.564752e-04,6.476439e-04,6.465963e-04,6.389933e-04,6.305203e-04,6.296826e-04,6.222217e-04,6.140945e-04,6.134516e-04,6.061357e-04,5.983422e-04,5.978798e-04,5.907112e-04,5.832397e-04,5.829441e-04,5.759248e-04,5.687638e-04,5.686222e-04,5.617539e-04,5.548922e-04,5.417332e-04,5.291247e-04,5.170467e-04,5.054801e-04,4.944062e-04,4.838069e-04,4.736647e-04,4.639628e-04,4.546847e-04,4.458147e-04,4.373375e-04,4.292382e-04,4.215026e-04,4.141168e-04,4.070676e-04,4.003420e-04,3.939275e-04,3.878122e-04,3.819845e-04,3.764331e-04,3.711473e-04,3.661165e-04,3.613308e-04,3.567803e-04,3.524557e-04,3.483480e-04,3.444484e-04,3.407484e-04,3.372400e-04,3.339153e-04,3.307666e-04,3.277868e-04,3.249687e-04,3.223056e-04,3.197909e-04,3.174183e-04,3.151816e-04,3.130752e-04,3.110931e-04,3.092301e-04,3.074808e-04,3.058402e-04,3.043034e-04,3.028656e-04,3.015224e-04,3.002694e-04,2.991023e-04,2.980171e-04,2.970099e-04
0.000000e+00,3.373117e-08,5.552496e-07,5.814330e-07,4.047836e-06,1.494180e-05,1.562047e-05,3.798927e-05,6.433572e-05,6.605903e-05,9.434199e-05,1.189552e-04,1.210187e-04,1.457464e-04,1.663357e-04,1.685285e-04,1.894455e-04,2.063869e-04,2.085947e-04,2.260754e-04,2.398489e-04,2.419853e-04,2.564192e-04,2.674697e-04,2.694681e-04,2.812193e-04,2.899455e-04,2.917561e-04,3.011575e-04,3.079115e-04,3.094983e-04,3.168499e-04,3.219411e-04,3.232799e-04,3.288513e-04,3.325483e-04,3.336239e-04,3.376536e-04,3.401887e-04,3.409936e-04,3.436933e-04,3.452671e-04,3.457996e-04,3.473561e-04,3.481408e-04,3.484042e-04,3.489822e-04,3.491253e-04,3.491263e-04,3.488705e-04,3.484981e-04,3.482466e-04,3.472842e-04,3.465036e-04,3.460112e-04,3.444537e-04,3.433560e-04,3.426361e-04,3.405813e-04,3.392434e-04,3.383105e-04,3.358437e-04,3.343305e-04,3.331995e-04,3.303954e-04,3.287613e-04,3.274475e-04,3.243711e-04,3.226613e-04,3.211801e-04,3.178879e-04,3.161400e-04,3.145067e-04,3.110478e-04,3.092926e-04,3.075219e-04,3.039389e-04,3.022015e-04,3.003080e-04,2.966376e-04,2.949382e-04,2.929357e-04,2.892097e-04,2.875643e-04,2.854661e-04,2.817115e-04,2.801326e-04,2.779515e-04,2.741915e-04,2.726886e-04,2.704364e-04,2.666909e-04,2.652709e-04,2.629590e-04,2.592445e-04,2.579123e-04,2.555511e-04,2.518819e-04,2.506404e-04,2.482399e-04,2.446276e-04,2.434784e-04,2.410476e-04,2.375021e-04,2.364454e-04,2.339930e-04,2.305220e-04,2.295572e-04,2.270909e-04,2.237010e-04,2.228265e-04,2.203535e-04,2.170496e-04,2.162633e-04,2.137903e-04,2.105764e-04,2.098755e-04,2.074086e-04,2.042875e-04,2.036689e-04,2.012136e-04,1.981873e-04,1.976476e-04,1.952089e-04,1.922787e-04,1.918143e-04,1.893967e-04,1.865632e-04,1.861703e-04,1.837780e-04,1.810412e-04,1.807160e-04,1.783526e-04,1.757121e-04,1.754506e-04,1.731194e-04,1.705744e-04,1.703728e-04,1.680767e-04,1.656260e-04,1.654805e-04,1.632220e-04,1.608643e-04,1.607709e-04,1.585524e-04,1.562859e-04,1.562410e-04,1.540644e-04,1.518874e-04,1.477061e-04,1.436932e-04,1.398444e-04,1.361554e-04,1.326217e-04,1.292387e-04,1.260018e-04,1.229065e-04,1.199482e-04,1.171223e-04,1.144244e-04,1.118501e-04,1.093949e-04,1.070545e-04,1.048249e-04,1.027018e-04,1.006813e-04,9.875945e-05,9.693252e-05,9.519678e-05,9.354865e-05,9.198467e-05,9.050146e-05,8.909576e-05,8.776442e-05,8.650438e-05,8.531271e-05,8.418654e-05,8.312314e-05,8.211984e-05,8.117408e-05,8.028341e-05,7.944543e-05,7.865786e-05,7.791849e-05,7.722518e-05,7.657591e-05,7.596869e-05,7.540162e-05,7.487289e-05,7.438074e-05,7.392348e-05,7.349949e-05,7.310721e-05,7.274514e-05,7.241184e-05,7.210593e-05,7.182608e-05,7.157100e-05
0.000000e+00,1.412864e-08,2.235205e-07,2.336456e-07,1.420265e-06,4.527253e-06,4.707292e-06,1.030058e-05,1.659487e-05,1.700513e-05,2.377963e-05,2.978293e-05,3.029204e-05,3.647318e-05,4.174541e-05,4.231434e-05,4.782089e-05,5.239711e-05,5.300200e-05,5.786823e-05,6.180984e-05,6.243074e-05,6.670106e-05,7.007089e-05,7.069090e-05,7.441193e-05,7.727066e-05,7.787565e-05,8.109345e-05,8.349805e-05,8.407636e-05,8.683511e-05,8.883803e-05,8.938010e-05,9.172140e-05,9.337053e-05,9.386869e-05,9.583131e-05,9.717006e-05,9.761825e-05,9.923815e-05,1.003057e-04,1.006993e-04,1.020096e-04,1.028413e-04,1.031768e-04,1.042082e-04,1.048355e-04,1.051107e-04,1.058912e-04,1.063425e-04,1.065560e-04,1.071113e-04,1.074120e-04,1.075630e-04,1.079168e-04,1.080894e-04,1.081781e-04,1.083520e-04,1.084164e-04,1.084434e-04,1.084571e-04,1.084313e-04,1.083977e-04,1.082693e-04,1.081688e-04,1.080761e-04,1.078220e-04,1.076609e-04,1.075109e-04,1.071462e-04,1.069365e-04,1.067313e-04,1.062696e-04,1.060221e-04,1.057641e-04,1.052178e-04,1.049419e-04,1.046335e-04,1.040139e-04,1.037177e-04,1.033615e-04,1.026788e-04,1.023694e-04,1.019681e-04,1.012316e-04,1.009151e-04,1.004714e-04,9.968949e-05,9.937107e-05,9.888777e-05,9.806805e-05,9.775219e-05,9.723203e-05,9.638135e-05,9.607181e-05,9.551754e-05,9.464206e-05,9.434200e-05,9.375632e-05,9.286161e-05,9.257362e-05,9.195919e-05,9.105024e-05,9.077645e-05,9.013587e-05,8.921714e-05,8.895926e-05,8.829506e-05,8.737056e-05,8.712990e-05,8.644454e-05,8.551783e-05,8.529541e-05,8.459123e-05,8.366549e-05,8.346201e-05,8.274131e-05,8.181935e-05,8.163528e-05,8.090023e-05,7.998454e-05,7.982012e-05,7.907282e-05,7.816559e-05,7.802088e-05,7.726332e-05,7.636647e-05,7.624136e-05,7.547544e-05,7.459064e-05,7.448490e-05,7.371242e-05,7.284112e-05,7.275439e-05,7.197706e-05,7.112051e-05,7.105232e-05,7.027175e-05,6.943101e-05,6.938083e-05,6.859854e-05,6.777452e-05,6.774174e-05,6.695915e-05,6.615260e-05,6.613656e-05,6.535502e-05,6.456655e-05,6.303272e-05,6.153585e-05,6.007656e-05,5.865528e-05,5.727226e-05,5.592764e-05,5.462143e-05,5.335351e-05,5.212369e-05,5.093167e-05,4.977709e-05,4.865951e-05,4.757845e-05,4.653335e-05,4.552364e-05,4.454868e-05,4.360782e-05,4.270039e-05,4.182568e-05,4.098298e-05,4.017154e-05,3.939064e-05,3.863952e-05,3.791743e-05,3.722363e-05,3.655735e-05,3.591785e-05,3.530439e-05,3.471623e-05,3.415263e-05,3.361288e-05,3.309626e-05,3.260208e-05,3.212964e-05,3.167826e-05,3.124727e-05,3.083603e-05,3.044390e-05,3.007023e-05,2.971444e-05,2.937591e-05,2.905405e-05,2.874831e-05,2.845811e-05,2.818292e-05,2.792220e-05,2.767544e-05,2.744214e-05,2.722181e-05
0.000000e+00,2.972796e-08,3.352425e-07,3.482747e-07,1.749020e-06,5.511798e-06,5.742867e-06,1.386381e-05,2.566602e-05,2.654168e-05,4.268905e-05,5.892255e-05,6.034454e-05,7.775961e-05,9.243129e-05,9.398858e-05,1.087120e-04,1.203926e-04,1.218949e-04,1.336026e-04,1.425638e-04,1.439305e-04,1.529801e-04,1.596673e-04,1.608516e-04,1.676401e-04,1.724617e-04,1.734354e-04,1.783216e-04,1.816288e-04,1.823770e-04,1.856747e-04,1.877642e-04,1.882819e-04,1.902614e-04,1.913817e-04,1.916710e-04,1.925643e-04,1.929221e-04,1.929906e-04,1.929947e-04,1.927599e-04,1.926186e-04,1.919008e-04,1.912142e-04,1.908768e-04,1.895795e-04,1.885567e-04,1.880391e-04,1.862834e-04,1.850192e-04,1.843379e-04,1.822264e-04,1.807981e-04,1.799710e-04,1.775922e-04,1.760631e-04,1.751075e-04,1.725332e-04,1.709519e-04,1.698842e-04,1.671738e-04,1.655786e-04,1.644145e-04,1.616173e-04,1.600381e-04,1.587924e-04,1.559490e-04,1.544088e-04,1.530954e-04,1.502391e-04,1.487550e-04,1.473868e-04,1.445447e-04,1.431291e-04,1.417181e-04,1.389120e-04,1.375736e-04,1.361306e-04,1.333780e-04,1.321223e-04,1.306573e-04,1.279717e-04,1.268019e-04,1.253238e-04,1.227157e-04,1.216327e-04,1.201495e-04,1.176268e-04,1.166303e-04,1.151491e-04,1.127174e-04,1.118057e-04,1.103328e-04,1.079960e-04,1.071665e-04,1.057075e-04,1.034678e-04,1.027174e-04,1.012770e-04,9.913531e-05,9.846034e-05,9.704272e-05,9.499909e-05,9.439552e-05,9.300422e-05,9.105781e-05,9.052145e-05,8.915947e-05,8.730877e-05,8.683533e-05,8.550518e-05,8.374813e-05,8.333331e-05,8.203703e-05,8.037120e-05,8.001072e-05,7.874994e-05,7.717254e-05,7.686226e-05,7.563825e-05,7.414628e-05,7.388216e-05,7.269585e-05,7.128617e-05,7.106434e-05,6.991640e-05,6.858573e-05,6.840250e-05,6.729332e-05,6.603835e-05,6.589023e-05,6.481999e-05,6.363739e-05,6.352106e-05,6.248973e-05,6.137618e-05,6.128854e-05,6.029592e-05,5.924814e-05,5.918628e-05,5.823202e-05,5.724679e-05,5.720801e-05,5.629164e-05,5.536581e-05,5.534759e-05,5.446853e-05,5.359905e-05,5.195661e-05,5.041467e-05,4.896785e-05,4.761098e-05,4.633910e-05,4.514748e-05,4.403159e-05,4.298713e-05,4.200999e-05,4.109628e-05,4.024229e-05,3.944452e-05,3.869964e-05,3.800452e-05,3.735617e-05,3.675179e-05,3.618871e-05,3.566444e-05,3.517661e-05,3.472299e-05,3.430148e-05,3.391010e-05,3.354699e-05,3.321038e-05,3.289863e-05,3.261018e-05,3.234358e-05,3.209744e-05,3.187047e-05,3.166146e-05,3.146927e-05,3.129282e-05,3.113110e-05,3.098316e-05,3.084812e-05,3.072514e-05,3.061343e-05,3.051226e-05,3.042094e-05,3.033881e-05,3.026526e-05,3.019973e-05,3.014168e-05,3.009060e-05,3.004603e-05,3.000750e-05,2.997462e-05,2.994699e-05,2.992424e-05
0.000000e+00,2.849590e-07,4.641298e-06,4.848724e-06,3.092481e-05,1.163181e-04,1.219626e-04,3.351714e-04,6.683280e-04,6.934633e-04,1.159557e-03,1.631779e-03,1.673495e-03,2.192713e-03,2.646649e-03,2.695939e-03,3.174358e-03,3.572383e-03,3.624956e-03,4.047193e-03,4.387990e-03,4.441553e-03,4.808932e-03,5.097454e-03,5.150392e-03,5.467052e-03,5.709001e-03,5.760043e-03,6.030478e-03,6.231319e-03,6.279447e-03,6.508009e-03,6.672780e-03,6.717187e-03,6.907965e-03,7.041237e-03,7.081293e-03,7.238081e-03,7.343971e-03,7.379203e-03,7.505496e-03,7.587698e-03,7.617763e-03,7.716772e-03,7.778583e-03,7.803256e-03,7.877918e-03,7.922279e-03,7.941428e-03,7.994429e-03,8.023951e-03,8.037532e-03,8.071321e-03,8.088316e-03,8.096353e-03,8.113161e-03,8.119675e-03,8.122251e-03,8.124107e-03,8.121940e-03,8.119188e-03,8.107935e-03,8.098671e-03,8.090765e-03,8.068074e-03,8.053099e-03,8.040243e-03,8.007630e-03,7.988153e-03,7.970579e-03,7.929414e-03,7.906486e-03,7.884445e-03,7.835966e-03,7.810498e-03,7.784256e-03,7.729579e-03,7.702355e-03,7.672188e-03,7.612320e-03,7.584012e-03,7.550201e-03,7.486046e-03,7.457226e-03,7.420058e-03,7.352427e-03,7.323577e-03,7.283337e-03,7.212959e-03,7.184484e-03,7.141456e-03,7.068980e-03,7.041215e-03,6.995678e-03,6.921684e-03,6.894903e-03,6.847129e-03,6.772134e-03,6.746556e-03,6.696813e-03,6.621273e-03,6.597071e-03,6.545616e-03,6.469937e-03,6.447242e-03,6.394324e-03,6.318861e-03,6.297770e-03,6.243627e-03,6.168693e-03,6.149268e-03,6.094129e-03,6.019998e-03,6.002278e-03,5.946359e-03,5.873268e-03,5.857266e-03,5.800775e-03,5.728928e-03,5.714640e-03,5.657770e-03,5.587343e-03,5.574746e-03,5.517683e-03,5.448824e-03,5.437883e-03,5.380797e-03,5.313631e-03,5.304298e-03,5.247353e-03,5.181984e-03,5.174201e-03,5.117546e-03,5.054058e-03,5.047762e-03,4.991536e-03,4.929996e-03,4.925116e-03,4.869450e-03,4.809909e-03,4.806369e-03,4.751382e-03,4.693877e-03,4.691598e-03,4.637400e-03,4.581957e-03,4.580858e-03,4.527549e-03,4.474180e-03,4.371577e-03,4.273042e-03,4.178557e-03,4.088087e-03,4.001588e-03,3.919004e-03,3.840270e-03,3.765314e-03,3.694057e-03,3.626416e-03,3.562300e-03,3.501617e-03,3.444270e-03,3.390162e-03,3.339190e-03,3.291255e-03,3.246251e-03,3.204078e-03,3.164630e-03,3.127804e-03,3.093499e-03,3.061613e-03,3.032044e-03,3.004694e-03,2.979464e-03,2.956259e-03,2.934983e-03,2.915545e-03,2.897853e-03,2.881820e-03,2.867359e-03,2.854387e-03,2.842822e-03,2.832584e-03,2.823597e-03,2.815786e-03,2.809079e-03,2.803407e-03,2.798703e-03,2.794902e-03,2.791942e-03,2.789763e-03,2.788308e-03,2.787522e-03,2.787352e-03,2.787749e-03,2.788663e-03,2.790050e-03,2.791865e-03
0.000000e+00,8.371288e-10,9.483058e-09,9.868316e-09,5.350088e-08,1.729527e-07,1.801856e-07,4.220263e-07,7.294787e-07,7.504383e-07,1.103570e-06,1.418192e-06,1.444694e-06,1.762801e-06,2.027794e-06,2.056001e-06,2.324819e-06,2.542112e-06,2.570396e-06,2.794017e-06,2.969763e-06,2.996982e-06,3.180560e-06,3.320686e-06,3.345983e-06,3.494434e-06,3.604294e-06,3.627043e-06,3.744885e-06,3.829211e-06,3.848977e-06,3.940279e-06,4.003201e-06,4.019698e-06,4.088086e-06,4.133178e-06,4.146244e-06,4.194923e-06,4.225261e-06,4.234831e-06,4.266628e-06,4.284849e-06,4.290934e-06,4.308328e-06,4.316685e-06,4.319355e-06,4.324521e-06,4.324930e-06,4.324302e-06,4.319141e-06,4.313230e-06,4.309452e-06,4.295623e-06,4.284767e-06,4.278014e-06,4.256962e-06,4.242319e-06,4.232781e-06,4.205764e-06,4.188307e-06,4.176184e-06,4.144294e-06,4.124833e-06,4.110330e-06,4.074513e-06,4.053722e-06,4.037046e-06,3.998119e-06,3.976555e-06,3.957909e-06,3.916580e-06,3.894696e-06,3.874281e-06,3.831155e-06,3.809323e-06,3.787332e-06,3.742931e-06,3.721446e-06,3.698064e-06,3.652833e-06,3.631932e-06,3.607335e-06,3.561655e-06,3.541519e-06,3.515874e-06,3.470067e-06,3.450837e-06,3.424302e-06,3.378640e-06,3.360417e-06,3.333138e-06,3.287849e-06,3.270705e-06,3.242821e-06,3.198095e-06,3.182076e-06,3.153713e-06,3.109708e-06,3.094839e-06,3.066114e-06,3.022960e-06,3.009247e-06,2.980270e-06,2.938069e-06,2.925507e-06,2.896376e-06,2.855211e-06,2.843781e-06,2.814588e-06,2.774522e-06,2.764198e-06,2.735025e-06,2.696107e-06,2.686854e-06,2.657776e-06,2.620040e-06,2.611818e-06,2.582904e-06,2.546372e-06,2.539138e-06,2.510447e-06,2.475133e-06,2.468841e-06,2.440428e-06,2.406335e-06,2.400937e-06,2.372852e-06,2.339976e-06,2.335422e-06,2.307707e-06,2.276042e-06,2.272282e-06,2.244975e-06,2.214505e-06,2.211490e-06,2.184625e-06,2.155332e-06,2.153013e-06,2.126619e-06,2.098481e-06,2.096810e-06,2.070911e-06,2.043904e-06,2.042835e-06,2.017453e-06,1.991551e-06,1.991038e-06,1.966190e-06,1.941364e-06,1.893757e-06,1.848159e-06,1.804508e-06,1.762745e-06,1.722808e-06,1.684635e-06,1.648166e-06,1.613340e-06,1.580098e-06,1.548381e-06,1.518131e-06,1.489293e-06,1.461810e-06,1.435631e-06,1.410702e-06,1.386972e-06,1.364394e-06,1.342919e-06,1.322502e-06,1.303098e-06,1.284663e-06,1.267157e-06,1.250540e-06,1.234773e-06,1.219820e-06,1.205643e-06,1.192210e-06,1.179488e-06,1.167443e-06,1.156047e-06,1.145270e-06,1.135084e-06,1.125462e-06,1.116378e-06,1.107807e-06,1.099726e-06,1.092111e-06,1.084942e-06,1.078197e-06,1.071857e-06,1.065901e-06,1.060312e-06,1.055071e-06,1.050163e-06,1.045572e-06,1.041280e-06,1.037275e-06,1.033542e-06,1.030067e-06
0.000000e+00,7.939363e-08,1.977439e-06,2.082395e-06,1.755799e-05,7.138625e-05,7.487360e-05,1.964201e-04,3.544817e-04,3.652836e-04,5.469252e-04,7.052555e-04,7.182822e-04,8.690202e-04,9.845272e-04,9.961837e-04,1.100386e-03,1.174750e-03,1.183736e-03,1.248816e-03,1.292148e-03,1.298210e-03,1.334297e-03,1.355879e-03,1.359189e-03,1.374717e-03,1.381573e-03,1.382454e-03,1.383741e-03,1.380898e-03,1.379717e-03,1.371345e-03,1.362324e-03,1.359438e-03,1.344679e-03,1.331911e-03,1.327641e-03,1.308807e-03,1.293953e-03,1.288579e-03,1.267293e-03,1.251471e-03,1.245229e-03,1.222619e-03,1.206573e-03,1.199658e-03,1.176505e-03,1.160719e-03,1.153291e-03,1.130126e-03,1.114907e-03,1.107098e-03,1.084279e-03,1.069813e-03,1.061728e-03,1.039493e-03,1.025881e-03,1.017609e-03,9.961068e-04,9.833980e-04,9.750081e-04,9.543298e-04,9.425339e-04,9.340840e-04,9.142787e-04,9.033822e-04,8.949191e-04,8.760072e-04,8.659811e-04,8.575433e-04,8.395253e-04,8.303313e-04,8.219502e-04,8.048134e-04,7.964077e-04,7.881095e-04,7.718321e-04,7.641685e-04,7.559744e-04,7.405291e-04,7.335606e-04,7.254885e-04,7.108445e-04,7.045247e-04,6.965889e-04,6.827134e-04,6.769970e-04,6.692095e-04,6.560688e-04,6.509123e-04,6.432828e-04,6.308431e-04,6.262050e-04,6.187413e-04,6.069693e-04,6.028105e-04,5.955188e-04,5.843819e-04,5.806653e-04,5.735505e-04,5.630169e-04,5.597078e-04,5.527736e-04,5.428129e-04,5.398787e-04,5.331276e-04,5.237104e-04,5.211207e-04,5.145545e-04,5.056528e-04,5.033792e-04,4.969987e-04,4.885856e-04,4.866016e-04,4.804071e-04,4.724570e-04,4.707380e-04,4.647291e-04,4.572176e-04,4.557407e-04,4.499165e-04,4.428203e-04,4.415643e-04,4.359234e-04,4.292205e-04,4.281657e-04,4.227063e-04,4.163757e-04,4.155038e-04,4.102238e-04,4.042456e-04,4.035396e-04,3.984365e-04,3.927918e-04,3.922362e-04,3.873072e-04,3.819781e-04,3.815584e-04,3.768005e-04,3.717701e-04,3.714729e-04,3.668829e-04,3.621351e-04,3.619480e-04,3.575227e-04,3.530421e-04,3.529538e-04,3.486897e-04,3.444619e-04,3.364454e-04,3.288787e-04,3.217377e-04,3.149995e-04,3.086422e-04,3.026455e-04,2.969898e-04,2.916567e-04,2.866287e-04,2.818894e-04,2.774229e-04,2.732147e-04,2.692505e-04,2.655172e-04,2.620021e-04,2.586934e-04,2.555798e-04,2.526506e-04,2.498959e-04,2.473059e-04,2.448717e-04,2.425847e-04,2.404368e-04,2.384205e-04,2.365283e-04,2.347535e-04,2.330897e-04,2.315305e-04,2.300703e-04,2.287035e-04,2.274249e-04,2.262296e-04,2.251130e-04,2.240706e-04,2.230983e-04,2.221921e-04,2.213484e-04,2.205635e-04,2.198341e-04,2.191570e-04,2.185294e-04,2.179483e-04,2.174111e-04,2.169152e-04,2.164583e-04,2.160381e-04,2.156524e-04,2.152992e-04,2.149767e-04
0.000000e+00,2.513808e-08,4.188028e-07,4.382118e-07,3.062311e-06,1.235660e-05,1.298492e-05,3.689839e-05,7.276348e-05,7.534583e-05,1.198292e-04,1.588496e-04,1.620367e-04,1.985623e-04,2.261409e-04,2.289087e-04,2.535789e-04,2.711718e-04,2.733015e-04,2.887901e-04,2.992113e-04,3.006809e-04,3.095262e-04,3.149527e-04,3.158016e-04,3.199145e-04,3.219199e-04,3.222140e-04,3.229980e-04,3.227065e-04,3.225211e-04,3.210000e-04,3.192085e-04,3.186194e-04,3.155359e-04,3.128051e-04,3.118827e-04,3.077725e-04,3.044934e-04,3.033006e-04,2.985476e-04,2.949899e-04,2.935813e-04,2.884588e-04,2.848061e-04,2.832280e-04,2.779291e-04,2.743043e-04,2.725956e-04,2.672552e-04,2.637383e-04,2.619312e-04,2.566425e-04,2.532837e-04,2.514048e-04,2.462308e-04,2.430594e-04,2.411306e-04,2.361126e-04,2.331438e-04,2.311830e-04,2.263468e-04,2.235861e-04,2.216078e-04,2.169685e-04,2.144148e-04,2.124308e-04,2.079957e-04,2.056437e-04,2.036637e-04,1.994348e-04,1.972762e-04,1.953083e-04,1.912836e-04,1.893090e-04,1.873595e-04,1.835347e-04,1.817336e-04,1.798077e-04,1.761769e-04,1.745385e-04,1.726404e-04,1.691965e-04,1.677100e-04,1.658433e-04,1.625787e-04,1.612335e-04,1.594008e-04,1.563076e-04,1.550936e-04,1.532971e-04,1.503673e-04,1.492748e-04,1.475163e-04,1.447420e-04,1.437616e-04,1.420424e-04,1.394158e-04,1.385391e-04,1.368603e-04,1.343738e-04,1.335925e-04,1.319547e-04,1.296012e-04,1.289077e-04,1.273115e-04,1.250840e-04,1.244711e-04,1.229168e-04,1.208086e-04,1.202699e-04,1.187575e-04,1.167622e-04,1.162914e-04,1.148211e-04,1.129327e-04,1.125241e-04,1.110955e-04,1.093083e-04,1.089567e-04,1.075696e-04,1.058781e-04,1.055785e-04,1.042325e-04,1.026316e-04,1.023795e-04,1.010741e-04,9.955894e-05,9.935011e-05,9.808483e-05,9.665070e-05,9.648124e-05,9.525546e-05,9.389803e-05,9.376433e-05,9.257739e-05,9.129252e-05,9.119124e-05,9.004245e-05,8.882622e-05,8.875430e-05,8.764291e-05,8.649161e-05,8.644622e-05,8.537146e-05,8.428159e-05,8.426010e-05,8.322118e-05,8.218943e-05,8.022804e-05,7.837010e-05,7.661009e-05,7.494277e-05,7.336320e-05,7.186670e-05,7.044885e-05,6.910546e-05,6.783257e-05,6.662644e-05,6.548350e-05,6.440042e-05,6.337401e-05,6.240126e-05,6.147934e-05,6.060555e-05,5.977735e-05,5.899233e-05,5.824820e-05,5.754282e-05,5.687414e-05,5.624023e-05,5.563926e-05,5.506950e-05,5.452930e-05,5.401713e-05,5.353151e-05,5.307104e-05,5.263443e-05,5.222042e-05,5.182783e-05,5.145555e-05,5.110252e-05,5.076774e-05,5.045027e-05,5.014920e-05,4.986369e-05,4.959293e-05,4.933616e-05,4.909266e-05,4.886176e-05,4.864279e-05,4.843514e-05,4.823825e-05,4.805155e-05,4.787452e-05,4.770668e-05,4.754755e-05,4.739669e-05
0.000000e+00,5.388895e-08,9.633605e-07,1.008505e-06,7.097615e-06,2.884285e-05,3.032953e-05,8.889629e-05,1.859855e-04,1.934878e-04,3.350823e-04,4.798789e-04,4.925865e-04,6.477772e-04,7.765712e-04,7.900497e-04,9.147473e-04,1.009006e-03,1.020753e-03,1.108801e-03,1.171355e-03,1.180472e-03,1.237654e-03,1.275883e-03,1.282248e-03,1.316040e-03,1.336823e-03,1.340638e-03,1.357460e-03,1.366150e-03,1.367734e-03,1.372518e-03,1.373026e-03,1.372717e-03,1.369098e-03,1.364200e-03,1.362315e-03,1.352920e-03,1.344564e-03,1.341380e-03,1.328089e-03,1.317625e-03,1.313380e-03,1.297533e-03,1.285891e-03,1.280784e-03,1.263336e-03,1.251159e-03,1.245357e-03,1.226987e-03,1.214708e-03,1.208347e-03,1.189534e-03,1.177443e-03,1.170634e-03,1.151715e-03,1.140003e-03,1.132837e-03,1.114047e-03,1.102833e-03,1.095386e-03,1.076889e-03,1.066246e-03,1.058582e-03,1.040488e-03,1.030455e-03,1.022625e-03,1.005008e-03,9.956007e-04,9.876480e-04,9.705551e-04,9.617747e-04,9.537361e-04,9.371960e-04,9.290317e-04,9.209383e-04,9.049654e-04,8.974000e-04,8.892785e-04,8.738778e-04,8.668894e-04,8.587627e-04,8.439322e-04,8.374965e-04,8.293844e-04,8.151171e-04,8.092079e-04,8.011277e-04,7.874133e-04,7.820039e-04,7.739708e-04,7.607967e-04,7.558602e-04,7.478875e-04,7.352395e-04,7.307494e-04,7.228488e-04,7.107117e-04,7.066420e-04,6.988240e-04,6.871818e-04,6.835074e-04,6.757810e-04,6.646176e-04,6.613143e-04,6.536876e-04,6.429868e-04,6.400312e-04,6.325114e-04,6.222571e-04,6.196268e-04,6.122202e-04,6.023965e-04,6.000702e-04,5.927823e-04,5.833736e-04,5.813309e-04,5.741665e-04,5.651574e-04,5.633790e-04,5.563425e-04,5.477181e-04,5.461856e-04,5.392805e-04,5.310262e-04,5.297223e-04,5.229517e-04,5.150534e-04,5.139615e-04,5.073280e-04,4.997721e-04,4.988766e-04,4.923823e-04,4.851555e-04,4.844417e-04,4.780884e-04,4.711778e-04,4.706316e-04,4.644207e-04,4.578141e-04,4.574224e-04,4.513548e-04,4.450401e-04,4.447905e-04,4.388670e-04,4.328326e-04,4.327134e-04,4.269343e-04,4.211692e-04,4.101371e-04,3.995967e-04,3.895285e-04,3.799138e-04,3.707343e-04,3.619727e-04,3.536122e-04,3.456367e-04,3.380305e-04,3.307787e-04,3.238669e-04,3.172814e-04,3.110087e-04,3.050361e-04,2.993512e-04,2.939423e-04,2.887979e-04,2.839071e-04,2.792594e-04,2.748447e-04,2.706532e-04,2.666757e-04,2.629031e-04,2.593268e-04,2.559386e-04,2.527304e-04,2.496947e-04,2.468240e-04,2.441113e-04,2.415497e-04,2.391329e-04,2.368544e-04,2.347084e-04,2.326889e-04,2.307904e-04,2.290077e-04,2.273354e-04,2.257689e-04,2.243032e-04,2.229338e-04,2.216565e-04,2.204669e-04,2.193611e-04,2.183352e-04,2.173854e-04,2.165083e-04,2.157004e-04,2.149584e-04,2.142791e-04
0.000000e+00,2.502053e-07,6.890384e-06,7.267911e-06,6.478059e-05,2.665019e-04,2.794514e-04,7.226460e-04,1.296346e-03,1.336080e-03,2.021794e-03,2.653539e-03,2.707168e-03,3.348230e-03,3.867733e-03,3.921677e-03,4.417745e-03,4.789088e-03,4.835104e-03,5.177399e-03,5.416531e-03,5.450969e-03,5.663378e-03,5.800298e-03,5.822496e-03,5.935940e-03,5.999858e-03,6.010772e-03,6.053341e-03,6.067948e-03,6.069236e-03,6.063287e-03,6.046158e-03,6.039616e-03,6.001707e-03,5.965186e-03,5.952473e-03,5.894328e-03,5.846746e-03,5.829259e-03,5.758895e-03,5.705707e-03,5.684558e-03,5.607314e-03,5.551981e-03,5.528021e-03,5.447360e-03,5.392011e-03,5.365873e-03,5.283983e-03,5.229880e-03,5.202024e-03,5.120254e-03,5.068116e-03,5.038875e-03,4.958039e-03,4.908246e-03,4.877864e-03,4.798438e-03,4.751172e-03,4.719830e-03,4.642090e-03,4.597414e-03,4.565257e-03,4.489362e-03,4.447278e-03,4.414426e-03,4.340467e-03,4.300941e-03,4.267499e-03,4.195535e-03,4.158512e-03,4.124582e-03,4.054648e-03,4.020066e-03,3.985741e-03,3.917866e-03,3.885653e-03,3.851026e-03,3.785227e-03,3.755309e-03,3.720470e-03,3.656759e-03,3.629058e-03,3.594094e-03,3.532477e-03,3.506911e-03,3.471908e-03,3.412385e-03,3.388868e-03,3.353906e-03,3.296470e-03,3.274917e-03,3.240073e-03,3.184711e-03,3.165033e-03,3.130379e-03,3.077071e-03,3.059179e-03,3.024782e-03,2.973504e-03,2.957307e-03,2.923230e-03,2.873951e-03,2.859360e-03,2.825659e-03,2.778346e-03,2.765272e-03,2.732000e-03,2.686613e-03,2.674968e-03,2.642173e-03,2.598671e-03,2.588369e-03,2.556095e-03,2.514433e-03,2.505389e-03,2.473674e-03,2.433806e-03,2.425939e-03,2.394818e-03,2.356697e-03,2.349926e-03,2.319431e-03,2.283008e-03,2.277257e-03,2.247415e-03,2.212640e-03,2.207836e-03,2.178671e-03,2.145494e-03,2.141566e-03,2.113099e-03,2.081472e-03,2.078351e-03,2.050600e-03,2.020472e-03,2.018094e-03,1.991076e-03,1.962398e-03,1.960700e-03,1.934428e-03,1.907153e-03,1.906076e-03,1.880560e-03,1.854639e-03,1.854128e-03,1.829378e-03,1.804765e-03,1.757897e-03,1.713438e-03,1.671301e-03,1.631403e-03,1.593662e-03,1.557999e-03,1.524336e-03,1.492599e-03,1.462714e-03,1.434610e-03,1.408218e-03,1.383470e-03,1.360301e-03,1.338648e-03,1.318449e-03,1.299644e-03,1.282174e-03,1.265984e-03,1.251018e-03,1.237223e-03,1.224546e-03,1.212938e-03,1.202349e-03,1.192732e-03,1.184041e-03,1.176229e-03,1.169255e-03,1.163074e-03,1.157647e-03,1.152933e-03,1.148893e-03,1.145489e-03,1.142685e-03,1.140446e-03,1.138736e-03,1.137524e-03,1.136776e-03,1.136462e-03,1.136551e-03,1.137014e-03,1.137824e-03,1.138953e-03,1.140376e-03,1.142066e-03,1.144002e-03,1.146158e-03,1.148514e-03,1.151047e-03,1.153739e-03
0.000000e+00,7.850047e-08,1.372241e-06,1.436531e-06,1.003595e-05,3.906412e-05,4.096472e-05,1.093815e-04,2.036787e-04,2.102897e-04,3.241700e-04,4.282577e-04,4.370844e-04,5.432862e-04,6.316985e-04,6.410902e-04,7.303173e-04,8.019879e-04,8.112823e-04,8.844477e-04,9.415096e-04,9.503089e-04,1.009357e-03,1.054039e-03,1.062065e-03,1.108882e-03,1.143173e-03,1.150231e-03,1.186513e-03,1.212146e-03,1.218107e-03,1.245370e-03,1.263841e-03,1.268632e-03,1.288205e-03,1.300792e-03,1.304379e-03,1.317424e-03,1.325212e-03,1.327593e-03,1.335119e-03,1.339025e-03,1.340221e-03,1.343102e-03,1.343899e-03,1.343951e-03,1.342943e-03,1.341281e-03,1.340242e-03,1.335998e-03,1.332421e-03,1.330353e-03,1.323437e-03,1.318400e-03,1.315371e-03,1.306267e-03,1.300147e-03,1.296229e-03,1.285354e-03,1.278465e-03,1.273732e-03,1.261444e-03,1.254043e-03,1.248568e-03,1.235174e-03,1.227471e-03,1.221327e-03,1.207088e-03,1.199256e-03,1.192513e-03,1.177652e-03,1.169828e-03,1.162554e-03,1.147261e-03,1.139555e-03,1.131815e-03,1.116251e-03,1.108749e-03,1.100604e-03,1.084905e-03,1.077674e-03,1.069182e-03,1.053461e-03,1.046551e-03,1.037766e-03,1.022118e-03,1.015565e-03,1.006538e-03,9.910432e-04,9.848728e-04,9.756497e-04,9.603725e-04,9.546003e-04,9.452246e-04,9.302181e-04,9.248524e-04,9.153636e-04,9.006707e-04,8.957135e-04,8.861480e-04,8.718028e-04,8.672509e-04,8.576418e-04,8.436708e-04,8.395173e-04,8.298948e-04,8.163179e-04,8.125527e-04,8.029440e-04,7.897759e-04,7.863863e-04,7.768162e-04,7.640667e-04,7.610383e-04,7.515290e-04,7.392040e-04,7.365212e-04,7.270925e-04,7.151947e-04,7.128408e-04,7.035106e-04,6.920397e-04,6.899976e-04,6.807815e-04,6.697351e-04,6.679872e-04,6.588992e-04,6.482727e-04,6.468016e-04,6.378539e-04,6.276412e-04,6.264295e-04,6.176328e-04,6.078266e-04,6.068570e-04,5.982206e-04,5.888125e-04,5.880683e-04,5.796000e-04,5.705808e-04,5.700458e-04,5.617524e-04,5.531122e-04,5.527705e-04,5.446577e-04,5.363861e-04,5.362226e-04,5.282950e-04,5.203814e-04,5.052260e-04,4.907348e-04,4.768865e-04,4.636594e-04,4.510322e-04,4.389838e-04,4.274932e-04,4.165400e-04,4.061038e-04,3.961651e-04,3.867046e-04,3.777036e-04,3.691440e-04,3.610080e-04,3.532787e-04,3.459393e-04,3.389738e-04,3.323668e-04,3.261033e-04,3.201689e-04,3.145495e-04,3.092319e-04,3.042030e-04,2.994505e-04,2.949624e-04,2.907271e-04,2.867335e-04,2.829711e-04,2.794295e-04,2.760990e-04,2.729701e-04,2.700337e-04,2.672811e-04,2.647039e-04,2.622942e-04,2.600442e-04,2.579465e-04,2.559940e-04,2.541799e-04,2.524977e-04,2.509411e-04,2.495041e-04,2.481809e-04,2.469661e-04,2.458542e-04,2.448403e-04,2.439194e-04,2.430869e-04,2.423383e-04
0.000000e+00,1.848177e-08,2.172541e-07,2.260176e-07,1.208965e-06,3.896823e-06,4.060118e-06,9.579023e-06,1.680400e-05,1.730412e-05,2.573987e-05,3.298159e-05,3.356896e-05,4.026859e-05,4.529639e-05,4.579970e-05,5.027393e-05,5.344671e-05,5.382930e-05,5.659682e-05,5.843616e-05,5.869320e-05,6.022025e-05,6.112768e-05,6.126589e-05,6.190601e-05,6.217440e-05,6.220589e-05,6.222147e-05,6.206172e-05,6.200071e-05,6.158438e-05,6.114648e-05,6.100731e-05,6.029912e-05,5.968881e-05,5.948495e-05,5.858625e-05,5.787762e-05,5.762125e-05,5.660533e-05,5.584972e-05,5.555150e-05,5.447076e-05,5.370325e-05,5.337237e-05,5.226407e-05,5.150813e-05,5.115236e-05,5.004263e-05,4.931351e-05,4.893937e-05,4.784628e-05,4.715345e-05,4.676638e-05,4.570213e-05,4.505105e-05,4.465553e-05,4.362816e-05,4.302149e-05,4.262124e-05,4.163572e-05,4.107419e-05,4.067227e-05,3.973139e-05,3.921447e-05,3.881338e-05,3.791839e-05,3.744468e-05,3.704646e-05,3.619752e-05,3.576512e-05,3.537143e-05,3.456796e-05,3.417462e-05,3.378682e-05,3.302769e-05,3.267102e-05,3.229021e-05,3.157398e-05,3.125153e-05,3.087857e-05,3.020357e-05,2.991291e-05,2.954850e-05,2.891292e-05,2.865167e-05,2.829635e-05,2.769834e-05,2.746422e-05,2.711841e-05,2.655610e-05,2.634695e-05,2.601095e-05,2.548249e-05,2.529625e-05,2.497028e-05,2.447385e-05,2.430859e-05,2.399278e-05,2.352664e-05,2.338055e-05,2.307499e-05,2.263742e-05,2.250884e-05,2.221353e-05,2.180292e-05,2.169027e-05,2.140520e-05,2.101999e-05,2.092184e-05,2.064692e-05,2.028564e-05,2.020065e-05,1.993579e-05,1.959703e-05,1.952396e-05,1.926903e-05,1.895146e-05,1.888917e-05,1.864400e-05,1.834637e-05,1.829381e-05,1.805824e-05,1.777934e-05,1.773555e-05,1.750938e-05,1.724810e-05,1.721219e-05,1.699521e-05,1.675048e-05,1.672164e-05,1.651364e-05,1.628445e-05,1.626194e-05,1.606268e-05,1.584809e-05,1.583123e-05,1.564047e-05,1.543960e-05,1.542776e-05,1.524526e-05,1.505727e-05,1.504988e-05,1.487541e-05,1.469949e-05,1.469603e-05,1.452934e-05,1.436476e-05,1.405469e-05,1.376451e-05,1.349302e-05,1.323905e-05,1.300152e-05,1.277943e-05,1.257181e-05,1.237776e-05,1.219645e-05,1.202706e-05,1.186887e-05,1.172116e-05,1.158327e-05,1.145459e-05,1.133454e-05,1.122256e-05,1.111815e-05,1.102082e-05,1.093012e-05,1.084563e-05,1.076694e-05,1.069369e-05,1.062552e-05,1.056210e-05,1.050313e-05,1.044832e-05,1.039738e-05,1.035008e-05,1.030617e-05,1.026542e-05,1.022763e-05,1.019261e-05,1.016016e-05,1.013011e-05,1.010232e-05,1.007661e-05,1.005286e-05,1.003092e-05,1.001068e-05,9.992023e-06,9.974836e-06,9.959018e-06,9.944476e-06,9.931120e-06,9.918869e-06,9.907644e-06,9.897374e-06,9.887991e-06,9.879431e-06
0.000000e+00,1.908686e-08,2.602846e-07,2.716452e-07,1.693536e-06,6.168793e-06,6.455908e-06,1.669606e-05,3.077775e-05,3.175834e-05,4.828047e-05,6.262869e-05,6.381170e-05,7.765203e-05,8.863334e-05,8.977098e-05,1.002943e-04,1.083546e-04,1.093726e-04,1.171516e-04,1.229052e-04,1.237658e-04,1.293381e-04,1.332956e-04,1.339800e-04,1.377925e-04,1.403640e-04,1.408667e-04,1.432849e-04,1.447972e-04,1.451212e-04,1.464423e-04,1.471538e-04,1.473080e-04,1.477720e-04,1.478858e-04,1.478825e-04,1.476827e-04,1.473579e-04,1.472112e-04,1.465025e-04,1.458629e-04,1.455876e-04,1.444941e-04,1.436356e-04,1.432466e-04,1.418671e-04,1.408638e-04,1.403753e-04,1.387885e-04,1.376969e-04,1.371224e-04,1.353908e-04,1.342540e-04,1.336060e-04,1.317787e-04,1.306289e-04,1.299188e-04,1.280347e-04,1.268959e-04,1.261341e-04,1.242236e-04,1.231133e-04,1.223091e-04,1.203957e-04,1.193264e-04,1.184880e-04,1.165899e-04,1.155702e-04,1.147049e-04,1.128359e-04,1.118712e-04,1.109855e-04,1.091559e-04,1.082495e-04,1.073491e-04,1.055665e-04,1.047199e-04,1.038096e-04,1.020794e-04,1.012928e-04,1.003770e-04,9.870290e-05,9.797547e-05,9.705783e-05,9.544221e-05,9.477250e-05,9.385632e-05,9.230039e-05,9.168643e-05,9.077452e-05,8.927874e-05,8.871822e-05,8.781298e-05,8.637714e-05,8.586753e-05,8.497104e-05,8.359446e-05,8.313310e-05,8.224713e-05,8.092875e-05,8.051292e-05,7.963898e-05,7.837746e-05,7.800446e-05,7.714382e-05,7.593763e-05,7.560477e-05,7.475850e-05,7.360598e-05,7.331063e-05,7.247963e-05,7.137901e-05,7.111863e-05,7.030365e-05,6.925310e-05,6.902526e-05,6.822690e-05,6.722459e-05,6.702695e-05,6.624569e-05,6.528976e-05,6.512009e-05,6.435632e-05,6.344493e-05,6.330112e-05,6.255512e-05,6.168646e-05,6.156650e-05,6.083849e-05,6.001078e-05,5.991279e-05,5.920289e-05,5.841441e-05,5.833661e-05,5.764490e-05,5.689396e-05,5.683467e-05,5.616117e-05,5.544614e-05,5.540380e-05,5.474847e-05,5.406778e-05,5.404090e-05,5.340368e-05,5.275580e-05,5.274301e-05,5.212378e-05,5.150726e-05,5.033090e-05,4.921129e-05,4.814587e-05,4.713220e-05,4.616796e-05,4.525089e-05,4.437886e-05,4.354980e-05,4.276176e-05,4.201286e-05,4.130129e-05,4.062534e-05,3.998336e-05,3.937378e-05,3.879511e-05,3.824591e-05,3.772480e-05,3.723048e-05,3.676170e-05,3.631726e-05,3.589602e-05,3.549689e-05,3.511883e-05,3.476084e-05,3.442198e-05,3.410133e-05,3.379804e-05,3.351128e-05,3.324025e-05,3.298420e-05,3.274242e-05,3.251421e-05,3.229893e-05,3.209594e-05,3.190466e-05,3.172450e-05,3.155492e-05,3.139542e-05,3.124548e-05,3.110465e-05,3.097246e-05,3.084849e-05,3.073233e-05,3.062358e-05,3.052188e-05,3.042687e-05,3.033821e-05,3.025557e-05,3.017865e-05
0.000000e+00,3.317429e-08,5.736917e-07,6.001186e-07,4.036375e-06,1.560750e-05,1.637901e-05,4.592079e-05,9.356159e-05,9.722718e-05,1.666524e-04,2.383765e-04,2.447025e-04,3.222925e-04,3.872052e-04,3.940354e-04,4.577234e-04,5.067412e-04,5.129258e-04,5.600199e-04,5.945554e-04,5.996909e-04,6.327045e-04,6.558397e-04,6.598086e-04,6.816985e-04,6.962034e-04,6.990071e-04,7.123000e-04,7.203798e-04,7.220755e-04,7.287776e-04,7.321271e-04,7.328007e-04,7.344932e-04,7.344121e-04,7.341638e-04,7.320847e-04,7.295622e-04,7.284963e-04,7.236104e-04,7.193950e-04,7.176140e-04,7.106716e-04,7.053274e-04,7.029283e-04,6.945117e-04,6.884617e-04,6.855341e-04,6.760944e-04,6.696536e-04,6.662792e-04,6.561648e-04,6.495657e-04,6.458179e-04,6.352969e-04,6.287091e-04,6.246528e-04,6.139303e-04,6.074756e-04,6.031683e-04,5.924010e-04,5.861651e-04,5.816575e-04,5.709635e-04,5.650046e-04,5.603406e-04,5.498079e-04,5.441635e-04,5.393814e-04,5.290751e-04,5.237671e-04,5.189003e-04,5.088671e-04,5.039061e-04,4.989835e-04,4.892563e-04,4.846444e-04,4.796907e-04,4.702912e-04,4.660240e-04,4.610608e-04,4.520021e-04,4.480711e-04,4.431168e-04,4.344058e-04,4.307993e-04,4.258697e-04,4.175083e-04,4.142126e-04,4.093212e-04,4.013075e-04,3.983075e-04,3.934660e-04,3.857952e-04,3.830752e-04,3.782934e-04,3.709586e-04,3.685025e-04,3.637889e-04,3.567818e-04,3.545735e-04,3.499350e-04,3.432462e-04,3.412699e-04,3.367126e-04,3.303318e-04,3.285722e-04,3.241010e-04,3.180175e-04,3.164596e-04,3.120786e-04,3.062816e-04,3.049111e-04,3.006237e-04,2.951021e-04,2.939054e-04,2.897142e-04,2.844571e-04,2.834211e-04,2.793282e-04,2.743247e-04,2.734372e-04,2.694440e-04,2.646836e-04,2.639329e-04,2.600406e-04,2.555127e-04,2.548878e-04,2.510972e-04,2.467917e-04,2.462824e-04,2.425938e-04,2.385009e-04,2.380973e-04,2.345107e-04,2.306209e-04,2.303140e-04,2.268292e-04,2.231333e-04,2.229145e-04,2.195310e-04,2.160202e-04,2.158817e-04,2.125988e-04,2.092646e-04,2.091988e-04,2.060156e-04,2.028499e-04,1.968196e-04,1.910932e-04,1.856566e-04,1.804963e-04,1.755993e-04,1.709534e-04,1.665465e-04,1.623675e-04,1.584056e-04,1.546503e-04,1.510919e-04,1.477209e-04,1.445284e-04,1.415057e-04,1.386447e-04,1.359375e-04,1.333767e-04,1.309553e-04,1.286663e-04,1.265034e-04,1.244603e-04,1.225312e-04,1.207106e-04,1.189929e-04,1.173732e-04,1.158466e-04,1.144085e-04,1.130545e-04,1.117802e-04,1.105819e-04,1.094556e-04,1.083977e-04,1.074047e-04,1.064734e-04,1.056006e-04,1.047833e-04,1.040187e-04,1.033041e-04,1.026369e-04,1.020146e-04,1.014349e-04,1.008956e-04,1.003945e-04,9.992973e-05,9.949925e-05,9.910127e-05,9.873407e-05,9.839599e-05,9.808547e-05
0.000000e+00,2.753294e-09,4.766337e-08,4.996901e-08,3.505189e-07,1.217533e-06,1.268122e-06,2.759738e-06,4.260083e-06,4.353477e-06,5.842676e-06,7.092972e-06,7.196295e-06,8.417830e-06,9.411669e-06,9.516241e-06,1.050096e-05,1.128059e-05,1.138095e-05,1.216460e-05,1.276747e-05,1.285974e-05,1.347362e-05,1.393146e-05,1.401302e-05,1.448421e-05,1.482377e-05,1.489299e-05,1.524474e-05,1.548842e-05,1.554441e-05,1.579659e-05,1.596304e-05,1.600549e-05,1.617498e-05,1.627965e-05,1.630863e-05,1.640968e-05,1.646526e-05,1.648115e-05,1.652577e-05,1.654270e-05,1.654607e-05,1.654435e-05,1.653119e-05,1.652273e-05,1.648317e-05,1.644693e-05,1.642744e-05,1.635718e-05,1.630358e-05,1.627389e-05,1.617897e-05,1.611271e-05,1.607368e-05,1.595918e-05,1.588401e-05,1.583648e-05,1.570657e-05,1.562552e-05,1.557030e-05,1.542848e-05,1.534397e-05,1.528183e-05,1.513101e-05,1.504496e-05,1.497663e-05,1.481925e-05,1.473320e-05,1.465937e-05,1.449744e-05,1.441256e-05,1.433387e-05,1.416905e-05,1.408628e-05,1.400332e-05,1.383698e-05,1.375702e-05,1.367034e-05,1.350363e-05,1.342698e-05,1.333709e-05,1.317093e-05,1.309799e-05,1.300534e-05,1.284048e-05,1.277150e-05,1.267652e-05,1.251358e-05,1.244873e-05,1.235180e-05,1.219128e-05,1.213063e-05,1.203212e-05,1.187440e-05,1.181798e-05,1.171820e-05,1.156358e-05,1.151139e-05,1.141062e-05,1.125935e-05,1.121130e-05,1.110981e-05,1.096206e-05,1.091809e-05,1.081612e-05,1.067201e-05,1.063200e-05,1.052976e-05,1.038939e-05,1.035320e-05,1.025091e-05,1.011432e-05,1.008182e-05,9.979635e-06,9.846858e-06,9.817903e-06,9.715989e-06,9.587025e-06,9.561461e-06,9.459963e-06,9.334797e-06,9.312468e-06,9.211518e-06,9.090116e-06,9.070865e-06,8.970581e-06,8.852900e-06,8.836572e-06,8.737060e-06,8.623046e-06,8.609487e-06,8.510843e-06,8.400434e-06,8.389491e-06,8.291801e-06,8.184929e-06,8.176454e-06,8.079797e-06,7.976388e-06,7.970238e-06,7.874682e-06,7.774660e-06,7.770693e-06,7.676301e-06,7.579587e-06,7.577669e-06,7.484497e-06,7.391009e-06,7.210555e-06,7.036147e-06,6.867625e-06,6.704830e-06,6.547603e-06,6.395789e-06,6.249232e-06,6.107782e-06,5.971288e-06,5.839604e-06,5.712587e-06,5.590097e-06,5.471997e-06,5.358152e-06,5.248434e-06,5.142714e-06,5.040869e-06,4.942778e-06,4.848325e-06,4.757396e-06,4.669879e-06,4.585668e-06,4.504656e-06,4.426744e-06,4.351832e-06,4.279824e-06,4.210627e-06,4.144152e-06,4.080309e-06,4.019015e-06,3.960187e-06,3.903743e-06,3.849608e-06,3.797705e-06,3.747960e-06,3.700304e-06,3.654667e-06,3.610982e-06,3.569185e-06,3.529212e-06,3.491003e-06,3.454498e-06,3.419640e-06,3.386372e-06,3.354643e-06,3.324397e-06,3.295586e-06,3.268159e-06,3.242069e-06
0.000000e+00,1.164143e-07,2.356066e-06,2.472662e-06,1.897040e-05,7.753877e-05,8.144749e-05,2.273072e-04,4.458988e-04,4.619888e-04,7.529407e-04,1.036253e-03,1.060755e-03,1.357453e-03,1.601563e-03,1.627036e-03,1.861990e-03,2.038340e-03,2.060201e-03,2.222763e-03,2.336202e-03,2.352527e-03,2.453163e-03,2.518047e-03,2.528578e-03,2.582577e-03,2.613347e-03,2.618667e-03,2.639973e-03,2.648211e-03,2.649210e-03,2.648693e-03,2.642781e-03,2.640366e-03,2.625844e-03,2.611490e-03,2.606454e-03,2.583279e-03,2.564213e-03,2.557193e-03,2.528899e-03,2.507481e-03,2.498961e-03,2.467828e-03,2.445518e-03,2.435857e-03,2.403332e-03,2.381014e-03,2.370476e-03,2.337462e-03,2.315654e-03,2.304427e-03,2.271477e-03,2.250472e-03,2.238694e-03,2.206141e-03,2.186095e-03,2.173866e-03,2.141908e-03,2.122897e-03,2.110295e-03,2.079050e-03,2.061102e-03,2.048188e-03,2.017724e-03,2.000841e-03,1.987665e-03,1.958020e-03,1.942184e-03,1.928792e-03,1.899984e-03,1.885171e-03,1.871599e-03,1.843638e-03,1.829816e-03,1.816101e-03,1.788987e-03,1.776122e-03,1.762295e-03,1.736023e-03,1.724079e-03,1.710169e-03,1.684732e-03,1.673670e-03,1.659707e-03,1.635092e-03,1.624876e-03,1.610885e-03,1.587080e-03,1.577671e-03,1.563676e-03,1.540667e-03,1.532027e-03,1.518050e-03,1.495821e-03,1.487913e-03,1.473976e-03,1.452511e-03,1.445298e-03,1.431420e-03,1.410701e-03,1.404148e-03,1.390347e-03,1.370356e-03,1.364428e-03,1.350721e-03,1.331439e-03,1.326103e-03,1.312505e-03,1.293915e-03,1.289137e-03,1.275662e-03,1.257744e-03,1.253493e-03,1.240156e-03,1.222891e-03,1.219136e-03,1.205947e-03,1.189319e-03,1.186031e-03,1.173001e-03,1.156989e-03,1.154140e-03,1.141280e-03,1.125867e-03,1.123428e-03,1.110747e-03,1.095916e-03,1.093862e-03,1.081368e-03,1.067099e-03,1.065406e-03,1.053106e-03,1.039384e-03,1.038026e-03,1.025928e-03,1.012735e-03,1.011691e-03,9.997997e-04,9.871187e-04,9.863659e-04,9.746877e-04,9.625028e-04,9.620204e-04,9.505598e-04,9.388550e-04,9.386233e-04,9.273844e-04,9.161443e-04,8.945537e-04,8.738228e-04,8.539236e-04,8.348288e-04,8.165118e-04,7.989468e-04,7.821086e-04,7.659730e-04,7.505162e-04,7.357152e-04,7.215477e-04,7.079920e-04,6.950269e-04,6.826322e-04,6.707881e-04,6.594752e-04,6.486749e-04,6.383693e-04,6.285406e-04,6.191720e-04,6.102470e-04,6.017496e-04,5.936642e-04,5.859760e-04,5.786702e-04,5.717328e-04,5.651501e-04,5.589089e-04,5.529963e-04,5.473998e-04,5.421074e-04,5.371073e-04,5.323882e-04,5.279392e-04,5.237496e-04,5.198090e-04,5.161075e-04,5.126354e-04,5.093833e-04,5.063422e-04,5.035032e-04,5.008577e-04,4.983977e-04,4.961150e-04,4.940019e-04,4.920510e-04,4.902551e-04,4.886070e-04,4.871000e-04
0.000000e+00,4.699506e-08,7.090039e-07,7.401460e-07,4.619743e-06,1.707576e-05,1.788779e-05,4.753009e-05,8.956119e-05,9.252402e-05,1.429856e-04,1.872646e-04,1.909154e-04,2.334368e-04,2.667468e-04,2.701680e-04,3.014920e-04,3.250217e-04,3.279599e-04,3.501204e-04,3.661191e-04,3.684776e-04,3.834846e-04,3.937987e-04,3.955459e-04,4.050221e-04,4.110896e-04,4.122338e-04,4.174664e-04,4.203989e-04,4.209735e-04,4.229799e-04,4.236321e-04,4.236849e-04,4.232653e-04,4.222915e-04,4.218779e-04,4.196599e-04,4.175549e-04,4.167311e-04,4.131961e-04,4.103281e-04,4.091477e-04,4.046673e-04,4.013128e-04,3.998266e-04,3.946905e-04,3.910603e-04,3.893190e-04,3.837612e-04,3.800115e-04,3.780589e-04,3.722480e-04,3.684869e-04,3.663602e-04,3.604226e-04,3.567267e-04,3.544587e-04,3.484887e-04,3.449112e-04,3.425303e-04,3.365986e-04,3.331755e-04,3.307063e-04,3.248646e-04,3.216189e-04,3.190828e-04,3.133687e-04,3.103136e-04,3.077289e-04,3.021691e-04,2.993110e-04,2.966936e-04,2.913062e-04,2.886464e-04,2.860097e-04,2.808065e-04,2.783426e-04,2.756982e-04,2.706859e-04,2.684128e-04,2.657706e-04,2.609526e-04,2.588635e-04,2.562320e-04,2.516087e-04,2.496958e-04,2.470822e-04,2.426519e-04,2.409066e-04,2.383171e-04,2.340766e-04,2.324898e-04,2.299296e-04,2.258747e-04,2.244373e-04,2.219108e-04,2.180365e-04,2.167394e-04,2.142504e-04,2.105510e-04,2.093853e-04,2.069370e-04,2.034066e-04,2.023636e-04,1.999585e-04,1.965911e-04,1.956625e-04,1.933028e-04,1.900921e-04,1.892698e-04,1.869574e-04,1.838971e-04,1.831736e-04,1.809098e-04,1.779939e-04,1.773619e-04,1.751479e-04,1.723703e-04,1.718228e-04,1.696595e-04,1.670143e-04,1.665449e-04,1.644330e-04,1.619143e-04,1.615170e-04,1.594568e-04,1.570591e-04,1.567281e-04,1.547199e-04,1.524379e-04,1.521678e-04,1.502116e-04,1.480400e-04,1.478258e-04,1.459216e-04,1.438553e-04,1.436922e-04,1.418399e-04,1.398742e-04,1.397578e-04,1.379570e-04,1.360872e-04,1.360134e-04,1.342637e-04,1.324855e-04,1.324503e-04,1.307513e-04,1.290603e-04,1.258353e-04,1.227677e-04,1.198501e-04,1.170757e-04,1.144377e-04,1.119297e-04,1.095457e-04,1.072798e-04,1.051264e-04,1.030803e-04,1.011364e-04,9.928994e-05,9.753619e-05,9.587080e-05,9.428959e-05,9.278855e-05,9.136387e-05,9.001191e-05,8.872921e-05,8.751246e-05,8.635850e-05,8.526434e-05,8.422710e-05,8.324406e-05,8.231262e-05,8.143029e-05,8.059471e-05,7.980363e-05,7.905490e-05,7.834647e-05,7.767639e-05,7.704281e-05,7.644395e-05,7.587812e-05,7.534372e-05,7.483922e-05,7.436315e-05,7.391412e-05,7.349081e-05,7.309196e-05,7.271635e-05,7.236285e-05,7.203035e-05,7.171783e-05,7.142429e-05,7.114877e-05,7.089039e-05,7.064829e-05,7.042164e-05
0.000000e+00,2.332068e-07,5.220075e-06,5.488455e-06,4.515054e-05,1.930140e-04,2.030814e-04,5.868965e-04,1.174041e-03,1.217582e-03,2.013897e-03,2.810095e-03,2.880112e-03,3.745011e-03,4.483979e-03,4.562749e-03,5.306629e-03,5.889299e-03,5.963280e-03,6.528228e-03,6.941594e-03,7.002730e-03,7.391559e-03,7.656882e-03,7.701479e-03,7.940221e-03,8.088500e-03,8.115799e-03,8.236075e-03,8.297498e-03,8.308490e-03,8.339908e-03,8.339980e-03,8.336551e-03,8.303968e-03,8.262696e-03,8.247058e-03,8.170098e-03,8.102440e-03,8.076795e-03,7.970336e-03,7.887084e-03,7.853443e-03,7.728432e-03,7.637152e-03,7.597255e-03,7.461555e-03,7.367406e-03,7.322705e-03,7.181851e-03,7.088258e-03,7.039942e-03,6.897759e-03,6.806922e-03,6.755947e-03,6.615032e-03,6.528305e-03,6.475439e-03,6.337515e-03,6.255679e-03,6.201536e-03,6.067720e-03,5.991168e-03,5.936239e-03,5.807223e-03,5.736090e-03,5.680775e-03,5.556965e-03,5.491224e-03,5.435845e-03,5.317444e-03,5.256957e-03,5.201780e-03,5.088857e-03,5.033421e-03,4.978668e-03,4.871201e-03,4.820578e-03,4.766434e-03,4.664338e-03,4.618263e-03,4.564883e-03,4.468033e-03,4.426234e-03,4.373750e-03,4.281995e-03,4.244201e-03,4.192725e-03,4.105896e-03,4.071838e-03,4.021464e-03,3.939383e-03,3.908799e-03,3.859607e-03,3.782089e-03,3.754726e-03,3.706782e-03,3.633640e-03,3.609257e-03,3.562616e-03,3.493662e-03,3.472026e-03,3.426732e-03,3.361780e-03,3.342673e-03,3.298760e-03,3.237627e-03,3.220842e-03,3.178336e-03,3.120842e-03,3.106183e-03,3.065102e-03,3.011073e-03,2.998356e-03,2.958711e-03,2.907976e-03,2.897029e-03,2.858826e-03,2.811221e-03,2.801882e-03,2.765121e-03,2.720486e-03,2.712605e-03,2.677280e-03,2.635463e-03,2.628899e-03,2.595000e-03,2.555854e-03,2.550477e-03,2.517991e-03,2.481375e-03,2.477063e-03,2.445972e-03,2.411751e-03,2.408392e-03,2.378678e-03,2.346721e-03,2.344212e-03,2.315850e-03,2.286035e-03,2.284279e-03,2.257246e-03,2.229454e-03,2.228363e-03,2.202631e-03,2.176750e-03,2.176242e-03,2.151784e-03,2.127706e-03,2.082555e-03,2.040596e-03,2.001649e-03,1.965540e-03,1.932105e-03,1.901187e-03,1.872638e-03,1.846316e-03,1.822087e-03,1.799826e-03,1.779409e-03,1.760724e-03,1.743662e-03,1.728119e-03,1.713998e-03,1.701207e-03,1.689659e-03,1.679269e-03,1.669961e-03,1.661659e-03,1.654293e-03,1.647797e-03,1.642109e-03,1.637168e-03,1.632919e-03,1.629310e-03,1.626289e-03,1.623811e-03,1.621831e-03,1.620308e-03,1.619201e-03,1.618475e-03,1.618095e-03,1.618029e-03,1.618245e-03,1.618716e-03,1.619415e-03,1.620316e-03,1.621398e-03,1.622637e-03,1.624015e-03,1.625512e-03,1.627110e-03,1.628794e-03,1.630549e-03,1.632361e-03,1.634218e-03,1.636107e-03,1.638018e-03
0.000000e+00,1.499386e-09,2.639983e-08,2.765067e-08,1.785576e-07,5.592928e-07,5.801205e-07,1.159849e-06,1.712541e-06,1.746540e-06,2.285160e-06,2.733601e-06,2.770528e-06,3.205575e-06,3.557350e-06,3.594241e-06,3.940393e-06,4.212724e-06,4.247656e-06,4.519404e-06,4.727092e-06,4.758762e-06,4.968621e-06,5.124061e-06,5.151645e-06,5.310281e-06,5.423744e-06,5.446772e-06,5.563177e-06,5.643112e-06,5.661383e-06,5.743102e-06,5.796410e-06,5.809901e-06,5.863205e-06,5.895496e-06,5.904316e-06,5.934421e-06,5.950252e-06,5.954600e-06,5.965838e-06,5.968898e-06,5.969029e-06,5.964986e-06,5.958251e-06,5.954450e-06,5.938095e-06,5.923963e-06,5.916531e-06,5.890314e-06,5.870709e-06,5.859949e-06,5.825896e-06,5.802361e-06,5.788572e-06,5.748355e-06,5.722120e-06,5.705588e-06,5.660585e-06,5.632627e-06,5.613627e-06,5.564971e-06,5.536066e-06,5.514851e-06,5.463477e-06,5.434231e-06,5.411040e-06,5.357713e-06,5.328603e-06,5.303653e-06,5.249002e-06,5.220392e-06,5.193887e-06,5.138425e-06,5.110596e-06,5.082719e-06,5.026864e-06,5.000026e-06,4.970945e-06,4.915038e-06,4.889345e-06,4.859213e-06,4.803530e-06,4.779089e-06,4.748045e-06,4.692808e-06,4.669693e-06,4.637862e-06,4.583249e-06,4.561504e-06,4.529002e-06,4.475153e-06,4.454801e-06,4.421730e-06,4.368757e-06,4.349801e-06,4.316255e-06,4.264243e-06,4.246674e-06,4.212738e-06,4.161753e-06,4.145550e-06,4.111301e-06,4.061392e-06,4.046527e-06,4.012035e-06,3.963236e-06,3.949673e-06,3.915001e-06,3.867336e-06,3.855036e-06,3.820242e-06,3.773724e-06,3.762645e-06,3.727781e-06,3.682415e-06,3.672512e-06,3.637626e-06,3.593414e-06,3.584640e-06,3.549775e-06,3.506710e-06,3.499019e-06,3.464216e-06,3.422289e-06,3.415633e-06,3.380926e-06,3.340125e-06,3.334457e-06,3.299881e-06,3.260190e-06,3.255464e-06,3.221047e-06,3.182449e-06,3.178619e-06,3.144391e-06,3.106867e-06,3.103888e-06,3.069872e-06,3.033402e-06,3.031231e-06,2.997451e-06,2.962014e-06,2.960607e-06,2.927084e-06,2.892658e-06,2.891974e-06,2.858728e-06,2.825290e-06,2.760511e-06,2.697593e-06,2.636492e-06,2.577164e-06,2.519565e-06,2.463652e-06,2.409383e-06,2.356715e-06,2.305607e-06,2.256018e-06,2.207909e-06,2.161239e-06,2.115970e-06,2.072065e-06,2.029487e-06,1.988201e-06,1.948170e-06,1.909360e-06,1.871739e-06,1.835273e-06,1.799930e-06,1.765680e-06,1.732492e-06,1.700337e-06,1.669185e-06,1.639010e-06,1.609783e-06,1.581478e-06,1.554069e-06,1.527531e-06,1.501839e-06,1.476970e-06,1.452900e-06,1.429606e-06,1.407068e-06,1.385262e-06,1.364169e-06,1.343768e-06,1.324040e-06,1.304965e-06,1.286524e-06,1.268699e-06,1.251474e-06,1.234829e-06,1.218750e-06,1.203219e-06,1.188221e-06,1.173740e-06,1.159762e-06
0.000000e+00,5.297791e-06,1.012130e-04,1.060855e-04,7.972642e-04,3.488626e-03,3.680170e-03,1.165399e-02,2.601990e-02,2.717841e-02,5.044354e-02,7.754560e-02,8.011639e-02,1.145675e-01,1.484272e-01,1.523123e-01,1.920958e-01,2.279665e-01,2.328849e-01,2.738420e-01,3.086847e-01,3.142971e-01,3.537215e-01,3.857392e-01,3.917061e-01,4.279416e-01,4.561889e-01,4.622022e-01,4.943312e-01,5.184311e-01,5.242290e-01,5.518428e-01,5.717852e-01,5.771576e-01,6.001889e-01,6.161891e-01,6.209764e-01,6.395784e-01,6.519793e-01,6.560678e-01,6.705279e-01,6.797335e-01,6.830497e-01,6.937291e-01,7.001612e-01,7.026648e-01,7.099571e-01,7.140280e-01,7.157056e-01,7.200092e-01,7.221050e-01,7.229643e-01,7.246650e-01,7.251372e-01,7.252020e-01,7.246625e-01,7.238242e-01,7.231300e-01,7.206841e-01,7.188098e-01,7.174005e-01,7.133509e-01,7.106781e-01,7.086032e-01,7.032214e-01,6.999532e-01,6.972658e-01,6.907930e-01,6.871016e-01,6.838564e-01,6.765057e-01,6.725354e-01,6.687878e-01,6.607464e-01,6.566173e-01,6.524224e-01,6.438537e-01,6.396645e-01,6.350762e-01,6.261227e-01,6.219537e-01,6.170243e-01,6.078095e-01,6.037251e-01,5.985050e-01,5.891355e-01,5.851865e-01,5.797239e-01,5.702914e-01,5.665169e-01,5.608575e-01,5.514405e-01,5.478700e-01,5.420570e-01,5.327223e-01,5.293766e-01,5.234506e-01,5.142549e-01,5.111477e-01,5.051468e-01,4.961374e-01,4.932768e-01,4.872364e-01,4.784528e-01,4.758418e-01,4.697946e-01,4.612692e-01,4.589068e-01,4.528832e-01,4.446424e-01,4.425242e-01,4.365519e-01,4.286164e-01,4.267354e-01,4.208400e-01,4.132260e-01,4.115730e-01,4.057774e-01,3.984968e-01,3.970610e-01,3.913862e-01,3.844473e-01,3.832166e-01,3.776813e-01,3.710891e-01,3.700505e-01,3.646714e-01,3.584284e-01,3.575683e-01,3.523600e-01,3.464660e-01,3.457704e-01,3.407459e-01,3.351988e-01,3.346535e-01,3.298237e-01,3.246195e-01,3.242105e-01,3.195847e-01,3.147178e-01,3.144311e-01,3.100171e-01,3.054807e-01,3.053026e-01,3.011065e-01,2.968925e-01,2.968099e-01,2.928364e-01,2.889358e-01,2.816616e-01,2.749673e-01,2.688315e-01,2.632321e-01,2.581462e-01,2.535501e-01,2.494202e-01,2.457322e-01,2.424618e-01,2.395849e-01,2.370772e-01,2.349150e-01,2.330746e-01,2.315329e-01,2.302671e-01,2.292552e-01,2.284757e-01,2.279078e-01,2.275316e-01,2.273278e-01,2.272779e-01,2.273646e-01,2.275712e-01,2.278819e-01,2.282820e-01,2.287576e-01,2.292958e-01,2.298846e-01,2.305130e-01,2.311708e-01,2.318486e-01,2.325381e-01,2.332317e-01,2.339225e-01,2.346046e-01,2.352726e-01,2.359219e-01,2.365486e-01,2.371494e-01,2.377215e-01,2.382627e-01,2.387714e-01,2.392461e-01,2.396862e-01,2.400911e-01,2.404607e-01,2.407953e-01,2.410952e-01,2.413612e-01
0.000000e+00,1.971650e-08,2.842440e-07,2.969288e-07,1.834298e-06,6.201643e-06,6.465613e-06,1.504625e-05,2.514613e-05,2.580928e-05,3.675156e-05,4.638472e-05,4.719783e-05,5.701627e-05,6.530751e-05,6.619735e-05,7.475800e-05,8.179625e-05,8.272106e-05,9.011084e-05,9.602626e-05,9.695188e-05,1.032687e-04,1.081875e-04,1.090856e-04,1.144264e-04,1.184671e-04,1.193147e-04,1.237735e-04,1.270465e-04,1.278254e-04,1.314925e-04,1.340993e-04,1.347959e-04,1.377560e-04,1.397881e-04,1.403923e-04,1.427237e-04,1.442632e-04,1.447681e-04,1.465426e-04,1.476623e-04,1.480635e-04,1.493466e-04,1.501110e-04,1.504064e-04,1.512573e-04,1.517234e-04,1.519126e-04,1.523850e-04,1.526026e-04,1.526867e-04,1.528291e-04,1.528417e-04,1.528232e-04,1.526792e-04,1.525249e-04,1.524070e-04,1.520158e-04,1.517276e-04,1.515144e-04,1.509111e-04,1.505176e-04,1.502138e-04,1.494298e-04,1.489556e-04,1.485663e-04,1.476298e-04,1.470960e-04,1.466266e-04,1.455626e-04,1.449871e-04,1.444433e-04,1.432740e-04,1.426721e-04,1.420596e-04,1.408048e-04,1.401895e-04,1.395140e-04,1.381912e-04,1.375731e-04,1.368404e-04,1.354651e-04,1.348531e-04,1.340688e-04,1.326546e-04,1.320561e-04,1.312256e-04,1.297845e-04,1.292052e-04,1.283339e-04,1.268764e-04,1.263211e-04,1.254141e-04,1.239492e-04,1.234216e-04,1.224837e-04,1.210195e-04,1.205222e-04,1.195582e-04,1.181014e-04,1.176364e-04,1.166506e-04,1.152072e-04,1.147758e-04,1.137724e-04,1.123473e-04,1.119502e-04,1.109331e-04,1.095307e-04,1.091682e-04,1.081411e-04,1.067649e-04,1.064367e-04,1.054030e-04,1.040560e-04,1.037617e-04,1.027245e-04,1.014092e-04,1.011481e-04,1.001103e-04,9.882852e-05,9.859962e-05,9.756407e-05,9.631731e-05,9.611950e-05,9.508855e-05,9.387802e-05,9.371002e-05,9.268593e-05,9.151244e-05,9.137288e-05,9.035769e-05,8.922178e-05,8.910923e-05,8.810478e-05,8.700674e-05,8.691972e-05,8.592767e-05,8.486755e-05,8.480455e-05,8.382637e-05,8.280407e-05,8.276357e-05,8.180057e-05,8.081579e-05,8.079628e-05,7.984962e-05,7.890193e-05,7.707951e-05,7.532782e-05,7.364549e-05,7.203102e-05,7.048280e-05,6.899910e-05,6.757816e-05,6.621814e-05,6.491717e-05,6.367336e-05,6.248480e-05,6.134961e-05,6.026586e-05,5.923170e-05,5.824525e-05,5.730470e-05,5.640823e-05,5.555410e-05,5.474057e-05,5.396598e-05,5.322869e-05,5.252710e-05,5.185969e-05,5.122496e-05,5.062146e-05,5.004780e-05,4.950263e-05,4.898466e-05,4.849264e-05,4.802536e-05,4.758166e-05,4.716044e-05,4.676064e-05,4.638122e-05,4.602120e-05,4.567966e-05,4.535569e-05,4.504843e-05,4.475705e-05,4.448078e-05,4.421886e-05,4.397058e-05,4.373525e-05,4.351221e-05,4.330085e-05,4.310058e-05,4.291082e-05,4.273105e-05,4.256074e-05
0.000000e+00,1.000463e-07,2.036520e-06,2.139137e-06,1.757370e-05,7.833508e-05,8.257143e-05,2.467858e-04,4.960724e-04,5.142699e-04,8.398554e-04,1.154461e-03,1.181769e-03,1.516824e-03,1.803610e-03,1.834438e-03,2.130501e-03,2.372304e-03,2.403919e-03,2.654938e-03,2.853510e-03,2.884368e-03,3.093247e-03,3.253636e-03,3.282686e-03,3.453807e-03,3.581230e-03,3.607710e-03,3.745464e-03,3.844730e-03,3.868093e-03,3.976581e-03,4.051987e-03,4.071861e-03,4.154824e-03,4.210157e-03,4.226311e-03,4.287120e-03,4.325689e-03,4.338004e-03,4.379673e-03,4.404347e-03,4.412797e-03,4.438006e-03,4.451261e-03,4.455892e-03,4.467012e-03,4.470978e-03,4.471891e-03,4.471018e-03,4.467518e-03,4.464856e-03,4.453837e-03,4.444423e-03,4.438365e-03,4.418821e-03,4.404816e-03,4.395561e-03,4.368916e-03,4.351436e-03,4.339199e-03,4.306701e-03,4.286685e-03,4.271693e-03,4.234430e-03,4.212667e-03,4.195149e-03,4.154072e-03,4.131216e-03,4.111403e-03,4.067337e-03,4.043930e-03,4.022051e-03,3.975713e-03,3.952197e-03,3.928476e-03,3.880485e-03,3.857221e-03,3.831873e-03,3.782763e-03,3.760038e-03,3.733271e-03,3.683502e-03,3.661542e-03,3.633555e-03,3.583519e-03,3.562498e-03,3.533478e-03,3.483508e-03,3.463557e-03,3.433681e-03,3.384061e-03,3.365272e-03,3.334706e-03,3.285672e-03,3.268108e-03,3.237008e-03,3.188757e-03,3.172454e-03,3.140962e-03,3.093659e-03,3.078632e-03,3.046881e-03,3.000658e-03,2.986903e-03,2.955016e-03,2.909979e-03,2.897480e-03,2.865568e-03,2.821801e-03,2.810529e-03,2.778694e-03,2.736260e-03,2.726178e-03,2.694512e-03,2.653459e-03,2.644521e-03,2.613109e-03,2.573467e-03,2.565624e-03,2.534539e-03,2.496329e-03,2.489527e-03,2.458837e-03,2.422065e-03,2.416248e-03,2.386012e-03,2.350678e-03,2.345788e-03,2.316059e-03,2.282152e-03,2.278131e-03,2.248954e-03,2.216460e-03,2.213249e-03,2.184665e-03,2.153562e-03,2.151103e-03,2.123145e-03,2.093407e-03,2.091644e-03,2.064341e-03,2.035939e-03,2.034816e-03,2.008192e-03,1.981093e-03,1.980557e-03,1.954632e-03,1.928800e-03,1.879474e-03,1.832505e-03,1.787819e-03,1.745338e-03,1.704986e-03,1.666683e-03,1.630353e-03,1.595920e-03,1.563306e-03,1.532439e-03,1.503244e-03,1.475651e-03,1.449588e-03,1.424989e-03,1.401788e-03,1.379920e-03,1.359323e-03,1.339938e-03,1.321706e-03,1.304573e-03,1.288484e-03,1.273387e-03,1.259234e-03,1.245976e-03,1.233567e-03,1.221964e-03,1.211126e-03,1.201010e-03,1.191580e-03,1.182798e-03,1.174630e-03,1.167041e-03,1.160000e-03,1.153476e-03,1.147440e-03,1.141865e-03,1.136723e-03,1.131990e-03,1.127642e-03,1.123656e-03,1.120010e-03,1.116684e-03,1.113658e-03,1.110914e-03,1.108434e-03,1.106201e-03,1.104199e-03,1.102414e-03,1.100831e-03
0.000000e+00,7.292258e-08,1.653532e-06,1.739881e-06,1.499618e-05,6.644525e-05,6.997924e-05,2.038643e-04,4.012481e-04,4.154952e-04,6.670935e-04,9.025246e-04,9.224811e-04,1.159090e-03,1.346438e-03,1.365574e-03,1.537895e-03,1.661438e-03,1.676334e-03,1.783495e-03,1.853429e-03,1.863055e-03,1.919008e-03,1.950620e-03,1.955244e-03,1.975315e-03,1.981920e-03,1.982350e-03,1.979023e-03,1.970422e-03,1.967577e-03,1.949861e-03,1.932669e-03,1.927380e-03,1.901347e-03,1.879786e-03,1.872725e-03,1.842278e-03,1.818927e-03,1.810600e-03,1.778156e-03,1.754525e-03,1.745301e-03,1.712305e-03,1.689238e-03,1.679376e-03,1.646664e-03,1.624604e-03,1.614285e-03,1.582319e-03,1.561479e-03,1.550827e-03,1.519850e-03,1.500307e-03,1.489414e-03,1.459537e-03,1.441300e-03,1.430232e-03,1.401502e-03,1.384541e-03,1.373348e-03,1.345770e-03,1.330036e-03,1.318762e-03,1.292321e-03,1.277758e-03,1.266439e-03,1.241110e-03,1.227660e-03,1.216327e-03,1.192081e-03,1.179682e-03,1.168364e-03,1.145168e-03,1.133764e-03,1.122486e-03,1.100307e-03,1.089838e-03,1.078625e-03,1.057430e-03,1.047842e-03,1.036714e-03,1.016469e-03,1.007708e-03,9.966855e-04,9.773563e-04,9.693713e-04,9.584725e-04,9.400260e-04,9.327680e-04,9.220085e-04,9.044120e-04,8.978339e-04,8.872281e-04,8.704490e-04,8.645060e-04,8.540665e-04,8.380729e-04,8.327222e-04,8.224602e-04,8.072208e-04,8.024218e-04,7.923470e-04,7.778312e-04,7.735452e-04,7.636660e-04,7.498439e-04,7.460342e-04,7.363578e-04,7.232003e-04,7.198324e-04,7.103646e-04,6.978436e-04,6.948847e-04,6.856305e-04,6.737186e-04,6.711377e-04,6.621012e-04,6.507719e-04,6.485401e-04,6.397243e-04,6.289520e-04,6.270417e-04,6.184489e-04,6.082089e-04,6.065945e-04,5.982262e-04,5.884948e-04,5.871522e-04,5.790091e-04,5.697635e-04,5.686699e-04,5.607525e-04,5.519706e-04,5.511048e-04,5.434127e-04,5.350735e-04,5.344156e-04,5.269480e-04,5.190312e-04,5.185627e-04,5.113183e-04,5.038045e-04,5.035080e-04,4.964851e-04,4.893557e-04,4.892150e-04,4.824118e-04,4.756489e-04,4.627761e-04,4.505645e-04,4.389836e-04,4.280038e-04,4.175972e-04,4.077369e-04,3.983973e-04,3.895538e-04,3.811829e-04,3.732623e-04,3.657707e-04,3.586875e-04,3.519933e-04,3.456694e-04,3.396982e-04,3.340626e-04,3.287464e-04,3.237343e-04,3.190113e-04,3.145636e-04,3.103776e-04,3.064405e-04,3.027402e-04,2.992650e-04,2.960037e-04,2.929458e-04,2.900811e-04,2.873999e-04,2.848932e-04,2.825521e-04,2.803682e-04,2.783336e-04,2.764406e-04,2.746820e-04,2.730509e-04,2.715407e-04,2.701450e-04,2.688579e-04,2.676736e-04,2.665868e-04,2.655922e-04,2.646849e-04,2.638600e-04,2.631133e-04,2.624402e-04,2.618368e-04,2.612992e-04,2.608237e-04,2.604067e-04
0.000000e+00,3.269531e-09,6.535123e-08,6.851368e-08,4.366398e-07,1.237363e-06,1.276937e-06,2.292933e-06,3.203907e-06,3.259480e-06,4.137778e-06,4.867849e-06,4.927944e-06,5.635596e-06,6.207047e-06,6.266917e-06,6.827873e-06,7.267798e-06,7.324107e-06,7.760921e-06,8.092851e-06,8.143279e-06,8.475816e-06,8.719805e-06,8.762838e-06,9.008341e-06,9.181269e-06,9.216015e-06,9.389268e-06,9.505204e-06,9.531237e-06,9.644806e-06,9.715387e-06,9.732625e-06,9.797126e-06,9.831933e-06,9.840542e-06,9.864920e-06,9.871811e-06,9.872134e-06,9.863904e-06,9.849304e-06,9.841803e-06,9.807270e-06,9.776409e-06,9.761621e-06,9.706061e-06,9.663184e-06,9.641689e-06,9.569510e-06,9.518043e-06,9.490440e-06,9.405316e-06,9.348015e-06,9.314902e-06,9.219892e-06,9.158958e-06,9.120920e-06,9.018563e-06,8.955744e-06,8.913345e-06,8.805742e-06,8.742412e-06,8.696187e-06,8.585072e-06,8.522301e-06,8.472754e-06,8.359553e-06,8.298161e-06,8.245761e-06,8.131641e-06,8.072249e-06,8.017430e-06,7.903341e-06,7.846403e-06,7.789566e-06,7.676277e-06,7.622117e-06,7.563628e-06,7.451755e-06,7.400589e-06,7.340782e-06,7.230815e-06,7.182775e-06,7.121952e-06,7.014277e-06,6.969425e-06,6.907863e-06,6.802774e-06,6.761123e-06,6.699067e-06,6.596789e-06,6.558306e-06,6.495980e-06,6.396676e-06,6.361300e-06,6.298903e-06,6.202684e-06,6.170327e-06,6.108037e-06,6.014974e-06,5.985531e-06,5.923506e-06,5.833638e-06,5.806990e-06,5.745372e-06,5.658708e-06,5.634729e-06,5.573642e-06,5.490169e-06,5.468726e-06,5.408280e-06,5.327967e-06,5.308926e-06,5.249218e-06,5.172020e-06,5.155244e-06,5.096359e-06,5.022219e-06,5.007572e-06,4.949584e-06,4.878436e-06,4.865787e-06,4.808758e-06,4.740531e-06,4.729748e-06,4.673735e-06,4.608349e-06,4.599307e-06,4.544355e-06,4.481732e-06,4.474308e-06,4.420457e-06,4.360511e-06,4.354589e-06,4.301872e-06,4.244519e-06,4.239985e-06,4.188429e-06,4.133583e-06,4.130331e-06,4.079958e-06,4.027533e-06,4.025460e-06,3.976287e-06,3.926198e-06,3.925208e-06,3.877246e-06,3.829409e-06,3.737903e-06,3.650531e-06,3.567139e-06,3.487575e-06,3.411690e-06,3.339343e-06,3.270393e-06,3.204706e-06,3.142151e-06,3.082601e-06,3.025935e-06,2.972033e-06,2.920783e-06,2.872075e-06,2.825802e-06,2.781863e-06,2.740159e-06,2.700596e-06,2.663083e-06,2.627532e-06,2.593860e-06,2.561985e-06,2.531829e-06,2.503318e-06,2.476379e-06,2.450944e-06,2.426946e-06,2.404321e-06,2.383008e-06,2.362949e-06,2.344086e-06,2.326366e-06,2.309736e-06,2.294146e-06,2.279549e-06,2.265898e-06,2.253150e-06,2.241260e-06,2.230190e-06,2.219900e-06,2.210352e-06,2.201511e-06,2.193342e-06,2.185812e-06,2.178889e-06,2.172543e-06,2.166745e-06,2.161467e-06,2.156683e-06
0.000000e+00,2.627985e-09,3.289590e-08,3.430933e-08,2.043892e-07,6.863526e-07,7.152561e-07,1.633417e-06,2.672919e-06,2.740227e-06,3.839910e-06,4.793278e-06,4.873137e-06,5.829601e-06,6.625322e-06,6.710025e-06,7.517547e-06,8.170799e-06,8.255870e-06,8.928802e-06,9.458116e-06,9.540134e-06,1.009357e-05,1.051635e-05,1.059270e-05,1.104097e-05,1.137291e-05,1.144167e-05,1.179792e-05,1.205291e-05,1.211268e-05,1.238874e-05,1.257892e-05,1.262876e-05,1.283524e-05,1.297120e-05,1.301055e-05,1.315689e-05,1.324777e-05,1.327635e-05,1.337083e-05,1.342443e-05,1.344217e-05,1.349210e-05,1.351517e-05,1.352221e-05,1.353405e-05,1.353240e-05,1.352906e-05,1.350868e-05,1.348743e-05,1.347419e-05,1.342676e-05,1.339012e-05,1.336749e-05,1.329741e-05,1.324897e-05,1.321750e-05,1.312863e-05,1.307138e-05,1.303167e-05,1.292739e-05,1.286384e-05,1.281652e-05,1.269977e-05,1.263204e-05,1.257775e-05,1.245107e-05,1.238092e-05,1.232028e-05,1.218590e-05,1.211476e-05,1.204840e-05,1.190825e-05,1.183730e-05,1.176584e-05,1.162157e-05,1.155176e-05,1.147579e-05,1.132884e-05,1.126093e-05,1.118102e-05,1.103261e-05,1.096719e-05,1.088387e-05,1.073506e-05,1.067258e-05,1.058638e-05,1.043805e-05,1.037885e-05,1.029025e-05,1.014315e-05,1.008747e-05,9.996912e-06,9.851681e-06,9.799670e-06,9.707587e-06,9.564748e-06,9.516489e-06,9.423274e-06,9.283260e-06,9.238779e-06,9.144797e-06,9.007962e-06,8.967239e-06,8.872825e-06,8.739450e-06,8.702429e-06,8.607892e-06,8.478198e-06,8.444788e-06,8.350410e-06,8.224565e-06,8.194655e-06,8.100693e-06,7.978818e-06,7.952276e-06,7.858963e-06,7.741142e-06,7.717823e-06,7.625368e-06,7.511649e-06,7.491399e-06,7.399991e-06,7.290395e-06,7.273050e-06,7.182859e-06,7.077379e-06,7.062776e-06,6.973950e-06,6.872562e-06,6.860532e-06,6.773204e-06,6.675863e-06,6.666239e-06,6.580525e-06,6.487173e-06,6.479790e-06,6.395790e-06,6.306357e-06,6.301053e-06,6.218854e-06,6.133259e-06,6.129875e-06,6.049551e-06,5.967705e-06,5.966087e-06,5.887699e-06,5.809508e-06,5.659945e-06,5.517200e-06,5.381066e-06,5.251336e-06,5.127796e-06,5.010238e-06,4.898449e-06,4.792220e-06,4.691343e-06,4.595614e-06,4.504832e-06,4.418798e-06,4.337321e-06,4.260213e-06,4.187290e-06,4.118375e-06,4.053294e-06,3.991880e-06,3.933972e-06,3.879412e-06,3.828049e-06,3.779737e-06,3.734334e-06,3.691706e-06,3.651721e-06,3.614255e-06,3.579185e-06,3.546397e-06,3.515778e-06,3.487222e-06,3.460626e-06,3.435892e-06,3.412926e-06,3.391637e-06,3.371939e-06,3.353750e-06,3.336989e-06,3.321582e-06,3.307457e-06,3.294544e-06,3.282776e-06,3.272092e-06,3.262431e-06,3.253735e-06,3.245950e-06,3.239023e-06,3.232905e-06,3.227547e-06,3.222906e-06
0.000000e+00,2.734538e-10,3.472625e-09,3.622616e-09,2.190951e-08,7.691263e-08,8.037812e-08,2.019902e-07,3.677423e-07,3.793533e-07,5.785824e-07,7.595093e-07,7.748362e-07,9.595876e-07,1.114460e-06,1.130996e-06,1.289098e-06,1.417641e-06,1.434427e-06,1.567631e-06,1.673005e-06,1.689386e-06,1.800367e-06,1.885767e-06,1.901259e-06,1.992707e-06,2.061016e-06,2.075238e-06,2.149401e-06,2.203068e-06,2.215733e-06,2.274747e-06,2.316008e-06,2.326924e-06,2.372720e-06,2.403523e-06,2.412566e-06,2.446866e-06,2.468904e-06,2.476003e-06,2.500337e-06,2.515072e-06,2.520204e-06,2.535922e-06,2.544617e-06,2.547791e-06,2.556090e-06,2.559830e-06,2.561084e-06,2.563019e-06,2.562734e-06,2.562128e-06,2.558628e-06,2.555114e-06,2.552724e-06,2.544608e-06,2.538544e-06,2.534459e-06,2.522445e-06,2.514408e-06,2.508725e-06,2.493445e-06,2.483923e-06,2.476744e-06,2.458752e-06,2.448157e-06,2.439589e-06,2.419368e-06,2.408047e-06,2.398196e-06,2.376170e-06,2.364410e-06,2.353384e-06,2.329923e-06,2.317964e-06,2.305867e-06,2.281293e-06,2.269333e-06,2.256269e-06,2.230860e-06,2.219059e-06,2.205127e-06,2.179126e-06,2.167615e-06,2.152910e-06,2.126526e-06,2.115407e-06,2.100021e-06,2.073436e-06,2.062788e-06,2.046809e-06,2.020176e-06,2.010061e-06,1.993571e-06,1.967023e-06,1.957486e-06,1.940562e-06,1.914212e-06,1.905283e-06,1.887998e-06,1.861942e-06,1.853640e-06,1.836063e-06,1.810380e-06,1.802715e-06,1.784909e-06,1.759665e-06,1.752640e-06,1.734663e-06,1.709915e-06,1.703523e-06,1.685431e-06,1.661223e-06,1.655454e-06,1.637298e-06,1.613664e-06,1.608505e-06,1.590330e-06,1.567300e-06,1.562731e-06,1.544581e-06,1.522176e-06,1.518177e-06,1.500090e-06,1.478326e-06,1.474874e-06,1.456886e-06,1.435772e-06,1.432843e-06,1.414987e-06,1.394530e-06,1.392097e-06,1.374403e-06,1.354605e-06,1.352643e-06,1.335136e-06,1.315996e-06,1.314479e-06,1.297184e-06,1.278699e-06,1.277600e-06,1.260538e-06,1.242700e-06,1.241993e-06,1.225184e-06,1.207986e-06,1.207645e-06,1.191105e-06,1.174537e-06,1.142649e-06,1.111957e-06,1.082436e-06,1.054059e-06,1.026800e-06,1.000630e-06,9.755192e-07,9.514385e-07,9.283582e-07,9.062485e-07,8.850796e-07,8.648219e-07,8.454461e-07,8.269232e-07,8.092248e-07,7.923229e-07,7.761898e-07,7.607987e-07,7.461232e-07,7.321377e-07,7.188168e-07,7.061363e-07,6.940722e-07,6.826015e-07,6.717016e-07,6.613507e-07,6.515276e-07,6.422118e-07,6.333834e-07,6.250231e-07,6.171122e-07,6.096327e-07,6.025671e-07,5.958985e-07,5.896107e-07,5.836878e-07,5.781146e-07,5.728764e-07,5.679590e-07,5.633487e-07,5.590323e-07,5.549970e-07,5.512305e-07,5.477210e-07,5.444569e-07,5.414274e-07,5.386216e-07,5.360295e-07,5.336412e-07
0.000000e+00,8.870279e-08,1.531647e-06,1.602119e-06,1.072624e-05,4.113373e-05,4.314856e-05,1.193891e-04,2.390692e-04,2.481207e-04,4.156923e-04,5.823077e-04,5.967443e-04,7.709893e-04,9.131709e-04,9.279494e-04,1.064001e-03,1.166308e-03,1.179044e-03,1.274494e-03,1.342394e-03,1.352302e-03,1.414498e-03,1.456098e-03,1.463017e-03,1.499630e-03,1.521888e-03,1.525924e-03,1.543297e-03,1.551608e-03,1.552985e-03,1.556073e-03,1.554520e-03,1.553518e-03,1.546157e-03,1.537802e-03,1.534722e-03,1.519853e-03,1.506971e-03,1.502109e-03,1.481978e-03,1.466245e-03,1.459883e-03,1.436193e-03,1.418836e-03,1.411231e-03,1.385273e-03,1.367178e-03,1.358562e-03,1.331307e-03,1.313108e-03,1.303687e-03,1.275857e-03,1.257998e-03,1.247951e-03,1.220082e-03,1.202866e-03,1.192349e-03,1.164834e-03,1.148458e-03,1.137606e-03,1.110724e-03,1.095310e-03,1.084237e-03,1.058185e-03,1.043799e-03,1.032602e-03,1.007514e-03,9.941796e-04,9.829413e-04,9.589003e-04,9.466132e-04,9.354028e-04,9.124567e-04,9.011921e-04,8.900671e-04,8.682362e-04,8.579559e-04,8.469640e-04,8.262483e-04,8.169050e-04,8.060855e-04,7.864702e-04,7.780113e-04,7.673960e-04,7.488556e-04,7.412258e-04,7.308405e-04,7.133420e-04,7.064850e-04,6.963503e-04,6.798555e-04,6.737157e-04,6.638474e-04,6.483152e-04,6.428380e-04,6.332482e-04,6.186355e-04,6.137688e-04,6.044662e-04,5.907292e-04,5.864229e-04,5.774136e-04,5.645085e-04,5.607154e-04,5.520031e-04,5.398866e-04,5.365622e-04,5.281485e-04,5.167784e-04,5.138811e-04,5.057660e-04,4.951013e-04,4.925924e-04,4.847744e-04,4.747756e-04,4.726190e-04,4.650955e-04,4.557247e-04,4.538869e-04,4.466543e-04,4.378754e-04,4.363255e-04,4.293793e-04,4.211577e-04,4.198672e-04,4.132024e-04,4.055053e-04,4.044479e-04,3.980587e-04,3.908551e-04,3.900066e-04,3.838870e-04,3.771472e-04,3.764856e-04,3.706289e-04,3.643253e-04,3.638301e-04,3.582298e-04,3.523359e-04,3.519885e-04,3.466375e-04,3.411286e-04,3.409121e-04,3.358032e-04,3.306558e-04,3.305546e-04,3.256808e-04,3.208728e-04,3.118256e-04,3.033746e-04,2.954833e-04,2.881177e-04,2.812455e-04,2.748366e-04,2.688624e-04,2.632963e-04,2.581130e-04,2.532889e-04,2.488019e-04,2.446309e-04,2.407564e-04,2.371600e-04,2.338242e-04,2.307329e-04,2.278706e-04,2.252231e-04,2.227769e-04,2.205191e-04,2.184380e-04,2.165223e-04,2.147616e-04,2.131458e-04,2.116658e-04,2.103128e-04,2.090787e-04,2.079557e-04,2.069366e-04,2.060147e-04,2.051835e-04,2.044371e-04,2.037699e-04,2.031765e-04,2.026521e-04,2.021919e-04,2.017916e-04,2.014472e-04,2.011546e-04,2.009104e-04,2.007111e-04,2.005535e-04,2.004347e-04,2.003518e-04,2.003021e-04,2.002834e-04,2.002931e-04,2.003291e-04,2.003895e-04
0.000000e+00,5.114033e-08,1.370276e-06,1.444854e-06,1.259262e-05,5.044085e-05,5.281853e-05,1.300718e-04,2.194159e-04,2.252627e-04,3.217308e-04,4.065735e-04,4.137255e-04,4.999278e-04,5.724580e-04,5.802266e-04,6.548005e-04,7.158793e-04,7.238884e-04,7.877367e-04,8.386415e-04,8.465890e-04,9.006843e-04,9.426198e-04,9.502571e-04,9.955377e-04,1.029623e-03,1.036751e-03,1.074118e-03,1.101384e-03,1.107850e-03,1.138153e-03,1.159536e-03,1.165224e-03,1.189255e-03,1.205598e-03,1.210428e-03,1.228916e-03,1.240965e-03,1.244883e-03,1.258488e-03,1.266905e-03,1.269879e-03,1.279200e-03,1.284564e-03,1.286584e-03,1.292159e-03,1.294979e-03,1.296046e-03,1.298361e-03,1.299079e-03,1.299210e-03,1.298697e-03,1.297699e-03,1.296919e-03,1.293967e-03,1.291585e-03,1.289928e-03,1.284883e-03,1.281407e-03,1.278911e-03,1.272083e-03,1.267759e-03,1.264469e-03,1.256133e-03,1.251173e-03,1.247136e-03,1.237537e-03,1.232121e-03,1.227388e-03,1.216741e-03,1.211024e-03,1.205645e-03,1.194143e-03,1.188254e-03,1.182279e-03,1.170092e-03,1.164139e-03,1.157620e-03,1.144898e-03,1.138971e-03,1.131959e-03,1.118833e-03,1.113006e-03,1.105549e-03,1.092135e-03,1.086468e-03,1.078615e-03,1.065013e-03,1.059555e-03,1.051352e-03,1.037651e-03,1.032438e-03,1.023930e-03,1.010206e-03,1.005268e-03,9.964970e-04,9.828171e-04,9.781752e-04,9.691810e-04,9.556017e-04,9.512704e-04,9.420915e-04,9.286615e-04,9.246498e-04,9.153222e-04,9.020831e-04,8.983953e-04,8.889529e-04,8.759395e-04,8.725761e-04,8.630503e-04,8.502918e-04,8.472499e-04,8.376701e-04,8.251907e-04,8.224648e-04,8.128583e-04,8.006774e-04,7.982598e-04,7.886519e-04,7.767850e-04,7.746661e-04,7.650800e-04,7.535393e-04,7.517082e-04,7.421652e-04,7.309596e-04,7.294044e-04,7.199240e-04,7.090597e-04,7.077676e-04,6.983677e-04,6.878485e-04,6.868061e-04,6.775027e-04,6.673306e-04,6.665243e-04,6.573320e-04,6.475067e-04,6.469227e-04,6.378545e-04,6.283748e-04,6.279991e-04,6.190667e-04,6.099295e-04,6.097485e-04,6.009622e-04,5.921635e-04,5.752350e-04,5.589522e-04,5.433029e-04,5.282737e-04,5.138505e-04,5.000182e-04,4.867615e-04,4.740643e-04,4.619103e-04,4.502832e-04,4.391664e-04,4.285434e-04,4.183977e-04,4.087129e-04,3.994729e-04,3.906618e-04,3.822638e-04,3.742636e-04,3.666461e-04,3.593966e-04,3.525007e-04,3.459444e-04,3.397141e-04,3.337965e-04,3.281789e-04,3.228487e-04,3.177940e-04,3.130030e-04,3.084646e-04,3.041677e-04,3.001021e-04,2.962574e-04,2.926240e-04,2.891924e-04,2.859536e-04,2.828989e-04,2.800200e-04,2.773087e-04,2.747573e-04,2.723584e-04,2.701050e-04,2.679900e-04,2.660071e-04,2.641497e-04,2.624121e-04,2.607882e-04,2.592727e-04,2.578601e-04,2.565454e-04
0.000000e+00,6.860510e-08,1.273686e-06,1.334954e-06,9.967083e-06,4.216295e-05,4.438874e-05,1.319721e-04,2.719224e-04,2.824129e-04,4.739007e-04,6.626688e-04,6.791329e-04,8.815090e-04,1.054726e-03,1.073325e-03,1.251615e-03,1.396683e-03,1.415609e-03,1.565497e-03,1.683558e-03,1.701862e-03,1.825434e-03,1.919914e-03,1.936987e-03,2.037291e-03,2.111672e-03,2.127094e-03,2.207112e-03,2.264541e-03,2.278028e-03,2.340485e-03,2.383721e-03,2.395090e-03,2.442416e-03,2.473846e-03,2.482998e-03,2.517340e-03,2.539013e-03,2.545912e-03,2.569154e-03,2.582820e-03,2.587478e-03,2.601268e-03,2.608416e-03,2.610883e-03,2.616658e-03,2.618551e-03,2.618905e-03,2.617915e-03,2.615622e-03,2.613960e-03,2.607294e-03,2.601713e-03,2.598150e-03,2.586749e-03,2.578637e-03,2.573295e-03,2.557977e-03,2.547967e-03,2.540973e-03,2.522446e-03,2.511064e-03,2.502550e-03,2.481425e-03,2.469108e-03,2.459203e-03,2.436007e-03,2.423116e-03,2.411949e-03,2.387135e-03,2.373966e-03,2.361663e-03,2.335621e-03,2.322413e-03,2.309093e-03,2.282158e-03,2.269105e-03,2.254885e-03,2.227340e-03,2.214595e-03,2.199585e-03,2.171675e-03,2.159359e-03,2.143661e-03,2.115592e-03,2.103796e-03,2.087510e-03,2.059455e-03,2.048249e-03,2.031465e-03,2.003572e-03,1.993004e-03,1.975807e-03,1.948198e-03,1.938302e-03,1.920770e-03,1.893547e-03,1.884342e-03,1.866549e-03,1.839796e-03,1.831289e-03,1.813303e-03,1.787086e-03,1.779277e-03,1.761160e-03,1.735535e-03,1.728416e-03,1.710223e-03,1.685234e-03,1.678790e-03,1.660575e-03,1.636253e-03,1.630467e-03,1.612275e-03,1.588646e-03,1.583494e-03,1.565369e-03,1.542449e-03,1.537908e-03,1.519888e-03,1.497689e-03,1.493731e-03,1.475851e-03,1.454377e-03,1.450975e-03,1.433267e-03,1.412520e-03,1.409644e-03,1.392135e-03,1.372112e-03,1.369734e-03,1.352449e-03,1.333144e-03,1.331233e-03,1.314195e-03,1.295599e-03,1.294127e-03,1.277354e-03,1.259457e-03,1.258395e-03,1.241905e-03,1.224694e-03,1.224013e-03,1.207821e-03,1.191282e-03,1.190955e-03,1.175074e-03,1.159192e-03,1.128692e-03,1.099425e-03,1.071356e-03,1.044451e-03,1.018676e-03,9.939971e-04,9.703785e-04,9.477860e-04,9.261857e-04,9.055435e-04,8.858262e-04,8.670012e-04,8.490363e-04,8.319001e-04,8.155622e-04,7.999925e-04,7.851621e-04,7.710425e-04,7.576065e-04,7.448273e-04,7.326790e-04,7.211367e-04,7.101760e-04,6.997737e-04,6.899068e-04,6.805537e-04,6.716930e-04,6.633045e-04,6.553682e-04,6.478653e-04,6.407774e-04,6.340867e-04,6.277763e-04,6.218296e-04,6.162309e-04,6.109649e-04,6.060170e-04,6.013728e-04,5.970190e-04,5.929422e-04,5.891301e-04,5.855704e-04,5.822514e-04,5.791620e-04,5.762913e-04,5.736290e-04,5.711651e-04,5.688901e-04,5.667946e-04
0.000000e+00,7.400871e-09,1.476308e-07,1.548181e-07,1.017325e-06,3.027351e-06,3.130204e-06,5.819680e-06,8.247114e-06,8.394655e-06,1.071256e-05,1.261544e-05,1.277099e-05,1.458907e-05,1.603750e-05,1.618814e-05,1.758844e-05,1.867114e-05,1.880863e-05,1.986585e-05,2.065665e-05,2.077571e-05,2.155262e-05,2.211219e-05,2.220981e-05,2.275935e-05,2.313741e-05,2.321227e-05,2.357856e-05,2.381538e-05,2.386734e-05,2.408682e-05,2.421473e-05,2.424445e-05,2.434698e-05,2.439181e-05,2.440049e-05,2.441045e-05,2.439271e-05,2.438181e-05,2.431904e-05,2.425497e-05,2.422614e-05,2.410672e-05,2.400911e-05,2.396404e-05,2.380101e-05,2.367989e-05,2.362027e-05,2.342416e-05,2.328735e-05,2.321481e-05,2.299411e-05,2.284771e-05,2.276377e-05,2.252531e-05,2.237400e-05,2.228011e-05,2.202937e-05,2.187673e-05,2.177419e-05,2.151555e-05,2.136430e-05,2.125432e-05,2.099126e-05,2.084342e-05,2.072709e-05,2.046239e-05,2.031944e-05,2.019773e-05,1.993357e-05,1.979656e-05,1.967036e-05,1.940845e-05,1.927809e-05,1.914818e-05,1.888985e-05,1.876661e-05,1.863370e-05,1.837995e-05,1.826408e-05,1.812879e-05,1.788039e-05,1.777201e-05,1.763490e-05,1.739242e-05,1.729150e-05,1.715305e-05,1.691689e-05,1.682334e-05,1.668400e-05,1.645444e-05,1.636808e-05,1.622823e-05,1.600543e-05,1.592606e-05,1.578605e-05,1.557010e-05,1.549746e-05,1.535759e-05,1.514851e-05,1.508233e-05,1.494286e-05,1.474064e-05,1.468063e-05,1.454181e-05,1.434636e-05,1.429224e-05,1.415427e-05,1.396550e-05,1.391696e-05,1.378003e-05,1.359782e-05,1.355457e-05,1.341884e-05,1.324305e-05,1.320480e-05,1.307041e-05,1.290088e-05,1.286734e-05,1.273442e-05,1.257100e-05,1.254190e-05,1.241056e-05,1.225306e-05,1.222813e-05,1.209847e-05,1.194673e-05,1.192571e-05,1.179781e-05,1.165166e-05,1.163431e-05,1.150824e-05,1.136749e-05,1.135357e-05,1.122939e-05,1.109389e-05,1.108316e-05,1.096094e-05,1.083049e-05,1.082275e-05,1.070252e-05,1.057697e-05,1.057200e-05,1.045381e-05,1.033299e-05,1.033060e-05,1.021448e-05,1.009822e-05,9.874560e-06,9.659310e-06,9.452179e-06,9.252881e-06,9.061137e-06,8.876679e-06,8.699247e-06,8.528587e-06,8.364456e-06,8.206617e-06,8.054842e-06,7.908910e-06,7.768608e-06,7.633731e-06,7.504080e-06,7.379462e-06,7.259694e-06,7.144596e-06,7.033996e-06,6.927729e-06,6.825633e-06,6.727554e-06,6.633343e-06,6.542857e-06,6.455956e-06,6.372507e-06,6.292382e-06,6.215456e-06,6.141609e-06,6.070727e-06,6.002697e-06,5.937412e-06,5.874770e-06,5.814671e-06,5.757017e-06,5.701719e-06,5.648684e-06,5.597829e-06,5.549070e-06,5.502328e-06,5.457525e-06,5.414587e-06,5.373444e-06,5.334025e-06,5.296266e-06,5.260101e-06,5.225471e-06,5.192314e-06,5.160575e-06
0.000000e+00,8.483952e-08,2.280257e-06,2.404960e-06,2.131567e-05,8.599906e-05,9.005169e-05,2.215563e-04,3.758050e-04,3.860177e-04,5.563758e-04,7.084184e-04,7.213037e-04,8.772420e-04,1.009212e-03,1.023385e-03,1.159805e-03,1.272074e-03,1.286835e-03,1.404856e-03,1.499448e-03,1.514261e-03,1.615452e-03,1.694398e-03,1.708829e-03,1.794788e-03,1.860008e-03,1.873712e-03,1.945975e-03,1.999233e-03,2.011938e-03,2.071948e-03,2.114838e-03,2.126338e-03,2.175427e-03,2.209376e-03,2.219517e-03,2.258901e-03,2.285176e-03,2.293853e-03,2.324636e-03,2.344359e-03,2.351499e-03,2.374681e-03,2.388838e-03,2.394405e-03,2.410886e-03,2.420344e-03,2.424326e-03,2.434917e-03,2.440435e-03,2.442840e-03,2.448269e-03,2.450510e-03,2.451366e-03,2.452286e-03,2.451828e-03,2.451176e-03,2.448174e-03,2.445519e-03,2.443410e-03,2.437009e-03,2.432592e-03,2.429087e-03,2.419756e-03,2.413954e-03,2.409120e-03,2.397278e-03,2.390415e-03,2.384323e-03,2.370343e-03,2.362696e-03,2.355421e-03,2.339635e-03,2.331442e-03,2.323061e-03,2.305766e-03,2.297229e-03,2.287818e-03,2.269278e-03,2.260567e-03,2.250204e-03,2.230650e-03,2.221909e-03,2.210670e-03,2.190311e-03,2.181658e-03,2.169619e-03,2.148636e-03,2.140171e-03,2.127404e-03,2.105960e-03,2.097763e-03,2.084339e-03,2.062575e-03,2.054710e-03,2.040698e-03,2.018738e-03,2.011258e-03,1.996723e-03,1.974677e-03,1.967619e-03,1.952624e-03,1.930587e-03,1.923982e-03,1.908587e-03,1.886642e-03,1.880510e-03,1.864770e-03,1.842989e-03,1.837343e-03,1.821314e-03,1.799758e-03,1.794604e-03,1.778336e-03,1.757059e-03,1.752399e-03,1.735939e-03,1.714985e-03,1.710816e-03,1.694209e-03,1.673617e-03,1.669931e-03,1.653219e-03,1.633022e-03,1.629809e-03,1.613031e-03,1.593253e-03,1.590502e-03,1.573694e-03,1.554358e-03,1.552053e-03,1.535249e-03,1.516371e-03,1.514496e-03,1.497728e-03,1.479322e-03,1.477860e-03,1.461156e-03,1.443231e-03,1.442163e-03,1.425549e-03,1.408113e-03,1.407420e-03,1.390922e-03,1.373977e-03,1.373641e-03,1.357280e-03,1.340829e-03,1.308986e-03,1.278108e-03,1.248189e-03,1.219220e-03,1.191192e-03,1.164090e-03,1.137900e-03,1.112607e-03,1.088194e-03,1.064641e-03,1.041932e-03,1.020045e-03,9.989619e-04,9.786619e-04,9.591247e-04,9.403296e-04,9.222562e-04,9.048838e-04,8.881921e-04,8.721606e-04,8.567692e-04,8.419982e-04,8.278278e-04,8.142388e-04,8.012123e-04,7.887296e-04,7.767725e-04,7.653233e-04,7.543643e-04,7.438786e-04,7.338496e-04,7.242610e-04,7.150970e-04,7.063422e-04,6.979818e-04,6.900010e-04,6.823858e-04,6.751225e-04,6.681976e-04,6.615982e-04,6.553118e-04,6.493263e-04,6.436297e-04,6.382106e-04,6.330581e-04,6.281613e-04,6.235099e-04,6.190938e-04,6.149035e-04
0.000000e+00,8.072307e-09,1.217881e-07,1.272804e-07,7.921029e-07,2.677135e-06,2.791616e-06,6.605105e-06,1.138138e-05,1.170351e-05,1.707004e-05,2.177369e-05,2.216719e-05,2.686133e-05,3.073177e-05,3.114160e-05,3.502544e-05,3.813389e-05,3.853630e-05,4.169834e-05,4.415677e-05,4.453521e-05,4.706958e-05,4.898053e-05,4.932307e-05,5.131620e-05,5.276988e-05,5.306830e-05,5.459759e-05,5.567210e-05,5.592114e-05,5.705492e-05,5.781718e-05,5.801387e-05,5.881191e-05,5.931882e-05,5.946201e-05,5.997623e-05,6.027592e-05,6.036581e-05,6.064120e-05,6.077424e-05,6.081208e-05,6.088748e-05,6.088794e-05,6.087575e-05,6.078464e-05,6.068105e-05,6.062136e-05,6.039257e-05,6.020870e-05,6.010445e-05,5.976272e-05,5.951834e-05,5.937267e-05,5.893922e-05,5.865068e-05,5.846688e-05,5.795986e-05,5.764061e-05,5.742201e-05,5.685691e-05,5.651798e-05,5.626787e-05,5.565791e-05,5.530825e-05,5.502984e-05,5.438624e-05,5.403308e-05,5.372948e-05,5.306175e-05,5.271087e-05,5.238505e-05,5.170121e-05,5.135716e-05,5.101194e-05,5.031876e-05,4.998507e-05,4.962310e-05,4.892623e-05,4.860561e-05,4.822935e-05,4.753353e-05,4.722795e-05,4.683973e-05,4.614885e-05,4.585974e-05,4.546168e-05,4.477895e-05,4.450725e-05,4.410131e-05,4.342935e-05,4.317561e-05,4.276360e-05,4.210452e-05,4.186897e-05,4.145253e-05,4.080801e-05,4.059063e-05,4.017127e-05,3.954260e-05,3.934317e-05,3.892224e-05,3.831042e-05,3.812856e-05,3.770730e-05,3.711304e-05,3.694825e-05,3.652776e-05,3.595156e-05,3.580324e-05,3.538452e-05,3.482668e-05,3.469418e-05,3.427810e-05,3.373878e-05,3.362137e-05,3.320872e-05,3.268793e-05,3.258488e-05,3.217637e-05,3.167400e-05,3.158455e-05,3.118079e-05,3.069666e-05,3.062004e-05,3.022157e-05,2.975542e-05,2.969087e-05,2.929815e-05,2.884966e-05,2.879642e-05,2.840986e-05,2.797865e-05,2.793600e-05,2.755594e-05,2.714161e-05,2.710882e-05,2.673555e-05,2.633766e-05,2.631405e-05,2.594782e-05,2.556591e-05,2.555080e-05,2.519182e-05,2.482542e-05,2.481817e-05,2.446659e-05,2.411521e-05,2.344098e-05,2.279453e-05,2.217491e-05,2.158118e-05,2.101240e-05,2.046766e-05,1.994606e-05,1.944673e-05,1.896878e-05,1.851141e-05,1.807378e-05,1.765512e-05,1.725465e-05,1.687165e-05,1.650539e-05,1.615519e-05,1.582038e-05,1.550032e-05,1.519439e-05,1.490200e-05,1.462258e-05,1.435558e-05,1.410048e-05,1.385676e-05,1.362394e-05,1.340156e-05,1.318916e-05,1.298632e-05,1.279263e-05,1.260769e-05,1.243113e-05,1.226258e-05,1.210169e-05,1.194814e-05,1.180161e-05,1.166178e-05,1.152837e-05,1.140111e-05,1.127971e-05,1.116394e-05,1.105353e-05,1.094826e-05,1.084791e-05,1.075225e-05,1.066109e-05,1.057422e-05,1.049146e-05,1.041263e-05,1.033755e-05
0.000000e+00,1.510297e-04,3.813283e-03,4.019996e-03,3.718001e-02,1.705425e-01,1.797723e-01,5.304974e-01,1.058917e+00,1.098025e+00,1.819036e+00,2.559803e+00,2.626216e+00,3.467388e+00,4.222575e+00,4.305444e+00,5.115161e+00,5.791098e+00,5.880159e+00,6.590474e+00,7.153424e+00,7.240739e+00,7.828829e+00,8.274828e+00,8.354882e+00,8.820567e+00,9.159243e+00,9.228569e+00,9.582201e+00,9.828416e+00,9.885127e+00,1.014116e+01,1.031079e+01,1.035414e+01,1.052780e+01,1.063570e+01,1.066573e+01,1.077135e+01,1.083057e+01,1.084782e+01,1.089811e+01,1.091965e+01,1.092494e+01,1.093080e+01,1.092366e+01,1.091797e+01,1.088852e+01,1.085996e+01,1.084432e+01,1.078708e+01,1.074291e+01,1.071834e+01,1.063947e+01,1.058426e+01,1.055172e+01,1.045621e+01,1.039354e+01,1.035394e+01,1.024582e+01,1.017848e+01,1.013266e+01,1.001518e+01,9.945320e+00,9.894031e+00,9.769807e+00,9.699096e+00,9.643033e+00,9.514184e+00,9.443895e+00,9.383687e+00,9.251928e+00,9.183030e+00,9.119252e+00,8.985972e+00,8.919195e+00,8.852370e+00,8.718697e+00,8.654576e+00,8.585180e+00,8.452027e+00,8.390950e+00,8.319422e+00,8.187535e+00,8.129771e+00,8.056514e+00,7.926497e+00,7.872218e+00,7.797603e+00,7.669942e+00,7.619245e+00,7.543610e+00,7.418693e+00,7.371612e+00,7.295269e+00,7.173407e+00,7.129930e+00,7.053166e+00,6.934600e+00,6.894677e+00,6.817754e+00,6.702670e+00,6.666220e+00,6.589380e+00,6.477915e+00,6.444835e+00,6.368299e+00,6.260552e+00,6.230720e+00,6.154690e+00,6.050725e+00,6.024006e+00,5.948667e+00,5.848521e+00,5.824771e+00,5.750291e+00,5.653977e+00,5.633045e+00,5.559578e+00,5.467089e+00,5.448820e+00,5.376505e+00,5.287817e+00,5.272054e+00,5.201017e+00,5.116094e+00,5.102680e+00,5.033035e+00,4.951827e+00,4.940605e+00,4.872456e+00,4.794905e+00,4.785721e+00,4.719159e+00,4.645200e+00,4.637901e+00,4.573009e+00,4.502569e+00,4.497009e+00,4.433860e+00,4.366862e+00,4.362896e+00,4.301555e+00,4.237917e+00,4.235406e+00,4.175928e+00,4.115566e+00,4.114375e+00,4.056809e+00,3.999636e+00,3.891017e+00,3.788341e+00,3.691432e+00,3.600111e+00,3.514197e+00,3.433510e+00,3.357868e+00,3.287091e+00,3.220998e+00,3.159411e+00,3.102149e+00,3.049036e+00,2.999894e+00,2.954550e+00,2.912831e+00,2.874564e+00,2.839582e+00,2.807718e+00,2.778807e+00,2.752688e+00,2.729203e+00,2.708198e+00,2.689519e+00,2.673019e+00,2.658554e+00,2.645982e+00,2.635169e+00,2.625981e+00,2.618292e+00,2.611978e+00,2.606921e+00,2.603009e+00,2.600132e+00,2.598188e+00,2.597077e+00,2.596707e+00,2.596989e+00,2.597840e+00,2.599182e+00,2.600940e+00,2.603048e+00,2.605441e+00,2.608060e+00,2.610851e+00,2.613764e+00,2.616754e+00,2.619778e+00,2.622799e+00,2.625784e+00
0.000000e+00,9.960565e-10,1.223095e-08,1.274544e-08,7.199772e-08,2.318130e-07,2.412804e-07,5.420192e-07,8.855236e-07,9.078182e-07,1.271261e-06,1.583547e-06,1.609542e-06,1.918573e-06,2.172079e-06,2.198853e-06,2.451905e-06,2.653433e-06,2.679449e-06,2.883202e-06,3.040672e-06,3.064828e-06,3.225930e-06,3.346510e-06,3.368030e-06,3.492576e-06,3.582564e-06,3.600932e-06,3.694383e-06,3.759223e-06,3.774131e-06,3.841297e-06,3.885633e-06,3.896935e-06,3.942024e-06,3.969798e-06,3.977472e-06,4.004124e-06,4.018647e-06,4.022763e-06,4.034103e-06,4.038115e-06,4.038794e-06,4.037444e-06,4.033209e-06,4.030618e-06,4.018868e-06,4.008330e-06,4.002706e-06,3.982578e-06,3.967321e-06,3.958894e-06,3.932034e-06,3.913338e-06,3.902345e-06,3.870148e-06,3.849056e-06,3.835737e-06,3.799380e-06,3.776736e-06,3.761326e-06,3.721801e-06,3.698286e-06,3.681015e-06,3.639156e-06,3.615313e-06,3.596400e-06,3.552905e-06,3.529163e-06,3.508817e-06,3.464269e-06,3.440962e-06,3.419380e-06,3.374261e-06,3.351647e-06,3.329012e-06,3.283724e-06,3.261995e-06,3.238477e-06,3.193347e-06,3.172644e-06,3.148399e-06,3.103694e-06,3.084115e-06,3.059286e-06,3.015223e-06,2.996830e-06,2.971549e-06,2.928302e-06,2.911131e-06,2.885516e-06,2.843221e-06,2.827284e-06,2.801444e-06,2.760207e-06,2.745497e-06,2.719529e-06,2.679429e-06,2.665929e-06,2.639920e-06,2.601015e-06,2.588694e-06,2.562722e-06,2.525051e-06,2.513871e-06,2.488006e-06,2.451593e-06,2.441511e-06,2.415815e-06,2.380672e-06,2.371639e-06,2.346165e-06,2.312294e-06,2.304259e-06,2.279056e-06,2.246449e-06,2.239360e-06,2.214469e-06,2.183112e-06,2.176915e-06,2.152374e-06,2.122248e-06,2.116890e-06,2.092728e-06,2.063809e-06,2.059237e-06,2.035482e-06,2.007742e-06,2.003905e-06,1.980580e-06,1.953988e-06,1.950835e-06,1.927959e-06,1.902485e-06,1.899967e-06,1.877556e-06,1.853164e-06,1.851236e-06,1.829301e-06,1.805958e-06,1.804574e-06,1.783126e-06,1.760796e-06,1.759914e-06,1.738960e-06,1.717609e-06,1.717187e-06,1.696733e-06,1.676325e-06,1.637260e-06,1.599925e-06,1.564253e-06,1.530179e-06,1.497640e-06,1.466574e-06,1.436921e-06,1.408623e-06,1.381622e-06,1.355865e-06,1.331298e-06,1.307870e-06,1.285533e-06,1.264239e-06,1.243942e-06,1.224599e-06,1.206169e-06,1.188610e-06,1.171884e-06,1.155954e-06,1.140785e-06,1.126342e-06,1.112594e-06,1.099508e-06,1.087055e-06,1.075206e-06,1.063934e-06,1.053213e-06,1.043018e-06,1.033325e-06,1.024110e-06,1.015353e-06,1.007032e-06,9.991265e-07,9.916185e-07,9.844893e-07,9.777214e-07,9.712982e-07,9.652038e-07,9.594229e-07,9.539409e-07,9.487441e-07,9.438190e-07,9.391532e-07,9.347343e-07,9.305510e-07,9.265921e-07,9.228470e-07,9.193058e-07
0.000000e+00,2.635438e-08,3.974519e-07,4.156451e-07,2.793174e-06,1.024453e-05,1.070692e-05,2.569272e-05,4.281681e-05,4.392623e-05,6.206550e-05,7.781821e-05,7.913898e-05,9.497320e-05,1.081689e-04,1.095749e-04,1.229917e-04,1.338639e-04,1.352810e-04,1.465019e-04,1.553425e-04,1.567136e-04,1.659742e-04,1.730593e-04,1.743399e-04,1.818655e-04,1.874463e-04,1.886033e-04,1.946033e-04,1.989043e-04,1.999133e-04,2.045787e-04,2.077981e-04,2.086427e-04,2.121463e-04,2.144576e-04,2.151274e-04,2.176219e-04,2.191744e-04,2.196635e-04,2.212844e-04,2.222079e-04,2.225148e-04,2.233834e-04,2.237916e-04,2.239190e-04,2.241478e-04,2.241403e-04,2.240936e-04,2.237787e-04,2.234383e-04,2.232241e-04,2.224494e-04,2.218466e-04,2.214729e-04,2.203121e-04,2.195069e-04,2.189830e-04,2.175007e-04,2.165438e-04,2.158795e-04,2.141326e-04,2.130668e-04,2.122725e-04,2.103106e-04,2.091717e-04,2.082580e-04,2.061245e-04,2.049423e-04,2.039198e-04,2.016525e-04,2.004516e-04,1.993310e-04,1.969627e-04,1.957633e-04,1.945548e-04,1.921140e-04,1.909325e-04,1.896463e-04,1.871574e-04,1.860069e-04,1.846526e-04,1.821368e-04,1.810275e-04,1.796144e-04,1.770897e-04,1.760296e-04,1.745666e-04,1.720484e-04,1.710434e-04,1.695386e-04,1.670402e-04,1.660943e-04,1.645557e-04,1.620879e-04,1.612039e-04,1.596389e-04,1.572108e-04,1.563903e-04,1.548055e-04,1.524248e-04,1.516685e-04,1.500702e-04,1.477431e-04,1.470505e-04,1.454447e-04,1.431761e-04,1.425464e-04,1.409384e-04,1.387323e-04,1.381639e-04,1.365585e-04,1.344179e-04,1.339091e-04,1.323108e-04,1.302378e-04,1.297863e-04,1.281992e-04,1.261953e-04,1.257987e-04,1.242264e-04,1.222926e-04,1.219482e-04,1.203939e-04,1.185306e-04,1.182357e-04,1.167024e-04,1.149094e-04,1.146612e-04,1.131515e-04,1.114284e-04,1.112240e-04,1.097401e-04,1.080864e-04,1.079229e-04,1.064668e-04,1.048813e-04,1.047559e-04,1.033295e-04,1.018110e-04,1.017209e-04,1.003255e-04,9.887260e-05,9.881515e-05,9.745199e-05,9.606322e-05,9.603577e-05,9.470590e-05,9.337959e-05,9.084325e-05,8.842327e-05,8.611606e-05,8.391797e-05,8.182530e-05,7.983435e-05,7.794142e-05,7.614283e-05,7.443493e-05,7.281415e-05,7.127696e-05,6.981990e-05,6.843960e-05,6.713279e-05,6.589626e-05,6.472691e-05,6.362173e-05,6.257781e-05,6.159233e-05,6.066258e-05,5.978593e-05,5.895986e-05,5.818194e-05,5.744984e-05,5.676132e-05,5.611422e-05,5.550649e-05,5.493615e-05,5.440130e-05,5.390013e-05,5.343091e-05,5.299198e-05,5.258177e-05,5.219876e-05,5.184152e-05,5.150866e-05,5.119887e-05,5.091091e-05,5.064359e-05,5.039577e-05,5.016638e-05,4.995438e-05,4.975880e-05,4.957872e-05,4.941324e-05,4.926154e-05,4.912281e-05,4.899630e-05,4.888129e-05
0.000000e+00,2.842131e-10,6.967851e-09,7.325677e-09,5.013169e-08,1.340182e-07,1.378420e-07,2.315913e-07,3.122061e-07,3.170629e-07,3.929930e-07,4.548948e-07,4.599380e-07,5.186765e-07,5.651531e-07,5.699675e-07,6.145103e-07,6.486344e-07,6.529434e-07,6.858468e-07,7.101297e-07,7.137549e-07,7.371584e-07,7.536665e-07,7.565073e-07,7.722134e-07,7.826395e-07,7.846534e-07,7.941707e-07,7.998912e-07,8.010778e-07,8.056590e-07,8.077842e-07,8.081719e-07,8.088500e-07,8.082691e-07,8.079047e-07,8.055270e-07,8.029474e-07,8.018893e-07,7.971472e-07,7.931282e-07,7.914408e-07,7.848964e-07,7.798780e-07,7.776276e-07,7.697364e-07,7.640621e-07,7.613146e-07,7.524444e-07,7.463805e-07,7.431994e-07,7.336457e-07,7.273969e-07,7.238423e-07,7.138417e-07,7.075632e-07,7.036910e-07,6.934319e-07,6.872400e-07,6.831015e-07,6.727328e-07,6.667131e-07,6.623550e-07,6.519938e-07,6.462073e-07,6.416718e-07,6.314089e-07,6.258978e-07,6.212225e-07,6.111278e-07,6.059192e-07,6.011379e-07,5.912640e-07,5.863736e-07,5.815159e-07,5.719018e-07,5.673367e-07,5.624286e-07,5.531022e-07,5.488626e-07,5.439272e-07,5.349074e-07,5.309886e-07,5.260458e-07,5.173446e-07,5.137383e-07,5.088053e-07,5.004291e-07,4.971243e-07,4.922162e-07,4.841667e-07,4.811507e-07,4.762803e-07,4.685562e-07,4.658150e-07,4.609933e-07,4.535903e-07,4.511094e-07,4.463457e-07,4.392576e-07,4.370222e-07,4.323243e-07,4.255435e-07,4.235387e-07,4.189131e-07,4.124307e-07,4.106419e-07,4.060941e-07,3.999006e-07,3.983135e-07,3.938478e-07,3.879332e-07,3.865339e-07,3.821540e-07,3.765078e-07,3.752832e-07,3.709918e-07,3.656035e-07,3.645409e-07,3.603402e-07,3.551992e-07,3.542867e-07,3.501781e-07,3.452742e-07,3.445002e-07,3.404849e-07,3.358077e-07,3.351617e-07,3.312401e-07,3.267796e-07,3.262515e-07,3.224239e-07,3.181704e-07,3.177506e-07,3.140168e-07,3.099609e-07,3.096406e-07,3.060003e-07,3.021329e-07,3.019037e-07,2.983563e-07,2.946685e-07,2.945228e-07,2.910673e-07,2.875507e-07,2.874812e-07,2.841167e-07,2.807632e-07,2.743535e-07,2.682376e-07,2.624015e-07,2.568321e-07,2.515165e-07,2.464428e-07,2.415993e-07,2.369751e-07,2.325598e-07,2.283433e-07,2.243161e-07,2.204693e-07,2.167943e-07,2.132828e-07,2.099272e-07,2.067199e-07,2.036541e-07,2.007229e-07,1.979201e-07,1.952396e-07,1.926756e-07,1.902226e-07,1.878755e-07,1.856293e-07,1.834793e-07,1.814210e-07,1.794502e-07,1.775627e-07,1.757548e-07,1.740228e-07,1.723631e-07,1.707725e-07,1.692478e-07,1.677860e-07,1.663843e-07,1.650398e-07,1.637501e-07,1.625126e-07,1.613249e-07,1.601850e-07,1.590906e-07,1.580396e-07,1.570302e-07,1.560606e-07,1.551289e-07,1.542335e-07,1.533728e-07,1.525453e-07,1.517496e-07
0.000000e+00,5.209214e-08,1.269362e-06,1.337209e-06,1.188731e-05,5.253220e-05,5.530193e-05,1.588493e-04,3.085554e-04,3.192756e-04,5.073792e-04,6.821559e-04,6.969503e-04,8.725562e-04,1.012580e-03,1.026978e-03,1.157982e-03,1.254259e-03,1.266075e-03,1.353115e-03,1.412971e-03,1.421520e-03,1.473821e-03,1.507079e-03,1.512430e-03,1.539540e-03,1.554550e-03,1.557078e-03,1.566706e-03,1.569673e-03,1.569840e-03,1.567671e-03,1.562945e-03,1.561195e-03,1.551242e-03,1.541780e-03,1.538500e-03,1.523534e-03,1.511307e-03,1.506813e-03,1.488721e-03,1.475024e-03,1.469572e-03,1.449627e-03,1.435306e-03,1.429096e-03,1.408153e-03,1.393750e-03,1.386940e-03,1.365573e-03,1.351432e-03,1.344145e-03,1.322735e-03,1.309071e-03,1.301404e-03,1.280204e-03,1.267143e-03,1.259175e-03,1.238350e-03,1.225965e-03,1.217757e-03,1.197415e-03,1.185740e-03,1.177343e-03,1.157552e-03,1.146596e-03,1.138053e-03,1.118853e-03,1.108611e-03,1.099957e-03,1.081370e-03,1.071827e-03,1.063093e-03,1.045127e-03,1.036261e-03,1.027473e-03,1.010130e-03,1.001916e-03,9.930967e-04,9.763706e-04,9.687793e-04,9.599497e-04,9.438311e-04,9.368340e-04,9.280119e-04,9.124886e-04,9.060563e-04,8.972578e-04,8.823158e-04,8.764190e-04,8.676588e-04,8.532828e-04,8.478927e-04,8.391838e-04,8.253579e-04,8.204466e-04,8.118009e-04,7.985087e-04,7.940489e-04,7.854772e-04,7.727021e-04,7.686676e-04,7.601795e-04,7.479052e-04,7.442707e-04,7.358750e-04,7.240849e-04,7.208262e-04,7.125309e-04,7.012089e-04,6.983027e-04,6.901150e-04,6.792452e-04,6.766693e-04,6.685956e-04,6.581624e-04,6.558958e-04,6.479418e-04,6.379299e-04,6.359523e-04,6.281232e-04,6.185179e-04,6.168101e-04,6.091104e-04,5.998972e-04,5.984409e-04,5.908747e-04,5.820395e-04,5.808173e-04,5.733881e-04,5.649173e-04,5.639127e-04,5.566236e-04,5.485039e-04,5.477014e-04,5.405550e-04,5.327736e-04,5.321582e-04,5.251567e-04,5.177012e-04,5.172589e-04,5.104041e-04,5.032625e-04,5.029800e-04,4.962734e-04,4.894341e-04,4.892988e-04,4.827416e-04,4.761932e-04,4.636421e-04,4.516248e-04,4.401215e-04,4.291130e-04,4.185809e-04,4.085071e-04,3.988745e-04,3.896664e-04,3.808668e-04,3.724601e-04,3.644314e-04,3.567662e-04,3.494506e-04,3.424713e-04,3.358153e-04,3.294700e-04,3.234236e-04,3.176644e-04,3.121811e-04,3.069631e-04,3.020000e-04,2.972817e-04,2.927986e-04,2.885414e-04,2.845011e-04,2.806691e-04,2.770371e-04,2.735970e-04,2.703411e-04,2.672619e-04,2.643523e-04,2.616052e-04,2.590142e-04,2.565726e-04,2.542744e-04,2.521135e-04,2.500843e-04,2.481810e-04,2.463985e-04,2.447314e-04,2.431750e-04,2.417244e-04,2.403749e-04,2.391222e-04,2.379620e-04,2.368901e-04,2.359026e-04,2.349957e-04,2.341657e-04
0.000000e+00,2.351082e-07,5.716251e-06,6.019454e-06,5.248487e-05,2.301026e-04,2.422210e-04,6.997232e-04,1.386633e-03,1.437337e-03,2.366864e-03,3.309231e-03,3.393027e-03,4.443963e-03,5.370274e-03,5.470884e-03,6.442648e-03,7.237225e-03,7.340713e-03,8.155281e-03,8.785972e-03,8.882495e-03,9.522460e-03,9.994507e-03,1.007785e-02,1.055293e-02,1.088622e-02,1.095293e-02,1.128351e-02,1.150192e-02,1.155051e-02,1.175974e-02,1.188644e-02,1.191679e-02,1.202698e-02,1.208247e-02,1.209531e-02,1.212644e-02,1.212804e-02,1.212463e-02,1.209381e-02,1.205567e-02,1.203754e-02,1.195908e-02,1.189252e-02,1.186134e-02,1.174696e-02,1.166090e-02,1.161831e-02,1.147751e-02,1.137886e-02,1.132646e-02,1.116684e-02,1.106090e-02,1.100018e-02,1.082780e-02,1.071859e-02,1.065090e-02,1.047055e-02,1.036107e-02,1.028767e-02,1.010308e-02,9.995538e-03,9.917531e-03,9.731652e-03,9.627630e-03,9.546011e-03,9.361103e-03,9.261713e-03,9.177362e-03,8.995166e-03,8.901146e-03,8.814843e-03,8.636677e-03,8.548480e-03,8.460911e-03,8.287755e-03,8.205619e-03,8.117384e-03,7.949950e-03,7.873951e-03,7.785576e-03,7.624362e-03,7.554451e-03,7.466391e-03,7.311727e-03,7.247766e-03,7.160417e-03,7.012496e-03,6.954281e-03,6.867983e-03,6.726891e-03,6.674173e-03,6.589219e-03,6.454959e-03,6.407457e-03,6.324094e-03,6.196603e-03,6.154019e-03,6.072456e-03,5.951620e-03,5.913645e-03,5.834056e-03,5.719723e-03,5.686046e-03,5.608575e-03,5.500563e-03,5.470875e-03,5.395637e-03,5.293743e-03,5.267741e-03,5.194828e-03,5.098836e-03,5.076226e-03,5.005709e-03,4.915390e-03,4.895890e-03,4.827820e-03,4.742941e-03,4.726283e-03,4.660694e-03,4.581021e-03,4.566948e-03,4.503861e-03,4.429156e-03,4.417427e-03,4.356849e-03,4.286881e-03,4.277268e-03,4.219194e-03,4.153733e-03,4.146025e-03,4.090441e-03,4.029263e-03,4.023260e-03,3.970144e-03,3.913031e-03,3.908547e-03,3.857870e-03,3.804609e-03,3.801473e-03,3.753198e-03,3.703586e-03,3.701639e-03,3.655725e-03,3.609565e-03,3.608658e-03,3.565059e-03,3.522161e-03,3.441791e-03,3.367206e-03,3.298081e-03,3.234103e-03,3.174974e-03,3.120411e-03,3.070144e-03,3.023914e-03,2.981478e-03,2.942602e-03,2.907067e-03,2.874662e-03,2.845188e-03,2.818457e-03,2.794290e-03,2.772517e-03,2.752979e-03,2.735523e-03,2.720006e-03,2.706292e-03,2.694251e-03,2.683764e-03,2.674714e-03,2.666994e-03,2.660501e-03,2.655140e-03,2.650818e-03,2.647452e-03,2.644960e-03,2.643266e-03,2.642299e-03,2.641993e-03,2.642284e-03,2.643115e-03,2.644429e-03,2.646175e-03,2.648306e-03,2.650776e-03,2.653543e-03,2.656569e-03,2.659817e-03,2.663254e-03,2.666848e-03,2.670571e-03,2.674396e-03,2.678298e-03,2.682256e-03,2.686248e-03,2.690256e-03
0.000000e+00,3.437170e-08,9.758546e-07,1.030660e-06,9.990252e-06,4.552038e-05,4.794614e-05,1.377013e-04,2.653658e-04,2.745011e-04,4.364792e-04,5.922197e-04,6.057339e-04,7.713831e-04,9.124265e-04,9.275119e-04,1.071248e-03,1.186590e-03,1.201499e-03,1.318178e-03,1.408013e-03,1.421751e-03,1.512966e-03,1.580677e-03,1.592701e-03,1.661871e-03,1.711344e-03,1.721382e-03,1.772101e-03,1.806895e-03,1.814843e-03,1.850366e-03,1.873514e-03,1.879369e-03,1.902495e-03,1.916502e-03,1.920330e-03,1.933407e-03,1.940310e-03,1.942214e-03,1.947192e-03,1.948632e-03,1.948742e-03,1.947227e-03,1.944521e-03,1.942978e-03,1.936294e-03,1.930498e-03,1.927447e-03,1.916683e-03,1.908638e-03,1.904225e-03,1.890278e-03,1.880656e-03,1.875026e-03,1.858634e-03,1.847965e-03,1.841252e-03,1.823015e-03,1.811713e-03,1.804044e-03,1.784449e-03,1.772837e-03,1.764328e-03,1.743771e-03,1.732100e-03,1.722859e-03,1.701665e-03,1.690125e-03,1.680252e-03,1.658679e-03,1.647416e-03,1.636999e-03,1.615259e-03,1.604379e-03,1.593499e-03,1.571759e-03,1.561341e-03,1.550073e-03,1.528469e-03,1.518567e-03,1.506975e-03,1.485614e-03,1.476263e-03,1.464408e-03,1.443374e-03,1.434596e-03,1.422530e-03,1.401889e-03,1.393693e-03,1.381465e-03,1.361267e-03,1.353653e-03,1.341306e-03,1.321588e-03,1.314551e-03,1.302122e-03,1.282912e-03,1.276440e-03,1.263963e-03,1.245279e-03,1.239356e-03,1.226862e-03,1.208716e-03,1.203325e-03,1.190841e-03,1.173239e-03,1.168359e-03,1.155910e-03,1.138854e-03,1.134464e-03,1.122070e-03,1.105558e-03,1.101636e-03,1.089317e-03,1.073344e-03,1.069866e-03,1.057639e-03,1.042200e-03,1.039144e-03,1.027024e-03,1.012108e-03,1.009451e-03,9.974512e-04,9.830499e-04,9.807692e-04,9.689014e-04,9.550030e-04,9.530770e-04,9.413517e-04,9.279443e-04,9.263517e-04,9.147779e-04,9.018492e-04,9.005693e-04,8.891550e-04,8.766921e-04,8.757050e-04,8.644572e-04,8.524471e-04,8.517335e-04,8.406584e-04,8.290878e-04,8.286295e-04,8.177321e-04,8.065879e-04,8.063672e-04,7.956521e-04,7.849212e-04,7.642663e-04,7.443774e-04,7.252300e-04,7.068000e-04,6.890638e-04,6.719983e-04,6.555810e-04,6.397899e-04,6.246038e-04,6.100018e-04,5.959639e-04,5.824704e-04,5.695024e-04,5.570415e-04,5.450700e-04,5.335706e-04,5.225266e-04,5.119220e-04,5.017409e-04,4.919685e-04,4.825900e-04,4.735915e-04,4.649591e-04,4.566799e-04,4.487410e-04,4.411301e-04,4.338354e-04,4.268454e-04,4.201490e-04,4.137356e-04,4.075948e-04,4.017166e-04,3.960914e-04,3.907100e-04,3.855633e-04,3.806427e-04,3.759398e-04,3.714465e-04,3.671551e-04,3.630579e-04,3.591479e-04,3.554180e-04,3.518614e-04,3.484716e-04,3.452425e-04,3.421677e-04,3.392416e-04,3.364585e-04,3.338129e-04
0.000000e+00,3.964146e-08,7.718624e-07,8.096561e-07,6.118165e-06,2.509494e-05,2.637317e-05,7.491118e-05,1.492524e-04,1.547420e-04,2.532174e-04,3.465736e-04,3.545128e-04,4.491180e-04,5.253465e-04,5.332532e-04,6.061529e-04,6.614046e-04,6.683297e-04,7.207454e-04,7.588265e-04,7.644622e-04,8.005054e-04,8.255427e-04,8.298159e-04,8.532389e-04,8.685820e-04,8.715253e-04,8.853393e-04,8.935660e-04,8.952660e-04,9.018204e-04,9.048846e-04,9.054545e-04,9.065655e-04,9.059381e-04,9.055013e-04,9.025671e-04,8.993502e-04,8.980299e-04,8.921237e-04,8.871395e-04,8.850532e-04,8.769976e-04,8.708570e-04,8.681132e-04,8.585368e-04,8.516913e-04,8.483880e-04,8.377709e-04,8.305517e-04,8.267764e-04,8.154836e-04,8.081320e-04,8.039617e-04,7.922704e-04,7.849599e-04,7.804618e-04,7.685812e-04,7.614347e-04,7.566676e-04,7.447548e-04,7.378574e-04,7.328719e-04,7.210440e-04,7.144526e-04,7.092926e-04,6.976361e-04,6.913865e-04,6.860899e-04,6.746674e-04,6.687803e-04,6.633796e-04,6.522359e-04,6.467205e-04,6.412438e-04,6.304098e-04,6.252671e-04,6.197387e-04,6.092347e-04,6.044598e-04,5.989008e-04,5.887391e-04,5.843230e-04,5.787513e-04,5.689382e-04,5.648689e-04,5.593003e-04,5.498375e-04,5.461013e-04,5.405494e-04,5.314351e-04,5.280171e-04,5.224936e-04,5.137236e-04,5.106080e-04,5.051234e-04,4.966914e-04,4.938625e-04,4.884256e-04,4.803241e-04,4.777660e-04,4.723847e-04,4.646052e-04,4.623022e-04,4.569833e-04,4.495167e-04,4.474535e-04,4.422030e-04,4.350397e-04,4.332016e-04,4.280245e-04,4.211548e-04,4.195275e-04,4.144283e-04,4.078424e-04,4.064121e-04,4.013947e-04,3.950827e-04,3.938364e-04,3.889040e-04,3.828562e-04,3.817814e-04,3.769369e-04,3.711437e-04,3.702284e-04,3.654743e-04,3.599263e-04,3.591591e-04,3.544974e-04,3.491853e-04,3.485556e-04,3.439879e-04,3.389029e-04,3.384005e-04,3.339282e-04,3.290615e-04,3.286768e-04,3.243009e-04,3.196442e-04,3.193680e-04,3.150893e-04,3.106344e-04,3.104582e-04,3.062773e-04,3.020162e-04,3.019320e-04,2.978492e-04,2.937744e-04,2.859710e-04,2.785080e-04,2.713718e-04,2.645497e-04,2.580291e-04,2.517981e-04,2.458451e-04,2.401590e-04,2.347290e-04,2.295450e-04,2.245969e-04,2.198752e-04,2.153708e-04,2.110749e-04,2.069790e-04,2.030749e-04,1.993548e-04,1.958111e-04,1.924367e-04,1.892245e-04,1.861679e-04,1.832604e-04,1.804958e-04,1.778683e-04,1.753720e-04,1.730016e-04,1.707517e-04,1.686172e-04,1.665934e-04,1.646754e-04,1.628589e-04,1.611395e-04,1.595131e-04,1.579756e-04,1.565233e-04,1.551524e-04,1.538595e-04,1.526411e-04,1.514940e-04,1.504151e-04,1.494013e-04,1.484498e-04,1.475578e-04,1.467226e-04,1.459417e-04,1.452126e-04,1.445330e-04,1.439005e-04,1.433131e-04
0.000000e+00,5.519669e-08,1.094879e-06,1.149039e-06,8.671992e-06,3.392886e-05,3.555641e-05,9.226651e-05,1.659478e-04,1.709769e-04,2.558622e-04,3.317321e-04,3.381277e-04,4.148845e-04,4.787462e-04,4.855375e-04,5.501924e-04,6.023596e-04,6.091437e-04,6.627268e-04,7.047713e-04,7.112778e-04,7.551228e-04,7.885446e-04,7.945739e-04,8.299276e-04,8.560584e-04,8.614658e-04,8.894551e-04,9.094612e-04,9.141475e-04,9.357800e-04,9.506731e-04,9.545755e-04,9.707429e-04,9.813933e-04,9.844778e-04,9.959634e-04,1.003116e-03,1.005371e-03,1.012860e-03,1.017149e-03,1.018580e-03,1.022671e-03,1.024636e-03,1.025263e-03,1.026477e-03,1.026573e-03,1.026425e-03,1.025214e-03,1.023828e-03,1.022942e-03,1.019700e-03,1.017155e-03,1.015572e-03,1.010639e-03,1.007209e-03,1.004974e-03,9.986454e-04,9.945563e-04,9.917167e-04,9.842471e-04,9.796888e-04,9.762917e-04,9.679014e-04,9.630306e-04,9.591235e-04,9.500020e-04,9.449480e-04,9.405776e-04,9.308880e-04,9.257563e-04,9.209682e-04,9.108503e-04,9.057266e-04,9.005644e-04,8.901381e-04,8.850911e-04,8.795969e-04,8.689643e-04,8.640487e-04,8.582621e-04,8.475103e-04,8.427686e-04,8.367273e-04,8.259301e-04,8.213948e-04,8.151341e-04,8.043537e-04,8.000489e-04,7.936019e-04,7.828907e-04,7.788333e-04,7.722309e-04,7.616325e-04,7.578338e-04,7.511045e-04,7.406551e-04,7.371216e-04,7.302918e-04,7.200213e-04,7.167553e-04,7.098495e-04,6.997819e-04,6.967827e-04,6.898234e-04,6.799781e-04,6.772423e-04,6.702500e-04,6.606423e-04,6.581644e-04,6.511579e-04,6.417994e-04,6.395723e-04,6.325689e-04,6.234682e-04,6.214836e-04,6.144988e-04,6.056618e-04,6.039104e-04,5.969583e-04,5.883889e-04,5.868607e-04,5.799541e-04,5.716541e-04,5.703387e-04,5.634891e-04,5.554588e-04,5.543453e-04,5.475631e-04,5.398015e-04,5.388790e-04,5.321734e-04,5.246781e-04,5.239359e-04,5.173149e-04,5.100829e-04,5.095100e-04,5.029811e-04,4.960084e-04,4.955941e-04,4.891637e-04,4.824458e-04,4.821797e-04,4.758533e-04,4.693850e-04,4.692569e-04,4.630395e-04,4.568154e-04,4.448441e-04,4.333312e-04,4.222649e-04,4.116328e-04,4.014224e-04,3.916214e-04,3.822172e-04,3.731974e-04,3.645497e-04,3.562620e-04,3.483221e-04,3.407182e-04,3.334388e-04,3.264726e-04,3.198083e-04,3.134354e-04,3.073432e-04,3.015217e-04,2.959607e-04,2.906506e-04,2.855821e-04,2.807460e-04,2.761335e-04,2.717361e-04,2.675456e-04,2.635539e-04,2.597535e-04,2.561367e-04,2.526965e-04,2.494259e-04,2.463181e-04,2.433667e-04,2.405654e-04,2.379082e-04,2.353893e-04,2.330031e-04,2.307442e-04,2.286073e-04,2.265875e-04,2.246800e-04,2.228800e-04,2.211831e-04,2.195849e-04,2.180813e-04,2.166682e-04,2.153418e-04,2.140984e-04,2.129344e-04,2.118463e-04
0.000000e+00,5.567736e-10,6.702416e-09,6.988883e-09,4.286736e-08,1.562865e-07,1.635262e-07,4.127929e-07,7.258851e-07,7.468675e-07,1.097450e-06,1.410231e-06,1.436735e-06,1.757612e-06,2.029469e-06,2.058683e-06,2.340078e-06,2.571868e-06,2.602355e-06,2.846209e-06,3.041747e-06,3.072373e-06,3.281598e-06,3.444804e-06,3.474632e-06,3.652225e-06,3.786855e-06,3.815125e-06,3.964065e-06,4.073647e-06,4.099760e-06,4.222910e-06,4.310683e-06,4.334173e-06,4.434183e-06,4.503045e-06,4.523559e-06,4.602926e-06,4.655560e-06,4.672871e-06,4.733942e-06,4.772714e-06,4.786663e-06,4.831535e-06,4.858530e-06,4.869032e-06,4.899608e-06,4.916669e-06,4.923696e-06,4.941707e-06,4.950455e-06,4.954030e-06,4.961038e-06,4.962896e-06,4.963082e-06,4.960499e-06,4.956714e-06,4.953607e-06,4.942707e-06,4.934363e-06,4.928085e-06,4.910013e-06,4.898053e-06,4.888749e-06,4.864535e-06,4.849773e-06,4.837602e-06,4.808169e-06,4.791308e-06,4.776441e-06,4.742615e-06,4.724258e-06,4.706874e-06,4.669393e-06,4.650052e-06,4.630336e-06,4.589859e-06,4.569968e-06,4.548107e-06,4.505219e-06,4.485145e-06,4.461324e-06,4.416546e-06,4.396593e-06,4.370998e-06,4.324790e-06,4.305210e-06,4.278022e-06,4.230791e-06,4.211788e-06,4.183185e-06,4.135288e-06,4.117028e-06,4.087179e-06,4.038932e-06,4.021543e-06,3.990615e-06,3.942292e-06,3.925872e-06,3.894023e-06,3.845863e-06,3.830483e-06,3.797864e-06,3.750075e-06,3.735786e-06,3.702539e-06,3.655298e-06,3.642129e-06,3.608391e-06,3.561851e-06,3.549815e-06,3.515712e-06,3.470003e-06,3.459100e-06,3.424752e-06,3.379982e-06,3.370200e-06,3.335718e-06,3.291978e-06,3.283295e-06,3.248782e-06,3.206146e-06,3.198532e-06,3.164084e-06,3.122611e-06,3.116031e-06,3.081737e-06,3.041473e-06,3.035885e-06,3.001827e-06,2.962807e-06,2.958167e-06,2.924418e-06,2.886666e-06,2.882926e-06,2.849554e-06,2.813086e-06,2.810197e-06,2.777264e-06,2.742088e-06,2.739998e-06,2.707558e-06,2.673675e-06,2.672333e-06,2.640436e-06,2.607841e-06,2.607195e-06,2.575885e-06,2.544567e-06,2.484423e-06,2.426727e-06,2.371441e-06,2.318517e-06,2.267906e-06,2.219552e-06,2.173399e-06,2.129386e-06,2.087452e-06,2.047534e-06,2.009568e-06,1.973489e-06,1.939233e-06,1.906734e-06,1.875930e-06,1.846756e-06,1.819150e-06,1.793049e-06,1.768393e-06,1.745123e-06,1.723179e-06,1.702507e-06,1.683049e-06,1.664753e-06,1.647567e-06,1.631438e-06,1.616319e-06,1.602162e-06,1.588921e-06,1.576552e-06,1.565011e-06,1.554259e-06,1.544255e-06,1.534961e-06,1.526341e-06,1.518360e-06,1.510983e-06,1.504178e-06,1.497916e-06,1.492165e-06,1.486897e-06,1.482086e-06,1.477706e-06,1.473731e-06,1.470138e-06,1.466905e-06,1.464010e-06,1.461433e-06,1.459154e-06
0.000000e+00,1.415067e-07,3.175827e-06,3.338254e-06,2.481515e-05,8.065179e-05,8.362971e-05,1.647287e-04,2.421735e-04,2.469879e-04,3.242027e-04,3.899716e-04,3.954525e-04,4.608342e-04,5.148792e-04,5.206134e-04,5.750837e-04,6.188595e-04,6.245386e-04,6.692553e-04,7.041309e-04,7.095080e-04,7.455751e-04,7.728366e-04,7.777294e-04,8.062347e-04,8.270642e-04,8.313443e-04,8.533001e-04,8.687483e-04,8.723311e-04,8.886539e-04,8.996373e-04,9.024724e-04,9.139781e-04,9.212866e-04,9.233507e-04,9.307580e-04,9.350670e-04,9.363572e-04,9.402949e-04,9.421786e-04,9.427082e-04,9.437244e-04,9.436686e-04,9.434626e-04,9.420335e-04,9.404478e-04,9.395401e-04,9.360782e-04,9.333063e-04,9.317369e-04,9.265989e-04,9.229283e-04,9.207412e-04,9.142351e-04,9.099049e-04,9.071468e-04,8.995376e-04,8.947459e-04,8.914644e-04,8.829798e-04,8.778897e-04,8.741327e-04,8.649681e-04,8.597129e-04,8.555277e-04,8.458499e-04,8.405379e-04,8.359704e-04,8.259218e-04,8.206399e-04,8.157345e-04,8.054361e-04,8.002534e-04,7.950523e-04,7.846066e-04,7.795771e-04,7.741205e-04,7.636139e-04,7.587790e-04,7.531048e-04,7.426097e-04,7.380003e-04,7.321439e-04,7.217209e-04,7.173591e-04,7.113534e-04,7.010527e-04,6.969534e-04,6.908290e-04,6.806917e-04,6.768639e-04,6.706490e-04,6.607086e-04,6.571564e-04,6.508770e-04,6.411603e-04,6.378838e-04,6.315638e-04,6.220920e-04,6.190880e-04,6.127490e-04,6.035385e-04,6.008016e-04,5.944634e-04,5.855262e-04,5.830489e-04,5.767292e-04,5.680741e-04,5.658472e-04,5.595623e-04,5.511949e-04,5.492083e-04,5.429726e-04,5.348959e-04,5.331386e-04,5.269650e-04,5.191800e-04,5.176405e-04,5.115406e-04,5.040464e-04,5.027128e-04,4.966968e-04,4.894911e-04,4.883514e-04,4.824283e-04,4.755075e-04,4.745498e-04,4.687274e-04,4.620869e-04,4.612993e-04,4.555845e-04,4.492188e-04,4.485897e-04,4.429883e-04,4.368914e-04,4.364094e-04,4.309264e-04,4.250917e-04,4.247457e-04,4.193855e-04,4.138059e-04,4.135854e-04,4.083513e-04,4.030196e-04,4.029142e-04,3.978091e-04,3.927179e-04,3.829816e-04,3.736904e-04,3.648293e-04,3.563835e-04,3.483381e-04,3.406784e-04,3.333901e-04,3.264589e-04,3.198710e-04,3.136128e-04,3.076711e-04,3.020330e-04,2.966861e-04,2.916182e-04,2.868175e-04,2.822726e-04,2.779727e-04,2.739070e-04,2.700653e-04,2.664376e-04,2.630146e-04,2.597869e-04,2.567457e-04,2.538826e-04,2.511893e-04,2.486580e-04,2.462810e-04,2.440512e-04,2.419615e-04,2.400052e-04,2.381759e-04,2.364675e-04,2.348739e-04,2.333896e-04,2.320090e-04,2.307269e-04,2.295384e-04,2.284385e-04,2.274228e-04,2.264867e-04,2.256262e-04,2.248370e-04,2.241155e-04,2.234578e-04,2.228604e-04,2.223199e-04,2.218331e-04,2.213969e-04,2.210084e-04
0.000000e+00,1.713210e-08,4.210386e-07,4.423004e-07,2.941187e-06,7.972186e-06,8.204011e-06,1.377715e-05,1.828103e-05,1.854202e-05,2.245710e-05,2.540645e-05,2.563663e-05,2.819942e-05,3.006382e-05,3.024812e-05,3.186828e-05,3.299595e-05,3.313056e-05,3.409344e-05,3.471930e-05,3.480548e-05,3.530726e-05,3.559148e-05,3.563302e-05,3.581161e-05,3.586550e-05,3.586746e-05,3.582125e-05,3.572266e-05,3.569050e-05,3.549012e-05,3.529358e-05,3.523258e-05,3.492844e-05,3.467165e-05,3.458659e-05,3.421456e-05,3.392358e-05,3.381866e-05,3.340410e-05,3.309658e-05,3.297531e-05,3.253597e-05,3.222382e-05,3.208916e-05,3.163741e-05,3.132849e-05,3.118284e-05,3.072721e-05,3.042663e-05,3.027197e-05,2.981834e-05,2.952932e-05,2.936729e-05,2.891965e-05,2.864411e-05,2.847607e-05,2.803710e-05,2.777611e-05,2.760317e-05,2.717464e-05,2.692867e-05,2.675178e-05,2.633481e-05,2.610395e-05,2.592391e-05,2.551918e-05,2.530323e-05,2.512073e-05,2.472860e-05,2.452721e-05,2.434284e-05,2.396347e-05,2.377617e-05,2.359047e-05,2.322383e-05,2.305009e-05,2.286352e-05,2.250950e-05,2.234875e-05,2.216172e-05,2.182013e-05,2.167177e-05,2.148466e-05,2.115525e-05,2.101869e-05,2.083184e-05,2.051434e-05,2.038898e-05,2.020268e-05,1.989678e-05,1.978203e-05,1.959657e-05,1.930196e-05,1.919726e-05,1.901287e-05,1.872923e-05,1.863401e-05,1.845094e-05,1.817792e-05,1.809166e-05,1.791010e-05,1.764738e-05,1.756955e-05,1.738969e-05,1.713695e-05,1.706705e-05,1.688906e-05,1.664596e-05,1.658353e-05,1.640756e-05,1.617378e-05,1.611835e-05,1.594454e-05,1.571976e-05,1.567090e-05,1.549937e-05,1.528329e-05,1.524058e-05,1.507144e-05,1.486375e-05,1.482680e-05,1.466014e-05,1.446054e-05,1.442898e-05,1.426489e-05,1.407309e-05,1.404655e-05,1.388510e-05,1.370083e-05,1.367897e-05,1.352023e-05,1.334321e-05,1.332570e-05,1.316972e-05,1.299969e-05,1.298624e-05,1.283306e-05,1.266976e-05,1.266007e-05,1.250973e-05,1.235291e-05,1.234671e-05,1.219925e-05,1.204867e-05,1.204569e-05,1.190112e-05,1.175654e-05,1.147884e-05,1.121215e-05,1.095605e-05,1.071016e-05,1.047408e-05,1.024743e-05,1.002987e-05,9.821044e-06,9.620615e-06,9.428262e-06,9.243675e-06,9.066554e-06,8.896610e-06,8.733564e-06,8.577149e-06,8.427105e-06,8.283185e-06,8.145149e-06,8.012767e-06,7.885816e-06,7.764084e-06,7.647364e-06,7.535460e-06,7.428180e-06,7.325343e-06,7.226771e-06,7.132297e-06,7.041756e-06,6.954993e-06,6.871856e-06,6.792201e-06,6.715889e-06,6.642785e-06,6.572762e-06,6.505695e-06,6.441465e-06,6.379959e-06,6.321065e-06,6.264680e-06,6.210700e-06,6.159029e-06,6.109572e-06,6.062240e-06,6.016946e-06,5.973607e-06,5.932142e-06,5.892475e-06,5.854532e-06,5.818242e-06
0.000000e+00,4.396786e-08,5.761518e-07,5.996557e-07,3.248594e-06,1.089036e-05,1.137464e-05,2.905240e-05,5.612961e-05,5.817954e-05,9.655081e-05,1.357178e-04,1.391655e-04,1.816201e-04,2.178231e-04,2.216959e-04,2.586642e-04,2.885314e-04,2.924137e-04,3.230428e-04,3.470125e-04,3.507153e-04,3.756109e-04,3.945087e-04,3.979092e-04,4.177842e-04,4.323902e-04,4.354020e-04,4.509188e-04,4.619198e-04,4.644835e-04,4.762381e-04,4.842361e-04,4.863160e-04,4.948428e-04,5.003585e-04,5.019363e-04,5.077070e-04,5.111868e-04,5.122584e-04,5.156875e-04,5.175123e-04,5.180844e-04,5.195339e-04,5.200271e-04,5.201146e-04,5.199003e-04,5.193355e-04,5.189594e-04,5.173558e-04,5.159636e-04,5.151492e-04,5.123948e-04,5.103686e-04,5.091444e-04,5.054458e-04,5.029473e-04,5.013436e-04,4.968792e-04,4.940428e-04,4.920911e-04,4.870149e-04,4.839518e-04,4.816837e-04,4.761281e-04,4.729297e-04,4.703766e-04,4.644554e-04,4.611960e-04,4.583887e-04,4.521992e-04,4.489389e-04,4.459073e-04,4.395324e-04,4.363192e-04,4.330918e-04,4.266019e-04,4.234737e-04,4.200776e-04,4.135324e-04,4.105181e-04,4.069789e-04,4.004287e-04,3.975503e-04,3.938921e-04,3.873787e-04,3.846521e-04,3.808973e-04,3.744556e-04,3.718918e-04,3.680610e-04,3.617198e-04,3.593255e-04,3.554380e-04,3.492207e-04,3.469991e-04,3.430726e-04,3.369979e-04,3.349499e-04,3.310003e-04,3.250830e-04,3.232070e-04,3.192490e-04,3.135007e-04,3.117932e-04,3.078401e-04,3.022692e-04,3.007256e-04,2.967894e-04,2.914019e-04,2.900164e-04,2.861078e-04,2.809077e-04,2.796737e-04,2.758022e-04,2.707916e-04,2.697020e-04,2.658761e-04,2.610557e-04,2.601030e-04,2.563301e-04,2.516992e-04,2.508757e-04,2.471625e-04,2.427194e-04,2.420171e-04,2.383693e-04,2.341114e-04,2.335226e-04,2.299450e-04,2.258691e-04,2.253860e-04,2.218827e-04,2.179849e-04,2.176000e-04,2.141746e-04,2.104506e-04,2.101564e-04,2.068118e-04,2.032569e-04,2.030462e-04,1.997847e-04,1.963940e-04,1.962601e-04,1.930835e-04,1.898518e-04,1.897880e-04,1.866977e-04,1.836199e-04,1.777453e-04,1.721539e-04,1.668352e-04,1.617789e-04,1.569746e-04,1.524122e-04,1.480819e-04,1.439739e-04,1.400787e-04,1.363871e-04,1.328901e-04,1.295791e-04,1.264457e-04,1.234818e-04,1.206796e-04,1.180316e-04,1.155305e-04,1.131693e-04,1.109415e-04,1.088406e-04,1.068606e-04,1.049954e-04,1.032395e-04,1.015876e-04,1.000345e-04,9.857531e-05,9.720531e-05,9.592004e-05,9.471524e-05,9.358684e-05,9.253095e-05,9.154386e-05,9.062205e-05,8.976216e-05,8.896098e-05,8.821546e-05,8.752269e-05,8.687991e-05,8.628448e-05,8.573389e-05,8.522576e-05,8.475781e-05,8.432789e-05,8.393393e-05,8.357399e-05,8.324620e-05,8.294879e-05,8.268008e-05,8.243847e-05
0.000000e+00,2.178429e-10,2.733321e-09,2.850164e-09,1.676900e-08,5.686622e-08,5.933284e-08,1.424271e-07,2.469699e-07,2.540170e-07,3.717120e-07,4.757468e-07,4.844977e-07,5.895126e-07,6.770363e-07,6.863577e-07,7.752585e-07,8.472215e-07,8.565964e-07,9.307857e-07,9.891875e-07,9.982411e-07,1.059366e-06,1.106104e-06,1.114551e-06,1.164174e-06,1.200968e-06,1.208596e-06,1.248161e-06,1.276535e-06,1.283195e-06,1.314007e-06,1.335299e-06,1.340891e-06,1.364124e-06,1.379501e-06,1.383967e-06,1.400663e-06,1.411128e-06,1.414443e-06,1.425522e-06,1.431941e-06,1.434103e-06,1.440375e-06,1.443487e-06,1.444516e-06,1.446692e-06,1.447129e-06,1.447059e-06,1.445761e-06,1.444060e-06,1.442936e-06,1.438711e-06,1.435326e-06,1.433203e-06,1.426523e-06,1.421840e-06,1.418776e-06,1.410058e-06,1.404398e-06,1.400458e-06,1.390061e-06,1.383696e-06,1.378945e-06,1.367182e-06,1.360337e-06,1.354840e-06,1.341982e-06,1.334846e-06,1.328668e-06,1.314951e-06,1.307676e-06,1.300882e-06,1.286509e-06,1.279221e-06,1.271874e-06,1.257018e-06,1.249820e-06,1.241979e-06,1.226791e-06,1.219763e-06,1.211486e-06,1.196095e-06,1.189302e-06,1.180643e-06,1.165157e-06,1.158649e-06,1.149660e-06,1.134173e-06,1.127986e-06,1.118716e-06,1.103307e-06,1.097467e-06,1.087962e-06,1.072696e-06,1.067223e-06,1.057524e-06,1.042457e-06,1.037360e-06,1.027507e-06,1.012685e-06,1.007971e-06,9.979999e-07,9.834598e-07,9.791272e-07,9.690724e-07,9.548445e-07,9.508901e-07,9.407820e-07,9.268904e-07,9.233071e-07,9.131742e-07,8.996375e-07,8.964158e-07,8.862837e-07,8.731160e-07,8.702443e-07,8.601367e-07,8.473480e-07,8.448133e-07,8.347515e-07,8.223484e-07,8.201365e-07,8.101398e-07,7.981262e-07,7.962221e-07,7.863078e-07,7.746848e-07,7.730732e-07,7.632569e-07,7.520237e-07,7.506888e-07,7.409844e-07,7.301383e-07,7.290643e-07,7.194843e-07,7.090212e-07,7.081923e-07,6.987476e-07,6.886621e-07,6.880629e-07,6.787630e-07,6.690487e-07,6.686640e-07,6.595173e-07,6.501670e-07,6.499818e-07,6.409957e-07,6.320014e-07,6.147067e-07,5.980806e-07,5.821055e-07,5.667635e-07,5.520361e-07,5.379049e-07,5.243513e-07,5.113568e-07,4.989031e-07,4.869719e-07,4.755454e-07,4.646058e-07,4.541359e-07,4.441188e-07,4.345379e-07,4.253771e-07,4.166207e-07,4.082534e-07,4.002604e-07,3.926272e-07,3.853401e-07,3.783853e-07,3.717499e-07,3.654213e-07,3.593872e-07,3.536359e-07,3.481559e-07,3.429364e-07,3.379667e-07,3.332366e-07,3.287363e-07,3.244565e-07,3.203879e-07,3.165217e-07,3.128496e-07,3.093635e-07,3.060555e-07,3.029182e-07,2.999442e-07,2.971268e-07,2.944592e-07,2.919350e-07,2.895480e-07,2.872925e-07,2.851626e-07,2.831529e-07,2.812583e-07,2.794735e-07,2.777940e-07
0.000000e+00,7.262423e-08,1.464543e-06,1.536965e-06,1.174765e-05,4.808080e-05,5.051680e-05,1.419810e-04,2.780903e-04,2.879545e-04,4.606663e-04,6.162760e-04,6.290769e-04,7.750909e-04,8.818849e-04,8.922835e-04,9.810056e-04,1.038250e-03,1.044720e-03,1.087874e-03,1.111880e-03,1.114827e-03,1.129387e-03,1.134346e-03,1.134679e-03,1.133166e-03,1.128190e-03,1.126740e-03,1.116822e-03,1.107091e-03,1.104465e-03,1.090444e-03,1.078716e-03,1.075316e-03,1.059485e-03,1.047162e-03,1.043237e-03,1.026777e-03,1.014546e-03,1.010248e-03,9.937504e-04,9.819324e-04,9.773550e-04,9.611095e-04,9.498453e-04,9.450476e-04,9.291918e-04,9.185352e-04,9.135566e-04,8.981524e-04,8.881160e-04,8.829869e-04,8.680648e-04,8.586435e-04,8.533884e-04,8.389596e-04,8.301383e-04,8.247789e-04,8.108462e-04,8.026052e-04,7.971605e-04,7.837211e-04,7.760386e-04,7.705267e-04,7.575752e-04,7.504274e-04,7.448638e-04,7.323898e-04,7.257516e-04,7.201505e-04,7.081429e-04,7.019894e-04,6.963639e-04,6.848104e-04,6.791173e-04,6.734794e-04,6.623678e-04,6.571112e-04,6.514725e-04,6.407904e-04,6.359473e-04,6.303182e-04,6.200529e-04,6.156008e-04,6.099911e-04,6.001296e-04,5.960467e-04,5.904652e-04,5.809947e-04,5.772601e-04,5.717150e-04,5.626230e-04,5.592165e-04,5.537154e-04,5.449891e-04,5.418915e-04,5.364411e-04,5.280681e-04,5.252607e-04,5.198672e-04,5.118353e-04,5.093002e-04,5.039693e-04,4.962664e-04,4.939869e-04,4.887236e-04,4.813381e-04,4.792979e-04,4.741068e-04,4.670271e-04,4.652108e-04,4.600961e-04,4.533110e-04,4.517040e-04,4.466692e-04,4.401680e-04,4.387563e-04,4.338047e-04,4.275768e-04,4.263472e-04,4.214816e-04,4.155167e-04,4.144567e-04,4.096797e-04,4.039679e-04,4.030655e-04,3.983791e-04,3.929109e-04,3.921548e-04,3.875609e-04,3.823270e-04,3.817066e-04,3.772067e-04,3.721980e-04,3.717032e-04,3.672986e-04,3.625064e-04,3.621276e-04,3.578194e-04,3.532354e-04,3.529636e-04,3.487524e-04,3.443685e-04,3.441952e-04,3.400817e-04,3.358900e-04,3.358071e-04,3.317916e-04,3.277846e-04,3.201135e-04,3.127799e-04,3.057707e-04,2.990731e-04,2.926747e-04,2.865638e-04,2.807289e-04,2.751590e-04,2.698435e-04,2.647722e-04,2.599353e-04,2.553233e-04,2.509272e-04,2.467381e-04,2.427477e-04,2.389478e-04,2.353306e-04,2.318886e-04,2.286147e-04,2.255018e-04,2.225432e-04,2.197326e-04,2.170637e-04,2.145306e-04,2.121276e-04,2.098491e-04,2.076900e-04,2.056450e-04,2.037093e-04,2.018783e-04,2.001473e-04,1.985121e-04,1.969684e-04,1.955122e-04,1.941397e-04,1.928471e-04,1.916310e-04,1.904878e-04,1.894143e-04,1.884073e-04,1.874637e-04,1.865807e-04,1.857555e-04,1.849852e-04,1.842674e-04,1.835996e-04,1.829793e-04,1.824044e-04,1.818725e-04
0.000000e+00,2.152494e-05,6.142554e-04,6.489797e-04,6.395987e-03,2.821789e-02,2.963732e-02,7.858929e-02,1.443724e-01,1.490733e-01,2.338340e-01,3.190984e-01,3.267080e-01,4.230216e-01,5.098040e-01,5.193638e-01,6.133099e-01,6.926583e-01,7.031878e-01,7.878929e-01,8.560753e-01,8.667462e-01,9.393853e-01,9.955003e-01,1.005681e+00,1.065676e+00,1.110280e+00,1.119531e+00,1.167492e+00,1.201818e+00,1.209860e+00,1.246969e+00,1.272489e+00,1.279170e+00,1.306820e+00,1.325007e+00,1.330270e+00,1.349861e+00,1.362067e+00,1.365920e+00,1.378756e+00,1.386164e+00,1.388656e+00,1.395892e+00,1.399506e+00,1.400712e+00,1.403345e+00,1.403995e+00,1.404002e+00,1.402875e+00,1.401240e+00,1.400140e+00,1.395957e+00,1.392587e+00,1.390471e+00,1.383814e+00,1.379152e+00,1.376107e+00,1.367458e+00,1.361858e+00,1.357966e+00,1.347722e+00,1.341469e+00,1.336808e+00,1.325298e+00,1.318617e+00,1.313260e+00,1.300756e+00,1.293831e+00,1.287844e+00,1.274575e+00,1.267551e+00,1.260997e+00,1.247154e+00,1.240145e+00,1.233084e+00,1.218826e+00,1.211925e+00,1.204412e+00,1.189874e+00,1.183153e+00,1.175241e+00,1.160539e+00,1.154054e+00,1.145791e+00,1.131021e+00,1.124816e+00,1.116249e+00,1.101493e+00,1.095599e+00,1.086770e+00,1.072098e+00,1.066539e+00,1.057490e+00,1.042960e+00,1.037751e+00,1.028520e+00,1.014182e+00,1.009331e+00,9.999545e-01,9.858483e-01,9.813612e-01,9.718714e-01,9.580316e-01,9.539075e-01,9.443359e-01,9.307906e-01,9.270256e-01,9.174013e-01,9.041731e-01,9.007608e-01,8.911107e-01,8.782179e-01,8.751493e-01,8.654984e-01,8.529554e-01,8.502199e-01,8.405915e-01,8.284091e-01,8.259946e-01,8.164102e-01,8.045965e-01,8.024898e-01,7.929694e-01,7.815299e-01,7.797171e-01,7.702790e-01,7.592172e-01,7.576836e-01,7.483449e-01,7.376624e-01,7.363932e-01,7.271696e-01,7.168665e-01,7.158466e-01,7.067527e-01,6.968277e-01,6.960419e-01,6.870911e-01,6.775420e-01,6.769750e-01,6.681798e-01,6.590034e-01,6.586401e-01,6.500118e-01,6.412040e-01,6.410297e-01,6.325789e-01,6.241351e-01,6.079462e-01,5.924525e-01,5.776423e-01,5.635033e-01,5.500230e-01,5.371880e-01,5.249848e-01,5.133994e-01,5.024178e-01,4.920253e-01,4.822075e-01,4.729494e-01,4.642359e-01,4.560520e-01,4.483824e-01,4.412115e-01,4.345238e-01,4.283037e-01,4.225354e-01,4.172030e-01,4.122906e-01,4.077823e-01,4.036620e-01,3.999137e-01,3.965213e-01,3.934689e-01,3.907404e-01,3.883199e-01,3.861916e-01,3.843399e-01,3.827490e-01,3.814037e-01,3.802887e-01,3.793890e-01,3.786899e-01,3.781771e-01,3.778363e-01,3.776538e-01,3.776162e-01,3.777104e-01,3.779238e-01,3.782442e-01,3.786598e-01,3.791595e-01,3.797324e-01,3.803681e-01,3.810569e-01,3.817896e-01,3.825573e-01
0.000000e+00,3.373760e-10,4.939757e-09,5.163194e-09,3.238880e-08,1.088458e-07,1.134222e-07,2.607011e-07,4.329001e-07,4.441769e-07,6.289035e-07,7.884422e-07,8.017471e-07,9.602256e-07,1.090728e-06,1.104544e-06,1.235495e-06,1.340388e-06,1.353977e-06,1.460877e-06,1.544196e-06,1.557043e-06,1.643273e-06,1.708580e-06,1.720320e-06,1.788888e-06,1.839249e-06,1.849634e-06,1.903167e-06,1.941183e-06,1.950055e-06,1.990827e-06,2.018700e-06,2.025972e-06,2.055945e-06,2.075524e-06,2.081165e-06,2.102022e-06,2.114860e-06,2.118877e-06,2.132063e-06,2.139459e-06,2.141888e-06,2.148637e-06,2.151674e-06,2.152575e-06,2.153945e-06,2.153525e-06,2.152971e-06,2.149863e-06,2.146735e-06,2.144811e-06,2.137993e-06,2.132780e-06,2.129574e-06,2.119704e-06,2.112917e-06,2.108522e-06,2.096157e-06,2.088221e-06,2.082729e-06,2.068346e-06,2.059607e-06,2.053109e-06,2.037112e-06,2.027853e-06,2.020439e-06,2.003170e-06,1.993622e-06,1.985377e-06,1.967127e-06,1.957477e-06,1.948481e-06,1.929496e-06,1.919893e-06,1.910224e-06,1.890712e-06,1.881274e-06,1.871004e-06,1.851141e-06,1.841961e-06,1.831158e-06,1.811089e-06,1.802240e-06,1.790966e-06,1.770817e-06,1.762352e-06,1.750667e-06,1.730539e-06,1.722499e-06,1.710455e-06,1.690435e-06,1.682848e-06,1.670496e-06,1.650655e-06,1.643538e-06,1.630925e-06,1.611320e-06,1.604685e-06,1.591852e-06,1.572532e-06,1.566382e-06,1.553369e-06,1.534371e-06,1.528705e-06,1.515547e-06,1.496903e-06,1.491715e-06,1.478445e-06,1.460178e-06,1.455461e-06,1.442108e-06,1.424237e-06,1.419978e-06,1.406570e-06,1.389109e-06,1.385295e-06,1.371857e-06,1.354816e-06,1.351433e-06,1.337987e-06,1.321371e-06,1.318403e-06,1.304971e-06,1.288785e-06,1.286215e-06,1.272814e-06,1.257059e-06,1.254871e-06,1.241519e-06,1.226194e-06,1.224369e-06,1.211083e-06,1.196185e-06,1.194707e-06,1.181500e-06,1.167025e-06,1.165877e-06,1.152761e-06,1.138706e-06,1.137869e-06,1.124857e-06,1.111214e-06,1.110673e-06,1.097775e-06,1.084539e-06,1.084276e-06,1.071502e-06,1.058665e-06,1.033824e-06,1.009739e-06,9.863934e-07,9.637709e-07,9.418548e-07,9.206284e-07,9.000747e-07,8.801771e-07,8.609186e-07,8.422827e-07,8.242529e-07,8.068128e-07,7.899466e-07,7.736384e-07,7.578729e-07,7.426347e-07,7.279090e-07,7.136812e-07,6.999372e-07,6.866629e-07,6.738448e-07,6.614698e-07,6.495247e-07,6.379970e-07,6.268745e-07,6.161452e-07,6.057973e-07,5.958196e-07,5.862010e-07,5.769307e-07,5.679983e-07,5.593935e-07,5.511066e-07,5.431278e-07,5.354478e-07,5.280574e-07,5.209479e-07,5.141106e-07,5.075371e-07,5.012194e-07,4.951494e-07,4.893194e-07,4.837221e-07,4.783502e-07,4.731965e-07,4.682542e-07,4.635167e-07,4.589774e-07,4.546301e-07
0.000000e+00,6.964162e-08,1.297749e-06,1.360485e-06,1.015464e-05,4.177544e-05,4.390731e-05,1.242037e-04,2.434636e-04,2.520952e-04,4.040444e-04,5.453691e-04,5.573588e-04,7.008390e-04,8.183756e-04,8.307230e-04,9.464479e-04,1.037035e-03,1.048608e-03,1.138158e-03,1.205867e-03,1.216122e-03,1.283501e-03,1.332611e-03,1.341238e-03,1.390211e-03,1.424401e-03,1.431232e-03,1.465049e-03,1.487382e-03,1.492354e-03,1.513779e-03,1.526787e-03,1.529909e-03,1.541274e-03,1.547027e-03,1.548363e-03,1.551621e-03,1.551806e-03,1.551454e-03,1.548234e-03,1.544217e-03,1.542300e-03,1.533958e-03,1.526838e-03,1.523490e-03,1.511152e-03,1.501812e-03,1.497174e-03,1.481768e-03,1.470911e-03,1.465125e-03,1.447419e-03,1.435602e-03,1.428807e-03,1.409431e-03,1.397091e-03,1.389420e-03,1.368890e-03,1.356367e-03,1.347946e-03,1.326682e-03,1.314237e-03,1.305184e-03,1.283529e-03,1.271358e-03,1.261783e-03,1.240009e-03,1.228259e-03,1.218261e-03,1.196588e-03,1.185363e-03,1.175034e-03,1.153637e-03,1.143007e-03,1.132429e-03,1.111443e-03,1.101455e-03,1.090702e-03,1.070230e-03,1.060909e-03,1.050046e-03,1.030168e-03,1.021522e-03,1.010609e-03,9.913812e-04,9.834068e-04,9.724948e-04,9.539577e-04,9.466422e-04,9.357763e-04,9.179555e-04,9.112789e-04,9.004988e-04,8.834085e-04,8.773459e-04,8.666857e-04,8.503307e-04,8.448536e-04,8.343428e-04,8.187206e-04,8.137984e-04,8.034619e-04,7.885642e-04,7.841647e-04,7.740239e-04,7.598375e-04,7.559281e-04,7.460007e-04,7.325091e-04,7.290572e-04,7.193578e-04,7.065417e-04,7.035151e-04,6.940555e-04,6.818937e-04,6.792611e-04,6.700506e-04,6.585205e-04,6.562515e-04,6.472974e-04,6.363753e-04,6.344409e-04,6.257484e-04,6.154105e-04,6.137828e-04,6.053555e-04,5.955774e-04,5.942302e-04,5.860701e-04,5.768276e-04,5.757360e-04,5.678439e-04,5.591131e-04,5.582537e-04,5.506292e-04,5.423864e-04,5.417373e-04,5.343790e-04,5.266013e-04,5.261418e-04,5.190477e-04,5.117126e-04,5.114236e-04,5.045906e-04,4.976763e-04,4.975401e-04,4.909646e-04,4.844503e-04,4.721143e-04,4.604941e-04,4.495530e-04,4.392560e-04,4.295693e-04,4.204608e-04,4.118999e-04,4.038573e-04,3.963052e-04,3.892170e-04,3.825676e-04,3.763328e-04,3.704900e-04,3.650176e-04,3.598949e-04,3.551025e-04,3.506219e-04,3.464357e-04,3.425272e-04,3.388807e-04,3.354812e-04,3.323148e-04,3.293679e-04,3.266281e-04,3.240832e-04,3.217220e-04,3.195337e-04,3.175082e-04,3.156359e-04,3.139077e-04,3.123151e-04,3.108500e-04,3.095045e-04,3.082717e-04,3.071444e-04,3.061164e-04,3.051814e-04,3.043338e-04,3.035679e-04,3.028788e-04,3.022615e-04,3.017114e-04,3.012242e-04,3.007958e-04,3.004223e-04,3.001002e-04,2.998258e-04,2.995961e-04,2.994080e-04
0.000000e+00,2.770814e-08,5.196497e-07,5.451404e-07,4.066374e-06,1.576687e-05,1.651651e-05,4.227583e-05,7.399147e-05,7.606028e-05,1.090139e-04,1.354573e-04,1.375630e-04,1.613786e-04,1.791521e-04,1.809321e-04,1.967938e-04,2.081179e-04,2.094902e-04,2.194821e-04,2.262175e-04,2.271681e-04,2.328922e-04,2.364024e-04,2.369508e-04,2.395993e-04,2.408740e-04,2.410575e-04,2.415142e-04,2.412684e-04,2.411317e-04,2.400491e-04,2.387957e-04,2.383853e-04,2.362422e-04,2.343469e-04,2.337068e-04,2.308531e-04,2.285741e-04,2.277444e-04,2.244344e-04,2.219524e-04,2.209687e-04,2.173858e-04,2.148259e-04,2.137186e-04,2.099947e-04,2.074420e-04,2.062373e-04,2.024659e-04,1.999772e-04,1.986970e-04,1.949441e-04,1.925560e-04,1.912185e-04,1.875297e-04,1.852645e-04,1.838852e-04,1.802913e-04,1.781614e-04,1.767531e-04,1.732746e-04,1.712856e-04,1.698587e-04,1.665079e-04,1.646606e-04,1.632239e-04,1.600078e-04,1.582997e-04,1.568605e-04,1.537822e-04,1.522089e-04,1.507731e-04,1.478328e-04,1.463884e-04,1.449611e-04,1.421571e-04,1.408351e-04,1.394202e-04,1.367495e-04,1.355429e-04,1.341439e-04,1.316025e-04,1.305043e-04,1.291241e-04,1.267074e-04,1.257105e-04,1.243513e-04,1.220546e-04,1.211523e-04,1.198161e-04,1.176343e-04,1.168199e-04,1.155082e-04,1.134364e-04,1.127036e-04,1.114177e-04,1.094508e-04,1.087936e-04,1.075345e-04,1.056677e-04,1.050805e-04,1.038491e-04,1.020775e-04,1.015550e-04,1.003518e-04,9.867085e-05,9.820805e-05,9.703355e-05,9.543882e-05,9.503103e-05,9.388559e-05,9.237280e-05,9.201563e-05,9.089944e-05,8.946452e-05,8.915390e-05,8.806706e-05,8.670611e-05,8.643821e-05,8.538073e-05,8.409004e-05,8.386132e-05,8.283313e-05,8.160914e-05,8.141631e-05,8.041724e-05,7.925660e-05,7.909656e-05,7.812642e-05,7.702592e-05,7.689582e-05,7.595434e-05,7.491092e-05,7.480810e-05,7.389496e-05,7.290574e-05,7.282774e-05,7.194258e-05,7.100480e-05,7.094932e-05,7.009175e-05,6.920279e-05,6.916772e-05,6.833731e-05,6.749469e-05,6.747807e-05,6.667435e-05,6.587572e-05,6.435628e-05,6.291556e-05,6.154959e-05,6.025459e-05,5.902699e-05,5.786337e-05,5.676051e-05,5.571532e-05,5.472490e-05,5.378648e-05,5.289741e-05,5.205520e-05,5.125749e-05,5.050201e-05,4.978662e-05,4.910929e-05,4.846809e-05,4.786118e-05,4.728682e-05,4.674336e-05,4.622923e-05,4.574293e-05,4.528305e-05,4.484824e-05,4.443722e-05,4.404878e-05,4.368177e-05,4.333509e-05,4.300770e-05,4.269861e-05,4.240689e-05,4.213164e-05,4.187203e-05,4.162724e-05,4.139651e-05,4.117912e-05,4.097439e-05,4.078165e-05,4.060029e-05,4.042971e-05,4.026937e-05,4.011872e-05,3.997727e-05,3.984452e-05,3.972004e-05,3.960339e-05,3.949415e-05,3.939194e-05,3.929638e-05
0.000000e+00,1.117552e-07,2.009934e-06,2.105739e-06,1.563187e-05,6.681301e-05,7.037200e-05,2.103472e-04,4.301577e-04,4.464183e-04,7.388845e-04,1.020869e-03,1.045231e-03,1.342246e-03,1.593531e-03,1.620378e-03,1.876595e-03,2.083655e-03,2.110578e-03,2.323046e-03,2.489375e-03,2.515072e-03,2.687836e-03,2.818946e-03,2.842531e-03,2.980323e-03,3.081488e-03,3.102335e-03,3.209642e-03,3.285592e-03,3.303272e-03,3.384199e-03,3.439102e-03,3.453350e-03,3.511597e-03,3.549082e-03,3.559765e-03,3.598629e-03,3.621829e-03,3.628918e-03,3.651315e-03,3.662916e-03,3.666461e-03,3.674954e-03,3.677243e-03,3.677356e-03,3.674190e-03,3.669108e-03,3.665945e-03,3.653077e-03,3.642260e-03,3.636012e-03,3.615145e-03,3.599966e-03,3.590845e-03,3.563456e-03,3.545064e-03,3.533297e-03,3.500663e-03,3.480012e-03,3.465832e-03,3.429057e-03,3.406932e-03,3.390577e-03,3.350610e-03,3.327655e-03,3.309359e-03,3.267012e-03,3.243751e-03,3.223743e-03,3.179712e-03,3.156564e-03,3.135066e-03,3.089942e-03,3.067240e-03,3.044464e-03,2.998746e-03,2.976749e-03,2.952896e-03,2.907008e-03,2.885911e-03,2.861170e-03,2.815464e-03,2.795414e-03,2.769962e-03,2.724731e-03,2.705830e-03,2.679832e-03,2.635317e-03,2.617630e-03,2.591237e-03,2.547636e-03,2.531201e-03,2.504552e-03,2.462021e-03,2.446852e-03,2.420074e-03,2.378738e-03,2.364827e-03,2.338037e-03,2.297991e-03,2.285318e-03,2.258618e-03,2.219933e-03,2.208464e-03,2.181949e-03,2.144674e-03,2.134366e-03,2.108119e-03,2.072287e-03,2.063090e-03,2.037184e-03,2.002812e-03,1.994671e-03,1.969171e-03,1.936262e-03,1.929120e-03,1.904083e-03,1.872630e-03,1.866427e-03,1.841900e-03,1.811889e-03,1.806562e-03,1.782589e-03,1.753995e-03,1.749485e-03,1.726100e-03,1.698895e-03,1.695141e-03,1.672372e-03,1.646523e-03,1.643466e-03,1.621338e-03,1.596807e-03,1.594389e-03,1.572920e-03,1.549667e-03,1.547834e-03,1.527037e-03,1.505019e-03,1.503718e-03,1.483603e-03,1.462777e-03,1.461956e-03,1.442530e-03,1.422851e-03,1.422463e-03,1.403728e-03,1.385151e-03,1.349930e-03,1.316714e-03,1.285415e-03,1.255947e-03,1.228227e-03,1.202170e-03,1.177698e-03,1.154732e-03,1.133197e-03,1.113019e-03,1.094129e-03,1.076458e-03,1.059941e-03,1.044517e-03,1.030124e-03,1.016707e-03,1.004209e-03,9.925799e-04,9.817688e-04,9.717287e-04,9.624143e-04,9.537829e-04,9.457938e-04,9.384082e-04,9.315895e-04,9.253030e-04,9.195156e-04,9.141962e-04,9.093153e-04,9.048449e-04,9.007586e-04,8.970315e-04,8.936401e-04,8.905620e-04,8.877763e-04,8.852633e-04,8.830042e-04,8.809816e-04,8.791788e-04,8.775803e-04,8.761715e-04,8.749385e-04,8.738683e-04,8.729490e-04,8.721689e-04,8.715174e-04,8.709844e-04,8.705605e-04,8.702368e-04
0.000000e+00,2.304162e-08,3.476681e-07,3.634128e-07,2.399093e-06,8.900352e-06,9.314079e-06,2.346371e-05,4.090782e-05,4.205776e-05,6.081643e-05,7.676675e-05,7.808310e-05,9.357594e-05,1.060496e-04,1.073537e-04,1.195435e-04,1.290637e-04,1.302796e-04,1.396904e-04,1.468148e-04,1.478951e-04,1.550043e-04,1.602045e-04,1.611203e-04,1.663371e-04,1.700050e-04,1.707415e-04,1.744127e-04,1.768709e-04,1.774235e-04,1.798400e-04,1.813515e-04,1.817228e-04,1.831269e-04,1.839048e-04,1.841023e-04,1.846942e-04,1.849096e-04,1.849436e-04,1.848879e-04,1.846777e-04,1.845606e-04,1.839922e-04,1.834659e-04,1.832105e-04,1.822404e-04,1.814848e-04,1.811046e-04,1.798235e-04,1.789073e-04,1.784153e-04,1.768966e-04,1.758736e-04,1.752823e-04,1.735859e-04,1.724983e-04,1.718195e-04,1.699940e-04,1.688744e-04,1.681190e-04,1.662035e-04,1.650770e-04,1.642552e-04,1.622813e-04,1.611671e-04,1.602881e-04,1.582813e-04,1.571938e-04,1.562660e-04,1.542467e-04,1.531964e-04,1.522274e-04,1.502118e-04,1.492063e-04,1.482030e-04,1.462039e-04,1.452485e-04,1.442170e-04,1.422445e-04,1.413425e-04,1.402883e-04,1.383502e-04,1.375035e-04,1.364316e-04,1.345338e-04,1.337432e-04,1.326579e-04,1.308049e-04,1.300703e-04,1.289756e-04,1.271707e-04,1.264914e-04,1.253907e-04,1.236362e-04,1.230108e-04,1.219074e-04,1.202046e-04,1.196316e-04,1.185281e-04,1.168780e-04,1.163556e-04,1.152544e-04,1.136573e-04,1.131834e-04,1.120867e-04,1.105426e-04,1.101149e-04,1.090247e-04,1.075331e-04,1.071495e-04,1.060675e-04,1.046278e-04,1.042860e-04,1.032136e-04,1.018249e-04,1.015228e-04,1.004613e-04,9.912266e-05,9.885789e-05,9.780858e-05,9.651881e-05,9.628921e-05,9.525305e-05,9.401100e-05,9.381445e-05,9.279234e-05,9.159675e-05,9.143119e-05,9.042391e-05,8.927348e-05,8.913692e-05,8.814515e-05,8.703857e-05,8.692909e-05,8.595341e-05,8.488934e-05,8.480512e-05,8.384602e-05,8.282313e-05,8.276240e-05,8.182033e-05,8.083729e-05,8.079837e-05,7.987368e-05,7.892918e-05,7.891048e-05,7.800346e-05,7.709621e-05,7.535310e-05,7.367872e-05,7.207071e-05,7.052675e-05,6.904460e-05,6.762207e-05,6.625703e-05,6.494742e-05,6.369124e-05,6.248654e-05,6.133146e-05,6.022417e-05,5.916292e-05,5.814600e-05,5.717178e-05,5.623866e-05,5.534512e-05,5.448967e-05,5.367088e-05,5.288738e-05,5.213782e-05,5.142092e-05,5.073545e-05,5.008020e-05,4.945401e-05,4.885579e-05,4.828445e-05,4.773895e-05,4.721830e-05,4.672153e-05,4.624771e-05,4.579596e-05,4.536539e-05,4.495520e-05,4.456456e-05,4.419271e-05,4.383890e-05,4.350242e-05,4.318257e-05,4.287868e-05,4.259012e-05,4.231627e-05,4.205652e-05,4.181031e-05,4.157708e-05,4.135630e-05,4.114745e-05,4.095005e-05,4.076361e-05
0.000000e+00,3.056027e-07,6.728334e-06,7.068025e-06,5.481566e-05,2.201463e-04,2.310650e-04,6.335268e-04,1.229119e-03,1.273024e-03,2.078328e-03,2.897119e-03,2.970110e-03,3.889133e-03,4.706659e-03,4.796001e-03,5.665957e-03,6.389139e-03,6.484303e-03,7.243074e-03,7.845205e-03,7.938756e-03,8.570736e-03,9.053244e-03,9.140260e-03,9.649731e-03,1.002484e-02,1.010223e-02,1.050122e-02,1.078428e-02,1.085027e-02,1.115301e-02,1.135926e-02,1.141295e-02,1.163346e-02,1.177665e-02,1.181774e-02,1.196882e-02,1.206088e-02,1.208948e-02,1.218235e-02,1.223338e-02,1.224986e-02,1.229422e-02,1.231263e-02,1.231753e-02,1.232166e-02,1.231444e-02,1.230840e-02,1.227935e-02,1.225226e-02,1.223601e-02,1.217975e-02,1.213756e-02,1.211184e-02,1.203345e-02,1.198007e-02,1.194567e-02,1.184947e-02,1.178809e-02,1.174577e-02,1.163542e-02,1.156867e-02,1.151919e-02,1.139779e-02,1.132780e-02,1.127189e-02,1.114208e-02,1.107056e-02,1.100893e-02,1.087294e-02,1.080126e-02,1.073458e-02,1.059429e-02,1.052355e-02,1.045246e-02,1.030946e-02,1.024050e-02,1.016562e-02,1.002123e-02,9.954712e-03,9.876587e-03,9.731934e-03,9.668345e-03,9.587506e-03,9.443514e-03,9.383214e-03,9.300149e-03,9.157584e-03,9.100819e-03,9.015978e-03,8.875473e-03,8.822396e-03,8.736196e-03,8.598263e-03,8.548957e-03,8.461778e-03,8.326832e-03,8.281316e-03,8.193507e-03,8.061876e-03,8.020122e-03,7.932002e-03,7.803940e-03,7.765883e-03,7.677741e-03,7.553444e-03,7.518987e-03,7.431086e-03,7.310695e-03,7.279719e-03,7.192296e-03,7.075909e-03,7.048277e-03,6.961548e-03,6.849224e-03,6.824787e-03,6.738944e-03,6.630713e-03,6.609312e-03,6.524529e-03,6.420392e-03,6.401864e-03,6.318296e-03,6.218235e-03,6.202413e-03,6.120199e-03,6.024176e-03,6.010893e-03,5.930154e-03,5.838119e-03,5.827207e-03,5.748054e-03,5.659941e-03,5.651237e-03,5.573764e-03,5.489502e-03,5.482843e-03,5.407135e-03,5.326641e-03,5.321871e-03,5.248001e-03,5.171189e-03,5.168155e-03,5.096185e-03,5.022964e-03,5.021518e-03,4.951503e-03,4.881778e-03,4.748747e-03,4.622234e-03,4.502047e-03,4.387990e-03,4.279871e-03,4.177497e-03,4.080677e-03,3.989223e-03,3.902948e-03,3.821668e-03,3.745204e-03,3.673379e-03,3.606019e-03,3.542953e-03,3.484017e-03,3.429045e-03,3.377881e-03,3.330366e-03,3.286350e-03,3.245684e-03,3.208222e-03,3.173822e-03,3.142346e-03,3.113659e-03,3.087628e-03,3.064125e-03,3.043023e-03,3.024202e-03,3.007540e-03,2.992922e-03,2.980234e-03,2.969366e-03,2.960210e-03,2.952662e-03,2.946621e-03,2.941988e-03,2.938667e-03,2.936566e-03,2.935596e-03,2.935670e-03,2.936704e-03,2.938617e-03,2.941333e-03,2.944776e-03,2.948875e-03,2.953561e-03,2.958768e-03,2.964433e-03,2.970498e-03
0.000000e+00,3.278534e-09,3.880924e-08,4.042186e-08,2.311483e-07,7.868273e-07,8.213111e-07,2.002928e-06,3.544081e-06,3.649424e-06,5.403613e-06,6.905945e-06,7.029116e-06,8.461988e-06,9.586844e-06,9.702668e-06,1.076653e-05,1.157044e-05,1.167115e-05,1.243335e-05,1.298679e-05,1.306863e-05,1.359106e-05,1.395206e-05,1.401340e-05,1.434710e-05,1.456188e-05,1.460251e-05,1.478887e-05,1.489386e-05,1.491450e-05,1.498683e-05,1.501054e-05,1.501250e-05,1.499744e-05,1.496205e-05,1.494697e-05,1.486579e-05,1.478845e-05,1.475813e-05,1.462771e-05,1.452161e-05,1.447788e-05,1.431160e-05,1.418682e-05,1.413148e-05,1.393986e-05,1.380405e-05,1.373880e-05,1.353012e-05,1.338901e-05,1.331543e-05,1.309616e-05,1.295400e-05,1.287355e-05,1.264869e-05,1.250858e-05,1.242256e-05,1.219599e-05,1.206015e-05,1.196972e-05,1.174439e-05,1.161435e-05,1.152055e-05,1.129867e-05,1.117543e-05,1.107916e-05,1.086238e-05,1.074656e-05,1.064861e-05,1.043811e-05,1.033001e-05,1.023108e-05,1.002769e-05,9.927404e-06,9.828075e-06,9.632341e-06,9.539792e-06,9.440569e-06,9.252820e-06,9.167817e-06,9.069131e-06,8.889525e-06,8.811795e-06,8.714010e-06,8.542578e-06,8.471791e-06,8.375212e-06,8.211886e-06,8.147678e-06,8.052562e-06,7.897197e-06,7.839186e-06,7.745742e-06,7.598142e-06,7.545938e-06,7.454338e-06,7.314267e-06,7.267481e-06,7.177862e-06,7.045057e-06,7.003308e-06,6.915780e-06,6.789960e-06,6.752877e-06,6.667524e-06,6.548399e-06,6.515627e-06,6.432511e-06,6.319786e-06,6.290986e-06,6.210150e-06,6.103530e-06,6.078382e-06,5.999853e-06,5.899047e-06,5.877248e-06,5.801040e-06,5.705762e-06,5.687027e-06,5.613142e-06,5.523114e-06,5.507178e-06,5.435608e-06,5.350559e-06,5.337174e-06,5.267901e-06,5.187572e-06,5.176508e-06,5.109509e-06,5.033651e-06,5.024693e-06,4.959937e-06,4.888310e-06,4.881260e-06,4.818713e-06,4.751089e-06,4.745763e-06,4.685384e-06,4.621546e-06,4.617773e-06,4.559521e-06,4.499260e-06,4.496886e-06,4.440713e-06,4.383833e-06,4.382712e-06,4.328571e-06,4.274884e-06,4.173053e-06,4.076888e-06,3.986074e-06,3.900314e-06,3.819327e-06,3.742845e-06,3.670616e-06,3.602403e-06,3.537979e-06,3.477132e-06,3.419660e-06,3.365372e-06,3.314089e-06,3.265642e-06,3.219869e-06,3.176619e-06,3.135750e-06,3.097126e-06,3.060620e-06,3.026111e-06,2.993486e-06,2.962639e-06,2.933467e-06,2.905875e-06,2.879773e-06,2.855077e-06,2.831705e-06,2.809583e-06,2.788640e-06,2.768806e-06,2.750020e-06,2.732222e-06,2.715354e-06,2.699364e-06,2.684202e-06,2.669819e-06,2.656172e-06,2.643218e-06,2.630918e-06,2.619234e-06,2.608130e-06,2.597575e-06,2.587536e-06,2.577983e-06,2.568889e-06,2.560228e-06,2.551974e-06,2.544106e-06,2.536599e-06
0.000000e+00,8.661888e-08,1.704053e-06,1.787605e-06,1.314420e-05,5.002929e-05,5.236927e-05,1.320757e-04,2.314421e-04,2.380711e-04,3.470345e-04,4.395162e-04,4.470870e-04,5.350506e-04,6.039383e-04,6.110222e-04,6.760132e-04,7.250493e-04,7.311901e-04,7.776654e-04,8.114486e-04,8.164504e-04,8.484525e-04,8.706883e-04,8.744826e-04,8.952645e-04,9.088440e-04,9.114429e-04,9.235909e-04,9.307513e-04,9.322173e-04,9.377728e-04,9.402326e-04,9.406563e-04,9.412203e-04,9.402911e-04,9.397770e-04,9.365999e-04,9.332752e-04,9.319296e-04,9.259781e-04,9.210058e-04,9.189326e-04,9.109571e-04,9.048987e-04,9.021956e-04,8.927752e-04,8.860501e-04,8.828068e-04,8.723878e-04,8.653062e-04,8.616033e-04,8.505280e-04,8.433178e-04,8.392273e-04,8.277580e-04,8.205845e-04,8.161700e-04,8.045063e-04,7.974877e-04,7.928047e-04,7.810979e-04,7.743169e-04,7.694143e-04,7.577784e-04,7.512911e-04,7.462113e-04,7.347312e-04,7.285737e-04,7.233536e-04,7.120918e-04,7.062852e-04,7.009570e-04,6.899586e-04,6.845132e-04,6.791047e-04,6.684018e-04,6.633196e-04,6.578551e-04,6.474691e-04,6.427465e-04,6.372472e-04,6.271918e-04,6.228207e-04,6.173049e-04,6.075878e-04,6.035574e-04,5.980412e-04,5.886653e-04,5.849628e-04,5.794601e-04,5.704251e-04,5.670362e-04,5.615593e-04,5.528619e-04,5.497718e-04,5.443315e-04,5.359667e-04,5.331600e-04,5.277657e-04,5.197269e-04,5.171884e-04,5.118483e-04,5.041280e-04,5.018424e-04,4.965637e-04,4.891534e-04,4.871059e-04,4.818949e-04,4.747858e-04,4.729617e-04,4.678240e-04,4.610070e-04,4.593923e-04,4.543326e-04,4.477985e-04,4.463795e-04,4.414022e-04,4.351414e-04,4.339053e-04,4.290139e-04,4.230172e-04,4.219515e-04,4.171491e-04,4.114072e-04,4.105001e-04,4.057894e-04,4.002932e-04,3.995334e-04,3.949166e-04,3.896573e-04,3.890339e-04,3.845130e-04,3.794817e-04,3.789847e-04,3.745613e-04,3.697495e-04,3.693692e-04,3.650444e-04,3.604439e-04,3.601712e-04,3.559460e-04,3.515487e-04,3.513749e-04,3.472501e-04,3.430482e-04,3.429652e-04,3.389412e-04,3.349272e-04,3.272467e-04,3.199099e-04,3.129033e-04,3.062141e-04,2.998297e-04,2.937383e-04,2.879281e-04,2.823879e-04,2.771071e-04,2.720751e-04,2.672820e-04,2.627181e-04,2.583741e-04,2.542410e-04,2.503103e-04,2.465736e-04,2.430229e-04,2.396505e-04,2.364490e-04,2.334113e-04,2.305305e-04,2.278000e-04,2.252134e-04,2.227646e-04,2.204477e-04,2.182571e-04,2.161873e-04,2.142330e-04,2.123892e-04,2.106511e-04,2.090139e-04,2.074733e-04,2.060248e-04,2.046642e-04,2.033878e-04,2.021914e-04,2.010716e-04,2.000247e-04,1.990473e-04,1.981361e-04,1.972880e-04,1.965000e-04,1.957691e-04,1.950926e-04,1.944677e-04,1.938920e-04,1.933628e-04,1.928779e-04,1.924350e-04
0.000000e+00,7.854152e-06,1.688195e-04,1.774076e-04,1.458041e-03,6.391962e-03,6.733580e-03,2.006829e-02,4.132573e-02,4.293893e-02,7.332391e-02,1.054272e-01,1.083373e-01,1.455525e-01,1.794247e-01,1.831635e-01,2.198905e-01,2.507793e-01,2.548622e-01,2.875165e-01,3.134874e-01,3.175209e-01,3.447118e-01,3.653447e-01,3.690475e-01,3.905730e-01,4.061983e-01,4.093921e-01,4.256476e-01,4.369175e-01,4.395058e-01,4.511450e-01,4.588006e-01,4.607477e-01,4.684942e-01,4.732479e-01,4.745591e-01,4.791081e-01,4.815903e-01,4.822967e-01,4.842693e-01,4.850117e-01,4.851588e-01,4.850865e-01,4.845232e-01,4.841629e-01,4.824878e-01,4.809657e-01,4.801512e-01,4.772340e-01,4.750262e-01,4.738088e-01,4.699405e-01,4.672593e-01,4.656871e-01,4.611004e-01,4.581098e-01,4.562267e-01,4.511072e-01,4.479330e-01,4.457787e-01,4.402742e-01,4.370126e-01,4.346229e-01,4.288512e-01,4.255751e-01,4.229823e-01,4.170372e-01,4.138019e-01,4.110348e-01,4.049916e-01,4.018382e-01,3.989229e-01,3.928421e-01,3.898009e-01,3.867611e-01,3.806909e-01,3.777839e-01,3.746411e-01,3.686203e-01,3.658627e-01,3.626363e-01,3.566960e-01,3.540977e-01,3.508056e-01,3.449705e-01,3.425375e-01,3.391956e-01,3.334854e-01,3.312202e-01,3.278435e-01,3.222734e-01,3.201762e-01,3.167780e-01,3.113598e-01,3.094286e-01,3.060211e-01,3.007638e-01,2.989952e-01,2.955896e-01,2.904997e-01,2.888889e-01,2.854953e-01,2.805773e-01,2.791189e-01,2.757465e-01,2.710033e-01,2.696910e-01,2.663482e-01,2.617813e-01,2.606084e-01,2.573028e-01,2.529126e-01,2.518721e-01,2.486106e-01,2.443966e-01,2.434813e-01,2.402701e-01,2.362309e-01,2.354335e-01,2.322784e-01,2.284121e-01,2.277253e-01,2.246314e-01,2.209356e-01,2.203521e-01,2.173239e-01,2.137958e-01,2.133084e-01,2.103503e-01,2.069866e-01,2.065884e-01,2.037039e-01,2.005013e-01,2.001854e-01,1.973779e-01,1.943327e-01,1.940924e-01,1.913649e-01,1.884734e-01,1.883023e-01,1.856573e-01,1.829155e-01,1.828074e-01,1.802472e-01,1.776512e-01,1.776000e-01,1.751265e-01,1.726722e-01,1.680159e-01,1.636232e-01,1.594858e-01,1.555954e-01,1.519440e-01,1.485232e-01,1.453249e-01,1.423407e-01,1.395624e-01,1.369819e-01,1.345910e-01,1.323817e-01,1.303458e-01,1.284753e-01,1.267624e-01,1.251991e-01,1.237779e-01,1.224910e-01,1.213309e-01,1.202902e-01,1.193617e-01,1.185384e-01,1.178131e-01,1.171794e-01,1.166304e-01,1.161600e-01,1.157619e-01,1.154302e-01,1.151591e-01,1.149432e-01,1.147772e-01,1.146561e-01,1.145751e-01,1.145296e-01,1.145154e-01,1.145285e-01,1.145651e-01,1.146215e-01,1.146945e-01,1.147811e-01,1.148784e-01,1.149838e-01,1.150949e-01,1.152096e-01,1.153258e-01,1.154419e-01,1.155562e-01,1.156674e-01,1.157742e-01
0.000000e+00,7.679718e-06,1.512416e-04,1.586447e-04,1.228484e-03,5.412112e-03,5.708680e-03,1.792436e-02,3.945158e-02,4.116493e-02,7.495505e-02,1.130355e-01,1.165844e-01,1.631922e-01,2.074164e-01,2.123971e-01,2.623463e-01,3.057989e-01,3.116432e-01,3.592633e-01,3.983150e-01,4.044802e-01,4.468027e-01,4.798880e-01,4.859241e-01,5.216809e-01,5.484501e-01,5.540191e-01,5.829670e-01,6.037427e-01,6.086139e-01,6.310921e-01,6.465289e-01,6.505637e-01,6.672094e-01,6.780878e-01,6.812206e-01,6.927921e-01,6.998986e-01,7.021180e-01,7.093879e-01,7.134518e-01,7.147841e-01,7.184800e-01,7.201434e-01,7.206390e-01,7.214139e-01,7.212230e-01,7.209465e-01,7.193678e-01,7.177761e-01,7.167983e-01,7.133483e-01,7.107250e-01,7.091183e-01,7.041998e-01,7.008413e-01,6.986758e-01,6.926217e-01,6.887633e-01,6.861053e-01,6.791880e-01,6.750144e-01,6.719253e-01,6.643668e-01,6.600218e-01,6.565575e-01,6.485378e-01,6.441326e-01,6.403440e-01,6.320087e-01,6.276282e-01,6.235612e-01,6.150278e-01,6.107365e-01,6.064323e-01,5.977959e-01,5.936416e-01,5.891377e-01,5.804747e-01,5.764925e-01,5.718224e-01,5.631946e-01,5.594093e-01,5.546036e-01,5.460605e-01,5.424891e-01,5.375752e-01,5.291565e-01,5.258095e-01,5.208124e-01,5.125498e-01,5.094327e-01,5.043750e-01,4.962936e-01,4.934081e-01,4.883105e-01,4.804300e-01,4.777746e-01,4.726558e-01,4.649913e-01,4.625624e-01,4.574394e-01,4.500026e-01,4.477943e-01,4.426829e-01,4.354822e-01,4.334875e-01,4.284018e-01,4.214431e-01,4.196538e-01,4.146068e-01,4.078939e-01,4.063012e-01,4.013048e-01,3.948397e-01,3.934341e-01,3.884989e-01,3.822824e-01,3.810539e-01,3.761899e-01,3.702213e-01,3.691601e-01,3.643761e-01,3.586538e-01,3.577496e-01,3.530538e-01,3.475754e-01,3.468181e-01,3.422178e-01,3.369802e-01,3.363598e-01,3.318617e-01,3.268613e-01,3.263677e-01,3.219778e-01,3.172104e-01,3.168339e-01,3.125577e-01,3.080187e-01,3.077499e-01,3.035921e-01,2.992767e-01,2.991064e-01,2.950713e-01,2.909744e-01,2.908935e-01,2.869848e-01,2.831011e-01,2.757185e-01,2.687349e-01,2.621392e-01,2.559201e-01,2.500662e-01,2.445658e-01,2.394073e-01,2.345791e-01,2.300692e-01,2.258659e-01,2.219574e-01,2.183319e-01,2.149775e-01,2.118827e-01,2.090356e-01,2.064249e-01,2.040389e-01,2.018663e-01,1.998960e-01,1.981170e-01,1.965183e-01,1.950893e-01,1.938196e-01,1.926990e-01,1.917176e-01,1.908656e-01,1.901338e-01,1.895129e-01,1.889942e-01,1.885693e-01,1.882300e-01,1.879685e-01,1.877774e-01,1.876496e-01,1.875784e-01,1.875573e-01,1.875803e-01,1.876418e-01,1.877364e-01,1.878591e-01,1.880054e-01,1.881709e-01,1.883516e-01,1.885439e-01,1.887444e-01,1.889502e-01,1.891584e-01,1.893666e-01,1.895725e-01
0.000000e+00,3.990144e-09,5.871257e-08,6.142009e-08,4.138018e-07,1.515534e-06,1.584428e-06,3.868481e-06,6.574653e-06,6.752299e-06,9.685478e-06,1.227128e-05,1.248965e-05,1.512770e-05,1.735678e-05,1.759609e-05,1.989929e-05,2.179459e-05,2.204377e-05,2.403643e-05,2.563398e-05,2.588420e-05,2.759396e-05,2.892846e-05,2.917248e-05,3.062636e-05,3.173005e-05,3.196203e-05,3.318572e-05,3.408808e-05,3.430342e-05,3.532092e-05,3.604857e-05,3.624375e-05,3.707720e-05,3.765397e-05,3.782634e-05,3.849598e-05,3.894304e-05,3.909072e-05,3.961492e-05,3.995101e-05,4.007274e-05,4.046814e-05,4.070978e-05,4.080485e-05,4.108648e-05,4.124825e-05,4.131640e-05,4.149780e-05,4.159245e-05,4.163376e-05,4.172714e-05,4.176583e-05,4.178068e-05,4.179699e-05,4.178949e-05,4.177852e-05,4.172760e-05,4.168239e-05,4.164643e-05,4.153709e-05,4.146154e-05,4.140155e-05,4.124168e-05,4.114219e-05,4.105925e-05,4.085593e-05,4.073800e-05,4.063329e-05,4.039283e-05,4.026122e-05,4.013595e-05,3.986399e-05,3.972274e-05,3.957819e-05,3.927975e-05,3.913234e-05,3.896979e-05,3.864935e-05,3.849872e-05,3.831945e-05,3.798100e-05,3.782961e-05,3.763491e-05,3.728199e-05,3.713192e-05,3.692304e-05,3.655879e-05,3.641176e-05,3.618993e-05,3.581712e-05,3.567455e-05,3.544097e-05,3.506205e-05,3.492507e-05,3.468091e-05,3.429804e-05,3.416756e-05,3.391393e-05,3.352901e-05,3.340574e-05,3.314371e-05,3.275841e-05,3.264287e-05,3.237347e-05,3.198923e-05,3.188181e-05,3.160601e-05,3.122411e-05,3.112506e-05,3.084378e-05,3.046530e-05,3.037477e-05,3.008890e-05,2.971478e-05,2.963281e-05,2.934317e-05,2.897423e-05,2.890078e-05,2.860815e-05,2.824509e-05,2.818007e-05,2.788518e-05,2.752856e-05,2.747182e-05,2.717536e-05,2.682567e-05,2.677700e-05,2.647961e-05,2.613726e-05,2.609643e-05,2.579871e-05,2.546402e-05,2.543077e-05,2.513326e-05,2.480649e-05,2.478052e-05,2.448376e-05,2.416510e-05,2.414611e-05,2.385056e-05,2.354017e-05,2.352784e-05,2.323395e-05,2.293192e-05,2.292592e-05,2.263409e-05,2.234048e-05,2.177159e-05,2.121924e-05,2.068338e-05,2.016390e-05,1.966067e-05,1.917351e-05,1.870219e-05,1.824650e-05,1.780617e-05,1.738092e-05,1.697047e-05,1.657452e-05,1.619274e-05,1.582482e-05,1.547044e-05,1.512926e-05,1.480096e-05,1.448519e-05,1.418162e-05,1.388993e-05,1.360979e-05,1.334086e-05,1.308282e-05,1.283536e-05,1.259816e-05,1.237090e-05,1.215329e-05,1.194503e-05,1.174582e-05,1.155538e-05,1.137341e-05,1.119966e-05,1.103385e-05,1.087571e-05,1.072500e-05,1.058146e-05,1.044485e-05,1.031493e-05,1.019147e-05,1.007424e-05,9.963029e-06,9.857622e-06,9.757810e-06,9.663394e-06,9.574176e-06,9.489966e-06,9.410580e-06,9.335838e-06,9.265566e-06
0.000000e+00,8.952169e-10,1.307992e-08,1.367668e-08,8.822949e-08,3.032074e-07,3.160968e-07,7.213758e-07,1.166605e-06,1.194944e-06,1.650565e-06,2.034909e-06,2.066658e-06,2.441404e-06,2.745050e-06,2.776914e-06,3.075975e-06,3.311227e-06,3.341389e-06,3.575817e-06,3.754551e-06,3.781757e-06,3.961557e-06,4.093992e-06,4.117404e-06,4.251336e-06,4.346140e-06,4.365247e-06,4.460890e-06,4.525348e-06,4.539890e-06,4.603747e-06,4.643937e-06,4.653844e-06,4.691457e-06,4.712418e-06,4.717758e-06,4.733828e-06,4.739719e-06,4.740658e-06,4.739160e-06,4.733396e-06,4.730169e-06,4.714452e-06,4.699828e-06,4.692713e-06,4.665597e-06,4.644389e-06,4.633693e-06,4.597541e-06,4.571597e-06,4.557637e-06,4.514431e-06,4.485238e-06,4.468336e-06,4.419729e-06,4.388484e-06,4.368955e-06,4.316325e-06,4.283977e-06,4.262127e-06,4.206618e-06,4.173918e-06,4.150037e-06,4.092597e-06,4.060128e-06,4.034493e-06,3.975901e-06,3.944115e-06,3.916981e-06,3.857877e-06,3.827114e-06,3.798719e-06,3.739625e-06,3.710135e-06,3.680699e-06,3.622037e-06,3.593998e-06,3.563723e-06,3.505831e-06,3.479362e-06,3.448430e-06,3.391578e-06,3.366751e-06,3.335328e-06,3.279727e-06,3.256577e-06,3.224814e-06,3.170624e-06,3.149157e-06,3.117187e-06,3.064529e-06,3.044728e-06,3.012672e-06,2.961634e-06,2.943464e-06,2.911430e-06,2.862071e-06,2.845483e-06,2.813566e-06,2.765921e-06,2.750858e-06,2.719142e-06,2.673229e-06,2.659625e-06,2.628184e-06,2.584005e-06,2.571789e-06,2.540689e-06,2.498233e-06,2.487334e-06,2.456631e-06,2.415877e-06,2.406221e-06,2.375964e-06,2.336883e-06,2.328397e-06,2.298627e-06,2.261185e-06,2.253793e-06,2.224547e-06,2.188704e-06,2.182335e-06,2.153643e-06,2.119354e-06,2.113939e-06,2.085825e-06,2.053045e-06,2.048515e-06,2.021001e-06,1.989681e-06,1.985971e-06,1.959073e-06,1.929165e-06,1.926212e-06,1.899944e-06,1.871397e-06,1.869142e-06,1.843512e-06,1.816277e-06,1.814663e-06,1.789679e-06,1.763706e-06,1.762680e-06,1.738346e-06,1.713586e-06,1.713097e-06,1.689415e-06,1.665819e-06,1.620755e-06,1.577814e-06,1.536908e-06,1.497951e-06,1.460862e-06,1.425559e-06,1.391966e-06,1.360007e-06,1.329610e-06,1.300706e-06,1.273228e-06,1.247113e-06,1.222299e-06,1.198726e-06,1.176340e-06,1.155084e-06,1.134907e-06,1.115761e-06,1.097596e-06,1.080369e-06,1.064034e-06,1.048552e-06,1.033881e-06,1.019984e-06,1.006825e-06,9.943695e-07,9.825835e-07,9.714359e-07,9.608964e-07,9.509361e-07,9.415274e-07,9.326442e-07,9.242613e-07,9.163547e-07,9.089016e-07,9.018802e-07,8.952696e-07,8.890500e-07,8.832024e-07,8.777086e-07,8.725515e-07,8.677145e-07,8.631818e-07,8.589386e-07,8.549705e-07,8.512638e-07,8.478055e-07,8.445833e-07,8.415851e-07
0.000000e+00,6.318821e-10,1.121255e-08,1.175291e-08,7.982423e-08,2.629859e-07,2.732939e-07,5.678137e-07,8.581948e-07,8.763066e-07,1.167045e-06,1.414894e-06,1.435557e-06,1.682189e-06,1.886357e-06,1.908041e-06,2.114308e-06,2.280555e-06,2.302163e-06,2.472742e-06,2.606455e-06,2.627135e-06,2.766384e-06,2.872380e-06,2.891485e-06,3.003387e-06,3.085926e-06,3.102984e-06,3.191127e-06,3.253932e-06,3.268613e-06,3.336197e-06,3.382494e-06,3.394585e-06,3.444442e-06,3.477012e-06,3.486391e-06,3.521017e-06,3.542248e-06,3.548866e-06,3.570453e-06,3.582388e-06,3.586257e-06,3.596726e-06,3.601107e-06,3.602281e-06,3.603314e-06,3.601622e-06,3.600192e-06,3.593257e-06,3.586748e-06,3.582831e-06,3.569211e-06,3.558948e-06,3.552677e-06,3.533488e-06,3.520366e-06,3.511888e-06,3.488102e-06,3.472870e-06,3.462341e-06,3.434801e-06,3.418086e-06,3.405666e-06,3.375103e-06,3.357425e-06,3.343273e-06,3.310320e-06,3.292108e-06,3.276383e-06,3.241587e-06,3.223194e-06,3.206050e-06,3.169882e-06,3.151592e-06,3.133182e-06,3.096044e-06,3.078088e-06,3.058555e-06,3.020795e-06,3.003354e-06,2.982837e-06,2.944749e-06,2.927966e-06,2.906595e-06,2.868431e-06,2.852412e-06,2.830311e-06,2.792284e-06,2.777109e-06,2.754394e-06,2.716683e-06,2.702407e-06,2.679187e-06,2.641940e-06,2.628598e-06,2.604974e-06,2.568317e-06,2.555928e-06,2.531994e-06,2.496027e-06,2.484597e-06,2.460438e-06,2.425246e-06,2.414767e-06,2.390465e-06,2.356112e-06,2.346571e-06,2.322198e-06,2.288735e-06,2.280110e-06,2.255734e-06,2.223202e-06,2.215465e-06,2.191147e-06,2.159574e-06,2.152693e-06,2.128488e-06,2.097893e-06,2.091834e-06,2.067792e-06,2.038187e-06,2.032911e-06,2.009079e-06,1.980469e-06,1.975938e-06,1.952356e-06,1.924739e-06,1.920912e-06,1.897617e-06,1.870989e-06,1.867826e-06,1.844851e-06,1.819200e-06,1.816662e-06,1.794035e-06,1.769350e-06,1.767395e-06,1.745142e-06,1.721406e-06,1.719997e-06,1.698139e-06,1.675335e-06,1.674432e-06,1.652989e-06,1.631096e-06,1.630663e-06,1.609652e-06,1.588649e-06,1.548347e-06,1.509712e-06,1.472697e-06,1.437255e-06,1.403340e-06,1.370902e-06,1.339894e-06,1.310269e-06,1.281979e-06,1.254977e-06,1.229219e-06,1.204658e-06,1.181251e-06,1.158954e-06,1.137725e-06,1.117524e-06,1.098309e-06,1.080043e-06,1.062686e-06,1.046203e-06,1.030558e-06,1.015717e-06,1.001645e-06,9.883115e-07,9.756843e-07,9.637334e-07,9.524298e-07,9.417454e-07,9.316531e-07,9.221266e-07,9.131408e-07,9.046715e-07,8.966951e-07,8.891892e-07,8.821321e-07,8.755030e-07,8.692817e-07,8.634490e-07,8.579862e-07,8.528757e-07,8.481001e-07,8.436431e-07,8.394889e-07,8.356222e-07,8.320285e-07,8.286939e-07,8.256049e-07,8.227487e-07,8.201130e-07
0.000000e+00,4.778072e-09,5.948751e-08,6.203246e-08,3.699364e-07,1.276935e-06,1.333070e-06,3.219370e-06,5.546893e-06,5.701947e-06,8.273294e-06,1.053771e-05,1.072841e-05,1.302365e-05,1.494916e-05,1.515503e-05,1.712730e-05,1.873659e-05,1.894717e-05,2.062181e-05,2.195138e-05,2.215848e-05,2.356435e-05,2.464937e-05,2.484648e-05,2.601170e-05,2.688462e-05,2.706666e-05,2.801768e-05,2.870780e-05,2.887091e-05,2.963227e-05,3.016598e-05,3.030738e-05,3.090160e-05,3.130226e-05,3.142004e-05,3.186754e-05,3.215573e-05,3.224870e-05,3.256788e-05,3.276163e-05,3.282920e-05,3.303657e-05,3.315162e-05,3.319369e-05,3.330405e-05,3.335408e-05,3.337095e-05,3.339751e-05,3.339437e-05,3.338667e-05,3.334120e-05,3.329514e-05,3.326372e-05,3.315671e-05,3.307655e-05,3.302248e-05,3.286324e-05,3.275654e-05,3.268104e-05,3.247781e-05,3.235104e-05,3.225540e-05,3.201552e-05,3.187415e-05,3.175977e-05,3.148967e-05,3.133836e-05,3.120665e-05,3.091204e-05,3.075468e-05,3.060708e-05,3.029296e-05,3.013281e-05,2.997077e-05,2.964153e-05,2.948128e-05,2.930621e-05,2.896570e-05,2.880756e-05,2.862085e-05,2.827243e-05,2.811819e-05,2.792118e-05,2.756776e-05,2.741884e-05,2.721283e-05,2.685695e-05,2.671446e-05,2.650068e-05,2.614452e-05,2.600931e-05,2.578894e-05,2.543437e-05,2.530705e-05,2.508121e-05,2.472984e-05,2.461084e-05,2.438058e-05,2.403375e-05,2.392333e-05,2.368964e-05,2.334850e-05,2.324678e-05,2.301058e-05,2.267608e-05,2.258306e-05,2.234521e-05,2.201813e-05,2.193374e-05,2.169502e-05,2.137600e-05,2.130006e-05,2.106122e-05,2.075076e-05,2.068306e-05,2.044475e-05,2.014325e-05,2.008350e-05,1.984635e-05,1.955410e-05,1.950199e-05,1.926655e-05,1.898375e-05,1.893894e-05,1.870572e-05,1.843249e-05,1.839462e-05,1.816408e-05,1.790049e-05,1.786919e-05,1.764173e-05,1.738778e-05,1.736265e-05,1.713864e-05,1.689430e-05,1.687496e-05,1.665472e-05,1.641989e-05,1.640595e-05,1.618978e-05,1.596434e-05,1.595542e-05,1.574355e-05,1.552736e-05,1.552308e-05,1.531572e-05,1.510860e-05,1.471162e-05,1.433173e-05,1.396850e-05,1.362148e-05,1.329020e-05,1.297419e-05,1.267296e-05,1.238602e-05,1.211287e-05,1.185304e-05,1.160602e-05,1.137134e-05,1.114852e-05,1.093710e-05,1.073662e-05,1.054664e-05,1.036670e-05,1.019640e-05,1.003532e-05,9.883051e-06,9.739209e-06,9.603419e-06,9.475315e-06,9.354547e-06,9.240776e-06,9.133676e-06,9.032931e-06,8.938240e-06,8.849312e-06,8.765867e-06,8.687638e-06,8.614367e-06,8.545808e-06,8.481726e-06,8.421894e-06,8.366095e-06,8.314123e-06,8.265780e-06,8.220876e-06,8.179231e-06,8.140672e-06,8.105033e-06,8.072159e-06,8.041898e-06,8.014108e-06,7.988652e-06,7.965401e-06,7.944231e-06,7.925023e-06
0.000000e+00,1.542300e-10,2.013275e-09,2.101064e-09,1.281386e-08,4.482152e-08,4.683040e-08,1.169992e-07,2.118822e-07,2.184995e-07,3.315213e-07,4.334330e-07,4.420377e-07,5.454140e-07,6.315602e-07,6.407288e-07,7.280924e-07,7.986926e-07,8.078818e-07,8.805358e-07,9.376471e-07,9.464944e-07,1.006187e-06,1.051788e-06,1.060025e-06,1.108398e-06,1.144249e-06,1.151679e-06,1.190218e-06,1.217858e-06,1.224345e-06,1.254374e-06,1.275140e-06,1.280597e-06,1.303290e-06,1.318335e-06,1.322711e-06,1.339101e-06,1.349413e-06,1.352688e-06,1.363683e-06,1.370107e-06,1.372285e-06,1.378677e-06,1.381930e-06,1.383033e-06,1.385515e-06,1.386209e-06,1.386273e-06,1.385448e-06,1.384099e-06,1.383170e-06,1.379561e-06,1.376607e-06,1.374737e-06,1.368802e-06,1.364609e-06,1.361856e-06,1.353991e-06,1.348866e-06,1.345292e-06,1.335839e-06,1.330040e-06,1.325705e-06,1.314961e-06,1.308701e-06,1.303669e-06,1.291890e-06,1.285346e-06,1.279678e-06,1.267085e-06,1.260401e-06,1.254157e-06,1.240940e-06,1.234235e-06,1.227473e-06,1.213795e-06,1.207165e-06,1.199940e-06,1.185941e-06,1.179461e-06,1.171826e-06,1.157625e-06,1.151355e-06,1.143361e-06,1.129059e-06,1.123046e-06,1.114739e-06,1.100422e-06,1.094700e-06,1.086126e-06,1.071866e-06,1.066461e-06,1.057659e-06,1.043518e-06,1.038446e-06,1.029456e-06,1.015484e-06,1.010756e-06,1.001612e-06,9.878510e-07,9.834720e-07,9.742083e-07,9.606919e-07,9.566627e-07,9.473088e-07,9.340650e-07,9.303825e-07,9.209661e-07,9.080169e-07,9.046752e-07,8.952217e-07,8.825842e-07,8.795750e-07,8.701076e-07,8.577947e-07,8.551080e-07,8.456478e-07,8.336688e-07,8.312932e-07,8.218592e-07,8.102204e-07,8.081436e-07,7.987531e-07,7.874580e-07,7.856667e-07,7.763354e-07,7.653854e-07,7.638662e-07,7.546080e-07,7.440027e-07,7.427417e-07,7.335691e-07,7.233065e-07,7.222896e-07,7.132140e-07,7.032905e-07,7.025039e-07,6.935351e-07,6.839464e-07,6.833764e-07,6.745232e-07,6.652638e-07,6.648968e-07,6.561669e-07,6.472308e-07,6.470537e-07,6.384538e-07,6.298342e-07,6.132248e-07,5.972108e-07,5.817773e-07,5.669090e-07,5.525899e-07,5.388044e-07,5.255365e-07,5.127703e-07,5.004902e-07,4.886804e-07,4.773257e-07,4.664108e-07,4.559209e-07,4.458413e-07,4.361579e-07,4.268568e-07,4.179243e-07,4.093474e-07,4.011131e-07,3.932090e-07,3.856231e-07,3.783435e-07,3.713591e-07,3.646587e-07,3.582317e-07,3.520679e-07,3.461574e-07,3.404904e-07,3.350579e-07,3.298507e-07,3.248603e-07,3.200785e-07,3.154970e-07,3.111083e-07,3.069047e-07,3.028793e-07,2.990250e-07,2.953351e-07,2.918032e-07,2.884232e-07,2.851891e-07,2.820952e-07,2.791359e-07,2.763058e-07,2.736000e-07,2.710135e-07,2.685416e-07,2.661796e-07,2.639233e-07
0.000000e+00,7.373103e-08,2.162050e-06,2.283860e-06,2.151179e-05,8.811465e-05,9.223153e-05,2.228835e-04,3.742296e-04,3.842905e-04,5.535553e-04,7.071165e-04,7.202367e-04,8.802574e-04,1.017385e-03,1.032201e-03,1.175693e-03,1.294988e-03,1.310756e-03,1.437570e-03,1.540215e-03,1.556376e-03,1.667447e-03,1.754978e-03,1.771069e-03,1.867537e-03,1.941511e-03,1.957148e-03,2.040199e-03,2.102115e-03,2.116984e-03,2.187791e-03,2.239052e-03,2.252902e-03,2.312588e-03,2.354486e-03,2.367115e-03,2.416738e-03,2.450445e-03,2.461701e-03,2.502240e-03,2.528818e-03,2.538583e-03,2.570947e-03,2.591346e-03,2.599540e-03,2.624562e-03,2.639636e-03,2.646205e-03,2.664652e-03,2.675161e-03,2.680077e-03,2.692649e-03,2.699271e-03,2.702527e-03,2.709865e-03,2.713203e-03,2.714809e-03,2.717499e-03,2.718087e-03,2.718068e-03,2.716645e-03,2.714954e-03,2.713349e-03,2.708298e-03,2.704743e-03,2.701600e-03,2.693363e-03,2.688309e-03,2.683684e-03,2.672661e-03,2.666428e-03,2.660384e-03,2.646939e-03,2.639805e-03,2.632410e-03,2.616873e-03,2.609081e-03,2.600405e-03,2.583076e-03,2.574834e-03,2.564953e-03,2.546100e-03,2.537590e-03,2.526579e-03,2.506447e-03,2.497822e-03,2.485758e-03,2.464566e-03,2.455960e-03,2.442920e-03,2.420865e-03,2.412387e-03,2.398448e-03,2.375709e-03,2.367452e-03,2.352689e-03,2.329424e-03,2.321466e-03,2.305952e-03,2.282305e-03,2.274707e-03,2.258516e-03,2.234614e-03,2.227425e-03,2.210627e-03,2.186583e-03,2.179844e-03,2.162506e-03,2.138421e-03,2.132160e-03,2.114349e-03,2.090312e-03,2.084550e-03,2.066329e-03,2.042418e-03,2.037169e-03,2.018597e-03,1.994882e-03,1.990153e-03,1.971289e-03,1.947830e-03,1.943623e-03,1.924520e-03,1.901371e-03,1.897683e-03,1.878394e-03,1.855599e-03,1.852423e-03,1.832997e-03,1.810596e-03,1.807922e-03,1.788405e-03,1.766431e-03,1.764246e-03,1.744682e-03,1.723163e-03,1.721452e-03,1.701881e-03,1.680841e-03,1.679586e-03,1.660047e-03,1.639505e-03,1.638688e-03,1.619217e-03,1.599187e-03,1.598789e-03,1.579418e-03,1.559912e-03,1.522077e-03,1.485296e-03,1.449576e-03,1.414923e-03,1.381335e-03,1.348808e-03,1.317337e-03,1.286912e-03,1.257521e-03,1.229150e-03,1.201785e-03,1.175409e-03,1.150002e-03,1.125547e-03,1.102023e-03,1.079409e-03,1.057684e-03,1.036826e-03,1.016813e-03,9.976228e-04,9.792323e-04,9.616191e-04,9.447609e-04,9.286351e-04,9.132196e-04,8.984921e-04,8.844310e-04,8.710146e-04,8.582218e-04,8.460317e-04,8.344238e-04,8.233779e-04,8.128745e-04,8.028943e-04,7.934184e-04,7.844284e-04,7.759065e-04,7.678351e-04,7.601971e-04,7.529762e-04,7.461561e-04,7.397211e-04,7.336561e-04,7.279462e-04,7.225772e-04,7.175352e-04,7.128066e-04,7.083785e-04,7.042383e-04
0.000000e+00,5.582203e-07,1.132308e-05,1.187934e-05,8.945667e-05,3.653026e-04,3.839198e-04,1.102855e-03,2.278681e-03,2.370183e-03,4.147046e-03,6.112379e-03,6.294110e-03,8.661567e-03,1.087740e-02,1.112517e-02,1.359014e-02,1.570485e-02,1.598711e-02,1.826711e-02,2.010895e-02,2.039728e-02,2.235717e-02,2.386367e-02,2.413586e-02,2.572958e-02,2.689934e-02,2.713985e-02,2.837203e-02,2.923483e-02,2.943408e-02,3.033575e-02,3.093463e-02,3.108782e-02,3.170163e-02,3.208269e-02,3.218861e-02,3.256007e-02,3.276701e-02,3.282693e-02,3.299961e-02,3.307116e-02,3.308793e-02,3.310105e-02,3.307006e-02,3.304745e-02,3.293491e-02,3.282839e-02,3.277057e-02,3.256090e-02,3.240055e-02,3.231175e-02,3.202841e-02,3.183133e-02,3.171561e-02,3.137761e-02,3.115708e-02,3.101821e-02,3.064078e-02,3.040694e-02,3.024833e-02,2.984353e-02,2.960403e-02,2.942874e-02,2.900605e-02,2.876660e-02,2.857732e-02,2.814416e-02,2.790893e-02,2.770802e-02,2.727017e-02,2.704218e-02,2.683171e-02,2.639362e-02,2.617500e-02,2.595678e-02,2.552193e-02,2.531410e-02,2.508973e-02,2.466076e-02,2.446467e-02,2.423553e-02,2.381449e-02,2.363065e-02,2.339800e-02,2.298641e-02,2.281507e-02,2.258000e-02,2.217902e-02,2.202019e-02,2.178368e-02,2.139416e-02,2.124771e-02,2.101062e-02,2.063318e-02,2.049882e-02,2.026195e-02,1.989700e-02,1.977437e-02,1.953841e-02,1.918623e-02,1.907489e-02,1.884049e-02,1.850121e-02,1.840069e-02,1.816841e-02,1.784208e-02,1.775187e-02,1.752222e-02,1.720881e-02,1.712838e-02,1.690182e-02,1.660123e-02,1.653004e-02,1.630700e-02,1.601908e-02,1.595658e-02,1.573742e-02,1.546198e-02,1.540763e-02,1.519269e-02,1.492951e-02,1.488278e-02,1.467236e-02,1.442118e-02,1.438154e-02,1.417590e-02,1.393645e-02,1.390339e-02,1.370277e-02,1.347478e-02,1.344780e-02,1.325240e-02,1.303556e-02,1.301418e-02,1.282419e-02,1.261820e-02,1.260195e-02,1.241752e-02,1.222207e-02,1.221050e-02,1.203177e-02,1.184654e-02,1.183924e-02,1.166631e-02,1.149099e-02,1.148754e-02,1.132051e-02,1.115479e-02,1.084038e-02,1.054370e-02,1.026415e-02,1.000113e-02,9.754054e-03,9.522331e-03,9.305390e-03,9.102663e-03,8.913593e-03,8.737632e-03,8.574240e-03,8.422887e-03,8.283052e-03,8.154225e-03,8.035902e-03,7.927592e-03,7.828811e-03,7.739086e-03,7.657954e-03,7.584960e-03,7.519662e-03,7.461624e-03,7.410425e-03,7.365651e-03,7.326900e-03,7.293782e-03,7.265917e-03,7.242937e-03,7.224484e-03,7.210215e-03,7.199796e-03,7.192908e-03,7.189242e-03,7.188502e-03,7.190406e-03,7.194684e-03,7.201077e-03,7.209343e-03,7.219248e-03,7.230574e-03,7.243114e-03,7.256675e-03,7.271073e-03,7.286140e-03,7.301718e-03,7.317661e-03,7.333833e-03,7.350112e-03,7.366383e-03
0.000000e+00,1.083785e-07,2.133737e-06,2.238665e-06,1.726908e-05,7.291069e-05,7.670877e-05,2.222232e-04,4.453303e-04,4.617975e-04,7.587604e-04,1.044940e-03,1.069501e-03,1.363897e-03,1.601006e-03,1.625422e-03,1.847048e-03,2.008084e-03,2.027642e-03,2.169432e-03,2.263315e-03,2.276355e-03,2.353024e-03,2.397473e-03,2.404115e-03,2.434022e-03,2.445522e-03,2.446690e-03,2.445548e-03,2.436666e-03,2.433510e-03,2.413008e-03,2.392441e-03,2.386042e-03,2.354235e-03,2.327638e-03,2.318893e-03,2.281055e-03,2.251936e-03,2.241538e-03,2.200983e-03,2.171422e-03,2.159882e-03,2.118615e-03,2.089785e-03,2.077467e-03,2.036652e-03,2.009170e-03,1.996327e-03,1.956605e-03,1.930758e-03,1.917565e-03,1.879262e-03,1.855150e-03,1.841729e-03,1.804986e-03,1.782606e-03,1.769042e-03,1.733897e-03,1.713192e-03,1.699547e-03,1.665985e-03,1.646875e-03,1.633198e-03,1.601173e-03,1.583568e-03,1.569898e-03,1.539357e-03,1.523166e-03,1.509537e-03,1.480421e-03,1.465554e-03,1.451995e-03,1.424244e-03,1.410617e-03,1.397154e-03,1.370711e-03,1.358244e-03,1.344901e-03,1.319710e-03,1.308327e-03,1.295126e-03,1.271136e-03,1.260765e-03,1.247727e-03,1.224887e-03,1.215461e-03,1.202604e-03,1.180866e-03,1.172321e-03,1.159662e-03,1.138981e-03,1.131257e-03,1.118811e-03,1.099141e-03,1.092180e-03,1.079961e-03,1.061260e-03,1.055009e-03,1.043028e-03,1.025254e-03,1.019662e-03,1.007929e-03,9.910422e-04,9.860602e-04,9.745842e-04,9.585454e-04,9.541283e-04,9.429163e-04,9.276878e-04,9.237929e-04,9.128507e-04,8.983960e-04,8.949828e-04,8.843150e-04,8.705991e-04,8.676298e-04,8.572399e-04,8.442289e-04,8.416678e-04,8.315581e-04,8.192194e-04,8.170331e-04,8.072051e-04,7.955075e-04,7.936647e-04,7.841190e-04,7.730323e-04,7.715038e-04,7.622401e-04,7.517354e-04,7.504939e-04,7.415113e-04,7.315609e-04,7.305807e-04,7.218777e-04,7.124552e-04,7.117125e-04,7.032870e-04,6.943668e-04,6.938394e-04,6.856887e-04,6.772466e-04,6.769138e-04,6.690348e-04,6.610476e-04,6.608901e-04,6.532795e-04,6.457249e-04,6.313764e-04,6.178048e-04,6.049722e-04,5.928423e-04,5.813804e-04,5.705536e-04,5.603302e-04,5.506803e-04,5.415752e-04,5.329876e-04,5.248916e-04,5.172622e-04,5.100759e-04,5.033102e-04,4.969437e-04,4.909560e-04,4.853276e-04,4.800400e-04,4.750757e-04,4.704179e-04,4.660506e-04,4.619587e-04,4.581277e-04,4.545440e-04,4.511944e-04,4.480665e-04,4.451485e-04,4.424291e-04,4.398977e-04,4.375440e-04,4.353585e-04,4.333320e-04,4.314556e-04,4.297211e-04,4.281207e-04,4.266467e-04,4.252921e-04,4.240501e-04,4.229143e-04,4.218786e-04,4.209371e-04,4.200844e-04,4.193152e-04,4.186246e-04,4.180078e-04,4.174605e-04,4.169783e-04,4.165572e-04,4.161934e-04
0.000000e+00,6.503973e-09,7.741537e-08,8.064730e-08,4.580782e-07,1.503628e-06,1.566050e-06,3.542154e-06,5.759631e-06,5.902232e-06,8.209928e-06,1.017015e-05,1.033240e-05,1.224984e-05,1.380592e-05,1.396931e-05,1.550372e-05,1.671181e-05,1.686678e-05,1.807183e-05,1.899146e-05,1.913151e-05,2.005777e-05,2.074092e-05,2.086179e-05,2.155404e-05,2.204516e-05,2.214429e-05,2.264162e-05,2.297825e-05,2.305443e-05,2.339044e-05,2.360385e-05,2.365682e-05,2.386017e-05,2.397630e-05,2.400654e-05,2.410151e-05,2.414170e-05,2.415016e-05,2.415716e-05,2.413883e-05,2.412679e-05,2.406294e-05,2.400026e-05,2.396920e-05,2.384882e-05,2.375327e-05,2.370477e-05,2.353978e-05,2.342061e-05,2.335630e-05,2.315661e-05,2.302125e-05,2.294275e-05,2.271659e-05,2.257094e-05,2.247982e-05,2.223399e-05,2.208273e-05,2.198049e-05,2.172061e-05,2.156741e-05,2.145549e-05,2.118617e-05,2.103387e-05,2.091359e-05,2.063862e-05,2.048941e-05,2.036201e-05,2.008446e-05,1.993997e-05,1.980659e-05,1.952897e-05,1.939041e-05,1.925209e-05,1.897640e-05,1.884462e-05,1.870231e-05,1.843017e-05,1.830573e-05,1.816030e-05,1.789297e-05,1.777622e-05,1.762844e-05,1.736692e-05,1.725803e-05,1.710860e-05,1.685365e-05,1.675264e-05,1.660220e-05,1.635437e-05,1.626117e-05,1.611027e-05,1.586998e-05,1.578443e-05,1.563358e-05,1.540110e-05,1.532297e-05,1.517261e-05,1.494812e-05,1.487714e-05,1.472767e-05,1.451125e-05,1.444712e-05,1.429888e-05,1.409054e-05,1.403293e-05,1.388624e-05,1.368594e-05,1.363452e-05,1.348963e-05,1.329728e-05,1.325170e-05,1.310886e-05,1.292433e-05,1.288425e-05,1.274365e-05,1.256678e-05,1.253186e-05,1.239368e-05,1.222430e-05,1.219421e-05,1.205860e-05,1.189651e-05,1.187091e-05,1.173800e-05,1.158300e-05,1.156158e-05,1.143147e-05,1.128334e-05,1.126580e-05,1.113857e-05,1.099710e-05,1.098314e-05,1.085888e-05,1.072384e-05,1.071317e-05,1.059193e-05,1.046310e-05,1.045546e-05,1.033729e-05,1.021444e-05,1.020958e-05,1.009450e-05,9.977416e-06,9.975103e-06,9.863132e-06,9.751595e-06,9.538644e-06,9.335842e-06,9.142789e-06,8.959099e-06,8.784392e-06,8.618301e-06,8.460473e-06,8.310562e-06,8.168236e-06,8.033174e-06,7.905066e-06,7.783614e-06,7.668530e-06,7.559536e-06,7.456366e-06,7.358764e-06,7.266483e-06,7.179285e-06,7.096943e-06,7.019238e-06,6.945959e-06,6.876905e-06,6.811881e-06,6.750703e-06,6.693192e-06,6.639175e-06,6.588490e-06,6.540978e-06,6.496488e-06,6.454877e-06,6.416004e-06,6.379736e-06,6.345947e-06,6.314514e-06,6.285319e-06,6.258251e-06,6.233202e-06,6.210070e-06,6.188755e-06,6.169164e-06,6.151206e-06,6.134794e-06,6.119847e-06,6.106285e-06,6.094032e-06,6.083016e-06,6.073168e-06,6.064423e-06,6.056716e-06
0.000000e+00,1.914864e-09,2.900992e-08,3.033422e-08,1.905417e-07,6.212719e-07,6.461673e-07,1.400137e-06,2.204414e-06,2.255642e-06,3.086184e-06,3.801216e-06,3.861005e-06,4.576325e-06,5.170701e-06,5.233948e-06,5.836816e-06,6.324528e-06,6.388054e-06,6.890747e-06,7.286520e-06,7.347886e-06,7.762338e-06,8.079501e-06,8.136847e-06,8.474017e-06,8.724374e-06,8.776322e-06,9.046101e-06,9.239994e-06,9.285562e-06,9.496784e-06,9.643199e-06,9.681726e-06,9.842228e-06,9.948930e-06,9.980016e-06,1.009671e-05,1.017039e-05,1.019384e-05,1.027283e-05,1.031922e-05,1.033501e-05,1.038164e-05,1.040565e-05,1.041389e-05,1.043285e-05,1.043869e-05,1.043957e-05,1.043499e-05,1.042623e-05,1.042002e-05,1.039551e-05,1.037517e-05,1.036223e-05,1.032091e-05,1.029157e-05,1.027226e-05,1.021691e-05,1.018073e-05,1.015545e-05,1.008844e-05,1.004725e-05,1.001641e-05,9.939849e-06,9.895159e-06,9.859197e-06,9.774881e-06,9.727967e-06,9.687295e-06,9.596803e-06,9.548714e-06,9.503747e-06,9.408443e-06,9.360041e-06,9.311185e-06,9.212246e-06,9.164234e-06,9.111880e-06,9.010323e-06,8.963267e-06,8.907792e-06,8.804490e-06,8.758841e-06,8.700604e-06,8.596306e-06,8.552418e-06,8.491758e-06,8.387106e-06,8.345247e-06,8.282487e-06,8.178025e-06,8.138396e-06,8.073837e-06,7.970029e-06,7.932769e-06,7.866696e-06,7.763929e-06,7.729132e-06,7.661809e-06,7.560409e-06,7.528124e-06,7.459797e-06,7.360035e-06,7.330281e-06,7.261178e-06,7.163277e-06,7.136042e-06,7.066375e-06,6.970514e-06,6.945765e-06,6.875729e-06,6.782052e-06,6.759738e-06,6.689512e-06,6.598133e-06,6.578187e-06,6.507936e-06,6.418940e-06,6.401286e-06,6.331160e-06,6.244608e-06,6.229161e-06,6.159297e-06,6.075233e-06,6.061899e-06,5.992423e-06,5.910870e-06,5.899553e-06,5.830578e-06,5.751547e-06,5.742147e-06,5.673775e-06,5.597262e-06,5.589680e-06,5.522003e-06,5.447994e-06,5.442127e-06,5.375229e-06,5.303702e-06,5.299450e-06,5.233405e-06,5.164329e-06,5.161591e-06,5.096465e-06,5.029805e-06,5.028484e-06,4.964336e-06,4.900048e-06,4.776198e-06,4.656839e-06,4.541871e-06,4.431190e-06,4.324688e-06,4.222256e-06,4.123783e-06,4.029157e-06,3.938268e-06,3.851003e-06,3.767252e-06,3.686906e-06,3.609855e-06,3.535992e-06,3.465214e-06,3.397417e-06,3.332501e-06,3.270367e-06,3.210919e-06,3.154063e-06,3.099707e-06,3.047764e-06,2.998146e-06,2.950769e-06,2.905552e-06,2.862415e-06,2.821282e-06,2.782078e-06,2.744731e-06,2.709170e-06,2.675329e-06,2.643142e-06,2.612544e-06,2.583476e-06,2.555877e-06,2.529690e-06,2.504860e-06,2.481332e-06,2.459056e-06,2.437981e-06,2.418059e-06,2.399242e-06,2.381487e-06,2.364749e-06,2.348986e-06,2.334158e-06,2.320225e-06,2.307151e-06,2.294897e-06
0.000000e+00,2.049685e-07,3.964773e-06,4.156086e-06,3.029048e-05,1.214833e-04,1.275935e-04,3.592648e-04,7.172015e-04,7.439613e-04,1.236656e-03,1.732599e-03,1.776294e-03,2.316974e-03,2.780886e-03,2.830503e-03,3.301581e-03,3.675317e-03,3.723203e-03,4.093434e-03,4.371468e-03,4.413307e-03,4.685501e-03,4.879848e-03,4.913519e-03,5.101198e-03,5.227727e-03,5.252430e-03,5.370992e-03,5.444726e-03,5.460454e-03,5.524130e-03,5.557862e-03,5.565059e-03,5.585999e-03,5.590089e-03,5.589444e-03,5.577631e-03,5.560253e-03,5.552564e-03,5.516033e-03,5.483535e-03,5.469633e-03,5.414780e-03,5.372034e-03,5.352734e-03,5.284611e-03,5.235326e-03,5.211401e-03,5.133979e-03,5.080953e-03,5.053119e-03,4.969506e-03,4.914830e-03,4.883743e-03,4.796364e-03,4.741586e-03,4.707838e-03,4.618575e-03,4.564816e-03,4.528937e-03,4.439242e-03,4.387302e-03,4.349765e-03,4.260747e-03,4.211177e-03,4.172398e-03,4.084899e-03,4.038059e-03,3.998406e-03,3.913052e-03,3.869156e-03,3.828950e-03,3.746197e-03,3.705352e-03,3.664873e-03,3.585044e-03,3.547273e-03,3.506764e-03,3.430074e-03,3.395341e-03,3.355009e-03,3.281593e-03,3.249817e-03,3.209842e-03,3.139766e-03,3.110835e-03,3.071370e-03,3.004651e-03,2.978432e-03,2.939604e-03,2.876220e-03,2.852567e-03,2.814485e-03,2.754382e-03,2.733142e-03,2.695894e-03,2.638998e-03,2.620012e-03,2.583671e-03,2.529890e-03,2.513002e-03,2.477627e-03,2.426857e-03,2.411912e-03,2.377550e-03,2.329678e-03,2.316527e-03,2.283212e-03,2.238122e-03,2.226620e-03,2.194378e-03,2.151950e-03,2.141959e-03,2.110807e-03,2.070920e-03,2.062311e-03,2.032259e-03,1.994793e-03,1.987441e-03,1.958493e-03,1.923329e-03,1.917118e-03,1.889273e-03,1.856295e-03,1.851117e-03,1.824367e-03,1.793463e-03,1.789216e-03,1.763553e-03,1.734611e-03,1.731202e-03,1.706611e-03,1.679528e-03,1.676869e-03,1.653334e-03,1.628006e-03,1.626017e-03,1.603520e-03,1.579850e-03,1.578456e-03,1.556975e-03,1.534871e-03,1.534003e-03,1.513516e-03,1.492889e-03,1.492484e-03,1.472968e-03,1.453732e-03,1.417590e-03,1.383906e-03,1.352537e-03,1.323348e-03,1.296210e-03,1.271001e-03,1.247605e-03,1.225914e-03,1.205823e-03,1.187236e-03,1.170060e-03,1.154208e-03,1.139597e-03,1.126150e-03,1.113793e-03,1.102458e-03,1.092078e-03,1.082593e-03,1.073944e-03,1.066076e-03,1.058938e-03,1.052481e-03,1.046660e-03,1.041430e-03,1.036752e-03,1.032587e-03,1.028899e-03,1.025654e-03,1.022820e-03,1.020366e-03,1.018266e-03,1.016491e-03,1.015017e-03,1.013821e-03,1.012880e-03,1.012173e-03,1.011682e-03,1.011387e-03,1.011272e-03,1.011321e-03,1.011518e-03,1.011849e-03,1.012302e-03,1.012864e-03,1.013523e-03,1.014269e-03,1.015092e-03,1.015981e-03,1.016930e-03
0.000000e+00,8.092038e-09,1.681350e-07,1.764923e-07,1.227987e-06,3.908584e-06,4.052522e-06,7.982684e-06,1.174581e-05,1.198058e-05,1.576539e-05,1.902324e-05,1.929634e-05,2.257548e-05,2.531950e-05,2.561265e-05,2.841896e-05,3.070635e-05,3.100549e-05,3.338317e-05,3.526912e-05,3.556273e-05,3.755476e-05,3.909068e-05,3.936956e-05,4.101718e-05,4.225032e-05,4.250736e-05,4.384948e-05,4.482263e-05,4.505254e-05,4.612512e-05,4.687645e-05,4.707543e-05,4.791124e-05,4.847443e-05,4.863992e-05,4.926851e-05,4.967315e-05,4.980365e-05,5.025161e-05,5.052349e-05,5.061829e-05,5.090926e-05,5.107071e-05,5.112977e-05,5.128477e-05,5.135514e-05,5.137892e-05,5.141663e-05,5.141262e-05,5.140203e-05,5.133901e-05,5.127497e-05,5.123123e-05,5.108214e-05,5.097038e-05,5.089496e-05,5.067274e-05,5.052379e-05,5.041834e-05,5.013444e-05,4.995726e-05,4.982356e-05,4.948806e-05,4.929026e-05,4.913016e-05,4.875193e-05,4.853992e-05,4.835532e-05,4.794215e-05,4.772134e-05,4.751414e-05,4.707289e-05,4.684776e-05,4.661988e-05,4.615651e-05,4.593080e-05,4.568410e-05,4.520386e-05,4.498063e-05,4.471692e-05,4.422437e-05,4.400612e-05,4.372717e-05,4.322627e-05,4.301499e-05,4.272251e-05,4.221669e-05,4.201396e-05,4.170956e-05,4.120180e-05,4.100883e-05,4.069406e-05,4.018692e-05,4.000460e-05,3.968093e-05,3.917659e-05,3.900558e-05,3.867438e-05,3.817472e-05,3.801544e-05,3.767801e-05,3.718461e-05,3.703729e-05,3.669485e-05,3.620905e-05,3.607377e-05,3.572746e-05,3.525036e-05,3.512707e-05,3.477796e-05,3.431047e-05,3.419903e-05,3.384809e-05,3.339097e-05,3.329112e-05,3.293926e-05,3.249311e-05,3.240455e-05,3.205262e-05,3.161789e-05,3.154026e-05,3.118902e-05,3.076607e-05,3.069896e-05,3.034912e-05,2.993821e-05,2.988117e-05,2.953339e-05,2.913468e-05,2.908724e-05,2.874211e-05,2.835569e-05,2.831738e-05,2.797543e-05,2.760133e-05,2.757167e-05,2.723338e-05,2.687157e-05,2.685005e-05,2.651588e-05,2.616628e-05,2.615242e-05,2.582274e-05,2.548524e-05,2.547855e-05,2.515373e-05,2.482817e-05,2.420093e-05,2.359646e-05,2.301433e-05,2.245407e-05,2.191521e-05,2.139724e-05,2.089963e-05,2.042186e-05,1.996337e-05,1.952364e-05,1.910210e-05,1.869821e-05,1.831143e-05,1.794121e-05,1.758703e-05,1.724835e-05,1.692467e-05,1.661546e-05,1.632022e-05,1.603848e-05,1.576976e-05,1.551357e-05,1.526948e-05,1.503704e-05,1.481581e-05,1.460538e-05,1.440534e-05,1.421529e-05,1.403484e-05,1.386363e-05,1.370129e-05,1.354748e-05,1.340184e-05,1.326407e-05,1.313383e-05,1.301082e-05,1.289474e-05,1.278530e-05,1.268224e-05,1.258527e-05,1.249414e-05,1.240860e-05,1.232841e-05,1.225334e-05,1.218315e-05,1.211764e-05,1.205659e-05,1.199980e-05,1.194708e-05
0.000000e+00,6.312686e-08,1.049558e-06,1.098962e-06,7.663699e-06,2.834844e-05,2.963099e-05,7.118129e-05,1.186981e-04,1.217749e-04,1.719690e-04,2.153248e-04,2.189485e-04,2.622447e-04,2.981062e-04,3.019145e-04,3.381262e-04,3.672839e-04,3.710712e-04,4.009425e-04,4.243181e-04,4.279297e-04,4.522170e-04,4.706620e-04,4.739820e-04,4.933949e-04,5.076720e-04,5.106174e-04,5.258033e-04,5.365833e-04,5.390975e-04,5.506371e-04,5.585031e-04,5.605510e-04,5.689599e-04,5.744133e-04,5.759758e-04,5.817038e-04,5.851719e-04,5.862431e-04,5.896863e-04,5.915355e-04,5.921200e-04,5.936256e-04,5.941683e-04,5.942792e-04,5.941519e-04,5.936533e-04,5.933100e-04,5.918158e-04,5.905010e-04,5.897283e-04,5.871028e-04,5.851627e-04,5.839882e-04,5.804309e-04,5.780220e-04,5.764737e-04,5.721564e-04,5.694088e-04,5.675162e-04,5.625873e-04,5.596089e-04,5.574016e-04,5.519886e-04,5.488684e-04,5.463759e-04,5.405887e-04,5.373996e-04,5.346508e-04,5.285838e-04,5.253847e-04,5.224079e-04,5.161416e-04,5.129799e-04,5.098020e-04,5.034050e-04,5.003184e-04,4.969652e-04,4.904959e-04,4.875135e-04,4.840095e-04,4.775173e-04,4.746616e-04,4.710296e-04,4.645561e-04,4.618435e-04,4.581052e-04,4.516849e-04,4.491270e-04,4.453024e-04,4.389643e-04,4.365687e-04,4.326764e-04,4.264440e-04,4.242149e-04,4.202721e-04,4.141649e-04,4.121039e-04,4.081264e-04,4.021598e-04,4.002663e-04,3.962684e-04,3.904547e-04,3.887262e-04,3.847212e-04,3.790699e-04,3.775024e-04,3.735024e-04,3.680203e-04,3.666091e-04,3.626248e-04,3.573169e-04,3.560562e-04,3.520974e-04,3.469669e-04,3.458502e-04,3.419258e-04,3.369744e-04,3.359949e-04,3.321127e-04,3.273407e-04,3.264913e-04,3.226583e-04,3.180651e-04,3.173384e-04,3.135608e-04,3.091449e-04,3.085337e-04,3.048168e-04,3.005759e-04,3.000729e-04,2.964215e-04,2.923527e-04,2.919505e-04,2.883688e-04,2.844688e-04,2.841604e-04,2.806518e-04,2.769167e-04,2.766952e-04,2.732627e-04,2.696886e-04,2.695473e-04,2.661933e-04,2.627758e-04,2.627082e-04,2.594348e-04,2.561694e-04,2.499219e-04,2.439567e-04,2.382646e-04,2.328363e-04,2.276626e-04,2.227343e-04,2.180426e-04,2.135783e-04,2.093329e-04,2.052977e-04,2.014643e-04,1.978247e-04,1.943708e-04,1.910949e-04,1.879897e-04,1.850477e-04,1.822620e-04,1.796259e-04,1.771327e-04,1.747762e-04,1.725503e-04,1.704491e-04,1.684669e-04,1.665983e-04,1.648381e-04,1.631813e-04,1.616230e-04,1.601586e-04,1.587837e-04,1.574939e-04,1.562853e-04,1.551539e-04,1.540958e-04,1.531076e-04,1.521857e-04,1.513269e-04,1.505279e-04,1.497858e-04,1.490976e-04,1.484605e-04,1.478720e-04,1.473294e-04,1.468304e-04,1.463725e-04,1.459537e-04,1.455717e-04,1.452246e-04,1.449104e-04,1.446273e-04
0.000000e+00,2.933603e-08,5.096848e-07,5.341387e-07,3.932702e-06,1.569350e-05,1.646444e-05,4.373800e-05,7.896284e-05,8.132375e-05,1.201141e-04,1.530965e-04,1.558062e-04,1.874787e-04,2.126123e-04,2.152176e-04,2.393361e-04,2.578391e-04,2.601783e-04,2.780728e-04,2.913357e-04,2.933219e-04,3.062006e-04,3.153708e-04,3.169594e-04,3.258256e-04,3.318283e-04,3.330045e-04,3.386816e-04,3.422550e-04,3.430242e-04,3.461830e-04,3.479126e-04,3.482934e-04,3.494771e-04,3.498247e-04,3.498435e-04,3.494906e-04,3.488184e-04,3.485063e-04,3.469691e-04,3.455599e-04,3.449495e-04,3.425106e-04,3.405842e-04,3.397086e-04,3.365938e-04,3.343203e-04,3.332112e-04,3.296009e-04,3.271108e-04,3.257984e-04,3.218358e-04,3.192288e-04,3.177412e-04,3.135399e-04,3.108915e-04,3.092543e-04,3.049041e-04,3.022705e-04,3.005070e-04,2.960786e-04,2.935012e-04,2.916325e-04,2.871808e-04,2.846895e-04,2.827343e-04,2.783023e-04,2.759179e-04,2.738929e-04,2.695134e-04,2.672499e-04,2.651699e-04,2.608679e-04,2.587339e-04,2.566119e-04,2.524060e-04,2.504060e-04,2.482536e-04,2.441575e-04,2.422929e-04,2.401201e-04,2.361434e-04,2.344133e-04,2.322290e-04,2.283781e-04,2.267800e-04,2.245919e-04,2.208709e-04,2.194009e-04,2.172156e-04,2.136265e-04,2.122800e-04,2.101035e-04,2.066467e-04,2.054184e-04,2.032558e-04,1.999305e-04,1.988148e-04,1.966705e-04,1.934752e-04,1.924663e-04,1.903441e-04,1.872764e-04,1.863684e-04,1.842716e-04,1.813287e-04,1.805157e-04,1.784470e-04,1.756257e-04,1.749020e-04,1.728639e-04,1.701607e-04,1.695206e-04,1.675152e-04,1.649264e-04,1.643644e-04,1.623934e-04,1.599153e-04,1.594262e-04,1.574911e-04,1.551198e-04,1.546985e-04,1.528005e-04,1.505322e-04,1.501739e-04,1.483140e-04,1.461448e-04,1.458450e-04,1.440239e-04,1.419502e-04,1.417045e-04,1.399229e-04,1.379410e-04,1.377452e-04,1.360035e-04,1.341097e-04,1.339601e-04,1.322587e-04,1.304495e-04,1.303422e-04,1.286813e-04,1.269533e-04,1.268850e-04,1.252647e-04,1.236145e-04,1.235819e-04,1.220021e-04,1.204267e-04,1.174133e-04,1.145358e-04,1.117887e-04,1.091665e-04,1.066639e-04,1.042759e-04,1.019978e-04,9.982482e-05,9.775253e-05,9.577666e-05,9.389308e-05,9.209787e-05,9.038724e-05,8.875755e-05,8.720533e-05,8.572724e-05,8.432008e-05,8.298078e-05,8.170641e-05,8.049414e-05,7.934128e-05,7.824523e-05,7.720351e-05,7.621376e-05,7.527368e-05,7.438110e-05,7.353392e-05,7.273015e-05,7.196786e-05,7.124521e-05,7.056044e-05,6.991186e-05,6.929786e-05,6.871689e-05,6.816745e-05,6.764814e-05,6.715759e-05,6.669450e-05,6.625762e-05,6.584575e-05,6.545774e-05,6.509251e-05,6.474900e-05,6.442620e-05,6.412315e-05,6.383894e-05,6.357267e-05,6.332350e-05,6.309062e-05
0.000000e+00,1.644161e-07,3.649139e-06,3.838157e-06,3.280452e-05,1.474706e-04,1.554901e-04,4.736089e-04,9.945303e-04,1.034478e-03,1.791457e-03,2.593979e-03,2.666709e-03,3.596233e-03,4.442505e-03,4.536041e-03,5.457777e-03,6.239850e-03,6.343914e-03,7.184156e-03,7.865743e-03,7.972963e-03,8.707896e-03,9.283235e-03,9.388504e-03,1.001560e-02,1.049098e-02,1.059076e-02,1.111604e-02,1.150188e-02,1.159373e-02,1.202623e-02,1.233380e-02,1.241600e-02,1.276546e-02,1.300553e-02,1.307695e-02,1.335274e-02,1.353513e-02,1.359501e-02,1.380586e-02,1.393932e-02,1.398725e-02,1.414106e-02,1.423328e-02,1.426907e-02,1.437297e-02,1.443066e-02,1.445434e-02,1.451469e-02,1.454370e-02,1.455545e-02,1.457795e-02,1.458335e-02,1.458346e-02,1.457319e-02,1.455939e-02,1.454826e-02,1.450974e-02,1.448053e-02,1.445864e-02,1.439592e-02,1.435457e-02,1.432246e-02,1.423912e-02,1.418843e-02,1.414670e-02,1.404594e-02,1.398831e-02,1.393755e-02,1.382221e-02,1.375969e-02,1.370054e-02,1.357313e-02,1.350745e-02,1.344055e-02,1.330331e-02,1.323593e-02,1.316192e-02,1.301683e-02,1.294896e-02,1.286847e-02,1.271727e-02,1.264994e-02,1.256360e-02,1.240782e-02,1.234184e-02,1.225027e-02,1.209126e-02,1.202731e-02,1.193109e-02,1.177004e-02,1.170866e-02,1.160836e-02,1.144629e-02,1.138790e-02,1.128407e-02,1.112189e-02,1.106679e-02,1.095995e-02,1.079844e-02,1.074688e-02,1.063752e-02,1.047735e-02,1.042947e-02,1.031807e-02,1.015982e-02,1.011571e-02,1.000271e-02,9.846865e-03,9.806564e-03,9.692384e-03,9.539363e-03,9.502865e-03,9.387890e-03,9.238043e-03,9.205302e-03,9.089895e-03,8.943511e-03,8.914451e-03,8.798950e-03,8.656266e-03,8.630786e-03,8.515505e-03,8.376710e-03,8.354687e-03,8.239916e-03,8.105158e-03,8.086455e-03,7.972461e-03,7.841851e-03,7.826319e-03,7.713346e-03,7.586964e-03,7.574443e-03,7.462717e-03,7.340614e-03,7.330938e-03,7.220662e-03,7.102866e-03,7.095866e-03,6.987226e-03,6.873741e-03,6.869247e-03,6.762409e-03,6.653224e-03,6.651062e-03,6.546179e-03,6.441264e-03,6.239775e-03,6.046495e-03,5.861305e-03,5.684067e-03,5.514629e-03,5.352830e-03,5.198495e-03,5.051445e-03,4.911493e-03,4.778447e-03,4.652114e-03,4.532295e-03,4.418794e-03,4.311411e-03,4.209949e-03,4.114210e-03,4.023999e-03,3.939122e-03,3.859387e-03,3.784606e-03,3.714594e-03,3.649167e-03,3.588147e-03,3.531358e-03,3.478627e-03,3.429787e-03,3.384673e-03,3.343124e-03,3.304983e-03,3.270098e-03,3.238319e-03,3.209500e-03,3.183502e-03,3.160185e-03,3.139416e-03,3.121065e-03,3.105006e-03,3.091116e-03,3.079276e-03,3.069372e-03,3.061291e-03,3.054925e-03,3.050169e-03,3.046923e-03,3.045089e-03,3.044571e-03,3.045280e-03,3.047127e-03,3.050028e-03
0.000000e+00,7.371818e-08,1.323403e-06,1.386321e-06,9.827916e-06,3.798116e-05,3.981536e-05,1.057826e-04,1.963820e-04,2.026822e-04,3.094934e-04,4.040785e-04,4.119702e-04,5.054391e-04,5.812364e-04,5.891812e-04,6.636013e-04,7.219016e-04,7.293577e-04,7.871344e-04,8.309403e-04,8.375859e-04,8.813272e-04,9.133060e-04,9.189332e-04,9.509400e-04,9.733584e-04,9.778464e-04,1.000116e-03,1.014882e-03,1.018177e-03,1.032427e-03,1.041133e-03,1.043232e-03,1.050929e-03,1.054892e-03,1.055828e-03,1.058212e-03,1.058512e-03,1.058343e-03,1.056459e-03,1.053978e-03,1.052778e-03,1.047500e-03,1.042953e-03,1.040806e-03,1.032863e-03,1.026826e-03,1.023823e-03,1.013822e-03,1.006756e-03,1.002986e-03,9.914292e-04,9.837029e-04,9.792553e-04,9.665585e-04,9.584616e-04,9.534240e-04,9.399290e-04,9.316883e-04,9.261433e-04,9.121297e-04,9.039201e-04,8.979451e-04,8.836407e-04,8.755953e-04,8.692627e-04,8.548522e-04,8.470702e-04,8.404462e-04,8.260777e-04,8.186308e-04,8.117762e-04,7.975677e-04,7.905057e-04,7.834754e-04,7.695197e-04,7.628748e-04,7.557184e-04,7.420871e-04,7.358775e-04,7.286393e-04,7.153867e-04,7.096201e-04,7.023395e-04,6.895059e-04,6.841812e-04,6.768930e-04,6.645067e-04,6.596167e-04,6.523517e-04,6.404316e-04,6.359641e-04,6.287491e-04,6.173061e-04,6.132455e-04,6.061038e-04,5.951426e-04,5.914708e-04,5.844225e-04,5.739427e-04,5.706398e-04,5.637022e-04,5.536992e-04,5.507444e-04,5.439320e-04,5.343981e-04,5.317701e-04,5.250951e-04,5.160202e-04,5.136977e-04,5.071702e-04,4.985420e-04,4.965038e-04,4.901321e-04,4.819371e-04,4.801627e-04,4.739533e-04,4.661770e-04,4.646463e-04,4.586043e-04,4.512313e-04,4.499251e-04,4.440542e-04,4.370690e-04,4.359689e-04,4.302717e-04,4.236584e-04,4.227470e-04,4.172251e-04,4.109678e-04,4.102286e-04,4.048826e-04,3.989656e-04,3.983830e-04,3.932129e-04,3.876206e-04,3.871800e-04,3.821849e-04,3.769021e-04,3.765900e-04,3.717686e-04,3.667805e-04,3.665840e-04,3.619344e-04,3.572267e-04,3.571340e-04,3.526539e-04,3.482126e-04,3.397937e-04,3.318519e-04,3.243628e-04,3.173031e-04,3.106505e-04,3.043837e-04,2.984822e-04,2.929267e-04,2.876985e-04,2.827802e-04,2.781549e-04,2.738067e-04,2.697205e-04,2.658819e-04,2.622773e-04,2.588937e-04,2.557190e-04,2.527415e-04,2.499501e-04,2.473345e-04,2.448848e-04,2.425917e-04,2.404463e-04,2.384402e-04,2.365656e-04,2.348149e-04,2.331810e-04,2.316573e-04,2.302373e-04,2.289152e-04,2.276852e-04,2.265420e-04,2.254804e-04,2.244958e-04,2.235836e-04,2.227395e-04,2.219595e-04,2.212397e-04,2.205766e-04,2.199668e-04,2.194069e-04,2.188940e-04,2.184252e-04,2.179979e-04,2.176093e-04,2.172572e-04,2.169391e-04,2.166531e-04,2.163970e-04
0.000000e+00,8.795500e-08,2.302973e-06,2.429289e-06,2.271423e-05,1.025991e-04,1.080543e-04,3.113490e-04,6.077278e-04,6.292786e-04,1.018276e-03,1.402835e-03,1.436609e-03,1.854680e-03,2.214867e-03,2.253516e-03,2.621880e-03,2.916056e-03,2.953872e-03,3.247170e-03,3.468422e-03,3.501781e-03,3.719165e-03,3.874688e-03,3.901652e-03,4.052033e-03,4.153477e-03,4.173288e-03,4.268414e-03,4.327650e-03,4.340303e-03,4.391683e-03,4.419153e-03,4.425077e-03,4.442786e-03,4.447043e-03,4.446890e-03,4.439251e-03,4.427022e-03,4.421530e-03,4.395194e-03,4.371633e-03,4.361540e-03,4.321707e-03,4.290686e-03,4.276691e-03,4.227366e-03,4.191754e-03,4.174489e-03,4.118724e-03,4.080618e-03,4.060643e-03,4.000745e-03,3.961657e-03,3.939459e-03,3.877159e-03,3.838165e-03,3.814164e-03,3.750751e-03,3.712603e-03,3.687157e-03,3.623586e-03,3.586794e-03,3.560210e-03,3.497177e-03,3.462077e-03,3.434615e-03,3.372629e-03,3.339428e-03,3.311308e-03,3.250729e-03,3.219542e-03,3.190953e-03,3.132032e-03,3.102906e-03,3.074008e-03,3.016915e-03,2.989849e-03,2.960779e-03,2.905621e-03,2.880581e-03,2.851456e-03,2.798295e-03,2.775223e-03,2.746143e-03,2.695004e-03,2.673828e-03,2.644878e-03,2.595763e-03,2.576399e-03,2.547654e-03,2.500544e-03,2.482902e-03,2.454425e-03,2.409288e-03,2.393277e-03,2.365122e-03,2.321915e-03,2.307442e-03,2.279656e-03,2.238331e-03,2.225302e-03,2.197926e-03,2.158427e-03,2.146752e-03,2.119821e-03,2.082091e-03,2.071682e-03,2.045224e-03,2.009203e-03,1.999975e-03,1.974015e-03,1.939644e-03,1.931515e-03,1.906074e-03,1.873291e-03,1.866183e-03,1.841280e-03,1.810025e-03,1.803863e-03,1.779511e-03,1.749724e-03,1.744439e-03,1.720650e-03,1.692273e-03,1.687796e-03,1.664579e-03,1.637555e-03,1.633824e-03,1.611186e-03,1.585459e-03,1.582414e-03,1.560360e-03,1.535877e-03,1.533461e-03,1.511995e-03,1.488701e-03,1.486863e-03,1.465985e-03,1.443832e-03,1.442520e-03,1.422230e-03,1.401169e-03,1.400337e-03,1.380635e-03,1.360617e-03,1.360222e-03,1.341105e-03,1.322086e-03,1.285843e-03,1.251411e-03,1.218711e-03,1.187666e-03,1.158204e-03,1.130254e-03,1.103749e-03,1.078625e-03,1.054819e-03,1.032273e-03,1.010928e-03,9.907315e-04,9.716302e-04,9.535741e-04,9.365154e-04,9.204082e-04,9.052083e-04,8.908737e-04,8.773641e-04,8.646409e-04,8.526671e-04,8.414073e-04,8.308277e-04,8.208959e-04,8.115808e-04,8.028528e-04,7.946835e-04,7.870457e-04,7.799134e-04,7.732618e-04,7.670671e-04,7.613064e-04,7.559581e-04,7.510013e-04,7.464162e-04,7.421836e-04,7.382853e-04,7.347040e-04,7.314231e-04,7.284265e-04,7.256992e-04,7.232266e-04,7.209948e-04,7.189905e-04,7.172010e-04,7.156144e-04,7.142190e-04,7.130037e-04,7.119582e-04
0.000000e+00,3.175126e-08,5.265442e-07,5.514418e-07,3.903980e-06,1.478718e-05,1.547548e-05,3.851060e-05,6.597568e-05,6.777127e-05,9.707693e-05,1.222119e-04,1.243002e-04,1.490733e-04,1.693165e-04,1.714502e-04,1.915742e-04,2.075468e-04,2.096052e-04,2.256997e-04,2.381022e-04,2.400017e-04,2.526490e-04,2.620899e-04,2.637724e-04,2.734943e-04,2.805008e-04,2.819289e-04,2.891828e-04,2.942024e-04,2.953547e-04,3.005364e-04,3.039457e-04,3.048130e-04,3.082630e-04,3.103771e-04,3.109591e-04,3.129685e-04,3.140500e-04,3.143533e-04,3.151706e-04,3.154374e-04,3.154732e-04,3.153097e-04,3.149421e-04,3.147250e-04,3.137604e-04,3.129068e-04,3.124537e-04,3.108399e-04,3.096223e-04,3.089511e-04,3.068169e-04,3.053348e-04,3.044643e-04,3.019183e-04,3.002527e-04,2.992017e-04,2.963353e-04,2.945517e-04,2.933385e-04,2.902287e-04,2.883796e-04,2.870220e-04,2.837332e-04,2.818606e-04,2.803756e-04,2.769616e-04,2.750985e-04,2.735022e-04,2.700077e-04,2.681798e-04,2.664874e-04,2.629496e-04,2.611766e-04,2.594020e-04,2.558515e-04,2.541481e-04,2.523044e-04,2.487664e-04,2.471433e-04,2.452424e-04,2.417373e-04,2.402020e-04,2.382549e-04,2.347991e-04,2.333564e-04,2.313732e-04,2.279799e-04,2.266324e-04,2.246220e-04,2.213016e-04,2.200502e-04,2.180209e-04,2.147815e-04,2.136257e-04,2.115849e-04,2.084325e-04,2.073709e-04,2.053252e-04,2.022641e-04,2.012944e-04,1.992499e-04,1.962831e-04,1.954024e-04,1.933643e-04,1.904937e-04,1.896986e-04,1.876716e-04,1.848981e-04,1.841850e-04,1.821732e-04,1.794969e-04,1.788618e-04,1.768691e-04,1.742895e-04,1.737285e-04,1.717579e-04,1.692740e-04,1.687829e-04,1.668374e-04,1.644477e-04,1.640225e-04,1.621044e-04,1.598071e-04,1.594438e-04,1.575553e-04,1.553484e-04,1.550430e-04,1.531858e-04,1.510671e-04,1.508157e-04,1.489915e-04,1.469584e-04,1.467574e-04,1.449673e-04,1.430175e-04,1.428633e-04,1.411084e-04,1.392393e-04,1.391284e-04,1.374095e-04,1.356185e-04,1.355476e-04,1.338654e-04,1.321498e-04,1.321159e-04,1.304709e-04,1.288280e-04,1.256791e-04,1.226640e-04,1.197778e-04,1.170156e-04,1.143728e-04,1.118446e-04,1.094265e-04,1.071143e-04,1.049036e-04,1.027903e-04,1.007705e-04,9.884038e-05,9.699613e-05,9.523424e-05,9.355128e-05,9.194392e-05,9.040899e-05,8.894344e-05,8.754432e-05,8.620881e-05,8.493419e-05,8.371787e-05,8.255735e-05,8.145023e-05,8.039422e-05,7.938711e-05,7.842680e-05,7.751125e-05,7.663853e-05,7.580678e-05,7.501421e-05,7.425913e-05,7.353989e-05,7.285493e-05,7.220275e-05,7.158191e-05,7.099104e-05,7.042882e-05,6.989399e-05,6.938535e-05,6.890172e-05,6.844201e-05,6.800516e-05,6.759015e-05,6.719601e-05,6.682181e-05,6.646666e-05,6.612971e-05,6.581013e-05
0.000000e+00,2.411190e-08,5.093761e-07,5.349733e-07,3.788924e-06,1.189392e-05,1.231885e-05,2.371321e-05,3.453001e-05,3.520654e-05,4.616836e-05,5.570686e-05,5.651139e-05,6.623648e-05,7.447453e-05,7.536045e-05,8.390368e-05,9.095855e-05,9.188786e-05,9.933528e-05,1.053281e-04,1.062686e-04,1.127106e-04,1.177588e-04,1.186839e-04,1.242106e-04,1.284244e-04,1.293123e-04,1.340101e-04,1.374914e-04,1.383245e-04,1.422750e-04,1.451158e-04,1.458803e-04,1.491585e-04,1.514418e-04,1.521269e-04,1.548021e-04,1.566024e-04,1.572000e-04,1.593355e-04,1.607189e-04,1.612233e-04,1.628770e-04,1.639024e-04,1.643098e-04,1.655342e-04,1.662539e-04,1.665623e-04,1.674053e-04,1.678656e-04,1.680741e-04,1.685790e-04,1.688208e-04,1.689300e-04,1.691362e-04,1.691954e-04,1.692067e-04,1.691499e-04,1.690581e-04,1.689739e-04,1.686862e-04,1.684711e-04,1.682942e-04,1.678048e-04,1.674906e-04,1.672245e-04,1.665596e-04,1.661675e-04,1.658160e-04,1.649993e-04,1.645475e-04,1.641148e-04,1.631676e-04,1.626720e-04,1.621625e-04,1.611039e-04,1.605782e-04,1.599963e-04,1.588437e-04,1.582995e-04,1.576500e-04,1.564187e-04,1.558660e-04,1.551535e-04,1.538574e-04,1.533047e-04,1.525337e-04,1.511853e-04,1.506396e-04,1.498148e-04,1.484250e-04,1.478924e-04,1.470183e-04,1.455971e-04,1.450822e-04,1.441634e-04,1.427194e-04,1.422264e-04,1.412670e-04,1.398080e-04,1.393400e-04,1.383442e-04,1.368772e-04,1.364367e-04,1.354085e-04,1.339395e-04,1.335283e-04,1.324716e-04,1.310060e-04,1.306255e-04,1.295439e-04,1.280865e-04,1.277375e-04,1.266346e-04,1.251893e-04,1.248723e-04,1.237515e-04,1.223219e-04,1.220371e-04,1.209015e-04,1.194908e-04,1.192380e-04,1.180906e-04,1.167015e-04,1.164803e-04,1.153239e-04,1.139586e-04,1.137684e-04,1.126058e-04,1.112661e-04,1.111063e-04,1.099399e-04,1.086276e-04,1.084971e-04,1.073294e-04,1.060456e-04,1.059435e-04,1.047766e-04,1.035225e-04,1.034478e-04,1.022836e-04,1.010601e-04,1.010115e-04,9.985212e-05,9.865978e-05,9.863610e-05,9.748322e-05,9.632254e-05,9.407150e-05,9.188338e-05,8.975833e-05,8.769628e-05,8.569698e-05,8.375998e-05,8.188474e-05,8.007054e-05,7.831658e-05,7.662196e-05,7.498570e-05,7.340674e-05,7.188399e-05,7.041629e-05,6.900244e-05,6.764123e-05,6.633142e-05,6.507174e-05,6.386092e-05,6.269769e-05,6.158077e-05,6.050888e-05,5.948076e-05,5.849515e-05,5.755081e-05,5.664650e-05,5.578102e-05,5.495317e-05,5.416176e-05,5.340563e-05,5.268365e-05,5.199469e-05,5.133768e-05,5.071154e-05,5.011522e-05,4.954771e-05,4.900802e-05,4.849517e-05,4.800820e-05,4.754621e-05,4.710827e-05,4.669353e-05,4.630111e-05,4.593020e-05,4.557999e-05,4.524968e-05,4.493853e-05,4.464579e-05,4.437074e-05
0.000000e+00,2.692725e-07,6.402661e-06,6.739149e-06,5.741362e-05,2.447746e-04,2.573291e-04,7.199207e-04,1.396787e-03,1.446476e-03,2.357681e-03,3.288604e-03,3.371932e-03,4.426397e-03,5.372471e-03,5.476288e-03,6.490954e-03,7.338563e-03,7.450295e-03,8.341954e-03,9.049392e-03,9.159187e-03,9.899266e-03,1.046132e-02,1.056229e-02,1.115030e-02,1.157879e-02,1.166661e-02,1.211535e-02,1.242875e-02,1.250109e-02,1.282857e-02,1.304665e-02,1.310258e-02,1.332778e-02,1.346905e-02,1.350864e-02,1.364939e-02,1.373006e-02,1.375399e-02,1.382610e-02,1.385982e-02,1.386911e-02,1.388612e-02,1.388407e-02,1.387994e-02,1.385317e-02,1.382440e-02,1.380813e-02,1.374694e-02,1.369865e-02,1.367152e-02,1.358359e-02,1.352147e-02,1.348470e-02,1.337624e-02,1.330474e-02,1.325947e-02,1.313551e-02,1.305811e-02,1.300537e-02,1.286995e-02,1.278932e-02,1.273008e-02,1.258648e-02,1.250467e-02,1.243979e-02,1.229060e-02,1.220919e-02,1.213944e-02,1.198676e-02,1.190691e-02,1.183300e-02,1.167852e-02,1.160112e-02,1.152367e-02,1.136874e-02,1.129443e-02,1.121401e-02,1.105971e-02,1.098894e-02,1.090606e-02,1.075325e-02,1.068632e-02,1.060145e-02,1.045080e-02,1.038791e-02,1.030145e-02,1.015352e-02,1.009476e-02,1.000709e-02,9.862275e-03,9.807683e-03,9.719144e-03,9.577769e-03,9.527316e-03,9.438209e-03,9.300518e-03,9.254136e-03,9.164737e-03,9.030905e-03,8.988495e-03,8.899052e-03,8.769203e-03,8.730642e-03,8.641378e-03,8.515592e-03,8.480739e-03,8.391857e-03,8.270178e-03,8.238879e-03,8.150560e-03,8.033004e-03,8.005097e-03,7.917506e-03,7.804062e-03,7.779380e-03,7.692666e-03,7.583307e-03,7.561678e-03,7.475974e-03,7.370655e-03,7.351910e-03,7.267335e-03,7.165998e-03,7.149968e-03,7.066628e-03,6.969207e-03,6.955722e-03,6.873715e-03,6.780134e-03,6.769032e-03,6.688442e-03,6.598619e-03,6.589739e-03,6.510643e-03,6.424492e-03,6.417679e-03,6.340144e-03,6.257575e-03,6.252676e-03,6.176761e-03,6.097681e-03,6.094554e-03,6.020310e-03,5.944623e-03,5.943127e-03,5.870598e-03,5.798211e-03,5.659619e-03,5.527166e-03,5.400664e-03,5.279929e-03,5.164778e-03,5.055029e-03,4.950504e-03,4.851027e-03,4.756426e-03,4.666530e-03,4.581174e-03,4.500194e-03,4.423431e-03,4.350729e-03,4.281934e-03,4.216900e-03,4.155478e-03,4.097529e-03,4.042913e-03,3.991495e-03,3.943143e-03,3.897730e-03,3.855130e-03,3.815222e-03,3.777887e-03,3.743011e-03,3.710481e-03,3.680189e-03,3.652030e-03,3.625900e-03,3.601700e-03,3.579335e-03,3.558709e-03,3.539734e-03,3.522320e-03,3.506384e-03,3.491843e-03,3.478619e-03,3.466634e-03,3.455815e-03,3.446092e-03,3.437395e-03,3.429659e-03,3.422820e-03,3.416819e-03,3.411596e-03,3.407097e-03,3.403267e-03,3.400055e-03
0.000000e+00,1.807715e-07,3.996179e-06,4.197982e-06,3.236382e-05,1.281249e-04,1.343972e-04,3.646543e-04,7.068269e-04,7.321259e-04,1.196109e-03,1.664537e-03,1.706005e-03,2.222525e-03,2.671005e-03,2.719257e-03,3.179861e-03,3.547951e-03,3.595236e-03,3.961312e-03,4.236131e-03,4.277418e-03,4.545096e-03,4.734628e-03,4.767262e-03,4.947601e-03,5.067102e-03,5.090160e-03,5.199058e-03,5.264644e-03,5.278308e-03,5.331699e-03,5.357653e-03,5.362728e-03,5.374573e-03,5.372509e-03,5.370081e-03,5.351774e-03,5.330649e-03,5.321871e-03,5.282303e-03,5.248781e-03,5.234747e-03,5.180646e-03,5.139551e-03,5.121236e-03,5.057574e-03,5.012318e-03,4.990556e-03,4.920943e-03,4.873892e-03,4.849376e-03,4.776394e-03,4.729156e-03,4.702452e-03,4.627926e-03,4.581569e-03,4.553135e-03,4.478340e-03,4.433554e-03,4.403760e-03,4.329577e-03,4.286793e-03,4.255940e-03,4.182971e-03,4.142439e-03,4.110771e-03,4.039423e-03,4.001274e-03,3.968994e-03,3.899536e-03,3.863816e-03,3.831092e-03,3.763698e-03,3.730402e-03,3.697378e-03,3.632152e-03,3.601237e-03,3.568036e-03,3.505038e-03,3.476437e-03,3.443165e-03,3.382420e-03,3.356049e-03,3.322802e-03,3.264310e-03,3.240079e-03,3.206940e-03,3.150686e-03,3.128495e-03,3.095540e-03,3.041494e-03,3.021243e-03,2.988538e-03,2.936663e-03,2.918250e-03,2.885856e-03,2.836107e-03,2.819430e-03,2.787402e-03,2.739728e-03,2.724688e-03,2.693073e-03,2.647422e-03,2.633920e-03,2.602761e-03,2.559076e-03,2.547017e-03,2.516353e-03,2.474576e-03,2.463868e-03,2.433732e-03,2.393804e-03,2.384357e-03,2.354779e-03,2.316641e-03,2.308368e-03,2.279375e-03,2.242966e-03,2.235786e-03,2.207400e-03,2.172661e-03,2.166495e-03,2.138734e-03,2.105606e-03,2.100378e-03,2.073260e-03,2.041683e-03,2.037323e-03,2.010861e-03,1.980778e-03,1.977217e-03,1.951421e-03,1.922776e-03,1.919950e-03,1.894829e-03,1.867567e-03,1.865415e-03,1.840975e-03,1.815041e-03,1.813506e-03,1.789752e-03,1.765094e-03,1.764120e-03,1.741054e-03,1.717621e-03,1.717158e-03,1.694782e-03,1.672524e-03,1.630122e-03,1.589862e-03,1.551655e-03,1.515417e-03,1.481065e-03,1.448520e-03,1.417704e-03,1.388544e-03,1.360969e-03,1.334910e-03,1.310301e-03,1.287078e-03,1.265181e-03,1.244549e-03,1.225128e-03,1.206862e-03,1.189699e-03,1.173589e-03,1.158483e-03,1.144336e-03,1.131102e-03,1.118738e-03,1.107205e-03,1.096462e-03,1.086470e-03,1.077195e-03,1.068601e-03,1.060654e-03,1.053323e-03,1.046576e-03,1.040383e-03,1.034717e-03,1.029550e-03,1.024856e-03,1.020609e-03,1.016786e-03,1.013364e-03,1.010320e-03,1.007633e-03,1.005283e-03,1.003251e-03,1.001518e-03,1.000065e-03,9.988766e-04,9.979355e-04,9.972262e-04,9.967338e-04,9.964441e-04,9.963432e-04
0.000000e+00,4.418965e-08,9.136202e-07,9.594343e-07,6.985573e-06,2.432172e-05,2.534102e-05,5.647965e-05,8.993338e-05,9.207124e-05,1.268898e-04,1.571574e-04,1.597025e-04,1.903412e-04,2.160912e-04,2.188483e-04,2.453108e-04,2.669828e-04,2.698247e-04,2.924819e-04,3.105523e-04,3.133744e-04,3.325929e-04,3.475073e-04,3.502254e-04,3.663571e-04,3.785224e-04,3.810694e-04,3.944407e-04,4.042226e-04,4.065458e-04,4.174564e-04,4.251815e-04,4.272408e-04,4.359643e-04,4.419228e-04,4.436889e-04,4.504738e-04,4.549229e-04,4.563753e-04,4.614470e-04,4.646135e-04,4.657399e-04,4.693022e-04,4.713859e-04,4.721800e-04,4.744169e-04,4.755931e-04,4.760544e-04,4.771317e-04,4.775541e-04,4.776862e-04,4.777532e-04,4.775558e-04,4.773662e-04,4.765570e-04,4.758565e-04,4.753557e-04,4.737906e-04,4.726882e-04,4.718888e-04,4.696756e-04,4.682589e-04,4.671753e-04,4.644106e-04,4.627549e-04,4.614030e-04,4.581728e-04,4.563428e-04,4.547392e-04,4.511204e-04,4.491711e-04,4.473334e-04,4.433942e-04,4.413724e-04,4.393182e-04,4.351194e-04,4.330644e-04,4.308115e-04,4.264069e-04,4.243517e-04,4.219177e-04,4.173550e-04,4.153268e-04,4.127292e-04,4.080502e-04,4.060714e-04,4.033272e-04,3.985688e-04,3.966574e-04,3.937832e-04,3.889779e-04,3.871481e-04,3.841598e-04,3.793358e-04,3.775988e-04,3.745117e-04,3.696935e-04,3.680575e-04,3.648863e-04,3.600952e-04,3.585662e-04,3.553247e-04,3.505791e-04,3.491608e-04,3.458622e-04,3.411778e-04,3.398724e-04,3.365290e-04,3.319190e-04,3.307272e-04,3.273507e-04,3.228264e-04,3.217474e-04,3.183487e-04,3.139195e-04,3.129518e-04,3.095409e-04,3.052145e-04,3.043556e-04,3.009419e-04,2.967245e-04,2.959714e-04,2.925635e-04,2.884600e-04,2.878089e-04,2.844149e-04,2.804291e-04,2.798758e-04,2.765031e-04,2.726375e-04,2.721777e-04,2.688329e-04,2.650894e-04,2.647185e-04,2.614075e-04,2.577873e-04,2.575004e-04,2.542289e-04,2.507322e-04,2.505243e-04,2.472972e-04,2.439237e-04,2.437901e-04,2.406117e-04,2.373608e-04,2.372964e-04,2.341707e-04,2.310410e-04,2.250211e-04,2.192331e-04,2.136729e-04,2.083359e-04,2.032171e-04,1.983113e-04,1.936130e-04,1.891165e-04,1.848159e-04,1.807055e-04,1.767790e-04,1.730307e-04,1.694544e-04,1.660442e-04,1.627942e-04,1.596986e-04,1.567514e-04,1.539472e-04,1.512803e-04,1.487454e-04,1.463371e-04,1.440501e-04,1.418796e-04,1.398207e-04,1.378685e-04,1.360184e-04,1.342661e-04,1.326072e-04,1.310375e-04,1.295531e-04,1.281500e-04,1.268245e-04,1.255731e-04,1.243922e-04,1.232786e-04,1.222291e-04,1.212405e-04,1.203099e-04,1.194346e-04,1.186118e-04,1.178389e-04,1.171134e-04,1.164330e-04,1.157954e-04,1.151983e-04,1.146398e-04,1.141178e-04,1.136304e-04,1.131758e-04
0.000000e+00,4.852008e-08,7.548103e-07,7.887966e-07,5.104517e-06,1.854409e-05,1.939092e-05,4.830013e-05,8.447986e-05,8.687800e-05,1.255976e-04,1.571227e-04,1.596418e-04,1.881755e-04,2.094885e-04,2.116228e-04,2.306364e-04,2.442023e-04,2.458457e-04,2.578091e-04,2.658733e-04,2.670117e-04,2.738722e-04,2.780900e-04,2.787507e-04,2.819563e-04,2.835237e-04,2.837540e-04,2.843704e-04,2.841440e-04,2.839990e-04,2.828054e-04,2.813948e-04,2.809302e-04,2.784935e-04,2.763295e-04,2.755975e-04,2.723288e-04,2.697139e-04,2.687613e-04,2.649574e-04,2.621024e-04,2.609702e-04,2.568445e-04,2.538947e-04,2.526183e-04,2.483233e-04,2.453773e-04,2.439863e-04,2.396301e-04,2.367538e-04,2.352736e-04,2.309324e-04,2.281684e-04,2.266199e-04,2.223467e-04,2.197212e-04,2.181221e-04,2.139533e-04,2.114815e-04,2.098465e-04,2.058064e-04,2.034952e-04,2.018366e-04,1.979398e-04,1.957903e-04,1.941182e-04,1.903733e-04,1.883834e-04,1.867063e-04,1.831177e-04,1.812828e-04,1.796078e-04,1.761763e-04,1.744899e-04,1.728229e-04,1.695471e-04,1.680020e-04,1.663480e-04,1.632247e-04,1.618132e-04,1.601763e-04,1.572017e-04,1.559159e-04,1.542996e-04,1.514689e-04,1.503009e-04,1.487082e-04,1.460162e-04,1.449583e-04,1.433916e-04,1.408331e-04,1.398779e-04,1.383392e-04,1.359087e-04,1.350489e-04,1.335400e-04,1.312320e-04,1.304609e-04,1.289832e-04,1.267924e-04,1.261033e-04,1.246581e-04,1.225791e-04,1.219660e-04,1.205541e-04,1.185818e-04,1.180389e-04,1.166611e-04,1.147906e-04,1.143123e-04,1.129692e-04,1.111956e-04,1.107770e-04,1.094689e-04,1.077877e-04,1.074239e-04,1.061511e-04,1.045578e-04,1.042443e-04,1.030069e-04,1.014974e-04,1.012300e-04,1.000281e-04,9.859819e-05,9.837298e-05,9.720657e-05,9.585234e-05,9.566568e-05,9.453456e-05,9.325233e-05,9.310081e-05,9.200475e-05,9.079097e-05,9.067142e-05,8.961013e-05,8.846141e-05,8.837087e-05,8.734400e-05,8.625710e-05,8.619284e-05,8.519996e-05,8.417182e-05,8.413129e-05,8.317195e-05,8.219962e-05,8.218045e-05,8.125414e-05,8.033483e-05,7.858918e-05,7.693852e-05,7.537808e-05,7.390335e-05,7.251000e-05,7.119392e-05,6.995120e-05,6.877811e-05,6.767112e-05,6.662683e-05,6.564204e-05,6.471370e-05,6.383888e-05,6.301483e-05,6.223892e-05,6.150863e-05,6.082159e-05,6.017553e-05,5.956831e-05,5.899787e-05,5.846227e-05,5.795966e-05,5.748828e-05,5.704647e-05,5.663263e-05,5.624527e-05,5.588295e-05,5.554431e-05,5.522806e-05,5.493297e-05,5.465789e-05,5.440170e-05,5.416337e-05,5.394189e-05,5.373632e-05,5.354577e-05,5.336939e-05,5.320637e-05,5.305595e-05,5.291741e-05,5.279006e-05,5.267326e-05,5.256638e-05,5.246883e-05,5.238008e-05,5.229960e-05,5.222688e-05,5.216146e-05,5.210290e-05
0.000000e+00,1.828500e-07,3.604146e-06,3.781125e-06,2.915452e-05,1.251055e-04,1.317754e-04,3.976425e-04,8.378921e-04,8.716894e-04,1.506956e-03,2.162707e-03,2.221042e-03,2.949319e-03,3.583551e-03,3.651927e-03,4.307067e-03,4.835886e-03,4.904340e-03,5.440153e-03,5.851985e-03,5.914838e-03,6.330888e-03,6.637678e-03,6.691909e-03,7.002003e-03,7.221248e-03,7.265403e-03,7.486274e-03,7.635030e-03,7.668593e-03,7.816096e-03,7.909217e-03,7.932247e-03,8.020239e-03,8.070090e-03,8.082998e-03,8.123193e-03,8.139850e-03,8.143256e-03,8.145392e-03,8.136962e-03,8.131604e-03,8.103704e-03,8.076662e-03,8.063333e-03,8.011978e-03,7.971476e-03,7.950987e-03,7.881575e-03,7.831687e-03,7.804839e-03,7.721768e-03,7.665694e-03,7.633254e-03,7.540102e-03,7.480338e-03,7.443035e-03,7.342707e-03,7.281192e-03,7.239706e-03,7.134559e-03,7.072779e-03,7.027740e-03,6.919674e-03,6.858755e-03,6.810741e-03,6.701284e-03,6.642067e-03,6.591606e-03,6.481980e-03,6.425076e-03,6.372647e-03,6.263823e-03,6.209662e-03,6.155697e-03,6.048439e-03,5.997306e-03,5.942195e-03,5.837095e-03,5.789166e-03,5.733254e-03,5.630770e-03,5.586129e-03,5.529728e-03,5.430200e-03,5.388866e-03,5.332250e-03,5.235928e-03,5.197865e-03,5.141278e-03,5.048336e-03,5.013471e-03,4.957128e-03,4.867676e-03,4.835906e-03,4.779996e-03,4.694097e-03,4.665299e-03,4.609987e-03,4.527665e-03,4.501699e-03,4.447129e-03,4.368373e-03,4.345092e-03,4.291389e-03,4.216165e-03,4.195415e-03,4.142686e-03,4.070938e-03,4.052564e-03,4.000901e-03,3.932558e-03,3.916406e-03,3.865887e-03,3.800867e-03,3.786782e-03,3.737474e-03,3.675685e-03,3.663517e-03,3.615475e-03,3.556818e-03,3.546423e-03,3.499691e-03,3.444065e-03,3.435303e-03,3.389915e-03,3.337215e-03,3.329951e-03,3.285937e-03,3.236055e-03,3.230162e-03,3.187542e-03,3.140372e-03,3.135727e-03,3.094516e-03,3.049949e-03,3.046439e-03,3.006645e-03,2.964577e-03,2.962091e-03,2.923718e-03,2.884044e-03,2.882481e-03,2.845528e-03,2.808145e-03,2.807408e-03,2.771870e-03,2.736679e-03,2.670101e-03,2.607491e-03,2.548668e-03,2.493458e-03,2.441692e-03,2.393207e-03,2.347846e-03,2.305457e-03,2.265893e-03,2.229015e-03,2.194686e-03,2.162776e-03,2.133160e-03,2.105718e-03,2.080333e-03,2.056896e-03,2.035300e-03,2.015442e-03,1.997226e-03,1.980557e-03,1.965346e-03,1.951508e-03,1.938959e-03,1.927621e-03,1.917420e-03,1.908284e-03,1.900144e-03,1.892934e-03,1.886593e-03,1.881061e-03,1.876282e-03,1.872202e-03,1.868769e-03,1.865935e-03,1.863654e-03,1.861882e-03,1.860577e-03,1.859701e-03,1.859216e-03,1.859087e-03,1.859281e-03,1.859767e-03,1.860515e-03,1.861498e-03,1.862690e-03,1.864067e-03,1.865606e-03,1.867285e-03,1.869085e-03
0.000000e+00,8.202117e-10,7.537937e-09,7.806092e-09,3.413449e-08,9.732925e-08,1.010482e-07,2.259938e-07,3.969231e-07,4.093129e-07,6.336656e-07,8.551650e-07,8.745056e-07,1.111678e-06,1.312956e-06,1.334442e-06,1.539055e-06,1.703628e-06,1.724964e-06,1.892753e-06,2.023284e-06,2.043377e-06,2.177892e-06,2.279215e-06,2.297362e-06,2.402825e-06,2.479552e-06,2.495276e-06,2.575664e-06,2.631894e-06,2.644887e-06,2.703791e-06,2.743087e-06,2.753173e-06,2.793781e-06,2.819207e-06,2.826314e-06,2.851428e-06,2.865597e-06,2.869734e-06,2.881804e-06,2.886934e-06,2.888171e-06,2.889332e-06,2.887296e-06,2.885750e-06,2.877855e-06,2.870228e-06,2.866047e-06,2.850700e-06,2.838801e-06,2.832159e-06,2.810744e-06,2.795670e-06,2.786755e-06,2.760466e-06,2.743126e-06,2.732135e-06,2.701996e-06,2.683138e-06,2.670270e-06,2.637158e-06,2.617393e-06,2.602848e-06,2.567512e-06,2.547336e-06,2.531309e-06,2.494385e-06,2.474194e-06,2.456874e-06,2.418900e-06,2.399009e-06,2.380577e-06,2.342007e-06,2.322661e-06,2.303288e-06,2.264504e-06,2.245888e-06,2.225735e-06,2.187053e-06,2.169307e-06,2.148524e-06,2.110207e-06,2.093428e-06,2.072154e-06,2.034415e-06,2.018669e-06,1.997033e-06,1.960046e-06,1.945369e-06,1.923488e-06,1.887392e-06,1.873801e-06,1.851782e-06,1.816684e-06,1.804178e-06,1.782117e-06,1.748100e-06,1.736662e-06,1.714647e-06,1.681771e-06,1.671374e-06,1.649482e-06,1.617790e-06,1.608399e-06,1.586700e-06,1.556216e-06,1.547791e-06,1.526344e-06,1.497083e-06,1.489576e-06,1.468435e-06,1.440399e-06,1.433762e-06,1.412974e-06,1.386155e-06,1.380336e-06,1.359940e-06,1.334323e-06,1.329272e-06,1.309301e-06,1.284867e-06,1.280530e-06,1.261013e-06,1.237735e-06,1.234063e-06,1.215023e-06,1.192870e-06,1.189813e-06,1.171269e-06,1.150209e-06,1.147718e-06,1.129684e-06,1.109682e-06,1.107711e-06,1.090197e-06,1.071217e-06,1.069721e-06,1.052735e-06,1.034739e-06,1.033675e-06,1.017221e-06,1.000171e-06,9.994990e-07,9.835798e-07,9.674368e-07,9.671185e-07,9.517329e-07,9.364584e-07,9.074444e-07,8.800031e-07,8.540628e-07,8.295531e-07,8.064055e-07,7.845536e-07,7.639328e-07,7.444812e-07,7.261388e-07,7.088482e-07,6.925542e-07,6.772039e-07,6.627468e-07,6.491348e-07,6.363217e-07,6.242637e-07,6.129192e-07,6.022483e-07,5.922135e-07,5.827789e-07,5.739106e-07,5.655765e-07,5.577461e-07,5.503905e-07,5.434825e-07,5.369962e-07,5.309072e-07,5.251924e-07,5.198301e-07,5.147997e-07,5.100818e-07,5.056581e-07,5.015112e-07,4.976250e-07,4.939839e-07,4.905736e-07,4.873804e-07,4.843913e-07,4.815944e-07,4.789782e-07,4.765318e-07,4.742453e-07,4.721090e-07,4.701140e-07,4.682519e-07,4.665146e-07,4.648948e-07,4.633853e-07,4.619796e-07
0.000000e+00,5.526571e-08,1.570113e-06,1.658290e-06,1.584167e-05,6.895856e-05,7.243788e-05,1.918608e-04,3.428528e-04,3.531376e-04,5.284630e-04,6.894128e-04,7.031976e-04,8.714549e-04,1.015629e-03,1.031199e-03,1.181901e-03,1.307060e-03,1.323595e-03,1.456519e-03,1.564055e-03,1.580983e-03,1.697314e-03,1.788995e-03,1.805851e-03,1.906929e-03,1.984480e-03,2.000880e-03,2.088027e-03,2.153058e-03,2.168685e-03,2.243160e-03,2.297148e-03,2.311746e-03,2.374727e-03,2.419012e-03,2.432376e-03,2.484955e-03,2.520748e-03,2.532717e-03,2.575901e-03,2.604291e-03,2.614741e-03,2.649457e-03,2.671419e-03,2.680262e-03,2.707360e-03,2.723768e-03,2.730944e-03,2.751201e-03,2.762835e-03,2.768309e-03,2.782438e-03,2.789992e-03,2.793750e-03,2.802402e-03,2.806496e-03,2.808542e-03,2.812312e-03,2.813492e-03,2.813847e-03,2.813277e-03,2.812031e-03,2.810726e-03,2.806312e-03,2.803069e-03,2.800148e-03,2.792340e-03,2.787477e-03,2.782992e-03,2.772202e-03,2.766051e-03,2.760062e-03,2.746661e-03,2.739515e-03,2.732085e-03,2.716413e-03,2.708525e-03,2.699724e-03,2.682089e-03,2.673679e-03,2.663579e-03,2.644261e-03,2.635521e-03,2.624196e-03,2.603446e-03,2.594540e-03,2.582067e-03,2.560113e-03,2.551183e-03,2.537637e-03,2.514687e-03,2.505851e-03,2.491309e-03,2.467548e-03,2.458909e-03,2.443446e-03,2.419042e-03,2.410683e-03,2.394374e-03,2.369477e-03,2.361467e-03,2.344386e-03,2.319132e-03,2.311528e-03,2.293745e-03,2.268254e-03,2.261102e-03,2.242687e-03,2.217068e-03,2.210401e-03,2.191421e-03,2.165770e-03,2.159616e-03,2.140136e-03,2.114538e-03,2.108913e-03,2.088996e-03,2.063527e-03,2.058443e-03,2.038148e-03,2.012875e-03,2.008339e-03,1.987723e-03,1.962705e-03,1.958715e-03,1.937833e-03,1.913121e-03,1.909675e-03,1.888579e-03,1.864217e-03,1.861306e-03,1.840046e-03,1.816073e-03,1.813687e-03,1.792308e-03,1.768758e-03,1.766884e-03,1.745430e-03,1.722330e-03,1.720952e-03,1.699465e-03,1.676839e-03,1.675939e-03,1.654458e-03,1.632326e-03,1.631886e-03,1.610447e-03,1.588825e-03,1.546781e-03,1.505775e-03,1.465821e-03,1.426930e-03,1.389108e-03,1.352357e-03,1.316675e-03,1.282059e-03,1.248501e-03,1.215993e-03,1.184524e-03,1.154080e-03,1.124648e-03,1.096211e-03,1.068752e-03,1.042254e-03,1.016698e-03,9.920649e-04,9.683343e-04,9.454862e-04,9.234999e-04,9.023547e-04,8.820296e-04,8.625035e-04,8.437555e-04,8.257645e-04,8.085096e-04,7.919702e-04,7.761257e-04,7.609558e-04,7.464405e-04,7.325602e-04,7.192952e-04,7.066265e-04,6.945354e-04,6.830034e-04,6.720124e-04,6.615448e-04,6.515831e-04,6.421106e-04,6.331106e-04,6.245671e-04,6.164641e-04,6.087865e-04,6.015191e-04,5.946473e-04,5.881570e-04,5.820343e-04,5.762656e-04
0.000000e+00,2.293622e-10,2.766868e-09,2.883924e-09,1.687218e-08,5.769103e-08,6.022147e-08,1.466922e-07,2.582307e-07,2.657853e-07,3.903046e-07,4.952884e-07,5.038350e-07,6.025884e-07,6.792031e-07,6.870431e-07,7.585922e-07,8.120516e-07,8.187084e-07,8.687591e-07,9.046935e-07,9.099738e-07,9.434472e-07,9.662959e-07,9.701500e-07,9.909418e-07,1.004116e-06,1.006582e-06,1.017741e-06,1.023840e-06,1.025008e-06,1.028906e-06,1.029902e-06,1.029890e-06,1.028363e-06,1.025743e-06,1.024679e-06,1.019147e-06,1.014024e-06,1.012039e-06,1.003593e-06,9.968016e-07,9.940178e-07,9.834965e-07,9.756547e-07,9.721883e-07,9.602330e-07,9.517966e-07,9.477524e-07,9.348527e-07,9.261548e-07,9.216264e-07,9.081541e-07,8.994355e-07,8.945059e-07,8.807422e-07,8.721740e-07,8.669154e-07,8.530711e-07,8.447728e-07,8.392489e-07,8.254825e-07,8.175351e-07,8.118006e-07,7.982274e-07,7.906820e-07,7.847841e-07,7.714888e-07,7.643763e-07,7.583567e-07,7.454000e-07,7.387354e-07,7.326290e-07,7.200519e-07,7.138382e-07,7.076754e-07,6.955049e-07,6.897375e-07,6.835445e-07,6.717966e-07,6.664646e-07,6.602633e-07,6.489456e-07,6.440343e-07,6.378441e-07,6.269584e-07,6.224507e-07,6.162879e-07,6.058314e-07,6.017084e-07,5.955873e-07,5.855537e-07,5.817958e-07,5.757286e-07,5.661094e-07,5.626964e-07,5.566936e-07,5.474784e-07,5.443905e-07,5.384610e-07,5.296383e-07,5.268557e-07,5.210073e-07,5.125647e-07,5.100682e-07,5.043075e-07,4.962323e-07,4.940034e-07,4.883359e-07,4.806151e-07,4.786361e-07,4.730666e-07,4.656871e-07,4.639409e-07,4.584734e-07,4.514223e-07,4.498925e-07,4.445305e-07,4.377949e-07,4.364663e-07,4.312124e-07,4.247798e-07,4.236376e-07,4.184941e-07,4.123523e-07,4.113828e-07,4.063514e-07,4.004885e-07,3.996785e-07,3.947607e-07,3.891652e-07,3.885025e-07,3.836991e-07,3.783598e-07,3.778327e-07,3.731445e-07,3.680507e-07,3.676483e-07,3.630757e-07,3.582169e-07,3.579290e-07,3.534719e-07,3.488382e-07,3.486551e-07,3.443134e-07,3.398952e-07,3.398080e-07,3.355813e-07,3.313693e-07,3.233219e-07,3.156489e-07,3.083344e-07,3.013628e-07,2.947194e-07,2.883901e-07,2.823611e-07,2.766196e-07,2.711529e-07,2.659490e-07,2.609966e-07,2.562844e-07,2.518021e-07,2.475395e-07,2.434868e-07,2.396348e-07,2.359747e-07,2.324978e-07,2.291960e-07,2.260615e-07,2.230869e-07,2.202648e-07,2.175885e-07,2.150515e-07,2.126473e-07,2.103699e-07,2.082137e-07,2.061731e-07,2.042427e-07,2.024176e-07,2.006928e-07,1.990638e-07,1.975261e-07,1.960755e-07,1.947079e-07,1.934194e-07,1.922063e-07,1.910650e-07,1.899923e-07,1.889847e-07,1.880392e-07,1.871529e-07,1.863228e-07,1.855463e-07,1.848207e-07,1.841436e-07,1.835125e-07,1.829253e-07,1.823798e-07
0.000000e+00,1.128138e-07,1.512295e-06,1.575291e-06,8.848601e-06,2.992913e-05,3.125118e-05,7.796473e-05,1.435010e-04,1.481814e-04,2.299789e-04,3.060170e-04,3.125151e-04,3.914620e-04,4.585225e-04,4.657317e-04,5.351671e-04,5.923343e-04,5.998499e-04,6.599285e-04,7.080452e-04,7.155759e-04,7.669767e-04,8.070106e-04,8.143211e-04,8.578011e-04,8.907052e-04,8.976078e-04,9.339292e-04,9.606004e-04,9.669487e-04,9.968443e-04,1.018105e-03,1.023787e-03,1.047944e-03,1.064536e-03,1.069471e-03,1.088521e-03,1.101109e-03,1.105239e-03,1.119763e-03,1.128937e-03,1.132226e-03,1.142753e-03,1.149034e-03,1.151463e-03,1.158471e-03,1.162319e-03,1.163885e-03,1.167807e-03,1.169627e-03,1.170337e-03,1.171565e-03,1.171710e-03,1.171581e-03,1.170469e-03,1.169247e-03,1.168306e-03,1.165169e-03,1.162849e-03,1.161129e-03,1.156253e-03,1.153067e-03,1.150605e-03,1.144245e-03,1.140393e-03,1.137229e-03,1.129614e-03,1.125269e-03,1.121448e-03,1.112780e-03,1.108090e-03,1.103656e-03,1.094119e-03,1.089207e-03,1.084208e-03,1.073962e-03,1.068936e-03,1.063418e-03,1.052607e-03,1.047554e-03,1.041564e-03,1.030316e-03,1.025310e-03,1.018893e-03,1.007321e-03,1.002422e-03,9.956236e-04,9.838253e-04,9.790825e-04,9.719473e-04,9.600102e-04,9.554625e-04,9.480327e-04,9.360328e-04,9.317106e-04,9.240270e-04,9.120308e-04,9.079569e-04,9.000586e-04,8.881238e-04,8.843146e-04,8.762388e-04,8.644152e-04,8.608817e-04,8.526636e-04,8.409940e-04,8.377424e-04,8.294153e-04,8.179361e-04,8.149688e-04,8.065640e-04,7.953061e-04,7.926220e-04,7.841689e-04,7.731582e-04,7.707534e-04,7.622794e-04,7.515372e-04,7.494056e-04,7.409361e-04,7.304799e-04,7.286134e-04,7.201720e-04,7.100156e-04,7.084048e-04,7.000133e-04,6.901675e-04,6.888017e-04,6.804800e-04,6.709527e-04,6.698203e-04,6.615869e-04,6.523837e-04,6.514723e-04,6.433439e-04,6.344682e-04,6.337652e-04,6.257569e-04,6.172102e-04,6.167026e-04,6.088281e-04,6.006104e-04,6.002851e-04,5.925566e-04,5.846663e-04,5.845102e-04,5.769388e-04,5.693732e-04,5.548672e-04,5.409834e-04,5.277116e-04,5.150402e-04,5.029567e-04,4.914473e-04,4.804979e-04,4.700937e-04,4.602192e-04,4.508588e-04,4.419967e-04,4.336167e-04,4.257028e-04,4.182389e-04,4.112089e-04,4.045969e-04,3.983873e-04,3.925644e-04,3.871129e-04,3.820179e-04,3.772645e-04,3.728383e-04,3.687252e-04,3.649113e-04,3.613833e-04,3.581280e-04,3.551327e-04,3.523850e-04,3.498728e-04,3.475846e-04,3.455089e-04,3.436350e-04,3.419522e-04,3.404502e-04,3.391192e-04,3.379497e-04,3.369325e-04,3.360587e-04,3.353198e-04,3.347076e-04,3.342142e-04,3.338320e-04,3.335537e-04,3.333725e-04,3.332815e-04,3.332744e-04,3.333450e-04,3.334875e-04,3.336963e-04
0.000000e+00,6.204319e-08,1.039010e-06,1.086414e-06,7.312076e-06,2.928219e-05,3.078972e-05,9.119436e-05,1.956631e-04,2.039411e-04,3.647137e-04,5.359785e-04,5.512684e-04,7.411002e-04,9.035197e-04,9.208323e-04,1.084725e-03,1.214531e-03,1.231185e-03,1.360493e-03,1.458748e-03,1.473667e-03,1.571966e-03,1.643987e-03,1.656680e-03,1.729048e-03,1.779993e-03,1.790229e-03,1.841297e-03,1.875536e-03,1.883238e-03,1.916955e-03,1.938079e-03,1.943274e-03,1.962949e-03,1.973885e-03,1.976668e-03,1.985056e-03,1.988168e-03,1.988682e-03,1.988064e-03,1.985255e-03,1.983670e-03,1.975928e-03,1.968724e-03,1.965224e-03,1.951908e-03,1.941524e-03,1.936298e-03,1.918681e-03,1.906082e-03,1.899317e-03,1.878442e-03,1.864388e-03,1.856268e-03,1.832987e-03,1.818074e-03,1.808772e-03,1.783779e-03,1.768470e-03,1.758150e-03,1.732009e-03,1.716659e-03,1.705472e-03,1.678641e-03,1.663521e-03,1.651606e-03,1.624451e-03,1.609763e-03,1.597248e-03,1.570062e-03,1.555952e-03,1.542952e-03,1.515970e-03,1.502542e-03,1.489161e-03,1.462566e-03,1.449887e-03,1.436220e-03,1.410155e-03,1.398267e-03,1.384397e-03,1.358971e-03,1.347893e-03,1.333895e-03,1.309189e-03,1.298926e-03,1.284866e-03,1.260939e-03,1.251481e-03,1.237418e-03,1.214311e-03,1.205640e-03,1.191624e-03,1.169363e-03,1.161454e-03,1.147531e-03,1.126129e-03,1.118951e-03,1.105159e-03,1.084621e-03,1.078140e-03,1.064514e-03,1.044836e-03,1.039016e-03,1.025585e-03,1.006758e-03,1.001561e-03,9.883500e-04,9.703581e-04,9.657478e-04,9.527775e-04,9.356032e-04,9.315412e-04,9.188298e-04,9.024519e-04,8.989013e-04,8.864637e-04,8.708593e-04,8.677839e-04,8.556324e-04,8.407768e-04,8.381417e-04,8.262861e-04,8.121538e-04,8.099255e-04,7.983735e-04,7.849384e-04,7.830847e-04,7.718420e-04,7.590778e-04,7.575681e-04,7.466391e-04,7.345193e-04,7.333246e-04,7.227119e-04,7.112104e-04,7.103033e-04,7.000083e-04,6.890993e-04,6.884540e-04,6.784771e-04,6.681353e-04,6.677273e-04,6.580677e-04,6.482684e-04,6.480751e-04,6.387313e-04,6.294504e-04,6.118074e-04,5.951021e-04,5.792917e-04,5.643350e-04,5.501922e-04,5.368253e-04,5.241974e-04,5.122735e-04,5.010198e-04,4.904039e-04,4.803950e-04,4.709633e-04,4.620806e-04,4.537199e-04,4.458552e-04,4.384619e-04,4.315165e-04,4.249964e-04,4.188802e-04,4.131473e-04,4.077783e-04,4.027546e-04,3.980583e-04,3.936726e-04,3.895814e-04,3.857692e-04,3.822213e-04,3.789240e-04,3.758637e-04,3.730279e-04,3.704046e-04,3.679821e-04,3.657496e-04,3.636967e-04,3.618134e-04,3.600902e-04,3.585183e-04,3.570890e-04,3.557941e-04,3.546261e-04,3.535774e-04,3.526411e-04,3.518105e-04,3.510792e-04,3.504413e-04,3.498910e-04,3.494228e-04,3.490317e-04,3.487126e-04
0.000000e+00,3.427185e-07,5.787596e-06,6.048018e-06,3.948407e-05,1.584788e-04,1.667838e-04,5.116789e-04,1.146713e-03,1.198608e-03,2.246822e-03,3.452693e-03,3.565253e-03,5.035420e-03,6.405433e-03,6.557739e-03,8.059485e-03,9.324261e-03,9.491183e-03,1.082126e-02,1.186955e-02,1.203132e-02,1.311247e-02,1.391923e-02,1.406247e-02,1.488370e-02,1.546476e-02,1.558159e-02,1.616350e-02,1.655121e-02,1.663792e-02,1.701386e-02,1.724460e-02,1.730044e-02,1.750662e-02,1.761485e-02,1.764099e-02,1.771164e-02,1.772734e-02,1.772609e-02,1.769125e-02,1.763923e-02,1.761346e-02,1.749841e-02,1.739849e-02,1.735126e-02,1.717662e-02,1.704427e-02,1.697859e-02,1.676082e-02,1.660786e-02,1.652654e-02,1.627862e-02,1.611396e-02,1.601956e-02,1.575158e-02,1.558182e-02,1.547663e-02,1.519642e-02,1.502639e-02,1.491243e-02,1.462599e-02,1.445918e-02,1.433823e-02,1.405016e-02,1.388903e-02,1.376264e-02,1.347644e-02,1.332268e-02,1.319223e-02,1.291056e-02,1.276527e-02,1.263194e-02,1.235679e-02,1.222064e-02,1.208548e-02,1.181832e-02,1.169164e-02,1.155558e-02,1.129747e-02,1.118035e-02,1.104419e-02,1.079588e-02,1.068824e-02,1.055267e-02,1.031466e-02,1.021626e-02,1.008191e-02,9.854490e-03,9.765019e-03,9.632424e-03,9.415732e-03,9.334800e-03,9.204420e-03,8.998478e-03,8.925650e-03,8.797885e-03,8.602610e-03,8.537421e-03,8.412613e-03,8.227848e-03,8.169819e-03,8.048259e-03,7.873786e-03,7.822432e-03,7.704363e-03,7.539918e-03,7.494756e-03,7.380378e-03,7.225663e-03,7.186218e-03,7.075694e-03,6.930386e-03,6.896196e-03,6.789654e-03,6.653411e-03,6.624031e-03,6.521570e-03,6.394041e-03,6.369045e-03,6.270736e-03,6.151564e-03,6.130545e-03,6.036434e-03,5.925259e-03,5.907832e-03,5.817947e-03,5.714409e-03,5.700210e-03,5.614558e-03,5.518305e-03,5.506992e-03,5.425563e-03,5.336247e-03,5.327500e-03,5.250270e-03,5.167550e-03,5.161070e-03,5.088003e-03,5.011547e-03,5.007056e-03,4.938103e-03,4.867590e-03,4.864829e-03,4.799932e-03,4.735051e-03,4.733782e-03,4.672874e-03,4.613325e-03,4.502891e-03,4.401935e-03,4.309931e-03,4.226375e-03,4.150783e-03,4.082690e-03,4.021653e-03,3.967245e-03,3.919057e-03,3.876700e-03,3.839800e-03,3.808000e-03,3.780957e-03,3.758345e-03,3.739850e-03,3.725176e-03,3.714035e-03,3.706156e-03,3.701278e-03,3.699154e-03,3.699547e-03,3.702232e-03,3.706993e-03,3.713628e-03,3.721942e-03,3.731753e-03,3.742885e-03,3.755175e-03,3.768467e-03,3.782615e-03,3.797481e-03,3.812936e-03,3.828860e-03,3.845139e-03,3.861669e-03,3.878352e-03,3.895099e-03,3.911826e-03,3.928459e-03,3.944926e-03,3.961167e-03,3.977123e-03,3.992744e-03,4.007986e-03,4.022809e-03,4.037177e-03,4.051062e-03,4.064438e-03,4.077285e-03
0.000000e+00,1.003314e-08,1.520092e-07,1.590210e-07,1.042299e-06,3.566322e-06,3.714882e-06,8.211487e-06,1.298144e-05,1.328624e-05,1.826879e-05,2.263753e-05,2.300667e-05,2.747389e-05,3.126367e-05,3.167148e-05,3.560663e-05,3.885931e-05,3.928797e-05,4.272446e-05,4.549094e-05,4.592518e-05,4.889934e-05,5.122935e-05,5.165623e-05,5.420517e-05,5.614663e-05,5.655542e-05,5.871614e-05,6.031433e-05,6.069637e-05,6.250494e-05,6.380201e-05,6.415046e-05,6.564129e-05,6.667578e-05,6.698542e-05,6.819070e-05,6.899761e-05,6.926458e-05,7.021425e-05,7.082496e-05,7.104656e-05,7.176808e-05,7.221061e-05,7.238512e-05,7.290369e-05,7.320301e-05,7.332953e-05,7.366812e-05,7.384634e-05,7.392468e-05,7.410420e-05,7.418087e-05,7.421144e-05,7.425091e-05,7.424325e-05,7.422692e-05,7.414358e-05,7.406671e-05,7.400478e-05,7.381423e-05,7.368140e-05,7.357546e-05,7.329183e-05,7.311460e-05,7.296652e-05,7.260255e-05,7.239095e-05,7.220280e-05,7.176998e-05,7.153272e-05,7.130670e-05,7.081539e-05,7.055996e-05,7.029838e-05,6.975788e-05,6.949071e-05,6.919597e-05,6.861462e-05,6.834119e-05,6.801571e-05,6.740099e-05,6.712594e-05,6.677214e-05,6.613075e-05,6.585798e-05,6.547828e-05,6.481617e-05,6.454892e-05,6.414573e-05,6.346820e-05,6.320914e-05,6.278478e-05,6.209657e-05,6.184785e-05,6.140462e-05,6.070990e-05,6.047323e-05,6.001333e-05,5.931579e-05,5.909250e-05,5.861808e-05,5.792096e-05,5.771205e-05,5.722515e-05,5.653130e-05,5.633746e-05,5.584004e-05,5.515195e-05,5.497363e-05,5.446756e-05,5.378738e-05,5.362481e-05,5.311187e-05,5.244147e-05,5.229470e-05,5.177656e-05,5.111753e-05,5.098646e-05,5.046470e-05,4.981840e-05,4.970278e-05,4.917890e-05,4.854647e-05,4.844595e-05,4.792134e-05,4.730373e-05,4.721788e-05,4.669383e-05,4.609182e-05,4.602012e-05,4.549786e-05,4.491207e-05,4.485395e-05,4.433459e-05,4.376552e-05,4.372036e-05,4.320494e-05,4.265294e-05,4.262009e-05,4.210958e-05,4.157490e-05,4.155370e-05,4.104896e-05,4.053176e-05,4.052151e-05,4.002335e-05,3.952371e-05,3.856033e-05,3.763126e-05,3.673628e-05,3.587507e-05,3.504723e-05,3.425227e-05,3.348964e-05,3.275874e-05,3.205893e-05,3.138951e-05,3.074976e-05,3.013894e-05,2.955629e-05,2.900101e-05,2.847233e-05,2.796943e-05,2.749153e-05,2.703783e-05,2.660752e-05,2.619981e-05,2.581391e-05,2.544906e-05,2.510448e-05,2.477941e-05,2.447312e-05,2.418489e-05,2.391398e-05,2.365971e-05,2.342139e-05,2.319836e-05,2.298997e-05,2.279558e-05,2.261459e-05,2.244638e-05,2.229038e-05,2.214603e-05,2.201278e-05,2.189010e-05,2.177747e-05,2.167440e-05,2.158040e-05,2.149501e-05,2.141778e-05,2.134829e-05,2.128611e-05,2.123084e-05,2.118209e-05,2.113950e-05,2.110269e-05
0.000000e+00,4.607739e-09,8.068421e-08,8.453719e-08,5.629571e-07,1.833329e-06,1.904843e-06,3.971049e-06,6.058117e-06,6.189879e-06,8.330678e-06,1.019604e-05,1.035336e-05,1.225456e-05,1.386426e-05,1.403733e-05,1.570601e-05,1.708373e-05,1.726521e-05,1.871959e-05,1.989009e-05,2.007383e-05,2.133255e-05,2.231937e-05,2.250028e-05,2.358145e-05,2.440642e-05,2.458034e-05,2.550110e-05,2.618415e-05,2.634772e-05,2.712403e-05,2.768310e-05,2.783369e-05,2.848021e-05,2.893141e-05,2.906695e-05,2.959712e-05,2.995482e-05,3.007377e-05,3.049986e-05,3.077689e-05,3.087816e-05,3.121134e-05,3.141907e-05,3.150192e-05,3.175233e-05,3.190084e-05,3.196486e-05,3.214170e-05,3.223987e-05,3.228492e-05,3.239651e-05,3.245220e-05,3.247835e-05,3.253224e-05,3.255237e-05,3.255988e-05,3.256289e-05,3.255352e-05,3.254281e-05,3.250110e-05,3.246755e-05,3.243915e-05,3.235828e-05,3.230520e-05,3.225974e-05,3.214473e-05,3.207617e-05,3.201437e-05,3.186973e-05,3.178921e-05,3.171182e-05,3.154162e-05,3.145220e-05,3.136004e-05,3.116793e-05,3.107222e-05,3.096612e-05,3.075539e-05,3.065567e-05,3.053648e-05,3.031007e-05,3.020825e-05,3.007684e-05,2.983739e-05,2.973512e-05,2.959233e-05,2.934221e-05,2.924086e-05,2.908755e-05,2.882886e-05,2.872960e-05,2.856660e-05,2.830123e-05,2.820501e-05,2.803314e-05,2.776275e-05,2.767036e-05,2.749042e-05,2.721650e-05,2.712857e-05,2.694133e-05,2.666521e-05,2.658223e-05,2.638843e-05,2.611127e-05,2.603363e-05,2.583398e-05,2.555681e-05,2.548480e-05,2.527999e-05,2.500371e-05,2.493751e-05,2.472819e-05,2.445361e-05,2.439334e-05,2.418014e-05,2.390794e-05,2.385366e-05,2.363716e-05,2.336794e-05,2.331966e-05,2.310041e-05,2.283470e-05,2.279236e-05,2.257091e-05,2.230914e-05,2.227266e-05,2.204950e-05,2.179206e-05,2.176132e-05,2.153691e-05,2.128412e-05,2.125898e-05,2.103376e-05,2.078589e-05,2.076617e-05,2.054056e-05,2.029783e-05,2.028335e-05,2.005773e-05,1.982031e-05,1.981087e-05,1.958561e-05,1.935364e-05,1.934903e-05,1.912444e-05,1.889804e-05,1.845806e-05,1.802921e-05,1.761153e-05,1.720507e-05,1.680978e-05,1.642564e-05,1.605256e-05,1.569044e-05,1.533916e-05,1.499858e-05,1.466853e-05,1.434886e-05,1.403938e-05,1.373989e-05,1.345021e-05,1.317012e-05,1.289941e-05,1.263787e-05,1.238529e-05,1.214145e-05,1.190612e-05,1.167910e-05,1.146015e-05,1.124908e-05,1.104565e-05,1.084966e-05,1.066089e-05,1.047914e-05,1.030421e-05,1.013588e-05,9.973970e-06,9.818278e-06,9.668614e-06,9.524793e-06,9.386633e-06,9.253954e-06,9.126583e-06,9.004350e-06,8.887088e-06,8.774637e-06,8.666838e-06,8.563537e-06,8.464585e-06,8.369837e-06,8.279152e-06,8.192390e-06,8.109420e-06,8.030110e-06,7.954335e-06
0.000000e+00,1.648888e-08,3.399787e-07,3.570879e-07,2.588052e-06,8.515983e-06,8.838266e-06,1.770396e-05,2.633339e-05,2.687786e-05,3.577604e-05,4.364141e-05,4.431042e-05,5.247177e-05,5.950155e-05,6.026442e-05,6.769541e-05,7.394177e-05,7.477263e-05,8.150457e-05,8.702477e-05,8.790028e-05,9.396929e-05,9.882200e-05,9.972148e-05,1.051670e-04,1.094107e-04,1.103161e-04,1.151790e-04,1.188701e-04,1.197659e-04,1.240868e-04,1.272788e-04,1.281516e-04,1.319698e-04,1.347126e-04,1.355509e-04,1.389041e-04,1.412439e-04,1.420382e-04,1.449618e-04,1.469412e-04,1.476833e-04,1.502108e-04,1.518689e-04,1.525522e-04,1.547150e-04,1.560875e-04,1.567066e-04,1.585340e-04,1.596536e-04,1.602042e-04,1.617238e-04,1.626202e-04,1.630991e-04,1.643363e-04,1.650367e-04,1.654414e-04,1.664201e-04,1.669491e-04,1.672781e-04,1.680205e-04,1.684003e-04,1.686527e-04,1.691795e-04,1.694303e-04,1.696058e-04,1.699361e-04,1.700762e-04,1.701750e-04,1.703267e-04,1.703725e-04,1.703953e-04,1.703849e-04,1.703512e-04,1.702992e-04,1.701420e-04,1.700421e-04,1.699167e-04,1.696268e-04,1.694727e-04,1.692756e-04,1.688663e-04,1.686685e-04,1.684018e-04,1.678852e-04,1.676533e-04,1.673191e-04,1.667064e-04,1.664488e-04,1.660496e-04,1.653512e-04,1.650754e-04,1.646137e-04,1.638392e-04,1.635518e-04,1.630301e-04,1.621884e-04,1.618952e-04,1.613162e-04,1.604155e-04,1.601215e-04,1.594881e-04,1.585358e-04,1.582455e-04,1.575604e-04,1.565635e-04,1.562808e-04,1.555468e-04,1.545117e-04,1.542397e-04,1.534597e-04,1.523921e-04,1.521338e-04,1.513105e-04,1.502159e-04,1.499735e-04,1.491098e-04,1.479931e-04,1.477686e-04,1.468671e-04,1.457329e-04,1.455279e-04,1.445914e-04,1.434437e-04,1.432595e-04,1.422907e-04,1.411332e-04,1.409709e-04,1.399723e-04,1.388085e-04,1.386688e-04,1.376429e-04,1.364760e-04,1.363593e-04,1.353086e-04,1.341415e-04,1.340481e-04,1.329751e-04,1.318102e-04,1.317403e-04,1.306473e-04,1.294869e-04,1.294406e-04,1.283297e-04,1.271760e-04,1.271530e-04,1.260265e-04,1.248814e-04,1.226292e-04,1.203994e-04,1.181948e-04,1.160177e-04,1.138703e-04,1.117544e-04,1.096719e-04,1.076240e-04,1.056121e-04,1.036371e-04,1.017001e-04,9.980161e-05,9.794235e-05,9.612276e-05,9.434318e-05,9.260385e-05,9.090491e-05,8.924641e-05,8.762830e-05,8.605048e-05,8.451277e-05,8.301493e-05,8.155667e-05,8.013764e-05,7.875746e-05,7.741571e-05,7.611193e-05,7.484561e-05,7.361625e-05,7.242330e-05,7.126620e-05,7.014437e-05,6.905720e-05,6.800409e-05,6.698441e-05,6.599753e-05,6.504282e-05,6.411963e-05,6.322731e-05,6.236523e-05,6.153273e-05,6.072916e-05,5.995388e-05,5.920626e-05,5.848565e-05,5.779141e-05,5.712291e-05,5.647954e-05,5.586065e-05
0.000000e+00,1.586457e-08,3.303303e-07,3.466512e-07,2.264644e-06,6.070626e-06,6.247759e-06,1.072234e-05,1.480659e-05,1.506078e-05,1.917446e-05,2.275336e-05,2.305533e-05,2.670696e-05,2.980156e-05,3.013435e-05,3.334274e-05,3.598941e-05,3.633775e-05,3.912570e-05,4.136313e-05,4.171370e-05,4.410938e-05,4.597895e-05,4.632073e-05,4.835611e-05,4.989976e-05,5.022400e-05,5.193282e-05,5.319094e-05,5.349088e-05,5.490624e-05,5.591622e-05,5.618675e-05,5.733996e-05,5.813572e-05,5.837311e-05,5.929314e-05,5.990505e-05,6.010669e-05,6.082009e-05,6.127511e-05,6.143936e-05,6.197024e-05,6.229219e-05,6.241817e-05,6.278834e-05,6.299816e-05,6.308567e-05,6.331482e-05,6.343086e-05,6.348021e-05,6.358603e-05,6.362433e-05,6.363625e-05,6.363463e-05,6.360916e-05,6.358473e-05,6.348991e-05,6.341279e-05,6.335336e-05,6.317808e-05,6.305980e-05,6.296691e-05,6.272254e-05,6.257215e-05,6.244751e-05,6.214420e-05,6.196946e-05,6.181488e-05,6.146167e-05,6.126923e-05,6.108658e-05,6.069149e-05,6.048702e-05,6.027820e-05,5.984838e-05,5.963666e-05,5.940361e-05,5.894537e-05,5.873044e-05,5.847506e-05,5.799399e-05,5.777924e-05,5.750340e-05,5.700444e-05,5.679265e-05,5.649821e-05,5.598571e-05,5.577917e-05,5.546791e-05,5.494569e-05,5.474627e-05,5.441990e-05,5.389133e-05,5.370050e-05,5.336069e-05,5.282869e-05,5.264761e-05,5.229594e-05,5.176306e-05,5.159260e-05,5.123059e-05,5.069905e-05,5.053984e-05,5.016892e-05,4.964064e-05,4.949311e-05,4.911463e-05,4.859127e-05,4.845567e-05,4.807090e-05,4.755387e-05,4.743031e-05,4.704046e-05,4.653096e-05,4.641942e-05,4.602561e-05,4.552464e-05,4.542500e-05,4.502828e-05,4.453670e-05,4.444873e-05,4.405008e-05,4.356858e-05,4.349203e-05,4.309234e-05,4.262149e-05,4.255601e-05,4.215614e-05,4.169639e-05,4.164160e-05,4.124233e-05,4.079403e-05,4.074951e-05,4.035155e-05,3.991495e-05,3.988028e-05,3.948428e-05,3.905958e-05,3.903428e-05,3.864086e-05,3.822814e-05,3.821176e-05,3.782145e-05,3.742079e-05,3.741284e-05,3.702615e-05,3.663753e-05,3.588578e-05,3.515742e-05,3.445223e-05,3.376995e-05,3.311025e-05,3.247276e-05,3.185707e-05,3.126276e-05,3.068937e-05,3.013643e-05,2.960345e-05,2.908993e-05,2.859536e-05,2.811924e-05,2.766105e-05,2.722027e-05,2.679640e-05,2.638891e-05,2.599732e-05,2.562111e-05,2.525981e-05,2.491291e-05,2.457996e-05,2.426047e-05,2.395400e-05,2.366010e-05,2.337833e-05,2.310826e-05,2.284949e-05,2.260160e-05,2.236420e-05,2.213690e-05,2.191935e-05,2.171117e-05,2.151201e-05,2.132154e-05,2.113942e-05,2.096533e-05,2.079897e-05,2.064004e-05,2.048824e-05,2.034329e-05,2.020493e-05,2.007289e-05,1.994692e-05,1.982677e-05,1.971221e-05,1.960301e-05,1.949894e-05
0.000000e+00,9.629601e-07,2.252236e-05,2.370425e-05,2.046131e-04,8.916150e-04,9.379612e-04,2.649199e-03,5.185402e-03,5.374122e-03,8.911790e-03,1.269311e-02,1.304042e-02,1.756912e-02,2.185744e-02,2.234191e-02,2.723355e-02,3.155696e-02,3.214455e-02,3.699681e-02,4.107628e-02,4.172989e-02,4.629791e-02,4.998236e-02,5.066694e-02,5.481285e-02,5.803445e-02,5.871947e-02,6.237703e-02,6.512052e-02,6.578093e-02,6.893064e-02,7.121259e-02,7.182884e-02,7.448061e-02,7.633535e-02,7.689289e-02,7.907399e-02,8.054458e-02,8.103316e-02,8.278028e-02,8.391263e-02,8.432556e-02,8.567939e-02,8.651872e-02,8.685215e-02,8.785406e-02,8.844289e-02,8.869514e-02,8.938511e-02,8.976228e-02,8.993334e-02,9.034886e-02,9.054912e-02,9.064026e-02,9.081578e-02,9.086984e-02,9.088322e-02,9.085003e-02,9.078476e-02,9.072325e-02,9.050954e-02,9.034827e-02,9.021523e-02,8.984628e-02,8.960919e-02,8.940835e-02,8.890676e-02,8.861122e-02,8.834656e-02,8.773252e-02,8.739344e-02,8.706912e-02,8.636062e-02,8.599071e-02,8.561101e-02,8.482409e-02,8.443417e-02,8.400342e-02,8.315237e-02,8.275157e-02,8.227411e-02,8.137163e-02,8.096760e-02,8.044776e-02,7.950513e-02,7.910425e-02,7.854626e-02,7.757350e-02,7.718100e-02,7.658905e-02,7.559498e-02,7.521513e-02,7.459326e-02,7.358569e-02,7.322187e-02,7.257400e-02,7.155980e-02,7.121466e-02,7.054457e-02,6.952973e-02,6.920527e-02,6.851658e-02,6.750633e-02,6.720400e-02,6.650014e-02,6.549906e-02,6.521980e-02,6.450406e-02,6.351606e-02,6.326043e-02,6.253590e-02,6.156436e-02,6.133255e-02,6.060216e-02,5.964996e-02,5.944188e-02,5.870837e-02,5.777794e-02,5.759325e-02,5.685920e-02,5.595259e-02,5.579073e-02,5.505855e-02,5.417746e-02,5.403771e-02,5.330966e-02,5.245545e-02,5.233697e-02,5.161513e-02,5.078892e-02,5.069073e-02,4.997705e-02,4.917970e-02,4.910077e-02,4.839704e-02,4.762921e-02,4.756842e-02,4.687631e-02,4.613845e-02,4.609466e-02,4.541570e-02,4.470812e-02,4.468013e-02,4.401574e-02,4.333860e-02,4.332521e-02,4.267669e-02,4.203001e-02,4.079442e-02,3.961818e-02,3.850081e-02,3.744173e-02,3.644022e-02,3.549544e-02,3.460648e-02,3.377233e-02,3.299190e-02,3.226402e-02,3.158751e-02,3.096108e-02,3.038343e-02,2.985321e-02,2.936901e-02,2.892939e-02,2.853289e-02,2.817799e-02,2.786317e-02,2.758686e-02,2.734747e-02,2.714339e-02,2.697298e-02,2.683461e-02,2.672661e-02,2.664730e-02,2.659501e-02,2.656806e-02,2.656475e-02,2.658343e-02,2.662241e-02,2.668006e-02,2.675474e-02,2.684484e-02,2.694879e-02,2.706504e-02,2.719209e-02,2.732847e-02,2.747278e-02,2.762364e-02,2.777975e-02,2.793985e-02,2.810276e-02,2.826736e-02,2.843257e-02,2.859742e-02,2.876097e-02,2.892238e-02,2.908085e-02
0.000000e+00,4.324395e-10,7.588508e-09,7.945159e-09,4.969794e-08,1.477404e-07,1.528717e-07,2.897398e-07,4.138134e-07,4.212974e-07,5.375919e-07,6.309236e-07,6.384548e-07,7.252438e-07,7.925450e-07,7.994379e-07,8.624153e-07,9.095557e-07,9.154300e-07,9.596160e-07,9.913365e-07,9.959948e-07,1.025484e-06,1.045535e-06,1.048905e-06,1.066993e-06,1.078307e-06,1.080403e-06,1.089715e-06,1.094566e-06,1.095449e-06,1.098062e-06,1.098199e-06,1.097963e-06,1.095512e-06,1.092274e-06,1.091028e-06,1.084792e-06,1.079199e-06,1.077056e-06,1.068038e-06,1.060861e-06,1.057933e-06,1.046912e-06,1.038734e-06,1.035127e-06,1.022710e-06,1.013966e-06,1.009778e-06,9.964336e-07,9.874446e-07,9.827669e-07,9.688567e-07,9.598586e-07,9.547720e-07,9.405730e-07,9.317355e-07,9.263121e-07,9.120349e-07,9.034775e-07,8.977810e-07,8.835845e-07,8.753887e-07,8.694750e-07,8.554777e-07,8.476965e-07,8.416143e-07,8.279032e-07,8.205681e-07,8.143599e-07,8.009974e-07,7.941240e-07,7.878265e-07,7.748561e-07,7.684484e-07,7.620933e-07,7.495438e-07,7.435971e-07,7.372119e-07,7.251007e-07,7.196044e-07,7.132125e-07,7.015486e-07,6.964877e-07,6.901096e-07,6.788952e-07,6.742521e-07,6.679050e-07,6.571376e-07,6.528927e-07,6.465915e-07,6.362647e-07,6.323975e-07,6.261549e-07,6.162597e-07,6.127494e-07,6.065762e-07,5.971015e-07,5.939272e-07,5.878326e-07,5.787663e-07,5.759073e-07,5.698991e-07,5.612278e-07,5.586641e-07,5.527489e-07,5.444590e-07,5.421712e-07,5.363544e-07,5.284318e-07,5.264013e-07,5.206875e-07,5.131182e-07,5.113271e-07,5.057202e-07,4.984900e-07,4.969216e-07,4.914244e-07,4.845198e-07,4.831579e-07,4.777728e-07,4.711801e-07,4.700096e-07,4.647385e-07,4.584447e-07,4.574512e-07,4.522955e-07,4.462878e-07,4.454578e-07,4.404184e-07,4.346843e-07,4.340052e-07,4.290827e-07,4.236104e-07,4.230702e-07,4.182647e-07,4.130428e-07,4.126303e-07,4.079418e-07,4.029592e-07,4.026639e-07,3.980921e-07,3.933381e-07,3.931502e-07,3.886945e-07,3.841590e-07,3.840694e-07,3.797290e-07,3.754022e-07,3.671304e-07,3.592364e-07,3.517034e-07,3.445154e-07,3.376569e-07,3.311132e-07,3.248703e-07,3.189147e-07,3.132335e-07,3.078145e-07,3.026459e-07,2.977165e-07,2.930155e-07,2.885327e-07,2.842583e-07,2.801830e-07,2.762978e-07,2.725941e-07,2.690638e-07,2.656991e-07,2.624926e-07,2.594370e-07,2.565258e-07,2.537522e-07,2.511102e-07,2.485938e-07,2.461973e-07,2.439153e-07,2.417427e-07,2.396745e-07,2.377060e-07,2.358327e-07,2.340503e-07,2.323547e-07,2.307419e-07,2.292081e-07,2.277499e-07,2.263637e-07,2.250464e-07,2.237946e-07,2.226056e-07,2.214764e-07,2.204043e-07,2.193867e-07,2.184211e-07,2.175051e-07,2.166365e-07,2.158130e-07,2.150327e-07
0.000000e+00,4.530509e-08,7.594456e-07,7.944160e-07,5.250801e-06,1.906017e-05,1.993176e-05,5.020311e-05,9.017706e-05,9.291476e-05,1.383064e-04,1.762947e-04,1.793471e-04,2.139268e-04,2.396236e-04,2.421845e-04,2.648502e-04,2.807983e-04,2.827128e-04,2.964906e-04,3.055532e-04,3.068109e-04,3.142145e-04,3.185211e-04,3.191656e-04,3.220616e-04,3.231427e-04,3.232421e-04,3.229967e-04,3.219407e-04,3.215720e-04,3.191775e-04,3.167520e-04,3.159911e-04,3.121636e-04,3.089052e-04,3.078225e-04,3.030756e-04,2.993556e-04,2.980137e-04,2.927133e-04,2.887859e-04,2.872387e-04,2.816439e-04,2.776805e-04,2.759740e-04,2.702665e-04,2.663801e-04,2.645526e-04,2.588582e-04,2.551212e-04,2.532047e-04,2.476094e-04,2.440656e-04,2.420864e-04,2.366472e-04,2.333210e-04,2.313008e-04,2.260544e-04,2.229569e-04,2.209134e-04,2.158819e-04,2.130149e-04,2.109626e-04,2.061576e-04,2.035171e-04,2.014678e-04,1.968937e-04,1.944718e-04,1.924352e-04,1.880915e-04,1.858779e-04,1.838617e-04,1.797444e-04,1.777275e-04,1.757381e-04,1.718410e-04,1.700086e-04,1.680511e-04,1.643663e-04,1.627060e-04,1.607845e-04,1.573035e-04,1.558032e-04,1.539209e-04,1.506345e-04,1.492824e-04,1.474420e-04,1.443410e-04,1.431257e-04,1.413292e-04,1.384043e-04,1.373152e-04,1.355641e-04,1.328062e-04,1.318332e-04,1.301286e-04,1.275290e-04,1.266625e-04,1.250053e-04,1.225553e-04,1.217866e-04,1.201771e-04,1.178687e-04,1.171894e-04,1.156280e-04,1.134532e-04,1.128558e-04,1.113424e-04,1.092938e-04,1.087711e-04,1.073056e-04,1.053761e-04,1.049216e-04,1.035036e-04,1.016865e-04,1.012940e-04,9.992317e-05,9.821205e-05,9.787596e-05,9.655165e-05,9.494050e-05,9.465561e-05,9.337718e-05,9.186029e-05,9.162181e-05,9.038849e-05,8.896048e-05,8.876398e-05,8.757497e-05,8.623073e-05,8.607214e-05,8.492657e-05,8.366130e-05,8.353687e-05,8.243381e-05,8.124297e-05,8.114926e-05,8.008774e-05,7.896706e-05,7.890089e-05,7.787992e-05,7.682535e-05,7.678383e-05,7.580240e-05,7.481013e-05,7.479059e-05,7.384765e-05,7.291409e-05,7.114767e-05,6.948503e-05,6.792023e-05,6.644768e-05,6.506208e-05,6.375847e-05,6.253214e-05,6.137866e-05,6.029386e-05,5.927378e-05,5.831471e-05,5.741316e-05,5.656581e-05,5.576956e-05,5.502145e-05,5.431873e-05,5.365877e-05,5.303913e-05,5.245746e-05,5.191160e-05,5.139946e-05,5.091911e-05,5.046871e-05,5.004652e-05,4.965093e-05,4.928038e-05,4.893343e-05,4.860871e-05,4.830494e-05,4.802089e-05,4.775543e-05,4.750746e-05,4.727598e-05,4.706002e-05,4.685868e-05,4.667109e-05,4.649647e-05,4.633404e-05,4.618309e-05,4.604295e-05,4.591299e-05,4.579260e-05,4.568121e-05,4.557830e-05,4.548335e-05,4.539591e-05,4.531551e-05,4.524175e-05,4.517422e-05
0.000000e+00,3.490702e-07,8.698285e-06,9.165851e-06,8.175853e-05,3.520070e-04,3.698724e-04,1.004776e-03,1.883909e-03,1.947134e-03,3.089554e-03,4.239749e-03,4.342427e-03,5.643669e-03,6.821986e-03,6.952348e-03,8.242072e-03,9.347935e-03,9.496158e-03,1.070435e-02,1.170204e-02,1.186066e-02,1.296188e-02,1.384331e-02,1.400668e-02,1.499494e-02,1.576361e-02,1.592737e-02,1.680516e-02,1.746907e-02,1.762984e-02,1.840313e-02,1.897180e-02,1.912686e-02,1.980292e-02,2.028601e-02,2.043320e-02,2.101956e-02,2.142629e-02,2.156386e-02,2.206790e-02,2.240685e-02,2.253341e-02,2.296209e-02,2.324114e-02,2.335559e-02,2.371548e-02,2.394179e-02,2.404330e-02,2.434051e-02,2.452059e-02,2.460853e-02,2.484874e-02,2.498847e-02,2.506243e-02,2.525088e-02,2.535558e-02,2.541531e-02,2.555687e-02,2.563130e-02,2.567669e-02,2.577585e-02,2.582430e-02,2.585538e-02,2.591628e-02,2.594261e-02,2.595952e-02,2.598599e-02,2.599364e-02,2.599660e-02,2.599218e-02,2.598421e-02,2.597354e-02,2.594148e-02,2.592064e-02,2.589673e-02,2.584002e-02,2.580876e-02,2.577204e-02,2.569345e-02,2.565391e-02,2.560488e-02,2.550694e-02,2.546103e-02,2.540021e-02,2.528525e-02,2.523464e-02,2.516260e-02,2.503276e-02,2.497893e-02,2.489624e-02,2.475349e-02,2.469770e-02,2.460496e-02,2.445110e-02,2.439448e-02,2.429230e-02,2.412896e-02,2.407245e-02,2.396145e-02,2.379014e-02,2.373457e-02,2.361537e-02,2.343746e-02,2.338352e-02,2.325673e-02,2.307347e-02,2.302174e-02,2.288797e-02,2.270050e-02,2.265147e-02,2.251132e-02,2.232068e-02,2.227473e-02,2.212880e-02,2.193592e-02,2.189337e-02,2.174224e-02,2.154797e-02,2.150906e-02,2.135329e-02,2.115840e-02,2.112331e-02,2.096345e-02,2.076863e-02,2.073748e-02,2.057408e-02,2.037994e-02,2.035281e-02,2.018637e-02,1.999349e-02,1.997040e-02,1.980142e-02,1.961029e-02,1.959123e-02,1.942021e-02,1.923127e-02,1.921621e-02,1.904358e-02,1.885723e-02,1.884610e-02,1.867232e-02,1.848891e-02,1.848161e-02,1.830709e-02,1.812693e-02,1.812334e-02,1.794849e-02,1.777185e-02,1.742758e-02,1.709096e-02,1.676232e-02,1.644195e-02,1.613009e-02,1.582694e-02,1.553266e-02,1.524736e-02,1.497112e-02,1.470400e-02,1.444601e-02,1.419715e-02,1.395739e-02,1.372668e-02,1.350495e-02,1.329211e-02,1.308805e-02,1.289267e-02,1.270581e-02,1.252735e-02,1.235712e-02,1.219496e-02,1.204071e-02,1.189417e-02,1.175516e-02,1.162349e-02,1.149897e-02,1.138139e-02,1.127056e-02,1.116625e-02,1.106827e-02,1.097641e-02,1.089046e-02,1.081021e-02,1.073544e-02,1.066594e-02,1.060152e-02,1.054196e-02,1.048705e-02,1.043660e-02,1.039040e-02,1.034826e-02,1.030998e-02,1.027538e-02,1.024425e-02,1.021643e-02,1.019172e-02,1.016996e-02,1.015098e-02
0.000000e+00,1.438121e-09,1.445993e-08,1.500772e-08,7.322340e-08,2.260620e-07,2.352997e-07,5.496458e-07,9.722828e-07,1.002097e-06,1.517432e-06,1.981524e-06,2.020199e-06,2.474481e-06,2.834821e-06,2.872042e-06,3.214664e-06,3.474239e-06,3.506790e-06,3.753307e-06,3.932437e-06,3.958930e-06,4.128042e-06,4.244828e-06,4.264657e-06,4.372432e-06,4.441622e-06,4.454681e-06,4.514397e-06,4.547769e-06,4.554279e-06,4.576748e-06,4.583593e-06,4.583978e-06,4.577913e-06,4.565487e-06,4.560289e-06,4.532662e-06,4.506601e-06,4.496421e-06,4.452803e-06,4.417451e-06,4.402906e-06,4.347708e-06,4.306385e-06,4.288078e-06,4.224783e-06,4.180000e-06,4.158505e-06,4.089845e-06,4.043485e-06,4.019334e-06,3.947440e-06,3.900894e-06,3.874574e-06,3.801096e-06,3.755373e-06,3.727322e-06,3.653527e-06,3.609341e-06,3.579951e-06,3.506799e-06,3.464638e-06,3.434252e-06,3.362463e-06,3.322641e-06,3.291562e-06,3.221660e-06,3.184362e-06,3.152851e-06,3.085211e-06,3.050522e-06,3.018804e-06,2.953682e-06,2.921616e-06,2.889884e-06,2.827442e-06,2.797957e-06,2.766377e-06,2.706704e-06,2.679725e-06,2.648433e-06,2.591565e-06,2.566988e-06,2.536099e-06,2.482028e-06,2.459732e-06,2.429343e-06,2.378029e-06,2.357884e-06,2.328070e-06,2.279450e-06,2.261321e-06,2.232147e-06,2.186139e-06,2.169889e-06,2.141403e-06,2.097916e-06,2.083410e-06,2.055652e-06,2.014584e-06,2.001691e-06,1.974688e-06,1.935936e-06,1.924529e-06,1.898301e-06,1.861757e-06,1.851716e-06,1.826276e-06,1.791831e-06,1.783042e-06,1.758397e-06,1.725946e-06,1.718302e-06,1.694453e-06,1.663891e-06,1.657290e-06,1.634235e-06,1.605460e-06,1.599808e-06,1.577541e-06,1.550454e-06,1.545665e-06,1.524176e-06,1.498683e-06,1.494676e-06,1.473953e-06,1.449963e-06,1.446662e-06,1.426692e-06,1.404119e-06,1.401456e-06,1.382223e-06,1.360983e-06,1.358895e-06,1.340381e-06,1.320398e-06,1.318825e-06,1.301014e-06,1.282212e-06,1.281102e-06,1.263974e-06,1.246283e-06,1.245587e-06,1.229123e-06,1.212477e-06,1.212149e-06,1.196330e-06,1.180666e-06,1.151020e-06,1.123103e-06,1.096811e-06,1.072047e-06,1.048718e-06,1.026739e-06,1.006029e-06,9.865115e-07,9.681147e-07,9.507715e-07,9.344187e-07,9.189969e-07,9.044502e-07,8.907263e-07,8.777759e-07,8.655529e-07,8.540139e-07,8.431182e-07,8.328275e-07,8.231060e-07,8.139200e-07,8.052378e-07,7.970297e-07,7.892677e-07,7.819255e-07,7.749787e-07,7.684042e-07,7.621802e-07,7.562863e-07,7.507036e-07,7.454137e-07,7.404001e-07,7.356467e-07,7.311385e-07,7.268616e-07,7.228029e-07,7.189500e-07,7.152912e-07,7.118157e-07,7.085131e-07,7.053738e-07,7.023887e-07,6.995493e-07,6.968475e-07,6.942757e-07,6.918269e-07,6.894943e-07,6.872717e-07,6.851531e-07
0.000000e+00,4.223429e-07,7.615324e-06,7.970485e-06,5.574307e-05,2.315341e-04,2.438581e-04,7.548569e-04,1.692961e-03,1.769747e-03,3.334003e-03,5.177704e-03,5.352631e-03,7.686482e-03,9.950989e-03,1.020857e-02,1.281708e-02,1.512185e-02,1.543431e-02,1.800257e-02,2.013995e-02,2.048015e-02,2.283780e-02,2.471103e-02,2.505599e-02,2.712261e-02,2.869950e-02,2.903125e-02,3.077981e-02,3.206405e-02,3.236938e-02,3.380342e-02,3.481726e-02,3.508707e-02,3.622662e-02,3.700063e-02,3.722913e-02,3.810213e-02,3.866932e-02,3.885336e-02,3.949058e-02,3.988312e-02,4.002149e-02,4.045357e-02,4.070112e-02,4.079407e-02,4.104990e-02,4.117888e-02,4.122766e-02,4.133359e-02,4.136702e-02,4.137357e-02,4.135314e-02,4.131075e-02,4.127746e-02,4.115138e-02,4.104989e-02,4.097941e-02,4.076574e-02,4.061917e-02,4.051430e-02,4.022869e-02,4.004874e-02,3.991231e-02,3.956827e-02,3.936461e-02,3.919946e-02,3.880858e-02,3.858920e-02,3.839810e-02,3.797033e-02,3.774178e-02,3.752741e-02,3.707129e-02,3.683886e-02,3.660381e-02,3.612665e-02,3.589464e-02,3.564137e-02,3.514941e-02,3.492124e-02,3.465211e-02,3.415068e-02,3.392905e-02,3.364628e-02,3.313993e-02,3.292691e-02,3.263260e-02,3.212518e-02,3.192237e-02,3.161848e-02,3.111326e-02,3.092180e-02,3.061019e-02,3.010991e-02,2.993060e-02,2.961299e-02,2.911996e-02,2.895330e-02,2.863129e-02,2.814741e-02,2.799365e-02,2.766873e-02,2.719560e-02,2.705479e-02,2.672833e-02,2.626722e-02,2.613925e-02,2.581252e-02,2.536446e-02,2.524908e-02,2.492324e-02,2.448903e-02,2.438589e-02,2.406200e-02,2.364227e-02,2.355092e-02,2.322995e-02,2.282513e-02,2.274507e-02,2.242790e-02,2.203830e-02,2.196899e-02,2.165640e-02,2.128221e-02,2.122306e-02,2.091576e-02,2.055705e-02,2.050745e-02,2.020608e-02,1.986284e-02,1.982217e-02,1.952730e-02,1.919943e-02,1.916706e-02,1.887919e-02,1.856653e-02,1.854185e-02,1.826141e-02,1.796376e-02,1.794613e-02,1.767351e-02,1.739060e-02,1.737944e-02,1.711496e-02,1.684650e-02,1.684120e-02,1.658514e-02,1.633080e-02,1.584757e-02,1.539078e-02,1.495971e-02,1.455358e-02,1.417161e-02,1.381299e-02,1.347692e-02,1.316259e-02,1.286919e-02,1.259592e-02,1.234197e-02,1.210656e-02,1.188889e-02,1.168819e-02,1.150370e-02,1.133468e-02,1.118038e-02,1.104009e-02,1.091309e-02,1.079870e-02,1.069624e-02,1.060505e-02,1.052448e-02,1.045391e-02,1.039273e-02,1.034035e-02,1.029619e-02,1.025968e-02,1.023030e-02,1.020751e-02,1.019081e-02,1.017972e-02,1.017376e-02,1.017249e-02,1.017547e-02,1.018228e-02,1.019254e-02,1.020586e-02,1.022189e-02,1.024029e-02,1.026072e-02,1.028289e-02,1.030652e-02,1.033132e-02,1.035705e-02,1.038347e-02,1.041036e-02,1.043752e-02,1.046476e-02
0.000000e+00,2.883841e-08,4.607241e-07,4.822050e-07,3.198928e-06,1.096979e-05,1.143010e-05,2.563940e-05,4.096670e-05,4.194213e-05,5.772738e-05,7.128194e-05,7.241424e-05,8.595012e-05,9.718183e-05,9.837609e-05,1.097494e-04,1.189343e-04,1.201294e-04,1.295745e-04,1.369930e-04,1.381416e-04,1.458856e-04,1.517932e-04,1.528593e-04,1.591128e-04,1.637369e-04,1.646939e-04,1.696481e-04,1.731887e-04,1.740180e-04,1.778440e-04,1.804752e-04,1.811641e-04,1.840142e-04,1.858866e-04,1.864278e-04,1.884366e-04,1.896799e-04,1.900700e-04,1.913561e-04,1.920816e-04,1.923207e-04,1.929884e-04,1.932915e-04,1.933821e-04,1.935232e-04,1.934851e-04,1.934317e-04,1.931265e-04,1.928165e-04,1.926251e-04,1.919439e-04,1.914207e-04,1.910983e-04,1.901026e-04,1.894159e-04,1.889703e-04,1.877138e-04,1.869053e-04,1.863449e-04,1.848744e-04,1.839790e-04,1.833125e-04,1.816687e-04,1.807156e-04,1.799517e-04,1.781698e-04,1.771832e-04,1.763306e-04,1.744412e-04,1.734411e-04,1.725082e-04,1.705378e-04,1.695403e-04,1.685356e-04,1.665069e-04,1.655252e-04,1.644566e-04,1.623892e-04,1.614337e-04,1.603090e-04,1.582197e-04,1.572985e-04,1.561249e-04,1.540280e-04,1.531474e-04,1.519320e-04,1.498396e-04,1.490042e-04,1.477534e-04,1.456758e-04,1.448890e-04,1.436089e-04,1.415547e-04,1.408187e-04,1.395150e-04,1.374914e-04,1.368073e-04,1.354853e-04,1.334982e-04,1.328665e-04,1.315312e-04,1.295854e-04,1.290059e-04,1.276618e-04,1.257612e-04,1.252332e-04,1.238844e-04,1.220321e-04,1.215545e-04,1.202048e-04,1.184031e-04,1.179745e-04,1.166274e-04,1.148781e-04,1.144968e-04,1.131554e-04,1.114596e-04,1.111237e-04,1.097909e-04,1.081495e-04,1.078569e-04,1.065354e-04,1.049486e-04,1.046973e-04,1.033893e-04,1.018573e-04,1.016450e-04,1.003526e-04,9.887508e-05,9.869960e-05,9.742466e-05,9.600118e-05,9.586030e-05,9.460446e-05,9.323433e-05,9.312586e-05,9.189056e-05,9.057293e-05,9.049470e-05,8.928121e-05,8.801512e-05,8.796500e-05,8.677440e-05,8.555876e-05,8.553471e-05,8.436793e-05,8.320158e-05,8.096326e-05,7.881726e-05,7.676103e-05,7.479196e-05,7.290740e-05,7.110470e-05,6.938119e-05,6.773421e-05,6.616116e-05,6.465942e-05,6.322645e-05,6.185973e-05,6.055680e-05,5.931527e-05,5.813278e-05,5.700705e-05,5.593586e-05,5.491704e-05,5.394850e-05,5.302821e-05,5.215419e-05,5.132455e-05,5.053745e-05,4.979110e-05,4.908380e-05,4.841387e-05,4.777974e-05,4.717985e-05,4.661272e-05,4.607693e-05,4.557110e-05,4.509392e-05,4.464409e-05,4.422042e-05,4.382170e-05,4.344683e-05,4.309470e-05,4.276428e-05,4.245455e-05,4.216457e-05,4.189341e-05,4.164017e-05,4.140400e-05,4.118410e-05,4.097967e-05,4.078996e-05,4.061426e-05,4.045188e-05,4.030214e-05
0.000000e+00,1.882082e-08,2.216641e-07,2.307027e-07,1.238490e-06,3.907946e-06,4.067287e-06,9.355833e-06,1.618815e-05,1.666288e-05,2.481847e-05,3.224924e-05,3.287929e-05,4.047861e-05,4.685618e-05,4.753758e-05,5.405809e-05,5.936732e-05,6.006122e-05,6.557258e-05,6.993915e-05,7.061855e-05,7.522517e-05,7.877372e-05,7.941772e-05,8.322060e-05,8.606458e-05,8.665713e-05,8.974962e-05,9.199019e-05,9.251926e-05,9.498616e-05,9.671248e-05,9.716940e-05,9.908709e-05,1.003775e-04,1.007563e-04,1.021933e-04,1.031161e-04,1.034133e-04,1.044309e-04,1.050460e-04,1.052598e-04,1.059129e-04,1.062721e-04,1.064025e-04,1.067400e-04,1.068882e-04,1.069364e-04,1.070018e-04,1.069779e-04,1.069459e-04,1.067778e-04,1.066153e-04,1.065061e-04,1.061388e-04,1.058665e-04,1.056836e-04,1.051475e-04,1.047898e-04,1.045373e-04,1.038592e-04,1.034372e-04,1.031193e-04,1.023230e-04,1.018545e-04,1.014756e-04,1.005821e-04,1.000820e-04,9.964689e-05,9.867442e-05,9.815535e-05,9.766869e-05,9.663350e-05,9.610596e-05,9.557237e-05,9.448862e-05,9.396131e-05,9.338535e-05,9.226543e-05,9.174543e-05,9.113157e-05,8.998628e-05,8.947935e-05,8.883191e-05,8.767064e-05,8.718134e-05,8.650450e-05,8.533537e-05,8.486728e-05,8.416501e-05,8.299503e-05,8.255086e-05,8.182695e-05,8.066215e-05,8.024387e-05,7.950191e-05,7.834743e-05,7.795641e-05,7.719978e-05,7.605998e-05,7.569705e-05,7.492894e-05,7.380749e-05,7.347304e-05,7.269641e-05,7.159639e-05,7.129046e-05,7.050807e-05,6.943201e-05,6.915431e-05,6.836874e-05,6.731871e-05,6.706872e-05,6.628234e-05,6.525999e-05,6.503698e-05,6.425197e-05,6.325859e-05,6.306168e-05,6.228006e-05,6.131660e-05,6.114479e-05,6.036839e-05,5.943555e-05,5.928774e-05,5.851822e-05,5.761647e-05,5.749147e-05,5.673035e-05,5.585992e-05,5.575653e-05,5.500519e-05,5.416614e-05,5.408310e-05,5.334276e-05,5.253500e-05,5.247105e-05,5.174282e-05,5.096613e-05,5.092002e-05,5.020485e-05,4.945890e-05,4.942938e-05,4.872815e-05,4.801249e-05,4.799833e-05,4.731178e-05,4.662591e-05,4.531102e-05,4.405247e-05,4.284896e-05,4.169912e-05,4.060152e-05,3.955472e-05,3.855721e-05,3.760748e-05,3.670402e-05,3.584530e-05,3.502981e-05,3.425605e-05,3.352251e-05,3.282774e-05,3.217028e-05,3.154873e-05,3.096168e-05,3.040778e-05,2.988570e-05,2.939415e-05,2.893187e-05,2.849764e-05,2.809026e-05,2.770859e-05,2.735150e-05,2.701791e-05,2.670678e-05,2.641709e-05,2.614786e-05,2.589815e-05,2.566704e-05,2.545365e-05,2.525713e-05,2.507666e-05,2.491145e-05,2.476075e-05,2.462383e-05,2.449997e-05,2.438851e-05,2.428879e-05,2.420019e-05,2.412210e-05,2.405396e-05,2.399520e-05,2.394529e-05,2.390373e-05,2.387001e-05,2.384369e-05,2.382430e-05
0.000000e+00,1.841425e-07,4.031126e-06,4.234527e-06,3.305996e-05,1.356789e-04,1.425868e-04,4.072498e-04,8.284982e-04,8.606060e-04,1.465654e-03,2.098171e-03,2.154897e-03,2.868735e-03,3.496807e-03,3.564726e-03,4.215653e-03,4.738464e-03,4.805750e-03,5.327368e-03,5.719476e-03,5.778399e-03,6.160383e-03,6.430644e-03,6.477145e-03,6.733824e-03,6.903518e-03,6.936208e-03,7.090268e-03,7.182665e-03,7.201857e-03,7.276524e-03,7.312447e-03,7.319394e-03,7.335116e-03,7.331483e-03,7.327846e-03,7.301256e-03,7.271044e-03,7.258554e-03,7.202522e-03,7.155284e-03,7.135555e-03,7.059697e-03,7.002250e-03,6.976688e-03,6.887999e-03,6.825085e-03,6.794866e-03,6.698328e-03,6.633175e-03,6.599251e-03,6.498357e-03,6.433113e-03,6.396246e-03,6.293414e-03,6.229480e-03,6.190272e-03,6.087157e-03,6.025421e-03,5.984352e-03,5.882084e-03,5.823092e-03,5.780545e-03,5.679890e-03,5.623958e-03,5.580246e-03,5.481719e-03,5.429009e-03,5.384393e-03,5.288340e-03,5.238915e-03,5.193617e-03,5.100270e-03,5.054124e-03,5.008335e-03,4.917843e-03,4.874926e-03,4.828816e-03,4.741272e-03,4.701504e-03,4.655224e-03,4.570681e-03,4.533960e-03,4.487647e-03,4.406126e-03,4.372338e-03,4.326116e-03,4.247616e-03,4.216637e-03,4.170619e-03,4.095120e-03,4.066821e-03,4.021110e-03,3.948579e-03,3.922828e-03,3.877517e-03,3.807910e-03,3.784573e-03,3.739746e-03,3.673010e-03,3.651954e-03,3.607688e-03,3.543763e-03,3.524855e-03,3.481219e-03,3.420039e-03,3.403150e-03,3.360205e-03,3.301700e-03,3.286704e-03,3.244505e-03,3.188601e-03,3.175374e-03,3.133970e-03,3.080592e-03,3.069016e-03,3.028449e-03,2.977521e-03,2.967479e-03,2.927788e-03,2.879231e-03,2.870614e-03,2.831831e-03,2.785568e-03,2.778270e-03,2.740422e-03,2.696375e-03,2.690295e-03,2.653407e-03,2.611499e-03,2.606541e-03,2.570632e-03,2.530787e-03,2.526858e-03,2.491946e-03,2.454089e-03,2.451102e-03,2.417199e-03,2.381257e-03,2.379130e-03,2.346246e-03,2.312148e-03,2.310802e-03,2.278944e-03,2.246619e-03,2.245981e-03,2.215154e-03,2.184534e-03,2.126331e-03,2.071246e-03,2.019156e-03,1.969943e-03,1.923491e-03,1.879690e-03,1.838430e-03,1.799608e-03,1.763123e-03,1.728877e-03,1.696775e-03,1.666726e-03,1.638643e-03,1.612439e-03,1.588033e-03,1.565345e-03,1.544299e-03,1.524819e-03,1.506835e-03,1.490276e-03,1.475077e-03,1.461172e-03,1.448498e-03,1.436996e-03,1.426606e-03,1.417273e-03,1.408941e-03,1.401559e-03,1.395075e-03,1.389440e-03,1.384607e-03,1.380529e-03,1.377163e-03,1.374466e-03,1.372396e-03,1.370914e-03,1.369982e-03,1.369563e-03,1.369620e-03,1.370121e-03,1.371033e-03,1.372323e-03,1.373962e-03,1.375920e-03,1.378169e-03,1.380684e-03,1.383439e-03,1.386409e-03,1.389571e-03
0.000000e+00,5.993993e-09,7.988673e-08,8.338279e-08,5.063034e-07,1.690589e-06,1.760731e-06,3.934616e-06,6.289709e-06,6.439339e-06,8.846006e-06,1.087985e-05,1.104805e-05,1.303540e-05,1.464833e-05,1.481770e-05,1.640827e-05,1.766021e-05,1.782075e-05,1.906838e-05,2.001919e-05,2.016385e-05,2.111919e-05,2.182170e-05,2.194575e-05,2.265420e-05,2.315400e-05,2.325450e-05,2.375593e-05,2.409171e-05,2.416713e-05,2.449606e-05,2.470032e-05,2.475016e-05,2.493627e-05,2.503617e-05,2.506074e-05,2.512936e-05,2.514733e-05,2.514745e-05,2.511992e-05,2.507443e-05,2.505134e-05,2.494586e-05,2.485215e-05,2.480735e-05,2.463935e-05,2.450999e-05,2.444523e-05,2.422803e-05,2.407335e-05,2.399045e-05,2.373501e-05,2.356321e-05,2.346398e-05,2.317946e-05,2.299712e-05,2.288335e-05,2.257739e-05,2.238976e-05,2.226318e-05,2.194215e-05,2.175336e-05,2.161563e-05,2.128481e-05,2.109808e-05,2.095078e-05,2.061455e-05,2.043238e-05,2.027699e-05,1.993893e-05,1.976318e-05,1.960108e-05,1.926410e-05,1.909613e-05,1.892859e-05,1.859507e-05,1.843583e-05,1.826401e-05,1.793584e-05,1.778596e-05,1.761093e-05,1.728961e-05,1.714944e-05,1.697216e-05,1.665884e-05,1.652854e-05,1.634988e-05,1.604546e-05,1.592500e-05,1.574575e-05,1.545088e-05,1.534012e-05,1.516096e-05,1.487609e-05,1.477479e-05,1.459634e-05,1.432177e-05,1.422961e-05,1.405242e-05,1.378831e-05,1.370491e-05,1.352946e-05,1.327587e-05,1.320082e-05,1.302753e-05,1.278441e-05,1.271728e-05,1.254650e-05,1.231376e-05,1.225409e-05,1.208615e-05,1.186361e-05,1.181095e-05,1.164610e-05,1.143356e-05,1.138746e-05,1.122593e-05,1.102313e-05,1.098315e-05,1.082511e-05,1.063179e-05,1.059748e-05,1.044309e-05,1.025895e-05,1.022991e-05,1.007929e-05,9.904016e-06,9.879824e-06,9.733063e-06,9.566347e-06,9.546622e-06,9.403788e-06,9.245305e-06,9.229677e-06,9.090817e-06,8.940243e-06,8.928364e-06,8.793503e-06,8.650517e-06,8.642056e-06,8.511204e-06,8.375485e-06,8.370130e-06,8.243282e-06,8.114517e-06,8.111976e-06,7.989112e-06,7.866992e-06,7.634593e-06,7.414207e-06,7.205281e-06,7.007279e-06,6.819684e-06,6.641997e-06,6.473739e-06,6.314449e-06,6.163686e-06,6.021026e-06,5.886064e-06,5.758413e-06,5.637703e-06,5.523582e-06,5.415713e-06,5.313775e-06,5.217462e-06,5.126483e-06,5.040562e-06,4.959434e-06,4.882849e-06,4.810569e-06,4.742367e-06,4.678029e-06,4.617350e-06,4.560135e-06,4.506201e-06,4.455374e-06,4.407486e-06,4.362380e-06,4.319908e-06,4.279928e-06,4.242304e-06,4.206911e-06,4.173626e-06,4.142336e-06,4.112931e-06,4.085309e-06,4.059373e-06,4.035030e-06,4.012193e-06,3.990778e-06,3.970707e-06,3.951906e-06,3.934305e-06,3.917835e-06,3.902435e-06,3.888044e-06,3.874605e-06
0.000000e+00,1.742935e-09,2.666877e-08,2.790538e-08,1.827883e-07,6.090810e-07,6.334628e-07,1.342391e-06,2.048171e-06,2.091931e-06,2.785736e-06,3.360806e-06,3.407959e-06,3.960464e-06,4.402283e-06,4.448314e-06,4.876925e-06,5.209222e-06,5.251478e-06,5.576816e-06,5.820681e-06,5.857434e-06,6.097490e-06,6.270608e-06,6.300822e-06,6.470959e-06,6.587983e-06,6.611141e-06,6.724319e-06,6.797248e-06,6.813205e-06,6.880279e-06,6.918912e-06,6.927795e-06,6.957803e-06,6.970057e-06,6.972173e-06,6.972600e-06,6.964851e-06,6.960623e-06,6.937636e-06,6.914981e-06,6.904901e-06,6.863564e-06,6.830069e-06,6.814661e-06,6.759129e-06,6.718016e-06,6.697814e-06,6.631484e-06,6.585296e-06,6.560828e-06,6.486471e-06,6.437201e-06,6.408974e-06,6.328844e-06,6.278044e-06,6.246538e-06,6.162465e-06,6.111328e-06,6.076994e-06,5.990454e-06,5.939890e-06,5.903143e-06,5.815324e-06,5.766013e-06,5.727234e-06,5.639085e-06,5.591526e-06,5.551064e-06,5.463338e-06,5.417887e-06,5.376056e-06,5.289347e-06,5.246244e-06,5.203326e-06,5.118096e-06,5.077492e-06,5.033743e-06,4.950346e-06,4.912323e-06,4.867971e-06,4.786673e-06,4.751257e-06,4.706503e-06,4.627501e-06,4.594677e-06,4.549701e-06,4.473131e-06,4.442852e-06,4.397813e-06,4.323765e-06,4.295962e-06,4.251000e-06,4.179526e-06,4.154113e-06,4.109350e-06,4.040474e-06,4.017352e-06,3.972896e-06,3.906614e-06,3.885676e-06,3.841622e-06,3.777913e-06,3.759049e-06,3.715478e-06,3.654305e-06,3.637402e-06,3.594384e-06,3.535700e-06,3.520643e-06,3.478240e-06,3.421989e-06,3.408666e-06,3.366929e-06,3.313046e-06,3.301348e-06,3.260322e-06,3.208740e-06,3.198558e-06,3.158280e-06,3.108927e-06,3.100159e-06,3.060660e-06,3.013462e-06,3.006008e-06,2.967314e-06,2.922197e-06,2.915962e-06,2.878092e-06,2.834981e-06,2.829874e-06,2.792846e-06,2.751667e-06,2.747601e-06,2.711426e-06,2.672105e-06,2.668998e-06,2.633686e-06,2.596150e-06,2.593926e-06,2.559481e-06,2.523660e-06,2.522245e-06,2.488670e-06,2.454495e-06,2.453819e-06,2.421116e-06,2.388518e-06,2.326214e-06,2.266781e-06,2.210101e-06,2.156056e-06,2.104536e-06,2.055433e-06,2.008642e-06,1.964064e-06,1.921603e-06,1.881167e-06,1.842666e-06,1.806017e-06,1.771138e-06,1.737951e-06,1.706381e-06,1.676356e-06,1.647807e-06,1.620670e-06,1.594879e-06,1.570377e-06,1.547103e-06,1.525004e-06,1.504027e-06,1.484120e-06,1.465235e-06,1.447327e-06,1.430350e-06,1.414262e-06,1.399022e-06,1.384593e-06,1.370936e-06,1.358016e-06,1.345799e-06,1.334253e-06,1.323346e-06,1.313050e-06,1.303334e-06,1.294173e-06,1.285541e-06,1.277412e-06,1.269763e-06,1.262571e-06,1.255814e-06,1.249472e-06,1.243525e-06,1.237955e-06,1.232742e-06,1.227870e-06,1.223322e-06
0.000000e+00,1.442399e-10,3.080890e-09,3.237849e-09,2.401558e-08,8.060415e-08,8.371185e-08,1.687537e-07,2.486648e-07,2.535805e-07,3.316299e-07,3.969443e-07,4.023383e-07,4.660917e-07,5.179532e-07,5.234103e-07,5.748051e-07,6.155124e-07,6.207535e-07,6.616969e-07,6.932173e-07,6.980436e-07,7.301723e-07,7.541583e-07,7.584340e-07,7.831539e-07,8.009933e-07,8.046333e-07,8.231517e-07,8.360085e-07,8.389671e-07,8.523178e-07,8.611628e-07,8.634241e-07,8.724866e-07,8.781221e-07,8.796910e-07,8.852071e-07,8.882947e-07,8.891915e-07,8.917873e-07,8.928710e-07,8.931265e-07,8.933303e-07,8.928565e-07,8.925084e-07,8.907617e-07,8.890934e-07,8.881829e-07,8.848564e-07,8.822891e-07,8.808594e-07,8.762627e-07,8.730361e-07,8.711308e-07,8.655228e-07,8.618307e-07,8.594927e-07,8.530895e-07,8.490873e-07,8.463581e-07,8.393394e-07,8.351517e-07,8.320707e-07,8.245861e-07,8.203120e-07,8.169165e-07,8.090901e-07,8.048078e-07,8.011326e-07,7.930673e-07,7.888379e-07,7.849154e-07,7.766960e-07,7.725666e-07,7.684267e-07,7.601233e-07,7.561297e-07,7.518000e-07,7.434699e-07,7.396390e-07,7.351445e-07,7.268345e-07,7.231854e-07,7.185493e-07,7.102974e-07,7.068435e-07,7.020866e-07,6.939235e-07,6.906731e-07,6.858145e-07,6.777649e-07,6.747227e-07,6.697796e-07,6.618629e-07,6.590304e-07,6.540185e-07,6.462499e-07,6.436263e-07,6.385598e-07,6.309508e-07,6.285334e-07,6.234251e-07,6.159845e-07,6.137692e-07,6.086306e-07,6.013647e-07,5.993462e-07,5.941878e-07,5.871008e-07,5.852730e-07,5.801043e-07,5.731987e-07,5.715549e-07,5.663844e-07,5.596615e-07,5.581948e-07,5.530301e-07,5.464900e-07,5.451929e-07,5.400410e-07,5.336828e-07,5.325480e-07,5.274151e-07,5.212374e-07,5.202572e-07,5.151490e-07,5.091495e-07,5.083166e-07,5.032381e-07,4.974141e-07,4.967211e-07,4.916769e-07,4.860256e-07,4.854651e-07,4.804593e-07,4.749773e-07,4.745423e-07,4.695786e-07,4.642623e-07,4.639460e-07,4.590276e-07,4.538735e-07,4.536690e-07,4.487990e-07,4.438032e-07,4.437041e-07,4.388851e-07,4.340438e-07,4.246805e-07,4.156067e-07,4.068146e-07,3.982968e-07,3.900458e-07,3.820541e-07,3.743145e-07,3.668197e-07,3.595627e-07,3.525366e-07,3.457346e-07,3.391502e-07,3.327770e-07,3.266085e-07,3.206388e-07,3.148618e-07,3.092718e-07,3.038631e-07,2.986301e-07,2.935677e-07,2.886705e-07,2.839336e-07,2.793521e-07,2.749211e-07,2.706361e-07,2.664927e-07,2.624864e-07,2.586130e-07,2.548684e-07,2.512487e-07,2.477500e-07,2.443686e-07,2.411008e-07,2.379431e-07,2.348921e-07,2.319444e-07,2.290969e-07,2.263465e-07,2.236901e-07,2.211247e-07,2.186476e-07,2.162559e-07,2.139471e-07,2.117184e-07,2.095675e-07,2.074918e-07,2.054890e-07,2.035567e-07,2.016928e-07
0.000000e+00,2.021198e-07,3.478559e-06,3.639059e-06,2.472679e-05,9.658146e-05,1.013723e-04,2.816656e-04,5.536993e-04,5.736761e-04,9.332318e-04,1.283289e-03,1.313774e-03,1.689319e-03,2.013537e-03,2.048578e-03,2.387382e-03,2.667679e-03,2.704603e-03,3.000352e-03,3.237976e-03,3.275232e-03,3.530044e-03,3.729216e-03,3.765662e-03,3.982983e-03,4.148161e-03,4.182901e-03,4.366295e-03,4.501687e-03,4.534019e-03,4.686902e-03,4.796364e-03,4.825745e-03,4.951316e-03,5.038327e-03,5.064351e-03,5.165558e-03,5.233236e-03,5.255614e-03,5.335163e-03,5.386278e-03,5.404819e-03,5.465167e-03,5.502173e-03,5.516766e-03,5.560145e-03,5.585205e-03,5.595807e-03,5.624234e-03,5.639253e-03,5.645879e-03,5.661176e-03,5.667825e-03,5.670535e-03,5.674346e-03,5.674086e-03,5.672979e-03,5.666784e-03,5.660888e-03,5.656093e-03,5.641222e-03,5.630800e-03,5.622469e-03,5.600117e-03,5.586128e-03,5.574434e-03,5.545672e-03,5.528946e-03,5.514072e-03,5.479860e-03,5.461109e-03,5.443250e-03,5.404445e-03,5.384279e-03,5.363636e-03,5.321004e-03,5.299943e-03,5.276719e-03,5.230942e-03,5.209426e-03,5.183826e-03,5.135512e-03,5.113909e-03,5.086135e-03,5.035823e-03,5.014442e-03,4.984695e-03,4.932862e-03,4.911956e-03,4.880431e-03,4.827501e-03,4.807276e-03,4.774164e-03,4.720508e-03,4.701130e-03,4.666615e-03,4.612561e-03,4.594159e-03,4.558418e-03,4.504253e-03,4.486926e-03,4.450129e-03,4.396103e-03,4.379923e-03,4.342231e-03,4.288563e-03,4.273579e-03,4.235145e-03,4.182022e-03,4.168264e-03,4.129235e-03,4.076820e-03,4.064300e-03,4.024812e-03,3.973243e-03,3.961960e-03,3.922143e-03,3.871538e-03,3.861478e-03,3.821452e-03,3.771909e-03,3.763051e-03,3.722929e-03,3.674530e-03,3.666841e-03,3.626729e-03,3.579541e-03,3.572984e-03,3.532978e-03,3.487054e-03,3.481587e-03,3.441778e-03,3.397160e-03,3.392735e-03,3.353207e-03,3.309925e-03,3.306492e-03,3.267321e-03,3.225399e-03,3.222905e-03,3.184161e-03,3.143611e-03,3.142003e-03,3.103750e-03,3.064579e-03,3.063803e-03,3.026098e-03,2.988307e-03,2.915508e-03,2.845388e-03,2.777923e-03,2.713080e-03,2.650819e-03,2.591097e-03,2.533866e-03,2.479073e-03,2.426663e-03,2.376579e-03,2.328761e-03,2.283148e-03,2.239677e-03,2.198286e-03,2.158911e-03,2.121488e-03,2.085953e-03,2.052244e-03,2.020296e-03,1.990048e-03,1.961437e-03,1.934403e-03,1.908886e-03,1.884826e-03,1.862168e-03,1.840853e-03,1.820826e-03,1.802034e-03,1.784423e-03,1.767941e-03,1.752540e-03,1.738169e-03,1.724782e-03,1.712331e-03,1.700773e-03,1.690064e-03,1.680162e-03,1.671027e-03,1.662617e-03,1.654897e-03,1.647828e-03,1.641375e-03,1.635504e-03,1.630182e-03,1.625376e-03,1.621057e-03,1.617195e-03,1.613761e-03,1.610728e-03
0.000000e+00,2.015817e-08,3.821633e-07,4.006049e-07,2.686394e-06,8.804996e-06,9.153639e-06,1.941838e-05,2.991353e-05,3.057237e-05,4.114275e-05,5.009679e-05,5.083960e-05,5.965292e-05,6.686541e-05,6.762647e-05,7.481305e-05,8.052824e-05,8.126547e-05,8.703442e-05,9.148586e-05,9.216804e-05,9.671210e-05,1.001055e-04,1.007102e-04,1.042037e-04,1.067190e-04,1.072313e-04,1.098295e-04,1.116220e-04,1.120326e-04,1.138725e-04,1.150748e-04,1.153791e-04,1.165801e-04,1.173043e-04,1.175012e-04,1.181666e-04,1.185074e-04,1.185984e-04,1.188172e-04,1.188538e-04,1.188423e-04,1.186914e-04,1.184898e-04,1.183807e-04,1.179256e-04,1.175408e-04,1.173400e-04,1.166369e-04,1.161143e-04,1.158283e-04,1.149252e-04,1.143024e-04,1.139378e-04,1.128756e-04,1.121833e-04,1.117472e-04,1.105607e-04,1.098239e-04,1.093233e-04,1.080418e-04,1.072808e-04,1.067224e-04,1.053709e-04,1.046020e-04,1.039925e-04,1.025920e-04,1.018281e-04,1.011738e-04,9.974188e-05,9.899312e-05,9.829999e-05,9.685148e-05,9.612570e-05,9.539939e-05,9.394651e-05,9.324960e-05,9.249538e-05,9.104831e-05,9.038459e-05,8.960736e-05,8.817442e-05,8.754691e-05,8.675119e-05,8.533919e-05,8.474983e-05,8.393979e-05,8.255420e-05,8.200408e-05,8.118352e-05,7.982869e-05,7.931820e-05,7.849058e-05,7.716993e-05,7.669889e-05,7.586737e-05,7.458347e-05,7.415128e-05,7.331871e-05,7.207347e-05,7.167918e-05,7.084810e-05,6.964286e-05,6.928525e-05,6.845797e-05,6.729358e-05,6.697124e-05,6.614980e-05,6.502669e-05,6.473808e-05,6.392429e-05,6.284259e-05,6.258605e-05,6.178153e-05,6.074105e-05,6.051490e-05,5.972105e-05,5.872139e-05,5.852389e-05,5.774195e-05,5.678253e-05,5.661195e-05,5.584297e-05,5.492307e-05,5.477769e-05,5.402260e-05,5.314134e-05,5.301948e-05,5.227906e-05,5.143550e-05,5.133552e-05,5.061041e-05,4.980354e-05,4.972384e-05,4.901460e-05,4.824333e-05,4.818239e-05,4.748946e-05,4.675269e-05,4.670902e-05,4.603275e-05,4.532935e-05,4.530155e-05,4.464220e-05,4.397102e-05,4.395776e-05,4.331553e-05,4.267543e-05,4.145233e-05,4.028626e-05,3.917505e-05,3.811656e-05,3.710869e-05,3.614941e-05,3.523671e-05,3.436866e-05,3.354339e-05,3.275906e-05,3.201393e-05,3.130629e-05,3.063450e-05,2.999697e-05,2.939221e-05,2.881873e-05,2.827513e-05,2.776007e-05,2.727224e-05,2.681041e-05,2.637339e-05,2.596002e-05,2.556923e-05,2.519995e-05,2.485119e-05,2.452199e-05,2.421142e-05,2.391861e-05,2.364272e-05,2.338294e-05,2.313851e-05,2.290869e-05,2.269278e-05,2.249011e-05,2.230003e-05,2.212194e-05,2.195525e-05,2.179940e-05,2.165385e-05,2.151810e-05,2.139167e-05,2.127407e-05,2.116488e-05,2.106367e-05,2.097003e-05,2.088358e-05,2.080395e-05,2.073078e-05,2.066374e-05
0.000000e+00,1.818751e-10,2.108956e-09,2.193081e-09,1.099796e-08,3.219496e-08,3.341410e-08,7.263375e-08,1.220533e-07,1.254861e-07,1.848702e-07,2.393658e-07,2.439729e-07,2.989774e-07,3.439593e-07,3.486863e-07,3.930496e-07,4.279020e-07,4.323659e-07,4.670175e-07,4.933830e-07,4.973921e-07,5.238605e-07,5.433301e-07,5.467701e-07,5.664434e-07,5.803700e-07,5.831779e-07,5.972476e-07,6.067543e-07,6.089038e-07,6.183771e-07,6.243871e-07,6.258782e-07,6.316000e-07,6.348675e-07,6.357186e-07,6.383948e-07,6.395335e-07,6.397755e-07,6.399942e-07,6.395011e-07,6.391729e-07,6.374224e-07,6.356988e-07,6.348439e-07,6.315295e-07,6.288982e-07,6.275626e-07,6.230193e-07,6.197389e-07,6.179688e-07,6.124737e-07,6.087502e-07,6.065911e-07,6.003726e-07,5.963691e-07,5.938649e-07,5.871106e-07,5.829558e-07,5.801481e-07,5.730120e-07,5.688061e-07,5.657338e-07,5.583416e-07,5.541619e-07,5.508611e-07,5.433152e-07,5.392205e-07,5.357245e-07,5.281077e-07,5.241422e-07,5.204814e-07,5.128604e-07,5.090562e-07,5.052582e-07,4.976866e-07,4.940663e-07,4.901562e-07,4.826764e-07,4.792550e-07,4.752554e-07,4.679007e-07,4.646872e-07,4.606185e-07,4.534145e-07,4.504134e-07,4.462936e-07,4.392599e-07,4.364717e-07,4.323172e-07,4.254683e-07,4.228909e-07,4.187159e-07,4.120620e-07,4.096911e-07,4.055085e-07,3.990566e-07,3.968863e-07,3.927074e-07,3.864615e-07,3.844847e-07,3.803194e-07,3.742814e-07,3.724903e-07,3.683474e-07,3.625173e-07,3.609035e-07,3.567907e-07,3.511671e-07,3.497218e-07,3.456459e-07,3.402262e-07,3.389405e-07,3.349073e-07,3.296881e-07,3.285531e-07,3.245676e-07,3.195448e-07,3.185518e-07,3.146184e-07,3.097872e-07,3.089276e-07,3.050499e-07,3.004053e-07,2.996707e-07,2.958520e-07,2.913886e-07,2.907708e-07,2.870137e-07,2.827260e-07,2.822172e-07,2.785240e-07,2.744063e-07,2.739991e-07,2.703715e-07,2.664181e-07,2.661053e-07,2.625448e-07,2.587501e-07,2.585248e-07,2.550325e-07,2.513908e-07,2.512466e-07,2.478234e-07,2.443290e-07,2.442599e-07,2.409063e-07,2.375538e-07,2.311179e-07,2.249420e-07,2.190160e-07,2.133303e-07,2.078754e-07,2.026421e-07,1.976217e-07,1.928057e-07,1.881857e-07,1.837538e-07,1.795024e-07,1.754242e-07,1.715120e-07,1.677591e-07,1.641588e-07,1.607050e-07,1.573916e-07,1.542127e-07,1.511629e-07,1.482368e-07,1.454292e-07,1.427352e-07,1.401502e-07,1.376697e-07,1.352892e-07,1.330047e-07,1.308121e-07,1.287077e-07,1.266878e-07,1.247489e-07,1.228876e-07,1.211007e-07,1.193852e-07,1.177381e-07,1.161565e-07,1.146377e-07,1.131792e-07,1.117785e-07,1.104331e-07,1.091409e-07,1.078995e-07,1.067069e-07,1.055612e-07,1.044603e-07,1.034025e-07,1.023859e-07,1.014089e-07,1.004699e-07,9.956728e-08
0.000000e+00,1.723287e-09,1.928570e-08,2.007166e-08,1.115282e-07,3.751659e-07,3.915003e-07,9.486779e-07,1.661794e-06,1.710016e-06,2.512240e-06,3.211666e-06,3.269966e-06,3.962443e-06,4.528664e-06,4.588336e-06,5.150853e-06,5.596745e-06,5.654156e-06,6.102470e-06,6.447148e-06,6.499865e-06,6.850207e-06,7.110806e-06,7.157143e-06,7.424105e-06,7.615446e-06,7.654307e-06,7.850756e-06,7.985503e-06,8.016255e-06,8.153413e-06,8.242289e-06,8.264656e-06,8.352233e-06,8.404252e-06,8.418228e-06,8.464572e-06,8.487271e-06,8.493051e-06,8.505314e-06,8.504963e-06,8.502886e-06,8.487173e-06,8.468969e-06,8.459474e-06,8.420986e-06,8.389218e-06,8.372812e-06,8.315967e-06,8.274158e-06,8.251388e-06,8.179934e-06,8.130965e-06,8.102398e-06,8.019506e-06,7.965718e-06,7.931925e-06,7.840269e-06,7.783555e-06,7.745099e-06,7.646930e-06,7.588804e-06,7.546232e-06,7.443437e-06,7.385104e-06,7.338939e-06,7.233096e-06,7.175499e-06,7.126238e-06,7.018661e-06,6.962529e-06,6.910638e-06,6.802415e-06,6.748300e-06,6.694216e-06,6.586242e-06,6.534549e-06,6.478676e-06,6.371683e-06,6.322700e-06,6.265410e-06,6.159991e-06,6.113908e-06,6.055543e-06,5.952174e-06,5.909103e-06,5.849975e-06,5.749031e-06,5.709021e-06,5.649413e-06,5.551186e-06,5.514235e-06,5.454403e-06,5.359113e-06,5.325182e-06,5.265355e-06,5.173163e-06,5.142180e-06,5.082565e-06,4.993582e-06,4.965452e-06,4.906233e-06,4.820529e-06,4.795140e-06,4.736480e-06,4.654090e-06,4.631318e-06,4.573360e-06,4.494290e-06,4.474003e-06,4.416875e-06,4.341107e-06,4.323167e-06,4.266979e-06,4.194477e-06,4.178744e-06,4.123590e-06,4.054304e-06,4.040637e-06,3.986600e-06,3.920464e-06,3.908724e-06,3.855875e-06,3.792814e-06,3.782865e-06,3.731262e-06,3.671196e-06,3.662904e-06,3.612595e-06,3.555438e-06,3.548675e-06,3.499700e-06,3.445359e-06,3.440001e-06,3.392392e-06,3.340774e-06,3.336702e-06,3.290483e-06,3.241493e-06,3.238595e-06,3.193782e-06,3.147324e-06,3.145491e-06,3.102097e-06,3.058076e-06,3.057207e-06,3.015237e-06,2.973557e-06,2.894357e-06,2.819426e-06,2.748589e-06,2.681672e-06,2.618507e-06,2.558929e-06,2.502780e-06,2.449906e-06,2.400158e-06,2.353392e-06,2.309469e-06,2.268256e-06,2.229624e-06,2.193449e-06,2.159614e-06,2.128003e-06,2.098507e-06,2.071021e-06,2.045445e-06,2.021682e-06,1.999639e-06,1.979228e-06,1.960365e-06,1.942968e-06,1.926961e-06,1.912267e-06,1.898818e-06,1.886544e-06,1.875382e-06,1.865269e-06,1.856146e-06,1.847957e-06,1.840647e-06,1.834166e-06,1.828464e-06,1.823495e-06,1.819213e-06,1.815577e-06,1.812545e-06,1.810079e-06,1.808141e-06,1.806698e-06,1.805715e-06,1.805160e-06,1.805004e-06,1.805217e-06,1.805773e-06,1.806645e-06,1.807809e-06
0.000000e+00,4.632427e-08,7.874436e-07,8.239515e-07,5.493559e-06,2.001572e-05,2.093532e-05,5.313535e-05,9.644168e-05,9.944472e-05,1.503061e-04,1.953240e-04,1.990830e-04,2.436908e-04,2.800425e-04,2.838649e-04,3.198075e-04,3.481714e-04,3.518145e-04,3.801886e-04,4.019063e-04,4.052198e-04,4.271813e-04,4.434445e-04,4.463291e-04,4.629022e-04,4.747270e-04,4.771224e-04,4.891957e-04,4.974372e-04,4.993127e-04,5.076491e-04,5.130203e-04,5.143672e-04,5.196159e-04,5.227073e-04,5.235329e-04,5.262446e-04,5.275435e-04,5.278664e-04,5.285036e-04,5.284074e-04,5.282530e-04,5.272034e-04,5.260371e-04,5.254361e-04,5.230261e-04,5.210555e-04,5.200421e-04,5.165467e-04,5.139879e-04,5.125977e-04,5.082483e-04,5.052779e-04,5.035485e-04,4.985422e-04,4.953018e-04,4.932689e-04,4.877650e-04,4.843657e-04,4.820631e-04,4.761934e-04,4.727229e-04,4.701832e-04,4.640572e-04,4.605845e-04,4.578378e-04,4.515454e-04,4.481237e-04,4.451985e-04,4.388138e-04,4.354840e-04,4.324066e-04,4.259904e-04,4.227828e-04,4.195775e-04,4.131791e-04,4.101160e-04,4.068051e-04,4.004643e-04,3.975609e-04,3.941648e-04,3.879136e-04,3.851801e-04,3.817172e-04,3.755810e-04,3.730230e-04,3.695100e-04,3.635085e-04,3.611283e-04,3.575804e-04,3.517288e-04,3.495259e-04,3.459567e-04,3.402664e-04,3.382384e-04,3.346600e-04,3.291392e-04,3.272819e-04,3.237053e-04,3.183594e-04,3.166674e-04,3.131023e-04,3.079347e-04,3.064019e-04,3.028569e-04,2.978691e-04,2.964887e-04,2.929714e-04,2.881636e-04,2.869283e-04,2.834454e-04,2.788165e-04,2.777187e-04,2.742762e-04,2.698241e-04,2.688564e-04,2.654594e-04,2.611814e-04,2.603361e-04,2.569891e-04,2.528817e-04,2.521513e-04,2.488582e-04,2.449176e-04,2.442948e-04,2.410589e-04,2.372809e-04,2.367584e-04,2.335825e-04,2.299627e-04,2.295335e-04,2.264202e-04,2.229538e-04,2.226113e-04,2.195624e-04,2.162447e-04,2.159824e-04,2.129996e-04,2.098258e-04,2.096376e-04,2.067221e-04,2.036874e-04,2.035674e-04,2.007203e-04,1.978197e-04,1.977624e-04,1.949844e-04,1.922132e-04,1.869107e-04,1.818456e-04,1.770092e-04,1.723926e-04,1.679874e-04,1.637853e-04,1.597784e-04,1.559587e-04,1.523187e-04,1.488512e-04,1.455491e-04,1.424056e-04,1.394142e-04,1.365684e-04,1.338623e-04,1.312899e-04,1.288457e-04,1.265241e-04,1.243200e-04,1.222283e-04,1.202442e-04,1.183631e-04,1.165806e-04,1.148923e-04,1.132943e-04,1.117824e-04,1.103530e-04,1.090024e-04,1.077272e-04,1.065240e-04,1.053895e-04,1.043209e-04,1.033150e-04,1.023691e-04,1.014805e-04,1.006465e-04,9.986463e-05,9.913258e-05,9.844801e-05,9.780872e-05,9.721261e-05,9.665766e-05,9.614194e-05,9.566358e-05,9.522080e-05,9.481191e-05,9.443526e-05,9.408930e-05,9.377251e-05
0.000000e+00,8.419816e-07,1.661868e-05,1.742221e-05,1.264878e-04,5.043694e-04,5.297370e-04,1.512476e-03,3.157064e-03,3.287420e-03,5.888176e-03,8.907902e-03,9.194098e-03,1.302280e-02,1.676990e-02,1.719870e-02,2.157587e-02,2.550214e-02,2.603912e-02,3.049966e-02,3.428178e-02,3.489021e-02,3.916067e-02,4.262803e-02,4.327456e-02,4.720618e-02,5.028177e-02,5.093827e-02,5.446018e-02,5.712251e-02,5.776637e-02,6.085521e-02,6.311443e-02,6.372809e-02,6.638863e-02,6.827183e-02,6.884211e-02,7.109499e-02,7.263725e-02,7.315457e-02,7.502868e-02,7.626776e-02,7.672546e-02,7.825319e-02,7.922648e-02,7.962019e-02,8.083469e-02,8.157755e-02,8.190474e-02,8.283820e-02,8.338317e-02,8.364268e-02,8.432553e-02,8.470198e-02,8.489378e-02,8.535421e-02,8.558837e-02,8.571326e-02,8.597713e-02,8.609220e-02,8.615167e-02,8.624249e-02,8.625892e-02,8.625493e-02,8.619404e-02,8.612971e-02,8.606463e-02,8.587128e-02,8.574182e-02,8.561833e-02,8.530989e-02,8.512887e-02,8.494987e-02,8.454197e-02,8.432118e-02,8.408972e-02,8.359644e-02,8.334603e-02,8.306530e-02,8.249928e-02,8.222799e-02,8.190123e-02,8.127383e-02,8.098914e-02,8.061963e-02,7.994103e-02,7.964930e-02,7.924032e-02,7.851965e-02,7.822626e-02,7.778106e-02,7.702648e-02,7.673593e-02,7.625774e-02,7.547654e-02,7.519258e-02,7.468452e-02,7.388322e-02,7.360891e-02,7.307406e-02,7.225842e-02,7.199626e-02,7.143759e-02,7.061276e-02,7.036470e-02,6.978508e-02,6.895561e-02,6.872317e-02,6.812536e-02,6.729527e-02,6.707958e-02,6.646622e-02,6.563905e-02,6.544090e-02,6.481453e-02,6.399338e-02,6.381325e-02,6.317629e-02,6.236388e-02,6.220201e-02,6.155675e-02,6.075544e-02,6.061186e-02,5.996047e-02,5.917230e-02,5.904686e-02,5.839139e-02,5.761813e-02,5.751050e-02,5.685290e-02,5.609604e-02,5.600580e-02,5.534788e-02,5.460870e-02,5.453529e-02,5.387876e-02,5.315832e-02,5.310110e-02,5.244758e-02,5.174674e-02,5.170501e-02,5.105599e-02,5.037548e-02,5.034847e-02,4.970534e-02,4.904571e-02,4.903263e-02,4.839669e-02,4.775837e-02,4.652636e-02,4.533704e-02,4.419065e-02,4.308731e-02,4.202693e-02,4.100933e-02,4.003420e-02,3.910110e-02,3.820951e-02,3.735885e-02,3.654843e-02,3.577752e-02,3.504533e-02,3.435101e-02,3.369367e-02,3.307237e-02,3.248615e-02,3.193402e-02,3.141496e-02,3.092793e-02,3.047187e-02,3.004573e-02,2.964842e-02,2.927887e-02,2.893599e-02,2.861869e-02,2.832589e-02,2.805651e-02,2.780949e-02,2.758376e-02,2.737827e-02,2.719199e-02,2.702390e-02,2.687300e-02,2.673831e-02,2.661886e-02,2.651371e-02,2.642196e-02,2.634272e-02,2.627512e-02,2.621832e-02,2.617152e-02,2.613394e-02,2.610484e-02,2.608349e-02,2.606920e-02,2.606132e-02,2.605922e-02,2.606231e-02
0.000000e+00,1.719703e-10,1.920172e-09,1.998354e-09,1.103523e-08,3.657366e-08,3.813440e-08,8.990963e-08,1.521317e-07,1.561887e-07,2.211405e-07,2.738937e-07,2.781227e-07,3.262674e-07,3.626134e-07,3.662761e-07,3.991348e-07,4.228950e-07,4.257965e-07,4.471151e-07,4.617501e-07,4.638405e-07,4.766267e-07,4.847413e-07,4.860426e-07,4.925831e-07,4.961036e-07,4.966773e-07,4.986972e-07,4.990373e-07,4.989644e-07,4.977568e-07,4.959463e-07,4.953138e-07,4.918414e-07,4.886239e-07,4.875168e-07,4.824919e-07,4.783998e-07,4.768967e-07,4.708427e-07,4.662536e-07,4.644249e-07,4.577243e-07,4.529032e-07,4.508101e-07,4.437409e-07,4.388710e-07,4.365664e-07,4.293288e-07,4.245347e-07,4.220633e-07,4.148000e-07,4.101643e-07,4.075638e-07,4.003757e-07,3.959510e-07,3.932530e-07,3.862099e-07,3.820271e-07,3.792580e-07,3.724069e-07,3.684826e-07,3.656643e-07,3.590362e-07,3.553762e-07,3.525271e-07,3.461406e-07,3.427437e-07,3.398791e-07,3.337442e-07,3.306044e-07,3.277368e-07,3.218572e-07,3.189653e-07,3.161053e-07,3.104803e-07,3.078251e-07,3.049813e-07,2.996072e-07,2.971765e-07,2.943562e-07,2.892269e-07,2.870080e-07,2.842172e-07,2.793253e-07,2.773053e-07,2.745491e-07,2.698865e-07,2.680527e-07,2.653352e-07,2.608931e-07,2.592332e-07,2.565579e-07,2.523273e-07,2.508294e-07,2.481991e-07,2.441710e-07,2.428238e-07,2.402408e-07,2.364062e-07,2.351990e-07,2.326651e-07,2.290153e-07,2.279379e-07,2.254547e-07,2.219811e-07,2.210238e-07,2.185925e-07,2.152868e-07,2.144407e-07,2.120621e-07,2.089164e-07,2.081729e-07,2.058477e-07,2.028542e-07,2.022056e-07,1.999342e-07,1.970856e-07,1.965244e-07,1.943069e-07,1.915963e-07,1.911155e-07,1.889521e-07,1.863727e-07,1.859659e-07,1.838565e-07,1.814018e-07,1.810630e-07,1.790073e-07,1.766714e-07,1.763950e-07,1.743927e-07,1.721696e-07,1.719504e-07,1.700010e-07,1.678853e-07,1.677183e-07,1.658214e-07,1.638078e-07,1.636885e-07,1.618434e-07,1.599269e-07,1.598512e-07,1.580572e-07,1.562330e-07,1.561970e-07,1.544533e-07,1.527169e-07,1.494026e-07,1.462459e-07,1.432392e-07,1.403753e-07,1.376472e-07,1.350482e-07,1.325722e-07,1.302132e-07,1.279655e-07,1.258237e-07,1.237827e-07,1.218376e-07,1.199838e-07,1.182169e-07,1.165327e-07,1.149272e-07,1.133967e-07,1.119374e-07,1.105461e-07,1.092193e-07,1.079541e-07,1.067475e-07,1.055967e-07,1.044990e-07,1.034519e-07,1.024530e-07,1.014999e-07,1.005906e-07,9.972282e-08,9.889474e-08,9.810444e-08,9.735012e-08,9.663010e-08,9.594275e-08,9.528654e-08,9.466000e-08,9.406175e-08,9.349046e-08,9.294486e-08,9.242377e-08,9.192603e-08,9.145057e-08,9.099634e-08,9.056238e-08,9.014773e-08,8.975151e-08,8.937287e-08,8.901101e-08,8.866514e-08
0.000000e+00,2.256167e-08,3.148235e-07,3.287097e-07,2.121430e-06,8.069691e-06,8.459098e-06,2.246374e-05,4.126788e-05,4.255122e-05,6.393441e-05,8.249971e-05,8.404021e-05,1.022281e-04,1.169213e-04,1.184591e-04,1.328432e-04,1.440852e-04,1.455212e-04,1.566347e-04,1.650440e-04,1.663185e-04,1.746983e-04,1.808153e-04,1.818909e-04,1.880047e-04,1.922834e-04,1.931396e-04,1.973878e-04,2.002051e-04,2.008340e-04,2.035560e-04,2.052227e-04,2.056253e-04,2.071072e-04,2.078775e-04,2.080614e-04,2.085424e-04,2.086232e-04,2.086001e-04,2.082797e-04,2.078383e-04,2.076226e-04,2.066665e-04,2.058377e-04,2.054455e-04,2.039907e-04,2.028824e-04,2.023304e-04,2.004903e-04,1.991886e-04,1.984935e-04,1.963613e-04,1.949344e-04,1.941126e-04,1.917649e-04,1.902665e-04,1.893337e-04,1.868332e-04,1.853050e-04,1.842761e-04,1.816740e-04,1.801482e-04,1.790371e-04,1.763748e-04,1.748760e-04,1.736955e-04,1.710066e-04,1.695530e-04,1.683149e-04,1.656264e-04,1.642315e-04,1.629465e-04,1.602798e-04,1.589528e-04,1.576307e-04,1.550027e-04,1.537499e-04,1.523993e-04,1.498233e-04,1.486483e-04,1.472773e-04,1.447633e-04,1.436678e-04,1.422832e-04,1.398388e-04,1.388231e-04,1.374313e-04,1.350619e-04,1.341250e-04,1.327315e-04,1.304410e-04,1.295811e-04,1.281908e-04,1.259814e-04,1.251961e-04,1.238132e-04,1.216863e-04,1.209726e-04,1.196008e-04,1.175568e-04,1.169114e-04,1.155541e-04,1.135926e-04,1.130121e-04,1.116721e-04,1.097922e-04,1.092731e-04,1.079526e-04,1.061530e-04,1.056916e-04,1.043929e-04,1.026719e-04,1.022646e-04,1.009894e-04,9.934489e-05,9.898816e-05,9.773791e-05,9.616787e-05,9.585824e-05,9.463417e-05,9.313624e-05,9.287037e-05,9.167347e-05,9.024526e-05,9.001991e-05,8.885099e-05,8.749005e-05,8.730214e-05,8.616180e-05,8.486564e-05,8.471223e-05,8.360094e-05,8.236708e-05,8.224537e-05,8.116345e-05,7.998943e-05,7.989676e-05,7.884441e-05,7.772779e-05,7.766168e-05,7.663897e-05,7.557736e-05,7.553546e-05,7.454239e-05,7.353347e-05,7.351355e-05,7.255003e-05,7.159151e-05,6.976503e-05,6.802991e-05,6.638212e-05,6.481774e-05,6.333301e-05,6.192430e-05,6.058813e-05,5.932115e-05,5.812013e-05,5.698201e-05,5.590383e-05,5.488275e-05,5.391609e-05,5.300124e-05,5.213574e-05,5.131722e-05,5.054342e-05,4.981219e-05,4.912145e-05,4.846924e-05,4.785369e-05,4.727300e-05,4.672547e-05,4.620944e-05,4.572338e-05,4.526580e-05,4.483528e-05,4.443046e-05,4.405007e-05,4.369287e-05,4.335770e-05,4.304344e-05,4.274903e-05,4.247346e-05,4.221575e-05,4.197500e-05,4.175032e-05,4.154089e-05,4.134590e-05,4.116460e-05,4.099627e-05,4.084022e-05,4.069581e-05,4.056240e-05,4.043941e-05,4.032628e-05,4.022246e-05,4.012746e-05,4.004077e-05
0.000000e+00,3.070038e-08,4.352273e-07,4.543384e-07,2.734781e-06,9.181455e-06,9.573401e-06,2.262965e-05,3.899291e-05,4.010195e-05,5.882916e-05,7.579611e-05,7.724426e-05,9.491123e-05,1.100889e-04,1.117324e-04,1.276960e-04,1.410439e-04,1.428141e-04,1.571064e-04,1.687549e-04,1.705960e-04,1.833076e-04,1.934030e-04,1.952671e-04,2.065014e-04,2.151911e-04,2.170372e-04,2.269012e-04,2.343265e-04,2.361199e-04,2.447195e-04,2.510137e-04,2.527253e-04,2.601621e-04,2.654485e-04,2.670542e-04,2.734252e-04,2.778175e-04,2.792976e-04,2.846937e-04,2.882958e-04,2.896346e-04,2.941409e-04,2.970473e-04,2.982324e-04,3.019282e-04,3.042248e-04,3.052468e-04,3.082058e-04,3.099702e-04,3.108225e-04,3.131132e-04,3.144155e-04,3.150938e-04,3.167794e-04,3.176829e-04,3.181848e-04,3.193240e-04,3.198853e-04,3.202104e-04,3.208572e-04,3.211274e-04,3.212768e-04,3.214810e-04,3.215057e-04,3.214815e-04,3.212893e-04,3.211091e-04,3.209149e-04,3.203685e-04,3.200196e-04,3.196598e-04,3.187981e-04,3.183127e-04,3.177924e-04,3.166512e-04,3.160578e-04,3.153828e-04,3.139949e-04,3.133185e-04,3.124952e-04,3.108908e-04,3.101534e-04,3.091885e-04,3.073951e-04,3.066162e-04,3.055167e-04,3.035595e-04,3.027558e-04,3.015291e-04,2.994311e-04,2.986172e-04,2.972706e-04,2.950528e-04,2.942413e-04,2.927825e-04,2.904641e-04,2.896657e-04,2.881021e-04,2.857005e-04,2.849243e-04,2.832635e-04,2.807946e-04,2.800483e-04,2.782976e-04,2.757758e-04,2.750657e-04,2.732326e-04,2.706709e-04,2.700022e-04,2.680937e-04,2.655039e-04,2.648808e-04,2.629041e-04,2.602968e-04,2.597224e-04,2.576844e-04,2.550691e-04,2.545459e-04,2.524532e-04,2.498386e-04,2.493682e-04,2.472272e-04,2.446209e-04,2.442045e-04,2.420214e-04,2.394303e-04,2.390683e-04,2.368491e-04,2.342793e-04,2.339718e-04,2.317222e-04,2.291791e-04,2.289256e-04,2.266512e-04,2.241395e-04,2.239393e-04,2.216452e-04,2.191692e-04,2.190212e-04,2.167124e-04,2.142758e-04,2.141787e-04,2.118599e-04,2.094657e-04,2.094181e-04,2.070938e-04,2.047448e-04,2.001634e-04,1.956781e-04,1.912919e-04,1.870076e-04,1.828273e-04,1.787526e-04,1.747848e-04,1.709245e-04,1.671721e-04,1.635278e-04,1.599912e-04,1.565618e-04,1.532389e-04,1.500216e-04,1.469087e-04,1.438988e-04,1.409907e-04,1.381827e-04,1.354731e-04,1.328602e-04,1.303420e-04,1.279167e-04,1.255823e-04,1.233368e-04,1.211780e-04,1.191040e-04,1.171125e-04,1.152016e-04,1.133691e-04,1.116128e-04,1.099307e-04,1.083207e-04,1.067806e-04,1.053085e-04,1.039022e-04,1.025598e-04,1.012793e-04,1.000586e-04,9.889599e-05,9.778944e-05,9.673711e-05,9.573718e-05,9.478786e-05,9.388741e-05,9.303410e-05,9.222627e-05,9.146228e-05,9.074052e-05,9.005944e-05
0.000000e+00,1.483573e-07,2.570926e-06,2.690318e-06,1.834337e-05,7.040834e-05,7.382883e-05,2.002270e-04,3.872856e-04,4.009253e-04,6.435749e-04,8.729278e-04,8.925256e-04,1.128715e-03,1.324678e-03,1.345411e-03,1.541293e-03,1.696912e-03,1.716962e-03,1.873613e-03,1.994141e-03,2.012582e-03,2.135200e-03,2.226499e-03,2.242743e-03,2.336419e-03,2.403682e-03,2.417360e-03,2.486623e-03,2.534290e-03,2.545194e-03,2.593986e-03,2.625804e-03,2.633849e-03,2.665566e-03,2.684674e-03,2.689866e-03,2.707417e-03,2.716427e-03,2.718840e-03,2.724707e-03,2.725788e-03,2.725544e-03,2.721839e-03,2.716783e-03,2.714037e-03,2.702554e-03,2.692836e-03,2.687766e-03,2.670025e-03,2.656855e-03,2.649651e-03,2.626940e-03,2.611304e-03,2.602163e-03,2.575568e-03,2.558267e-03,2.547384e-03,2.517821e-03,2.499501e-03,2.487070e-03,2.455307e-03,2.436485e-03,2.422693e-03,2.389375e-03,2.370459e-03,2.355486e-03,2.321149e-03,2.302461e-03,2.286476e-03,2.251567e-03,2.233352e-03,2.216515e-03,2.181403e-03,2.163848e-03,2.146307e-03,2.111295e-03,2.094538e-03,2.076429e-03,2.041765e-03,2.025901e-03,2.007352e-03,1.973235e-03,1.958328e-03,1.939455e-03,1.906045e-03,1.892131e-03,1.873038e-03,1.840462e-03,1.827557e-03,1.808340e-03,1.776693e-03,1.764796e-03,1.745541e-03,1.714898e-03,1.703994e-03,1.684778e-03,1.655191e-03,1.645255e-03,1.626147e-03,1.597652e-03,1.588651e-03,1.569713e-03,1.542332e-03,1.534228e-03,1.515514e-03,1.489257e-03,1.482007e-03,1.463564e-03,1.438433e-03,1.431991e-03,1.413862e-03,1.389849e-03,1.384168e-03,1.366389e-03,1.343479e-03,1.338512e-03,1.321114e-03,1.299289e-03,1.294989e-03,1.277998e-03,1.257235e-03,1.253553e-03,1.236993e-03,1.217266e-03,1.214157e-03,1.198045e-03,1.179324e-03,1.176743e-03,1.161095e-03,1.143351e-03,1.141254e-03,1.126082e-03,1.109282e-03,1.107627e-03,1.092941e-03,1.077052e-03,1.075800e-03,1.061607e-03,1.046596e-03,1.045709e-03,1.032012e-03,1.017846e-03,1.017288e-03,1.004090e-03,9.907350e-04,9.904720e-04,9.777737e-04,9.651973e-04,9.414000e-04,9.190173e-04,8.979878e-04,8.782515e-04,8.597498e-04,8.424259e-04,8.262245e-04,8.110922e-04,7.969772e-04,7.838297e-04,7.716015e-04,7.602461e-04,7.497190e-04,7.399771e-04,7.309792e-04,7.226858e-04,7.150587e-04,7.080615e-04,7.016593e-04,6.958187e-04,6.905075e-04,6.856951e-04,6.813523e-04,6.774510e-04,6.739644e-04,6.708670e-04,6.681343e-04,6.657432e-04,6.636714e-04,6.618977e-04,6.604020e-04,6.591652e-04,6.581690e-04,6.573961e-04,6.568301e-04,6.564552e-04,6.562566e-04,6.562204e-04,6.563331e-04,6.565822e-04,6.569558e-04,6.574425e-04,6.580318e-04,6.587136e-04,6.594785e-04,6.603176e-04,6.612224e-04,6.621853e-04,6.631989e-04
0.000000e+00,3.275185e-08,4.341019e-07,4.525265e-07,2.620472e-06,8.885064e-06,9.274737e-06,2.290331e-05,4.203541e-05,4.341794e-05,6.807986e-05,9.170502e-05,9.374331e-05,1.186246e-04,1.398315e-04,1.421120e-04,1.640704e-04,1.821354e-04,1.845094e-04,2.034801e-04,2.186683e-04,2.210453e-04,2.372715e-04,2.499152e-04,2.522249e-04,2.659704e-04,2.763848e-04,2.785712e-04,2.900883e-04,2.985615e-04,3.005807e-04,3.101047e-04,3.168959e-04,3.187142e-04,3.264610e-04,3.318020e-04,3.333943e-04,3.395610e-04,3.436573e-04,3.450059e-04,3.497715e-04,3.528050e-04,3.538984e-04,3.574251e-04,3.595564e-04,3.603883e-04,3.628229e-04,3.641933e-04,3.647619e-04,3.662367e-04,3.669704e-04,3.672773e-04,3.679119e-04,3.681176e-04,3.681675e-04,3.680696e-04,3.678419e-04,3.676422e-04,3.669084e-04,3.663301e-04,3.658898e-04,3.646071e-04,3.637497e-04,3.630796e-04,3.613258e-04,3.602513e-04,3.593631e-04,3.572081e-04,3.559699e-04,3.548763e-04,3.523825e-04,3.510263e-04,3.497405e-04,3.469636e-04,3.455285e-04,3.440642e-04,3.410539e-04,3.395729e-04,3.379439e-04,3.347444e-04,3.332454e-04,3.314654e-04,3.281159e-04,3.266222e-04,3.247049e-04,3.212403e-04,3.197711e-04,3.177299e-04,3.141809e-04,3.127520e-04,3.106001e-04,3.069937e-04,3.056179e-04,3.033678e-04,2.997279e-04,2.984152e-04,2.960793e-04,2.924267e-04,2.911847e-04,2.887748e-04,2.851277e-04,2.839623e-04,2.814895e-04,2.778637e-04,2.767790e-04,2.742539e-04,2.706631e-04,2.696615e-04,2.670944e-04,2.635503e-04,2.626332e-04,2.600335e-04,2.565462e-04,2.557139e-04,2.530905e-04,2.496684e-04,2.489202e-04,2.462816e-04,2.429318e-04,2.422664e-04,2.396204e-04,2.363488e-04,2.357642e-04,2.331180e-04,2.299293e-04,2.294231e-04,2.267836e-04,2.236817e-04,2.232509e-04,2.206243e-04,2.176120e-04,2.172536e-04,2.146455e-04,2.117252e-04,2.114357e-04,2.088514e-04,2.060245e-04,2.058004e-04,2.032446e-04,2.005120e-04,2.003496e-04,1.978268e-04,1.951889e-04,1.950844e-04,1.925984e-04,1.900552e-04,1.900049e-04,1.875592e-04,1.851103e-04,1.803993e-04,1.758699e-04,1.715197e-04,1.673457e-04,1.633446e-04,1.595130e-04,1.558469e-04,1.523424e-04,1.489951e-04,1.458009e-04,1.427552e-04,1.398536e-04,1.370916e-04,1.344647e-04,1.319682e-04,1.295977e-04,1.273488e-04,1.252169e-04,1.231978e-04,1.212871e-04,1.194807e-04,1.177743e-04,1.161640e-04,1.146459e-04,1.132160e-04,1.118707e-04,1.106063e-04,1.094193e-04,1.083062e-04,1.072638e-04,1.062888e-04,1.053782e-04,1.045288e-04,1.037379e-04,1.030026e-04,1.023202e-04,1.016882e-04,1.011040e-04,1.005653e-04,1.000697e-04,9.961501e-05,9.919910e-05,9.881993e-05,9.847553e-05,9.816404e-05,9.788363e-05,9.763260e-05,9.740928e-05,9.721211e-05
0.000000e+00,1.241048e-07,1.875923e-06,1.957847e-06,1.220961e-05,4.627092e-05,4.853958e-05,1.340987e-04,2.622735e-04,2.715731e-04,4.353499e-04,5.881537e-04,6.011744e-04,7.582514e-04,8.894214e-04,9.033727e-04,1.036085e-03,1.142910e-03,1.156779e-03,1.266074e-03,1.351463e-03,1.364642e-03,1.453152e-03,1.520204e-03,1.532254e-03,1.602575e-03,1.654109e-03,1.664716e-03,1.719250e-03,1.757766e-03,1.766720e-03,1.807642e-03,1.835330e-03,1.842503e-03,1.871760e-03,1.890515e-03,1.895846e-03,1.915164e-03,1.926614e-03,1.930093e-03,1.940989e-03,1.946524e-03,1.948183e-03,1.951985e-03,1.952784e-03,1.952684e-03,1.950550e-03,1.947611e-03,1.945836e-03,1.938777e-03,1.932940e-03,1.929592e-03,1.918483e-03,1.910452e-03,1.905640e-03,1.891238e-03,1.881598e-03,1.875441e-03,1.858401e-03,1.847638e-03,1.840257e-03,1.821139e-03,1.809653e-03,1.801169e-03,1.780458e-03,1.768574e-03,1.759108e-03,1.737215e-03,1.725199e-03,1.714867e-03,1.692145e-03,1.680207e-03,1.669123e-03,1.645870e-03,1.634176e-03,1.622448e-03,1.598916e-03,1.587597e-03,1.575326e-03,1.551727e-03,1.540880e-03,1.528163e-03,1.504673e-03,1.494371e-03,1.481296e-03,1.458063e-03,1.448356e-03,1.435005e-03,1.412149e-03,1.403069e-03,1.389520e-03,1.367138e-03,1.358702e-03,1.345024e-03,1.323195e-03,1.315409e-03,1.301666e-03,1.280451e-03,1.273311e-03,1.259561e-03,1.239006e-03,1.232500e-03,1.218795e-03,1.198935e-03,1.193046e-03,1.179432e-03,1.160292e-03,1.154998e-03,1.141517e-03,1.123111e-03,1.118386e-03,1.105075e-03,1.087410e-03,1.083226e-03,1.070118e-03,1.053197e-03,1.049524e-03,1.036646e-03,1.020465e-03,1.017272e-03,1.004650e-03,9.891994e-04,9.864568e-04,9.741103e-04,9.593791e-04,9.570551e-04,9.450021e-04,9.309754e-04,9.290394e-04,9.172946e-04,9.039553e-04,9.023773e-04,8.909527e-04,8.782818e-04,8.770328e-04,8.659377e-04,8.539151e-04,8.529670e-04,8.422086e-04,8.308128e-04,8.301389e-04,8.197223e-04,8.089314e-04,8.085059e-04,7.984345e-04,7.882260e-04,7.880247e-04,7.783002e-04,7.686513e-04,7.503416e-04,7.330516e-04,7.167378e-04,7.013572e-04,6.868679e-04,6.732287e-04,6.603995e-04,6.483414e-04,6.370167e-04,6.263889e-04,6.164229e-04,6.070848e-04,5.983420e-04,5.901634e-04,5.825189e-04,5.753799e-04,5.687189e-04,5.625097e-04,5.567274e-04,5.513480e-04,5.463489e-04,5.417084e-04,5.374059e-04,5.334218e-04,5.297376e-04,5.263356e-04,5.231989e-04,5.203118e-04,5.176590e-04,5.152263e-04,5.130002e-04,5.109678e-04,5.091170e-04,5.074362e-04,5.059147e-04,5.045421e-04,5.033086e-04,5.022053e-04,5.012233e-04,5.003544e-04,4.995911e-04,4.989259e-04,4.983520e-04,4.978629e-04,4.974526e-04,4.971153e-04,4.968455e-04,4.966382e-04,4.964886e-04
0.000000e+00,9.618783e-09,1.131866e-07,1.179071e-07,6.949922e-07,2.498621e-06,2.614055e-06,6.636850e-06,1.176653e-05,1.210953e-05,1.775986e-05,2.261619e-05,2.301812e-05,2.775427e-05,3.156762e-05,3.196597e-05,3.568374e-05,3.857679e-05,3.894537e-05,4.178876e-05,4.392706e-05,4.424989e-05,4.636235e-05,4.789028e-05,4.815737e-05,4.966387e-05,5.070278e-05,5.090866e-05,5.191656e-05,5.256774e-05,5.271043e-05,5.331143e-05,5.365885e-05,5.373896e-05,5.401084e-05,5.412351e-05,5.414346e-05,5.415177e-05,5.408600e-05,5.404948e-05,5.384908e-05,5.365049e-05,5.356198e-05,5.319857e-05,5.290386e-05,5.276827e-05,5.227966e-05,5.191809e-05,5.174050e-05,5.115784e-05,5.075256e-05,5.053803e-05,4.988683e-05,4.945602e-05,4.920944e-05,4.851054e-05,4.806828e-05,4.779433e-05,4.706460e-05,4.662169e-05,4.632474e-05,4.557779e-05,4.514240e-05,4.482647e-05,4.407320e-05,4.365133e-05,4.332013e-05,4.256918e-05,4.216515e-05,4.182203e-05,4.108017e-05,4.069694e-05,4.034491e-05,3.961739e-05,3.925685e-05,3.889860e-05,3.818940e-05,3.785262e-05,3.749053e-05,3.680261e-05,3.648999e-05,3.612616e-05,3.546162e-05,3.517309e-05,3.480934e-05,3.416962e-05,3.390473e-05,3.354266e-05,3.292862e-05,3.268665e-05,3.232762e-05,3.173972e-05,3.151976e-05,3.116494e-05,3.060325e-05,3.040425e-05,3.005462e-05,2.951896e-05,2.933977e-05,2.899616e-05,2.848611e-05,2.832556e-05,2.798866e-05,2.750364e-05,2.736054e-05,2.703089e-05,2.657021e-05,2.644336e-05,2.612141e-05,2.568428e-05,2.557252e-05,2.525861e-05,2.484418e-05,2.474636e-05,2.444076e-05,2.404812e-05,2.396317e-05,2.366604e-05,2.329429e-05,2.322116e-05,2.293263e-05,2.258084e-05,2.251854e-05,2.223867e-05,2.190590e-05,2.185352e-05,2.158231e-05,2.126766e-05,2.122431e-05,2.096173e-05,2.066430e-05,2.062916e-05,2.037515e-05,2.009406e-05,2.006639e-05,1.982083e-05,1.955525e-05,1.953433e-05,1.929711e-05,1.904622e-05,1.903139e-05,1.880236e-05,1.856536e-05,1.855602e-05,1.833503e-05,1.811118e-05,1.810677e-05,1.789363e-05,1.768220e-05,1.728098e-05,1.690181e-05,1.654348e-05,1.620483e-05,1.588475e-05,1.558220e-05,1.529619e-05,1.502578e-05,1.477009e-05,1.452829e-05,1.429959e-05,1.408324e-05,1.387854e-05,1.368482e-05,1.350147e-05,1.332790e-05,1.316355e-05,1.300789e-05,1.286045e-05,1.272074e-05,1.258834e-05,1.246284e-05,1.234385e-05,1.223101e-05,1.212396e-05,1.202239e-05,1.192600e-05,1.183449e-05,1.174760e-05,1.166507e-05,1.158667e-05,1.151216e-05,1.144134e-05,1.137401e-05,1.130997e-05,1.124906e-05,1.119109e-05,1.113592e-05,1.108340e-05,1.103338e-05,1.098574e-05,1.094035e-05,1.089708e-05,1.085584e-05,1.081651e-05,1.077899e-05,1.074320e-05,1.070905e-05,1.067645e-05
0.000000e+00,4.337272e-08,5.605651e-07,5.838775e-07,3.373230e-06,1.212984e-05,1.270099e-05,3.385452e-05,6.527246e-05,6.755750e-05,1.079264e-04,1.457829e-04,1.490205e-04,1.882911e-04,2.214738e-04,2.250281e-04,2.591138e-04,2.869583e-04,2.906033e-04,3.196021e-04,3.426403e-04,3.462300e-04,3.706092e-04,3.894383e-04,3.928604e-04,4.131018e-04,4.282804e-04,4.314478e-04,4.480090e-04,4.600447e-04,4.628919e-04,4.761986e-04,4.855464e-04,4.880265e-04,4.984682e-04,5.055309e-04,5.076114e-04,5.155398e-04,5.206713e-04,5.223324e-04,5.280647e-04,5.315757e-04,5.328081e-04,5.366300e-04,5.387916e-04,5.395947e-04,5.417643e-04,5.428145e-04,5.431954e-04,5.439418e-04,5.440840e-04,5.440540e-04,5.435793e-04,5.429882e-04,5.425623e-04,5.410452e-04,5.398709e-04,5.390676e-04,5.366666e-04,5.350375e-04,5.338774e-04,5.307328e-04,5.287584e-04,5.272638e-04,5.234995e-04,5.212727e-04,5.194670e-04,5.151919e-04,5.127910e-04,5.106982e-04,5.060083e-04,5.034990e-04,5.011432e-04,4.961226e-04,4.935598e-04,4.909649e-04,4.856874e-04,4.831163e-04,4.803060e-04,4.748359e-04,4.722937e-04,4.692909e-04,4.636842e-04,4.612009e-04,4.580279e-04,4.523333e-04,4.499327e-04,4.466108e-04,4.408704e-04,4.385712e-04,4.351209e-04,4.293709e-04,4.271874e-04,4.236280e-04,4.178995e-04,4.158420e-04,4.121919e-04,4.065114e-04,4.045872e-04,4.008635e-04,3.952535e-04,3.934670e-04,3.896860e-04,3.841653e-04,3.825189e-04,3.786954e-04,3.732799e-04,3.717737e-04,3.679219e-04,3.626243e-04,3.612572e-04,3.573899e-04,3.522209e-04,3.509904e-04,3.471195e-04,3.420874e-04,3.409899e-04,3.371264e-04,3.322377e-04,3.312688e-04,3.274227e-04,3.226823e-04,3.218370e-04,3.180174e-04,3.134287e-04,3.127016e-04,3.089167e-04,3.044818e-04,3.038671e-04,3.001243e-04,2.958444e-04,2.953360e-04,2.916421e-04,2.875173e-04,2.871091e-04,2.834700e-04,2.794998e-04,2.791855e-04,2.756064e-04,2.717894e-04,2.715628e-04,2.680485e-04,2.643829e-04,2.642379e-04,2.607922e-04,2.572758e-04,2.572062e-04,2.538328e-04,2.504627e-04,2.440016e-04,2.378165e-04,2.319007e-04,2.262469e-04,2.208478e-04,2.156959e-04,2.107833e-04,2.061023e-04,2.016452e-04,1.974040e-04,1.933711e-04,1.895388e-04,1.858995e-04,1.824458e-04,1.791704e-04,1.760661e-04,1.731259e-04,1.703431e-04,1.677111e-04,1.652234e-04,1.628737e-04,1.606561e-04,1.585647e-04,1.565938e-04,1.547380e-04,1.529921e-04,1.513508e-04,1.498094e-04,1.483632e-04,1.470076e-04,1.457383e-04,1.445511e-04,1.434419e-04,1.424070e-04,1.414427e-04,1.405454e-04,1.397117e-04,1.389384e-04,1.382223e-04,1.375606e-04,1.369503e-04,1.363887e-04,1.358733e-04,1.354015e-04,1.349710e-04,1.345795e-04,1.342249e-04,1.339050e-04,1.336180e-04
0.000000e+00,1.340873e-09,1.668887e-08,1.739657e-08,1.000484e-07,3.299936e-07,3.439086e-07,8.044454e-07,1.371890e-06,1.409832e-06,2.037583e-06,2.581828e-06,2.627094e-06,3.163486e-06,3.600041e-06,3.645922e-06,4.077048e-06,4.416699e-06,4.460273e-06,4.799074e-06,5.057478e-06,5.096810e-06,5.356666e-06,5.547880e-06,5.581654e-06,5.774603e-06,5.910780e-06,5.938165e-06,6.074819e-06,6.166327e-06,6.186876e-06,6.276486e-06,6.332090e-06,6.345648e-06,6.396214e-06,6.423267e-06,6.429899e-06,6.448291e-06,6.452922e-06,6.452856e-06,6.444947e-06,6.432233e-06,6.425811e-06,6.396601e-06,6.370729e-06,6.358374e-06,6.312105e-06,6.276509e-06,6.258691e-06,6.198955e-06,6.156436e-06,6.133653e-06,6.063479e-06,6.016305e-06,5.989067e-06,5.911000e-06,5.860998e-06,5.829810e-06,5.745985e-06,5.694610e-06,5.659967e-06,5.572162e-06,5.520563e-06,5.482939e-06,5.392632e-06,5.341703e-06,5.301548e-06,5.209961e-06,5.160384e-06,5.118122e-06,5.026256e-06,4.978543e-06,4.934567e-06,4.843237e-06,4.797760e-06,4.752432e-06,4.662297e-06,4.619309e-06,4.572963e-06,4.484547e-06,4.444213e-06,4.397151e-06,4.310866e-06,4.273273e-06,4.225771e-06,4.141933e-06,4.107111e-06,4.059413e-06,3.978260e-06,3.946191e-06,3.898517e-06,3.820219e-06,3.790851e-06,3.743396e-06,3.668069e-06,3.641321e-06,3.594256e-06,3.521969e-06,3.497741e-06,3.451216e-06,3.382000e-06,3.360176e-06,3.314322e-06,3.248178e-06,3.228633e-06,3.183561e-06,3.120464e-06,3.103067e-06,3.058874e-06,2.998778e-06,2.983396e-06,2.940161e-06,2.883005e-06,2.869503e-06,2.827293e-06,2.773004e-06,2.761249e-06,2.720118e-06,2.668612e-06,2.658475e-06,2.618465e-06,2.569652e-06,2.561006e-06,2.522150e-06,2.475935e-06,2.468659e-06,2.430982e-06,2.387265e-06,2.381242e-06,2.344760e-06,2.303441e-06,2.298562e-06,2.263284e-06,2.224261e-06,2.220421e-06,2.186349e-06,2.149522e-06,2.146622e-06,2.113756e-06,2.079024e-06,2.076972e-06,2.045303e-06,2.012568e-06,2.011279e-06,1.980795e-06,1.949961e-06,1.949354e-06,1.920041e-06,1.891014e-06,1.836081e-06,1.784383e-06,1.735754e-06,1.690034e-06,1.647069e-06,1.606712e-06,1.568822e-06,1.533264e-06,1.499912e-06,1.468641e-06,1.439336e-06,1.411886e-06,1.386187e-06,1.362138e-06,1.339645e-06,1.318619e-06,1.298974e-06,1.280632e-06,1.263515e-06,1.247551e-06,1.232674e-06,1.218819e-06,1.205925e-06,1.193935e-06,1.182795e-06,1.172455e-06,1.162866e-06,1.153982e-06,1.145762e-06,1.138165e-06,1.131152e-06,1.124688e-06,1.118740e-06,1.113275e-06,1.108263e-06,1.103677e-06,1.099489e-06,1.095674e-06,1.092210e-06,1.089073e-06,1.086243e-06,1.083699e-06,1.081425e-06,1.079401e-06,1.077612e-06,1.076042e-06,1.074677e-06,1.073503e-06,1.072506e-06
0.000000e+00,6.862166e-10,1.039766e-08,1.087616e-08,6.976911e-08,2.285824e-07,2.376373e-07,5.035105e-07,7.771537e-07,7.944991e-07,1.076510e-06,1.321845e-06,1.342501e-06,1.591554e-06,1.801468e-06,1.823978e-06,2.040374e-06,2.218075e-06,2.241410e-06,2.427760e-06,2.576746e-06,2.600043e-06,2.758914e-06,2.882481e-06,2.905029e-06,3.039033e-06,3.140316e-06,3.161549e-06,3.273179e-06,3.355035e-06,3.374503e-06,3.466077e-06,3.531081e-06,3.548436e-06,3.622091e-06,3.672549e-06,3.687530e-06,3.745221e-06,3.783187e-06,3.795609e-06,3.839120e-06,3.866418e-06,3.876159e-06,3.907112e-06,3.925356e-06,3.932348e-06,3.952217e-06,3.962833e-06,3.967053e-06,3.977173e-06,3.981416e-06,3.982879e-06,3.984458e-06,3.983429e-06,3.982182e-06,3.976311e-06,3.970974e-06,3.967091e-06,3.954754e-06,3.945949e-06,3.939523e-06,3.921608e-06,3.910066e-06,3.901207e-06,3.878510e-06,3.864864e-06,3.853696e-06,3.826934e-06,3.811729e-06,3.798384e-06,3.768198e-06,3.751903e-06,3.736520e-06,3.703486e-06,3.686500e-06,3.669223e-06,3.633853e-06,3.616516e-06,3.597490e-06,3.560242e-06,3.542839e-06,3.522211e-06,3.483492e-06,3.466262e-06,3.444176e-06,3.404348e-06,3.387487e-06,3.364087e-06,3.323470e-06,3.307138e-06,3.282565e-06,3.241440e-06,3.225768e-06,3.200157e-06,3.158773e-06,3.143861e-06,3.117343e-06,3.075918e-06,3.061843e-06,3.034546e-06,2.993270e-06,2.980089e-06,2.952132e-06,2.911171e-06,2.898922e-06,2.870422e-06,2.829918e-06,2.818625e-06,2.789689e-06,2.749765e-06,2.739437e-06,2.710170e-06,2.670930e-06,2.661568e-06,2.632067e-06,2.593599e-06,2.585191e-06,2.555547e-06,2.517926e-06,2.510455e-06,2.480751e-06,2.444038e-06,2.437479e-06,2.407797e-06,2.372039e-06,2.366364e-06,2.336775e-06,2.302013e-06,2.297187e-06,2.267761e-06,2.234024e-06,2.230010e-06,2.200808e-06,2.168118e-06,2.164878e-06,2.135957e-06,2.104328e-06,2.101821e-06,2.073233e-06,2.042674e-06,2.040857e-06,2.012650e-06,1.983163e-06,1.981995e-06,1.954211e-06,1.925793e-06,1.925230e-06,1.897908e-06,1.870554e-06,1.817948e-06,1.767387e-06,1.718842e-06,1.672278e-06,1.627658e-06,1.584940e-06,1.544079e-06,1.505030e-06,1.467745e-06,1.432174e-06,1.398267e-06,1.365973e-06,1.335242e-06,1.306021e-06,1.278259e-06,1.251907e-06,1.226913e-06,1.203227e-06,1.180801e-06,1.159586e-06,1.139536e-06,1.120603e-06,1.102744e-06,1.085912e-06,1.070066e-06,1.055164e-06,1.041165e-06,1.028029e-06,1.015719e-06,1.004197e-06,9.934284e-07,9.833773e-07,9.740107e-07,9.652965e-07,9.572033e-07,9.497013e-07,9.427616e-07,9.363564e-07,9.304589e-07,9.250435e-07,9.200855e-07,9.155612e-07,9.114479e-07,9.077238e-07,9.043680e-07,9.013604e-07,8.986819e-07,8.963142e-07,8.942396e-07
0.000000e+00,6.244293e-08,1.142652e-06,1.198522e-06,8.346492e-06,2.660450e-05,2.757091e-05,5.354655e-05,7.806187e-05,7.958565e-05,1.040806e-04,1.250591e-04,1.268130e-04,1.478081e-04,1.652765e-04,1.671366e-04,1.848767e-04,1.992368e-04,2.011074e-04,2.159072e-04,2.275495e-04,2.293533e-04,2.415216e-04,2.508100e-04,2.524865e-04,2.623198e-04,2.695877e-04,2.710912e-04,2.788678e-04,2.844157e-04,2.857133e-04,2.916891e-04,2.957839e-04,2.968532e-04,3.012606e-04,3.041362e-04,3.049632e-04,3.080095e-04,3.098687e-04,3.104460e-04,3.123167e-04,3.133365e-04,3.136629e-04,3.145240e-04,3.148589e-04,3.149386e-04,3.149421e-04,3.147263e-04,3.145670e-04,3.138437e-04,3.131895e-04,3.128009e-04,3.114655e-04,3.104690e-04,3.098628e-04,3.080162e-04,3.067588e-04,3.059481e-04,3.036792e-04,3.022296e-04,3.012289e-04,2.986153e-04,2.970314e-04,2.958555e-04,2.929652e-04,2.912952e-04,2.899592e-04,2.868515e-04,2.851356e-04,2.836549e-04,2.803814e-04,2.786525e-04,2.770422e-04,2.736477e-04,2.719328e-04,2.702077e-04,2.667309e-04,2.650516e-04,2.632259e-04,2.597003e-04,2.580736e-04,2.561612e-04,2.526153e-04,2.510545e-04,2.490686e-04,2.455268e-04,2.440420e-04,2.419950e-04,2.384781e-04,2.370764e-04,2.349803e-04,2.315056e-04,2.301921e-04,2.280577e-04,2.246400e-04,2.234176e-04,2.212554e-04,2.179066e-04,2.167767e-04,2.145962e-04,2.113264e-04,2.102889e-04,2.080991e-04,2.049161e-04,2.039701e-04,2.017790e-04,1.986892e-04,1.978327e-04,1.956479e-04,1.926561e-04,1.918865e-04,1.897147e-04,1.868245e-04,1.861385e-04,1.839861e-04,1.811999e-04,1.805940e-04,1.784663e-04,1.757857e-04,1.752559e-04,1.731581e-04,1.705838e-04,1.701260e-04,1.680625e-04,1.655944e-04,1.652044e-04,1.631793e-04,1.608168e-04,1.604903e-04,1.585068e-04,1.562490e-04,1.559815e-04,1.540429e-04,1.518881e-04,1.516754e-04,1.497842e-04,1.477306e-04,1.475685e-04,1.457268e-04,1.437723e-04,1.436566e-04,1.418665e-04,1.400087e-04,1.399353e-04,1.381982e-04,1.364345e-04,1.363997e-04,1.347168e-04,1.330444e-04,1.298641e-04,1.268532e-04,1.240058e-04,1.213163e-04,1.187787e-04,1.163872e-04,1.141359e-04,1.120193e-04,1.100315e-04,1.081670e-04,1.064203e-04,1.047860e-04,1.032589e-04,1.018340e-04,1.005062e-04,9.927084e-05,9.812313e-05,9.705862e-05,9.607294e-05,9.516189e-05,9.432142e-05,9.354762e-05,9.283675e-05,9.218519e-05,9.158950e-05,9.104633e-05,9.055253e-05,9.010503e-05,8.970093e-05,8.933746e-05,8.901194e-05,8.872185e-05,8.846478e-05,8.823843e-05,8.804060e-05,8.786923e-05,8.772234e-05,8.759806e-05,8.749462e-05,8.741033e-05,8.734362e-05,8.729298e-05,8.725700e-05,8.723434e-05,8.722374e-05,8.722404e-05,8.723411e-05,8.725293e-05,8.727951e-05
0.000000e+00,8.494290e-10,1.184775e-08,1.237248e-08,7.494337e-08,2.461360e-07,2.562404e-07,5.722884e-07,9.212735e-07,9.435919e-07,1.304076e-06,1.610660e-06,1.636094e-06,1.937647e-06,2.183984e-06,2.209948e-06,2.454791e-06,2.649003e-06,2.674017e-06,2.869410e-06,3.019677e-06,3.042659e-06,3.195366e-06,3.308878e-06,3.329049e-06,3.445143e-06,3.528167e-06,3.545002e-06,3.629903e-06,3.687862e-06,3.701045e-06,3.759550e-06,3.797091e-06,3.806471e-06,3.842788e-06,3.863862e-06,3.869416e-06,3.887206e-06,3.895149e-06,3.896950e-06,3.899383e-06,3.896991e-06,3.895185e-06,3.884989e-06,3.874598e-06,3.869380e-06,3.848898e-06,3.832444e-06,3.824043e-06,3.795279e-06,3.774360e-06,3.763030e-06,3.727690e-06,3.703619e-06,3.689622e-06,3.649159e-06,3.623005e-06,3.606608e-06,3.562252e-06,3.534880e-06,3.516349e-06,3.469138e-06,3.441242e-06,3.420836e-06,3.371642e-06,3.343772e-06,3.321738e-06,3.271292e-06,3.243879e-06,3.220454e-06,3.169364e-06,3.142739e-06,3.118146e-06,3.066914e-06,3.041325e-06,3.015771e-06,2.964811e-06,2.940440e-06,2.914117e-06,2.863765e-06,2.840737e-06,2.813822e-06,2.764349e-06,2.742744e-06,2.715399e-06,2.667020e-06,2.646881e-06,2.619253e-06,2.572136e-06,2.553478e-06,2.525699e-06,2.479971e-06,2.462785e-06,2.434975e-06,2.390730e-06,2.374989e-06,2.347253e-06,2.304557e-06,2.290220e-06,2.262652e-06,2.221547e-06,2.208563e-06,2.181246e-06,2.141753e-06,2.130063e-06,2.103070e-06,2.065196e-06,2.054736e-06,2.028129e-06,1.991865e-06,1.982568e-06,1.956401e-06,1.921730e-06,1.913526e-06,1.887845e-06,1.854739e-06,1.847559e-06,1.822402e-06,1.790826e-06,1.784602e-06,1.760001e-06,1.729915e-06,1.724577e-06,1.700558e-06,1.671919e-06,1.667402e-06,1.643985e-06,1.616745e-06,1.612986e-06,1.590186e-06,1.564296e-06,1.561233e-06,1.539061e-06,1.514470e-06,1.512046e-06,1.490509e-06,1.467166e-06,1.465324e-06,1.444427e-06,1.422279e-06,1.420969e-06,1.400711e-06,1.379708e-06,1.378879e-06,1.359259e-06,1.339350e-06,1.338957e-06,1.319969e-06,1.301104e-06,1.265226e-06,1.231229e-06,1.199024e-06,1.168521e-06,1.139638e-06,1.112293e-06,1.086407e-06,1.061906e-06,1.038718e-06,1.016773e-06,9.960069e-07,9.763567e-07,9.577627e-07,9.401682e-07,9.235195e-07,9.077652e-07,8.928567e-07,8.787480e-07,8.653953e-07,8.527572e-07,8.407945e-07,8.294700e-07,8.187487e-07,8.085972e-07,7.989841e-07,7.898798e-07,7.812562e-07,7.730868e-07,7.653464e-07,7.580116e-07,7.510598e-07,7.444701e-07,7.382225e-07,7.322983e-07,7.266797e-07,7.213499e-07,7.162932e-07,7.114947e-07,7.069405e-07,7.026171e-07,6.985122e-07,6.946138e-07,6.909110e-07,6.873931e-07,6.840502e-07,6.808731e-07,6.778528e-07,6.749810e-07,6.722498e-07
0.000000e+00,2.486294e-08,2.735560e-07,2.844060e-07,1.539244e-06,5.308579e-06,5.549119e-06,1.410104e-05,2.570365e-05,2.650554e-05,4.002416e-05,5.193847e-05,5.293253e-05,6.472095e-05,7.430824e-05,7.531474e-05,8.475784e-05,9.217439e-05,9.312411e-05,1.004927e-04,1.060911e-04,1.069413e-04,1.125441e-04,1.166480e-04,1.173710e-04,1.214878e-04,1.243770e-04,1.249560e-04,1.278332e-04,1.297455e-04,1.301728e-04,1.320244e-04,1.331594e-04,1.334338e-04,1.344436e-04,1.349682e-04,1.350933e-04,1.354184e-04,1.354695e-04,1.354518e-04,1.352235e-04,1.349127e-04,1.347612e-04,1.340905e-04,1.335095e-04,1.332347e-04,1.322163e-04,1.314417e-04,1.310561e-04,1.297719e-04,1.288643e-04,1.283799e-04,1.268950e-04,1.259020e-04,1.253304e-04,1.236985e-04,1.226578e-04,1.220104e-04,1.202760e-04,1.192170e-04,1.185044e-04,1.167040e-04,1.156495e-04,1.148821e-04,1.130454e-04,1.120127e-04,1.112000e-04,1.093512e-04,1.083532e-04,1.075039e-04,1.056624e-04,1.047084e-04,1.038305e-04,1.020117e-04,1.011082e-04,1.002090e-04,9.842512e-05,9.757621e-05,9.666231e-05,9.492264e-05,9.413066e-05,9.320788e-05,9.151954e-05,9.078539e-05,8.985892e-05,8.822711e-05,8.755057e-05,8.662502e-05,8.505339e-05,8.443340e-05,8.351280e-05,8.200371e-05,8.143859e-05,8.052644e-05,7.908120e-05,7.856878e-05,7.766810e-05,7.628717e-05,7.582497e-05,7.493835e-05,7.362151e-05,7.320684e-05,7.233646e-05,7.108295e-05,7.071301e-05,6.986070e-05,6.866935e-05,6.834126e-05,6.750853e-05,6.637782e-05,6.608872e-05,6.527679e-05,6.420496e-05,6.395201e-05,6.316185e-05,6.214696e-05,6.192742e-05,6.115976e-05,6.019973e-05,6.001094e-05,5.926632e-05,5.835900e-05,5.819840e-05,5.747719e-05,5.662036e-05,5.648555e-05,5.578795e-05,5.497940e-05,5.486807e-05,5.419415e-05,5.343166e-05,5.334167e-05,5.269138e-05,5.197277e-05,5.190208e-05,5.127528e-05,5.059838e-05,5.054510e-05,4.994156e-05,4.930429e-05,4.926666e-05,4.868606e-05,4.808637e-05,4.806277e-05,4.750474e-05,4.694067e-05,4.692956e-05,4.639369e-05,4.586333e-05,4.486050e-05,4.391763e-05,4.303144e-05,4.219878e-05,4.141667e-05,4.068226e-05,3.999283e-05,3.934582e-05,3.873878e-05,3.816941e-05,3.763551e-05,3.713501e-05,3.666595e-05,3.622648e-05,3.581485e-05,3.542942e-05,3.506863e-05,3.473100e-05,3.441515e-05,3.411978e-05,3.384366e-05,3.358562e-05,3.334458e-05,3.311950e-05,3.290944e-05,3.271346e-05,3.253072e-05,3.236041e-05,3.220176e-05,3.205407e-05,3.191665e-05,3.178889e-05,3.167017e-05,3.155995e-05,3.145770e-05,3.136292e-05,3.127515e-05,3.119396e-05,3.111892e-05,3.104966e-05,3.098581e-05,3.092702e-05,3.087298e-05,3.082339e-05,3.077796e-05,3.073642e-05,3.069852e-05,3.066404e-05,3.063273e-05
0.000000e+00,1.556077e-08,1.925017e-07,2.003247e-07,1.042848e-06,3.140434e-06,3.262045e-06,7.165705e-06,1.197835e-05,1.230660e-05,1.784188e-05,2.264855e-05,2.304100e-05,2.753302e-05,3.090998e-05,3.124778e-05,3.424599e-05,3.636514e-05,3.662019e-05,3.846157e-05,3.968155e-05,3.985177e-05,4.086167e-05,4.146084e-05,4.155208e-05,4.197499e-05,4.215344e-05,4.217467e-05,4.218871e-05,4.208788e-05,4.204900e-05,4.178257e-05,4.150164e-05,4.141231e-05,4.095757e-05,4.056563e-05,4.043471e-05,3.985755e-05,3.940239e-05,3.923769e-05,3.858496e-05,3.809930e-05,3.790757e-05,3.721244e-05,3.671844e-05,3.650537e-05,3.579118e-05,3.530357e-05,3.507394e-05,3.435698e-05,3.388532e-05,3.364309e-05,3.293455e-05,3.248478e-05,3.223325e-05,3.154070e-05,3.111628e-05,3.085815e-05,3.018657e-05,2.978922e-05,2.952674e-05,2.887925e-05,2.850955e-05,2.824456e-05,2.762297e-05,2.728070e-05,2.701472e-05,2.641993e-05,2.610437e-05,2.583866e-05,2.527090e-05,2.498099e-05,2.471659e-05,2.417565e-05,2.391015e-05,2.364794e-05,2.313330e-05,2.289086e-05,2.263154e-05,2.214247e-05,2.192170e-05,2.166587e-05,2.120152e-05,2.100102e-05,2.074917e-05,2.030860e-05,2.012701e-05,1.987955e-05,1.946177e-05,1.929776e-05,1.905502e-05,1.865905e-05,1.851136e-05,1.827361e-05,1.789844e-05,1.776586e-05,1.753332e-05,1.717799e-05,1.705936e-05,1.683221e-05,1.649576e-05,1.639002e-05,1.616839e-05,1.584989e-05,1.575603e-05,1.554002e-05,1.523857e-05,1.515564e-05,1.494532e-05,1.466007e-05,1.458719e-05,1.438260e-05,1.411272e-05,1.404906e-05,1.385023e-05,1.359494e-05,1.353972e-05,1.334665e-05,1.310519e-05,1.305770e-05,1.287037e-05,1.264203e-05,1.260160e-05,1.241999e-05,1.220408e-05,1.217009e-05,1.199414e-05,1.179001e-05,1.176189e-05,1.159155e-05,1.139859e-05,1.137580e-05,1.121099e-05,1.102862e-05,1.101066e-05,1.085132e-05,1.067896e-05,1.066538e-05,1.051142e-05,1.034855e-05,1.033893e-05,1.019025e-05,1.003637e-05,1.003031e-05,9.886815e-06,9.741455e-06,9.738590e-06,9.600180e-06,9.462881e-06,9.202338e-06,8.956160e-06,8.723588e-06,8.503900e-06,8.296412e-06,8.100477e-06,7.915479e-06,7.740835e-06,7.575993e-06,7.420428e-06,7.273645e-06,7.135171e-06,7.004561e-06,6.881393e-06,6.765264e-06,6.655797e-06,6.552629e-06,6.455422e-06,6.363852e-06,6.277614e-06,6.196416e-06,6.119986e-06,6.048062e-06,5.980399e-06,5.916764e-06,5.856936e-06,5.800705e-06,5.747875e-06,5.698256e-06,5.651672e-06,5.607955e-06,5.566946e-06,5.528494e-06,5.492457e-06,5.458700e-06,5.427096e-06,5.397523e-06,5.369867e-06,5.344021e-06,5.319882e-06,5.297353e-06,5.276343e-06,5.256765e-06,5.238537e-06,5.221582e-06,5.205827e-06,5.191203e-06,5.177643e-06,5.165087e-06
0.000000e+00,1.533880e-09,1.747907e-08,1.819510e-08,1.010036e-07,3.354116e-07,3.498246e-07,8.417318e-07,1.488471e-06,1.533147e-06,2.289381e-06,2.960243e-06,3.016406e-06,3.685320e-06,4.234348e-06,4.292311e-06,4.839757e-06,5.275184e-06,5.331356e-06,5.770983e-06,6.110377e-06,6.162411e-06,6.509232e-06,6.768577e-06,6.814838e-06,7.082417e-06,7.275556e-06,7.314955e-06,7.515242e-06,7.654013e-06,7.685890e-06,7.829318e-06,7.923743e-06,7.947769e-06,8.043345e-06,8.101887e-06,8.117993e-06,8.173519e-06,8.203288e-06,8.211599e-06,8.233783e-06,8.240725e-06,8.241510e-06,8.236113e-06,8.225189e-06,8.218822e-06,8.190777e-06,8.166103e-06,8.153028e-06,8.106549e-06,8.071529e-06,8.052237e-06,7.990919e-06,7.948354e-06,7.923358e-06,7.850259e-06,7.802442e-06,7.772268e-06,7.689984e-06,7.638782e-06,7.603953e-06,7.514681e-06,7.461601e-06,7.422629e-06,7.328224e-06,7.274475e-06,7.231853e-06,7.133875e-06,7.080413e-06,7.034614e-06,6.934369e-06,6.881944e-06,6.833412e-06,6.731990e-06,6.681177e-06,6.630330e-06,6.528636e-06,6.479867e-06,6.427095e-06,6.325874e-06,6.279463e-06,6.225126e-06,6.124988e-06,6.081152e-06,6.025582e-06,5.927020e-06,5.885900e-06,5.829400e-06,5.732810e-06,5.694480e-06,5.637327e-06,5.543019e-06,5.507504e-06,5.449948e-06,5.358165e-06,5.325447e-06,5.267715e-06,5.178637e-06,5.148668e-06,5.090963e-06,5.004720e-06,4.977428e-06,4.919930e-06,4.836611e-06,4.811904e-06,4.754775e-06,4.674432e-06,4.652204e-06,4.595587e-06,4.518244e-06,4.498380e-06,4.442401e-06,4.368055e-06,4.350435e-06,4.295202e-06,4.223834e-06,4.208331e-06,4.153941e-06,4.085512e-06,4.072001e-06,4.018534e-06,3.952994e-06,3.941348e-06,3.888875e-06,3.826162e-06,3.816257e-06,3.764837e-06,3.704882e-06,3.696596e-06,3.646278e-06,3.589005e-06,3.582220e-06,3.533043e-06,3.478372e-06,3.472975e-06,3.424970e-06,3.372817e-06,3.368698e-06,3.321890e-06,3.272169e-06,3.269224e-06,3.223631e-06,3.176255e-06,3.174384e-06,3.130019e-06,3.084900e-06,3.084009e-06,3.040878e-06,2.997929e-06,2.915977e-06,2.837987e-06,2.763795e-06,2.693242e-06,2.626172e-06,2.562435e-06,2.501883e-06,2.444374e-06,2.389771e-06,2.337942e-06,2.288758e-06,2.242097e-06,2.197841e-06,2.155876e-06,2.116094e-06,2.078392e-06,2.042669e-06,2.008830e-06,1.976784e-06,1.946444e-06,1.917727e-06,1.890552e-06,1.864845e-06,1.840533e-06,1.817548e-06,1.795823e-06,1.775295e-06,1.755906e-06,1.737599e-06,1.720318e-06,1.704013e-06,1.688635e-06,1.674136e-06,1.660472e-06,1.647602e-06,1.635484e-06,1.624081e-06,1.613356e-06,1.603274e-06,1.593802e-06,1.584909e-06,1.576565e-06,1.568742e-06,1.561413e-06,1.554552e-06,1.548135e-06,1.542139e-06,1.536541e-06,1.531321e-06
0.000000e+00,6.332464e-08,1.240515e-06,1.301360e-06,9.914069e-06,4.091654e-05,4.299740e-05,1.200353e-04,2.303718e-04,2.382484e-04,3.764028e-04,5.057207e-04,5.167637e-04,6.498066e-04,7.598083e-04,7.714015e-04,8.802481e-04,9.655182e-04,9.764062e-04,1.060544e-03,1.123983e-03,1.133575e-03,1.196476e-03,1.242192e-03,1.250212e-03,1.295697e-03,1.327435e-03,1.333779e-03,1.365237e-03,1.386111e-03,1.390777e-03,1.411043e-03,1.423564e-03,1.426614e-03,1.438014e-03,1.444178e-03,1.445711e-03,1.450129e-03,1.451510e-03,1.451645e-03,1.450601e-03,1.448435e-03,1.447299e-03,1.442014e-03,1.437265e-03,1.434988e-03,1.426440e-03,1.419859e-03,1.416566e-03,1.405540e-03,1.397708e-03,1.393517e-03,1.380640e-03,1.372007e-03,1.367031e-03,1.352804e-03,1.343716e-03,1.338057e-03,1.322880e-03,1.313600e-03,1.307351e-03,1.291543e-03,1.282270e-03,1.275516e-03,1.259328e-03,1.250211e-03,1.243028e-03,1.226658e-03,1.217804e-03,1.210259e-03,1.193864e-03,1.185351e-03,1.177504e-03,1.161206e-03,1.153087e-03,1.144993e-03,1.128885e-03,1.121197e-03,1.112902e-03,1.097058e-03,1.089821e-03,1.081368e-03,1.065843e-03,1.059067e-03,1.050494e-03,1.035329e-03,1.029016e-03,1.020355e-03,1.005580e-03,9.997264e-04,9.910076e-04,9.766428e-04,9.712392e-04,9.624886e-04,9.485479e-04,9.435819e-04,9.348226e-04,9.213139e-04,9.167705e-04,9.080228e-04,8.949496e-04,8.908122e-04,8.820942e-04,8.694563e-04,8.657072e-04,8.570351e-04,8.448296e-04,8.414505e-04,8.328384e-04,8.210600e-04,8.180322e-04,8.094927e-04,7.981346e-04,7.954396e-04,7.869837e-04,7.760378e-04,7.736570e-04,7.652947e-04,7.547518e-04,7.526671e-04,7.444069e-04,7.342573e-04,7.324510e-04,7.243006e-04,7.145339e-04,7.129887e-04,7.049548e-04,6.955604e-04,6.942598e-04,6.863482e-04,6.773152e-04,6.762432e-04,6.684590e-04,6.597766e-04,6.589179e-04,6.512655e-04,6.429227e-04,6.422625e-04,6.347457e-04,6.267317e-04,6.262560e-04,6.188780e-04,6.111820e-04,6.108774e-04,6.036409e-04,5.962522e-04,5.961060e-04,5.890133e-04,5.819216e-04,5.683043e-04,5.552345e-04,5.426935e-04,5.306625e-04,5.191237e-04,5.080594e-04,4.974528e-04,4.872874e-04,4.775470e-04,4.682163e-04,4.592803e-04,4.507244e-04,4.425346e-04,4.346973e-04,4.271994e-04,4.200283e-04,4.131715e-04,4.066174e-04,4.003545e-04,3.943717e-04,3.886585e-04,3.832044e-04,3.779997e-04,3.730346e-04,3.683001e-04,3.637871e-04,3.594870e-04,3.553917e-04,3.514930e-04,3.477833e-04,3.442550e-04,3.409012e-04,3.377147e-04,3.346891e-04,3.318177e-04,3.290946e-04,3.265135e-04,3.240689e-04,3.217552e-04,3.195670e-04,3.174991e-04,3.155466e-04,3.137048e-04,3.119689e-04,3.103346e-04,3.087976e-04,3.073537e-04,3.059990e-04,3.047297e-04
0.000000e+00,1.353568e-08,1.852186e-07,1.934902e-07,1.239279e-06,4.410253e-06,4.606024e-06,1.100357e-05,1.845797e-05,1.894453e-05,2.693794e-05,3.392188e-05,3.450890e-05,4.156335e-05,4.746740e-05,4.809791e-05,5.413055e-05,5.904282e-05,5.968490e-05,6.478556e-05,6.882700e-05,6.945577e-05,7.371862e-05,7.700142e-05,7.759706e-05,8.111334e-05,8.374150e-05,8.428889e-05,8.714428e-05,8.921135e-05,8.969921e-05,9.197242e-05,9.356149e-05,9.398178e-05,9.574423e-05,9.692848e-05,9.727584e-05,9.859183e-05,9.943534e-05,9.970659e-05,1.006337e-04,1.011923e-04,1.013861e-04,1.019758e-04,1.022980e-04,1.024143e-04,1.027124e-04,1.028401e-04,1.028802e-04,1.029274e-04,1.028968e-04,1.028629e-04,1.026952e-04,1.025375e-04,1.024324e-04,1.020819e-04,1.018237e-04,1.016508e-04,1.011458e-04,1.008099e-04,1.005730e-04,9.993836e-05,9.954409e-05,9.924732e-05,9.850506e-05,9.806883e-05,9.771640e-05,9.688587e-05,9.642147e-05,9.601770e-05,9.511588e-05,9.463487e-05,9.418411e-05,9.322587e-05,9.273785e-05,9.224441e-05,9.124275e-05,9.075563e-05,9.022374e-05,8.919000e-05,8.871022e-05,8.814401e-05,8.708804e-05,8.662081e-05,8.602424e-05,8.495458e-05,8.450402e-05,8.388090e-05,8.280492e-05,8.237424e-05,8.172821e-05,8.065224e-05,8.024385e-05,7.957836e-05,7.850782e-05,7.812346e-05,7.744177e-05,7.638127e-05,7.602214e-05,7.532730e-05,7.428075e-05,7.394755e-05,7.324243e-05,7.221308e-05,7.190613e-05,7.119339e-05,7.018397e-05,6.990325e-05,6.918537e-05,6.819810e-05,6.794332e-05,6.722261e-05,6.625928e-05,6.602994e-05,6.530849e-05,6.437054e-05,6.416594e-05,6.344570e-05,6.253422e-05,6.235354e-05,6.163629e-05,6.075208e-05,6.059440e-05,5.988174e-05,5.902538e-05,5.888966e-05,5.818308e-05,5.735490e-05,5.724009e-05,5.654090e-05,5.574107e-05,5.564605e-05,5.495543e-05,5.418397e-05,5.410760e-05,5.342663e-05,5.268339e-05,5.262453e-05,5.195416e-05,5.123889e-05,5.119641e-05,5.053747e-05,4.984982e-05,4.982260e-05,4.917582e-05,4.851535e-05,4.850228e-05,4.786829e-05,4.723451e-05,4.601825e-05,4.485234e-05,4.373556e-05,4.266663e-05,4.164422e-05,4.066697e-05,3.973351e-05,3.884244e-05,3.799237e-05,3.718191e-05,3.640968e-05,3.567431e-05,3.497446e-05,3.430878e-05,3.367598e-05,3.307479e-05,3.250396e-05,3.196226e-05,3.144853e-05,3.096160e-05,3.050036e-05,3.006372e-05,2.965063e-05,2.926008e-05,2.889108e-05,2.854269e-05,2.821398e-05,2.790407e-05,2.761211e-05,2.733727e-05,2.707877e-05,2.683585e-05,2.660776e-05,2.639382e-05,2.619334e-05,2.600567e-05,2.583020e-05,2.566631e-05,2.551345e-05,2.537105e-05,2.523860e-05,2.511558e-05,2.500151e-05,2.489593e-05,2.479840e-05,2.470848e-05,2.462578e-05,2.454991e-05,2.448049e-05
0.000000e+00,7.866194e-10,9.472456e-09,9.870158e-09,5.668331e-08,1.916955e-07,2.000708e-07,4.896274e-07,8.781081e-07,9.051903e-07,1.367742e-06,1.783681e-06,1.818700e-06,2.237754e-06,2.584162e-06,2.620858e-06,2.968612e-06,3.246822e-06,3.282825e-06,3.565582e-06,3.785193e-06,3.818978e-06,4.045043e-06,4.215241e-06,4.245720e-06,4.422847e-06,4.551742e-06,4.578164e-06,4.713304e-06,4.807923e-06,4.829802e-06,4.929097e-06,4.995473e-06,5.012534e-06,5.081368e-06,5.124643e-06,5.136777e-06,5.179860e-06,5.204408e-06,5.211636e-06,5.233054e-06,5.242559e-06,5.244997e-06,5.248289e-06,5.245855e-06,5.243691e-06,5.231914e-06,5.220142e-06,5.213615e-06,5.189407e-06,5.170469e-06,5.159855e-06,5.125486e-06,5.101187e-06,5.086785e-06,5.044205e-06,5.016040e-06,4.998161e-06,4.949041e-06,4.918242e-06,4.897201e-06,4.842970e-06,4.810542e-06,4.786654e-06,4.728532e-06,4.695293e-06,4.668864e-06,4.607887e-06,4.574494e-06,4.545822e-06,4.482869e-06,4.449845e-06,4.419215e-06,4.355028e-06,4.322785e-06,4.290465e-06,4.225669e-06,4.194522e-06,4.160769e-06,4.095884e-06,4.066073e-06,4.031123e-06,3.966584e-06,3.938281e-06,3.902357e-06,3.838522e-06,3.811846e-06,3.775152e-06,3.712314e-06,3.687341e-06,3.650066e-06,3.588462e-06,3.565230e-06,3.527548e-06,3.467366e-06,3.445887e-06,3.407954e-06,3.349343e-06,3.329603e-06,3.291563e-06,3.234636e-06,3.216604e-06,3.178585e-06,3.123427e-06,3.107056e-06,3.069176e-06,3.015843e-06,3.001076e-06,2.963439e-06,2.911970e-06,2.898742e-06,2.861441e-06,2.811854e-06,2.800093e-06,2.763210e-06,2.715510e-06,2.705142e-06,2.668750e-06,2.622927e-06,2.613875e-06,2.578037e-06,2.534074e-06,2.526259e-06,2.491031e-06,2.448900e-06,2.442243e-06,2.407672e-06,2.367339e-06,2.361763e-06,2.327891e-06,2.289316e-06,2.284746e-06,2.251605e-06,2.214746e-06,2.211106e-06,2.178726e-06,2.143535e-06,2.140755e-06,2.109159e-06,2.075585e-06,2.073596e-06,2.042802e-06,2.010795e-06,2.009531e-06,1.979553e-06,1.949061e-06,1.948458e-06,1.919306e-06,1.890275e-06,1.834878e-06,1.782165e-06,1.732032e-06,1.684379e-06,1.639106e-06,1.596116e-06,1.555313e-06,1.516605e-06,1.479901e-06,1.445114e-06,1.412159e-06,1.380955e-06,1.351420e-06,1.323481e-06,1.297063e-06,1.272094e-06,1.248509e-06,1.226241e-06,1.205227e-06,1.185408e-06,1.166727e-06,1.149127e-06,1.132557e-06,1.116965e-06,1.102305e-06,1.088529e-06,1.075595e-06,1.063458e-06,1.052081e-06,1.041424e-06,1.031450e-06,1.022125e-06,1.013416e-06,1.005290e-06,9.977181e-07,9.906707e-07,9.841205e-07,9.780413e-07,9.724083e-07,9.671977e-07,9.623870e-07,9.579544e-07,9.538796e-07,9.501432e-07,9.467264e-07,9.436116e-07,9.407821e-07,9.382219e-07,9.359156e-07
0.000000e+00,1.176550e-08,1.548640e-07,1.615522e-07,9.637606e-07,3.287564e-06,3.430820e-06,8.282749e-06,1.446165e-05,1.488029e-05,2.188860e-05,2.809344e-05,2.861551e-05,3.488253e-05,4.010887e-05,4.066569e-05,4.597867e-05,5.028304e-05,5.084405e-05,5.528617e-05,5.878641e-05,5.932933e-05,6.299725e-05,6.580509e-05,6.631283e-05,6.929809e-05,7.151433e-05,7.197410e-05,7.436093e-05,7.607504e-05,7.647766e-05,7.834238e-05,7.963296e-05,7.997220e-05,8.138327e-05,8.231879e-05,8.259083e-05,8.360924e-05,8.424905e-05,8.445200e-05,8.513181e-05,8.552713e-05,8.566064e-05,8.604967e-05,8.624449e-05,8.630946e-05,8.644987e-05,8.648191e-05,8.648017e-05,8.640905e-05,8.631053e-05,8.624465e-05,8.599458e-05,8.579290e-05,8.566600e-05,8.526556e-05,8.498397e-05,8.479953e-05,8.427376e-05,8.393191e-05,8.369371e-05,8.306447e-05,8.267886e-05,8.239081e-05,8.167718e-05,8.126165e-05,8.092774e-05,8.014635e-05,7.971239e-05,7.933662e-05,7.850191e-05,7.805903e-05,7.764534e-05,7.676982e-05,7.632581e-05,7.587806e-05,7.497256e-05,7.453373e-05,7.405565e-05,7.312950e-05,7.270092e-05,7.219609e-05,7.125729e-05,7.084296e-05,7.031481e-05,6.937021e-05,6.897321e-05,6.842498e-05,6.748044e-05,6.710310e-05,6.653784e-05,6.559832e-05,6.524232e-05,6.466291e-05,6.373258e-05,6.339907e-05,6.280819e-05,6.189054e-05,6.158021e-05,6.098036e-05,6.007831e-05,5.979146e-05,5.918496e-05,5.830087e-05,5.803752e-05,5.742651e-05,5.656231e-05,5.632221e-05,5.570866e-05,5.486589e-05,5.464859e-05,5.403431e-05,5.321416e-05,5.301905e-05,5.240567e-05,5.160904e-05,5.143538e-05,5.082442e-05,5.005194e-05,4.989891e-05,4.929171e-05,4.854380e-05,4.841050e-05,4.780829e-05,4.708519e-05,4.697065e-05,4.637454e-05,4.567632e-05,4.557956e-05,4.499053e-05,4.431712e-05,4.423714e-05,4.365606e-05,4.300728e-05,4.294308e-05,4.237072e-05,4.174629e-05,4.169686e-05,4.113391e-05,4.053347e-05,4.049782e-05,3.994487e-05,3.936799e-05,3.934516e-05,3.880272e-05,3.824892e-05,3.823796e-05,3.770647e-05,3.717522e-05,3.615587e-05,3.517878e-05,3.424277e-05,3.334665e-05,3.248920e-05,3.166919e-05,3.088539e-05,3.013657e-05,2.942152e-05,2.873904e-05,2.808792e-05,2.746703e-05,2.687520e-05,2.631132e-05,2.577431e-05,2.526310e-05,2.477666e-05,2.431399e-05,2.387412e-05,2.345610e-05,2.305903e-05,2.268203e-05,2.232425e-05,2.198486e-05,2.166308e-05,2.135815e-05,2.106932e-05,2.079591e-05,2.053721e-05,2.029260e-05,2.006142e-05,1.984309e-05,1.963702e-05,1.944265e-05,1.925946e-05,1.908693e-05,1.892457e-05,1.877191e-05,1.862850e-05,1.849391e-05,1.836771e-05,1.824952e-05,1.813896e-05,1.803565e-05,1.793925e-05,1.784944e-05,1.776588e-05,1.768827e-05,1.761632e-05
0.000000e+00,3.174526e-09,4.754490e-08,4.968218e-08,3.015918e-07,9.624422e-07,1.000363e-06,2.140002e-06,3.350225e-06,3.427649e-06,4.694650e-06,5.808230e-06,5.902463e-06,7.044766e-06,8.016773e-06,8.121535e-06,9.134107e-06,9.973421e-06,1.008419e-05,1.097370e-05,1.169177e-05,1.180466e-05,1.257923e-05,1.318790e-05,1.329962e-05,1.396808e-05,1.447906e-05,1.458688e-05,1.515826e-05,1.558270e-05,1.568442e-05,1.616753e-05,1.651582e-05,1.660968e-05,1.701289e-05,1.729449e-05,1.737911e-05,1.771023e-05,1.793373e-05,1.800806e-05,1.827436e-05,1.844750e-05,1.851078e-05,1.871893e-05,1.884863e-05,1.890034e-05,1.905649e-05,1.914895e-05,1.918877e-05,1.929854e-05,1.935927e-05,1.938707e-05,1.945559e-05,1.948948e-05,1.950527e-05,1.953723e-05,1.954862e-05,1.955253e-05,1.955220e-05,1.954490e-05,1.953719e-05,1.950844e-05,1.948582e-05,1.946682e-05,1.941318e-05,1.937818e-05,1.934830e-05,1.927296e-05,1.922818e-05,1.918787e-05,1.909372e-05,1.904140e-05,1.899116e-05,1.888082e-05,1.882292e-05,1.876329e-05,1.863912e-05,1.857732e-05,1.850885e-05,1.837299e-05,1.830875e-05,1.823202e-05,1.808638e-05,1.802094e-05,1.793652e-05,1.778283e-05,1.771724e-05,1.762572e-05,1.746553e-05,1.740068e-05,1.730263e-05,1.713733e-05,1.707396e-05,1.696995e-05,1.680079e-05,1.673950e-05,1.663010e-05,1.645817e-05,1.639947e-05,1.628523e-05,1.611151e-05,1.605580e-05,1.593724e-05,1.576262e-05,1.571020e-05,1.558784e-05,1.541308e-05,1.536418e-05,1.523852e-05,1.506431e-05,1.501909e-05,1.489060e-05,1.471754e-05,1.467611e-05,1.454525e-05,1.437385e-05,1.433628e-05,1.420347e-05,1.403419e-05,1.400048e-05,1.386613e-05,1.369938e-05,1.366951e-05,1.353401e-05,1.337011e-05,1.334403e-05,1.320775e-05,1.304699e-05,1.302462e-05,1.288790e-05,1.273053e-05,1.271176e-05,1.257493e-05,1.242114e-05,1.240587e-05,1.226922e-05,1.211918e-05,1.210726e-05,1.197108e-05,1.182493e-05,1.181623e-05,1.168077e-05,1.153861e-05,1.153297e-05,1.139848e-05,1.126039e-05,1.125765e-05,1.112435e-05,1.099038e-05,1.073123e-05,1.048025e-05,1.023743e-05,1.000275e-05,9.776160e-06,9.557591e-06,9.346950e-06,9.144129e-06,8.949005e-06,8.761443e-06,8.581298e-06,8.408415e-06,8.242632e-06,8.083782e-06,7.931693e-06,7.786187e-06,7.647088e-06,7.514213e-06,7.387381e-06,7.266411e-06,7.151120e-06,7.041328e-06,6.936856e-06,6.837524e-06,6.743159e-06,6.653585e-06,6.568632e-06,6.488133e-06,6.411922e-06,6.339838e-06,6.271723e-06,6.207422e-06,6.146783e-06,6.089660e-06,6.035908e-06,5.985388e-06,5.937962e-06,5.893499e-06,5.851869e-06,5.812948e-06,5.776614e-06,5.742749e-06,5.711240e-06,5.681976e-06,5.654850e-06,5.629760e-06,5.606604e-06,5.585287e-06,5.565715e-06
0.000000e+00,8.978742e-08,1.459351e-06,1.524902e-06,9.940186e-06,3.853364e-05,4.045191e-05,1.135310e-04,2.252499e-04,2.334386e-04,3.781128e-04,5.105368e-04,5.215506e-04,6.493299e-04,7.469076e-04,7.567090e-04,8.437858e-04,9.051719e-04,9.125354e-04,9.654345e-04,1.000099e-03,1.004900e-03,1.033095e-03,1.049436e-03,1.051876e-03,1.062828e-03,1.066922e-03,1.067303e-03,1.066450e-03,1.062589e-03,1.061239e-03,1.052488e-03,1.043651e-03,1.040885e-03,1.027008e-03,1.015241e-03,1.011341e-03,9.942894e-04,9.809804e-04,9.761905e-04,9.573257e-04,9.434013e-04,9.379282e-04,9.181914e-04,9.042603e-04,8.982748e-04,8.783096e-04,8.647611e-04,8.584031e-04,8.386429e-04,8.257161e-04,8.190996e-04,7.998300e-04,7.876625e-04,7.808794e-04,7.622832e-04,7.509438e-04,7.440686e-04,7.262562e-04,7.157681e-04,7.088607e-04,6.918925e-04,6.822493e-04,6.753578e-04,6.592599e-04,6.504362e-04,6.435993e-04,6.283743e-04,6.203328e-04,6.135815e-04,5.992162e-04,5.919132e-04,5.852724e-04,5.717433e-04,5.651319e-04,5.586213e-04,5.458983e-04,5.399305e-04,5.335658e-04,5.216148e-04,5.162430e-04,5.100364e-04,4.988213e-04,4.939993e-04,4.879602e-04,4.774438e-04,4.731275e-04,4.672630e-04,4.574085e-04,4.535561e-04,4.478713e-04,4.386424e-04,4.352144e-04,4.297129e-04,4.210741e-04,4.180337e-04,4.127177e-04,4.046351e-04,4.019480e-04,3.968183e-04,3.892594e-04,3.868937e-04,3.819504e-04,3.748839e-04,3.728101e-04,3.680524e-04,3.614488e-04,3.596396e-04,3.550660e-04,3.488972e-04,3.473275e-04,3.429357e-04,3.371752e-04,3.358219e-04,3.316093e-04,3.262319e-04,3.250736e-04,3.210372e-04,3.160194e-04,3.150365e-04,3.111728e-04,3.064921e-04,3.056668e-04,3.019721e-04,2.976076e-04,2.969234e-04,2.933936e-04,2.893255e-04,2.887673e-04,2.853984e-04,2.816080e-04,2.811621e-04,2.779498e-04,2.744196e-04,2.740734e-04,2.710132e-04,2.677267e-04,2.674689e-04,2.645562e-04,2.614980e-04,2.613180e-04,2.585484e-04,2.557040e-04,2.555923e-04,2.529612e-04,2.503168e-04,2.502648e-04,2.477675e-04,2.453104e-04,2.407052e-04,2.364270e-04,2.324549e-04,2.287692e-04,2.253516e-04,2.221846e-04,2.192520e-04,2.165387e-04,2.140302e-04,2.117132e-04,2.095751e-04,2.076041e-04,2.057892e-04,2.041198e-04,2.025864e-04,2.011798e-04,1.998913e-04,1.987132e-04,1.976377e-04,1.966579e-04,1.957672e-04,1.949594e-04,1.942287e-04,1.935697e-04,1.929774e-04,1.924470e-04,1.919741e-04,1.915545e-04,1.911843e-04,1.908599e-04,1.905779e-04,1.903351e-04,1.901286e-04,1.899556e-04,1.898134e-04,1.896998e-04,1.896124e-04,1.895491e-04,1.895079e-04,1.894871e-04,1.894848e-04,1.894996e-04,1.895299e-04,1.895744e-04,1.896317e-04,1.897007e-04,1.897802e-04,1.898693e-04,1.899669e-04
0.000000e+00,3.183751e-09,3.802782e-08,3.963181e-08,2.325139e-07,7.950566e-07,8.295118e-07,1.954701e-06,3.260205e-06,3.344639e-06,4.710523e-06,5.866123e-06,5.961502e-06,7.085111e-06,7.991437e-06,8.086271e-06,8.973215e-06,9.666046e-06,9.754499e-06,1.043839e-05,1.095462e-05,1.103271e-05,1.154486e-05,1.191664e-05,1.198176e-05,1.234993e-05,1.260480e-05,1.265542e-05,1.290390e-05,1.306518e-05,1.310062e-05,1.325043e-05,1.333762e-05,1.335783e-05,1.342696e-05,1.345626e-05,1.346164e-05,1.346538e-05,1.345013e-05,1.344140e-05,1.339267e-05,1.334378e-05,1.332189e-05,1.323155e-05,1.315790e-05,1.312392e-05,1.300109e-05,1.290985e-05,1.286495e-05,1.271723e-05,1.261417e-05,1.255952e-05,1.239325e-05,1.228296e-05,1.221973e-05,1.204016e-05,1.192625e-05,1.185559e-05,1.166703e-05,1.155234e-05,1.147534e-05,1.128133e-05,1.116803e-05,1.108572e-05,1.088916e-05,1.077889e-05,1.069223e-05,1.049545e-05,1.038942e-05,1.029929e-05,1.010417e-05,1.000324e-05,9.910450e-06,9.718468e-06,9.623219e-06,9.528509e-06,9.340826e-06,9.251613e-06,9.155641e-06,8.973146e-06,8.890148e-06,8.793505e-06,8.616860e-06,8.540116e-06,8.443328e-06,8.273009e-06,8.202453e-06,8.105982e-06,7.942312e-06,7.877795e-06,7.782046e-06,7.625221e-06,7.566534e-06,7.471859e-06,7.321972e-06,7.268865e-06,7.175564e-06,7.032627e-06,6.984817e-06,6.893148e-06,6.757107e-06,6.714295e-06,6.624474e-06,6.495219e-06,6.457095e-06,6.369303e-06,6.246684e-06,6.212936e-06,6.127317e-06,6.011154e-06,5.981470e-06,5.898142e-06,5.788229e-06,5.762305e-06,5.681359e-06,5.577474e-06,5.555014e-06,5.476516e-06,5.378426e-06,5.359147e-06,5.283144e-06,5.190609e-06,5.174239e-06,5.100759e-06,5.013534e-06,4.999818e-06,4.928873e-06,4.846713e-06,4.835407e-06,4.766996e-06,4.689660e-06,4.680537e-06,4.614646e-06,4.541895e-06,4.534742e-06,4.471348e-06,4.402947e-06,4.397566e-06,4.336637e-06,4.272360e-06,4.268567e-06,4.210062e-06,4.149688e-06,4.147312e-06,4.091186e-06,4.034504e-06,4.033388e-06,3.979590e-06,3.926394e-06,3.825947e-06,3.731678e-06,3.643238e-06,3.560292e-06,3.482522e-06,3.409626e-06,3.341317e-06,3.277323e-06,3.217388e-06,3.161268e-06,3.108734e-06,3.059569e-06,3.013569e-06,2.970541e-06,2.930303e-06,2.892684e-06,2.857523e-06,2.824669e-06,2.793979e-06,2.765320e-06,2.738566e-06,2.713598e-06,2.690305e-06,2.668582e-06,2.648333e-06,2.629464e-06,2.611889e-06,2.595527e-06,2.580303e-06,2.566144e-06,2.552984e-06,2.540760e-06,2.529413e-06,2.518887e-06,2.509131e-06,2.500096e-06,2.491735e-06,2.484007e-06,2.476871e-06,2.470289e-06,2.464226e-06,2.458648e-06,2.453526e-06,2.448830e-06,2.444531e-06,2.440606e-06,2.437029e-06,2.433778e-06,2.430832e-06
0.000000e+00,9.396241e-08,1.863047e-06,1.953293e-06,1.402032e-05,5.392650e-05,5.653255e-05,1.528690e-04,2.995858e-04,3.105855e-04,5.141432e-04,7.194817e-04,7.375181e-04,9.591508e-04,1.146113e-03,1.165889e-03,1.351145e-03,1.494411e-03,1.512495e-03,1.649936e-03,1.749995e-03,1.764782e-03,1.858987e-03,1.923759e-03,1.934727e-03,1.994180e-03,2.032237e-03,2.039418e-03,2.072349e-03,2.090994e-03,2.094691e-03,2.107971e-03,2.112905e-03,2.113527e-03,2.112528e-03,2.108014e-03,2.105988e-03,2.094783e-03,2.083937e-03,2.079669e-03,2.061295e-03,2.046363e-03,2.040218e-03,2.016919e-03,1.999509e-03,1.991807e-03,1.965234e-03,1.946484e-03,1.937499e-03,1.908861e-03,1.889574e-03,1.879540e-03,1.849722e-03,1.830454e-03,1.819569e-03,1.789216e-03,1.770349e-03,1.758780e-03,1.728361e-03,1.710152e-03,1.698041e-03,1.667891e-03,1.650507e-03,1.637972e-03,1.608334e-03,1.591875e-03,1.579019e-03,1.550061e-03,1.534583e-03,1.521490e-03,1.493329e-03,1.478855e-03,1.465598e-03,1.438312e-03,1.424839e-03,1.411482e-03,1.385118e-03,1.372631e-03,1.359226e-03,1.333811e-03,1.322281e-03,1.308875e-03,1.284419e-03,1.273810e-03,1.260442e-03,1.236943e-03,1.227216e-03,1.213920e-03,1.191369e-03,1.182480e-03,1.169287e-03,1.147667e-03,1.139572e-03,1.126505e-03,1.105796e-03,1.098450e-03,1.085533e-03,1.065711e-03,1.059070e-03,1.046322e-03,1.027360e-03,1.021381e-03,1.008817e-03,9.906883e-04,9.853290e-04,9.729651e-04,9.556407e-04,9.508604e-04,9.387080e-04,9.221598e-04,9.179194e-04,9.059891e-04,8.901885e-04,8.864507e-04,8.747512e-04,8.596700e-04,8.563993e-04,8.449380e-04,8.305482e-04,8.277107e-04,8.164937e-04,8.027679e-04,8.003316e-04,7.893639e-04,7.762753e-04,7.742100e-04,7.634955e-04,7.510180e-04,7.492950e-04,7.388367e-04,7.269452e-04,7.255374e-04,7.153374e-04,7.040074e-04,7.028894e-04,6.929492e-04,6.821569e-04,6.813049e-04,6.716250e-04,6.613478e-04,6.607391e-04,6.513197e-04,6.415354e-04,6.411490e-04,6.319896e-04,6.226771e-04,6.224932e-04,6.135927e-04,6.047315e-04,5.878256e-04,5.717386e-04,5.564348e-04,5.418802e-04,5.280420e-04,5.148889e-04,5.023906e-04,4.905183e-04,4.792443e-04,4.685420e-04,4.583859e-04,4.487518e-04,4.396162e-04,4.309568e-04,4.227521e-04,4.149818e-04,4.076261e-04,4.006663e-04,3.940844e-04,3.878631e-04,3.819861e-04,3.764375e-04,3.712023e-04,3.662661e-04,3.616149e-04,3.572357e-04,3.531158e-04,3.492430e-04,3.456058e-04,3.421932e-04,3.389946e-04,3.359997e-04,3.331990e-04,3.305832e-04,3.281434e-04,3.258710e-04,3.237581e-04,3.217968e-04,3.199797e-04,3.182997e-04,3.167500e-04,3.153241e-04,3.140159e-04,3.128193e-04,3.117287e-04,3.107386e-04,3.098439e-04,3.090395e-04,3.083208e-04
0.000000e+00,1.765632e-08,2.400441e-07,2.506377e-07,1.622212e-06,6.162154e-06,6.458186e-06,1.694860e-05,3.047723e-05,3.138065e-05,4.619732e-05,5.882664e-05,5.986772e-05,7.208984e-05,8.187104e-05,8.288970e-05,9.236740e-05,9.970344e-05,1.006354e-04,1.078023e-04,1.131626e-04,1.139694e-04,1.192298e-04,1.230110e-04,1.236696e-04,1.273678e-04,1.298983e-04,1.303973e-04,1.328247e-04,1.343745e-04,1.347113e-04,1.361133e-04,1.369036e-04,1.370819e-04,1.376640e-04,1.378742e-04,1.379022e-04,1.378351e-04,1.376099e-04,1.374981e-04,1.369231e-04,1.363780e-04,1.361388e-04,1.351716e-04,1.343984e-04,1.340449e-04,1.327802e-04,1.318511e-04,1.313965e-04,1.299113e-04,1.288830e-04,1.283400e-04,1.266967e-04,1.256130e-04,1.249939e-04,1.232428e-04,1.221374e-04,1.214535e-04,1.196351e-04,1.185333e-04,1.177954e-04,1.159417e-04,1.148626e-04,1.140802e-04,1.122167e-04,1.111741e-04,1.103561e-04,1.085028e-04,1.075064e-04,1.066606e-04,1.048329e-04,1.038893e-04,1.030227e-04,1.012326e-04,1.003457e-04,9.946466e-05,9.772089e-05,9.689294e-05,9.600287e-05,9.431196e-05,9.354356e-05,9.264928e-05,9.101577e-05,9.030647e-05,8.941217e-05,8.783906e-05,8.718755e-05,8.629687e-05,8.478590e-05,8.419031e-05,8.330636e-05,8.185831e-05,8.131631e-05,8.044176e-05,7.905663e-05,7.856565e-05,7.770277e-05,7.637996e-05,7.593723e-05,7.508792e-05,7.382635e-05,7.342903e-05,7.259489e-05,7.139315e-05,7.103835e-05,7.022069e-05,6.907709e-05,6.876198e-05,6.796186e-05,6.687453e-05,6.659633e-05,6.581459e-05,6.478154e-05,6.453755e-05,6.377485e-05,6.279399e-05,6.258162e-05,6.183845e-05,6.090768e-05,6.072446e-05,6.000116e-05,5.911835e-05,5.896192e-05,5.825872e-05,5.742174e-05,5.728989e-05,5.660690e-05,5.581367e-05,5.570431e-05,5.504154e-05,5.429001e-05,5.420118e-05,5.355858e-05,5.284675e-05,5.277663e-05,5.215405e-05,5.148000e-05,5.142686e-05,5.082413e-05,5.018598e-05,5.014824e-05,4.956510e-05,4.896106e-05,4.893724e-05,4.837342e-05,4.780175e-05,4.779048e-05,4.724564e-05,4.670470e-05,4.567681e-05,4.470383e-05,4.378293e-05,4.291142e-05,4.208671e-05,4.130636e-05,4.056804e-05,3.986955e-05,3.920878e-05,3.858374e-05,3.799254e-05,3.743339e-05,3.690459e-05,3.640453e-05,3.593167e-05,3.548458e-05,3.506188e-05,3.466228e-05,3.428454e-05,3.392750e-05,3.359006e-05,3.327117e-05,3.296984e-05,3.268514e-05,3.241618e-05,3.216213e-05,3.192218e-05,3.169559e-05,3.148164e-05,3.127966e-05,3.108901e-05,3.090908e-05,3.073931e-05,3.057915e-05,3.042809e-05,3.028565e-05,3.015136e-05,3.002479e-05,2.990553e-05,2.979318e-05,2.968738e-05,2.958778e-05,2.949404e-05,2.940585e-05,2.932293e-05,2.924497e-05,2.917172e-05,2.910293e-05,2.903835e-05
0.000000e+00,2.576033e-08,3.115295e-07,3.243412e-07,1.859497e-06,6.667732e-06,6.979851e-06,1.834773e-05,3.437374e-05,3.549814e-05,5.461322e-05,7.157124e-05,7.298793e-05,8.980249e-05,1.034978e-04,1.049369e-04,1.184532e-04,1.290924e-04,1.304566e-04,1.410582e-04,1.491365e-04,1.503655e-04,1.584812e-04,1.644491e-04,1.655029e-04,1.715221e-04,1.757703e-04,1.766248e-04,1.808914e-04,1.837531e-04,1.843967e-04,1.872101e-04,1.889658e-04,1.893959e-04,1.910137e-04,1.918972e-04,1.921183e-04,1.927603e-04,1.929651e-04,1.929862e-04,1.928388e-04,1.925236e-04,1.923572e-04,1.915775e-04,1.908721e-04,1.905326e-04,1.892527e-04,1.882623e-04,1.877654e-04,1.860958e-04,1.849053e-04,1.842670e-04,1.822999e-04,1.809773e-04,1.802136e-04,1.780256e-04,1.766250e-04,1.757517e-04,1.734061e-04,1.719699e-04,1.710020e-04,1.685511e-04,1.671124e-04,1.660641e-04,1.635506e-04,1.621348e-04,1.610193e-04,1.584780e-04,1.571041e-04,1.559338e-04,1.533929e-04,1.520748e-04,1.508609e-04,1.483428e-04,1.470904e-04,1.458432e-04,1.433658e-04,1.421856e-04,1.409142e-04,1.384915e-04,1.373874e-04,1.361002e-04,1.337427e-04,1.327167e-04,1.314210e-04,1.291367e-04,1.281889e-04,1.268913e-04,1.246860e-04,1.238153e-04,1.225217e-04,1.203991e-04,1.196037e-04,1.183190e-04,1.162816e-04,1.155587e-04,1.142873e-04,1.123362e-04,1.116827e-04,1.104284e-04,1.085637e-04,1.079762e-04,1.067421e-04,1.049633e-04,1.044379e-04,1.032269e-04,1.015325e-04,1.010656e-04,9.987982e-05,9.826821e-05,9.785586e-05,9.669718e-05,9.516616e-05,9.480460e-05,9.367452e-05,9.222164e-05,9.190714e-05,9.080685e-05,8.942946e-05,8.915841e-05,8.808879e-05,8.678412e-05,8.655305e-05,8.551473e-05,8.427990e-05,8.408549e-05,8.307890e-05,8.191099e-05,8.175009e-05,8.077545e-05,7.967154e-05,7.954117e-05,7.859854e-05,7.755572e-05,7.745307e-05,7.654236e-05,7.555776e-05,7.548022e-05,7.460121e-05,7.367202e-05,7.361712e-05,7.276950e-05,7.189298e-05,7.185845e-05,7.104179e-05,7.021529e-05,7.019900e-05,6.941282e-05,6.863375e-05,6.715785e-05,6.576662e-05,6.445559e-05,6.322048e-05,6.205718e-05,6.096179e-05,5.993059e-05,5.896003e-05,5.804673e-05,5.718751e-05,5.637933e-05,5.561930e-05,5.490471e-05,5.423297e-05,5.360163e-05,5.300840e-05,5.245108e-05,5.192762e-05,5.143606e-05,5.097456e-05,5.054138e-05,5.013489e-05,4.975353e-05,4.939584e-05,4.906045e-05,4.874605e-05,4.845143e-05,4.817542e-05,4.791693e-05,4.767493e-05,4.744847e-05,4.723662e-05,4.703852e-05,4.685337e-05,4.668040e-05,4.651889e-05,4.636817e-05,4.622758e-05,4.609654e-05,4.597446e-05,4.586083e-05,4.575513e-05,4.565690e-05,4.556567e-05,4.548104e-05,4.540261e-05,4.532999e-05,4.526285e-05,4.520085e-05
0.000000e+00,2.392671e-09,3.096129e-08,3.232181e-08,2.038188e-07,7.361596e-07,7.697506e-07,1.916818e-06,3.354569e-06,3.450876e-06,5.054932e-06,6.474660e-06,6.594397e-06,8.036578e-06,9.247188e-06,9.376640e-06,1.061678e-05,1.162865e-05,1.176104e-05,1.281390e-05,1.364973e-05,1.377992e-05,1.466358e-05,1.534545e-05,1.546930e-05,1.620135e-05,1.674957e-05,1.686387e-05,1.746088e-05,1.789389e-05,1.799619e-05,1.847349e-05,1.880776e-05,1.889627e-05,1.926788e-05,1.951806e-05,1.959153e-05,1.987023e-05,2.004925e-05,2.010689e-05,2.030422e-05,2.042342e-05,2.046483e-05,2.059116e-05,2.066046e-05,2.068555e-05,2.075019e-05,2.077823e-05,2.078718e-05,2.079847e-05,2.079275e-05,2.078593e-05,2.075132e-05,2.071835e-05,2.069629e-05,2.062243e-05,2.056782e-05,2.053120e-05,2.042399e-05,2.035256e-05,2.030214e-05,2.016687e-05,2.008273e-05,2.001936e-05,1.986069e-05,1.976736e-05,1.969191e-05,1.951399e-05,1.941444e-05,1.932785e-05,1.913433e-05,1.903106e-05,1.893425e-05,1.872837e-05,1.862347e-05,1.851739e-05,1.830198e-05,1.819719e-05,1.808276e-05,1.786031e-05,1.775706e-05,1.763519e-05,1.740789e-05,1.730731e-05,1.717889e-05,1.694864e-05,1.685166e-05,1.671754e-05,1.648599e-05,1.639332e-05,1.625433e-05,1.602291e-05,1.593509e-05,1.579202e-05,1.556195e-05,1.547938e-05,1.533297e-05,1.510531e-05,1.502825e-05,1.487920e-05,1.465484e-05,1.458345e-05,1.443243e-05,1.421213e-05,1.414648e-05,1.399410e-05,1.377848e-05,1.371856e-05,1.356541e-05,1.335500e-05,1.330074e-05,1.314735e-05,1.294256e-05,1.289384e-05,1.274071e-05,1.254188e-05,1.249854e-05,1.234612e-05,1.215350e-05,1.211536e-05,1.196407e-05,1.177785e-05,1.174468e-05,1.159490e-05,1.141522e-05,1.138678e-05,1.123885e-05,1.106580e-05,1.104184e-05,1.089607e-05,1.072968e-05,1.070994e-05,1.056662e-05,1.040688e-05,1.039109e-05,1.025047e-05,1.009735e-05,1.008525e-05,9.947534e-06,9.800985e-06,9.792296e-06,9.657687e-06,9.517613e-06,9.512077e-06,9.380739e-06,9.247034e-06,9.244392e-06,9.116468e-06,8.989007e-06,8.745661e-06,8.514068e-06,8.293922e-06,8.084904e-06,7.886683e-06,7.698917e-06,7.521262e-06,7.353368e-06,7.194885e-06,7.045462e-06,6.904753e-06,6.772411e-06,6.648096e-06,6.531473e-06,6.422211e-06,6.319989e-06,6.224492e-06,6.135412e-06,6.052451e-06,5.975318e-06,5.903730e-06,5.837415e-06,5.776107e-06,5.719552e-06,5.667503e-06,5.619721e-06,5.575977e-06,5.536052e-06,5.499732e-06,5.466814e-06,5.437102e-06,5.410410e-06,5.386556e-06,5.365371e-06,5.346687e-06,5.330350e-06,5.316208e-06,5.304118e-06,5.293944e-06,5.285554e-06,5.278826e-06,5.273642e-06,5.269888e-06,5.267459e-06,5.266253e-06,5.266176e-06,5.267134e-06,5.269044e-06,5.271822e-06
0.000000e+00,4.696950e-10,6.788922e-09,7.094174e-09,4.430008e-08,1.499280e-07,1.562746e-07,3.588095e-07,5.903110e-07,6.054009e-07,8.539990e-07,1.072907e-06,1.091395e-06,1.314783e-06,1.503624e-06,1.523902e-06,1.719116e-06,1.879812e-06,1.900942e-06,2.069921e-06,2.205381e-06,2.226595e-06,2.371499e-06,2.484508e-06,2.505159e-06,2.628097e-06,2.721263e-06,2.740823e-06,2.843841e-06,2.919598e-06,2.937645e-06,3.022714e-06,3.083306e-06,3.099516e-06,3.168503e-06,3.215974e-06,3.230109e-06,3.284753e-06,3.320945e-06,3.332838e-06,3.374747e-06,3.401304e-06,3.410848e-06,3.441491e-06,3.459873e-06,3.467010e-06,3.487724e-06,3.499218e-06,3.503933e-06,3.515926e-06,3.521664e-06,3.523975e-06,3.528338e-06,3.529311e-06,3.529262e-06,3.526980e-06,3.524052e-06,3.521711e-06,3.513665e-06,3.507587e-06,3.503040e-06,3.490023e-06,3.481447e-06,3.474790e-06,3.457511e-06,3.446999e-06,3.438342e-06,3.417434e-06,3.405470e-06,3.394927e-06,3.370956e-06,3.357955e-06,3.345647e-06,3.319117e-06,3.305431e-06,3.291480e-06,3.262841e-06,3.248767e-06,3.233299e-06,3.202948e-06,3.188739e-06,3.171876e-06,3.140166e-06,3.126032e-06,3.107896e-06,3.075140e-06,3.061254e-06,3.041966e-06,3.008438e-06,2.994942e-06,2.974618e-06,2.940562e-06,2.927570e-06,2.906323e-06,2.871950e-06,2.859552e-06,2.837491e-06,2.802988e-06,2.791255e-06,2.768482e-06,2.734012e-06,2.722994e-06,2.699611e-06,2.665312e-06,2.655048e-06,2.631147e-06,2.597143e-06,2.587654e-06,2.563325e-06,2.529719e-06,2.521019e-06,2.496346e-06,2.463227e-06,2.455318e-06,2.430381e-06,2.397824e-06,2.390702e-06,2.365573e-06,2.333642e-06,2.327296e-06,2.302044e-06,2.270792e-06,2.265203e-06,2.239894e-06,2.209362e-06,2.204511e-06,2.179203e-06,2.149425e-06,2.145287e-06,2.120036e-06,2.091039e-06,2.087587e-06,2.062442e-06,2.034247e-06,2.031450e-06,2.006458e-06,1.979079e-06,1.976906e-06,1.952111e-06,1.925556e-06,1.923976e-06,1.899415e-06,1.873689e-06,1.872669e-06,1.848378e-06,1.823482e-06,1.822988e-06,1.798999e-06,1.774930e-06,1.728483e-06,1.683633e-06,1.640360e-06,1.598642e-06,1.558452e-06,1.519760e-06,1.482537e-06,1.446748e-06,1.412360e-06,1.379337e-06,1.347644e-06,1.317242e-06,1.288095e-06,1.260166e-06,1.233418e-06,1.207812e-06,1.183313e-06,1.159884e-06,1.137488e-06,1.116091e-06,1.095657e-06,1.076152e-06,1.057543e-06,1.039797e-06,1.022883e-06,1.006768e-06,9.914221e-07,9.768167e-07,9.629227e-07,9.497122e-07,9.371583e-07,9.252349e-07,9.139165e-07,9.031787e-07,8.929976e-07,8.833505e-07,8.742152e-07,8.655702e-07,8.573949e-07,8.496694e-07,8.423745e-07,8.354917e-07,8.290030e-07,8.228913e-07,8.171401e-07,8.117334e-07,8.066558e-07,8.018925e-07,7.974295e-07
0.000000e+00,3.231411e-10,5.915527e-09,6.201591e-09,4.225179e-08,1.402922e-07,1.458645e-07,3.079894e-07,4.730885e-07,4.835331e-07,6.532653e-07,8.009231e-07,8.133579e-07,9.633479e-07,1.089888e-06,1.103466e-06,1.234091e-06,1.341507e-06,1.355624e-06,1.468471e-06,1.558877e-06,1.573031e-06,1.669698e-06,1.745082e-06,1.758860e-06,1.840896e-06,1.903110e-06,1.916178e-06,1.985066e-06,2.035807e-06,2.047908e-06,2.105038e-06,2.145840e-06,2.156775e-06,2.203426e-06,2.235660e-06,2.245284e-06,2.282627e-06,2.307511e-06,2.315720e-06,2.344815e-06,2.363423e-06,2.370152e-06,2.391958e-06,2.405237e-06,2.410449e-06,2.425828e-06,2.434608e-06,2.438290e-06,2.448018e-06,2.453026e-06,2.455186e-06,2.459960e-06,2.461830e-06,2.462494e-06,2.462937e-06,2.462223e-06,2.461428e-06,2.458100e-06,2.455282e-06,2.453077e-06,2.446478e-06,2.441972e-06,2.438413e-06,2.428990e-06,2.423156e-06,2.418306e-06,2.406458e-06,2.399606e-06,2.393533e-06,2.379615e-06,2.372012e-06,2.364784e-06,2.349114e-06,2.340987e-06,2.332676e-06,2.315536e-06,2.307079e-06,2.297758e-06,2.279399e-06,2.270775e-06,2.260516e-06,2.241161e-06,2.232508e-06,2.221383e-06,2.201229e-06,2.192663e-06,2.180742e-06,2.159963e-06,2.151579e-06,2.138931e-06,2.117682e-06,2.109557e-06,2.096250e-06,2.074666e-06,2.066864e-06,2.052960e-06,2.031161e-06,2.023733e-06,2.009295e-06,1.987386e-06,1.980370e-06,1.965457e-06,1.943529e-06,1.936954e-06,1.921623e-06,1.899756e-06,1.893643e-06,1.877947e-06,1.856212e-06,1.850574e-06,1.834564e-06,1.813020e-06,1.807866e-06,1.791591e-06,1.770289e-06,1.765620e-06,1.749125e-06,1.728110e-06,1.723925e-06,1.707253e-06,1.686562e-06,1.682856e-06,1.666046e-06,1.645711e-06,1.642475e-06,1.625565e-06,1.605613e-06,1.602836e-06,1.585861e-06,1.566314e-06,1.563982e-06,1.546975e-06,1.527850e-06,1.525949e-06,1.508941e-06,1.490251e-06,1.488766e-06,1.471784e-06,1.453541e-06,1.452454e-06,1.435525e-06,1.417736e-06,1.417030e-06,1.400177e-06,1.382849e-06,1.382505e-06,1.365752e-06,1.348886e-06,1.316177e-06,1.284377e-06,1.253484e-06,1.223490e-06,1.194390e-06,1.166172e-06,1.138826e-06,1.112339e-06,1.086696e-06,1.061882e-06,1.037883e-06,1.014681e-06,9.922601e-07,9.706022e-07,9.496900e-07,9.295057e-07,9.100314e-07,8.912490e-07,8.731404e-07,8.556878e-07,8.388735e-07,8.226800e-07,8.070897e-07,7.920857e-07,7.776508e-07,7.637684e-07,7.504221e-07,7.375958e-07,7.252736e-07,7.134401e-07,7.020802e-07,6.911791e-07,6.807223e-07,6.706959e-07,6.610860e-07,6.518793e-07,6.430627e-07,6.346234e-07,6.265491e-07,6.188276e-07,6.114472e-07,6.043965e-07,5.976644e-07,5.912401e-07,5.851131e-07,5.792731e-07,5.737104e-07,5.684154e-07,5.633785e-07
0.000000e+00,6.333671e-08,1.177087e-06,1.232915e-06,8.388113e-06,3.013036e-05,3.148654e-05,7.823959e-05,1.409400e-04,1.453281e-04,2.202832e-04,2.860827e-04,2.914757e-04,3.535081e-04,4.006307e-04,4.053747e-04,4.477995e-04,4.782506e-04,4.819519e-04,5.090084e-04,5.274142e-04,5.300297e-04,5.459388e-04,5.559350e-04,5.575281e-04,5.654730e-04,5.696740e-04,5.703479e-04,5.726439e-04,5.729084e-04,5.727811e-04,5.711173e-04,5.687667e-04,5.679568e-04,5.635581e-04,5.595236e-04,5.581411e-04,5.518922e-04,5.468267e-04,5.449700e-04,5.375084e-04,5.318666e-04,5.296210e-04,5.214044e-04,5.155010e-04,5.129400e-04,5.042966e-04,4.983468e-04,4.955322e-04,4.866956e-04,4.808441e-04,4.778279e-04,4.689635e-04,4.633057e-04,4.601314e-04,4.513555e-04,4.459516e-04,4.426557e-04,4.340482e-04,4.289337e-04,4.255465e-04,4.171614e-04,4.123551e-04,4.089018e-04,4.007746e-04,3.962834e-04,3.927853e-04,3.849380e-04,3.807605e-04,3.772356e-04,3.696803e-04,3.658100e-04,3.622732e-04,3.550151e-04,3.514420e-04,3.479060e-04,3.409455e-04,3.376571e-04,3.341328e-04,3.274667e-04,3.244492e-04,3.209459e-04,3.145687e-04,3.118077e-04,3.083333e-04,3.022376e-04,2.997187e-04,2.962798e-04,2.904575e-04,2.881660e-04,2.847685e-04,2.792105e-04,2.771323e-04,2.737811e-04,2.684781e-04,2.665994e-04,2.632989e-04,2.582412e-04,2.565488e-04,2.533026e-04,2.484807e-04,2.469619e-04,2.437731e-04,2.391775e-04,2.378203e-04,2.346916e-04,2.303129e-04,2.291059e-04,2.260394e-04,2.218686e-04,2.208008e-04,2.177984e-04,2.138267e-04,2.128879e-04,2.099512e-04,2.061699e-04,2.053504e-04,2.024806e-04,1.988814e-04,1.981722e-04,1.953703e-04,1.919452e-04,1.913377e-04,1.886043e-04,1.853456e-04,1.848317e-04,1.821674e-04,1.790678e-04,1.786400e-04,1.760450e-04,1.730973e-04,1.727486e-04,1.702230e-04,1.674204e-04,1.671441e-04,1.646879e-04,1.620239e-04,1.618137e-04,1.594268e-04,1.568951e-04,1.567453e-04,1.544273e-04,1.520219e-04,1.519270e-04,1.496775e-04,1.473927e-04,1.473476e-04,1.451660e-04,1.429963e-04,1.388628e-04,1.349372e-04,1.312101e-04,1.276725e-04,1.243156e-04,1.211313e-04,1.181117e-04,1.152491e-04,1.125365e-04,1.099667e-04,1.075334e-04,1.052302e-04,1.030509e-04,1.009900e-04,9.904192e-05,9.720134e-05,9.546327e-05,9.382293e-05,9.227572e-05,9.081726e-05,8.944338e-05,8.815006e-05,8.693351e-05,8.579005e-05,8.471622e-05,8.370867e-05,8.276423e-05,8.187987e-05,8.105267e-05,8.027986e-05,7.955880e-05,7.888695e-05,7.826189e-05,7.768133e-05,7.714304e-05,7.664493e-05,7.618498e-05,7.576127e-05,7.537197e-05,7.501532e-05,7.468965e-05,7.439336e-05,7.412493e-05,7.388289e-05,7.366585e-05,7.347248e-05,7.330153e-05,7.315177e-05,7.302204e-05
0.000000e+00,1.143508e-07,2.594668e-06,2.728159e-06,2.187026e-05,8.748624e-05,9.173657e-05,2.410078e-04,4.379980e-04,4.515038e-04,6.774039e-04,8.693107e-04,8.847538e-04,1.057955e-03,1.181503e-03,1.193390e-03,1.293569e-03,1.356530e-03,1.363513e-03,1.408815e-03,1.432077e-03,1.434711e-03,1.445707e-03,1.446152e-03,1.445494e-03,1.437000e-03,1.425468e-03,1.422498e-03,1.403722e-03,1.386513e-03,1.381978e-03,1.358236e-03,1.338800e-03,1.333215e-03,1.307437e-03,1.287579e-03,1.281283e-03,1.255027e-03,1.235648e-03,1.228863e-03,1.202930e-03,1.184457e-03,1.177325e-03,1.152113e-03,1.134725e-03,1.127341e-03,1.103038e-03,1.086790e-03,1.079224e-03,1.055907e-03,1.040795e-03,1.033095e-03,1.010789e-03,9.967784e-04,9.889883e-04,9.676902e-04,9.547358e-04,9.468901e-04,9.265826e-04,9.146320e-04,9.067614e-04,8.874196e-04,8.764183e-04,8.685501e-04,8.501453e-04,8.400385e-04,8.321968e-04,8.146957e-04,8.054280e-04,7.976332e-04,7.810007e-04,7.725187e-04,7.647892e-04,7.489898e-04,7.412419e-04,7.335937e-04,7.185923e-04,7.115293e-04,7.039771e-04,6.897395e-04,6.833148e-04,6.758713e-04,6.623640e-04,6.565330e-04,6.492095e-04,6.363996e-04,6.311203e-04,6.239264e-04,6.117820e-04,6.070146e-04,5.999588e-04,5.884491e-04,5.841561e-04,5.772456e-04,5.663410e-04,5.624871e-04,5.557280e-04,5.453996e-04,5.419515e-04,5.353488e-04,5.255689e-04,5.224955e-04,5.160533e-04,5.067954e-04,5.040673e-04,4.977889e-04,4.890275e-04,4.866174e-04,4.805052e-04,4.722160e-04,4.700983e-04,4.641540e-04,4.563135e-04,4.544642e-04,4.486890e-04,4.412750e-04,4.396716e-04,4.340661e-04,4.270572e-04,4.256790e-04,4.202432e-04,4.136191e-04,4.124465e-04,4.071800e-04,4.009212e-04,3.999362e-04,3.948381e-04,3.889261e-04,3.881118e-04,3.831809e-04,3.775981e-04,3.769389e-04,3.721736e-04,3.669032e-04,3.663845e-04,3.617829e-04,3.568089e-04,3.564172e-04,3.519774e-04,3.472845e-04,3.470073e-04,3.427268e-04,3.383006e-04,3.381262e-04,3.340025e-04,3.298292e-04,3.297470e-04,3.257774e-04,3.218439e-04,3.143923e-04,3.073690e-04,3.007519e-04,2.945199e-04,2.886529e-04,2.831319e-04,2.779389e-04,2.730566e-04,2.684688e-04,2.641598e-04,2.601149e-04,2.563202e-04,2.527624e-04,2.494287e-04,2.463072e-04,2.433866e-04,2.406559e-04,2.381049e-04,2.357238e-04,2.335035e-04,2.314350e-04,2.295100e-04,2.277206e-04,2.260593e-04,2.245189e-04,2.230926e-04,2.217741e-04,2.205571e-04,2.194360e-04,2.184051e-04,2.174594e-04,2.165938e-04,2.158036e-04,2.150844e-04,2.144320e-04,2.138424e-04,2.133117e-04,2.128364e-04,2.124131e-04,2.120385e-04,2.117095e-04,2.114233e-04,2.111771e-04,2.109683e-04,2.107945e-04,2.106532e-04,2.105424e-04,2.104598e-04,2.104036e-04
0.000000e+00,8.801476e-08,1.338595e-06,1.396654e-06,8.291558e-06,2.887111e-05,3.017899e-05,7.752528e-05,1.479869e-04,1.532152e-04,2.485010e-04,3.415353e-04,3.495646e-04,4.468064e-04,5.277528e-04,5.363179e-04,6.171997e-04,6.813860e-04,6.896513e-04,7.541989e-04,8.038455e-04,8.114422e-04,8.619757e-04,8.996530e-04,9.063646e-04,9.451389e-04,9.730909e-04,9.787912e-04,1.007778e-03,1.027891e-03,1.032519e-03,1.053403e-03,1.067243e-03,1.070783e-03,1.084988e-03,1.093844e-03,1.096315e-03,1.105037e-03,1.109962e-03,1.111404e-03,1.115645e-03,1.117500e-03,1.117969e-03,1.118565e-03,1.118048e-03,1.117608e-03,1.115256e-03,1.112935e-03,1.111655e-03,1.106936e-03,1.103268e-03,1.101219e-03,1.094615e-03,1.089968e-03,1.087222e-03,1.079133e-03,1.073803e-03,1.070429e-03,1.061186e-03,1.055411e-03,1.051474e-03,1.041354e-03,1.035320e-03,1.030883e-03,1.020113e-03,1.013969e-03,1.009090e-03,9.978577e-04,9.917184e-04,9.864534e-04,9.749123e-04,9.688674e-04,9.632659e-04,9.515428e-04,9.456606e-04,9.397688e-04,9.279672e-04,9.222989e-04,9.161590e-04,9.043631e-04,8.989458e-04,8.925963e-04,8.808741e-04,8.757340e-04,8.692101e-04,8.576166e-04,8.527710e-04,8.461044e-04,8.346833e-04,8.301423e-04,8.233619e-04,8.121478e-04,8.079161e-04,8.010479e-04,7.900679e-04,7.861455e-04,7.792130e-04,7.684877e-04,7.648713e-04,7.578958e-04,7.474406e-04,7.441243e-04,7.371249e-04,7.269509e-04,7.239266e-04,7.169205e-04,7.070351e-04,7.042934e-04,6.972960e-04,6.877039e-04,6.852341e-04,6.782593e-04,6.689625e-04,6.667533e-04,6.598136e-04,6.508124e-04,6.488519e-04,6.419584e-04,6.332512e-04,6.315274e-04,6.246901e-04,6.162743e-04,6.147748e-04,6.080028e-04,5.998745e-04,5.985871e-04,5.918883e-04,5.840429e-04,5.829557e-04,5.763370e-04,5.687694e-04,5.678705e-04,5.613384e-04,5.540426e-04,5.533204e-04,5.468806e-04,5.398506e-04,5.392939e-04,5.329512e-04,5.261806e-04,5.257784e-04,5.195372e-04,5.130193e-04,5.127612e-04,5.066253e-04,5.003534e-04,5.002292e-04,4.942020e-04,4.881692e-04,4.765679e-04,4.654121e-04,4.546884e-04,4.443840e-04,4.344857e-04,4.249810e-04,4.158574e-04,4.071025e-04,3.987043e-04,3.906512e-04,3.829317e-04,3.755347e-04,3.684492e-04,3.616646e-04,3.551707e-04,3.489574e-04,3.430149e-04,3.373338e-04,3.319049e-04,3.267192e-04,3.217682e-04,3.170432e-04,3.125363e-04,3.082395e-04,3.041450e-04,3.002455e-04,2.965337e-04,2.930027e-04,2.896456e-04,2.864558e-04,2.834271e-04,2.805531e-04,2.778280e-04,2.752459e-04,2.728012e-04,2.704884e-04,2.683024e-04,2.662380e-04,2.642902e-04,2.624542e-04,2.607255e-04,2.590995e-04,2.575719e-04,2.561385e-04,2.547952e-04,2.535381e-04,2.523633e-04,2.512673e-04,2.502464e-04
0.000000e+00,1.536340e-07,3.322058e-06,3.489645e-06,2.699683e-05,1.065384e-04,1.116903e-04,2.938419e-04,5.385659e-04,5.555223e-04,8.424091e-04,1.091284e-03,1.111547e-03,1.341783e-03,1.510386e-03,1.526872e-03,1.668463e-03,1.761110e-03,1.771671e-03,1.842659e-03,1.882543e-03,1.887444e-03,1.911380e-03,1.918716e-03,1.919002e-03,1.914031e-03,1.902681e-03,1.899466e-03,1.877690e-03,1.856351e-03,1.850577e-03,1.819593e-03,1.793477e-03,1.785872e-03,1.750292e-03,1.722429e-03,1.713527e-03,1.676095e-03,1.648199e-03,1.638387e-03,1.600701e-03,1.573709e-03,1.563261e-03,1.526237e-03,1.500635e-03,1.489753e-03,1.453900e-03,1.429916e-03,1.418745e-03,1.384335e-03,1.362048e-03,1.350701e-03,1.317863e-03,1.297271e-03,1.285834e-03,1.254617e-03,1.235670e-03,1.224212e-03,1.194614e-03,1.177239e-03,1.165815e-03,1.137806e-03,1.121918e-03,1.110574e-03,1.084107e-03,1.069614e-03,1.058390e-03,1.033407e-03,1.020217e-03,1.009144e-03,9.855852e-04,9.736072e-04,9.627137e-04,9.405137e-04,9.296605e-04,9.189690e-04,8.980633e-04,8.882508e-04,8.777806e-04,8.581051e-04,8.492539e-04,8.390210e-04,8.205127e-04,8.125476e-04,8.025650e-04,7.851629e-04,7.780131e-04,7.682915e-04,7.519363e-04,7.455356e-04,7.360832e-04,7.207183e-04,7.150048e-04,7.058279e-04,6.913988e-04,6.863147e-04,6.774179e-04,6.638725e-04,6.593641e-04,6.507502e-04,6.380390e-04,6.340563e-04,6.257270e-04,6.138026e-04,6.102992e-04,6.022548e-04,5.910725e-04,5.880055e-04,5.802451e-04,5.697622e-04,5.670918e-04,5.596137e-04,5.497899e-04,5.474794e-04,5.402811e-04,5.310780e-04,5.290935e-04,5.221716e-04,5.135531e-04,5.118632e-04,5.052139e-04,4.971457e-04,4.957216e-04,4.893404e-04,4.817901e-04,4.806052e-04,4.744872e-04,4.674242e-04,4.664541e-04,4.605940e-04,4.539895e-04,4.532118e-04,4.476038e-04,4.414305e-04,4.408246e-04,4.354630e-04,4.296951e-04,4.292421e-04,4.241208e-04,4.187341e-04,4.184167e-04,4.135293e-04,4.085009e-04,4.083033e-04,4.036435e-04,3.989518e-04,3.988596e-04,3.944208e-04,3.900455e-04,3.818232e-04,3.741572e-04,3.670140e-04,3.603619e-04,3.541712e-04,3.484138e-04,3.430633e-04,3.380947e-04,3.334846e-04,3.292109e-04,3.252528e-04,3.215906e-04,3.182060e-04,3.150815e-04,3.122007e-04,3.095483e-04,3.071098e-04,3.048715e-04,3.028206e-04,3.009450e-04,2.992333e-04,2.976747e-04,2.962593e-04,2.949775e-04,2.938204e-04,2.927795e-04,2.918471e-04,2.910157e-04,2.902784e-04,2.896286e-04,2.890600e-04,2.885670e-04,2.881441e-04,2.877861e-04,2.874882e-04,2.872460e-04,2.870552e-04,2.869118e-04,2.868121e-04,2.867526e-04,2.867301e-04,2.867415e-04,2.867838e-04,2.868545e-04,2.869510e-04,2.870708e-04,2.872119e-04,2.873721e-04,2.875495e-04
0.000000e+00,2.715478e-07,8.095895e-06,8.546041e-06,7.687399e-05,3.099571e-04,3.246629e-04,8.198170e-04,1.459492e-03,1.504218e-03,2.289743e-03,3.041835e-03,3.107158e-03,3.908784e-03,4.590997e-03,4.663793e-03,5.353653e-03,5.898898e-03,5.968562e-03,6.504801e-03,6.903286e-03,6.962789e-03,7.345663e-03,7.612733e-03,7.658256e-03,7.906359e-03,8.066045e-03,8.096201e-03,8.234087e-03,8.311124e-03,8.326158e-03,8.378229e-03,8.394565e-03,8.395698e-03,8.383496e-03,8.357133e-03,8.346071e-03,8.287394e-03,8.232373e-03,8.210978e-03,8.119904e-03,8.046780e-03,8.016862e-03,7.904181e-03,7.820657e-03,7.783869e-03,7.657647e-03,7.569197e-03,7.526981e-03,7.393118e-03,7.303535e-03,7.257111e-03,7.119844e-03,7.031681e-03,6.982060e-03,6.844375e-03,6.759289e-03,6.707301e-03,6.571261e-03,6.490279e-03,6.436599e-03,6.303597e-03,6.227307e-03,6.172480e-03,6.043429e-03,5.972117e-03,5.916586e-03,5.792060e-03,5.725810e-03,5.669935e-03,5.550271e-03,5.489033e-03,5.433110e-03,5.318478e-03,5.262116e-03,5.206390e-03,5.096849e-03,5.045173e-03,4.989849e-03,4.885378e-03,4.838165e-03,4.783417e-03,4.683942e-03,4.640953e-03,4.586925e-03,4.492337e-03,4.453327e-03,4.400145e-03,4.310311e-03,4.275030e-03,4.222801e-03,4.137575e-03,4.105780e-03,4.054594e-03,3.973818e-03,3.945271e-03,3.895206e-03,3.818716e-03,3.793185e-03,3.744306e-03,3.671936e-03,3.649202e-03,3.601564e-03,3.533147e-03,3.512998e-03,3.466646e-03,3.402017e-03,3.384252e-03,3.339222e-03,3.278218e-03,3.262645e-03,3.218966e-03,3.161425e-03,3.147866e-03,3.105557e-03,3.051323e-03,3.039607e-03,2.998685e-03,2.947604e-03,2.937571e-03,2.898043e-03,2.849966e-03,2.841467e-03,2.803336e-03,2.758119e-03,2.751013e-03,2.714278e-03,2.671781e-03,2.665936e-03,2.630592e-03,2.590680e-03,2.585975e-03,2.552011e-03,2.514555e-03,2.510874e-03,2.478279e-03,2.443153e-03,2.440391e-03,2.409147e-03,2.376232e-03,2.374292e-03,2.344380e-03,2.313562e-03,2.312350e-03,2.283750e-03,2.254918e-03,2.254351e-03,2.227040e-03,2.200090e-03,2.149367e-03,2.101996e-03,2.057796e-03,2.016596e-03,1.978232e-03,1.942549e-03,1.909396e-03,1.878635e-03,1.850128e-03,1.823750e-03,1.799377e-03,1.776895e-03,1.756193e-03,1.737166e-03,1.719716e-03,1.703748e-03,1.689172e-03,1.675903e-03,1.663861e-03,1.652969e-03,1.643155e-03,1.634350e-03,1.626488e-03,1.619508e-03,1.613351e-03,1.607961e-03,1.603285e-03,1.599275e-03,1.595882e-03,1.593062e-03,1.590772e-03,1.588974e-03,1.587629e-03,1.586701e-03,1.586157e-03,1.585966e-03,1.586097e-03,1.586522e-03,1.587214e-03,1.588150e-03,1.589304e-03,1.590656e-03,1.592185e-03,1.593870e-03,1.595695e-03,1.597641e-03,1.599694e-03,1.601838e-03,1.604059e-03
0.000000e+00,8.940702e-08,1.769667e-06,1.856778e-06,1.367623e-05,5.124899e-05,5.359223e-05,1.310718e-04,2.234504e-04,2.295229e-04,3.288479e-04,4.135811e-04,4.205747e-04,5.028019e-04,5.688202e-04,5.757100e-04,6.399871e-04,6.900180e-04,6.963964e-04,7.456698e-04,7.828575e-04,7.884873e-04,8.254744e-04,8.524588e-04,8.572045e-04,8.842017e-04,9.031439e-04,9.069434e-04,9.258638e-04,9.385148e-04,9.413569e-04,9.537796e-04,9.615466e-04,9.634547e-04,9.706739e-04,9.746810e-04,9.757005e-04,9.787721e-04,9.799132e-04,9.801029e-04,9.798859e-04,9.788697e-04,9.782951e-04,9.754872e-04,9.728736e-04,9.716033e-04,9.667702e-04,9.630002e-04,9.611021e-04,9.547018e-04,9.501218e-04,9.476617e-04,9.400649e-04,9.349456e-04,9.319861e-04,9.234921e-04,9.180440e-04,9.146431e-04,9.054934e-04,8.998796e-04,8.960915e-04,8.864808e-04,8.808265e-04,8.767004e-04,8.667853e-04,8.611858e-04,8.567667e-04,8.466726e-04,8.411993e-04,8.365279e-04,8.263548e-04,8.210602e-04,8.161732e-04,8.060009e-04,8.009232e-04,7.958536e-04,7.857452e-04,7.809107e-04,7.756881e-04,7.656931e-04,7.611190e-04,7.557700e-04,7.459272e-04,7.416237e-04,7.361721e-04,7.265111e-04,7.224830e-04,7.169500e-04,7.074936e-04,7.037413e-04,6.981461e-04,6.889111e-04,6.854319e-04,6.797916e-04,6.707901e-04,6.675789e-04,6.619088e-04,6.531493e-04,6.501991e-04,6.445130e-04,6.360008e-04,6.333033e-04,6.276136e-04,6.193517e-04,6.168976e-04,6.112153e-04,6.032046e-04,6.009841e-04,5.953193e-04,5.875592e-04,5.855620e-04,5.799237e-04,5.724124e-04,5.706280e-04,5.650244e-04,5.577589e-04,5.561769e-04,5.506151e-04,5.435921e-04,5.422018e-04,5.366886e-04,5.299037e-04,5.286949e-04,5.232362e-04,5.166848e-04,5.156473e-04,5.102484e-04,5.039256e-04,5.030494e-04,4.977151e-04,4.916157e-04,4.908912e-04,4.856259e-04,4.797445e-04,4.791622e-04,4.739700e-04,4.683010e-04,4.678520e-04,4.627362e-04,4.572742e-04,4.569497e-04,4.519135e-04,4.466529e-04,4.464445e-04,4.414908e-04,4.364259e-04,4.363256e-04,4.314569e-04,4.265823e-04,4.172039e-04,4.081799e-04,3.995000e-04,3.911539e-04,3.831317e-04,3.754237e-04,3.680201e-04,3.609116e-04,3.540891e-04,3.475436e-04,3.412664e-04,3.352491e-04,3.294833e-04,3.239609e-04,3.186742e-04,3.136154e-04,3.087771e-04,3.041521e-04,2.997333e-04,2.955138e-04,2.914870e-04,2.876463e-04,2.839855e-04,2.804985e-04,2.771791e-04,2.740217e-04,2.710206e-04,2.681702e-04,2.654653e-04,2.629006e-04,2.604711e-04,2.581719e-04,2.559982e-04,2.539453e-04,2.520088e-04,2.501843e-04,2.484675e-04,2.468543e-04,2.453406e-04,2.439225e-04,2.425963e-04,2.413581e-04,2.402046e-04,2.391321e-04,2.381373e-04,2.372169e-04,2.363678e-04,2.355867e-04,2.348708e-04
0.000000e+00,1.718308e-08,2.508846e-07,2.617635e-07,1.462241e-06,4.390775e-06,4.556958e-06,9.737893e-06,1.586005e-05,1.627100e-05,2.313665e-05,2.911125e-05,2.960530e-05,3.539857e-05,4.000963e-05,4.048797e-05,4.491759e-05,4.831566e-05,4.874509e-05,5.202759e-05,5.445559e-05,5.481864e-05,5.716755e-05,5.883207e-05,5.911942e-05,6.071536e-05,6.178475e-05,6.199272e-05,6.298536e-05,6.359522e-05,6.372401e-05,6.423644e-05,6.449537e-05,6.454781e-05,6.468082e-05,6.467531e-05,6.465598e-05,6.449184e-05,6.429061e-05,6.420516e-05,6.381109e-05,6.346858e-05,6.332324e-05,6.275373e-05,6.231246e-05,6.211363e-05,6.141281e-05,6.090615e-05,6.066016e-05,5.986370e-05,5.931757e-05,5.903063e-05,5.816736e-05,5.760169e-05,5.727962e-05,5.637256e-05,5.580250e-05,5.545074e-05,5.451824e-05,5.395515e-05,5.357870e-05,5.263534e-05,5.208758e-05,5.169101e-05,5.074823e-05,5.022178e-05,4.980921e-05,4.887591e-05,4.837491e-05,4.795003e-05,4.703306e-05,4.656020e-05,4.612630e-05,4.523086e-05,4.478769e-05,4.434769e-05,4.347760e-05,4.306481e-05,4.262129e-05,4.177931e-05,4.139695e-05,4.095214e-05,4.014016e-05,3.978778e-05,3.934366e-05,3.856285e-05,3.823963e-05,3.779789e-05,3.704888e-05,3.675376e-05,3.631586e-05,3.559884e-05,3.533056e-05,3.489777e-05,3.421257e-05,3.396977e-05,3.354315e-05,3.288936e-05,3.267060e-05,3.225105e-05,3.162804e-05,3.143187e-05,3.102013e-05,3.042712e-05,3.025209e-05,2.984879e-05,2.928489e-05,2.912955e-05,2.873519e-05,2.819943e-05,2.806238e-05,2.767736e-05,2.716872e-05,2.704861e-05,2.667325e-05,2.619067e-05,2.608621e-05,2.572073e-05,2.526315e-05,2.517310e-05,2.481767e-05,2.438403e-05,2.430721e-05,2.396194e-05,2.355117e-05,2.348647e-05,2.315143e-05,2.276248e-05,2.270887e-05,2.238405e-05,2.201591e-05,2.197241e-05,2.165779e-05,2.130946e-05,2.127515e-05,2.097067e-05,2.064119e-05,2.061523e-05,2.032079e-05,2.000923e-05,1.999082e-05,1.970630e-05,1.941178e-05,1.940017e-05,1.912544e-05,1.884709e-05,1.884160e-05,1.857651e-05,1.831351e-05,1.781434e-05,1.734261e-05,1.689692e-05,1.647592e-05,1.607832e-05,1.570290e-05,1.534851e-05,1.501403e-05,1.469841e-05,1.440066e-05,1.411982e-05,1.385500e-05,1.360534e-05,1.337003e-05,1.314831e-05,1.293943e-05,1.274272e-05,1.255751e-05,1.238318e-05,1.221915e-05,1.206486e-05,1.191978e-05,1.178340e-05,1.165526e-05,1.153490e-05,1.142190e-05,1.131585e-05,1.121637e-05,1.112310e-05,1.103571e-05,1.095385e-05,1.087723e-05,1.080556e-05,1.073856e-05,1.067597e-05,1.061754e-05,1.056304e-05,1.051226e-05,1.046497e-05,1.042098e-05,1.038011e-05,1.034217e-05,1.030701e-05,1.027446e-05,1.024437e-05,1.021659e-05,1.019101e-05,1.016748e-05,1.014589e-05
0.000000e+00,5.807948e-08,1.123113e-06,1.178005e-06,8.492313e-06,3.145969e-05,3.290195e-05,8.225170e-05,1.456466e-04,1.499591e-04,2.225331e-04,2.874418e-04,2.929348e-04,3.593131e-04,4.153779e-04,4.213941e-04,4.792639e-04,5.268341e-04,5.330847e-04,5.830347e-04,6.230336e-04,6.292945e-04,6.720424e-04,7.053647e-04,7.114533e-04,7.476970e-04,7.751693e-04,7.809384e-04,8.113362e-04,8.337099e-04,8.390432e-04,8.642057e-04,8.821564e-04,8.869638e-04,9.074515e-04,9.215825e-04,9.257965e-04,9.421208e-04,9.529683e-04,9.565405e-04,9.691661e-04,9.772050e-04,9.801030e-04,9.894514e-04,9.951013e-04,9.973065e-04,1.003759e-03,1.007389e-03,1.008894e-03,1.012794e-03,1.014730e-03,1.015537e-03,1.017197e-03,1.017722e-03,1.017842e-03,1.017541e-03,1.016906e-03,1.016355e-03,1.014345e-03,1.012767e-03,1.011567e-03,1.008075e-03,1.005743e-03,1.003920e-03,9.991503e-04,9.962276e-04,9.938109e-04,9.879453e-04,9.845735e-04,9.815943e-04,9.747965e-04,9.710974e-04,9.675887e-04,9.600052e-04,9.560829e-04,9.520788e-04,9.438403e-04,9.397835e-04,9.353188e-04,9.265418e-04,9.224257e-04,9.175352e-04,9.083235e-04,9.042113e-04,8.989297e-04,8.893756e-04,8.853200e-04,8.796815e-04,8.698668e-04,8.659112e-04,8.599494e-04,8.499465e-04,8.461263e-04,8.398740e-04,8.297468e-04,8.260903e-04,8.195790e-04,8.093838e-04,8.059134e-04,7.991735e-04,7.889597e-04,7.856923e-04,7.787531e-04,7.685638e-04,7.655118e-04,7.584011e-04,7.482740e-04,7.454459e-04,7.381904e-04,7.281580e-04,7.255588e-04,7.181837e-04,7.082741e-04,7.059061e-04,6.984353e-04,6.886726e-04,6.865356e-04,6.789913e-04,6.693960e-04,6.674877e-04,6.598911e-04,6.504804e-04,6.487968e-04,6.411676e-04,6.319559e-04,6.304916e-04,6.228482e-04,6.138473e-04,6.125958e-04,6.049554e-04,5.961748e-04,5.951287e-04,5.875072e-04,5.789543e-04,5.781054e-04,5.705175e-04,5.621980e-04,5.615376e-04,5.539969e-04,5.459149e-04,5.454338e-04,5.379529e-04,5.301111e-04,5.297999e-04,5.223901e-04,5.147900e-04,5.146392e-04,5.073109e-04,4.999529e-04,4.857401e-04,4.719987e-04,4.587248e-04,4.459133e-04,4.335582e-04,4.216526e-04,4.101887e-04,3.991581e-04,3.885519e-04,3.783608e-04,3.685749e-04,3.591845e-04,3.501791e-04,3.415486e-04,3.332826e-04,3.253706e-04,3.178022e-04,3.105669e-04,3.036546e-04,2.970549e-04,2.907578e-04,2.847534e-04,2.790317e-04,2.735832e-04,2.683985e-04,2.634684e-04,2.587837e-04,2.543356e-04,2.501156e-04,2.461153e-04,2.423263e-04,2.387409e-04,2.353511e-04,2.321496e-04,2.291289e-04,2.262820e-04,2.236020e-04,2.210822e-04,2.187161e-04,2.164974e-04,2.144201e-04,2.124783e-04,2.106662e-04,2.089785e-04,2.074097e-04,2.059547e-04,2.046084e-04,2.033662e-04,2.022234e-04
0.000000e+00,5.567544e-08,2.224731e-06,2.354436e-06,2.094189e-05,6.817382e-05,7.061572e-05,1.362187e-04,1.984382e-04,2.022937e-04,2.637266e-04,3.152212e-04,3.194708e-04,3.696157e-04,4.102540e-04,4.145201e-04,4.545846e-04,4.861467e-04,4.901976e-04,5.217241e-04,5.458294e-04,5.495055e-04,5.738595e-04,5.918852e-04,5.950818e-04,6.134465e-04,6.265515e-04,6.292070e-04,6.425972e-04,6.517482e-04,6.538326e-04,6.631108e-04,6.691066e-04,6.706135e-04,6.765069e-04,6.800039e-04,6.809434e-04,6.840623e-04,6.855974e-04,6.859912e-04,6.868468e-04,6.868587e-04,6.867362e-04,6.857567e-04,6.846020e-04,6.839973e-04,6.815394e-04,6.795071e-04,6.784571e-04,6.748180e-04,6.721415e-04,6.706839e-04,6.661110e-04,6.629778e-04,6.611504e-04,6.558489e-04,6.524095e-04,6.502488e-04,6.443889e-04,6.407629e-04,6.383042e-04,6.320267e-04,6.283089e-04,6.255853e-04,6.190064e-04,6.152712e-04,6.123139e-04,6.055292e-04,6.018342e-04,5.986721e-04,5.917602e-04,5.881498e-04,5.848096e-04,5.778346e-04,5.743422e-04,5.708484e-04,5.638626e-04,5.605128e-04,5.568879e-04,5.499336e-04,5.467439e-04,5.430084e-04,5.361197e-04,5.331021e-04,5.292744e-04,5.224784e-04,5.196402e-04,5.157372e-04,5.090553e-04,5.064002e-04,5.024371e-04,4.958861e-04,4.934150e-04,4.894055e-04,4.829980e-04,4.807097e-04,4.766661e-04,4.704118e-04,4.683033e-04,4.642367e-04,4.581423e-04,4.562093e-04,4.521297e-04,4.461999e-04,4.444372e-04,4.403535e-04,4.345910e-04,4.329926e-04,4.289128e-04,4.233191e-04,4.218786e-04,4.178098e-04,4.123850e-04,4.110956e-04,4.070443e-04,4.017875e-04,4.006422e-04,3.966141e-04,3.915237e-04,3.905155e-04,3.865157e-04,3.815895e-04,3.807114e-04,3.767443e-04,3.719796e-04,3.712246e-04,3.672943e-04,3.626879e-04,3.620492e-04,3.581593e-04,3.537078e-04,3.531787e-04,3.493323e-04,3.450320e-04,3.446061e-04,3.408059e-04,3.366531e-04,3.363240e-04,3.325726e-04,3.285634e-04,3.283251e-04,3.246245e-04,3.207549e-04,3.206015e-04,3.169536e-04,3.132196e-04,3.131456e-04,3.095520e-04,3.059496e-04,2.990058e-04,2.923066e-04,2.858443e-04,2.796115e-04,2.736009e-04,2.678053e-04,2.622178e-04,2.568315e-04,2.516397e-04,2.466359e-04,2.418139e-04,2.371675e-04,2.326908e-04,2.283780e-04,2.242235e-04,2.202219e-04,2.163679e-04,2.126564e-04,2.090826e-04,2.056416e-04,2.023289e-04,1.991399e-04,1.960705e-04,1.931164e-04,1.902735e-04,1.875380e-04,1.849062e-04,1.823743e-04,1.799390e-04,1.775967e-04,1.753442e-04,1.731783e-04,1.710960e-04,1.690943e-04,1.671703e-04,1.653214e-04,1.635447e-04,1.618379e-04,1.601983e-04,1.586235e-04,1.571114e-04,1.556595e-04,1.542658e-04,1.529281e-04,1.516445e-04,1.504130e-04,1.492317e-04,1.480989e-04,1.470127e-04
0.000000e+00,4.353157e-09,6.418736e-08,6.710612e-08,4.211702e-07,1.342925e-06,1.393997e-06,2.832593e-06,4.237870e-06,4.325472e-06,5.731686e-06,6.930115e-06,7.029992e-06,8.221397e-06,9.206251e-06,9.310750e-06,1.030354e-05,1.110167e-05,1.120525e-05,1.202130e-05,1.265864e-05,1.275699e-05,1.341744e-05,1.391772e-05,1.400763e-05,1.453233e-05,1.491690e-05,1.499608e-05,1.540320e-05,1.569087e-05,1.575778e-05,1.606366e-05,1.627079e-05,1.632448e-05,1.654363e-05,1.668427e-05,1.672428e-05,1.686942e-05,1.695561e-05,1.698184e-05,1.706414e-05,1.710613e-05,1.711877e-05,1.714798e-05,1.715445e-05,1.715390e-05,1.713850e-05,1.711680e-05,1.710362e-05,1.705097e-05,1.700726e-05,1.698214e-05,1.689861e-05,1.683809e-05,1.680177e-05,1.669290e-05,1.661988e-05,1.657318e-05,1.644372e-05,1.636179e-05,1.630554e-05,1.615960e-05,1.607175e-05,1.600678e-05,1.584789e-05,1.575655e-05,1.568370e-05,1.551490e-05,1.542206e-05,1.534213e-05,1.516601e-05,1.507328e-05,1.498707e-05,1.480583e-05,1.471450e-05,1.462277e-05,1.443830e-05,1.434938e-05,1.425283e-05,1.406673e-05,1.398100e-05,1.388032e-05,1.369393e-05,1.361199e-05,1.350782e-05,1.332226e-05,1.324455e-05,1.313749e-05,1.295370e-05,1.288051e-05,1.277110e-05,1.258987e-05,1.252140e-05,1.241017e-05,1.223213e-05,1.216846e-05,1.205588e-05,1.188155e-05,1.182273e-05,1.170923e-05,1.153902e-05,1.148501e-05,1.137100e-05,1.120523e-05,1.115595e-05,1.104178e-05,1.088071e-05,1.083604e-05,1.072205e-05,1.056585e-05,1.052565e-05,1.041214e-05,1.026093e-05,1.022502e-05,1.011226e-05,9.966139e-06,9.934334e-06,9.822569e-06,9.681558e-06,9.653663e-06,9.543108e-06,9.407217e-06,9.383027e-06,9.273876e-06,9.143079e-06,9.122386e-06,9.014811e-06,8.889059e-06,8.871653e-06,8.765805e-06,8.645030e-06,8.630703e-06,8.526714e-06,8.410832e-06,8.399377e-06,8.297362e-06,8.186277e-06,8.177492e-06,8.077550e-06,7.971153e-06,7.964843e-06,7.867057e-06,7.765233e-06,7.761207e-06,7.665649e-06,7.568275e-06,7.566350e-06,7.473079e-06,7.380028e-06,7.201990e-06,7.031981e-06,6.869743e-06,6.715017e-06,6.567545e-06,6.427073e-06,6.293346e-06,6.166117e-06,6.045140e-06,5.930175e-06,5.820989e-06,5.717352e-06,5.619043e-06,5.525845e-06,5.437547e-06,5.353947e-06,5.274846e-06,5.200055e-06,5.129387e-06,5.062665e-06,4.999717e-06,4.940377e-06,4.884483e-06,4.831882e-06,4.782426e-06,4.735970e-06,4.692377e-06,4.651515e-06,4.613256e-06,4.577478e-06,4.544062e-06,4.512896e-06,4.483871e-06,4.456882e-06,4.431829e-06,4.408617e-06,4.387152e-06,4.367347e-06,4.349116e-06,4.332379e-06,4.317056e-06,4.303074e-06,4.290361e-06,4.278848e-06,4.268469e-06,4.259162e-06,4.250867e-06,4.243525e-06,4.237082e-06
0.000000e+00,2.307615e-07,5.282614e-06,5.555361e-06,4.502225e-05,1.817387e-04,1.906102e-04,5.017781e-04,9.190048e-04,9.483091e-04,1.461410e-03,1.948287e-03,1.990396e-03,2.506120e-03,2.946134e-03,2.993319e-03,3.444743e-03,3.810137e-03,3.857621e-03,4.231655e-03,4.523030e-03,4.567888e-03,4.868065e-03,5.093871e-03,5.134272e-03,5.368728e-03,5.538856e-03,5.573664e-03,5.751262e-03,5.875065e-03,5.903612e-03,6.032698e-03,6.118442e-03,6.140389e-03,6.228432e-03,6.283212e-03,6.298459e-03,6.351991e-03,6.381818e-03,6.390439e-03,6.415116e-03,6.425042e-03,6.427238e-03,6.427933e-03,6.422185e-03,6.418248e-03,6.399151e-03,6.381250e-03,6.371539e-03,6.336243e-03,6.309113e-03,6.294030e-03,6.245613e-03,6.211675e-03,6.191647e-03,6.132741e-03,6.093987e-03,6.069456e-03,6.002311e-03,5.960371e-03,5.931783e-03,5.858315e-03,5.814517e-03,5.782311e-03,5.704148e-03,5.659563e-03,5.624170e-03,5.542693e-03,5.498177e-03,5.460010e-03,5.376386e-03,5.332612e-03,5.292066e-03,5.207276e-03,5.164768e-03,5.122219e-03,5.037082e-03,4.996239e-03,4.952037e-03,4.867238e-03,4.828352e-03,4.782826e-03,4.698928e-03,4.662205e-03,4.615659e-03,4.533123e-03,4.498700e-03,4.451414e-03,4.370614e-03,4.338566e-03,4.290798e-03,4.212033e-03,4.182390e-03,4.134376e-03,4.057878e-03,4.030631e-03,3.982584e-03,3.908532e-03,3.883644e-03,3.835756e-03,3.764282e-03,3.741690e-03,3.694135e-03,3.625331e-03,3.604954e-03,3.557886e-03,3.491810e-03,3.473555e-03,3.427111e-03,3.363794e-03,3.347558e-03,3.301860e-03,3.241307e-03,3.226979e-03,3.182132e-03,3.124331e-03,3.111798e-03,3.067895e-03,3.012815e-03,3.001961e-03,2.959081e-03,2.906680e-03,2.897388e-03,2.855599e-03,2.805824e-03,2.797980e-03,2.757338e-03,2.710126e-03,2.703617e-03,2.664169e-03,2.619452e-03,2.614168e-03,2.575953e-03,2.533656e-03,2.529491e-03,2.492539e-03,2.452584e-03,2.449437e-03,2.413770e-03,2.376077e-03,2.373851e-03,2.339485e-03,2.303972e-03,2.302574e-03,2.269518e-03,2.236102e-03,2.235444e-03,2.203704e-03,2.172302e-03,2.112985e-03,2.057335e-03,2.005194e-03,1.956408e-03,1.910825e-03,1.868297e-03,1.828681e-03,1.791837e-03,1.757631e-03,1.725930e-03,1.696609e-03,1.669546e-03,1.644623e-03,1.621727e-03,1.600751e-03,1.581589e-03,1.564141e-03,1.548311e-03,1.534009e-03,1.521144e-03,1.509634e-03,1.499398e-03,1.490358e-03,1.482440e-03,1.475576e-03,1.469697e-03,1.464740e-03,1.460643e-03,1.457348e-03,1.454799e-03,1.452945e-03,1.451734e-03,1.451119e-03,1.451054e-03,1.451496e-03,1.452404e-03,1.453739e-03,1.455465e-03,1.457546e-03,1.459949e-03,1.462642e-03,1.465598e-03,1.468786e-03,1.472182e-03,1.475760e-03,1.479496e-03,1.483370e-03,1.487360e-03,1.491447e-03
0.000000e+00,7.641890e-10,9.738869e-09,1.016133e-08,6.162402e-08,2.110834e-07,2.201891e-07,5.163188e-07,8.604310e-07,8.827890e-07,1.247191e-06,1.560693e-06,1.586830e-06,1.898314e-06,2.155153e-06,2.182365e-06,2.440499e-06,2.647515e-06,2.674348e-06,2.885520e-06,3.050172e-06,3.075561e-06,3.245951e-06,3.374922e-06,3.398094e-06,3.533319e-06,3.632460e-06,3.652878e-06,3.757949e-06,3.832317e-06,3.849634e-06,3.928962e-06,3.982882e-06,3.996896e-06,4.054333e-06,4.091480e-06,4.102107e-06,4.140997e-06,4.164482e-06,4.171724e-06,4.194958e-06,4.207396e-06,4.211318e-06,4.221385e-06,4.224977e-06,4.225697e-06,4.224753e-06,4.221346e-06,4.219016e-06,4.208918e-06,4.200060e-06,4.194861e-06,4.177221e-06,4.164209e-06,4.156338e-06,4.132530e-06,4.116430e-06,4.106091e-06,4.077289e-06,4.058979e-06,4.046375e-06,4.013579e-06,3.993780e-06,3.979114e-06,3.943176e-06,3.922475e-06,3.905946e-06,3.867592e-06,3.846468e-06,3.828267e-06,3.788114e-06,3.766951e-06,3.747263e-06,3.705834e-06,3.684938e-06,3.663938e-06,3.621675e-06,3.601286e-06,3.579138e-06,3.536412e-06,3.516716e-06,3.493575e-06,3.450697e-06,3.431834e-06,3.407843e-06,3.365073e-06,3.347148e-06,3.322441e-06,3.279996e-06,3.263080e-06,3.237781e-06,3.195838e-06,3.179978e-06,3.154202e-06,3.112905e-06,3.098128e-06,3.071978e-06,3.031446e-06,3.017759e-06,2.991333e-06,2.951659e-06,2.939059e-06,2.912442e-06,2.873699e-06,2.862171e-06,2.835444e-06,2.797688e-06,2.787208e-06,2.760443e-06,2.723716e-06,2.714252e-06,2.687514e-06,2.651845e-06,2.643364e-06,2.616712e-06,2.582119e-06,2.574581e-06,2.548068e-06,2.514562e-06,2.507925e-06,2.481599e-06,2.449181e-06,2.443403e-06,2.417306e-06,2.385973e-06,2.381010e-06,2.355179e-06,2.324922e-06,2.320729e-06,2.295199e-06,2.266005e-06,2.262537e-06,2.237336e-06,2.209189e-06,2.206403e-06,2.181558e-06,2.154438e-06,2.152290e-06,2.127824e-06,2.101710e-06,2.100159e-06,2.076091e-06,2.050960e-06,2.049965e-06,2.026312e-06,2.002140e-06,2.001661e-06,1.978438e-06,1.955199e-06,1.910527e-06,1.867595e-06,1.826352e-06,1.786744e-06,1.748721e-06,1.712231e-06,1.677223e-06,1.643647e-06,1.611454e-06,1.580595e-06,1.551023e-06,1.522693e-06,1.495558e-06,1.469576e-06,1.444703e-06,1.420899e-06,1.398123e-06,1.376336e-06,1.355501e-06,1.335582e-06,1.316542e-06,1.298349e-06,1.280969e-06,1.264370e-06,1.248522e-06,1.233396e-06,1.218962e-06,1.205193e-06,1.192062e-06,1.179545e-06,1.167616e-06,1.156251e-06,1.145429e-06,1.135126e-06,1.125322e-06,1.115996e-06,1.107129e-06,1.098701e-06,1.090695e-06,1.083093e-06,1.075878e-06,1.069034e-06,1.062545e-06,1.056397e-06,1.050575e-06,1.045065e-06,1.039853e-06,1.034928e-06,1.030277e-06
0.000000e+00,3.761582e-08,4.394722e-07,4.571504e-07,2.433839e-06,7.827511e-06,8.154778e-06,1.914114e-05,3.318181e-05,3.414072e-05,5.033130e-05,6.483436e-05,6.606035e-05,8.083860e-05,9.324605e-05,9.457235e-05,1.072697e-04,1.176137e-04,1.189657e-04,1.297033e-04,1.382062e-04,1.395286e-04,1.484887e-04,1.553811e-04,1.566307e-04,1.640008e-04,1.695000e-04,1.706442e-04,1.766044e-04,1.809089e-04,1.819234e-04,1.866412e-04,1.899285e-04,1.907962e-04,1.944247e-04,1.968517e-04,1.975614e-04,2.002389e-04,2.019429e-04,2.024883e-04,2.043390e-04,2.054402e-04,2.058187e-04,2.069538e-04,2.075565e-04,2.077688e-04,2.082873e-04,2.084817e-04,2.085311e-04,2.085211e-04,2.083850e-04,2.082767e-04,2.078164e-04,2.074164e-04,2.071573e-04,2.063158e-04,2.057091e-04,2.053071e-04,2.041455e-04,2.033807e-04,2.028444e-04,2.014167e-04,2.005353e-04,1.998741e-04,1.982279e-04,1.972645e-04,1.964882e-04,1.946648e-04,1.936487e-04,1.927669e-04,1.908029e-04,1.897582e-04,1.887809e-04,1.867081e-04,1.856550e-04,1.845916e-04,1.824378e-04,1.813925e-04,1.802527e-04,1.780419e-04,1.770177e-04,1.758105e-04,1.735634e-04,1.725708e-04,1.713050e-04,1.690395e-04,1.680868e-04,1.667708e-04,1.645023e-04,1.635957e-04,1.622373e-04,1.599789e-04,1.591230e-04,1.577297e-04,1.554924e-04,1.546904e-04,1.532693e-04,1.510625e-04,1.503163e-04,1.488740e-04,1.467054e-04,1.460160e-04,1.445585e-04,1.424347e-04,1.418022e-04,1.403352e-04,1.382612e-04,1.376853e-04,1.362139e-04,1.341940e-04,1.336735e-04,1.322025e-04,1.302400e-04,1.297734e-04,1.283072e-04,1.264045e-04,1.259900e-04,1.245325e-04,1.226914e-04,1.223269e-04,1.208816e-04,1.191034e-04,1.187866e-04,1.173568e-04,1.156419e-04,1.153705e-04,1.139589e-04,1.123078e-04,1.120792e-04,1.106884e-04,1.091008e-04,1.089124e-04,1.075447e-04,1.060201e-04,1.058694e-04,1.045268e-04,1.030645e-04,1.029488e-04,1.016329e-04,1.002319e-04,1.001488e-04,9.886114e-05,9.752027e-05,9.746725e-05,9.620899e-05,9.492694e-05,9.490160e-05,9.367377e-05,9.244910e-05,9.010682e-05,8.787165e-05,8.574036e-05,8.370966e-05,8.177618e-05,7.993655e-05,7.818738e-05,7.652529e-05,7.494693e-05,7.344900e-05,7.202826e-05,7.068151e-05,6.940563e-05,6.819759e-05,6.705442e-05,6.597324e-05,6.495128e-05,6.398583e-05,6.307428e-05,6.221412e-05,6.140291e-05,6.063832e-05,5.991811e-05,5.924010e-05,5.860224e-05,5.800252e-05,5.743904e-05,5.690998e-05,5.641358e-05,5.594818e-05,5.551218e-05,5.510405e-05,5.472233e-05,5.436564e-05,5.403264e-05,5.372206e-05,5.343271e-05,5.316343e-05,5.291313e-05,5.268075e-05,5.246532e-05,5.226590e-05,5.208157e-05,5.191149e-05,5.175485e-05,5.161089e-05,5.147885e-05,5.135806e-05,5.124785e-05
0.000000e+00,1.835227e-09,3.731611e-08,3.917908e-08,2.783672e-07,9.110679e-07,9.457214e-07,1.904452e-06,2.826271e-06,2.883606e-06,3.803617e-06,4.587888e-06,4.653275e-06,5.433707e-06,6.079701e-06,6.148305e-06,6.800798e-06,7.326538e-06,7.394858e-06,7.934007e-06,8.356328e-06,8.421612e-06,8.860891e-06,9.194791e-06,9.254916e-06,9.606618e-06,9.865390e-06,9.918782e-06,1.019406e-05,1.038940e-05,1.043495e-05,1.064383e-05,1.078598e-05,1.082294e-05,1.097440e-05,1.107223e-05,1.110019e-05,1.120218e-05,1.126337e-05,1.128213e-05,1.134170e-05,1.137283e-05,1.138242e-05,1.140576e-05,1.141249e-05,1.141308e-05,1.140565e-05,1.139278e-05,1.138466e-05,1.135125e-05,1.132291e-05,1.130646e-05,1.125128e-05,1.121092e-05,1.118661e-05,1.111332e-05,1.106390e-05,1.103221e-05,1.094404e-05,1.088803e-05,1.084949e-05,1.074921e-05,1.068866e-05,1.064381e-05,1.053385e-05,1.047048e-05,1.041986e-05,1.030233e-05,1.023754e-05,1.018170e-05,1.005840e-05,9.993367e-06,9.932831e-06,9.805342e-06,9.740986e-06,9.676276e-06,9.545942e-06,9.483018e-06,9.414631e-06,9.282608e-06,9.221707e-06,9.150120e-06,9.017393e-06,8.958972e-06,8.884637e-06,8.752042e-06,8.696444e-06,8.619786e-06,8.488030e-06,8.435502e-06,8.356923e-06,8.226599e-06,8.177307e-06,8.097182e-06,7.968783e-06,7.922829e-06,7.841504e-06,7.715437e-06,7.672866e-06,7.590665e-06,7.467261e-06,7.428071e-06,7.345291e-06,7.224816e-06,7.188972e-06,7.105885e-06,6.988546e-06,6.955982e-06,6.872839e-06,6.758796e-06,6.729421e-06,6.646448e-06,6.535818e-06,6.509525e-06,6.426927e-06,6.319790e-06,6.296457e-06,6.214421e-06,6.110827e-06,6.090321e-06,6.009013e-06,5.908983e-06,5.891167e-06,5.810737e-06,5.714270e-06,5.699001e-06,5.619580e-06,5.526657e-06,5.513789e-06,5.435494e-06,5.346080e-06,5.335468e-06,5.258403e-06,5.172448e-06,5.163946e-06,5.088200e-06,5.005643e-06,4.999111e-06,4.924761e-06,4.845533e-06,4.840832e-06,4.767941e-06,4.691966e-06,4.688960e-06,4.617586e-06,4.544780e-06,4.543339e-06,4.473526e-06,4.403803e-06,4.270176e-06,4.142281e-06,4.019936e-06,3.902958e-06,3.791163e-06,3.684369e-06,3.582392e-06,3.485055e-06,3.392179e-06,3.303593e-06,3.219125e-06,3.138611e-06,3.061890e-06,2.988804e-06,2.919202e-06,2.852937e-06,2.789865e-06,2.729848e-06,2.672756e-06,2.618458e-06,2.566831e-06,2.517757e-06,2.471122e-06,2.426816e-06,2.384733e-06,2.344772e-06,2.306837e-06,2.270834e-06,2.236675e-06,2.204274e-06,2.173549e-06,2.144423e-06,2.116821e-06,2.090670e-06,2.065904e-06,2.042456e-06,2.020264e-06,1.999270e-06,1.979414e-06,1.960645e-06,1.942909e-06,1.926157e-06,1.910341e-06,1.895418e-06,1.881343e-06,1.868076e-06,1.855577e-06,1.843810e-06,1.832738e-06
0.000000e+00,1.615147e-07,3.498662e-06,3.678268e-06,3.070829e-05,1.336646e-04,1.406951e-04,4.061664e-04,7.974995e-04,8.257336e-04,1.322870e-03,1.784337e-03,1.823258e-03,2.282303e-03,2.642709e-03,2.679380e-03,3.008616e-03,3.243880e-03,3.272232e-03,3.476394e-03,3.610285e-03,3.628804e-03,3.737356e-03,3.800086e-03,3.809454e-03,3.851703e-03,3.868107e-03,3.869813e-03,3.868614e-03,3.856482e-03,3.852132e-03,3.823681e-03,3.794941e-03,3.785969e-03,3.741190e-03,3.703531e-03,3.691108e-03,3.637135e-03,3.595359e-03,3.580394e-03,3.521776e-03,3.478808e-03,3.461981e-03,3.401556e-03,3.359117e-03,3.340930e-03,3.280432e-03,3.239500e-03,3.220318e-03,3.160781e-03,3.121876e-03,3.101968e-03,3.043991e-03,3.007363e-03,2.986932e-03,2.930849e-03,2.896584e-03,2.875777e-03,2.821742e-03,2.789823e-03,2.768754e-03,2.716818e-03,2.687177e-03,2.665932e-03,2.616090e-03,2.588631e-03,2.567283e-03,2.519500e-03,2.494118e-03,2.472727e-03,2.426950e-03,2.403534e-03,2.382154e-03,2.338323e-03,2.316766e-03,2.295443e-03,2.253499e-03,2.233693e-03,2.212473e-03,2.172353e-03,2.154197e-03,2.133121e-03,2.094763e-03,2.078158e-03,2.057263e-03,2.020607e-03,2.005460e-03,1.984780e-03,1.949768e-03,1.935988e-03,1.915555e-03,1.882129e-03,1.869630e-03,1.849475e-03,1.817579e-03,1.806279e-03,1.786427e-03,1.756006e-03,1.745827e-03,1.726302e-03,1.697302e-03,1.688168e-03,1.668992e-03,1.641360e-03,1.633201e-03,1.614393e-03,1.588078e-03,1.580825e-03,1.562402e-03,1.537353e-03,1.530942e-03,1.512919e-03,1.489087e-03,1.483456e-03,1.465845e-03,1.443182e-03,1.438273e-03,1.421086e-03,1.399545e-03,1.395302e-03,1.378547e-03,1.358083e-03,1.354455e-03,1.338140e-03,1.318707e-03,1.315645e-03,1.299775e-03,1.281332e-03,1.278788e-03,1.263368e-03,1.245873e-03,1.243804e-03,1.228837e-03,1.212249e-03,1.210615e-03,1.196101e-03,1.180382e-03,1.179143e-03,1.165084e-03,1.150196e-03,1.149316e-03,1.135711e-03,1.121618e-03,1.121063e-03,1.107910e-03,1.094578e-03,1.094315e-03,1.081612e-03,1.069006e-03,1.045073e-03,1.022455e-03,1.001093e-03,9.809293e-04,9.619101e-04,9.439827e-04,9.270966e-04,9.112035e-04,8.962566e-04,8.822113e-04,8.690247e-04,8.566554e-04,8.450639e-04,8.342121e-04,8.240637e-04,8.145837e-04,8.057385e-04,7.974961e-04,7.898255e-04,7.826972e-04,7.760831e-04,7.699558e-04,7.642895e-04,7.590593e-04,7.542415e-04,7.498132e-04,7.457526e-04,7.420390e-04,7.386524e-04,7.355738e-04,7.327850e-04,7.302687e-04,7.280082e-04,7.259877e-04,7.241922e-04,7.226073e-04,7.212193e-04,7.200151e-04,7.189824e-04,7.181093e-04,7.173846e-04,7.167977e-04,7.163384e-04,7.159971e-04,7.157647e-04,7.156326e-04,7.155925e-04,7.156369e-04,7.157584e-04
0.000000e+00,1.355793e-08,1.504287e-07,1.563209e-07,8.113202e-07,2.665799e-06,2.781867e-06,6.907748e-06,1.283759e-05,1.326844e-05,2.090238e-05,2.796615e-05,2.855886e-05,3.554296e-05,4.110050e-05,4.167531e-05,4.697514e-05,5.100607e-05,5.151298e-05,5.536708e-05,5.819171e-05,5.861192e-05,6.131572e-05,6.321414e-05,6.354021e-05,6.534089e-05,6.653629e-05,6.676755e-05,6.786473e-05,6.853213e-05,6.867221e-05,6.922546e-05,6.950097e-05,6.955609e-05,6.969221e-05,6.968104e-05,6.965879e-05,6.947803e-05,6.926107e-05,6.916961e-05,6.875099e-05,6.839010e-05,6.823763e-05,6.764322e-05,6.718546e-05,6.697988e-05,6.625831e-05,6.573925e-05,6.548796e-05,6.467720e-05,6.412356e-05,6.383337e-05,6.296295e-05,6.239460e-05,6.207165e-05,6.116448e-05,6.059600e-05,6.024582e-05,5.931952e-05,5.876150e-05,5.838895e-05,5.745706e-05,5.691697e-05,5.652639e-05,5.559918e-05,5.508217e-05,5.467733e-05,5.376251e-05,5.327193e-05,5.285613e-05,5.195941e-05,5.149728e-05,5.107338e-05,5.019892e-05,4.976626e-05,4.933676e-05,4.848748e-05,4.808455e-05,4.765158e-05,4.682946e-05,4.645600e-05,4.602142e-05,4.522769e-05,4.488303e-05,4.444845e-05,4.368379e-05,4.336700e-05,4.293377e-05,4.219841e-05,4.190836e-05,4.147768e-05,4.077151e-05,4.050697e-05,4.007983e-05,3.940251e-05,3.916217e-05,3.873943e-05,3.809043e-05,3.787295e-05,3.745535e-05,3.683400e-05,3.663804e-05,3.622620e-05,3.563173e-05,3.545596e-05,3.505040e-05,3.448199e-05,3.432512e-05,3.392628e-05,3.338306e-05,3.324383e-05,3.285209e-05,3.233315e-05,3.221036e-05,3.182601e-05,3.133045e-05,3.122296e-05,3.084624e-05,3.037315e-05,3.027985e-05,2.991097e-05,2.945946e-05,2.937931e-05,2.901842e-05,2.858762e-05,2.851962e-05,2.816684e-05,2.775588e-05,2.769911e-05,2.735452e-05,2.696256e-05,2.691614e-05,2.657979e-05,2.620602e-05,2.616913e-05,2.584104e-05,2.548467e-05,2.545653e-05,2.513672e-05,2.479699e-05,2.477686e-05,2.446531e-05,2.414149e-05,2.412870e-05,2.382537e-05,2.351676e-05,2.351066e-05,2.321550e-05,2.292143e-05,2.235972e-05,2.182432e-05,2.131406e-05,2.082782e-05,2.036451e-05,1.992312e-05,1.950266e-05,1.910218e-05,1.872078e-05,1.835761e-05,1.801183e-05,1.768267e-05,1.736935e-05,1.707118e-05,1.678745e-05,1.651750e-05,1.626072e-05,1.601650e-05,1.578426e-05,1.556346e-05,1.535357e-05,1.515410e-05,1.496456e-05,1.478449e-05,1.461347e-05,1.445107e-05,1.429690e-05,1.415058e-05,1.401174e-05,1.388004e-05,1.375514e-05,1.363673e-05,1.352451e-05,1.341818e-05,1.331748e-05,1.322214e-05,1.313191e-05,1.304655e-05,1.296583e-05,1.288953e-05,1.281744e-05,1.274936e-05,1.268511e-05,1.262450e-05,1.256736e-05,1.251352e-05,1.246282e-05,1.241512e-05,1.237026e-05
0.000000e+00,1.277495e-07,3.924909e-06,4.143538e-06,3.592346e-05,1.292954e-04,1.345836e-04,2.870126e-04,4.421376e-04,4.519486e-04,6.106711e-04,7.469725e-04,7.583556e-04,8.943617e-04,1.007099e-03,1.019079e-03,1.133111e-03,1.225112e-03,1.237076e-03,1.331571e-03,1.405694e-03,1.417161e-03,1.494384e-03,1.553167e-03,1.563761e-03,1.625791e-03,1.671509e-03,1.680952e-03,1.729701e-03,1.764376e-03,1.772472e-03,1.809680e-03,1.835093e-03,1.841716e-03,1.868949e-03,1.886650e-03,1.891729e-03,1.910382e-03,1.921712e-03,1.925218e-03,1.936527e-03,1.942637e-03,1.944579e-03,1.949629e-03,1.951505e-03,1.951915e-03,1.951660e-03,1.950142e-03,1.949072e-03,1.944346e-03,1.940145e-03,1.937665e-03,1.929197e-03,1.922914e-03,1.919102e-03,1.907528e-03,1.899669e-03,1.894611e-03,1.880482e-03,1.871472e-03,1.865259e-03,1.849055e-03,1.839248e-03,1.831972e-03,1.814108e-03,1.803797e-03,1.795552e-03,1.776388e-03,1.765814e-03,1.756693e-03,1.736539e-03,1.725899e-03,1.715992e-03,1.695114e-03,1.684569e-03,1.673962e-03,1.652590e-03,1.642267e-03,1.631046e-03,1.609374e-03,1.599375e-03,1.587618e-03,1.565814e-03,1.556215e-03,1.543999e-03,1.522205e-03,1.513065e-03,1.500461e-03,1.478795e-03,1.470156e-03,1.457232e-03,1.435794e-03,1.427685e-03,1.414502e-03,1.393376e-03,1.385814e-03,1.372432e-03,1.351686e-03,1.344680e-03,1.331151e-03,1.310841e-03,1.304391e-03,1.290766e-03,1.270937e-03,1.265037e-03,1.251361e-03,1.232048e-03,1.226688e-03,1.213004e-03,1.194234e-03,1.189400e-03,1.175745e-03,1.157539e-03,1.153212e-03,1.139621e-03,1.121993e-03,1.118154e-03,1.104658e-03,1.087617e-03,1.084244e-03,1.070872e-03,1.054422e-03,1.051493e-03,1.038269e-03,1.022412e-03,1.019902e-03,1.006850e-03,9.915833e-04,9.894693e-04,9.766092e-04,9.619268e-04,9.601845e-04,9.475342e-04,9.334293e-04,9.320346e-04,9.196099e-04,9.060734e-04,9.050026e-04,8.928171e-04,8.798383e-04,8.790684e-04,8.671340e-04,8.547011e-04,8.542094e-04,8.425363e-04,8.306363e-04,8.304010e-04,8.189978e-04,8.076172e-04,7.858308e-04,7.650134e-04,7.451364e-04,7.261706e-04,7.080868e-04,6.908556e-04,6.744479e-04,6.588348e-04,6.439876e-04,6.298784e-04,6.164794e-04,6.037637e-04,5.917048e-04,5.802768e-04,5.694547e-04,5.592139e-04,5.495306e-04,5.403819e-04,5.317452e-04,5.235990e-04,5.159222e-04,5.086945e-04,5.018963e-04,4.955087e-04,4.895132e-04,4.838923e-04,4.786290e-04,4.737067e-04,4.691096e-04,4.648225e-04,4.608307e-04,4.571200e-04,4.536768e-04,4.504880e-04,4.475410e-04,4.448237e-04,4.423244e-04,4.400319e-04,4.379354e-04,4.360246e-04,4.342896e-04,4.327208e-04,4.313092e-04,4.300458e-04,4.289223e-04,4.279305e-04,4.270629e-04,4.263119e-04,4.256704e-04
0.000000e+00,2.086890e-07,9.439478e-06,1.001098e-05,9.522982e-05,3.191736e-04,3.312970e-04,6.864648e-04,1.081894e-03,1.108367e-03,1.561600e-03,1.987464e-03,2.024507e-03,2.484131e-03,2.888590e-03,2.932822e-03,3.366151e-03,3.732784e-03,3.781653e-03,4.178067e-03,4.503314e-03,4.554883e-03,4.912058e-03,5.197081e-03,5.249838e-03,5.568654e-03,5.816305e-03,5.869041e-03,6.151600e-03,6.365234e-03,6.416962e-03,6.665770e-03,6.848764e-03,6.898670e-03,7.116300e-03,7.271870e-03,7.319283e-03,7.508228e-03,7.639359e-03,7.683728e-03,7.846353e-03,7.955783e-03,7.996658e-03,8.135178e-03,8.225406e-03,8.262428e-03,8.378906e-03,8.452202e-03,8.485090e-03,8.581443e-03,8.639867e-03,8.668410e-03,8.746417e-03,8.791831e-03,8.815878e-03,8.877188e-03,8.911275e-03,8.930729e-03,8.976868e-03,9.001145e-03,9.015957e-03,9.048336e-03,9.064170e-03,9.074331e-03,9.094255e-03,9.102874e-03,9.108410e-03,9.117085e-03,9.119589e-03,9.120558e-03,9.119096e-03,9.116472e-03,9.112957e-03,9.102385e-03,9.095512e-03,9.087619e-03,9.068883e-03,9.058545e-03,9.046398e-03,9.020370e-03,9.007263e-03,8.991001e-03,8.958483e-03,8.943225e-03,8.923000e-03,8.884730e-03,8.867865e-03,8.843840e-03,8.800494e-03,8.782503e-03,8.754847e-03,8.707047e-03,8.688349e-03,8.657238e-03,8.605555e-03,8.586516e-03,8.552129e-03,8.497086e-03,8.478024e-03,8.440545e-03,8.382619e-03,8.363809e-03,8.323420e-03,8.263049e-03,8.244725e-03,8.201609e-03,8.139194e-03,8.121555e-03,8.075894e-03,8.011798e-03,7.995012e-03,7.946987e-03,7.881541e-03,7.865748e-03,7.815536e-03,7.749043e-03,7.734356e-03,7.682131e-03,7.614866e-03,7.601376e-03,7.547308e-03,7.479519e-03,7.467296e-03,7.411553e-03,7.343465e-03,7.332563e-03,7.275305e-03,7.207121e-03,7.197577e-03,7.138961e-03,7.070866e-03,7.062701e-03,7.002879e-03,6.935038e-03,6.928263e-03,6.867381e-03,6.799942e-03,6.794557e-03,6.732755e-03,6.665852e-03,6.661847e-03,6.599261e-03,6.533011e-03,6.530368e-03,6.467128e-03,6.401637e-03,6.400331e-03,6.336561e-03,6.271923e-03,6.145307e-03,6.020630e-03,5.898019e-03,5.777582e-03,5.659417e-03,5.543602e-03,5.430206e-03,5.319287e-03,5.210889e-03,5.105050e-03,5.001797e-03,4.901149e-03,4.803119e-03,4.707712e-03,4.614928e-03,4.524763e-03,4.437205e-03,4.352239e-03,4.269848e-03,4.190008e-03,4.112696e-03,4.037882e-03,3.965536e-03,3.895626e-03,3.828117e-03,3.762973e-03,3.700156e-03,3.639627e-03,3.581345e-03,3.525270e-03,3.471360e-03,3.419573e-03,3.369864e-03,3.322192e-03,3.276511e-03,3.232778e-03,3.190950e-03,3.150980e-03,3.112826e-03,3.076443e-03,3.041787e-03,3.008814e-03,2.977479e-03,2.947741e-03,2.919554e-03,2.892877e-03,2.867667e-03,2.843880e-03,2.821476e-03
0.000000e+00,1.102485e-09,1.177443e-08,1.223904e-08,6.420643e-08,2.083696e-07,2.172075e-07,5.166862e-07,9.011740e-07,9.274469e-07,1.373165e-06,1.778516e-06,1.813127e-06,2.235190e-06,2.597211e-06,2.636366e-06,3.016129e-06,3.332738e-06,3.374652e-06,3.712352e-06,3.986521e-06,4.029758e-06,4.327467e-06,4.562792e-06,4.606125e-06,4.866411e-06,5.066624e-06,5.109021e-06,5.334661e-06,5.503430e-06,5.544037e-06,5.737847e-06,5.878655e-06,5.916777e-06,6.081498e-06,6.197586e-06,6.232664e-06,6.370906e-06,6.465246e-06,6.496837e-06,6.611051e-06,6.686349e-06,6.714116e-06,6.806584e-06,6.865289e-06,6.888982e-06,6.961820e-06,7.006139e-06,7.025586e-06,7.080750e-06,7.112665e-06,7.127761e-06,7.167051e-06,7.188335e-06,7.199032e-06,7.224102e-06,7.236341e-06,7.242640e-06,7.255009e-06,7.259613e-06,7.261554e-06,7.262612e-06,7.260838e-06,7.258503e-06,7.249530e-06,7.242489e-06,7.235984e-06,7.218146e-06,7.206823e-06,7.196281e-06,7.170644e-06,7.155904e-06,7.141478e-06,7.109014e-06,7.091614e-06,7.073472e-06,7.035064e-06,7.015669e-06,6.993990e-06,6.950442e-06,6.929629e-06,6.904600e-06,6.856640e-06,6.834909e-06,6.806726e-06,6.755015e-06,6.732797e-06,6.701658e-06,6.646796e-06,6.624461e-06,6.590565e-06,6.533093e-06,6.510955e-06,6.474504e-06,6.414912e-06,6.393234e-06,6.354427e-06,6.293156e-06,6.272162e-06,6.231196e-06,6.168642e-06,6.148513e-06,6.105582e-06,6.042101e-06,6.022986e-06,5.978278e-06,5.914189e-06,5.896206e-06,5.849905e-06,5.785493e-06,5.768733e-06,5.721017e-06,5.656536e-06,5.641066e-06,5.592107e-06,5.527783e-06,5.513651e-06,5.463614e-06,5.399646e-06,5.386881e-06,5.335924e-06,5.272489e-06,5.261104e-06,5.209380e-06,5.146632e-06,5.136628e-06,5.084280e-06,5.022355e-06,5.013721e-06,4.960886e-06,4.899900e-06,4.892616e-06,4.839424e-06,4.779479e-06,4.773515e-06,4.720089e-06,4.661272e-06,4.656592e-06,4.603048e-06,4.545432e-06,4.541995e-06,4.488441e-06,4.432087e-06,4.429847e-06,4.376385e-06,4.321344e-06,4.320250e-06,4.266976e-06,4.213289e-06,4.109030e-06,4.007522e-06,3.908802e-06,3.812895e-06,3.719812e-06,3.629556e-06,3.542122e-06,3.457494e-06,3.375652e-06,3.296567e-06,3.220208e-06,3.146537e-06,3.075512e-06,3.007088e-06,2.941218e-06,2.877851e-06,2.816933e-06,2.758412e-06,2.702232e-06,2.648335e-06,2.596664e-06,2.547163e-06,2.499771e-06,2.454431e-06,2.411086e-06,2.369676e-06,2.330144e-06,2.292434e-06,2.256488e-06,2.222251e-06,2.189668e-06,2.158685e-06,2.129249e-06,2.101306e-06,2.074807e-06,2.049699e-06,2.025936e-06,2.003467e-06,1.982246e-06,1.962228e-06,1.943367e-06,1.925619e-06,1.908941e-06,1.893293e-06,1.878634e-06,1.864924e-06,1.852125e-06,1.840200e-06,1.829112e-06
0.000000e+00,1.682139e-09,2.586919e-08,2.705931e-08,1.734827e-07,5.740357e-07,5.971080e-07,1.277781e-06,1.973985e-06,2.017848e-06,2.726553e-06,3.336392e-06,3.387452e-06,3.999529e-06,4.510052e-06,4.564489e-06,5.084477e-06,5.506586e-06,5.561659e-06,5.998157e-06,6.342603e-06,6.396065e-06,6.757442e-06,7.034256e-06,7.084320e-06,7.378687e-06,7.597171e-06,7.642483e-06,7.877584e-06,8.046225e-06,8.085802e-06,8.268867e-06,8.395265e-06,8.428436e-06,8.566091e-06,8.656974e-06,8.683324e-06,8.781542e-06,8.842768e-06,8.862078e-06,8.926186e-06,8.962840e-06,8.975052e-06,9.009795e-06,9.026277e-06,9.031467e-06,9.041067e-06,9.041186e-06,9.039543e-06,9.027777e-06,9.014797e-06,9.006581e-06,8.976727e-06,8.953412e-06,8.938936e-06,8.893882e-06,8.862580e-06,8.842198e-06,8.784477e-06,8.747179e-06,8.721274e-06,8.653106e-06,8.611487e-06,8.580458e-06,8.503782e-06,8.459241e-06,8.423498e-06,8.340004e-06,8.293713e-06,8.253667e-06,8.164829e-06,8.117753e-06,8.073811e-06,7.980910e-06,7.933840e-06,7.886402e-06,7.790545e-06,7.744125e-06,7.693577e-06,7.595719e-06,7.550463e-06,7.497178e-06,7.398142e-06,7.354456e-06,7.298789e-06,7.199280e-06,7.157477e-06,7.099766e-06,7.000384e-06,6.960697e-06,6.901262e-06,6.802518e-06,6.765116e-06,6.704257e-06,6.606578e-06,6.571574e-06,6.509571e-06,6.413318e-06,6.380777e-06,6.317892e-06,6.223362e-06,6.193311e-06,6.129787e-06,6.037224e-06,6.009660e-06,5.945721e-06,5.855322e-06,5.830214e-06,5.766066e-06,5.677986e-06,5.655282e-06,5.591114e-06,5.505474e-06,5.485107e-06,5.421090e-06,5.337981e-06,5.319869e-06,5.256161e-06,5.175645e-06,5.159699e-06,5.096441e-06,5.018559e-06,5.004681e-06,4.942002e-06,4.866775e-06,4.854861e-06,4.792876e-06,4.720306e-06,4.710253e-06,4.649063e-06,4.579140e-06,4.570838e-06,4.510534e-06,4.443237e-06,4.436579e-06,4.377241e-06,4.312536e-06,4.307415e-06,4.249112e-06,4.186958e-06,4.183269e-06,4.126062e-06,4.066411e-06,4.064051e-06,4.007992e-06,3.950790e-06,3.949658e-06,3.894791e-06,3.839979e-06,3.734896e-06,3.634283e-06,3.538014e-06,3.445955e-06,3.357974e-06,3.273938e-06,3.193712e-06,3.117163e-06,3.044158e-06,2.974567e-06,2.908262e-06,2.845117e-06,2.785007e-06,2.727813e-06,2.673418e-06,2.621707e-06,2.572569e-06,2.525896e-06,2.481585e-06,2.439535e-06,2.399648e-06,2.361830e-06,2.325991e-06,2.292043e-06,2.259903e-06,2.229489e-06,2.200723e-06,2.173530e-06,2.147840e-06,2.123582e-06,2.100690e-06,2.079102e-06,2.058755e-06,2.039593e-06,2.021558e-06,2.004597e-06,1.988660e-06,1.973696e-06,1.959660e-06,1.946505e-06,1.934190e-06,1.922672e-06,1.911913e-06,1.901874e-06,1.892521e-06,1.883818e-06,1.875732e-06,1.868233e-06,1.861290e-06
0.000000e+00,5.851220e-08,1.029703e-06,1.078293e-06,7.208379e-06,2.509934e-05,2.618680e-05,6.176044e-05,1.044004e-04,1.072323e-04,1.544494e-04,1.966878e-04,2.002799e-04,2.439890e-04,2.813999e-04,2.854438e-04,3.246526e-04,3.573343e-04,3.616610e-04,3.965273e-04,4.248481e-04,4.293159e-04,4.600955e-04,4.844496e-04,4.889370e-04,5.159131e-04,5.366925e-04,5.410965e-04,5.645603e-04,5.821415e-04,5.863762e-04,6.066141e-04,6.213482e-04,6.253424e-04,6.426277e-04,6.548394e-04,6.585348e-04,6.731259e-04,6.831118e-04,6.864616e-04,6.986001e-04,7.066303e-04,7.095978e-04,7.195087e-04,7.258278e-04,7.283851e-04,7.362771e-04,7.411062e-04,7.432331e-04,7.492994e-04,7.528376e-04,7.545207e-04,7.589399e-04,7.613662e-04,7.625979e-04,7.655345e-04,7.670095e-04,7.677874e-04,7.693931e-04,7.700603e-04,7.703863e-04,7.708006e-04,7.707883e-04,7.706679e-04,7.700191e-04,7.694413e-04,7.688834e-04,7.672891e-04,7.662471e-04,7.652632e-04,7.628314e-04,7.614148e-04,7.600185e-04,7.568482e-04,7.551360e-04,7.533429e-04,7.495243e-04,7.475862e-04,7.454131e-04,7.410291e-04,7.389260e-04,7.363910e-04,7.315169e-04,7.293019e-04,7.264239e-04,7.211286e-04,7.188479e-04,7.156464e-04,7.099924e-04,7.076859e-04,7.041808e-04,6.982252e-04,6.959270e-04,6.921384e-04,6.859328e-04,6.836719e-04,6.796201e-04,6.732114e-04,6.710125e-04,6.667173e-04,6.601480e-04,6.580315e-04,6.535129e-04,6.468213e-04,6.448040e-04,6.400816e-04,6.333022e-04,6.313979e-04,6.264907e-04,6.196546e-04,6.178740e-04,6.128008e-04,6.059358e-04,6.042873e-04,5.990661e-04,5.921974e-04,5.906870e-04,5.853353e-04,5.784851e-04,5.771169e-04,5.716517e-04,5.648398e-04,5.636163e-04,5.580539e-04,5.512979e-04,5.502200e-04,5.445759e-04,5.378915e-04,5.369588e-04,5.312479e-04,5.246486e-04,5.238598e-04,5.180964e-04,5.115941e-04,5.109467e-04,5.051442e-04,4.987493e-04,4.982402e-04,4.924116e-04,4.861330e-04,4.857582e-04,4.799156e-04,4.737610e-04,4.735162e-04,4.676709e-04,4.616468e-04,4.615270e-04,4.556900e-04,4.498016e-04,4.383491e-04,4.271766e-04,4.162900e-04,4.056934e-04,3.953898e-04,3.853811e-04,3.756682e-04,3.662509e-04,3.571283e-04,3.482987e-04,3.397598e-04,3.315087e-04,3.235419e-04,3.158557e-04,3.084457e-04,3.013075e-04,2.944360e-04,2.878264e-04,2.814731e-04,2.753708e-04,2.695138e-04,2.638964e-04,2.585128e-04,2.533572e-04,2.484236e-04,2.437062e-04,2.391990e-04,2.348961e-04,2.307917e-04,2.268799e-04,2.231550e-04,2.196113e-04,2.162431e-04,2.130448e-04,2.100110e-04,2.071362e-04,2.044152e-04,2.018427e-04,1.994137e-04,1.971230e-04,1.949658e-04,1.929373e-04,1.910328e-04,1.892476e-04,1.875773e-04,1.860175e-04,1.845638e-04,1.832122e-04,1.819586e-04
0.000000e+00,7.213797e-08,1.206945e-06,1.262370e-06,8.757177e-06,3.648685e-05,3.841981e-05,1.158769e-04,2.424955e-04,2.520269e-04,4.251513e-04,5.925231e-04,6.069246e-04,7.811802e-04,9.261657e-04,9.415011e-04,1.086176e-03,1.200674e-03,1.215389e-03,1.330000e-03,1.417691e-03,1.431065e-03,1.519659e-03,1.585198e-03,1.596815e-03,1.663507e-03,1.711025e-03,1.720643e-03,1.769071e-03,1.802074e-03,1.809577e-03,1.842887e-03,1.864309e-03,1.869675e-03,1.890560e-03,1.902837e-03,1.906112e-03,1.916857e-03,1.921996e-03,1.923274e-03,1.925803e-03,1.925445e-03,1.924849e-03,1.920778e-03,1.916256e-03,1.913928e-03,1.904604e-03,1.896996e-03,1.893088e-03,1.879634e-03,1.869806e-03,1.864474e-03,1.847819e-03,1.836464e-03,1.829861e-03,1.810775e-03,1.798445e-03,1.790719e-03,1.769837e-03,1.756966e-03,1.748259e-03,1.726102e-03,1.713029e-03,1.703475e-03,1.680472e-03,1.667459e-03,1.657181e-03,1.633680e-03,1.620927e-03,1.610039e-03,1.586323e-03,1.573980e-03,1.562588e-03,1.538884e-03,1.527059e-03,1.515258e-03,1.491750e-03,1.480519e-03,1.468397e-03,1.445229e-03,1.434642e-03,1.422275e-03,1.399561e-03,1.389648e-03,1.377108e-03,1.354934e-03,1.345709e-03,1.333057e-03,1.311490e-03,1.302953e-03,1.290246e-03,1.269333e-03,1.261476e-03,1.248762e-03,1.228539e-03,1.221344e-03,1.208668e-03,1.189155e-03,1.182602e-03,1.170002e-03,1.151211e-03,1.145275e-03,1.132784e-03,1.114720e-03,1.109371e-03,1.097019e-03,1.079680e-03,1.074889e-03,1.062700e-03,1.046079e-03,1.041816e-03,1.029812e-03,1.013897e-03,1.010130e-03,9.983306e-04,9.831082e-04,9.798051e-04,9.682259e-04,9.536793e-04,9.508099e-04,9.394640e-04,9.255750e-04,9.231093e-04,9.120075e-04,8.987565e-04,8.966653e-04,8.858167e-04,8.731829e-04,8.714383e-04,8.608499e-04,8.488123e-04,8.473874e-04,8.370647e-04,8.256018e-04,8.244709e-04,8.144181e-04,8.035083e-04,8.026471e-04,7.928670e-04,7.824888e-04,7.818744e-04,7.723686e-04,7.625009e-04,7.621114e-04,7.528806e-04,7.435025e-04,7.433174e-04,7.343614e-04,7.254524e-04,7.084776e-04,6.923548e-04,6.770472e-04,6.625191e-04,6.487359e-04,6.356641e-04,6.232716e-04,6.115275e-04,6.004018e-04,5.898661e-04,5.798927e-04,5.704554e-04,5.615289e-04,5.530889e-04,5.451123e-04,5.375769e-04,5.304615e-04,5.237457e-04,5.174102e-04,5.114364e-04,5.058065e-04,5.005037e-04,4.955118e-04,4.908153e-04,4.863994e-04,4.822502e-04,4.783541e-04,4.746984e-04,4.712708e-04,4.680597e-04,4.650538e-04,4.622427e-04,4.596162e-04,4.571646e-04,4.548788e-04,4.527499e-04,4.507697e-04,4.489301e-04,4.472236e-04,4.456429e-04,4.441812e-04,4.428319e-04,4.415887e-04,4.404458e-04,4.393974e-04,4.384382e-04,4.375631e-04,4.367672e-04,4.360458e-04
0.000000e+00,4.228018e-10,5.575688e-09,5.817831e-09,3.427209e-08,1.111825e-07,1.157208e-07,2.597422e-07,4.246345e-07,4.353166e-07,6.084469e-07,7.554500e-07,7.676124e-07,9.113565e-07,1.028123e-06,1.040396e-06,1.155810e-06,1.246976e-06,1.258695e-06,1.350092e-06,1.420249e-06,1.430974e-06,1.502245e-06,1.555300e-06,1.564743e-06,1.619238e-06,1.658454e-06,1.666442e-06,1.707009e-06,1.735089e-06,1.741539e-06,1.770580e-06,1.789747e-06,1.794636e-06,1.814167e-06,1.826246e-06,1.829596e-06,1.841307e-06,1.847789e-06,1.849654e-06,1.854958e-06,1.857059e-06,1.857513e-06,1.857588e-06,1.856296e-06,1.855427e-06,1.851254e-06,1.847373e-06,1.845275e-06,1.837675e-06,1.831855e-06,1.828626e-06,1.818283e-06,1.811051e-06,1.806789e-06,1.794277e-06,1.786059e-06,1.780863e-06,1.766654e-06,1.757789e-06,1.751749e-06,1.736236e-06,1.726993e-06,1.720197e-06,1.703706e-06,1.694299e-06,1.686830e-06,1.669629e-06,1.660225e-06,1.652158e-06,1.634468e-06,1.625198e-06,1.616604e-06,1.598607e-06,1.589571e-06,1.580515e-06,1.562361e-06,1.553634e-06,1.544175e-06,1.525985e-06,1.517624e-06,1.507817e-06,1.489692e-06,1.481736e-06,1.471631e-06,1.453651e-06,1.446128e-06,1.435769e-06,1.418000e-06,1.410927e-06,1.400356e-06,1.382849e-06,1.376234e-06,1.365489e-06,1.348285e-06,1.342132e-06,1.331245e-06,1.314377e-06,1.308682e-06,1.297685e-06,1.281176e-06,1.275933e-06,1.264855e-06,1.248724e-06,1.243922e-06,1.232787e-06,1.217047e-06,1.212675e-06,1.201505e-06,1.186165e-06,1.182210e-06,1.171027e-06,1.156091e-06,1.152537e-06,1.141360e-06,1.126832e-06,1.123663e-06,1.112508e-06,1.098388e-06,1.095588e-06,1.084470e-06,1.070756e-06,1.068308e-06,1.057243e-06,1.043930e-06,1.041819e-06,1.030817e-06,1.017902e-06,1.016109e-06,1.005183e-06,9.926599e-07,9.911702e-07,9.803301e-07,9.681920e-07,9.669887e-07,9.562439e-07,9.444839e-07,9.435512e-07,9.329101e-07,9.215207e-07,9.208431e-07,9.103135e-07,8.992866e-07,8.988493e-07,8.884380e-07,8.777655e-07,8.775538e-07,8.672671e-07,8.569406e-07,8.369931e-07,8.176948e-07,7.990292e-07,7.809798e-07,7.635303e-07,7.466644e-07,7.303661e-07,7.146198e-07,6.994098e-07,6.847211e-07,6.705388e-07,6.568482e-07,6.436352e-07,6.308858e-07,6.185864e-07,6.067237e-07,5.952849e-07,5.842572e-07,5.736285e-07,5.633867e-07,5.535203e-07,5.440178e-07,5.348683e-07,5.260609e-07,5.175854e-07,5.094314e-07,5.015892e-07,4.940490e-07,4.868017e-07,4.798380e-07,4.731493e-07,4.667268e-07,4.605623e-07,4.546477e-07,4.489750e-07,4.435367e-07,4.383253e-07,4.333335e-07,4.285543e-07,4.239810e-07,4.196069e-07,4.154254e-07,4.114305e-07,4.076159e-07,4.039758e-07,4.005045e-07,3.971962e-07,3.940457e-07,3.910477e-07
0.000000e+00,1.385782e-08,1.677699e-07,1.746501e-07,9.619331e-07,3.174270e-06,3.310357e-06,7.985720e-06,1.426946e-05,1.470975e-05,2.221941e-05,2.877839e-05,2.931492e-05,3.548980e-05,4.020621e-05,4.068335e-05,4.497770e-05,4.810035e-05,4.848292e-05,5.130534e-05,5.325964e-05,5.354044e-05,5.527176e-05,5.639040e-05,5.657226e-05,5.750530e-05,5.803493e-05,5.812575e-05,5.848097e-05,5.860183e-05,5.861182e-05,5.855349e-05,5.839630e-05,5.833626e-05,5.798613e-05,5.764502e-05,5.752544e-05,5.697335e-05,5.651569e-05,5.634625e-05,5.565822e-05,5.513191e-05,5.492125e-05,5.414562e-05,5.358442e-05,5.334008e-05,5.251209e-05,5.193952e-05,5.166801e-05,5.081321e-05,5.024542e-05,4.995227e-05,4.908903e-05,4.853688e-05,4.822676e-05,4.736818e-05,4.683873e-05,4.651557e-05,4.567084e-05,4.516845e-05,4.483556e-05,4.401102e-05,4.353812e-05,4.319826e-05,4.239814e-05,4.195585e-05,4.161133e-05,4.083834e-05,4.042682e-05,4.007957e-05,3.933529e-05,3.895407e-05,3.860571e-05,3.789093e-05,3.753911e-05,3.719101e-05,3.650592e-05,3.618234e-05,3.583562e-05,3.518001e-05,3.488333e-05,3.453896e-05,3.391232e-05,3.364112e-05,3.329991e-05,3.270154e-05,3.245436e-05,3.211699e-05,3.154605e-05,3.132143e-05,3.098848e-05,3.044404e-05,3.024055e-05,2.991249e-05,2.939358e-05,2.920982e-05,2.888707e-05,2.839269e-05,2.822733e-05,2.791021e-05,2.743938e-05,2.729113e-05,2.697994e-05,2.653164e-05,2.639929e-05,2.609426e-05,2.566753e-05,2.554993e-05,2.525123e-05,2.484513e-05,2.474118e-05,2.444898e-05,2.406257e-05,2.397125e-05,2.368567e-05,2.331806e-05,2.323841e-05,2.295953e-05,2.260986e-05,2.254097e-05,2.226885e-05,2.193631e-05,2.187733e-05,2.161202e-05,2.129579e-05,2.124593e-05,2.098744e-05,2.068677e-05,2.064528e-05,2.039361e-05,2.010778e-05,2.007397e-05,1.982911e-05,1.955741e-05,1.953062e-05,1.929254e-05,1.903431e-05,1.901394e-05,1.878259e-05,1.853720e-05,1.852268e-05,1.829800e-05,1.806484e-05,1.805564e-05,1.783757e-05,1.761606e-05,1.761169e-05,1.740016e-05,1.718974e-05,1.678875e-05,1.640774e-05,1.604576e-05,1.570190e-05,1.537531e-05,1.506516e-05,1.477067e-05,1.449111e-05,1.422574e-05,1.397390e-05,1.373493e-05,1.350822e-05,1.329318e-05,1.308926e-05,1.289590e-05,1.271261e-05,1.253889e-05,1.237428e-05,1.221835e-05,1.207067e-05,1.193083e-05,1.179847e-05,1.167320e-05,1.155468e-05,1.144259e-05,1.133661e-05,1.123643e-05,1.114178e-05,1.105237e-05,1.096795e-05,1.088827e-05,1.081310e-05,1.074220e-05,1.067538e-05,1.061241e-05,1.055311e-05,1.049730e-05,1.044480e-05,1.039543e-05,1.034905e-05,1.030549e-05,1.026463e-05,1.022630e-05,1.019040e-05,1.015679e-05,1.012535e-05,1.009597e-05,1.006854e-05,1.004297e-05
0.000000e+00,2.792767e-08,4.509322e-07,4.718524e-07,3.097283e-06,1.066447e-05,1.111734e-05,2.528730e-05,4.070107e-05,4.167690e-05,5.726666e-05,7.024915e-05,7.131371e-05,8.377827e-05,9.372847e-05,9.476409e-05,1.043968e-04,1.118514e-04,1.127984e-04,1.200820e-04,1.255314e-04,1.263518e-04,1.317035e-04,1.355539e-04,1.362250e-04,1.399974e-04,1.425840e-04,1.430949e-04,1.455857e-04,1.471836e-04,1.475321e-04,1.489912e-04,1.498245e-04,1.500148e-04,1.506500e-04,1.508997e-04,1.509399e-04,1.509231e-04,1.507341e-04,1.506349e-04,1.501070e-04,1.495948e-04,1.493683e-04,1.484444e-04,1.477003e-04,1.473589e-04,1.461328e-04,1.452285e-04,1.447851e-04,1.433326e-04,1.423242e-04,1.417908e-04,1.401734e-04,1.391044e-04,1.384928e-04,1.367599e-04,1.356637e-04,1.349847e-04,1.331760e-04,1.320780e-04,1.313417e-04,1.294887e-04,1.284079e-04,1.276233e-04,1.257510e-04,1.247014e-04,1.238768e-04,1.220051e-04,1.209967e-04,1.201396e-04,1.182838e-04,1.173236e-04,1.164407e-04,1.146127e-04,1.137052e-04,1.128023e-04,1.110113e-04,1.101591e-04,1.092415e-04,1.074943e-04,1.066986e-04,1.057710e-04,1.040725e-04,1.033333e-04,1.023999e-04,1.007536e-04,1.000703e-04,9.913447e-05,9.754277e-05,9.691387e-05,9.597890e-05,9.444307e-05,9.386685e-05,9.293544e-05,9.145608e-05,9.093043e-05,9.000497e-05,8.858206e-05,8.810468e-05,8.718724e-05,8.582033e-05,8.538878e-05,8.448113e-05,8.316939e-05,8.278119e-05,8.188485e-05,8.062720e-05,8.027983e-05,7.939611e-05,7.819124e-05,7.788223e-05,7.701223e-05,7.585869e-05,7.558559e-05,7.473024e-05,7.362649e-05,7.338693e-05,7.254701e-05,7.149141e-05,7.128312e-05,7.045926e-05,6.945015e-05,6.927092e-05,6.846364e-05,6.749933e-05,6.734707e-05,6.655679e-05,6.563560e-05,6.550831e-05,6.473534e-05,6.385559e-05,6.375138e-05,6.299595e-05,6.215600e-05,6.207307e-05,6.133534e-05,6.053357e-05,6.047023e-05,5.975029e-05,5.898512e-05,5.893978e-05,5.823768e-05,5.750757e-05,5.747872e-05,5.679443e-05,5.609790e-05,5.608414e-05,5.541761e-05,5.475321e-05,5.348321e-05,5.227151e-05,5.111556e-05,5.001294e-05,4.896129e-05,4.795837e-05,4.700200e-05,4.609012e-05,4.522074e-05,4.439195e-05,4.360194e-05,4.284895e-05,4.213132e-05,4.144745e-05,4.079581e-05,4.017494e-05,3.958344e-05,3.901998e-05,3.848328e-05,3.797213e-05,3.748534e-05,3.702182e-05,3.658049e-05,3.616034e-05,3.576040e-05,3.537974e-05,3.501747e-05,3.467274e-05,3.434476e-05,3.403274e-05,3.373595e-05,3.345368e-05,3.318526e-05,3.293005e-05,3.268743e-05,3.245683e-05,3.223767e-05,3.202942e-05,3.183158e-05,3.164366e-05,3.146520e-05,3.129574e-05,3.113486e-05,3.098217e-05,3.083727e-05,3.069979e-05,3.056939e-05,3.044572e-05,3.032847e-05
0.000000e+00,3.673322e-07,9.756996e-06,1.029395e-05,9.553367e-05,4.127032e-04,4.334619e-04,1.151965e-03,2.089258e-03,2.154317e-03,3.280180e-03,4.324118e-03,4.413124e-03,5.483201e-03,6.361161e-03,6.453043e-03,7.306190e-03,7.957366e-03,8.039038e-03,8.655544e-03,9.098809e-03,9.163818e-03,9.573984e-03,9.850609e-03,9.896846e-03,1.014308e-02,1.029493e-02,1.032280e-02,1.044527e-02,1.050769e-02,1.051887e-02,1.055100e-02,1.055151e-02,1.054819e-02,1.051612e-02,1.047521e-02,1.045968e-02,1.038309e-02,1.031559e-02,1.028996e-02,1.018336e-02,1.009974e-02,1.006588e-02,9.939743e-03,9.847294e-03,9.806790e-03,9.668582e-03,9.572272e-03,9.526421e-03,9.381393e-03,9.284551e-03,9.234404e-03,9.086205e-03,8.991014e-03,8.937416e-03,8.788549e-03,8.696400e-03,8.640024e-03,8.492187e-03,8.403935e-03,8.345321e-03,8.199656e-03,8.115796e-03,8.055380e-03,7.912647e-03,7.833438e-03,7.771580e-03,7.632280e-03,7.557821e-03,7.494827e-03,7.359287e-03,7.289579e-03,7.225711e-03,7.094141e-03,7.029119e-03,6.964610e-03,6.837143e-03,6.776698e-03,6.711760e-03,6.588474e-03,6.532470e-03,6.467297e-03,6.348234e-03,6.296517e-03,6.231289e-03,6.116463e-03,6.068867e-03,6.003754e-03,5.893159e-03,5.849512e-03,5.784672e-03,5.678286e-03,5.638408e-03,5.573991e-03,5.471777e-03,5.435487e-03,5.371633e-03,5.273544e-03,5.240659e-03,5.177496e-03,5.083474e-03,5.053812e-03,4.991461e-03,4.901439e-03,4.874818e-03,4.813390e-03,4.727295e-03,4.703535e-03,4.643133e-03,4.560883e-03,4.539809e-03,4.480525e-03,4.402035e-03,4.383473e-03,4.325391e-03,4.250570e-03,4.234352e-03,4.177549e-03,4.106304e-03,4.092266e-03,4.036809e-03,3.969042e-03,3.957025e-03,3.902976e-03,3.838588e-03,3.828440e-03,3.775852e-03,3.714742e-03,3.706315e-03,3.655234e-03,3.597302e-03,3.590455e-03,3.540921e-03,3.486065e-03,3.480663e-03,3.432710e-03,3.380830e-03,3.376742e-03,3.330400e-03,3.281394e-03,3.278499e-03,3.233789e-03,3.187559e-03,3.185738e-03,3.142679e-03,3.099126e-03,3.098268e-03,3.056875e-03,3.015901e-03,2.938451e-03,2.865736e-03,2.797576e-03,2.733796e-03,2.674225e-03,2.618694e-03,2.567040e-03,2.519101e-03,2.474723e-03,2.433751e-03,2.396037e-03,2.361436e-03,2.329805e-03,2.301006e-03,2.274905e-03,2.251369e-03,2.230271e-03,2.211486e-03,2.194891e-03,2.180368e-03,2.167803e-03,2.157081e-03,2.148095e-03,2.140737e-03,2.134905e-03,2.130499e-03,2.127421e-03,2.125577e-03,2.124876e-03,2.125230e-03,2.126555e-03,2.128767e-03,2.131789e-03,2.135545e-03,2.139961e-03,2.144968e-03,2.150500e-03,2.156493e-03,2.162886e-03,2.169623e-03,2.176648e-03,2.183911e-03,2.191362e-03,2.198956e-03,2.206651e-03,2.214407e-03,2.222186e-03,2.229954e-03,2.237680e-03
0.000000e+00,8.091273e-09,8.521630e-08,8.855264e-08,4.684123e-07,1.596133e-06,1.668350e-06,4.300003e-06,8.148636e-06,8.427580e-06,1.335843e-05,1.801599e-05,1.841671e-05,2.331335e-05,2.750858e-05,2.796137e-05,3.234009e-05,3.597009e-05,3.644911e-05,4.029459e-05,4.339729e-05,4.388492e-05,4.722937e-05,4.985570e-05,5.033753e-05,5.321917e-05,5.541998e-05,5.588411e-05,5.834208e-05,6.016590e-05,6.060269e-05,6.267532e-05,6.416740e-05,6.456916e-05,6.629309e-05,6.749495e-05,6.785572e-05,6.926537e-05,7.021472e-05,7.053002e-05,7.165737e-05,7.238820e-05,7.265479e-05,7.352937e-05,7.407212e-05,7.428788e-05,7.493681e-05,7.531866e-05,7.548235e-05,7.593046e-05,7.617559e-05,7.628678e-05,7.655674e-05,7.668659e-05,7.674550e-05,7.685799e-05,7.689150e-05,7.689891e-05,7.687274e-05,7.682661e-05,7.678374e-05,7.663600e-05,7.652492e-05,7.643337e-05,7.617955e-05,7.601636e-05,7.587804e-05,7.553219e-05,7.532811e-05,7.514516e-05,7.471997e-05,7.448474e-05,7.425948e-05,7.376642e-05,7.350849e-05,7.324338e-05,7.269279e-05,7.241941e-05,7.211699e-05,7.151818e-05,7.123558e-05,7.089845e-05,7.025978e-05,6.997325e-05,6.960404e-05,6.893301e-05,6.864702e-05,6.824837e-05,6.755169e-05,6.726999e-05,6.684448e-05,6.612815e-05,6.585384e-05,6.540404e-05,6.467341e-05,6.440901e-05,6.393744e-05,6.319724e-05,6.294480e-05,6.245387e-05,6.170832e-05,6.146944e-05,6.096152e-05,6.021432e-05,5.999021e-05,5.946756e-05,5.872200e-05,5.851355e-05,5.797834e-05,5.723727e-05,5.704509e-05,5.649939e-05,5.576531e-05,5.558975e-05,5.503554e-05,5.431061e-05,5.415181e-05,5.359096e-05,5.287704e-05,5.273498e-05,5.216925e-05,5.146794e-05,5.134243e-05,5.077347e-05,5.008613e-05,4.997684e-05,4.940621e-05,4.873398e-05,4.864049e-05,4.806965e-05,4.741345e-05,4.733526e-05,4.676557e-05,4.612616e-05,4.606269e-05,4.549539e-05,4.487338e-05,4.482401e-05,4.426026e-05,4.365611e-05,4.362015e-05,4.306102e-05,4.247507e-05,4.245182e-05,4.189830e-05,4.133076e-05,4.131951e-05,4.077248e-05,4.022349e-05,3.916388e-05,3.814064e-05,3.715359e-05,3.620245e-05,3.528681e-05,3.440619e-05,3.356004e-05,3.274773e-05,3.196858e-05,3.122187e-05,3.050683e-05,2.982267e-05,2.916858e-05,2.854373e-05,2.794726e-05,2.737833e-05,2.683608e-05,2.631964e-05,2.582817e-05,2.536082e-05,2.491674e-05,2.449511e-05,2.409510e-05,2.371591e-05,2.335676e-05,2.301686e-05,2.269546e-05,2.239183e-05,2.210525e-05,2.183500e-05,2.158041e-05,2.134082e-05,2.111558e-05,2.090407e-05,2.070568e-05,2.051983e-05,2.034596e-05,2.018350e-05,2.003195e-05,1.989078e-05,1.975950e-05,1.963764e-05,1.952475e-05,1.942038e-05,1.932412e-05,1.923554e-05,1.915427e-05,1.907993e-05,1.901215e-05
0.000000e+00,1.178217e-07,2.075335e-06,2.171207e-06,1.487088e-05,6.047895e-05,6.364220e-05,1.930889e-04,4.277549e-04,4.469199e-04,8.365358e-04,1.290032e-03,1.332521e-03,1.887805e-03,2.403616e-03,2.460782e-03,3.022265e-03,3.492196e-03,3.554042e-03,4.045803e-03,4.432775e-03,4.492513e-03,4.892527e-03,5.192750e-03,5.246309e-03,5.555593e-03,5.777712e-03,5.822837e-03,6.050863e-03,6.207040e-03,6.242639e-03,6.401135e-03,6.503521e-03,6.529239e-03,6.629704e-03,6.689175e-03,6.705124e-03,6.757920e-03,6.783751e-03,6.790337e-03,6.804445e-03,6.804341e-03,6.802149e-03,6.785198e-03,6.765475e-03,6.755192e-03,6.713593e-03,6.679371e-03,6.661738e-03,6.600844e-03,6.556247e-03,6.532022e-03,6.456282e-03,6.404606e-03,6.374544e-03,6.287643e-03,6.231507e-03,6.196338e-03,6.101318e-03,6.042785e-03,6.003207e-03,5.902572e-03,5.843251e-03,5.799924e-03,5.695726e-03,5.636855e-03,5.590394e-03,5.484307e-03,5.426826e-03,5.377802e-03,5.271184e-03,5.215789e-03,5.164724e-03,5.058667e-03,5.005858e-03,4.953230e-03,4.848605e-03,4.798725e-03,4.744965e-03,4.642459e-03,4.595725e-03,4.541222e-03,4.441368e-03,4.397897e-03,4.342999e-03,4.246201e-03,4.206032e-03,4.151048e-03,4.057604e-03,4.020716e-03,3.965920e-03,3.876039e-03,3.842364e-03,3.787995e-03,3.701814e-03,3.671249e-03,3.617516e-03,3.535114e-03,3.507531e-03,3.454615e-03,3.376020e-03,3.351272e-03,3.299327e-03,3.224530e-03,3.202459e-03,3.151618e-03,3.080577e-03,3.061018e-03,3.011390e-03,2.944038e-03,2.926825e-03,2.878500e-03,2.814752e-03,2.799716e-03,2.752769e-03,2.692523e-03,2.679499e-03,2.633987e-03,2.577132e-03,2.565960e-03,2.521928e-03,2.468343e-03,2.458867e-03,2.416347e-03,2.365907e-03,2.357979e-03,2.316992e-03,2.269568e-03,2.263046e-03,2.223603e-03,2.179066e-03,2.173815e-03,2.135922e-03,2.094139e-03,2.090035e-03,2.053686e-03,2.014530e-03,2.011452e-03,1.976638e-03,1.939981e-03,1.937820e-03,1.904526e-03,1.870242e-03,1.868895e-03,1.837100e-03,1.805069e-03,1.804440e-03,1.774120e-03,1.744225e-03,1.688026e-03,1.635630e-03,1.586830e-03,1.541427e-03,1.499231e-03,1.460061e-03,1.423744e-03,1.390115e-03,1.359017e-03,1.330300e-03,1.303823e-03,1.279452e-03,1.257058e-03,1.236522e-03,1.217728e-03,1.200569e-03,1.184942e-03,1.170749e-03,1.157901e-03,1.146310e-03,1.135894e-03,1.126577e-03,1.118286e-03,1.110952e-03,1.104511e-03,1.098901e-03,1.094065e-03,1.089949e-03,1.086501e-03,1.083674e-03,1.081422e-03,1.079702e-03,1.078474e-03,1.077700e-03,1.077345e-03,1.077375e-03,1.077759e-03,1.078466e-03,1.079470e-03,1.080744e-03,1.082264e-03,1.084006e-03,1.085949e-03,1.088073e-03,1.090359e-03,1.092789e-03,1.095347e-03,1.098016e-03,1.100783e-03
0.000000e+00,3.515384e-10,5.099283e-09,5.330449e-09,3.405186e-08,1.180488e-07,1.231757e-07,2.907844e-07,4.876699e-07,5.005280e-07,7.110586e-07,8.935404e-07,9.088097e-07,1.091437e-06,1.242998e-06,1.259111e-06,1.412519e-06,1.536336e-06,1.552441e-06,1.679652e-06,1.779461e-06,1.794904e-06,1.898922e-06,1.978124e-06,1.992400e-06,2.076006e-06,2.137645e-06,2.150379e-06,2.216128e-06,2.262909e-06,2.273834e-06,2.324047e-06,2.358349e-06,2.367289e-06,2.404055e-06,2.427951e-06,2.434808e-06,2.459988e-06,2.475277e-06,2.480007e-06,2.495255e-06,2.503484e-06,2.506095e-06,2.512869e-06,2.515365e-06,2.515899e-06,2.515486e-06,2.513383e-06,2.511912e-06,2.505441e-06,2.499704e-06,2.496321e-06,2.484782e-06,2.476228e-06,2.471041e-06,2.455298e-06,2.444616e-06,2.437743e-06,2.418551e-06,2.406319e-06,2.397886e-06,2.375903e-06,2.362605e-06,2.352743e-06,2.328539e-06,2.314576e-06,2.303415e-06,2.277487e-06,2.263188e-06,2.250859e-06,2.223631e-06,2.209266e-06,2.195895e-06,2.167735e-06,2.153521e-06,2.139230e-06,2.110453e-06,2.096563e-06,2.081471e-06,2.052345e-06,2.038915e-06,2.023133e-06,1.993886e-06,1.981020e-06,1.964654e-06,1.935480e-06,1.923255e-06,1.906406e-06,1.877467e-06,1.865937e-06,1.848698e-06,1.820130e-06,1.809332e-06,1.791790e-06,1.763703e-06,1.753659e-06,1.735893e-06,1.708380e-06,1.699097e-06,1.681183e-06,1.654317e-06,1.645792e-06,1.627797e-06,1.601636e-06,1.593860e-06,1.575845e-06,1.550434e-06,1.543389e-06,1.525412e-06,1.500784e-06,1.494446e-06,1.476557e-06,1.452736e-06,1.447080e-06,1.429324e-06,1.406325e-06,1.401320e-06,1.383739e-06,1.361569e-06,1.357185e-06,1.339814e-06,1.318475e-06,1.314678e-06,1.297550e-06,1.277038e-06,1.273794e-06,1.256937e-06,1.237244e-06,1.234519e-06,1.217957e-06,1.199072e-06,1.196833e-06,1.180586e-06,1.162495e-06,1.160708e-06,1.144794e-06,1.127480e-06,1.126111e-06,1.110547e-06,1.093990e-06,1.093009e-06,1.077805e-06,1.061986e-06,1.061360e-06,1.046527e-06,1.031424e-06,1.031126e-06,1.016671e-06,1.002261e-06,9.747231e-07,9.484662e-07,9.234453e-07,8.996148e-07,8.769296e-07,8.553448e-07,8.348160e-07,8.153000e-07,7.967541e-07,7.791369e-07,7.624079e-07,7.465279e-07,7.314589e-07,7.171640e-07,7.036076e-07,6.907556e-07,6.785747e-07,6.670334e-07,6.561011e-07,6.457484e-07,6.359473e-07,6.266710e-07,6.178936e-07,6.095905e-07,6.017382e-07,5.943142e-07,5.872970e-07,5.806661e-07,5.744020e-07,5.684861e-07,5.629007e-07,5.576287e-07,5.526542e-07,5.479619e-07,5.435371e-07,5.393659e-07,5.354353e-07,5.317327e-07,5.282462e-07,5.249644e-07,5.218767e-07,5.189727e-07,5.162429e-07,5.136779e-07,5.112692e-07,5.090083e-07,5.068874e-07,5.048990e-07,5.030360e-07
0.000000e+00,1.113480e-07,4.543804e-06,4.822174e-06,5.218118e-05,2.152749e-04,2.251579e-04,5.402338e-04,9.242590e-04,9.507021e-04,1.412107e-03,1.854239e-03,1.892859e-03,2.371819e-03,2.789932e-03,2.835311e-03,3.274832e-03,3.637789e-03,3.685433e-03,4.064581e-03,4.364773e-03,4.411374e-03,4.725991e-03,4.966036e-03,5.009316e-03,5.262674e-03,5.449172e-03,5.487649e-03,5.685959e-03,5.826597e-03,5.859373e-03,6.009653e-03,6.111920e-03,6.138518e-03,6.247619e-03,6.318287e-03,6.338526e-03,6.412720e-03,6.457685e-03,6.471592e-03,6.516438e-03,6.540726e-03,6.548468e-03,6.568805e-03,6.576643e-03,6.578488e-03,6.578482e-03,6.573401e-03,6.569678e-03,6.552901e-03,6.537832e-03,6.528912e-03,6.498413e-03,6.475778e-03,6.462051e-03,6.420421e-03,6.392208e-03,6.374072e-03,6.323508e-03,6.291340e-03,6.269192e-03,6.211551e-03,6.176752e-03,6.150978e-03,6.087834e-03,6.051473e-03,6.022447e-03,5.955124e-03,5.918062e-03,5.886141e-03,5.815755e-03,5.778679e-03,5.744200e-03,5.671691e-03,5.635140e-03,5.598423e-03,5.524576e-03,5.488972e-03,5.450313e-03,5.375786e-03,5.341452e-03,5.301129e-03,5.226467e-03,5.193643e-03,5.151913e-03,5.077570e-03,5.046431e-03,5.003530e-03,4.929878e-03,4.900543e-03,4.856689e-03,4.784033e-03,4.756576e-03,4.711971e-03,4.640557e-03,4.615017e-03,4.569843e-03,4.499871e-03,4.476257e-03,4.430681e-03,4.362306e-03,4.340603e-03,4.294777e-03,4.228120e-03,4.208297e-03,4.162358e-03,4.097511e-03,4.079519e-03,4.033593e-03,3.970620e-03,3.954403e-03,3.908602e-03,3.847547e-03,3.833039e-03,3.787464e-03,3.728355e-03,3.715482e-03,3.670224e-03,3.613073e-03,3.601760e-03,3.556901e-03,3.501706e-03,3.491874e-03,3.447485e-03,3.394235e-03,3.385805e-03,3.341951e-03,3.290627e-03,3.283518e-03,3.240256e-03,3.190831e-03,3.184963e-03,3.142343e-03,3.094785e-03,3.090079e-03,3.048146e-03,3.002417e-03,2.998798e-03,2.957588e-03,2.913649e-03,2.911040e-03,2.870588e-03,2.828395e-03,2.826725e-03,2.787058e-03,2.746566e-03,2.745764e-03,2.706907e-03,2.668069e-03,2.593546e-03,2.522103e-03,2.453645e-03,2.388079e-03,2.325310e-03,2.265246e-03,2.207796e-03,2.152868e-03,2.100376e-03,2.050231e-03,2.002349e-03,1.956647e-03,1.913046e-03,1.871466e-03,1.831831e-03,1.794068e-03,1.758104e-03,1.723870e-03,1.691299e-03,1.660326e-03,1.630887e-03,1.602922e-03,1.576372e-03,1.551180e-03,1.527291e-03,1.504652e-03,1.483211e-03,1.462921e-03,1.443732e-03,1.425599e-03,1.408478e-03,1.392326e-03,1.377102e-03,1.362767e-03,1.349281e-03,1.336609e-03,1.324715e-03,1.313565e-03,1.303125e-03,1.293365e-03,1.284254e-03,1.275762e-03,1.267861e-03,1.260524e-03,1.253725e-03,1.247438e-03,1.241640e-03,1.236306e-03,1.231416e-03
0.000000e+00,8.119688e-08,1.472201e-06,1.541739e-06,1.121777e-05,4.828510e-05,5.091124e-05,1.596568e-04,3.522581e-04,3.675231e-04,6.627516e-04,9.768160e-04,1.004933e-03,1.355311e-03,1.655479e-03,1.687350e-03,1.985866e-03,2.215128e-03,2.243855e-03,2.459638e-03,2.612573e-03,2.634753e-03,2.772520e-03,2.862413e-03,2.877096e-03,2.952879e-03,2.996549e-03,3.004153e-03,3.034887e-03,3.047089e-03,3.048637e-03,3.048513e-03,3.040520e-03,3.037189e-03,3.016924e-03,2.996719e-03,2.989609e-03,2.956808e-03,2.929768e-03,2.919805e-03,2.879643e-03,2.849251e-03,2.837166e-03,2.793049e-03,2.761485e-03,2.747831e-03,2.701940e-03,2.670524e-03,2.655712e-03,2.609408e-03,2.578908e-03,2.563234e-03,2.517348e-03,2.488189e-03,2.471870e-03,2.426893e-03,2.399290e-03,2.382486e-03,2.338701e-03,2.312744e-03,2.295575e-03,2.253135e-03,2.228841e-03,2.211399e-03,2.170381e-03,2.147728e-03,2.130088e-03,2.090524e-03,2.069462e-03,2.051689e-03,2.013582e-03,1.994054e-03,1.976201e-03,1.939541e-03,1.921480e-03,1.903597e-03,1.868362e-03,1.851699e-03,1.833830e-03,1.799993e-03,1.784659e-03,1.766844e-03,1.734373e-03,1.720300e-03,1.702574e-03,1.671437e-03,1.658554e-03,1.640953e-03,1.611113e-03,1.599355e-03,1.581908e-03,1.553328e-03,1.542630e-03,1.525364e-03,1.498007e-03,1.488305e-03,1.471247e-03,1.445074e-03,1.436307e-03,1.419479e-03,1.394451e-03,1.386561e-03,1.369982e-03,1.346062e-03,1.338991e-03,1.322680e-03,1.299828e-03,1.293523e-03,1.277495e-03,1.255673e-03,1.250082e-03,1.234352e-03,1.213523e-03,1.208596e-03,1.193176e-03,1.173302e-03,1.168992e-03,1.153892e-03,1.134937e-03,1.131200e-03,1.116428e-03,1.098357e-03,1.095150e-03,1.080715e-03,1.063493e-03,1.060776e-03,1.046683e-03,1.030277e-03,1.028012e-03,1.014266e-03,9.986424e-04,9.967933e-04,9.833983e-04,9.685258e-04,9.670587e-04,9.540173e-04,9.398651e-04,9.387481e-04,9.260620e-04,9.126006e-04,9.118036e-04,8.994737e-04,8.866742e-04,8.861689e-04,8.741953e-04,8.620302e-04,8.617900e-04,8.501721e-04,8.386145e-04,8.165921e-04,7.956740e-04,7.758137e-04,7.569659e-04,7.390875e-04,7.221366e-04,7.060733e-04,6.908591e-04,6.764568e-04,6.628310e-04,6.499475e-04,6.377735e-04,6.262775e-04,6.154294e-04,6.052000e-04,5.955615e-04,5.864873e-04,5.779517e-04,5.699300e-04,5.623986e-04,5.553350e-04,5.487173e-04,5.425248e-04,5.367374e-04,5.313359e-04,5.263020e-04,5.216180e-04,5.172670e-04,5.132328e-04,5.094998e-04,5.060531e-04,5.028783e-04,4.999619e-04,4.972905e-04,4.948517e-04,4.926333e-04,4.906238e-04,4.888121e-04,4.871875e-04,4.857399e-04,4.844595e-04,4.833370e-04,4.823634e-04,4.815302e-04,4.808293e-04,4.802527e-04,4.797929e-04,4.794428e-04,4.791956e-04
0.000000e+00,2.098076e-07,4.000236e-06,4.191742e-06,3.048174e-05,1.261071e-04,1.327042e-04,3.974691e-04,8.564065e-04,8.929505e-04,1.615679e-03,2.430589e-03,2.506353e-03,3.496426e-03,4.425518e-03,4.529461e-03,5.563833e-03,6.451772e-03,6.570362e-03,7.529405e-03,8.306479e-03,8.428403e-03,9.259960e-03,9.903571e-03,1.002039e-02,1.070864e-02,1.121969e-02,1.132555e-02,1.187322e-02,1.226348e-02,1.235462e-02,1.277328e-02,1.305871e-02,1.313298e-02,1.343768e-02,1.363490e-02,1.369132e-02,1.389779e-02,1.402242e-02,1.406084e-02,1.418407e-02,1.425006e-02,1.427088e-02,1.432448e-02,1.434386e-02,1.434788e-02,1.434387e-02,1.432682e-02,1.431506e-02,1.426387e-02,1.421891e-02,1.419253e-02,1.410310e-02,1.403726e-02,1.399749e-02,1.387745e-02,1.379649e-02,1.374459e-02,1.360039e-02,1.350900e-02,1.344621e-02,1.328330e-02,1.318527e-02,1.311281e-02,1.293578e-02,1.283415e-02,1.275318e-02,1.256589e-02,1.246308e-02,1.237471e-02,1.218038e-02,1.207831e-02,1.198357e-02,1.178490e-02,1.168505e-02,1.158493e-02,1.138417e-02,1.128767e-02,1.118309e-02,1.098210e-02,1.088978e-02,1.078159e-02,1.058190e-02,1.049438e-02,1.038336e-02,1.018623e-02,1.010393e-02,9.990787e-03,9.797247e-03,9.720410e-03,9.605815e-03,9.416675e-03,9.345437e-03,9.229987e-03,9.045894e-03,8.980280e-03,8.864520e-03,8.685973e-03,8.625928e-03,8.510348e-03,8.337724e-03,8.283130e-03,8.168169e-03,8.001739e-03,7.952427e-03,7.838479e-03,7.678425e-03,7.634188e-03,7.521603e-03,7.368032e-03,7.328638e-03,7.217724e-03,7.070681e-03,7.035877e-03,6.926904e-03,6.786383e-03,6.755904e-03,6.649106e-03,6.515055e-03,6.488630e-03,6.384210e-03,6.256544e-03,6.233899e-03,6.132028e-03,6.010631e-03,5.991495e-03,5.892319e-03,5.777054e-03,5.761157e-03,5.664796e-03,5.555506e-03,5.542589e-03,5.449140e-03,5.345655e-03,5.335463e-03,5.245004e-03,5.147142e-03,5.139432e-03,5.052022e-03,4.959595e-03,4.954134e-03,4.869813e-03,4.782628e-03,4.779193e-03,4.697989e-03,4.615849e-03,4.614231e-03,4.536157e-03,4.458865e-03,4.312710e-03,4.175389e-03,4.046524e-03,3.925746e-03,3.812695e-03,3.707017e-03,3.608369e-03,3.516417e-03,3.430838e-03,3.351321e-03,3.277564e-03,3.209276e-03,3.146177e-03,3.088000e-03,3.034485e-03,2.985386e-03,2.940464e-03,2.899492e-03,2.862253e-03,2.828537e-03,2.798146e-03,2.770888e-03,2.746582e-03,2.725052e-03,2.706133e-03,2.689665e-03,2.675498e-03,2.663485e-03,2.653489e-03,2.645377e-03,2.639025e-03,2.634311e-03,2.631122e-03,2.629348e-03,2.628886e-03,2.629637e-03,2.631506e-03,2.634404e-03,2.638246e-03,2.642951e-03,2.648442e-03,2.654646e-03,2.661493e-03,2.668918e-03,2.676858e-03,2.685255e-03,2.694053e-03,2.703200e-03,2.712645e-03
0.000000e+00,2.410311e-08,4.600423e-07,4.828679e-07,3.539744e-06,1.238345e-05,1.289195e-05,2.752837e-05,4.178813e-05,4.266319e-05,5.640177e-05,6.758998e-05,6.849881e-05,7.904205e-05,8.731807e-05,8.817143e-05,9.602647e-05,1.019878e-04,1.027366e-04,1.084203e-04,1.125698e-04,1.131853e-04,1.171301e-04,1.198755e-04,1.203440e-04,1.229080e-04,1.245772e-04,1.248954e-04,1.263725e-04,1.272269e-04,1.273987e-04,1.280277e-04,1.282735e-04,1.283073e-04,1.282806e-04,1.280793e-04,1.279861e-04,1.274581e-04,1.269352e-04,1.267273e-04,1.258211e-04,1.250738e-04,1.247639e-04,1.235775e-04,1.226805e-04,1.222811e-04,1.208919e-04,1.199021e-04,1.194252e-04,1.178945e-04,1.168550e-04,1.163117e-04,1.146875e-04,1.136307e-04,1.130313e-04,1.113512e-04,1.103009e-04,1.096546e-04,1.079479e-04,1.069214e-04,1.062366e-04,1.045258e-04,1.035353e-04,1.028196e-04,1.011217e-04,1.001759e-04,9.943558e-05,9.776383e-05,9.686795e-05,9.610892e-05,9.447289e-05,9.363020e-05,9.285748e-05,9.126416e-05,9.047618e-05,8.969415e-05,8.814847e-05,8.741543e-05,8.662792e-05,8.513316e-05,8.445437e-05,8.366468e-05,8.222286e-05,8.159697e-05,8.080794e-05,7.942009e-05,7.884527e-05,7.805935e-05,7.672570e-05,7.619982e-05,7.541908e-05,7.413931e-05,7.366001e-05,7.288623e-05,7.165957e-05,7.122440e-05,7.045908e-05,6.928444e-05,6.889089e-05,6.813531e-05,6.701134e-05,6.665692e-05,6.591215e-05,6.483734e-05,6.451959e-05,6.378651e-05,6.275923e-05,6.247576e-05,6.175510e-05,6.077367e-05,6.052216e-05,5.981451e-05,5.887720e-05,5.865545e-05,5.796129e-05,5.706635e-05,5.687223e-05,5.619194e-05,5.533764e-05,5.516915e-05,5.450301e-05,5.368763e-05,5.354288e-05,5.289109e-05,5.211297e-05,5.199016e-05,5.135287e-05,5.061037e-05,5.050780e-05,4.988508e-05,4.917662e-05,4.909272e-05,4.848460e-05,4.780864e-05,4.774191e-05,4.714838e-05,4.650344e-05,4.645250e-05,4.587349e-05,4.525817e-05,4.522170e-05,4.465713e-05,4.407004e-05,4.404684e-05,4.349658e-05,4.293643e-05,4.292536e-05,4.238927e-05,4.185479e-05,4.083278e-05,3.985709e-05,3.892556e-05,3.803614e-05,3.718687e-05,3.637587e-05,3.560136e-05,3.486164e-05,3.415509e-05,3.348015e-05,3.283536e-05,3.221931e-05,3.163065e-05,3.106812e-05,3.053049e-05,3.001661e-05,2.952537e-05,2.905573e-05,2.860668e-05,2.817726e-05,2.776657e-05,2.737374e-05,2.699795e-05,2.663841e-05,2.629438e-05,2.596513e-05,2.564999e-05,2.534831e-05,2.505947e-05,2.478289e-05,2.451801e-05,2.426428e-05,2.402121e-05,2.378831e-05,2.356511e-05,2.335118e-05,2.314609e-05,2.294945e-05,2.276087e-05,2.258000e-05,2.240648e-05,2.223998e-05,2.208020e-05,2.192682e-05,2.177957e-05,2.163816e-05,2.150235e-05,2.137188e-05,2.124651e-05
0.000000e+00,1.057135e-09,1.192665e-08,1.241104e-08,6.765296e-08,2.213458e-07,2.307310e-07,5.481253e-07,9.586316e-07,9.867782e-07,1.461331e-06,1.881952e-06,1.917219e-06,2.338229e-06,2.685311e-06,2.722042e-06,3.069830e-06,3.347644e-06,3.383564e-06,3.665362e-06,3.883773e-06,3.917330e-06,4.141512e-06,4.309789e-06,4.339869e-06,4.514267e-06,4.640641e-06,4.666477e-06,4.798165e-06,4.889798e-06,4.910901e-06,5.006157e-06,5.069212e-06,5.085312e-06,5.149652e-06,5.189387e-06,5.200383e-06,5.238625e-06,5.259502e-06,5.265426e-06,5.281759e-06,5.287550e-06,5.288532e-06,5.286590e-06,5.280466e-06,5.276715e-06,5.259638e-06,5.244260e-06,5.236036e-06,5.206537e-06,5.184123e-06,5.171725e-06,5.132139e-06,5.104532e-06,5.088280e-06,5.040614e-06,5.009338e-06,4.989568e-06,4.935540e-06,4.901846e-06,4.878898e-06,4.819979e-06,4.784888e-06,4.759097e-06,4.696540e-06,4.660877e-06,4.632574e-06,4.567442e-06,4.531867e-06,4.501371e-06,4.434565e-06,4.399599e-06,4.367214e-06,4.299492e-06,4.265541e-06,4.231556e-06,4.163553e-06,4.130926e-06,4.095613e-06,4.027856e-06,3.996781e-06,3.960393e-06,3.893321e-06,3.863957e-06,3.826730e-06,3.760701e-06,3.733154e-06,3.695306e-06,3.630609e-06,3.604939e-06,3.566669e-06,3.503537e-06,3.479768e-06,3.441258e-06,3.379872e-06,3.357999e-06,3.319414e-06,3.259915e-06,3.239907e-06,3.201398e-06,3.143887e-06,3.125699e-06,3.087399e-06,3.031949e-06,3.015518e-06,2.977548e-06,2.924205e-06,2.909459e-06,2.871925e-06,2.820713e-06,2.807573e-06,2.770570e-06,2.721494e-06,2.709875e-06,2.673484e-06,2.626536e-06,2.616349e-06,2.580644e-06,2.535800e-06,2.526957e-06,2.491998e-06,2.449227e-06,2.441637e-06,2.407477e-06,2.366737e-06,2.360311e-06,2.326995e-06,2.288239e-06,2.282891e-06,2.250454e-06,2.213629e-06,2.209273e-06,2.177747e-06,2.142794e-06,2.139350e-06,2.108756e-06,2.075617e-06,2.073004e-06,2.043362e-06,2.011974e-06,2.010118e-06,1.981439e-06,1.951739e-06,1.950569e-06,1.922860e-06,1.894785e-06,1.894231e-06,1.867497e-06,1.840982e-06,1.790696e-06,1.743250e-06,1.698523e-06,1.656396e-06,1.616751e-06,1.579474e-06,1.544456e-06,1.511589e-06,1.480768e-06,1.451894e-06,1.424868e-06,1.399599e-06,1.375996e-06,1.353973e-06,1.333448e-06,1.314341e-06,1.296577e-06,1.280083e-06,1.264789e-06,1.250631e-06,1.237544e-06,1.225469e-06,1.214348e-06,1.204127e-06,1.194753e-06,1.186177e-06,1.178353e-06,1.171235e-06,1.164782e-06,1.158952e-06,1.153708e-06,1.149013e-06,1.144833e-06,1.141135e-06,1.137888e-06,1.135063e-06,1.132633e-06,1.130571e-06,1.128852e-06,1.127452e-06,1.126351e-06,1.125525e-06,1.124957e-06,1.124626e-06,1.124516e-06,1.124610e-06,1.124891e-06,1.125346e-06,1.125960e-06
0.000000e+00,5.282813e-08,8.596019e-07,8.984107e-07,5.847315e-06,2.214065e-05,2.321719e-05,6.391152e-05,1.279077e-04,1.327576e-04,2.228969e-04,3.137584e-04,3.217328e-04,4.201178e-04,5.048149e-04,5.139417e-04,6.018675e-04,6.741612e-04,6.836543e-04,7.594367e-04,8.199980e-04,8.294663e-04,8.940267e-04,9.442405e-04,9.534043e-04,1.007880e-03,1.049083e-03,1.057726e-03,1.103202e-03,1.136605e-03,1.144558e-03,1.182033e-03,1.208715e-03,1.215854e-03,1.246236e-03,1.267155e-03,1.273386e-03,1.297499e-03,1.313496e-03,1.318759e-03,1.337343e-03,1.349159e-03,1.353415e-03,1.367135e-03,1.375418e-03,1.378650e-03,1.388103e-03,1.393421e-03,1.395627e-03,1.401348e-03,1.404195e-03,1.405387e-03,1.407855e-03,1.408660e-03,1.408860e-03,1.408503e-03,1.407640e-03,1.406879e-03,1.404079e-03,1.401870e-03,1.400188e-03,1.395285e-03,1.392008e-03,1.389447e-03,1.382745e-03,1.378640e-03,1.375247e-03,1.367016e-03,1.362288e-03,1.358113e-03,1.348594e-03,1.343418e-03,1.338512e-03,1.327917e-03,1.322442e-03,1.316857e-03,1.305376e-03,1.299728e-03,1.293516e-03,1.281316e-03,1.275601e-03,1.268814e-03,1.256043e-03,1.250347e-03,1.243037e-03,1.229825e-03,1.224222e-03,1.216437e-03,1.202899e-03,1.197447e-03,1.189236e-03,1.175472e-03,1.170220e-03,1.161630e-03,1.147728e-03,1.142713e-03,1.133787e-03,1.119825e-03,1.115075e-03,1.105857e-03,1.091901e-03,1.087439e-03,1.077969e-03,1.064077e-03,1.059918e-03,1.050235e-03,1.036456e-03,1.032610e-03,1.022750e-03,1.009127e-03,1.005600e-03,9.955968e-04,9.821672e-04,9.789599e-04,9.688459e-04,9.556402e-04,9.527510e-04,9.425564e-04,9.296004e-04,9.270250e-04,9.167777e-04,9.040930e-04,9.018247e-04,8.915507e-04,8.791548e-04,8.771853e-04,8.669088e-04,8.548157e-04,8.531351e-04,8.428784e-04,8.310992e-04,8.296965e-04,8.194803e-04,8.080233e-04,8.068865e-04,7.967297e-04,7.856008e-04,7.847177e-04,7.746376e-04,7.638407e-04,7.631982e-04,7.532106e-04,7.427478e-04,7.423327e-04,7.324522e-04,7.223238e-04,7.221229e-04,7.123624e-04,7.025675e-04,6.836631e-04,6.654039e-04,6.477828e-04,6.307908e-04,6.144178e-04,5.986527e-04,5.834834e-04,5.688972e-04,5.548807e-04,5.414201e-04,5.285014e-04,5.161101e-04,5.042317e-04,4.928516e-04,4.819551e-04,4.715276e-04,4.615547e-04,4.520218e-04,4.429148e-04,4.342197e-04,4.259227e-04,4.180101e-04,4.104688e-04,4.032856e-04,3.964479e-04,3.899432e-04,3.837594e-04,3.778847e-04,3.723074e-04,3.670166e-04,3.620012e-04,3.572507e-04,3.527549e-04,3.485037e-04,3.444876e-04,3.406972e-04,3.371234e-04,3.337574e-04,3.305909e-04,3.276155e-04,3.248233e-04,3.222068e-04,3.197584e-04,3.174710e-04,3.153377e-04,3.133518e-04,3.115069e-04,3.097969e-04,3.082155e-04
0.000000e+00,2.525548e-06,5.663309e-05,5.957587e-05,5.117193e-04,2.265216e-03,2.384765e-03,6.813909e-03,1.321284e-02,1.367719e-02,2.206481e-02,3.039564e-02,3.113001e-02,4.026505e-02,4.821224e-02,4.906985e-02,5.729766e-02,6.394838e-02,6.480925e-02,7.153895e-02,7.668775e-02,7.747044e-02,8.261966e-02,8.636663e-02,8.702292e-02,9.072871e-02,9.328544e-02,9.379197e-02,9.627025e-02,9.787038e-02,9.822105e-02,9.970007e-02,1.005603e-01,1.007601e-01,1.014505e-01,1.017560e-01,1.018166e-01,1.018997e-01,1.018012e-01,1.017373e-01,1.013630e-01,1.009793e-01,1.008068e-01,1.000952e-01,9.951744e-02,9.925190e-02,9.829758e-02,9.759462e-02,9.725046e-02,9.612645e-02,9.534930e-02,9.493943e-02,9.370148e-02,9.288737e-02,9.242309e-02,9.111332e-02,9.028899e-02,8.978001e-02,8.842994e-02,8.761430e-02,8.706891e-02,8.570193e-02,8.490808e-02,8.433331e-02,8.296671e-02,8.220350e-02,8.160531e-02,8.025179e-02,7.952499e-02,7.890846e-02,7.757728e-02,7.689045e-02,7.625995e-02,7.495789e-02,7.431298e-02,7.367233e-02,7.240429e-02,7.180212e-02,7.115465e-02,6.992415e-02,6.936472e-02,6.871341e-02,6.752295e-02,6.700569e-02,6.635320e-02,6.520451e-02,6.472842e-02,6.407718e-02,6.297141e-02,6.253519e-02,6.188740e-02,6.082525e-02,6.042739e-02,5.978506e-02,5.876687e-02,5.840571e-02,5.777069e-02,5.679651e-02,5.647029e-02,5.584428e-02,5.491392e-02,5.462081e-02,5.400534e-02,5.311842e-02,5.285655e-02,5.225302e-02,5.140899e-02,5.117647e-02,5.058615e-02,4.978431e-02,4.957924e-02,4.900326e-02,4.824279e-02,4.806331e-02,4.750266e-02,4.678264e-02,4.662691e-02,4.608247e-02,4.540189e-02,4.526809e-02,4.474061e-02,4.409837e-02,4.398476e-02,4.347487e-02,4.286981e-02,4.277469e-02,4.228289e-02,4.171381e-02,4.163554e-02,4.116225e-02,4.062788e-02,4.056490e-02,4.011040e-02,3.960946e-02,3.956027e-02,3.912475e-02,3.865593e-02,3.861910e-02,3.820266e-02,3.776462e-02,3.773881e-02,3.734146e-02,3.693284e-02,3.691679e-02,3.653844e-02,3.615790e-02,3.615043e-02,3.579090e-02,3.543710e-02,3.477420e-02,3.415915e-02,3.358939e-02,3.306242e-02,3.257578e-02,3.212706e-02,3.171391e-02,3.133406e-02,3.098532e-02,3.066554e-02,3.037268e-02,3.010478e-02,2.985994e-02,2.963638e-02,2.943239e-02,2.924633e-02,2.907668e-02,2.892198e-02,2.878087e-02,2.865207e-02,2.853438e-02,2.842667e-02,2.832791e-02,2.823713e-02,2.815344e-02,2.807601e-02,2.800410e-02,2.793701e-02,2.787410e-02,2.781481e-02,2.775861e-02,2.770503e-02,2.765365e-02,2.760411e-02,2.755606e-02,2.750921e-02,2.746330e-02,2.741811e-02,2.737344e-02,2.732914e-02,2.728504e-02,2.724105e-02,2.719705e-02,2.715298e-02,2.710878e-02,2.706439e-02,2.701979e-02,2.697496e-02,2.692988e-02
0.000000e+00,5.641027e-08,9.517418e-07,9.951933e-07,6.633609e-06,2.579853e-05,2.708435e-05,7.672225e-05,1.573884e-04,1.635955e-04,2.805834e-04,3.999503e-04,4.104121e-04,5.381713e-04,6.447593e-04,6.559855e-04,7.609905e-04,8.424692e-04,8.528077e-04,9.320951e-04,9.910396e-04,9.998782e-04,1.057267e-03,1.098231e-03,1.105337e-03,1.145073e-03,1.172067e-03,1.177369e-03,1.203044e-03,1.219317e-03,1.222839e-03,1.237421e-03,1.245563e-03,1.247389e-03,1.253282e-03,1.255334e-03,1.255582e-03,1.254721e-03,1.252279e-03,1.251087e-03,1.245026e-03,1.239335e-03,1.236848e-03,1.226832e-03,1.218860e-03,1.215225e-03,1.202249e-03,1.192745e-03,1.188102e-03,1.172962e-03,1.162502e-03,1.156986e-03,1.140315e-03,1.129339e-03,1.123074e-03,1.105376e-03,1.094217e-03,1.087319e-03,1.068991e-03,1.057898e-03,1.050472e-03,1.031829e-03,1.020985e-03,1.013125e-03,9.944132e-04,9.839491e-04,9.757411e-04,9.571505e-04,9.471586e-04,9.386780e-04,9.203555e-04,9.108963e-04,9.022105e-04,8.842672e-04,8.753776e-04,8.665460e-04,8.490647e-04,8.407633e-04,8.318381e-04,8.148789e-04,8.071703e-04,7.981973e-04,7.818020e-04,7.746806e-04,7.656998e-04,7.498959e-04,7.433482e-04,7.343944e-04,7.191979e-04,7.132052e-04,7.043083e-04,6.897263e-04,6.842657e-04,6.754518e-04,6.614841e-04,6.565305e-04,6.478217e-04,6.344628e-04,6.299894e-04,6.214048e-04,6.086449e-04,6.046242e-04,5.961799e-04,5.840062e-04,5.804103e-04,5.721199e-04,5.605171e-04,5.573185e-04,5.491933e-04,5.381443e-04,5.353160e-04,5.273654e-04,5.168520e-04,5.143678e-04,5.065994e-04,4.966027e-04,4.944373e-04,4.868571e-04,4.773578e-04,4.754871e-04,4.680999e-04,4.590785e-04,4.574794e-04,4.502887e-04,4.417257e-04,4.403763e-04,4.333846e-04,4.252608e-04,4.241405e-04,4.173493e-04,4.096457e-04,4.087350e-04,4.021452e-04,3.948433e-04,3.941239e-04,3.877355e-04,3.808172e-04,3.802719e-04,3.740843e-04,3.675323e-04,3.671449e-04,3.611571e-04,3.549545e-04,3.547099e-04,3.489203e-04,3.430507e-04,3.429349e-04,3.373416e-04,3.317893e-04,3.212434e-04,3.112688e-04,3.018383e-04,2.929256e-04,2.845059e-04,2.765552e-04,2.690506e-04,2.619703e-04,2.552934e-04,2.490000e-04,2.430711e-04,2.374885e-04,2.322350e-04,2.272942e-04,2.226503e-04,2.182884e-04,2.141941e-04,2.103540e-04,2.067552e-04,2.033852e-04,2.002324e-04,1.972857e-04,1.945343e-04,1.919683e-04,1.895779e-04,1.873539e-04,1.852878e-04,1.833711e-04,1.815960e-04,1.799549e-04,1.784407e-04,1.770466e-04,1.757661e-04,1.745931e-04,1.735216e-04,1.725462e-04,1.716615e-04,1.708624e-04,1.701443e-04,1.695024e-04,1.689324e-04,1.684303e-04,1.679921e-04,1.676141e-04,1.672928e-04,1.670247e-04,1.668067e-04,1.666356e-04,1.665088e-04
0.000000e+00,8.280929e-08,1.438766e-06,1.504602e-06,1.004237e-05,3.961050e-05,4.162667e-05,1.222321e-04,2.641320e-04,2.756212e-04,5.088619e-04,7.829327e-04,8.088234e-04,1.150410e-03,1.472176e-03,1.508042e-03,1.861860e-03,2.159284e-03,2.198453e-03,2.509602e-03,2.753368e-03,2.790852e-03,3.040349e-03,3.225267e-03,3.257978e-03,3.444752e-03,3.576062e-03,3.602373e-03,3.732932e-03,3.819421e-03,3.838704e-03,3.922011e-03,3.972860e-03,3.985125e-03,4.030218e-03,4.053694e-03,4.059325e-03,4.074324e-03,4.077360e-03,4.076938e-03,4.068726e-03,4.056907e-03,4.051097e-03,4.025314e-03,4.003022e-03,3.992503e-03,3.953671e-03,3.924284e-03,3.909707e-03,3.861403e-03,3.827486e-03,3.809455e-03,3.754479e-03,3.717959e-03,3.697018e-03,3.637550e-03,3.599857e-03,3.576493e-03,3.514217e-03,3.476402e-03,3.451044e-03,3.387258e-03,3.350080e-03,3.323107e-03,3.258807e-03,3.222805e-03,3.194546e-03,3.130491e-03,3.096037e-03,3.066783e-03,3.003546e-03,2.970886e-03,2.940889e-03,2.878903e-03,2.848187e-03,2.817668e-03,2.757251e-03,2.728558e-03,2.697709e-03,2.639091e-03,2.612448e-03,2.581437e-03,2.524779e-03,2.500172e-03,2.469144e-03,2.414553e-03,2.391941e-03,2.361022e-03,2.308563e-03,2.287881e-03,2.257182e-03,2.206884e-03,2.188055e-03,2.157669e-03,2.109538e-03,2.092474e-03,2.062484e-03,2.016502e-03,2.001111e-03,1.971585e-03,1.927722e-03,1.913906e-03,1.884902e-03,1.843115e-03,1.830777e-03,1.802345e-03,1.762580e-03,1.751624e-03,1.723805e-03,1.686004e-03,1.676333e-03,1.649161e-03,1.613260e-03,1.604782e-03,1.578283e-03,1.544216e-03,1.536841e-03,1.511039e-03,1.478735e-03,1.472378e-03,1.447288e-03,1.416680e-03,1.411258e-03,1.386893e-03,1.357911e-03,1.353347e-03,1.329715e-03,1.302288e-03,1.298509e-03,1.275614e-03,1.249676e-03,1.246612e-03,1.224457e-03,1.199940e-03,1.197526e-03,1.176109e-03,1.152948e-03,1.151124e-03,1.130441e-03,1.108574e-03,1.107281e-03,1.087329e-03,1.066693e-03,1.065880e-03,1.046650e-03,1.027186e-03,1.026802e-03,1.008287e-03,9.899379e-04,9.551786e-04,9.224214e-04,8.915672e-04,8.625209e-04,8.351920e-04,8.094935e-04,7.853426e-04,7.626601e-04,7.413706e-04,7.214022e-04,7.026862e-04,6.851576e-04,6.687542e-04,6.534169e-04,6.390894e-04,6.257184e-04,6.132529e-04,6.016448e-04,5.908480e-04,5.808189e-04,5.715161e-04,5.629002e-04,5.549338e-04,5.475814e-04,5.408092e-04,5.345851e-04,5.288788e-04,5.236613e-04,5.189052e-04,5.145845e-04,5.106744e-04,5.071515e-04,5.039934e-04,5.011791e-04,4.986883e-04,4.965022e-04,4.946025e-04,4.929720e-04,4.915946e-04,4.904547e-04,4.895376e-04,4.888294e-04,4.883169e-04,4.879875e-04,4.878294e-04,4.878313e-04,4.879825e-04,4.882727e-04,4.886925e-04
0.000000e+00,7.104778e-08,1.300296e-06,1.362230e-06,9.747398e-06,3.846207e-05,4.035881e-05,1.096116e-04,2.057859e-04,2.124517e-04,3.232055e-04,4.142839e-04,4.214372e-04,4.995091e-04,5.524524e-04,5.574084e-04,5.980538e-04,6.223368e-04,6.249482e-04,6.412639e-04,6.488273e-04,6.495936e-04,6.519568e-04,6.504695e-04,6.498937e-04,6.445674e-04,6.383864e-04,6.368537e-04,6.274126e-04,6.189549e-04,6.167419e-04,6.052183e-04,5.958242e-04,5.931274e-04,5.806857e-04,5.710983e-04,5.680579e-04,5.553678e-04,5.459892e-04,5.427026e-04,5.301320e-04,5.211738e-04,5.177152e-04,5.054929e-04,4.970687e-04,4.934936e-04,4.817371e-04,4.738886e-04,4.702371e-04,4.590021e-04,4.517344e-04,4.480366e-04,4.373428e-04,4.306417e-04,4.269213e-04,4.167710e-04,4.106129e-04,4.068893e-04,3.972730e-04,3.916289e-04,3.879180e-04,3.788198e-04,3.736587e-04,3.699737e-04,3.613743e-04,3.566645e-04,3.530164e-04,3.448945e-04,3.406050e-04,3.370032e-04,3.293370e-04,3.254376e-04,3.218902e-04,3.146574e-04,3.111196e-04,3.076332e-04,3.008122e-04,2.976087e-04,2.941890e-04,2.877585e-04,2.848637e-04,2.815154e-04,2.754548e-04,2.728446e-04,2.695717e-04,2.638612e-04,2.615131e-04,2.583186e-04,2.529393e-04,2.508322e-04,2.477187e-04,2.426523e-04,2.407667e-04,2.377360e-04,2.329654e-04,2.312828e-04,2.283364e-04,2.238450e-04,2.223485e-04,2.194872e-04,2.152594e-04,2.139333e-04,2.111577e-04,2.071785e-04,2.060082e-04,2.033184e-04,1.995738e-04,1.985456e-04,1.959414e-04,1.924181e-04,1.915195e-04,1.890005e-04,1.856857e-04,1.849051e-04,1.824707e-04,1.793525e-04,1.786792e-04,1.763283e-04,1.733953e-04,1.728195e-04,1.705510e-04,1.677926e-04,1.673051e-04,1.651177e-04,1.625239e-04,1.621162e-04,1.600086e-04,1.575697e-04,1.572342e-04,1.552048e-04,1.529117e-04,1.526413e-04,1.506885e-04,1.485329e-04,1.483209e-04,1.464429e-04,1.444167e-04,1.442573e-04,1.424524e-04,1.405480e-04,1.404356e-04,1.387019e-04,1.369123e-04,1.368418e-04,1.351774e-04,1.334958e-04,1.334627e-04,1.318657e-04,1.302858e-04,1.272993e-04,1.244921e-04,1.218539e-04,1.193747e-04,1.170454e-04,1.148570e-04,1.128014e-04,1.108709e-04,1.090580e-04,1.073560e-04,1.057583e-04,1.042587e-04,1.028516e-04,1.015315e-04,1.002933e-04,9.913224e-05,9.804369e-05,9.702341e-05,9.606740e-05,9.517185e-05,9.433322e-05,9.354813e-05,9.281344e-05,9.212615e-05,9.148346e-05,9.088274e-05,9.032150e-05,8.979739e-05,8.930821e-05,8.885189e-05,8.842646e-05,8.803008e-05,8.766103e-05,8.731767e-05,8.699845e-05,8.670194e-05,8.642676e-05,8.617164e-05,8.593536e-05,8.571678e-05,8.551483e-05,8.532850e-05,8.515684e-05,8.499896e-05,8.485399e-05,8.472116e-05,8.459972e-05,8.448895e-05,8.438820e-05
0.000000e+00,3.569043e-10,3.771683e-09,3.920890e-09,2.089922e-08,6.950875e-08,7.253692e-08,1.778764e-07,3.200691e-07,3.299925e-07,4.993795e-07,6.511843e-07,6.639313e-07,8.159660e-07,9.408437e-07,9.540245e-07,1.078440e-06,1.177269e-06,1.190008e-06,1.289616e-06,1.366387e-06,1.378147e-06,1.456444e-06,1.514890e-06,1.525305e-06,1.585477e-06,1.628828e-06,1.637662e-06,1.682511e-06,1.713519e-06,1.720633e-06,1.752592e-06,1.773582e-06,1.778915e-06,1.800088e-06,1.813015e-06,1.816564e-06,1.828761e-06,1.835258e-06,1.837062e-06,1.841825e-06,1.843248e-06,1.843377e-06,1.842025e-06,1.839501e-06,1.838048e-06,1.831703e-06,1.826159e-06,1.823229e-06,1.812844e-06,1.805043e-06,1.800752e-06,1.787136e-06,1.777702e-06,1.772168e-06,1.756004e-06,1.745444e-06,1.738787e-06,1.720649e-06,1.709375e-06,1.701712e-06,1.682085e-06,1.670427e-06,1.661872e-06,1.641163e-06,1.629382e-06,1.620045e-06,1.598593e-06,1.586896e-06,1.576879e-06,1.554967e-06,1.543515e-06,1.532916e-06,1.510778e-06,1.499692e-06,1.488602e-06,1.466430e-06,1.455802e-06,1.444303e-06,1.422257e-06,1.412151e-06,1.400322e-06,1.378527e-06,1.368989e-06,1.356899e-06,1.335461e-06,1.326518e-06,1.314232e-06,1.293230e-06,1.284897e-06,1.272472e-06,1.251972e-06,1.244252e-06,1.231741e-06,1.211791e-06,1.204679e-06,1.192129e-06,1.172765e-06,1.166249e-06,1.153703e-06,1.134949e-06,1.129014e-06,1.116508e-06,1.098383e-06,1.093007e-06,1.080575e-06,1.063087e-06,1.058248e-06,1.045919e-06,1.029071e-06,1.024743e-06,1.012544e-06,9.963348e-07,9.924920e-07,9.804434e-07,9.648676e-07,9.614830e-07,9.496051e-07,9.346533e-07,9.317000e-07,9.200094e-07,9.056700e-07,9.031211e-07,8.916319e-07,8.778913e-07,8.757202e-07,8.644445e-07,8.512875e-07,8.494684e-07,8.384160e-07,8.258260e-07,8.243340e-07,8.135131e-07,8.014729e-07,8.002837e-07,7.897009e-07,7.781925e-07,7.772831e-07,7.669432e-07,7.559485e-07,7.552968e-07,7.452037e-07,7.347042e-07,7.342893e-07,7.244454e-07,7.144227e-07,7.142247e-07,7.046316e-07,6.950674e-07,6.767823e-07,6.593347e-07,6.426905e-07,6.268167e-07,6.116809e-07,5.972516e-07,5.834985e-07,5.703921e-07,5.579039e-07,5.460066e-07,5.346738e-07,5.238800e-07,5.136008e-07,5.038130e-07,4.944939e-07,4.856221e-07,4.771769e-07,4.691387e-07,4.614886e-07,4.542085e-07,4.472811e-07,4.406901e-07,4.344195e-07,4.284544e-07,4.227805e-07,4.173840e-07,4.122518e-07,4.073716e-07,4.027313e-07,3.983197e-07,3.941259e-07,3.901397e-07,3.863510e-07,3.827507e-07,3.793298e-07,3.760797e-07,3.729923e-07,3.700599e-07,3.672752e-07,3.646310e-07,3.621208e-07,3.597380e-07,3.574767e-07,3.553311e-07,3.532955e-07,3.513649e-07,3.495341e-07,3.477985e-07,3.461534e-07
0.000000e+00,1.246491e-04,2.576208e-03,2.705133e-03,2.195951e-02,1.001832e-01,1.058096e-01,3.422333e-01,7.729541e-01,8.078579e-01,1.512964e+00,2.343155e+00,2.422357e+00,3.490955e+00,4.553900e+00,4.676654e+00,5.942948e+00,7.099307e+00,7.258955e+00,8.598881e+00,9.753984e+00,9.941404e+00,1.126909e+01,1.236250e+01,1.256787e+01,1.382656e+01,1.482259e+01,1.503645e+01,1.619096e+01,1.707139e+01,1.728526e+01,1.831606e+01,1.907465e+01,1.928132e+01,2.018004e+01,2.081847e+01,2.101210e+01,2.177808e+01,2.230302e+01,2.247912e+01,2.311680e+01,2.353776e+01,2.369304e+01,2.421004e+01,2.453795e+01,2.467017e+01,2.507597e+01,2.532221e+01,2.543005e+01,2.573511e+01,2.591091e+01,2.599386e+01,2.620899e+01,2.632500e+01,2.638313e+01,2.651887e+01,2.658484e+01,2.661870e+01,2.668502e+01,2.670970e+01,2.672015e+01,2.672632e+01,2.671745e+01,2.670562e+01,2.666007e+01,2.662443e+01,2.659159e+01,2.650197e+01,2.644539e+01,2.639292e+01,2.626605e+01,2.619354e+01,2.612287e+01,2.596482e+01,2.588063e+01,2.579322e+01,2.560933e+01,2.551705e+01,2.541433e+01,2.520930e+01,2.511192e+01,2.499529e+01,2.477324e+01,2.467323e+01,2.454406e+01,2.430857e+01,2.420797e+01,2.406756e+01,2.382174e+01,2.372222e+01,2.357179e+01,2.331834e+01,2.322123e+01,2.306197e+01,2.280321e+01,2.270957e+01,2.254256e+01,2.228049e+01,2.219114e+01,2.201743e+01,2.175377e+01,2.166934e+01,2.148988e+01,2.122610e+01,2.114704e+01,2.096275e+01,2.070010e+01,2.062672e+01,2.043842e+01,2.017797e+01,2.011048e+01,1.991896e+01,1.966159e+01,1.960009e+01,1.940607e+01,1.915255e+01,1.909706e+01,1.890120e+01,1.865216e+01,1.860264e+01,1.840556e+01,1.816151e+01,1.811787e+01,1.792014e+01,1.768152e+01,1.764361e+01,1.744576e+01,1.721292e+01,1.718056e+01,1.698307e+01,1.675629e+01,1.672928e+01,1.653261e+01,1.631210e+01,1.629022e+01,1.609478e+01,1.588070e+01,1.586372e+01,1.566989e+01,1.546237e+01,1.545002e+01,1.525815e+01,1.505726e+01,1.504930e+01,1.485971e+01,1.466551e+01,1.466166e+01,1.447465e+01,1.428715e+01,1.392578e+01,1.357749e+01,1.324221e+01,1.291983e+01,1.261020e+01,1.231317e+01,1.202855e+01,1.175614e+01,1.149572e+01,1.124707e+01,1.100994e+01,1.078409e+01,1.056924e+01,1.036515e+01,1.017153e+01,9.988112e+00,9.814606e+00,9.650729e+00,9.496193e+00,9.350703e+00,9.213969e+00,9.085693e+00,8.965580e+00,8.853335e+00,8.748661e+00,8.651264e+00,8.560851e+00,8.477129e+00,8.399810e+00,8.328607e+00,8.263236e+00,8.203417e+00,8.148875e+00,8.099339e+00,8.054541e+00,8.014222e+00,7.978124e+00,7.946000e+00,7.917605e+00,7.892702e+00,7.871061e+00,7.852461e+00,7.836684e+00,7.823522e+00,7.812774e+00,7.804249e+00,7.797759e+00,7.793129e+00,7.790187e+00
0.000000e+00,2.485747e-07,4.277151e-06,4.469903e-06,2.836429e-05,1.054514e-04,1.105594e-04,3.082467e-04,6.422942e-04,6.689133e-04,1.200870e-03,1.813059e-03,1.870478e-03,2.625333e-03,3.336632e-03,3.416149e-03,4.204648e-03,4.874808e-03,4.963663e-03,5.675124e-03,6.240331e-03,6.327925e-03,6.916115e-03,7.358562e-03,7.437483e-03,7.892457e-03,8.217522e-03,8.283276e-03,8.613363e-03,8.836479e-03,8.886868e-03,9.108322e-03,9.247928e-03,9.282397e-03,9.413728e-03,9.487720e-03,9.506800e-03,9.565866e-03,9.590030e-03,9.594900e-03,9.597579e-03,9.585088e-03,9.577263e-03,9.537007e-03,9.498448e-03,9.479562e-03,9.407397e-03,9.351053e-03,9.322717e-03,9.227477e-03,9.159683e-03,9.123408e-03,9.012037e-03,8.937552e-03,8.894702e-03,8.772579e-03,8.694912e-03,8.646691e-03,8.517932e-03,8.439624e-03,8.387075e-03,8.254792e-03,8.177646e-03,8.121661e-03,7.988183e-03,7.913445e-03,7.854784e-03,7.721832e-03,7.650336e-03,7.589640e-03,7.458473e-03,7.390747e-03,7.328556e-03,7.200080e-03,7.136432e-03,7.073202e-03,6.948055e-03,6.888632e-03,6.824748e-03,6.703371e-03,6.648205e-03,6.583994e-03,6.466675e-03,6.415718e-03,6.351456e-03,6.238372e-03,6.191518e-03,6.127444e-03,6.018687e-03,5.975795e-03,5.912111e-03,5.807714e-03,5.768615e-03,5.705496e-03,5.605444e-03,5.569955e-03,5.507549e-03,5.411793e-03,5.379721e-03,5.318159e-03,5.226625e-03,5.197774e-03,5.137168e-03,5.049763e-03,5.023938e-03,4.964384e-03,4.881003e-03,4.858010e-03,4.799590e-03,4.720116e-03,4.699767e-03,4.642550e-03,4.566861e-03,4.548972e-03,4.493017e-03,4.420987e-03,4.405380e-03,4.350738e-03,4.282238e-03,4.268745e-03,4.215455e-03,4.150356e-03,4.138815e-03,4.086909e-03,4.025082e-03,4.015337e-03,3.964842e-03,3.906157e-03,3.898063e-03,3.848995e-03,3.793325e-03,3.786743e-03,3.739116e-03,3.686336e-03,3.681135e-03,3.634955e-03,3.584943e-03,3.581000e-03,3.536269e-03,3.488905e-03,3.486104e-03,3.442821e-03,3.397989e-03,3.396221e-03,3.354380e-03,3.311967e-03,3.311130e-03,3.270721e-03,3.230617e-03,3.154473e-03,3.082499e-03,3.014500e-03,2.950290e-03,2.889688e-03,2.832523e-03,2.778627e-03,2.727841e-03,2.680011e-03,2.634991e-03,2.592640e-03,2.552823e-03,2.515411e-03,2.480280e-03,2.447314e-03,2.416398e-03,2.387425e-03,2.360293e-03,2.334903e-03,2.311161e-03,2.288978e-03,2.268269e-03,2.248952e-03,2.230951e-03,2.214191e-03,2.198602e-03,2.184117e-03,2.170672e-03,2.158208e-03,2.146665e-03,2.135990e-03,2.126130e-03,2.117036e-03,2.108660e-03,2.100958e-03,2.093887e-03,2.087407e-03,2.081480e-03,2.076069e-03,2.071141e-03,2.066661e-03,2.062601e-03,2.058930e-03,2.055621e-03,2.052647e-03,2.049984e-03,2.047608e-03,2.045498e-03,2.043632e-03
0.000000e+00,9.055267e-08,1.727512e-06,1.810962e-06,1.348883e-05,5.639734e-05,5.934758e-05,1.757101e-04,3.679206e-04,3.827411e-04,6.625616e-04,9.506147e-04,9.760382e-04,1.288566e-03,1.550506e-03,1.578018e-03,1.832900e-03,2.025062e-03,2.048903e-03,2.226103e-03,2.349351e-03,2.367029e-03,2.475415e-03,2.544361e-03,2.555430e-03,2.611225e-03,2.641641e-03,2.646685e-03,2.665302e-03,2.670141e-03,2.670138e-03,2.663821e-03,2.652597e-03,2.648577e-03,2.626267e-03,2.605545e-03,2.598434e-03,2.566345e-03,2.540476e-03,2.531035e-03,2.493345e-03,2.465119e-03,2.453950e-03,2.413394e-03,2.384548e-03,2.372107e-03,2.330433e-03,2.302013e-03,2.288641e-03,2.246941e-03,2.219550e-03,2.205495e-03,2.164430e-03,2.138393e-03,2.123841e-03,2.083799e-03,2.059271e-03,2.044356e-03,2.005550e-03,1.982583e-03,1.967406e-03,1.929943e-03,1.908530e-03,1.893169e-03,1.857091e-03,1.837191e-03,1.821709e-03,1.787021e-03,1.768576e-03,1.753022e-03,1.719708e-03,1.702652e-03,1.687070e-03,1.655102e-03,1.639366e-03,1.623794e-03,1.593137e-03,1.578651e-03,1.563123e-03,1.533742e-03,1.520437e-03,1.504985e-03,1.476841e-03,1.464650e-03,1.449303e-03,1.422359e-03,1.411218e-03,1.396002e-03,1.370221e-03,1.360068e-03,1.345007e-03,1.320351e-03,1.311126e-03,1.296244e-03,1.272676e-03,1.264322e-03,1.249638e-03,1.227122e-03,1.219583e-03,1.205118e-03,1.183617e-03,1.176842e-03,1.162611e-03,1.142090e-03,1.136027e-03,1.122046e-03,1.102470e-03,1.097072e-03,1.083354e-03,1.064688e-03,1.059908e-03,1.046465e-03,1.028676e-03,1.024471e-03,1.011313e-03,9.943674e-04,9.906946e-04,9.778310e-04,9.616957e-04,9.585161e-04,9.459538e-04,9.305973e-04,9.278735e-04,9.156185e-04,9.010098e-04,8.987062e-04,8.867634e-04,8.728721e-04,8.709552e-04,8.593284e-04,8.461251e-04,8.445633e-04,8.332552e-04,8.207115e-04,8.194748e-04,8.084871e-04,7.965754e-04,7.956357e-04,7.849695e-04,7.736629e-04,7.729939e-04,7.626492e-04,7.519220e-04,7.514988e-04,7.414751e-04,7.313023e-04,7.311016e-04,7.213976e-04,7.117551e-04,6.934140e-04,6.760345e-04,6.595744e-04,6.439932e-04,6.292518e-04,6.153128e-04,6.021401e-04,5.896991e-04,5.779566e-04,5.668807e-04,5.564408e-04,5.466075e-04,5.373528e-04,5.286496e-04,5.204720e-04,5.127954e-04,5.055959e-04,4.988507e-04,4.925381e-04,4.866372e-04,4.811280e-04,4.759914e-04,4.712090e-04,4.667633e-04,4.626375e-04,4.588156e-04,4.552820e-04,4.520222e-04,4.490221e-04,4.462681e-04,4.437474e-04,4.414476e-04,4.393571e-04,4.374645e-04,4.357590e-04,4.342304e-04,4.328688e-04,4.316648e-04,4.306095e-04,4.296943e-04,4.289110e-04,4.282517e-04,4.277090e-04,4.272759e-04,4.269454e-04,4.267112e-04,4.265670e-04,4.265069e-04,4.265254e-04
0.000000e+00,1.110812e-07,2.003414e-06,2.098861e-06,1.510665e-05,6.007645e-05,6.306267e-05,1.736941e-04,3.344317e-04,3.459706e-04,5.488113e-04,7.403599e-04,7.568877e-04,9.597681e-04,1.135237e-03,1.154282e-03,1.339671e-03,1.495214e-03,1.515877e-03,1.683049e-03,1.819753e-03,1.841401e-03,1.991181e-03,2.110565e-03,2.132653e-03,2.266089e-03,2.369705e-03,2.391767e-03,2.509964e-03,2.599322e-03,2.620957e-03,2.725019e-03,2.801547e-03,2.822416e-03,2.913411e-03,2.978441e-03,2.998256e-03,3.077200e-03,3.131961e-03,3.150483e-03,3.218338e-03,3.263960e-03,3.280991e-03,3.338660e-03,3.376177e-03,3.391557e-03,3.439887e-03,3.470243e-03,3.483846e-03,3.523627e-03,3.547682e-03,3.559412e-03,3.591382e-03,3.609919e-03,3.619706e-03,3.644551e-03,3.658279e-03,3.666078e-03,3.684440e-03,3.694001e-03,3.699787e-03,3.712261e-03,3.718235e-03,3.722001e-03,3.729140e-03,3.732050e-03,3.733807e-03,3.736123e-03,3.736439e-03,3.736208e-03,3.734177e-03,3.732321e-03,3.730139e-03,3.724200e-03,3.720550e-03,3.716462e-03,3.707021e-03,3.701913e-03,3.695974e-03,3.683408e-03,3.677143e-03,3.669412e-03,3.654069e-03,3.646912e-03,3.637459e-03,3.619659e-03,3.611845e-03,3.600742e-03,3.580779e-03,3.572517e-03,3.559839e-03,3.537986e-03,3.529456e-03,3.515283e-03,3.491790e-03,3.483150e-03,3.467564e-03,3.442661e-03,3.434048e-03,3.417132e-03,3.391029e-03,3.382562e-03,3.364399e-03,3.337290e-03,3.329070e-03,3.309744e-03,3.281805e-03,3.273917e-03,3.253513e-03,3.224906e-03,3.217421e-03,3.196021e-03,3.166894e-03,3.159871e-03,3.137558e-03,3.108044e-03,3.101531e-03,3.078385e-03,3.048608e-03,3.042641e-03,3.018741e-03,2.988811e-03,2.983419e-03,2.958844e-03,2.928862e-03,2.924065e-03,2.898888e-03,2.868945e-03,2.864756e-03,2.839052e-03,2.809229e-03,2.805656e-03,2.779494e-03,2.749865e-03,2.746909e-03,2.720359e-03,2.690990e-03,2.688647e-03,2.661773e-03,2.632723e-03,2.630986e-03,2.603853e-03,2.575174e-03,2.574031e-03,2.546699e-03,2.518437e-03,2.517874e-03,2.490401e-03,2.462598e-03,2.408273e-03,2.354962e-03,2.302719e-03,2.251591e-03,2.201615e-03,2.152826e-03,2.105248e-03,2.058904e-03,2.013810e-03,1.969976e-03,1.927410e-03,1.886116e-03,1.846094e-03,1.807341e-03,1.769850e-03,1.733613e-03,1.698621e-03,1.664860e-03,1.632315e-03,1.600970e-03,1.570808e-03,1.541811e-03,1.513957e-03,1.487226e-03,1.461596e-03,1.437045e-03,1.413549e-03,1.391086e-03,1.369630e-03,1.349157e-03,1.329643e-03,1.311064e-03,1.293393e-03,1.276606e-03,1.260679e-03,1.245585e-03,1.231301e-03,1.217801e-03,1.205062e-03,1.193058e-03,1.181765e-03,1.171160e-03,1.161220e-03,1.151920e-03,1.143238e-03,1.135151e-03,1.127637e-03,1.120675e-03,1.114242e-03
0.000000e+00,4.122544e-07,8.731339e-06,9.161660e-06,6.735224e-05,2.634108e-04,2.763728e-04,7.666050e-04,1.546450e-03,1.606344e-03,2.750749e-03,3.980203e-03,4.092121e-03,5.524060e-03,6.821313e-03,6.963800e-03,8.352876e-03,9.502311e-03,9.652680e-03,1.083974e-02,1.176080e-02,1.190171e-02,1.283427e-02,1.351837e-02,1.363863e-02,1.431977e-02,1.479154e-02,1.488515e-02,1.534367e-02,1.564000e-02,1.570494e-02,1.597875e-02,1.613781e-02,1.617472e-02,1.630200e-02,1.635809e-02,1.636916e-02,1.638409e-02,1.636575e-02,1.635394e-02,1.628515e-02,1.621492e-02,1.618342e-02,1.605380e-02,1.594886e-02,1.590070e-02,1.572799e-02,1.560106e-02,1.553900e-02,1.533661e-02,1.519690e-02,1.512329e-02,1.490118e-02,1.475526e-02,1.467209e-02,1.443759e-02,1.429007e-02,1.419900e-02,1.395746e-02,1.381154e-02,1.371395e-02,1.346930e-02,1.332717e-02,1.322423e-02,1.297935e-02,1.284251e-02,1.273520e-02,1.249223e-02,1.236166e-02,1.225084e-02,1.201137e-02,1.188771e-02,1.177412e-02,1.153936e-02,1.142298e-02,1.130730e-02,1.107815e-02,1.096924e-02,1.085208e-02,1.062923e-02,1.052783e-02,1.040972e-02,1.019367e-02,1.009973e-02,9.981177e-03,9.772306e-03,9.685678e-03,9.567125e-03,9.365686e-03,9.286167e-03,9.168028e-03,8.974181e-03,8.901524e-03,8.784168e-03,8.598000e-03,8.531922e-03,8.415682e-03,8.237212e-03,8.177407e-03,8.062582e-03,7.891777e-03,7.837925e-03,7.724779e-03,7.561563e-03,7.513332e-03,7.402101e-03,7.246361e-03,7.203417e-03,7.094309e-03,6.945904e-03,6.907912e-03,6.801108e-03,6.659876e-03,6.626506e-03,6.522164e-03,6.387924e-03,6.358852e-03,6.257108e-03,6.129666e-03,6.104579e-03,6.005549e-03,5.884704e-03,5.863295e-03,5.767079e-03,5.652623e-03,5.634600e-03,5.541281e-03,5.433002e-03,5.418084e-03,5.327732e-03,5.225417e-03,5.213335e-03,5.126005e-03,5.029443e-03,5.019942e-03,4.935680e-03,4.844661e-03,4.837497e-03,4.756337e-03,4.670656e-03,4.665598e-03,4.587567e-03,4.507021e-03,4.503851e-03,4.428967e-03,4.353358e-03,4.351870e-03,4.280145e-03,4.209280e-03,4.075714e-03,3.950817e-03,3.834247e-03,3.725670e-03,3.624763e-03,3.531217e-03,3.444731e-03,3.365013e-03,3.291783e-03,3.224769e-03,3.163709e-03,3.108347e-03,3.058437e-03,3.013739e-03,2.974020e-03,2.939055e-03,2.908623e-03,2.882508e-03,2.860501e-03,2.842397e-03,2.827996e-03,2.817101e-03,2.809519e-03,2.805061e-03,2.803543e-03,2.804782e-03,2.808599e-03,2.814820e-03,2.823272e-03,2.833785e-03,2.846196e-03,2.860340e-03,2.876059e-03,2.893199e-03,2.911606e-03,2.931135e-03,2.951640e-03,2.972984e-03,2.995031e-03,3.017650e-03,3.040718e-03,3.064113e-03,3.087721e-03,3.111433e-03,3.135144e-03,3.158756e-03,3.182178e-03,3.205323e-03,3.228111e-03
0.000000e+00,6.032473e-08,1.281424e-06,1.346485e-06,1.089469e-05,4.625509e-05,4.865205e-05,1.389759e-04,2.730937e-04,2.828519e-04,4.574953e-04,6.269488e-04,6.417102e-04,8.237409e-04,9.811946e-04,9.982276e-04,1.163040e-03,1.299540e-03,1.317530e-03,1.461698e-03,1.577634e-03,1.595820e-03,1.720277e-03,1.817658e-03,1.835488e-03,1.941888e-03,2.022870e-03,2.039917e-03,2.130007e-03,2.196647e-03,2.212579e-03,2.288038e-03,2.342208e-03,2.356772e-03,2.419155e-03,2.462537e-03,2.475542e-03,2.526273e-03,2.560363e-03,2.571671e-03,2.612044e-03,2.638166e-03,2.647684e-03,2.678870e-03,2.698191e-03,2.705865e-03,2.728921e-03,2.742470e-03,2.748275e-03,2.764154e-03,2.772835e-03,2.776773e-03,2.786334e-03,2.790938e-03,2.793031e-03,2.797046e-03,2.798266e-03,2.798554e-03,2.797718e-03,2.796156e-03,2.794694e-03,2.789629e-03,2.785812e-03,2.782664e-03,2.773930e-03,2.768314e-03,2.763553e-03,2.751651e-03,2.744629e-03,2.738335e-03,2.723713e-03,2.715627e-03,2.707884e-03,2.690943e-03,2.682084e-03,2.672980e-03,2.654078e-03,2.644696e-03,2.634319e-03,2.613777e-03,2.604085e-03,2.592524e-03,2.570626e-03,2.560803e-03,2.548147e-03,2.525147e-03,2.515346e-03,2.501683e-03,2.477806e-03,2.468151e-03,2.453567e-03,2.429013e-03,2.419610e-03,2.404189e-03,2.379135e-03,2.370067e-03,2.353890e-03,2.328492e-03,2.319828e-03,2.302974e-03,2.277370e-03,2.269163e-03,2.251708e-03,2.226018e-03,2.218310e-03,2.200326e-03,2.174657e-03,2.167476e-03,2.149033e-03,2.123476e-03,2.116845e-03,2.098007e-03,2.072644e-03,2.066575e-03,2.047404e-03,2.022304e-03,2.016803e-03,1.997359e-03,1.972582e-03,1.967648e-03,1.947986e-03,1.923584e-03,1.919212e-03,1.899385e-03,1.875400e-03,1.871583e-03,1.851638e-03,1.828108e-03,1.824833e-03,1.804817e-03,1.781772e-03,1.779023e-03,1.758979e-03,1.736443e-03,1.734204e-03,1.714171e-03,1.692166e-03,1.690417e-03,1.670432e-03,1.648972e-03,1.647694e-03,1.627791e-03,1.606889e-03,1.606059e-03,1.586270e-03,1.565935e-03,1.565532e-03,1.545886e-03,1.526123e-03,1.487840e-03,1.450685e-03,1.414657e-03,1.379749e-03,1.345954e-03,1.313261e-03,1.281656e-03,1.251124e-03,1.221649e-03,1.193211e-03,1.165791e-03,1.139369e-03,1.113924e-03,1.089433e-03,1.065874e-03,1.043225e-03,1.021462e-03,1.000563e-03,9.805037e-04,9.612618e-04,9.428140e-04,9.251377e-04,9.082100e-04,8.920087e-04,8.765117e-04,8.616973e-04,8.475439e-04,8.340308e-04,8.211371e-04,8.088428e-04,7.971279e-04,7.859733e-04,7.753597e-04,7.652689e-04,7.556827e-04,7.465835e-04,7.379541e-04,7.297777e-04,7.220382e-04,7.147195e-04,7.078062e-04,7.012834e-04,6.951363e-04,6.893509e-04,6.839133e-04,6.788100e-04,6.740282e-04,6.695551e-04,6.653784e-04
0.000000e+00,3.382640e-06,6.602681e-05,6.922784e-05,5.191825e-04,2.208317e-03,2.326334e-03,7.149840e-03,1.580302e-02,1.650600e-02,3.080186e-02,4.778075e-02,4.940463e-02,7.133446e-02,9.313365e-02,9.564799e-02,1.215317e-01,1.450661e-01,1.483067e-01,1.754154e-01,1.986478e-01,2.024047e-01,2.289116e-01,2.505928e-01,2.546492e-01,2.793954e-01,2.988281e-01,3.029821e-01,3.252871e-01,3.421503e-01,3.462257e-01,3.657452e-01,3.799672e-01,3.838187e-01,4.004403e-01,4.121083e-01,4.156215e-01,4.293875e-01,4.386838e-01,4.417739e-01,4.528245e-01,4.599815e-01,4.625890e-01,4.711220e-01,4.763933e-01,4.784815e-01,4.847269e-01,4.883684e-01,4.899188e-01,4.941174e-01,4.963735e-01,4.973825e-01,4.997728e-01,5.008699e-01,5.013453e-01,5.021554e-01,5.022983e-01,5.022564e-01,5.016996e-01,5.010701e-01,5.005338e-01,4.988058e-01,4.975635e-01,4.965599e-01,4.938383e-01,4.921214e-01,4.906809e-01,4.871252e-01,4.850521e-01,4.832068e-01,4.789593e-01,4.766310e-01,4.744140e-01,4.696007e-01,4.671022e-01,4.645470e-01,4.592791e-01,4.566816e-01,4.538212e-01,4.481963e-01,4.455587e-01,4.424258e-01,4.365294e-01,4.339001e-01,4.305260e-01,4.244327e-01,4.218507e-01,4.182658e-01,4.120403e-01,4.095368e-01,4.057701e-01,3.994684e-01,3.970679e-01,3.931470e-01,3.868172e-01,3.845384e-01,3.804893e-01,3.741727e-01,3.720293e-01,3.678764e-01,3.616084e-01,3.596099e-01,3.553762e-01,3.491865e-01,3.473389e-01,3.430457e-01,3.369595e-01,3.352659e-01,3.309332e-01,3.249714e-01,3.234325e-01,3.190786e-01,3.132585e-01,3.118729e-01,3.075147e-01,3.018503e-01,3.006151e-01,2.962683e-01,2.907709e-01,2.896819e-01,2.853606e-01,2.800391e-01,2.790908e-01,2.748082e-01,2.696692e-01,2.688556e-01,2.646234e-01,2.596719e-01,2.589862e-01,2.548153e-01,2.500544e-01,2.494895e-01,2.453896e-01,2.408212e-01,2.403696e-01,2.363494e-01,2.319743e-01,2.316285e-01,2.276957e-01,2.235136e-01,2.232657e-01,2.194276e-01,2.154372e-01,2.152796e-01,2.115422e-01,2.077418e-01,2.076667e-01,2.040355e-01,2.004226e-01,1.935415e-01,1.870170e-01,1.808419e-01,1.750083e-01,1.695080e-01,1.643322e-01,1.594719e-01,1.549178e-01,1.506602e-01,1.466895e-01,1.429959e-01,1.395694e-01,1.364001e-01,1.334779e-01,1.307928e-01,1.283348e-01,1.260939e-01,1.240601e-01,1.222235e-01,1.205744e-01,1.191030e-01,1.177997e-01,1.166550e-01,1.156595e-01,1.148040e-01,1.140795e-01,1.134772e-01,1.129883e-01,1.126044e-01,1.123174e-01,1.121191e-01,1.120019e-01,1.119583e-01,1.119811e-01,1.120634e-01,1.121985e-01,1.123802e-01,1.126023e-01,1.128592e-01,1.131455e-01,1.134561e-01,1.137862e-01,1.141314e-01,1.144875e-01,1.148508e-01,1.152176e-01,1.155847e-01,1.159492e-01,1.163085e-01
0.000000e+00,8.709261e-09,1.144875e-07,1.194139e-07,6.944020e-07,2.260653e-06,2.354058e-06,5.386765e-06,9.026971e-06,9.268073e-06,1.323676e-05,1.667185e-05,1.695818e-05,2.036562e-05,2.316590e-05,2.346199e-05,2.626438e-05,2.850270e-05,2.879218e-05,3.106468e-05,3.282893e-05,3.310032e-05,3.491666e-05,3.628505e-05,3.653025e-05,3.795663e-05,3.899682e-05,3.921038e-05,4.030509e-05,4.107491e-05,4.125345e-05,4.206725e-05,4.261570e-05,4.275748e-05,4.333428e-05,4.370257e-05,4.380702e-05,4.418446e-05,4.440720e-05,4.447470e-05,4.468517e-05,4.479124e-05,4.482283e-05,4.489407e-05,4.490762e-05,4.490484e-05,4.486060e-05,4.480170e-05,4.476642e-05,4.462695e-05,4.451220e-05,4.444650e-05,4.422907e-05,4.407220e-05,4.397830e-05,4.369760e-05,4.350990e-05,4.339007e-05,4.305859e-05,4.284932e-05,4.270581e-05,4.233417e-05,4.211087e-05,4.194592e-05,4.154311e-05,4.131190e-05,4.112765e-05,4.070127e-05,4.046706e-05,4.026558e-05,3.982206e-05,3.958877e-05,3.937203e-05,3.891675e-05,3.868749e-05,3.845734e-05,3.799483e-05,3.777201e-05,3.753018e-05,3.706424e-05,3.684969e-05,3.659780e-05,3.613157e-05,3.592667e-05,3.566622e-05,3.520233e-05,3.500806e-05,3.474043e-05,3.428102e-05,3.409805e-05,3.382453e-05,3.337136e-05,3.320010e-05,3.292186e-05,3.247636e-05,3.231701e-05,3.203514e-05,3.159844e-05,3.145104e-05,3.116650e-05,3.073951e-05,3.060395e-05,3.031765e-05,2.990107e-05,2.977714e-05,2.948989e-05,2.908423e-05,2.897164e-05,2.868418e-05,2.828982e-05,2.818823e-05,2.790122e-05,2.751842e-05,2.742742e-05,2.714146e-05,2.677037e-05,2.668952e-05,2.640517e-05,2.604585e-05,2.597470e-05,2.569243e-05,2.534488e-05,2.528295e-05,2.500320e-05,2.466736e-05,2.461417e-05,2.433733e-05,2.401308e-05,2.396814e-05,2.369457e-05,2.338175e-05,2.334460e-05,2.307459e-05,2.277303e-05,2.274317e-05,2.247701e-05,2.218648e-05,2.216347e-05,2.190138e-05,2.162166e-05,2.160505e-05,2.134725e-05,2.107808e-05,2.106742e-05,2.081409e-05,2.055522e-05,2.055009e-05,2.030139e-05,2.005255e-05,1.957425e-05,1.911466e-05,1.867324e-05,1.824944e-05,1.784273e-05,1.745256e-05,1.707840e-05,1.671974e-05,1.637606e-05,1.604685e-05,1.573163e-05,1.542990e-05,1.514120e-05,1.486508e-05,1.460108e-05,1.434877e-05,1.410773e-05,1.387754e-05,1.365783e-05,1.344819e-05,1.324825e-05,1.305766e-05,1.287605e-05,1.270310e-05,1.253848e-05,1.238186e-05,1.223295e-05,1.209144e-05,1.195704e-05,1.182948e-05,1.170850e-05,1.159383e-05,1.148522e-05,1.138243e-05,1.128523e-05,1.119339e-05,1.110669e-05,1.102493e-05,1.094790e-05,1.087541e-05,1.080727e-05,1.074329e-05,1.068330e-05,1.062713e-05,1.057462e-05,1.052560e-05,1.047993e-05,1.043746e-05,1.039805e-05
0.000000e+00,6.027249e-06,1.066907e-04,1.116078e-04,7.614922e-04,3.118522e-03,3.283399e-03,1.015274e-02,2.310536e-02,2.418918e-02,4.704863e-02,7.566662e-02,7.846210e-02,1.168914e-01,1.559549e-01,1.604985e-01,2.075925e-01,2.507704e-01,2.567339e-01,3.067327e-01,3.496740e-01,3.566208e-01,4.056228e-01,4.456484e-01,4.531276e-01,4.986636e-01,5.342828e-01,5.418774e-01,5.825141e-01,6.130500e-01,6.204017e-01,6.554360e-01,6.807496e-01,6.875692e-01,7.167988e-01,7.370913e-01,7.431591e-01,7.667132e-01,7.823864e-01,7.875470e-01,8.057634e-01,8.173228e-01,8.214776e-01,8.348137e-01,8.428032e-01,8.459012e-01,8.548725e-01,8.598323e-01,8.618609e-01,8.669985e-01,8.694387e-01,8.704152e-01,8.722376e-01,8.726239e-01,8.725880e-01,8.715839e-01,8.703307e-01,8.693377e-01,8.659562e-01,8.634246e-01,8.615404e-01,8.561860e-01,8.526860e-01,8.499828e-01,8.430148e-01,8.388084e-01,8.353611e-01,8.270951e-01,8.224012e-01,8.182853e-01,8.089954e-01,8.039947e-01,7.992845e-01,7.892072e-01,7.840472e-01,7.788142e-01,7.681522e-01,7.629516e-01,7.572642e-01,7.461899e-01,7.410434e-01,7.349659e-01,7.236255e-01,7.186070e-01,7.121996e-01,7.007164e-01,6.958825e-01,6.892014e-01,6.776783e-01,6.730717e-01,6.661686e-01,6.546916e-01,6.503427e-01,6.432653e-01,6.319056e-01,6.278353e-01,6.206272e-01,6.094433e-01,6.056644e-01,5.983656e-01,5.874050e-01,5.839239e-01,5.765709e-01,5.658719e-01,5.626897e-01,5.553155e-01,5.449086e-01,5.420223e-01,5.346570e-01,5.245658e-01,5.219690e-01,5.146396e-01,5.048823e-01,5.025660e-01,4.952971e-01,4.858868e-01,4.838402e-01,4.766536e-01,4.675994e-01,4.658102e-01,4.587256e-01,4.500332e-01,4.484879e-01,4.415229e-01,4.331951e-01,4.318796e-01,4.250498e-01,4.170870e-01,4.159867e-01,4.093061e-01,4.017065e-01,4.008067e-01,3.942874e-01,3.870478e-01,3.863337e-01,3.799865e-01,3.731021e-01,3.725590e-01,3.663932e-01,3.598581e-01,3.594715e-01,3.534952e-01,3.473027e-01,3.470585e-01,3.412785e-01,3.354209e-01,3.353054e-01,3.297276e-01,3.241967e-01,3.137157e-01,3.038449e-01,2.945665e-01,2.858619e-01,2.777123e-01,2.700987e-01,2.630020e-01,2.564028e-01,2.502820e-01,2.446202e-01,2.393984e-01,2.345975e-01,2.301986e-01,2.261830e-01,2.225323e-01,2.192282e-01,2.162526e-01,2.135878e-01,2.112164e-01,2.091213e-01,2.072856e-01,2.056931e-01,2.043275e-01,2.031735e-01,2.022156e-01,2.014393e-01,2.008303e-01,2.003747e-01,2.000592e-01,1.998711e-01,1.997982e-01,1.998286e-01,1.999512e-01,2.001554e-01,2.004311e-01,2.007687e-01,2.011593e-01,2.015945e-01,2.020664e-01,2.025676e-01,2.030913e-01,2.036313e-01,2.041818e-01,2.047375e-01,2.052935e-01,2.058457e-01,2.063900e-01,2.069230e-01,2.074416e-01
0.000000e+00,4.647532e-06,9.649779e-05,1.012928e-04,7.927815e-04,3.448546e-03,3.635631e-03,1.136747e-02,2.542978e-02,2.657723e-02,5.000823e-02,7.807098e-02,8.076931e-02,1.174706e-01,1.544529e-01,1.587513e-01,2.034037e-01,2.446548e-01,2.503847e-01,2.988049e-01,3.410202e-01,3.479117e-01,3.970739e-01,4.380245e-01,4.457642e-01,4.935439e-01,5.317894e-01,5.400537e-01,5.850043e-01,6.196869e-01,6.281673e-01,6.693665e-01,7.000530e-01,7.084710e-01,7.453886e-01,7.719459e-01,7.800601e-01,8.124545e-01,8.349551e-01,8.425643e-01,8.704018e-01,8.890534e-01,8.959958e-01,9.193886e-01,9.344818e-01,9.406332e-01,9.597918e-01,9.716628e-01,9.769329e-01,9.921304e-01,1.001134e+00,1.005462e+00,1.017008e+00,1.023498e+00,1.026850e+00,1.035070e+00,1.039388e+00,1.041750e+00,1.046973e+00,1.049440e+00,1.050818e+00,1.053365e+00,1.054278e+00,1.054690e+00,1.054868e+00,1.054494e+00,1.053972e+00,1.052071e+00,1.050651e+00,1.049233e+00,1.045523e+00,1.043270e+00,1.041002e+00,1.035730e+00,1.032830e+00,1.029763e+00,1.023156e+00,1.019772e+00,1.015960e+00,1.008223e+00,1.004495e+00,9.999918e-01,9.913107e-01,9.873592e-01,9.822212e-01,9.727627e-01,9.686891e-01,9.629725e-01,9.528859e-01,9.487757e-01,9.425360e-01,9.319543e-01,9.278787e-01,9.211704e-01,9.102120e-01,9.062294e-01,8.991055e-01,8.878753e-01,8.840331e-01,8.765447e-01,8.651355e-01,8.614713e-01,8.536680e-01,8.421613e-01,8.387044e-01,8.306334e-01,8.191011e-01,8.158734e-01,8.075799e-01,7.960845e-01,7.931017e-01,7.846286e-01,7.732249e-01,7.704971e-01,7.618852e-01,7.506205e-01,7.481534e-01,7.394410e-01,7.283561e-01,7.261513e-01,7.173746e-01,7.065046e-01,7.045604e-01,6.957533e-01,6.851278e-01,6.834398e-01,6.746342e-01,6.642781e-01,6.628396e-01,6.540650e-01,6.439992e-01,6.428015e-01,6.340853e-01,6.243269e-01,6.233597e-01,6.147274e-01,6.052899e-01,6.045420e-01,5.960170e-01,5.869109e-01,5.863699e-01,5.779736e-01,5.692068e-01,5.688597e-01,5.606119e-01,5.521898e-01,5.520232e-01,5.439415e-01,5.358676e-01,5.203965e-01,5.056101e-01,4.915058e-01,4.780781e-01,4.653192e-01,4.532196e-01,4.417676e-01,4.309501e-01,4.207527e-01,4.111597e-01,4.021547e-01,3.937202e-01,3.858379e-01,3.784893e-01,3.716552e-01,3.653161e-01,3.594524e-01,3.540440e-01,3.490712e-01,3.445139e-01,3.403523e-01,3.365667e-01,3.331375e-01,3.300456e-01,3.272718e-01,3.247976e-01,3.226048e-01,3.206754e-01,3.189922e-01,3.175382e-01,3.162970e-01,3.152529e-01,3.143904e-01,3.136949e-01,3.131521e-01,3.127486e-01,3.124713e-01,3.123079e-01,3.122465e-01,3.122761e-01,3.123861e-01,3.125664e-01,3.128078e-01,3.131013e-01,3.134389e-01,3.138128e-01,3.142160e-01,3.146417e-01,3.150841e-01
0.000000e+00,4.907579e-06,9.078465e-05,9.508891e-05,6.953159e-04,3.024642e-03,3.191470e-03,1.029428e-02,2.377520e-02,2.489278e-02,4.797111e-02,7.581982e-02,7.849622e-02,1.147598e-01,1.509263e-01,1.551011e-01,1.980832e-01,2.371355e-01,2.425085e-01,2.873960e-01,3.257602e-01,3.319532e-01,3.755491e-01,4.110620e-01,4.176899e-01,4.579978e-01,4.894835e-01,4.961928e-01,5.320765e-01,5.590298e-01,5.655185e-01,5.964446e-01,6.188004e-01,6.248260e-01,6.506713e-01,6.686402e-01,6.740187e-01,6.949296e-01,7.088813e-01,7.134835e-01,7.297733e-01,7.401572e-01,7.439015e-01,7.559772e-01,7.632695e-01,7.661136e-01,7.744255e-01,7.790941e-01,7.810279e-01,7.860347e-01,7.885193e-01,7.895572e-01,7.917037e-01,7.924037e-01,7.925786e-01,7.922819e-01,7.915518e-01,7.909093e-01,7.885514e-01,7.866998e-01,7.852943e-01,7.812188e-01,7.785103e-01,7.764012e-01,7.709128e-01,7.675714e-01,7.648205e-01,7.581865e-01,7.543995e-01,7.510689e-01,7.435218e-01,7.394443e-01,7.355952e-01,7.273357e-01,7.230946e-01,7.187861e-01,7.099862e-01,7.056843e-01,7.009728e-01,6.917797e-01,6.874992e-01,6.824380e-01,6.729765e-01,6.687823e-01,6.634214e-01,6.537970e-01,6.497395e-01,6.441255e-01,6.344271e-01,6.305445e-01,6.247205e-01,6.150227e-01,6.113431e-01,6.053492e-01,5.957139e-01,5.922572e-01,5.861300e-01,5.766088e-01,5.733879e-01,5.671611e-01,5.577964e-01,5.548187e-01,5.485233e-01,5.393496e-01,5.366179e-01,5.302822e-01,5.213274e-01,5.188410e-01,5.124907e-01,5.037771e-01,5.015322e-01,4.951908e-01,4.867356e-01,4.847263e-01,4.784150e-01,4.702316e-01,4.684500e-01,4.621881e-01,4.542863e-01,4.527231e-01,4.465280e-01,4.389146e-01,4.375597e-01,4.314472e-01,4.241264e-01,4.229688e-01,4.169529e-01,4.099270e-01,4.089552e-01,4.030487e-01,3.963179e-01,3.955201e-01,3.897343e-01,3.832974e-01,3.826617e-01,3.770065e-01,3.708611e-01,3.703757e-01,3.648600e-01,3.590024e-01,3.586554e-01,3.532870e-01,3.477128e-01,3.474927e-01,3.422783e-01,3.369822e-01,3.368777e-01,3.318230e-01,3.267993e-01,3.172454e-01,3.082031e-01,2.996587e-01,2.915981e-01,2.840066e-01,2.768691e-01,2.701705e-01,2.638954e-01,2.580282e-01,2.525532e-01,2.474549e-01,2.427176e-01,2.383259e-01,2.342643e-01,2.305176e-01,2.270706e-01,2.239084e-01,2.210165e-01,2.183802e-01,2.159856e-01,2.138188e-01,2.118661e-01,2.101145e-01,2.085511e-01,2.071633e-01,2.059392e-01,2.048670e-01,2.039354e-01,2.031336e-01,2.024511e-01,2.018780e-01,2.014047e-01,2.010221e-01,2.007214e-01,2.004945e-01,2.003336e-01,2.002314e-01,2.001808e-01,2.001755e-01,2.002093e-01,2.002767e-01,2.003723e-01,2.004913e-01,2.006292e-01,2.007819e-01,2.009456e-01,2.011169e-01,2.012927e-01,2.014701e-01
0.000000e+00,1.830371e-07,3.116856e-06,3.258211e-06,2.139378e-05,8.339110e-05,8.759045e-05,2.527522e-04,5.297478e-04,5.513851e-04,9.663900e-04,1.403026e-03,1.441872e-03,1.921898e-03,2.326068e-03,2.368534e-03,2.761423e-03,3.056218e-03,3.092653e-03,3.362041e-03,3.547361e-03,3.573750e-03,3.734071e-03,3.834174e-03,3.850041e-03,3.928636e-03,3.969754e-03,3.976324e-03,3.998858e-03,4.002139e-03,4.001206e-03,3.987569e-03,3.968102e-03,3.961435e-03,3.925663e-03,3.893474e-03,3.882570e-03,3.834011e-03,3.795439e-03,3.781463e-03,3.726086e-03,3.684983e-03,3.668790e-03,3.610279e-03,3.568895e-03,3.551096e-03,3.491657e-03,3.451256e-03,3.432276e-03,3.373192e-03,3.334447e-03,3.314581e-03,3.256576e-03,3.219817e-03,3.199275e-03,3.142748e-03,3.108113e-03,3.087045e-03,3.032203e-03,2.999721e-03,2.978245e-03,2.925187e-03,2.894831e-03,2.873041e-03,2.821814e-03,2.793529e-03,2.771508e-03,2.722123e-03,2.695837e-03,2.673657e-03,2.626106e-03,2.601741e-03,2.579469e-03,2.533737e-03,2.511210e-03,2.488907e-03,2.444969e-03,2.424195e-03,2.401918e-03,2.359745e-03,2.340638e-03,2.318441e-03,2.277998e-03,2.260474e-03,2.238407e-03,2.199657e-03,2.183630e-03,2.161738e-03,2.124641e-03,2.110030e-03,2.088354e-03,2.052867e-03,2.039589e-03,2.018169e-03,1.984248e-03,1.972224e-03,1.951093e-03,1.918692e-03,1.907846e-03,1.887034e-03,1.856107e-03,1.846363e-03,1.825900e-03,1.796399e-03,1.787685e-03,1.767594e-03,1.739473e-03,1.731719e-03,1.712023e-03,1.685232e-03,1.678374e-03,1.659090e-03,1.633584e-03,1.627556e-03,1.608702e-03,1.584433e-03,1.579175e-03,1.560765e-03,1.537687e-03,1.533141e-03,1.515187e-03,1.493255e-03,1.489366e-03,1.471878e-03,1.451047e-03,1.447764e-03,1.430750e-03,1.410977e-03,1.408250e-03,1.391717e-03,1.372959e-03,1.370741e-03,1.354693e-03,1.336910e-03,1.335158e-03,1.319599e-03,1.302750e-03,1.301422e-03,1.286354e-03,1.270401e-03,1.269457e-03,1.254881e-03,1.239786e-03,1.239191e-03,1.225106e-03,1.210833e-03,1.210552e-03,1.196957e-03,1.183471e-03,1.157881e-03,1.133720e-03,1.110923e-03,1.089433e-03,1.069190e-03,1.050140e-03,1.032228e-03,1.015404e-03,9.996164e-04,9.848182e-04,9.709630e-04,9.580066e-04,9.459060e-04,9.346203e-04,9.241098e-04,9.143365e-04,9.052638e-04,8.968565e-04,8.890809e-04,8.819044e-04,8.752959e-04,8.692253e-04,8.636640e-04,8.585842e-04,8.539595e-04,8.497643e-04,8.459744e-04,8.425663e-04,8.395176e-04,8.368068e-04,8.344134e-04,8.323176e-04,8.305007e-04,8.289446e-04,8.276321e-04,8.265468e-04,8.256730e-04,8.249958e-04,8.245008e-04,8.241745e-04,8.240040e-04,8.239769e-04,8.240816e-04,8.243069e-04,8.246424e-04,8.250781e-04,8.256045e-04,8.262127e-04,8.268942e-04
0.000000e+00,5.075123e-10,5.755218e-09,5.992583e-09,3.394000e-08,1.133867e-07,1.181923e-07,2.719089e-07,4.417149e-07,4.523090e-07,6.154949e-07,7.397331e-07,7.493629e-07,8.551614e-07,9.296831e-07,9.368925e-07,9.986228e-07,1.039241e-06,1.043911e-06,1.075747e-06,1.094272e-06,1.096614e-06,1.108565e-06,1.112963e-06,1.113296e-06,1.112210e-06,1.107799e-06,1.106467e-06,1.097022e-06,1.087338e-06,1.084667e-06,1.070049e-06,1.057419e-06,1.053696e-06,1.036047e-06,1.021989e-06,1.017459e-06,9.982221e-07,9.837094e-07,9.785719e-07,9.586981e-07,9.443381e-07,9.387544e-07,9.188639e-07,9.050248e-07,8.991233e-07,8.796092e-07,8.665001e-07,8.603814e-07,8.414857e-07,8.292137e-07,8.229568e-07,8.048200e-07,7.934270e-07,7.870937e-07,7.697898e-07,7.592770e-07,7.529158e-07,7.364749e-07,7.268184e-07,7.204673e-07,7.048909e-07,6.960526e-07,6.897416e-07,6.750137e-07,6.669476e-07,6.607003e-07,6.467937e-07,6.394503e-07,6.332854e-07,6.201667e-07,6.134959e-07,6.074283e-07,5.950607e-07,5.890131e-07,5.830546e-07,5.714003e-07,5.659284e-07,5.600882e-07,5.491089e-07,5.441675e-07,5.384529e-07,5.281112e-07,5.236580e-07,5.180745e-07,5.083342e-07,5.043295e-07,4.988814e-07,4.897078e-07,4.861146e-07,4.808050e-07,4.721650e-07,4.689491e-07,4.637800e-07,4.556424e-07,4.527720e-07,4.477448e-07,4.400799e-07,4.375256e-07,4.326407e-07,4.254206e-07,4.231553e-07,4.184129e-07,4.116111e-07,4.096098e-07,4.050092e-07,3.986010e-07,3.968407e-07,3.923808e-07,3.863429e-07,3.848022e-07,3.804818e-07,3.747921e-07,3.734516e-07,3.692688e-07,3.639068e-07,3.627483e-07,3.587012e-07,3.536474e-07,3.526545e-07,3.487408e-07,3.439770e-07,3.431343e-07,3.393516e-07,3.348606e-07,3.341542e-07,3.304999e-07,3.262655e-07,3.256826e-07,3.221538e-07,3.181610e-07,3.176897e-07,3.142836e-07,3.105181e-07,3.101476e-07,3.068611e-07,3.033095e-07,3.030299e-07,2.998601e-07,2.965098e-07,2.963119e-07,2.932557e-07,2.900949e-07,2.899704e-07,2.870246e-07,2.840422e-07,2.839834e-07,2.811450e-07,2.783304e-07,2.729920e-07,2.679500e-07,2.631872e-07,2.586875e-07,2.544356e-07,2.504175e-07,2.466194e-07,2.430290e-07,2.396341e-07,2.364237e-07,2.333871e-07,2.305145e-07,2.277965e-07,2.252244e-07,2.227897e-07,2.204849e-07,2.183024e-07,2.162354e-07,2.142774e-07,2.124223e-07,2.106643e-07,2.089979e-07,2.074181e-07,2.059200e-07,2.044991e-07,2.031511e-07,2.018720e-07,2.006580e-07,1.995054e-07,1.984110e-07,1.973715e-07,1.963840e-07,1.954456e-07,1.945536e-07,1.937056e-07,1.928992e-07,1.921322e-07,1.914024e-07,1.907078e-07,1.900466e-07,1.894171e-07,1.888175e-07,1.882463e-07,1.877019e-07,1.871831e-07,1.866884e-07,1.862166e-07,1.857666e-07,1.853371e-07
0.000000e+00,7.281930e-08,1.205607e-06,1.260858e-06,8.401690e-06,3.184515e-05,3.338271e-05,9.049826e-05,1.766473e-04,1.830055e-04,2.975684e-04,4.082663e-04,4.178495e-04,5.353220e-04,6.362673e-04,6.471729e-04,7.527359e-04,8.404063e-04,8.519878e-04,9.450847e-04,1.020383e-03,1.032234e-03,1.113660e-03,1.177801e-03,1.189590e-03,1.260256e-03,1.314432e-03,1.325884e-03,1.386697e-03,1.432030e-03,1.442916e-03,1.494754e-03,1.532278e-03,1.542416e-03,1.586105e-03,1.616770e-03,1.626013e-03,1.662327e-03,1.686991e-03,1.695226e-03,1.724881e-03,1.744319e-03,1.751460e-03,1.775120e-03,1.790027e-03,1.796014e-03,1.814287e-03,1.825288e-03,1.830080e-03,1.843526e-03,1.851177e-03,1.854753e-03,1.863884e-03,1.868682e-03,1.871036e-03,1.876321e-03,1.878707e-03,1.879846e-03,1.881713e-03,1.882079e-03,1.882020e-03,1.880861e-03,1.879552e-03,1.878325e-03,1.874496e-03,1.871817e-03,1.869456e-03,1.863282e-03,1.859502e-03,1.856048e-03,1.847824e-03,1.843179e-03,1.838678e-03,1.828672e-03,1.823367e-03,1.817869e-03,1.806326e-03,1.800539e-03,1.794098e-03,1.781238e-03,1.775123e-03,1.767795e-03,1.753816e-03,1.747508e-03,1.739348e-03,1.724432e-03,1.718044e-03,1.709110e-03,1.693420e-03,1.687049e-03,1.677398e-03,1.661079e-03,1.654807e-03,1.644497e-03,1.627682e-03,1.621577e-03,1.610664e-03,1.593471e-03,1.587590e-03,1.576129e-03,1.558664e-03,1.553053e-03,1.541098e-03,1.523455e-03,1.518150e-03,1.505755e-03,1.488018e-03,1.483048e-03,1.470263e-03,1.452507e-03,1.447893e-03,1.434767e-03,1.417059e-03,1.412815e-03,1.399396e-03,1.381793e-03,1.377930e-03,1.364263e-03,1.346817e-03,1.343339e-03,1.329466e-03,1.312222e-03,1.309130e-03,1.295093e-03,1.278089e-03,1.275381e-03,1.261218e-03,1.244488e-03,1.242158e-03,1.227906e-03,1.211479e-03,1.209518e-03,1.195212e-03,1.179112e-03,1.177511e-03,1.163183e-03,1.147430e-03,1.146177e-03,1.131857e-03,1.116468e-03,1.115551e-03,1.101267e-03,1.086256e-03,1.085660e-03,1.071439e-03,1.056816e-03,1.056526e-03,1.042392e-03,1.028166e-03,1.000593e-03,9.738147e-04,9.478357e-04,9.226577e-04,8.982790e-04,8.746956e-04,8.519013e-04,8.298877e-04,8.086450e-04,7.881616e-04,7.684249e-04,7.494210e-04,7.311352e-04,7.135519e-04,6.966551e-04,6.804281e-04,6.648538e-04,6.499150e-04,6.355941e-04,6.218736e-04,6.087357e-04,5.961628e-04,5.841373e-04,5.726417e-04,5.616587e-04,5.511713e-04,5.411626e-04,5.316160e-04,5.225152e-04,5.138443e-04,5.055875e-04,4.977295e-04,4.902554e-04,4.831507e-04,4.764009e-04,4.699924e-04,4.639116e-04,4.581455e-04,4.526812e-04,4.475065e-04,4.426093e-04,4.379782e-04,4.336018e-04,4.294693e-04,4.255701e-04,4.218942e-04,4.184317e-04,4.151731e-04,4.121093e-04
0.000000e+00,1.779820e-07,3.290792e-06,3.446903e-06,2.484712e-05,1.033343e-04,1.087719e-04,3.270042e-04,6.976392e-04,7.265851e-04,1.283076e-03,1.881705e-03,1.936170e-03,2.633964e-03,3.271382e-03,3.341959e-03,4.039167e-03,4.633964e-03,4.713399e-03,5.357893e-03,5.885663e-03,5.969170e-03,6.545722e-03,7.002932e-03,7.087228e-03,7.594081e-03,7.984407e-03,8.067099e-03,8.507351e-03,8.836770e-03,8.916046e-03,9.294468e-03,9.569465e-03,9.643929e-03,9.965744e-03,1.019263e-02,1.026121e-02,1.053160e-02,1.071626e-02,1.077814e-02,1.100202e-02,1.114985e-02,1.120441e-02,1.138641e-02,1.150225e-02,1.154908e-02,1.169344e-02,1.178165e-02,1.182048e-02,1.193112e-02,1.199560e-02,1.202627e-02,1.210677e-02,1.215100e-02,1.217346e-02,1.222711e-02,1.225416e-02,1.226847e-02,1.229825e-02,1.231085e-02,1.231713e-02,1.232577e-02,1.232632e-02,1.232477e-02,1.231474e-02,1.230539e-02,1.229623e-02,1.226979e-02,1.225239e-02,1.223592e-02,1.219511e-02,1.217130e-02,1.214782e-02,1.209450e-02,1.206571e-02,1.203557e-02,1.197143e-02,1.193890e-02,1.190245e-02,1.182901e-02,1.179382e-02,1.175144e-02,1.167008e-02,1.163315e-02,1.158523e-02,1.149719e-02,1.145933e-02,1.140624e-02,1.131264e-02,1.127452e-02,1.121666e-02,1.111852e-02,1.108072e-02,1.101846e-02,1.091670e-02,1.087968e-02,1.081342e-02,1.070884e-02,1.067301e-02,1.060312e-02,1.049645e-02,1.046214e-02,1.038899e-02,1.028088e-02,1.024835e-02,1.017229e-02,1.006333e-02,1.003278e-02,9.954148e-03,9.844859e-03,9.816441e-03,9.735579e-03,9.626417e-03,9.600246e-03,9.517471e-03,9.408839e-03,9.384991e-03,9.300609e-03,9.192865e-03,9.171381e-03,9.085683e-03,8.979138e-03,8.960033e-03,8.873298e-03,8.768225e-03,8.751488e-03,8.663978e-03,8.560613e-03,8.546215e-03,8.458180e-03,8.356725e-03,8.344619e-03,8.256293e-03,8.156922e-03,8.147045e-03,8.058649e-03,7.961508e-03,7.953786e-03,7.865528e-03,7.770738e-03,7.765089e-03,7.677162e-03,7.584823e-03,7.581155e-03,7.493740e-03,7.403932e-03,7.402148e-03,7.315413e-03,7.228197e-03,7.059399e-03,6.895821e-03,6.737509e-03,6.584483e-03,6.436744e-03,6.294276e-03,6.157046e-03,6.025007e-03,5.898101e-03,5.776259e-03,5.659402e-03,5.547444e-03,5.440290e-03,5.337842e-03,5.239996e-03,5.146642e-03,5.057670e-03,4.972964e-03,4.892409e-03,4.815887e-03,4.743279e-03,4.674466e-03,4.609327e-03,4.547745e-03,4.489600e-03,4.434773e-03,4.383149e-03,4.334611e-03,4.289046e-03,4.246340e-03,4.206383e-03,4.169065e-03,4.134280e-03,4.101923e-03,4.071892e-03,4.044084e-03,4.018403e-03,3.994752e-03,3.973038e-03,3.953169e-03,3.935057e-03,3.918616e-03,3.903761e-03,3.890411e-03,3.878488e-03,3.867913e-03,3.858614e-03,3.850518e-03,3.843555e-03
0.000000e+00,4.382649e-08,9.833237e-07,1.034463e-06,8.749498e-06,3.769707e-05,3.965534e-05,1.125196e-04,2.163732e-04,2.236822e-04,3.476302e-04,4.536915e-04,4.622028e-04,5.570279e-04,6.236050e-04,6.299473e-04,6.828460e-04,7.154990e-04,7.190881e-04,7.422162e-04,7.540406e-04,7.553884e-04,7.611984e-04,7.618886e-04,7.616751e-04,7.583565e-04,7.536128e-04,7.523820e-04,7.445822e-04,7.374359e-04,7.355546e-04,7.257246e-04,7.176968e-04,7.153926e-04,7.047686e-04,6.965910e-04,6.939991e-04,6.831852e-04,6.751961e-04,6.723963e-04,6.616800e-04,6.540277e-04,6.510684e-04,6.405830e-04,6.333261e-04,6.302380e-04,6.200428e-04,6.131986e-04,6.100031e-04,6.001224e-04,5.936890e-04,5.904023e-04,5.808435e-04,5.748106e-04,5.714461e-04,5.622094e-04,5.565630e-04,5.531325e-04,5.442138e-04,5.389380e-04,5.354519e-04,5.268451e-04,5.219235e-04,5.183916e-04,5.100895e-04,5.055058e-04,5.019370e-04,4.939319e-04,4.896697e-04,4.860722e-04,4.783560e-04,4.743995e-04,4.707811e-04,4.633454e-04,4.596790e-04,4.560468e-04,4.488832e-04,4.454921e-04,4.418526e-04,4.349529e-04,4.318224e-04,4.281819e-04,4.215378e-04,4.186539e-04,4.150183e-04,4.086215e-04,4.059709e-04,4.023453e-04,3.961879e-04,3.937577e-04,3.901472e-04,3.842212e-04,3.819990e-04,3.784081e-04,3.727059e-04,3.706799e-04,3.671128e-04,3.616268e-04,3.597857e-04,3.562462e-04,3.509691e-04,3.493020e-04,3.457937e-04,3.407184e-04,3.392150e-04,3.357412e-04,3.308606e-04,3.295111e-04,3.260748e-04,3.213822e-04,3.201772e-04,3.167811e-04,3.122698e-04,3.112003e-04,3.078469e-04,3.035107e-04,3.025682e-04,2.992597e-04,2.950923e-04,2.942688e-04,2.910071e-04,2.870026e-04,2.862903e-04,2.830774e-04,2.792299e-04,2.786214e-04,2.754588e-04,2.717628e-04,2.712513e-04,2.681404e-04,2.645903e-04,2.641691e-04,2.611113e-04,2.577020e-04,2.573648e-04,2.543611e-04,2.510874e-04,2.508283e-04,2.478796e-04,2.447366e-04,2.445501e-04,2.416572e-04,2.386402e-04,2.385208e-04,2.356844e-04,2.327887e-04,2.327314e-04,2.299521e-04,2.271733e-04,2.218381e-04,2.167177e-04,2.118042e-04,2.070901e-04,2.025680e-04,1.982310e-04,1.940722e-04,1.900851e-04,1.862632e-04,1.826005e-04,1.790911e-04,1.757292e-04,1.725094e-04,1.694264e-04,1.664750e-04,1.636502e-04,1.609474e-04,1.583619e-04,1.558892e-04,1.535252e-04,1.512656e-04,1.491065e-04,1.470441e-04,1.450746e-04,1.431944e-04,1.414002e-04,1.396886e-04,1.380563e-04,1.365004e-04,1.350178e-04,1.336057e-04,1.322612e-04,1.309818e-04,1.297648e-04,1.286077e-04,1.275083e-04,1.264641e-04,1.254729e-04,1.245327e-04,1.236412e-04,1.227967e-04,1.219970e-04,1.212405e-04,1.205252e-04,1.198495e-04,1.192118e-04,1.186104e-04,1.180439e-04,1.175107e-04
0.000000e+00,5.054651e-08,8.131998e-07,8.505353e-07,5.286376e-06,1.637045e-05,1.697577e-05,3.395500e-05,5.050505e-05,5.153495e-05,6.802475e-05,8.200339e-05,8.316484e-05,9.697322e-05,1.083170e-04,1.095165e-04,1.208706e-04,1.299390e-04,1.311115e-04,1.403121e-04,1.474476e-04,1.485444e-04,1.558778e-04,1.613918e-04,1.623786e-04,1.681096e-04,1.722761e-04,1.731298e-04,1.774945e-04,1.805492e-04,1.812554e-04,1.844608e-04,1.866044e-04,1.871556e-04,1.893814e-04,1.907833e-04,1.911770e-04,1.925783e-04,1.933812e-04,1.936188e-04,1.943292e-04,1.946525e-04,1.947382e-04,1.948723e-04,1.948158e-04,1.947560e-04,1.944120e-04,1.940589e-04,1.938614e-04,1.931234e-04,1.925424e-04,1.922160e-04,1.911557e-04,1.904041e-04,1.899579e-04,1.886367e-04,1.877613e-04,1.872051e-04,1.856750e-04,1.847143e-04,1.840575e-04,1.823629e-04,1.813484e-04,1.806006e-04,1.787791e-04,1.777362e-04,1.769064e-04,1.749898e-04,1.739390e-04,1.730361e-04,1.710514e-04,1.700090e-04,1.690413e-04,1.670111e-04,1.659900e-04,1.649655e-04,1.629088e-04,1.619189e-04,1.608451e-04,1.587779e-04,1.578267e-04,1.567105e-04,1.546461e-04,1.537393e-04,1.525872e-04,1.505365e-04,1.496781e-04,1.484961e-04,1.464681e-04,1.456608e-04,1.444544e-04,1.424566e-04,1.417019e-04,1.404762e-04,1.385146e-04,1.378132e-04,1.365729e-04,1.346522e-04,1.340041e-04,1.327535e-04,1.308775e-04,1.302821e-04,1.290250e-04,1.271967e-04,1.266530e-04,1.253930e-04,1.236145e-04,1.231210e-04,1.218614e-04,1.201342e-04,1.196894e-04,1.184331e-04,1.167583e-04,1.163602e-04,1.151099e-04,1.134880e-04,1.131348e-04,1.118928e-04,1.103242e-04,1.100136e-04,1.087821e-04,1.072666e-04,1.069966e-04,1.057775e-04,1.043148e-04,1.040832e-04,1.028783e-04,1.014679e-04,1.012725e-04,1.000833e-04,9.872441e-05,9.856305e-05,9.739097e-05,9.608278e-05,9.595334e-05,9.479958e-05,9.354113e-05,9.344152e-05,9.230716e-05,9.109741e-05,9.102559e-05,8.991158e-05,8.874940e-05,8.870340e-05,8.761059e-05,8.649482e-05,8.647274e-05,8.540182e-05,8.433128e-05,8.227664e-05,8.030644e-05,7.841823e-05,7.660960e-05,7.487813e-05,7.322142e-05,7.163710e-05,7.012284e-05,6.867633e-05,6.729532e-05,6.597760e-05,6.472101e-05,6.352342e-05,6.238279e-05,6.129710e-05,6.026439e-05,5.928276e-05,5.835035e-05,5.746536e-05,5.662605e-05,5.583070e-05,5.507768e-05,5.436539e-05,5.369226e-05,5.305678e-05,5.245751e-05,5.189302e-05,5.136194e-05,5.086294e-05,5.039472e-05,4.995603e-05,4.954567e-05,4.916246e-05,4.880526e-05,4.847298e-05,4.816454e-05,4.787891e-05,4.761509e-05,4.737211e-05,4.714904e-05,4.694496e-05,4.675900e-05,4.659031e-05,4.643807e-05,4.630148e-05,4.617977e-05,4.607221e-05,4.597806e-05,4.589664e-05
0.000000e+00,7.225186e-09,1.416658e-07,1.485863e-07,1.006834e-06,3.216997e-06,3.338132e-06,6.695823e-06,9.847722e-06,1.003923e-05,1.302604e-05,1.543500e-05,1.562985e-05,1.788176e-05,1.963913e-05,1.981987e-05,2.148007e-05,2.273691e-05,2.289468e-05,2.409244e-05,2.496863e-05,2.509889e-05,2.593664e-05,2.652474e-05,2.662578e-05,2.718424e-05,2.755586e-05,2.762790e-05,2.797085e-05,2.818112e-05,2.822555e-05,2.840303e-05,2.849417e-05,2.851303e-05,2.856413e-05,2.856827e-05,2.856391e-05,2.851904e-05,2.846060e-05,2.843543e-05,2.831824e-05,2.821566e-05,2.817204e-05,2.800085e-05,2.786805e-05,2.780819e-05,2.759718e-05,2.744463e-05,2.737056e-05,2.713072e-05,2.696622e-05,2.687977e-05,2.661958e-05,2.644897e-05,2.635177e-05,2.607778e-05,2.590536e-05,2.579886e-05,2.551612e-05,2.534505e-05,2.523052e-05,2.494290e-05,2.477546e-05,2.465401e-05,2.436450e-05,2.420232e-05,2.407493e-05,2.378580e-05,2.363000e-05,2.349752e-05,2.321049e-05,2.306183e-05,2.292502e-05,2.264139e-05,2.250034e-05,2.235985e-05,2.208060e-05,2.194743e-05,2.180382e-05,2.152968e-05,2.140449e-05,2.125829e-05,2.098976e-05,2.087254e-05,2.072419e-05,2.046165e-05,2.035231e-05,2.020221e-05,1.994590e-05,1.984427e-05,1.969278e-05,1.944287e-05,1.934875e-05,1.919618e-05,1.895274e-05,1.886590e-05,1.871255e-05,1.847560e-05,1.839578e-05,1.824191e-05,1.801145e-05,1.793839e-05,1.778422e-05,1.756020e-05,1.749361e-05,1.733937e-05,1.712171e-05,1.706133e-05,1.690720e-05,1.669582e-05,1.664137e-05,1.648753e-05,1.628231e-05,1.623352e-05,1.608014e-05,1.588097e-05,1.583756e-05,1.568479e-05,1.549155e-05,1.545325e-05,1.530122e-05,1.511378e-05,1.508035e-05,1.492919e-05,1.474742e-05,1.471859e-05,1.456843e-05,1.439219e-05,1.436773e-05,1.421866e-05,1.404781e-05,1.402749e-05,1.387962e-05,1.371403e-05,1.369762e-05,1.355103e-05,1.339057e-05,1.337784e-05,1.323263e-05,1.307717e-05,1.306792e-05,1.292415e-05,1.277355e-05,1.276757e-05,1.262533e-05,1.247946e-05,1.247656e-05,1.233590e-05,1.219464e-05,1.192155e-05,1.165706e-05,1.140093e-05,1.115293e-05,1.091284e-05,1.068044e-05,1.045550e-05,1.023783e-05,1.002720e-05,9.823435e-06,9.626324e-06,9.435682e-06,9.251322e-06,9.073064e-06,8.900733e-06,8.734155e-06,8.573166e-06,8.417602e-06,8.267305e-06,8.122122e-06,7.981903e-06,7.846502e-06,7.715778e-06,7.589593e-06,7.467812e-06,7.350306e-06,7.236947e-06,7.127613e-06,7.022184e-06,6.920542e-06,6.822576e-06,6.728174e-06,6.637230e-06,6.549639e-06,6.465300e-06,6.384115e-06,6.305988e-06,6.230826e-06,6.158539e-06,6.089038e-06,6.022239e-06,5.958057e-06,5.896414e-06,5.837229e-06,5.780427e-06,5.725934e-06,5.673677e-06,5.623587e-06,5.575595e-06
0.000000e+00,9.438369e-08,1.639464e-06,1.715234e-06,1.178712e-05,4.750249e-05,4.994603e-05,1.466707e-04,3.089555e-04,3.215836e-04,5.614063e-04,8.068191e-04,8.282186e-04,1.085619e-03,1.290525e-03,1.311322e-03,1.495986e-03,1.623615e-03,1.638596e-03,1.742575e-03,1.805147e-03,1.813255e-03,1.856414e-03,1.875416e-03,1.877517e-03,1.881373e-03,1.874527e-03,1.872028e-03,1.852785e-03,1.832057e-03,1.826282e-03,1.794591e-03,1.767313e-03,1.759310e-03,1.721665e-03,1.692050e-03,1.682577e-03,1.642736e-03,1.613072e-03,1.602648e-03,1.562684e-03,1.534137e-03,1.523107e-03,1.484104e-03,1.457215e-03,1.445804e-03,1.408292e-03,1.383263e-03,1.371622e-03,1.335826e-03,1.312687e-03,1.300919e-03,1.266907e-03,1.245606e-03,1.233785e-03,1.201545e-03,1.181995e-03,1.170176e-03,1.139663e-03,1.121759e-03,1.109990e-03,1.081142e-03,1.064780e-03,1.053100e-03,1.025849e-03,1.010927e-03,9.993704e-04,9.736482e-04,9.600666e-04,9.486652e-04,9.244046e-04,9.120692e-04,9.008500e-04,8.779848e-04,8.668058e-04,8.557931e-04,8.342587e-04,8.241510e-04,8.133658e-04,7.930990e-04,7.839821e-04,7.734426e-04,7.543816e-04,7.461794e-04,7.359008e-04,7.179856e-04,7.106263e-04,7.006212e-04,6.837933e-04,6.772092e-04,6.674878e-04,6.516908e-04,6.458184e-04,6.363886e-04,6.215678e-04,6.163476e-04,6.072152e-04,5.933179e-04,5.886943e-04,5.798634e-04,5.668391e-04,5.627603e-04,5.542331e-04,5.420334e-04,5.384510e-04,5.302285e-04,5.188071e-04,5.156763e-04,5.077580e-04,4.970706e-04,4.943498e-04,4.867343e-04,4.767389e-04,4.743896e-04,4.670743e-04,4.577309e-04,4.557174e-04,4.486990e-04,4.399695e-04,4.382590e-04,4.315333e-04,4.233817e-04,4.219440e-04,4.155061e-04,4.078983e-04,4.067054e-04,4.005502e-04,3.934539e-04,3.924801e-04,3.866018e-04,3.799864e-04,3.792082e-04,3.736006e-04,3.674374e-04,3.668330e-04,3.614898e-04,3.557514e-04,3.553011e-04,3.502156e-04,3.448762e-04,3.445620e-04,3.397272e-04,3.347626e-04,3.345678e-04,3.299768e-04,3.253642e-04,3.252737e-04,3.209193e-04,3.166370e-04,3.086179e-04,3.011785e-04,2.942832e-04,2.878984e-04,2.819927e-04,2.765363e-04,2.715010e-04,2.668606e-04,2.625902e-04,2.586664e-04,2.550673e-04,2.517720e-04,2.487611e-04,2.460162e-04,2.435202e-04,2.412567e-04,2.392106e-04,2.373673e-04,2.357135e-04,2.342364e-04,2.329240e-04,2.317652e-04,2.307494e-04,2.298667e-04,2.291077e-04,2.284636e-04,2.279263e-04,2.274881e-04,2.271415e-04,2.268799e-04,2.266968e-04,2.265863e-04,2.265426e-04,2.265605e-04,2.266350e-04,2.267615e-04,2.269356e-04,2.271533e-04,2.274107e-04,2.277042e-04,2.280305e-04,2.283864e-04,2.287690e-04,2.291756e-04,2.296036e-04,2.300506e-04,2.305145e-04,2.309930e-04,2.314844e-04
0.000000e+00,8.677978e-08,1.974757e-06,2.075336e-06,1.607161e-05,6.280973e-05,6.583844e-05,1.750041e-04,3.308977e-04,3.421418e-04,5.418323e-04,7.315792e-04,7.478344e-04,9.433079e-04,1.102993e-03,1.119639e-03,1.273460e-03,1.389861e-03,1.404395e-03,1.513641e-03,1.591713e-03,1.603134e-03,1.675075e-03,1.723556e-03,1.731667e-03,1.774990e-03,1.801944e-03,1.806931e-03,1.829167e-03,1.840962e-03,1.843167e-03,1.850208e-03,1.851581e-03,1.851389e-03,1.847653e-03,1.842027e-03,1.839809e-03,1.828541e-03,1.818347e-03,1.814436e-03,1.797992e-03,1.784943e-03,1.779630e-03,1.759708e-03,1.745000e-03,1.738531e-03,1.716356e-03,1.700820e-03,1.693401e-03,1.669852e-03,1.654061e-03,1.645866e-03,1.621574e-03,1.605919e-03,1.597088e-03,1.572504e-03,1.557249e-03,1.547902e-03,1.523349e-03,1.508664e-03,1.498901e-03,1.474607e-03,1.460602e-03,1.450505e-03,1.426631e-03,1.413370e-03,1.403010e-03,1.379666e-03,1.367183e-03,1.356618e-03,1.333881e-03,1.322185e-03,1.311467e-03,1.289386e-03,1.278472e-03,1.267644e-03,1.246249e-03,1.236103e-03,1.225203e-03,1.204509e-03,1.195109e-03,1.184169e-03,1.164183e-03,1.155501e-03,1.144550e-03,1.125270e-03,1.117277e-03,1.106340e-03,1.087758e-03,1.080423e-03,1.069522e-03,1.051628e-03,1.044918e-03,1.034073e-03,1.016853e-03,1.010735e-03,9.999633e-04,9.834007e-04,9.778431e-04,9.671606e-04,9.512385e-04,9.462099e-04,9.356299e-04,9.203301e-04,9.157997e-04,9.053345e-04,8.906383e-04,8.865764e-04,8.762368e-04,8.621252e-04,8.585031e-04,8.482988e-04,8.347528e-04,8.315430e-04,8.214825e-04,8.084831e-04,8.056592e-04,7.957500e-04,7.832785e-04,7.808152e-04,7.710639e-04,7.591017e-04,7.569750e-04,7.473874e-04,7.359165e-04,7.341034e-04,7.246844e-04,7.136870e-04,7.121658e-04,7.029197e-04,6.923783e-04,6.911284e-04,6.820587e-04,6.719567e-04,6.709583e-04,6.620681e-04,6.523889e-04,6.516235e-04,6.429152e-04,6.336430e-04,6.330930e-04,6.245685e-04,6.156879e-04,6.153366e-04,6.069974e-04,5.984933e-04,5.983251e-04,5.901721e-04,5.820302e-04,5.664244e-04,5.514815e-04,5.371756e-04,5.234823e-04,5.103776e-04,4.978386e-04,4.858430e-04,4.743696e-04,4.633976e-04,4.529073e-04,4.428794e-04,4.332957e-04,4.241383e-04,4.153902e-04,4.070349e-04,3.990566e-04,3.914402e-04,3.841710e-04,3.772348e-04,3.706182e-04,3.643081e-04,3.582920e-04,3.525579e-04,3.470941e-04,3.418896e-04,3.369336e-04,3.322158e-04,3.277263e-04,3.234557e-04,3.193947e-04,3.155346e-04,3.118670e-04,3.083837e-04,3.050769e-04,3.019391e-04,2.989631e-04,2.961421e-04,2.934692e-04,2.909382e-04,2.885429e-04,2.862774e-04,2.841360e-04,2.821133e-04,2.802040e-04,2.784031e-04,2.767058e-04,2.751074e-04,2.736035e-04,2.721897e-04
0.000000e+00,1.287889e-07,3.123091e-06,3.288498e-06,2.821981e-05,1.190180e-04,1.250367e-04,3.422187e-04,6.457251e-04,6.674140e-04,1.053031e-03,1.426990e-03,1.459625e-03,1.862393e-03,2.209701e-03,2.247106e-03,2.606204e-03,2.898179e-03,2.936187e-03,3.235976e-03,3.469881e-03,3.505912e-03,3.747138e-03,3.928729e-03,3.961232e-03,4.149972e-03,4.287111e-03,4.315199e-03,4.458741e-03,4.559146e-03,4.582357e-03,4.687720e-03,4.758244e-03,4.776398e-03,4.849852e-03,4.896334e-03,4.909439e-03,4.956411e-03,4.983731e-03,4.991922e-03,5.017036e-03,5.029232e-03,5.032730e-03,5.039900e-03,5.040291e-03,5.039370e-03,5.031894e-03,5.023198e-03,5.018164e-03,4.998815e-03,4.983251e-03,4.974428e-03,4.945534e-03,4.924903e-03,4.912621e-03,4.876134e-03,4.851898e-03,4.836482e-03,4.794037e-03,4.767373e-03,4.749141e-03,4.702104e-03,4.673956e-03,4.653212e-03,4.602725e-03,4.573845e-03,4.550880e-03,4.497893e-03,4.468876e-03,4.443962e-03,4.389265e-03,4.360575e-03,4.333966e-03,4.278214e-03,4.250211e-03,4.222145e-03,4.165879e-03,4.138835e-03,4.109528e-03,4.053194e-03,4.027310e-03,3.996965e-03,3.940925e-03,3.916347e-03,3.885148e-03,3.829699e-03,3.806523e-03,3.774638e-03,3.720019e-03,3.698305e-03,3.665888e-03,3.612289e-03,3.592069e-03,3.559259e-03,3.506830e-03,3.488109e-03,3.455032e-03,3.403890e-03,3.386655e-03,3.353426e-03,3.303659e-03,3.287883e-03,3.254604e-03,3.206276e-03,3.191921e-03,3.158685e-03,3.111840e-03,3.098858e-03,3.065747e-03,3.020414e-03,3.008751e-03,2.975841e-03,2.932033e-03,2.921633e-03,2.888989e-03,2.846709e-03,2.837510e-03,2.805192e-03,2.764436e-03,2.756375e-03,2.724435e-03,2.685187e-03,2.678202e-03,2.646687e-03,2.608928e-03,2.602955e-03,2.571905e-03,2.535611e-03,2.530588e-03,2.500038e-03,2.465180e-03,2.461044e-03,2.431028e-03,2.397573e-03,2.394266e-03,2.364808e-03,2.332724e-03,2.330186e-03,2.301311e-03,2.270561e-03,2.268737e-03,2.240465e-03,2.211012e-03,2.209847e-03,2.182194e-03,2.154001e-03,2.153444e-03,2.126423e-03,2.099452e-03,2.047797e-03,1.998405e-03,1.951201e-03,1.906113e-03,1.863066e-03,1.821991e-03,1.782816e-03,1.745474e-03,1.709897e-03,1.676019e-03,1.643778e-03,1.613110e-03,1.583956e-03,1.556258e-03,1.529958e-03,1.505001e-03,1.481334e-03,1.458906e-03,1.437666e-03,1.417566e-03,1.398559e-03,1.380601e-03,1.363646e-03,1.347654e-03,1.332584e-03,1.318395e-03,1.305051e-03,1.292514e-03,1.280748e-03,1.269721e-03,1.259399e-03,1.249750e-03,1.240744e-03,1.232351e-03,1.224543e-03,1.217292e-03,1.210571e-03,1.204357e-03,1.198623e-03,1.193347e-03,1.188505e-03,1.184076e-03,1.180040e-03,1.176374e-03,1.173062e-03,1.170083e-03,1.167419e-03,1.165054e-03,1.162971e-03
0.000000e+00,5.291571e-08,1.297736e-06,1.366302e-06,1.124670e-05,4.339182e-05,4.538337e-05,1.100104e-04,1.856691e-04,1.906443e-04,2.725096e-04,3.432409e-04,3.491160e-04,4.185856e-04,4.748577e-04,4.807552e-04,5.360034e-04,5.793082e-04,5.848495e-04,6.278272e-04,6.604850e-04,6.654475e-04,6.981882e-04,7.222445e-04,7.264923e-04,7.507682e-04,7.679333e-04,7.713918e-04,7.887077e-04,8.003919e-04,8.030316e-04,8.146521e-04,8.220097e-04,8.238327e-04,8.308141e-04,8.347847e-04,8.358154e-04,8.390365e-04,8.403816e-04,8.406592e-04,8.408493e-04,8.401841e-04,8.397573e-04,8.375202e-04,8.353402e-04,8.342627e-04,8.300980e-04,8.268006e-04,8.251288e-04,8.194484e-04,8.153513e-04,8.131416e-04,8.062852e-04,8.016413e-04,7.989491e-04,7.911963e-04,7.862056e-04,7.830840e-04,7.746641e-04,7.694842e-04,7.659835e-04,7.570845e-04,7.518384e-04,7.480056e-04,7.387811e-04,7.335635e-04,7.294422e-04,7.200171e-04,7.149006e-04,7.105309e-04,7.010065e-04,6.960455e-04,6.914642e-04,6.819222e-04,6.771565e-04,6.723969e-04,6.629030e-04,6.583609e-04,6.534534e-04,6.440598e-04,6.397604e-04,6.347324e-04,6.254804e-04,6.214355e-04,6.163118e-04,6.072335e-04,6.034490e-04,5.982517e-04,5.893718e-04,5.858494e-04,5.805984e-04,5.719354e-04,5.686731e-04,5.633862e-04,5.549536e-04,5.519469e-04,5.466400e-04,5.384472e-04,5.356895e-04,5.303768e-04,5.224298e-04,5.199129e-04,5.146070e-04,5.069091e-04,5.046241e-04,4.993362e-04,4.918884e-04,4.898254e-04,4.845654e-04,4.773670e-04,4.755158e-04,4.702926e-04,4.633414e-04,4.616914e-04,4.565127e-04,4.498055e-04,4.483462e-04,4.432188e-04,4.367515e-04,4.354722e-04,4.304022e-04,4.241698e-04,4.230603e-04,4.180529e-04,4.120501e-04,4.111001e-04,4.061599e-04,4.003810e-04,3.995807e-04,3.947117e-04,3.891506e-04,3.884905e-04,3.836961e-04,3.783466e-04,3.778173e-04,3.731005e-04,3.679563e-04,3.675491e-04,3.629123e-04,3.579670e-04,3.576734e-04,3.531187e-04,3.483660e-04,3.481778e-04,3.437071e-04,3.391405e-04,3.390501e-04,3.346647e-04,3.302780e-04,3.218496e-04,3.137531e-04,3.059768e-04,2.985094e-04,2.913400e-04,2.844579e-04,2.778525e-04,2.715137e-04,2.654318e-04,2.595973e-04,2.540009e-04,2.486337e-04,2.434872e-04,2.385529e-04,2.338230e-04,2.292896e-04,2.249454e-04,2.207829e-04,2.167954e-04,2.129762e-04,2.093186e-04,2.058167e-04,2.024642e-04,1.992555e-04,1.961851e-04,1.932474e-04,1.904375e-04,1.877503e-04,1.851810e-04,1.827250e-04,1.803779e-04,1.781355e-04,1.759935e-04,1.739482e-04,1.719956e-04,1.701321e-04,1.683541e-04,1.666584e-04,1.650415e-04,1.635005e-04,1.620321e-04,1.606336e-04,1.593022e-04,1.580351e-04,1.568298e-04,1.556837e-04,1.545945e-04,1.535599e-04,1.525776e-04
0.000000e+00,1.129417e-07,2.008452e-06,2.101389e-06,1.397622e-05,5.215215e-05,5.463569e-05,1.463663e-04,2.852616e-04,2.955919e-04,4.832530e-04,6.633276e-04,6.786007e-04,8.579690e-04,9.958705e-04,1.009659e-03,1.130615e-03,1.212878e-03,1.222478e-03,1.288938e-03,1.329025e-03,1.334253e-03,1.362510e-03,1.375713e-03,1.377309e-03,1.381674e-03,1.379209e-03,1.378064e-03,1.368440e-03,1.357456e-03,1.354340e-03,1.336959e-03,1.321724e-03,1.317217e-03,1.295817e-03,1.278779e-03,1.273295e-03,1.250059e-03,1.232590e-03,1.226418e-03,1.202601e-03,1.185442e-03,1.178780e-03,1.155083e-03,1.138621e-03,1.131605e-03,1.108416e-03,1.092840e-03,1.085569e-03,1.063099e-03,1.048488e-03,1.041032e-03,1.019386e-03,1.005759e-03,9.981720e-04,9.773977e-04,9.647399e-04,9.570662e-04,9.371783e-04,9.254577e-04,9.177320e-04,8.987242e-04,8.878991e-04,8.801509e-04,8.620069e-04,8.520316e-04,8.442864e-04,8.269832e-04,8.178105e-04,8.100903e-04,7.936008e-04,7.851833e-04,7.775075e-04,7.618030e-04,7.540942e-04,7.464798e-04,7.315303e-04,7.244851e-04,7.169470e-04,7.027223e-04,6.962973e-04,6.888486e-04,6.753186e-04,6.694723e-04,6.621247e-04,6.492597e-04,6.439526e-04,6.367161e-04,6.244869e-04,6.196817e-04,6.125650e-04,6.009432e-04,5.966042e-04,5.896148e-04,5.785729e-04,5.746667e-04,5.678110e-04,5.573224e-04,5.538174e-04,5.471007e-04,5.371395e-04,5.340060e-04,5.274328e-04,5.179744e-04,5.151844e-04,5.087583e-04,4.997788e-04,4.973061e-04,4.910300e-04,4.825064e-04,4.803265e-04,4.742025e-04,4.661130e-04,4.642028e-04,4.582324e-04,4.505558e-04,4.488939e-04,4.430781e-04,4.357944e-04,4.343605e-04,4.286998e-04,4.217897e-04,4.205651e-04,4.150594e-04,4.085045e-04,4.074717e-04,4.021206e-04,3.959033e-04,3.950460e-04,3.898486e-04,3.839522e-04,3.832551e-04,3.782103e-04,3.726189e-04,3.720679e-04,3.671742e-04,3.618725e-04,3.614544e-04,3.567101e-04,3.516836e-04,3.513862e-04,3.467894e-04,3.420242e-04,3.418362e-04,3.373846e-04,3.328676e-04,3.327785e-04,3.284699e-04,3.241884e-04,3.160427e-04,3.083189e-04,3.009957e-04,2.940531e-04,2.874717e-04,2.812332e-04,2.753203e-04,2.697165e-04,2.644059e-04,2.593736e-04,2.546055e-04,2.500880e-04,2.458082e-04,2.417540e-04,2.379138e-04,2.342765e-04,2.308317e-04,2.275695e-04,2.244804e-04,2.215554e-04,2.187861e-04,2.161643e-04,2.136823e-04,2.113329e-04,2.091091e-04,2.070044e-04,2.050124e-04,2.031274e-04,2.013435e-04,1.996555e-04,1.980584e-04,1.965473e-04,1.951175e-04,1.937649e-04,1.924852e-04,1.912745e-04,1.901292e-04,1.890458e-04,1.880207e-04,1.870510e-04,1.861336e-04,1.852656e-04,1.844443e-04,1.836672e-04,1.829318e-04,1.822359e-04,1.815771e-04,1.809534e-04,1.803630e-04
0.000000e+00,5.398962e-08,1.040729e-06,1.091126e-06,8.046218e-06,3.255433e-05,3.420055e-05,9.684789e-05,1.943707e-04,2.016694e-04,3.347056e-04,4.631586e-04,4.741026e-04,6.034405e-04,7.042250e-04,7.143871e-04,8.044107e-04,8.668737e-04,8.742582e-04,9.262236e-04,9.587631e-04,9.631306e-04,9.877857e-04,1.000890e-03,1.002719e-03,1.010088e-03,1.011740e-03,1.011664e-03,1.008867e-03,1.004240e-03,1.002813e-03,9.943669e-04,9.865496e-04,9.841898e-04,9.727832e-04,9.635278e-04,9.605243e-04,9.476941e-04,9.379570e-04,9.345014e-04,9.210998e-04,9.113859e-04,9.076021e-04,8.940909e-04,8.846577e-04,8.806260e-04,8.672505e-04,8.582225e-04,8.539955e-04,8.408833e-04,8.323153e-04,8.279295e-04,8.151453e-04,8.070559e-04,8.025381e-04,7.901131e-04,7.825027e-04,7.778737e-04,7.658217e-04,7.586809e-04,7.539582e-04,7.422833e-04,7.355983e-04,7.307969e-04,7.194981e-04,7.132524e-04,7.083860e-04,6.974594e-04,6.916356e-04,6.867166e-04,6.761563e-04,6.707364e-04,6.657765e-04,6.555754e-04,6.505414e-04,6.455512e-04,6.357019e-04,6.310357e-04,6.260253e-04,6.165194e-04,6.122034e-04,6.071820e-04,5.980110e-04,5.940279e-04,5.890042e-04,5.801594e-04,5.764923e-04,5.714743e-04,5.629467e-04,5.595792e-04,5.545743e-04,5.463550e-04,5.432714e-04,5.382865e-04,5.303665e-04,5.275513e-04,5.225929e-04,5.149633e-04,5.124017e-04,5.074756e-04,5.001276e-04,4.978054e-04,4.929171e-04,4.858420e-04,4.837455e-04,4.789000e-04,4.720891e-04,4.702053e-04,4.654072e-04,4.588521e-04,4.571683e-04,4.524218e-04,4.461142e-04,4.446184e-04,4.399273e-04,4.338592e-04,4.325400e-04,4.279078e-04,4.220712e-04,4.209175e-04,4.163475e-04,4.107347e-04,4.097361e-04,4.052310e-04,3.998345e-04,3.989809e-04,3.945435e-04,3.893560e-04,3.886379e-04,3.842703e-04,3.792846e-04,3.786930e-04,3.743973e-04,3.696066e-04,3.691328e-04,3.649109e-04,3.603084e-04,3.599442e-04,3.557976e-04,3.513768e-04,3.511144e-04,3.470445e-04,3.427991e-04,3.426311e-04,3.386391e-04,3.345629e-04,3.344822e-04,3.305691e-04,3.266563e-04,3.191419e-04,3.119281e-04,3.050045e-04,2.983607e-04,2.919869e-04,2.858733e-04,2.800109e-04,2.743905e-04,2.690035e-04,2.638415e-04,2.588964e-04,2.541602e-04,2.496255e-04,2.452848e-04,2.411311e-04,2.371575e-04,2.333575e-04,2.297245e-04,2.262524e-04,2.229353e-04,2.197673e-04,2.167430e-04,2.138568e-04,2.111037e-04,2.084785e-04,2.059765e-04,2.035929e-04,2.013233e-04,1.991632e-04,1.971085e-04,1.951551e-04,1.932990e-04,1.915365e-04,1.898639e-04,1.882776e-04,1.867744e-04,1.853507e-04,1.840036e-04,1.827299e-04,1.815267e-04,1.803911e-04,1.793203e-04,1.783117e-04,1.773628e-04,1.764711e-04,1.756341e-04,1.748496e-04,1.741154e-04,1.734293e-04
0.000000e+00,2.518773e-06,5.371553e-05,5.643880e-05,4.657095e-04,2.098210e-03,2.213733e-03,6.898249e-03,1.489421e-02,1.552303e-02,2.787509e-02,4.189822e-02,4.321693e-02,6.077587e-02,7.790689e-02,7.986774e-02,9.991323e-02,1.179575e-01,1.204307e-01,1.410243e-01,1.585492e-01,1.613731e-01,1.812198e-01,1.973535e-01,2.003620e-01,2.186443e-01,2.329115e-01,2.359505e-01,2.521982e-01,2.643967e-01,2.673328e-01,2.813234e-01,2.914336e-01,2.941580e-01,3.058405e-01,3.139587e-01,3.163878e-01,3.258265e-01,3.321176e-01,3.341914e-01,3.415232e-01,3.461876e-01,3.478670e-01,3.532712e-01,3.565218e-01,3.577858e-01,3.614622e-01,3.635095e-01,3.643517e-01,3.665056e-01,3.675487e-01,3.679741e-01,3.688062e-01,3.690268e-01,3.690494e-01,3.687493e-01,3.683097e-01,3.679497e-01,3.666920e-01,3.657342e-01,3.650160e-01,3.629588e-01,3.616050e-01,3.605558e-01,3.578400e-01,3.561942e-01,3.548424e-01,3.515920e-01,3.497413e-01,3.481160e-01,3.444394e-01,3.424562e-01,3.405857e-01,3.365767e-01,3.345204e-01,3.324326e-01,3.281719e-01,3.260906e-01,3.238121e-01,3.193689e-01,3.173011e-01,3.148571e-01,3.102902e-01,3.082666e-01,3.056808e-01,3.010402e-01,2.990844e-01,2.963789e-01,2.917067e-01,2.898368e-01,2.870324e-01,2.823641e-01,2.805933e-01,2.777092e-01,2.730744e-01,2.714120e-01,2.684659e-01,2.638893e-01,2.623415e-01,2.593498e-01,2.548519e-01,2.534221e-01,2.503999e-01,2.459974e-01,2.446869e-01,2.416480e-01,2.373546e-01,2.361629e-01,2.331200e-01,2.289467e-01,2.278719e-01,2.248367e-01,2.207920e-01,2.198311e-01,2.168142e-01,2.129048e-01,2.120540e-01,2.090650e-01,2.052958e-01,2.045506e-01,2.015982e-01,1.979728e-01,1.973280e-01,1.944202e-01,1.909409e-01,1.903910e-01,1.875351e-01,1.842029e-01,1.837423e-01,1.809446e-01,1.777600e-01,1.773828e-01,1.746491e-01,1.716115e-01,1.713118e-01,1.686471e-01,1.657555e-01,1.655273e-01,1.629362e-01,1.601888e-01,1.600263e-01,1.575128e-01,1.549074e-01,1.548047e-01,1.523722e-01,1.499063e-01,1.498577e-01,1.475091e-01,1.451799e-01,1.407652e-01,1.366070e-01,1.326986e-01,1.290327e-01,1.256018e-01,1.223983e-01,1.194144e-01,1.166421e-01,1.140734e-01,1.117002e-01,1.095145e-01,1.075082e-01,1.056731e-01,1.040012e-01,1.024846e-01,1.011154e-01,9.988566e-02,9.878777e-02,9.781412e-02,9.695726e-02,9.620987e-02,9.556480e-02,9.501507e-02,9.455387e-02,9.417460e-02,9.387085e-02,9.363641e-02,9.346530e-02,9.335176e-02,9.329026e-02,9.327552e-02,9.330249e-02,9.336634e-02,9.346254e-02,9.358675e-02,9.373492e-02,9.390323e-02,9.408811e-02,9.428622e-02,9.449447e-02,9.471000e-02,9.493019e-02,9.515263e-02,9.537514e-02,9.559573e-02,9.581263e-02,9.602426e-02,9.622922e-02,9.642629e-02
0.000000e+00,1.478555e-07,3.006831e-06,3.156395e-06,2.511193e-05,1.112533e-04,1.173455e-04,3.673304e-04,8.065529e-04,8.414800e-04,1.528456e-03,2.296356e-03,2.367516e-03,3.295244e-03,4.163558e-03,4.260613e-03,5.225661e-03,6.052870e-03,6.163245e-03,7.054667e-03,7.774889e-03,7.887673e-03,8.654865e-03,9.245595e-03,9.352461e-03,9.979336e-03,1.044111e-02,1.053628e-02,1.102545e-02,1.137001e-02,1.144989e-02,1.181328e-02,1.205690e-02,1.211961e-02,1.237304e-02,1.253286e-02,1.257777e-02,1.273793e-02,1.283011e-02,1.285751e-02,1.294030e-02,1.297917e-02,1.298992e-02,1.300972e-02,1.300753e-02,1.300285e-02,1.297221e-02,1.293917e-02,1.292047e-02,1.285008e-02,1.279451e-02,1.276329e-02,1.266213e-02,1.259071e-02,1.254846e-02,1.242395e-02,1.234198e-02,1.229012e-02,1.214835e-02,1.205999e-02,1.199987e-02,1.184577e-02,1.175422e-02,1.168706e-02,1.152463e-02,1.143234e-02,1.135927e-02,1.119169e-02,1.110050e-02,1.102252e-02,1.085233e-02,1.076360e-02,1.068161e-02,1.051081e-02,1.042550e-02,1.034032e-02,1.017048e-02,1.008927e-02,1.000159e-02,9.833923e-03,9.757272e-03,9.667711e-03,9.503155e-03,9.431323e-03,9.340434e-03,9.179696e-03,9.112811e-03,9.021075e-03,8.864679e-03,8.802765e-03,8.710603e-03,8.558925e-03,8.501930e-03,8.409709e-03,8.263008e-03,8.210820e-03,8.118863e-03,7.977306e-03,7.929771e-03,7.838360e-03,7.702039e-03,7.658972e-03,7.568352e-03,7.437300e-03,7.398498e-03,7.308881e-03,7.183086e-03,7.148332e-03,7.059903e-03,6.939315e-03,6.908385e-03,6.821303e-03,6.705845e-03,6.678512e-03,6.592915e-03,6.482487e-03,6.458526e-03,6.374531e-03,6.269017e-03,6.248205e-03,6.165913e-03,6.065185e-03,6.047303e-03,5.966799e-03,5.870719e-03,5.855558e-03,5.776910e-03,5.685336e-03,5.672692e-03,5.595959e-03,5.508743e-03,5.498420e-03,5.423649e-03,5.340641e-03,5.332454e-03,5.259681e-03,5.180731e-03,5.174500e-03,5.103753e-03,5.028711e-03,5.024269e-03,4.955567e-03,4.884285e-03,4.881472e-03,4.814827e-03,4.747158e-03,4.745823e-03,4.681241e-03,4.617041e-03,4.494853e-03,4.378989e-03,4.269188e-03,4.165195e-03,4.066764e-03,3.973655e-03,3.885637e-03,3.802485e-03,3.723984e-03,3.649925e-03,3.580107e-03,3.514336e-03,3.452425e-03,3.394196e-03,3.339476e-03,3.288099e-03,3.239906e-03,3.194743e-03,3.152464e-03,3.112928e-03,3.075999e-03,3.041548e-03,3.009450e-03,2.979587e-03,2.951843e-03,2.926110e-03,2.902281e-03,2.880258e-03,2.859943e-03,2.841244e-03,2.824073e-03,2.808347e-03,2.793983e-03,2.780906e-03,2.769041e-03,2.758317e-03,2.748669e-03,2.740030e-03,2.732341e-03,2.725541e-03,2.719576e-03,2.714393e-03,2.709940e-03,2.706168e-03,2.703033e-03,2.700490e-03,2.698497e-03,2.697015e-03,2.696006e-03
0.000000e+00,1.111212e-06,2.180821e-05,2.286645e-05,1.712997e-04,7.261466e-04,7.648367e-04,2.338772e-03,5.120826e-03,5.344454e-03,9.825897e-03,1.501815e-02,1.550869e-02,2.204467e-02,2.839582e-02,2.911978e-02,3.647524e-02,4.301509e-02,4.390485e-02,5.124762e-02,5.739803e-02,5.838021e-02,6.521037e-02,7.066447e-02,7.167129e-02,7.771682e-02,8.234310e-02,8.331752e-02,8.845729e-02,9.223324e-02,9.313063e-02,9.734031e-02,1.003077e-01,1.010955e-01,1.044102e-01,1.066455e-01,1.073019e-01,1.097907e-01,1.113856e-01,1.118981e-01,1.136469e-01,1.146969e-01,1.150601e-01,1.161607e-01,1.167575e-01,1.169717e-01,1.175151e-01,1.177427e-01,1.178124e-01,1.178841e-01,1.178175e-01,1.177500e-01,1.174284e-01,1.171324e-01,1.169370e-01,1.162922e-01,1.158221e-01,1.155092e-01,1.146026e-01,1.140047e-01,1.135855e-01,1.124703e-01,1.117831e-01,1.112685e-01,1.099906e-01,1.092454e-01,1.086464e-01,1.072448e-01,1.064670e-01,1.057940e-01,1.043017e-01,1.035116e-01,1.027747e-01,1.012195e-01,1.004331e-01,9.964171e-02,9.804676e-02,9.727652e-02,9.643947e-02,9.482426e-02,9.407972e-02,9.320514e-02,9.158577e-02,9.087404e-02,8.996949e-02,8.835930e-02,8.768550e-02,8.675793e-02,8.516785e-02,8.453549e-02,8.359130e-02,8.203029e-02,8.144155e-02,8.048661e-02,7.896188e-02,7.841790e-02,7.745755e-02,7.597489e-02,7.547594e-02,7.451506e-02,7.307905e-02,7.262470e-02,7.166774e-02,7.028190e-02,6.987121e-02,6.892219e-02,6.758917e-02,6.722078e-02,6.628332e-02,6.500503e-02,6.467723e-02,6.375461e-02,6.253231e-02,6.224317e-02,6.133831e-02,6.017274e-02,5.992013e-02,5.903565e-02,5.792707e-02,5.770877e-02,5.684697e-02,5.579528e-02,5.560899e-02,5.477190e-02,5.377668e-02,5.362005e-02,5.280945e-02,5.187000e-02,5.174068e-02,5.095810e-02,5.007349e-02,4.996916e-02,4.921589e-02,4.838501e-02,4.830337e-02,4.758051e-02,4.680208e-02,4.674092e-02,4.604936e-02,4.532198e-02,4.527913e-02,4.461957e-02,4.394173e-02,4.391513e-02,4.328808e-02,4.265821e-02,4.264585e-02,4.205169e-02,4.146811e-02,4.037862e-02,3.937400e-02,3.845082e-02,3.760560e-02,3.683486e-02,3.613508e-02,3.550278e-02,3.493446e-02,3.442668e-02,3.397602e-02,3.357912e-02,3.323265e-02,3.293338e-02,3.267811e-02,3.246374e-02,3.228723e-02,3.214566e-02,3.203618e-02,3.195603e-02,3.190256e-02,3.187324e-02,3.186562e-02,3.187739e-02,3.190633e-02,3.195034e-02,3.200745e-02,3.207578e-02,3.215360e-02,3.223926e-02,3.233125e-02,3.242817e-02,3.252871e-02,3.263169e-02,3.273602e-02,3.284074e-02,3.294495e-02,3.304787e-02,3.314880e-02,3.324714e-02,3.334235e-02,3.343399e-02,3.352167e-02,3.360509e-02,3.368399e-02,3.375819e-02,3.382754e-02,3.389198e-02,3.395145e-02,3.400595e-02
0.000000e+00,2.216897e-07,6.771097e-06,7.154375e-06,6.811565e-05,2.931196e-04,3.079161e-04,8.339152e-04,1.565884e-03,1.618675e-03,2.574835e-03,3.538877e-03,3.624851e-03,4.710768e-03,5.684247e-03,5.791128e-03,6.837113e-03,7.713600e-03,7.829373e-03,8.755596e-03,9.493785e-03,9.608650e-03,1.038518e-02,1.097781e-02,1.108456e-02,1.170808e-02,1.216454e-02,1.225833e-02,1.273879e-02,1.307558e-02,1.315346e-02,1.350665e-02,1.374229e-02,1.380276e-02,1.404619e-02,1.419862e-02,1.424124e-02,1.439204e-02,1.447746e-02,1.450252e-02,1.457638e-02,1.460885e-02,1.461710e-02,1.462790e-02,1.461926e-02,1.461177e-02,1.457147e-02,1.453157e-02,1.450955e-02,1.442834e-02,1.436522e-02,1.432998e-02,1.421642e-02,1.413659e-02,1.408944e-02,1.395067e-02,1.385937e-02,1.380159e-02,1.364355e-02,1.354493e-02,1.347777e-02,1.330535e-02,1.320272e-02,1.312733e-02,1.294459e-02,1.284052e-02,1.275799e-02,1.256826e-02,1.246474e-02,1.237608e-02,1.218208e-02,1.208066e-02,1.198680e-02,1.179075e-02,1.169257e-02,1.159437e-02,1.139808e-02,1.130400e-02,1.120224e-02,1.100717e-02,1.091779e-02,1.081318e-02,1.062052e-02,1.053623e-02,1.042943e-02,1.024012e-02,1.016118e-02,1.005276e-02,9.867536e-03,9.794073e-03,9.684577e-03,9.504012e-03,9.436049e-03,9.325951e-03,9.150487e-03,9.087972e-03,8.977702e-03,8.807663e-03,8.750486e-03,8.640427e-03,8.476042e-03,8.424048e-03,8.314545e-03,8.155965e-03,8.108962e-03,8.000322e-03,7.847631e-03,7.805408e-03,7.697900e-03,7.551130e-03,7.513455e-03,7.407320e-03,7.266460e-03,7.233091e-03,7.128539e-03,6.993541e-03,6.964232e-03,6.861446e-03,6.732233e-03,6.706734e-03,6.605876e-03,6.482348e-03,6.460411e-03,6.361618e-03,6.243657e-03,6.225038e-03,6.128430e-03,6.015903e-03,6.000363e-03,5.906040e-03,5.798804e-03,5.786110e-03,5.694157e-03,5.592061e-03,5.581990e-03,5.492476e-03,5.395363e-03,5.387700e-03,5.300682e-03,5.208391e-03,5.202929e-03,5.118451e-03,5.030820e-03,5.027363e-03,4.945458e-03,4.862324e-03,4.860684e-03,4.781378e-03,4.702578e-03,4.552731e-03,4.410832e-03,4.276577e-03,4.149668e-03,4.029811e-03,3.916720e-03,3.810119e-03,3.709736e-03,3.615310e-03,3.526586e-03,3.443319e-03,3.365270e-03,3.292210e-03,3.223916e-03,3.160173e-03,3.100775e-03,3.045522e-03,2.994222e-03,2.946688e-03,2.902742e-03,2.862211e-03,2.824929e-03,2.790737e-03,2.759480e-03,2.731009e-03,2.705182e-03,2.681861e-03,2.660914e-03,2.642211e-03,2.625632e-03,2.611057e-03,2.598373e-03,2.587470e-03,2.578243e-03,2.570590e-03,2.564413e-03,2.559621e-03,2.556121e-03,2.553829e-03,2.552660e-03,2.552536e-03,2.553381e-03,2.555120e-03,2.557684e-03,2.561007e-03,2.565024e-03,2.569673e-03,2.574898e-03,2.580641e-03
0.000000e+00,1.023323e-07,2.643553e-06,2.786791e-06,2.509868e-05,1.097707e-04,1.154824e-04,3.265477e-04,6.337951e-04,6.562156e-04,1.063836e-03,1.473628e-03,1.510003e-03,1.966304e-03,2.369950e-03,2.413943e-03,2.841098e-03,3.194403e-03,3.240764e-03,3.609204e-03,3.899859e-03,3.944861e-03,4.247612e-03,4.477062e-03,4.518260e-03,4.758180e-03,4.933178e-03,4.969082e-03,5.152850e-03,5.281636e-03,5.311431e-03,5.446767e-03,5.537410e-03,5.560747e-03,5.655178e-03,5.714926e-03,5.731768e-03,5.792117e-03,5.827202e-03,5.837718e-03,5.869953e-03,5.885608e-03,5.890100e-03,5.899337e-03,5.899894e-03,5.898746e-03,5.889325e-03,5.878343e-03,5.871985e-03,5.847561e-03,5.827937e-03,5.816821e-03,5.780466e-03,5.754552e-03,5.739140e-03,5.693427e-03,5.663116e-03,5.643858e-03,5.590916e-03,5.557718e-03,5.535043e-03,5.476638e-03,5.441747e-03,5.416064e-03,5.353652e-03,5.318011e-03,5.289701e-03,5.224484e-03,5.188828e-03,5.158248e-03,5.091215e-03,5.056110e-03,5.023587e-03,4.955545e-03,4.921422e-03,4.887255e-03,4.818866e-03,4.786043e-03,4.750510e-03,4.682308e-03,4.651016e-03,4.614367e-03,4.546784e-03,4.517184e-03,4.479646e-03,4.413028e-03,4.385220e-03,4.346999e-03,4.281619e-03,4.255661e-03,4.216942e-03,4.153014e-03,4.128927e-03,4.089877e-03,4.027566e-03,4.005342e-03,3.966111e-03,3.905537e-03,3.885147e-03,3.845868e-03,3.787120e-03,3.768518e-03,3.729308e-03,3.672445e-03,3.655573e-03,3.616539e-03,3.561597e-03,3.546386e-03,3.507622e-03,3.454618e-03,3.440996e-03,3.402584e-03,3.351519e-03,3.339407e-03,3.301420e-03,3.252283e-03,3.241601e-03,3.204102e-03,3.156872e-03,3.147539e-03,3.110584e-03,3.065229e-03,3.057164e-03,3.020800e-03,2.977287e-03,2.970409e-03,2.934678e-03,2.892964e-03,2.887195e-03,2.852133e-03,2.812172e-03,2.807435e-03,2.773072e-03,2.734818e-03,2.731038e-03,2.697398e-03,2.660801e-03,2.657908e-03,2.625012e-03,2.590020e-03,2.587945e-03,2.555810e-03,2.522371e-03,2.521049e-03,2.489689e-03,2.457750e-03,2.457119e-03,2.426543e-03,2.396053e-03,2.337749e-03,2.282109e-03,2.229034e-03,2.178427e-03,2.130194e-03,2.084242e-03,2.040483e-03,1.998827e-03,1.959192e-03,1.921494e-03,1.885653e-03,1.851593e-03,1.819240e-03,1.788521e-03,1.759368e-03,1.731712e-03,1.705491e-03,1.680642e-03,1.657105e-03,1.634823e-03,1.613741e-03,1.593805e-03,1.574965e-03,1.557171e-03,1.540376e-03,1.524536e-03,1.509606e-03,1.495544e-03,1.482312e-03,1.469869e-03,1.458180e-03,1.447209e-03,1.436922e-03,1.427287e-03,1.418271e-03,1.409846e-03,1.401982e-03,1.394652e-03,1.387830e-03,1.381490e-03,1.375609e-03,1.370162e-03,1.365128e-03,1.360486e-03,1.356215e-03,1.352295e-03,1.348709e-03,1.345438e-03,1.342465e-03
0.000000e+00,1.354145e-08,2.564620e-07,2.690622e-07,1.922679e-06,6.726589e-06,7.009146e-06,1.543844e-05,2.377647e-05,2.428050e-05,3.200109e-05,3.797602e-05,3.844775e-05,4.375875e-05,4.770362e-05,4.809823e-05,5.161376e-05,5.412696e-05,5.443208e-05,5.666105e-05,5.817697e-05,5.839246e-05,5.970436e-05,6.053105e-05,6.066317e-05,6.132533e-05,6.168081e-05,6.173878e-05,6.194415e-05,6.198194e-05,6.197586e-05,6.186301e-05,6.169062e-05,6.163023e-05,6.129827e-05,6.099055e-05,6.088467e-05,6.040419e-05,6.001298e-05,5.986929e-05,5.929044e-05,5.885146e-05,5.867646e-05,5.803477e-05,5.757248e-05,5.737161e-05,5.669221e-05,5.622321e-05,5.600096e-05,5.530153e-05,5.483696e-05,5.459703e-05,5.389002e-05,5.343722e-05,5.318265e-05,5.247673e-05,5.204046e-05,5.177376e-05,5.107496e-05,5.065812e-05,5.038136e-05,4.969380e-05,4.929806e-05,4.901296e-05,4.833941e-05,4.796558e-05,4.767360e-05,4.701587e-05,4.666415e-05,4.636650e-05,4.572572e-05,4.539596e-05,4.509369e-05,4.447051e-05,4.416227e-05,4.385627e-05,4.325100e-05,4.296366e-05,4.265471e-05,4.206741e-05,4.180026e-05,4.148906e-05,4.091963e-05,4.067189e-05,4.035906e-05,3.980728e-05,3.957814e-05,3.926422e-05,3.872979e-05,3.851842e-05,3.820392e-05,3.768650e-05,3.749208e-05,3.717744e-05,3.667664e-05,3.649835e-05,3.618399e-05,3.569939e-05,3.553644e-05,3.522273e-05,3.475392e-05,3.460553e-05,3.429283e-05,3.383936e-05,3.370478e-05,3.339340e-05,3.295484e-05,3.283336e-05,3.252359e-05,3.209952e-05,3.199043e-05,3.168253e-05,3.127252e-05,3.117515e-05,3.086939e-05,3.047302e-05,3.038672e-05,3.008332e-05,2.970018e-05,2.962433e-05,2.932351e-05,2.895319e-05,2.888720e-05,2.858914e-05,2.823126e-05,2.817456e-05,2.787945e-05,2.753361e-05,2.748566e-05,2.719365e-05,2.685948e-05,2.681977e-05,2.653101e-05,2.620815e-05,2.617617e-05,2.589080e-05,2.557889e-05,2.555417e-05,2.527232e-05,2.497101e-05,2.495309e-05,2.467487e-05,2.438383e-05,2.437229e-05,2.409779e-05,2.381668e-05,2.381111e-05,2.354043e-05,2.326895e-05,2.274519e-05,2.223925e-05,2.175057e-05,2.127859e-05,2.082278e-05,2.038262e-05,1.995760e-05,1.954725e-05,1.915108e-05,1.876864e-05,1.839949e-05,1.804319e-05,1.769933e-05,1.736749e-05,1.704730e-05,1.673837e-05,1.644033e-05,1.615283e-05,1.587552e-05,1.560807e-05,1.535015e-05,1.510145e-05,1.486167e-05,1.463051e-05,1.440770e-05,1.419294e-05,1.398598e-05,1.378657e-05,1.359444e-05,1.340935e-05,1.323109e-05,1.305940e-05,1.289408e-05,1.273492e-05,1.258171e-05,1.243424e-05,1.229234e-05,1.215580e-05,1.202445e-05,1.189812e-05,1.177663e-05,1.165983e-05,1.154755e-05,1.143964e-05,1.133596e-05,1.123635e-05,1.114069e-05,1.104883e-05,1.096066e-05
0.000000e+00,1.324392e-07,2.749882e-06,2.889025e-06,2.334227e-05,9.734410e-05,1.022163e-04,2.728126e-04,4.949766e-04,5.102550e-04,7.717895e-04,1.011756e-03,1.032237e-03,1.280757e-03,1.490928e-03,1.513443e-03,1.729291e-03,1.905406e-03,1.928439e-03,2.111447e-03,2.256470e-03,2.279031e-03,2.431957e-03,2.549652e-03,2.570997e-03,2.696919e-03,2.790913e-03,2.810473e-03,2.912390e-03,2.986021e-03,3.003376e-03,3.084111e-03,3.140387e-03,3.155245e-03,3.217403e-03,3.259006e-03,3.271178e-03,3.317130e-03,3.346410e-03,3.355787e-03,3.387651e-03,3.406652e-03,3.413193e-03,3.432863e-03,3.443365e-03,3.447083e-03,3.456264e-03,3.459826e-03,3.460790e-03,3.461017e-03,3.458975e-03,3.457279e-03,3.449889e-03,3.443380e-03,3.439142e-03,3.425313e-03,3.415305e-03,3.408660e-03,3.389427e-03,3.376743e-03,3.367840e-03,3.344113e-03,3.329450e-03,3.318446e-03,3.291027e-03,3.274972e-03,3.262030e-03,3.231620e-03,3.214665e-03,3.199949e-03,3.167160e-03,3.149713e-03,3.133388e-03,3.098756e-03,3.081155e-03,3.063382e-03,3.027373e-03,3.009893e-03,2.990830e-03,2.953847e-03,2.936711e-03,2.916511e-03,2.878904e-03,2.862290e-03,2.841100e-03,2.803168e-03,2.787215e-03,2.765174e-03,2.727176e-03,2.711989e-03,2.689231e-03,2.651387e-03,2.637043e-03,2.613693e-03,2.576190e-03,2.562743e-03,2.538918e-03,2.501914e-03,2.489399e-03,2.465209e-03,2.428834e-03,2.417268e-03,2.392816e-03,2.357179e-03,2.346566e-03,2.321946e-03,2.287137e-03,2.277469e-03,2.252769e-03,2.218859e-03,2.210118e-03,2.185419e-03,2.152464e-03,2.144627e-03,2.120002e-03,2.088044e-03,2.081082e-03,2.056598e-03,2.025669e-03,2.019545e-03,1.995263e-03,1.965384e-03,1.960062e-03,1.936036e-03,1.907220e-03,1.902659e-03,1.878938e-03,1.851191e-03,1.847349e-03,1.823977e-03,1.797297e-03,1.794131e-03,1.771148e-03,1.745528e-03,1.742995e-03,1.720434e-03,1.695864e-03,1.693921e-03,1.671812e-03,1.648276e-03,1.646880e-03,1.625250e-03,1.602730e-03,1.601840e-03,1.580710e-03,1.559185e-03,1.558759e-03,1.538149e-03,1.517596e-03,1.478302e-03,1.440827e-03,1.405119e-03,1.371124e-03,1.338788e-03,1.308056e-03,1.278870e-03,1.251177e-03,1.224921e-03,1.200046e-03,1.176500e-03,1.154228e-03,1.133180e-03,1.113303e-03,1.094549e-03,1.076869e-03,1.060215e-03,1.044543e-03,1.029807e-03,1.015965e-03,1.002976e-03,9.907998e-04,9.793972e-04,9.687314e-04,9.587665e-04,9.494680e-04,9.408029e-04,9.327392e-04,9.252464e-04,9.182951e-04,9.118573e-04,9.059059e-04,9.004151e-04,8.953603e-04,8.907177e-04,8.864647e-04,8.825797e-04,8.790420e-04,8.758317e-04,8.729302e-04,8.703192e-04,8.679817e-04,8.659013e-04,8.640623e-04,8.624499e-04,8.610498e-04,8.598485e-04,8.588332e-04,8.579917e-04
0.000000e+00,7.203665e-07,1.682118e-05,1.770560e-05,1.546492e-04,6.948568e-04,7.322671e-04,2.169642e-03,4.384385e-03,4.550017e-03,7.633590e-03,1.084538e-02,1.113497e-02,1.482082e-02,1.815164e-02,1.851804e-02,2.210416e-02,2.510138e-02,2.549619e-02,2.864111e-02,3.112426e-02,3.150826e-02,3.408342e-02,3.601892e-02,3.636425e-02,3.835688e-02,3.978406e-02,4.007330e-02,4.152932e-02,4.251879e-02,4.274308e-02,4.373390e-02,4.436466e-02,4.452148e-02,4.512525e-02,4.547276e-02,4.556398e-02,4.585548e-02,4.598627e-02,4.601645e-02,4.606233e-02,4.603212e-02,4.600731e-02,4.586429e-02,4.571812e-02,4.564495e-02,4.535976e-02,4.513304e-02,4.501810e-02,4.462831e-02,4.434832e-02,4.419779e-02,4.373304e-02,4.342031e-02,4.323978e-02,4.272305e-02,4.239282e-02,4.218720e-02,4.163606e-02,4.129943e-02,4.107293e-02,4.050068e-02,4.016559e-02,3.992179e-02,3.933838e-02,3.901040e-02,3.875231e-02,3.816514e-02,3.784811e-02,3.757825e-02,3.699278e-02,3.668925e-02,3.640976e-02,3.583002e-02,3.554162e-02,3.525432e-02,3.468327e-02,3.441098e-02,3.411742e-02,3.355724e-02,3.330157e-02,3.300312e-02,3.245540e-02,3.221651e-02,3.191438e-02,3.138031e-02,3.115813e-02,3.085342e-02,3.033389e-02,3.012817e-02,2.982187e-02,2.931752e-02,2.912789e-02,2.882094e-02,2.833223e-02,2.815824e-02,2.785148e-02,2.737876e-02,2.721987e-02,2.691412e-02,2.645760e-02,2.631324e-02,2.600924e-02,2.556907e-02,2.543861e-02,2.513708e-02,2.471329e-02,2.459610e-02,2.429770e-02,2.389030e-02,2.378571e-02,2.349106e-02,2.309996e-02,2.300730e-02,2.271697e-02,2.234206e-02,2.226066e-02,2.197519e-02,2.161630e-02,2.154547e-02,2.126534e-02,2.092226e-02,2.086134e-02,2.058700e-02,2.025949e-02,2.020781e-02,1.993967e-02,1.962746e-02,1.958435e-02,1.932278e-02,1.902557e-02,1.899040e-02,1.873573e-02,1.845318e-02,1.842533e-02,1.817785e-02,1.790963e-02,1.788848e-02,1.764844e-02,1.739419e-02,1.737915e-02,1.714678e-02,1.690612e-02,1.689664e-02,1.667212e-02,1.644466e-02,1.644018e-02,1.622366e-02,1.600902e-02,1.560238e-02,1.521946e-02,1.485948e-02,1.452163e-02,1.420510e-02,1.390909e-02,1.363279e-02,1.337540e-02,1.313613e-02,1.291419e-02,1.270880e-02,1.251918e-02,1.234457e-02,1.218423e-02,1.203741e-02,1.190340e-02,1.178148e-02,1.167095e-02,1.157115e-02,1.148141e-02,1.140109e-02,1.132956e-02,1.126621e-02,1.121047e-02,1.116177e-02,1.111956e-02,1.108332e-02,1.105255e-02,1.102676e-02,1.100551e-02,1.098835e-02,1.097486e-02,1.096466e-02,1.095737e-02,1.095265e-02,1.095016e-02,1.094960e-02,1.095068e-02,1.095314e-02,1.095672e-02,1.096120e-02,1.096637e-02,1.097204e-02,1.097803e-02,1.098418e-02,1.099035e-02,1.099641e-02,1.100225e-02,1.100776e-02
0.000000e+00,1.157036e-08,1.785634e-07,1.869383e-07,1.286091e-06,4.583558e-06,4.779916e-06,1.067832e-05,1.673204e-05,1.711110e-05,2.317849e-05,2.829871e-05,2.872273e-05,3.374504e-05,3.784345e-05,3.827531e-05,4.234742e-05,4.557814e-05,4.599438e-05,4.924748e-05,5.175267e-05,5.213622e-05,5.468848e-05,5.659161e-05,5.693052e-05,5.888707e-05,6.029471e-05,6.058131e-05,6.203493e-05,6.303821e-05,6.326815e-05,6.429978e-05,6.497580e-05,6.514729e-05,6.582684e-05,6.624021e-05,6.635338e-05,6.674072e-05,6.694526e-05,6.700159e-05,6.714774e-05,6.718804e-05,6.718999e-05,6.713827e-05,6.705110e-05,6.700176e-05,6.678885e-05,6.660441e-05,6.650729e-05,6.616417e-05,6.590718e-05,6.576601e-05,6.531879e-05,6.500938e-05,6.482800e-05,6.429865e-05,6.395312e-05,6.373534e-05,6.314229e-05,6.277380e-05,6.252335e-05,6.188204e-05,6.150111e-05,6.122158e-05,6.054491e-05,6.015990e-05,5.985470e-05,5.915341e-05,5.877089e-05,5.844324e-05,5.772624e-05,5.735132e-05,5.700424e-05,5.627890e-05,5.591547e-05,5.555175e-05,5.482415e-05,5.447511e-05,5.409733e-05,5.337243e-05,5.303989e-05,5.265044e-05,5.193226e-05,5.161769e-05,5.121872e-05,5.051054e-05,5.021485e-05,4.980835e-05,4.911275e-05,4.883646e-05,4.842423e-05,4.774325e-05,4.748653e-05,4.707020e-05,4.640542e-05,4.616818e-05,4.574920e-05,4.510182e-05,4.488375e-05,4.446347e-05,4.383434e-05,4.363499e-05,4.321458e-05,4.260430e-05,4.242309e-05,4.200361e-05,4.141257e-05,4.124882e-05,4.083123e-05,4.025961e-05,4.011259e-05,3.969773e-05,3.914557e-05,3.901450e-05,3.860312e-05,3.807034e-05,3.795442e-05,3.754718e-05,3.703358e-05,3.693201e-05,3.652948e-05,3.603481e-05,3.594676e-05,3.554947e-05,3.507337e-05,3.499805e-05,3.460643e-05,3.414854e-05,3.408515e-05,3.369959e-05,3.325947e-05,3.320724e-05,3.282807e-05,3.240528e-05,3.236347e-05,3.199097e-05,3.158503e-05,3.155291e-05,3.118732e-05,3.079773e-05,3.077461e-05,3.041614e-05,3.004241e-05,3.002763e-05,2.967643e-05,2.931806e-05,2.931097e-05,2.896717e-05,2.862366e-05,2.796472e-05,2.733319e-05,2.672812e-05,2.614856e-05,2.559359e-05,2.506232e-05,2.455386e-05,2.406736e-05,2.360198e-05,2.315693e-05,2.273141e-05,2.232466e-05,2.193596e-05,2.156459e-05,2.120987e-05,2.087113e-05,2.054775e-05,2.023909e-05,1.994457e-05,1.966362e-05,1.939568e-05,1.914022e-05,1.889674e-05,1.866474e-05,1.844374e-05,1.823331e-05,1.803298e-05,1.784235e-05,1.766102e-05,1.748858e-05,1.732467e-05,1.716893e-05,1.702101e-05,1.688058e-05,1.674733e-05,1.662093e-05,1.650111e-05,1.638757e-05,1.628005e-05,1.617829e-05,1.608203e-05,1.599103e-05,1.590506e-05,1.582391e-05,1.574735e-05,1.567518e-05,1.560721e-05,1.554325e-05,1.548311e-05
0.000000e+00,3.410800e-09,4.462121e-08,4.655587e-08,2.770293e-07,9.254087e-07,9.646599e-07,2.263687e-06,3.872518e-06,3.980493e-06,5.769792e-06,7.320145e-06,7.448942e-06,8.973277e-06,1.021172e-05,1.034179e-05,1.156362e-05,1.252623e-05,1.264977e-05,1.361119e-05,1.434616e-05,1.445823e-05,1.520056e-05,1.574983e-05,1.584721e-05,1.640654e-05,1.680547e-05,1.688627e-05,1.729350e-05,1.757148e-05,1.763474e-05,1.791596e-05,1.809721e-05,1.814268e-05,1.831999e-05,1.842456e-05,1.845252e-05,1.854455e-05,1.858889e-05,1.859998e-05,1.862240e-05,1.861996e-05,1.861509e-05,1.858106e-05,1.854280e-05,1.852303e-05,1.844354e-05,1.837841e-05,1.834488e-05,1.822915e-05,1.814435e-05,1.809826e-05,1.795398e-05,1.785535e-05,1.779789e-05,1.763146e-05,1.752366e-05,1.745601e-05,1.727275e-05,1.715951e-05,1.708279e-05,1.688714e-05,1.677141e-05,1.668669e-05,1.648229e-05,1.636638e-05,1.627468e-05,1.606455e-05,1.595025e-05,1.585251e-05,1.563912e-05,1.552780e-05,1.542490e-05,1.521029e-05,1.510297e-05,1.499571e-05,1.478152e-05,1.467895e-05,1.456807e-05,1.435564e-05,1.425834e-05,1.414450e-05,1.393489e-05,1.384320e-05,1.372702e-05,1.352109e-05,1.343521e-05,1.331724e-05,1.311564e-05,1.303565e-05,1.291640e-05,1.271964e-05,1.264554e-05,1.252545e-05,1.233391e-05,1.226561e-05,1.214509e-05,1.195905e-05,1.189644e-05,1.177584e-05,1.159549e-05,1.153838e-05,1.141803e-05,1.124349e-05,1.119169e-05,1.107187e-05,1.090319e-05,1.085649e-05,1.073745e-05,1.057465e-05,1.053280e-05,1.041478e-05,1.025783e-05,1.022059e-05,1.010377e-05,9.952606e-06,9.919734e-06,9.804301e-06,9.658835e-06,9.630080e-06,9.516181e-06,9.376312e-06,9.351429e-06,9.239197e-06,9.104803e-06,9.083551e-06,8.973099e-06,8.844050e-06,8.826193e-06,8.717620e-06,8.593773e-06,8.579083e-06,8.472473e-06,8.353682e-06,8.341939e-06,8.237362e-06,8.123475e-06,8.114468e-06,8.011982e-06,7.902845e-06,7.896371e-06,7.796026e-06,7.691484e-06,7.687349e-06,7.589182e-06,7.489081e-06,7.487102e-06,7.391143e-06,7.295329e-06,7.111736e-06,6.936032e-06,6.767929e-06,6.607148e-06,6.453416e-06,6.306466e-06,6.166038e-06,6.031880e-06,5.903749e-06,5.781408e-06,5.664628e-06,5.553187e-06,5.446873e-06,5.345478e-06,5.248803e-06,5.156657e-06,5.068855e-06,4.985217e-06,4.905574e-06,4.829759e-06,4.757613e-06,4.688984e-06,4.623724e-06,4.561692e-06,4.502752e-06,4.446773e-06,4.393628e-06,4.343198e-06,4.295367e-06,4.250022e-06,4.207056e-06,4.166367e-06,4.127856e-06,4.091428e-06,4.056991e-06,4.024459e-06,3.993747e-06,3.964775e-06,3.937464e-06,3.911742e-06,3.887537e-06,3.864779e-06,3.843405e-06,3.823350e-06,3.804555e-06,3.786961e-06,3.770513e-06,3.755158e-06,3.740844e-06
0.000000e+00,1.137908e-07,2.495355e-06,2.622806e-06,2.107408e-05,8.622274e-05,9.050839e-05,2.438316e-04,4.511045e-04,4.654645e-04,7.083758e-04,9.192240e-04,9.364024e-04,1.131740e-03,1.274958e-03,1.288970e-03,1.409374e-03,1.488279e-03,1.497288e-03,1.558042e-03,1.592590e-03,1.596893e-03,1.618537e-03,1.626340e-03,1.626934e-03,1.625310e-03,1.618314e-03,1.616223e-03,1.601669e-03,1.587130e-03,1.583177e-03,1.561904e-03,1.543949e-03,1.538720e-03,1.514270e-03,1.495139e-03,1.489030e-03,1.463347e-03,1.444207e-03,1.437472e-03,1.411589e-03,1.393022e-03,1.385827e-03,1.360279e-03,1.342559e-03,1.335011e-03,1.310070e-03,1.293313e-03,1.285487e-03,1.261286e-03,1.245530e-03,1.237481e-03,1.214084e-03,1.199326e-03,1.191100e-03,1.168533e-03,1.154752e-03,1.146386e-03,1.124658e-03,1.111823e-03,1.103350e-03,1.082460e-03,1.070535e-03,1.061986e-03,1.041924e-03,1.030868e-03,1.022271e-03,1.003024e-03,9.927984e-04,9.841791e-04,9.657307e-04,9.562929e-04,9.476746e-04,9.300059e-04,9.213153e-04,9.127195e-04,8.958099e-04,8.878256e-04,8.792718e-04,8.630994e-04,8.557814e-04,8.472872e-04,8.318292e-04,8.251385e-04,8.167198e-04,8.019529e-04,7.958516e-04,7.875227e-04,7.734232e-04,7.678747e-04,7.596485e-04,7.461927e-04,7.411618e-04,7.330498e-04,7.202139e-04,7.156671e-04,7.076793e-04,6.954401e-04,6.913450e-04,6.834905e-04,6.718248e-04,6.681509e-04,6.604375e-04,6.493228e-04,6.460408e-04,6.384754e-04,6.278897e-04,6.249718e-04,6.175603e-04,6.074821e-04,6.049022e-04,5.976497e-04,5.880580e-04,5.857912e-04,5.787019e-04,5.695765e-04,5.675994e-04,5.606769e-04,5.519982e-04,5.502885e-04,5.435357e-04,5.352847e-04,5.338216e-04,5.272407e-04,5.193991e-04,5.181630e-04,5.117556e-04,5.043058e-04,5.032781e-04,4.970455e-04,4.899705e-04,4.891337e-04,4.830766e-04,4.763600e-04,4.756979e-04,4.698165e-04,4.634425e-04,4.629398e-04,4.572341e-04,4.511875e-04,4.508298e-04,4.452992e-04,4.395656e-04,4.393394e-04,4.339831e-04,4.285485e-04,4.284413e-04,4.232582e-04,4.181091e-04,4.083177e-04,3.990428e-04,3.902613e-04,3.819508e-04,3.740899e-04,3.666583e-04,3.596363e-04,3.530051e-04,3.467467e-04,3.408439e-04,3.352801e-04,3.300394e-04,3.251068e-04,3.204678e-04,3.161084e-04,3.120153e-04,3.081758e-04,3.045778e-04,3.012095e-04,2.980598e-04,2.951180e-04,2.923739e-04,2.898177e-04,2.874401e-04,2.852321e-04,2.831850e-04,2.812908e-04,2.795416e-04,2.779298e-04,2.764484e-04,2.750904e-04,2.738493e-04,2.727188e-04,2.716930e-04,2.707660e-04,2.699325e-04,2.691872e-04,2.685251e-04,2.679414e-04,2.674316e-04,2.669913e-04,2.666163e-04,2.663028e-04,2.660469e-04,2.658449e-04,2.656936e-04,2.655895e-04,2.655296e-04,2.655109e-04
0.000000e+00,6.742016e-10,1.368057e-08,1.433429e-08,8.854617e-08,2.532649e-07,2.617078e-07,4.830087e-07,6.762818e-07,6.876851e-07,8.608540e-07,9.939621e-07,1.004457e-06,1.122505e-06,1.210048e-06,1.218795e-06,1.296624e-06,1.352095e-06,1.358815e-06,1.407779e-06,1.440883e-06,1.445569e-06,1.473931e-06,1.491564e-06,1.494352e-06,1.508091e-06,1.515127e-06,1.516219e-06,1.519642e-06,1.519514e-06,1.519130e-06,1.515333e-06,1.510448e-06,1.508802e-06,1.500005e-06,1.492048e-06,1.489335e-06,1.477127e-06,1.467271e-06,1.463663e-06,1.449182e-06,1.438240e-06,1.433885e-06,1.417942e-06,1.406476e-06,1.401498e-06,1.384673e-06,1.373067e-06,1.367569e-06,1.350273e-06,1.338788e-06,1.332857e-06,1.315381e-06,1.304188e-06,1.297896e-06,1.280445e-06,1.269658e-06,1.263064e-06,1.245781e-06,1.235470e-06,1.228623e-06,1.211608e-06,1.201812e-06,1.194754e-06,1.178074e-06,1.168813e-06,1.161579e-06,1.145278e-06,1.136559e-06,1.129179e-06,1.113286e-06,1.105104e-06,1.097603e-06,1.082135e-06,1.074481e-06,1.066881e-06,1.051844e-06,1.044704e-06,1.037025e-06,1.022423e-06,1.015779e-06,1.008038e-06,9.938692e-07,9.877031e-07,9.799154e-07,9.661751e-07,9.604674e-07,9.526466e-07,9.393280e-07,9.340590e-07,9.262174e-07,9.133126e-07,9.084622e-07,9.006113e-07,8.881111e-07,8.836598e-07,8.758096e-07,8.637044e-07,8.596329e-07,8.517930e-07,8.400728e-07,8.363624e-07,8.285414e-07,8.171961e-07,8.138284e-07,8.060344e-07,7.950537e-07,7.920112e-07,7.842515e-07,7.736253e-07,7.708910e-07,7.631725e-07,7.528906e-07,7.504481e-07,7.427771e-07,7.328295e-07,7.306630e-07,7.230454e-07,7.134223e-07,7.115169e-07,7.039580e-07,6.946499e-07,6.929908e-07,6.854957e-07,6.764932e-07,6.750667e-07,6.676400e-07,6.589338e-07,6.577266e-07,6.503725e-07,6.419537e-07,6.409529e-07,6.336754e-07,6.255353e-07,6.247288e-07,6.175313e-07,6.096614e-07,6.090375e-07,6.019234e-07,5.943154e-07,5.938630e-07,5.868353e-07,5.794811e-07,5.791895e-07,5.722508e-07,5.651427e-07,5.650017e-07,5.581546e-07,5.512849e-07,5.380244e-07,5.252063e-07,5.128170e-07,5.008432e-07,4.892719e-07,4.780909e-07,4.672878e-07,4.568509e-07,4.467689e-07,4.370306e-07,4.276252e-07,4.185424e-07,4.097719e-07,4.013041e-07,3.931293e-07,3.852383e-07,3.776221e-07,3.702721e-07,3.631798e-07,3.563371e-07,3.497360e-07,3.433689e-07,3.372283e-07,3.313069e-07,3.255978e-07,3.200943e-07,3.147896e-07,3.096774e-07,3.047516e-07,3.000062e-07,2.954353e-07,2.910334e-07,2.867949e-07,2.827146e-07,2.787874e-07,2.750083e-07,2.713725e-07,2.678753e-07,2.645122e-07,2.612789e-07,2.581710e-07,2.551845e-07,2.523153e-07,2.495597e-07,2.469138e-07,2.443741e-07,2.419370e-07,2.395992e-07,2.373572e-07
0.000000e+00,2.370891e-08,3.370489e-07,3.518868e-07,2.131737e-06,7.164210e-06,7.469596e-06,1.766288e-05,3.066789e-05,3.155914e-05,4.664425e-05,6.012449e-05,6.125947e-05,7.486659e-05,8.617266e-05,8.737440e-05,9.881011e-05,1.080303e-04,1.092289e-04,1.186916e-04,1.261110e-04,1.272587e-04,1.349888e-04,1.408762e-04,1.419378e-04,1.481586e-04,1.527517e-04,1.537015e-04,1.586137e-04,1.621192e-04,1.629395e-04,1.667208e-04,1.693174e-04,1.699967e-04,1.728038e-04,1.746451e-04,1.751767e-04,1.771476e-04,1.783651e-04,1.787467e-04,1.800023e-04,1.807085e-04,1.809408e-04,1.815869e-04,1.818777e-04,1.819638e-04,1.820927e-04,1.820492e-04,1.819941e-04,1.816868e-04,1.813782e-04,1.811883e-04,1.805151e-04,1.799996e-04,1.796824e-04,1.787045e-04,1.780311e-04,1.775946e-04,1.763651e-04,1.755748e-04,1.750275e-04,1.735926e-04,1.727197e-04,1.720703e-04,1.704700e-04,1.695429e-04,1.688002e-04,1.670689e-04,1.661112e-04,1.652837e-04,1.634513e-04,1.624820e-04,1.615782e-04,1.596704e-04,1.587052e-04,1.577333e-04,1.557720e-04,1.548234e-04,1.537912e-04,1.517953e-04,1.508733e-04,1.497883e-04,1.477738e-04,1.468860e-04,1.457553e-04,1.437359e-04,1.428882e-04,1.417185e-04,1.397057e-04,1.389024e-04,1.376999e-04,1.357033e-04,1.349475e-04,1.337180e-04,1.317458e-04,1.310393e-04,1.297884e-04,1.278472e-04,1.271912e-04,1.259237e-04,1.240190e-04,1.234137e-04,1.221344e-04,1.202707e-04,1.197158e-04,1.184289e-04,1.166097e-04,1.161045e-04,1.148139e-04,1.130420e-04,1.125852e-04,1.112945e-04,1.095719e-04,1.091623e-04,1.078746e-04,1.062029e-04,1.058386e-04,1.045571e-04,1.029372e-04,1.026164e-04,1.013436e-04,9.977623e-05,9.949690e-05,9.823520e-05,9.672052e-05,9.648062e-05,9.523218e-05,9.377012e-05,9.356753e-05,9.233427e-05,9.092450e-05,9.075708e-05,8.954069e-05,8.818268e-05,8.804829e-05,8.685028e-05,8.554329e-05,8.543982e-05,8.426150e-05,8.300467e-05,8.293005e-05,8.177256e-05,8.056490e-05,8.051710e-05,7.938142e-05,7.822185e-05,7.819890e-05,7.708589e-05,7.597325e-05,7.383780e-05,7.179012e-05,6.982773e-05,6.794810e-05,6.614866e-05,6.442687e-05,6.278015e-05,6.120599e-05,5.970187e-05,5.826531e-05,5.689389e-05,5.558522e-05,5.433697e-05,5.314687e-05,5.201270e-05,5.093230e-05,4.990357e-05,4.892448e-05,4.799305e-05,4.710737e-05,4.626560e-05,4.546593e-05,4.470665e-05,4.398609e-05,4.330263e-05,4.265472e-05,4.204087e-05,4.145963e-05,4.090962e-05,4.038950e-05,3.989797e-05,3.943381e-05,3.899581e-05,3.858284e-05,3.819380e-05,3.782762e-05,3.748329e-05,3.715983e-05,3.685630e-05,3.657181e-05,3.630548e-05,3.605648e-05,3.582403e-05,3.560735e-05,3.540570e-05,3.521839e-05,3.504473e-05,3.488408e-05,3.473581e-05
0.000000e+00,4.111259e-08,8.733481e-07,9.175851e-07,7.339110e-06,3.059748e-05,3.215549e-05,8.974290e-05,1.722211e-04,1.780997e-04,2.805278e-04,3.744911e-04,3.823996e-04,4.759294e-04,5.504029e-04,5.580781e-04,6.283065e-04,6.807200e-04,6.872266e-04,7.359037e-04,7.704772e-04,7.755224e-04,8.072353e-04,8.285426e-04,8.321015e-04,8.510671e-04,8.628030e-04,8.649643e-04,8.745216e-04,8.794717e-04,8.803731e-04,8.830686e-04,8.832889e-04,8.830844e-04,8.808326e-04,8.778247e-04,8.766677e-04,8.708953e-04,8.657452e-04,8.637788e-04,8.555450e-04,8.490355e-04,8.463891e-04,8.364786e-04,8.291699e-04,8.259570e-04,8.149477e-04,8.072375e-04,8.035566e-04,7.918745e-04,7.840430e-04,7.799788e-04,7.679355e-04,7.601767e-04,7.558010e-04,7.436234e-04,7.360698e-04,7.314436e-04,7.192964e-04,7.120361e-04,7.072110e-04,6.952121e-04,6.883007e-04,6.833205e-04,6.715534e-04,6.650237e-04,6.599253e-04,6.484479e-04,6.423163e-04,6.371309e-04,6.259821e-04,6.202533e-04,6.150076e-04,6.042124e-04,5.988831e-04,5.935999e-04,5.831729e-04,5.782343e-04,5.729329e-04,5.628810e-04,5.583204e-04,5.530175e-04,5.433421e-04,5.391443e-04,5.338541e-04,5.245526e-04,5.207013e-04,5.154361e-04,5.065030e-04,5.029806e-04,4.977513e-04,4.891789e-04,4.859679e-04,4.807835e-04,4.725628e-04,4.696456e-04,4.645142e-04,4.566352e-04,4.539945e-04,4.489230e-04,4.413751e-04,4.389939e-04,4.339885e-04,4.267606e-04,4.246228e-04,4.196886e-04,4.127697e-04,4.108594e-04,4.060010e-04,3.993798e-04,3.976821e-04,3.929034e-04,3.865689e-04,3.850695e-04,3.803737e-04,3.743150e-04,3.730002e-04,3.683902e-04,3.625966e-04,3.614534e-04,3.569317e-04,3.513928e-04,3.504089e-04,3.459773e-04,3.406829e-04,3.398469e-04,3.355070e-04,3.304473e-04,3.297480e-04,3.255012e-04,3.206666e-04,3.200938e-04,3.159410e-04,3.113223e-04,3.108662e-04,3.068081e-04,3.023964e-04,3.020478e-04,2.980848e-04,2.938715e-04,2.936218e-04,2.897542e-04,2.857310e-04,2.855720e-04,2.817998e-04,2.779587e-04,2.778828e-04,2.742058e-04,2.705393e-04,2.635269e-04,2.568319e-04,2.504409e-04,2.443410e-04,2.385199e-04,2.329659e-04,2.276675e-04,2.226140e-04,2.177948e-04,2.131999e-04,2.088198e-04,2.046451e-04,2.006671e-04,1.968772e-04,1.932674e-04,1.898298e-04,1.865571e-04,1.834420e-04,1.804777e-04,1.776576e-04,1.749754e-04,1.724251e-04,1.700009e-04,1.676973e-04,1.655090e-04,1.634308e-04,1.614580e-04,1.595859e-04,1.578100e-04,1.561261e-04,1.545300e-04,1.530179e-04,1.515859e-04,1.502305e-04,1.489483e-04,1.477360e-04,1.465903e-04,1.455084e-04,1.444872e-04,1.435241e-04,1.426164e-04,1.417616e-04,1.409572e-04,1.402008e-04,1.394904e-04,1.388237e-04,1.381988e-04,1.376136e-04,1.370663e-04
0.000000e+00,6.879909e-08,1.146718e-06,1.199033e-06,7.562354e-06,2.569759e-05,2.680209e-05,6.403392e-05,1.128824e-04,1.162900e-04,1.748861e-04,2.280852e-04,2.325774e-04,2.864506e-04,3.311622e-04,3.359098e-04,3.810335e-04,4.173375e-04,4.220513e-04,4.592203e-04,4.883024e-04,4.927959e-04,5.230232e-04,5.459978e-04,5.501357e-04,5.743541e-04,5.921998e-04,5.958862e-04,6.149272e-04,6.284897e-04,6.316600e-04,6.462559e-04,6.562607e-04,6.588750e-04,6.696668e-04,6.767326e-04,6.787708e-04,6.863170e-04,6.909700e-04,6.924268e-04,6.972133e-04,6.998997e-04,7.007819e-04,7.032305e-04,7.043274e-04,7.046507e-04,7.051272e-04,7.049529e-04,7.047394e-04,7.035606e-04,7.023828e-04,7.016594e-04,6.990993e-04,6.971426e-04,6.959395e-04,6.922349e-04,6.896869e-04,6.880364e-04,6.833915e-04,6.804086e-04,6.783440e-04,6.729348e-04,6.696467e-04,6.672016e-04,6.611795e-04,6.576932e-04,6.549010e-04,6.483962e-04,6.447994e-04,6.416928e-04,6.348167e-04,6.311809e-04,6.277917e-04,6.206398e-04,6.170226e-04,6.133812e-04,6.060348e-04,6.024825e-04,5.986179e-04,5.911464e-04,5.876952e-04,5.836349e-04,5.760971e-04,5.727752e-04,5.685451e-04,5.609905e-04,5.578193e-04,5.534437e-04,5.459142e-04,5.429092e-04,5.384108e-04,5.309413e-04,5.281134e-04,5.235131e-04,5.161329e-04,5.134888e-04,5.088064e-04,5.015393e-04,4.990829e-04,4.943363e-04,4.872020e-04,4.849341e-04,4.801401e-04,4.731544e-04,4.710740e-04,4.662479e-04,4.594234e-04,4.575275e-04,4.526833e-04,4.460299e-04,4.443144e-04,4.394649e-04,4.329899e-04,4.314495e-04,4.266064e-04,4.203154e-04,4.189439e-04,4.141178e-04,4.080143e-04,4.068050e-04,4.020056e-04,3.960919e-04,3.950376e-04,3.902736e-04,3.845506e-04,3.836438e-04,3.789231e-04,3.733908e-04,3.726238e-04,3.679534e-04,3.626107e-04,3.619760e-04,3.573623e-04,3.522075e-04,3.516971e-04,3.471457e-04,3.421765e-04,3.417829e-04,3.372990e-04,3.325124e-04,3.322281e-04,3.278160e-04,3.232088e-04,3.230264e-04,3.186900e-04,3.142587e-04,3.141710e-04,3.099139e-04,3.056546e-04,2.974693e-04,2.896071e-04,2.820597e-04,2.748185e-04,2.678750e-04,2.612205e-04,2.548464e-04,2.487442e-04,2.429053e-04,2.373214e-04,2.319842e-04,2.268856e-04,2.220176e-04,2.173724e-04,2.129423e-04,2.087198e-04,2.046977e-04,2.008688e-04,1.972263e-04,1.937633e-04,1.904734e-04,1.873503e-04,1.843876e-04,1.815795e-04,1.789201e-04,1.764038e-04,1.740251e-04,1.717787e-04,1.696595e-04,1.676625e-04,1.657829e-04,1.640160e-04,1.623574e-04,1.608026e-04,1.593475e-04,1.579878e-04,1.567197e-04,1.555394e-04,1.544430e-04,1.534271e-04,1.524882e-04,1.516229e-04,1.508279e-04,1.501001e-04,1.494366e-04,1.488342e-04,1.482903e-04,1.478021e-04,1.473669e-04
0.000000e+00,1.706357e-09,2.656442e-08,2.781024e-08,1.887843e-07,6.644809e-07,6.928473e-07,1.559656e-06,2.485439e-06,2.544614e-06,3.510640e-06,4.354346e-06,4.425457e-06,5.283500e-06,6.007517e-06,6.085200e-06,6.832411e-06,7.446610e-06,7.527309e-06,8.172115e-06,8.688263e-06,8.769029e-06,9.320222e-06,9.749458e-06,9.827834e-06,1.029396e-05,1.064667e-05,1.072065e-05,1.110992e-05,1.139570e-05,1.146372e-05,1.178394e-05,1.201159e-05,1.207242e-05,1.233092e-05,1.250838e-05,1.256114e-05,1.276471e-05,1.289910e-05,1.294316e-05,1.309797e-05,1.319558e-05,1.323054e-05,1.334221e-05,1.340865e-05,1.343428e-05,1.350796e-05,1.354817e-05,1.356444e-05,1.360488e-05,1.362331e-05,1.363036e-05,1.364188e-05,1.364236e-05,1.364038e-05,1.362675e-05,1.361259e-05,1.360185e-05,1.356648e-05,1.354054e-05,1.352139e-05,1.346731e-05,1.343209e-05,1.340491e-05,1.333484e-05,1.329248e-05,1.325771e-05,1.317410e-05,1.312644e-05,1.308453e-05,1.298953e-05,1.293814e-05,1.288957e-05,1.278512e-05,1.273134e-05,1.267660e-05,1.256441e-05,1.250937e-05,1.244894e-05,1.233054e-05,1.227519e-05,1.220956e-05,1.208630e-05,1.203142e-05,1.196106e-05,1.183412e-05,1.178036e-05,1.170575e-05,1.157618e-05,1.152407e-05,1.144565e-05,1.131437e-05,1.126433e-05,1.118255e-05,1.105036e-05,1.100272e-05,1.091799e-05,1.078560e-05,1.074061e-05,1.065334e-05,1.052135e-05,1.047920e-05,1.038977e-05,1.025870e-05,1.021950e-05,1.012828e-05,9.998593e-06,9.962427e-06,9.869745e-06,9.741822e-06,9.708724e-06,9.614906e-06,9.489071e-06,9.459039e-06,9.364386e-06,9.240912e-06,9.213917e-06,9.118707e-06,8.997821e-06,8.973806e-06,8.878301e-06,8.760187e-06,8.739079e-06,8.643518e-06,8.528325e-06,8.510033e-06,8.414637e-06,8.302480e-06,8.286902e-06,8.191876e-06,8.082842e-06,8.069865e-06,7.975395e-06,7.869546e-06,7.859049e-06,7.765305e-06,7.662680e-06,7.654540e-06,7.561677e-06,7.462297e-06,7.456385e-06,7.364541e-06,7.268409e-06,7.264598e-06,7.173899e-06,7.081003e-06,7.079162e-06,6.989719e-06,6.900037e-06,6.727159e-06,6.560448e-06,6.399807e-06,6.245126e-06,6.096285e-06,5.953154e-06,5.815595e-06,5.683467e-06,5.556622e-06,5.434908e-06,5.318175e-06,5.206269e-06,5.099034e-06,4.996318e-06,4.897967e-06,4.803829e-06,4.713755e-06,4.627599e-06,4.545216e-06,4.466464e-06,4.391205e-06,4.319303e-06,4.250626e-06,4.185047e-06,4.122439e-06,4.062683e-06,4.005660e-06,3.951257e-06,3.899363e-06,3.849873e-06,3.802684e-06,3.757696e-06,3.714814e-06,3.673945e-06,3.635002e-06,3.597898e-06,3.562551e-06,3.528883e-06,3.496817e-06,3.466281e-06,3.437205e-06,3.409522e-06,3.383166e-06,3.358078e-06,3.334197e-06,3.311466e-06,3.289832e-06,3.269243e-06,3.249649e-06
0.000000e+00,1.261435e-07,3.156574e-06,3.323557e-06,2.743258e-05,1.077052e-04,1.127781e-04,2.832584e-04,4.955100e-04,5.098949e-04,7.536294e-04,9.746133e-04,9.934035e-04,1.220870e-03,1.412795e-03,1.433346e-03,1.630355e-03,1.791188e-03,1.812233e-03,1.979599e-03,2.112461e-03,2.133154e-03,2.273612e-03,2.381997e-03,2.401685e-03,2.518076e-03,2.605278e-03,2.623466e-03,2.718513e-03,2.787528e-03,2.803848e-03,2.880074e-03,2.933578e-03,2.947766e-03,3.007468e-03,3.047818e-03,3.059698e-03,3.104946e-03,3.134207e-03,3.143674e-03,3.176321e-03,3.196293e-03,3.203298e-03,3.224996e-03,3.237242e-03,3.241783e-03,3.254005e-03,3.259875e-03,3.261988e-03,3.266039e-03,3.266700e-03,3.266447e-03,3.263485e-03,3.259940e-03,3.257409e-03,3.248459e-03,3.241567e-03,3.236862e-03,3.222831e-03,3.213326e-03,3.206564e-03,3.188249e-03,3.176759e-03,3.168063e-03,3.146171e-03,3.133224e-03,3.122727e-03,3.097876e-03,3.083921e-03,3.071755e-03,3.044492e-03,3.029903e-03,3.016204e-03,2.987004e-03,2.972095e-03,2.956997e-03,2.926279e-03,2.911309e-03,2.894942e-03,2.863071e-03,2.848254e-03,2.830746e-03,2.798041e-03,2.783548e-03,2.765023e-03,2.731759e-03,2.717729e-03,2.698307e-03,2.664723e-03,2.651264e-03,2.631059e-03,2.597362e-03,2.584557e-03,2.563676e-03,2.530044e-03,2.517956e-03,2.496501e-03,2.463085e-03,2.451758e-03,2.429826e-03,2.396755e-03,2.386216e-03,2.363899e-03,2.331282e-03,2.321547e-03,2.298928e-03,2.266858e-03,2.257932e-03,2.235090e-03,2.203642e-03,2.195520e-03,2.172529e-03,2.141766e-03,2.134436e-03,2.111364e-03,2.081336e-03,2.074781e-03,2.051691e-03,2.022438e-03,2.016636e-03,1.993586e-03,1.965139e-03,1.960062e-03,1.937105e-03,1.909487e-03,1.905107e-03,1.882291e-03,1.855519e-03,1.851805e-03,1.829173e-03,1.803256e-03,1.800175e-03,1.777769e-03,1.752712e-03,1.750230e-03,1.728086e-03,1.703890e-03,1.701972e-03,1.680122e-03,1.656782e-03,1.655395e-03,1.633868e-03,1.611378e-03,1.610488e-03,1.589310e-03,1.567660e-03,1.567231e-03,1.546426e-03,1.525605e-03,1.485581e-03,1.447131e-03,1.410223e-03,1.374821e-03,1.340890e-03,1.308393e-03,1.277291e-03,1.247544e-03,1.219113e-03,1.191958e-03,1.166039e-03,1.141317e-03,1.117751e-03,1.095304e-03,1.073935e-03,1.053608e-03,1.034284e-03,1.015927e-03,9.985018e-04,9.819725e-04,9.663051e-04,9.514662e-04,9.374232e-04,9.241446e-04,9.115994e-04,8.997578e-04,8.885908e-04,8.780702e-04,8.681687e-04,8.588599e-04,8.501182e-04,8.419187e-04,8.342376e-04,8.270517e-04,8.203385e-04,8.140765e-04,8.082447e-04,8.028230e-04,7.977919e-04,7.931326e-04,7.888272e-04,7.848580e-04,7.812084e-04,7.778621e-04,7.748035e-04,7.720177e-04,7.694902e-04,7.672071e-04,7.651552e-04
0.000000e+00,4.132136e-08,7.677402e-07,8.045287e-07,5.538446e-06,1.977553e-05,2.065661e-05,5.059065e-05,8.937618e-05,9.203867e-05,1.370636e-04,1.772212e-04,1.805994e-04,2.210692e-04,2.546581e-04,2.582266e-04,2.921700e-04,3.195216e-04,3.230763e-04,3.511356e-04,3.731322e-04,3.765347e-04,3.994530e-04,4.169119e-04,4.200606e-04,4.385185e-04,4.521562e-04,4.549779e-04,4.695811e-04,4.800173e-04,4.824617e-04,4.937447e-04,5.015120e-04,5.035472e-04,5.119784e-04,5.175320e-04,5.191404e-04,5.251293e-04,5.288586e-04,5.300344e-04,5.339390e-04,5.361746e-04,5.369207e-04,5.390523e-04,5.400750e-04,5.404013e-04,5.410307e-04,5.410777e-04,5.409991e-04,5.403612e-04,5.396330e-04,5.391680e-04,5.374669e-04,5.361321e-04,5.353019e-04,5.327140e-04,5.309141e-04,5.297416e-04,5.264200e-04,5.242733e-04,5.227822e-04,5.188590e-04,5.164640e-04,5.146788e-04,5.102679e-04,5.077064e-04,5.056511e-04,5.008510e-04,4.981902e-04,4.958887e-04,4.907839e-04,4.880791e-04,4.855546e-04,4.802176e-04,4.775136e-04,4.747885e-04,4.692816e-04,4.666146e-04,4.637102e-04,4.580866e-04,4.554854e-04,4.524221e-04,4.467271e-04,4.442141e-04,4.410112e-04,4.352832e-04,4.328759e-04,4.295514e-04,4.238231e-04,4.215344e-04,4.181052e-04,4.124040e-04,4.102431e-04,4.067252e-04,4.010741e-04,3.990474e-04,3.954553e-04,3.898734e-04,3.879846e-04,3.843321e-04,3.788351e-04,3.770860e-04,3.733856e-04,3.679865e-04,3.663770e-04,3.626404e-04,3.573496e-04,3.558784e-04,3.521162e-04,3.469420e-04,3.456066e-04,3.418286e-04,3.367775e-04,3.355746e-04,3.317898e-04,3.268666e-04,3.257923e-04,3.220088e-04,3.172170e-04,3.162667e-04,3.124919e-04,3.078340e-04,3.070027e-04,3.032435e-04,2.987207e-04,2.980034e-04,2.942658e-04,2.898787e-04,2.892700e-04,2.855595e-04,2.813080e-04,2.808024e-04,2.771241e-04,2.730074e-04,2.725994e-04,2.689576e-04,2.649745e-04,2.646587e-04,2.610575e-04,2.572062e-04,2.569772e-04,2.534201e-04,2.496987e-04,2.495512e-04,2.460413e-04,2.424475e-04,2.423762e-04,2.389165e-04,2.354477e-04,2.287603e-04,2.223086e-04,2.160871e-04,2.100899e-04,2.043111e-04,1.987448e-04,1.933849e-04,1.882255e-04,1.832605e-04,1.784842e-04,1.738905e-04,1.694739e-04,1.652286e-04,1.611490e-04,1.572298e-04,1.534655e-04,1.498511e-04,1.463815e-04,1.430516e-04,1.398568e-04,1.367924e-04,1.338537e-04,1.310365e-04,1.283364e-04,1.257494e-04,1.232713e-04,1.208984e-04,1.186268e-04,1.164529e-04,1.143732e-04,1.123843e-04,1.104828e-04,1.086656e-04,1.069295e-04,1.052717e-04,1.036892e-04,1.021793e-04,1.007392e-04,9.936629e-05,9.805817e-05,9.681236e-05,9.562651e-05,9.449837e-05,9.342575e-05,9.240654e-05,9.143870e-05,9.052026e-05,8.964932e-05,8.882405e-05
0.000000e+00,9.411725e-08,2.437782e-06,2.570346e-06,2.306452e-05,9.739649e-05,1.022318e-04,2.678412e-04,4.760861e-04,4.901719e-04,7.269090e-04,9.362950e-04,9.537798e-04,1.160494e-03,1.326616e-03,1.343894e-03,1.504041e-03,1.626824e-03,1.642323e-03,1.760593e-03,1.847781e-03,1.860792e-03,1.944792e-03,2.004113e-03,2.014337e-03,2.071021e-03,2.108927e-03,2.116294e-03,2.151460e-03,2.173111e-03,2.177696e-03,2.196056e-03,2.205522e-03,2.207486e-03,2.212830e-03,2.213289e-03,2.212843e-03,2.208200e-03,2.202123e-03,2.199503e-03,2.187288e-03,2.176584e-03,2.172032e-03,2.154157e-03,2.140292e-03,2.134043e-03,2.112023e-03,2.096113e-03,2.088393e-03,2.063419e-03,2.046312e-03,2.037331e-03,2.010337e-03,1.992670e-03,1.982619e-03,1.954338e-03,1.936585e-03,1.925637e-03,1.896639e-03,1.879145e-03,1.867456e-03,1.838184e-03,1.821199e-03,1.808907e-03,1.779699e-03,1.763397e-03,1.750625e-03,1.721741e-03,1.706239e-03,1.693094e-03,1.664727e-03,1.650099e-03,1.636675e-03,1.608970e-03,1.595255e-03,1.581636e-03,1.554696e-03,1.541910e-03,1.528167e-03,1.502064e-03,1.490203e-03,1.476400e-03,1.451182e-03,1.440230e-03,1.426419e-03,1.402116e-03,1.392047e-03,1.378276e-03,1.354901e-03,1.345681e-03,1.331991e-03,1.309546e-03,1.301138e-03,1.287564e-03,1.266042e-03,1.258406e-03,1.244977e-03,1.224365e-03,1.217459e-03,1.204201e-03,1.184480e-03,1.178262e-03,1.165197e-03,1.146345e-03,1.140773e-03,1.127919e-03,1.109912e-03,1.104945e-03,1.092318e-03,1.075129e-03,1.070726e-03,1.058339e-03,1.041941e-03,1.038062e-03,1.025927e-03,1.010290e-03,1.006900e-03,9.950245e-04,9.801218e-04,9.771842e-04,9.655753e-04,9.513778e-04,9.488588e-04,9.375224e-04,9.240020e-04,9.218694e-04,9.108098e-04,8.979388e-04,8.961621e-04,8.853823e-04,8.731337e-04,8.716842e-04,8.611863e-04,8.495336e-04,8.483843e-04,8.381693e-04,8.270871e-04,8.262125e-04,8.162807e-04,8.057440e-04,8.051203e-04,7.954711e-04,7.854562e-04,7.850608e-04,7.756933e-04,7.661769e-04,7.659890e-04,7.569013e-04,7.478612e-04,7.306356e-04,7.142718e-04,6.987311e-04,6.839763e-04,6.699719e-04,6.566835e-04,6.440785e-04,6.321256e-04,6.207945e-04,6.100567e-04,5.998845e-04,5.902517e-04,5.811329e-04,5.725042e-04,5.643424e-04,5.566256e-04,5.493326e-04,5.424432e-04,5.359383e-04,5.297993e-04,5.240088e-04,5.185498e-04,5.134063e-04,5.085630e-04,5.040051e-04,4.997187e-04,4.956903e-04,4.919071e-04,4.883570e-04,4.850283e-04,4.819098e-04,4.789909e-04,4.762613e-04,4.737115e-04,4.713322e-04,4.691145e-04,4.670500e-04,4.651307e-04,4.633488e-04,4.616971e-04,4.601686e-04,4.587566e-04,4.574548e-04,4.562570e-04,4.551577e-04,4.541511e-04,4.532322e-04,4.523958e-04,4.516374e-04
0.000000e+00,1.378615e-07,2.520490e-06,2.641055e-06,1.966587e-05,8.384639e-05,8.829812e-05,2.629848e-04,5.390253e-04,5.596370e-04,9.365066e-04,1.312300e-03,1.345377e-03,1.756824e-03,2.117251e-03,2.156465e-03,2.538038e-03,2.856935e-03,2.899160e-03,3.239215e-03,3.514937e-03,3.558380e-03,3.857184e-03,4.092946e-03,4.136315e-03,4.396529e-03,4.596334e-03,4.638604e-03,4.863324e-03,5.031124e-03,5.071461e-03,5.263770e-03,5.403258e-03,5.440987e-03,5.603824e-03,5.718387e-03,5.752969e-03,5.889084e-03,5.981797e-03,6.012808e-03,6.124756e-03,6.198397e-03,6.225516e-03,6.315654e-03,6.372724e-03,6.395715e-03,6.466220e-03,6.508960e-03,6.527667e-03,6.580536e-03,6.610954e-03,6.625285e-03,6.662355e-03,6.682244e-03,6.692165e-03,6.715119e-03,6.726077e-03,6.731601e-03,6.741982e-03,6.745428e-03,6.746612e-03,6.745830e-03,6.743025e-03,6.739958e-03,6.729304e-03,6.721360e-03,6.714163e-03,6.694815e-03,6.682712e-03,6.671528e-03,6.644560e-03,6.629163e-03,6.614154e-03,6.580544e-03,6.562608e-03,6.543953e-03,6.504592e-03,6.484775e-03,6.462664e-03,6.418360e-03,6.397234e-03,6.371866e-03,6.323354e-03,6.301413e-03,6.272992e-03,6.220938e-03,6.198607e-03,6.167342e-03,6.112346e-03,6.089987e-03,6.056088e-03,5.998695e-03,5.976614e-03,5.940290e-03,5.880990e-03,5.859444e-03,5.820905e-03,5.760139e-03,5.739341e-03,5.698791e-03,5.636955e-03,5.617079e-03,5.574720e-03,5.512169e-03,5.493355e-03,5.449383e-03,5.386435e-03,5.368790e-03,5.323396e-03,5.260334e-03,5.243941e-03,5.197310e-03,5.134385e-03,5.119303e-03,5.071613e-03,5.009047e-03,4.995315e-03,4.946736e-03,4.884726e-03,4.872364e-03,4.823061e-03,4.761779e-03,4.750792e-03,4.700920e-03,4.640518e-03,4.630898e-03,4.580606e-03,4.521214e-03,4.512942e-03,4.462370e-03,4.404102e-03,4.397149e-03,4.346432e-03,4.289383e-03,4.283713e-03,4.232976e-03,4.177229e-03,4.172799e-03,4.122159e-03,4.067782e-03,4.064542e-03,4.014112e-03,3.961161e-03,3.959059e-03,3.908942e-03,3.857462e-03,3.856440e-03,3.806733e-03,3.756761e-03,3.660077e-03,3.566428e-03,3.475840e-03,3.388327e-03,3.303892e-03,3.222525e-03,3.144211e-03,3.068926e-03,2.996637e-03,2.927306e-03,2.860890e-03,2.797342e-03,2.736608e-03,2.678635e-03,2.623363e-03,2.570733e-03,2.520682e-03,2.473145e-03,2.428057e-03,2.385350e-03,2.344957e-03,2.306810e-03,2.270840e-03,2.236979e-03,2.205160e-03,2.175314e-03,2.147374e-03,2.121274e-03,2.096946e-03,2.074325e-03,2.053346e-03,2.033945e-03,2.016061e-03,1.999630e-03,1.984592e-03,1.970888e-03,1.958460e-03,1.947250e-03,1.937203e-03,1.928263e-03,1.920379e-03,1.913497e-03,1.907566e-03,1.902538e-03,1.898365e-03,1.894999e-03,1.892395e-03,1.890509e-03,1.889298e-03
0.000000e+00,1.088197e-07,2.221278e-06,2.331826e-06,1.812291e-05,7.543659e-05,7.931457e-05,2.269657e-04,4.530823e-04,4.697970e-04,7.721339e-04,1.066666e-03,1.092197e-03,1.403387e-03,1.664711e-03,1.692422e-03,1.953892e-03,2.160103e-03,2.186506e-03,2.390989e-03,2.545589e-03,2.568988e-03,2.722513e-03,2.834096e-03,2.853662e-03,2.964486e-03,3.041562e-03,3.056928e-03,3.132802e-03,3.182699e-03,3.193778e-03,3.241389e-03,3.270152e-03,3.277035e-03,3.301990e-03,3.314523e-03,3.317413e-03,3.324358e-03,3.324603e-03,3.323777e-03,3.316535e-03,3.307638e-03,3.303413e-03,3.285118e-03,3.269578e-03,3.262288e-03,3.235500e-03,3.215291e-03,3.205274e-03,3.172077e-03,3.148747e-03,3.136332e-03,3.098419e-03,3.073176e-03,3.058679e-03,3.017419e-03,2.991196e-03,2.974914e-03,2.931409e-03,2.904919e-03,2.887126e-03,2.842262e-03,2.816044e-03,2.796992e-03,2.751474e-03,2.725928e-03,2.705847e-03,2.660234e-03,2.635648e-03,2.614744e-03,2.569475e-03,2.546051e-03,2.524512e-03,2.479928e-03,2.457799e-03,2.435789e-03,2.392151e-03,2.371398e-03,2.349063e-03,2.306568e-03,2.287229e-03,2.264700e-03,2.223491e-03,2.205574e-03,2.182965e-03,2.143144e-03,2.126633e-03,2.104043e-03,2.065675e-03,2.050536e-03,2.028050e-03,1.991176e-03,1.977361e-03,1.955056e-03,1.919693e-03,1.907148e-03,1.885087e-03,1.851235e-03,1.839897e-03,1.818136e-03,1.785783e-03,1.775587e-03,1.754171e-03,1.723293e-03,1.714171e-03,1.693140e-03,1.663704e-03,1.655590e-03,1.634976e-03,1.606945e-03,1.599770e-03,1.579601e-03,1.552932e-03,1.546631e-03,1.526928e-03,1.501576e-03,1.496085e-03,1.476865e-03,1.452783e-03,1.448041e-03,1.429317e-03,1.406455e-03,1.402403e-03,1.384185e-03,1.362495e-03,1.359078e-03,1.341373e-03,1.320805e-03,1.317969e-03,1.300780e-03,1.281287e-03,1.278983e-03,1.262312e-03,1.243844e-03,1.242025e-03,1.225872e-03,1.208384e-03,1.207006e-03,1.191368e-03,1.174814e-03,1.173835e-03,1.158709e-03,1.143045e-03,1.142427e-03,1.127808e-03,1.112990e-03,1.112698e-03,1.098580e-03,1.084568e-03,1.057959e-03,1.032796e-03,1.009008e-03,9.865263e-04,9.652852e-04,9.452221e-04,9.262770e-04,9.083929e-04,8.915152e-04,8.755919e-04,8.605738e-04,8.464136e-04,8.330665e-04,8.204900e-04,8.086434e-04,7.974883e-04,7.869880e-04,7.771078e-04,7.678144e-04,7.590765e-04,7.508643e-04,7.431494e-04,7.359050e-04,7.291054e-04,7.227265e-04,7.167452e-04,7.111397e-04,7.058893e-04,7.009743e-04,6.963761e-04,6.920769e-04,6.880601e-04,6.843096e-04,6.808104e-04,6.775483e-04,6.745096e-04,6.716815e-04,6.690518e-04,6.666089e-04,6.643420e-04,6.622407e-04,6.602951e-04,6.584959e-04,6.568344e-04,6.553022e-04,6.538913e-04,6.525945e-04,6.514045e-04,6.503148e-04
0.000000e+00,5.426650e-08,9.730488e-07,1.019082e-06,7.252448e-06,2.896882e-05,3.042456e-05,8.558971e-05,1.699408e-04,1.761655e-04,2.879673e-04,3.950145e-04,4.042109e-04,5.155819e-04,6.086956e-04,6.185843e-04,7.123809e-04,7.874211e-04,7.971274e-04,8.733056e-04,9.323994e-04,9.414845e-04,1.002239e-03,1.047944e-03,1.056126e-03,1.103671e-03,1.138275e-03,1.145371e-03,1.181689e-03,1.207162e-03,1.213060e-03,1.239885e-03,1.257896e-03,1.262541e-03,1.281376e-03,1.293334e-03,1.296712e-03,1.308849e-03,1.315933e-03,1.318062e-03,1.324609e-03,1.327806e-03,1.328727e-03,1.330635e-03,1.330764e-03,1.330535e-03,1.328614e-03,1.326355e-03,1.325043e-03,1.319981e-03,1.315894e-03,1.313574e-03,1.305957e-03,1.300505e-03,1.297254e-03,1.287579e-03,1.281139e-03,1.277038e-03,1.265727e-03,1.258608e-03,1.253736e-03,1.241145e-03,1.233598e-03,1.228031e-03,1.214462e-03,1.206689e-03,1.200502e-03,1.186208e-03,1.178370e-03,1.171635e-03,1.156830e-03,1.149055e-03,1.141838e-03,1.126700e-03,1.119089e-03,1.111454e-03,1.096133e-03,1.088761e-03,1.080768e-03,1.065387e-03,1.058314e-03,1.050016e-03,1.034678e-03,1.027945e-03,1.019394e-03,1.004183e-03,9.978207e-04,9.890626e-04,9.740476e-04,9.680743e-04,9.591520e-04,9.443884e-04,9.388152e-04,9.297679e-04,9.153001e-04,9.101309e-04,9.009940e-04,8.868570e-04,8.820902e-04,8.728960e-04,8.591166e-04,8.547465e-04,8.455241e-04,8.321226e-04,8.281399e-04,8.189157e-04,8.059065e-04,8.022996e-04,7.930973e-04,7.804901e-04,7.772455e-04,7.680862e-04,7.558868e-04,7.529894e-04,7.438923e-04,7.321029e-04,7.295368e-04,7.205187e-04,7.091392e-04,7.068878e-04,6.979637e-04,6.869914e-04,6.850379e-04,6.762211e-04,6.656515e-04,6.639789e-04,6.552811e-04,6.451083e-04,6.436997e-04,6.351312e-04,6.253479e-04,6.241869e-04,6.157564e-04,6.063546e-04,6.054248e-04,5.971402e-04,5.881108e-04,5.873964e-04,5.792642e-04,5.705980e-04,5.700837e-04,5.621095e-04,5.537965e-04,5.534676e-04,5.456562e-04,5.376861e-04,5.375284e-04,5.298837e-04,5.222463e-04,5.076009e-04,4.935720e-04,4.801394e-04,4.672829e-04,4.549827e-04,4.432193e-04,4.319735e-04,4.212265e-04,4.109600e-04,4.011561e-04,3.917973e-04,3.828668e-04,3.743481e-04,3.662253e-04,3.584831e-04,3.511063e-04,3.440808e-04,3.373924e-04,3.310277e-04,3.249738e-04,3.192181e-04,3.137484e-04,3.085533e-04,3.036213e-04,2.989417e-04,2.945041e-04,2.902985e-04,2.863151e-04,2.825447e-04,2.789783e-04,2.756074e-04,2.724236e-04,2.694190e-04,2.665859e-04,2.639169e-04,2.614049e-04,2.590432e-04,2.568251e-04,2.547444e-04,2.527949e-04,2.509710e-04,2.492669e-04,2.476772e-04,2.461969e-04,2.448209e-04,2.435445e-04,2.423630e-04,2.412720e-04,2.402673e-04
0.000000e+00,1.171811e-07,2.328110e-06,2.442648e-06,1.885548e-05,8.028939e-05,8.452117e-05,2.496480e-04,5.126205e-04,5.324805e-04,9.015387e-04,1.278192e-03,1.311575e-03,1.726676e-03,2.084824e-03,2.123178e-03,2.487170e-03,2.774892e-03,2.811627e-03,3.094117e-03,3.303829e-03,3.335150e-03,3.537003e-03,3.678648e-03,3.702932e-03,3.836640e-03,3.924904e-03,3.941925e-03,4.022468e-03,4.071408e-03,4.081706e-03,4.122763e-03,4.143971e-03,4.148426e-03,4.161141e-03,4.163463e-03,4.163032e-03,4.155919e-03,4.145782e-03,4.141356e-03,4.120661e-03,4.102592e-03,4.094940e-03,4.065121e-03,4.042228e-03,4.031976e-03,3.996150e-03,3.970535e-03,3.958179e-03,3.918504e-03,3.891566e-03,3.877492e-03,3.835444e-03,3.808108e-03,3.792612e-03,3.749204e-03,3.722078e-03,3.705391e-03,3.661317e-03,3.634798e-03,3.617101e-03,3.572841e-03,3.547185e-03,3.528623e-03,3.484515e-03,3.459885e-03,3.440577e-03,3.396861e-03,3.373362e-03,3.353409e-03,3.310257e-03,3.287948e-03,3.267438e-03,3.224978e-03,3.203891e-03,3.182902e-03,3.141228e-03,3.121373e-03,3.099974e-03,3.059156e-03,3.040530e-03,3.018786e-03,2.978876e-03,2.961463e-03,2.939434e-03,2.900468e-03,2.884246e-03,2.861986e-03,2.823992e-03,2.808932e-03,2.786491e-03,2.749487e-03,2.735556e-03,2.712982e-03,2.676977e-03,2.664139e-03,2.641475e-03,2.606475e-03,2.594689e-03,2.571977e-03,2.537981e-03,2.527208e-03,2.504486e-03,2.471490e-03,2.461688e-03,2.438990e-03,2.406986e-03,2.398113e-03,2.375474e-03,2.344452e-03,2.336466e-03,2.313916e-03,2.283863e-03,2.276722e-03,2.254289e-03,2.225191e-03,2.218853e-03,2.196564e-03,2.168405e-03,2.162829e-03,2.140710e-03,2.113473e-03,2.108619e-03,2.086691e-03,2.060359e-03,2.056188e-03,2.034473e-03,2.009027e-03,2.005500e-03,1.984018e-03,1.959440e-03,1.956519e-03,1.935288e-03,1.911559e-03,1.909209e-03,1.888246e-03,1.865345e-03,1.863530e-03,1.842851e-03,1.820759e-03,1.819447e-03,1.799065e-03,1.777764e-03,1.776920e-03,1.756850e-03,1.736319e-03,1.735912e-03,1.716165e-03,1.696385e-03,1.658303e-03,1.621628e-03,1.586324e-03,1.552355e-03,1.519685e-03,1.488280e-03,1.458105e-03,1.429126e-03,1.401311e-03,1.374628e-03,1.349043e-03,1.324527e-03,1.301049e-03,1.278578e-03,1.257086e-03,1.236544e-03,1.216923e-03,1.198197e-03,1.180339e-03,1.163321e-03,1.147119e-03,1.131708e-03,1.117062e-03,1.103157e-03,1.089971e-03,1.077479e-03,1.065659e-03,1.054489e-03,1.043947e-03,1.034013e-03,1.024665e-03,1.015883e-03,1.007647e-03,9.999375e-04,9.927358e-04,9.860229e-04,9.797808e-04,9.739914e-04,9.686374e-04,9.637016e-04,9.591673e-04,9.550181e-04,9.512381e-04,9.478117e-04,9.447235e-04,9.419587e-04,9.395027e-04,9.373413e-04,9.354605e-04
0.000000e+00,5.701687e-10,6.942630e-09,7.231830e-09,3.989558e-08,1.270973e-07,1.323192e-07,3.068866e-07,5.369181e-07,5.531197e-07,8.355408e-07,1.096305e-06,1.118384e-06,1.382487e-06,1.599466e-06,1.622337e-06,1.837772e-06,2.008197e-06,2.030111e-06,2.200995e-06,2.332058e-06,2.352077e-06,2.484938e-06,2.583550e-06,2.601064e-06,2.701845e-06,2.773942e-06,2.788570e-06,2.862439e-06,2.913024e-06,2.924558e-06,2.975952e-06,3.009205e-06,3.017567e-06,3.050273e-06,3.069670e-06,3.074876e-06,3.092121e-06,3.100550e-06,3.102693e-06,3.107223e-06,3.107072e-06,3.106293e-06,3.100438e-06,3.093674e-06,3.090150e-06,3.075881e-06,3.064118e-06,3.058047e-06,3.037029e-06,3.021584e-06,3.013177e-06,2.986814e-06,2.968761e-06,2.958234e-06,2.927708e-06,2.907913e-06,2.895481e-06,2.861781e-06,2.840941e-06,2.826815e-06,2.790771e-06,2.769440e-06,2.753822e-06,2.716125e-06,2.694742e-06,2.677824e-06,2.639050e-06,2.617956e-06,2.599920e-06,2.560542e-06,2.540001e-06,2.521015e-06,2.481426e-06,2.461634e-06,2.441856e-06,2.402376e-06,2.383477e-06,2.363051e-06,2.323940e-06,2.306035e-06,2.285094e-06,2.246559e-06,2.229714e-06,2.208379e-06,2.170588e-06,2.154840e-06,2.133220e-06,2.096303e-06,2.081668e-06,2.059862e-06,2.023919e-06,2.010395e-06,1.988491e-06,1.953596e-06,1.941166e-06,1.919246e-06,1.885452e-06,1.874090e-06,1.852223e-06,1.819566e-06,1.809237e-06,1.787486e-06,1.755988e-06,1.746652e-06,1.725073e-06,1.694742e-06,1.686354e-06,1.664996e-06,1.635832e-06,1.628345e-06,1.607249e-06,1.579244e-06,1.572608e-06,1.551813e-06,1.524951e-06,1.519118e-06,1.498654e-06,1.472915e-06,1.467834e-06,1.447730e-06,1.423090e-06,1.418712e-06,1.398990e-06,1.375422e-06,1.371700e-06,1.352378e-06,1.329852e-06,1.326739e-06,1.307834e-06,1.286318e-06,1.283770e-06,1.265295e-06,1.244756e-06,1.242729e-06,1.224694e-06,1.205099e-06,1.203552e-06,1.185964e-06,1.167280e-06,1.166173e-06,1.149038e-06,1.131230e-06,1.130527e-06,1.113848e-06,1.096883e-06,1.096548e-06,1.080327e-06,1.064172e-06,1.033334e-06,1.003971e-06,9.760237e-07,9.494312e-07,9.241357e-07,9.000811e-07,8.772131e-07,8.554792e-07,8.348287e-07,8.152130e-07,7.965851e-07,7.789000e-07,7.621144e-07,7.461869e-07,7.310777e-07,7.167487e-07,7.031634e-07,6.902869e-07,6.780859e-07,6.665285e-07,6.555840e-07,6.452235e-07,6.354190e-07,6.261440e-07,6.173731e-07,6.090821e-07,6.012479e-07,5.938483e-07,5.868624e-07,5.802701e-07,5.740523e-07,5.681906e-07,5.626676e-07,5.574668e-07,5.525724e-07,5.479692e-07,5.436428e-07,5.395796e-07,5.357664e-07,5.321908e-07,5.288409e-07,5.257054e-07,5.227735e-07,5.200350e-07,5.174800e-07,5.150992e-07,5.128837e-07,5.108251e-07,5.089152e-07
0.000000e+00,1.098906e-07,1.950440e-06,2.041319e-06,1.426805e-05,5.853857e-05,6.160060e-05,1.851659e-04,4.007733e-04,4.179473e-04,7.550848e-04,1.124405e-03,1.157985e-03,1.583718e-03,1.960368e-03,2.001118e-03,2.391509e-03,2.704892e-03,2.745235e-03,3.058422e-03,3.294988e-03,3.330687e-03,3.563647e-03,3.730902e-03,3.759982e-03,3.922854e-03,4.033758e-03,4.055567e-03,4.161358e-03,4.228673e-03,4.243291e-03,4.304197e-03,4.338776e-03,4.346657e-03,4.372996e-03,4.383520e-03,4.385294e-03,4.385402e-03,4.378608e-03,4.374963e-03,4.355428e-03,4.336456e-03,4.328078e-03,4.294041e-03,4.266774e-03,4.254311e-03,4.209761e-03,4.177108e-03,4.161156e-03,4.109169e-03,4.073294e-03,4.054389e-03,3.997338e-03,3.959846e-03,3.938470e-03,3.878181e-03,3.840243e-03,3.816819e-03,3.754688e-03,3.717151e-03,3.692051e-03,3.629138e-03,3.592603e-03,3.566151e-03,3.503263e-03,3.468146e-03,3.440626e-03,3.378370e-03,3.344950e-03,3.316607e-03,3.255435e-03,3.223886e-03,3.194934e-03,3.135174e-03,3.105592e-03,3.076216e-03,3.018108e-03,2.990531e-03,2.960892e-03,2.904602e-03,2.879027e-03,2.849264e-03,2.794899e-03,2.771291e-03,2.741524e-03,2.689150e-03,2.667454e-03,2.637786e-03,2.587436e-03,2.567580e-03,2.538101e-03,2.489780e-03,2.471684e-03,2.442471e-03,2.396167e-03,2.379742e-03,2.350862e-03,2.306547e-03,2.291703e-03,2.263212e-03,2.220847e-03,2.207493e-03,2.179439e-03,2.138977e-03,2.127021e-03,2.099447e-03,2.060836e-03,2.050187e-03,2.023129e-03,1.986311e-03,1.976882e-03,1.950368e-03,1.915286e-03,1.906992e-03,1.881048e-03,1.847639e-03,1.840399e-03,1.815045e-03,1.783250e-03,1.776985e-03,1.752238e-03,1.721995e-03,1.716632e-03,1.692506e-03,1.663754e-03,1.659221e-03,1.635726e-03,1.608406e-03,1.604637e-03,1.581781e-03,1.555834e-03,1.552766e-03,1.530553e-03,1.505923e-03,1.503495e-03,1.481930e-03,1.458561e-03,1.456718e-03,1.435802e-03,1.413639e-03,1.412328e-03,1.392061e-03,1.371054e-03,1.370225e-03,1.350605e-03,1.330702e-03,1.330309e-03,1.311333e-03,1.292486e-03,1.256663e-03,1.222753e-03,1.190671e-03,1.160334e-03,1.131665e-03,1.104588e-03,1.079030e-03,1.054922e-03,1.032198e-03,1.010794e-03,9.906482e-04,9.717019e-04,9.538990e-04,9.371855e-04,9.215097e-04,9.068222e-04,8.930755e-04,8.802241e-04,8.682245e-04,8.570350e-04,8.466157e-04,8.369283e-04,8.279361e-04,8.196041e-04,8.118987e-04,8.047878e-04,7.982404e-04,7.922271e-04,7.867198e-04,7.816913e-04,7.771158e-04,7.729686e-04,7.692260e-04,7.658653e-04,7.628649e-04,7.602040e-04,7.578628e-04,7.558224e-04,7.540647e-04,7.525723e-04,7.513289e-04,7.503185e-04,7.495262e-04,7.489375e-04,7.485389e-04,7.483171e-04,7.482599e-04,7.483553e-04,7.485919e-04
0.000000e+00,5.446397e-08,1.215431e-06,1.278648e-06,1.089462e-05,4.751526e-05,5.000293e-05,1.420528e-04,2.705259e-04,2.794840e-04,4.310025e-04,5.615828e-04,5.721559e-04,6.914956e-04,7.777965e-04,7.861788e-04,8.577377e-04,9.041918e-04,9.094771e-04,9.450930e-04,9.654619e-04,9.680241e-04,9.812044e-04,9.864988e-04,9.870164e-04,9.873345e-04,9.845196e-04,9.836018e-04,9.769136e-04,9.699948e-04,9.680916e-04,9.577480e-04,9.489197e-04,9.463360e-04,9.341892e-04,9.246187e-04,9.215511e-04,9.085984e-04,8.988889e-04,8.954615e-04,8.822359e-04,8.726988e-04,8.689920e-04,8.557824e-04,8.465777e-04,8.426466e-04,8.296138e-04,8.208221e-04,8.167068e-04,8.039461e-04,7.956124e-04,7.913479e-04,7.789207e-04,7.710598e-04,7.666703e-04,7.545998e-04,7.472070e-04,7.427104e-04,7.310028e-04,7.240655e-04,7.194771e-04,7.081331e-04,7.016367e-04,6.969703e-04,6.859880e-04,6.799164e-04,6.751852e-04,6.645608e-04,6.588973e-04,6.541135e-04,6.438419e-04,6.385697e-04,6.337447e-04,6.238201e-04,6.189219e-04,6.140664e-04,6.044818e-04,5.999408e-04,5.950646e-04,5.858129e-04,5.816121e-04,5.767246e-04,5.677978e-04,5.639207e-04,5.590305e-04,5.504206e-04,5.468509e-04,5.419660e-04,5.336645e-04,5.303863e-04,5.255141e-04,5.175127e-04,5.145108e-04,5.096581e-04,5.019482e-04,4.992077e-04,4.943809e-04,4.869540e-04,4.844604e-04,4.796654e-04,4.725130e-04,4.702526e-04,4.654947e-04,4.586084e-04,4.565680e-04,4.518521e-04,4.452236e-04,4.433903e-04,4.387211e-04,4.323423e-04,4.307039e-04,4.260854e-04,4.199483e-04,4.184930e-04,4.139292e-04,4.080259e-04,4.067426e-04,4.022367e-04,3.965597e-04,3.954376e-04,3.909929e-04,3.855346e-04,3.845634e-04,3.801828e-04,3.749359e-04,3.741059e-04,3.697919e-04,3.647492e-04,3.640512e-04,3.598061e-04,3.549607e-04,3.543858e-04,3.502116e-04,3.455569e-04,3.450965e-04,3.409950e-04,3.365244e-04,3.361707e-04,3.321435e-04,3.278506e-04,3.275958e-04,3.236443e-04,3.195231e-04,3.193600e-04,3.154853e-04,3.115297e-04,3.114514e-04,3.076547e-04,3.038588e-04,2.965713e-04,2.895781e-04,2.828690e-04,2.764339e-04,2.702633e-04,2.643479e-04,2.586784e-04,2.532462e-04,2.480429e-04,2.430601e-04,2.382901e-04,2.337251e-04,2.293577e-04,2.251808e-04,2.211875e-04,2.173710e-04,2.137249e-04,2.102429e-04,2.069191e-04,2.037474e-04,2.007224e-04,1.978386e-04,1.950906e-04,1.924735e-04,1.899822e-04,1.876120e-04,1.853584e-04,1.832169e-04,1.811831e-04,1.792530e-04,1.774226e-04,1.756880e-04,1.740454e-04,1.724913e-04,1.710222e-04,1.696346e-04,1.683253e-04,1.670913e-04,1.659294e-04,1.648368e-04,1.638105e-04,1.628479e-04,1.619463e-04,1.611031e-04,1.603160e-04,1.595825e-04,1.589003e-04,1.582672e-04,1.576811e-04
0.000000e+00,5.161261e-09,1.357230e-07,1.428674e-07,1.035875e-06,2.866919e-06,2.951558e-06,5.055512e-06,6.914819e-06,7.028539e-06,8.835479e-06,1.035531e-05,1.048129e-05,1.197650e-05,1.320231e-05,1.333184e-05,1.455736e-05,1.553585e-05,1.566238e-05,1.665554e-05,1.742642e-05,1.754498e-05,1.833833e-05,1.893575e-05,1.904277e-05,1.966507e-05,2.011854e-05,2.021159e-05,2.068827e-05,2.102309e-05,2.110069e-05,2.145403e-05,2.169175e-05,2.175313e-05,2.200247e-05,2.216125e-05,2.220620e-05,2.236819e-05,2.246329e-05,2.249200e-05,2.258092e-05,2.262506e-05,2.263800e-05,2.266604e-05,2.266978e-05,2.266763e-05,2.264519e-05,2.261733e-05,2.260091e-05,2.253685e-05,2.248465e-05,2.245488e-05,2.235675e-05,2.228620e-05,2.224405e-05,2.211823e-05,2.203423e-05,2.198064e-05,2.183252e-05,2.173907e-05,2.167500e-05,2.150914e-05,2.140950e-05,2.133589e-05,2.115614e-05,2.105295e-05,2.097070e-05,2.078031e-05,2.067569e-05,2.058566e-05,2.038737e-05,2.028301e-05,2.018601e-05,1.998211e-05,1.987936e-05,1.977615e-05,1.956858e-05,1.946848e-05,1.935978e-05,1.915014e-05,1.905351e-05,1.893998e-05,1.872961e-05,1.863705e-05,1.851931e-05,1.830933e-05,1.822129e-05,1.809990e-05,1.789123e-05,1.780802e-05,1.768351e-05,1.747691e-05,1.739872e-05,1.727158e-05,1.706766e-05,1.699462e-05,1.686528e-05,1.666455e-05,1.659670e-05,1.646557e-05,1.626842e-05,1.620573e-05,1.607319e-05,1.587994e-05,1.582237e-05,1.568875e-05,1.549965e-05,1.544708e-05,1.531269e-05,1.512792e-05,1.508025e-05,1.494538e-05,1.476507e-05,1.472214e-05,1.458704e-05,1.441130e-05,1.437294e-05,1.423786e-05,1.406673e-05,1.403278e-05,1.389792e-05,1.373143e-05,1.370171e-05,1.356726e-05,1.340542e-05,1.337974e-05,1.324589e-05,1.308867e-05,1.306685e-05,1.293375e-05,1.278113e-05,1.276296e-05,1.263078e-05,1.248269e-05,1.246800e-05,1.233685e-05,1.219325e-05,1.218185e-05,1.205186e-05,1.191266e-05,1.190438e-05,1.177564e-05,1.164078e-05,1.163543e-05,1.150806e-05,1.137745e-05,1.137486e-05,1.124894e-05,1.112249e-05,1.087816e-05,1.064167e-05,1.041285e-05,1.019152e-05,9.977482e-06,9.770559e-06,9.570562e-06,9.377308e-06,9.190615e-06,9.010302e-06,8.836193e-06,8.668113e-06,8.505889e-06,8.349356e-06,8.198346e-06,8.052700e-06,7.912260e-06,7.776872e-06,7.646384e-06,7.520651e-06,7.399530e-06,7.282880e-06,7.170566e-06,7.062455e-06,6.958419e-06,6.858330e-06,6.762069e-06,6.669514e-06,6.580551e-06,6.495067e-06,6.412952e-06,6.334099e-06,6.258406e-06,6.185772e-06,6.116097e-06,6.049288e-06,5.985252e-06,5.923899e-06,5.865141e-06,5.808894e-06,5.755074e-06,5.703602e-06,5.654399e-06,5.607391e-06,5.562503e-06,5.519663e-06,5.478803e-06,5.439854e-06,5.402752e-06
0.000000e+00,1.831190e-07,3.466669e-06,3.632929e-06,2.639988e-05,1.070305e-04,1.124824e-04,3.225503e-04,6.566475e-04,6.819280e-04,1.149246e-03,1.613377e-03,1.653581e-03,2.137602e-03,2.527616e-03,2.567651e-03,2.928771e-03,3.187013e-03,3.218014e-03,3.439287e-03,3.580744e-03,3.599893e-03,3.708412e-03,3.765655e-03,3.773489e-03,3.803164e-03,3.806109e-03,3.804560e-03,3.783784e-03,3.754667e-03,3.745949e-03,3.695252e-03,3.648987e-03,3.635086e-03,3.568158e-03,3.514103e-03,3.496604e-03,3.422087e-03,3.365803e-03,3.345889e-03,3.268987e-03,3.213602e-03,3.192116e-03,3.115823e-03,3.062979e-03,3.040505e-03,2.966447e-03,2.916912e-03,2.893849e-03,2.822842e-03,2.776891e-03,2.753510e-03,2.685902e-03,2.643548e-03,2.620039e-03,2.555922e-03,2.517043e-03,2.493541e-03,2.432874e-03,2.397285e-03,2.373893e-03,2.316567e-03,2.284062e-03,2.260861e-03,2.206739e-03,2.177109e-03,2.154165e-03,2.103103e-03,2.076145e-03,2.053516e-03,2.005367e-03,1.980887e-03,1.958622e-03,1.913246e-03,1.891060e-03,1.869204e-03,1.826464e-03,1.806401e-03,1.784992e-03,1.744757e-03,1.726656e-03,1.705727e-03,1.667871e-03,1.651579e-03,1.631160e-03,1.595562e-03,1.580937e-03,1.561051e-03,1.527596e-03,1.514504e-03,1.495170e-03,1.463746e-03,1.452062e-03,1.433298e-03,1.403797e-03,1.393404e-03,1.375220e-03,1.347540e-03,1.338329e-03,1.320734e-03,1.294776e-03,1.286645e-03,1.269644e-03,1.245314e-03,1.238168e-03,1.221763e-03,1.198970e-03,1.192721e-03,1.176913e-03,1.155571e-03,1.150137e-03,1.134924e-03,1.114950e-03,1.110255e-03,1.095632e-03,1.076949e-03,1.072922e-03,1.058883e-03,1.041417e-03,1.037994e-03,1.024532e-03,1.008211e-03,1.005332e-03,9.924374e-04,9.771951e-04,9.748046e-04,9.624682e-04,9.482411e-04,9.462883e-04,9.344988e-04,9.212268e-04,9.196651e-04,9.084108e-04,8.960371e-04,8.948235e-04,8.840920e-04,8.725627e-04,8.716579e-04,8.614363e-04,8.507006e-04,8.500686e-04,8.403434e-04,8.303533e-04,8.299611e-04,8.207187e-04,8.114288e-04,8.112465e-04,8.024728e-04,7.938404e-04,7.776634e-04,7.626404e-04,7.487006e-04,7.357773e-04,7.238075e-04,7.127317e-04,7.024940e-04,6.930417e-04,6.843250e-04,6.762970e-04,6.689136e-04,6.621332e-04,6.559168e-04,6.502274e-04,6.450304e-04,6.402930e-04,6.359846e-04,6.320761e-04,6.285405e-04,6.253522e-04,6.224869e-04,6.199222e-04,6.176367e-04,6.156105e-04,6.138248e-04,6.122620e-04,6.109054e-04,6.097395e-04,6.087498e-04,6.079226e-04,6.072450e-04,6.067050e-04,6.062914e-04,6.059936e-04,6.058017e-04,6.057064e-04,6.056993e-04,6.057721e-04,6.059173e-04,6.061280e-04,6.063975e-04,6.067198e-04,6.070891e-04,6.075001e-04,6.079481e-04,6.084283e-04,6.089366e-04,6.094690e-04,6.100219e-04
0.000000e+00,3.961332e-08,9.835201e-07,1.036675e-06,9.403844e-06,4.134783e-05,4.348894e-05,1.201073e-04,2.223069e-04,2.293687e-04,3.499178e-04,4.587200e-04,4.678787e-04,5.769312e-04,6.656010e-04,6.748794e-04,7.614443e-04,8.286178e-04,8.371565e-04,9.028468e-04,9.520173e-04,9.594230e-04,1.007775e-03,1.042649e-03,1.048740e-03,1.083084e-03,1.106801e-03,1.111511e-03,1.134654e-03,1.149752e-03,1.153087e-03,1.167331e-03,1.175836e-03,1.177853e-03,1.185073e-03,1.188585e-03,1.189368e-03,1.191076e-03,1.190856e-03,1.190503e-03,1.187920e-03,1.184955e-03,1.183572e-03,1.177678e-03,1.172738e-03,1.170433e-03,1.162012e-03,1.155695e-03,1.152572e-03,1.142252e-03,1.135020e-03,1.131178e-03,1.119460e-03,1.111670e-03,1.107200e-03,1.094485e-03,1.086408e-03,1.081394e-03,1.067999e-03,1.059841e-03,1.054361e-03,1.040536e-03,1.032452e-03,1.026575e-03,1.012520e-03,1.004623e-03,9.984106e-04,9.842816e-04,9.766545e-04,9.701631e-04,9.560819e-04,9.487823e-04,9.420615e-04,9.281225e-04,9.211894e-04,9.142832e-04,9.005593e-04,8.940168e-04,8.869643e-04,8.735103e-04,8.673717e-04,8.602074e-04,8.470643e-04,8.413339e-04,8.340885e-04,8.212861e-04,8.159621e-04,8.086624e-04,7.962215e-04,7.912972e-04,7.839671e-04,7.719015e-04,7.673666e-04,7.600270e-04,7.483448e-04,7.441865e-04,7.368558e-04,7.255605e-04,7.217642e-04,7.144588e-04,7.035505e-04,7.001005e-04,6.928348e-04,6.823109e-04,6.791909e-04,6.719774e-04,6.618331e-04,6.590264e-04,6.518763e-04,6.421053e-04,6.395950e-04,6.325181e-04,6.231127e-04,6.208823e-04,6.138871e-04,6.048389e-04,6.028719e-04,5.959660e-04,5.872659e-04,5.855464e-04,5.787363e-04,5.703747e-04,5.688872e-04,5.621786e-04,5.541456e-04,5.528752e-04,5.462731e-04,5.385586e-04,5.374910e-04,5.309996e-04,5.235936e-04,5.227151e-04,5.163381e-04,5.092304e-04,5.085277e-04,5.022683e-04,4.954491e-04,4.949096e-04,4.887703e-04,4.822297e-04,4.818416e-04,4.758246e-04,4.695528e-04,4.693047e-04,4.634118e-04,4.573994e-04,4.572804e-04,4.515131e-04,4.457508e-04,4.346981e-04,4.241051e-04,4.139551e-04,4.042319e-04,3.949198e-04,3.860034e-04,3.774682e-04,3.692997e-04,3.614841e-04,3.540081e-04,3.468589e-04,3.400238e-04,3.334910e-04,3.272487e-04,3.212858e-04,3.155916e-04,3.101554e-04,3.049674e-04,3.000178e-04,2.952973e-04,2.907969e-04,2.865078e-04,2.824217e-04,2.785306e-04,2.748267e-04,2.713025e-04,2.679508e-04,2.647646e-04,2.617372e-04,2.588623e-04,2.561336e-04,2.535451e-04,2.510910e-04,2.487659e-04,2.465644e-04,2.444813e-04,2.425118e-04,2.406510e-04,2.388944e-04,2.372375e-04,2.356762e-04,2.342063e-04,2.328239e-04,2.315253e-04,2.303068e-04,2.291649e-04,2.280962e-04,2.270975e-04,2.261658e-04
0.000000e+00,4.207236e-08,7.023159e-07,7.354256e-07,5.023816e-06,1.777204e-05,1.854031e-05,4.266826e-05,6.921742e-05,7.091654e-05,9.849079e-05,1.222363e-04,1.242217e-04,1.479718e-04,1.676996e-04,1.697984e-04,1.897990e-04,2.059670e-04,2.080713e-04,2.247075e-04,2.377797e-04,2.398040e-04,2.534551e-04,2.638714e-04,2.657514e-04,2.767798e-04,2.849353e-04,2.866233e-04,2.953607e-04,3.016045e-04,3.030666e-04,3.098116e-04,3.144486e-04,3.156623e-04,3.206814e-04,3.239764e-04,3.249281e-04,3.284580e-04,3.306394e-04,3.313232e-04,3.335729e-04,3.348375e-04,3.352532e-04,3.364073e-04,3.369239e-04,3.370758e-04,3.372968e-04,3.372097e-04,3.371059e-04,3.365365e-04,3.359686e-04,3.356198e-04,3.343852e-04,3.334408e-04,3.328599e-04,3.310697e-04,3.298373e-04,3.290385e-04,3.267885e-04,3.253423e-04,3.243407e-04,3.217146e-04,3.201170e-04,3.189284e-04,3.159989e-04,3.143018e-04,3.129421e-04,3.097725e-04,3.080190e-04,3.065040e-04,3.031492e-04,3.013745e-04,2.997199e-04,2.962273e-04,2.944604e-04,2.926814e-04,2.890917e-04,2.873558e-04,2.854671e-04,2.818156e-04,2.801289e-04,2.781446e-04,2.744613e-04,2.728383e-04,2.707719e-04,2.670823e-04,2.655339e-04,2.633979e-04,2.597238e-04,2.582581e-04,2.560645e-04,2.524242e-04,2.510466e-04,2.488066e-04,2.452154e-04,2.439296e-04,2.416536e-04,2.381242e-04,2.369320e-04,2.346296e-04,2.311724e-04,2.300743e-04,2.277545e-04,2.243779e-04,2.233732e-04,2.210442e-04,2.177549e-04,2.168421e-04,2.145114e-04,2.113147e-04,2.104913e-04,2.081658e-04,2.050656e-04,2.043289e-04,2.020147e-04,1.990138e-04,1.983604e-04,1.960633e-04,1.931636e-04,1.925898e-04,1.903149e-04,1.875173e-04,1.870192e-04,1.847711e-04,1.820760e-04,1.816496e-04,1.794322e-04,1.768394e-04,1.764804e-04,1.742974e-04,1.718060e-04,1.715105e-04,1.693650e-04,1.669739e-04,1.667375e-04,1.646324e-04,1.623400e-04,1.621587e-04,1.600962e-04,1.579007e-04,1.577705e-04,1.557528e-04,1.536520e-04,1.535689e-04,1.515978e-04,1.495895e-04,1.495498e-04,1.476266e-04,1.457084e-04,1.420398e-04,1.385390e-04,1.352009e-04,1.320202e-04,1.289916e-04,1.261098e-04,1.233696e-04,1.207657e-04,1.182929e-04,1.159462e-04,1.137206e-04,1.116113e-04,1.096133e-04,1.077221e-04,1.059332e-04,1.042421e-04,1.026447e-04,1.011367e-04,9.971421e-05,9.837334e-05,9.711039e-05,9.592175e-05,9.480398e-05,9.375374e-05,9.276783e-05,9.184317e-05,9.097681e-05,9.016590e-05,8.940772e-05,8.869966e-05,8.803922e-05,8.742400e-05,8.685169e-05,8.632011e-05,8.582715e-05,8.537080e-05,8.494912e-05,8.456030e-05,8.420256e-05,8.387423e-05,8.357371e-05,8.329947e-05,8.305005e-05,8.282407e-05,8.262019e-05,8.243716e-05,8.227377e-05,8.212887e-05,8.200137e-05
0.000000e+00,2.281356e-07,3.576924e-06,3.731153e-06,2.194361e-05,7.866827e-05,8.240721e-05,2.271571e-04,4.722261e-04,4.917292e-04,8.783557e-04,1.311647e-03,1.351513e-03,1.862830e-03,2.324068e-03,2.374504e-03,2.863958e-03,3.267032e-03,3.319748e-03,3.737077e-03,4.064276e-03,4.114784e-03,4.453609e-03,4.709391e-03,4.755236e-03,5.021789e-03,5.215797e-03,5.255560e-03,5.458865e-03,5.601100e-03,5.633971e-03,5.783051e-03,5.882599e-03,5.908171e-03,6.011276e-03,6.076040e-03,6.094192e-03,6.158623e-03,6.195342e-03,6.206161e-03,6.238286e-03,6.252647e-03,6.256372e-03,6.261697e-03,6.258469e-03,6.255445e-03,6.238715e-03,6.221875e-03,6.212523e-03,6.177811e-03,6.150660e-03,6.135450e-03,6.086247e-03,6.051512e-03,6.030946e-03,5.970233e-03,5.930155e-03,5.904745e-03,5.835068e-03,5.791477e-03,5.761741e-03,5.685261e-03,5.639640e-03,5.606086e-03,5.524635e-03,5.478175e-03,5.441297e-03,5.356427e-03,5.310075e-03,5.270348e-03,5.183360e-03,5.137858e-03,5.095734e-03,5.007718e-03,4.963636e-03,4.919539e-03,4.831403e-03,4.789168e-03,4.743496e-03,4.655986e-03,4.615908e-03,4.569027e-03,4.482757e-03,4.445048e-03,4.397298e-03,4.312762e-03,4.277555e-03,4.229245e-03,4.146837e-03,4.114201e-03,4.065613e-03,3.985641e-03,3.955592e-03,3.906980e-03,3.829681e-03,3.802195e-03,3.753787e-03,3.679334e-03,3.654354e-03,3.606353e-03,3.534869e-03,3.512313e-03,3.464901e-03,3.396462e-03,3.376230e-03,3.329564e-03,3.264211e-03,3.246190e-03,3.200408e-03,3.138151e-03,3.122218e-03,3.077439e-03,3.018262e-03,3.004288e-03,2.960613e-03,2.904480e-03,2.892333e-03,2.849849e-03,2.796705e-03,2.786253e-03,2.745031e-03,2.694809e-03,2.685921e-03,2.646019e-03,2.598640e-03,2.591189e-03,2.552651e-03,2.508029e-03,2.501890e-03,2.464751e-03,2.422794e-03,2.417847e-03,2.382132e-03,2.342742e-03,2.338872e-03,2.304598e-03,2.267675e-03,2.264773e-03,2.231948e-03,2.197390e-03,2.195353e-03,2.163977e-03,2.131682e-03,2.130414e-03,2.100481e-03,2.070348e-03,2.069756e-03,2.041257e-03,2.013184e-03,1.960503e-03,1.911523e-03,1.866059e-03,1.823929e-03,1.784957e-03,1.748974e-03,1.715816e-03,1.685324e-03,1.657347e-03,1.631740e-03,1.608364e-03,1.587084e-03,1.567775e-03,1.550314e-03,1.534585e-03,1.520480e-03,1.507892e-03,1.496723e-03,1.486877e-03,1.478266e-03,1.470803e-03,1.464409e-03,1.459007e-03,1.454525e-03,1.450895e-03,1.448051e-03,1.445934e-03,1.444484e-03,1.443648e-03,1.443376e-03,1.443617e-03,1.444328e-03,1.445464e-03,1.446987e-03,1.448858e-03,1.451041e-03,1.453505e-03,1.456216e-03,1.459147e-03,1.462270e-03,1.465560e-03,1.468992e-03,1.472546e-03,1.476200e-03,1.479935e-03,1.483734e-03,1.487581e-03,1.491460e-03,1.495357e-03
0.000000e+00,5.179411e-08,1.162315e-06,1.222662e-06,9.855652e-06,3.770019e-05,3.940047e-05,9.235289e-05,1.502685e-04,1.539955e-04,2.150175e-04,2.684545e-04,2.729620e-04,3.273948e-04,3.733893e-04,3.783278e-04,4.258679e-04,4.649971e-04,4.701418e-04,5.112786e-04,5.442447e-04,5.494061e-04,5.846492e-04,6.121168e-04,6.171343e-04,6.469895e-04,6.695979e-04,6.743424e-04,6.993187e-04,7.176714e-04,7.220415e-04,7.426303e-04,7.572829e-04,7.612011e-04,7.778655e-04,7.893217e-04,7.927309e-04,8.059002e-04,8.146115e-04,8.174718e-04,8.275397e-04,8.339081e-04,8.361937e-04,8.435192e-04,8.479003e-04,8.495975e-04,8.545061e-04,8.572135e-04,8.583185e-04,8.611046e-04,8.624136e-04,8.629308e-04,8.638600e-04,8.640116e-04,8.639519e-04,8.632633e-04,8.624681e-04,8.618479e-04,8.597565e-04,8.581973e-04,8.570373e-04,8.537359e-04,8.515715e-04,8.498956e-04,8.455572e-04,8.429245e-04,8.407592e-04,8.355383e-04,8.325553e-04,8.299289e-04,8.239636e-04,8.207312e-04,8.176731e-04,8.110866e-04,8.076909e-04,8.042313e-04,7.971332e-04,7.936470e-04,7.898164e-04,7.823040e-04,7.787886e-04,7.746175e-04,7.667773e-04,7.632838e-04,7.588023e-04,7.507106e-04,7.472813e-04,7.425189e-04,7.342432e-04,7.309127e-04,7.258981e-04,7.174977e-04,7.142937e-04,7.090549e-04,7.005819e-04,6.975265e-04,6.920901e-04,6.835901e-04,6.807001e-04,6.750919e-04,6.666047e-04,6.638925e-04,6.581370e-04,6.496970e-04,6.471715e-04,6.412920e-04,6.329289e-04,6.305957e-04,6.246141e-04,6.163536e-04,6.142154e-04,6.081526e-04,6.000163e-04,5.980737e-04,5.919492e-04,5.839556e-04,5.822073e-04,5.760393e-04,5.682038e-04,5.666467e-04,5.604524e-04,5.527877e-04,5.514176e-04,5.452126e-04,5.377293e-04,5.365406e-04,5.303398e-04,5.230460e-04,5.220326e-04,5.158495e-04,5.087517e-04,5.079066e-04,5.017537e-04,4.948566e-04,4.941725e-04,4.880613e-04,4.813683e-04,4.808373e-04,4.747782e-04,4.682914e-04,4.679054e-04,4.619081e-04,4.556284e-04,4.553793e-04,4.494523e-04,4.433797e-04,4.432593e-04,4.374104e-04,4.315441e-04,4.202310e-04,4.093159e-04,3.987937e-04,3.886585e-04,3.789034e-04,3.695211e-04,3.605036e-04,3.518426e-04,3.435292e-04,3.355546e-04,3.279094e-04,3.205844e-04,3.135702e-04,3.068574e-04,3.004364e-04,2.942979e-04,2.884326e-04,2.828313e-04,2.774849e-04,2.723845e-04,2.675212e-04,2.628865e-04,2.584719e-04,2.542692e-04,2.502704e-04,2.464676e-04,2.428533e-04,2.394200e-04,2.361605e-04,2.330678e-04,2.301353e-04,2.273563e-04,2.247245e-04,2.222338e-04,2.198782e-04,2.176521e-04,2.155498e-04,2.135661e-04,2.116958e-04,2.099339e-04,2.082756e-04,2.067165e-04,2.052519e-04,2.038777e-04,2.025897e-04,2.013840e-04,2.002568e-04,1.992044e-04,1.982233e-04
0.000000e+00,2.028023e-07,3.691765e-06,3.864355e-06,2.679478e-05,1.076157e-04,1.131409e-04,3.333639e-04,7.145260e-04,7.449611e-04,1.349500e-03,2.034410e-03,2.098135e-03,2.930263e-03,3.708781e-03,3.795683e-03,4.657978e-03,5.394199e-03,5.492223e-03,6.282129e-03,6.918223e-03,7.017685e-03,7.693392e-03,8.212964e-03,8.306922e-03,8.858103e-03,9.264446e-03,9.348267e-03,9.779748e-03,1.008466e-02,1.015551e-02,1.047887e-02,1.069697e-02,1.075334e-02,1.098247e-02,1.112844e-02,1.116976e-02,1.131858e-02,1.140587e-02,1.143220e-02,1.151368e-02,1.155406e-02,1.156589e-02,1.159156e-02,1.159507e-02,1.159317e-02,1.157307e-02,1.154810e-02,1.153341e-02,1.147616e-02,1.142965e-02,1.140317e-02,1.131611e-02,1.125373e-02,1.121653e-02,1.110584e-02,1.103222e-02,1.098536e-02,1.085627e-02,1.077514e-02,1.071967e-02,1.057655e-02,1.049093e-02,1.042785e-02,1.027439e-02,1.018666e-02,1.011694e-02,9.956213e-03,9.868281e-03,9.792839e-03,9.627406e-03,9.540745e-03,9.460446e-03,9.292446e-03,9.208196e-03,9.123848e-03,8.955053e-03,8.874070e-03,8.786426e-03,8.618298e-03,8.541209e-03,8.450966e-03,8.284700e-03,8.211944e-03,8.119743e-03,7.956311e-03,7.888173e-03,7.794600e-03,7.634783e-03,7.571422e-03,7.477014e-03,7.321428e-03,7.262904e-03,7.168146e-03,7.017270e-03,6.963562e-03,6.868892e-03,6.723087e-03,6.674112e-03,6.579923e-03,6.439452e-03,6.395077e-03,6.301718e-03,6.166757e-03,6.126813e-03,6.034594e-03,5.905250e-03,5.869540e-03,5.778735e-03,5.655054e-03,5.623362e-03,5.534208e-03,5.416191e-03,5.388286e-03,5.300991e-03,5.188595e-03,5.164242e-03,5.078982e-03,4.972131e-03,4.951090e-03,4.868015e-03,4.766607e-03,4.748639e-03,4.667875e-03,4.571786e-03,4.556655e-03,4.478305e-03,4.387395e-03,4.374871e-03,4.299018e-03,4.213133e-03,4.202992e-03,4.129700e-03,4.048677e-03,4.040706e-03,3.970022e-03,3.893691e-03,3.887684e-03,3.819641e-03,3.747828e-03,3.743589e-03,3.678207e-03,3.610735e-03,3.608080e-03,3.545367e-03,3.482058e-03,3.480813e-03,3.420765e-03,3.361444e-03,3.249632e-03,3.145042e-03,3.047345e-03,2.956218e-03,2.871349e-03,2.792432e-03,2.719174e-03,2.651288e-03,2.588500e-03,2.530546e-03,2.477171e-03,2.428131e-03,2.383192e-03,2.342130e-03,2.304729e-03,2.270785e-03,2.240101e-03,2.212490e-03,2.187773e-03,2.165779e-03,2.146347e-03,2.129319e-03,2.114550e-03,2.101896e-03,2.091226e-03,2.082410e-03,2.075327e-03,2.069861e-03,2.065902e-03,2.063345e-03,2.062090e-03,2.062043e-03,2.063114e-03,2.065216e-03,2.068268e-03,2.072193e-03,2.076917e-03,2.082371e-03,2.088489e-03,2.095209e-03,2.102470e-03,2.110218e-03,2.118398e-03,2.126961e-03,2.135859e-03,2.145047e-03,2.154483e-03,2.164128e-03,2.173944e-03
0.000000e+00,5.391942e-08,6.641067e-07,6.907031e-07,3.749502e-06,1.325956e-05,1.388655e-05,3.777271e-05,7.515224e-05,7.793468e-05,1.278450e-04,1.750252e-04,1.790470e-04,2.274503e-04,2.676176e-04,2.718723e-04,3.121475e-04,3.442661e-04,3.484133e-04,3.808919e-04,4.059780e-04,4.098240e-04,4.354485e-04,4.545863e-04,4.579965e-04,4.776896e-04,4.918560e-04,4.947390e-04,5.093456e-04,5.194005e-04,5.217000e-04,5.319824e-04,5.386739e-04,5.403626e-04,5.470002e-04,5.509719e-04,5.520450e-04,5.556369e-04,5.574366e-04,5.579064e-04,5.589754e-04,5.590654e-04,5.589568e-04,5.579558e-04,5.567229e-04,5.560696e-04,5.533883e-04,5.511538e-04,5.499954e-04,5.459678e-04,5.429967e-04,5.413766e-04,5.362873e-04,5.327968e-04,5.307602e-04,5.248507e-04,5.210174e-04,5.186099e-04,5.120847e-04,5.080509e-04,5.053177e-04,4.983484e-04,4.942277e-04,4.912125e-04,4.839428e-04,4.798247e-04,4.765693e-04,4.691192e-04,4.650730e-04,4.616171e-04,4.540854e-04,4.501641e-04,4.465445e-04,4.390127e-04,4.352555e-04,4.315065e-04,4.240408e-04,4.204755e-04,4.166288e-04,4.092823e-04,4.059280e-04,4.020120e-04,3.948272e-04,3.916951e-04,3.877361e-04,3.807458e-04,3.778415e-04,3.738627e-04,3.670921e-04,3.644165e-04,3.604387e-04,3.539063e-04,3.514565e-04,3.474982e-04,3.412170e-04,3.389872e-04,3.350646e-04,3.290428e-04,3.270253e-04,3.231526e-04,3.173947e-04,3.155802e-04,3.117694e-04,3.062767e-04,3.046547e-04,3.009163e-04,2.956876e-04,2.942470e-04,2.905897e-04,2.856216e-04,2.843510e-04,2.807820e-04,2.760695e-04,2.749573e-04,2.714825e-04,2.670193e-04,2.660539e-04,2.626781e-04,2.584568e-04,2.576268e-04,2.543535e-04,2.503661e-04,2.496605e-04,2.464923e-04,2.427301e-04,2.421383e-04,2.390771e-04,2.355310e-04,2.350430e-04,2.320896e-04,2.287505e-04,2.283566e-04,2.255114e-04,2.223699e-04,2.220610e-04,2.193237e-04,2.163705e-04,2.161382e-04,2.135080e-04,2.107340e-04,2.105703e-04,2.080460e-04,2.054419e-04,2.053394e-04,2.029194e-04,2.004764e-04,2.004284e-04,1.981107e-04,1.958202e-04,1.914987e-04,1.874479e-04,1.836527e-04,1.800984e-04,1.767712e-04,1.736577e-04,1.707452e-04,1.680216e-04,1.654755e-04,1.630960e-04,1.608728e-04,1.587962e-04,1.568571e-04,1.550467e-04,1.533570e-04,1.517802e-04,1.503091e-04,1.489370e-04,1.476575e-04,1.464645e-04,1.453525e-04,1.443161e-04,1.433505e-04,1.424510e-04,1.416133e-04,1.408333e-04,1.401073e-04,1.394316e-04,1.388030e-04,1.382183e-04,1.376747e-04,1.371693e-04,1.366998e-04,1.362637e-04,1.358587e-04,1.354829e-04,1.351342e-04,1.348109e-04,1.345114e-04,1.342339e-04,1.339771e-04,1.337395e-04,1.335200e-04,1.333172e-04,1.331301e-04,1.329576e-04,1.327988e-04,1.326527e-04,1.325185e-04
0.000000e+00,7.856837e-09,1.052981e-07,1.099815e-07,7.046017e-07,2.540262e-06,2.655176e-06,6.517111e-06,1.122764e-05,1.153969e-05,1.669652e-05,2.121467e-05,2.159417e-05,2.614796e-05,2.994679e-05,3.035170e-05,3.421762e-05,3.735327e-05,3.776224e-05,4.100293e-05,4.356002e-05,4.395695e-05,4.664113e-05,4.869921e-05,4.907171e-05,5.126435e-05,5.289522e-05,5.323392e-05,5.499462e-05,5.626195e-05,5.656004e-05,5.794301e-05,5.890293e-05,5.915572e-05,6.020971e-05,6.091125e-05,6.111577e-05,6.188413e-05,6.236974e-05,6.252441e-05,6.304572e-05,6.335222e-05,6.345661e-05,6.376510e-05,6.392417e-05,6.397874e-05,6.410464e-05,6.414357e-05,6.414950e-05,6.411957e-05,6.406172e-05,6.402073e-05,6.385851e-05,6.372383e-05,6.363808e-05,6.336430e-05,6.316978e-05,6.304173e-05,6.267463e-05,6.243467e-05,6.226699e-05,6.182256e-05,6.154931e-05,6.134482e-05,6.083705e-05,6.054073e-05,6.030231e-05,5.974346e-05,5.943259e-05,5.916315e-05,5.856388e-05,5.824553e-05,5.794796e-05,5.731755e-05,5.699755e-05,5.667467e-05,5.602120e-05,5.570428e-05,5.535887e-05,5.468929e-05,5.437928e-05,5.401398e-05,5.333433e-05,5.303424e-05,5.265162e-05,5.196706e-05,5.167925e-05,5.128174e-05,5.059668e-05,5.032294e-05,4.991282e-05,4.923104e-05,4.897267e-05,4.855211e-05,4.787679e-05,4.763468e-05,4.720572e-05,4.653953e-05,4.631423e-05,4.587876e-05,4.522394e-05,4.501572e-05,4.457550e-05,4.393388e-05,4.374278e-05,4.329944e-05,4.267253e-05,4.249838e-05,4.205343e-05,4.144241e-05,4.128490e-05,4.083972e-05,4.024555e-05,4.010423e-05,3.966008e-05,3.908346e-05,3.895781e-05,3.851583e-05,3.795729e-05,3.784669e-05,3.740793e-05,3.686782e-05,3.677159e-05,3.633700e-05,3.581551e-05,3.573294e-05,3.530337e-05,3.480059e-05,3.473095e-05,3.430715e-05,3.382304e-05,3.376558e-05,3.334823e-05,3.288268e-05,3.283663e-05,3.242633e-05,3.197913e-05,3.194375e-05,3.154101e-05,3.111191e-05,3.108645e-05,3.069174e-05,3.028041e-05,3.026414e-05,2.987784e-05,2.948394e-05,2.947615e-05,2.909860e-05,2.872172e-05,2.800003e-05,2.731025e-05,2.665147e-05,2.602277e-05,2.542324e-05,2.485191e-05,2.430785e-05,2.379011e-05,2.329774e-05,2.282982e-05,2.238542e-05,2.196364e-05,2.156359e-05,2.118439e-05,2.082521e-05,2.048521e-05,2.016358e-05,1.985955e-05,1.957235e-05,1.930124e-05,1.904551e-05,1.880448e-05,1.857747e-05,1.836385e-05,1.816299e-05,1.797430e-05,1.779721e-05,1.763115e-05,1.747559e-05,1.733003e-05,1.719398e-05,1.706695e-05,1.694851e-05,1.683822e-05,1.673565e-05,1.664042e-05,1.655214e-05,1.647044e-05,1.639498e-05,1.632542e-05,1.626145e-05,1.620275e-05,1.614903e-05,1.610003e-05,1.605546e-05,1.601508e-05,1.597864e-05,1.594591e-05,1.591668e-05
0.000000e+00,4.438641e-07,9.575905e-06,1.006185e-05,8.158776e-05,3.526597e-04,3.713687e-04,1.106558e-03,2.309256e-03,2.401944e-03,4.175274e-03,6.090250e-03,6.265403e-03,8.522876e-03,1.060002e-02,1.083033e-02,1.310095e-02,1.501919e-02,1.527310e-02,1.730494e-02,1.891955e-02,1.916996e-02,2.085335e-02,2.212242e-02,2.234909e-02,2.365760e-02,2.459434e-02,2.478398e-02,2.573657e-02,2.638050e-02,2.652583e-02,2.716351e-02,2.756363e-02,2.766200e-02,2.803386e-02,2.823942e-02,2.829148e-02,2.844678e-02,2.850253e-02,2.851112e-02,2.849512e-02,2.843942e-02,2.840864e-02,2.826074e-02,2.812511e-02,2.805967e-02,2.781291e-02,2.762249e-02,2.752720e-02,2.720855e-02,2.698283e-02,2.686233e-02,2.649329e-02,2.624709e-02,2.610563e-02,2.570304e-02,2.544737e-02,2.528875e-02,2.486559e-02,2.460847e-02,2.443601e-02,2.400214e-02,2.374926e-02,2.356581e-02,2.312862e-02,2.288393e-02,2.269192e-02,2.225688e-02,2.202300e-02,2.182449e-02,2.139561e-02,2.117421e-02,2.097094e-02,2.055110e-02,2.034315e-02,2.013658e-02,1.972783e-02,1.953378e-02,1.932518e-02,1.892894e-02,1.874888e-02,1.853932e-02,1.815654e-02,1.799032e-02,1.778073e-02,1.741202e-02,1.725929e-02,1.705048e-02,1.669618e-02,1.655650e-02,1.634917e-02,1.600945e-02,1.588228e-02,1.567704e-02,1.535192e-02,1.523665e-02,1.503406e-02,1.472344e-02,1.461947e-02,1.442001e-02,1.412372e-02,1.403041e-02,1.383451e-02,1.355232e-02,1.346902e-02,1.327707e-02,1.300868e-02,1.293476e-02,1.274709e-02,1.249220e-02,1.242702e-02,1.224393e-02,1.200219e-02,1.194513e-02,1.176689e-02,1.153793e-02,1.148840e-02,1.131522e-02,1.109867e-02,1.105609e-02,1.088817e-02,1.068363e-02,1.064744e-02,1.048494e-02,1.029202e-02,1.026167e-02,1.010475e-02,9.923032e-03,9.898030e-03,9.746775e-03,9.575875e-03,9.555722e-03,9.410231e-03,9.249743e-03,9.233974e-03,9.094312e-03,8.943840e-03,8.932013e-03,8.798228e-03,8.657378e-03,8.649077e-03,8.521195e-03,8.389581e-03,8.384410e-03,8.262442e-03,8.139683e-03,8.137272e-03,8.021211e-03,7.906935e-03,7.692686e-03,7.493830e-03,7.309685e-03,7.139588e-03,6.982893e-03,6.838970e-03,6.707207e-03,6.587008e-03,6.477795e-03,6.379005e-03,6.290093e-03,6.210528e-03,6.139796e-03,6.077397e-03,6.022846e-03,5.975676e-03,5.935429e-03,5.901666e-03,5.873959e-03,5.851896e-03,5.835078e-03,5.823119e-03,5.815648e-03,5.812306e-03,5.812748e-03,5.816643e-03,5.823672e-03,5.833532e-03,5.845929e-03,5.860587e-03,5.877240e-03,5.895636e-03,5.915535e-03,5.936713e-03,5.958955e-03,5.982062e-03,6.005845e-03,6.030129e-03,6.054750e-03,6.079557e-03,6.104409e-03,6.129179e-03,6.153747e-03,6.178007e-03,6.201863e-03,6.225227e-03,6.248023e-03,6.270182e-03,6.291646e-03
0.000000e+00,1.025733e-07,1.743124e-06,1.822046e-06,1.186573e-05,4.558188e-05,4.784639e-05,1.362169e-04,2.847245e-04,2.964310e-04,5.252472e-04,7.749002e-04,7.975050e-04,1.081120e-03,1.324763e-03,1.350559e-03,1.590591e-03,1.771947e-03,1.794415e-03,1.960783e-03,2.075361e-03,2.091676e-03,2.190722e-03,2.252429e-03,2.262192e-03,2.310408e-03,2.335442e-03,2.339414e-03,2.352819e-03,2.354422e-03,2.353741e-03,2.344809e-03,2.332421e-03,2.328206e-03,2.305712e-03,2.285572e-03,2.278765e-03,2.248511e-03,2.224537e-03,2.215861e-03,2.181527e-03,2.156082e-03,2.146066e-03,2.109908e-03,2.084362e-03,2.073383e-03,2.036744e-03,2.011863e-03,2.000180e-03,1.963834e-03,1.940017e-03,1.927810e-03,1.892186e-03,1.869624e-03,1.857020e-03,1.822354e-03,1.801126e-03,1.788218e-03,1.754631e-03,1.734749e-03,1.721607e-03,1.689153e-03,1.670592e-03,1.657272e-03,1.625968e-03,1.608689e-03,1.595239e-03,1.565083e-03,1.549037e-03,1.535499e-03,1.506481e-03,1.491614e-03,1.478026e-03,1.450128e-03,1.436387e-03,1.422784e-03,1.395987e-03,1.383317e-03,1.369732e-03,1.344012e-03,1.332359e-03,1.318822e-03,1.294155e-03,1.283465e-03,1.270004e-03,1.246363e-03,1.236585e-03,1.223226e-03,1.200584e-03,1.191664e-03,1.178431e-03,1.156760e-03,1.148649e-03,1.135563e-03,1.114833e-03,1.107484e-03,1.094563e-03,1.074746e-03,1.068110e-03,1.055373e-03,1.036438e-03,1.030470e-03,1.017932e-03,9.998490e-04,9.945053e-04,9.821807e-04,9.649200e-04,9.601589e-04,9.480592e-04,9.315911e-04,9.273729e-04,9.155084e-04,8.998038e-04,8.960901e-04,8.844700e-04,8.695000e-04,8.662547e-04,8.548867e-04,8.406230e-04,8.378117e-04,8.267022e-04,8.131172e-04,8.107071e-04,7.998615e-04,7.869284e-04,7.848886e-04,7.743113e-04,7.620037e-04,7.603050e-04,7.499993e-04,7.382919e-04,7.369066e-04,7.268752e-04,7.157431e-04,7.146454e-04,7.048898e-04,6.943093e-04,6.934745e-04,6.839959e-04,6.739438e-04,6.733489e-04,6.641475e-04,6.546016e-04,6.542249e-04,6.453006e-04,6.362393e-04,6.360605e-04,6.274125e-04,6.188150e-04,6.024494e-04,5.869259e-04,5.722082e-04,5.582615e-04,5.450523e-04,5.325482e-04,5.207184e-04,5.095329e-04,4.989634e-04,4.889822e-04,4.795632e-04,4.706811e-04,4.623115e-04,4.544313e-04,4.470182e-04,4.400507e-04,4.335084e-04,4.273715e-04,4.216212e-04,4.162395e-04,4.112090e-04,4.065130e-04,4.021357e-04,3.980618e-04,3.942766e-04,3.907660e-04,3.875168e-04,3.845159e-04,3.817510e-04,3.792103e-04,3.768824e-04,3.747565e-04,3.728222e-04,3.710694e-04,3.694887e-04,3.680709e-04,3.668072e-04,3.656891e-04,3.647089e-04,3.638586e-04,3.631310e-04,3.625189e-04,3.620156e-04,3.616148e-04,3.613100e-04,3.610956e-04,3.609658e-04,3.609152e-04,3.609387e-04
0.000000e+00,6.660122e-08,1.296402e-06,1.359978e-06,1.014798e-05,3.949801e-05,4.137783e-05,1.057884e-04,1.870033e-04,1.924803e-04,2.840983e-04,3.648808e-04,3.716441e-04,4.521970e-04,5.182495e-04,5.252160e-04,5.909185e-04,6.430243e-04,6.497342e-04,7.021396e-04,7.424428e-04,7.486083e-04,7.895964e-04,8.201088e-04,8.255373e-04,8.568396e-04,8.793143e-04,8.838844e-04,9.070285e-04,9.229602e-04,9.266053e-04,9.429240e-04,9.535759e-04,9.562711e-04,9.669115e-04,9.733391e-04,9.750896e-04,9.810307e-04,9.841096e-04,9.849423e-04,9.870156e-04,9.874694e-04,9.874265e-04,9.863364e-04,9.847605e-04,9.838941e-04,9.802360e-04,9.771183e-04,9.754873e-04,9.697629e-04,9.655019e-04,9.631683e-04,9.558001e-04,9.507197e-04,9.477468e-04,9.390896e-04,9.334516e-04,9.299026e-04,9.202536e-04,9.142686e-04,9.102048e-04,8.998127e-04,8.936485e-04,8.891290e-04,8.782010e-04,8.719907e-04,8.670715e-04,8.557796e-04,8.496272e-04,8.443611e-04,8.328481e-04,8.268340e-04,8.212701e-04,8.096537e-04,8.038386e-04,7.980228e-04,7.863992e-04,7.808283e-04,7.748025e-04,7.632503e-04,7.579557e-04,7.517585e-04,7.403413e-04,7.353447e-04,7.290114e-04,7.177800e-04,7.130947e-04,7.066572e-04,6.956520e-04,6.912846e-04,6.847720e-04,6.740242e-04,6.699759e-04,6.634144e-04,6.529479e-04,6.492158e-04,6.426289e-04,6.324613e-04,6.290394e-04,6.224482e-04,6.125920e-04,6.094715e-04,6.028947e-04,5.933580e-04,5.905285e-04,5.839830e-04,5.747704e-04,5.722200e-04,5.657206e-04,5.568337e-04,5.545498e-04,5.481096e-04,5.395477e-04,5.375169e-04,5.311473e-04,5.229077e-04,5.211164e-04,5.148276e-04,5.069059e-04,5.053404e-04,4.991411e-04,4.915318e-04,4.901785e-04,4.840763e-04,4.767728e-04,4.756183e-04,4.696196e-04,4.626147e-04,4.616457e-04,4.557561e-04,4.490419e-04,4.482458e-04,4.424699e-04,4.360380e-04,4.354024e-04,4.297440e-04,4.235859e-04,4.230990e-04,4.175613e-04,4.116682e-04,4.113187e-04,4.059042e-04,4.002671e-04,4.000442e-04,3.947547e-04,3.893648e-04,3.892582e-04,3.840952e-04,3.789436e-04,3.690833e-04,3.596604e-04,3.506585e-04,3.420612e-04,3.338528e-04,3.260178e-04,3.185414e-04,3.114088e-04,3.046061e-04,2.981196e-04,2.919362e-04,2.860432e-04,2.804283e-04,2.750796e-04,2.699860e-04,2.651363e-04,2.605202e-04,2.561275e-04,2.519485e-04,2.479740e-04,2.441949e-04,2.406027e-04,2.371892e-04,2.339465e-04,2.308671e-04,2.279436e-04,2.251692e-04,2.225371e-04,2.200411e-04,2.176749e-04,2.154329e-04,2.133093e-04,2.112988e-04,2.093962e-04,2.075967e-04,2.058956e-04,2.042883e-04,2.027705e-04,2.013382e-04,1.999873e-04,1.987140e-04,1.975149e-04,1.963863e-04,1.953251e-04,1.943280e-04,1.933920e-04,1.925142e-04,1.916918e-04,1.909222e-04
0.000000e+00,9.404555e-10,1.817545e-08,1.903426e-08,1.172194e-07,3.444780e-07,3.564952e-07,6.870182e-07,1.007662e-06,1.027762e-06,1.353234e-06,1.635629e-06,1.659402e-06,1.946140e-06,2.188084e-06,2.214048e-06,2.463883e-06,2.669408e-06,2.696426e-06,2.912435e-06,3.085537e-06,3.112643e-06,3.297809e-06,3.442270e-06,3.468678e-06,3.625975e-06,3.745320e-06,3.770396e-06,3.902617e-06,4.000046e-06,4.023285e-06,4.133020e-06,4.211406e-06,4.232414e-06,4.322036e-06,4.383946e-06,4.402426e-06,4.474101e-06,4.521820e-06,4.537553e-06,4.593252e-06,4.628807e-06,4.641645e-06,4.683158e-06,4.708341e-06,4.718196e-06,4.747143e-06,4.763537e-06,4.770368e-06,4.788217e-06,4.797216e-06,4.801024e-06,4.809101e-06,4.811928e-06,4.812749e-06,4.812250e-06,4.809978e-06,4.807876e-06,4.799880e-06,4.793447e-06,4.788507e-06,4.773986e-06,4.764208e-06,4.756535e-06,4.736362e-06,4.723949e-06,4.713662e-06,4.688622e-06,4.674189e-06,4.661417e-06,4.632214e-06,4.616291e-06,4.601170e-06,4.568436e-06,4.551479e-06,4.534151e-06,4.498450e-06,4.480848e-06,4.461459e-06,4.423296e-06,4.405379e-06,4.384075e-06,4.343902e-06,4.325950e-06,4.302876e-06,4.261093e-06,4.243340e-06,4.218642e-06,4.175607e-06,4.158247e-06,4.132066e-06,4.088095e-06,4.071288e-06,4.043764e-06,3.999138e-06,3.983012e-06,3.954279e-06,3.909245e-06,3.893904e-06,3.864091e-06,3.818869e-06,3.804391e-06,3.773625e-06,3.728404e-06,3.714849e-06,3.683250e-06,3.638199e-06,3.625609e-06,3.593290e-06,3.548556e-06,3.536958e-06,3.504029e-06,3.459738e-06,3.449147e-06,3.415711e-06,3.371972e-06,3.362391e-06,3.328546e-06,3.285454e-06,3.276877e-06,3.242715e-06,3.200349e-06,3.192764e-06,3.158372e-06,3.116799e-06,3.110185e-06,3.075644e-06,3.034920e-06,3.029254e-06,2.994639e-06,2.954811e-06,2.950062e-06,2.915445e-06,2.876549e-06,2.872686e-06,2.838131e-06,2.800197e-06,2.797184e-06,2.762753e-06,2.725804e-06,2.723603e-06,2.689353e-06,2.653404e-06,2.651976e-06,2.617959e-06,2.583021e-06,2.582327e-06,2.548590e-06,2.514668e-06,2.449004e-06,2.385332e-06,2.323644e-06,2.263923e-06,2.206152e-06,2.150304e-06,2.096354e-06,2.044270e-06,1.994018e-06,1.945563e-06,1.898867e-06,1.853893e-06,1.810599e-06,1.768945e-06,1.728890e-06,1.690392e-06,1.653408e-06,1.617897e-06,1.583817e-06,1.551125e-06,1.519782e-06,1.489744e-06,1.460973e-06,1.433428e-06,1.407069e-06,1.381859e-06,1.357759e-06,1.334733e-06,1.312744e-06,1.291756e-06,1.271735e-06,1.252648e-06,1.234461e-06,1.217143e-06,1.200661e-06,1.184986e-06,1.170088e-06,1.155939e-06,1.142510e-06,1.129775e-06,1.117707e-06,1.106281e-06,1.095473e-06,1.085257e-06,1.075612e-06,1.066514e-06,1.057943e-06,1.049876e-06,1.042294e-06
0.000000e+00,2.315667e-08,2.686254e-07,2.793919e-07,1.471119e-06,4.677676e-06,4.871743e-06,1.145083e-05,2.026139e-05,2.088409e-05,3.173354e-05,4.172480e-05,4.257017e-05,5.268709e-05,6.101596e-05,6.189518e-05,7.019162e-05,7.677553e-05,7.762365e-05,8.424991e-05,8.934949e-05,9.012995e-05,9.532125e-05,9.918966e-05,9.987832e-05,1.038524e-04,1.067097e-04,1.072912e-04,1.102395e-04,1.122728e-04,1.127386e-04,1.148268e-04,1.161935e-04,1.165398e-04,1.179104e-04,1.187419e-04,1.189690e-04,1.197437e-04,1.201494e-04,1.202602e-04,1.205425e-04,1.206131e-04,1.206125e-04,1.204906e-04,1.203011e-04,1.201954e-04,1.197442e-04,1.193563e-04,1.191526e-04,1.184353e-04,1.178996e-04,1.176057e-04,1.166760e-04,1.160338e-04,1.156575e-04,1.145606e-04,1.138454e-04,1.133948e-04,1.121688e-04,1.114076e-04,1.108905e-04,1.095673e-04,1.087819e-04,1.082058e-04,1.068121e-04,1.060197e-04,1.053919e-04,1.039502e-04,1.031644e-04,1.024916e-04,1.010204e-04,1.002517e-04,9.954045e-05,9.805515e-05,9.731151e-05,9.656770e-05,9.508095e-05,9.436833e-05,9.359748e-05,9.211964e-05,9.144231e-05,9.064952e-05,8.918900e-05,8.854985e-05,8.773977e-05,8.630334e-05,8.570419e-05,8.488106e-05,8.347411e-05,8.291586e-05,8.208353e-05,8.071025e-05,8.019310e-05,7.935505e-05,7.801864e-05,7.754225e-05,7.670161e-05,7.540447e-05,7.496806e-05,7.412766e-05,7.287151e-05,7.247396e-05,7.163632e-05,7.042229e-05,7.006223e-05,6.922959e-05,6.805831e-05,6.773421e-05,6.690853e-05,6.578026e-05,6.549044e-05,6.467349e-05,6.358815e-05,6.333085e-05,6.252417e-05,6.148142e-05,6.125486e-05,6.045979e-05,5.945910e-05,5.926146e-05,5.847916e-05,5.751979e-05,5.734927e-05,5.658077e-05,5.566185e-05,5.551668e-05,5.476281e-05,5.388338e-05,5.376181e-05,5.302331e-05,5.218231e-05,5.208266e-05,5.136012e-05,5.055645e-05,5.047709e-05,4.977101e-05,4.900351e-05,4.894288e-05,4.825366e-05,4.752116e-05,4.747776e-05,4.680571e-05,4.610702e-05,4.607941e-05,4.542478e-05,4.475869e-05,4.474553e-05,4.410846e-05,4.347380e-05,4.226191e-05,4.110760e-05,4.000865e-05,3.896287e-05,3.796813e-05,3.702235e-05,3.612351e-05,3.526966e-05,3.445889e-05,3.368937e-05,3.295934e-05,3.226707e-05,3.161093e-05,3.098931e-05,3.040071e-05,2.984365e-05,2.931671e-05,2.881855e-05,2.834786e-05,2.790339e-05,2.748395e-05,2.708839e-05,2.671560e-05,2.636453e-05,2.603417e-05,2.572355e-05,2.543175e-05,2.515787e-05,2.490107e-05,2.466052e-05,2.443546e-05,2.422513e-05,2.402883e-05,2.384586e-05,2.367558e-05,2.351736e-05,2.337061e-05,2.323474e-05,2.310922e-05,2.299352e-05,2.288714e-05,2.278961e-05,2.270046e-05,2.261926e-05,2.254559e-05,2.247905e-05,2.241926e-05,2.236586e-05,2.231850e-05
0.000000e+00,9.109396e-09,1.315051e-07,1.374702e-07,8.839226e-07,3.053025e-06,3.183553e-06,7.308689e-06,1.189053e-05,1.218371e-05,1.691402e-05,2.092018e-05,2.125151e-05,2.516524e-05,2.833919e-05,2.867235e-05,3.179983e-05,3.426027e-05,3.457571e-05,3.702697e-05,3.889492e-05,3.917913e-05,4.105626e-05,4.243705e-05,4.268091e-05,4.407419e-05,4.505787e-05,4.525577e-05,4.624399e-05,4.690681e-05,4.705584e-05,4.770710e-05,4.811301e-05,4.821234e-05,4.858502e-05,4.878728e-05,4.883756e-05,4.898142e-05,4.902414e-05,4.902714e-05,4.898441e-05,4.890392e-05,4.886217e-05,4.866859e-05,4.849471e-05,4.841122e-05,4.809694e-05,4.785399e-05,4.773211e-05,4.732252e-05,4.703027e-05,4.687349e-05,4.638988e-05,4.606430e-05,4.587615e-05,4.533636e-05,4.499025e-05,4.477423e-05,4.419315e-05,4.383670e-05,4.359620e-05,4.298620e-05,4.262744e-05,4.236571e-05,4.173704e-05,4.138222e-05,4.110232e-05,4.046344e-05,4.011734e-05,3.982214e-05,3.917999e-05,3.884620e-05,3.853838e-05,3.789858e-05,3.757973e-05,3.726174e-05,3.662886e-05,3.632676e-05,3.600086e-05,3.537854e-05,3.509439e-05,3.476263e-05,3.415374e-05,3.388821e-05,3.355245e-05,3.295923e-05,3.271258e-05,3.237450e-05,3.179863e-05,3.157083e-05,3.123192e-05,3.067464e-05,3.046539e-05,3.012700e-05,2.958917e-05,2.939798e-05,2.906130e-05,2.854348e-05,2.836972e-05,2.803579e-05,2.753828e-05,2.738123e-05,2.705097e-05,2.657386e-05,2.643271e-05,2.610692e-05,2.565013e-05,2.552403e-05,2.520341e-05,2.476672e-05,2.465481e-05,2.433995e-05,2.392303e-05,2.382442e-05,2.351583e-05,2.311826e-05,2.303207e-05,2.273018e-05,2.235148e-05,2.227685e-05,2.198202e-05,2.162165e-05,2.155774e-05,2.127024e-05,2.092764e-05,2.087363e-05,2.059370e-05,2.026826e-05,2.022337e-05,1.995118e-05,1.964230e-05,1.960578e-05,1.934146e-05,1.904851e-05,1.901964e-05,1.876328e-05,1.848563e-05,1.846374e-05,1.821539e-05,1.795242e-05,1.793687e-05,1.769655e-05,1.744763e-05,1.743782e-05,1.720552e-05,1.697005e-05,1.696541e-05,1.674108e-05,1.651847e-05,1.609588e-05,1.569653e-05,1.531934e-05,1.496328e-05,1.462734e-05,1.431056e-05,1.401202e-05,1.373080e-05,1.346607e-05,1.321699e-05,1.298278e-05,1.276268e-05,1.255597e-05,1.236197e-05,1.218002e-05,1.200949e-05,1.184979e-05,1.170033e-05,1.156059e-05,1.143004e-05,1.130819e-05,1.119458e-05,1.108875e-05,1.099029e-05,1.089878e-05,1.081385e-05,1.073513e-05,1.066227e-05,1.059496e-05,1.053286e-05,1.047569e-05,1.042316e-05,1.037501e-05,1.033099e-05,1.029084e-05,1.025435e-05,1.022129e-05,1.019147e-05,1.016467e-05,1.014073e-05,1.011946e-05,1.010070e-05,1.008429e-05,1.007007e-05,1.005792e-05,1.004770e-05,1.003927e-05,1.003252e-05,1.002733e-05
0.000000e+00,4.406792e-08,7.972369e-07,8.356142e-07,5.625366e-06,1.807094e-05,1.875291e-05,3.776678e-05,5.639582e-05,5.756855e-05,7.665616e-05,9.338787e-05,9.480435e-05,1.119939e-04,1.266571e-04,1.282398e-04,1.435649e-04,1.563095e-04,1.579947e-04,1.715573e-04,1.825500e-04,1.842822e-04,1.962001e-04,2.056103e-04,2.073422e-04,2.177399e-04,2.257322e-04,2.274241e-04,2.364254e-04,2.431549e-04,2.447737e-04,2.524982e-04,2.581085e-04,2.596272e-04,2.661881e-04,2.708106e-04,2.722072e-04,2.777100e-04,2.814642e-04,2.827211e-04,2.872641e-04,2.902581e-04,2.913619e-04,2.950362e-04,2.973676e-04,2.983081e-04,3.011978e-04,3.029544e-04,3.037246e-04,3.059072e-04,3.071679e-04,3.077635e-04,3.093104e-04,3.101456e-04,3.105643e-04,3.115410e-04,3.120139e-04,3.122555e-04,3.127221e-04,3.128890e-04,3.129548e-04,3.129666e-04,3.128773e-04,3.127703e-04,3.123778e-04,3.120767e-04,3.118007e-04,3.110501e-04,3.105764e-04,3.101366e-04,3.090701e-04,3.084583e-04,3.078603e-04,3.065165e-04,3.057970e-04,3.050473e-04,3.034612e-04,3.026608e-04,3.017662e-04,2.999699e-04,2.991116e-04,2.980796e-04,2.961022e-04,2.952062e-04,2.940443e-04,2.919122e-04,2.909960e-04,2.897119e-04,2.874491e-04,2.865277e-04,2.851292e-04,2.827575e-04,2.818437e-04,2.803388e-04,2.778779e-04,2.769824e-04,2.753791e-04,2.728466e-04,2.719786e-04,2.702846e-04,2.676967e-04,2.668637e-04,2.650866e-04,2.624578e-04,2.616659e-04,2.598134e-04,2.571565e-04,2.564107e-04,2.544901e-04,2.518168e-04,2.511210e-04,2.491394e-04,2.464602e-04,2.458172e-04,2.437816e-04,2.411057e-04,2.405176e-04,2.384346e-04,2.357704e-04,2.352385e-04,2.331147e-04,2.304693e-04,2.299944e-04,2.278359e-04,2.252160e-04,2.247981e-04,2.226109e-04,2.200220e-04,2.196610e-04,2.174506e-04,2.148979e-04,2.145928e-04,2.123648e-04,2.098524e-04,2.096024e-04,2.073617e-04,2.048935e-04,2.046971e-04,2.024487e-04,2.000279e-04,1.998834e-04,1.976319e-04,1.952612e-04,1.951669e-04,1.929165e-04,1.905983e-04,1.905522e-04,1.883070e-04,1.860432e-04,1.816429e-04,1.773541e-04,1.731785e-04,1.691176e-04,1.651725e-04,1.613435e-04,1.576310e-04,1.540346e-04,1.505541e-04,1.471885e-04,1.439370e-04,1.407984e-04,1.377713e-04,1.348541e-04,1.320453e-04,1.293430e-04,1.267453e-04,1.242503e-04,1.218559e-04,1.195600e-04,1.173605e-04,1.152550e-04,1.132414e-04,1.113174e-04,1.094808e-04,1.077292e-04,1.060604e-04,1.044720e-04,1.029618e-04,1.015276e-04,1.001670e-04,9.887778e-05,9.765782e-05,9.650487e-05,9.541679e-05,9.439141e-05,9.342665e-05,9.252042e-05,9.167067e-05,9.087539e-05,9.013260e-05,8.944037e-05,8.879677e-05,8.819995e-05,8.764807e-05,8.713932e-05,8.667196e-05,8.624427e-05,8.585454e-05
0.000000e+00,6.564085e-08,1.120578e-06,1.172839e-06,7.914685e-06,2.865370e-05,2.994480e-05,7.320533e-05,1.253181e-04,1.286846e-04,1.811823e-04,2.207879e-04,2.238074e-04,2.562485e-04,2.780289e-04,2.800740e-04,2.969903e-04,3.073246e-04,3.084536e-04,3.156402e-04,3.191200e-04,3.194871e-04,3.207374e-04,3.202156e-04,3.199800e-04,3.176810e-04,3.149068e-04,3.142093e-04,3.098561e-04,3.058949e-04,3.048510e-04,2.993752e-04,2.948697e-04,2.935705e-04,2.875482e-04,2.828799e-04,2.813952e-04,2.751791e-04,2.705699e-04,2.689523e-04,2.627552e-04,2.583293e-04,2.566186e-04,2.505659e-04,2.463884e-04,2.446145e-04,2.387771e-04,2.348775e-04,2.330627e-04,2.274778e-04,2.238648e-04,2.220265e-04,2.167113e-04,2.133814e-04,2.115331e-04,2.064920e-04,2.034352e-04,2.015874e-04,1.968181e-04,1.940208e-04,1.921824e-04,1.876780e-04,1.851244e-04,1.833020e-04,1.790519e-04,1.767258e-04,1.749249e-04,1.709181e-04,1.688034e-04,1.670286e-04,1.632532e-04,1.613342e-04,1.595891e-04,1.560331e-04,1.542948e-04,1.525824e-04,1.492340e-04,1.476624e-04,1.459852e-04,1.428331e-04,1.414148e-04,1.397749e-04,1.368080e-04,1.355309e-04,1.339299e-04,1.311379e-04,1.299904e-04,1.284297e-04,1.258027e-04,1.247741e-04,1.232546e-04,1.207832e-04,1.198637e-04,1.183862e-04,1.160614e-04,1.152418e-04,1.138068e-04,1.116202e-04,1.108920e-04,1.094998e-04,1.074435e-04,1.067987e-04,1.054494e-04,1.035159e-04,1.029473e-04,1.016409e-04,9.982297e-05,9.932391e-05,9.806026e-05,9.635118e-05,9.591541e-05,9.469416e-05,9.308766e-05,9.270945e-05,9.153018e-05,9.002028e-05,8.969434e-05,8.855654e-05,8.713760e-05,8.685907e-05,8.576214e-05,8.442886e-05,8.419325e-05,8.313651e-05,8.188389e-05,8.168707e-05,8.066980e-05,7.949311e-05,7.933129e-05,7.835270e-05,7.724750e-05,7.711719e-05,7.617645e-05,7.513855e-05,7.503654e-05,7.413279e-05,7.315824e-05,7.308159e-05,7.221395e-05,7.129902e-05,7.124504e-05,7.041259e-05,6.955379e-05,6.952000e-05,6.872180e-05,6.791583e-05,6.789997e-05,6.713509e-05,6.637883e-05,6.495081e-05,6.361049e-05,6.235273e-05,6.117271e-05,6.006588e-05,5.902795e-05,5.805489e-05,5.714289e-05,5.628838e-05,5.548796e-05,5.473846e-05,5.403688e-05,5.338040e-05,5.276636e-05,5.219226e-05,5.165572e-05,5.115453e-05,5.068660e-05,5.024995e-05,4.984272e-05,4.946317e-05,4.910963e-05,4.878057e-05,4.847451e-05,4.819007e-05,4.792597e-05,4.768097e-05,4.745393e-05,4.724376e-05,4.704944e-05,4.687000e-05,4.670455e-05,4.655222e-05,4.641221e-05,4.628377e-05,4.616618e-05,4.605877e-05,4.596090e-05,4.587199e-05,4.579148e-05,4.571883e-05,4.565354e-05,4.559516e-05,4.554323e-05,4.549734e-05,4.545711e-05,4.542217e-05,4.539216e-05,4.536677e-05
0.000000e+00,1.479580e-08,1.918096e-07,1.998259e-07,1.085630e-06,3.340868e-06,3.472432e-06,7.709263e-06,1.291370e-05,1.326654e-05,1.918313e-05,2.435974e-05,2.478951e-05,2.985508e-05,3.392790e-05,3.435283e-05,3.831328e-05,4.138814e-05,4.177945e-05,4.479522e-05,4.706044e-05,4.740232e-05,4.963957e-05,5.125934e-05,5.154280e-05,5.314491e-05,5.425511e-05,5.447596e-05,5.556337e-05,5.627478e-05,5.643217e-05,5.710506e-05,5.750727e-05,5.760269e-05,5.794375e-05,5.810876e-05,5.814523e-05,5.822246e-05,5.820784e-05,5.818934e-05,5.805845e-05,5.791008e-05,5.784114e-05,5.754767e-05,5.730192e-05,5.718730e-05,5.676839e-05,5.645396e-05,5.629846e-05,5.578432e-05,5.542376e-05,5.523207e-05,5.464721e-05,5.425809e-05,5.403468e-05,5.339893e-05,5.299487e-05,5.274394e-05,5.207329e-05,5.166473e-05,5.139017e-05,5.069746e-05,5.029230e-05,4.999769e-05,4.929317e-05,4.889732e-05,4.858592e-05,4.787775e-05,4.749552e-05,4.717026e-05,4.646487e-05,4.609932e-05,4.576284e-05,4.506527e-05,4.471846e-05,4.437312e-05,4.368725e-05,4.336048e-05,4.300838e-05,4.233717e-05,4.203113e-05,4.167415e-05,4.101980e-05,4.073474e-05,4.037452e-05,3.973864e-05,3.947444e-05,3.911244e-05,3.849613e-05,3.825242e-05,3.788990e-05,3.729388e-05,3.707010e-05,3.670818e-05,3.613285e-05,3.592829e-05,3.556794e-05,3.501346e-05,3.482731e-05,3.446939e-05,3.393570e-05,3.376710e-05,3.341234e-05,3.289924e-05,3.274730e-05,3.239632e-05,3.190349e-05,3.176730e-05,3.142065e-05,3.094768e-05,3.082631e-05,3.048445e-05,3.003086e-05,2.992341e-05,2.958675e-05,2.915199e-05,2.905758e-05,2.872644e-05,2.830995e-05,2.822773e-05,2.790239e-05,2.750359e-05,2.743272e-05,2.711340e-05,2.673168e-05,2.667138e-05,2.635827e-05,2.599301e-05,2.594252e-05,2.563577e-05,2.528638e-05,2.524497e-05,2.494469e-05,2.461055e-05,2.457755e-05,2.428382e-05,2.396434e-05,2.393910e-05,2.365198e-05,2.334658e-05,2.332848e-05,2.304801e-05,2.275611e-05,2.274458e-05,2.247077e-05,2.219183e-05,2.218631e-05,2.191916e-05,2.165263e-05,2.114252e-05,2.065498e-05,2.018907e-05,1.974387e-05,1.931850e-05,1.891210e-05,1.852385e-05,1.815299e-05,1.779874e-05,1.746040e-05,1.713726e-05,1.682867e-05,1.653398e-05,1.625259e-05,1.598393e-05,1.572742e-05,1.548254e-05,1.524877e-05,1.502562e-05,1.481264e-05,1.460937e-05,1.441538e-05,1.423026e-05,1.405362e-05,1.388510e-05,1.372432e-05,1.357095e-05,1.342466e-05,1.328513e-05,1.315208e-05,1.302520e-05,1.290423e-05,1.278891e-05,1.267899e-05,1.257422e-05,1.247438e-05,1.237926e-05,1.228863e-05,1.220230e-05,1.212008e-05,1.204179e-05,1.196726e-05,1.189631e-05,1.182878e-05,1.176453e-05,1.170341e-05,1.164528e-05,1.159000e-05,1.153745e-05
0.000000e+00,1.119380e-07,1.932201e-06,2.022134e-06,1.365530e-05,5.059621e-05,5.295493e-05,1.357736e-04,2.453720e-04,2.528468e-04,3.766489e-04,4.812874e-04,4.897859e-04,5.874795e-04,6.623533e-04,6.699561e-04,7.387169e-04,7.891970e-04,7.954164e-04,8.415885e-04,8.739211e-04,8.785972e-04,9.076437e-04,9.266659e-04,9.297838e-04,9.459454e-04,9.553118e-04,9.569438e-04,9.634953e-04,9.659601e-04,9.662289e-04,9.656959e-04,9.633250e-04,9.623786e-04,9.566985e-04,9.510302e-04,9.490246e-04,9.396781e-04,9.318509e-04,9.289389e-04,9.170506e-04,9.078991e-04,9.042243e-04,8.906432e-04,8.807733e-04,8.764662e-04,8.618305e-04,8.516774e-04,8.468547e-04,8.316406e-04,8.215121e-04,8.162762e-04,8.008366e-04,7.909461e-04,7.853864e-04,7.699803e-04,7.604716e-04,7.546652e-04,7.394804e-04,7.304462e-04,7.244592e-04,7.096295e-04,7.011252e-04,6.950142e-04,6.806324e-04,6.726864e-04,6.664995e-04,6.526279e-04,6.452494e-04,6.390273e-04,6.257051e-04,6.188895e-04,6.126667e-04,5.999158e-04,5.936488e-04,5.874544e-04,5.752837e-04,5.695450e-04,5.634034e-04,5.518125e-04,5.465774e-04,5.405092e-04,5.294908e-04,5.247323e-04,5.187544e-04,5.082964e-04,5.039860e-04,4.981127e-04,4.881993e-04,4.843086e-04,4.785515e-04,4.691647e-04,4.656651e-04,4.600338e-04,4.511540e-04,4.480177e-04,4.425201e-04,4.341269e-04,4.313271e-04,4.259692e-04,4.180418e-04,4.155528e-04,4.103395e-04,4.028570e-04,4.006544e-04,3.955892e-04,3.885310e-04,3.865916e-04,3.816773e-04,3.750231e-04,3.733250e-04,3.685634e-04,3.622934e-04,3.608162e-04,3.562082e-04,3.503033e-04,3.490279e-04,3.445739e-04,3.390156e-04,3.379240e-04,3.336238e-04,3.283942e-04,3.274698e-04,3.233226e-04,3.184048e-04,3.176320e-04,3.136368e-04,3.090144e-04,3.083787e-04,3.045339e-04,3.001913e-04,2.996793e-04,2.959831e-04,2.919055e-04,2.915048e-04,2.879551e-04,2.841283e-04,2.838274e-04,2.804219e-04,2.768324e-04,2.766207e-04,2.733567e-04,2.699916e-04,2.698593e-04,2.667342e-04,2.635814e-04,2.635194e-04,2.605304e-04,2.575782e-04,2.520141e-04,2.468064e-04,2.419357e-04,2.373834e-04,2.331318e-04,2.291644e-04,2.254653e-04,2.220194e-04,2.188125e-04,2.158310e-04,2.130623e-04,2.104940e-04,2.081147e-04,2.059134e-04,2.038799e-04,2.020042e-04,2.002772e-04,1.986899e-04,1.972341e-04,1.959017e-04,1.946854e-04,1.935781e-04,1.925729e-04,1.916635e-04,1.908440e-04,1.901086e-04,1.894518e-04,1.888686e-04,1.883542e-04,1.879040e-04,1.875135e-04,1.871789e-04,1.868961e-04,1.866615e-04,1.864717e-04,1.863235e-04,1.862137e-04,1.861394e-04,1.860979e-04,1.860866e-04,1.861031e-04,1.861451e-04,1.862104e-04,1.862969e-04,1.864029e-04,1.865264e-04,1.866659e-04,1.868196e-04,1.869862e-04
0.000000e+00,4.897450e-08,1.065524e-06,1.120462e-06,8.818526e-06,3.186543e-05,3.319834e-05,7.192773e-05,1.108353e-04,1.132700e-04,1.523145e-04,1.854289e-04,1.881795e-04,2.208720e-04,2.477193e-04,2.505580e-04,2.774273e-04,2.988923e-04,3.016686e-04,3.234639e-04,3.403850e-04,3.429879e-04,3.604065e-04,3.735264e-04,3.758769e-04,3.895474e-04,3.995114e-04,4.015564e-04,4.120337e-04,4.193948e-04,4.211010e-04,4.288710e-04,4.340989e-04,4.354488e-04,4.409320e-04,4.444232e-04,4.454113e-04,4.489704e-04,4.510577e-04,4.516871e-04,4.536333e-04,4.545951e-04,4.548757e-04,4.554759e-04,4.555446e-04,4.554908e-04,4.549732e-04,4.543420e-04,4.539717e-04,4.525313e-04,4.513605e-04,4.506935e-04,4.484968e-04,4.469190e-04,4.459765e-04,4.431653e-04,4.412895e-04,4.400932e-04,4.367881e-04,4.347039e-04,4.332755e-04,4.295790e-04,4.273594e-04,4.257203e-04,4.217194e-04,4.194237e-04,4.175946e-04,4.133628e-04,4.110387e-04,4.090396e-04,4.046391e-04,4.023246e-04,4.001744e-04,3.956575e-04,3.933830e-04,3.910994e-04,3.865102e-04,3.842990e-04,3.818990e-04,3.772743e-04,3.751445e-04,3.726436e-04,3.680141e-04,3.659791e-04,3.633919e-04,3.587831e-04,3.568526e-04,3.541927e-04,3.496255e-04,3.478061e-04,3.450859e-04,3.405776e-04,3.388735e-04,3.361043e-04,3.316691e-04,3.300822e-04,3.272747e-04,3.229236e-04,3.214545e-04,3.186181e-04,3.143602e-04,3.130080e-04,3.101515e-04,3.059937e-04,3.047564e-04,3.018879e-04,2.978353e-04,2.967103e-04,2.938369e-04,2.898936e-04,2.888774e-04,2.860058e-04,2.821742e-04,2.812630e-04,2.783992e-04,2.746810e-04,2.738707e-04,2.710200e-04,2.674161e-04,2.667022e-04,2.638694e-04,2.603798e-04,2.597578e-04,2.569473e-04,2.535716e-04,2.530367e-04,2.502525e-04,2.469897e-04,2.465374e-04,2.437828e-04,2.406315e-04,2.402571e-04,2.375354e-04,2.344939e-04,2.341928e-04,2.315067e-04,2.285731e-04,2.283408e-04,2.256927e-04,2.228649e-04,2.226969e-04,2.200891e-04,2.173647e-04,2.172567e-04,2.146910e-04,2.120676e-04,2.120156e-04,2.094937e-04,2.069687e-04,2.021110e-04,1.974373e-04,1.929426e-04,1.886217e-04,1.844694e-04,1.804806e-04,1.766503e-04,1.729734e-04,1.694450e-04,1.660603e-04,1.628145e-04,1.597030e-04,1.567213e-04,1.538650e-04,1.511296e-04,1.485111e-04,1.460054e-04,1.436084e-04,1.413163e-04,1.391254e-04,1.370321e-04,1.350327e-04,1.331240e-04,1.313026e-04,1.295652e-04,1.279088e-04,1.263304e-04,1.248270e-04,1.233959e-04,1.220343e-04,1.207396e-04,1.195092e-04,1.183407e-04,1.172316e-04,1.161798e-04,1.151829e-04,1.142387e-04,1.133454e-04,1.125007e-04,1.117027e-04,1.109497e-04,1.102398e-04,1.095711e-04,1.089421e-04,1.083511e-04,1.077966e-04,1.072769e-04,1.067907e-04,1.063365e-04
0.000000e+00,1.555990e-07,2.794631e-06,2.927000e-06,2.092224e-05,8.359131e-05,8.776529e-05,2.414965e-04,4.597570e-04,4.752432e-04,7.450837e-04,9.962823e-04,1.017768e-03,1.278447e-03,1.498480e-03,1.522018e-03,1.747287e-03,1.930539e-03,1.954466e-03,2.144234e-03,2.294138e-03,2.317417e-03,2.474884e-03,2.595646e-03,2.617503e-03,2.746132e-03,2.841755e-03,2.861607e-03,2.964738e-03,3.038883e-03,3.056308e-03,3.137068e-03,3.193018e-03,3.207733e-03,3.268986e-03,3.309643e-03,3.321474e-03,3.365810e-03,3.393715e-03,3.402578e-03,3.432322e-03,3.449679e-03,3.455558e-03,3.472771e-03,3.481482e-03,3.484417e-03,3.490923e-03,3.492617e-03,3.492691e-03,3.490098e-03,3.486169e-03,3.483496e-03,3.473217e-03,3.464853e-03,3.459572e-03,3.442850e-03,3.431058e-03,3.423324e-03,3.401247e-03,3.386876e-03,3.376856e-03,3.350375e-03,3.334140e-03,3.322010e-03,3.291954e-03,3.274452e-03,3.260388e-03,3.227481e-03,3.209209e-03,3.193389e-03,3.158257e-03,3.139624e-03,3.122223e-03,3.085411e-03,3.066751e-03,3.047940e-03,3.009918e-03,2.991502e-03,2.971446e-03,2.932618e-03,2.914662e-03,2.893521e-03,2.854234e-03,2.836907e-03,2.814832e-03,2.775383e-03,2.758816e-03,2.735950e-03,2.696590e-03,2.680879e-03,2.657358e-03,2.618301e-03,2.603515e-03,2.579465e-03,2.540890e-03,2.527074e-03,2.502614e-03,2.464670e-03,2.451850e-03,2.427089e-03,2.389900e-03,2.378086e-03,2.353126e-03,2.316791e-03,2.305979e-03,2.280914e-03,2.245514e-03,2.235690e-03,2.210606e-03,2.176204e-03,2.167344e-03,2.142320e-03,2.108965e-03,2.101039e-03,2.076147e-03,2.043874e-03,2.036847e-03,2.012151e-03,1.980985e-03,1.974818e-03,1.950377e-03,1.920332e-03,1.914984e-03,1.890851e-03,1.861933e-03,1.857359e-03,1.833581e-03,1.805791e-03,1.801946e-03,1.778564e-03,1.751896e-03,1.748733e-03,1.725785e-03,1.700228e-03,1.697703e-03,1.675220e-03,1.650758e-03,1.648825e-03,1.626837e-03,1.603451e-03,1.602065e-03,1.580595e-03,1.558264e-03,1.557382e-03,1.536451e-03,1.515151e-03,1.514730e-03,1.494357e-03,1.474061e-03,1.435322e-03,1.398459e-03,1.363416e-03,1.330136e-03,1.298560e-03,1.268631e-03,1.240291e-03,1.213482e-03,1.188146e-03,1.164228e-03,1.141670e-03,1.120419e-03,1.100421e-03,1.081624e-03,1.063975e-03,1.047427e-03,1.031929e-03,1.017435e-03,1.003899e-03,9.912776e-04,9.795265e-04,9.686048e-04,9.584721e-04,9.490897e-04,9.404201e-04,9.324271e-04,9.250758e-04,9.183327e-04,9.121653e-04,9.065426e-04,9.014345e-04,8.968122e-04,8.926482e-04,8.889158e-04,8.855894e-04,8.826447e-04,8.800580e-04,8.778070e-04,8.758701e-04,8.742267e-04,8.728571e-04,8.717424e-04,8.708646e-04,8.702067e-04,8.697521e-04,8.694853e-04,8.693915e-04,8.694564e-04,8.696667e-04
0.000000e+00,2.004118e-09,3.491717e-08,3.647836e-08,2.048838e-07,5.953195e-07,6.169061e-07,1.263101e-06,1.957368e-06,2.001507e-06,2.706964e-06,3.291488e-06,3.339201e-06,3.894698e-06,4.333191e-06,4.378536e-06,4.797264e-06,5.117002e-06,5.157311e-06,5.464642e-06,5.690951e-06,5.724704e-06,5.942454e-06,6.095965e-06,6.122385e-06,6.268574e-06,6.365860e-06,6.384696e-06,6.474070e-06,6.528330e-06,6.539686e-06,6.584231e-06,6.605919e-06,6.610133e-06,6.619574e-06,6.616951e-06,6.614509e-06,6.596696e-06,6.576243e-06,6.567714e-06,6.528969e-06,6.495731e-06,6.481705e-06,6.427043e-06,6.384921e-06,6.365988e-06,6.299438e-06,6.251460e-06,6.228201e-06,6.153034e-06,6.101603e-06,6.074609e-06,5.993488e-06,5.940396e-06,5.910185e-06,5.825147e-06,5.771731e-06,5.738776e-06,5.651431e-06,5.598688e-06,5.563424e-06,5.475033e-06,5.423688e-06,5.386503e-06,5.298050e-06,5.248623e-06,5.209867e-06,5.122119e-06,5.074969e-06,5.034953e-06,4.948497e-06,4.903858e-06,4.862861e-06,4.778141e-06,4.736150e-06,4.694417e-06,4.611761e-06,4.572482e-06,4.530231e-06,4.449878e-06,4.413322e-06,4.370742e-06,4.292858e-06,4.258992e-06,4.216251e-06,4.140944e-06,4.109706e-06,4.066951e-06,3.994283e-06,3.965588e-06,3.922947e-06,3.852945e-06,3.826695e-06,3.784279e-06,3.716943e-06,3.693027e-06,3.650933e-06,3.586241e-06,3.564544e-06,3.522856e-06,3.460768e-06,3.441171e-06,3.399963e-06,3.340427e-06,3.322811e-06,3.282144e-06,3.225099e-06,3.209346e-06,3.169275e-06,3.114654e-06,3.100647e-06,3.061217e-06,3.008946e-06,2.996573e-06,2.957823e-06,2.907827e-06,2.896978e-06,2.858941e-06,2.811143e-06,2.801713e-06,2.764416e-06,2.718738e-06,2.710626e-06,2.674091e-06,2.630454e-06,2.623565e-06,2.587810e-06,2.546138e-06,2.540381e-06,2.505420e-06,2.465636e-06,2.460924e-06,2.426768e-06,2.388797e-06,2.385048e-06,2.351705e-06,2.315474e-06,2.312612e-06,2.280087e-06,2.245525e-06,2.243477e-06,2.211771e-06,2.178809e-06,2.177507e-06,2.146622e-06,2.115193e-06,2.114572e-06,2.084506e-06,2.054546e-06,1.997305e-06,1.942734e-06,1.890718e-06,1.841147e-06,1.793918e-06,1.748929e-06,1.706083e-06,1.665287e-06,1.626452e-06,1.589492e-06,1.554326e-06,1.520874e-06,1.489061e-06,1.458815e-06,1.430066e-06,1.402749e-06,1.376799e-06,1.352156e-06,1.328762e-06,1.306561e-06,1.285500e-06,1.265527e-06,1.246594e-06,1.228654e-06,1.211662e-06,1.195575e-06,1.180352e-06,1.165954e-06,1.152344e-06,1.139485e-06,1.127343e-06,1.115886e-06,1.105081e-06,1.094899e-06,1.085310e-06,1.076289e-06,1.067806e-06,1.059839e-06,1.052363e-06,1.045353e-06,1.038790e-06,1.032651e-06,1.026916e-06,1.021565e-06,1.016582e-06,1.011947e-06,1.007644e-06,1.003657e-06,9.999696e-07
0.000000e+00,8.522000e-08,1.829855e-06,1.921338e-06,1.438328e-05,5.446542e-05,5.700103e-05,1.442629e-04,2.580339e-04,2.658633e-04,3.986638e-04,5.163641e-04,5.261425e-04,6.406061e-04,7.304265e-04,7.396246e-04,8.232972e-04,8.851493e-04,8.927888e-04,9.496262e-04,9.895858e-04,9.953809e-04,1.031533e-03,1.055465e-03,1.059423e-03,1.080236e-03,1.092754e-03,1.095010e-03,1.104646e-03,1.109183e-03,1.109923e-03,1.111513e-03,1.110566e-03,1.109991e-03,1.105852e-03,1.101221e-03,1.099522e-03,1.091363e-03,1.084332e-03,1.081686e-03,1.070757e-03,1.062243e-03,1.058804e-03,1.046021e-03,1.036669e-03,1.032574e-03,1.018604e-03,1.008868e-03,1.004232e-03,9.895606e-04,9.797572e-04,9.746783e-04,9.596592e-04,9.500049e-04,9.445668e-04,9.294550e-04,9.200961e-04,9.143691e-04,8.993473e-04,8.903788e-04,8.844222e-04,8.696208e-04,8.611016e-04,8.549654e-04,8.404752e-04,8.324388e-04,8.261659e-04,8.120502e-04,8.045118e-04,7.981380e-04,7.844375e-04,7.773990e-04,7.709549e-04,7.576951e-04,7.511498e-04,7.446614e-04,7.318562e-04,7.257914e-04,7.192810e-04,7.069363e-04,7.013352e-04,6.948222e-04,6.829380e-04,6.777815e-04,6.712826e-04,6.598542e-04,6.551215e-04,6.486510e-04,6.376708e-04,6.333406e-04,6.269111e-04,6.163693e-04,6.124199e-04,6.060425e-04,5.959278e-04,5.923379e-04,5.860222e-04,5.763225e-04,5.730709e-04,5.668253e-04,5.575275e-04,5.545937e-04,5.484257e-04,5.395165e-04,5.368809e-04,5.307967e-04,5.222628e-04,5.199062e-04,5.139116e-04,5.057396e-04,5.036438e-04,4.977435e-04,4.899201e-04,4.880678e-04,4.822661e-04,4.747782e-04,4.731529e-04,4.674533e-04,4.602882e-04,4.588741e-04,4.532797e-04,4.464248e-04,4.452070e-04,4.397204e-04,4.331635e-04,4.321279e-04,4.267512e-04,4.204806e-04,4.196138e-04,4.143487e-04,4.083529e-04,4.076424e-04,4.024903e-04,3.967582e-04,3.961920e-04,3.911538e-04,3.856747e-04,3.852417e-04,3.803182e-04,3.750818e-04,3.747714e-04,3.699629e-04,3.649592e-04,3.647614e-04,3.600682e-04,3.552876e-04,3.551931e-04,3.506151e-04,3.460484e-04,3.373097e-04,3.289604e-04,3.209843e-04,3.133659e-04,3.060902e-04,2.991430e-04,2.925105e-04,2.861794e-04,2.801371e-04,2.743713e-04,2.688704e-04,2.636231e-04,2.586187e-04,2.538468e-04,2.492976e-04,2.449614e-04,2.408292e-04,2.368922e-04,2.331420e-04,2.295707e-04,2.261704e-04,2.229339e-04,2.198539e-04,2.169238e-04,2.141370e-04,2.114873e-04,2.089687e-04,2.065755e-04,2.043021e-04,2.021434e-04,2.000942e-04,1.981498e-04,1.963055e-04,1.945570e-04,1.928998e-04,1.913300e-04,1.898437e-04,1.884372e-04,1.871069e-04,1.858493e-04,1.846612e-04,1.835394e-04,1.824810e-04,1.814830e-04,1.805426e-04,1.796572e-04,1.788243e-04,1.780415e-04,1.773064e-04
0.000000e+00,5.785186e-06,1.198113e-04,1.257940e-04,9.997880e-04,4.318439e-03,4.546811e-03,1.334873e-02,2.722962e-02,2.828680e-02,4.848144e-02,7.057924e-02,7.262646e-02,9.950581e-02,1.251781e-01,1.280872e-01,1.575197e-01,1.835726e-01,1.871128e-01,2.163142e-01,2.407796e-01,2.446888e-01,2.719013e-01,2.936753e-01,2.976999e-01,3.219037e-01,3.404733e-01,3.443903e-01,3.650862e-01,3.803299e-01,3.839578e-01,4.010040e-01,4.130480e-01,4.162495e-01,4.297396e-01,4.388550e-01,4.415351e-01,4.517084e-01,4.582397e-01,4.603405e-01,4.675174e-01,4.718338e-01,4.733285e-01,4.778645e-01,4.803294e-01,4.812157e-01,4.834710e-01,4.844229e-01,4.847169e-01,4.850366e-01,4.847792e-01,4.845100e-01,4.832128e-01,4.820113e-01,4.812165e-01,4.785883e-01,4.766694e-01,4.753913e-01,4.716841e-01,4.692378e-01,4.675212e-01,4.629531e-01,4.601364e-01,4.580263e-01,4.527840e-01,4.497253e-01,4.472656e-01,4.415076e-01,4.383105e-01,4.355433e-01,4.294033e-01,4.261503e-01,4.231154e-01,4.167053e-01,4.134618e-01,4.101964e-01,4.036100e-01,4.004268e-01,3.969656e-01,3.902812e-01,3.871973e-01,3.835728e-01,3.768553e-01,3.739003e-01,3.701422e-01,3.634459e-01,3.606412e-01,3.567775e-01,3.501471e-01,3.475078e-01,3.435641e-01,3.370369e-01,3.345728e-01,3.305730e-01,3.241794e-01,3.218961e-01,3.178622e-01,3.116270e-01,3.095267e-01,3.054790e-01,2.994225e-01,2.975045e-01,2.934617e-01,2.876000e-01,2.858613e-01,2.818406e-01,2.761864e-01,2.746223e-01,2.706396e-01,2.652023e-01,2.638068e-01,2.598763e-01,2.546630e-01,2.534287e-01,2.495636e-01,2.445792e-01,2.434981e-01,2.397103e-01,2.349574e-01,2.340208e-01,2.303210e-01,2.258011e-01,2.249999e-01,2.213976e-01,2.171104e-01,2.164352e-01,2.129391e-01,2.088832e-01,2.083245e-01,2.049420e-01,2.011150e-01,2.006634e-01,1.974012e-01,1.937997e-01,1.934457e-01,1.903096e-01,1.869297e-01,1.866640e-01,1.836588e-01,1.804958e-01,1.803094e-01,1.774394e-01,1.744881e-01,1.743722e-01,1.716406e-01,1.688955e-01,1.688416e-01,1.662513e-01,1.637064e-01,1.589547e-01,1.545740e-01,1.505517e-01,1.468748e-01,1.435300e-01,1.405041e-01,1.377834e-01,1.353545e-01,1.332037e-01,1.313175e-01,1.296822e-01,1.282842e-01,1.271101e-01,1.261464e-01,1.253797e-01,1.247970e-01,1.243850e-01,1.241310e-01,1.240223e-01,1.240464e-01,1.241911e-01,1.244445e-01,1.247950e-01,1.252314e-01,1.257428e-01,1.263186e-01,1.269489e-01,1.276240e-01,1.283348e-01,1.290725e-01,1.298291e-01,1.305970e-01,1.313689e-01,1.321384e-01,1.328993e-01,1.336462e-01,1.343742e-01,1.350786e-01,1.357557e-01,1.364021e-01,1.370146e-01,1.375910e-01,1.381292e-01,1.386275e-01,1.390849e-01,1.395006e-01,1.398740e-01,1.402051e-01,1.404940e-01
0.000000e+00,2.468517e-08,3.511704e-07,3.669164e-07,2.295655e-06,7.635145e-06,7.946176e-06,1.727708e-05,2.689655e-05,2.749805e-05,3.708853e-05,4.511446e-05,4.577593e-05,5.356894e-05,5.986331e-05,6.052265e-05,6.669782e-05,7.153506e-05,7.215368e-05,7.694674e-05,8.057961e-05,8.113060e-05,8.475582e-05,8.740415e-05,8.786992e-05,9.051736e-05,9.236917e-05,9.273954e-05,9.457489e-05,9.578866e-05,9.605900e-05,9.722472e-05,9.793254e-05,9.810235e-05,9.871975e-05,9.903079e-05,9.910256e-05,9.927429e-05,9.927824e-05,9.925653e-05,9.906907e-05,9.883925e-05,9.873002e-05,9.825597e-05,9.785198e-05,9.766207e-05,9.696219e-05,9.643222e-05,9.616896e-05,9.529392e-05,9.467673e-05,9.434759e-05,9.333956e-05,9.266611e-05,9.227856e-05,9.117249e-05,9.046728e-05,9.002856e-05,8.885330e-05,8.813560e-05,8.765264e-05,8.643192e-05,8.571665e-05,8.519600e-05,8.394923e-05,8.324780e-05,8.269557e-05,8.143855e-05,8.075949e-05,8.018134e-05,7.892679e-05,7.827633e-05,7.767744e-05,7.643555e-05,7.581804e-05,7.520313e-05,7.398195e-05,7.340025e-05,7.277359e-05,7.157941e-05,7.103519e-05,7.040062e-05,6.923825e-05,6.873224e-05,6.809318e-05,6.696620e-05,6.649842e-05,6.585793e-05,6.476892e-05,6.433881e-05,6.369960e-05,6.265032e-05,6.225691e-05,6.162134e-05,6.061286e-05,6.025486e-05,5.962501e-05,5.865785e-05,5.833373e-05,5.771139e-05,5.678562e-05,5.649373e-05,5.588045e-05,5.499578e-05,5.473435e-05,5.413145e-05,5.328730e-05,5.305453e-05,5.246313e-05,5.165870e-05,5.145276e-05,5.087379e-05,5.010812e-05,4.992719e-05,4.936142e-05,4.863340e-05,4.847571e-05,4.792376e-05,4.723220e-05,4.709603e-05,4.655839e-05,4.590202e-05,4.578570e-05,4.526275e-05,4.464025e-05,4.454219e-05,4.403420e-05,4.344426e-05,4.336293e-05,4.287008e-05,4.231135e-05,4.224533e-05,4.176773e-05,4.123887e-05,4.118679e-05,4.072447e-05,4.022417e-05,4.018475e-05,3.973767e-05,3.926464e-05,3.923668e-05,3.880476e-05,3.835773e-05,3.834011e-05,3.792322e-05,3.750095e-05,3.749262e-05,3.709060e-05,3.669189e-05,3.593564e-05,3.522168e-05,3.454793e-05,3.391234e-05,3.331299e-05,3.274801e-05,3.221563e-05,3.171414e-05,3.124193e-05,3.079746e-05,3.037924e-05,2.998588e-05,2.961605e-05,2.926847e-05,2.894195e-05,2.863533e-05,2.834753e-05,2.807752e-05,2.782431e-05,2.758699e-05,2.736466e-05,2.715650e-05,2.696170e-05,2.677953e-05,2.660927e-05,2.645024e-05,2.630181e-05,2.616337e-05,2.603436e-05,2.591423e-05,2.580247e-05,2.569858e-05,2.560213e-05,2.551266e-05,2.542977e-05,2.535307e-05,2.528219e-05,2.521678e-05,2.515652e-05,2.510110e-05,2.505021e-05,2.500359e-05,2.496097e-05,2.492210e-05,2.488676e-05,2.485470e-05,2.482574e-05,2.479966e-05,2.477630e-05
0.000000e+00,2.781289e-08,4.842573e-07,5.074094e-07,3.717743e-06,1.487630e-05,1.560976e-05,4.157783e-05,7.510217e-05,7.735334e-05,1.145346e-04,1.465400e-04,1.491887e-04,1.803939e-04,2.055208e-04,2.081464e-04,2.326652e-04,2.517734e-04,2.542104e-04,2.730374e-04,2.872380e-04,2.893861e-04,3.034791e-04,3.137250e-04,3.155221e-04,3.257048e-04,3.327896e-04,3.342022e-04,3.411755e-04,3.457568e-04,3.467728e-04,3.511298e-04,3.537479e-04,3.543714e-04,3.566119e-04,3.577098e-04,3.579558e-04,3.584985e-04,3.584357e-04,3.583270e-04,3.575202e-04,3.565864e-04,3.561498e-04,3.542808e-04,3.527079e-04,3.519726e-04,3.492790e-04,3.472521e-04,3.462484e-04,3.429248e-04,3.405902e-04,3.393480e-04,3.355541e-04,3.330271e-04,3.315754e-04,3.274412e-04,3.248116e-04,3.231779e-04,3.188092e-04,3.161464e-04,3.143565e-04,3.098388e-04,3.071957e-04,3.052734e-04,3.006757e-04,2.980920e-04,2.960593e-04,2.914365e-04,2.889414e-04,2.868182e-04,2.822140e-04,2.798284e-04,2.776326e-04,2.730815e-04,2.708195e-04,2.685674e-04,2.640961e-04,2.619666e-04,2.596727e-04,2.553016e-04,2.533096e-04,2.509866e-04,2.467310e-04,2.448781e-04,2.425376e-04,2.384086e-04,2.366941e-04,2.343460e-04,2.303513e-04,2.287728e-04,2.264258e-04,2.225705e-04,2.211240e-04,2.187860e-04,2.150727e-04,2.137535e-04,2.114310e-04,2.078608e-04,2.066633e-04,2.043622e-04,2.009347e-04,1.998529e-04,1.975781e-04,1.942918e-04,1.933196e-04,1.910753e-04,1.879279e-04,1.870589e-04,1.848488e-04,1.818372e-04,1.810651e-04,1.788921e-04,1.760128e-04,1.753314e-04,1.731982e-04,1.704473e-04,1.698505e-04,1.677590e-04,1.651324e-04,1.646144e-04,1.625663e-04,1.600596e-04,1.596147e-04,1.576114e-04,1.552203e-04,1.548430e-04,1.528854e-04,1.506055e-04,1.502906e-04,1.483795e-04,1.462064e-04,1.459491e-04,1.440850e-04,1.420142e-04,1.418099e-04,1.399930e-04,1.380203e-04,1.378645e-04,1.360950e-04,1.342162e-04,1.341049e-04,1.323827e-04,1.305935e-04,1.305229e-04,1.288477e-04,1.271443e-04,1.271107e-04,1.254824e-04,1.238608e-04,1.207660e-04,1.178190e-04,1.150133e-04,1.123421e-04,1.097994e-04,1.073791e-04,1.050754e-04,1.028829e-04,1.007963e-04,9.881057e-05,9.692094e-05,9.512282e-05,9.341186e-05,9.178388e-05,9.023491e-05,8.876118e-05,8.735907e-05,8.602516e-05,8.475615e-05,8.354895e-05,8.240057e-05,8.130820e-05,8.026913e-05,7.928082e-05,7.834081e-05,7.744678e-05,7.659653e-05,7.578795e-05,7.501904e-05,7.428789e-05,7.359268e-05,7.293169e-05,7.230329e-05,7.170589e-05,7.113802e-05,7.059825e-05,7.008524e-05,6.959771e-05,6.913444e-05,6.869425e-05,6.827604e-05,6.787877e-05,6.750142e-05,6.714305e-05,6.680275e-05,6.647964e-05,6.617292e-05,6.588179e-05,6.560552e-05
0.000000e+00,3.572230e-08,7.457128e-07,7.832067e-07,6.004287e-06,2.338591e-05,2.450192e-05,6.327167e-05,1.131062e-04,1.164720e-04,1.724267e-04,2.209931e-04,2.250232e-04,2.725911e-04,3.109943e-04,3.150120e-04,3.525809e-04,3.819328e-04,3.856819e-04,4.146979e-04,4.366586e-04,4.399875e-04,4.618770e-04,4.778536e-04,4.806624e-04,4.966221e-04,5.077827e-04,5.100149e-04,5.210792e-04,5.284024e-04,5.300348e-04,5.370842e-04,5.413795e-04,5.424132e-04,5.461929e-04,5.481261e-04,5.485799e-04,5.497175e-04,5.498327e-04,5.497371e-04,5.487584e-04,5.474975e-04,5.468909e-04,5.442341e-04,5.419537e-04,5.408789e-04,5.369077e-04,5.338941e-04,5.323957e-04,5.274109e-04,5.238923e-04,5.220153e-04,5.162648e-04,5.124219e-04,5.102102e-04,5.038976e-04,4.998725e-04,4.973683e-04,4.906600e-04,4.865633e-04,4.838065e-04,4.768383e-04,4.727551e-04,4.697828e-04,4.626647e-04,4.586595e-04,4.555061e-04,4.483269e-04,4.444478e-04,4.411447e-04,4.339754e-04,4.302572e-04,4.268331e-04,4.197302e-04,4.161971e-04,4.126779e-04,4.056858e-04,4.023535e-04,3.987625e-04,3.919155e-04,3.887934e-04,3.851515e-04,3.784759e-04,3.755679e-04,3.718936e-04,3.654088e-04,3.627151e-04,3.590249e-04,3.527449e-04,3.502624e-04,3.465710e-04,3.405051e-04,3.382287e-04,3.345487e-04,3.287029e-04,3.266256e-04,3.229683e-04,3.173453e-04,3.154590e-04,3.118341e-04,3.064344e-04,3.047300e-04,3.011459e-04,2.959682e-04,2.944363e-04,2.909003e-04,2.859415e-04,2.845724e-04,2.810907e-04,2.763468e-04,2.751308e-04,2.717086e-04,2.671746e-04,2.661018e-04,2.627436e-04,2.584139e-04,2.574749e-04,2.541841e-04,2.500527e-04,2.492380e-04,2.460179e-04,2.420781e-04,2.413789e-04,2.382317e-04,2.344770e-04,2.338846e-04,2.308122e-04,2.272357e-04,2.267419e-04,2.237457e-04,2.203405e-04,2.199375e-04,2.170185e-04,2.137779e-04,2.134582e-04,2.106170e-04,2.075341e-04,2.072908e-04,2.045276e-04,2.015959e-04,2.014223e-04,1.987373e-04,1.959502e-04,1.958401e-04,1.932330e-04,1.905841e-04,1.905318e-04,1.880021e-04,1.854853e-04,1.806890e-04,1.761316e-04,1.718021e-04,1.676901e-04,1.637855e-04,1.600786e-04,1.565601e-04,1.532210e-04,1.500528e-04,1.470473e-04,1.441969e-04,1.414938e-04,1.389312e-04,1.365021e-04,1.342001e-04,1.320189e-04,1.299527e-04,1.279959e-04,1.261430e-04,1.243890e-04,1.227290e-04,1.211584e-04,1.196727e-04,1.182678e-04,1.169396e-04,1.156844e-04,1.144985e-04,1.133784e-04,1.123209e-04,1.113228e-04,1.103812e-04,1.094932e-04,1.086562e-04,1.078675e-04,1.071248e-04,1.064257e-04,1.057680e-04,1.051496e-04,1.045685e-04,1.040228e-04,1.035108e-04,1.030306e-04,1.025806e-04,1.021594e-04,1.017653e-04,1.013971e-04,1.010533e-04,1.007327e-04,1.004341e-04
0.000000e+00,1.298272e-06,3.430045e-05,3.613966e-05,3.096109e-04,1.285588e-03,1.350152e-03,3.716812e-03,7.214023e-03,7.473642e-03,1.231510e-02,1.742701e-02,1.789299e-02,2.391195e-02,2.951077e-02,3.013697e-02,3.638560e-02,4.179268e-02,4.251886e-02,4.843327e-02,5.328693e-02,5.405402e-02,5.932943e-02,6.346917e-02,6.422631e-02,6.872611e-02,7.211439e-02,7.282176e-02,7.651505e-02,7.918554e-02,7.981452e-02,8.273365e-02,8.475741e-02,8.528948e-02,8.750145e-02,8.896540e-02,8.939046e-02,9.097814e-02,9.197188e-02,9.228633e-02,9.333660e-02,9.394493e-02,9.414998e-02,9.474663e-02,9.504567e-02,9.514578e-02,9.536556e-02,9.542128e-02,9.542297e-02,9.533381e-02,9.520186e-02,9.511277e-02,9.477336e-02,9.449982e-02,9.432804e-02,9.378819e-02,9.341063e-02,9.316424e-02,9.246570e-02,9.201440e-02,9.170121e-02,9.087865e-02,9.037779e-02,9.000516e-02,8.908722e-02,8.855598e-02,8.813073e-02,8.714101e-02,8.659447e-02,8.612291e-02,8.508081e-02,8.453077e-02,8.401869e-02,8.294016e-02,8.239578e-02,8.184849e-02,8.074666e-02,8.021498e-02,7.963737e-02,7.852306e-02,7.800941e-02,7.740595e-02,7.628808e-02,7.579645e-02,7.517128e-02,7.405720e-02,7.359048e-02,7.294738e-02,7.184317e-02,7.140335e-02,7.074583e-02,6.965649e-02,6.924485e-02,6.857615e-02,6.750576e-02,6.712301e-02,6.644614e-02,6.539804e-02,6.504443e-02,6.436214e-02,6.333904e-02,6.301444e-02,6.232928e-02,6.133334e-02,6.103732e-02,6.035165e-02,5.938458e-02,5.911646e-02,5.843245e-02,5.749555e-02,5.725448e-02,5.657413e-02,5.566839e-02,5.545337e-02,5.477852e-02,5.390464e-02,5.371455e-02,5.304688e-02,5.220533e-02,5.203897e-02,5.138004e-02,5.057105e-02,5.042717e-02,4.977840e-02,4.900206e-02,4.887937e-02,4.824204e-02,4.749829e-02,4.739546e-02,4.677077e-02,4.605941e-02,4.597513e-02,4.536413e-02,4.468486e-02,4.461781e-02,4.402148e-02,4.337390e-02,4.332277e-02,4.274200e-02,4.212564e-02,4.208915e-02,4.152470e-02,4.093903e-02,4.091592e-02,4.036849e-02,3.981293e-02,3.980197e-02,3.927218e-02,3.874609e-02,3.774698e-02,3.680329e-02,3.591361e-02,3.507648e-02,3.429039e-02,3.355380e-02,3.286516e-02,3.222287e-02,3.162533e-02,3.107090e-02,3.055796e-02,3.008485e-02,2.964992e-02,2.925152e-02,2.888800e-02,2.855771e-02,2.825900e-02,2.799026e-02,2.774985e-02,2.753619e-02,2.734769e-02,2.718281e-02,2.704001e-02,2.691780e-02,2.681472e-02,2.672934e-02,2.666027e-02,2.660617e-02,2.656574e-02,2.653771e-02,2.652090e-02,2.651412e-02,2.651629e-02,2.652635e-02,2.654329e-02,2.656616e-02,2.659408e-02,2.662621e-02,2.666177e-02,2.670004e-02,2.674032e-02,2.678201e-02,2.682454e-02,2.686738e-02,2.691006e-02,2.695215e-02,2.699328e-02,2.703311e-02,2.707135e-02
0.000000e+00,7.588738e-06,1.556472e-04,1.633819e-04,1.291189e-03,5.685917e-03,5.996420e-03,1.877744e-02,4.158527e-02,4.342297e-02,8.039231e-02,1.237042e-01,1.278286e-01,1.833843e-01,2.385222e-01,2.448836e-01,3.104470e-01,3.702377e-01,3.784873e-01,4.476794e-01,5.072650e-01,5.169277e-01,5.853351e-01,6.416123e-01,6.521763e-01,7.168736e-01,7.680056e-01,7.789759e-01,8.381397e-01,8.831832e-01,8.941133e-01,9.467225e-01,9.853496e-01,9.958577e-01,1.041464e+00,1.073757e+00,1.083531e+00,1.122085e+00,1.148386e+00,1.157183e+00,1.188905e+00,1.209709e+00,1.217349e+00,1.242630e+00,1.258511e+00,1.264872e+00,1.284206e+00,1.295762e+00,1.300769e+00,1.314701e+00,1.322522e+00,1.326141e+00,1.335231e+00,1.339879e+00,1.342108e+00,1.346908e+00,1.348900e+00,1.349764e+00,1.350803e+00,1.350606e+00,1.350150e+00,1.347923e+00,1.345956e+00,1.344238e+00,1.339203e+00,1.335833e+00,1.332923e+00,1.325497e+00,1.321043e+00,1.317019e+00,1.307578e+00,1.302316e+00,1.297258e+00,1.286140e+00,1.280306e+00,1.274299e+00,1.261806e+00,1.255597e+00,1.248727e+00,1.235125e+00,1.228709e+00,1.221060e+00,1.206586e+00,1.200101e+00,1.191755e+00,1.176616e+00,1.170177e+00,1.161214e+00,1.145592e+00,1.139290e+00,1.129789e+00,1.113843e+00,1.107753e+00,1.097787e+00,1.081654e+00,1.075833e+00,1.065474e+00,1.049275e+00,1.043767e+00,1.033081e+00,1.016918e+00,1.011755e+00,1.000806e+00,9.847672e-01,9.799725e-01,9.688195e-01,9.529804e-01,9.485671e-01,9.372658e-01,9.216904e-01,9.176653e-01,9.062677e-01,8.910097e-01,8.873736e-01,8.759277e-01,8.610319e-01,8.577807e-01,8.463314e-01,8.318345e-01,8.289602e-01,8.175486e-01,8.034804e-01,8.009718e-01,7.896359e-01,7.760202e-01,7.738632e-01,7.626379e-01,7.494931e-01,7.476720e-01,7.365891e-01,7.239288e-01,7.224260e-01,7.115146e-01,6.993484e-01,6.981455e-01,6.874318e-01,6.757658e-01,6.748434e-01,6.643512e-01,6.531884e-01,6.525267e-01,6.422775e-01,6.316181e-01,6.311969e-01,6.212098e-01,6.110518e-01,6.108512e-01,6.011432e-01,5.914825e-01,5.730805e-01,5.556317e-01,5.391202e-01,5.235281e-01,5.088354e-01,4.950207e-01,4.820612e-01,4.699329e-01,4.586110e-01,4.480698e-01,4.382832e-01,4.292243e-01,4.208662e-01,4.131813e-01,4.061422e-01,3.997211e-01,3.938904e-01,3.886223e-01,3.838894e-01,3.796642e-01,3.759196e-01,3.726288e-01,3.697653e-01,3.673030e-01,3.652162e-01,3.634800e-01,3.620697e-01,3.609613e-01,3.601317e-01,3.595581e-01,3.592187e-01,3.590923e-01,3.591585e-01,3.593979e-01,3.597917e-01,3.603220e-01,3.609719e-01,3.617252e-01,3.625667e-01,3.634820e-01,3.644578e-01,3.654813e-01,3.665410e-01,3.676260e-01,3.687263e-01,3.698327e-01,3.709369e-01,3.720313e-01,3.731090e-01
0.000000e+00,3.296539e-09,4.828536e-08,5.047819e-08,3.233402e-07,1.122735e-06,1.171590e-06,2.778697e-06,4.710366e-06,4.838488e-06,6.969085e-06,8.863811e-06,9.024374e-06,1.097020e-05,1.262325e-05,1.280121e-05,1.451912e-05,1.594015e-05,1.612750e-05,1.763039e-05,1.884174e-05,1.903204e-05,2.033669e-05,2.136077e-05,2.154862e-05,2.267202e-05,2.353005e-05,2.371102e-05,2.466966e-05,2.538133e-05,2.555183e-05,2.636133e-05,2.694464e-05,2.710181e-05,2.777677e-05,2.824800e-05,2.838959e-05,2.894352e-05,2.931733e-05,2.944164e-05,2.988695e-05,3.017646e-05,3.028227e-05,3.063032e-05,3.084723e-05,3.093371e-05,3.119491e-05,3.134964e-05,3.141629e-05,3.160012e-05,3.170193e-05,3.174855e-05,3.186364e-05,3.192071e-05,3.194735e-05,3.200155e-05,3.202112e-05,3.202803e-05,3.202848e-05,3.201693e-05,3.200452e-05,3.195768e-05,3.192062e-05,3.188945e-05,3.180120e-05,3.174354e-05,3.169428e-05,3.156993e-05,3.149596e-05,3.142936e-05,3.127371e-05,3.118717e-05,3.110406e-05,3.092144e-05,3.082558e-05,3.072683e-05,3.052116e-05,3.041877e-05,3.030531e-05,3.008010e-05,2.997359e-05,2.984635e-05,2.960478e-05,2.949620e-05,2.935612e-05,2.910104e-05,2.899214e-05,2.884017e-05,2.857413e-05,2.846639e-05,2.830347e-05,2.802875e-05,2.792339e-05,2.775046e-05,2.746910e-05,2.736714e-05,2.718511e-05,2.689892e-05,2.680119e-05,2.661095e-05,2.632156e-05,2.622872e-05,2.603112e-05,2.573997e-05,2.565253e-05,2.544842e-05,2.515677e-05,2.507513e-05,2.486530e-05,2.457427e-05,2.449870e-05,2.428392e-05,2.399450e-05,2.392520e-05,2.370621e-05,2.341924e-05,2.335631e-05,2.313380e-05,2.285005e-05,2.279352e-05,2.256815e-05,2.228826e-05,2.223810e-05,2.201051e-05,2.173504e-05,2.169118e-05,2.146195e-05,2.119136e-05,2.115369e-05,2.092337e-05,2.065808e-05,2.062643e-05,2.039555e-05,2.013588e-05,2.011007e-05,1.987913e-05,1.962535e-05,1.960518e-05,1.937462e-05,1.912697e-05,1.911221e-05,1.888245e-05,1.864109e-05,1.863150e-05,1.840294e-05,1.816801e-05,1.816335e-05,1.793634e-05,1.770793e-05,1.726539e-05,1.683580e-05,1.641918e-05,1.601550e-05,1.562469e-05,1.524666e-05,1.488126e-05,1.452833e-05,1.418770e-05,1.385916e-05,1.354248e-05,1.323744e-05,1.294378e-05,1.266125e-05,1.238958e-05,1.212850e-05,1.187774e-05,1.163703e-05,1.140607e-05,1.118461e-05,1.097235e-05,1.076901e-05,1.057433e-05,1.038803e-05,1.020985e-05,1.003951e-05,9.876750e-06,9.721324e-06,9.572975e-06,9.431457e-06,9.296528e-06,9.167954e-06,9.045503e-06,8.928953e-06,8.818083e-06,8.712682e-06,8.612542e-06,8.517463e-06,8.427248e-06,8.341709e-06,8.260661e-06,8.183927e-06,8.111333e-06,8.042712e-06,7.977902e-06,7.916747e-06,7.859095e-06,7.804800e-06,7.753720e-06
0.000000e+00,2.881266e-07,6.640599e-06,6.983337e-06,5.724177e-05,2.436350e-04,2.563921e-04,7.563267e-04,1.581260e-03,1.645256e-03,2.876473e-03,4.212279e-03,4.334504e-03,5.908207e-03,7.351416e-03,7.511066e-03,9.080634e-03,1.039985e-02,1.057399e-02,1.196326e-02,1.306191e-02,1.323187e-02,1.437160e-02,1.522767e-02,1.538030e-02,1.626013e-02,1.688894e-02,1.701620e-02,1.765554e-02,1.808847e-02,1.818637e-02,1.861748e-02,1.889030e-02,1.895785e-02,1.921635e-02,1.936332e-02,1.940152e-02,1.952145e-02,1.957266e-02,1.958369e-02,1.959520e-02,1.957568e-02,1.956235e-02,1.949092e-02,1.942076e-02,1.938609e-02,1.925255e-02,1.914746e-02,1.909442e-02,1.891540e-02,1.878741e-02,1.871875e-02,1.850733e-02,1.836545e-02,1.828366e-02,1.804995e-02,1.790086e-02,1.780812e-02,1.755985e-02,1.740842e-02,1.730661e-02,1.704965e-02,1.689936e-02,1.679009e-02,1.652887e-02,1.638217e-02,1.626682e-02,1.600464e-02,1.586324e-02,1.574296e-02,1.548230e-02,1.534731e-02,1.522312e-02,1.496580e-02,1.483794e-02,1.471068e-02,1.445805e-02,1.433774e-02,1.420815e-02,1.396120e-02,1.384863e-02,1.371736e-02,1.347679e-02,1.337201e-02,1.323962e-02,1.300594e-02,1.290886e-02,1.277585e-02,1.254942e-02,1.245988e-02,1.232670e-02,1.210773e-02,1.202552e-02,1.189256e-02,1.168120e-02,1.160604e-02,1.147366e-02,1.126996e-02,1.120158e-02,1.107010e-02,1.087407e-02,1.081214e-02,1.068185e-02,1.049344e-02,1.043766e-02,1.030882e-02,1.012795e-02,1.007798e-02,9.950822e-03,9.777396e-03,9.732908e-03,9.607641e-03,9.441524e-03,9.402193e-03,9.279006e-03,9.120051e-03,9.085555e-03,8.964617e-03,8.812662e-03,8.782685e-03,8.664144e-03,8.519020e-03,8.493254e-03,8.377243e-03,8.238769e-03,8.216916e-03,8.103551e-03,7.971542e-03,7.953314e-03,7.842696e-03,7.716964e-03,7.702084e-03,7.594300e-03,7.474654e-03,7.462853e-03,7.357979e-03,7.244226e-03,7.235251e-03,7.133349e-03,7.025298e-03,7.018904e-03,6.920026e-03,6.817486e-03,6.813440e-03,6.717629e-03,6.620410e-03,6.618492e-03,6.525780e-03,6.433694e-03,6.258688e-03,6.093118e-03,5.936637e-03,5.788904e-03,5.649584e-03,5.518350e-03,5.394883e-03,5.278869e-03,5.170005e-03,5.067993e-03,4.972542e-03,4.883370e-03,4.800201e-03,4.722768e-03,4.650809e-03,4.584070e-03,4.522304e-03,4.465270e-03,4.412734e-03,4.364470e-03,4.320257e-03,4.279880e-03,4.243132e-03,4.209811e-03,4.179723e-03,4.152677e-03,4.128492e-03,4.106990e-03,4.088001e-03,4.071360e-03,4.056908e-03,4.044494e-03,4.033969e-03,4.025192e-03,4.018030e-03,4.012351e-03,4.008032e-03,4.004956e-03,4.003009e-03,4.002084e-03,4.002080e-03,4.002899e-03,4.004452e-03,4.006651e-03,4.009415e-03,4.012669e-03,4.016340e-03,4.020362e-03,4.024673e-03
0.000000e+00,1.507579e-07,3.094228e-06,3.248936e-06,2.498576e-05,9.771479e-05,1.023357e-04,2.572951e-04,4.469262e-04,4.596291e-04,6.724392e-04,8.622840e-04,8.783244e-04,1.071535e-03,1.233437e-03,1.250722e-03,1.415960e-03,1.550225e-03,1.567750e-03,1.706713e-03,1.816454e-03,1.833495e-03,1.948746e-03,2.037119e-03,2.053112e-03,2.147227e-03,2.217186e-03,2.231709e-03,2.307157e-03,2.361401e-03,2.374150e-03,2.433239e-03,2.474183e-03,2.484953e-03,2.529792e-03,2.559565e-03,2.568231e-03,2.600720e-03,2.621180e-03,2.627681e-03,2.649512e-03,2.662266e-03,2.666589e-03,2.679263e-03,2.685694e-03,2.687867e-03,2.692711e-03,2.694006e-03,2.694086e-03,2.692267e-03,2.689442e-03,2.687511e-03,2.680059e-03,2.673980e-03,2.670138e-03,2.657959e-03,2.649362e-03,2.643720e-03,2.627607e-03,2.617111e-03,2.609791e-03,2.590434e-03,2.578559e-03,2.569685e-03,2.547685e-03,2.534868e-03,2.524565e-03,2.500446e-03,2.487047e-03,2.475443e-03,2.449660e-03,2.435979e-03,2.423197e-03,2.396145e-03,2.382425e-03,2.368589e-03,2.340607e-03,2.327047e-03,2.312274e-03,2.283657e-03,2.270415e-03,2.254819e-03,2.225819e-03,2.213022e-03,2.196710e-03,2.167543e-03,2.155286e-03,2.138362e-03,2.109211e-03,2.097568e-03,2.080128e-03,2.051149e-03,2.040172e-03,2.022307e-03,1.993632e-03,1.983355e-03,1.965150e-03,1.936888e-03,1.927333e-03,1.908868e-03,1.881110e-03,1.872286e-03,1.853633e-03,1.826454e-03,1.818361e-03,1.799588e-03,1.773049e-03,1.765678e-03,1.746847e-03,1.720995e-03,1.714331e-03,1.695500e-03,1.670372e-03,1.664396e-03,1.645616e-03,1.621240e-03,1.615928e-03,1.597247e-03,1.573643e-03,1.568969e-03,1.550429e-03,1.527609e-03,1.523544e-03,1.505184e-03,1.483156e-03,1.479668e-03,1.461524e-03,1.440289e-03,1.437348e-03,1.419450e-03,1.399006e-03,1.396579e-03,1.378955e-03,1.359296e-03,1.357351e-03,1.340025e-03,1.321142e-03,1.319648e-03,1.302641e-03,1.284521e-03,1.283446e-03,1.266778e-03,1.249408e-03,1.248721e-03,1.232408e-03,1.215772e-03,1.215443e-03,1.199498e-03,1.183579e-03,1.153096e-03,1.123955e-03,1.096121e-03,1.069554e-03,1.044215e-03,1.020064e-03,9.970627e-04,9.751707e-04,9.543490e-04,9.345587e-04,9.157616e-04,8.979200e-04,8.809970e-04,8.649564e-04,8.497630e-04,8.353823e-04,8.217808e-04,8.089260e-04,7.967862e-04,7.853306e-04,7.745296e-04,7.643543e-04,7.547770e-04,7.457706e-04,7.373092e-04,7.293677e-04,7.219219e-04,7.149485e-04,7.084249e-04,7.023295e-04,6.966414e-04,6.913406e-04,6.864079e-04,6.818246e-04,6.775729e-04,6.736357e-04,6.699966e-04,6.666398e-04,6.635500e-04,6.607129e-04,6.581143e-04,6.557411e-04,6.535803e-04,6.516197e-04,6.498477e-04,6.482529e-04,6.468246e-04,6.455526e-04,6.444270e-04
0.000000e+00,9.274933e-07,1.859673e-05,1.951344e-05,1.520500e-04,6.571243e-04,6.921436e-04,2.063527e-03,4.267121e-03,4.435516e-03,7.645862e-03,1.112685e-02,1.144727e-02,1.562088e-02,1.955077e-02,1.999279e-02,2.442921e-02,2.830570e-02,2.882906e-02,3.311725e-02,3.667374e-02,3.723923e-02,4.115659e-02,4.426991e-02,4.484360e-02,4.828437e-02,5.091609e-02,5.147067e-02,5.440010e-02,5.655994e-02,5.707469e-02,5.949976e-02,6.122300e-02,6.168303e-02,6.363392e-02,6.496764e-02,6.536297e-02,6.688143e-02,6.787635e-02,6.820093e-02,6.933320e-02,7.003905e-02,7.028990e-02,7.108247e-02,7.154558e-02,7.172202e-02,7.221926e-02,7.248136e-02,7.258447e-02,7.282742e-02,7.292533e-02,7.295740e-02,7.298322e-02,7.294892e-02,7.291315e-02,7.275502e-02,7.261599e-02,7.251616e-02,7.220346e-02,7.198309e-02,7.182336e-02,7.138190e-02,7.109997e-02,7.088472e-02,7.033710e-02,7.001024e-02,6.974395e-02,6.910989e-02,6.875200e-02,6.843919e-02,6.773585e-02,6.735846e-02,6.700360e-02,6.624591e-02,6.585855e-02,6.546602e-02,6.466694e-02,6.427739e-02,6.385147e-02,6.302222e-02,6.263681e-02,6.218161e-02,6.133191e-02,6.095571e-02,6.047521e-02,5.961344e-02,5.925043e-02,5.874842e-02,5.788181e-02,5.753507e-02,5.701516e-02,5.614991e-02,5.582175e-02,5.528736e-02,5.442876e-02,5.412084e-02,5.357521e-02,5.272775e-02,5.244117e-02,5.188733e-02,5.105483e-02,5.079023e-02,5.023103e-02,4.941667e-02,4.917430e-02,4.861240e-02,4.781882e-02,4.759860e-02,4.703646e-02,4.626582e-02,4.606742e-02,4.550732e-02,4.476135e-02,4.458423e-02,4.402826e-02,4.330835e-02,4.315176e-02,4.260186e-02,4.190903e-02,4.177213e-02,4.123005e-02,4.056507e-02,4.044687e-02,3.991421e-02,3.927758e-02,3.917704e-02,3.865524e-02,3.804724e-02,3.796327e-02,3.745361e-02,3.687435e-02,3.680580e-02,3.630944e-02,3.575884e-02,3.570456e-02,3.522250e-02,3.470035e-02,3.465919e-02,3.419231e-02,3.369828e-02,3.366909e-02,3.321816e-02,3.275180e-02,3.273343e-02,3.229910e-02,3.185989e-02,3.185125e-02,3.143404e-02,3.102137e-02,3.024255e-02,2.951339e-02,2.883242e-02,2.819811e-02,2.760885e-02,2.706300e-02,2.655888e-02,2.609479e-02,2.566901e-02,2.527982e-02,2.492550e-02,2.460433e-02,2.431462e-02,2.405467e-02,2.382282e-02,2.361744e-02,2.343692e-02,2.327970e-02,2.314423e-02,2.302902e-02,2.293262e-02,2.285362e-02,2.279065e-02,2.274241e-02,2.270761e-02,2.268505e-02,2.267356e-02,2.267203e-02,2.267941e-02,2.269467e-02,2.271687e-02,2.274512e-02,2.277855e-02,2.281638e-02,2.285786e-02,2.290230e-02,2.294906e-02,2.299754e-02,2.304721e-02,2.309755e-02,2.314811e-02,2.319848e-02,2.324830e-02,2.329723e-02,2.334497e-02,2.339127e-02,2.343590e-02,2.347868e-02,2.351944e-02
0.000000e+00,1.078617e-09,1.606403e-08,1.675371e-08,9.016571e-08,2.626152e-07,2.723116e-07,5.728989e-07,9.236175e-07,9.469895e-07,1.337991e-06,1.687815e-06,1.717501e-06,2.077496e-06,2.383493e-06,2.416438e-06,2.734454e-06,2.997450e-06,3.032118e-06,3.310135e-06,3.534097e-06,3.569268e-06,3.810301e-06,3.999358e-06,4.034023e-06,4.241217e-06,4.399320e-06,4.432649e-06,4.609067e-06,4.739882e-06,4.771200e-06,4.919749e-06,5.026624e-06,5.055392e-06,5.178781e-06,5.264747e-06,5.290542e-06,5.391277e-06,5.459062e-06,5.481562e-06,5.561951e-06,5.614000e-06,5.632971e-06,5.695129e-06,5.733626e-06,5.748909e-06,5.794774e-06,5.821668e-06,5.833166e-06,5.864509e-06,5.881530e-06,5.889205e-06,5.907640e-06,5.916324e-06,5.920183e-06,5.927182e-06,5.928886e-06,5.928974e-06,5.925877e-06,5.921799e-06,5.918195e-06,5.906219e-06,5.897414e-06,5.890223e-06,5.870472e-06,5.857865e-06,5.847215e-06,5.820691e-06,5.805090e-06,5.791126e-06,5.758736e-06,5.740846e-06,5.723726e-06,5.686291e-06,5.666722e-06,5.646616e-06,5.604876e-06,5.584157e-06,5.561239e-06,5.515864e-06,5.494449e-06,5.468900e-06,5.420491e-06,5.398768e-06,5.370771e-06,5.319869e-06,5.298167e-06,5.267907e-06,5.214998e-06,5.193595e-06,5.161253e-06,5.106773e-06,5.085898e-06,5.051656e-06,4.995994e-06,4.975839e-06,4.939874e-06,4.883377e-06,4.864096e-06,4.826581e-06,4.769559e-06,4.751275e-06,4.712378e-06,4.655104e-06,4.637913e-06,4.597797e-06,4.540514e-06,4.524486e-06,4.483308e-06,4.426230e-06,4.411416e-06,4.369326e-06,4.312640e-06,4.299073e-06,4.256214e-06,4.200086e-06,4.187781e-06,4.144291e-06,4.088863e-06,4.077824e-06,4.033832e-06,3.979227e-06,3.969445e-06,3.925075e-06,3.871399e-06,3.862857e-06,3.818224e-06,3.765568e-06,3.758239e-06,3.713452e-06,3.661893e-06,3.655744e-06,3.610906e-06,3.560506e-06,3.555499e-06,3.510706e-06,3.461517e-06,3.457609e-06,3.412950e-06,3.365014e-06,3.362158e-06,3.317717e-06,3.271066e-06,3.269214e-06,3.225068e-06,3.179726e-06,3.178826e-06,3.135046e-06,3.091030e-06,3.005850e-06,2.923295e-06,2.843367e-06,2.766059e-06,2.691354e-06,2.619231e-06,2.549660e-06,2.482608e-06,2.418035e-06,2.355901e-06,2.296159e-06,2.238761e-06,2.183657e-06,2.130793e-06,2.080116e-06,2.031571e-06,1.985102e-06,1.940654e-06,1.898169e-06,1.857591e-06,1.818864e-06,1.781931e-06,1.746737e-06,1.713225e-06,1.681342e-06,1.651034e-06,1.622247e-06,1.594929e-06,1.569031e-06,1.544500e-06,1.521290e-06,1.499350e-06,1.478635e-06,1.459099e-06,1.440697e-06,1.423385e-06,1.407122e-06,1.391865e-06,1.377576e-06,1.364213e-06,1.351741e-06,1.340123e-06,1.329321e-06,1.319303e-06,1.310034e-06,1.301482e-06,1.293615e-06,1.286403e-06,1.279816e-06
0.000000e+00,1.614003e-07,3.169527e-06,3.325103e-06,2.559346e-05,1.087727e-04,1.144923e-04,3.362104e-04,6.817782e-04,7.075023e-04,1.178292e-03,1.650502e-03,1.692231e-03,2.213367e-03,2.672378e-03,2.722415e-03,3.209835e-03,3.617361e-03,3.671295e-03,4.105153e-03,4.455973e-03,4.511146e-03,4.889718e-03,5.187112e-03,5.241676e-03,5.568006e-03,5.817225e-03,5.869782e-03,6.148111e-03,6.354637e-03,6.404101e-03,6.638845e-03,6.807885e-03,6.853411e-03,7.048832e-03,7.185164e-03,7.226106e-03,7.386193e-03,7.494134e-03,7.530011e-03,7.658444e-03,7.741863e-03,7.772333e-03,7.872486e-03,7.934832e-03,7.959670e-03,8.034622e-03,8.078960e-03,8.098040e-03,8.150595e-03,8.179640e-03,8.192922e-03,8.225629e-03,8.241781e-03,8.249295e-03,8.264470e-03,8.269846e-03,8.271679e-03,8.271423e-03,8.267884e-03,8.264176e-03,8.250391e-03,8.239570e-03,8.230498e-03,8.204907e-03,8.188233e-03,8.174007e-03,8.138167e-03,8.116884e-03,8.097740e-03,8.053059e-03,8.028249e-03,8.004441e-03,7.952187e-03,7.924786e-03,7.896583e-03,7.837899e-03,7.808713e-03,7.776393e-03,7.712308e-03,7.682027e-03,7.645875e-03,7.577313e-03,7.546524e-03,7.506827e-03,7.434615e-03,7.403816e-03,7.360861e-03,7.285741e-03,7.255347e-03,7.209419e-03,7.132053e-03,7.102410e-03,7.053789e-03,6.974766e-03,6.946158e-03,6.895117e-03,6.814963e-03,6.787618e-03,6.734423e-03,6.653604e-03,6.627701e-03,6.572611e-03,6.491539e-03,6.467215e-03,6.410479e-03,6.329516e-03,6.306875e-03,6.248730e-03,6.168195e-03,6.147306e-03,6.087981e-03,6.008153e-03,5.989058e-03,5.928771e-03,5.849892e-03,5.832612e-03,5.771568e-03,5.693848e-03,5.678381e-03,5.616777e-03,5.540397e-03,5.526725e-03,5.464745e-03,5.389858e-03,5.377949e-03,5.315767e-03,5.242503e-03,5.232314e-03,5.170093e-03,5.098560e-03,5.090036e-03,5.027928e-03,4.958217e-03,4.951297e-03,4.889445e-03,4.821627e-03,4.816243e-03,4.754777e-03,4.688909e-03,4.684988e-03,4.624033e-03,4.560157e-03,4.557623e-03,4.497291e-03,4.435439e-03,4.434212e-03,4.374606e-03,4.314798e-03,4.199405e-03,4.088040e-03,3.980696e-03,3.877353e-03,3.777978e-03,3.682529e-03,3.590956e-03,3.503199e-03,3.419194e-03,3.338870e-03,3.262151e-03,3.188960e-03,3.119213e-03,3.052826e-03,2.989712e-03,2.929782e-03,2.872948e-03,2.819120e-03,2.768205e-03,2.720115e-03,2.674757e-03,2.632044e-03,2.591884e-03,2.554190e-03,2.518874e-03,2.485848e-03,2.455029e-03,2.426331e-03,2.399673e-03,2.374972e-03,2.352150e-03,2.331127e-03,2.311828e-03,2.294178e-03,2.278103e-03,2.263531e-03,2.250393e-03,2.238621e-03,2.228148e-03,2.218909e-03,2.210842e-03,2.203886e-03,2.197980e-03,2.193066e-03,2.189090e-03,2.185995e-03,2.183730e-03,2.182244e-03,2.181486e-03
0.000000e+00,7.129303e-08,1.383774e-06,1.451312e-06,1.093248e-05,4.493448e-05,4.722404e-05,1.332675e-04,2.603120e-04,2.694722e-04,4.296409e-04,5.752262e-04,5.873325e-04,7.278282e-04,8.349306e-04,8.456572e-04,9.404189e-04,1.006223e-03,1.014027e-03,1.069225e-03,1.104150e-03,1.108865e-03,1.135588e-03,1.149760e-03,1.151713e-03,1.159221e-03,1.160123e-03,1.159775e-03,1.154758e-03,1.147508e-03,1.145312e-03,1.132378e-03,1.120369e-03,1.116727e-03,1.098987e-03,1.084428e-03,1.079673e-03,1.059203e-03,1.043513e-03,1.037916e-03,1.016087e-03,1.000161e-03,9.939378e-04,9.716475e-04,9.560382e-04,9.493593e-04,9.271877e-04,9.122248e-04,9.052235e-04,8.835385e-04,8.694071e-04,8.621887e-04,8.412173e-04,8.280098e-04,8.206573e-04,8.005327e-04,7.882820e-04,7.808610e-04,7.616540e-04,7.503560e-04,7.429189e-04,7.246594e-04,7.142870e-04,7.068759e-04,6.895666e-04,6.800792e-04,6.727279e-04,6.563543e-04,6.477038e-04,6.404396e-04,6.249761e-04,6.171108e-04,6.099559e-04,5.953701e-04,5.882374e-04,5.812098e-04,5.674654e-04,5.610131e-04,5.541275e-04,5.411861e-04,5.353635e-04,5.286315e-04,5.164541e-04,5.112129e-04,5.046440e-04,4.931915e-04,4.884859e-04,4.820872e-04,4.713217e-04,4.671082e-04,4.608856e-04,4.507698e-04,4.470079e-04,4.409654e-04,4.314637e-04,4.281155e-04,4.222560e-04,4.133339e-04,4.103641e-04,4.046894e-04,3.963143e-04,3.936899e-04,3.882009e-04,3.803416e-04,3.780322e-04,3.727289e-04,3.653556e-04,3.633331e-04,3.582147e-04,3.512993e-04,3.495374e-04,3.446027e-04,3.381184e-04,3.365931e-04,3.318401e-04,3.257617e-04,3.244507e-04,3.198772e-04,3.141808e-04,3.130636e-04,3.086668e-04,3.033298e-04,3.023875e-04,2.981644e-04,2.931655e-04,2.923808e-04,2.883280e-04,2.836470e-04,2.830039e-04,2.791178e-04,2.747358e-04,2.742196e-04,2.704965e-04,2.663955e-04,2.659929e-04,2.624288e-04,2.585920e-04,2.582906e-04,2.548814e-04,2.512930e-04,2.510815e-04,2.478230e-04,2.444679e-04,2.443360e-04,2.412241e-04,2.380883e-04,2.380266e-04,2.350570e-04,2.321271e-04,2.266127e-04,2.214604e-04,2.166483e-04,2.121557e-04,2.079635e-04,2.040533e-04,2.004080e-04,1.970114e-04,1.938484e-04,1.909046e-04,1.881667e-04,1.856219e-04,1.832584e-04,1.810649e-04,1.790310e-04,1.771467e-04,1.754027e-04,1.737902e-04,1.723011e-04,1.709275e-04,1.696622e-04,1.684983e-04,1.674294e-04,1.664494e-04,1.655527e-04,1.647338e-04,1.639878e-04,1.633100e-04,1.626958e-04,1.621411e-04,1.616421e-04,1.611950e-04,1.607963e-04,1.604428e-04,1.601315e-04,1.598594e-04,1.596239e-04,1.594225e-04,1.592527e-04,1.591124e-04,1.589995e-04,1.589119e-04,1.588479e-04,1.588057e-04,1.587837e-04,1.587804e-04,1.587944e-04,1.588242e-04,1.588688e-04
0.000000e+00,1.545297e-09,2.057309e-08,2.147005e-08,1.276693e-07,4.203617e-07,4.378774e-07,1.009903e-06,1.709535e-06,1.756536e-06,2.543436e-06,3.245899e-06,3.305414e-06,4.026057e-06,4.637219e-06,4.702954e-06,5.336895e-06,5.860450e-06,5.929423e-06,6.482268e-06,6.927319e-06,6.997191e-06,7.475945e-06,7.851401e-06,7.920243e-06,8.331750e-06,8.645850e-06,8.712078e-06,9.062781e-06,9.323018e-06,9.385351e-06,9.681223e-06,9.894353e-06,9.951768e-06,1.019830e-05,1.037039e-05,1.042209e-05,1.062432e-05,1.076077e-05,1.080615e-05,1.096868e-05,1.107433e-05,1.111295e-05,1.123997e-05,1.131913e-05,1.135069e-05,1.144602e-05,1.150249e-05,1.152682e-05,1.159393e-05,1.163111e-05,1.164814e-05,1.169019e-05,1.171106e-05,1.172081e-05,1.174067e-05,1.174787e-05,1.175043e-05,1.175070e-05,1.174656e-05,1.174208e-05,1.172511e-05,1.171166e-05,1.170034e-05,1.166827e-05,1.164730e-05,1.162937e-05,1.158412e-05,1.155719e-05,1.153294e-05,1.147625e-05,1.144472e-05,1.141443e-05,1.134787e-05,1.131292e-05,1.127691e-05,1.120189e-05,1.116454e-05,1.112313e-05,1.104093e-05,1.100205e-05,1.095558e-05,1.086734e-05,1.082767e-05,1.077647e-05,1.068323e-05,1.064341e-05,1.058783e-05,1.049049e-05,1.045106e-05,1.039142e-05,1.029082e-05,1.025223e-05,1.018887e-05,1.008575e-05,1.004836e-05,9.981608e-06,9.876613e-06,9.840746e-06,9.770907e-06,9.664629e-06,9.630520e-06,9.557907e-06,9.450865e-06,9.418707e-06,9.343617e-06,9.236271e-06,9.206210e-06,9.128929e-06,9.021685e-06,8.993830e-06,8.914631e-06,8.807848e-06,8.782269e-06,8.701416e-06,8.595407e-06,8.572149e-06,8.489891e-06,8.384931e-06,8.364011e-06,8.280586e-06,8.176912e-06,8.158326e-06,8.073961e-06,7.971779e-06,7.955504e-06,7.870410e-06,7.769897e-06,7.755895e-06,7.670275e-06,7.571580e-06,7.559801e-06,7.473843e-06,7.377093e-06,7.367474e-06,7.281357e-06,7.186658e-06,7.179127e-06,7.093017e-06,7.000455e-06,6.994936e-06,6.908988e-06,6.818633e-06,6.815042e-06,6.729402e-06,6.641307e-06,6.639557e-06,6.554359e-06,6.468565e-06,6.302129e-06,6.140286e-06,5.983059e-06,5.830450e-06,5.682450e-06,5.539035e-06,5.400169e-06,5.265808e-06,5.135898e-06,5.010378e-06,4.889180e-06,4.772231e-06,4.659454e-06,4.550767e-06,4.446085e-06,4.345321e-06,4.248387e-06,4.155190e-06,4.065641e-06,3.979646e-06,3.897112e-06,3.817948e-06,3.742060e-06,3.669357e-06,3.599747e-06,3.533141e-06,3.469449e-06,3.408583e-06,3.350456e-06,3.294983e-06,3.242080e-06,3.191663e-06,3.143654e-06,3.097971e-06,3.054538e-06,3.013279e-06,2.974120e-06,2.936987e-06,2.901811e-06,2.868523e-06,2.837054e-06,2.807341e-06,2.779317e-06,2.752922e-06,2.728095e-06,2.704777e-06,2.682910e-06,2.662439e-06,2.643310e-06
0.000000e+00,6.632192e-08,1.312230e-06,1.377002e-06,1.036035e-05,4.049247e-05,4.243448e-05,1.102848e-04,1.989217e-04,2.049790e-04,3.071088e-04,3.979663e-04,4.055994e-04,4.968327e-04,5.721414e-04,5.801143e-04,6.556341e-04,7.160052e-04,7.238148e-04,7.851262e-04,8.327167e-04,8.400357e-04,8.889941e-04,9.258356e-04,9.324316e-04,9.707557e-04,9.986361e-04,1.004351e-03,1.033578e-03,1.054043e-03,1.058776e-03,1.080260e-03,1.094632e-03,1.098328e-03,1.113253e-03,1.122654e-03,1.125293e-03,1.134686e-03,1.140064e-03,1.141654e-03,1.146402e-03,1.148555e-03,1.149123e-03,1.149994e-03,1.149592e-03,1.149180e-03,1.146834e-03,1.144436e-03,1.143097e-03,1.138100e-03,1.134172e-03,1.131966e-03,1.124806e-03,1.119734e-03,1.116726e-03,1.107820e-03,1.101923e-03,1.098178e-03,1.087883e-03,1.081424e-03,1.077010e-03,1.065629e-03,1.058821e-03,1.053805e-03,1.041597e-03,1.034613e-03,1.029060e-03,1.016244e-03,1.009224e-03,1.003196e-03,9.899582e-04,9.830126e-04,9.765696e-04,9.630660e-04,9.562814e-04,9.494801e-04,9.358420e-04,9.292853e-04,9.221790e-04,9.085161e-04,9.022375e-04,8.948759e-04,8.812791e-04,8.753151e-04,8.677444e-04,8.542889e-04,8.486649e-04,8.409278e-04,8.276749e-04,8.224068e-04,8.145426e-04,8.015420e-04,7.966383e-04,7.886829e-04,7.759742e-04,7.714373e-04,7.634235e-04,7.510378e-04,7.468653e-04,7.388228e-04,7.267839e-04,7.229693e-04,7.149252e-04,7.032506e-04,6.997846e-04,6.917631e-04,6.804653e-04,6.773361e-04,6.693590e-04,6.584459e-04,6.556403e-04,6.477270e-04,6.372029e-04,6.347062e-04,6.268740e-04,6.167402e-04,6.145369e-04,6.068011e-04,5.970561e-04,5.951303e-04,5.875042e-04,5.781444e-04,5.764799e-04,5.689753e-04,5.599955e-04,5.585761e-04,5.512031e-04,5.425965e-04,5.414062e-04,5.341736e-04,5.259323e-04,5.249555e-04,5.178705e-04,5.099859e-04,5.092071e-04,5.022761e-04,4.947387e-04,4.941431e-04,4.873712e-04,4.801711e-04,4.797443e-04,4.731357e-04,4.662625e-04,4.659909e-04,4.595488e-04,4.529919e-04,4.528624e-04,4.465893e-04,4.403381e-04,4.283972e-04,4.170188e-04,4.061822e-04,3.958669e-04,3.860527e-04,3.767198e-04,3.678489e-04,3.594210e-04,3.514177e-04,3.438211e-04,3.366140e-04,3.297794e-04,3.233013e-04,3.171638e-04,3.113520e-04,3.058512e-04,3.006475e-04,2.957273e-04,2.910776e-04,2.866861e-04,2.825408e-04,2.786302e-04,2.749433e-04,2.714695e-04,2.681989e-04,2.651216e-04,2.622285e-04,2.595106e-04,2.569595e-04,2.545671e-04,2.523256e-04,2.502276e-04,2.482660e-04,2.464340e-04,2.447251e-04,2.431331e-04,2.416522e-04,2.402767e-04,2.390011e-04,2.378204e-04,2.367295e-04,2.357239e-04,2.347990e-04,2.339506e-04,2.331746e-04,2.324671e-04,2.318243e-04,2.312428e-04,2.307192e-04
0.000000e+00,3.970946e-08,8.678655e-07,9.127959e-07,7.530227e-06,3.044410e-05,3.190240e-05,7.978977e-05,1.349707e-04,1.385347e-04,1.960038e-04,2.439738e-04,2.478919e-04,2.934614e-04,3.293173e-04,3.330172e-04,3.671007e-04,3.930106e-04,3.962688e-04,4.210391e-04,4.391827e-04,4.418800e-04,4.592128e-04,4.713398e-04,4.734167e-04,4.848338e-04,4.923334e-04,4.937722e-04,5.005107e-04,5.044874e-04,5.053007e-04,5.083691e-04,5.096996e-04,5.099203e-04,5.101383e-04,5.095146e-04,5.091883e-04,5.072187e-04,5.051834e-04,5.043623e-04,5.007379e-04,4.977130e-04,4.964518e-04,4.915987e-04,4.879098e-04,4.862630e-04,4.805197e-04,4.764159e-04,4.744357e-04,4.680700e-04,4.637403e-04,4.614754e-04,4.546981e-04,4.502840e-04,4.477794e-04,4.407554e-04,4.363618e-04,4.336580e-04,4.265155e-04,4.222186e-04,4.193523e-04,4.121901e-04,4.080439e-04,4.050476e-04,3.979412e-04,3.939828e-04,3.908852e-04,3.838918e-04,3.801451e-04,3.769715e-04,3.701333e-04,3.666125e-04,3.633849e-04,3.567327e-04,3.534444e-04,3.501820e-04,3.437373e-04,3.406826e-04,3.374021e-04,3.311793e-04,3.283551e-04,3.250709e-04,3.190787e-04,3.164792e-04,3.132036e-04,3.074464e-04,3.050635e-04,3.018071e-04,2.962858e-04,2.941103e-04,2.908821e-04,2.855952e-04,2.836166e-04,2.804243e-04,2.753683e-04,2.735760e-04,2.704259e-04,2.655958e-04,2.639789e-04,2.608765e-04,2.562663e-04,2.548138e-04,2.517635e-04,2.473664e-04,2.460676e-04,2.430731e-04,2.388818e-04,2.377262e-04,2.347906e-04,2.307975e-04,2.297751e-04,2.269006e-04,2.230980e-04,2.221992e-04,2.193877e-04,2.157678e-04,2.149834e-04,2.122363e-04,2.087914e-04,2.081126e-04,2.054310e-04,2.021533e-04,2.015719e-04,1.989564e-04,1.958385e-04,1.953468e-04,1.927977e-04,1.898322e-04,1.894230e-04,1.869404e-04,1.841204e-04,1.837867e-04,1.813705e-04,1.786890e-04,1.784246e-04,1.760744e-04,1.735249e-04,1.733237e-04,1.710390e-04,1.686152e-04,1.684717e-04,1.662519e-04,1.639477e-04,1.638567e-04,1.617010e-04,1.595105e-04,1.594673e-04,1.573748e-04,1.552925e-04,1.513219e-04,1.475455e-04,1.439538e-04,1.405379e-04,1.372889e-04,1.341986e-04,1.312593e-04,1.284634e-04,1.258039e-04,1.232740e-04,1.208673e-04,1.185776e-04,1.163991e-04,1.143264e-04,1.123541e-04,1.104774e-04,1.086914e-04,1.069916e-04,1.053738e-04,1.038340e-04,1.023682e-04,1.009728e-04,9.964425e-05,9.837933e-05,9.717487e-05,9.602787e-05,9.493550e-05,9.389507e-05,9.290402e-05,9.195992e-05,9.106047e-05,9.020347e-05,8.938684e-05,8.860860e-05,8.786688e-05,8.715988e-05,8.648592e-05,8.584338e-05,8.523073e-05,8.464652e-05,8.408937e-05,8.355797e-05,8.305107e-05,8.256749e-05,8.210609e-05,8.166582e-05,8.124566e-05,8.084463e-05,8.046182e-05
0.000000e+00,8.194038e-09,1.062186e-07,1.107790e-07,6.569017e-07,2.239857e-06,2.337389e-06,5.627122e-06,9.759010e-06,1.003585e-05,1.458995e-05,1.846455e-05,1.878273e-05,2.249790e-05,2.543824e-05,2.574248e-05,2.855258e-05,3.069859e-05,3.096912e-05,3.303146e-05,3.454936e-05,3.477563e-05,3.623435e-05,3.726129e-05,3.743787e-05,3.841370e-05,3.906155e-05,3.918678e-05,3.977969e-05,4.013806e-05,4.021281e-05,4.050450e-05,4.064453e-05,4.067129e-05,4.072805e-05,4.070586e-05,4.068812e-05,4.056345e-05,4.042300e-05,4.036478e-05,4.010169e-05,3.987725e-05,3.978278e-05,3.941571e-05,3.913381e-05,3.900734e-05,3.856377e-05,3.824485e-05,3.809046e-05,3.759225e-05,3.725191e-05,3.707347e-05,3.653795e-05,3.618802e-05,3.598909e-05,3.542992e-05,3.507924e-05,3.486311e-05,3.429103e-05,3.394612e-05,3.371575e-05,3.313912e-05,3.280470e-05,3.256275e-05,3.198805e-05,3.166741e-05,3.141625e-05,3.084843e-05,3.054380e-05,3.028553e-05,2.972835e-05,2.944110e-05,2.917757e-05,2.863380e-05,2.836470e-05,2.809754e-05,2.756919e-05,2.731851e-05,2.704912e-05,2.653760e-05,2.630524e-05,2.603487e-05,2.554111e-05,2.532672e-05,2.505644e-05,2.458096e-05,2.438402e-05,2.411474e-05,2.365780e-05,2.347762e-05,2.321014e-05,2.277176e-05,2.260759e-05,2.234259e-05,2.192260e-05,2.177363e-05,2.151169e-05,2.110979e-05,2.097518e-05,2.071680e-05,2.033259e-05,2.021149e-05,1.995707e-05,1.959009e-05,1.948165e-05,1.923154e-05,1.888127e-05,1.878466e-05,1.853915e-05,1.820503e-05,1.811945e-05,1.787876e-05,1.756020e-05,1.748488e-05,1.724921e-05,1.694563e-05,1.687982e-05,1.664931e-05,1.636011e-05,1.630311e-05,1.607787e-05,1.580246e-05,1.575359e-05,1.553371e-05,1.527150e-05,1.523014e-05,1.501567e-05,1.476608e-05,1.473162e-05,1.452259e-05,1.428507e-05,1.425696e-05,1.405338e-05,1.382738e-05,1.380509e-05,1.360695e-05,1.339195e-05,1.337498e-05,1.318226e-05,1.297775e-05,1.296564e-05,1.277830e-05,1.258379e-05,1.257612e-05,1.239411e-05,1.220913e-05,1.220548e-05,1.202875e-05,1.185286e-05,1.151739e-05,1.119827e-05,1.089473e-05,1.060602e-05,1.033142e-05,1.007028e-05,9.821924e-06,9.585752e-06,9.361174e-06,9.147628e-06,8.944580e-06,8.751524e-06,8.567973e-06,8.393468e-06,8.227569e-06,8.069857e-06,7.919936e-06,7.777427e-06,7.641968e-06,7.513218e-06,7.390850e-06,7.274553e-06,7.164033e-06,7.059008e-06,6.959210e-06,6.864386e-06,6.774294e-06,6.688703e-06,6.607395e-06,6.530160e-06,6.456802e-06,6.387131e-06,6.320969e-06,6.258144e-06,6.198495e-06,6.141868e-06,6.088115e-06,6.037097e-06,5.988681e-06,5.942741e-06,5.899157e-06,5.857813e-06,5.818603e-06,5.781422e-06,5.746171e-06,5.712758e-06,5.681093e-06,5.651091e-06,5.622672e-06
0.000000e+00,6.153609e-08,9.465264e-07,9.891950e-07,6.531081e-06,2.507871e-05,2.630387e-05,7.163084e-05,1.372311e-04,1.419159e-04,2.235200e-04,2.992455e-04,3.057216e-04,3.844951e-04,4.515414e-04,4.587562e-04,5.283215e-04,5.857145e-04,5.932693e-04,6.537568e-04,7.023464e-04,7.099649e-04,7.620803e-04,8.028311e-04,8.102898e-04,8.547775e-04,8.886072e-04,8.957242e-04,9.333061e-04,9.610642e-04,9.676944e-04,9.990548e-04,1.021517e-03,1.027547e-03,1.053326e-03,1.071194e-03,1.076539e-03,1.097328e-03,1.111231e-03,1.115829e-03,1.132171e-03,1.142670e-03,1.146478e-03,1.158869e-03,1.166463e-03,1.169456e-03,1.178346e-03,1.183475e-03,1.185643e-03,1.191442e-03,1.194494e-03,1.195836e-03,1.198914e-03,1.200231e-03,1.200758e-03,1.201449e-03,1.201331e-03,1.201062e-03,1.199668e-03,1.198376e-03,1.197335e-03,1.194127e-03,1.191890e-03,1.190106e-03,1.185330e-03,1.182346e-03,1.179854e-03,1.173729e-03,1.170169e-03,1.167005e-03,1.159728e-03,1.155741e-03,1.151943e-03,1.143692e-03,1.139403e-03,1.135013e-03,1.125944e-03,1.121463e-03,1.116521e-03,1.106776e-03,1.102195e-03,1.096742e-03,1.086447e-03,1.081843e-03,1.075921e-03,1.065188e-03,1.060625e-03,1.054275e-03,1.043204e-03,1.038736e-03,1.031997e-03,1.020676e-03,1.016347e-03,1.009259e-03,9.977650e-04,9.936117e-04,9.862113e-04,9.746137e-04,9.706633e-04,9.629875e-04,9.513467e-04,9.476207e-04,9.397044e-04,9.280732e-04,9.245877e-04,9.164643e-04,9.048887e-04,9.016548e-04,8.933562e-04,8.818762e-04,8.789011e-04,8.704573e-04,8.591076e-04,8.563948e-04,8.478344e-04,8.366447e-04,8.341948e-04,8.255447e-04,8.145403e-04,8.123514e-04,8.036368e-04,7.928391e-04,7.909072e-04,7.821518e-04,7.715787e-04,7.698978e-04,7.611235e-04,7.507896e-04,7.493528e-04,7.405800e-04,7.304972e-04,7.292959e-04,7.205436e-04,7.107215e-04,7.097466e-04,7.010324e-04,6.914782e-04,6.907197e-04,6.820600e-04,6.727790e-04,6.722265e-04,6.636361e-04,6.546319e-04,6.542747e-04,6.457671e-04,6.370418e-04,6.368688e-04,6.284564e-04,6.200108e-04,6.037003e-04,5.879349e-04,5.727105e-04,5.580214e-04,5.438606e-04,5.302201e-04,5.170907e-04,5.044625e-04,4.923251e-04,4.806671e-04,4.694773e-04,4.587436e-04,4.484539e-04,4.385960e-04,4.291574e-04,4.201257e-04,4.114883e-04,4.032329e-04,3.953471e-04,3.878186e-04,3.806354e-04,3.737856e-04,3.672575e-04,3.610395e-04,3.551204e-04,3.494892e-04,3.441350e-04,3.390473e-04,3.342159e-04,3.296308e-04,3.252821e-04,3.211606e-04,3.172568e-04,3.135620e-04,3.100675e-04,3.067649e-04,3.036461e-04,3.007032e-04,2.979286e-04,2.953149e-04,2.928551e-04,2.905422e-04,2.883697e-04,2.863312e-04,2.844204e-04,2.826315e-04,2.809587e-04,2.793965e-04,2.779395e-04
0.000000e+00,2.859483e-04,5.601175e-03,5.873894e-03,4.426636e-02,1.853123e-01,1.949797e-01,5.732434e-01,1.191687e+00,1.239404e+00,2.153040e+00,3.139067e+00,3.229158e+00,4.388558e+00,5.452582e+00,5.570418e+00,6.731203e+00,7.711355e+00,7.841143e+00,8.880911e+00,9.709999e+00,9.838930e+00,1.070928e+01,1.137119e+01,1.149012e+01,1.218242e+01,1.268608e+01,1.278916e+01,1.331459e+01,1.367977e+01,1.376376e+01,1.414217e+01,1.439183e+01,1.445546e+01,1.470924e+01,1.486568e+01,1.490897e+01,1.505986e+01,1.514297e+01,1.516681e+01,1.523440e+01,1.526109e+01,1.526687e+01,1.526811e+01,1.525230e+01,1.524165e+01,1.519075e+01,1.514368e+01,1.511832e+01,1.502702e+01,1.495757e+01,1.491920e+01,1.479703e+01,1.471219e+01,1.466240e+01,1.451703e+01,1.442220e+01,1.436247e+01,1.420007e+01,1.409939e+01,1.403106e+01,1.385653e+01,1.375315e+01,1.367744e+01,1.349467e+01,1.339100e+01,1.330899e+01,1.312107e+01,1.301889e+01,1.293154e+01,1.274094e+01,1.264157e+01,1.254976e+01,1.235842e+01,1.226281e+01,1.216732e+01,1.197679e+01,1.188564e+01,1.178715e+01,1.159867e+01,1.151243e+01,1.141159e+01,1.122614e+01,1.114510e+01,1.104249e+01,1.086083e+01,1.078516e+01,1.068130e+01,1.050403e+01,1.043379e+01,1.032916e+01,1.015677e+01,1.009194e+01,9.986964e+00,9.819819e+00,9.760311e+00,9.655402e+00,9.493773e+00,9.439463e+00,9.334982e+00,9.179070e+00,9.129793e+00,9.026074e+00,8.876021e+00,8.831583e+00,8.728933e+00,8.584827e+00,8.545014e+00,8.443714e+00,8.305602e+00,8.270184e+00,8.170491e+00,8.038381e+00,8.007121e+00,7.909268e+00,7.783141e+00,7.755793e+00,7.659991e+00,7.539803e+00,7.516120e+00,7.422561e+00,7.308245e+00,7.287977e+00,7.196834e+00,7.088305e+00,7.071207e+00,6.982635e+00,6.879795e+00,6.865622e+00,6.779759e+00,6.682496e+00,6.671009e+00,6.587977e+00,6.496169e+00,6.487136e+00,6.407039e+00,6.320555e+00,6.313749e+00,6.236681e+00,6.155381e+00,6.150584e+00,6.076620e+00,6.000360e+00,5.997362e+00,5.926565e+00,5.855197e+00,5.853794e+00,5.786216e+00,5.719584e+00,5.594427e+00,5.478016e+00,5.370035e+00,5.270167e+00,5.178094e+00,5.093494e+00,5.016044e+00,4.945424e+00,4.881313e+00,4.823389e+00,4.771337e+00,4.724842e+00,4.683592e+00,4.647281e+00,4.615607e+00,4.588274e+00,4.564991e+00,4.545475e+00,4.529449e+00,4.516647e+00,4.506806e+00,4.499677e+00,4.495016e+00,4.492592e+00,4.492182e+00,4.493574e+00,4.496564e+00,4.500961e+00,4.506584e+00,4.513263e+00,4.520836e+00,4.529154e+00,4.538079e+00,4.547480e+00,4.557239e+00,4.567247e+00,4.577403e+00,4.587618e+00,4.597810e+00,4.607905e+00,4.617839e+00,4.627554e+00,4.637001e+00,4.646136e+00,4.654923e+00,4.663333e+00,4.671339e+00,4.678924e+00,4.686073e+00
0.000000e+00,1.751480e-07,3.973218e-06,4.180177e-06,3.548635e-05,1.530940e-04,1.610159e-04,4.505777e-04,8.561807e-04,8.850135e-04,1.392998e-03,1.877038e-03,1.918901e-03,2.431055e-03,2.866912e-03,2.913586e-03,3.359533e-03,3.719879e-03,3.766681e-03,4.135258e-03,4.422467e-03,4.466706e-03,4.763035e-03,4.986446e-03,5.026483e-03,5.259342e-03,5.429041e-03,5.463862e-03,5.642210e-03,5.767431e-03,5.796443e-03,5.928501e-03,6.017287e-03,6.040203e-03,6.133243e-03,6.192450e-03,6.209202e-03,6.269546e-03,6.304951e-03,6.315634e-03,6.348726e-03,6.365161e-03,6.369985e-03,6.380486e-03,6.381971e-03,6.381222e-03,6.373111e-03,6.362975e-03,6.356996e-03,6.333657e-03,6.314646e-03,6.303811e-03,6.268119e-03,6.242492e-03,6.227191e-03,6.181586e-03,6.151190e-03,6.131820e-03,6.078367e-03,6.044707e-03,6.021661e-03,5.962103e-03,5.926399e-03,5.900061e-03,5.835872e-03,5.799105e-03,5.769846e-03,5.702264e-03,5.665217e-03,5.633388e-03,5.563455e-03,5.526745e-03,5.492682e-03,5.421267e-03,5.385376e-03,5.349392e-03,5.277222e-03,5.242519e-03,5.204906e-03,5.132582e-03,5.099345e-03,5.060374e-03,4.988394e-03,4.956822e-03,4.916745e-03,4.845517e-03,4.815747e-03,4.774794e-03,4.704650e-03,4.676769e-03,4.635151e-03,4.566358e-03,4.540413e-03,4.498324e-03,4.431095e-03,4.407097e-03,4.364712e-03,4.299213e-03,4.277151e-03,4.234629e-03,4.170987e-03,4.150825e-03,4.108311e-03,4.046620e-03,4.028307e-03,3.985931e-03,3.926258e-03,3.909732e-03,3.867610e-03,3.809996e-03,3.795187e-03,3.753423e-03,3.697893e-03,3.684721e-03,3.643408e-03,3.589968e-03,3.578351e-03,3.537572e-03,3.486216e-03,3.476069e-03,3.435896e-03,3.386606e-03,3.377843e-03,3.338340e-03,3.291090e-03,3.283623e-03,3.244847e-03,3.199602e-03,3.193347e-03,3.155345e-03,3.112065e-03,3.106936e-03,3.069751e-03,3.028391e-03,3.024307e-03,2.987974e-03,2.948486e-03,2.945367e-03,2.909916e-03,2.872249e-03,2.870017e-03,2.835472e-03,2.799573e-03,2.798155e-03,2.764537e-03,2.730350e-03,2.729675e-03,2.696999e-03,2.664470e-03,2.602432e-03,2.543452e-03,2.487423e-03,2.434237e-03,2.383789e-03,2.335972e-03,2.290686e-03,2.247829e-03,2.207303e-03,2.169013e-03,2.132864e-03,2.098767e-03,2.066632e-03,2.036375e-03,2.007912e-03,1.981162e-03,1.956048e-03,1.932495e-03,1.910429e-03,1.889781e-03,1.870482e-03,1.852467e-03,1.835673e-03,1.820040e-03,1.805508e-03,1.792021e-03,1.779525e-03,1.767968e-03,1.757300e-03,1.747472e-03,1.738438e-03,1.730153e-03,1.722576e-03,1.715665e-03,1.709381e-03,1.703686e-03,1.698545e-03,1.693923e-03,1.689787e-03,1.686107e-03,1.682851e-03,1.679992e-03,1.677502e-03,1.675355e-03,1.673527e-03,1.671994e-03,1.670733e-03,1.669724e-03,1.668946e-03
0.000000e+00,3.836127e-04,8.952521e-03,9.425161e-03,8.362263e-02,3.777783e-01,3.980220e-01,1.162484e+00,2.316736e+00,2.402767e+00,4.009170e+00,5.703990e+00,5.858254e+00,7.846068e+00,9.685607e+00,9.890705e+00,1.192941e+01,1.368092e+01,1.391518e+01,1.581372e+01,1.735811e+01,1.760096e+01,1.926091e+01,2.054974e+01,2.078400e+01,2.216564e+01,2.319244e+01,2.340511e+01,2.450458e+01,2.528621e+01,2.546838e+01,2.630238e+01,2.686722e+01,2.701350e+01,2.760933e+01,2.798993e+01,2.809780e+01,2.848701e+01,2.871582e+01,2.878495e+01,2.899946e+01,2.910650e+01,2.913809e+01,2.920803e+01,2.921977e+01,2.921607e+01,2.916859e+01,2.910763e+01,2.907151e+01,2.893035e+01,2.881551e+01,2.875016e+01,2.853562e+01,2.838225e+01,2.829096e+01,2.802008e+01,2.784052e+01,2.772649e+01,2.741340e+01,2.721739e+01,2.708369e+01,2.673997e+01,2.653512e+01,2.638457e+01,2.601961e+01,2.581177e+01,2.564698e+01,2.526835e+01,2.506194e+01,2.488525e+01,2.449901e+01,2.429733e+01,2.411084e+01,2.372181e+01,2.352727e+01,2.333286e+01,2.294484e+01,2.275914e+01,2.255849e+01,2.217448e+01,2.199878e+01,2.179338e+01,2.141570e+01,2.125073e+01,2.104190e+01,2.067237e+01,2.051852e+01,2.030745e+01,1.994745e+01,1.980489e+01,1.959263e+01,1.924320e+01,1.911188e+01,1.889937e+01,1.856129e+01,1.844102e+01,1.822911e+01,1.790293e+01,1.779342e+01,1.758285e+01,1.726895e+01,1.716982e+01,1.696128e+01,1.665989e+01,1.657070e+01,1.636480e+01,1.607604e+01,1.599632e+01,1.579360e+01,1.551749e+01,1.544673e+01,1.524768e+01,1.498416e+01,1.492185e+01,1.472691e+01,1.447587e+01,1.442148e+01,1.423102e+01,1.399230e+01,1.394529e+01,1.375966e+01,1.353305e+01,1.349290e+01,1.331241e+01,1.309767e+01,1.306385e+01,1.288876e+01,1.268561e+01,1.265762e+01,1.248815e+01,1.229631e+01,1.227366e+01,1.211001e+01,1.192916e+01,1.191137e+01,1.175369e+01,1.158352e+01,1.157013e+01,1.141856e+01,1.125873e+01,1.124930e+01,1.110393e+01,1.095409e+01,1.094820e+01,1.080912e+01,1.066892e+01,1.066617e+01,1.053342e+01,1.040251e+01,1.015654e+01,9.927569e+00,9.714890e+00,9.517814e+00,9.335647e+00,9.167705e+00,9.013306e+00,8.871778e+00,8.742459e+00,8.624695e+00,8.517846e+00,8.421283e+00,8.334391e+00,8.256570e+00,8.187237e+00,8.125822e+00,8.071777e+00,8.024566e+00,7.983678e+00,7.948616e+00,7.918906e+00,7.894091e+00,7.873736e+00,7.857426e+00,7.844767e+00,7.835385e+00,7.828927e+00,7.825061e+00,7.823474e+00,7.823874e+00,7.825989e+00,7.829565e+00,7.834366e+00,7.840176e+00,7.846797e+00,7.854045e+00,7.861755e+00,7.869778e+00,7.877977e+00,7.886232e+00,7.894436e+00,7.902493e+00,7.910321e+00,7.917848e+00,7.925013e+00,7.931765e+00,7.938061e+00,7.943867e+00,7.949157e+00
0.000000e+00,3.110760e-10,3.904910e-09,4.071256e-09,2.363203e-08,7.871220e-08,8.207087e-08,1.951868e-07,3.410946e-07,3.511223e-07,5.212378e-07,6.741260e-07,6.870478e-07,8.426544e-07,9.730124e-07,9.869303e-07,1.120020e-06,1.228253e-06,1.242389e-06,1.354579e-06,1.443344e-06,1.457144e-06,1.550630e-06,1.622530e-06,1.635566e-06,1.712463e-06,1.769863e-06,1.781809e-06,1.844072e-06,1.889083e-06,1.899697e-06,1.949107e-06,1.983591e-06,1.992703e-06,2.030863e-06,2.056451e-06,2.063947e-06,2.092295e-06,2.110412e-06,2.116226e-06,2.136042e-06,2.147924e-06,2.152030e-06,2.164460e-06,2.171179e-06,2.173584e-06,2.179641e-06,2.182124e-06,2.182857e-06,2.183442e-06,2.182484e-06,2.181596e-06,2.177507e-06,2.173794e-06,2.171350e-06,2.163291e-06,2.157408e-06,2.153485e-06,2.142078e-06,2.134522e-06,2.129207e-06,2.115000e-06,2.106196e-06,2.099578e-06,2.083054e-06,2.073359e-06,2.065534e-06,2.047116e-06,2.036830e-06,2.027893e-06,2.007951e-06,1.997325e-06,1.987373e-06,1.966232e-06,1.955474e-06,1.944601e-06,1.922545e-06,1.911825e-06,1.900125e-06,1.877398e-06,1.866856e-06,1.854418e-06,1.831235e-06,1.820982e-06,1.807894e-06,1.784439e-06,1.774563e-06,1.760908e-06,1.737339e-06,1.727908e-06,1.713765e-06,1.690218e-06,1.681284e-06,1.666727e-06,1.643319e-06,1.634917e-06,1.620018e-06,1.596847e-06,1.589002e-06,1.573826e-06,1.550974e-06,1.543700e-06,1.528309e-06,1.505845e-06,1.499148e-06,1.483599e-06,1.461581e-06,1.455459e-06,1.439804e-06,1.418279e-06,1.412724e-06,1.397014e-06,1.376017e-06,1.371019e-06,1.355297e-06,1.334858e-06,1.330400e-06,1.314708e-06,1.294850e-06,1.290914e-06,1.275288e-06,1.256026e-06,1.252591e-06,1.237066e-06,1.218411e-06,1.215455e-06,1.200062e-06,1.182019e-06,1.179518e-06,1.164284e-06,1.146856e-06,1.144785e-06,1.129735e-06,1.112921e-06,1.111256e-06,1.096411e-06,1.080206e-06,1.078923e-06,1.064303e-06,1.048700e-06,1.047774e-06,1.033396e-06,1.018387e-06,1.017793e-06,1.003672e-06,9.892464e-07,9.889608e-07,9.751087e-07,9.612553e-07,9.346517e-07,9.091238e-07,8.846437e-07,8.611824e-07,8.387103e-07,8.171971e-07,7.966122e-07,7.769249e-07,7.581045e-07,7.401205e-07,7.229429e-07,7.065418e-07,6.908881e-07,6.759530e-07,6.617085e-07,6.481272e-07,6.351824e-07,6.228483e-07,6.110996e-07,5.999120e-07,5.892617e-07,5.791259e-07,5.694827e-07,5.603106e-07,5.515891e-07,5.432984e-07,5.354196e-07,5.279342e-07,5.208247e-07,5.140742e-07,5.076664e-07,5.015857e-07,4.958172e-07,4.903465e-07,4.851600e-07,4.802445e-07,4.755874e-07,4.711766e-07,4.670006e-07,4.630484e-07,4.593094e-07,4.557735e-07,4.524311e-07,4.492730e-07,4.462904e-07,4.434749e-07,4.408184e-07,4.383133e-07,4.359522e-07
0.000000e+00,9.924445e-10,1.711386e-08,1.791288e-08,1.117043e-07,3.442287e-07,3.570830e-07,7.268199e-07,1.093835e-06,1.116583e-06,1.477291e-06,1.776785e-06,1.801380e-06,2.090157e-06,2.322074e-06,2.346299e-06,2.572565e-06,2.749042e-06,2.771565e-06,2.945719e-06,3.077331e-06,3.097265e-06,3.228260e-06,3.323802e-06,3.340595e-06,3.436001e-06,3.502721e-06,3.516068e-06,3.582247e-06,3.626087e-06,3.635865e-06,3.678137e-06,3.703948e-06,3.710169e-06,3.732972e-06,3.744700e-06,3.747468e-06,3.754497e-06,3.755345e-06,3.754826e-06,3.749152e-06,3.741708e-06,3.738110e-06,3.722279e-06,3.708633e-06,3.702188e-06,3.678315e-06,3.660145e-06,3.651096e-06,3.620927e-06,3.599577e-06,3.588171e-06,3.553152e-06,3.529691e-06,3.516168e-06,3.477489e-06,3.452765e-06,3.437359e-06,3.395997e-06,3.370674e-06,3.353606e-06,3.310365e-06,3.284961e-06,3.266438e-06,3.221973e-06,3.196888e-06,3.177104e-06,3.131951e-06,3.107489e-06,3.086622e-06,3.041213e-06,3.017599e-06,2.995814e-06,2.950501e-06,2.927899e-06,2.905344e-06,2.860406e-06,2.838930e-06,2.815743e-06,2.771403e-06,2.751127e-06,2.727430e-06,2.683864e-06,2.664832e-06,2.640737e-06,2.598080e-06,2.580310e-06,2.555918e-06,2.514273e-06,2.497764e-06,2.473164e-06,2.432608e-06,2.417344e-06,2.392618e-06,2.353205e-06,2.339159e-06,2.314378e-06,2.276144e-06,2.263281e-06,2.238509e-06,2.201477e-06,2.189755e-06,2.165050e-06,2.129229e-06,2.118601e-06,2.094014e-06,2.059405e-06,2.049822e-06,2.025398e-06,1.991992e-06,1.983405e-06,1.959183e-06,1.926967e-06,1.919323e-06,1.895339e-06,1.864294e-06,1.857542e-06,1.833826e-06,1.803930e-06,1.798019e-06,1.774598e-06,1.745825e-06,1.740704e-06,1.717603e-06,1.689924e-06,1.685546e-06,1.662783e-06,1.636171e-06,1.632487e-06,1.610081e-06,1.584504e-06,1.581469e-06,1.559434e-06,1.534862e-06,1.532432e-06,1.510781e-06,1.487182e-06,1.485315e-06,1.464059e-06,1.441402e-06,1.440057e-06,1.419204e-06,1.397457e-06,1.396596e-06,1.376154e-06,1.355286e-06,1.354873e-06,1.334846e-06,1.314827e-06,1.276400e-06,1.239534e-06,1.204172e-06,1.170261e-06,1.137746e-06,1.106576e-06,1.076701e-06,1.048070e-06,1.020638e-06,9.943588e-07,9.691877e-07,9.450824e-07,9.220017e-07,8.999059e-07,8.787567e-07,8.585173e-07,8.391522e-07,8.206270e-07,8.029089e-07,7.859660e-07,7.697679e-07,7.542852e-07,7.394895e-07,7.253538e-07,7.118518e-07,6.989583e-07,6.866491e-07,6.749010e-07,6.636916e-07,6.529994e-07,6.428036e-07,6.330844e-07,6.238226e-07,6.149999e-07,6.065985e-07,5.986015e-07,5.909926e-07,5.837560e-07,5.768766e-07,5.703400e-07,5.641321e-07,5.582395e-07,5.526494e-07,5.473494e-07,5.423276e-07,5.375724e-07,5.330729e-07,5.288186e-07,5.247992e-07
0.000000e+00,6.486091e-10,1.170723e-08,1.227053e-08,8.286455e-08,2.768331e-07,2.880600e-07,6.253804e-07,9.800774e-07,1.002585e-06,1.367216e-06,1.681447e-06,1.707754e-06,2.022993e-06,2.285762e-06,2.313774e-06,2.581344e-06,2.798639e-06,2.827005e-06,3.052039e-06,3.230018e-06,3.257687e-06,3.445140e-06,3.589375e-06,3.615537e-06,3.769961e-06,3.885391e-06,3.909438e-06,4.034941e-06,4.125903e-06,4.147390e-06,4.247651e-06,4.317919e-06,4.336538e-06,4.414820e-06,4.467665e-06,4.483215e-06,4.542405e-06,4.580657e-06,4.593028e-06,4.635680e-06,4.661771e-06,4.670923e-06,4.699284e-06,4.715308e-06,4.721258e-06,4.737307e-06,4.745060e-06,4.747868e-06,4.753347e-06,4.754365e-06,4.754125e-06,4.750560e-06,4.746154e-06,4.742986e-06,4.731717e-06,4.723003e-06,4.717045e-06,4.699245e-06,4.687171e-06,4.678574e-06,4.655271e-06,4.640639e-06,4.629561e-06,4.601655e-06,4.585141e-06,4.571747e-06,4.540022e-06,4.522195e-06,4.506651e-06,4.471793e-06,4.453130e-06,4.435599e-06,4.398206e-06,4.379102e-06,4.359746e-06,4.320340e-06,4.301122e-06,4.280099e-06,4.239130e-06,4.220067e-06,4.197531e-06,4.155392e-06,4.136703e-06,4.112799e-06,4.069830e-06,4.051689e-06,4.026559e-06,3.983054e-06,3.965600e-06,3.939377e-06,3.895587e-06,3.878929e-06,3.851739e-06,3.807882e-06,3.792101e-06,3.764064e-06,3.720326e-06,3.705480e-06,3.676708e-06,3.633247e-06,3.619378e-06,3.589977e-06,3.546927e-06,3.534059e-06,3.504127e-06,3.461602e-06,3.449747e-06,3.419376e-06,3.377470e-06,3.366630e-06,3.335905e-06,3.294698e-06,3.284863e-06,3.253865e-06,3.213420e-06,3.204576e-06,3.173378e-06,3.133750e-06,3.125874e-06,3.094545e-06,3.055774e-06,3.048842e-06,3.017444e-06,2.979563e-06,2.973544e-06,2.942137e-06,2.905170e-06,2.900032e-06,2.868668e-06,2.832634e-06,2.828342e-06,2.797071e-06,2.761981e-06,2.758498e-06,2.727366e-06,2.693226e-06,2.690515e-06,2.659562e-06,2.626375e-06,2.624399e-06,2.593663e-06,2.561426e-06,2.560146e-06,2.529662e-06,2.498370e-06,2.497749e-06,2.467548e-06,2.437194e-06,2.378462e-06,2.321530e-06,2.266373e-06,2.212960e-06,2.161262e-06,2.111245e-06,2.062875e-06,2.016117e-06,1.970934e-06,1.927289e-06,1.885146e-06,1.844467e-06,1.805214e-06,1.767350e-06,1.730838e-06,1.695641e-06,1.661723e-06,1.629048e-06,1.597580e-06,1.567285e-06,1.538128e-06,1.510076e-06,1.483095e-06,1.457154e-06,1.432221e-06,1.408264e-06,1.385255e-06,1.363164e-06,1.341961e-06,1.321620e-06,1.302112e-06,1.283411e-06,1.265491e-06,1.248327e-06,1.231895e-06,1.216170e-06,1.201130e-06,1.186752e-06,1.173013e-06,1.159893e-06,1.147370e-06,1.135425e-06,1.124038e-06,1.113189e-06,1.102861e-06,1.093036e-06,1.083695e-06,1.074822e-06,1.066401e-06
0.000000e+00,8.532901e-09,1.623027e-07,1.697794e-07,9.982101e-07,2.947432e-06,3.054888e-06,6.223080e-06,9.545237e-06,9.756341e-06,1.317898e-05,1.613338e-05,1.638098e-05,1.935181e-05,2.183404e-05,2.209900e-05,2.463331e-05,2.669635e-05,2.696599e-05,2.910817e-05,3.080638e-05,3.107072e-05,3.286420e-05,3.424750e-05,3.449876e-05,3.598411e-05,3.709729e-05,3.732954e-05,3.854383e-05,3.942647e-05,3.963534e-05,4.061200e-05,4.129888e-05,4.148127e-05,4.225014e-05,4.277145e-05,4.292526e-05,4.351288e-05,4.389485e-05,4.401887e-05,4.444879e-05,4.471416e-05,4.480784e-05,4.510090e-05,4.526926e-05,4.533258e-05,4.550720e-05,4.559544e-05,4.562883e-05,4.570126e-05,4.572386e-05,4.572808e-05,4.571264e-05,4.568204e-05,4.565809e-05,4.556739e-05,4.549422e-05,4.544331e-05,4.528845e-05,4.518179e-05,4.510526e-05,4.489600e-05,4.476354e-05,4.466283e-05,4.440774e-05,4.425603e-05,4.413262e-05,4.383923e-05,4.367378e-05,4.352920e-05,4.320408e-05,4.302953e-05,4.286530e-05,4.251422e-05,4.233446e-05,4.215209e-05,4.178009e-05,4.159834e-05,4.139931e-05,4.101078e-05,4.082972e-05,4.061546e-05,4.021423e-05,4.003604e-05,3.980794e-05,3.939736e-05,3.922380e-05,3.898320e-05,3.856614e-05,3.839865e-05,3.814681e-05,3.772578e-05,3.756546e-05,3.730360e-05,3.688076e-05,3.672847e-05,3.645774e-05,3.603495e-05,3.589133e-05,3.561280e-05,3.519166e-05,3.505717e-05,3.477187e-05,3.435374e-05,3.422866e-05,3.393755e-05,3.352358e-05,3.340810e-05,3.311207e-05,3.270324e-05,3.259741e-05,3.229730e-05,3.189444e-05,3.179822e-05,3.149481e-05,3.109859e-05,3.101189e-05,3.070590e-05,3.031688e-05,3.023953e-05,2.993164e-05,2.955027e-05,2.948205e-05,2.917288e-05,2.879954e-05,2.874018e-05,2.843031e-05,2.806527e-05,2.801450e-05,2.770446e-05,2.734794e-05,2.730544e-05,2.699573e-05,2.664786e-05,2.661332e-05,2.630437e-05,2.596527e-05,2.593834e-05,2.563058e-05,2.530030e-05,2.528062e-05,2.497443e-05,2.465297e-05,2.464021e-05,2.433593e-05,2.402328e-05,2.401708e-05,2.371503e-05,2.341114e-05,2.282227e-05,2.225029e-05,2.169499e-05,2.115612e-05,2.063344e-05,2.012665e-05,1.963545e-05,1.915953e-05,1.869856e-05,1.825222e-05,1.782016e-05,1.740205e-05,1.699754e-05,1.660630e-05,1.622797e-05,1.586223e-05,1.550873e-05,1.516714e-05,1.483713e-05,1.451838e-05,1.421057e-05,1.391339e-05,1.362653e-05,1.334969e-05,1.308258e-05,1.282491e-05,1.257640e-05,1.233676e-05,1.210575e-05,1.188308e-05,1.166852e-05,1.146181e-05,1.126270e-05,1.107098e-05,1.088639e-05,1.070873e-05,1.053778e-05,1.037333e-05,1.021517e-05,1.006310e-05,9.916931e-06,9.776478e-06,9.641557e-06,9.511992e-06,9.387610e-06,9.268245e-06,9.153737e-06,9.043926e-06,8.938663e-06
0.000000e+00,4.352275e-09,6.924372e-08,7.238171e-08,4.403414e-07,1.420645e-06,1.478478e-06,3.345382e-06,5.588804e-06,5.737693e-06,8.187009e-06,1.029597e-05,1.047104e-05,1.254403e-05,1.423145e-05,1.440893e-05,1.607876e-05,1.739840e-05,1.756805e-05,1.889094e-05,1.990573e-05,2.006077e-05,2.109002e-05,2.185450e-05,2.199035e-05,2.277257e-05,2.333294e-05,2.344674e-05,2.402218e-05,2.441725e-05,2.450749e-05,2.491065e-05,2.517281e-05,2.523897e-05,2.549922e-05,2.565532e-05,2.569760e-05,2.583985e-05,2.591207e-05,2.593120e-05,2.597649e-05,2.598308e-05,2.598015e-05,2.594625e-05,2.590217e-05,2.587850e-05,2.578031e-05,2.569779e-05,2.565486e-05,2.550501e-05,2.539402e-05,2.533338e-05,2.514237e-05,2.501099e-05,2.493420e-05,2.471088e-05,2.456562e-05,2.447424e-05,2.422598e-05,2.407209e-05,2.396764e-05,2.370061e-05,2.354226e-05,2.342617e-05,2.314548e-05,2.298597e-05,2.285961e-05,2.256952e-05,2.241143e-05,2.227608e-05,2.198010e-05,2.182542e-05,2.168229e-05,2.138330e-05,2.123355e-05,2.108373e-05,2.078411e-05,2.064042e-05,2.048493e-05,2.018662e-05,2.004980e-05,1.988958e-05,1.959414e-05,1.946475e-05,1.930064e-05,1.900934e-05,1.888771e-05,1.872049e-05,1.843433e-05,1.832065e-05,1.815103e-05,1.787078e-05,1.776512e-05,1.759373e-05,1.732000e-05,1.722229e-05,1.704971e-05,1.678295e-05,1.669308e-05,1.651981e-05,1.626036e-05,1.617812e-05,1.600464e-05,1.575270e-05,1.567786e-05,1.550458e-05,1.526031e-05,1.519260e-05,1.501989e-05,1.478334e-05,1.472247e-05,1.455065e-05,1.432183e-05,1.426749e-05,1.409687e-05,1.387574e-05,1.382760e-05,1.365843e-05,1.344491e-05,1.340266e-05,1.323517e-05,1.302916e-05,1.299247e-05,1.282686e-05,1.262822e-05,1.259678e-05,1.243322e-05,1.224180e-05,1.221529e-05,1.205393e-05,1.186957e-05,1.184768e-05,1.168867e-05,1.151118e-05,1.149362e-05,1.133706e-05,1.116626e-05,1.115274e-05,1.099873e-05,1.083443e-05,1.082467e-05,1.067330e-05,1.051530e-05,1.050905e-05,1.036038e-05,1.020849e-05,1.020548e-05,1.005957e-05,9.913588e-06,9.632994e-06,9.363321e-06,9.104198e-06,8.855261e-06,8.616152e-06,8.386521e-06,8.166027e-06,7.954338e-06,7.751132e-06,7.556093e-06,7.368919e-06,7.189315e-06,7.016995e-06,6.851684e-06,6.693115e-06,6.541031e-06,6.395184e-06,6.255333e-06,6.121249e-06,5.992707e-06,5.869494e-06,5.751402e-06,5.638232e-06,5.529793e-06,5.425900e-06,5.326375e-06,5.231047e-06,5.139752e-06,5.052331e-06,4.968631e-06,4.888508e-06,4.811818e-06,4.738428e-06,4.668207e-06,4.601029e-06,4.536774e-06,4.475326e-06,4.416575e-06,4.360412e-06,4.306735e-06,4.255445e-06,4.206447e-06,4.159650e-06,4.114966e-06,4.072310e-06,4.031602e-06,3.992763e-06,3.955718e-06,3.920396e-06
0.000000e+00,1.446536e-09,1.935600e-08,2.020344e-08,1.216929e-07,4.026215e-07,4.192059e-07,9.335165e-07,1.504180e-06,1.541318e-06,2.157562e-06,2.710890e-06,2.758188e-06,3.337466e-06,3.839381e-06,3.893998e-06,4.427484e-06,4.877918e-06,4.937967e-06,5.425639e-06,5.827014e-06,5.890794e-06,6.333812e-06,6.689167e-06,6.755142e-06,7.155289e-06,7.467985e-06,7.534800e-06,7.894251e-06,8.167770e-06,8.234240e-06,8.555375e-06,8.793166e-06,8.858269e-06,9.143536e-06,9.348924e-06,9.411783e-06,9.663608e-06,9.839732e-06,9.899598e-06,1.012033e-05,1.027013e-05,1.032637e-05,1.051826e-05,1.064445e-05,1.069654e-05,1.086173e-05,1.096684e-05,1.101434e-05,1.115486e-05,1.124122e-05,1.128378e-05,1.140155e-05,1.147129e-05,1.150864e-05,1.160548e-05,1.166055e-05,1.169248e-05,1.177007e-05,1.181227e-05,1.183864e-05,1.189857e-05,1.192953e-05,1.195025e-05,1.199402e-05,1.201521e-05,1.203023e-05,1.205923e-05,1.207200e-05,1.208134e-05,1.209686e-05,1.210244e-05,1.210611e-05,1.210939e-05,1.210887e-05,1.210696e-05,1.209912e-05,1.209351e-05,1.208612e-05,1.206821e-05,1.205839e-05,1.204564e-05,1.201864e-05,1.200543e-05,1.198746e-05,1.195230e-05,1.193639e-05,1.191337e-05,1.187089e-05,1.185294e-05,1.182505e-05,1.177603e-05,1.175661e-05,1.172402e-05,1.166920e-05,1.164881e-05,1.161174e-05,1.155179e-05,1.153087e-05,1.148951e-05,1.142506e-05,1.140400e-05,1.135857e-05,1.129020e-05,1.126934e-05,1.122006e-05,1.114829e-05,1.112793e-05,1.107502e-05,1.100036e-05,1.098073e-05,1.092442e-05,1.084731e-05,1.082865e-05,1.076914e-05,1.069001e-05,1.067249e-05,1.061002e-05,1.052925e-05,1.051301e-05,1.044779e-05,1.036573e-05,1.035090e-05,1.028315e-05,1.020013e-05,1.018681e-05,1.011674e-05,1.003305e-05,1.002131e-05,9.949131e-06,9.865044e-06,9.854946e-06,9.780853e-06,9.696616e-06,9.688192e-06,9.612389e-06,9.528226e-06,9.521497e-06,9.444178e-06,9.360293e-06,9.355266e-06,9.276617e-06,9.193196e-06,9.189864e-06,9.110069e-06,9.027277e-06,9.025624e-06,8.944857e-06,8.862845e-06,8.701797e-06,8.542720e-06,8.385830e-06,8.231320e-06,8.079359e-06,7.930095e-06,7.783659e-06,7.640163e-06,7.499702e-06,7.362359e-06,7.228200e-06,7.097280e-06,6.969641e-06,6.845317e-06,6.724329e-06,6.606691e-06,6.492407e-06,6.381475e-06,6.273886e-06,6.169626e-06,6.068671e-06,5.970994e-06,5.876565e-06,5.785346e-06,5.697300e-06,5.612384e-06,5.530552e-06,5.451756e-06,5.375946e-06,5.303069e-06,5.233069e-06,5.165891e-06,5.101477e-06,5.039768e-06,4.980705e-06,4.924227e-06,4.870274e-06,4.818784e-06,4.769694e-06,4.722944e-06,4.678471e-06,4.636214e-06,4.596110e-06,4.558099e-06,4.522118e-06,4.488107e-06,4.456006e-06,4.425753e-06,4.397292e-06
0.000000e+00,1.159024e-04,2.115003e-03,2.213879e-03,1.556514e-02,6.543366e-02,6.896540e-02,2.184892e-01,5.054463e-01,5.295552e-01,1.038255e+00,1.674550e+00,1.736730e+00,2.593449e+00,3.469898e+00,3.572290e+00,4.639692e+00,5.628887e+00,5.766349e+00,6.927273e+00,7.936945e+00,8.101437e+00,9.271328e+00,1.024009e+01,1.042251e+01,1.154324e+01,1.243287e+01,1.262413e+01,1.365783e+01,1.444699e+01,1.463873e+01,1.556272e+01,1.624205e+01,1.642696e+01,1.722970e+01,1.779810e+01,1.797009e+01,1.864807e+01,1.910988e+01,1.926417e+01,1.981944e+01,2.018240e+01,2.031537e+01,2.075377e+01,2.102750e+01,2.113668e+01,2.146637e+01,2.166137e+01,2.174522e+01,2.197573e+01,2.210261e+01,2.216043e+01,2.230188e+01,2.237090e+01,2.240266e+01,2.246528e+01,2.248604e+01,2.249224e+01,2.248596e+01,2.246723e+01,2.244881e+01,2.238307e+01,2.233270e+01,2.229092e+01,2.217447e+01,2.209940e+01,2.203574e+01,2.187664e+01,2.178290e+01,2.169899e+01,2.150451e+01,2.139729e+01,2.129486e+01,2.107155e+01,2.095524e+01,2.083606e+01,2.058974e+01,2.046804e+01,2.033388e+01,2.006968e+01,1.994566e+01,1.979827e+01,1.952070e+01,1.939687e+01,1.923796e+01,1.895095e+01,1.882934e+01,1.866053e+01,1.836750e+01,1.824972e+01,1.807258e+01,1.777646e+01,1.766375e+01,1.747977e+01,1.718308e+01,1.707638e+01,1.688694e+01,1.659184e+01,1.649182e+01,1.629823e+01,1.600653e+01,1.591365e+01,1.571711e+01,1.543034e+01,1.534487e+01,1.514651e+01,1.486593e+01,1.478798e+01,1.458885e+01,1.431550e+01,1.424507e+01,1.404610e+01,1.378083e+01,1.371780e+01,1.351987e+01,1.326335e+01,1.320753e+01,1.301142e+01,1.276418e+01,1.271530e+01,1.252173e+01,1.228415e+01,1.224191e+01,1.205151e+01,1.182387e+01,1.178792e+01,1.160128e+01,1.138376e+01,1.135372e+01,1.117134e+01,1.096404e+01,1.093951e+01,1.076185e+01,1.056478e+01,1.054536e+01,1.037282e+01,1.018594e+01,1.017121e+01,1.000413e+01,9.827348e+00,9.816900e+00,9.655567e+00,9.488746e+00,9.482176e+00,9.326839e+00,9.169798e+00,9.166707e+00,9.017570e+00,8.870099e+00,8.591904e+00,8.331631e+00,8.088749e+00,7.862701e+00,7.652904e+00,7.458758e+00,7.279648e+00,7.114953e+00,6.964042e+00,6.826284e+00,6.701049e+00,6.587706e+00,6.485633e+00,6.394210e+00,6.312830e+00,6.240891e+00,6.177808e+00,6.123004e+00,6.075919e+00,6.036006e+00,6.002736e+00,5.975594e+00,5.954085e+00,5.937731e+00,5.926071e+00,5.918666e+00,5.915096e+00,5.914959e+00,5.917874e+00,5.923480e+00,5.931436e+00,5.941423e+00,5.953138e+00,5.966301e+00,5.980651e+00,5.995944e+00,6.011956e+00,6.028483e+00,6.045335e+00,6.062342e+00,6.079348e+00,6.096216e+00,6.112822e+00,6.129055e+00,6.144821e+00,6.160037e+00,6.174632e+00,6.188546e+00,6.201732e+00
0.000000e+00,6.280292e-08,1.244030e-06,1.305389e-06,9.653473e-06,3.618421e-05,3.783652e-05,9.209520e-05,1.541003e-04,1.579996e-04,2.174961e-04,2.607412e-04,2.639700e-04,2.978881e-04,3.196732e-04,3.216672e-04,3.377348e-04,3.470741e-04,3.480643e-04,3.541607e-04,3.568831e-04,3.571478e-04,3.578587e-04,3.571524e-04,3.569093e-04,3.547551e-04,3.523284e-04,3.517323e-04,3.480892e-04,3.448530e-04,3.440090e-04,3.396271e-04,3.360654e-04,3.350439e-04,3.303333e-04,3.267013e-04,3.255486e-04,3.207291e-04,3.171571e-04,3.159029e-04,3.110910e-04,3.076443e-04,3.063091e-04,3.015686e-04,2.982803e-04,2.968795e-04,2.922511e-04,2.891408e-04,2.876878e-04,2.831925e-04,2.802640e-04,2.787675e-04,2.744132e-04,2.716637e-04,2.701299e-04,2.659178e-04,2.633421e-04,2.617770e-04,2.577073e-04,2.552994e-04,2.537082e-04,2.497794e-04,2.475327e-04,2.459204e-04,2.421303e-04,2.400378e-04,2.384086e-04,2.347543e-04,2.328088e-04,2.311668e-04,2.276452e-04,2.258398e-04,2.241887e-04,2.207964e-04,2.191241e-04,2.174675e-04,2.142009e-04,2.126548e-04,2.109958e-04,2.078513e-04,2.064249e-04,2.047665e-04,2.017405e-04,2.004274e-04,1.987724e-04,1.958612e-04,1.946553e-04,1.930061e-04,1.902061e-04,1.891013e-04,1.874604e-04,1.847680e-04,1.837588e-04,1.821282e-04,1.795400e-04,1.786207e-04,1.770025e-04,1.745149e-04,1.736803e-04,1.720764e-04,1.696860e-04,1.689312e-04,1.673431e-04,1.650467e-04,1.643667e-04,1.627960e-04,1.605903e-04,1.599806e-04,1.584287e-04,1.563105e-04,1.557667e-04,1.542349e-04,1.522011e-04,1.517191e-04,1.502084e-04,1.482561e-04,1.478319e-04,1.463434e-04,1.444697e-04,1.440995e-04,1.426341e-04,1.408361e-04,1.405164e-04,1.390749e-04,1.373498e-04,1.370771e-04,1.356603e-04,1.340056e-04,1.337767e-04,1.323851e-04,1.307981e-04,1.306099e-04,1.292441e-04,1.277225e-04,1.275721e-04,1.262326e-04,1.247738e-04,1.246584e-04,1.233456e-04,1.219473e-04,1.218644e-04,1.205786e-04,1.192386e-04,1.191856e-04,1.179270e-04,1.166432e-04,1.166178e-04,1.153867e-04,1.141569e-04,1.117989e-04,1.095400e-04,1.073764e-04,1.053045e-04,1.033210e-04,1.014225e-04,9.960574e-05,9.786763e-05,9.620517e-05,9.461547e-05,9.309574e-05,9.164328e-05,9.025551e-05,8.892992e-05,8.766408e-05,8.645569e-05,8.530249e-05,8.420232e-05,8.315309e-05,8.215281e-05,8.119952e-05,8.029137e-05,7.942656e-05,7.860335e-05,7.782007e-05,7.707513e-05,7.636695e-05,7.569407e-05,7.505503e-05,7.444845e-05,7.387299e-05,7.332738e-05,7.281038e-05,7.232079e-05,7.185747e-05,7.141931e-05,7.100525e-05,7.061427e-05,7.024537e-05,6.989762e-05,6.957010e-05,6.926193e-05,6.897227e-05,6.870029e-05,6.844523e-05,6.820633e-05,6.798286e-05,6.777413e-05,6.757946e-05
0.000000e+00,4.517172e-05,9.095414e-04,9.542946e-04,7.421646e-03,3.278252e-02,3.459009e-02,1.105681e-01,2.522564e-01,2.639491e-01,5.056585e-01,8.003009e-01,8.288480e-01,1.220030e+00,1.618667e+00,1.665245e+00,2.151778e+00,2.605199e+00,2.668459e+00,3.205615e+00,3.677569e+00,3.754928e+00,4.309293e+00,4.774429e+00,4.862687e+00,5.410043e+00,5.851380e+00,5.947133e+00,6.470471e+00,6.877311e+00,6.977216e+00,7.465095e+00,7.831383e+00,7.932327e+00,8.377558e+00,8.700600e+00,8.799802e+00,9.198390e+00,9.477876e+00,9.572929e+00,9.923255e+00,1.016051e+01,1.024940e+01,1.055156e+01,1.074898e+01,1.083008e+01,1.108541e+01,1.124606e+01,1.131808e+01,1.152873e+01,1.165602e+01,1.171803e+01,1.188670e+01,1.198418e+01,1.203551e+01,1.216523e+01,1.223642e+01,1.227666e+01,1.237061e+01,1.241892e+01,1.244788e+01,1.250927e+01,1.253792e+01,1.255558e+01,1.258758e+01,1.259954e+01,1.260605e+01,1.261172e+01,1.260972e+01,1.260533e+01,1.258758e+01,1.257409e+01,1.255916e+01,1.252073e+01,1.249796e+01,1.247293e+01,1.241637e+01,1.238629e+01,1.235165e+01,1.227934e+01,1.224367e+01,1.219997e+01,1.211407e+01,1.207434e+01,1.202214e+01,1.192466e+01,1.188217e+01,1.182207e+01,1.171482e+01,1.167071e+01,1.160331e+01,1.148795e+01,1.144318e+01,1.136910e+01,1.124711e+01,1.120250e+01,1.112234e+01,1.099509e+01,1.095131e+01,1.086567e+01,1.073437e+01,1.069200e+01,1.060146e+01,1.046719e+01,1.042669e+01,1.033182e+01,1.019557e+01,1.015730e+01,1.005866e+01,9.921292e+00,9.885525e+00,9.783657e+00,9.645939e+00,9.612894e+00,9.508308e+00,9.370923e+00,9.340747e+00,9.233935e+00,9.097485e+00,9.070271e+00,8.961703e+00,8.826713e+00,8.802508e+00,8.692630e+00,8.559561e+00,8.538371e+00,8.427605e+00,8.296854e+00,8.278651e+00,8.167395e+00,8.039306e+00,8.024031e+00,7.912661e+00,7.787526e+00,7.775098e+00,7.663964e+00,7.542031e+00,7.532349e+00,7.421779e+00,7.303254e+00,7.296199e+00,7.186499e+00,7.071552e+00,7.066992e+00,6.958446e+00,6.847212e+00,6.845007e+00,6.737877e+00,6.630463e+00,6.423527e+00,6.224319e+00,6.032915e+00,5.849355e+00,5.673644e+00,5.505756e+00,5.345640e+00,5.193219e+00,5.048399e+00,4.911062e+00,4.781079e+00,4.658303e+00,4.542577e+00,4.433732e+00,4.331590e+00,4.235964e+00,4.146663e+00,4.063487e+00,3.986235e+00,3.914700e+00,3.848672e+00,3.787940e+00,3.732292e+00,3.681514e+00,3.635393e+00,3.593715e+00,3.556270e+00,3.522847e+00,3.493238e+00,3.467236e+00,3.444640e+00,3.425250e+00,3.408870e+00,3.395308e+00,3.384376e+00,3.375891e+00,3.369676e+00,3.365558e+00,3.363368e+00,3.362945e+00,3.364133e+00,3.366781e+00,3.370746e+00,3.375887e+00,3.382075e+00,3.389182e+00,3.397089e+00,3.405683e+00,3.414858e+00
0.000000e+00,4.155437e-10,6.192815e-09,6.470585e-09,3.918072e-08,1.261783e-07,1.312487e-07,2.880112e-07,4.583503e-07,4.691356e-07,6.408448e-07,7.823784e-07,7.939071e-07,9.278868e-07,1.033364e-06,1.044259e-06,1.144788e-06,1.221484e-06,1.231152e-06,1.304886e-06,1.359252e-06,1.367371e-06,1.419849e-06,1.457019e-06,1.463438e-06,1.499141e-06,1.523168e-06,1.527859e-06,1.550398e-06,1.564470e-06,1.567482e-06,1.579757e-06,1.586367e-06,1.587800e-06,1.592125e-06,1.593210e-06,1.593191e-06,1.591405e-06,1.588461e-06,1.587128e-06,1.580683e-06,1.574861e-06,1.572355e-06,1.562397e-06,1.554578e-06,1.551033e-06,1.538462e-06,1.529315e-06,1.524861e-06,1.510384e-06,1.500417e-06,1.495169e-06,1.479339e-06,1.468934e-06,1.463000e-06,1.446248e-06,1.435691e-06,1.429166e-06,1.411828e-06,1.401330e-06,1.394299e-06,1.376637e-06,1.366352e-06,1.358891e-06,1.341106e-06,1.331144e-06,1.323320e-06,1.305567e-06,1.296005e-06,1.287877e-06,1.270275e-06,1.261164e-06,1.252783e-06,1.235421e-06,1.226794e-06,1.218206e-06,1.201152e-06,1.193027e-06,1.184271e-06,1.167574e-06,1.159957e-06,1.151069e-06,1.134764e-06,1.127654e-06,1.118664e-06,1.102776e-06,1.096167e-06,1.087103e-06,1.071648e-06,1.065527e-06,1.056413e-06,1.041400e-06,1.035753e-06,1.026610e-06,1.012044e-06,1.006855e-06,9.977015e-07,9.835824e-07,9.788328e-07,9.696862e-07,9.560117e-07,9.516825e-07,9.425577e-07,9.293226e-07,9.253946e-07,9.163048e-07,9.035024e-07,8.999561e-07,8.909134e-07,8.785355e-07,8.753515e-07,8.663665e-07,8.544040e-07,8.515635e-07,8.426457e-07,8.310889e-07,8.285732e-07,8.197312e-07,8.085699e-07,8.063610e-07,7.976024e-07,7.868260e-07,7.849064e-07,7.762381e-07,7.658359e-07,7.641887e-07,7.556169e-07,7.455782e-07,7.441870e-07,7.357172e-07,7.260312e-07,7.248805e-07,7.165176e-07,7.071737e-07,7.062485e-07,6.979968e-07,6.889844e-07,6.882704e-07,6.801339e-07,6.714426e-07,6.709261e-07,6.629081e-07,6.545278e-07,6.541957e-07,6.462992e-07,6.382199e-07,6.380599e-07,6.302875e-07,6.224995e-07,6.074960e-07,5.930314e-07,5.790881e-07,5.656489e-07,5.526972e-07,5.402168e-07,5.281921e-07,5.166077e-07,5.054490e-07,4.947016e-07,4.843516e-07,4.743857e-07,4.647907e-07,4.555541e-07,4.466636e-07,4.381075e-07,4.298742e-07,4.219528e-07,4.143325e-07,4.070029e-07,3.999541e-07,3.931763e-07,3.866601e-07,3.803964e-07,3.743765e-07,3.685920e-07,3.630345e-07,3.576961e-07,3.525692e-07,3.476463e-07,3.429204e-07,3.383843e-07,3.340315e-07,3.298554e-07,3.258497e-07,3.220085e-07,3.183258e-07,3.147961e-07,3.114137e-07,3.081734e-07,3.050702e-07,3.020990e-07,2.992551e-07,2.965339e-07,2.939308e-07,2.914417e-07,2.890623e-07,2.867885e-07,2.846166e-07
0.000000e+00,2.084341e-08,2.727777e-07,2.845810e-07,1.706661e-06,5.785466e-06,6.032811e-06,1.401687e-05,2.318022e-05,2.377333e-05,3.342409e-05,4.170975e-05,4.239981e-05,5.061220e-05,5.736443e-05,5.807857e-05,6.483886e-05,7.023845e-05,7.093652e-05,7.641219e-05,8.065465e-05,8.130629e-05,8.565808e-05,8.892201e-05,8.950512e-05,9.288333e-05,9.532762e-05,9.582684e-05,9.836795e-05,1.001317e-04,1.005372e-04,1.023632e-04,1.035667e-04,1.038730e-04,1.050919e-04,1.058382e-04,1.060434e-04,1.067496e-04,1.071265e-04,1.072312e-04,1.075072e-04,1.075887e-04,1.075955e-04,1.075128e-04,1.073614e-04,1.072744e-04,1.068948e-04,1.065627e-04,1.063872e-04,1.057639e-04,1.052949e-04,1.050366e-04,1.042157e-04,1.036459e-04,1.033112e-04,1.023320e-04,1.016912e-04,1.012867e-04,1.001830e-04,9.949572e-05,9.902804e-05,9.782856e-05,9.711486e-05,9.659062e-05,9.531987e-05,9.459587e-05,9.402150e-05,9.270028e-05,9.197888e-05,9.136060e-05,9.000648e-05,8.929787e-05,8.864161e-05,8.726938e-05,8.658148e-05,8.589287e-05,8.451491e-05,8.385373e-05,8.313806e-05,8.176467e-05,8.113467e-05,8.039687e-05,7.903657e-05,7.844087e-05,7.768552e-05,7.634529e-05,7.578597e-05,7.501730e-05,7.370281e-05,7.318105e-05,7.240294e-05,7.111871e-05,7.063499e-05,6.985100e-05,6.860058e-05,6.815480e-05,6.736815e-05,6.615428e-05,6.574589e-05,6.495950e-05,6.378422e-05,6.341231e-05,6.262880e-05,6.149355e-05,6.115694e-05,6.037868e-05,5.928439e-05,5.898169e-05,5.821079e-05,5.715796e-05,5.688764e-05,5.612595e-05,5.511476e-05,5.487516e-05,5.412434e-05,5.315464e-05,5.294408e-05,5.220556e-05,5.127698e-05,5.109371e-05,5.036875e-05,4.948070e-05,4.932298e-05,4.861266e-05,4.776441e-05,4.763052e-05,4.693575e-05,4.612643e-05,4.601466e-05,4.533623e-05,4.456487e-05,4.447356e-05,4.381211e-05,4.307766e-05,4.300521e-05,4.236126e-05,4.166262e-05,4.160749e-05,4.098145e-05,4.031746e-05,4.027816e-05,3.967036e-05,3.903986e-05,3.901498e-05,3.842564e-05,3.782743e-05,3.781563e-05,3.724491e-05,3.667779e-05,3.559916e-05,3.457743e-05,3.361034e-05,3.269563e-05,3.183114e-05,3.101471e-05,3.024427e-05,2.951778e-05,2.883330e-05,2.818892e-05,2.758279e-05,2.701314e-05,2.647828e-05,2.597655e-05,2.550636e-05,2.506620e-05,2.465461e-05,2.427019e-05,2.391159e-05,2.357753e-05,2.326677e-05,2.297814e-05,2.271050e-05,2.246277e-05,2.223393e-05,2.202298e-05,2.182898e-05,2.165103e-05,2.148827e-05,2.133987e-05,2.120505e-05,2.108306e-05,2.097319e-05,2.087475e-05,2.078710e-05,2.070960e-05,2.064168e-05,2.058276e-05,2.053230e-05,2.048980e-05,2.045476e-05,2.042672e-05,2.040524e-05,2.038989e-05,2.038026e-05,2.037599e-05,2.037669e-05,2.038203e-05,2.039168e-05
0.000000e+00,8.509568e-08,2.311246e-06,2.434601e-06,2.002895e-05,7.828813e-05,8.201227e-05,2.126377e-04,3.902491e-04,4.027862e-04,6.218934e-04,8.266909e-04,8.441705e-04,1.054271e-03,1.226486e-03,1.244503e-03,1.411836e-03,1.539806e-03,1.555889e-03,1.677700e-03,1.765978e-03,1.778999e-03,1.861794e-03,1.918546e-03,1.928139e-03,1.980008e-03,2.013031e-03,2.019236e-03,2.047486e-03,2.063190e-03,2.066250e-03,2.076850e-03,2.080206e-03,2.080452e-03,2.078076e-03,2.072825e-03,2.070613e-03,2.058840e-03,2.047753e-03,2.043430e-03,2.024969e-03,2.010074e-03,2.003963e-03,1.980849e-03,1.963622e-03,1.956008e-03,1.929766e-03,1.911267e-03,1.902406e-03,1.874170e-03,1.855159e-03,1.845270e-03,1.815884e-03,1.796895e-03,1.786169e-03,1.756257e-03,1.737663e-03,1.726262e-03,1.696283e-03,1.678337e-03,1.666401e-03,1.636689e-03,1.619557e-03,1.607205e-03,1.578001e-03,1.561785e-03,1.549120e-03,1.520596e-03,1.505353e-03,1.492460e-03,1.464736e-03,1.450488e-03,1.437442e-03,1.410596e-03,1.397345e-03,1.384209e-03,1.358291e-03,1.346019e-03,1.332848e-03,1.307886e-03,1.296565e-03,1.283406e-03,1.259410e-03,1.249005e-03,1.235897e-03,1.212866e-03,1.203336e-03,1.190314e-03,1.168237e-03,1.159539e-03,1.146632e-03,1.125493e-03,1.117582e-03,1.104815e-03,1.084593e-03,1.077422e-03,1.064818e-03,1.045487e-03,1.039013e-03,1.026590e-03,1.008122e-03,1.002302e-03,9.900752e-04,9.724423e-04,9.672320e-04,9.552159e-04,9.383888e-04,9.337477e-04,9.219533e-04,9.059022e-04,9.017909e-04,8.902279e-04,8.749231e-04,8.713041e-04,8.599804e-04,8.453925e-04,8.422301e-04,8.311522e-04,8.172524e-04,8.145126e-04,8.036859e-04,7.904457e-04,7.880966e-04,7.775250e-04,7.649169e-04,7.629281e-04,7.526147e-04,7.406119e-04,7.389551e-04,7.289020e-04,7.174786e-04,7.161267e-04,7.063353e-04,6.954661e-04,6.943941e-04,6.848649e-04,6.745258e-04,6.737098e-04,6.644429e-04,6.546104e-04,6.540283e-04,6.450229e-04,6.356747e-04,6.353057e-04,6.265605e-04,6.176751e-04,6.174997e-04,6.090132e-04,6.005697e-04,5.844767e-04,5.691833e-04,5.546536e-04,5.408533e-04,5.277493e-04,5.153100e-04,5.035053e-04,4.923062e-04,4.816850e-04,4.716152e-04,4.620713e-04,4.530292e-04,4.444657e-04,4.363586e-04,4.286866e-04,4.214296e-04,4.145680e-04,4.080835e-04,4.019583e-04,3.961755e-04,3.907189e-04,3.855731e-04,3.807233e-04,3.761555e-04,3.718562e-04,3.678125e-04,3.640121e-04,3.604433e-04,3.570949e-04,3.539562e-04,3.510169e-04,3.482673e-04,3.456980e-04,3.433003e-04,3.410654e-04,3.389854e-04,3.370525e-04,3.352592e-04,3.335985e-04,3.320637e-04,3.306482e-04,3.293460e-04,3.281512e-04,3.270582e-04,3.260616e-04,3.251563e-04,3.243375e-04,3.236005e-04,3.229408e-04
0.000000e+00,1.833887e-08,2.162769e-07,2.252489e-07,1.281907e-06,4.343874e-06,4.533097e-06,1.090269e-05,1.879125e-05,1.931743e-05,2.804243e-05,3.570735e-05,3.635149e-05,4.408229e-05,5.053174e-05,5.121912e-05,5.778027e-05,6.309870e-05,6.379202e-05,6.928230e-05,7.360821e-05,7.427908e-05,7.880991e-05,8.227545e-05,8.290172e-05,8.658069e-05,8.930713e-05,8.987209e-05,9.280023e-05,9.489686e-05,9.538838e-05,9.765876e-05,9.922271e-05,9.963252e-05,1.013297e-04,1.024463e-04,1.027693e-04,1.039693e-04,1.047131e-04,1.049467e-04,1.057177e-04,1.061535e-04,1.062973e-04,1.066998e-04,1.068834e-04,1.069386e-04,1.070263e-04,1.070057e-04,1.069747e-04,1.067950e-04,1.066113e-04,1.064976e-04,1.060923e-04,1.057806e-04,1.055883e-04,1.049943e-04,1.045843e-04,1.043183e-04,1.035679e-04,1.030848e-04,1.027501e-04,1.018715e-04,1.013366e-04,1.009385e-04,9.995667e-05,9.938758e-05,9.893150e-05,9.786802e-05,9.727947e-05,9.677091e-05,9.564457e-05,9.504868e-05,9.449306e-05,9.332018e-05,9.272683e-05,9.212944e-05,9.092413e-05,9.034131e-05,8.970728e-05,8.848170e-05,8.791573e-05,8.725000e-05,8.601460e-05,8.547042e-05,8.477770e-05,8.354138e-05,8.302275e-05,8.230751e-05,8.107783e-05,8.058750e-05,7.985395e-05,7.863731e-05,7.817716e-05,7.742925e-05,7.623099e-05,7.580223e-05,7.504364e-05,7.386820e-05,7.347143e-05,7.270558e-05,7.155660e-05,7.119193e-05,7.042199e-05,6.930240e-05,6.896954e-05,6.819841e-05,6.711054e-05,6.680889e-05,6.603925e-05,6.498490e-05,6.471359e-05,6.394785e-05,6.292837e-05,6.268634e-05,6.192670e-05,6.094302e-05,6.072904e-05,5.997749e-05,5.903022e-05,5.884297e-05,5.810128e-05,5.719072e-05,5.702877e-05,5.629855e-05,5.542475e-05,5.528664e-05,5.456928e-05,5.373208e-05,5.361632e-05,5.291305e-05,5.211211e-05,5.201720e-05,5.132912e-05,5.056393e-05,5.048839e-05,4.981640e-05,4.908636e-05,4.902871e-05,4.837362e-05,4.767799e-05,4.763679e-05,4.699927e-05,4.633725e-05,4.631111e-05,4.569170e-05,4.506241e-05,4.504999e-05,4.444913e-05,4.385164e-05,4.271420e-05,4.163574e-05,4.061431e-05,3.964791e-05,3.873454e-05,3.787220e-05,3.705891e-05,3.629270e-05,3.557164e-05,3.489381e-05,3.425735e-05,3.366044e-05,3.310129e-05,3.257819e-05,3.208944e-05,3.163342e-05,3.120854e-05,3.081330e-05,3.044620e-05,3.010585e-05,2.979086e-05,2.949992e-05,2.923177e-05,2.898518e-05,2.875901e-05,2.855212e-05,2.836345e-05,2.819196e-05,2.803668e-05,2.789666e-05,2.777100e-05,2.765886e-05,2.755940e-05,2.747185e-05,2.739545e-05,2.732951e-05,2.727333e-05,2.722627e-05,2.718773e-05,2.715711e-05,2.713386e-05,2.711746e-05,2.710740e-05,2.710320e-05,2.710442e-05,2.711063e-05,2.712142e-05,2.713641e-05,2.715524e-05
0.000000e+00,2.834687e-08,6.177099e-07,6.492409e-07,4.930346e-06,1.773755e-05,1.849666e-05,4.145447e-05,6.557685e-05,6.710632e-05,9.187863e-05,1.132286e-04,1.150163e-04,1.364451e-04,1.543195e-04,1.562259e-04,1.744444e-04,1.892545e-04,1.911889e-04,2.065450e-04,2.187035e-04,2.205948e-04,2.334172e-04,2.432949e-04,2.450878e-04,2.556792e-04,2.636075e-04,2.652607e-04,2.738981e-04,2.801705e-04,2.816540e-04,2.885877e-04,2.934613e-04,2.947551e-04,3.002086e-04,3.039065e-04,3.049979e-04,3.091693e-04,3.118841e-04,3.127664e-04,3.158301e-04,3.177272e-04,3.183986e-04,3.205078e-04,3.217289e-04,3.221911e-04,3.234799e-04,3.241460e-04,3.244035e-04,3.249893e-04,3.252034e-04,3.252629e-04,3.252483e-04,3.250980e-04,3.249676e-04,3.244419e-04,3.240015e-04,3.236906e-04,3.227318e-04,3.220640e-04,3.215825e-04,3.202585e-04,3.194164e-04,3.187746e-04,3.171446e-04,3.161727e-04,3.153812e-04,3.134964e-04,3.124321e-04,3.115014e-04,3.094065e-04,3.082809e-04,3.072214e-04,3.049551e-04,3.037941e-04,3.026159e-04,3.002117e-04,2.990368e-04,2.977498e-04,2.952367e-04,2.940653e-04,2.926789e-04,2.900821e-04,2.889285e-04,2.874517e-04,2.847928e-04,2.836687e-04,2.821100e-04,2.794076e-04,2.783221e-04,2.766897e-04,2.739599e-04,2.729202e-04,2.712217e-04,2.684783e-04,2.674899e-04,2.657325e-04,2.629872e-04,2.620543e-04,2.602447e-04,2.575075e-04,2.566331e-04,2.547777e-04,2.520571e-04,2.512431e-04,2.493477e-04,2.466511e-04,2.458985e-04,2.439687e-04,2.413020e-04,2.406114e-04,2.386523e-04,2.360207e-04,2.353919e-04,2.334082e-04,2.308158e-04,2.302483e-04,2.282445e-04,2.256949e-04,2.251877e-04,2.231678e-04,2.206638e-04,2.202156e-04,2.181835e-04,2.157274e-04,2.153366e-04,2.132958e-04,2.108894e-04,2.105545e-04,2.085082e-04,2.061528e-04,2.058718e-04,2.038232e-04,2.015197e-04,2.012908e-04,1.992426e-04,1.969918e-04,1.968129e-04,1.947676e-04,1.925700e-04,1.924389e-04,1.903990e-04,1.882547e-04,1.881695e-04,1.861371e-04,1.840461e-04,1.840045e-04,1.819817e-04,1.799439e-04,1.759870e-04,1.721330e-04,1.683810e-04,1.647298e-04,1.611781e-04,1.577245e-04,1.543674e-04,1.511052e-04,1.479363e-04,1.448590e-04,1.418715e-04,1.389721e-04,1.361589e-04,1.334301e-04,1.307840e-04,1.282187e-04,1.257325e-04,1.233236e-04,1.209902e-04,1.187305e-04,1.165429e-04,1.144256e-04,1.123770e-04,1.103953e-04,1.084791e-04,1.066266e-04,1.048364e-04,1.031068e-04,1.014363e-04,9.982354e-05,9.826697e-05,9.676519e-05,9.531679e-05,9.392040e-05,9.257469e-05,9.127834e-05,9.003005e-05,8.882859e-05,8.767270e-05,8.656118e-05,8.549286e-05,8.446656e-05,8.348115e-05,8.253553e-05,8.162861e-05,8.075933e-05,7.992663e-05,7.912951e-05,7.836696e-05
0.000000e+00,4.263105e-10,4.805910e-09,4.997784e-09,2.559352e-08,7.711669e-08,8.011990e-08,1.774017e-07,2.991346e-07,3.074925e-07,4.499259e-07,5.787034e-07,5.896006e-07,7.208344e-07,8.306933e-07,8.424157e-07,9.544382e-07,1.045448e-06,1.057330e-06,1.151598e-06,1.226167e-06,1.237761e-06,1.316327e-06,1.376808e-06,1.387782e-06,1.452592e-06,1.501087e-06,1.511198e-06,1.564018e-06,1.602373e-06,1.611446e-06,1.653849e-06,1.683660e-06,1.691575e-06,1.724949e-06,1.747591e-06,1.754276e-06,1.779843e-06,1.796499e-06,1.801916e-06,1.820748e-06,1.832432e-06,1.836572e-06,1.849609e-06,1.857187e-06,1.860064e-06,1.868127e-06,1.872337e-06,1.873980e-06,1.877788e-06,1.879258e-06,1.879708e-06,1.879886e-06,1.879149e-06,1.878459e-06,1.875553e-06,1.873061e-06,1.871287e-06,1.865772e-06,1.861907e-06,1.859111e-06,1.851400e-06,1.846483e-06,1.842730e-06,1.833183e-06,1.827483e-06,1.822837e-06,1.811766e-06,1.805509e-06,1.800036e-06,1.787711e-06,1.781086e-06,1.774849e-06,1.761505e-06,1.754669e-06,1.747730e-06,1.733570e-06,1.726650e-06,1.719070e-06,1.704270e-06,1.697371e-06,1.689207e-06,1.673918e-06,1.667128e-06,1.658435e-06,1.642788e-06,1.636174e-06,1.627005e-06,1.611111e-06,1.604729e-06,1.595132e-06,1.579089e-06,1.572981e-06,1.563003e-06,1.546893e-06,1.541091e-06,1.530777e-06,1.514670e-06,1.509199e-06,1.498588e-06,1.482544e-06,1.477421e-06,1.466552e-06,1.450622e-06,1.445857e-06,1.434766e-06,1.418992e-06,1.414592e-06,1.403311e-06,1.387730e-06,1.383697e-06,1.372257e-06,1.356899e-06,1.353230e-06,1.341661e-06,1.326549e-06,1.323242e-06,1.311568e-06,1.296723e-06,1.293771e-06,1.282018e-06,1.267456e-06,1.264851e-06,1.253041e-06,1.238775e-06,1.236506e-06,1.224660e-06,1.210700e-06,1.208758e-06,1.196895e-06,1.183248e-06,1.181621e-06,1.169759e-06,1.156430e-06,1.155106e-06,1.143261e-06,1.130253e-06,1.129220e-06,1.117407e-06,1.104722e-06,1.103966e-06,1.092199e-06,1.079837e-06,1.079346e-06,1.067637e-06,1.055599e-06,1.055359e-06,1.043720e-06,1.032002e-06,1.009269e-06,9.871545e-07,9.656509e-07,9.447498e-07,9.244418e-07,9.047170e-07,8.855648e-07,8.669745e-07,8.489346e-07,8.314339e-07,8.144606e-07,7.980031e-07,7.820494e-07,7.665877e-07,7.516063e-07,7.370934e-07,7.230373e-07,7.094267e-07,6.962500e-07,6.834962e-07,6.711541e-07,6.592130e-07,6.476621e-07,6.364910e-07,6.256894e-07,6.152473e-07,6.051548e-07,5.954022e-07,5.859803e-07,5.768797e-07,5.680915e-07,5.596068e-07,5.514172e-07,5.435142e-07,5.358897e-07,5.285357e-07,5.214445e-07,5.146084e-07,5.080201e-07,5.016724e-07,4.955583e-07,4.896710e-07,4.840038e-07,4.785502e-07,4.733039e-07,4.682588e-07,4.634089e-07,4.587483e-07,4.542714e-07
0.000000e+00,5.854030e-08,9.992735e-07,1.045950e-06,7.402485e-06,2.981163e-05,3.130805e-05,8.589266e-05,1.604036e-04,1.655433e-04,2.520577e-04,3.276161e-04,3.338621e-04,4.069348e-04,4.646771e-04,4.706357e-04,5.254605e-04,5.669942e-04,5.722044e-04,6.116915e-04,6.404401e-04,6.446981e-04,6.719340e-04,6.908250e-04,6.940424e-04,7.116049e-04,7.229839e-04,7.251464e-04,7.351406e-04,7.408698e-04,7.420137e-04,7.461489e-04,7.476960e-04,7.478898e-04,7.475442e-04,7.460564e-04,7.453870e-04,7.416634e-04,7.380288e-04,7.365917e-04,7.303660e-04,7.252663e-04,7.231583e-04,7.151215e-04,7.090753e-04,7.063905e-04,6.970847e-04,6.904826e-04,6.873093e-04,6.771573e-04,6.702907e-04,6.667102e-04,6.560397e-04,6.491226e-04,6.452085e-04,6.342717e-04,6.274592e-04,6.232772e-04,6.122667e-04,6.056679e-04,6.012763e-04,5.903375e-04,5.840273e-04,5.794770e-04,5.687181e-04,5.627450e-04,5.580805e-04,5.475808e-04,5.419734e-04,5.372332e-04,5.270492e-04,5.218215e-04,5.170385e-04,5.072089e-04,5.023641e-04,4.975667e-04,4.881165e-04,4.836497e-04,4.788620e-04,4.698055e-04,4.657066e-04,4.609488e-04,4.522924e-04,4.485471e-04,4.438363e-04,4.355801e-04,4.321717e-04,4.275223e-04,4.196616e-04,4.165720e-04,4.119958e-04,4.045227e-04,4.017328e-04,3.972395e-04,3.901435e-04,3.876342e-04,3.832316e-04,3.765005e-04,3.742526e-04,3.699470e-04,3.635675e-04,3.615623e-04,3.573587e-04,3.513168e-04,3.495362e-04,3.454382e-04,3.397195e-04,3.381463e-04,3.341568e-04,3.287465e-04,3.273644e-04,3.234852e-04,3.183691e-04,3.171624e-04,3.133946e-04,3.085584e-04,3.075126e-04,3.038568e-04,2.992865e-04,2.983879e-04,2.948440e-04,2.905261e-04,2.897618e-04,2.863295e-04,2.822509e-04,2.816091e-04,2.782873e-04,2.744356e-04,2.739052e-04,2.706928e-04,2.670559e-04,2.666265e-04,2.635221e-04,2.600885e-04,2.597506e-04,2.567525e-04,2.535112e-04,2.532559e-04,2.503622e-04,2.473029e-04,2.471221e-04,2.443307e-04,2.414433e-04,2.413296e-04,2.386384e-04,2.359135e-04,2.358598e-04,2.332666e-04,2.306953e-04,2.258192e-04,2.212159e-04,2.168702e-04,2.127681e-04,2.088960e-04,2.052413e-04,2.017920e-04,1.985366e-04,1.954645e-04,1.925655e-04,1.898300e-04,1.872489e-04,1.848138e-04,1.825163e-04,1.803490e-04,1.783047e-04,1.763764e-04,1.745577e-04,1.728426e-04,1.712253e-04,1.697004e-04,1.682628e-04,1.669076e-04,1.656302e-04,1.644264e-04,1.632920e-04,1.622232e-04,1.612164e-04,1.602681e-04,1.593751e-04,1.585343e-04,1.577429e-04,1.569980e-04,1.562971e-04,1.556378e-04,1.550178e-04,1.544349e-04,1.538870e-04,1.533722e-04,1.528886e-04,1.524346e-04,1.520085e-04,1.516087e-04,1.512338e-04,1.508824e-04,1.505531e-04,1.502449e-04,1.499564e-04,1.496867e-04
0.000000e+00,9.898223e-08,2.292365e-06,2.413123e-06,2.116900e-05,9.438421e-05,9.939781e-05,2.869037e-04,5.597855e-04,5.795527e-04,9.345790e-04,1.283236e-03,1.313809e-03,1.692675e-03,2.021483e-03,2.057009e-03,2.399254e-03,2.679253e-03,2.715831e-03,3.005486e-03,3.233096e-03,3.268300e-03,3.505083e-03,3.684727e-03,3.717024e-03,3.905516e-03,4.043618e-03,4.072037e-03,4.218078e-03,4.321150e-03,4.345101e-03,4.454513e-03,4.528494e-03,4.547655e-03,4.625795e-03,4.675885e-03,4.690126e-03,4.741763e-03,4.772420e-03,4.781752e-03,4.811065e-03,4.826071e-03,4.830608e-03,4.841225e-03,4.843767e-03,4.843698e-03,4.838755e-03,4.831503e-03,4.827069e-03,4.809265e-03,4.794447e-03,4.785924e-03,4.757582e-03,4.737049e-03,4.724735e-03,4.687844e-03,4.663129e-03,4.647335e-03,4.603600e-03,4.575964e-03,4.557004e-03,4.507881e-03,4.478356e-03,4.456543e-03,4.403274e-03,4.372700e-03,4.348339e-03,4.291981e-03,4.261035e-03,4.234423e-03,4.175872e-03,4.145095e-03,4.116515e-03,4.056527e-03,4.026347e-03,3.996068e-03,3.935283e-03,3.906029e-03,3.874305e-03,3.813257e-03,3.785182e-03,3.752249e-03,3.691384e-03,3.664673e-03,3.630754e-03,3.570441e-03,3.545223e-03,3.510523e-03,3.451067e-03,3.427428e-03,3.392135e-03,3.333782e-03,3.311770e-03,3.276058e-03,3.219006e-03,3.198640e-03,3.162667e-03,3.107073e-03,3.088347e-03,3.052257e-03,2.998243e-03,2.981132e-03,2.945055e-03,2.892711e-03,2.877175e-03,2.841229e-03,2.790621e-03,2.776609e-03,2.740898e-03,2.692068e-03,2.679520e-03,2.644138e-03,2.597112e-03,2.585961e-03,2.550992e-03,2.505778e-03,2.495953e-03,2.461470e-03,2.418065e-03,2.409492e-03,2.375560e-03,2.333949e-03,2.326554e-03,2.293228e-03,2.253388e-03,2.247095e-03,2.214423e-03,2.176324e-03,2.171059e-03,2.139082e-03,2.102687e-03,2.098376e-03,2.067129e-03,2.032397e-03,2.028969e-03,1.998480e-03,1.965367e-03,1.962752e-03,1.933045e-03,1.901503e-03,1.899635e-03,1.870728e-03,1.840708e-03,1.839522e-03,1.811429e-03,1.782880e-03,1.782316e-03,1.755047e-03,1.727917e-03,1.676225e-03,1.627140e-03,1.580560e-03,1.536388e-03,1.494526e-03,1.454878e-03,1.417350e-03,1.381851e-03,1.348293e-03,1.316589e-03,1.286656e-03,1.258412e-03,1.231780e-03,1.206684e-03,1.183053e-03,1.160816e-03,1.139906e-03,1.120259e-03,1.101813e-03,1.084510e-03,1.068292e-03,1.053106e-03,1.038898e-03,1.025621e-03,1.013226e-03,1.001668e-03,9.909038e-04,9.808919e-04,9.715929e-04,9.629692e-04,9.549848e-04,9.476055e-04,9.407987e-04,9.345332e-04,9.287793e-04,9.235089e-04,9.186949e-04,9.143117e-04,9.103349e-04,9.067412e-04,9.035086e-04,9.006159e-04,8.980432e-04,8.957713e-04,8.937820e-04,8.920583e-04,8.905836e-04,8.893423e-04,8.883198e-04
0.000000e+00,1.057486e-07,2.228866e-06,2.340849e-06,1.857276e-05,7.932765e-05,8.351504e-05,2.487420e-04,5.213273e-04,5.423466e-04,9.414178e-04,1.362156e-03,1.400037e-03,1.879389e-03,2.306952e-03,2.353639e-03,2.807203e-03,3.182223e-03,3.231406e-03,3.621995e-03,3.929822e-03,3.977468e-03,4.297987e-03,4.541033e-03,4.584701e-03,4.839312e-03,5.025527e-03,5.063807e-03,5.260282e-03,5.398708e-03,5.430847e-03,5.577556e-03,5.676693e-03,5.702370e-03,5.807145e-03,5.874444e-03,5.893616e-03,5.963395e-03,6.005169e-03,6.017977e-03,6.058744e-03,6.080260e-03,6.086967e-03,6.103816e-03,6.109422e-03,6.110366e-03,6.107603e-03,6.100870e-03,6.096433e-03,6.077685e-03,6.061532e-03,6.052120e-03,6.020435e-03,5.997243e-03,5.983269e-03,5.941207e-03,5.912907e-03,5.894785e-03,5.844492e-03,5.812647e-03,5.790778e-03,5.734053e-03,5.699923e-03,5.674694e-03,5.613044e-03,5.577637e-03,5.549417e-03,5.484100e-03,5.448220e-03,5.417357e-03,5.349425e-03,5.313704e-03,5.280523e-03,5.210851e-03,5.175783e-03,5.140589e-03,5.069904e-03,5.035869e-03,4.998944e-03,4.927847e-03,4.895130e-03,4.856735e-03,4.785721e-03,4.754532e-03,4.714907e-03,4.644383e-03,4.614870e-03,4.574232e-03,4.504530e-03,4.476789e-03,4.435341e-03,4.366727e-03,4.340815e-03,4.298739e-03,4.231426e-03,4.207367e-03,4.164830e-03,4.098987e-03,4.076778e-03,4.033930e-03,3.969688e-03,3.949306e-03,3.906284e-03,3.843739e-03,3.825147e-03,3.782073e-03,3.721299e-03,3.704444e-03,3.661429e-03,3.602474e-03,3.587297e-03,3.544441e-03,3.487335e-03,3.473769e-03,3.431161e-03,3.375920e-03,3.363892e-03,3.321612e-03,3.268238e-03,3.257675e-03,3.215794e-03,3.164277e-03,3.155102e-03,3.113683e-03,3.064006e-03,3.056143e-03,3.015241e-03,2.967381e-03,2.960752e-03,2.920417e-03,2.874343e-03,2.868873e-03,2.829149e-03,2.784826e-03,2.780441e-03,2.741365e-03,2.698756e-03,2.695383e-03,2.656988e-03,2.616051e-03,2.613621e-03,2.575934e-03,2.536627e-03,2.535072e-03,2.498119e-03,2.460397e-03,2.459650e-03,2.423451e-03,2.387270e-03,2.317841e-03,2.251276e-03,2.187483e-03,2.126377e-03,2.067867e-03,2.011868e-03,1.958294e-03,1.907061e-03,1.858088e-03,1.811294e-03,1.766602e-03,1.723935e-03,1.683219e-03,1.644382e-03,1.607355e-03,1.572069e-03,1.538459e-03,1.506461e-03,1.476013e-03,1.447056e-03,1.419532e-03,1.393385e-03,1.368561e-03,1.345007e-03,1.322675e-03,1.301513e-03,1.281477e-03,1.262519e-03,1.244596e-03,1.227665e-03,1.211687e-03,1.196620e-03,1.182426e-03,1.169070e-03,1.156515e-03,1.144726e-03,1.133671e-03,1.123317e-03,1.113634e-03,1.104591e-03,1.096160e-03,1.088313e-03,1.081023e-03,1.074264e-03,1.068011e-03,1.062239e-03,1.056927e-03,1.052050e-03,1.047589e-03
0.000000e+00,1.145678e-07,2.608540e-06,2.741359e-06,2.134006e-05,8.488408e-05,8.906860e-05,2.450789e-04,4.858553e-04,5.040383e-04,8.441967e-04,1.195810e-03,1.227169e-03,1.619593e-03,1.961978e-03,1.998870e-03,2.351454e-03,2.633820e-03,2.670143e-03,2.951912e-03,3.164368e-03,3.196383e-03,3.404797e-03,3.553572e-03,3.579326e-03,3.722627e-03,3.818831e-03,3.837553e-03,3.926971e-03,3.982006e-03,3.993651e-03,4.040205e-03,4.064107e-03,4.069049e-03,4.082396e-03,4.083414e-03,4.082248e-03,4.070408e-03,4.055076e-03,4.048491e-03,4.017934e-03,3.991307e-03,3.980016e-03,3.935868e-03,3.901796e-03,3.886488e-03,3.832758e-03,3.794135e-03,3.775452e-03,3.715252e-03,3.674228e-03,3.652755e-03,3.588485e-03,3.546635e-03,3.522898e-03,3.456391e-03,3.414849e-03,3.389311e-03,3.321957e-03,3.281522e-03,3.254588e-03,3.187427e-03,3.148647e-03,3.120669e-03,3.054477e-03,3.017710e-03,2.988992e-03,2.924335e-03,2.889800e-03,2.860606e-03,2.797888e-03,2.765697e-03,2.736250e-03,2.675747e-03,2.645937e-03,2.616426e-03,2.558320e-03,2.530868e-03,2.501455e-03,2.445851e-03,2.420700e-03,2.391519e-03,2.338466e-03,2.315529e-03,2.286694e-03,2.236200e-03,2.215372e-03,2.186977e-03,2.139016e-03,2.120183e-03,2.092306e-03,2.046830e-03,2.029870e-03,2.002574e-03,1.959518e-03,1.944308e-03,1.917644e-03,1.876930e-03,1.863348e-03,1.837356e-03,1.798899e-03,1.786825e-03,1.761537e-03,1.725245e-03,1.714563e-03,1.690002e-03,1.655782e-03,1.646381e-03,1.622563e-03,1.590321e-03,1.582095e-03,1.559032e-03,1.528672e-03,1.521521e-03,1.499218e-03,1.470648e-03,1.464479e-03,1.442938e-03,1.416066e-03,1.410790e-03,1.390009e-03,1.364747e-03,1.360282e-03,1.340257e-03,1.316518e-03,1.312789e-03,1.293511e-03,1.271214e-03,1.268148e-03,1.249608e-03,1.228674e-03,1.226206e-03,1.208393e-03,1.188745e-03,1.186815e-03,1.169714e-03,1.151282e-03,1.149833e-03,1.133431e-03,1.116145e-03,1.115125e-03,1.099407e-03,1.083201e-03,1.082564e-03,1.067513e-03,1.052326e-03,1.052027e-03,1.037626e-03,1.023399e-03,9.965705e-04,9.714374e-04,9.479016e-04,9.258702e-04,9.052552e-04,8.859736e-04,8.679471e-04,8.511015e-04,8.353671e-04,8.206779e-04,8.069717e-04,7.941898e-04,7.822770e-04,7.711811e-04,7.608530e-04,7.512463e-04,7.423175e-04,7.340253e-04,7.263311e-04,7.191983e-04,7.125926e-04,7.064815e-04,7.008347e-04,6.956233e-04,6.908203e-04,6.864002e-04,6.823392e-04,6.786145e-04,6.752050e-04,6.720907e-04,6.692526e-04,6.666732e-04,6.643357e-04,6.622245e-04,6.603247e-04,6.586225e-04,6.571048e-04,6.557593e-04,6.545744e-04,6.535394e-04,6.526439e-04,6.518783e-04,6.512337e-04,6.507014e-04,6.502736e-04,6.499427e-04,6.497016e-04,6.495438e-04,6.494631e-04
0.000000e+00,9.371682e-08,1.703842e-06,1.783556e-06,1.205604e-05,4.516730e-05,4.732248e-05,1.273230e-04,2.512762e-04,2.606828e-04,4.373838e-04,6.194904e-04,6.356124e-04,8.348992e-04,1.004661e-03,1.022728e-03,1.193463e-03,1.328195e-03,1.345440e-03,1.478906e-03,1.579683e-03,1.594924e-03,1.694846e-03,1.767376e-03,1.780084e-03,1.852009e-03,1.901957e-03,1.911906e-03,1.960969e-03,1.993158e-03,2.000294e-03,2.030882e-03,2.049267e-03,2.053648e-03,2.069424e-03,2.077208e-03,2.078968e-03,2.082966e-03,2.082724e-03,2.082043e-03,2.076762e-03,2.070552e-03,2.067638e-03,2.055132e-03,2.044593e-03,2.039665e-03,2.021614e-03,2.008039e-03,2.001322e-03,1.979100e-03,1.963513e-03,1.955228e-03,1.929956e-03,1.913154e-03,1.903513e-03,1.876099e-03,1.858696e-03,1.847898e-03,1.819072e-03,1.801539e-03,1.789769e-03,1.760118e-03,1.742809e-03,1.730237e-03,1.700230e-03,1.683405e-03,1.670188e-03,1.640193e-03,1.624042e-03,1.610319e-03,1.580629e-03,1.565282e-03,1.551179e-03,1.522017e-03,1.507559e-03,1.493188e-03,1.464726e-03,1.451205e-03,1.436664e-03,1.409030e-03,1.396468e-03,1.381846e-03,1.355132e-03,1.343531e-03,1.328903e-03,1.303173e-03,1.292517e-03,1.277951e-03,1.253244e-03,1.243507e-03,1.229058e-03,1.205398e-03,1.196544e-03,1.182263e-03,1.159655e-03,1.151645e-03,1.137572e-03,1.116013e-03,1.108801e-03,1.094973e-03,1.074449e-03,1.067989e-03,1.054435e-03,1.034926e-03,1.029170e-03,1.015914e-03,9.973939e-04,9.922951e-04,9.793568e-04,9.617953e-04,9.573062e-04,9.447012e-04,9.280661e-04,9.241410e-04,9.118815e-04,8.961384e-04,8.927333e-04,8.808282e-04,8.659418e-04,8.630145e-04,8.514701e-04,8.374041e-04,8.349147e-04,8.237348e-04,8.104531e-04,8.083634e-04,7.975500e-04,7.850166e-04,7.832909e-04,7.728440e-04,7.610234e-04,7.596282e-04,7.495462e-04,7.384039e-04,7.373078e-04,7.275880e-04,7.170903e-04,7.162640e-04,7.069025e-04,6.970167e-04,6.964330e-04,6.874250e-04,6.781195e-04,6.777532e-04,6.690928e-04,6.603375e-04,6.601651e-04,6.518461e-04,6.436116e-04,6.280383e-04,6.133926e-04,5.996246e-04,5.866868e-04,5.745337e-04,5.631222e-04,5.524111e-04,5.423617e-04,5.329367e-04,5.241013e-04,5.158221e-04,5.080677e-04,5.008082e-04,4.940154e-04,4.876626e-04,4.817244e-04,4.761771e-04,4.709980e-04,4.661656e-04,4.616599e-04,4.574617e-04,4.535531e-04,4.499171e-04,4.465374e-04,4.433991e-04,4.404877e-04,4.377896e-04,4.352920e-04,4.329830e-04,4.308510e-04,4.288854e-04,4.270761e-04,4.254133e-04,4.238883e-04,4.224923e-04,4.212173e-04,4.200559e-04,4.190007e-04,4.180452e-04,4.171828e-04,4.164077e-04,4.157142e-04,4.150969e-04,4.145509e-04,4.140715e-04,4.136541e-04,4.132947e-04,4.129892e-04,4.127339e-04
0.000000e+00,7.224993e-09,1.325052e-07,1.388161e-07,8.983379e-07,2.834055e-06,2.942047e-06,6.067622e-06,9.163464e-06,9.353622e-06,1.232500e-05,1.471369e-05,1.490615e-05,1.711829e-05,1.882391e-05,1.899798e-05,2.058166e-05,2.175720e-05,2.190293e-05,2.299212e-05,2.376406e-05,2.387648e-05,2.458043e-05,2.504836e-05,2.512579e-05,2.553201e-05,2.577347e-05,2.581638e-05,2.599436e-05,2.606944e-05,2.607970e-05,2.608458e-05,2.603954e-05,2.601983e-05,2.589501e-05,2.576525e-05,2.571864e-05,2.549818e-05,2.531049e-05,2.524011e-05,2.495033e-05,2.472506e-05,2.463412e-05,2.429601e-05,2.404848e-05,2.394003e-05,2.356963e-05,2.331113e-05,2.318792e-05,2.279759e-05,2.253640e-05,2.240098e-05,2.200014e-05,2.174224e-05,2.159689e-05,2.119281e-05,2.094245e-05,2.078922e-05,2.038730e-05,2.014738e-05,1.998806e-05,1.959234e-05,1.936474e-05,1.920090e-05,1.881434e-05,1.860019e-05,1.843317e-05,1.805785e-05,1.785773e-05,1.768872e-05,1.732608e-05,1.714015e-05,1.697017e-05,1.662115e-05,1.644928e-05,1.627918e-05,1.594434e-05,1.578617e-05,1.561669e-05,1.529626e-05,1.515128e-05,1.498305e-05,1.467705e-05,1.454469e-05,1.437823e-05,1.408652e-05,1.396611e-05,1.380186e-05,1.352416e-05,1.341501e-05,1.325333e-05,1.298929e-05,1.289070e-05,1.273190e-05,1.248108e-05,1.239237e-05,1.223670e-05,1.199863e-05,1.191910e-05,1.176676e-05,1.154096e-05,1.146996e-05,1.132110e-05,1.110705e-05,1.104395e-05,1.089869e-05,1.069588e-05,1.064007e-05,1.049850e-05,1.030643e-05,1.025734e-05,1.011953e-05,9.937679e-06,9.894773e-06,9.760759e-06,9.588646e-06,9.551414e-06,9.421220e-06,9.258364e-06,9.226331e-06,9.099962e-06,8.945901e-06,8.918622e-06,8.796069e-06,8.650356e-06,8.627418e-06,8.508658e-06,8.370867e-06,8.351883e-06,8.236884e-06,8.106606e-06,8.091217e-06,7.979938e-06,7.856782e-06,7.844656e-06,7.737046e-06,7.620639e-06,7.611467e-06,7.507471e-06,7.397457e-06,7.390955e-06,7.290512e-06,7.186553e-06,7.182455e-06,7.085499e-06,6.987274e-06,6.985337e-06,6.891799e-06,6.799001e-06,6.622877e-06,6.456424e-06,6.299128e-06,6.150502e-06,6.010085e-06,5.877439e-06,5.752148e-06,5.633820e-06,5.522082e-06,5.416580e-06,5.316981e-06,5.222967e-06,5.134238e-06,5.050511e-06,4.971516e-06,4.896999e-06,4.826718e-06,4.760444e-06,4.697962e-06,4.639067e-06,4.583564e-06,4.531270e-06,4.482011e-06,4.435623e-06,4.391949e-06,4.350843e-06,4.312165e-06,4.275782e-06,4.241570e-06,4.209410e-06,4.179189e-06,4.150803e-06,4.124149e-06,4.099134e-06,4.075667e-06,4.053662e-06,4.033040e-06,4.013724e-06,3.995642e-06,3.978725e-06,3.962909e-06,3.948133e-06,3.934338e-06,3.921470e-06,3.909478e-06,3.898311e-06,3.887923e-06,3.878271e-06,3.869314e-06
0.000000e+00,2.488148e-07,6.065631e-06,6.381500e-06,5.114420e-05,2.013256e-04,2.110374e-04,5.607369e-04,1.066486e-03,1.103506e-03,1.777974e-03,2.456491e-03,2.516689e-03,3.271530e-03,3.939568e-03,4.012458e-03,4.721871e-03,5.312295e-03,5.390124e-03,6.012541e-03,6.509876e-03,6.587509e-03,7.115262e-03,7.523036e-03,7.597125e-03,8.035039e-03,8.362911e-03,8.431260e-03,8.788180e-03,9.047041e-03,9.108211e-03,9.393718e-03,9.593920e-03,9.646985e-03,9.870190e-03,1.002099e-02,1.006540e-02,1.023455e-02,1.034404e-02,1.037949e-02,1.050192e-02,1.057705e-02,1.060347e-02,1.068563e-02,1.073238e-02,1.074984e-02,1.079741e-02,1.082089e-02,1.082958e-02,1.084752e-02,1.085209e-02,1.085231e-02,1.084498e-02,1.083436e-02,1.082647e-02,1.079768e-02,1.077504e-02,1.075945e-02,1.071256e-02,1.068057e-02,1.065773e-02,1.059567e-02,1.055660e-02,1.052699e-02,1.045231e-02,1.040808e-02,1.037219e-02,1.028714e-02,1.023934e-02,1.019765e-02,1.010419e-02,1.005416e-02,1.000717e-02,9.906991e-03,9.855834e-03,9.804024e-03,9.698613e-03,9.647243e-03,9.591079e-03,9.481719e-03,9.430878e-03,9.370812e-03,9.258615e-03,9.208903e-03,9.145369e-03,9.031295e-03,8.983188e-03,8.916601e-03,8.801477e-03,8.755348e-03,8.686101e-03,8.570636e-03,8.526768e-03,8.455233e-03,8.340033e-03,8.298636e-03,8.225164e-03,8.110745e-03,8.071965e-03,7.996885e-03,7.883683e-03,7.847612e-03,7.771231e-03,7.659614e-03,7.626303e-03,7.548908e-03,7.439183e-03,7.408644e-03,7.330501e-03,7.222921e-03,7.195137e-03,7.116494e-03,7.011266e-03,6.986195e-03,6.907281e-03,6.804574e-03,6.782153e-03,6.703179e-03,6.603125e-03,6.583278e-03,6.504438e-03,6.407141e-03,6.389776e-03,6.311251e-03,6.216785e-03,6.201803e-03,6.123757e-03,6.032176e-03,6.019471e-03,5.942053e-03,5.853393e-03,5.842852e-03,5.766199e-03,5.680476e-03,5.671985e-03,5.596223e-03,5.513440e-03,5.506881e-03,5.432124e-03,5.352271e-03,5.347527e-03,5.273878e-03,5.196937e-03,5.193889e-03,5.121441e-03,5.047383e-03,5.045917e-03,4.974754e-03,4.903543e-03,4.766690e-03,4.635269e-03,4.509182e-03,4.388326e-03,4.272590e-03,4.161862e-03,4.056022e-03,3.954953e-03,3.858531e-03,3.766634e-03,3.679140e-03,3.595924e-03,3.516864e-03,3.441838e-03,3.370723e-03,3.303398e-03,3.239746e-03,3.179647e-03,3.122986e-03,3.069648e-03,3.019520e-03,2.972490e-03,2.928449e-03,2.887289e-03,2.848904e-03,2.813190e-03,2.780045e-03,2.749369e-03,2.721062e-03,2.695029e-03,2.671174e-03,2.649404e-03,2.629629e-03,2.611757e-03,2.595703e-03,2.581380e-03,2.568704e-03,2.557594e-03,2.547968e-03,2.539749e-03,2.532860e-03,2.527227e-03,2.522776e-03,2.519437e-03,2.517141e-03,2.515820e-03,2.515411e-03,2.515849e-03,2.517073e-03
0.000000e+00,3.708104e-05,1.051850e-03,1.110652e-03,1.070225e-02,4.904525e-02,5.168133e-02,1.515693e-01,3.053531e-01,3.169916e-01,5.391221e-01,7.836977e-01,8.064949e-01,1.108551e+00,1.402467e+00,1.436144e+00,1.781479e+00,2.094790e+00,2.137965e+00,2.500061e+00,2.812402e+00,2.863142e+00,3.223374e+00,3.521449e+00,3.577613e+00,3.923308e+00,4.198957e+00,4.258419e+00,4.581346e+00,4.830080e+00,4.890863e+00,5.186068e+00,5.405976e+00,5.466327e+00,5.731236e+00,5.922163e+00,5.980580e+00,6.214300e+00,6.377231e+00,6.432466e+00,6.635263e+00,6.771913e+00,6.822967e+00,6.995924e+00,7.108433e+00,7.154535e+00,7.299242e+00,7.389940e+00,7.430517e+00,7.548856e+00,7.620121e+00,7.654770e+00,7.748775e+00,7.802930e+00,7.831394e+00,7.903146e+00,7.942401e+00,7.964546e+00,8.016103e+00,8.042520e+00,8.058314e+00,8.091667e+00,8.107139e+00,8.116634e+00,8.133677e+00,8.139926e+00,8.143240e+00,8.145754e+00,8.144328e+00,8.141634e+00,8.131279e+00,8.123558e+00,8.115072e+00,8.093383e+00,8.080593e+00,8.066564e+00,8.034953e+00,8.018173e+00,7.998874e+00,7.958635e+00,7.938811e+00,7.914533e+00,7.866849e+00,7.844802e+00,7.815850e+00,7.761794e+00,7.738237e+00,7.704922e+00,7.645468e+00,7.621013e+00,7.583651e+00,7.519681e+00,7.494849e+00,7.453755e+00,7.386064e+00,7.361298e+00,7.316786e+00,7.246090e+00,7.221759e+00,7.174137e+00,7.101080e+00,7.077493e+00,7.027063e+00,6.952221e+00,6.929627e+00,6.876683e+00,6.800572e+00,6.779173e+00,6.724001e+00,6.647079e+00,6.627035e+00,6.569909e+00,6.492585e+00,6.474015e+00,6.415199e+00,6.337836e+00,6.320828e+00,6.260576e+00,6.183494e+00,6.168105e+00,6.106659e+00,6.030139e+00,6.016403e+00,5.953994e+00,5.878283e+00,5.866214e+00,5.803060e+00,5.728374e+00,5.717964e+00,5.654273e+00,5.580799e+00,5.572027e+00,5.507994e+00,5.435895e+00,5.428725e+00,5.364536e+00,5.293950e+00,5.288337e+00,5.224165e+00,5.155209e+00,5.151098e+00,5.087106e+00,5.019879e+00,5.017208e+00,4.953548e+00,4.888132e+00,4.886834e+00,4.823648e+00,4.760110e+00,4.637147e+00,4.518030e+00,4.402821e+00,4.291564e+00,4.184286e+00,4.080997e+00,3.981693e+00,3.886357e+00,3.794962e+00,3.707471e+00,3.623837e+00,3.544005e+00,3.467915e+00,3.395498e+00,3.326680e+00,3.261383e+00,3.199525e+00,3.141019e+00,3.085776e+00,3.033703e+00,2.984706e+00,2.938689e+00,2.895553e+00,2.855200e+00,2.817528e+00,2.782439e+00,2.749830e+00,2.719602e+00,2.691653e+00,2.665884e+00,2.642194e+00,2.620487e+00,2.600665e+00,2.582631e+00,2.566292e+00,2.551555e+00,2.538329e+00,2.526525e+00,2.516057e+00,2.506840e+00,2.498793e+00,2.491836e+00,2.485891e+00,2.480885e+00,2.476745e+00,2.473402e+00,2.470791e+00,2.468848e+00,2.467512e+00
0.000000e+00,2.923545e-05,8.803103e-04,9.303411e-04,9.169703e-03,4.168207e-02,4.388686e-02,1.254741e-01,2.471426e-01,2.562425e-01,4.281478e-01,6.147335e-01,6.320181e-01,8.596267e-01,1.078919e+00,1.103921e+00,1.358939e+00,1.588233e+00,1.619679e+00,1.881977e+00,2.106161e+00,2.142396e+00,2.398129e+00,2.607656e+00,2.646916e+00,2.886963e+00,3.076296e+00,3.116883e+00,3.335629e+00,3.502066e+00,3.542448e+00,3.736834e+00,3.879626e+00,3.918489e+00,4.087286e+00,4.206979e+00,4.243244e+00,4.386496e+00,4.484454e+00,4.517272e+00,4.635874e+00,4.713932e+00,4.742667e+00,4.838058e+00,4.898283e+00,4.922489e+00,4.996425e+00,5.040951e+00,5.060346e+00,5.114739e+00,5.145657e+00,5.160094e+00,5.196900e+00,5.216192e+00,5.225638e+00,5.246781e+00,5.256278e+00,5.260789e+00,5.268112e+00,5.269476e+00,5.269180e+00,5.264413e+00,5.259133e+00,5.254211e+00,5.238959e+00,5.228350e+00,5.219025e+00,5.194758e+00,5.179971e+00,5.166493e+00,5.134549e+00,5.116584e+00,5.099225e+00,5.060809e+00,5.040526e+00,5.019570e+00,4.975764e+00,4.953897e+00,4.929633e+00,4.881404e+00,4.858575e+00,4.831294e+00,4.779505e+00,4.756234e+00,4.726225e+00,4.671636e+00,4.648359e+00,4.615905e+00,4.559188e+00,4.536260e+00,4.501636e+00,4.443384e+00,4.421093e+00,4.384565e+00,4.325297e+00,4.303873e+00,4.265695e+00,4.205864e+00,4.185487e+00,4.145902e+00,4.085900e+00,4.066706e+00,4.025945e+00,3.966114e+00,3.948200e+00,3.906482e+00,3.847115e+00,3.830549e+00,3.788077e+00,3.729426e+00,3.714247e+00,3.671216e+00,3.613495e+00,3.599719e+00,3.556308e+00,3.499697e+00,3.487324e+00,3.443701e+00,3.388352e+00,3.377363e+00,3.333683e+00,3.279722e+00,3.270086e+00,3.226495e+00,3.174024e+00,3.165700e+00,3.122330e+00,3.071432e+00,3.064370e+00,3.021345e+00,2.972084e+00,2.966229e+00,2.923661e+00,2.876086e+00,2.871375e+00,2.829368e+00,2.783515e+00,2.779884e+00,2.738532e+00,2.694424e+00,2.691806e+00,2.651194e+00,2.608845e+00,2.607169e+00,2.567376e+00,2.526789e+00,2.525986e+00,2.487082e+00,2.448254e+00,2.373954e+00,2.303057e+00,2.235524e+00,2.171307e+00,2.110349e+00,2.052589e+00,1.997959e+00,1.946386e+00,1.897793e+00,1.852101e+00,1.809225e+00,1.769082e+00,1.731582e+00,1.696639e+00,1.664160e+00,1.634056e+00,1.606235e+00,1.580603e+00,1.557070e+00,1.535543e+00,1.515930e+00,1.498140e+00,1.482082e+00,1.467667e+00,1.454805e+00,1.443410e+00,1.433395e+00,1.424677e+00,1.417172e+00,1.410799e+00,1.405481e+00,1.401139e+00,1.397700e+00,1.395092e+00,1.393245e+00,1.392093e+00,1.391569e+00,1.391614e+00,1.392167e+00,1.393172e+00,1.394577e+00,1.396330e+00,1.398384e+00,1.400693e+00,1.403215e+00,1.405911e+00,1.408744e+00,1.411680e+00,1.414687e+00
0.000000e+00,1.878283e-08,3.471018e-07,3.641446e-07,2.589987e-06,8.786888e-06,9.136200e-06,1.904963e-05,2.883478e-05,2.944835e-05,3.936027e-05,4.790779e-05,4.862467e-05,5.723566e-05,6.444658e-05,6.521725e-05,7.259886e-05,7.862187e-05,7.941006e-05,8.567965e-05,9.065961e-05,9.143553e-05,9.670476e-05,1.007741e-04,1.015136e-04,1.058874e-04,1.091667e-04,1.098509e-04,1.134279e-04,1.160267e-04,1.166413e-04,1.195133e-04,1.215300e-04,1.220648e-04,1.243154e-04,1.258362e-04,1.262838e-04,1.279882e-04,1.290894e-04,1.294454e-04,1.306719e-04,1.314214e-04,1.316840e-04,1.324962e-04,1.329532e-04,1.331223e-04,1.335752e-04,1.337905e-04,1.338672e-04,1.340095e-04,1.340268e-04,1.340131e-04,1.338882e-04,1.337452e-04,1.336443e-04,1.332904e-04,1.330196e-04,1.328352e-04,1.322865e-04,1.319156e-04,1.316519e-04,1.309383e-04,1.304910e-04,1.301526e-04,1.293008e-04,1.287972e-04,1.283889e-04,1.274223e-04,1.268794e-04,1.264062e-04,1.253453e-04,1.247775e-04,1.242443e-04,1.231073e-04,1.225266e-04,1.219384e-04,1.207411e-04,1.201575e-04,1.195191e-04,1.182756e-04,1.176972e-04,1.170135e-04,1.157358e-04,1.151693e-04,1.144450e-04,1.131437e-04,1.125945e-04,1.118340e-04,1.105183e-04,1.099907e-04,1.091984e-04,1.078762e-04,1.073735e-04,1.065534e-04,1.052316e-04,1.047563e-04,1.039123e-04,1.025968e-04,1.021507e-04,1.012865e-04,9.998239e-05,9.956659e-05,9.868566e-05,9.739726e-05,9.701250e-05,9.611810e-05,9.484900e-05,9.449556e-05,9.359072e-05,9.234396e-05,9.202177e-05,9.110935e-05,8.988745e-05,8.959614e-05,8.867878e-05,8.748380e-05,8.722279e-05,8.630293e-05,8.513654e-05,8.490503e-05,8.398496e-05,8.284847e-05,8.264552e-05,8.172732e-05,8.062174e-05,8.044630e-05,7.953189e-05,7.845794e-05,7.830886e-05,7.740001e-05,7.635820e-05,7.623427e-05,7.533259e-05,7.432322e-05,7.422318e-05,7.333012e-05,7.235332e-05,7.227588e-05,7.139280e-05,7.044854e-05,7.039240e-05,6.952049e-05,6.860861e-05,6.857247e-05,6.771283e-05,6.683306e-05,6.681562e-05,6.596921e-05,6.512119e-05,6.348833e-05,6.191608e-05,6.040338e-05,5.894904e-05,5.755183e-05,5.621045e-05,5.492353e-05,5.368969e-05,5.250751e-05,5.137557e-05,5.029242e-05,4.925663e-05,4.826676e-05,4.732138e-05,4.641907e-05,4.555843e-05,4.473808e-05,4.395667e-05,4.321285e-05,4.250532e-05,4.183279e-05,4.119401e-05,4.058776e-05,4.001283e-05,3.946806e-05,3.895231e-05,3.846448e-05,3.800348e-05,3.756827e-05,3.715784e-05,3.677118e-05,3.640736e-05,3.606542e-05,3.574448e-05,3.544365e-05,3.516209e-05,3.489897e-05,3.465350e-05,3.442491e-05,3.421245e-05,3.401541e-05,3.383307e-05,3.366478e-05,3.350987e-05,3.336772e-05,3.323772e-05,3.311928e-05,3.301184e-05,3.291483e-05
0.000000e+00,2.598293e-08,4.302134e-07,4.501571e-07,2.923525e-06,1.000563e-05,1.043232e-05,2.416511e-05,3.992849e-05,4.094406e-05,5.724370e-05,7.075843e-05,7.185971e-05,8.464664e-05,9.468231e-05,9.571654e-05,1.052298e-04,1.124407e-04,1.133459e-04,1.202122e-04,1.252201e-04,1.259627e-04,1.307196e-04,1.340290e-04,1.345937e-04,1.376827e-04,1.396929e-04,1.400762e-04,1.418547e-04,1.428841e-04,1.430913e-04,1.438513e-04,1.441513e-04,1.441935e-04,1.441704e-04,1.439376e-04,1.438290e-04,1.432112e-04,1.425982e-04,1.423544e-04,1.412918e-04,1.404160e-04,1.400530e-04,1.386642e-04,1.376153e-04,1.371486e-04,1.355270e-04,1.343731e-04,1.338175e-04,1.320363e-04,1.308283e-04,1.301975e-04,1.283136e-04,1.270895e-04,1.263958e-04,1.244536e-04,1.232410e-04,1.224956e-04,1.205291e-04,1.193479e-04,1.185607e-04,1.165960e-04,1.154600e-04,1.146398e-04,1.126964e-04,1.116150e-04,1.107694e-04,1.088619e-04,1.078410e-04,1.069767e-04,1.051159e-04,1.041585e-04,1.032814e-04,1.014747e-04,1.005823e-04,9.969729e-05,9.795004e-05,9.712233e-05,9.623380e-05,9.454920e-05,9.378504e-05,9.289670e-05,9.127659e-05,9.057406e-05,8.968906e-05,8.813418e-05,8.749085e-05,8.661190e-05,8.512210e-05,8.453524e-05,8.366460e-05,8.223913e-05,8.170579e-05,8.084539e-05,7.948301e-05,7.900015e-05,7.815160e-05,7.685072e-05,7.641530e-05,7.557993e-05,7.433873e-05,7.394772e-05,7.312664e-05,7.194312e-05,7.159357e-05,7.078767e-05,6.965974e-05,6.934878e-05,6.855881e-05,6.748431e-05,6.720921e-05,6.643572e-05,6.541248e-05,6.517062e-05,6.441406e-05,6.343991e-05,6.322880e-05,6.248950e-05,6.156230e-05,6.137960e-05,6.065779e-05,5.977545e-05,5.961894e-05,5.891477e-05,5.807524e-05,5.794284e-05,5.725637e-05,5.645767e-05,5.634743e-05,5.567866e-05,5.491888e-05,5.482897e-05,5.417786e-05,5.345515e-05,5.338387e-05,5.275032e-05,5.206291e-05,5.200866e-05,5.139252e-05,5.073873e-05,5.070002e-05,5.010112e-05,4.947931e-05,4.945476e-05,4.887290e-05,4.828152e-05,4.826984e-05,4.770479e-05,4.714235e-05,4.606951e-05,4.504866e-05,4.407728e-05,4.315296e-05,4.227340e-05,4.143643e-05,4.063996e-05,3.988201e-05,3.916070e-05,3.847424e-05,3.782092e-05,3.719913e-05,3.660733e-05,3.604404e-05,3.550788e-05,3.499752e-05,3.451171e-05,3.404924e-05,3.360898e-05,3.318985e-05,3.279082e-05,3.241090e-05,3.204918e-05,3.170476e-05,3.137681e-05,3.106453e-05,3.076716e-05,3.048397e-05,3.021428e-05,2.995744e-05,2.971282e-05,2.947984e-05,2.925794e-05,2.904658e-05,2.884525e-05,2.865347e-05,2.847078e-05,2.829675e-05,2.813096e-05,2.797302e-05,2.782255e-05,2.767919e-05,2.754260e-05,2.741246e-05,2.728847e-05,2.717033e-05,2.705775e-05,2.695049e-05,2.684828e-05
0.000000e+00,4.787809e-09,5.873206e-08,6.122884e-08,3.627242e-07,1.262898e-06,1.319404e-06,3.284578e-06,5.903704e-06,6.085032e-06,9.178237e-06,1.199550e-05,1.223573e-05,1.515949e-05,1.765849e-05,1.792829e-05,2.054055e-05,2.271258e-05,2.299976e-05,2.531070e-05,2.718360e-05,2.747873e-05,2.950939e-05,3.111305e-05,3.140823e-05,3.318081e-05,3.454393e-05,3.483258e-05,3.636888e-05,3.751828e-05,3.779491e-05,3.911573e-05,4.007608e-05,4.033623e-05,4.146111e-05,4.225487e-05,4.249492e-05,4.344204e-05,4.408958e-05,4.430667e-05,4.509286e-05,4.561253e-05,4.580448e-05,4.644526e-05,4.685357e-05,4.701877e-05,4.752843e-05,4.784021e-05,4.797753e-05,4.836920e-05,4.859771e-05,4.870646e-05,4.899218e-05,4.914929e-05,4.922914e-05,4.941996e-05,4.951622e-05,4.956718e-05,4.967320e-05,4.971801e-05,4.974034e-05,4.977080e-05,4.977250e-05,4.976670e-05,4.973005e-05,4.969603e-05,4.966277e-05,4.956670e-05,4.950348e-05,4.944361e-05,4.929515e-05,4.920847e-05,4.912295e-05,4.892851e-05,4.882341e-05,4.871329e-05,4.847869e-05,4.835959e-05,4.822603e-05,4.795656e-05,4.782729e-05,4.767149e-05,4.737196e-05,4.723587e-05,4.705906e-05,4.673383e-05,4.659380e-05,4.639726e-05,4.605029e-05,4.590879e-05,4.569381e-05,4.532866e-05,4.518781e-05,4.495566e-05,4.457558e-05,4.443716e-05,4.418914e-05,4.379703e-05,4.366254e-05,4.339991e-05,4.299841e-05,4.286910e-05,4.259310e-05,4.218456e-05,4.206144e-05,4.177330e-05,4.135984e-05,4.124374e-05,4.094465e-05,4.052816e-05,4.041972e-05,4.011082e-05,3.969301e-05,3.959271e-05,3.927512e-05,3.885750e-05,3.876569e-05,3.844048e-05,3.802439e-05,3.794131e-05,3.760951e-05,3.719613e-05,3.712190e-05,3.678451e-05,3.637490e-05,3.630956e-05,3.596752e-05,3.556259e-05,3.550611e-05,3.516031e-05,3.476087e-05,3.471314e-05,3.436445e-05,3.397120e-05,3.393206e-05,3.358129e-05,3.319484e-05,3.316408e-05,3.281199e-05,3.243286e-05,3.241024e-05,3.205756e-05,3.168618e-05,3.167141e-05,3.131882e-05,3.095557e-05,3.094834e-05,3.059649e-05,3.024164e-05,2.955182e-05,2.887926e-05,2.822429e-05,2.758713e-05,2.696792e-05,2.636677e-05,2.578367e-05,2.521859e-05,2.467146e-05,2.414215e-05,2.363049e-05,2.313629e-05,2.265933e-05,2.219936e-05,2.175611e-05,2.132928e-05,2.091857e-05,2.052367e-05,2.014423e-05,1.977991e-05,1.943038e-05,1.909527e-05,1.877423e-05,1.846690e-05,1.817291e-05,1.789190e-05,1.762351e-05,1.736737e-05,1.712313e-05,1.689042e-05,1.666890e-05,1.645822e-05,1.625802e-05,1.606796e-05,1.588772e-05,1.571696e-05,1.555535e-05,1.540257e-05,1.525832e-05,1.512228e-05,1.499415e-05,1.487364e-05,1.476046e-05,1.465433e-05,1.455497e-05,1.446211e-05,1.437550e-05,1.429487e-05,1.421998e-05
0.000000e+00,5.874289e-08,8.253893e-07,8.604822e-07,4.947428e-06,1.670182e-05,1.743440e-05,4.321710e-05,7.977016e-05,8.241705e-05,1.294763e-04,1.739767e-04,1.777818e-04,2.237485e-04,2.621723e-04,2.662598e-04,3.051483e-04,3.364571e-04,3.405221e-04,3.725621e-04,3.976012e-04,4.014664e-04,4.274329e-04,4.471157e-04,4.506544e-04,4.713166e-04,4.864743e-04,4.895966e-04,5.056629e-04,5.170294e-04,5.196748e-04,5.317829e-04,5.399967e-04,5.421284e-04,5.508444e-04,5.564557e-04,5.580554e-04,5.638784e-04,5.673582e-04,5.684224e-04,5.717895e-04,5.735390e-04,5.740753e-04,5.753692e-04,5.757295e-04,5.757544e-04,5.753084e-04,5.745675e-04,5.741037e-04,5.722078e-04,5.706084e-04,5.696833e-04,5.665888e-04,5.643344e-04,5.629786e-04,5.589032e-04,5.561636e-04,5.544096e-04,5.495414e-04,5.464576e-04,5.443390e-04,5.388400e-04,5.355284e-04,5.330791e-04,5.270887e-04,5.236449e-04,5.208984e-04,5.145359e-04,5.110377e-04,5.080268e-04,5.013944e-04,4.979042e-04,4.946606e-04,4.878453e-04,4.844130e-04,4.809670e-04,4.740427e-04,4.707072e-04,4.670877e-04,4.601166e-04,4.569080e-04,4.531422e-04,4.461767e-04,4.431174e-04,4.392308e-04,4.323145e-04,4.294207e-04,4.254369e-04,4.186062e-04,4.158888e-04,4.118298e-04,4.051144e-04,4.025798e-04,3.984659e-04,3.918899e-04,3.895412e-04,3.853911e-04,3.789738e-04,3.768111e-04,3.726417e-04,3.663983e-04,3.644196e-04,3.602463e-04,3.541883e-04,3.523896e-04,3.482265e-04,3.423625e-04,3.407383e-04,3.365979e-04,3.309338e-04,3.294778e-04,3.253713e-04,3.199109e-04,3.186157e-04,3.145532e-04,3.092984e-04,3.081562e-04,3.041466e-04,2.990976e-04,2.981001e-04,2.941512e-04,2.893071e-04,2.884459e-04,2.845646e-04,2.799231e-04,2.791898e-04,2.753819e-04,2.709401e-04,2.703261e-04,2.665968e-04,2.623509e-04,2.618479e-04,2.582014e-04,2.541471e-04,2.537468e-04,2.501868e-04,2.463192e-04,2.460138e-04,2.425431e-04,2.388571e-04,2.386388e-04,2.352599e-04,2.317500e-04,2.316114e-04,2.283260e-04,2.249866e-04,2.249207e-04,2.217303e-04,2.185556e-04,2.125048e-04,2.067569e-04,2.013005e-04,1.961243e-04,1.912171e-04,1.865680e-04,1.821662e-04,1.780011e-04,1.740625e-04,1.703403e-04,1.668249e-04,1.635069e-04,1.603773e-04,1.574271e-04,1.546481e-04,1.520321e-04,1.495711e-04,1.472578e-04,1.450850e-04,1.430456e-04,1.411330e-04,1.393410e-04,1.376635e-04,1.360945e-04,1.346286e-04,1.332605e-04,1.319850e-04,1.307974e-04,1.296930e-04,1.286674e-04,1.277165e-04,1.268361e-04,1.260226e-04,1.252722e-04,1.245814e-04,1.239471e-04,1.233660e-04,1.228352e-04,1.223517e-04,1.219130e-04,1.215164e-04,1.211595e-04,1.208400e-04,1.205556e-04,1.203043e-04,1.200840e-04,1.198929e-04,1.197291e-04,1.195910e-04
0.000000e+00,1.360544e-07,3.517860e-06,3.707045e-06,3.216094e-05,1.331880e-04,1.397869e-04,3.736780e-04,6.925882e-04,7.151129e-04,1.109875e-03,1.481429e-03,1.513264e-03,1.897234e-03,2.213225e-03,2.246308e-03,2.553303e-03,2.786990e-03,2.816232e-03,3.036217e-03,3.193221e-03,3.216131e-03,3.359719e-03,3.455234e-03,3.471048e-03,3.554166e-03,3.603975e-03,3.612914e-03,3.650813e-03,3.668259e-03,3.671026e-03,3.676348e-03,3.671740e-03,3.669215e-03,3.651732e-03,3.632646e-03,3.625707e-03,3.592680e-03,3.564507e-03,3.553956e-03,3.510640e-03,3.477137e-03,3.463662e-03,3.413803e-03,3.377544e-03,3.361720e-03,3.307959e-03,3.270682e-03,3.252981e-03,3.197167e-03,3.160030e-03,3.140838e-03,3.084259e-03,3.048022e-03,3.027653e-03,2.971203e-03,2.936352e-03,2.915064e-03,2.859362e-03,2.826194e-03,2.804200e-03,2.749667e-03,2.718354e-03,2.695832e-03,2.642753e-03,2.613376e-03,2.590476e-03,2.539038e-03,2.511622e-03,2.488469e-03,2.438792e-03,2.413317e-03,2.390022e-03,2.342171e-03,2.318593e-03,2.295248e-03,2.249256e-03,2.227512e-03,2.204197e-03,2.160069e-03,2.140082e-03,2.116869e-03,2.074591e-03,2.056279e-03,2.033229e-03,1.992774e-03,1.976051e-03,1.953217e-03,1.914547e-03,1.899325e-03,1.876754e-03,1.839825e-03,1.826017e-03,1.803749e-03,1.768513e-03,1.756031e-03,1.734103e-03,1.700506e-03,1.689265e-03,1.667708e-03,1.635696e-03,1.625616e-03,1.604456e-03,1.573973e-03,1.564974e-03,1.544234e-03,1.515225e-03,1.507232e-03,1.486932e-03,1.459341e-03,1.452281e-03,1.432438e-03,1.406210e-03,1.400014e-03,1.380642e-03,1.355722e-03,1.350325e-03,1.331436e-03,1.307772e-03,1.303112e-03,1.284715e-03,1.262254e-03,1.258274e-03,1.240376e-03,1.219068e-03,1.215711e-03,1.198318e-03,1.178115e-03,1.175329e-03,1.158445e-03,1.139299e-03,1.137036e-03,1.120663e-03,1.102527e-03,1.100741e-03,1.084881e-03,1.067712e-03,1.066359e-03,1.051011e-03,1.034767e-03,1.033806e-03,1.018969e-03,1.003608e-03,1.003003e-03,9.886744e-04,9.741576e-04,9.738714e-04,9.600485e-04,9.463378e-04,9.203306e-04,8.957812e-04,8.726239e-04,8.507954e-04,8.302350e-04,8.108848e-04,7.926888e-04,7.755937e-04,7.595481e-04,7.445031e-04,7.304114e-04,7.172280e-04,7.049098e-04,6.934152e-04,6.827047e-04,6.727403e-04,6.634856e-04,6.549058e-04,6.469674e-04,6.396385e-04,6.328885e-04,6.266881e-04,6.210092e-04,6.158248e-04,6.111093e-04,6.068380e-04,6.029872e-04,5.995343e-04,5.964578e-04,5.937368e-04,5.913516e-04,5.892831e-04,5.875132e-04,5.860245e-04,5.848004e-04,5.838249e-04,5.830828e-04,5.825596e-04,5.822414e-04,5.821148e-04,5.821672e-04,5.823865e-04,5.827610e-04,5.832797e-04,5.839321e-04,5.847081e-04,5.855981e-04,5.865930e-04,5.876840e-04
0.000000e+00,2.954797e-08,4.239222e-07,4.428972e-07,2.891454e-06,1.075595e-05,1.125833e-05,2.849540e-05,4.980918e-05,5.121861e-05,7.437463e-05,9.440390e-05,9.607400e-05,1.159546e-04,1.322969e-04,1.340248e-04,1.503742e-04,1.634218e-04,1.651081e-04,1.783324e-04,1.885760e-04,1.901494e-04,2.006571e-04,2.085406e-04,2.099493e-04,2.181148e-04,2.240290e-04,2.252378e-04,2.313976e-04,2.356822e-04,2.366688e-04,2.411214e-04,2.440685e-04,2.448210e-04,2.478289e-04,2.496875e-04,2.502022e-04,2.519937e-04,2.529737e-04,2.532523e-04,2.540236e-04,2.543014e-04,2.543506e-04,2.542729e-04,2.539976e-04,2.538275e-04,2.530490e-04,2.523458e-04,2.519694e-04,2.506184e-04,2.495916e-04,2.490236e-04,2.472107e-04,2.459475e-04,2.452045e-04,2.430272e-04,2.415999e-04,2.406983e-04,2.382362e-04,2.367018e-04,2.356574e-04,2.329774e-04,2.313823e-04,2.302104e-04,2.273695e-04,2.257508e-04,2.244667e-04,2.215128e-04,2.199001e-04,2.185180e-04,2.154915e-04,2.139080e-04,2.124417e-04,2.093763e-04,2.078400e-04,2.063024e-04,2.032263e-04,2.017507e-04,2.001538e-04,1.970903e-04,1.956853e-04,1.940404e-04,1.910085e-04,1.896811e-04,1.879984e-04,1.850136e-04,1.837683e-04,1.820572e-04,1.791321e-04,1.779713e-04,1.762406e-04,1.733850e-04,1.723097e-04,1.705672e-04,1.677888e-04,1.667985e-04,1.650513e-04,1.623560e-04,1.614493e-04,1.597038e-04,1.570957e-04,1.562705e-04,1.545324e-04,1.520144e-04,1.512679e-04,1.495422e-04,1.471162e-04,1.464451e-04,1.447364e-04,1.424030e-04,1.418040e-04,1.401161e-04,1.378755e-04,1.373446e-04,1.356811e-04,1.335327e-04,1.330662e-04,1.314300e-04,1.293726e-04,1.289666e-04,1.273602e-04,1.253924e-04,1.250429e-04,1.234686e-04,1.215884e-04,1.212915e-04,1.197511e-04,1.179564e-04,1.177085e-04,1.162035e-04,1.144918e-04,1.142892e-04,1.128208e-04,1.111897e-04,1.110288e-04,1.095980e-04,1.080449e-04,1.079223e-04,1.065298e-04,1.050520e-04,1.049645e-04,1.036108e-04,1.022056e-04,1.021501e-04,1.008355e-04,9.950004e-05,9.947368e-05,9.819842e-05,9.692997e-05,9.451366e-05,9.221950e-05,9.004236e-05,8.797718e-05,8.601905e-05,8.416319e-05,8.240496e-05,8.073986e-05,7.916356e-05,7.767188e-05,7.626077e-05,7.492637e-05,7.366496e-05,7.247298e-05,7.134700e-05,7.028375e-05,6.928011e-05,6.833308e-05,6.743980e-05,6.659756e-05,6.580376e-05,6.505590e-05,6.435164e-05,6.368871e-05,6.306497e-05,6.247840e-05,6.192703e-05,6.140903e-05,6.092264e-05,6.046618e-05,6.003808e-05,5.963682e-05,5.926098e-05,5.890918e-05,5.858013e-05,5.827261e-05,5.798546e-05,5.771755e-05,5.746785e-05,5.723535e-05,5.701911e-05,5.681823e-05,5.663186e-05,5.645918e-05,5.629944e-05,5.615190e-05,5.601587e-05,5.589071e-05,5.577579e-05
0.000000e+00,1.074833e-06,2.758173e-05,2.907714e-05,2.649118e-04,1.171578e-03,1.232692e-03,3.473138e-03,6.740229e-03,6.981234e-03,1.145577e-02,1.616205e-02,1.659086e-02,2.213353e-02,2.730382e-02,2.788337e-02,3.368433e-02,3.873563e-02,3.941666e-02,4.499002e-02,4.960469e-02,5.033786e-02,5.541282e-02,5.944111e-02,6.018288e-02,6.462827e-02,6.802386e-02,6.873886e-02,7.251206e-02,7.528970e-02,7.595108e-02,7.906349e-02,8.127129e-02,8.186007e-02,8.435390e-02,8.605566e-02,8.655956e-02,8.849260e-02,8.975694e-02,9.016902e-02,9.160496e-02,9.249889e-02,9.281635e-02,9.381879e-02,9.440426e-02,9.462734e-02,9.525643e-02,9.558875e-02,9.571981e-02,9.603049e-02,9.615789e-02,9.620075e-02,9.624211e-02,9.620594e-02,9.616534e-02,9.598055e-02,9.581587e-02,9.569711e-02,9.532379e-02,9.506007e-02,9.486873e-02,9.433948e-02,9.400131e-02,9.374306e-02,9.308599e-02,9.269380e-02,9.237430e-02,9.161361e-02,9.118430e-02,9.080909e-02,8.996558e-02,8.951303e-02,8.908752e-02,8.817905e-02,8.771462e-02,8.724400e-02,8.628593e-02,8.581884e-02,8.530810e-02,8.431357e-02,8.385126e-02,8.330515e-02,8.228544e-02,8.183382e-02,8.125685e-02,8.022161e-02,7.978532e-02,7.918177e-02,7.813923e-02,7.772186e-02,7.709575e-02,7.605293e-02,7.565715e-02,7.501227e-02,7.397514e-02,7.360288e-02,7.294279e-02,7.191637e-02,7.156893e-02,7.089695e-02,6.988550e-02,6.956367e-02,6.888290e-02,6.788996e-02,6.759407e-02,6.690740e-02,6.593591e-02,6.566596e-02,6.497609e-02,6.402847e-02,6.378416e-02,6.309357e-02,6.217181e-02,6.195259e-02,6.126360e-02,6.036928e-02,6.017443e-02,5.948917e-02,5.862354e-02,5.845217e-02,5.777262e-02,5.693663e-02,5.678775e-02,5.611573e-02,5.531008e-02,5.518260e-02,5.451979e-02,5.374497e-02,5.363773e-02,5.298567e-02,5.224197e-02,5.215377e-02,5.151388e-02,5.080142e-02,5.073104e-02,5.010459e-02,4.942337e-02,4.936955e-02,4.875772e-02,4.810761e-02,4.806909e-02,4.747296e-02,4.685371e-02,4.682926e-02,4.624979e-02,4.566109e-02,4.564947e-02,4.508751e-02,4.452895e-02,4.346681e-02,4.246204e-02,4.151351e-02,4.062000e-02,3.978021e-02,3.899279e-02,3.825630e-02,3.756926e-02,3.693011e-02,3.633730e-02,3.578918e-02,3.528412e-02,3.482045e-02,3.439645e-02,3.401044e-02,3.366068e-02,3.334545e-02,3.306303e-02,3.281170e-02,3.258974e-02,3.239545e-02,3.222715e-02,3.208319e-02,3.196193e-02,3.186179e-02,3.178119e-02,3.171861e-02,3.167257e-02,3.164163e-02,3.162442e-02,3.161959e-02,3.162586e-02,3.164202e-02,3.166689e-02,3.169936e-02,3.173838e-02,3.178297e-02,3.183220e-02,3.188521e-02,3.194117e-02,3.199936e-02,3.205908e-02,3.211969e-02,3.218064e-02,3.224138e-02,3.230147e-02,3.236048e-02,3.241804e-02,3.247384e-02
0.000000e+00,4.133517e-10,6.327792e-09,6.622853e-09,4.446829e-08,1.545000e-07,1.609912e-07,3.564148e-07,5.604658e-07,5.733748e-07,7.819693e-07,9.608098e-07,9.757363e-07,1.153964e-06,1.301509e-06,1.317176e-06,1.466158e-06,1.586141e-06,1.601727e-06,1.724683e-06,1.820923e-06,1.835793e-06,1.935796e-06,2.011734e-06,2.025401e-06,2.105289e-06,2.164007e-06,2.176115e-06,2.238497e-06,2.282722e-06,2.293028e-06,2.340268e-06,2.372397e-06,2.380748e-06,2.414968e-06,2.437077e-06,2.443395e-06,2.466473e-06,2.480350e-06,2.484613e-06,2.498204e-06,2.505377e-06,2.507608e-06,2.513162e-06,2.514930e-06,2.515184e-06,2.513968e-06,2.511433e-06,2.509790e-06,2.502905e-06,2.496996e-06,2.493554e-06,2.481959e-06,2.473456e-06,2.468327e-06,2.452850e-06,2.442407e-06,2.435708e-06,2.417068e-06,2.405229e-06,2.397084e-06,2.375900e-06,2.363116e-06,2.353649e-06,2.330454e-06,2.317096e-06,2.306431e-06,2.281684e-06,2.268056e-06,2.256313e-06,2.230408e-06,2.216755e-06,2.204053e-06,2.177326e-06,2.163845e-06,2.150297e-06,2.123033e-06,2.109880e-06,2.095594e-06,2.068035e-06,2.055333e-06,2.040409e-06,2.012763e-06,2.000603e-06,1.985138e-06,1.957575e-06,1.946025e-06,1.930109e-06,1.902774e-06,1.891883e-06,1.875598e-06,1.848610e-06,1.838409e-06,1.821833e-06,1.795290e-06,1.785796e-06,1.769001e-06,1.742984e-06,1.734202e-06,1.717254e-06,1.691825e-06,1.683754e-06,1.666711e-06,1.641923e-06,1.634551e-06,1.617469e-06,1.593359e-06,1.586671e-06,1.569600e-06,1.546197e-06,1.540171e-06,1.523155e-06,1.500480e-06,1.495093e-06,1.478173e-06,1.456238e-06,1.451462e-06,1.434676e-06,1.413488e-06,1.409295e-06,1.392674e-06,1.372235e-06,1.368595e-06,1.352169e-06,1.332475e-06,1.329358e-06,1.313152e-06,1.294197e-06,1.291573e-06,1.275609e-06,1.257384e-06,1.255222e-06,1.239520e-06,1.222013e-06,1.220282e-06,1.204860e-06,1.188056e-06,1.186727e-06,1.171599e-06,1.155484e-06,1.154528e-06,1.139707e-06,1.124263e-06,1.123652e-06,1.109147e-06,1.094357e-06,1.094064e-06,1.079885e-06,1.065729e-06,1.038610e-06,1.012670e-06,9.878697e-07,9.641718e-07,9.415381e-07,9.199309e-07,8.993129e-07,8.796473e-07,8.608983e-07,8.430305e-07,8.260093e-07,8.098012e-07,7.943734e-07,7.796940e-07,7.657323e-07,7.524584e-07,7.398433e-07,7.278592e-07,7.164791e-07,7.056770e-07,6.954277e-07,6.857070e-07,6.764917e-07,6.677593e-07,6.594884e-07,6.516582e-07,6.442488e-07,6.372410e-07,6.306166e-07,6.243579e-07,6.184479e-07,6.128705e-07,6.076102e-07,6.026519e-07,5.979814e-07,5.935850e-07,5.894496e-07,5.855626e-07,5.819120e-07,5.784861e-07,5.752741e-07,5.722654e-07,5.694497e-07,5.668175e-07,5.643595e-07,5.620668e-07,5.599310e-07,5.579441e-07,5.560981e-07
0.000000e+00,2.299355e-07,4.430995e-06,4.644346e-06,3.386202e-05,1.373145e-04,1.443171e-04,4.154281e-04,8.533043e-04,8.868412e-04,1.519820e-03,2.179709e-03,2.238693e-03,2.977659e-03,3.622791e-03,3.692288e-03,4.356067e-03,4.886801e-03,4.955000e-03,5.483308e-03,5.880606e-03,5.940378e-03,6.328720e-03,6.604901e-03,6.652595e-03,6.917168e-03,7.093748e-03,7.127976e-03,7.290566e-03,7.389526e-03,7.410287e-03,7.492163e-03,7.532752e-03,7.540832e-03,7.560519e-03,7.558460e-03,7.555040e-03,7.527817e-03,7.495481e-03,7.481902e-03,7.420003e-03,7.366897e-03,7.344519e-03,7.257565e-03,7.190881e-03,7.161006e-03,7.056480e-03,6.981593e-03,6.945426e-03,6.829103e-03,6.749985e-03,6.708615e-03,6.584928e-03,6.504483e-03,6.458884e-03,6.331217e-03,6.251533e-03,6.202567e-03,6.073488e-03,5.996037e-03,5.944461e-03,5.815905e-03,5.741701e-03,5.688176e-03,5.561584e-03,5.491289e-03,5.436393e-03,5.312826e-03,5.246843e-03,5.191073e-03,5.071295e-03,5.009835e-03,4.953622e-03,4.838164e-03,4.781294e-03,4.725009e-03,4.614226e-03,4.561908e-03,4.505867e-03,4.399973e-03,4.352097e-03,4.296570e-03,4.195673e-03,4.152075e-03,4.097289e-03,4.001416e-03,3.961896e-03,3.908044e-03,3.817157e-03,3.781494e-03,3.728736e-03,3.642753e-03,3.610713e-03,3.559180e-03,3.477983e-03,3.449327e-03,3.399126e-03,3.322570e-03,3.297059e-03,3.248276e-03,3.176202e-03,3.153599e-03,3.106303e-03,3.038536e-03,3.018615e-03,2.972856e-03,2.909217e-03,2.891757e-03,2.847572e-03,2.787877e-03,2.772670e-03,2.730085e-03,2.674150e-03,2.660996e-03,2.620026e-03,2.567667e-03,2.556381e-03,2.517029e-03,2.468068e-03,2.458473e-03,2.420738e-03,2.374998e-03,2.366930e-03,2.330804e-03,2.288115e-03,2.281422e-03,2.246889e-03,2.207086e-03,2.201625e-03,2.168666e-03,2.131590e-03,2.127230e-03,2.095821e-03,2.061321e-03,2.057939e-03,2.028053e-03,1.995982e-03,1.993467e-03,1.965074e-03,1.935293e-03,1.933542e-03,1.906608e-03,1.878986e-03,1.877902e-03,1.852394e-03,1.826804e-03,1.826302e-03,1.802183e-03,1.778504e-03,1.734285e-03,1.693432e-03,1.655745e-03,1.621030e-03,1.589109e-03,1.559808e-03,1.532966e-03,1.508430e-03,1.486054e-03,1.465701e-03,1.447241e-03,1.430551e-03,1.415517e-03,1.402027e-03,1.389980e-03,1.379276e-03,1.369825e-03,1.361538e-03,1.354334e-03,1.348135e-03,1.342868e-03,1.338464e-03,1.334858e-03,1.331988e-03,1.329796e-03,1.328229e-03,1.327234e-03,1.326764e-03,1.326774e-03,1.327219e-03,1.328061e-03,1.329261e-03,1.330784e-03,1.332597e-03,1.334669e-03,1.336971e-03,1.339476e-03,1.342158e-03,1.344994e-03,1.347961e-03,1.351039e-03,1.354209e-03,1.357454e-03,1.360756e-03,1.364102e-03,1.367476e-03,1.370866e-03,1.374261e-03,1.377649e-03
0.000000e+00,3.904647e-04,9.265041e-03,9.753208e-03,8.493616e-02,3.783816e-01,3.986587e-01,1.184722e+00,2.439888e+00,2.536127e+00,4.389062e+00,6.444840e+00,6.636683e+00,9.176613e+00,1.163869e+01,1.191993e+01,1.479147e+01,1.737444e+01,1.772854e+01,2.067929e+01,2.319530e+01,2.360129e+01,2.646026e+01,2.879290e+01,2.922886e+01,3.188577e+01,3.396957e+01,3.441477e+01,3.680398e+01,3.860907e+01,3.904518e+01,4.113320e+01,4.265377e+01,4.306545e+01,4.484145e+01,4.608741e+01,4.646243e+01,4.793103e+01,4.892186e+01,4.925100e+01,5.042695e+01,5.118739e+01,5.146414e+01,5.236835e+01,5.292542e+01,5.314567e+01,5.380240e+01,5.418338e+01,5.434498e+01,5.477985e+01,5.501098e+01,5.511343e+01,5.535205e+01,5.545778e+01,5.550187e+01,5.556891e+01,5.557146e+01,5.555898e+01,5.547767e+01,5.539687e+01,5.533036e+01,5.512216e+01,5.497545e+01,5.485797e+01,5.454243e+01,5.434495e+01,5.417994e+01,5.377467e+01,5.353944e+01,5.333056e+01,5.285130e+01,5.258937e+01,5.234040e+01,5.180112e+01,5.152181e+01,5.123655e+01,5.064957e+01,5.036067e+01,5.004289e+01,4.941902e+01,4.912692e+01,4.878032e+01,4.812900e+01,4.783895e+01,4.746710e+01,4.679654e+01,4.651275e+01,4.611908e+01,4.543637e+01,4.516217e+01,4.474995e+01,4.406122e+01,4.379918e+01,4.337151e+01,4.268202e+01,4.243407e+01,4.199386e+01,4.130808e+01,4.107563e+01,4.062562e+01,3.994735e+01,3.973132e+01,3.927407e+01,3.860651e+01,3.840746e+01,3.794533e+01,3.729115e+01,3.710931e+01,3.664451e+01,3.600592e+01,3.584126e+01,3.537582e+01,3.475462e+01,3.460690e+01,3.414269e+01,3.354033e+01,3.340913e+01,3.294785e+01,3.236548e+01,3.225024e+01,3.179345e+01,3.123194e+01,3.113200e+01,3.068112e+01,3.014111e+01,3.005572e+01,2.961203e+01,2.909396e+01,2.902232e+01,2.858697e+01,2.809110e+01,2.803235e+01,2.760639e+01,2.713283e+01,2.708609e+01,2.667043e+01,2.621916e+01,2.618354e+01,2.577900e+01,2.534989e+01,2.532450e+01,2.493179e+01,2.452462e+01,2.450856e+01,2.412830e+01,2.374276e+01,2.373515e+01,2.336789e+01,2.300359e+01,2.231305e+01,2.166261e+01,2.105126e+01,2.047795e+01,1.994153e+01,1.944083e+01,1.897464e+01,1.854172e+01,1.814080e+01,1.777060e+01,1.742984e+01,1.711721e+01,1.683142e+01,1.657117e+01,1.633518e+01,1.612218e+01,1.593090e+01,1.576010e+01,1.560855e+01,1.547505e+01,1.535843e+01,1.525752e+01,1.517123e+01,1.509844e+01,1.503812e+01,1.498924e+01,1.495080e+01,1.492188e+01,1.490155e+01,1.488896e+01,1.488327e+01,1.488370e+01,1.488950e+01,1.489997e+01,1.491445e+01,1.493231e+01,1.495299e+01,1.497594e+01,1.500066e+01,1.502669e+01,1.505361e+01,1.508104e+01,1.510862e+01,1.513605e+01,1.516304e+01,1.518934e+01,1.521473e+01,1.523902e+01,1.526205e+01
0.000000e+00,9.301893e-09,1.285471e-07,1.342341e-07,8.358424e-07,2.913289e-06,3.041734e-06,7.378760e-06,1.283665e-05,1.320286e-05,1.924556e-05,2.444089e-05,2.487103e-05,2.994686e-05,3.405143e-05,3.448154e-05,3.851206e-05,4.167435e-05,4.207928e-05,4.522266e-05,4.761522e-05,4.797915e-05,5.038303e-05,5.215309e-05,5.246604e-05,5.425729e-05,5.552725e-05,5.578355e-05,5.706938e-05,5.794007e-05,5.813721e-05,5.900759e-05,5.956163e-05,5.969941e-05,6.023000e-05,6.053512e-05,6.061504e-05,6.086887e-05,6.097998e-05,6.100459e-05,6.103417e-05,6.099592e-05,6.096854e-05,6.081764e-05,6.066616e-05,6.059054e-05,6.029548e-05,6.005988e-05,5.993997e-05,5.953087e-05,5.923454e-05,5.907439e-05,5.857619e-05,5.823785e-05,5.804142e-05,5.747475e-05,5.710927e-05,5.688043e-05,5.626230e-05,5.588146e-05,5.562386e-05,5.496829e-05,5.458134e-05,5.429844e-05,5.361692e-05,5.323105e-05,5.292607e-05,5.222802e-05,5.184875e-05,5.152467e-05,5.081777e-05,5.044929e-05,5.010886e-05,4.939934e-05,4.904475e-05,4.869046e-05,4.798336e-05,4.764488e-05,4.727904e-05,4.657839e-05,4.625756e-05,4.588223e-05,4.519125e-05,4.488903e-05,4.450610e-05,4.382732e-05,4.354425e-05,4.315540e-05,4.249078e-05,4.222706e-05,4.183382e-05,4.118485e-05,4.094039e-05,4.054413e-05,3.991192e-05,3.968644e-05,3.928839e-05,3.867372e-05,3.846678e-05,3.806804e-05,3.747145e-05,3.728247e-05,3.688402e-05,3.630582e-05,3.613416e-05,3.573687e-05,3.517720e-05,3.502215e-05,3.462680e-05,3.408566e-05,3.394648e-05,3.355375e-05,3.303104e-05,3.290695e-05,3.251746e-05,3.201296e-05,3.190318e-05,3.151747e-05,3.103091e-05,3.093466e-05,3.055320e-05,3.008425e-05,3.000077e-05,2.962397e-05,2.917226e-05,2.910078e-05,2.872902e-05,2.829414e-05,2.823391e-05,2.786751e-05,2.744902e-05,2.739935e-05,2.703857e-05,2.663603e-05,2.659621e-05,2.624129e-05,2.585424e-05,2.582361e-05,2.547476e-05,2.510274e-05,2.508065e-05,2.473805e-05,2.438057e-05,2.436642e-05,2.403021e-05,2.368682e-05,2.368002e-05,2.335031e-05,2.302055e-05,2.238711e-05,2.177883e-05,2.119484e-05,2.063431e-05,2.009640e-05,1.958033e-05,1.908530e-05,1.861055e-05,1.815535e-05,1.771898e-05,1.730075e-05,1.689999e-05,1.651604e-05,1.614829e-05,1.579612e-05,1.545894e-05,1.513619e-05,1.482733e-05,1.453182e-05,1.424916e-05,1.397886e-05,1.372044e-05,1.347345e-05,1.323744e-05,1.301200e-05,1.279671e-05,1.259118e-05,1.239504e-05,1.220790e-05,1.202944e-05,1.185929e-05,1.169715e-05,1.154268e-05,1.139560e-05,1.125561e-05,1.112242e-05,1.099577e-05,1.087539e-05,1.076104e-05,1.065247e-05,1.054945e-05,1.045176e-05,1.035918e-05,1.027150e-05,1.018853e-05,1.011007e-05,1.003593e-05,9.965947e-06,9.899937e-06
0.000000e+00,5.698949e-09,7.050230e-08,7.351741e-08,4.408427e-07,1.533866e-06,1.601673e-06,3.873745e-06,6.651880e-06,6.836250e-06,9.884530e-06,1.255244e-05,1.277627e-05,1.545800e-05,1.768874e-05,1.792615e-05,2.018908e-05,2.201940e-05,2.225777e-05,2.414373e-05,2.562815e-05,2.585827e-05,2.741234e-05,2.860142e-05,2.881642e-05,3.008051e-05,3.101927e-05,3.121410e-05,3.222617e-05,3.295405e-05,3.312520e-05,3.391915e-05,3.447032e-05,3.461551e-05,3.522132e-05,3.562525e-05,3.574317e-05,3.618722e-05,3.646915e-05,3.655926e-05,3.686469e-05,3.704619e-05,3.710855e-05,3.729557e-05,3.739504e-05,3.743017e-05,3.751645e-05,3.754949e-05,3.755825e-05,3.755917e-05,3.753901e-05,3.752255e-05,3.745149e-05,3.738930e-05,3.734892e-05,3.721753e-05,3.712272e-05,3.705986e-05,3.687823e-05,3.675868e-05,3.667485e-05,3.645174e-05,3.631405e-05,3.621080e-05,3.595378e-05,3.580345e-05,3.568233e-05,3.539797e-05,3.523954e-05,3.510209e-05,3.479602e-05,3.463324e-05,3.448096e-05,3.415805e-05,3.399397e-05,3.382832e-05,3.349275e-05,3.332986e-05,3.315223e-05,3.280758e-05,3.264787e-05,3.245958e-05,3.210892e-05,3.195396e-05,3.175627e-05,3.140221e-05,3.125323e-05,3.104731e-05,3.069208e-05,3.055000e-05,3.033698e-05,2.998244e-05,2.984795e-05,2.962886e-05,2.927660e-05,2.915018e-05,2.892600e-05,2.857734e-05,2.845929e-05,2.823092e-05,2.788697e-05,2.777746e-05,2.754572e-05,2.720738e-05,2.710648e-05,2.687214e-05,2.654016e-05,2.644781e-05,2.621158e-05,2.588655e-05,2.580263e-05,2.556517e-05,2.524756e-05,2.517190e-05,2.493380e-05,2.462398e-05,2.455635e-05,2.431816e-05,2.401639e-05,2.395653e-05,2.371874e-05,2.342523e-05,2.337284e-05,2.313590e-05,2.285078e-05,2.280555e-05,2.256987e-05,2.229319e-05,2.225480e-05,2.202075e-05,2.175255e-05,2.172065e-05,2.148858e-05,2.122882e-05,2.120308e-05,2.097328e-05,2.072192e-05,2.070199e-05,2.047473e-05,2.023168e-05,2.021723e-05,1.999275e-05,1.975790e-05,1.974859e-05,1.952711e-05,1.930033e-05,1.929584e-05,1.907754e-05,1.885869e-05,1.843685e-05,1.803000e-05,1.763779e-05,1.725987e-05,1.689589e-05,1.654547e-05,1.620824e-05,1.588383e-05,1.557187e-05,1.527199e-05,1.498381e-05,1.470698e-05,1.444114e-05,1.418593e-05,1.394101e-05,1.370604e-05,1.348068e-05,1.326462e-05,1.305754e-05,1.285912e-05,1.266907e-05,1.248710e-05,1.231292e-05,1.214625e-05,1.198683e-05,1.183439e-05,1.168869e-05,1.154947e-05,1.141650e-05,1.128956e-05,1.116841e-05,1.105284e-05,1.094265e-05,1.083763e-05,1.073758e-05,1.064232e-05,1.055166e-05,1.046543e-05,1.038345e-05,1.030556e-05,1.023161e-05,1.016143e-05,1.009487e-05,1.003181e-05,9.972079e-06,9.915563e-06,9.862127e-06,9.811646e-06,9.763999e-06
0.000000e+00,1.260698e-08,2.013333e-07,2.106840e-07,1.403476e-06,4.993924e-06,5.215862e-06,1.264372e-05,2.173164e-05,2.233077e-05,3.206000e-05,4.022568e-05,4.089416e-05,4.869301e-05,5.487114e-05,5.551133e-05,6.143759e-05,6.598536e-05,6.656048e-05,7.096257e-05,7.422949e-05,7.471917e-05,7.789842e-05,8.016769e-05,8.056142e-05,8.276326e-05,8.425976e-05,8.455377e-05,8.597802e-05,8.688106e-05,8.707650e-05,8.788563e-05,8.833706e-05,8.843814e-05,8.876335e-05,8.887481e-05,8.888761e-05,8.883454e-05,8.869363e-05,8.862529e-05,8.827883e-05,8.795401e-05,8.781212e-05,8.724037e-05,8.678498e-05,8.657717e-05,8.583467e-05,8.529008e-05,8.502375e-05,8.415412e-05,8.355224e-05,8.323444e-05,8.227245e-05,8.163780e-05,8.127506e-05,8.024842e-05,7.959964e-05,7.919800e-05,7.812869e-05,7.747986e-05,7.704481e-05,7.595022e-05,7.531181e-05,7.484833e-05,7.374216e-05,7.312185e-05,7.263439e-05,7.152738e-05,7.093065e-05,7.042321e-05,6.932371e-05,6.875436e-05,6.823049e-05,6.714494e-05,6.660544e-05,6.606830e-05,6.500163e-05,6.449344e-05,6.394584e-05,6.290173e-05,6.242555e-05,6.186997e-05,6.085113e-05,6.040706e-05,5.984569e-05,5.885406e-05,5.844177e-05,5.787655e-05,5.691344e-05,5.653226e-05,5.596491e-05,5.503113e-05,5.468018e-05,5.411220e-05,5.320819e-05,5.288640e-05,5.231912e-05,5.144500e-05,5.115120e-05,5.058579e-05,4.974144e-05,4.947438e-05,4.891188e-05,4.809701e-05,4.785540e-05,4.729672e-05,4.651088e-05,4.629342e-05,4.573936e-05,4.498200e-05,4.478738e-05,4.423864e-05,4.350913e-05,4.333608e-05,4.279328e-05,4.209092e-05,4.193820e-05,4.140187e-05,4.072593e-05,4.059231e-05,4.006293e-05,3.941266e-05,3.929695e-05,3.877493e-05,3.814955e-05,3.805062e-05,3.753632e-05,3.693504e-05,3.685180e-05,3.634552e-05,3.576757e-05,3.569898e-05,3.520099e-05,3.464558e-05,3.459065e-05,3.410116e-05,3.356753e-05,3.352530e-05,3.304451e-05,3.253191e-05,3.250148e-05,3.202954e-05,3.153722e-05,3.151773e-05,3.105477e-05,3.058201e-05,3.057265e-05,3.011877e-05,2.966487e-05,2.879304e-05,2.795586e-05,2.715207e-05,2.638045e-05,2.563981e-05,2.492900e-05,2.424692e-05,2.359249e-05,2.296468e-05,2.236250e-05,2.178497e-05,2.123117e-05,2.070020e-05,2.019120e-05,1.970334e-05,1.923581e-05,1.878784e-05,1.835869e-05,1.794764e-05,1.755399e-05,1.717709e-05,1.681629e-05,1.647098e-05,1.614056e-05,1.582445e-05,1.552212e-05,1.523302e-05,1.495666e-05,1.469253e-05,1.444016e-05,1.419911e-05,1.396892e-05,1.374919e-05,1.353950e-05,1.333947e-05,1.314871e-05,1.296687e-05,1.279360e-05,1.262856e-05,1.247143e-05,1.232190e-05,1.217967e-05,1.204446e-05,1.191598e-05,1.179397e-05,1.167818e-05,1.156835e-05,1.146425e-05,1.136566e-05
0.000000e+00,7.169136e-08,1.395721e-06,1.465027e-06,1.148444e-05,4.832143e-05,5.082047e-05,1.456400e-04,2.876113e-04,2.978994e-04,4.789334e-04,6.477023e-04,6.620815e-04,8.355694e-04,9.805378e-04,9.959653e-04,1.142840e-03,1.261283e-03,1.276678e-03,1.398203e-03,1.493453e-03,1.508183e-03,1.607369e-03,1.682871e-03,1.696480e-03,1.776199e-03,1.835014e-03,1.847171e-03,1.910006e-03,1.954800e-03,1.965276e-03,2.013521e-03,2.046602e-03,2.055247e-03,2.090930e-03,2.114281e-03,2.121014e-03,2.145918e-03,2.161242e-03,2.166031e-03,2.181721e-03,2.190471e-03,2.193328e-03,2.201174e-03,2.204588e-03,2.205556e-03,2.206755e-03,2.205888e-03,2.205035e-03,2.200637e-03,2.196379e-03,2.193790e-03,2.184708e-03,2.177814e-03,2.173587e-03,2.160613e-03,2.151714e-03,2.145958e-03,2.129782e-03,2.119410e-03,2.112236e-03,2.093458e-03,2.082054e-03,2.073578e-03,2.052716e-03,2.040646e-03,2.030984e-03,2.008486e-03,1.996053e-03,1.985319e-03,1.961572e-03,1.949022e-03,1.937328e-03,1.912664e-03,1.900197e-03,1.887651e-03,1.862354e-03,1.850130e-03,1.836836e-03,1.811151e-03,1.799294e-03,1.785351e-03,1.759485e-03,1.748094e-03,1.733596e-03,1.707724e-03,1.696873e-03,1.681907e-03,1.656178e-03,1.645918e-03,1.630569e-03,1.605107e-03,1.595475e-03,1.579818e-03,1.554726e-03,1.545745e-03,1.529852e-03,1.505215e-03,1.496896e-03,1.480833e-03,1.456721e-03,1.449065e-03,1.432893e-03,1.409361e-03,1.402361e-03,1.386137e-03,1.363229e-03,1.356873e-03,1.340646e-03,1.318396e-03,1.312666e-03,1.296485e-03,1.274917e-03,1.269793e-03,1.253698e-03,1.232830e-03,1.228287e-03,1.212317e-03,1.192160e-03,1.188172e-03,1.172361e-03,1.152920e-03,1.149459e-03,1.133838e-03,1.115115e-03,1.112152e-03,1.096748e-03,1.078739e-03,1.076246e-03,1.061083e-03,1.043781e-03,1.041728e-03,1.026829e-03,1.010224e-03,1.008583e-03,9.939643e-04,9.780464e-04,9.767876e-04,9.624668e-04,9.472220e-04,9.463179e-04,9.323084e-04,9.177219e-04,9.171452e-04,9.034587e-04,8.895145e-04,8.892389e-04,8.758852e-04,8.625662e-04,8.370934e-04,8.127852e-04,7.896060e-04,7.675196e-04,7.464897e-04,7.264800e-04,7.074542e-04,6.893769e-04,6.722127e-04,6.559270e-04,6.404857e-04,6.258557e-04,6.120043e-04,5.988999e-04,5.865117e-04,5.748096e-04,5.637647e-04,5.533487e-04,5.435343e-04,5.342951e-04,5.256057e-04,5.174412e-04,5.097780e-04,5.025931e-04,4.958642e-04,4.895703e-04,4.836906e-04,4.782054e-04,4.730957e-04,4.683433e-04,4.639305e-04,4.598405e-04,4.560570e-04,4.525644e-04,4.493478e-04,4.463929e-04,4.436858e-04,4.412135e-04,4.389631e-04,4.369226e-04,4.350803e-04,4.334252e-04,4.319465e-04,4.306341e-04,4.294782e-04,4.284695e-04,4.275991e-04,4.268584e-04,4.262393e-04
0.000000e+00,5.869372e-08,1.162446e-06,1.219771e-06,9.205840e-06,3.655591e-05,3.834398e-05,1.022299e-04,1.880660e-04,1.939637e-04,2.927174e-04,3.777858e-04,3.847507e-04,4.652701e-04,5.274085e-04,5.337341e-04,5.910736e-04,6.333592e-04,6.385851e-04,6.775542e-04,7.051275e-04,7.091460e-04,7.343865e-04,7.513373e-04,7.541689e-04,7.692682e-04,7.786285e-04,7.803552e-04,7.880103e-04,7.920027e-04,7.927348e-04,7.949611e-04,7.952055e-04,7.950627e-04,7.933625e-04,7.910382e-04,7.901388e-04,7.856296e-04,7.815871e-04,7.800403e-04,7.735475e-04,7.683998e-04,7.663037e-04,7.584399e-04,7.526272e-04,7.500684e-04,7.412859e-04,7.351217e-04,7.321750e-04,7.228068e-04,7.165128e-04,7.132422e-04,7.035337e-04,6.972656e-04,6.937258e-04,6.838568e-04,6.777217e-04,6.739591e-04,6.640605e-04,6.581311e-04,6.541850e-04,6.443524e-04,6.386762e-04,6.345801e-04,6.248824e-04,6.194888e-04,6.152713e-04,6.057569e-04,6.006623e-04,5.963476e-04,5.870504e-04,5.822621e-04,5.778710e-04,5.688140e-04,5.643327e-04,5.598833e-04,5.510815e-04,5.469032e-04,5.424110e-04,5.338734e-04,5.299910e-04,5.254696e-04,5.172005e-04,5.136048e-04,5.090662e-04,5.010667e-04,4.977470e-04,4.932016e-04,4.854705e-04,4.824154e-04,4.778725e-04,4.704068e-04,4.676042e-04,4.630721e-04,4.558673e-04,4.533051e-04,4.487911e-04,4.418420e-04,4.395081e-04,4.350187e-04,4.283195e-04,4.262017e-04,4.217429e-04,4.152872e-04,4.133739e-04,4.089509e-04,4.027321e-04,4.010117e-04,3.966293e-04,3.906407e-04,3.891022e-04,3.847646e-04,3.789993e-04,3.776319e-04,3.733431e-04,3.677942e-04,3.665877e-04,3.623509e-04,3.570117e-04,3.559561e-04,3.517747e-04,3.466382e-04,3.457242e-04,3.416008e-04,3.366606e-04,3.358791e-04,3.318161e-04,3.270656e-04,3.264079e-04,3.224076e-04,3.178404e-04,3.172984e-04,3.133626e-04,3.089726e-04,3.085383e-04,3.046688e-04,3.004498e-04,3.001159e-04,2.963141e-04,2.922602e-04,2.920196e-04,2.882868e-04,2.843923e-04,2.842382e-04,2.805755e-04,2.768348e-04,2.767608e-04,2.731691e-04,2.695769e-04,2.626761e-04,2.560486e-04,2.496847e-04,2.435750e-04,2.377106e-04,2.320827e-04,2.266828e-04,2.215028e-04,2.165347e-04,2.117710e-04,2.072041e-04,2.028270e-04,1.986328e-04,1.946148e-04,1.907666e-04,1.870820e-04,1.835549e-04,1.801796e-04,1.769504e-04,1.738620e-04,1.709092e-04,1.680868e-04,1.653902e-04,1.628144e-04,1.603552e-04,1.580079e-04,1.557685e-04,1.536329e-04,1.515971e-04,1.496574e-04,1.478101e-04,1.460516e-04,1.443785e-04,1.427877e-04,1.412757e-04,1.398398e-04,1.384767e-04,1.371838e-04,1.359582e-04,1.347973e-04,1.336986e-04,1.326595e-04,1.316776e-04,1.307507e-04,1.298766e-04,1.290530e-04,1.282779e-04,1.275494e-04,1.268654e-04
0.000000e+00,1.048156e-08,1.788672e-07,1.875300e-07,1.330662e-06,4.577008e-06,4.760851e-06,9.976387e-06,1.510013e-05,1.542007e-05,2.055976e-05,2.494127e-05,2.530634e-05,2.965953e-05,3.325531e-05,3.363669e-05,3.725825e-05,4.016731e-05,4.054464e-05,4.351567e-05,4.583299e-05,4.619030e-05,4.858703e-05,5.039866e-05,5.072380e-05,5.261789e-05,5.400162e-05,5.428590e-05,5.574367e-05,5.676867e-05,5.700627e-05,5.808797e-05,5.881481e-05,5.900224e-05,5.976176e-05,6.024285e-05,6.037844e-05,6.086347e-05,6.114380e-05,6.122729e-05,6.147971e-05,6.159761e-05,6.162985e-05,6.168626e-05,6.167425e-05,6.165689e-05,6.154917e-05,6.143472e-05,6.137002e-05,6.112588e-05,6.093206e-05,6.082273e-05,6.046615e-05,6.021232e-05,6.006133e-05,5.961308e-05,5.931532e-05,5.912586e-05,5.860383e-05,5.827551e-05,5.805083e-05,5.747044e-05,5.712256e-05,5.686594e-05,5.624041e-05,5.588198e-05,5.559666e-05,5.493732e-05,5.457564e-05,5.426479e-05,5.358130e-05,5.322225e-05,5.288891e-05,5.218951e-05,5.183772e-05,5.148483e-05,5.077647e-05,5.043559e-05,5.006590e-05,4.935447e-05,4.902726e-05,4.864340e-05,4.793381e-05,4.762234e-05,4.722674e-05,4.652311e-05,4.622882e-05,4.582378e-05,4.512950e-05,4.485337e-05,4.444098e-05,4.375884e-05,4.350141e-05,4.308363e-05,4.241588e-05,4.217739e-05,4.175601e-05,4.110443e-05,4.088485e-05,4.046149e-05,3.982750e-05,3.962655e-05,3.920271e-05,3.858737e-05,3.840464e-05,3.798167e-05,3.738576e-05,3.722068e-05,3.679978e-05,3.622385e-05,3.607576e-05,3.565803e-05,3.510240e-05,3.497057e-05,3.455698e-05,3.402180e-05,3.390544e-05,3.349686e-05,3.298214e-05,3.288043e-05,3.247762e-05,3.198325e-05,3.189534e-05,3.149898e-05,3.102474e-05,3.094979e-05,3.056046e-05,3.010605e-05,3.004321e-05,2.966141e-05,2.922645e-05,2.917490e-05,2.880106e-05,2.838512e-05,2.834404e-05,2.797853e-05,2.758115e-05,2.754975e-05,2.719286e-05,2.681354e-05,2.679106e-05,2.644304e-05,2.608123e-05,2.606694e-05,2.572799e-05,2.538316e-05,2.537634e-05,2.504660e-05,2.471819e-05,2.409138e-05,2.349480e-05,2.292737e-05,2.238798e-05,2.187555e-05,2.138902e-05,2.092734e-05,2.048948e-05,2.007445e-05,1.968127e-05,1.930900e-05,1.895673e-05,1.862355e-05,1.830863e-05,1.801113e-05,1.773025e-05,1.746522e-05,1.721530e-05,1.697979e-05,1.675800e-05,1.654927e-05,1.635297e-05,1.616851e-05,1.599529e-05,1.583278e-05,1.568043e-05,1.553774e-05,1.540422e-05,1.527942e-05,1.516288e-05,1.505419e-05,1.495293e-05,1.485873e-05,1.477121e-05,1.469002e-05,1.461482e-05,1.454530e-05,1.448115e-05,1.442207e-05,1.436779e-05,1.431805e-05,1.427258e-05,1.423116e-05,1.419355e-05,1.415953e-05,1.412890e-05,1.410146e-05,1.407702e-05,1.405540e-05
0.000000e+00,8.000866e-08,2.116025e-06,2.231973e-06,2.048946e-05,8.851323e-05,9.298755e-05,2.491307e-04,4.550449e-04,4.694046e-04,7.194449e-04,9.549525e-04,9.752597e-04,1.223300e-03,1.434078e-03,1.456641e-03,1.672148e-03,1.846186e-03,1.868782e-03,2.046630e-03,2.185065e-03,2.206374e-03,2.348990e-03,2.456356e-03,2.475581e-03,2.587291e-03,2.668579e-03,2.685244e-03,2.770528e-03,2.830324e-03,2.844168e-03,2.907130e-03,2.949408e-03,2.960313e-03,3.004554e-03,3.032675e-03,3.040626e-03,3.069243e-03,3.086010e-03,3.091065e-03,3.106700e-03,3.114442e-03,3.116708e-03,3.121604e-03,3.122246e-03,3.121863e-03,3.117923e-03,3.113050e-03,3.110184e-03,3.099016e-03,3.089932e-03,3.084758e-03,3.067722e-03,3.055495e-03,3.048196e-03,3.026441e-03,3.011942e-03,3.002702e-03,2.977199e-03,2.961136e-03,2.950136e-03,2.921700e-03,2.904646e-03,2.892063e-03,2.861382e-03,2.843799e-03,2.829801e-03,2.797452e-03,2.779707e-03,2.764455e-03,2.730922e-03,2.713306e-03,2.696952e-03,2.662638e-03,2.645379e-03,2.628064e-03,2.593307e-03,2.576579e-03,2.558437e-03,2.523516e-03,2.507451e-03,2.488603e-03,2.453749e-03,2.438445e-03,2.419003e-03,2.384407e-03,2.369931e-03,2.350000e-03,2.315817e-03,2.302213e-03,2.281889e-03,2.248243e-03,2.235538e-03,2.214907e-03,2.181900e-03,2.170103e-03,2.149244e-03,2.116956e-03,2.106065e-03,2.085052e-03,2.053544e-03,2.043547e-03,2.022445e-03,1.991763e-03,1.982642e-03,1.961509e-03,1.931690e-03,1.923419e-03,1.902310e-03,1.873375e-03,1.865925e-03,1.844888e-03,1.816852e-03,1.810191e-03,1.789270e-03,1.762141e-03,1.756234e-03,1.735467e-03,1.709247e-03,1.704057e-03,1.683479e-03,1.658164e-03,1.653655e-03,1.633298e-03,1.608879e-03,1.605013e-03,1.584904e-03,1.561370e-03,1.558110e-03,1.538274e-03,1.515612e-03,1.512922e-03,1.493380e-03,1.471573e-03,1.469415e-03,1.450187e-03,1.429217e-03,1.427557e-03,1.408659e-03,1.388507e-03,1.387311e-03,1.368757e-03,1.349404e-03,1.348638e-03,1.330441e-03,1.311864e-03,1.311496e-03,1.293668e-03,1.275846e-03,1.241644e-03,1.208849e-03,1.177417e-03,1.147307e-03,1.118476e-03,1.090883e-03,1.064487e-03,1.039247e-03,1.015124e-03,9.920804e-04,9.700771e-04,9.490778e-04,9.290467e-04,9.099489e-04,8.917505e-04,8.744184e-04,8.579208e-04,8.422266e-04,8.273057e-04,8.131289e-04,7.996680e-04,7.868957e-04,7.747855e-04,7.633117e-04,7.524496e-04,7.421752e-04,7.324653e-04,7.232975e-04,7.146501e-04,7.065022e-04,6.988335e-04,6.916245e-04,6.848562e-04,6.785105e-04,6.725696e-04,6.670165e-04,6.618347e-04,6.570084e-04,6.525221e-04,6.483611e-04,6.445111e-04,6.409581e-04,6.376889e-04,6.346906e-04,6.319507e-04,6.294572e-04,6.271986e-04,6.251636e-04,6.233416e-04
0.000000e+00,1.725324e-08,3.090308e-07,3.237546e-07,2.261023e-06,8.429234e-06,8.823283e-06,2.287359e-05,4.280396e-05,4.423714e-05,6.933996e-05,9.214396e-05,9.404049e-05,1.161934e-04,1.335602e-04,1.353428e-04,1.516532e-04,1.638973e-04,1.654265e-04,1.769678e-04,1.853218e-04,1.865562e-04,1.944405e-04,1.999077e-04,2.008401e-04,2.059478e-04,2.092912e-04,2.099325e-04,2.129407e-04,2.147302e-04,2.150997e-04,2.165227e-04,2.171862e-04,2.173093e-04,2.175463e-04,2.174062e-04,2.173100e-04,2.166671e-04,2.159639e-04,2.156755e-04,2.143861e-04,2.132985e-04,2.128433e-04,2.110859e-04,2.097462e-04,2.091475e-04,2.070576e-04,2.055632e-04,2.048419e-04,2.025227e-04,2.009449e-04,2.001194e-04,1.976491e-04,1.960397e-04,1.951264e-04,1.925640e-04,1.909604e-04,1.899731e-04,1.873633e-04,1.857918e-04,1.847429e-04,1.821189e-04,1.805980e-04,1.794977e-04,1.768846e-04,1.754264e-04,1.742840e-04,1.716999e-04,1.703126e-04,1.691357e-04,1.665941e-04,1.652822e-04,1.640775e-04,1.615880e-04,1.603539e-04,1.591272e-04,1.566964e-04,1.555407e-04,1.542969e-04,1.519295e-04,1.508515e-04,1.495949e-04,1.472937e-04,1.462918e-04,1.450262e-04,1.427928e-04,1.418650e-04,1.405936e-04,1.384287e-04,1.375724e-04,1.362981e-04,1.342016e-04,1.334139e-04,1.321392e-04,1.301107e-04,1.293887e-04,1.281158e-04,1.261542e-04,1.254948e-04,1.242256e-04,1.223298e-04,1.217300e-04,1.204663e-04,1.186348e-04,1.180915e-04,1.168349e-04,1.150662e-04,1.145765e-04,1.133282e-04,1.116206e-04,1.111816e-04,1.099430e-04,1.082948e-04,1.079036e-04,1.066757e-04,1.050852e-04,1.047391e-04,1.035229e-04,1.019884e-04,1.016848e-04,1.004812e-04,9.900086e-05,9.873723e-05,9.754702e-05,9.611921e-05,9.589315e-05,9.471702e-05,9.334003e-05,9.314924e-05,9.198783e-05,9.065999e-05,9.050227e-05,8.935613e-05,8.807584e-05,8.794909e-05,8.681871e-05,8.558438e-05,8.548660e-05,8.437244e-05,8.318252e-05,8.311182e-05,8.201425e-05,8.086725e-05,8.082181e-05,7.974116e-05,7.863563e-05,7.861373e-05,7.755031e-05,7.648483e-05,7.443244e-05,7.245397e-05,7.054690e-05,6.870880e-05,6.693732e-05,6.523018e-05,6.358518e-05,6.200019e-05,6.047314e-05,5.900205e-05,5.758498e-05,5.622008e-05,5.490554e-05,5.363962e-05,5.242065e-05,5.124699e-05,5.011709e-05,4.902941e-05,4.798250e-05,4.697494e-05,4.600536e-05,4.507245e-05,4.417491e-05,4.331153e-05,4.248111e-05,4.168250e-05,4.091458e-05,4.017629e-05,3.946659e-05,3.878447e-05,3.812897e-05,3.749915e-05,3.689412e-05,3.631300e-05,3.575494e-05,3.521915e-05,3.470482e-05,3.421120e-05,3.373757e-05,3.328320e-05,3.284743e-05,3.242958e-05,3.202903e-05,3.164516e-05,3.127736e-05,3.092508e-05,3.058775e-05,3.026484e-05,2.995583e-05
0.000000e+00,5.154246e-08,8.485394e-07,8.870148e-07,5.854187e-06,2.252803e-05,2.363523e-05,6.513554e-05,1.270557e-04,1.315516e-04,2.107227e-04,2.840311e-04,2.902242e-04,3.639284e-04,4.236548e-04,4.298907e-04,4.879400e-04,5.328244e-04,5.385193e-04,5.822427e-04,6.148441e-04,6.197423e-04,6.516202e-04,6.744633e-04,6.784352e-04,7.007010e-04,7.158954e-04,7.188877e-04,7.334242e-04,7.426889e-04,7.447010e-04,7.530728e-04,7.577941e-04,7.588612e-04,7.623573e-04,7.636441e-04,7.638241e-04,7.634991e-04,7.622316e-04,7.615961e-04,7.583081e-04,7.551810e-04,7.538082e-04,7.482522e-04,7.438098e-04,7.417794e-04,7.345155e-04,7.291821e-04,7.265731e-04,7.180534e-04,7.121583e-04,7.090465e-04,6.996332e-04,6.934293e-04,6.898860e-04,6.798697e-04,6.735500e-04,6.696419e-04,6.592538e-04,6.529630e-04,6.487506e-04,6.381722e-04,6.320167e-04,6.275545e-04,6.169288e-04,6.109854e-04,6.063229e-04,5.957611e-04,5.900837e-04,5.852648e-04,5.748525e-04,5.694768e-04,5.645404e-04,5.543424e-04,5.492900e-04,5.442706e-04,5.343353e-04,5.296175e-04,5.245452e-04,5.149075e-04,5.105271e-04,5.054283e-04,4.961125e-04,4.920664e-04,4.869641e-04,4.779864e-04,4.742672e-04,4.691815e-04,4.605511e-04,4.571480e-04,4.520961e-04,4.438170e-04,4.407170e-04,4.357136e-04,4.277854e-04,4.249741e-04,4.200317e-04,4.124511e-04,4.099129e-04,4.050423e-04,3.978034e-04,3.955226e-04,3.907326e-04,3.838276e-04,3.817881e-04,3.770862e-04,3.705059e-04,3.686920e-04,3.640843e-04,3.578187e-04,3.562148e-04,3.517063e-04,3.457445e-04,3.443358e-04,3.399304e-04,3.342611e-04,3.330331e-04,3.287339e-04,3.233457e-04,3.222845e-04,3.180938e-04,3.129752e-04,3.120678e-04,3.079871e-04,3.031266e-04,3.023606e-04,2.983910e-04,2.937773e-04,2.931410e-04,2.892829e-04,2.849049e-04,2.843872e-04,2.806406e-04,2.764875e-04,2.760782e-04,2.724428e-04,2.685039e-04,2.681933e-04,2.646684e-04,2.609337e-04,2.607127e-04,2.572973e-04,2.537568e-04,2.536172e-04,2.503100e-04,2.469543e-04,2.468881e-04,2.436877e-04,2.405078e-04,2.344591e-04,2.287256e-04,2.232917e-04,2.181425e-04,2.132636e-04,2.086415e-04,2.042631e-04,2.001160e-04,1.961886e-04,1.924695e-04,1.889482e-04,1.856145e-04,1.824587e-04,1.794718e-04,1.766449e-04,1.739700e-04,1.714390e-04,1.690447e-04,1.667798e-04,1.646377e-04,1.626121e-04,1.606969e-04,1.588863e-04,1.571749e-04,1.555576e-04,1.540295e-04,1.525859e-04,1.512224e-04,1.499348e-04,1.487193e-04,1.475719e-04,1.464892e-04,1.454678e-04,1.445044e-04,1.435961e-04,1.427399e-04,1.419331e-04,1.411732e-04,1.404576e-04,1.397840e-04,1.391503e-04,1.385543e-04,1.379940e-04,1.374676e-04,1.369732e-04,1.365092e-04,1.360740e-04,1.356660e-04,1.352837e-04
0.000000e+00,7.426536e-08,2.495145e-06,2.640184e-06,2.561272e-05,9.917026e-05,1.034513e-04,2.304122e-04,3.650044e-04,3.736294e-04,5.137195e-04,6.331915e-04,6.430736e-04,7.594836e-04,8.531240e-04,8.628987e-04,9.540515e-04,1.024892e-03,1.033913e-03,1.103484e-03,1.155819e-03,1.163725e-03,1.215532e-03,1.253138e-03,1.259730e-03,1.297080e-03,1.323085e-03,1.328275e-03,1.353947e-03,1.370897e-03,1.374672e-03,1.390973e-03,1.400923e-03,1.403323e-03,1.412148e-03,1.416737e-03,1.417835e-03,1.420732e-03,1.421264e-03,1.421152e-03,1.419376e-03,1.416882e-03,1.415660e-03,1.410230e-03,1.405521e-03,1.403293e-03,1.395032e-03,1.388743e-03,1.385613e-03,1.375183e-03,1.367812e-03,1.363878e-03,1.351815e-03,1.343747e-03,1.339102e-03,1.325835e-03,1.317370e-03,1.312100e-03,1.297974e-03,1.289340e-03,1.283526e-03,1.268817e-03,1.260189e-03,1.253903e-03,1.238832e-03,1.230340e-03,1.223648e-03,1.208391e-03,1.200134e-03,1.193094e-03,1.177790e-03,1.169837e-03,1.162504e-03,1.147262e-03,1.139664e-03,1.132084e-03,1.116991e-03,1.109780e-03,1.101997e-03,1.087119e-03,1.080317e-03,1.072369e-03,1.057757e-03,1.051375e-03,1.043294e-03,1.028989e-03,1.023029e-03,1.014847e-03,1.000875e-03,9.953358e-04,9.870795e-04,9.734631e-04,9.683368e-04,9.600300e-04,9.467829e-04,9.420599e-04,9.337241e-04,9.208553e-04,9.165233e-04,9.081776e-04,8.956918e-04,8.917369e-04,8.833983e-04,8.712970e-04,8.677041e-04,8.593878e-04,8.476700e-04,8.444232e-04,8.361429e-04,8.248053e-04,8.218885e-04,8.136562e-04,8.026941e-04,8.000908e-04,7.919174e-04,7.813247e-04,7.790188e-04,7.709141e-04,7.606837e-04,7.586591e-04,7.506316e-04,7.407559e-04,7.389968e-04,7.310544e-04,7.215250e-04,7.200162e-04,7.121657e-04,7.029741e-04,7.017005e-04,6.939480e-04,6.850853e-04,6.840327e-04,6.763837e-04,6.678408e-04,6.669952e-04,6.594545e-04,6.512224e-04,6.505705e-04,6.431423e-04,6.352120e-04,6.347409e-04,6.274291e-04,6.197915e-04,6.194889e-04,6.122968e-04,6.049429e-04,6.047972e-04,5.977275e-04,5.906486e-04,5.770261e-04,5.639132e-04,5.512937e-04,5.391518e-04,5.274718e-04,5.162388e-04,5.054380e-04,4.950551e-04,4.850762e-04,4.754877e-04,4.662764e-04,4.574297e-04,4.489351e-04,4.407807e-04,4.329547e-04,4.254460e-04,4.182436e-04,4.113368e-04,4.047154e-04,3.983695e-04,3.922895e-04,3.864659e-04,3.808898e-04,3.755524e-04,3.704453e-04,3.655603e-04,3.608893e-04,3.564249e-04,3.521595e-04,3.480859e-04,3.441972e-04,3.404866e-04,3.369477e-04,3.335742e-04,3.303598e-04,3.272988e-04,3.243854e-04,3.216141e-04,3.189796e-04,3.164766e-04,3.141003e-04,3.118457e-04,3.097082e-04,3.076833e-04,3.057665e-04,3.039538e-04,3.022408e-04,3.006238e-04,2.990989e-04
0.000000e+00,1.121345e-09,1.473241e-08,1.538257e-08,9.629520e-08,3.328753e-07,3.471057e-07,7.913507e-07,1.275331e-06,1.306222e-06,1.806538e-06,2.235386e-06,2.271132e-06,2.697147e-06,3.048454e-06,3.085672e-06,3.438645e-06,3.721503e-06,3.758144e-06,4.046229e-06,4.270381e-06,4.304897e-06,4.536077e-06,4.710384e-06,4.741623e-06,4.923309e-06,5.055678e-06,5.082828e-06,5.221785e-06,5.319167e-06,5.341695e-06,5.443991e-06,5.512423e-06,5.530019e-06,5.601041e-06,5.645712e-06,5.658240e-06,5.702726e-06,5.728074e-06,5.735536e-06,5.757636e-06,5.767423e-06,5.769924e-06,5.773234e-06,5.770626e-06,5.768341e-06,5.755974e-06,5.743643e-06,5.736811e-06,5.711482e-06,5.691673e-06,5.680573e-06,5.644632e-06,5.619231e-06,5.604182e-06,5.559716e-06,5.530321e-06,5.511665e-06,5.460432e-06,5.428319e-06,5.406385e-06,5.349869e-06,5.316085e-06,5.291201e-06,5.230674e-06,5.196068e-06,5.168557e-06,5.105097e-06,5.070352e-06,5.040524e-06,4.975049e-06,4.940711e-06,4.908866e-06,4.842153e-06,4.808649e-06,4.775071e-06,4.707771e-06,4.675429e-06,4.640387e-06,4.573043e-06,4.542110e-06,4.505854e-06,4.438921e-06,4.409576e-06,4.372338e-06,4.306190e-06,4.278557e-06,4.240554e-06,4.175497e-06,4.149650e-06,4.111081e-06,4.047360e-06,4.023339e-06,3.984385e-06,3.922196e-06,3.900009e-06,3.860834e-06,3.800330e-06,3.779960e-06,3.740715e-06,3.682011e-06,3.663423e-06,3.624242e-06,3.567423e-06,3.550565e-06,3.511569e-06,3.456693e-06,3.441503e-06,3.402801e-06,3.349902e-06,3.336311e-06,3.297997e-06,3.247091e-06,3.235021e-06,3.197181e-06,3.148268e-06,3.137640e-06,3.100347e-06,3.053414e-06,3.044145e-06,3.007463e-06,2.962487e-06,2.954494e-06,2.918477e-06,2.875425e-06,2.868625e-06,2.833321e-06,2.792153e-06,2.786464e-06,2.751911e-06,2.712583e-06,2.707925e-06,2.674156e-06,2.636618e-06,2.632912e-06,2.599954e-06,2.564153e-06,2.561325e-06,2.529198e-06,2.495077e-06,2.493056e-06,2.461776e-06,2.429279e-06,2.427996e-06,2.397573e-06,2.366642e-06,2.366031e-06,2.336473e-06,2.307050e-06,2.250937e-06,2.197581e-06,2.146869e-06,2.098691e-06,2.052941e-06,2.009511e-06,1.968301e-06,1.929209e-06,1.892140e-06,1.857000e-06,1.823699e-06,1.792149e-06,1.762268e-06,1.733975e-06,1.707193e-06,1.681849e-06,1.657870e-06,1.635190e-06,1.613743e-06,1.593469e-06,1.574307e-06,1.556202e-06,1.539100e-06,1.522949e-06,1.507701e-06,1.493309e-06,1.479729e-06,1.466919e-06,1.454838e-06,1.443450e-06,1.432717e-06,1.422605e-06,1.413082e-06,1.404116e-06,1.395678e-06,1.387740e-06,1.380275e-06,1.373258e-06,1.366665e-06,1.360474e-06,1.354662e-06,1.349210e-06,1.344097e-06,1.339305e-06,1.334818e-06,1.330618e-06,1.326689e-06,1.323017e-06,1.319588e-06
0.000000e+00,1.252761e-07,3.103663e-06,3.265817e-06,2.602112e-05,9.807995e-05,1.025037e-04,2.462577e-04,4.213125e-04,4.332206e-04,6.372937e-04,8.265329e-04,8.428009e-04,1.041606e-03,1.211511e-03,1.229792e-03,1.405660e-03,1.549784e-03,1.568663e-03,1.718843e-03,1.837999e-03,1.856543e-03,1.982266e-03,2.079038e-03,2.096588e-03,2.200124e-03,2.277412e-03,2.293497e-03,2.377325e-03,2.437922e-03,2.452212e-03,2.518743e-03,2.565197e-03,2.577477e-03,2.628946e-03,2.663516e-03,2.673656e-03,2.712085e-03,2.736743e-03,2.744682e-03,2.771870e-03,2.788321e-03,2.794047e-03,2.811585e-03,2.821290e-03,2.824834e-03,2.834118e-03,2.838325e-03,2.839745e-03,2.842000e-03,2.841772e-03,2.841150e-03,2.837444e-03,2.833682e-03,2.831115e-03,2.822382e-03,2.815849e-03,2.811446e-03,2.798498e-03,2.789837e-03,2.783715e-03,2.767261e-03,2.757013e-03,2.749289e-03,2.729945e-03,2.718562e-03,2.709359e-03,2.687658e-03,2.675517e-03,2.664957e-03,2.641363e-03,2.628775e-03,2.616976e-03,2.591890e-03,2.579112e-03,2.566191e-03,2.539960e-03,2.527201e-03,2.513270e-03,2.486191e-03,2.473622e-03,2.458788e-03,2.431119e-03,2.418875e-03,2.403239e-03,2.375201e-03,2.363388e-03,2.347049e-03,2.318829e-03,2.307531e-03,2.290580e-03,2.262339e-03,2.251616e-03,2.234139e-03,2.206013e-03,2.195912e-03,2.177990e-03,2.150094e-03,2.140643e-03,2.122351e-03,2.094783e-03,2.086001e-03,2.067409e-03,2.040248e-03,2.032144e-03,2.013317e-03,1.986630e-03,1.979203e-03,1.960201e-03,1.934043e-03,1.927287e-03,1.908165e-03,1.882579e-03,1.876483e-03,1.857293e-03,1.832313e-03,1.826860e-03,1.807648e-03,1.783303e-03,1.778472e-03,1.759282e-03,1.735590e-03,1.731361e-03,1.712231e-03,1.689207e-03,1.685554e-03,1.666521e-03,1.644174e-03,1.641072e-03,1.622167e-03,1.600502e-03,1.597926e-03,1.579179e-03,1.558197e-03,1.556117e-03,1.537556e-03,1.517255e-03,1.515645e-03,1.497292e-03,1.477667e-03,1.476501e-03,1.458378e-03,1.439423e-03,1.438671e-03,1.420799e-03,1.402504e-03,1.402141e-03,1.384535e-03,1.366890e-03,1.332897e-03,1.300138e-03,1.268587e-03,1.238217e-03,1.209000e-03,1.180907e-03,1.153908e-03,1.127976e-03,1.103078e-03,1.079186e-03,1.056270e-03,1.034301e-03,1.013249e-03,9.930850e-04,9.737816e-04,9.553104e-04,9.376443e-04,9.207563e-04,9.046203e-04,8.892107e-04,8.745025e-04,8.604715e-04,8.470938e-04,8.343464e-04,8.222070e-04,8.106535e-04,7.996650e-04,7.892207e-04,7.793007e-04,7.698857e-04,7.609568e-04,7.524959e-04,7.444852e-04,7.369078e-04,7.297469e-04,7.229866e-04,7.166114e-04,7.106061e-04,7.049563e-04,6.996478e-04,6.946670e-04,6.900007e-04,6.856361e-04,6.815609e-04,6.777631e-04,6.742313e-04,6.709541e-04,6.679208e-04,6.651210e-04
0.000000e+00,2.919139e-08,5.545404e-07,5.820449e-07,4.246688e-06,1.464187e-05,1.523080e-05,3.199469e-05,4.851961e-05,4.955246e-05,6.616618e-05,8.037160e-05,8.155742e-05,9.572821e-05,1.074831e-04,1.087329e-04,1.206346e-04,1.302460e-04,1.314966e-04,1.413804e-04,1.491435e-04,1.503454e-04,1.584493e-04,1.646315e-04,1.657472e-04,1.722922e-04,1.771329e-04,1.781349e-04,1.833234e-04,1.870338e-04,1.879032e-04,1.919173e-04,1.946817e-04,1.954061e-04,1.984079e-04,2.003855e-04,2.009582e-04,2.030907e-04,2.044183e-04,2.048368e-04,2.062259e-04,2.070204e-04,2.072854e-04,2.080410e-04,2.084021e-04,2.085169e-04,2.087353e-04,2.087475e-04,2.087171e-04,2.084820e-04,2.082169e-04,2.080482e-04,2.074325e-04,2.069504e-04,2.066508e-04,2.057179e-04,2.050696e-04,2.046474e-04,2.034522e-04,2.026801e-04,2.021440e-04,2.007340e-04,1.998736e-04,1.992324e-04,1.976488e-04,1.967295e-04,1.959920e-04,1.942703e-04,1.933162e-04,1.924912e-04,1.906619e-04,1.896930e-04,1.887890e-04,1.868784e-04,1.859108e-04,1.849359e-04,1.829665e-04,1.820132e-04,1.809753e-04,1.789664e-04,1.780376e-04,1.769442e-04,1.749123e-04,1.740161e-04,1.728742e-04,1.708332e-04,1.699758e-04,1.687921e-04,1.667537e-04,1.659396e-04,1.647204e-04,1.626945e-04,1.619271e-04,1.606781e-04,1.586730e-04,1.579543e-04,1.566810e-04,1.547037e-04,1.540350e-04,1.527424e-04,1.507984e-04,1.501801e-04,1.488728e-04,1.469668e-04,1.463989e-04,1.450812e-04,1.432168e-04,1.426987e-04,1.413744e-04,1.395546e-04,1.390852e-04,1.377580e-04,1.359850e-04,1.355630e-04,1.342361e-04,1.325116e-04,1.321355e-04,1.308118e-04,1.291369e-04,1.288049e-04,1.274872e-04,1.258627e-04,1.255730e-04,1.242636e-04,1.226899e-04,1.224404e-04,1.211416e-04,1.196187e-04,1.194076e-04,1.181212e-04,1.166491e-04,1.164741e-04,1.152021e-04,1.137801e-04,1.136393e-04,1.123831e-04,1.110109e-04,1.109022e-04,1.096633e-04,1.083400e-04,1.082614e-04,1.070409e-04,1.057658e-04,1.057153e-04,1.045144e-04,1.032864e-04,1.032621e-04,1.020816e-04,1.008998e-04,9.862643e-05,9.643973e-05,9.433746e-05,9.231733e-05,9.037699e-05,8.851409e-05,8.672628e-05,8.501121e-05,8.336656e-05,8.179001e-05,8.027931e-05,7.883220e-05,7.744651e-05,7.612009e-05,7.485084e-05,7.363672e-05,7.247573e-05,7.136593e-05,7.030543e-05,6.929239e-05,6.832505e-05,6.740166e-05,6.652056e-05,6.568012e-05,6.487878e-05,6.411501e-05,6.338736e-05,6.269441e-05,6.203478e-05,6.140715e-05,6.081024e-05,6.024283e-05,5.970371e-05,5.919175e-05,5.870583e-05,5.824489e-05,5.780789e-05,5.739385e-05,5.700182e-05,5.663086e-05,5.628009e-05,5.594866e-05,5.563574e-05,5.534055e-05,5.506231e-05,5.480029e-05,5.455379e-05,5.432212e-05,5.410464e-05
0.000000e+00,5.286040e-09,7.142716e-08,7.452045e-08,4.312223e-07,1.374216e-06,1.429580e-06,3.188782e-06,5.196148e-06,5.323874e-06,7.299442e-06,8.783346e-06,8.896794e-06,1.012391e-05,1.096383e-05,1.104388e-05,1.171984e-05,1.215497e-05,1.220451e-05,1.253992e-05,1.273441e-05,1.275914e-05,1.288806e-05,1.294156e-05,1.294698e-05,1.295175e-05,1.292404e-05,1.291477e-05,1.284577e-05,1.277265e-05,1.275231e-05,1.264033e-05,1.254314e-05,1.251445e-05,1.237828e-05,1.226966e-05,1.223463e-05,1.208569e-05,1.197309e-05,1.193317e-05,1.177839e-05,1.166614e-05,1.162238e-05,1.146595e-05,1.135652e-05,1.130970e-05,1.115412e-05,1.104889e-05,1.099956e-05,1.084632e-05,1.074603e-05,1.069464e-05,1.054466e-05,1.044962e-05,1.039650e-05,1.025026e-05,1.016058e-05,1.010599e-05,9.963750e-06,9.879387e-06,9.823559e-06,9.685436e-06,9.606276e-06,9.549388e-06,9.415412e-06,9.341289e-06,9.283503e-06,9.153651e-06,9.084381e-06,9.025842e-06,8.900060e-06,8.835448e-06,8.776284e-06,8.654493e-06,8.594335e-06,8.534665e-06,8.416776e-06,8.360872e-06,8.300804e-06,8.186723e-06,8.134875e-06,8.074510e-06,7.964139e-06,7.916153e-06,7.855585e-06,7.748823e-06,7.704511e-06,7.643827e-06,7.540572e-06,7.499752e-06,7.439034e-06,7.339187e-06,7.301684e-06,7.241007e-06,7.144469e-06,7.110113e-06,7.049549e-06,6.956223e-06,6.924850e-06,6.864465e-06,6.774254e-06,6.745709e-06,6.685565e-06,6.598375e-06,6.572506e-06,6.512661e-06,6.428400e-06,6.405064e-06,6.345570e-06,6.264148e-06,6.243207e-06,6.184113e-06,6.105443e-06,6.086763e-06,6.028117e-06,5.952113e-06,5.935568e-06,5.877411e-06,5.803990e-06,5.789457e-06,5.731829e-06,5.660909e-06,5.648274e-06,5.591211e-06,5.522713e-06,5.511864e-06,5.455398e-06,5.389247e-06,5.380077e-06,5.324240e-06,5.260359e-06,5.252768e-06,5.197586e-06,5.135904e-06,5.129795e-06,5.075294e-06,5.015739e-06,5.011020e-06,4.957223e-06,4.899727e-06,4.896310e-06,4.843237e-06,4.787734e-06,4.785534e-06,4.733204e-06,4.679630e-06,4.678568e-06,4.626996e-06,4.575288e-06,4.475576e-06,4.379317e-06,4.286399e-06,4.196713e-06,4.110156e-06,4.026624e-06,3.946020e-06,3.868247e-06,3.793213e-06,3.720829e-06,3.651007e-06,3.583662e-06,3.518714e-06,3.456084e-06,3.395694e-06,3.337471e-06,3.281342e-06,3.227239e-06,3.175093e-06,3.124841e-06,3.076418e-06,3.029763e-06,2.984818e-06,2.941525e-06,2.899829e-06,2.859676e-06,2.821014e-06,2.783793e-06,2.747964e-06,2.713481e-06,2.680298e-06,2.648370e-06,2.617655e-06,2.588111e-06,2.559700e-06,2.532382e-06,2.506119e-06,2.480876e-06,2.456618e-06,2.433310e-06,2.410920e-06,2.389416e-06,2.368768e-06,2.348946e-06,2.329921e-06,2.311665e-06,2.294151e-06,2.277354e-06,2.261248e-06
0.000000e+00,4.512148e-10,6.553506e-09,6.853255e-09,4.425752e-08,1.480559e-07,1.540477e-07,3.297244e-07,5.024396e-07,5.129628e-07,6.762546e-07,8.061114e-07,8.165232e-07,9.356853e-07,1.026955e-06,1.036242e-06,1.120540e-06,1.182942e-06,1.190673e-06,1.248486e-06,1.289593e-06,1.295600e-06,1.333436e-06,1.358966e-06,1.363242e-06,1.386107e-06,1.400348e-06,1.402982e-06,1.414698e-06,1.420846e-06,1.421978e-06,1.425451e-06,1.425871e-06,1.425664e-06,1.423093e-06,1.419533e-06,1.418151e-06,1.411194e-06,1.404933e-06,1.402533e-06,1.392436e-06,1.384410e-06,1.381137e-06,1.368838e-06,1.359727e-06,1.355713e-06,1.341914e-06,1.332214e-06,1.327573e-06,1.312801e-06,1.302865e-06,1.297698e-06,1.282347e-06,1.272427e-06,1.266822e-06,1.251186e-06,1.241460e-06,1.235492e-06,1.219784e-06,1.210369e-06,1.204101e-06,1.188478e-06,1.179454e-06,1.172940e-06,1.157513e-06,1.148929e-06,1.142216e-06,1.127065e-06,1.118951e-06,1.112076e-06,1.097260e-06,1.089627e-06,1.082625e-06,1.068180e-06,1.061031e-06,1.053932e-06,1.039883e-06,1.033213e-06,1.026039e-06,1.012402e-06,1.006199e-06,9.989742e-07,9.857557e-07,9.800062e-07,9.727474e-07,9.599491e-07,9.546363e-07,9.473602e-07,9.349798e-07,9.300857e-07,9.228066e-07,9.108389e-07,9.063447e-07,8.990749e-07,8.875127e-07,8.833993e-07,8.761500e-07,8.649846e-07,8.612328e-07,8.540139e-07,8.432354e-07,8.398265e-07,8.326467e-07,8.222449e-07,8.191605e-07,8.120276e-07,8.019918e-07,7.992140e-07,7.921349e-07,7.824543e-07,7.799658e-07,7.729470e-07,7.636104e-07,7.613947e-07,7.544417e-07,7.454384e-07,7.434795e-07,7.365975e-07,7.279165e-07,7.261993e-07,7.193928e-07,7.110237e-07,7.095334e-07,7.028065e-07,6.947389e-07,6.934617e-07,6.868181e-07,6.790418e-07,6.779645e-07,6.714075e-07,6.639126e-07,6.630225e-07,6.565550e-07,6.493321e-07,6.486171e-07,6.422417e-07,6.352814e-07,6.347301e-07,6.284490e-07,6.217424e-07,6.213439e-07,6.151592e-07,6.086975e-07,6.084415e-07,6.023549e-07,5.961296e-07,5.960062e-07,5.900193e-07,5.840222e-07,5.724738e-07,5.613462e-07,5.506248e-07,5.402956e-07,5.303450e-07,5.207599e-07,5.115278e-07,5.026362e-07,4.940735e-07,4.858281e-07,4.778890e-07,4.702456e-07,4.628876e-07,4.558049e-07,4.489879e-07,4.424274e-07,4.361143e-07,4.300400e-07,4.241961e-07,4.185744e-07,4.131672e-07,4.079669e-07,4.029662e-07,3.981581e-07,3.935356e-07,3.890923e-07,3.848218e-07,3.807180e-07,3.767748e-07,3.729867e-07,3.693480e-07,3.658534e-07,3.624979e-07,3.592763e-07,3.561838e-07,3.532159e-07,3.503681e-07,3.476359e-07,3.450152e-07,3.425021e-07,3.400925e-07,3.377827e-07,3.355691e-07,3.334481e-07,3.314164e-07,3.294707e-07,3.276078e-07,3.258248e-07,3.241186e-07
0.000000e+00,6.698543e-08,1.107286e-06,1.157295e-06,7.602403e-06,2.972880e-05,3.122814e-05,9.021805e-05,1.895453e-04,1.973340e-04,3.474443e-04,5.061424e-04,5.202743e-04,6.952239e-04,8.439464e-04,8.597306e-04,1.008322e-03,1.124704e-03,1.139535e-03,1.253774e-03,1.339322e-03,1.352201e-03,1.436217e-03,1.496693e-03,1.507240e-03,1.566617e-03,1.607493e-03,1.615593e-03,1.655298e-03,1.681080e-03,1.686758e-03,1.710895e-03,1.725175e-03,1.728539e-03,1.740434e-03,1.746045e-03,1.747251e-03,1.749587e-03,1.748750e-03,1.747980e-03,1.742911e-03,1.737360e-03,1.734809e-03,1.724061e-03,1.715149e-03,1.711011e-03,1.695966e-03,1.684739e-03,1.679203e-03,1.660966e-03,1.648230e-03,1.641475e-03,1.620926e-03,1.607302e-03,1.599496e-03,1.577339e-03,1.563299e-03,1.554595e-03,1.531388e-03,1.517287e-03,1.507827e-03,1.484007e-03,1.470108e-03,1.460016e-03,1.435929e-03,1.422424e-03,1.411813e-03,1.387728e-03,1.374754e-03,1.363726e-03,1.339852e-03,1.327501e-03,1.316146e-03,1.292642e-03,1.280976e-03,1.269372e-03,1.246360e-03,1.235413e-03,1.223630e-03,1.201201e-03,1.190989e-03,1.179089e-03,1.157307e-03,1.147831e-03,1.135867e-03,1.114778e-03,1.106027e-03,1.094047e-03,1.073680e-03,1.065636e-03,1.053680e-03,1.034052e-03,1.026691e-03,1.014797e-03,9.959145e-04,9.892083e-04,9.774056e-04,9.592689e-04,9.531870e-04,9.415030e-04,9.241053e-04,9.186154e-04,9.070733e-04,8.904036e-04,8.854728e-04,8.740926e-04,8.581363e-04,8.537315e-04,8.425303e-04,8.272700e-04,8.233584e-04,8.123507e-04,7.977675e-04,7.943169e-04,7.835151e-04,7.695884e-04,7.665677e-04,7.559820e-04,7.426907e-04,7.400697e-04,7.297088e-04,7.170311e-04,7.147809e-04,7.046518e-04,6.925656e-04,6.906587e-04,6.807670e-04,6.692504e-04,6.676603e-04,6.580104e-04,6.470417e-04,6.457434e-04,6.363388e-04,6.258963e-04,6.248662e-04,6.157092e-04,6.057720e-04,6.049877e-04,5.960798e-04,5.866273e-04,5.860677e-04,5.774096e-04,5.684218e-04,5.680670e-04,5.596590e-04,5.511165e-04,5.509478e-04,5.427894e-04,5.346731e-04,5.192073e-04,5.045160e-04,4.905659e-04,4.773250e-04,4.647626e-04,4.528489e-04,4.415555e-04,4.308550e-04,4.207211e-04,4.111286e-04,4.020534e-04,3.934722e-04,3.853627e-04,3.777037e-04,3.704746e-04,3.636559e-04,3.572288e-04,3.511754e-04,3.454783e-04,3.401212e-04,3.350881e-04,3.303640e-04,3.259343e-04,3.217851e-04,3.179032e-04,3.142758e-04,3.108907e-04,3.077363e-04,3.048013e-04,3.020751e-04,2.995474e-04,2.972084e-04,2.950486e-04,2.930592e-04,2.912315e-04,2.895572e-04,2.880284e-04,2.866377e-04,2.853777e-04,2.842416e-04,2.832227e-04,2.823148e-04,2.815117e-04,2.808077e-04,2.801973e-04,2.796751e-04,2.792360e-04,2.788754e-04,2.785884e-04
0.000000e+00,2.979427e-08,5.018438e-07,5.249177e-07,3.389947e-06,1.193507e-05,1.246914e-05,3.113904e-05,5.701178e-05,5.885621e-05,9.101986e-05,1.204304e-04,1.229030e-04,1.522555e-04,1.760357e-04,1.785230e-04,2.017522e-04,2.198442e-04,2.221503e-04,2.399549e-04,2.533701e-04,2.553984e-04,2.686978e-04,2.783594e-04,2.800536e-04,2.896522e-04,2.963323e-04,2.976648e-04,3.042482e-04,3.085826e-04,3.095456e-04,3.136881e-04,3.161942e-04,3.167944e-04,3.189729e-04,3.200689e-04,3.203219e-04,3.209307e-04,3.209525e-04,3.208802e-04,3.202439e-04,3.194605e-04,3.190881e-04,3.174732e-04,3.160990e-04,3.154536e-04,3.130785e-04,3.112832e-04,3.103924e-04,3.074355e-04,3.053535e-04,3.042442e-04,3.008511e-04,2.985874e-04,2.972858e-04,2.935749e-04,2.912116e-04,2.897423e-04,2.858095e-04,2.834099e-04,2.817958e-04,2.777187e-04,2.753311e-04,2.735936e-04,2.694345e-04,2.670952e-04,2.652538e-04,2.610626e-04,2.587986e-04,2.568709e-04,2.526873e-04,2.505177e-04,2.485197e-04,2.443751e-04,2.423133e-04,2.402594e-04,2.361781e-04,2.342327e-04,2.321358e-04,2.281367e-04,2.263126e-04,2.241842e-04,2.202815e-04,2.185807e-04,2.164311e-04,2.126353e-04,2.110578e-04,2.088960e-04,2.052146e-04,2.037586e-04,2.015925e-04,1.980307e-04,1.966931e-04,1.945298e-04,1.910905e-04,1.898675e-04,1.877132e-04,1.843979e-04,1.832849e-04,1.811449e-04,1.779540e-04,1.769460e-04,1.748249e-04,1.717575e-04,1.708493e-04,1.687513e-04,1.658059e-04,1.649920e-04,1.629207e-04,1.600950e-04,1.593700e-04,1.573283e-04,1.546199e-04,1.539784e-04,1.519689e-04,1.493746e-04,1.488114e-04,1.468362e-04,1.443529e-04,1.438628e-04,1.419238e-04,1.395481e-04,1.391261e-04,1.372248e-04,1.349531e-04,1.345943e-04,1.327321e-04,1.305608e-04,1.302607e-04,1.284384e-04,1.263640e-04,1.261182e-04,1.243366e-04,1.223554e-04,1.221598e-04,1.204195e-04,1.185280e-04,1.183786e-04,1.166800e-04,1.148747e-04,1.147677e-04,1.131112e-04,1.113886e-04,1.113205e-04,1.097060e-04,1.080628e-04,1.080303e-04,1.064580e-04,1.048909e-04,1.018959e-04,9.903946e-05,9.631563e-05,9.371885e-05,9.124368e-05,8.888492e-05,8.663752e-05,8.449666e-05,8.245770e-05,8.051617e-05,7.866779e-05,7.690846e-05,7.523425e-05,7.364139e-05,7.212626e-05,7.068541e-05,6.931552e-05,6.801342e-05,6.677607e-05,6.560057e-05,6.448414e-05,6.342411e-05,6.241796e-05,6.146323e-05,6.055760e-05,5.969885e-05,5.888485e-05,5.811355e-05,5.738302e-05,5.669139e-05,5.603687e-05,5.541778e-05,5.483248e-05,5.427941e-05,5.375709e-05,5.326409e-05,5.279906e-05,5.236070e-05,5.194776e-05,5.155905e-05,5.119345e-05,5.084986e-05,5.052725e-05,5.022462e-05,4.994104e-05,4.967558e-05,4.942740e-05,4.919565e-05,4.897955e-05
0.000000e+00,2.196028e-09,3.480493e-08,3.642355e-08,2.366517e-07,7.761048e-07,8.065976e-07,1.682832e-06,2.554575e-06,2.609079e-06,3.484106e-06,4.228486e-06,4.290432e-06,5.028221e-06,5.636535e-06,5.701002e-06,6.312772e-06,6.803744e-06,6.867407e-06,7.368574e-06,7.759463e-06,7.819741e-06,8.224202e-06,8.530159e-06,8.585100e-06,8.905436e-06,9.139855e-06,9.188071e-06,9.435724e-06,9.610397e-06,9.650974e-06,9.836260e-06,9.961462e-06,9.993875e-06,1.012598e-05,1.021056e-05,1.023458e-05,1.032158e-05,1.037309e-05,1.038873e-05,1.043768e-05,1.046251e-05,1.046995e-05,1.048695e-05,1.049047e-05,1.049000e-05,1.048032e-05,1.046706e-05,1.045905e-05,1.042724e-05,1.040095e-05,1.038586e-05,1.033581e-05,1.029962e-05,1.027793e-05,1.021299e-05,1.016949e-05,1.014170e-05,1.006472e-05,1.001606e-05,9.982671e-06,9.896113e-06,9.844051e-06,9.805568e-06,9.711514e-06,9.657476e-06,9.614389e-06,9.514599e-06,9.459738e-06,9.412519e-06,9.308494e-06,9.253738e-06,9.202841e-06,9.095851e-06,9.041940e-06,8.987793e-06,8.878909e-06,8.826419e-06,8.769426e-06,8.659550e-06,8.608927e-06,8.549469e-06,8.439355e-06,8.390936e-06,8.329366e-06,8.219645e-06,8.173673e-06,8.110321e-06,8.001515e-06,7.958161e-06,7.893332e-06,7.785870e-06,7.745242e-06,7.679217e-06,7.573452e-06,7.535608e-06,7.468646e-06,7.364864e-06,7.329821e-06,7.262160e-06,7.160586e-06,7.128329e-06,7.060186e-06,6.961000e-06,6.931485e-06,6.863060e-06,6.766397e-06,6.739564e-06,6.671036e-06,6.576998e-06,6.552767e-06,6.484301e-06,6.392959e-06,6.371241e-06,6.302985e-06,6.214386e-06,6.195080e-06,6.127169e-06,6.041338e-06,6.024338e-06,5.956894e-06,5.873837e-06,5.859034e-06,5.792166e-06,5.711876e-06,5.699157e-06,5.632962e-06,5.555418e-06,5.544671e-06,5.479236e-06,5.404408e-06,5.395519e-06,5.330924e-06,5.258772e-06,5.251630e-06,5.187943e-06,5.118422e-06,5.112917e-06,5.050198e-06,4.983258e-06,4.979282e-06,4.917587e-06,4.853170e-06,4.850620e-06,4.789994e-06,4.728044e-06,4.726817e-06,4.667303e-06,4.607757e-06,4.493318e-06,4.383374e-06,4.277800e-06,4.176470e-06,4.079257e-06,3.986035e-06,3.896678e-06,3.811065e-06,3.729072e-06,3.650580e-06,3.575472e-06,3.503634e-06,3.434952e-06,3.369317e-06,3.306622e-06,3.246764e-06,3.189640e-06,3.135153e-06,3.083206e-06,3.033708e-06,2.986567e-06,2.941696e-06,2.899011e-06,2.858429e-06,2.819871e-06,2.783260e-06,2.748521e-06,2.715582e-06,2.684372e-06,2.654826e-06,2.626876e-06,2.600460e-06,2.575516e-06,2.551986e-06,2.529812e-06,2.508939e-06,2.489313e-06,2.470882e-06,2.453597e-06,2.437409e-06,2.422272e-06,2.408140e-06,2.394970e-06,2.382720e-06,2.371350e-06,2.360819e-06,2.351090e-06,2.342127e-06,2.333893e-06
0.000000e+00,5.075868e-07,9.315496e-06,9.751450e-06,6.729724e-05,2.661779e-04,2.796104e-04,8.024435e-04,1.662491e-03,1.729264e-03,3.018136e-03,4.429223e-03,4.559124e-03,6.244787e-03,7.814014e-03,7.989085e-03,9.727249e-03,1.121399e-02,1.141216e-02,1.301071e-02,1.429925e-02,1.450073e-02,1.586855e-02,1.691763e-02,1.710693e-02,1.821354e-02,1.902347e-02,1.918969e-02,2.003927e-02,2.063161e-02,2.076802e-02,2.138289e-02,2.178835e-02,2.189156e-02,2.230208e-02,2.255344e-02,2.262259e-02,2.286113e-02,2.298946e-02,2.302547e-02,2.312302e-02,2.315584e-02,2.316076e-02,2.314523e-02,2.310591e-02,2.308246e-02,2.297800e-02,2.288577e-02,2.283694e-02,2.266388e-02,2.253419e-02,2.246302e-02,2.223811e-02,2.208313e-02,2.199254e-02,2.172936e-02,2.155854e-02,2.145127e-02,2.116069e-02,2.098126e-02,2.085978e-02,2.055045e-02,2.036787e-02,2.023441e-02,1.991315e-02,1.973148e-02,1.958802e-02,1.926019e-02,1.908241e-02,1.893071e-02,1.860050e-02,1.842878e-02,1.827038e-02,1.794108e-02,1.777694e-02,1.761323e-02,1.728738e-02,1.713184e-02,1.696405e-02,1.664365e-02,1.649737e-02,1.632658e-02,1.601318e-02,1.587652e-02,1.570373e-02,1.539850e-02,1.527162e-02,1.509771e-02,1.480155e-02,1.468442e-02,1.451019e-02,1.422378e-02,1.411626e-02,1.394242e-02,1.366623e-02,1.356809e-02,1.339529e-02,1.312965e-02,1.304056e-02,1.286938e-02,1.261451e-02,1.253409e-02,1.236506e-02,1.212105e-02,1.204891e-02,1.188248e-02,1.164935e-02,1.158505e-02,1.142165e-02,1.119934e-02,1.114242e-02,1.098241e-02,1.077082e-02,1.072083e-02,1.056452e-02,1.036348e-02,1.031995e-02,1.016764e-02,9.976947e-03,9.939421e-03,9.791342e-03,9.610764e-03,9.578789e-03,9.435149e-03,9.264429e-03,9.237563e-03,9.098535e-03,8.937395e-03,8.915211e-03,8.780937e-03,8.629085e-03,8.611169e-03,8.481764e-03,8.338898e-03,8.324853e-03,8.200407e-03,8.066215e-03,8.055663e-03,7.936243e-03,7.810412e-03,7.802992e-03,7.688642e-03,7.570855e-03,7.566225e-03,7.456972e-03,7.346915e-03,7.344752e-03,7.240605e-03,7.137964e-03,6.945257e-03,6.766039e-03,6.599727e-03,6.445750e-03,6.303552e-03,6.172588e-03,6.052331e-03,5.942267e-03,5.841897e-03,5.750739e-03,5.668324e-03,5.594201e-03,5.527929e-03,5.469086e-03,5.417263e-03,5.372062e-03,5.333103e-03,5.300015e-03,5.272441e-03,5.250038e-03,5.232473e-03,5.219424e-03,5.210583e-03,5.205651e-03,5.204341e-03,5.206374e-03,5.211485e-03,5.219416e-03,5.229921e-03,5.242764e-03,5.257715e-03,5.274559e-03,5.293086e-03,5.313098e-03,5.334404e-03,5.356824e-03,5.380186e-03,5.404326e-03,5.429090e-03,5.454333e-03,5.479918e-03,5.505716e-03,5.531606e-03,5.557476e-03,5.583221e-03,5.608746e-03,5.633961e-03,5.658786e-03,5.683146e-03
0.000000e+00,2.936748e-08,4.082148e-07,4.261328e-07,2.621948e-06,9.124264e-06,9.526964e-06,2.313183e-05,4.017331e-05,4.131345e-05,6.013518e-05,7.641631e-05,7.777085e-05,9.384654e-05,1.069840e-04,1.083685e-04,1.214212e-04,1.317696e-04,1.331021e-04,1.435081e-04,1.515089e-04,1.527325e-04,1.608641e-04,1.669118e-04,1.679870e-04,1.741803e-04,1.786177e-04,1.795187e-04,1.840716e-04,1.871923e-04,1.879042e-04,1.910771e-04,1.931305e-04,1.936468e-04,1.956655e-04,1.968613e-04,1.971819e-04,1.982411e-04,1.987551e-04,1.988847e-04,1.991514e-04,1.991301e-04,1.990767e-04,1.986938e-04,1.982587e-04,1.980330e-04,1.971223e-04,1.963737e-04,1.959878e-04,1.946533e-04,1.936736e-04,1.931406e-04,1.914702e-04,1.903269e-04,1.896605e-04,1.877287e-04,1.864765e-04,1.856904e-04,1.835600e-04,1.822431e-04,1.813508e-04,1.790748e-04,1.777285e-04,1.767430e-04,1.743656e-04,1.730178e-04,1.719517e-04,1.695098e-04,1.681822e-04,1.670474e-04,1.645715e-04,1.632808e-04,1.620884e-04,1.596038e-04,1.583625e-04,1.571228e-04,1.546500e-04,1.534673e-04,1.521897e-04,1.497456e-04,1.486277e-04,1.473210e-04,1.449190e-04,1.438700e-04,1.425422e-04,1.401929e-04,1.392149e-04,1.378732e-04,1.355849e-04,1.346787e-04,1.333295e-04,1.311085e-04,1.302737e-04,1.289229e-04,1.267738e-04,1.260092e-04,1.246619e-04,1.225879e-04,1.218915e-04,1.205524e-04,1.185556e-04,1.179248e-04,1.165978e-04,1.146793e-04,1.141114e-04,1.128001e-04,1.109601e-04,1.104520e-04,1.091593e-04,1.073976e-04,1.069459e-04,1.056747e-04,1.039902e-04,1.035917e-04,1.023440e-04,1.007356e-04,1.003868e-04,9.916466e-05,9.763065e-05,9.732824e-05,9.613312e-05,9.467157e-05,9.441227e-05,9.324547e-05,9.185427e-05,9.163488e-05,9.049741e-05,8.917431e-05,8.899174e-05,8.788438e-05,8.662703e-05,8.647830e-05,8.540164e-05,8.420761e-05,8.408991e-05,8.304432e-05,8.191116e-05,8.182179e-05,8.080751e-05,7.973276e-05,7.966918e-05,7.868629e-05,7.766749e-05,7.762731e-05,7.667576e-05,7.571048e-05,7.569144e-05,7.477107e-05,7.385694e-05,7.211924e-05,7.047391e-05,6.891662e-05,6.744319e-05,6.604956e-05,6.473185e-05,6.348629e-05,6.230928e-05,6.119735e-05,6.014720e-05,5.915566e-05,5.821969e-05,5.733642e-05,5.650309e-05,5.571707e-05,5.497586e-05,5.427709e-05,5.361850e-05,5.299794e-05,5.241337e-05,5.186285e-05,5.134455e-05,5.085672e-05,5.039770e-05,4.996593e-05,4.955992e-05,4.917826e-05,4.881962e-05,4.848273e-05,4.816639e-05,4.786947e-05,4.759090e-05,4.732965e-05,4.708477e-05,4.685535e-05,4.664052e-05,4.643947e-05,4.625142e-05,4.607565e-05,4.591146e-05,4.575821e-05,4.561527e-05,4.548206e-05,4.535802e-05,4.524265e-05,4.513542e-05,4.503590e-05,4.494362e-05,4.485817e-05
0.000000e+00,1.006775e-07,1.941483e-06,2.035672e-06,1.525088e-05,6.392029e-05,6.727433e-05,2.006288e-04,4.259421e-04,4.435712e-04,7.821981e-04,1.139528e-03,1.171385e-03,1.566376e-03,1.901621e-03,1.937037e-03,2.267008e-03,2.518143e-03,2.549457e-03,2.783425e-03,2.947626e-03,2.971294e-03,3.117164e-03,3.210749e-03,3.225843e-03,3.302259e-03,3.344162e-03,3.351123e-03,3.376755e-03,3.383141e-03,3.383011e-03,3.373271e-03,3.356464e-03,3.350456e-03,3.317061e-03,3.285922e-03,3.275206e-03,3.226673e-03,3.187349e-03,3.172958e-03,3.115305e-03,3.071946e-03,3.054750e-03,2.992147e-03,2.947487e-03,2.928197e-03,2.863479e-03,2.819276e-03,2.798463e-03,2.733531e-03,2.690876e-03,2.668993e-03,2.605097e-03,2.564632e-03,2.542039e-03,2.479976e-03,2.442051e-03,2.419030e-03,2.359291e-03,2.324058e-03,2.300831e-03,2.243699e-03,2.211185e-03,2.187930e-03,2.133544e-03,2.103696e-03,2.080552e-03,2.028955e-03,2.001672e-03,1.978749e-03,1.929922e-03,1.905072e-03,1.882458e-03,1.836339e-03,1.813777e-03,1.791542e-03,1.748044e-03,1.727619e-03,1.705819e-03,1.664840e-03,1.646401e-03,1.625080e-03,1.586510e-03,1.569909e-03,1.549101e-03,1.512825e-03,1.497920e-03,1.477652e-03,1.443555e-03,1.430211e-03,1.410504e-03,1.378472e-03,1.366561e-03,1.347431e-03,1.317352e-03,1.306755e-03,1.288211e-03,1.259979e-03,1.250583e-03,1.232632e-03,1.206144e-03,1.197846e-03,1.180491e-03,1.155648e-03,1.148350e-03,1.131592e-03,1.108300e-03,1.101912e-03,1.085750e-03,1.063919e-03,1.058358e-03,1.042787e-03,1.022333e-03,1.017522e-03,1.002536e-03,9.833776e-04,9.792465e-04,9.648384e-04,9.468997e-04,9.433824e-04,9.295436e-04,9.127527e-04,9.097890e-04,8.965099e-04,8.807986e-04,8.783330e-04,8.656029e-04,8.509070e-04,8.488886e-04,8.366960e-04,8.229549e-04,8.213369e-04,8.096697e-04,7.968263e-04,7.955657e-04,7.844113e-04,7.724117e-04,7.714692e-04,7.608146e-04,7.496079e-04,7.489476e-04,7.387794e-04,7.283177e-04,7.279067e-04,7.182114e-04,7.084496e-04,7.082579e-04,6.990217e-04,6.899174e-04,6.728065e-04,6.568510e-04,6.419809e-04,6.281304e-04,6.152373e-04,6.032434e-04,5.920935e-04,5.817360e-04,5.721220e-04,5.632057e-04,5.549438e-04,5.472957e-04,5.402230e-04,5.336899e-04,5.276624e-04,5.221085e-04,5.169984e-04,5.123036e-04,5.079978e-04,5.040558e-04,5.004541e-04,4.971707e-04,4.941847e-04,4.914766e-04,4.890280e-04,4.868216e-04,4.848411e-04,4.830712e-04,4.814975e-04,4.801067e-04,4.788858e-04,4.778232e-04,4.769074e-04,4.761281e-04,4.754754e-04,4.749399e-04,4.745129e-04,4.741864e-04,4.739526e-04,4.738044e-04,4.737350e-04,4.737381e-04,4.738077e-04,4.739384e-04,4.741250e-04,4.743625e-04,4.746465e-04,4.749727e-04,4.753371e-04
0.000000e+00,1.290213e-07,2.122659e-06,2.218402e-06,1.460572e-05,5.750891e-05,6.042074e-05,1.738111e-04,3.557272e-04,3.694805e-04,6.232293e-04,8.772344e-04,8.995282e-04,1.175138e-03,1.413292e-03,1.438991e-03,1.686708e-03,1.890268e-03,1.916970e-03,2.129747e-03,2.299122e-03,2.325535e-03,2.505035e-03,2.643808e-03,2.669041e-03,2.818352e-03,2.930372e-03,2.953753e-03,3.076021e-03,3.164891e-03,3.185916e-03,3.284173e-03,3.353189e-03,3.371497e-03,3.448565e-03,3.500675e-03,3.516021e-03,3.574480e-03,3.612291e-03,3.624525e-03,3.666711e-03,3.692514e-03,3.701562e-03,3.729576e-03,3.745370e-03,3.751222e-03,3.766946e-03,3.774471e-03,3.777168e-03,3.782284e-03,3.783047e-03,3.782670e-03,3.778677e-03,3.773979e-03,3.770640e-03,3.758872e-03,3.749833e-03,3.743670e-03,3.725311e-03,3.712890e-03,3.704057e-03,3.680156e-03,3.665173e-03,3.653840e-03,3.625326e-03,3.608474e-03,3.594818e-03,3.562510e-03,3.544379e-03,3.528582e-03,3.493202e-03,3.474285e-03,3.456530e-03,3.418715e-03,3.399422e-03,3.379894e-03,3.340199e-03,3.320871e-03,3.299751e-03,3.258663e-03,3.239578e-03,3.217042e-03,3.174987e-03,3.156369e-03,3.132590e-03,3.089936e-03,3.071964e-03,3.047105e-03,3.004172e-03,2.986986e-03,2.961205e-03,2.918268e-03,2.901972e-03,2.875419e-03,2.832714e-03,2.817385e-03,2.790202e-03,2.747929e-03,2.733619e-03,2.705938e-03,2.664269e-03,2.651008e-03,2.622955e-03,2.582031e-03,2.569834e-03,2.541525e-03,2.501465e-03,2.490331e-03,2.461874e-03,2.422774e-03,2.412691e-03,2.384185e-03,2.346124e-03,2.337070e-03,2.308607e-03,2.271647e-03,2.263591e-03,2.235255e-03,2.199442e-03,2.192350e-03,2.164216e-03,2.129585e-03,2.123415e-03,2.095554e-03,2.062128e-03,2.056836e-03,2.029310e-03,1.997103e-03,1.992643e-03,1.965507e-03,1.934524e-03,1.930847e-03,1.904153e-03,1.874392e-03,1.871450e-03,1.845240e-03,1.816694e-03,1.814436e-03,1.788750e-03,1.761405e-03,1.759784e-03,1.734655e-03,1.708494e-03,1.707460e-03,1.682917e-03,1.657918e-03,1.657424e-03,1.633492e-03,1.609632e-03,1.564032e-03,1.520569e-03,1.479185e-03,1.439820e-03,1.402411e-03,1.366894e-03,1.333205e-03,1.301278e-03,1.271050e-03,1.242455e-03,1.215430e-03,1.189911e-03,1.165837e-03,1.143147e-03,1.121782e-03,1.101682e-03,1.082793e-03,1.065059e-03,1.048427e-03,1.032844e-03,1.018262e-03,1.004632e-03,9.919080e-04,9.800445e-04,9.689987e-04,9.587290e-04,9.491955e-04,9.403600e-04,9.321858e-04,9.246375e-04,9.176816e-04,9.112857e-04,9.054189e-04,9.000518e-04,8.951561e-04,8.907048e-04,8.866722e-04,8.830339e-04,8.797663e-04,8.768473e-04,8.742555e-04,8.719707e-04,8.699737e-04,8.682461e-04,8.667706e-04,8.655305e-04,8.645103e-04,8.636949e-04,8.630701e-04
0.000000e+00,8.135666e-08,1.982102e-06,2.088384e-06,1.894922e-05,8.662385e-05,9.132852e-05,2.719904e-04,5.454019e-04,5.655040e-04,9.302639e-04,1.291354e-03,1.322999e-03,1.713060e-03,2.045896e-03,2.081395e-03,2.417317e-03,2.681991e-03,2.715751e-03,2.975243e-03,3.167830e-03,3.196592e-03,3.381918e-03,3.511818e-03,3.534059e-03,3.656169e-03,3.736150e-03,3.751467e-03,3.823078e-03,3.865299e-03,3.873947e-03,3.906788e-03,3.921479e-03,3.924059e-03,3.927968e-03,3.923217e-03,3.920475e-03,3.903308e-03,3.885275e-03,3.877983e-03,3.845825e-03,3.819091e-03,3.807982e-03,3.765449e-03,3.733351e-03,3.719086e-03,3.669634e-03,3.634570e-03,3.617728e-03,3.563913e-03,3.527581e-03,3.508658e-03,3.452361e-03,3.415942e-03,3.395361e-03,3.337947e-03,3.302253e-03,3.280366e-03,3.222825e-03,3.188394e-03,3.165500e-03,3.108539e-03,3.075718e-03,3.052066e-03,2.996185e-03,2.965182e-03,2.940979e-03,2.886519e-03,2.857441e-03,2.832861e-03,2.780052e-03,2.752938e-03,2.728126e-03,2.677111e-03,2.651953e-03,2.627030e-03,2.577897e-03,2.554653e-03,2.529723e-03,2.482513e-03,2.461122e-03,2.436271e-03,2.390995e-03,2.371379e-03,2.346682e-03,2.303326e-03,2.285400e-03,2.260920e-03,2.219456e-03,2.203131e-03,2.178922e-03,2.139309e-03,2.124494e-03,2.100603e-03,2.062791e-03,2.049395e-03,2.025860e-03,1.989795e-03,1.977728e-03,1.954583e-03,1.920209e-03,1.909383e-03,1.886657e-03,1.853912e-03,1.844244e-03,1.821960e-03,1.790786e-03,1.782194e-03,1.760373e-03,1.730707e-03,1.723115e-03,1.701773e-03,1.673557e-03,1.666890e-03,1.646042e-03,1.619215e-03,1.613403e-03,1.593060e-03,1.567565e-03,1.562543e-03,1.542713e-03,1.518493e-03,1.514199e-03,1.494889e-03,1.471888e-03,1.468263e-03,1.449478e-03,1.427644e-03,1.424632e-03,1.406374e-03,1.385655e-03,1.383206e-03,1.365476e-03,1.345823e-03,1.343886e-03,1.326685e-03,1.308050e-03,1.306580e-03,1.289906e-03,1.272243e-03,1.271198e-03,1.255048e-03,1.238312e-03,1.237652e-03,1.222024e-03,1.206173e-03,1.205860e-03,1.190749e-03,1.175741e-03,1.147219e-03,1.120220e-03,1.094673e-03,1.070510e-03,1.047668e-03,1.026083e-03,1.005697e-03,9.864525e-04,9.682951e-04,9.511729e-04,9.350361e-04,9.198373e-04,9.055308e-04,8.920734e-04,8.794234e-04,8.675411e-04,8.563887e-04,8.459299e-04,8.361302e-04,8.269564e-04,8.183770e-04,8.103619e-04,8.028823e-04,7.959108e-04,7.894211e-04,7.833881e-04,7.777880e-04,7.725981e-04,7.677965e-04,7.633625e-04,7.592764e-04,7.555191e-04,7.520729e-04,7.489204e-04,7.460453e-04,7.434321e-04,7.410659e-04,7.389324e-04,7.370183e-04,7.353107e-04,7.337973e-04,7.324665e-04,7.313072e-04,7.303090e-04,7.294616e-04,7.287557e-04,7.281822e-04,7.277324e-04,7.273982e-04
0.000000e+00,3.384755e-08,4.251073e-07,4.425452e-07,2.497944e-06,8.839677e-06,9.250119e-06,2.422563e-05,4.568790e-05,4.721639e-05,7.370016e-05,9.794975e-05,1.000063e-04,1.247809e-04,1.454891e-04,1.476952e-04,1.687265e-04,1.857267e-04,1.879389e-04,2.054193e-04,2.191384e-04,2.212611e-04,2.355590e-04,2.464464e-04,2.484090e-04,2.599011e-04,2.683702e-04,2.701193e-04,2.791481e-04,2.855690e-04,2.870681e-04,2.939563e-04,2.986599e-04,2.998857e-04,3.049255e-04,3.082010e-04,3.091409e-04,3.125934e-04,3.146913e-04,3.153409e-04,3.174376e-04,3.185730e-04,3.189345e-04,3.198793e-04,3.202362e-04,3.203167e-04,3.202887e-04,3.200238e-04,3.198342e-04,3.189900e-04,3.182359e-04,3.177901e-04,3.162664e-04,3.151351e-04,3.144486e-04,3.123645e-04,3.109500e-04,3.100399e-04,3.074988e-04,3.058796e-04,3.047637e-04,3.018552e-04,3.000967e-04,2.987929e-04,2.955947e-04,2.937505e-04,2.922772e-04,2.888559e-04,2.869703e-04,2.853451e-04,2.817582e-04,2.798670e-04,2.781073e-04,2.744039e-04,2.725358e-04,2.706584e-04,2.668805e-04,2.650583e-04,2.630791e-04,2.592624e-04,2.575036e-04,2.554379e-04,2.516124e-04,2.499306e-04,2.477924e-04,2.439836e-04,2.423885e-04,2.401913e-04,2.364202e-04,2.349188e-04,2.326749e-04,2.289591e-04,2.275556e-04,2.252766e-04,2.216304e-04,2.203273e-04,2.180236e-04,2.144586e-04,2.132565e-04,2.109379e-04,2.074633e-04,2.063615e-04,2.040368e-04,2.006598e-04,1.996566e-04,1.973338e-04,1.940598e-04,1.931525e-04,1.908389e-04,1.876718e-04,1.868572e-04,1.845592e-04,1.815016e-04,1.807760e-04,1.784994e-04,1.755529e-04,1.749121e-04,1.726621e-04,1.698271e-04,1.692668e-04,1.670479e-04,1.643244e-04,1.638400e-04,1.616562e-04,1.590432e-04,1.586302e-04,1.564850e-04,1.539811e-04,1.536349e-04,1.515312e-04,1.491346e-04,1.488506e-04,1.467909e-04,1.444994e-04,1.442731e-04,1.422596e-04,1.400707e-04,1.398977e-04,1.379320e-04,1.358430e-04,1.357192e-04,1.338028e-04,1.318107e-04,1.317320e-04,1.298659e-04,1.279676e-04,1.279301e-04,1.261152e-04,1.243077e-04,1.208585e-04,1.175764e-04,1.144549e-04,1.114881e-04,1.086695e-04,1.059933e-04,1.034534e-04,1.010440e-04,9.875933e-05,9.659388e-05,9.454225e-05,9.259923e-05,9.075978e-05,8.901901e-05,8.737224e-05,8.581495e-05,8.434281e-05,8.295165e-05,8.163748e-05,8.039647e-05,7.922497e-05,7.811947e-05,7.707664e-05,7.609327e-05,7.516633e-05,7.429291e-05,7.347024e-05,7.269567e-05,7.196671e-05,7.128096e-05,7.063615e-05,7.003010e-05,6.946077e-05,6.892620e-05,6.842453e-05,6.795400e-05,6.751294e-05,6.709976e-05,6.671294e-05,6.635105e-05,6.601274e-05,6.569670e-05,6.540173e-05,6.512667e-05,6.487041e-05,6.463193e-05,6.441022e-05,6.420436e-05,6.401345e-05
0.000000e+00,1.574670e-08,1.696919e-07,1.763381e-07,9.070208e-07,2.883504e-06,3.003550e-06,7.059369e-06,1.232051e-05,1.268244e-05,1.882843e-05,2.438168e-05,2.485321e-05,3.056563e-05,3.540744e-05,3.592777e-05,4.093956e-05,4.506750e-05,4.561039e-05,4.995253e-05,5.343411e-05,5.397941e-05,5.770493e-05,6.061176e-05,6.114314e-05,6.430805e-05,6.670898e-05,6.721340e-05,6.987261e-05,7.183152e-05,7.229869e-05,7.450417e-05,7.607907e-05,7.650110e-05,7.830103e-05,7.954404e-05,7.991501e-05,8.135360e-05,8.231119e-05,8.262688e-05,8.374445e-05,8.445784e-05,8.471546e-05,8.554863e-05,8.605429e-05,8.625225e-05,8.683419e-05,8.716425e-05,8.730195e-05,8.766266e-05,8.784539e-05,8.792309e-05,8.808964e-05,8.814979e-05,8.816841e-05,8.816520e-05,8.812445e-05,8.808549e-05,8.793451e-05,8.781176e-05,8.771717e-05,8.743817e-05,8.724985e-05,8.710193e-05,8.671265e-05,8.647297e-05,8.627430e-05,8.579064e-05,8.551188e-05,8.526522e-05,8.470140e-05,8.439410e-05,8.410236e-05,8.347110e-05,8.314428e-05,8.281046e-05,8.212311e-05,8.178444e-05,8.141158e-05,8.067825e-05,8.033422e-05,7.992537e-05,7.915506e-05,7.881112e-05,7.836931e-05,7.757000e-05,7.723068e-05,7.675890e-05,7.593768e-05,7.560670e-05,7.510788e-05,7.427099e-05,7.395140e-05,7.342837e-05,7.258133e-05,7.227554e-05,7.173106e-05,7.087870e-05,7.058862e-05,7.002532e-05,6.917190e-05,6.889895e-05,6.831937e-05,6.746860e-05,6.721383e-05,6.662037e-05,6.577546e-05,6.553957e-05,6.493454e-05,6.409827e-05,6.388167e-05,6.326724e-05,6.244200e-05,6.224487e-05,6.162308e-05,6.081093e-05,6.063321e-05,6.000599e-05,5.920866e-05,5.905014e-05,5.841930e-05,5.763825e-05,5.749856e-05,5.686579e-05,5.610221e-05,5.598088e-05,5.534775e-05,5.460263e-05,5.449907e-05,5.386705e-05,5.314117e-05,5.305473e-05,5.242516e-05,5.171915e-05,5.164910e-05,5.102325e-05,5.033755e-05,5.028313e-05,4.966214e-05,4.899707e-05,4.895750e-05,4.834241e-05,4.769819e-05,4.767264e-05,4.706443e-05,4.644114e-05,4.642878e-05,4.582832e-05,4.522597e-05,4.406409e-05,4.294289e-05,4.186199e-05,4.082091e-05,3.981909e-05,3.885587e-05,3.793057e-05,3.704241e-05,3.619058e-05,3.537426e-05,3.459255e-05,3.384459e-05,3.312945e-05,3.244622e-05,3.179399e-05,3.117182e-05,3.057880e-05,3.001401e-05,2.947654e-05,2.896549e-05,2.847997e-05,2.801911e-05,2.758204e-05,2.716793e-05,2.677594e-05,2.640526e-05,2.605510e-05,2.572469e-05,2.541327e-05,2.512011e-05,2.484449e-05,2.458571e-05,2.434310e-05,2.411599e-05,2.390375e-05,2.370576e-05,2.352141e-05,2.335013e-05,2.319134e-05,2.304450e-05,2.290907e-05,2.278456e-05,2.267045e-05,2.256627e-05,2.247156e-05,2.238586e-05,2.230876e-05,2.223981e-05,2.217863e-05
0.000000e+00,2.506372e-10,4.594590e-09,4.819622e-09,3.370288e-08,1.111843e-07,1.154735e-07,2.352421e-07,3.512550e-07,3.584870e-07,4.748499e-07,5.746368e-07,5.829856e-07,6.830285e-07,7.664552e-07,7.753517e-07,8.603623e-07,9.294440e-07,9.384647e-07,1.010053e-06,1.066700e-06,1.075508e-06,1.135197e-06,1.181136e-06,1.189469e-06,1.238660e-06,1.275429e-06,1.283088e-06,1.323054e-06,1.352007e-06,1.358844e-06,1.390730e-06,1.413054e-06,1.418965e-06,1.443786e-06,1.460507e-06,1.465420e-06,1.484079e-06,1.496091e-06,1.499965e-06,1.513269e-06,1.521353e-06,1.524175e-06,1.532850e-06,1.537680e-06,1.539452e-06,1.544130e-06,1.546282e-06,1.547021e-06,1.548256e-06,1.548225e-06,1.547959e-06,1.546243e-06,1.544451e-06,1.543217e-06,1.538983e-06,1.535792e-06,1.533635e-06,1.527264e-06,1.522984e-06,1.519952e-06,1.511778e-06,1.506671e-06,1.502815e-06,1.493133e-06,1.487420e-06,1.482795e-06,1.471862e-06,1.465731e-06,1.460391e-06,1.448435e-06,1.442042e-06,1.436042e-06,1.423260e-06,1.416736e-06,1.410130e-06,1.396694e-06,1.390147e-06,1.382990e-06,1.369051e-06,1.362570e-06,1.354912e-06,1.340602e-06,1.334259e-06,1.326149e-06,1.311582e-06,1.305435e-06,1.296923e-06,1.282196e-06,1.276291e-06,1.267422e-06,1.252621e-06,1.246993e-06,1.237811e-06,1.223009e-06,1.217685e-06,1.208230e-06,1.193489e-06,1.188489e-06,1.178800e-06,1.164175e-06,1.159510e-06,1.149624e-06,1.135159e-06,1.130837e-06,1.120789e-06,1.106522e-06,1.102547e-06,1.092367e-06,1.078331e-06,1.074702e-06,1.064421e-06,1.050642e-06,1.047355e-06,1.037000e-06,1.023499e-06,1.020549e-06,1.010145e-06,9.969413e-07,9.943188e-07,9.838907e-07,9.709965e-07,9.686924e-07,9.582614e-07,9.456878e-07,9.436911e-07,9.332774e-07,9.210320e-07,9.193309e-07,9.089529e-07,8.970412e-07,8.956231e-07,8.852976e-07,8.737228e-07,8.725746e-07,8.623171e-07,8.510806e-07,8.501890e-07,8.400134e-07,8.291152e-07,8.284667e-07,8.183858e-07,8.078245e-07,8.074055e-07,7.974307e-07,7.872036e-07,7.870008e-07,7.771425e-07,7.672462e-07,7.481337e-07,7.296538e-07,7.117959e-07,6.945486e-07,6.778994e-07,6.618356e-07,6.463437e-07,6.314101e-07,6.170207e-07,6.031613e-07,5.898178e-07,5.769759e-07,5.646213e-07,5.527399e-07,5.413177e-07,5.303408e-07,5.197956e-07,5.096684e-07,4.999463e-07,4.906160e-07,4.816650e-07,4.730809e-07,4.648514e-07,4.569646e-07,4.494091e-07,4.421736e-07,4.352470e-07,4.286187e-07,4.222783e-07,4.162157e-07,4.104212e-07,4.048852e-07,3.995984e-07,3.945519e-07,3.897371e-07,3.851455e-07,3.807689e-07,3.765994e-07,3.726294e-07,3.688515e-07,3.652585e-07,3.618434e-07,3.585996e-07,3.555205e-07,3.525998e-07,3.498316e-07,3.472098e-07,3.447289e-07,3.423832e-07
0.000000e+00,7.010242e-10,8.726225e-09,9.096021e-09,5.222446e-08,1.725716e-07,1.798946e-07,4.267693e-07,7.471799e-07,7.692790e-07,1.144744e-06,1.481569e-06,1.509961e-06,1.850617e-06,2.133930e-06,2.164053e-06,2.450775e-06,2.682007e-06,2.712067e-06,2.949387e-06,3.135431e-06,3.164204e-06,3.357950e-06,3.505422e-06,3.532001e-06,3.687667e-06,3.802473e-06,3.826198e-06,3.948770e-06,4.036087e-06,4.056496e-06,4.150423e-06,4.214743e-06,4.231536e-06,4.300763e-06,4.345964e-06,4.358975e-06,4.406989e-06,4.436406e-06,4.445570e-06,4.475437e-06,4.491924e-06,4.497261e-06,4.511670e-06,4.517662e-06,4.519254e-06,4.520562e-06,4.518130e-06,4.516108e-06,4.506374e-06,4.497276e-06,4.491808e-06,4.472829e-06,4.458548e-06,4.449828e-06,4.423171e-06,4.404957e-06,4.393197e-06,4.360224e-06,4.339125e-06,4.324548e-06,4.286442e-06,4.263330e-06,4.246165e-06,4.203952e-06,4.179552e-06,4.160027e-06,4.114594e-06,4.089502e-06,4.067845e-06,4.019958e-06,3.994661e-06,3.971095e-06,3.921410e-06,3.896303e-06,3.871044e-06,3.820126e-06,3.795526e-06,3.768778e-06,3.717111e-06,3.693266e-06,3.665227e-06,3.613221e-06,3.590322e-06,3.561180e-06,3.509183e-06,3.487376e-06,3.457304e-06,3.405610e-06,3.384999e-06,3.354163e-06,3.303018e-06,3.283673e-06,3.252226e-06,3.201834e-06,3.183799e-06,3.151884e-06,3.102413e-06,3.085708e-06,3.053456e-06,3.005043e-06,2.989671e-06,2.957202e-06,2.909957e-06,2.895903e-06,2.863330e-06,2.817339e-06,2.804578e-06,2.772001e-06,2.727331e-06,2.715827e-06,2.683339e-06,2.640037e-06,2.629747e-06,2.597432e-06,2.555531e-06,2.546408e-06,2.514340e-06,2.473863e-06,2.465853e-06,2.434101e-06,2.395056e-06,2.388104e-06,2.356727e-06,2.319115e-06,2.313164e-06,2.282218e-06,2.246031e-06,2.241022e-06,2.210553e-06,2.175779e-06,2.171653e-06,2.141704e-06,2.108323e-06,2.105023e-06,2.075630e-06,2.043618e-06,2.041086e-06,2.012280e-06,1.981610e-06,1.979790e-06,1.951599e-06,1.922240e-06,1.921079e-06,1.893525e-06,1.865444e-06,1.864889e-06,1.837991e-06,1.811155e-06,1.759807e-06,1.710775e-06,1.663986e-06,1.619368e-06,1.576848e-06,1.536352e-06,1.497808e-06,1.461145e-06,1.426291e-06,1.393178e-06,1.361737e-06,1.331902e-06,1.303608e-06,1.276792e-06,1.251393e-06,1.227351e-06,1.204609e-06,1.183111e-06,1.162802e-06,1.143631e-06,1.125547e-06,1.108502e-06,1.092448e-06,1.077342e-06,1.063139e-06,1.049797e-06,1.037277e-06,1.025539e-06,1.014548e-06,1.004267e-06,9.946613e-07,9.856992e-07,9.773488e-07,9.695800e-07,9.623637e-07,9.556724e-07,9.494794e-07,9.437593e-07,9.384877e-07,9.336412e-07,9.291974e-07,9.251351e-07,9.214337e-07,9.180737e-07,9.150363e-07,9.123036e-07,9.098586e-07,9.076849e-07,9.057668e-07
0.000000e+00,4.103898e-10,5.272601e-09,5.499791e-09,3.253303e-08,1.099223e-07,1.146852e-07,2.778826e-07,4.964804e-07,5.118168e-07,7.764536e-07,1.018574e-06,1.039130e-06,1.287285e-06,1.495746e-06,1.518025e-06,1.731274e-06,1.904968e-06,1.927673e-06,2.108047e-06,2.251002e-06,2.273248e-06,2.424121e-06,2.540386e-06,2.561491e-06,2.686147e-06,2.779411e-06,2.798847e-06,2.900312e-06,2.973856e-06,2.991227e-06,3.072246e-06,3.128971e-06,3.143989e-06,3.207045e-06,3.249501e-06,3.261971e-06,3.309295e-06,3.339716e-06,3.349518e-06,3.383111e-06,3.403444e-06,3.410520e-06,3.432167e-06,3.444106e-06,3.448450e-06,3.459745e-06,3.464758e-06,3.466406e-06,3.468767e-06,3.468124e-06,3.467144e-06,3.461833e-06,3.456630e-06,3.453116e-06,3.441255e-06,3.432432e-06,3.426499e-06,3.409081e-06,3.397445e-06,3.389222e-06,3.367128e-06,3.353366e-06,3.342993e-06,3.316999e-06,3.301696e-06,3.289319e-06,3.260114e-06,3.243762e-06,3.229533e-06,3.197719e-06,3.180733e-06,3.164805e-06,3.130915e-06,3.113641e-06,3.096165e-06,3.060665e-06,3.043388e-06,3.024516e-06,2.987813e-06,2.970768e-06,2.950645e-06,2.913096e-06,2.896473e-06,2.875241e-06,2.837154e-06,2.821105e-06,2.798902e-06,2.760546e-06,2.745187e-06,2.722144e-06,2.683750e-06,2.669173e-06,2.645413e-06,2.607180e-06,2.593450e-06,2.569094e-06,2.531192e-06,2.518354e-06,2.493511e-06,2.456085e-06,2.444167e-06,2.418943e-06,2.382113e-06,2.371129e-06,2.345622e-06,2.309491e-06,2.299442e-06,2.273742e-06,2.238393e-06,2.229270e-06,2.203462e-06,2.168965e-06,2.160751e-06,2.134913e-06,2.101321e-06,2.093993e-06,2.068198e-06,2.035553e-06,2.029082e-06,2.003395e-06,1.971730e-06,1.966084e-06,1.940565e-06,1.909903e-06,1.905044e-06,1.879748e-06,1.850104e-06,1.845995e-06,1.820972e-06,1.792353e-06,1.788954e-06,1.764248e-06,1.736657e-06,1.733926e-06,1.709579e-06,1.683012e-06,1.680908e-06,1.656954e-06,1.631404e-06,1.629887e-06,1.606358e-06,1.581812e-06,1.580841e-06,1.557764e-06,1.534210e-06,1.533744e-06,1.511144e-06,1.488563e-06,1.445262e-06,1.403801e-06,1.364135e-06,1.326220e-06,1.290008e-06,1.255449e-06,1.222494e-06,1.191093e-06,1.161195e-06,1.132748e-06,1.105704e-06,1.080011e-06,1.055620e-06,1.032482e-06,1.010549e-06,9.897747e-07,9.701123e-07,9.515170e-07,9.339450e-07,9.173536e-07,9.017013e-07,8.869480e-07,8.730545e-07,8.599831e-07,8.476971e-07,8.361612e-07,8.253412e-07,8.152040e-07,8.057180e-07,7.968523e-07,7.885776e-07,7.808653e-07,7.736881e-07,7.670197e-07,7.608349e-07,7.551094e-07,7.498199e-07,7.449439e-07,7.404601e-07,7.363480e-07,7.325877e-07,7.291604e-07,7.260480e-07,7.232332e-07,7.206994e-07,7.184308e-07,7.164122e-07,7.146292e-07,7.130679e-07
0.000000e+00,9.722873e-08,2.900305e-06,3.062010e-06,2.776150e-05,1.126740e-04,1.180343e-04,2.964254e-04,5.183518e-04,5.335029e-04,7.926555e-04,1.030186e-03,1.050403e-03,1.294032e-03,1.496082e-03,1.517423e-03,1.718228e-03,1.876011e-03,1.896179e-03,2.052104e-03,2.169625e-03,2.187379e-03,2.303613e-03,2.387756e-03,2.402475e-03,2.485602e-03,2.543119e-03,2.554550e-03,2.610768e-03,2.647478e-03,2.655591e-03,2.690243e-03,2.710927e-03,2.715833e-03,2.733366e-03,2.741865e-03,2.743750e-03,2.747801e-03,2.747157e-03,2.746255e-03,2.739770e-03,2.732378e-03,2.728940e-03,2.714296e-03,2.702033e-03,2.696315e-03,2.675423e-03,2.659752e-03,2.652004e-03,2.626400e-03,2.608455e-03,2.598917e-03,2.569830e-03,2.550486e-03,2.539383e-03,2.507796e-03,2.487727e-03,2.475266e-03,2.441966e-03,2.421682e-03,2.408053e-03,2.373667e-03,2.353555e-03,2.338930e-03,2.303955e-03,2.284302e-03,2.268839e-03,2.233669e-03,2.214683e-03,2.198523e-03,2.163468e-03,2.145296e-03,2.128566e-03,2.093868e-03,2.076612e-03,2.059423e-03,2.025271e-03,2.008993e-03,1.991448e-03,1.957984e-03,1.942719e-03,1.924907e-03,1.892239e-03,1.878001e-03,1.860001e-03,1.828209e-03,1.814993e-03,1.796877e-03,1.766016e-03,1.753806e-03,1.735636e-03,1.705744e-03,1.694514e-03,1.676346e-03,1.647446e-03,1.637164e-03,1.619046e-03,1.591147e-03,1.581776e-03,1.563752e-03,1.536857e-03,1.528357e-03,1.510463e-03,1.484567e-03,1.476895e-03,1.459165e-03,1.434255e-03,1.427368e-03,1.409832e-03,1.385891e-03,1.379745e-03,1.362428e-03,1.339437e-03,1.333989e-03,1.316913e-03,1.294850e-03,1.290057e-03,1.273241e-03,1.252081e-03,1.247902e-03,1.231362e-03,1.211079e-03,1.207474e-03,1.191225e-03,1.171793e-03,1.168723e-03,1.152777e-03,1.134169e-03,1.131596e-03,1.115962e-03,1.098150e-03,1.096039e-03,1.080727e-03,1.063684e-03,1.062001e-03,1.047016e-03,1.030716e-03,1.029427e-03,1.014776e-03,9.991907e-04,9.982667e-04,9.839531e-04,9.690567e-04,9.684678e-04,9.544950e-04,9.402615e-04,9.399802e-04,9.263501e-04,9.127545e-04,8.867427e-04,8.618980e-04,8.381751e-04,8.155299e-04,7.939198e-04,7.733035e-04,7.536412e-04,7.348944e-04,7.170259e-04,7.000000e-04,6.837821e-04,6.683391e-04,6.536389e-04,6.396508e-04,6.263452e-04,6.136936e-04,6.016686e-04,5.902439e-04,5.793942e-04,5.690952e-04,5.593236e-04,5.500569e-04,5.412736e-04,5.329529e-04,5.250751e-04,5.176210e-04,5.105722e-04,5.039113e-04,4.976213e-04,4.916860e-04,4.860898e-04,4.808177e-04,4.758554e-04,4.711891e-04,4.668056e-04,4.626921e-04,4.588365e-04,4.552271e-04,4.518527e-04,4.487023e-04,4.457658e-04,4.430331e-04,4.404947e-04,4.381415e-04,4.359646e-04,4.339556e-04,4.321065e-04,4.304094e-04,4.288569e-04
0.000000e+00,9.230354e-09,1.197703e-07,1.249376e-07,7.498681e-07,2.591405e-06,2.705870e-06,6.619288e-06,1.166034e-05,1.200326e-05,1.776645e-05,2.291080e-05,2.334580e-05,2.859788e-05,3.302652e-05,3.350130e-05,3.806336e-05,4.180659e-05,4.229796e-05,4.622058e-05,4.935649e-05,4.984692e-05,5.319246e-05,5.579682e-05,5.627237e-05,5.910132e-05,6.124375e-05,6.169348e-05,6.406244e-05,6.580567e-05,6.622122e-05,6.818220e-05,6.958206e-05,6.995717e-05,7.155735e-05,7.266313e-05,7.299335e-05,7.427523e-05,7.513022e-05,7.541252e-05,7.641424e-05,7.705633e-05,7.728890e-05,7.804456e-05,7.850681e-05,7.868882e-05,7.922886e-05,7.954004e-05,7.967146e-05,8.002302e-05,8.020811e-05,8.028956e-05,8.047678e-05,8.055747e-05,8.059005e-05,8.063445e-05,8.062949e-05,8.061473e-05,8.053539e-05,8.046094e-05,8.040067e-05,8.021456e-05,8.008455e-05,7.998081e-05,7.970295e-05,7.952934e-05,7.938433e-05,7.902806e-05,7.882107e-05,7.863710e-05,7.821422e-05,7.798258e-05,7.776202e-05,7.728296e-05,7.703407e-05,7.677932e-05,7.625329e-05,7.599344e-05,7.570689e-05,7.514203e-05,7.487649e-05,7.456050e-05,7.396398e-05,7.369718e-05,7.335406e-05,7.273220e-05,7.246780e-05,7.209980e-05,7.145816e-05,7.119918e-05,7.080848e-05,7.015192e-05,6.990084e-05,6.948953e-05,6.882231e-05,6.858111e-05,6.815120e-05,6.747706e-05,6.724731e-05,6.680072e-05,6.612291e-05,6.590583e-05,6.544437e-05,6.476573e-05,6.456222e-05,6.408762e-05,6.341061e-05,6.322132e-05,6.273523e-05,6.206196e-05,6.188731e-05,6.139126e-05,6.072355e-05,6.056379e-05,6.005923e-05,5.939865e-05,5.925386e-05,5.874215e-05,5.809003e-05,5.796016e-05,5.744259e-05,5.680007e-05,5.668496e-05,5.616271e-05,5.553074e-05,5.543014e-05,5.490434e-05,5.428369e-05,5.419727e-05,5.366896e-05,5.306029e-05,5.298766e-05,5.245781e-05,5.186163e-05,5.180237e-05,5.127187e-05,5.068861e-05,5.064223e-05,5.011192e-05,4.954189e-05,4.950790e-05,4.897856e-05,4.842199e-05,4.839987e-05,4.787221e-05,4.732926e-05,4.731847e-05,4.679316e-05,4.626392e-05,4.523631e-05,4.423566e-05,4.326189e-05,4.231484e-05,4.139431e-05,4.050001e-05,3.963164e-05,3.878884e-05,3.797123e-05,3.717838e-05,3.640986e-05,3.566522e-05,3.494399e-05,3.424568e-05,3.356982e-05,3.291589e-05,3.228341e-05,3.167187e-05,3.108078e-05,3.050963e-05,2.995794e-05,2.942519e-05,2.891092e-05,2.841464e-05,2.793587e-05,2.747415e-05,2.702901e-05,2.660000e-05,2.618668e-05,2.578860e-05,2.540535e-05,2.503649e-05,2.468162e-05,2.434033e-05,2.401223e-05,2.369693e-05,2.339407e-05,2.310326e-05,2.282414e-05,2.255638e-05,2.229962e-05,2.205353e-05,2.181779e-05,2.159207e-05,2.137606e-05,2.116947e-05,2.097199e-05,2.078334e-05,2.060323e-05
0.000000e+00,4.534373e-09,6.193944e-08,6.463583e-08,3.774014e-07,1.205801e-06,1.254190e-06,2.761230e-06,4.438603e-06,4.546950e-06,6.320083e-06,7.867914e-06,7.998193e-06,9.567463e-06,1.088718e-05,1.102851e-05,1.238494e-05,1.349551e-05,1.364110e-05,1.480150e-05,1.572626e-05,1.587061e-05,1.685282e-05,1.761400e-05,1.775261e-05,1.857435e-05,1.919296e-05,1.932235e-05,2.000074e-05,2.049602e-05,2.061352e-05,2.116454e-05,2.155382e-05,2.165746e-05,2.209581e-05,2.239450e-05,2.248290e-05,2.282193e-05,2.304364e-05,2.311590e-05,2.336766e-05,2.352433e-05,2.357993e-05,2.375528e-05,2.385735e-05,2.389612e-05,2.400475e-05,2.406133e-05,2.408334e-05,2.413394e-05,2.415295e-05,2.415849e-05,2.415882e-05,2.414711e-05,2.413664e-05,2.409358e-05,2.405708e-05,2.403118e-05,2.395089e-05,2.389470e-05,2.385407e-05,2.374199e-05,2.367049e-05,2.361588e-05,2.347687e-05,2.339379e-05,2.332603e-05,2.316436e-05,2.307289e-05,2.299281e-05,2.281228e-05,2.271514e-05,2.262361e-05,2.242756e-05,2.232701e-05,2.222489e-05,2.201629e-05,2.191424e-05,2.180240e-05,2.158383e-05,2.148187e-05,2.136115e-05,2.113490e-05,2.103434e-05,2.090557e-05,2.067364e-05,2.057555e-05,2.043953e-05,2.020366e-05,2.010890e-05,1.996640e-05,1.972812e-05,1.963737e-05,1.948913e-05,1.924976e-05,1.916355e-05,1.901028e-05,1.877097e-05,1.868968e-05,1.853206e-05,1.829379e-05,1.821771e-05,1.805636e-05,1.781998e-05,1.774930e-05,1.758483e-05,1.735107e-05,1.728589e-05,1.711886e-05,1.688833e-05,1.682868e-05,1.665962e-05,1.643284e-05,1.637871e-05,1.620810e-05,1.598550e-05,1.593682e-05,1.576513e-05,1.554706e-05,1.550373e-05,1.533138e-05,1.511814e-05,1.508002e-05,1.490739e-05,1.469920e-05,1.466613e-05,1.449361e-05,1.429065e-05,1.426245e-05,1.409035e-05,1.389276e-05,1.386923e-05,1.369787e-05,1.350573e-05,1.348666e-05,1.331633e-05,1.312970e-05,1.311489e-05,1.294583e-05,1.276474e-05,1.275396e-05,1.258642e-05,1.241087e-05,1.240390e-05,1.223808e-05,1.206805e-05,1.206468e-05,1.190076e-05,1.173622e-05,1.141842e-05,1.111117e-05,1.081429e-05,1.052763e-05,1.025099e-05,9.984161e-06,9.726939e-06,9.479100e-06,9.240413e-06,9.010645e-06,8.789558e-06,8.576916e-06,8.372476e-06,8.176002e-06,7.987254e-06,7.805997e-06,7.631997e-06,7.465025e-06,7.304852e-06,7.151258e-06,7.004023e-06,6.862934e-06,6.727781e-06,6.598361e-06,6.474474e-06,6.355927e-06,6.242530e-06,6.134100e-06,6.030458e-06,5.931431e-06,5.836850e-06,5.746553e-06,5.660382e-06,5.578182e-06,5.499805e-06,5.425108e-06,5.353952e-06,5.286201e-06,5.221727e-06,5.160402e-06,5.102106e-06,5.046720e-06,4.994132e-06,4.944231e-06,4.896912e-06,4.852072e-06,4.809614e-06,4.769440e-06,4.731461e-06
0.000000e+00,2.720679e-08,5.779837e-07,6.080805e-07,5.132680e-06,2.125033e-05,2.228753e-05,5.641840e-05,9.533715e-05,9.784726e-05,1.387516e-04,1.741441e-04,1.771087e-04,2.126382e-04,2.422517e-04,2.454082e-04,2.755521e-04,3.000195e-04,3.032123e-04,3.285287e-04,3.485300e-04,3.516372e-04,3.726679e-04,3.888188e-04,3.917448e-04,4.089870e-04,4.218372e-04,4.245092e-04,4.384209e-04,4.484606e-04,4.508258e-04,4.618227e-04,4.694830e-04,4.715048e-04,4.799603e-04,4.856173e-04,4.872722e-04,4.935191e-04,4.974997e-04,4.987748e-04,5.031089e-04,5.056955e-04,5.065866e-04,5.092696e-04,5.107058e-04,5.112155e-04,5.124787e-04,5.129738e-04,5.131101e-04,5.131576e-04,5.128910e-04,5.126660e-04,5.116775e-04,5.108024e-04,5.102316e-04,5.083652e-04,5.070122e-04,5.061130e-04,5.035077e-04,5.017876e-04,5.005795e-04,4.973570e-04,4.953636e-04,4.938668e-04,4.901338e-04,4.879461e-04,4.861814e-04,4.820314e-04,4.797154e-04,4.777041e-04,4.732184e-04,4.708293e-04,4.685923e-04,4.638421e-04,4.614253e-04,4.589833e-04,4.540302e-04,4.516233e-04,4.489964e-04,4.438941e-04,4.415273e-04,4.387351e-04,4.335299e-04,4.312277e-04,4.282888e-04,4.230208e-04,4.208023e-04,4.177346e-04,4.124382e-04,4.103184e-04,4.071388e-04,4.018434e-04,3.998335e-04,3.965581e-04,3.912888e-04,3.893968e-04,3.860407e-04,3.808188e-04,3.790502e-04,3.756276e-04,3.704711e-04,3.688290e-04,3.653531e-04,3.602769e-04,3.587628e-04,3.552459e-04,3.502626e-04,3.488762e-04,3.453297e-04,3.404495e-04,3.391895e-04,3.356239e-04,3.308550e-04,3.297190e-04,3.261442e-04,3.214930e-04,3.204778e-04,3.169026e-04,3.123743e-04,3.114761e-04,3.079087e-04,3.035069e-04,3.027214e-04,2.991693e-04,2.948966e-04,2.942190e-04,2.906891e-04,2.865472e-04,2.859726e-04,2.824710e-04,2.784607e-04,2.779839e-04,2.745163e-04,2.706377e-04,2.702534e-04,2.668247e-04,2.630773e-04,2.627803e-04,2.593951e-04,2.557778e-04,2.555628e-04,2.522251e-04,2.487365e-04,2.485983e-04,2.453115e-04,2.419498e-04,2.418832e-04,2.386506e-04,2.354136e-04,2.291849e-04,2.231923e-04,2.174303e-04,2.118936e-04,2.065763e-04,2.014725e-04,1.965763e-04,1.918817e-04,1.873825e-04,1.830727e-04,1.789462e-04,1.749972e-04,1.712196e-04,1.676077e-04,1.641557e-04,1.608580e-04,1.577091e-04,1.547036e-04,1.518362e-04,1.491019e-04,1.464957e-04,1.440126e-04,1.416481e-04,1.393975e-04,1.372564e-04,1.352205e-04,1.332857e-04,1.314478e-04,1.297031e-04,1.280478e-04,1.264782e-04,1.249907e-04,1.235821e-04,1.222491e-04,1.209884e-04,1.197971e-04,1.186723e-04,1.176110e-04,1.166105e-04,1.156684e-04,1.147819e-04,1.139487e-04,1.131664e-04,1.124329e-04,1.117459e-04,1.111033e-04,1.105031e-04,1.099434e-04,1.094224e-04
0.000000e+00,6.673925e-08,1.335147e-06,1.401143e-06,1.086067e-05,4.586738e-05,4.826050e-05,1.403706e-04,2.825618e-04,2.930797e-04,4.831266e-04,6.673997e-04,6.833056e-04,8.758923e-04,1.035085e-03,1.051789e-03,1.207293e-03,1.326660e-03,1.341692e-03,1.455811e-03,1.538900e-03,1.551192e-03,1.629647e-03,1.683826e-03,1.693029e-03,1.743111e-03,1.775414e-03,1.781540e-03,1.809807e-03,1.826010e-03,1.829253e-03,1.841067e-03,1.845667e-03,1.846304e-03,1.845892e-03,1.842307e-03,1.840648e-03,1.831288e-03,1.822081e-03,1.818436e-03,1.802638e-03,1.789710e-03,1.784371e-03,1.764050e-03,1.748798e-03,1.742035e-03,1.718642e-03,1.702088e-03,1.694143e-03,1.668774e-03,1.651655e-03,1.642740e-03,1.616218e-03,1.599059e-03,1.589360e-03,1.562299e-03,1.545469e-03,1.535146e-03,1.508000e-03,1.491749e-03,1.480941e-03,1.454042e-03,1.438538e-03,1.427363e-03,1.400953e-03,1.386297e-03,1.374855e-03,1.349104e-03,1.335354e-03,1.323730e-03,1.298756e-03,1.285935e-03,1.274202e-03,1.250083e-03,1.238190e-03,1.226411e-03,1.203193e-03,1.192213e-03,1.180438e-03,1.158147e-03,1.148050e-03,1.136324e-03,1.114968e-03,1.105719e-03,1.094078e-03,1.073652e-03,1.065210e-03,1.053686e-03,1.034177e-03,1.026499e-03,1.015118e-03,9.965047e-04,9.895472e-04,9.783306e-04,9.605890e-04,9.543067e-04,9.432731e-04,9.263756e-04,9.207244e-04,9.098890e-04,8.938057e-04,8.887430e-04,8.781181e-04,8.628182e-04,8.583027e-04,8.478982e-04,8.333503e-04,8.293425e-04,8.191666e-04,8.053392e-04,8.018016e-04,7.918605e-04,7.787226e-04,7.756194e-04,7.659180e-04,7.534391e-04,7.507367e-04,7.412784e-04,7.294286e-04,7.270953e-04,7.178824e-04,7.066328e-04,7.046388e-04,6.956727e-04,6.849953e-04,6.833127e-04,6.745938e-04,6.644615e-04,6.630641e-04,6.545921e-04,6.449791e-04,6.438425e-04,6.356164e-04,6.264977e-04,6.255991e-04,6.176172e-04,6.089690e-04,6.082870e-04,6.005474e-04,5.923468e-04,5.918617e-04,5.843617e-04,5.765869e-04,5.762802e-04,5.690170e-04,5.616470e-04,5.615016e-04,5.544719e-04,5.474868e-04,5.341985e-04,5.216012e-04,5.096607e-04,4.983449e-04,4.876228e-04,4.774652e-04,4.678439e-04,4.587324e-04,4.501053e-04,4.419386e-04,4.342091e-04,4.268951e-04,4.199758e-04,4.134313e-04,4.072429e-04,4.013926e-04,3.958635e-04,3.906392e-04,3.857045e-04,3.810447e-04,3.766458e-04,3.724946e-04,3.685785e-04,3.648855e-04,3.614043e-04,3.581240e-04,3.550343e-04,3.521255e-04,3.493882e-04,3.468137e-04,3.443934e-04,3.421195e-04,3.399843e-04,3.379807e-04,3.361017e-04,3.343409e-04,3.326920e-04,3.311492e-04,3.297069e-04,3.283597e-04,3.271027e-04,3.259309e-04,3.248400e-04,3.238254e-04,3.228832e-04,3.220093e-04,3.212002e-04,3.204522e-04,3.197620e-04
0.000000e+00,5.119396e-09,7.914907e-08,8.283041e-08,5.458974e-07,1.826111e-06,1.899387e-06,4.040073e-06,6.229867e-06,6.368664e-06,8.628599e-06,1.060149e-05,1.076794e-05,1.277930e-05,1.448151e-05,1.466445e-05,1.642727e-05,1.788089e-05,1.807221e-05,1.960396e-05,2.083437e-05,2.102729e-05,2.234702e-05,2.337900e-05,2.356789e-05,2.469463e-05,2.555155e-05,2.573185e-05,2.668402e-05,2.738746e-05,2.755551e-05,2.835040e-05,2.891979e-05,2.907266e-05,2.972635e-05,3.017960e-05,3.031521e-05,3.084280e-05,3.119578e-05,3.131253e-05,3.172763e-05,3.199443e-05,3.209121e-05,3.240621e-05,3.259932e-05,3.267545e-05,3.290160e-05,3.303209e-05,3.308723e-05,3.323476e-05,3.331238e-05,3.334649e-05,3.342464e-05,3.345800e-05,3.347129e-05,3.348843e-05,3.348508e-05,3.347796e-05,3.344166e-05,3.340819e-05,3.338124e-05,3.329832e-05,3.324052e-05,3.319443e-05,3.307103e-05,3.299393e-05,3.292951e-05,3.277118e-05,3.267913e-05,3.259727e-05,3.240897e-05,3.230574e-05,3.220740e-05,3.199360e-05,3.188244e-05,3.176859e-05,3.153330e-05,3.141697e-05,3.128863e-05,3.103543e-05,3.091631e-05,3.077450e-05,3.050659e-05,3.038669e-05,3.023242e-05,2.995267e-05,2.983367e-05,2.966797e-05,2.937892e-05,2.926221e-05,2.908609e-05,2.879000e-05,2.867674e-05,2.849117e-05,2.819006e-05,2.808119e-05,2.788711e-05,2.758275e-05,2.747902e-05,2.727737e-05,2.697133e-05,2.687331e-05,2.666497e-05,2.635863e-05,2.626677e-05,2.605260e-05,2.574716e-05,2.566178e-05,2.544258e-05,2.513911e-05,2.506041e-05,2.483697e-05,2.453637e-05,2.446448e-05,2.423753e-05,2.394061e-05,2.387556e-05,2.364579e-05,2.335323e-05,2.329501e-05,2.306308e-05,2.277546e-05,2.272397e-05,2.249050e-05,2.220831e-05,2.216343e-05,2.192900e-05,2.165266e-05,2.161421e-05,2.137937e-05,2.110922e-05,2.107701e-05,2.084226e-05,2.057857e-05,2.055238e-05,2.031819e-05,2.006117e-05,2.004076e-05,1.980757e-05,1.955740e-05,1.954250e-05,1.931071e-05,1.906751e-05,1.905786e-05,1.882784e-05,1.859170e-05,1.858701e-05,1.835911e-05,1.813007e-05,1.768708e-05,1.725803e-05,1.684287e-05,1.644149e-05,1.605377e-05,1.567955e-05,1.531862e-05,1.497078e-05,1.463578e-05,1.431339e-05,1.400333e-05,1.370534e-05,1.341912e-05,1.314438e-05,1.288084e-05,1.262819e-05,1.238613e-05,1.215436e-05,1.193258e-05,1.172048e-05,1.151778e-05,1.132418e-05,1.113938e-05,1.096310e-05,1.079505e-05,1.063497e-05,1.048256e-05,1.033757e-05,1.019974e-05,1.006881e-05,9.944525e-06,9.826646e-06,9.714935e-06,9.609160e-06,9.509096e-06,9.414524e-06,9.325229e-06,9.241006e-06,9.161653e-06,9.086976e-06,9.016784e-06,8.950895e-06,8.889131e-06,8.831320e-06,8.777295e-06,8.726896e-06,8.679966e-06,8.636355e-06,8.595917e-06
0.000000e+00,1.240439e-07,2.336102e-06,2.448296e-06,1.809358e-05,7.542897e-05,7.935658e-05,2.318835e-04,4.736741e-04,4.919092e-04,8.307540e-04,1.178275e-03,1.209256e-03,1.598587e-03,1.943455e-03,1.981064e-03,2.346694e-03,2.650281e-03,2.690243e-03,3.009324e-03,3.263586e-03,3.303217e-03,3.572175e-03,3.779400e-03,3.816990e-03,4.038754e-03,4.204262e-03,4.238699e-03,4.418113e-03,4.547729e-03,4.578285e-03,4.720475e-03,4.819682e-03,4.845895e-03,4.955699e-03,5.029383e-03,5.050984e-03,5.132781e-03,5.185201e-03,5.202062e-03,5.259742e-03,5.294569e-03,5.306675e-03,5.343664e-03,5.364044e-03,5.371460e-03,5.390767e-03,5.399383e-03,5.402241e-03,5.406498e-03,5.405635e-03,5.404113e-03,5.395624e-03,5.387220e-03,5.381532e-03,5.362307e-03,5.348003e-03,5.338387e-03,5.310184e-03,5.291366e-03,5.278079e-03,5.242430e-03,5.220261e-03,5.203570e-03,5.161810e-03,5.137267e-03,5.117441e-03,5.070732e-03,5.044626e-03,5.021936e-03,4.971287e-03,4.944290e-03,4.919003e-03,4.865288e-03,4.837953e-03,4.810329e-03,4.754303e-03,4.727079e-03,4.697372e-03,4.639687e-03,4.612938e-03,4.581388e-03,4.522606e-03,4.496620e-03,4.463460e-03,4.404062e-03,4.379064e-03,4.344514e-03,4.284912e-03,4.261075e-03,4.225342e-03,4.165886e-03,4.143338e-03,4.106618e-03,4.047605e-03,4.026435e-03,3.988911e-03,3.930591e-03,3.910857e-03,3.872698e-03,3.815280e-03,3.797014e-03,3.758380e-03,3.702037e-03,3.685248e-03,3.646285e-03,3.591158e-03,3.575838e-03,3.536682e-03,3.482885e-03,3.469012e-03,3.429788e-03,3.377411e-03,3.364950e-03,3.325772e-03,3.274886e-03,3.263793e-03,3.224765e-03,3.175421e-03,3.165647e-03,3.126864e-03,3.079099e-03,3.070587e-03,3.032134e-03,2.985973e-03,2.978662e-03,2.940618e-03,2.896072e-03,2.889900e-03,2.852335e-03,2.809407e-03,2.804310e-03,2.767285e-03,2.725969e-03,2.721881e-03,2.685453e-03,2.645735e-03,2.642592e-03,2.606810e-03,2.568673e-03,2.566409e-03,2.531316e-03,2.494735e-03,2.493288e-03,2.458922e-03,2.423870e-03,2.423176e-03,2.389570e-03,2.356016e-03,2.291742e-03,2.230286e-03,2.171576e-03,2.115537e-03,2.062093e-03,2.011167e-03,1.962680e-03,1.916552e-03,1.872707e-03,1.831066e-03,1.791552e-03,1.754088e-03,1.718600e-03,1.685014e-03,1.653257e-03,1.623259e-03,1.594952e-03,1.568267e-03,1.543139e-03,1.519506e-03,1.497303e-03,1.476473e-03,1.456956e-03,1.438696e-03,1.421637e-03,1.405728e-03,1.390917e-03,1.377155e-03,1.364393e-03,1.352586e-03,1.341688e-03,1.331657e-03,1.322452e-03,1.314032e-03,1.306359e-03,1.299395e-03,1.293105e-03,1.287455e-03,1.282411e-03,1.277940e-03,1.274014e-03,1.270601e-03,1.267674e-03,1.265206e-03,1.263169e-03,1.261539e-03,1.260292e-03,1.259405e-03,1.258855e-03
0.000000e+00,7.998417e-09,1.024469e-07,1.068266e-07,6.188115e-07,2.015207e-06,2.098328e-06,4.783057e-06,7.982066e-06,8.193794e-06,1.169075e-05,1.475012e-05,1.500696e-05,1.808862e-05,2.066001e-05,2.093417e-05,2.355264e-05,2.567792e-05,2.595521e-05,2.815347e-05,2.988930e-05,3.015887e-05,3.198262e-05,3.338212e-05,3.363554e-05,3.512803e-05,3.623915e-05,3.647003e-05,3.767102e-05,3.853634e-05,3.873999e-05,3.968547e-05,4.034242e-05,4.051552e-05,4.123780e-05,4.171909e-05,4.185950e-05,4.238745e-05,4.272156e-05,4.282806e-05,4.318735e-05,4.339889e-05,4.347101e-05,4.368443e-05,4.379475e-05,4.383268e-05,4.392054e-05,4.394815e-05,4.395262e-05,4.393321e-05,4.389412e-05,4.386626e-05,4.375553e-05,4.366330e-05,4.360451e-05,4.341650e-05,4.328272e-05,4.319459e-05,4.294169e-05,4.277621e-05,4.266051e-05,4.235361e-05,4.216477e-05,4.202338e-05,4.167205e-05,4.146688e-05,4.130172e-05,4.091435e-05,4.069874e-05,4.051178e-05,4.009572e-05,3.987457e-05,3.966776e-05,3.922941e-05,3.900677e-05,3.878205e-05,3.832698e-05,3.810616e-05,3.786541e-05,3.739846e-05,3.718216e-05,3.692719e-05,3.645257e-05,3.624290e-05,3.597548e-05,3.549678e-05,3.529543e-05,3.501724e-05,3.453756e-05,3.434581e-05,3.405842e-05,3.358043e-05,3.339920e-05,3.310413e-05,3.263006e-05,3.246003e-05,3.215868e-05,3.169044e-05,3.153202e-05,3.122571e-05,3.076488e-05,3.061829e-05,3.030827e-05,2.985617e-05,2.972146e-05,2.940885e-05,2.896656e-05,2.884365e-05,2.852952e-05,2.809791e-05,2.798661e-05,2.767192e-05,2.725168e-05,2.715170e-05,2.683734e-05,2.642901e-05,2.634000e-05,2.602678e-05,2.563074e-05,2.555229e-05,2.524096e-05,2.485748e-05,2.478913e-05,2.448035e-05,2.410961e-05,2.405088e-05,2.374526e-05,2.338732e-05,2.333772e-05,2.303579e-05,2.269066e-05,2.264968e-05,2.235192e-05,2.201954e-05,2.198665e-05,2.169349e-05,2.137373e-05,2.134842e-05,2.106023e-05,2.075294e-05,2.073470e-05,2.045180e-05,2.015676e-05,2.014508e-05,1.986776e-05,1.958474e-05,1.957914e-05,1.930764e-05,1.903637e-05,1.851623e-05,1.801814e-05,1.754149e-05,1.708568e-05,1.665005e-05,1.623397e-05,1.583679e-05,1.545786e-05,1.509654e-05,1.475218e-05,1.442416e-05,1.411185e-05,1.381464e-05,1.353194e-05,1.326316e-05,1.300774e-05,1.276512e-05,1.253476e-05,1.231615e-05,1.210877e-05,1.191215e-05,1.172581e-05,1.154930e-05,1.138217e-05,1.122401e-05,1.107440e-05,1.093297e-05,1.079932e-05,1.067311e-05,1.055397e-05,1.044159e-05,1.033564e-05,1.023582e-05,1.014183e-05,1.005339e-05,9.970236e-06,9.892109e-06,9.818763e-06,9.749964e-06,9.685485e-06,9.625114e-06,9.568644e-06,9.515879e-06,9.466633e-06,9.420727e-06,9.377989e-06,9.338258e-06,9.301378e-06,9.267201e-06
0.000000e+00,1.086545e-03,2.364783e-02,2.485205e-02,2.042367e-01,9.027152e-01,9.516337e-01,2.919532e+00,6.264758e+00,6.527376e+00,1.165987e+01,1.741076e+01,1.794707e+01,2.501373e+01,3.177605e+01,3.254185e+01,4.027439e+01,4.708552e+01,4.800801e+01,5.558475e+01,6.188280e+01,6.288446e+01,6.981829e+01,7.531313e+01,7.632311e+01,8.235679e+01,8.693476e+01,8.789420e+01,9.292380e+01,9.658106e+01,9.744484e+01,1.014649e+02,1.042617e+02,1.049981e+02,1.080631e+02,1.100930e+02,1.106822e+02,1.128800e+02,1.142502e+02,1.146822e+02,1.161155e+02,1.169340e+02,1.172065e+02,1.179816e+02,1.183501e+02,1.184666e+02,1.186863e+02,1.186964e+02,1.186646e+02,1.184244e+02,1.181565e+02,1.179869e+02,1.173723e+02,1.168947e+02,1.165993e+02,1.156852e+02,1.150547e+02,1.146461e+02,1.134967e+02,1.127598e+02,1.122506e+02,1.109204e+02,1.101147e+02,1.095172e+02,1.080516e+02,1.072071e+02,1.065328e+02,1.049696e+02,1.041098e+02,1.033697e+02,1.017401e+02,1.008831e+02,1.000871e+02,9.841660e+01,9.757639e+01,9.673369e+01,9.504305e+01,9.423006e+01,9.334890e+01,9.165502e+01,9.087687e+01,8.996480e+01,8.828128e+01,8.754337e+01,8.660719e+01,8.494496e+01,8.425089e+01,8.329676e+01,8.166452e+01,8.101649e+01,8.004997e+01,7.845461e+01,7.785370e+01,7.687981e+01,7.532673e+01,7.477315e+01,7.379641e+01,7.228976e+01,7.178303e+01,7.080755e+01,6.935044e+01,6.888957e+01,6.791901e+01,6.651374e+01,6.609731e+01,6.513501e+01,6.378314e+01,6.340946e+01,6.245838e+01,6.116091e+01,6.082806e+01,5.989087e+01,5.864832e+01,5.835421e+01,5.743330e+01,5.624579e+01,5.598823e+01,5.508574e+01,5.395305e+01,5.372979e+01,5.284761e+01,5.176927e+01,5.157803e+01,5.071785e+01,4.969314e+01,4.953166e+01,4.869494e+01,4.772299e+01,4.758900e+01,4.677705e+01,4.585683e+01,4.574812e+01,4.496206e+01,4.409244e+01,4.400685e+01,4.324765e+01,4.242739e+01,4.236282e+01,4.163132e+01,4.085911e+01,4.081353e+01,4.011043e+01,3.938492e+01,3.935638e+01,3.868226e+01,3.800207e+01,3.798869e+01,3.734401e+01,3.670773e+01,3.551071e+01,3.439485e+01,3.335734e+01,3.239539e+01,3.150622e+01,3.068704e+01,2.993511e+01,2.924768e+01,2.862206e+01,2.805556e+01,2.754552e+01,2.708932e+01,2.668435e+01,2.632803e+01,2.601782e+01,2.575122e+01,2.552572e+01,2.533889e+01,2.518831e+01,2.507159e+01,2.498641e+01,2.493046e+01,2.490151e+01,2.489736e+01,2.491586e+01,2.495493e+01,2.501254e+01,2.508674e+01,2.517565e+01,2.527743e+01,2.539036e+01,2.551277e+01,2.564307e+01,2.577977e+01,2.592145e+01,2.606678e+01,2.621452e+01,2.636350e+01,2.651267e+01,2.666105e+01,2.680772e+01,2.695188e+01,2.709280e+01,2.722982e+01,2.736238e+01,2.748997e+01,2.761217e+01,2.772862e+01,2.783903e+01
0.000000e+00,5.842460e-08,8.917292e-07,9.323875e-07,6.249622e-06,2.348477e-05,2.458910e-05,6.284198e-05,1.112650e-04,1.145009e-04,1.679982e-04,2.146077e-04,2.185056e-04,2.650464e-04,3.035204e-04,3.076011e-04,3.463515e-04,3.774794e-04,3.815174e-04,4.133202e-04,4.381449e-04,4.419748e-04,4.676877e-04,4.871576e-04,4.906559e-04,5.110672e-04,5.260219e-04,5.290999e-04,5.449227e-04,5.560972e-04,5.586949e-04,5.705661e-04,5.785968e-04,5.806770e-04,5.891607e-04,5.945968e-04,5.961415e-04,6.017360e-04,6.050482e-04,6.060538e-04,6.091962e-04,6.107847e-04,6.112586e-04,6.123298e-04,6.125346e-04,6.124928e-04,6.118254e-04,6.109342e-04,6.103996e-04,6.082826e-04,6.065373e-04,6.055370e-04,6.022210e-04,5.998248e-04,5.983891e-04,5.940916e-04,5.912141e-04,5.893755e-04,5.842842e-04,5.810662e-04,5.788581e-04,5.731347e-04,5.696927e-04,5.671488e-04,5.609326e-04,5.573622e-04,5.545160e-04,5.479266e-04,5.443055e-04,5.411898e-04,5.343292e-04,5.307201e-04,5.273667e-04,5.203222e-04,5.167750e-04,5.132142e-04,5.060598e-04,5.026138e-04,4.988745e-04,4.916727e-04,4.883580e-04,4.844676e-04,4.772711e-04,4.741102e-04,4.700942e-04,4.629469e-04,4.599562e-04,4.558385e-04,4.487771e-04,4.459674e-04,4.417702e-04,4.348246e-04,4.322027e-04,4.279465e-04,4.211412e-04,4.187101e-04,4.144138e-04,4.077685e-04,4.055285e-04,4.012091e-04,3.947392e-04,3.926882e-04,3.883617e-04,3.820790e-04,3.802131e-04,3.758935e-04,3.698070e-04,3.681208e-04,3.638211e-04,3.579369e-04,3.564238e-04,3.521556e-04,3.464777e-04,3.451305e-04,3.409040e-04,3.354346e-04,3.342454e-04,3.300698e-04,3.248094e-04,3.237698e-04,3.196532e-04,3.146010e-04,3.137026e-04,3.096521e-04,3.048061e-04,3.040403e-04,3.000622e-04,2.954196e-04,2.947777e-04,2.908774e-04,2.864345e-04,2.859080e-04,2.820901e-04,2.778428e-04,2.774234e-04,2.736916e-04,2.696352e-04,2.693148e-04,2.656724e-04,2.618019e-04,2.615726e-04,2.580222e-04,2.543322e-04,2.541864e-04,2.507302e-04,2.472150e-04,2.471456e-04,2.437851e-04,2.404390e-04,2.340556e-04,2.279839e-04,2.222126e-04,2.167306e-04,2.115265e-04,2.065893e-04,2.019083e-04,1.974728e-04,1.932725e-04,1.892973e-04,1.855374e-04,1.819832e-04,1.786256e-04,1.754556e-04,1.724646e-04,1.696444e-04,1.669868e-04,1.644844e-04,1.621295e-04,1.599151e-04,1.578345e-04,1.558810e-04,1.540484e-04,1.523306e-04,1.507219e-04,1.492168e-04,1.478100e-04,1.464964e-04,1.452713e-04,1.441300e-04,1.430681e-04,1.420815e-04,1.411660e-04,1.403180e-04,1.395336e-04,1.388096e-04,1.381424e-04,1.375290e-04,1.369663e-04,1.364516e-04,1.359819e-04,1.355548e-04,1.351677e-04,1.348183e-04,1.345043e-04,1.342237e-04,1.339743e-04,1.337543e-04,1.335617e-04
0.000000e+00,1.304671e-07,3.540092e-06,3.735545e-06,3.365491e-05,1.313996e-04,1.372416e-04,3.147695e-04,5.063652e-04,5.186618e-04,7.181227e-04,8.875847e-04,9.015723e-04,1.066022e-03,1.197907e-03,1.211655e-03,1.339694e-03,1.439001e-03,1.451635e-03,1.548976e-03,1.622095e-03,1.633133e-03,1.705415e-03,1.757833e-03,1.767018e-03,1.819032e-03,1.855225e-03,1.862446e-03,1.898156e-03,1.921724e-03,1.926972e-03,1.949626e-03,1.963445e-03,1.966778e-03,1.979023e-03,1.985378e-03,1.986896e-03,1.990882e-03,1.991585e-03,1.991414e-03,1.988884e-03,1.985365e-03,1.983644e-03,1.976010e-03,1.969396e-03,1.966267e-03,1.954673e-03,1.945848e-03,1.941456e-03,1.926824e-03,1.916483e-03,1.910963e-03,1.894040e-03,1.882722e-03,1.876205e-03,1.857593e-03,1.845717e-03,1.838324e-03,1.818506e-03,1.806393e-03,1.798236e-03,1.777601e-03,1.765496e-03,1.756677e-03,1.735535e-03,1.723623e-03,1.714235e-03,1.692834e-03,1.681252e-03,1.671380e-03,1.649917e-03,1.638766e-03,1.628484e-03,1.607116e-03,1.596466e-03,1.585843e-03,1.564692e-03,1.554590e-03,1.543687e-03,1.522850e-03,1.513326e-03,1.502197e-03,1.481747e-03,1.472816e-03,1.461512e-03,1.441504e-03,1.433171e-03,1.421734e-03,1.402212e-03,1.394474e-03,1.382944e-03,1.363936e-03,1.356783e-03,1.345195e-03,1.326723e-03,1.320140e-03,1.308526e-03,1.290604e-03,1.284574e-03,1.272960e-03,1.255596e-03,1.250098e-03,1.238511e-03,1.221707e-03,1.216720e-03,1.205182e-03,1.188936e-03,1.184437e-03,1.172968e-03,1.157277e-03,1.153243e-03,1.141861e-03,1.126718e-03,1.123124e-03,1.111846e-03,1.097243e-03,1.094066e-03,1.082905e-03,1.068832e-03,1.066049e-03,1.055020e-03,1.041465e-03,1.039053e-03,1.028166e-03,1.015119e-03,1.013055e-03,1.002321e-03,9.897692e-04,9.880314e-04,9.774601e-04,9.653906e-04,9.639583e-04,9.535575e-04,9.419575e-04,9.408102e-04,9.305874e-04,9.194438e-04,9.185620e-04,9.085235e-04,8.978232e-04,8.971881e-04,8.873397e-04,8.770697e-04,8.766633e-04,8.670100e-04,8.571573e-04,8.569624e-04,8.475085e-04,8.380603e-04,8.199326e-04,8.025549e-04,7.859036e-04,7.699552e-04,7.546870e-04,7.400768e-04,7.261026e-04,7.127433e-04,6.999781e-04,6.877869e-04,6.761499e-04,6.650481e-04,6.544627e-04,6.443758e-04,6.347696e-04,6.256270e-04,6.169314e-04,6.086665e-04,6.008166e-04,5.933665e-04,5.863013e-04,5.796065e-04,5.732681e-04,5.672726e-04,5.616067e-04,5.562576e-04,5.512129e-04,5.464604e-04,5.419884e-04,5.377857e-04,5.338410e-04,5.301437e-04,5.266835e-04,5.234502e-04,5.204341e-04,5.176257e-04,5.150160e-04,5.125959e-04,5.103570e-04,5.082908e-04,5.063894e-04,5.046449e-04,5.030498e-04,5.015969e-04,5.002790e-04,4.990894e-04,4.980215e-04,4.970689e-04,4.962256e-04
0.000000e+00,2.305378e-07,4.574340e-06,4.798026e-06,3.604932e-05,1.474463e-04,1.549436e-04,4.392255e-04,8.776666e-04,9.104834e-04,1.517994e-03,2.138344e-03,2.193488e-03,2.882598e-03,3.483604e-03,3.548388e-03,4.167839e-03,4.664138e-03,4.727972e-03,5.222758e-03,5.594890e-03,5.650846e-03,6.013932e-03,6.271278e-03,6.315601e-03,6.560514e-03,6.722620e-03,6.753854e-03,6.900942e-03,6.988823e-03,7.006993e-03,7.076960e-03,7.109462e-03,7.115450e-03,7.126678e-03,7.119332e-03,7.114444e-03,7.082143e-03,7.047104e-03,7.032783e-03,6.969014e-03,6.915494e-03,6.893158e-03,6.807242e-03,6.742067e-03,6.713026e-03,6.612034e-03,6.540170e-03,6.505585e-03,6.394818e-03,6.319829e-03,6.280714e-03,6.164120e-03,6.088532e-03,6.045761e-03,5.926259e-03,5.851833e-03,5.806151e-03,5.685896e-03,5.613841e-03,5.565890e-03,5.446470e-03,5.377588e-03,5.327921e-03,5.210490e-03,5.145296e-03,5.094384e-03,4.979779e-03,4.918570e-03,4.866823e-03,4.755640e-03,4.698561e-03,4.646334e-03,4.538988e-03,4.486072e-03,4.433671e-03,4.330436e-03,4.281636e-03,4.229327e-03,4.130372e-03,4.085583e-03,4.033595e-03,3.939008e-03,3.898085e-03,3.846617e-03,3.756421e-03,3.719192e-03,3.668414e-03,3.582584e-03,3.548859e-03,3.498917e-03,3.417393e-03,3.386972e-03,3.337990e-03,3.260683e-03,3.233360e-03,3.185444e-03,3.112244e-03,3.087814e-03,3.041051e-03,2.971832e-03,2.950094e-03,2.904555e-03,2.839184e-03,2.819939e-03,2.775684e-03,2.714017e-03,2.697075e-03,2.654149e-03,2.596042e-03,2.581218e-03,2.539658e-03,2.484962e-03,2.472082e-03,2.431915e-03,2.380481e-03,2.369379e-03,2.330624e-03,2.282306e-03,2.272824e-03,2.235491e-03,2.190145e-03,2.182136e-03,2.146232e-03,2.103716e-03,2.097041e-03,2.062564e-03,2.022741e-03,2.017270e-03,1.984215e-03,1.946953e-03,1.942565e-03,1.910922e-03,1.876091e-03,1.872673e-03,1.842430e-03,1.809907e-03,1.807353e-03,1.778493e-03,1.748159e-03,1.746373e-03,1.718877e-03,1.690618e-03,1.689509e-03,1.663356e-03,1.637063e-03,1.636547e-03,1.611713e-03,1.587282e-03,1.541518e-03,1.499070e-03,1.459759e-03,1.423414e-03,1.389875e-03,1.358987e-03,1.330604e-03,1.304585e-03,1.280799e-03,1.259120e-03,1.239426e-03,1.221604e-03,1.205545e-03,1.191146e-03,1.178308e-03,1.166939e-03,1.156949e-03,1.148253e-03,1.140772e-03,1.134427e-03,1.129148e-03,1.124864e-03,1.121509e-03,1.119021e-03,1.117340e-03,1.116408e-03,1.116172e-03,1.116581e-03,1.117585e-03,1.119138e-03,1.121195e-03,1.123715e-03,1.126657e-03,1.129983e-03,1.133659e-03,1.137648e-03,1.141919e-03,1.146441e-03,1.151185e-03,1.156124e-03,1.161231e-03,1.166482e-03,1.171854e-03,1.177325e-03,1.182875e-03,1.188484e-03,1.194135e-03,1.199810e-03,1.205495e-03
0.000000e+00,1.210130e-07,2.318805e-06,2.431026e-06,1.827486e-05,7.766656e-05,8.178892e-05,2.459420e-04,5.184379e-04,5.394536e-04,9.384335e-04,1.359457e-03,1.397388e-03,1.877459e-03,2.305062e-03,2.351666e-03,2.802857e-03,3.172730e-03,3.220944e-03,3.600680e-03,3.894983e-03,3.940051e-03,4.239146e-03,4.460269e-03,4.499379e-03,4.722958e-03,4.880784e-03,4.912520e-03,5.070889e-03,5.177045e-03,5.200919e-03,5.305386e-03,5.370830e-03,5.386932e-03,5.448021e-03,5.482177e-03,5.490932e-03,5.517747e-03,5.528345e-03,5.530355e-03,5.530463e-03,5.523668e-03,5.519605e-03,5.499156e-03,5.479798e-03,5.470343e-03,5.434263e-03,5.406078e-03,5.391888e-03,5.344087e-03,5.309943e-03,5.291629e-03,5.235197e-03,5.197277e-03,5.175396e-03,5.112763e-03,5.072720e-03,5.047775e-03,4.980855e-03,4.939932e-03,4.912375e-03,4.842666e-03,4.801789e-03,4.772022e-03,4.700702e-03,4.660554e-03,4.628936e-03,4.556924e-03,4.518001e-03,4.484848e-03,4.412864e-03,4.375515e-03,4.341111e-03,4.269712e-03,4.234179e-03,4.198773e-03,4.128390e-03,4.094828e-03,4.058644e-03,3.989606e-03,3.958104e-03,3.921339e-03,3.853897e-03,3.824495e-03,3.787324e-03,3.721661e-03,3.694362e-03,3.656941e-03,3.593190e-03,3.567967e-03,3.530433e-03,3.468687e-03,3.445492e-03,3.407968e-03,3.348286e-03,3.327056e-03,3.289649e-03,3.232063e-03,3.212724e-03,3.175531e-03,3.120052e-03,3.102522e-03,3.065627e-03,3.012250e-03,2.996441e-03,2.959919e-03,2.908626e-03,2.894449e-03,2.858364e-03,2.809125e-03,2.796490e-03,2.760900e-03,2.713679e-03,2.702494e-03,2.667450e-03,2.622202e-03,2.612378e-03,2.577923e-03,2.534601e-03,2.526051e-03,2.492223e-03,2.450776e-03,2.443413e-03,2.410245e-03,2.370618e-03,2.364361e-03,2.331881e-03,2.294019e-03,2.288788e-03,2.257019e-03,2.220866e-03,2.216584e-03,2.185546e-03,2.151045e-03,2.147639e-03,2.117348e-03,2.084442e-03,2.081843e-03,2.052313e-03,2.020946e-03,2.019088e-03,1.990327e-03,1.960444e-03,1.959263e-03,1.931281e-03,1.902826e-03,1.902264e-03,1.875065e-03,1.847985e-03,1.796325e-03,1.747182e-03,1.700461e-03,1.656066e-03,1.613906e-03,1.573891e-03,1.535935e-03,1.499956e-03,1.465872e-03,1.433605e-03,1.403081e-03,1.374226e-03,1.346971e-03,1.321249e-03,1.296993e-03,1.274143e-03,1.252637e-03,1.232417e-03,1.213427e-03,1.195614e-03,1.178926e-03,1.163312e-03,1.148726e-03,1.135119e-03,1.122449e-03,1.110672e-03,1.099747e-03,1.089635e-03,1.080297e-03,1.071697e-03,1.063799e-03,1.056569e-03,1.049976e-03,1.043986e-03,1.038571e-03,1.033701e-03,1.029348e-03,1.025486e-03,1.022087e-03,1.019129e-03,1.016585e-03,1.014435e-03,1.012655e-03,1.011224e-03,1.010121e-03,1.009329e-03,1.008826e-03,1.008596e-03,1.008622e-03
0.000000e+00,4.522947e-08,7.544765e-07,7.893466e-07,5.381059e-06,2.070800e-05,2.171364e-05,5.848183e-05,1.107661e-04,1.144687e-04,1.782730e-04,2.361454e-04,2.410284e-04,2.995362e-04,3.479920e-04,3.531300e-04,4.018785e-04,4.409654e-04,4.460301e-04,4.858675e-04,5.168922e-04,5.216725e-04,5.537184e-04,5.779237e-04,5.822668e-04,6.075671e-04,6.260558e-04,6.298556e-04,6.493558e-04,6.630900e-04,6.662778e-04,6.808192e-04,6.906283e-04,6.931649e-04,7.034880e-04,7.100806e-04,7.119499e-04,7.187014e-04,7.226791e-04,7.238827e-04,7.276246e-04,7.294960e-04,7.300486e-04,7.312678e-04,7.314609e-04,7.313872e-04,7.305043e-04,7.293780e-04,7.287098e-04,7.260875e-04,7.239415e-04,7.227155e-04,7.186659e-04,7.157496e-04,7.140056e-04,7.087965e-04,7.053166e-04,7.030960e-04,6.969572e-04,6.930839e-04,6.904289e-04,6.835565e-04,6.794294e-04,6.763817e-04,6.689432e-04,6.646758e-04,6.612765e-04,6.534143e-04,6.490982e-04,6.453869e-04,6.372218e-04,6.329301e-04,6.289447e-04,6.205788e-04,6.163694e-04,6.121458e-04,6.036651e-04,5.995829e-04,5.951549e-04,5.866315e-04,5.827105e-04,5.781099e-04,5.696037e-04,5.658692e-04,5.611255e-04,5.526864e-04,5.491561e-04,5.442966e-04,5.359654e-04,5.326512e-04,5.277011e-04,5.195110e-04,5.164197e-04,5.114019e-04,5.033798e-04,5.005141e-04,4.954498e-04,4.876168e-04,4.849763e-04,4.798847e-04,4.722571e-04,4.698389e-04,4.647372e-04,4.573275e-04,4.551265e-04,4.500304e-04,4.428476e-04,4.408571e-04,4.357806e-04,4.288307e-04,4.270431e-04,4.219988e-04,4.152855e-04,4.136920e-04,4.086911e-04,4.022159e-04,4.008073e-04,3.958597e-04,3.896225e-04,3.883892e-04,3.835037e-04,3.775028e-04,3.764351e-04,3.716191e-04,3.658519e-04,3.649399e-04,3.602002e-04,3.546629e-04,3.538968e-04,3.492391e-04,3.439273e-04,3.432974e-04,3.387265e-04,3.336352e-04,3.331320e-04,3.286521e-04,3.237757e-04,3.233902e-04,3.190046e-04,3.143372e-04,3.140604e-04,3.097720e-04,3.053074e-04,3.051309e-04,3.009418e-04,2.966737e-04,2.965893e-04,2.925014e-04,2.884232e-04,2.806199e-04,2.731667e-04,2.660510e-04,2.592602e-04,2.527821e-04,2.466043e-04,2.407151e-04,2.351028e-04,2.297560e-04,2.246639e-04,2.198156e-04,2.152009e-04,2.108097e-04,2.066324e-04,2.026597e-04,1.988825e-04,1.952923e-04,1.918807e-04,1.886396e-04,1.855615e-04,1.826390e-04,1.798650e-04,1.772327e-04,1.747356e-04,1.723675e-04,1.701225e-04,1.679948e-04,1.659790e-04,1.640699e-04,1.622624e-04,1.605519e-04,1.589337e-04,1.574034e-04,1.559570e-04,1.545904e-04,1.532999e-04,1.520817e-04,1.509325e-04,1.498489e-04,1.488277e-04,1.478660e-04,1.469608e-04,1.461095e-04,1.453093e-04,1.445578e-04,1.438525e-04,1.431913e-04,1.425719e-04,1.419923e-04
0.000000e+00,3.500548e-07,9.283219e-06,9.787207e-06,8.588954e-05,3.430315e-04,3.590403e-04,8.868709e-04,1.551619e-03,1.597722e-03,2.403327e-03,3.171496e-03,3.238219e-03,4.058654e-03,4.761519e-03,4.836905e-03,5.556467e-03,6.134024e-03,6.208558e-03,6.789650e-03,7.232527e-03,7.299729e-03,7.741064e-03,8.061338e-03,8.117352e-03,8.433111e-03,8.650310e-03,8.693257e-03,8.902824e-03,9.037391e-03,9.066760e-03,9.189814e-03,9.260299e-03,9.276451e-03,9.330814e-03,9.352897e-03,9.356705e-03,9.357585e-03,9.343985e-03,9.336582e-03,9.296511e-03,9.257279e-03,9.239894e-03,9.168985e-03,9.111929e-03,9.085791e-03,8.992099e-03,8.923207e-03,8.889491e-03,8.779368e-03,8.703180e-03,8.662973e-03,8.541401e-03,8.461332e-03,8.415623e-03,8.286491e-03,8.205079e-03,8.154759e-03,8.021092e-03,7.940210e-03,7.886076e-03,7.750226e-03,7.671232e-03,7.613996e-03,7.477784e-03,7.401645e-03,7.341939e-03,7.206766e-03,7.134148e-03,7.072533e-03,6.939472e-03,6.870812e-03,6.807786e-03,6.677651e-03,6.613214e-03,6.549218e-03,6.422617e-03,6.362532e-03,6.297958e-03,6.175334e-03,6.119633e-03,6.054824e-03,5.936492e-03,5.885130e-03,5.820390e-03,5.706560e-03,5.659437e-03,5.595033e-03,5.485833e-03,5.442807e-03,5.378973e-03,5.274464e-03,5.235367e-03,5.172306e-03,5.072497e-03,5.037140e-03,4.975030e-03,4.879891e-03,4.848072e-03,4.787065e-03,4.696532e-03,4.668043e-03,4.608270e-03,4.522255e-03,4.496884e-03,4.438458e-03,4.356851e-03,4.334389e-03,4.277403e-03,4.200082e-03,4.180323e-03,4.124856e-03,4.051689e-03,4.034431e-03,3.980546e-03,3.911393e-03,3.896442e-03,3.844192e-03,3.778907e-03,3.766077e-03,3.715501e-03,3.653937e-03,3.643048e-03,3.594177e-03,3.536186e-03,3.527069e-03,3.479925e-03,3.425357e-03,3.417851e-03,3.372446e-03,3.321156e-03,3.315109e-03,3.271450e-03,3.223293e-03,3.218561e-03,3.176649e-03,3.131483e-03,3.127933e-03,3.087761e-03,3.045448e-03,3.042953e-03,3.004511e-03,2.964917e-03,2.963361e-03,2.926633e-03,2.889627e-03,2.888900e-03,2.853868e-03,2.819324e-03,2.754395e-03,2.693882e-03,2.637564e-03,2.585228e-03,2.536668e-03,2.491688e-03,2.450099e-03,2.411720e-03,2.376379e-03,2.343908e-03,2.314149e-03,2.286951e-03,2.262167e-03,2.239660e-03,2.219296e-03,2.200949e-03,2.184497e-03,2.169825e-03,2.156823e-03,2.145386e-03,2.135412e-03,2.126807e-03,2.119480e-03,2.113342e-03,2.108312e-03,2.104310e-03,2.101261e-03,2.099095e-03,2.097743e-03,2.097141e-03,2.097227e-03,2.097943e-03,2.099235e-03,2.101051e-03,2.103340e-03,2.106057e-03,2.109158e-03,2.112600e-03,2.116345e-03,2.120355e-03,2.124597e-03,2.129037e-03,2.133646e-03,2.138394e-03,2.143255e-03,2.148205e-03,2.153219e-03,2.158278e-03,2.163360e-03
0.000000e+00,8.577561e-09,2.220527e-07,2.338875e-07,1.794680e-06,5.357681e-06,5.530204e-06,9.930972e-06,1.394616e-05,1.419503e-05,1.820058e-05,2.164832e-05,2.193755e-05,2.541388e-05,2.832882e-05,2.864058e-05,3.162897e-05,3.407049e-05,3.439021e-05,3.693521e-05,3.895917e-05,3.927473e-05,4.141929e-05,4.307759e-05,4.337917e-05,4.516440e-05,4.650475e-05,4.678464e-05,4.824925e-05,4.931492e-05,4.956719e-05,5.074703e-05,5.157672e-05,5.179697e-05,5.272481e-05,5.335291e-05,5.353800e-05,5.424361e-05,5.470047e-05,5.484837e-05,5.535862e-05,5.567090e-05,5.578042e-05,5.611949e-05,5.631053e-05,5.638125e-05,5.657082e-05,5.666099e-05,5.669307e-05,5.675258e-05,5.675962e-05,5.675371e-05,5.670055e-05,5.663984e-05,5.659699e-05,5.644668e-05,5.633155e-05,5.625310e-05,5.601950e-05,5.586142e-05,5.574897e-05,5.544440e-05,5.525325e-05,5.510855e-05,5.474399e-05,5.452821e-05,5.435316e-05,5.393834e-05,5.370513e-05,5.350170e-05,5.304525e-05,5.280072e-05,5.257092e-05,5.208049e-05,5.182977e-05,5.157565e-05,5.105798e-05,5.080538e-05,5.052897e-05,4.999001e-05,4.973911e-05,4.944241e-05,4.888739e-05,4.864113e-05,4.832610e-05,4.775961e-05,4.752038e-05,4.718892e-05,4.661498e-05,4.638469e-05,4.603866e-05,4.546076e-05,4.524091e-05,4.488206e-05,4.430326e-05,4.409500e-05,4.372502e-05,4.314795e-05,4.295211e-05,4.257261e-05,4.199954e-05,4.181672e-05,4.142922e-05,4.086209e-05,4.069264e-05,4.029857e-05,3.973905e-05,3.958314e-05,3.918386e-05,3.863334e-05,3.849100e-05,3.808777e-05,3.754742e-05,3.741854e-05,3.701254e-05,3.648334e-05,3.636770e-05,3.596002e-05,3.544276e-05,3.534005e-05,3.493172e-05,3.442703e-05,3.433687e-05,3.392883e-05,3.343721e-05,3.335917e-05,3.295228e-05,3.247412e-05,3.240772e-05,3.200278e-05,3.153833e-05,3.148306e-05,3.108081e-05,3.063024e-05,3.058557e-05,3.018666e-05,2.975008e-05,2.971546e-05,2.932050e-05,2.889792e-05,2.887279e-05,2.848233e-05,2.807372e-05,2.805752e-05,2.767205e-05,2.727730e-05,2.726948e-05,2.688944e-05,2.650842e-05,2.577403e-05,2.506591e-05,2.438360e-05,2.372663e-05,2.309446e-05,2.248653e-05,2.190224e-05,2.134101e-05,2.080221e-05,2.028521e-05,1.978938e-05,1.931409e-05,1.885870e-05,1.842259e-05,1.800512e-05,1.760568e-05,1.722365e-05,1.685844e-05,1.650946e-05,1.617613e-05,1.585789e-05,1.555418e-05,1.526446e-05,1.498822e-05,1.472495e-05,1.447413e-05,1.423531e-05,1.400800e-05,1.379175e-05,1.358614e-05,1.339073e-05,1.320512e-05,1.302891e-05,1.286171e-05,1.270316e-05,1.255290e-05,1.241058e-05,1.227587e-05,1.214845e-05,1.202802e-05,1.191426e-05,1.180691e-05,1.170568e-05,1.161031e-05,1.152055e-05,1.143614e-05,1.135685e-05,1.128246e-05,1.121274e-05
0.000000e+00,1.911893e-09,4.725804e-08,4.974441e-08,3.739587e-07,1.119814e-06,1.156132e-06,2.078748e-06,2.907790e-06,2.958683e-06,3.769212e-06,4.453058e-06,4.509807e-06,5.183970e-06,5.737276e-06,5.795764e-06,6.349176e-06,6.790907e-06,6.848005e-06,7.295864e-06,7.642881e-06,7.696188e-06,8.052245e-06,8.319399e-06,8.367140e-06,8.643819e-06,8.844136e-06,8.885065e-06,9.093505e-06,9.238302e-06,9.271610e-06,9.421699e-06,9.520724e-06,9.545947e-06,9.646390e-06,9.707980e-06,9.724929e-06,9.783340e-06,9.814586e-06,9.823282e-06,9.846299e-06,9.853203e-06,9.853830e-06,9.847214e-06,9.834836e-06,9.827697e-06,9.796442e-06,9.769036e-06,9.754526e-06,9.702950e-06,9.664072e-06,9.642644e-06,9.574473e-06,9.527088e-06,9.499237e-06,9.417679e-06,9.364242e-06,9.330487e-06,9.238297e-06,9.180831e-06,9.141698e-06,9.041235e-06,8.981395e-06,8.937410e-06,8.830689e-06,8.769821e-06,8.721500e-06,8.610238e-06,8.549423e-06,8.497266e-06,8.382919e-06,8.323018e-06,8.267504e-06,8.151304e-06,8.092991e-06,8.034577e-06,7.917560e-06,7.861353e-06,7.800470e-06,7.683504e-06,7.629792e-06,7.566843e-06,7.450650e-06,7.399713e-06,7.335075e-06,7.220251e-06,7.172279e-06,7.106301e-06,6.993335e-06,6.948446e-06,6.881450e-06,6.770735e-06,6.728986e-06,6.661267e-06,6.553118e-06,6.514518e-06,6.446347e-06,6.341008e-06,6.305528e-06,6.237149e-06,6.134809e-06,6.102386e-06,6.034022e-06,5.934818e-06,5.905369e-06,5.837220e-06,5.741246e-06,5.714667e-06,5.646912e-06,5.554229e-06,5.530402e-06,5.463202e-06,5.373837e-06,5.352637e-06,5.286135e-06,5.200092e-06,5.181385e-06,5.115706e-06,5.032968e-06,5.016618e-06,4.951871e-06,4.872404e-06,4.858272e-06,4.794554e-06,4.718308e-06,4.706257e-06,4.643650e-06,4.570564e-06,4.560457e-06,4.499032e-06,4.429037e-06,4.420739e-06,4.360557e-06,4.293574e-06,4.286957e-06,4.228066e-06,4.164013e-06,4.158951e-06,4.101392e-06,4.040182e-06,4.036554e-06,3.980359e-06,3.921902e-06,3.919592e-06,3.864786e-06,3.808989e-06,3.807887e-06,3.754488e-06,3.701260e-06,3.599530e-06,3.502517e-06,3.410042e-06,3.321928e-06,3.238002e-06,3.158093e-06,3.082036e-06,3.009668e-06,2.940832e-06,2.875376e-06,2.813151e-06,2.754015e-06,2.697830e-06,2.644463e-06,2.593786e-06,2.545676e-06,2.500015e-06,2.456690e-06,2.415591e-06,2.376615e-06,2.339661e-06,2.304634e-06,2.271441e-06,2.239997e-06,2.210216e-06,2.182020e-06,2.155331e-06,2.130076e-06,2.106187e-06,2.083596e-06,2.062240e-06,2.042059e-06,2.022994e-06,2.004992e-06,1.987999e-06,1.971966e-06,1.956845e-06,1.942590e-06,1.929159e-06,1.916510e-06,1.904604e-06,1.893404e-06,1.882874e-06,1.872981e-06,1.863691e-06,1.854975e-06,1.846803e-06,1.839148e-06,1.831982e-06
0.000000e+00,1.028463e-07,1.768674e-06,1.850340e-06,1.246796e-05,4.772130e-05,5.004539e-05,1.367252e-04,2.671215e-04,2.767017e-04,4.485986e-04,6.139687e-04,6.282532e-04,8.026518e-04,9.509772e-04,9.668907e-04,1.119610e-03,1.244407e-03,1.260740e-03,1.390642e-03,1.493755e-03,1.509812e-03,1.618786e-03,1.702839e-03,1.718103e-03,1.808298e-03,1.875817e-03,1.889893e-03,1.963392e-03,2.016691e-03,2.029283e-03,2.088035e-03,2.129193e-03,2.140094e-03,2.185889e-03,2.216754e-03,2.225825e-03,2.260288e-03,2.282482e-03,2.289642e-03,2.314231e-03,2.329170e-03,2.334383e-03,2.350405e-03,2.359319e-03,2.362588e-03,2.371207e-03,2.375166e-03,2.376523e-03,2.378781e-03,2.378711e-03,2.378215e-03,2.375042e-03,2.371737e-03,2.369464e-03,2.361673e-03,2.355811e-03,2.351850e-03,2.340164e-03,2.332324e-03,2.326773e-03,2.311827e-03,2.302501e-03,2.295465e-03,2.277819e-03,2.267422e-03,2.259012e-03,2.239158e-03,2.228040e-03,2.218366e-03,2.196736e-03,2.185189e-03,2.174363e-03,2.151336e-03,2.139602e-03,2.127736e-03,2.103640e-03,2.091920e-03,2.079121e-03,2.054245e-03,2.042699e-03,2.029073e-03,2.003666e-03,1.992425e-03,1.978075e-03,1.952351e-03,1.941518e-03,1.926540e-03,1.900686e-03,1.890341e-03,1.874827e-03,1.849002e-03,1.839204e-03,1.823243e-03,1.797582e-03,1.788374e-03,1.772049e-03,1.746668e-03,1.738077e-03,1.721464e-03,1.696460e-03,1.688504e-03,1.671676e-03,1.647129e-03,1.639814e-03,1.622837e-03,1.598815e-03,1.592139e-03,1.575076e-03,1.551632e-03,1.545587e-03,1.528495e-03,1.505673e-03,1.500244e-03,1.483176e-03,1.461010e-03,1.456178e-03,1.439182e-03,1.417697e-03,1.413442e-03,1.396561e-03,1.375776e-03,1.372072e-03,1.355346e-03,1.335273e-03,1.332094e-03,1.315558e-03,1.296204e-03,1.293523e-03,1.277209e-03,1.258575e-03,1.256363e-03,1.240301e-03,1.222385e-03,1.220613e-03,1.204827e-03,1.187624e-03,1.186263e-03,1.170775e-03,1.154278e-03,1.153299e-03,1.138129e-03,1.122325e-03,1.121700e-03,1.106864e-03,1.091743e-03,1.091444e-03,1.076956e-03,1.062501e-03,1.034844e-03,1.008440e-03,9.832547e-04,9.592535e-04,9.364004e-04,9.146587e-04,8.939914e-04,8.743613e-04,8.557315e-04,8.380649e-04,8.213253e-04,8.054765e-04,7.904834e-04,7.763111e-04,7.629258e-04,7.502943e-04,7.383845e-04,7.271650e-04,7.166052e-04,7.066757e-04,6.973479e-04,6.885942e-04,6.803879e-04,6.727030e-04,6.655150e-04,6.587997e-04,6.525341e-04,6.466961e-04,6.412644e-04,6.362185e-04,6.315388e-04,6.272064e-04,6.232033e-04,6.195121e-04,6.161163e-04,6.130000e-04,6.101480e-04,6.075457e-04,6.051794e-04,6.030356e-04,6.011017e-04,5.993655e-04,5.978156e-04,5.964409e-04,5.952309e-04,5.941755e-04,5.932651e-04,5.924907e-04,5.918436e-04
0.000000e+00,6.744926e-08,1.276638e-06,1.337997e-06,9.518052e-06,3.617075e-05,3.788778e-05,9.921681e-05,1.843919e-04,1.903911e-04,2.931018e-04,3.840537e-04,3.915716e-04,4.791032e-04,5.473446e-04,5.543237e-04,6.178680e-04,6.650792e-04,6.709368e-04,7.147952e-04,7.460478e-04,7.506203e-04,7.794654e-04,7.989848e-04,8.022603e-04,8.198211e-04,8.308188e-04,8.328615e-04,8.420050e-04,8.468816e-04,8.477950e-04,8.507046e-04,8.512415e-04,8.511457e-04,8.494768e-04,8.469907e-04,8.460097e-04,8.410150e-04,8.364753e-04,8.347285e-04,8.273549e-04,8.214729e-04,8.190707e-04,8.100280e-04,8.033183e-04,8.003590e-04,7.901782e-04,7.830140e-04,7.795847e-04,7.686660e-04,7.613200e-04,7.575002e-04,7.461532e-04,7.388218e-04,7.346803e-04,7.231304e-04,7.159489e-04,7.115441e-04,6.999562e-04,6.930152e-04,6.883965e-04,6.768913e-04,6.702522e-04,6.654628e-04,6.541296e-04,6.478306e-04,6.429074e-04,6.318096e-04,6.258724e-04,6.208471e-04,6.100291e-04,6.044635e-04,5.993633e-04,5.888557e-04,5.836627e-04,5.785110e-04,5.683331e-04,5.635079e-04,5.583250e-04,5.484886e-04,5.440220e-04,5.388254e-04,5.293361e-04,5.252160e-04,5.200210e-04,5.108798e-04,5.070922e-04,5.019119e-04,4.931165e-04,4.896463e-04,4.844923e-04,4.760379e-04,4.728694e-04,4.677517e-04,4.596320e-04,4.567492e-04,4.516767e-04,4.438838e-04,4.412709e-04,4.362512e-04,4.287766e-04,4.264177e-04,4.214576e-04,4.142920e-04,4.121719e-04,4.072773e-04,4.004111e-04,3.985148e-04,3.936909e-04,3.871144e-04,3.854277e-04,3.806790e-04,3.743824e-04,3.728915e-04,3.682220e-04,3.621955e-04,3.608873e-04,3.563003e-04,3.505342e-04,3.493963e-04,3.448948e-04,3.393796e-04,3.383999e-04,3.339864e-04,3.287129e-04,3.278800e-04,3.235567e-04,3.185157e-04,3.178190e-04,3.135876e-04,3.087703e-04,3.081996e-04,3.040616e-04,2.994594e-04,2.990050e-04,2.949616e-04,2.905662e-04,2.902189e-04,2.862711e-04,2.820744e-04,2.818257e-04,2.779741e-04,2.739684e-04,2.738101e-04,2.700552e-04,2.662328e-04,2.661573e-04,2.624994e-04,2.588532e-04,2.518839e-04,2.452363e-04,2.388976e-04,2.328555e-04,2.270981e-04,2.216140e-04,2.163922e-04,2.114221e-04,2.066936e-04,2.021968e-04,1.979223e-04,1.938609e-04,1.900041e-04,1.863433e-04,1.828706e-04,1.795780e-04,1.764582e-04,1.735039e-04,1.707082e-04,1.680645e-04,1.655664e-04,1.632077e-04,1.609825e-04,1.588851e-04,1.569100e-04,1.550520e-04,1.533060e-04,1.516672e-04,1.501308e-04,1.486924e-04,1.473476e-04,1.460922e-04,1.449224e-04,1.438341e-04,1.428238e-04,1.418878e-04,1.410227e-04,1.402253e-04,1.394923e-04,1.388208e-04,1.382078e-04,1.376505e-04,1.371462e-04,1.366924e-04,1.362864e-04,1.359260e-04,1.356087e-04,1.353325e-04,1.350952e-04
0.000000e+00,1.349156e-08,2.141840e-07,2.237214e-07,1.275669e-06,3.751087e-06,3.887881e-06,7.982458e-06,1.242327e-05,1.270705e-05,1.724388e-05,2.098774e-05,2.129247e-05,2.483081e-05,2.761272e-05,2.789992e-05,3.054850e-05,3.256816e-05,3.282273e-05,3.476459e-05,3.619762e-05,3.641179e-05,3.779805e-05,3.878296e-05,3.895345e-05,3.990479e-05,4.054941e-05,4.067589e-05,4.128795e-05,4.167580e-05,4.175977e-05,4.210807e-05,4.230359e-05,4.234767e-05,4.249174e-05,4.254458e-05,4.255195e-05,4.253867e-05,4.248698e-05,4.246109e-05,4.232734e-05,4.220033e-05,4.214461e-05,4.191927e-05,4.173926e-05,4.165703e-05,4.136297e-05,4.114713e-05,4.104154e-05,4.069667e-05,4.045797e-05,4.033192e-05,3.995035e-05,3.969859e-05,3.955469e-05,3.914736e-05,3.888990e-05,3.873049e-05,3.830597e-05,3.804828e-05,3.787546e-05,3.744042e-05,3.718655e-05,3.700216e-05,3.656181e-05,3.631469e-05,3.612038e-05,3.567875e-05,3.544046e-05,3.523768e-05,3.479786e-05,3.456985e-05,3.435988e-05,3.392426e-05,3.370748e-05,3.349145e-05,3.306182e-05,3.285683e-05,3.263572e-05,3.221345e-05,3.202056e-05,3.179525e-05,3.138134e-05,3.120062e-05,3.097190e-05,3.056708e-05,3.039846e-05,3.016701e-05,2.977179e-05,2.961508e-05,2.938150e-05,2.899621e-05,2.885113e-05,2.861598e-05,2.824083e-05,2.810703e-05,2.787080e-05,2.750590e-05,2.738300e-05,2.714612e-05,2.679147e-05,2.667906e-05,2.644194e-05,2.609750e-05,2.599516e-05,2.575814e-05,2.542382e-05,2.533111e-05,2.509452e-05,2.477019e-05,2.468667e-05,2.445079e-05,2.413629e-05,2.406154e-05,2.382664e-05,2.352179e-05,2.345536e-05,2.322169e-05,2.292630e-05,2.286778e-05,2.263555e-05,2.234940e-05,2.229838e-05,2.206780e-05,2.179069e-05,2.174676e-05,2.151801e-05,2.124971e-05,2.121249e-05,2.098573e-05,2.072603e-05,2.069515e-05,2.047054e-05,2.021921e-05,2.019430e-05,1.997198e-05,1.972880e-05,1.970952e-05,1.948961e-05,1.925437e-05,1.924038e-05,1.902300e-05,1.879547e-05,1.878645e-05,1.857171e-05,1.835168e-05,1.834731e-05,1.813531e-05,1.792257e-05,1.751181e-05,1.711463e-05,1.673066e-05,1.635950e-05,1.600080e-05,1.565418e-05,1.531930e-05,1.499581e-05,1.468337e-05,1.438167e-05,1.409037e-05,1.380917e-05,1.353777e-05,1.327587e-05,1.302320e-05,1.277946e-05,1.254440e-05,1.231774e-05,1.209924e-05,1.188864e-05,1.168570e-05,1.149020e-05,1.130189e-05,1.112056e-05,1.094600e-05,1.077800e-05,1.061634e-05,1.046085e-05,1.031131e-05,1.016755e-05,1.002939e-05,9.896646e-06,9.769152e-06,9.646742e-06,9.529254e-06,9.416532e-06,9.308424e-06,9.204783e-06,9.105464e-06,9.010330e-06,8.919244e-06,8.832076e-06,8.748698e-06,8.668986e-06,8.592820e-06,8.520082e-06,8.450660e-06,8.384443e-06,8.321325e-06
0.000000e+00,1.014613e-07,2.091386e-06,2.194757e-06,1.662577e-05,6.793480e-05,7.140366e-05,2.058778e-04,4.255726e-04,4.425456e-04,7.657192e-04,1.105235e-03,1.135576e-03,1.513998e-03,1.839656e-03,1.874358e-03,2.200875e-03,2.453872e-03,2.485737e-03,2.726464e-03,2.898804e-03,2.923939e-03,3.081022e-03,3.184595e-03,3.201613e-03,3.290039e-03,3.341604e-03,3.350651e-03,3.387598e-03,3.402688e-03,3.404687e-03,3.405324e-03,3.396336e-03,3.392495e-03,3.368779e-03,3.344838e-03,3.336372e-03,3.297127e-03,3.264604e-03,3.252591e-03,3.204046e-03,3.167210e-03,3.152544e-03,3.098944e-03,3.060553e-03,3.043940e-03,2.988093e-03,2.949865e-03,2.931846e-03,2.875555e-03,2.838515e-03,2.819496e-03,2.763884e-03,2.728607e-03,2.708888e-03,2.654632e-03,2.621409e-03,2.601212e-03,2.548695e-03,2.517640e-03,2.497131e-03,2.446554e-03,2.417680e-03,2.396984e-03,2.348433e-03,2.321692e-03,2.300906e-03,2.254400e-03,2.229710e-03,2.208911e-03,2.164429e-03,2.141693e-03,2.120944e-03,2.078442e-03,2.057555e-03,2.036909e-03,1.996330e-03,1.977187e-03,1.956690e-03,1.917972e-03,1.900467e-03,1.880161e-03,1.843239e-03,1.827271e-03,1.807190e-03,1.771998e-03,1.757469e-03,1.737647e-03,1.704119e-03,1.690936e-03,1.671400e-03,1.639473e-03,1.627544e-03,1.608321e-03,1.577931e-03,1.567173e-03,1.548285e-03,1.519369e-03,1.509702e-03,1.491168e-03,1.463667e-03,1.455012e-03,1.436851e-03,1.410705e-03,1.402989e-03,1.385215e-03,1.360367e-03,1.353522e-03,1.336147e-03,1.312541e-03,1.306503e-03,1.289537e-03,1.267120e-03,1.261825e-03,1.245277e-03,1.223996e-03,1.219388e-03,1.203264e-03,1.183068e-03,1.179092e-03,1.163396e-03,1.144237e-03,1.140842e-03,1.125578e-03,1.107408e-03,1.104545e-03,1.089716e-03,1.072489e-03,1.070114e-03,1.055719e-03,1.039392e-03,1.037463e-03,1.023500e-03,1.008032e-03,1.006509e-03,9.929781e-04,9.783277e-04,9.771729e-04,9.640716e-04,9.502002e-04,9.493799e-04,9.367043e-04,9.235747e-04,9.230571e-04,9.108027e-04,8.983795e-04,8.981345e-04,8.862966e-04,8.745457e-04,8.522265e-04,8.311160e-04,8.111558e-04,7.922899e-04,7.744651e-04,7.576304e-04,7.417371e-04,7.267389e-04,7.125913e-04,6.992522e-04,6.866813e-04,6.748401e-04,6.636919e-04,6.532019e-04,6.433368e-04,6.340648e-04,6.253557e-04,6.171808e-04,6.095125e-04,6.023248e-04,5.955929e-04,5.892929e-04,5.834023e-04,5.778998e-04,5.727647e-04,5.679777e-04,5.635202e-04,5.593746e-04,5.555240e-04,5.519526e-04,5.486451e-04,5.455871e-04,5.427649e-04,5.401653e-04,5.377758e-04,5.355848e-04,5.335808e-04,5.317533e-04,5.300919e-04,5.285871e-04,5.272297e-04,5.260109e-04,5.249224e-04,5.239563e-04,5.231052e-04,5.223619e-04,5.217197e-04,5.211722e-04,5.207132e-04
0.000000e+00,1.771183e-09,1.885948e-08,1.960185e-08,1.023523e-07,3.314268e-07,3.455129e-07,8.320840e-07,1.497521e-06,1.544754e-06,2.367228e-06,3.124312e-06,3.188526e-06,3.961300e-06,4.605918e-06,4.674524e-06,5.328033e-06,5.855686e-06,5.924320e-06,6.466498e-06,6.891950e-06,6.957786e-06,7.401360e-06,7.739342e-06,7.800295e-06,8.157542e-06,8.421354e-06,8.475913e-06,8.758076e-06,8.959436e-06,9.006553e-06,9.223723e-06,9.372828e-06,9.411827e-06,9.572971e-06,9.678632e-06,9.709134e-06,9.822172e-06,9.891960e-06,9.913826e-06,9.985726e-06,1.002613e-05,1.003940e-05,1.007628e-05,1.009283e-05,1.009771e-05,1.010492e-05,1.010232e-05,1.009910e-05,1.008134e-05,1.006357e-05,1.005266e-05,1.001400e-05,9.984440e-06,9.966262e-06,9.910271e-06,9.871754e-06,9.846802e-06,9.776574e-06,9.731475e-06,9.700260e-06,9.618483e-06,9.568780e-06,9.531824e-06,9.440823e-06,9.388155e-06,9.345982e-06,9.247767e-06,9.193481e-06,9.146610e-06,9.042911e-06,8.988107e-06,8.937041e-06,8.829344e-06,8.774912e-06,8.720139e-06,8.609718e-06,8.556365e-06,8.498353e-06,8.386294e-06,8.334578e-06,8.273772e-06,8.160999e-06,8.111350e-06,8.048170e-06,7.935463e-06,7.888203e-06,7.823044e-06,7.711061e-06,7.666421e-06,7.599651e-06,7.488940e-06,7.447077e-06,7.379041e-06,7.270056e-06,7.231064e-06,7.162079e-06,7.055193e-06,7.019114e-06,6.949474e-06,6.844988e-06,6.811823e-06,6.741795e-06,6.639949e-06,6.609664e-06,6.539495e-06,6.440475e-06,6.413012e-06,6.342925e-06,6.246873e-06,6.222149e-06,6.152347e-06,6.059366e-06,6.037282e-06,5.967948e-06,5.878106e-06,5.858553e-06,5.789850e-06,5.703187e-06,5.686046e-06,5.618121e-06,5.534654e-06,5.519799e-06,5.452783e-06,5.372505e-06,5.359808e-06,5.293814e-06,5.216704e-06,5.206034e-06,5.141165e-06,5.067186e-06,5.058413e-06,4.994756e-06,4.923860e-06,4.916854e-06,4.854484e-06,4.786613e-06,4.781248e-06,4.720230e-06,4.655317e-06,4.651469e-06,4.591857e-06,4.529831e-06,4.527379e-06,4.469218e-06,4.410000e-06,4.408830e-06,4.352156e-06,4.295666e-06,4.187724e-06,4.084840e-06,3.986846e-06,3.893574e-06,3.804853e-06,3.720516e-06,3.640397e-06,3.564332e-06,3.492159e-06,3.423721e-06,3.358863e-06,3.297434e-06,3.239288e-06,3.184283e-06,3.132280e-06,3.083147e-06,3.036754e-06,2.992976e-06,2.951693e-06,2.912790e-06,2.876154e-06,2.841678e-06,2.809260e-06,2.778799e-06,2.750202e-06,2.723377e-06,2.698236e-06,2.674696e-06,2.652677e-06,2.632101e-06,2.612896e-06,2.594991e-06,2.578318e-06,2.562815e-06,2.548419e-06,2.535072e-06,2.522718e-06,2.511304e-06,2.500780e-06,2.491095e-06,2.482206e-06,2.474066e-06,2.466635e-06,2.459873e-06,2.453741e-06,2.448203e-06,2.443225e-06,2.438774e-06,2.434818e-06
0.000000e+00,2.252246e-06,3.950581e-05,4.131872e-05,2.816890e-04,1.174704e-03,1.238097e-03,3.931183e-03,9.068342e-03,9.495856e-03,1.836179e-02,2.912213e-02,3.015869e-02,4.423571e-02,5.832699e-02,5.995672e-02,7.677462e-02,9.212054e-02,9.423722e-02,1.119771e-01,1.272282e-01,1.296989e-01,1.471680e-01,1.615108e-01,1.642003e-01,1.806541e-01,1.936384e-01,1.964223e-01,2.114268e-01,2.228434e-01,2.256134e-01,2.389472e-01,2.487429e-01,2.514092e-01,2.629933e-01,2.712123e-01,2.737036e-01,2.835520e-01,2.902957e-01,2.925571e-01,3.007421e-01,3.061424e-01,3.081338e-01,3.147616e-01,3.189631e-01,3.206566e-01,3.258510e-01,3.289998e-01,3.303777e-01,3.342695e-01,3.365061e-01,3.375590e-01,3.402786e-01,3.417345e-01,3.424596e-01,3.441328e-01,3.449282e-01,3.453279e-01,3.460736e-01,3.463169e-01,3.463977e-01,3.463268e-01,3.461147e-01,3.458863e-01,3.451008e-01,3.445189e-01,3.439936e-01,3.425871e-01,3.417106e-01,3.409025e-01,3.389603e-01,3.378549e-01,3.367797e-01,3.343792e-01,3.331021e-01,3.317764e-01,3.289879e-01,3.275882e-01,3.260297e-01,3.229166e-01,3.214366e-01,3.196631e-01,3.162828e-01,3.147585e-01,3.127884e-01,3.091921e-01,3.076541e-01,3.055056e-01,3.017397e-01,3.002134e-01,2.979047e-01,2.940105e-01,2.925170e-01,2.900661e-01,2.860804e-01,2.846370e-01,2.820615e-01,2.780172e-01,2.766376e-01,2.739546e-01,2.698807e-01,2.685757e-01,2.658018e-01,2.617240e-01,2.605017e-01,2.576529e-01,2.535938e-01,2.524600e-01,2.495515e-01,2.455308e-01,2.444894e-01,2.415358e-01,2.375706e-01,2.366238e-01,2.336388e-01,2.297440e-01,2.288924e-01,2.258892e-01,2.220774e-01,2.213204e-01,2.183112e-01,2.145933e-01,2.139294e-01,2.109258e-01,2.073107e-01,2.067373e-01,2.037500e-01,2.002453e-01,1.997592e-01,1.967982e-01,1.934101e-01,1.930075e-01,1.900821e-01,1.868153e-01,1.864920e-01,1.836106e-01,1.804689e-01,1.802203e-01,1.773908e-01,1.743769e-01,1.741981e-01,1.714276e-01,1.685433e-01,1.684293e-01,1.657243e-01,1.629707e-01,1.629163e-01,1.602827e-01,1.576601e-01,1.526603e-01,1.479156e-01,1.434236e-01,1.391811e-01,1.351841e-01,1.314279e-01,1.279075e-01,1.246169e-01,1.215501e-01,1.187005e-01,1.160612e-01,1.136251e-01,1.113848e-01,1.093327e-01,1.074610e-01,1.057620e-01,1.042277e-01,1.028501e-01,1.016213e-01,1.005333e-01,9.957801e-02,9.874765e-02,9.803437e-02,9.743046e-02,9.692834e-02,9.652058e-02,9.619988e-02,9.595918e-02,9.579158e-02,9.569040e-02,9.564920e-02,9.566179e-02,9.572222e-02,9.582481e-02,9.596413e-02,9.613506e-02,9.633274e-02,9.655259e-02,9.679033e-02,9.704195e-02,9.730374e-02,9.757226e-02,9.784435e-02,9.811711e-02,9.838794e-02,9.865446e-02,9.891457e-02,9.916638e-02,9.940826e-02
0.000000e+00,3.071352e-09,3.994454e-08,4.162554e-08,2.282459e-07,7.121715e-07,7.408202e-07,1.684460e-06,2.881376e-06,2.963486e-06,4.358984e-06,5.621456e-06,5.728629e-06,7.025687e-06,8.122152e-06,8.239786e-06,9.370531e-06,1.029843e-05,1.042021e-05,1.139188e-05,1.216766e-05,1.228887e-05,1.311460e-05,1.375567e-05,1.387252e-05,1.456605e-05,1.508907e-05,1.519857e-05,1.577337e-05,1.619382e-05,1.629367e-05,1.676256e-05,1.709451e-05,1.718299e-05,1.755783e-05,1.781389e-05,1.788980e-05,1.818150e-05,1.837287e-05,1.843537e-05,1.865378e-05,1.879033e-05,1.883895e-05,1.899299e-05,1.908338e-05,1.911792e-05,1.921566e-05,1.926750e-05,1.928799e-05,1.933664e-05,1.935656e-05,1.936322e-05,1.936926e-05,1.936303e-05,1.935622e-05,1.932545e-05,1.929805e-05,1.927826e-05,1.921586e-05,1.917160e-05,1.913941e-05,1.904999e-05,1.899260e-05,1.894864e-05,1.883632e-05,1.876897e-05,1.871394e-05,1.858237e-05,1.850778e-05,1.844240e-05,1.829482e-05,1.821530e-05,1.814033e-05,1.797960e-05,1.789710e-05,1.781328e-05,1.764195e-05,1.755810e-05,1.746618e-05,1.728649e-05,1.720265e-05,1.710337e-05,1.691729e-05,1.683459e-05,1.672867e-05,1.653793e-05,1.645728e-05,1.634544e-05,1.615155e-05,1.607367e-05,1.595659e-05,1.576087e-05,1.568636e-05,1.556468e-05,1.536829e-05,1.529759e-05,1.517194e-05,1.497587e-05,1.490930e-05,1.478028e-05,1.458539e-05,1.452319e-05,1.439136e-05,1.419838e-05,1.414071e-05,1.400659e-05,1.381614e-05,1.376308e-05,1.362717e-05,1.343979e-05,1.339135e-05,1.325412e-05,1.307026e-05,1.302641e-05,1.288829e-05,1.270831e-05,1.266899e-05,1.253038e-05,1.235458e-05,1.231968e-05,1.218096e-05,1.200958e-05,1.197897e-05,1.184048e-05,1.167370e-05,1.164724e-05,1.150929e-05,1.134726e-05,1.132477e-05,1.118766e-05,1.103049e-05,1.101179e-05,1.087577e-05,1.072351e-05,1.070842e-05,1.057373e-05,1.042643e-05,1.041476e-05,1.028162e-05,1.013928e-05,1.013082e-05,9.999415e-06,9.862023e-06,9.856578e-06,9.727092e-06,9.594612e-06,9.591987e-06,9.464569e-06,9.336948e-06,9.091339e-06,8.855012e-06,8.627800e-06,8.409516e-06,8.199963e-06,7.998928e-06,7.806192e-06,7.621530e-06,7.444708e-06,7.275493e-06,7.113648e-06,6.958936e-06,6.811120e-06,6.669964e-06,6.535236e-06,6.406706e-06,6.284145e-06,6.167333e-06,6.056050e-06,5.950083e-06,5.849222e-06,5.753265e-06,5.662012e-06,5.575272e-06,5.492858e-06,5.414586e-06,5.340283e-06,5.269776e-06,5.202902e-06,5.139500e-06,5.079418e-06,5.022506e-06,4.968622e-06,4.917627e-06,4.869388e-06,4.823778e-06,4.780673e-06,4.739955e-06,4.701509e-06,4.665227e-06,4.631004e-06,4.598738e-06,4.568332e-06,4.539695e-06,4.512737e-06,4.487372e-06,4.463519e-06,4.441100e-06,4.420039e-06
0.000000e+00,9.645618e-09,1.316605e-07,1.374061e-07,8.209028e-07,2.753063e-06,2.870983e-06,6.865433e-06,1.212534e-05,1.249171e-05,1.877825e-05,2.450175e-05,2.498761e-05,3.086175e-05,3.581775e-05,3.634897e-05,4.145161e-05,4.563567e-05,4.618472e-05,5.056623e-05,5.406709e-05,5.461446e-05,5.834741e-05,6.125221e-05,6.178252e-05,6.493658e-05,6.732450e-05,6.782568e-05,7.046515e-05,7.240685e-05,7.286962e-05,7.505292e-05,7.661087e-05,7.702823e-05,7.880798e-05,8.003707e-05,8.040395e-05,8.182733e-05,8.277579e-05,8.308874e-05,8.419820e-05,8.490826e-05,8.516518e-05,8.599864e-05,8.650717e-05,8.670705e-05,8.729841e-05,8.763754e-05,8.778026e-05,8.815975e-05,8.835743e-05,8.844361e-05,8.863819e-05,8.871866e-05,8.874951e-05,8.878320e-05,8.876747e-05,8.874463e-05,8.863882e-05,8.854504e-05,8.847051e-05,8.824420e-05,8.808803e-05,8.796409e-05,8.763417e-05,8.742905e-05,8.725817e-05,8.683963e-05,8.659710e-05,8.638186e-05,8.588800e-05,8.561792e-05,8.536100e-05,8.480361e-05,8.451434e-05,8.421845e-05,8.360796e-05,8.330662e-05,8.297446e-05,8.232010e-05,8.201266e-05,8.164692e-05,8.095683e-05,8.064830e-05,8.025163e-05,7.953299e-05,7.922754e-05,7.880251e-05,7.806165e-05,7.776271e-05,7.731180e-05,7.655428e-05,7.626466e-05,7.579028e-05,7.502097e-05,7.474292e-05,7.424739e-05,7.347055e-05,7.320585e-05,7.269138e-05,7.191074e-05,7.166076e-05,7.112945e-05,7.034827e-05,7.011404e-05,6.956789e-05,6.878897e-05,6.857122e-05,6.801212e-05,6.723791e-05,6.703711e-05,6.646686e-05,6.569945e-05,6.551586e-05,6.493613e-05,6.417732e-05,6.401103e-05,6.342340e-05,6.267473e-05,6.252565e-05,6.193162e-05,6.119438e-05,6.106232e-05,6.046328e-05,5.973856e-05,5.962321e-05,5.902044e-05,5.830915e-05,5.821012e-05,5.760485e-05,5.690771e-05,5.682454e-05,5.621789e-05,5.553552e-05,5.546769e-05,5.486071e-05,5.419356e-05,5.414053e-05,5.353417e-05,5.288262e-05,5.284378e-05,5.223896e-05,5.160325e-05,5.157799e-05,5.097554e-05,5.035586e-05,5.034355e-05,4.974423e-05,4.914067e-05,4.796945e-05,4.682988e-05,4.572183e-05,4.464511e-05,4.359945e-05,4.258450e-05,4.159988e-05,4.064515e-05,3.971983e-05,3.882342e-05,3.795539e-05,3.711517e-05,3.630222e-05,3.551593e-05,3.475573e-05,3.402101e-05,3.331118e-05,3.262563e-05,3.196375e-05,3.132495e-05,3.070864e-05,3.011421e-05,2.954110e-05,2.898872e-05,2.845650e-05,2.794389e-05,2.745034e-05,2.697530e-05,2.651825e-05,2.607866e-05,2.565603e-05,2.524986e-05,2.485965e-05,2.448494e-05,2.412525e-05,2.378014e-05,2.344915e-05,2.313185e-05,2.282783e-05,2.253666e-05,2.225795e-05,2.199130e-05,2.173634e-05,2.149268e-05,2.125997e-05,2.103785e-05,2.082598e-05,2.062402e-05,2.043166e-05
0.000000e+00,3.341595e-08,4.696491e-07,4.904804e-07,3.132776e-06,1.148069e-05,1.201318e-05,3.047638e-05,5.400633e-05,5.558666e-05,8.187732e-05,1.050413e-04,1.069893e-04,1.303773e-04,1.498978e-04,1.519787e-04,1.718462e-04,1.879587e-04,1.900599e-04,2.067045e-04,2.198280e-04,2.218641e-04,2.356209e-04,2.461509e-04,2.480547e-04,2.592431e-04,2.675409e-04,2.692611e-04,2.781811e-04,2.845735e-04,2.860728e-04,2.930029e-04,2.977819e-04,2.990350e-04,3.042299e-04,3.076535e-04,3.086449e-04,3.123349e-04,3.146290e-04,3.153512e-04,3.177428e-04,3.191037e-04,3.195554e-04,3.208324e-04,3.214296e-04,3.216146e-04,3.219401e-04,3.219192e-04,3.218451e-04,3.213631e-04,3.208486e-04,3.205261e-04,3.193636e-04,3.184618e-04,3.179036e-04,3.161722e-04,3.149732e-04,3.141938e-04,3.119912e-04,3.105710e-04,3.095858e-04,3.069977e-04,3.054203e-04,3.042455e-04,3.013465e-04,2.996650e-04,2.983170e-04,2.951721e-04,2.934310e-04,2.919261e-04,2.885919e-04,2.868273e-04,2.851818e-04,2.817071e-04,2.799488e-04,2.781783e-04,2.746053e-04,2.728772e-04,2.709971e-04,2.673620e-04,2.656830e-04,2.637079e-04,2.600417e-04,2.584266e-04,2.563703e-04,2.526996e-04,2.511595e-04,2.490352e-04,2.453823e-04,2.439254e-04,2.417456e-04,2.381294e-04,2.367614e-04,2.345376e-04,2.309737e-04,2.296983e-04,2.274412e-04,2.239428e-04,2.227616e-04,2.204813e-04,2.170590e-04,2.159725e-04,2.136781e-04,2.103405e-04,2.093479e-04,2.070478e-04,2.038016e-04,2.029012e-04,2.006032e-04,1.974537e-04,1.966429e-04,1.943540e-04,1.913049e-04,1.905808e-04,1.883072e-04,1.853613e-04,1.847203e-04,1.824678e-04,1.796268e-04,1.790649e-04,1.768386e-04,1.741032e-04,1.736165e-04,1.714209e-04,1.687913e-04,1.683755e-04,1.662145e-04,1.636903e-04,1.633411e-04,1.612183e-04,1.587982e-04,1.585113e-04,1.564297e-04,1.541124e-04,1.538834e-04,1.518457e-04,1.496292e-04,1.494540e-04,1.474624e-04,1.453446e-04,1.452191e-04,1.432753e-04,1.412539e-04,1.411740e-04,1.392797e-04,1.373521e-04,1.373140e-04,1.354703e-04,1.336337e-04,1.301278e-04,1.267907e-04,1.236167e-04,1.206000e-04,1.177350e-04,1.150158e-04,1.124368e-04,1.099923e-04,1.076768e-04,1.054850e-04,1.034114e-04,1.014510e-04,9.959873e-05,9.784967e-05,9.619911e-05,9.464250e-05,9.317540e-05,9.179358e-05,9.049291e-05,8.926947e-05,8.811947e-05,8.703925e-05,8.602533e-05,8.507436e-05,8.418315e-05,8.334862e-05,8.256783e-05,8.183800e-05,8.115644e-05,8.052060e-05,7.992803e-05,7.937642e-05,7.886354e-05,7.838728e-05,7.794564e-05,7.753669e-05,7.715862e-05,7.680969e-05,7.648825e-05,7.619272e-05,7.592163e-05,7.567356e-05,7.544715e-05,7.524114e-05,7.505431e-05,7.488550e-05,7.473364e-05,7.459767e-05,7.447663e-05
0.000000e+00,1.559463e-08,3.241808e-07,3.406334e-07,2.604726e-06,9.741290e-06,1.018410e-05,2.484964e-05,4.249446e-05,4.366000e-05,6.288758e-05,7.970210e-05,8.111404e-05,9.806198e-05,1.122213e-04,1.137324e-04,1.281853e-04,1.399530e-04,1.414916e-04,1.537224e-04,1.634327e-04,1.649458e-04,1.752269e-04,1.831798e-04,1.846271e-04,1.932042e-04,1.996615e-04,2.010126e-04,2.081035e-04,2.132920e-04,2.145249e-04,2.203218e-04,2.244370e-04,2.255363e-04,2.302080e-04,2.334182e-04,2.343738e-04,2.380685e-04,2.405183e-04,2.413244e-04,2.441719e-04,2.459853e-04,2.466394e-04,2.487536e-04,2.500365e-04,2.505391e-04,2.520194e-04,2.528628e-04,2.532161e-04,2.541496e-04,2.546308e-04,2.548389e-04,2.553018e-04,2.554869e-04,2.555548e-04,2.556136e-04,2.555589e-04,2.554927e-04,2.552055e-04,2.549587e-04,2.547648e-04,2.541824e-04,2.537841e-04,2.534695e-04,2.526362e-04,2.521207e-04,2.516923e-04,2.506468e-04,2.500430e-04,2.495081e-04,2.482841e-04,2.476163e-04,2.469820e-04,2.456088e-04,2.448975e-04,2.441708e-04,2.426739e-04,2.419362e-04,2.411238e-04,2.395256e-04,2.387756e-04,2.378840e-04,2.362038e-04,2.354532e-04,2.344889e-04,2.327434e-04,2.320020e-04,2.309708e-04,2.291746e-04,2.284502e-04,2.273578e-04,2.255235e-04,2.248225e-04,2.236744e-04,2.218130e-04,2.211403e-04,2.199416e-04,2.180624e-04,2.174221e-04,2.161776e-04,2.142888e-04,2.136839e-04,2.123980e-04,2.105067e-04,2.099394e-04,2.086164e-04,2.067285e-04,2.062005e-04,2.048443e-04,2.029650e-04,2.024773e-04,2.010917e-04,1.992253e-04,1.987785e-04,1.973668e-04,1.955171e-04,1.951115e-04,1.936770e-04,1.918471e-04,1.914824e-04,1.900281e-04,1.882207e-04,1.878966e-04,1.864254e-04,1.846426e-04,1.843585e-04,1.828729e-04,1.811166e-04,1.808718e-04,1.793741e-04,1.776458e-04,1.774394e-04,1.759320e-04,1.742329e-04,1.740638e-04,1.725488e-04,1.708798e-04,1.707470e-04,1.692262e-04,1.675882e-04,1.674904e-04,1.659658e-04,1.643591e-04,1.642952e-04,1.627684e-04,1.611936e-04,1.611622e-04,1.596348e-04,1.580920e-04,1.550848e-04,1.521408e-04,1.492597e-04,1.464415e-04,1.436857e-04,1.409918e-04,1.383592e-04,1.357873e-04,1.332753e-04,1.308224e-04,1.284278e-04,1.260906e-04,1.238100e-04,1.215849e-04,1.194144e-04,1.172976e-04,1.152335e-04,1.132211e-04,1.112594e-04,1.093475e-04,1.074844e-04,1.056691e-04,1.039006e-04,1.021780e-04,1.005004e-04,9.886683e-05,9.727633e-05,9.572800e-05,9.422096e-05,9.275432e-05,9.132720e-05,8.993874e-05,8.858811e-05,8.727447e-05,8.599701e-05,8.475492e-05,8.354742e-05,8.237374e-05,8.123311e-05,8.012479e-05,7.904804e-05,7.800217e-05,7.698645e-05,7.600019e-05,7.504273e-05,7.411340e-05,7.321154e-05,7.233652e-05,7.148771e-05
0.000000e+00,1.843431e-09,1.987390e-08,2.065736e-08,1.054583e-07,3.208134e-07,3.333781e-07,7.347667e-07,1.212096e-06,1.243672e-06,1.758090e-06,2.186164e-06,2.220817e-06,2.618794e-06,2.923834e-06,2.954822e-06,3.235175e-06,3.441022e-06,3.466376e-06,3.654474e-06,3.785935e-06,3.804917e-06,3.922558e-06,3.999188e-06,4.011697e-06,4.076133e-06,4.112899e-06,4.119214e-06,4.143882e-06,4.152107e-06,4.152722e-06,4.147998e-06,4.136184e-06,4.131696e-06,4.105551e-06,4.080039e-06,4.071081e-06,4.029612e-06,3.995103e-06,3.982298e-06,3.930150e-06,3.890106e-06,3.874044e-06,3.814744e-06,3.771692e-06,3.752912e-06,3.689120e-06,3.644883e-06,3.623874e-06,3.557608e-06,3.513495e-06,3.490691e-06,3.423447e-06,3.380366e-06,3.356148e-06,3.289030e-06,3.247598e-06,3.222295e-06,3.156111e-06,3.116727e-06,3.090623e-06,3.025952e-06,2.988856e-06,2.962197e-06,2.899442e-06,2.864762e-06,2.837755e-06,2.777191e-06,2.744969e-06,2.717792e-06,2.659591e-06,2.629809e-06,2.602613e-06,2.546874e-06,2.519473e-06,2.492385e-06,2.439151e-06,2.414044e-06,2.387171e-06,2.336442e-06,2.313525e-06,2.286957e-06,2.238704e-06,2.217860e-06,2.191671e-06,2.145843e-06,2.126950e-06,2.101203e-06,2.057732e-06,2.040667e-06,2.015412e-06,1.974222e-06,1.958862e-06,1.934141e-06,1.895147e-06,1.881371e-06,1.857217e-06,1.820331e-06,1.808022e-06,1.784464e-06,1.749594e-06,1.738643e-06,1.715699e-06,1.682756e-06,1.673055e-06,1.650742e-06,1.619635e-06,1.611085e-06,1.589414e-06,1.560056e-06,1.552562e-06,1.531540e-06,1.503845e-06,1.497318e-06,1.476950e-06,1.450834e-06,1.445191e-06,1.425478e-06,1.400862e-06,1.396026e-06,1.376966e-06,1.353772e-06,1.349670e-06,1.331261e-06,1.309415e-06,1.305980e-06,1.288216e-06,1.267648e-06,1.264818e-06,1.247693e-06,1.228335e-06,1.226051e-06,1.209558e-06,1.191345e-06,1.189554e-06,1.173682e-06,1.156555e-06,1.155207e-06,1.139947e-06,1.123845e-06,1.122895e-06,1.108236e-06,1.093105e-06,1.092510e-06,1.078440e-06,1.064228e-06,1.063949e-06,1.050456e-06,1.037113e-06,1.011909e-06,9.882497e-07,9.660506e-07,9.452323e-07,9.257195e-07,9.074406e-07,8.903278e-07,8.743171e-07,8.593474e-07,8.453612e-07,8.323038e-07,8.201234e-07,8.087710e-07,7.982000e-07,7.883665e-07,7.792288e-07,7.707473e-07,7.628846e-07,7.556054e-07,7.488759e-07,7.426645e-07,7.369410e-07,7.316769e-07,7.268452e-07,7.224203e-07,7.183781e-07,7.146955e-07,7.113510e-07,7.083240e-07,7.055951e-07,7.031457e-07,7.009586e-07,6.990173e-07,6.973062e-07,6.958105e-07,6.945162e-07,6.934103e-07,6.924802e-07,6.917142e-07,6.911011e-07,6.906303e-07,6.902920e-07,6.900767e-07,6.899756e-07,6.899802e-07,6.900828e-07,6.902758e-07,6.905522e-07,6.909053e-07
0.000000e+00,4.162085e-08,5.937553e-07,6.187335e-07,3.499042e-06,1.191850e-05,1.245166e-05,3.175471e-05,6.071741e-05,6.288495e-05,1.029906e-04,1.433263e-04,1.468582e-04,1.901653e-04,2.268436e-04,2.307534e-04,2.679297e-04,2.977602e-04,3.016233e-04,3.319732e-04,3.555523e-04,3.591800e-04,3.834559e-04,4.017356e-04,4.050096e-04,4.240402e-04,4.378963e-04,4.407378e-04,4.552813e-04,4.654785e-04,4.678389e-04,4.785680e-04,4.857622e-04,4.876156e-04,4.951189e-04,4.998676e-04,5.012058e-04,5.059951e-04,5.087691e-04,5.095974e-04,5.121152e-04,5.133103e-04,5.136438e-04,5.142715e-04,5.142190e-04,5.140802e-04,5.131457e-04,5.121219e-04,5.115384e-04,5.093230e-04,5.075572e-04,5.065598e-04,5.033042e-04,5.009862e-04,4.996077e-04,4.955175e-04,4.928032e-04,4.910774e-04,4.863276e-04,4.833447e-04,4.813054e-04,4.760448e-04,4.728970e-04,4.705774e-04,4.649321e-04,4.617030e-04,4.591355e-04,4.532119e-04,4.499683e-04,4.471837e-04,4.410714e-04,4.378660e-04,4.348937e-04,4.286677e-04,4.255416e-04,4.224092e-04,4.161322e-04,4.131166e-04,4.098498e-04,4.035737e-04,4.006918e-04,3.973146e-04,3.910822e-04,3.883506e-04,3.848851e-04,3.787313e-04,3.761613e-04,3.726277e-04,3.665806e-04,3.641789e-04,3.605957e-04,3.546780e-04,3.524478e-04,3.488318e-04,3.430611e-04,3.410028e-04,3.373692e-04,3.317590e-04,3.298706e-04,3.262330e-04,3.207935e-04,3.190714e-04,3.154421e-04,3.101803e-04,3.086194e-04,3.050093e-04,2.999299e-04,2.985242e-04,2.949429e-04,2.900485e-04,2.887912e-04,2.852472e-04,2.805388e-04,2.794226e-04,2.759232e-04,2.714002e-04,2.704175e-04,2.669693e-04,2.626300e-04,2.617730e-04,2.583815e-04,2.542233e-04,2.534843e-04,2.501542e-04,2.461736e-04,2.455448e-04,2.422802e-04,2.384731e-04,2.379470e-04,2.347512e-04,2.311132e-04,2.306822e-04,2.275579e-04,2.240841e-04,2.237412e-04,2.206905e-04,2.173759e-04,2.171140e-04,2.141387e-04,2.109779e-04,2.107906e-04,2.078919e-04,2.048794e-04,2.047604e-04,2.019390e-04,1.990694e-04,1.990128e-04,1.962693e-04,1.935371e-04,1.883228e-04,1.833595e-04,1.786366e-04,1.741441e-04,1.698722e-04,1.658110e-04,1.619512e-04,1.582838e-04,1.548000e-04,1.514912e-04,1.483494e-04,1.453666e-04,1.425353e-04,1.398482e-04,1.372984e-04,1.348792e-04,1.325843e-04,1.304076e-04,1.283433e-04,1.263858e-04,1.245299e-04,1.227705e-04,1.211027e-04,1.195220e-04,1.180240e-04,1.166046e-04,1.152597e-04,1.139857e-04,1.127790e-04,1.116361e-04,1.105537e-04,1.095290e-04,1.085588e-04,1.076404e-04,1.067712e-04,1.059487e-04,1.051704e-04,1.044342e-04,1.037378e-04,1.030793e-04,1.024566e-04,1.018680e-04,1.013117e-04,1.007861e-04,1.002895e-04,9.982051e-05,9.937767e-05,9.895964e-05,9.856515e-05
0.000000e+00,6.849150e-08,1.087993e-06,1.137059e-06,7.381555e-06,2.739941e-05,2.869255e-05,7.513774e-05,1.397683e-04,1.443136e-04,2.222473e-04,2.923033e-04,2.981818e-04,3.681367e-04,4.252906e-04,4.313035e-04,4.878497e-04,5.324636e-04,5.381925e-04,5.827946e-04,6.169077e-04,6.221099e-04,6.565698e-04,6.820613e-04,6.865798e-04,7.125182e-04,7.309973e-04,7.347373e-04,7.535640e-04,7.663869e-04,7.693008e-04,7.822266e-04,7.905244e-04,7.925999e-04,8.006592e-04,8.053720e-04,8.066234e-04,8.106936e-04,8.125957e-04,8.130551e-04,8.138778e-04,8.136053e-04,8.133174e-04,8.115164e-04,8.095877e-04,8.086051e-04,8.047030e-04,8.015398e-04,7.999193e-04,7.943537e-04,7.902967e-04,7.880973e-04,7.812333e-04,7.765566e-04,7.738373e-04,7.659786e-04,7.609016e-04,7.577199e-04,7.491186e-04,7.438153e-04,7.402268e-04,7.310916e-04,7.256988e-04,7.217561e-04,7.122590e-04,7.068834e-04,7.026357e-04,6.929179e-04,6.876413e-04,6.831345e-04,6.733113e-04,6.681954e-04,6.634718e-04,6.536369e-04,6.487271e-04,6.438254e-04,6.340543e-04,6.293829e-04,6.243385e-04,6.146914e-04,6.102802e-04,6.051250e-04,5.956497e-04,5.915119e-04,5.862748e-04,5.770084e-04,5.731505e-04,5.678575e-04,5.588283e-04,5.552519e-04,5.499260e-04,5.411552e-04,5.378575e-04,5.325194e-04,5.240220e-04,5.209972e-04,5.156653e-04,5.074514e-04,5.046915e-04,4.993818e-04,4.914576e-04,4.889526e-04,4.836793e-04,4.760475e-04,4.737865e-04,4.685621e-04,4.612228e-04,4.591939e-04,4.540290e-04,4.469802e-04,4.451711e-04,4.400752e-04,4.333129e-04,4.317111e-04,4.266921e-04,4.202113e-04,4.188042e-04,4.138690e-04,4.076634e-04,4.064386e-04,4.015929e-04,3.956555e-04,3.946008e-04,3.898494e-04,3.841726e-04,3.832762e-04,3.786231e-04,3.731988e-04,3.724492e-04,3.678976e-04,3.627174e-04,3.621038e-04,3.576561e-04,3.527115e-04,3.522234e-04,3.478816e-04,3.431640e-04,3.427914e-04,3.385568e-04,3.340576e-04,3.337911e-04,3.296645e-04,3.253753e-04,3.252059e-04,3.211879e-04,3.171002e-04,3.170194e-04,3.131101e-04,3.092156e-04,3.017786e-04,2.946930e-04,2.879440e-04,2.815171e-04,2.753981e-04,2.695735e-04,2.640302e-04,2.587557e-04,2.537377e-04,2.489647e-04,2.444255e-04,2.401093e-04,2.360059e-04,2.321054e-04,2.283984e-04,2.248758e-04,2.215291e-04,2.183500e-04,2.153305e-04,2.124632e-04,2.097408e-04,2.071566e-04,2.047038e-04,2.023764e-04,2.001681e-04,1.980735e-04,1.960870e-04,1.942034e-04,1.924178e-04,1.907255e-04,1.891219e-04,1.876027e-04,1.861639e-04,1.848015e-04,1.835118e-04,1.822913e-04,1.811365e-04,1.800443e-04,1.790116e-04,1.780353e-04,1.771128e-04,1.762414e-04,1.754185e-04,1.746417e-04,1.739086e-04,1.732172e-04,1.725653e-04,1.719509e-04,1.713721e-04
0.000000e+00,3.550097e-10,5.130997e-09,5.358169e-09,3.187349e-08,1.031750e-07,1.074042e-07,2.437534e-07,4.032190e-07,4.135418e-07,5.781870e-07,7.117496e-07,7.224773e-07,8.450646e-07,9.384720e-07,9.479433e-07,1.033558e-06,1.096439e-06,1.104193e-06,1.161871e-06,1.202460e-06,1.208353e-06,1.245171e-06,1.269610e-06,1.273658e-06,1.294973e-06,1.307812e-06,1.310126e-06,1.319994e-06,1.324600e-06,1.325341e-06,1.326829e-06,1.325684e-06,1.325034e-06,1.320453e-06,1.315376e-06,1.313517e-06,1.304598e-06,1.296912e-06,1.294018e-06,1.282054e-06,1.272720e-06,1.268947e-06,1.254903e-06,1.244612e-06,1.240100e-06,1.224691e-06,1.213934e-06,1.208806e-06,1.192557e-06,1.181681e-06,1.176041e-06,1.159340e-06,1.148588e-06,1.142525e-06,1.125656e-06,1.115193e-06,1.108784e-06,1.091953e-06,1.081889e-06,1.075199e-06,1.058553e-06,1.048959e-06,1.042042e-06,1.025687e-06,1.016604e-06,1.009507e-06,9.935162e-07,9.849645e-07,9.777274e-07,9.621506e-07,9.541371e-07,9.467936e-07,9.316627e-07,9.241837e-07,9.167628e-07,9.020972e-07,8.951417e-07,8.876685e-07,8.734780e-07,8.670306e-07,8.595265e-07,8.458139e-07,8.398560e-07,8.323398e-07,8.191029e-07,8.136138e-07,8.061019e-07,7.933348e-07,7.882931e-07,7.807998e-07,7.684942e-07,7.638777e-07,7.564156e-07,7.445612e-07,7.403480e-07,7.329282e-07,7.215134e-07,7.176816e-07,7.103140e-07,6.993266e-07,6.958549e-07,6.885481e-07,6.779752e-07,6.748430e-07,6.676048e-07,6.574335e-07,6.546208e-07,6.474581e-07,6.376753e-07,6.351629e-07,6.280818e-07,6.186744e-07,6.164440e-07,6.094499e-07,6.004050e-07,5.984389e-07,5.915366e-07,5.828416e-07,5.811232e-07,5.743169e-07,5.659594e-07,5.644726e-07,5.577661e-07,5.497341e-07,5.484637e-07,5.418602e-07,5.341418e-07,5.330734e-07,5.265758e-07,5.191595e-07,5.182795e-07,5.118902e-07,5.047650e-07,5.040604e-07,4.977814e-07,4.909366e-07,4.903949e-07,4.842281e-07,4.776533e-07,4.772630e-07,4.712097e-07,4.648948e-07,4.646448e-07,4.587062e-07,4.526415e-07,4.525215e-07,4.466984e-07,4.408745e-07,4.296863e-07,4.189397e-07,4.086182e-07,3.987058e-07,3.891873e-07,3.800477e-07,3.712728e-07,3.628489e-07,3.547626e-07,3.470012e-07,3.395523e-07,3.324042e-07,3.255453e-07,3.189647e-07,3.126517e-07,3.065961e-07,3.007882e-07,2.952184e-07,2.898776e-07,2.847571e-07,2.798484e-07,2.751433e-07,2.706341e-07,2.663132e-07,2.621733e-07,2.582076e-07,2.544091e-07,2.507716e-07,2.472887e-07,2.439545e-07,2.407633e-07,2.377093e-07,2.347875e-07,2.319924e-07,2.293194e-07,2.267635e-07,2.243202e-07,2.219851e-07,2.197540e-07,2.176228e-07,2.155875e-07,2.136445e-07,2.117901e-07,2.100207e-07,2.083331e-07,2.067239e-07,2.051901e-07,2.037287e-07,2.023367e-07
0.000000e+00,1.777736e-09,1.854777e-08,1.926311e-08,9.572969e-08,2.945802e-07,3.065023e-07,7.078773e-07,1.240301e-06,1.277740e-06,1.927192e-06,2.525015e-06,2.575795e-06,3.187685e-06,3.698765e-06,3.753171e-06,4.271349e-06,4.689463e-06,4.743820e-06,5.172872e-06,5.509007e-06,5.560969e-06,5.910592e-06,6.176325e-06,6.224175e-06,6.504069e-06,6.710031e-06,6.752533e-06,6.971722e-06,7.127375e-06,7.163684e-06,7.330354e-06,7.443981e-06,7.473563e-06,7.595033e-06,7.673813e-06,7.696386e-06,7.779143e-06,7.829255e-06,7.844733e-06,7.894496e-06,7.921232e-06,7.929686e-06,7.951476e-06,7.959348e-06,7.960966e-06,7.959181e-06,7.952020e-06,7.947081e-06,7.925562e-06,7.906607e-06,7.895458e-06,7.857548e-06,7.829528e-06,7.812560e-06,7.761169e-06,7.726370e-06,7.704006e-06,7.641655e-06,7.601983e-06,7.574662e-06,7.503534e-06,7.460570e-06,7.428739e-06,7.350714e-06,7.305761e-06,7.269863e-06,7.186561e-06,7.140682e-06,7.101155e-06,7.013965e-06,6.968020e-06,6.925287e-06,6.835396e-06,6.790074e-06,6.744542e-06,6.652959e-06,6.608804e-06,6.560861e-06,6.468443e-06,6.425873e-06,6.375885e-06,6.283354e-06,6.242687e-06,6.190998e-06,6.098957e-06,6.060423e-06,6.007355e-06,5.916306e-06,5.880065e-06,5.825914e-06,5.736273e-06,5.702424e-06,5.647467e-06,5.559571e-06,5.528165e-06,5.472653e-06,5.386774e-06,5.357821e-06,5.301986e-06,5.218338e-06,5.191818e-06,5.135869e-06,5.054617e-06,5.030483e-06,4.974610e-06,4.895877e-06,4.874062e-06,4.818437e-06,4.742310e-06,4.722733e-06,4.667508e-06,4.594043e-06,4.576611e-06,4.521922e-06,4.451150e-06,4.435762e-06,4.381729e-06,4.313658e-06,4.300206e-06,4.246936e-06,4.181556e-06,4.169930e-06,4.117514e-06,4.054801e-06,4.044889e-06,3.993407e-06,3.933321e-06,3.925013e-06,3.874533e-06,3.817027e-06,3.810212e-06,3.760790e-06,3.705808e-06,3.700378e-06,3.652063e-06,3.599540e-06,3.595390e-06,3.548221e-06,3.498089e-06,3.495118e-06,3.449125e-06,3.401312e-06,3.399423e-06,3.354629e-06,3.309059e-06,3.308159e-06,3.264582e-06,3.221178e-06,3.138330e-06,3.059460e-06,2.984419e-06,2.913053e-06,2.845215e-06,2.780756e-06,2.719533e-06,2.661405e-06,2.606235e-06,2.553889e-06,2.504239e-06,2.457160e-06,2.412532e-06,2.370237e-06,2.330165e-06,2.292208e-06,2.256263e-06,2.222231e-06,2.190018e-06,2.159533e-06,2.130690e-06,2.103405e-06,2.077601e-06,2.053202e-06,2.030135e-06,2.008333e-06,1.987731e-06,1.968266e-06,1.949880e-06,1.932516e-06,1.916121e-06,1.900645e-06,1.886040e-06,1.872258e-06,1.859258e-06,1.846998e-06,1.835439e-06,1.824543e-06,1.814276e-06,1.804604e-06,1.795495e-06,1.786919e-06,1.778848e-06,1.771255e-06,1.764114e-06,1.757401e-06,1.751093e-06,1.745167e-06,1.739605e-06
0.000000e+00,1.163282e-07,2.499379e-06,2.627432e-06,2.224336e-05,1.010550e-04,1.065954e-04,3.245403e-04,6.690845e-04,6.949866e-04,1.176980e-03,1.675996e-03,1.720797e-03,2.288502e-03,2.798487e-03,2.854484e-03,3.402389e-03,3.861587e-03,3.922277e-03,4.408518e-03,4.797607e-03,4.858341e-03,5.270843e-03,5.588702e-03,5.646329e-03,5.985862e-03,6.238513e-03,6.290970e-03,6.563443e-03,6.759215e-03,6.805205e-03,7.018217e-03,7.165664e-03,7.204429e-03,7.365736e-03,7.472797e-03,7.503960e-03,7.620830e-03,7.694533e-03,7.717984e-03,7.796958e-03,7.843377e-03,7.859196e-03,7.906045e-03,7.930357e-03,7.938759e-03,7.958509e-03,7.965093e-03,7.966384e-03,7.963394e-03,7.955928e-03,7.950478e-03,7.928508e-03,7.910070e-03,7.898290e-03,7.860577e-03,7.833737e-03,7.816064e-03,7.765398e-03,7.732296e-03,7.709179e-03,7.647962e-03,7.610371e-03,7.582263e-03,7.512556e-03,7.471936e-03,7.439283e-03,7.362854e-03,7.320403e-03,7.283645e-03,7.202006e-03,7.158702e-03,7.118260e-03,7.032707e-03,6.989339e-03,6.945621e-03,6.857258e-03,6.814459e-03,6.767852e-03,6.677621e-03,6.635893e-03,6.586764e-03,6.495466e-03,6.455199e-03,6.403895e-03,6.312207e-03,6.273697e-03,6.220543e-03,6.129036e-03,6.092503e-03,6.037803e-03,5.946954e-03,5.912553e-03,5.856588e-03,5.766797e-03,5.734629e-03,5.677663e-03,5.589260e-03,5.559381e-03,5.501655e-03,5.414910e-03,5.387342e-03,5.329079e-03,5.244211e-03,5.218945e-03,5.160349e-03,5.077533e-03,5.054536e-03,4.995795e-03,4.915166e-03,4.894388e-03,4.835672e-03,4.757335e-03,4.738708e-03,4.680173e-03,4.604203e-03,4.587650e-03,4.529436e-03,4.455884e-03,4.441320e-03,4.383554e-03,4.312452e-03,4.299784e-03,4.242580e-03,4.173940e-03,4.163073e-03,4.106533e-03,4.040356e-03,4.031189e-03,3.975405e-03,3.911677e-03,3.904111e-03,3.849164e-03,3.787861e-03,3.781797e-03,3.727759e-03,3.668850e-03,3.664188e-03,3.611122e-03,3.554566e-03,3.551210e-03,3.499171e-03,3.444925e-03,3.442779e-03,3.391814e-03,3.339828e-03,3.338799e-03,3.288951e-03,3.239170e-03,3.143784e-03,3.052530e-03,2.965292e-03,2.881954e-03,2.802398e-03,2.726505e-03,2.654158e-03,2.585238e-03,2.519629e-03,2.457217e-03,2.397888e-03,2.341532e-03,2.288040e-03,2.237306e-03,2.189226e-03,2.143699e-03,2.100627e-03,2.059914e-03,2.021467e-03,1.985197e-03,1.951015e-03,1.918838e-03,1.888582e-03,1.860168e-03,1.833519e-03,1.808562e-03,1.785223e-03,1.763433e-03,1.743126e-03,1.724235e-03,1.706698e-03,1.690454e-03,1.675445e-03,1.661614e-03,1.648907e-03,1.637269e-03,1.626652e-03,1.617004e-03,1.608279e-03,1.600432e-03,1.593418e-03,1.587194e-03,1.581720e-03,1.576955e-03,1.572862e-03,1.569403e-03,1.566544e-03,1.564250e-03,1.562488e-03
0.000000e+00,1.058514e-08,1.910394e-07,1.999851e-07,1.254066e-06,3.954447e-06,4.108017e-06,8.735092e-06,1.369162e-05,1.400859e-05,1.916755e-05,2.363893e-05,2.401411e-05,2.851922e-05,3.228725e-05,3.268962e-05,3.653977e-05,3.967560e-05,4.008555e-05,4.334285e-05,4.592531e-05,4.632727e-05,4.905396e-05,5.115597e-05,5.153762e-05,5.379240e-05,5.548009e-05,5.583191e-05,5.766914e-05,5.900165e-05,5.931651e-05,6.078581e-05,6.181547e-05,6.208824e-05,6.323443e-05,6.400724e-05,6.423442e-05,6.509773e-05,6.565388e-05,6.583334e-05,6.644974e-05,6.682425e-05,6.695494e-05,6.735649e-05,6.757974e-05,6.766153e-05,6.787676e-05,6.797506e-05,6.800851e-05,6.806275e-05,6.805883e-05,6.804509e-05,6.796081e-05,6.787422e-05,6.781488e-05,6.761199e-05,6.745952e-05,6.735652e-05,6.705262e-05,6.684865e-05,6.670417e-05,6.631481e-05,6.607161e-05,6.588799e-05,6.542692e-05,6.515489e-05,6.493462e-05,6.441393e-05,6.412189e-05,6.386750e-05,6.329782e-05,6.299319e-05,6.270724e-05,6.209793e-05,6.178690e-05,6.147195e-05,6.083122e-05,6.051895e-05,6.017751e-05,5.951252e-05,5.920326e-05,5.883780e-05,5.815481e-05,5.785203e-05,5.746492e-05,5.676939e-05,5.647588e-05,5.606942e-05,5.536610e-05,5.508407e-05,5.466046e-05,5.395345e-05,5.368462e-05,5.324596e-05,5.253881e-05,5.228446e-05,5.183275e-05,5.112849e-05,5.088957e-05,5.042668e-05,4.972792e-05,4.950506e-05,4.903277e-05,4.834173e-05,4.813529e-05,4.765527e-05,4.697381e-05,4.678396e-05,4.629776e-05,4.562746e-05,4.545417e-05,4.496325e-05,4.430540e-05,4.414850e-05,4.365420e-05,4.300989e-05,4.286908e-05,4.237266e-05,4.174273e-05,4.161763e-05,4.112026e-05,4.050539e-05,4.039553e-05,3.989826e-05,3.929899e-05,3.920384e-05,3.870766e-05,3.812437e-05,3.804335e-05,3.754916e-05,3.698211e-05,3.691461e-05,3.642325e-05,3.587260e-05,3.581799e-05,3.533018e-05,3.479601e-05,3.475363e-05,3.427008e-05,3.375238e-05,3.372158e-05,3.324289e-05,3.274159e-05,3.272171e-05,3.224844e-05,3.176341e-05,3.175379e-05,3.128645e-05,3.081751e-05,2.991246e-05,2.903816e-05,2.819408e-05,2.737964e-05,2.659423e-05,2.583720e-05,2.510788e-05,2.440557e-05,2.372958e-05,2.307921e-05,2.245372e-05,2.185242e-05,2.127459e-05,2.071953e-05,2.018653e-05,1.967491e-05,1.918399e-05,1.871309e-05,1.826156e-05,1.782877e-05,1.741407e-05,1.701686e-05,1.663654e-05,1.627253e-05,1.592425e-05,1.559116e-05,1.527272e-05,1.496841e-05,1.467772e-05,1.440017e-05,1.413527e-05,1.388257e-05,1.364161e-05,1.341198e-05,1.319324e-05,1.298501e-05,1.278687e-05,1.259847e-05,1.241943e-05,1.224939e-05,1.208802e-05,1.193499e-05,1.178998e-05,1.165269e-05,1.152280e-05,1.140005e-05,1.128415e-05,1.117483e-05,1.107184e-05
0.000000e+00,3.263932e-08,7.089930e-07,7.457418e-07,6.216037e-06,2.583593e-05,2.711964e-05,7.145772e-05,1.261562e-04,1.297608e-04,1.883702e-04,2.374574e-04,2.414595e-04,2.878520e-04,3.241078e-04,3.278349e-04,3.620344e-04,3.878667e-04,3.911050e-04,4.156516e-04,4.335584e-04,4.362163e-04,4.532798e-04,4.652196e-04,4.672668e-04,4.785543e-04,4.860311e-04,4.874762e-04,4.943276e-04,4.984944e-04,4.993694e-04,5.028321e-04,5.045684e-04,5.049189e-04,5.058089e-04,5.057827e-04,5.056599e-04,5.046109e-04,5.033278e-04,5.027843e-04,5.002874e-04,4.981282e-04,4.972149e-04,4.936497e-04,4.909003e-04,4.896647e-04,4.853240e-04,4.821981e-04,4.806837e-04,4.757930e-04,4.724492e-04,4.706951e-04,4.654278e-04,4.619833e-04,4.600242e-04,4.545132e-04,4.510537e-04,4.489201e-04,4.432671e-04,4.398546e-04,4.375733e-04,4.318556e-04,4.285342e-04,4.261286e-04,4.204049e-04,4.172053e-04,4.146956e-04,4.090102e-04,4.059530e-04,4.033569e-04,3.977428e-04,3.948410e-04,3.921739e-04,3.866554e-04,3.839165e-04,3.811918e-04,3.757867e-04,3.732140e-04,3.704433e-04,3.651643e-04,3.627581e-04,3.599516e-04,3.548072e-04,3.525656e-04,3.497322e-04,3.447279e-04,3.426474e-04,3.397951e-04,3.349342e-04,3.330101e-04,3.301457e-04,3.254297e-04,3.236567e-04,3.207863e-04,3.162153e-04,3.145874e-04,3.117165e-04,3.072897e-04,3.058008e-04,3.029342e-04,2.986497e-04,2.972936e-04,2.944356e-04,2.902912e-04,2.890614e-04,2.862159e-04,2.822090e-04,2.810992e-04,2.782697e-04,2.743972e-04,2.734013e-04,2.705908e-04,2.668496e-04,2.659614e-04,2.631728e-04,2.595595e-04,2.587731e-04,2.560089e-04,2.525202e-04,2.518298e-04,2.490924e-04,2.457246e-04,2.451248e-04,2.424161e-04,2.391660e-04,2.386513e-04,2.359733e-04,2.328372e-04,2.324026e-04,2.297569e-04,2.267315e-04,2.263721e-04,2.237602e-04,2.208422e-04,2.205532e-04,2.179765e-04,2.151624e-04,2.149395e-04,2.123991e-04,2.096857e-04,2.095245e-04,2.070215e-04,2.044056e-04,2.043020e-04,2.018374e-04,1.993160e-04,1.992661e-04,1.968407e-04,1.944107e-04,1.897301e-04,1.852188e-04,1.808712e-04,1.766820e-04,1.726461e-04,1.687585e-04,1.650143e-04,1.614088e-04,1.579375e-04,1.545958e-04,1.513796e-04,1.482846e-04,1.453069e-04,1.424424e-04,1.396875e-04,1.370384e-04,1.344916e-04,1.320437e-04,1.296913e-04,1.274312e-04,1.252603e-04,1.231755e-04,1.211740e-04,1.192528e-04,1.174093e-04,1.156408e-04,1.139447e-04,1.123185e-04,1.107599e-04,1.092664e-04,1.078358e-04,1.064660e-04,1.051548e-04,1.039002e-04,1.027002e-04,1.015529e-04,1.004563e-04,9.940883e-05,9.840861e-05,9.745400e-05,9.654335e-05,9.567511e-05,9.484773e-05,9.405974e-05,9.330972e-05,9.259627e-05,9.191807e-05,9.127382e-05,9.066226e-05
0.000000e+00,1.321711e-07,3.122619e-06,3.287739e-06,2.888968e-05,1.291689e-04,1.360818e-04,3.988886e-04,7.896466e-04,8.180706e-04,1.326408e-03,1.815195e-03,1.857313e-03,2.366418e-03,2.785044e-03,2.828763e-03,3.232714e-03,3.537172e-03,3.575018e-03,3.857362e-03,4.055512e-03,4.084113e-03,4.260880e-03,4.375110e-03,4.393639e-03,4.488253e-03,4.541244e-03,4.550218e-03,4.584524e-03,4.595057e-03,4.595611e-03,4.587370e-03,4.569713e-03,4.563176e-03,4.525931e-03,4.490436e-03,4.478114e-03,4.421829e-03,4.375783e-03,4.358853e-03,4.290684e-03,4.239097e-03,4.218572e-03,4.143563e-03,4.089804e-03,4.066525e-03,3.988177e-03,3.934458e-03,3.909110e-03,3.829810e-03,3.777542e-03,3.750676e-03,3.672028e-03,3.622071e-03,3.594126e-03,3.517181e-03,3.470028e-03,3.441356e-03,3.366783e-03,3.322682e-03,3.293561e-03,3.221766e-03,3.180803e-03,3.151456e-03,3.082667e-03,3.044821e-03,3.015428e-03,2.949751e-03,2.914938e-03,2.885643e-03,2.823101e-03,2.791195e-03,2.762116e-03,2.702677e-03,2.673532e-03,2.644766e-03,2.588362e-03,2.561817e-03,2.533443e-03,2.479983e-03,2.455875e-03,2.427957e-03,2.377336e-03,2.355501e-03,2.328093e-03,2.280199e-03,2.260478e-03,2.233623e-03,2.188336e-03,2.170576e-03,2.144309e-03,2.101512e-03,2.085565e-03,2.059914e-03,2.019488e-03,2.005216e-03,1.980204e-03,1.942033e-03,1.929304e-03,1.904948e-03,1.868919e-03,1.857609e-03,1.833920e-03,1.799925e-03,1.789918e-03,1.766906e-03,1.734837e-03,1.726025e-03,1.703694e-03,1.673452e-03,1.665733e-03,1.644086e-03,1.615572e-03,1.608853e-03,1.587888e-03,1.561010e-03,1.555203e-03,1.534917e-03,1.509587e-03,1.504610e-03,1.484998e-03,1.461131e-03,1.456910e-03,1.437964e-03,1.415480e-03,1.411944e-03,1.393657e-03,1.372478e-03,1.369564e-03,1.351925e-03,1.331980e-03,1.329627e-03,1.312626e-03,1.293846e-03,1.291999e-03,1.275623e-03,1.257942e-03,1.256551e-03,1.240787e-03,1.224144e-03,1.223161e-03,1.207997e-03,1.192333e-03,1.191716e-03,1.177136e-03,1.162395e-03,1.162105e-03,1.148095e-03,1.134224e-03,1.107977e-03,1.083271e-03,1.060017e-03,1.038132e-03,1.017539e-03,9.981631e-04,9.799337e-04,9.627847e-04,9.466534e-04,9.314807e-04,9.172105e-04,9.037901e-04,8.911695e-04,8.793015e-04,8.681417e-04,8.576480e-04,8.477809e-04,8.385029e-04,8.297786e-04,8.215748e-04,8.138600e-04,8.066046e-04,7.997807e-04,7.933619e-04,7.873232e-04,7.816414e-04,7.762943e-04,7.712610e-04,7.665221e-04,7.620590e-04,7.578543e-04,7.538917e-04,7.501557e-04,7.466319e-04,7.433064e-04,7.401666e-04,7.372002e-04,7.343960e-04,7.317432e-04,7.292318e-04,7.268523e-04,7.245959e-04,7.224542e-04,7.204194e-04,7.184841e-04,7.166415e-04,7.148851e-04,7.132089e-04,7.116071e-04
0.000000e+00,3.360625e-06,6.971885e-05,7.315396e-05,5.506505e-04,2.266877e-03,2.384277e-03,7.064805e-03,1.523248e-02,1.589036e-02,2.918605e-02,4.486690e-02,4.636270e-02,6.651114e-02,8.645854e-02,8.875471e-02,1.123423e-01,1.337163e-01,1.366543e-01,1.611883e-01,1.821559e-01,1.855419e-01,2.093975e-01,2.288689e-01,2.325082e-01,2.546860e-01,2.720770e-01,2.757921e-01,2.957280e-01,3.107892e-01,3.144283e-01,3.318547e-01,3.445518e-01,3.479909e-01,3.628378e-01,3.732681e-01,3.764106e-01,3.887349e-01,3.970710e-01,3.998449e-01,4.097808e-01,4.162326e-01,4.185873e-01,4.263123e-01,4.311030e-01,4.330057e-01,4.387182e-01,4.420686e-01,4.435011e-01,4.474053e-01,4.495251e-01,4.504809e-01,4.527770e-01,4.538596e-01,4.543415e-01,4.552205e-01,4.554409e-01,4.554588e-01,4.550993e-01,4.546140e-01,4.541834e-01,4.527503e-01,4.516972e-01,4.508379e-01,4.484821e-01,4.469820e-01,4.457171e-01,4.425756e-01,4.407335e-01,4.390884e-01,4.352851e-01,4.331917e-01,4.311934e-01,4.268397e-01,4.245725e-01,4.222491e-01,4.174451e-01,4.150701e-01,4.124502e-01,4.072853e-01,4.048579e-01,4.019703e-01,3.965240e-01,3.940907e-01,3.909641e-01,3.853070e-01,3.829058e-01,3.795684e-01,3.737629e-01,3.714251e-01,3.679042e-01,3.620052e-01,3.597555e-01,3.560779e-01,3.501335e-01,3.479913e-01,3.441824e-01,3.382346e-01,3.362147e-01,3.322991e-01,3.263842e-01,3.244971e-01,3.204979e-01,3.146474e-01,3.129003e-01,3.088395e-01,3.030803e-01,3.014772e-01,2.973755e-01,2.917304e-01,2.902731e-01,2.861498e-01,2.806380e-01,2.793259e-01,2.751991e-01,2.698367e-01,2.686676e-01,2.645541e-01,2.593542e-01,2.583244e-01,2.542397e-01,2.492129e-01,2.483176e-01,2.442759e-01,2.394306e-01,2.386640e-01,2.346785e-01,2.300211e-01,2.293767e-01,2.254594e-01,2.209944e-01,2.204651e-01,2.166269e-01,2.123575e-01,2.119360e-01,2.081867e-01,2.041147e-01,2.037932e-01,2.001417e-01,1.962676e-01,1.960383e-01,1.924925e-01,1.888161e-01,1.886710e-01,1.852380e-01,1.817578e-01,1.816892e-01,1.783751e-01,1.750892e-01,1.688660e-01,1.630136e-01,1.575248e-01,1.523919e-01,1.476062e-01,1.431585e-01,1.390389e-01,1.352374e-01,1.317432e-01,1.285455e-01,1.256331e-01,1.229946e-01,1.206184e-01,1.184928e-01,1.166059e-01,1.149458e-01,1.135007e-01,1.122586e-01,1.112075e-01,1.103357e-01,1.096314e-01,1.090830e-01,1.086790e-01,1.084081e-01,1.082595e-01,1.082221e-01,1.082855e-01,1.084395e-01,1.086742e-01,1.089801e-01,1.093481e-01,1.097693e-01,1.102355e-01,1.107388e-01,1.112717e-01,1.118272e-01,1.123987e-01,1.129803e-01,1.135663e-01,1.141515e-01,1.147313e-01,1.153015e-01,1.158582e-01,1.163980e-01,1.169182e-01,1.174160e-01,1.178894e-01,1.183365e-01,1.187559e-01
0.000000e+00,7.362246e-09,1.135767e-07,1.189097e-07,8.168571e-07,2.904427e-06,3.028883e-06,6.810854e-06,1.084319e-05,1.110211e-05,1.536355e-05,1.915212e-05,1.947472e-05,2.341211e-05,2.680451e-05,2.717263e-05,3.075794e-05,3.377051e-05,3.417112e-05,3.741584e-05,4.007469e-05,4.049621e-05,4.341665e-05,4.574963e-05,4.618183e-05,4.879659e-05,5.083194e-05,5.126590e-05,5.359472e-05,5.535998e-05,5.578805e-05,5.785079e-05,5.937221e-05,5.978781e-05,6.160386e-05,6.290602e-05,6.330359e-05,6.489152e-05,6.599721e-05,6.637207e-05,6.774950e-05,6.867974e-05,6.902797e-05,7.021151e-05,7.098560e-05,7.130401e-05,7.230925e-05,7.294484e-05,7.323088e-05,7.407242e-05,7.458562e-05,7.483728e-05,7.552876e-05,7.593427e-05,7.615004e-05,7.670420e-05,7.701537e-05,7.719420e-05,7.762289e-05,7.785183e-05,7.799304e-05,7.830732e-05,7.846500e-05,7.856827e-05,7.877839e-05,7.887474e-05,7.894005e-05,7.905555e-05,7.909951e-05,7.912710e-05,7.915683e-05,7.915645e-05,7.914680e-05,7.909898e-05,7.906149e-05,7.901526e-05,7.889749e-05,7.882938e-05,7.874741e-05,7.856673e-05,7.847379e-05,7.835707e-05,7.811999e-05,7.800738e-05,7.785701e-05,7.756956e-05,7.744188e-05,7.725905e-05,7.692680e-05,7.678810e-05,7.657410e-05,7.620219e-05,7.605607e-05,7.581224e-05,7.540539e-05,7.525500e-05,7.498274e-05,7.454532e-05,7.439341e-05,7.409414e-05,7.363016e-05,7.347914e-05,7.315431e-05,7.266747e-05,7.251940e-05,7.217049e-05,7.166418e-05,7.152085e-05,7.114932e-05,7.062666e-05,7.048958e-05,7.009691e-05,6.956074e-05,6.943118e-05,6.901882e-05,6.847177e-05,6.835079e-05,6.792018e-05,6.736463e-05,6.725309e-05,6.680565e-05,6.624378e-05,6.614237e-05,6.567950e-05,6.511329e-05,6.502254e-05,6.454560e-05,6.397686e-05,6.389718e-05,6.340749e-05,6.283787e-05,6.276952e-05,6.226838e-05,6.169937e-05,6.164251e-05,6.113118e-05,6.056413e-05,6.051882e-05,5.999851e-05,5.943463e-05,5.940086e-05,5.887275e-05,5.831312e-05,5.829079e-05,5.775601e-05,5.720163e-05,5.719057e-05,5.665020e-05,5.610194e-05,5.502648e-05,5.396555e-05,5.292040e-05,5.189210e-05,5.088158e-05,4.988969e-05,4.891710e-05,4.796442e-05,4.703214e-05,4.612069e-05,4.523038e-05,4.436146e-05,4.351413e-05,4.268851e-05,4.188465e-05,4.110258e-05,4.034226e-05,3.960361e-05,3.888652e-05,3.819084e-05,3.751638e-05,3.686294e-05,3.623027e-05,3.561814e-05,3.502624e-05,3.445430e-05,3.390199e-05,3.336899e-05,3.285497e-05,3.235958e-05,3.188245e-05,3.142324e-05,3.098157e-05,3.055706e-05,3.014933e-05,2.975801e-05,2.938272e-05,2.902306e-05,2.867866e-05,2.834913e-05,2.803409e-05,2.773316e-05,2.744595e-05,2.717210e-05,2.691122e-05,2.666295e-05,2.642692e-05,2.620276e-05,2.599013e-05
0.000000e+00,8.401797e-10,1.025581e-08,1.068913e-08,6.215427e-08,2.126290e-07,2.220105e-07,5.462238e-07,9.742174e-07,1.003730e-06,1.506061e-06,1.962729e-06,2.001646e-06,2.474929e-06,2.878779e-06,2.922334e-06,3.343511e-06,3.692867e-06,3.738993e-06,4.109573e-06,4.409022e-06,4.456127e-06,4.779562e-06,5.034051e-06,5.080794e-06,5.360744e-06,5.575066e-06,5.620329e-06,5.860458e-06,6.039150e-06,6.082020e-06,6.285887e-06,6.433167e-06,6.472909e-06,6.643910e-06,6.763648e-06,6.799688e-06,6.941012e-06,7.036724e-06,7.068625e-06,7.183237e-06,7.258093e-06,7.285532e-06,7.376166e-06,7.433014e-06,7.455775e-06,7.524957e-06,7.566340e-06,7.584289e-06,7.634324e-06,7.662511e-06,7.675589e-06,7.708586e-06,7.725589e-06,7.733798e-06,7.751683e-06,7.759285e-06,7.762679e-06,7.767205e-06,7.766982e-06,7.765659e-06,7.758420e-06,7.751756e-06,7.745849e-06,7.728292e-06,7.716404e-06,7.706075e-06,7.679510e-06,7.663463e-06,7.648895e-06,7.614512e-06,7.595233e-06,7.576629e-06,7.535500e-06,7.513796e-06,7.491369e-06,7.444466e-06,7.421032e-06,7.395009e-06,7.343205e-06,7.318641e-06,7.289251e-06,7.233334e-06,7.208155e-06,7.175631e-06,7.116309e-06,7.090949e-06,7.055527e-06,6.993435e-06,6.968263e-06,6.930175e-06,6.865882e-06,6.841207e-06,6.800683e-06,6.734697e-06,6.710772e-06,6.668039e-06,6.600814e-06,6.577847e-06,6.533124e-06,6.465063e-06,6.443221e-06,6.396722e-06,6.328184e-06,6.307596e-06,6.259529e-06,6.190829e-06,6.171596e-06,6.122157e-06,6.053576e-06,6.035767e-06,5.985148e-06,5.916930e-06,5.900595e-06,5.848975e-06,5.781335e-06,5.766501e-06,5.714054e-06,5.647178e-06,5.633854e-06,5.580745e-06,5.514793e-06,5.502976e-06,5.449357e-06,5.384469e-06,5.374140e-06,5.320158e-06,5.256452e-06,5.247582e-06,5.193374e-06,5.130949e-06,5.123502e-06,5.069196e-06,5.008134e-06,5.002067e-06,4.947781e-06,4.888151e-06,4.883413e-06,4.829259e-06,4.771116e-06,4.767652e-06,4.713734e-06,4.657120e-06,4.654872e-06,4.601284e-06,4.546232e-06,4.545139e-06,4.491969e-06,4.438501e-06,4.334990e-06,4.234621e-06,4.137399e-06,4.043315e-06,3.952350e-06,3.864476e-06,3.779660e-06,3.697859e-06,3.619025e-06,3.543105e-06,3.470044e-06,3.399781e-06,3.332253e-06,3.267394e-06,3.205138e-06,3.145416e-06,3.088158e-06,3.033296e-06,2.980757e-06,2.930473e-06,2.882373e-06,2.836387e-06,2.792447e-06,2.750483e-06,2.710430e-06,2.672220e-06,2.635788e-06,2.601071e-06,2.568007e-06,2.536533e-06,2.506591e-06,2.478121e-06,2.451068e-06,2.425376e-06,2.400991e-06,2.377862e-06,2.355936e-06,2.335166e-06,2.315504e-06,2.296903e-06,2.279319e-06,2.262708e-06,2.247029e-06,2.232241e-06,2.218306e-06,2.205186e-06,2.192844e-06,2.181246e-06,2.170357e-06
0.000000e+00,3.470740e-08,7.673035e-07,8.073813e-07,6.442631e-06,2.255048e-05,2.343961e-05,4.801755e-05,7.192114e-05,7.342344e-05,9.783045e-05,1.191408e-04,1.209408e-04,1.427308e-04,1.612370e-04,1.632299e-04,1.824789e-04,1.984177e-04,2.005203e-04,2.173979e-04,2.310153e-04,2.331557e-04,2.478387e-04,2.593748e-04,2.614920e-04,2.741609e-04,2.838463e-04,2.858903e-04,2.967246e-04,3.047764e-04,3.067067e-04,3.158784e-04,3.224962e-04,3.242806e-04,3.319522e-04,3.373172e-04,3.389308e-04,3.452526e-04,3.495283e-04,3.509523e-04,3.560630e-04,3.593958e-04,3.606164e-04,3.646428e-04,3.671634e-04,3.681713e-04,3.712294e-04,3.730538e-04,3.738435e-04,3.760388e-04,3.772699e-04,3.778391e-04,3.792674e-04,3.799964e-04,3.803454e-04,3.810938e-04,3.814011e-04,3.815324e-04,3.816800e-04,3.816363e-04,3.815543e-04,3.811725e-04,3.808401e-04,3.805507e-04,3.797042e-04,3.791376e-04,3.786477e-04,3.773951e-04,3.766419e-04,3.759596e-04,3.743537e-04,3.734553e-04,3.725894e-04,3.706778e-04,3.696703e-04,3.686299e-04,3.664557e-04,3.653701e-04,3.641649e-04,3.617666e-04,3.606298e-04,3.592696e-04,3.566821e-04,3.555170e-04,3.540119e-04,3.512663e-04,3.500924e-04,3.484524e-04,3.455768e-04,3.444107e-04,3.426457e-04,3.396651e-04,3.385206e-04,3.366405e-04,3.335773e-04,3.324660e-04,3.304804e-04,3.273546e-04,3.262860e-04,3.242043e-04,3.210337e-04,3.200155e-04,3.178468e-04,3.146472e-04,3.136854e-04,3.114386e-04,3.082242e-04,3.073235e-04,3.050070e-04,3.017902e-04,3.009541e-04,2.985762e-04,2.953678e-04,2.945989e-04,2.921673e-04,2.889771e-04,2.882768e-04,2.857991e-04,2.826354e-04,2.820045e-04,2.794878e-04,2.763580e-04,2.757967e-04,2.732476e-04,2.701582e-04,2.696659e-04,2.670910e-04,2.640474e-04,2.636232e-04,2.610285e-04,2.580354e-04,2.576780e-04,2.550691e-04,2.521306e-04,2.518383e-04,2.492206e-04,2.463400e-04,2.461108e-04,2.434894e-04,2.406695e-04,2.405013e-04,2.378808e-04,2.351239e-04,2.350143e-04,2.323992e-04,2.297072e-04,2.296537e-04,2.270481e-04,2.244223e-04,2.193223e-04,2.143555e-04,2.095226e-04,2.048243e-04,2.002605e-04,1.958310e-04,1.915349e-04,1.873714e-04,1.833390e-04,1.794364e-04,1.756616e-04,1.720130e-04,1.684882e-04,1.650853e-04,1.618020e-04,1.586358e-04,1.555844e-04,1.526453e-04,1.498159e-04,1.470937e-04,1.444760e-04,1.419604e-04,1.395441e-04,1.372246e-04,1.349993e-04,1.328656e-04,1.308211e-04,1.288631e-04,1.269892e-04,1.251970e-04,1.234841e-04,1.218479e-04,1.202863e-04,1.187968e-04,1.173772e-04,1.160252e-04,1.147388e-04,1.135157e-04,1.123539e-04,1.112513e-04,1.102060e-04,1.092160e-04,1.082794e-04,1.073943e-04,1.065590e-04,1.057715e-04,1.050303e-04,1.043335e-04,1.036797e-04
0.000000e+00,8.293473e-04,1.875823e-02,1.972999e-02,1.668796e-01,7.332091e-01,7.721484e-01,2.269632e+00,4.621686e+00,4.800379e+00,8.204069e+00,1.191295e+01,1.225596e+01,1.675312e+01,2.104037e+01,2.152588e+01,2.643557e+01,3.078000e+01,3.137036e+01,3.624126e+01,4.032561e+01,4.097866e+01,4.552924e+01,4.917798e+01,4.985333e+01,5.392262e+01,5.705579e+01,5.771821e+01,6.122887e+01,6.382873e+01,6.444963e+01,6.738050e+01,6.946779e+01,7.002547e+01,7.239160e+01,7.400908e+01,7.448829e+01,7.632667e+01,7.752799e+01,7.791908e+01,7.927868e+01,8.012104e+01,8.041904e+01,8.135395e+01,8.189351e+01,8.209715e+01,8.266212e+01,8.295124e+01,8.306204e+01,8.330963e+01,8.339552e+01,8.341705e+01,8.339594e+01,8.332008e+01,8.325729e+01,8.301150e+01,8.280961e+01,8.266833e+01,8.223692e+01,8.193929e+01,8.172581e+01,8.114295e+01,8.077496e+01,8.049574e+01,7.979100e+01,7.937362e+01,7.903510e+01,7.823387e+01,7.778429e+01,7.739274e+01,7.651667e+01,7.604885e+01,7.561026e+01,7.467771e+01,7.420285e+01,7.372289e+01,7.274936e+01,7.227638e+01,7.176037e+01,7.075890e+01,7.029480e+01,6.974770e+01,6.872926e+01,6.827945e+01,6.770586e+01,6.667960e+01,6.624817e+01,6.565237e+01,6.462591e+01,6.421591e+01,6.360182e+01,6.258151e+01,6.219507e+01,6.156632e+01,6.055741e+01,6.019595e+01,5.955587e+01,5.856267e+01,5.822705e+01,5.757870e+01,5.660473e+01,5.629530e+01,5.564149e+01,5.468961e+01,5.440635e+01,5.374967e+01,5.282216e+01,5.256475e+01,5.190754e+01,5.100619e+01,5.077407e+01,5.011848e+01,4.924470e+01,4.903709e+01,4.838510e+01,4.753992e+01,4.735593e+01,4.670933e+01,4.589348e+01,4.573209e+01,4.509250e+01,4.430649e+01,4.416660e+01,4.353551e+01,4.277962e+01,4.266007e+01,4.203882e+01,4.131314e+01,4.121275e+01,4.060256e+01,3.990704e+01,3.982459e+01,3.922655e+01,3.856103e+01,3.849529e+01,3.791039e+01,3.727458e+01,3.722435e+01,3.665348e+01,3.604700e+01,3.601108e+01,3.545503e+01,3.487745e+01,3.485464e+01,3.431412e+01,3.376493e+01,3.375409e+01,3.322973e+01,3.270838e+01,3.171637e+01,3.077686e+01,2.988862e+01,2.905035e+01,2.826073e+01,2.751840e+01,2.682201e+01,2.617016e+01,2.556148e+01,2.499455e+01,2.446799e+01,2.398037e+01,2.353031e+01,2.311639e+01,2.273721e+01,2.239138e+01,2.207750e+01,2.179417e+01,2.154003e+01,2.131369e+01,2.111379e+01,2.093897e+01,2.078789e+01,2.065922e+01,2.055166e+01,2.046389e+01,2.039465e+01,2.034268e+01,2.030674e+01,2.028564e+01,2.027819e+01,2.028324e+01,2.029967e+01,2.032640e+01,2.036239e+01,2.040662e+01,2.045811e+01,2.051595e+01,2.057923e+01,2.064711e+01,2.071878e+01,2.079348e+01,2.087051e+01,2.094918e+01,2.102887e+01,2.110900e+01,2.118903e+01,2.126847e+01,2.134687e+01
0.000000e+00,7.941116e-08,2.040269e-06,2.149446e-06,1.785423e-05,6.700394e-05,6.994552e-05,1.603115e-04,2.593766e-04,2.658040e-04,3.720721e-04,4.667682e-04,4.748284e-04,5.731011e-04,6.575837e-04,6.667396e-04,7.557840e-04,8.304126e-04,8.403228e-04,9.204622e-04,9.859525e-04,9.963192e-04,1.068019e-03,1.125130e-03,1.135693e-03,1.199476e-03,1.248970e-03,1.259505e-03,1.315917e-03,1.358535e-03,1.368849e-03,1.418435e-03,1.454874e-03,1.464806e-03,1.508091e-03,1.539000e-03,1.548414e-03,1.585897e-03,1.611876e-03,1.620658e-03,1.652810e-03,1.674407e-03,1.682464e-03,1.709727e-03,1.727443e-03,1.734701e-03,1.757486e-03,1.771779e-03,1.778179e-03,1.796871e-03,1.808156e-03,1.813653e-03,1.828611e-03,1.837265e-03,1.841828e-03,1.853384e-03,1.859748e-03,1.863356e-03,1.871818e-03,1.876201e-03,1.878843e-03,1.884499e-03,1.887178e-03,1.888852e-03,1.891966e-03,1.893192e-03,1.893904e-03,1.894722e-03,1.894720e-03,1.894480e-03,1.893230e-03,1.892200e-03,1.891026e-03,1.887919e-03,1.886041e-03,1.883955e-03,1.879183e-03,1.876618e-03,1.873646e-03,1.867388e-03,1.864279e-03,1.860450e-03,1.852872e-03,1.849344e-03,1.844691e-03,1.835943e-03,1.832109e-03,1.826665e-03,1.816888e-03,1.812846e-03,1.806647e-03,1.795970e-03,1.791805e-03,1.784887e-03,1.773428e-03,1.769216e-03,1.761619e-03,1.749485e-03,1.745290e-03,1.737052e-03,1.724344e-03,1.720223e-03,1.711382e-03,1.698190e-03,1.694190e-03,1.684787e-03,1.671193e-03,1.667355e-03,1.657428e-03,1.643509e-03,1.639867e-03,1.629453e-03,1.615278e-03,1.611860e-03,1.600999e-03,1.586631e-03,1.583460e-03,1.572188e-03,1.557684e-03,1.554777e-03,1.543132e-03,1.528544e-03,1.525916e-03,1.513932e-03,1.499308e-03,1.496967e-03,1.484680e-03,1.470061e-03,1.468016e-03,1.455459e-03,1.440884e-03,1.439137e-03,1.426344e-03,1.411846e-03,1.410399e-03,1.397400e-03,1.383012e-03,1.381864e-03,1.368690e-03,1.354439e-03,1.353586e-03,1.340265e-03,1.326175e-03,1.325614e-03,1.312175e-03,1.298268e-03,1.297991e-03,1.284460e-03,1.270756e-03,1.243942e-03,1.217580e-03,1.191694e-03,1.166308e-03,1.141439e-03,1.117103e-03,1.093314e-03,1.070082e-03,1.047415e-03,1.025320e-03,1.003800e-03,9.828578e-04,9.624947e-04,9.427103e-04,9.235026e-04,9.048687e-04,8.868048e-04,8.693059e-04,8.523663e-04,8.359796e-04,8.201386e-04,8.048357e-04,7.900628e-04,7.758112e-04,7.620719e-04,7.488356e-04,7.360928e-04,7.238336e-04,7.120479e-04,7.007257e-04,6.898565e-04,6.794301e-04,6.694359e-04,6.598635e-04,6.507024e-04,6.419422e-04,6.335724e-04,6.255827e-04,6.179627e-04,6.107023e-04,6.037912e-04,5.972194e-04,5.909771e-04,5.850543e-04,5.794414e-04,5.741289e-04,5.691074e-04,5.643675e-04,5.599002e-04
0.000000e+00,2.940601e-07,6.190185e-06,6.502569e-06,5.284720e-05,2.324936e-04,2.449948e-04,7.349394e-04,1.515097e-03,1.574160e-03,2.683236e-03,3.849391e-03,3.954880e-03,5.301582e-03,6.525264e-03,6.660319e-03,7.987973e-03,9.107818e-03,9.256202e-03,1.044729e-02,1.140202e-02,1.155106e-02,1.256262e-02,1.334009e-02,1.348074e-02,1.430670e-02,1.491725e-02,1.504345e-02,1.569502e-02,1.615809e-02,1.626611e-02,1.676172e-02,1.709923e-02,1.718703e-02,1.754719e-02,1.778043e-02,1.784721e-02,1.809193e-02,1.824014e-02,1.828596e-02,1.843364e-02,1.851357e-02,1.853904e-02,1.860597e-02,1.863183e-02,1.863796e-02,1.863828e-02,1.862196e-02,1.860996e-02,1.855580e-02,1.850715e-02,1.847837e-02,1.838004e-02,1.830716e-02,1.826300e-02,1.812924e-02,1.803873e-02,1.798060e-02,1.781878e-02,1.771601e-02,1.764533e-02,1.746167e-02,1.735099e-02,1.726911e-02,1.706883e-02,1.695372e-02,1.686193e-02,1.664941e-02,1.653263e-02,1.643217e-02,1.621106e-02,1.609480e-02,1.598683e-02,1.576018e-02,1.564615e-02,1.553175e-02,1.530210e-02,1.519159e-02,1.507177e-02,1.484123e-02,1.473524e-02,1.461093e-02,1.438125e-02,1.428049e-02,1.415256e-02,1.392518e-02,1.383014e-02,1.369940e-02,1.347549e-02,1.338650e-02,1.325369e-02,1.303420e-02,1.295144e-02,1.281721e-02,1.260290e-02,1.252644e-02,1.239142e-02,1.218290e-02,1.211269e-02,1.197744e-02,1.177516e-02,1.171111e-02,1.157613e-02,1.138043e-02,1.132238e-02,1.118812e-02,1.099925e-02,1.094699e-02,1.081387e-02,1.063200e-02,1.058529e-02,1.045366e-02,1.027888e-02,1.023746e-02,1.010766e-02,9.940002e-03,9.903595e-03,9.775903e-03,9.615354e-03,9.583669e-03,9.458342e-03,9.304848e-03,9.277591e-03,9.154851e-03,9.008324e-03,8.985199e-03,8.865238e-03,8.725563e-03,8.706278e-03,8.589262e-03,8.456301e-03,8.440568e-03,8.326639e-03,8.200235e-03,8.187773e-03,8.077049e-03,7.957035e-03,7.947569e-03,7.840149e-03,7.726344e-03,7.719613e-03,7.615574e-03,7.507792e-03,7.503542e-03,7.402947e-03,7.300993e-03,7.298983e-03,7.201879e-03,7.105555e-03,6.922873e-03,6.750549e-03,6.588195e-03,6.435427e-03,6.291863e-03,6.157128e-03,6.030850e-03,5.912668e-03,5.802225e-03,5.699174e-03,5.603176e-03,5.513900e-03,5.431027e-03,5.354242e-03,5.283244e-03,5.217738e-03,5.157440e-03,5.102074e-03,5.051374e-03,5.005083e-03,4.962951e-03,4.924739e-03,4.890216e-03,4.859158e-03,4.831352e-03,4.806591e-03,4.784676e-03,4.765418e-03,4.748634e-03,4.734149e-03,4.721795e-03,4.711413e-03,4.702849e-03,4.695958e-03,4.690600e-03,4.686644e-03,4.683963e-03,4.682438e-03,4.681956e-03,4.682410e-03,4.683699e-03,4.685728e-03,4.688407e-03,4.691652e-03,4.695383e-03,4.699528e-03,4.704017e-03,4.708786e-03,4.713776e-03
0.000000e+00,2.957984e-04,6.192759e-03,6.502130e-03,5.126054e-02,2.193447e-01,2.309319e-01,6.858992e-01,1.433715e+00,1.491828e+00,2.625062e+00,3.905820e+00,4.026339e+00,5.635747e+00,7.217873e+00,7.399875e+00,9.272435e+00,1.097833e+01,1.121375e+01,1.319005e+01,1.489584e+01,1.517289e+01,1.713846e+01,1.876170e+01,1.906710e+01,2.094274e+01,2.243209e+01,2.275250e+01,2.448624e+01,2.581320e+01,2.613618e+01,2.769661e+01,2.884899e+01,2.916355e+01,3.053454e+01,3.151154e+01,3.180837e+01,3.298489e+01,3.379327e+01,3.406483e+01,3.504967e+01,3.570099e+01,3.594145e+01,3.674270e+01,3.725125e+01,3.745632e+01,3.808549e+01,3.846682e+01,3.863362e+01,3.910424e+01,3.937416e+01,3.950099e+01,3.982754e+01,4.000140e+01,4.008758e+01,4.028476e+01,4.037704e+01,4.042271e+01,4.050496e+01,4.052902e+01,4.053497e+01,4.051608e+01,4.048401e+01,4.045156e+01,4.034452e+01,4.026713e+01,4.019797e+01,4.001480e+01,3.990163e+01,3.979776e+01,3.954950e+01,3.940890e+01,3.927252e+01,3.896921e+01,3.880840e+01,3.864184e+01,3.829255e+01,3.811772e+01,3.792340e+01,3.753629e+01,3.735270e+01,3.713307e+01,3.671544e+01,3.652754e+01,3.628503e+01,3.584337e+01,3.565486e+01,3.539189e+01,3.493195e+01,3.474590e+01,3.446483e+01,3.399171e+01,3.381058e+01,3.351371e+01,3.303188e+01,3.285768e+01,3.254721e+01,3.206060e+01,3.189487e+01,3.157292e+01,3.108496e+01,3.092888e+01,3.059747e+01,3.011114e+01,2.996556e+01,2.962661e+01,2.914448e+01,2.900999e+01,2.866531e+01,2.818960e+01,2.806654e+01,2.771782e+01,2.725042e+01,2.713894e+01,2.678779e+01,2.633031e+01,2.623038e+01,2.587829e+01,2.543206e+01,2.534353e+01,2.499189e+01,2.455803e+01,2.448063e+01,2.413072e+01,2.371015e+01,2.364350e+01,2.329651e+01,2.288997e+01,2.283363e+01,2.249066e+01,2.209871e+01,2.205218e+01,2.171424e+01,2.133733e+01,2.130005e+01,2.096806e+01,2.060649e+01,2.057790e+01,2.025269e+01,1.990668e+01,1.988617e+01,1.956849e+01,1.923814e+01,1.922509e+01,1.891565e+01,1.860099e+01,1.859478e+01,1.829417e+01,1.799517e+01,1.742608e+01,1.688724e+01,1.637828e+01,1.589872e+01,1.544806e+01,1.502570e+01,1.463102e+01,1.426333e+01,1.392192e+01,1.360604e+01,1.331493e+01,1.304779e+01,1.280380e+01,1.258214e+01,1.238195e+01,1.220240e+01,1.204261e+01,1.190172e+01,1.177885e+01,1.167314e+01,1.158370e+01,1.150967e+01,1.145016e+01,1.140432e+01,1.137128e+01,1.135018e+01,1.134020e+01,1.134049e+01,1.135024e+01,1.136865e+01,1.139494e+01,1.142834e+01,1.146810e+01,1.151351e+01,1.156387e+01,1.161850e+01,1.167677e+01,1.173806e+01,1.180178e+01,1.186736e+01,1.193430e+01,1.200208e+01,1.207026e+01,1.213839e+01,1.220608e+01,1.227297e+01,1.233871e+01,1.240300e+01,1.246558e+01
0.000000e+00,3.223675e-07,5.798814e-06,6.066358e-06,4.012879e-05,1.516951e-04,1.590887e-04,4.440071e-04,9.221194e-04,9.601576e-04,1.721830e-03,2.606252e-03,2.689725e-03,3.795197e-03,4.849708e-03,4.968323e-03,6.152406e-03,7.170495e-03,7.306351e-03,8.402370e-03,9.285020e-03,9.422912e-03,1.035797e-02,1.107388e-02,1.120296e-02,1.195711e-02,1.250895e-02,1.262225e-02,1.320194e-02,1.360728e-02,1.370084e-02,1.412422e-02,1.440560e-02,1.447764e-02,1.476671e-02,1.494676e-02,1.499693e-02,1.517364e-02,1.527291e-02,1.530185e-02,1.538629e-02,1.542247e-02,1.543136e-02,1.544111e-02,1.542893e-02,1.541928e-02,1.536929e-02,1.532081e-02,1.529425e-02,1.519702e-02,1.512195e-02,1.508017e-02,1.494605e-02,1.485215e-02,1.479680e-02,1.463432e-02,1.452772e-02,1.446037e-02,1.427654e-02,1.416209e-02,1.408424e-02,1.388478e-02,1.376628e-02,1.367932e-02,1.346892e-02,1.334930e-02,1.325454e-02,1.303704e-02,1.291857e-02,1.281720e-02,1.259572e-02,1.248011e-02,1.237324e-02,1.215032e-02,1.203887e-02,1.192749e-02,1.170520e-02,1.159882e-02,1.148387e-02,1.126387e-02,1.116321e-02,1.104553e-02,1.082914e-02,1.073462e-02,1.061497e-02,1.040324e-02,1.031510e-02,1.019416e-02,9.987917e-03,9.906245e-03,9.784653e-03,9.584508e-03,9.509295e-03,9.387596e-03,9.194018e-03,9.125161e-03,9.003853e-03,8.817170e-03,8.754501e-03,8.634024e-03,8.454456e-03,8.397756e-03,8.278499e-03,8.106175e-03,8.055188e-03,7.937495e-03,7.772466e-03,7.726912e-03,7.611084e-03,7.453341e-03,7.412923e-03,7.299222e-03,7.148707e-03,7.113117e-03,7.001771e-03,6.858385e-03,6.827314e-03,6.718517e-03,6.582129e-03,6.555266e-03,6.449184e-03,6.319640e-03,6.296680e-03,6.193453e-03,6.070578e-03,6.051222e-03,5.950966e-03,5.834571e-03,5.818529e-03,5.721341e-03,5.611226e-03,5.598219e-03,5.504174e-03,5.400134e-03,5.389894e-03,5.299053e-03,5.200878e-03,5.193148e-03,5.105556e-03,5.013034e-03,5.007570e-03,4.923259e-03,4.836178e-03,4.832750e-03,4.751739e-03,4.669889e-03,4.668278e-03,4.590575e-03,4.513747e-03,4.368759e-03,4.232923e-03,4.105857e-03,3.987189e-03,3.876556e-03,3.773606e-03,3.677999e-03,3.589404e-03,3.507500e-03,3.431981e-03,3.362546e-03,3.298909e-03,3.240792e-03,3.187927e-03,3.140052e-03,3.096919e-03,3.058284e-03,3.023916e-03,2.993589e-03,2.967085e-03,2.944195e-03,2.924714e-03,2.908447e-03,2.895204e-03,2.884800e-03,2.877059e-03,2.871810e-03,2.868885e-03,2.868127e-03,2.869379e-03,2.872492e-03,2.877322e-03,2.883731e-03,2.891583e-03,2.900751e-03,2.911110e-03,2.922541e-03,2.934929e-03,2.948165e-03,2.962144e-03,2.976766e-03,2.991935e-03,3.007561e-03,3.023556e-03,3.039840e-03,3.056336e-03,3.072969e-03,3.089672e-03,3.106381e-03
0.000000e+00,6.337492e-10,1.089537e-08,1.139896e-08,6.899521e-08,2.027688e-07,2.097983e-07,3.995744e-07,5.778912e-07,5.889162e-07,7.651797e-07,9.147278e-07,9.271716e-07,1.075408e-06,1.197665e-06,1.210622e-06,1.333560e-06,1.432172e-06,1.444953e-06,1.545508e-06,1.623842e-06,1.635913e-06,1.716833e-06,1.777944e-06,1.788907e-06,1.852746e-06,1.899356e-06,1.908930e-06,1.958011e-06,1.992512e-06,2.000509e-06,2.036915e-06,2.061377e-06,2.067686e-06,2.093256e-06,2.109460e-06,2.114029e-06,2.130382e-06,2.139847e-06,2.142670e-06,2.151222e-06,2.155241e-06,2.156348e-06,2.158335e-06,2.158002e-06,2.157450e-06,2.153943e-06,2.150181e-06,2.148048e-06,2.139979e-06,2.133562e-06,2.129939e-06,2.118114e-06,2.109691e-06,2.104679e-06,2.089793e-06,2.079902e-06,2.073607e-06,2.056260e-06,2.045348e-06,2.037880e-06,2.018587e-06,2.007022e-06,1.998490e-06,1.977691e-06,1.965773e-06,1.956285e-06,1.934359e-06,1.922331e-06,1.911992e-06,1.889260e-06,1.877317e-06,1.866230e-06,1.842965e-06,1.831262e-06,1.819522e-06,1.795955e-06,1.784613e-06,1.772311e-06,1.748637e-06,1.737747e-06,1.724971e-06,1.701352e-06,1.690983e-06,1.677812e-06,1.654384e-06,1.644583e-06,1.631093e-06,1.607967e-06,1.598768e-06,1.585028e-06,1.562295e-06,1.553715e-06,1.539789e-06,1.517524e-06,1.509571e-06,1.495516e-06,1.473778e-06,1.466451e-06,1.452321e-06,1.431156e-06,1.424446e-06,1.410290e-06,1.389732e-06,1.383625e-06,1.369487e-06,1.349561e-06,1.344039e-06,1.329958e-06,1.310682e-06,1.305725e-06,1.291736e-06,1.273121e-06,1.268702e-06,1.254838e-06,1.236888e-06,1.232984e-06,1.219271e-06,1.201987e-06,1.198570e-06,1.185034e-06,1.168412e-06,1.165455e-06,1.152118e-06,1.136150e-06,1.133625e-06,1.120505e-06,1.105182e-06,1.103062e-06,1.090176e-06,1.075485e-06,1.073743e-06,1.061105e-06,1.047033e-06,1.045642e-06,1.033264e-06,1.019795e-06,1.018730e-06,1.006621e-06,9.937382e-07,9.929744e-07,9.811427e-07,9.688299e-07,9.683432e-07,9.567953e-07,9.450344e-07,9.448019e-07,9.335427e-07,9.223156e-07,9.008488e-07,8.803660e-07,8.608316e-07,8.422103e-07,8.244673e-07,8.075682e-07,7.914795e-07,7.761683e-07,7.616024e-07,7.477506e-07,7.345827e-07,7.220693e-07,7.101820e-07,6.988932e-07,6.881765e-07,6.780064e-07,6.683581e-07,6.592082e-07,6.505337e-07,6.423129e-07,6.345247e-07,6.271491e-07,6.201667e-07,6.135591e-07,6.073086e-07,6.013981e-07,5.958116e-07,5.905334e-07,5.855487e-07,5.808434e-07,5.764039e-07,5.722172e-07,5.682710e-07,5.645534e-07,5.610531e-07,5.577595e-07,5.546622e-07,5.517514e-07,5.490177e-07,5.464522e-07,5.440465e-07,5.417923e-07,5.396820e-07,5.377081e-07,5.358636e-07,5.341419e-07,5.325365e-07,5.310413e-07,5.296506e-07
0.000000e+00,8.768295e-08,2.064455e-06,2.172916e-06,1.857556e-05,8.040357e-05,8.461006e-05,2.438782e-04,4.820334e-04,4.993699e-04,8.074322e-04,1.097620e-03,1.122275e-03,1.415329e-03,1.648836e-03,1.672803e-03,1.890197e-03,2.048820e-03,2.068193e-03,2.210056e-03,2.306448e-03,2.320112e-03,2.402903e-03,2.454549e-03,2.462748e-03,2.503540e-03,2.525169e-03,2.528674e-03,2.541052e-03,2.543428e-03,2.543119e-03,2.536911e-03,2.527418e-03,2.524112e-03,2.506103e-03,2.489636e-03,2.484015e-03,2.458767e-03,2.438493e-03,2.431105e-03,2.401628e-03,2.379557e-03,2.370821e-03,2.339070e-03,2.316449e-03,2.306682e-03,2.273905e-03,2.251494e-03,2.240932e-03,2.207918e-03,2.186165e-03,2.174982e-03,2.142220e-03,2.121377e-03,2.109704e-03,2.077491e-03,2.057690e-03,2.045624e-03,2.014135e-03,1.995435e-03,1.983051e-03,1.952387e-03,1.934800e-03,1.922157e-03,1.892369e-03,1.875883e-03,1.863028e-03,1.834137e-03,1.818723e-03,1.805695e-03,1.777703e-03,1.763325e-03,1.750159e-03,1.723060e-03,1.709677e-03,1.696404e-03,1.670186e-03,1.657757e-03,1.644405e-03,1.619055e-03,1.607537e-03,1.594132e-03,1.569633e-03,1.558986e-03,1.545553e-03,1.521888e-03,1.512072e-03,1.498634e-03,1.475786e-03,1.466759e-03,1.453339e-03,1.431290e-03,1.423014e-03,1.409633e-03,1.388364e-03,1.380802e-03,1.367479e-03,1.346972e-03,1.340085e-03,1.326839e-03,1.307075e-03,1.300828e-03,1.287676e-03,1.268637e-03,1.262995e-03,1.249953e-03,1.231619e-03,1.226548e-03,1.213631e-03,1.195983e-03,1.191450e-03,1.178671e-03,1.161690e-03,1.157664e-03,1.145036e-03,1.128703e-03,1.125153e-03,1.112687e-03,1.096983e-03,1.093879e-03,1.081586e-03,1.066492e-03,1.063807e-03,1.051696e-03,1.037194e-03,1.034900e-03,1.022980e-03,1.009050e-03,1.007122e-03,9.953995e-04,9.820243e-04,9.804375e-04,9.689196e-04,9.560811e-04,9.548117e-04,9.435043e-04,9.311850e-04,9.302104e-04,9.191187e-04,9.073013e-04,9.066001e-04,8.957286e-04,8.843963e-04,8.839479e-04,8.733004e-04,8.624368e-04,8.622218e-04,8.518014e-04,8.413904e-04,8.214232e-04,8.022903e-04,7.839629e-04,7.664126e-04,7.496120e-04,7.335346e-04,7.181544e-04,7.034464e-04,6.893863e-04,6.759504e-04,6.631160e-04,6.508607e-04,6.391632e-04,6.280028e-04,6.173592e-04,6.072131e-04,5.975455e-04,5.883384e-04,5.795739e-04,5.712352e-04,5.633058e-04,5.557696e-04,5.486113e-04,5.418160e-04,5.353693e-04,5.292574e-04,5.234667e-04,5.179842e-04,5.127975e-04,5.078944e-04,5.032633e-04,4.988927e-04,4.947718e-04,4.908901e-04,4.872373e-04,4.838037e-04,4.805798e-04,4.775563e-04,4.747245e-04,4.720759e-04,4.696022e-04,4.672954e-04,4.651480e-04,4.631526e-04,4.613020e-04,4.595894e-04,4.580082e-04,4.565520e-04,4.552147e-04
0.000000e+00,8.929118e-10,1.727262e-08,1.809370e-08,1.114090e-07,3.110592e-07,3.208834e-07,5.717025e-07,7.951900e-07,8.088064e-07,1.023936e-06,1.202793e-06,1.217520e-06,1.391022e-06,1.531248e-06,1.545945e-06,1.683714e-06,1.791824e-06,1.805666e-06,1.913053e-06,1.994658e-06,2.007054e-06,2.088772e-06,2.148679e-06,2.159238e-06,2.219415e-06,2.261710e-06,2.270195e-06,2.312408e-06,2.340528e-06,2.346822e-06,2.374145e-06,2.390957e-06,2.395031e-06,2.410085e-06,2.417966e-06,2.419858e-06,2.424859e-06,2.425766e-06,2.425559e-06,2.422384e-06,2.417922e-06,2.415729e-06,2.405956e-06,2.397439e-06,2.393397e-06,2.378356e-06,2.366854e-06,2.361111e-06,2.341917e-06,2.328295e-06,2.321006e-06,2.298592e-06,2.283547e-06,2.274867e-06,2.250010e-06,2.234101e-06,2.224182e-06,2.197529e-06,2.181198e-06,2.170187e-06,2.142276e-06,2.125871e-06,2.113908e-06,2.085182e-06,2.068974e-06,2.056190e-06,2.027015e-06,2.011210e-06,1.997730e-06,1.968402e-06,1.953156e-06,1.939093e-06,1.909857e-06,1.895281e-06,1.880742e-06,1.851792e-06,1.837966e-06,1.823046e-06,1.794540e-06,1.781515e-06,1.766303e-06,1.738363e-06,1.726169e-06,1.710743e-06,1.683466e-06,1.672116e-06,1.656548e-06,1.630007e-06,1.619498e-06,1.603854e-06,1.578102e-06,1.568423e-06,1.552760e-06,1.527836e-06,1.518966e-06,1.503336e-06,1.479264e-06,1.471179e-06,1.455626e-06,1.432422e-06,1.425089e-06,1.409655e-06,1.387324e-06,1.380709e-06,1.365429e-06,1.343969e-06,1.338038e-06,1.322943e-06,1.302347e-06,1.297062e-06,1.282178e-06,1.262434e-06,1.257758e-06,1.243109e-06,1.224201e-06,1.220096e-06,1.205703e-06,1.187612e-06,1.184042e-06,1.169921e-06,1.152626e-06,1.149555e-06,1.135721e-06,1.119199e-06,1.116591e-06,1.103056e-06,1.087285e-06,1.085106e-06,1.071879e-06,1.056834e-06,1.055052e-06,1.042141e-06,1.027796e-06,1.026381e-06,1.013792e-06,1.000123e-06,9.990437e-07,9.867820e-07,9.737631e-07,9.729920e-07,9.610600e-07,9.486666e-07,9.481772e-07,9.365766e-07,9.247841e-07,9.245512e-07,9.132829e-07,9.020670e-07,8.806783e-07,8.603399e-07,8.410078e-07,8.226394e-07,8.051932e-07,7.886292e-07,7.729086e-07,7.579942e-07,7.438499e-07,7.304411e-07,7.177345e-07,7.056982e-07,6.943013e-07,6.835145e-07,6.733095e-07,6.636591e-07,6.545375e-07,6.459197e-07,6.377819e-07,6.301015e-07,6.228565e-07,6.160262e-07,6.095906e-07,6.035306e-07,5.978281e-07,5.924656e-07,5.874264e-07,5.826947e-07,5.782553e-07,5.740937e-07,5.701960e-07,5.665490e-07,5.631399e-07,5.599569e-07,5.569883e-07,5.542232e-07,5.516510e-07,5.492618e-07,5.470460e-07,5.449945e-07,5.430985e-07,5.413499e-07,5.397406e-07,5.382631e-07,5.369102e-07,5.356751e-07,5.345513e-07,5.335324e-07,5.326126e-07
0.000000e+00,4.445073e-08,8.032251e-07,8.414504e-07,5.807615e-06,2.103204e-05,2.197909e-05,5.398888e-05,9.426919e-05,9.697811e-05,1.418972e-04,1.808543e-04,1.840926e-04,2.224516e-04,2.536736e-04,2.569564e-04,2.878290e-04,3.121999e-04,3.153308e-04,3.397194e-04,3.583909e-04,3.612398e-04,3.801229e-04,3.941050e-04,3.965846e-04,4.108269e-04,4.209817e-04,4.230377e-04,4.333918e-04,4.404476e-04,4.420513e-04,4.491659e-04,4.537324e-04,4.548743e-04,4.593043e-04,4.618892e-04,4.625740e-04,4.647921e-04,4.658157e-04,4.660587e-04,4.664659e-04,4.662747e-04,4.660983e-04,4.650334e-04,4.639115e-04,4.633425e-04,4.610912e-04,4.592712e-04,4.583398e-04,4.551433e-04,4.528146e-04,4.515524e-04,4.476135e-04,4.449298e-04,4.433693e-04,4.388590e-04,4.359447e-04,4.341180e-04,4.291787e-04,4.261323e-04,4.240707e-04,4.188208e-04,4.157206e-04,4.134535e-04,4.079909e-04,4.048979e-04,4.024533e-04,3.968590e-04,3.938204e-04,3.912245e-04,3.855649e-04,3.826166e-04,3.798938e-04,3.742234e-04,3.713919e-04,3.685647e-04,3.629276e-04,3.602321e-04,3.573210e-04,3.517528e-04,3.492063e-04,3.462301e-04,3.407591e-04,3.383697e-04,3.353453e-04,3.299937e-04,3.277655e-04,3.247084e-04,3.194931e-04,3.174274e-04,3.143512e-04,3.092854e-04,3.073808e-04,3.042980e-04,2.993908e-04,2.976443e-04,2.945656e-04,2.898236e-04,2.882305e-04,2.851658e-04,2.805928e-04,2.791475e-04,2.761052e-04,2.717033e-04,2.703994e-04,2.673871e-04,2.631566e-04,2.619873e-04,2.590115e-04,2.549514e-04,2.539097e-04,2.509759e-04,2.470843e-04,2.461627e-04,2.432758e-04,2.395497e-04,2.387409e-04,2.359051e-04,2.323410e-04,2.316377e-04,2.288563e-04,2.254501e-04,2.248452e-04,2.221211e-04,2.188683e-04,2.183549e-04,2.156905e-04,2.125864e-04,2.121576e-04,2.095548e-04,2.065945e-04,2.062440e-04,2.037042e-04,2.008826e-04,2.006042e-04,1.981285e-04,1.954405e-04,1.952283e-04,1.928175e-04,1.902580e-04,1.901064e-04,1.877609e-04,1.853248e-04,1.852286e-04,1.829486e-04,1.806309e-04,1.805851e-04,1.783705e-04,1.761663e-04,1.719626e-04,1.679649e-04,1.641641e-04,1.605516e-04,1.571189e-04,1.538580e-04,1.507608e-04,1.478198e-04,1.450279e-04,1.423779e-04,1.398632e-04,1.374774e-04,1.352143e-04,1.330680e-04,1.310330e-04,1.291038e-04,1.272752e-04,1.255425e-04,1.239009e-04,1.223459e-04,1.208734e-04,1.194792e-04,1.181594e-04,1.169105e-04,1.157289e-04,1.146111e-04,1.135542e-04,1.125550e-04,1.116106e-04,1.107184e-04,1.098756e-04,1.090798e-04,1.083287e-04,1.076199e-04,1.069514e-04,1.063210e-04,1.057270e-04,1.051674e-04,1.046404e-04,1.041444e-04,1.036779e-04,1.032393e-04,1.028271e-04,1.024400e-04,1.020768e-04,1.017361e-04,1.014168e-04,1.011178e-04,1.008381e-04
0.000000e+00,3.152721e-08,6.548252e-07,6.874757e-07,5.239837e-06,2.088807e-05,2.192093e-05,6.033423e-05,1.186237e-04,1.229593e-04,2.018967e-04,2.784112e-04,2.849621e-04,3.631057e-04,4.256344e-04,4.320699e-04,4.907389e-04,5.341454e-04,5.395040e-04,5.793373e-04,6.073025e-04,6.113559e-04,6.366406e-04,6.533949e-04,6.561695e-04,6.708018e-04,6.796714e-04,6.812811e-04,6.882469e-04,6.916603e-04,6.922464e-04,6.937473e-04,6.934425e-04,6.931489e-04,6.907913e-04,6.880031e-04,6.869646e-04,6.819161e-04,6.775185e-04,6.758561e-04,6.689640e-04,6.635730e-04,6.613923e-04,6.532708e-04,6.473183e-04,6.447097e-04,6.358026e-04,6.295895e-04,6.266296e-04,6.172582e-04,6.109927e-04,6.077458e-04,5.981411e-04,5.919650e-04,5.884853e-04,5.788131e-04,5.728212e-04,5.691539e-04,5.595323e-04,5.537862e-04,5.499691e-04,5.404813e-04,5.350186e-04,5.310830e-04,5.217862e-04,5.166281e-04,5.126007e-04,5.035346e-04,4.986907e-04,4.945939e-04,4.857836e-04,4.812551e-04,4.771076e-04,4.685687e-04,4.643514e-04,4.601691e-04,4.519101e-04,4.479960e-04,4.437926e-04,4.358168e-04,4.321955e-04,4.279827e-04,4.202898e-04,4.169495e-04,4.127374e-04,4.053246e-04,4.022526e-04,3.980502e-04,3.909127e-04,3.880958e-04,3.839107e-04,3.770426e-04,3.744674e-04,3.703066e-04,3.637009e-04,3.613544e-04,3.572238e-04,3.508732e-04,3.487425e-04,3.446474e-04,3.385442e-04,3.366168e-04,3.325618e-04,3.266982e-04,3.249619e-04,3.209513e-04,3.153191e-04,3.137624e-04,3.097998e-04,3.043912e-04,3.030029e-04,2.990915e-04,2.938987e-04,2.926681e-04,2.888108e-04,2.838260e-04,2.827430e-04,2.789424e-04,2.741581e-04,2.732130e-04,2.694713e-04,2.648801e-04,2.640638e-04,2.603829e-04,2.559777e-04,2.552813e-04,2.516629e-04,2.474368e-04,2.468522e-04,2.432977e-04,2.392439e-04,2.387631e-04,2.352739e-04,2.313859e-04,2.310015e-04,2.275785e-04,2.238500e-04,2.235551e-04,2.201990e-04,2.166240e-04,2.164119e-04,2.131235e-04,2.096960e-04,2.095604e-04,2.063402e-04,2.030547e-04,2.029897e-04,1.998380e-04,1.966889e-04,1.906478e-04,1.848564e-04,1.793052e-04,1.739849e-04,1.688867e-04,1.640019e-04,1.593223e-04,1.548401e-04,1.505474e-04,1.464371e-04,1.425019e-04,1.387351e-04,1.351302e-04,1.316808e-04,1.283808e-04,1.252245e-04,1.222061e-04,1.193204e-04,1.165620e-04,1.139261e-04,1.114077e-04,1.090023e-04,1.067055e-04,1.045129e-04,1.024204e-04,1.004241e-04,9.852015e-05,9.670494e-05,9.497492e-05,9.332671e-05,9.175706e-05,9.026284e-05,8.884104e-05,8.748876e-05,8.620323e-05,8.498176e-05,8.382179e-05,8.272084e-05,8.167652e-05,8.068656e-05,7.974874e-05,7.886096e-05,7.802117e-05,7.722742e-05,7.647782e-05,7.577057e-05,7.510392e-05,7.447620e-05,7.388580e-05
0.000000e+00,2.261079e-09,2.830955e-08,2.952968e-08,1.782545e-07,6.143805e-07,6.411264e-07,1.520683e-06,2.561020e-06,2.628885e-06,3.731171e-06,4.665686e-06,4.742782e-06,5.650060e-06,6.380327e-06,6.456652e-06,7.169739e-06,7.725951e-06,7.796924e-06,8.345522e-06,8.759710e-06,8.822400e-06,9.233953e-06,9.533527e-06,9.586113e-06,9.884363e-06,1.009226e-05,1.013376e-05,1.033896e-05,1.047418e-05,1.050423e-05,1.063349e-05,1.071163e-05,1.073032e-05,1.079799e-05,1.083178e-05,1.083951e-05,1.085759e-05,1.085735e-05,1.085472e-05,1.083317e-05,1.080726e-05,1.079502e-05,1.074212e-05,1.069725e-05,1.067619e-05,1.059879e-05,1.054033e-05,1.051132e-05,1.041506e-05,1.034729e-05,1.031118e-05,1.020071e-05,1.012700e-05,1.008462e-05,9.963756e-06,9.886774e-06,9.838908e-06,9.710775e-06,9.632584e-06,9.579989e-06,9.447122e-06,9.369310e-06,9.312687e-06,9.177146e-06,9.100916e-06,9.040913e-06,8.904358e-06,8.830603e-06,8.767814e-06,8.631574e-06,8.560939e-06,8.495903e-06,8.361033e-06,8.293964e-06,8.227171e-06,8.094500e-06,8.031289e-06,7.963179e-06,7.833348e-06,7.774160e-06,7.705128e-06,7.578625e-06,7.523531e-06,7.453929e-06,7.331116e-06,7.280112e-06,7.210250e-06,7.091386e-06,7.044410e-06,6.974566e-06,6.859824e-06,6.816773e-06,6.747188e-06,6.636675e-06,6.597413e-06,6.528299e-06,6.422066e-06,6.386436e-06,6.317978e-06,6.216033e-06,6.183862e-06,6.116222e-06,6.018535e-06,5.989641e-06,5.922957e-06,5.829471e-06,5.803667e-06,5.738058e-06,5.648695e-06,5.625794e-06,5.561359e-06,5.476024e-06,5.455838e-06,5.392663e-06,5.311248e-06,5.293594e-06,5.231749e-06,5.154137e-06,5.138839e-06,5.078381e-06,5.004449e-06,4.991333e-06,4.932310e-06,4.861931e-06,4.850831e-06,4.793280e-06,4.726324e-06,4.717083e-06,4.661030e-06,4.597367e-06,4.589835e-06,4.535301e-06,4.474801e-06,4.468835e-06,4.415833e-06,4.358366e-06,4.353833e-06,4.302369e-06,4.247810e-06,4.244581e-06,4.194657e-06,4.142881e-06,4.140838e-06,4.092451e-06,4.043337e-06,4.042368e-06,3.995510e-06,3.948941e-06,3.860334e-06,3.776331e-06,3.696723e-06,3.621309e-06,3.549896e-06,3.482297e-06,3.418334e-06,3.357834e-06,3.300633e-06,3.246574e-06,3.195506e-06,3.147284e-06,3.101769e-06,3.058831e-06,3.018342e-06,2.980182e-06,2.944237e-06,2.910395e-06,2.878552e-06,2.848609e-06,2.820468e-06,2.794040e-06,2.769237e-06,2.745977e-06,2.724180e-06,2.703771e-06,2.684678e-06,2.666833e-06,2.650171e-06,2.634629e-06,2.620148e-06,2.606672e-06,2.594147e-06,2.582522e-06,2.571748e-06,2.561779e-06,2.552570e-06,2.544081e-06,2.536270e-06,2.529100e-06,2.522534e-06,2.516539e-06,2.511081e-06,2.506129e-06,2.501654e-06,2.497628e-06,2.494024e-06,2.490817e-06,2.487982e-06
0.000000e+00,4.848497e-09,1.097769e-07,1.152683e-07,7.473341e-07,1.944913e-06,1.999452e-06,3.351930e-06,4.549733e-06,4.623191e-06,5.794063e-06,6.784528e-06,6.866859e-06,7.846654e-06,8.653381e-06,8.738803e-06,9.548599e-06,1.019720e-05,1.028121e-05,1.094162e-05,1.145553e-05,1.153468e-05,1.206500e-05,1.246523e-05,1.253700e-05,1.295485e-05,1.325983e-05,1.332246e-05,1.364354e-05,1.386924e-05,1.392156e-05,1.415975e-05,1.431986e-05,1.436116e-05,1.452861e-05,1.463480e-05,1.466476e-05,1.477207e-05,1.483427e-05,1.485285e-05,1.490924e-05,1.493587e-05,1.494325e-05,1.495674e-05,1.495490e-05,1.495143e-05,1.492896e-05,1.490463e-05,1.489080e-05,1.483837e-05,1.479657e-05,1.477295e-05,1.469575e-05,1.464068e-05,1.460789e-05,1.451040e-05,1.444555e-05,1.440426e-05,1.429034e-05,1.421861e-05,1.416949e-05,1.404246e-05,1.396624e-05,1.390997e-05,1.377267e-05,1.369391e-05,1.363117e-05,1.348604e-05,1.340634e-05,1.333779e-05,1.318690e-05,1.310755e-05,1.303382e-05,1.287895e-05,1.280096e-05,1.272266e-05,1.256530e-05,1.248949e-05,1.240720e-05,1.224863e-05,1.217561e-05,1.208987e-05,1.193117e-05,1.186141e-05,1.177274e-05,1.161478e-05,1.154863e-05,1.145750e-05,1.130105e-05,1.123874e-05,1.114559e-05,1.099125e-05,1.093293e-05,1.083818e-05,1.068647e-05,1.063221e-05,1.053623e-05,1.038756e-05,1.033738e-05,1.024052e-05,1.009521e-05,1.004908e-05,9.951671e-06,9.809970e-06,9.767825e-06,9.670154e-06,9.532264e-06,9.494004e-06,9.396335e-06,9.262400e-06,9.227906e-06,9.130481e-06,9.000599e-06,8.969732e-06,8.872769e-06,8.747003e-06,8.719612e-06,8.623308e-06,8.501688e-06,8.477614e-06,8.382145e-06,8.264676e-06,8.243751e-06,8.149276e-06,8.035939e-06,8.017996e-06,7.924655e-06,7.815412e-06,7.800280e-06,7.708198e-06,7.602998e-06,7.590508e-06,7.499795e-06,7.398571e-06,7.388557e-06,7.299309e-06,7.201987e-06,7.194285e-06,7.106586e-06,7.013082e-06,7.007532e-06,6.921454e-06,6.831677e-06,6.828125e-06,6.743730e-06,6.657587e-06,6.655882e-06,6.573223e-06,6.490614e-06,6.332126e-06,6.180219e-06,6.034692e-06,5.895343e-06,5.761971e-06,5.634377e-06,5.512363e-06,5.395735e-06,5.284300e-06,5.177873e-06,5.076268e-06,4.979308e-06,4.886816e-06,4.798623e-06,4.714563e-06,4.634476e-06,4.558205e-06,4.485601e-06,4.416518e-06,4.350813e-06,4.288351e-06,4.229000e-06,4.172631e-06,4.119123e-06,4.068357e-06,4.020218e-06,3.974596e-06,3.931385e-06,3.890483e-06,3.851791e-06,3.815214e-06,3.780661e-06,3.748045e-06,3.717280e-06,3.688285e-06,3.660983e-06,3.635297e-06,3.611157e-06,3.588491e-06,3.567234e-06,3.547322e-06,3.528692e-06,3.511286e-06,3.495046e-06,3.479918e-06,3.465850e-06,3.452791e-06,3.440692e-06,3.429508e-06
0.000000e+00,7.379529e-08,1.352990e-06,1.416818e-06,1.015026e-05,4.271630e-05,4.500531e-05,1.401819e-04,3.166836e-04,3.312510e-04,6.312878e-04,9.884948e-04,1.022356e-03,1.470680e-03,1.896464e-03,1.944201e-03,2.419012e-03,2.825059e-03,2.879120e-03,3.314559e-03,3.664857e-03,3.719603e-03,4.091403e-03,4.377301e-03,4.429025e-03,4.732774e-03,4.957318e-03,5.003737e-03,5.243476e-03,5.414005e-03,5.453812e-03,5.636688e-03,5.761538e-03,5.794076e-03,5.927916e-03,6.015043e-03,6.040084e-03,6.132364e-03,6.188839e-03,6.206436e-03,6.263878e-03,6.295765e-03,6.306155e-03,6.334631e-03,6.347032e-03,6.350567e-03,6.355128e-03,6.352284e-03,6.349388e-03,6.334338e-03,6.319750e-03,6.310888e-03,6.279877e-03,6.256421e-03,6.242076e-03,6.198194e-03,6.168219e-03,6.148879e-03,6.094731e-03,6.060152e-03,6.036298e-03,5.974082e-03,5.936448e-03,5.908547e-03,5.840115e-03,5.800673e-03,5.769174e-03,5.696081e-03,5.655831e-03,5.621161e-03,5.544713e-03,5.504447e-03,5.467009e-03,5.388299e-03,5.348639e-03,5.308811e-03,5.228752e-03,5.190177e-03,5.148311e-03,5.067662e-03,5.030537e-03,4.986961e-03,4.906351e-03,4.870945e-03,4.825960e-03,4.745906e-03,4.712409e-03,4.666294e-03,4.587219e-03,4.555759e-03,4.508767e-03,4.431014e-03,4.401666e-03,4.354029e-03,4.277874e-03,4.250671e-03,4.202601e-03,4.128260e-03,4.103203e-03,4.054891e-03,3.982532e-03,3.959595e-03,3.911214e-03,3.840964e-03,3.820100e-03,3.771805e-03,3.703756e-03,3.684904e-03,3.636833e-03,3.571049e-03,3.554132e-03,3.506412e-03,3.442929e-03,3.427866e-03,3.380606e-03,3.319444e-03,3.306144e-03,3.259442e-03,3.200601e-03,3.188971e-03,3.142915e-03,3.086381e-03,3.076327e-03,3.030992e-03,2.976741e-03,2.968166e-03,2.923619e-03,2.871617e-03,2.864425e-03,2.820723e-03,2.770927e-03,2.765025e-03,2.722217e-03,2.674580e-03,2.669875e-03,2.628004e-03,2.582473e-03,2.578876e-03,2.537976e-03,2.494496e-03,2.491919e-03,2.452020e-03,2.410532e-03,2.408893e-03,2.370018e-03,2.330462e-03,2.329680e-03,2.291848e-03,2.254162e-03,2.182218e-03,2.113727e-03,2.048568e-03,1.986622e-03,1.927770e-03,1.871897e-03,1.818887e-03,1.768630e-03,1.721016e-03,1.675938e-03,1.633295e-03,1.592984e-03,1.554910e-03,1.518977e-03,1.485096e-03,1.453177e-03,1.423136e-03,1.394892e-03,1.368364e-03,1.343477e-03,1.320158e-03,1.298336e-03,1.277942e-03,1.258912e-03,1.241182e-03,1.224693e-03,1.209386e-03,1.195205e-03,1.182097e-03,1.170010e-03,1.158894e-03,1.148703e-03,1.139390e-03,1.130911e-03,1.123226e-03,1.116292e-03,1.110073e-03,1.104530e-03,1.099627e-03,1.095331e-03,1.091610e-03,1.088430e-03,1.085763e-03,1.083579e-03,1.081851e-03,1.080553e-03,1.079657e-03,1.079142e-03,1.078982e-03
0.000000e+00,1.655807e-08,2.482206e-07,2.594512e-07,1.643232e-06,5.606525e-06,5.845289e-06,1.350822e-05,2.218707e-05,2.273943e-05,3.146690e-05,3.848800e-05,3.905083e-05,4.547360e-05,5.035428e-05,5.084825e-05,5.530194e-05,5.855318e-05,5.895241e-05,6.190452e-05,6.395553e-05,6.425065e-05,6.607200e-05,6.724879e-05,6.743984e-05,6.841665e-05,6.896444e-05,6.905714e-05,6.940915e-05,6.951131e-05,6.951445e-05,6.940944e-05,6.920209e-05,6.912584e-05,6.869121e-05,6.827473e-05,6.812949e-05,6.746147e-05,6.690939e-05,6.670516e-05,6.587616e-05,6.524191e-05,6.498795e-05,6.405220e-05,6.337434e-05,6.307897e-05,6.207692e-05,6.138291e-05,6.105349e-05,6.001508e-05,5.932423e-05,5.896720e-05,5.791457e-05,5.724029e-05,5.686123e-05,5.581058e-05,5.516183e-05,5.476554e-05,5.372857e-05,5.311113e-05,5.270173e-05,5.168676e-05,5.110409e-05,5.068508e-05,4.969789e-05,4.915176e-05,4.872615e-05,4.777062e-05,4.726160e-05,4.683192e-05,4.591053e-05,4.543837e-05,4.500680e-05,4.412096e-05,4.368479e-05,4.325314e-05,4.240341e-05,4.200197e-05,4.157179e-05,4.075821e-05,4.039000e-05,3.996258e-05,3.918476e-05,3.884812e-05,3.842458e-05,3.768183e-05,3.737503e-05,3.695630e-05,3.624774e-05,3.596901e-05,3.555589e-05,3.488049e-05,3.462810e-05,3.422126e-05,3.357790e-05,3.335012e-05,3.295012e-05,3.233763e-05,3.213280e-05,3.174011e-05,3.115728e-05,3.097383e-05,3.058884e-05,3.003447e-05,2.987086e-05,2.949388e-05,2.896678e-05,2.882157e-05,2.845287e-05,2.795185e-05,2.782367e-05,2.746345e-05,2.698737e-05,2.687491e-05,2.652334e-05,2.607107e-05,2.597313e-05,2.563031e-05,2.520077e-05,2.511619e-05,2.478221e-05,2.437437e-05,2.430207e-05,2.397698e-05,2.358981e-05,2.352880e-05,2.321262e-05,2.284516e-05,2.279448e-05,2.248720e-05,2.213853e-05,2.209730e-05,2.179890e-05,2.146812e-05,2.143551e-05,2.114595e-05,2.083221e-05,2.080746e-05,2.052667e-05,2.022915e-05,2.021155e-05,1.993944e-05,1.965737e-05,1.964624e-05,1.938273e-05,1.911536e-05,1.911008e-05,1.885507e-05,1.860168e-05,1.811971e-05,1.766289e-05,1.723001e-05,1.681992e-05,1.643151e-05,1.606374e-05,1.571558e-05,1.538610e-05,1.507438e-05,1.477954e-05,1.450077e-05,1.423726e-05,1.398827e-05,1.375308e-05,1.353101e-05,1.332140e-05,1.312364e-05,1.293713e-05,1.276132e-05,1.259567e-05,1.243966e-05,1.229281e-05,1.215465e-05,1.202476e-05,1.190270e-05,1.178809e-05,1.168053e-05,1.157966e-05,1.148515e-05,1.139666e-05,1.131388e-05,1.123652e-05,1.116429e-05,1.109692e-05,1.103416e-05,1.097576e-05,1.092150e-05,1.087115e-05,1.082450e-05,1.078135e-05,1.074152e-05,1.070482e-05,1.067109e-05,1.064015e-05,1.061186e-05,1.058607e-05,1.056264e-05,1.054144e-05,1.052233e-05
0.000000e+00,7.206726e-08,1.417192e-06,1.486566e-06,1.128381e-05,4.727803e-05,4.975050e-05,1.476363e-04,3.127349e-04,3.256804e-04,5.757731e-04,8.433278e-04,8.673998e-04,1.169681e-03,1.433659e-03,1.462080e-03,1.733499e-03,1.950938e-03,1.978951e-03,2.196977e-03,2.362862e-03,2.388033e-03,2.553552e-03,2.674223e-03,2.695415e-03,2.815655e-03,2.899541e-03,2.916299e-03,2.999285e-03,3.054183e-03,3.066425e-03,3.119387e-03,3.151841e-03,3.159696e-03,3.188736e-03,3.204045e-03,3.207760e-03,3.217899e-03,3.220286e-03,3.220174e-03,3.215503e-03,3.208305e-03,3.204711e-03,3.188543e-03,3.174386e-03,3.167664e-03,3.142675e-03,3.123611e-03,3.114113e-03,3.082461e-03,3.060091e-03,3.048153e-03,3.011578e-03,2.987142e-03,2.973083e-03,2.932981e-03,2.907434e-03,2.891550e-03,2.849040e-03,2.823110e-03,2.805675e-03,2.761652e-03,2.735888e-03,2.717149e-03,2.672324e-03,2.647135e-03,2.627318e-03,2.582254e-03,2.557935e-03,2.537243e-03,2.492381e-03,2.469140e-03,2.447753e-03,2.403435e-03,2.381413e-03,2.359493e-03,2.315983e-03,2.295267e-03,2.272956e-03,2.230455e-03,2.211091e-03,2.188515e-03,2.147169e-03,2.129172e-03,2.106444e-03,2.066362e-03,2.049723e-03,2.026940e-03,1.988194e-03,1.972888e-03,1.950136e-03,1.912773e-03,1.898760e-03,1.876113e-03,1.840160e-03,1.827390e-03,1.804915e-03,1.770379e-03,1.758798e-03,1.736551e-03,1.703428e-03,1.692977e-03,1.671006e-03,1.639281e-03,1.629898e-03,1.608246e-03,1.577896e-03,1.569519e-03,1.548222e-03,1.519216e-03,1.511783e-03,1.490871e-03,1.463177e-03,1.456627e-03,1.436125e-03,1.409706e-03,1.403977e-03,1.383909e-03,1.358724e-03,1.353759e-03,1.334141e-03,1.310150e-03,1.305893e-03,1.286740e-03,1.263900e-03,1.260298e-03,1.241621e-03,1.219891e-03,1.216892e-03,1.198699e-03,1.178036e-03,1.175592e-03,1.157891e-03,1.138254e-03,1.136317e-03,1.119113e-03,1.100459e-03,1.098988e-03,1.082282e-03,1.064572e-03,1.063524e-03,1.047319e-03,1.030513e-03,1.029850e-03,1.014144e-03,9.982035e-04,9.978889e-04,9.826816e-04,9.675692e-04,9.388197e-04,9.115719e-04,8.857599e-04,8.613198e-04,8.381905e-04,8.163128e-04,7.956301e-04,7.760878e-04,7.576336e-04,7.402174e-04,7.237909e-04,7.083082e-04,6.937249e-04,6.799988e-04,6.670892e-04,6.549574e-04,6.435662e-04,6.328801e-04,6.228649e-04,6.134881e-04,6.047186e-04,5.965266e-04,5.888836e-04,5.817623e-04,5.751367e-04,5.689819e-04,5.632739e-04,5.579902e-04,5.531088e-04,5.486091e-04,5.444710e-04,5.406756e-04,5.372048e-04,5.340411e-04,5.311681e-04,5.285699e-04,5.262314e-04,5.241382e-04,5.222765e-04,5.206330e-04,5.191954e-04,5.179516e-04,5.168901e-04,5.160001e-04,5.152712e-04,5.146935e-04,5.142574e-04,5.139541e-04,5.137749e-04
0.000000e+00,3.773859e-09,7.982257e-08,8.382100e-08,5.805975e-07,1.729789e-06,1.787379e-06,3.293896e-06,4.708637e-06,4.797317e-06,6.240364e-06,7.507313e-06,7.614711e-06,8.920128e-06,1.003713e-05,1.015791e-05,1.132968e-05,1.230761e-05,1.243718e-05,1.348225e-05,1.433255e-05,1.446683e-05,1.539291e-05,1.612712e-05,1.626256e-05,1.707788e-05,1.770737e-05,1.784096e-05,1.855389e-05,1.908951e-05,1.921872e-05,1.983746e-05,2.028935e-05,2.041208e-05,2.094449e-05,2.132203e-05,2.143654e-05,2.189002e-05,2.220179e-05,2.230667e-05,2.268817e-05,2.294199e-05,2.303613e-05,2.335211e-05,2.355508e-05,2.363762e-05,2.389410e-05,2.405263e-05,2.412294e-05,2.432548e-05,2.444537e-05,2.450300e-05,2.465675e-05,2.474322e-05,2.478791e-05,2.489762e-05,2.495535e-05,2.498697e-05,2.505703e-05,2.509022e-05,2.510879e-05,2.514323e-05,2.515564e-05,2.516128e-05,2.516381e-05,2.515878e-05,2.515169e-05,2.512574e-05,2.510625e-05,2.508673e-05,2.503542e-05,2.500412e-05,2.497253e-05,2.489874e-05,2.485796e-05,2.481470e-05,2.472106e-05,2.467288e-05,2.461841e-05,2.450733e-05,2.445355e-05,2.438837e-05,2.426205e-05,2.420427e-05,2.412888e-05,2.398934e-05,2.392894e-05,2.384388e-05,2.369295e-05,2.363114e-05,2.353696e-05,2.337632e-05,2.331413e-05,2.321139e-05,2.304255e-05,2.298088e-05,2.287014e-05,2.269450e-05,2.263409e-05,2.251592e-05,2.233472e-05,2.227623e-05,2.215118e-05,2.196556e-05,2.190951e-05,2.177813e-05,2.158912e-05,2.153595e-05,2.139878e-05,2.120732e-05,2.115738e-05,2.101495e-05,2.082187e-05,2.077544e-05,2.062827e-05,2.043432e-05,2.039162e-05,2.024020e-05,2.004606e-05,2.000725e-05,1.985206e-05,1.965834e-05,1.962351e-05,1.946503e-05,1.927226e-05,1.924148e-05,1.908016e-05,1.888882e-05,1.886210e-05,1.869836e-05,1.850888e-05,1.848621e-05,1.832047e-05,1.813322e-05,1.811456e-05,1.794721e-05,1.776252e-05,1.774780e-05,1.757922e-05,1.739738e-05,1.738651e-05,1.721705e-05,1.703830e-05,1.703118e-05,1.686118e-05,1.668574e-05,1.668225e-05,1.651202e-05,1.634007e-05,1.600497e-05,1.567718e-05,1.535694e-05,1.504439e-05,1.473968e-05,1.444290e-05,1.415412e-05,1.387337e-05,1.360065e-05,1.333596e-05,1.307927e-05,1.283051e-05,1.258962e-05,1.235653e-05,1.213112e-05,1.191330e-05,1.170295e-05,1.149995e-05,1.130416e-05,1.111544e-05,1.093366e-05,1.075866e-05,1.059030e-05,1.042841e-05,1.027285e-05,1.012346e-05,9.980079e-06,9.842549e-06,9.710712e-06,9.584411e-06,9.463488e-06,9.347789e-06,9.237158e-06,9.131443e-06,9.030492e-06,8.934158e-06,8.842292e-06,8.754751e-06,8.671392e-06,8.592077e-06,8.516668e-06,8.445033e-06,8.377039e-06,8.312558e-06,8.251465e-06,8.193637e-06,8.138955e-06,8.087302e-06,8.038565e-06
0.000000e+00,3.430334e-08,8.939740e-07,9.415023e-07,7.351388e-06,2.421238e-05,2.511395e-05,4.939658e-05,7.180852e-05,7.317406e-05,9.462639e-05,1.122182e-04,1.136552e-04,1.304372e-04,1.437892e-04,1.451769e-04,1.580676e-04,1.680236e-04,1.692872e-04,1.789987e-04,1.862583e-04,1.873510e-04,1.944801e-04,1.996143e-04,2.005100e-04,2.055535e-04,2.090253e-04,2.097131e-04,2.130816e-04,2.152635e-04,2.157429e-04,2.177730e-04,2.189625e-04,2.192402e-04,2.202062e-04,2.206396e-04,2.207267e-04,2.208516e-04,2.207161e-04,2.206261e-04,2.200907e-04,2.195340e-04,2.192819e-04,2.182326e-04,2.173707e-04,2.169720e-04,2.155268e-04,2.144507e-04,2.139206e-04,2.121748e-04,2.109554e-04,2.103084e-04,2.083386e-04,2.070308e-04,2.062807e-04,2.041486e-04,2.027948e-04,2.019544e-04,1.997092e-04,1.983417e-04,1.974228e-04,1.951040e-04,1.937473e-04,1.927605e-04,1.903994e-04,1.890719e-04,1.880269e-04,1.856484e-04,1.843633e-04,1.832689e-04,1.808926e-04,1.796596e-04,1.785235e-04,1.761649e-04,1.749904e-04,1.738197e-04,1.714906e-04,1.703790e-04,1.691799e-04,1.668895e-04,1.658433e-04,1.646213e-04,1.623766e-04,1.613967e-04,1.601568e-04,1.579630e-04,1.570496e-04,1.557961e-04,1.536569e-04,1.528091e-04,1.515460e-04,1.494639e-04,1.486804e-04,1.474111e-04,1.453878e-04,1.446667e-04,1.433943e-04,1.414308e-04,1.407700e-04,1.394973e-04,1.375938e-04,1.369910e-04,1.357204e-04,1.338768e-04,1.333296e-04,1.320631e-04,1.302791e-04,1.297849e-04,1.285245e-04,1.267992e-04,1.263554e-04,1.251029e-04,1.234353e-04,1.230393e-04,1.217962e-04,1.201852e-04,1.198345e-04,1.186021e-04,1.170464e-04,1.167386e-04,1.155180e-04,1.140164e-04,1.137489e-04,1.125413e-04,1.110923e-04,1.108628e-04,1.096690e-04,1.082712e-04,1.080775e-04,1.068984e-04,1.055503e-04,1.053902e-04,1.042265e-04,1.029266e-04,1.027979e-04,1.016503e-04,1.003972e-04,1.002979e-04,9.916691e-05,9.795912e-05,9.788736e-05,9.677344e-05,9.560952e-05,9.556341e-05,9.446700e-05,9.334555e-05,9.332333e-05,9.224480e-05,9.116442e-05,8.908402e-05,8.707956e-05,8.514851e-05,8.328841e-05,8.149686e-05,7.977156e-05,7.811024e-05,7.651072e-05,7.497087e-05,7.348864e-05,7.206205e-05,7.068916e-05,6.936811e-05,6.809709e-05,6.687437e-05,6.569825e-05,6.456710e-05,6.347935e-05,6.243346e-05,6.142797e-05,6.046145e-05,5.953252e-05,5.863986e-05,5.778218e-05,5.695824e-05,5.616684e-05,5.540682e-05,5.467707e-05,5.397649e-05,5.330406e-05,5.265876e-05,5.203962e-05,5.144570e-05,5.087610e-05,5.032993e-05,4.980635e-05,4.930454e-05,4.882372e-05,4.836313e-05,4.792202e-05,4.749968e-05,4.709544e-05,4.670863e-05,4.633860e-05,4.598476e-05,4.564649e-05,4.532323e-05,4.501442e-05,4.471953e-05
0.000000e+00,3.572754e-07,7.776228e-06,8.166046e-06,6.235244e-05,2.485890e-04,2.609183e-04,7.242270e-04,1.450306e-03,1.505756e-03,2.565549e-03,3.719412e-03,3.825786e-03,5.212767e-03,6.519897e-03,6.666931e-03,8.142355e-03,9.430611e-03,9.604438e-03,1.102763e-02,1.220629e-02,1.239354e-02,1.368938e-02,1.471747e-02,1.490673e-02,1.604055e-02,1.690617e-02,1.708839e-02,1.804977e-02,1.875723e-02,1.892566e-02,1.971812e-02,2.028013e-02,2.042999e-02,2.106464e-02,2.149759e-02,2.162577e-02,2.211730e-02,2.243858e-02,2.254324e-02,2.290764e-02,2.313412e-02,2.321445e-02,2.346758e-02,2.361483e-02,2.367076e-02,2.382762e-02,2.390958e-02,2.394158e-02,2.401593e-02,2.404480e-02,2.405374e-02,2.405793e-02,2.404424e-02,2.403123e-02,2.397623e-02,2.392897e-02,2.389531e-02,2.379074e-02,2.371751e-02,2.366459e-02,2.351883e-02,2.342603e-02,2.335528e-02,2.317563e-02,2.306858e-02,2.298145e-02,2.277422e-02,2.265737e-02,2.255529e-02,2.232592e-02,2.220292e-02,2.208729e-02,2.184049e-02,2.171435e-02,2.158653e-02,2.132635e-02,2.119951e-02,2.106081e-02,2.079073e-02,2.066518e-02,2.051686e-02,2.023987e-02,2.011719e-02,1.996043e-02,1.967912e-02,1.956055e-02,1.939649e-02,1.911305e-02,1.899955e-02,1.882927e-02,1.854558e-02,1.843788e-02,1.826238e-02,1.798004e-02,1.787868e-02,1.769891e-02,1.741928e-02,1.732460e-02,1.714145e-02,1.686568e-02,1.677791e-02,1.659220e-02,1.632124e-02,1.624048e-02,1.605300e-02,1.578765e-02,1.571389e-02,1.552535e-02,1.526626e-02,1.519943e-02,1.501050e-02,1.475819e-02,1.469816e-02,1.450944e-02,1.426434e-02,1.421092e-02,1.402297e-02,1.378540e-02,1.373835e-02,1.355169e-02,1.332189e-02,1.328095e-02,1.309605e-02,1.287419e-02,1.283906e-02,1.265634e-02,1.244253e-02,1.241292e-02,1.223277e-02,1.202706e-02,1.200265e-02,1.182541e-02,1.162781e-02,1.160827e-02,1.143425e-02,1.124473e-02,1.122974e-02,1.105921e-02,1.087770e-02,1.086693e-02,1.070015e-02,1.052654e-02,1.051968e-02,1.035685e-02,1.019104e-02,1.018776e-02,1.002907e-02,9.870911e-03,9.568834e-03,9.281207e-03,9.007683e-03,8.747902e-03,8.501485e-03,8.268047e-03,8.047197e-03,7.838536e-03,7.641666e-03,7.456188e-03,7.281707e-03,7.117828e-03,6.964164e-03,6.820331e-03,6.685951e-03,6.560653e-03,6.444074e-03,6.335857e-03,6.235655e-03,6.143129e-03,6.057946e-03,5.979785e-03,5.908330e-03,5.843275e-03,5.784322e-03,5.731182e-03,5.683572e-03,5.641219e-03,5.603857e-03,5.571229e-03,5.543085e-03,5.519182e-03,5.499285e-03,5.483165e-03,5.470603e-03,5.461383e-03,5.455298e-03,5.452149e-03,5.451741e-03,5.453887e-03,5.458406e-03,5.465124e-03,5.473872e-03,5.484488e-03,5.496816e-03,5.510706e-03,5.526012e-03,5.542597e-03,5.560326e-03
0.000000e+00,2.647808e-09,3.486612e-08,3.639943e-08,2.263374e-07,7.927028e-07,8.276330e-07,1.978477e-06,3.346690e-06,3.436896e-06,4.932450e-06,6.259615e-06,6.372059e-06,7.734897e-06,8.893115e-06,9.017832e-06,1.022198e-05,1.121823e-05,1.134958e-05,1.240324e-05,1.325233e-05,1.338569e-05,1.429976e-05,1.501683e-05,1.514831e-05,1.593421e-05,1.653388e-05,1.666029e-05,1.732937e-05,1.782543e-05,1.794418e-05,1.850738e-05,1.891251e-05,1.902155e-05,1.948920e-05,1.981497e-05,1.991272e-05,2.029442e-05,2.055126e-05,2.063652e-05,2.094115e-05,2.113842e-05,2.121034e-05,2.144603e-05,2.159208e-05,2.165009e-05,2.182430e-05,2.192660e-05,2.197038e-05,2.208994e-05,2.215508e-05,2.218454e-05,2.225567e-05,2.228954e-05,2.230476e-05,2.233315e-05,2.234093e-05,2.234214e-05,2.233294e-05,2.231919e-05,2.230673e-05,2.226462e-05,2.223332e-05,2.220765e-05,2.213684e-05,2.209150e-05,2.205315e-05,2.195751e-05,2.190119e-05,2.185076e-05,2.173373e-05,2.166907e-05,2.160719e-05,2.147190e-05,2.140119e-05,2.132855e-05,2.117781e-05,2.110303e-05,2.102033e-05,2.085668e-05,2.077950e-05,2.068745e-05,2.051316e-05,2.043500e-05,2.033432e-05,2.015142e-05,2.007350e-05,1.996490e-05,1.977521e-05,1.969854e-05,1.958275e-05,1.938790e-05,1.931330e-05,1.919102e-05,1.899245e-05,1.892062e-05,1.879252e-05,1.859153e-05,1.852300e-05,1.838976e-05,1.818748e-05,1.812268e-05,1.798494e-05,1.778238e-05,1.772164e-05,1.758001e-05,1.737805e-05,1.732160e-05,1.717669e-05,1.697611e-05,1.692411e-05,1.677648e-05,1.657796e-05,1.653049e-05,1.638068e-05,1.618480e-05,1.614190e-05,1.599043e-05,1.579768e-05,1.575934e-05,1.560668e-05,1.541751e-05,1.538366e-05,1.523027e-05,1.504504e-05,1.501560e-05,1.486190e-05,1.468092e-05,1.465576e-05,1.450216e-05,1.432568e-05,1.430466e-05,1.415153e-05,1.397975e-05,1.396271e-05,1.381039e-05,1.364348e-05,1.363023e-05,1.347905e-05,1.331713e-05,1.330750e-05,1.315774e-05,1.300090e-05,1.299468e-05,1.284662e-05,1.269492e-05,1.269191e-05,1.254580e-05,1.239927e-05,1.211679e-05,1.184444e-05,1.158218e-05,1.132993e-05,1.108757e-05,1.085497e-05,1.063198e-05,1.041842e-05,1.021409e-05,1.001881e-05,9.832352e-06,9.654497e-06,9.485017e-06,9.323678e-06,9.170242e-06,9.024469e-06,8.886116e-06,8.754943e-06,8.630706e-06,8.513166e-06,8.402084e-06,8.297222e-06,8.198348e-06,8.105232e-06,8.017648e-06,7.935374e-06,7.858193e-06,7.785892e-06,7.718264e-06,7.655105e-06,7.596218e-06,7.541411e-06,7.490497e-06,7.443295e-06,7.399629e-06,7.359327e-06,7.322225e-06,7.288163e-06,7.256986e-06,7.228546e-06,7.202698e-06,7.179302e-06,7.158227e-06,7.139342e-06,7.122524e-06,7.107654e-06,7.094617e-06,7.083304e-06,7.073610e-06
0.000000e+00,1.244551e-07,2.229584e-06,2.334661e-06,1.631288e-05,6.320168e-05,6.628122e-05,1.791327e-04,3.418322e-04,3.535281e-04,5.600321e-04,7.561546e-04,7.730886e-04,9.805708e-04,1.158841e-03,1.178098e-03,1.364411e-03,1.518964e-03,1.539364e-03,1.703182e-03,1.835427e-03,1.856218e-03,1.998869e-03,2.110975e-03,2.131551e-03,2.254686e-03,2.348828e-03,2.368694e-03,2.473990e-03,2.552228e-03,2.570981e-03,2.660064e-03,2.724308e-03,2.741625e-03,2.816037e-03,2.868031e-03,2.883661e-03,2.944841e-03,2.986163e-03,2.999911e-03,3.049192e-03,3.081262e-03,3.092989e-03,3.131597e-03,3.155686e-03,3.165297e-03,3.194357e-03,3.211601e-03,3.219037e-03,3.239581e-03,3.250990e-03,3.256226e-03,3.269196e-03,3.275668e-03,3.278706e-03,3.284960e-03,3.287289e-03,3.288154e-03,3.288475e-03,3.287363e-03,3.286101e-03,3.281200e-03,3.277264e-03,3.273935e-03,3.264459e-03,3.258242e-03,3.252919e-03,3.239454e-03,3.231430e-03,3.224198e-03,3.207276e-03,3.197858e-03,3.188808e-03,3.168909e-03,3.158457e-03,3.147687e-03,3.125245e-03,3.114069e-03,3.101681e-03,3.077088e-03,3.065454e-03,3.051554e-03,3.025163e-03,3.013300e-03,2.997994e-03,2.970122e-03,2.958223e-03,2.941618e-03,2.912550e-03,2.900779e-03,2.882981e-03,2.852972e-03,2.841466e-03,2.822580e-03,2.791858e-03,2.780728e-03,2.760858e-03,2.729627e-03,2.718964e-03,2.698211e-03,2.666652e-03,2.656529e-03,2.634990e-03,2.603264e-03,2.593739e-03,2.571508e-03,2.539757e-03,2.530871e-03,2.508041e-03,2.476390e-03,2.468174e-03,2.444831e-03,2.413390e-03,2.405865e-03,2.382092e-03,2.350958e-03,2.344133e-03,2.320010e-03,2.289267e-03,2.283144e-03,2.258747e-03,2.228467e-03,2.223043e-03,2.198442e-03,2.168688e-03,2.163953e-03,2.139216e-03,2.110041e-03,2.105980e-03,2.081171e-03,2.052619e-03,2.049214e-03,2.024393e-03,1.996501e-03,1.993731e-03,1.968952e-03,1.941752e-03,1.939591e-03,1.914907e-03,1.888423e-03,1.886846e-03,1.862305e-03,1.836556e-03,1.835534e-03,1.811181e-03,1.786183e-03,1.785687e-03,1.761563e-03,1.737325e-03,1.690463e-03,1.645108e-03,1.601263e-03,1.558924e-03,1.518082e-03,1.478725e-03,1.440837e-03,1.404401e-03,1.369393e-03,1.335791e-03,1.303568e-03,1.272698e-03,1.243153e-03,1.214901e-03,1.187914e-03,1.162159e-03,1.137604e-03,1.114218e-03,1.091969e-03,1.070823e-03,1.050748e-03,1.031713e-03,1.013684e-03,9.966304e-04,9.805198e-04,9.653212e-04,9.510038e-04,9.375371e-04,9.248913e-04,9.130370e-04,9.019453e-04,8.915879e-04,8.819371e-04,8.729656e-04,8.646469e-04,8.569550e-04,8.498645e-04,8.433506e-04,8.373890e-04,8.319561e-04,8.270290e-04,8.225851e-04,8.186026e-04,8.150603e-04,8.119374e-04,8.092138e-04,8.068699e-04,8.048867e-04,8.032457e-04
0.000000e+00,2.736507e-08,3.877832e-07,4.050567e-07,2.677311e-06,1.041198e-05,1.092237e-05,2.922597e-05,5.320313e-05,5.481677e-05,8.147777e-05,1.044565e-04,1.063601e-04,1.288139e-04,1.469306e-04,1.488256e-04,1.665398e-04,1.803691e-04,1.821345e-04,1.957865e-04,2.061016e-04,2.076634e-04,2.179209e-04,2.253917e-04,2.267035e-04,2.341449e-04,2.393331e-04,2.403688e-04,2.454896e-04,2.488630e-04,2.496125e-04,2.528348e-04,2.547805e-04,2.552455e-04,2.569265e-04,2.577623e-04,2.579527e-04,2.583926e-04,2.583776e-04,2.583087e-04,2.577581e-04,2.571020e-04,2.567926e-04,2.554596e-04,2.543310e-04,2.538020e-04,2.518587e-04,2.503921e-04,2.496649e-04,2.472530e-04,2.455561e-04,2.446524e-04,2.418891e-04,2.400465e-04,2.389872e-04,2.359679e-04,2.340457e-04,2.328509e-04,2.296536e-04,2.277032e-04,2.263917e-04,2.230794e-04,2.211402e-04,2.197294e-04,2.163532e-04,2.144549e-04,2.129610e-04,2.095621e-04,2.077267e-04,2.061644e-04,2.027754e-04,2.010187e-04,1.994015e-04,1.960483e-04,1.943812e-04,1.927210e-04,1.894241e-04,1.878535e-04,1.861614e-04,1.829363e-04,1.814662e-04,1.797517e-04,1.766103e-04,1.752423e-04,1.735142e-04,1.704652e-04,1.691991e-04,1.674649e-04,1.645146e-04,1.633487e-04,1.616153e-04,1.587678e-04,1.576994e-04,1.559727e-04,1.532304e-04,1.522562e-04,1.505412e-04,1.479053e-04,1.470212e-04,1.453226e-04,1.427931e-04,1.419949e-04,1.403166e-04,1.378926e-04,1.371757e-04,1.355210e-04,1.332011e-04,1.325608e-04,1.309326e-04,1.287148e-04,1.281464e-04,1.265472e-04,1.244291e-04,1.239280e-04,1.223597e-04,1.203386e-04,1.199003e-04,1.183647e-04,1.164375e-04,1.160576e-04,1.145562e-04,1.127199e-04,1.123941e-04,1.109279e-04,1.091793e-04,1.089035e-04,1.074734e-04,1.058094e-04,1.055797e-04,1.041864e-04,1.026036e-04,1.024164e-04,1.010603e-04,9.955558e-05,9.940720e-05,9.808869e-05,9.665884e-05,9.654603e-05,9.526524e-05,9.390712e-05,9.382674e-05,9.258370e-05,9.129424e-05,9.124336e-05,9.003798e-05,8.881419e-05,8.879004e-05,8.762213e-05,8.646110e-05,8.425106e-05,8.215457e-05,8.016650e-05,7.828191e-05,7.649601e-05,7.480424e-05,7.320218e-05,7.168562e-05,7.025053e-05,6.889301e-05,6.760938e-05,6.639608e-05,6.524972e-05,6.416707e-05,6.314503e-05,6.218066e-05,6.127111e-05,6.041372e-05,5.960590e-05,5.884520e-05,5.812929e-05,5.745594e-05,5.682302e-05,5.622851e-05,5.567046e-05,5.514705e-05,5.465651e-05,5.419717e-05,5.376743e-05,5.336579e-05,5.299078e-05,5.264104e-05,5.231524e-05,5.201214e-05,5.173054e-05,5.146931e-05,5.122737e-05,5.100368e-05,5.079728e-05,5.060723e-05,5.043263e-05,5.027265e-05,5.012648e-05,4.999335e-05,4.987254e-05,4.976335e-05,4.966513e-05,4.957724e-05,4.949909e-05
0.000000e+00,2.153578e-09,2.714584e-08,2.830474e-08,1.647338e-07,5.466808e-07,5.698005e-07,1.330740e-06,2.245929e-06,2.305951e-06,3.275511e-06,4.078615e-06,4.143770e-06,4.895538e-06,5.477986e-06,5.537557e-06,6.080827e-06,6.486045e-06,6.536435e-06,6.914561e-06,7.184803e-06,7.224383e-06,7.474129e-06,7.642879e-06,7.671134e-06,7.821931e-06,7.915201e-06,7.932331e-06,8.007498e-06,8.045358e-06,8.052009e-06,8.069921e-06,8.067750e-06,8.064821e-06,8.039879e-06,8.009387e-06,7.997892e-06,7.941326e-06,7.891368e-06,7.872353e-06,7.792882e-06,7.730113e-06,7.704592e-06,7.608958e-06,7.538344e-06,7.507273e-06,7.400668e-06,7.325878e-06,7.290135e-06,7.176539e-06,7.100260e-06,7.060637e-06,6.943086e-06,6.867256e-06,6.824459e-06,6.705252e-06,6.631243e-06,6.585895e-06,6.466759e-06,6.395518e-06,6.348164e-06,6.230383e-06,6.162537e-06,6.113650e-06,5.998164e-06,5.934100e-06,5.884092e-06,5.771576e-06,5.711505e-06,5.660731e-06,5.551653e-06,5.495657e-06,5.444420e-06,5.339094e-06,5.287162e-06,5.235723e-06,5.134342e-06,5.086393e-06,5.034976e-06,4.937641e-06,4.893551e-06,4.842344e-06,4.749088e-06,4.708699e-06,4.657865e-06,4.568666e-06,4.531803e-06,4.481477e-06,4.396279e-06,4.362752e-06,4.313050e-06,4.231767e-06,4.201383e-06,4.152402e-06,4.074927e-06,4.047493e-06,3.999312e-06,3.925527e-06,3.900851e-06,3.853539e-06,3.783314e-06,3.761210e-06,3.714821e-06,3.648024e-06,3.628311e-06,3.582890e-06,3.519384e-06,3.501889e-06,3.457472e-06,3.397121e-06,3.381681e-06,3.338296e-06,3.280963e-06,3.267421e-06,3.225089e-06,3.170642e-06,3.158852e-06,3.117589e-06,3.065896e-06,3.055719e-06,3.015534e-06,2.966470e-06,2.957774e-06,2.918674e-06,2.872116e-06,2.864780e-06,2.826766e-06,2.782595e-06,2.776504e-06,2.739575e-06,2.697678e-06,2.692725e-06,2.656877e-06,2.617144e-06,2.613228e-06,2.578454e-06,2.540780e-06,2.537810e-06,2.504099e-06,2.468385e-06,2.466272e-06,2.433614e-06,2.399763e-06,2.398428e-06,2.366810e-06,2.334731e-06,2.334098e-06,2.303505e-06,2.273110e-06,2.215301e-06,2.160514e-06,2.108601e-06,2.059420e-06,2.012836e-06,1.968720e-06,1.926949e-06,1.887408e-06,1.849985e-06,1.814574e-06,1.781075e-06,1.749392e-06,1.719435e-06,1.691116e-06,1.664354e-06,1.639071e-06,1.615191e-06,1.592644e-06,1.571363e-06,1.551284e-06,1.532345e-06,1.514489e-06,1.497662e-06,1.481810e-06,1.466883e-06,1.452836e-06,1.439622e-06,1.427198e-06,1.415526e-06,1.404564e-06,1.394278e-06,1.384632e-06,1.375592e-06,1.367128e-06,1.359210e-06,1.351808e-06,1.344896e-06,1.338448e-06,1.332440e-06,1.326848e-06,1.321651e-06,1.316827e-06,1.312356e-06,1.308220e-06,1.304400e-06,1.300879e-06,1.297641e-06,1.294671e-06,1.291954e-06
0.000000e+00,4.125845e-10,4.995121e-09,5.205451e-09,2.975545e-08,9.742045e-08,1.014690e-07,2.318147e-07,3.835372e-07,3.934303e-07,5.546625e-07,6.925512e-07,7.039875e-07,8.393695e-07,9.495343e-07,9.611174e-07,1.070044e-06,1.156007e-06,1.167047e-06,1.253013e-06,1.318762e-06,1.328788e-06,1.395174e-06,1.444237e-06,1.452927e-06,1.502754e-06,1.538161e-06,1.545314e-06,1.581223e-06,1.605546e-06,1.611052e-06,1.635331e-06,1.650732e-06,1.654549e-06,1.669162e-06,1.677446e-06,1.679588e-06,1.686213e-06,1.688880e-06,1.689394e-06,1.689462e-06,1.687753e-06,1.686718e-06,1.681443e-06,1.676381e-06,1.673891e-06,1.664300e-06,1.656726e-06,1.652889e-06,1.639858e-06,1.630459e-06,1.625390e-06,1.609653e-06,1.598987e-06,1.592801e-06,1.574975e-06,1.563491e-06,1.556304e-06,1.536908e-06,1.524967e-06,1.516893e-06,1.496360e-06,1.484248e-06,1.475397e-06,1.454087e-06,1.442030e-06,1.432505e-06,1.410719e-06,1.398892e-06,1.388791e-06,1.366776e-06,1.355312e-06,1.344726e-06,1.322687e-06,1.311684e-06,1.300699e-06,1.278800e-06,1.268330e-06,1.257023e-06,1.235399e-06,1.225510e-06,1.213953e-06,1.192711e-06,1.183435e-06,1.171693e-06,1.150918e-06,1.142269e-06,1.130402e-06,1.110159e-06,1.102141e-06,1.090202e-06,1.070541e-06,1.063150e-06,1.051186e-06,1.032143e-06,1.025366e-06,1.013420e-06,9.950214e-07,9.888404e-07,9.769509e-07,9.592116e-07,9.536054e-07,9.418056e-07,9.247342e-07,9.196781e-07,9.079977e-07,8.915960e-07,8.870635e-07,8.755283e-07,8.597932e-07,8.557563e-07,8.443889e-07,8.293130e-07,8.257434e-07,8.145630e-07,8.001357e-07,7.970047e-07,7.860278e-07,7.722358e-07,7.695149e-07,7.587557e-07,7.455835e-07,7.432448e-07,7.327149e-07,7.201455e-07,7.181619e-07,7.078708e-07,6.958861e-07,6.942311e-07,6.841867e-07,6.727678e-07,6.714161e-07,6.616244e-07,6.507518e-07,6.496792e-07,6.401448e-07,6.297985e-07,6.289819e-07,6.197080e-07,6.098683e-07,6.092858e-07,6.002744e-07,5.909214e-07,5.905522e-07,5.818043e-07,5.729183e-07,5.727429e-07,5.642586e-07,5.558203e-07,5.397471e-07,5.244873e-07,5.100054e-07,4.962671e-07,4.832393e-07,4.708896e-07,4.591870e-07,4.481016e-07,4.376045e-07,4.276679e-07,4.182654e-07,4.093714e-07,4.009613e-07,3.930119e-07,3.855008e-07,3.784064e-07,3.717084e-07,3.653871e-07,3.594241e-07,3.538013e-07,3.485019e-07,3.435097e-07,3.388092e-07,3.343858e-07,3.302253e-07,3.263145e-07,3.226406e-07,3.191916e-07,3.159558e-07,3.129225e-07,3.100810e-07,3.074215e-07,3.049345e-07,3.026111e-07,3.004426e-07,2.984210e-07,2.965385e-07,2.947877e-07,2.931617e-07,2.916538e-07,2.902577e-07,2.889673e-07,2.877770e-07,2.866813e-07,2.856751e-07,2.847535e-07,2.839117e-07,2.831455e-07,2.824505e-07
0.000000e+00,8.615911e-10,1.385366e-08,1.450651e-08,9.647103e-08,3.131021e-07,3.250130e-07,6.568917e-07,9.801258e-07,1.000347e-06,1.326542e-06,1.607173e-06,1.630679e-06,1.912618e-06,2.148020e-06,2.173135e-06,2.413197e-06,2.608322e-06,2.633799e-06,2.835935e-06,2.995751e-06,3.020586e-06,3.188717e-06,3.317871e-06,3.341271e-06,3.479161e-06,3.581908e-06,3.603268e-06,3.714436e-06,3.794600e-06,3.813475e-06,3.901154e-06,3.962135e-06,3.978212e-06,4.045341e-06,4.090120e-06,4.103193e-06,4.152394e-06,4.183580e-06,4.193531e-06,4.227161e-06,4.247022e-06,4.253808e-06,4.273964e-06,4.284463e-06,4.288097e-06,4.296644e-06,4.299478e-06,4.300020e-06,4.298611e-06,4.295239e-06,4.292784e-06,4.282881e-06,4.274555e-06,4.269226e-06,4.252122e-06,4.239910e-06,4.231852e-06,4.208685e-06,4.193498e-06,4.182870e-06,4.154643e-06,4.137253e-06,4.124223e-06,4.091818e-06,4.072876e-06,4.057620e-06,4.021811e-06,4.001863e-06,3.984559e-06,3.946023e-06,3.925526e-06,3.906350e-06,3.865679e-06,3.845010e-06,3.824139e-06,3.781850e-06,3.761318e-06,3.738923e-06,3.695465e-06,3.675322e-06,3.651571e-06,3.607332e-06,3.587779e-06,3.562832e-06,3.518149e-06,3.499345e-06,3.473355e-06,3.428517e-06,3.410584e-06,3.383698e-06,3.338953e-06,3.321982e-06,3.294338e-06,3.249898e-06,3.233952e-06,3.205681e-06,3.161726e-06,3.146848e-06,3.118072e-06,3.074753e-06,3.060966e-06,3.031800e-06,2.989241e-06,2.976555e-06,2.947104e-06,2.905411e-06,2.893819e-06,2.864183e-06,2.823440e-06,2.812928e-06,2.783198e-06,2.743473e-06,2.734017e-06,2.704277e-06,2.665622e-06,2.657191e-06,2.627518e-06,2.589974e-06,2.582533e-06,2.552998e-06,2.516594e-06,2.510102e-06,2.480768e-06,2.445524e-06,2.439939e-06,2.410863e-06,2.376789e-06,2.372066e-06,2.343303e-06,2.310403e-06,2.306494e-06,2.278089e-06,2.246361e-06,2.243221e-06,2.215217e-06,2.184653e-06,2.182233e-06,2.154667e-06,2.125254e-06,2.123508e-06,2.096413e-06,2.068137e-06,2.067017e-06,2.040421e-06,2.013262e-06,2.012725e-06,1.986653e-06,1.960589e-06,1.910566e-06,1.862606e-06,1.816657e-06,1.772667e-06,1.730580e-06,1.690339e-06,1.651888e-06,1.615169e-06,1.580125e-06,1.546699e-06,1.514835e-06,1.484476e-06,1.455567e-06,1.428055e-06,1.401886e-06,1.377009e-06,1.353372e-06,1.330927e-06,1.309625e-06,1.289420e-06,1.270267e-06,1.252121e-06,1.234939e-06,1.218682e-06,1.203309e-06,1.188781e-06,1.175063e-06,1.162117e-06,1.149909e-06,1.138407e-06,1.127579e-06,1.117393e-06,1.107820e-06,1.098832e-06,1.090402e-06,1.082502e-06,1.075109e-06,1.068198e-06,1.061746e-06,1.055731e-06,1.050131e-06,1.044926e-06,1.040096e-06,1.035623e-06,1.031489e-06,1.027676e-06,1.024169e-06,1.020951e-06,1.018007e-06
0.000000e+00,5.144802e-10,6.475876e-09,6.756117e-09,4.102187e-08,1.407964e-07,1.468469e-07,3.401437e-07,5.591223e-07,5.733010e-07,8.051710e-07,1.006571e-06,1.023456e-06,1.225832e-06,1.394395e-06,1.412349e-06,1.583625e-06,1.722336e-06,1.740412e-06,1.883486e-06,1.996150e-06,2.013617e-06,2.131559e-06,2.221742e-06,2.238038e-06,2.333756e-06,2.404689e-06,2.419388e-06,2.495577e-06,2.550144e-06,2.562938e-06,2.622051e-06,2.662793e-06,2.673474e-06,2.717731e-06,2.746881e-06,2.755320e-06,2.786710e-06,2.806208e-06,2.812343e-06,2.832637e-06,2.844164e-06,2.847985e-06,2.858755e-06,2.863758e-06,2.865296e-06,2.867933e-06,2.867654e-06,2.866973e-06,2.862703e-06,2.858203e-06,2.855393e-06,2.845295e-06,2.837480e-06,2.832648e-06,2.817672e-06,2.807309e-06,2.800575e-06,2.781552e-06,2.769290e-06,2.760785e-06,2.738444e-06,2.724828e-06,2.714687e-06,2.689663e-06,2.675148e-06,2.663510e-06,2.636357e-06,2.621322e-06,2.608325e-06,2.579525e-06,2.564280e-06,2.550061e-06,2.520030e-06,2.504831e-06,2.489523e-06,2.458623e-06,2.443674e-06,2.427407e-06,2.395946e-06,2.381411e-06,2.364309e-06,2.332555e-06,2.318561e-06,2.300742e-06,2.268921e-06,2.255566e-06,2.237142e-06,2.205447e-06,2.192803e-06,2.173879e-06,2.142474e-06,2.130590e-06,2.111266e-06,2.080285e-06,2.069194e-06,2.049562e-06,2.019120e-06,2.008838e-06,1.988983e-06,1.959172e-06,1.949705e-06,1.929706e-06,1.900602e-06,1.891943e-06,1.871874e-06,1.843535e-06,1.835672e-06,1.815598e-06,1.788073e-06,1.780984e-06,1.760967e-06,1.734288e-06,1.727950e-06,1.708044e-06,1.682238e-06,1.676619e-06,1.656874e-06,1.631956e-06,1.627026e-06,1.607486e-06,1.583466e-06,1.579190e-06,1.559895e-06,1.536774e-06,1.533117e-06,1.514102e-06,1.491878e-06,1.488802e-06,1.470100e-06,1.448765e-06,1.446234e-06,1.427871e-06,1.407414e-06,1.405392e-06,1.387390e-06,1.367797e-06,1.366248e-06,1.348629e-06,1.329882e-06,1.328771e-06,1.311552e-06,1.293632e-06,1.292924e-06,1.276118e-06,1.259005e-06,1.258667e-06,1.242287e-06,1.225958e-06,1.194753e-06,1.165005e-06,1.136667e-06,1.109691e-06,1.084030e-06,1.059636e-06,1.036460e-06,1.014455e-06,9.935757e-07,9.737752e-07,9.550090e-07,9.372332e-07,9.204053e-07,9.044837e-07,8.894281e-07,8.751995e-07,8.617601e-07,8.490735e-07,8.371044e-07,8.258190e-07,8.151847e-07,8.051700e-07,7.957449e-07,7.868803e-07,7.785486e-07,7.707231e-07,7.633784e-07,7.564900e-07,7.500348e-07,7.439904e-07,7.383355e-07,7.330498e-07,7.281139e-07,7.235092e-07,7.192182e-07,7.152240e-07,7.115105e-07,7.080625e-07,7.048655e-07,7.019056e-07,6.991696e-07,6.966450e-07,6.943199e-07,6.921830e-07,6.902235e-07,6.884311e-07,6.867963e-07,6.853097e-07,6.839626e-07
0.000000e+00,1.126574e-04,2.454824e-03,2.580207e-03,2.132006e-02,9.402488e-02,9.909371e-02,3.006782e-01,6.344639e-01,6.602606e-01,1.154484e+00,1.689122e+00,1.738077e+00,2.370215e+00,2.954552e+00,3.019551e+00,3.663278e+00,4.212267e+00,4.285378e+00,4.875029e+00,5.350839e+00,5.425341e+00,5.932355e+00,6.323419e+00,6.394270e+00,6.810852e+00,7.119210e+00,7.182977e+00,7.512283e+00,7.746322e+00,7.800907e+00,8.051294e+00,8.221732e+00,8.266060e+00,8.447882e+00,8.565671e+00,8.599418e+00,8.723253e+00,8.798520e+00,8.821866e+00,8.897598e+00,8.939195e+00,8.952643e+00,8.989038e+00,9.004434e+00,9.008668e+00,9.013265e+00,9.008618e+00,9.004412e+00,8.983551e+00,8.963848e+00,8.951995e+00,8.910933e+00,8.880166e+00,8.861443e+00,8.804498e+00,8.765838e+00,8.740979e+00,8.671676e+00,8.627618e+00,8.597303e+00,8.518505e+00,8.471004e+00,8.435859e+00,8.349888e+00,8.300470e+00,8.261064e+00,8.169808e+00,8.119655e+00,8.076503e+00,7.981494e+00,7.931520e+00,7.885091e+00,7.787575e+00,7.738480e+00,7.689200e+00,7.590194e+00,7.542509e+00,7.490765e+00,7.391100e+00,7.345222e+00,7.291367e+00,7.191721e+00,7.147940e+00,7.092299e+00,6.993226e+00,6.951748e+00,6.894617e+00,6.796573e+00,6.757534e+00,6.699186e+00,6.602539e+00,6.566024e+00,6.506708e+00,6.411761e+00,6.377807e+00,6.317756e+00,6.224750e+00,6.193364e+00,6.132790e+00,6.041920e+00,6.013078e+00,5.952177e+00,5.863597e+00,5.837254e+00,5.776209e+00,5.690038e+00,5.666132e+00,5.605108e+00,5.521438e+00,5.499892e+00,5.439044e+00,5.357940e+00,5.338669e+00,5.278138e+00,5.199647e+00,5.182556e+00,5.122474e+00,5.046624e+00,5.031613e+00,4.972100e+00,4.898905e+00,4.885871e+00,4.827038e+00,4.756499e+00,4.745336e+00,4.687285e+00,4.619393e+00,4.609993e+00,4.552818e+00,4.487555e+00,4.479811e+00,4.423597e+00,4.360938e+00,4.354743e+00,4.299569e+00,4.239481e+00,4.234729e+00,4.180666e+00,4.123114e+00,4.119701e+00,4.066815e+00,4.011757e+00,4.009580e+00,3.957929e+00,3.905320e+00,3.904280e+00,3.853918e+00,3.803710e+00,3.707773e+00,3.616369e+00,3.529391e+00,3.446734e+00,3.368287e+00,3.293937e+00,3.223572e+00,3.157077e+00,3.094335e+00,3.035229e+00,2.979644e+00,2.927459e+00,2.878559e+00,2.832825e+00,2.790139e+00,2.750384e+00,2.713442e+00,2.679198e+00,2.647537e+00,2.618343e+00,2.591503e+00,2.566905e+00,2.544438e+00,2.523994e+00,2.505465e+00,2.488746e+00,2.473733e+00,2.460327e+00,2.448427e+00,2.437938e+00,2.428767e+00,2.420822e+00,2.414017e+00,2.408265e+00,2.403484e+00,2.399597e+00,2.396528e+00,2.394203e+00,2.392553e+00,2.391513e+00,2.391020e+00,2.391014e+00,2.391439e+00,2.392242e+00,2.393373e+00,2.394785e+00,2.396434e+00,2.398281e+00,2.400286e+00
0.000000e+00,1.546284e-07,2.710725e-06,2.838375e-06,1.955673e-05,7.280163e-05,7.618925e-05,1.940341e-04,3.491025e-04,3.597892e-04,5.424800e-04,7.105639e-04,7.249949e-04,9.020137e-04,1.055502e-03,1.072202e-03,1.235270e-03,1.372868e-03,1.391206e-03,1.540089e-03,1.662578e-03,1.682038e-03,1.817199e-03,1.925608e-03,1.945736e-03,2.067825e-03,2.163254e-03,2.183648e-03,2.293393e-03,2.376939e-03,2.397248e-03,2.495403e-03,2.568128e-03,2.588046e-03,2.675362e-03,2.738272e-03,2.757534e-03,2.834743e-03,2.888785e-03,2.907164e-03,2.974968e-03,3.021022e-03,3.038323e-03,3.097392e-03,3.136276e-03,3.152335e-03,3.203306e-03,3.235775e-03,3.250456e-03,3.293932e-03,3.320682e-03,3.333875e-03,3.370423e-03,3.392095e-03,3.403712e-03,3.433870e-03,3.451051e-03,3.461024e-03,3.485296e-03,3.498526e-03,3.506805e-03,3.525667e-03,3.535437e-03,3.541991e-03,3.555887e-03,3.562646e-03,3.567458e-03,3.576806e-03,3.580963e-03,3.584028e-03,3.589219e-03,3.591146e-03,3.592470e-03,3.593871e-03,3.593904e-03,3.593506e-03,3.591459e-03,3.589902e-03,3.587809e-03,3.582634e-03,3.579762e-03,3.576008e-03,3.568003e-03,3.564062e-03,3.558690e-03,3.548134e-03,3.543346e-03,3.536401e-03,3.523554e-03,3.518117e-03,3.509653e-03,3.494755e-03,3.488845e-03,3.478918e-03,3.462196e-03,3.455969e-03,3.444639e-03,3.426300e-03,3.419895e-03,3.407226e-03,3.387464e-03,3.381002e-03,3.367058e-03,3.346052e-03,3.339640e-03,3.324488e-03,3.302406e-03,3.296135e-03,3.279844e-03,3.256839e-03,3.250789e-03,3.233427e-03,3.209641e-03,3.203881e-03,3.185516e-03,3.161082e-03,3.155668e-03,3.136370e-03,3.111408e-03,3.106389e-03,3.086226e-03,3.060849e-03,3.056262e-03,3.035303e-03,3.009613e-03,3.005491e-03,2.983802e-03,2.957894e-03,2.954260e-03,2.931909e-03,2.905868e-03,2.902740e-03,2.879791e-03,2.853698e-03,2.851088e-03,2.827605e-03,2.801531e-03,2.799446e-03,2.775492e-03,2.749503e-03,2.747945e-03,2.723579e-03,2.697736e-03,2.696704e-03,2.671985e-03,2.646341e-03,2.645830e-03,2.620816e-03,2.595421e-03,2.545565e-03,2.496343e-03,2.447825e-03,2.400075e-03,2.353149e-03,2.307098e-03,2.261965e-03,2.217789e-03,2.174603e-03,2.132434e-03,2.091306e-03,2.051238e-03,2.012246e-03,1.974341e-03,1.937532e-03,1.901824e-03,1.867221e-03,1.833722e-03,1.801325e-03,1.770025e-03,1.739816e-03,1.710690e-03,1.682637e-03,1.655644e-03,1.629701e-03,1.604791e-03,1.580901e-03,1.558013e-03,1.536111e-03,1.515177e-03,1.495191e-03,1.476135e-03,1.457989e-03,1.440732e-03,1.424344e-03,1.408802e-03,1.394086e-03,1.380174e-03,1.367044e-03,1.354674e-03,1.343041e-03,1.332124e-03,1.321900e-03,1.312346e-03,1.303442e-03,1.295164e-03,1.287491e-03,1.280400e-03,1.273871e-03
0.000000e+00,5.854971e-08,1.491799e-06,1.573094e-06,1.476401e-05,6.948540e-05,7.336238e-05,2.283083e-04,4.810617e-04,5.003361e-04,8.632832e-04,1.244362e-03,1.278733e-03,1.715501e-03,2.108622e-03,2.151770e-03,2.573210e-03,2.924633e-03,2.970905e-03,3.339722e-03,3.631817e-03,3.677117e-03,3.982294e-03,4.213984e-03,4.255613e-03,4.498176e-03,4.675205e-03,4.711533e-03,4.897490e-03,5.027819e-03,5.057971e-03,5.194928e-03,5.286658e-03,5.310276e-03,5.405864e-03,5.466380e-03,5.483448e-03,5.544677e-03,5.580365e-03,5.591087e-03,5.624091e-03,5.640286e-03,5.644987e-03,5.654973e-03,5.656061e-03,5.655143e-03,5.646503e-03,5.636068e-03,5.629974e-03,5.606417e-03,5.587409e-03,5.576626e-03,5.541316e-03,5.516124e-03,5.501135e-03,5.456665e-03,5.427174e-03,5.408435e-03,5.356921e-03,5.324618e-03,5.302556e-03,5.245730e-03,5.211784e-03,5.186797e-03,5.126075e-03,5.091398e-03,5.063853e-03,5.000393e-03,4.965693e-03,4.935930e-03,4.870677e-03,4.836498e-03,4.804826e-03,4.738550e-03,4.705302e-03,4.672005e-03,4.605330e-03,4.573318e-03,4.538652e-03,4.472083e-03,4.441527e-03,4.405726e-03,4.339669e-03,4.310720e-03,4.273994e-03,4.208772e-03,4.181530e-03,4.144067e-03,4.079937e-03,4.054457e-03,4.016430e-03,3.953590e-03,3.929895e-03,3.891457e-03,3.830063e-03,3.808147e-03,3.769436e-03,3.709603e-03,3.689444e-03,3.650582e-03,3.592393e-03,3.573951e-03,3.535049e-03,3.478562e-03,3.461785e-03,3.422942e-03,3.368195e-03,3.353023e-03,3.314326e-03,3.261338e-03,3.247706e-03,3.209232e-03,3.158009e-03,3.145847e-03,3.107667e-03,3.058203e-03,3.047438e-03,3.009612e-03,2.961892e-03,2.952451e-03,2.915035e-03,2.869035e-03,2.860846e-03,2.823885e-03,2.779578e-03,2.772567e-03,2.736106e-03,2.693458e-03,2.687553e-03,2.651627e-03,2.610602e-03,2.605733e-03,2.570375e-03,2.530934e-03,2.527033e-03,2.492270e-03,2.454372e-03,2.451373e-03,2.417230e-03,2.380832e-03,2.378672e-03,2.345169e-03,2.310228e-03,2.308845e-03,2.275999e-03,2.242472e-03,2.241808e-03,2.209634e-03,2.177476e-03,2.115763e-03,2.056586e-03,1.999860e-03,1.945505e-03,1.893438e-03,1.843582e-03,1.795859e-03,1.750193e-03,1.706511e-03,1.664741e-03,1.624815e-03,1.586664e-03,1.550223e-03,1.515429e-03,1.482220e-03,1.450537e-03,1.420322e-03,1.391519e-03,1.364074e-03,1.337937e-03,1.313055e-03,1.289380e-03,1.266866e-03,1.245468e-03,1.225140e-03,1.205841e-03,1.187531e-03,1.170169e-03,1.153718e-03,1.138141e-03,1.123402e-03,1.109468e-03,1.096305e-03,1.083881e-03,1.072167e-03,1.061132e-03,1.050747e-03,1.040986e-03,1.031821e-03,1.023227e-03,1.015179e-03,1.007654e-03,1.000628e-03,9.940799e-04,9.879874e-04,9.823303e-04,9.770888e-04,9.722437e-04,9.677767e-04
0.000000e+00,3.154745e-08,5.393877e-07,5.640618e-07,3.498770e-06,1.147162e-05,1.194566e-05,2.742500e-05,4.656357e-05,4.785235e-05,6.898413e-05,8.621470e-05,8.757275e-05,1.025929e-04,1.132305e-04,1.142616e-04,1.231228e-04,1.290285e-04,1.297160e-04,1.345002e-04,1.374548e-04,1.378491e-04,1.400621e-04,1.412199e-04,1.413786e-04,1.419892e-04,1.420705e-04,1.420455e-04,1.416679e-04,1.411183e-04,1.409520e-04,1.399737e-04,1.390676e-04,1.387932e-04,1.374581e-04,1.363637e-04,1.360064e-04,1.344677e-04,1.332873e-04,1.328659e-04,1.312196e-04,1.300151e-04,1.295435e-04,1.278494e-04,1.266578e-04,1.261464e-04,1.244418e-04,1.232847e-04,1.227413e-04,1.210492e-04,1.199389e-04,1.193692e-04,1.177038e-04,1.166467e-04,1.160552e-04,1.144250e-04,1.134240e-04,1.128143e-04,1.112241e-04,1.102801e-04,1.096550e-04,1.081075e-04,1.072200e-04,1.065820e-04,1.050785e-04,1.042462e-04,1.035972e-04,1.021380e-04,1.013593e-04,1.007011e-04,9.928611e-05,9.855901e-05,9.789307e-05,9.652176e-05,9.584420e-05,9.517200e-05,9.384357e-05,9.321343e-05,9.253624e-05,9.124978e-05,9.066495e-05,8.998394e-05,8.873848e-05,8.819686e-05,8.751312e-05,8.630762e-05,8.580717e-05,8.512171e-05,8.395513e-05,8.349385e-05,8.280761e-05,8.167888e-05,8.125484e-05,8.056869e-05,7.947676e-05,7.908809e-05,7.840285e-05,7.734668e-05,7.699158e-05,7.630801e-05,7.528657e-05,7.496330e-05,7.428210e-05,7.329437e-05,7.300128e-05,7.232312e-05,7.136810e-05,7.110357e-05,7.042906e-05,6.950578e-05,6.926828e-05,6.859800e-05,6.770550e-05,6.749355e-05,6.682804e-05,6.596539e-05,6.577757e-05,6.511732e-05,6.428360e-05,6.411857e-05,6.346403e-05,6.265837e-05,6.251481e-05,6.186641e-05,6.108794e-05,6.096462e-05,6.032275e-05,5.957062e-05,5.946636e-05,5.883136e-05,5.810477e-05,5.801842e-05,5.739063e-05,5.668877e-05,5.661925e-05,5.599898e-05,5.532107e-05,5.526734e-05,5.465485e-05,5.400015e-05,5.396123e-05,5.335677e-05,5.272453e-05,5.269947e-05,5.210326e-05,5.149279e-05,5.148069e-05,5.089293e-05,5.030353e-05,4.916668e-05,4.806887e-05,4.700887e-05,4.598548e-05,4.499753e-05,4.404390e-05,4.312349e-05,4.223524e-05,4.137812e-05,4.055113e-05,3.975331e-05,3.898371e-05,3.824142e-05,3.752557e-05,3.683529e-05,3.616977e-05,3.552819e-05,3.490978e-05,3.431378e-05,3.373947e-05,3.318613e-05,3.265308e-05,3.213966e-05,3.164522e-05,3.116914e-05,3.071082e-05,3.026967e-05,2.984512e-05,2.943662e-05,2.904365e-05,2.866568e-05,2.830223e-05,2.795280e-05,2.761693e-05,2.729416e-05,2.698407e-05,2.668621e-05,2.640018e-05,2.612559e-05,2.586204e-05,2.560916e-05,2.536659e-05,2.513398e-05,2.491099e-05,2.469729e-05,2.449257e-05,2.429651e-05,2.410881e-05,2.392919e-05
0.000000e+00,3.273836e-09,5.373912e-08,5.625649e-08,3.646894e-07,1.171892e-06,1.216868e-06,2.491779e-06,3.728547e-06,3.804741e-06,5.008385e-06,6.001416e-06,6.082688e-06,7.033322e-06,7.791316e-06,7.870172e-06,8.603299e-06,9.170186e-06,9.242171e-06,9.795557e-06,1.020928e-05,1.027155e-05,1.067758e-05,1.096961e-05,1.102049e-05,1.130654e-05,1.150268e-05,1.154143e-05,1.173038e-05,1.185167e-05,1.187813e-05,1.198898e-05,1.205235e-05,1.206684e-05,1.211526e-05,1.213435e-05,1.213745e-05,1.213632e-05,1.212204e-05,1.211452e-05,1.207438e-05,1.203535e-05,1.201806e-05,1.194749e-05,1.189055e-05,1.186441e-05,1.177041e-05,1.170097e-05,1.166690e-05,1.155514e-05,1.147743e-05,1.143629e-05,1.131139e-05,1.122870e-05,1.118136e-05,1.104703e-05,1.096193e-05,1.090916e-05,1.076842e-05,1.068284e-05,1.062540e-05,1.048064e-05,1.039608e-05,1.033462e-05,1.018778e-05,1.010533e-05,1.004049e-05,9.893098e-06,9.813569e-06,9.745901e-06,9.599169e-06,9.523132e-06,9.453138e-06,9.308019e-06,9.235859e-06,9.163994e-06,9.021225e-06,8.953184e-06,8.879853e-06,8.739999e-06,8.676206e-06,8.601769e-06,8.465254e-06,8.405752e-06,8.330532e-06,8.197667e-06,8.142431e-06,8.066714e-06,7.937719e-06,7.886677e-06,7.810716e-06,7.685734e-06,7.638776e-06,7.562795e-06,7.441912e-06,7.398900e-06,7.323096e-06,7.206351e-06,7.167130e-06,7.091677e-06,6.979070e-06,6.943471e-06,6.868522e-06,6.760024e-06,6.727872e-06,6.653561e-06,6.549119e-06,6.520235e-06,6.446680e-06,6.346224e-06,6.320427e-06,6.247730e-06,6.151175e-06,6.128288e-06,6.056537e-06,5.963790e-06,5.943637e-06,5.872910e-06,5.783869e-06,5.766279e-06,5.696641e-06,5.611199e-06,5.596007e-06,5.527515e-06,5.445562e-06,5.432608e-06,5.365311e-06,5.286734e-06,5.275865e-06,5.209803e-06,5.134490e-06,5.125560e-06,5.060767e-06,4.988606e-06,4.981474e-06,4.917978e-06,4.848856e-06,4.843391e-06,4.781213e-06,4.715021e-06,4.711095e-06,4.650254e-06,4.586884e-06,4.584378e-06,4.524885e-06,4.464231e-06,4.463031e-06,4.404896e-06,4.346855e-06,4.235653e-06,4.129235e-06,4.027416e-06,3.930017e-06,3.836863e-06,3.747789e-06,3.662632e-06,3.581236e-06,3.503451e-06,3.429131e-06,3.358136e-06,3.290333e-06,3.225591e-06,3.163786e-06,3.104798e-06,3.048512e-06,2.994818e-06,2.943608e-06,2.894780e-06,2.848236e-06,2.803881e-06,2.761625e-06,2.721380e-06,2.683063e-06,2.646593e-06,2.611892e-06,2.578888e-06,2.547507e-06,2.517683e-06,2.489348e-06,2.462441e-06,2.436901e-06,2.412669e-06,2.389690e-06,2.367910e-06,2.347278e-06,2.327744e-06,2.309261e-06,2.291783e-06,2.275268e-06,2.259672e-06,2.244957e-06,2.231082e-06,2.218012e-06,2.205711e-06,2.194144e-06,2.183280e-06,2.173086e-06,2.163532e-06
0.000000e+00,1.252257e-09,1.673665e-08,1.747757e-08,1.095532e-07,3.802488e-07,3.966154e-07,9.094341e-07,1.466781e-06,1.502174e-06,2.070722e-06,2.549216e-06,2.588670e-06,3.053232e-06,3.427840e-06,3.467041e-06,3.833830e-06,4.120701e-06,4.157360e-06,4.441166e-06,4.655964e-06,4.688513e-06,4.902423e-06,5.058325e-06,5.085700e-06,5.240954e-06,5.349062e-06,5.370617e-06,5.476962e-06,5.546677e-06,5.562107e-06,5.628027e-06,5.667282e-06,5.676554e-06,5.709386e-06,5.724812e-06,5.728094e-06,5.734125e-06,5.731214e-06,5.728811e-06,5.713372e-06,5.696616e-06,5.688922e-06,5.656482e-06,5.629522e-06,5.616984e-06,5.571281e-06,5.537057e-06,5.520148e-06,5.464298e-06,5.425172e-06,5.404381e-06,5.340981e-06,5.298818e-06,5.274615e-06,5.205759e-06,5.162009e-06,5.134844e-06,5.062257e-06,5.018047e-06,4.988344e-06,4.913419e-06,4.869611e-06,4.837764e-06,4.761632e-06,4.718875e-06,4.685249e-06,4.608817e-06,4.567586e-06,4.532514e-06,4.456500e-06,4.417136e-06,4.380919e-06,4.305896e-06,4.268628e-06,4.231540e-06,4.157949e-06,4.122922e-06,4.085206e-06,4.013386e-06,3.980675e-06,3.942550e-06,3.872752e-06,3.842383e-06,3.804040e-06,3.736449e-06,3.708404e-06,3.670013e-06,3.604756e-06,3.578987e-06,3.540697e-06,3.477853e-06,3.454293e-06,3.416234e-06,3.355846e-06,3.334408e-06,3.296692e-06,3.238772e-06,3.219360e-06,3.182083e-06,3.126620e-06,3.109130e-06,3.072376e-06,3.019339e-06,3.003663e-06,2.967501e-06,2.916847e-06,2.902874e-06,2.867364e-06,2.819036e-06,2.806658e-06,2.771847e-06,2.725780e-06,2.714890e-06,2.680819e-06,2.636943e-06,2.627434e-06,2.594135e-06,2.552375e-06,2.544148e-06,2.511645e-06,2.471923e-06,2.464879e-06,2.433192e-06,2.395430e-06,2.389477e-06,2.358618e-06,2.322735e-06,2.317785e-06,2.287763e-06,2.253681e-06,2.249650e-06,2.220469e-06,2.188109e-06,2.184919e-06,2.156581e-06,2.125865e-06,2.123443e-06,2.095944e-06,2.066798e-06,2.065074e-06,2.038409e-06,2.010760e-06,2.009669e-06,1.983832e-06,1.957607e-06,1.957090e-06,1.932070e-06,1.907202e-06,1.859877e-06,1.814989e-06,1.772419e-06,1.732052e-06,1.693778e-06,1.657492e-06,1.623095e-06,1.590489e-06,1.559584e-06,1.530293e-06,1.502533e-06,1.476225e-06,1.451294e-06,1.427669e-06,1.405283e-06,1.384070e-06,1.363970e-06,1.344925e-06,1.326880e-06,1.309782e-06,1.293582e-06,1.278232e-06,1.263689e-06,1.249910e-06,1.236854e-06,1.224484e-06,1.212764e-06,1.201658e-06,1.191136e-06,1.181166e-06,1.171719e-06,1.162767e-06,1.154285e-06,1.146246e-06,1.138629e-06,1.131410e-06,1.124568e-06,1.118084e-06,1.111937e-06,1.106112e-06,1.100589e-06,1.095354e-06,1.090391e-06,1.085685e-06,1.081223e-06,1.076992e-06,1.072978e-06,1.069172e-06,1.065560e-06
0.000000e+00,1.194225e-07,2.544324e-06,2.673387e-06,2.190881e-05,9.698814e-05,1.022481e-04,3.130296e-04,6.643246e-04,6.914235e-04,1.205185e-03,1.744383e-03,1.792744e-03,2.400823e-03,2.934700e-03,2.992357e-03,3.544160e-03,3.986358e-03,4.043208e-03,4.483498e-03,4.814046e-03,4.863694e-03,5.185451e-03,5.413068e-03,5.452236e-03,5.668518e-03,5.811629e-03,5.839216e-03,5.969338e-03,6.047502e-03,6.063753e-03,6.127042e-03,6.157530e-03,6.163428e-03,6.176742e-03,6.173557e-03,6.170417e-03,6.147492e-03,6.121421e-03,6.110632e-03,6.062151e-03,6.021187e-03,6.004057e-03,5.938085e-03,5.888024e-03,5.865725e-03,5.788261e-03,5.733247e-03,5.706812e-03,5.622348e-03,5.565351e-03,5.535682e-03,5.447495e-03,5.390524e-03,5.358357e-03,5.268742e-03,5.213118e-03,5.179045e-03,5.089593e-03,5.036153e-03,5.000655e-03,4.912453e-03,4.861706e-03,4.825168e-03,4.738948e-03,4.691174e-03,4.653910e-03,4.570149e-03,4.525475e-03,4.487738e-03,4.406735e-03,4.365185e-03,4.327184e-03,4.249114e-03,4.210641e-03,4.172547e-03,4.097495e-03,4.062010e-03,4.023963e-03,3.951953e-03,3.919338e-03,3.881459e-03,3.812472e-03,3.782592e-03,3.744981e-03,3.678970e-03,3.651684e-03,3.614424e-03,3.551323e-03,3.526483e-03,3.489648e-03,3.429378e-03,3.406839e-03,3.370490e-03,3.312962e-03,3.292580e-03,3.256771e-03,3.201893e-03,3.183530e-03,3.148306e-03,3.095984e-03,3.079504e-03,3.044904e-03,2.995042e-03,2.980317e-03,2.946374e-03,2.898877e-03,2.885784e-03,2.852527e-03,2.807301e-03,2.795723e-03,2.763176e-03,2.720129e-03,2.709955e-03,2.678137e-03,2.637179e-03,2.628304e-03,2.597232e-03,2.558275e-03,2.550600e-03,2.520287e-03,2.483246e-03,2.476678e-03,2.447133e-03,2.411927e-03,2.406377e-03,2.377608e-03,2.344156e-03,2.339541e-03,2.311553e-03,2.279779e-03,2.276021e-03,2.248817e-03,2.218648e-03,2.215674e-03,2.189253e-03,2.160617e-03,2.158358e-03,2.132721e-03,2.105549e-03,2.103941e-03,2.079084e-03,2.053310e-03,2.052294e-03,2.028212e-03,2.003774e-03,2.003292e-03,1.979980e-03,1.956816e-03,1.912753e-03,1.870992e-03,1.831428e-03,1.793960e-03,1.758491e-03,1.724928e-03,1.693182e-03,1.663167e-03,1.634803e-03,1.608010e-03,1.582714e-03,1.558842e-03,1.536327e-03,1.515102e-03,1.495104e-03,1.476274e-03,1.458553e-03,1.441886e-03,1.426222e-03,1.411508e-03,1.397698e-03,1.384746e-03,1.372606e-03,1.361238e-03,1.350601e-03,1.340657e-03,1.331369e-03,1.322703e-03,1.314624e-03,1.307102e-03,1.300106e-03,1.293606e-03,1.287576e-03,1.281989e-03,1.276820e-03,1.272045e-03,1.267641e-03,1.263587e-03,1.259862e-03,1.256446e-03,1.253322e-03,1.250470e-03,1.247875e-03,1.245520e-03,1.243390e-03,1.241470e-03,1.239748e-03,1.238209e-03,1.236842e-03
0.000000e+00,2.004593e-07,5.289777e-06,5.575582e-06,4.840395e-05,1.955164e-04,2.048579e-04,5.212355e-04,9.316627e-04,9.603988e-04,1.466942e-03,1.958374e-03,2.001529e-03,2.540034e-03,3.016193e-03,3.068293e-03,3.578220e-03,4.008224e-03,4.065395e-03,4.527603e-03,4.904435e-03,4.963960e-03,5.374386e-03,5.699392e-03,5.759286e-03,6.119350e-03,6.396663e-03,6.455428e-03,6.768457e-03,7.002939e-03,7.059411e-03,7.329272e-03,7.525746e-03,7.579011e-03,7.809580e-03,7.972561e-03,8.021903e-03,8.216871e-03,8.350480e-03,8.395341e-03,8.558135e-03,8.666084e-03,8.706041e-03,8.839814e-03,8.925436e-03,8.960181e-03,9.067840e-03,9.134130e-03,9.163457e-03,9.247667e-03,9.297293e-03,9.321077e-03,9.384267e-03,9.419602e-03,9.437790e-03,9.482174e-03,9.505324e-03,9.517923e-03,9.545519e-03,9.558354e-03,9.565420e-03,9.578065e-03,9.582240e-03,9.583871e-03,9.583238e-03,9.580213e-03,9.576545e-03,9.564155e-03,9.555218e-03,9.546413e-03,9.523649e-03,9.509932e-03,9.496177e-03,9.464296e-03,9.446791e-03,9.428290e-03,9.388431e-03,9.368006e-03,9.344977e-03,9.298174e-03,9.275585e-03,9.248256e-03,9.195447e-03,9.171349e-03,9.139957e-03,9.081988e-03,9.056949e-03,9.021733e-03,8.959372e-03,8.933878e-03,8.895079e-03,8.829019e-03,8.803486e-03,8.761348e-03,8.692213e-03,8.666994e-03,8.621756e-03,8.550109e-03,8.525502e-03,8.477401e-03,8.403750e-03,8.380001e-03,8.329270e-03,8.254070e-03,8.231384e-03,8.178250e-03,8.101908e-03,8.080452e-03,8.025136e-03,7.948018e-03,7.927921e-03,7.870638e-03,7.793071e-03,7.774436e-03,7.715391e-03,7.637667e-03,7.620568e-03,7.559963e-03,7.482339e-03,7.466830e-03,7.404854e-03,7.327562e-03,7.313673e-03,7.250512e-03,7.173753e-03,7.161502e-03,7.097329e-03,7.021282e-03,7.010668e-03,6.945652e-03,6.870474e-03,6.861485e-03,6.795783e-03,6.721611e-03,6.714224e-03,6.647988e-03,6.574940e-03,6.569122e-03,6.502495e-03,6.430674e-03,6.426385e-03,6.359501e-03,6.288995e-03,6.286189e-03,6.219175e-03,6.150058e-03,6.148683e-03,6.081660e-03,6.013994e-03,5.882226e-03,5.753464e-03,5.627776e-03,5.505214e-03,5.385816e-03,5.269608e-03,5.156603e-03,5.046806e-03,4.940212e-03,4.836807e-03,4.736572e-03,4.639480e-03,4.545499e-03,4.454592e-03,4.366718e-03,4.281833e-03,4.199887e-03,4.120832e-03,4.044613e-03,3.971176e-03,3.900463e-03,3.832417e-03,3.766979e-03,3.704089e-03,3.643686e-03,3.585709e-03,3.530098e-03,3.476791e-03,3.425727e-03,3.376845e-03,3.330084e-03,3.285383e-03,3.242684e-03,3.201926e-03,3.163051e-03,3.126002e-03,3.090720e-03,3.057150e-03,3.025236e-03,2.994923e-03,2.966158e-03,2.938887e-03,2.913058e-03,2.888620e-03,2.865523e-03,2.843717e-03,2.823156e-03,2.803790e-03,2.785575e-03
0.000000e+00,1.445058e-07,2.780816e-06,2.916344e-06,2.184613e-05,8.843579e-05,9.285860e-05,2.545303e-04,4.815992e-04,4.976457e-04,7.762444e-04,1.033684e-03,1.055595e-03,1.319633e-03,1.539346e-03,1.562648e-03,1.783424e-03,1.959728e-03,1.982510e-03,2.161087e-03,2.299308e-03,2.320530e-03,2.462238e-03,2.568561e-03,2.587567e-03,2.697808e-03,2.777801e-03,2.794175e-03,2.877807e-03,2.936257e-03,2.949762e-03,3.011024e-03,3.051975e-03,3.062505e-03,3.105047e-03,3.131881e-03,3.139427e-03,3.166363e-03,3.181892e-03,3.186513e-03,3.200487e-03,3.207039e-03,3.208843e-03,3.212098e-03,3.211595e-03,3.210723e-03,3.205155e-03,3.199180e-03,3.195795e-03,3.183012e-03,3.172864e-03,3.167143e-03,3.148501e-03,3.135248e-03,3.127372e-03,3.104019e-03,3.088530e-03,3.078684e-03,3.051589e-03,3.034574e-03,3.022939e-03,2.992921e-03,2.974953e-03,2.961708e-03,2.929457e-03,2.910997e-03,2.896313e-03,2.862409e-03,2.843829e-03,2.827869e-03,2.792802e-03,2.774393e-03,2.757311e-03,2.721490e-03,2.703482e-03,2.685424e-03,2.649191e-03,2.631761e-03,2.612863e-03,2.576504e-03,2.559785e-03,2.540173e-03,2.503925e-03,2.488014e-03,2.467807e-03,2.431864e-03,2.416829e-03,2.396135e-03,2.360658e-03,2.346545e-03,2.325464e-03,2.290582e-03,2.277415e-03,2.256039e-03,2.221858e-03,2.209646e-03,2.188060e-03,2.154662e-03,2.143401e-03,2.121681e-03,2.089132e-03,2.078809e-03,2.057026e-03,2.025374e-03,2.015969e-03,1.994185e-03,1.963467e-03,1.954952e-03,1.933226e-03,1.903467e-03,1.895810e-03,1.874194e-03,1.845410e-03,1.838575e-03,1.817117e-03,1.789316e-03,1.783266e-03,1.762008e-03,1.735191e-03,1.729887e-03,1.708866e-03,1.683031e-03,1.678432e-03,1.657683e-03,1.632821e-03,1.628888e-03,1.608440e-03,1.584539e-03,1.581231e-03,1.561113e-03,1.538157e-03,1.535434e-03,1.515669e-03,1.493643e-03,1.491465e-03,1.472074e-03,1.450958e-03,1.449288e-03,1.430289e-03,1.410062e-03,1.408862e-03,1.390272e-03,1.370913e-03,1.370147e-03,1.351979e-03,1.333465e-03,1.333099e-03,1.315365e-03,1.297673e-03,1.263823e-03,1.231505e-03,1.200670e-03,1.171275e-03,1.143272e-03,1.116617e-03,1.091264e-03,1.067169e-03,1.044290e-03,1.022583e-03,1.002008e-03,9.825225e-04,9.640877e-04,9.466647e-04,9.302157e-04,9.147038e-04,9.000933e-04,8.863493e-04,8.734378e-04,8.613259e-04,8.499816e-04,8.393738e-04,8.294722e-04,8.202476e-04,8.116715e-04,8.037162e-04,7.963549e-04,7.895616e-04,7.833111e-04,7.775788e-04,7.723410e-04,7.675746e-04,7.632575e-04,7.593678e-04,7.558846e-04,7.527877e-04,7.500572e-04,7.476742e-04,7.456202e-04,7.438773e-04,7.424283e-04,7.412563e-04,7.403454e-04,7.396798e-04,7.392445e-04,7.390249e-04,7.390071e-04,7.391774e-04,7.395229e-04
0.000000e+00,2.221758e-07,4.420057e-06,4.637795e-06,3.615457e-05,1.564654e-04,1.648076e-04,4.896495e-04,9.993206e-04,1.037597e-03,1.750531e-03,2.491592e-03,2.558316e-03,3.406885e-03,4.174260e-03,4.258817e-03,5.089337e-03,5.789763e-03,5.882628e-03,6.629087e-03,7.229440e-03,7.323389e-03,7.963156e-03,8.458079e-03,8.547984e-03,9.078755e-03,9.474862e-03,9.557224e-03,9.985704e-03,1.029426e-02,1.036684e-02,1.070343e-02,1.093691e-02,1.099836e-02,1.125448e-02,1.142488e-02,1.147456e-02,1.166130e-02,1.177953e-02,1.181725e-02,1.194484e-02,1.202042e-02,1.204633e-02,1.212388e-02,1.216499e-02,1.217948e-02,1.221499e-02,1.222856e-02,1.223216e-02,1.223258e-02,1.222441e-02,1.221775e-02,1.218906e-02,1.216401e-02,1.214778e-02,1.209512e-02,1.205722e-02,1.203215e-02,1.195990e-02,1.191249e-02,1.187931e-02,1.179123e-02,1.173704e-02,1.169647e-02,1.159578e-02,1.153704e-02,1.148981e-02,1.137922e-02,1.131778e-02,1.126458e-02,1.114641e-02,1.108374e-02,1.102522e-02,1.090145e-02,1.083874e-02,1.077553e-02,1.064784e-02,1.058603e-02,1.051873e-02,1.038853e-02,1.032835e-02,1.025753e-02,1.012601e-02,1.006804e-02,9.994214e-03,9.862376e-03,9.807042e-03,9.730705e-03,9.599391e-03,9.547005e-03,9.468609e-03,9.338517e-03,9.289294e-03,9.209260e-03,9.080969e-03,9.035044e-03,8.953762e-03,8.827744e-03,8.785187e-03,8.703013e-03,8.579655e-03,8.540483e-03,8.457745e-03,8.337353e-03,8.301541e-03,8.218539e-03,8.101356e-03,8.068843e-03,7.985850e-03,7.872061e-03,7.842762e-03,7.760025e-03,7.649770e-03,7.623576e-03,7.541320e-03,7.434694e-03,7.411483e-03,7.329909e-03,7.226976e-03,7.206613e-03,7.125903e-03,7.026695e-03,7.009036e-03,6.929353e-03,6.833878e-03,6.818775e-03,6.740265e-03,6.648508e-03,6.635810e-03,6.558601e-03,6.470533e-03,6.460088e-03,6.384293e-03,6.299868e-03,6.291525e-03,6.217244e-03,6.136404e-03,6.130013e-03,6.057332e-03,5.980010e-03,5.975425e-03,5.904418e-03,5.830538e-03,5.827618e-03,5.758348e-03,5.687828e-03,5.686434e-03,5.618955e-03,5.551708e-03,5.423264e-03,5.300922e-03,5.184499e-03,5.073807e-03,4.968659e-03,4.868866e-03,4.774241e-03,4.684597e-03,4.599750e-03,4.519518e-03,4.443722e-03,4.372187e-03,4.304741e-03,4.241217e-03,4.181450e-03,4.125280e-03,4.072553e-03,4.023116e-03,3.976823e-03,3.933532e-03,3.893103e-03,3.855403e-03,3.820303e-03,3.787676e-03,3.757402e-03,3.729362e-03,3.703445e-03,3.679540e-03,3.657542e-03,3.637350e-03,3.618866e-03,3.601995e-03,3.586648e-03,3.572736e-03,3.560176e-03,3.548888e-03,3.538795e-03,3.529822e-03,3.521898e-03,3.514956e-03,3.508930e-03,3.503758e-03,3.499381e-03,3.495741e-03,3.492786e-03,3.490462e-03,3.488721e-03,3.487517e-03,3.486803e-03
0.000000e+00,6.456856e-08,1.140544e-06,1.194907e-06,8.164632e-06,2.790377e-05,2.905244e-05,6.344709e-05,9.933566e-05,1.016056e-04,1.382814e-04,1.697643e-04,1.723953e-04,2.038633e-04,2.299987e-04,2.327789e-04,2.592691e-04,2.806807e-04,2.834680e-04,3.055103e-04,3.228427e-04,3.255282e-04,3.436502e-04,3.574979e-04,3.599996e-04,3.746939e-04,3.855866e-04,3.878445e-04,3.995567e-04,4.079580e-04,4.099302e-04,4.190584e-04,4.253709e-04,4.270296e-04,4.339266e-04,4.384980e-04,4.398271e-04,4.448031e-04,4.479306e-04,4.489230e-04,4.522503e-04,4.541890e-04,4.548449e-04,4.567626e-04,4.577303e-04,4.580555e-04,4.587724e-04,4.589542e-04,4.589588e-04,4.586574e-04,4.582108e-04,4.579081e-04,4.567479e-04,4.558058e-04,4.552114e-04,4.533310e-04,4.520058e-04,4.511369e-04,4.486571e-04,4.470431e-04,4.459179e-04,4.429436e-04,4.411199e-04,4.397571e-04,4.363794e-04,4.344119e-04,4.328304e-04,4.291282e-04,4.270714e-04,4.252899e-04,4.213315e-04,4.192305e-04,4.172674e-04,4.131115e-04,4.110031e-04,4.088764e-04,4.045737e-04,4.024877e-04,4.002145e-04,3.958087e-04,3.937690e-04,3.913656e-04,3.868940e-04,3.849195e-04,3.824017e-04,3.778962e-04,3.760015e-04,3.733841e-04,3.688717e-04,3.670680e-04,3.643648e-04,3.598686e-04,3.581639e-04,3.553880e-04,3.509274e-04,3.493273e-04,3.464909e-04,3.420822e-04,3.405901e-04,3.377046e-04,3.333612e-04,3.319790e-04,3.290548e-04,3.247880e-04,3.235160e-04,3.205630e-04,3.163818e-04,3.152191e-04,3.122462e-04,3.081580e-04,3.071030e-04,3.041185e-04,3.001290e-04,2.991791e-04,2.961906e-04,2.923044e-04,2.914565e-04,2.884710e-04,2.846912e-04,2.839418e-04,2.809657e-04,2.772948e-04,2.766399e-04,2.736789e-04,2.701184e-04,2.695538e-04,2.666133e-04,2.631639e-04,2.626854e-04,2.597701e-04,2.564319e-04,2.560351e-04,2.531493e-04,2.499220e-04,2.496024e-04,2.467500e-04,2.436328e-04,2.433858e-04,2.405703e-04,2.375620e-04,2.373833e-04,2.346077e-04,2.317070e-04,2.315920e-04,2.288593e-04,2.260642e-04,2.260088e-04,2.233212e-04,2.206299e-04,2.154514e-04,2.104688e-04,2.056778e-04,2.010736e-04,1.966514e-04,1.924064e-04,1.883336e-04,1.844281e-04,1.806849e-04,1.770992e-04,1.736660e-04,1.703805e-04,1.672379e-04,1.642337e-04,1.613630e-04,1.586216e-04,1.560048e-04,1.535085e-04,1.511283e-04,1.488602e-04,1.467001e-04,1.446441e-04,1.426885e-04,1.408295e-04,1.390635e-04,1.373871e-04,1.357969e-04,1.342895e-04,1.328617e-04,1.315106e-04,1.302330e-04,1.290262e-04,1.278872e-04,1.268133e-04,1.258020e-04,1.248507e-04,1.239568e-04,1.231181e-04,1.223322e-04,1.215968e-04,1.209099e-04,1.202693e-04,1.196731e-04,1.191192e-04,1.186058e-04,1.181312e-04,1.176934e-04,1.172909e-04,1.169220e-04
0.000000e+00,7.670696e-10,1.025452e-08,1.071110e-08,6.851496e-08,2.447418e-07,2.556382e-07,6.102030e-07,1.018392e-06,1.044890e-06,1.478186e-06,1.853676e-06,1.885097e-06,2.260849e-06,2.572489e-06,2.605605e-06,2.920736e-06,3.174860e-06,3.207898e-06,3.468757e-06,3.673280e-06,3.704909e-06,3.917827e-06,4.079800e-06,4.108981e-06,4.279791e-06,4.405631e-06,4.431618e-06,4.565756e-06,4.661160e-06,4.683436e-06,4.785825e-06,4.855784e-06,4.874025e-06,4.949074e-06,4.997921e-06,5.011951e-06,5.063574e-06,5.095039e-06,5.104805e-06,5.136450e-06,5.153726e-06,5.159266e-06,5.173959e-06,5.179766e-06,5.181189e-06,5.181573e-06,5.178218e-06,5.175685e-06,5.164063e-06,5.153496e-06,5.147207e-06,5.125583e-06,5.109443e-06,5.099625e-06,5.069736e-06,5.049398e-06,5.036293e-06,4.999646e-06,4.976254e-06,4.960117e-06,4.918010e-06,4.892518e-06,4.873605e-06,4.827160e-06,4.800351e-06,4.778917e-06,4.729099e-06,4.701616e-06,4.677913e-06,4.625550e-06,4.597915e-06,4.572187e-06,4.517986e-06,4.490620e-06,4.463100e-06,4.407666e-06,4.380901e-06,4.351813e-06,4.295659e-06,4.269757e-06,4.239312e-06,4.182872e-06,4.158033e-06,4.126430e-06,4.070069e-06,4.046441e-06,4.013867e-06,3.957892e-06,3.935580e-06,3.902209e-06,3.846874e-06,3.825950e-06,3.791941e-06,3.737456e-06,3.717960e-06,3.683463e-06,3.630000e-06,3.611949e-06,3.577100e-06,3.524795e-06,3.508188e-06,3.473112e-06,3.422075e-06,3.406893e-06,3.371705e-06,3.322020e-06,3.308233e-06,3.273036e-06,3.224767e-06,3.212336e-06,3.177224e-06,3.130415e-06,3.119291e-06,3.084349e-06,3.039031e-06,3.029162e-06,2.994465e-06,2.950655e-06,2.941983e-06,2.907601e-06,2.865303e-06,2.857770e-06,2.823761e-06,2.782973e-06,2.776516e-06,2.742935e-06,2.703645e-06,2.698204e-06,2.665098e-06,2.627288e-06,2.622800e-06,2.590210e-06,2.553857e-06,2.550261e-06,2.518222e-06,2.483299e-06,2.480535e-06,2.449079e-06,2.415554e-06,2.413564e-06,2.382716e-06,2.350556e-06,2.349284e-06,2.319066e-06,2.288235e-06,2.287625e-06,2.258055e-06,2.228516e-06,2.171883e-06,2.117650e-06,2.065740e-06,2.016076e-06,1.968581e-06,1.923178e-06,1.879792e-06,1.838348e-06,1.798774e-06,1.760996e-06,1.724946e-06,1.690555e-06,1.657757e-06,1.626487e-06,1.596683e-06,1.568284e-06,1.541231e-06,1.515468e-06,1.490940e-06,1.467595e-06,1.445382e-06,1.424252e-06,1.404158e-06,1.385054e-06,1.366898e-06,1.349647e-06,1.333262e-06,1.317703e-06,1.302935e-06,1.288921e-06,1.275628e-06,1.263023e-06,1.251075e-06,1.239754e-06,1.229032e-06,1.218881e-06,1.209275e-06,1.200188e-06,1.191598e-06,1.183480e-06,1.175813e-06,1.168576e-06,1.161749e-06,1.155312e-06,1.149248e-06,1.143537e-06,1.138165e-06,1.133114e-06,1.128369e-06
0.000000e+00,9.984551e-08,1.852841e-06,1.942079e-06,1.417218e-05,5.536523e-05,5.802147e-05,1.496205e-04,2.658213e-04,2.736779e-04,4.055547e-04,5.227085e-04,5.325610e-04,6.505150e-04,7.481914e-04,7.585506e-04,8.568656e-04,9.357380e-04,9.459615e-04,1.026412e-03,1.089128e-03,1.098798e-03,1.163685e-03,1.212794e-03,1.221617e-03,1.273112e-03,1.310878e-03,1.318659e-03,1.358721e-03,1.387112e-03,1.393729e-03,1.424088e-03,1.444783e-03,1.450174e-03,1.472339e-03,1.486764e-03,1.490909e-03,1.506185e-03,1.515532e-03,1.518444e-03,1.527946e-03,1.533214e-03,1.534928e-03,1.539611e-03,1.541631e-03,1.542198e-03,1.542878e-03,1.542339e-03,1.541822e-03,1.539191e-03,1.536664e-03,1.535133e-03,1.529783e-03,1.525740e-03,1.523267e-03,1.515699e-03,1.510526e-03,1.507186e-03,1.497825e-03,1.491839e-03,1.487706e-03,1.476913e-03,1.470374e-03,1.465521e-03,1.453601e-03,1.446719e-03,1.441216e-03,1.428426e-03,1.421370e-03,1.415285e-03,1.401842e-03,1.394748e-03,1.388144e-03,1.374233e-03,1.367209e-03,1.360146e-03,1.345919e-03,1.339050e-03,1.331584e-03,1.317171e-03,1.310521e-03,1.302705e-03,1.288212e-03,1.281833e-03,1.273714e-03,1.259232e-03,1.253158e-03,1.244783e-03,1.230385e-03,1.224643e-03,1.216052e-03,1.201799e-03,1.196407e-03,1.187638e-03,1.173581e-03,1.168547e-03,1.159636e-03,1.145814e-03,1.141144e-03,1.132123e-03,1.118569e-03,1.114262e-03,1.105160e-03,1.091900e-03,1.087953e-03,1.078796e-03,1.065850e-03,1.062255e-03,1.053068e-03,1.040452e-03,1.037199e-03,1.028005e-03,1.015729e-03,1.012809e-03,1.003627e-03,9.916994e-04,9.890990e-04,9.799480e-04,9.683736e-04,9.660800e-04,9.569766e-04,9.457576e-04,9.437571e-04,9.347165e-04,9.238532e-04,9.221316e-04,9.131674e-04,9.026587e-04,9.012015e-04,8.923262e-04,8.821692e-04,8.809621e-04,8.721867e-04,8.623777e-04,8.614063e-04,8.527409e-04,8.432750e-04,8.425251e-04,8.339787e-04,8.248505e-04,8.243081e-04,8.158888e-04,8.070921e-04,8.067436e-04,7.984586e-04,7.899867e-04,7.898189e-04,7.816746e-04,7.735206e-04,7.578345e-04,7.427463e-04,7.282412e-04,7.143040e-04,7.009199e-04,6.880735e-04,6.757498e-04,6.639338e-04,6.526106e-04,6.417655e-04,6.313840e-04,6.214517e-04,6.119546e-04,6.028788e-04,5.942109e-04,5.859375e-04,5.780456e-04,5.705226e-04,5.633560e-04,5.565336e-04,5.500438e-04,5.438748e-04,5.380154e-04,5.324547e-04,5.271819e-04,5.221866e-04,5.174586e-04,5.129881e-04,5.087655e-04,5.047813e-04,5.010265e-04,4.974921e-04,4.941697e-04,4.910507e-04,4.881272e-04,4.853911e-04,4.828348e-04,4.804508e-04,4.782320e-04,4.761712e-04,4.742617e-04,4.724968e-04,4.708702e-04,4.693756e-04,4.680070e-04,4.667585e-04,4.656246e-04,4.645996e-04,4.636785e-04
0.000000e+00,3.384143e-04,6.713713e-03,7.042928e-03,5.429007e-02,2.342849e-01,2.468360e-01,7.484558e-01,1.588170e+00,1.653473e+00,2.914047e+00,4.294936e+00,4.422155e+00,6.075206e+00,7.618486e+00,7.790963e+00,9.506989e+00,1.098051e+01,1.117736e+01,1.276935e+01,1.405853e+01,1.426064e+01,1.563702e+01,1.669838e+01,1.689050e+01,1.801787e+01,1.884837e+01,1.901948e+01,1.989829e+01,2.051612e+01,2.065912e+01,2.130808e+01,2.174103e+01,2.185207e+01,2.229845e+01,2.257704e+01,2.265474e+01,2.292846e+01,2.308217e+01,2.312694e+01,2.325723e+01,2.331257e+01,2.332600e+01,2.333953e+01,2.331928e+01,2.330367e+01,2.322383e+01,2.314697e+01,2.310499e+01,2.295171e+01,2.283374e+01,2.276819e+01,2.255821e+01,2.241157e+01,2.232526e+01,2.207245e+01,2.190698e+01,2.180259e+01,2.151820e+01,2.134155e+01,2.122156e+01,2.091469e+01,2.073276e+01,2.059943e+01,2.027739e+01,2.009464e+01,1.995004e+01,1.961867e+01,1.943848e+01,1.928446e+01,1.894843e+01,1.877330e+01,1.861153e+01,1.827458e+01,1.810632e+01,1.793832e+01,1.760342e+01,1.744332e+01,1.727046e+01,1.693996e+01,1.678888e+01,1.661239e+01,1.628816e+01,1.614665e+01,1.596764e+01,1.565115e+01,1.551950e+01,1.533898e+01,1.503138e+01,1.490966e+01,1.472855e+01,1.443071e+01,1.431886e+01,1.413799e+01,1.385056e+01,1.374839e+01,1.356852e+01,1.329197e+01,1.319921e+01,1.302100e+01,1.275567e+01,1.267197e+01,1.249604e+01,1.224213e+01,1.216708e+01,1.199398e+01,1.175160e+01,1.168476e+01,1.151499e+01,1.128414e+01,1.122506e+01,1.105905e+01,1.083969e+01,1.078789e+01,1.062604e+01,1.041806e+01,1.037306e+01,1.021571e+01,1.001895e+01,9.980266e+00,9.827733e+00,9.642003e+00,9.609150e+00,9.461704e+00,9.286777e+00,9.259283e+00,9.117161e+00,8.952790e+00,8.930193e+00,8.793598e+00,8.639515e+00,8.621365e+00,8.490472e+00,8.346396e+00,8.332259e+00,8.207213e+00,8.072849e+00,8.062306e+00,7.943229e+00,7.818275e+00,7.810924e+00,7.697910e+00,7.582058e+00,7.577516e+00,7.470638e+00,7.363573e+00,7.361476e+00,7.260784e+00,7.162191e+00,6.979042e+00,6.811411e+00,6.658675e+00,6.520212e+00,6.395401e+00,6.283621e+00,6.184254e+00,6.096682e+00,6.020291e+00,5.954472e+00,5.898619e+00,5.852130e+00,5.814409e+00,5.784868e+00,5.762925e+00,5.748010e+00,5.739561e+00,5.737027e+00,5.739872e+00,5.747572e+00,5.759620e+00,5.775525e+00,5.794814e+00,5.817034e+00,5.841749e+00,5.868549e+00,5.897041e+00,5.926858e+00,5.957654e+00,5.989108e+00,6.020921e+00,6.052818e+00,6.084549e+00,6.115885e+00,6.146623e+00,6.176580e+00,6.205595e+00,6.233531e+00,6.260267e+00,6.285704e+00,6.309762e+00,6.332376e+00,6.353500e+00,6.373101e+00,6.391161e+00,6.407674e+00,6.422649e+00,6.436101e+00,6.448058e+00
0.000000e+00,1.277120e-08,2.197972e-07,2.304378e-07,1.653855e-06,5.963164e-06,6.220697e-06,1.399325e-05,2.188936e-05,2.237649e-05,3.001949e-05,3.621522e-05,3.671690e-05,4.251691e-05,4.704263e-05,4.750790e-05,5.177829e-05,5.500475e-05,5.540917e-05,5.847331e-05,6.070496e-05,6.103572e-05,6.315427e-05,6.462873e-05,6.488054e-05,6.626086e-05,6.716363e-05,6.733645e-05,6.814415e-05,6.861955e-05,6.871670e-05,6.908323e-05,6.924287e-05,6.926963e-05,6.929885e-05,6.922856e-05,6.919126e-05,6.896488e-05,6.873035e-05,6.863568e-05,6.821778e-05,6.786903e-05,6.772365e-05,6.716431e-05,6.673924e-05,6.654950e-05,6.588781e-05,6.541497e-05,6.518679e-05,6.445311e-05,6.395388e-05,6.369265e-05,6.291056e-05,6.240079e-05,6.211138e-05,6.129909e-05,6.079044e-05,6.047718e-05,5.964871e-05,5.914960e-05,5.881635e-05,5.798243e-05,5.749885e-05,5.714898e-05,5.631778e-05,5.585386e-05,5.549035e-05,5.466801e-05,5.422648e-05,5.385192e-05,5.304304e-05,5.262556e-05,5.224222e-05,5.145017e-05,5.105763e-05,5.066750e-05,4.989469e-05,4.952738e-05,4.913218e-05,4.838030e-05,4.803808e-05,4.763932e-05,4.690947e-05,4.659190e-05,4.619089e-05,4.548373e-05,4.519014e-05,4.478804e-05,4.410389e-05,4.383346e-05,4.343127e-05,4.277019e-05,4.252200e-05,4.212061e-05,4.148247e-05,4.125553e-05,4.085570e-05,4.024022e-05,4.003351e-05,3.963592e-05,3.904270e-05,3.885519e-05,3.846044e-05,3.788901e-05,3.771968e-05,3.732828e-05,3.677811e-05,3.662593e-05,3.623835e-05,3.570887e-05,3.557286e-05,3.518950e-05,3.468009e-05,3.455930e-05,3.418051e-05,3.369058e-05,3.358407e-05,3.321015e-05,3.273908e-05,3.264597e-05,3.227720e-05,3.182435e-05,3.174379e-05,3.138039e-05,3.094517e-05,3.087633e-05,3.051852e-05,3.010030e-05,3.004241e-05,2.969036e-05,2.928856e-05,2.924088e-05,2.889473e-05,2.850875e-05,2.847058e-05,2.813047e-05,2.775975e-05,2.773042e-05,2.739645e-05,2.704043e-05,2.701929e-05,2.669155e-05,2.634970e-05,2.633616e-05,2.601472e-05,2.568650e-05,2.568001e-05,2.536491e-05,2.504983e-05,2.444467e-05,2.386361e-05,2.330574e-05,2.277021e-05,2.225616e-05,2.176281e-05,2.128936e-05,2.083507e-05,2.039921e-05,1.998109e-05,1.958002e-05,1.919537e-05,1.882651e-05,1.847283e-05,1.813376e-05,1.780873e-05,1.749722e-05,1.719869e-05,1.691267e-05,1.663865e-05,1.637618e-05,1.612482e-05,1.588414e-05,1.565373e-05,1.543318e-05,1.522211e-05,1.502016e-05,1.482698e-05,1.464222e-05,1.446555e-05,1.429666e-05,1.413525e-05,1.398102e-05,1.383369e-05,1.369299e-05,1.355866e-05,1.343045e-05,1.330811e-05,1.319142e-05,1.308015e-05,1.297409e-05,1.287303e-05,1.277676e-05,1.268511e-05,1.259788e-05,1.251490e-05,1.243599e-05,1.236100e-05,1.228976e-05
0.000000e+00,1.744771e-08,3.102232e-07,3.251869e-07,2.251272e-06,7.685111e-06,8.000206e-06,1.731748e-05,2.662198e-05,2.719263e-05,3.609561e-05,4.324109e-05,4.381674e-05,5.043795e-05,5.555710e-05,5.608077e-05,6.086218e-05,6.444123e-05,6.488756e-05,6.825044e-05,7.067600e-05,7.103355e-05,7.330989e-05,7.487770e-05,7.514382e-05,7.659200e-05,7.752679e-05,7.770424e-05,7.852430e-05,7.899597e-05,7.909060e-05,7.943678e-05,7.957311e-05,7.959235e-05,7.958313e-05,7.947995e-05,7.943177e-05,7.915805e-05,7.888695e-05,7.877923e-05,7.831038e-05,7.792457e-05,7.776475e-05,7.715392e-05,7.669301e-05,7.648799e-05,7.577576e-05,7.526901e-05,7.502502e-05,7.424258e-05,7.371170e-05,7.343432e-05,7.260529e-05,7.206590e-05,7.175996e-05,7.090219e-05,7.036562e-05,7.003535e-05,6.916244e-05,6.863687e-05,6.828602e-05,6.740823e-05,6.689925e-05,6.653098e-05,6.565593e-05,6.516740e-05,6.478449e-05,6.391787e-05,6.345227e-05,6.305710e-05,6.220307e-05,6.176190e-05,6.135656e-05,6.051820e-05,6.010225e-05,5.968855e-05,5.886805e-05,5.847758e-05,5.805708e-05,5.725596e-05,5.689082e-05,5.646492e-05,5.568417e-05,5.534394e-05,5.491386e-05,5.415410e-05,5.383818e-05,5.340499e-05,5.266657e-05,5.237420e-05,5.193886e-05,5.122187e-05,5.095222e-05,5.051558e-05,4.981996e-05,4.957213e-05,4.913495e-05,4.846050e-05,4.823358e-05,4.779653e-05,4.714297e-05,4.693601e-05,4.649972e-05,4.586669e-05,4.567876e-05,4.524378e-05,4.463088e-05,4.446105e-05,4.402789e-05,4.343468e-05,4.328203e-05,4.285114e-05,4.227715e-05,4.214081e-05,4.171260e-05,4.115737e-05,4.103645e-05,4.061132e-05,4.007434e-05,3.996802e-05,3.954631e-05,3.902710e-05,3.893456e-05,3.851658e-05,3.801465e-05,3.793513e-05,3.752117e-05,3.703602e-05,3.696875e-05,3.655908e-05,3.609024e-05,3.603451e-05,3.562937e-05,3.517635e-05,3.513148e-05,3.473108e-05,3.429342e-05,3.425874e-05,3.386328e-05,3.344053e-05,3.341539e-05,3.302506e-05,3.261676e-05,3.260058e-05,3.221553e-05,3.182125e-05,3.181343e-05,3.143382e-05,3.105313e-05,3.031884e-05,2.960978e-05,2.892518e-05,2.826427e-05,2.762634e-05,2.701067e-05,2.641656e-05,2.584335e-05,2.529038e-05,2.475702e-05,2.424265e-05,2.374668e-05,2.326852e-05,2.280760e-05,2.236340e-05,2.193537e-05,2.152299e-05,2.112578e-05,2.074325e-05,2.037492e-05,2.002035e-05,1.967908e-05,1.935070e-05,1.903478e-05,1.873093e-05,1.843876e-05,1.815788e-05,1.788793e-05,1.762855e-05,1.737940e-05,1.714014e-05,1.691046e-05,1.669003e-05,1.647855e-05,1.627572e-05,1.608127e-05,1.589490e-05,1.571636e-05,1.554538e-05,1.538170e-05,1.522510e-05,1.507531e-05,1.493213e-05,1.479531e-05,1.466465e-05,1.453994e-05,1.442097e-05,1.430754e-05,1.419947e-05
0.000000e+00,1.653309e-08,2.339407e-07,2.444272e-07,1.522567e-06,5.017757e-06,5.220414e-06,1.133115e-05,1.781031e-05,1.822348e-05,2.495430e-05,3.081639e-05,3.130996e-05,3.726032e-05,4.227387e-05,4.281136e-05,4.797667e-05,5.221543e-05,5.277185e-05,5.721309e-05,6.076197e-05,6.131677e-05,6.509917e-05,6.803982e-05,6.857629e-05,7.176375e-05,7.417195e-05,7.467668e-05,7.732969e-05,7.927443e-05,7.973685e-05,8.191164e-05,8.345500e-05,8.386698e-05,8.561524e-05,8.681271e-05,8.716823e-05,8.853722e-05,8.943815e-05,8.973296e-05,9.076571e-05,9.141386e-05,9.164522e-05,9.238080e-05,9.281482e-05,9.298130e-05,9.345512e-05,9.370906e-05,9.381026e-05,9.405433e-05,9.415810e-05,9.419456e-05,9.423781e-05,9.421762e-05,9.419060e-05,9.405910e-05,9.393782e-05,9.384918e-05,9.356640e-05,9.336397e-05,9.321605e-05,9.280311e-05,9.253680e-05,9.233231e-05,9.180813e-05,9.149286e-05,9.123480e-05,9.061635e-05,9.026497e-05,8.995656e-05,8.925901e-05,8.888250e-05,8.852709e-05,8.776400e-05,8.737171e-05,8.697274e-05,8.615618e-05,8.575603e-05,8.531699e-05,8.445770e-05,8.405633e-05,8.358068e-05,8.268819e-05,8.229114e-05,8.178233e-05,8.086508e-05,8.047689e-05,7.993831e-05,7.900375e-05,7.862812e-05,7.806305e-05,7.711774e-05,7.675762e-05,7.616926e-05,7.521896e-05,7.487665e-05,7.426808e-05,7.331781e-05,7.299505e-05,7.236924e-05,7.142337e-05,7.112143e-05,7.048117e-05,6.954350e-05,6.926321e-05,6.861119e-05,6.768498e-05,6.742683e-05,6.676558e-05,6.585362e-05,6.561780e-05,6.494970e-05,6.405436e-05,6.384081e-05,6.316809e-05,6.229135e-05,6.209979e-05,6.142455e-05,6.056806e-05,6.039803e-05,5.972222e-05,5.888732e-05,5.873823e-05,5.806365e-05,5.725143e-05,5.712256e-05,5.645088e-05,5.566218e-05,5.555272e-05,5.488549e-05,5.412093e-05,5.403001e-05,5.336863e-05,5.262866e-05,5.255534e-05,5.190110e-05,5.118600e-05,5.112933e-05,5.048340e-05,4.979330e-05,4.975229e-05,4.911572e-05,4.845063e-05,4.842429e-05,4.779802e-05,4.715785e-05,4.714517e-05,4.653006e-05,4.591460e-05,4.473207e-05,4.359694e-05,4.250844e-05,4.146570e-05,4.046778e-05,3.951365e-05,3.860224e-05,3.773242e-05,3.690303e-05,3.611290e-05,3.536080e-05,3.464553e-05,3.396587e-05,3.332061e-05,3.270852e-05,3.212842e-05,3.157911e-05,3.105942e-05,3.056821e-05,3.010434e-05,2.966671e-05,2.925424e-05,2.886588e-05,2.850060e-05,2.815739e-05,2.783530e-05,2.753338e-05,2.725072e-05,2.698644e-05,2.673968e-05,2.650961e-05,2.629545e-05,2.609642e-05,2.591179e-05,2.574083e-05,2.558287e-05,2.543725e-05,2.530333e-05,2.518050e-05,2.506818e-05,2.496580e-05,2.487284e-05,2.478877e-05,2.471311e-05,2.464537e-05,2.458511e-05,2.453190e-05,2.448533e-05,2.444499e-05
0.000000e+00,1.315950e-07,2.916790e-06,3.068443e-06,2.635242e-05,1.153969e-04,1.213987e-04,3.375833e-04,6.289788e-04,6.492218e-04,9.959989e-04,1.308476e-03,1.334627e-03,1.642334e-03,1.884880e-03,1.909710e-03,2.134883e-03,2.299683e-03,2.319879e-03,2.468515e-03,2.570643e-03,2.585229e-03,2.674467e-03,2.731237e-03,2.740373e-03,2.786663e-03,2.812282e-03,2.816594e-03,2.832968e-03,2.837923e-03,2.838172e-03,2.834222e-03,2.825885e-03,2.822810e-03,2.805348e-03,2.788762e-03,2.783013e-03,2.756781e-03,2.735345e-03,2.727466e-03,2.695737e-03,2.671714e-03,2.662150e-03,2.627161e-03,2.602039e-03,2.591146e-03,2.554417e-03,2.529164e-03,2.517226e-03,2.479783e-03,2.455017e-03,2.442258e-03,2.404790e-03,2.380894e-03,2.367493e-03,2.330460e-03,2.307664e-03,2.293764e-03,2.257466e-03,2.235898e-03,2.221614e-03,2.186245e-03,2.165965e-03,2.151390e-03,2.117072e-03,2.098095e-03,2.083308e-03,2.050111e-03,2.032423e-03,2.017489e-03,1.985449e-03,1.969018e-03,1.953993e-03,1.923122e-03,1.907907e-03,1.892837e-03,1.863133e-03,1.849081e-03,1.834009e-03,1.805458e-03,1.792516e-03,1.777476e-03,1.750057e-03,1.738170e-03,1.723194e-03,1.696880e-03,1.685990e-03,1.671108e-03,1.645870e-03,1.635922e-03,1.621158e-03,1.596964e-03,1.587904e-03,1.573280e-03,1.550097e-03,1.541873e-03,1.527408e-03,1.505205e-03,1.497765e-03,1.483478e-03,1.462220e-03,1.455515e-03,1.441422e-03,1.421077e-03,1.415060e-03,1.401176e-03,1.381710e-03,1.376337e-03,1.362673e-03,1.344056e-03,1.339283e-03,1.325851e-03,1.308050e-03,1.303837e-03,1.290647e-03,1.273633e-03,1.269941e-03,1.257000e-03,1.240743e-03,1.237536e-03,1.224853e-03,1.209323e-03,1.206565e-03,1.194146e-03,1.179315e-03,1.176974e-03,1.164824e-03,1.150666e-03,1.148710e-03,1.136834e-03,1.123322e-03,1.121722e-03,1.110123e-03,1.097232e-03,1.095959e-03,1.084641e-03,1.072345e-03,1.071374e-03,1.060338e-03,1.048614e-03,1.047919e-03,1.037167e-03,1.025992e-03,1.025550e-03,1.015082e-03,1.004434e-03,1.004223e-03,9.940404e-04,9.838970e-04,9.645302e-04,9.460839e-04,9.285205e-04,9.118035e-04,8.958978e-04,8.807698e-04,8.663868e-04,8.527175e-04,8.397317e-04,8.274002e-04,8.156950e-04,8.045893e-04,7.940570e-04,7.840733e-04,7.746139e-04,7.656560e-04,7.571771e-04,7.491560e-04,7.415721e-04,7.344056e-04,7.276376e-04,7.212497e-04,7.152244e-04,7.095449e-04,7.041949e-04,6.991590e-04,6.944222e-04,6.899702e-04,6.857891e-04,6.818659e-04,6.781877e-04,6.747426e-04,6.715188e-04,6.685051e-04,6.656909e-04,6.630659e-04,6.606203e-04,6.583447e-04,6.562300e-04,6.542676e-04,6.524493e-04,6.507672e-04,6.492138e-04,6.477818e-04,6.464644e-04,6.452550e-04,6.441472e-04,6.431352e-04,6.422132e-04
0.000000e+00,2.311335e-06,4.303777e-05,4.507311e-05,3.204611e-04,1.313911e-03,1.382455e-03,4.146194e-03,9.005522e-03,9.396144e-03,1.721898e-02,2.622174e-02,2.706674e-02,3.821097e-02,4.881023e-02,5.000296e-02,6.193284e-02,7.224122e-02,7.362122e-02,8.479666e-02,9.385384e-02,9.527349e-02,1.049328e-01,1.123641e-01,1.137069e-01,1.215671e-01,1.273299e-01,1.285135e-01,1.345674e-01,1.387917e-01,1.397647e-01,1.441519e-01,1.470450e-01,1.477813e-01,1.507093e-01,1.525006e-01,1.529931e-01,1.546898e-01,1.556003e-01,1.558553e-01,1.565429e-01,1.567706e-01,1.568033e-01,1.566839e-01,1.563982e-01,1.562289e-01,1.554791e-01,1.548199e-01,1.544716e-01,1.532405e-01,1.523206e-01,1.518166e-01,1.502278e-01,1.491361e-01,1.484991e-01,1.466529e-01,1.454580e-01,1.447090e-01,1.426854e-01,1.414395e-01,1.405976e-01,1.384596e-01,1.372014e-01,1.362836e-01,1.340803e-01,1.328381e-01,1.318591e-01,1.296282e-01,1.284220e-01,1.273946e-01,1.251647e-01,1.240083e-01,1.229437e-01,1.207361e-01,1.196387e-01,1.185461e-01,1.163770e-01,1.153440e-01,1.142316e-01,1.121124e-01,1.111470e-01,1.100216e-01,1.079608e-01,1.070639e-01,1.059315e-01,1.039350e-01,1.031065e-01,1.019722e-01,1.000440e-01,9.928256e-02,9.815103e-02,9.629376e-02,9.559745e-02,9.447260e-02,9.268785e-02,9.205429e-02,9.093968e-02,8.922822e-02,8.865470e-02,8.755351e-02,8.591552e-02,8.539911e-02,8.431419e-02,8.274940e-02,8.228707e-02,8.122099e-02,7.972876e-02,7.931739e-02,7.827249e-02,7.685191e-02,7.648837e-02,7.546675e-02,7.411670e-02,7.379787e-02,7.280143e-02,7.152060e-02,7.124340e-02,7.027384e-02,6.906079e-02,6.882218e-02,6.788103e-02,6.673417e-02,6.653120e-02,6.561980e-02,6.453749e-02,6.436726e-02,6.348680e-02,6.246728e-02,6.232701e-02,6.147849e-02,6.051997e-02,6.040696e-02,5.959124e-02,5.869184e-02,5.860350e-02,5.782129e-02,5.697911e-02,5.691295e-02,5.616481e-02,5.537790e-02,5.533154e-02,5.461788e-02,5.388427e-02,5.385547e-02,5.317656e-02,5.249426e-02,5.248087e-02,5.183686e-02,5.120386e-02,5.002052e-02,4.892696e-02,4.791927e-02,4.699354e-02,4.614592e-02,4.537257e-02,4.466968e-02,4.403350e-02,4.346034e-02,4.294656e-02,4.248860e-02,4.208296e-02,4.172625e-02,4.141513e-02,4.114638e-02,4.091688e-02,4.072359e-02,4.056359e-02,4.043409e-02,4.033237e-02,4.025586e-02,4.020211e-02,4.016877e-02,4.015362e-02,4.015457e-02,4.016963e-02,4.019696e-02,4.023481e-02,4.028157e-02,4.033572e-02,4.039589e-02,4.046079e-02,4.052924e-02,4.060018e-02,4.067264e-02,4.074573e-02,4.081868e-02,4.089079e-02,4.096144e-02,4.103009e-02,4.109628e-02,4.115962e-02,4.121978e-02,4.127647e-02,4.132949e-02,4.137867e-02,4.142389e-02,4.146507e-02,4.150217e-02
0.000000e+00,1.651955e-07,3.163808e-06,3.314920e-06,2.351551e-05,9.274378e-05,9.738514e-05,2.772686e-04,5.774870e-04,6.011668e-04,1.067567e-03,1.590227e-03,1.638559e-03,2.264078e-03,2.838467e-03,2.901872e-03,3.522868e-03,4.041036e-03,4.109174e-03,4.650831e-03,5.077264e-03,5.143140e-03,5.584771e-03,5.917096e-03,5.976489e-03,6.320310e-03,6.568393e-03,6.618949e-03,6.875472e-03,7.052508e-03,7.093066e-03,7.274899e-03,7.393882e-03,7.424038e-03,7.543398e-03,7.615884e-03,7.635713e-03,7.703533e-03,7.739344e-03,7.749217e-03,7.774941e-03,7.782233e-03,7.782706e-03,7.774346e-03,7.759806e-03,7.751543e-03,7.715834e-03,7.684902e-03,7.668624e-03,7.611197e-03,7.568273e-03,7.544727e-03,7.470281e-03,7.418904e-03,7.388834e-03,7.301275e-03,7.244279e-03,7.208418e-03,7.111001e-03,7.050646e-03,7.009699e-03,6.905123e-03,6.843191e-03,6.797831e-03,6.688331e-03,6.626220e-03,6.577083e-03,6.464503e-03,6.403291e-03,6.350969e-03,6.236822e-03,6.177326e-03,6.122370e-03,6.007891e-03,5.950720e-03,5.893634e-03,5.779824e-03,5.725413e-03,5.666660e-03,5.554322e-03,5.502969e-03,5.442970e-03,5.332745e-03,5.284636e-03,5.223772e-03,5.116161e-03,5.071394e-03,5.010009e-03,4.905399e-03,4.864003e-03,4.802404e-03,4.701087e-03,4.663037e-03,4.601499e-03,4.503685e-03,4.468914e-03,4.407681e-03,4.313515e-03,4.281921e-03,4.221209e-03,4.130778e-03,4.102239e-03,4.042235e-03,3.955584e-03,3.929958e-03,3.870827e-03,3.787962e-03,3.765098e-03,3.706983e-03,3.627880e-03,3.607619e-03,3.550641e-03,3.475252e-03,3.457432e-03,3.401695e-03,3.329952e-03,3.314410e-03,3.260002e-03,3.191822e-03,3.178397e-03,3.125390e-03,3.060680e-03,3.049213e-03,2.997667e-03,2.936323e-03,2.926661e-03,2.876621e-03,2.818535e-03,2.810530e-03,2.762034e-03,2.707090e-03,2.700600e-03,2.653675e-03,2.601758e-03,2.596648e-03,2.551311e-03,2.502304e-03,2.498445e-03,2.454708e-03,2.408493e-03,2.405764e-03,2.363630e-03,2.320091e-03,2.318376e-03,2.277845e-03,2.236864e-03,2.236057e-03,2.197121e-03,2.158587e-03,2.085749e-03,2.017332e-03,1.953131e-03,1.892949e-03,1.836592e-03,1.783876e-03,1.734622e-03,1.688658e-03,1.645821e-03,1.605951e-03,1.568897e-03,1.534515e-03,1.502664e-03,1.473213e-03,1.446033e-03,1.421005e-03,1.398013e-03,1.376944e-03,1.357695e-03,1.340164e-03,1.324255e-03,1.309877e-03,1.296941e-03,1.285366e-03,1.275070e-03,1.265979e-03,1.258019e-03,1.251123e-03,1.245224e-03,1.240259e-03,1.236169e-03,1.232897e-03,1.230388e-03,1.228592e-03,1.227458e-03,1.226940e-03,1.226994e-03,1.227576e-03,1.228646e-03,1.230166e-03,1.232099e-03,1.234411e-03,1.237068e-03,1.240039e-03,1.243294e-03,1.246806e-03,1.250547e-03,1.254492e-03,1.258617e-03
0.000000e+00,9.864395e-08,2.174659e-06,2.285834e-06,1.849521e-05,7.733564e-05,8.128436e-05,2.282570e-04,4.438830e-04,4.595529e-04,7.405808e-04,1.014023e-03,1.037824e-03,1.329922e-03,1.578609e-03,1.605183e-03,1.857969e-03,2.060106e-03,2.086176e-03,2.289672e-03,2.445611e-03,2.469391e-03,2.626796e-03,2.743008e-03,2.763580e-03,2.881499e-03,2.965323e-03,2.982272e-03,3.067536e-03,3.125611e-03,3.138819e-03,3.197532e-03,3.235437e-03,3.244966e-03,3.282298e-03,3.304574e-03,3.310594e-03,3.330821e-03,3.341111e-03,3.343852e-03,3.350473e-03,3.351673e-03,3.351395e-03,3.347256e-03,3.341659e-03,3.338633e-03,3.326043e-03,3.315455e-03,3.309951e-03,3.290777e-03,3.276618e-03,3.268897e-03,3.244650e-03,3.228032e-03,3.218341e-03,3.190243e-03,3.172033e-03,3.160603e-03,3.129640e-03,3.110511e-03,3.097554e-03,3.064522e-03,3.044993e-03,3.030704e-03,2.996243e-03,2.976713e-03,2.961268e-03,2.925894e-03,2.906662e-03,2.890223e-03,2.854349e-03,2.835641e-03,2.818352e-03,2.782307e-03,2.764287e-03,2.746280e-03,2.710328e-03,2.693113e-03,2.674503e-03,2.638852e-03,2.622522e-03,2.603415e-03,2.568228e-03,2.552834e-03,2.533324e-03,2.498729e-03,2.484298e-03,2.464469e-03,2.430564e-03,2.417107e-03,2.397034e-03,2.363895e-03,2.351407e-03,2.331159e-03,2.298839e-03,2.287308e-03,2.266945e-03,2.235483e-03,2.224886e-03,2.204462e-03,2.173885e-03,2.164196e-03,2.143758e-03,2.114083e-03,2.105269e-03,2.084862e-03,2.056096e-03,2.048123e-03,2.027785e-03,1.999929e-03,1.992761e-03,1.972527e-03,1.945577e-03,1.939177e-03,1.919078e-03,1.893026e-03,1.887354e-03,1.867419e-03,1.842253e-03,1.837272e-03,1.817524e-03,1.793230e-03,1.788903e-03,1.769365e-03,1.745926e-03,1.742215e-03,1.722908e-03,1.700306e-03,1.697175e-03,1.678115e-03,1.656331e-03,1.653744e-03,1.634949e-03,1.613963e-03,1.611886e-03,1.593369e-03,1.573160e-03,1.571560e-03,1.553333e-03,1.533881e-03,1.532726e-03,1.514800e-03,1.496084e-03,1.495343e-03,1.477728e-03,1.459726e-03,1.459370e-03,1.442074e-03,1.424766e-03,1.391491e-03,1.359504e-03,1.328767e-03,1.299239e-03,1.270883e-03,1.243662e-03,1.217538e-03,1.192476e-03,1.168440e-03,1.145397e-03,1.123314e-03,1.102159e-03,1.081898e-03,1.062503e-03,1.043944e-03,1.026191e-03,1.009216e-03,9.929930e-04,9.774944e-04,9.626951e-04,9.485699e-04,9.350949e-04,9.222465e-04,9.100020e-04,8.983395e-04,8.872375e-04,8.766754e-04,8.666331e-04,8.570912e-04,8.480308e-04,8.394336e-04,8.312820e-04,8.235589e-04,8.162475e-04,8.093319e-04,8.027964e-04,7.966259e-04,7.908059e-04,7.853222e-04,7.801611e-04,7.753093e-04,7.707539e-04,7.664826e-04,7.624834e-04,7.587445e-04,7.552547e-04,7.520032e-04,7.489793e-04,7.461730e-04
0.000000e+00,1.259190e-09,1.558327e-08,1.625906e-08,1.018536e-07,3.726426e-07,3.898487e-07,9.748042e-07,1.689763e-06,1.737022e-06,2.517025e-06,3.199437e-06,3.256715e-06,3.943373e-06,4.515041e-06,4.575900e-06,5.156105e-06,5.625405e-06,5.686512e-06,6.169792e-06,6.549750e-06,6.608604e-06,7.005543e-06,7.308454e-06,7.363122e-06,7.683767e-06,7.920771e-06,7.969806e-06,8.223468e-06,8.404518e-06,8.446879e-06,8.642063e-06,8.775949e-06,8.810939e-06,8.955324e-06,9.049739e-06,9.076938e-06,9.177403e-06,9.239034e-06,9.258249e-06,9.320919e-06,9.355551e-06,9.366769e-06,9.397076e-06,9.409688e-06,9.413040e-06,9.415789e-06,9.410652e-06,9.406380e-06,9.385807e-06,9.366568e-06,9.355001e-06,9.314835e-06,9.284596e-06,9.266126e-06,9.209642e-06,9.171032e-06,9.146097e-06,9.076162e-06,9.031396e-06,9.000463e-06,8.919584e-06,8.870518e-06,8.834072e-06,8.744435e-06,8.692615e-06,8.651149e-06,8.554655e-06,8.501361e-06,8.455366e-06,8.353664e-06,8.299945e-06,8.249906e-06,8.144422e-06,8.091129e-06,8.037519e-06,7.929481e-06,7.877297e-06,7.820571e-06,7.711033e-06,7.660496e-06,7.601091e-06,7.490953e-06,7.442479e-06,7.380809e-06,7.270836e-06,7.224738e-06,7.161195e-06,7.052034e-06,7.008534e-06,6.943487e-06,6.835679e-06,6.794929e-06,6.728721e-06,6.622716e-06,6.584805e-06,6.517756e-06,6.413925e-06,6.378892e-06,6.311297e-06,6.209939e-06,6.177783e-06,6.109912e-06,6.011268e-06,5.981952e-06,5.914054e-06,5.818310e-06,5.791771e-06,5.724072e-06,5.631370e-06,5.607522e-06,5.540228e-06,5.450668e-06,5.429411e-06,5.362707e-06,5.276357e-06,5.257577e-06,5.191628e-06,5.108525e-06,5.092100e-06,5.027053e-06,4.947211e-06,4.933013e-06,4.868998e-06,4.792409e-06,4.780305e-06,4.717437e-06,4.644075e-06,4.633932e-06,4.572311e-06,4.502133e-06,4.493818e-06,4.433530e-06,4.366484e-06,4.359865e-06,4.300982e-06,4.237005e-06,4.231952e-06,4.174535e-06,4.113554e-06,4.109943e-06,4.054043e-06,3.995980e-06,3.993687e-06,3.939344e-06,3.884115e-06,3.883025e-06,3.830270e-06,3.777787e-06,3.677801e-06,3.582888e-06,3.492867e-06,3.407557e-06,3.326777e-06,3.250347e-06,3.178090e-06,3.109829e-06,3.045394e-06,2.984616e-06,2.927331e-06,2.873379e-06,2.822606e-06,2.774862e-06,2.730001e-06,2.687884e-06,2.648376e-06,2.611346e-06,2.576670e-06,2.544227e-06,2.513902e-06,2.485585e-06,2.459171e-06,2.434557e-06,2.411648e-06,2.390351e-06,2.370578e-06,2.352245e-06,2.335272e-06,2.319582e-06,2.305102e-06,2.291764e-06,2.279501e-06,2.268252e-06,2.257956e-06,2.248557e-06,2.240001e-06,2.232238e-06,2.225218e-06,2.218897e-06,2.213232e-06,2.208179e-06,2.203702e-06,2.199762e-06,2.196326e-06,2.193359e-06,2.190831e-06,2.188712e-06,2.186975e-06
0.000000e+00,1.101428e-05,1.967529e-04,2.058029e-04,1.354899e-03,5.093259e-03,5.339549e-03,1.469127e-02,2.982509e-02,3.100199e-02,5.385980e-02,7.907276e-02,8.139597e-02,1.114778e-01,1.392634e-01,1.423456e-01,1.727193e-01,1.983410e-01,2.017294e-01,2.288203e-01,2.503318e-01,2.536681e-01,2.761153e-01,2.930840e-01,2.961219e-01,3.137289e-01,3.264411e-01,3.290308e-01,3.421563e-01,3.511890e-01,3.532537e-01,3.624805e-01,3.684816e-01,3.699963e-01,3.759580e-01,3.795423e-01,3.805159e-01,3.838124e-01,3.855180e-01,3.859800e-01,3.871413e-01,3.874179e-01,3.874088e-01,3.868846e-01,3.860967e-01,3.856615e-01,3.838232e-01,3.822604e-01,3.814448e-01,3.785937e-01,3.764826e-01,3.753302e-01,3.717079e-01,3.692238e-01,3.677749e-01,3.635738e-01,3.608513e-01,3.591426e-01,3.545152e-01,3.516572e-01,3.497217e-01,3.447890e-01,3.418738e-01,3.397411e-01,3.345994e-01,3.316863e-01,3.293831e-01,3.241095e-01,3.212434e-01,3.187939e-01,3.134503e-01,3.106648e-01,3.080912e-01,3.027279e-01,3.000479e-01,2.973705e-01,2.920284e-01,2.894721e-01,2.867099e-01,2.814225e-01,2.790027e-01,2.761731e-01,2.709678e-01,2.686930e-01,2.658124e-01,2.607118e-01,2.585870e-01,2.556705e-01,2.506929e-01,2.487204e-01,2.457824e-01,2.409424e-01,2.391224e-01,2.361760e-01,2.314855e-01,2.298160e-01,2.268734e-01,2.223416e-01,2.208194e-01,2.178919e-01,2.135257e-01,2.121463e-01,2.092443e-01,2.050487e-01,2.038070e-01,2.009399e-01,1.969184e-01,1.958081e-01,1.929847e-01,1.891391e-01,1.881537e-01,1.853818e-01,1.817128e-01,1.808454e-01,1.781321e-01,1.746394e-01,1.738828e-01,1.712345e-01,1.679169e-01,1.672638e-01,1.646860e-01,1.615415e-01,1.609846e-01,1.584825e-01,1.555085e-01,1.550404e-01,1.526185e-01,1.498118e-01,1.494254e-01,1.470875e-01,1.444446e-01,1.441329e-01,1.418823e-01,1.393995e-01,1.391555e-01,1.369951e-01,1.346682e-01,1.344853e-01,1.324175e-01,1.302422e-01,1.301140e-01,1.281409e-01,1.261126e-01,1.260329e-01,1.241561e-01,1.222702e-01,1.222332e-01,1.204539e-01,1.187058e-01,1.154415e-01,1.124311e-01,1.096652e-01,1.071345e-01,1.048298e-01,1.027416e-01,1.008606e-01,9.917773e-02,9.768365e-02,9.636924e-02,9.522538e-02,9.424303e-02,9.341322e-02,9.272702e-02,9.217562e-02,9.175027e-02,9.144236e-02,9.124337e-02,9.114491e-02,9.113875e-02,9.121681e-02,9.137121e-02,9.159424e-02,9.187843e-02,9.221652e-02,9.260154e-02,9.302674e-02,9.348570e-02,9.397225e-02,9.448058e-02,9.500515e-02,9.554079e-02,9.608266e-02,9.662624e-02,9.716738e-02,9.770227e-02,9.822744e-02,9.873976e-02,9.923644e-02,9.971501e-02,1.001733e-01,1.006096e-01,1.010222e-01,1.014100e-01,1.017719e-01,1.021072e-01,1.024154e-01,1.026962e-01,1.029497e-01
0.000000e+00,1.004745e-09,1.539979e-08,1.609664e-08,9.740757e-08,3.029390e-07,3.144730e-07,6.528091e-07,9.998680e-07,1.021712e-06,1.373142e-06,1.672406e-06,1.697305e-06,1.993687e-06,2.237697e-06,2.263531e-06,2.508388e-06,2.704443e-06,2.729831e-06,2.929382e-06,3.084607e-06,3.108507e-06,3.268600e-06,3.389340e-06,3.410984e-06,3.536912e-06,3.628726e-06,3.647568e-06,3.744063e-06,3.811769e-06,3.827444e-06,3.898691e-06,3.946433e-06,3.958723e-06,4.008400e-06,4.039726e-06,4.048527e-06,4.079854e-06,4.097785e-06,4.103083e-06,4.118869e-06,4.125971e-06,4.127823e-06,4.130515e-06,4.128958e-06,4.127474e-06,4.119195e-06,4.110810e-06,4.106139e-06,4.088733e-06,4.075057e-06,4.067376e-06,4.042435e-06,4.024754e-06,4.014258e-06,3.983166e-06,3.962557e-06,3.949456e-06,3.913404e-06,3.890757e-06,3.875267e-06,3.835284e-06,3.811335e-06,3.793675e-06,3.750643e-06,3.725994e-06,3.706375e-06,3.661047e-06,3.636186e-06,3.614819e-06,3.567842e-06,3.543164e-06,3.520252e-06,3.472173e-06,3.447988e-06,3.423724e-06,3.375010e-06,3.351562e-06,3.326129e-06,3.277172e-06,3.254649e-06,3.228221e-06,3.179351e-06,3.157892e-06,3.130632e-06,3.082126e-06,3.061830e-06,3.033890e-06,2.985976e-06,2.966911e-06,2.938431e-06,2.891298e-06,2.873503e-06,2.844614e-06,2.798415e-06,2.781908e-06,2.752730e-06,2.707588e-06,2.692367e-06,2.663012e-06,2.619024e-06,2.605075e-06,2.575642e-06,2.532882e-06,2.520178e-06,2.490760e-06,2.449285e-06,2.437790e-06,2.408469e-06,2.368318e-06,2.357989e-06,2.328840e-06,2.290039e-06,2.280828e-06,2.251919e-06,2.214482e-06,2.206338e-06,2.177729e-06,2.141659e-06,2.134527e-06,2.106272e-06,2.071565e-06,2.065390e-06,2.037537e-06,2.004182e-06,1.998908e-06,1.971497e-06,1.939477e-06,1.935047e-06,1.908117e-06,1.877410e-06,1.873769e-06,1.847350e-06,1.817930e-06,1.815023e-06,1.789144e-06,1.760983e-06,1.758757e-06,1.733440e-06,1.706507e-06,1.704910e-06,1.680175e-06,1.654437e-06,1.653419e-06,1.629283e-06,1.604705e-06,1.604219e-06,1.580694e-06,1.557241e-06,1.512415e-06,1.469672e-06,1.428942e-06,1.390154e-06,1.353239e-06,1.318128e-06,1.284754e-06,1.253049e-06,1.222949e-06,1.194391e-06,1.167311e-06,1.141651e-06,1.117351e-06,1.094355e-06,1.072608e-06,1.052056e-06,1.032649e-06,1.014336e-06,9.970701e-07,9.808046e-07,9.654952e-07,9.510990e-07,9.375749e-07,9.248832e-07,9.129857e-07,9.018458e-07,8.914283e-07,8.816994e-07,8.726265e-07,8.641785e-07,8.563254e-07,8.490386e-07,8.422904e-07,8.360544e-07,8.303053e-07,8.250187e-07,8.201713e-07,8.157408e-07,8.117057e-07,8.080456e-07,8.047407e-07,8.017722e-07,7.991221e-07,7.967731e-07,7.947085e-07,7.929126e-07,7.913702e-07,7.900668e-07,7.889884e-07
0.000000e+00,3.208150e-08,4.657122e-07,4.865091e-07,3.126745e-06,1.147256e-05,1.200684e-05,3.088389e-05,5.621010e-05,5.795534e-05,8.744962e-05,1.137985e-04,1.160212e-04,1.427548e-04,1.651187e-04,1.675051e-04,1.903132e-04,2.088449e-04,2.112640e-04,2.304522e-04,2.456172e-04,2.479734e-04,2.639217e-04,2.761697e-04,2.783885e-04,2.914625e-04,3.012036e-04,3.032286e-04,3.137685e-04,3.213699e-04,3.231599e-04,3.314765e-04,3.372627e-04,3.387886e-04,3.451626e-04,3.494181e-04,3.506611e-04,3.553435e-04,3.583162e-04,3.592658e-04,3.624806e-04,3.643850e-04,3.650374e-04,3.669836e-04,3.680062e-04,3.683631e-04,3.692176e-04,3.695186e-04,3.695858e-04,3.695046e-04,3.692216e-04,3.690084e-04,3.681297e-04,3.673806e-04,3.668987e-04,3.653440e-04,3.642294e-04,3.634925e-04,3.613692e-04,3.599746e-04,3.589977e-04,3.564000e-04,3.547979e-04,3.535968e-04,3.506075e-04,3.488590e-04,3.474502e-04,3.441418e-04,3.422980e-04,3.406981e-04,3.371341e-04,3.352379e-04,3.334636e-04,3.296993e-04,3.277859e-04,3.258535e-04,3.219372e-04,3.200355e-04,3.179611e-04,3.139347e-04,3.120683e-04,3.098673e-04,3.057672e-04,3.039548e-04,3.016422e-04,2.974996e-04,2.957561e-04,2.933461e-04,2.891880e-04,2.875247e-04,2.850310e-04,2.808804e-04,2.793059e-04,2.767411e-04,2.726177e-04,2.711380e-04,2.685144e-04,2.644348e-04,2.630538e-04,2.603826e-04,2.563609e-04,2.550809e-04,2.523727e-04,2.484206e-04,2.472424e-04,2.445070e-04,2.406341e-04,2.395572e-04,2.368038e-04,2.330179e-04,2.320410e-04,2.292780e-04,2.255854e-04,2.247064e-04,2.219415e-04,2.183472e-04,2.175632e-04,2.148035e-04,2.113113e-04,2.106191e-04,2.078712e-04,2.044837e-04,2.038795e-04,2.011493e-04,1.978683e-04,1.973484e-04,1.946411e-04,1.914678e-04,1.910279e-04,1.883485e-04,1.852832e-04,1.849190e-04,1.822719e-04,1.793145e-04,1.790217e-04,1.764108e-04,1.735606e-04,1.733348e-04,1.707635e-04,1.680195e-04,1.678565e-04,1.653279e-04,1.626885e-04,1.625840e-04,1.601009e-04,1.575646e-04,1.575144e-04,1.550790e-04,1.526438e-04,1.479683e-04,1.434835e-04,1.391848e-04,1.350675e-04,1.311265e-04,1.273569e-04,1.237536e-04,1.203113e-04,1.170250e-04,1.138896e-04,1.108999e-04,1.080510e-04,1.053379e-04,1.027558e-04,1.002998e-04,9.796541e-05,9.574793e-05,9.364296e-05,9.164616e-05,8.975332e-05,8.796034e-05,8.626325e-05,8.465819e-05,8.314143e-05,8.170935e-05,8.035846e-05,7.908537e-05,7.788682e-05,7.675965e-05,7.570082e-05,7.470738e-05,7.377651e-05,7.290546e-05,7.209162e-05,7.133243e-05,7.062545e-05,6.996833e-05,6.935881e-05,6.879469e-05,6.827388e-05,6.779437e-05,6.735419e-05,6.695149e-05,6.658447e-05,6.625139e-05,6.595059e-05,6.568048e-05,6.543951e-05,6.522622e-05
0.000000e+00,1.671875e-06,3.225003e-05,3.379519e-05,2.437382e-04,9.908066e-04,1.041876e-03,3.078895e-03,6.644329e-03,6.932332e-03,1.277879e-02,1.971848e-02,2.038191e-02,2.932876e-02,3.818920e-02,3.920861e-02,4.966889e-02,5.912343e-02,6.042094e-02,7.123330e-02,8.043964e-02,8.192315e-02,9.234851e-02,1.008214e-01,1.024012e-01,1.120010e-01,1.194942e-01,1.210907e-01,1.296317e-01,1.360531e-01,1.376004e-01,1.449855e-01,1.503394e-01,1.517854e-01,1.580059e-01,1.623532e-01,1.636589e-01,1.687606e-01,1.721922e-01,1.733304e-01,1.773901e-01,1.800104e-01,1.809632e-01,1.840740e-01,1.859897e-01,1.867471e-01,1.890074e-01,1.903211e-01,1.908794e-01,1.923870e-01,1.931939e-01,1.935538e-01,1.944022e-01,1.947881e-01,1.949539e-01,1.952298e-01,1.952710e-01,1.952496e-01,1.950323e-01,1.947955e-01,1.945957e-01,1.939568e-01,1.934999e-01,1.931316e-01,1.921352e-01,1.915079e-01,1.909820e-01,1.896853e-01,1.889300e-01,1.882579e-01,1.867116e-01,1.858643e-01,1.850576e-01,1.833064e-01,1.823975e-01,1.814678e-01,1.795511e-01,1.786058e-01,1.775648e-01,1.755171e-01,1.745566e-01,1.734155e-01,1.712671e-01,1.703087e-01,1.690784e-01,1.668557e-01,1.659134e-01,1.646046e-01,1.623305e-01,1.614155e-01,1.600383e-01,1.577327e-01,1.568539e-01,1.554179e-01,1.530980e-01,1.522622e-01,1.507765e-01,1.484570e-01,1.476694e-01,1.461425e-01,1.438360e-01,1.431000e-01,1.415401e-01,1.392573e-01,1.385753e-01,1.369898e-01,1.347397e-01,1.341131e-01,1.325090e-01,1.302993e-01,1.297284e-01,1.281122e-01,1.259491e-01,1.254337e-01,1.238114e-01,1.217002e-01,1.212394e-01,1.196165e-01,1.175613e-01,1.171537e-01,1.155354e-01,1.135395e-01,1.131835e-01,1.115743e-01,1.096405e-01,1.093340e-01,1.077383e-01,1.058683e-01,1.056091e-01,1.040309e-01,1.022262e-01,1.020119e-01,1.004546e-01,9.871626e-02,9.854425e-02,9.701121e-02,9.533960e-02,9.520732e-02,9.370146e-02,9.209679e-02,9.200158e-02,9.052557e-02,8.898771e-02,8.892689e-02,8.748313e-02,8.601171e-02,8.598262e-02,8.457329e-02,8.316769e-02,8.048067e-02,7.791981e-02,7.548309e-02,7.316831e-02,7.097303e-02,6.889470e-02,6.693062e-02,6.507798e-02,6.333389e-02,6.169537e-02,6.015940e-02,5.872288e-02,5.738269e-02,5.613565e-02,5.497857e-02,5.390824e-02,5.292141e-02,5.201484e-02,5.118527e-02,5.042942e-02,4.974405e-02,4.912589e-02,4.857171e-02,4.807826e-02,4.764235e-02,4.726080e-02,4.693045e-02,4.664820e-02,4.641097e-02,4.621576e-02,4.605960e-02,4.593960e-02,4.585292e-02,4.579681e-02,4.576859e-02,4.576565e-02,4.578550e-02,4.582572e-02,4.588398e-02,4.595808e-02,4.604590e-02,4.614543e-02,4.625477e-02,4.637212e-02,4.649581e-02,4.662425e-02,4.675600e-02,4.688969e-02,4.702409e-02
0.000000e+00,2.934253e-08,5.009025e-07,5.241802e-07,3.300373e-06,1.033534e-05,1.072336e-05,2.169894e-05,3.245819e-05,3.312740e-05,4.381835e-05,5.283130e-05,5.357769e-05,6.241883e-05,6.963374e-05,7.039394e-05,7.756076e-05,8.324168e-05,8.397293e-05,8.968045e-05,9.406331e-05,9.473304e-05,9.917822e-05,1.024760e-04,1.030613e-04,1.064255e-04,1.088257e-04,1.093117e-04,1.117584e-04,1.134238e-04,1.138019e-04,1.154762e-04,1.165464e-04,1.168131e-04,1.178420e-04,1.184350e-04,1.185904e-04,1.190838e-04,1.192986e-04,1.193456e-04,1.193977e-04,1.193166e-04,1.192600e-04,1.189513e-04,1.186425e-04,1.184885e-04,1.178873e-04,1.174070e-04,1.171623e-04,1.163268e-04,1.157208e-04,1.153930e-04,1.143720e-04,1.136777e-04,1.132743e-04,1.121092e-04,1.113569e-04,1.108855e-04,1.096109e-04,1.088249e-04,1.082929e-04,1.069380e-04,1.061377e-04,1.055523e-04,1.041412e-04,1.033418e-04,1.027099e-04,1.012628e-04,1.004764e-04,9.980425e-05,9.833794e-05,9.757355e-05,9.686732e-05,9.539549e-05,9.466002e-05,9.392527e-05,9.245919e-05,9.175762e-05,9.099953e-05,8.954835e-05,8.888416e-05,8.810747e-05,8.667855e-05,8.605399e-05,8.526304e-05,8.386224e-05,8.327857e-05,8.247729e-05,8.110921e-05,8.056690e-05,7.975887e-05,7.842704e-05,7.792594e-05,7.711437e-05,7.582143e-05,7.536089e-05,7.454868e-05,7.329651e-05,7.287553e-05,7.206525e-05,7.085514e-05,7.047241e-05,6.966637e-05,6.849907e-05,6.815308e-05,6.735332e-05,6.622916e-05,6.591827e-05,6.512659e-05,6.404555e-05,6.376800e-05,6.298598e-05,6.194776e-05,6.170175e-05,6.093076e-05,5.993482e-05,5.971852e-05,5.895976e-05,5.800539e-05,5.781698e-05,5.707148e-05,5.615781e-05,5.599548e-05,5.526413e-05,5.439017e-05,5.425215e-05,5.353568e-05,5.270038e-05,5.258495e-05,5.188398e-05,5.108620e-05,5.099170e-05,5.030674e-05,4.954530e-05,4.947014e-05,4.880159e-05,4.807529e-05,4.801793e-05,4.736611e-05,4.667374e-05,4.663272e-05,4.599786e-05,4.533819e-05,4.531213e-05,4.469440e-05,4.406620e-05,4.405379e-05,4.345329e-05,4.285535e-05,4.171449e-05,4.062893e-05,3.959643e-05,3.861481e-05,3.768195e-05,3.679579e-05,3.595434e-05,3.515564e-05,3.439785e-05,3.367914e-05,3.299779e-05,3.235213e-05,3.174053e-05,3.116147e-05,3.061344e-05,3.009502e-05,2.960485e-05,2.914162e-05,2.870406e-05,2.829098e-05,2.790123e-05,2.753369e-05,2.718731e-05,2.686109e-05,2.655406e-05,2.626529e-05,2.599391e-05,2.573907e-05,2.549995e-05,2.527580e-05,2.506588e-05,2.486948e-05,2.468593e-05,2.451459e-05,2.435484e-05,2.420611e-05,2.406784e-05,2.393951e-05,2.382059e-05,2.371061e-05,2.360909e-05,2.351561e-05,2.342974e-05,2.335107e-05,2.327922e-05,2.321384e-05,2.315456e-05,2.310106e-05,2.305303e-05
0.000000e+00,3.238675e-10,4.854967e-09,5.078157e-09,3.302953e-08,1.132808e-07,1.180644e-07,2.669621e-07,4.303943e-07,4.409016e-07,6.125635e-07,7.621870e-07,7.747738e-07,9.262937e-07,1.053571e-06,1.067193e-06,1.197840e-06,1.304679e-06,1.318676e-06,1.430155e-06,1.518894e-06,1.532737e-06,1.626871e-06,1.699743e-06,1.713005e-06,1.791566e-06,1.850631e-06,1.862974e-06,1.927631e-06,1.974755e-06,1.985922e-06,2.038217e-06,2.075075e-06,2.084873e-06,2.126227e-06,2.154308e-06,2.162599e-06,2.194296e-06,2.214913e-06,2.221608e-06,2.244810e-06,2.259119e-06,2.264166e-06,2.279922e-06,2.288936e-06,2.292314e-06,2.301565e-06,2.306170e-06,2.307886e-06,2.311475e-06,2.312441e-06,2.312523e-06,2.311206e-06,2.309202e-06,2.307695e-06,2.302148e-06,2.297753e-06,2.294715e-06,2.285540e-06,2.279254e-06,2.274756e-06,2.262489e-06,2.254743e-06,2.248860e-06,2.233980e-06,2.225140e-06,2.217955e-06,2.200886e-06,2.191268e-06,2.182867e-06,2.163986e-06,2.153854e-06,2.144326e-06,2.123965e-06,2.113545e-06,2.102978e-06,2.081433e-06,2.070912e-06,2.059395e-06,2.036925e-06,2.026459e-06,2.014080e-06,1.990913e-06,1.980631e-06,1.967475e-06,1.943812e-06,1.933817e-06,1.919968e-06,1.895985e-06,1.886361e-06,1.871899e-06,1.847748e-06,1.838560e-06,1.823564e-06,1.799377e-06,1.790675e-06,1.775217e-06,1.751111e-06,1.742931e-06,1.727083e-06,1.703155e-06,1.695523e-06,1.679350e-06,1.655686e-06,1.648617e-06,1.632182e-06,1.608854e-06,1.602355e-06,1.585717e-06,1.562785e-06,1.556858e-06,1.540072e-06,1.517588e-06,1.512227e-06,1.495344e-06,1.473349e-06,1.468545e-06,1.451613e-06,1.430142e-06,1.425880e-06,1.408943e-06,1.388023e-06,1.384288e-06,1.367387e-06,1.347039e-06,1.343811e-06,1.326984e-06,1.307224e-06,1.304481e-06,1.287762e-06,1.268601e-06,1.266322e-06,1.249742e-06,1.231187e-06,1.229348e-06,1.212937e-06,1.194991e-06,1.193569e-06,1.177351e-06,1.160015e-06,1.158984e-06,1.142983e-06,1.126255e-06,1.125592e-06,1.109829e-06,1.093703e-06,1.093384e-06,1.077877e-06,1.062348e-06,1.032468e-06,1.003726e-06,9.761025e-07,9.495738e-07,9.241159e-07,8.997034e-07,8.763096e-07,8.539074e-07,8.324687e-07,8.119654e-07,7.923689e-07,7.736509e-07,7.557828e-07,7.387365e-07,7.224838e-07,7.069973e-07,6.922496e-07,6.782140e-07,6.648643e-07,6.521748e-07,6.401205e-07,6.286769e-07,6.178201e-07,6.075269e-07,5.977748e-07,5.885418e-07,5.798069e-07,5.715493e-07,5.637492e-07,5.563873e-07,5.494449e-07,5.429041e-07,5.367475e-07,5.309584e-07,5.255204e-07,5.204181e-07,5.156364e-07,5.111608e-07,5.069774e-07,5.030728e-07,4.994341e-07,4.960489e-07,4.929053e-07,4.899917e-07,4.872972e-07,4.848112e-07,4.825235e-07,4.804243e-07,4.785043e-07
0.000000e+00,2.716342e-05,5.546559e-04,5.821009e-04,4.499186e-03,1.896074e-02,1.995085e-02,5.850801e-02,1.209915e-01,1.257995e-01,2.179616e-01,3.182483e-01,3.274720e-01,4.472217e-01,5.589630e-01,5.714518e-01,6.957340e-01,8.025009e-01,8.167669e-01,9.321644e-01,1.025620e+00,1.040271e+00,1.140007e+00,1.216845e+00,1.230743e+00,1.312200e+00,1.372051e+00,1.384360e+00,1.447403e+00,1.491488e+00,1.501654e+00,1.547541e+00,1.577843e+00,1.585558e+00,1.616239e+00,1.634992e+00,1.640140e+00,1.657820e+00,1.667222e+00,1.669829e+00,1.676702e+00,1.678757e+00,1.678948e+00,1.677051e+00,1.673501e+00,1.671463e+00,1.662607e+00,1.654917e+00,1.650870e+00,1.636612e+00,1.625981e+00,1.620160e+00,1.601811e+00,1.589197e+00,1.581834e+00,1.560475e+00,1.546634e+00,1.537951e+00,1.514461e+00,1.499976e+00,1.490179e+00,1.465263e+00,1.450578e+00,1.439854e+00,1.414075e+00,1.399519e+00,1.388037e+00,1.361838e+00,1.347654e+00,1.335564e+00,1.309291e+00,1.295652e+00,1.283087e+00,1.257010e+00,1.244036e+00,1.231113e+00,1.205441e+00,1.193210e+00,1.180033e+00,1.154925e+00,1.143484e+00,1.130146e+00,1.105722e+00,1.095094e+00,1.081677e+00,1.058028e+00,1.048219e+00,1.034794e+00,1.011988e+00,1.002988e+00,9.896207e-01,9.677031e-01,9.594939e-01,9.462427e-01,9.252458e-01,9.178013e-01,9.047172e-01,8.846604e-01,8.779491e-01,8.650779e-01,8.459709e-01,8.399572e-01,8.273397e-01,8.091840e-01,8.038297e-01,7.915023e-01,7.742927e-01,7.695582e-01,7.575526e-01,7.412788e-01,7.371236e-01,7.254678e-01,7.101153e-01,7.064984e-01,6.952168e-01,6.807674e-01,6.776483e-01,6.667618e-01,6.531946e-01,6.505333e-01,6.400600e-01,6.273519e-01,6.251093e-01,6.150641e-01,6.031902e-01,6.013284e-01,5.917237e-01,5.806578e-01,5.791402e-01,5.699858e-01,5.597008e-01,5.584923e-01,5.497958e-01,5.402637e-01,5.393308e-01,5.310975e-01,5.222900e-01,5.216007e-01,5.138341e-01,5.057225e-01,5.052466e-01,4.979481e-01,4.905037e-01,4.902127e-01,4.833821e-01,4.765761e-01,4.764432e-01,4.700786e-01,4.638825e-01,4.524755e-01,4.421673e-01,4.329038e-01,4.246316e-01,4.172980e-01,4.108511e-01,4.052400e-01,4.004146e-01,3.963257e-01,3.929250e-01,3.901655e-01,3.880011e-01,3.863867e-01,3.852785e-01,3.846338e-01,3.844112e-01,3.845706e-01,3.850734e-01,3.858821e-01,3.869609e-01,3.882755e-01,3.897933e-01,3.914830e-01,3.933153e-01,3.952623e-01,3.972980e-01,3.993982e-01,4.015401e-01,4.037030e-01,4.058677e-01,4.080168e-01,4.101346e-01,4.122069e-01,4.142212e-01,4.161666e-01,4.180335e-01,4.198139e-01,4.215011e-01,4.230896e-01,4.245752e-01,4.259548e-01,4.272263e-01,4.283887e-01,4.294418e-01,4.303862e-01,4.312231e-01,4.319548e-01,4.325836e-01,4.331126e-01
0.000000e+00,7.641733e-08,1.444937e-06,1.513644e-06,1.031911e-05,3.721590e-05,3.890042e-05,9.712904e-05,1.745136e-04,1.798734e-04,2.705266e-04,3.496543e-04,3.561626e-04,4.316587e-04,4.902024e-04,4.961748e-04,5.504162e-04,5.905282e-04,5.954912e-04,6.325297e-04,6.587524e-04,6.625734e-04,6.865524e-04,7.026119e-04,7.052881e-04,7.195014e-04,7.282270e-04,7.298235e-04,7.368056e-04,7.403112e-04,7.409277e-04,7.426069e-04,7.424555e-04,7.422054e-04,7.400373e-04,7.373768e-04,7.363746e-04,7.314530e-04,7.271213e-04,7.254760e-04,7.186194e-04,7.132241e-04,7.110350e-04,7.028530e-04,6.968309e-04,6.941859e-04,6.851311e-04,6.787958e-04,6.757727e-04,6.661833e-04,6.597583e-04,6.564249e-04,6.465505e-04,6.401916e-04,6.366062e-04,6.266303e-04,6.204441e-04,6.166559e-04,6.067109e-04,6.007681e-04,5.968191e-04,5.870003e-04,5.813455e-04,5.772712e-04,5.676461e-04,5.623059e-04,5.581366e-04,5.487524e-04,5.437399e-04,5.395014e-04,5.303897e-04,5.257085e-04,5.214226e-04,5.126039e-04,5.082512e-04,5.039365e-04,4.954224e-04,4.913905e-04,4.870630e-04,4.788589e-04,4.751373e-04,4.708104e-04,4.629174e-04,4.594935e-04,4.551792e-04,4.475949e-04,4.444551e-04,4.401633e-04,4.328829e-04,4.300127e-04,4.257521e-04,4.187691e-04,4.161539e-04,4.119319e-04,4.052386e-04,4.028639e-04,3.986871e-04,3.922750e-04,3.901263e-04,3.860003e-04,3.798605e-04,3.779239e-04,3.738534e-04,3.679767e-04,3.662387e-04,3.622279e-04,3.566049e-04,3.550526e-04,3.511051e-04,3.457264e-04,3.443474e-04,3.404663e-04,3.353226e-04,3.341052e-04,3.302930e-04,3.253752e-04,3.243081e-04,3.205671e-04,3.158663e-04,3.149389e-04,3.112708e-04,3.067783e-04,3.059805e-04,3.023869e-04,2.980943e-04,2.974166e-04,2.938986e-04,2.897978e-04,2.892311e-04,2.857898e-04,2.818727e-04,2.814087e-04,2.780447e-04,2.743038e-04,2.739344e-04,2.706481e-04,2.670760e-04,2.667938e-04,2.635856e-04,2.601752e-04,2.599731e-04,2.568430e-04,2.535875e-04,2.534588e-04,2.504069e-04,2.472996e-04,2.472382e-04,2.442641e-04,2.412989e-04,2.356289e-04,2.302170e-04,2.250521e-04,2.201237e-04,2.154217e-04,2.109364e-04,2.066586e-04,2.025793e-04,1.986899e-04,1.949824e-04,1.914487e-04,1.880814e-04,1.848733e-04,1.818174e-04,1.789071e-04,1.761361e-04,1.734983e-04,1.709878e-04,1.685990e-04,1.663266e-04,1.641655e-04,1.621107e-04,1.601576e-04,1.583017e-04,1.565385e-04,1.548641e-04,1.532744e-04,1.517656e-04,1.503342e-04,1.489766e-04,1.476895e-04,1.464697e-04,1.453143e-04,1.442202e-04,1.431847e-04,1.422050e-04,1.412787e-04,1.404033e-04,1.395764e-04,1.387958e-04,1.380593e-04,1.373649e-04,1.367106e-04,1.360946e-04,1.355149e-04,1.349699e-04,1.344580e-04,1.339776e-04,1.335271e-04
0.000000e+00,8.241146e-06,1.493485e-04,1.563356e-04,1.091397e-03,4.415518e-03,4.642847e-03,1.362154e-02,2.865169e-02,2.982420e-02,5.242414e-02,7.682051e-02,7.903955e-02,1.073622e-01,1.328968e-01,1.356947e-01,1.629181e-01,1.854073e-01,1.883497e-01,2.116119e-01,2.297487e-01,2.325347e-01,2.510855e-01,2.648742e-01,2.673202e-01,2.813498e-01,2.913080e-01,2.933168e-01,3.033793e-01,3.101681e-01,3.117010e-01,3.184435e-01,3.227068e-01,3.237625e-01,3.278046e-01,3.301070e-01,3.307063e-01,3.325929e-01,3.334032e-01,3.335788e-01,3.337677e-01,3.334631e-01,3.332531e-01,3.321188e-01,3.309967e-01,3.304400e-01,3.282839e-01,3.265759e-01,3.257103e-01,3.227724e-01,3.206571e-01,3.195177e-01,3.159885e-01,3.136031e-01,3.122221e-01,3.082522e-01,3.057019e-01,3.041086e-01,2.998178e-01,2.971827e-01,2.954037e-01,2.908877e-01,2.882293e-01,2.862889e-01,2.816245e-01,2.789897e-01,2.769101e-01,2.721595e-01,2.695837e-01,2.673855e-01,2.625994e-01,2.601094e-01,2.578116e-01,2.530313e-01,2.506467e-01,2.482670e-01,2.435264e-01,2.412613e-01,2.388163e-01,2.341429e-01,2.320071e-01,2.295120e-01,2.249284e-01,2.229278e-01,2.203968e-01,2.159211e-01,2.140589e-01,2.115051e-01,2.071518e-01,2.054288e-01,2.028642e-01,1.986447e-01,1.970596e-01,1.944954e-01,1.904183e-01,1.889685e-01,1.864149e-01,1.824865e-01,1.811682e-01,1.786344e-01,1.748592e-01,1.736676e-01,1.711619e-01,1.675428e-01,1.664724e-01,1.640024e-01,1.605408e-01,1.595857e-01,1.571581e-01,1.538543e-01,1.530082e-01,1.506292e-01,1.474825e-01,1.467390e-01,1.444139e-01,1.414229e-01,1.407753e-01,1.385090e-01,1.356717e-01,1.351133e-01,1.329101e-01,1.302238e-01,1.297482e-01,1.276118e-01,1.250735e-01,1.246742e-01,1.226080e-01,1.202144e-01,1.198850e-01,1.178918e-01,1.156394e-01,1.153738e-01,1.134562e-01,1.113413e-01,1.111335e-01,1.092936e-01,1.073123e-01,1.071566e-01,1.053963e-01,1.035447e-01,1.034357e-01,1.017565e-01,1.000306e-01,9.996284e-02,9.836609e-02,9.676194e-02,9.673047e-02,9.521717e-02,9.373076e-02,9.095597e-02,8.839837e-02,8.605027e-02,8.390405e-02,8.195211e-02,8.018692e-02,7.860098e-02,7.718683e-02,7.593704e-02,7.484421e-02,7.390095e-02,7.309989e-02,7.243368e-02,7.189496e-02,7.147642e-02,7.117073e-02,7.097060e-02,7.086878e-02,7.085806e-02,7.093130e-02,7.108142e-02,7.130145e-02,7.158453e-02,7.192393e-02,7.231309e-02,7.274560e-02,7.321525e-02,7.371607e-02,7.424230e-02,7.478843e-02,7.534924e-02,7.591977e-02,7.649537e-02,7.707169e-02,7.764470e-02,7.821068e-02,7.876624e-02,7.930830e-02,7.983412e-02,8.034128e-02,8.082764e-02,8.129139e-02,8.173102e-02,8.214528e-02,8.253320e-02,8.289408e-02,8.322745e-02,8.353306e-02,8.381087e-02
0.000000e+00,2.088621e-08,2.315883e-07,2.407405e-07,1.250717e-06,3.988201e-06,4.154752e-06,9.830048e-06,1.743385e-05,1.796891e-05,2.721971e-05,3.564421e-05,3.635475e-05,4.484906e-05,5.184252e-05,5.258120e-05,5.955667e-05,6.509910e-05,6.581345e-05,7.139698e-05,7.569556e-05,7.635341e-05,8.072767e-05,8.398371e-05,8.456282e-05,8.789974e-05,9.029142e-05,9.077709e-05,9.323120e-05,9.491275e-05,9.529617e-05,9.700393e-05,9.810723e-05,9.838426e-05,9.946496e-05,1.001019e-04,1.002719e-04,1.008291e-04,1.010940e-04,1.011591e-04,1.012824e-04,1.012542e-04,1.012185e-04,1.009851e-04,1.007299e-04,1.005989e-04,1.000750e-04,9.964755e-05,9.942784e-05,9.867032e-05,9.811585e-05,9.781458e-05,9.687178e-05,9.622750e-05,9.585223e-05,9.476542e-05,9.406167e-05,9.362006e-05,9.242420e-05,9.168553e-05,9.118520e-05,8.990984e-05,8.915593e-05,8.860432e-05,8.727432e-05,8.652077e-05,8.592500e-05,8.456109e-05,8.382006e-05,8.318694e-05,8.180650e-05,8.108739e-05,8.042336e-05,7.904075e-05,7.835058e-05,7.766162e-05,7.628864e-05,7.563250e-05,7.492418e-05,7.357038e-05,7.295173e-05,7.222913e-05,7.090214e-05,7.032317e-05,6.959091e-05,6.829679e-05,6.775864e-05,6.702093e-05,6.576436e-05,6.526733e-05,6.452794e-05,6.331245e-05,6.285618e-05,6.211850e-05,6.094664e-05,6.053026e-05,5.979729e-05,5.867080e-05,5.829305e-05,5.756744e-05,5.648738e-05,5.614671e-05,5.543075e-05,5.439761e-05,5.409225e-05,5.338795e-05,5.240173e-05,5.212978e-05,5.143886e-05,5.049920e-05,5.025867e-05,4.958259e-05,4.868880e-05,4.847767e-05,4.781762e-05,4.696879e-05,4.678501e-05,4.614201e-05,4.533699e-05,4.517857e-05,4.455340e-05,4.379091e-05,4.365588e-05,4.304917e-05,4.232782e-05,4.221427e-05,4.162649e-05,4.094480e-05,4.085091e-05,4.028237e-05,3.963880e-05,3.956283e-05,3.901372e-05,3.840672e-05,3.834700e-05,3.781741e-05,3.724539e-05,3.720037e-05,3.669027e-05,3.615165e-05,3.611985e-05,3.562915e-05,3.512236e-05,3.510241e-05,3.463091e-05,3.415442e-05,3.414504e-05,3.369251e-05,3.324480e-05,3.239881e-05,3.160428e-05,3.085851e-05,3.015888e-05,2.950290e-05,2.888815e-05,2.831233e-05,2.777322e-05,2.726873e-05,2.679686e-05,2.635569e-05,2.594342e-05,2.555833e-05,2.519880e-05,2.486328e-05,2.455031e-05,2.425853e-05,2.398662e-05,2.373336e-05,2.349760e-05,2.327824e-05,2.307426e-05,2.288469e-05,2.270862e-05,2.254518e-05,2.239359e-05,2.225308e-05,2.212294e-05,2.200250e-05,2.189114e-05,2.178827e-05,2.169334e-05,2.160582e-05,2.152523e-05,2.145113e-05,2.138307e-05,2.132066e-05,2.126352e-05,2.121131e-05,2.116369e-05,2.112035e-05,2.108101e-05,2.104539e-05,2.101324e-05,2.098433e-05,2.095843e-05,2.093533e-05,2.091484e-05,2.089678e-05
0.000000e+00,8.401252e-10,8.355573e-09,8.672676e-09,4.340752e-08,1.420456e-07,1.482773e-07,3.742925e-07,7.124623e-07,7.375874e-07,1.195371e-06,1.643310e-06,1.682149e-06,2.157069e-06,2.561687e-06,2.605134e-06,3.022525e-06,3.364282e-06,3.409064e-06,3.765685e-06,4.049419e-06,4.093663e-06,4.394376e-06,4.626926e-06,4.669220e-06,4.919575e-06,5.107539e-06,5.146789e-06,5.352171e-06,5.501609e-06,5.536985e-06,5.702444e-06,5.818814e-06,5.849709e-06,5.979891e-06,6.068057e-06,6.094048e-06,6.193184e-06,6.257439e-06,6.278257e-06,6.350174e-06,6.394294e-06,6.409797e-06,6.457943e-06,6.485232e-06,6.495386e-06,6.522859e-06,6.536202e-06,6.541057e-06,6.550638e-06,6.552543e-06,6.552220e-06,6.546389e-06,6.539023e-06,6.533697e-06,6.514666e-06,6.499901e-06,6.489790e-06,6.459532e-06,6.438977e-06,6.424330e-06,6.384598e-06,6.359631e-06,6.340723e-06,6.293072e-06,6.264867e-06,6.241989e-06,6.187798e-06,6.157351e-06,6.130803e-06,6.071290e-06,6.039438e-06,6.009528e-06,5.945767e-06,5.913212e-06,5.880245e-06,5.813182e-06,5.780506e-06,5.744786e-06,5.675251e-06,5.642933e-06,5.604758e-06,5.533476e-06,5.501903e-06,5.461563e-06,5.389167e-06,5.358650e-06,5.316425e-06,5.243465e-06,5.214246e-06,5.170405e-06,5.097356e-06,5.069621e-06,5.024419e-06,4.951690e-06,4.925576e-06,4.879256e-06,4.807197e-06,4.782796e-06,4.735588e-06,4.664497e-06,4.641868e-06,4.593987e-06,4.524115e-06,4.503286e-06,4.454934e-06,4.386491e-06,4.367465e-06,4.318828e-06,4.251986e-06,4.234746e-06,4.185999e-06,4.120899e-06,4.105410e-06,4.056712e-06,3.993465e-06,3.979679e-06,3.931179e-06,3.869872e-06,3.857729e-06,3.809560e-06,3.750258e-06,3.739692e-06,3.691976e-06,3.634724e-06,3.625660e-06,3.578509e-06,3.523335e-06,3.515694e-06,3.469207e-06,3.416125e-06,3.409826e-06,3.364092e-06,3.313104e-06,3.308062e-06,3.263160e-06,3.214256e-06,3.210388e-06,3.166387e-06,3.119547e-06,3.116770e-06,3.073731e-06,3.028929e-06,3.027158e-06,2.985134e-06,2.942336e-06,2.941490e-06,2.900525e-06,2.859692e-06,2.781680e-06,2.707364e-06,2.636647e-06,2.569427e-06,2.505598e-06,2.445053e-06,2.387680e-06,2.333369e-06,2.282009e-06,2.233488e-06,2.187696e-06,2.144523e-06,2.103863e-06,2.065609e-06,2.029657e-06,1.995906e-06,1.964258e-06,1.934615e-06,1.906886e-06,1.880977e-06,1.856803e-06,1.834277e-06,1.813319e-06,1.793848e-06,1.775788e-06,1.759067e-06,1.743614e-06,1.729360e-06,1.716242e-06,1.704196e-06,1.693163e-06,1.683087e-06,1.673912e-06,1.665587e-06,1.658061e-06,1.651287e-06,1.645221e-06,1.639818e-06,1.635037e-06,1.630841e-06,1.627190e-06,1.624051e-06,1.621389e-06,1.619172e-06,1.617371e-06,1.615957e-06,1.614902e-06,1.614181e-06,1.613770e-06
0.000000e+00,2.960012e-06,5.918715e-05,6.204562e-05,4.437679e-04,1.732235e-03,1.817867e-03,5.096692e-03,1.046717e-02,1.088730e-02,1.912400e-02,2.842916e-02,2.930086e-02,4.084489e-02,5.198994e-02,5.325816e-02,6.613652e-02,7.759835e-02,7.915999e-02,9.207922e-02,1.029592e-01,1.047030e-01,1.168875e-01,1.267052e-01,1.285277e-01,1.395496e-01,1.480912e-01,1.499042e-01,1.595626e-01,1.667786e-01,1.685114e-01,1.767496e-01,1.826872e-01,1.842856e-01,1.911350e-01,1.958940e-01,1.973186e-01,2.028611e-01,2.065657e-01,2.077896e-01,2.121330e-01,2.149146e-01,2.159209e-01,2.191833e-01,2.211703e-01,2.219500e-01,2.242502e-01,2.255625e-01,2.261125e-01,2.275646e-01,2.283113e-01,2.286331e-01,2.293435e-01,2.296216e-01,2.297202e-01,2.297865e-01,2.296814e-01,2.295644e-01,2.290750e-01,2.286614e-01,2.283383e-01,2.273731e-01,2.267157e-01,2.261974e-01,2.248280e-01,2.239826e-01,2.232810e-01,2.215716e-01,2.205860e-01,2.197140e-01,2.177216e-01,2.166366e-01,2.156073e-01,2.133831e-01,2.122333e-01,2.110602e-01,2.086494e-01,2.074639e-01,2.061606e-01,2.036032e-01,2.024063e-01,2.009862e-01,1.983178e-01,1.971295e-01,1.956058e-01,1.928576e-01,1.916942e-01,1.900800e-01,1.872793e-01,1.861540e-01,1.844616e-01,1.816325e-01,1.805555e-01,1.787970e-01,1.759601e-01,1.749394e-01,1.731263e-01,1.702997e-01,1.693410e-01,1.674842e-01,1.646834e-01,1.637907e-01,1.619005e-01,1.591387e-01,1.583146e-01,1.564007e-01,1.536891e-01,1.529349e-01,1.510062e-01,1.483543e-01,1.476701e-01,1.457353e-01,1.431509e-01,1.425360e-01,1.406028e-01,1.380924e-01,1.375453e-01,1.356210e-01,1.331899e-01,1.327086e-01,1.307999e-01,1.284522e-01,1.280341e-01,1.261473e-01,1.238861e-01,1.235284e-01,1.216691e-01,1.194968e-01,1.191963e-01,1.173696e-01,1.152879e-01,1.150412e-01,1.132519e-01,1.112617e-01,1.110652e-01,1.093175e-01,1.074193e-01,1.072694e-01,1.055671e-01,1.037609e-01,1.036540e-01,1.020005e-01,1.002858e-01,1.002182e-01,9.861660e-02,9.699261e-02,9.696059e-02,9.541357e-02,9.387917e-02,9.097135e-02,8.823413e-02,8.566406e-02,8.325737e-02,8.101000e-02,7.891762e-02,7.697569e-02,7.517945e-02,7.352402e-02,7.200435e-02,7.061528e-02,6.935156e-02,6.820784e-02,6.717874e-02,6.625880e-02,6.544256e-02,6.472452e-02,6.409922e-02,6.356116e-02,6.310493e-02,6.272514e-02,6.241645e-02,6.217363e-02,6.199152e-02,6.186507e-02,6.178937e-02,6.175962e-02,6.177119e-02,6.181958e-02,6.190049e-02,6.200979e-02,6.214352e-02,6.229796e-02,6.246955e-02,6.265495e-02,6.285104e-02,6.305490e-02,6.326384e-02,6.347537e-02,6.368721e-02,6.389730e-02,6.410378e-02,6.430498e-02,6.449943e-02,6.468586e-02,6.486316e-02,6.503039e-02,6.518679e-02,6.533174e-02
0.000000e+00,2.208851e-08,2.821594e-07,2.942003e-07,1.769410e-06,6.319119e-06,6.608682e-06,1.675524e-05,3.012070e-05,3.103286e-05,4.631892e-05,5.978437e-05,6.091154e-05,7.434912e-05,8.540022e-05,8.656813e-05,9.760903e-05,1.064028e-04,1.075378e-04,1.164250e-04,1.232884e-04,1.243407e-04,1.313526e-04,1.365917e-04,1.375256e-04,1.429215e-04,1.468076e-04,1.475990e-04,1.516138e-04,1.543836e-04,1.550180e-04,1.578610e-04,1.597186e-04,1.601888e-04,1.620445e-04,1.631639e-04,1.634683e-04,1.644977e-04,1.650261e-04,1.651675e-04,1.655100e-04,1.655709e-04,1.655553e-04,1.653311e-04,1.650278e-04,1.648634e-04,1.641759e-04,1.635942e-04,1.632907e-04,1.622282e-04,1.614390e-04,1.610072e-04,1.596452e-04,1.587069e-04,1.581581e-04,1.565608e-04,1.555210e-04,1.548667e-04,1.530885e-04,1.519860e-04,1.512376e-04,1.493245e-04,1.481903e-04,1.473590e-04,1.453500e-04,1.442089e-04,1.433054e-04,1.412329e-04,1.401045e-04,1.391391e-04,1.370302e-04,1.359295e-04,1.349118e-04,1.327891e-04,1.317276e-04,1.306667e-04,1.285488e-04,1.275350e-04,1.264392e-04,1.243413e-04,1.233810e-04,1.222581e-04,1.201925e-04,1.192898e-04,1.181468e-04,1.161233e-04,1.152805e-04,1.141239e-04,1.121503e-04,1.113684e-04,1.102040e-04,1.082862e-04,1.075652e-04,1.063981e-04,1.045407e-04,1.038797e-04,1.027148e-04,1.009209e-04,1.003184e-04,9.915974e-05,9.743162e-05,9.688566e-05,9.573689e-05,9.407577e-05,9.358400e-05,9.244839e-05,9.085480e-05,9.041465e-05,8.929500e-05,8.776889e-05,8.737760e-05,8.627634e-05,8.481716e-05,8.447189e-05,8.339109e-05,8.199787e-05,8.169574e-05,8.063717e-05,7.930863e-05,7.904674e-05,7.801186e-05,7.674645e-05,7.652197e-05,7.551197e-05,7.430797e-05,7.411812e-05,7.313396e-05,7.198948e-05,7.183157e-05,7.087401e-05,6.978705e-05,6.965851e-05,6.872809e-05,6.769659e-05,6.759493e-05,6.669204e-05,6.571390e-05,6.563677e-05,6.476164e-05,6.383473e-05,6.377991e-05,6.293263e-05,6.205481e-05,6.202019e-05,6.120074e-05,6.036991e-05,6.035352e-05,5.956177e-05,5.877583e-05,5.728312e-05,5.587149e-05,5.453714e-05,5.327635e-05,5.208557e-05,5.096133e-05,4.990029e-05,4.889927e-05,4.795519e-05,4.706511e-05,4.622620e-05,4.543579e-05,4.469129e-05,4.399025e-05,4.333036e-05,4.270937e-05,4.212519e-05,4.157579e-05,4.105929e-05,4.057385e-05,4.011778e-05,3.968943e-05,3.928726e-05,3.890982e-05,3.855571e-05,3.822362e-05,3.791231e-05,3.762061e-05,3.734739e-05,3.709162e-05,3.685229e-05,3.662846e-05,3.641925e-05,3.622382e-05,3.604136e-05,3.587114e-05,3.571243e-05,3.556458e-05,3.542694e-05,3.529893e-05,3.517997e-05,3.506954e-05,3.496713e-05,3.487227e-05,3.478450e-05,3.470342e-05,3.462861e-05,3.455970e-05,3.449634e-05
0.000000e+00,7.780937e-08,2.522980e-06,2.668075e-06,2.545728e-05,1.017259e-04,1.063606e-04,2.493145e-04,4.019395e-04,4.114907e-04,5.596484e-04,6.722933e-04,6.809293e-04,7.738604e-04,8.359377e-04,8.417276e-04,8.892039e-04,9.177555e-04,9.208544e-04,9.405814e-04,9.504083e-04,9.515039e-04,9.560186e-04,9.561875e-04,9.559214e-04,9.525358e-04,9.479905e-04,9.468250e-04,9.394842e-04,9.327782e-04,9.310121e-04,9.217651e-04,9.141806e-04,9.119971e-04,9.018888e-04,8.940595e-04,8.915688e-04,8.811287e-04,8.733651e-04,8.706341e-04,8.601318e-04,8.525846e-04,8.496553e-04,8.392290e-04,8.319702e-04,8.288706e-04,8.185930e-04,8.116552e-04,8.084055e-04,7.983149e-04,7.917107e-04,7.883263e-04,7.784435e-04,7.721752e-04,7.686691e-04,7.590051e-04,7.530696e-04,7.494530e-04,7.400136e-04,7.344044e-04,7.306876e-04,7.214754e-04,7.161844e-04,7.123769e-04,7.033921e-04,6.984101e-04,6.945207e-04,6.857625e-04,6.810799e-04,6.771169e-04,6.685834e-04,6.641901e-04,6.601614e-04,6.518501e-04,6.477358e-04,6.436488e-04,6.355567e-04,6.317110e-04,6.275729e-04,6.196966e-04,6.161093e-04,6.119268e-04,6.042626e-04,6.009235e-04,5.967030e-04,5.892471e-04,5.861463e-04,5.818938e-04,5.746422e-04,5.717698e-04,5.674912e-04,5.604397e-04,5.577861e-04,5.534868e-04,5.466314e-04,5.441871e-04,5.398724e-04,5.332088e-04,5.309647e-04,5.266395e-04,5.201635e-04,5.181107e-04,5.137797e-04,5.074870e-04,5.056168e-04,5.012845e-04,4.951710e-04,4.934750e-04,4.891455e-04,4.832070e-04,4.816772e-04,4.773545e-04,4.715869e-04,4.702151e-04,4.659031e-04,4.603022e-04,4.590811e-04,4.547832e-04,4.493451e-04,4.482671e-04,4.439868e-04,4.387074e-04,4.377654e-04,4.335059e-04,4.283813e-04,4.275685e-04,4.233327e-04,4.183592e-04,4.176688e-04,4.134596e-04,4.086333e-04,4.080590e-04,4.038791e-04,3.991962e-04,3.987318e-04,3.945837e-04,3.900406e-04,3.896801e-04,3.855661e-04,3.811594e-04,3.808971e-04,3.768194e-04,3.725454e-04,3.723758e-04,3.683365e-04,3.641919e-04,3.641097e-04,3.601107e-04,3.560921e-04,3.483167e-04,3.407773e-04,3.334676e-04,3.263818e-04,3.195140e-04,3.128585e-04,3.064098e-04,3.001622e-04,2.941107e-04,2.882498e-04,2.825747e-04,2.770803e-04,2.717617e-04,2.666143e-04,2.616334e-04,2.568146e-04,2.521535e-04,2.476457e-04,2.432870e-04,2.390735e-04,2.350011e-04,2.310659e-04,2.272642e-04,2.235921e-04,2.200461e-04,2.166227e-04,2.133184e-04,2.101299e-04,2.070538e-04,2.040870e-04,2.012264e-04,1.984688e-04,1.958114e-04,1.932511e-04,1.907852e-04,1.884109e-04,1.861254e-04,1.839262e-04,1.818107e-04,1.797764e-04,1.778207e-04,1.759413e-04,1.741359e-04,1.724023e-04,1.707380e-04,1.691411e-04,1.676093e-04,1.661406e-04,1.647331e-04
0.000000e+00,1.605558e-09,2.067558e-08,2.158289e-08,1.369773e-07,5.057154e-07,5.294143e-07,1.360335e-06,2.432003e-06,2.504028e-06,3.696597e-06,4.732703e-06,4.819037e-06,5.844684e-06,6.684009e-06,6.772522e-06,7.607724e-06,8.271203e-06,8.356754e-06,9.026099e-06,9.542727e-06,9.621941e-06,1.015009e-05,1.054542e-05,1.061599e-05,1.102472e-05,1.132055e-05,1.138102e-05,1.168929e-05,1.190409e-05,1.195363e-05,1.217783e-05,1.232711e-05,1.236540e-05,1.251958e-05,1.261628e-05,1.264336e-05,1.273947e-05,1.279430e-05,1.281048e-05,1.285872e-05,1.288057e-05,1.288635e-05,1.289533e-05,1.289149e-05,1.288747e-05,1.286441e-05,1.284084e-05,1.282768e-05,1.277867e-05,1.274022e-05,1.271865e-05,1.264877e-05,1.259938e-05,1.257012e-05,1.248366e-05,1.242654e-05,1.239030e-05,1.229083e-05,1.222854e-05,1.218601e-05,1.207653e-05,1.201113e-05,1.196298e-05,1.184596e-05,1.177909e-05,1.172596e-05,1.160346e-05,1.153642e-05,1.147888e-05,1.135262e-05,1.128642e-05,1.122503e-05,1.109642e-05,1.103183e-05,1.096709e-05,1.083731e-05,1.077492e-05,1.070730e-05,1.057729e-05,1.051754e-05,1.044747e-05,1.031801e-05,1.026121e-05,1.018908e-05,1.006081e-05,1.000717e-05,9.933338e-06,9.806766e-06,9.756413e-06,9.681199e-06,9.556727e-06,9.509731e-06,9.433428e-06,9.311374e-06,9.267750e-06,9.190624e-06,9.071232e-06,9.030957e-06,8.953245e-06,8.836703e-06,8.799720e-06,8.721638e-06,8.608080e-06,8.574310e-06,8.496052e-06,8.385572e-06,8.354918e-06,8.276656e-06,8.169316e-06,8.141666e-06,8.063558e-06,7.959387e-06,7.934623e-06,7.856806e-06,7.755814e-06,7.733809e-06,7.656409e-06,7.558585e-06,7.539210e-06,7.462337e-06,7.367656e-06,7.350779e-06,7.274533e-06,7.182956e-06,7.168446e-06,7.092914e-06,7.004393e-06,6.992121e-06,6.917380e-06,6.831860e-06,6.821697e-06,6.747817e-06,6.665235e-06,6.657057e-06,6.584098e-06,6.504388e-06,6.498072e-06,6.426087e-06,6.349179e-06,6.344608e-06,6.273644e-06,6.199465e-06,6.196526e-06,6.126623e-06,6.055100e-06,6.053683e-06,5.984876e-06,5.915934e-06,5.783132e-06,5.655133e-06,5.531791e-06,5.412963e-06,5.298507e-06,5.188283e-06,5.082156e-06,4.979991e-06,4.881658e-06,4.787028e-06,4.695978e-06,4.608386e-06,4.524135e-06,4.443109e-06,4.365199e-06,4.290296e-06,4.218295e-06,4.149096e-06,4.082601e-06,4.018714e-06,3.957344e-06,3.898401e-06,3.841800e-06,3.787457e-06,3.735292e-06,3.685226e-06,3.637185e-06,3.591096e-06,3.546888e-06,3.504494e-06,3.463848e-06,3.424887e-06,3.387549e-06,3.351775e-06,3.317509e-06,3.284694e-06,3.253278e-06,3.223209e-06,3.194438e-06,3.166916e-06,3.140597e-06,3.115436e-06,3.091391e-06,3.068419e-06,3.046481e-06,3.025537e-06,3.005550e-06,2.986483e-06,2.968303e-06
0.000000e+00,3.663935e-08,7.515356e-07,7.889323e-07,5.513445e-06,1.728441e-05,1.790258e-05,3.445132e-05,5.000497e-05,5.097059e-05,6.648304e-05,7.976131e-05,8.087135e-05,9.416090e-05,1.052226e-04,1.064009e-04,1.176434e-04,1.267529e-04,1.279403e-04,1.373424e-04,1.447509e-04,1.459000e-04,1.536626e-04,1.596041e-04,1.606784e-04,1.669940e-04,1.716818e-04,1.726543e-04,1.777023e-04,1.813274e-04,1.821789e-04,1.861231e-04,1.888539e-04,1.895718e-04,1.925594e-04,1.945416e-04,1.951183e-04,1.972789e-04,1.986383e-04,1.990700e-04,2.005186e-04,2.013638e-04,2.016501e-04,2.024883e-04,2.029129e-04,2.030562e-04,2.033753e-04,2.034601e-04,2.034650e-04,2.033435e-04,2.031561e-04,2.030280e-04,2.025343e-04,2.021317e-04,2.018772e-04,2.010708e-04,2.005015e-04,2.001279e-04,1.990607e-04,1.983654e-04,1.978805e-04,1.965977e-04,1.958106e-04,1.952222e-04,1.937632e-04,1.929129e-04,1.922292e-04,1.906280e-04,1.897380e-04,1.889670e-04,1.872531e-04,1.863432e-04,1.854928e-04,1.836918e-04,1.827778e-04,1.818557e-04,1.799896e-04,1.790847e-04,1.780983e-04,1.761860e-04,1.753005e-04,1.742569e-04,1.723147e-04,1.714569e-04,1.703629e-04,1.684046e-04,1.675810e-04,1.664429e-04,1.644805e-04,1.636959e-04,1.625199e-04,1.605633e-04,1.598213e-04,1.586130e-04,1.566708e-04,1.559739e-04,1.547385e-04,1.528177e-04,1.521675e-04,1.509100e-04,1.490166e-04,1.484140e-04,1.471388e-04,1.452778e-04,1.447229e-04,1.434344e-04,1.416096e-04,1.411022e-04,1.398043e-04,1.380190e-04,1.375583e-04,1.362546e-04,1.345114e-04,1.340963e-04,1.327901e-04,1.310910e-04,1.307202e-04,1.294145e-04,1.277609e-04,1.274330e-04,1.261305e-04,1.245235e-04,1.242367e-04,1.229401e-04,1.213803e-04,1.211330e-04,1.198444e-04,1.183322e-04,1.181224e-04,1.168439e-04,1.153795e-04,1.152053e-04,1.139388e-04,1.125219e-04,1.123815e-04,1.111287e-04,1.097590e-04,1.096504e-04,1.084127e-04,1.070897e-04,1.070111e-04,1.057898e-04,1.045129e-04,1.044623e-04,1.032588e-04,1.020272e-04,1.020028e-04,1.008180e-04,9.963094e-05,9.734493e-05,9.514294e-05,9.302301e-05,9.098313e-05,8.902122e-05,8.713516e-05,8.532281e-05,8.358204e-05,8.191071e-05,8.030667e-05,7.876781e-05,7.729204e-05,7.587730e-05,7.452157e-05,7.322284e-05,7.197918e-05,7.078867e-05,6.964945e-05,6.855971e-05,6.751765e-05,6.652157e-05,6.556978e-05,6.466065e-05,6.379259e-05,6.296406e-05,6.217357e-05,6.141968e-05,6.070098e-05,6.001612e-05,5.936377e-05,5.874267e-05,5.815158e-05,5.758932e-05,5.705472e-05,5.654669e-05,5.606413e-05,5.560603e-05,5.517136e-05,5.475916e-05,5.436851e-05,5.399848e-05,5.364822e-05,5.331687e-05,5.300364e-05,5.270774e-05,5.242841e-05,5.216493e-05,5.191660e-05,5.168274e-05
0.000000e+00,1.401104e-09,1.924344e-08,2.007652e-08,1.143691e-07,3.562695e-07,3.703422e-07,8.206797e-07,1.367764e-06,1.404705e-06,2.025846e-06,2.580925e-06,2.627863e-06,3.194452e-06,3.671927e-06,3.723097e-06,4.214581e-06,4.617568e-06,4.670448e-06,5.092412e-06,5.429509e-06,5.482208e-06,5.841537e-06,6.121035e-06,6.172045e-06,6.475319e-06,6.704748e-06,6.752876e-06,7.006170e-06,7.192268e-06,7.236586e-06,7.445444e-06,7.594199e-06,7.634001e-06,7.803439e-06,7.920123e-06,7.954890e-06,8.089432e-06,8.178708e-06,8.208084e-06,8.311811e-06,8.377768e-06,8.401527e-06,8.478098e-06,8.524319e-06,8.542347e-06,8.595049e-06,8.624668e-06,8.636940e-06,8.668717e-06,8.684470e-06,8.691037e-06,8.704525e-06,8.708795e-06,8.709768e-06,8.707324e-06,8.702180e-06,8.697719e-06,8.681449e-06,8.668685e-06,8.658985e-06,8.630770e-06,8.611937e-06,8.597224e-06,8.558741e-06,8.535175e-06,8.515695e-06,8.468438e-06,8.441286e-06,8.417301e-06,8.362599e-06,8.332842e-06,8.304624e-06,8.243658e-06,8.212134e-06,8.179959e-06,8.113777e-06,8.081196e-06,8.045343e-06,7.974875e-06,7.941834e-06,7.902579e-06,7.828649e-06,7.795649e-06,7.753265e-06,7.676599e-06,7.644056e-06,7.598811e-06,7.520051e-06,7.488307e-06,7.440461e-06,7.360172e-06,7.329505e-06,7.279308e-06,7.197986e-06,7.168619e-06,7.116314e-06,7.034393e-06,7.006501e-06,6.952319e-06,6.870181e-06,6.843896e-06,6.788060e-06,6.706034e-06,6.681456e-06,6.624175e-06,6.542549e-06,6.519744e-06,6.461218e-06,6.380240e-06,6.359250e-06,6.299668e-06,6.219552e-06,6.200397e-06,6.139937e-06,6.060865e-06,6.043546e-06,5.982375e-06,5.904502e-06,5.889005e-06,5.827280e-06,5.750737e-06,5.737034e-06,5.674901e-06,5.599797e-06,5.587850e-06,5.525448e-06,5.451873e-06,5.441635e-06,5.379090e-06,5.307116e-06,5.298534e-06,5.235966e-06,5.165651e-06,5.158666e-06,5.096183e-06,5.027572e-06,5.022120e-06,4.959825e-06,4.892950e-06,4.888965e-06,4.826952e-06,4.761836e-06,4.759249e-06,4.697604e-06,4.634260e-06,4.633002e-06,4.571805e-06,4.510239e-06,4.390959e-06,4.275152e-06,4.162798e-06,4.053865e-06,3.948316e-06,3.846107e-06,3.747187e-06,3.651504e-06,3.558997e-06,3.469606e-06,3.383266e-06,3.299913e-06,3.219477e-06,3.141892e-06,3.067086e-06,2.994991e-06,2.925537e-06,2.858654e-06,2.794272e-06,2.732323e-06,2.672738e-06,2.615450e-06,2.560393e-06,2.507500e-06,2.456708e-06,2.407953e-06,2.361174e-06,2.316309e-06,2.273300e-06,2.232087e-06,2.192615e-06,2.154828e-06,2.118671e-06,2.084093e-06,2.051041e-06,2.019466e-06,1.989319e-06,1.960552e-06,1.933119e-06,1.906976e-06,1.882078e-06,1.858384e-06,1.835851e-06,1.814440e-06,1.794112e-06,1.774829e-06,1.756555e-06,1.739253e-06,1.722889e-06
0.000000e+00,1.387135e-07,2.528817e-06,2.647737e-06,1.805186e-05,6.703369e-05,7.017552e-05,1.833739e-04,3.489547e-04,3.611547e-04,5.835326e-04,8.034699e-04,8.226507e-04,1.057508e-03,1.256154e-03,1.277307e-03,1.478017e-03,1.638217e-03,1.658888e-03,1.820526e-03,1.944993e-03,1.964040e-03,2.090679e-03,2.184936e-03,2.201701e-03,2.298316e-03,2.367593e-03,2.381666e-03,2.452825e-03,2.501648e-03,2.512792e-03,2.562499e-03,2.594709e-03,2.602815e-03,2.634542e-03,2.653375e-03,2.658431e-03,2.675173e-03,2.683342e-03,2.685412e-03,2.689744e-03,2.689516e-03,2.688720e-03,2.682851e-03,2.676114e-03,2.672609e-03,2.658431e-03,2.646748e-03,2.640720e-03,2.619849e-03,2.604511e-03,2.596161e-03,2.569975e-03,2.552040e-03,2.541581e-03,2.511250e-03,2.491581e-03,2.479229e-03,2.445746e-03,2.425043e-03,2.411011e-03,2.375214e-03,2.354036e-03,2.338533e-03,2.301128e-03,2.279922e-03,2.263148e-03,2.224727e-03,2.203840e-03,2.185988e-03,2.147044e-03,2.126745e-03,2.107995e-03,2.068935e-03,2.049428e-03,2.029948e-03,1.991109e-03,1.972539e-03,1.952486e-03,1.914142e-03,1.896612e-03,1.876131e-03,1.838502e-03,1.822078e-03,1.801299e-03,1.764561e-03,1.749278e-03,1.728323e-03,1.692613e-03,1.678484e-03,1.657459e-03,1.622883e-03,1.609899e-03,1.588903e-03,1.555537e-03,1.543678e-03,1.522797e-03,1.490695e-03,1.479926e-03,1.459238e-03,1.428433e-03,1.418714e-03,1.398285e-03,1.368797e-03,1.360079e-03,1.339969e-03,1.311801e-03,1.304032e-03,1.284291e-03,1.257437e-03,1.250562e-03,1.231235e-03,1.205679e-03,1.199641e-03,1.180764e-03,1.156484e-03,1.151227e-03,1.132831e-03,1.109798e-03,1.105265e-03,1.087375e-03,1.065555e-03,1.061690e-03,1.044327e-03,1.023684e-03,1.020434e-03,1.003613e-03,9.841063e-04,9.814197e-04,9.651524e-04,9.467412e-04,9.445678e-04,9.288619e-04,9.115039e-04,9.097963e-04,8.946564e-04,8.783086e-04,8.770221e-04,8.624498e-04,8.470690e-04,8.461611e-04,8.321556e-04,8.176987e-04,8.171298e-04,8.036878e-04,7.901123e-04,7.898452e-04,7.769617e-04,7.642255e-04,7.401909e-04,7.176633e-04,6.965668e-04,6.768281e-04,6.583764e-04,6.411432e-04,6.250630e-04,6.100729e-04,5.961125e-04,5.831242e-04,5.710530e-04,5.598466e-04,5.494549e-04,5.398304e-04,5.309281e-04,5.227051e-04,5.151207e-04,5.081363e-04,5.017155e-04,4.958236e-04,4.904281e-04,4.854978e-04,4.810036e-04,4.769179e-04,4.732144e-04,4.698687e-04,4.668573e-04,4.641585e-04,4.617514e-04,4.596166e-04,4.577357e-04,4.560914e-04,4.546673e-04,4.534481e-04,4.524193e-04,4.515673e-04,4.508793e-04,4.503432e-04,4.499478e-04,4.496823e-04,4.495369e-04,4.495020e-04,4.495688e-04,4.497291e-04,4.499752e-04,4.502996e-04,4.506956e-04,4.511567e-04,4.516771e-04
0.000000e+00,4.970040e-08,8.989956e-07,9.426582e-07,6.910678e-06,2.626232e-05,2.747495e-05,6.704540e-05,1.125472e-04,1.155005e-04,1.638280e-04,2.058169e-04,2.093373e-04,2.515404e-04,2.867108e-04,2.904584e-04,3.262261e-04,3.552206e-04,3.590008e-04,3.889396e-04,4.125360e-04,4.161960e-04,4.409186e-04,4.598333e-04,4.632518e-04,4.833360e-04,4.982224e-04,5.013072e-04,5.172969e-04,5.287473e-04,5.314317e-04,5.438331e-04,5.523778e-04,5.546172e-04,5.638945e-04,5.700022e-04,5.717699e-04,5.783430e-04,5.824240e-04,5.837076e-04,5.879524e-04,5.903624e-04,5.911610e-04,5.934118e-04,5.944573e-04,5.947788e-04,5.953314e-04,5.952752e-04,5.951344e-04,5.942485e-04,5.933142e-04,5.927306e-04,5.906345e-04,5.890128e-04,5.880103e-04,5.849048e-04,5.827570e-04,5.813618e-04,5.774223e-04,5.748842e-04,5.731244e-04,5.685041e-04,5.656898e-04,5.635946e-04,5.584267e-04,5.554305e-04,5.530289e-04,5.474282e-04,5.443283e-04,5.416496e-04,5.357163e-04,5.325770e-04,5.296497e-04,5.234697e-04,5.203430e-04,5.171948e-04,5.108421e-04,5.077698e-04,5.044274e-04,4.979653e-04,4.949806e-04,4.914694e-04,4.849519e-04,4.820805e-04,4.784246e-04,4.718978e-04,4.691590e-04,4.653812e-04,4.588838e-04,4.562920e-04,4.524136e-04,4.459781e-04,4.435431e-04,4.395840e-04,4.332375e-04,4.309655e-04,4.269441e-04,4.207090e-04,4.186031e-04,4.145365e-04,4.084309e-04,4.064918e-04,4.023957e-04,3.964343e-04,3.946607e-04,3.905494e-04,3.847436e-04,3.831325e-04,3.790192e-04,3.733779e-04,3.719250e-04,3.678215e-04,3.623512e-04,3.610514e-04,3.569684e-04,3.516737e-04,3.505208e-04,3.464680e-04,3.413518e-04,3.403393e-04,3.363253e-04,3.313888e-04,3.305098e-04,3.265423e-04,3.217857e-04,3.210330e-04,3.171187e-04,3.125411e-04,3.119073e-04,3.080523e-04,3.036519e-04,3.031298e-04,2.993392e-04,2.951135e-04,2.946957e-04,2.909740e-04,2.869198e-04,2.865992e-04,2.829502e-04,2.790641e-04,2.788336e-04,2.752605e-04,2.715384e-04,2.713912e-04,2.678968e-04,2.643344e-04,2.642640e-04,2.608503e-04,2.574432e-04,2.509198e-04,2.446845e-04,2.387278e-04,2.330404e-04,2.276125e-04,2.224347e-04,2.174975e-04,2.127917e-04,2.083080e-04,2.040376e-04,1.999717e-04,1.961017e-04,1.924192e-04,1.889163e-04,1.855851e-04,1.824181e-04,1.794078e-04,1.765474e-04,1.738299e-04,1.712489e-04,1.687980e-04,1.664712e-04,1.642627e-04,1.621669e-04,1.601785e-04,1.582923e-04,1.565036e-04,1.548075e-04,1.531996e-04,1.516757e-04,1.502316e-04,1.488634e-04,1.475674e-04,1.463400e-04,1.451778e-04,1.440776e-04,1.430363e-04,1.420509e-04,1.411186e-04,1.402367e-04,1.394027e-04,1.386142e-04,1.378688e-04,1.371643e-04,1.364986e-04,1.358698e-04,1.352759e-04,1.347151e-04,1.341857e-04
0.000000e+00,5.329145e-10,9.093475e-09,9.503523e-09,5.438049e-08,1.586793e-07,1.644214e-07,3.357855e-07,5.206247e-07,5.324099e-07,7.206017e-07,8.756295e-07,8.882345e-07,1.034427e-06,1.149167e-06,1.161005e-06,1.270158e-06,1.353446e-06,1.363954e-06,1.444258e-06,1.503791e-06,1.512719e-06,1.570798e-06,1.612504e-06,1.619777e-06,1.660787e-06,1.689166e-06,1.694818e-06,1.722741e-06,1.741198e-06,1.745320e-06,1.763224e-06,1.774324e-06,1.777040e-06,1.787283e-06,1.792958e-06,1.794405e-06,1.798797e-06,1.800493e-06,1.800803e-06,1.800728e-06,1.799536e-06,1.798839e-06,1.795370e-06,1.792117e-06,1.790535e-06,1.784522e-06,1.779840e-06,1.777485e-06,1.769563e-06,1.763910e-06,1.760878e-06,1.751534e-06,1.745252e-06,1.741625e-06,1.731234e-06,1.724580e-06,1.720431e-06,1.709279e-06,1.702444e-06,1.697833e-06,1.686142e-06,1.679265e-06,1.674246e-06,1.662185e-06,1.655370e-06,1.649990e-06,1.637691e-06,1.631015e-06,1.625312e-06,1.612876e-06,1.606392e-06,1.600401e-06,1.587905e-06,1.581653e-06,1.575402e-06,1.562906e-06,1.556913e-06,1.550428e-06,1.537977e-06,1.532262e-06,1.525563e-06,1.513193e-06,1.507767e-06,1.500875e-06,1.488612e-06,1.483480e-06,1.476412e-06,1.464278e-06,1.459443e-06,1.452213e-06,1.440222e-06,1.435685e-06,1.428307e-06,1.416471e-06,1.412229e-06,1.404715e-06,1.393041e-06,1.389092e-06,1.381452e-06,1.369948e-06,1.366285e-06,1.358530e-06,1.347200e-06,1.343818e-06,1.335958e-06,1.324804e-06,1.321696e-06,1.313739e-06,1.302763e-06,1.299924e-06,1.291877e-06,1.281080e-06,1.278502e-06,1.270373e-06,1.259756e-06,1.257432e-06,1.249228e-06,1.238789e-06,1.236713e-06,1.228440e-06,1.218180e-06,1.216343e-06,1.208008e-06,1.197925e-06,1.196320e-06,1.187930e-06,1.178022e-06,1.176642e-06,1.168202e-06,1.158468e-06,1.157306e-06,1.148821e-06,1.139260e-06,1.138308e-06,1.129784e-06,1.120393e-06,1.119645e-06,1.111086e-06,1.101863e-06,1.101313e-06,1.092724e-06,1.083667e-06,1.083307e-06,1.074693e-06,1.065801e-06,1.065624e-06,1.056989e-06,1.048259e-06,1.031208e-06,1.014467e-06,9.980305e-07,9.818952e-07,9.660562e-07,9.505091e-07,9.352496e-07,9.202730e-07,9.055752e-07,8.911517e-07,8.769981e-07,8.631103e-07,8.494839e-07,8.361147e-07,8.229986e-07,8.101314e-07,7.975090e-07,7.851274e-07,7.729826e-07,7.610707e-07,7.493878e-07,7.379300e-07,7.266936e-07,7.156748e-07,7.048700e-07,6.942755e-07,6.838876e-07,6.737030e-07,6.637181e-07,6.539295e-07,6.443338e-07,6.349278e-07,6.257080e-07,6.166714e-07,6.078146e-07,5.991347e-07,5.906285e-07,5.822931e-07,5.741253e-07,5.661224e-07,5.582814e-07,5.505994e-07,5.430737e-07,5.357016e-07,5.284803e-07,5.214072e-07,5.144797e-07,5.076952e-07,5.010512e-07
0.000000e+00,1.030407e-08,1.468808e-07,1.533899e-07,9.233885e-07,2.999317e-06,3.121246e-06,6.945595e-06,1.122914e-05,1.150503e-05,1.598569e-05,1.983193e-05,2.015259e-05,2.397525e-05,2.712949e-05,2.746379e-05,3.063565e-05,3.317967e-05,3.350939e-05,3.610334e-05,3.812399e-05,3.843536e-05,4.052266e-05,4.209900e-05,4.238179e-05,4.402849e-05,4.523082e-05,4.547776e-05,4.674376e-05,4.763360e-05,4.783983e-05,4.877854e-05,4.940911e-05,4.957169e-05,5.023034e-05,5.064738e-05,5.076488e-05,5.118499e-05,5.142757e-05,5.149976e-05,5.171764e-05,5.181900e-05,5.184656e-05,5.189391e-05,5.188221e-05,5.186656e-05,5.177094e-05,5.166999e-05,5.161304e-05,5.139842e-05,5.122824e-05,5.113228e-05,5.081944e-05,5.059680e-05,5.046439e-05,5.007131e-05,4.981021e-05,4.964407e-05,4.918627e-05,4.889833e-05,4.870126e-05,4.819213e-05,4.788693e-05,4.766176e-05,4.711280e-05,4.679819e-05,4.654771e-05,4.596878e-05,4.565115e-05,4.537811e-05,4.477764e-05,4.446212e-05,4.416916e-05,4.355433e-05,4.324501e-05,4.293467e-05,4.231157e-05,4.201165e-05,4.168633e-05,4.106012e-05,4.077203e-05,4.043402e-05,3.980901e-05,3.953460e-05,3.918601e-05,3.856583e-05,3.830638e-05,3.794922e-05,3.733686e-05,3.709325e-05,3.672936e-05,3.612728e-05,3.590002e-05,3.553111e-05,3.494131e-05,3.473061e-05,3.435826e-05,3.378233e-05,3.358819e-05,3.321383e-05,3.265304e-05,3.247525e-05,3.210019e-05,3.155549e-05,3.139369e-05,3.101912e-05,3.049122e-05,3.034495e-05,2.997193e-05,2.946135e-05,2.933003e-05,2.895954e-05,2.846657e-05,2.834957e-05,2.798247e-05,2.750728e-05,2.740393e-05,2.704098e-05,2.658359e-05,2.649318e-05,2.613508e-05,2.569541e-05,2.561720e-05,2.526454e-05,2.484242e-05,2.477568e-05,2.442898e-05,2.402416e-05,2.396817e-05,2.362788e-05,2.324005e-05,2.319408e-05,2.286059e-05,2.248940e-05,2.245273e-05,2.212637e-05,2.177142e-05,2.174336e-05,2.142442e-05,2.108526e-05,2.106516e-05,2.075385e-05,2.043005e-05,2.041725e-05,2.011375e-05,1.980483e-05,1.979873e-05,1.950318e-05,1.920867e-05,1.864613e-05,1.811016e-05,1.759980e-05,1.711412e-05,1.665216e-05,1.621302e-05,1.579578e-05,1.539956e-05,1.502350e-05,1.466673e-05,1.432845e-05,1.400787e-05,1.370419e-05,1.341670e-05,1.314465e-05,1.288736e-05,1.264416e-05,1.241440e-05,1.219747e-05,1.199277e-05,1.179973e-05,1.161779e-05,1.144644e-05,1.128517e-05,1.113349e-05,1.099094e-05,1.085709e-05,1.073150e-05,1.061377e-05,1.050352e-05,1.040037e-05,1.030397e-05,1.021398e-05,1.013008e-05,1.005196e-05,9.979331e-06,9.911903e-06,9.849411e-06,9.791601e-06,9.738227e-06,9.689058e-06,9.643872e-06,9.602455e-06,9.564608e-06,9.530138e-06,9.498860e-06,9.470601e-06,9.445195e-06,9.422482e-06
0.000000e+00,9.117798e-08,1.459431e-06,1.524038e-06,9.538372e-06,3.556191e-05,3.728402e-05,1.028495e-04,2.070620e-04,2.149824e-04,3.622584e-04,5.106084e-04,5.236172e-04,6.837857e-04,8.207854e-04,8.354747e-04,9.760177e-04,1.089970e-03,1.104807e-03,1.222051e-03,1.314032e-03,1.328259e-03,1.424043e-03,1.496909e-03,1.510036e-03,1.586865e-03,1.643454e-03,1.655139e-03,1.715443e-03,1.758322e-03,1.768333e-03,1.814339e-03,1.845768e-03,1.853962e-03,1.887672e-03,1.909612e-03,1.915914e-03,1.939105e-03,1.953246e-03,1.957637e-03,1.971874e-03,1.979660e-03,1.982161e-03,1.988818e-03,1.991479e-03,1.992145e-03,1.992421e-03,1.991000e-03,1.989907e-03,1.984849e-03,1.980227e-03,1.977472e-03,1.967989e-03,1.960906e-03,1.956597e-03,1.943478e-03,1.934553e-03,1.928804e-03,1.912732e-03,1.902481e-03,1.895412e-03,1.876979e-03,1.865829e-03,1.857562e-03,1.837277e-03,1.825580e-03,1.816235e-03,1.794536e-03,1.782579e-03,1.772273e-03,1.749534e-03,1.737547e-03,1.726397e-03,1.702936e-03,1.691106e-03,1.679219e-03,1.655309e-03,1.643781e-03,1.631263e-03,1.607134e-03,1.596019e-03,1.582969e-03,1.558813e-03,1.548198e-03,1.534707e-03,1.510688e-03,1.500634e-03,1.486789e-03,1.463041e-03,1.453590e-03,1.439471e-03,1.416105e-03,1.407284e-03,1.392965e-03,1.370071e-03,1.361893e-03,1.347441e-03,1.325093e-03,1.317561e-03,1.303039e-03,1.281292e-03,1.274400e-03,1.259864e-03,1.238764e-03,1.232499e-03,1.218000e-03,1.197579e-03,1.191923e-03,1.177506e-03,1.157788e-03,1.152719e-03,1.138426e-03,1.119424e-03,1.114918e-03,1.100785e-03,1.082508e-03,1.078536e-03,1.064596e-03,1.047046e-03,1.043580e-03,1.029860e-03,1.013035e-03,1.010045e-03,9.965694e-04,9.804616e-04,9.779173e-04,9.647086e-04,9.493075e-04,9.471793e-04,9.342551e-04,9.195476e-04,9.178057e-04,9.051812e-04,8.911518e-04,8.897673e-04,8.774552e-04,8.640866e-04,8.630312e-04,8.510417e-04,8.383154e-04,8.375618e-04,8.259029e-04,8.137992e-04,8.133214e-04,8.019992e-04,7.904977e-04,7.902706e-04,7.792895e-04,7.683693e-04,7.475763e-04,7.278503e-04,7.091501e-04,6.914345e-04,6.746631e-04,6.587958e-04,6.437935e-04,6.296181e-04,6.162322e-04,6.035997e-04,5.916855e-04,5.804556e-04,5.698773e-04,5.599189e-04,5.505501e-04,5.417415e-04,5.334652e-04,5.256943e-04,5.184028e-04,5.115662e-04,5.051608e-04,4.991641e-04,4.935546e-04,4.883116e-04,4.834156e-04,4.788480e-04,4.745908e-04,4.706272e-04,4.669410e-04,4.635169e-04,4.603404e-04,4.573974e-04,4.546750e-04,4.521605e-04,4.498421e-04,4.477085e-04,4.457490e-04,4.439534e-04,4.423121e-04,4.408160e-04,4.394564e-04,4.382251e-04,4.371143e-04,4.361167e-04,4.352253e-04,4.344335e-04,4.337350e-04,4.331239e-04,4.325946e-04
0.000000e+00,9.241514e-08,2.234823e-06,2.352727e-06,1.980213e-05,8.181822e-05,8.590553e-05,2.341312e-04,4.438972e-04,4.588964e-04,7.232763e-04,9.734337e-04,9.949357e-04,1.256024e-03,1.475269e-03,1.498588e-03,1.719872e-03,1.896747e-03,1.919597e-03,2.098589e-03,2.236907e-03,2.258122e-03,2.399614e-03,2.505565e-03,2.524485e-03,2.634100e-03,2.713504e-03,2.729743e-03,2.812609e-03,2.870449e-03,2.883805e-03,2.944350e-03,2.984790e-03,2.995186e-03,3.037176e-03,3.063664e-03,3.071116e-03,3.097734e-03,3.113114e-03,3.117701e-03,3.131632e-03,3.138243e-03,3.140090e-03,3.143594e-03,3.143354e-03,3.142617e-03,3.137594e-03,3.132073e-03,3.128924e-03,3.116973e-03,3.107451e-03,3.102075e-03,3.084536e-03,3.072056e-03,3.064638e-03,3.042637e-03,3.028045e-03,3.018769e-03,2.993249e-03,2.977227e-03,2.966274e-03,2.938024e-03,2.921120e-03,2.908663e-03,2.878342e-03,2.860994e-03,2.847198e-03,2.815355e-03,2.797911e-03,2.782929e-03,2.750023e-03,2.732754e-03,2.716732e-03,2.683142e-03,2.666260e-03,2.649331e-03,2.615372e-03,2.599037e-03,2.581328e-03,2.547257e-03,2.531591e-03,2.513214e-03,2.479246e-03,2.464335e-03,2.445397e-03,2.411704e-03,2.397609e-03,2.378204e-03,2.344929e-03,2.331687e-03,2.311905e-03,2.279158e-03,2.266792e-03,2.246711e-03,2.214584e-03,2.203100e-03,2.182794e-03,2.151356e-03,2.140750e-03,2.120284e-03,2.089589e-03,2.079849e-03,2.059283e-03,2.029372e-03,2.020478e-03,1.999866e-03,1.970768e-03,1.962695e-03,1.942085e-03,1.913821e-03,1.906541e-03,1.885978e-03,1.858558e-03,1.852040e-03,1.831562e-03,1.804992e-03,1.799204e-03,1.778847e-03,1.753126e-03,1.748033e-03,1.727829e-03,1.702954e-03,1.698521e-03,1.678499e-03,1.654461e-03,1.650653e-03,1.630838e-03,1.607626e-03,1.604409e-03,1.584823e-03,1.562425e-03,1.559764e-03,1.540427e-03,1.518827e-03,1.516688e-03,1.497619e-03,1.476800e-03,1.475151e-03,1.456366e-03,1.436311e-03,1.435119e-03,1.416631e-03,1.397322e-03,1.396557e-03,1.378378e-03,1.359795e-03,1.359427e-03,1.341568e-03,1.323692e-03,1.289315e-03,1.256257e-03,1.224481e-03,1.193947e-03,1.164619e-03,1.136460e-03,1.109433e-03,1.083501e-03,1.058631e-03,1.034786e-03,1.011934e-03,9.900422e-04,9.690775e-04,9.490090e-04,9.298063e-04,9.114396e-04,8.938803e-04,8.771002e-04,8.610723e-04,8.457700e-04,8.311677e-04,8.172406e-04,8.039645e-04,7.913159e-04,7.792722e-04,7.678114e-04,7.569120e-04,7.465534e-04,7.367154e-04,7.273788e-04,7.185244e-04,7.101342e-04,7.021904e-04,6.946757e-04,6.875737e-04,6.808681e-04,6.745433e-04,6.685843e-04,6.629762e-04,6.577051e-04,6.527570e-04,6.481187e-04,6.437772e-04,6.397201e-04,6.359353e-04,6.324110e-04,6.291359e-04,6.260991e-04,6.232899e-04
0.000000e+00,2.856997e-08,5.121357e-07,5.364207e-07,3.811322e-06,1.500703e-05,1.574963e-05,4.357058e-05,8.595548e-05,8.909992e-05,1.460047e-04,2.007526e-04,2.054427e-04,2.618289e-04,3.081624e-04,3.130303e-04,3.586328e-04,3.942950e-04,3.988490e-04,4.340749e-04,4.607036e-04,4.647373e-04,4.912500e-04,5.105975e-04,5.139996e-04,5.333429e-04,5.468931e-04,5.496072e-04,5.630922e-04,5.720638e-04,5.740716e-04,5.827949e-04,5.881800e-04,5.894897e-04,5.943633e-04,5.969657e-04,5.976040e-04,5.993834e-04,5.998515e-04,5.998572e-04,5.991670e-04,5.980219e-04,5.974413e-04,5.947966e-04,5.924557e-04,5.913388e-04,5.871639e-04,5.839599e-04,5.823586e-04,5.770018e-04,5.731991e-04,5.711647e-04,5.649118e-04,5.607189e-04,5.583013e-04,5.513860e-04,5.469664e-04,5.442133e-04,5.368261e-04,5.323070e-04,5.292630e-04,5.215589e-04,5.170383e-04,5.137450e-04,5.058494e-04,5.014017e-04,4.978973e-04,4.899113e-04,4.855919e-04,4.819115e-04,4.739160e-04,4.697654e-04,4.659407e-04,4.580000e-04,4.540466e-04,4.501065e-04,4.422713e-04,4.385341e-04,4.345043e-04,4.268141e-04,4.233045e-04,4.192082e-04,4.116932e-04,4.084169e-04,4.042748e-04,3.969577e-04,3.939158e-04,3.897461e-04,3.826434e-04,3.798335e-04,3.756525e-04,3.687756e-04,3.661928e-04,3.620147e-04,3.553712e-04,3.530084e-04,3.488460e-04,3.424398e-04,3.402889e-04,3.361530e-04,3.299856e-04,3.280372e-04,3.239375e-04,3.180082e-04,3.162525e-04,3.121973e-04,3.065038e-04,3.049306e-04,3.009270e-04,2.954656e-04,2.940645e-04,2.901187e-04,2.848848e-04,2.836453e-04,2.797626e-04,2.747507e-04,2.736627e-04,2.698475e-04,2.650515e-04,2.641050e-04,2.603611e-04,2.557746e-04,2.549599e-04,2.512904e-04,2.469067e-04,2.462145e-04,2.426218e-04,2.384340e-04,2.378553e-04,2.343415e-04,2.303426e-04,2.298689e-04,2.264355e-04,2.226185e-04,2.222417e-04,2.188898e-04,2.152477e-04,2.149601e-04,2.116906e-04,2.082166e-04,2.080108e-04,2.048242e-04,2.015116e-04,2.013807e-04,1.982772e-04,1.951193e-04,1.950569e-04,1.920364e-04,1.890268e-04,1.832783e-04,1.777994e-04,1.725787e-04,1.676051e-04,1.628678e-04,1.583566e-04,1.540616e-04,1.499731e-04,1.460821e-04,1.423796e-04,1.388574e-04,1.355073e-04,1.323215e-04,1.292925e-04,1.264134e-04,1.236773e-04,1.210776e-04,1.186082e-04,1.162631e-04,1.140365e-04,1.119231e-04,1.099176e-04,1.080151e-04,1.062107e-04,1.045000e-04,1.028787e-04,1.013424e-04,9.988743e-05,9.850983e-05,9.720603e-05,9.597258e-05,9.480617e-05,9.370367e-05,9.266206e-05,9.167847e-05,9.075016e-05,8.987451e-05,8.904902e-05,8.827131e-05,8.753909e-05,8.685019e-05,8.620253e-05,8.559414e-05,8.502311e-05,8.448765e-05,8.398602e-05,8.351659e-05,8.307777e-05,8.266808e-05
0.000000e+00,5.149461e-08,7.464587e-07,7.791530e-07,4.968639e-06,1.922080e-05,2.017468e-05,5.604148e-05,1.085299e-04,1.122650e-04,1.765625e-04,2.346873e-04,2.395857e-04,2.982480e-04,3.468160e-04,3.519657e-04,4.008243e-04,4.399938e-04,4.450685e-04,4.849742e-04,5.160331e-04,5.208165e-04,5.528618e-04,5.770328e-04,5.813657e-04,6.065723e-04,6.249451e-04,6.287147e-04,6.480139e-04,6.615475e-04,6.646796e-04,6.789098e-04,6.884391e-04,6.908911e-04,7.007986e-04,7.070431e-04,7.087970e-04,7.150402e-04,7.186153e-04,7.196723e-04,7.228278e-04,7.242562e-04,7.246321e-04,7.252023e-04,7.249258e-04,7.246474e-04,7.230686e-04,7.214587e-04,7.205604e-04,7.172102e-04,7.145777e-04,7.130996e-04,7.083040e-04,7.049079e-04,7.028935e-04,6.969330e-04,6.929878e-04,6.904826e-04,6.835981e-04,6.792805e-04,6.763309e-04,6.687285e-04,6.641830e-04,6.608349e-04,6.526905e-04,6.480342e-04,6.443328e-04,6.357962e-04,6.311233e-04,6.271123e-04,6.183104e-04,6.136958e-04,6.094172e-04,6.004571e-04,5.959590e-04,5.914525e-04,5.824239e-04,5.780873e-04,5.733901e-04,5.643681e-04,5.602262e-04,5.553733e-04,5.464199e-04,5.424968e-04,5.375205e-04,5.286867e-04,5.249985e-04,5.199287e-04,5.112558e-04,5.078123e-04,5.026762e-04,4.941975e-04,4.910034e-04,4.858261e-04,4.775677e-04,4.746234e-04,4.694274e-04,4.614096e-04,4.587121e-04,4.535179e-04,4.457557e-04,4.432996e-04,4.381256e-04,4.306297e-04,4.284074e-04,4.232699e-04,4.160475e-04,4.140500e-04,4.089635e-04,4.020185e-04,4.002357e-04,3.952129e-04,3.885468e-04,3.869676e-04,3.820199e-04,3.756318e-04,3.742450e-04,3.693818e-04,3.632692e-04,3.620631e-04,3.572929e-04,3.514517e-04,3.504146e-04,3.457444e-04,3.401694e-04,3.392896e-04,3.347253e-04,3.294105e-04,3.286766e-04,3.242231e-04,3.191614e-04,3.185624e-04,3.142235e-04,3.094075e-04,3.089326e-04,3.047115e-04,3.001333e-04,2.997720e-04,2.956709e-04,2.913223e-04,2.910650e-04,2.870854e-04,2.829581e-04,2.827952e-04,2.789381e-04,2.750236e-04,2.749463e-04,2.712122e-04,2.675019e-04,2.604455e-04,2.537608e-04,2.474318e-04,2.414427e-04,2.357781e-04,2.304231e-04,2.253630e-04,2.205838e-04,2.160719e-04,2.118141e-04,2.077978e-04,2.040108e-04,2.004416e-04,1.970788e-04,1.939120e-04,1.909307e-04,1.881254e-04,1.854866e-04,1.830056e-04,1.806738e-04,1.784832e-04,1.764261e-04,1.744954e-04,1.726841e-04,1.709855e-04,1.693935e-04,1.679022e-04,1.665060e-04,1.651995e-04,1.639777e-04,1.628358e-04,1.617693e-04,1.607739e-04,1.598456e-04,1.589805e-04,1.581750e-04,1.574256e-04,1.567290e-04,1.560823e-04,1.554825e-04,1.549269e-04,1.544128e-04,1.539378e-04,1.534995e-04,1.530959e-04,1.527247e-04,1.523841e-04,1.520722e-04,1.517872e-04
0.000000e+00,2.054981e-08,2.836945e-07,2.961233e-07,1.843908e-06,6.636573e-06,6.941055e-06,1.760644e-05,3.168456e-05,3.264229e-05,4.847798e-05,6.194998e-05,6.305397e-05,7.591327e-05,8.604928e-05,8.709597e-05,9.674527e-05,1.040911e-04,1.050156e-04,1.120527e-04,1.172197e-04,1.179891e-04,1.229456e-04,1.264315e-04,1.270307e-04,1.303428e-04,1.325440e-04,1.329700e-04,1.349918e-04,1.362215e-04,1.364795e-04,1.374966e-04,1.380002e-04,1.381002e-04,1.383413e-04,1.383102e-04,1.382653e-04,1.379125e-04,1.374947e-04,1.373191e-04,1.365171e-04,1.358266e-04,1.355350e-04,1.343981e-04,1.335223e-04,1.331288e-04,1.317472e-04,1.307526e-04,1.302708e-04,1.287154e-04,1.276523e-04,1.270947e-04,1.254210e-04,1.243271e-04,1.237051e-04,1.219566e-04,1.208598e-04,1.201837e-04,1.183940e-04,1.173148e-04,1.165939e-04,1.147890e-04,1.137420e-04,1.129844e-04,1.111844e-04,1.101798e-04,1.093927e-04,1.076126e-04,1.066572e-04,1.058470e-04,1.040983e-04,1.031963e-04,1.023686e-04,1.006596e-04,9.981332e-05,9.897281e-05,9.730955e-05,9.651986e-05,9.567087e-05,9.405757e-05,9.332418e-05,9.247039e-05,9.090984e-05,9.023175e-05,8.937636e-05,8.787020e-05,8.724581e-05,8.639156e-05,8.494054e-05,8.436787e-05,8.351715e-05,8.212135e-05,8.159815e-05,8.075303e-05,7.941204e-05,7.893594e-05,7.809819e-05,7.681123e-05,7.637974e-05,7.555090e-05,7.431689e-05,7.392751e-05,7.310888e-05,7.192652e-05,7.157677e-05,7.076947e-05,6.963733e-05,6.932474e-05,6.852972e-05,6.744626e-05,6.716847e-05,6.638654e-05,6.535016e-05,6.510486e-05,6.433670e-05,6.334576e-05,6.313073e-05,6.237692e-05,6.142977e-05,6.124290e-05,6.050389e-05,5.959889e-05,5.943817e-05,5.871435e-05,5.784986e-05,5.771338e-05,5.700504e-05,5.617948e-05,5.606541e-05,5.537279e-05,5.458459e-05,5.449123e-05,5.381449e-05,5.306213e-05,5.298786e-05,5.232713e-05,5.160912e-05,5.155241e-05,5.090776e-05,5.022268e-05,5.018208e-05,4.955354e-05,4.890000e-05,4.887418e-05,4.826172e-05,4.763839e-05,4.762607e-05,4.702967e-05,4.643525e-05,4.529928e-05,4.421583e-05,4.318264e-05,4.219757e-05,4.125853e-05,4.036354e-05,3.951069e-05,3.869816e-05,3.792417e-05,3.718707e-05,3.648522e-05,3.581709e-05,3.518120e-05,3.457613e-05,3.400052e-05,3.345307e-05,3.293255e-05,3.243775e-05,3.196754e-05,3.152081e-05,3.109654e-05,3.069371e-05,3.031137e-05,2.994860e-05,2.960451e-05,2.927828e-05,2.896909e-05,2.867618e-05,2.839881e-05,2.813627e-05,2.788789e-05,2.765302e-05,2.743105e-05,2.722137e-05,2.702344e-05,2.683670e-05,2.666063e-05,2.649475e-05,2.633857e-05,2.619164e-05,2.605353e-05,2.592383e-05,2.580213e-05,2.568806e-05,2.558124e-05,2.548135e-05,2.538803e-05,2.530098e-05,2.521989e-05
0.000000e+00,1.281119e-08,2.131155e-07,2.231501e-07,1.486999e-06,5.130585e-06,5.349830e-06,1.237348e-05,2.041199e-05,2.093239e-05,2.939037e-05,3.662551e-05,3.722666e-05,4.436256e-05,5.020367e-05,5.082006e-05,5.664168e-05,6.127466e-05,6.187266e-05,6.655688e-05,7.017974e-05,7.073587e-05,7.444865e-05,7.723394e-05,7.773182e-05,8.061948e-05,8.271460e-05,8.314342e-05,8.533315e-05,8.686279e-05,8.721607e-05,8.881754e-05,8.988648e-05,9.016107e-05,9.126852e-05,9.196477e-05,9.216007e-05,9.285435e-05,9.325136e-05,9.336869e-05,9.371891e-05,9.387760e-05,9.391945e-05,9.398369e-05,9.395421e-05,9.392398e-05,9.375172e-05,9.357579e-05,9.347766e-05,9.311222e-05,9.282540e-05,9.266445e-05,9.214263e-05,9.177335e-05,9.155438e-05,9.090669e-05,9.047813e-05,9.020603e-05,8.945830e-05,8.898934e-05,8.866892e-05,8.784289e-05,8.734883e-05,8.698481e-05,8.609888e-05,8.559204e-05,8.518896e-05,8.425859e-05,8.374883e-05,8.331099e-05,8.234912e-05,8.184422e-05,8.137569e-05,8.039316e-05,7.989921e-05,7.940381e-05,7.840971e-05,7.793141e-05,7.741273e-05,7.641458e-05,7.595548e-05,7.541683e-05,7.442088e-05,7.398356e-05,7.342801e-05,7.243937e-05,7.202566e-05,7.145601e-05,7.047888e-05,7.008996e-05,6.950882e-05,6.854658e-05,6.818313e-05,6.759286e-05,6.664825e-05,6.631053e-05,6.571330e-05,6.478847e-05,6.447641e-05,6.387419e-05,6.297081e-05,6.268409e-05,6.207867e-05,6.119802e-05,6.093610e-05,6.032910e-05,5.947211e-05,5.923431e-05,5.862721e-05,5.779452e-05,5.758004e-05,5.697415e-05,5.616618e-05,5.597411e-05,5.537064e-05,5.458759e-05,5.441699e-05,5.381702e-05,5.305892e-05,5.290880e-05,5.231328e-05,5.158006e-05,5.144940e-05,5.085921e-05,5.015066e-05,5.003843e-05,4.945434e-05,4.877016e-05,4.867534e-05,4.809803e-05,4.743785e-05,4.735943e-05,4.678951e-05,4.615290e-05,4.608988e-05,4.552790e-05,4.491439e-05,4.486580e-05,4.431222e-05,4.372129e-05,4.368618e-05,4.314144e-05,4.257254e-05,4.255001e-05,4.201445e-05,4.146702e-05,4.145618e-05,4.093013e-05,4.040361e-05,3.939115e-05,3.841767e-05,3.748203e-05,3.658309e-05,3.571972e-05,3.489082e-05,3.409527e-05,3.333199e-05,3.259993e-05,3.189804e-05,3.122530e-05,3.058073e-05,2.996335e-05,2.937223e-05,2.880645e-05,2.826511e-05,2.774735e-05,2.725233e-05,2.677923e-05,2.632727e-05,2.589567e-05,2.548369e-05,2.509061e-05,2.471574e-05,2.435839e-05,2.401792e-05,2.369369e-05,2.338509e-05,2.309153e-05,2.281244e-05,2.254725e-05,2.229544e-05,2.205649e-05,2.182989e-05,2.161516e-05,2.141184e-05,2.121946e-05,2.103760e-05,2.086583e-05,2.070374e-05,2.055093e-05,2.040703e-05,2.027167e-05,2.014449e-05,2.002514e-05,1.991330e-05,1.980864e-05,1.971086e-05,1.961965e-05
0.000000e+00,3.415139e-07,6.794620e-06,7.128022e-06,5.444093e-05,2.277080e-04,2.394732e-04,6.852138e-04,1.362150e-03,1.412411e-03,2.338455e-03,3.282620e-03,3.366695e-03,4.421095e-03,5.348083e-03,5.448499e-03,6.414265e-03,7.196362e-03,7.297571e-03,8.087551e-03,8.689201e-03,8.780333e-03,9.376819e-03,9.806350e-03,9.881061e-03,1.029907e-02,1.058245e-02,1.063795e-02,1.090531e-02,1.107286e-02,1.110882e-02,1.125593e-02,1.133607e-02,1.135368e-02,1.140861e-02,1.142540e-02,1.142667e-02,1.141321e-02,1.138579e-02,1.137301e-02,1.131025e-02,1.125318e-02,1.122862e-02,1.113130e-02,1.105534e-02,1.102106e-02,1.090026e-02,1.081314e-02,1.077094e-02,1.063481e-02,1.054195e-02,1.049333e-02,1.034776e-02,1.025295e-02,1.019916e-02,1.004839e-02,9.954163e-03,9.896206e-03,9.743211e-03,9.651239e-03,9.589912e-03,9.436730e-03,9.348078e-03,9.284013e-03,9.132052e-03,9.047377e-03,8.981090e-03,8.831327e-03,8.751014e-03,8.682932e-03,8.536048e-03,8.460306e-03,8.390796e-03,8.247277e-03,8.176194e-03,8.105576e-03,7.965768e-03,7.899350e-03,7.827913e-03,7.692064e-03,7.630260e-03,7.558267e-03,7.426559e-03,7.369278e-03,7.296973e-03,7.169534e-03,7.116656e-03,7.044264e-03,6.921180e-03,6.872561e-03,6.800294e-03,6.681615e-03,6.637097e-03,6.565150e-03,6.450900e-03,6.410313e-03,6.338867e-03,6.229045e-03,6.192209e-03,6.121431e-03,6.016015e-03,5.982745e-03,5.912787e-03,5.811736e-03,5.781843e-03,5.712846e-03,5.616103e-03,5.589397e-03,5.521487e-03,5.428981e-03,5.405272e-03,5.338563e-03,5.250212e-03,5.229313e-03,5.163905e-03,5.079619e-03,5.061345e-03,4.997328e-03,4.917007e-03,4.901177e-03,4.838630e-03,4.762170e-03,4.748608e-03,4.687599e-03,4.614890e-03,4.603427e-03,4.544014e-03,4.474943e-03,4.465415e-03,4.407648e-03,4.342100e-03,4.334351e-03,4.278271e-03,4.216130e-03,4.210007e-03,4.155648e-03,4.096797e-03,4.092159e-03,4.039547e-03,3.983870e-03,3.980578e-03,3.929735e-03,3.877114e-03,3.875040e-03,3.825979e-03,3.776301e-03,3.775322e-03,3.728052e-03,3.681204e-03,3.592469e-03,3.508904e-03,3.430303e-03,3.356462e-03,3.287182e-03,3.222272e-03,3.161543e-03,3.104813e-03,3.051904e-03,3.002646e-03,2.956870e-03,2.914416e-03,2.875127e-03,2.838850e-03,2.805441e-03,2.774755e-03,2.746656e-03,2.721011e-03,2.697691e-03,2.676571e-03,2.657532e-03,2.640458e-03,2.625237e-03,2.611759e-03,2.599922e-03,2.589623e-03,2.580767e-03,2.573259e-03,2.567009e-03,2.561931e-03,2.557942e-03,2.554961e-03,2.552912e-03,2.551720e-03,2.551315e-03,2.551631e-03,2.552601e-03,2.554165e-03,2.556264e-03,2.558841e-03,2.561844e-03,2.565222e-03,2.568928e-03,2.572916e-03,2.577143e-03,2.581569e-03,2.586157e-03,2.590871e-03,2.595678e-03
0.000000e+00,3.131744e-08,6.656796e-07,6.989500e-07,5.236912e-06,2.004206e-05,2.099314e-05,5.507514e-05,1.039193e-04,1.074616e-04,1.706720e-04,2.311624e-04,2.363733e-04,2.997411e-04,3.531733e-04,3.588760e-04,4.132726e-04,4.572389e-04,4.629586e-04,5.081428e-04,5.435994e-04,5.490862e-04,5.860584e-04,6.142386e-04,6.193221e-04,6.491282e-04,6.711562e-04,6.757143e-04,6.993042e-04,7.161610e-04,7.201088e-04,7.383259e-04,7.508590e-04,7.541413e-04,7.677290e-04,7.766665e-04,7.792521e-04,7.888632e-04,7.948288e-04,7.967051e-04,8.029116e-04,8.064381e-04,8.076076e-04,8.109100e-04,8.124513e-04,8.129281e-04,8.137639e-04,8.137059e-04,8.135129e-04,8.122640e-04,8.109337e-04,8.101004e-04,8.070997e-04,8.047737e-04,8.033344e-04,7.988720e-04,7.957830e-04,7.937754e-04,7.881034e-04,7.844469e-04,7.819106e-04,7.752480e-04,7.711872e-04,7.681629e-04,7.606995e-04,7.563702e-04,7.528989e-04,7.447991e-04,7.403135e-04,7.364357e-04,7.278414e-04,7.232914e-04,7.190469e-04,7.100805e-04,7.055411e-04,7.009684e-04,6.917349e-04,6.872664e-04,6.824026e-04,6.729921e-04,6.686425e-04,6.635229e-04,6.540124e-04,6.498190e-04,6.444772e-04,6.349322e-04,6.309237e-04,6.253912e-04,6.158670e-04,6.120646e-04,6.063712e-04,5.969145e-04,5.933332e-04,5.875066e-04,5.781564e-04,5.748060e-04,5.688720e-04,5.596608e-04,5.565468e-04,5.505293e-04,5.414836e-04,5.386080e-04,5.325292e-04,5.236707e-04,5.210326e-04,5.149126e-04,5.062588e-04,5.038548e-04,4.977125e-04,4.892767e-04,4.871019e-04,4.809542e-04,4.727469e-04,4.707946e-04,4.646569e-04,4.566857e-04,4.549482e-04,4.488347e-04,4.411048e-04,4.395734e-04,4.334968e-04,4.260113e-04,4.246769e-04,4.186486e-04,4.114089e-04,4.102620e-04,4.042922e-04,3.972984e-04,3.963290e-04,3.904269e-04,3.836775e-04,3.828758e-04,3.770495e-04,3.705423e-04,3.698982e-04,3.641549e-04,3.578866e-04,3.573902e-04,3.517363e-04,3.457029e-04,3.453446e-04,3.397854e-04,3.339826e-04,3.337529e-04,3.282932e-04,3.227158e-04,3.226054e-04,3.172493e-04,3.118921e-04,3.016020e-04,2.917239e-04,2.822462e-04,2.731572e-04,2.644448e-04,2.560970e-04,2.481019e-04,2.404476e-04,2.331222e-04,2.261144e-04,2.194125e-04,2.130055e-04,2.068825e-04,2.010327e-04,1.954457e-04,1.901114e-04,1.850200e-04,1.801619e-04,1.755279e-04,1.711090e-04,1.668965e-04,1.628821e-04,1.590577e-04,1.554155e-04,1.519479e-04,1.486478e-04,1.455081e-04,1.425221e-04,1.396834e-04,1.369856e-04,1.344229e-04,1.319895e-04,1.296798e-04,1.274885e-04,1.254105e-04,1.234410e-04,1.215752e-04,1.198085e-04,1.181368e-04,1.165558e-04,1.150615e-04,1.136502e-04,1.123181e-04,1.110617e-04,1.098777e-04,1.087628e-04,1.077140e-04,1.067282e-04,1.058026e-04
0.000000e+00,1.915099e-07,4.027245e-06,4.229405e-06,3.342298e-05,1.403251e-04,1.475518e-04,4.193252e-04,8.260634e-04,8.559903e-04,1.401016e-03,1.945137e-03,1.993062e-03,2.587214e-03,3.099553e-03,3.154513e-03,3.677867e-03,4.094866e-03,4.148387e-03,4.562654e-03,4.873959e-03,4.920788e-03,5.225106e-03,5.441757e-03,5.479210e-03,5.687370e-03,5.826946e-03,5.854105e-03,5.983923e-03,6.064112e-03,6.081149e-03,6.149828e-03,6.185979e-03,6.193670e-03,6.216029e-03,6.220516e-03,6.219910e-03,6.207972e-03,6.190344e-03,6.182560e-03,6.145724e-03,6.113142e-03,6.099252e-03,6.044694e-03,6.002419e-03,5.983392e-03,5.916506e-03,5.868348e-03,5.845032e-03,5.769828e-03,5.718513e-03,5.691632e-03,5.611077e-03,5.558538e-03,5.528708e-03,5.444993e-03,5.392593e-03,5.360334e-03,5.275074e-03,5.223755e-03,5.189509e-03,5.103894e-03,5.054301e-03,5.018446e-03,4.933351e-03,4.885914e-03,4.848772e-03,4.764844e-03,4.719837e-03,4.681687e-03,4.599398e-03,4.556981e-03,4.518064e-03,4.437757e-03,4.398007e-03,4.358536e-03,4.280454e-03,4.243391e-03,4.203551e-03,4.127862e-03,4.093460e-03,4.053414e-03,3.980231e-03,3.948435e-03,3.908328e-03,3.837719e-03,3.808451e-03,3.768411e-03,3.700410e-03,3.673575e-03,3.633716e-03,3.568330e-03,3.543825e-03,3.504247e-03,3.441462e-03,3.419176e-03,3.379969e-03,3.319757e-03,3.299575e-03,3.260817e-03,3.203137e-03,3.184943e-03,3.146704e-03,3.091504e-03,3.075182e-03,3.037523e-03,2.984746e-03,2.970182e-03,2.933157e-03,2.882739e-03,2.869820e-03,2.833476e-03,2.785351e-03,2.773968e-03,2.738346e-03,2.692444e-03,2.682492e-03,2.647627e-03,2.603876e-03,2.595253e-03,2.561175e-03,2.519505e-03,2.512112e-03,2.478847e-03,2.439184e-03,2.432930e-03,2.400499e-03,2.362772e-03,2.357566e-03,2.325987e-03,2.290125e-03,2.285883e-03,2.255170e-03,2.221103e-03,2.217745e-03,2.187908e-03,2.155568e-03,2.153017e-03,2.124065e-03,2.093384e-03,2.091569e-03,2.063507e-03,2.034419e-03,2.033272e-03,2.006104e-03,1.978546e-03,1.978002e-03,1.951729e-03,1.925638e-03,1.876061e-03,1.829157e-03,1.784817e-03,1.742932e-03,1.703399e-03,1.666118e-03,1.630993e-03,1.597931e-03,1.566842e-03,1.537639e-03,1.510239e-03,1.484562e-03,1.460529e-03,1.438068e-03,1.417105e-03,1.397571e-03,1.379401e-03,1.362529e-03,1.346895e-03,1.332439e-03,1.319103e-03,1.306834e-03,1.295577e-03,1.285282e-03,1.275899e-03,1.267383e-03,1.259686e-03,1.252766e-03,1.246581e-03,1.241090e-03,1.236254e-03,1.232035e-03,1.228399e-03,1.225310e-03,1.222735e-03,1.220642e-03,1.219001e-03,1.217782e-03,1.216958e-03,1.216500e-03,1.216384e-03,1.216584e-03,1.217076e-03,1.217839e-03,1.218849e-03,1.220087e-03,1.221533e-03,1.223167e-03,1.224972e-03
0.000000e+00,4.705476e-09,1.017790e-07,1.068486e-07,7.320472e-07,2.265955e-06,2.346749e-06,4.485868e-06,6.400686e-06,6.515781e-06,8.301610e-06,9.734283e-06,9.849986e-06,1.118574e-05,1.222676e-05,1.233378e-05,1.331654e-05,1.406048e-05,1.415388e-05,1.486330e-05,1.538294e-05,1.546028e-05,1.595848e-05,1.630953e-05,1.637000e-05,1.670551e-05,1.693057e-05,1.697445e-05,1.718512e-05,1.731667e-05,1.734487e-05,1.746017e-05,1.752291e-05,1.753668e-05,1.757938e-05,1.759193e-05,1.759264e-05,1.758031e-05,1.755671e-05,1.754576e-05,1.749196e-05,1.744279e-05,1.742154e-05,1.733686e-05,1.727018e-05,1.723992e-05,1.713247e-05,1.705420e-05,1.701606e-05,1.689203e-05,1.680658e-05,1.676157e-05,1.662570e-05,1.653634e-05,1.648534e-05,1.634129e-05,1.625043e-05,1.619423e-05,1.604478e-05,1.595419e-05,1.589348e-05,1.574077e-05,1.565173e-05,1.558708e-05,1.543275e-05,1.534617e-05,1.527810e-05,1.512340e-05,1.503992e-05,1.496887e-05,1.481473e-05,1.473479e-05,1.466115e-05,1.450828e-05,1.443216e-05,1.435626e-05,1.420520e-05,1.413306e-05,1.405520e-05,1.390635e-05,1.383828e-05,1.375872e-05,1.361236e-05,1.354839e-05,1.346734e-05,1.332369e-05,1.326378e-05,1.318146e-05,1.304066e-05,1.298476e-05,1.290134e-05,1.276350e-05,1.271151e-05,1.262716e-05,1.249233e-05,1.244417e-05,1.235903e-05,1.222725e-05,1.218279e-05,1.209700e-05,1.196828e-05,1.192741e-05,1.184108e-05,1.171541e-05,1.167801e-05,1.159126e-05,1.146862e-05,1.143455e-05,1.134748e-05,1.122785e-05,1.119699e-05,1.110970e-05,1.099303e-05,1.096524e-05,1.087782e-05,1.076407e-05,1.073924e-05,1.065177e-05,1.054089e-05,1.051889e-05,1.043144e-05,1.032340e-05,1.030410e-05,1.021675e-05,1.011148e-05,1.009476e-05,1.000757e-05,9.905028e-06,9.890778e-06,9.803821e-06,9.703943e-06,9.692046e-06,9.605377e-06,9.508112e-06,9.498457e-06,9.412134e-06,9.317428e-06,9.309906e-06,9.223981e-06,9.131779e-06,9.126286e-06,9.040809e-06,8.951058e-06,8.947493e-06,8.862511e-06,8.775155e-06,8.773420e-06,8.688977e-06,8.603964e-06,8.439023e-06,8.278494e-06,8.122279e-06,7.970278e-06,7.822394e-06,7.678533e-06,7.538601e-06,7.402507e-06,7.270160e-06,7.141473e-06,7.016358e-06,6.894731e-06,6.776509e-06,6.661610e-06,6.549956e-06,6.441467e-06,6.336067e-06,6.233682e-06,6.134239e-06,6.037666e-06,5.943893e-06,5.852852e-06,5.764475e-06,5.678697e-06,5.595455e-06,5.514684e-06,5.436326e-06,5.360318e-06,5.286603e-06,5.215124e-06,5.145825e-06,5.078651e-06,5.013548e-06,4.950464e-06,4.889349e-06,4.830153e-06,4.772826e-06,4.717321e-06,4.663592e-06,4.611593e-06,4.561279e-06,4.512607e-06,4.465535e-06,4.420022e-06,4.376025e-06,4.333507e-06,4.292429e-06,4.252752e-06,4.214439e-06
0.000000e+00,1.137858e-09,1.449427e-08,1.512829e-08,9.474960e-08,3.365288e-07,3.514438e-07,8.342313e-07,1.386046e-06,1.421820e-06,2.007359e-06,2.516896e-06,2.559664e-06,3.073026e-06,3.501890e-06,3.547650e-06,3.985112e-06,4.340840e-06,4.387304e-06,4.756148e-06,5.048128e-06,5.093539e-06,5.401322e-06,5.638289e-06,5.681285e-06,5.935151e-06,6.125007e-06,6.164569e-06,6.371118e-06,6.520899e-06,6.556294e-06,6.721520e-06,6.837413e-06,6.868138e-06,6.997416e-06,7.084808e-06,7.110548e-06,7.208658e-06,7.272210e-06,7.292799e-06,7.363964e-06,7.407692e-06,7.423082e-06,7.471024e-06,7.498375e-06,7.508609e-06,7.536602e-06,7.550526e-06,7.555720e-06,7.566633e-06,7.569650e-06,7.569972e-06,7.566323e-06,7.560576e-06,7.556237e-06,7.540228e-06,7.527539e-06,7.518776e-06,7.492331e-06,7.474243e-06,7.461313e-06,7.426114e-06,7.403928e-06,7.387100e-06,7.344613e-06,7.319423e-06,7.298972e-06,7.250474e-06,7.223196e-06,7.199397e-06,7.146000e-06,7.117398e-06,7.090524e-06,7.033193e-06,7.003898e-06,6.974216e-06,6.913789e-06,6.884322e-06,6.852091e-06,6.789293e-06,6.760079e-06,6.725549e-06,6.661006e-06,6.632389e-06,6.595799e-06,6.530052e-06,6.502307e-06,6.463883e-06,6.397399e-06,6.370740e-06,6.330699e-06,6.263876e-06,6.238469e-06,6.197015e-06,6.130194e-06,6.106162e-06,6.063486e-06,5.996959e-06,5.974391e-06,5.930673e-06,5.864685e-06,5.843641e-06,5.799048e-06,5.733808e-06,5.714320e-06,5.669009e-06,5.604692e-06,5.586774e-06,5.540892e-06,5.477642e-06,5.461291e-06,5.414972e-06,5.352909e-06,5.338107e-06,5.291478e-06,5.230699e-06,5.217418e-06,5.170594e-06,5.111178e-06,5.099379e-06,5.052467e-06,4.994474e-06,4.984113e-06,4.937212e-06,4.880691e-06,4.871716e-06,4.824918e-06,4.769900e-06,4.762259e-06,4.715645e-06,4.662156e-06,4.655789e-06,4.609437e-06,4.557490e-06,4.552338e-06,4.506318e-06,4.455920e-06,4.451921e-06,4.406296e-06,4.357446e-06,4.354539e-06,4.309367e-06,4.262058e-06,4.260181e-06,4.215515e-06,4.169735e-06,4.168827e-06,4.124714e-06,4.080448e-06,3.995008e-06,3.912466e-06,3.832774e-06,3.755881e-06,3.681735e-06,3.610276e-06,3.541448e-06,3.475190e-06,3.411439e-06,3.350134e-06,3.291211e-06,3.234608e-06,3.180262e-06,3.128111e-06,3.078091e-06,3.030142e-06,2.984201e-06,2.940210e-06,2.898109e-06,2.857840e-06,2.819345e-06,2.782568e-06,2.747455e-06,2.713950e-06,2.682002e-06,2.651557e-06,2.622567e-06,2.594981e-06,2.568751e-06,2.543830e-06,2.520172e-06,2.497733e-06,2.476469e-06,2.456336e-06,2.437294e-06,2.419303e-06,2.402323e-06,2.386316e-06,2.371244e-06,2.357072e-06,2.343765e-06,2.331288e-06,2.319607e-06,2.308692e-06,2.298510e-06,2.289032e-06,2.280227e-06,2.272067e-06,2.264524e-06
0.000000e+00,1.023842e-09,1.445772e-08,1.510630e-08,9.414487e-08,3.099567e-07,3.223752e-07,6.884160e-07,1.062611e-06,1.086135e-06,1.464287e-06,1.785706e-06,1.812415e-06,2.129841e-06,2.390389e-06,2.417927e-06,2.678423e-06,2.886244e-06,2.913099e-06,3.123658e-06,3.286696e-06,3.311732e-06,3.478870e-06,3.604171e-06,3.626553e-06,3.756210e-06,3.850028e-06,3.869193e-06,3.966787e-06,4.034599e-06,4.050204e-06,4.120584e-06,4.167120e-06,4.178996e-06,4.226439e-06,4.255735e-06,4.263844e-06,4.292080e-06,4.307548e-06,4.311953e-06,4.324210e-06,4.328710e-06,4.329544e-06,4.328599e-06,4.324520e-06,4.321966e-06,4.310196e-06,4.299517e-06,4.293794e-06,4.273227e-06,4.257583e-06,4.248928e-06,4.221293e-06,4.202026e-06,4.190688e-06,4.157449e-06,4.135655e-06,4.121886e-06,4.084283e-06,4.060851e-06,4.044901e-06,4.003979e-06,3.979627e-06,3.961738e-06,3.918377e-06,3.893675e-06,3.874081e-06,3.829018e-06,3.804419e-06,3.783341e-06,3.737190e-06,3.713047e-06,3.690693e-06,3.643966e-06,3.620549e-06,3.597113e-06,3.550230e-06,3.527742e-06,3.503404e-06,3.456713e-06,3.435300e-06,3.410228e-06,3.364010e-06,3.343775e-06,3.318118e-06,3.272603e-06,3.253609e-06,3.227509e-06,3.182876e-06,3.165160e-06,3.138740e-06,3.095133e-06,3.078707e-06,3.052082e-06,3.009610e-06,2.994466e-06,2.967738e-06,2.926484e-06,2.912601e-06,2.885861e-06,2.845883e-06,2.833228e-06,2.806559e-06,2.767896e-06,2.756428e-06,2.729902e-06,2.692578e-06,2.682249e-06,2.655929e-06,2.619956e-06,2.610713e-06,2.584657e-06,2.550032e-06,2.541822e-06,2.516078e-06,2.482792e-06,2.475558e-06,2.450169e-06,2.418205e-06,2.411891e-06,2.386893e-06,2.356228e-06,2.350777e-06,2.326202e-06,2.296809e-06,2.292164e-06,2.268040e-06,2.239887e-06,2.235994e-06,2.212342e-06,2.185395e-06,2.182202e-06,2.159040e-06,2.133265e-06,2.130719e-06,2.108061e-06,2.083420e-06,2.081473e-06,2.059332e-06,2.035787e-06,2.034392e-06,2.012776e-06,1.990289e-06,1.989400e-06,1.968316e-06,1.946847e-06,1.946423e-06,1.925874e-06,1.905386e-06,1.866215e-06,1.828836e-06,1.793179e-06,1.759172e-06,1.726748e-06,1.695840e-06,1.666383e-06,1.638315e-06,1.611575e-06,1.586105e-06,1.561848e-06,1.538751e-06,1.516761e-06,1.495828e-06,1.475904e-06,1.456943e-06,1.438901e-06,1.421736e-06,1.405407e-06,1.389875e-06,1.375103e-06,1.361056e-06,1.347700e-06,1.335002e-06,1.322932e-06,1.311459e-06,1.300555e-06,1.290195e-06,1.280351e-06,1.270999e-06,1.262116e-06,1.253680e-06,1.245668e-06,1.238062e-06,1.230840e-06,1.223985e-06,1.217480e-06,1.211306e-06,1.205449e-06,1.199893e-06,1.194623e-06,1.189625e-06,1.184886e-06,1.180393e-06,1.176134e-06,1.172099e-06,1.168275e-06,1.164653e-06,1.161223e-06
0.000000e+00,1.278964e-07,2.593866e-06,2.720756e-06,1.972740e-05,7.502971e-05,7.858642e-05,2.051025e-04,3.796494e-04,3.919730e-04,6.062160e-04,8.044732e-04,8.213401e-04,1.024217e-03,1.192079e-03,1.209808e-03,1.376870e-03,1.508825e-03,1.525763e-03,1.657469e-03,1.757894e-03,1.773175e-03,1.874106e-03,1.948341e-03,1.961451e-03,2.036345e-03,2.089218e-03,2.099855e-03,2.152980e-03,2.188630e-03,2.196649e-03,2.231724e-03,2.253634e-03,2.259005e-03,2.279231e-03,2.290305e-03,2.293083e-03,2.301187e-03,2.303825e-03,2.304121e-03,2.302411e-03,2.298578e-03,2.296541e-03,2.286954e-03,2.278251e-03,2.274056e-03,2.258219e-03,2.245943e-03,2.239779e-03,2.219048e-03,2.204248e-03,2.196308e-03,2.171815e-03,2.155330e-03,2.145805e-03,2.118492e-03,2.100989e-03,2.090070e-03,2.060715e-03,2.042721e-03,2.030587e-03,1.999834e-03,1.981762e-03,1.968585e-03,1.936961e-03,1.919128e-03,1.905069e-03,1.873007e-03,1.855653e-03,1.840861e-03,1.808712e-03,1.792017e-03,1.776630e-03,1.744677e-03,1.728768e-03,1.712911e-03,1.681382e-03,1.666345e-03,1.650134e-03,1.619207e-03,1.605098e-03,1.588636e-03,1.558450e-03,1.545298e-03,1.528677e-03,1.499340e-03,1.487153e-03,1.470458e-03,1.442047e-03,1.430819e-03,1.414123e-03,1.386695e-03,1.376405e-03,1.359775e-03,1.333368e-03,1.323988e-03,1.307480e-03,1.282116e-03,1.273612e-03,1.257277e-03,1.232965e-03,1.225296e-03,1.209179e-03,1.185918e-03,1.179042e-03,1.163179e-03,1.140960e-03,1.134832e-03,1.119257e-03,1.098065e-03,1.092638e-03,1.077379e-03,1.057192e-03,1.052421e-03,1.037500e-03,1.018295e-03,1.014134e-03,9.995698e-04,9.813181e-04,9.777239e-04,9.635320e-04,9.462038e-04,9.431328e-04,9.293256e-04,9.128893e-04,9.102999e-04,8.968868e-04,8.813098e-04,8.791626e-04,8.661502e-04,8.513995e-04,8.496565e-04,8.370495e-04,8.230918e-04,8.217173e-04,8.095181e-04,7.963201e-04,7.952803e-04,7.834897e-04,7.710186e-04,7.702816e-04,7.588989e-04,7.471224e-04,7.466584e-04,7.356813e-04,7.245678e-04,7.243488e-04,7.137741e-04,7.032927e-04,6.834316e-04,6.647087e-04,6.470692e-04,6.304601e-04,6.148306e-04,6.001318e-04,5.863167e-04,5.733403e-04,5.611596e-04,5.497336e-04,5.390228e-04,5.289898e-04,5.195989e-04,5.108160e-04,5.026086e-04,4.949459e-04,4.877984e-04,4.811382e-04,4.749387e-04,4.691746e-04,4.638220e-04,4.588581e-04,4.542612e-04,4.500107e-04,4.460870e-04,4.424717e-04,4.391471e-04,4.360965e-04,4.333040e-04,4.307547e-04,4.284342e-04,4.263290e-04,4.244263e-04,4.227140e-04,4.211805e-04,4.198147e-04,4.186065e-04,4.175459e-04,4.166237e-04,4.158309e-04,4.151593e-04,4.146008e-04,4.141481e-04,4.137939e-04,4.135317e-04,4.133549e-04,4.132575e-04,4.132340e-04,4.132787e-04
0.000000e+00,2.018613e-09,2.530692e-08,2.639539e-08,1.594003e-07,5.601600e-07,5.852726e-07,1.439139e-06,2.500904e-06,2.571805e-06,3.753346e-06,4.805502e-06,4.894681e-06,5.975526e-06,6.893890e-06,6.992765e-06,7.947285e-06,8.736861e-06,8.840957e-06,9.675873e-06,1.034854e-05,1.045417e-05,1.117800e-05,1.174550e-05,1.184952e-05,1.247089e-05,1.294453e-05,1.304430e-05,1.357189e-05,1.396242e-05,1.405581e-05,1.449814e-05,1.481562e-05,1.490095e-05,1.526622e-05,1.551993e-05,1.559591e-05,1.589189e-05,1.609028e-05,1.615597e-05,1.638987e-05,1.654055e-05,1.659528e-05,1.677380e-05,1.688357e-05,1.692694e-05,1.705619e-05,1.713114e-05,1.716293e-05,1.724850e-05,1.729401e-05,1.731419e-05,1.736119e-05,1.738200e-05,1.739067e-05,1.740373e-05,1.740405e-05,1.740143e-05,1.738475e-05,1.736824e-05,1.735465e-05,1.731203e-05,1.728192e-05,1.725775e-05,1.719263e-05,1.715171e-05,1.711743e-05,1.703289e-05,1.698361e-05,1.693971e-05,1.683855e-05,1.678300e-05,1.673004e-05,1.661476e-05,1.655476e-05,1.649328e-05,1.636614e-05,1.630324e-05,1.623383e-05,1.609684e-05,1.603237e-05,1.595560e-05,1.581056e-05,1.574564e-05,1.566211e-05,1.551063e-05,1.544620e-05,1.535649e-05,1.520000e-05,1.513683e-05,1.504151e-05,1.488129e-05,1.482002e-05,1.471965e-05,1.455684e-05,1.449799e-05,1.439311e-05,1.422869e-05,1.417267e-05,1.406381e-05,1.389867e-05,1.384581e-05,1.373347e-05,1.356838e-05,1.351890e-05,1.340358e-05,1.323921e-05,1.319329e-05,1.307543e-05,1.291238e-05,1.287012e-05,1.275018e-05,1.258895e-05,1.255041e-05,1.242880e-05,1.226982e-05,1.223502e-05,1.211212e-05,1.195578e-05,1.192469e-05,1.180088e-05,1.164749e-05,1.162005e-05,1.149568e-05,1.134550e-05,1.132163e-05,1.119702e-05,1.105028e-05,1.102988e-05,1.090533e-05,1.076220e-05,1.074515e-05,1.062094e-05,1.048157e-05,1.046774e-05,1.034412e-05,1.020862e-05,1.019787e-05,1.007508e-05,9.943526e-06,9.935695e-06,9.813963e-06,9.686407e-06,9.681347e-06,9.560865e-06,9.437341e-06,9.434892e-06,9.315841e-06,9.196363e-06,8.965759e-06,8.743047e-06,8.528169e-06,8.321042e-06,8.121565e-06,7.929619e-06,7.745070e-06,7.567774e-06,7.397575e-06,7.234309e-06,7.077806e-06,6.927889e-06,6.784380e-06,6.647096e-06,6.515853e-06,6.390467e-06,6.270752e-06,6.156524e-06,6.047601e-06,5.943801e-06,5.844945e-06,5.750857e-06,5.661364e-06,5.576296e-06,5.495486e-06,5.418770e-06,5.345991e-06,5.276993e-06,5.211624e-06,5.149739e-06,5.091193e-06,5.035847e-06,4.983569e-06,4.934226e-06,4.887693e-06,4.843848e-06,4.802571e-06,4.763750e-06,4.727273e-06,4.693035e-06,4.660932e-06,4.630866e-06,4.602742e-06,4.576467e-06,4.551953e-06,4.529115e-06,4.507871e-06,4.488143e-06,4.469856e-06
0.000000e+00,1.324804e-09,1.954814e-08,2.043007e-08,1.271589e-07,4.259456e-07,4.438510e-07,1.020756e-06,1.695069e-06,1.739356e-06,2.472161e-06,3.122094e-06,3.177208e-06,3.846274e-06,4.416919e-06,4.478500e-06,5.074593e-06,5.570096e-06,5.635603e-06,6.162688e-06,6.589769e-06,6.657057e-06,7.119942e-06,7.485347e-06,7.552590e-06,7.956248e-06,8.266482e-06,8.332151e-06,8.681515e-06,8.942698e-06,9.005529e-06,9.305350e-06,9.523139e-06,9.582101e-06,9.836866e-06,1.001643e-05,1.007069e-05,1.028459e-05,1.043061e-05,1.047952e-05,1.065643e-05,1.077314e-05,1.081620e-05,1.095971e-05,1.105092e-05,1.108776e-05,1.120115e-05,1.127028e-05,1.130064e-05,1.138696e-05,1.143705e-05,1.146079e-05,1.152280e-05,1.155658e-05,1.157363e-05,1.161388e-05,1.163378e-05,1.164414e-05,1.166496e-05,1.167315e-05,1.167688e-05,1.168041e-05,1.167879e-05,1.167602e-05,1.166418e-05,1.165447e-05,1.164535e-05,1.161993e-05,1.160361e-05,1.158833e-05,1.155094e-05,1.152933e-05,1.150812e-05,1.146023e-05,1.143449e-05,1.140760e-05,1.135054e-05,1.132167e-05,1.128936e-05,1.122434e-05,1.119323e-05,1.115577e-05,1.108390e-05,1.105130e-05,1.100899e-05,1.093127e-05,1.089784e-05,1.085096e-05,1.076829e-05,1.073460e-05,1.068345e-05,1.059664e-05,1.056318e-05,1.050805e-05,1.041784e-05,1.038500e-05,1.032619e-05,1.023324e-05,1.020138e-05,1.013916e-05,1.004408e-05,1.001347e-05,9.948144e-06,9.851467e-06,9.822338e-06,9.754174e-06,9.656380e-06,9.628923e-06,9.558192e-06,9.459711e-06,9.434070e-06,9.361034e-06,9.262251e-06,9.238537e-06,9.163449e-06,9.064707e-06,9.042999e-06,8.966101e-06,8.867703e-06,8.848054e-06,8.769580e-06,8.671795e-06,8.654234e-06,8.574407e-06,8.477471e-06,8.462007e-06,8.381040e-06,8.285162e-06,8.271786e-06,8.189882e-06,8.095242e-06,8.083930e-06,8.001282e-06,7.908038e-06,7.898754e-06,7.815544e-06,7.723831e-06,7.716529e-06,7.632929e-06,7.542863e-06,7.537486e-06,7.453659e-06,7.365339e-06,7.361825e-06,7.277923e-06,7.191430e-06,7.189710e-06,7.105877e-06,7.021279e-06,6.856643e-06,6.695890e-06,6.539088e-06,6.386285e-06,6.237512e-06,6.092786e-06,5.952110e-06,5.815475e-06,5.682860e-06,5.554238e-06,5.429570e-06,5.308812e-06,5.191914e-06,5.078818e-06,4.969464e-06,4.863787e-06,4.761718e-06,4.663185e-06,4.568116e-06,4.476435e-06,4.388064e-06,4.302925e-06,4.220941e-06,4.142031e-06,4.066116e-06,3.993117e-06,3.922954e-06,3.855550e-06,3.790826e-06,3.728705e-06,3.669111e-06,3.611969e-06,3.557203e-06,3.504743e-06,3.454514e-06,3.406448e-06,3.360475e-06,3.316528e-06,3.274539e-06,3.234446e-06,3.196183e-06,3.159690e-06,3.124905e-06,3.091771e-06,3.060230e-06,3.030225e-06,3.001703e-06,2.974611e-06,2.948896e-06
0.000000e+00,4.289418e-08,9.133738e-07,9.602424e-07,7.758700e-06,3.114116e-05,3.264158e-05,8.335059e-05,1.449639e-04,1.490461e-04,2.166594e-04,2.761188e-04,2.811210e-04,3.412354e-04,3.915204e-04,3.968883e-04,4.482261e-04,4.899968e-04,4.954544e-04,5.387896e-04,5.731077e-04,5.784460e-04,6.146317e-04,6.424930e-04,6.475479e-04,6.773885e-04,6.996934e-04,7.043393e-04,7.285783e-04,7.461313e-04,7.502752e-04,7.695913e-04,7.831041e-04,7.866800e-04,8.016866e-04,8.117841e-04,8.147487e-04,8.259964e-04,8.332239e-04,8.355523e-04,8.435326e-04,8.483642e-04,8.500463e-04,8.551966e-04,8.580428e-04,8.590806e-04,8.617895e-04,8.630045e-04,8.634094e-04,8.640211e-04,8.639097e-04,8.637007e-04,8.625198e-04,8.613435e-04,8.605454e-04,8.578406e-04,8.558230e-04,8.544647e-04,8.504731e-04,8.478045e-04,8.459181e-04,8.408485e-04,8.376905e-04,8.353100e-04,8.293457e-04,8.258347e-04,8.229956e-04,8.162973e-04,8.125480e-04,8.092861e-04,8.019949e-04,7.981030e-04,7.944543e-04,7.866930e-04,7.827381e-04,7.787380e-04,7.706141e-04,7.666616e-04,7.623447e-04,7.539514e-04,7.500546e-04,7.454546e-04,7.368729e-04,7.330747e-04,7.282239e-04,7.195238e-04,7.158582e-04,7.107877e-04,7.020294e-04,6.985228e-04,6.932619e-04,6.844971e-04,6.811695e-04,6.757461e-04,6.670190e-04,6.638849e-04,6.583252e-04,6.496733e-04,6.467426e-04,6.410712e-04,6.325262e-04,6.298049e-04,6.240448e-04,6.156330e-04,6.131240e-04,6.072965e-04,5.990401e-04,5.967433e-04,5.908683e-04,5.827852e-04,5.806986e-04,5.747944e-04,5.668992e-04,5.650188e-04,5.591023e-04,5.514064e-04,5.497271e-04,5.438137e-04,5.363260e-04,5.348412e-04,5.289450e-04,5.216721e-04,5.203746e-04,5.145085e-04,5.074549e-04,5.063367e-04,5.005123e-04,4.936810e-04,4.927336e-04,4.869615e-04,4.803538e-04,4.795685e-04,4.738581e-04,4.674742e-04,4.668420e-04,4.612019e-04,4.550407e-04,4.545526e-04,4.489903e-04,4.430500e-04,4.426971e-04,4.372192e-04,4.314971e-04,4.312705e-04,4.258829e-04,4.203756e-04,4.202666e-04,4.149744e-04,4.096782e-04,3.994971e-04,3.897144e-04,3.803206e-04,3.713059e-04,3.626600e-04,3.543723e-04,3.464321e-04,3.388288e-04,3.315515e-04,3.245895e-04,3.179321e-04,3.115687e-04,3.054889e-04,2.996824e-04,2.941392e-04,2.888494e-04,2.838034e-04,2.789919e-04,2.744056e-04,2.700357e-04,2.658735e-04,2.619107e-04,2.581393e-04,2.545512e-04,2.511390e-04,2.478953e-04,2.448130e-04,2.418853e-04,2.391056e-04,2.364676e-04,2.339651e-04,2.315923e-04,2.293434e-04,2.272131e-04,2.251961e-04,2.232874e-04,2.214821e-04,2.197757e-04,2.181635e-04,2.166414e-04,2.152053e-04,2.138512e-04,2.125754e-04,2.113741e-04,2.102440e-04,2.091816e-04,2.081839e-04,2.072478e-04,2.063703e-04
0.000000e+00,1.635156e-05,4.626610e-04,4.884355e-04,4.603424e-03,2.016094e-02,2.119355e-02,5.807585e-02,1.096803e-01,1.134144e-01,1.813299e-01,2.503250e-01,2.565018e-01,3.348317e-01,4.055141e-01,4.132997e-01,4.897419e-01,5.541302e-01,5.626568e-01,6.310499e-01,6.857787e-01,6.943120e-01,7.521237e-01,7.963922e-01,8.043806e-01,8.511357e-01,8.854823e-01,8.925536e-01,9.288756e-01,9.544585e-01,9.603926e-01,9.874247e-01,1.005611e+00,1.010306e+00,1.029371e+00,1.041511e+00,1.044949e+00,1.057359e+00,1.064680e+00,1.066901e+00,1.073858e+00,1.077415e+00,1.078493e+00,1.081049e+00,1.081721e+00,1.081749e+00,1.080796e+00,1.079299e+00,1.078376e+00,1.074655e+00,1.071561e+00,1.069785e+00,1.063902e+00,1.059663e+00,1.057129e+00,1.049575e+00,1.044543e+00,1.041339e+00,1.032510e+00,1.026961e+00,1.023166e+00,1.013379e+00,1.007524e+00,1.003211e+00,9.927190e-01,9.867213e-01,9.819542e-01,9.709619e-01,9.649460e-01,9.597828e-01,9.484533e-01,9.425135e-01,9.370062e-01,9.254710e-01,9.196787e-01,9.138741e-01,9.022391e-01,8.966472e-01,8.905876e-01,8.789386e-01,8.735857e-01,8.673094e-01,8.557156e-01,8.506292e-01,8.441712e-01,8.326886e-01,8.278872e-01,8.212794e-01,8.099535e-01,8.054486e-01,7.987201e-01,7.875874e-01,7.833849e-01,7.765625e-01,7.656521e-01,7.617534e-01,7.548618e-01,7.441969e-01,7.406002e-01,7.336618e-01,7.232607e-01,7.199611e-01,7.129969e-01,7.028735e-01,6.998643e-01,6.928933e-01,6.830583e-01,6.803308e-01,6.733706e-01,6.638317e-01,6.613761e-01,6.544428e-01,6.452051e-01,6.430106e-01,6.361192e-01,6.271858e-01,6.252409e-01,6.184051e-01,6.097773e-01,6.080701e-01,6.013023e-01,5.929800e-01,5.914982e-01,5.848100e-01,5.767918e-01,5.755229e-01,5.689248e-01,5.612083e-01,5.601400e-01,5.536415e-01,5.462233e-01,5.453431e-01,5.389529e-01,5.318291e-01,5.311248e-01,5.248508e-01,5.180166e-01,5.174760e-01,5.113253e-01,5.047755e-01,5.043870e-01,4.983659e-01,4.920949e-01,4.918469e-01,4.859610e-01,4.799628e-01,4.798442e-01,4.740985e-01,4.683666e-01,4.574016e-01,4.469361e-01,4.369566e-01,4.274494e-01,4.184007e-01,4.097963e-01,4.016222e-01,3.938640e-01,3.865076e-01,3.795387e-01,3.729431e-01,3.667067e-01,3.608154e-01,3.552555e-01,3.500131e-01,3.450747e-01,3.404269e-01,3.360567e-01,3.319512e-01,3.280976e-01,3.244837e-01,3.210973e-01,3.179268e-01,3.149606e-01,3.121876e-01,3.095970e-01,3.071784e-01,3.049216e-01,3.028169e-01,3.008548e-01,2.990264e-01,2.973229e-01,2.957361e-01,2.942580e-01,2.928809e-01,2.915977e-01,2.904014e-01,2.892855e-01,2.882438e-01,2.872705e-01,2.863600e-01,2.855070e-01,2.847067e-01,2.839545e-01,2.832461e-01,2.825774e-01,2.819446e-01,2.813444e-01,2.807734e-01
0.000000e+00,3.181206e-08,5.878667e-07,6.171012e-07,4.649366e-06,1.696696e-05,1.769171e-05,3.891674e-05,6.026959e-05,6.160876e-05,8.319607e-05,1.017218e-04,1.032713e-04,1.218284e-04,1.372837e-04,1.389305e-04,1.546514e-04,1.674017e-04,1.690647e-04,1.822422e-04,1.926396e-04,1.942535e-04,2.051663e-04,2.135321e-04,2.150461e-04,2.239560e-04,2.305811e-04,2.319568e-04,2.391064e-04,2.442506e-04,2.454603e-04,2.510709e-04,2.549633e-04,2.559880e-04,2.602587e-04,2.630995e-04,2.639273e-04,2.670358e-04,2.689988e-04,2.696236e-04,2.717278e-04,2.729630e-04,2.733832e-04,2.746225e-04,2.752591e-04,2.754766e-04,2.759745e-04,2.761234e-04,2.761431e-04,2.760080e-04,2.757641e-04,2.755930e-04,2.749205e-04,2.743647e-04,2.740114e-04,2.728854e-04,2.720865e-04,2.715609e-04,2.700549e-04,2.690711e-04,2.683837e-04,2.665623e-04,2.654427e-04,2.646048e-04,2.625242e-04,2.613100e-04,2.603329e-04,2.580423e-04,2.567679e-04,2.556631e-04,2.532053e-04,2.518992e-04,2.506781e-04,2.480903e-04,2.467762e-04,2.454499e-04,2.427644e-04,2.414615e-04,2.400409e-04,2.372856e-04,2.360093e-04,2.345048e-04,2.317040e-04,2.304667e-04,2.288884e-04,2.260628e-04,2.248741e-04,2.232316e-04,2.203989e-04,2.192663e-04,2.175685e-04,2.147440e-04,2.136729e-04,2.119286e-04,2.091251e-04,2.081193e-04,2.063364e-04,2.035649e-04,2.026269e-04,2.008129e-04,1.980826e-04,1.972137e-04,1.953757e-04,1.926940e-04,1.918947e-04,1.900392e-04,1.874125e-04,1.866822e-04,1.848152e-04,1.822486e-04,1.815864e-04,1.797135e-04,1.772110e-04,1.766153e-04,1.747418e-04,1.723065e-04,1.717754e-04,1.699059e-04,1.675403e-04,1.670714e-04,1.652103e-04,1.629161e-04,1.625070e-04,1.606581e-04,1.584365e-04,1.580845e-04,1.562515e-04,1.541031e-04,1.538053e-04,1.519914e-04,1.499165e-04,1.496700e-04,1.478782e-04,1.458766e-04,1.456784e-04,1.439114e-04,1.419826e-04,1.418299e-04,1.400900e-04,1.382333e-04,1.381231e-04,1.364124e-04,1.346269e-04,1.345562e-04,1.328766e-04,1.311612e-04,1.311273e-04,1.294804e-04,1.278338e-04,1.246731e-04,1.216423e-04,1.187384e-04,1.159583e-04,1.132986e-04,1.107561e-04,1.083274e-04,1.060091e-04,1.037978e-04,1.016900e-04,9.968249e-05,9.777182e-05,9.595472e-05,9.422792e-05,9.258823e-05,9.103250e-05,8.955766e-05,8.816069e-05,8.683865e-05,8.558867e-05,8.440796e-05,8.329378e-05,8.224350e-05,8.125453e-05,8.032438e-05,7.945061e-05,7.863088e-05,7.786291e-05,7.714447e-05,7.647344e-05,7.584774e-05,7.526536e-05,7.472438e-05,7.422291e-05,7.375915e-05,7.333136e-05,7.293784e-05,7.257696e-05,7.224717e-05,7.194693e-05,7.167480e-05,7.142935e-05,7.120925e-05,7.101317e-05,7.083988e-05,7.068814e-05,7.055681e-05,7.044476e-05,7.035091e-05
0.000000e+00,1.206833e-07,3.114756e-06,3.282657e-06,2.898504e-05,1.246732e-04,1.311089e-04,3.703381e-04,7.211332e-04,7.466529e-04,1.204843e-03,1.649987e-03,1.688596e-03,2.158801e-03,2.550715e-03,2.591941e-03,2.975683e-03,3.268534e-03,3.305173e-03,3.580320e-03,3.775563e-03,3.803916e-03,3.980345e-03,4.095838e-03,4.114734e-03,4.212399e-03,4.268711e-03,4.278501e-03,4.317849e-03,4.333007e-03,4.334797e-03,4.333201e-03,4.321260e-03,4.316420e-03,4.287342e-03,4.258543e-03,4.248421e-03,4.201724e-03,4.163188e-03,4.148975e-03,4.091601e-03,4.048095e-03,4.030775e-03,3.967454e-03,3.922069e-03,3.902417e-03,3.836291e-03,3.790963e-03,3.769577e-03,3.702677e-03,3.658578e-03,3.635908e-03,3.569520e-03,3.527321e-03,3.503703e-03,3.438606e-03,3.398656e-03,3.374338e-03,3.310984e-03,3.273437e-03,3.248606e-03,3.187248e-03,3.152140e-03,3.126940e-03,3.067701e-03,3.034998e-03,3.009541e-03,2.952466e-03,2.922096e-03,2.896474e-03,2.841563e-03,2.813433e-03,2.787724e-03,2.734948e-03,2.708955e-03,2.683224e-03,2.632541e-03,2.608579e-03,2.582886e-03,2.534247e-03,2.512211e-03,2.486611e-03,2.439963e-03,2.419747e-03,2.394290e-03,2.349578e-03,2.331082e-03,2.305813e-03,2.262981e-03,2.246106e-03,2.221068e-03,2.180061e-03,2.164712e-03,2.139944e-03,2.100704e-03,2.086789e-03,2.062326e-03,2.024797e-03,2.012228e-03,1.988102e-03,1.952227e-03,1.940918e-03,1.917158e-03,1.882882e-03,1.872752e-03,1.849384e-03,1.816651e-03,1.807621e-03,1.784669e-03,1.753424e-03,1.745419e-03,1.722902e-03,1.693091e-03,1.686040e-03,1.663977e-03,1.635546e-03,1.629382e-03,1.607786e-03,1.580684e-03,1.575341e-03,1.554226e-03,1.528401e-03,1.523819e-03,1.503196e-03,1.478598e-03,1.474717e-03,1.454595e-03,1.431175e-03,1.427942e-03,1.408327e-03,1.386038e-03,1.383400e-03,1.364297e-03,1.343094e-03,1.341002e-03,1.322415e-03,1.302252e-03,1.300661e-03,1.282592e-03,1.263426e-03,1.262291e-03,1.244742e-03,1.226531e-03,1.225813e-03,1.208783e-03,1.191487e-03,1.191145e-03,1.174633e-03,1.158213e-03,1.126943e-03,1.097263e-03,1.069106e-03,1.042406e-03,1.017099e-03,9.931240e-04,9.704235e-04,9.489407e-04,9.286216e-04,9.094143e-04,8.912690e-04,8.741378e-04,8.579748e-04,8.427360e-04,8.283790e-04,8.148634e-04,8.021502e-04,7.902021e-04,7.789833e-04,7.684595e-04,7.585979e-04,7.493667e-04,7.407360e-04,7.326765e-04,7.251606e-04,7.181616e-04,7.116540e-04,7.056134e-04,7.000162e-04,6.948400e-04,6.900632e-04,6.856654e-04,6.816267e-04,6.779283e-04,6.745520e-04,6.714805e-04,6.686972e-04,6.661862e-04,6.639323e-04,6.619210e-04,6.601383e-04,6.585710e-04,6.572062e-04,6.560318e-04,6.550362e-04,6.542083e-04,6.535374e-04,6.530134e-04,6.526267e-04
0.000000e+00,1.188001e-07,2.259178e-06,2.368182e-06,1.744773e-05,7.107246e-05,7.469126e-05,2.133081e-04,4.316554e-04,4.481144e-04,7.516738e-04,1.053805e-03,1.080114e-03,1.400412e-03,1.666522e-03,1.694466e-03,1.954473e-03,2.153530e-03,2.178543e-03,2.367885e-03,2.504963e-03,2.525172e-03,2.653651e-03,2.741756e-03,2.756660e-03,2.837392e-03,2.889037e-03,2.898782e-03,2.943464e-03,2.968761e-03,2.973776e-03,2.991767e-03,2.998408e-03,2.999229e-03,2.997717e-03,2.991404e-03,2.988582e-03,2.972993e-03,2.957901e-03,2.951959e-03,2.926356e-03,2.905519e-03,2.896936e-03,2.864351e-03,2.839962e-03,2.829162e-03,2.791855e-03,2.765492e-03,2.752847e-03,2.712498e-03,2.685285e-03,2.671118e-03,2.628973e-03,2.601706e-03,2.586293e-03,2.543275e-03,2.516510e-03,2.500089e-03,2.456880e-03,2.430996e-03,2.413771e-03,2.370868e-03,2.346114e-03,2.328259e-03,2.286023e-03,2.262557e-03,2.244222e-03,2.202910e-03,2.180821e-03,2.162133e-03,2.121926e-03,2.101255e-03,2.082321e-03,2.043343e-03,2.024094e-03,2.005009e-03,1.967336e-03,1.949490e-03,1.930334e-03,1.894011e-03,1.877532e-03,1.858372e-03,1.823421e-03,1.808260e-03,1.789157e-03,1.755579e-03,1.741680e-03,1.722684e-03,1.690469e-03,1.677772e-03,1.658928e-03,1.628055e-03,1.616497e-03,1.597842e-03,1.568284e-03,1.557801e-03,1.539370e-03,1.511093e-03,1.501622e-03,1.483443e-03,1.456411e-03,1.447889e-03,1.429987e-03,1.404162e-03,1.396530e-03,1.378926e-03,1.354268e-03,1.347466e-03,1.330179e-03,1.306648e-03,1.300620e-03,1.283666e-03,1.261221e-03,1.255914e-03,1.239305e-03,1.217907e-03,1.213268e-03,1.197017e-03,1.176625e-03,1.172606e-03,1.156722e-03,1.137298e-03,1.133852e-03,1.118343e-03,1.099848e-03,1.096931e-03,1.081804e-03,1.064202e-03,1.061772e-03,1.047032e-03,1.030285e-03,1.028304e-03,1.013954e-03,9.980295e-04,9.964590e-04,9.825026e-04,9.673655e-04,9.661711e-04,9.526098e-04,9.382277e-04,9.373764e-04,9.242111e-04,9.105525e-04,9.100135e-04,8.972442e-04,8.842787e-04,8.840229e-04,8.716489e-04,8.593474e-04,8.359318e-04,8.137231e-04,7.926703e-04,7.727243e-04,7.538377e-04,7.359653e-04,7.190634e-04,7.030900e-04,6.880049e-04,6.737694e-04,6.603462e-04,6.476997e-04,6.357956e-04,6.246008e-04,6.140838e-04,6.042141e-04,5.949624e-04,5.863008e-04,5.782022e-04,5.706408e-04,5.635916e-04,5.570308e-04,5.509353e-04,5.452832e-04,5.400532e-04,5.352249e-04,5.307788e-04,5.266961e-04,5.229587e-04,5.195492e-04,5.164509e-04,5.136479e-04,5.111247e-04,5.088667e-04,5.068595e-04,5.050896e-04,5.035439e-04,5.022098e-04,5.010753e-04,5.001288e-04,4.993593e-04,4.987561e-04,4.983090e-04,4.980083e-04,4.978445e-04,4.978088e-04,4.978926e-04,4.980876e-04,4.983860e-04
0.000000e+00,2.779503e-06,5.195050e-05,5.442223e-05,3.949719e-04,1.645245e-03,1.731551e-03,5.157787e-03,1.089748e-02,1.134602e-02,2.008776e-02,2.986516e-02,3.077708e-02,4.280310e-02,5.433701e-02,5.564512e-02,6.887832e-02,8.057557e-02,8.216301e-02,9.523209e-02,1.061407e-01,1.078797e-01,1.199511e-01,1.295624e-01,1.313338e-01,1.419505e-01,1.500494e-01,1.517521e-01,1.607128e-01,1.672704e-01,1.688252e-01,1.760966e-01,1.811961e-01,1.825455e-01,1.881993e-01,1.919848e-01,1.930915e-01,1.972601e-01,1.999033e-01,2.007464e-01,2.035931e-01,2.052711e-01,2.058438e-01,2.075419e-01,2.084248e-01,2.087303e-01,2.094506e-01,2.096936e-01,2.097429e-01,2.096456e-01,2.093856e-01,2.091949e-01,2.084252e-01,2.077801e-01,2.073686e-01,2.060553e-01,2.051243e-01,2.045129e-01,2.027675e-01,2.016328e-01,2.008429e-01,1.987611e-01,1.974896e-01,1.965421e-01,1.942045e-01,1.928500e-01,1.917651e-01,1.892393e-01,1.878444e-01,1.866410e-01,1.839830e-01,1.825811e-01,1.812767e-01,1.785327e-01,1.771495e-01,1.757604e-01,1.729682e-01,1.716232e-01,1.701639e-01,1.673545e-01,1.660622e-01,1.645461e-01,1.617445e-01,1.605153e-01,1.589547e-01,1.561811e-01,1.550221e-01,1.534279e-01,1.506987e-01,1.496145e-01,1.479968e-01,1.453250e-01,1.443182e-01,1.426860e-01,1.400820e-01,1.391535e-01,1.375150e-01,1.349868e-01,1.341363e-01,1.324989e-01,1.300528e-01,1.292791e-01,1.276497e-01,1.252904e-01,1.245914e-01,1.229760e-01,1.207071e-01,1.200800e-01,1.184843e-01,1.163081e-01,1.157500e-01,1.141789e-01,1.120970e-01,1.116044e-01,1.100625e-01,1.080756e-01,1.076449e-01,1.061364e-01,1.042447e-01,1.038721e-01,1.024005e-01,1.006037e-01,1.002853e-01,9.885406e-02,9.715130e-02,9.688319e-02,9.549515e-02,9.388527e-02,9.366355e-02,9.232128e-02,9.080279e-02,9.062361e-02,8.932936e-02,8.790051e-02,8.776005e-02,8.651575e-02,8.517456e-02,8.506914e-02,8.387641e-02,8.262073e-02,8.254673e-02,8.140694e-02,8.023445e-02,8.018840e-02,7.910263e-02,7.801087e-02,7.798944e-02,7.695853e-02,7.594495e-02,7.404982e-02,7.229883e-02,7.068660e-02,6.920768e-02,6.785656e-02,6.662766e-02,6.551539e-02,6.451414e-02,6.361829e-02,6.282227e-02,6.212053e-02,6.150756e-02,6.097792e-02,6.052626e-02,6.014731e-02,5.983591e-02,5.958700e-02,5.939565e-02,5.925710e-02,5.916668e-02,5.911993e-02,5.911253e-02,5.914035e-02,5.919941e-02,5.928594e-02,5.939637e-02,5.952729e-02,5.967552e-02,5.983806e-02,6.001212e-02,6.019508e-02,6.038455e-02,6.057830e-02,6.077432e-02,6.097076e-02,6.116597e-02,6.135845e-02,6.154688e-02,6.173010e-02,6.190710e-02,6.207702e-02,6.223914e-02,6.239284e-02,6.253766e-02,6.267323e-02,6.279929e-02,6.291566e-02,6.302227e-02,6.311911e-02
0.000000e+00,1.945195e-07,4.604096e-06,4.847416e-06,4.226581e-05,1.842539e-04,1.938391e-04,5.472916e-04,1.059063e-03,1.096328e-03,1.772961e-03,2.452158e-03,2.512396e-03,3.267021e-03,3.932041e-03,4.004314e-03,4.703110e-03,5.275782e-03,5.350472e-03,5.939320e-03,6.396580e-03,6.466680e-03,6.932406e-03,7.277223e-03,7.338244e-03,7.687156e-03,7.933359e-03,7.982831e-03,8.229340e-03,8.393979e-03,8.430896e-03,8.591679e-03,8.691393e-03,8.715732e-03,8.806889e-03,8.856382e-03,8.868733e-03,8.904573e-03,8.916148e-03,8.917443e-03,8.910101e-03,8.893712e-03,8.885044e-03,8.844519e-03,8.808036e-03,8.790541e-03,8.724913e-03,8.674458e-03,8.649240e-03,8.564955e-03,8.505230e-03,8.473325e-03,8.375479e-03,8.310060e-03,8.272414e-03,8.165012e-03,8.096592e-03,8.054055e-03,7.940231e-03,7.870817e-03,7.824150e-03,7.706347e-03,7.637422e-03,7.587297e-03,7.467415e-03,7.400057e-03,7.347069e-03,7.226582e-03,7.161562e-03,7.106237e-03,6.986283e-03,6.924134e-03,6.866937e-03,6.748390e-03,6.689469e-03,6.630809e-03,6.514338e-03,6.458863e-03,6.399102e-03,6.285211e-03,6.233298e-03,6.172757e-03,6.061820e-03,6.013506e-03,5.952468e-03,5.844758e-03,5.800022e-03,5.738738e-03,5.634447e-03,5.593222e-03,5.531916e-03,5.431169e-03,5.393357e-03,5.332225e-03,5.235098e-03,5.200578e-03,5.139794e-03,5.046319e-03,5.014955e-03,4.954673e-03,4.864853e-03,4.836495e-03,4.776852e-03,4.690662e-03,4.665157e-03,4.606272e-03,4.523667e-03,4.500856e-03,4.442833e-03,4.363753e-03,4.343477e-03,4.286409e-03,4.210781e-03,4.192883e-03,4.136848e-03,4.064590e-03,4.048916e-03,3.993984e-03,3.925008e-03,3.911406e-03,3.857637e-03,3.791848e-03,3.780172e-03,3.727616e-03,3.664918e-03,3.655027e-03,3.603728e-03,3.544021e-03,3.535778e-03,3.485772e-03,3.428956e-03,3.422233e-03,3.373548e-03,3.319523e-03,3.314196e-03,3.266857e-03,3.215523e-03,3.211473e-03,3.165498e-03,3.116757e-03,3.113873e-03,3.069276e-03,3.023030e-03,3.021206e-03,2.977996e-03,2.934150e-03,2.933285e-03,2.891468e-03,2.849928e-03,2.770957e-03,2.696200e-03,2.625485e-03,2.558651e-03,2.495538e-03,2.435991e-03,2.379861e-03,2.327005e-03,2.277283e-03,2.230560e-03,2.186706e-03,2.145596e-03,2.107109e-03,2.071129e-03,2.037543e-03,2.006242e-03,1.977123e-03,1.950085e-03,1.925030e-03,1.901866e-03,1.880502e-03,1.860853e-03,1.842833e-03,1.826364e-03,1.811367e-03,1.797768e-03,1.785495e-03,1.774479e-03,1.764653e-03,1.755954e-03,1.748320e-03,1.741691e-03,1.736009e-03,1.731221e-03,1.727273e-03,1.724114e-03,1.721696e-03,1.719971e-03,1.718895e-03,1.718423e-03,1.718515e-03,1.719130e-03,1.720230e-03,1.721779e-03,1.723742e-03,1.726084e-03,1.728775e-03,1.731782e-03,1.735078e-03
0.000000e+00,1.176534e-06,2.153412e-05,2.254776e-05,1.597427e-04,6.508671e-04,6.843885e-04,1.993492e-03,4.128496e-03,4.293130e-03,7.451598e-03,1.088907e-02,1.120516e-02,1.530785e-02,1.913488e-02,1.956257e-02,2.381852e-02,2.747501e-02,2.796364e-02,3.191715e-02,3.512085e-02,3.562330e-02,3.904612e-02,4.168693e-02,4.216506e-02,4.497133e-02,4.703883e-02,4.746479e-02,4.965192e-02,5.118855e-02,5.154404e-02,5.315586e-02,5.422929e-02,5.450424e-02,5.560737e-02,5.629325e-02,5.648398e-02,5.715288e-02,5.752499e-02,5.763249e-02,5.794061e-02,5.806584e-02,5.809421e-02,5.810926e-02,5.804540e-02,5.800069e-02,5.778234e-02,5.757771e-02,5.746697e-02,5.706625e-02,5.676023e-02,5.659083e-02,5.605039e-02,5.567445e-02,5.545366e-02,5.480854e-02,5.438740e-02,5.412210e-02,5.340072e-02,5.295351e-02,5.265008e-02,5.187528e-02,5.141663e-02,5.108086e-02,5.027086e-02,4.981182e-02,4.944889e-02,4.861818e-02,4.816697e-02,4.778156e-02,4.694159e-02,4.650424e-02,4.610052e-02,4.526034e-02,4.484115e-02,4.442284e-02,4.358960e-02,4.319157e-02,4.276201e-02,4.194131e-02,4.156641e-02,4.112860e-02,4.032484e-02,3.997425e-02,3.953089e-02,3.874749e-02,3.842177e-02,3.797530e-02,3.721489e-02,3.691415e-02,3.646677e-02,3.573136e-02,3.545532e-02,3.500903e-02,3.430010e-02,3.404822e-02,3.360482e-02,3.292342e-02,3.269494e-02,3.225607e-02,3.160290e-02,3.139690e-02,3.096403e-02,3.033951e-02,3.015497e-02,2.972940e-02,2.913372e-02,2.896951e-02,2.855245e-02,2.798558e-02,2.784054e-02,2.743305e-02,2.689480e-02,2.676773e-02,2.637075e-02,2.586080e-02,2.575049e-02,2.536485e-02,2.488278e-02,2.478802e-02,2.441445e-02,2.395974e-02,2.387932e-02,2.351848e-02,2.309053e-02,2.302328e-02,2.267571e-02,2.227387e-02,2.221864e-02,2.188483e-02,2.150840e-02,2.146407e-02,2.114441e-02,2.079267e-02,2.075816e-02,2.045299e-02,2.012517e-02,2.009945e-02,1.980903e-02,1.950436e-02,1.948644e-02,1.921097e-02,1.892866e-02,1.891759e-02,1.865722e-02,1.839646e-02,1.839135e-02,1.814617e-02,1.790616e-02,1.746043e-02,1.705261e-02,1.668111e-02,1.634438e-02,1.604084e-02,1.576897e-02,1.552721e-02,1.531405e-02,1.512797e-02,1.496748e-02,1.483111e-02,1.471740e-02,1.462490e-02,1.455221e-02,1.449793e-02,1.446069e-02,1.443916e-02,1.443203e-02,1.443803e-02,1.445591e-02,1.448448e-02,1.452258e-02,1.456908e-02,1.462291e-02,1.468305e-02,1.474851e-02,1.481836e-02,1.489173e-02,1.496778e-02,1.504575e-02,1.512491e-02,1.520460e-02,1.528420e-02,1.536316e-02,1.544096e-02,1.551716e-02,1.559134e-02,1.566315e-02,1.573227e-02,1.579845e-02,1.586147e-02,1.592114e-02,1.597732e-02,1.602991e-02,1.607884e-02,1.612407e-02,1.616559e-02,1.620341e-02,1.623758e-02
0.000000e+00,1.769633e-06,4.221903e-05,4.444475e-05,3.827986e-04,1.649837e-03,1.735130e-03,4.894576e-03,9.584821e-03,9.933095e-03,1.643074e-02,2.330243e-02,2.392959e-02,3.204395e-02,3.961661e-02,4.046517e-02,4.895115e-02,5.632304e-02,5.731526e-02,6.541661e-02,7.209391e-02,7.315178e-02,8.044785e-02,8.620127e-02,8.725652e-02,9.354911e-02,9.831434e-02,9.931251e-02,1.045457e-01,1.083557e-01,1.092569e-01,1.134612e-01,1.164016e-01,1.171789e-01,1.204337e-01,1.226136e-01,1.232515e-01,1.256595e-01,1.271940e-01,1.276855e-01,1.293572e-01,1.303566e-01,1.307016e-01,1.317450e-01,1.323098e-01,1.325125e-01,1.330280e-01,1.332460e-01,1.333139e-01,1.333913e-01,1.333378e-01,1.332798e-01,1.329978e-01,1.327356e-01,1.325620e-01,1.319879e-01,1.315689e-01,1.312899e-01,1.304810e-01,1.299475e-01,1.295733e-01,1.285778e-01,1.279641e-01,1.275045e-01,1.263625e-01,1.256961e-01,1.251602e-01,1.239052e-01,1.232081e-01,1.226046e-01,1.212645e-01,1.205540e-01,1.198908e-01,1.184887e-01,1.177785e-01,1.170629e-01,1.156179e-01,1.149186e-01,1.141576e-01,1.126855e-01,1.120054e-01,1.112050e-01,1.097191e-01,1.090643e-01,1.082304e-01,1.067414e-01,1.061165e-01,1.052544e-01,1.037714e-01,1.031797e-01,1.022941e-01,1.008244e-01,1.002682e-01,9.936368e-02,9.791330e-02,9.739395e-02,9.647452e-02,9.504845e-02,9.456666e-02,9.363607e-02,9.223829e-02,9.179421e-02,9.085589e-02,8.948960e-02,8.908295e-02,8.814005e-02,8.680779e-02,8.643793e-02,8.549332e-02,8.419707e-02,8.386308e-02,8.291942e-02,8.166068e-02,8.136143e-02,8.042113e-02,7.920101e-02,7.893520e-02,7.800049e-02,7.681974e-02,7.658597e-02,7.565887e-02,7.451798e-02,7.431474e-02,7.339712e-02,7.229632e-02,7.212206e-02,7.121561e-02,7.015495e-02,7.000806e-02,6.911433e-02,6.809370e-02,6.797256e-02,6.709298e-02,6.611210e-02,6.601510e-02,6.515095e-02,6.420944e-02,6.413496e-02,6.328743e-02,6.238481e-02,6.233126e-02,6.150142e-02,6.063711e-02,6.060293e-02,5.979173e-02,5.896512e-02,5.894878e-02,5.815710e-02,5.736749e-02,5.585765e-02,5.441779e-02,5.304635e-02,5.174172e-02,5.050224e-02,4.932623e-02,4.821196e-02,4.715768e-02,4.616162e-02,4.522199e-02,4.433700e-02,4.350483e-02,4.272368e-02,4.199171e-02,4.130712e-02,4.066808e-02,4.007279e-02,3.951945e-02,3.900625e-02,3.853144e-02,3.809323e-02,3.768989e-02,3.731970e-02,3.698096e-02,3.667200e-02,3.639117e-02,3.613687e-02,3.590752e-02,3.570158e-02,3.551755e-02,3.535398e-02,3.520943e-02,3.508254e-02,3.497198e-02,3.487647e-02,3.479478e-02,3.472573e-02,3.466818e-02,3.462105e-02,3.458332e-02,3.455400e-02,3.453218e-02,3.451696e-02,3.450754e-02,3.450314e-02,3.450303e-02,3.450654e-02,3.451305e-02,3.452197e-02
0.000000e+00,5.717299e-08,1.287041e-06,1.354436e-06,1.135890e-05,4.538969e-05,4.751250e-05,1.150540e-04,1.904299e-04,1.952824e-04,2.740571e-04,3.413298e-04,3.469121e-04,4.130588e-04,4.670091e-04,4.726903e-04,5.262177e-04,5.686216e-04,5.740802e-04,6.167015e-04,6.494696e-04,6.544817e-04,6.877968e-04,7.125900e-04,7.170002e-04,7.424231e-04,7.606672e-04,7.643758e-04,7.831483e-04,7.960586e-04,7.990106e-04,8.122141e-04,8.208175e-04,8.229916e-04,8.315591e-04,8.367154e-04,8.381157e-04,8.428458e-04,8.452705e-04,8.459191e-04,8.474921e-04,8.477769e-04,8.477087e-04,8.467016e-04,8.453340e-04,8.445923e-04,8.414929e-04,8.388723e-04,8.375058e-04,8.327254e-04,8.291779e-04,8.272379e-04,8.211226e-04,8.169131e-04,8.144520e-04,8.072923e-04,8.026346e-04,7.997043e-04,7.917435e-04,7.868094e-04,7.834606e-04,7.749018e-04,7.698281e-04,7.661094e-04,7.571219e-04,7.520168e-04,7.479742e-04,7.386982e-04,7.336462e-04,7.293230e-04,7.198747e-04,7.149407e-04,7.103771e-04,7.008520e-04,6.960852e-04,6.913187e-04,6.817949e-04,6.772315e-04,6.722963e-04,6.628373e-04,6.585030e-04,6.534306e-04,6.440877e-04,6.399996e-04,6.348187e-04,6.256326e-04,6.218013e-04,6.165377e-04,6.075410e-04,6.039712e-04,5.986486e-04,5.898661e-04,5.865585e-04,5.811981e-04,5.726486e-04,5.696006e-04,5.642212e-04,5.559187e-04,5.531248e-04,5.477435e-04,5.396976e-04,5.371505e-04,5.317825e-04,5.239993e-04,5.216902e-04,5.163489e-04,5.088318e-04,5.067509e-04,5.014482e-04,4.941981e-04,4.923349e-04,4.870812e-04,4.800971e-04,4.784407e-04,4.732452e-04,4.665246e-04,4.650636e-04,4.599345e-04,4.534736e-04,4.521969e-04,4.471409e-04,4.409350e-04,4.398313e-04,4.348545e-04,4.288981e-04,4.279564e-04,4.230640e-04,4.173508e-04,4.165605e-04,4.117568e-04,4.062803e-04,4.056309e-04,4.009196e-04,3.956728e-04,3.951544e-04,3.905384e-04,3.855143e-04,3.851171e-04,3.805989e-04,3.757903e-04,3.755051e-04,3.710867e-04,3.664862e-04,3.663043e-04,3.619870e-04,3.575874e-04,3.575004e-04,3.532854e-04,3.490793e-04,3.410271e-04,3.333301e-04,3.259747e-04,3.189477e-04,3.122362e-04,3.058278e-04,2.997102e-04,2.938717e-04,2.883008e-04,2.829865e-04,2.779180e-04,2.730852e-04,2.684781e-04,2.640872e-04,2.599032e-04,2.559173e-04,2.521211e-04,2.485063e-04,2.450651e-04,2.417901e-04,2.386738e-04,2.357096e-04,2.328906e-04,2.302105e-04,2.276632e-04,2.252428e-04,2.229437e-04,2.207605e-04,2.186881e-04,2.167215e-04,2.148560e-04,2.130870e-04,2.114102e-04,2.098215e-04,2.083168e-04,2.068924e-04,2.055445e-04,2.042697e-04,2.030647e-04,2.019262e-04,2.008512e-04,1.998368e-04,1.988800e-04,1.979783e-04,1.971290e-04,1.963298e-04,1.955782e-04,1.948720e-04,1.942090e-04
0.000000e+00,1.269563e-07,3.217505e-06,3.386293e-06,2.737423e-05,1.081971e-04,1.134288e-04,3.005189e-04,5.637978e-04,5.827235e-04,9.202595e-04,1.246988e-03,1.275373e-03,1.622825e-03,1.916643e-03,1.947882e-03,2.242937e-03,2.475238e-03,2.504895e-03,2.733413e-03,2.904131e-03,2.929756e-03,3.096067e-03,3.214431e-03,3.234911e-03,3.348995e-03,3.425945e-03,3.440990e-03,3.513442e-03,3.558925e-03,3.568710e-03,3.608948e-03,3.631156e-03,3.636097e-03,3.651887e-03,3.657244e-03,3.657857e-03,3.655362e-03,3.648772e-03,3.645594e-03,3.629598e-03,3.614741e-03,3.608285e-03,3.582454e-03,3.562058e-03,3.552797e-03,3.519919e-03,3.495992e-03,3.484344e-03,3.446530e-03,3.420541e-03,3.406873e-03,3.365718e-03,3.338732e-03,3.323363e-03,3.280070e-03,3.252856e-03,3.236062e-03,3.191535e-03,3.164641e-03,3.146658e-03,3.101579e-03,3.075391e-03,3.056424e-03,3.011304e-03,2.986088e-03,2.966313e-03,2.921533e-03,2.897464e-03,2.877034e-03,2.832876e-03,2.810067e-03,2.789112e-03,2.745785e-03,2.724298e-03,2.702933e-03,2.660587e-03,2.640449e-03,2.618774e-03,2.577516e-03,2.558728e-03,2.536831e-03,2.496733e-03,2.479279e-03,2.457234e-03,2.418344e-03,2.402194e-03,2.380070e-03,2.342414e-03,2.327527e-03,2.305382e-03,2.268974e-03,2.255302e-03,2.233190e-03,2.198029e-03,2.185523e-03,2.163489e-03,2.129567e-03,2.118173e-03,2.096259e-03,2.063560e-03,2.053225e-03,2.031466e-03,1.999971e-03,1.990639e-03,1.969069e-03,1.938754e-03,1.930370e-03,1.909018e-03,1.879855e-03,1.872366e-03,1.851258e-03,1.823218e-03,1.816571e-03,1.795729e-03,1.768783e-03,1.762927e-03,1.742372e-03,1.716489e-03,1.711374e-03,1.691124e-03,1.666271e-03,1.661851e-03,1.641921e-03,1.618067e-03,1.614296e-03,1.594700e-03,1.571813e-03,1.568646e-03,1.549397e-03,1.527445e-03,1.524842e-03,1.505949e-03,1.484902e-03,1.482821e-03,1.464295e-03,1.444120e-03,1.442525e-03,1.424372e-03,1.405041e-03,1.403894e-03,1.386121e-03,1.367604e-03,1.366872e-03,1.349483e-03,1.331751e-03,1.331401e-03,1.314401e-03,1.297426e-03,1.264896e-03,1.233756e-03,1.203957e-03,1.175450e-03,1.148187e-03,1.122121e-03,1.097209e-03,1.073406e-03,1.050671e-03,1.028964e-03,1.008244e-03,9.884740e-04,9.696177e-04,9.516395e-04,9.345051e-04,9.181815e-04,9.026370e-04,8.878406e-04,8.737627e-04,8.603747e-04,8.476489e-04,8.355587e-04,8.240782e-04,8.131827e-04,8.028483e-04,7.930518e-04,7.837710e-04,7.749844e-04,7.666713e-04,7.588117e-04,7.513865e-04,7.443770e-04,7.377653e-04,7.315343e-04,7.256673e-04,7.201483e-04,7.149619e-04,7.100932e-04,7.055279e-04,7.012522e-04,6.972527e-04,6.935168e-04,6.900320e-04,6.867865e-04,6.837689e-04,6.809681e-04,6.783736e-04,6.759752e-04,6.737631e-04
0.000000e+00,1.860132e-06,3.470008e-05,3.634734e-05,2.638326e-04,1.121730e-03,1.182202e-03,3.688289e-03,8.228652e-03,8.596660e-03,1.601553e-02,2.466819e-02,2.548760e-02,3.642875e-02,4.709219e-02,4.830923e-02,6.068783e-02,7.170846e-02,7.320848e-02,8.558940e-02,9.595690e-02,9.761174e-02,1.091095e-01,1.182717e-01,1.199605e-01,1.300791e-01,1.377899e-01,1.394095e-01,1.479201e-01,1.541297e-01,1.555989e-01,1.624498e-01,1.672286e-01,1.684886e-01,1.737407e-01,1.772258e-01,1.782384e-01,1.820191e-01,1.843792e-01,1.851237e-01,1.875952e-01,1.890073e-01,1.894776e-01,1.908150e-01,1.914504e-01,1.916512e-01,1.920287e-01,1.920445e-01,1.919887e-01,1.915706e-01,1.911058e-01,1.908118e-01,1.897477e-01,1.889219e-01,1.884115e-01,1.868341e-01,1.857478e-01,1.850444e-01,1.830691e-01,1.818050e-01,1.809325e-01,1.786574e-01,1.772825e-01,1.762642e-01,1.737719e-01,1.723393e-01,1.711974e-01,1.685563e-01,1.671074e-01,1.658626e-01,1.631288e-01,1.616952e-01,1.603663e-01,1.575853e-01,1.561907e-01,1.547947e-01,1.520028e-01,1.506644e-01,1.492167e-01,1.464428e-01,1.451724e-01,1.436866e-01,1.409532e-01,1.397588e-01,1.382469e-01,1.355715e-01,1.344578e-01,1.329303e-01,1.303262e-01,1.292955e-01,1.277616e-01,1.252387e-01,1.242914e-01,1.227593e-01,1.203249e-01,1.194598e-01,1.179368e-01,1.155960e-01,1.148110e-01,1.133032e-01,1.110593e-01,1.103516e-01,1.088646e-01,1.067195e-01,1.060857e-01,1.046242e-01,1.025789e-01,1.020152e-01,1.005835e-01,9.863795e-02,9.814024e-02,9.674206e-02,9.489561e-02,9.445978e-02,9.309828e-02,9.134972e-02,9.097155e-02,8.964952e-02,8.799722e-02,8.767246e-02,8.639232e-02,8.483429e-02,8.455878e-02,8.332256e-02,8.185655e-02,8.162619e-02,8.043563e-02,7.905917e-02,7.886998e-02,7.772651e-02,7.643698e-02,7.628510e-02,7.518988e-02,7.398452e-02,7.386626e-02,7.282018e-02,7.169613e-02,7.160793e-02,7.061165e-02,6.956598e-02,6.950446e-02,6.855840e-02,6.758813e-02,6.755008e-02,6.665443e-02,6.575654e-02,6.573894e-02,6.489369e-02,6.406513e-02,6.252274e-02,6.110586e-02,5.980856e-02,5.862499e-02,5.754931e-02,5.657578e-02,5.569869e-02,5.491247e-02,5.421162e-02,5.359075e-02,5.304461e-02,5.256806e-02,5.215612e-02,5.180394e-02,5.150685e-02,5.126033e-02,5.106003e-02,5.090179e-02,5.078161e-02,5.069570e-02,5.064043e-02,5.061239e-02,5.060833e-02,5.062522e-02,5.066019e-02,5.071060e-02,5.077395e-02,5.084795e-02,5.093048e-02,5.101961e-02,5.111355e-02,5.121069e-02,5.130959e-02,5.140894e-02,5.150757e-02,5.160447e-02,5.169874e-02,5.178960e-02,5.187639e-02,5.195857e-02,5.203568e-02,5.210734e-02,5.217329e-02,5.223333e-02,5.228731e-02,5.233518e-02,5.237691e-02,5.241256e-02,5.244220e-02
0.000000e+00,9.789710e-07,1.785110e-05,1.868706e-05,1.314639e-04,5.471782e-04,5.763458e-04,1.789167e-03,4.035790e-03,4.220842e-03,8.022823e-03,1.256121e-02,1.299404e-02,1.879355e-02,2.444910e-02,2.509340e-02,3.162312e-02,3.739108e-02,3.817234e-02,4.458274e-02,4.989551e-02,5.073866e-02,5.655858e-02,6.114708e-02,6.198793e-02,6.699316e-02,7.076842e-02,7.155698e-02,7.567466e-02,7.865049e-02,7.935090e-02,8.259742e-02,8.484202e-02,8.543094e-02,8.787163e-02,8.947757e-02,8.994191e-02,9.166544e-02,9.273184e-02,9.306642e-02,9.416897e-02,9.479135e-02,9.499678e-02,9.557274e-02,9.583784e-02,9.591876e-02,9.605565e-02,9.603932e-02,9.600298e-02,9.577909e-02,9.554587e-02,9.540105e-02,9.488472e-02,9.448851e-02,9.424475e-02,9.349465e-02,9.297978e-02,9.264685e-02,9.171277e-02,9.111530e-02,9.070287e-02,8.962671e-02,8.897567e-02,8.849306e-02,8.730991e-02,8.662848e-02,8.608457e-02,8.482368e-02,8.413018e-02,8.353332e-02,8.221902e-02,8.152781e-02,8.088581e-02,7.953827e-02,7.886044e-02,7.818056e-02,7.681648e-02,7.616047e-02,7.544944e-02,7.408258e-02,7.345466e-02,7.271869e-02,7.136035e-02,7.076504e-02,7.000985e-02,6.866926e-02,6.810963e-02,6.734046e-02,6.602512e-02,6.550310e-02,6.472475e-02,6.344068e-02,6.295726e-02,6.217410e-02,6.092606e-02,6.048149e-02,5.969750e-02,5.848923e-02,5.808317e-02,5.730195e-02,5.613627e-02,5.576790e-02,5.499271e-02,5.387171e-02,5.353987e-02,5.277363e-02,5.169876e-02,5.140199e-02,5.064734e-02,4.961953e-02,4.935619e-02,4.861546e-02,4.763518e-02,4.740346e-02,4.667874e-02,4.574611e-02,4.554413e-02,4.483725e-02,4.395206e-02,4.377786e-02,4.309044e-02,4.225224e-02,4.210384e-02,4.143730e-02,4.064542e-02,4.052085e-02,3.987640e-02,3.913001e-02,3.902730e-02,3.840600e-02,3.770410e-02,3.762135e-02,3.702406e-02,3.636557e-02,3.630090e-02,3.572835e-02,3.511209e-02,3.506368e-02,3.451647e-02,3.394117e-02,3.390729e-02,3.338586e-02,3.285022e-02,3.282919e-02,3.233389e-02,3.183654e-02,3.182678e-02,3.135781e-02,3.089736e-02,3.003821e-02,2.924655e-02,2.851959e-02,2.785454e-02,2.724858e-02,2.669890e-02,2.620273e-02,2.575727e-02,2.535977e-02,2.500752e-02,2.469782e-02,2.442801e-02,2.419549e-02,2.399769e-02,2.383211e-02,2.369630e-02,2.358787e-02,2.350452e-02,2.344399e-02,2.340414e-02,2.338287e-02,2.337818e-02,2.338818e-02,2.341105e-02,2.344507e-02,2.348860e-02,2.354014e-02,2.359823e-02,2.366156e-02,2.372889e-02,2.379908e-02,2.387110e-02,2.394399e-02,2.401690e-02,2.408907e-02,2.415981e-02,2.422852e-02,2.429468e-02,2.435786e-02,2.441767e-02,2.447380e-02,2.452601e-02,2.457411e-02,2.461797e-02,2.465748e-02,2.469263e-02,2.472339e-02,2.474981e-02,2.477194e-02
0.000000e+00,1.845249e-08,2.435779e-07,2.541233e-07,1.522180e-06,5.146216e-06,5.365820e-06,1.247367e-05,2.068102e-05,2.121292e-05,2.986165e-05,3.727038e-05,3.788661e-05,4.521102e-05,5.122098e-05,5.185600e-05,5.786146e-05,6.265092e-05,6.326977e-05,6.812239e-05,7.188155e-05,7.245905e-05,7.631758e-05,7.921551e-05,7.973380e-05,8.274154e-05,8.492545e-05,8.537260e-05,8.765668e-05,8.925282e-05,8.962154e-05,9.129329e-05,9.240941e-05,9.269613e-05,9.385260e-05,9.457967e-05,9.478358e-05,9.550793e-05,9.592127e-05,9.604318e-05,9.640568e-05,9.656828e-05,9.661065e-05,9.667328e-05,9.663976e-05,9.660711e-05,9.642417e-05,9.623882e-05,9.613565e-05,9.575174e-05,9.545072e-05,9.528188e-05,9.473475e-05,9.434776e-05,9.411836e-05,9.344007e-05,9.299143e-05,9.270665e-05,9.192436e-05,9.143392e-05,9.109891e-05,9.023557e-05,8.971940e-05,8.933918e-05,8.841418e-05,8.788520e-05,8.746462e-05,8.649424e-05,8.596279e-05,8.550645e-05,8.450439e-05,8.397863e-05,8.349090e-05,8.246860e-05,8.195489e-05,8.143986e-05,8.040687e-05,7.991010e-05,7.937159e-05,7.833583e-05,7.785967e-05,7.730121e-05,7.626923e-05,7.581634e-05,7.524121e-05,7.421837e-05,7.379059e-05,7.320181e-05,7.219249e-05,7.179100e-05,7.119131e-05,7.019905e-05,6.982448e-05,6.921642e-05,6.824404e-05,6.789660e-05,6.728246e-05,6.633217e-05,6.601172e-05,6.539359e-05,6.446710e-05,6.417322e-05,6.355300e-05,6.265157e-05,6.238365e-05,6.176303e-05,6.088758e-05,6.064482e-05,6.002536e-05,5.917649e-05,5.895799e-05,5.834107e-05,5.751914e-05,5.732389e-05,5.671075e-05,5.591591e-05,5.574287e-05,5.513462e-05,5.436684e-05,5.421490e-05,5.361253e-05,5.287163e-05,5.273969e-05,5.214408e-05,5.142977e-05,5.131671e-05,5.072863e-05,5.004053e-05,4.994523e-05,4.936537e-05,4.870302e-05,4.862439e-05,4.805335e-05,4.741622e-05,4.735319e-05,4.679148e-05,4.617900e-05,4.613053e-05,4.557862e-05,4.499018e-05,4.495525e-05,4.441352e-05,4.384849e-05,4.382613e-05,4.329491e-05,4.275263e-05,4.274190e-05,4.222148e-05,4.170129e-05,4.070300e-05,3.974571e-05,3.882813e-05,3.794896e-05,3.710693e-05,3.630077e-05,3.552924e-05,3.479113e-05,3.408524e-05,3.341043e-05,3.276556e-05,3.214952e-05,3.156124e-05,3.099970e-05,3.046387e-05,2.995279e-05,2.946550e-05,2.900109e-05,2.855867e-05,2.813739e-05,2.773641e-05,2.735494e-05,2.699221e-05,2.664746e-05,2.631998e-05,2.600907e-05,2.571406e-05,2.543432e-05,2.516920e-05,2.491812e-05,2.468050e-05,2.445577e-05,2.424339e-05,2.404286e-05,2.385366e-05,2.367533e-05,2.350739e-05,2.334940e-05,2.320093e-05,2.306157e-05,2.293092e-05,2.280859e-05,2.269422e-05,2.258744e-05,2.248793e-05,2.239534e-05,2.230937e-05,2.222971e-05,2.215606e-05
0.000000e+00,2.369443e-05,6.476313e-04,6.834071e-04,6.302445e-03,2.628258e-02,2.755517e-02,7.100399e-02,1.296787e-01,1.339113e-01,2.113659e-01,2.916562e-01,2.989437e-01,3.929641e-01,4.805947e-01,4.904219e-01,5.888926e-01,6.748412e-01,6.864455e-01,7.815688e-01,8.605398e-01,8.731036e-01,9.601867e-01,1.029438e+00,1.042201e+00,1.118732e+00,1.177217e+00,1.189531e+00,1.254485e+00,1.302231e+00,1.313585e+00,1.366910e+00,1.404584e+00,1.414602e+00,1.456854e+00,1.485467e+00,1.493895e+00,1.525977e+00,1.546685e+00,1.553372e+00,1.576358e+00,1.590337e+00,1.595218e+00,1.610231e+00,1.618600e+00,1.621674e+00,1.629815e+00,1.633596e+00,1.634910e+00,1.637207e+00,1.637304e+00,1.636939e+00,1.634328e+00,1.631524e+00,1.629582e+00,1.622897e+00,1.617858e+00,1.614454e+00,1.604423e+00,1.597709e+00,1.592963e+00,1.580220e+00,1.572294e+00,1.566328e+00,1.551413e+00,1.542658e+00,1.535591e+00,1.518968e+00,1.509694e+00,1.501643e+00,1.483704e+00,1.474162e+00,1.465236e+00,1.446315e+00,1.436707e+00,1.427011e+00,1.407388e+00,1.397873e+00,1.387505e+00,1.367416e+00,1.358121e+00,1.347172e+00,1.326818e+00,1.317838e+00,1.306395e+00,1.285943e+00,1.277352e+00,1.265495e+00,1.245085e+00,1.236937e+00,1.224740e+00,1.204489e+00,1.196823e+00,1.184355e+00,1.164360e+00,1.157201e+00,1.144526e+00,1.124869e+00,1.118230e+00,1.105407e+00,1.086155e+00,1.080041e+00,1.067126e+00,1.048332e+00,1.042742e+00,1.029785e+00,1.011493e+00,1.006419e+00,9.934663e-01,9.757116e-01,9.711407e-01,9.582356e-01,9.410444e-01,9.369614e-01,9.241428e-01,9.075353e-01,9.039214e-01,8.912253e-01,8.752158e-01,8.720502e-01,8.595093e-01,8.441075e-01,8.413677e-01,8.290118e-01,8.142231e-01,8.118854e-01,7.997417e-01,7.855679e-01,7.836081e-01,7.717012e-01,7.581411e-01,7.565345e-01,7.448867e-01,7.319367e-01,7.306584e-01,7.192897e-01,7.069441e-01,7.059694e-01,6.948979e-01,6.831490e-01,6.824535e-01,6.716952e-01,6.605342e-01,6.600938e-01,6.496633e-01,6.390798e-01,6.388711e-01,6.287811e-01,6.187641e-01,5.997500e-01,5.818046e-01,5.649028e-01,5.490185e-01,5.341252e-01,5.201958e-01,5.072026e-01,4.951181e-01,4.839142e-01,4.735626e-01,4.640353e-01,4.553037e-01,4.473395e-01,4.401142e-01,4.335992e-01,4.277659e-01,4.225858e-01,4.180302e-01,4.140704e-01,4.106779e-01,4.078240e-01,4.054803e-01,4.036183e-01,4.022097e-01,4.012265e-01,4.006408e-01,4.004249e-01,4.005515e-01,4.009938e-01,4.017251e-01,4.027197e-01,4.039519e-01,4.053971e-01,4.070310e-01,4.088303e-01,4.107724e-01,4.128354e-01,4.149986e-01,4.172419e-01,4.195465e-01,4.218942e-01,4.242682e-01,4.266527e-01,4.290326e-01,4.313945e-01,4.337254e-01,4.360140e-01,4.382496e-01,4.404228e-01
0.000000e+00,2.259898e-05,6.208819e-04,6.551806e-04,6.019415e-03,2.496787e-02,2.617192e-02,6.717994e-02,1.223322e-01,1.263023e-01,1.987798e-01,2.735909e-01,2.803660e-01,3.675593e-01,4.484741e-01,4.575272e-01,5.480075e-01,6.266292e-01,6.372187e-01,7.237842e-01,7.953150e-01,8.066657e-01,8.851063e-01,9.471742e-01,9.585806e-01,1.026753e+00,1.078566e+00,1.089441e+00,1.146585e+00,1.188330e+00,1.198222e+00,1.244463e+00,1.276892e+00,1.285477e+00,1.321474e+00,1.345624e+00,1.352694e+00,1.379397e+00,1.396407e+00,1.401852e+00,1.420334e+00,1.431336e+00,1.435119e+00,1.446476e+00,1.452527e+00,1.454668e+00,1.459947e+00,1.461998e+00,1.462556e+00,1.462724e+00,1.461604e+00,1.460668e+00,1.456590e+00,1.453008e+00,1.450681e+00,1.443118e+00,1.437671e+00,1.434066e+00,1.423676e+00,1.416860e+00,1.412090e+00,1.399439e+00,1.391660e+00,1.385841e+00,1.371408e+00,1.362998e+00,1.356240e+00,1.340430e+00,1.331657e+00,1.324065e+00,1.307222e+00,1.298299e+00,1.289973e+00,1.272383e+00,1.263479e+00,1.254513e+00,1.236418e+00,1.227667e+00,1.218147e+00,1.199748e+00,1.191253e+00,1.181262e+00,1.162727e+00,1.154565e+00,1.144178e+00,1.125648e+00,1.117878e+00,1.107165e+00,1.088756e+00,1.081419e+00,1.070445e+00,1.052254e+00,1.045377e+00,1.034203e+00,1.016310e+00,1.009910e+00,9.985901e-01,9.810592e-01,9.751440e-01,9.637301e-01,9.466146e-01,9.411845e-01,9.297232e-01,9.130654e-01,9.081148e-01,8.966494e-01,8.804825e-01,8.760014e-01,8.645713e-01,8.489212e-01,8.448956e-01,8.335370e-01,8.184229e-01,8.148360e-01,8.035821e-01,7.890175e-01,7.858506e-01,7.747313e-01,7.607252e-01,7.579577e-01,7.470005e-01,7.335579e-01,7.311683e-01,7.203979e-01,7.075205e-01,7.054863e-01,6.949253e-01,6.826118e-01,6.809103e-01,6.705789e-01,6.588256e-01,6.574339e-01,6.473505e-01,6.361518e-01,6.350471e-01,6.252278e-01,6.145766e-01,6.137362e-01,6.041958e-01,5.940833e-01,5.934850e-01,5.842366e-01,5.746532e-01,5.742753e-01,5.653303e-01,5.562653e-01,5.560866e-01,5.474553e-01,5.388974e-01,5.226847e-01,5.074247e-01,4.930929e-01,4.796642e-01,4.671129e-01,4.554131e-01,4.445387e-01,4.344633e-01,4.251603e-01,4.166032e-01,4.087652e-01,4.016196e-01,3.951394e-01,3.892979e-01,3.840681e-01,3.794231e-01,3.753361e-01,3.717802e-01,3.687286e-01,3.661547e-01,3.640317e-01,3.623333e-01,3.610332e-01,3.601053e-01,3.595240e-01,3.592637e-01,3.592995e-01,3.596068e-01,3.601615e-01,3.609400e-01,3.619194e-01,3.630775e-01,3.643927e-01,3.658442e-01,3.674120e-01,3.690771e-01,3.708210e-01,3.726266e-01,3.744775e-01,3.763582e-01,3.782544e-01,3.801527e-01,3.820406e-01,3.839067e-01,3.857406e-01,3.875328e-01,3.892750e-01,3.909597e-01,3.925801e-01
0.000000e+00,4.012985e-08,5.697296e-07,5.950156e-07,3.779084e-06,1.360004e-05,1.421654e-05,3.500764e-05,6.024311e-05,6.190155e-05,8.902200e-05,1.123312e-04,1.142697e-04,1.372918e-04,1.561471e-04,1.581372e-04,1.769350e-04,1.918948e-04,1.938256e-04,2.089468e-04,2.206359e-04,2.224295e-04,2.343979e-04,2.433665e-04,2.449684e-04,2.542497e-04,2.609699e-04,2.623435e-04,2.693456e-04,2.742219e-04,2.753460e-04,2.804285e-04,2.838060e-04,2.846711e-04,2.881459e-04,2.903147e-04,2.909199e-04,2.930550e-04,2.942573e-04,2.946082e-04,2.956325e-04,2.960699e-04,2.961764e-04,2.962848e-04,2.961238e-04,2.959990e-04,2.953571e-04,2.947351e-04,2.943940e-04,2.931420e-04,2.921719e-04,2.916306e-04,2.898871e-04,2.886611e-04,2.879364e-04,2.858015e-04,2.843946e-04,2.835034e-04,2.810614e-04,2.795345e-04,2.784931e-04,2.758149e-04,2.742170e-04,2.730415e-04,2.701864e-04,2.685566e-04,2.672622e-04,2.642801e-04,2.626494e-04,2.612504e-04,2.581827e-04,2.565753e-04,2.550855e-04,2.519667e-04,2.504014e-04,2.488333e-04,2.456918e-04,2.441828e-04,2.425481e-04,2.394075e-04,2.379652e-04,2.362748e-04,2.331544e-04,2.317863e-04,2.300501e-04,2.269654e-04,2.256765e-04,2.239036e-04,2.208674e-04,2.196606e-04,2.178593e-04,2.148816e-04,2.137584e-04,2.119362e-04,2.090248e-04,2.079854e-04,2.061491e-04,2.033103e-04,2.023537e-04,2.005095e-04,1.977478e-04,1.968724e-04,1.950259e-04,1.923446e-04,1.915482e-04,1.897044e-04,1.871057e-04,1.863856e-04,1.845489e-04,1.820343e-04,1.813874e-04,1.795620e-04,1.771320e-04,1.765551e-04,1.747445e-04,1.723992e-04,1.718889e-04,1.700962e-04,1.678352e-04,1.673880e-04,1.656160e-04,1.634384e-04,1.630509e-04,1.613021e-04,1.592067e-04,1.588752e-04,1.571519e-04,1.551373e-04,1.548584e-04,1.531625e-04,1.512269e-04,1.509973e-04,1.493303e-04,1.474721e-04,1.472884e-04,1.456519e-04,1.438690e-04,1.437280e-04,1.421231e-04,1.404136e-04,1.403122e-04,1.387400e-04,1.371018e-04,1.370369e-04,1.354983e-04,1.339292e-04,1.338982e-04,1.323938e-04,1.308917e-04,1.280133e-04,1.252589e-04,1.226243e-04,1.201054e-04,1.176983e-04,1.153988e-04,1.132032e-04,1.111077e-04,1.091085e-04,1.072021e-04,1.053849e-04,1.036535e-04,1.020046e-04,1.004351e-04,9.894169e-05,9.752149e-05,9.617157e-05,9.488908e-05,9.367132e-05,9.251565e-05,9.141952e-05,9.038049e-05,8.939617e-05,8.846429e-05,8.758265e-05,8.674911e-05,8.596162e-05,8.521822e-05,8.451699e-05,8.385611e-05,8.323380e-05,8.264836e-05,8.209816e-05,8.158161e-05,8.109721e-05,8.064347e-05,8.021901e-05,7.982246e-05,7.945253e-05,7.910795e-05,7.878753e-05,7.849011e-05,7.821457e-05,7.795985e-05,7.772491e-05,7.750878e-05,7.731049e-05,7.712915e-05,7.696388e-05
0.000000e+00,2.821110e-08,4.831307e-07,5.060492e-07,3.423436e-06,1.179434e-05,1.229019e-05,2.755815e-05,4.403371e-05,4.508531e-05,6.215817e-05,7.688776e-05,7.812065e-05,9.288571e-05,1.051749e-04,1.064837e-04,1.189692e-04,1.290831e-04,1.304013e-04,1.408391e-04,1.490643e-04,1.503401e-04,1.589601e-04,1.655600e-04,1.667536e-04,1.737725e-04,1.789851e-04,1.800668e-04,1.856839e-04,1.897203e-04,1.906688e-04,1.950642e-04,1.981092e-04,1.989102e-04,2.022448e-04,2.044591e-04,2.051037e-04,2.075205e-04,2.090430e-04,2.095268e-04,2.111522e-04,2.121024e-04,2.124246e-04,2.133701e-04,2.138505e-04,2.140131e-04,2.143766e-04,2.144753e-04,2.144822e-04,2.143500e-04,2.141417e-04,2.139989e-04,2.134464e-04,2.129949e-04,2.127093e-04,2.118028e-04,2.111621e-04,2.107415e-04,2.095388e-04,2.087547e-04,2.082074e-04,2.067592e-04,2.058699e-04,2.052050e-04,2.035551e-04,2.025930e-04,2.018192e-04,2.000062e-04,1.989981e-04,1.981244e-04,1.961815e-04,1.951495e-04,1.941849e-04,1.921411e-04,1.911036e-04,1.900566e-04,1.879369e-04,1.869087e-04,1.857877e-04,1.836139e-04,1.826069e-04,1.814201e-04,1.792106e-04,1.782345e-04,1.769894e-04,1.747603e-04,1.738225e-04,1.725266e-04,1.702914e-04,1.693976e-04,1.680578e-04,1.658283e-04,1.649827e-04,1.636054e-04,1.613914e-04,1.605969e-04,1.591883e-04,1.569981e-04,1.562567e-04,1.548225e-04,1.526630e-04,1.519756e-04,1.505211e-04,1.483982e-04,1.477651e-04,1.462953e-04,1.442135e-04,1.436346e-04,1.421539e-04,1.401173e-04,1.395916e-04,1.381043e-04,1.361158e-04,1.356422e-04,1.341522e-04,1.322142e-04,1.317912e-04,1.303020e-04,1.284163e-04,1.280423e-04,1.265572e-04,1.247249e-04,1.243980e-04,1.229199e-04,1.211421e-04,1.208602e-04,1.193917e-04,1.176688e-04,1.174297e-04,1.159734e-04,1.143055e-04,1.141072e-04,1.126651e-04,1.110521e-04,1.108923e-04,1.094665e-04,1.079081e-04,1.077846e-04,1.063768e-04,1.048724e-04,1.047830e-04,1.033948e-04,1.019438e-04,1.018863e-04,1.005190e-04,9.912044e-05,9.909273e-05,9.774772e-05,9.640063e-05,9.380796e-05,9.131260e-05,8.891228e-05,8.660466e-05,8.438734e-05,8.225785e-05,8.021371e-05,7.825243e-05,7.637152e-05,7.456848e-05,7.284085e-05,7.118619e-05,6.960209e-05,6.808620e-05,6.663618e-05,6.524976e-05,6.392473e-05,6.265890e-05,6.145016e-05,6.029644e-05,5.919574e-05,5.814610e-05,5.714563e-05,5.619248e-05,5.528488e-05,5.442108e-05,5.359942e-05,5.281828e-05,5.207607e-05,5.137130e-05,5.070247e-05,5.006819e-05,4.946706e-05,4.889778e-05,4.835905e-05,4.784964e-05,4.736836e-05,4.691406e-05,4.648562e-05,4.608197e-05,4.570208e-05,4.534495e-05,4.500962e-05,4.469516e-05,4.440067e-05,4.412530e-05,4.386821e-05,4.362859e-05,4.340568e-05
0.000000e+00,1.518630e-08,1.851659e-07,1.929222e-07,1.113433e-06,3.820966e-06,3.990114e-06,9.824954e-06,1.742098e-05,1.793789e-05,2.655230e-05,3.402527e-05,3.464446e-05,4.193788e-05,4.779969e-05,4.841123e-05,5.411033e-05,5.853340e-05,5.909609e-05,6.343011e-05,6.668068e-05,6.717072e-05,7.037236e-05,7.268221e-05,7.308548e-05,7.535730e-05,7.692040e-05,7.722974e-05,7.874173e-05,7.971604e-05,7.992919e-05,8.082506e-05,8.134089e-05,8.145946e-05,8.185985e-05,8.202314e-05,8.205129e-05,8.205660e-05,8.195297e-05,8.189652e-05,8.158992e-05,8.128812e-05,8.115392e-05,8.060405e-05,8.015898e-05,7.995438e-05,7.921765e-05,7.867286e-05,7.840537e-05,7.752798e-05,7.691783e-05,7.659487e-05,7.561452e-05,7.496587e-05,7.459458e-05,7.354192e-05,7.287559e-05,7.246274e-05,7.136259e-05,7.069452e-05,7.024644e-05,6.911876e-05,6.846101e-05,6.798353e-05,6.684431e-05,6.620579e-05,6.570425e-05,6.456617e-05,6.395332e-05,6.343256e-05,6.230562e-05,6.172290e-05,6.118728e-05,6.007924e-05,5.952956e-05,5.898299e-05,5.789982e-05,5.738487e-05,5.683083e-05,5.577699e-05,5.529753e-05,5.473910e-05,5.371784e-05,5.327390e-05,5.271378e-05,5.172738e-05,5.131845e-05,5.075901e-05,4.980896e-05,4.943411e-05,4.887742e-05,4.796455e-05,4.762257e-05,4.707043e-05,4.619507e-05,4.588454e-05,4.533847e-05,4.450056e-05,4.421992e-05,4.368125e-05,4.288039e-05,4.262799e-05,4.209784e-05,4.133340e-05,4.110757e-05,4.058687e-05,3.985802e-05,3.965708e-05,3.914661e-05,3.845238e-05,3.827466e-05,3.777506e-05,3.711438e-05,3.695826e-05,3.647004e-05,3.584176e-05,3.570567e-05,3.522924e-05,3.463218e-05,3.451459e-05,3.405026e-05,3.348319e-05,3.338268e-05,3.293067e-05,3.239237e-05,3.230754e-05,3.186800e-05,3.135725e-05,3.128682e-05,3.085983e-05,3.037542e-05,3.031815e-05,2.990374e-05,2.944449e-05,2.939923e-05,2.899737e-05,2.856211e-05,2.852780e-05,2.813843e-05,2.772603e-05,2.770164e-05,2.732465e-05,2.693403e-05,2.691862e-05,2.655389e-05,2.618398e-05,2.617669e-05,2.582405e-05,2.547384e-05,2.480816e-05,2.417781e-05,2.358103e-05,2.301613e-05,2.248151e-05,2.197561e-05,2.149698e-05,2.104422e-05,2.061599e-05,2.021102e-05,1.982811e-05,1.946612e-05,1.912394e-05,1.880056e-05,1.849497e-05,1.820626e-05,1.793354e-05,1.767595e-05,1.743272e-05,1.720307e-05,1.698629e-05,1.678171e-05,1.658867e-05,1.640656e-05,1.623480e-05,1.607285e-05,1.592017e-05,1.577628e-05,1.564071e-05,1.551301e-05,1.539276e-05,1.527957e-05,1.517304e-05,1.507284e-05,1.497861e-05,1.489003e-05,1.480680e-05,1.472863e-05,1.465524e-05,1.458638e-05,1.452181e-05,1.446127e-05,1.440456e-05,1.435147e-05,1.430180e-05,1.425535e-05,1.421196e-05,1.417145e-05,1.413366e-05
0.000000e+00,3.262343e-08,4.188227e-07,4.364711e-07,2.506388e-06,8.373755e-06,8.731972e-06,2.071096e-05,3.575696e-05,3.677478e-05,5.387790e-05,6.921885e-05,7.052145e-05,8.632986e-05,9.978912e-05,1.012396e-04,1.152576e-04,1.268741e-04,1.284071e-04,1.407171e-04,1.506558e-04,1.522186e-04,1.629438e-04,1.713769e-04,1.729253e-04,1.821955e-04,1.892888e-04,1.907864e-04,1.987293e-04,2.046375e-04,2.060546e-04,2.127921e-04,2.176576e-04,2.189702e-04,2.246166e-04,2.285686e-04,2.297578e-04,2.344194e-04,2.375747e-04,2.386259e-04,2.424009e-04,2.448645e-04,2.457670e-04,2.487459e-04,2.506118e-04,2.513583e-04,2.536240e-04,2.549764e-04,2.555621e-04,2.571908e-04,2.581047e-04,2.585274e-04,2.595886e-04,2.601306e-04,2.603903e-04,2.609476e-04,2.611767e-04,2.612749e-04,2.613862e-04,2.613548e-04,2.612946e-04,2.610127e-04,2.607667e-04,2.605525e-04,2.599253e-04,2.595053e-04,2.591422e-04,2.582134e-04,2.576548e-04,2.571489e-04,2.559580e-04,2.552918e-04,2.546497e-04,2.532325e-04,2.524855e-04,2.517144e-04,2.501032e-04,2.492989e-04,2.484061e-04,2.466302e-04,2.457886e-04,2.447819e-04,2.428676e-04,2.420059e-04,2.408932e-04,2.388642e-04,2.379971e-04,2.367860e-04,2.346638e-04,2.338036e-04,2.325022e-04,2.303057e-04,2.294628e-04,2.280788e-04,2.258253e-04,2.250083e-04,2.235492e-04,2.212540e-04,2.204699e-04,2.189432e-04,2.166199e-04,2.158744e-04,2.142873e-04,2.119481e-04,2.112454e-04,2.096050e-04,2.072606e-04,2.066042e-04,2.049172e-04,2.025770e-04,2.019694e-04,2.002422e-04,1.979147e-04,1.973574e-04,1.955962e-04,1.932886e-04,1.927825e-04,1.909934e-04,1.887120e-04,1.882575e-04,1.864459e-04,1.841963e-04,1.837932e-04,1.819645e-04,1.797514e-04,1.793991e-04,1.775582e-04,1.753857e-04,1.750833e-04,1.732349e-04,1.711064e-04,1.708525e-04,1.690011e-04,1.669195e-04,1.667126e-04,1.648622e-04,1.628298e-04,1.626683e-04,1.608227e-04,1.588414e-04,1.587233e-04,1.568862e-04,1.549574e-04,1.548808e-04,1.530554e-04,1.511803e-04,1.511431e-04,1.493324e-04,1.475118e-04,1.439880e-04,1.405723e-04,1.372648e-04,1.340654e-04,1.309732e-04,1.279875e-04,1.251069e-04,1.223301e-04,1.196555e-04,1.170811e-04,1.146051e-04,1.122253e-04,1.099397e-04,1.077458e-04,1.056415e-04,1.036243e-04,1.016918e-04,9.984163e-05,9.807127e-05,9.637832e-05,9.476034e-05,9.321491e-05,9.173963e-05,9.033212e-05,8.899006e-05,8.771113e-05,8.649309e-05,8.533370e-05,8.423081e-05,8.318227e-05,8.218604e-05,8.124007e-05,8.034241e-05,7.949113e-05,7.868438e-05,7.792035e-05,7.719728e-05,7.651347e-05,7.586727e-05,7.525709e-05,7.468139e-05,7.413868e-05,7.362751e-05,7.314650e-05,7.269431e-05,7.226964e-05,7.187124e-05,7.149791e-05,7.114851e-05
0.000000e+00,7.844710e-08,1.339116e-06,1.401189e-06,9.634417e-06,3.749400e-05,3.932253e-05,1.046941e-04,1.922776e-04,1.983176e-04,3.008915e-04,3.928878e-04,4.006313e-04,4.932075e-04,5.695113e-04,5.775777e-04,6.538339e-04,7.145634e-04,7.224021e-04,7.837830e-04,8.312045e-04,8.384773e-04,8.869664e-04,9.232379e-04,9.297087e-04,9.671398e-04,9.941606e-04,9.996729e-04,1.027699e-03,1.047125e-03,1.051589e-03,1.071688e-03,1.084944e-03,1.088322e-03,1.101795e-03,1.110093e-03,1.112387e-03,1.120360e-03,1.124717e-03,1.125957e-03,1.129399e-03,1.130660e-03,1.130893e-03,1.130628e-03,1.129490e-03,1.128778e-03,1.125502e-03,1.122536e-03,1.120947e-03,1.115247e-03,1.110918e-03,1.108525e-03,1.100894e-03,1.095580e-03,1.092456e-03,1.083306e-03,1.077313e-03,1.073529e-03,1.063205e-03,1.056777e-03,1.052405e-03,1.041194e-03,1.034527e-03,1.029632e-03,1.017774e-03,1.011022e-03,1.005669e-03,9.933610e-04,9.866454e-04,9.808921e-04,9.682991e-04,9.617130e-04,9.556156e-04,9.428721e-04,9.364865e-04,9.300961e-04,9.173125e-04,9.111804e-04,9.045439e-04,8.918105e-04,8.859701e-04,8.791306e-04,8.665204e-04,8.609979e-04,8.539946e-04,8.415663e-04,8.363782e-04,8.292470e-04,8.170470e-04,8.122026e-04,8.049756e-04,7.930406e-04,7.885427e-04,7.812492e-04,7.696075e-04,7.654541e-04,7.581206e-04,7.467932e-04,7.429789e-04,7.356291e-04,7.246313e-04,7.211477e-04,7.138027e-04,7.031452e-04,6.999816e-04,6.926606e-04,6.823499e-04,6.794942e-04,6.722141e-04,6.622535e-04,6.596925e-04,6.524684e-04,6.428584e-04,6.405781e-04,6.334234e-04,6.241625e-04,6.221484e-04,6.150749e-04,6.061596e-04,6.043971e-04,5.974154e-04,5.888409e-04,5.873154e-04,5.804346e-04,5.721948e-04,5.708918e-04,5.641199e-04,5.562081e-04,5.551133e-04,5.484574e-04,5.408658e-04,5.399654e-04,5.334314e-04,5.261520e-04,5.254325e-04,5.190255e-04,5.120497e-04,5.114981e-04,5.052225e-04,4.985417e-04,4.981455e-04,4.920050e-04,4.856101e-04,4.853572e-04,4.793549e-04,4.732370e-04,4.731160e-04,4.672542e-04,4.614043e-04,4.502046e-04,4.394995e-04,4.292720e-04,4.195052e-04,4.101826e-04,4.012879e-04,3.928054e-04,3.847196e-04,3.770155e-04,3.696785e-04,3.626946e-04,3.560498e-04,3.497309e-04,3.437251e-04,3.380199e-04,3.326032e-04,3.274634e-04,3.225893e-04,3.179700e-04,3.135950e-04,3.094542e-04,3.055379e-04,3.018367e-04,2.983416e-04,2.950438e-04,2.919349e-04,2.890068e-04,2.862518e-04,2.836624e-04,2.812312e-04,2.789514e-04,2.768163e-04,2.748193e-04,2.729544e-04,2.712155e-04,2.695969e-04,2.680930e-04,2.666986e-04,2.654086e-04,2.642179e-04,2.631219e-04,2.621161e-04,2.611960e-04,2.603575e-04,2.595965e-04,2.589092e-04,2.582917e-04,2.577405e-04,2.572522e-04
0.000000e+00,5.044435e-10,1.152366e-08,1.209592e-08,7.868937e-08,2.167931e-07,2.233626e-07,3.867522e-07,5.274139e-07,5.358513e-07,6.670542e-07,7.729217e-07,7.814992e-07,8.808249e-07,9.585929e-07,9.666030e-07,1.040268e-06,1.096109e-06,1.103121e-06,1.156334e-06,1.195200e-06,1.200969e-06,1.237980e-06,1.263808e-06,1.268225e-06,1.292475e-06,1.308372e-06,1.311419e-06,1.325674e-06,1.334075e-06,1.335793e-06,1.342266e-06,1.345068e-06,1.345532e-06,1.345984e-06,1.344660e-06,1.343969e-06,1.339799e-06,1.335488e-06,1.333749e-06,1.326067e-06,1.319648e-06,1.316970e-06,1.306653e-06,1.298799e-06,1.295289e-06,1.283032e-06,1.274257e-06,1.270017e-06,1.256365e-06,1.247059e-06,1.242184e-06,1.227568e-06,1.218025e-06,1.212602e-06,1.197358e-06,1.187797e-06,1.181904e-06,1.166296e-06,1.156879e-06,1.150586e-06,1.134818e-06,1.125662e-06,1.119032e-06,1.103263e-06,1.094451e-06,1.087540e-06,1.071890e-06,1.063478e-06,1.056337e-06,1.040899e-06,1.032922e-06,1.025594e-06,1.010437e-06,1.002918e-06,9.954407e-07,9.806160e-07,9.735638e-07,9.659719e-07,9.515161e-07,9.449314e-07,9.372549e-07,9.231934e-07,9.170707e-07,9.093358e-07,8.956853e-07,8.900145e-07,8.822445e-07,8.690149e-07,8.637826e-07,8.559978e-07,8.431935e-07,8.383838e-07,8.306022e-07,8.182234e-07,8.138190e-07,8.060565e-07,7.941002e-07,7.900829e-07,7.823534e-07,7.708142e-07,7.671653e-07,7.594811e-07,7.483519e-07,7.450526e-07,7.374246e-07,7.266968e-07,7.237284e-07,7.161661e-07,7.058301e-07,7.031743e-07,6.956862e-07,6.857317e-07,6.833705e-07,6.759640e-07,6.663804e-07,6.642965e-07,6.569781e-07,6.477544e-07,6.459309e-07,6.387065e-07,6.298315e-07,6.282522e-07,6.211268e-07,6.125895e-07,6.112389e-07,6.042169e-07,5.960063e-07,5.948695e-07,5.879548e-07,5.800597e-07,5.791227e-07,5.723185e-07,5.647284e-07,5.639776e-07,5.572868e-07,5.499911e-07,5.494136e-07,5.428386e-07,5.358270e-07,5.354107e-07,5.289535e-07,5.222159e-07,5.219492e-07,5.156116e-07,5.091382e-07,5.090101e-07,5.027934e-07,4.965748e-07,4.846253e-07,4.731442e-07,4.621146e-07,4.515201e-07,4.413448e-07,4.315736e-07,4.221915e-07,4.131844e-07,4.045384e-07,3.962402e-07,3.882769e-07,3.806363e-07,3.733062e-07,3.662752e-07,3.595322e-07,3.530663e-07,3.468674e-07,3.409253e-07,3.352304e-07,3.297736e-07,3.245457e-07,3.195383e-07,3.147430e-07,3.101518e-07,3.057570e-07,3.015511e-07,2.975270e-07,2.936777e-07,2.899966e-07,2.864773e-07,2.831135e-07,2.798994e-07,2.768292e-07,2.738973e-07,2.710985e-07,2.684274e-07,2.658793e-07,2.634494e-07,2.611330e-07,2.589257e-07,2.568232e-07,2.548215e-07,2.529166e-07,2.511046e-07,2.493819e-07,2.477450e-07,2.461904e-07,2.447149e-07,2.433152e-07
0.000000e+00,2.121642e-08,3.792485e-07,3.973763e-07,2.657854e-06,8.727215e-06,9.072266e-06,1.917342e-05,2.938491e-05,3.002300e-05,4.023596e-05,4.887113e-05,4.958737e-05,5.808684e-05,6.504565e-05,6.578014e-05,7.271762e-05,7.823714e-05,7.894930e-05,8.452361e-05,8.882727e-05,8.948706e-05,9.388396e-05,9.717032e-05,9.775630e-05,1.011436e-04,1.035855e-04,1.040832e-04,1.066097e-04,1.083555e-04,1.087557e-04,1.105516e-04,1.117277e-04,1.120258e-04,1.132045e-04,1.139179e-04,1.141123e-04,1.147720e-04,1.151131e-04,1.152049e-04,1.154306e-04,1.154751e-04,1.154673e-04,1.153321e-04,1.151437e-04,1.150408e-04,1.146078e-04,1.142394e-04,1.140467e-04,1.133699e-04,1.128656e-04,1.125892e-04,1.117153e-04,1.111116e-04,1.107580e-04,1.097266e-04,1.090536e-04,1.086294e-04,1.074744e-04,1.067567e-04,1.062688e-04,1.050191e-04,1.042766e-04,1.037315e-04,1.024117e-04,1.016604e-04,1.010647e-04,9.969538e-05,9.894821e-05,9.830808e-05,9.690680e-05,9.617383e-05,9.549519e-05,9.407662e-05,9.336569e-05,9.265414e-05,9.123055e-05,9.054759e-05,8.980839e-05,8.838997e-05,8.773934e-05,8.697739e-05,8.557254e-05,8.495730e-05,8.417714e-05,8.279273e-05,8.221490e-05,8.142070e-05,8.006230e-05,7.952300e-05,7.871862e-05,7.739064e-05,7.689032e-05,7.607924e-05,7.478518e-05,7.432370e-05,7.350912e-05,7.225164e-05,7.182841e-05,7.101322e-05,6.979428e-05,6.940839e-05,6.859517e-05,6.741616e-05,6.706641e-05,6.625747e-05,6.511928e-05,6.480428e-05,6.400169e-05,6.290479e-05,6.262299e-05,6.182859e-05,6.077310e-05,6.052286e-05,5.973827e-05,5.872403e-05,5.850365e-05,5.773028e-05,5.675689e-05,5.656464e-05,5.580371e-05,5.487058e-05,5.470473e-05,5.395730e-05,5.306367e-05,5.292249e-05,5.218946e-05,5.133445e-05,5.121627e-05,5.049840e-05,4.968104e-05,4.958420e-05,4.888211e-05,4.810134e-05,4.802425e-05,4.733846e-05,4.659318e-05,4.653431e-05,4.586522e-05,4.515428e-05,4.511216e-05,4.446007e-05,4.378230e-05,4.375553e-05,4.312068e-05,4.247489e-05,4.246213e-05,4.184465e-05,4.122966e-05,4.005580e-05,3.893828e-05,3.787485e-05,3.686330e-05,3.590146e-05,3.498721e-05,3.411850e-05,3.329333e-05,3.250977e-05,3.176594e-05,3.106004e-05,3.039032e-05,2.975511e-05,2.915280e-05,2.858184e-05,2.804074e-05,2.752808e-05,2.704250e-05,2.658269e-05,2.614740e-05,2.573543e-05,2.534565e-05,2.497696e-05,2.462833e-05,2.429877e-05,2.398732e-05,2.369308e-05,2.341519e-05,2.315284e-05,2.290523e-05,2.267164e-05,2.245134e-05,2.224366e-05,2.204797e-05,2.186365e-05,2.169011e-05,2.152682e-05,2.137323e-05,2.122885e-05,2.109321e-05,2.096585e-05,2.084634e-05,2.073427e-05,2.062925e-05,2.053093e-05,2.043893e-05,2.035293e-05,2.027262e-05,2.019769e-05
0.000000e+00,1.442721e-09,2.112870e-08,2.202191e-08,1.133354e-07,3.125995e-07,3.234280e-07,6.499031e-07,1.026735e-06,1.052135e-06,1.484763e-06,1.881116e-06,1.914960e-06,2.326145e-06,2.675359e-06,2.712895e-06,3.074429e-06,3.372235e-06,3.411410e-06,3.724905e-06,3.976613e-06,4.016077e-06,4.286089e-06,4.497378e-06,4.536076e-06,4.767128e-06,4.943196e-06,4.980290e-06,5.176556e-06,5.322043e-06,5.356875e-06,5.522146e-06,5.641163e-06,5.673225e-06,5.810923e-06,5.907101e-06,5.936012e-06,6.049220e-06,6.125755e-06,6.151241e-06,6.242731e-06,6.302432e-06,6.324310e-06,6.396568e-06,6.441902e-06,6.460061e-06,6.515318e-06,6.548443e-06,6.562836e-06,6.603088e-06,6.625893e-06,6.636522e-06,6.663558e-06,6.677690e-06,6.684597e-06,6.700017e-06,6.706912e-06,6.710173e-06,6.715405e-06,6.716313e-06,6.716030e-06,6.712349e-06,6.708354e-06,6.704648e-06,6.693194e-06,6.685236e-06,6.678241e-06,6.660030e-06,6.648921e-06,6.638785e-06,6.614721e-06,6.601161e-06,6.588039e-06,6.558928e-06,6.543519e-06,6.527569e-06,6.494129e-06,6.477386e-06,6.458769e-06,6.421638e-06,6.404002e-06,6.382878e-06,6.342622e-06,6.324469e-06,6.300997e-06,6.258120e-06,6.239766e-06,6.214104e-06,6.169052e-06,6.150764e-06,6.123064e-06,6.076233e-06,6.058235e-06,6.028646e-06,5.980386e-06,5.962862e-06,5.931529e-06,5.882149e-06,5.865252e-06,5.832313e-06,5.782085e-06,5.765940e-06,5.731527e-06,5.680694e-06,5.665398e-06,5.629639e-06,5.578412e-06,5.564044e-06,5.527059e-06,5.475624e-06,5.462242e-06,5.424148e-06,5.372668e-06,5.360316e-06,5.321221e-06,5.269840e-06,5.258548e-06,5.218555e-06,5.167396e-06,5.157182e-06,5.116390e-06,5.065563e-06,5.056434e-06,5.014936e-06,4.964533e-06,4.956491e-06,4.914374e-06,4.864476e-06,4.857513e-06,4.814859e-06,4.765536e-06,4.759638e-06,4.716525e-06,4.667837e-06,4.662986e-06,4.619486e-06,4.571483e-06,4.567658e-06,4.523839e-06,4.476563e-06,4.473738e-06,4.429664e-06,4.383151e-06,4.381299e-06,4.337030e-06,4.291308e-06,4.290398e-06,4.245990e-06,4.201083e-06,4.113393e-06,4.027356e-06,3.942996e-06,3.860326e-06,3.779357e-06,3.700091e-06,3.622530e-06,3.546668e-06,3.472497e-06,3.400006e-06,3.329183e-06,3.260010e-06,3.192471e-06,3.126546e-06,3.062215e-06,2.999454e-06,2.938243e-06,2.878556e-06,2.820370e-06,2.763659e-06,2.708399e-06,2.654565e-06,2.602129e-06,2.551068e-06,2.501355e-06,2.452963e-06,2.405869e-06,2.360046e-06,2.315469e-06,2.272112e-06,2.229952e-06,2.188964e-06,2.149123e-06,2.110405e-06,2.072787e-06,2.036246e-06,2.000759e-06,1.966302e-06,1.932856e-06,1.900396e-06,1.868902e-06,1.838354e-06,1.808729e-06,1.780009e-06,1.752172e-06,1.725200e-06,1.699073e-06,1.673773e-06,1.649281e-06
0.000000e+00,1.756521e-07,3.093019e-06,3.235831e-06,2.223281e-05,9.121228e-05,9.601845e-05,2.933850e-04,6.511588e-04,6.803203e-04,1.271088e-03,1.954476e-03,2.018306e-03,2.849556e-03,3.616130e-03,3.700678e-03,4.525400e-03,5.205204e-03,5.293756e-03,5.988240e-03,6.519701e-03,6.600282e-03,7.127490e-03,7.505964e-03,7.571592e-03,7.936941e-03,8.181875e-03,8.229442e-03,8.455791e-03,8.593922e-03,8.622953e-03,8.737814e-03,8.795344e-03,8.806951e-03,8.836498e-03,8.835951e-03,8.832070e-03,8.798738e-03,8.758142e-03,8.741023e-03,8.662923e-03,8.596055e-03,8.567943e-03,8.459132e-03,8.376165e-03,8.339131e-03,8.210209e-03,8.118451e-03,8.074311e-03,7.933093e-03,7.837667e-03,7.787961e-03,7.640106e-03,7.544518e-03,7.490527e-03,7.340065e-03,7.246648e-03,7.189422e-03,7.039181e-03,6.949435e-03,6.889827e-03,6.741760e-03,6.656602e-03,6.595307e-03,6.450737e-03,6.370682e-03,6.308264e-03,6.168063e-03,6.093349e-03,6.030271e-03,5.894996e-03,5.825675e-03,5.762318e-03,5.632297e-03,5.568297e-03,5.504976e-03,5.380382e-03,5.321551e-03,5.258530e-03,5.139424e-03,5.085557e-03,5.023060e-03,4.909425e-03,4.860285e-03,4.798501e-03,4.690264e-03,4.645600e-03,4.584688e-03,4.481741e-03,4.441291e-03,4.381389e-03,4.283596e-03,4.247098e-03,4.188325e-03,4.095534e-03,4.062729e-03,4.005184e-03,3.917231e-03,3.887865e-03,3.831632e-03,3.748344e-03,3.722172e-03,3.667322e-03,3.588522e-03,3.565309e-03,3.511901e-03,3.437413e-03,3.416932e-03,3.365014e-03,3.294660e-03,3.276698e-03,3.226308e-03,3.159914e-03,3.144266e-03,3.095434e-03,3.032826e-03,3.019299e-03,2.972048e-03,2.913058e-03,2.901471e-03,2.855815e-03,2.800278e-03,2.790459e-03,2.746407e-03,2.694164e-03,2.685953e-03,2.643508e-03,2.594403e-03,2.587650e-03,2.546811e-03,2.500695e-03,2.495258e-03,2.456019e-03,2.412747e-03,2.408496e-03,2.370845e-03,2.330279e-03,2.327091e-03,2.291016e-03,2.253022e-03,2.250782e-03,2.216267e-03,2.180717e-03,2.179320e-03,2.146344e-03,2.113116e-03,2.112463e-03,2.081005e-03,2.049981e-03,1.991653e-03,1.937268e-03,1.886623e-03,1.839527e-03,1.795794e-03,1.755248e-03,1.717722e-03,1.683053e-03,1.651089e-03,1.621684e-03,1.594697e-03,1.569996e-03,1.547453e-03,1.526947e-03,1.508362e-03,1.491587e-03,1.476518e-03,1.463052e-03,1.451095e-03,1.440555e-03,1.431344e-03,1.423379e-03,1.416581e-03,1.410872e-03,1.406182e-03,1.402441e-03,1.399584e-03,1.397547e-03,1.396272e-03,1.395701e-03,1.395780e-03,1.396458e-03,1.397687e-03,1.399418e-03,1.401610e-03,1.404219e-03,1.407206e-03,1.410533e-03,1.414165e-03,1.418069e-03,1.422212e-03,1.426565e-03,1.431099e-03,1.435788e-03,1.440608e-03,1.445534e-03,1.450545e-03,1.455621e-03,1.460742e-03
0.000000e+00,1.598337e-07,3.611743e-06,3.799722e-06,3.229102e-05,1.388815e-04,1.460045e-04,4.011846e-04,7.482645e-04,7.726956e-04,1.200529e-03,1.605631e-03,1.640596e-03,2.067574e-03,2.429682e-03,2.468375e-03,2.837012e-03,3.133140e-03,3.171459e-03,3.471835e-03,3.703845e-03,3.739392e-03,3.975949e-03,4.152211e-03,4.183576e-03,4.364423e-03,4.494229e-03,4.520618e-03,4.654215e-03,4.746137e-03,4.767165e-03,4.861301e-03,4.922769e-03,4.938330e-03,4.999838e-03,5.037108e-03,5.047287e-03,5.082025e-03,5.100279e-03,5.105289e-03,5.118213e-03,5.121703e-03,5.121836e-03,5.117106e-03,5.109293e-03,5.104892e-03,5.085985e-03,5.069676e-03,5.061108e-03,5.030920e-03,5.008382e-03,4.996024e-03,4.956966e-03,4.930019e-03,4.914248e-03,4.868322e-03,4.838421e-03,4.819603e-03,4.768466e-03,4.736767e-03,4.715254e-03,4.660279e-03,4.627698e-03,4.603822e-03,4.546141e-03,4.513392e-03,4.487467e-03,4.428010e-03,4.395646e-03,4.367961e-03,4.307492e-03,4.275934e-03,4.246758e-03,4.185900e-03,4.155463e-03,4.125042e-03,4.064300e-03,4.035214e-03,4.003774e-03,3.943555e-03,3.915981e-03,3.883726e-03,3.824359e-03,3.798400e-03,3.765518e-03,3.707260e-03,3.682979e-03,3.649637e-03,3.592692e-03,3.570112e-03,3.536464e-03,3.480986e-03,3.460108e-03,3.426288e-03,3.372395e-03,3.353194e-03,3.319327e-03,3.267102e-03,3.249540e-03,3.215734e-03,3.165234e-03,3.149259e-03,3.115611e-03,3.066872e-03,3.052423e-03,3.019020e-03,2.972059e-03,2.959069e-03,2.925987e-03,2.880806e-03,2.869204e-03,2.836511e-03,2.793100e-03,2.782812e-03,2.750567e-03,2.708907e-03,2.699858e-03,2.668112e-03,2.628176e-03,2.620290e-03,2.589089e-03,2.550843e-03,2.544047e-03,2.513428e-03,2.476835e-03,2.471055e-03,2.441052e-03,2.406069e-03,2.401235e-03,2.371875e-03,2.338459e-03,2.334501e-03,2.305808e-03,2.273912e-03,2.270763e-03,2.242758e-03,2.212334e-03,2.209931e-03,2.182628e-03,2.153628e-03,2.151910e-03,2.125321e-03,2.097696e-03,2.096605e-03,2.070740e-03,2.044441e-03,2.043922e-03,2.018788e-03,1.993767e-03,1.946047e-03,1.900669e-03,1.857544e-03,1.816583e-03,1.777700e-03,1.740811e-03,1.705834e-03,1.672690e-03,1.641301e-03,1.611593e-03,1.583494e-03,1.556935e-03,1.531846e-03,1.508164e-03,1.485826e-03,1.464771e-03,1.444941e-03,1.426279e-03,1.408732e-03,1.392248e-03,1.376776e-03,1.362268e-03,1.348679e-03,1.335963e-03,1.324079e-03,1.312984e-03,1.302640e-03,1.293009e-03,1.284054e-03,1.275740e-03,1.268035e-03,1.260906e-03,1.254322e-03,1.248254e-03,1.242674e-03,1.237555e-03,1.232871e-03,1.228596e-03,1.224709e-03,1.221184e-03,1.218002e-03,1.215142e-03,1.212583e-03,1.210306e-03,1.208295e-03,1.206530e-03,1.204997e-03,1.203679e-03,1.202562e-03
0.000000e+00,8.795471e-05,2.316388e-03,2.443724e-03,2.292678e-02,1.010071e-01,1.061735e-01,2.899528e-01,5.496435e-01,5.686600e-01,9.209258e-01,1.292183e+00,1.326113e+00,1.766704e+00,2.181478e+00,2.228215e+00,2.698812e+00,3.112815e+00,3.168936e+00,3.630963e+00,4.017234e+00,4.078916e+00,4.508214e+00,4.851886e+00,4.915451e+00,5.298204e+00,5.592644e+00,5.654868e+00,5.984511e+00,6.228498e+00,6.286751e+00,6.561648e+00,6.757341e+00,6.809614e+00,7.031337e+00,7.182842e+00,7.227716e+00,7.399802e+00,7.512188e+00,7.548759e+00,7.675823e+00,7.754468e+00,7.782269e+00,7.869392e+00,7.919570e+00,7.938478e+00,7.990799e+00,8.017432e+00,8.027589e+00,8.050046e+00,8.057575e+00,8.059316e+00,8.056492e+00,8.048820e+00,8.042612e+00,8.018658e+00,7.999152e+00,7.985549e+00,7.944150e+00,7.915669e+00,7.895268e+00,7.839654e+00,7.804592e+00,7.778009e+00,7.710979e+00,7.671317e+00,7.639166e+00,7.563124e+00,7.520485e+00,7.483365e+00,7.400359e+00,7.356059e+00,7.314542e+00,7.226313e+00,7.181409e+00,7.136037e+00,7.044050e+00,6.999381e+00,6.950662e+00,6.856153e+00,6.812375e+00,6.760783e+00,6.664788e+00,6.622408e+00,6.568383e+00,6.471765e+00,6.431166e+00,6.375115e+00,6.278596e+00,6.240060e+00,6.182358e+00,6.086536e+00,6.050259e+00,5.991254e+00,5.896623e+00,5.862735e+00,5.802746e+00,5.709714e+00,5.678291e+00,5.617610e+00,5.526509e+00,5.497580e+00,5.436478e+00,5.347578e+00,5.321136e+00,5.259861e+00,5.173376e+00,5.149387e+00,5.088166e+00,5.004267e+00,4.982673e+00,4.921714e+00,4.840534e+00,4.821257e+00,4.760751e+00,4.682388e+00,4.665341e+00,4.605462e+00,4.529988e+00,4.515068e+00,4.455976e+00,4.383437e+00,4.370537e+00,4.312377e+00,4.242800e+00,4.231806e+00,4.174710e+00,4.108106e+00,4.098900e+00,4.042987e+00,3.979351e+00,3.971814e+00,3.917194e+00,3.856508e+00,3.850521e+00,3.797289e+00,3.739527e+00,3.734969e+00,3.683214e+00,3.628339e+00,3.625092e+00,3.574891e+00,3.522859e+00,3.520807e+00,3.472230e+00,3.422990e+00,3.422020e+00,3.375126e+00,3.328623e+00,3.240503e+00,3.157537e+00,3.079596e+00,3.006546e+00,2.938247e+00,2.874557e+00,2.815332e+00,2.760422e+00,2.709677e+00,2.662946e+00,2.620076e+00,2.580912e+00,2.545300e+00,2.513085e+00,2.484113e+00,2.458229e+00,2.435279e+00,2.415111e+00,2.397572e+00,2.382512e+00,2.369783e+00,2.359237e+00,2.350732e+00,2.344126e+00,2.339279e+00,2.336056e+00,2.334326e+00,2.333959e+00,2.334831e+00,2.336822e+00,2.339816e+00,2.343701e+00,2.348370e+00,2.353722e+00,2.359660e+00,2.366091e+00,2.372929e+00,2.380092e+00,2.387503e+00,2.395091e+00,2.402790e+00,2.410539e+00,2.418281e+00,2.425965e+00,2.433545e+00,2.440979e+00,2.448229e+00,2.455262e+00,2.462050e+00
0.000000e+00,2.222293e-05,4.751884e-04,4.991533e-04,4.011636e-03,1.749694e-02,1.843964e-02,5.662817e-02,1.233828e-01,1.287223e-01,2.355037e-01,3.597147e-01,3.715114e-01,5.300502e-01,6.868996e-01,7.049715e-01,8.909889e-01,1.060310e+00,1.083652e+00,1.279256e+00,1.447485e+00,1.474749e+00,1.667643e+00,1.826188e+00,1.855936e+00,2.038041e+00,2.181876e+00,2.212726e+00,2.379052e+00,2.505629e+00,2.536338e+00,2.684117e+00,2.792596e+00,2.822104e+00,2.950163e+00,3.040837e+00,3.068283e+00,3.176554e+00,3.250432e+00,3.275147e+00,3.364298e+00,3.422800e+00,3.444294e+00,3.515459e+00,3.560207e+00,3.578144e+00,3.632723e+00,3.665402e+00,3.679580e+00,3.719104e+00,3.741363e+00,3.751687e+00,3.777719e+00,3.791119e+00,3.797584e+00,3.811657e+00,3.817634e+00,3.820304e+00,3.823880e+00,3.823735e+00,3.822728e+00,3.817175e+00,3.812064e+00,3.807538e+00,3.794118e+00,3.785057e+00,3.777201e+00,3.757063e+00,3.744940e+00,3.733962e+00,3.708146e+00,3.693726e+00,3.679847e+00,3.649286e+00,3.633224e+00,3.616673e+00,3.582202e+00,3.565052e+00,3.546060e+00,3.508421e+00,3.490650e+00,3.469449e+00,3.429297e+00,3.411295e+00,3.388111e+00,3.346024e+00,3.328110e+00,3.303164e+00,3.259650e+00,3.242086e+00,3.215591e+00,3.171092e+00,3.154087e+00,3.126249e+00,3.081151e+00,3.064870e+00,3.035882e+00,2.990520e+00,2.975089e+00,2.945137e+00,2.899799e+00,2.885310e+00,2.854568e+00,2.809502e+00,2.796022e+00,2.764653e+00,2.720071e+00,2.707641e+00,2.675799e+00,2.631878e+00,2.620521e+00,2.588348e+00,2.545241e+00,2.534962e+00,2.502589e+00,2.460422e+00,2.451212e+00,2.418764e+00,2.377640e+00,2.369481e+00,2.337070e+00,2.297073e+00,2.289936e+00,2.257667e+00,2.218866e+00,2.212715e+00,2.180684e+00,2.143133e+00,2.137926e+00,2.106221e+00,2.069959e+00,2.065651e+00,2.034352e+00,1.999409e+00,1.995951e+00,1.965132e+00,1.931527e+00,1.928868e+00,1.898596e+00,1.866341e+00,1.864427e+00,1.834763e+00,1.803862e+00,1.802640e+00,1.773639e+00,1.744092e+00,1.743507e+00,1.715218e+00,1.687017e+00,1.633150e+00,1.581878e+00,1.533168e+00,1.486980e+00,1.443272e+00,1.401994e+00,1.363097e+00,1.326525e+00,1.292223e+00,1.260132e+00,1.230191e+00,1.202339e+00,1.176513e+00,1.152648e+00,1.130679e+00,1.110540e+00,1.092164e+00,1.075484e+00,1.060432e+00,1.046939e+00,1.034936e+00,1.024356e+00,1.015128e+00,1.007184e+00,1.000455e+00,9.948726e-01,9.903688e-01,9.868761e-01,9.843277e-01,9.826577e-01,9.818010e-01,9.816940e-01,9.822740e-01,9.834802e-01,9.852529e-01,9.875345e-01,9.902690e-01,9.934024e-01,9.968829e-01,1.000661e+00,1.004689e+00,1.008921e+00,1.013316e+00,1.017832e+00,1.022432e+00,1.027081e+00,1.031746e+00,1.036397e+00,1.041005e+00
0.000000e+00,1.036479e-09,2.060242e-08,2.163019e-08,1.525617e-07,4.758459e-07,4.925258e-07,9.302477e-07,1.333822e-06,1.358770e-06,1.758639e-06,2.100020e-06,2.128532e-06,2.469609e-06,2.753182e-06,2.783373e-06,3.071338e-06,3.304582e-06,3.334983e-06,3.575741e-06,3.765547e-06,3.795000e-06,3.994090e-06,4.146677e-06,4.174290e-06,4.336815e-06,4.457709e-06,4.482820e-06,4.613400e-06,4.707454e-06,4.729588e-06,4.832358e-06,4.903796e-06,4.922627e-06,5.001260e-06,5.053740e-06,5.069069e-06,5.126814e-06,5.163488e-06,5.175210e-06,5.214930e-06,5.238511e-06,5.246603e-06,5.270819e-06,5.283631e-06,5.288131e-06,5.299058e-06,5.303090e-06,5.304086e-06,5.303669e-06,5.300619e-06,5.298233e-06,5.288177e-06,5.279490e-06,5.273874e-06,5.255672e-06,5.242573e-06,5.233898e-06,5.208856e-06,5.192381e-06,5.180831e-06,5.150089e-06,5.131112e-06,5.116877e-06,5.081429e-06,5.060681e-06,5.043959e-06,5.004670e-06,4.982764e-06,4.963750e-06,4.921374e-06,4.898817e-06,4.877705e-06,4.832896e-06,4.810109e-06,4.787089e-06,4.740414e-06,4.717738e-06,4.692995e-06,4.644945e-06,4.622659e-06,4.596369e-06,4.547367e-06,4.525694e-06,4.498028e-06,4.448437e-06,4.427553e-06,4.398672e-06,4.348806e-06,4.328846e-06,4.298904e-06,4.249028e-06,4.230095e-06,4.199236e-06,4.149580e-06,4.131746e-06,4.100107e-06,4.050861e-06,4.034177e-06,4.001885e-06,3.953214e-06,3.937709e-06,3.904882e-06,3.856922e-06,3.842610e-06,3.809359e-06,3.762221e-06,3.749101e-06,3.715530e-06,3.669307e-06,3.657368e-06,3.623571e-06,3.578339e-06,3.567560e-06,3.533626e-06,3.489444e-06,3.479797e-06,3.445806e-06,3.402721e-06,3.394172e-06,3.360199e-06,3.318247e-06,3.310757e-06,3.276871e-06,3.236077e-06,3.229604e-06,3.195869e-06,3.156249e-06,3.150749e-06,3.117220e-06,3.078785e-06,3.074212e-06,3.040942e-06,3.003694e-06,3.000002e-06,2.967038e-06,2.930975e-06,2.928115e-06,2.895501e-06,2.860616e-06,2.858541e-06,2.826315e-06,2.792597e-06,2.791261e-06,2.759458e-06,2.726893e-06,2.726248e-06,2.694899e-06,2.663471e-06,2.602896e-06,2.544481e-06,2.488186e-06,2.433964e-06,2.381770e-06,2.331554e-06,2.283267e-06,2.236859e-06,2.192280e-06,2.149477e-06,2.108402e-06,2.069002e-06,2.031229e-06,1.995032e-06,1.960363e-06,1.927173e-06,1.895414e-06,1.865041e-06,1.836006e-06,1.808267e-06,1.781778e-06,1.756497e-06,1.732382e-06,1.709393e-06,1.687490e-06,1.666633e-06,1.646787e-06,1.627913e-06,1.609976e-06,1.592942e-06,1.576777e-06,1.561449e-06,1.546925e-06,1.533175e-06,1.520170e-06,1.507879e-06,1.496276e-06,1.485333e-06,1.475024e-06,1.465323e-06,1.456205e-06,1.447647e-06,1.439626e-06,1.432119e-06,1.425104e-06,1.418561e-06,1.412469e-06,1.406808e-06,1.401561e-06
0.000000e+00,3.084727e-08,8.419618e-07,8.856963e-07,6.165875e-06,1.735253e-05,1.789066e-05,3.161918e-05,4.415772e-05,4.493602e-05,5.749221e-05,6.835378e-05,6.926755e-05,8.028522e-05,8.957811e-05,9.057527e-05,1.001693e-04,1.080619e-04,1.090995e-04,1.173980e-04,1.240537e-04,1.250965e-04,1.322258e-04,1.377965e-04,1.388159e-04,1.448957e-04,1.495196e-04,1.504927e-04,1.556335e-04,1.594346e-04,1.603433e-04,1.646459e-04,1.677342e-04,1.685644e-04,1.721203e-04,1.745931e-04,1.753344e-04,1.782263e-04,1.801699e-04,1.808147e-04,1.831172e-04,1.846075e-04,1.851506e-04,1.869308e-04,1.880344e-04,1.884729e-04,1.897910e-04,1.905664e-04,1.908988e-04,1.918090e-04,1.923075e-04,1.925339e-04,1.930848e-04,1.933511e-04,1.934726e-04,1.937077e-04,1.937810e-04,1.937997e-04,1.937580e-04,1.936724e-04,1.935912e-04,1.933075e-04,1.930925e-04,1.929147e-04,1.924203e-04,1.921017e-04,1.918312e-04,1.911540e-04,1.907538e-04,1.903948e-04,1.895596e-04,1.890971e-04,1.886539e-04,1.876829e-04,1.871745e-04,1.866517e-04,1.855648e-04,1.850246e-04,1.844266e-04,1.832415e-04,1.826816e-04,1.820131e-04,1.807453e-04,1.801759e-04,1.794416e-04,1.781052e-04,1.775349e-04,1.767391e-04,1.753464e-04,1.747825e-04,1.739298e-04,1.724919e-04,1.719404e-04,1.710350e-04,1.695615e-04,1.690274e-04,1.680736e-04,1.665732e-04,1.660605e-04,1.650622e-04,1.635425e-04,1.630546e-04,1.620157e-04,1.604834e-04,1.600228e-04,1.589470e-04,1.574080e-04,1.569768e-04,1.558676e-04,1.543271e-04,1.539266e-04,1.527875e-04,1.512499e-04,1.508814e-04,1.497154e-04,1.481849e-04,1.478488e-04,1.466591e-04,1.451390e-04,1.448357e-04,1.436252e-04,1.421184e-04,1.418480e-04,1.406194e-04,1.391286e-04,1.388909e-04,1.376467e-04,1.361742e-04,1.359688e-04,1.347115e-04,1.332590e-04,1.330854e-04,1.318172e-04,1.303865e-04,1.302440e-04,1.289671e-04,1.275594e-04,1.274473e-04,1.261637e-04,1.247802e-04,1.246976e-04,1.234091e-04,1.220506e-04,1.219966e-04,1.207050e-04,1.193724e-04,1.193459e-04,1.180529e-04,1.167467e-04,1.142000e-04,1.117063e-04,1.092661e-04,1.068797e-04,1.045473e-04,1.022686e-04,1.000436e-04,9.787194e-05,9.575323e-05,9.368699e-05,9.167267e-05,8.970965e-05,8.779726e-05,8.593480e-05,8.412149e-05,8.235658e-05,8.063923e-05,7.896862e-05,7.734390e-05,7.576421e-05,7.422869e-05,7.273648e-05,7.128671e-05,6.987851e-05,6.851102e-05,6.718336e-05,6.589469e-05,6.464415e-05,6.343090e-05,6.225410e-05,6.111293e-05,6.000658e-05,5.893425e-05,5.789516e-05,5.688852e-05,5.591359e-05,5.496961e-05,5.405584e-05,5.317156e-05,5.231607e-05,5.148866e-05,5.068866e-05,4.991541e-05,4.916824e-05,4.844651e-05,4.774960e-05,4.707689e-05,4.642778e-05,4.580169e-05
0.000000e+00,5.807927e-07,1.170709e-05,1.228588e-05,9.698727e-05,4.332952e-04,4.572988e-04,1.457028e-03,3.251913e-03,3.396057e-03,6.265627e-03,9.542092e-03,9.849079e-03,1.390005e-02,1.776961e-02,1.820665e-02,2.260084e-02,2.643736e-02,2.695417e-02,3.117108e-02,3.463534e-02,3.518261e-02,3.894106e-02,4.187952e-02,4.241547e-02,4.558804e-02,4.795872e-02,4.845117e-02,5.100500e-02,5.282926e-02,5.325556e-02,5.521320e-02,5.654535e-02,5.689131e-02,5.830533e-02,5.921363e-02,5.947199e-02,6.040865e-02,6.096403e-02,6.113286e-02,6.166196e-02,6.193162e-02,6.201286e-02,6.220180e-02,6.224601e-02,6.224425e-02,6.215478e-02,6.202560e-02,6.194706e-02,6.163380e-02,6.137500e-02,6.122678e-02,6.073685e-02,6.038442e-02,6.017397e-02,5.954726e-02,5.913031e-02,5.886502e-02,5.813482e-02,5.767655e-02,5.736350e-02,5.655728e-02,5.607591e-02,5.572177e-02,5.486202e-02,5.437170e-02,5.398260e-02,5.308761e-02,5.259915e-02,5.218072e-02,5.126525e-02,5.078681e-02,5.034416e-02,4.942010e-02,4.895770e-02,4.849544e-02,4.757230e-02,4.713030e-02,4.665257e-02,4.573794e-02,4.531934e-02,4.482990e-02,4.392978e-02,4.353655e-02,4.303876e-02,4.215787e-02,4.179115e-02,4.128804e-02,4.043006e-02,4.009034e-02,3.958463e-02,3.875235e-02,3.843965e-02,3.793376e-02,3.712930e-02,3.684323e-02,3.633935e-02,3.556423e-02,3.530412e-02,3.480420e-02,3.405947e-02,3.382441e-02,3.333020e-02,3.261651e-02,3.240546e-02,3.191850e-02,3.123620e-02,3.104797e-02,3.056963e-02,2.991879e-02,2.975215e-02,2.928364e-02,2.866412e-02,2.851776e-02,2.806015e-02,2.747163e-02,2.734422e-02,2.689845e-02,2.634047e-02,2.623069e-02,2.579756e-02,2.526955e-02,2.517608e-02,2.475628e-02,2.425758e-02,2.417913e-02,2.377326e-02,2.330312e-02,2.323843e-02,2.284698e-02,2.240463e-02,2.235247e-02,2.197587e-02,2.156047e-02,2.151965e-02,2.115822e-02,2.076892e-02,2.073833e-02,2.039233e-02,2.002824e-02,2.000679e-02,1.967643e-02,1.933666e-02,1.932332e-02,1.900872e-02,1.869239e-02,1.868618e-02,1.838743e-02,1.809362e-02,1.754392e-02,1.703534e-02,1.656617e-02,1.613473e-02,1.573935e-02,1.537838e-02,1.505021e-02,1.475325e-02,1.448593e-02,1.424673e-02,1.403414e-02,1.384669e-02,1.368292e-02,1.354144e-02,1.342086e-02,1.331982e-02,1.323700e-02,1.317113e-02,1.312094e-02,1.308522e-02,1.306279e-02,1.305251e-02,1.305327e-02,1.306400e-02,1.308368e-02,1.311133e-02,1.314599e-02,1.318679e-02,1.323285e-02,1.328338e-02,1.333760e-02,1.339481e-02,1.345432e-02,1.351552e-02,1.357782e-02,1.364068e-02,1.370361e-02,1.376617e-02,1.382793e-02,1.388855e-02,1.394769e-02,1.400507e-02,1.406044e-02,1.411357e-02,1.416429e-02,1.421246e-02,1.425794e-02,1.430065e-02,1.434053e-02
0.000000e+00,3.191557e-08,7.625293e-07,8.011939e-07,5.709431e-06,1.905105e-05,1.982350e-05,4.359810e-05,6.958116e-05,7.122902e-05,9.728239e-05,1.182658e-04,1.199487e-04,1.391736e-04,1.538335e-04,1.553217e-04,1.688002e-04,1.787495e-04,1.799810e-04,1.891894e-04,1.957461e-04,1.967061e-04,2.027740e-04,2.069051e-04,2.076020e-04,2.113692e-04,2.137749e-04,2.142289e-04,2.163135e-04,2.175000e-04,2.177365e-04,2.185956e-04,2.189283e-04,2.189742e-04,2.189444e-04,2.186867e-04,2.185676e-04,2.178966e-04,2.172376e-04,2.169768e-04,2.158470e-04,2.149225e-04,2.145406e-04,2.130862e-04,2.119933e-04,2.115082e-04,2.098277e-04,2.086356e-04,2.080626e-04,2.062285e-04,2.049867e-04,2.043386e-04,2.024042e-04,2.011474e-04,2.004351e-04,1.984395e-04,1.971922e-04,1.964247e-04,1.943967e-04,1.931758e-04,1.923607e-04,1.903213e-04,1.891383e-04,1.882821e-04,1.862465e-04,1.851092e-04,1.842173e-04,1.821968e-04,1.811100e-04,1.801869e-04,1.781895e-04,1.771562e-04,1.762059e-04,1.742373e-04,1.732590e-04,1.722848e-04,1.703492e-04,1.694263e-04,1.684312e-04,1.665314e-04,1.656637e-04,1.646502e-04,1.627881e-04,1.619748e-04,1.609453e-04,1.591220e-04,1.583621e-04,1.573185e-04,1.555349e-04,1.548270e-04,1.537712e-04,1.520275e-04,1.513701e-04,1.503037e-04,1.485999e-04,1.479915e-04,1.469161e-04,1.452521e-04,1.446908e-04,1.436079e-04,1.419833e-04,1.414676e-04,1.403783e-04,1.387927e-04,1.383209e-04,1.372265e-04,1.356794e-04,1.352496e-04,1.341513e-04,1.326421e-04,1.322528e-04,1.311516e-04,1.296796e-04,1.293291e-04,1.282260e-04,1.267906e-04,1.264772e-04,1.253732e-04,1.239736e-04,1.236959e-04,1.225918e-04,1.212274e-04,1.209837e-04,1.198804e-04,1.185505e-04,1.183393e-04,1.172376e-04,1.159414e-04,1.157613e-04,1.146619e-04,1.133988e-04,1.132483e-04,1.121519e-04,1.109211e-04,1.107989e-04,1.097063e-04,1.085071e-04,1.084118e-04,1.073235e-04,1.061552e-04,1.060856e-04,1.050022e-04,1.038642e-04,1.038190e-04,1.027410e-04,1.016326e-04,1.016106e-04,1.005386e-04,9.945905e-05,9.736316e-05,9.532161e-05,9.333317e-05,9.139660e-05,8.951071e-05,8.767429e-05,8.588620e-05,8.414530e-05,8.245047e-05,8.080061e-05,7.919467e-05,7.763158e-05,7.611033e-05,7.462991e-05,7.318934e-05,7.178765e-05,7.042391e-05,6.909719e-05,6.780661e-05,6.655127e-05,6.533032e-05,6.414292e-05,6.298825e-05,6.186551e-05,6.077391e-05,5.971269e-05,5.868110e-05,5.767840e-05,5.670390e-05,5.575688e-05,5.483668e-05,5.394261e-05,5.307405e-05,5.223034e-05,5.141087e-05,5.061504e-05,4.984226e-05,4.909195e-05,4.836355e-05,4.765650e-05,4.697028e-05,4.630435e-05,4.565822e-05,4.503137e-05,4.442332e-05,4.383360e-05,4.326174e-05,4.270728e-05,4.216979e-05
0.000000e+00,1.102055e-08,2.425568e-07,2.549473e-07,1.925875e-06,6.845337e-06,7.136240e-06,1.600316e-05,2.527307e-05,2.585101e-05,3.497912e-05,4.245686e-05,4.306570e-05,5.014667e-05,5.573432e-05,5.631237e-05,6.165478e-05,6.574289e-05,6.625906e-05,7.020264e-05,7.311932e-05,7.355561e-05,7.638130e-05,7.838934e-05,7.873681e-05,8.067360e-05,8.198192e-05,8.223792e-05,8.347131e-05,8.424493e-05,8.441105e-05,8.509062e-05,8.545956e-05,8.554013e-05,8.578629e-05,8.585225e-05,8.585314e-05,8.576214e-05,8.560456e-05,8.553252e-05,8.518145e-05,8.486216e-05,8.472428e-05,8.417475e-05,8.374173e-05,8.354510e-05,8.284624e-05,8.233649e-05,8.208791e-05,8.127879e-05,8.072073e-05,8.042660e-05,7.953823e-05,7.895353e-05,7.861978e-05,7.767671e-05,7.708177e-05,7.671383e-05,7.573543e-05,7.514254e-05,7.474531e-05,7.374683e-05,7.316507e-05,7.274296e-05,7.173633e-05,7.117228e-05,7.072925e-05,6.972375e-05,6.918208e-05,6.872163e-05,6.772444e-05,6.720830e-05,6.673354e-05,6.575012e-05,6.526155e-05,6.477523e-05,6.380973e-05,6.334987e-05,6.285441e-05,6.190990e-05,6.147922e-05,6.097677e-05,6.005547e-05,5.965396e-05,5.914640e-05,5.824986e-05,5.787712e-05,5.736611e-05,5.649535e-05,5.615071e-05,5.563772e-05,5.479333e-05,5.447595e-05,5.396225e-05,5.314451e-05,5.285339e-05,5.234011e-05,5.154904e-05,5.128310e-05,5.077124e-05,5.000664e-05,4.976475e-05,4.925518e-05,4.851673e-05,4.829773e-05,4.779121e-05,4.707847e-05,4.688118e-05,4.637839e-05,4.569082e-05,4.551409e-05,4.501562e-05,4.435263e-05,4.419531e-05,4.370169e-05,4.306264e-05,4.292362e-05,4.243530e-05,4.181951e-05,4.169772e-05,4.121510e-05,4.062189e-05,4.051629e-05,4.003971e-05,3.946838e-05,3.937796e-05,3.890773e-05,3.835758e-05,3.828139e-05,3.781777e-05,3.728811e-05,3.722523e-05,3.676844e-05,3.625858e-05,3.620813e-05,3.575837e-05,3.526764e-05,3.522878e-05,3.478622e-05,3.431394e-05,3.428589e-05,3.385065e-05,3.339619e-05,3.337819e-05,3.295039e-05,3.251311e-05,3.250445e-05,3.208418e-05,3.166346e-05,3.085405e-05,3.007510e-05,2.932550e-05,2.860418e-05,2.791013e-05,2.724234e-05,2.659985e-05,2.598173e-05,2.538709e-05,2.481506e-05,2.426480e-05,2.373551e-05,2.322641e-05,2.273675e-05,2.226581e-05,2.181290e-05,2.137734e-05,2.095848e-05,2.055571e-05,2.016842e-05,1.979603e-05,1.943799e-05,1.909376e-05,1.876283e-05,1.844469e-05,1.813887e-05,1.784490e-05,1.756234e-05,1.729076e-05,1.702975e-05,1.677891e-05,1.653785e-05,1.630622e-05,1.608365e-05,1.586981e-05,1.566435e-05,1.546698e-05,1.527737e-05,1.509525e-05,1.492032e-05,1.475231e-05,1.459097e-05,1.443603e-05,1.428726e-05,1.414442e-05,1.400729e-05,1.387565e-05,1.374929e-05,1.362801e-05
0.000000e+00,3.480638e-08,5.947302e-07,6.226502e-07,4.329038e-06,1.645831e-05,1.723905e-05,4.465071e-05,8.057050e-05,8.301262e-05,1.236924e-04,1.589573e-04,1.618781e-04,1.962692e-04,2.239018e-04,2.267846e-04,2.536522e-04,2.745074e-04,2.771608e-04,2.975999e-04,3.129316e-04,3.152430e-04,3.303451e-04,3.412402e-04,3.431419e-04,3.538488e-04,3.612083e-04,3.626638e-04,3.697715e-04,3.743428e-04,3.753414e-04,3.795289e-04,3.819274e-04,3.824762e-04,3.843134e-04,3.850405e-04,3.851589e-04,3.851204e-04,3.845811e-04,3.842964e-04,3.827759e-04,3.812957e-04,3.806400e-04,3.779625e-04,3.758018e-04,3.748099e-04,3.712429e-04,3.686087e-04,3.673161e-04,3.630792e-04,3.601348e-04,3.585768e-04,3.538495e-04,3.507229e-04,3.489336e-04,3.438620e-04,3.406525e-04,3.386643e-04,3.333670e-04,3.301509e-04,3.279940e-04,3.225667e-04,3.194016e-04,3.171042e-04,3.116234e-04,3.085520e-04,3.061397e-04,3.006664e-04,2.977195e-04,2.952157e-04,2.897980e-04,2.869970e-04,2.844227e-04,2.790979e-04,2.764567e-04,2.738308e-04,2.686276e-04,2.661544e-04,2.634937e-04,2.584336e-04,2.561319e-04,2.534512e-04,2.485499e-04,2.464197e-04,2.437322e-04,2.390005e-04,2.370393e-04,2.343565e-04,2.298015e-04,2.280047e-04,2.253365e-04,2.209622e-04,2.193238e-04,2.166789e-04,2.124868e-04,2.109999e-04,2.083856e-04,2.043751e-04,2.030321e-04,2.004548e-04,1.966240e-04,1.954169e-04,1.928818e-04,1.892274e-04,1.881480e-04,1.856597e-04,1.821775e-04,1.812177e-04,1.787797e-04,1.754649e-04,1.746165e-04,1.722318e-04,1.690791e-04,1.683343e-04,1.660053e-04,1.630089e-04,1.623600e-04,1.600886e-04,1.572427e-04,1.566823e-04,1.544697e-04,1.517682e-04,1.512895e-04,1.491367e-04,1.465736e-04,1.461697e-04,1.440773e-04,1.416465e-04,1.413113e-04,1.392796e-04,1.369751e-04,1.367027e-04,1.347315e-04,1.325475e-04,1.323323e-04,1.304216e-04,1.283523e-04,1.281891e-04,1.263383e-04,1.243782e-04,1.242623e-04,1.224707e-04,1.206144e-04,1.205412e-04,1.188081e-04,1.170505e-04,1.170158e-04,1.153403e-04,1.136763e-04,1.105133e-04,1.075179e-04,1.046815e-04,1.019957e-04,9.945290e-05,9.704550e-05,9.476642e-05,9.260890e-05,9.056651e-05,8.863314e-05,8.680301e-05,8.507060e-05,8.343071e-05,8.187839e-05,8.040896e-05,7.901798e-05,7.770124e-05,7.645476e-05,7.527478e-05,7.415773e-05,7.310023e-05,7.209908e-05,7.115126e-05,7.025392e-05,6.940435e-05,6.859998e-05,6.783840e-05,6.711732e-05,6.643457e-05,6.578810e-05,6.517597e-05,6.459636e-05,6.404752e-05,6.352783e-05,6.303572e-05,6.256974e-05,6.212850e-05,6.171068e-05,6.131505e-05,6.094043e-05,6.058571e-05,6.024985e-05,5.993185e-05,5.963076e-05,5.934571e-05,5.907585e-05,5.882039e-05,5.857856e-05,5.834967e-05
0.000000e+00,1.294507e-04,3.140676e-03,3.308891e-03,3.011609e-02,1.368120e-01,1.441283e-01,4.182550e-01,8.310148e-01,8.619213e-01,1.445245e+00,2.076027e+00,2.134304e+00,2.898940e+00,3.630438e+00,3.713496e+00,4.556446e+00,5.307446e+00,5.409902e+00,6.259155e+00,6.976975e+00,7.092257e+00,7.899657e+00,8.552479e+00,8.673867e+00,9.409171e+00,9.980097e+00,1.010136e+01,1.074752e+01,1.123003e+01,1.134580e+01,1.189525e+01,1.228977e+01,1.239567e+01,1.284746e+01,1.315884e+01,1.325152e+01,1.360913e+01,1.384477e+01,1.392186e+01,1.419154e+01,1.436016e+01,1.442015e+01,1.460976e+01,1.472045e+01,1.476254e+01,1.488068e+01,1.494235e+01,1.496637e+01,1.502176e+01,1.504276e+01,1.504899e+01,1.505012e+01,1.503807e+01,1.502714e+01,1.498198e+01,1.494364e+01,1.491646e+01,1.483234e+01,1.477363e+01,1.473127e+01,1.461482e+01,1.454081e+01,1.448446e+01,1.434158e+01,1.425659e+01,1.418749e+01,1.402341e+01,1.393105e+01,1.385047e+01,1.366974e+01,1.357301e+01,1.348221e+01,1.328880e+01,1.319016e+01,1.309036e+01,1.288769e+01,1.278913e+01,1.268153e+01,1.247254e+01,1.237564e+01,1.226137e+01,1.204858e+01,1.195458e+01,1.183471e+01,1.162026e+01,1.153012e+01,1.140566e+01,1.119134e+01,1.110577e+01,1.097767e+01,1.076500e+01,1.068451e+01,1.055364e+01,1.034389e+01,1.026882e+01,1.013600e+01,9.930204e+00,9.860751e+00,9.726724e+00,9.525749e+00,9.461995e+00,9.327452e+00,9.131986e+00,9.073920e+00,8.939490e+00,8.750083e+00,8.697618e+00,8.563873e+00,8.380954e+00,8.333944e+00,8.201405e+00,8.025294e+00,7.983546e+00,7.852681e+00,7.683612e+00,7.646897e+00,7.518127e+00,7.356255e+00,7.324316e+00,7.198018e+00,7.043431e+00,7.015994e+00,6.892504e+00,6.745237e+00,6.722014e+00,6.601628e+00,6.461669e+00,6.442366e+00,6.325347e+00,6.192644e+00,6.176962e+00,6.063540e+00,5.938009e+00,5.925652e+00,5.816025e+00,5.697557e+00,5.688231e+00,5.582572e+00,5.471034e+00,5.464451e+00,5.362907e+00,5.258151e+00,5.254030e+00,5.156725e+00,5.058588e+00,5.056658e+00,4.963696e+00,4.872004e+00,4.699719e+00,4.539444e+00,4.390809e+00,4.253440e+00,4.126960e+00,4.010989e+00,3.905148e+00,3.809058e+00,3.722343e+00,3.644627e+00,3.575539e+00,3.514709e+00,3.461768e+00,3.416354e+00,3.378102e+00,3.346654e+00,3.321652e+00,3.302739e+00,3.289562e+00,3.281770e+00,3.279015e+00,3.280950e+00,3.287233e+00,3.297524e+00,3.311487e+00,3.328794e+00,3.349117e+00,3.372139e+00,3.397546e+00,3.425034e+00,3.454306e+00,3.485076e+00,3.517067e+00,3.550012e+00,3.583657e+00,3.617760e+00,3.652091e+00,3.686434e+00,3.720587e+00,3.754362e+00,3.787585e+00,3.820098e+00,3.851756e+00,3.882430e+00,3.912004e+00,3.940378e+00,3.967466e+00,3.993194e+00,4.017502e+00
0.000000e+00,1.372713e-06,2.783058e-05,2.920939e-05,2.304039e-04,1.014955e-03,1.070233e-03,3.311057e-03,7.139638e-03,7.440301e-03,1.331580e-02,1.989912e-02,2.051311e-02,2.860454e-02,3.635035e-02,3.722775e-02,4.609029e-02,5.390276e-02,5.496139e-02,6.366220e-02,7.090416e-02,7.205692e-02,8.004516e-02,8.638823e-02,8.755557e-02,9.454032e-02,9.985487e-02,1.009706e-01,1.068328e-01,1.111122e-01,1.121254e-01,1.168559e-01,1.201650e-01,1.210393e-01,1.246958e-01,1.271368e-01,1.278492e-01,1.305261e-01,1.322168e-01,1.327548e-01,1.345640e-01,1.356233e-01,1.359829e-01,1.370404e-01,1.375806e-01,1.377644e-01,1.381822e-01,1.383047e-01,1.383197e-01,1.382019e-01,1.379956e-01,1.378520e-01,1.372923e-01,1.368335e-01,1.365434e-01,1.356245e-01,1.349774e-01,1.345537e-01,1.333473e-01,1.325648e-01,1.320206e-01,1.305878e-01,1.297133e-01,1.290618e-01,1.274544e-01,1.265228e-01,1.257765e-01,1.240381e-01,1.230775e-01,1.222484e-01,1.204157e-01,1.194483e-01,1.185477e-01,1.166513e-01,1.156945e-01,1.147329e-01,1.127983e-01,1.118655e-01,1.108529e-01,1.089013e-01,1.080028e-01,1.069481e-01,1.049973e-01,1.041406e-01,1.030523e-01,1.011166e-01,1.003071e-01,9.919312e-02,9.728452e-02,9.652581e-02,9.539326e-02,9.352152e-02,9.281580e-02,9.167129e-02,8.984432e-02,8.919261e-02,8.804219e-02,8.626629e-02,8.566869e-02,8.451788e-02,8.279805e-02,8.225390e-02,8.110775e-02,7.944781e-02,7.895586e-02,7.781895e-02,7.622178e-02,7.578032e-02,7.465681e-02,7.312447e-02,7.273145e-02,7.162508e-02,7.015891e-02,6.981200e-02,6.872615e-02,6.732693e-02,6.702361e-02,6.596130e-02,6.462928e-02,6.436691e-02,6.333084e-02,6.206588e-02,6.184174e-02,6.083429e-02,5.963590e-02,5.944722e-02,5.847050e-02,5.733788e-02,5.718191e-02,5.623776e-02,5.516987e-02,5.504388e-02,5.413390e-02,5.312952e-02,5.303081e-02,5.215638e-02,5.121410e-02,5.114004e-02,5.030232e-02,4.942063e-02,4.936868e-02,4.856863e-02,4.774589e-02,4.771358e-02,4.695199e-02,4.618648e-02,4.617145e-02,4.544892e-02,4.473886e-02,4.341224e-02,4.218797e-02,4.106236e-02,4.003167e-02,3.909210e-02,3.823987e-02,3.747114e-02,3.678211e-02,3.616894e-02,3.562782e-02,3.515495e-02,3.474654e-02,3.439884e-02,3.410813e-02,3.387072e-02,3.368297e-02,3.354132e-02,3.344222e-02,3.338225e-02,3.335801e-02,3.336623e-02,3.340370e-02,3.346735e-02,3.355418e-02,3.366131e-02,3.378602e-02,3.392566e-02,3.407775e-02,3.423994e-02,3.441001e-02,3.458589e-02,3.476564e-02,3.494748e-02,3.512977e-02,3.531100e-02,3.548984e-02,3.566504e-02,3.583553e-02,3.600036e-02,3.615870e-02,3.630984e-02,3.645319e-02,3.658827e-02,3.671471e-02,3.683223e-02,3.694063e-02,3.703982e-02,3.712976e-02,3.721049e-02
0.000000e+00,8.029926e-07,1.554796e-05,1.630093e-05,1.227109e-04,5.269442e-04,5.553049e-04,1.711202e-03,3.725766e-03,3.885529e-03,7.026418e-03,1.054977e-02,1.087739e-02,1.516931e-02,1.922344e-02,1.967890e-02,2.423328e-02,2.817458e-02,2.870310e-02,3.299439e-02,3.649143e-02,3.704149e-02,4.080099e-02,4.371724e-02,4.424685e-02,4.736645e-02,4.967911e-02,5.015736e-02,5.262477e-02,5.437283e-02,5.477939e-02,5.663582e-02,5.788783e-02,5.821125e-02,5.952442e-02,6.035901e-02,6.059483e-02,6.144214e-02,6.193694e-02,6.208574e-02,6.254438e-02,6.277016e-02,6.283597e-02,6.297741e-02,6.299560e-02,6.298453e-02,6.287198e-02,6.273404e-02,6.265329e-02,6.234085e-02,6.208881e-02,6.194595e-02,6.147884e-02,6.114632e-02,6.094881e-02,6.036420e-02,5.997766e-02,5.973253e-02,5.906055e-02,5.864054e-02,5.835427e-02,5.761910e-02,5.718138e-02,5.685984e-02,5.608078e-02,5.563729e-02,5.528572e-02,5.447808e-02,5.403780e-02,5.366088e-02,5.283679e-02,5.240636e-02,5.200822e-02,5.117728e-02,5.076152e-02,5.034586e-02,4.951565e-02,4.911802e-02,4.868813e-02,4.786462e-02,4.748748e-02,4.704631e-02,4.623422e-02,4.587913e-02,4.542930e-02,4.463236e-02,4.430020e-02,4.384411e-02,4.306520e-02,4.275638e-02,4.229620e-02,4.153758e-02,4.125212e-02,4.078978e-02,4.005318e-02,3.979081e-02,3.932810e-02,3.861480e-02,3.837501e-02,3.791354e-02,3.722449e-02,3.700661e-02,3.654784e-02,3.588370e-02,3.568691e-02,3.523218e-02,3.459335e-02,3.441676e-02,3.396726e-02,3.335395e-02,3.319659e-02,3.275343e-02,3.216569e-02,3.202653e-02,3.159070e-02,3.102843e-02,3.090643e-02,3.047882e-02,2.994180e-02,2.983591e-02,2.941731e-02,2.890526e-02,2.881440e-02,2.840554e-02,2.791806e-02,2.784120e-02,2.744271e-02,2.697937e-02,2.691545e-02,2.652791e-02,2.608820e-02,2.603621e-02,2.566010e-02,2.524349e-02,2.520246e-02,2.483821e-02,2.444412e-02,2.441307e-02,2.406106e-02,2.368889e-02,2.366691e-02,2.332745e-02,2.297658e-02,2.296276e-02,2.263612e-02,2.230591e-02,2.229941e-02,2.198580e-02,2.167560e-02,2.109005e-02,2.054147e-02,2.002858e-02,1.955006e-02,1.910463e-02,1.869097e-02,1.830781e-02,1.795384e-02,1.762779e-02,1.732838e-02,1.705437e-02,1.680450e-02,1.657754e-02,1.637228e-02,1.618752e-02,1.602208e-02,1.587482e-02,1.574460e-02,1.563030e-02,1.553086e-02,1.544522e-02,1.537235e-02,1.531126e-02,1.526100e-02,1.522064e-02,1.518928e-02,1.516607e-02,1.515020e-02,1.514088e-02,1.513737e-02,1.513897e-02,1.514501e-02,1.515486e-02,1.516795e-02,1.518372e-02,1.520166e-02,1.522130e-02,1.524220e-02,1.526397e-02,1.528624e-02,1.530868e-02,1.533099e-02,1.535291e-02,1.537420e-02,1.539465e-02,1.541409e-02,1.543236e-02,1.544933e-02,1.546489e-02
0.000000e+00,1.652378e-06,3.124011e-05,3.273678e-05,2.440535e-04,1.070031e-03,1.129158e-03,3.627322e-03,8.255272e-03,8.633118e-03,1.629475e-02,2.529224e-02,2.614641e-02,3.757397e-02,4.873850e-02,5.001388e-02,6.299517e-02,7.456303e-02,7.613813e-02,8.914310e-02,1.000387e-01,1.017783e-01,1.138688e-01,1.235089e-01,1.252864e-01,1.359418e-01,1.440690e-01,1.457771e-01,1.547603e-01,1.613248e-01,1.628795e-01,1.701395e-01,1.752164e-01,1.765573e-01,1.821599e-01,1.858934e-01,1.869812e-01,1.910603e-01,1.936258e-01,1.944395e-01,1.971632e-01,1.987438e-01,1.992766e-01,2.008249e-01,2.015964e-01,2.018526e-01,2.024030e-01,2.025259e-01,2.025176e-01,2.022361e-01,2.018518e-01,2.015962e-01,2.006331e-01,1.998626e-01,1.993801e-01,1.978681e-01,1.968132e-01,1.961256e-01,1.941791e-01,1.929236e-01,1.920532e-01,1.897701e-01,1.883821e-01,1.873504e-01,1.848130e-01,1.833470e-01,1.821750e-01,1.794520e-01,1.779513e-01,1.766583e-01,1.738068e-01,1.723052e-01,1.709093e-01,1.679765e-01,1.664999e-01,1.650179e-01,1.620424e-01,1.606104e-01,1.590578e-01,1.560712e-01,1.546985e-01,1.530891e-01,1.501172e-01,1.488142e-01,1.471609e-01,1.442248e-01,1.429986e-01,1.413130e-01,1.384294e-01,1.372846e-01,1.355773e-01,1.327597e-01,1.316987e-01,1.299794e-01,1.272385e-01,1.262619e-01,1.245392e-01,1.218834e-01,1.209906e-01,1.192725e-01,1.167080e-01,1.158974e-01,1.141910e-01,1.117226e-01,1.109916e-01,1.093035e-01,1.069344e-01,1.062801e-01,1.046158e-01,1.023483e-01,1.017671e-01,1.001320e-01,9.796711e-02,9.745521e-02,9.585381e-02,9.379207e-02,9.334540e-02,9.178181e-02,8.982290e-02,8.943727e-02,8.791514e-02,8.605824e-02,8.572937e-02,8.425189e-02,8.249572e-02,8.221937e-02,8.078932e-02,7.913224e-02,7.890416e-02,7.752398e-02,7.596404e-02,7.578006e-02,7.445185e-02,7.298685e-02,7.284292e-02,7.156845e-02,7.019603e-02,7.008820e-02,6.886896e-02,6.758659e-02,6.751106e-02,6.634827e-02,6.515332e-02,6.510642e-02,6.400107e-02,6.289082e-02,6.286904e-02,6.182188e-02,6.079354e-02,5.887447e-02,5.710628e-02,5.548341e-02,5.400026e-02,5.265122e-02,5.143069e-02,5.033307e-02,4.935277e-02,4.848422e-02,4.772189e-02,4.706025e-02,4.649381e-02,4.601714e-02,4.562481e-02,4.531148e-02,4.507184e-02,4.490067e-02,4.479281e-02,4.474318e-02,4.474682e-02,4.479887e-02,4.489457e-02,4.502932e-02,4.519865e-02,4.539825e-02,4.562398e-02,4.587186e-02,4.613812e-02,4.641915e-02,4.671158e-02,4.701222e-02,4.731809e-02,4.762643e-02,4.793470e-02,4.824057e-02,4.854191e-02,4.883681e-02,4.912359e-02,4.940073e-02,4.966693e-02,4.992108e-02,5.016226e-02,5.038969e-02,5.060279e-02,5.080111e-02,5.098436e-02,5.115237e-02,5.130511e-02,5.144264e-02
0.000000e+00,1.590956e-05,4.104767e-04,4.329908e-04,4.140374e-03,1.957475e-02,2.065773e-02,6.253277e-02,1.275224e-01,1.324135e-01,2.245409e-01,3.230124e-01,3.320295e-01,4.489472e-01,5.582632e-01,5.705150e-01,6.929821e-01,7.991848e-01,8.134590e-01,9.297659e-01,1.025221e+00,1.040302e+00,1.143937e+00,1.225098e+00,1.239920e+00,1.327806e+00,1.393681e+00,1.407391e+00,1.478662e+00,1.529777e+00,1.541750e+00,1.596901e+00,1.634616e+00,1.644440e+00,1.684751e+00,1.710813e+00,1.718257e+00,1.745402e+00,1.761662e+00,1.766642e+00,1.782433e+00,1.790681e+00,1.793224e+00,1.799452e+00,1.801321e+00,1.801535e+00,1.799874e+00,1.796799e+00,1.794845e+00,1.786804e+00,1.780008e+00,1.776080e+00,1.762982e+00,1.753485e+00,1.747793e+00,1.730775e+00,1.719411e+00,1.712166e+00,1.692187e+00,1.679625e+00,1.671036e+00,1.648895e+00,1.635665e+00,1.625927e+00,1.602281e+00,1.588794e+00,1.578091e+00,1.553475e+00,1.540045e+00,1.528542e+00,1.503388e+00,1.490250e+00,1.478099e+00,1.452750e+00,1.440075e+00,1.427411e+00,1.402140e+00,1.390051e+00,1.376992e+00,1.352013e+00,1.340591e+00,1.327244e+00,1.302721e+00,1.292018e+00,1.278477e+00,1.254537e+00,1.244580e+00,1.230927e+00,1.207666e+00,1.198463e+00,1.184771e+00,1.162258e+00,1.153806e+00,1.140139e+00,1.118424e+00,1.110707e+00,1.097122e+00,1.076239e+00,1.069235e+00,1.055780e+00,1.035750e+00,1.029431e+00,1.016151e+00,9.969847e-01,9.913193e-01,9.782519e-01,9.599524e-01,9.549060e-01,9.420851e-01,9.246484e-01,9.201852e-01,9.076402e-01,8.910578e-01,8.871410e-01,8.748979e-01,8.591569e-01,8.557497e-01,8.438308e-01,8.289154e-01,8.259811e-01,8.144059e-01,8.002975e-01,7.978002e-01,7.865851e-01,7.732634e-01,7.711678e-01,7.603269e-01,7.477701e-01,7.460421e-01,7.355871e-01,7.237721e-01,7.223787e-01,7.123190e-01,7.012219e-01,7.001315e-01,6.904745e-01,6.800708e-01,6.792532e-01,6.700045e-01,6.602692e-01,6.596955e-01,6.508587e-01,6.417667e-01,6.414096e-01,6.329868e-01,6.245126e-01,6.243462e-01,6.163378e-01,6.084560e-01,5.936898e-01,5.799985e-01,5.673335e-01,5.556465e-01,5.448898e-01,5.350166e-01,5.259807e-01,5.177366e-01,5.102400e-01,5.034473e-01,4.973162e-01,4.918053e-01,4.868746e-01,4.824850e-01,4.785989e-01,4.751799e-01,4.721930e-01,4.696045e-01,4.673820e-01,4.654948e-01,4.639134e-01,4.626097e-01,4.615572e-01,4.607307e-01,4.601065e-01,4.596624e-01,4.593773e-01,4.592317e-01,4.592074e-01,4.592874e-01,4.594562e-01,4.596992e-01,4.600033e-01,4.603563e-01,4.607472e-01,4.611661e-01,4.616040e-01,4.620528e-01,4.625054e-01,4.629554e-01,4.633974e-01,4.638265e-01,4.642386e-01,4.646303e-01,4.649987e-01,4.653413e-01,4.656564e-01,4.659425e-01,4.661987e-01
0.000000e+00,6.861380e-08,1.514230e-06,1.592957e-06,1.333213e-05,5.509379e-05,5.779772e-05,1.493796e-04,2.614806e-04,2.689709e-04,3.944085e-04,5.068847e-04,5.164390e-04,6.323940e-04,7.310769e-04,7.417082e-04,8.444027e-04,9.294371e-04,9.406541e-04,1.030678e-03,1.103290e-03,1.114701e-03,1.192955e-03,1.254404e-03,1.265677e-03,1.333103e-03,1.384600e-03,1.395460e-03,1.452975e-03,1.495651e-03,1.505872e-03,1.554370e-03,1.589283e-03,1.598684e-03,1.639018e-03,1.667134e-03,1.675573e-03,1.708541e-03,1.730737e-03,1.738107e-03,1.764447e-03,1.781512e-03,1.787734e-03,1.808130e-03,1.820772e-03,1.825792e-03,1.840869e-03,1.849719e-03,1.853506e-03,1.863838e-03,1.869460e-03,1.871998e-03,1.878111e-03,1.881004e-03,1.882295e-03,1.884666e-03,1.885273e-03,1.885333e-03,1.884399e-03,1.883111e-03,1.881963e-03,1.878121e-03,1.875284e-03,1.872963e-03,1.866574e-03,1.862490e-03,1.859037e-03,1.850429e-03,1.845362e-03,1.840825e-03,1.830295e-03,1.824476e-03,1.818907e-03,1.806724e-03,1.800354e-03,1.793808e-03,1.780216e-03,1.773468e-03,1.766002e-03,1.751220e-03,1.744243e-03,1.735918e-03,1.720144e-03,1.713065e-03,1.703941e-03,1.687353e-03,1.680281e-03,1.670419e-03,1.653177e-03,1.646202e-03,1.635662e-03,1.617909e-03,1.611107e-03,1.599950e-03,1.581815e-03,1.575249e-03,1.563532e-03,1.545130e-03,1.538850e-03,1.526632e-03,1.508063e-03,1.502110e-03,1.489446e-03,1.470802e-03,1.465207e-03,1.452151e-03,1.433512e-03,1.428298e-03,1.414902e-03,1.396338e-03,1.391521e-03,1.377835e-03,1.359408e-03,1.354998e-03,1.341070e-03,1.322834e-03,1.318837e-03,1.304712e-03,1.286714e-03,1.283131e-03,1.268851e-03,1.251132e-03,1.247959e-03,1.233566e-03,1.216160e-03,1.213391e-03,1.198923e-03,1.181860e-03,1.179486e-03,1.164979e-03,1.148285e-03,1.146294e-03,1.131782e-03,1.115476e-03,1.113856e-03,1.099370e-03,1.083469e-03,1.082206e-03,1.067776e-03,1.052294e-03,1.051371e-03,1.037025e-03,1.021971e-03,1.021373e-03,1.007134e-03,9.925171e-04,9.922270e-04,9.781198e-04,9.639437e-04,9.365301e-04,9.099888e-04,8.843193e-04,8.595181e-04,8.355788e-04,8.124932e-04,7.902506e-04,7.688389e-04,7.482445e-04,7.284524e-04,7.094466e-04,6.912103e-04,6.737259e-04,6.569752e-04,6.409396e-04,6.256001e-04,6.109377e-04,5.969328e-04,5.835664e-04,5.708189e-04,5.586711e-04,5.471040e-04,5.360985e-04,5.256359e-04,5.156977e-04,5.062658e-04,4.973223e-04,4.888497e-04,4.808308e-04,4.732487e-04,4.660872e-04,4.593302e-04,4.529620e-04,4.469675e-04,4.413319e-04,4.360408e-04,4.310801e-04,4.264364e-04,4.220964e-04,4.180473e-04,4.142768e-04,4.107729e-04,4.075240e-04,4.045187e-04,4.017464e-04,3.991963e-04,3.968585e-04,3.947230e-04,3.927804e-04
0.000000e+00,8.633127e-06,2.036229e-04,2.143003e-04,1.840594e-03,8.117531e-03,8.550237e-03,2.532581e-02,5.215491e-02,5.421302e-02,9.383251e-02,1.377368e-01,1.418300e-01,1.959507e-01,2.482761e-01,2.542441e-01,3.150702e-01,3.696055e-01,3.770681e-01,4.391212e-01,4.918358e-01,5.003243e-01,5.599532e-01,6.084047e-01,6.174389e-01,6.723441e-01,7.152103e-01,7.243446e-01,7.732113e-01,8.099455e-01,8.187947e-01,8.610116e-01,8.915836e-01,8.998333e-01,9.352756e-01,9.599823e-01,9.673902e-01,9.962569e-01,1.015587e+00,1.021978e+00,1.044671e+00,1.059209e+00,1.064468e+00,1.081508e+00,1.091871e+00,1.095933e+00,1.107892e+00,1.114690e+00,1.117531e+00,1.124997e+00,1.128803e+00,1.130432e+00,1.133976e+00,1.135314e+00,1.135764e+00,1.135926e+00,1.135265e+00,1.134586e+00,1.131864e+00,1.129614e+00,1.127872e+00,1.122716e+00,1.119233e+00,1.116498e+00,1.109313e+00,1.104901e+00,1.101251e+00,1.092394e+00,1.087309e+00,1.082821e+00,1.072607e+00,1.067065e+00,1.061820e+00,1.050523e+00,1.044702e+00,1.038776e+00,1.026635e+00,1.020682e+00,1.014151e+00,1.001372e+00,9.954068e-01,9.883422e-01,9.751032e-01,9.692216e-01,9.616927e-01,9.481461e-01,9.424239e-01,9.344960e-01,9.207722e-01,9.152684e-01,9.070027e-01,8.932129e-01,8.879724e-01,8.794263e-01,8.656646e-01,8.607203e-01,8.519474e-01,8.382932e-01,8.336680e-01,8.247183e-01,8.112381e-01,8.069468e-01,7.978665e-01,7.846159e-01,7.806661e-01,7.714979e-01,7.585228e-01,7.549167e-01,7.457000e-01,7.330379e-01,7.297731e-01,7.205442e-01,7.082255e-01,7.052957e-01,6.960879e-01,6.841366e-01,6.815328e-01,6.723764e-01,6.608113e-01,6.585221e-01,6.494449e-01,6.382801e-01,6.362920e-01,6.273194e-01,6.165650e-01,6.148635e-01,6.060185e-01,5.956812e-01,5.942507e-01,5.855540e-01,5.756375e-01,5.744618e-01,5.659322e-01,5.564380e-01,5.555002e-01,5.471547e-01,5.380818e-01,5.373651e-01,5.292188e-01,5.205648e-01,5.200522e-01,5.121187e-01,5.038793e-01,5.035540e-01,4.958454e-01,4.880153e-01,4.878608e-01,4.803875e-01,4.729603e-01,4.588385e-01,4.454801e-01,4.328682e-01,4.209849e-01,4.098117e-01,3.993290e-01,3.895169e-01,3.803548e-01,3.718218e-01,3.638967e-01,3.565579e-01,3.497839e-01,3.435529e-01,3.378429e-01,3.326321e-01,3.278986e-01,3.236205e-01,3.197761e-01,3.163437e-01,3.133017e-01,3.106290e-01,3.083045e-01,3.063074e-01,3.046173e-01,3.032139e-01,3.020777e-01,3.011893e-01,3.005299e-01,3.000812e-01,2.998253e-01,2.997450e-01,2.998236e-01,3.000451e-01,3.003940e-01,3.008557e-01,3.014160e-01,3.020616e-01,3.027798e-01,3.035585e-01,3.043866e-01,3.052534e-01,3.061492e-01,3.070648e-01,3.079917e-01,3.089223e-01,3.098493e-01,3.107664e-01,3.116679e-01,3.125484e-01
0.000000e+00,3.134347e-06,5.930179e-05,6.214503e-05,4.674218e-04,2.089687e-03,2.207079e-03,7.212823e-03,1.647980e-02,1.723352e-02,3.248459e-02,5.046049e-02,5.217574e-02,7.532052e-02,9.834911e-02,1.010092e-01,1.284615e-01,1.535571e-01,1.570245e-01,1.861571e-01,2.113258e-01,2.154152e-01,2.444367e-01,2.684165e-01,2.729296e-01,3.006613e-01,3.227039e-01,3.274494e-01,3.531541e-01,3.728671e-01,3.776717e-01,4.009282e-01,4.181609e-01,4.228751e-01,4.434846e-01,4.582463e-01,4.627461e-01,4.806631e-01,4.930645e-01,4.972505e-01,5.125321e-01,5.227437e-01,5.265392e-01,5.393083e-01,5.475318e-01,5.508802e-01,5.612986e-01,5.677477e-01,5.706096e-01,5.788601e-01,5.837478e-01,5.860980e-01,5.923713e-01,5.959019e-01,5.977275e-01,6.022136e-01,6.045783e-01,6.058757e-01,6.087589e-01,6.101331e-01,6.109068e-01,6.123618e-01,6.129045e-01,6.131650e-01,6.133558e-01,6.132094e-01,6.129723e-01,6.120507e-01,6.113418e-01,6.106263e-01,6.087323e-01,6.075726e-01,6.064009e-01,6.036626e-01,6.021501e-01,6.005467e-01,5.970810e-01,5.953010e-01,5.932920e-01,5.892050e-01,5.872317e-01,5.848442e-01,5.802324e-01,5.781294e-01,5.753915e-01,5.703420e-01,5.681638e-01,5.651037e-01,5.596952e-01,5.574881e-01,5.541342e-01,5.484376e-01,5.462407e-01,5.426213e-01,5.367003e-01,5.345459e-01,5.306889e-01,5.246006e-01,5.225154e-01,5.184482e-01,5.122437e-01,5.102492e-01,5.059986e-01,4.997235e-01,4.978367e-01,4.934286e-01,4.871235e-01,4.853575e-01,4.808171e-01,4.745178e-01,4.728821e-01,4.682335e-01,4.619717e-01,4.604730e-01,4.557394e-01,4.495429e-01,4.481851e-01,4.433885e-01,4.372817e-01,4.360665e-01,4.312278e-01,4.252317e-01,4.241589e-01,4.192980e-01,4.134309e-01,4.124986e-01,4.076342e-01,4.019115e-01,4.011165e-01,3.962661e-01,3.907010e-01,3.900387e-01,3.852188e-01,3.798222e-01,3.792873e-01,3.745132e-01,3.692939e-01,3.688803e-01,3.641661e-01,3.591313e-01,3.588322e-01,3.541909e-01,3.493461e-01,3.491544e-01,3.445980e-01,3.399472e-01,3.398552e-01,3.353946e-01,3.309406e-01,3.224140e-01,3.142767e-01,3.065282e-01,2.991664e-01,2.921874e-01,2.855862e-01,2.793564e-01,2.734908e-01,2.679811e-01,2.628181e-01,2.579922e-01,2.534929e-01,2.493095e-01,2.454306e-01,2.418447e-01,2.385399e-01,2.355042e-01,2.327254e-01,2.301914e-01,2.278898e-01,2.258086e-01,2.239356e-01,2.222589e-01,2.207667e-01,2.194474e-01,2.182897e-01,2.172826e-01,2.164152e-01,2.156772e-01,2.150584e-01,2.145492e-01,2.141400e-01,2.138220e-01,2.135865e-01,2.134254e-01,2.133309e-01,2.132956e-01,2.133125e-01,2.133751e-01,2.134772e-01,2.136130e-01,2.137772e-01,2.139649e-01,2.141713e-01,2.143923e-01,2.146240e-01,2.148627e-01,2.151054e-01,2.153491e-01
0.000000e+00,7.861328e-08,1.195887e-06,1.247846e-06,7.389292e-06,2.535664e-05,2.648436e-05,6.656020e-05,1.245335e-04,1.287868e-04,2.057281e-04,2.804532e-04,2.869022e-04,3.651118e-04,4.304519e-04,4.373816e-04,5.029902e-04,5.552913e-04,5.620421e-04,6.148913e-04,6.556961e-04,6.619519e-04,7.036425e-04,7.348089e-04,7.403672e-04,7.725098e-04,7.957018e-04,8.004317e-04,8.244717e-04,8.411222e-04,8.449464e-04,8.621507e-04,8.734771e-04,8.763591e-04,8.878262e-04,8.948540e-04,8.967885e-04,9.034649e-04,9.070537e-04,9.080583e-04,9.107564e-04,9.116234e-04,9.117327e-04,9.111478e-04,9.098892e-04,9.091498e-04,9.058758e-04,9.029854e-04,9.014520e-04,8.959951e-04,8.918802e-04,8.896126e-04,8.824034e-04,8.773982e-04,8.744589e-04,8.658631e-04,8.602407e-04,8.566931e-04,8.470201e-04,8.410022e-04,8.369093e-04,8.264208e-04,8.201862e-04,8.156095e-04,8.045260e-04,7.982176e-04,7.932163e-04,7.817226e-04,7.754533e-04,7.700837e-04,7.583347e-04,7.521925e-04,7.465078e-04,7.346323e-04,7.286848e-04,7.227349e-04,7.108395e-04,7.051370e-04,6.989682e-04,6.871408e-04,6.817198e-04,6.753750e-04,6.636871e-04,6.585728e-04,6.520914e-04,6.406009e-04,6.358090e-04,6.292271e-04,6.179802e-04,6.135191e-04,6.068693e-04,5.959025e-04,5.917743e-04,5.850866e-04,5.744277e-04,5.706300e-04,5.639311e-04,5.536012e-04,5.501277e-04,5.434417e-04,5.334558e-04,5.302973e-04,5.236458e-04,5.140139e-04,5.111593e-04,5.045614e-04,4.952894e-04,4.927257e-04,4.861984e-04,4.772887e-04,4.750019e-04,4.685602e-04,4.600123e-04,4.579877e-04,4.516446e-04,4.434559e-04,4.416783e-04,4.354450e-04,4.276108e-04,4.260650e-04,4.199515e-04,4.124654e-04,4.111362e-04,4.051507e-04,3.980054e-04,3.968777e-04,3.910274e-04,3.842145e-04,3.832737e-04,3.775643e-04,3.710746e-04,3.703065e-04,3.647429e-04,3.585667e-04,3.579576e-04,3.525436e-04,3.466709e-04,3.462075e-04,3.409461e-04,3.353666e-04,3.350364e-04,3.299298e-04,3.246331e-04,3.244241e-04,3.194737e-04,3.144492e-04,3.143501e-04,3.095569e-04,3.047941e-04,2.957361e-04,2.871561e-04,2.790345e-04,2.713523e-04,2.640906e-04,2.572313e-04,2.507566e-04,2.446494e-04,2.388932e-04,2.334718e-04,2.283699e-04,2.235726e-04,2.190654e-04,2.148346e-04,2.108671e-04,2.071500e-04,2.036712e-04,2.004190e-04,1.973822e-04,1.945501e-04,1.919124e-04,1.894593e-04,1.871815e-04,1.850698e-04,1.831159e-04,1.813113e-04,1.796484e-04,1.781197e-04,1.767179e-04,1.754363e-04,1.742684e-04,1.732080e-04,1.722490e-04,1.713860e-04,1.706134e-04,1.699262e-04,1.693194e-04,1.687884e-04,1.683286e-04,1.679360e-04,1.676064e-04,1.673359e-04,1.671210e-04,1.669581e-04,1.668439e-04,1.667752e-04,1.667491e-04,1.667626e-04,1.668131e-04
0.000000e+00,1.733642e-06,3.155592e-05,3.303803e-05,2.370617e-04,1.018172e-03,1.073737e-03,3.393610e-03,7.579830e-03,7.916955e-03,1.466330e-02,2.246284e-02,2.319945e-02,3.302025e-02,4.258728e-02,4.367999e-02,5.481414e-02,6.477310e-02,6.613313e-02,7.741081e-02,8.694274e-02,8.847321e-02,9.918887e-02,1.078502e-01,1.094607e-01,1.192195e-01,1.268053e-01,1.284182e-01,1.370276e-01,1.434804e-01,1.450328e-01,1.524296e-01,1.577796e-01,1.592228e-01,1.654236e-01,1.697498e-01,1.710482e-01,1.761164e-01,1.795218e-01,1.806506e-01,1.846749e-01,1.872707e-01,1.882144e-01,1.912945e-01,1.931910e-01,1.939409e-01,1.961788e-01,1.974800e-01,1.980331e-01,1.995276e-01,2.003284e-01,2.006858e-01,2.015299e-01,2.019153e-01,2.020814e-01,2.023604e-01,2.024053e-01,2.023866e-01,2.021783e-01,2.019480e-01,2.017529e-01,2.011270e-01,2.006783e-01,2.003162e-01,1.993352e-01,1.987167e-01,1.981979e-01,1.969175e-01,1.961710e-01,1.955064e-01,1.939763e-01,1.931372e-01,1.923380e-01,1.906020e-01,1.897004e-01,1.887779e-01,1.868750e-01,1.859362e-01,1.849019e-01,1.828666e-01,1.819116e-01,1.807768e-01,1.786395e-01,1.776859e-01,1.764616e-01,1.742492e-01,1.733112e-01,1.720083e-01,1.697444e-01,1.688336e-01,1.674627e-01,1.651680e-01,1.642935e-01,1.628648e-01,1.605573e-01,1.597263e-01,1.582494e-01,1.559449e-01,1.551627e-01,1.536471e-01,1.513591e-01,1.506296e-01,1.490840e-01,1.468245e-01,1.461500e-01,1.445830e-01,1.423619e-01,1.417439e-01,1.401633e-01,1.379892e-01,1.374282e-01,1.358414e-01,1.337215e-01,1.332170e-01,1.316310e-01,1.295714e-01,1.291225e-01,1.275437e-01,1.255492e-01,1.251544e-01,1.235889e-01,1.216635e-01,1.213208e-01,1.197740e-01,1.179209e-01,1.176279e-01,1.161050e-01,1.143265e-01,1.140806e-01,1.125861e-01,1.108841e-01,1.106824e-01,1.092206e-01,1.075960e-01,1.074357e-01,1.060104e-01,1.044638e-01,1.043418e-01,1.029564e-01,1.014879e-01,1.014011e-01,1.000585e-01,9.866792e-02,9.861311e-02,9.731604e-02,9.600265e-02,9.597677e-02,9.472749e-02,9.349030e-02,9.115137e-02,8.895719e-02,8.690453e-02,8.498979e-02,8.320904e-02,8.155812e-02,8.003262e-02,7.862792e-02,7.733928e-02,7.616181e-02,7.509051e-02,7.412036e-02,7.324627e-02,7.246313e-02,7.176585e-02,7.114937e-02,7.060868e-02,7.013882e-02,6.973494e-02,6.939226e-02,6.910612e-02,6.887202e-02,6.868556e-02,6.854251e-02,6.843879e-02,6.837048e-02,6.833387e-02,6.832538e-02,6.834165e-02,6.837949e-02,6.843590e-02,6.850807e-02,6.859337e-02,6.868936e-02,6.879381e-02,6.890462e-02,6.901991e-02,6.913795e-02,6.925719e-02,6.937621e-02,6.949378e-02,6.960880e-02,6.972031e-02,6.982746e-02,6.992958e-02,7.002605e-02,7.011640e-02,7.020025e-02,7.027732e-02
0.000000e+00,3.493479e-07,9.126951e-06,9.620806e-06,8.619343e-05,3.785798e-04,3.984782e-04,1.149705e-03,2.290198e-03,2.375249e-03,3.958066e-03,5.610089e-03,5.759335e-03,7.663949e-03,9.393778e-03,9.584588e-03,1.145771e-02,1.303098e-02,1.323874e-02,1.489792e-02,1.621306e-02,1.641682e-02,1.778563e-02,1.881685e-02,1.900101e-02,2.006435e-02,2.082613e-02,2.098045e-02,2.175647e-02,2.228224e-02,2.240112e-02,2.292400e-02,2.325381e-02,2.333521e-02,2.364489e-02,2.381850e-02,2.386303e-02,2.399925e-02,2.405269e-02,2.406266e-02,2.406179e-02,2.402581e-02,2.400452e-02,2.389811e-02,2.379795e-02,2.374917e-02,2.356371e-02,2.341951e-02,2.334713e-02,2.310428e-02,2.293172e-02,2.283946e-02,2.255646e-02,2.236736e-02,2.225862e-02,2.194889e-02,2.175203e-02,2.162983e-02,2.130366e-02,2.110536e-02,2.097231e-02,2.063745e-02,2.044220e-02,2.030051e-02,1.996270e-02,1.977355e-02,1.962507e-02,1.928850e-02,1.910746e-02,1.895374e-02,1.862142e-02,1.844975e-02,1.829206e-02,1.796612e-02,1.780454e-02,1.764394e-02,1.732582e-02,1.717465e-02,1.701202e-02,1.670272e-02,1.656200e-02,1.639809e-02,1.609824e-02,1.596786e-02,1.580329e-02,1.551331e-02,1.539301e-02,1.522834e-02,1.494843e-02,1.483788e-02,1.467359e-02,1.440384e-02,1.430267e-02,1.413917e-02,1.387958e-02,1.378737e-02,1.362505e-02,1.337556e-02,1.329188e-02,1.313108e-02,1.289159e-02,1.281600e-02,1.265705e-02,1.242742e-02,1.235948e-02,1.220266e-02,1.198273e-02,1.192201e-02,1.176758e-02,1.155718e-02,1.150324e-02,1.135146e-02,1.115038e-02,1.110280e-02,1.095388e-02,1.076192e-02,1.072029e-02,1.057444e-02,1.039139e-02,1.035530e-02,1.021270e-02,1.003833e-02,1.000740e-02,9.868215e-03,9.702296e-03,9.676135e-03,9.540516e-03,9.382816e-03,9.361060e-03,9.229135e-03,9.079415e-03,9.061711e-03,8.933594e-03,8.791613e-03,8.777624e-03,8.653411e-03,8.518926e-03,8.508326e-03,8.388099e-03,8.260869e-03,8.253348e-03,8.137174e-03,8.016954e-03,8.012217e-03,7.900149e-03,7.786699e-03,7.784463e-03,7.676542e-03,7.569621e-03,7.367227e-03,7.176824e-03,6.997962e-03,6.830197e-03,6.673092e-03,6.526221e-03,6.389164e-03,6.261511e-03,6.142862e-03,6.032825e-03,5.931018e-03,5.837069e-03,5.750617e-03,5.671306e-03,5.598795e-03,5.532749e-03,5.472842e-03,5.418758e-03,5.370192e-03,5.326845e-03,5.288428e-03,5.254660e-03,5.225270e-03,5.199993e-03,5.178576e-03,5.160772e-03,5.146340e-03,5.135052e-03,5.126684e-03,5.121023e-03,5.117860e-03,5.116998e-03,5.118245e-03,5.121418e-03,5.126341e-03,5.132846e-03,5.140773e-03,5.149967e-03,5.160285e-03,5.171585e-03,5.183739e-03,5.196620e-03,5.210112e-03,5.224104e-03,5.238492e-03,5.253179e-03,5.268075e-03,5.283094e-03,5.298159e-03
0.000000e+00,1.132674e-06,2.968176e-05,3.128411e-05,2.755534e-04,1.168068e-03,1.227217e-03,3.375877e-03,6.502935e-03,6.734017e-03,1.103672e-02,1.558745e-02,1.600333e-02,2.139700e-02,2.645814e-02,2.702724e-02,3.274352e-02,3.775110e-02,3.842842e-02,4.399176e-02,4.862665e-02,4.936554e-02,5.449991e-02,5.860165e-02,5.935967e-02,6.392144e-02,6.742972e-02,6.817130e-02,7.210282e-02,7.501829e-02,7.571543e-02,7.901313e-02,8.137141e-02,8.200335e-02,8.469606e-02,8.655076e-02,8.710307e-02,8.923743e-02,9.064943e-02,9.111296e-02,9.274391e-02,9.377482e-02,9.414465e-02,9.532946e-02,9.603785e-02,9.631232e-02,9.710683e-02,9.754623e-02,9.772610e-02,9.818269e-02,9.840076e-02,9.848856e-02,9.865506e-02,9.869346e-02,9.869292e-02,9.861228e-02,9.850696e-02,9.842264e-02,9.813294e-02,9.791460e-02,9.775156e-02,9.728633e-02,9.698098e-02,9.674458e-02,9.613315e-02,9.576271e-02,9.545843e-02,9.472639e-02,9.430923e-02,9.394259e-02,9.311220e-02,9.266360e-02,9.224006e-02,9.133067e-02,9.086333e-02,9.038822e-02,8.941662e-02,8.894098e-02,8.841951e-02,8.740027e-02,8.692486e-02,8.636204e-02,8.530776e-02,8.483950e-02,8.424015e-02,8.316175e-02,8.270617e-02,8.207489e-02,8.098178e-02,8.054324e-02,7.988442e-02,7.878471e-02,7.836657e-02,7.768438e-02,7.658503e-02,7.618980e-02,7.548817e-02,7.439516e-02,7.402465e-02,7.330728e-02,7.222569e-02,7.188109e-02,7.115147e-02,7.008560e-02,6.976761e-02,6.902900e-02,6.798249e-02,6.769138e-02,6.694682e-02,6.592270e-02,6.565839e-02,6.491074e-02,6.391150e-02,6.367364e-02,6.292552e-02,6.195323e-02,6.174121e-02,6.099506e-02,6.005137e-02,5.986440e-02,5.912248e-02,5.820869e-02,5.804583e-02,5.731023e-02,5.642732e-02,5.628751e-02,5.556014e-02,5.470884e-02,5.459093e-02,5.387355e-02,5.305435e-02,5.295714e-02,5.225133e-02,5.146454e-02,5.138675e-02,5.069399e-02,4.993971e-02,4.988007e-02,4.920168e-02,4.847987e-02,4.843708e-02,4.777425e-02,4.708476e-02,4.705751e-02,4.641132e-02,4.575385e-02,4.574087e-02,4.511226e-02,4.448645e-02,4.329340e-02,4.216072e-02,4.108727e-02,4.007181e-02,3.911303e-02,3.820949e-02,3.735975e-02,3.656225e-02,3.581543e-02,3.511766e-02,3.446729e-02,3.386265e-02,3.330204e-02,3.278376e-02,3.230606e-02,3.186725e-02,3.146558e-02,3.109933e-02,3.076680e-02,3.046627e-02,3.019607e-02,2.995452e-02,2.973998e-02,2.955084e-02,2.938549e-02,2.924239e-02,2.912002e-02,2.901688e-02,2.893155e-02,2.886262e-02,2.880873e-02,2.876859e-02,2.874093e-02,2.872455e-02,2.871830e-02,2.872107e-02,2.873183e-02,2.874958e-02,2.877338e-02,2.880234e-02,2.883565e-02,2.887253e-02,2.891226e-02,2.895418e-02,2.899765e-02,2.904213e-02,2.908709e-02,2.913207e-02,2.917664e-02
0.000000e+00,1.449529e-07,3.787912e-06,3.994924e-06,3.695776e-05,1.648618e-04,1.735097e-04,4.902801e-04,9.449555e-04,9.780340e-04,1.580308e-03,2.190915e-03,2.245477e-03,2.936164e-03,3.558438e-03,3.626999e-03,4.301334e-03,4.872597e-03,4.948596e-03,5.562370e-03,6.060640e-03,6.139068e-03,6.677016e-03,7.098640e-03,7.175833e-03,7.635993e-03,7.985190e-03,8.058529e-03,8.444832e-03,8.728858e-03,8.796503e-03,9.115262e-03,9.342181e-03,9.402873e-03,9.661105e-03,9.838783e-03,9.891695e-03,1.009633e-02,1.023201e-02,1.027664e-02,1.043417e-02,1.053432e-02,1.057040e-02,1.068674e-02,1.075706e-02,1.078451e-02,1.086497e-02,1.091039e-02,1.092928e-02,1.097858e-02,1.100339e-02,1.101389e-02,1.103620e-02,1.104410e-02,1.104645e-02,1.104549e-02,1.103964e-02,1.103415e-02,1.101320e-02,1.099631e-02,1.098334e-02,1.094527e-02,1.091967e-02,1.089961e-02,1.084697e-02,1.081465e-02,1.078791e-02,1.072295e-02,1.068560e-02,1.065259e-02,1.057730e-02,1.053635e-02,1.049751e-02,1.041363e-02,1.037028e-02,1.032605e-02,1.023512e-02,1.019039e-02,1.014119e-02,1.004457e-02,9.999309e-03,9.945565e-03,9.844444e-03,9.799350e-03,9.741473e-03,9.636894e-03,9.592547e-03,9.530936e-03,9.423812e-03,9.380682e-03,9.315723e-03,9.206854e-03,9.165316e-03,9.097379e-03,8.987460e-03,8.947810e-03,8.877248e-03,8.766883e-03,8.729348e-03,8.656497e-03,8.546211e-03,8.510959e-03,8.436137e-03,8.326381e-03,8.293531e-03,8.217040e-03,8.108202e-03,8.077829e-03,7.999951e-03,7.892363e-03,7.864508e-03,7.785509e-03,7.679452e-03,7.654124e-03,7.574253e-03,7.469965e-03,7.447149e-03,7.366638e-03,7.264318e-03,7.243978e-03,7.163044e-03,7.062854e-03,7.044937e-03,6.963781e-03,6.865855e-03,6.850296e-03,6.769104e-03,6.673549e-03,6.660269e-03,6.579213e-03,6.486114e-03,6.475026e-03,6.394267e-03,6.303685e-03,6.294697e-03,6.214380e-03,6.126360e-03,6.119375e-03,6.039634e-03,5.954207e-03,5.949123e-03,5.870082e-03,5.787263e-03,5.783977e-03,5.705749e-03,5.625541e-03,5.623950e-03,5.546637e-03,5.469034e-03,5.319204e-03,5.174420e-03,5.034628e-03,4.899764e-03,4.769756e-03,4.644524e-03,4.523980e-03,4.408032e-03,4.296584e-03,4.189535e-03,4.086784e-03,3.988226e-03,3.893756e-03,3.803268e-03,3.716657e-03,3.633816e-03,3.554640e-03,3.479024e-03,3.406864e-03,3.338058e-03,3.272504e-03,3.210103e-03,3.150756e-03,3.094367e-03,3.040841e-03,2.990085e-03,2.942007e-03,2.896519e-03,2.853533e-03,2.812964e-03,2.774727e-03,2.738740e-03,2.704924e-03,2.673200e-03,2.643492e-03,2.615725e-03,2.589826e-03,2.565724e-03,2.543348e-03,2.522632e-03,2.503508e-03,2.485912e-03,2.469780e-03,2.455052e-03,2.441666e-03,2.429563e-03,2.418687e-03,2.408982e-03,2.400393e-03
0.000000e+00,3.015436e-06,6.599345e-05,6.934363e-05,5.590421e-04,2.399525e-03,2.526386e-03,7.535130e-03,1.590050e-02,1.655543e-02,2.938609e-02,4.391209e-02,4.527699e-02,6.344347e-02,8.116739e-02,8.319677e-02,1.039567e-01,1.226735e-01,1.252416e-01,1.466562e-01,1.649297e-01,1.678791e-01,1.886528e-01,2.056053e-01,2.087739e-01,2.280851e-01,2.432319e-01,2.464682e-01,2.638378e-01,2.769639e-01,2.801358e-01,2.953269e-01,3.063964e-01,3.093946e-01,3.223375e-01,3.314283e-01,3.341668e-01,3.449033e-01,3.521616e-01,3.545759e-01,3.632191e-01,3.688266e-01,3.708719e-01,3.775765e-01,3.817291e-01,3.833770e-01,3.883191e-01,3.912128e-01,3.924486e-01,3.958115e-01,3.976331e-01,3.984531e-01,4.004180e-01,4.013403e-01,4.017493e-01,4.024891e-01,4.026685e-01,4.026777e-01,4.023540e-01,4.019293e-01,4.015549e-01,4.003159e-01,3.994091e-01,3.986707e-01,3.966510e-01,3.953678e-01,3.942872e-01,3.916079e-01,3.900394e-01,3.886400e-01,3.854092e-01,3.836332e-01,3.819394e-01,3.782531e-01,3.763355e-01,3.743717e-01,3.703152e-01,3.683114e-01,3.661023e-01,3.617506e-01,3.597068e-01,3.572766e-01,3.526958e-01,3.506501e-01,3.480226e-01,3.432707e-01,3.412544e-01,3.384526e-01,3.335802e-01,3.316185e-01,3.286645e-01,3.237158e-01,3.218286e-01,3.187437e-01,3.137571e-01,3.119599e-01,3.087642e-01,3.037729e-01,3.020775e-01,2.987902e-01,2.938227e-01,2.922373e-01,2.888765e-01,2.839574e-01,2.824876e-01,2.790703e-01,2.742202e-01,2.728694e-01,2.694115e-01,2.646481e-01,2.634175e-01,2.599337e-01,2.552717e-01,2.541610e-01,2.506652e-01,2.461168e-01,2.451242e-01,2.416290e-01,2.372041e-01,2.363269e-01,2.328441e-01,2.285508e-01,2.277852e-01,2.243257e-01,2.201701e-01,2.195118e-01,2.160854e-01,2.120724e-01,2.115164e-01,2.081321e-01,2.042652e-01,2.038062e-01,2.004723e-01,1.967538e-01,1.963860e-01,1.931100e-01,1.895412e-01,1.892590e-01,1.860475e-01,1.826290e-01,1.824263e-01,1.792855e-01,1.760170e-01,1.758878e-01,1.728231e-01,1.697037e-01,1.696421e-01,1.666584e-01,1.636868e-01,1.580185e-01,1.526330e-01,1.475257e-01,1.426911e-01,1.381236e-01,1.338170e-01,1.297648e-01,1.259603e-01,1.223966e-01,1.190666e-01,1.159632e-01,1.130788e-01,1.104063e-01,1.079380e-01,1.056664e-01,1.035840e-01,1.016832e-01,9.995649e-02,9.839617e-02,9.699471e-02,9.574459e-02,9.463829e-02,9.366836e-02,9.282739e-02,9.210804e-02,9.150306e-02,9.100530e-02,9.060769e-02,9.030328e-02,9.008528e-02,8.994700e-02,8.988193e-02,8.988372e-02,8.994621e-02,9.006341e-02,9.022955e-02,9.043905e-02,9.068657e-02,9.096700e-02,9.127545e-02,9.160728e-02,9.195810e-02,9.232377e-02,9.270040e-02,9.308436e-02,9.347227e-02,9.386101e-02,9.424770e-02,9.462971e-02
0.000000e+00,6.764854e-08,1.291242e-06,1.354733e-06,1.029691e-05,4.136890e-05,4.340361e-05,1.152193e-04,2.086136e-04,2.149526e-04,3.213936e-04,4.161785e-04,4.241751e-04,5.204114e-04,6.010275e-04,6.096375e-04,6.920197e-04,7.591028e-04,7.678714e-04,8.375314e-04,8.927417e-04,9.013335e-04,9.596002e-04,1.004494e-03,1.012642e-03,1.060758e-03,1.096740e-03,1.104237e-03,1.143353e-03,1.171684e-03,1.178373e-03,1.209549e-03,1.231354e-03,1.237123e-03,1.261327e-03,1.277603e-03,1.282379e-03,1.300488e-03,1.312110e-03,1.315850e-03,1.328650e-03,1.336379e-03,1.339064e-03,1.347259e-03,1.351759e-03,1.353391e-03,1.357612e-03,1.359462e-03,1.360062e-03,1.360877e-03,1.360578e-03,1.360178e-03,1.358084e-03,1.356062e-03,1.354703e-03,1.350137e-03,1.346754e-03,1.344484e-03,1.337833e-03,1.333400e-03,1.330271e-03,1.321878e-03,1.316658e-03,1.312727e-03,1.302889e-03,1.297104e-03,1.292429e-03,1.281410e-03,1.275247e-03,1.269888e-03,1.257917e-03,1.251532e-03,1.245548e-03,1.232827e-03,1.226349e-03,1.219798e-03,1.206503e-03,1.200037e-03,1.192978e-03,1.179260e-03,1.172895e-03,1.165382e-03,1.151374e-03,1.145177e-03,1.137265e-03,1.123081e-03,1.117108e-03,1.108847e-03,1.094586e-03,1.088878e-03,1.080318e-03,1.066063e-03,1.060653e-03,1.051839e-03,1.037662e-03,1.032573e-03,1.023548e-03,1.009511e-03,1.004758e-03,9.955637e-04,9.817173e-04,9.773096e-04,9.679828e-04,9.543700e-04,9.503111e-04,9.408875e-04,9.275434e-04,9.238329e-04,9.143450e-04,9.012986e-04,8.979322e-04,8.884101e-04,8.756845e-04,8.726552e-04,8.631264e-04,8.507398e-04,8.480381e-04,8.385280e-04,8.264941e-04,8.241089e-04,8.146405e-04,8.029693e-04,8.008879e-04,7.914821e-04,7.801804e-04,7.783893e-04,7.690649e-04,7.581366e-04,7.566215e-04,7.473955e-04,7.368420e-04,7.355882e-04,7.264758e-04,7.162964e-04,7.152888e-04,7.063035e-04,6.964960e-04,6.957194e-04,6.868731e-04,6.774336e-04,6.768731e-04,6.681763e-04,6.590996e-04,6.587403e-04,6.502021e-04,6.414821e-04,6.413095e-04,6.329378e-04,6.245673e-04,6.084990e-04,5.930885e-04,5.783191e-04,5.641733e-04,5.506329e-04,5.376797e-04,5.252949e-04,5.134599e-04,5.021560e-04,4.913647e-04,4.810674e-04,4.712461e-04,4.618829e-04,4.529601e-04,4.444608e-04,4.363679e-04,4.286653e-04,4.213370e-04,4.143675e-04,4.077419e-04,4.014456e-04,3.954645e-04,3.897850e-04,3.843940e-04,3.792789e-04,3.744274e-04,3.698277e-04,3.654686e-04,3.613391e-04,3.574287e-04,3.537275e-04,3.502256e-04,3.469139e-04,3.437835e-04,3.408258e-04,3.380326e-04,3.353961e-04,3.329087e-04,3.305633e-04,3.283531e-04,3.262713e-04,3.243117e-04,3.224683e-04,3.207353e-04,3.191072e-04,3.175787e-04,3.161448e-04,3.148007e-04,3.135418e-04
0.000000e+00,6.442895e-05,1.306150e-03,1.371115e-03,1.105822e-02,5.025173e-02,5.304939e-02,1.671620e-01,3.609911e-01,3.761409e-01,6.713776e-01,1.002236e+00,1.033155e+00,1.442091e+00,1.836596e+00,1.881490e+00,2.337471e+00,2.743378e+00,2.798677e+00,3.255939e+00,3.640425e+00,3.701964e+00,4.131054e+00,4.475195e+00,4.538873e+00,4.922231e+00,5.216744e+00,5.278902e+00,5.607468e+00,5.849558e+00,5.907174e+00,6.177811e+00,6.368864e+00,6.419611e+00,6.633158e+00,6.777078e+00,6.819311e+00,6.979138e+00,7.081174e+00,7.113859e+00,7.224804e+00,7.290746e+00,7.313372e+00,7.381000e+00,7.416656e+00,7.429137e+00,7.459220e+00,7.470088e+00,7.472664e+00,7.470843e+00,7.461925e+00,7.455082e+00,7.426651e+00,7.402366e+00,7.386757e+00,7.336544e+00,7.300704e+00,7.277087e+00,7.209396e+00,7.165224e+00,7.134414e+00,7.053017e+00,7.003190e+00,6.966017e+00,6.874168e+00,6.820875e+00,6.778162e+00,6.678637e+00,6.623638e+00,6.576176e+00,6.471315e+00,6.416003e+00,6.364542e+00,6.256299e+00,6.201754e+00,6.146990e+00,6.036982e+00,5.984028e+00,5.926604e+00,5.816156e+00,5.765401e+00,5.705905e+00,5.596092e+00,5.547969e+00,5.486933e+00,5.378620e+00,5.333424e+00,5.271327e+00,5.165203e+00,5.123112e+00,5.060385e+00,4.956990e+00,4.918095e+00,4.855122e+00,4.754872e+00,4.719193e+00,4.656317e+00,4.559524e+00,4.527027e+00,4.464551e+00,4.371444e+00,4.342051e+00,4.280243e+00,4.190981e+00,4.164584e+00,4.103682e+00,4.018365e+00,3.994834e+00,3.935044e+00,3.853727e+00,3.832914e+00,3.774418e+00,3.697117e+00,3.678863e+00,3.621819e+00,3.548517e+00,3.532658e+00,3.477202e+00,3.407859e+00,3.394226e+00,3.340475e+00,3.275030e+00,3.263455e+00,3.211506e+00,3.149882e+00,3.140197e+00,3.090135e+00,3.032242e+00,3.024283e+00,2.976176e+00,2.921911e+00,2.915519e+00,2.869421e+00,2.818678e+00,2.813699e+00,2.769654e+00,2.722318e+00,2.718603e+00,2.676641e+00,2.632593e+00,2.630002e+00,2.590145e+00,2.549264e+00,2.547661e+00,2.509920e+00,2.472083e+00,2.471341e+00,2.435720e+00,2.400800e+00,2.335796e+00,2.276086e+00,2.221426e+00,2.171579e+00,2.126305e+00,2.085370e+00,2.048542e+00,2.015594e+00,1.986304e+00,1.960450e+00,1.937820e+00,1.918204e+00,1.901398e+00,1.887204e+00,1.875428e+00,1.865882e+00,1.858387e+00,1.852767e+00,1.848854e+00,1.846486e+00,1.845508e+00,1.845772e+00,1.847137e+00,1.849468e+00,1.852638e+00,1.856529e+00,1.861027e+00,1.866028e+00,1.871432e+00,1.877149e+00,1.883095e+00,1.889193e+00,1.895371e+00,1.901565e+00,1.907719e+00,1.913779e+00,1.919701e+00,1.925443e+00,1.930972e+00,1.936256e+00,1.941271e+00,1.945995e+00,1.950414e+00,1.954513e+00,1.958283e+00,1.961719e+00,1.964818e+00,1.967580e+00,1.970008e+00
0.000000e+00,6.055987e-09,1.052358e-07,1.102844e-07,7.365923e-07,2.260759e-06,2.339581e-06,4.427965e-06,6.378697e-06,6.499756e-06,8.444624e-06,1.010954e-05,1.024872e-05,1.191483e-05,1.330113e-05,1.344875e-05,1.485674e-05,1.599657e-05,1.614505e-05,1.731984e-05,1.824400e-05,1.838717e-05,1.935299e-05,2.009014e-05,2.022319e-05,2.100352e-05,2.158026e-05,2.169957e-05,2.231670e-05,2.275706e-05,2.286007e-05,2.333458e-05,2.365992e-05,2.374491e-05,2.409551e-05,2.432460e-05,2.439057e-05,2.463405e-05,2.478323e-05,2.482970e-05,2.498105e-05,2.506445e-05,2.509141e-05,2.516390e-05,2.519370e-05,2.520147e-05,2.520685e-05,2.519346e-05,2.518264e-05,2.513126e-05,2.508357e-05,2.505498e-05,2.495592e-05,2.488150e-05,2.483608e-05,2.469732e-05,2.460255e-05,2.454137e-05,2.436987e-05,2.426014e-05,2.418434e-05,2.398618e-05,2.386599e-05,2.377673e-05,2.355721e-05,2.343031e-05,2.332877e-05,2.309248e-05,2.296197e-05,2.284933e-05,2.260025e-05,2.246867e-05,2.234610e-05,2.208766e-05,2.195706e-05,2.182567e-05,2.156082e-05,2.143287e-05,2.129374e-05,2.102502e-05,2.090100e-05,2.075518e-05,2.048473e-05,2.036565e-05,2.021412e-05,1.994377e-05,1.983040e-05,1.967407e-05,1.940538e-05,1.929825e-05,1.913800e-05,1.887225e-05,1.877174e-05,1.860838e-05,1.834664e-05,1.825298e-05,1.808725e-05,1.783041e-05,1.774370e-05,1.757630e-05,1.732507e-05,1.724531e-05,1.707687e-05,1.683183e-05,1.675895e-05,1.659006e-05,1.635165e-05,1.628552e-05,1.611670e-05,1.588526e-05,1.582567e-05,1.565741e-05,1.543319e-05,1.537993e-05,1.521265e-05,1.499581e-05,1.494861e-05,1.478271e-05,1.457335e-05,1.453193e-05,1.436776e-05,1.416592e-05,1.412999e-05,1.396784e-05,1.377350e-05,1.374276e-05,1.358291e-05,1.339603e-05,1.337016e-05,1.321285e-05,1.303334e-05,1.301204e-05,1.285747e-05,1.268521e-05,1.266818e-05,1.251652e-05,1.235137e-05,1.233831e-05,1.218972e-05,1.203152e-05,1.202213e-05,1.187673e-05,1.172531e-05,1.171932e-05,1.157721e-05,1.143238e-05,1.142951e-05,1.129077e-05,1.115234e-05,1.088740e-05,1.063431e-05,1.039267e-05,1.016206e-05,9.942089e-06,9.732348e-06,9.532441e-06,9.341978e-06,9.160574e-06,8.987853e-06,8.823448e-06,8.667004e-06,8.518173e-06,8.376620e-06,8.242021e-06,8.114061e-06,7.992438e-06,7.876862e-06,7.767051e-06,7.662736e-06,7.563659e-06,7.469571e-06,7.380233e-06,7.295420e-06,7.214911e-06,7.138500e-06,7.065987e-06,6.997180e-06,6.931899e-06,6.869970e-06,6.811228e-06,6.755514e-06,6.702678e-06,6.652576e-06,6.605072e-06,6.560036e-06,6.517345e-06,6.476879e-06,6.438527e-06,6.402182e-06,6.367742e-06,6.335112e-06,6.304198e-06,6.274915e-06,6.247177e-06,6.220908e-06,6.196031e-06,6.172476e-06,6.150175e-06
0.000000e+00,2.717416e-08,3.403509e-07,3.548058e-07,2.130782e-06,7.714472e-06,8.074808e-06,2.100810e-05,3.880296e-05,4.004530e-05,6.137478e-05,8.099325e-05,8.267337e-05,1.032006e-04,1.208505e-04,1.227614e-04,1.413157e-04,1.568140e-04,1.588679e-04,1.754373e-04,1.889195e-04,1.910483e-04,2.057280e-04,2.173603e-04,2.195053e-04,2.324103e-04,2.423634e-04,2.444742e-04,2.557285e-04,2.641704e-04,2.662051e-04,2.759357e-04,2.830279e-04,2.849517e-04,2.932840e-04,2.991780e-04,3.009629e-04,3.080178e-04,3.128537e-04,3.144774e-04,3.203694e-04,3.242753e-04,3.257206e-04,3.305569e-04,3.336493e-04,3.349033e-04,3.387838e-04,3.411683e-04,3.422216e-04,3.452390e-04,3.470105e-04,3.478573e-04,3.500971e-04,3.513412e-04,3.519783e-04,3.535196e-04,3.543126e-04,3.547393e-04,3.556548e-04,3.560651e-04,3.562828e-04,3.566393e-04,3.567277e-04,3.567396e-04,3.565985e-04,3.564192e-04,3.562299e-04,3.556474e-04,3.552485e-04,3.548639e-04,3.538915e-04,3.533153e-04,3.527422e-04,3.514271e-04,3.507108e-04,3.499571e-04,3.483423e-04,3.475187e-04,3.465926e-04,3.447173e-04,3.438150e-04,3.427254e-04,3.406253e-04,3.396692e-04,3.384253e-04,3.361330e-04,3.351445e-04,3.337558e-04,3.313009e-04,3.302986e-04,3.287747e-04,3.261837e-04,3.251835e-04,3.235341e-04,3.208314e-04,3.198466e-04,3.180813e-04,3.152889e-04,3.143307e-04,3.124592e-04,3.095968e-04,3.086747e-04,3.067063e-04,3.037918e-04,3.029134e-04,3.008573e-04,2.979067e-04,2.970781e-04,2.949435e-04,2.919711e-04,2.911972e-04,2.889927e-04,2.860113e-04,2.852957e-04,2.830299e-04,2.800510e-04,2.793963e-04,2.770773e-04,2.741110e-04,2.735189e-04,2.711545e-04,2.682099e-04,2.676813e-04,2.652792e-04,2.623641e-04,2.618993e-04,2.594665e-04,2.565879e-04,2.561865e-04,2.537299e-04,2.508939e-04,2.505551e-04,2.480811e-04,2.452928e-04,2.450154e-04,2.425302e-04,2.397941e-04,2.395764e-04,2.370857e-04,2.344058e-04,2.342460e-04,2.317552e-04,2.291347e-04,2.290305e-04,2.265448e-04,2.239863e-04,2.239354e-04,2.214596e-04,2.189653e-04,2.141235e-04,2.094129e-04,2.048354e-04,2.003925e-04,1.960850e-04,1.919131e-04,1.878766e-04,1.839748e-04,1.802069e-04,1.765715e-04,1.730670e-04,1.696915e-04,1.664430e-04,1.633193e-04,1.603178e-04,1.574362e-04,1.546716e-04,1.520214e-04,1.494827e-04,1.470526e-04,1.447282e-04,1.425066e-04,1.403847e-04,1.383596e-04,1.364283e-04,1.345877e-04,1.328351e-04,1.311673e-04,1.295816e-04,1.280751e-04,1.266450e-04,1.252885e-04,1.240028e-04,1.227854e-04,1.216336e-04,1.205448e-04,1.195166e-04,1.185466e-04,1.176323e-04,1.167714e-04,1.159617e-04,1.152011e-04,1.144873e-04,1.138183e-04,1.131922e-04,1.126070e-04,1.120608e-04,1.115517e-04,1.110782e-04
0.000000e+00,7.416405e-07,2.046236e-05,2.160790e-05,2.122941e-04,9.785343e-04,1.030361e-03,2.906530e-03,5.577061e-03,5.771861e-03,9.346879e-03,1.303639e-02,1.336944e-02,1.763253e-02,2.154508e-02,2.198007e-02,2.629701e-02,3.000393e-02,3.050017e-02,3.453077e-02,3.782808e-02,3.834868e-02,4.192791e-02,4.473859e-02,4.525320e-02,4.831739e-02,5.063429e-02,5.111942e-02,5.366274e-02,5.551559e-02,5.595412e-02,5.800269e-02,5.943887e-02,5.981918e-02,6.141538e-02,6.248878e-02,6.280369e-02,6.399673e-02,6.476130e-02,6.500713e-02,6.584729e-02,6.635359e-02,6.652928e-02,6.706470e-02,6.735825e-02,6.746465e-02,6.773967e-02,6.786044e-02,6.789973e-02,6.795423e-02,6.793667e-02,6.791198e-02,6.778122e-02,6.765467e-02,6.756967e-02,6.728451e-02,6.707370e-02,6.693243e-02,6.651969e-02,6.624536e-02,6.605208e-02,6.553500e-02,6.521441e-02,6.497346e-02,6.437212e-02,6.401961e-02,6.373531e-02,6.306706e-02,6.269446e-02,6.237110e-02,6.165089e-02,6.126788e-02,6.090965e-02,6.015037e-02,5.976483e-02,5.937580e-02,5.858851e-02,5.820680e-02,5.779088e-02,5.698510e-02,5.661226e-02,5.617320e-02,5.535706e-02,5.499706e-02,5.453841e-02,5.371885e-02,5.337472e-02,5.289985e-02,5.208277e-02,5.175676e-02,5.126886e-02,5.045924e-02,5.015293e-02,4.965497e-02,4.885701e-02,4.857145e-02,4.806622e-02,4.728339e-02,4.701918e-02,4.650925e-02,4.574445e-02,4.550179e-02,4.498958e-02,4.424516e-02,4.402394e-02,4.351166e-02,4.278951e-02,4.258939e-02,4.207908e-02,4.138070e-02,4.120113e-02,4.069465e-02,4.002118e-02,3.986144e-02,3.936050e-02,3.871279e-02,3.857206e-02,3.807820e-02,3.745685e-02,3.733417e-02,3.684882e-02,3.625418e-02,3.614857e-02,3.567298e-02,3.510523e-02,3.501564e-02,3.455094e-02,3.401009e-02,3.393545e-02,3.348266e-02,3.296858e-02,3.290779e-02,3.246780e-02,3.198024e-02,3.193221e-02,3.150581e-02,3.104442e-02,3.100807e-02,3.059594e-02,3.016027e-02,3.013453e-02,2.973727e-02,2.932680e-02,2.931064e-02,2.892873e-02,2.854289e-02,2.853530e-02,2.816914e-02,2.780731e-02,2.712538e-02,2.648815e-02,2.589420e-02,2.534207e-02,2.483024e-02,2.435717e-02,2.392130e-02,2.352104e-02,2.315482e-02,2.282104e-02,2.251809e-02,2.224440e-02,2.199838e-02,2.177848e-02,2.158315e-02,2.141087e-02,2.126014e-02,2.112951e-02,2.101754e-02,2.092284e-02,2.084405e-02,2.077988e-02,2.072904e-02,2.069031e-02,2.066254e-02,2.064460e-02,2.063543e-02,2.063400e-02,2.063936e-02,2.065061e-02,2.066690e-02,2.068742e-02,2.071143e-02,2.073826e-02,2.076726e-02,2.079785e-02,2.082949e-02,2.086171e-02,2.089406e-02,2.092616e-02,2.095766e-02,2.098825e-02,2.101766e-02,2.104567e-02,2.107209e-02,2.109676e-02,2.111953e-02,2.114032e-02,2.115905e-02
0.000000e+00,8.152160e-05,1.669030e-03,1.749892e-03,1.244503e-02,4.794006e-02,5.028649e-02,1.400609e-01,2.888675e-01,3.006429e-01,5.356785e-01,8.101413e-01,8.362980e-01,1.189287e+00,1.540971e+00,1.581635e+00,2.001809e+00,2.386688e+00,2.439919e+00,2.887607e+00,3.274920e+00,3.337888e+00,3.784982e+00,4.154590e+00,4.224159e+00,4.651601e+00,4.991202e+00,5.064281e+00,5.459846e+00,5.762766e+00,5.836523e+00,6.193030e+00,6.456534e+00,6.528502e+00,6.842423e+00,7.066441e+00,7.134567e+00,7.404953e+00,7.591148e+00,7.653792e+00,7.881459e+00,8.032546e+00,8.088454e+00,8.275379e+00,8.394644e+00,8.442910e+00,8.591783e+00,8.682752e+00,8.722770e+00,8.836670e+00,8.902878e+00,8.934296e+00,9.016466e+00,9.061320e+00,9.083995e+00,9.137687e+00,9.164374e+00,9.178331e+00,9.206699e+00,9.218140e+00,9.223540e+00,9.229579e+00,9.228409e+00,9.225515e+00,9.212022e+00,9.200589e+00,9.189745e+00,9.159301e+00,9.139676e+00,9.121283e+00,9.076251e+00,9.050243e+00,9.024744e+00,8.967270e+00,8.936447e+00,8.904313e+00,8.836335e+00,8.802050e+00,8.763769e+00,8.687028e+00,8.650434e+00,8.606503e+00,8.522561e+00,8.484635e+00,8.435550e+00,8.345799e+00,8.307361e+00,8.253616e+00,8.159293e+00,8.121026e+00,8.063104e+00,7.965306e+00,7.927772e+00,7.866142e+00,7.765838e+00,7.729492e+00,7.664609e+00,7.562652e+00,7.527855e+00,7.460156e+00,7.357296e+00,7.324330e+00,7.254233e+00,7.151121e+00,7.120199e+00,7.048102e+00,6.945308e+00,6.916582e+00,6.842861e+00,6.740876e+00,6.714449e+00,6.639459e+00,6.538708e+00,6.514637e+00,6.438713e+00,6.339558e+00,6.317865e+00,6.241320e+00,6.144069e+00,6.124743e+00,6.047870e+00,5.952783e+00,5.935789e+00,5.858860e+00,5.766152e+00,5.751435e+00,5.674703e+00,5.584552e+00,5.572036e+00,5.495735e+00,5.408284e+00,5.397883e+00,5.322228e+00,5.237592e+00,5.229207e+00,5.154397e+00,5.072662e+00,5.066187e+00,4.992402e+00,4.913632e+00,4.908954e+00,4.836362e+00,4.760599e+00,4.757600e+00,4.686352e+00,4.613623e+00,4.612183e+00,4.542415e+00,4.472728e+00,4.339232e+00,4.211670e+00,4.089994e+00,3.974141e+00,3.864030e+00,3.759568e+00,3.660648e+00,3.567155e+00,3.478965e+00,3.395946e+00,3.317961e+00,3.244865e+00,3.176512e+00,3.112749e+00,3.053422e+00,2.998373e+00,2.947445e+00,2.900476e+00,2.857304e+00,2.817769e+00,2.781707e+00,2.748956e+00,2.719357e+00,2.692747e+00,2.668968e+00,2.647863e+00,2.629276e+00,2.613053e+00,2.599044e+00,2.587100e+00,2.577078e+00,2.568836e+00,2.562235e+00,2.557142e+00,2.553428e+00,2.550966e+00,2.549635e+00,2.549320e+00,2.549908e+00,2.551294e+00,2.553375e+00,2.556055e+00,2.559244e+00,2.562854e+00,2.566806e+00,2.571023e+00,2.575435e+00,2.579977e+00,2.584588e+00
0.000000e+00,6.898880e-07,1.316449e-05,1.379017e-05,9.725760e-05,3.860630e-04,4.055644e-04,1.170444e-03,2.474795e-03,2.578894e-03,4.663923e-03,7.086571e-03,7.315765e-03,1.037103e-02,1.333743e-02,1.367519e-02,1.710093e-02,2.013636e-02,2.054851e-02,2.394181e-02,2.677296e-02,2.722412e-02,3.035440e-02,3.284516e-02,3.330411e-02,3.605457e-02,3.815344e-02,3.859491e-02,4.092028e-02,4.262552e-02,4.303045e-02,4.492873e-02,4.626599e-02,4.662098e-02,4.811497e-02,4.912334e-02,4.941975e-02,5.054518e-02,5.126863e-02,5.150164e-02,5.229970e-02,5.278215e-02,5.294991e-02,5.346267e-02,5.374524e-02,5.384808e-02,5.411589e-02,5.423559e-02,5.427540e-02,5.433544e-02,5.432466e-02,5.430438e-02,5.419009e-02,5.407669e-02,5.399995e-02,5.374087e-02,5.354846e-02,5.341929e-02,5.304120e-02,5.278956e-02,5.261218e-02,5.213741e-02,5.184298e-02,5.162168e-02,5.106944e-02,5.074579e-02,5.048482e-02,4.987160e-02,4.952984e-02,4.923333e-02,4.857325e-02,4.822239e-02,4.789436e-02,4.719944e-02,4.684678e-02,4.649106e-02,4.577157e-02,4.542291e-02,4.504315e-02,4.430781e-02,4.396774e-02,4.356740e-02,4.282361e-02,4.249568e-02,4.207800e-02,4.133202e-02,4.101891e-02,4.058696e-02,3.984405e-02,3.954773e-02,3.910436e-02,3.836892e-02,3.809076e-02,3.763864e-02,3.691434e-02,3.665520e-02,3.619678e-02,3.548665e-02,3.524701e-02,3.478455e-02,3.409105e-02,3.387103e-02,3.340664e-02,3.273175e-02,3.253120e-02,3.206678e-02,3.141207e-02,3.123063e-02,3.076792e-02,3.013459e-02,2.997172e-02,2.951230e-02,2.890125e-02,2.875628e-02,2.830158e-02,2.771343e-02,2.758559e-02,2.713689e-02,2.657204e-02,2.646048e-02,2.601893e-02,2.547759e-02,2.538139e-02,2.494802e-02,2.443022e-02,2.434846e-02,2.392416e-02,2.342981e-02,2.336153e-02,2.294710e-02,2.247598e-02,2.242022e-02,2.201636e-02,2.156816e-02,2.152397e-02,2.113128e-02,2.070562e-02,2.067204e-02,2.029105e-02,1.988746e-02,1.986359e-02,1.949473e-02,1.911271e-02,1.909765e-02,1.874128e-02,1.838030e-02,1.837319e-02,1.802962e-02,1.768909e-02,1.704422e-02,1.643737e-02,1.586736e-02,1.533296e-02,1.483295e-02,1.436610e-02,1.393120e-02,1.352703e-02,1.315242e-02,1.280617e-02,1.248714e-02,1.219419e-02,1.192619e-02,1.168205e-02,1.146068e-02,1.126104e-02,1.108208e-02,1.092279e-02,1.078217e-02,1.065925e-02,1.055306e-02,1.046267e-02,1.038716e-02,1.032562e-02,1.027719e-02,1.024099e-02,1.021619e-02,1.020196e-02,1.019749e-02,1.020202e-02,1.021477e-02,1.023501e-02,1.026202e-02,1.029512e-02,1.033362e-02,1.037689e-02,1.042431e-02,1.047529e-02,1.052925e-02,1.058566e-02,1.064401e-02,1.070382e-02,1.076462e-02,1.082600e-02,1.088754e-02,1.094889e-02,1.100969e-02,1.106964e-02,1.112845e-02
0.000000e+00,2.729641e-08,3.171882e-07,3.301937e-07,1.897994e-06,6.886256e-06,7.213509e-06,1.936607e-05,3.712528e-05,3.839463e-05,6.037155e-05,8.041843e-05,8.211425e-05,1.024801e-04,1.193982e-04,1.211940e-04,1.382446e-04,1.519247e-04,1.536974e-04,1.676396e-04,1.784910e-04,1.801620e-04,1.913540e-04,1.997905e-04,2.013020e-04,2.100885e-04,2.164825e-04,2.177929e-04,2.244905e-04,2.291723e-04,2.302535e-04,2.351502e-04,2.384102e-04,2.392456e-04,2.426011e-04,2.446922e-04,2.452746e-04,2.473208e-04,2.484613e-04,2.487909e-04,2.497332e-04,2.501103e-04,2.501928e-04,2.502119e-04,2.499845e-04,2.498300e-04,2.490839e-04,2.483861e-04,2.480078e-04,2.466338e-04,2.455782e-04,2.449915e-04,2.431087e-04,2.417893e-04,2.410109e-04,2.387219e-04,2.372165e-04,2.362638e-04,2.336571e-04,2.320296e-04,2.309206e-04,2.280718e-04,2.263744e-04,2.251268e-04,2.221005e-04,2.203754e-04,2.190065e-04,2.158576e-04,2.141384e-04,2.126652e-04,2.094400e-04,2.077533e-04,2.061918e-04,2.029294e-04,2.012954e-04,1.996609e-04,1.963938e-04,1.948281e-04,1.931349e-04,1.898901e-04,1.884039e-04,1.866652e-04,1.834650e-04,1.820659e-04,1.802941e-04,1.771565e-04,1.758495e-04,1.740558e-04,1.709952e-04,1.697828e-04,1.679775e-04,1.650053e-04,1.638882e-04,1.620807e-04,1.592055e-04,1.581829e-04,1.563815e-04,1.536099e-04,1.526797e-04,1.508919e-04,1.482284e-04,1.473877e-04,1.456202e-04,1.430677e-04,1.423129e-04,1.405715e-04,1.381316e-04,1.374586e-04,1.357483e-04,1.334215e-04,1.328258e-04,1.311511e-04,1.289368e-04,1.284137e-04,1.267783e-04,1.246753e-04,1.242200e-04,1.226271e-04,1.206333e-04,1.202410e-04,1.186932e-04,1.168062e-04,1.164721e-04,1.149715e-04,1.131885e-04,1.129079e-04,1.114562e-04,1.097739e-04,1.095423e-04,1.081407e-04,1.065558e-04,1.063688e-04,1.050182e-04,1.035270e-04,1.033804e-04,1.020813e-04,1.006802e-04,1.005700e-04,9.932265e-05,9.800781e-05,9.793026e-05,9.673470e-05,9.550236e-05,9.545390e-05,9.430985e-05,9.315622e-05,9.313354e-05,9.204053e-05,9.096185e-05,8.893164e-05,8.703584e-05,8.526754e-05,8.362003e-05,8.208680e-05,8.066156e-05,7.933824e-05,7.811102e-05,7.697429e-05,7.592272e-05,7.495119e-05,7.405484e-05,7.322901e-05,7.246929e-05,7.177150e-05,7.113166e-05,7.054600e-05,7.001095e-05,6.952316e-05,6.907943e-05,6.867676e-05,6.831233e-05,6.798346e-05,6.768764e-05,6.742251e-05,6.718586e-05,6.697559e-05,6.678976e-05,6.662651e-05,6.648415e-05,6.636104e-05,6.625570e-05,6.616669e-05,6.609271e-05,6.603252e-05,6.598498e-05,6.594900e-05,6.592358e-05,6.590780e-05,6.590078e-05,6.590172e-05,6.590987e-05,6.592452e-05,6.594504e-05,6.597081e-05,6.600129e-05,6.603595e-05,6.607433e-05,6.611597e-05
0.000000e+00,8.877200e-08,1.741322e-06,1.826390e-06,1.376416e-05,5.697839e-05,5.992015e-05,1.743140e-04,3.596964e-04,3.738799e-04,6.393671e-04,9.080294e-04,9.314953e-04,1.216287e-03,1.449069e-03,1.473162e-03,1.692665e-03,1.853010e-03,1.872538e-03,2.014622e-03,2.109527e-03,2.122803e-03,2.201751e-03,2.248942e-03,2.256192e-03,2.290521e-03,2.306405e-03,2.308622e-03,2.313818e-03,2.310561e-03,2.308878e-03,2.296072e-03,2.281814e-03,2.277231e-03,2.253816e-03,2.233679e-03,2.226979e-03,2.197623e-03,2.174696e-03,2.166449e-03,2.134000e-03,2.110084e-03,2.100691e-03,2.066842e-03,2.042959e-03,2.032695e-03,1.998436e-03,1.975149e-03,1.964205e-03,1.930109e-03,1.907721e-03,1.896231e-03,1.862632e-03,1.841298e-03,1.829361e-03,1.796454e-03,1.776249e-03,1.763942e-03,1.731846e-03,1.712796e-03,1.700185e-03,1.668971e-03,1.651077e-03,1.638216e-03,1.607929e-03,1.591174e-03,1.578115e-03,1.548779e-03,1.533138e-03,1.519925e-03,1.491556e-03,1.476995e-03,1.463671e-03,1.436272e-03,1.422754e-03,1.409357e-03,1.382925e-03,1.370409e-03,1.356974e-03,1.331502e-03,1.319945e-03,1.306505e-03,1.281980e-03,1.271337e-03,1.257922e-03,1.234327e-03,1.224554e-03,1.211191e-03,1.188508e-03,1.179560e-03,1.166272e-03,1.144480e-03,1.136313e-03,1.123124e-03,1.102199e-03,1.094770e-03,1.081698e-03,1.061617e-03,1.054884e-03,1.041949e-03,1.022687e-03,1.016608e-03,1.003825e-03,9.853570e-04,9.798925e-04,9.672767e-04,9.495777e-04,9.446895e-04,9.322537e-04,9.152984e-04,9.109496e-04,8.987055e-04,8.824688e-04,8.786244e-04,8.665822e-04,8.510394e-04,8.476656e-04,8.358345e-04,8.209613e-04,8.180260e-04,8.064140e-04,7.921866e-04,7.896592e-04,7.782733e-04,7.646684e-04,7.625198e-04,7.513661e-04,7.383610e-04,7.365636e-04,7.256473e-04,7.132198e-04,7.117475e-04,7.010731e-04,6.892018e-04,6.880296e-04,6.776008e-04,6.662649e-04,6.653694e-04,6.551891e-04,6.443685e-04,6.437273e-04,6.337981e-04,6.234732e-04,6.230652e-04,6.133890e-04,6.035409e-04,6.033463e-04,5.939244e-04,5.845349e-04,5.665965e-04,5.494979e-04,5.332068e-04,5.176924e-04,5.029247e-04,4.888750e-04,4.755154e-04,4.628192e-04,4.507606e-04,4.393147e-04,4.284576e-04,4.181662e-04,4.084183e-04,3.991925e-04,3.904681e-04,3.822253e-04,3.744449e-04,3.671085e-04,3.601982e-04,3.536970e-04,3.475883e-04,3.418562e-04,3.364854e-04,3.314609e-04,3.267686e-04,3.223947e-04,3.183259e-04,3.145493e-04,3.110526e-04,3.078238e-04,3.048514e-04,3.021243e-04,2.996317e-04,2.973632e-04,2.953088e-04,2.934588e-04,2.918038e-04,2.903347e-04,2.890429e-04,2.879197e-04,2.869572e-04,2.861472e-04,2.854823e-04,2.849549e-04,2.845581e-04,2.842848e-04,2.841283e-04,2.840824e-04,2.841406e-04
0.000000e+00,9.315494e-08,2.278871e-06,2.399442e-06,2.009379e-05,7.972194e-05,8.347460e-05,2.070371e-04,3.526552e-04,3.621429e-04,5.140633e-04,6.349608e-04,6.444087e-04,7.476713e-04,8.183329e-04,8.249980e-04,8.802077e-04,9.140105e-04,9.177180e-04,9.416124e-04,9.538948e-04,9.553059e-04,9.614993e-04,9.624312e-04,9.622558e-04,9.591156e-04,9.544368e-04,9.532099e-04,9.453602e-04,9.380844e-04,9.361581e-04,9.260265e-04,9.176760e-04,9.152670e-04,9.040939e-04,8.954210e-04,8.926593e-04,8.810713e-04,8.724439e-04,8.694074e-04,8.577230e-04,8.493204e-04,8.460580e-04,8.344412e-04,8.263501e-04,8.228945e-04,8.114346e-04,8.036980e-04,8.000741e-04,7.888227e-04,7.814605e-04,7.776883e-04,7.666773e-04,7.596973e-04,7.557944e-04,7.450433e-04,7.384451e-04,7.344270e-04,7.239481e-04,7.177275e-04,7.136085e-04,7.034095e-04,6.975591e-04,6.933524e-04,6.834378e-04,6.779480e-04,6.736659e-04,6.640368e-04,6.588965e-04,6.545505e-04,6.452065e-04,6.404037e-04,6.360044e-04,6.269435e-04,6.224658e-04,6.180231e-04,6.092423e-04,6.050769e-04,6.006002e-04,5.920958e-04,5.882296e-04,5.837279e-04,5.754953e-04,5.719155e-04,5.673968e-04,5.594311e-04,5.561248e-04,5.515968e-04,5.438925e-04,5.408469e-04,5.363168e-04,5.288683e-04,5.260709e-04,5.215454e-04,5.143467e-04,5.117853e-04,5.072707e-04,5.003158e-04,4.979784e-04,4.934805e-04,4.867632e-04,4.846384e-04,4.801625e-04,4.736767e-04,4.717532e-04,4.673044e-04,4.610438e-04,4.593107e-04,4.548937e-04,4.488523e-04,4.472991e-04,4.429181e-04,4.370897e-04,4.357065e-04,4.313655e-04,4.257440e-04,4.245209e-04,4.202237e-04,4.148031e-04,4.137309e-04,4.094808e-04,4.042553e-04,4.033248e-04,3.991251e-04,3.940887e-04,3.932916e-04,3.891449e-04,3.842921e-04,3.836199e-04,3.795291e-04,3.748543e-04,3.742992e-04,3.702664e-04,3.657641e-04,3.653185e-04,3.613461e-04,3.570110e-04,3.566677e-04,3.527575e-04,3.485844e-04,3.483366e-04,3.444904e-04,3.404741e-04,3.403151e-04,3.365345e-04,3.326702e-04,3.325937e-04,3.288801e-04,3.251629e-04,3.180136e-04,3.111368e-04,3.045237e-04,2.981660e-04,2.920554e-04,2.861839e-04,2.805437e-04,2.751273e-04,2.699273e-04,2.649365e-04,2.601482e-04,2.555554e-04,2.511518e-04,2.469310e-04,2.428868e-04,2.390134e-04,2.353048e-04,2.317555e-04,2.283600e-04,2.251131e-04,2.220097e-04,2.190447e-04,2.162134e-04,2.135110e-04,2.109331e-04,2.084753e-04,2.061333e-04,2.039029e-04,2.017802e-04,1.997612e-04,1.978423e-04,1.960197e-04,1.942899e-04,1.926494e-04,1.910950e-04,1.896234e-04,1.882315e-04,1.869162e-04,1.856746e-04,1.845039e-04,1.834012e-04,1.823640e-04,1.813895e-04,1.804754e-04,1.796191e-04,1.788183e-04,1.780706e-04,1.773740e-04,1.767263e-04
0.000000e+00,5.951326e-06,1.937205e-04,2.048667e-04,1.968779e-03,7.956501e-03,8.323336e-03,1.997293e-02,3.362777e-02,3.454111e-02,4.994343e-02,6.384389e-02,6.502250e-02,7.921711e-02,9.103610e-02,9.229007e-02,1.041715e-01,1.136514e-01,1.148752e-01,1.244550e-01,1.318488e-01,1.329821e-01,1.405341e-01,1.461811e-01,1.471886e-01,1.530207e-01,1.572391e-01,1.581012e-01,1.624967e-01,1.655613e-01,1.662685e-01,1.694737e-01,1.716141e-01,1.721645e-01,1.743886e-01,1.757940e-01,1.761900e-01,1.776087e-01,1.784338e-01,1.786812e-01,1.794409e-01,1.798114e-01,1.799183e-01,1.801409e-01,1.801589e-01,1.801342e-01,1.799209e-01,1.796687e-01,1.795222e-01,1.789570e-01,1.785013e-01,1.782427e-01,1.773951e-01,1.767892e-01,1.764282e-01,1.753550e-01,1.746414e-01,1.741872e-01,1.729355e-01,1.721481e-01,1.716094e-01,1.702177e-01,1.693836e-01,1.687684e-01,1.672687e-01,1.664094e-01,1.657252e-01,1.641439e-01,1.632762e-01,1.625301e-01,1.608889e-01,1.600261e-01,1.592247e-01,1.575417e-01,1.566943e-01,1.558435e-01,1.541337e-01,1.533097e-01,1.524152e-01,1.506910e-01,1.498966e-01,1.489635e-01,1.472353e-01,1.464751e-01,1.455083e-01,1.437847e-01,1.430622e-01,1.420661e-01,1.403542e-01,1.396717e-01,1.386506e-01,1.369565e-01,1.363155e-01,1.352732e-01,1.336019e-01,1.330034e-01,1.319436e-01,1.302991e-01,1.297433e-01,1.286694e-01,1.270553e-01,1.265422e-01,1.254574e-01,1.238763e-01,1.234054e-01,1.223127e-01,1.207669e-01,1.203374e-01,1.192396e-01,1.177311e-01,1.173420e-01,1.162417e-01,1.147718e-01,1.144219e-01,1.133216e-01,1.118914e-01,1.115795e-01,1.104814e-01,1.090918e-01,1.088163e-01,1.077227e-01,1.063742e-01,1.061337e-01,1.050465e-01,1.037395e-01,1.035323e-01,1.024533e-01,1.011881e-01,1.010126e-01,9.994365e-02,9.872010e-02,9.857467e-02,9.751737e-02,9.633542e-02,9.621837e-02,9.517420e-02,9.403364e-02,9.394328e-02,9.291364e-02,9.181412e-02,9.174880e-02,9.073496e-02,8.967606e-02,8.963412e-02,8.863727e-02,8.761848e-02,8.759831e-02,8.661953e-02,8.564027e-02,8.375882e-02,8.195266e-02,8.022039e-02,7.856056e-02,7.697165e-02,7.545207e-02,7.400019e-02,7.261436e-02,7.129287e-02,7.003401e-02,6.883602e-02,6.769716e-02,6.661565e-02,6.558971e-02,6.461757e-02,6.369744e-02,6.282756e-02,6.200615e-02,6.123146e-02,6.050174e-02,5.981527e-02,5.917033e-02,5.856523e-02,5.799832e-02,5.746794e-02,5.697248e-02,5.651036e-02,5.608002e-02,5.567995e-02,5.530864e-02,5.496466e-02,5.464657e-02,5.435301e-02,5.408263e-02,5.383413e-02,5.360625e-02,5.339777e-02,5.320751e-02,5.303433e-02,5.287714e-02,5.273489e-02,5.260655e-02,5.249117e-02,5.238782e-02,5.229560e-02,5.221367e-02,5.214123e-02,5.207751e-02,5.202178e-02
0.000000e+00,1.445109e-08,1.820361e-07,1.896820e-07,1.062270e-06,3.407663e-06,3.547481e-06,8.099521e-06,1.356582e-05,1.392611e-05,1.978632e-05,2.470858e-05,2.511120e-05,2.979989e-05,3.349790e-05,3.387998e-05,3.740417e-05,4.008886e-05,4.042683e-05,4.299907e-05,4.488683e-05,4.516780e-05,4.697585e-05,4.824451e-05,4.846221e-05,4.966224e-05,5.045517e-05,5.060796e-05,5.132832e-05,5.175997e-05,5.184940e-05,5.219468e-05,5.235562e-05,5.238528e-05,5.244014e-05,5.240146e-05,5.237607e-05,5.220818e-05,5.202514e-05,5.195003e-05,5.161362e-05,5.132905e-05,5.120973e-05,5.074798e-05,5.039493e-05,5.023690e-05,4.968406e-05,4.928775e-05,4.909620e-05,4.847928e-05,4.805880e-05,4.783861e-05,4.717885e-05,4.674853e-05,4.650416e-05,4.581818e-05,4.538864e-05,4.512415e-05,4.442489e-05,4.400387e-05,4.372289e-05,4.302035e-05,4.261338e-05,4.231916e-05,4.162098e-05,4.123187e-05,4.092727e-05,4.023926e-05,3.987049e-05,3.955804e-05,3.888452e-05,3.853761e-05,3.821950e-05,3.756364e-05,3.723932e-05,3.691749e-05,3.628153e-05,3.597999e-05,3.565611e-05,3.504155e-05,3.476257e-05,3.443809e-05,3.384589e-05,3.358893e-05,3.326509e-05,3.269577e-05,3.246009e-05,3.213796e-05,3.159169e-05,3.137640e-05,3.105691e-05,3.053359e-05,3.033772e-05,3.002165e-05,2.952100e-05,2.934350e-05,2.903152e-05,2.855309e-05,2.839292e-05,2.808557e-05,2.762882e-05,2.748491e-05,2.718268e-05,2.674698e-05,2.661828e-05,2.632155e-05,2.590622e-05,2.579172e-05,2.550082e-05,2.510515e-05,2.500384e-05,2.471903e-05,2.434228e-05,2.425324e-05,2.397472e-05,2.361615e-05,2.353845e-05,2.326639e-05,2.292527e-05,2.285806e-05,2.259258e-05,2.226816e-05,2.221063e-05,2.195182e-05,2.164339e-05,2.159476e-05,2.134268e-05,2.104953e-05,2.100908e-05,2.076375e-05,2.048520e-05,2.045225e-05,2.021369e-05,1.994907e-05,1.992298e-05,1.969117e-05,1.943985e-05,1.942002e-05,1.919493e-05,1.895628e-05,1.894216e-05,1.872375e-05,1.849718e-05,1.848824e-05,1.827644e-05,1.806139e-05,1.805714e-05,1.785188e-05,1.764780e-05,1.725918e-05,1.689031e-05,1.654025e-05,1.620809e-05,1.589298e-05,1.559410e-05,1.531067e-05,1.504195e-05,1.478721e-05,1.454579e-05,1.431703e-05,1.410032e-05,1.389507e-05,1.370073e-05,1.351675e-05,1.334264e-05,1.317790e-05,1.302207e-05,1.287472e-05,1.273543e-05,1.260379e-05,1.247944e-05,1.236200e-05,1.225114e-05,1.214652e-05,1.204784e-05,1.195480e-05,1.186711e-05,1.178450e-05,1.170673e-05,1.163354e-05,1.156471e-05,1.150001e-05,1.143923e-05,1.138217e-05,1.132864e-05,1.127846e-05,1.123146e-05,1.118746e-05,1.114633e-05,1.110790e-05,1.107204e-05,1.103861e-05,1.100749e-05,1.097855e-05,1.095167e-05,1.092675e-05,1.090368e-05,1.088236e-05
0.000000e+00,5.086671e-08,7.922580e-07,8.286157e-07,5.613357e-06,2.109709e-05,2.208151e-05,5.536999e-05,9.591203e-05,9.859942e-05,1.432414e-04,1.829065e-04,1.862679e-04,2.270164e-04,2.616613e-04,2.653928e-04,3.014330e-04,3.312703e-04,3.352058e-04,3.667895e-04,3.922630e-04,3.962660e-04,4.237192e-04,4.452780e-04,4.492334e-04,4.728932e-04,4.909689e-04,4.947818e-04,5.149816e-04,5.299793e-04,5.335726e-04,5.506330e-04,5.629262e-04,5.662383e-04,5.804616e-04,5.903903e-04,5.933731e-04,6.050402e-04,6.129111e-04,6.155280e-04,6.248984e-04,6.309869e-04,6.332112e-04,6.405234e-04,6.450760e-04,6.468896e-04,6.523621e-04,6.555984e-04,6.569907e-04,6.608232e-04,6.629387e-04,6.639050e-04,6.662797e-04,6.674476e-04,6.679886e-04,6.690712e-04,6.694446e-04,6.695653e-04,6.695068e-04,6.692207e-04,6.689298e-04,6.678670e-04,6.670402e-04,6.663494e-04,6.644066e-04,6.631434e-04,6.620666e-04,6.593564e-04,6.577479e-04,6.563012e-04,6.529254e-04,6.510509e-04,6.492519e-04,6.453025e-04,6.432309e-04,6.410981e-04,6.366583e-04,6.344491e-04,6.320018e-04,6.271465e-04,6.248509e-04,6.221091e-04,6.169057e-04,6.145675e-04,6.115513e-04,6.060604e-04,6.037167e-04,6.004464e-04,5.947223e-04,5.924046e-04,5.889002e-04,5.829916e-04,5.807260e-04,5.770074e-04,5.709579e-04,5.687660e-04,5.648528e-04,5.587011e-04,5.566005e-04,5.525116e-04,5.462924e-04,5.442973e-04,5.400511e-04,5.337950e-04,5.319163e-04,5.275308e-04,5.212648e-04,5.195109e-04,5.150032e-04,5.087514e-04,5.071282e-04,5.025147e-04,4.962980e-04,4.948095e-04,4.901059e-04,4.839428e-04,4.825912e-04,4.778125e-04,4.717189e-04,4.705049e-04,4.656654e-04,4.596552e-04,4.585782e-04,4.536913e-04,4.477765e-04,4.468348e-04,4.419132e-04,4.361038e-04,4.352949e-04,4.303505e-04,4.246553e-04,4.239758e-04,4.190198e-04,4.134458e-04,4.128919e-04,4.079348e-04,4.024879e-04,4.020550e-04,3.971066e-04,3.917917e-04,3.914749e-04,3.865442e-04,3.813650e-04,3.811593e-04,3.762548e-04,3.712140e-04,3.711139e-04,3.662434e-04,3.613432e-04,3.518499e-04,3.426355e-04,3.337006e-04,3.250445e-04,3.166659e-04,3.085624e-04,3.007314e-04,2.931692e-04,2.858720e-04,2.788353e-04,2.720545e-04,2.655244e-04,2.592399e-04,2.531953e-04,2.473849e-04,2.418031e-04,2.364439e-04,2.313014e-04,2.263696e-04,2.216425e-04,2.171140e-04,2.127784e-04,2.086296e-04,2.046617e-04,2.008691e-04,1.972461e-04,1.937869e-04,1.904861e-04,1.873384e-04,1.843383e-04,1.814807e-04,1.787607e-04,1.761731e-04,1.737132e-04,1.713763e-04,1.691577e-04,1.670532e-04,1.650582e-04,1.631686e-04,1.613804e-04,1.596895e-04,1.580921e-04,1.565845e-04,1.551631e-04,1.538243e-04,1.525648e-04,1.513813e-04,1.502706e-04,1.492297e-04
0.000000e+00,1.185082e-07,3.648216e-06,3.854239e-06,3.615108e-05,1.510602e-04,1.584258e-04,4.098006e-04,7.395382e-04,7.627415e-04,1.173518e-03,1.573857e-03,1.609036e-03,2.047474e-03,2.433091e-03,2.475096e-03,2.883569e-03,3.223329e-03,3.268113e-03,3.626262e-03,3.912392e-03,3.957047e-03,4.260467e-03,4.494626e-03,4.537132e-03,4.788028e-03,4.975375e-03,5.014360e-03,5.217449e-03,5.364102e-03,5.398660e-03,5.559362e-03,5.671338e-03,5.700898e-03,5.824565e-03,5.907367e-03,5.931605e-03,6.023202e-03,6.081700e-03,6.100473e-03,6.164475e-03,6.202900e-03,6.216201e-03,6.256584e-03,6.278574e-03,6.286498e-03,6.306763e-03,6.315425e-03,6.318145e-03,6.321361e-03,6.319337e-03,6.317080e-03,6.305927e-03,6.295454e-03,6.288485e-03,6.265300e-03,6.248265e-03,6.236878e-03,6.203693e-03,6.181680e-03,6.166185e-03,6.124764e-03,6.099098e-03,6.079812e-03,6.031684e-03,6.003470e-03,5.980711e-03,5.927200e-03,5.897350e-03,5.871436e-03,5.813683e-03,5.782948e-03,5.754188e-03,5.693177e-03,5.662171e-03,5.630864e-03,5.567442e-03,5.536659e-03,5.503093e-03,5.437984e-03,5.407822e-03,5.372270e-03,5.306094e-03,5.276864e-03,5.239586e-03,5.172870e-03,5.144813e-03,5.106055e-03,5.039245e-03,5.012543e-03,4.972533e-03,4.906006e-03,4.880791e-03,4.839744e-03,4.773817e-03,4.750178e-03,4.708291e-03,4.643228e-03,4.621221e-03,4.578680e-03,4.514696e-03,4.494348e-03,4.451322e-03,4.388597e-03,4.369912e-03,4.326557e-03,4.265233e-03,4.248195e-03,4.204654e-03,4.144845e-03,4.129424e-03,4.085828e-03,4.027621e-03,4.013774e-03,3.970242e-03,3.913704e-03,3.901380e-03,3.858018e-03,3.803195e-03,3.792334e-03,3.749241e-03,3.696163e-03,3.686702e-03,3.643964e-03,3.592647e-03,3.584519e-03,3.542214e-03,3.492665e-03,3.485798e-03,3.443997e-03,3.396209e-03,3.390533e-03,3.349297e-03,3.303257e-03,3.298701e-03,3.258084e-03,3.213772e-03,3.210264e-03,3.170314e-03,3.127703e-03,3.125173e-03,3.085931e-03,3.044991e-03,3.043370e-03,3.004873e-03,2.965568e-03,2.964790e-03,2.927067e-03,2.889360e-03,2.817003e-03,2.747638e-03,2.681181e-03,2.617547e-03,2.556648e-03,2.498397e-03,2.442706e-03,2.389489e-03,2.338658e-03,2.290129e-03,2.243817e-03,2.199640e-03,2.157517e-03,2.117368e-03,2.079117e-03,2.042688e-03,2.008008e-03,1.975007e-03,1.943615e-03,1.913767e-03,1.885397e-03,1.858444e-03,1.832847e-03,1.808548e-03,1.785491e-03,1.763623e-03,1.742890e-03,1.723244e-03,1.704636e-03,1.687019e-03,1.670350e-03,1.654584e-03,1.639682e-03,1.625603e-03,1.612310e-03,1.599765e-03,1.587935e-03,1.576785e-03,1.566284e-03,1.556401e-03,1.547105e-03,1.538369e-03,1.530166e-03,1.522469e-03,1.515254e-03,1.508497e-03,1.502175e-03,1.496266e-03,1.490750e-03
