0.000000e+00,1.010101e+00,2.000000e+00,2.020202e+00,3.030303e+00,4.000000e+00,4.040404e+00,5.050505e+00,6.000000e+00,6.060606e+00,7.070707e+00,8.000000e+00,8.080808e+00,9.090909e+00,1.000000e+01,1.010101e+01,1.111111e+01,1.200000e+01,1.212121e+01,1.313131e+01,1.400000e+01,1.414141e+01,1.515152e+01,1.600000e+01,1.616162e+01,1.717172e+01,1.800000e+01,1.818182e+01,1.919192e+01,2.000000e+01,2.020202e+01,2.121212e+01,2.200000e+01,2.222222e+01,2.323232e+01,2.400000e+01,2.424242e+01,2.525253e+01,2.600000e+01,2.626263e+01,2.727273e+01,2.800000e+01,2.828283e+01,2.929293e+01,3.000000e+01,3.030303e+01,3.131313e+01,3.200000e+01,3.232323e+01,3.333333e+01,3.400000e+01,3.434343e+01,3.535354e+01,3.600000e+01,3.636364e+01,3.737374e+01,3.800000e+01,3.838384e+01,3.939394e+01,4.000000e+01,4.040404e+01,4.141414e+01,4.200000e+01,4.242424e+01,4.343434e+01,4.400000e+01,4.444444e+01,4.545455e+01,4.600000e+01,4.646465e+01,4.747475e+01,4.800000e+01,4.848485e+01,4.949495e+01,5.000000e+01,5.050505e+01,5.151515e+01,5.200000e+01,5.252525e+01,5.353535e+01,5.400000e+01,5.454545e+01,5.555556e+01,5.600000e+01,5.656566e+01,5.757576e+01,5.800000e+01,5.858586e+01,5.959596e+01,6.000000e+01,6.060606e+01,6.161616e+01,6.200000e+01,6.262626e+01,6.363636e+01,6.400000e+01,6.464646e+01,6.565657e+01,6.600000e+01,6.666667e+01,6.767677e+01,6.800000e+01,6.868687e+01,6.969697e+01,7.000000e+01,7.070707e+01,7.171717e+01,7.200000e+01,7.272727e+01,7.373737e+01,7.400000e+01,7.474747e+01,7.575758e+01,7.600000e+01,7.676768e+01,7.777778e+01,7.800000e+01,7.878788e+01,7.979798e+01,8.000000e+01,8.080808e+01,8.181818e+01,8.200000e+01,8.282828e+01,8.383838e+01,8.400000e+01,8.484848e+01,8.585859e+01,8.600000e+01,8.686869e+01,8.787879e+01,8.800000e+01,8.888889e+01,8.989899e+01,9.000000e+01,9.090909e+01,9.191919e+01,9.200000e+01,9.292929e+01,9.393939e+01,9.400000e+01,9.494949e+01,9.595960e+01,9.600000e+01,9.696970e+01,9.797980e+01,9.800000e+01,9.898990e+01,1.000000e+02,1.020000e+02,1.040000e+02,1.060000e+02,1.080000e+02,1.100000e+02,1.120000e+02,1.140000e+02,1.160000e+02,1.180000e+02,1.200000e+02,1.220000e+02,1.240000e+02,1.260000e+02,1.280000e+02,1.300000e+02,1.320000e+02,1.340000e+02,1.360000e+02,1.380000e+02,1.400000e+02,1.420000e+02,1.440000e+02,1.460000e+02,1.480000e+02,1.500000e+02,1.520000e+02,1.540000e+02,1.560000e+02,1.580000e+02,1.600000e+02,1.620000e+02,1.640000e+02,1.660000e+02,1.680000e+02,1.700000e+02,1.720000e+02,1.740000e+02,1.760000e+02,1.780000e+02,1.800000e+02,1.820000e+02,1.840000e+02,1.860000e+02,1.880000e+02,1.900000e+02,1.920000e+02,1.940000e+02,1.960000e+02,1.980000e+02
0.000000e+00,1.386015e-08,4.701871e-07,4.967487e-07,5.067860e-06,2.694772e-05,2.862593e-05,1.061338e-04,2.697428e-04,2.839246e-04,5.907925e-04,9.839579e-04,1.022543e-03,1.552309e-03,2.084420e-03,2.145644e-03,2.769822e-03,3.323010e-03,3.397841e-03,4.009342e-03,4.511023e-03,4.590086e-03,5.130894e-03,5.550364e-03,5.626496e-03,6.074512e-03,6.406093e-03,6.474607e-03,6.827838e-03,7.077978e-03,7.136167e-03,7.402101e-03,7.581898e-03,7.628444e-03,7.818116e-03,7.939544e-03,7.974043e-03,8.099076e-03,8.173321e-03,8.195945e-03,8.267231e-03,8.304077e-03,8.315347e-03,8.342540e-03,8.350244e-03,8.350886e-03,8.342303e-03,8.327700e-03,8.318551e-03,8.281248e-03,8.249929e-03,8.231875e-03,8.171789e-03,8.128288e-03,8.102229e-03,8.024326e-03,7.972294e-03,7.939113e-03,7.847532e-03,7.789886e-03,7.750439e-03,7.648616e-03,7.587674e-03,7.542772e-03,7.433554e-03,7.371138e-03,7.321546e-03,7.207283e-03,7.144813e-03,7.091245e-03,6.973869e-03,6.912438e-03,6.855552e-03,6.736649e-03,6.677081e-03,6.617484e-03,6.498346e-03,6.441247e-03,6.379495e-03,6.261166e-03,6.206968e-03,6.143567e-03,6.026884e-03,5.975877e-03,5.911284e-03,5.796913e-03,5.749275e-03,5.683901e-03,5.572362e-03,5.528181e-03,5.462395e-03,5.354087e-03,5.313381e-03,5.247512e-03,5.142734e-03,5.105464e-03,5.039805e-03,4.938770e-03,4.904856e-03,4.839665e-03,4.742519e-03,4.711850e-03,4.647353e-03,4.554183e-03,4.526623e-03,4.463019e-03,4.373866e-03,4.349263e-03,4.286724e-03,4.201589e-03,4.179781e-03,4.118454e-03,4.037308e-03,4.018127e-03,3.958137e-03,3.880926e-03,3.864201e-03,3.805655e-03,3.732304e-03,3.717863e-03,3.660851e-03,3.591270e-03,3.578942e-03,3.523537e-03,3.457624e-03,3.447245e-03,3.393505e-03,3.331150e-03,3.322560e-03,3.270531e-03,3.211616e-03,3.204660e-03,3.154377e-03,3.098781e-03,3.093310e-03,3.044797e-03,2.992395e-03,2.988270e-03,2.941542e-03,2.892208e-03,2.889296e-03,2.844361e-03,2.797969e-03,2.796143e-03,2.753002e-03,2.709428e-03,2.708570e-03,2.667216e-03,2.626335e-03,2.549203e-03,2.476942e-03,2.409326e-03,2.346135e-03,2.287157e-03,2.232186e-03,2.181021e-03,2.133472e-03,2.089353e-03,2.048486e-03,2.010701e-03,1.975832e-03,1.943724e-03,1.914225e-03,1.887192e-03,1.862486e-03,1.839975e-03,1.819533e-03,1.801040e-03,1.784380e-03,1.769444e-03,1.756126e-03,1.744328e-03,1.733953e-03,1.724910e-03,1.717114e-03,1.710481e-03,1.704933e-03,1.700396e-03,1.696797e-03,1.694071e-03,1.692151e-03,1.690979e-03,1.690494e-03,1.690644e-03,1.691375e-03,1.692639e-03,1.694388e-03,1.696578e-03,1.699169e-03,1.702120e-03,1.705394e-03,1.708956e-03,1.712774e-03,1.716816e-03,1.721053e-03,1.725458e-03,1.730006e-03,1.734672e-03
0.000000e+00,3.924107e-09,5.547256e-08,5.795882e-08,3.658933e-07,1.270215e-06,1.325605e-06,3.149154e-06,5.330833e-06,5.474837e-06,7.854086e-06,9.942827e-06,1.011856e-05,1.223139e-05,1.400049e-05,1.418945e-05,1.599781e-05,1.747088e-05,1.766348e-05,1.919386e-05,2.040740e-05,2.059631e-05,2.187796e-05,2.286624e-05,2.304570e-05,2.410621e-05,2.490033e-05,2.506591e-05,2.593095e-05,2.655876e-05,2.670717e-05,2.740017e-05,2.788635e-05,2.801524e-05,2.855743e-05,2.892366e-05,2.903145e-05,2.944178e-05,2.970696e-05,2.979271e-05,3.008826e-05,3.026888e-05,3.033220e-05,3.052810e-05,3.063844e-05,3.067931e-05,3.078899e-05,3.084139e-05,3.086013e-05,3.089553e-05,3.090059e-05,3.089781e-05,3.086946e-05,3.083632e-05,3.081281e-05,3.073003e-05,3.066650e-05,3.062320e-05,3.049423e-05,3.040698e-05,3.034494e-05,3.017702e-05,3.007174e-05,2.999208e-05,2.979161e-05,2.967309e-05,2.957701e-05,2.934958e-05,2.922187e-05,2.911056e-05,2.886111e-05,2.872762e-05,2.860229e-05,2.833511e-05,2.819868e-05,2.806051e-05,2.777938e-05,2.764236e-05,2.749254e-05,2.720074e-05,2.706505e-05,2.690471e-05,2.660512e-05,2.647232e-05,2.630257e-05,2.599765e-05,2.586901e-05,2.569090e-05,2.538282e-05,2.525932e-05,2.507387e-05,2.476447e-05,2.464687e-05,2.445503e-05,2.414591e-05,2.403478e-05,2.383747e-05,2.353000e-05,2.342573e-05,2.322380e-05,2.291914e-05,2.282201e-05,2.261626e-05,2.231539e-05,2.222555e-05,2.201673e-05,2.172047e-05,2.163797e-05,2.142678e-05,2.113583e-05,2.106064e-05,2.084774e-05,2.056265e-05,2.049468e-05,2.028067e-05,2.000190e-05,1.994101e-05,1.972644e-05,1.945436e-05,1.940035e-05,1.918573e-05,1.892063e-05,1.887329e-05,1.865909e-05,1.840117e-05,1.836024e-05,1.814691e-05,1.789633e-05,1.786154e-05,1.764945e-05,1.740631e-05,1.737738e-05,1.716690e-05,1.693124e-05,1.690788e-05,1.669933e-05,1.647117e-05,1.645308e-05,1.624676e-05,1.602608e-05,1.601295e-05,1.580911e-05,1.559586e-05,1.558741e-05,1.538629e-05,1.518038e-05,1.517630e-05,1.497812e-05,1.477946e-05,1.439668e-05,1.402770e-05,1.367226e-05,1.333007e-05,1.300084e-05,1.268424e-05,1.237995e-05,1.208765e-05,1.180699e-05,1.153764e-05,1.127927e-05,1.103153e-05,1.079410e-05,1.056664e-05,1.034883e-05,1.014033e-05,9.940853e-06,9.750069e-06,9.567680e-06,9.393388e-06,9.226905e-06,9.067947e-06,8.916239e-06,8.771515e-06,8.633513e-06,8.501982e-06,8.376676e-06,8.257357e-06,8.143796e-06,8.035768e-06,7.933058e-06,7.835458e-06,7.742765e-06,7.654784e-06,7.571326e-06,7.492208e-06,7.417256e-06,7.346299e-06,7.279172e-06,7.215717e-06,7.155783e-06,7.099221e-06,7.045889e-06,6.995650e-06,6.948374e-06,6.903932e-06,6.862201e-06,6.823065e-06,6.786409e-06
0.000000e+00,1.263203e-09,1.591536e-08,1.660157e-08,1.000246e-07,3.431597e-07,3.579853e-07,8.384940e-07,1.397568e-06,1.434195e-06,2.039345e-06,2.574097e-06,2.619324e-06,3.166502e-06,3.630052e-06,3.679882e-06,4.160107e-06,4.556137e-06,4.608262e-06,5.025549e-06,5.360671e-06,5.413206e-06,5.772507e-06,6.053337e-06,6.104724e-06,6.411127e-06,6.643994e-06,6.692968e-06,6.951475e-06,7.142286e-06,7.187845e-06,7.403239e-06,7.557408e-06,7.598779e-06,7.775543e-06,7.897967e-06,7.934570e-06,8.076852e-06,8.171921e-06,8.203339e-06,8.314941e-06,8.386566e-06,8.412524e-06,8.496915e-06,8.548563e-06,8.568902e-06,8.629233e-06,8.663967e-06,8.678624e-06,8.717753e-06,8.738271e-06,8.747265e-06,8.767773e-06,8.776444e-06,8.779860e-06,8.784079e-06,8.782974e-06,8.780953e-06,8.770982e-06,8.761910e-06,8.754635e-06,8.732362e-06,8.716896e-06,8.704585e-06,8.671707e-06,8.651208e-06,8.634106e-06,8.592142e-06,8.567788e-06,8.546156e-06,8.496470e-06,8.469272e-06,8.443386e-06,8.387193e-06,8.358016e-06,8.328162e-06,8.266549e-06,8.236129e-06,8.202595e-06,8.136528e-06,8.105488e-06,8.068564e-06,7.998904e-06,7.967766e-06,7.927740e-06,7.855249e-06,7.824449e-06,7.781602e-06,7.706956e-06,7.676852e-06,7.631460e-06,7.555255e-06,7.526139e-06,7.478471e-06,7.401231e-06,7.373336e-06,7.323651e-06,7.245837e-06,7.219346e-06,7.167891e-06,7.089907e-06,7.064958e-06,7.011972e-06,6.934168e-06,6.910864e-06,6.856571e-06,6.779252e-06,6.757661e-06,6.702276e-06,6.625705e-06,6.605870e-06,6.549595e-06,6.473997e-06,6.455935e-06,6.398960e-06,6.324528e-06,6.308238e-06,6.250741e-06,6.177636e-06,6.163100e-06,6.105248e-06,6.033607e-06,6.020793e-06,5.962741e-06,5.892675e-06,5.881540e-06,5.823432e-06,5.755032e-06,5.745524e-06,5.687493e-06,5.620831e-06,5.612891e-06,5.555060e-06,5.490192e-06,5.483755e-06,5.426236e-06,5.363202e-06,5.358200e-06,5.301097e-06,5.239925e-06,5.236285e-06,5.179692e-06,5.120399e-06,5.118047e-06,5.062049e-06,5.004642e-06,5.003504e-06,4.948178e-06,4.892655e-06,4.785486e-06,4.681968e-06,4.582063e-06,4.485721e-06,4.392885e-06,4.303492e-06,4.217473e-06,4.134752e-06,4.055251e-06,3.978891e-06,3.905586e-06,3.835251e-06,3.767801e-06,3.703148e-06,3.641206e-06,3.581886e-06,3.525103e-06,3.470771e-06,3.418804e-06,3.369120e-06,3.321635e-06,3.276270e-06,3.232945e-06,3.191583e-06,3.152108e-06,3.114448e-06,3.078530e-06,3.044284e-06,3.011644e-06,2.980543e-06,2.950919e-06,2.922708e-06,2.895853e-06,2.870295e-06,2.845978e-06,2.822849e-06,2.800857e-06,2.779950e-06,2.760082e-06,2.741205e-06,2.723275e-06,2.706249e-06,2.690086e-06,2.674747e-06,2.660192e-06,2.646386e-06,2.633294e-06,2.620881e-06,2.609115e-06
0.000000e+00,7.276318e-09,2.293713e-07,2.420900e-07,2.392993e-06,1.249868e-05,1.326682e-05,4.806917e-05,1.185305e-04,1.244819e-04,2.481216e-04,3.943733e-04,4.080952e-04,5.868687e-04,7.511797e-04,7.692536e-04,9.451667e-04,1.090100e-03,1.109022e-03,1.258301e-03,1.374472e-03,1.392321e-03,1.511394e-03,1.600447e-03,1.616326e-03,1.708133e-03,1.774376e-03,1.787891e-03,1.856655e-03,1.904430e-03,1.915432e-03,1.965158e-03,1.998218e-03,2.006695e-03,2.040837e-03,2.062286e-03,2.068307e-03,2.089765e-03,2.102131e-03,2.105814e-03,2.117001e-03,2.122326e-03,2.123823e-03,2.126733e-03,2.126665e-03,2.126143e-03,2.122425e-03,2.118285e-03,2.115918e-03,2.106931e-03,2.099778e-03,2.095743e-03,2.082606e-03,2.073283e-03,2.067750e-03,2.051384e-03,2.040561e-03,2.033695e-03,2.014855e-03,2.003063e-03,1.995018e-03,1.974324e-03,1.961979e-03,1.952899e-03,1.930857e-03,1.918283e-03,1.908302e-03,1.885326e-03,1.872774e-03,1.862014e-03,1.838440e-03,1.826101e-03,1.814673e-03,1.790774e-03,1.778792e-03,1.766798e-03,1.742794e-03,1.731275e-03,1.718805e-03,1.694873e-03,1.683892e-03,1.671030e-03,1.647309e-03,1.636918e-03,1.623738e-03,1.600341e-03,1.590571e-03,1.577139e-03,1.554153e-03,1.545022e-03,1.531398e-03,1.508889e-03,1.500403e-03,1.486639e-03,1.464659e-03,1.456814e-03,1.442958e-03,1.421544e-03,1.414330e-03,1.400424e-03,1.379603e-03,1.373004e-03,1.359085e-03,1.338874e-03,1.332871e-03,1.318973e-03,1.299382e-03,1.293953e-03,1.280104e-03,1.261139e-03,1.256260e-03,1.242487e-03,1.224147e-03,1.219792e-03,1.206118e-03,1.188399e-03,1.184542e-03,1.170988e-03,1.153883e-03,1.150498e-03,1.137081e-03,1.120580e-03,1.117642e-03,1.104378e-03,1.088471e-03,1.085953e-03,1.072855e-03,1.057529e-03,1.055406e-03,1.042487e-03,1.027727e-03,1.025975e-03,1.013246e-03,9.990388e-04,9.976331e-04,9.851024e-04,9.714328e-04,9.703506e-04,9.580262e-04,9.448788e-04,9.440981e-04,9.319866e-04,9.193459e-04,9.188455e-04,9.069527e-04,8.948031e-04,8.945626e-04,8.828933e-04,8.712194e-04,8.487859e-04,8.272325e-04,8.065302e-04,7.866505e-04,7.675652e-04,7.492472e-04,7.316697e-04,7.148069e-04,6.986334e-04,6.831248e-04,6.682572e-04,6.540075e-04,6.403534e-04,6.272733e-04,6.147460e-04,6.027514e-04,5.912699e-04,5.802823e-04,5.697704e-04,5.597164e-04,5.501032e-04,5.409143e-04,5.321336e-04,5.237457e-04,5.157356e-04,5.080891e-04,5.007921e-04,4.938313e-04,4.871937e-04,4.808669e-04,4.748386e-04,4.690973e-04,4.636318e-04,4.584312e-04,4.534851e-04,4.487833e-04,4.443161e-04,4.400742e-04,4.360484e-04,4.322300e-04,4.286106e-04,4.251821e-04,4.219366e-04,4.188665e-04,4.159646e-04,4.132238e-04,4.106374e-04,4.081988e-04,4.059017e-04
0.000000e+00,4.519951e-08,1.483500e-06,1.564976e-06,1.474901e-05,7.502056e-05,7.962681e-05,2.966450e-04,7.873250e-04,8.318753e-04,1.867598e-03,3.376381e-03,3.534703e-03,5.885578e-03,8.574477e-03,8.905023e-03,1.253153e-02,1.615487e-02,1.667630e-02,2.123742e-02,2.541286e-02,2.610989e-02,3.119215e-02,3.555431e-02,3.639017e-02,4.161975e-02,4.587978e-02,4.680757e-02,5.189138e-02,5.584861e-02,5.681971e-02,6.155112e-02,6.508385e-02,6.605332e-02,7.030214e-02,7.335107e-02,7.428054e-02,7.797758e-02,8.052869e-02,8.138749e-02,8.450882e-02,8.657854e-02,8.734365e-02,8.989691e-02,9.152042e-02,9.217577e-02,9.418917e-02,9.541181e-02,9.594730e-02,9.746131e-02,9.833251e-02,9.874293e-02,9.980429e-02,1.003736e-01,1.006576e-01,1.013152e-01,1.016299e-01,1.017891e-01,1.020912e-01,1.021948e-01,1.022330e-01,1.022258e-01,1.021575e-01,1.020802e-01,1.018065e-01,1.016009e-01,1.014145e-01,1.009138e-01,1.006012e-01,1.003130e-01,9.962075e-02,9.922727e-02,9.884495e-02,9.799317e-02,9.754102e-02,9.707251e-02,9.608969e-02,9.559772e-02,9.505101e-02,9.396241e-02,9.344643e-02,9.282945e-02,9.165737e-02,9.113053e-02,9.045105e-02,8.921508e-02,8.868817e-02,8.795375e-02,8.667106e-02,8.615285e-02,8.537075e-02,8.405631e-02,8.355381e-02,8.273100e-02,8.139782e-02,8.091651e-02,8.005960e-02,7.871895e-02,7.826300e-02,7.737827e-02,7.603980e-02,7.561231e-02,7.470563e-02,7.337765e-02,7.298074e-02,7.205763e-02,7.074719e-02,7.038218e-02,6.944780e-02,6.816083e-02,6.782840e-02,6.688751e-02,6.562899e-02,6.532926e-02,6.438629e-02,6.316033e-02,6.289295e-02,6.195195e-02,6.076192e-02,6.052617e-02,5.959089e-02,5.843946e-02,5.823433e-02,5.730817e-02,5.619748e-02,5.602171e-02,5.510778e-02,5.403941e-02,5.389156e-02,5.299267e-02,5.196780e-02,5.184629e-02,5.096499e-02,4.998439e-02,4.988756e-02,4.902612e-02,4.809024e-02,4.801634e-02,4.717680e-02,4.628581e-02,4.623307e-02,4.541725e-02,4.457106e-02,4.453768e-02,4.374718e-02,4.294549e-02,4.292969e-02,4.216590e-02,4.140824e-02,3.997220e-02,3.862016e-02,3.735047e-02,3.616134e-02,3.505077e-02,3.401668e-02,3.305683e-02,3.216894e-02,3.135060e-02,3.059939e-02,2.991281e-02,2.928831e-02,2.872334e-02,2.821530e-02,2.776159e-02,2.735959e-02,2.700668e-02,2.670025e-02,2.643769e-02,2.621641e-02,2.603384e-02,2.588742e-02,2.577465e-02,2.569305e-02,2.564019e-02,2.561368e-02,2.561121e-02,2.563051e-02,2.566938e-02,2.572569e-02,2.579741e-02,2.588255e-02,2.597924e-02,2.608568e-02,2.620019e-02,2.632114e-02,2.644703e-02,2.657646e-02,2.670810e-02,2.684075e-02,2.697329e-02,2.710471e-02,2.723408e-02,2.736057e-02,2.748347e-02,2.760212e-02,2.771597e-02,2.782453e-02,2.792743e-02
0.000000e+00,2.088468e-08,6.046820e-07,6.367798e-07,5.649981e-06,2.748744e-05,2.911224e-05,1.011316e-04,2.429878e-04,2.548295e-04,4.979991e-04,7.821119e-04,8.087032e-04,1.155684e-03,1.477578e-03,1.513274e-03,1.864829e-03,2.161675e-03,2.201024e-03,2.517297e-03,2.771938e-03,2.811844e-03,3.084345e-03,3.296497e-03,3.335211e-03,3.565211e-03,3.738900e-03,3.775289e-03,3.966458e-03,4.106474e-03,4.139752e-03,4.296191e-03,4.407150e-03,4.436764e-03,4.562426e-03,4.648519e-03,4.674088e-03,4.772621e-03,4.837572e-03,4.858853e-03,4.933568e-03,4.980651e-03,4.997511e-03,5.051388e-03,5.083470e-03,5.095864e-03,5.131573e-03,5.151151e-03,5.159108e-03,5.179036e-03,5.188279e-03,5.191886e-03,5.198161e-03,5.198948e-03,5.198337e-03,5.192858e-03,5.186808e-03,5.182148e-03,5.166603e-03,5.155112e-03,5.146598e-03,5.122485e-03,5.106750e-03,5.094598e-03,5.063249e-03,5.044291e-03,5.028731e-03,4.991322e-03,4.970011e-03,4.951282e-03,4.908855e-03,4.885927e-03,4.864272e-03,4.817747e-03,4.793820e-03,4.769483e-03,4.719671e-03,4.695263e-03,4.668487e-03,4.616099e-03,4.591640e-03,4.562663e-03,4.508325e-03,4.484166e-03,4.453222e-03,4.397480e-03,4.373907e-03,4.341220e-03,4.284552e-03,4.261794e-03,4.227580e-03,4.170401e-03,4.148637e-03,4.113104e-03,4.055773e-03,4.035140e-03,3.998484e-03,3.941311e-03,3.921910e-03,3.884319e-03,3.827570e-03,3.809471e-03,3.771121e-03,3.715023e-03,3.698269e-03,3.659325e-03,3.604071e-03,3.588685e-03,3.549302e-03,3.495054e-03,3.481039e-03,3.441361e-03,3.388254e-03,3.375598e-03,3.335760e-03,3.283904e-03,3.272584e-03,3.232709e-03,3.182195e-03,3.172176e-03,3.132379e-03,3.083278e-03,3.074516e-03,3.034904e-03,2.987270e-03,2.979718e-03,2.940386e-03,2.894260e-03,2.887863e-03,2.848899e-03,2.804309e-03,2.799010e-03,2.760494e-03,2.717458e-03,2.713197e-03,2.675202e-03,2.633727e-03,2.630442e-03,2.593033e-03,2.553119e-03,2.550748e-03,2.513983e-03,2.475623e-03,2.474104e-03,2.438034e-03,2.401215e-03,2.400486e-03,2.365158e-03,2.329860e-03,2.262184e-03,2.197409e-03,2.135477e-03,2.076330e-03,2.019901e-03,1.966123e-03,1.914926e-03,1.866235e-03,1.819978e-03,1.776080e-03,1.734465e-03,1.695059e-03,1.657786e-03,1.622571e-03,1.589342e-03,1.558025e-03,1.528547e-03,1.500840e-03,1.474833e-03,1.450459e-03,1.427651e-03,1.406345e-03,1.386478e-03,1.367987e-03,1.350814e-03,1.334899e-03,1.320186e-03,1.306620e-03,1.294148e-03,1.282719e-03,1.272281e-03,1.262786e-03,1.254189e-03,1.246442e-03,1.239502e-03,1.233327e-03,1.227875e-03,1.223108e-03,1.218986e-03,1.215474e-03,1.212535e-03,1.210135e-03,1.208242e-03,1.206823e-03,1.205848e-03,1.205289e-03,1.205116e-03,1.205303e-03,1.205824e-03
0.000000e+00,8.238098e-10,1.101090e-08,1.149425e-08,7.038947e-08,2.431803e-07,2.538511e-07,6.127543e-07,1.059934e-06,1.089951e-06,1.591246e-06,2.036635e-06,2.074259e-06,2.528113e-06,2.910084e-06,2.950985e-06,3.343392e-06,3.664408e-06,3.706472e-06,4.041518e-06,4.308248e-06,4.349857e-06,4.632811e-06,4.851825e-06,4.891678e-06,5.127733e-06,5.305146e-06,5.342215e-06,5.536328e-06,5.677734e-06,5.711233e-06,5.868046e-06,5.978492e-06,6.007838e-06,6.131634e-06,6.215623e-06,6.240409e-06,6.335094e-06,6.396611e-06,6.416573e-06,6.485685e-06,6.528234e-06,6.543224e-06,6.589953e-06,6.616616e-06,6.626588e-06,6.653808e-06,6.667268e-06,6.672254e-06,6.682532e-06,6.685122e-06,6.685218e-06,6.680853e-06,6.674596e-06,6.669948e-06,6.652986e-06,6.639629e-06,6.630424e-06,6.602692e-06,6.583741e-06,6.570195e-06,6.533317e-06,6.510063e-06,6.492417e-06,6.447835e-06,6.421380e-06,6.399889e-06,6.348880e-06,6.320162e-06,6.295091e-06,6.238788e-06,6.208600e-06,6.180220e-06,6.119622e-06,6.088631e-06,6.057214e-06,5.993202e-06,5.961964e-06,5.927780e-06,5.861129e-06,5.830104e-06,5.793419e-06,5.724809e-06,5.694374e-06,5.655447e-06,5.585473e-06,5.555932e-06,5.515015e-06,5.444195e-06,5.415791e-06,5.373125e-06,5.301911e-06,5.274832e-06,5.230649e-06,5.159430e-06,5.133818e-06,5.088338e-06,5.017450e-06,4.993408e-06,4.946840e-06,4.876574e-06,4.854171e-06,4.806711e-06,4.737311e-06,4.716588e-06,4.668423e-06,4.600096e-06,4.581071e-06,4.532373e-06,4.465293e-06,4.447963e-06,4.398894e-06,4.333207e-06,4.317551e-06,4.268261e-06,4.204084e-06,4.190071e-06,4.140700e-06,4.078128e-06,4.065713e-06,4.016388e-06,3.955496e-06,3.944627e-06,3.895466e-06,3.836311e-06,3.826928e-06,3.778039e-06,3.720661e-06,3.712700e-06,3.664182e-06,3.608608e-06,3.602000e-06,3.553942e-06,3.500188e-06,3.494862e-06,3.447345e-06,3.395415e-06,3.391300e-06,3.344396e-06,3.294287e-06,3.291309e-06,3.245083e-06,3.196782e-06,3.194868e-06,3.149378e-06,3.102867e-06,3.101946e-06,3.057243e-06,3.012498e-06,2.926470e-06,2.843802e-06,2.764425e-06,2.688266e-06,2.615247e-06,2.545288e-06,2.478304e-06,2.414211e-06,2.352921e-06,2.294348e-06,2.238404e-06,2.185002e-06,2.134054e-06,2.085476e-06,2.039181e-06,1.995088e-06,1.953114e-06,1.913178e-06,1.875203e-06,1.839112e-06,1.804829e-06,1.772284e-06,1.741404e-06,1.712122e-06,1.684371e-06,1.658087e-06,1.633208e-06,1.609673e-06,1.587425e-06,1.566407e-06,1.546566e-06,1.527848e-06,1.510206e-06,1.493588e-06,1.477950e-06,1.463247e-06,1.449435e-06,1.436473e-06,1.424321e-06,1.412942e-06,1.402298e-06,1.392354e-06,1.383077e-06,1.374435e-06,1.366396e-06,1.358930e-06,1.352009e-06,1.345606e-06,1.339695e-06
0.000000e+00,9.567530e-09,3.865031e-07,4.098137e-07,4.827888e-06,2.749707e-05,2.925904e-05,1.106925e-04,2.798656e-04,2.944069e-04,6.082019e-04,1.014895e-03,1.055317e-03,1.621812e-03,2.215007e-03,2.284941e-03,3.019017e-03,3.703704e-03,3.798937e-03,4.602074e-03,5.296524e-03,5.409119e-03,6.204292e-03,6.853900e-03,6.975194e-03,7.712469e-03,8.287153e-03,8.409393e-03,9.061449e-03,9.548914e-03,9.665924e-03,1.022154e-02,1.062088e-02,1.072815e-02,1.118646e-02,1.150328e-02,1.159782e-02,1.196400e-02,1.220713e-02,1.228713e-02,1.256949e-02,1.274890e-02,1.281349e-02,1.302158e-02,1.314717e-02,1.319618e-02,1.333966e-02,1.342063e-02,1.345433e-02,1.354238e-02,1.358693e-02,1.360591e-02,1.364690e-02,1.366217e-02,1.366721e-02,1.366859e-02,1.366067e-02,1.365268e-02,1.362099e-02,1.359500e-02,1.357494e-02,1.351585e-02,1.347608e-02,1.344493e-02,1.336333e-02,1.331335e-02,1.327207e-02,1.317215e-02,1.311490e-02,1.306444e-02,1.294979e-02,1.288768e-02,1.282895e-02,1.270262e-02,1.263761e-02,1.257147e-02,1.243610e-02,1.236978e-02,1.229705e-02,1.215485e-02,1.208851e-02,1.200996e-02,1.186281e-02,1.179746e-02,1.171381e-02,1.156333e-02,1.149976e-02,1.141170e-02,1.125923e-02,1.119808e-02,1.110622e-02,1.095292e-02,1.089464e-02,1.079957e-02,1.064639e-02,1.059133e-02,1.049359e-02,1.034134e-02,1.028974e-02,1.018982e-02,1.003918e-02,9.991184e-03,9.889556e-03,9.741073e-03,9.696768e-03,9.593847e-03,9.447980e-03,9.407394e-03,9.303565e-03,9.160684e-03,9.123796e-03,9.019412e-03,8.879815e-03,8.846567e-03,8.741951e-03,8.605871e-03,8.576178e-03,8.471621e-03,8.339240e-03,8.312991e-03,8.208761e-03,8.080212e-03,8.057280e-03,7.953618e-03,7.828997e-03,7.809242e-03,7.706366e-03,7.585735e-03,7.569007e-03,7.467112e-03,7.350504e-03,7.336646e-03,7.235911e-03,7.123333e-03,7.112186e-03,7.012768e-03,6.904211e-03,6.895613e-03,6.797654e-03,6.693088e-03,6.686877e-03,6.590504e-03,6.489888e-03,6.485905e-03,6.391229e-03,6.294509e-03,6.292595e-03,6.199715e-03,6.106829e-03,5.928473e-03,5.757379e-03,5.593391e-03,5.436344e-03,5.286068e-03,5.142387e-03,5.005125e-03,4.874103e-03,4.749140e-03,4.630059e-03,4.516680e-03,4.408826e-03,4.306324e-03,4.208999e-03,4.116682e-03,4.029206e-03,3.946408e-03,3.868126e-03,3.794204e-03,3.724487e-03,3.658824e-03,3.597068e-03,3.539076e-03,3.484706e-03,3.433822e-03,3.386289e-03,3.341978e-03,3.300761e-03,3.262512e-03,3.227113e-03,3.194443e-03,3.164388e-03,3.136835e-03,3.111675e-03,3.088800e-03,3.068108e-03,3.049496e-03,3.032865e-03,3.018119e-03,3.005164e-03,2.993909e-03,2.984266e-03,2.976147e-03,2.969468e-03,2.964148e-03,2.960108e-03,2.957269e-03,2.955559e-03,2.954903e-03
0.000000e+00,1.062462e-08,3.644500e-07,3.851757e-07,3.994233e-06,2.129458e-05,2.261274e-05,8.173635e-05,1.974279e-04,2.070261e-04,4.040171e-04,6.372052e-04,6.592900e-04,9.518997e-04,1.230131e-03,1.261318e-03,1.570855e-03,1.833645e-03,1.868425e-03,2.146109e-03,2.365433e-03,2.399305e-03,2.625862e-03,2.795219e-03,2.825331e-03,2.998391e-03,3.121539e-03,3.146410e-03,3.271154e-03,3.355496e-03,3.374569e-03,3.458651e-03,3.512073e-03,3.525353e-03,3.576537e-03,3.606131e-03,3.613939e-03,3.639158e-03,3.650839e-03,3.653651e-03,3.658736e-03,3.657241e-03,3.655596e-03,3.645292e-03,3.634327e-03,3.628770e-03,3.606870e-03,3.589292e-03,3.580340e-03,3.549842e-03,3.527827e-03,3.515961e-03,3.479215e-03,3.454407e-03,3.440061e-03,3.398902e-03,3.372534e-03,3.356094e-03,3.311949e-03,3.284937e-03,3.266744e-03,3.220722e-03,3.193740e-03,3.174096e-03,3.127053e-03,3.100589e-03,3.079757e-03,3.032352e-03,3.006754e-03,2.984965e-03,2.937704e-03,2.913211e-03,2.890666e-03,2.843934e-03,2.820705e-03,2.797580e-03,2.751666e-03,2.729800e-03,2.706246e-03,2.661367e-03,2.640914e-03,2.617066e-03,2.573378e-03,2.554356e-03,2.530329e-03,2.487942e-03,2.470342e-03,2.446237e-03,2.405228e-03,2.389022e-03,2.364927e-03,2.325342e-03,2.310490e-03,2.286481e-03,2.248347e-03,2.234797e-03,2.210942e-03,2.174265e-03,2.161961e-03,2.138316e-03,2.103092e-03,2.091973e-03,2.068589e-03,2.034802e-03,2.024804e-03,2.001724e-03,1.969350e-03,1.960411e-03,1.937673e-03,1.906683e-03,1.898737e-03,1.876373e-03,1.846733e-03,1.839719e-03,1.817755e-03,1.789430e-03,1.783285e-03,1.761746e-03,1.734695e-03,1.729360e-03,1.708266e-03,1.682449e-03,1.677866e-03,1.657233e-03,1.632609e-03,1.628723e-03,1.608566e-03,1.585093e-03,1.581851e-03,1.562180e-03,1.539816e-03,1.537169e-03,1.517992e-03,1.496697e-03,1.494597e-03,1.475921e-03,1.455654e-03,1.454054e-03,1.435885e-03,1.416605e-03,1.415464e-03,1.397805e-03,1.379473e-03,1.378750e-03,1.361602e-03,1.344181e-03,1.343837e-03,1.327201e-03,1.310652e-03,1.279126e-03,1.249190e-03,1.220777e-03,1.193824e-03,1.168267e-03,1.144048e-03,1.121109e-03,1.099394e-03,1.078849e-03,1.059423e-03,1.041067e-03,1.023732e-03,1.007373e-03,9.919457e-04,9.774079e-04,9.637187e-04,9.508392e-04,9.387319e-04,9.273607e-04,9.166912e-04,9.066902e-04,8.973259e-04,8.885678e-04,8.803867e-04,8.727545e-04,8.656444e-04,8.590305e-04,8.528883e-04,8.471939e-04,8.419246e-04,8.370589e-04,8.325757e-04,8.284552e-04,8.246782e-04,8.212265e-04,8.180825e-04,8.152295e-04,8.126513e-04,8.103328e-04,8.082591e-04,8.064162e-04,8.047908e-04,8.033698e-04,8.021412e-04,8.010931e-04,8.002144e-04,7.994944e-04,7.989229e-04,7.984902e-04
0.000000e+00,2.289598e-08,9.138191e-07,9.687911e-07,1.147289e-05,6.605616e-05,7.029788e-05,2.635410e-04,6.541114e-04,6.873584e-04,1.402012e-03,2.333249e-03,2.426492e-03,3.749540e-03,5.170731e-03,5.340814e-03,7.159369e-03,8.911540e-03,9.159626e-03,1.129540e-02,1.320676e-02,1.352249e-02,1.580029e-02,1.772622e-02,1.809261e-02,2.036808e-02,2.220261e-02,2.260014e-02,2.476688e-02,2.644128e-02,2.685070e-02,2.883789e-02,3.031412e-02,3.071821e-02,3.248447e-02,3.374760e-02,3.413203e-02,3.565849e-02,3.670970e-02,3.706326e-02,3.834726e-02,3.919810e-02,3.951260e-02,4.056237e-02,4.123047e-02,4.150039e-02,4.233101e-02,4.283692e-02,4.305901e-02,4.368939e-02,4.405448e-02,4.422733e-02,4.467806e-02,4.492317e-02,4.504680e-02,4.533870e-02,4.548332e-02,4.555883e-02,4.571206e-02,4.577387e-02,4.580314e-02,4.583659e-02,4.583131e-02,4.581676e-02,4.574775e-02,4.568910e-02,4.563349e-02,4.547766e-02,4.537746e-02,4.528374e-02,4.505503e-02,4.492337e-02,4.479459e-02,4.450533e-02,4.435074e-02,4.418994e-02,4.385095e-02,4.368055e-02,4.349073e-02,4.311148e-02,4.293120e-02,4.271525e-02,4.230396e-02,4.211869e-02,4.187940e-02,4.144322e-02,4.125693e-02,4.099696e-02,4.054205e-02,4.035797e-02,4.007983e-02,3.961153e-02,3.943222e-02,3.913828e-02,3.866116e-02,3.848864e-02,3.818115e-02,3.769915e-02,3.753497e-02,3.721600e-02,3.673249e-02,3.657780e-02,3.624932e-02,3.576717e-02,3.562281e-02,3.528663e-02,3.480827e-02,3.467480e-02,3.433261e-02,3.386012e-02,3.373785e-02,3.339123e-02,3.292634e-02,3.281540e-02,3.246581e-02,3.200997e-02,3.191034e-02,3.155911e-02,3.111352e-02,3.102505e-02,3.067343e-02,3.023906e-02,3.016149e-02,2.981061e-02,2.938826e-02,2.932126e-02,2.897216e-02,2.856244e-02,2.850560e-02,2.815923e-02,2.776263e-02,2.771549e-02,2.737272e-02,2.698958e-02,2.695164e-02,2.661327e-02,2.624383e-02,2.621457e-02,2.588130e-02,2.552570e-02,2.550458e-02,2.517705e-02,2.483535e-02,2.482183e-02,2.450061e-02,2.417280e-02,2.416631e-02,2.385191e-02,2.353791e-02,2.293641e-02,2.236147e-02,2.181272e-02,2.128968e-02,2.079184e-02,2.031862e-02,1.986943e-02,1.944363e-02,1.904056e-02,1.865953e-02,1.829984e-02,1.796079e-02,1.764165e-02,1.734172e-02,1.706026e-02,1.679656e-02,1.654990e-02,1.631958e-02,1.610488e-02,1.590512e-02,1.571961e-02,1.554769e-02,1.538868e-02,1.524194e-02,1.510685e-02,1.498279e-02,1.486915e-02,1.476535e-02,1.467082e-02,1.458501e-02,1.450738e-02,1.443742e-02,1.437462e-02,1.431851e-02,1.426861e-02,1.422449e-02,1.418571e-02,1.415187e-02,1.412257e-02,1.409743e-02,1.407610e-02,1.405823e-02,1.404351e-02,1.403162e-02,1.402228e-02,1.401521e-02,1.401015e-02,1.400686e-02,1.400512e-02
0.000000e+00,1.299606e-08,4.342909e-07,4.589129e-07,4.727574e-06,2.489194e-05,2.641732e-05,9.435766e-05,2.264037e-04,2.373017e-04,4.581315e-04,7.118580e-04,7.354714e-04,1.042447e-03,1.326171e-03,1.357602e-03,1.666951e-03,1.927920e-03,1.962496e-03,2.240217e-03,2.463509e-03,2.498471e-03,2.736953e-03,2.922279e-03,2.956064e-03,3.156550e-03,3.307687e-03,3.339321e-03,3.505350e-03,3.626781e-03,3.655621e-03,3.791102e-03,3.887113e-03,3.912727e-03,4.021390e-03,4.095829e-03,4.117940e-03,4.203183e-03,4.259432e-03,4.277879e-03,4.342746e-03,4.383745e-03,4.398460e-03,4.445655e-03,4.473945e-03,4.484931e-03,4.516848e-03,4.534619e-03,4.541934e-03,4.560685e-03,4.569817e-03,4.573565e-03,4.581011e-03,4.583114e-03,4.583431e-03,4.581210e-03,4.577660e-03,4.574706e-03,4.564257e-03,4.556226e-03,4.550178e-03,4.532765e-03,4.521247e-03,4.512293e-03,4.489024e-03,4.474861e-03,4.463197e-03,4.435041e-03,4.418944e-03,4.404768e-03,4.372574e-03,4.355137e-03,4.338646e-03,4.303155e-03,4.284876e-03,4.266265e-03,4.228124e-03,4.209415e-03,4.188875e-03,4.148647e-03,4.129847e-03,4.107562e-03,4.065735e-03,4.047124e-03,4.023272e-03,3.980270e-03,3.962071e-03,3.936822e-03,3.893012e-03,3.875404e-03,3.848919e-03,3.804617e-03,3.787742e-03,3.760173e-03,3.715651e-03,3.699616e-03,3.671109e-03,3.626600e-03,3.611484e-03,3.582174e-03,3.537877e-03,3.523736e-03,3.493751e-03,3.449834e-03,3.436706e-03,3.406163e-03,3.362770e-03,3.350673e-03,3.319684e-03,3.276932e-03,3.265875e-03,3.234541e-03,3.192532e-03,3.182508e-03,3.150925e-03,3.109738e-03,3.100736e-03,3.068990e-03,3.028693e-03,3.020689e-03,2.988861e-03,2.949507e-03,2.942474e-03,2.910639e-03,2.872268e-03,2.866175e-03,2.834400e-03,2.797042e-03,2.791853e-03,2.760200e-03,2.723879e-03,2.719555e-03,2.688081e-03,2.652810e-03,2.649312e-03,2.618067e-03,2.583854e-03,2.581140e-03,2.550172e-03,2.517020e-03,2.515047e-03,2.484397e-03,2.452303e-03,2.451030e-03,2.420736e-03,2.389693e-03,2.389078e-03,2.359173e-03,2.329171e-03,2.271287e-03,2.215395e-03,2.161463e-03,2.109454e-03,2.059329e-03,2.011046e-03,1.964562e-03,1.919831e-03,1.876809e-03,1.835449e-03,1.795704e-03,1.757527e-03,1.720872e-03,1.685692e-03,1.651942e-03,1.619574e-03,1.588544e-03,1.558809e-03,1.530324e-03,1.503046e-03,1.476934e-03,1.451947e-03,1.428044e-03,1.405188e-03,1.383338e-03,1.362460e-03,1.342515e-03,1.323470e-03,1.305290e-03,1.287942e-03,1.271394e-03,1.255615e-03,1.240574e-03,1.226243e-03,1.212592e-03,1.199594e-03,1.187223e-03,1.175453e-03,1.164258e-03,1.153616e-03,1.143502e-03,1.133895e-03,1.124771e-03,1.116111e-03,1.107895e-03,1.100102e-03,1.092714e-03,1.085713e-03,1.079081e-03
0.000000e+00,1.496191e-08,4.630825e-07,4.883244e-07,4.452011e-06,2.067023e-05,2.182805e-05,6.987581e-05,1.562258e-04,1.631750e-04,3.008781e-04,4.534619e-04,4.673832e-04,6.440944e-04,8.004007e-04,8.173027e-04,9.792620e-04,1.109678e-03,1.126527e-03,1.258156e-03,1.359085e-03,1.374479e-03,1.476399e-03,1.551699e-03,1.565036e-03,1.641550e-03,1.696036e-03,1.707065e-03,1.762639e-03,1.800598e-03,1.809246e-03,1.847783e-03,1.872766e-03,1.879064e-03,1.903833e-03,1.918719e-03,1.922763e-03,1.936466e-03,1.943568e-03,1.945495e-03,1.950352e-03,1.951521e-03,1.951489e-03,1.949317e-03,1.946028e-03,1.944206e-03,1.936492e-03,1.929914e-03,1.926476e-03,1.914432e-03,1.905492e-03,1.900606e-03,1.885220e-03,1.874649e-03,1.868476e-03,1.850553e-03,1.838921e-03,1.831615e-03,1.811809e-03,1.799563e-03,1.791266e-03,1.770105e-03,1.757591e-03,1.748434e-03,1.726347e-03,1.713830e-03,1.703932e-03,1.681266e-03,1.668946e-03,1.658417e-03,1.635448e-03,1.623475e-03,1.612414e-03,1.589364e-03,1.577848e-03,1.566343e-03,1.543389e-03,1.532406e-03,1.520538e-03,1.497820e-03,1.487422e-03,1.475263e-03,1.452889e-03,1.443109e-03,1.430721e-03,1.408777e-03,1.399632e-03,1.387073e-03,1.365623e-03,1.357116e-03,1.344438e-03,1.323528e-03,1.315657e-03,1.302903e-03,1.282570e-03,1.275323e-03,1.262534e-03,1.242800e-03,1.236161e-03,1.223373e-03,1.204254e-03,1.198201e-03,1.185445e-03,1.166949e-03,1.161461e-03,1.148765e-03,1.130894e-03,1.125946e-03,1.113335e-03,1.096086e-03,1.091652e-03,1.079147e-03,1.062515e-03,1.058569e-03,1.046189e-03,1.030167e-03,1.026682e-03,1.014444e-03,9.990190e-04,9.959694e-04,9.838882e-04,9.690485e-04,9.664080e-04,9.544964e-04,9.402284e-04,9.379717e-04,9.262409e-04,9.125300e-04,9.106324e-04,8.990921e-04,8.859231e-04,8.843607e-04,8.730193e-04,8.603766e-04,8.591265e-04,8.479910e-04,8.358586e-04,8.348989e-04,8.239755e-04,8.123375e-04,8.116469e-04,8.009406e-04,7.897810e-04,7.893395e-04,7.788547e-04,7.681577e-04,7.679461e-04,7.576861e-04,7.474361e-04,7.277795e-04,7.089469e-04,6.909094e-04,6.736388e-04,6.571076e-04,6.412891e-04,6.261572e-04,6.116867e-04,5.978531e-04,5.846327e-04,5.720024e-04,5.599400e-04,5.484240e-04,5.374336e-04,5.269485e-04,5.169495e-04,5.074177e-04,4.983350e-04,4.896839e-04,4.814474e-04,4.736093e-04,4.661539e-04,4.590659e-04,4.523308e-04,4.459343e-04,4.398629e-04,4.341033e-04,4.286430e-04,4.234697e-04,4.185716e-04,4.139373e-04,4.095559e-04,4.054168e-04,4.015098e-04,3.978251e-04,3.943531e-04,3.910848e-04,3.880113e-04,3.851242e-04,3.824153e-04,3.798767e-04,3.775008e-04,3.752802e-04,3.732079e-04,3.712772e-04,3.694814e-04,3.678142e-04,3.662696e-04,3.648418e-04
0.000000e+00,1.400058e-06,5.045152e-05,5.334554e-05,5.597014e-04,3.028646e-03,3.219637e-03,1.219831e-02,3.196676e-02,3.372961e-02,7.378527e-02,1.304400e-01,1.363245e-01,2.231067e-01,3.219649e-01,3.341298e-01,4.681244e-01,6.033702e-01,6.229680e-01,7.960105e-01,9.571511e-01,9.843208e-01,1.184871e+00,1.360599e+00,1.394668e+00,1.610851e+00,1.791006e+00,1.830750e+00,2.051926e+00,2.228309e+00,2.272194e+00,2.489628e+00,2.656176e+00,2.702559e+00,2.909568e+00,3.062196e+00,3.109468e+00,3.301293e+00,3.437585e+00,3.484273e+00,3.657817e+00,3.776679e+00,3.821495e+00,3.975020e+00,4.076353e+00,4.118226e+00,4.251056e+00,4.335466e+00,4.373542e+00,4.485796e+00,4.554361e+00,4.587993e+00,4.680362e+00,4.734445e+00,4.763176e+00,4.836741e+00,4.877852e+00,4.901391e+00,4.957478e+00,4.987172e+00,5.005369e+00,5.045440e+00,5.065248e+00,5.078072e+00,5.103645e+00,5.115025e+00,5.122539e+00,5.135130e+00,5.139437e+00,5.141784e+00,5.142863e+00,5.141337e+00,5.138716e+00,5.129684e+00,5.123438e+00,5.116094e+00,5.098263e+00,5.088288e+00,5.076495e+00,5.051082e+00,5.038245e+00,5.022302e+00,4.990422e+00,4.975479e+00,4.955696e+00,4.918364e+00,4.901963e+00,4.878656e+00,4.836791e+00,4.819486e+00,4.792972e+00,4.747397e+00,4.729656e+00,4.700248e+00,4.651700e+00,4.633912e+00,4.601916e+00,4.551051e+00,4.533536e+00,4.499248e+00,4.446646e+00,4.429665e+00,4.393371e+00,4.339543e+00,4.323304e+00,4.285274e+00,4.230671e+00,4.215335e+00,4.175829e+00,4.120842e+00,4.106532e+00,4.065794e+00,4.010765e+00,3.997569e+00,3.955828e+00,3.901053e+00,3.889030e+00,3.846502e+00,3.792235e+00,3.781421e+00,3.738306e+00,3.684765e+00,3.675173e+00,3.631659e+00,3.579030e+00,3.570656e+00,3.526916e+00,3.475355e+00,3.468182e+00,3.424378e+00,3.374015e+00,3.368014e+00,3.324292e+00,3.275235e+00,3.270366e+00,3.226864e+00,3.179200e+00,3.175418e+00,3.132260e+00,3.086059e+00,3.083310e+00,3.040610e+00,2.995926e+00,2.994155e+00,2.952017e+00,2.908890e+00,2.908035e+00,2.866553e+00,2.825011e+00,2.745122e+00,2.668387e+00,2.594812e+00,2.524385e+00,2.457085e+00,2.392879e+00,2.331723e+00,2.273568e+00,2.218355e+00,2.166021e+00,2.116497e+00,2.069711e+00,2.025584e+00,1.984037e+00,1.944987e+00,1.908351e+00,1.874041e+00,1.841971e+00,1.812053e+00,1.784199e+00,1.758319e+00,1.734325e+00,1.712131e+00,1.691648e+00,1.672790e+00,1.655473e+00,1.639613e+00,1.625128e+00,1.611936e+00,1.599961e+00,1.589125e+00,1.579354e+00,1.570576e+00,1.562720e+00,1.555721e+00,1.549513e+00,1.544033e+00,1.539222e+00,1.535024e+00,1.531383e+00,1.528248e+00,1.525571e+00,1.523304e+00,1.521405e+00,1.519832e+00,1.518547e+00,1.517514e+00,1.516699e+00,1.516071e+00
0.000000e+00,4.236342e-09,4.689843e-08,4.877076e-08,2.575500e-07,8.219354e-07,8.559531e-07,1.983264e-06,3.381789e-06,3.475581e-06,5.026748e-06,6.363802e-06,6.474484e-06,7.778557e-06,8.828345e-06,8.937998e-06,9.961297e-06,1.075741e-05,1.085882e-05,1.164098e-05,1.222895e-05,1.231770e-05,1.289837e-05,1.331832e-05,1.339173e-05,1.380594e-05,1.409184e-05,1.414854e-05,1.442646e-05,1.460654e-05,1.464609e-05,1.481329e-05,1.491077e-05,1.493341e-05,1.501132e-05,1.504506e-05,1.505148e-05,1.505796e-05,1.504326e-05,1.503445e-05,1.498429e-05,1.493341e-05,1.491056e-05,1.481604e-05,1.473886e-05,1.470324e-05,1.457445e-05,1.447879e-05,1.443173e-05,1.427695e-05,1.416902e-05,1.411181e-05,1.393784e-05,1.382251e-05,1.375643e-05,1.356881e-05,1.344986e-05,1.337611e-05,1.317934e-05,1.305971e-05,1.297941e-05,1.277714e-05,1.265904e-05,1.257326e-05,1.236842e-05,1.225351e-05,1.216321e-05,1.195814e-05,1.184764e-05,1.175369e-05,1.155027e-05,1.144501e-05,1.134823e-05,1.114789e-05,1.104846e-05,1.094955e-05,1.075345e-05,1.066017e-05,1.055979e-05,1.036877e-05,1.028183e-05,1.018054e-05,9.995248e-06,9.914676e-06,9.812995e-06,9.633882e-06,9.559610e-06,9.457985e-06,9.285366e-06,9.217248e-06,9.116073e-06,8.950141e-06,8.887973e-06,8.787593e-06,8.628443e-06,8.571982e-06,8.472695e-06,8.320347e-06,8.269321e-06,8.171387e-06,8.025799e-06,7.979919e-06,7.883559e-06,7.744641e-06,7.703609e-06,7.609012e-06,7.476637e-06,7.440149e-06,7.347475e-06,7.221487e-06,7.189244e-06,7.098626e-06,6.978846e-06,6.950552e-06,6.862099e-06,6.748336e-06,6.723703e-06,6.637505e-06,6.529554e-06,6.508305e-06,6.424430e-06,6.322081e-06,6.303948e-06,6.222452e-06,6.125490e-06,6.110220e-06,6.031140e-06,5.939349e-06,5.926700e-06,5.850063e-06,5.763229e-06,5.752971e-06,5.678793e-06,5.596702e-06,5.588620e-06,5.516905e-06,5.439349e-06,5.433240e-06,5.363984e-06,5.290759e-06,5.286432e-06,5.219624e-06,5.150530e-06,5.147808e-06,5.083429e-06,5.018273e-06,5.016989e-06,4.955016e-06,4.893611e-06,4.777319e-06,4.667773e-06,4.564642e-06,4.467613e-06,4.376381e-06,4.290658e-06,4.210164e-06,4.134633e-06,4.063811e-06,3.997455e-06,3.935333e-06,3.877223e-06,3.822915e-06,3.772206e-06,3.724905e-06,3.680828e-06,3.639803e-06,3.601662e-06,3.566249e-06,3.533413e-06,3.503010e-06,3.474907e-06,3.448972e-06,3.425083e-06,3.403124e-06,3.382983e-06,3.364556e-06,3.347742e-06,3.332446e-06,3.318577e-06,3.306051e-06,3.294785e-06,3.284703e-06,3.275732e-06,3.267801e-06,3.260846e-06,3.254803e-06,3.249614e-06,3.245223e-06,3.241577e-06,3.238625e-06,3.236320e-06,3.234617e-06,3.233474e-06,3.232851e-06,3.232709e-06,3.233012e-06,3.233727e-06,3.234823e-06
0.000000e+00,3.426119e-09,4.689308e-08,4.898717e-08,3.166425e-07,1.156791e-06,1.209823e-06,2.995992e-06,5.140031e-06,5.280305e-06,7.571193e-06,9.539055e-06,9.702681e-06,1.164504e-05,1.323386e-05,1.340141e-05,1.498242e-05,1.623817e-05,1.640005e-05,1.766604e-05,1.864201e-05,1.879151e-05,1.978693e-05,2.052978e-05,2.066212e-05,2.142630e-05,2.197619e-05,2.208814e-05,2.265576e-05,2.304714e-05,2.313675e-05,2.353823e-05,2.380046e-05,2.386681e-05,2.412871e-05,2.428670e-05,2.432967e-05,2.447505e-05,2.454980e-05,2.456984e-05,2.461864e-05,2.462770e-05,2.462570e-05,2.459497e-05,2.455293e-05,2.453008e-05,2.443440e-05,2.435334e-05,2.431102e-05,2.416280e-05,2.405265e-05,2.399236e-05,2.380214e-05,2.367104e-05,2.359434e-05,2.337103e-05,2.322561e-05,2.313407e-05,2.288519e-05,2.273080e-05,2.262597e-05,2.235786e-05,2.219882e-05,2.208219e-05,2.180018e-05,2.163989e-05,2.151292e-05,2.122143e-05,2.106260e-05,2.092665e-05,2.062940e-05,2.047411e-05,2.033045e-05,2.003051e-05,1.988036e-05,1.973019e-05,1.943008e-05,1.928625e-05,1.913068e-05,1.883247e-05,1.869581e-05,1.853586e-05,1.824124e-05,1.811232e-05,1.794893e-05,1.765924e-05,1.753842e-05,1.737244e-05,1.708876e-05,1.697621e-05,1.680841e-05,1.653158e-05,1.642734e-05,1.625843e-05,1.598909e-05,1.589308e-05,1.572368e-05,1.546230e-05,1.537436e-05,1.520503e-05,1.495195e-05,1.487185e-05,1.470310e-05,1.445853e-05,1.438600e-05,1.421827e-05,1.398234e-05,1.391706e-05,1.375074e-05,1.352349e-05,1.346511e-05,1.330057e-05,1.308196e-05,1.303014e-05,1.286766e-05,1.265763e-05,1.261200e-05,1.245185e-05,1.225027e-05,1.221046e-05,1.205287e-05,1.185960e-05,1.182524e-05,1.167041e-05,1.148525e-05,1.145599e-05,1.130407e-05,1.112682e-05,1.110232e-05,1.095345e-05,1.078390e-05,1.076380e-05,1.061810e-05,1.045600e-05,1.043999e-05,1.029755e-05,1.014267e-05,1.013043e-05,9.991310e-06,9.843409e-06,9.834643e-06,9.698902e-06,9.557728e-06,9.552149e-06,9.419825e-06,9.285132e-06,9.282470e-06,9.153586e-06,9.025127e-06,8.779647e-06,8.545563e-06,8.322418e-06,8.109764e-06,7.907164e-06,7.714195e-06,7.530445e-06,7.355515e-06,7.189021e-06,7.030590e-06,6.879865e-06,6.736502e-06,6.600167e-06,6.470545e-06,6.347328e-06,6.230223e-06,6.118950e-06,6.013240e-06,5.912834e-06,5.817487e-06,5.726962e-06,5.641034e-06,5.559488e-06,5.482116e-06,5.408724e-06,5.339121e-06,5.273130e-06,5.210579e-06,5.151304e-06,5.095149e-06,5.041966e-06,4.991611e-06,4.943951e-06,4.898854e-06,4.856200e-06,4.815869e-06,4.777751e-06,4.741737e-06,4.707727e-06,4.675623e-06,4.645333e-06,4.616768e-06,4.589845e-06,4.564482e-06,4.540604e-06,4.518138e-06,4.497015e-06,4.477168e-06,4.458534e-06
0.000000e+00,1.652976e-08,4.864444e-07,5.131454e-07,4.777420e-06,2.179173e-05,2.296949e-05,6.798669e-05,1.346624e-04,1.394520e-04,2.232448e-04,3.010951e-04,3.077332e-04,3.880184e-04,4.555104e-04,4.627206e-04,5.316765e-04,5.877480e-04,5.950703e-04,6.531740e-04,6.991326e-04,7.062767e-04,7.546657e-04,7.918746e-04,7.986207e-04,8.384120e-04,8.681167e-04,8.742997e-04,9.065322e-04,9.298460e-04,9.353463e-04,9.609680e-04,9.788751e-04,9.836116e-04,1.003480e-03,1.016841e-03,1.020764e-03,1.035642e-03,1.045201e-03,1.048281e-03,1.058839e-03,1.065235e-03,1.067463e-03,1.074299e-03,1.078092e-03,1.079481e-03,1.083137e-03,1.084810e-03,1.085382e-03,1.086325e-03,1.086284e-03,1.086068e-03,1.084705e-03,1.083295e-03,1.082327e-03,1.079017e-03,1.076531e-03,1.074852e-03,1.069907e-03,1.066593e-03,1.064248e-03,1.057941e-03,1.054008e-03,1.051043e-03,1.043611e-03,1.039236e-03,1.035697e-03,1.027350e-03,1.022678e-03,1.018614e-03,1.009531e-03,1.004684e-03,1.000141e-03,9.904807e-04,9.855595e-04,9.805832e-04,9.704804e-04,9.655669e-04,9.602018e-04,9.497745e-04,9.449351e-04,9.392238e-04,9.285733e-04,9.238610e-04,9.178445e-04,9.070577e-04,9.025145e-04,8.962314e-04,8.853829e-04,8.810408e-04,8.745279e-04,8.636813e-04,8.595645e-04,8.528563e-04,8.420655e-04,8.381914e-04,8.313202e-04,8.206308e-04,8.170108e-04,8.100068e-04,7.994571e-04,7.960981e-04,7.889894e-04,7.786109e-04,7.755158e-04,7.683283e-04,7.581475e-04,7.553158e-04,7.480736e-04,7.381116e-04,7.355403e-04,7.282656e-04,7.185395e-04,7.162234e-04,7.089365e-04,6.994596e-04,6.973919e-04,6.901114e-04,6.808939e-04,6.790663e-04,6.718091e-04,6.628585e-04,6.612618e-04,6.540434e-04,6.453647e-04,6.439888e-04,6.368231e-04,6.284193e-04,6.272538e-04,6.201535e-04,6.120258e-04,6.110598e-04,6.040362e-04,5.961844e-04,5.954067e-04,5.884700e-04,5.808926e-04,5.802923e-04,5.734514e-04,5.661458e-04,5.657117e-04,5.589747e-04,5.519374e-04,5.516587e-04,5.450327e-04,5.382594e-04,5.381253e-04,5.316164e-04,5.251024e-04,5.125798e-04,5.005466e-04,4.889911e-04,4.779013e-04,4.672646e-04,4.570683e-04,4.472994e-04,4.379451e-04,4.289922e-04,4.204279e-04,4.122391e-04,4.044133e-04,3.969379e-04,3.898006e-04,3.829891e-04,3.764918e-04,3.702969e-04,3.643932e-04,3.587696e-04,3.534155e-04,3.483203e-04,3.434740e-04,3.388667e-04,3.344890e-04,3.303315e-04,3.263853e-04,3.226419e-04,3.190928e-04,3.157300e-04,3.125457e-04,3.095323e-04,3.066826e-04,3.039897e-04,3.014467e-04,2.990472e-04,2.967848e-04,2.946536e-04,2.926478e-04,2.907618e-04,2.889901e-04,2.873277e-04,2.857695e-04,2.843107e-04,2.829468e-04,2.816733e-04,2.804861e-04,2.793809e-04,2.783539e-04,2.774013e-04
0.000000e+00,1.450223e-08,4.684113e-07,4.943611e-07,4.751317e-06,2.357427e-05,2.496702e-05,8.581145e-05,2.036133e-04,2.134135e-04,4.151768e-04,6.537869e-04,6.763139e-04,9.733731e-04,1.253835e-03,1.285200e-03,1.596538e-03,1.862332e-03,1.897726e-03,2.183249e-03,2.414106e-03,2.450335e-03,2.697905e-03,2.890701e-03,2.925874e-03,3.134713e-03,3.292224e-03,3.325196e-03,3.498238e-03,3.624769e-03,3.654814e-03,3.795907e-03,3.895831e-03,3.922480e-03,4.035463e-03,4.112790e-03,4.135745e-03,4.224172e-03,4.282446e-03,4.301541e-03,4.368607e-03,4.410916e-03,4.426081e-03,4.474632e-03,4.503647e-03,4.514889e-03,4.547443e-03,4.565465e-03,4.572850e-03,4.591630e-03,4.600634e-03,4.604273e-03,4.611238e-03,4.612915e-03,4.612955e-03,4.609827e-03,4.605622e-03,4.602233e-03,4.590528e-03,4.581670e-03,4.575043e-03,4.556089e-03,4.543623e-03,4.533959e-03,4.508925e-03,4.493733e-03,4.481242e-03,4.451150e-03,4.433977e-03,4.418871e-03,4.384615e-03,4.366085e-03,4.348576e-03,4.310937e-03,4.291570e-03,4.271867e-03,4.231526e-03,4.211754e-03,4.190060e-03,4.147610e-03,4.127787e-03,4.104302e-03,4.060257e-03,4.040673e-03,4.015586e-03,3.970393e-03,3.951280e-03,3.924774e-03,3.878819e-03,3.860362e-03,3.832611e-03,3.786227e-03,3.768570e-03,3.739739e-03,3.693212e-03,3.676464e-03,3.646707e-03,3.600282e-03,3.584525e-03,3.553988e-03,3.507874e-03,3.493162e-03,3.461982e-03,3.416354e-03,3.402723e-03,3.371028e-03,3.326036e-03,3.313503e-03,3.281410e-03,3.237179e-03,3.225747e-03,3.193368e-03,3.149999e-03,3.139659e-03,3.107095e-03,3.064675e-03,3.055409e-03,3.022754e-03,2.981348e-03,2.973130e-03,2.940471e-03,2.900134e-03,2.892931e-03,2.860347e-03,2.821120e-03,2.814896e-03,2.782459e-03,2.744372e-03,2.739086e-03,2.706863e-03,2.669937e-03,2.665545e-03,2.633596e-03,2.597844e-03,2.594301e-03,2.562681e-03,2.528108e-03,2.525368e-03,2.494126e-03,2.460733e-03,2.458748e-03,2.427928e-03,2.395710e-03,2.394433e-03,2.364075e-03,2.333022e-03,2.332407e-03,2.302546e-03,2.272644e-03,2.215116e-03,2.159787e-03,2.106617e-03,2.055562e-03,2.006577e-03,1.959613e-03,1.914620e-03,1.871546e-03,1.830340e-03,1.790948e-03,1.753316e-03,1.717393e-03,1.683124e-03,1.650457e-03,1.619339e-03,1.589719e-03,1.561546e-03,1.534770e-03,1.509342e-03,1.485214e-03,1.462338e-03,1.440669e-03,1.420160e-03,1.400770e-03,1.382454e-03,1.365170e-03,1.348879e-03,1.333541e-03,1.319117e-03,1.305570e-03,1.292864e-03,1.280963e-03,1.269835e-03,1.259445e-03,1.249761e-03,1.240753e-03,1.232390e-03,1.224644e-03,1.217486e-03,1.210889e-03,1.204827e-03,1.199274e-03,1.194206e-03,1.189599e-03,1.185429e-03,1.181675e-03,1.178316e-03,1.175331e-03,1.172699e-03
0.000000e+00,1.595512e-09,2.024598e-08,2.111360e-08,1.243993e-07,4.211405e-07,4.394037e-07,1.060297e-06,1.864274e-06,1.919261e-06,2.843810e-06,3.661844e-06,3.730469e-06,4.550808e-06,5.229300e-06,5.301252e-06,5.984234e-06,6.532437e-06,6.603519e-06,7.163066e-06,7.599462e-06,7.666758e-06,8.118322e-06,8.459953e-06,8.521307e-06,8.879081e-06,9.140958e-06,9.194828e-06,9.471560e-06,9.666763e-06,9.712108e-06,9.919139e-06,1.005897e-05,1.009516e-05,1.024250e-05,1.033667e-05,1.036338e-05,1.045985e-05,1.051665e-05,1.053383e-05,1.058712e-05,1.061362e-05,1.062139e-05,1.063823e-05,1.064043e-05,1.063909e-05,1.062534e-05,1.060829e-05,1.059824e-05,1.055898e-05,1.052695e-05,1.050867e-05,1.044833e-05,1.040489e-05,1.037891e-05,1.030131e-05,1.024945e-05,1.021635e-05,1.012479e-05,1.006699e-05,1.002735e-05,9.924687e-06,9.862991e-06,9.817411e-06,9.706091e-06,9.642182e-06,9.591251e-06,9.473376e-06,9.408622e-06,9.352916e-06,9.230284e-06,9.165786e-06,9.105864e-06,8.980007e-06,8.916643e-06,8.853040e-06,8.725260e-06,8.663718e-06,8.596941e-06,8.468337e-06,8.409148e-06,8.339678e-06,8.211175e-06,8.154733e-06,8.083020e-06,7.955391e-06,7.901982e-06,7.828446e-06,7.702332e-06,7.652149e-06,7.577179e-06,7.453107e-06,7.406266e-06,7.330223e-06,7.208622e-06,7.165177e-06,7.088390e-06,6.969604e-06,6.929559e-06,6.852331e-06,6.736631e-06,6.699947e-06,6.622555e-06,6.510148e-06,6.476757e-06,6.399448e-06,6.290489e-06,6.260295e-06,6.183296e-06,6.077892e-06,6.050782e-06,5.974294e-06,5.872515e-06,5.848360e-06,5.772564e-06,5.674446e-06,5.653106e-06,5.578163e-06,5.483714e-06,5.465044e-06,5.391096e-06,5.300300e-06,5.284150e-06,5.211321e-06,5.124145e-06,5.110363e-06,5.038761e-06,4.955153e-06,4.943589e-06,4.873307e-06,4.793205e-06,4.783709e-06,4.714827e-06,4.638155e-06,4.630581e-06,4.563167e-06,4.489842e-06,4.484047e-06,4.418157e-06,4.348090e-06,4.343937e-06,4.279616e-06,4.212712e-06,4.210068e-06,4.147353e-06,4.083514e-06,4.082252e-06,4.021169e-06,3.960295e-06,3.843999e-06,3.733167e-06,3.627598e-06,3.527095e-06,3.431464e-06,3.340511e-06,3.254046e-06,3.171885e-06,3.093847e-06,3.019756e-06,2.949440e-06,2.882735e-06,2.819480e-06,2.759520e-06,2.702707e-06,2.648895e-06,2.597947e-06,2.549730e-06,2.504115e-06,2.460980e-06,2.420207e-06,2.381684e-06,2.345301e-06,2.310957e-06,2.278551e-06,2.247990e-06,2.219182e-06,2.192042e-06,2.166488e-06,2.142439e-06,2.119822e-06,2.098565e-06,2.078599e-06,2.059858e-06,2.042282e-06,2.025811e-06,2.010387e-06,1.995958e-06,1.982472e-06,1.969881e-06,1.958138e-06,1.947199e-06,1.937022e-06,1.927566e-06,1.918794e-06,1.910669e-06,1.903158e-06,1.896226e-06,1.889843e-06
0.000000e+00,1.152434e-09,1.570496e-08,1.638753e-08,9.503261e-08,3.016332e-07,3.137160e-07,6.968717e-07,1.143441e-06,1.172811e-06,1.656136e-06,2.076302e-06,2.111439e-06,2.531056e-06,2.878064e-06,2.914877e-06,3.264539e-06,3.545581e-06,3.582053e-06,3.869464e-06,4.094080e-06,4.128761e-06,4.361850e-06,4.538720e-06,4.570543e-06,4.756559e-06,4.893312e-06,4.921521e-06,5.066950e-06,5.170194e-06,5.194277e-06,5.304842e-06,5.380257e-06,5.399900e-06,5.480621e-06,5.533057e-06,5.548101e-06,5.603367e-06,5.636963e-06,5.647372e-06,5.681008e-06,5.699274e-06,5.705105e-06,5.720437e-06,5.726343e-06,5.727725e-06,5.727639e-06,5.723689e-06,5.720803e-06,5.707799e-06,5.696100e-06,5.689165e-06,5.665406e-06,5.647726e-06,5.636986e-06,5.604340e-06,5.582155e-06,5.567870e-06,5.527950e-06,5.502487e-06,5.484926e-06,5.439120e-06,5.411396e-06,5.390829e-06,5.340332e-06,5.311185e-06,5.287882e-06,5.233718e-06,5.203833e-06,5.178057e-06,5.121103e-06,5.091039e-06,5.063044e-06,5.004051e-06,4.974255e-06,4.944285e-06,4.883892e-06,4.854722e-06,4.823009e-06,4.761759e-06,4.733493e-06,4.700258e-06,4.638611e-06,4.611465e-06,4.576914e-06,4.515256e-06,4.489391e-06,4.453718e-06,4.392375e-06,4.367908e-06,4.331294e-06,4.270535e-06,4.247544e-06,4.210157e-06,4.150208e-06,4.128740e-06,4.090735e-06,4.031779e-06,4.011859e-06,3.973378e-06,3.915564e-06,3.897193e-06,3.858369e-06,3.801817e-06,3.784981e-06,3.745934e-06,3.690738e-06,3.675409e-06,3.636248e-06,3.582480e-06,3.568620e-06,3.529446e-06,3.477159e-06,3.464722e-06,3.425627e-06,3.374857e-06,3.363791e-06,3.324856e-06,3.275628e-06,3.265875e-06,3.227176e-06,3.179501e-06,3.171003e-06,3.132605e-06,3.086486e-06,3.079180e-06,3.041144e-06,2.996575e-06,2.990397e-06,2.952777e-06,2.909746e-06,2.904634e-06,2.867477e-06,2.825965e-06,2.821855e-06,2.785204e-06,2.745187e-06,2.742018e-06,2.705909e-06,2.667363e-06,2.665073e-06,2.629539e-06,2.592432e-06,2.590962e-06,2.556032e-06,2.520331e-06,2.519624e-06,2.485321e-06,2.450994e-06,2.385002e-06,2.321580e-06,2.260654e-06,2.202152e-06,2.146001e-06,2.092128e-06,2.040460e-06,1.990925e-06,1.943452e-06,1.897971e-06,1.854414e-06,1.812713e-06,1.772802e-06,1.734618e-06,1.698097e-06,1.663178e-06,1.629804e-06,1.597915e-06,1.567457e-06,1.538375e-06,1.510617e-06,1.484133e-06,1.458873e-06,1.434791e-06,1.411840e-06,1.389975e-06,1.369156e-06,1.349339e-06,1.330486e-06,1.312559e-06,1.295520e-06,1.279333e-06,1.263966e-06,1.249383e-06,1.235554e-06,1.222447e-06,1.210034e-06,1.198286e-06,1.187175e-06,1.176674e-06,1.166760e-06,1.157406e-06,1.148589e-06,1.140288e-06,1.132479e-06,1.125142e-06,1.118257e-06,1.111804e-06,1.105764e-06
0.000000e+00,3.210075e-09,4.245965e-08,4.431169e-08,2.654614e-07,8.632372e-07,8.977814e-07,1.930780e-06,3.002222e-06,3.069547e-06,4.146710e-06,5.051589e-06,5.126246e-06,6.006354e-06,6.717587e-06,6.792092e-06,7.489778e-06,8.035992e-06,8.105814e-06,8.646416e-06,9.055540e-06,9.117529e-06,9.524842e-06,9.821617e-06,9.873723e-06,1.016922e-05,1.037501e-05,1.041604e-05,1.061858e-05,1.075145e-05,1.078088e-05,1.090669e-05,1.098174e-05,1.099949e-05,1.106244e-05,1.109214e-05,1.109849e-05,1.111031e-05,1.110492e-05,1.110038e-05,1.107096e-05,1.103888e-05,1.102412e-05,1.096176e-05,1.090980e-05,1.088561e-05,1.079727e-05,1.073098e-05,1.069819e-05,1.058968e-05,1.051350e-05,1.047296e-05,1.034914e-05,1.026663e-05,1.021921e-05,1.008409e-05,9.998076e-06,9.944610e-06,9.801525e-06,9.714231e-06,9.655520e-06,9.507215e-06,9.420369e-06,9.357173e-06,9.205901e-06,9.120824e-06,9.053857e-06,8.901454e-06,8.819140e-06,8.749064e-06,8.597020e-06,8.518193e-06,8.445618e-06,8.295126e-06,8.220296e-06,8.145780e-06,7.997790e-06,7.927292e-06,7.851342e-06,7.706598e-06,7.640628e-06,7.563701e-06,7.422777e-06,7.361423e-06,7.283931e-06,7.147256e-06,7.090519e-06,7.012830e-06,6.880717e-06,6.828532e-06,6.750971e-06,6.623634e-06,6.575885e-06,6.498740e-06,6.376314e-06,6.332848e-06,6.256372e-06,6.138924e-06,6.099561e-06,6.023974e-06,5.911519e-06,5.876059e-06,5.801552e-06,5.694061e-06,5.662295e-06,5.589030e-06,5.486440e-06,5.458149e-06,5.386267e-06,5.288486e-06,5.263452e-06,5.193069e-06,5.099985e-06,5.077989e-06,5.009202e-06,4.920687e-06,4.901514e-06,4.834403e-06,4.750315e-06,4.733757e-06,4.668385e-06,4.588574e-06,4.574431e-06,4.510845e-06,4.435157e-06,4.423234e-06,4.361471e-06,4.289747e-06,4.279860e-06,4.219945e-06,4.152024e-06,4.143998e-06,4.085945e-06,4.021667e-06,4.015337e-06,3.959152e-06,3.898359e-06,3.893569e-06,3.839250e-06,3.781785e-06,3.778389e-06,3.725927e-06,3.671637e-06,3.669497e-06,3.618878e-06,3.567613e-06,3.566603e-06,3.517807e-06,3.469422e-06,3.377679e-06,3.291109e-06,3.209454e-06,3.132467e-06,3.059913e-06,2.991563e-06,2.927200e-06,2.866616e-06,2.809612e-06,2.756000e-06,2.705598e-06,2.658234e-06,2.613744e-06,2.571974e-06,2.532774e-06,2.496005e-06,2.461533e-06,2.429230e-06,2.398978e-06,2.370661e-06,2.344173e-06,2.319410e-06,2.296275e-06,2.274676e-06,2.254527e-06,2.235744e-06,2.218250e-06,2.201970e-06,2.186836e-06,2.172780e-06,2.159740e-06,2.147657e-06,2.136475e-06,2.126141e-06,2.116604e-06,2.107818e-06,2.099737e-06,2.092319e-06,2.085525e-06,2.079317e-06,2.073658e-06,2.068516e-06,2.063858e-06,2.059654e-06,2.055876e-06,2.052498e-06,2.049493e-06,2.046838e-06,2.044511e-06
0.000000e+00,3.617665e-09,4.201595e-08,4.374389e-08,2.432204e-07,8.059875e-07,8.405218e-07,2.010429e-06,3.513644e-06,3.616257e-06,5.347319e-06,6.896332e-06,7.027209e-06,8.603816e-06,9.925901e-06,1.006714e-05,1.141855e-05,1.251866e-05,1.266241e-05,1.380389e-05,1.470773e-05,1.484830e-05,1.580096e-05,1.653407e-05,1.666703e-05,1.745155e-05,1.803740e-05,1.815936e-05,1.879514e-05,1.925490e-05,1.936335e-05,1.986824e-05,2.022072e-05,2.031387e-05,2.070409e-05,2.096585e-05,2.104255e-05,2.133268e-05,2.151820e-05,2.157777e-05,2.178088e-05,2.190278e-05,2.194494e-05,2.207269e-05,2.214191e-05,2.216672e-05,2.222947e-05,2.225544e-05,2.226322e-05,2.227016e-05,2.226103e-05,2.225230e-05,2.221157e-05,2.217432e-05,2.214975e-05,2.206855e-05,2.200917e-05,2.196954e-05,2.185423e-05,2.177779e-05,2.172400e-05,2.158016e-05,2.149100e-05,2.142396e-05,2.125654e-05,2.115829e-05,2.107898e-05,2.089229e-05,2.078802e-05,2.069743e-05,2.049527e-05,2.038753e-05,2.028663e-05,2.007231e-05,1.996324e-05,1.985301e-05,1.962941e-05,1.952074e-05,1.940214e-05,1.917179e-05,1.906494e-05,1.893889e-05,1.870395e-05,1.860006e-05,1.846745e-05,1.822983e-05,1.812979e-05,1.799148e-05,1.775279e-05,1.765729e-05,1.751410e-05,1.727573e-05,1.718530e-05,1.703798e-05,1.680113e-05,1.671613e-05,1.656543e-05,1.633110e-05,1.625178e-05,1.609836e-05,1.586741e-05,1.579391e-05,1.563841e-05,1.541154e-05,1.534392e-05,1.518694e-05,1.496474e-05,1.490297e-05,1.474506e-05,1.452801e-05,1.447202e-05,1.431368e-05,1.410216e-05,1.405183e-05,1.389353e-05,1.368785e-05,1.364300e-05,1.348518e-05,1.328556e-05,1.324601e-05,1.308905e-05,1.289567e-05,1.286120e-05,1.270545e-05,1.251842e-05,1.248879e-05,1.233459e-05,1.215397e-05,1.212894e-05,1.197656e-05,1.180238e-05,1.178170e-05,1.163142e-05,1.146367e-05,1.144707e-05,1.129912e-05,1.113776e-05,1.112499e-05,1.097957e-05,1.082454e-05,1.081534e-05,1.067264e-05,1.052385e-05,1.051796e-05,1.037814e-05,1.023549e-05,1.023267e-05,1.009587e-05,9.959235e-06,9.697415e-06,9.446945e-06,9.207542e-06,8.978913e-06,8.760753e-06,8.552754e-06,8.354602e-06,8.165981e-06,7.986574e-06,7.816068e-06,7.654149e-06,7.500508e-06,7.354839e-06,7.216842e-06,7.086223e-06,6.962692e-06,6.845969e-06,6.735778e-06,6.631852e-06,6.533928e-06,6.441754e-06,6.355083e-06,6.273678e-06,6.197306e-06,6.125745e-06,6.058778e-06,5.996195e-06,5.937795e-06,5.883382e-06,5.832769e-06,5.785774e-06,5.742223e-06,5.701946e-06,5.664782e-06,5.630575e-06,5.599175e-06,5.570437e-06,5.544222e-06,5.520399e-06,5.498838e-06,5.479416e-06,5.462017e-06,5.446526e-06,5.432835e-06,5.420841e-06,5.410444e-06,5.401548e-06,5.394062e-06,5.387899e-06
0.000000e+00,1.463265e-08,2.983086e-07,3.129366e-07,2.278667e-06,8.521569e-06,8.915258e-06,2.251057e-05,4.044930e-05,4.168821e-05,6.274717e-05,8.174989e-05,8.336160e-05,1.028725e-04,1.194013e-04,1.211778e-04,1.382963e-04,1.524128e-04,1.542710e-04,1.691508e-04,1.811097e-04,1.829855e-04,1.958247e-04,2.058758e-04,2.077168e-04,2.187090e-04,2.270830e-04,2.288467e-04,2.381739e-04,2.450804e-04,2.467326e-04,2.545634e-04,2.601908e-04,2.617046e-04,2.681933e-04,2.727100e-04,2.740647e-04,2.793524e-04,2.829086e-04,2.840887e-04,2.883042e-04,2.910333e-04,2.920281e-04,2.952881e-04,2.973082e-04,2.981107e-04,3.005215e-04,3.019380e-04,3.025446e-04,3.042030e-04,3.051084e-04,3.055185e-04,3.065117e-04,3.069873e-04,3.072023e-04,3.076090e-04,3.077265e-04,3.077497e-04,3.076414e-04,3.074635e-04,3.073000e-04,3.067408e-04,3.063225e-04,3.059784e-04,3.050264e-04,3.044155e-04,3.038980e-04,3.026056e-04,3.018436e-04,3.011608e-04,2.995748e-04,2.986978e-04,2.978581e-04,2.960209e-04,2.950599e-04,2.940724e-04,2.920217e-04,2.910036e-04,2.898774e-04,2.876473e-04,2.865948e-04,2.853391e-04,2.829601e-04,2.818926e-04,2.805169e-04,2.780161e-04,2.769500e-04,2.754636e-04,2.728652e-04,2.718142e-04,2.702262e-04,2.675518e-04,2.665273e-04,2.648468e-04,2.621156e-04,2.611268e-04,2.593626e-04,2.565916e-04,2.556461e-04,2.538066e-04,2.510110e-04,2.501147e-04,2.482080e-04,2.454010e-04,2.445585e-04,2.425927e-04,2.397858e-04,2.390005e-04,2.369831e-04,2.341867e-04,2.334610e-04,2.313991e-04,2.286221e-04,2.279575e-04,2.258579e-04,2.231081e-04,2.225053e-04,2.203746e-04,2.176587e-04,2.171178e-04,2.149620e-04,2.122857e-04,2.118063e-04,2.096312e-04,2.069995e-04,2.065807e-04,2.043917e-04,2.018087e-04,2.014491e-04,1.992514e-04,1.967206e-04,1.964187e-04,1.942170e-04,1.917412e-04,1.914951e-04,1.892937e-04,1.868753e-04,1.866830e-04,1.844861e-04,1.821268e-04,1.819862e-04,1.797975e-04,1.774987e-04,1.774074e-04,1.752305e-04,1.729932e-04,1.729488e-04,1.707869e-04,1.686118e-04,1.643974e-04,1.603058e-04,1.563368e-04,1.524900e-04,1.487645e-04,1.451589e-04,1.416720e-04,1.383019e-04,1.350468e-04,1.319046e-04,1.288731e-04,1.259501e-04,1.231330e-04,1.204195e-04,1.178070e-04,1.152929e-04,1.128747e-04,1.105497e-04,1.083153e-04,1.061689e-04,1.041080e-04,1.021298e-04,1.002320e-04,9.841187e-05,9.666705e-05,9.499507e-05,9.339353e-05,9.186006e-05,9.039238e-05,8.898823e-05,8.764540e-05,8.636175e-05,8.513519e-05,8.396367e-05,8.284520e-05,8.177786e-05,8.075977e-05,7.978910e-05,7.886408e-05,7.798299e-05,7.714417e-05,7.634600e-05,7.558692e-05,7.486543e-05,7.418004e-05,7.352935e-05,7.291200e-05,7.232664e-05,7.177201e-05
0.000000e+00,1.411919e-09,1.496529e-08,1.555708e-08,8.329328e-08,2.811679e-07,2.936477e-07,7.357320e-07,1.349236e-06,1.392537e-06,2.137900e-06,2.812703e-06,2.869575e-06,3.549949e-06,4.111426e-06,4.170824e-06,4.732781e-06,5.180900e-06,5.238781e-06,5.692351e-06,6.043216e-06,6.097066e-06,6.456394e-06,6.725583e-06,6.773647e-06,7.051965e-06,7.253216e-06,7.294310e-06,7.503471e-06,7.648669e-06,7.682061e-06,7.832530e-06,7.931852e-06,7.957166e-06,8.058102e-06,8.120191e-06,8.137325e-06,8.196685e-06,8.228839e-06,8.237901e-06,8.262568e-06,8.270918e-06,8.272169e-06,8.268076e-06,8.257750e-06,8.251565e-06,8.223813e-06,8.199082e-06,8.185913e-06,8.138876e-06,8.103282e-06,8.083634e-06,8.021051e-06,7.977516e-06,7.951924e-06,7.876988e-06,7.827910e-06,7.796921e-06,7.712349e-06,7.659684e-06,7.623847e-06,7.531944e-06,7.477276e-06,7.437128e-06,7.339845e-06,7.284444e-06,7.240507e-06,7.139489e-06,7.084363e-06,7.037136e-06,6.933763e-06,6.879702e-06,6.829657e-06,6.725082e-06,6.672694e-06,6.620277e-06,6.515459e-06,6.465200e-06,6.410825e-06,6.306555e-06,6.258758e-06,6.202810e-06,6.099735e-06,6.054629e-06,5.997462e-06,5.896107e-06,5.853838e-06,5.795777e-06,5.696564e-06,5.657210e-06,5.598550e-06,5.501809e-06,5.465395e-06,5.406405e-06,5.312392e-06,5.278897e-06,5.219819e-06,5.128726e-06,5.098097e-06,5.039147e-06,4.951112e-06,4.923270e-06,4.864642e-06,4.779756e-06,4.754601e-06,4.696467e-06,4.614784e-06,4.592201e-06,4.534713e-06,4.456255e-06,4.436121e-06,4.379410e-06,4.304174e-06,4.286356e-06,4.230540e-06,4.158499e-06,4.142863e-06,4.088040e-06,4.019151e-06,4.005560e-06,3.951816e-06,3.886021e-06,3.874340e-06,3.821747e-06,3.758976e-06,3.749071e-06,3.697688e-06,3.637864e-06,3.629604e-06,3.579481e-06,3.522519e-06,3.515777e-06,3.466953e-06,3.412763e-06,3.407418e-06,3.359923e-06,3.308411e-06,3.304346e-06,3.258202e-06,3.209273e-06,3.206377e-06,3.161599e-06,3.115156e-06,3.113324e-06,3.069920e-06,3.025866e-06,3.024997e-06,2.982971e-06,2.941209e-06,2.861775e-06,2.786510e-06,2.715235e-06,2.647773e-06,2.583953e-06,2.523608e-06,2.466577e-06,2.412703e-06,2.361836e-06,2.313831e-06,2.268547e-06,2.225852e-06,2.185616e-06,2.147716e-06,2.112035e-06,2.078458e-06,2.046879e-06,2.017195e-06,1.989307e-06,1.963121e-06,1.938549e-06,1.915505e-06,1.893909e-06,1.873682e-06,1.854753e-06,1.837050e-06,1.820508e-06,1.805064e-06,1.790658e-06,1.777233e-06,1.764735e-06,1.753112e-06,1.742317e-06,1.732302e-06,1.723025e-06,1.714442e-06,1.706516e-06,1.699208e-06,1.692483e-06,1.686307e-06,1.680649e-06,1.675479e-06,1.670767e-06,1.666486e-06,1.662612e-06,1.659119e-06,1.655985e-06,1.653187e-06,1.650706e-06
0.000000e+00,1.421017e-08,4.611329e-07,4.869223e-07,4.754524e-06,2.304105e-05,2.435574e-05,7.813136e-05,1.688898e-04,1.758696e-04,3.058068e-04,4.342018e-04,4.451997e-04,5.750121e-04,6.748209e-04,6.847539e-04,7.710945e-04,8.284592e-04,8.350413e-04,8.796300e-04,9.052542e-04,9.084787e-04,9.250384e-04,9.316376e-04,9.322744e-04,9.325889e-04,9.290124e-04,9.278575e-04,9.195092e-04,9.109554e-04,9.086141e-04,8.959649e-04,8.852604e-04,8.821424e-04,8.675699e-04,8.561852e-04,8.525539e-04,8.373153e-04,8.259902e-04,8.220121e-04,8.067574e-04,7.958501e-04,7.916314e-04,7.766901e-04,7.663622e-04,7.619720e-04,7.475034e-04,7.378166e-04,7.333019e-04,7.193785e-04,7.103445e-04,7.057392e-04,6.923869e-04,6.839925e-04,6.793225e-04,6.665452e-04,6.587666e-04,6.540528e-04,6.418418e-04,6.346489e-04,6.299088e-04,6.182496e-04,6.116110e-04,6.068597e-04,5.957340e-04,5.896172e-04,5.848676e-04,5.742554e-04,5.686287e-04,5.638922e-04,5.537729e-04,5.486056e-04,5.438924e-04,5.342456e-04,5.295083e-04,5.248276e-04,5.156334e-04,5.112982e-04,5.066582e-04,4.978972e-04,4.939377e-04,4.893457e-04,4.809991e-04,4.773904e-04,4.728530e-04,4.649029e-04,4.616212e-04,4.571444e-04,4.495734e-04,4.465965e-04,4.421855e-04,4.349767e-04,4.322834e-04,4.279429e-04,4.210802e-04,4.186508e-04,4.143848e-04,4.078528e-04,4.056684e-04,4.014804e-04,3.952642e-04,3.933074e-04,3.892005e-04,3.832859e-04,3.815400e-04,3.775168e-04,3.718900e-04,3.703396e-04,3.664022e-04,3.610502e-04,3.596805e-04,3.558309e-04,3.507411e-04,3.495385e-04,3.457780e-04,3.409385e-04,3.398901e-04,3.362198e-04,3.316191e-04,3.307129e-04,3.271336e-04,3.227606e-04,3.219853e-04,3.184976e-04,3.143419e-04,3.136868e-04,3.102910e-04,3.063425e-04,3.057978e-04,3.024940e-04,2.987431e-04,2.982994e-04,2.950875e-04,2.915250e-04,2.911738e-04,2.880534e-04,2.846704e-04,2.844036e-04,2.813742e-04,2.781625e-04,2.779724e-04,2.750334e-04,2.719849e-04,2.718646e-04,2.690151e-04,2.661221e-04,2.660650e-04,2.633042e-04,2.605594e-04,2.553340e-04,2.503757e-04,2.456720e-04,2.412110e-04,2.369811e-04,2.329715e-04,2.291717e-04,2.255719e-04,2.221624e-04,2.189343e-04,2.158788e-04,2.129877e-04,2.102531e-04,2.076675e-04,2.052236e-04,2.029145e-04,2.007338e-04,1.986752e-04,1.967327e-04,1.949006e-04,1.931734e-04,1.915461e-04,1.900136e-04,1.885712e-04,1.872144e-04,1.859389e-04,1.847407e-04,1.836157e-04,1.825604e-04,1.815711e-04,1.806445e-04,1.797773e-04,1.789664e-04,1.782090e-04,1.775022e-04,1.768434e-04,1.762299e-04,1.756595e-04,1.751298e-04,1.746386e-04,1.741839e-04,1.737635e-04,1.733757e-04,1.730187e-04,1.726906e-04,1.723900e-04,1.721152e-04,1.718648e-04,1.716373e-04
0.000000e+00,2.721107e-08,8.056187e-07,8.482749e-07,7.299875e-06,3.388805e-05,3.582709e-05,1.206865e-04,2.912998e-04,3.059438e-04,6.223958e-04,1.029066e-03,1.069017e-03,1.616798e-03,2.163742e-03,2.226399e-03,2.861944e-03,3.420963e-03,3.496358e-03,4.111494e-03,4.616522e-03,4.696303e-03,5.244754e-03,5.675290e-03,5.754116e-03,6.223731e-03,6.579542e-03,6.654185e-03,7.046773e-03,7.334700e-03,7.403173e-03,7.725240e-03,7.953850e-03,8.014890e-03,8.274030e-03,8.451719e-03,8.504521e-03,8.708150e-03,8.842551e-03,8.886628e-03,9.041578e-03,9.139444e-03,9.174544e-03,9.286983e-03,9.354218e-03,9.380274e-03,9.455722e-03,9.497463e-03,9.514554e-03,9.557933e-03,9.578632e-03,9.586953e-03,9.602646e-03,9.606148e-03,9.605987e-03,9.597892e-03,9.587512e-03,9.579226e-03,9.550804e-03,9.529389e-03,9.513393e-03,9.467713e-03,9.437699e-03,9.414444e-03,9.354224e-03,9.317691e-03,9.287655e-03,9.215299e-03,9.174010e-03,9.137688e-03,9.055319e-03,9.010762e-03,8.968658e-03,8.878143e-03,8.831570e-03,8.784186e-03,8.687170e-03,8.639622e-03,8.587455e-03,8.485379e-03,8.437718e-03,8.381256e-03,8.275380e-03,8.228311e-03,8.168027e-03,8.059453e-03,8.013545e-03,7.949896e-03,7.839579e-03,7.795287e-03,7.728710e-03,7.617480e-03,7.575156e-03,7.506069e-03,7.394641e-03,7.354553e-03,7.283351e-03,7.172341e-03,7.134685e-03,7.061742e-03,6.951675e-03,6.916584e-03,6.842251e-03,6.733574e-03,6.701130e-03,6.625737e-03,6.518825e-03,6.489067e-03,6.412919e-03,6.308089e-03,6.281017e-03,6.204399e-03,6.101910e-03,6.077497e-03,6.000674e-03,5.900738e-03,5.878931e-03,5.802145e-03,5.704933e-03,5.685659e-03,5.609134e-03,5.514780e-03,5.497951e-03,5.421894e-03,5.330498e-03,5.316014e-03,5.240610e-03,5.152246e-03,5.139998e-03,5.065418e-03,4.980136e-03,4.970006e-03,4.896405e-03,4.814231e-03,4.806099e-03,4.733616e-03,4.654561e-03,4.648304e-03,4.577063e-03,4.501120e-03,4.496613e-03,4.426727e-03,4.353877e-03,4.350995e-03,4.282562e-03,4.212774e-03,4.211394e-03,4.144503e-03,4.077736e-03,3.949930e-03,3.827872e-03,3.711445e-03,3.600526e-03,3.494982e-03,3.394674e-03,3.299462e-03,3.209198e-03,3.123736e-03,3.042926e-03,2.966618e-03,2.894662e-03,2.826909e-03,2.763211e-03,2.703420e-03,2.647392e-03,2.594984e-03,2.546054e-03,2.500466e-03,2.458082e-03,2.418770e-03,2.382400e-03,2.348843e-03,2.317976e-03,2.289676e-03,2.263825e-03,2.240307e-03,2.219009e-03,2.199820e-03,2.182633e-03,2.167345e-03,2.153853e-03,2.142059e-03,2.131867e-03,2.123184e-03,2.115920e-03,2.109987e-03,2.105302e-03,2.101781e-03,2.099346e-03,2.097920e-03,2.097429e-03,2.097803e-03,2.098972e-03,2.100870e-03,2.103435e-03,2.106605e-03,2.110322e-03,2.114531e-03
0.000000e+00,8.961566e-09,1.036555e-07,1.078037e-07,5.584510e-07,1.729462e-06,1.799364e-06,4.147192e-06,7.298535e-06,7.523466e-06,1.151620e-05,1.533715e-05,1.566711e-05,1.969707e-05,2.313168e-05,2.350083e-05,2.705244e-05,2.996913e-05,3.035200e-05,3.340752e-05,3.584795e-05,3.622935e-05,3.882848e-05,4.084778e-05,4.121603e-05,4.340319e-05,4.505470e-05,4.540070e-05,4.721854e-05,4.855010e-05,4.886660e-05,5.035440e-05,5.140949e-05,5.169103e-05,5.288522e-05,5.370267e-05,5.394528e-05,5.487912e-05,5.549334e-05,5.569426e-05,5.639788e-05,5.683928e-05,5.699681e-05,5.749752e-05,5.779289e-05,5.790617e-05,5.822863e-05,5.840150e-05,5.847043e-05,5.863686e-05,5.870784e-05,5.873290e-05,5.876330e-05,5.875039e-05,5.873255e-05,5.864491e-05,5.856377e-05,5.850440e-05,5.831483e-05,5.817906e-05,5.807983e-05,5.780281e-05,5.762416e-05,5.748699e-05,5.713543e-05,5.692403e-05,5.675102e-05,5.633647e-05,5.610100e-05,5.589437e-05,5.542715e-05,5.517502e-05,5.493708e-05,5.442633e-05,5.416385e-05,5.389694e-05,5.335082e-05,5.308328e-05,5.278978e-05,5.221551e-05,5.194735e-05,5.162961e-05,5.103358e-05,5.076848e-05,5.042883e-05,4.981667e-05,4.955766e-05,4.919836e-05,4.857504e-05,4.832456e-05,4.794781e-05,4.731768e-05,4.707768e-05,4.668561e-05,4.605248e-05,4.582446e-05,4.541912e-05,4.478630e-05,4.457140e-05,4.415474e-05,4.352511e-05,4.332414e-05,4.289802e-05,4.227405e-05,4.208755e-05,4.165373e-05,4.103755e-05,4.086583e-05,4.042596e-05,3.981938e-05,3.966254e-05,3.921819e-05,3.862274e-05,3.848072e-05,3.803334e-05,3.745030e-05,3.732290e-05,3.687386e-05,3.630427e-05,3.619119e-05,3.574174e-05,3.518646e-05,3.508730e-05,3.463861e-05,3.409832e-05,3.401259e-05,3.356574e-05,3.304097e-05,3.296813e-05,3.252411e-05,3.201525e-05,3.195472e-05,3.151444e-05,3.102174e-05,3.097292e-05,3.053720e-05,3.006083e-05,3.002308e-05,2.959266e-05,2.913269e-05,2.910535e-05,2.868092e-05,2.823733e-05,2.821976e-05,2.780191e-05,2.737463e-05,2.736616e-05,2.695544e-05,2.654432e-05,2.575387e-05,2.499439e-05,2.426534e-05,2.356616e-05,2.289621e-05,2.225481e-05,2.164127e-05,2.105486e-05,2.049480e-05,1.996035e-05,1.945072e-05,1.896513e-05,1.850279e-05,1.806294e-05,1.764479e-05,1.724757e-05,1.687054e-05,1.651294e-05,1.617404e-05,1.585313e-05,1.554951e-05,1.526249e-05,1.499140e-05,1.473560e-05,1.449445e-05,1.426735e-05,1.405368e-05,1.385289e-05,1.366441e-05,1.348770e-05,1.332223e-05,1.316751e-05,1.302305e-05,1.288838e-05,1.276305e-05,1.264661e-05,1.253866e-05,1.243879e-05,1.234660e-05,1.226173e-05,1.218381e-05,1.211251e-05,1.204748e-05,1.198842e-05,1.193501e-05,1.188696e-05,1.184400e-05,1.180584e-05,1.177224e-05
0.000000e+00,2.918089e-09,3.462294e-08,3.606275e-08,2.042191e-07,6.745836e-07,7.029819e-07,1.629965e-06,2.736231e-06,2.809156e-06,4.006868e-06,5.042073e-06,5.128339e-06,6.154491e-06,6.996826e-06,7.085815e-06,7.927073e-06,8.597333e-06,8.683880e-06,9.361905e-06,9.886206e-06,9.966660e-06,1.050342e-05,1.090542e-05,1.097719e-05,1.139272e-05,1.169311e-05,1.175444e-05,1.206652e-05,1.228309e-05,1.233288e-05,1.255714e-05,1.270504e-05,1.274271e-05,1.289276e-05,1.298485e-05,1.301022e-05,1.309782e-05,1.314494e-05,1.315812e-05,1.319348e-05,1.320473e-05,1.320609e-05,1.319798e-05,1.318099e-05,1.317104e-05,1.312703e-05,1.308818e-05,1.306756e-05,1.299412e-05,1.293868e-05,1.290810e-05,1.281078e-05,1.274312e-05,1.270336e-05,1.258693e-05,1.251068e-05,1.246252e-05,1.233106e-05,1.224916e-05,1.219342e-05,1.205040e-05,1.196528e-05,1.190274e-05,1.175111e-05,1.166470e-05,1.159613e-05,1.143837e-05,1.135221e-05,1.127835e-05,1.111656e-05,1.103188e-05,1.095344e-05,1.078938e-05,1.070711e-05,1.062475e-05,1.045990e-05,1.038078e-05,1.029512e-05,1.013069e-05,1.005524e-05,9.966867e-06,9.803875e-06,9.732476e-06,9.641920e-06,9.481190e-06,9.414088e-06,9.321849e-06,9.164048e-06,9.101390e-06,9.007921e-06,8.853586e-06,8.795431e-06,8.701148e-06,8.550700e-06,8.497041e-06,8.402321e-06,8.256082e-06,8.206859e-06,8.112043e-06,7.970254e-06,7.925364e-06,7.830759e-06,7.693591e-06,7.652899e-06,7.558779e-06,7.426344e-06,7.389690e-06,7.296301e-06,7.168661e-06,7.135869e-06,7.043429e-06,6.920604e-06,6.891484e-06,6.800184e-06,6.682162e-06,6.656517e-06,6.566526e-06,6.453263e-06,6.430893e-06,6.342356e-06,6.233787e-06,6.214491e-06,6.127534e-06,6.023575e-06,6.007153e-06,5.921885e-06,5.822436e-06,5.808690e-06,5.725202e-06,5.630152e-06,5.618892e-06,5.537258e-06,5.446488e-06,5.437526e-06,5.357809e-06,5.271191e-06,5.264349e-06,5.186599e-06,5.103999e-06,5.099106e-06,5.023359e-06,4.944644e-06,4.941535e-06,4.867820e-06,4.792852e-06,4.791372e-06,4.719706e-06,4.648348e-06,4.512199e-06,4.382658e-06,4.259465e-06,4.142362e-06,4.031096e-06,3.925423e-06,3.825101e-06,3.729899e-06,3.639588e-06,3.553952e-06,3.472778e-06,3.395862e-06,3.323008e-06,3.254027e-06,3.188737e-06,3.126964e-06,3.068539e-06,3.013303e-06,2.961102e-06,2.911787e-06,2.865219e-06,2.821262e-06,2.779788e-06,2.740673e-06,2.703800e-06,2.669057e-06,2.636337e-06,2.605537e-06,2.576561e-06,2.549315e-06,2.523710e-06,2.499663e-06,2.477093e-06,2.455924e-06,2.436082e-06,2.417499e-06,2.400109e-06,2.383847e-06,2.368656e-06,2.354478e-06,2.341259e-06,2.328947e-06,2.317494e-06,2.306853e-06,2.296980e-06,2.287833e-06,2.279373e-06,2.271561e-06,2.264361e-06
0.000000e+00,9.040227e-08,2.981559e-06,3.145729e-06,3.001565e-05,1.557654e-04,1.654727e-04,6.276252e-04,1.675659e-03,1.770496e-03,3.961362e-03,7.130010e-03,7.462130e-03,1.240329e-02,1.809982e-02,1.880434e-02,2.660202e-02,3.452422e-02,3.567540e-02,4.586632e-02,5.538768e-02,5.699517e-02,6.887307e-02,7.929084e-02,8.131087e-02,9.412568e-02,1.047941e-01,1.071455e-01,1.202123e-01,1.306032e-01,1.331836e-01,1.459336e-01,1.556544e-01,1.583534e-01,1.703504e-01,1.791374e-01,1.818476e-01,1.927829e-01,2.004841e-01,2.031076e-01,2.127856e-01,2.193387e-01,2.217916e-01,2.301102e-01,2.355202e-01,2.377345e-01,2.446651e-01,2.489849e-01,2.509088e-01,2.564777e-01,2.597914e-01,2.613884e-01,2.656608e-01,2.680707e-01,2.693178e-01,2.723845e-01,2.740008e-01,2.748872e-01,2.768536e-01,2.777878e-01,2.783120e-01,2.792910e-01,2.796503e-01,2.798190e-01,2.799243e-01,2.798091e-01,2.796348e-01,2.789775e-01,2.784791e-01,2.779790e-01,2.766647e-01,2.758647e-01,2.750593e-01,2.731863e-01,2.721566e-01,2.710684e-01,2.687270e-01,2.675299e-01,2.661828e-01,2.634551e-01,2.621438e-01,2.605623e-01,2.575220e-01,2.561418e-01,2.543506e-01,2.510634e-01,2.496519e-01,2.476752e-01,2.441994e-01,2.427875e-01,2.406490e-01,2.370359e-01,2.356488e-01,2.333712e-01,2.296655e-01,2.283233e-01,2.259285e-01,2.221691e-01,2.208874e-01,2.183959e-01,2.146166e-01,2.134071e-01,2.108383e-01,2.070679e-01,2.059392e-01,2.033113e-01,1.995744e-01,1.985323e-01,1.958622e-01,1.921796e-01,1.912275e-01,1.885308e-01,1.849200e-01,1.840594e-01,1.813506e-01,1.778260e-01,1.770569e-01,1.743491e-01,1.709226e-01,1.702436e-01,1.675489e-01,1.642301e-01,1.636387e-01,1.609682e-01,1.577646e-01,1.572576e-01,1.546210e-01,1.515386e-01,1.511120e-01,1.485184e-01,1.455613e-01,1.452107e-01,1.426681e-01,1.398394e-01,1.395601e-01,1.370756e-01,1.343772e-01,1.341641e-01,1.317442e-01,1.291769e-01,1.290250e-01,1.266752e-01,1.242391e-01,1.241431e-01,1.218685e-01,1.195630e-01,1.195176e-01,1.173224e-01,1.151464e-01,1.110264e-01,1.071537e-01,1.035237e-01,1.001312e-01,9.697051e-02,9.403552e-02,9.131980e-02,8.881666e-02,8.651916e-02,8.442019e-02,8.251246e-02,8.078858e-02,7.924103e-02,7.786223e-02,7.664450e-02,7.558014e-02,7.466139e-02,7.388049e-02,7.322966e-02,7.270114e-02,7.228717e-02,7.198006e-02,7.177217e-02,7.165593e-02,7.162390e-02,7.166870e-02,7.178315e-02,7.196020e-02,7.219296e-02,7.247478e-02,7.279921e-02,7.316002e-02,7.355125e-02,7.396723e-02,7.440254e-02,7.485208e-02,7.531104e-02,7.577495e-02,7.623964e-02,7.670126e-02,7.715632e-02,7.760161e-02,7.803429e-02,7.845181e-02,7.885194e-02,7.923275e-02,7.959261e-02,7.993019e-02,8.024439e-02
0.000000e+00,8.032027e-09,2.194930e-07,2.308193e-07,1.883699e-06,8.376742e-06,8.840311e-06,2.846086e-05,6.574158e-05,6.885113e-05,1.335875e-04,2.114839e-04,2.188711e-04,3.160833e-04,4.065905e-04,4.165952e-04,5.143839e-04,5.954952e-04,6.061236e-04,6.903473e-04,7.564383e-04,7.666435e-04,8.351323e-04,8.868911e-04,8.961761e-04,9.502327e-04,9.896848e-04,9.977861e-04,1.039315e-03,1.068511e-03,1.075280e-03,1.106116e-03,1.126872e-03,1.132233e-03,1.154014e-03,1.167890e-03,1.171819e-03,1.185979e-03,1.194296e-03,1.196807e-03,1.204590e-03,1.208460e-03,1.209596e-03,1.212076e-03,1.212432e-03,1.212258e-03,1.210359e-03,1.207980e-03,1.206576e-03,1.201092e-03,1.196624e-03,1.194077e-03,1.185689e-03,1.179667e-03,1.176072e-03,1.165361e-03,1.158225e-03,1.153679e-03,1.141139e-03,1.133248e-03,1.127847e-03,1.113900e-03,1.105546e-03,1.099387e-03,1.084389e-03,1.075806e-03,1.068981e-03,1.053233e-03,1.044609e-03,1.037207e-03,1.020961e-03,1.012444e-03,1.004548e-03,9.880162e-04,9.797196e-04,9.714095e-04,9.547679e-04,9.467783e-04,9.381276e-04,9.215217e-04,9.139028e-04,9.049798e-04,8.885289e-04,8.813257e-04,8.721931e-04,8.559942e-04,8.492362e-04,8.399515e-04,8.240823e-04,8.177867e-04,8.084020e-04,7.929242e-04,7.870982e-04,7.776607e-04,7.626219e-04,7.572647e-04,7.478167e-04,7.332528e-04,7.283572e-04,7.189366e-04,7.048735e-04,7.004275e-04,6.910678e-04,6.775231e-04,6.735110e-04,6.642419e-04,6.512261e-04,6.476294e-04,6.384769e-04,6.259948e-04,6.227932e-04,6.137797e-04,6.018311e-04,5.990030e-04,5.901480e-04,5.787288e-04,5.762518e-04,5.675718e-04,5.566747e-04,5.545263e-04,5.460351e-04,5.356501e-04,5.338076e-04,5.255168e-04,5.156319e-04,5.140732e-04,5.059921e-04,4.965936e-04,4.952969e-04,4.874329e-04,4.785060e-04,4.774503e-04,4.698091e-04,4.613379e-04,4.605031e-04,4.530886e-04,4.450569e-04,4.444236e-04,4.372386e-04,4.296294e-04,4.291795e-04,4.222253e-04,4.150217e-04,4.147377e-04,4.080146e-04,4.011997e-04,4.010654e-04,3.945728e-04,3.881295e-04,3.758977e-04,3.643378e-04,3.534187e-04,3.431097e-04,3.333812e-04,3.242044e-04,3.155517e-04,3.073962e-04,2.997123e-04,2.924753e-04,2.856617e-04,2.792487e-04,2.732148e-04,2.675395e-04,2.622032e-04,2.571870e-04,2.524734e-04,2.480454e-04,2.438871e-04,2.399831e-04,2.363192e-04,2.328817e-04,2.296576e-04,2.266347e-04,2.238015e-04,2.211470e-04,2.186608e-04,2.163332e-04,2.141550e-04,2.121174e-04,2.102121e-04,2.084315e-04,2.067681e-04,2.052152e-04,2.037660e-04,2.024145e-04,2.011550e-04,1.999818e-04,1.988899e-04,1.978744e-04,1.969308e-04,1.960546e-04,1.952419e-04,1.944889e-04,1.937919e-04,1.931475e-04,1.925525e-04,1.920040e-04,1.914990e-04
0.000000e+00,5.082966e-08,1.574020e-06,1.657742e-06,1.437462e-05,6.936093e-05,7.352157e-05,2.704059e-04,7.290542e-04,7.715691e-04,1.791977e-03,3.359254e-03,3.527944e-03,6.104297e-03,9.178560e-03,9.564022e-03,1.388241e-02,1.833569e-02,1.898641e-02,2.477190e-02,3.020006e-02,3.111736e-02,3.789424e-02,4.382632e-02,4.497438e-02,5.223530e-02,5.824429e-02,5.956363e-02,6.685729e-02,7.260653e-02,7.402656e-02,8.099446e-02,8.624776e-02,8.769657e-02,9.408047e-02,9.869365e-02,1.001049e-01,1.057389e-01,1.096435e-01,1.109606e-01,1.157561e-01,1.189411e-01,1.201189e-01,1.240481e-01,1.265428e-01,1.275482e-01,1.306276e-01,1.324874e-01,1.332985e-01,1.355753e-01,1.368701e-01,1.374747e-01,1.390150e-01,1.398212e-01,1.402154e-01,1.410956e-01,1.414894e-01,1.416759e-01,1.419762e-01,1.420304e-01,1.420166e-01,1.418164e-01,1.415976e-01,1.413946e-01,1.407695e-01,1.403372e-01,1.399586e-01,1.389785e-01,1.383846e-01,1.378452e-01,1.365737e-01,1.358627e-01,1.351782e-01,1.336720e-01,1.328812e-01,1.320675e-01,1.303765e-01,1.295373e-01,1.286098e-01,1.267777e-01,1.259155e-01,1.248894e-01,1.229538e-01,1.220893e-01,1.209790e-01,1.189723e-01,1.181217e-01,1.169408e-01,1.148907e-01,1.140668e-01,1.128279e-01,1.107577e-01,1.099701e-01,1.086850e-01,1.066143e-01,1.058701e-01,1.045497e-01,1.024950e-01,1.017992e-01,1.004534e-01,9.842814e-02,9.778395e-02,9.642192e-02,9.443724e-02,9.384638e-02,9.247636e-02,9.054129e-02,9.000435e-02,8.863383e-02,8.675557e-02,8.627219e-02,8.490793e-02,8.309213e-02,8.266120e-02,8.130926e-02,7.956025e-02,7.918010e-02,7.784591e-02,7.616689e-02,7.583538e-02,7.452377e-02,7.291699e-02,7.263166e-02,7.134693e-02,6.981384e-02,6.957199e-02,6.831792e-02,6.685929e-02,6.665806e-02,6.543800e-02,6.405404e-02,6.389047e-02,6.270734e-02,6.139778e-02,6.126886e-02,6.012521e-02,5.888942e-02,5.879214e-02,5.769016e-02,5.652717e-02,5.645854e-02,5.540014e-02,5.430873e-02,5.426581e-02,5.325258e-02,5.223132e-02,5.221125e-02,5.124455e-02,5.029184e-02,4.850428e-02,4.684504e-02,4.531046e-02,4.389671e-02,4.259986e-02,4.141590e-02,4.034074e-02,3.937026e-02,3.850028e-02,3.772658e-02,3.704492e-02,3.645104e-02,3.594064e-02,3.550942e-02,3.515306e-02,3.486725e-02,3.464766e-02,3.448997e-02,3.438989e-02,3.434315e-02,3.434551e-02,3.439277e-02,3.448081e-02,3.460557e-02,3.476307e-02,3.494943e-02,3.516090e-02,3.539381e-02,3.564467e-02,3.591012e-02,3.618695e-02,3.647213e-02,3.676280e-02,3.705628e-02,3.735008e-02,3.764190e-02,3.792965e-02,3.821142e-02,3.848551e-02,3.875038e-02,3.900473e-02,3.924741e-02,3.947746e-02,3.969410e-02,3.989671e-02,4.008482e-02,4.025814e-02,4.041647e-02,4.055979e-02
0.000000e+00,3.329296e-09,3.820137e-08,3.976902e-08,2.224796e-07,7.479802e-07,7.805113e-07,1.895296e-06,3.355156e-06,3.455538e-06,5.154507e-06,6.678604e-06,6.807508e-06,8.362775e-06,9.671559e-06,9.811680e-06,1.115579e-05,1.225500e-05,1.239900e-05,1.354581e-05,1.445851e-05,1.460086e-05,1.556880e-05,1.631788e-05,1.645418e-05,1.726147e-05,1.786822e-05,1.799500e-05,1.865894e-05,1.914267e-05,1.925728e-05,1.979386e-05,2.017188e-05,2.027234e-05,2.069621e-05,2.098388e-05,2.106879e-05,2.139325e-05,2.160415e-05,2.167260e-05,2.190968e-05,2.205575e-05,2.210722e-05,2.226779e-05,2.235949e-05,2.239381e-05,2.248762e-05,2.253412e-05,2.255139e-05,2.258719e-05,2.259646e-05,2.259700e-05,2.258266e-05,2.256162e-05,2.254593e-05,2.248847e-05,2.244312e-05,2.241185e-05,2.231754e-05,2.225305e-05,2.220695e-05,2.208138e-05,2.200219e-05,2.194210e-05,2.179026e-05,2.170016e-05,2.162697e-05,2.145328e-05,2.135551e-05,2.127016e-05,2.107853e-05,2.097581e-05,2.087926e-05,2.067317e-05,2.056780e-05,2.046101e-05,2.024351e-05,2.013741e-05,2.002134e-05,1.979514e-05,1.968989e-05,1.956548e-05,1.933293e-05,1.922983e-05,1.909800e-05,1.886119e-05,1.876127e-05,1.862293e-05,1.838365e-05,1.828774e-05,1.814374e-05,1.790357e-05,1.781231e-05,1.766348e-05,1.742378e-05,1.733764e-05,1.718477e-05,1.694671e-05,1.686603e-05,1.670985e-05,1.647444e-05,1.639944e-05,1.624067e-05,1.600874e-05,1.593955e-05,1.577884e-05,1.555112e-05,1.548777e-05,1.532574e-05,1.510283e-05,1.504529e-05,1.488252e-05,1.466491e-05,1.461309e-05,1.445010e-05,1.423819e-05,1.419197e-05,1.402925e-05,1.382336e-05,1.378255e-05,1.362057e-05,1.342093e-05,1.338534e-05,1.322450e-05,1.303131e-05,1.300070e-05,1.284138e-05,1.265475e-05,1.262889e-05,1.247144e-05,1.229145e-05,1.227007e-05,1.211479e-05,1.194147e-05,1.192433e-05,1.177149e-05,1.160485e-05,1.159166e-05,1.144152e-05,1.128150e-05,1.127201e-05,1.112478e-05,1.097133e-05,1.096526e-05,1.082114e-05,1.067417e-05,1.067127e-05,1.053041e-05,1.038982e-05,1.012070e-05,9.863636e-06,9.618352e-06,9.384548e-06,9.161909e-06,8.950110e-06,8.748818e-06,8.557692e-06,8.376392e-06,8.204572e-06,8.041891e-06,7.888007e-06,7.742581e-06,7.605282e-06,7.475779e-06,7.353751e-06,7.238883e-06,7.130866e-06,7.029400e-06,6.934194e-06,6.844962e-06,6.761430e-06,6.683330e-06,6.610404e-06,6.542402e-06,6.479083e-06,6.420214e-06,6.365572e-06,6.314941e-06,6.268114e-06,6.224892e-06,6.185084e-06,6.148507e-06,6.114985e-06,6.084350e-06,6.056440e-06,6.031102e-06,6.008189e-06,5.987559e-06,5.969079e-06,5.952620e-06,5.938060e-06,5.925282e-06,5.914176e-06,5.904636e-06,5.896562e-06,5.889857e-06,5.884431e-06,5.880198e-06
0.000000e+00,7.702741e-09,2.264383e-07,2.386138e-07,2.145280e-06,1.002680e-05,1.059147e-05,3.391004e-05,7.453259e-05,7.772212e-05,1.388037e-04,2.028329e-04,2.085308e-04,2.793240e-04,3.402149e-04,3.467324e-04,4.087506e-04,4.583519e-04,4.647517e-04,5.147642e-04,5.532143e-04,5.590927e-04,5.981387e-04,6.271640e-04,6.323243e-04,6.620615e-04,6.834004e-04,6.877395e-04,7.097217e-04,7.248733e-04,7.283444e-04,7.439179e-04,7.541328e-04,7.567275e-04,7.670351e-04,7.733439e-04,7.750806e-04,7.810836e-04,7.843296e-04,7.852449e-04,7.877479e-04,7.886179e-04,7.887601e-04,7.884343e-04,7.874853e-04,7.869099e-04,7.843140e-04,7.819962e-04,7.807623e-04,7.763603e-04,7.730362e-04,7.712041e-04,7.653810e-04,7.613414e-04,7.589707e-04,7.520453e-04,7.475221e-04,7.446708e-04,7.369066e-04,7.320839e-04,7.288072e-04,7.204215e-04,7.154445e-04,7.117943e-04,7.029660e-04,6.979480e-04,6.939730e-04,6.848486e-04,6.798774e-04,6.756225e-04,6.663219e-04,6.614643e-04,6.569710e-04,6.475918e-04,6.428978e-04,6.382040e-04,6.288253e-04,6.243315e-04,6.194715e-04,6.101569e-04,6.058889e-04,6.008941e-04,5.916944e-04,5.876691e-04,5.825677e-04,5.735229e-04,5.697504e-04,5.645678e-04,5.557094e-04,5.521944e-04,5.469535e-04,5.383053e-04,5.350482e-04,5.297694e-04,5.213495e-04,5.183474e-04,5.130489e-04,5.048704e-04,5.021178e-04,4.968160e-04,4.888876e-04,4.863773e-04,4.810865e-04,4.734138e-04,4.711372e-04,4.658703e-04,4.584562e-04,4.564034e-04,4.511717e-04,4.440167e-04,4.421776e-04,4.369910e-04,4.300940e-04,4.284578e-04,4.233250e-04,4.166833e-04,4.152391e-04,4.101679e-04,4.037777e-04,4.025146e-04,3.975115e-04,3.913681e-04,3.902752e-04,3.853461e-04,3.794442e-04,3.785109e-04,3.736607e-04,3.679942e-04,3.672101e-04,3.624431e-04,3.570058e-04,3.563609e-04,3.516806e-04,3.464659e-04,3.459504e-04,3.413599e-04,3.363610e-04,3.359657e-04,3.314675e-04,3.266775e-04,3.263934e-04,3.219895e-04,3.174015e-04,3.172201e-04,3.129120e-04,3.085193e-04,3.084324e-04,3.042215e-04,3.000170e-04,2.919607e-04,2.842505e-04,2.768738e-04,2.698180e-04,2.630711e-04,2.566211e-04,2.504567e-04,2.445666e-04,2.389401e-04,2.335667e-04,2.284362e-04,2.235389e-04,2.188653e-04,2.144065e-04,2.101535e-04,2.060979e-04,2.022317e-04,1.985469e-04,1.950360e-04,1.916918e-04,1.885072e-04,1.854757e-04,1.825907e-04,1.798460e-04,1.772358e-04,1.747542e-04,1.723958e-04,1.701553e-04,1.680277e-04,1.660081e-04,1.640918e-04,1.622743e-04,1.605514e-04,1.589189e-04,1.573729e-04,1.559095e-04,1.545252e-04,1.532165e-04,1.519799e-04,1.508123e-04,1.497105e-04,1.486718e-04,1.476931e-04,1.467718e-04,1.459053e-04,1.450910e-04,1.443267e-04,1.436099e-04,1.429385e-04
0.000000e+00,9.561952e-09,2.990248e-07,3.151997e-07,2.888394e-06,1.447322e-05,1.535272e-05,5.613251e-05,1.447064e-04,1.525399e-04,3.268755e-04,5.601237e-04,5.834538e-04,9.094002e-04,1.243964e-03,1.282739e-03,1.679493e-03,2.030633e-03,2.077904e-03,2.460389e-03,2.766632e-03,2.814049e-03,3.130401e-03,3.363771e-03,3.404742e-03,3.635378e-03,3.792226e-03,3.822870e-03,3.969355e-03,4.059104e-03,4.077970e-03,4.152411e-03,4.189286e-03,4.196622e-03,4.214563e-03,4.212987e-03,4.210052e-03,4.186647e-03,4.159087e-03,4.147598e-03,4.095809e-03,4.052081e-03,4.033837e-03,3.963895e-03,3.911221e-03,3.887879e-03,3.807398e-03,3.750818e-03,3.723799e-03,3.638196e-03,3.581053e-03,3.551506e-03,3.464471e-03,3.408868e-03,3.377687e-03,3.291631e-03,3.238807e-03,3.206672e-03,3.123098e-03,3.073710e-03,3.041124e-03,2.960913e-03,2.915244e-03,2.882577e-03,2.806195e-03,2.764293e-03,2.731815e-03,2.659462e-03,2.621237e-03,2.589143e-03,2.520852e-03,2.486137e-03,2.454571e-03,2.390274e-03,2.358859e-03,2.327929e-03,2.267500e-03,2.239163e-03,2.208947e-03,2.152230e-03,2.126744e-03,2.097304e-03,2.044126e-03,2.021270e-03,1.992650e-03,1.942833e-03,1.922394e-03,1.894630e-03,1.847997e-03,1.829773e-03,1.802890e-03,1.759268e-03,1.743072e-03,1.717088e-03,1.676308e-03,1.661962e-03,1.636888e-03,1.598788e-03,1.586128e-03,1.561970e-03,1.526396e-03,1.515269e-03,1.492028e-03,1.458830e-03,1.449094e-03,1.426767e-03,1.395804e-03,1.387326e-03,1.365907e-03,1.337043e-03,1.329704e-03,1.309180e-03,1.282288e-03,1.275975e-03,1.256335e-03,1.231292e-03,1.225901e-03,1.207129e-03,1.183820e-03,1.179258e-03,1.161336e-03,1.139651e-03,1.135830e-03,1.118739e-03,1.098575e-03,1.095416e-03,1.079134e-03,1.060394e-03,1.057825e-03,1.042330e-03,1.024921e-03,1.022875e-03,1.008145e-03,9.919813e-04,9.903978e-04,9.764090e-04,9.614085e-04,9.602326e-04,9.469608e-04,9.330473e-04,9.322290e-04,9.196499e-04,9.067513e-04,9.062455e-04,8.943346e-04,8.823834e-04,8.821490e-04,8.708820e-04,8.598149e-04,8.391261e-04,8.199729e-04,8.022523e-04,7.858682e-04,7.707301e-04,7.567538e-04,7.438601e-04,7.319753e-04,7.210300e-04,7.109598e-04,7.017041e-04,6.932064e-04,6.854140e-04,6.782776e-04,6.717510e-04,6.657912e-04,6.603581e-04,6.554140e-04,6.509239e-04,6.468552e-04,6.431771e-04,6.398613e-04,6.368811e-04,6.342116e-04,6.318296e-04,6.297137e-04,6.278435e-04,6.262003e-04,6.247665e-04,6.235259e-04,6.224631e-04,6.215640e-04,6.208152e-04,6.202046e-04,6.197206e-04,6.193525e-04,6.190904e-04,6.189250e-04,6.188477e-04,6.188505e-04,6.189260e-04,6.190673e-04,6.192678e-04,6.195218e-04,6.198236e-04,6.201682e-04,6.205507e-04,6.209669e-04,6.214126e-04
0.000000e+00,2.095359e-10,2.796305e-09,2.917663e-09,1.704644e-08,5.503015e-08,5.728157e-08,1.302207e-07,2.185886e-07,2.244878e-07,3.219197e-07,4.058185e-07,4.127627e-07,4.945964e-07,5.605383e-07,5.674321e-07,6.318518e-07,6.821225e-07,6.885393e-07,7.381661e-07,7.756794e-07,7.813620e-07,8.187101e-07,8.459567e-07,8.507465e-07,8.779656e-07,8.970096e-07,9.008204e-07,9.197264e-07,9.322644e-07,9.350634e-07,9.471785e-07,9.545966e-07,9.563887e-07,9.629835e-07,9.664094e-07,9.672265e-07,9.693585e-07,9.697066e-07,9.695985e-07,9.681462e-07,9.661553e-07,9.651833e-07,9.608751e-07,9.571402e-07,9.553723e-07,9.488114e-07,9.438096e-07,9.413169e-07,9.330015e-07,9.271140e-07,9.239680e-07,9.143093e-07,9.078388e-07,9.041097e-07,8.934457e-07,8.866314e-07,8.823865e-07,8.709949e-07,8.640241e-07,8.593274e-07,8.474354e-07,8.404534e-07,8.353648e-07,8.231575e-07,8.162758e-07,8.108509e-07,7.984789e-07,7.917815e-07,7.860715e-07,7.736562e-07,7.672052e-07,7.612571e-07,7.488959e-07,7.427358e-07,7.365922e-07,7.243630e-07,7.185241e-07,7.122237e-07,7.001877e-07,6.946892e-07,6.882670e-07,6.764718e-07,6.713242e-07,6.648115e-07,6.532937e-07,6.485004e-07,6.419254e-07,6.307122e-07,6.262715e-07,6.196592e-07,6.087704e-07,6.046765e-07,5.980492e-07,5.874983e-07,5.837421e-07,5.771198e-07,5.669152e-07,5.634855e-07,5.568856e-07,5.470318e-07,5.439157e-07,5.373539e-07,5.278518e-07,5.250355e-07,5.185252e-07,5.093734e-07,5.068420e-07,5.003953e-07,4.915899e-07,4.893286e-07,4.829558e-07,4.744915e-07,4.724851e-07,4.661953e-07,4.580653e-07,4.562989e-07,4.500998e-07,4.422965e-07,4.407552e-07,4.346535e-07,4.271685e-07,4.258378e-07,4.198393e-07,4.126636e-07,4.115295e-07,4.056390e-07,3.987632e-07,3.978123e-07,3.920337e-07,3.854483e-07,3.846676e-07,3.790043e-07,3.726994e-07,3.720765e-07,3.665312e-07,3.604972e-07,3.600202e-07,3.545950e-07,3.488222e-07,3.484799e-07,3.431764e-07,3.376552e-07,3.374369e-07,3.322562e-07,3.269771e-07,3.268728e-07,3.218156e-07,3.167694e-07,3.071092e-07,2.978749e-07,2.890497e-07,2.806173e-07,2.725620e-07,2.648684e-07,2.575218e-07,2.505079e-07,2.438130e-07,2.374238e-07,2.313276e-07,2.255121e-07,2.199656e-07,2.146766e-07,2.096343e-07,2.048282e-07,2.002482e-07,1.958848e-07,1.917286e-07,1.877709e-07,1.840030e-07,1.804169e-07,1.770046e-07,1.737587e-07,1.706720e-07,1.677376e-07,1.649489e-07,1.622996e-07,1.597835e-07,1.573950e-07,1.551283e-07,1.529783e-07,1.509397e-07,1.490076e-07,1.471774e-07,1.454447e-07,1.438050e-07,1.422542e-07,1.407885e-07,1.394040e-07,1.380971e-07,1.368643e-07,1.357024e-07,1.346080e-07,1.335783e-07,1.326103e-07,1.317011e-07,1.308481e-07,1.300488e-07
0.000000e+00,1.302017e-08,4.230197e-07,4.467301e-07,4.427870e-06,2.222019e-05,2.353183e-05,7.954809e-05,1.807463e-04,1.887853e-04,3.444106e-04,5.105153e-04,5.254360e-04,7.126217e-04,8.761223e-04,8.937483e-04,1.062577e-03,1.198924e-03,1.216595e-03,1.355288e-03,1.462629e-03,1.479096e-03,1.588871e-03,1.670966e-03,1.685610e-03,1.770330e-03,1.831524e-03,1.844015e-03,1.907599e-03,1.951782e-03,1.961954e-03,2.007893e-03,2.038369e-03,2.046169e-03,2.077479e-03,2.097014e-03,2.102467e-03,2.121724e-03,2.132607e-03,2.135796e-03,2.145182e-03,2.149298e-03,2.150342e-03,2.151697e-03,2.150588e-03,2.149630e-03,2.144496e-03,2.139416e-03,2.136614e-03,2.126279e-03,2.118246e-03,2.113760e-03,2.099302e-03,2.089135e-03,2.083128e-03,2.065442e-03,2.053799e-03,2.046429e-03,2.026259e-03,2.013665e-03,2.005084e-03,1.983046e-03,1.969918e-03,1.960270e-03,1.936874e-03,1.923541e-03,1.912963e-03,1.888631e-03,1.875347e-03,1.863964e-03,1.839042e-03,1.826005e-03,1.813935e-03,1.788707e-03,1.776065e-03,1.763414e-03,1.738109e-03,1.725973e-03,1.712839e-03,1.687645e-03,1.676092e-03,1.662564e-03,1.637630e-03,1.626714e-03,1.612873e-03,1.588319e-03,1.578072e-03,1.563991e-03,1.539912e-03,1.530353e-03,1.516098e-03,1.492566e-03,1.483700e-03,1.469329e-03,1.446401e-03,1.438224e-03,1.423790e-03,1.401507e-03,1.394006e-03,1.379558e-03,1.357949e-03,1.351106e-03,1.336685e-03,1.315770e-03,1.309564e-03,1.295207e-03,1.274998e-03,1.269403e-03,1.255144e-03,1.235645e-03,1.230634e-03,1.216502e-03,1.197714e-03,1.193257e-03,1.179279e-03,1.161196e-03,1.157264e-03,1.143462e-03,1.126077e-03,1.122641e-03,1.109035e-03,1.092335e-03,1.089365e-03,1.075973e-03,1.059946e-03,1.057412e-03,1.044249e-03,1.028879e-03,1.026754e-03,1.013832e-03,9.991039e-04,9.973577e-04,9.846897e-04,9.705854e-04,9.691918e-04,9.567864e-04,9.432882e-04,9.422212e-04,9.300862e-04,9.171759e-04,9.164105e-04,9.045525e-04,8.922114e-04,8.917236e-04,8.801479e-04,8.683573e-04,8.681242e-04,8.568350e-04,8.455764e-04,8.240440e-04,8.034915e-04,7.838839e-04,7.651869e-04,7.473667e-04,7.303905e-04,7.142263e-04,6.988429e-04,6.842099e-04,6.702980e-04,6.570787e-04,6.445244e-04,6.326083e-04,6.213047e-04,6.105885e-04,6.004358e-04,5.908231e-04,5.817280e-04,5.731290e-04,5.650050e-04,5.573360e-04,5.501025e-04,5.432859e-04,5.368681e-04,5.308317e-04,5.251600e-04,5.198370e-04,5.148471e-04,5.101754e-04,5.058075e-04,5.017297e-04,4.979285e-04,4.943912e-04,4.911054e-04,4.880594e-04,4.852417e-04,4.826413e-04,4.802476e-04,4.780506e-04,4.760405e-04,4.742079e-04,4.725437e-04,4.710394e-04,4.696867e-04,4.684774e-04,4.674039e-04,4.664590e-04,4.656354e-04,4.649265e-04
0.000000e+00,2.648905e-09,3.288229e-08,3.428385e-08,2.024663e-07,6.907640e-07,7.207877e-07,1.725910e-06,2.975763e-06,3.059689e-06,4.460010e-06,5.699837e-06,5.804326e-06,7.061461e-06,8.114453e-06,8.226915e-06,9.302877e-06,1.017877e-05,1.029324e-05,1.120229e-05,1.192235e-05,1.203436e-05,1.279371e-05,1.337839e-05,1.348447e-05,1.411063e-05,1.457858e-05,1.467604e-05,1.518436e-05,1.555227e-05,1.563909e-05,1.604359e-05,1.632625e-05,1.640100e-05,1.671435e-05,1.692478e-05,1.698648e-05,1.722008e-05,1.736965e-05,1.741771e-05,1.758179e-05,1.768043e-05,1.771458e-05,1.781825e-05,1.787458e-05,1.789483e-05,1.794622e-05,1.796772e-05,1.797425e-05,1.798060e-05,1.797371e-05,1.796689e-05,1.793463e-05,1.790491e-05,1.788525e-05,1.782007e-05,1.777229e-05,1.774037e-05,1.764733e-05,1.758556e-05,1.754206e-05,1.742561e-05,1.735334e-05,1.729897e-05,1.716305e-05,1.708321e-05,1.701873e-05,1.686682e-05,1.678190e-05,1.670808e-05,1.654322e-05,1.645531e-05,1.637292e-05,1.619780e-05,1.610862e-05,1.601845e-05,1.583541e-05,1.574640e-05,1.564920e-05,1.546030e-05,1.537262e-05,1.526914e-05,1.507615e-05,1.499075e-05,1.488171e-05,1.468618e-05,1.460381e-05,1.448990e-05,1.429318e-05,1.421443e-05,1.409630e-05,1.389954e-05,1.382485e-05,1.370314e-05,1.350733e-05,1.343702e-05,1.331232e-05,1.311830e-05,1.305259e-05,1.292546e-05,1.273395e-05,1.267298e-05,1.254393e-05,1.235554e-05,1.229935e-05,1.216889e-05,1.198411e-05,1.193271e-05,1.180129e-05,1.162053e-05,1.157387e-05,1.144190e-05,1.126550e-05,1.122350e-05,1.109137e-05,1.091959e-05,1.088212e-05,1.075019e-05,1.058324e-05,1.055014e-05,1.041875e-05,1.025677e-05,1.022788e-05,1.009732e-05,9.940431e-06,9.915566e-06,9.786108e-06,9.634367e-06,9.613330e-06,9.485218e-06,9.338663e-06,9.321251e-06,9.194704e-06,9.053338e-06,9.039344e-06,8.914560e-06,8.778361e-06,8.767576e-06,8.644730e-06,8.513655e-06,8.505871e-06,8.385118e-06,8.259103e-06,8.254115e-06,8.135590e-06,8.014558e-06,8.012163e-06,7.895985e-06,7.779845e-06,7.556970e-06,7.343328e-06,7.138696e-06,6.942840e-06,6.755515e-06,6.576475e-06,6.405465e-06,6.242230e-06,6.086513e-06,5.938059e-06,5.796614e-06,5.661926e-06,5.533745e-06,5.411829e-06,5.295936e-06,5.185834e-06,5.081292e-06,4.982086e-06,4.888000e-06,4.798820e-06,4.714343e-06,4.634367e-06,4.558702e-06,4.487160e-06,4.419561e-06,4.355731e-06,4.295503e-06,4.238715e-06,4.185211e-06,4.134840e-06,4.087460e-06,4.042931e-06,4.001119e-06,3.961898e-06,3.925145e-06,3.890741e-06,3.858573e-06,3.828534e-06,3.800519e-06,3.774429e-06,3.750168e-06,3.727646e-06,3.706776e-06,3.687473e-06,3.669658e-06,3.653255e-06,3.638190e-06,3.624394e-06,3.611800e-06
0.000000e+00,8.947881e-09,3.264869e-07,3.454799e-07,3.735165e-06,2.001206e-05,2.124489e-05,7.589816e-05,1.814568e-04,1.901880e-04,3.694374e-04,5.828127e-04,6.031200e-04,8.741169e-04,1.135585e-03,1.165148e-03,1.461653e-03,1.718251e-03,1.752584e-03,2.030200e-03,2.254426e-03,2.289498e-03,2.527586e-03,2.710165e-03,2.743112e-03,2.935810e-03,3.077096e-03,3.106142e-03,3.255041e-03,3.359540e-03,3.383723e-03,3.493553e-03,3.567052e-03,3.585960e-03,3.662372e-03,3.710606e-03,3.724181e-03,3.772715e-03,3.800823e-03,3.809226e-03,3.834884e-03,3.847249e-03,3.850773e-03,3.857892e-03,3.858152e-03,3.857160e-03,3.849418e-03,3.840544e-03,3.835435e-03,3.815912e-03,3.800305e-03,3.791488e-03,3.762743e-03,3.742325e-03,3.730206e-03,3.694356e-03,3.670658e-03,3.655629e-03,3.614419e-03,3.588650e-03,3.571082e-03,3.525941e-03,3.499049e-03,3.479289e-03,3.431389e-03,3.404110e-03,3.382479e-03,3.332774e-03,3.305671e-03,3.282466e-03,3.231729e-03,3.205228e-03,3.180718e-03,3.129574e-03,3.103991e-03,3.078421e-03,3.027370e-03,3.002932e-03,2.976522e-03,2.925965e-03,2.902829e-03,2.875778e-03,2.826029e-03,2.804294e-03,2.776780e-03,2.728084e-03,2.707808e-03,2.679989e-03,2.632534e-03,2.613740e-03,2.585756e-03,2.539684e-03,2.522367e-03,2.494343e-03,2.449754e-03,2.433890e-03,2.405935e-03,2.362900e-03,2.348448e-03,2.320659e-03,2.279221e-03,2.266132e-03,2.238591e-03,2.198773e-03,2.186987e-03,2.159769e-03,2.121576e-03,2.111028e-03,2.084194e-03,2.047619e-03,2.038241e-03,2.011846e-03,1.976869e-03,1.968592e-03,1.942681e-03,1.909274e-03,1.902029e-03,1.876640e-03,1.844770e-03,1.838486e-03,1.813652e-03,1.783278e-03,1.777888e-03,1.753635e-03,1.724713e-03,1.720152e-03,1.696500e-03,1.668985e-03,1.665188e-03,1.642155e-03,1.615998e-03,1.612904e-03,1.590501e-03,1.565653e-03,1.563204e-03,1.541441e-03,1.517853e-03,1.515992e-03,1.494875e-03,1.472497e-03,1.471173e-03,1.450704e-03,1.429486e-03,1.428649e-03,1.408829e-03,1.388722e-03,1.388326e-03,1.369153e-03,1.350110e-03,1.313909e-03,1.279636e-03,1.247202e-03,1.216525e-03,1.187522e-03,1.160116e-03,1.134230e-03,1.109793e-03,1.086734e-03,1.064987e-03,1.044487e-03,1.025173e-03,1.006985e-03,9.898689e-04,9.737694e-04,9.586355e-04,9.444182e-04,9.310707e-04,9.185485e-04,9.068090e-04,8.958116e-04,8.855178e-04,8.758907e-04,8.668953e-04,8.584983e-04,8.506678e-04,8.433737e-04,8.365872e-04,8.302809e-04,8.244287e-04,8.190060e-04,8.139891e-04,8.093557e-04,8.050845e-04,8.011553e-04,7.975487e-04,7.942466e-04,7.912315e-04,7.884870e-04,7.859973e-04,7.837476e-04,7.817238e-04,7.799124e-04,7.783006e-04,7.768763e-04,7.756282e-04,7.745451e-04,7.736169e-04,7.728337e-04
0.000000e+00,9.742601e-09,1.453652e-07,1.519239e-07,9.680947e-07,3.389064e-06,3.538488e-06,8.550313e-06,1.477143e-05,1.518793e-05,2.211418e-05,2.821846e-05,2.873201e-05,3.490156e-05,4.005744e-05,4.060749e-05,4.586371e-05,5.013353e-05,5.069086e-05,5.511107e-05,5.860390e-05,5.914651e-05,6.281895e-05,6.563875e-05,6.614952e-05,6.915867e-05,7.140013e-05,7.186604e-05,7.429041e-05,7.603824e-05,7.644973e-05,7.836103e-05,7.969012e-05,8.004051e-05,8.150349e-05,8.247953e-05,8.276449e-05,8.383723e-05,8.451748e-05,8.473464e-05,8.546894e-05,8.590314e-05,8.605166e-05,8.649364e-05,8.672478e-05,8.680510e-05,8.699566e-05,8.706084e-05,8.707439e-05,8.704978e-05,8.698083e-05,8.692983e-05,8.672207e-05,8.654629e-05,8.643354e-05,8.607089e-05,8.581155e-05,8.564031e-05,8.514766e-05,8.482457e-05,8.459841e-05,8.399766e-05,8.362755e-05,8.335024e-05,8.266061e-05,8.225757e-05,8.193300e-05,8.117133e-05,8.074716e-05,8.037927e-05,7.956025e-05,7.912479e-05,7.871749e-05,7.785396e-05,7.741528e-05,7.697244e-05,7.607554e-05,7.564028e-05,7.516567e-05,7.424507e-05,7.381858e-05,7.331584e-05,7.237989e-05,7.196642e-05,7.143905e-05,7.049495e-05,7.009784e-05,6.954916e-05,6.860309e-05,6.822488e-05,6.765806e-05,6.671527e-05,6.635784e-05,6.577585e-05,6.484081e-05,6.450546e-05,6.391110e-05,6.298758e-05,6.267513e-05,6.207103e-05,6.116217e-05,6.087306e-05,6.026164e-05,5.937005e-05,5.910439e-05,5.848790e-05,5.761570e-05,5.737332e-05,5.675385e-05,5.590274e-05,5.568326e-05,5.506272e-05,5.423406e-05,5.403691e-05,5.341704e-05,5.261187e-05,5.243635e-05,5.181875e-05,5.103782e-05,5.088312e-05,5.026923e-05,4.951308e-05,4.937830e-05,4.876943e-05,4.803836e-05,4.792255e-05,4.731989e-05,4.661403e-05,4.651622e-05,4.592080e-05,4.524016e-05,4.515933e-05,4.457208e-05,4.391652e-05,4.385165e-05,4.327341e-05,4.264268e-05,4.259275e-05,4.202424e-05,4.141800e-05,4.138201e-05,4.082385e-05,4.024169e-05,4.021865e-05,3.967139e-05,3.911283e-05,3.910177e-05,3.856587e-05,3.803038e-05,3.700338e-05,3.601962e-05,3.507792e-05,3.417703e-05,3.331569e-05,3.249262e-05,3.170656e-05,3.095621e-05,3.024030e-05,2.955757e-05,2.890678e-05,2.828671e-05,2.769615e-05,2.713393e-05,2.659892e-05,2.608999e-05,2.560606e-05,2.514608e-05,2.470903e-05,2.429393e-05,2.389982e-05,2.352579e-05,2.317093e-05,2.283441e-05,2.251539e-05,2.221309e-05,2.192674e-05,2.165561e-05,2.139900e-05,2.115623e-05,2.092667e-05,2.070968e-05,2.050467e-05,2.031109e-05,2.012837e-05,1.995601e-05,1.979351e-05,1.964038e-05,1.949617e-05,1.936046e-05,1.923281e-05,1.911284e-05,1.900017e-05,1.889444e-05,1.879529e-05,1.870240e-05,1.861546e-05,1.853416e-05,1.845822e-05
0.000000e+00,1.011087e-08,2.762784e-07,2.907064e-07,2.462560e-06,1.114454e-05,1.176075e-05,3.697589e-05,8.038256e-05,8.376693e-05,1.476904e-04,2.123365e-04,2.179502e-04,2.855673e-04,3.402981e-04,3.459541e-04,3.976815e-04,4.361396e-04,4.408992e-04,4.763735e-04,5.013967e-04,5.050336e-04,5.277900e-04,5.429517e-04,5.454708e-04,5.588078e-04,5.669533e-04,5.684393e-04,5.749188e-04,5.781561e-04,5.787237e-04,5.802663e-04,5.801295e-04,5.799020e-04,5.779364e-04,5.755349e-04,5.746327e-04,5.702165e-04,5.663467e-04,5.648805e-04,5.587900e-04,5.540176e-04,5.520860e-04,5.448896e-04,5.396150e-04,5.373040e-04,5.294169e-04,5.239200e-04,5.213028e-04,5.130253e-04,5.074991e-04,5.046383e-04,4.961876e-04,4.907637e-04,4.877117e-04,4.792427e-04,4.740074e-04,4.708076e-04,4.624290e-04,4.574371e-04,4.541260e-04,4.459142e-04,4.411982e-04,4.378062e-04,4.298124e-04,4.253890e-04,4.219412e-04,4.141991e-04,4.100740e-04,4.065914e-04,3.991217e-04,3.952931e-04,3.917930e-04,3.846070e-04,3.810680e-04,3.775649e-04,3.706670e-04,3.674073e-04,3.639134e-04,3.573034e-04,3.543108e-04,3.508362e-04,3.445103e-04,3.417714e-04,3.383244e-04,3.322766e-04,3.297772e-04,3.263650e-04,3.205875e-04,3.183136e-04,3.149420e-04,3.094263e-04,3.073638e-04,3.040379e-04,2.987745e-04,2.969098e-04,2.936337e-04,2.886130e-04,2.869329e-04,2.837101e-04,2.789224e-04,2.774143e-04,2.742476e-04,2.696832e-04,2.683351e-04,2.652269e-04,2.608762e-04,2.596767e-04,2.566289e-04,2.524826e-04,2.514208e-04,2.484350e-04,2.444840e-04,2.435499e-04,2.406273e-04,2.368628e-04,2.360467e-04,2.331883e-04,2.296017e-04,2.288948e-04,2.261011e-04,2.226844e-04,2.220781e-04,2.193496e-04,2.160949e-04,2.155815e-04,2.129184e-04,2.098182e-04,2.093902e-04,2.067926e-04,2.038397e-04,2.034902e-04,2.009579e-04,1.981455e-04,1.978680e-04,1.954009e-04,1.927223e-04,1.925109e-04,1.901084e-04,1.875575e-04,1.874064e-04,1.850681e-04,1.826388e-04,1.825429e-04,1.802682e-04,1.779549e-04,1.779092e-04,1.756974e-04,1.734945e-04,1.692886e-04,1.652818e-04,1.614649e-04,1.578288e-04,1.543652e-04,1.510660e-04,1.479236e-04,1.449304e-04,1.420797e-04,1.393646e-04,1.367789e-04,1.343165e-04,1.319716e-04,1.297386e-04,1.276124e-04,1.255880e-04,1.236605e-04,1.218254e-04,1.200784e-04,1.184153e-04,1.168322e-04,1.153254e-04,1.138913e-04,1.125264e-04,1.112276e-04,1.099916e-04,1.088156e-04,1.076968e-04,1.066324e-04,1.056199e-04,1.046569e-04,1.037410e-04,1.028701e-04,1.020420e-04,1.012547e-04,1.005063e-04,9.979501e-05,9.911901e-05,9.847669e-05,9.786645e-05,9.728680e-05,9.673628e-05,9.621354e-05,9.571727e-05,9.524622e-05,9.479921e-05,9.437510e-05,9.397282e-05,9.359134e-05
0.000000e+00,4.424696e-09,5.398827e-08,5.626151e-08,3.280752e-07,1.136114e-06,1.186900e-06,2.963369e-06,5.363528e-06,5.530589e-06,8.372744e-06,1.091015e-05,1.112300e-05,1.366038e-05,1.574312e-05,1.596288e-05,1.803627e-05,1.968158e-05,1.989351e-05,2.154903e-05,2.282240e-05,2.301718e-05,2.431172e-05,2.527455e-05,2.544572e-05,2.643150e-05,2.713744e-05,2.728072e-05,2.800428e-05,2.849957e-05,2.861244e-05,2.911473e-05,2.943880e-05,2.952010e-05,2.983683e-05,3.002305e-05,3.007267e-05,3.023479e-05,3.031123e-05,3.032984e-05,3.036402e-05,3.035416e-05,3.034304e-05,3.027220e-05,3.019558e-05,3.015640e-05,3.000017e-05,2.987298e-05,2.980769e-05,2.958283e-05,2.941842e-05,2.932914e-05,2.904991e-05,2.885920e-05,2.874816e-05,2.842667e-05,2.821857e-05,2.808800e-05,2.773450e-05,2.751618e-05,2.736832e-05,2.699143e-05,2.676865e-05,2.660565e-05,2.621263e-05,2.598994e-05,2.581388e-05,2.541078e-05,2.519174e-05,2.500458e-05,2.459644e-05,2.438378e-05,2.418737e-05,2.377833e-05,2.357409e-05,2.337016e-05,2.296364e-05,2.276929e-05,2.255944e-05,2.215819e-05,2.197476e-05,2.176045e-05,2.136670e-05,2.119483e-05,2.097738e-05,2.059288e-05,2.043292e-05,2.021355e-05,1.983967e-05,1.969171e-05,1.947151e-05,1.910928e-05,1.897323e-05,1.875317e-05,1.840334e-05,1.827897e-05,1.805992e-05,1.772301e-05,1.760996e-05,1.739269e-05,1.706902e-05,1.696686e-05,1.675204e-05,1.644177e-05,1.635000e-05,1.613821e-05,1.584136e-05,1.575944e-05,1.555120e-05,1.526769e-05,1.519506e-05,1.499078e-05,1.472043e-05,1.465652e-05,1.445658e-05,1.419915e-05,1.414337e-05,1.394806e-05,1.370324e-05,1.365502e-05,1.346460e-05,1.323205e-05,1.319083e-05,1.300549e-05,1.278482e-05,1.275006e-05,1.256995e-05,1.236077e-05,1.233193e-05,1.215717e-05,1.195905e-05,1.193564e-05,1.176630e-05,1.157881e-05,1.156034e-05,1.139647e-05,1.121918e-05,1.120521e-05,1.104682e-05,1.087928e-05,1.086938e-05,1.071647e-05,1.055826e-05,1.055202e-05,1.040455e-05,1.025524e-05,1.025230e-05,1.011022e-05,9.969383e-06,9.702483e-06,9.450817e-06,9.213628e-06,8.990186e-06,8.779785e-06,8.581747e-06,8.395419e-06,8.220179e-06,8.055428e-06,7.900596e-06,7.755140e-06,7.618541e-06,7.490305e-06,7.369965e-06,7.257075e-06,7.151211e-06,7.051975e-06,6.958985e-06,6.871882e-06,6.790326e-06,6.713995e-06,6.642584e-06,6.575805e-06,6.513388e-06,6.455074e-06,6.400622e-06,6.349803e-06,6.302400e-06,6.258210e-06,6.217042e-06,6.178713e-06,6.143054e-06,6.109903e-06,6.079108e-06,6.050528e-06,6.024027e-06,5.999479e-06,5.976764e-06,5.955770e-06,5.936390e-06,5.918527e-06,5.902085e-06,5.886976e-06,5.873117e-06,5.860431e-06,5.848843e-06,5.838285e-06,5.828691e-06,5.820000e-06
0.000000e+00,3.938800e-08,1.011389e-06,1.064224e-06,9.157177e-06,4.154024e-05,4.381710e-05,1.340213e-04,2.766915e-04,2.872591e-04,4.770090e-04,6.594092e-04,6.751766e-04,8.682918e-04,1.034068e-03,1.051970e-03,1.225178e-03,1.368916e-03,1.387897e-03,1.540395e-03,1.663637e-03,1.683025e-03,1.816167e-03,1.920960e-03,1.940212e-03,2.055552e-03,2.143908e-03,2.162577e-03,2.261672e-03,2.335492e-03,2.353214e-03,2.437570e-03,2.498606e-03,2.515093e-03,2.586127e-03,2.635976e-03,2.651001e-03,2.710032e-03,2.750134e-03,2.763525e-03,2.811771e-03,2.843416e-03,2.855049e-03,2.893625e-03,2.917968e-03,2.927755e-03,2.957684e-03,2.975754e-03,2.983643e-03,3.005855e-03,3.018566e-03,3.024532e-03,3.039878e-03,3.048040e-03,3.052085e-03,3.061336e-03,3.065666e-03,3.067809e-03,3.071670e-03,3.072799e-03,3.073077e-03,3.072184e-03,3.070669e-03,3.069134e-03,3.064066e-03,3.060394e-03,3.057109e-03,3.048388e-03,3.042988e-03,3.038023e-03,3.026124e-03,3.019367e-03,3.012800e-03,2.998152e-03,2.990362e-03,2.982276e-03,2.965265e-03,2.956722e-03,2.947205e-03,2.928180e-03,2.919126e-03,2.908267e-03,2.887541e-03,2.878182e-03,2.866072e-03,2.843928e-03,2.834442e-03,2.821172e-03,2.797863e-03,2.788398e-03,2.774059e-03,2.749813e-03,2.740494e-03,2.725176e-03,2.700196e-03,2.691128e-03,2.674919e-03,2.649387e-03,2.640656e-03,2.623641e-03,2.597719e-03,2.589393e-03,2.571657e-03,2.545490e-03,2.537623e-03,2.519248e-03,2.492962e-03,2.485598e-03,2.466660e-03,2.440369e-03,2.433538e-03,2.414114e-03,2.387918e-03,2.381642e-03,2.361802e-03,2.335788e-03,2.330081e-03,2.309895e-03,2.284140e-03,2.279007e-03,2.258540e-03,2.233111e-03,2.228553e-03,2.207867e-03,2.182821e-03,2.178833e-03,2.157986e-03,2.133373e-03,2.129946e-03,2.108994e-03,2.084856e-03,2.081977e-03,2.060971e-03,2.037345e-03,2.034997e-03,2.013986e-03,1.990902e-03,1.989067e-03,1.968097e-03,1.945578e-03,1.944236e-03,1.923350e-03,1.901416e-03,1.900545e-03,1.879781e-03,1.858449e-03,1.858025e-03,1.837421e-03,1.816701e-03,1.776590e-03,1.737704e-03,1.700049e-03,1.663627e-03,1.628433e-03,1.594462e-03,1.561704e-03,1.530145e-03,1.499771e-03,1.470563e-03,1.442502e-03,1.415567e-03,1.389735e-03,1.364981e-03,1.341283e-03,1.318613e-03,1.296945e-03,1.276253e-03,1.256509e-03,1.237687e-03,1.219758e-03,1.202695e-03,1.186470e-03,1.171056e-03,1.156425e-03,1.142551e-03,1.129406e-03,1.116964e-03,1.105200e-03,1.094086e-03,1.083599e-03,1.073713e-03,1.064404e-03,1.055648e-03,1.047422e-03,1.039703e-03,1.032468e-03,1.025698e-03,1.019369e-03,1.013462e-03,1.007958e-03,1.002835e-03,9.980768e-04,9.936641e-04,9.895796e-04,9.858061e-04,9.823275e-04,9.791276e-04,9.761914e-04
0.000000e+00,1.011312e-08,1.344515e-07,1.402805e-07,8.776558e-07,3.277777e-06,3.434538e-06,9.136097e-06,1.709792e-05,1.765357e-05,2.706285e-05,3.536990e-05,3.606243e-05,4.426382e-05,5.091582e-05,5.161314e-05,5.814550e-05,6.326274e-05,6.391714e-05,6.898738e-05,7.283055e-05,7.341350e-05,7.724967e-05,8.005330e-05,8.054654e-05,8.335122e-05,8.531460e-05,8.570750e-05,8.765604e-05,8.894668e-05,8.923447e-05,9.047756e-05,9.123508e-05,9.141735e-05,9.208331e-05,9.242308e-05,9.250256e-05,9.269997e-05,9.271672e-05,9.269835e-05,9.251862e-05,9.228974e-05,9.217991e-05,9.169973e-05,9.128805e-05,9.109408e-05,9.037756e-05,8.983386e-05,8.956352e-05,8.866411e-05,8.802916e-05,8.769041e-05,8.665250e-05,8.595881e-05,8.555955e-05,8.441990e-05,8.369320e-05,8.324110e-05,8.203001e-05,8.129046e-05,8.079283e-05,7.953519e-05,7.879840e-05,7.826215e-05,7.697828e-05,7.625613e-05,7.568769e-05,7.439408e-05,7.369546e-05,7.310077e-05,7.181072e-05,7.114207e-05,7.052656e-05,6.925067e-05,6.861647e-05,6.798511e-05,6.673173e-05,6.613492e-05,6.549216e-05,6.426781e-05,6.371007e-05,6.305993e-05,6.186956e-05,6.135159e-05,6.069764e-05,5.954493e-05,5.906669e-05,5.841210e-05,5.729967e-05,5.686051e-05,5.620808e-05,5.513768e-05,5.473654e-05,5.408872e-05,5.306138e-05,5.269686e-05,5.205579e-05,5.107199e-05,5.074246e-05,5.010997e-05,4.916970e-05,4.887339e-05,4.825107e-05,4.735395e-05,4.708898e-05,4.647817e-05,4.562353e-05,4.538799e-05,4.478980e-05,4.397674e-05,4.376870e-05,4.318407e-05,4.241151e-05,4.222905e-05,4.165875e-05,4.092547e-05,4.076674e-05,4.021136e-05,3.951607e-05,3.937924e-05,3.883925e-05,3.818056e-05,3.806390e-05,3.753965e-05,3.691616e-05,3.681800e-05,3.630973e-05,3.572000e-05,3.563875e-05,3.514660e-05,3.458919e-05,3.452336e-05,3.404740e-05,3.352088e-05,3.346906e-05,3.300928e-05,3.251224e-05,3.247309e-05,3.202942e-05,3.156047e-05,3.153277e-05,3.110507e-05,3.066287e-05,3.064545e-05,3.023355e-05,2.981679e-05,2.980858e-05,2.941227e-05,2.901967e-05,2.827632e-05,2.757623e-05,2.691717e-05,2.629700e-05,2.571369e-05,2.516528e-05,2.464991e-05,2.416581e-05,2.371126e-05,2.328468e-05,2.288451e-05,2.250930e-05,2.215767e-05,2.182831e-05,2.151996e-05,2.123144e-05,2.096164e-05,2.070949e-05,2.047399e-05,2.025418e-05,2.004916e-05,1.985807e-05,1.968013e-05,1.951454e-05,1.936061e-05,1.921764e-05,1.908499e-05,1.896204e-05,1.884823e-05,1.874300e-05,1.864585e-05,1.855629e-05,1.847386e-05,1.839812e-05,1.832867e-05,1.826511e-05,1.820710e-05,1.815427e-05,1.810631e-05,1.806291e-05,1.802379e-05,1.798866e-05,1.795728e-05,1.792939e-05,1.790478e-05,1.788323e-05,1.786453e-05,1.784850e-05,1.783494e-05
0.000000e+00,1.449243e-08,3.882917e-07,4.092306e-07,3.669116e-06,1.603880e-05,1.687092e-05,4.706156e-05,8.744836e-05,9.019913e-05,1.361132e-04,1.762873e-04,1.796411e-04,2.195569e-04,2.523405e-04,2.558053e-04,2.885795e-04,3.147324e-04,3.181131e-04,3.446366e-04,3.652072e-04,3.683698e-04,3.895202e-04,4.054340e-04,4.082834e-04,4.248429e-04,4.368985e-04,4.393710e-04,4.520286e-04,4.609092e-04,4.629659e-04,4.723228e-04,4.786078e-04,4.802291e-04,4.868057e-04,4.909842e-04,4.921651e-04,4.964105e-04,4.988916e-04,4.996379e-04,5.019364e-04,5.030622e-04,5.033877e-04,5.040680e-04,5.041233e-04,5.040475e-04,5.033908e-04,5.026116e-04,5.021578e-04,5.004035e-04,4.989850e-04,4.981788e-04,4.955305e-04,4.936334e-04,4.925018e-04,4.891324e-04,4.868884e-04,4.854589e-04,4.815150e-04,4.790319e-04,4.773317e-04,4.729375e-04,4.703025e-04,4.683584e-04,4.636185e-04,4.609023e-04,4.587399e-04,4.537427e-04,4.510015e-04,4.486455e-04,4.434652e-04,4.407437e-04,4.382172e-04,4.329159e-04,4.302493e-04,4.275741e-04,4.222037e-04,4.196190e-04,4.168155e-04,4.114191e-04,4.089366e-04,4.060236e-04,4.006371e-04,3.982717e-04,3.952668e-04,3.899193e-04,3.876817e-04,3.846007e-04,3.793163e-04,3.772133e-04,3.740710e-04,3.688692e-04,3.669046e-04,3.637146e-04,3.586107e-04,3.567863e-04,3.535606e-04,3.485670e-04,3.468824e-04,3.436322e-04,3.387583e-04,3.372118e-04,3.339471e-04,3.292000e-04,3.277886e-04,3.245185e-04,3.199035e-04,3.186234e-04,3.153560e-04,3.108766e-04,3.097232e-04,3.064659e-04,3.021242e-04,3.010925e-04,2.978518e-04,2.936489e-04,2.927336e-04,2.895154e-04,2.854513e-04,2.846468e-04,2.814563e-04,2.775303e-04,2.768309e-04,2.736728e-04,2.698834e-04,2.692834e-04,2.661617e-04,2.625072e-04,2.620009e-04,2.589192e-04,2.553971e-04,2.549789e-04,2.519404e-04,2.485482e-04,2.482125e-04,2.452198e-04,2.419546e-04,2.416961e-04,2.387517e-04,2.356103e-04,2.354238e-04,2.325297e-04,2.295089e-04,2.293893e-04,2.265472e-04,2.236437e-04,2.235862e-04,2.207975e-04,2.180079e-04,2.126476e-04,2.074987e-04,2.025544e-04,1.978081e-04,1.932532e-04,1.888832e-04,1.846916e-04,1.806723e-04,1.768192e-04,1.731261e-04,1.695874e-04,1.661974e-04,1.629505e-04,1.598415e-04,1.568651e-04,1.540164e-04,1.512906e-04,1.486828e-04,1.461886e-04,1.438037e-04,1.415237e-04,1.393447e-04,1.372626e-04,1.352737e-04,1.333743e-04,1.315609e-04,1.298301e-04,1.281786e-04,1.266033e-04,1.251011e-04,1.236691e-04,1.223044e-04,1.210044e-04,1.197664e-04,1.185880e-04,1.174666e-04,1.164000e-04,1.153859e-04,1.144222e-04,1.135068e-04,1.126377e-04,1.118130e-04,1.110307e-04,1.102892e-04,1.095868e-04,1.089217e-04,1.082924e-04,1.076974e-04,1.071353e-04
0.000000e+00,1.223937e-08,4.371602e-07,4.623245e-07,4.853088e-06,2.552909e-05,2.709249e-05,9.742652e-05,2.402642e-04,2.524534e-04,5.123912e-04,8.396574e-04,8.715701e-04,1.307341e-03,1.741864e-03,1.791708e-03,2.298439e-03,2.745697e-03,2.806083e-03,3.298622e-03,3.701564e-03,3.764978e-03,4.198129e-03,4.533385e-03,4.594167e-03,4.951467e-03,5.215493e-03,5.270005e-03,5.550837e-03,5.749506e-03,5.795701e-03,6.006739e-03,6.149375e-03,6.186301e-03,6.336803e-03,6.433225e-03,6.460640e-03,6.560128e-03,6.619373e-03,6.637469e-03,6.694731e-03,6.724613e-03,6.733838e-03,6.756575e-03,6.763634e-03,6.764582e-03,6.759370e-03,6.748984e-03,6.742319e-03,6.714693e-03,6.691232e-03,6.677646e-03,6.632230e-03,6.599218e-03,6.579404e-03,6.520041e-03,6.480306e-03,6.454937e-03,6.384816e-03,6.340611e-03,6.310335e-03,6.232092e-03,6.185203e-03,6.150630e-03,6.066444e-03,6.018278e-03,5.979980e-03,5.891645e-03,5.843296e-03,5.801806e-03,5.710796e-03,5.663109e-03,5.618917e-03,5.526440e-03,5.480055e-03,5.433610e-03,5.340650e-03,5.296041e-03,5.247756e-03,5.155109e-03,5.112619e-03,5.062868e-03,4.971175e-03,4.931038e-03,4.880159e-03,4.789932e-03,4.752296e-03,4.700595e-03,4.612236e-03,4.577184e-03,4.524934e-03,4.438756e-03,4.406316e-03,4.353762e-03,4.270003e-03,4.240160e-03,4.187521e-03,4.106354e-03,4.079062e-03,4.026532e-03,3.948080e-03,3.923268e-03,3.871018e-03,3.795361e-03,3.772940e-03,3.721121e-03,3.648306e-03,3.628173e-03,3.576918e-03,3.506960e-03,3.489005e-03,3.438429e-03,3.371322e-03,3.355427e-03,3.305632e-03,3.241350e-03,3.227396e-03,3.178466e-03,3.116969e-03,3.104835e-03,3.056845e-03,2.998081e-03,2.987646e-03,2.940660e-03,2.884566e-03,2.875713e-03,2.829783e-03,2.776291e-03,2.768904e-03,2.724073e-03,2.673110e-03,2.667078e-03,2.623382e-03,2.574870e-03,2.570084e-03,2.527553e-03,2.481410e-03,2.477769e-03,2.436423e-03,2.392570e-03,2.389974e-03,2.349830e-03,2.308183e-03,2.306540e-03,2.267609e-03,2.228087e-03,2.227307e-03,2.189596e-03,2.152117e-03,2.080814e-03,2.013242e-03,1.949252e-03,1.888695e-03,1.831428e-03,1.777312e-03,1.726210e-03,1.677992e-03,1.632532e-03,1.589707e-03,1.549400e-03,1.511497e-03,1.475889e-03,1.442472e-03,1.411143e-03,1.381807e-03,1.354370e-03,1.328744e-03,1.304841e-03,1.282580e-03,1.261882e-03,1.242671e-03,1.224875e-03,1.208424e-03,1.193251e-03,1.179291e-03,1.166485e-03,1.154772e-03,1.144096e-03,1.134403e-03,1.125641e-03,1.117760e-03,1.110712e-03,1.104452e-03,1.098936e-03,1.094121e-03,1.089967e-03,1.086434e-03,1.083487e-03,1.081090e-03,1.079208e-03,1.077808e-03,1.076859e-03,1.076332e-03,1.076198e-03,1.076428e-03,1.076997e-03,1.077880e-03,1.079052e-03
0.000000e+00,1.780566e-08,7.117750e-07,7.551522e-07,8.730257e-06,4.275691e-05,4.507002e-05,1.270670e-04,2.351696e-04,2.426441e-04,3.711248e-04,4.895829e-04,4.997112e-04,6.228279e-04,7.273355e-04,7.385578e-04,8.464735e-04,9.350576e-04,9.466850e-04,1.039479e-03,1.113607e-03,1.125194e-03,1.204178e-03,1.265577e-03,1.276778e-03,1.343336e-03,1.393641e-03,1.404188e-03,1.459661e-03,1.500377e-03,1.510068e-03,1.555710e-03,1.588189e-03,1.596876e-03,1.633841e-03,1.659286e-03,1.666866e-03,1.696198e-03,1.715665e-03,1.722072e-03,1.744710e-03,1.759124e-03,1.764321e-03,1.781103e-03,1.791268e-03,1.795243e-03,1.806916e-03,1.813530e-03,1.816289e-03,1.823518e-03,1.827187e-03,1.828751e-03,1.832125e-03,1.833370e-03,1.833772e-03,1.833814e-03,1.833086e-03,1.832368e-03,1.829541e-03,1.827226e-03,1.825437e-03,1.820151e-03,1.816579e-03,1.813773e-03,1.806389e-03,1.801844e-03,1.798078e-03,1.788916e-03,1.783639e-03,1.778972e-03,1.768313e-03,1.762509e-03,1.757001e-03,1.745094e-03,1.738934e-03,1.732646e-03,1.719709e-03,1.713339e-03,1.706330e-03,1.692555e-03,1.686097e-03,1.678425e-03,1.663980e-03,1.657534e-03,1.649257e-03,1.634290e-03,1.627938e-03,1.619111e-03,1.603751e-03,1.597562e-03,1.588238e-03,1.572597e-03,1.566626e-03,1.556855e-03,1.541032e-03,1.535321e-03,1.525152e-03,1.509232e-03,1.503814e-03,1.493293e-03,1.477351e-03,1.472252e-03,1.461423e-03,1.445522e-03,1.440759e-03,1.429663e-03,1.413858e-03,1.409444e-03,1.398119e-03,1.382457e-03,1.378399e-03,1.366883e-03,1.351404e-03,1.347705e-03,1.336031e-03,1.320770e-03,1.317428e-03,1.305628e-03,1.290613e-03,1.287626e-03,1.275730e-03,1.260985e-03,1.258346e-03,1.246382e-03,1.231926e-03,1.229627e-03,1.217621e-03,1.203470e-03,1.201502e-03,1.189478e-03,1.175646e-03,1.173997e-03,1.161976e-03,1.148472e-03,1.147131e-03,1.135135e-03,1.121967e-03,1.120921e-03,1.108969e-03,1.096141e-03,1.095377e-03,1.083486e-03,1.071003e-03,1.070507e-03,1.058693e-03,1.046556e-03,1.046315e-03,1.034593e-03,1.022803e-03,9.999679e-04,9.778082e-04,9.563183e-04,9.354917e-04,9.153203e-04,8.957952e-04,8.769063e-04,8.586429e-04,8.409935e-04,8.239462e-04,8.074885e-04,7.916077e-04,7.762911e-04,7.615253e-04,7.472973e-04,7.335937e-04,7.204012e-04,7.077067e-04,6.954970e-04,6.837590e-04,6.724798e-04,6.616466e-04,6.512468e-04,6.412680e-04,6.316979e-04,6.225244e-04,6.137359e-04,6.053206e-04,5.972673e-04,5.895647e-04,5.822020e-04,5.751685e-04,5.684537e-04,5.620475e-04,5.559399e-04,5.501211e-04,5.445816e-04,5.393121e-04,5.343036e-04,5.295471e-04,5.250342e-04,5.207563e-04,5.167053e-04,5.128732e-04,5.092521e-04,5.058345e-04,5.026130e-04,4.995804e-04,4.967297e-04
0.000000e+00,1.169102e-08,3.217278e-07,3.382880e-07,2.781628e-06,1.297321e-05,1.372795e-05,4.756963e-05,1.168652e-04,1.227884e-04,2.478256e-04,3.991483e-04,4.134751e-04,6.014175e-04,7.753479e-04,7.945032e-04,9.807604e-04,1.133434e-03,1.153277e-03,1.308796e-03,1.428162e-03,1.446337e-03,1.566208e-03,1.653942e-03,1.669377e-03,1.757104e-03,1.818470e-03,1.830748e-03,1.891653e-03,1.932071e-03,1.941103e-03,1.980294e-03,2.004454e-03,2.010329e-03,2.032214e-03,2.043964e-03,2.046867e-03,2.055116e-03,2.057542e-03,2.057712e-03,2.055332e-03,2.050880e-03,2.048583e-03,2.038014e-03,2.028608e-03,2.024116e-03,2.007331e-03,1.994472e-03,1.988054e-03,1.966640e-03,1.951491e-03,1.943405e-03,1.918633e-03,1.902090e-03,1.892577e-03,1.865462e-03,1.848209e-03,1.837490e-03,1.808840e-03,1.791391e-03,1.779670e-03,1.750122e-03,1.732861e-03,1.720322e-03,1.690378e-03,1.673585e-03,1.660390e-03,1.630444e-03,1.614317e-03,1.600614e-03,1.570967e-03,1.555642e-03,1.541561e-03,1.512444e-03,1.498009e-03,1.483662e-03,1.455251e-03,1.441755e-03,1.427243e-03,1.399664e-03,1.387129e-03,1.372538e-03,1.345883e-03,1.334308e-03,1.319714e-03,1.294043e-03,1.283413e-03,1.268880e-03,1.244233e-03,1.234519e-03,1.220104e-03,1.196498e-03,1.187665e-03,1.173416e-03,1.150857e-03,1.142864e-03,1.128820e-03,1.107302e-03,1.100103e-03,1.086299e-03,1.065806e-03,1.059356e-03,1.045819e-03,1.026332e-03,1.020582e-03,1.007336e-03,9.888262e-04,9.837294e-04,9.707940e-04,9.532318e-04,9.487416e-04,9.361314e-04,9.194845e-04,9.155558e-04,9.032826e-04,8.875170e-04,8.841062e-04,8.721789e-04,8.572595e-04,8.543251e-04,8.427500e-04,8.286415e-04,8.261438e-04,8.149251e-04,8.015920e-04,7.994937e-04,7.886335e-04,7.760409e-04,7.743066e-04,7.638055e-04,7.519190e-04,7.505156e-04,7.403728e-04,7.291587e-04,7.280553e-04,7.182686e-04,7.076943e-04,7.068618e-04,6.974280e-04,6.874619e-04,6.868733e-04,6.777884e-04,6.684001e-04,6.680304e-04,6.592895e-04,6.504494e-04,6.502753e-04,6.418729e-04,6.335530e-04,6.178105e-04,6.029970e-04,5.890642e-04,5.759656e-04,5.636572e-04,5.520969e-04,5.412447e-04,5.310625e-04,5.215140e-04,5.125648e-04,5.041822e-04,4.963352e-04,4.889942e-04,4.821313e-04,4.757199e-04,4.697350e-04,4.641525e-04,4.589500e-04,4.541059e-04,4.496000e-04,4.454130e-04,4.415266e-04,4.379236e-04,4.345877e-04,4.315032e-04,4.286557e-04,4.260311e-04,4.236163e-04,4.213989e-04,4.193671e-04,4.175097e-04,4.158163e-04,4.142768e-04,4.128818e-04,4.116224e-04,4.104900e-04,4.094769e-04,4.085753e-04,4.077782e-04,4.070789e-04,4.064708e-04,4.059482e-04,4.055052e-04,4.051365e-04,4.048370e-04,4.046020e-04,4.044269e-04,4.043075e-04,4.042398e-04
0.000000e+00,1.632776e-08,1.936939e-07,2.014906e-07,1.095176e-06,3.711998e-06,3.877501e-06,9.808575e-06,1.838788e-05,1.901214e-05,3.011580e-05,4.056660e-05,4.145637e-05,5.214398e-05,6.097616e-05,6.190948e-05,7.072124e-05,7.771666e-05,7.861774e-05,8.565579e-05,9.106778e-05,9.189550e-05,9.739574e-05,1.014858e-04,1.022128e-04,1.064001e-04,1.093989e-04,1.100076e-04,1.130824e-04,1.151884e-04,1.156685e-04,1.178068e-04,1.191884e-04,1.195353e-04,1.208897e-04,1.216891e-04,1.219028e-04,1.226053e-04,1.229420e-04,1.230256e-04,1.231901e-04,1.231639e-04,1.231232e-04,1.228473e-04,1.225411e-04,1.223833e-04,1.217506e-04,1.212331e-04,1.209670e-04,1.200487e-04,1.193764e-04,1.190111e-04,1.178679e-04,1.170868e-04,1.166320e-04,1.153152e-04,1.144630e-04,1.139284e-04,1.124814e-04,1.115881e-04,1.109833e-04,1.094426e-04,1.085324e-04,1.078667e-04,1.062626e-04,1.053545e-04,1.046368e-04,1.029949e-04,1.021034e-04,1.013422e-04,9.968342e-05,9.881994e-05,9.802296e-05,9.636465e-05,9.553742e-05,9.471202e-05,9.306822e-05,9.228317e-05,9.143607e-05,8.981809e-05,8.907921e-05,8.821654e-05,8.663341e-05,8.594313e-05,8.507045e-05,8.352920e-05,8.288867e-05,8.201099e-05,8.051700e-05,7.992640e-05,7.904819e-05,7.760543e-05,7.706415e-05,7.618939e-05,7.480065e-05,7.430747e-05,7.343966e-05,7.210676e-05,7.166003e-05,7.080222e-05,6.952617e-05,6.912387e-05,6.827872e-05,6.705985e-05,6.669977e-05,6.586953e-05,6.470764e-05,6.438738e-05,6.357400e-05,6.246841e-05,6.218552e-05,6.139061e-05,6.034030e-05,6.009228e-05,5.931716e-05,5.832083e-05,5.810520e-05,5.735094e-05,5.640707e-05,5.622139e-05,5.548882e-05,5.459573e-05,5.443762e-05,5.372737e-05,5.288325e-05,5.275042e-05,5.206293e-05,5.126590e-05,5.115615e-05,5.049170e-05,4.973983e-05,4.965108e-05,4.900980e-05,4.830111e-05,4.823140e-05,4.761329e-05,4.694583e-05,4.689330e-05,4.629826e-05,4.567008e-05,4.563299e-05,4.506081e-05,4.446999e-05,4.444673e-05,4.389713e-05,4.334178e-05,4.333085e-05,4.280347e-05,4.228174e-05,4.129593e-05,4.037006e-05,3.950088e-05,3.868528e-05,3.792024e-05,3.720292e-05,3.653058e-05,3.590060e-05,3.531052e-05,3.475797e-05,3.424073e-05,3.375667e-05,3.330380e-05,3.288022e-05,3.248414e-05,3.211388e-05,3.176785e-05,3.144453e-05,3.114253e-05,3.086051e-05,3.059721e-05,3.035147e-05,3.012217e-05,2.990829e-05,2.970884e-05,2.952290e-05,2.934963e-05,2.918820e-05,2.903786e-05,2.889791e-05,2.876768e-05,2.864655e-05,2.853393e-05,2.842927e-05,2.833206e-05,2.824182e-05,2.815811e-05,2.808049e-05,2.800858e-05,2.794200e-05,2.788041e-05,2.782348e-05,2.777092e-05,2.772243e-05,2.767775e-05,2.763664e-05,2.759885e-05,2.756418e-05,2.753241e-05
0.000000e+00,4.869932e-08,1.955540e-06,2.073223e-06,2.464379e-05,1.451851e-04,1.547609e-04,6.152259e-04,1.639509e-03,1.730700e-03,3.792880e-03,6.687480e-03,6.987176e-03,1.139434e-02,1.639742e-02,1.701230e-02,2.377829e-02,3.059943e-02,3.158742e-02,4.030761e-02,4.842323e-02,4.979115e-02,5.988370e-02,6.871913e-02,7.043102e-02,8.128386e-02,9.031218e-02,9.230156e-02,1.033544e-01,1.121427e-01,1.143250e-01,1.251093e-01,1.333327e-01,1.356164e-01,1.457688e-01,1.532071e-01,1.555017e-01,1.647622e-01,1.712860e-01,1.735088e-01,1.817099e-01,1.872643e-01,1.893436e-01,1.963958e-01,2.009827e-01,2.028601e-01,2.087364e-01,2.123989e-01,2.140299e-01,2.187507e-01,2.215594e-01,2.229127e-01,2.265330e-01,2.285747e-01,2.296312e-01,2.322291e-01,2.335986e-01,2.343498e-01,2.360174e-01,2.368108e-01,2.372569e-01,2.380934e-01,2.384039e-01,2.385522e-01,2.386582e-01,2.385727e-01,2.384361e-01,2.379099e-01,2.375076e-01,2.371030e-01,2.360378e-01,2.353891e-01,2.347361e-01,2.332184e-01,2.323848e-01,2.315046e-01,2.296131e-01,2.286475e-01,2.275619e-01,2.253675e-01,2.243144e-01,2.230457e-01,2.206111e-01,2.195077e-01,2.180775e-01,2.154578e-01,2.143347e-01,2.127639e-01,2.100069e-01,2.088887e-01,2.071971e-01,2.043441e-01,2.032504e-01,2.014566e-01,1.985428e-01,1.974888e-01,1.956101e-01,1.926655e-01,1.916627e-01,1.897152e-01,1.867650e-01,1.858218e-01,1.838201e-01,1.808854e-01,1.800077e-01,1.779653e-01,1.750636e-01,1.742550e-01,1.721841e-01,1.693299e-01,1.685923e-01,1.665040e-01,1.637091e-01,1.630432e-01,1.609475e-01,1.582213e-01,1.576265e-01,1.555324e-01,1.528825e-01,1.523573e-01,1.502730e-01,1.477052e-01,1.472475e-01,1.451802e-01,1.426991e-01,1.423062e-01,1.402625e-01,1.378712e-01,1.375401e-01,1.355258e-01,1.332267e-01,1.329539e-01,1.309742e-01,1.287687e-01,1.285507e-01,1.266102e-01,1.244989e-01,1.243320e-01,1.224347e-01,1.204178e-01,1.202983e-01,1.184478e-01,1.165248e-01,1.164488e-01,1.146483e-01,1.128183e-01,1.127822e-01,1.110344e-01,1.092962e-01,1.059879e-01,1.028542e-01,9.989118e-02,9.709480e-02,9.446068e-02,9.198421e-02,8.966058e-02,8.748483e-02,8.545189e-02,8.355659e-02,8.179373e-02,8.015803e-02,7.864420e-02,7.724698e-02,7.596109e-02,7.478129e-02,7.370240e-02,7.271928e-02,7.182686e-02,7.102017e-02,7.029431e-02,6.964449e-02,6.906601e-02,6.855431e-02,6.810492e-02,6.771353e-02,6.737595e-02,6.708813e-02,6.684618e-02,6.664635e-02,6.648503e-02,6.635879e-02,6.626433e-02,6.619853e-02,6.615841e-02,6.614116e-02,6.614412e-02,6.616480e-02,6.620084e-02,6.625005e-02,6.631039e-02,6.637997e-02,6.645702e-02,6.653992e-02,6.662720e-02,6.671749e-02,6.680957e-02,6.690232e-02,6.699474e-02
0.000000e+00,6.158196e-09,1.993019e-07,2.104194e-07,2.111171e-06,1.124215e-05,1.194350e-05,4.415369e-05,1.102695e-04,1.158810e-04,2.334551e-04,3.756994e-04,3.892531e-04,5.694475e-04,7.413658e-04,7.606625e-04,9.526132e-04,1.116563e-03,1.138366e-03,1.313715e-03,1.454436e-03,1.476404e-03,1.625467e-03,1.740021e-03,1.760749e-03,1.882574e-03,1.972841e-03,1.991537e-03,2.088370e-03,2.157632e-03,2.173861e-03,2.248811e-03,2.300457e-03,2.314000e-03,2.370177e-03,2.407284e-03,2.418054e-03,2.458299e-03,2.483536e-03,2.491538e-03,2.518353e-03,2.533987e-03,2.539285e-03,2.554839e-03,2.562778e-03,2.565482e-03,2.571644e-03,2.573482e-03,2.573728e-03,2.572103e-03,2.569167e-03,2.567112e-03,2.559073e-03,2.552463e-03,2.548277e-03,2.534995e-03,2.525622e-03,2.519477e-03,2.501952e-03,2.490563e-03,2.482634e-03,2.461717e-03,2.448925e-03,2.439383e-03,2.415797e-03,2.402100e-03,2.391113e-03,2.365471e-03,2.351272e-03,2.339001e-03,2.311820e-03,2.297443e-03,2.284039e-03,2.255758e-03,2.241459e-03,2.227068e-03,2.198053e-03,2.184034e-03,2.168791e-03,2.139351e-03,2.125767e-03,2.109797e-03,2.080189e-03,2.067158e-03,2.050579e-03,2.021016e-03,2.008624e-03,1.991544e-03,1.962202e-03,1.950510e-03,1.933027e-03,1.904051e-03,1.893098e-03,1.875303e-03,1.846809e-03,1.836618e-03,1.818593e-03,1.790676e-03,1.781256e-03,1.763076e-03,1.735810e-03,1.727158e-03,1.708892e-03,1.682335e-03,1.674439e-03,1.656149e-03,1.630343e-03,1.623187e-03,1.604926e-03,1.579904e-03,1.573463e-03,1.555282e-03,1.531064e-03,1.525312e-03,1.507254e-03,1.483854e-03,1.478762e-03,1.460866e-03,1.438289e-03,1.433824e-03,1.416125e-03,1.394372e-03,1.390500e-03,1.373030e-03,1.352095e-03,1.348783e-03,1.331567e-03,1.311442e-03,1.308657e-03,1.291718e-03,1.272391e-03,1.270098e-03,1.253457e-03,1.234913e-03,1.233080e-03,1.216754e-03,1.198975e-03,1.197569e-03,1.181572e-03,1.164541e-03,1.163531e-03,1.147876e-03,1.131572e-03,1.130928e-03,1.115625e-03,1.100028e-03,1.099719e-03,1.084776e-03,1.069865e-03,1.041322e-03,1.014048e-03,9.880011e-04,9.631379e-04,9.394163e-04,9.167945e-04,8.952314e-04,8.746866e-04,8.551206e-04,8.364949e-04,8.187719e-04,8.019150e-04,7.858890e-04,7.706593e-04,7.561929e-04,7.424574e-04,7.294220e-04,7.170565e-04,7.053322e-04,6.942211e-04,6.836965e-04,6.737325e-04,6.643044e-04,6.553882e-04,6.469611e-04,6.390010e-04,6.314867e-04,6.243979e-04,6.177152e-04,6.114199e-04,6.054940e-04,5.999203e-04,5.946824e-04,5.897644e-04,5.851512e-04,5.808283e-04,5.767818e-04,5.729984e-04,5.694654e-04,5.661705e-04,5.631021e-04,5.602490e-04,5.576006e-04,5.551465e-04,5.528771e-04,5.507829e-04,5.488550e-04,5.470848e-04,5.454643e-04
0.000000e+00,1.149833e-08,3.088166e-07,3.251558e-07,2.776363e-06,1.182681e-05,1.243501e-05,3.505947e-05,6.793686e-05,7.028873e-05,1.110847e-04,1.480738e-04,1.511768e-04,1.880045e-04,2.179023e-04,2.210359e-04,2.503850e-04,2.733765e-04,2.763175e-04,2.991179e-04,3.164303e-04,3.190598e-04,3.363988e-04,3.491258e-04,3.513717e-04,3.641969e-04,3.732521e-04,3.750748e-04,3.841890e-04,3.903241e-04,3.917079e-04,3.977861e-04,4.016179e-04,4.025644e-04,4.061719e-04,4.082032e-04,4.087261e-04,4.103342e-04,4.109725e-04,4.110933e-04,4.110923e-04,4.106666e-04,4.104120e-04,4.091259e-04,4.079014e-04,4.073011e-04,4.049982e-04,4.031874e-04,4.022723e-04,3.991737e-04,3.969469e-04,3.957481e-04,3.920368e-04,3.895290e-04,3.880770e-04,3.839028e-04,3.812207e-04,3.795448e-04,3.750309e-04,3.722583e-04,3.703863e-04,3.656337e-04,3.628359e-04,3.607936e-04,3.558845e-04,3.531116e-04,3.509232e-04,3.459245e-04,3.432145e-04,3.409021e-04,3.358679e-04,3.332492e-04,3.308329e-04,3.258067e-04,3.232997e-04,3.207980e-04,3.158146e-04,3.134335e-04,3.108632e-04,3.059499e-04,3.037040e-04,3.010800e-04,2.962584e-04,2.941532e-04,2.914890e-04,2.867756e-04,2.848133e-04,2.821211e-04,2.775283e-04,2.757090e-04,2.729994e-04,2.685365e-04,2.668581e-04,2.641409e-04,2.598142e-04,2.582736e-04,2.555572e-04,2.513709e-04,2.499637e-04,2.472558e-04,2.432122e-04,2.419335e-04,2.392405e-04,2.353407e-04,2.341848e-04,2.315127e-04,2.277564e-04,2.267174e-04,2.240714e-04,2.204572e-04,2.195291e-04,2.169136e-04,2.134398e-04,2.126164e-04,2.100352e-04,2.066992e-04,2.059743e-04,2.034309e-04,2.002297e-04,1.995974e-04,1.970946e-04,1.940248e-04,1.934791e-04,1.910194e-04,1.880775e-04,1.876126e-04,1.851981e-04,1.823803e-04,1.819907e-04,1.796231e-04,1.769255e-04,1.766058e-04,1.742866e-04,1.717053e-04,1.714503e-04,1.691807e-04,1.667117e-04,1.665166e-04,1.642975e-04,1.619369e-04,1.617969e-04,1.596290e-04,1.573729e-04,1.572837e-04,1.551675e-04,1.530119e-04,1.529693e-04,1.509051e-04,1.488463e-04,1.449074e-04,1.411455e-04,1.375536e-04,1.341251e-04,1.308534e-04,1.277320e-04,1.247549e-04,1.219162e-04,1.192101e-04,1.166311e-04,1.141738e-04,1.118332e-04,1.096042e-04,1.074822e-04,1.054626e-04,1.035409e-04,1.017131e-04,9.997490e-05,9.832256e-05,9.675232e-05,9.526058e-05,9.384390e-05,9.249900e-05,9.122269e-05,9.001195e-05,8.886387e-05,8.777566e-05,8.674464e-05,8.576824e-05,8.484402e-05,8.396962e-05,8.314279e-05,8.236135e-05,8.162325e-05,8.092650e-05,8.026921e-05,7.964955e-05,7.906579e-05,7.851626e-05,7.799936e-05,7.751357e-05,7.705742e-05,7.662952e-05,7.622853e-05,7.585316e-05,7.550221e-05,7.517448e-05,7.486886e-05,7.458428e-05
0.000000e+00,1.896712e-08,6.382384e-07,6.742542e-07,6.658586e-06,3.237580e-05,3.423065e-05,1.108047e-04,2.428025e-04,2.530956e-04,4.490099e-04,6.527770e-04,6.708353e-04,8.936531e-04,1.081694e-03,1.101532e-03,1.286520e-03,1.428160e-03,1.445931e-03,1.580055e-03,1.676493e-03,1.690643e-03,1.780042e-03,1.840574e-03,1.850726e-03,1.905077e-03,1.938999e-03,1.945283e-03,1.973304e-03,1.988123e-03,1.990878e-03,1.999527e-03,2.000939e-03,2.000581e-03,1.995194e-03,1.987417e-03,1.984372e-03,1.968982e-03,1.955099e-03,1.949777e-03,1.927405e-03,1.909656e-03,1.902429e-03,1.875330e-03,1.855324e-03,1.846527e-03,1.816376e-03,1.795264e-03,1.785187e-03,1.753224e-03,1.731817e-03,1.720715e-03,1.687854e-03,1.666716e-03,1.654807e-03,1.621716e-03,1.601231e-03,1.588702e-03,1.555866e-03,1.536287e-03,1.523296e-03,1.491063e-03,1.472547e-03,1.459229e-03,1.427842e-03,1.410478e-03,1.396946e-03,1.366573e-03,1.350398e-03,1.336749e-03,1.307498e-03,1.292518e-03,1.278833e-03,1.250768e-03,1.236963e-03,1.223311e-03,1.196466e-03,1.183798e-03,1.170235e-03,1.144620e-03,1.133043e-03,1.119617e-03,1.095224e-03,1.084682e-03,1.071435e-03,1.048244e-03,1.038680e-03,1.025644e-03,1.003627e-03,9.949812e-04,9.821840e-04,9.613063e-04,9.535189e-04,9.409839e-04,9.212069e-04,9.142186e-04,9.019647e-04,8.832470e-04,8.770005e-04,8.650430e-04,8.473421e-04,8.417822e-04,8.301333e-04,8.134060e-04,8.084801e-04,7.971493e-04,7.813525e-04,7.770104e-04,7.660050e-04,7.510963e-04,7.472906e-04,7.366158e-04,7.225534e-04,7.192395e-04,7.088990e-04,6.956424e-04,6.927784e-04,6.827741e-04,6.702842e-04,6.678308e-04,6.581633e-04,6.464021e-04,6.443226e-04,6.349915e-04,6.239225e-04,6.221826e-04,6.131864e-04,6.027747e-04,6.013424e-04,5.926788e-04,5.828908e-04,5.817365e-04,5.734024e-04,5.642059e-04,5.633021e-04,5.552937e-04,5.466583e-04,5.459792e-04,5.382922e-04,5.301885e-04,5.297105e-04,5.223402e-04,5.147404e-04,5.144415e-04,5.073825e-04,5.002601e-04,5.001200e-04,4.933667e-04,4.866964e-04,4.741235e-04,4.623564e-04,4.513523e-04,4.410704e-04,4.314722e-04,4.225209e-04,4.141816e-04,4.064209e-04,3.992075e-04,3.925112e-04,3.863037e-04,3.805578e-04,3.752478e-04,3.703494e-04,3.658393e-04,3.616955e-04,3.578971e-04,3.544241e-04,3.512578e-04,3.483802e-04,3.457743e-04,3.434239e-04,3.413136e-04,3.394289e-04,3.377559e-04,3.362814e-04,3.349931e-04,3.338791e-04,3.329281e-04,3.321294e-04,3.314731e-04,3.309493e-04,3.305491e-04,3.302639e-04,3.300854e-04,3.300059e-04,3.300180e-04,3.301149e-04,3.302898e-04,3.305367e-04,3.308496e-04,3.312229e-04,3.316515e-04,3.321302e-04,3.326545e-04,3.332198e-04,3.338222e-04,3.344575e-04,3.351222e-04
0.000000e+00,9.589419e-09,2.941150e-07,3.099602e-07,2.833286e-06,1.422572e-05,1.508970e-05,5.475321e-05,1.380925e-04,1.452973e-04,3.002314e-04,4.954822e-04,5.144238e-04,7.701742e-04,1.018391e-03,1.046358e-03,1.324089e-03,1.558227e-03,1.588976e-03,1.831403e-03,2.017649e-03,2.045879e-03,2.230106e-03,2.361412e-03,2.384057e-03,2.509192e-03,2.591930e-03,2.607857e-03,2.682839e-03,2.727737e-03,2.737060e-03,2.773376e-03,2.791004e-03,2.794464e-03,2.802753e-03,2.801829e-03,2.800398e-03,2.789278e-03,2.776367e-03,2.771011e-03,2.746974e-03,2.726752e-03,2.718326e-03,2.686039e-03,2.661712e-03,2.650922e-03,2.613645e-03,2.587348e-03,2.574759e-03,2.534717e-03,2.507839e-03,2.493890e-03,2.452580e-03,2.426004e-03,2.411034e-03,2.369450e-03,2.343721e-03,2.327989e-03,2.286781e-03,2.262222e-03,2.245930e-03,2.205518e-03,2.182307e-03,2.165612e-03,2.126263e-03,2.104486e-03,2.087511e-03,2.049388e-03,2.029072e-03,2.011917e-03,1.975116e-03,1.956247e-03,1.938995e-03,1.903563e-03,1.886106e-03,1.868823e-03,1.834778e-03,1.818683e-03,1.801427e-03,1.768766e-03,1.753973e-03,1.736792e-03,1.705499e-03,1.691944e-03,1.674880e-03,1.644928e-03,1.632545e-03,1.615635e-03,1.586991e-03,1.575714e-03,1.558989e-03,1.531617e-03,1.521380e-03,1.504867e-03,1.478729e-03,1.469467e-03,1.453192e-03,1.428245e-03,1.419896e-03,1.403880e-03,1.380084e-03,1.372588e-03,1.356848e-03,1.334162e-03,1.327462e-03,1.312015e-03,1.290396e-03,1.284436e-03,1.269296e-03,1.248704e-03,1.243433e-03,1.228611e-03,1.209006e-03,1.204373e-03,1.189880e-03,1.171222e-03,1.167179e-03,1.153024e-03,1.135275e-03,1.131779e-03,1.117967e-03,1.101090e-03,1.098098e-03,1.084636e-03,1.068594e-03,1.066066e-03,1.052958e-03,1.037717e-03,1.035614e-03,1.022863e-03,1.008389e-03,1.006677e-03,9.942852e-04,9.805445e-04,9.791901e-04,9.671587e-04,9.541200e-04,9.530917e-04,9.414209e-04,9.290539e-04,9.283223e-04,9.170116e-04,9.052867e-04,9.048243e-04,8.938724e-04,8.827615e-04,8.825423e-04,8.719474e-04,8.614233e-04,8.414158e-04,8.224708e-04,8.045408e-04,7.875804e-04,7.715460e-04,7.563956e-04,7.420891e-04,7.285878e-04,7.158547e-04,7.038543e-04,6.925526e-04,6.819169e-04,6.719160e-04,6.625197e-04,6.536995e-04,6.454277e-04,6.376779e-04,6.304248e-04,6.236443e-04,6.173131e-04,6.114090e-04,6.059107e-04,6.007978e-04,5.960508e-04,5.916511e-04,5.875808e-04,5.838227e-04,5.803605e-04,5.771785e-04,5.742618e-04,5.715960e-04,5.691674e-04,5.669629e-04,5.649700e-04,5.631767e-04,5.615717e-04,5.601439e-04,5.588830e-04,5.577790e-04,5.568223e-04,5.560040e-04,5.553154e-04,5.547483e-04,5.542947e-04,5.539472e-04,5.536987e-04,5.535424e-04,5.534718e-04,5.534809e-04
0.000000e+00,1.368893e-08,3.666794e-07,3.852413e-07,2.994597e-06,1.295848e-05,1.366706e-05,4.369476e-05,1.010118e-04,1.058007e-04,2.055090e-04,3.250499e-04,3.363411e-04,4.837601e-04,6.180861e-04,6.326927e-04,7.720630e-04,8.816973e-04,8.955687e-04,1.000657e-03,1.076153e-03,1.087185e-03,1.156336e-03,1.202301e-03,1.209906e-03,1.249874e-03,1.273859e-03,1.278174e-03,1.296580e-03,1.305248e-03,1.306669e-03,1.309817e-03,1.308223e-03,1.307211e-03,1.299866e-03,1.291653e-03,1.288648e-03,1.274289e-03,1.262008e-03,1.257406e-03,1.238521e-03,1.223932e-03,1.218071e-03,1.196426e-03,1.180729e-03,1.173892e-03,1.150728e-03,1.134728e-03,1.127149e-03,1.103335e-03,1.087562e-03,1.079434e-03,1.055570e-03,1.040363e-03,1.031843e-03,1.008337e-03,9.939048e-04,9.851199e-04,9.622455e-04,9.487041e-04,9.397578e-04,9.176911e-04,9.050961e-04,8.960721e-04,8.749208e-04,8.632861e-04,8.542520e-04,8.340756e-04,8.233873e-04,8.143977e-04,7.952213e-04,7.854480e-04,7.765468e-04,7.583722e-04,7.494714e-04,7.406941e-04,7.235071e-04,7.154299e-04,7.068048e-04,6.905798e-04,6.832743e-04,6.748239e-04,6.595282e-04,6.529415e-04,6.446835e-04,6.302802e-04,6.243601e-04,6.163084e-04,6.027580e-04,5.974536e-04,5.896189e-04,5.768807e-04,5.721433e-04,5.645334e-04,5.525668e-04,5.483501e-04,5.409707e-04,5.297353e-04,5.259956e-04,5.188506e-04,5.083069e-04,5.050035e-04,4.980948e-04,4.882049e-04,4.852994e-04,4.786279e-04,4.693550e-04,4.668119e-04,4.603773e-04,4.516862e-04,4.494725e-04,4.432734e-04,4.351307e-04,4.332157e-04,4.272501e-04,4.196238e-04,4.179793e-04,4.122442e-04,4.051040e-04,4.037040e-04,3.981959e-04,3.915131e-04,3.903336e-04,3.850487e-04,3.787960e-04,3.778148e-04,3.727487e-04,3.669006e-04,3.660973e-04,3.612454e-04,3.557774e-04,3.551335e-04,3.504908e-04,3.453801e-04,3.448784e-04,3.404397e-04,3.356646e-04,3.352896e-04,3.310496e-04,3.265897e-04,3.263269e-04,3.222801e-04,3.181163e-04,3.179527e-04,3.140936e-04,3.102076e-04,3.101312e-04,3.064541e-04,3.028291e-04,2.960145e-04,2.896578e-04,2.837310e-04,2.782076e-04,2.730628e-04,2.682733e-04,2.638170e-04,2.596733e-04,2.558226e-04,2.522468e-04,2.489285e-04,2.458516e-04,2.430008e-04,2.403619e-04,2.379214e-04,2.356667e-04,2.335859e-04,2.316678e-04,2.299019e-04,2.282783e-04,2.267879e-04,2.254219e-04,2.241722e-04,2.230310e-04,2.219913e-04,2.210461e-04,2.201892e-04,2.194146e-04,2.187167e-04,2.180903e-04,2.175304e-04,2.170325e-04,2.165922e-04,2.162054e-04,2.158684e-04,2.155776e-04,2.153295e-04,2.151212e-04,2.149496e-04,2.148121e-04,2.147060e-04,2.146290e-04,2.145787e-04,2.145531e-04,2.145502e-04,2.145682e-04,2.146053e-04,2.146600e-04,2.147306e-04
0.000000e+00,3.322549e-10,4.666037e-09,4.877534e-09,3.157143e-08,1.088949e-07,1.134731e-07,2.516213e-07,3.939890e-07,4.028808e-07,5.444334e-07,6.624400e-07,6.721416e-07,7.861164e-07,8.776768e-07,8.872388e-07,9.764938e-07,1.045980e-06,1.054835e-06,1.123158e-06,1.174545e-06,1.182302e-06,1.233055e-06,1.269740e-06,1.276149e-06,1.312270e-06,1.337132e-06,1.342053e-06,1.366087e-06,1.381544e-06,1.384919e-06,1.399052e-06,1.407113e-06,1.408950e-06,1.415038e-06,1.417359e-06,1.417708e-06,1.417318e-06,1.415253e-06,1.414196e-06,1.408644e-06,1.403295e-06,1.400934e-06,1.391317e-06,1.383574e-06,1.380022e-06,1.367257e-06,1.357833e-06,1.353210e-06,1.338053e-06,1.327519e-06,1.321943e-06,1.305022e-06,1.293826e-06,1.287418e-06,1.269247e-06,1.257743e-06,1.250614e-06,1.231615e-06,1.220075e-06,1.212334e-06,1.192848e-06,1.181481e-06,1.173228e-06,1.153533e-06,1.142493e-06,1.133821e-06,1.114140e-06,1.103541e-06,1.094535e-06,1.075043e-06,1.064965e-06,1.055701e-06,1.036537e-06,1.027031e-06,1.017579e-06,9.988506e-07,9.899481e-07,9.803708e-07,9.621573e-07,9.538727e-07,9.442249e-07,9.265861e-07,9.189207e-07,9.092512e-07,8.922287e-07,8.851741e-07,8.755254e-07,8.591467e-07,8.526869e-07,8.430963e-07,8.273770e-07,8.214908e-07,8.119902e-07,7.969365e-07,7.915987e-07,7.822156e-07,7.678264e-07,7.630093e-07,7.537669e-07,7.400349e-07,7.357094e-07,7.266274e-07,7.135408e-07,7.096768e-07,7.007713e-07,6.883147e-07,6.848823e-07,6.761665e-07,6.643218e-07,6.612912e-07,6.527756e-07,6.415227e-07,6.388650e-07,6.305577e-07,6.198752e-07,6.175624e-07,6.094696e-07,5.993351e-07,5.973403e-07,5.894662e-07,5.798571e-07,5.781546e-07,5.705019e-07,5.613951e-07,5.599606e-07,5.525308e-07,5.439033e-07,5.427141e-07,5.355071e-07,5.273365e-07,5.263709e-07,5.193859e-07,5.116500e-07,5.108879e-07,5.041232e-07,4.968003e-07,4.962231e-07,4.896760e-07,4.827452e-07,4.823354e-07,4.760028e-07,4.694439e-07,4.691852e-07,4.630635e-07,4.568569e-07,4.567345e-07,4.508195e-07,4.449466e-07,4.337862e-07,4.232199e-07,4.132156e-07,4.037427e-07,3.947723e-07,3.862766e-07,3.782296e-07,3.706063e-07,3.633833e-07,3.565382e-07,3.500501e-07,3.438990e-07,3.380662e-07,3.325337e-07,3.272849e-07,3.223040e-07,3.175760e-07,3.130867e-07,3.088230e-07,3.047723e-07,3.009227e-07,2.972632e-07,2.937832e-07,2.904729e-07,2.873229e-07,2.843244e-07,2.814692e-07,2.787494e-07,2.761576e-07,2.736871e-07,2.713311e-07,2.690836e-07,2.669387e-07,2.648910e-07,2.629353e-07,2.610668e-07,2.592808e-07,2.575730e-07,2.559394e-07,2.543761e-07,2.528794e-07,2.514460e-07,2.500725e-07,2.487560e-07,2.474936e-07,2.462826e-07,2.451203e-07,2.440043e-07,2.429325e-07
0.000000e+00,4.505141e-10,6.317351e-09,6.602642e-09,4.199940e-08,1.390949e-07,1.446183e-07,3.033291e-07,4.600402e-07,4.697864e-07,6.253856e-07,7.563815e-07,7.672204e-07,8.954788e-07,9.999177e-07,1.010907e-06,1.114327e-06,1.196051e-06,1.206553e-06,1.288370e-06,1.350981e-06,1.360530e-06,1.423752e-06,1.470455e-06,1.478722e-06,1.526087e-06,1.559681e-06,1.566458e-06,1.600407e-06,1.623305e-06,1.628472e-06,1.651152e-06,1.665406e-06,1.668914e-06,1.682191e-06,1.689531e-06,1.691385e-06,1.696869e-06,1.698742e-06,1.698988e-06,1.698060e-06,1.695674e-06,1.694383e-06,1.688227e-06,1.682579e-06,1.679845e-06,1.669468e-06,1.661383e-06,1.657311e-06,1.643570e-06,1.633722e-06,1.628426e-06,1.612046e-06,1.600986e-06,1.594584e-06,1.576178e-06,1.564349e-06,1.556958e-06,1.537041e-06,1.524802e-06,1.516536e-06,1.495542e-06,1.483176e-06,1.474147e-06,1.452435e-06,1.440166e-06,1.430480e-06,1.408351e-06,1.396350e-06,1.386108e-06,1.363809e-06,1.352208e-06,1.341503e-06,1.319237e-06,1.308132e-06,1.297053e-06,1.274986e-06,1.264445e-06,1.253070e-06,1.231336e-06,1.221406e-06,1.209808e-06,1.188512e-06,1.179221e-06,1.167468e-06,1.146693e-06,1.138052e-06,1.126204e-06,1.106014e-06,1.098025e-06,1.086136e-06,1.066578e-06,1.059233e-06,1.047351e-06,1.028460e-06,1.021742e-06,1.009910e-06,9.917075e-07,9.855980e-07,9.738541e-07,9.563524e-07,9.508264e-07,9.392036e-07,9.224081e-07,9.174382e-07,9.059654e-07,8.898746e-07,8.854320e-07,8.741340e-07,8.587413e-07,8.547959e-07,8.436939e-07,8.289886e-07,8.255098e-07,8.146218e-07,8.005897e-07,7.975472e-07,7.868881e-07,7.735125e-07,7.708761e-07,7.604582e-07,7.477204e-07,7.454608e-07,7.352940e-07,7.231737e-07,7.212626e-07,7.113544e-07,6.998305e-07,6.982404e-07,6.885966e-07,6.776471e-07,6.763520e-07,6.669765e-07,6.565791e-07,6.555542e-07,6.464494e-07,6.365817e-07,6.358034e-07,6.269704e-07,6.176099e-07,6.170562e-07,6.084948e-07,5.996194e-07,5.992693e-07,5.909784e-07,5.825663e-07,5.824004e-07,5.743779e-07,5.664077e-07,5.512506e-07,5.368895e-07,5.232861e-07,5.104034e-07,4.982057e-07,4.866587e-07,4.757295e-07,4.653864e-07,4.555993e-07,4.463393e-07,4.375789e-07,4.292918e-07,4.214531e-07,4.140388e-07,4.070264e-07,4.003944e-07,3.941224e-07,3.881910e-07,3.825818e-07,3.772774e-07,3.722613e-07,3.675178e-07,3.630321e-07,3.587903e-07,3.547790e-07,3.509857e-07,3.473986e-07,3.440064e-07,3.407984e-07,3.377646e-07,3.348955e-07,3.321821e-07,3.296159e-07,3.271889e-07,3.248935e-07,3.227225e-07,3.206693e-07,3.187273e-07,3.168906e-07,3.151534e-07,3.135103e-07,3.119563e-07,3.104865e-07,3.090964e-07,3.077816e-07,3.065382e-07,3.053622e-07,3.042501e-07,3.031984e-07
0.000000e+00,1.747998e-08,4.374965e-07,4.602177e-07,3.965223e-06,1.836019e-05,1.938692e-05,6.097496e-05,1.288334e-04,1.339118e-04,2.252628e-04,3.120010e-04,3.194040e-04,4.084888e-04,4.822894e-04,4.900970e-04,5.639049e-04,6.226469e-04,6.302253e-04,6.895330e-04,7.353097e-04,7.423271e-04,7.890927e-04,8.240553e-04,8.302911e-04,8.663561e-04,8.923855e-04,8.976952e-04,9.246899e-04,9.433978e-04,9.476964e-04,9.670469e-04,9.798020e-04,9.830505e-04,9.959925e-04,1.003944e-03,1.006137e-03,1.013731e-03,1.017842e-03,1.019001e-03,1.022159e-03,1.023236e-03,1.023401e-03,1.022906e-03,1.021617e-03,1.020843e-03,1.017368e-03,1.014272e-03,1.012625e-03,1.006743e-03,1.002297e-03,9.998439e-04,9.920376e-04,9.866122e-04,9.834247e-04,9.740987e-04,9.679964e-04,9.641453e-04,9.536429e-04,9.471083e-04,9.426638e-04,9.312743e-04,9.245044e-04,9.195350e-04,9.075014e-04,9.006530e-04,8.952240e-04,8.827492e-04,8.759457e-04,8.701191e-04,8.573722e-04,8.507095e-04,8.445437e-04,8.316654e-04,8.252167e-04,8.187662e-04,8.058723e-04,7.996922e-04,7.930074e-04,7.801928e-04,7.743203e-04,7.674477e-04,7.547893e-04,7.492512e-04,7.422333e-04,7.297933e-04,7.246061e-04,7.174816e-04,7.053092e-04,7.004814e-04,6.932856e-04,6.814193e-04,6.769529e-04,6.697175e-04,6.581865e-04,6.540783e-04,6.468318e-04,6.356580e-04,6.319008e-04,6.246688e-04,6.138674e-04,6.104510e-04,6.032562e-04,5.928372e-04,5.897492e-04,5.826117e-04,5.725807e-04,5.698069e-04,5.627444e-04,5.531031e-04,5.506283e-04,5.436564e-04,5.344037e-04,5.322118e-04,5.253440e-04,5.164763e-04,5.145510e-04,5.077990e-04,4.993105e-04,4.976353e-04,4.910091e-04,4.828927e-04,4.814513e-04,4.749593e-04,4.672065e-04,4.659827e-04,4.596320e-04,4.522334e-04,4.512115e-04,4.450080e-04,4.379534e-04,4.371182e-04,4.310667e-04,4.243452e-04,4.236821e-04,4.177863e-04,4.113870e-04,4.108819e-04,4.051446e-04,3.990562e-04,3.986957e-04,3.931189e-04,3.873300e-04,3.871015e-04,3.816865e-04,3.761856e-04,3.760771e-04,3.708245e-04,3.656004e-04,3.556497e-04,3.462034e-04,3.372406e-04,3.287405e-04,3.206833e-04,3.130495e-04,3.058200e-04,2.989768e-04,2.925021e-04,2.863789e-04,2.805909e-04,2.751223e-04,2.699580e-04,2.650834e-04,2.604847e-04,2.561484e-04,2.520618e-04,2.482126e-04,2.445891e-04,2.411802e-04,2.379751e-04,2.349637e-04,2.321361e-04,2.294830e-04,2.269956e-04,2.246653e-04,2.224841e-04,2.204443e-04,2.185384e-04,2.167595e-04,2.151009e-04,2.135563e-04,2.121195e-04,2.107847e-04,2.095466e-04,2.083998e-04,2.073393e-04,2.063605e-04,2.054587e-04,2.046297e-04,2.038694e-04,2.031740e-04,2.025396e-04,2.019628e-04,2.014403e-04,2.009688e-04,2.005454e-04,2.001671e-04,1.998313e-04
0.000000e+00,5.203038e-08,7.697026e-07,8.029303e-07,4.622781e-06,1.487323e-05,1.548319e-05,3.550558e-05,6.077691e-05,6.251110e-05,9.186969e-05,1.177678e-04,1.199190e-04,1.452466e-04,1.655465e-04,1.676601e-04,1.873116e-04,2.024944e-04,2.044208e-04,2.192116e-04,2.302403e-04,2.318971e-04,2.426762e-04,2.503926e-04,2.517331e-04,2.592374e-04,2.643418e-04,2.653445e-04,2.701963e-04,2.732609e-04,2.739216e-04,2.766380e-04,2.781265e-04,2.784539e-04,2.794669e-04,2.797550e-04,2.797662e-04,2.794327e-04,2.788220e-04,2.785398e-04,2.771541e-04,2.758853e-04,2.753358e-04,2.731395e-04,2.714038e-04,2.706146e-04,2.678055e-04,2.657538e-04,2.647526e-04,2.614922e-04,2.592426e-04,2.580569e-04,2.544762e-04,2.521205e-04,2.507765e-04,2.469815e-04,2.445902e-04,2.431125e-04,2.391886e-04,2.368150e-04,2.352267e-04,2.312420e-04,2.289258e-04,2.272480e-04,2.232566e-04,2.210266e-04,2.192784e-04,2.153227e-04,2.131990e-04,2.113978e-04,2.075109e-04,2.055067e-04,2.036681e-04,1.998750e-04,1.979985e-04,1.961361e-04,1.924556e-04,1.907107e-04,1.888368e-04,1.852826e-04,1.836699e-04,1.817952e-04,1.783766e-04,1.768946e-04,1.750283e-04,1.717514e-04,1.703966e-04,1.685468e-04,1.654150e-04,1.641827e-04,1.623562e-04,1.593706e-04,1.582552e-04,1.564580e-04,1.536181e-04,1.526135e-04,1.508505e-04,1.481544e-04,1.472540e-04,1.455293e-04,1.429742e-04,1.421712e-04,1.404883e-04,1.380705e-04,1.373583e-04,1.357198e-04,1.334350e-04,1.328070e-04,1.312151e-04,1.290588e-04,1.285084e-04,1.269648e-04,1.249320e-04,1.244530e-04,1.229590e-04,1.210445e-04,1.206310e-04,1.191873e-04,1.173860e-04,1.170324e-04,1.156395e-04,1.139462e-04,1.136470e-04,1.123051e-04,1.107147e-04,1.104649e-04,1.091739e-04,1.076814e-04,1.074762e-04,1.062359e-04,1.048362e-04,1.046713e-04,1.034811e-04,1.021695e-04,1.020407e-04,1.009001e-04,9.967179e-05,9.957527e-05,9.848349e-05,9.733406e-05,9.726631e-05,9.622244e-05,9.514756e-05,9.510531e-05,9.410838e-05,9.310389e-05,9.308415e-05,9.213310e-05,9.119504e-05,8.943055e-05,8.778360e-05,8.624742e-05,8.481561e-05,8.348205e-05,8.224096e-05,8.108684e-05,8.001451e-05,7.901903e-05,7.809574e-05,7.724024e-05,7.644837e-05,7.571618e-05,7.503997e-05,7.441622e-05,7.384163e-05,7.331308e-05,7.282761e-05,7.238246e-05,7.197501e-05,7.160279e-05,7.126348e-05,7.095491e-05,7.067500e-05,7.042182e-05,7.019356e-05,6.998849e-05,6.980501e-05,6.964159e-05,6.949683e-05,6.936937e-05,6.925796e-05,6.916143e-05,6.907867e-05,6.900863e-05,6.895035e-05,6.890292e-05,6.886547e-05,6.883721e-05,6.881738e-05,6.880529e-05,6.880028e-05,6.880174e-05,6.880909e-05,6.882180e-05,6.883937e-05,6.886133e-05,6.888726e-05,6.891674e-05
0.000000e+00,7.245382e-10,9.545190e-09,9.959113e-09,5.900514e-08,1.963128e-07,2.046169e-07,4.788840e-07,8.164478e-07,8.390418e-07,1.213644e-06,1.539914e-06,1.567125e-06,1.890580e-06,2.155405e-06,2.183332e-06,2.446748e-06,2.655740e-06,2.682660e-06,2.892954e-06,3.054716e-06,3.079461e-06,3.243926e-06,3.366258e-06,3.388007e-06,3.513264e-06,3.602964e-06,3.621170e-06,3.713104e-06,3.776022e-06,3.790358e-06,3.854142e-06,3.895271e-06,3.905583e-06,3.945731e-06,3.969295e-06,3.975563e-06,3.995986e-06,4.005540e-06,4.007844e-06,4.011917e-06,4.010438e-06,4.008930e-06,3.999554e-06,3.989523e-06,3.984409e-06,3.964071e-06,3.947547e-06,3.939070e-06,3.909896e-06,3.888575e-06,3.877000e-06,3.840801e-06,3.816079e-06,3.801683e-06,3.759997e-06,3.733007e-06,3.716072e-06,3.670210e-06,3.641878e-06,3.622685e-06,3.573749e-06,3.544812e-06,3.523634e-06,3.472552e-06,3.443596e-06,3.420696e-06,3.368244e-06,3.339729e-06,3.315357e-06,3.262181e-06,3.234460e-06,3.208851e-06,3.155488e-06,3.128829e-06,3.102203e-06,3.049095e-06,3.023692e-06,2.996253e-06,2.943759e-06,2.919749e-06,2.891685e-06,2.840095e-06,2.817564e-06,2.789047e-06,2.738593e-06,2.717590e-06,2.688776e-06,2.639638e-06,2.620180e-06,2.591212e-06,2.543528e-06,2.525608e-06,2.496612e-06,2.450485e-06,2.434076e-06,2.405165e-06,2.360666e-06,2.345726e-06,2.317001e-06,2.274178e-06,2.260654e-06,2.232204e-06,2.191082e-06,2.178912e-06,2.150815e-06,2.111403e-06,2.100520e-06,2.072843e-06,2.035134e-06,2.025468e-06,1.998270e-06,1.962246e-06,1.953724e-06,1.927055e-06,1.892688e-06,1.885237e-06,1.859138e-06,1.826394e-06,1.819941e-06,1.794446e-06,1.763283e-06,1.757756e-06,1.732894e-06,1.703267e-06,1.698597e-06,1.674390e-06,1.646250e-06,1.642368e-06,1.618834e-06,1.592129e-06,1.588972e-06,1.566122e-06,1.540799e-06,1.538304e-06,1.516148e-06,1.492153e-06,1.490262e-06,1.468803e-06,1.446082e-06,1.444739e-06,1.423979e-06,1.402478e-06,1.401630e-06,1.381567e-06,1.361233e-06,1.360832e-06,1.341462e-06,1.322241e-06,1.285755e-06,1.251278e-06,1.218713e-06,1.187966e-06,1.158948e-06,1.131573e-06,1.105757e-06,1.081419e-06,1.058483e-06,1.036876e-06,1.016526e-06,9.973681e-07,9.793369e-07,9.623717e-07,9.464146e-07,9.314104e-07,9.173066e-07,9.040535e-07,8.916039e-07,8.799128e-07,8.689379e-07,8.586390e-07,8.489778e-07,8.399184e-07,8.314265e-07,8.234700e-07,8.160182e-07,8.090422e-07,8.025148e-07,7.964102e-07,7.907039e-07,7.853731e-07,7.803958e-07,7.757516e-07,7.714211e-07,7.673860e-07,7.636290e-07,7.601338e-07,7.568851e-07,7.538682e-07,7.510696e-07,7.484764e-07,7.460762e-07,7.438577e-07,7.418099e-07,7.399227e-07,7.381864e-07,7.365918e-07,7.351305e-07
0.000000e+00,1.572665e-08,5.426430e-07,5.740433e-07,6.103350e-06,3.072855e-05,3.248832e-05,1.008717e-04,2.039501e-04,2.114670e-04,3.460633e-04,4.759766e-04,4.872226e-04,6.245000e-04,7.405968e-04,7.529823e-04,8.708665e-04,9.655725e-04,9.778412e-04,1.074239e-03,1.149123e-03,1.160643e-03,1.237710e-03,1.295722e-03,1.306111e-03,1.366490e-03,1.410451e-03,1.419467e-03,1.465623e-03,1.498007e-03,1.505506e-03,1.539630e-03,1.562556e-03,1.568471e-03,1.592478e-03,1.607744e-03,1.612062e-03,1.627606e-03,1.636718e-03,1.639466e-03,1.647969e-03,1.652184e-03,1.653418e-03,1.656093e-03,1.656453e-03,1.656251e-03,1.654130e-03,1.651498e-03,1.649949e-03,1.643909e-03,1.638995e-03,1.636196e-03,1.626981e-03,1.620369e-03,1.616421e-03,1.604660e-03,1.596823e-03,1.591830e-03,1.578053e-03,1.569379e-03,1.563441e-03,1.548096e-03,1.538898e-03,1.532113e-03,1.515577e-03,1.506105e-03,1.498568e-03,1.481156e-03,1.471611e-03,1.463410e-03,1.445388e-03,1.435926e-03,1.427145e-03,1.408733e-03,1.399477e-03,1.390196e-03,1.371577e-03,1.362622e-03,1.352913e-03,1.334238e-03,1.325653e-03,1.315585e-03,1.296980e-03,1.288816e-03,1.278450e-03,1.260018e-03,1.252310e-03,1.241703e-03,1.223526e-03,1.216297e-03,1.205501e-03,1.187645e-03,1.180907e-03,1.169971e-03,1.152490e-03,1.146246e-03,1.135212e-03,1.118146e-03,1.112394e-03,1.101301e-03,1.084684e-03,1.079415e-03,1.068299e-03,1.052152e-03,1.047355e-03,1.036247e-03,1.020587e-03,1.016247e-03,1.005176e-03,9.900147e-04,9.861139e-04,9.751049e-04,9.604477e-04,9.569676e-04,9.460436e-04,9.318926e-04,9.288133e-04,9.179943e-04,9.043482e-04,9.016491e-04,8.909531e-04,8.778079e-04,8.754682e-04,8.649110e-04,8.522605e-04,8.502592e-04,8.398546e-04,8.276911e-04,8.260074e-04,8.157676e-04,8.040816e-04,8.026951e-04,7.926305e-04,7.814116e-04,7.803024e-04,7.704222e-04,7.596592e-04,7.588078e-04,7.491197e-04,7.388006e-04,7.381884e-04,7.286988e-04,7.188113e-04,7.184202e-04,7.091348e-04,6.996661e-04,6.994788e-04,6.904020e-04,6.813393e-04,6.639765e-04,6.473653e-04,6.314806e-04,6.162976e-04,6.017919e-04,5.879392e-04,5.747161e-04,5.620993e-04,5.500663e-04,5.385952e-04,5.276644e-04,5.172533e-04,5.073416e-04,4.979097e-04,4.889388e-04,4.804105e-04,4.723070e-04,4.646113e-04,4.573067e-04,4.503773e-04,4.438077e-04,4.375830e-04,4.316888e-04,4.261114e-04,4.208374e-04,4.158541e-04,4.111489e-04,4.067102e-04,4.025263e-04,3.985863e-04,3.948795e-04,3.913958e-04,3.881253e-04,3.850585e-04,3.821864e-04,3.795002e-04,3.769914e-04,3.746521e-04,3.724744e-04,3.704508e-04,3.685742e-04,3.668376e-04,3.652344e-04,3.637583e-04,3.624030e-04,3.611626e-04,3.600316e-04,3.590044e-04,3.580759e-04
0.000000e+00,8.842090e-10,1.460117e-08,1.529311e-08,1.024742e-07,3.405347e-07,3.540542e-07,7.438690e-07,1.131113e-06,1.155263e-06,1.541997e-06,1.869646e-06,1.896857e-06,2.220216e-06,2.485703e-06,2.513771e-06,2.779403e-06,2.991529e-06,3.018958e-06,3.234212e-06,3.401188e-06,3.426858e-06,3.598508e-06,3.727586e-06,3.750686e-06,3.884834e-06,3.982335e-06,4.002307e-06,4.104378e-06,4.175749e-06,4.192238e-06,4.267002e-06,4.316896e-06,4.329707e-06,4.381325e-06,4.413696e-06,4.422756e-06,4.454842e-06,4.473029e-06,4.478362e-06,4.494041e-06,4.500856e-06,4.502555e-06,4.504528e-06,4.502331e-06,4.500542e-06,4.491135e-06,4.481897e-06,4.476805e-06,4.458017e-06,4.443384e-06,4.435198e-06,4.408746e-06,4.390080e-06,4.379027e-06,4.346381e-06,4.324809e-06,4.311122e-06,4.273540e-06,4.249987e-06,4.233901e-06,4.192454e-06,4.167676e-06,4.149426e-06,4.105026e-06,4.079636e-06,4.059448e-06,4.012870e-06,3.987359e-06,3.965454e-06,3.917351e-06,3.892113e-06,3.868700e-06,3.819625e-06,3.794966e-06,3.770244e-06,3.720661e-06,3.696819e-06,3.670975e-06,3.621272e-06,3.598426e-06,3.571634e-06,3.522133e-06,3.500413e-06,3.472836e-06,3.423802e-06,3.403300e-06,3.375087e-06,3.326738e-06,3.307512e-06,3.278801e-06,3.231315e-06,3.213396e-06,3.184316e-06,3.137834e-06,3.121233e-06,3.091898e-06,3.046531e-06,3.031241e-06,3.001756e-06,2.957591e-06,2.943590e-06,2.914052e-06,2.871153e-06,2.858409e-06,2.828904e-06,2.787316e-06,2.775791e-06,2.746396e-06,2.706150e-06,2.695796e-06,2.666581e-06,2.627694e-06,2.618462e-06,2.589489e-06,2.551967e-06,2.543804e-06,2.515127e-06,2.478968e-06,2.471818e-06,2.443487e-06,2.408680e-06,2.402486e-06,2.374544e-06,2.341073e-06,2.335779e-06,2.308262e-06,2.276106e-06,2.271656e-06,2.244598e-06,2.213731e-06,2.210069e-06,2.183497e-06,2.153890e-06,2.150964e-06,2.124902e-06,2.096524e-06,2.094280e-06,2.068749e-06,2.041567e-06,2.039955e-06,2.014970e-06,1.988950e-06,1.987921e-06,1.963497e-06,1.938603e-06,1.938110e-06,1.914258e-06,1.890453e-06,1.844879e-06,1.801317e-06,1.759698e-06,1.719951e-06,1.682009e-06,1.645802e-06,1.611265e-06,1.578334e-06,1.546944e-06,1.517035e-06,1.488547e-06,1.461421e-06,1.435602e-06,1.411035e-06,1.387667e-06,1.365449e-06,1.344330e-06,1.324264e-06,1.305206e-06,1.287112e-06,1.269939e-06,1.253647e-06,1.238197e-06,1.223553e-06,1.209677e-06,1.196537e-06,1.184098e-06,1.172328e-06,1.161199e-06,1.150679e-06,1.140742e-06,1.131360e-06,1.122509e-06,1.114162e-06,1.106297e-06,1.098891e-06,1.091923e-06,1.085371e-06,1.079216e-06,1.073439e-06,1.068022e-06,1.062947e-06,1.058197e-06,1.053758e-06,1.049613e-06,1.045748e-06,1.042149e-06,1.038803e-06,1.035696e-06
0.000000e+00,1.861509e-08,3.913773e-07,4.104633e-07,3.101491e-06,1.300596e-05,1.368194e-05,3.940634e-05,7.732677e-05,8.003469e-05,1.269968e-04,1.701290e-04,1.737959e-04,2.181186e-04,2.554274e-04,2.594187e-04,2.976596e-04,3.288576e-04,3.329390e-04,3.653894e-04,3.911409e-04,3.951508e-04,4.223622e-04,4.433492e-04,4.471603e-04,4.696782e-04,4.865323e-04,4.900453e-04,5.083862e-04,5.216815e-04,5.248218e-04,5.394672e-04,5.497190e-04,5.524327e-04,5.638236e-04,5.714898e-04,5.737406e-04,5.822792e-04,5.877639e-04,5.895301e-04,5.955792e-04,5.992362e-04,6.005078e-04,6.043930e-04,6.065309e-04,6.073075e-04,6.093200e-04,6.102065e-04,6.104953e-04,6.108945e-04,6.107611e-04,6.105754e-04,6.095922e-04,6.086382e-04,6.079961e-04,6.058354e-04,6.042321e-04,6.031552e-04,5.999982e-04,5.978920e-04,5.964045e-04,5.924118e-04,5.899272e-04,5.880553e-04,5.833683e-04,5.806109e-04,5.783819e-04,5.731253e-04,5.701841e-04,5.676259e-04,5.619092e-04,5.588587e-04,5.559993e-04,5.499187e-04,5.468209e-04,5.436883e-04,5.373277e-04,5.342338e-04,5.308552e-04,5.242880e-04,5.212397e-04,5.176419e-04,5.109318e-04,5.079627e-04,5.041715e-04,4.973738e-04,4.945105e-04,4.905506e-04,4.837130e-04,4.809763e-04,4.768713e-04,4.700348e-04,4.674402e-04,4.632124e-04,4.564122e-04,4.539710e-04,4.496417e-04,4.429075e-04,4.406274e-04,4.362162e-04,4.295733e-04,4.274587e-04,4.229842e-04,4.164538e-04,4.145067e-04,4.099862e-04,4.035856e-04,4.018059e-04,3.972554e-04,3.909989e-04,3.893847e-04,3.848190e-04,3.787182e-04,3.772660e-04,3.726987e-04,3.667626e-04,3.654680e-04,3.609116e-04,3.551471e-04,3.540047e-04,3.494704e-04,3.438827e-04,3.428864e-04,3.383846e-04,3.329770e-04,3.321202e-04,3.276603e-04,3.224348e-04,3.217105e-04,3.173008e-04,3.122584e-04,3.116594e-04,3.073074e-04,3.024477e-04,3.019668e-04,2.976791e-04,2.930012e-04,2.926308e-04,2.884134e-04,2.839153e-04,2.836482e-04,2.795062e-04,2.751853e-04,2.750143e-04,2.709521e-04,2.668057e-04,2.667236e-04,2.627450e-04,2.587694e-04,2.511446e-04,2.438414e-04,2.368513e-04,2.301658e-04,2.237759e-04,2.176725e-04,2.118464e-04,2.062883e-04,2.009890e-04,1.959391e-04,1.911297e-04,1.865517e-04,1.821962e-04,1.780545e-04,1.741181e-04,1.703787e-04,1.668282e-04,1.634586e-04,1.602625e-04,1.572322e-04,1.543607e-04,1.516410e-04,1.490664e-04,1.466305e-04,1.443269e-04,1.421497e-04,1.400931e-04,1.381516e-04,1.363197e-04,1.345924e-04,1.329648e-04,1.314321e-04,1.299898e-04,1.286335e-04,1.273592e-04,1.261628e-04,1.250405e-04,1.239887e-04,1.230039e-04,1.220828e-04,1.212223e-04,1.204191e-04,1.196706e-04,1.189738e-04,1.183262e-04,1.177252e-04,1.171684e-04,1.166536e-04,1.161784e-04
0.000000e+00,4.500362e-08,1.567402e-06,1.655617e-06,1.638876e-05,8.433052e-05,8.949329e-05,3.281372e-04,8.465623e-04,8.926477e-04,1.936594e-03,3.404144e-03,3.555980e-03,5.782357e-03,8.290086e-03,8.596647e-03,1.194520e-02,1.527473e-02,1.575315e-02,1.993451e-02,2.376070e-02,2.439954e-02,2.905993e-02,3.306439e-02,3.383225e-02,3.864020e-02,4.256140e-02,4.341588e-02,4.810032e-02,5.174833e-02,5.264360e-02,5.700450e-02,6.025791e-02,6.115005e-02,6.505485e-02,6.784980e-02,6.870029e-02,7.207381e-02,7.439067e-02,7.516809e-02,7.798032e-02,7.983090e-02,8.051147e-02,8.276565e-02,8.418224e-02,8.474949e-02,8.647168e-02,8.749849e-02,8.794246e-02,8.917323e-02,8.985996e-02,9.017619e-02,9.096403e-02,9.136134e-02,9.154971e-02,9.194623e-02,9.210273e-02,9.216646e-02,9.222305e-02,9.218358e-02,9.212826e-02,9.189395e-02,9.169862e-02,9.153149e-02,9.105172e-02,9.073569e-02,9.046497e-02,8.978101e-02,8.937451e-02,8.900903e-02,8.815770e-02,8.768635e-02,8.723512e-02,8.624892e-02,8.573421e-02,8.520622e-02,8.411366e-02,8.357337e-02,8.297745e-02,8.180336e-02,8.125204e-02,8.059673e-02,7.936255e-02,7.881197e-02,7.810541e-02,7.682959e-02,7.628913e-02,7.553904e-02,7.423741e-02,7.371442e-02,7.292808e-02,7.161417e-02,7.111428e-02,7.029853e-02,6.898380e-02,6.851120e-02,6.767240e-02,6.636655e-02,6.592420e-02,6.506828e-02,6.377944e-02,6.336928e-02,6.250172e-02,6.123665e-02,6.085981e-02,5.998563e-02,5.874992e-02,5.840682e-02,5.753064e-02,5.632881e-02,5.601931e-02,5.514535e-02,5.398104e-02,5.370454e-02,5.283662e-02,5.171269e-02,5.146823e-02,5.060979e-02,4.952841e-02,4.931474e-02,4.846892e-02,4.743166e-02,4.724733e-02,4.641689e-02,4.542484e-02,4.526823e-02,4.445566e-02,4.350946e-02,4.337883e-02,4.258632e-02,4.168627e-02,4.157982e-02,4.080930e-02,3.995537e-02,3.987124e-02,3.912440e-02,3.831631e-02,3.825265e-02,3.753096e-02,3.676820e-02,3.672315e-02,3.602787e-02,3.530978e-02,3.528151e-02,3.461371e-02,3.393946e-02,3.392620e-02,3.328678e-02,3.265543e-02,3.146724e-02,3.035951e-02,2.933002e-02,2.837643e-02,2.749637e-02,2.668738e-02,2.594700e-02,2.527274e-02,2.466207e-02,2.411249e-02,2.362146e-02,2.318647e-02,2.280500e-02,2.247455e-02,2.219259e-02,2.195663e-02,2.176416e-02,2.161270e-02,2.149976e-02,2.142288e-02,2.137960e-02,2.136748e-02,2.138410e-02,2.142708e-02,2.149403e-02,2.158265e-02,2.169064e-02,2.181576e-02,2.195582e-02,2.210871e-02,2.227237e-02,2.244481e-02,2.262413e-02,2.280851e-02,2.299623e-02,2.318566e-02,2.337527e-02,2.356364e-02,2.374943e-02,2.393146e-02,2.410861e-02,2.427990e-02,2.444445e-02,2.460149e-02,2.475036e-02,2.489049e-02,2.502144e-02,2.514283e-02,2.525441e-02
0.000000e+00,8.715094e-09,1.282428e-07,1.341361e-07,8.857780e-07,3.060893e-06,3.188589e-06,7.010554e-06,1.101863e-05,1.127443e-05,1.545918e-05,1.913720e-05,1.944845e-05,2.322120e-05,2.643108e-05,2.677701e-05,3.012025e-05,3.289099e-05,3.325663e-05,3.619230e-05,3.856140e-05,3.893377e-05,4.148783e-05,4.349356e-05,4.386152e-05,4.606206e-05,4.774238e-05,4.809670e-05,4.997274e-05,5.136423e-05,5.169739e-05,5.327775e-05,5.441473e-05,5.472075e-05,5.603315e-05,5.694727e-05,5.722150e-05,5.829209e-05,5.901211e-05,5.925103e-05,6.010416e-05,6.065607e-05,6.085712e-05,6.151533e-05,6.192249e-05,6.208397e-05,6.256799e-05,6.285123e-05,6.297216e-05,6.330101e-05,6.347891e-05,6.355888e-05,6.374995e-05,6.383901e-05,6.387817e-05,6.394734e-05,6.396217e-05,6.396108e-05,6.392284e-05,6.387631e-05,6.383589e-05,6.370339e-05,6.360685e-05,6.352832e-05,6.331352e-05,6.317689e-05,6.306170e-05,6.277544e-05,6.260742e-05,6.245721e-05,6.210932e-05,6.191745e-05,6.173401e-05,6.133338e-05,6.112420e-05,6.090944e-05,6.046409e-05,6.024326e-05,5.999914e-05,5.951631e-05,5.928866e-05,5.901723e-05,5.850343e-05,5.827307e-05,5.797638e-05,5.743746e-05,5.720789e-05,5.688799e-05,5.632921e-05,5.610335e-05,5.576228e-05,5.518833e-05,5.496860e-05,5.460839e-05,5.402346e-05,5.381185e-05,5.343447e-05,5.284230e-05,5.264038e-05,5.224777e-05,5.165168e-05,5.146071e-05,5.105474e-05,5.045765e-05,5.027859e-05,4.986106e-05,4.926557e-05,4.909911e-05,4.867175e-05,4.808014e-05,4.792674e-05,4.749122e-05,4.690547e-05,4.676541e-05,4.632332e-05,4.574516e-05,4.561854e-05,4.517138e-05,4.460231e-05,4.448910e-05,4.403829e-05,4.347960e-05,4.337963e-05,4.292653e-05,4.237931e-05,4.229232e-05,4.183819e-05,4.130337e-05,4.122900e-05,4.077504e-05,4.025337e-05,4.019123e-05,3.973853e-05,3.923065e-05,3.918025e-05,3.872986e-05,3.823627e-05,3.819709e-05,3.774997e-05,3.727105e-05,3.724255e-05,3.679958e-05,3.633562e-05,3.631722e-05,3.587922e-05,3.543041e-05,3.542152e-05,3.498924e-05,3.455571e-05,3.371993e-05,3.291415e-05,3.213829e-05,3.139211e-05,3.067534e-05,2.998759e-05,2.932843e-05,2.869738e-05,2.809389e-05,2.751739e-05,2.696725e-05,2.644285e-05,2.594351e-05,2.546855e-05,2.501727e-05,2.458897e-05,2.418292e-05,2.379842e-05,2.343474e-05,2.309116e-05,2.276697e-05,2.246145e-05,2.217392e-05,2.190366e-05,2.165000e-05,2.141226e-05,2.118978e-05,2.098191e-05,2.078802e-05,2.060748e-05,2.043968e-05,2.028404e-05,2.013998e-05,2.000693e-05,1.988434e-05,1.977170e-05,1.966847e-05,1.957417e-05,1.948831e-05,1.941042e-05,1.934005e-05,1.927677e-05,1.922016e-05,1.916981e-05,1.912533e-05,1.908635e-05,1.905252e-05,1.902347e-05,1.899889e-05
0.000000e+00,1.637207e-08,2.519339e-07,2.631243e-07,1.556183e-06,4.952234e-06,5.151446e-06,1.155761e-05,1.932112e-05,1.984290e-05,2.857631e-05,3.633149e-05,3.698535e-05,4.485179e-05,5.143821e-05,5.214143e-05,5.886661e-05,6.433703e-05,6.505159e-05,7.072349e-05,7.521188e-05,7.590973e-05,8.063720e-05,8.427230e-05,8.493125e-05,8.881687e-05,9.171541e-05,9.231839e-05,9.545912e-05,9.772694e-05,9.826134e-05,1.007462e-04,1.024771e-04,1.029339e-04,1.048435e-04,1.061199e-04,1.064931e-04,1.078998e-04,1.087940e-04,1.090799e-04,1.100488e-04,1.106237e-04,1.108208e-04,1.114097e-04,1.117199e-04,1.118284e-04,1.120890e-04,1.121818e-04,1.122031e-04,1.121814e-04,1.120978e-04,1.120343e-04,1.117712e-04,1.115462e-04,1.114012e-04,1.109329e-04,1.105967e-04,1.103742e-04,1.097327e-04,1.093110e-04,1.090154e-04,1.082291e-04,1.077438e-04,1.073798e-04,1.064736e-04,1.059433e-04,1.055159e-04,1.045118e-04,1.039520e-04,1.034662e-04,1.023836e-04,1.018074e-04,1.012682e-04,1.001240e-04,9.954224e-05,9.895468e-05,9.776375e-05,9.718537e-05,9.655440e-05,9.532965e-05,9.476188e-05,9.409232e-05,9.284501e-05,9.229366e-05,9.159015e-05,9.033002e-05,8.979970e-05,8.906670e-05,8.780215e-05,8.729640e-05,8.653818e-05,8.527644e-05,8.479790e-05,8.401849e-05,8.276574e-05,8.231628e-05,8.151950e-05,8.028098e-05,7.986184e-05,7.905128e-05,7.783141e-05,7.744328e-05,7.662229e-05,7.542476e-05,7.506788e-05,7.423959e-05,7.306745e-05,7.274168e-05,7.190898e-05,7.076472e-05,7.046961e-05,6.963519e-05,6.852081e-05,6.825566e-05,6.742197e-05,6.633903e-05,6.610294e-05,6.527226e-05,6.422192e-05,6.401385e-05,6.318823e-05,6.217135e-05,6.199011e-05,6.117142e-05,6.018855e-05,6.003288e-05,5.922282e-05,5.827428e-05,5.814286e-05,5.734295e-05,5.642882e-05,5.632028e-05,5.553188e-05,5.465207e-05,5.456503e-05,5.378935e-05,5.294362e-05,5.287670e-05,5.211480e-05,5.130276e-05,5.125457e-05,5.050739e-05,4.972855e-05,4.969774e-05,4.896609e-05,4.821985e-05,4.820509e-05,4.748966e-05,4.677536e-05,4.540715e-05,4.409898e-05,4.284926e-05,4.165635e-05,4.051855e-05,3.943416e-05,3.840142e-05,3.741860e-05,3.648395e-05,3.559573e-05,3.475224e-05,3.395176e-05,3.319264e-05,3.247323e-05,3.179195e-05,3.114721e-05,3.053750e-05,2.996133e-05,2.941727e-05,2.890391e-05,2.841991e-05,2.796395e-05,2.753477e-05,2.713114e-05,2.675190e-05,2.639590e-05,2.606205e-05,2.574930e-05,2.545665e-05,2.518311e-05,2.492776e-05,2.468970e-05,2.446808e-05,2.426208e-05,2.407090e-05,2.389379e-05,2.373004e-05,2.357894e-05,2.343984e-05,2.331211e-05,2.319515e-05,2.308837e-05,2.299122e-05,2.290318e-05,2.282375e-05,2.275245e-05,2.268882e-05,2.263243e-05,2.258285e-05
0.000000e+00,2.336923e-08,4.442001e-07,4.653181e-07,3.272959e-06,1.246868e-05,1.306264e-05,3.432700e-05,6.398966e-05,6.608655e-05,1.022747e-04,1.352080e-04,1.379926e-04,1.714475e-04,1.993078e-04,2.022714e-04,2.304921e-04,2.532701e-04,2.562327e-04,2.796362e-04,2.980044e-04,3.008473e-04,3.200061e-04,3.346120e-04,3.372470e-04,3.526982e-04,3.641178e-04,3.664808e-04,3.787095e-04,3.874466e-04,3.894925e-04,3.989318e-04,4.054233e-04,4.071229e-04,4.141557e-04,4.187781e-04,4.201145e-04,4.250783e-04,4.281547e-04,4.291213e-04,4.323127e-04,4.341200e-04,4.347177e-04,4.363971e-04,4.371716e-04,4.374078e-04,4.378031e-04,4.377458e-04,4.376326e-04,4.369429e-04,4.362245e-04,4.357774e-04,4.341767e-04,4.329413e-04,4.321785e-04,4.298182e-04,4.281875e-04,4.271288e-04,4.241408e-04,4.222168e-04,4.208831e-04,4.173822e-04,4.152500e-04,4.136628e-04,4.097482e-04,4.074789e-04,4.056599e-04,4.014177e-04,3.990695e-04,3.970402e-04,3.925446e-04,3.901657e-04,3.879471e-04,3.832623e-04,3.808915e-04,3.785039e-04,3.736849e-04,3.713536e-04,3.688168e-04,3.639106e-04,3.616437e-04,3.589763e-04,3.540231e-04,3.518400e-04,3.490597e-04,3.440939e-04,3.420092e-04,3.391328e-04,3.341832e-04,3.322079e-04,3.292510e-04,3.243420e-04,3.224836e-04,3.194610e-04,3.146128e-04,3.128763e-04,3.098016e-04,3.050312e-04,3.034191e-04,3.003049e-04,2.956260e-04,2.941392e-04,2.909972e-04,2.864210e-04,2.850588e-04,2.818997e-04,2.774351e-04,2.761955e-04,2.730291e-04,2.686832e-04,2.675633e-04,2.643986e-04,2.601765e-04,2.591726e-04,2.560179e-04,2.519234e-04,2.510313e-04,2.478938e-04,2.439296e-04,2.431446e-04,2.400310e-04,2.361984e-04,2.355155e-04,2.324319e-04,2.287315e-04,2.281456e-04,2.250972e-04,2.215289e-04,2.210346e-04,2.180263e-04,2.145891e-04,2.141810e-04,2.112170e-04,2.079096e-04,2.075824e-04,2.046664e-04,2.014868e-04,2.012352e-04,1.983705e-04,1.953167e-04,1.951354e-04,1.923247e-04,1.893941e-04,1.892781e-04,1.865240e-04,1.837137e-04,1.836581e-04,1.809625e-04,1.782696e-04,1.731067e-04,1.681633e-04,1.634328e-04,1.589090e-04,1.545852e-04,1.504549e-04,1.465117e-04,1.427490e-04,1.391605e-04,1.357398e-04,1.324808e-04,1.293774e-04,1.264237e-04,1.236140e-04,1.209425e-04,1.184038e-04,1.159925e-04,1.137036e-04,1.115320e-04,1.094729e-04,1.075216e-04,1.056736e-04,1.039245e-04,1.022700e-04,1.007062e-04,9.922917e-05,9.783505e-05,9.652025e-05,9.528127e-05,9.411476e-05,9.301747e-05,9.198631e-05,9.101827e-05,9.011050e-05,8.926023e-05,8.846482e-05,8.772171e-05,8.702848e-05,8.638277e-05,8.578233e-05,8.522501e-05,8.470874e-05,8.423152e-05,8.379146e-05,8.338673e-05,8.301557e-05,8.267631e-05,8.236733e-05,8.208710e-05
0.000000e+00,3.645660e-07,1.530138e-05,1.623452e-05,1.964742e-04,1.144158e-03,1.218625e-03,4.734029e-03,1.236742e-02,1.304100e-02,2.815381e-02,4.918967e-02,5.136228e-02,8.326801e-02,1.194778e-01,1.239311e-01,1.730113e-01,2.226749e-01,2.298859e-01,2.937431e-01,3.535401e-01,3.636560e-01,4.386393e-01,5.048115e-01,5.176926e-01,5.998332e-01,6.688298e-01,6.841192e-01,7.696664e-01,8.384614e-01,8.556588e-01,9.413551e-01,1.007563e+00,1.026092e+00,1.109284e+00,1.171160e+00,1.190421e+00,1.269069e+00,1.325447e+00,1.344860e+00,1.417494e+00,1.467698e+00,1.486729e+00,1.552376e+00,1.596119e+00,1.614298e+00,1.672401e+00,1.709699e+00,1.726628e+00,1.776959e+00,1.808047e+00,1.823403e+00,1.865995e+00,1.891257e+00,1.904790e+00,1.939865e+00,1.959782e+00,1.971310e+00,1.999228e+00,2.014334e+00,2.023734e+00,2.044949e+00,2.055795e+00,2.063000e+00,2.078019e+00,2.085157e+00,2.090143e+00,2.099505e+00,2.103462e+00,2.106245e+00,2.110497e+00,2.111770e+00,2.112397e+00,2.112077e+00,2.111126e+00,2.109669e+00,2.105299e+00,2.102541e+00,2.099090e+00,2.091165e+00,2.086975e+00,2.081638e+00,2.070623e+00,2.065332e+00,2.058226e+00,2.044553e+00,2.038454e+00,2.029703e+00,2.013771e+00,2.007116e+00,1.996848e+00,1.979022e+00,1.972028e+00,1.960375e+00,1.940986e+00,1.933839e+00,1.920929e+00,1.900277e+00,1.893131e+00,1.879096e+00,1.857449e+00,1.850434e+00,1.835398e+00,1.812998e+00,1.806219e+00,1.790305e+00,1.767367e+00,1.760907e+00,1.744233e+00,1.720948e+00,1.714874e+00,1.697553e+00,1.674087e+00,1.668449e+00,1.650588e+00,1.627091e+00,1.621925e+00,1.603627e+00,1.580226e+00,1.575555e+00,1.556916e+00,1.533724e+00,1.529564e+00,1.510673e+00,1.487787e+00,1.484142e+00,1.465085e+00,1.442588e+00,1.439456e+00,1.420312e+00,1.398274e+00,1.395647e+00,1.376490e+00,1.354971e+00,1.352835e+00,1.333732e+00,1.312783e+00,1.311120e+00,1.292135e+00,1.271797e+00,1.270587e+00,1.251777e+00,1.232083e+00,1.231302e+00,1.212721e+00,1.193697e+00,1.193320e+00,1.175015e+00,1.156681e+00,1.121418e+00,1.087551e+00,1.055094e+00,1.024050e+00,9.944199e-01,9.661953e-01,9.393644e-01,9.139104e-01,8.898127e-01,8.670472e-01,8.455869e-01,8.254019e-01,8.064605e-01,7.887288e-01,7.721713e-01,7.567513e-01,7.424307e-01,7.291706e-01,7.169313e-01,7.056726e-01,6.953537e-01,6.859337e-01,6.773715e-01,6.696261e-01,6.626565e-01,6.564220e-01,6.508823e-01,6.459975e-01,6.417284e-01,6.380362e-01,6.348831e-01,6.322319e-01,6.300466e-01,6.282920e-01,6.269338e-01,6.259390e-01,6.252757e-01,6.249133e-01,6.248222e-01,6.249742e-01,6.253424e-01,6.259013e-01,6.266266e-01,6.274954e-01,6.284861e-01,6.295785e-01,6.307536e-01,6.319938e-01,6.332829e-01
0.000000e+00,4.509065e-09,1.249129e-07,1.314634e-07,9.138938e-07,2.381822e-06,2.446923e-06,4.020361e-06,5.356373e-06,5.436633e-06,6.689506e-06,7.709275e-06,7.792318e-06,8.759279e-06,9.524253e-06,9.603499e-06,1.033685e-05,1.089905e-05,1.097008e-05,1.151301e-05,1.191452e-05,1.197455e-05,1.236287e-05,1.263793e-05,1.268540e-05,1.294892e-05,1.312530e-05,1.315958e-05,1.332297e-05,1.342307e-05,1.344416e-05,1.352773e-05,1.356949e-05,1.357784e-05,1.359825e-05,1.359596e-05,1.359229e-05,1.356302e-05,1.352798e-05,1.351318e-05,1.344525e-05,1.338639e-05,1.336144e-05,1.326376e-05,1.318811e-05,1.315401e-05,1.303380e-05,1.294683e-05,1.290459e-05,1.276767e-05,1.267366e-05,1.262422e-05,1.247528e-05,1.237751e-05,1.232179e-05,1.216458e-05,1.206557e-05,1.200440e-05,1.184193e-05,1.174359e-05,1.167775e-05,1.151239e-05,1.141614e-05,1.134634e-05,1.118000e-05,1.108687e-05,1.101375e-05,1.084792e-05,1.075865e-05,1.068279e-05,1.051862e-05,1.043371e-05,1.035564e-05,1.019404e-05,1.011381e-05,1.003398e-05,9.875629e-06,9.800259e-06,9.719098e-06,9.564501e-06,9.494063e-06,9.411932e-06,9.261468e-06,9.195949e-06,9.113176e-06,8.967107e-06,8.906432e-06,8.823306e-06,8.681805e-06,8.625855e-06,8.542631e-06,8.405799e-06,8.354420e-06,8.271323e-06,8.139206e-06,8.092222e-06,8.009449e-06,7.882047e-06,7.839266e-06,7.756992e-06,7.634271e-06,7.595491e-06,7.513869e-06,7.395768e-06,7.360783e-06,7.279947e-06,7.166383e-06,7.134986e-06,7.055051e-06,6.945927e-06,6.917912e-06,6.838981e-06,6.734187e-06,6.709353e-06,6.631513e-06,6.530930e-06,6.509079e-06,6.432407e-06,6.335913e-06,6.316855e-06,6.241415e-06,6.148882e-06,6.132433e-06,6.058282e-06,5.969581e-06,5.955563e-06,5.882748e-06,5.797750e-06,5.785995e-06,5.714555e-06,5.633131e-06,5.623478e-06,5.553446e-06,5.475468e-06,5.467763e-06,5.399166e-06,5.324509e-06,5.318606e-06,5.251465e-06,5.180005e-06,5.175767e-06,5.110097e-06,5.041714e-06,5.039010e-06,4.974824e-06,4.909400e-06,4.908106e-06,4.845412e-06,4.782832e-06,4.662973e-06,4.548318e-06,4.438663e-06,4.333813e-06,4.233578e-06,4.137774e-06,4.046225e-06,3.958761e-06,3.875217e-06,3.795436e-06,3.719266e-06,3.646560e-06,3.577177e-06,3.510982e-06,3.447845e-06,3.387641e-06,3.330249e-06,3.275554e-06,3.223444e-06,3.173813e-06,3.126558e-06,3.081581e-06,3.038786e-06,2.998083e-06,2.959384e-06,2.922605e-06,2.887666e-06,2.854489e-06,2.822999e-06,2.793126e-06,2.764801e-06,2.737957e-06,2.712531e-06,2.688463e-06,2.665694e-06,2.644168e-06,2.623831e-06,2.604632e-06,2.586520e-06,2.569449e-06,2.553373e-06,2.538247e-06,2.524029e-06,2.510679e-06,2.498159e-06,2.486430e-06,2.475457e-06,2.465206e-06,2.455643e-06
0.000000e+00,1.796499e-07,7.006518e-06,7.422361e-06,8.487283e-05,4.868271e-04,5.185342e-04,2.041846e-03,5.472804e-03,5.781129e-03,1.284607e-02,2.297445e-02,2.403373e-02,3.978905e-02,5.800155e-02,6.026003e-02,8.536485e-02,1.110933e-01,1.148517e-01,1.483484e-01,1.800193e-01,1.854028e-01,2.255148e-01,2.611892e-01,2.681611e-01,3.128148e-01,3.505664e-01,3.589602e-01,4.061036e-01,4.442240e-01,4.537812e-01,5.015643e-01,5.386562e-01,5.490630e-01,5.959270e-01,6.309270e-01,6.418465e-01,6.865515e-01,7.187137e-01,7.298104e-01,7.714282e-01,8.002853e-01,8.112441e-01,8.491292e-01,8.744454e-01,8.849838e-01,9.187347e-01,9.404577e-01,9.503327e-01,9.797501e-01,9.979660e-01,1.006978e+00,1.032024e+00,1.046918e+00,1.054910e+00,1.075670e+00,1.087493e+00,1.094349e+00,1.111001e+00,1.120044e+00,1.125686e+00,1.138471e+00,1.145043e+00,1.149426e+00,1.158626e+00,1.163040e+00,1.166147e+00,1.172068e+00,1.174627e+00,1.176467e+00,1.179423e+00,1.180417e+00,1.181016e+00,1.181322e+00,1.181017e+00,1.180418e+00,1.178379e+00,1.177019e+00,1.175278e+00,1.171186e+00,1.168989e+00,1.166170e+00,1.160297e+00,1.157458e+00,1.153631e+00,1.146233e+00,1.142922e+00,1.138161e+00,1.129471e+00,1.125834e+00,1.120216e+00,1.110447e+00,1.106610e+00,1.100211e+00,1.089556e+00,1.085626e+00,1.078524e+00,1.067155e+00,1.063220e+00,1.055489e+00,1.043563e+00,1.039697e+00,1.031409e+00,1.019061e+00,1.015324e+00,1.006550e+00,9.939027e-01,9.903409e-01,9.811468e-01,9.683070e-01,9.649578e-01,9.554067e-01,9.424677e-01,9.393588e-01,9.295102e-01,9.165532e-01,9.137045e-01,9.036143e-01,8.907097e-01,8.881343e-01,8.778547e-01,8.650631e-01,8.627684e-01,8.523479e-01,8.397211e-01,8.377097e-01,8.271935e-01,8.147753e-01,8.130461e-01,8.024758e-01,7.903033e-01,7.888515e-01,7.782655e-01,7.663695e-01,7.651880e-01,7.546216e-01,7.430276e-01,7.421068e-01,7.315925e-01,7.203209e-01,7.196499e-01,7.092171e-01,6.982845e-01,6.978508e-01,6.875263e-01,6.769453e-01,6.767355e-01,6.665439e-01,6.563240e-01,6.366304e-01,6.176640e-01,5.994298e-01,5.819291e-01,5.651601e-01,5.491182e-01,5.337962e-01,5.191850e-01,5.052738e-01,4.920501e-01,4.795003e-01,4.676094e-01,4.563618e-01,4.457411e-01,4.357300e-01,4.263109e-01,4.174655e-01,4.091755e-01,4.014219e-01,3.941859e-01,3.874483e-01,3.811899e-01,3.753916e-01,3.700340e-01,3.650982e-01,3.605651e-01,3.564158e-01,3.526315e-01,3.491939e-01,3.460846e-01,3.432858e-01,3.407799e-01,3.385495e-01,3.365776e-01,3.348479e-01,3.333442e-01,3.320508e-01,3.309525e-01,3.300346e-01,3.292828e-01,3.286835e-01,3.282234e-01,3.278900e-01,3.276710e-01,3.275549e-01,3.275306e-01,3.275878e-01,3.277165e-01,3.279074e-01
0.000000e+00,8.640552e-10,9.326153e-09,9.697913e-09,5.224778e-08,1.759388e-07,1.837374e-07,4.625787e-07,8.654008e-07,8.947178e-07,1.417040e-06,1.912218e-06,1.954637e-06,2.468467e-06,2.900340e-06,2.946426e-06,3.386397e-06,3.742804e-06,3.789238e-06,4.156642e-06,4.445720e-06,4.490516e-06,4.792792e-06,5.023669e-06,5.065360e-06,5.310047e-06,5.491118e-06,5.528607e-06,5.722716e-06,5.861474e-06,5.893970e-06,6.043888e-06,6.146938e-06,6.173905e-06,6.285385e-06,6.358505e-06,6.379611e-06,6.457798e-06,6.506007e-06,6.521091e-06,6.570570e-06,6.598215e-06,6.607252e-06,6.632090e-06,6.642917e-06,6.645990e-06,6.649806e-06,6.647048e-06,6.644333e-06,6.630322e-06,6.616742e-06,6.608478e-06,6.579457e-06,6.557406e-06,6.543881e-06,6.502328e-06,6.473805e-06,6.455344e-06,6.403437e-06,6.370130e-06,6.347085e-06,6.286732e-06,6.250060e-06,6.222796e-06,6.155665e-06,6.116813e-06,6.085704e-06,6.013250e-06,5.973202e-06,5.938622e-06,5.862112e-06,5.821675e-06,5.783994e-06,5.704524e-06,5.664356e-06,5.623937e-06,5.542454e-06,5.503083e-06,5.460276e-06,5.377595e-06,5.339440e-06,5.294582e-06,5.211400e-06,5.174785e-06,5.128197e-06,5.045109e-06,5.010277e-06,4.962262e-06,4.879772e-06,4.846899e-06,4.797743e-06,4.716272e-06,4.685478e-06,4.635447e-06,4.555347e-06,4.526703e-06,4.476045e-06,4.397607e-06,4.371146e-06,4.320091e-06,4.243550e-06,4.219271e-06,4.168031e-06,4.093576e-06,4.071452e-06,4.020221e-06,3.947998e-06,3.927982e-06,3.876935e-06,3.807055e-06,3.789083e-06,3.738379e-06,3.670923e-06,3.654916e-06,3.604700e-06,3.539720e-06,3.525592e-06,3.475991e-06,3.413518e-06,3.401175e-06,3.352304e-06,3.292348e-06,3.281689e-06,3.233649e-06,3.176204e-06,3.167128e-06,3.120006e-06,3.065051e-06,3.057456e-06,3.011329e-06,2.958831e-06,2.952613e-06,2.907546e-06,2.857463e-06,2.852520e-06,2.808568e-06,2.760850e-06,2.757082e-06,2.714292e-06,2.668880e-06,2.666192e-06,2.624599e-06,2.581432e-06,2.579728e-06,2.539363e-06,2.498374e-06,2.497565e-06,2.458449e-06,2.419569e-06,2.345600e-06,2.275518e-06,2.209180e-06,2.146442e-06,2.087160e-06,2.031191e-06,1.978395e-06,1.928633e-06,1.881769e-06,1.837672e-06,1.796210e-06,1.757260e-06,1.720699e-06,1.686410e-06,1.654278e-06,1.624195e-06,1.596055e-06,1.569757e-06,1.545203e-06,1.522301e-06,1.500961e-06,1.481098e-06,1.462631e-06,1.445482e-06,1.429576e-06,1.414844e-06,1.401218e-06,1.388634e-06,1.377032e-06,1.366353e-06,1.356543e-06,1.347550e-06,1.339324e-06,1.331818e-06,1.324989e-06,1.318795e-06,1.313195e-06,1.308152e-06,1.303630e-06,1.299597e-06,1.296020e-06,1.292869e-06,1.290116e-06,1.287734e-06,1.285698e-06,1.283985e-06,1.282572e-06,1.281437e-06,1.280562e-06
0.000000e+00,8.175392e-09,1.471906e-07,1.542833e-07,1.047835e-06,3.502337e-06,3.644178e-06,7.901332e-06,1.236453e-05,1.264742e-05,1.723286e-05,2.119748e-05,2.153022e-05,2.552929e-05,2.888123e-05,2.923964e-05,3.267429e-05,3.547945e-05,3.584675e-05,3.877040e-05,4.109572e-05,4.145831e-05,4.392318e-05,4.583026e-05,4.617723e-05,4.823225e-05,4.977677e-05,5.009951e-05,5.178980e-05,5.302154e-05,5.331340e-05,5.468011e-05,5.564324e-05,5.589925e-05,5.697970e-05,5.771329e-05,5.792989e-05,5.875782e-05,5.929626e-05,5.947108e-05,6.007687e-05,6.045033e-05,6.058200e-05,6.099298e-05,6.122793e-05,6.131593e-05,6.155672e-05,6.167635e-05,6.172085e-05,6.181354e-05,6.183799e-05,6.183972e-05,6.180405e-05,6.175080e-05,6.171092e-05,6.156452e-05,6.144873e-05,6.136877e-05,6.112741e-05,6.096217e-05,6.084395e-05,6.052168e-05,6.031823e-05,6.016374e-05,5.977307e-05,5.954105e-05,5.935246e-05,5.890452e-05,5.865215e-05,5.843173e-05,5.793639e-05,5.767063e-05,5.742069e-05,5.688669e-05,5.661344e-05,5.633632e-05,5.577139e-05,5.549555e-05,5.519360e-05,5.460456e-05,5.433024e-05,5.400576e-05,5.339860e-05,5.312915e-05,5.278441e-05,5.216442e-05,5.190257e-05,5.153977e-05,5.091154e-05,5.065947e-05,5.028073e-05,4.964828e-05,4.940771e-05,4.901507e-05,4.838191e-05,4.815413e-05,4.774955e-05,4.711869e-05,4.690466e-05,4.648999e-05,4.586404e-05,4.566440e-05,4.524140e-05,4.462258e-05,4.443775e-05,4.400806e-05,4.339828e-05,4.322845e-05,4.279363e-05,4.219448e-05,4.203964e-05,4.160115e-05,4.101396e-05,4.087398e-05,4.043317e-05,3.985905e-05,3.973365e-05,3.929180e-05,3.873162e-05,3.862045e-05,3.817870e-05,3.763320e-05,3.753581e-05,3.709524e-05,3.656495e-05,3.648082e-05,3.604243e-05,3.552776e-05,3.545634e-05,3.502102e-05,3.452226e-05,3.446294e-05,3.403152e-05,3.354884e-05,3.350101e-05,3.307423e-05,3.260771e-05,3.257074e-05,3.214927e-05,3.169890e-05,3.167214e-05,3.125659e-05,3.082231e-05,3.080510e-05,3.039602e-05,2.997768e-05,2.996939e-05,2.956724e-05,2.916466e-05,2.839049e-05,2.764636e-05,2.693171e-05,2.624592e-05,2.558832e-05,2.495822e-05,2.435488e-05,2.377757e-05,2.322553e-05,2.269798e-05,2.219417e-05,2.171331e-05,2.125463e-05,2.081738e-05,2.040079e-05,2.000412e-05,1.962664e-05,1.926761e-05,1.892635e-05,1.860215e-05,1.829435e-05,1.800229e-05,1.772533e-05,1.746284e-05,1.721423e-05,1.697892e-05,1.675634e-05,1.654593e-05,1.634718e-05,1.615957e-05,1.598260e-05,1.581580e-05,1.565872e-05,1.551091e-05,1.537194e-05,1.524141e-05,1.511892e-05,1.500409e-05,1.489657e-05,1.479600e-05,1.470204e-05,1.461438e-05,1.453271e-05,1.445673e-05,1.438615e-05,1.432071e-05,1.426015e-05,1.420422e-05,1.415268e-05
0.000000e+00,4.787263e-10,6.143800e-09,6.412401e-09,3.978078e-08,1.403076e-07,1.465490e-07,3.545610e-07,6.038985e-07,6.201980e-07,8.844796e-07,1.106804e-06,1.125038e-06,1.338081e-06,1.507128e-06,1.524652e-06,1.686866e-06,1.811253e-06,1.826970e-06,1.947107e-06,2.035968e-06,2.049256e-06,2.135232e-06,2.196170e-06,2.206692e-06,2.265143e-06,2.304332e-06,2.311958e-06,2.348382e-06,2.370802e-06,2.375545e-06,2.394471e-06,2.404117e-06,2.406090e-06,2.411232e-06,2.411277e-06,2.410654e-06,2.405036e-06,2.397997e-06,2.394991e-06,2.381073e-06,2.368934e-06,2.363777e-06,2.343548e-06,2.327859e-06,2.320787e-06,2.295853e-06,2.277822e-06,2.269068e-06,2.240721e-06,2.221282e-06,2.211069e-06,2.180343e-06,2.160211e-06,2.148749e-06,2.116469e-06,2.096184e-06,2.083668e-06,2.050490e-06,2.030456e-06,2.017063e-06,1.983501e-06,1.964014e-06,1.949906e-06,1.916366e-06,1.897637e-06,1.882958e-06,1.849752e-06,1.831926e-06,1.816807e-06,1.784174e-06,1.767344e-06,1.751899e-06,1.720021e-06,1.704240e-06,1.688571e-06,1.657580e-06,1.642873e-06,1.627069e-06,1.597059e-06,1.583427e-06,1.567565e-06,1.538600e-06,1.526026e-06,1.510175e-06,1.482296e-06,1.470751e-06,1.454968e-06,1.428195e-06,1.417642e-06,1.401979e-06,1.376318e-06,1.366712e-06,1.351211e-06,1.326657e-06,1.317951e-06,1.302650e-06,1.279186e-06,1.271331e-06,1.256260e-06,1.233866e-06,1.226811e-06,1.211996e-06,1.190644e-06,1.184338e-06,1.169802e-06,1.149461e-06,1.143855e-06,1.129614e-06,1.110252e-06,1.105296e-06,1.091366e-06,1.072947e-06,1.068595e-06,1.054987e-06,1.037475e-06,1.033682e-06,1.020404e-06,1.003763e-06,1.000486e-06,9.875448e-07,9.717391e-07,9.689372e-07,9.563372e-07,9.413301e-07,9.389650e-07,9.267091e-07,9.124653e-07,9.105008e-07,8.985901e-07,8.850750e-07,8.834769e-07,8.719114e-07,8.590912e-07,8.578277e-07,8.466061e-07,8.344482e-07,8.334895e-07,8.226095e-07,8.110824e-07,8.104005e-07,7.998591e-07,7.889324e-07,7.885014e-07,7.782948e-07,7.679393e-07,7.677351e-07,7.578589e-07,7.480466e-07,7.293834e-07,7.116951e-07,6.949337e-07,6.790530e-07,6.640093e-07,6.497608e-07,6.362674e-07,6.234913e-07,6.113963e-07,5.999479e-07,5.891134e-07,5.788616e-07,5.691629e-07,5.599891e-07,5.513136e-07,5.431107e-07,5.353563e-07,5.280275e-07,5.211024e-07,5.145603e-07,5.083815e-07,5.025472e-07,4.970397e-07,4.918422e-07,4.869385e-07,4.823135e-07,4.779527e-07,4.738424e-07,4.699696e-07,4.663218e-07,4.628875e-07,4.596553e-07,4.566147e-07,4.537557e-07,4.510688e-07,4.485448e-07,4.461752e-07,4.439519e-07,4.418670e-07,4.399132e-07,4.380835e-07,4.363714e-07,4.347705e-07,4.332749e-07,4.318788e-07,4.305771e-07,4.293644e-07,4.282362e-07,4.271876e-07
0.000000e+00,2.913607e-09,5.072623e-08,5.316946e-08,3.681785e-07,1.278212e-06,1.332138e-06,2.993369e-06,4.797385e-06,4.913279e-06,6.811566e-06,8.478855e-06,8.619812e-06,1.032655e-05,1.177608e-05,1.193217e-05,1.343968e-05,1.468801e-05,1.485271e-05,1.617508e-05,1.724273e-05,1.741062e-05,1.856314e-05,1.946986e-05,1.963640e-05,2.063405e-05,2.139819e-05,2.155964e-05,2.241661e-05,2.305501e-05,2.320827e-05,2.393781e-05,2.446572e-05,2.460832e-05,2.522276e-05,2.565395e-05,2.578392e-05,2.629452e-05,2.664135e-05,2.675716e-05,2.717435e-05,2.744795e-05,2.754850e-05,2.788188e-05,2.809214e-05,2.817665e-05,2.843490e-05,2.859067e-05,2.865861e-05,2.884968e-05,2.895878e-05,2.900991e-05,2.914102e-05,2.921042e-05,2.924466e-05,2.932241e-05,2.935826e-05,2.937575e-05,2.940612e-05,2.941388e-05,2.941487e-05,2.940331e-05,2.938778e-05,2.937266e-05,2.932410e-05,2.928951e-05,2.925876e-05,2.917770e-05,2.912776e-05,2.908194e-05,2.897245e-05,2.891039e-05,2.885014e-05,2.871588e-05,2.864454e-05,2.857052e-05,2.841484e-05,2.833668e-05,2.824960e-05,2.807551e-05,2.799265e-05,2.789325e-05,2.770346e-05,2.761773e-05,2.750676e-05,2.730373e-05,2.721671e-05,2.709492e-05,2.688086e-05,2.679387e-05,2.666203e-05,2.643891e-05,2.635309e-05,2.621195e-05,2.598156e-05,2.589787e-05,2.574816e-05,2.551210e-05,2.543131e-05,2.527377e-05,2.503348e-05,2.495623e-05,2.479156e-05,2.454832e-05,2.447513e-05,2.430403e-05,2.405897e-05,2.399025e-05,2.381338e-05,2.356752e-05,2.350358e-05,2.332160e-05,2.307583e-05,2.301689e-05,2.283041e-05,2.258553e-05,2.253175e-05,2.234136e-05,2.209808e-05,2.204954e-05,2.185582e-05,2.161474e-05,2.157148e-05,2.137497e-05,2.113664e-05,2.109864e-05,2.089985e-05,2.066473e-05,2.063195e-05,2.043137e-05,2.019987e-05,2.017222e-05,1.997030e-05,1.974276e-05,1.972012e-05,1.951732e-05,1.929404e-05,1.927627e-05,1.907298e-05,1.885421e-05,1.884116e-05,1.863777e-05,1.842371e-05,1.841520e-05,1.821207e-05,1.800290e-05,1.799874e-05,1.779621e-05,1.759206e-05,1.719537e-05,1.680884e-05,1.643258e-05,1.606666e-05,1.571112e-05,1.536595e-05,1.503113e-05,1.470659e-05,1.439226e-05,1.408803e-05,1.379377e-05,1.350937e-05,1.323466e-05,1.296948e-05,1.271366e-05,1.246703e-05,1.222940e-05,1.200056e-05,1.178034e-05,1.156852e-05,1.136490e-05,1.116928e-05,1.098146e-05,1.080122e-05,1.062837e-05,1.046269e-05,1.030399e-05,1.015206e-05,1.000670e-05,9.867714e-06,9.734907e-06,9.608088e-06,9.487065e-06,9.371655e-06,9.261674e-06,9.156942e-06,9.057284e-06,8.962528e-06,8.872505e-06,8.787050e-06,8.706002e-06,8.629204e-06,8.556502e-06,8.487746e-06,8.422791e-06,8.361494e-06,8.303717e-06,8.249325e-06,8.198186e-06
0.000000e+00,2.418288e-08,3.944571e-07,4.125994e-07,2.630184e-06,8.807633e-06,9.175269e-06,2.094983e-05,3.473102e-05,3.563829e-05,5.063550e-05,6.384435e-05,6.495846e-05,7.839536e-05,8.971444e-05,9.092755e-05,1.025811e-04,1.121392e-04,1.133935e-04,1.234043e-04,1.314024e-04,1.326528e-04,1.411762e-04,1.478020e-04,1.490108e-04,1.561933e-04,1.616209e-04,1.627587e-04,1.687412e-04,1.731292e-04,1.741731e-04,1.790856e-04,1.825759e-04,1.835084e-04,1.874699e-04,1.901888e-04,1.909971e-04,1.941157e-04,1.961748e-04,1.968502e-04,1.992238e-04,2.007218e-04,2.012587e-04,2.029758e-04,2.039994e-04,2.043951e-04,2.055354e-04,2.061607e-04,2.064148e-04,2.070501e-04,2.073436e-04,2.074576e-04,2.076524e-04,2.076721e-04,2.076490e-04,2.074610e-04,2.072576e-04,2.071015e-04,2.065827e-04,2.061998e-04,2.059161e-04,2.051127e-04,2.045882e-04,2.041829e-04,2.031363e-04,2.025028e-04,2.019823e-04,2.007296e-04,2.000149e-04,1.993863e-04,1.979602e-04,1.971884e-04,1.964586e-04,1.948885e-04,1.940798e-04,1.932563e-04,1.915681e-04,1.907396e-04,1.898297e-04,1.880464e-04,1.872125e-04,1.862234e-04,1.843655e-04,1.835381e-04,1.824770e-04,1.805624e-04,1.797513e-04,1.786254e-04,1.766698e-04,1.758831e-04,1.746991e-04,1.727165e-04,1.719606e-04,1.707250e-04,1.687275e-04,1.680075e-04,1.667267e-04,1.647249e-04,1.640446e-04,1.627246e-04,1.607278e-04,1.600899e-04,1.587365e-04,1.567526e-04,1.561592e-04,1.547778e-04,1.528137e-04,1.522659e-04,1.508617e-04,1.489232e-04,1.484216e-04,1.469995e-04,1.450916e-04,1.446362e-04,1.432007e-04,1.413276e-04,1.409180e-04,1.394733e-04,1.376385e-04,1.372740e-04,1.358240e-04,1.340304e-04,1.337098e-04,1.322583e-04,1.305082e-04,1.302302e-04,1.287805e-04,1.270757e-04,1.268389e-04,1.253942e-04,1.237361e-04,1.235387e-04,1.221018e-04,1.204914e-04,1.203317e-04,1.189052e-04,1.173433e-04,1.172194e-04,1.158058e-04,1.142927e-04,1.142027e-04,1.128041e-04,1.113399e-04,1.112819e-04,1.099003e-04,1.084850e-04,1.084570e-04,1.070941e-04,1.057275e-04,1.030927e-04,1.005515e-04,9.810257e-05,9.574446e-05,9.347548e-05,9.129379e-05,8.919747e-05,8.718447e-05,8.525269e-05,8.339998e-05,8.162412e-05,7.992288e-05,7.829403e-05,7.673531e-05,7.524450e-05,7.381935e-05,7.245767e-05,7.115727e-05,6.991602e-05,6.873179e-05,6.760252e-05,6.652619e-05,6.550080e-05,6.452443e-05,6.359518e-05,6.271122e-05,6.187076e-05,6.107207e-05,6.031345e-05,5.959327e-05,5.890996e-05,5.826196e-05,5.764781e-05,5.706607e-05,5.651535e-05,5.599431e-05,5.550166e-05,5.503615e-05,5.459658e-05,5.418180e-05,5.379068e-05,5.342216e-05,5.307521e-05,5.274881e-05,5.244203e-05,5.215393e-05,5.188365e-05,5.163032e-05,5.139313e-05
0.000000e+00,4.684757e-10,5.949436e-09,6.204314e-09,3.625624e-08,1.201644e-07,1.252316e-07,2.918107e-07,4.941308e-07,5.075747e-07,7.294501e-07,9.221135e-07,9.381875e-07,1.129532e-06,1.286775e-06,1.303397e-06,1.460660e-06,1.586163e-06,1.602385e-06,1.729639e-06,1.828296e-06,1.843459e-06,1.944834e-06,2.021057e-06,2.034699e-06,2.113934e-06,2.171555e-06,2.183364e-06,2.243762e-06,2.286062e-06,2.295846e-06,2.340289e-06,2.370053e-06,2.377714e-06,2.408701e-06,2.428277e-06,2.433787e-06,2.453470e-06,2.464831e-06,2.468214e-06,2.478446e-06,2.483242e-06,2.484562e-06,2.486928e-06,2.486537e-06,2.485885e-06,2.481745e-06,2.477310e-06,2.474798e-06,2.465312e-06,2.457780e-06,2.453532e-06,2.439689e-06,2.429843e-06,2.423991e-06,2.406632e-06,2.395115e-06,2.387792e-06,2.367635e-06,2.354972e-06,2.346312e-06,2.323964e-06,2.310582e-06,2.300717e-06,2.276691e-06,2.262937e-06,2.251994e-06,2.226724e-06,2.212873e-06,2.200973e-06,2.174826e-06,2.161097e-06,2.148357e-06,2.121638e-06,2.108204e-06,2.094732e-06,2.067698e-06,2.054692e-06,2.040589e-06,2.013453e-06,2.000974e-06,1.986335e-06,1.959275e-06,1.947397e-06,1.932309e-06,1.905470e-06,1.894243e-06,1.878788e-06,1.852289e-06,1.841746e-06,1.825998e-06,1.799935e-06,1.790095e-06,1.774120e-06,1.748571e-06,1.739441e-06,1.723302e-06,1.698326e-06,1.689904e-06,1.673656e-06,1.649302e-06,1.641576e-06,1.625271e-06,1.601572e-06,1.594528e-06,1.578211e-06,1.555193e-06,1.548811e-06,1.532523e-06,1.510204e-06,1.504458e-06,1.488237e-06,1.466626e-06,1.461492e-06,1.445371e-06,1.424472e-06,1.419922e-06,1.403929e-06,1.383742e-06,1.379747e-06,1.363910e-06,1.344430e-06,1.340961e-06,1.325301e-06,1.306522e-06,1.303549e-06,1.288088e-06,1.269997e-06,1.267492e-06,1.252246e-06,1.234833e-06,1.232765e-06,1.217752e-06,1.201000e-06,1.199343e-06,1.184575e-06,1.168470e-06,1.167196e-06,1.152683e-06,1.137210e-06,1.136291e-06,1.122045e-06,1.107184e-06,1.106596e-06,1.092624e-06,1.078359e-06,1.078076e-06,1.064385e-06,1.050697e-06,1.024423e-06,9.992185e-07,9.750484e-07,9.518775e-07,9.296711e-07,9.083951e-07,8.880161e-07,8.685011e-07,8.498183e-07,8.319364e-07,8.148249e-07,7.984543e-07,7.827961e-07,7.678224e-07,7.535063e-07,7.398219e-07,7.267441e-07,7.142487e-07,7.023121e-07,6.909119e-07,6.800263e-07,6.696342e-07,6.597157e-07,6.502511e-07,6.412218e-07,6.326097e-07,6.243977e-07,6.165690e-07,6.091076e-07,6.019981e-07,5.952258e-07,5.887764e-07,5.826364e-07,5.767926e-07,5.712324e-07,5.659437e-07,5.609151e-07,5.561352e-07,5.515934e-07,5.472795e-07,5.431837e-07,5.392964e-07,5.356086e-07,5.321116e-07,5.287972e-07,5.256571e-07,5.226840e-07,5.198702e-07,5.172088e-07
0.000000e+00,1.113336e-08,4.071257e-07,4.308525e-07,4.644659e-06,2.425167e-05,2.570339e-05,8.702940e-05,1.959271e-04,2.045819e-04,3.747356e-04,5.642713e-04,5.817534e-04,8.075088e-04,1.013784e-03,1.036465e-03,1.257188e-03,1.438596e-03,1.462202e-03,1.647239e-03,1.788892e-03,1.810393e-03,1.951378e-03,2.053207e-03,2.070952e-03,2.170492e-03,2.238351e-03,2.251696e-03,2.316387e-03,2.357475e-03,2.366384e-03,2.403430e-03,2.424382e-03,2.429144e-03,2.445004e-03,2.451290e-03,2.452339e-03,2.452335e-03,2.448228e-03,2.446040e-03,2.434374e-03,2.423106e-03,2.418144e-03,2.398053e-03,2.382023e-03,2.374712e-03,2.348657e-03,2.329629e-03,2.320352e-03,2.290203e-03,2.269466e-03,2.258559e-03,2.225724e-03,2.204208e-03,2.191961e-03,2.157498e-03,2.135865e-03,2.122529e-03,2.087226e-03,2.065945e-03,2.051735e-03,2.016181e-03,1.995574e-03,1.980672e-03,1.945301e-03,1.925584e-03,1.910148e-03,1.875280e-03,1.856592e-03,1.840757e-03,1.806627e-03,1.789048e-03,1.772931e-03,1.739703e-03,1.723274e-03,1.706973e-03,1.674762e-03,1.659492e-03,1.643091e-03,1.611974e-03,1.597850e-03,1.581423e-03,1.551447e-03,1.538441e-03,1.522052e-03,1.493241e-03,1.481316e-03,1.465017e-03,1.437380e-03,1.426489e-03,1.410327e-03,1.383858e-03,1.373952e-03,1.357968e-03,1.332652e-03,1.323678e-03,1.307906e-03,1.283722e-03,1.275627e-03,1.260095e-03,1.237017e-03,1.229747e-03,1.214480e-03,1.192477e-03,1.185978e-03,1.170998e-03,1.150037e-03,1.144259e-03,1.129583e-03,1.109628e-03,1.104521e-03,1.090164e-03,1.071181e-03,1.066696e-03,1.052670e-03,1.034623e-03,1.030713e-03,1.017029e-03,9.998808e-04,9.965038e-04,9.831687e-04,9.668841e-04,9.639975e-04,9.510179e-04,9.355616e-04,9.331260e-04,9.205064e-04,9.058437e-04,9.038218e-04,8.915652e-04,8.776625e-04,8.760191e-04,8.641274e-04,8.509518e-04,8.496537e-04,8.381277e-04,8.256474e-04,8.246636e-04,8.135030e-04,8.016871e-04,8.009884e-04,7.901922e-04,7.790109e-04,7.785701e-04,7.681361e-04,7.575608e-04,7.573523e-04,7.472780e-04,7.372809e-04,7.183039e-04,7.003710e-04,6.834342e-04,6.674471e-04,6.523656e-04,6.381470e-04,6.247506e-04,6.121374e-04,6.002700e-04,5.891125e-04,5.786308e-04,5.687921e-04,5.595650e-04,5.509196e-04,5.428273e-04,5.352605e-04,5.281931e-04,5.216002e-04,5.154577e-04,5.097429e-04,5.044339e-04,4.995099e-04,4.949509e-04,4.907379e-04,4.868528e-04,4.832782e-04,4.799976e-04,4.769951e-04,4.742557e-04,4.717650e-04,4.695093e-04,4.674753e-04,4.656507e-04,4.640235e-04,4.625824e-04,4.613164e-04,4.602153e-04,4.592692e-04,4.584687e-04,4.578048e-04,4.572691e-04,4.568534e-04,4.565501e-04,4.563516e-04,4.562512e-04,4.562420e-04,4.563179e-04,4.564727e-04,4.567007e-04
0.000000e+00,1.608205e-08,4.844629e-07,5.105251e-07,4.550036e-06,2.108699e-05,2.227206e-05,7.183231e-05,1.623154e-04,1.696682e-04,3.175267e-04,4.863547e-04,5.020324e-04,7.052749e-04,8.920284e-04,9.126431e-04,1.114657e-03,1.283725e-03,1.306024e-03,1.484205e-03,1.626171e-03,1.648286e-03,1.798246e-03,1.913610e-03,1.934520e-03,2.057764e-03,2.149622e-03,2.168723e-03,2.268164e-03,2.339933e-03,2.356844e-03,2.435492e-03,2.490321e-03,2.504802e-03,2.565429e-03,2.606081e-03,2.617992e-03,2.663071e-03,2.691933e-03,2.701211e-03,2.732923e-03,2.752046e-03,2.758686e-03,2.778947e-03,2.790082e-03,2.794126e-03,2.804615e-03,2.809257e-03,2.810782e-03,2.812970e-03,2.812391e-03,2.811500e-03,2.806672e-03,2.801950e-03,2.798766e-03,2.788044e-03,2.780091e-03,2.774752e-03,2.759116e-03,2.748700e-03,2.741351e-03,2.721655e-03,2.709420e-03,2.700213e-03,2.677198e-03,2.663683e-03,2.652771e-03,2.627082e-03,2.612735e-03,2.600270e-03,2.572465e-03,2.557655e-03,2.543788e-03,2.514350e-03,2.499379e-03,2.484256e-03,2.453602e-03,2.438716e-03,2.422478e-03,2.390967e-03,2.376363e-03,2.359145e-03,2.327083e-03,2.312917e-03,2.294848e-03,2.262500e-03,2.248893e-03,2.230094e-03,2.197682e-03,2.184726e-03,2.165311e-03,2.133026e-03,2.120788e-03,2.100865e-03,2.068865e-03,2.057391e-03,2.037059e-03,2.005478e-03,1.994797e-03,1.974150e-03,1.943099e-03,1.933225e-03,1.912348e-03,1.881917e-03,1.872853e-03,1.851825e-03,1.822089e-03,1.813829e-03,1.792723e-03,1.763739e-03,1.756268e-03,1.735150e-03,1.706965e-03,1.700262e-03,1.679193e-03,1.651841e-03,1.645881e-03,1.624916e-03,1.598422e-03,1.593175e-03,1.572363e-03,1.546744e-03,1.542179e-03,1.521565e-03,1.496830e-03,1.492913e-03,1.472538e-03,1.448690e-03,1.445386e-03,1.425285e-03,1.402323e-03,1.399597e-03,1.379802e-03,1.357719e-03,1.355535e-03,1.336074e-03,1.314862e-03,1.313183e-03,1.294080e-03,1.273726e-03,1.272518e-03,1.253795e-03,1.234283e-03,1.233511e-03,1.215186e-03,1.196500e-03,1.196130e-03,1.178219e-03,1.160339e-03,1.126100e-03,1.093372e-03,1.062113e-03,1.032281e-03,1.003831e-03,9.767199e-04,9.509027e-04,9.263357e-04,9.029749e-04,8.807771e-04,8.596997e-04,8.397007e-04,8.207389e-04,8.027741e-04,7.857672e-04,7.696798e-04,7.544748e-04,7.401160e-04,7.265683e-04,7.137977e-04,7.017712e-04,6.904572e-04,6.798246e-04,6.698439e-04,6.604862e-04,6.517240e-04,6.435304e-04,6.358798e-04,6.287474e-04,6.221093e-04,6.159425e-04,6.102249e-04,6.049353e-04,6.000532e-04,5.955589e-04,5.914336e-04,5.876591e-04,5.842179e-04,5.810934e-04,5.782694e-04,5.757306e-04,5.734620e-04,5.714495e-04,5.696795e-04,5.681388e-04,5.668150e-04,5.656959e-04,5.647701e-04,5.640266e-04
0.000000e+00,1.049870e-08,3.320407e-07,3.502778e-07,3.354488e-06,1.714403e-05,1.818647e-05,6.520234e-05,1.600999e-04,1.681283e-04,3.365800e-04,5.421791e-04,5.619025e-04,8.265077e-04,1.083218e-03,1.112295e-03,1.404429e-03,1.658130e-03,1.692160e-03,1.968354e-03,2.193285e-03,2.228668e-03,2.470751e-03,2.659251e-03,2.693601e-03,2.897090e-03,3.049788e-03,3.081639e-03,3.247989e-03,3.368582e-03,3.397063e-03,3.529866e-03,3.622824e-03,3.647434e-03,3.750787e-03,3.820442e-03,3.840919e-03,3.918780e-03,3.969029e-03,3.985271e-03,4.041241e-03,4.075473e-03,4.087486e-03,4.124753e-03,4.145874e-03,4.153741e-03,4.175101e-03,4.185582e-03,4.189443e-03,4.197335e-03,4.199268e-03,4.199305e-03,4.195847e-03,4.191000e-03,4.187423e-03,4.174461e-03,4.164323e-03,4.157362e-03,4.136497e-03,4.122316e-03,4.112213e-03,4.084831e-03,4.067648e-03,4.054649e-03,4.021945e-03,4.002626e-03,3.986976e-03,3.949981e-03,3.929241e-03,3.911183e-03,3.870787e-03,3.849215e-03,3.828986e-03,3.785956e-03,3.764032e-03,3.741861e-03,3.696854e-03,3.674968e-03,3.651075e-03,3.604654e-03,3.583119e-03,3.557712e-03,3.510360e-03,3.489422e-03,3.462700e-03,3.414828e-03,3.394679e-03,3.366830e-03,3.318785e-03,3.299571e-03,3.270769e-03,3.222847e-03,3.204675e-03,3.175082e-03,3.127531e-03,3.110475e-03,3.080244e-03,3.033269e-03,3.017376e-03,2.986649e-03,2.940421e-03,2.925718e-03,2.894622e-03,2.849283e-03,2.835775e-03,2.804432e-03,2.760094e-03,2.747774e-03,2.716292e-03,2.673046e-03,2.661896e-03,2.630374e-03,2.588291e-03,2.578281e-03,2.546811e-03,2.505944e-03,2.497037e-03,2.465701e-03,2.426090e-03,2.418244e-03,2.387117e-03,2.348787e-03,2.341957e-03,2.311105e-03,2.274072e-03,2.268208e-03,2.237692e-03,2.201963e-03,2.197013e-03,2.166886e-03,2.132460e-03,2.128372e-03,2.098682e-03,2.065550e-03,2.062273e-03,2.033061e-03,2.001211e-03,1.998690e-03,1.969994e-03,1.939407e-03,1.937592e-03,1.909444e-03,1.880099e-03,1.878938e-03,1.851365e-03,1.823237e-03,1.822681e-03,1.795708e-03,1.768770e-03,1.717150e-03,1.667762e-03,1.620546e-03,1.575439e-03,1.532378e-03,1.491299e-03,1.452138e-03,1.414830e-03,1.379312e-03,1.345521e-03,1.313396e-03,1.282874e-03,1.253897e-03,1.226406e-03,1.200344e-03,1.175654e-03,1.152283e-03,1.130178e-03,1.109288e-03,1.089564e-03,1.070956e-03,1.053420e-03,1.036908e-03,1.021379e-03,1.006790e-03,9.931003e-04,9.802708e-04,9.682637e-04,9.570426e-04,9.465723e-04,9.368190e-04,9.277501e-04,9.193341e-04,9.115408e-04,9.043412e-04,8.977072e-04,8.916118e-04,8.860293e-04,8.809345e-04,8.763036e-04,8.721135e-04,8.683421e-04,8.649680e-04,8.619709e-04,8.593310e-04,8.570295e-04,8.550483e-04,8.533700e-04,8.519777e-04
0.000000e+00,2.045611e-10,2.463492e-09,2.566779e-09,1.467046e-08,4.926680e-08,5.140247e-08,1.247649e-07,2.224707e-07,2.292691e-07,3.451106e-07,4.485152e-07,4.571742e-07,5.601023e-07,6.440838e-07,6.529138e-07,7.358883e-07,8.012396e-07,8.096212e-07,8.747695e-07,9.244254e-07,9.319806e-07,9.818744e-07,1.018562e-06,1.025039e-06,1.062025e-06,1.088107e-06,1.093350e-06,1.119495e-06,1.136985e-06,1.140910e-06,1.158013e-06,1.168610e-06,1.171190e-06,1.180802e-06,1.185926e-06,1.187178e-06,1.190627e-06,1.191461e-06,1.191431e-06,1.189851e-06,1.187374e-06,1.186128e-06,1.180484e-06,1.175499e-06,1.173122e-06,1.164230e-06,1.157397e-06,1.153979e-06,1.142528e-06,1.134385e-06,1.130023e-06,1.116595e-06,1.107574e-06,1.102367e-06,1.087449e-06,1.077900e-06,1.071945e-06,1.055947e-06,1.046146e-06,1.039539e-06,1.022799e-06,1.012966e-06,1.005798e-06,9.885987e-07,9.789027e-07,9.712600e-07,9.538342e-07,9.444051e-07,9.363690e-07,9.189071e-07,9.098413e-07,9.014873e-07,8.841442e-07,8.755113e-07,8.669090e-07,8.498096e-07,8.416574e-07,8.328705e-07,8.161138e-07,8.084724e-07,7.995588e-07,7.832226e-07,7.761079e-07,7.671200e-07,7.512639e-07,7.446805e-07,7.356652e-07,7.203335e-07,7.142774e-07,7.052766e-07,6.905010e-07,6.849611e-07,6.760119e-07,6.618134e-07,6.567738e-07,6.479087e-07,6.342998e-07,6.297404e-07,6.209879e-07,6.079736e-07,6.038719e-07,5.952566e-07,5.828361e-07,5.791676e-07,5.707107e-07,5.588784e-07,5.556175e-07,5.473368e-07,5.360832e-07,5.332041e-07,5.251145e-07,5.144272e-07,5.119037e-07,5.040175e-07,4.938816e-07,4.916880e-07,4.840151e-07,4.744138e-07,4.725250e-07,4.650731e-07,4.559885e-07,4.543801e-07,4.471551e-07,4.385681e-07,4.372167e-07,4.302226e-07,4.221137e-07,4.209971e-07,4.142365e-07,4.065858e-07,4.056827e-07,3.991568e-07,3.919444e-07,3.912348e-07,3.849435e-07,3.781494e-07,3.776146e-07,3.715569e-07,3.651613e-07,3.647838e-07,3.589578e-07,3.529414e-07,3.527046e-07,3.471076e-07,3.414516e-07,3.413402e-07,3.359688e-07,3.306547e-07,3.206132e-07,3.111821e-07,3.023289e-07,2.940222e-07,2.862323e-07,2.789303e-07,2.720890e-07,2.656821e-07,2.596850e-07,2.540738e-07,2.488261e-07,2.439206e-07,2.393369e-07,2.350561e-07,2.310598e-07,2.273310e-07,2.238534e-07,2.206118e-07,2.175917e-07,2.147794e-07,2.121622e-07,2.097278e-07,2.074649e-07,2.053626e-07,2.034110e-07,2.016004e-07,1.999219e-07,1.983671e-07,1.969280e-07,1.955973e-07,1.943679e-07,1.932332e-07,1.921871e-07,1.912237e-07,1.903378e-07,1.895240e-07,1.887778e-07,1.880945e-07,1.874699e-07,1.869001e-07,1.863814e-07,1.859104e-07,1.854837e-07,1.850983e-07,1.847514e-07,1.844402e-07,1.841624e-07,1.839155e-07,1.836974e-07
0.000000e+00,2.833488e-09,3.404280e-08,3.546260e-08,2.007770e-07,6.689945e-07,6.977734e-07,1.680972e-06,2.978914e-06,3.068821e-06,4.594871e-06,5.952818e-06,6.066573e-06,7.421285e-06,8.532205e-06,8.649406e-06,9.755364e-06,1.063362e-05,1.074682e-05,1.163192e-05,1.231412e-05,1.241862e-05,1.311447e-05,1.363398e-05,1.372656e-05,1.426154e-05,1.464704e-05,1.472561e-05,1.512456e-05,1.540047e-05,1.546379e-05,1.574828e-05,1.593519e-05,1.598268e-05,1.617127e-05,1.628643e-05,1.631803e-05,1.642664e-05,1.648447e-05,1.650051e-05,1.654277e-05,1.655528e-05,1.655634e-05,1.654389e-05,1.652103e-05,1.650790e-05,1.645064e-05,1.640064e-05,1.637422e-05,1.628058e-05,1.621021e-05,1.617149e-05,1.604860e-05,1.596341e-05,1.591342e-05,1.576733e-05,1.567185e-05,1.561162e-05,1.544746e-05,1.534535e-05,1.527592e-05,1.509798e-05,1.499221e-05,1.491456e-05,1.472649e-05,1.461941e-05,1.453451e-05,1.433933e-05,1.423283e-05,1.414158e-05,1.394183e-05,1.383736e-05,1.374062e-05,1.353843e-05,1.343710e-05,1.333568e-05,1.313279e-05,1.303545e-05,1.293010e-05,1.272794e-05,1.263521e-05,1.252661e-05,1.232637e-05,1.223867e-05,1.212746e-05,1.193009e-05,1.184770e-05,1.173445e-05,1.154072e-05,1.146380e-05,1.134905e-05,1.115956e-05,1.108815e-05,1.097238e-05,1.078760e-05,1.072169e-05,1.060533e-05,1.042562e-05,1.036512e-05,1.024856e-05,1.007419e-05,1.001897e-05,9.902555e-06,9.733696e-06,9.683583e-06,9.567639e-06,9.404407e-06,9.359209e-06,9.244012e-06,9.086463e-06,9.045967e-06,8.931764e-06,8.779912e-06,8.743890e-06,8.630900e-06,8.484718e-06,8.452936e-06,8.341351e-06,8.200782e-06,8.173002e-06,8.062991e-06,7.927953e-06,7.903937e-06,7.795644e-06,7.666036e-06,7.645547e-06,7.539098e-06,7.414801e-06,7.397608e-06,7.293111e-06,7.173995e-06,7.159872e-06,7.057417e-06,6.943342e-06,6.932070e-06,6.831732e-06,6.722552e-06,6.713921e-06,6.615763e-06,6.511326e-06,6.505134e-06,6.409204e-06,6.309358e-06,6.305411e-06,6.211748e-06,6.116336e-06,6.114450e-06,6.023084e-06,5.931951e-06,5.757613e-06,5.591137e-06,5.432231e-06,5.280605e-06,5.135977e-06,4.998071e-06,4.866619e-06,4.741358e-06,4.622036e-06,4.508407e-06,4.400234e-06,4.297287e-06,4.199346e-06,4.106197e-06,4.017634e-06,3.933459e-06,3.853483e-06,3.777523e-06,3.705403e-06,3.636955e-06,3.572016e-06,3.510431e-06,3.452052e-06,3.396736e-06,3.344346e-06,3.294750e-06,3.247823e-06,3.203445e-06,3.161500e-06,3.121877e-06,3.084472e-06,3.049183e-06,3.015912e-06,2.984568e-06,2.955060e-06,2.927306e-06,2.901222e-06,2.876731e-06,2.853758e-06,2.832234e-06,2.812088e-06,2.793256e-06,2.775675e-06,2.759286e-06,2.744032e-06,2.729858e-06,2.716711e-06,2.704542e-06,2.693303e-06
0.000000e+00,8.954990e-09,1.046201e-07,1.087646e-07,5.390543e-07,1.573320e-06,1.633012e-06,3.572434e-06,6.085654e-06,6.263825e-06,9.440679e-06,1.254505e-05,1.281662e-05,1.616520e-05,1.903526e-05,1.934295e-05,2.228326e-05,2.465976e-05,2.496858e-05,2.740335e-05,2.930619e-05,2.959990e-05,3.157280e-05,3.306816e-05,3.333702e-05,3.490708e-05,3.605943e-05,3.629690e-05,3.751961e-05,3.838579e-05,3.858757e-05,3.951236e-05,4.014129e-05,4.030480e-05,4.097504e-05,4.140860e-05,4.153263e-05,4.198645e-05,4.226034e-05,4.234476e-05,4.261531e-05,4.275983e-05,4.280530e-05,4.292145e-05,4.296217e-05,4.296999e-05,4.295676e-05,4.291524e-05,4.288715e-05,4.276621e-05,4.266055e-05,4.259861e-05,4.238869e-05,4.223402e-05,4.214050e-05,4.185778e-05,4.166668e-05,4.154399e-05,4.120236e-05,4.098528e-05,4.083589e-05,4.044732e-05,4.021284e-05,4.003922e-05,3.961395e-05,3.936913e-05,3.917371e-05,3.872051e-05,3.847106e-05,3.825622e-05,3.778256e-05,3.753308e-05,3.730111e-05,3.681334e-05,3.656750e-05,3.632058e-05,3.582407e-05,3.558475e-05,3.532494e-05,3.482423e-05,3.459364e-05,3.432289e-05,3.382178e-05,3.360157e-05,3.332170e-05,3.282336e-05,3.261474e-05,3.232743e-05,3.183449e-05,3.163828e-05,3.134509e-05,3.085971e-05,3.067641e-05,3.037878e-05,2.990271e-05,2.973258e-05,2.943184e-05,2.896648e-05,2.880957e-05,2.850691e-05,2.805337e-05,2.790955e-05,2.760608e-05,2.716521e-05,2.703422e-05,2.673092e-05,2.630336e-05,2.618486e-05,2.588263e-05,2.546881e-05,2.536237e-05,2.506200e-05,2.466223e-05,2.456734e-05,2.426955e-05,2.388398e-05,2.380011e-05,2.350554e-05,2.313422e-05,2.306081e-05,2.277002e-05,2.241290e-05,2.234937e-05,2.206285e-05,2.171982e-05,2.166558e-05,2.138375e-05,2.105461e-05,2.100908e-05,2.073233e-05,2.041684e-05,2.037943e-05,2.010807e-05,1.980595e-05,1.977610e-05,1.951040e-05,1.922134e-05,1.919849e-05,1.893867e-05,1.866232e-05,1.864594e-05,1.839220e-05,1.812820e-05,1.811777e-05,1.787024e-05,1.761822e-05,1.761324e-05,1.737205e-05,1.713163e-05,1.667217e-05,1.623410e-05,1.581666e-05,1.541908e-05,1.504063e-05,1.468055e-05,1.433812e-05,1.401262e-05,1.370336e-05,1.340966e-05,1.313086e-05,1.286632e-05,1.261542e-05,1.237756e-05,1.215217e-05,1.193867e-05,1.173655e-05,1.154527e-05,1.136433e-05,1.119327e-05,1.103161e-05,1.087892e-05,1.073477e-05,1.059876e-05,1.047049e-05,1.034960e-05,1.023572e-05,1.012851e-05,1.002765e-05,9.932825e-06,9.843732e-06,9.760087e-06,9.681617e-06,9.608059e-06,9.539165e-06,9.474695e-06,9.414423e-06,9.358131e-06,9.305612e-06,9.256667e-06,9.211109e-06,9.168757e-06,9.129439e-06,9.092991e-06,9.059258e-06,9.028091e-06,8.999348e-06,8.972893e-06,8.948599e-06
0.000000e+00,1.604665e-08,2.287121e-07,2.386901e-07,1.409107e-06,4.625722e-06,4.819146e-06,1.125398e-05,1.955190e-05,2.012732e-05,2.999416e-05,3.894539e-05,3.970182e-05,4.878251e-05,5.632984e-05,5.713169e-05,6.475627e-05,7.089416e-05,7.169131e-05,7.797808e-05,8.289799e-05,8.365822e-05,8.877211e-05,9.265845e-05,9.335831e-05,9.745329e-05,1.004689e-04,1.010916e-04,1.043058e-04,1.065924e-04,1.071264e-04,1.095821e-04,1.112615e-04,1.116997e-04,1.135045e-04,1.146813e-04,1.150198e-04,1.162678e-04,1.170314e-04,1.172691e-04,1.180428e-04,1.184691e-04,1.186069e-04,1.189782e-04,1.191318e-04,1.191724e-04,1.192039e-04,1.191394e-04,1.190864e-04,1.188326e-04,1.185961e-04,1.184542e-04,1.179624e-04,1.175928e-04,1.173673e-04,1.166785e-04,1.162083e-04,1.159049e-04,1.150546e-04,1.145109e-04,1.141354e-04,1.131544e-04,1.125597e-04,1.121182e-04,1.110329e-04,1.104059e-04,1.099043e-04,1.087376e-04,1.080935e-04,1.075377e-04,1.063092e-04,1.056604e-04,1.050562e-04,1.037826e-04,1.031392e-04,1.024920e-04,1.011877e-04,1.005577e-04,9.987278e-05,9.854999e-05,9.793960e-05,9.722195e-05,9.589104e-05,9.530509e-05,9.455943e-05,9.322912e-05,9.267123e-05,9.190196e-05,9.057961e-05,9.005237e-05,8.926361e-05,8.795535e-05,8.746051e-05,8.665610e-05,8.536700e-05,8.490561e-05,8.408909e-05,8.282331e-05,8.239586e-05,8.157050e-05,8.033142e-05,7.993792e-05,7.910673e-05,7.789703e-05,7.753712e-05,7.670285e-05,7.552465e-05,7.519767e-05,7.436282e-05,7.321772e-05,7.292277e-05,7.208963e-05,7.097880e-05,7.071479e-05,6.988543e-05,6.880967e-05,6.857538e-05,6.775165e-05,6.671146e-05,6.650557e-05,6.568916e-05,6.468475e-05,6.450586e-05,6.369826e-05,6.272965e-05,6.257632e-05,6.177886e-05,6.084585e-05,6.071664e-05,5.993051e-05,5.903274e-05,5.892618e-05,5.815242e-05,5.728941e-05,5.720406e-05,5.644358e-05,5.561475e-05,5.554918e-05,5.480277e-05,5.400745e-05,5.396025e-05,5.322860e-05,5.246604e-05,5.243587e-05,5.171955e-05,5.098895e-05,5.097449e-05,5.027400e-05,4.957451e-05,4.823424e-05,4.695194e-05,4.572586e-05,4.455421e-05,4.343524e-05,4.236714e-05,4.134818e-05,4.037659e-05,3.945068e-05,3.856874e-05,3.772913e-05,3.693023e-05,3.617047e-05,3.544830e-05,3.476223e-05,3.411082e-05,3.349265e-05,3.290637e-05,3.235065e-05,3.182423e-05,3.132585e-05,3.085434e-05,3.040854e-05,2.998734e-05,2.958968e-05,2.921453e-05,2.886090e-05,2.852783e-05,2.821440e-05,2.791974e-05,2.764299e-05,2.738333e-05,2.713998e-05,2.691219e-05,2.669923e-05,2.650041e-05,2.631506e-05,2.614254e-05,2.598223e-05,2.583355e-05,2.569592e-05,2.556881e-05,2.545169e-05,2.534406e-05,2.524545e-05,2.515540e-05,2.507347e-05,2.499923e-05,2.493228e-05
0.000000e+00,1.867973e-08,3.265300e-07,3.421206e-07,2.298561e-06,7.534294e-06,7.827187e-06,1.617255e-05,2.450133e-05,2.502639e-05,3.355314e-05,4.097553e-05,4.160109e-05,4.915358e-05,5.553487e-05,5.622006e-05,6.281526e-05,6.824222e-05,6.895565e-05,7.465944e-05,7.922947e-05,7.994481e-05,8.482746e-05,8.863042e-05,8.932487e-05,9.345510e-05,9.658047e-05,9.723605e-05,1.006853e-04,1.032174e-04,1.038200e-04,1.066567e-04,1.086729e-04,1.092116e-04,1.115000e-04,1.130701e-04,1.135368e-04,1.153362e-04,1.165229e-04,1.169118e-04,1.182765e-04,1.191356e-04,1.194429e-04,1.204227e-04,1.210037e-04,1.212273e-04,1.218673e-04,1.222137e-04,1.223530e-04,1.226941e-04,1.228446e-04,1.228999e-04,1.229792e-04,1.229674e-04,1.229404e-04,1.227913e-04,1.226469e-04,1.225396e-04,1.221923e-04,1.219410e-04,1.217564e-04,1.212382e-04,1.209023e-04,1.206438e-04,1.199790e-04,1.195780e-04,1.192493e-04,1.184598e-04,1.180104e-04,1.176155e-04,1.167211e-04,1.162376e-04,1.157808e-04,1.147989e-04,1.142936e-04,1.137793e-04,1.127256e-04,1.122088e-04,1.116414e-04,1.105300e-04,1.100104e-04,1.093943e-04,1.082375e-04,1.077225e-04,1.070622e-04,1.058709e-04,1.053665e-04,1.046662e-04,1.034504e-04,1.029614e-04,1.022255e-04,1.009936e-04,1.005240e-04,9.975656e-05,9.851617e-05,9.806913e-05,9.727407e-05,9.603181e-05,9.560966e-05,9.479082e-05,9.355245e-05,9.315693e-05,9.231796e-05,9.108850e-05,9.072081e-05,8.986517e-05,8.864897e-05,8.830983e-05,8.744081e-05,8.624157e-05,8.593132e-05,8.505203e-05,8.387292e-05,8.359156e-05,8.270491e-05,8.154860e-05,8.129584e-05,8.040456e-05,7.927330e-05,7.904862e-05,7.815527e-05,7.705089e-05,7.685358e-05,7.596053e-05,7.488452e-05,7.471371e-05,7.382316e-05,7.277671e-05,7.263141e-05,7.174538e-05,7.072939e-05,7.060850e-05,6.972888e-05,6.874400e-05,6.864637e-05,6.777485e-05,6.682153e-05,6.674594e-05,6.588409e-05,6.496257e-05,6.490779e-05,6.405700e-05,6.316738e-05,6.313213e-05,6.229370e-05,6.143591e-05,6.141892e-05,6.059398e-05,5.976785e-05,5.817839e-05,5.664982e-05,5.518128e-05,5.377173e-05,5.242006e-05,5.112503e-05,4.988534e-05,4.869960e-05,4.756640e-05,4.648427e-05,4.545172e-05,4.446724e-05,4.352930e-05,4.263639e-05,4.178698e-05,4.097957e-05,4.021264e-05,3.948473e-05,3.879438e-05,3.814014e-05,3.752062e-05,3.693443e-05,3.638022e-05,3.585670e-05,3.536256e-05,3.489656e-05,3.445750e-05,3.404419e-05,3.365550e-05,3.329031e-05,3.294755e-05,3.262619e-05,3.232523e-05,3.204371e-05,3.178068e-05,3.153525e-05,3.130655e-05,3.109375e-05,3.089604e-05,3.071266e-05,3.054285e-05,3.038591e-05,3.024115e-05,3.010791e-05,2.998557e-05,2.987352e-05,2.977117e-05,2.967798e-05,2.959341e-05
0.000000e+00,7.961516e-10,9.634654e-09,1.004441e-08,6.024126e-08,2.117849e-07,2.212419e-07,5.393442e-07,9.292681e-07,9.551707e-07,1.384089e-06,1.760699e-06,1.792353e-06,2.172381e-06,2.489679e-06,2.523517e-06,2.846780e-06,3.109319e-06,3.143588e-06,3.415436e-06,3.630396e-06,3.663809e-06,3.890151e-06,4.064272e-06,4.095852e-06,4.282244e-06,4.421567e-06,4.450593e-06,4.602099e-06,4.711941e-06,4.737895e-06,4.859051e-06,4.944037e-06,4.966570e-06,5.061397e-06,5.125525e-06,5.144419e-06,5.216468e-06,5.263181e-06,5.278325e-06,5.330720e-06,5.362971e-06,5.374337e-06,5.409816e-06,5.430132e-06,5.437756e-06,5.458718e-06,5.469254e-06,5.473225e-06,5.481766e-06,5.484359e-06,5.484800e-06,5.482753e-06,5.478963e-06,5.476026e-06,5.464991e-06,5.456140e-06,5.449997e-06,5.431368e-06,5.418573e-06,5.409407e-06,5.384398e-06,5.368601e-06,5.356605e-06,5.326273e-06,5.308265e-06,5.293633e-06,5.258897e-06,5.239339e-06,5.222265e-06,5.183923e-06,5.163367e-06,5.144043e-06,5.102786e-06,5.081688e-06,5.060301e-06,5.016728e-06,4.995465e-06,4.972197e-06,4.926826e-06,4.905705e-06,4.880728e-06,4.834007e-06,4.813277e-06,4.786758e-06,4.739071e-06,4.718932e-06,4.691029e-06,4.642707e-06,4.623317e-06,4.594177e-06,4.545505e-06,4.526985e-06,4.496750e-06,4.447969e-06,4.430412e-06,4.399214e-06,4.350531e-06,4.334004e-06,4.301965e-06,4.253557e-06,4.238105e-06,4.205341e-06,4.157354e-06,4.143007e-06,4.109626e-06,4.062184e-06,4.048956e-06,4.015056e-06,3.968264e-06,3.956156e-06,3.921830e-06,3.875773e-06,3.864778e-06,3.830111e-06,3.784860e-06,3.774961e-06,3.740033e-06,3.695644e-06,3.686819e-06,3.651703e-06,3.608220e-06,3.600443e-06,3.565204e-06,3.522663e-06,3.515901e-06,3.480603e-06,3.439030e-06,3.433249e-06,3.397948e-06,3.357360e-06,3.352523e-06,3.317271e-06,3.277682e-06,3.273751e-06,3.238595e-06,3.200011e-06,3.196946e-06,3.161930e-06,3.124352e-06,3.122113e-06,3.087277e-06,3.050703e-06,3.049251e-06,3.014630e-06,2.979055e-06,2.978349e-06,2.943976e-06,2.909391e-06,2.842359e-06,2.777226e-06,2.713966e-06,2.652547e-06,2.592938e-06,2.535102e-06,2.479005e-06,2.424609e-06,2.371875e-06,2.320765e-06,2.271241e-06,2.223264e-06,2.176794e-06,2.131792e-06,2.088221e-06,2.046041e-06,2.005216e-06,1.965708e-06,1.927480e-06,1.890496e-06,1.854722e-06,1.820123e-06,1.786664e-06,1.754313e-06,1.723037e-06,1.692805e-06,1.663585e-06,1.635348e-06,1.608064e-06,1.581705e-06,1.556242e-06,1.531649e-06,1.507900e-06,1.484967e-06,1.462828e-06,1.441456e-06,1.420829e-06,1.400924e-06,1.381718e-06,1.363190e-06,1.345319e-06,1.328084e-06,1.311465e-06,1.295444e-06,1.280000e-06,1.265118e-06,1.250777e-06,1.236963e-06,1.223657e-06
0.000000e+00,1.213621e-08,3.163969e-07,3.335510e-07,2.760930e-06,9.359293e-06,9.709159e-06,1.905331e-05,2.784630e-05,2.839376e-05,3.721996e-05,4.482731e-05,4.546568e-05,5.314006e-05,5.957804e-05,6.026683e-05,6.687223e-05,7.227399e-05,7.298176e-05,7.861983e-05,8.310978e-05,8.381041e-05,8.857693e-05,9.226974e-05,9.294211e-05,9.692796e-05,9.992819e-05,1.005557e-04,1.038457e-04,1.062476e-04,1.068174e-04,1.094897e-04,1.113777e-04,1.118803e-04,1.140062e-04,1.154548e-04,1.158835e-04,1.175275e-04,1.186024e-04,1.189527e-04,1.201728e-04,1.209318e-04,1.212010e-04,1.220496e-04,1.225429e-04,1.227301e-04,1.232537e-04,1.235255e-04,1.236308e-04,1.238713e-04,1.239596e-04,1.239844e-04,1.239789e-04,1.239170e-04,1.238632e-04,1.236451e-04,1.234617e-04,1.233319e-04,1.229308e-04,1.226506e-04,1.224482e-04,1.218903e-04,1.215346e-04,1.212630e-04,1.205719e-04,1.201588e-04,1.198220e-04,1.190183e-04,1.185635e-04,1.181653e-04,1.172675e-04,1.167842e-04,1.163288e-04,1.153532e-04,1.148526e-04,1.143441e-04,1.133050e-04,1.127965e-04,1.122390e-04,1.111492e-04,1.106406e-04,1.100383e-04,1.089089e-04,1.084068e-04,1.077635e-04,1.066044e-04,1.061141e-04,1.054338e-04,1.042536e-04,1.037793e-04,1.030658e-04,1.018721e-04,1.014173e-04,1.006742e-04,9.947355e-05,9.904093e-05,9.827163e-05,9.706976e-05,9.666136e-05,9.586919e-05,9.467106e-05,9.428835e-05,9.347644e-05,9.228633e-05,9.193032e-05,9.110165e-05,8.992324e-05,8.959452e-05,8.875188e-05,8.758831e-05,8.728714e-05,8.643318e-05,8.528710e-05,8.501346e-05,8.415064e-05,8.302431e-05,8.277792e-05,8.190856e-05,8.080383e-05,8.058424e-05,7.971050e-05,7.862891e-05,7.843549e-05,7.755937e-05,7.650216e-05,7.633416e-05,7.545752e-05,7.442568e-05,7.428225e-05,7.340682e-05,7.240110e-05,7.228130e-05,7.140867e-05,7.042964e-05,7.033248e-05,6.946411e-05,6.851215e-05,6.843658e-05,6.757382e-05,6.664916e-05,6.659412e-05,6.573820e-05,6.484095e-05,6.480534e-05,6.395739e-05,6.308753e-05,6.307027e-05,6.223131e-05,6.138871e-05,5.976033e-05,5.818461e-05,5.666093e-05,5.518857e-05,5.376669e-05,5.239439e-05,5.107073e-05,4.979468e-05,4.856519e-05,4.738119e-05,4.624156e-05,4.514518e-05,4.409093e-05,4.307767e-05,4.210425e-05,4.116955e-05,4.027244e-05,3.941181e-05,3.858656e-05,3.779559e-05,3.703785e-05,3.631227e-05,3.561783e-05,3.495351e-05,3.431833e-05,3.371131e-05,3.313152e-05,3.257803e-05,3.204993e-05,3.154637e-05,3.106647e-05,3.060941e-05,3.017438e-05,2.976060e-05,2.936730e-05,2.899375e-05,2.863922e-05,2.830301e-05,2.798444e-05,2.768287e-05,2.739765e-05,2.712816e-05,2.687381e-05,2.663401e-05,2.640820e-05,2.619584e-05,2.599640e-05,2.580937e-05,2.563425e-05
0.000000e+00,3.682563e-10,5.158062e-09,5.391483e-09,3.516421e-08,1.266382e-07,1.323451e-07,3.233003e-07,5.556169e-07,5.710608e-07,8.285768e-07,1.058973e-06,1.078566e-06,1.316968e-06,1.520988e-06,1.543041e-06,1.756871e-06,1.935159e-06,1.958770e-06,2.149113e-06,2.303869e-06,2.328298e-06,2.496724e-06,2.630180e-06,2.654792e-06,2.802903e-06,2.917202e-06,2.941453e-06,3.070831e-06,3.167987e-06,3.191420e-06,3.303592e-06,3.385476e-06,3.407708e-06,3.504117e-06,3.572439e-06,3.593154e-06,3.675148e-06,3.731477e-06,3.750418e-06,3.819280e-06,3.865061e-06,3.882033e-06,3.938960e-06,3.975490e-06,3.990337e-06,4.036428e-06,4.064880e-06,4.077486e-06,4.113755e-06,4.135184e-06,4.145470e-06,4.172854e-06,4.188209e-06,4.196126e-06,4.215491e-06,4.225625e-06,4.231151e-06,4.243295e-06,4.248970e-06,4.252107e-06,4.257762e-06,4.259663e-06,4.260430e-06,4.260273e-06,4.259008e-06,4.257445e-06,4.252094e-06,4.248206e-06,4.244363e-06,4.234389e-06,4.228359e-06,4.222301e-06,4.208225e-06,4.200479e-06,4.192280e-06,4.174580e-06,4.165494e-06,4.155236e-06,4.134351e-06,4.124254e-06,4.112026e-06,4.088356e-06,4.077539e-06,4.063433e-06,4.037345e-06,4.026060e-06,4.010174e-06,3.982001e-06,3.970468e-06,3.952901e-06,3.922948e-06,3.911356e-06,3.892210e-06,3.860753e-06,3.849265e-06,3.828641e-06,3.795934e-06,3.784688e-06,3.762688e-06,3.728959e-06,3.718072e-06,3.694797e-06,3.660253e-06,3.649823e-06,3.625374e-06,3.590203e-06,3.580309e-06,3.554784e-06,3.519156e-06,3.509863e-06,3.483358e-06,3.447427e-06,3.438787e-06,3.411396e-06,3.375298e-06,3.367350e-06,3.339164e-06,3.303023e-06,3.295797e-06,3.266903e-06,3.230831e-06,3.224345e-06,3.194830e-06,3.158924e-06,3.153189e-06,3.123135e-06,3.087483e-06,3.082504e-06,3.051989e-06,3.016669e-06,3.012444e-06,2.981543e-06,2.946625e-06,2.943145e-06,2.911930e-06,2.877473e-06,2.874727e-06,2.843267e-06,2.809325e-06,2.807297e-06,2.775657e-06,2.742274e-06,2.740944e-06,2.709186e-06,2.676402e-06,2.675749e-06,2.643930e-06,2.611779e-06,2.549091e-06,2.487732e-06,2.427742e-06,2.369153e-06,2.311988e-06,2.256265e-06,2.201997e-06,2.149190e-06,2.097846e-06,2.047964e-06,1.999538e-06,1.952557e-06,1.907012e-06,1.862885e-06,1.820162e-06,1.778822e-06,1.738845e-06,1.700208e-06,1.662888e-06,1.626859e-06,1.592097e-06,1.558574e-06,1.526264e-06,1.495139e-06,1.465171e-06,1.436331e-06,1.408592e-06,1.381926e-06,1.356302e-06,1.331694e-06,1.308074e-06,1.285413e-06,1.263683e-06,1.242858e-06,1.222910e-06,1.203813e-06,1.185541e-06,1.168067e-06,1.151367e-06,1.135416e-06,1.120190e-06,1.105664e-06,1.091815e-06,1.078621e-06,1.066059e-06,1.054108e-06,1.042746e-06,1.031953e-06,1.021708e-06
0.000000e+00,3.776971e-08,7.276809e-07,7.617196e-07,5.298409e-06,2.112372e-05,2.218596e-05,6.192780e-05,1.192963e-04,1.233605e-04,1.934598e-04,2.575661e-04,2.630160e-04,3.289757e-04,3.846902e-04,3.906636e-04,4.480377e-04,4.950490e-04,5.012135e-04,5.503480e-04,5.895011e-04,5.956114e-04,6.371792e-04,6.693697e-04,6.752285e-04,7.099369e-04,7.360282e-04,7.414802e-04,7.700306e-04,7.908292e-04,7.957562e-04,8.188197e-04,8.350621e-04,8.393776e-04,8.575804e-04,8.699279e-04,8.735716e-04,8.874884e-04,8.965284e-04,8.994614e-04,9.096147e-04,9.158647e-04,9.180661e-04,9.249275e-04,9.288413e-04,9.303048e-04,9.342983e-04,9.362723e-04,9.370032e-04,9.385093e-04,9.388882e-04,9.389017e-04,9.382607e-04,9.373434e-04,9.366622e-04,9.341780e-04,9.322227e-04,9.308756e-04,9.268191e-04,9.240484e-04,9.220687e-04,9.166810e-04,9.132855e-04,9.107098e-04,9.042053e-04,9.003477e-04,8.972151e-04,8.897838e-04,8.856024e-04,8.819535e-04,8.737637e-04,8.693753e-04,8.652514e-04,8.564516e-04,8.519541e-04,8.473969e-04,8.381181e-04,8.335932e-04,8.286439e-04,8.190013e-04,8.145162e-04,8.092155e-04,7.993101e-04,7.949195e-04,7.893071e-04,7.792271e-04,7.749752e-04,7.690893e-04,7.589116e-04,7.548332e-04,7.487108e-04,7.385022e-04,7.346239e-04,7.283002e-04,7.181184e-04,7.144602e-04,7.079689e-04,6.978632e-04,6.944391e-04,6.878119e-04,6.778247e-04,6.746439e-04,6.679107e-04,6.580779e-04,6.551451e-04,6.483340e-04,6.386858e-04,6.360023e-04,6.291395e-04,6.197010e-04,6.172652e-04,6.103752e-04,6.011669e-04,5.989748e-04,5.920801e-04,5.831187e-04,5.811643e-04,5.742858e-04,5.655844e-04,5.638601e-04,5.570169e-04,5.485856e-04,5.470826e-04,5.402922e-04,5.321383e-04,5.308468e-04,5.241252e-04,5.162538e-04,5.151631e-04,5.085248e-04,5.009388e-04,5.000381e-04,4.934960e-04,4.861965e-04,4.854745e-04,4.790403e-04,4.720269e-04,4.714720e-04,4.651561e-04,4.584272e-04,4.580280e-04,4.518395e-04,4.453921e-04,4.451371e-04,4.390841e-04,4.329145e-04,4.327925e-04,4.268820e-04,4.209853e-04,4.097056e-04,3.989421e-04,3.886826e-04,3.789143e-04,3.696236e-04,3.607967e-04,3.524192e-04,3.444767e-04,3.369546e-04,3.298381e-04,3.231129e-04,3.167642e-04,3.107777e-04,3.051393e-04,2.998350e-04,2.948511e-04,2.901741e-04,2.857911e-04,2.816891e-04,2.778558e-04,2.742791e-04,2.709472e-04,2.678487e-04,2.649726e-04,2.623083e-04,2.598454e-04,2.575740e-04,2.554845e-04,2.535676e-04,2.518145e-04,2.502166e-04,2.487656e-04,2.474536e-04,2.462731e-04,2.452166e-04,2.442773e-04,2.434484e-04,2.427235e-04,2.420964e-04,2.415613e-04,2.411124e-04,2.407445e-04,2.404524e-04,2.402312e-04,2.400761e-04,2.399828e-04,2.399469e-04,2.399644e-04,2.400314e-04
0.000000e+00,1.741978e-08,3.534566e-07,3.710494e-07,2.842091e-06,1.113540e-05,1.166398e-05,2.933129e-05,5.021384e-05,5.157806e-05,7.396983e-05,9.350030e-05,9.514077e-05,1.148462e-04,1.313311e-04,1.330915e-04,1.499355e-04,1.636532e-04,1.654465e-04,1.796944e-04,1.909895e-04,1.927475e-04,2.046721e-04,2.138636e-04,2.155323e-04,2.253904e-04,2.327683e-04,2.343062e-04,2.423373e-04,2.481621e-04,2.495386e-04,2.559628e-04,2.604665e-04,2.616600e-04,2.666776e-04,2.700644e-04,2.710608e-04,2.748520e-04,2.773002e-04,2.780915e-04,2.808173e-04,2.824819e-04,2.830651e-04,2.848686e-04,2.858837e-04,2.862594e-04,2.872673e-04,2.877483e-04,2.879203e-04,2.882447e-04,2.882909e-04,2.882652e-04,2.880049e-04,2.877011e-04,2.874856e-04,2.867277e-04,2.861464e-04,2.857503e-04,2.845712e-04,2.837740e-04,2.832072e-04,2.816741e-04,2.807133e-04,2.799866e-04,2.781584e-04,2.770780e-04,2.762024e-04,2.741306e-04,2.729677e-04,2.719543e-04,2.696839e-04,2.684695e-04,2.673294e-04,2.648998e-04,2.636595e-04,2.624036e-04,2.598490e-04,2.586042e-04,2.572433e-04,2.545934e-04,2.533613e-04,2.519057e-04,2.491863e-04,2.479811e-04,2.464407e-04,2.436741e-04,2.425070e-04,2.408913e-04,2.380968e-04,2.369766e-04,2.352947e-04,2.324888e-04,2.314223e-04,2.296826e-04,2.268795e-04,2.258717e-04,2.240824e-04,2.212942e-04,2.203486e-04,2.185173e-04,2.157541e-04,2.148732e-04,2.130069e-04,2.102776e-04,2.094625e-04,2.075679e-04,2.048795e-04,2.041308e-04,2.022140e-04,1.995727e-04,1.988900e-04,1.969568e-04,1.943674e-04,1.937500e-04,1.918055e-04,1.892721e-04,1.887186e-04,1.867678e-04,1.842935e-04,1.838022e-04,1.818497e-04,1.794369e-04,1.790059e-04,1.770557e-04,1.747063e-04,1.743334e-04,1.723892e-04,1.701046e-04,1.697873e-04,1.678527e-04,1.656336e-04,1.653695e-04,1.634475e-04,1.612945e-04,1.610810e-04,1.591745e-04,1.570875e-04,1.569220e-04,1.550336e-04,1.530126e-04,1.528923e-04,1.510243e-04,1.490688e-04,1.489912e-04,1.471457e-04,1.452550e-04,1.452175e-04,1.433964e-04,1.415696e-04,1.380458e-04,1.346438e-04,1.313616e-04,1.281965e-04,1.251460e-04,1.222075e-04,1.193782e-04,1.166553e-04,1.140359e-04,1.115172e-04,1.090963e-04,1.067703e-04,1.045364e-04,1.023918e-04,1.003336e-04,9.835924e-05,9.646590e-05,9.465097e-05,9.291186e-05,9.124601e-05,8.965095e-05,8.812426e-05,8.666358e-05,8.526661e-05,8.393110e-05,8.265490e-05,8.143586e-05,8.027196e-05,7.916118e-05,7.810160e-05,7.709134e-05,7.612857e-05,7.521155e-05,7.433856e-05,7.350795e-05,7.271812e-05,7.196753e-05,7.125467e-05,7.057810e-05,6.993642e-05,6.932827e-05,6.875234e-05,6.820738e-05,6.769215e-05,6.720548e-05,6.674622e-05,6.631327e-05,6.590557e-05,6.552209e-05
0.000000e+00,3.776363e-08,1.599485e-06,1.698026e-06,2.133126e-05,1.265928e-04,1.348083e-04,5.075767e-04,1.254546e-03,1.317967e-03,2.680897e-03,4.463140e-03,4.642176e-03,7.195390e-03,9.965396e-03,1.029880e-02,1.388870e-02,1.739016e-02,1.788925e-02,2.221966e-02,2.614589e-02,2.679905e-02,3.154991e-02,3.562022e-02,3.640017e-02,4.128457e-02,4.527446e-02,4.614529e-02,5.093212e-02,5.467944e-02,5.560235e-02,6.012043e-02,6.352011e-02,6.445748e-02,6.859071e-02,7.158483e-02,7.250283e-02,7.618138e-02,7.874819e-02,7.961820e-02,8.280877e-02,8.495263e-02,8.575174e-02,8.844837e-02,9.019123e-02,9.090214e-02,9.311827e-02,9.449288e-02,9.510348e-02,9.686554e-02,9.791042e-02,9.841308e-02,9.975532e-02,1.005111e-01,1.009019e-01,1.018628e-01,1.023696e-01,1.026479e-01,1.032672e-01,1.035633e-01,1.037305e-01,1.040475e-01,1.041681e-01,1.042277e-01,1.042802e-01,1.042571e-01,1.042138e-01,1.040370e-01,1.038984e-01,1.037578e-01,1.033841e-01,1.031549e-01,1.029232e-01,1.023821e-01,1.020836e-01,1.017674e-01,1.010854e-01,1.007359e-01,1.003421e-01,9.954295e-02,9.915809e-02,9.869332e-02,9.779813e-02,9.739103e-02,9.686206e-02,9.588948e-02,9.547110e-02,9.488449e-02,9.385096e-02,9.343037e-02,9.279250e-02,9.171249e-02,9.129710e-02,9.061410e-02,8.950028e-02,8.909608e-02,8.837382e-02,8.723729e-02,8.684901e-02,8.609310e-02,8.494350e-02,8.457484e-02,8.379060e-02,8.263633e-02,8.229005e-02,8.148251e-02,8.033083e-02,8.000895e-02,7.918285e-02,7.804002e-02,7.774389e-02,7.690368e-02,7.577507e-02,7.550549e-02,7.465534e-02,7.354554e-02,7.330282e-02,7.244664e-02,7.135952e-02,7.114359e-02,7.028501e-02,6.922383e-02,6.903429e-02,6.817667e-02,6.714413e-02,6.698032e-02,6.612678e-02,6.512510e-02,6.498615e-02,6.413955e-02,6.317050e-02,6.305534e-02,6.221832e-02,6.128330e-02,6.119076e-02,6.036571e-02,5.946578e-02,5.939455e-02,5.858368e-02,5.771957e-02,5.766830e-02,5.687357e-02,5.604578e-02,5.601305e-02,5.523626e-02,5.444503e-02,5.442939e-02,5.367212e-02,5.291752e-02,5.147724e-02,5.010808e-02,4.880928e-02,4.757982e-02,4.641851e-02,4.532395e-02,4.429461e-02,4.332881e-02,4.242476e-02,4.158057e-02,4.079430e-02,4.006392e-02,3.938736e-02,3.876251e-02,3.818722e-02,3.765934e-02,3.717669e-02,3.673711e-02,3.633844e-02,3.597853e-02,3.565524e-02,3.536649e-02,3.511018e-02,3.488430e-02,3.468684e-02,3.451587e-02,3.436947e-02,3.424581e-02,3.414310e-02,3.405961e-02,3.399368e-02,3.394371e-02,3.390816e-02,3.388557e-02,3.387454e-02,3.387374e-02,3.388192e-02,3.389788e-02,3.392052e-02,3.394878e-02,3.398170e-02,3.401835e-02,3.405790e-02,3.409957e-02,3.414266e-02,3.418650e-02,3.423051e-02,3.427416e-02,3.431697e-02
0.000000e+00,1.523530e-08,2.783135e-07,2.913939e-07,1.991967e-06,7.404969e-06,7.751825e-06,2.017440e-05,3.782742e-05,3.909382e-05,6.125605e-05,8.171983e-05,8.345551e-05,1.043294e-04,1.217127e-04,1.235609e-04,1.411483e-04,1.553254e-04,1.571680e-04,1.717136e-04,1.831160e-04,1.848797e-04,1.967581e-04,2.058050e-04,2.074364e-04,2.169977e-04,2.240597e-04,2.255205e-04,2.330786e-04,2.384772e-04,2.397414e-04,2.455740e-04,2.495865e-04,2.506374e-04,2.549889e-04,2.578527e-04,2.586817e-04,2.617657e-04,2.636836e-04,2.642877e-04,2.662911e-04,2.674353e-04,2.678164e-04,2.689017e-04,2.694186e-04,2.695823e-04,2.698909e-04,2.699041e-04,2.698584e-04,2.695132e-04,2.691271e-04,2.688819e-04,2.679893e-04,2.672917e-04,2.668586e-04,2.655114e-04,2.645760e-04,2.639672e-04,2.622449e-04,2.611332e-04,2.603617e-04,2.583334e-04,2.570965e-04,2.561750e-04,2.539002e-04,2.525803e-04,2.515218e-04,2.490517e-04,2.476837e-04,2.465009e-04,2.438795e-04,2.424917e-04,2.411970e-04,2.384620e-04,2.370773e-04,2.356826e-04,2.328662e-04,2.315033e-04,2.300198e-04,2.271495e-04,2.258229e-04,2.242614e-04,2.213606e-04,2.200816e-04,2.184523e-04,2.155408e-04,2.143180e-04,2.126303e-04,2.097248e-04,2.085647e-04,2.068276e-04,2.039421e-04,2.028492e-04,2.010710e-04,1.982170e-04,1.971943e-04,1.953826e-04,1.925699e-04,1.916189e-04,1.897809e-04,1.870174e-04,1.861387e-04,1.842809e-04,1.815729e-04,1.807662e-04,1.788946e-04,1.762472e-04,1.755117e-04,1.736318e-04,1.710491e-04,1.703831e-04,1.684999e-04,1.659850e-04,1.653865e-04,1.635047e-04,1.610596e-04,1.605265e-04,1.586501e-04,1.562765e-04,1.558061e-04,1.539390e-04,1.516377e-04,1.512273e-04,1.493727e-04,1.471442e-04,1.467911e-04,1.449521e-04,1.427964e-04,1.424975e-04,1.406769e-04,1.385936e-04,1.383460e-04,1.365463e-04,1.345347e-04,1.343355e-04,1.325587e-04,1.306179e-04,1.304642e-04,1.287122e-04,1.268412e-04,1.267301e-04,1.250046e-04,1.232021e-04,1.231307e-04,1.214332e-04,1.196977e-04,1.196634e-04,1.179952e-04,1.163252e-04,1.131131e-04,1.100239e-04,1.070543e-04,1.042009e-04,1.014605e-04,9.882945e-05,9.630452e-05,9.388228e-05,9.155941e-05,8.933260e-05,8.719861e-05,8.515424e-05,8.319639e-05,8.132200e-05,7.952809e-05,7.781176e-05,7.617019e-05,7.460062e-05,7.310039e-05,7.166692e-05,7.029769e-05,6.899028e-05,6.774233e-05,6.655157e-05,6.541580e-05,6.433290e-05,6.330081e-05,6.231754e-05,6.138118e-05,6.048989e-05,5.964189e-05,5.883544e-05,5.806891e-05,5.734068e-05,5.664922e-05,5.599305e-05,5.537073e-05,5.478090e-05,5.422221e-05,5.369340e-05,5.319323e-05,5.272051e-05,5.227412e-05,5.185294e-05,5.145593e-05,5.108206e-05,5.073035e-05,5.039986e-05,5.008969e-05
0.000000e+00,5.040245e-08,1.069470e-06,1.122936e-06,8.914723e-06,3.703217e-05,3.887831e-05,1.023478e-04,1.801129e-04,1.852651e-04,2.707249e-04,3.463792e-04,3.527760e-04,4.301214e-04,4.955634e-04,5.025931e-04,5.702807e-04,6.260092e-04,6.333370e-04,6.919330e-04,7.388943e-04,7.462473e-04,7.964626e-04,8.356111e-04,8.427639e-04,8.853358e-04,9.175907e-04,9.243618e-04,9.600224e-04,9.862463e-04,9.924937e-04,1.021947e-03,1.042932e-03,1.048548e-03,1.072456e-03,1.088920e-03,1.093824e-03,1.112799e-03,1.125383e-03,1.129521e-03,1.144125e-03,1.153400e-03,1.156738e-03,1.167482e-03,1.173953e-03,1.176472e-03,1.183820e-03,1.187931e-03,1.189629e-03,1.193999e-03,1.196141e-03,1.197025e-03,1.198796e-03,1.199310e-03,1.199397e-03,1.198909e-03,1.198093e-03,1.197408e-03,1.194966e-03,1.193079e-03,1.191653e-03,1.187533e-03,1.184798e-03,1.182668e-03,1.177115e-03,1.173725e-03,1.170929e-03,1.164163e-03,1.160285e-03,1.156865e-03,1.149082e-03,1.144858e-03,1.140858e-03,1.132232e-03,1.127782e-03,1.123246e-03,1.113934e-03,1.109359e-03,1.104332e-03,1.094472e-03,1.089858e-03,1.084384e-03,1.074098e-03,1.069516e-03,1.063640e-03,1.053035e-03,1.048543e-03,1.042308e-03,1.031480e-03,1.027126e-03,1.020574e-03,1.009607e-03,1.005427e-03,9.985983e-04,9.875653e-04,9.835906e-04,9.765238e-04,9.654887e-04,9.617407e-04,9.544737e-04,9.434918e-04,9.399866e-04,9.325550e-04,9.216742e-04,9.184225e-04,9.108599e-04,9.001215e-04,8.971296e-04,8.894678e-04,8.789069e-04,8.761772e-04,8.684461e-04,8.580923e-04,8.556240e-04,8.478518e-04,8.377300e-04,8.355197e-04,8.277323e-04,8.178632e-04,8.159052e-04,8.081269e-04,7.985272e-04,7.968140e-04,7.890674e-04,7.797505e-04,7.782732e-04,7.705789e-04,7.615551e-04,7.603036e-04,7.526808e-04,7.439576e-04,7.429211e-04,7.353870e-04,7.269700e-04,7.261368e-04,7.187073e-04,7.105996e-04,7.099577e-04,7.026472e-04,6.948502e-04,6.943873e-04,6.872086e-04,6.797222e-04,6.794260e-04,6.723906e-04,6.652132e-04,6.650712e-04,6.581894e-04,6.513183e-04,6.381603e-04,6.255886e-04,6.135931e-04,6.021622e-04,5.912835e-04,5.809435e-04,5.711281e-04,5.618226e-04,5.530119e-04,5.446804e-04,5.368124e-04,5.293921e-04,5.224036e-04,5.158310e-04,5.096584e-04,5.038702e-04,4.984507e-04,4.933847e-04,4.886571e-04,4.842530e-04,4.801582e-04,4.763582e-04,4.728394e-04,4.695883e-04,4.665917e-04,4.638371e-04,4.613119e-04,4.590043e-04,4.569027e-04,4.549959e-04,4.532731e-04,4.517240e-04,4.503385e-04,4.491070e-04,4.480203e-04,4.470693e-04,4.462457e-04,4.455413e-04,4.449481e-04,4.444588e-04,4.440662e-04,4.437635e-04,4.435442e-04,4.434021e-04,4.433313e-04,4.433262e-04,4.433815e-04,4.434921e-04,4.436533e-04
0.000000e+00,2.628819e-08,4.558119e-07,4.772443e-07,3.252211e-06,1.179837e-05,1.233099e-05,3.019458e-05,5.210710e-05,5.356807e-05,7.792434e-05,9.964185e-05,1.014840e-04,1.238303e-04,1.428464e-04,1.448955e-04,1.646960e-04,1.811042e-04,1.832696e-04,2.006597e-04,2.147030e-04,2.169114e-04,2.320708e-04,2.439950e-04,2.461850e-04,2.593000e-04,2.693402e-04,2.714606e-04,2.827111e-04,2.910855e-04,2.930950e-04,3.026545e-04,3.095650e-04,3.114306e-04,3.194625e-04,3.250925e-04,3.267882e-04,3.334442e-04,3.379591e-04,3.394654e-04,3.448853e-04,3.484333e-04,3.497358e-04,3.540477e-04,3.567613e-04,3.578503e-04,3.611714e-04,3.631684e-04,3.640377e-04,3.664749e-04,3.678601e-04,3.685070e-04,3.701574e-04,3.710235e-04,3.714480e-04,3.724000e-04,3.728289e-04,3.730332e-04,3.733669e-04,3.734310e-04,3.734192e-04,3.732074e-04,3.729700e-04,3.727478e-04,3.720562e-04,3.715731e-04,3.711474e-04,3.700356e-04,3.693556e-04,3.687342e-04,3.672560e-04,3.664214e-04,3.656130e-04,3.638169e-04,3.628648e-04,3.618785e-04,3.598083e-04,3.587706e-04,3.576160e-04,3.553111e-04,3.542155e-04,3.529024e-04,3.503983e-04,3.492683e-04,3.478067e-04,3.451352e-04,3.439911e-04,3.423910e-04,3.395808e-04,3.384397e-04,3.367110e-04,3.337876e-04,3.326639e-04,3.308164e-04,3.278028e-04,3.267086e-04,3.247520e-04,3.216687e-04,3.206138e-04,3.185575e-04,3.154227e-04,3.144152e-04,3.122684e-04,3.090983e-04,3.081448e-04,3.059162e-04,3.027254e-04,3.018309e-04,2.995291e-04,2.963302e-04,2.954985e-04,2.931317e-04,2.899361e-04,2.891699e-04,2.867460e-04,2.835636e-04,2.828647e-04,2.803912e-04,2.772307e-04,2.766003e-04,2.740842e-04,2.709533e-04,2.703916e-04,2.678398e-04,2.647451e-04,2.642518e-04,2.616708e-04,2.586181e-04,2.581925e-04,2.555883e-04,2.525825e-04,2.522235e-04,2.496018e-04,2.466472e-04,2.463532e-04,2.437195e-04,2.408196e-04,2.405888e-04,2.379482e-04,2.351061e-04,2.349365e-04,2.322937e-04,2.295117e-04,2.294011e-04,2.267606e-04,2.240409e-04,2.239868e-04,2.213528e-04,2.186969e-04,2.135339e-04,2.084997e-04,2.035957e-04,1.988225e-04,1.941806e-04,1.896699e-04,1.852899e-04,1.810398e-04,1.769187e-04,1.729253e-04,1.690580e-04,1.653153e-04,1.616952e-04,1.581959e-04,1.548152e-04,1.515510e-04,1.484011e-04,1.453632e-04,1.424349e-04,1.396138e-04,1.368975e-04,1.342836e-04,1.317696e-04,1.293530e-04,1.270316e-04,1.248027e-04,1.226640e-04,1.206130e-04,1.186475e-04,1.167650e-04,1.149632e-04,1.132399e-04,1.115927e-04,1.100194e-04,1.085178e-04,1.070858e-04,1.057212e-04,1.044220e-04,1.031861e-04,1.020115e-04,1.008962e-04,9.983836e-05,9.883599e-05,9.788726e-05,9.699037e-05,9.614354e-05,9.534503e-05,9.459314e-05,9.388620e-05
0.000000e+00,1.179817e-08,3.966444e-07,4.189483e-07,4.270703e-06,2.327577e-05,2.476072e-05,9.552162e-05,2.514362e-04,2.651888e-04,5.687971e-04,9.709508e-04,1.011110e-03,1.574058e-03,2.160311e-03,2.229075e-03,2.945615e-03,3.604728e-03,3.695682e-03,4.455751e-03,5.103088e-03,5.207204e-03,5.936021e-03,6.523282e-03,6.632153e-03,7.288805e-03,7.794774e-03,7.901759e-03,8.468772e-03,8.888756e-03,8.989086e-03,9.463022e-03,9.801180e-03,9.891674e-03,1.027666e-02,1.054124e-02,1.061994e-02,1.092368e-02,1.112434e-02,1.119017e-02,1.142170e-02,1.156805e-02,1.162057e-02,1.178902e-02,1.188999e-02,1.192920e-02,1.204318e-02,1.210673e-02,1.213293e-02,1.220029e-02,1.223334e-02,1.224702e-02,1.227476e-02,1.228327e-02,1.228506e-02,1.227936e-02,1.226838e-02,1.225900e-02,1.222525e-02,1.219906e-02,1.217927e-02,1.212217e-02,1.208435e-02,1.205496e-02,1.197858e-02,1.193214e-02,1.189392e-02,1.180181e-02,1.174923e-02,1.170299e-02,1.159818e-02,1.154153e-02,1.148803e-02,1.137316e-02,1.131413e-02,1.125412e-02,1.113144e-02,1.107140e-02,1.100560e-02,1.087705e-02,1.081713e-02,1.074621e-02,1.061346e-02,1.055454e-02,1.047916e-02,1.034363e-02,1.028642e-02,1.020719e-02,1.007009e-02,1.001514e-02,9.932618e-03,9.794993e-03,9.742703e-03,9.657438e-03,9.520152e-03,9.470830e-03,9.383317e-03,9.247103e-03,9.200959e-03,9.111661e-03,8.977133e-03,8.934298e-03,8.843644e-03,8.711311e-03,8.671852e-03,8.580237e-03,8.450518e-03,8.414452e-03,8.322239e-03,8.195475e-03,8.162773e-03,8.070294e-03,7.946758e-03,7.917360e-03,7.824918e-03,7.704823e-03,7.678640e-03,7.586512e-03,7.470021e-03,7.446944e-03,7.355379e-03,7.242612e-03,7.222515e-03,7.131740e-03,7.022778e-03,7.005522e-03,6.915740e-03,6.810634e-03,6.796074e-03,6.707466e-03,6.606238e-03,6.594221e-03,6.506950e-03,6.409600e-03,6.399971e-03,6.314181e-03,6.220687e-03,6.213290e-03,6.129108e-03,6.039434e-03,6.034113e-03,5.951650e-03,5.865744e-03,5.862346e-03,5.781699e-03,5.699499e-03,5.697874e-03,5.619126e-03,5.540560e-03,5.390254e-03,5.246793e-03,5.110004e-03,4.979705e-03,4.855711e-03,4.737830e-03,4.625871e-03,4.519640e-03,4.418942e-03,4.323584e-03,4.233375e-03,4.148125e-03,4.067647e-03,3.991756e-03,3.920272e-03,3.853019e-03,3.789822e-03,3.730514e-03,3.674930e-03,3.622909e-03,3.574295e-03,3.528936e-03,3.486685e-03,3.447400e-03,3.410941e-03,3.377175e-03,3.345972e-03,3.317205e-03,3.290754e-03,3.266501e-03,3.244332e-03,3.224138e-03,3.205814e-03,3.189257e-03,3.174369e-03,3.161056e-03,3.149226e-03,3.138793e-03,3.129672e-03,3.121782e-03,3.115045e-03,3.109387e-03,3.104736e-03,3.101024e-03,3.098185e-03,3.096157e-03,3.094880e-03,3.094295e-03,3.094349e-03
0.000000e+00,3.698831e-09,5.917533e-08,6.181397e-08,3.524511e-07,1.037882e-06,1.075876e-06,2.219563e-06,3.473974e-06,3.554349e-06,4.825661e-06,5.826656e-06,5.905205e-06,6.777876e-06,7.406497e-06,7.468193e-06,8.006195e-06,8.375309e-06,8.419038e-06,8.729635e-06,8.929512e-06,8.956932e-06,9.116438e-06,9.207395e-06,9.220852e-06,9.280574e-06,9.302233e-06,9.304137e-06,9.298513e-06,9.276864e-06,9.269398e-06,9.221442e-06,9.173424e-06,9.158439e-06,9.083481e-06,9.020090e-06,8.999095e-06,8.907344e-06,8.835705e-06,8.809905e-06,8.708143e-06,8.632833e-06,8.603175e-06,8.495907e-06,8.419854e-06,8.387080e-06,8.277292e-06,8.202339e-06,8.167029e-06,8.056682e-06,7.983965e-06,7.946570e-06,7.836952e-06,7.767153e-06,7.728034e-06,7.619980e-06,7.553480e-06,7.512923e-06,7.406966e-06,7.343956e-06,7.302193e-06,7.198666e-06,7.139211e-06,7.096434e-06,6.995534e-06,6.939621e-06,6.895990e-06,6.797823e-06,6.745388e-06,6.701042e-06,6.605654e-06,6.556603e-06,6.511660e-06,6.419058e-06,6.373278e-06,6.327843e-06,6.238008e-06,6.195374e-06,6.149542e-06,6.062435e-06,6.022819e-06,5.976675e-06,5.892247e-06,5.855518e-06,5.809139e-06,5.727335e-06,5.693362e-06,5.646819e-06,5.567577e-06,5.536233e-06,5.489592e-06,5.412849e-06,5.384008e-06,5.337330e-06,5.263020e-06,5.236561e-06,5.189902e-06,5.117960e-06,5.093764e-06,5.047177e-06,4.977537e-06,4.955491e-06,4.909025e-06,4.841623e-06,4.821617e-06,4.775317e-06,4.710089e-06,4.692016e-06,4.645925e-06,4.582808e-06,4.566568e-06,4.520724e-06,4.459658e-06,4.445151e-06,4.399593e-06,4.340515e-06,4.327649e-06,4.282410e-06,4.225262e-06,4.213946e-06,4.169058e-06,4.113783e-06,4.103931e-06,4.059423e-06,4.005965e-06,3.997494e-06,3.953394e-06,3.901697e-06,3.894528e-06,3.850860e-06,3.800872e-06,3.794929e-06,3.751717e-06,3.703385e-06,3.698596e-06,3.655861e-06,3.609134e-06,3.605430e-06,3.563191e-06,3.518020e-06,3.515335e-06,3.473610e-06,3.429948e-06,3.428217e-06,3.387023e-06,3.344823e-06,3.343986e-06,3.303337e-06,3.262554e-06,3.183834e-06,3.107744e-06,3.034202e-06,2.963130e-06,2.894451e-06,2.828091e-06,2.763978e-06,2.702043e-06,2.642217e-06,2.584435e-06,2.528633e-06,2.474748e-06,2.422722e-06,2.372495e-06,2.324012e-06,2.277216e-06,2.232056e-06,2.188480e-06,2.146437e-06,2.105879e-06,2.066759e-06,2.029032e-06,1.992653e-06,1.957580e-06,1.923771e-06,1.891186e-06,1.859785e-06,1.829531e-06,1.800388e-06,1.772319e-06,1.745291e-06,1.719269e-06,1.694222e-06,1.670118e-06,1.646927e-06,1.624618e-06,1.603165e-06,1.582538e-06,1.562711e-06,1.543658e-06,1.525354e-06,1.507775e-06,1.490896e-06,1.474694e-06,1.459148e-06,1.444235e-06,1.429935e-06,1.416228e-06,1.403093e-06
0.000000e+00,1.254525e-08,4.160345e-07,4.399539e-07,4.589475e-06,2.193811e-05,2.312009e-05,6.521054e-05,1.205205e-04,1.243185e-04,1.888842e-04,2.470521e-04,2.519604e-04,3.107608e-04,3.593623e-04,3.645060e-04,4.131797e-04,4.520023e-04,4.570175e-04,4.963264e-04,5.267537e-04,5.314261e-04,5.626298e-04,5.860506e-04,5.902383e-04,6.145371e-04,6.321814e-04,6.357949e-04,6.542631e-04,6.671874e-04,6.701763e-04,6.837522e-04,6.928495e-04,6.951930e-04,7.046856e-04,7.107034e-04,7.124020e-04,7.185008e-04,7.220587e-04,7.231279e-04,7.264182e-04,7.280292e-04,7.284953e-04,7.294728e-04,7.295591e-04,7.294552e-04,7.285385e-04,7.274468e-04,7.268108e-04,7.243529e-04,7.223670e-04,7.212390e-04,7.175368e-04,7.148878e-04,7.133089e-04,7.086122e-04,7.054880e-04,7.034991e-04,6.980175e-04,6.945699e-04,6.922110e-04,6.861199e-04,6.824712e-04,6.797808e-04,6.732271e-04,6.694749e-04,6.664895e-04,6.595958e-04,6.558174e-04,6.525715e-04,6.454397e-04,6.416958e-04,6.382216e-04,6.309364e-04,6.272741e-04,6.236016e-04,6.162330e-04,6.126883e-04,6.088450e-04,6.014507e-04,5.980505e-04,5.940619e-04,5.866892e-04,5.834529e-04,5.793424e-04,5.720299e-04,5.689709e-04,5.647597e-04,5.575387e-04,5.546655e-04,5.503732e-04,5.432687e-04,5.405860e-04,5.362301e-04,5.292620e-04,5.267714e-04,5.223681e-04,5.155518e-04,5.132525e-04,5.088161e-04,5.021635e-04,5.000527e-04,4.955963e-04,4.891164e-04,4.871896e-04,4.827252e-04,4.764241e-04,4.746761e-04,4.702141e-04,4.640960e-04,4.625205e-04,4.580705e-04,4.521380e-04,4.507281e-04,4.462987e-04,4.405526e-04,4.393010e-04,4.348998e-04,4.293401e-04,4.282393e-04,4.238731e-04,4.184985e-04,4.175409e-04,4.132158e-04,4.080244e-04,4.072022e-04,4.029237e-04,3.979128e-04,3.972185e-04,3.929912e-04,3.881578e-04,3.875837e-04,3.834119e-04,3.787526e-04,3.782913e-04,3.741787e-04,3.696895e-04,3.693340e-04,3.652839e-04,3.609607e-04,3.607040e-04,3.567191e-04,3.525578e-04,3.523930e-04,3.484759e-04,3.444721e-04,3.443928e-04,3.405455e-04,3.366948e-04,3.292903e-04,3.221706e-04,3.153271e-04,3.087511e-04,3.024342e-04,2.963679e-04,2.905440e-04,2.849543e-04,2.795910e-04,2.744463e-04,2.695126e-04,2.647825e-04,2.602489e-04,2.559048e-04,2.517434e-04,2.477582e-04,2.439427e-04,2.402908e-04,2.367964e-04,2.334538e-04,2.302573e-04,2.272015e-04,2.242810e-04,2.214910e-04,2.188263e-04,2.162823e-04,2.138543e-04,2.115379e-04,2.093288e-04,2.072230e-04,2.052162e-04,2.033048e-04,2.014850e-04,1.997531e-04,1.981058e-04,1.965396e-04,1.950514e-04,1.936379e-04,1.922963e-04,1.910236e-04,1.898169e-04,1.886737e-04,1.875913e-04,1.865673e-04,1.855991e-04,1.846844e-04,1.838212e-04,1.830070e-04,1.822400e-04
0.000000e+00,2.947136e-08,1.136805e-06,1.204952e-06,1.276984e-05,5.490865e-05,5.753039e-05,1.388586e-04,2.258978e-04,2.314028e-04,3.195162e-04,3.932562e-04,3.993232e-04,4.706602e-04,5.281092e-04,5.341202e-04,5.903801e-04,6.344390e-04,6.400756e-04,6.837864e-04,7.169953e-04,7.220411e-04,7.553242e-04,7.797671e-04,7.840814e-04,8.087236e-04,8.261266e-04,8.296301e-04,8.471505e-04,8.589459e-04,8.616065e-04,8.732938e-04,8.806631e-04,8.824835e-04,8.894236e-04,8.933339e-04,8.943409e-04,8.974422e-04,8.986794e-04,8.989159e-04,8.989334e-04,8.981326e-04,8.976508e-04,8.952096e-04,8.928808e-04,8.917384e-04,8.873538e-04,8.839050e-04,8.821617e-04,8.762576e-04,8.720135e-04,8.697286e-04,8.626529e-04,8.578708e-04,8.551017e-04,8.471393e-04,8.420216e-04,8.388235e-04,8.302068e-04,8.249122e-04,8.213364e-04,8.122550e-04,8.069064e-04,8.030010e-04,7.936090e-04,7.883009e-04,7.841100e-04,7.745320e-04,7.693359e-04,7.649000e-04,7.552365e-04,7.502059e-04,7.455618e-04,7.358936e-04,7.310671e-04,7.262481e-04,7.166396e-04,7.120445e-04,7.070808e-04,6.975829e-04,6.932372e-04,6.881560e-04,6.788087e-04,6.747231e-04,6.695488e-04,6.603830e-04,6.565629e-04,6.513172e-04,6.423565e-04,6.388027e-04,6.335053e-04,6.247673e-04,6.214772e-04,6.161456e-04,6.076428e-04,6.046113e-04,5.992611e-04,5.910021e-04,5.882223e-04,5.828673e-04,5.748576e-04,5.723210e-04,5.669736e-04,5.592159e-04,5.569132e-04,5.515844e-04,5.440793e-04,5.420004e-04,5.367001e-04,5.294465e-04,5.275810e-04,5.223177e-04,5.153132e-04,5.136505e-04,5.084320e-04,5.016731e-04,5.002025e-04,4.950355e-04,4.885180e-04,4.872288e-04,4.821193e-04,4.758382e-04,4.747199e-04,4.696732e-04,4.636231e-04,4.626656e-04,4.576863e-04,4.518614e-04,4.510547e-04,4.461468e-04,4.405410e-04,4.398756e-04,4.350425e-04,4.296498e-04,4.291163e-04,4.243612e-04,4.191752e-04,4.187647e-04,4.140901e-04,4.091045e-04,4.088085e-04,4.042167e-04,3.994252e-04,3.992355e-04,3.947283e-04,3.901246e-04,3.900335e-04,3.856124e-04,3.811903e-04,3.726941e-04,3.645331e-04,3.566959e-04,3.491713e-04,3.419482e-04,3.350159e-04,3.283642e-04,3.219828e-04,3.158619e-04,3.099920e-04,3.043639e-04,2.989685e-04,2.937972e-04,2.888416e-04,2.840935e-04,2.795452e-04,2.751889e-04,2.710173e-04,2.670233e-04,2.632000e-04,2.595408e-04,2.560393e-04,2.526893e-04,2.494848e-04,2.464201e-04,2.434895e-04,2.406877e-04,2.380095e-04,2.354500e-04,2.330042e-04,2.306675e-04,2.284355e-04,2.263039e-04,2.242683e-04,2.223249e-04,2.204697e-04,2.186990e-04,2.170093e-04,2.153970e-04,2.138587e-04,2.123914e-04,2.109919e-04,2.096571e-04,2.083844e-04,2.071707e-04,2.060136e-04,2.049105e-04,2.038589e-04,2.028564e-04
0.000000e+00,3.342837e-09,6.097571e-08,6.398680e-08,4.676980e-07,1.649358e-06,1.717642e-06,3.696280e-06,5.698380e-06,5.825296e-06,7.899451e-06,9.727597e-06,9.882748e-06,1.177051e-05,1.338876e-05,1.356392e-05,1.526532e-05,1.668847e-05,1.687727e-05,1.840235e-05,1.964645e-05,1.984320e-05,2.120246e-05,2.228318e-05,2.248285e-05,2.368712e-05,2.461974e-05,2.481801e-05,2.587828e-05,2.667751e-05,2.687069e-05,2.779793e-05,2.847765e-05,2.866266e-05,2.946747e-05,3.004062e-05,3.021491e-05,3.090743e-05,3.138594e-05,3.154742e-05,3.213719e-05,3.253198e-05,3.267897e-05,3.317492e-05,3.349593e-05,3.362711e-05,3.403756e-05,3.429381e-05,3.440819e-05,3.474087e-05,3.494052e-05,3.503738e-05,3.529945e-05,3.544987e-05,3.552873e-05,3.572682e-05,3.583464e-05,3.589524e-05,3.603547e-05,3.610666e-05,3.614892e-05,3.623694e-05,3.627685e-05,3.630083e-05,3.634185e-05,3.635527e-05,3.636118e-05,3.635999e-05,3.635119e-05,3.633936e-05,3.630036e-05,3.627315e-05,3.624399e-05,3.617124e-05,3.612900e-05,3.608302e-05,3.598022e-05,3.592596e-05,3.586371e-05,3.573428e-05,3.567063e-05,3.559273e-05,3.543981e-05,3.536910e-05,3.527622e-05,3.510265e-05,3.502693e-05,3.491975e-05,3.472815e-05,3.464921e-05,3.452845e-05,3.432122e-05,3.424062e-05,3.410701e-05,3.388633e-05,3.380539e-05,3.365968e-05,3.342754e-05,3.334744e-05,3.319036e-05,3.294858e-05,3.287030e-05,3.270260e-05,3.245282e-05,3.237720e-05,3.219961e-05,3.194333e-05,3.187107e-05,3.168433e-05,3.142291e-05,3.135459e-05,3.115940e-05,3.089408e-05,3.083017e-05,3.062723e-05,3.035912e-05,3.030000e-05,3.009000e-05,2.982011e-05,2.976605e-05,2.954966e-05,2.927888e-05,2.923012e-05,2.900798e-05,2.873713e-05,2.869381e-05,2.846653e-05,2.819635e-05,2.815856e-05,2.792674e-05,2.765787e-05,2.762567e-05,2.738988e-05,2.712291e-05,2.709627e-05,2.685707e-05,2.659251e-05,2.657140e-05,2.632932e-05,2.606762e-05,2.605197e-05,2.580751e-05,2.554908e-05,2.553878e-05,2.529242e-05,2.503761e-05,2.503253e-05,2.478473e-05,2.453385e-05,2.404325e-05,2.356120e-05,2.308809e-05,2.262425e-05,2.216994e-05,2.172539e-05,2.129078e-05,2.086622e-05,2.045182e-05,2.004763e-05,1.965368e-05,1.926997e-05,1.889646e-05,1.853312e-05,1.817987e-05,1.783663e-05,1.750329e-05,1.717974e-05,1.686584e-05,1.656145e-05,1.626644e-05,1.598063e-05,1.570387e-05,1.543598e-05,1.517679e-05,1.492613e-05,1.468380e-05,1.444963e-05,1.422344e-05,1.400502e-05,1.379421e-05,1.359080e-05,1.339462e-05,1.320547e-05,1.302318e-05,1.284756e-05,1.267843e-05,1.251561e-05,1.235892e-05,1.220819e-05,1.206325e-05,1.192392e-05,1.179005e-05,1.166146e-05,1.153800e-05,1.141951e-05,1.130584e-05,1.119683e-05,1.109234e-05
0.000000e+00,9.841292e-09,3.543275e-07,3.748306e-07,3.912056e-06,1.955827e-05,2.069324e-05,6.763043e-05,1.487750e-04,1.551303e-04,2.772898e-04,4.071866e-04,4.188483e-04,5.647718e-04,6.907928e-04,7.042361e-04,8.308663e-04,9.292649e-04,9.416892e-04,1.035960e-03,1.104202e-03,1.114240e-03,1.177773e-03,1.220860e-03,1.228089e-03,1.266783e-03,1.290919e-03,1.295389e-03,1.315320e-03,1.325875e-03,1.327843e-03,1.334080e-03,1.335216e-03,1.335010e-03,1.331484e-03,1.326278e-03,1.324234e-03,1.313890e-03,1.304566e-03,1.300995e-03,1.286010e-03,1.274152e-03,1.269331e-03,1.251296e-03,1.238021e-03,1.232192e-03,1.212264e-03,1.198349e-03,1.191718e-03,1.170731e-03,1.156712e-03,1.149452e-03,1.128007e-03,1.114244e-03,1.106501e-03,1.085025e-03,1.071756e-03,1.063651e-03,1.042441e-03,1.029817e-03,1.021448e-03,1.000713e-03,9.888195e-04,9.802716e-04,9.601509e-04,9.490320e-04,9.403735e-04,9.209568e-04,9.106268e-04,9.019144e-04,8.832563e-04,8.737083e-04,8.649894e-04,8.471182e-04,8.383319e-04,8.296452e-04,8.125710e-04,8.045168e-04,7.958947e-04,7.796141e-04,7.722570e-04,7.637260e-04,7.482265e-04,7.415286e-04,7.331108e-04,7.183735e-04,7.122953e-04,7.040088e-04,6.900105e-04,6.845122e-04,6.763719e-04,6.630864e-04,6.581290e-04,6.501470e-04,6.375466e-04,6.330920e-04,6.252781e-04,6.133343e-04,6.093461e-04,6.017081e-04,5.903923e-04,5.868356e-04,5.793797e-04,5.686633e-04,5.655051e-04,5.582360e-04,5.480909e-04,5.453000e-04,5.382212e-04,5.286202e-04,5.261671e-04,5.192811e-04,5.101976e-04,5.080548e-04,5.013631e-04,4.927715e-04,4.909133e-04,4.844166e-04,4.762922e-04,4.746945e-04,4.683927e-04,4.607121e-04,4.593524e-04,4.532448e-04,4.459854e-04,4.448428e-04,4.389283e-04,4.320684e-04,4.311234e-04,4.254005e-04,4.189195e-04,4.181541e-04,4.126206e-04,4.064989e-04,4.058963e-04,4.005499e-04,3.947688e-04,3.943135e-04,3.891514e-04,3.836932e-04,3.833707e-04,3.783900e-04,3.732377e-04,3.730347e-04,3.682323e-04,3.633698e-04,3.632740e-04,3.586465e-04,3.540586e-04,3.453599e-04,3.371508e-04,3.294057e-04,3.221000e-04,3.152106e-04,3.087155e-04,3.025937e-04,2.968255e-04,2.913920e-04,2.862753e-04,2.814587e-04,2.769259e-04,2.726619e-04,2.686521e-04,2.648829e-04,2.613412e-04,2.580149e-04,2.548922e-04,2.519622e-04,2.492142e-04,2.466384e-04,2.442254e-04,2.419663e-04,2.398526e-04,2.378763e-04,2.360298e-04,2.343060e-04,2.326980e-04,2.311993e-04,2.298040e-04,2.285061e-04,2.273002e-04,2.261811e-04,2.251439e-04,2.241839e-04,2.232967e-04,2.224782e-04,2.217243e-04,2.210314e-04,2.203959e-04,2.198144e-04,2.192838e-04,2.188010e-04,2.183632e-04,2.179678e-04,2.176121e-04,2.172938e-04,2.170106e-04,2.167603e-04
0.000000e+00,7.565747e-09,2.664857e-07,2.816396e-07,2.891905e-06,1.547704e-05,1.645040e-05,6.257021e-05,1.662183e-04,1.755559e-04,3.894105e-04,6.917780e-04,7.229803e-04,1.176564e-03,1.676490e-03,1.736738e-03,2.382361e-03,3.001975e-03,3.089219e-03,3.833137e-03,4.485482e-03,4.591831e-03,5.345913e-03,5.963906e-03,6.079290e-03,6.779199e-03,7.321306e-03,7.436013e-03,8.042915e-03,8.489486e-03,8.595526e-03,9.091514e-03,9.438599e-03,9.530213e-03,9.912289e-03,1.016580e-02,1.023942e-02,1.051405e-02,1.068519e-02,1.073913e-02,1.091798e-02,1.102010e-02,1.105411e-02,1.115110e-02,1.119761e-02,1.121251e-02,1.124182e-02,1.124513e-02,1.124237e-02,1.121734e-02,1.118825e-02,1.116968e-02,1.110218e-02,1.104975e-02,1.101738e-02,1.091763e-02,1.084921e-02,1.080505e-02,1.068159e-02,1.060302e-02,1.054899e-02,1.040881e-02,1.032460e-02,1.026246e-02,1.011118e-02,1.002472e-02,9.956066e-03,9.798083e-03,9.711884e-03,9.638084e-03,9.476814e-03,9.392670e-03,9.314921e-03,9.152967e-03,9.072122e-03,8.991439e-03,8.830756e-03,8.754037e-03,8.671278e-03,8.513303e-03,8.441213e-03,8.357091e-03,8.202858e-03,8.135670e-03,8.050784e-03,7.901021e-03,7.838840e-03,7.753691e-03,7.608891e-03,7.551698e-03,7.466698e-03,7.327170e-03,7.274857e-03,7.190347e-03,7.056258e-03,7.008659e-03,6.924923e-03,6.796342e-03,6.753253e-03,6.670520e-03,6.547449e-03,6.508644e-03,6.427109e-03,6.309487e-03,6.274725e-03,6.194552e-03,6.082277e-03,6.051313e-03,5.972631e-03,5.865577e-03,5.838163e-03,5.761078e-03,5.659095e-03,5.634988e-03,5.559586e-03,5.462510e-03,5.441476e-03,5.367825e-03,5.275488e-03,5.257298e-03,5.185454e-03,5.097682e-03,5.082120e-03,5.012127e-03,4.928746e-03,4.915603e-03,4.847494e-03,4.768327e-03,4.757408e-03,4.691202e-03,4.616076e-03,4.607193e-03,4.542906e-03,4.471650e-03,4.464629e-03,4.402267e-03,4.334715e-03,4.329389e-03,4.268954e-03,4.204943e-03,4.201157e-03,4.142643e-03,4.082014e-03,4.079624e-03,4.023020e-03,3.965621e-03,3.964489e-03,3.909782e-03,3.855465e-03,3.752269e-03,3.654633e-03,3.562296e-03,3.475007e-03,3.392525e-03,3.314620e-03,3.241069e-03,3.171660e-03,3.106189e-03,3.044459e-03,2.986285e-03,2.931486e-03,2.879892e-03,2.831340e-03,2.785672e-03,2.742739e-03,2.702399e-03,2.664516e-03,2.628958e-03,2.595604e-03,2.564333e-03,2.535034e-03,2.507599e-03,2.481925e-03,2.457915e-03,2.435476e-03,2.414520e-03,2.394962e-03,2.376723e-03,2.359725e-03,2.343897e-03,2.329171e-03,2.315479e-03,2.302761e-03,2.290956e-03,2.280010e-03,2.269869e-03,2.260482e-03,2.251802e-03,2.243782e-03,2.236382e-03,2.229558e-03,2.223274e-03,2.217493e-03,2.212179e-03,2.207302e-03,2.202829e-03,2.198732e-03,2.194983e-03
0.000000e+00,1.344755e-09,2.568635e-08,2.692352e-08,1.780656e-07,5.764867e-07,5.991715e-07,1.272415e-06,1.972405e-06,2.016746e-06,2.735709e-06,3.357773e-06,3.410001e-06,4.037982e-06,4.564847e-06,4.621217e-06,5.161840e-06,5.604077e-06,5.662038e-06,6.123956e-06,6.492177e-06,6.549675e-06,6.941201e-06,7.245075e-06,7.300468e-06,7.629328e-06,7.877550e-06,7.929555e-06,8.202839e-06,8.403153e-06,8.450791e-06,8.674938e-06,8.834181e-06,8.876728e-06,9.057534e-06,9.181714e-06,9.218654e-06,9.361315e-06,9.455685e-06,9.486677e-06,9.595836e-06,9.664981e-06,9.689826e-06,9.769623e-06,9.817532e-06,9.836148e-06,9.890269e-06,9.920407e-06,9.932806e-06,9.964530e-06,9.979899e-06,9.986168e-06,9.998406e-06,1.000161e-05,1.000189e-05,9.997233e-06,9.990508e-06,9.985005e-06,9.965747e-06,9.951030e-06,9.939966e-06,9.908142e-06,9.887094e-06,9.870725e-06,9.828137e-06,9.802179e-06,9.780778e-06,9.729022e-06,9.699370e-06,9.673220e-06,9.613705e-06,9.581394e-06,9.550787e-06,9.484758e-06,9.450664e-06,9.415893e-06,9.344449e-06,9.309311e-06,9.270667e-06,9.194776e-06,9.159216e-06,9.116987e-06,9.037500e-06,9.002037e-06,8.956503e-06,8.874170e-06,8.839232e-06,8.790666e-06,8.706144e-06,8.672084e-06,8.620749e-06,8.534615e-06,8.501717e-06,8.447868e-06,8.360625e-06,8.329118e-06,8.272996e-06,8.185084e-06,8.155146e-06,8.096984e-06,8.008785e-06,7.980554e-06,7.920571e-06,7.832417e-06,7.805994e-06,7.744397e-06,7.656577e-06,7.632031e-06,7.569018e-06,7.481778e-06,7.459155e-06,7.394911e-06,7.308465e-06,7.287785e-06,7.222485e-06,7.137014e-06,7.118282e-06,7.052090e-06,6.967748e-06,6.950953e-06,6.884021e-06,6.800939e-06,6.786054e-06,6.718528e-06,6.636813e-06,6.623805e-06,6.555818e-06,6.475561e-06,6.464385e-06,6.396062e-06,6.317337e-06,6.307942e-06,6.239400e-06,6.162264e-06,6.154595e-06,6.085942e-06,6.010442e-06,6.004438e-06,5.935774e-06,5.861944e-06,5.857542e-06,5.788960e-06,5.716826e-06,5.713958e-06,5.645546e-06,5.575123e-06,5.573723e-06,5.505559e-06,5.436856e-06,5.303365e-06,5.173246e-06,5.046485e-06,4.923061e-06,4.802943e-06,4.686097e-06,4.572481e-06,4.462052e-06,4.354760e-06,4.250554e-06,4.149379e-06,4.051179e-06,3.955897e-06,3.863473e-06,3.773848e-06,3.686961e-06,3.602752e-06,3.521160e-06,3.442124e-06,3.365584e-06,3.291481e-06,3.219755e-06,3.150348e-06,3.083201e-06,3.018257e-06,2.955461e-06,2.894756e-06,2.836090e-06,2.779407e-06,2.724657e-06,2.671788e-06,2.620750e-06,2.571493e-06,2.523970e-06,2.478134e-06,2.433938e-06,2.391339e-06,2.350291e-06,2.310753e-06,2.272682e-06,2.236039e-06,2.200782e-06,2.166874e-06,2.134276e-06,2.102952e-06,2.072865e-06,2.043981e-06,2.016265e-06,1.989684e-06
0.000000e+00,3.002451e-09,4.135061e-08,4.319708e-08,2.697936e-07,9.033234e-07,9.405023e-07,2.073053e-06,3.291036e-06,3.369378e-06,4.659345e-06,5.806606e-06,5.904320e-06,7.097297e-06,8.125842e-06,8.237501e-06,9.325549e-06,1.024070e-05,1.036246e-05,1.134944e-05,1.215927e-05,1.228776e-05,1.317880e-05,1.389175e-05,1.402395e-05,1.482465e-05,1.544905e-05,1.558232e-05,1.629841e-05,1.684228e-05,1.697432e-05,1.761146e-05,1.808240e-05,1.821121e-05,1.877490e-05,1.918000e-05,1.930385e-05,1.979935e-05,2.014521e-05,2.026264e-05,2.069494e-05,2.098768e-05,2.109745e-05,2.147131e-05,2.171657e-05,2.181765e-05,2.213754e-05,2.234050e-05,2.243205e-05,2.270218e-05,2.286760e-05,2.294894e-05,2.317327e-05,2.330551e-05,2.337611e-05,2.355835e-05,2.366138e-05,2.372086e-05,2.386449e-05,2.394194e-05,2.399004e-05,2.409831e-05,2.415348e-05,2.419005e-05,2.426599e-05,2.430189e-05,2.432685e-05,2.437331e-05,2.439265e-05,2.440604e-05,2.442567e-05,2.443090e-05,2.443282e-05,2.442808e-05,2.442144e-05,2.441203e-05,2.438523e-05,2.436870e-05,2.434821e-05,2.430148e-05,2.427686e-05,2.424554e-05,2.418087e-05,2.414977e-05,2.410794e-05,2.402718e-05,2.399103e-05,2.393903e-05,2.384390e-05,2.380398e-05,2.374218e-05,2.363427e-05,2.359171e-05,2.352052e-05,2.340129e-05,2.335710e-05,2.327693e-05,2.314776e-05,2.310280e-05,2.301409e-05,2.287624e-05,2.283129e-05,2.273448e-05,2.258911e-05,2.254483e-05,2.244038e-05,2.228857e-05,2.224554e-05,2.213391e-05,2.197664e-05,2.193536e-05,2.181700e-05,2.165520e-05,2.161607e-05,2.149145e-05,2.132595e-05,2.128932e-05,2.115889e-05,2.099047e-05,2.095663e-05,2.082085e-05,2.065020e-05,2.061939e-05,2.047870e-05,2.030648e-05,2.027887e-05,2.013371e-05,1.996052e-05,1.993625e-05,1.978704e-05,1.961341e-05,1.959257e-05,1.943975e-05,1.926617e-05,1.924882e-05,1.909279e-05,1.891971e-05,1.890588e-05,1.874704e-05,1.857486e-05,1.856455e-05,1.840328e-05,1.823238e-05,1.822556e-05,1.806224e-05,1.789294e-05,1.788956e-05,1.772455e-05,1.755714e-05,1.722883e-05,1.690511e-05,1.658639e-05,1.627304e-05,1.596539e-05,1.566372e-05,1.536828e-05,1.507927e-05,1.479688e-05,1.452125e-05,1.425250e-05,1.399072e-05,1.373597e-05,1.348831e-05,1.324776e-05,1.301434e-05,1.278803e-05,1.256880e-05,1.235663e-05,1.215147e-05,1.195324e-05,1.176189e-05,1.157732e-05,1.139946e-05,1.122820e-05,1.106345e-05,1.090508e-05,1.075300e-05,1.060707e-05,1.046719e-05,1.033321e-05,1.020502e-05,1.008247e-05,9.965449e-06,9.853808e-06,9.747414e-06,9.646130e-06,9.549820e-06,9.458345e-06,9.371568e-06,9.289351e-06,9.211559e-06,9.138056e-06,9.068705e-06,9.003374e-06,8.941929e-06,8.884241e-06,8.830177e-06,8.779612e-06
0.000000e+00,2.350675e-09,4.807983e-08,5.046613e-08,3.527370e-07,1.148554e-06,1.192397e-06,2.411221e-06,3.578766e-06,3.651043e-06,4.805169e-06,5.780973e-06,5.862003e-06,6.825302e-06,7.617207e-06,7.701009e-06,8.495119e-06,9.130981e-06,9.213343e-06,9.861079e-06,1.036565e-05,1.044342e-05,1.096519e-05,1.135999e-05,1.143092e-05,1.184486e-05,1.214845e-05,1.221100e-05,1.253307e-05,1.276133e-05,1.281454e-05,1.305864e-05,1.322505e-05,1.326839e-05,1.344655e-05,1.356240e-05,1.359567e-05,1.371814e-05,1.379290e-05,1.381615e-05,1.389174e-05,1.393335e-05,1.394680e-05,1.398313e-05,1.399829e-05,1.400236e-05,1.400595e-05,1.400018e-05,1.399529e-05,1.397166e-05,1.394951e-05,1.393620e-05,1.389002e-05,1.385529e-05,1.383410e-05,1.376937e-05,1.372518e-05,1.369666e-05,1.361677e-05,1.356568e-05,1.353040e-05,1.343822e-05,1.338234e-05,1.334085e-05,1.323884e-05,1.317989e-05,1.313272e-05,1.302296e-05,1.296233e-05,1.291000e-05,1.279424e-05,1.273307e-05,1.267606e-05,1.255579e-05,1.249497e-05,1.243374e-05,1.231021e-05,1.225047e-05,1.218546e-05,1.205973e-05,1.200163e-05,1.193324e-05,1.180620e-05,1.175017e-05,1.167878e-05,1.155117e-05,1.149755e-05,1.142351e-05,1.129595e-05,1.124498e-05,1.116861e-05,1.104162e-05,1.099347e-05,1.091508e-05,1.078909e-05,1.074388e-05,1.066373e-05,1.053909e-05,1.049689e-05,1.041524e-05,1.029224e-05,1.025307e-05,1.017015e-05,1.004902e-05,1.001288e-05,9.928912e-06,9.809853e-06,9.776710e-06,9.691883e-06,9.575036e-06,9.544843e-06,9.459339e-06,9.344820e-06,9.317512e-06,9.231498e-06,9.119392e-06,9.094894e-06,9.008519e-06,8.898892e-06,8.877117e-06,8.790521e-06,8.683414e-06,8.664270e-06,8.577579e-06,8.473020e-06,8.456409e-06,8.369739e-06,8.267739e-06,8.253561e-06,8.167019e-06,8.067578e-06,8.055731e-06,7.969414e-06,7.872523e-06,7.862903e-06,7.776900e-06,7.682540e-06,7.675045e-06,7.589437e-06,7.497583e-06,7.492112e-06,7.406972e-06,7.317595e-06,7.314045e-06,7.229443e-06,7.142507e-06,7.140780e-06,7.056777e-06,6.972243e-06,6.808355e-06,6.649031e-06,6.494184e-06,6.343724e-06,6.197558e-06,6.055594e-06,5.917736e-06,5.783890e-06,5.653962e-06,5.527858e-06,5.405486e-06,5.286752e-06,5.171565e-06,5.059837e-06,4.951479e-06,4.846403e-06,4.744525e-06,4.645761e-06,4.550029e-06,4.457249e-06,4.367343e-06,4.280233e-06,4.195845e-06,4.114105e-06,4.034942e-06,3.958286e-06,3.884070e-06,3.812226e-06,3.742690e-06,3.675398e-06,3.610290e-06,3.547305e-06,3.486385e-06,3.427472e-06,3.370512e-06,3.315449e-06,3.262232e-06,3.210808e-06,3.161129e-06,3.113146e-06,3.066810e-06,3.022077e-06,2.978901e-06,2.937238e-06,2.897046e-06,2.858283e-06,2.820909e-06,2.784885e-06,2.750172e-06
0.000000e+00,3.320933e-08,9.426959e-07,9.934286e-07,8.902288e-06,3.988561e-05,4.200987e-05,1.209899e-04,2.316179e-04,2.393717e-04,3.727023e-04,4.943008e-04,5.046102e-04,6.287661e-04,7.324831e-04,7.435300e-04,8.488503e-04,9.340256e-04,9.451149e-04,1.032801e-03,1.101713e-03,1.112384e-03,1.184317e-03,1.239146e-03,1.249033e-03,1.306947e-03,1.349644e-03,1.358461e-03,1.403966e-03,1.436297e-03,1.443838e-03,1.478443e-03,1.502006e-03,1.508133e-03,1.533248e-03,1.549474e-03,1.554110e-03,1.571031e-03,1.581187e-03,1.584303e-03,1.594207e-03,1.599400e-03,1.601005e-03,1.604946e-03,1.606131e-03,1.606264e-03,1.605179e-03,1.603174e-03,1.601897e-03,1.596610e-03,1.592110e-03,1.589498e-03,1.580730e-03,1.574322e-03,1.570463e-03,1.558844e-03,1.551022e-03,1.546010e-03,1.532088e-03,1.523262e-03,1.517196e-03,1.501444e-03,1.491955e-03,1.484935e-03,1.467764e-03,1.457891e-03,1.450016e-03,1.431774e-03,1.421744e-03,1.413112e-03,1.394099e-03,1.384095e-03,1.374799e-03,1.355271e-03,1.345439e-03,1.335570e-03,1.315744e-03,1.306198e-03,1.295840e-03,1.275900e-03,1.266727e-03,1.255963e-03,1.236062e-03,1.227326e-03,1.216231e-03,1.196499e-03,1.188247e-03,1.176891e-03,1.157432e-03,1.149695e-03,1.138144e-03,1.119046e-03,1.111842e-03,1.100156e-03,1.081488e-03,1.074826e-03,1.063058e-03,1.044878e-03,1.038755e-03,1.026958e-03,1.009307e-03,1.003717e-03,9.919344e-04,9.748465e-04,9.697765e-04,9.580492e-04,9.415476e-04,9.369806e-04,9.253454e-04,9.094459e-04,9.053619e-04,8.938512e-04,8.785631e-04,8.749397e-04,8.635823e-04,8.489093e-04,8.457225e-04,8.345437e-04,8.204848e-04,8.177098e-04,8.067315e-04,7.932819e-04,7.908931e-04,7.801342e-04,7.672859e-04,7.652578e-04,7.547344e-04,7.424766e-04,7.407838e-04,7.305095e-04,7.188296e-04,7.174471e-04,7.074331e-04,6.963164e-04,6.952200e-04,6.854754e-04,6.749061e-04,6.740722e-04,6.646042e-04,6.545654e-04,6.539714e-04,6.447854e-04,6.352595e-04,6.348837e-04,6.259834e-04,6.169525e-04,6.167744e-04,6.081622e-04,5.996079e-04,5.833484e-04,5.679602e-04,5.534076e-04,5.396553e-04,5.266686e-04,5.144134e-04,5.028566e-04,4.919657e-04,4.817094e-04,4.720573e-04,4.629798e-04,4.544486e-04,4.464364e-04,4.389169e-04,4.318648e-04,4.252559e-04,4.190671e-04,4.132761e-04,4.078616e-04,4.028036e-04,3.980825e-04,3.936800e-04,3.895784e-04,3.857611e-04,3.822121e-04,3.789162e-04,3.758590e-04,3.730268e-04,3.704066e-04,3.679860e-04,3.657533e-04,3.636974e-04,3.618076e-04,3.600740e-04,3.584870e-04,3.570377e-04,3.557176e-04,3.545184e-04,3.534327e-04,3.524532e-04,3.515730e-04,3.507856e-04,3.500849e-04,3.494652e-04,3.489208e-04,3.484468e-04,3.480380e-04,3.476900e-04,3.473984e-04
0.000000e+00,2.366549e-08,3.637597e-07,3.795985e-07,2.283639e-06,8.020613e-06,8.385622e-06,2.160466e-05,4.140255e-05,4.288353e-05,7.031377e-05,9.798064e-05,1.004062e-04,1.301622e-04,1.553694e-04,1.580565e-04,1.836092e-04,2.041185e-04,2.067750e-04,2.276500e-04,2.438741e-04,2.463706e-04,2.630810e-04,2.756679e-04,2.779227e-04,2.910310e-04,3.005764e-04,3.025340e-04,3.125525e-04,3.195749e-04,3.211999e-04,3.285823e-04,3.335266e-04,3.347991e-04,3.399432e-04,3.431889e-04,3.441013e-04,3.473542e-04,3.492231e-04,3.497772e-04,3.514406e-04,3.522047e-04,3.524096e-04,3.527450e-04,3.526332e-04,3.525032e-04,3.517368e-04,3.509409e-04,3.504944e-04,3.488213e-04,3.475016e-04,3.467594e-04,3.443478e-04,3.426374e-04,3.416223e-04,3.386164e-04,3.366256e-04,3.353610e-04,3.318847e-04,3.297039e-04,3.282138e-04,3.243729e-04,3.220761e-04,3.203842e-04,3.162687e-04,3.139158e-04,3.120455e-04,3.077320e-04,3.053710e-04,3.033446e-04,2.988980e-04,2.965670e-04,2.944059e-04,2.898808e-04,2.876094e-04,2.853340e-04,2.807761e-04,2.785872e-04,2.762165e-04,2.716640e-04,2.695743e-04,2.671263e-04,2.626106e-04,2.606324e-04,2.581234e-04,2.536705e-04,2.518118e-04,2.492572e-04,2.448881e-04,2.431538e-04,2.405675e-04,2.362990e-04,2.346914e-04,2.320861e-04,2.279315e-04,2.264506e-04,2.238378e-04,2.198073e-04,2.184517e-04,2.158419e-04,2.119431e-04,2.107097e-04,2.081122e-04,2.043504e-04,2.032355e-04,2.006586e-04,1.970374e-04,1.960362e-04,1.934873e-04,1.900086e-04,1.891159e-04,1.866015e-04,1.832659e-04,1.824760e-04,1.800019e-04,1.768090e-04,1.761161e-04,1.736871e-04,1.706355e-04,1.700336e-04,1.676539e-04,1.647416e-04,1.642247e-04,1.618980e-04,1.591222e-04,1.586843e-04,1.564135e-04,1.537711e-04,1.534064e-04,1.511941e-04,1.486814e-04,1.483842e-04,1.462323e-04,1.438456e-04,1.436103e-04,1.415204e-04,1.392556e-04,1.390770e-04,1.370503e-04,1.349032e-04,1.347762e-04,1.328134e-04,1.307797e-04,1.306995e-04,1.288011e-04,1.268766e-04,1.268386e-04,1.250049e-04,1.231850e-04,1.197303e-04,1.164661e-04,1.133843e-04,1.104767e-04,1.077354e-04,1.051528e-04,1.027214e-04,1.004339e-04,9.828337e-05,9.626303e-05,9.436637e-05,9.258714e-05,9.091932e-05,8.935714e-05,8.789511e-05,8.652792e-05,8.525053e-05,8.405812e-05,8.294609e-05,8.191005e-05,8.094582e-05,8.004943e-05,7.921707e-05,7.844514e-05,7.773023e-05,7.706907e-05,7.645856e-05,7.589578e-05,7.537794e-05,7.490238e-05,7.446660e-05,7.406822e-05,7.370500e-05,7.337478e-05,7.307556e-05,7.280541e-05,7.256252e-05,7.234518e-05,7.215176e-05,7.198073e-05,7.183063e-05,7.170010e-05,7.158784e-05,7.149262e-05,7.141329e-05,7.134875e-05,7.129797e-05,7.125998e-05,7.123387e-05
0.000000e+00,1.130061e-08,1.773520e-07,1.853198e-07,1.140398e-06,3.838717e-06,4.003220e-06,9.566430e-06,1.681604e-05,1.731528e-05,2.572895e-05,3.311666e-05,3.373126e-05,4.099853e-05,4.688227e-05,4.749870e-05,5.327106e-05,5.779109e-05,5.836905e-05,6.284653e-05,6.624012e-05,6.675485e-05,7.014214e-05,7.261774e-05,7.305328e-05,7.553004e-05,7.726412e-05,7.761116e-05,7.933254e-05,8.047301e-05,8.072735e-05,8.182618e-05,8.249602e-05,8.265723e-05,8.324641e-05,8.354716e-05,8.361754e-05,8.379246e-05,8.380742e-05,8.379118e-05,8.363205e-05,8.342920e-05,8.333182e-05,8.290585e-05,8.254040e-05,8.236814e-05,8.173149e-05,8.124806e-05,8.100758e-05,8.020705e-05,7.964146e-05,7.933958e-05,7.841400e-05,7.779488e-05,7.743836e-05,7.641998e-05,7.577004e-05,7.536546e-05,7.428080e-05,7.361783e-05,7.317147e-05,7.204244e-05,7.138035e-05,7.089818e-05,6.974272e-05,6.909214e-05,6.857970e-05,6.741239e-05,6.678132e-05,6.624375e-05,6.507642e-05,6.447072e-05,6.391276e-05,6.275486e-05,6.217868e-05,6.160462e-05,6.046368e-05,5.991978e-05,5.933352e-05,5.821543e-05,5.770548e-05,5.711055e-05,5.601986e-05,5.554468e-05,5.494422e-05,5.388437e-05,5.344410e-05,5.284094e-05,5.181446e-05,5.140871e-05,5.080535e-05,4.981398e-05,4.944197e-05,4.884063e-05,4.788551e-05,4.754616e-05,4.694878e-05,4.603054e-05,4.572256e-05,4.513084e-05,4.424968e-05,4.397163e-05,4.338705e-05,4.254286e-05,4.229319e-05,4.171702e-05,4.090941e-05,4.068653e-05,4.011988e-05,3.934824e-05,3.915053e-05,3.859432e-05,3.785789e-05,3.768373e-05,3.713875e-05,3.643664e-05,3.628444e-05,3.575133e-05,3.508256e-05,3.495077e-05,3.443006e-05,3.379357e-05,3.368067e-05,3.317280e-05,3.256748e-05,3.247204e-05,3.197732e-05,3.140203e-05,3.132267e-05,3.084134e-05,3.029496e-05,3.023034e-05,2.976258e-05,2.924394e-05,2.919282e-05,2.873875e-05,2.824671e-05,2.820790e-05,2.776755e-05,2.730099e-05,2.727339e-05,2.684674e-05,2.640455e-05,2.638711e-05,2.597413e-05,2.555523e-05,2.554696e-05,2.514756e-05,2.475089e-05,2.399688e-05,2.328301e-05,2.260739e-05,2.196824e-05,2.136379e-05,2.079240e-05,2.025244e-05,1.974239e-05,1.926077e-05,1.880618e-05,1.837727e-05,1.797275e-05,1.759140e-05,1.723205e-05,1.689358e-05,1.657493e-05,1.627508e-05,1.599308e-05,1.572799e-05,1.547895e-05,1.524513e-05,1.502573e-05,1.482001e-05,1.462723e-05,1.444674e-05,1.427787e-05,1.412001e-05,1.397259e-05,1.383503e-05,1.370683e-05,1.358746e-05,1.347647e-05,1.337340e-05,1.327781e-05,1.318930e-05,1.310748e-05,1.303199e-05,1.296247e-05,1.289860e-05,1.284006e-05,1.278655e-05,1.273778e-05,1.269349e-05,1.265343e-05,1.261734e-05,1.258501e-05,1.255620e-05,1.253073e-05,1.250838e-05
0.000000e+00,4.902498e-10,7.493596e-09,7.832154e-09,4.773935e-08,1.535755e-07,1.597561e-07,3.541094e-07,5.762691e-07,5.907929e-07,8.306559e-07,1.043107e-06,1.061121e-06,1.279853e-06,1.466512e-06,1.486662e-06,1.681798e-06,1.844180e-06,1.865663e-06,2.038699e-06,2.179129e-06,2.201269e-06,2.353694e-06,2.474191e-06,2.496384e-06,2.629745e-06,2.732418e-06,2.754174e-06,2.870062e-06,2.956878e-06,2.977788e-06,3.077720e-06,3.150485e-06,3.170212e-06,3.255607e-06,3.315963e-06,3.334234e-06,3.406411e-06,3.455851e-06,3.472445e-06,3.532629e-06,3.572499e-06,3.587246e-06,3.636567e-06,3.668081e-06,3.680853e-06,3.720354e-06,3.744604e-06,3.755309e-06,3.785949e-06,3.803915e-06,3.812494e-06,3.835155e-06,3.847713e-06,3.854134e-06,3.869626e-06,3.877562e-06,3.881817e-06,3.890883e-06,3.894894e-06,3.896995e-06,3.900316e-06,3.901025e-06,3.901002e-06,3.899201e-06,3.897160e-06,3.895056e-06,3.888704e-06,3.884402e-06,3.880274e-06,3.869890e-06,3.863759e-06,3.857673e-06,3.843734e-06,3.836153e-06,3.828183e-06,3.811123e-06,3.802427e-06,3.792652e-06,3.772866e-06,3.763347e-06,3.751853e-06,3.729700e-06,3.719613e-06,3.706489e-06,3.682297e-06,3.671861e-06,3.657198e-06,3.631263e-06,3.620671e-06,3.604560e-06,3.577153e-06,3.566566e-06,3.549103e-06,3.520467e-06,3.510026e-06,3.491301e-06,3.461658e-06,3.451480e-06,3.431587e-06,3.401136e-06,3.391319e-06,3.370350e-06,3.339271e-06,3.329897e-06,3.307940e-06,3.276396e-06,3.267530e-06,3.244674e-06,3.212810e-06,3.204505e-06,3.180835e-06,3.148781e-06,3.141079e-06,3.116677e-06,3.084550e-06,3.077482e-06,3.052427e-06,3.020332e-06,3.013918e-06,2.988288e-06,2.956317e-06,2.950572e-06,2.924440e-06,2.892676e-06,2.887606e-06,2.861043e-06,2.829559e-06,2.825164e-06,2.798238e-06,2.767096e-06,2.763372e-06,2.736148e-06,2.705405e-06,2.702343e-06,2.674881e-06,2.644587e-06,2.642173e-06,2.614532e-06,2.584727e-06,2.582947e-06,2.555181e-06,2.525903e-06,2.524737e-06,2.496899e-06,2.468177e-06,2.467605e-06,2.439743e-06,2.411603e-06,2.356775e-06,2.303156e-06,2.250774e-06,2.199651e-06,2.149803e-06,2.101241e-06,2.053970e-06,2.007993e-06,1.963307e-06,1.919907e-06,1.877785e-06,1.836930e-06,1.797327e-06,1.758963e-06,1.721820e-06,1.685879e-06,1.651121e-06,1.617524e-06,1.585066e-06,1.553724e-06,1.523475e-06,1.494296e-06,1.466161e-06,1.439046e-06,1.412926e-06,1.387776e-06,1.363571e-06,1.340287e-06,1.317899e-06,1.296381e-06,1.275709e-06,1.255860e-06,1.236810e-06,1.218534e-06,1.201010e-06,1.184214e-06,1.168125e-06,1.152719e-06,1.137977e-06,1.123875e-06,1.110394e-06,1.097514e-06,1.085214e-06,1.073475e-06,1.062278e-06,1.051604e-06,1.041436e-06,1.031757e-06,1.022548e-06
0.000000e+00,4.896649e-09,6.714874e-08,7.003911e-08,4.009540e-07,1.291715e-06,1.345215e-06,3.139886e-06,5.501234e-06,5.666442e-06,8.511047e-06,1.109250e-05,1.131027e-05,1.391814e-05,1.607544e-05,1.630403e-05,1.847109e-05,2.020607e-05,2.043070e-05,2.219586e-05,2.356830e-05,2.377956e-05,2.519432e-05,2.626090e-05,2.645206e-05,2.756409e-05,2.837474e-05,2.854109e-05,2.939310e-05,2.999109e-05,3.012957e-05,3.075936e-05,3.118188e-05,3.129075e-05,3.173149e-05,3.201029e-05,3.208881e-05,3.236946e-05,3.253149e-05,3.257972e-05,3.272544e-05,3.279347e-05,3.281207e-05,3.284467e-05,3.283788e-05,3.282796e-05,3.276630e-05,3.270079e-05,3.266376e-05,3.252412e-05,3.241333e-05,3.235086e-05,3.214724e-05,3.200238e-05,3.191626e-05,3.166070e-05,3.149106e-05,3.138317e-05,3.108603e-05,3.089926e-05,3.077149e-05,3.044160e-05,3.024399e-05,3.009826e-05,2.974320e-05,2.953986e-05,2.937804e-05,2.900426e-05,2.879932e-05,2.862322e-05,2.823619e-05,2.803295e-05,2.784431e-05,2.744866e-05,2.724972e-05,2.705020e-05,2.664984e-05,2.645723e-05,2.624838e-05,2.584657e-05,2.566181e-05,2.544509e-05,2.504457e-05,2.486880e-05,2.464557e-05,2.424861e-05,2.408260e-05,2.385414e-05,2.346259e-05,2.330687e-05,2.307434e-05,2.268972e-05,2.254459e-05,2.230905e-05,2.193258e-05,2.179814e-05,2.156058e-05,2.119324e-05,2.106944e-05,2.083075e-05,2.047328e-05,2.035998e-05,2.012097e-05,1.977394e-05,1.967088e-05,1.943229e-05,1.909610e-05,1.900295e-05,1.876544e-05,1.844037e-05,1.835677e-05,1.812093e-05,1.780714e-05,1.773267e-05,1.749902e-05,1.719658e-05,1.713080e-05,1.689981e-05,1.660870e-05,1.655116e-05,1.632324e-05,1.604339e-05,1.599361e-05,1.576912e-05,1.550040e-05,1.545792e-05,1.523718e-05,1.497940e-05,1.494375e-05,1.472702e-05,1.447999e-05,1.445070e-05,1.423823e-05,1.400169e-05,1.397832e-05,1.377029e-05,1.354398e-05,1.352610e-05,1.332269e-05,1.310633e-05,1.309350e-05,1.289483e-05,1.268813e-05,1.267996e-05,1.248615e-05,1.228880e-05,1.228490e-05,1.209602e-05,1.190773e-05,1.154783e-05,1.120461e-05,1.087747e-05,1.056582e-05,1.026905e-05,9.986603e-06,9.717902e-06,9.462394e-06,9.219540e-06,8.988813e-06,8.769704e-06,8.561718e-06,8.364377e-06,8.177218e-06,7.999795e-06,7.831678e-06,7.672453e-06,7.521719e-06,7.379094e-06,7.244208e-06,7.116708e-06,6.996254e-06,6.882520e-06,6.775193e-06,6.673974e-06,6.578576e-06,6.488725e-06,6.404156e-06,6.324619e-06,6.249872e-06,6.179686e-06,6.113839e-06,6.052121e-06,5.994331e-06,5.940276e-06,5.889772e-06,5.842644e-06,5.798724e-06,5.757851e-06,5.719873e-06,5.684643e-06,5.652023e-06,5.621877e-06,5.594081e-06,5.568511e-06,5.545053e-06,5.523596e-06,5.504035e-06,5.486269e-06
0.000000e+00,1.867403e-08,5.169144e-07,5.440279e-07,4.639236e-06,2.106583e-05,2.223485e-05,7.044103e-05,1.550174e-04,1.616912e-04,2.897361e-04,4.227827e-04,4.344946e-04,5.775051e-04,6.959361e-04,7.083187e-04,8.229393e-04,9.099750e-04,9.208725e-04,1.003140e-03,1.062528e-03,1.071277e-03,1.126898e-03,1.165072e-03,1.171534e-03,1.206578e-03,1.229033e-03,1.233274e-03,1.252728e-03,1.263737e-03,1.265916e-03,1.273699e-03,1.276506e-03,1.276831e-03,1.275976e-03,1.273020e-03,1.271716e-03,1.264557e-03,1.257658e-03,1.254946e-03,1.243269e-03,1.233775e-03,1.229866e-03,1.215030e-03,1.203932e-03,1.199019e-03,1.182055e-03,1.170076e-03,1.164333e-03,1.146020e-03,1.133681e-03,1.127261e-03,1.108183e-03,1.095856e-03,1.088894e-03,1.069487e-03,1.057431e-03,1.050042e-03,1.030629e-03,1.019020e-03,1.011305e-03,9.921213e-04,9.810755e-04,9.731192e-04,9.543345e-04,9.439213e-04,9.357968e-04,9.175308e-04,9.077874e-04,8.995566e-04,8.818906e-04,8.728306e-04,8.645459e-04,8.475325e-04,8.391526e-04,8.308582e-04,8.145283e-04,8.068135e-04,7.985466e-04,7.829149e-04,7.758422e-04,7.676340e-04,7.527033e-04,7.462443e-04,7.381211e-04,7.238851e-04,7.180084e-04,7.099920e-04,6.964382e-04,6.911106e-04,6.832192e-04,6.703303e-04,6.655181e-04,6.577666e-04,6.455225e-04,6.411918e-04,6.335925e-04,6.219709e-04,6.180888e-04,6.106518e-04,5.996290e-04,5.961634e-04,5.888967e-04,5.784486e-04,5.753687e-04,5.682786e-04,5.583806e-04,5.556571e-04,5.487486e-04,5.393765e-04,5.369816e-04,5.302582e-04,5.213880e-04,5.192953e-04,5.127598e-04,5.043679e-04,5.025529e-04,4.962067e-04,4.882705e-04,4.867097e-04,4.805537e-04,4.730511e-04,4.717229e-04,4.657572e-04,4.586668e-04,4.575509e-04,4.517749e-04,4.450765e-04,4.441538e-04,4.385666e-04,4.322404e-04,4.314934e-04,4.260934e-04,4.201208e-04,4.195330e-04,4.143182e-04,4.086813e-04,4.082373e-04,4.032056e-04,3.978872e-04,3.975730e-04,3.927218e-04,3.877056e-04,3.875080e-04,3.828345e-04,3.781049e-04,3.780117e-04,3.735130e-04,3.690551e-04,3.606105e-04,3.526515e-04,3.451529e-04,3.380910e-04,3.314429e-04,3.251871e-04,3.193030e-04,3.137711e-04,3.085729e-04,3.036907e-04,2.991078e-04,2.948083e-04,2.907769e-04,2.869994e-04,2.834622e-04,2.801522e-04,2.770572e-04,2.741654e-04,2.714658e-04,2.689479e-04,2.666016e-04,2.644174e-04,2.623864e-04,2.604999e-04,2.587499e-04,2.571286e-04,2.556288e-04,2.542434e-04,2.529660e-04,2.517902e-04,2.507102e-04,2.497203e-04,2.488152e-04,2.479898e-04,2.472394e-04,2.465594e-04,2.459456e-04,2.453938e-04,2.449002e-04,2.444611e-04,2.440730e-04,2.437328e-04,2.434372e-04,2.431834e-04,2.429686e-04,2.427901e-04,2.426455e-04,2.425324e-04,2.424486e-04
0.000000e+00,1.373088e-08,4.622003e-07,4.880271e-07,4.870997e-06,2.626242e-05,2.793642e-05,1.090112e-04,2.973595e-04,3.145786e-04,7.160510e-04,1.300013e-03,1.361129e-03,2.264666e-03,3.289392e-03,3.414755e-03,4.781967e-03,6.133767e-03,6.327178e-03,8.007289e-03,9.527119e-03,9.779146e-03,1.160205e-02,1.314572e-02,1.343926e-02,1.525878e-02,1.671849e-02,1.703361e-02,1.874170e-02,2.004829e-02,2.036566e-02,2.189236e-02,2.300953e-02,2.331244e-02,2.461982e-02,2.553595e-02,2.581122e-02,2.688571e-02,2.760606e-02,2.784424e-02,2.868932e-02,2.922956e-02,2.942463e-02,3.005475e-02,3.043602e-02,3.058490e-02,3.102075e-02,3.126630e-02,3.136826e-02,3.163345e-02,3.176633e-02,3.182237e-02,3.194098e-02,3.198268e-02,3.199508e-02,3.199026e-02,3.196004e-02,3.193186e-02,3.182494e-02,3.173950e-02,3.167427e-02,3.148432e-02,3.135780e-02,3.125926e-02,3.100297e-02,3.084716e-02,3.071905e-02,3.041080e-02,3.023531e-02,3.008126e-02,2.973323e-02,2.954580e-02,2.936926e-02,2.899169e-02,2.879848e-02,2.860265e-02,2.820406e-02,2.800987e-02,2.779769e-02,2.738512e-02,2.719366e-02,2.696780e-02,2.654703e-02,2.636110e-02,2.612398e-02,2.569972e-02,2.552140e-02,2.527520e-02,2.485126e-02,2.468203e-02,2.442868e-02,2.400815e-02,2.384901e-02,2.359027e-02,2.317560e-02,2.302719e-02,2.276461e-02,2.235774e-02,2.222041e-02,2.195537e-02,2.155784e-02,2.143169e-02,2.116543e-02,2.077840e-02,2.066338e-02,2.039698e-02,2.002135e-02,1.991724e-02,1.965168e-02,1.928811e-02,1.919459e-02,1.893074e-02,1.857968e-02,1.849638e-02,1.823500e-02,1.789675e-02,1.782321e-02,1.756498e-02,1.723972e-02,1.717545e-02,1.692097e-02,1.660875e-02,1.655325e-02,1.630305e-02,1.600385e-02,1.595658e-02,1.571112e-02,1.542483e-02,1.538527e-02,1.514495e-02,1.487143e-02,1.483904e-02,1.460422e-02,1.434326e-02,1.431751e-02,1.408850e-02,1.383986e-02,1.382024e-02,1.359729e-02,1.336071e-02,1.334671e-02,1.313006e-02,1.290524e-02,1.289637e-02,1.268620e-02,1.247285e-02,1.246864e-02,1.226510e-02,1.206289e-02,1.167850e-02,1.131481e-02,1.097119e-02,1.064696e-02,1.034148e-02,1.005409e-02,9.784150e-03,9.531015e-03,9.294052e-03,9.072639e-03,8.866164e-03,8.674025e-03,8.495631e-03,8.330401e-03,8.177768e-03,8.037175e-03,7.908077e-03,7.789942e-03,7.682246e-03,7.584481e-03,7.496149e-03,7.416762e-03,7.345845e-03,7.282935e-03,7.227580e-03,7.179340e-03,7.137786e-03,7.102502e-03,7.073083e-03,7.049136e-03,7.030279e-03,7.016145e-03,7.006377e-03,7.000632e-03,6.998576e-03,6.999893e-03,7.004275e-03,7.011429e-03,7.021074e-03,7.032942e-03,7.046778e-03,7.062339e-03,7.079396e-03,7.097731e-03,7.117139e-03,7.137429e-03,7.158419e-03,7.179941e-03,7.201840e-03
0.000000e+00,8.870029e-10,1.080794e-08,1.126482e-08,6.535396e-08,2.199057e-07,2.293572e-07,5.433861e-07,9.255252e-07,9.507962e-07,1.365196e-06,1.720875e-06,1.750368e-06,2.099136e-06,2.382279e-06,2.412010e-06,2.691194e-06,2.910975e-06,2.939165e-06,3.158358e-06,3.325619e-06,3.351092e-06,3.519549e-06,3.643792e-06,3.665774e-06,3.791675e-06,3.880997e-06,3.899027e-06,3.989474e-06,4.050689e-06,4.064541e-06,4.125631e-06,4.164417e-06,4.174042e-06,4.210963e-06,4.232015e-06,4.237489e-06,4.254626e-06,4.261806e-06,4.263294e-06,4.264339e-06,4.260808e-06,4.258534e-06,4.246588e-06,4.234920e-06,4.229147e-06,4.206804e-06,4.189089e-06,4.180100e-06,4.149529e-06,4.127455e-06,4.115543e-06,4.078553e-06,4.053477e-06,4.038933e-06,3.997026e-06,3.970033e-06,3.953144e-06,3.907568e-06,3.879519e-06,3.860558e-06,3.812348e-06,3.783920e-06,3.763149e-06,3.713155e-06,3.684876e-06,3.662539e-06,3.611461e-06,3.583737e-06,3.560062e-06,3.508473e-06,3.481609e-06,3.456808e-06,3.405172e-06,3.379395e-06,3.353659e-06,3.302354e-06,3.277824e-06,3.251332e-06,3.200659e-06,3.177483e-06,3.150395e-06,3.100594e-06,3.078840e-06,3.051302e-06,3.002560e-06,2.982262e-06,2.954405e-06,2.906867e-06,2.888031e-06,2.859973e-06,2.813748e-06,2.796361e-06,2.768210e-06,2.723376e-06,2.707411e-06,2.679259e-06,2.635871e-06,2.621287e-06,2.593220e-06,2.551313e-06,2.538060e-06,2.510153e-06,2.469744e-06,2.457768e-06,2.430086e-06,2.391180e-06,2.380421e-06,2.353024e-06,2.315614e-06,2.306009e-06,2.278947e-06,2.243019e-06,2.234505e-06,2.207823e-06,2.173353e-06,2.165866e-06,2.139602e-06,2.106564e-06,2.100041e-06,2.074229e-06,2.042590e-06,2.036968e-06,2.011637e-06,1.981361e-06,1.976579e-06,1.951753e-06,1.922803e-06,1.918802e-06,1.894502e-06,1.866839e-06,1.863562e-06,1.839804e-06,1.813387e-06,1.810779e-06,1.787578e-06,1.762366e-06,1.760374e-06,1.737740e-06,1.713692e-06,1.712267e-06,1.690210e-06,1.667283e-06,1.666378e-06,1.644903e-06,1.623057e-06,1.622626e-06,1.601738e-06,1.580933e-06,1.541221e-06,1.503415e-06,1.467439e-06,1.433220e-06,1.400689e-06,1.369777e-06,1.340417e-06,1.312545e-06,1.286098e-06,1.261016e-06,1.237242e-06,1.214720e-06,1.193394e-06,1.173214e-06,1.154130e-06,1.136092e-06,1.119056e-06,1.102977e-06,1.087811e-06,1.073517e-06,1.060057e-06,1.047393e-06,1.035487e-06,1.024305e-06,1.013814e-06,1.003981e-06,9.947761e-07,9.861687e-07,9.781309e-07,9.706354e-07,9.636562e-07,9.571681e-07,9.511471e-07,9.455704e-07,9.404158e-07,9.356622e-07,9.312894e-07,9.272780e-07,9.236095e-07,9.202660e-07,9.172305e-07,9.144867e-07,9.120191e-07,9.098127e-07,9.078532e-07,9.061269e-07,9.046208e-07,9.033223e-07,9.022195e-07
0.000000e+00,5.863978e-09,2.257446e-07,2.390573e-07,2.599968e-06,1.350879e-05,1.432002e-05,4.968887e-05,1.179666e-04,1.236577e-04,2.417846e-04,3.841996e-04,3.977868e-04,5.786777e-04,7.510298e-04,7.703055e-04,9.604851e-04,1.119358e-03,1.140136e-03,1.303308e-03,1.427885e-03,1.446705e-03,1.569063e-03,1.655683e-03,1.670558e-03,1.752302e-03,1.805753e-03,1.815961e-03,1.863471e-03,1.891205e-03,1.896844e-03,1.918039e-03,1.927301e-03,1.928888e-03,1.931053e-03,1.927806e-03,1.926010e-03,1.915049e-03,1.903788e-03,1.899281e-03,1.879654e-03,1.863588e-03,1.856968e-03,1.831893e-03,1.813223e-03,1.804990e-03,1.776722e-03,1.756918e-03,1.747471e-03,1.717549e-03,1.697560e-03,1.687213e-03,1.656669e-03,1.637091e-03,1.626085e-03,1.595596e-03,1.576789e-03,1.565310e-03,1.535313e-03,1.517482e-03,1.505672e-03,1.476439e-03,1.459687e-03,1.447655e-03,1.419351e-03,1.403718e-03,1.391549e-03,1.364265e-03,1.349752e-03,1.337512e-03,1.311296e-03,1.297876e-03,1.285619e-03,1.260483e-03,1.248117e-03,1.235886e-03,1.211823e-03,1.200462e-03,1.188292e-03,1.165285e-03,1.154876e-03,1.142796e-03,1.120818e-03,1.111307e-03,1.099342e-03,1.078360e-03,1.069693e-03,1.057864e-03,1.037844e-03,1.029968e-03,1.018292e-03,9.991990e-04,9.920620e-04,9.805554e-04,9.623522e-04,9.559052e-04,9.445806e-04,9.272313e-04,9.214272e-04,9.102956e-04,8.937646e-04,8.885587e-04,8.776296e-04,8.618819e-04,8.572319e-04,8.465132e-04,8.315151e-04,8.273809e-04,8.168793e-04,8.025978e-04,7.989416e-04,7.886626e-04,7.750659e-04,7.718523e-04,7.618002e-04,7.488578e-04,7.460531e-04,7.362314e-04,7.239138e-04,7.214868e-04,7.118980e-04,7.001769e-04,6.980979e-04,6.887438e-04,6.775920e-04,6.758334e-04,6.667151e-04,6.561065e-04,6.546424e-04,6.457602e-04,6.356699e-04,6.344760e-04,6.258297e-04,6.162338e-04,6.152874e-04,6.068763e-04,5.977517e-04,5.970317e-04,5.888546e-04,5.801795e-04,5.796659e-04,5.717212e-04,5.634746e-04,5.631491e-04,5.554347e-04,5.475966e-04,5.474419e-04,5.399555e-04,5.325067e-04,5.183075e-04,5.048101e-04,4.919817e-04,4.797909e-04,4.682078e-04,4.572038e-04,4.467516e-04,4.368253e-04,4.273999e-04,4.184518e-04,4.099584e-04,4.018980e-04,3.942501e-04,3.869950e-04,3.801141e-04,3.735894e-04,3.674040e-04,3.615415e-04,3.559865e-04,3.507243e-04,3.457408e-04,3.410226e-04,3.365568e-04,3.323313e-04,3.283345e-04,3.245553e-04,3.209831e-04,3.176079e-04,3.144200e-04,3.114104e-04,3.085704e-04,3.058916e-04,3.033661e-04,3.009864e-04,2.987453e-04,2.966360e-04,2.946519e-04,2.927868e-04,2.910349e-04,2.893904e-04,2.878480e-04,2.864026e-04,2.850493e-04,2.837834e-04,2.826005e-04,2.814964e-04,2.804670e-04,2.795086e-04,2.786175e-04
0.000000e+00,1.067168e-08,2.964691e-07,3.117884e-07,2.525249e-06,1.102636e-05,1.162685e-05,3.667726e-05,8.339930e-05,8.727158e-05,1.675776e-04,2.640508e-04,2.731991e-04,3.932844e-04,5.036810e-04,5.157374e-04,6.312931e-04,7.229570e-04,7.346156e-04,8.235548e-04,8.884064e-04,8.979804e-04,9.588358e-04,1.000492e-03,1.007529e-03,1.045589e-03,1.069902e-03,1.074491e-03,1.095580e-03,1.107631e-03,1.110046e-03,1.118926e-03,1.122551e-03,1.123110e-03,1.123363e-03,1.121330e-03,1.120335e-03,1.114581e-03,1.108847e-03,1.106571e-03,1.096706e-03,1.088646e-03,1.085323e-03,1.072711e-03,1.063282e-03,1.059111e-03,1.044730e-03,1.034594e-03,1.029742e-03,1.014296e-03,1.003913e-03,9.985179e-04,9.825119e-04,9.721902e-04,9.663670e-04,9.501573e-04,9.401026e-04,9.339453e-04,9.177832e-04,9.081284e-04,9.017148e-04,8.857761e-04,8.766029e-04,8.699966e-04,8.544006e-04,8.457547e-04,8.390083e-04,8.238358e-04,8.157387e-04,8.088961e-04,7.941991e-04,7.866554e-04,7.797528e-04,7.655630e-04,7.585656e-04,7.516338e-04,7.379680e-04,7.315026e-04,7.245674e-04,7.114323e-04,7.054792e-04,6.985623e-04,6.859565e-04,6.804931e-04,6.736130e-04,6.615297e-04,6.565317e-04,6.497041e-04,6.381332e-04,6.335755e-04,6.268139e-04,6.157428e-04,6.116001e-04,6.049162e-04,5.943304e-04,5.905776e-04,5.839814e-04,5.738654e-04,5.704783e-04,5.639783e-04,5.543161e-04,5.512711e-04,5.448748e-04,5.356501e-04,5.329244e-04,5.266381e-04,5.178346e-04,5.154064e-04,5.092356e-04,5.008370e-04,4.986857e-04,4.926349e-04,4.846254e-04,4.827313e-04,4.768045e-04,4.691683e-04,4.675128e-04,4.617132e-04,4.544352e-04,4.530005e-04,4.473307e-04,4.403962e-04,4.391657e-04,4.336279e-04,4.270224e-04,4.259804e-04,4.205763e-04,4.142861e-04,4.134177e-04,4.081484e-04,4.021601e-04,4.014514e-04,3.963178e-04,3.906185e-04,3.900563e-04,3.850590e-04,3.796363e-04,3.792083e-04,3.743473e-04,3.691892e-04,3.688839e-04,3.641592e-04,3.592543e-04,3.590606e-04,3.544718e-04,3.498091e-04,3.497170e-04,3.452634e-04,3.408323e-04,3.323864e-04,3.243604e-04,3.167357e-04,3.094948e-04,3.026208e-04,2.960975e-04,2.899093e-04,2.840413e-04,2.784792e-04,2.732093e-04,2.682185e-04,2.634942e-04,2.590243e-04,2.547974e-04,2.508023e-04,2.470284e-04,2.434657e-04,2.401043e-04,2.369350e-04,2.339489e-04,2.311374e-04,2.284924e-04,2.260060e-04,2.236708e-04,2.214795e-04,2.194254e-04,2.175018e-04,2.157025e-04,2.140214e-04,2.124528e-04,2.109913e-04,2.096314e-04,2.083682e-04,2.071969e-04,2.061128e-04,2.051115e-04,2.041888e-04,2.033407e-04,2.025633e-04,2.018529e-04,2.012061e-04,2.006194e-04,2.000896e-04,1.996136e-04,1.991886e-04,1.988117e-04,1.984801e-04,1.981915e-04,1.979432e-04
0.000000e+00,3.045478e-10,5.682871e-09,5.957426e-09,3.934819e-08,1.205012e-07,1.247625e-07,2.367319e-07,3.334623e-07,3.391118e-07,4.237987e-07,4.871067e-07,4.920156e-07,5.462180e-07,5.849352e-07,5.887176e-07,6.214954e-07,6.436270e-07,6.462165e-07,6.642736e-07,6.753655e-07,6.768305e-07,6.848592e-07,6.887009e-07,6.891699e-07,6.904347e-07,6.895977e-07,6.892175e-07,6.859869e-07,6.822164e-07,6.811318e-07,6.749750e-07,6.694425e-07,6.677835e-07,6.597784e-07,6.532639e-07,6.511423e-07,6.420260e-07,6.350446e-07,6.325535e-07,6.228270e-07,6.157143e-07,6.129303e-07,6.029321e-07,5.959034e-07,5.928885e-07,5.828452e-07,5.760353e-07,5.728394e-07,5.629011e-07,5.563907e-07,5.530543e-07,5.433184e-07,5.371526e-07,5.337084e-07,5.242362e-07,5.184368e-07,5.149110e-07,5.057396e-07,5.003127e-07,4.967270e-07,4.878767e-07,4.828188e-07,4.791909e-07,4.706708e-07,4.659721e-07,4.623168e-07,4.541285e-07,4.497755e-07,4.461051e-07,4.382452e-07,4.342222e-07,4.305472e-07,4.230092e-07,4.192995e-07,4.156290e-07,4.084042e-07,4.049908e-07,4.013323e-07,3.944108e-07,3.912767e-07,3.876370e-07,3.810083e-07,3.781368e-07,3.745218e-07,3.681749e-07,3.655501e-07,3.619648e-07,3.558888e-07,3.534953e-07,3.499441e-07,3.441282e-07,3.419513e-07,3.384383e-07,3.328719e-07,3.308976e-07,3.274262e-07,3.220989e-07,3.203141e-07,3.168873e-07,3.117891e-07,3.101812e-07,3.068017e-07,3.019229e-07,3.004800e-07,2.971502e-07,2.924815e-07,2.911926e-07,2.879145e-07,2.834469e-07,2.823013e-07,2.790766e-07,2.748015e-07,2.737894e-07,2.706196e-07,2.665288e-07,2.656409e-07,2.625272e-07,2.586127e-07,2.578401e-07,2.547836e-07,2.510379e-07,2.503724e-07,2.473739e-07,2.437897e-07,2.432236e-07,2.402837e-07,2.368540e-07,2.363799e-07,2.334991e-07,2.302174e-07,2.298284e-07,2.270071e-07,2.238669e-07,2.235566e-07,2.207950e-07,2.177901e-07,2.175526e-07,2.148507e-07,2.119753e-07,2.118048e-07,2.091626e-07,2.064112e-07,2.063024e-07,2.037197e-07,2.010868e-07,2.010348e-07,1.985113e-07,1.959919e-07,1.911643e-07,1.865426e-07,1.821180e-07,1.778821e-07,1.738268e-07,1.699444e-07,1.662275e-07,1.626690e-07,1.592622e-07,1.560004e-07,1.528776e-07,1.498878e-07,1.470253e-07,1.442846e-07,1.416605e-07,1.391482e-07,1.367427e-07,1.344395e-07,1.322343e-07,1.301228e-07,1.281011e-07,1.261654e-07,1.243119e-07,1.225372e-07,1.208379e-07,1.192108e-07,1.176528e-07,1.161610e-07,1.147326e-07,1.133648e-07,1.120551e-07,1.108011e-07,1.096003e-07,1.084505e-07,1.073496e-07,1.062954e-07,1.052860e-07,1.043196e-07,1.033942e-07,1.025081e-07,1.016597e-07,1.008474e-07,1.000697e-07,9.932510e-08,9.861220e-08,9.792968e-08,9.727626e-08,9.665071e-08,9.605188e-08
0.000000e+00,1.822514e-08,6.030404e-07,6.369844e-07,6.338016e-06,3.174252e-05,3.361466e-05,1.139369e-04,2.619057e-04,2.738332e-04,5.096429e-04,7.712171e-04,7.952025e-04,1.103034e-03,1.382847e-03,1.413658e-03,1.715676e-03,1.969606e-03,2.003245e-03,2.273774e-03,2.492122e-03,2.526408e-03,2.761169e-03,2.944868e-03,2.978492e-03,3.178998e-03,3.331358e-03,3.363394e-03,3.532422e-03,3.657083e-03,3.686831e-03,3.827365e-03,3.927817e-03,3.954751e-03,4.069696e-03,4.149158e-03,4.172888e-03,4.264986e-03,4.326370e-03,4.346625e-03,4.418413e-03,4.464329e-03,4.480933e-03,4.534741e-03,4.567507e-03,4.580366e-03,4.618314e-03,4.639979e-03,4.649065e-03,4.673077e-03,4.685444e-03,4.690783e-03,4.702598e-03,4.707249e-03,4.708912e-03,4.710098e-03,4.708412e-03,4.706507e-03,4.698475e-03,4.691656e-03,4.686317e-03,4.670335e-03,4.659425e-03,4.650811e-03,4.628016e-03,4.613916e-03,4.602202e-03,4.573611e-03,4.557098e-03,4.542471e-03,4.508995e-03,4.490732e-03,4.473386e-03,4.435836e-03,4.416390e-03,4.396526e-03,4.355626e-03,4.335476e-03,4.313296e-03,4.269687e-03,4.249237e-03,4.224942e-03,4.179195e-03,4.158782e-03,4.132572e-03,4.085190e-03,4.065091e-03,4.037162e-03,3.988591e-03,3.969032e-03,3.939574e-03,3.890205e-03,3.871370e-03,3.840567e-03,3.790742e-03,3.772774e-03,3.740805e-03,3.690824e-03,3.673833e-03,3.640866e-03,3.590991e-03,3.575058e-03,3.541256e-03,3.491712e-03,3.476894e-03,3.442409e-03,3.393391e-03,3.379723e-03,3.344700e-03,3.296374e-03,3.283874e-03,3.248449e-03,3.200957e-03,3.189627e-03,3.153928e-03,3.107388e-03,3.097218e-03,3.061363e-03,3.015875e-03,3.006844e-03,2.970944e-03,2.926588e-03,2.918667e-03,2.882824e-03,2.839667e-03,2.832818e-03,2.797128e-03,2.755219e-03,2.749402e-03,2.713950e-03,2.673329e-03,2.668498e-03,2.633363e-03,2.594058e-03,2.590164e-03,2.555419e-03,2.517448e-03,2.514439e-03,2.480149e-03,2.443522e-03,2.441346e-03,2.407569e-03,2.372289e-03,2.370892e-03,2.337681e-03,2.303744e-03,2.303072e-03,2.270475e-03,2.237871e-03,2.175264e-03,2.115217e-03,2.057689e-03,2.002634e-03,1.950001e-03,1.899735e-03,1.851777e-03,1.806066e-03,1.762539e-03,1.721130e-03,1.681775e-03,1.644407e-03,1.608959e-03,1.575365e-03,1.543558e-03,1.513473e-03,1.485044e-03,1.458209e-03,1.432904e-03,1.409067e-03,1.386638e-03,1.365558e-03,1.345769e-03,1.327216e-03,1.309844e-03,1.293600e-03,1.278433e-03,1.264292e-03,1.251131e-03,1.238901e-03,1.227559e-03,1.217061e-03,1.207364e-03,1.198429e-03,1.190217e-03,1.182690e-03,1.175812e-03,1.169549e-03,1.163868e-03,1.158736e-03,1.154123e-03,1.149999e-03,1.146337e-03,1.143109e-03,1.140290e-03,1.137855e-03,1.135780e-03,1.134043e-03,1.132623e-03
0.000000e+00,6.168848e-10,9.527719e-09,9.961757e-09,6.200552e-08,2.035361e-07,2.118838e-07,4.764270e-07,7.808037e-07,8.007068e-07,1.128267e-06,1.415205e-06,1.439355e-06,1.730032e-06,1.974064e-06,2.000173e-06,2.250521e-06,2.455196e-06,2.482012e-06,2.695607e-06,2.865714e-06,2.892260e-06,3.072904e-06,3.212933e-06,3.238440e-06,3.389740e-06,3.503769e-06,3.527637e-06,3.652928e-06,3.744594e-06,3.766370e-06,3.868685e-06,3.941208e-06,3.960557e-06,4.042633e-06,4.098837e-06,4.115525e-06,4.179815e-06,4.222173e-06,4.236048e-06,4.284744e-06,4.315413e-06,4.326390e-06,4.361447e-06,4.382301e-06,4.390351e-06,4.413511e-06,4.426177e-06,4.431314e-06,4.444125e-06,4.450013e-06,4.452287e-06,4.456123e-06,4.456450e-06,4.455939e-06,4.452022e-06,4.447838e-06,4.444642e-06,4.434053e-06,4.426260e-06,4.420495e-06,4.404192e-06,4.393563e-06,4.385357e-06,4.364188e-06,4.351385e-06,4.340873e-06,4.315588e-06,4.301173e-06,4.288498e-06,4.259758e-06,4.244210e-06,4.229514e-06,4.197902e-06,4.181624e-06,4.165052e-06,4.131083e-06,4.114414e-06,4.096109e-06,4.060235e-06,4.043458e-06,4.023561e-06,3.986178e-06,3.969529e-06,3.948175e-06,3.909633e-06,3.893303e-06,3.870628e-06,3.831230e-06,3.815376e-06,3.791506e-06,3.751519e-06,3.736267e-06,3.711326e-06,3.670981e-06,3.656430e-06,3.630535e-06,3.590033e-06,3.576258e-06,3.549521e-06,3.509037e-06,3.496095e-06,3.468621e-06,3.428306e-06,3.416236e-06,3.388125e-06,3.348107e-06,3.336936e-06,3.308281e-06,3.268672e-06,3.258413e-06,3.229304e-06,3.190197e-06,3.180853e-06,3.151373e-06,3.112848e-06,3.104415e-06,3.074640e-06,3.036764e-06,3.029230e-06,2.999233e-06,2.962061e-06,2.955409e-06,2.925258e-06,2.888834e-06,2.883042e-06,2.852798e-06,2.817160e-06,2.812202e-06,2.781925e-06,2.747100e-06,2.742948e-06,2.712690e-06,2.678701e-06,2.675325e-06,2.645135e-06,2.611998e-06,2.609365e-06,2.579290e-06,2.547014e-06,2.545092e-06,2.515173e-06,2.483766e-06,2.482518e-06,2.452794e-06,2.422258e-06,2.421652e-06,2.392157e-06,2.362491e-06,2.305030e-06,2.249257e-06,2.195157e-06,2.142710e-06,2.091894e-06,2.042684e-06,1.995053e-06,1.948971e-06,1.904409e-06,1.861334e-06,1.819714e-06,1.779516e-06,1.740706e-06,1.703250e-06,1.667115e-06,1.632265e-06,1.598668e-06,1.566289e-06,1.535095e-06,1.505053e-06,1.476130e-06,1.448294e-06,1.421513e-06,1.395756e-06,1.370993e-06,1.347194e-06,1.324328e-06,1.302368e-06,1.281286e-06,1.261054e-06,1.241645e-06,1.223033e-06,1.205193e-06,1.188100e-06,1.171730e-06,1.156059e-06,1.141065e-06,1.126724e-06,1.113016e-06,1.099919e-06,1.087413e-06,1.075478e-06,1.064094e-06,1.053242e-06,1.042905e-06,1.033065e-06,1.023704e-06,1.014805e-06,1.006352e-06
0.000000e+00,4.251898e-10,5.639887e-09,5.885890e-09,3.523664e-08,1.172859e-07,1.222141e-07,2.816868e-07,4.689132e-07,4.811663e-07,6.814203e-07,8.533901e-07,8.676809e-07,1.037202e-06,1.175677e-06,1.190269e-06,1.327832e-06,1.436911e-06,1.450960e-06,1.560705e-06,1.645153e-06,1.658076e-06,1.744028e-06,1.808061e-06,1.819458e-06,1.885208e-06,1.932452e-06,1.942063e-06,1.990749e-06,2.024279e-06,2.031952e-06,2.066304e-06,2.088723e-06,2.094393e-06,2.116763e-06,2.130249e-06,2.133915e-06,2.146318e-06,2.152690e-06,2.154396e-06,2.158536e-06,2.159286e-06,2.159107e-06,2.156456e-06,2.152849e-06,2.150892e-06,2.142702e-06,2.135767e-06,2.132148e-06,2.119472e-06,2.110053e-06,2.104898e-06,2.088629e-06,2.077416e-06,2.070855e-06,2.051747e-06,2.039300e-06,2.031464e-06,2.010151e-06,1.996926e-06,1.987943e-06,1.964961e-06,1.951322e-06,1.941318e-06,1.917115e-06,1.903352e-06,1.892446e-06,1.867397e-06,1.853740e-06,1.842045e-06,1.816463e-06,1.803090e-06,1.790714e-06,1.764858e-06,1.751906e-06,1.738947e-06,1.713032e-06,1.700604e-06,1.687155e-06,1.661357e-06,1.649526e-06,1.635672e-06,1.610134e-06,1.598952e-06,1.584772e-06,1.559611e-06,1.549110e-06,1.534675e-06,1.509985e-06,1.500181e-06,1.485557e-06,1.461410e-06,1.452310e-06,1.437556e-06,1.414008e-06,1.405608e-06,1.390778e-06,1.367873e-06,1.360161e-06,1.345302e-06,1.323071e-06,1.316030e-06,1.301186e-06,1.279651e-06,1.273259e-06,1.258469e-06,1.237643e-06,1.231876e-06,1.217174e-06,1.197063e-06,1.191893e-06,1.177310e-06,1.157916e-06,1.153314e-06,1.138878e-06,1.120196e-06,1.116134e-06,1.101868e-06,1.083892e-06,1.080338e-06,1.066264e-06,1.048983e-06,1.045908e-06,1.032044e-06,1.015445e-06,1.012820e-06,9.991811e-07,9.832494e-07,9.810452e-07,9.676454e-07,9.523651e-07,9.505530e-07,9.374040e-07,9.227578e-07,9.213103e-07,9.084219e-07,8.943917e-07,8.932823e-07,8.806625e-07,8.672297e-07,8.664331e-07,8.540885e-07,8.412341e-07,8.407258e-07,8.286617e-07,8.163665e-07,8.161234e-07,8.043438e-07,7.925887e-07,7.700846e-07,7.485744e-07,7.280217e-07,7.083910e-07,6.896474e-07,6.717566e-07,6.546855e-07,6.384017e-07,6.228737e-07,6.080711e-07,5.939643e-07,5.805249e-07,5.677252e-07,5.555386e-07,5.439395e-07,5.329031e-07,5.224057e-07,5.124241e-07,5.029365e-07,4.939216e-07,4.853589e-07,4.772290e-07,4.695129e-07,4.621926e-07,4.552508e-07,4.486708e-07,4.424367e-07,4.365330e-07,4.309452e-07,4.256591e-07,4.206613e-07,4.159386e-07,4.114789e-07,4.072701e-07,4.033009e-07,3.995603e-07,3.960378e-07,3.927235e-07,3.896077e-07,3.866813e-07,3.839354e-07,3.813617e-07,3.789519e-07,3.766984e-07,3.745939e-07,3.726311e-07,3.708034e-07,3.691042e-07,3.675274e-07
0.000000e+00,7.038409e-10,1.586170e-08,1.665191e-08,1.095523e-07,3.036476e-07,3.129269e-07,5.479516e-07,7.602394e-07,7.733482e-07,9.836983e-07,1.163847e-06,1.178921e-06,1.359605e-06,1.510355e-06,1.526434e-06,1.680105e-06,1.805005e-06,1.821316e-06,1.950752e-06,2.053161e-06,2.069083e-06,2.176958e-06,2.259949e-06,2.274999e-06,2.363800e-06,2.430120e-06,2.443927e-06,2.515922e-06,2.568007e-06,2.580296e-06,2.637537e-06,2.677526e-06,2.688099e-06,2.732418e-06,2.762176e-06,2.770901e-06,2.803935e-06,2.825089e-06,2.831887e-06,2.855099e-06,2.869060e-06,2.873895e-06,2.888581e-06,2.896571e-06,2.899445e-06,2.906758e-06,2.909834e-06,2.910776e-06,2.911737e-06,2.910807e-06,2.909868e-06,2.905381e-06,2.901228e-06,2.898475e-06,2.889340e-06,2.882633e-06,2.878150e-06,2.865071e-06,2.856383e-06,2.850260e-06,2.833862e-06,2.823678e-06,2.816013e-06,2.796843e-06,2.785576e-06,2.776472e-06,2.755012e-06,2.743009e-06,2.732570e-06,2.709244e-06,2.696796e-06,2.685126e-06,2.660304e-06,2.647655e-06,2.634859e-06,2.608866e-06,2.596216e-06,2.582396e-06,2.555516e-06,2.543029e-06,2.528285e-06,2.500763e-06,2.488574e-06,2.473002e-06,2.445052e-06,2.433268e-06,2.416959e-06,2.388767e-06,2.377472e-06,2.360516e-06,2.332242e-06,2.321499e-06,2.303979e-06,2.275760e-06,2.265618e-06,2.247614e-06,2.219569e-06,2.210060e-06,2.191648e-06,2.163875e-06,2.155022e-06,2.136271e-06,2.108855e-06,2.100670e-06,2.081646e-06,2.054659e-06,2.047145e-06,2.027909e-06,2.001410e-06,1.994563e-06,1.975173e-06,1.949210e-06,1.943020e-06,1.923530e-06,1.898142e-06,1.892597e-06,1.873054e-06,1.848273e-06,1.843354e-06,1.823805e-06,1.799654e-06,1.795342e-06,1.775827e-06,1.752325e-06,1.748596e-06,1.729154e-06,1.706314e-06,1.703143e-06,1.683808e-06,1.661638e-06,1.659000e-06,1.639804e-06,1.618308e-06,1.616177e-06,1.597149e-06,1.576327e-06,1.574675e-06,1.555841e-06,1.535691e-06,1.534492e-06,1.515875e-06,1.496391e-06,1.495619e-06,1.477239e-06,1.458416e-06,1.458043e-06,1.439920e-06,1.421748e-06,1.386713e-06,1.352918e-06,1.320338e-06,1.288947e-06,1.258718e-06,1.229623e-06,1.201633e-06,1.174719e-06,1.148850e-06,1.123996e-06,1.100128e-06,1.077215e-06,1.055227e-06,1.034135e-06,1.013910e-06,9.945233e-07,9.759462e-07,9.581512e-07,9.411113e-07,9.248000e-07,9.091914e-07,8.942603e-07,8.799822e-07,8.663331e-07,8.532900e-07,8.408301e-07,8.289318e-07,8.175737e-07,8.067353e-07,7.963967e-07,7.865386e-07,7.771424e-07,7.681901e-07,7.596643e-07,7.515481e-07,7.438253e-07,7.364801e-07,7.294975e-07,7.228627e-07,7.165618e-07,7.105811e-07,7.049074e-07,6.995282e-07,6.944313e-07,6.896049e-07,6.850378e-07,6.807189e-07,6.766379e-07,6.727847e-07
0.000000e+00,1.289753e-08,5.209094e-07,5.522047e-07,6.346688e-06,3.446615e-05,3.658572e-05,1.293846e-04,3.073324e-04,3.221328e-04,6.315363e-04,1.016398e-03,1.054032e-03,1.573476e-03,2.105598e-03,2.167706e-03,2.812933e-03,3.404790e-03,3.486399e-03,4.167839e-03,4.747127e-03,4.840152e-03,5.489572e-03,6.009577e-03,6.105535e-03,6.680382e-03,7.117408e-03,7.208983e-03,7.688331e-03,8.035447e-03,8.117159e-03,8.495576e-03,8.756467e-03,8.824749e-03,9.106630e-03,9.290756e-03,9.343722e-03,9.538891e-03,9.658128e-03,9.695209e-03,9.815843e-03,9.882381e-03,9.903954e-03,9.962629e-03,9.987781e-03,9.994833e-03,1.000337e-02,9.997016e-03,9.990882e-03,9.959795e-03,9.930188e-03,9.912356e-03,9.850615e-03,9.804463e-03,9.776434e-03,9.691497e-03,9.634104e-03,9.597316e-03,9.495248e-03,9.430731e-03,9.386505e-03,9.272164e-03,9.203663e-03,9.153182e-03,9.030408e-03,8.960280e-03,8.904590e-03,8.776389e-03,8.706377e-03,8.646387e-03,8.515095e-03,8.446465e-03,8.382963e-03,8.250385e-03,8.184039e-03,8.117706e-03,7.985226e-03,7.921785e-03,7.853209e-03,7.721884e-03,7.661763e-03,7.591452e-03,7.462085e-03,7.405540e-03,7.333934e-03,7.207128e-03,7.154299e-03,7.081781e-03,6.957986e-03,6.908922e-03,6.835827e-03,6.715374e-03,6.670061e-03,6.596684e-03,6.479808e-03,6.438184e-03,6.364784e-03,6.251645e-03,6.213612e-03,6.140416e-03,6.031118e-03,5.996552e-03,5.923763e-03,5.818361e-03,5.787122e-03,5.714918e-03,5.613433e-03,5.585368e-03,5.513906e-03,5.416329e-03,5.391278e-03,5.320697e-03,5.226996e-03,5.204794e-03,5.135216e-03,5.045341e-03,5.025822e-03,4.957355e-03,4.871239e-03,4.854239e-03,4.786976e-03,4.704545e-03,4.689900e-03,4.623923e-03,4.545089e-03,4.532640e-03,4.468020e-03,4.392692e-03,4.382284e-03,4.319081e-03,4.247162e-03,4.238644e-03,4.176909e-03,4.108298e-03,4.101526e-03,4.041302e-03,3.975896e-03,3.970732e-03,3.912054e-03,3.849748e-03,3.846058e-03,3.788954e-03,3.729646e-03,3.727304e-03,3.671796e-03,3.615379e-03,3.614265e-03,3.560368e-03,3.506739e-03,3.404529e-03,3.307436e-03,3.215268e-03,3.127835e-03,3.044954e-03,2.966444e-03,2.892129e-03,2.821839e-03,2.755409e-03,2.692679e-03,2.633493e-03,2.577702e-03,2.525159e-03,2.475726e-03,2.429267e-03,2.385650e-03,2.344751e-03,2.306447e-03,2.270622e-03,2.237163e-03,2.205960e-03,2.176909e-03,2.149910e-03,2.124865e-03,2.101681e-03,2.080266e-03,2.060536e-03,2.042405e-03,2.025794e-03,2.010626e-03,1.996825e-03,1.984321e-03,1.973044e-03,1.962927e-03,1.953907e-03,1.945923e-03,1.938915e-03,1.932827e-03,1.927603e-03,1.923192e-03,1.919543e-03,1.916607e-03,1.914338e-03,1.912692e-03,1.911625e-03,1.911096e-03,1.911066e-03,1.911498e-03,1.912355e-03
0.000000e+00,1.602528e-08,3.047822e-07,3.194927e-07,2.242923e-06,8.129225e-06,8.494596e-06,2.079418e-05,3.614868e-05,3.717917e-05,5.433239e-05,6.944568e-05,7.071631e-05,8.596921e-05,9.869906e-05,1.000562e-04,1.130175e-04,1.235377e-04,1.249105e-04,1.357958e-04,1.443967e-04,1.457330e-04,1.547796e-04,1.617304e-04,1.629900e-04,1.704150e-04,1.759526e-04,1.771046e-04,1.831066e-04,1.874437e-04,1.884664e-04,1.932268e-04,1.965499e-04,1.974282e-04,2.011088e-04,2.035799e-04,2.043044e-04,2.070488e-04,2.088078e-04,2.093736e-04,2.113087e-04,2.124764e-04,2.128820e-04,2.141197e-04,2.147998e-04,2.150466e-04,2.156855e-04,2.159667e-04,2.160583e-04,2.161851e-04,2.161434e-04,2.160850e-04,2.157757e-04,2.154758e-04,2.152739e-04,2.145952e-04,2.140920e-04,2.137542e-04,2.127644e-04,2.121045e-04,2.116387e-04,2.103889e-04,2.096116e-04,2.090262e-04,2.075610e-04,2.066994e-04,2.060031e-04,2.043614e-04,2.034431e-04,2.026444e-04,2.008601e-04,1.999081e-04,1.990157e-04,1.971182e-04,1.961515e-04,1.951738e-04,1.931886e-04,1.922228e-04,1.911681e-04,1.891173e-04,1.881652e-04,1.870411e-04,1.849440e-04,1.840156e-04,1.828299e-04,1.807028e-04,1.798063e-04,1.785661e-04,1.764231e-04,1.755648e-04,1.742769e-04,1.721302e-04,1.713149e-04,1.699856e-04,1.678455e-04,1.670766e-04,1.657121e-04,1.635874e-04,1.628673e-04,1.614732e-04,1.593712e-04,1.587014e-04,1.572830e-04,1.552099e-04,1.545911e-04,1.531533e-04,1.511143e-04,1.505467e-04,1.490940e-04,1.470933e-04,1.465764e-04,1.451131e-04,1.431541e-04,1.426872e-04,1.412171e-04,1.393027e-04,1.388846e-04,1.374113e-04,1.355434e-04,1.351727e-04,1.336996e-04,1.318800e-04,1.315551e-04,1.300850e-04,1.283149e-04,1.280340e-04,1.265698e-04,1.248500e-04,1.246112e-04,1.231554e-04,1.214862e-04,1.212876e-04,1.198424e-04,1.182241e-04,1.180636e-04,1.166312e-04,1.150636e-04,1.149393e-04,1.135214e-04,1.120044e-04,1.119141e-04,1.105124e-04,1.090455e-04,1.089873e-04,1.076033e-04,1.061858e-04,1.061577e-04,1.047927e-04,1.034239e-04,1.007845e-04,9.823769e-05,9.578159e-05,9.341424e-05,9.113358e-05,8.893749e-05,8.682379e-05,8.479030e-05,8.283479e-05,8.095505e-05,7.914886e-05,7.741401e-05,7.574833e-05,7.414966e-05,7.261586e-05,7.114486e-05,6.973461e-05,6.838308e-05,6.708831e-05,6.584839e-05,6.466144e-05,6.352562e-05,6.243916e-05,6.140033e-05,6.040744e-05,5.945886e-05,5.855299e-05,5.768830e-05,5.686328e-05,5.607649e-05,5.532652e-05,5.461202e-05,5.393165e-05,5.328415e-05,5.266828e-05,5.208284e-05,5.152667e-05,5.099867e-05,5.049774e-05,5.002285e-05,4.957298e-05,4.914715e-05,4.874442e-05,4.836388e-05,4.800465e-05,4.766588e-05,4.734674e-05,4.704645e-05,4.676423e-05
0.000000e+00,3.399666e-09,5.295138e-08,5.539995e-08,3.613892e-07,1.234511e-06,1.286560e-06,2.920512e-06,4.737246e-06,4.854190e-06,6.759163e-06,8.406214e-06,8.544092e-06,1.019505e-05,1.156869e-05,1.171496e-05,1.311031e-05,1.424096e-05,1.438838e-05,1.555633e-05,1.647782e-05,1.662087e-05,1.758835e-05,1.833064e-05,1.846506e-05,1.925698e-05,1.984708e-05,1.996980e-05,2.060886e-05,2.107042e-05,2.117923e-05,2.168566e-05,2.203916e-05,2.213261e-05,2.252427e-05,2.278739e-05,2.286458e-05,2.315720e-05,2.334507e-05,2.340558e-05,2.361295e-05,2.373856e-05,2.378232e-05,2.391650e-05,2.399091e-05,2.401813e-05,2.408968e-05,2.412233e-05,2.413344e-05,2.415156e-05,2.415045e-05,2.414604e-05,2.411876e-05,2.409069e-05,2.407146e-05,2.400578e-05,2.395650e-05,2.392324e-05,2.382525e-05,2.375959e-05,2.371313e-05,2.358813e-05,2.351017e-05,2.345138e-05,2.330396e-05,2.321712e-05,2.314687e-05,2.298102e-05,2.288814e-05,2.280730e-05,2.262650e-05,2.252993e-05,2.243936e-05,2.224659e-05,2.214830e-05,2.204883e-05,2.184668e-05,2.174826e-05,2.164071e-05,2.143141e-05,2.133416e-05,2.121928e-05,2.100477e-05,2.090973e-05,2.078828e-05,2.057020e-05,2.047821e-05,2.035088e-05,2.013064e-05,2.004236e-05,1.990980e-05,1.968863e-05,1.960455e-05,1.946738e-05,1.924630e-05,1.916680e-05,1.902561e-05,1.880550e-05,1.873083e-05,1.858617e-05,1.836777e-05,1.829811e-05,1.815047e-05,1.793441e-05,1.786985e-05,1.771971e-05,1.750651e-05,1.744709e-05,1.729489e-05,1.708497e-05,1.703068e-05,1.687683e-05,1.667055e-05,1.662132e-05,1.646619e-05,1.626384e-05,1.621959e-05,1.606353e-05,1.586533e-05,1.582595e-05,1.566928e-05,1.547541e-05,1.544075e-05,1.528377e-05,1.509437e-05,1.506427e-05,1.490724e-05,1.472241e-05,1.469672e-05,1.453989e-05,1.435970e-05,1.433823e-05,1.418184e-05,1.400631e-05,1.398889e-05,1.383313e-05,1.366230e-05,1.364873e-05,1.349381e-05,1.332765e-05,1.331776e-05,1.316384e-05,1.300235e-05,1.299594e-05,1.284318e-05,1.268631e-05,1.268320e-05,1.253175e-05,1.237946e-05,1.208461e-05,1.179853e-05,1.152107e-05,1.125208e-05,1.099141e-05,1.073889e-05,1.049435e-05,1.025760e-05,1.002848e-05,9.806793e-06,9.592367e-06,9.385016e-06,9.184561e-06,8.990819e-06,8.803614e-06,8.622767e-06,8.448106e-06,8.279458e-06,8.116655e-06,7.959530e-06,7.807922e-06,7.661671e-06,7.520621e-06,7.384621e-06,7.253520e-06,7.127174e-06,7.005440e-06,6.888181e-06,6.775262e-06,6.666550e-06,6.561918e-06,6.461240e-06,6.364397e-06,6.271268e-06,6.181740e-06,6.095700e-06,6.013039e-06,5.933652e-06,5.857436e-06,5.784291e-06,5.714119e-06,5.646827e-06,5.582321e-06,5.520514e-06,5.461319e-06,5.404650e-06,5.350427e-06,5.298571e-06,5.249003e-06
0.000000e+00,6.314463e-10,9.876179e-09,1.033587e-08,6.769698e-08,2.248803e-07,2.338822e-07,4.983925e-07,7.705169e-07,7.877653e-07,1.068206e-06,1.312165e-06,1.332704e-06,1.580348e-06,1.789103e-06,1.811492e-06,2.026774e-06,2.203647e-06,2.226882e-06,2.412515e-06,2.561116e-06,2.584372e-06,2.743140e-06,2.866881e-06,2.889491e-06,3.024081e-06,3.126115e-06,3.147546e-06,3.260497e-06,3.343685e-06,3.363524e-06,3.457188e-06,3.524093e-06,3.542027e-06,3.618553e-06,3.671455e-06,3.687254e-06,3.748593e-06,3.789503e-06,3.803009e-06,3.850920e-06,3.881611e-06,3.892722e-06,3.928788e-06,3.950814e-06,3.959476e-06,3.985120e-06,3.999840e-06,4.006039e-06,4.022534e-06,4.031137e-06,4.034891e-06,4.043378e-06,4.046897e-06,4.048251e-06,4.049749e-06,4.049084e-06,4.048102e-06,4.043523e-06,4.039453e-06,4.036215e-06,4.026371e-06,4.019571e-06,4.014172e-06,3.999787e-06,3.990838e-06,3.983379e-06,3.965099e-06,3.954500e-06,3.945090e-06,3.923489e-06,3.911669e-06,3.900422e-06,3.876009e-06,3.863334e-06,3.850364e-06,3.823593e-06,3.810373e-06,3.795797e-06,3.767069e-06,3.753567e-06,3.737500e-06,3.707171e-06,3.693607e-06,3.676163e-06,3.644548e-06,3.631106e-06,3.612397e-06,3.579773e-06,3.566606e-06,3.546739e-06,3.513352e-06,3.500584e-06,3.479666e-06,3.445730e-06,3.433461e-06,3.411593e-06,3.377298e-06,3.365609e-06,3.342887e-06,3.308398e-06,3.297351e-06,3.273868e-06,3.239330e-06,3.228972e-06,3.204816e-06,3.170355e-06,3.160719e-06,3.135975e-06,3.101700e-06,3.092809e-06,3.067554e-06,3.033560e-06,3.025426e-06,2.999737e-06,2.966104e-06,2.958732e-06,2.932679e-06,2.899477e-06,2.892865e-06,2.866514e-06,2.833802e-06,2.827942e-06,2.801355e-06,2.769183e-06,2.764062e-06,2.737297e-06,2.705706e-06,2.701307e-06,2.674419e-06,2.643443e-06,2.639747e-06,2.612786e-06,2.582453e-06,2.579438e-06,2.552450e-06,2.522781e-06,2.520423e-06,2.493452e-06,2.464465e-06,2.462737e-06,2.435824e-06,2.407532e-06,2.406407e-06,2.379590e-06,2.352000e-06,2.351451e-06,2.324763e-06,2.297881e-06,2.245701e-06,2.194913e-06,2.145512e-06,2.097491e-06,2.050837e-06,2.005536e-06,1.961572e-06,1.918926e-06,1.877575e-06,1.837500e-06,1.798675e-06,1.761076e-06,1.724678e-06,1.689455e-06,1.655381e-06,1.622428e-06,1.590570e-06,1.559780e-06,1.530031e-06,1.501296e-06,1.473548e-06,1.446761e-06,1.420909e-06,1.395965e-06,1.371904e-06,1.348702e-06,1.326333e-06,1.304774e-06,1.283999e-06,1.263987e-06,1.244714e-06,1.226159e-06,1.208298e-06,1.191112e-06,1.174578e-06,1.158678e-06,1.143391e-06,1.128697e-06,1.114579e-06,1.101018e-06,1.087996e-06,1.075495e-06,1.063500e-06,1.051993e-06,1.040958e-06,1.030381e-06,1.020246e-06,1.010538e-06,1.001244e-06
0.000000e+00,1.337670e-09,1.584253e-08,1.650657e-08,9.574347e-08,3.254908e-07,3.395543e-07,7.998412e-07,1.339751e-06,1.374955e-06,1.948972e-06,2.440590e-06,2.481396e-06,2.964823e-06,3.358744e-06,3.400195e-06,3.790368e-06,4.098914e-06,4.138594e-06,4.448073e-06,4.685561e-06,4.721849e-06,4.962719e-06,5.141503e-06,5.173256e-06,5.355986e-06,5.486733e-06,5.513266e-06,5.647291e-06,5.739139e-06,5.760095e-06,5.853560e-06,5.914161e-06,5.929424e-06,5.989289e-06,6.024997e-06,6.034628e-06,6.066796e-06,6.082857e-06,6.087038e-06,6.096495e-06,6.097218e-06,6.096215e-06,6.087159e-06,6.076071e-06,6.070205e-06,6.046160e-06,6.026139e-06,6.015762e-06,5.979685e-06,5.953066e-06,5.938548e-06,5.892914e-06,5.861588e-06,5.843299e-06,5.790176e-06,5.755668e-06,5.733975e-06,5.675089e-06,5.638619e-06,5.613877e-06,5.550666e-06,5.513207e-06,5.485755e-06,5.419415e-06,5.381734e-06,5.351894e-06,5.283417e-06,5.246114e-06,5.214188e-06,5.144393e-06,5.107933e-06,5.074202e-06,5.003766e-06,4.968500e-06,4.933224e-06,4.862702e-06,4.828892e-06,4.792312e-06,4.722157e-06,4.689990e-06,4.652328e-06,4.582907e-06,4.552511e-06,4.513969e-06,4.445579e-06,4.417033e-06,4.377796e-06,4.310672e-06,4.284018e-06,4.244254e-06,4.178582e-06,4.153830e-06,4.113692e-06,4.049615e-06,4.026752e-06,3.986378e-06,3.924004e-06,3.902997e-06,3.862512e-06,3.801919e-06,3.782722e-06,3.742239e-06,3.683481e-06,3.666034e-06,3.625654e-06,3.568764e-06,3.553004e-06,3.512816e-06,3.457811e-06,3.443665e-06,3.403751e-06,3.350634e-06,3.338026e-06,3.298458e-06,3.247220e-06,3.236073e-06,3.196915e-06,3.147537e-06,3.137773e-06,3.099081e-06,3.051539e-06,3.043078e-06,3.004903e-06,2.959164e-06,2.951928e-06,2.914313e-06,2.870341e-06,2.864254e-06,2.827237e-06,2.784991e-06,2.779979e-06,2.743593e-06,2.703030e-06,2.699019e-06,2.663292e-06,2.624368e-06,2.621289e-06,2.586245e-06,2.548912e-06,2.546697e-06,2.512357e-06,2.476568e-06,2.475152e-06,2.441532e-06,2.407238e-06,2.406559e-06,2.373673e-06,2.340826e-06,2.277858e-06,2.217563e-06,2.159847e-06,2.104622e-06,2.051796e-06,2.001283e-06,1.952998e-06,1.906856e-06,1.862777e-06,1.820681e-06,1.780493e-06,1.742138e-06,1.705543e-06,1.670640e-06,1.637361e-06,1.605640e-06,1.575415e-06,1.546625e-06,1.519211e-06,1.493118e-06,1.468290e-06,1.444676e-06,1.422224e-06,1.400887e-06,1.380617e-06,1.361370e-06,1.343103e-06,1.325773e-06,1.309341e-06,1.293769e-06,1.279019e-06,1.265056e-06,1.251846e-06,1.239356e-06,1.227555e-06,1.216413e-06,1.205901e-06,1.195990e-06,1.186654e-06,1.177868e-06,1.169606e-06,1.161846e-06,1.154565e-06,1.147740e-06,1.141351e-06,1.135379e-06,1.129803e-06,1.124605e-06,1.119769e-06
0.000000e+00,9.970565e-09,1.281500e-07,1.334561e-07,7.451432e-07,2.507647e-06,2.618018e-06,6.544099e-06,1.227243e-05,1.269610e-05,2.046474e-05,2.822365e-05,2.890376e-05,3.729413e-05,4.452984e-05,4.531102e-05,5.285770e-05,5.909750e-05,5.991956e-05,6.650699e-05,7.180620e-05,7.263775e-05,7.833178e-05,8.279217e-05,8.360946e-05,8.849104e-05,9.221223e-05,9.299626e-05,9.714425e-05,1.002179e-04,1.009535e-04,1.044416e-04,1.069505e-04,1.076257e-04,1.105220e-04,1.125403e-04,1.131461e-04,1.155127e-04,1.171066e-04,1.176360e-04,1.195296e-04,1.207580e-04,1.212063e-04,1.226784e-04,1.235934e-04,1.239575e-04,1.250549e-04,1.257027e-04,1.259811e-04,1.267462e-04,1.271676e-04,1.273598e-04,1.278310e-04,1.280619e-04,1.281685e-04,1.283806e-04,1.284526e-04,1.284751e-04,1.284594e-04,1.284001e-04,1.283407e-04,1.281255e-04,1.279591e-04,1.278203e-04,1.274312e-04,1.271788e-04,1.269638e-04,1.264236e-04,1.261034e-04,1.258157e-04,1.251452e-04,1.247733e-04,1.244166e-04,1.236344e-04,1.232244e-04,1.228026e-04,1.219253e-04,1.214891e-04,1.210061e-04,1.200487e-04,1.195963e-04,1.190563e-04,1.180321e-04,1.175721e-04,1.169791e-04,1.159001e-04,1.154398e-04,1.147977e-04,1.136746e-04,1.132200e-04,1.125330e-04,1.113752e-04,1.109315e-04,1.102034e-04,1.090194e-04,1.085906e-04,1.078252e-04,1.066225e-04,1.062120e-04,1.054131e-04,1.041983e-04,1.038088e-04,1.029798e-04,1.017589e-04,1.013923e-04,1.005368e-04,9.931486e-05,9.897288e-05,9.809410e-05,9.687559e-05,9.655928e-05,9.566034e-05,9.444927e-05,9.415932e-05,9.324322e-05,9.204300e-05,9.177981e-05,9.084937e-05,8.966299e-05,8.942665e-05,8.848453e-05,8.731456e-05,8.710491e-05,8.615364e-05,8.500227e-05,8.481897e-05,8.386091e-05,8.273000e-05,8.257252e-05,8.160991e-05,8.050101e-05,8.036871e-05,7.940362e-05,7.831802e-05,7.821012e-05,7.724449e-05,7.618326e-05,7.609890e-05,7.513453e-05,7.409850e-05,7.403674e-05,7.307532e-05,7.206514e-05,7.202501e-05,7.106808e-05,7.008425e-05,7.006471e-05,6.911371e-05,6.815655e-05,6.630100e-05,6.449829e-05,6.274844e-05,6.105129e-05,5.940653e-05,5.781371e-05,5.627228e-05,5.478157e-05,5.334082e-05,5.194921e-05,5.060585e-05,4.930981e-05,4.806009e-05,4.685569e-05,4.569556e-05,4.457865e-05,4.350386e-05,4.247012e-05,4.147635e-05,4.052144e-05,3.960432e-05,3.872390e-05,3.787912e-05,3.706891e-05,3.629224e-05,3.554806e-05,3.483536e-05,3.415316e-05,3.350047e-05,3.287633e-05,3.227981e-05,3.170999e-05,3.116597e-05,3.064689e-05,3.015189e-05,2.968013e-05,2.923081e-05,2.880315e-05,2.839637e-05,2.800973e-05,2.764252e-05,2.729401e-05,2.696354e-05,2.665044e-05,2.635407e-05,2.607380e-05,2.580904e-05,2.555918e-05,2.532368e-05
0.000000e+00,1.423692e-09,1.859159e-08,1.938026e-08,1.065732e-07,3.200727e-07,3.321159e-07,6.970842e-07,1.096974e-06,1.122826e-06,1.546926e-06,1.918748e-06,1.950113e-06,2.328799e-06,2.648598e-06,2.682924e-06,3.013251e-06,3.285021e-06,3.320750e-06,3.606446e-06,3.835492e-06,3.871367e-06,4.116462e-06,4.307741e-06,4.342717e-06,4.551112e-06,4.709337e-06,4.742598e-06,4.918089e-06,5.047555e-06,5.078460e-06,5.224551e-06,5.329104e-06,5.357161e-06,5.477053e-06,5.560114e-06,5.584955e-06,5.681557e-06,5.746158e-06,5.767520e-06,5.843467e-06,5.892284e-06,5.909995e-06,5.967666e-06,6.003055e-06,6.017017e-06,6.058556e-06,6.082588e-06,6.092766e-06,6.120102e-06,6.134591e-06,6.140999e-06,6.155868e-06,6.162400e-06,6.165096e-06,6.169052e-06,6.169011e-06,6.168085e-06,6.162525e-06,6.157114e-06,6.152683e-06,6.138856e-06,6.129121e-06,6.121322e-06,6.100346e-06,6.087189e-06,6.076177e-06,6.049051e-06,6.033253e-06,6.019191e-06,5.986807e-06,5.969037e-06,5.952098e-06,5.915252e-06,5.896083e-06,5.876445e-06,5.835844e-06,5.815765e-06,5.793607e-06,5.749882e-06,5.729308e-06,5.704809e-06,5.658520e-06,5.637800e-06,5.611138e-06,5.562781e-06,5.542207e-06,5.513558e-06,5.463573e-06,5.443388e-06,5.412923e-06,5.361698e-06,5.342101e-06,5.309986e-06,5.257866e-06,5.239017e-06,5.205413e-06,5.152699e-06,5.134729e-06,5.099790e-06,5.046748e-06,5.029756e-06,4.993631e-06,4.940494e-06,4.924556e-06,4.887387e-06,4.834357e-06,4.819529e-06,4.781450e-06,4.728706e-06,4.715024e-06,4.676164e-06,4.623858e-06,4.611344e-06,4.571824e-06,4.520090e-06,4.508752e-06,4.468686e-06,4.417638e-06,4.407473e-06,4.366970e-06,4.316704e-06,4.307701e-06,4.266862e-06,4.217462e-06,4.209600e-06,4.168521e-06,4.120055e-06,4.113309e-06,4.072079e-06,4.024605e-06,4.018943e-06,3.977646e-06,3.931212e-06,3.926598e-06,3.885312e-06,3.839955e-06,3.836350e-06,3.795147e-06,3.750897e-06,3.748260e-06,3.707209e-06,3.664088e-06,3.662375e-06,3.621538e-06,3.579563e-06,3.578729e-06,3.538164e-06,3.497345e-06,3.418235e-06,3.341405e-06,3.266851e-06,3.194564e-06,3.124529e-06,3.056726e-06,2.991130e-06,2.927713e-06,2.866443e-06,2.807287e-06,2.750209e-06,2.695170e-06,2.642131e-06,2.591050e-06,2.541888e-06,2.494600e-06,2.449143e-06,2.405475e-06,2.363552e-06,2.323330e-06,2.284766e-06,2.247817e-06,2.212438e-06,2.178588e-06,2.146224e-06,2.115304e-06,2.085786e-06,2.057631e-06,2.030797e-06,2.005245e-06,1.980936e-06,1.957832e-06,1.935894e-06,1.915087e-06,1.895372e-06,1.876716e-06,1.859082e-06,1.842437e-06,1.826748e-06,1.811980e-06,1.798102e-06,1.785083e-06,1.772891e-06,1.761497e-06,1.750872e-06,1.740985e-06,1.731810e-06,1.723318e-06,1.715483e-06
0.000000e+00,1.905230e-08,3.582716e-07,3.747045e-07,2.519196e-06,1.012856e-05,1.065291e-05,3.170806e-05,6.770069e-05,7.051255e-05,1.237664e-04,1.780513e-04,1.828109e-04,2.413428e-04,2.914324e-04,2.968144e-04,3.485133e-04,3.908131e-04,3.963527e-04,4.404374e-04,4.754694e-04,4.809284e-04,5.180023e-04,5.466342e-04,5.518375e-04,5.826097e-04,6.056773e-04,6.104898e-04,6.356433e-04,6.539102e-04,6.582295e-04,6.784014e-04,6.925540e-04,6.963056e-04,7.120819e-04,7.227310e-04,7.258636e-04,7.377774e-04,7.454623e-04,7.479440e-04,7.564774e-04,7.616714e-04,7.634862e-04,7.690730e-04,7.721898e-04,7.733348e-04,7.763636e-04,7.777634e-04,7.782462e-04,7.790647e-04,7.790599e-04,7.788967e-04,7.778152e-04,7.766758e-04,7.758894e-04,7.731843e-04,7.711429e-04,7.697613e-04,7.656782e-04,7.629344e-04,7.609896e-04,7.557466e-04,7.524708e-04,7.499975e-04,7.437877e-04,7.401250e-04,7.371599e-04,7.301541e-04,7.262272e-04,7.228080e-04,7.151568e-04,7.110687e-04,7.072337e-04,6.990698e-04,6.949067e-04,6.906941e-04,6.821338e-04,6.779669e-04,6.734145e-04,6.645598e-04,6.604474e-04,6.555921e-04,6.465321e-04,6.425215e-04,6.373991e-04,6.282112e-04,6.243399e-04,6.189850e-04,6.097363e-04,6.060337e-04,6.004793e-04,5.912276e-04,5.877159e-04,5.819935e-04,5.727885e-04,5.694839e-04,5.636233e-04,5.545074e-04,5.514210e-04,5.454501e-04,5.364593e-04,5.335976e-04,5.275428e-04,5.187073e-04,5.160734e-04,5.099591e-04,5.013040e-04,4.988980e-04,4.927471e-04,4.842930e-04,4.821123e-04,4.759458e-04,4.677093e-04,4.657494e-04,4.595868e-04,4.515812e-04,4.498359e-04,4.436949e-04,4.359302e-04,4.343920e-04,4.282889e-04,4.207725e-04,4.194330e-04,4.133824e-04,4.061196e-04,4.049694e-04,3.989848e-04,3.919786e-04,3.910080e-04,3.851013e-04,3.783530e-04,3.775519e-04,3.717337e-04,3.652432e-04,3.646012e-04,3.588811e-04,3.526468e-04,3.521536e-04,3.465399e-04,3.405593e-04,3.402045e-04,3.347043e-04,3.289739e-04,3.287473e-04,3.233671e-04,3.178825e-04,3.177740e-04,3.125191e-04,3.072754e-04,2.972410e-04,2.876594e-04,2.785187e-04,2.698065e-04,2.615097e-04,2.536152e-04,2.461095e-04,2.389792e-04,2.322107e-04,2.257907e-04,2.197059e-04,2.139431e-04,2.084896e-04,2.033326e-04,1.984597e-04,1.938588e-04,1.895182e-04,1.854263e-04,1.815721e-04,1.779447e-04,1.745339e-04,1.713295e-04,1.683218e-04,1.655014e-04,1.628594e-04,1.603870e-04,1.580759e-04,1.559181e-04,1.539060e-04,1.520322e-04,1.502895e-04,1.486714e-04,1.471713e-04,1.457830e-04,1.445006e-04,1.433185e-04,1.422314e-04,1.412339e-04,1.403213e-04,1.394889e-04,1.387322e-04,1.380469e-04,1.374290e-04,1.368746e-04,1.363801e-04,1.359419e-04,1.355568e-04,1.352215e-04,1.349332e-04
0.000000e+00,2.726868e-09,3.465376e-08,3.611106e-08,1.999623e-07,6.280073e-07,6.532071e-07,1.463471e-06,2.429020e-06,2.493105e-06,3.555709e-06,4.490290e-06,4.568875e-06,5.512447e-06,6.300076e-06,6.384040e-06,7.185718e-06,7.835895e-06,7.920682e-06,8.592373e-06,9.122045e-06,9.204220e-06,9.759409e-06,1.018439e-05,1.026123e-05,1.071292e-05,1.104811e-05,1.111763e-05,1.147837e-05,1.173723e-05,1.179800e-05,1.207927e-05,1.227369e-05,1.232475e-05,1.253690e-05,1.267728e-05,1.271804e-05,1.287035e-05,1.296571e-05,1.299588e-05,1.309657e-05,1.315471e-05,1.317424e-05,1.323060e-05,1.325823e-05,1.326725e-05,1.328570e-05,1.328857e-05,1.328736e-05,1.327355e-05,1.325658e-05,1.324553e-05,1.320444e-05,1.317180e-05,1.315139e-05,1.308738e-05,1.304262e-05,1.301338e-05,1.293026e-05,1.287637e-05,1.283887e-05,1.273999e-05,1.267949e-05,1.263433e-05,1.252258e-05,1.245758e-05,1.240537e-05,1.228329e-05,1.221553e-05,1.215688e-05,1.202667e-05,1.195761e-05,1.189312e-05,1.175668e-05,1.168751e-05,1.161776e-05,1.147674e-05,1.140842e-05,1.133398e-05,1.118981e-05,1.112310e-05,1.104452e-05,1.089841e-05,1.083392e-05,1.075173e-05,1.060472e-05,1.054293e-05,1.045761e-05,1.031060e-05,1.025187e-05,1.016388e-05,1.001763e-05,9.962203e-06,9.871991e-06,9.727124e-06,9.675185e-06,9.583157e-06,9.440213e-06,9.391865e-06,9.298401e-06,9.157822e-06,9.113113e-06,9.018567e-06,8.880718e-06,8.839649e-06,8.744348e-06,8.609524e-06,8.572059e-06,8.476304e-06,8.344741e-06,8.310812e-06,8.214880e-06,8.086761e-06,8.056276e-06,7.960419e-06,7.835885e-06,7.808732e-06,7.713182e-06,7.592332e-06,7.568385e-06,7.473351e-06,7.356253e-06,7.335376e-06,7.241047e-06,7.127740e-06,7.109787e-06,7.016335e-06,6.906832e-06,6.891654e-06,6.799232e-06,6.693528e-06,6.680971e-06,6.589716e-06,6.487787e-06,6.477698e-06,6.387733e-06,6.289541e-06,6.281765e-06,6.193198e-06,6.098691e-06,6.093079e-06,6.006005e-06,5.915123e-06,5.911525e-06,5.826027e-06,5.738700e-06,5.736972e-06,5.653122e-06,5.569274e-06,5.408275e-06,5.253810e-06,5.105707e-06,4.963791e-06,4.827883e-06,4.697801e-06,4.573365e-06,4.454392e-06,4.340702e-06,4.232116e-06,4.128458e-06,4.029555e-06,3.935236e-06,3.845334e-06,3.759686e-06,3.678133e-06,3.600520e-06,3.526695e-06,3.456513e-06,3.389832e-06,3.326512e-06,3.266421e-06,3.209429e-06,3.155411e-06,3.104246e-06,3.055817e-06,3.010011e-06,2.966720e-06,2.925839e-06,2.887266e-06,2.850903e-06,2.816657e-06,2.784437e-06,2.754156e-06,2.725730e-06,2.699078e-06,2.674123e-06,2.650789e-06,2.629004e-06,2.608700e-06,2.589809e-06,2.572268e-06,2.556016e-06,2.540992e-06,2.527140e-06,2.514406e-06,2.502737e-06,2.492083e-06,2.482394e-06
0.000000e+00,8.242431e-09,2.633276e-07,2.779150e-07,2.732726e-06,1.433212e-05,1.521923e-05,5.580630e-05,1.385528e-04,1.455449e-04,2.911252e-04,4.654746e-04,4.820108e-04,7.009325e-04,9.086875e-04,9.319654e-04,1.163330e-03,1.361039e-03,1.387363e-03,1.599573e-03,1.770797e-03,1.797625e-03,1.980556e-03,2.122413e-03,2.148224e-03,2.300963e-03,2.415481e-03,2.439367e-03,2.564158e-03,2.654715e-03,2.676119e-03,2.776044e-03,2.846138e-03,2.864721e-03,2.942911e-03,2.995772e-03,3.011343e-03,3.070715e-03,3.109204e-03,3.121683e-03,3.164870e-03,3.191477e-03,3.200861e-03,3.230203e-03,3.247063e-03,3.253411e-03,3.270965e-03,3.279903e-03,3.283315e-03,3.290881e-03,3.293444e-03,3.294053e-03,3.293197e-03,3.290692e-03,3.288651e-03,3.280733e-03,3.274261e-03,3.269737e-03,3.255937e-03,3.246417e-03,3.239587e-03,3.220924e-03,3.209127e-03,3.200168e-03,3.177524e-03,3.164090e-03,3.153182e-03,3.127317e-03,3.112774e-03,3.100092e-03,3.071660e-03,3.056445e-03,3.042161e-03,3.011724e-03,2.996192e-03,2.980471e-03,2.948512e-03,2.932952e-03,2.915952e-03,2.882884e-03,2.867527e-03,2.849397e-03,2.815573e-03,2.800603e-03,2.781485e-03,2.747204e-03,2.732763e-03,2.712792e-03,2.678308e-03,2.664506e-03,2.643805e-03,2.609333e-03,2.596251e-03,2.574936e-03,2.540656e-03,2.528351e-03,2.506531e-03,2.472594e-03,2.461104e-03,2.438877e-03,2.405408e-03,2.394755e-03,2.372213e-03,2.339315e-03,2.329507e-03,2.306735e-03,2.274491e-03,2.265526e-03,2.242601e-03,2.211079e-03,2.202945e-03,2.179939e-03,2.149191e-03,2.141871e-03,2.118847e-03,2.088914e-03,2.082385e-03,2.059401e-03,2.030314e-03,2.024548e-03,2.001657e-03,1.973437e-03,1.968403e-03,1.945654e-03,1.918313e-03,1.913980e-03,1.891415e-03,1.864962e-03,1.861293e-03,1.838952e-03,1.813387e-03,1.810349e-03,1.788265e-03,1.763585e-03,1.761141e-03,1.739345e-03,1.715544e-03,1.713659e-03,1.692178e-03,1.669245e-03,1.667883e-03,1.646741e-03,1.624664e-03,1.623789e-03,1.603008e-03,1.581770e-03,1.581350e-03,1.560947e-03,1.540532e-03,1.501302e-03,1.463622e-03,1.427453e-03,1.392754e-03,1.359486e-03,1.327605e-03,1.297071e-03,1.267841e-03,1.239874e-03,1.213127e-03,1.187560e-03,1.163132e-03,1.139804e-03,1.117537e-03,1.096292e-03,1.076032e-03,1.056721e-03,1.038323e-03,1.020803e-03,1.004129e-03,9.882676e-04,9.731871e-04,9.588569e-04,9.452474e-04,9.323299e-04,9.200767e-04,9.084608e-04,8.974562e-04,8.870379e-04,8.771817e-04,8.678640e-04,8.590624e-04,8.507551e-04,8.429210e-04,8.355398e-04,8.285921e-04,8.220591e-04,8.159225e-04,8.101649e-04,8.047695e-04,7.997200e-04,7.950009e-04,7.905971e-04,7.864941e-04,7.826781e-04,7.791355e-04,7.758536e-04,7.728200e-04,7.700227e-04
0.000000e+00,2.181424e-08,8.463775e-07,8.967639e-07,9.853561e-06,4.932144e-05,5.214008e-05,1.636847e-04,3.402960e-04,3.535352e-04,5.973317e-04,8.421231e-04,8.636384e-04,1.129080e-03,1.355827e-03,1.380044e-03,1.609983e-03,1.793034e-03,1.816576e-03,1.999755e-03,2.139322e-03,2.160536e-03,2.300401e-03,2.402921e-03,2.420987e-03,2.523938e-03,2.596307e-03,2.610830e-03,2.683151e-03,2.731450e-03,2.742285e-03,2.789511e-03,2.818843e-03,2.826009e-03,2.852861e-03,2.867430e-03,2.871059e-03,2.881510e-03,2.884747e-03,2.885044e-03,2.882413e-03,2.877092e-03,2.874307e-03,2.861351e-03,2.849701e-03,2.844111e-03,2.823104e-03,2.806909e-03,2.798798e-03,2.771617e-03,2.752290e-03,2.741943e-03,2.710125e-03,2.688783e-03,2.676477e-03,2.641280e-03,2.618795e-03,2.604793e-03,2.567243e-03,2.544292e-03,2.528840e-03,2.489770e-03,2.466870e-03,2.450200e-03,2.410280e-03,2.387823e-03,2.370145e-03,2.329915e-03,2.308189e-03,2.289697e-03,2.249585e-03,2.228798e-03,2.209666e-03,2.170012e-03,2.150307e-03,2.130692e-03,2.091761e-03,2.073228e-03,2.053271e-03,2.015266e-03,1.997957e-03,1.977784e-03,1.940858e-03,1.924794e-03,1.904516e-03,1.868780e-03,1.853957e-03,1.833672e-03,1.799205e-03,1.785602e-03,1.765394e-03,1.732248e-03,1.719829e-03,1.699775e-03,1.667978e-03,1.656697e-03,1.636861e-03,1.606425e-03,1.596231e-03,1.576669e-03,1.547590e-03,1.538428e-03,1.519186e-03,1.491452e-03,1.483261e-03,1.464381e-03,1.437968e-03,1.430689e-03,1.412204e-03,1.387082e-03,1.380654e-03,1.362593e-03,1.338728e-03,1.333092e-03,1.315477e-03,1.292831e-03,1.287929e-03,1.270778e-03,1.249309e-03,1.245085e-03,1.228413e-03,1.208079e-03,1.204477e-03,1.188295e-03,1.169051e-03,1.166022e-03,1.150336e-03,1.132139e-03,1.129632e-03,1.114448e-03,1.097253e-03,1.095222e-03,1.080542e-03,1.064305e-03,1.062707e-03,1.048531e-03,1.033209e-03,1.032002e-03,1.018328e-03,1.003878e-03,1.003025e-03,9.898489e-04,9.762304e-04,9.756940e-04,9.630123e-04,9.501849e-04,9.499323e-04,9.377384e-04,9.256634e-04,9.028140e-04,8.813137e-04,8.610943e-04,8.420910e-04,8.242411e-04,8.074848e-04,7.917649e-04,7.770269e-04,7.632185e-04,7.502901e-04,7.381944e-04,7.268862e-04,7.163226e-04,7.064629e-04,6.972681e-04,6.887014e-04,6.807277e-04,6.733137e-04,6.664277e-04,6.600397e-04,6.541212e-04,6.486452e-04,6.435860e-04,6.389191e-04,6.346216e-04,6.306715e-04,6.270481e-04,6.237316e-04,6.207035e-04,6.179461e-04,6.154425e-04,6.131770e-04,6.111346e-04,6.093010e-04,6.076628e-04,6.062072e-04,6.049221e-04,6.037963e-04,6.028188e-04,6.019796e-04,6.012689e-04,6.006777e-04,6.001975e-04,5.998199e-04,5.995375e-04,5.993430e-04,5.992296e-04,5.991909e-04,5.992207e-04
0.000000e+00,5.157968e-10,5.839024e-09,6.077414e-09,3.358133e-08,1.114004e-07,1.161841e-07,2.788619e-07,4.900471e-07,5.045417e-07,7.498046e-07,9.695977e-07,9.881621e-07,1.211659e-06,1.398865e-06,1.418853e-06,1.609990e-06,1.765444e-06,1.785748e-06,1.946905e-06,2.074430e-06,2.094258e-06,2.228593e-06,2.331933e-06,2.350673e-06,2.461236e-06,2.543801e-06,2.560989e-06,2.650605e-06,2.715432e-06,2.730727e-06,2.801961e-06,2.851727e-06,2.864886e-06,2.920046e-06,2.957095e-06,2.967960e-06,3.009114e-06,3.035487e-06,3.043967e-06,3.072948e-06,3.090407e-06,3.096462e-06,3.114889e-06,3.124957e-06,3.128593e-06,3.137914e-06,3.141913e-06,3.143173e-06,3.144673e-06,3.143746e-06,3.142705e-06,3.137553e-06,3.132702e-06,3.129470e-06,3.118689e-06,3.110748e-06,3.105432e-06,3.089904e-06,3.079578e-06,3.072299e-06,3.052798e-06,3.040686e-06,3.031571e-06,3.008776e-06,2.995382e-06,2.984563e-06,2.959071e-06,2.944820e-06,2.932431e-06,2.904763e-06,2.890008e-06,2.876182e-06,2.846793e-06,2.831828e-06,2.816697e-06,2.785984e-06,2.771049e-06,2.754742e-06,2.723051e-06,2.708342e-06,2.690985e-06,2.658613e-06,2.644290e-06,2.626001e-06,2.593209e-06,2.579395e-06,2.560291e-06,2.527299e-06,2.514092e-06,2.494281e-06,2.461281e-06,2.448754e-06,2.428339e-06,2.395494e-06,2.383699e-06,2.362779e-06,2.330226e-06,2.319200e-06,2.297864e-06,2.265720e-06,2.255484e-06,2.233819e-06,2.202181e-06,2.192745e-06,2.170829e-06,2.139779e-06,2.131141e-06,2.109048e-06,2.078652e-06,2.070805e-06,2.048603e-06,2.018913e-06,2.011842e-06,1.989593e-06,1.960652e-06,1.954337e-06,1.932098e-06,1.903938e-06,1.898354e-06,1.876179e-06,1.848824e-06,1.843943e-06,1.821879e-06,1.795346e-06,1.791139e-06,1.769228e-06,1.743527e-06,1.739963e-06,1.718245e-06,1.693381e-06,1.690425e-06,1.668936e-06,1.644909e-06,1.642529e-06,1.621299e-06,1.598105e-06,1.596267e-06,1.575325e-06,1.552957e-06,1.551627e-06,1.530998e-06,1.509445e-06,1.508591e-06,1.488296e-06,1.467546e-06,1.467135e-06,1.447193e-06,1.427233e-06,1.388852e-06,1.351961e-06,1.316523e-06,1.282503e-06,1.249861e-06,1.218558e-06,1.188556e-06,1.159813e-06,1.132290e-06,1.105947e-06,1.080743e-06,1.056641e-06,1.033601e-06,1.011584e-06,9.905548e-07,9.704753e-07,9.513101e-07,9.330244e-07,9.155843e-07,8.989569e-07,8.831100e-07,8.680128e-07,8.536350e-07,8.399475e-07,8.269221e-07,8.145316e-07,8.027497e-07,7.915511e-07,7.809112e-07,7.708064e-07,7.612142e-07,7.521125e-07,7.434804e-07,7.352975e-07,7.275444e-07,7.202024e-07,7.132534e-07,7.066803e-07,7.004662e-07,6.945954e-07,6.890525e-07,6.838229e-07,6.788923e-07,6.742474e-07,6.698750e-07,6.657629e-07,6.618990e-07,6.582719e-07,6.548706e-07
0.000000e+00,1.664884e-08,3.683199e-07,3.859576e-07,2.780739e-06,1.190504e-05,1.255840e-05,4.056145e-05,9.418197e-05,9.861633e-05,1.879791e-04,2.869899e-04,2.959266e-04,4.075851e-04,5.038588e-04,5.141597e-04,6.121525e-04,6.905658e-04,7.006917e-04,7.799325e-04,8.410221e-04,8.503765e-04,9.126176e-04,9.590010e-04,9.672565e-04,1.014873e-03,1.049063e-03,1.056014e-03,1.091199e-03,1.115384e-03,1.120910e-03,1.145604e-03,1.161655e-03,1.165704e-03,1.181607e-03,1.191116e-03,1.193684e-03,1.202280e-03,1.206587e-03,1.207713e-03,1.210281e-03,1.210511e-03,1.210259e-03,1.207903e-03,1.204990e-03,1.203446e-03,1.197106e-03,1.191823e-03,1.189084e-03,1.179564e-03,1.172544e-03,1.168716e-03,1.156696e-03,1.148455e-03,1.143647e-03,1.129702e-03,1.120658e-03,1.114979e-03,1.099591e-03,1.090081e-03,1.083638e-03,1.067213e-03,1.057503e-03,1.050398e-03,1.033273e-03,1.023573e-03,1.015906e-03,9.983601e-04,9.888321e-04,9.806942e-04,9.629600e-04,9.537270e-04,9.452046e-04,9.274707e-04,9.186239e-04,9.097965e-04,8.922165e-04,8.838206e-04,8.747613e-04,8.574585e-04,8.495571e-04,8.403323e-04,8.234045e-04,8.160240e-04,8.066939e-04,7.902172e-04,7.833703e-04,7.739889e-04,7.580214e-04,7.517099e-04,7.423255e-04,7.269100e-04,7.211273e-04,7.117826e-04,6.969492e-04,6.916821e-04,6.824147e-04,6.681828e-04,6.634134e-04,6.542562e-04,6.406365e-04,6.363432e-04,6.273246e-04,6.143206e-04,6.104794e-04,6.016239e-04,5.892332e-04,5.858184e-04,5.771466e-04,5.653620e-04,5.623472e-04,5.538766e-04,5.426872e-04,5.400454e-04,5.317902e-04,5.211820e-04,5.188866e-04,5.108584e-04,5.008152e-04,4.988398e-04,4.910477e-04,4.815514e-04,4.798705e-04,4.723214e-04,4.633528e-04,4.619418e-04,4.546405e-04,4.461795e-04,4.450147e-04,4.379645e-04,4.299903e-04,4.290493e-04,4.222518e-04,4.147437e-04,4.140053e-04,4.074607e-04,4.003977e-04,3.998420e-04,3.935494e-04,3.869107e-04,3.865189e-04,3.804764e-04,3.742415e-04,3.739962e-04,3.682009e-04,3.623497e-04,3.622345e-04,3.566829e-04,3.511959e-04,3.408430e-04,3.311399e-04,3.220520e-04,3.135458e-04,3.055894e-04,2.981519e-04,2.912041e-04,2.847181e-04,2.786670e-04,2.730257e-04,2.677700e-04,2.628770e-04,2.583251e-04,2.540938e-04,2.501636e-04,2.465162e-04,2.431343e-04,2.400014e-04,2.371021e-04,2.344218e-04,2.319467e-04,2.296640e-04,2.275613e-04,2.256273e-04,2.238511e-04,2.222225e-04,2.207319e-04,2.193704e-04,2.181294e-04,2.170010e-04,2.159778e-04,2.150527e-04,2.142191e-04,2.134707e-04,2.128019e-04,2.122071e-04,2.116812e-04,2.112194e-04,2.108172e-04,2.104703e-04,2.101748e-04,2.099269e-04,2.097232e-04,2.095604e-04,2.094354e-04,2.093453e-04,2.092875e-04,2.092595e-04,2.092588e-04
0.000000e+00,1.346003e-08,3.273463e-07,3.436206e-07,2.626807e-06,1.127023e-05,1.187926e-05,3.716556e-05,8.352270e-05,8.730882e-05,1.636698e-04,2.501804e-04,2.581307e-04,3.596421e-04,4.505434e-04,4.604634e-04,5.568421e-04,6.368524e-04,6.473950e-04,7.317956e-04,7.995162e-04,8.101242e-04,8.826026e-04,9.391575e-04,9.494967e-04,1.011083e-03,1.057816e-03,1.067637e-03,1.119424e-03,1.157597e-03,1.166705e-03,1.209727e-03,1.240482e-03,1.248729e-03,1.283940e-03,1.308300e-03,1.315579e-03,1.343853e-03,1.362727e-03,1.368961e-03,1.391092e-03,1.405284e-03,1.410425e-03,1.427131e-03,1.437349e-03,1.441371e-03,1.453299e-03,1.460164e-03,1.463061e-03,1.470793e-03,1.474850e-03,1.476629e-03,1.480692e-03,1.482416e-03,1.483100e-03,1.483964e-03,1.483771e-03,1.483390e-03,1.481478e-03,1.479727e-03,1.478321e-03,1.474010e-03,1.471014e-03,1.468628e-03,1.462256e-03,1.458283e-03,1.454968e-03,1.446836e-03,1.442117e-03,1.437926e-03,1.428304e-03,1.423038e-03,1.418027e-03,1.407154e-03,1.401510e-03,1.395736e-03,1.383824e-03,1.377945e-03,1.371466e-03,1.358705e-03,1.352711e-03,1.345584e-03,1.332141e-03,1.326135e-03,1.318415e-03,1.304440e-03,1.298504e-03,1.290248e-03,1.275870e-03,1.270073e-03,1.261335e-03,1.246669e-03,1.241067e-03,1.231899e-03,1.217047e-03,1.211685e-03,1.202136e-03,1.187186e-03,1.182098e-03,1.172217e-03,1.157247e-03,1.152459e-03,1.142292e-03,1.127367e-03,1.122898e-03,1.112488e-03,1.097668e-03,1.093531e-03,1.082919e-03,1.068253e-03,1.064455e-03,1.053680e-03,1.039211e-03,1.035754e-03,1.024854e-03,1.010617e-03,1.007502e-03,9.965086e-04,9.825353e-04,9.797574e-04,9.687035e-04,9.550190e-04,9.525718e-04,9.414869e-04,9.281120e-04,9.259869e-04,9.148985e-04,9.018501e-04,9.000367e-04,8.889701e-04,8.762614e-04,8.747480e-04,8.637266e-04,8.513678e-04,8.501417e-04,8.391869e-04,8.271853e-04,8.262330e-04,8.153644e-04,8.037251e-04,8.030325e-04,7.922681e-04,7.809938e-04,7.805466e-04,7.699025e-04,7.589943e-04,7.587780e-04,7.482689e-04,7.377261e-04,7.173875e-04,6.977566e-04,6.788256e-04,6.605848e-04,6.430232e-04,6.261284e-04,6.098871e-04,5.942850e-04,5.793071e-04,5.649381e-04,5.511619e-04,5.379623e-04,5.253231e-04,5.132276e-04,5.016594e-04,4.906019e-04,4.800389e-04,4.699540e-04,4.603311e-04,4.511546e-04,4.424087e-04,4.340783e-04,4.261483e-04,4.186042e-04,4.114316e-04,4.046165e-04,3.981455e-04,3.920051e-04,3.861826e-04,3.806655e-04,3.754416e-04,3.704992e-04,3.658269e-04,3.614136e-04,3.572486e-04,3.533216e-04,3.496227e-04,3.461420e-04,3.428705e-04,3.397989e-04,3.369187e-04,3.342214e-04,3.316990e-04,3.293438e-04,3.271481e-04,3.251047e-04,3.232068e-04,3.214476e-04,3.198206e-04
0.000000e+00,3.053579e-08,1.454617e-06,1.546079e-06,1.925789e-05,1.073244e-04,1.140181e-04,4.129305e-04,1.010871e-03,1.061786e-03,2.159459e-03,3.599074e-03,3.743734e-03,5.804951e-03,8.034238e-03,8.301936e-03,1.117469e-02,1.395843e-02,1.435368e-02,1.776642e-02,2.083407e-02,2.134189e-02,2.501349e-02,2.812748e-02,2.872075e-02,3.241032e-02,3.539011e-02,3.603626e-02,3.955999e-02,4.228395e-02,4.294995e-02,4.618111e-02,4.857867e-02,4.923433e-02,5.209574e-02,5.413626e-02,5.475605e-02,5.720992e-02,5.889162e-02,5.945539e-02,6.149326e-02,6.283365e-02,6.332664e-02,6.496048e-02,6.598882e-02,6.640117e-02,6.765621e-02,6.840781e-02,6.873390e-02,6.964308e-02,7.015528e-02,7.039293e-02,7.099282e-02,7.130238e-02,7.145212e-02,7.178011e-02,7.192152e-02,7.198588e-02,7.207828e-02,7.208287e-02,7.206584e-02,7.195674e-02,7.185227e-02,7.175880e-02,7.147945e-02,7.129008e-02,7.112570e-02,7.070420e-02,7.045063e-02,7.022118e-02,6.968250e-02,6.938222e-02,6.909364e-02,6.845972e-02,6.812737e-02,6.778553e-02,6.707552e-02,6.672321e-02,6.633383e-02,6.556431e-02,6.520198e-02,6.477054e-02,6.395583e-02,6.359153e-02,6.312326e-02,6.227565e-02,6.191581e-02,6.141563e-02,6.054564e-02,6.019536e-02,5.966791e-02,5.878449e-02,5.844771e-02,5.789730e-02,5.700809e-02,5.668779e-02,5.611845e-02,5.522987e-02,5.492824e-02,5.434371e-02,5.346120e-02,5.317975e-02,5.258347e-02,5.171157e-02,5.145128e-02,5.084643e-02,4.998891e-02,4.975028e-02,4.913979e-02,4.829978e-02,4.808294e-02,4.746950e-02,4.664954e-02,4.645434e-02,4.584040e-02,4.504254e-02,4.486857e-02,4.425637e-02,4.348225e-02,4.332890e-02,4.272049e-02,4.197136e-02,4.183787e-02,4.123510e-02,4.051191e-02,4.039742e-02,3.980196e-02,3.910539e-02,3.900894e-02,3.842230e-02,3.775279e-02,3.767336e-02,3.709691e-02,3.645470e-02,3.639123e-02,3.582617e-02,3.521134e-02,3.516274e-02,3.461018e-02,3.402265e-02,3.398783e-02,3.344871e-02,3.288830e-02,3.286616e-02,3.234134e-02,3.180776e-02,3.179722e-02,3.128744e-02,3.078030e-02,2.981455e-02,2.889902e-02,2.803263e-02,2.721424e-02,2.644262e-02,2.571652e-02,2.503462e-02,2.439556e-02,2.379798e-02,2.324048e-02,2.272166e-02,2.224009e-02,2.179435e-02,2.138302e-02,2.100468e-02,2.065791e-02,2.034131e-02,2.005346e-02,1.979299e-02,1.955852e-02,1.934869e-02,1.916216e-02,1.899761e-02,1.885374e-02,1.872927e-02,1.862296e-02,1.853358e-02,1.845994e-02,1.840087e-02,1.835524e-02,1.832197e-02,1.829998e-02,1.828826e-02,1.828582e-02,1.829171e-02,1.830503e-02,1.832491e-02,1.835053e-02,1.838111e-02,1.841592e-02,1.845426e-02,1.849547e-02,1.853896e-02,1.858414e-02,1.863051e-02,1.867757e-02,1.872488e-02,1.877203e-02,1.881866e-02
0.000000e+00,1.027060e-08,3.179916e-07,3.352786e-07,3.089502e-06,1.501515e-05,1.589454e-05,5.428964e-05,1.285390e-04,1.347023e-04,2.608657e-04,4.078338e-04,4.215634e-04,5.999210e-04,7.631012e-04,7.809971e-04,9.543536e-04,1.095549e-03,1.113832e-03,1.256448e-03,1.364881e-03,1.381292e-03,1.488683e-03,1.566114e-03,1.579606e-03,1.655364e-03,1.707159e-03,1.717368e-03,1.767026e-03,1.798768e-03,1.805680e-03,1.834580e-03,1.851092e-03,1.854872e-03,1.867599e-03,1.872793e-03,1.873700e-03,1.874020e-03,1.870984e-03,1.869316e-03,1.860266e-03,1.851398e-03,1.847470e-03,1.831466e-03,1.818611e-03,1.812730e-03,1.791683e-03,1.776244e-03,1.768699e-03,1.744109e-03,1.727142e-03,1.718203e-03,1.691239e-03,1.673531e-03,1.663441e-03,1.635009e-03,1.617140e-03,1.606117e-03,1.576917e-03,1.559305e-03,1.547542e-03,1.518107e-03,1.501048e-03,1.488714e-03,1.459449e-03,1.443145e-03,1.430387e-03,1.401593e-03,1.386175e-03,1.373121e-03,1.345018e-03,1.330564e-03,1.317324e-03,1.290071e-03,1.276619e-03,1.263287e-03,1.236993e-03,1.224551e-03,1.211206e-03,1.185941e-03,1.174497e-03,1.161207e-03,1.137011e-03,1.126537e-03,1.113359e-03,1.090251e-03,1.080708e-03,1.067687e-03,1.045668e-03,1.037011e-03,1.024188e-03,1.003245e-03,9.954255e-04,9.828314e-04,9.629421e-04,9.559088e-04,9.435695e-04,9.247058e-04,9.184066e-04,9.063427e-04,8.884711e-04,8.828545e-04,8.710818e-04,8.541652e-04,8.491809e-04,8.377116e-04,8.217110e-04,8.173106e-04,8.061534e-04,7.910286e-04,7.871659e-04,7.763266e-04,7.620373e-04,7.586681e-04,7.481504e-04,7.346560e-04,7.317390e-04,7.215442e-04,7.088052e-04,7.063013e-04,6.964292e-04,6.844067e-04,6.822795e-04,6.727284e-04,6.613848e-04,6.596003e-04,6.503671e-04,6.396661e-04,6.381928e-04,6.292733e-04,6.191800e-04,6.179886e-04,6.093780e-04,5.998589e-04,5.989222e-04,5.906149e-04,5.816380e-04,5.809312e-04,5.729208e-04,5.644558e-04,5.639558e-04,5.562357e-04,5.482535e-04,5.479391e-04,5.405023e-04,5.329754e-04,5.328271e-04,5.256663e-04,5.185687e-04,5.051152e-04,4.924205e-04,4.804413e-04,4.691364e-04,4.584668e-04,4.483960e-04,4.388893e-04,4.299140e-04,4.214394e-04,4.134364e-04,4.058776e-04,3.987374e-04,3.919913e-04,3.856166e-04,3.795916e-04,3.738962e-04,3.685112e-04,3.634186e-04,3.586016e-04,3.540442e-04,3.497313e-04,3.456490e-04,3.417838e-04,3.381234e-04,3.346559e-04,3.313703e-04,3.282562e-04,3.253036e-04,3.225036e-04,3.198472e-04,3.173264e-04,3.149335e-04,3.126611e-04,3.105026e-04,3.084514e-04,3.065016e-04,3.046474e-04,3.028834e-04,3.012047e-04,2.996065e-04,2.980843e-04,2.966338e-04,2.952512e-04,2.939327e-04,2.926747e-04,2.914739e-04,2.903273e-04,2.892318e-04,2.881847e-04
0.000000e+00,2.723407e-08,6.690155e-07,7.026167e-07,5.383752e-06,2.201062e-05,2.313379e-05,6.651578e-05,1.366592e-04,1.420389e-04,2.432231e-04,3.467735e-04,3.559029e-04,4.687358e-04,5.658475e-04,5.762990e-04,6.767944e-04,7.591053e-04,7.698888e-04,8.557340e-04,9.239884e-04,9.346275e-04,1.006906e-03,1.062761e-03,1.072916e-03,1.132997e-03,1.178073e-03,1.187483e-03,1.236697e-03,1.272481e-03,1.280949e-03,1.320539e-03,1.348364e-03,1.355749e-03,1.386852e-03,1.407902e-03,1.414105e-03,1.437753e-03,1.453069e-03,1.458028e-03,1.475152e-03,1.485646e-03,1.489332e-03,1.500765e-03,1.507235e-03,1.509639e-03,1.516133e-03,1.519274e-03,1.520413e-03,1.522639e-03,1.523054e-03,1.522958e-03,1.521511e-03,1.519721e-03,1.518432e-03,1.513845e-03,1.510296e-03,1.507869e-03,1.500614e-03,1.495691e-03,1.492186e-03,1.482683e-03,1.476715e-03,1.472197e-03,1.460817e-03,1.454084e-03,1.448624e-03,1.435695e-03,1.428433e-03,1.422102e-03,1.407914e-03,1.400322e-03,1.393194e-03,1.378001e-03,1.370246e-03,1.362393e-03,1.346420e-03,1.338638e-03,1.330133e-03,1.313576e-03,1.305882e-03,1.296793e-03,1.279824e-03,1.272309e-03,1.262706e-03,1.245474e-03,1.238210e-03,1.228159e-03,1.210793e-03,1.203838e-03,1.193402e-03,1.176014e-03,1.169411e-03,1.158651e-03,1.141336e-03,1.135118e-03,1.124089e-03,1.106930e-03,1.101118e-03,1.089875e-03,1.072941e-03,1.067550e-03,1.056142e-03,1.039492e-03,1.034527e-03,1.023002e-03,1.006685e-03,1.002148e-03,9.905491e-04,9.746045e-04,9.704912e-04,9.588590e-04,9.433199e-04,9.396220e-04,9.279937e-04,9.128861e-04,9.095923e-04,8.980022e-04,8.833461e-04,8.804426e-04,8.689218e-04,8.547322e-04,8.522032e-04,8.407801e-04,8.270674e-04,8.248958e-04,8.135960e-04,8.003668e-04,7.985341e-04,7.873807e-04,7.746382e-04,7.731254e-04,7.621392e-04,7.498834e-04,7.486712e-04,7.378704e-04,7.260992e-04,7.251680e-04,7.145688e-04,7.032777e-04,7.026078e-04,6.922245e-04,6.814073e-04,6.809795e-04,6.708242e-04,6.604730e-04,6.602684e-04,6.503516e-04,6.404575e-04,6.215277e-04,6.034581e-04,5.862265e-04,5.698095e-04,5.541829e-04,5.393220e-04,5.252016e-04,5.117965e-04,4.990811e-04,4.870303e-04,4.756189e-04,4.648221e-04,4.546153e-04,4.449746e-04,4.358764e-04,4.272977e-04,4.192160e-04,4.116095e-04,4.044571e-04,3.977381e-04,3.914326e-04,3.855214e-04,3.799857e-04,3.748078e-04,3.699702e-04,3.654563e-04,3.612500e-04,3.573360e-04,3.536995e-04,3.503263e-04,3.472027e-04,3.443158e-04,3.416530e-04,3.392023e-04,3.369524e-04,3.348923e-04,3.330115e-04,3.313001e-04,3.297485e-04,3.283476e-04,3.270888e-04,3.259638e-04,3.249646e-04,3.240838e-04,3.233143e-04,3.226492e-04,3.220820e-04,3.216067e-04,3.212172e-04
0.000000e+00,5.537709e-08,2.452705e-06,2.604990e-06,3.263036e-05,1.903048e-04,2.025809e-04,7.665048e-04,1.932356e-03,2.032986e-03,4.239113e-03,7.216532e-03,7.520209e-03,1.192586e-02,1.684139e-02,1.744147e-02,2.400686e-02,3.058108e-02,3.153110e-02,3.990390e-02,4.769122e-02,4.900446e-02,5.870794e-02,6.723400e-02,6.889038e-02,7.943218e-02,8.826521e-02,9.022051e-02,1.011509e-01,1.099332e-01,1.121282e-01,1.230670e-01,1.315235e-01,1.338916e-01,1.445362e-01,1.524704e-01,1.549439e-01,1.650668e-01,1.723505e-01,1.748647e-01,1.843053e-01,1.908664e-01,1.933626e-01,2.020168e-01,2.078270e-01,2.102536e-01,2.180633e-01,2.231271e-01,2.254406e-01,2.323835e-01,2.367285e-01,2.388935e-01,2.449744e-01,2.486438e-01,2.506324e-01,2.558756e-01,2.589222e-01,2.607135e-01,2.651571e-01,2.676387e-01,2.692179e-01,2.729087e-01,2.748849e-01,2.762425e-01,2.792327e-01,2.807622e-01,2.818930e-01,2.842373e-01,2.853766e-01,2.862793e-01,2.880327e-01,2.888350e-01,2.895112e-01,2.907279e-01,2.912423e-01,2.916961e-01,2.924284e-01,2.926998e-01,2.929373e-01,2.932348e-01,2.933038e-01,2.933325e-01,2.932418e-01,2.931450e-01,2.929736e-01,2.925383e-01,2.923081e-01,2.919460e-01,2.912063e-01,2.908713e-01,2.903287e-01,2.893219e-01,2.889073e-01,2.881945e-01,2.869547e-01,2.864823e-01,2.856101e-01,2.841682e-01,2.836570e-01,2.826361e-01,2.810205e-01,2.804870e-01,2.793279e-01,2.775644e-01,2.770224e-01,2.757358e-01,2.738476e-01,2.733090e-01,2.719051e-01,2.699133e-01,2.693879e-01,2.678769e-01,2.658004e-01,2.652965e-01,2.636880e-01,2.615438e-01,2.610683e-01,2.593717e-01,2.571752e-01,2.567333e-01,2.549578e-01,2.527227e-01,2.523187e-01,2.504729e-01,2.482113e-01,2.478486e-01,2.459408e-01,2.436637e-01,2.433446e-01,2.413826e-01,2.390998e-01,2.388258e-01,2.368173e-01,2.345373e-01,2.343095e-01,2.322615e-01,2.299918e-01,2.298105e-01,2.277299e-01,2.254772e-01,2.253424e-01,2.232354e-01,2.210057e-01,2.209168e-01,2.187894e-01,2.165878e-01,2.165439e-01,2.144019e-01,2.122328e-01,2.079911e-01,2.038256e-01,1.997419e-01,1.957449e-01,1.918386e-01,1.880263e-01,1.843107e-01,1.806938e-01,1.771773e-01,1.737622e-01,1.704493e-01,1.672388e-01,1.641307e-01,1.611247e-01,1.582201e-01,1.554162e-01,1.527119e-01,1.501059e-01,1.475969e-01,1.451831e-01,1.428631e-01,1.406349e-01,1.384966e-01,1.364462e-01,1.344817e-01,1.326009e-01,1.308017e-01,1.290818e-01,1.274390e-01,1.258709e-01,1.243753e-01,1.229499e-01,1.215924e-01,1.203004e-01,1.190716e-01,1.179038e-01,1.167947e-01,1.157420e-01,1.147435e-01,1.137969e-01,1.129003e-01,1.120513e-01,1.112480e-01,1.104883e-01,1.097701e-01,1.090916e-01,1.084508e-01,1.078458e-01,1.072749e-01
0.000000e+00,1.771059e-08,3.606145e-07,3.786591e-07,2.917380e-06,1.134622e-05,1.188050e-05,2.976681e-05,5.102433e-05,5.240993e-05,7.499770e-05,9.442049e-05,9.603950e-05,1.153328e-04,1.312438e-04,1.329298e-04,1.489261e-04,1.617591e-04,1.634228e-04,1.765184e-04,1.867322e-04,1.883074e-04,1.988798e-04,2.068827e-04,2.083206e-04,2.167104e-04,2.228592e-04,2.241251e-04,2.306359e-04,2.352387e-04,2.363095e-04,2.412086e-04,2.445300e-04,2.453917e-04,2.489136e-04,2.511794e-04,2.518252e-04,2.541743e-04,2.555769e-04,2.560055e-04,2.573601e-04,2.580622e-04,2.582768e-04,2.587917e-04,2.589311e-04,2.589383e-04,2.587478e-04,2.584406e-04,2.582492e-04,2.574696e-04,2.568134e-04,2.564341e-04,2.551661e-04,2.542426e-04,2.536872e-04,2.520177e-04,2.508951e-04,2.501763e-04,2.481803e-04,2.469152e-04,2.460458e-04,2.437879e-04,2.424272e-04,2.414203e-04,2.389559e-04,2.375379e-04,2.364065e-04,2.337831e-04,2.323393e-04,2.310959e-04,2.283542e-04,2.269099e-04,2.255668e-04,2.227415e-04,2.213170e-04,2.198858e-04,2.170064e-04,2.156177e-04,2.141096e-04,2.112010e-04,2.098606e-04,2.082860e-04,2.053694e-04,2.040867e-04,2.024555e-04,1.995485e-04,1.983305e-04,1.966520e-04,1.937693e-04,1.926208e-04,1.909035e-04,1.880575e-04,1.869816e-04,1.852336e-04,1.824341e-04,1.814327e-04,1.796612e-04,1.769165e-04,1.759901e-04,1.742018e-04,1.715185e-04,1.706667e-04,1.688679e-04,1.662511e-04,1.654728e-04,1.636691e-04,1.611228e-04,1.604163e-04,1.586128e-04,1.561399e-04,1.555031e-04,1.537046e-04,1.513072e-04,1.507375e-04,1.489480e-04,1.466275e-04,1.461221e-04,1.443456e-04,1.421026e-04,1.416586e-04,1.398984e-04,1.377331e-04,1.373474e-04,1.356065e-04,1.335187e-04,1.331882e-04,1.314693e-04,1.294583e-04,1.291798e-04,1.274853e-04,1.255502e-04,1.253205e-04,1.236526e-04,1.217921e-04,1.216081e-04,1.199685e-04,1.181813e-04,1.180399e-04,1.164302e-04,1.147148e-04,1.146130e-04,1.130346e-04,1.113892e-04,1.113241e-04,1.097782e-04,1.082011e-04,1.081699e-04,1.066573e-04,1.051466e-04,1.022506e-04,9.947810e-05,9.682531e-05,9.428836e-05,9.186343e-05,8.954671e-05,8.733443e-05,8.522288e-05,8.320839e-05,8.128737e-05,7.945634e-05,7.771184e-05,7.605057e-05,7.446926e-05,7.296477e-05,7.153404e-05,7.017411e-05,6.888210e-05,6.765525e-05,6.649085e-05,6.538633e-05,6.433918e-05,6.334698e-05,6.240742e-05,6.151824e-05,6.067729e-05,5.988248e-05,5.913182e-05,5.842337e-05,5.775529e-05,5.712579e-05,5.653316e-05,5.597576e-05,5.545200e-05,5.496035e-05,5.449937e-05,5.406765e-05,5.366384e-05,5.328665e-05,5.293485e-05,5.260724e-05,5.230267e-05,5.202006e-05,5.175835e-05,5.151654e-05,5.129365e-05,5.108877e-05,5.090100e-05,5.072949e-05
0.000000e+00,5.400361e-08,1.805589e-06,1.905138e-06,1.785794e-05,8.822977e-05,9.350608e-05,3.348375e-04,8.594200e-04,9.063644e-04,1.984504e-03,3.539059e-03,3.701969e-03,6.125460e-03,8.917299e-03,9.262311e-03,1.307564e-02,1.693844e-02,1.749871e-02,2.244658e-02,2.704961e-02,2.782484e-02,3.353620e-02,3.852113e-02,3.948511e-02,4.558096e-02,5.063033e-02,5.174019e-02,5.788752e-02,6.275183e-02,6.395647e-02,6.988964e-02,7.439170e-02,7.563844e-02,8.116269e-02,8.519076e-02,8.643003e-02,9.141529e-02,9.491152e-02,9.609970e-02,1.004703e-01,1.034181e-01,1.045190e-01,1.082423e-01,1.106549e-01,1.116403e-01,1.147162e-01,1.166267e-01,1.174758e-01,1.199271e-01,1.213807e-01,1.220797e-01,1.239446e-01,1.249927e-01,1.255339e-01,1.268601e-01,1.275559e-01,1.279363e-01,1.287761e-01,1.291720e-01,1.293927e-01,1.297998e-01,1.299450e-01,1.300104e-01,1.300375e-01,1.299773e-01,1.298938e-01,1.295914e-01,1.293663e-01,1.291422e-01,1.285573e-01,1.282032e-01,1.278477e-01,1.270235e-01,1.265716e-01,1.260946e-01,1.250703e-01,1.245473e-01,1.239593e-01,1.227700e-01,1.221988e-01,1.215101e-01,1.201871e-01,1.195867e-01,1.188078e-01,1.173787e-01,1.167652e-01,1.159060e-01,1.143954e-01,1.137817e-01,1.128521e-01,1.112813e-01,1.106781e-01,1.096875e-01,1.080751e-01,1.074909e-01,1.064482e-01,1.048104e-01,1.042518e-01,1.031654e-01,1.015164e-01,1.009884e-01,9.986641e-02,9.821819e-02,9.772446e-02,9.657434e-02,9.493727e-02,9.448040e-02,9.330916e-02,9.169206e-02,9.127365e-02,9.008783e-02,8.849818e-02,8.811901e-02,8.692468e-02,8.536874e-02,8.502893e-02,8.383168e-02,8.231468e-02,8.201378e-02,8.081880e-02,7.934500e-02,7.908212e-02,7.789414e-02,7.646700e-02,7.624090e-02,7.506425e-02,7.368650e-02,7.349564e-02,7.233427e-02,7.100801e-02,7.085063e-02,6.970811e-02,6.843489e-02,6.830905e-02,6.718862e-02,6.596949e-02,6.587314e-02,6.477768e-02,6.361330e-02,6.354431e-02,6.247640e-02,6.136702e-02,6.132322e-02,6.028515e-02,5.923074e-02,5.920993e-02,5.820370e-02,5.720393e-02,5.530425e-02,5.350952e-02,5.181801e-02,5.022772e-02,4.873638e-02,4.734151e-02,4.604045e-02,4.483042e-02,4.370849e-02,4.267164e-02,4.171677e-02,4.084074e-02,4.004034e-02,3.931233e-02,3.865347e-02,3.806050e-02,3.753015e-02,3.705918e-02,3.664436e-02,3.628248e-02,3.597038e-02,3.570492e-02,3.548304e-02,3.530171e-02,3.515796e-02,3.504890e-02,3.497172e-02,3.492366e-02,3.490206e-02,3.490436e-02,3.492807e-02,3.497083e-02,3.503034e-02,3.510442e-02,3.519102e-02,3.528818e-02,3.539403e-02,3.550683e-02,3.562498e-02,3.574693e-02,3.587130e-02,3.599678e-02,3.612219e-02,3.624645e-02,3.636859e-02,3.648772e-02,3.660307e-02,3.671395e-02,3.681979e-02
0.000000e+00,6.380241e-09,3.832857e-07,4.089015e-07,5.655325e-06,3.078940e-05,3.261039e-05,1.060237e-04,2.300669e-04,2.398377e-04,4.330609e-04,6.546628e-04,6.755555e-04,9.533033e-04,1.221343e-03,1.251721e-03,1.557495e-03,1.823735e-03,1.859458e-03,2.148859e-03,2.382763e-03,2.419304e-03,2.666500e-03,2.854296e-03,2.887935e-03,3.082525e-03,3.222046e-03,3.250293e-03,3.392077e-03,3.487727e-03,3.509283e-03,3.603686e-03,3.662760e-03,3.677266e-03,3.732092e-03,3.762489e-03,3.770227e-03,3.793667e-03,3.802662e-03,3.804291e-03,3.803843e-03,3.797564e-03,3.793914e-03,3.775935e-03,3.759248e-03,3.751180e-03,3.720776e-03,3.697382e-03,3.685706e-03,3.646827e-03,3.619442e-03,3.604875e-03,3.560485e-03,3.531048e-03,3.514195e-03,3.466465e-03,3.436320e-03,3.417679e-03,3.368164e-03,3.338220e-03,3.318191e-03,3.267986e-03,3.238837e-03,3.217738e-03,3.167599e-03,3.139618e-03,3.117698e-03,3.068139e-03,3.041550e-03,3.019006e-03,2.970366e-03,2.945287e-03,2.922275e-03,2.874776e-03,2.851259e-03,2.827903e-03,2.781682e-03,2.759735e-03,2.736135e-03,2.691274e-03,2.670873e-03,2.647112e-03,2.603656e-03,2.584760e-03,2.560909e-03,2.518874e-03,2.501432e-03,2.477552e-03,2.436940e-03,2.420894e-03,2.397036e-03,2.357837e-03,2.343124e-03,2.319336e-03,2.281529e-03,2.268087e-03,2.244409e-03,2.207971e-03,2.195736e-03,2.172207e-03,2.137109e-03,2.126018e-03,2.102671e-03,2.068885e-03,2.058875e-03,2.035741e-03,2.003234e-03,1.994244e-03,1.971353e-03,1.940090e-03,1.932062e-03,1.909438e-03,1.879387e-03,1.872263e-03,1.849929e-03,1.821056e-03,1.814781e-03,1.792758e-03,1.765028e-03,1.759549e-03,1.737856e-03,1.711234e-03,1.706500e-03,1.685153e-03,1.659605e-03,1.655566e-03,1.634581e-03,1.610073e-03,1.606682e-03,1.586072e-03,1.562570e-03,1.559782e-03,1.539558e-03,1.517029e-03,1.514802e-03,1.494974e-03,1.473386e-03,1.471678e-03,1.452255e-03,1.431575e-03,1.430348e-03,1.411337e-03,1.391533e-03,1.390750e-03,1.372157e-03,1.353200e-03,1.352825e-03,1.334654e-03,1.316514e-03,1.281760e-03,1.248509e-03,1.216705e-03,1.186298e-03,1.157234e-03,1.129467e-03,1.102946e-03,1.077627e-03,1.053464e-03,1.030414e-03,1.008433e-03,9.874832e-04,9.675232e-04,9.485156e-04,9.304235e-04,9.132114e-04,8.968449e-04,8.812909e-04,8.665173e-04,8.524933e-04,8.391890e-04,8.265757e-04,8.146254e-04,8.033115e-04,7.926079e-04,7.824898e-04,7.729330e-04,7.639143e-04,7.554114e-04,7.474024e-04,7.398667e-04,7.327840e-04,7.261350e-04,7.199010e-04,7.140638e-04,7.086063e-04,7.035114e-04,6.987632e-04,6.943459e-04,6.902446e-04,6.864449e-04,6.829326e-04,6.796945e-04,6.767175e-04,6.739892e-04,6.714975e-04,6.692309e-04,6.671783e-04,6.653288e-04
0.000000e+00,1.427452e-09,2.304708e-08,2.412949e-08,1.605555e-07,5.493873e-07,5.724564e-07,1.288761e-06,2.070622e-06,2.120604e-06,2.930711e-06,3.625684e-06,3.683639e-06,4.374783e-06,4.945651e-06,5.006199e-06,5.581327e-06,6.043773e-06,6.103809e-06,6.577175e-06,6.947564e-06,7.004800e-06,7.389887e-06,7.682701e-06,7.735454e-06,8.044331e-06,8.272094e-06,8.319164e-06,8.562426e-06,8.735883e-06,8.776456e-06,8.963428e-06,9.091795e-06,9.125375e-06,9.264198e-06,9.355333e-06,9.381669e-06,9.479438e-06,9.540010e-06,9.559041e-06,9.621910e-06,9.657565e-06,9.669376e-06,9.702680e-06,9.718187e-06,9.722974e-06,9.731331e-06,9.730706e-06,9.728747e-06,9.716148e-06,9.702767e-06,9.694395e-06,9.664288e-06,9.640980e-06,9.626569e-06,9.581926e-06,9.551054e-06,9.531000e-06,9.474383e-06,9.437912e-06,9.412626e-06,9.346238e-06,9.305799e-06,9.275692e-06,9.201426e-06,9.158364e-06,9.123845e-06,9.043324e-06,8.998744e-06,8.960211e-06,8.874826e-06,8.829628e-06,8.787466e-06,8.698406e-06,8.653317e-06,8.607897e-06,8.516174e-06,8.471779e-06,8.423451e-06,8.329928e-06,8.286689e-06,8.235785e-06,8.141193e-06,8.099469e-06,8.046304e-06,7.951260e-06,7.911327e-06,7.856191e-06,7.761217e-06,7.723279e-06,7.666446e-06,7.571978e-06,7.536178e-06,7.477903e-06,7.384304e-06,7.350740e-06,7.291257e-06,7.198828e-06,7.167555e-06,7.107081e-06,7.016071e-06,6.987112e-06,6.925848e-06,6.836456e-06,6.809807e-06,6.747937e-06,6.660326e-06,6.635962e-06,6.573654e-06,6.487951e-06,6.465829e-06,6.403239e-06,6.319541e-06,6.299606e-06,6.236874e-06,6.155254e-06,6.137440e-06,6.074695e-06,5.995206e-06,5.979437e-06,5.916796e-06,5.839471e-06,5.825669e-06,5.763237e-06,5.688096e-06,5.676175e-06,5.614050e-06,5.541098e-06,5.530972e-06,5.469240e-06,5.398472e-06,5.390053e-06,5.328791e-06,5.260193e-06,5.253393e-06,5.192673e-06,5.126223e-06,5.120953e-06,5.060837e-06,4.996508e-06,4.992682e-06,4.933227e-06,4.870984e-06,4.868516e-06,4.809772e-06,4.749580e-06,4.748386e-06,4.690397e-06,4.632215e-06,4.519918e-06,4.411411e-06,4.306602e-06,4.205399e-06,4.107711e-06,4.013441e-06,3.922497e-06,3.834783e-06,3.750206e-06,3.668673e-06,3.590092e-06,3.514372e-06,3.441425e-06,3.371164e-06,3.303502e-06,3.238358e-06,3.175648e-06,3.115295e-06,3.057219e-06,3.001347e-06,2.947604e-06,2.895919e-06,2.846223e-06,2.798448e-06,2.752530e-06,2.708404e-06,2.666010e-06,2.625288e-06,2.586179e-06,2.548629e-06,2.512584e-06,2.477990e-06,2.444796e-06,2.412955e-06,2.382418e-06,2.353140e-06,2.325076e-06,2.298182e-06,2.272418e-06,2.247743e-06,2.224118e-06,2.201506e-06,2.179870e-06,2.159176e-06,2.139388e-06,2.120475e-06,2.102405e-06,2.085146e-06,2.068670e-06
0.000000e+00,6.287616e-09,2.235646e-07,2.364142e-07,2.468288e-06,1.291163e-05,1.369985e-05,4.917009e-05,1.216632e-04,1.278787e-04,2.611006e-04,4.294605e-04,4.458697e-04,6.693445e-04,8.907406e-04,9.160380e-04,1.172143e-03,1.396787e-03,1.427038e-03,1.673312e-03,1.874533e-03,1.906214e-03,2.122992e-03,2.291621e-03,2.322315e-03,2.503805e-03,2.639475e-03,2.667702e-03,2.814629e-03,2.920513e-03,2.945428e-03,3.061055e-03,3.141356e-03,3.162512e-03,3.250798e-03,3.309689e-03,3.326890e-03,3.391724e-03,3.432976e-03,3.446186e-03,3.491108e-03,3.517986e-03,3.527272e-03,3.555404e-03,3.570681e-03,3.576180e-03,3.590229e-03,3.596238e-03,3.598133e-03,3.600432e-03,3.599123e-03,3.597626e-03,3.590178e-03,3.583173e-03,3.578514e-03,3.563032e-03,3.551677e-03,3.544098e-03,3.522048e-03,3.507454e-03,3.497196e-03,3.469830e-03,3.452912e-03,3.440217e-03,3.408602e-03,3.390108e-03,3.375212e-03,3.340256e-03,3.320796e-03,3.303926e-03,3.266400e-03,3.246468e-03,3.227841e-03,3.188399e-03,3.168391e-03,3.148213e-03,3.107409e-03,3.087638e-03,3.066104e-03,3.024404e-03,3.005116e-03,2.982407e-03,2.940203e-03,2.921589e-03,2.897874e-03,2.855495e-03,2.837697e-03,2.813134e-03,2.770853e-03,2.753976e-03,2.728708e-03,2.686752e-03,2.670868e-03,2.645031e-03,2.603586e-03,2.588741e-03,2.562456e-03,2.521674e-03,2.507894e-03,2.481273e-03,2.441278e-03,2.428570e-03,2.401714e-03,2.362603e-03,2.350961e-03,2.323964e-03,2.285814e-03,2.275221e-03,2.248166e-03,2.211034e-03,2.201466e-03,2.174429e-03,2.138358e-03,2.129781e-03,2.102830e-03,2.067850e-03,2.060228e-03,2.033423e-03,1.999553e-03,1.992846e-03,1.966241e-03,1.933490e-03,1.927654e-03,1.901300e-03,1.869669e-03,1.864661e-03,1.838598e-03,1.808084e-03,1.803857e-03,1.778125e-03,1.748717e-03,1.745225e-03,1.719857e-03,1.691541e-03,1.688739e-03,1.663764e-03,1.636522e-03,1.634365e-03,1.609808e-03,1.583618e-03,1.582063e-03,1.557946e-03,1.532786e-03,1.531790e-03,1.508131e-03,1.483976e-03,1.483498e-03,1.460313e-03,1.437135e-03,1.392651e-03,1.349991e-03,1.309100e-03,1.269923e-03,1.232406e-03,1.196492e-03,1.162127e-03,1.129258e-03,1.097831e-03,1.067794e-03,1.039097e-03,1.011690e-03,9.855234e-04,9.605512e-04,9.367271e-04,9.140068e-04,8.923470e-04,8.717061e-04,8.520436e-04,8.333206e-04,8.154992e-04,7.985430e-04,7.824170e-04,7.670873e-04,7.525212e-04,7.386873e-04,7.255552e-04,7.130958e-04,7.012811e-04,6.900839e-04,6.794783e-04,6.694392e-04,6.599428e-04,6.509657e-04,6.424857e-04,6.344816e-04,6.269326e-04,6.198192e-04,6.131223e-04,6.068236e-04,6.009057e-04,5.953517e-04,5.901454e-04,5.852713e-04,5.807145e-04,5.764605e-04,5.724957e-04,5.688067e-04,5.653809e-04
0.000000e+00,1.334890e-08,3.545597e-07,3.727057e-07,3.039104e-06,1.390187e-05,1.469285e-05,4.903857e-05,1.157565e-04,1.213217e-04,2.355607e-04,3.678285e-04,3.800861e-04,5.375168e-04,6.788644e-04,6.942434e-04,8.424945e-04,9.631131e-04,9.787873e-04,1.102066e-03,1.197761e-03,1.212462e-03,1.310617e-03,1.384213e-03,1.397361e-03,1.473557e-03,1.528762e-03,1.540052e-03,1.597652e-03,1.637840e-03,1.647117e-03,1.689154e-03,1.717210e-03,1.724419e-03,1.753516e-03,1.771852e-03,1.777006e-03,1.795401e-03,1.806014e-03,1.809176e-03,1.818765e-03,1.823303e-03,1.824567e-03,1.826950e-03,1.826764e-03,1.826249e-03,1.822773e-03,1.818970e-03,1.816806e-03,1.808605e-03,1.802085e-03,1.798408e-03,1.786433e-03,1.777928e-03,1.772878e-03,1.757926e-03,1.748027e-03,1.741742e-03,1.724478e-03,1.713661e-03,1.706274e-03,1.687256e-03,1.675899e-03,1.667540e-03,1.647230e-03,1.635633e-03,1.626423e-03,1.605206e-03,1.593606e-03,1.583658e-03,1.561852e-03,1.550433e-03,1.539853e-03,1.517720e-03,1.506620e-03,1.495507e-03,1.473263e-03,1.462587e-03,1.451031e-03,1.428851e-03,1.418675e-03,1.406758e-03,1.384785e-03,1.375162e-03,1.362959e-03,1.341306e-03,1.332269e-03,1.319850e-03,1.298609e-03,1.290177e-03,1.277602e-03,1.256845e-03,1.249025e-03,1.236350e-03,1.216131e-03,1.208921e-03,1.196197e-03,1.176557e-03,1.169947e-03,1.157218e-03,1.138187e-03,1.132163e-03,1.119468e-03,1.101067e-03,1.095608e-03,1.082985e-03,1.065225e-03,1.060310e-03,1.047789e-03,1.030677e-03,1.026281e-03,1.013890e-03,9.974270e-04,9.935240e-04,9.812872e-04,9.654693e-04,9.620324e-04,9.499715e-04,9.347917e-04,9.317937e-04,9.199274e-04,9.053759e-04,9.027896e-04,8.911342e-04,8.771989e-04,8.749975e-04,8.635667e-04,8.502339e-04,8.483910e-04,8.371967e-04,8.244513e-04,8.229413e-04,8.119936e-04,7.998194e-04,7.986174e-04,7.879246e-04,7.763049e-04,7.753871e-04,7.649561e-04,7.538736e-04,7.532170e-04,7.430532e-04,7.324904e-04,7.320732e-04,7.221808e-04,7.121201e-04,7.119214e-04,7.023037e-04,6.927272e-04,6.744567e-04,6.570760e-04,6.405518e-04,6.248515e-04,6.099431e-04,5.957953e-04,5.823778e-04,5.696608e-04,5.576157e-04,5.462144e-04,5.354301e-04,5.252366e-04,5.156086e-04,5.065217e-04,4.979524e-04,4.898780e-04,4.822766e-04,4.751272e-04,4.684095e-04,4.621039e-04,4.561916e-04,4.506546e-04,4.454754e-04,4.406374e-04,4.361246e-04,4.319214e-04,4.280131e-04,4.243854e-04,4.210248e-04,4.179179e-04,4.150524e-04,4.124160e-04,4.099972e-04,4.077849e-04,4.057684e-04,4.039375e-04,4.022824e-04,4.007937e-04,3.994624e-04,3.982799e-04,3.972380e-04,3.963286e-04,3.955443e-04,3.948778e-04,3.943222e-04,3.938709e-04,3.935175e-04,3.932559e-04,3.930804e-04
0.000000e+00,7.585797e-08,4.138204e-06,4.413070e-06,6.376393e-05,3.802716e-04,4.043328e-04,1.443970e-03,3.405044e-03,3.568125e-03,7.013819e-03,1.143920e-02,1.188140e-02,1.816779e-02,2.497646e-02,2.579643e-02,3.464125e-02,4.330647e-02,4.454521e-02,5.533452e-02,6.518421e-02,6.682923e-02,7.885104e-02,8.923126e-02,9.122889e-02,1.038028e-01,1.141564e-01,1.164262e-01,1.289676e-01,1.388632e-01,1.413110e-01,1.533560e-01,1.624885e-01,1.650172e-01,1.762236e-01,1.844005e-01,1.869178e-01,1.970544e-01,2.041763e-01,2.065997e-01,2.155295e-01,2.215692e-01,2.238289e-01,2.314906e-01,2.364738e-01,2.385141e-01,2.449045e-01,2.488933e-01,2.506719e-01,2.558304e-01,2.589097e-01,2.603973e-01,2.643926e-01,2.666596e-01,2.678382e-01,2.707578e-01,2.723144e-01,2.731757e-01,2.751172e-01,2.760641e-01,2.766080e-01,2.776735e-01,2.781067e-01,2.783392e-01,2.786302e-01,2.786387e-01,2.785711e-01,2.781857e-01,2.778501e-01,2.774972e-01,2.765279e-01,2.759200e-01,2.752992e-01,2.738317e-01,2.730146e-01,2.721450e-01,2.702578e-01,2.692859e-01,2.681878e-01,2.659518e-01,2.648719e-01,2.635657e-01,2.610444e-01,2.598960e-01,2.584023e-01,2.556524e-01,2.544684e-01,2.528073e-01,2.498788e-01,2.486864e-01,2.468777e-01,2.438143e-01,2.426359e-01,2.406982e-01,2.375384e-01,2.363918e-01,2.343432e-01,2.311202e-01,2.300194e-01,2.278768e-01,2.246196e-01,2.235755e-01,2.213549e-01,2.180882e-01,2.171087e-01,2.148251e-01,2.115703e-01,2.106611e-01,2.083284e-01,2.051036e-01,2.042684e-01,2.018996e-01,1.987201e-01,1.979610e-01,1.955681e-01,1.924467e-01,1.917643e-01,1.893585e-01,1.863059e-01,1.856998e-01,1.832911e-01,1.803162e-01,1.797851e-01,1.773829e-01,1.744928e-01,1.740344e-01,1.716473e-01,1.688477e-01,1.684595e-01,1.660951e-01,1.633905e-01,1.630692e-01,1.607347e-01,1.581284e-01,1.578706e-01,1.555723e-01,1.530668e-01,1.528685e-01,1.506123e-01,1.482091e-01,1.480665e-01,1.458574e-01,1.435574e-01,1.434665e-01,1.413091e-01,1.391125e-01,1.390691e-01,1.369676e-01,1.348741e-01,1.308802e-01,1.270854e-01,1.234868e-01,1.200813e-01,1.168649e-01,1.138334e-01,1.109823e-01,1.083066e-01,1.058011e-01,1.034605e-01,1.012792e-01,9.925146e-02,9.737157e-02,9.563362e-02,9.403168e-02,9.255979e-02,9.121197e-02,8.998227e-02,8.886477e-02,8.785359e-02,8.694291e-02,8.612698e-02,8.540017e-02,8.475691e-02,8.419179e-02,8.369950e-02,8.327488e-02,8.291292e-02,8.260878e-02,8.235775e-02,8.215531e-02,8.199713e-02,8.187904e-02,8.179708e-02,8.174745e-02,8.172657e-02,8.173103e-02,8.175763e-02,8.180336e-02,8.186538e-02,8.194106e-02,8.202796e-02,8.212380e-02,8.222650e-02,8.233414e-02,8.244496e-02,8.255739e-02,8.267000e-02,8.278150e-02
0.000000e+00,9.065421e-09,3.273393e-07,3.464216e-07,3.803102e-06,2.072755e-05,2.201602e-05,7.906500e-05,1.875992e-04,1.964772e-04,3.759648e-04,5.840353e-04,6.035752e-04,8.606724e-04,1.103234e-03,1.130369e-03,1.399730e-03,1.629325e-03,1.659838e-03,1.905084e-03,2.101654e-03,2.132313e-03,2.340073e-03,2.499284e-03,2.528038e-03,2.696598e-03,2.820901e-03,2.846569e-03,2.979004e-03,3.073109e-03,3.095071e-03,3.195972e-03,3.264913e-03,3.282897e-03,3.356992e-03,3.405396e-03,3.419346e-03,3.470982e-03,3.502855e-03,3.512853e-03,3.545844e-03,3.564560e-03,3.570772e-03,3.588391e-03,3.596750e-03,3.599396e-03,3.604422e-03,3.604725e-03,3.604054e-03,3.598830e-03,3.592963e-03,3.589241e-03,3.575737e-03,3.565231e-03,3.558729e-03,3.538594e-03,3.524693e-03,3.515677e-03,3.490293e-03,3.473998e-03,3.462728e-03,3.433246e-03,3.415364e-03,3.402088e-03,3.369470e-03,3.350643e-03,3.335594e-03,3.300639e-03,3.281375e-03,3.264773e-03,3.228144e-03,3.208843e-03,3.190891e-03,3.153137e-03,3.134108e-03,3.114995e-03,3.076568e-03,3.058048e-03,3.037947e-03,2.999216e-03,2.981385e-03,2.960452e-03,2.921721e-03,2.904707e-03,2.883087e-03,2.844602e-03,2.828496e-03,2.806318e-03,2.768279e-03,2.753140e-03,2.730523e-03,2.693086e-03,2.678951e-03,2.656000e-03,2.619291e-03,2.606174e-03,2.582985e-03,2.547102e-03,2.535002e-03,2.511661e-03,2.476678e-03,2.465583e-03,2.442167e-03,2.408139e-03,2.398027e-03,2.374604e-03,2.341570e-03,2.332412e-03,2.309044e-03,2.277030e-03,2.268790e-03,2.245532e-03,2.214552e-03,2.207194e-03,2.184093e-03,2.154154e-03,2.147637e-03,2.124735e-03,2.095835e-03,2.090117e-03,2.067452e-03,2.039584e-03,2.034623e-03,2.012228e-03,1.985379e-03,1.981131e-03,1.959035e-03,1.933190e-03,1.929611e-03,1.907840e-03,1.882979e-03,1.880028e-03,1.858603e-03,1.834705e-03,1.832341e-03,1.811280e-03,1.788322e-03,1.786505e-03,1.765825e-03,1.743782e-03,1.742473e-03,1.722187e-03,1.701033e-03,1.700196e-03,1.680315e-03,1.660025e-03,1.659623e-03,1.640156e-03,1.620703e-03,1.583383e-03,1.547613e-03,1.513340e-03,1.480514e-03,1.449084e-03,1.419001e-03,1.390216e-03,1.362683e-03,1.336354e-03,1.311186e-03,1.287133e-03,1.264154e-03,1.242208e-03,1.221254e-03,1.201254e-03,1.182170e-03,1.163966e-03,1.146607e-03,1.130060e-03,1.114291e-03,1.099269e-03,1.084964e-03,1.071346e-03,1.058388e-03,1.046062e-03,1.034341e-03,1.023202e-03,1.012618e-03,1.002567e-03,9.930270e-04,9.839752e-04,9.753911e-04,9.672548e-04,9.595467e-04,9.522483e-04,9.453418e-04,9.388100e-04,9.326362e-04,9.268047e-04,9.213001e-04,9.161078e-04,9.112137e-04,9.066041e-04,9.022661e-04,8.981872e-04,8.943553e-04,8.907588e-04,8.873868e-04,8.842286e-04
0.000000e+00,1.118880e-09,2.214235e-08,2.322922e-08,1.563613e-07,4.697456e-07,4.857581e-07,9.102090e-07,1.313148e-06,1.338471e-06,1.751377e-06,2.115082e-06,2.145963e-06,2.521912e-06,2.844493e-06,2.879424e-06,3.218840e-06,3.502877e-06,3.540564e-06,3.845026e-06,4.093406e-06,4.132685e-06,4.404052e-06,4.619800e-06,4.659661e-06,4.900063e-06,5.086228e-06,5.125805e-06,5.337435e-06,5.496941e-06,5.535492e-06,5.720504e-06,5.856091e-06,5.892988e-06,6.053448e-06,6.167657e-06,6.202372e-06,6.340238e-06,6.435410e-06,6.467505e-06,6.584622e-06,6.662904e-06,6.692020e-06,6.790119e-06,6.853473e-06,6.879323e-06,6.960024e-06,7.010237e-06,7.032599e-06,7.097414e-06,7.136112e-06,7.154820e-06,7.205156e-06,7.233814e-06,7.248752e-06,7.285921e-06,7.305873e-06,7.316969e-06,7.342189e-06,7.354641e-06,7.361862e-06,7.376262e-06,7.382301e-06,7.385649e-06,7.390276e-06,7.390879e-06,7.390385e-06,7.386210e-06,7.382252e-06,7.377973e-06,7.365891e-06,7.358158e-06,7.350172e-06,7.331013e-06,7.320204e-06,7.308607e-06,7.283137e-06,7.269875e-06,7.254780e-06,7.223704e-06,7.208542e-06,7.190073e-06,7.154042e-06,7.137467e-06,7.115761e-06,7.075374e-06,7.057816e-06,7.033017e-06,6.988824e-06,6.970660e-06,6.942919e-06,6.895425e-06,6.876985e-06,6.846457e-06,6.796126e-06,6.777693e-06,6.744537e-06,6.691793e-06,6.673615e-06,6.637992e-06,6.583224e-06,6.565509e-06,6.527581e-06,6.471145e-06,6.454073e-06,6.414000e-06,6.356221e-06,6.339939e-06,6.297882e-06,6.239055e-06,6.223688e-06,6.179806e-06,6.120199e-06,6.105846e-06,6.060294e-06,6.000151e-06,5.986893e-06,5.939825e-06,5.879367e-06,5.867264e-06,5.818828e-06,5.758255e-06,5.747351e-06,5.697693e-06,5.637185e-06,5.627512e-06,5.576772e-06,5.516491e-06,5.508064e-06,5.456380e-06,5.396472e-06,5.389298e-06,5.336800e-06,5.277395e-06,5.271470e-06,5.218285e-06,5.159498e-06,5.154810e-06,5.101060e-06,5.042994e-06,5.039523e-06,4.985324e-06,4.928070e-06,4.925789e-06,4.871253e-06,4.814891e-06,4.813769e-06,4.759001e-06,4.703600e-06,4.595405e-06,4.489288e-06,4.385337e-06,4.283628e-06,4.184222e-06,4.087170e-06,3.992510e-06,3.900274e-06,3.810481e-06,3.723145e-06,3.638270e-06,3.555857e-06,3.475897e-06,3.398379e-06,3.323285e-06,3.250594e-06,3.180280e-06,3.112315e-06,3.046667e-06,2.983302e-06,2.922183e-06,2.863271e-06,2.806527e-06,2.751909e-06,2.699373e-06,2.648875e-06,2.600371e-06,2.553816e-06,2.509163e-06,2.466366e-06,2.425378e-06,2.386154e-06,2.348646e-06,2.312808e-06,2.278595e-06,2.245960e-06,2.214857e-06,2.185243e-06,2.157071e-06,2.130298e-06,2.104880e-06,2.080776e-06,2.057941e-06,2.036335e-06,2.015917e-06,1.996647e-06,1.978485e-06,1.961392e-06,1.945331e-06
0.000000e+00,1.035245e-09,1.806584e-08,1.894071e-08,1.326850e-07,4.559907e-07,4.746045e-07,1.015893e-06,1.562237e-06,1.596672e-06,2.155079e-06,2.639742e-06,2.680530e-06,3.172277e-06,3.586850e-06,3.631320e-06,4.058976e-06,4.410425e-06,4.456599e-06,4.825531e-06,5.120876e-06,5.167096e-06,5.482604e-06,5.728436e-06,5.773342e-06,6.040570e-06,6.243019e-06,6.285519e-06,6.509381e-06,6.674064e-06,6.713308e-06,6.898405e-06,7.030393e-06,7.065733e-06,7.216304e-06,7.320128e-06,7.351085e-06,7.470999e-06,7.550680e-06,7.576921e-06,7.669688e-06,7.728779e-06,7.750090e-06,7.818879e-06,7.860507e-06,7.876771e-06,7.924440e-06,7.951346e-06,7.962530e-06,7.991648e-06,8.006232e-06,8.012370e-06,8.025242e-06,8.029601e-06,8.030781e-06,8.029476e-06,8.025433e-06,8.021789e-06,8.008157e-06,7.997298e-06,7.988995e-06,7.964693e-06,7.948390e-06,7.935622e-06,7.902131e-06,7.881569e-06,7.864550e-06,7.823191e-06,7.799390e-06,7.778348e-06,7.730298e-06,7.704132e-06,7.679304e-06,7.625612e-06,7.597829e-06,7.569457e-06,7.511057e-06,7.482289e-06,7.450620e-06,7.388340e-06,7.359123e-06,7.324401e-06,7.258975e-06,7.229759e-06,7.192226e-06,7.124305e-06,7.095464e-06,7.055357e-06,6.985517e-06,6.957359e-06,6.914911e-06,6.843657e-06,6.816435e-06,6.771868e-06,6.699648e-06,6.673563e-06,6.627095e-06,6.554300e-06,6.529510e-06,6.481349e-06,6.408321e-06,6.384949e-06,6.335293e-06,6.262333e-06,6.240468e-06,6.189507e-06,6.116874e-06,6.096579e-06,6.044492e-06,5.972412e-06,5.953727e-06,5.900683e-06,5.829351e-06,5.812294e-06,5.758455e-06,5.688036e-06,5.672611e-06,5.618128e-06,5.548763e-06,5.534959e-06,5.479973e-06,5.411783e-06,5.399575e-06,5.344219e-06,5.277304e-06,5.266659e-06,5.211058e-06,5.145501e-06,5.136378e-06,5.080648e-06,5.016514e-06,5.008867e-06,4.953114e-06,4.890458e-06,4.884234e-06,4.828558e-06,4.767422e-06,4.762564e-06,4.707058e-06,4.647472e-06,4.643921e-06,4.588669e-06,4.530655e-06,4.528351e-06,4.473431e-06,4.417001e-06,4.415881e-06,4.361366e-06,4.306527e-06,4.200291e-06,4.097164e-06,3.997127e-06,3.900155e-06,3.806213e-06,3.715263e-06,3.627258e-06,3.542151e-06,3.459887e-06,3.380412e-06,3.303667e-06,3.229592e-06,3.158126e-06,3.089206e-06,3.022769e-06,2.958750e-06,2.897087e-06,2.837714e-06,2.780570e-06,2.725589e-06,2.672711e-06,2.621872e-06,2.573013e-06,2.526073e-06,2.480994e-06,2.437716e-06,2.396185e-06,2.356343e-06,2.318137e-06,2.281513e-06,2.246419e-06,2.212806e-06,2.180623e-06,2.149822e-06,2.120357e-06,2.092181e-06,2.065251e-06,2.039524e-06,2.014956e-06,1.991509e-06,1.969142e-06,1.947816e-06,1.927495e-06,1.908143e-06,1.889723e-06,1.872203e-06,1.855550e-06,1.839731e-06,1.824715e-06
0.000000e+00,3.886460e-10,7.871586e-09,8.252796e-09,5.343161e-08,1.614010e-07,1.671427e-07,3.252563e-07,4.795190e-07,4.892373e-07,6.475693e-07,7.865985e-07,7.983795e-07,9.415015e-07,1.063851e-06,1.077075e-06,1.205309e-06,1.312267e-06,1.326435e-06,1.440696e-06,1.533657e-06,1.548338e-06,1.649609e-06,1.729934e-06,1.744756e-06,1.834023e-06,1.903001e-06,1.917647e-06,1.995862e-06,2.054690e-06,2.068892e-06,2.136958e-06,2.186739e-06,2.200270e-06,2.259034e-06,2.300775e-06,2.313447e-06,2.363702e-06,2.398320e-06,2.409980e-06,2.452461e-06,2.480791e-06,2.491314e-06,2.526704e-06,2.549503e-06,2.558791e-06,2.587724e-06,2.605673e-06,2.613652e-06,2.636716e-06,2.650435e-06,2.657051e-06,2.674788e-06,2.684835e-06,2.690054e-06,2.702968e-06,2.709844e-06,2.713645e-06,2.722196e-06,2.726352e-06,2.728729e-06,2.733346e-06,2.735184e-06,2.736145e-06,2.737219e-06,2.737102e-06,2.736661e-06,2.734556e-06,2.732805e-06,2.730987e-06,2.726034e-06,2.722937e-06,2.719774e-06,2.712279e-06,2.708091e-06,2.703621e-06,2.693866e-06,2.688812e-06,2.683078e-06,2.671320e-06,2.665601e-06,2.658650e-06,2.645125e-06,2.638917e-06,2.630799e-06,2.615724e-06,2.609181e-06,2.599949e-06,2.583521e-06,2.576778e-06,2.566487e-06,2.548889e-06,2.542063e-06,2.530769e-06,2.512165e-06,2.505358e-06,2.493117e-06,2.473660e-06,2.466958e-06,2.453829e-06,2.433656e-06,2.427133e-06,2.413172e-06,2.392408e-06,2.386129e-06,2.371392e-06,2.350151e-06,2.344167e-06,2.328712e-06,2.307098e-06,2.301452e-06,2.285333e-06,2.263439e-06,2.258168e-06,2.241439e-06,2.219351e-06,2.214482e-06,2.197195e-06,2.174989e-06,2.170543e-06,2.152751e-06,2.130496e-06,2.126490e-06,2.108241e-06,2.086000e-06,2.082443e-06,2.063786e-06,2.041614e-06,2.038514e-06,2.019496e-06,1.997443e-06,1.994802e-06,1.975467e-06,1.953577e-06,1.951394e-06,1.931785e-06,1.910098e-06,1.908368e-06,1.888527e-06,1.867079e-06,1.865796e-06,1.845761e-06,1.824581e-06,1.823737e-06,1.803547e-06,1.782663e-06,1.782247e-06,1.761936e-06,1.741372e-06,1.701153e-06,1.661626e-06,1.622820e-06,1.584761e-06,1.547469e-06,1.510962e-06,1.475253e-06,1.440352e-06,1.406266e-06,1.373000e-06,1.340555e-06,1.308932e-06,1.278129e-06,1.248141e-06,1.218964e-06,1.190591e-06,1.163013e-06,1.136222e-06,1.110208e-06,1.084960e-06,1.060466e-06,1.036714e-06,1.013692e-06,9.913861e-07,9.697829e-07,9.488687e-07,9.286293e-07,9.090506e-07,8.901181e-07,8.718174e-07,8.541339e-07,8.370532e-07,8.205606e-07,8.046419e-07,7.892827e-07,7.744688e-07,7.601861e-07,7.464206e-07,7.331587e-07,7.203867e-07,7.080912e-07,6.962591e-07,6.848774e-07,6.739333e-07,6.634144e-07,6.533084e-07,6.436033e-07,6.342872e-07,6.253487e-07
0.000000e+00,9.972765e-09,2.927184e-07,3.083327e-07,2.750013e-06,1.329143e-05,1.407168e-05,4.846521e-05,1.161120e-04,1.217666e-04,2.377481e-04,3.711902e-04,3.834777e-04,5.393331e-04,6.745719e-04,6.889130e-04,8.222162e-04,9.224466e-04,9.348169e-04,1.025986e-03,1.088233e-03,1.097051e-03,1.150272e-03,1.183045e-03,1.188187e-03,1.213261e-03,1.225813e-03,1.227724e-03,1.233515e-03,1.233027e-03,1.232292e-03,1.225445e-03,1.216955e-03,1.214136e-03,1.199327e-03,1.186223e-03,1.181809e-03,1.162230e-03,1.146732e-03,1.141122e-03,1.118916e-03,1.102446e-03,1.095960e-03,1.072538e-03,1.055988e-03,1.048875e-03,1.025154e-03,1.009065e-03,1.001518e-03,9.780821e-04,9.627675e-04,9.549343e-04,9.321440e-04,9.177710e-04,9.097643e-04,8.878347e-04,8.744775e-04,8.663842e-04,8.454332e-04,8.331081e-04,8.249951e-04,8.050780e-04,7.937665e-04,7.856856e-04,7.668179e-04,7.564802e-04,7.484720e-04,7.306429e-04,7.212277e-04,7.133237e-04,6.965063e-04,6.879567e-04,6.801818e-04,6.643403e-04,6.565974e-04,6.489714e-04,6.340642e-04,6.270695e-04,6.196077e-04,6.055907e-04,5.992873e-04,5.920018e-04,5.788300e-04,5.731636e-04,5.660639e-04,5.536924e-04,5.486114e-04,5.417046e-04,5.300896e-04,5.255457e-04,5.188370e-04,5.079362e-04,5.038840e-04,4.973770e-04,4.871496e-04,4.835470e-04,4.772440e-04,4.676510e-04,4.644588e-04,4.583610e-04,4.493652e-04,4.465472e-04,4.406546e-04,4.322208e-04,4.297433e-04,4.240553e-04,4.161501e-04,4.139821e-04,4.084971e-04,4.010888e-04,3.992018e-04,3.939177e-04,3.869766e-04,3.853441e-04,3.802583e-04,3.737560e-04,3.723538e-04,3.674631e-04,3.613731e-04,3.601789e-04,3.554798e-04,3.497771e-04,3.487704e-04,3.442591e-04,3.389200e-04,3.380819e-04,3.337542e-04,3.287565e-04,3.280699e-04,3.239216e-04,3.192443e-04,3.186934e-04,3.147198e-04,3.103432e-04,3.099136e-04,3.061101e-04,3.020158e-04,3.016941e-04,2.980560e-04,2.942266e-04,2.940008e-04,2.905233e-04,2.869423e-04,2.868015e-04,2.834796e-04,2.801317e-04,2.800659e-04,2.768948e-04,2.737654e-04,2.678734e-04,2.623647e-04,2.572156e-04,2.524039e-04,2.479088e-04,2.437106e-04,2.397909e-04,2.361325e-04,2.327190e-04,2.295352e-04,2.265668e-04,2.238003e-04,2.212232e-04,2.188235e-04,2.165901e-04,2.145125e-04,2.125810e-04,2.107863e-04,2.091199e-04,2.075735e-04,2.061396e-04,2.048110e-04,2.035810e-04,2.024434e-04,2.013922e-04,2.004218e-04,1.995272e-04,1.987033e-04,1.979457e-04,1.972500e-04,1.966122e-04,1.960285e-04,1.954954e-04,1.950096e-04,1.945679e-04,1.941674e-04,1.938053e-04,1.934792e-04,1.931865e-04,1.929251e-04,1.926927e-04,1.924874e-04,1.923074e-04,1.921509e-04,1.920162e-04,1.919018e-04,1.918063e-04,1.917283e-04,1.916666e-04
0.000000e+00,6.657000e-08,3.592647e-06,3.828760e-06,5.301304e-05,3.059670e-04,3.250378e-04,1.143358e-03,2.666224e-03,2.791803e-03,5.413056e-03,8.704994e-03,9.030020e-03,1.358515e-02,1.839944e-02,1.897187e-02,2.505722e-02,3.087620e-02,3.169754e-02,3.874903e-02,4.503741e-02,4.607466e-02,5.354837e-02,5.985783e-02,6.105742e-02,6.850337e-02,7.450262e-02,7.580224e-02,8.288397e-02,8.835430e-02,8.969157e-02,9.618000e-02,1.009970e-01,1.023150e-01,1.080717e-01,1.121835e-01,1.134338e-01,1.183918e-01,1.217984e-01,1.229424e-01,1.270874e-01,1.298239e-01,1.308327e-01,1.341876e-01,1.363101e-01,1.371641e-01,1.397760e-01,1.413519e-01,1.420391e-01,1.439700e-01,1.450708e-01,1.455860e-01,1.469047e-01,1.476011e-01,1.479442e-01,1.487221e-01,1.490807e-01,1.492559e-01,1.495626e-01,1.496445e-01,1.496587e-01,1.495603e-01,1.494201e-01,1.492825e-01,1.488400e-01,1.485253e-01,1.482464e-01,1.475150e-01,1.470671e-01,1.466581e-01,1.456873e-01,1.451412e-01,1.446136e-01,1.434471e-01,1.428320e-01,1.421974e-01,1.408734e-01,1.402139e-01,1.394834e-01,1.380352e-01,1.373514e-01,1.365358e-01,1.349920e-01,1.343002e-01,1.334098e-01,1.317951e-01,1.311084e-01,1.301529e-01,1.284883e-01,1.278171e-01,1.268056e-01,1.251090e-01,1.244614e-01,1.234022e-01,1.216888e-01,1.210710e-01,1.199720e-01,1.182547e-01,1.176711e-01,1.165395e-01,1.148291e-01,1.142831e-01,1.131255e-01,1.114309e-01,1.109246e-01,1.097472e-01,1.080760e-01,1.076105e-01,1.064189e-01,1.047773e-01,1.043532e-01,1.031525e-01,1.015455e-01,1.011627e-01,9.995757e-02,9.838946e-02,9.804723e-02,9.684204e-02,9.531604e-02,9.501347e-02,9.381210e-02,9.233079e-02,9.206660e-02,9.087261e-02,8.943799e-02,8.921066e-02,8.802727e-02,8.664079e-02,8.644863e-02,8.527877e-02,8.394144e-02,8.378263e-02,8.262894e-02,8.134140e-02,8.121402e-02,8.007888e-02,7.884142e-02,7.874350e-02,7.762903e-02,7.644168e-02,7.637124e-02,7.527932e-02,7.414187e-02,7.409689e-02,7.302922e-02,7.194124e-02,7.191973e-02,7.087778e-02,6.983867e-02,6.785236e-02,6.595915e-02,6.415721e-02,6.244454e-02,6.081897e-02,5.927822e-02,5.781992e-02,5.644160e-02,5.514075e-02,5.391480e-02,5.276116e-02,5.167719e-02,5.066025e-02,4.970772e-02,4.881696e-02,4.798535e-02,4.721028e-02,4.648920e-02,4.581956e-02,4.519886e-02,4.462464e-02,4.409449e-02,4.360604e-02,4.315697e-02,4.274505e-02,4.236806e-02,4.202389e-02,4.171046e-02,4.142577e-02,4.116789e-02,4.093496e-02,4.072518e-02,4.053683e-02,4.036826e-02,4.021789e-02,4.008423e-02,3.996583e-02,3.986135e-02,3.976948e-02,3.968901e-02,3.961879e-02,3.955774e-02,3.950484e-02,3.945915e-02,3.941978e-02,3.938590e-02,3.935676e-02,3.933163e-02,3.930988e-02
0.000000e+00,1.149282e-08,1.673992e-07,1.749871e-07,1.153901e-06,4.260498e-06,4.458643e-06,1.139603e-05,2.054935e-05,2.117380e-05,3.156150e-05,4.050366e-05,4.124081e-05,4.987653e-05,5.675062e-05,5.746413e-05,6.407801e-05,6.916302e-05,6.980662e-05,7.473613e-05,7.839772e-05,7.894673e-05,8.251171e-05,8.505649e-05,8.549797e-05,8.796623e-05,8.964244e-05,8.997153e-05,9.156375e-05,9.257056e-05,9.278799e-05,9.368512e-05,9.418147e-05,9.429174e-05,9.464093e-05,9.475259e-05,9.476248e-05,9.468327e-05,9.450967e-05,9.442740e-05,9.401658e-05,9.363585e-05,9.347026e-05,9.280593e-05,9.227915e-05,9.203927e-05,9.118433e-05,9.055902e-05,9.025369e-05,8.925862e-05,8.857151e-05,8.820918e-05,8.711439e-05,8.639367e-05,8.598227e-05,8.481999e-05,8.408706e-05,8.363392e-05,8.242974e-05,8.170066e-05,8.121248e-05,7.998662e-05,7.927326e-05,7.875611e-05,7.752444e-05,7.683536e-05,7.629469e-05,7.506957e-05,7.441079e-05,7.385146e-05,7.264243e-05,7.201793e-05,7.144429e-05,7.025859e-05,6.967084e-05,6.908669e-05,6.792975e-05,6.738003e-05,6.678875e-05,6.566452e-05,6.515320e-05,6.455776e-05,6.346903e-05,6.299583e-05,6.239880e-05,6.134741e-05,6.091153e-05,6.031516e-05,5.930223e-05,5.890250e-05,5.830876e-05,5.733481e-05,5.696983e-05,5.638040e-05,5.544550e-05,5.511370e-05,5.453004e-05,5.363390e-05,5.333359e-05,5.275695e-05,5.189902e-05,5.162847e-05,5.105991e-05,5.023942e-05,4.999686e-05,4.943731e-05,4.865333e-05,4.843703e-05,4.788724e-05,4.713875e-05,4.694700e-05,4.640760e-05,4.569349e-05,4.552461e-05,4.499615e-05,4.431527e-05,4.416765e-05,4.365055e-05,4.300170e-05,4.287381e-05,4.236842e-05,4.175041e-05,4.164076e-05,4.114736e-05,4.055898e-05,4.046618e-05,3.998497e-05,3.942503e-05,3.934775e-05,3.887888e-05,3.834621e-05,3.828318e-05,3.782675e-05,3.732021e-05,3.727026e-05,3.682631e-05,3.634478e-05,3.630679e-05,3.587535e-05,3.541774e-05,3.539065e-05,3.497169e-05,3.453695e-05,3.451979e-05,3.411326e-05,3.370037e-05,3.369222e-05,3.329803e-05,3.290601e-05,3.215932e-05,3.145036e-05,3.077742e-05,3.013885e-05,2.953308e-05,2.895860e-05,2.841395e-05,2.789774e-05,2.740865e-05,2.694540e-05,2.650678e-05,2.609161e-05,2.569880e-05,2.532726e-05,2.497600e-05,2.464402e-05,2.433041e-05,2.403428e-05,2.375478e-05,2.349110e-05,2.324246e-05,2.300813e-05,2.278740e-05,2.257961e-05,2.238410e-05,2.220026e-05,2.202751e-05,2.186529e-05,2.171307e-05,2.157033e-05,2.143660e-05,2.131140e-05,2.119430e-05,2.108488e-05,2.098274e-05,2.088748e-05,2.079876e-05,2.071621e-05,2.063951e-05,2.056835e-05,2.050242e-05,2.044143e-05,2.038511e-05,2.033321e-05,2.028547e-05,2.024167e-05,2.020157e-05,2.016496e-05,2.013164e-05
0.000000e+00,4.554926e-10,5.587729e-09,5.826332e-09,3.485376e-08,1.217808e-07,1.272163e-07,3.129408e-07,5.486338e-07,5.644896e-07,8.276686e-07,1.056958e-06,1.076077e-06,1.303287e-06,1.489227e-06,1.508830e-06,1.693701e-06,1.840339e-06,1.859226e-06,2.006763e-06,2.120266e-06,2.137633e-06,2.253093e-06,2.339045e-06,2.354335e-06,2.442481e-06,2.505730e-06,2.518585e-06,2.583631e-06,2.628327e-06,2.638539e-06,2.684167e-06,2.713828e-06,2.721310e-06,2.750707e-06,2.768291e-06,2.773042e-06,2.788948e-06,2.796927e-06,2.799013e-06,2.803776e-06,2.804205e-06,2.803738e-06,2.799360e-06,2.793943e-06,2.791068e-06,2.779254e-06,2.769395e-06,2.764280e-06,2.746477e-06,2.733328e-06,2.726152e-06,2.703584e-06,2.688085e-06,2.679033e-06,2.652738e-06,2.635655e-06,2.624915e-06,2.595766e-06,2.577715e-06,2.565471e-06,2.534201e-06,2.515677e-06,2.502106e-06,2.469327e-06,2.450721e-06,2.435993e-06,2.402221e-06,2.383840e-06,2.368117e-06,2.333778e-06,2.315858e-06,2.299291e-06,2.264735e-06,2.247455e-06,2.230184e-06,2.195701e-06,2.179191e-06,2.161346e-06,2.127172e-06,2.111525e-06,2.093225e-06,2.059547e-06,2.044825e-06,2.026177e-06,1.993147e-06,1.979383e-06,1.960488e-06,1.928225e-06,1.915436e-06,1.896381e-06,1.864977e-06,1.853162e-06,1.834029e-06,1.803553e-06,1.792699e-06,1.773560e-06,1.744061e-06,1.734145e-06,1.715064e-06,1.686576e-06,1.677568e-06,1.658602e-06,1.631145e-06,1.623010e-06,1.604209e-06,1.577793e-06,1.570490e-06,1.551899e-06,1.526525e-06,1.520012e-06,1.501669e-06,1.477329e-06,1.471564e-06,1.453501e-06,1.430182e-06,1.425120e-06,1.407368e-06,1.385052e-06,1.380648e-06,1.363230e-06,1.341897e-06,1.338108e-06,1.321045e-06,1.300668e-06,1.297451e-06,1.280760e-06,1.261314e-06,1.258628e-06,1.242322e-06,1.223778e-06,1.221582e-06,1.205673e-06,1.188001e-06,1.186257e-06,1.170753e-06,1.153923e-06,1.152594e-06,1.137502e-06,1.121483e-06,1.120534e-06,1.105858e-06,1.090619e-06,1.090017e-06,1.075759e-06,1.061270e-06,1.060983e-06,1.047144e-06,1.033374e-06,1.007130e-06,9.821958e-07,9.585143e-07,9.360315e-07,9.146945e-07,8.944521e-07,8.752547e-07,8.570546e-07,8.398057e-07,8.234636e-07,8.079856e-07,7.933308e-07,7.794599e-07,7.663354e-07,7.539212e-07,7.421827e-07,7.310871e-07,7.206029e-07,7.106998e-07,7.013492e-07,6.925237e-07,6.841971e-07,6.763444e-07,6.689418e-07,6.619666e-07,6.553973e-07,6.492133e-07,6.433948e-07,6.379233e-07,6.327810e-07,6.279510e-07,6.234170e-07,6.191639e-07,6.151770e-07,6.114425e-07,6.079470e-07,6.046782e-07,6.016239e-07,5.987730e-07,5.961145e-07,5.936382e-07,5.913344e-07,5.891937e-07,5.872074e-07,5.853671e-07,5.836648e-07,5.820929e-07,5.806442e-07,5.793120e-07
0.000000e+00,8.987705e-09,2.412906e-07,2.539942e-07,2.181405e-06,9.767797e-06,1.030063e-05,3.186807e-05,6.891137e-05,7.181678e-05,1.274114e-04,1.853646e-04,1.905026e-04,2.542435e-04,3.093534e-04,3.152952e-04,3.725265e-04,4.195465e-04,4.257177e-04,4.749554e-04,5.142729e-04,5.204178e-04,5.623052e-04,5.948753e-04,6.008190e-04,6.361555e-04,6.628931e-04,6.685034e-04,6.980435e-04,7.197697e-04,7.249476e-04,7.493791e-04,7.668188e-04,7.714925e-04,7.914338e-04,8.052218e-04,8.093411e-04,8.253447e-04,8.360340e-04,8.395671e-04,8.521241e-04,8.601954e-04,8.631247e-04,8.726713e-04,8.785408e-04,8.808605e-04,8.877829e-04,8.918103e-04,8.935239e-04,8.981636e-04,9.006593e-04,9.017773e-04,9.044361e-04,9.056674e-04,9.062064e-04,9.071507e-04,9.073474e-04,9.073279e-04,9.067931e-04,9.061521e-04,9.055980e-04,9.037914e-04,9.024814e-04,9.014188e-04,8.985232e-04,8.966882e-04,8.951447e-04,8.913211e-04,8.890838e-04,8.870877e-04,8.824777e-04,8.799421e-04,8.775222e-04,8.722505e-04,8.695046e-04,8.666898e-04,8.608657e-04,8.579837e-04,8.548022e-04,8.485219e-04,8.455660e-04,8.420457e-04,8.353933e-04,8.324152e-04,8.285832e-04,8.216325e-04,8.186752e-04,8.145574e-04,8.073730e-04,8.044717e-04,8.000932e-04,7.927313e-04,7.899149e-04,7.852996e-04,7.778094e-04,7.751007e-04,7.702715e-04,7.626957e-04,7.601130e-04,7.550914e-04,7.474672e-04,7.450246e-04,7.398312e-04,7.321908e-04,7.298988e-04,7.245528e-04,7.169239e-04,7.147903e-04,7.093100e-04,7.017165e-04,6.997462e-04,6.941486e-04,6.866111e-04,6.848072e-04,6.791084e-04,6.716444e-04,6.700079e-04,6.642229e-04,6.568474e-04,6.553781e-04,6.495209e-04,6.422463e-04,6.409426e-04,6.350264e-04,6.278634e-04,6.267228e-04,6.207596e-04,6.137170e-04,6.127360e-04,6.067373e-04,5.998223e-04,5.989969e-04,5.929732e-04,5.861915e-04,5.855171e-04,5.794782e-04,5.728345e-04,5.723060e-04,5.662611e-04,5.597589e-04,5.593711e-04,5.533285e-04,5.469705e-04,5.467177e-04,5.406853e-04,5.344734e-04,5.343499e-04,5.283349e-04,5.222702e-04,5.104799e-04,4.989793e-04,4.877680e-04,4.768444e-04,4.662065e-04,4.558519e-04,4.457772e-04,4.359792e-04,4.264538e-04,4.171970e-04,4.082044e-04,3.994715e-04,3.909936e-04,3.827658e-04,3.747832e-04,3.670408e-04,3.595336e-04,3.522566e-04,3.452046e-04,3.383728e-04,3.317559e-04,3.253492e-04,3.191476e-04,3.131462e-04,3.073403e-04,3.017251e-04,2.962959e-04,2.910480e-04,2.859770e-04,2.810784e-04,2.763477e-04,2.717807e-04,2.673732e-04,2.631210e-04,2.590201e-04,2.550665e-04,2.512563e-04,2.475856e-04,2.440508e-04,2.406482e-04,2.373743e-04,2.342255e-04,2.311984e-04,2.282897e-04,2.254960e-04,2.228143e-04,2.202414e-04,2.177743e-04,2.154098e-04
0.000000e+00,8.076790e-09,3.497835e-07,3.711448e-07,4.292833e-06,2.262814e-05,2.399074e-05,8.322847e-05,1.972654e-04,2.067708e-04,4.046060e-04,6.456158e-04,6.688063e-04,9.817761e-04,1.289175e-03,1.324241e-03,1.679371e-03,1.991913e-03,2.034124e-03,2.379194e-03,2.663435e-03,2.708409e-03,3.018012e-03,3.261426e-03,3.306011e-03,3.571644e-03,3.772798e-03,3.814972e-03,4.036596e-03,4.198879e-03,4.237435e-03,4.418595e-03,4.547004e-03,4.581268e-03,4.726668e-03,4.826358e-03,4.855993e-03,4.970403e-03,5.046115e-03,5.071001e-03,5.158829e-03,5.214707e-03,5.234862e-03,5.300016e-03,5.339609e-03,5.355142e-03,5.401027e-03,5.427329e-03,5.438407e-03,5.467962e-03,5.483489e-03,5.490321e-03,5.506069e-03,5.512929e-03,5.515746e-03,5.519853e-03,5.519807e-03,5.518855e-03,5.513180e-03,5.507697e-03,5.503226e-03,5.489362e-03,5.479664e-03,5.471927e-03,5.451238e-03,5.438340e-03,5.427585e-03,5.401240e-03,5.385983e-03,5.372452e-03,5.341452e-03,5.324530e-03,5.308455e-03,5.273657e-03,5.255641e-03,5.237242e-03,5.199379e-03,5.180736e-03,5.160224e-03,5.119922e-03,5.101034e-03,5.078605e-03,5.036398e-03,5.017574e-03,4.993414e-03,4.949758e-03,4.931245e-03,4.905526e-03,4.860809e-03,4.842804e-03,4.815687e-03,4.770238e-03,4.752896e-03,4.724531e-03,4.678631e-03,4.662071e-03,4.632595e-03,4.586480e-03,4.570791e-03,4.540334e-03,4.494204e-03,4.479453e-03,4.448132e-03,4.402155e-03,4.388387e-03,4.356311e-03,4.310629e-03,4.297872e-03,4.265141e-03,4.219873e-03,4.208143e-03,4.174850e-03,4.130093e-03,4.119394e-03,4.085624e-03,4.041460e-03,4.031786e-03,3.997617e-03,3.954112e-03,3.945453e-03,3.910957e-03,3.868165e-03,3.860502e-03,3.825746e-03,3.783710e-03,3.777020e-03,3.742065e-03,3.700819e-03,3.695077e-03,3.659978e-03,3.619549e-03,3.614725e-03,3.579535e-03,3.539942e-03,3.536006e-03,3.500772e-03,3.462029e-03,3.458948e-03,3.423715e-03,3.385831e-03,3.383572e-03,3.348380e-03,3.311361e-03,3.309889e-03,3.274775e-03,3.238623e-03,3.237904e-03,3.202904e-03,3.167617e-03,3.099020e-03,3.032104e-03,2.966856e-03,2.903260e-03,2.841295e-03,2.780942e-03,2.722179e-03,2.664982e-03,2.609325e-03,2.555185e-03,2.502534e-03,2.451348e-03,2.401597e-03,2.353257e-03,2.306300e-03,2.260699e-03,2.216428e-03,2.173459e-03,2.131766e-03,2.091323e-03,2.052104e-03,2.014083e-03,1.977234e-03,1.941533e-03,1.906955e-03,1.873475e-03,1.841070e-03,1.809715e-03,1.779388e-03,1.750064e-03,1.721723e-03,1.694340e-03,1.667895e-03,1.642366e-03,1.617732e-03,1.593971e-03,1.571063e-03,1.548988e-03,1.527726e-03,1.507256e-03,1.487561e-03,1.468620e-03,1.450415e-03,1.432927e-03,1.416138e-03,1.400031e-03,1.384586e-03,1.369788e-03,1.355619e-03
0.000000e+00,2.257686e-08,7.629557e-07,8.067978e-07,7.474686e-06,2.821560e-05,2.941322e-05,6.378394e-05,9.830160e-05,1.004907e-04,1.363715e-04,1.682309e-04,1.709469e-04,2.041598e-04,2.328956e-04,2.360216e-04,2.665573e-04,2.923542e-04,2.957952e-04,3.237658e-04,3.468312e-04,3.505010e-04,3.760336e-04,3.965762e-04,4.003972e-04,4.236256e-04,4.418494e-04,4.457525e-04,4.668114e-04,4.829119e-04,4.868355e-04,5.058576e-04,5.200196e-04,5.239094e-04,5.410222e-04,5.534189e-04,5.572267e-04,5.725525e-04,5.833451e-04,5.870289e-04,6.006842e-04,6.100231e-04,6.135460e-04,6.256416e-04,6.336665e-04,6.369969e-04,6.476375e-04,6.544776e-04,6.575883e-04,6.668734e-04,6.726483e-04,6.755162e-04,6.835395e-04,6.883596e-04,6.909656e-04,6.978158e-04,7.017829e-04,7.041111e-04,7.098718e-04,7.130798e-04,7.151175e-04,7.198675e-04,7.224026e-04,7.241402e-04,7.279537e-04,7.298952e-04,7.313254e-04,7.342723e-04,7.356927e-04,7.368108e-04,7.389568e-04,7.399228e-04,7.407259e-04,7.421329e-04,7.427053e-04,7.431925e-04,7.439187e-04,7.441528e-04,7.443251e-04,7.444250e-04,7.443715e-04,7.442311e-04,7.437559e-04,7.434608e-04,7.430114e-04,7.420092e-04,7.415142e-04,7.407607e-04,7.392766e-04,7.386194e-04,7.375676e-04,7.356438e-04,7.348586e-04,7.335153e-04,7.311915e-04,7.303089e-04,7.286817e-04,7.259949e-04,7.250426e-04,7.231397e-04,7.201245e-04,7.191271e-04,7.169574e-04,7.136462e-04,7.126259e-04,7.101985e-04,7.066217e-04,7.055980e-04,7.029227e-04,6.991084e-04,6.980986e-04,6.951855e-04,6.911602e-04,6.901796e-04,6.870387e-04,6.828270e-04,6.818889e-04,6.785307e-04,6.741555e-04,6.732715e-04,6.697066e-04,6.651892e-04,6.643692e-04,6.606083e-04,6.559686e-04,6.552211e-04,6.512747e-04,6.465312e-04,6.458634e-04,6.417422e-04,6.369119e-04,6.363297e-04,6.320443e-04,6.271432e-04,6.266514e-04,6.222123e-04,6.172551e-04,6.168575e-04,6.122750e-04,6.072753e-04,6.069748e-04,6.022592e-04,5.972297e-04,5.970283e-04,5.921896e-04,5.871419e-04,5.870409e-04,5.820891e-04,5.770339e-04,5.670268e-04,5.570377e-04,5.470831e-04,5.371782e-04,5.273369e-04,5.175719e-04,5.078948e-04,4.983160e-04,4.888451e-04,4.794906e-04,4.702604e-04,4.611613e-04,4.521995e-04,4.433805e-04,4.347091e-04,4.261895e-04,4.178253e-04,4.096197e-04,4.015752e-04,3.936940e-04,3.859779e-04,3.784282e-04,3.710459e-04,3.638316e-04,3.567856e-04,3.499080e-04,3.431985e-04,3.366568e-04,3.302820e-04,3.240734e-04,3.180297e-04,3.121498e-04,3.064322e-04,3.008754e-04,2.954777e-04,2.902372e-04,2.851521e-04,2.802203e-04,2.754397e-04,2.708081e-04,2.663233e-04,2.619830e-04,2.577849e-04,2.537264e-04,2.498053e-04,2.460189e-04,2.423647e-04,2.388403e-04,2.354431e-04
0.000000e+00,7.670517e-09,2.299704e-07,2.424499e-07,2.220020e-06,1.047771e-05,1.107219e-05,3.595709e-05,8.095032e-05,8.456815e-05,1.558051e-04,2.332726e-04,2.402510e-04,3.274836e-04,4.025864e-04,4.105953e-04,4.862636e-04,5.458068e-04,5.534096e-04,6.120766e-04,6.561399e-04,6.627848e-04,7.062157e-04,7.375908e-04,7.430751e-04,7.740380e-04,7.954675e-04,7.997291e-04,8.207185e-04,8.344733e-04,8.375222e-04,8.506061e-04,8.585004e-04,8.603893e-04,8.672483e-04,8.707152e-04,8.715220e-04,8.735146e-04,8.736826e-04,8.734997e-04,8.717219e-04,8.694738e-04,8.683996e-04,8.637289e-04,8.597515e-04,8.578848e-04,8.510245e-04,8.458510e-04,8.432878e-04,8.347996e-04,8.288405e-04,8.256716e-04,8.160031e-04,8.095730e-04,8.058827e-04,7.953892e-04,7.887269e-04,7.845927e-04,7.735557e-04,7.668411e-04,7.623330e-04,7.509735e-04,7.443396e-04,7.395205e-04,7.280122e-04,7.215560e-04,7.164822e-04,7.049602e-04,6.987509e-04,6.934722e-04,6.820409e-04,6.761257e-04,6.706861e-04,6.594251e-04,6.538345e-04,6.482728e-04,6.372420e-04,6.319937e-04,6.263437e-04,6.155874e-04,6.106893e-04,6.049808e-04,5.945306e-04,5.899835e-04,5.842422e-04,5.741200e-04,5.699190e-04,5.641674e-04,5.543871e-04,5.505237e-04,5.447811e-04,5.353506e-04,5.318132e-04,5.260964e-04,5.170187e-04,5.137940e-04,5.081174e-04,4.993919e-04,4.964651e-04,4.908413e-04,4.824643e-04,4.798202e-04,4.742596e-04,4.662255e-04,4.638482e-04,4.583600e-04,4.506613e-04,4.485352e-04,4.431270e-04,4.357550e-04,4.338645e-04,4.285428e-04,4.214881e-04,4.198181e-04,4.145882e-04,4.078407e-04,4.063764e-04,4.012429e-04,3.947922e-04,3.935195e-04,3.884860e-04,3.823216e-04,3.812268e-04,3.762963e-04,3.704074e-04,3.694777e-04,3.646524e-04,3.590285e-04,3.582515e-04,3.535332e-04,3.481639e-04,3.475279e-04,3.429180e-04,3.377929e-04,3.372869e-04,3.327861e-04,3.278952e-04,3.275089e-04,3.231177e-04,3.184512e-04,3.181747e-04,3.138934e-04,3.094418e-04,3.092659e-04,3.050942e-04,3.008484e-04,3.007645e-04,2.967020e-04,2.926531e-04,2.849149e-04,2.775338e-04,2.704943e-04,2.637814e-04,2.573808e-04,2.512788e-04,2.454621e-04,2.399180e-04,2.346346e-04,2.296001e-04,2.248035e-04,2.202342e-04,2.158819e-04,2.117369e-04,2.077899e-04,2.040321e-04,2.004548e-04,1.970500e-04,1.938099e-04,1.907270e-04,1.877943e-04,1.850049e-04,1.823523e-04,1.798303e-04,1.774331e-04,1.751548e-04,1.729902e-04,1.709340e-04,1.689813e-04,1.671274e-04,1.653677e-04,1.636979e-04,1.621140e-04,1.606119e-04,1.591879e-04,1.578384e-04,1.565599e-04,1.553493e-04,1.542033e-04,1.531189e-04,1.520934e-04,1.511239e-04,1.502078e-04,1.493427e-04,1.485262e-04,1.477559e-04,1.470298e-04,1.463456e-04,1.457016e-04
0.000000e+00,3.267143e-09,5.557822e-08,5.820694e-08,3.827005e-07,1.230888e-06,1.277727e-06,2.589751e-06,3.861960e-06,3.940979e-06,5.203875e-06,6.270732e-06,6.359210e-06,7.409159e-06,8.269071e-06,8.359866e-06,9.217958e-06,9.901548e-06,9.989821e-06,1.068147e-05,1.121648e-05,1.129859e-05,1.184652e-05,1.225703e-05,1.233033e-05,1.275482e-05,1.306182e-05,1.312451e-05,1.344366e-05,1.366529e-05,1.371627e-05,1.394609e-05,1.409792e-05,1.413664e-05,1.429118e-05,1.438644e-05,1.441277e-05,1.450425e-05,1.455409e-05,1.456821e-05,1.460708e-05,1.462081e-05,1.462312e-05,1.461842e-05,1.460387e-05,1.459497e-05,1.455454e-05,1.451820e-05,1.449878e-05,1.442922e-05,1.437643e-05,1.434725e-05,1.425415e-05,1.418928e-05,1.415111e-05,1.403923e-05,1.396586e-05,1.391950e-05,1.379285e-05,1.371390e-05,1.366013e-05,1.352211e-05,1.343991e-05,1.337950e-05,1.323297e-05,1.314943e-05,1.308312e-05,1.293049e-05,1.284709e-05,1.277558e-05,1.261886e-05,1.253679e-05,1.246074e-05,1.230160e-05,1.222175e-05,1.214178e-05,1.198162e-05,1.190469e-05,1.182138e-05,1.166133e-05,1.158784e-05,1.150171e-05,1.134272e-05,1.127302e-05,1.118457e-05,1.102741e-05,1.096174e-05,1.087141e-05,1.071671e-05,1.065522e-05,1.056343e-05,1.041167e-05,1.035442e-05,1.026154e-05,1.011312e-05,1.006012e-05,9.966483e-06,9.821697e-06,9.772902e-06,9.678817e-06,9.537889e-06,9.493212e-06,9.398956e-06,9.262049e-06,9.221376e-06,9.127196e-06,8.994418e-06,8.957614e-06,8.863731e-06,8.735147e-06,8.702060e-06,8.608672e-06,8.484309e-06,8.454777e-06,8.362058e-06,8.241915e-06,8.215766e-06,8.123873e-06,8.007923e-06,7.984983e-06,7.894052e-06,7.782248e-06,7.762341e-06,7.672494e-06,7.564772e-06,7.547724e-06,7.459063e-06,7.355348e-06,7.340985e-06,7.253603e-06,7.153807e-06,7.141962e-06,7.055936e-06,6.959965e-06,6.950472e-06,6.865870e-06,6.773624e-06,6.766323e-06,6.683201e-06,6.594574e-06,6.589313e-06,6.507718e-06,6.422603e-06,6.419235e-06,6.339204e-06,6.257493e-06,6.255876e-06,6.177442e-06,6.099023e-06,5.948461e-06,5.803978e-06,5.665362e-06,5.532405e-06,5.404902e-06,5.282652e-06,5.165460e-06,5.053134e-06,4.945488e-06,4.842341e-06,4.743518e-06,4.648850e-06,4.558170e-06,4.471322e-06,4.388151e-06,4.308509e-06,4.232253e-06,4.159246e-06,4.089356e-06,4.022454e-06,3.958417e-06,3.897129e-06,3.838474e-06,3.782345e-06,3.728636e-06,3.677246e-06,3.628078e-06,3.581041e-06,3.536043e-06,3.493000e-06,3.451830e-06,3.412454e-06,3.374795e-06,3.338782e-06,3.304345e-06,3.271416e-06,3.239932e-06,3.209832e-06,3.181056e-06,3.153548e-06,3.127253e-06,3.102120e-06,3.078099e-06,3.055143e-06,3.033204e-06,3.012241e-06,2.992209e-06,2.973070e-06,2.954784e-06
0.000000e+00,1.159101e-07,4.123725e-06,4.359012e-06,4.543361e-05,2.488854e-04,2.648046e-04,1.029211e-03,2.763700e-03,2.920229e-03,6.520780e-03,1.169886e-02,1.224055e-02,2.029033e-02,2.956789e-02,3.071593e-02,4.343912e-02,5.640534e-02,5.829330e-02,7.505259e-02,9.078976e-02,9.345453e-02,1.132180e-01,1.306619e-01,1.340566e-01,1.556889e-01,1.738301e-01,1.778455e-01,2.002745e-01,2.182578e-01,2.227448e-01,2.450478e-01,2.622082e-01,2.669986e-01,2.884359e-01,3.042990e-01,3.092216e-01,3.292395e-01,3.435017e-01,3.483943e-01,3.666100e-01,3.791104e-01,3.838282e-01,4.000061e-01,4.106961e-01,4.151156e-01,4.291410e-01,4.380561e-01,4.420773e-01,4.539296e-01,4.611642e-01,4.647106e-01,4.744402e-01,4.801269e-01,4.831439e-01,4.908516e-01,4.951450e-01,4.975972e-01,5.034175e-01,5.064814e-01,5.083510e-01,5.124383e-01,5.144373e-01,5.157205e-01,5.182392e-01,5.193318e-01,5.200363e-01,5.211532e-01,5.214879e-01,5.216308e-01,5.215091e-01,5.212220e-01,5.208273e-01,5.196234e-01,5.188371e-01,5.179340e-01,5.157945e-01,5.146177e-01,5.132390e-01,5.102999e-01,5.088277e-01,5.070084e-01,5.033940e-01,5.017088e-01,4.994851e-01,4.953083e-01,4.934803e-01,4.908890e-01,4.862511e-01,4.843399e-01,4.814173e-01,4.764090e-01,4.744643e-01,4.712462e-01,4.659477e-01,4.640105e-01,4.605314e-01,4.550139e-01,4.531176e-01,4.494106e-01,4.437363e-01,4.419078e-01,4.380045e-01,4.322279e-01,4.304879e-01,4.264183e-01,4.205867e-01,4.189514e-01,4.147435e-01,4.088980e-01,4.073789e-01,4.030591e-01,3.972350e-01,3.958402e-01,3.914331e-01,3.856604e-01,3.843950e-01,3.799234e-01,3.742279e-01,3.730943e-01,3.685794e-01,3.629827e-01,3.619812e-01,3.574424e-01,3.519627e-01,3.510918e-01,3.465472e-01,3.411994e-01,3.404563e-01,3.359224e-01,3.307188e-01,3.300994e-01,3.255912e-01,3.205417e-01,3.200411e-01,3.155723e-01,3.106848e-01,3.102974e-01,3.058805e-01,3.011608e-01,3.008804e-01,2.965268e-01,2.919794e-01,2.917993e-01,2.875193e-01,2.831471e-01,2.830605e-01,2.788632e-01,2.746681e-01,2.666240e-01,2.589283e-01,2.515797e-01,2.445754e-01,2.379116e-01,2.315833e-01,2.255850e-01,2.199101e-01,2.145515e-01,2.095018e-01,2.047527e-01,2.002959e-01,1.961227e-01,1.922239e-01,1.885904e-01,1.852128e-01,1.820814e-01,1.791868e-01,1.765190e-01,1.740685e-01,1.718253e-01,1.697798e-01,1.679223e-01,1.662431e-01,1.647327e-01,1.633815e-01,1.621803e-01,1.611200e-01,1.601915e-01,1.593860e-01,1.586949e-01,1.581098e-01,1.576226e-01,1.572253e-01,1.569104e-01,1.566705e-01,1.564984e-01,1.563874e-01,1.563311e-01,1.563231e-01,1.563578e-01,1.564295e-01,1.565330e-01,1.566634e-01,1.568160e-01,1.569866e-01,1.571711e-01,1.573659e-01,1.575675e-01
0.000000e+00,2.527931e-08,6.241783e-07,6.564162e-07,5.164253e-06,1.958199e-05,2.047678e-05,4.973990e-05,8.384547e-05,8.606391e-05,1.221929e-04,1.531528e-04,1.557270e-04,1.863099e-04,2.113822e-04,2.140300e-04,2.390534e-04,2.589820e-04,2.615547e-04,2.817049e-04,2.972799e-04,2.996693e-04,3.156064e-04,3.275374e-04,3.296670e-04,3.419945e-04,3.509048e-04,3.527240e-04,3.619822e-04,3.684096e-04,3.698880e-04,3.765522e-04,3.809551e-04,3.820781e-04,3.865614e-04,3.893267e-04,3.900914e-04,3.927506e-04,3.942029e-04,3.946154e-04,3.957568e-04,3.961677e-04,3.962403e-04,3.961264e-04,3.957215e-04,3.954712e-04,3.943264e-04,3.932928e-04,3.927397e-04,3.907553e-04,3.892474e-04,3.884136e-04,3.857521e-04,3.838970e-04,3.828053e-04,3.796050e-04,3.775063e-04,3.761802e-04,3.725580e-04,3.703002e-04,3.687629e-04,3.648176e-04,3.624687e-04,3.607428e-04,3.565578e-04,3.541725e-04,3.522799e-04,3.479251e-04,3.455467e-04,3.435080e-04,3.390421e-04,3.367045e-04,3.345394e-04,3.300112e-04,3.277406e-04,3.254675e-04,3.209175e-04,3.187337e-04,3.163696e-04,3.118314e-04,3.097489e-04,3.073096e-04,3.028106e-04,3.008396e-04,2.983397e-04,2.939021e-04,2.920494e-04,2.895023e-04,2.851441e-04,2.834133e-04,2.808311e-04,2.765666e-04,2.749594e-04,2.723533e-04,2.681935e-04,2.667095e-04,2.640895e-04,2.600430e-04,2.586805e-04,2.560555e-04,2.521286e-04,2.508849e-04,2.482631e-04,2.444600e-04,2.433314e-04,2.407201e-04,2.370438e-04,2.360259e-04,2.334315e-04,2.298834e-04,2.289715e-04,2.263997e-04,2.229804e-04,2.221693e-04,2.196252e-04,2.163342e-04,2.156187e-04,2.131068e-04,2.099428e-04,2.093176e-04,2.068417e-04,2.038031e-04,2.032627e-04,2.008262e-04,1.979106e-04,1.974498e-04,1.950556e-04,1.922605e-04,1.918739e-04,1.895245e-04,1.868469e-04,1.865295e-04,1.842269e-04,1.816637e-04,1.814105e-04,1.791565e-04,1.767044e-04,1.765106e-04,1.743065e-04,1.719621e-04,1.718231e-04,1.696702e-04,1.674299e-04,1.673414e-04,1.652405e-04,1.631008e-04,1.630585e-04,1.610102e-04,1.589677e-04,1.550620e-04,1.513347e-04,1.477790e-04,1.443883e-04,1.411561e-04,1.380762e-04,1.351424e-04,1.323486e-04,1.296891e-04,1.271583e-04,1.247506e-04,1.224608e-04,1.202840e-04,1.182150e-04,1.162493e-04,1.143823e-04,1.126096e-04,1.109271e-04,1.093306e-04,1.078165e-04,1.063808e-04,1.050202e-04,1.037311e-04,1.025103e-04,1.013547e-04,1.002612e-04,9.922711e-05,9.824952e-05,9.732585e-05,9.645359e-05,9.563031e-05,9.485372e-05,9.412162e-05,9.343189e-05,9.278251e-05,9.217157e-05,9.159721e-05,9.105768e-05,9.055129e-05,9.007644e-05,8.963159e-05,8.921526e-05,8.882606e-05,8.846265e-05,8.812374e-05,8.780811e-05,8.751460e-05,8.724208e-05,8.698951e-05
0.000000e+00,2.845765e-08,8.716844e-07,9.178782e-07,7.860340e-06,3.708157e-05,3.925984e-05,1.396643e-04,3.639335e-04,3.843289e-04,8.625131e-04,1.571040e-03,1.645986e-03,2.766783e-03,4.057539e-03,4.216384e-03,5.956806e-03,7.685388e-03,7.932926e-03,1.008223e-02,1.202097e-02,1.234165e-02,1.465190e-02,1.659290e-02,1.696012e-02,1.922114e-02,2.101368e-02,2.139786e-02,2.346108e-02,2.501505e-02,2.538898e-02,2.716629e-02,2.844176e-02,2.878350e-02,3.023595e-02,3.122909e-02,3.152298e-02,3.264714e-02,3.337706e-02,3.361349e-02,3.442899e-02,3.492735e-02,3.510191e-02,3.564143e-02,3.594490e-02,3.605724e-02,3.635923e-02,3.650461e-02,3.655726e-02,3.666097e-02,3.668227e-02,3.667963e-02,3.662206e-02,3.654906e-02,3.649655e-02,3.631084e-02,3.616863e-02,3.607207e-02,3.578680e-02,3.559583e-02,3.546101e-02,3.510013e-02,3.487671e-02,3.470909e-02,3.429230e-02,3.404914e-02,3.385373e-02,3.339693e-02,3.314380e-02,3.292506e-02,3.244096e-02,3.218522e-02,3.194711e-02,3.144575e-02,3.119287e-02,3.093883e-02,3.042812e-02,3.018208e-02,2.991513e-02,2.940125e-02,2.916489e-02,2.888766e-02,2.837543e-02,2.815072e-02,2.786550e-02,2.735869e-02,2.714694e-02,2.685573e-02,2.635726e-02,2.615926e-02,2.586385e-02,2.537599e-02,2.519215e-02,2.489411e-02,2.441860e-02,2.424904e-02,2.394979e-02,2.348797e-02,2.333258e-02,2.303338e-02,2.258623e-02,2.244475e-02,2.214672e-02,2.171499e-02,2.158701e-02,2.129118e-02,2.087537e-02,2.076040e-02,2.046767e-02,2.006813e-02,1.996559e-02,1.967680e-02,1.929371e-02,1.920300e-02,1.891888e-02,1.855230e-02,1.847276e-02,1.819398e-02,1.784388e-02,1.777484e-02,1.750198e-02,1.716824e-02,1.710902e-02,1.684260e-02,1.652502e-02,1.647495e-02,1.621544e-02,1.591378e-02,1.587217e-02,1.561997e-02,1.533393e-02,1.530012e-02,1.505558e-02,1.478484e-02,1.475818e-02,1.452161e-02,1.426581e-02,1.424566e-02,1.401733e-02,1.377607e-02,1.376182e-02,1.354194e-02,1.331484e-02,1.330590e-02,1.309466e-02,1.288129e-02,1.287710e-02,1.267464e-02,1.247459e-02,1.209756e-02,1.174517e-02,1.141656e-02,1.111091e-02,1.082736e-02,1.056508e-02,1.032324e-02,1.010101e-02,9.897562e-03,9.712094e-03,9.543797e-03,9.391875e-03,9.255540e-03,9.134012e-03,9.026523e-03,8.932311e-03,8.850628e-03,8.780734e-03,8.721902e-03,8.673417e-03,8.634575e-03,8.604690e-03,8.583085e-03,8.569104e-03,8.562104e-03,8.561463e-03,8.566574e-03,8.576854e-03,8.591738e-03,8.610683e-03,8.633170e-03,8.658702e-03,8.686808e-03,8.717039e-03,8.748974e-03,8.782215e-03,8.816392e-03,8.851160e-03,8.886199e-03,8.921215e-03,8.955941e-03,8.990133e-03,9.023572e-03,9.056062e-03,9.087432e-03,9.117532e-03,9.146233e-03,9.173427e-03,9.199026e-03
0.000000e+00,5.023315e-09,7.005526e-08,7.312183e-08,4.321203e-07,1.399416e-06,1.456538e-06,3.273693e-06,5.372553e-06,5.509682e-06,7.757608e-06,9.706210e-06,9.869120e-06,1.181479e-05,1.342432e-05,1.359510e-05,1.521746e-05,1.652160e-05,1.669085e-05,1.802436e-05,1.906608e-05,1.922687e-05,2.030693e-05,2.112549e-05,2.127262e-05,2.213143e-05,2.276111e-05,2.289077e-05,2.355772e-05,2.402927e-05,2.413897e-05,2.464082e-05,2.498097e-05,2.506920e-05,2.542966e-05,2.566140e-05,2.572741e-05,2.596731e-05,2.611028e-05,2.615391e-05,2.629148e-05,2.636240e-05,2.638397e-05,2.643510e-05,2.644814e-05,2.644832e-05,2.642684e-05,2.639396e-05,2.637367e-05,2.629160e-05,2.622287e-05,2.618322e-05,2.605095e-05,2.595481e-05,2.589705e-05,2.572359e-05,2.560708e-05,2.553251e-05,2.532563e-05,2.519460e-05,2.510459e-05,2.487096e-05,2.473026e-05,2.462617e-05,2.437155e-05,2.422513e-05,2.410833e-05,2.383765e-05,2.368875e-05,2.356055e-05,2.327802e-05,2.312925e-05,2.299094e-05,2.270014e-05,2.255359e-05,2.240640e-05,2.211039e-05,2.196770e-05,2.181278e-05,2.151415e-05,2.137659e-05,2.121504e-05,2.091596e-05,2.078448e-05,2.061735e-05,2.031963e-05,2.019494e-05,2.002317e-05,1.972833e-05,1.961091e-05,1.943541e-05,1.914469e-05,1.903485e-05,1.885644e-05,1.857087e-05,1.846877e-05,1.828820e-05,1.800861e-05,1.791428e-05,1.773226e-05,1.745930e-05,1.737269e-05,1.718985e-05,1.692403e-05,1.684500e-05,1.666193e-05,1.640363e-05,1.633200e-05,1.614921e-05,1.589873e-05,1.583425e-05,1.565222e-05,1.540973e-05,1.535214e-05,1.517129e-05,1.493691e-05,1.488590e-05,1.470661e-05,1.448039e-05,1.443564e-05,1.425826e-05,1.404020e-05,1.400138e-05,1.382619e-05,1.361623e-05,1.358301e-05,1.341029e-05,1.320835e-05,1.318039e-05,1.301037e-05,1.281632e-05,1.279329e-05,1.262616e-05,1.243986e-05,1.242144e-05,1.225738e-05,1.207866e-05,1.206452e-05,1.190367e-05,1.173235e-05,1.172219e-05,1.156467e-05,1.140056e-05,1.139407e-05,1.123998e-05,1.108288e-05,1.107978e-05,1.092921e-05,1.077890e-05,1.049103e-05,1.021574e-05,9.952611e-06,9.701224e-06,9.461157e-06,9.231997e-06,9.013334e-06,8.804767e-06,8.605903e-06,8.416356e-06,8.235754e-06,8.063732e-06,7.899936e-06,7.744025e-06,7.595666e-06,7.454541e-06,7.320338e-06,7.192760e-06,7.071519e-06,6.956338e-06,6.846951e-06,6.743101e-06,6.644541e-06,6.551037e-06,6.462359e-06,6.378291e-06,6.298623e-06,6.223156e-06,6.151696e-06,6.084061e-06,6.020073e-06,5.959565e-06,5.902375e-06,5.848347e-06,5.797335e-06,5.749196e-06,5.703795e-06,5.661004e-06,5.620697e-06,5.582758e-06,5.547072e-06,5.513533e-06,5.482035e-06,5.452481e-06,5.424777e-06,5.398833e-06,5.374561e-06,5.351881e-06,5.330713e-06
0.000000e+00,6.719370e-09,1.238192e-07,1.296719e-07,8.238542e-07,2.574094e-06,2.671623e-06,5.499160e-06,8.335685e-06,8.512058e-06,1.131240e-05,1.363822e-05,1.382912e-05,1.606857e-05,1.786358e-05,1.805085e-05,1.979744e-05,2.115578e-05,2.132883e-05,2.266418e-05,2.366938e-05,2.382127e-05,2.481657e-05,2.553872e-05,2.566525e-05,2.638130e-05,2.687850e-05,2.697752e-05,2.746565e-05,2.778556e-05,2.785641e-05,2.815956e-05,2.834097e-05,2.838403e-05,2.853790e-05,2.861219e-05,2.862854e-05,2.866265e-05,2.865509e-05,2.864630e-05,2.858501e-05,2.851587e-05,2.848377e-05,2.834712e-05,2.823262e-05,2.817918e-05,2.798366e-05,2.783668e-05,2.776392e-05,2.752303e-05,2.735379e-05,2.726372e-05,2.698849e-05,2.680504e-05,2.669959e-05,2.639904e-05,2.620768e-05,2.608870e-05,2.577022e-05,2.557584e-05,2.544507e-05,2.511459e-05,2.492095e-05,2.477998e-05,2.444234e-05,2.425229e-05,2.410262e-05,2.376171e-05,2.357739e-05,2.342036e-05,2.307928e-05,2.290222e-05,2.273907e-05,2.240030e-05,2.223160e-05,2.206344e-05,2.172894e-05,2.156932e-05,2.139716e-05,2.106844e-05,2.091834e-05,2.074307e-05,2.042131e-05,2.028094e-05,2.010338e-05,1.978946e-05,1.965885e-05,1.947971e-05,1.917428e-05,1.905334e-05,1.887327e-05,1.857678e-05,1.846531e-05,1.828488e-05,1.799764e-05,1.789538e-05,1.771509e-05,1.743728e-05,1.734390e-05,1.716421e-05,1.689590e-05,1.681104e-05,1.663234e-05,1.637353e-05,1.629681e-05,1.611944e-05,1.587006e-05,1.580108e-05,1.562536e-05,1.538530e-05,1.532364e-05,1.514984e-05,1.491893e-05,1.486419e-05,1.469254e-05,1.447060e-05,1.442237e-05,1.425308e-05,1.403990e-05,1.399779e-05,1.383103e-05,1.362638e-05,1.358999e-05,1.342592e-05,1.322957e-05,1.319853e-05,1.303727e-05,1.284897e-05,1.282292e-05,1.266459e-05,1.248408e-05,1.246268e-05,1.230737e-05,1.213439e-05,1.211730e-05,1.196509e-05,1.179940e-05,1.178630e-05,1.163726e-05,1.147860e-05,1.146919e-05,1.132336e-05,1.117149e-05,1.116548e-05,1.102291e-05,1.087757e-05,1.087469e-05,1.073541e-05,1.059636e-05,1.033002e-05,1.007524e-05,9.831561e-06,9.598575e-06,9.375869e-06,9.163044e-06,8.959716e-06,8.765512e-06,8.580073e-06,8.403052e-06,8.234113e-06,8.072935e-06,7.919205e-06,7.772624e-06,7.632903e-06,7.499763e-06,7.372937e-06,7.252168e-06,7.137207e-06,7.027815e-06,6.923763e-06,6.824831e-06,6.730806e-06,6.641485e-06,6.556669e-06,6.476173e-06,6.399812e-06,6.327415e-06,6.258812e-06,6.193843e-06,6.132353e-06,6.074193e-06,6.019220e-06,5.967298e-06,5.918293e-06,5.872079e-06,5.828535e-06,5.787543e-06,5.748990e-06,5.712770e-06,5.678777e-06,5.646913e-06,5.617082e-06,5.589191e-06,5.563153e-06,5.538883e-06,5.516299e-06,5.495324e-06,5.475882e-06
0.000000e+00,6.265126e-09,7.925957e-08,8.260784e-08,4.729842e-07,1.567059e-06,1.633743e-06,3.876529e-06,6.740154e-06,6.935230e-06,1.021915e-05,1.315334e-05,1.340143e-05,1.639576e-05,1.891860e-05,1.918892e-05,2.178454e-05,2.391124e-05,2.419016e-05,2.641422e-05,2.818828e-05,2.846535e-05,3.035211e-05,3.181615e-05,3.208294e-05,3.366606e-05,3.485960e-05,3.510945e-05,3.642080e-05,3.737980e-05,3.760752e-05,3.867671e-05,3.943346e-05,3.963515e-05,4.048932e-05,4.107256e-05,4.124538e-05,4.190924e-05,4.234444e-05,4.248650e-05,4.298248e-05,4.329210e-05,4.340223e-05,4.375050e-05,4.395418e-05,4.403180e-05,4.425039e-05,4.436532e-05,4.441037e-05,4.451561e-05,4.455686e-05,4.456977e-05,4.457632e-05,4.455706e-05,4.453857e-05,4.445973e-05,4.439156e-05,4.434285e-05,4.419070e-05,4.408358e-05,4.400591e-05,4.379095e-05,4.365338e-05,4.354816e-05,4.327976e-05,4.311905e-05,4.298783e-05,4.267434e-05,4.249674e-05,4.234113e-05,4.198995e-05,4.180078e-05,4.162244e-05,4.124015e-05,4.104392e-05,4.084454e-05,4.043699e-05,4.023750e-05,4.001878e-05,3.959112e-05,3.939154e-05,3.915516e-05,3.871196e-05,3.851492e-05,3.826253e-05,3.780780e-05,3.761545e-05,3.734865e-05,3.688592e-05,3.669999e-05,3.642036e-05,3.595270e-05,3.577458e-05,3.548361e-05,3.501372e-05,3.484448e-05,3.454362e-05,3.407386e-05,3.391430e-05,3.360492e-05,3.313730e-05,3.298801e-05,3.267142e-05,3.220768e-05,3.206904e-05,3.174647e-05,3.128812e-05,3.116034e-05,3.083296e-05,3.038127e-05,3.026444e-05,2.993333e-05,2.948938e-05,2.938345e-05,2.904965e-05,2.861433e-05,2.851918e-05,2.818362e-05,2.775769e-05,2.767308e-05,2.733667e-05,2.692071e-05,2.684639e-05,2.650993e-05,2.610443e-05,2.604005e-05,2.570431e-05,2.530964e-05,2.525483e-05,2.492050e-05,2.453695e-05,2.449130e-05,2.415902e-05,2.378676e-05,2.374985e-05,2.342021e-05,2.305937e-05,2.303075e-05,2.270427e-05,2.235491e-05,2.233414e-05,2.201130e-05,2.167342e-05,2.166002e-05,2.134126e-05,2.101481e-05,2.100833e-05,2.069404e-05,2.037892e-05,1.977156e-05,1.918595e-05,1.862177e-05,1.807862e-05,1.755610e-05,1.705374e-05,1.657110e-05,1.610766e-05,1.566293e-05,1.523640e-05,1.482755e-05,1.443585e-05,1.406077e-05,1.370179e-05,1.335840e-05,1.303007e-05,1.271629e-05,1.241657e-05,1.213040e-05,1.185732e-05,1.159683e-05,1.134848e-05,1.111182e-05,1.088640e-05,1.067180e-05,1.046760e-05,1.027340e-05,1.008880e-05,9.913425e-06,9.746903e-06,9.588879e-06,9.439008e-06,9.296957e-06,9.162405e-06,9.035040e-06,8.914562e-06,8.800683e-06,8.693124e-06,8.591616e-06,8.495902e-06,8.405731e-06,8.320865e-06,8.241072e-06,8.166131e-06,8.095829e-06,8.029961e-06,7.968328e-06,7.910743e-06,7.857022e-06
0.000000e+00,2.023821e-08,4.617583e-07,4.855048e-07,3.659694e-06,1.260693e-05,1.311862e-05,2.791797e-05,4.226760e-05,4.313969e-05,5.667285e-05,6.746020e-05,6.832678e-05,7.826698e-05,8.591365e-05,8.669367e-05,9.379318e-05,9.907544e-05,9.973181e-05,1.046565e-04,1.081801e-04,1.086969e-04,1.119669e-04,1.141919e-04,1.145666e-04,1.165837e-04,1.178574e-04,1.180953e-04,1.191686e-04,1.197517e-04,1.198627e-04,1.202290e-04,1.203163e-04,1.203125e-04,1.201526e-04,1.198896e-04,1.197836e-04,1.192353e-04,1.187298e-04,1.185340e-04,1.177024e-04,1.170343e-04,1.167604e-04,1.157255e-04,1.149539e-04,1.146127e-04,1.134353e-04,1.126038e-04,1.122049e-04,1.109313e-04,1.100714e-04,1.096233e-04,1.082885e-04,1.074232e-04,1.069333e-04,1.055636e-04,1.047092e-04,1.041842e-04,1.027993e-04,1.019674e-04,1.014128e-04,1.000277e-04,9.922619e-05,9.864692e-05,9.727268e-05,9.650675e-05,9.590706e-05,9.455179e-05,9.382478e-05,9.320835e-05,9.187800e-05,9.119175e-05,9.056180e-05,8.926063e-05,8.861591e-05,8.797521e-05,8.670617e-05,8.610299e-05,8.545398e-05,8.421904e-05,8.365685e-05,8.300166e-05,8.180207e-05,8.127993e-05,8.062044e-05,7.945687e-05,7.897357e-05,7.831142e-05,7.718412e-05,7.673827e-05,7.607493e-05,7.498381e-05,7.457391e-05,7.391068e-05,7.285544e-05,7.247991e-05,7.181797e-05,7.079811e-05,7.045535e-05,6.979573e-05,6.881064e-05,6.849904e-05,6.784267e-05,6.689163e-05,6.660959e-05,6.595732e-05,6.503953e-05,6.478548e-05,6.413806e-05,6.325271e-05,6.302513e-05,6.238324e-05,6.152946e-05,6.132686e-05,6.069113e-05,5.986804e-05,5.968899e-05,5.905998e-05,5.826671e-05,5.810981e-05,5.748801e-05,5.672368e-05,5.658761e-05,5.597349e-05,5.523722e-05,5.512070e-05,5.451466e-05,5.380560e-05,5.370739e-05,5.310981e-05,5.242710e-05,5.234604e-05,5.175725e-05,5.110005e-05,5.103502e-05,5.045531e-05,4.982282e-05,4.977275e-05,4.920238e-05,4.859380e-05,4.855766e-05,4.799687e-05,4.741142e-05,4.738823e-05,4.683724e-05,4.627415e-05,4.626300e-05,4.572197e-05,4.518052e-05,4.413938e-05,4.313823e-05,4.217573e-05,4.125061e-05,4.036161e-05,3.950752e-05,3.868716e-05,3.789940e-05,3.714313e-05,3.641728e-05,3.572081e-05,3.505271e-05,3.441200e-05,3.379775e-05,3.320903e-05,3.264497e-05,3.210469e-05,3.158738e-05,3.109222e-05,3.061843e-05,3.016526e-05,2.973199e-05,2.931789e-05,2.892228e-05,2.854451e-05,2.818392e-05,2.783990e-05,2.751185e-05,2.719918e-05,2.690133e-05,2.661775e-05,2.634791e-05,2.609131e-05,2.584744e-05,2.561584e-05,2.539603e-05,2.518757e-05,2.499002e-05,2.480296e-05,2.462600e-05,2.445872e-05,2.430077e-05,2.415175e-05,2.401133e-05,2.387916e-05,2.375490e-05,2.363824e-05,2.352885e-05,2.342645e-05
0.000000e+00,1.097939e-08,3.674148e-07,3.879964e-07,3.841652e-06,1.972582e-05,2.092377e-05,7.493574e-05,1.852565e-04,1.946912e-04,3.960237e-04,6.489378e-04,6.735378e-04,1.008078e-03,1.338820e-03,1.376564e-03,1.757865e-03,2.090533e-03,2.135151e-03,2.496239e-03,2.787580e-03,2.833067e-03,3.140852e-03,3.375190e-03,3.417268e-03,3.661740e-03,3.838768e-03,3.874874e-03,4.058041e-03,4.184218e-03,4.213069e-03,4.342024e-03,4.425896e-03,4.447062e-03,4.530338e-03,4.580358e-03,4.593935e-03,4.639834e-03,4.663501e-03,4.669889e-03,4.685817e-03,4.689430e-03,4.689198e-03,4.681473e-03,4.670168e-03,4.663959e-03,4.637847e-03,4.615737e-03,4.604220e-03,4.564052e-03,4.534388e-03,4.518221e-03,4.467519e-03,4.432846e-03,4.412658e-03,4.354278e-03,4.316567e-03,4.292949e-03,4.229186e-03,4.189953e-03,4.163447e-03,4.096142e-03,4.056532e-03,4.027635e-03,3.958253e-03,3.919127e-03,3.888286e-03,3.817991e-03,3.779976e-03,3.747594e-03,3.677298e-03,3.640843e-03,3.607278e-03,3.537692e-03,3.503104e-03,3.468675e-03,3.400346e-03,3.367824e-03,3.332809e-03,3.266153e-03,3.235809e-03,3.200454e-03,3.135778e-03,3.107659e-03,3.072179e-03,3.009703e-03,2.983808e-03,2.948388e-03,2.888264e-03,2.864553e-03,2.829354e-03,2.771676e-03,2.750084e-03,2.715242e-03,2.660062e-03,2.640504e-03,2.606137e-03,2.553469e-03,2.535847e-03,2.502053e-03,2.451885e-03,2.436093e-03,2.402955e-03,2.355253e-03,2.341180e-03,2.308766e-03,2.263479e-03,2.251012e-03,2.219377e-03,2.176443e-03,2.165469e-03,2.134659e-03,2.094005e-03,2.084414e-03,2.054463e-03,2.016011e-03,2.007696e-03,1.978629e-03,1.942296e-03,1.935154e-03,1.906991e-03,1.872691e-03,1.866622e-03,1.839375e-03,1.807021e-03,1.801933e-03,1.775608e-03,1.745114e-03,1.740917e-03,1.715517e-03,1.686796e-03,1.683407e-03,1.658929e-03,1.631896e-03,1.629237e-03,1.605675e-03,1.580247e-03,1.578246e-03,1.555590e-03,1.531686e-03,1.530275e-03,1.508515e-03,1.486056e-03,1.485172e-03,1.464292e-03,1.443204e-03,1.442789e-03,1.422774e-03,1.402984e-03,1.365619e-03,1.330565e-03,1.297695e-03,1.266890e-03,1.238036e-03,1.211025e-03,1.185752e-03,1.162120e-03,1.140037e-03,1.119412e-03,1.100163e-03,1.082209e-03,1.065477e-03,1.049894e-03,1.035393e-03,1.021910e-03,1.009386e-03,9.977628e-04,9.869868e-04,9.770072e-04,9.677759e-04,9.592475e-04,9.513793e-04,9.441306e-04,9.374636e-04,9.313419e-04,9.257317e-04,9.206007e-04,9.159187e-04,9.116572e-04,9.077892e-04,9.042893e-04,9.011336e-04,8.982996e-04,8.957660e-04,8.935127e-04,8.915209e-04,8.897730e-04,8.882519e-04,8.869418e-04,8.858280e-04,8.848964e-04,8.841338e-04,8.835280e-04,8.830673e-04,8.827409e-04,8.825383e-04,8.824501e-04,8.824671e-04
0.000000e+00,2.495980e-09,3.054593e-08,3.184016e-08,1.874118e-07,6.469048e-07,6.755458e-07,1.660293e-06,2.945238e-06,3.033045e-06,4.501907e-06,5.782307e-06,5.888636e-06,7.144457e-06,8.159419e-06,8.265661e-06,9.259616e-06,1.003673e-05,1.013601e-05,1.090460e-05,1.148643e-05,1.157463e-05,1.215474e-05,1.257845e-05,1.265298e-05,1.307676e-05,1.337352e-05,1.343294e-05,1.372782e-05,1.392350e-05,1.396720e-05,1.415640e-05,1.427230e-05,1.430030e-05,1.440337e-05,1.445693e-05,1.446970e-05,1.450302e-05,1.450845e-05,1.450675e-05,1.448400e-05,1.445284e-05,1.443763e-05,1.437022e-05,1.431179e-05,1.428414e-05,1.418155e-05,1.410337e-05,1.406441e-05,1.393450e-05,1.384257e-05,1.379345e-05,1.364273e-05,1.354182e-05,1.348369e-05,1.331752e-05,1.321142e-05,1.314535e-05,1.296815e-05,1.285981e-05,1.278684e-05,1.260223e-05,1.249394e-05,1.241505e-05,1.222597e-05,1.211948e-05,1.203559e-05,1.184443e-05,1.174106e-05,1.165299e-05,1.146168e-05,1.136239e-05,1.127091e-05,1.108100e-05,1.098647e-05,1.089227e-05,1.070498e-05,1.061566e-05,1.051937e-05,1.033566e-05,1.025184e-05,1.015403e-05,9.974631e-06,9.896441e-06,9.797609e-06,9.623081e-06,9.550548e-06,9.451149e-06,9.281897e-06,9.214963e-06,9.115397e-06,8.951705e-06,8.890248e-06,8.790867e-06,8.632918e-06,8.576768e-06,8.477883e-06,8.325779e-06,8.274733e-06,8.176614e-06,8.030391e-06,7.984220e-06,7.887104e-06,7.746744e-06,7.705205e-06,7.609296e-06,7.474740e-06,7.437580e-06,7.343053e-06,7.214209e-06,7.181171e-06,7.088176e-06,6.964924e-06,6.935753e-06,6.844417e-06,6.726618e-06,6.701062e-06,6.611489e-06,6.498991e-06,6.476803e-06,6.389082e-06,6.281719e-06,6.262661e-06,6.176861e-06,6.074464e-06,6.058306e-06,5.974483e-06,5.876875e-06,5.863397e-06,5.781595e-06,5.688598e-06,5.677590e-06,5.597841e-06,5.509277e-06,5.500540e-06,5.422864e-06,5.338556e-06,5.331902e-06,5.256312e-06,5.176086e-06,5.171336e-06,5.097836e-06,5.021520e-06,5.018507e-06,4.947096e-06,4.874521e-06,4.873089e-06,4.803756e-06,4.734760e-06,4.603212e-06,4.478144e-06,4.359264e-06,4.246293e-06,4.138960e-06,4.037006e-06,3.940181e-06,3.848245e-06,3.760969e-06,3.678133e-06,3.599527e-06,3.524950e-06,3.454210e-06,3.387123e-06,3.323513e-06,3.263213e-06,3.206064e-06,3.151913e-06,3.100616e-06,3.052032e-06,3.006031e-06,2.962487e-06,2.921280e-06,2.882295e-06,2.845423e-06,2.810562e-06,2.777612e-06,2.746480e-06,2.717075e-06,2.689312e-06,2.663112e-06,2.638395e-06,2.615088e-06,2.593123e-06,2.572431e-06,2.552949e-06,2.534617e-06,2.517378e-06,2.501176e-06,2.485960e-06,2.471679e-06,2.458288e-06,2.445740e-06,2.433993e-06,2.423007e-06,2.412742e-06,2.403162e-06,2.394231e-06,2.385917e-06
0.000000e+00,1.830731e-08,4.529341e-07,4.757100e-07,3.774023e-06,1.685135e-05,1.778708e-05,5.683362e-05,1.259130e-04,1.313469e-04,2.346940e-04,3.410022e-04,3.503694e-04,4.659255e-04,5.648749e-04,5.754857e-04,6.770357e-04,7.594603e-04,7.702021e-04,8.551983e-04,9.220631e-04,9.324232e-04,1.002323e-03,1.055705e-03,1.065345e-03,1.121927e-03,1.163815e-03,1.172490e-03,1.217437e-03,1.249608e-03,1.257150e-03,1.291995e-03,1.316017e-03,1.322317e-03,1.348440e-03,1.365675e-03,1.370672e-03,1.389300e-03,1.400926e-03,1.404596e-03,1.416814e-03,1.423839e-03,1.426191e-03,1.432951e-03,1.436237e-03,1.437301e-03,1.439437e-03,1.439718e-03,1.439541e-03,1.437783e-03,1.435680e-03,1.434321e-03,1.429305e-03,1.425342e-03,1.422871e-03,1.415149e-03,1.409767e-03,1.406259e-03,1.396311e-03,1.389879e-03,1.385412e-03,1.373656e-03,1.366481e-03,1.361134e-03,1.347930e-03,1.340267e-03,1.334121e-03,1.319780e-03,1.311837e-03,1.304972e-03,1.289761e-03,1.281711e-03,1.274203e-03,1.258352e-03,1.250331e-03,1.242256e-03,1.225961e-03,1.218081e-03,1.209509e-03,1.192939e-03,1.185286e-03,1.176285e-03,1.159581e-03,1.152223e-03,1.142857e-03,1.126139e-03,1.119127e-03,1.109455e-03,1.092826e-03,1.086194e-03,1.076273e-03,1.059817e-03,1.053592e-03,1.043473e-03,1.027259e-03,1.021456e-03,1.011188e-03,9.952741e-04,9.899009e-04,9.795277e-04,9.639598e-04,9.590173e-04,9.485795e-04,9.333951e-04,9.288790e-04,9.184137e-04,9.036418e-04,8.995440e-04,8.890848e-04,8.747475e-04,8.710563e-04,8.606338e-04,8.467471e-04,8.434483e-04,8.330900e-04,8.196648e-04,8.167426e-04,8.064731e-04,7.935161e-04,7.909529e-04,7.807943e-04,7.683082e-04,7.660857e-04,7.560576e-04,7.440422e-04,7.421415e-04,7.322612e-04,7.207136e-04,7.191155e-04,7.093982e-04,6.983134e-04,6.969986e-04,6.874574e-04,6.768285e-04,6.757781e-04,6.664245e-04,6.562431e-04,6.554381e-04,6.462819e-04,6.365384e-04,6.359606e-04,6.270099e-04,6.176938e-04,6.173255e-04,6.085872e-04,5.996871e-04,5.995112e-04,5.909907e-04,5.824949e-04,5.662531e-04,5.507615e-04,5.359956e-04,5.219307e-04,5.085420e-04,4.958049e-04,4.836951e-04,4.721884e-04,4.612614e-04,4.508907e-04,4.410539e-04,4.317288e-04,4.228940e-04,4.145287e-04,4.066125e-04,3.991260e-04,3.920503e-04,3.853670e-04,3.790586e-04,3.731080e-04,3.674988e-04,3.622154e-04,3.572427e-04,3.525660e-04,3.481713e-04,3.440454e-04,3.401754e-04,3.365488e-04,3.331539e-04,3.299794e-04,3.270144e-04,3.242486e-04,3.216719e-04,3.192749e-04,3.170486e-04,3.149841e-04,3.130733e-04,3.113080e-04,3.096809e-04,3.081845e-04,3.068119e-04,3.055566e-04,3.044123e-04,3.033728e-04,3.024324e-04,3.015856e-04,3.008272e-04,3.001522e-04,2.995558e-04
0.000000e+00,2.216891e-08,5.526850e-07,5.808202e-07,4.623784e-06,1.945009e-05,2.045863e-05,5.925024e-05,1.199289e-04,1.244546e-04,2.063511e-04,2.850132e-04,2.917558e-04,3.730900e-04,4.406171e-04,4.477648e-04,5.153601e-04,5.691943e-04,5.761426e-04,6.305536e-04,6.726080e-04,6.790608e-04,7.221187e-04,7.543924e-04,7.601587e-04,7.935863e-04,8.178219e-04,8.227806e-04,8.480943e-04,8.657720e-04,8.698547e-04,8.883649e-04,9.007273e-04,9.039046e-04,9.167328e-04,9.248166e-04,9.270886e-04,9.351927e-04,9.398600e-04,9.412479e-04,9.454413e-04,9.474049e-04,9.479450e-04,9.489173e-04,9.487651e-04,9.485037e-04,9.468381e-04,9.450535e-04,9.440434e-04,9.402326e-04,9.372115e-04,9.355093e-04,9.299687e-04,9.260344e-04,9.236981e-04,9.167777e-04,9.121932e-04,9.092809e-04,9.012749e-04,8.962527e-04,8.928213e-04,8.839766e-04,8.786880e-04,8.747924e-04,8.653157e-04,8.598974e-04,8.555899e-04,8.456541e-04,8.402143e-04,8.355444e-04,8.252935e-04,8.199173e-04,8.149313e-04,8.044850e-04,7.992381e-04,7.939792e-04,7.834364e-04,7.783687e-04,7.728769e-04,7.623191e-04,7.574678e-04,7.517798e-04,7.412740e-04,7.366656e-04,7.308152e-04,7.204157e-04,7.160683e-04,7.100865e-04,6.998372e-04,6.957620e-04,6.896768e-04,6.796129e-04,6.758155e-04,6.696526e-04,6.598018e-04,6.562834e-04,6.500660e-04,6.404497e-04,6.372082e-04,6.309572e-04,6.215917e-04,6.186222e-04,6.123564e-04,6.032537e-04,6.005490e-04,5.942855e-04,5.854537e-04,5.830054e-04,5.767595e-04,5.682038e-04,5.660021e-04,5.597873e-04,5.515105e-04,5.495448e-04,5.433734e-04,5.353760e-04,5.336353e-04,5.275181e-04,5.197991e-04,5.182719e-04,5.122185e-04,5.047754e-04,5.034502e-04,4.974691e-04,4.902984e-04,4.891636e-04,4.832623e-04,4.763595e-04,4.754037e-04,4.695887e-04,4.629486e-04,4.621605e-04,4.564377e-04,4.500545e-04,4.494232e-04,4.437975e-04,4.376650e-04,4.371798e-04,4.316555e-04,4.257673e-04,4.254178e-04,4.199987e-04,4.143479e-04,4.141243e-04,4.088134e-04,4.033934e-04,4.032861e-04,3.980860e-04,3.928896e-04,3.829214e-04,3.733679e-04,3.642156e-04,3.554513e-04,3.470618e-04,3.390341e-04,3.313558e-04,3.240143e-04,3.169976e-04,3.102938e-04,3.038916e-04,2.977798e-04,2.919475e-04,2.863842e-04,2.810798e-04,2.760243e-04,2.712083e-04,2.666224e-04,2.622578e-04,2.581058e-04,2.541581e-04,2.504065e-04,2.468434e-04,2.434611e-04,2.402525e-04,2.372105e-04,2.343283e-04,2.315995e-04,2.290177e-04,2.265770e-04,2.242713e-04,2.220952e-04,2.200431e-04,2.181099e-04,2.162904e-04,2.145798e-04,2.129734e-04,2.114667e-04,2.100553e-04,2.087350e-04,2.075018e-04,2.063518e-04,2.052812e-04,2.042864e-04,2.033639e-04,2.025104e-04,2.017227e-04,2.009976e-04,2.003322e-04
0.000000e+00,4.397038e-09,1.501603e-07,1.586852e-07,1.643339e-06,8.840900e-06,9.394731e-06,3.493867e-05,8.805236e-05,9.260185e-05,1.892924e-04,3.092673e-04,3.208422e-04,4.765612e-04,6.273190e-04,6.443117e-04,8.133691e-04,9.566236e-04,9.755055e-04,1.125086e-03,1.241050e-03,1.258723e-03,1.374794e-03,1.458448e-03,1.472967e-03,1.553795e-03,1.607902e-03,1.618394e-03,1.668200e-03,1.698456e-03,1.704796e-03,1.729795e-03,1.742249e-03,1.744755e-03,1.751134e-03,1.751067e-03,1.750262e-03,1.743330e-03,1.734921e-03,1.731387e-03,1.715346e-03,1.701706e-03,1.695994e-03,1.674004e-03,1.657348e-03,1.649942e-03,1.624286e-03,1.606136e-03,1.597436e-03,1.569721e-03,1.551090e-03,1.541414e-03,1.512741e-03,1.494282e-03,1.483882e-03,1.454986e-03,1.437106e-03,1.426174e-03,1.397541e-03,1.380479e-03,1.369163e-03,1.341102e-03,1.324991e-03,1.313405e-03,1.286109e-03,1.271010e-03,1.259244e-03,1.232830e-03,1.218760e-03,1.206884e-03,1.181418e-03,1.168368e-03,1.156440e-03,1.131954e-03,1.119897e-03,1.107964e-03,1.084471e-03,1.073370e-03,1.061472e-03,1.038967e-03,1.028780e-03,1.016953e-03,9.954252e-04,9.861059e-04,9.743794e-04,9.538105e-04,9.453124e-04,9.337129e-04,9.140806e-04,9.063567e-04,8.949075e-04,8.761869e-04,8.691903e-04,8.579121e-04,8.400761e-04,8.337613e-04,8.226720e-04,8.056923e-04,8.000147e-04,7.891300e-04,7.729775e-04,7.678941e-04,7.572275e-04,7.418725e-04,7.373419e-04,7.269051e-04,7.123177e-04,7.083004e-04,6.981030e-04,6.842534e-04,6.807115e-04,6.707616e-04,6.576202e-04,6.545176e-04,6.448219e-04,6.323594e-04,6.296620e-04,6.202256e-04,6.084132e-04,6.060887e-04,5.969154e-04,5.857251e-04,5.837429e-04,5.748354e-04,5.642396e-04,5.625711e-04,5.539311e-04,5.439031e-04,5.425213e-04,5.341494e-04,5.246634e-04,5.235428e-04,5.154390e-04,5.064700e-04,5.055869e-04,4.977503e-04,4.892740e-04,4.886062e-04,4.810353e-04,4.730284e-04,4.725552e-04,4.652478e-04,4.576879e-04,4.573900e-04,4.503434e-04,4.432090e-04,4.430684e-04,4.362795e-04,4.295498e-04,4.167955e-04,4.047682e-04,3.934321e-04,3.827534e-04,3.726992e-04,3.632386e-04,3.543416e-04,3.459801e-04,3.381268e-04,3.307560e-04,3.238431e-04,3.173645e-04,3.112980e-04,3.056221e-04,3.003168e-04,2.953625e-04,2.907410e-04,2.864348e-04,2.824271e-04,2.787021e-04,2.752448e-04,2.720407e-04,2.690762e-04,2.663383e-04,2.638146e-04,2.614933e-04,2.593633e-04,2.574138e-04,2.556348e-04,2.540166e-04,2.525501e-04,2.512264e-04,2.500374e-04,2.489751e-04,2.480320e-04,2.472011e-04,2.464754e-04,2.458485e-04,2.453145e-04,2.448673e-04,2.445014e-04,2.442117e-04,2.439930e-04,2.438407e-04,2.437503e-04,2.437173e-04,2.437379e-04,2.438081e-04,2.439243e-04
0.000000e+00,3.313523e-08,6.483260e-07,6.798644e-07,4.949657e-06,1.870219e-05,1.956896e-05,4.870731e-05,8.411152e-05,8.645041e-05,1.249711e-04,1.585161e-04,1.613253e-04,1.949376e-04,2.228391e-04,2.258055e-04,2.540487e-04,2.768464e-04,2.798120e-04,3.032425e-04,3.216378e-04,3.244854e-04,3.436811e-04,3.583225e-04,3.609647e-04,3.764651e-04,3.879309e-04,3.903047e-04,4.025995e-04,4.113966e-04,4.134586e-04,4.229849e-04,4.295526e-04,4.312751e-04,4.384202e-04,4.431367e-04,4.445044e-04,4.496076e-04,4.527963e-04,4.538042e-04,4.571640e-04,4.591015e-04,4.597518e-04,4.616278e-04,4.625479e-04,4.628486e-04,4.634668e-04,4.635683e-04,4.635317e-04,4.630887e-04,4.625391e-04,4.621807e-04,4.608473e-04,4.597878e-04,4.591254e-04,4.570494e-04,4.555987e-04,4.546514e-04,4.519611e-04,4.502182e-04,4.490061e-04,4.458122e-04,4.438597e-04,4.424032e-04,4.388014e-04,4.367079e-04,4.350273e-04,4.311001e-04,4.289220e-04,4.270374e-04,4.228557e-04,4.206393e-04,4.185702e-04,4.141949e-04,4.119778e-04,4.097430e-04,4.052264e-04,4.030388e-04,4.006564e-04,3.960431e-04,3.939092e-04,3.913962e-04,3.867243e-04,3.846629e-04,3.820355e-04,3.773373e-04,3.753629e-04,3.726364e-04,3.679392e-04,3.660626e-04,3.632513e-04,3.585781e-04,3.568071e-04,3.539243e-04,3.492943e-04,3.476341e-04,3.446922e-04,3.401216e-04,3.385753e-04,3.355857e-04,3.310876e-04,3.296567e-04,3.266300e-04,3.222153e-04,3.208996e-04,3.178457e-04,3.135231e-04,3.123215e-04,3.092493e-04,3.050258e-04,3.039361e-04,3.008539e-04,2.967348e-04,2.957542e-04,2.926695e-04,2.886590e-04,2.877840e-04,2.847038e-04,2.808046e-04,2.800315e-04,2.769619e-04,2.731762e-04,2.725008e-04,2.694475e-04,2.657762e-04,2.651942e-04,2.621624e-04,2.586060e-04,2.581127e-04,2.551071e-04,2.516655e-04,2.512563e-04,2.482810e-04,2.449535e-04,2.446238e-04,2.416826e-04,2.384680e-04,2.382133e-04,2.353094e-04,2.322064e-04,2.320220e-04,2.291585e-04,2.261653e-04,2.260467e-04,2.232263e-04,2.203409e-04,2.202838e-04,2.175087e-04,2.147290e-04,2.093781e-04,2.042264e-04,1.992690e-04,1.945010e-04,1.899174e-04,1.855129e-04,1.812826e-04,1.772212e-04,1.733237e-04,1.695850e-04,1.660000e-04,1.625639e-04,1.592718e-04,1.561188e-04,1.531004e-04,1.502118e-04,1.474487e-04,1.448067e-04,1.422814e-04,1.398688e-04,1.375648e-04,1.353654e-04,1.332669e-04,1.312655e-04,1.293576e-04,1.275397e-04,1.258084e-04,1.241604e-04,1.225926e-04,1.211017e-04,1.196849e-04,1.183392e-04,1.170619e-04,1.158501e-04,1.147012e-04,1.136128e-04,1.125824e-04,1.116075e-04,1.106858e-04,1.098152e-04,1.089934e-04,1.082185e-04,1.074883e-04,1.068010e-04,1.061546e-04,1.055474e-04,1.049776e-04,1.044435e-04,1.039435e-04
0.000000e+00,4.130528e-09,5.084954e-08,5.299449e-08,3.068462e-07,1.039777e-06,1.085087e-06,2.634091e-06,4.647504e-06,4.784754e-06,7.065543e-06,9.020990e-06,9.181772e-06,1.106059e-05,1.255001e-05,1.270430e-05,1.413165e-05,1.522539e-05,1.536358e-05,1.642003e-05,1.720224e-05,1.731932e-05,1.807810e-05,1.861799e-05,1.871148e-05,1.923306e-05,1.958600e-05,1.965514e-05,1.998880e-05,2.019879e-05,2.024399e-05,2.042964e-05,2.053135e-05,2.055375e-05,2.062353e-05,2.064422e-05,2.064543e-05,2.062523e-05,2.058625e-05,2.056811e-05,2.047871e-05,2.039670e-05,2.036117e-05,2.021914e-05,2.010693e-05,2.005593e-05,1.987447e-05,1.974201e-05,1.967739e-05,1.946705e-05,1.932198e-05,1.924552e-05,1.901465e-05,1.886275e-05,1.877607e-05,1.853127e-05,1.837694e-05,1.828153e-05,1.802802e-05,1.787454e-05,1.777176e-05,1.751365e-05,1.736341e-05,1.725448e-05,1.699494e-05,1.684968e-05,1.673567e-05,1.647721e-05,1.633814e-05,1.622002e-05,1.596453e-05,1.583247e-05,1.571110e-05,1.546004e-05,1.533548e-05,1.521161e-05,1.496606e-05,1.484928e-05,1.472358e-05,1.448434e-05,1.437541e-05,1.424848e-05,1.401611e-05,1.391500e-05,1.378733e-05,1.356222e-05,1.346878e-05,1.334084e-05,1.312323e-05,1.303724e-05,1.290942e-05,1.269943e-05,1.262064e-05,1.249327e-05,1.229095e-05,1.221905e-05,1.209245e-05,1.189776e-05,1.183243e-05,1.170685e-05,1.151971e-05,1.146061e-05,1.133629e-05,1.115657e-05,1.110337e-05,1.098051e-05,1.080806e-05,1.076041e-05,1.063918e-05,1.047382e-05,1.043140e-05,1.031194e-05,1.015348e-05,1.011595e-05,9.998395e-06,9.846634e-06,9.813688e-06,9.698144e-06,9.552870e-06,9.524196e-06,9.410759e-06,9.271758e-06,9.247063e-06,9.135812e-06,9.002868e-06,8.981872e-06,8.872871e-06,8.745770e-06,8.728203e-06,8.621509e-06,8.500037e-06,8.485646e-06,8.381302e-06,8.265250e-06,8.253791e-06,8.151832e-06,8.040995e-06,8.032238e-06,7.932691e-06,7.826869e-06,7.820597e-06,7.723480e-06,7.622478e-06,7.618486e-06,7.523813e-06,7.427439e-06,7.425535e-06,7.333311e-06,7.241382e-06,7.065680e-06,6.898091e-06,6.738288e-06,6.585957e-06,6.440792e-06,6.302501e-06,6.170801e-06,6.045421e-06,5.926098e-06,5.812579e-06,5.704623e-06,5.601997e-06,5.504474e-06,5.411841e-06,5.323890e-06,5.240420e-06,5.161242e-06,5.086170e-06,5.015028e-06,4.947646e-06,4.883861e-06,4.823516e-06,4.766461e-06,4.712552e-06,4.661649e-06,4.613619e-06,4.568335e-06,4.525674e-06,4.485518e-06,4.447753e-06,4.412272e-06,4.378970e-06,4.347747e-06,4.318508e-06,4.291159e-06,4.265614e-06,4.241787e-06,4.219597e-06,4.198967e-06,4.179821e-06,4.162089e-06,4.145701e-06,4.130592e-06,4.116698e-06,4.103960e-06,4.092319e-06,4.081720e-06,4.072109e-06,4.063436e-06
0.000000e+00,2.131138e-08,4.980000e-07,5.222142e-07,3.770502e-06,1.528295e-05,1.607085e-05,4.742097e-05,1.011194e-04,1.053678e-04,1.882362e-04,2.778301e-04,2.859057e-04,3.872509e-04,4.756724e-04,4.852030e-04,5.766299e-04,6.509063e-04,6.605803e-04,7.370300e-04,7.970133e-04,8.062925e-04,8.687845e-04,9.163653e-04,9.249430e-04,9.751968e-04,1.012288e-03,1.019957e-03,1.059613e-03,1.087910e-03,1.094532e-03,1.125061e-03,1.146034e-03,1.151523e-03,1.174222e-03,1.189133e-03,1.193443e-03,1.209452e-03,1.219377e-03,1.222496e-03,1.232808e-03,1.238663e-03,1.240605e-03,1.246087e-03,1.248649e-03,1.249443e-03,1.250850e-03,1.250776e-03,1.250469e-03,1.248455e-03,1.246299e-03,1.244948e-03,1.240081e-03,1.236309e-03,1.233977e-03,1.226750e-03,1.221752e-03,1.218506e-03,1.209345e-03,1.203447e-03,1.199359e-03,1.188633e-03,1.182104e-03,1.177245e-03,1.165271e-03,1.158334e-03,1.152777e-03,1.139828e-03,1.132667e-03,1.126482e-03,1.112792e-03,1.105555e-03,1.098810e-03,1.084581e-03,1.077387e-03,1.070148e-03,1.055551e-03,1.048497e-03,1.040827e-03,1.026008e-03,1.019169e-03,1.011126e-03,9.962096e-04,9.896420e-04,9.812840e-04,9.663733e-04,9.601206e-04,9.514994e-04,9.366822e-04,9.307754e-04,9.219400e-04,9.072892e-04,9.017491e-04,8.927449e-04,8.783207e-04,8.731597e-04,8.640288e-04,8.498803e-04,8.451042e-04,8.358851e-04,8.220521e-04,8.176611e-04,8.083891e-04,7.949031e-04,7.908928e-04,7.816003e-04,7.684859e-04,7.648482e-04,7.555645e-04,7.428402e-04,7.395645e-04,7.303161e-04,7.179952e-04,7.150686e-04,7.058795e-04,6.939708e-04,6.913788e-04,6.822704e-04,6.707791e-04,6.685060e-04,6.594975e-04,6.484257e-04,6.464550e-04,6.375634e-04,6.269102e-04,6.252251e-04,6.164655e-04,6.062280e-04,6.048113e-04,5.961968e-04,5.863703e-04,5.852048e-04,5.767470e-04,5.673250e-04,5.663939e-04,5.581026e-04,5.490776e-04,5.483641e-04,5.402479e-04,5.316112e-04,5.310990e-04,5.231651e-04,5.149072e-04,5.145808e-04,5.068351e-04,4.989460e-04,4.987901e-04,4.912374e-04,4.837066e-04,4.693095e-04,4.555772e-04,4.424882e-04,4.300206e-04,4.181525e-04,4.068624e-04,3.961287e-04,3.859304e-04,3.762467e-04,3.670573e-04,3.583422e-04,3.500821e-04,3.422583e-04,3.348523e-04,3.278464e-04,3.212235e-04,3.149670e-04,3.090607e-04,3.034893e-04,2.982378e-04,2.932918e-04,2.886375e-04,2.842615e-04,2.801510e-04,2.762938e-04,2.726780e-04,2.692922e-04,2.661256e-04,2.631677e-04,2.604085e-04,2.578385e-04,2.554483e-04,2.532293e-04,2.511729e-04,2.492711e-04,2.475161e-04,2.459005e-04,2.444172e-04,2.430595e-04,2.418208e-04,2.406950e-04,2.396760e-04,2.387583e-04,2.379363e-04,2.372049e-04,2.365592e-04,2.359943e-04,2.355058e-04,2.350893e-04
0.000000e+00,3.484609e-08,1.347435e-06,1.427492e-06,1.650352e-05,9.544530e-05,1.016518e-04,3.922275e-04,1.005360e-03,1.058521e-03,2.223254e-03,3.781360e-03,3.939115e-03,6.202647e-03,8.674454e-03,8.972520e-03,1.218451e-02,1.531648e-02,1.576252e-02,1.962637e-02,2.311749e-02,2.369698e-02,2.789976e-02,3.148222e-02,3.216664e-02,3.643716e-02,3.990465e-02,4.065885e-02,4.478719e-02,4.799761e-02,4.878528e-02,5.262329e-02,5.549056e-02,5.627785e-02,5.973134e-02,6.221364e-02,6.297124e-02,6.598942e-02,6.807744e-02,6.878152e-02,7.134637e-02,7.305308e-02,7.368543e-02,7.580231e-02,7.715472e-02,7.770234e-02,7.939227e-02,8.042536e-02,8.087989e-02,8.217366e-02,8.292571e-02,8.328258e-02,8.421600e-02,8.472567e-02,8.498342e-02,8.559439e-02,8.589876e-02,8.605834e-02,8.638455e-02,8.651794e-02,8.658207e-02,8.665967e-02,8.665308e-02,8.662581e-02,8.648858e-02,8.636948e-02,8.625573e-02,8.593463e-02,8.572702e-02,8.553229e-02,8.505534e-02,8.477995e-02,8.451008e-02,8.390244e-02,8.357700e-02,8.323803e-02,8.252210e-02,8.216163e-02,8.175962e-02,8.095525e-02,8.057238e-02,8.011335e-02,7.923801e-02,7.884328e-02,7.833310e-02,7.740220e-02,7.700430e-02,7.644870e-02,7.547573e-02,7.508176e-02,7.448624e-02,7.348300e-02,7.309869e-02,7.246855e-02,7.144531e-02,7.107523e-02,7.041551e-02,6.938122e-02,6.902888e-02,6.834437e-02,6.730677e-02,6.697485e-02,6.627008e-02,6.523585e-02,6.492628e-02,6.420551e-02,6.318039e-02,6.289446e-02,6.216171e-02,6.115059e-02,6.088907e-02,6.014808e-02,5.915512e-02,5.891832e-02,5.817258e-02,5.720126e-02,5.698915e-02,5.624189e-02,5.529513e-02,5.510734e-02,5.436156e-02,5.344174e-02,5.327767e-02,5.253613e-02,5.164517e-02,5.150400e-02,5.076924e-02,4.990868e-02,4.978944e-02,4.906377e-02,4.823477e-02,4.813637e-02,4.742190e-02,4.662532e-02,4.654657e-02,4.584519e-02,4.508163e-02,4.502126e-02,4.433472e-02,4.360451e-02,4.356123e-02,4.289105e-02,4.219434e-02,4.216682e-02,4.151437e-02,4.085112e-02,4.083802e-02,4.020453e-02,3.957454e-02,3.837577e-02,3.724091e-02,3.616894e-02,3.515868e-02,3.420880e-02,3.331785e-02,3.248426e-02,3.170640e-02,3.098255e-02,3.031093e-02,2.968973e-02,2.911708e-02,2.859110e-02,2.810987e-02,2.767147e-02,2.727396e-02,2.691542e-02,2.659391e-02,2.630750e-02,2.605429e-02,2.583239e-02,2.563991e-02,2.547501e-02,2.533588e-02,2.522072e-02,2.512779e-02,2.505538e-02,2.500183e-02,2.496551e-02,2.494485e-02,2.493833e-02,2.494450e-02,2.496194e-02,2.498931e-02,2.502533e-02,2.506876e-02,2.511845e-02,2.517331e-02,2.523231e-02,2.529447e-02,2.535891e-02,2.542478e-02,2.549132e-02,2.555782e-02,2.562364e-02,2.568820e-02,2.575097e-02,2.581149e-02,2.586935e-02
0.000000e+00,1.228692e-08,3.696636e-07,3.900043e-07,3.744810e-06,1.849341e-05,1.957509e-05,6.563036e-05,1.489787e-04,1.556044e-04,2.833678e-04,4.181157e-04,4.301445e-04,5.805462e-04,7.122573e-04,7.265428e-04,8.649067e-04,9.795508e-04,9.946594e-04,1.115716e-03,1.213049e-03,1.228316e-03,1.332800e-03,1.414569e-03,1.429543e-03,1.518918e-03,1.586967e-03,1.601294e-03,1.677029e-03,1.733069e-03,1.746470e-03,1.809952e-03,1.855539e-03,1.867797e-03,1.920311e-03,1.956841e-03,1.967792e-03,2.010520e-03,2.039239e-03,2.048766e-03,2.082784e-03,2.104797e-03,2.112819e-03,2.139104e-03,2.155391e-03,2.161860e-03,2.181297e-03,2.192722e-03,2.197616e-03,2.211006e-03,2.218327e-03,2.221648e-03,2.229712e-03,2.233595e-03,2.235361e-03,2.238749e-03,2.239778e-03,2.240022e-03,2.239318e-03,2.238002e-03,2.236769e-03,2.232499e-03,2.229281e-03,2.226627e-03,2.219264e-03,2.214529e-03,2.210515e-03,2.200481e-03,2.194562e-03,2.189256e-03,2.176931e-03,2.170115e-03,2.163590e-03,2.149312e-03,2.141846e-03,2.134175e-03,2.118249e-03,2.110345e-03,2.101603e-03,2.084300e-03,2.076137e-03,2.066400e-03,2.047961e-03,2.039691e-03,2.029036e-03,2.009676e-03,2.001427e-03,1.989929e-03,1.969839e-03,1.961717e-03,1.949449e-03,1.928798e-03,1.920891e-03,1.907925e-03,1.886864e-03,1.879243e-03,1.865649e-03,1.844310e-03,1.837032e-03,1.822877e-03,1.801376e-03,1.794486e-03,1.779835e-03,1.758275e-03,1.751808e-03,1.736721e-03,1.715193e-03,1.709172e-03,1.693710e-03,1.672291e-03,1.666734e-03,1.650952e-03,1.629710e-03,1.624627e-03,1.608578e-03,1.587572e-03,1.582969e-03,1.566703e-03,1.545983e-03,1.541858e-03,1.525422e-03,1.505031e-03,1.501380e-03,1.484819e-03,1.464794e-03,1.461608e-03,1.444964e-03,1.425335e-03,1.422604e-03,1.405914e-03,1.386707e-03,1.384417e-03,1.367719e-03,1.348954e-03,1.347090e-03,1.330417e-03,1.312110e-03,1.310656e-03,1.294039e-03,1.276204e-03,1.275141e-03,1.258608e-03,1.241254e-03,1.240565e-03,1.224143e-03,1.207277e-03,1.206942e-03,1.190655e-03,1.174280e-03,1.142584e-03,1.111855e-03,1.082090e-03,1.053283e-03,1.025425e-03,9.985061e-04,9.725133e-04,9.474323e-04,9.232476e-04,8.999423e-04,8.774988e-04,8.558984e-04,8.351219e-04,8.151498e-04,7.959620e-04,7.775382e-04,7.598581e-04,7.429011e-04,7.266469e-04,7.110750e-04,6.961652e-04,6.818974e-04,6.682519e-04,6.552090e-04,6.427494e-04,6.308542e-04,6.195048e-04,6.086830e-04,5.983707e-04,5.885507e-04,5.792056e-04,5.703189e-04,5.618743e-04,5.538557e-04,5.462478e-04,5.390355e-04,5.322040e-04,5.257391e-04,5.196270e-04,5.138540e-04,5.084071e-04,5.032736e-04,4.984411e-04,4.938976e-04,4.896316e-04,4.856316e-04,4.818868e-04,4.783867e-04,4.751208e-04
0.000000e+00,2.087996e-08,5.022009e-07,5.285100e-07,4.403500e-06,1.779021e-05,1.864829e-05,4.761854e-05,8.239886e-05,8.467069e-05,1.215632e-04,1.528093e-04,1.553858e-04,1.856931e-04,2.100723e-04,2.126195e-04,2.364099e-04,2.549543e-04,2.573196e-04,2.755927e-04,2.893725e-04,2.914565e-04,3.051235e-04,3.150505e-04,3.167905e-04,3.266395e-04,3.334775e-04,3.348387e-04,3.415430e-04,3.459263e-04,3.468950e-04,3.510255e-04,3.534769e-04,3.540545e-04,3.560920e-04,3.570397e-04,3.572387e-04,3.575865e-04,3.573792e-04,3.572195e-04,3.562144e-04,3.551352e-04,3.546412e-04,3.525639e-04,3.508410e-04,3.500404e-04,3.471239e-04,3.449409e-04,3.438624e-04,3.402999e-04,3.378032e-04,3.364761e-04,3.324272e-04,3.297331e-04,3.281860e-04,3.237823e-04,3.209822e-04,3.192429e-04,3.145922e-04,3.117577e-04,3.098523e-04,3.050430e-04,3.022290e-04,3.001823e-04,2.952861e-04,2.925343e-04,2.903691e-04,2.854441e-04,2.827855e-04,2.805229e-04,2.756158e-04,2.730728e-04,2.707321e-04,2.658800e-04,2.634681e-04,2.610667e-04,2.562988e-04,2.540279e-04,2.515818e-04,2.469207e-04,2.447965e-04,2.423197e-04,2.377827e-04,2.358075e-04,2.333128e-04,2.289127e-04,2.270860e-04,2.245846e-04,2.203305e-04,2.186499e-04,2.161518e-04,2.120498e-04,2.105113e-04,2.080253e-04,2.040791e-04,2.026777e-04,2.002115e-04,1.964227e-04,1.951524e-04,1.927127e-04,1.890814e-04,1.879359e-04,1.855284e-04,1.820534e-04,1.810260e-04,1.786558e-04,1.753348e-04,1.744186e-04,1.720898e-04,1.689198e-04,1.681079e-04,1.658241e-04,1.628016e-04,1.620870e-04,1.598512e-04,1.569720e-04,1.563480e-04,1.541628e-04,1.514225e-04,1.508826e-04,1.487499e-04,1.461437e-04,1.456816e-04,1.436029e-04,1.411262e-04,1.407358e-04,1.387124e-04,1.363602e-04,1.360358e-04,1.340684e-04,1.318359e-04,1.315719e-04,1.296613e-04,1.275434e-04,1.273347e-04,1.254811e-04,1.234731e-04,1.233147e-04,1.215182e-04,1.196153e-04,1.195028e-04,1.177632e-04,1.159608e-04,1.158897e-04,1.142069e-04,1.125004e-04,1.124667e-04,1.108402e-04,1.092252e-04,1.061568e-04,1.032534e-04,1.005073e-04,9.791101e-05,9.545728e-05,9.313924e-05,9.095025e-05,8.888399e-05,8.693438e-05,8.509564e-05,8.336222e-05,8.172883e-05,8.019044e-05,7.874224e-05,7.737963e-05,7.609825e-05,7.489394e-05,7.376274e-05,7.270087e-05,7.170474e-05,7.077094e-05,6.989622e-05,6.907747e-05,6.831177e-05,6.759632e-05,6.692845e-05,6.630563e-05,6.572548e-05,6.518569e-05,6.468409e-05,6.421863e-05,6.378734e-05,6.338836e-05,6.301992e-05,6.268032e-05,6.236798e-05,6.208138e-05,6.181907e-05,6.157969e-05,6.136193e-05,6.116456e-05,6.098640e-05,6.082635e-05,6.068334e-05,6.055637e-05,6.044448e-05,6.034679e-05,6.026241e-05,6.019055e-05
0.000000e+00,1.456251e-09,2.359498e-08,2.468732e-08,1.562221e-07,5.034784e-07,5.233496e-07,1.117881e-06,1.741951e-06,1.781535e-06,2.422761e-06,2.975649e-06,3.021960e-06,3.577285e-06,4.040766e-06,4.090208e-06,4.562801e-06,4.947032e-06,4.997216e-06,5.395578e-06,5.710911e-06,5.759953e-06,6.092345e-06,6.348251e-06,6.394682e-06,6.668808e-06,6.873778e-06,6.916484e-06,7.139386e-06,7.300938e-06,7.339099e-06,7.517129e-06,7.641855e-06,7.674895e-06,7.813736e-06,7.907380e-06,7.934918e-06,8.039631e-06,8.107178e-06,8.128996e-06,8.204070e-06,8.249832e-06,8.265843e-06,8.315251e-06,8.342951e-06,8.353171e-06,8.380426e-06,8.393264e-06,8.397790e-06,8.405990e-06,8.406716e-06,8.405710e-06,8.397592e-06,8.388561e-06,8.382235e-06,8.360204e-06,8.343426e-06,8.332027e-06,8.298201e-06,8.275388e-06,8.259190e-06,8.215431e-06,8.188036e-06,8.167330e-06,8.115270e-06,8.084521e-06,8.059607e-06,8.000676e-06,7.967605e-06,7.938788e-06,7.874238e-06,7.839710e-06,7.807296e-06,7.738219e-06,7.702955e-06,7.667244e-06,7.594594e-06,7.559188e-06,7.520475e-06,7.445081e-06,7.410022e-06,7.368592e-06,7.291175e-06,7.256858e-06,7.212986e-06,7.134171e-06,7.100914e-06,7.054863e-06,6.975189e-06,6.943244e-06,6.895265e-06,6.815198e-06,6.784756e-06,6.735088e-06,6.655027e-06,6.626234e-06,6.575101e-06,6.495388e-06,6.468347e-06,6.415961e-06,6.336887e-06,6.311667e-06,6.258226e-06,6.180037e-06,6.156680e-06,6.102370e-06,6.025272e-06,6.003792e-06,5.948786e-06,5.872952e-06,5.853347e-06,5.797806e-06,5.723379e-06,5.705626e-06,5.649700e-06,5.576796e-06,5.560863e-06,5.504689e-06,5.433401e-06,5.419244e-06,5.362950e-06,5.293351e-06,5.280915e-06,5.224619e-06,5.156765e-06,5.145991e-06,5.089799e-06,5.023731e-06,5.014553e-06,4.958566e-06,4.894311e-06,4.886661e-06,4.830968e-06,4.768542e-06,4.762349e-06,4.707032e-06,4.646441e-06,4.641634e-06,4.586767e-06,4.528010e-06,4.524513e-06,4.470166e-06,4.413232e-06,4.410974e-06,4.357205e-06,4.302081e-06,4.300987e-06,4.247853e-06,4.194517e-06,4.091517e-06,3.991933e-06,3.895707e-06,3.802775e-06,3.713067e-06,3.626513e-06,3.543039e-06,3.462569e-06,3.385027e-06,3.310335e-06,3.238416e-06,3.169191e-06,3.102582e-06,3.038514e-06,2.976909e-06,2.917692e-06,2.860790e-06,2.806129e-06,2.753637e-06,2.703246e-06,2.654885e-06,2.608488e-06,2.563990e-06,2.521327e-06,2.480435e-06,2.441256e-06,2.403730e-06,2.367799e-06,2.333408e-06,2.300503e-06,2.269031e-06,2.238942e-06,2.210186e-06,2.182715e-06,2.156482e-06,2.131443e-06,2.107555e-06,2.084774e-06,2.063061e-06,2.042375e-06,2.022679e-06,2.003935e-06,1.986107e-06,1.969162e-06,1.953065e-06,1.937784e-06,1.923289e-06,1.909548e-06,1.896532e-06
0.000000e+00,2.291593e-08,7.269770e-07,7.663180e-07,6.942827e-06,3.405697e-05,3.609633e-05,1.299845e-04,3.347534e-04,3.530198e-04,7.675187e-04,1.346692e-03,1.406167e-03,2.266459e-03,3.207771e-03,3.320842e-03,4.528691e-03,5.682932e-03,5.845175e-03,7.226800e-03,8.437140e-03,8.634475e-03,1.003492e-02,1.118569e-02,1.140102e-02,1.271162e-02,1.373367e-02,1.395094e-02,1.510789e-02,1.596922e-02,1.617531e-02,1.714929e-02,1.784319e-02,1.802849e-02,1.881359e-02,1.934864e-02,1.950679e-02,2.011142e-02,2.050424e-02,2.063162e-02,2.107202e-02,2.134248e-02,2.143759e-02,2.173340e-02,2.190171e-02,2.196457e-02,2.213613e-02,2.222122e-02,2.225294e-02,2.231968e-02,2.233847e-02,2.234080e-02,2.232048e-02,2.228757e-02,2.226267e-02,2.217104e-02,2.209875e-02,2.204900e-02,2.189972e-02,2.179831e-02,2.172614e-02,2.153094e-02,2.140882e-02,2.131663e-02,2.108548e-02,2.094947e-02,2.083960e-02,2.058090e-02,2.043651e-02,2.031116e-02,2.003199e-02,1.988359e-02,1.974487e-02,1.945114e-02,1.930219e-02,1.915204e-02,1.884869e-02,1.870187e-02,1.854211e-02,1.823325e-02,1.809064e-02,1.792295e-02,1.761199e-02,1.747513e-02,1.730106e-02,1.699080e-02,1.686084e-02,1.668179e-02,1.637455e-02,1.625226e-02,1.606955e-02,1.576720e-02,1.565309e-02,1.546789e-02,1.517196e-02,1.506630e-02,1.487970e-02,1.459138e-02,1.449429e-02,1.430724e-02,1.402748e-02,1.393892e-02,1.375229e-02,1.348182e-02,1.340162e-02,1.321621e-02,1.295556e-02,1.288348e-02,1.269997e-02,1.244952e-02,1.238526e-02,1.220427e-02,1.196426e-02,1.190745e-02,1.172953e-02,1.150010e-02,1.145033e-02,1.127597e-02,1.105714e-02,1.101401e-02,1.084360e-02,1.063534e-02,1.059841e-02,1.043233e-02,1.023453e-02,1.020336e-02,1.004190e-02,9.854400e-03,9.828556e-03,9.671979e-03,9.494581e-03,9.473628e-03,9.322147e-03,9.154616e-03,9.138129e-03,8.991920e-03,8.833992e-03,8.821562e-03,8.680762e-03,8.532156e-03,8.523385e-03,8.388101e-03,8.248520e-03,8.243029e-03,8.113336e-03,7.982472e-03,7.979898e-03,7.855848e-03,7.733386e-03,7.502874e-03,7.287742e-03,7.087369e-03,6.901139e-03,6.728444e-03,6.568684e-03,6.421269e-03,6.285624e-03,6.161185e-03,6.047405e-03,5.943749e-03,5.849700e-03,5.764753e-03,5.688422e-03,5.620233e-03,5.559729e-03,5.506469e-03,5.460024e-03,5.419982e-03,5.385945e-03,5.357527e-03,5.334359e-03,5.316082e-03,5.302352e-03,5.292839e-03,5.287223e-03,5.285200e-03,5.286474e-03,5.290764e-03,5.297800e-03,5.307323e-03,5.319088e-03,5.332858e-03,5.348409e-03,5.365527e-03,5.384010e-03,5.403665e-03,5.424312e-03,5.445778e-03,5.467904e-03,5.490536e-03,5.513534e-03,5.536766e-03,5.560110e-03,5.583450e-03,5.606684e-03,5.629714e-03,5.652452e-03,5.674820e-03
0.000000e+00,1.540078e-08,3.378875e-07,3.553953e-07,2.893661e-06,1.126852e-05,1.178598e-05,2.800164e-05,4.546411e-05,4.657311e-05,6.452282e-05,7.996835e-05,8.126067e-05,9.673888e-05,1.096303e-04,1.110040e-04,1.241181e-04,1.347573e-04,1.361452e-04,1.471475e-04,1.558357e-04,1.571851e-04,1.663150e-04,1.733228e-04,1.745920e-04,1.820688e-04,1.876381e-04,1.887959e-04,1.948216e-04,1.991678e-04,2.001914e-04,2.049489e-04,2.082609e-04,2.091348e-04,2.127878e-04,2.152302e-04,2.159443e-04,2.186388e-04,2.203542e-04,2.209034e-04,2.227687e-04,2.238804e-04,2.242631e-04,2.254134e-04,2.260276e-04,2.262450e-04,2.267815e-04,2.269891e-04,2.270450e-04,2.270564e-04,2.269354e-04,2.268352e-04,2.263998e-04,2.260167e-04,2.257673e-04,2.249538e-04,2.243651e-04,2.239743e-04,2.228429e-04,2.220967e-04,2.215728e-04,2.201763e-04,2.193131e-04,2.186651e-04,2.170497e-04,2.161035e-04,2.153404e-04,2.135466e-04,2.125459e-04,2.116769e-04,2.097397e-04,2.087082e-04,2.077425e-04,2.056926e-04,2.046498e-04,2.035964e-04,2.014602e-04,2.004223e-04,1.992898e-04,1.970904e-04,1.960704e-04,1.948672e-04,1.926246e-04,1.916328e-04,1.903669e-04,1.880982e-04,1.871430e-04,1.858222e-04,1.835421e-04,1.826296e-04,1.812611e-04,1.789822e-04,1.781174e-04,1.767081e-04,1.744411e-04,1.736272e-04,1.721836e-04,1.699376e-04,1.691770e-04,1.677051e-04,1.654878e-04,1.647817e-04,1.632872e-04,1.611049e-04,1.604540e-04,1.589421e-04,1.568001e-04,1.562042e-04,1.546798e-04,1.525824e-04,1.520409e-04,1.505086e-04,1.484592e-04,1.479711e-04,1.464349e-04,1.444364e-04,1.440002e-04,1.424640e-04,1.405183e-04,1.401325e-04,1.385998e-04,1.367086e-04,1.363711e-04,1.348450e-04,1.330094e-04,1.327183e-04,1.312018e-04,1.294223e-04,1.291754e-04,1.276711e-04,1.259482e-04,1.257433e-04,1.242535e-04,1.225872e-04,1.224221e-04,1.209490e-04,1.193389e-04,1.192113e-04,1.177568e-04,1.162026e-04,1.161102e-04,1.146761e-04,1.131770e-04,1.131176e-04,1.117053e-04,1.102606e-04,1.102320e-04,1.088428e-04,1.074517e-04,1.047746e-04,1.021987e-04,9.972162e-05,9.734109e-05,9.505461e-05,9.285966e-05,9.075367e-05,8.873406e-05,8.679824e-05,8.494363e-05,8.316763e-05,8.146771e-05,7.984134e-05,7.828603e-05,7.679934e-05,7.537888e-05,7.402230e-05,7.272730e-05,7.149165e-05,7.031316e-05,6.918971e-05,6.811922e-05,6.709970e-05,6.612918e-05,6.520579e-05,6.432768e-05,6.349308e-05,6.270026e-05,6.194758e-05,6.123341e-05,6.055621e-05,5.991446e-05,5.930672e-05,5.873158e-05,5.818769e-05,5.767376e-05,5.718851e-05,5.673074e-05,5.629928e-05,5.589300e-05,5.551081e-05,5.515167e-05,5.481457e-05,5.449854e-05,5.420265e-05,5.392600e-05,5.366773e-05,5.342699e-05,5.320300e-05
0.000000e+00,1.394442e-08,4.478830e-07,4.729951e-07,4.710861e-06,2.359893e-05,2.498205e-05,8.281768e-05,1.827054e-04,1.904578e-04,3.370725e-04,4.887529e-04,5.022186e-04,6.697147e-04,8.147122e-04,8.303118e-04,9.797363e-04,1.100759e-03,1.116488e-03,1.240419e-03,1.337083e-03,1.351981e-03,1.451854e-03,1.527263e-03,1.540789e-03,1.619538e-03,1.677028e-03,1.688836e-03,1.749381e-03,1.791963e-03,1.801837e-03,1.846830e-03,1.877123e-03,1.884948e-03,1.916740e-03,1.936990e-03,1.942722e-03,1.963375e-03,1.975492e-03,1.979147e-03,1.990455e-03,1.996052e-03,1.997688e-03,2.001206e-03,2.001638e-03,2.001343e-03,1.998411e-03,1.994812e-03,1.992697e-03,1.984468e-03,1.977779e-03,1.973970e-03,1.961432e-03,1.952435e-03,1.947065e-03,1.931064e-03,1.920403e-03,1.913610e-03,1.894868e-03,1.883069e-03,1.874992e-03,1.854123e-03,1.841615e-03,1.832391e-03,1.809916e-03,1.797047e-03,1.786808e-03,1.763169e-03,1.750215e-03,1.739090e-03,1.714658e-03,1.701839e-03,1.689949e-03,1.665035e-03,1.652522e-03,1.639981e-03,1.614847e-03,1.602770e-03,1.589687e-03,1.564549e-03,1.553005e-03,1.539478e-03,1.514515e-03,1.503575e-03,1.489696e-03,1.465054e-03,1.454764e-03,1.440618e-03,1.416416e-03,1.406805e-03,1.392470e-03,1.368801e-03,1.359884e-03,1.345429e-03,1.322369e-03,1.314147e-03,1.299636e-03,1.277243e-03,1.269708e-03,1.255199e-03,1.233514e-03,1.226651e-03,1.212195e-03,1.191249e-03,1.185038e-03,1.170680e-03,1.150493e-03,1.144910e-03,1.130691e-03,1.111274e-03,1.106289e-03,1.092245e-03,1.073603e-03,1.069186e-03,1.055348e-03,1.037478e-03,1.033599e-03,1.019993e-03,1.002889e-03,9.995139e-04,9.861643e-04,9.698153e-04,9.669121e-04,9.538385e-04,9.382301e-04,9.357666e-04,9.229858e-04,9.081011e-04,9.060457e-04,8.935714e-04,8.793918e-04,8.777135e-04,8.655570e-04,8.520620e-04,8.507309e-04,8.389012e-04,8.260691e-04,8.250566e-04,8.135603e-04,8.013690e-04,8.006475e-04,7.894895e-04,7.779160e-04,7.774594e-04,7.666429e-04,7.556642e-04,7.554476e-04,7.449743e-04,7.345673e-04,7.147734e-04,6.960218e-04,6.782684e-04,6.614703e-04,6.455856e-04,6.305732e-04,6.163932e-04,6.030071e-04,5.903775e-04,5.784684e-04,5.672450e-04,5.566738e-04,5.467228e-04,5.373611e-04,5.285592e-04,5.202887e-04,5.125225e-04,5.052347e-04,4.984006e-04,4.919966e-04,4.860000e-04,4.803894e-04,4.751444e-04,4.702453e-04,4.656736e-04,4.614117e-04,4.574426e-04,4.537503e-04,4.503198e-04,4.471363e-04,4.441863e-04,4.414566e-04,4.389349e-04,4.366093e-04,4.344687e-04,4.325023e-04,4.307003e-04,4.290529e-04,4.275512e-04,4.261865e-04,4.249506e-04,4.238359e-04,4.228349e-04,4.219408e-04,4.211470e-04,4.204472e-04,4.198355e-04,4.193064e-04,4.188545e-04
0.000000e+00,2.735337e-08,9.110484e-07,9.632713e-07,8.810631e-06,3.122111e-05,3.242479e-05,6.468813e-05,9.503237e-05,9.692101e-05,1.273964e-04,1.537422e-04,1.559576e-04,1.826582e-04,2.051642e-04,2.075784e-04,2.307975e-04,2.498835e-04,2.523914e-04,2.724321e-04,2.884783e-04,2.909897e-04,3.081335e-04,3.214915e-04,3.239316e-04,3.384507e-04,3.494482e-04,3.517566e-04,3.639128e-04,3.728518e-04,3.749814e-04,3.850221e-04,3.921773e-04,3.940923e-04,4.022470e-04,4.078649e-04,4.095391e-04,4.160186e-04,4.203186e-04,4.217336e-04,4.267296e-04,4.299060e-04,4.310500e-04,4.347361e-04,4.369599e-04,4.378268e-04,4.403594e-04,4.417807e-04,4.423689e-04,4.438888e-04,4.446390e-04,4.449505e-04,4.455841e-04,4.457781e-04,4.458179e-04,4.456786e-04,4.454161e-04,4.451917e-04,4.443811e-04,4.437488e-04,4.432695e-04,4.418783e-04,4.409514e-04,4.402279e-04,4.383373e-04,4.371805e-04,4.362247e-04,4.339071e-04,4.325761e-04,4.314006e-04,4.287205e-04,4.272630e-04,4.258811e-04,4.228959e-04,4.213527e-04,4.197777e-04,4.165385e-04,4.149440e-04,4.131896e-04,4.097416e-04,4.081251e-04,4.062047e-04,4.025881e-04,4.009740e-04,3.989010e-04,3.951514e-04,3.935600e-04,3.913474e-04,3.874963e-04,3.859442e-04,3.836050e-04,3.796799e-04,3.781808e-04,3.757272e-04,3.717525e-04,3.703173e-04,3.677613e-04,3.637584e-04,3.623956e-04,3.597485e-04,3.557361e-04,3.544523e-04,3.517252e-04,3.477195e-04,3.465194e-04,3.437227e-04,3.397380e-04,3.386249e-04,3.357685e-04,3.318170e-04,3.307928e-04,3.278861e-04,3.239784e-04,3.230442e-04,3.200960e-04,3.162411e-04,3.153969e-04,3.124156e-04,3.086212e-04,3.078662e-04,3.048596e-04,3.011322e-04,3.004650e-04,2.974405e-04,2.937856e-04,2.932043e-04,2.901686e-04,2.865907e-04,2.860929e-04,2.830526e-04,2.795553e-04,2.791383e-04,2.760993e-04,2.726855e-04,2.723464e-04,2.693143e-04,2.659861e-04,2.657218e-04,2.627016e-04,2.594609e-04,2.592678e-04,2.562644e-04,2.531122e-04,2.529871e-04,2.500047e-04,2.469419e-04,2.468811e-04,2.439239e-04,2.409506e-04,2.351958e-04,2.296162e-04,2.242108e-04,2.189780e-04,2.139162e-04,2.090231e-04,2.042963e-04,1.997331e-04,1.953306e-04,1.910858e-04,1.869955e-04,1.830563e-04,1.792649e-04,1.756180e-04,1.721119e-04,1.687432e-04,1.655083e-04,1.624037e-04,1.594260e-04,1.565715e-04,1.538368e-04,1.512185e-04,1.487131e-04,1.463173e-04,1.440279e-04,1.418414e-04,1.397547e-04,1.377647e-04,1.358683e-04,1.340624e-04,1.323442e-04,1.307106e-04,1.291588e-04,1.276861e-04,1.262897e-04,1.249671e-04,1.237155e-04,1.225326e-04,1.214157e-04,1.203626e-04,1.193708e-04,1.184382e-04,1.175624e-04,1.167414e-04,1.159729e-04,1.152550e-04,1.145856e-04,1.139629e-04,1.133849e-04
0.000000e+00,6.905684e-09,1.180086e-07,1.235801e-07,8.166304e-07,2.736941e-06,2.849089e-06,6.252589e-06,9.822957e-06,1.004695e-05,1.361336e-05,1.657805e-05,1.682121e-05,1.967012e-05,2.194745e-05,2.218465e-05,2.439274e-05,2.610379e-05,2.632130e-05,2.799536e-05,2.924913e-05,2.943798e-05,3.067046e-05,3.155777e-05,3.171245e-05,3.258207e-05,3.317828e-05,3.329600e-05,3.386960e-05,3.423693e-05,3.431693e-05,3.465089e-05,3.484031e-05,3.488328e-05,3.502483e-05,3.507773e-05,3.508536e-05,3.507376e-05,3.502353e-05,3.499813e-05,3.486582e-05,3.473924e-05,3.468350e-05,3.445721e-05,3.427558e-05,3.419239e-05,3.389397e-05,3.367413e-05,3.356639e-05,3.321374e-05,3.296903e-05,3.283964e-05,3.244736e-05,3.218814e-05,3.203986e-05,3.161979e-05,3.135408e-05,3.118952e-05,3.075118e-05,3.048511e-05,3.030669e-05,2.985777e-05,2.959596e-05,2.940593e-05,2.895254e-05,2.869843e-05,2.849882e-05,2.804584e-05,2.780188e-05,2.759456e-05,2.714580e-05,2.691370e-05,2.670032e-05,2.625877e-05,2.603964e-05,2.582171e-05,2.538964e-05,2.518415e-05,2.496299e-05,2.454212e-05,2.435055e-05,2.412735e-05,2.371893e-05,2.354130e-05,2.331710e-05,2.292201e-05,2.275812e-05,2.253382e-05,2.215265e-05,2.200216e-05,2.177857e-05,2.141165e-05,2.127410e-05,2.105191e-05,2.069939e-05,2.057424e-05,2.035407e-05,2.001593e-05,1.990260e-05,1.968495e-05,1.936107e-05,1.925892e-05,1.904424e-05,1.873439e-05,1.864279e-05,1.843145e-05,1.813535e-05,1.805365e-05,1.784598e-05,1.756327e-05,1.749084e-05,1.728710e-05,1.701739e-05,1.695361e-05,1.675402e-05,1.649690e-05,1.644115e-05,1.624590e-05,1.600093e-05,1.595265e-05,1.576186e-05,1.552860e-05,1.548722e-05,1.530101e-05,1.507901e-05,1.504399e-05,1.486246e-05,1.465126e-05,1.462211e-05,1.444529e-05,1.424445e-05,1.422069e-05,1.404863e-05,1.385772e-05,1.383889e-05,1.367160e-05,1.349018e-05,1.347587e-05,1.331335e-05,1.314100e-05,1.313080e-05,1.297304e-05,1.280936e-05,1.280290e-05,1.264986e-05,1.249446e-05,1.249139e-05,1.234304e-05,1.219553e-05,1.191460e-05,1.164791e-05,1.139480e-05,1.115461e-05,1.092676e-05,1.071064e-05,1.050570e-05,1.031140e-05,1.012723e-05,9.952693e-06,9.787331e-06,9.630694e-06,9.482357e-06,9.341915e-06,9.208980e-06,9.083184e-06,8.964175e-06,8.851619e-06,8.745196e-06,8.644602e-06,8.549549e-06,8.459760e-06,8.374973e-06,8.294936e-06,8.219415e-06,8.148178e-06,8.081014e-06,8.017717e-06,7.958090e-06,7.901951e-06,7.849118e-06,7.799428e-06,7.752716e-06,7.708831e-06,7.667629e-06,7.628970e-06,7.592724e-06,7.558764e-06,7.526972e-06,7.497235e-06,7.469444e-06,7.443499e-06,7.419300e-06,7.396755e-06,7.375776e-06,7.356280e-06,7.338186e-06,7.321418e-06,7.305905e-06
0.000000e+00,9.570960e-08,3.716490e-06,3.936909e-06,4.514535e-05,2.609964e-04,2.780826e-04,1.100072e-03,2.940509e-03,3.105056e-03,6.846961e-03,1.214585e-02,1.269680e-02,2.083805e-02,3.015337e-02,3.130283e-02,4.401019e-02,5.692099e-02,5.879876e-02,7.545298e-02,9.107849e-02,9.372390e-02,1.133452e-01,1.306720e-01,1.340454e-01,1.555572e-01,1.736221e-01,1.776241e-01,2.000052e-01,2.179861e-01,2.224781e-01,2.448411e-01,2.620913e-01,2.669140e-01,2.885383e-01,3.045875e-01,3.095766e-01,3.299122e-01,3.444501e-01,3.494475e-01,3.681032e-01,3.809548e-01,3.858165e-01,4.025397e-01,4.136382e-01,4.182389e-01,4.328924e-01,4.422534e-01,4.464891e-01,4.590275e-01,4.667260e-01,4.705141e-01,4.809627e-01,4.871139e-01,4.903928e-01,4.988286e-01,5.035720e-01,5.062989e-01,5.128351e-01,5.163228e-01,5.184717e-01,5.232448e-01,5.256323e-01,5.271919e-01,5.303514e-01,5.317911e-01,5.327621e-01,5.344631e-01,5.351003e-01,5.354932e-01,5.358907e-01,5.358600e-01,5.356934e-01,5.349381e-01,5.343625e-01,5.336609e-01,5.318965e-01,5.308866e-01,5.296788e-01,5.270404e-01,5.256941e-01,5.240124e-01,5.206250e-01,5.190281e-01,5.169069e-01,5.128854e-01,5.111123e-01,5.085868e-01,5.040359e-01,5.021503e-01,4.992565e-01,4.942709e-01,4.923268e-01,4.891005e-01,4.837653e-01,4.818080e-01,4.782844e-01,4.726756e-01,4.707426e-01,4.669559e-01,4.611411e-01,4.592628e-01,4.552462e-01,4.492852e-01,4.474859e-01,4.432712e-01,4.372166e-01,4.355156e-01,4.311329e-01,4.250309e-01,4.234426e-01,4.189206e-01,4.128114e-01,4.113463e-01,4.067119e-01,4.006304e-01,3.992957e-01,3.945744e-01,3.885507e-01,3.873504e-01,3.825659e-01,3.766258e-01,3.755618e-01,3.707361e-01,3.649016e-01,3.639735e-01,3.591271e-01,3.534168e-01,3.526227e-01,3.477745e-01,3.422038e-01,3.415403e-01,3.367079e-01,3.312896e-01,3.307522e-01,3.259516e-01,3.206960e-01,3.202792e-01,3.155251e-01,3.104407e-01,3.101384e-01,3.054442e-01,3.005372e-01,3.003428e-01,2.957208e-01,2.909960e-01,2.909024e-01,2.863636e-01,2.818243e-01,2.731130e-01,2.647710e-01,2.567985e-01,2.491945e-01,2.419562e-01,2.350796e-01,2.285597e-01,2.223905e-01,2.165651e-01,2.110760e-01,2.059149e-01,2.010733e-01,1.965421e-01,1.923116e-01,1.883722e-01,1.847138e-01,1.813261e-01,1.781988e-01,1.753213e-01,1.726831e-01,1.702734e-01,1.680818e-01,1.660976e-01,1.643101e-01,1.627089e-01,1.612837e-01,1.600242e-01,1.589202e-01,1.579619e-01,1.571395e-01,1.564435e-01,1.558646e-01,1.553938e-01,1.550224e-01,1.547418e-01,1.545439e-01,1.544209e-01,1.543650e-01,1.543692e-01,1.544266e-01,1.545305e-01,1.546748e-01,1.548537e-01,1.550615e-01,1.552932e-01,1.555439e-01,1.558091e-01,1.560847e-01,1.563668e-01
0.000000e+00,4.042525e-09,7.252100e-08,7.588746e-08,4.614263e-07,1.379294e-06,1.428820e-06,2.820001e-06,4.203284e-06,4.290708e-06,5.715915e-06,6.966465e-06,7.072335e-06,8.356847e-06,9.452023e-06,9.570199e-06,1.071402e-05,1.166461e-05,1.179026e-05,1.280101e-05,1.361961e-05,1.374854e-05,1.463518e-05,1.533465e-05,1.546332e-05,1.623539e-05,1.682832e-05,1.695378e-05,1.762086e-05,1.811914e-05,1.823895e-05,1.881029e-05,1.922489e-05,1.933707e-05,1.982142e-05,2.016241e-05,2.026538e-05,2.067091e-05,2.094737e-05,2.103990e-05,2.137416e-05,2.159430e-05,2.167543e-05,2.194539e-05,2.211660e-05,2.218564e-05,2.239771e-05,2.252658e-05,2.258308e-05,2.274313e-05,2.283557e-05,2.287924e-05,2.299267e-05,2.305393e-05,2.308466e-05,2.315638e-05,2.319117e-05,2.320897e-05,2.324348e-05,2.325595e-05,2.326096e-05,2.326237e-05,2.325619e-05,2.324865e-05,2.322069e-05,2.319913e-05,2.317934e-05,2.312542e-05,2.309134e-05,2.305969e-05,2.298289e-05,2.293882e-05,2.289573e-05,2.279888e-05,2.274702e-05,2.269297e-05,2.257861e-05,2.252089e-05,2.245638e-05,2.232683e-05,2.226492e-05,2.219048e-05,2.204783e-05,2.198319e-05,2.189936e-05,2.174551e-05,2.167940e-05,2.158672e-05,2.142339e-05,2.135688e-05,2.125591e-05,2.108464e-05,2.101864e-05,2.090993e-05,2.073212e-05,2.066741e-05,2.055152e-05,2.036842e-05,2.030565e-05,2.018311e-05,1.999585e-05,1.993556e-05,1.980690e-05,1.961650e-05,1.955913e-05,1.942487e-05,1.923223e-05,1.917814e-05,1.903878e-05,1.884471e-05,1.879417e-05,1.865020e-05,1.845543e-05,1.840866e-05,1.826054e-05,1.806571e-05,1.802287e-05,1.787106e-05,1.767674e-05,1.763792e-05,1.748286e-05,1.728955e-05,1.725483e-05,1.709692e-05,1.690508e-05,1.687446e-05,1.671411e-05,1.652412e-05,1.649760e-05,1.633518e-05,1.614738e-05,1.612493e-05,1.596080e-05,1.577550e-05,1.575704e-05,1.559154e-05,1.540899e-05,1.539444e-05,1.522789e-05,1.504831e-05,1.503759e-05,1.487029e-05,1.469387e-05,1.468685e-05,1.451910e-05,1.434600e-05,1.434255e-05,1.417461e-05,1.400496e-05,1.367429e-05,1.335073e-05,1.303441e-05,1.272544e-05,1.242389e-05,1.212981e-05,1.184322e-05,1.156411e-05,1.129248e-05,1.102827e-05,1.077145e-05,1.052194e-05,1.027967e-05,1.004455e-05,9.816477e-06,9.595360e-06,9.381079e-06,9.173522e-06,8.972566e-06,8.778088e-06,8.589961e-06,8.408056e-06,8.232242e-06,8.062389e-06,7.898362e-06,7.740028e-06,7.587255e-06,7.439908e-06,7.297855e-06,7.160965e-06,7.029108e-06,6.902154e-06,6.779978e-06,6.662452e-06,6.549453e-06,6.440859e-06,6.336550e-06,6.236408e-06,6.140317e-06,6.048163e-06,5.959834e-06,5.875221e-06,5.794216e-06,5.716716e-06,5.642616e-06,5.571817e-06,5.504220e-06,5.439729e-06,5.378250e-06
0.000000e+00,1.507438e-07,5.859162e-06,6.206022e-06,7.004944e-05,3.933272e-04,4.185259e-04,1.606411e-03,4.209663e-03,4.440807e-03,9.661636e-03,1.698278e-02,1.774051e-02,2.887776e-02,4.150869e-02,4.306014e-02,6.011941e-02,7.729511e-02,7.978105e-02,1.017029e-01,1.220744e-01,1.255052e-01,1.507934e-01,1.728967e-01,1.771756e-01,2.042743e-01,2.267810e-01,2.317360e-01,2.592362e-01,2.810669e-01,2.864832e-01,3.132198e-01,3.335754e-01,3.392231e-01,3.643042e-01,3.826515e-01,3.883065e-01,4.111037e-01,4.271389e-01,4.325975e-01,4.527151e-01,4.663187e-01,4.714065e-01,4.886424e-01,4.998343e-01,5.044107e-01,5.187152e-01,5.276143e-01,5.315728e-01,5.430112e-01,5.498009e-01,5.530676e-01,5.617865e-01,5.666877e-01,5.692183e-01,5.754178e-01,5.786682e-01,5.804434e-01,5.843553e-01,5.861935e-01,5.872153e-01,5.890857e-01,5.897415e-01,5.900285e-01,5.901053e-01,5.897926e-01,5.893764e-01,5.879004e-01,5.868129e-01,5.857343e-01,5.829333e-01,5.812433e-01,5.795499e-01,5.756346e-01,5.734927e-01,5.712356e-01,5.663984e-01,5.639337e-01,5.611663e-01,5.555800e-01,5.529021e-01,5.496780e-01,5.434962e-01,5.406964e-01,5.370685e-01,5.304265e-01,5.275801e-01,5.235997e-01,5.166155e-01,5.137836e-01,5.094996e-01,5.022757e-01,4.995068e-01,4.949656e-01,4.875898e-01,4.849221e-01,4.801670e-01,4.727145e-01,4.701767e-01,4.652482e-01,4.577827e-01,4.553961e-01,4.503313e-01,4.429065e-01,4.406859e-01,4.355192e-01,4.281799e-01,4.261347e-01,4.208976e-01,4.136808e-01,4.118161e-01,4.065371e-01,3.994734e-01,3.977907e-01,3.924957e-01,3.856097e-01,3.841076e-01,3.788203e-01,3.721317e-01,3.708064e-01,3.655478e-01,3.590720e-01,3.579181e-01,3.527073e-01,3.464561e-01,3.454666e-01,3.403206e-01,3.343026e-01,3.334695e-01,3.284035e-01,3.226247e-01,3.219393e-01,3.169669e-01,3.114309e-01,3.108840e-01,3.060172e-01,3.007258e-01,3.003078e-01,2.955570e-01,2.905105e-01,2.902116e-01,2.855861e-01,2.807833e-01,2.805937e-01,2.761015e-01,2.715400e-01,2.714500e-01,2.670980e-01,2.627746e-01,2.545600e-01,2.467973e-01,2.394766e-01,2.325868e-01,2.261164e-01,2.200532e-01,2.143844e-01,2.090968e-01,2.041772e-01,1.996118e-01,1.953868e-01,1.914883e-01,1.879023e-01,1.846150e-01,1.816122e-01,1.788802e-01,1.764052e-01,1.741736e-01,1.721720e-01,1.703870e-01,1.688057e-01,1.674152e-01,1.662032e-01,1.651573e-01,1.642657e-01,1.635170e-01,1.628998e-01,1.624034e-01,1.620174e-01,1.617318e-01,1.615370e-01,1.614239e-01,1.613837e-01,1.614083e-01,1.614896e-01,1.616204e-01,1.617936e-01,1.620029e-01,1.622421e-01,1.625056e-01,1.627882e-01,1.630850e-01,1.633918e-01,1.637044e-01,1.640193e-01,1.643331e-01,1.646430e-01,1.649465e-01,1.652411e-01
0.000000e+00,8.297421e-09,3.705279e-07,3.937901e-07,4.986077e-06,2.752169e-05,2.918189e-05,9.645990e-05,2.064624e-04,2.148672e-04,3.737877e-04,5.414664e-04,5.565956e-04,7.484191e-04,9.197396e-04,9.384356e-04,1.119707e-03,1.268800e-03,1.288281e-03,1.442254e-03,1.562521e-03,1.581038e-03,1.704839e-03,1.797723e-03,1.814311e-03,1.910340e-03,1.979745e-03,1.993914e-03,2.066044e-03,2.116173e-03,2.127717e-03,2.179878e-03,2.214532e-03,2.223412e-03,2.259143e-03,2.281550e-03,2.287831e-03,2.310172e-03,2.322996e-03,2.326805e-03,2.338311e-03,2.343720e-03,2.345220e-03,2.348015e-03,2.347758e-03,2.347132e-03,2.342967e-03,2.338445e-03,2.335879e-03,2.326195e-03,2.318525e-03,2.314208e-03,2.300185e-03,2.290253e-03,2.284366e-03,2.266969e-03,2.255479e-03,2.248192e-03,2.228212e-03,2.215714e-03,2.207190e-03,2.185270e-03,2.172198e-03,2.162584e-03,2.139250e-03,2.125939e-03,2.115373e-03,2.091051e-03,2.077763e-03,2.066370e-03,2.041406e-03,2.028337e-03,2.016231e-03,1.990906e-03,1.978205e-03,1.965487e-03,1.940027e-03,1.927804e-03,1.914569e-03,1.889154e-03,1.877487e-03,1.863818e-03,1.838594e-03,1.827538e-03,1.813510e-03,1.788592e-03,1.778181e-03,1.763862e-03,1.739340e-03,1.729594e-03,1.715044e-03,1.690989e-03,1.681915e-03,1.667189e-03,1.643655e-03,1.635250e-03,1.620397e-03,1.597425e-03,1.589680e-03,1.574744e-03,1.552361e-03,1.545262e-03,1.530281e-03,1.508509e-03,1.502038e-03,1.487048e-03,1.465899e-03,1.460034e-03,1.445066e-03,1.424548e-03,1.419266e-03,1.404347e-03,1.384462e-03,1.379737e-03,1.364894e-03,1.345640e-03,1.341446e-03,1.326700e-03,1.308073e-03,1.304385e-03,1.289756e-03,1.271747e-03,1.268538e-03,1.254044e-03,1.236645e-03,1.233889e-03,1.219546e-03,1.202745e-03,1.200417e-03,1.186239e-03,1.170024e-03,1.168098e-03,1.154098e-03,1.138457e-03,1.136908e-03,1.123097e-03,1.108015e-03,1.106821e-03,1.093208e-03,1.078672e-03,1.077808e-03,1.064403e-03,1.050397e-03,1.049843e-03,1.036652e-03,1.023163e-03,1.022896e-03,1.009926e-03,9.969390e-04,9.719441e-04,9.478825e-04,9.247262e-04,9.024473e-04,8.810188e-04,8.604136e-04,8.406056e-04,8.215690e-04,8.032787e-04,7.857102e-04,7.688397e-04,7.526438e-04,7.370999e-04,7.221861e-04,7.078809e-04,6.941637e-04,6.810142e-04,6.684129e-04,6.563408e-04,6.447796e-04,6.337114e-04,6.231190e-04,6.129856e-04,6.032951e-04,5.940317e-04,5.851802e-04,5.767260e-04,5.686548e-04,5.609527e-04,5.536065e-04,5.466032e-04,5.399304e-04,5.335758e-04,5.275279e-04,5.217752e-04,5.163069e-04,5.111123e-04,5.061811e-04,5.015035e-04,4.970698e-04,4.928706e-04,4.888971e-04,4.851406e-04,4.815925e-04,4.782448e-04,4.750896e-04,4.721193e-04,4.693264e-04,4.667040e-04
0.000000e+00,2.598143e-08,1.129904e-06,1.199558e-06,1.413534e-05,7.196435e-05,7.606239e-05,2.350428e-04,4.829933e-04,5.016557e-04,8.510294e-04,1.216889e-03,1.249912e-03,1.670438e-03,2.051113e-03,2.093071e-03,2.505446e-03,2.854016e-03,2.900327e-03,3.273845e-03,3.576593e-03,3.624224e-03,3.950945e-03,4.207249e-03,4.254220e-03,4.534676e-03,4.748218e-03,4.793168e-03,5.030662e-03,5.206221e-03,5.248174e-03,5.446727e-03,5.589089e-03,5.627332e-03,5.790971e-03,5.904574e-03,5.938592e-03,6.071106e-03,6.159953e-03,6.189383e-03,6.294255e-03,6.361908e-03,6.386513e-03,6.466910e-03,6.516516e-03,6.536163e-03,6.594952e-03,6.629281e-03,6.643921e-03,6.683685e-03,6.705170e-03,6.714825e-03,6.737891e-03,6.748659e-03,6.753407e-03,6.761868e-03,6.763778e-03,6.763744e-03,6.759478e-03,6.754147e-03,6.749493e-03,6.734186e-03,6.723020e-03,6.713936e-03,6.689098e-03,6.673312e-03,6.660011e-03,6.626993e-03,6.607636e-03,6.590346e-03,6.550356e-03,6.528330e-03,6.507292e-03,6.461408e-03,6.437484e-03,6.412944e-03,6.362126e-03,6.336961e-03,6.309169e-03,6.254273e-03,6.228423e-03,6.197629e-03,6.139415e-03,6.113348e-03,6.079800e-03,6.018942e-03,5.993047e-03,5.956990e-03,5.894084e-03,5.868685e-03,5.830356e-03,5.765930e-03,5.741289e-03,5.700922e-03,5.635439e-03,5.611769e-03,5.569585e-03,5.503455e-03,5.480924e-03,5.437138e-03,5.370717e-03,5.349454e-03,5.304272e-03,5.237874e-03,5.217974e-03,5.171591e-03,5.105488e-03,5.087019e-03,5.039622e-03,4.974048e-03,4.957053e-03,4.908817e-03,4.843977e-03,4.828478e-03,4.779569e-03,4.715636e-03,4.701638e-03,4.652213e-03,4.589335e-03,4.576827e-03,4.527033e-03,4.465335e-03,4.454296e-03,4.404269e-03,4.343856e-03,4.334253e-03,4.284120e-03,4.225080e-03,4.216870e-03,4.166752e-03,4.109153e-03,4.102291e-03,4.052297e-03,3.996196e-03,3.990628e-03,3.940861e-03,3.886301e-03,3.881970e-03,3.832524e-03,3.779537e-03,3.776383e-03,3.727345e-03,3.675953e-03,3.673914e-03,3.625364e-03,3.575580e-03,3.574593e-03,3.526604e-03,3.478434e-03,3.385440e-03,3.295601e-03,3.208896e-03,3.125297e-03,3.044770e-03,2.967270e-03,2.892752e-03,2.821162e-03,2.752446e-03,2.686543e-03,2.623393e-03,2.562932e-03,2.505095e-03,2.449815e-03,2.397026e-03,2.346661e-03,2.298651e-03,2.252928e-03,2.209426e-03,2.168077e-03,2.128815e-03,2.091573e-03,2.056287e-03,2.022892e-03,1.991325e-03,1.961523e-03,1.933426e-03,1.906973e-03,1.882106e-03,1.858766e-03,1.836896e-03,1.816442e-03,1.797349e-03,1.779563e-03,1.763033e-03,1.747709e-03,1.733540e-03,1.720478e-03,1.708475e-03,1.697487e-03,1.687467e-03,1.678373e-03,1.670161e-03,1.662790e-03,1.656219e-03,1.650408e-03,1.645321e-03,1.640918e-03,1.637165e-03
0.000000e+00,4.905265e-08,1.635513e-06,1.725994e-06,1.655733e-05,8.537397e-05,9.066503e-05,3.426245e-04,9.232728e-04,9.764952e-04,2.228901e-03,4.087158e-03,4.283815e-03,7.231759e-03,1.065430e-02,1.107816e-02,1.576737e-02,2.051705e-02,2.120550e-02,2.727799e-02,3.291425e-02,3.386225e-02,4.083618e-02,4.691027e-02,4.808374e-02,5.549825e-02,6.163536e-02,6.298420e-02,7.045796e-02,7.637952e-02,7.784768e-02,8.509286e-02,9.061127e-02,9.214352e-02,9.895926e-02,1.039622e-01,1.055082e-01,1.117661e-01,1.161988e-01,1.177150e-01,1.233430e-01,1.271920e-01,1.286426e-01,1.336104e-01,1.368903e-01,1.382463e-01,1.425532e-01,1.452964e-01,1.465359e-01,1.502011e-01,1.524500e-01,1.535568e-01,1.566121e-01,1.584144e-01,1.593770e-01,1.618618e-01,1.632665e-01,1.640774e-01,1.660349e-01,1.670901e-01,1.677454e-01,1.692199e-01,1.699713e-01,1.704695e-01,1.715051e-01,1.719955e-01,1.723373e-01,1.729765e-01,1.732450e-01,1.734329e-01,1.737164e-01,1.737986e-01,1.738364e-01,1.738023e-01,1.737302e-01,1.736229e-01,1.733068e-01,1.731090e-01,1.728624e-01,1.722976e-01,1.719994e-01,1.716199e-01,1.708369e-01,1.704608e-01,1.699554e-01,1.689824e-01,1.685479e-01,1.679241e-01,1.667869e-01,1.663112e-01,1.655765e-01,1.642988e-01,1.637967e-01,1.629590e-01,1.615624e-01,1.610467e-01,1.601139e-01,1.586180e-01,1.580995e-01,1.570794e-01,1.555023e-01,1.549901e-01,1.538907e-01,1.522484e-01,1.517503e-01,1.505792e-01,1.488865e-01,1.484087e-01,1.471735e-01,1.454436e-01,1.449913e-01,1.436995e-01,1.419441e-01,1.415215e-01,1.401801e-01,1.384100e-01,1.380200e-01,1.366362e-01,1.348608e-01,1.345058e-01,1.330861e-01,1.313140e-01,1.309955e-01,1.295464e-01,1.277851e-01,1.275039e-01,1.260316e-01,1.242876e-01,1.240443e-01,1.225546e-01,1.208338e-01,1.206282e-01,1.191266e-01,1.174342e-01,1.172658e-01,1.157576e-01,1.140978e-01,1.139658e-01,1.124560e-01,1.108328e-01,1.107360e-01,1.092292e-01,1.076459e-01,1.075830e-01,1.060836e-01,1.045428e-01,1.045122e-01,1.030243e-01,1.015285e-01,9.863565e-02,9.583682e-02,9.313447e-02,9.053046e-02,8.802611e-02,8.562222e-02,8.331919e-02,8.111700e-02,7.901527e-02,7.701331e-02,7.511011e-02,7.330441e-02,7.159471e-02,6.997930e-02,6.845630e-02,6.702363e-02,6.567910e-02,6.442037e-02,6.324498e-02,6.215038e-02,6.113393e-02,6.019294e-02,5.932462e-02,5.852616e-02,5.779472e-02,5.712739e-02,5.652130e-02,5.597353e-02,5.548117e-02,5.504134e-02,5.465116e-02,5.430777e-02,5.400838e-02,5.375020e-02,5.353050e-02,5.334662e-02,5.319596e-02,5.307596e-02,5.298416e-02,5.291815e-02,5.287563e-02,5.285437e-02,5.285222e-02,5.286713e-02,5.289714e-02,5.294038e-02,5.299508e-02,5.305957e-02,5.313227e-02
0.000000e+00,1.447962e-08,4.533932e-07,4.782087e-07,4.510355e-06,2.235602e-05,2.367727e-05,8.101716e-05,1.892359e-04,1.980922e-04,3.770339e-04,5.834454e-04,6.027504e-04,8.554168e-04,1.091664e-03,1.117980e-03,1.378214e-03,1.598990e-03,1.628288e-03,1.863661e-03,2.052521e-03,2.082023e-03,2.282485e-03,2.437009e-03,2.465027e-03,2.630134e-03,2.753043e-03,2.778570e-03,2.911234e-03,3.006651e-03,3.029082e-03,3.133078e-03,3.205185e-03,3.224163e-03,3.303243e-03,3.355847e-03,3.371180e-03,3.428789e-03,3.465223e-03,3.476837e-03,3.516045e-03,3.539182e-03,3.547089e-03,3.570603e-03,3.582900e-03,3.587178e-03,3.597368e-03,3.600916e-03,3.601691e-03,3.600632e-03,3.597204e-03,3.594641e-03,3.584141e-03,3.575237e-03,3.569525e-03,3.551162e-03,3.538047e-03,3.529395e-03,3.504542e-03,3.488274e-03,3.476902e-03,3.446752e-03,3.428218e-03,3.414352e-03,3.379941e-03,3.359876e-03,3.343743e-03,3.305966e-03,3.284979e-03,3.266804e-03,3.226436e-03,3.205024e-03,3.185028e-03,3.142735e-03,3.121302e-03,3.099700e-03,3.056054e-03,3.034924e-03,3.011921e-03,2.967413e-03,2.946842e-03,2.922633e-03,2.877679e-03,2.857866e-03,2.832638e-03,2.787591e-03,2.768688e-03,2.742613e-03,2.697772e-03,2.679888e-03,2.653131e-03,2.608746e-03,2.591958e-03,2.564670e-03,2.520948e-03,2.505304e-03,2.477626e-03,2.434739e-03,2.420263e-03,2.392323e-03,2.350410e-03,2.337108e-03,2.309025e-03,2.268196e-03,2.256058e-03,2.227942e-03,2.188283e-03,2.177288e-03,2.149237e-03,2.110817e-03,2.100932e-03,2.073035e-03,2.035902e-03,2.027088e-03,1.999426e-03,1.963613e-03,1.955824e-03,1.928469e-03,1.893997e-03,1.887183e-03,1.860198e-03,1.827076e-03,1.821185e-03,1.794628e-03,1.762855e-03,1.757834e-03,1.731754e-03,1.701322e-03,1.697115e-03,1.671556e-03,1.642450e-03,1.639002e-03,1.614001e-03,1.586201e-03,1.583457e-03,1.559046e-03,1.532528e-03,1.530434e-03,1.506640e-03,1.481375e-03,1.479879e-03,1.456725e-03,1.432681e-03,1.431732e-03,1.409235e-03,1.386379e-03,1.385928e-03,1.364104e-03,1.342401e-03,1.301078e-03,1.261888e-03,1.224757e-03,1.189612e-03,1.156377e-03,1.124980e-03,1.095347e-03,1.067406e-03,1.041087e-03,1.016321e-03,9.930397e-04,9.711774e-04,9.506700e-04,9.314556e-04,9.134740e-04,8.966669e-04,8.809781e-04,8.663536e-04,8.527410e-04,8.400901e-04,8.283526e-04,8.174820e-04,8.074339e-04,7.981655e-04,7.896358e-04,7.818056e-04,7.746374e-04,7.680953e-04,7.621447e-04,7.567530e-04,7.518888e-04,7.475221e-04,7.436242e-04,7.401680e-04,7.371273e-04,7.344774e-04,7.321947e-04,7.302565e-04,7.286415e-04,7.273292e-04,7.263001e-04,7.255359e-04,7.250188e-04,7.247324e-04,7.246606e-04,7.247884e-04,7.251015e-04,7.255863e-04,7.262298e-04
0.000000e+00,3.688423e-08,1.330749e-06,1.407272e-06,1.494424e-05,8.237063e-05,8.763972e-05,3.394942e-04,9.074968e-04,9.586357e-04,2.130549e-03,3.801145e-03,3.974919e-03,6.536355e-03,9.443609e-03,9.800278e-03,1.371121e-02,1.762391e-02,1.818790e-02,2.313482e-02,2.768802e-02,2.845064e-02,3.403423e-02,3.886041e-02,3.978885e-02,4.562483e-02,5.041400e-02,5.146126e-02,5.722680e-02,6.174651e-02,6.285992e-02,6.830877e-02,7.240323e-02,7.353073e-02,7.849176e-02,8.207125e-02,8.316567e-02,8.753332e-02,9.056040e-02,9.158180e-02,9.530367e-02,9.777947e-02,9.869617e-02,1.017605e-01,1.037126e-01,1.045012e-01,1.069255e-01,1.083981e-01,1.090430e-01,1.108647e-01,1.119110e-01,1.124032e-01,1.136719e-01,1.143489e-01,1.146851e-01,1.154570e-01,1.158209e-01,1.160024e-01,1.163360e-01,1.164404e-01,1.164721e-01,1.164249e-01,1.163190e-01,1.162082e-01,1.158353e-01,1.155630e-01,1.153189e-01,1.146714e-01,1.142713e-01,1.139042e-01,1.130286e-01,1.125339e-01,1.120549e-01,1.109929e-01,1.104318e-01,1.098520e-01,1.086408e-01,1.080369e-01,1.073675e-01,1.060396e-01,1.054124e-01,1.046641e-01,1.032478e-01,1.026132e-01,1.017966e-01,1.003162e-01,9.968705e-02,9.881192e-02,9.728852e-02,9.667482e-02,9.575048e-02,9.420193e-02,9.361151e-02,9.264663e-02,9.108808e-02,9.052682e-02,8.952945e-02,8.797368e-02,8.744585e-02,8.642343e-02,8.488114e-02,8.438965e-02,8.334902e-02,8.182910e-02,8.137578e-02,8.032321e-02,7.883299e-02,7.841874e-02,7.735994e-02,7.590539e-02,7.553039e-02,7.447055e-02,7.305650e-02,7.272032e-02,7.166417e-02,7.029440e-02,6.999616e-02,6.894795e-02,6.762543e-02,6.736385e-02,6.632741e-02,6.505436e-02,6.482789e-02,6.380666e-02,6.258465e-02,6.239153e-02,6.138858e-02,6.021865e-02,6.005696e-02,5.907502e-02,5.795776e-02,5.782546e-02,5.686693e-02,5.580253e-02,5.569755e-02,5.476454e-02,5.375287e-02,5.367307e-02,5.276742e-02,5.180806e-02,5.175133e-02,5.087462e-02,4.996692e-02,4.993114e-02,4.908474e-02,4.822784e-02,4.821096e-02,4.739598e-02,4.658887e-02,4.506272e-02,4.363011e-02,4.228845e-02,4.103501e-02,3.986696e-02,3.878136e-02,3.777519e-02,3.684540e-02,3.598890e-02,3.520256e-02,3.448327e-02,3.382791e-02,3.323338e-02,3.269660e-02,3.221452e-02,3.178413e-02,3.140246e-02,3.106659e-02,3.077367e-02,3.052090e-02,3.030553e-02,3.012491e-02,2.997645e-02,2.985763e-02,2.976602e-02,2.969929e-02,2.965518e-02,2.963152e-02,2.962624e-02,2.963737e-02,2.966302e-02,2.970142e-02,2.975087e-02,2.980979e-02,2.987670e-02,2.995019e-02,3.002898e-02,3.011185e-02,3.019771e-02,3.028553e-02,3.037439e-02,3.046343e-02,3.055191e-02,3.063913e-02,3.072450e-02,3.080748e-02,3.088762e-02,3.096450e-02,3.103780e-02
0.000000e+00,2.447769e-08,6.354452e-07,6.689577e-07,5.787233e-06,2.531917e-05,2.664573e-05,7.575905e-05,1.441959e-04,1.489523e-04,2.294183e-04,3.003776e-04,3.062852e-04,3.761035e-04,4.325077e-04,4.384077e-04,4.935490e-04,5.365634e-04,5.420510e-04,5.844499e-04,6.164235e-04,6.212585e-04,6.529585e-04,6.759688e-04,6.800001e-04,7.028025e-04,7.186111e-04,7.217549e-04,7.372177e-04,7.473001e-04,7.495239e-04,7.589800e-04,7.645597e-04,7.658683e-04,7.704476e-04,7.725305e-04,7.729554e-04,7.736088e-04,7.730160e-04,7.726066e-04,7.701304e-04,7.675283e-04,7.663457e-04,7.614039e-04,7.573302e-04,7.554423e-04,7.485864e-04,7.434721e-04,7.409500e-04,7.326367e-04,7.268252e-04,7.237406e-04,7.143468e-04,7.081094e-04,7.045322e-04,6.943671e-04,6.879169e-04,6.839151e-04,6.732332e-04,6.667353e-04,6.623728e-04,6.513804e-04,6.449610e-04,6.402979e-04,6.291627e-04,6.229166e-04,6.180082e-04,6.068643e-04,6.008605e-04,5.957576e-04,5.847116e-04,5.789988e-04,5.737474e-04,5.628832e-04,5.574937e-04,5.521350e-04,5.415172e-04,5.364706e-04,5.310419e-04,5.207197e-04,5.160254e-04,5.105596e-04,5.005692e-04,4.962290e-04,4.907551e-04,4.811225e-04,4.771320e-04,4.716757e-04,4.624181e-04,4.587686e-04,4.533522e-04,4.444798e-04,4.411592e-04,4.358020e-04,4.273193e-04,4.243133e-04,4.190318e-04,4.109389e-04,4.082315e-04,4.030397e-04,3.953329e-04,3.929072e-04,3.878170e-04,3.804901e-04,3.783285e-04,3.733499e-04,3.663941e-04,3.644792e-04,3.596202e-04,3.530253e-04,3.513396e-04,3.466066e-04,3.403611e-04,3.388876e-04,3.342856e-04,3.283771e-04,3.270993e-04,3.226323e-04,3.170478e-04,3.159499e-04,3.116204e-04,3.063467e-04,3.054135e-04,3.012234e-04,2.962470e-04,2.954642e-04,2.914142e-04,2.867218e-04,2.860758e-04,2.821662e-04,2.777444e-04,2.772226e-04,2.734529e-04,2.692885e-04,2.688789e-04,2.652481e-04,2.613284e-04,2.610200e-04,2.575265e-04,2.538392e-04,2.536215e-04,2.502634e-04,2.467964e-04,2.466599e-04,2.434351e-04,2.401767e-04,2.401126e-04,2.370185e-04,2.339576e-04,2.281740e-04,2.227416e-04,2.176413e-04,2.128547e-04,2.083643e-04,2.041535e-04,2.002065e-04,1.965082e-04,1.930444e-04,1.898017e-04,1.867673e-04,1.839290e-04,1.812754e-04,1.787958e-04,1.764798e-04,1.743178e-04,1.723007e-04,1.704199e-04,1.686673e-04,1.670352e-04,1.655163e-04,1.641039e-04,1.627915e-04,1.615730e-04,1.604428e-04,1.593955e-04,1.584259e-04,1.575293e-04,1.567013e-04,1.559375e-04,1.552340e-04,1.545870e-04,1.539930e-04,1.534486e-04,1.529507e-04,1.524963e-04,1.520827e-04,1.517073e-04,1.513676e-04,1.510612e-04,1.507860e-04,1.505399e-04,1.503211e-04,1.501276e-04,1.499578e-04,1.498101e-04,1.496830e-04,1.495750e-04,1.494848e-04
0.000000e+00,2.819297e-08,4.403326e-07,4.605273e-07,3.116717e-06,1.172602e-05,1.227409e-05,3.071801e-05,5.266222e-05,5.409595e-05,7.761040e-05,9.808973e-05,9.980852e-05,1.204363e-04,1.376612e-04,1.394986e-04,1.570539e-04,1.713113e-04,1.731720e-04,1.879238e-04,1.995716e-04,2.013801e-04,2.136107e-04,2.229873e-04,2.246841e-04,2.346674e-04,2.420859e-04,2.436256e-04,2.516215e-04,2.573661e-04,2.587156e-04,2.649658e-04,2.692907e-04,2.704273e-04,2.751525e-04,2.782821e-04,2.791914e-04,2.825910e-04,2.847215e-04,2.853960e-04,2.876486e-04,2.889507e-04,2.893884e-04,2.906528e-04,2.912741e-04,2.914773e-04,2.918950e-04,2.919627e-04,2.919372e-04,2.916332e-04,2.912565e-04,2.910108e-04,2.900960e-04,2.893684e-04,2.889132e-04,2.874850e-04,2.864858e-04,2.858330e-04,2.839769e-04,2.827733e-04,2.819357e-04,2.797268e-04,2.783754e-04,2.773668e-04,2.748708e-04,2.734192e-04,2.722534e-04,2.695277e-04,2.680154e-04,2.667064e-04,2.638011e-04,2.622608e-04,2.608227e-04,2.577811e-04,2.562397e-04,2.546860e-04,2.515459e-04,2.500252e-04,2.483691e-04,2.451630e-04,2.436803e-04,2.419347e-04,2.386906e-04,2.372598e-04,2.354367e-04,2.321786e-04,2.308102e-04,2.289214e-04,2.256697e-04,2.243716e-04,2.224279e-04,2.192001e-04,2.179779e-04,2.159897e-04,2.128002e-04,2.116577e-04,2.096347e-04,2.064958e-04,2.054351e-04,2.033862e-04,2.003081e-04,1.993301e-04,1.972635e-04,1.942544e-04,1.933588e-04,1.912824e-04,1.883489e-04,1.875347e-04,1.854554e-04,1.826029e-04,1.818681e-04,1.797925e-04,1.770249e-04,1.763672e-04,1.743011e-04,1.716216e-04,1.710381e-04,1.689869e-04,1.663974e-04,1.658850e-04,1.638536e-04,1.613555e-04,1.609107e-04,1.589033e-04,1.564972e-04,1.561165e-04,1.541371e-04,1.518230e-04,1.515027e-04,1.495548e-04,1.473323e-04,1.470686e-04,1.451552e-04,1.430234e-04,1.428127e-04,1.409365e-04,1.388942e-04,1.387327e-04,1.368961e-04,1.349418e-04,1.348259e-04,1.330308e-04,1.311628e-04,1.310890e-04,1.293372e-04,1.275535e-04,1.275182e-04,1.258112e-04,1.241097e-04,1.208592e-04,1.177622e-04,1.148142e-04,1.120105e-04,1.093465e-04,1.068173e-04,1.044182e-04,1.021445e-04,9.999156e-05,9.795467e-05,9.602931e-05,9.421103e-05,9.249546e-05,9.087832e-05,8.935545e-05,8.792281e-05,8.657645e-05,8.531255e-05,8.412742e-05,8.301748e-05,8.197925e-05,8.100940e-05,8.010468e-05,7.926200e-05,7.847834e-05,7.775081e-05,7.707664e-05,7.645314e-05,7.587774e-05,7.534798e-05,7.486147e-05,7.441594e-05,7.400921e-05,7.363917e-05,7.330383e-05,7.300126e-05,7.272961e-05,7.248712e-05,7.227211e-05,7.208294e-05,7.191809e-05,7.177607e-05,7.165548e-05,7.155497e-05,7.147324e-05,7.140908e-05,7.136130e-05,7.132881e-05,7.131052e-05
0.000000e+00,1.110884e-09,1.282614e-08,1.335967e-08,7.769624e-08,2.741314e-07,2.866378e-07,7.284703e-07,1.322643e-06,1.363562e-06,2.051555e-06,2.656470e-06,2.706936e-06,3.305814e-06,3.793916e-06,3.845237e-06,4.327657e-06,4.707984e-06,4.756798e-06,5.136565e-06,5.426574e-06,5.470752e-06,5.762958e-06,5.978455e-06,6.016574e-06,6.234776e-06,6.389372e-06,6.420543e-06,6.576641e-06,6.681896e-06,6.705647e-06,6.809951e-06,6.875593e-06,6.891772e-06,6.953161e-06,6.987324e-06,6.996015e-06,7.022088e-06,7.031540e-06,7.033005e-06,7.030233e-06,7.020542e-06,7.015157e-06,6.989045e-06,6.964824e-06,6.953055e-06,6.908253e-06,6.873258e-06,6.855619e-06,6.796049e-06,6.753335e-06,6.730364e-06,6.659315e-06,6.611351e-06,6.583593e-06,6.503826e-06,6.452594e-06,6.420589e-06,6.334408e-06,6.281486e-06,6.245759e-06,6.155080e-06,6.101714e-06,6.062767e-06,5.969181e-06,5.916339e-06,5.874648e-06,5.779463e-06,5.727888e-06,5.683896e-06,5.588188e-06,5.538437e-06,5.492557e-06,5.397200e-06,5.349680e-06,5.302293e-06,5.207992e-06,5.162986e-06,5.114440e-06,5.021759e-06,4.979450e-06,4.930062e-06,4.839444e-06,4.799938e-06,4.749993e-06,4.661783e-06,4.625120e-06,4.574877e-06,4.489332e-06,4.455506e-06,4.405195e-06,4.322505e-06,4.291469e-06,4.241295e-06,4.161590e-06,4.133269e-06,4.083411e-06,4.006774e-06,3.981071e-06,3.931689e-06,3.858162e-06,3.834962e-06,3.786195e-06,3.715788e-06,3.694969e-06,3.646936e-06,3.579632e-06,3.561063e-06,3.513866e-06,3.449627e-06,3.433174e-06,3.386901e-06,3.325673e-06,3.311199e-06,3.265924e-06,3.207637e-06,3.195008e-06,3.150792e-06,3.095368e-06,3.084451e-06,3.041343e-06,2.988695e-06,2.979363e-06,2.937401e-06,2.887437e-06,2.879565e-06,2.838780e-06,2.791404e-06,2.784873e-06,2.745286e-06,2.700400e-06,2.695096e-06,2.656722e-06,2.614227e-06,2.610041e-06,2.572889e-06,2.532684e-06,2.529516e-06,2.493588e-06,2.455575e-06,2.453328e-06,2.418621e-06,2.382702e-06,2.381287e-06,2.347794e-06,2.313874e-06,2.313205e-06,2.280917e-06,2.248901e-06,2.188196e-06,2.130918e-06,2.076899e-06,2.025978e-06,1.977999e-06,1.932814e-06,1.890279e-06,1.850256e-06,1.812615e-06,1.777231e-06,1.743982e-06,1.712756e-06,1.683443e-06,1.655941e-06,1.630150e-06,1.605977e-06,1.583333e-06,1.562134e-06,1.542300e-06,1.523755e-06,1.506426e-06,1.490245e-06,1.475148e-06,1.461073e-06,1.447962e-06,1.435761e-06,1.424416e-06,1.413878e-06,1.404102e-06,1.395042e-06,1.386658e-06,1.378908e-06,1.371757e-06,1.365169e-06,1.359110e-06,1.353548e-06,1.348455e-06,1.343801e-06,1.339560e-06,1.335707e-06,1.332217e-06,1.329070e-06,1.326242e-06,1.323715e-06,1.321468e-06,1.319485e-06,1.317748e-06,1.316242e-06,1.314951e-06
0.000000e+00,1.561817e-08,3.871464e-07,4.064040e-07,3.098079e-06,1.332341e-05,1.404693e-05,4.433363e-05,1.008138e-04,1.054795e-04,2.014968e-04,3.149857e-04,3.256562e-04,4.647318e-04,5.920724e-04,6.060285e-04,7.413020e-04,8.521521e-04,8.666025e-04,9.806287e-04,1.069646e-03,1.083367e-03,1.175332e-03,1.244767e-03,1.257222e-03,1.329773e-03,1.382799e-03,1.393702e-03,1.449693e-03,1.489202e-03,1.498386e-03,1.540379e-03,1.568840e-03,1.576227e-03,1.606444e-03,1.625940e-03,1.631509e-03,1.651864e-03,1.664135e-03,1.667917e-03,1.680046e-03,1.686547e-03,1.688601e-03,1.693903e-03,1.695841e-03,1.696252e-03,1.695920e-03,1.694295e-03,1.693163e-03,1.688212e-03,1.683849e-03,1.681284e-03,1.672576e-03,1.666154e-03,1.662271e-03,1.650538e-03,1.642613e-03,1.637529e-03,1.623388e-03,1.614415e-03,1.608245e-03,1.592220e-03,1.582565e-03,1.575423e-03,1.557955e-03,1.547914e-03,1.539908e-03,1.521368e-03,1.511178e-03,1.502412e-03,1.483111e-03,1.472960e-03,1.463531e-03,1.443730e-03,1.433764e-03,1.423764e-03,1.403680e-03,1.394012e-03,1.383525e-03,1.363339e-03,1.354054e-03,1.343160e-03,1.323021e-03,1.314180e-03,1.302952e-03,1.282981e-03,1.274629e-03,1.263133e-03,1.243431e-03,1.235595e-03,1.223893e-03,1.204539e-03,1.197236e-03,1.185384e-03,1.166442e-03,1.159678e-03,1.147726e-03,1.129247e-03,1.123019e-03,1.111014e-03,1.093035e-03,1.087337e-03,1.075319e-03,1.057870e-03,1.052689e-03,1.040695e-03,1.023797e-03,1.019115e-03,1.007179e-03,9.908445e-04,9.866442e-04,9.747952e-04,9.590322e-04,9.552918e-04,9.435564e-04,9.283679e-04,9.250649e-04,9.134664e-04,8.988514e-04,8.959626e-04,8.845216e-04,8.704756e-04,8.679774e-04,8.567117e-04,8.432279e-04,8.410963e-04,8.300218e-04,8.170909e-04,8.153024e-04,8.044325e-04,7.920436e-04,7.905749e-04,7.799212e-04,7.680620e-04,7.668905e-04,7.564628e-04,7.451200e-04,7.442236e-04,7.340302e-04,7.231896e-04,7.225471e-04,7.125947e-04,7.022417e-04,7.018326e-04,6.921269e-04,6.822463e-04,6.820510e-04,6.725962e-04,6.631727e-04,6.451676e-04,6.280057e-04,6.116571e-04,5.960922e-04,5.812818e-04,5.671974e-04,5.538107e-04,5.410943e-04,5.290213e-04,5.175656e-04,5.067017e-04,4.964052e-04,4.866521e-04,4.774196e-04,4.686851e-04,4.604273e-04,4.526253e-04,4.452590e-04,4.383090e-04,4.317567e-04,4.255843e-04,4.197745e-04,4.143107e-04,4.091771e-04,4.043583e-04,3.998395e-04,3.956068e-04,3.916464e-04,3.879454e-04,3.844914e-04,3.812723e-04,3.782767e-04,3.754936e-04,3.729123e-04,3.705229e-04,3.683156e-04,3.662811e-04,3.644106e-04,3.626955e-04,3.611277e-04,3.596994e-04,3.584031e-04,3.572316e-04,3.561782e-04,3.552364e-04,3.543998e-04,3.536626e-04,3.530189e-04,3.524635e-04
0.000000e+00,1.237468e-08,5.437826e-07,5.771589e-07,6.850910e-06,3.764322e-05,3.998724e-05,1.459257e-04,3.634415e-04,3.821907e-04,7.910080e-04,1.333473e-03,1.388140e-03,2.167565e-03,3.008553e-03,3.109277e-03,4.185670e-03,5.219944e-03,5.366051e-03,6.619635e-03,7.734081e-03,7.917422e-03,9.233279e-03,1.033583e-02,1.054447e-02,1.183183e-02,1.285858e-02,1.307968e-02,1.427558e-02,1.518844e-02,1.541006e-02,1.647626e-02,1.725744e-02,1.746955e-02,1.838722e-02,1.903332e-02,1.922813e-02,1.999244e-02,2.050938e-02,2.068134e-02,2.129680e-02,2.169591e-02,2.184143e-02,2.231826e-02,2.261348e-02,2.273063e-02,2.308209e-02,2.328814e-02,2.337626e-02,2.361682e-02,2.374798e-02,2.380739e-02,2.395154e-02,2.402103e-02,2.405271e-02,2.411423e-02,2.413385e-02,2.413926e-02,2.413081e-02,2.411087e-02,2.409173e-02,2.402470e-02,2.397400e-02,2.393220e-02,2.381659e-02,2.374258e-02,2.368005e-02,2.352460e-02,2.343347e-02,2.335213e-02,2.316438e-02,2.306126e-02,2.296297e-02,2.274939e-02,2.263848e-02,2.252503e-02,2.229114e-02,2.217585e-02,2.204892e-02,2.179942e-02,2.168250e-02,2.154366e-02,2.128255e-02,2.116619e-02,2.101693e-02,2.074757e-02,2.063350e-02,2.047519e-02,2.020043e-02,2.009000e-02,1.992390e-02,1.964615e-02,1.954039e-02,1.936768e-02,1.908894e-02,1.898861e-02,1.881036e-02,1.853233e-02,1.843798e-02,1.825519e-02,1.797926e-02,1.789127e-02,1.770484e-02,1.743218e-02,1.735077e-02,1.716153e-02,1.689311e-02,1.681837e-02,1.662709e-02,1.636368e-02,1.629563e-02,1.610301e-02,1.584523e-02,1.578380e-02,1.559046e-02,1.533882e-02,1.528389e-02,1.509041e-02,1.484530e-02,1.479668e-02,1.460358e-02,1.436530e-02,1.432278e-02,1.413053e-02,1.389930e-02,1.386263e-02,1.367166e-02,1.344763e-02,1.341655e-02,1.322724e-02,1.301050e-02,1.298474e-02,1.279743e-02,1.258803e-02,1.256729e-02,1.238230e-02,1.218024e-02,1.216423e-02,1.198184e-02,1.178709e-02,1.177552e-02,1.159598e-02,1.140849e-02,1.140106e-02,1.122459e-02,1.104427e-02,1.104070e-02,1.086750e-02,1.069425e-02,1.036150e-02,1.004219e-02,9.736079e-03,9.442878e-03,9.162299e-03,8.894042e-03,8.637802e-03,8.393271e-03,8.160137e-03,7.938092e-03,7.726825e-03,7.526029e-03,7.335399e-03,7.154633e-03,6.983434e-03,6.821508e-03,6.668567e-03,6.524328e-03,6.388509e-03,6.260838e-03,6.141044e-03,6.028863e-03,5.924035e-03,5.826303e-03,5.735417e-03,5.651129e-03,5.573197e-03,5.501383e-03,5.435451e-03,5.375170e-03,5.320313e-03,5.270656e-03,5.225978e-03,5.186063e-03,5.150697e-03,5.119669e-03,5.092773e-03,5.069805e-03,5.050563e-03,5.034853e-03,5.022478e-03,5.013250e-03,5.006982e-03,5.003490e-03,5.002595e-03,5.004121e-03,5.007898e-03,5.013758e-03,5.021536e-03
0.000000e+00,1.918594e-07,6.706810e-06,7.084568e-06,7.033053e-05,3.632633e-04,3.855710e-04,1.423601e-03,3.731973e-03,3.940827e-03,8.817842e-03,1.607006e-02,1.684262e-02,2.856595e-02,4.251489e-02,4.426677e-02,6.398749e-02,8.455959e-02,8.758865e-02,1.148001e-01,1.408176e-01,1.452631e-01,1.785643e-01,2.084075e-01,2.142614e-01,2.519035e-01,2.839087e-01,2.910456e-01,3.312597e-01,3.639310e-01,3.721426e-01,4.133205e-01,4.454235e-01,4.544523e-01,4.952312e-01,5.258181e-01,5.353846e-01,5.746739e-01,6.030695e-01,6.128934e-01,6.498680e-01,6.756358e-01,6.854518e-01,7.195257e-01,7.424276e-01,7.519954e-01,7.827885e-01,8.027429e-01,8.118531e-01,8.391550e-01,8.561993e-01,8.646760e-01,8.884118e-01,9.026690e-01,9.103702e-01,9.305694e-01,9.422210e-01,9.490366e-01,9.658067e-01,9.750709e-01,9.809206e-01,9.944245e-01,1.001539e+00,1.006369e+00,1.016807e+00,1.022015e+00,1.025795e+00,1.033391e+00,1.036934e+00,1.039653e+00,1.044642e+00,1.046753e+00,1.048418e+00,1.051038e+00,1.051934e+00,1.052564e+00,1.053053e+00,1.052936e+00,1.052562e+00,1.051147e+00,1.050200e+00,1.048862e+00,1.045762e+00,1.044152e+00,1.041897e+00,1.037317e+00,1.035191e+00,1.032070e+00,1.026202e+00,1.023692e+00,1.019759e+00,1.012782e+00,1.010000e+00,1.005314e+00,9.973918e-01,9.944363e-01,9.890545e-01,9.803376e-01,9.772935e-01,9.712752e-01,9.618999e-01,9.588389e-01,9.522427e-01,9.423329e-01,9.393149e-01,9.321985e-01,9.218660e-01,9.189409e-01,9.113606e-01,9.007059e-01,8.979141e-01,8.899246e-01,8.790378e-01,8.764115e-01,8.680655e-01,8.570269e-01,8.545912e-01,8.459395e-01,8.348203e-01,8.325940e-01,8.236849e-01,8.125483e-01,8.105447e-01,8.014243e-01,7.903260e-01,7.885535e-01,7.792655e-01,7.682542e-01,7.667172e-01,7.573029e-01,7.464213e-01,7.451207e-01,7.356188e-01,7.249039e-01,7.238375e-01,7.142846e-01,7.037682e-01,7.029315e-01,6.933616e-01,6.830710e-01,6.824574e-01,6.729023e-01,6.628606e-01,6.624616e-01,6.529509e-01,6.431775e-01,6.429834e-01,6.335444e-01,6.240553e-01,6.057039e-01,5.879504e-01,5.708113e-01,5.542988e-01,5.384212e-01,5.231834e-01,5.085873e-01,4.946321e-01,4.813145e-01,4.686291e-01,4.565684e-01,4.451235e-01,4.342840e-01,4.240379e-01,4.143724e-01,4.052736e-01,3.967267e-01,3.887161e-01,3.812258e-01,3.742390e-01,3.677387e-01,3.617074e-01,3.561275e-01,3.509810e-01,3.462499e-01,3.419161e-01,3.379617e-01,3.343685e-01,3.311187e-01,3.281945e-01,3.255783e-01,3.232529e-01,3.212013e-01,3.194067e-01,3.178528e-01,3.165237e-01,3.154039e-01,3.144782e-01,3.137320e-01,3.131512e-01,3.127222e-01,3.124318e-01,3.122675e-01,3.122171e-01,3.122693e-01,3.124131e-01,3.126380e-01,3.129343e-01,3.132927e-01
0.000000e+00,1.501010e-08,2.309599e-07,2.411551e-07,1.484877e-06,5.212703e-06,5.446943e-06,1.366055e-05,2.497152e-05,2.577124e-05,3.956623e-05,5.199859e-05,5.303963e-05,6.538253e-05,7.539061e-05,7.643897e-05,8.625117e-05,9.392773e-05,9.490893e-05,1.025092e-04,1.082713e-04,1.091458e-04,1.149063e-04,1.191277e-04,1.198720e-04,1.241177e-04,1.271103e-04,1.277121e-04,1.307183e-04,1.327384e-04,1.331936e-04,1.351908e-04,1.364476e-04,1.367576e-04,1.379378e-04,1.386006e-04,1.387709e-04,1.392929e-04,1.394984e-04,1.395368e-04,1.395321e-04,1.393902e-04,1.393060e-04,1.388829e-04,1.384815e-04,1.382850e-04,1.375322e-04,1.369414e-04,1.366431e-04,1.356341e-04,1.349098e-04,1.345202e-04,1.333150e-04,1.325014e-04,1.320307e-04,1.306781e-04,1.298097e-04,1.292674e-04,1.278074e-04,1.269112e-04,1.263063e-04,1.247714e-04,1.238683e-04,1.232092e-04,1.216256e-04,1.207314e-04,1.200259e-04,1.184148e-04,1.175416e-04,1.167967e-04,1.151752e-04,1.143319e-04,1.135539e-04,1.119357e-04,1.111287e-04,1.103234e-04,1.087192e-04,1.079528e-04,1.071254e-04,1.055437e-04,1.048207e-04,1.039759e-04,1.024234e-04,1.017455e-04,1.008874e-04,9.936905e-05,9.873683e-05,9.786926e-05,9.638882e-05,9.580222e-05,9.492842e-05,9.348864e-05,9.294703e-05,9.206995e-05,9.067272e-05,9.017503e-05,8.929726e-05,8.794379e-05,8.748866e-05,8.661249e-05,8.530345e-05,8.488927e-05,8.401673e-05,8.275235e-05,8.237738e-05,8.151025e-05,8.029038e-05,7.995279e-05,7.909263e-05,7.791687e-05,7.761476e-05,7.676294e-05,7.563067e-05,7.536212e-05,7.451984e-05,7.343024e-05,7.319336e-05,7.236165e-05,7.131380e-05,7.110670e-05,7.028646e-05,6.927935e-05,6.910020e-05,6.829219e-05,6.732472e-05,6.717173e-05,6.637663e-05,6.544764e-05,6.531909e-05,6.453745e-05,6.364578e-05,6.354001e-05,6.277232e-05,6.191676e-05,6.183218e-05,6.107882e-05,6.025820e-05,6.019329e-05,5.945459e-05,5.866769e-05,5.862100e-05,5.789722e-05,5.714288e-05,5.711304e-05,5.640437e-05,5.568142e-05,5.566712e-05,5.497373e-05,5.428101e-05,5.295255e-05,5.167958e-05,5.046004e-05,4.929190e-05,4.817321e-05,4.710207e-05,4.607664e-05,4.509513e-05,4.415583e-05,4.325709e-05,4.239730e-05,4.157492e-05,4.078847e-05,4.003650e-05,3.931765e-05,3.863059e-05,3.797403e-05,3.734676e-05,3.674758e-05,3.617537e-05,3.562902e-05,3.510749e-05,3.460977e-05,3.413488e-05,3.368190e-05,3.324992e-05,3.283809e-05,3.244558e-05,3.207158e-05,3.171534e-05,3.137613e-05,3.105323e-05,3.074596e-05,3.045369e-05,3.017578e-05,2.991162e-05,2.966066e-05,2.942232e-05,2.919608e-05,2.898142e-05,2.877786e-05,2.858493e-05,2.840216e-05,2.822914e-05,2.806543e-05,2.791064e-05,2.776438e-05,2.762628e-05,2.749600e-05
0.000000e+00,1.701409e-08,4.796905e-07,5.045005e-07,4.131651e-06,1.881777e-05,1.989006e-05,6.720343e-05,1.633395e-04,1.715991e-04,3.488895e-04,5.718332e-04,5.934233e-04,8.842706e-04,1.166018e-03,1.197795e-03,1.514759e-03,1.785919e-03,1.821963e-03,2.111396e-03,2.342769e-03,2.378790e-03,2.622337e-03,2.808242e-03,2.841740e-03,3.037588e-03,3.181349e-03,3.210952e-03,3.363152e-03,3.470627e-03,3.495608e-03,3.609760e-03,3.686998e-03,3.707015e-03,3.788725e-03,3.841222e-03,3.856175e-03,3.910569e-03,3.943084e-03,3.953038e-03,3.984634e-03,4.001203e-03,4.006336e-03,4.019050e-03,4.023056e-03,4.023619e-03,4.020817e-03,4.015069e-03,4.011360e-03,3.995909e-03,3.982725e-03,3.975072e-03,3.949410e-03,3.930696e-03,3.919443e-03,3.885648e-03,3.862967e-03,3.848465e-03,3.808301e-03,3.782928e-03,3.765531e-03,3.720504e-03,3.693481e-03,3.673540e-03,3.624928e-03,3.597087e-03,3.574936e-03,3.523802e-03,3.495793e-03,3.471747e-03,3.418970e-03,3.391301e-03,3.365653e-03,3.311961e-03,3.285022e-03,3.258044e-03,3.204039e-03,3.178121e-03,3.150067e-03,3.096240e-03,3.071556e-03,3.042659e-03,2.989414e-03,2.966113e-03,2.936585e-03,2.884245e-03,2.862424e-03,2.832458e-03,2.781281e-03,2.760993e-03,2.730765e-03,2.680953e-03,2.662217e-03,2.631884e-03,2.583593e-03,2.566404e-03,2.536107e-03,2.489451e-03,2.473781e-03,2.443645e-03,2.398706e-03,2.384511e-03,2.354647e-03,2.311479e-03,2.298703e-03,2.269208e-03,2.227839e-03,2.216418e-03,2.187376e-03,2.147819e-03,2.137682e-03,2.109165e-03,2.071414e-03,2.062487e-03,2.034559e-03,1.998595e-03,1.990802e-03,1.963515e-03,1.929311e-03,1.922574e-03,1.895972e-03,1.863489e-03,1.857732e-03,1.831851e-03,1.801046e-03,1.796194e-03,1.771063e-03,1.741888e-03,1.737867e-03,1.713508e-03,1.685910e-03,1.682650e-03,1.659079e-03,1.633003e-03,1.630436e-03,1.607666e-03,1.583054e-03,1.581116e-03,1.559153e-03,1.535948e-03,1.534577e-03,1.513424e-03,1.491567e-03,1.490706e-03,1.470362e-03,1.449794e-03,1.449389e-03,1.429850e-03,1.410514e-03,1.373969e-03,1.339646e-03,1.307437e-03,1.277240e-03,1.248953e-03,1.222480e-03,1.197726e-03,1.174601e-03,1.153018e-03,1.132893e-03,1.114148e-03,1.096705e-03,1.080492e-03,1.065440e-03,1.051481e-03,1.038553e-03,1.026597e-03,1.015554e-03,1.005371e-03,9.959971e-04,9.873825e-04,9.794813e-04,9.722497e-04,9.656463e-04,9.596319e-04,9.541691e-04,9.492229e-04,9.447600e-04,9.407491e-04,9.371604e-04,9.339660e-04,9.311393e-04,9.286554e-04,9.264907e-04,9.246231e-04,9.230315e-04,9.216963e-04,9.205988e-04,9.197216e-04,9.190480e-04,9.185628e-04,9.182511e-04,9.180994e-04,9.180947e-04,9.182249e-04,9.184786e-04,9.188452e-04,9.193147e-04,9.198776e-04
0.000000e+00,1.173186e-08,2.881253e-07,3.024722e-07,2.337128e-06,1.027337e-05,1.084031e-05,3.463728e-05,7.771909e-05,8.116226e-05,1.477351e-04,2.169507e-04,2.230129e-04,2.963643e-04,3.558961e-04,3.620439e-04,4.181478e-04,4.596192e-04,4.647304e-04,5.026153e-04,5.290269e-04,5.328350e-04,5.564041e-04,5.717390e-04,5.742431e-04,5.871694e-04,5.946106e-04,5.959024e-04,6.010707e-04,6.030089e-04,6.032214e-04,6.028286e-04,6.010228e-04,6.003031e-04,5.959996e-04,5.917295e-04,5.902237e-04,5.832385e-04,5.774251e-04,5.752700e-04,5.665118e-04,5.598111e-04,5.571298e-04,5.472656e-04,5.401391e-04,5.370398e-04,5.265553e-04,5.193231e-04,5.158992e-04,5.051451e-04,4.980245e-04,4.943554e-04,4.835824e-04,4.767168e-04,4.728696e-04,4.622536e-04,4.557336e-04,4.517644e-04,4.414267e-04,4.353053e-04,4.312606e-04,4.212822e-04,4.155859e-04,4.115043e-04,4.019365e-04,3.966732e-04,3.925863e-04,3.834589e-04,3.786240e-04,3.745577e-04,3.658847e-04,3.614652e-04,3.574406e-04,3.492249e-04,3.452024e-04,3.412365e-04,3.334731e-04,3.298259e-04,3.259322e-04,3.186107e-04,3.153154e-04,3.115048e-04,3.046107e-04,3.016434e-04,2.979243e-04,2.914410e-04,2.887775e-04,2.851564e-04,2.790658e-04,2.766829e-04,2.731645e-04,2.674478e-04,2.653228e-04,2.619107e-04,2.565486e-04,2.546602e-04,2.513567e-04,2.463303e-04,2.446582e-04,2.414647e-04,2.367553e-04,2.352806e-04,2.321976e-04,2.277872e-04,2.264921e-04,2.235197e-04,2.193908e-04,2.182590e-04,2.153963e-04,2.115322e-04,2.105484e-04,2.077945e-04,2.041794e-04,2.033295e-04,2.006829e-04,1.973015e-04,1.965726e-04,1.940315e-04,1.908694e-04,1.902497e-04,1.878120e-04,1.848558e-04,1.843342e-04,1.819976e-04,1.792344e-04,1.788009e-04,1.765632e-04,1.739809e-04,1.736263e-04,1.714848e-04,1.690720e-04,1.687880e-04,1.667400e-04,1.644861e-04,1.642649e-04,1.623078e-04,1.602026e-04,1.600373e-04,1.581682e-04,1.562024e-04,1.560866e-04,1.543028e-04,1.524673e-04,1.523952e-04,1.506939e-04,1.489806e-04,1.489469e-04,1.473253e-04,1.457261e-04,1.427185e-04,1.399103e-04,1.372890e-04,1.348425e-04,1.325596e-04,1.304299e-04,1.284435e-04,1.265912e-04,1.248642e-04,1.232546e-04,1.217548e-04,1.203575e-04,1.190562e-04,1.178446e-04,1.167169e-04,1.156676e-04,1.146916e-04,1.137840e-04,1.129404e-04,1.121566e-04,1.114287e-04,1.107529e-04,1.101258e-04,1.095441e-04,1.090050e-04,1.085054e-04,1.080429e-04,1.076149e-04,1.072190e-04,1.068532e-04,1.065154e-04,1.062038e-04,1.059164e-04,1.056518e-04,1.054083e-04,1.051845e-04,1.049790e-04,1.047906e-04,1.046182e-04,1.044605e-04,1.043166e-04,1.041854e-04,1.040662e-04,1.039581e-04,1.038602e-04,1.037718e-04,1.036924e-04,1.036211e-04,1.035575e-04
0.000000e+00,5.892796e-08,2.767383e-06,2.942038e-06,3.761772e-05,2.152801e-04,2.288969e-04,8.407586e-04,2.074744e-03,2.180377e-03,4.479698e-03,7.557287e-03,7.870267e-03,1.239978e-02,1.743829e-02,1.805268e-02,2.476774e-02,3.148256e-02,3.245230e-02,4.099344e-02,4.892919e-02,5.026671e-02,6.014281e-02,6.881004e-02,7.049261e-02,8.119091e-02,9.014005e-02,9.211900e-02,1.031665e-01,1.120223e-01,1.142324e-01,1.252258e-01,1.336979e-01,1.360658e-01,1.466819e-01,1.545625e-01,1.570131e-01,1.670080e-01,1.741621e-01,1.766236e-01,1.858252e-01,1.921784e-01,1.945855e-01,2.028837e-01,2.084096e-01,2.107054e-01,2.180411e-01,2.227494e-01,2.248864e-01,2.312408e-01,2.351672e-01,2.371075e-01,2.424926e-01,2.456903e-01,2.474049e-01,2.518554e-01,2.543882e-01,2.558567e-01,2.594229e-01,2.613601e-01,2.625693e-01,2.653120e-01,2.667242e-01,2.676675e-01,2.696530e-01,2.706097e-01,2.712857e-01,2.725830e-01,2.731502e-01,2.735622e-01,2.742402e-01,2.744794e-01,2.746340e-01,2.747600e-01,2.747276e-01,2.746343e-01,2.742724e-01,2.740193e-01,2.736895e-01,2.729001e-01,2.724716e-01,2.719184e-01,2.707577e-01,2.701936e-01,2.694309e-01,2.679506e-01,2.672858e-01,2.663283e-01,2.645754e-01,2.638401e-01,2.627025e-01,2.607199e-01,2.599397e-01,2.586371e-01,2.564634e-01,2.556602e-01,2.542072e-01,2.518769e-01,2.510691e-01,2.494802e-01,2.470242e-01,2.462270e-01,2.445160e-01,2.419619e-01,2.411877e-01,2.393681e-01,2.367402e-01,2.359990e-01,2.340836e-01,2.314034e-01,2.307033e-01,2.287043e-01,2.259907e-01,2.253377e-01,2.232667e-01,2.205362e-01,2.199350e-01,2.178028e-01,2.150699e-01,2.145236e-01,2.123405e-01,2.096177e-01,2.091285e-01,2.069041e-01,2.042023e-01,2.037713e-01,2.015146e-01,1.988431e-01,1.984705e-01,1.961898e-01,1.935567e-01,1.932421e-01,1.909453e-01,1.883573e-01,1.880998e-01,1.857941e-01,1.832569e-01,1.830551e-01,1.807471e-01,1.782656e-01,1.781176e-01,1.758135e-01,1.733916e-01,1.732954e-01,1.710008e-01,1.686417e-01,1.685949e-01,1.663151e-01,1.640214e-01,1.595791e-01,1.552710e-01,1.510993e-01,1.470654e-01,1.431700e-01,1.394132e-01,1.357947e-01,1.323134e-01,1.289681e-01,1.257572e-01,1.226787e-01,1.197303e-01,1.169097e-01,1.142141e-01,1.116408e-01,1.091867e-01,1.068490e-01,1.046243e-01,1.025094e-01,1.005011e-01,9.859594e-02,9.679065e-02,9.508182e-02,9.346603e-02,9.193991e-02,9.050007e-02,8.914317e-02,8.786586e-02,8.666486e-02,8.553693e-02,8.447885e-02,8.348748e-02,8.255972e-02,8.169255e-02,8.088301e-02,8.012819e-02,7.942527e-02,7.877151e-02,7.816423e-02,7.760084e-02,7.707883e-02,7.659576e-02,7.614930e-02,7.573717e-02,7.535720e-02,7.500729e-02,7.468543e-02,7.438970e-02,7.411824e-02
0.000000e+00,2.261373e-09,4.502705e-08,4.728540e-08,3.464149e-07,1.183667e-06,1.230636e-06,2.547753e-06,3.824814e-06,3.904304e-06,5.179532e-06,6.265656e-06,6.356160e-06,7.435847e-06,8.328959e-06,8.423787e-06,9.325646e-06,1.005242e-05,1.014689e-05,1.089264e-05,1.147728e-05,1.156771e-05,1.217661e-05,1.264008e-05,1.272360e-05,1.321274e-05,1.357334e-05,1.364784e-05,1.403254e-05,1.430634e-05,1.437030e-05,1.466437e-05,1.486541e-05,1.491785e-05,1.513365e-05,1.527417e-05,1.531454e-05,1.546310e-05,1.555366e-05,1.558177e-05,1.567282e-05,1.572249e-05,1.573841e-05,1.578053e-05,1.579706e-05,1.580106e-05,1.580177e-05,1.579177e-05,1.578429e-05,1.575015e-05,1.571918e-05,1.570076e-05,1.563747e-05,1.559024e-05,1.556151e-05,1.547404e-05,1.541451e-05,1.537615e-05,1.526883e-05,1.520030e-05,1.515301e-05,1.502957e-05,1.495479e-05,1.489930e-05,1.476296e-05,1.468422e-05,1.462125e-05,1.447478e-05,1.439393e-05,1.432417e-05,1.416997e-05,1.408853e-05,1.401267e-05,1.385277e-05,1.377197e-05,1.369068e-05,1.352682e-05,1.344765e-05,1.336156e-05,1.319523e-05,1.311845e-05,1.302816e-05,1.286064e-05,1.278685e-05,1.269293e-05,1.252528e-05,1.245493e-05,1.235791e-05,1.219103e-05,1.212446e-05,1.202483e-05,1.185947e-05,1.179689e-05,1.169513e-05,1.153193e-05,1.147348e-05,1.137000e-05,1.120947e-05,1.115522e-05,1.105043e-05,1.089299e-05,1.084296e-05,1.073723e-05,1.058321e-05,1.053736e-05,1.043101e-05,1.028069e-05,1.023895e-05,1.013230e-05,9.985879e-06,9.948138e-06,9.841471e-06,9.699106e-06,9.665246e-06,9.558812e-06,9.420612e-06,9.390491e-06,9.284522e-06,9.150557e-06,9.124020e-06,9.018726e-06,8.889034e-06,8.865917e-06,8.761485e-06,8.636078e-06,8.616212e-06,8.512810e-06,8.391676e-06,8.374887e-06,8.272667e-06,8.155772e-06,8.141887e-06,8.040981e-06,7.928280e-06,7.917124e-06,7.817652e-06,7.709081e-06,7.700484e-06,7.602550e-06,7.498038e-06,7.491831e-06,7.395526e-06,7.294992e-06,7.291012e-06,7.196414e-06,7.099770e-06,7.097857e-06,7.005035e-06,6.912186e-06,6.733810e-06,6.562536e-06,6.398162e-06,6.240487e-06,6.089308e-06,5.944421e-06,5.805623e-06,5.672712e-06,5.545490e-06,5.423762e-06,5.307334e-06,5.196018e-06,5.089629e-06,4.987988e-06,4.890918e-06,4.798250e-06,4.709816e-06,4.625456e-06,4.545012e-06,4.468334e-06,4.395274e-06,4.325690e-06,4.259445e-06,4.196406e-06,4.136443e-06,4.079435e-06,4.025260e-06,3.973804e-06,3.924954e-06,3.878605e-06,3.834652e-06,3.792995e-06,3.753540e-06,3.716193e-06,3.680865e-06,3.647471e-06,3.615927e-06,3.586156e-06,3.558080e-06,3.531626e-06,3.506722e-06,3.483302e-06,3.461300e-06,3.440653e-06,3.421300e-06,3.403183e-06,3.386246e-06,3.370436e-06,3.355701e-06
0.000000e+00,7.832053e-09,3.502494e-07,3.722344e-07,4.749113e-06,2.680116e-05,2.845370e-05,9.790035e-05,2.196576e-04,2.293143e-04,4.201454e-04,6.369278e-04,6.572166e-04,9.244886e-04,1.178518e-03,1.207099e-03,1.492920e-03,1.739785e-03,1.772826e-03,2.040396e-03,2.257384e-03,2.291424e-03,2.523411e-03,2.702634e-03,2.735124e-03,2.926233e-03,3.067760e-03,3.097033e-03,3.248230e-03,3.355717e-03,3.380791e-03,3.495832e-03,3.574164e-03,3.594541e-03,3.678125e-03,3.732266e-03,3.747773e-03,3.804638e-03,3.839134e-03,3.849814e-03,3.884336e-03,3.903142e-03,3.909173e-03,3.925227e-03,3.931689e-03,3.933334e-03,3.934268e-03,3.931171e-03,3.928741e-03,3.917408e-03,3.907044e-03,3.900873e-03,3.879687e-03,3.863923e-03,3.854356e-03,3.825342e-03,3.805691e-03,3.793069e-03,3.757923e-03,3.735605e-03,3.720258e-03,3.680395e-03,3.656384e-03,3.638628e-03,3.595224e-03,3.570295e-03,3.550427e-03,3.504459e-03,3.479221e-03,3.457520e-03,3.409795e-03,3.384722e-03,3.361449e-03,3.312632e-03,3.288091e-03,3.263482e-03,3.214122e-03,3.190387e-03,3.164663e-03,3.115207e-03,3.092484e-03,3.065845e-03,3.016658e-03,2.995091e-03,2.967720e-03,2.919098e-03,2.898784e-03,2.870849e-03,2.823026e-03,2.804028e-03,2.775677e-03,2.728842e-03,2.711187e-03,2.682558e-03,2.636857e-03,2.620552e-03,2.591766e-03,2.547310e-03,2.532344e-03,2.503510e-03,2.460383e-03,2.446728e-03,2.417945e-03,2.376206e-03,2.363823e-03,2.335178e-03,2.294868e-03,2.283710e-03,2.255281e-03,2.216421e-03,2.206437e-03,2.178292e-03,2.140893e-03,2.132026e-03,2.104224e-03,2.068283e-03,2.060474e-03,2.033069e-03,1.998576e-03,1.991764e-03,1.964801e-03,1.931737e-03,1.925861e-03,1.899380e-03,1.867721e-03,1.862720e-03,1.836754e-03,1.806472e-03,1.802286e-03,1.776864e-03,1.747924e-03,1.744496e-03,1.719643e-03,1.692009e-03,1.689282e-03,1.665016e-03,1.638652e-03,1.636570e-03,1.612908e-03,1.587773e-03,1.586284e-03,1.563239e-03,1.539293e-03,1.538348e-03,1.515927e-03,1.493130e-03,1.492680e-03,1.470892e-03,1.449202e-03,1.407833e-03,1.368494e-03,1.331106e-03,1.295592e-03,1.261877e-03,1.229886e-03,1.199547e-03,1.170789e-03,1.143546e-03,1.117749e-03,1.093336e-03,1.070245e-03,1.048416e-03,1.027792e-03,1.008317e-03,9.899387e-04,9.726058e-04,9.562693e-04,9.408820e-04,9.263988e-04,9.127766e-04,8.999737e-04,8.879506e-04,8.766693e-04,8.660934e-04,8.561881e-04,8.469201e-04,8.382578e-04,8.301706e-04,8.226297e-04,8.156072e-04,8.090766e-04,8.030128e-04,7.973915e-04,7.921897e-04,7.873854e-04,7.829577e-04,7.788865e-04,7.751527e-04,7.717382e-04,7.686255e-04,7.657981e-04,7.632404e-04,7.609371e-04,7.588740e-04,7.570375e-04,7.554145e-04,7.539926e-04,7.527600e-04
0.000000e+00,1.254155e-08,4.136054e-07,4.371343e-07,4.475002e-06,2.224988e-05,2.352688e-05,7.424535e-05,1.535707e-04,1.594414e-04,2.657583e-04,3.698569e-04,3.789211e-04,4.902120e-04,5.853344e-04,5.955434e-04,6.933935e-04,7.730352e-04,7.834297e-04,8.658063e-04,9.307810e-04,9.408631e-04,1.009003e-03,1.061198e-03,1.070640e-03,1.126185e-03,1.167462e-03,1.176031e-03,1.220557e-03,1.252591e-03,1.260124e-03,1.295071e-03,1.319332e-03,1.325723e-03,1.352383e-03,1.370151e-03,1.375337e-03,1.394854e-03,1.407234e-03,1.411188e-03,1.424574e-03,1.432513e-03,1.435235e-03,1.443378e-03,1.447685e-03,1.449198e-03,1.452875e-03,1.454239e-03,1.454579e-03,1.454470e-03,1.453476e-03,1.452695e-03,1.449392e-03,1.446536e-03,1.444690e-03,1.438710e-03,1.434409e-03,1.431563e-03,1.423355e-03,1.417961e-03,1.414182e-03,1.404136e-03,1.397943e-03,1.393301e-03,1.381755e-03,1.375007e-03,1.369572e-03,1.356820e-03,1.349720e-03,1.343562e-03,1.329856e-03,1.322570e-03,1.315757e-03,1.301316e-03,1.293982e-03,1.286580e-03,1.271591e-03,1.264319e-03,1.256391e-03,1.241016e-03,1.233895e-03,1.225502e-03,1.209879e-03,1.202978e-03,1.194177e-03,1.178423e-03,1.171798e-03,1.162643e-03,1.146859e-03,1.140549e-03,1.131092e-03,1.115362e-03,1.109398e-03,1.099686e-03,1.084080e-03,1.078483e-03,1.068561e-03,1.053140e-03,1.047921e-03,1.037830e-03,1.022643e-03,1.017810e-03,1.007588e-03,9.926751e-04,9.882301e-04,9.779120e-04,9.633061e-04,9.592455e-04,9.488640e-04,9.345915e-04,9.309091e-04,9.204938e-04,9.065754e-04,9.032621e-04,8.928402e-04,8.792916e-04,8.763362e-04,8.659324e-04,8.527650e-04,8.501547e-04,8.397915e-04,8.270133e-04,8.247340e-04,8.144317e-04,8.020475e-04,8.000844e-04,7.898613e-04,7.778734e-04,7.762109e-04,7.660837e-04,7.544919e-04,7.531142e-04,7.430977e-04,7.319002e-04,7.307912e-04,7.208987e-04,7.100920e-04,7.092358e-04,6.994789e-04,6.890582e-04,6.884391e-04,6.788283e-04,6.687876e-04,6.683899e-04,6.589344e-04,6.492670e-04,6.490755e-04,6.397834e-04,6.304816e-04,6.125928e-04,5.953925e-04,5.788639e-04,5.629892e-04,5.477505e-04,5.331296e-04,5.191083e-04,5.056682e-04,4.927912e-04,4.804592e-04,4.686544e-04,4.573592e-04,4.465563e-04,4.362288e-04,4.263601e-04,4.169340e-04,4.079347e-04,3.993467e-04,3.911552e-04,3.833455e-04,3.759034e-04,3.688153e-04,3.620678e-04,3.556481e-04,3.495436e-04,3.437422e-04,3.382322e-04,3.330024e-04,3.280417e-04,3.233397e-04,3.188861e-04,3.146710e-04,3.106850e-04,3.069189e-04,3.033638e-04,3.000111e-04,2.968526e-04,2.938804e-04,2.910867e-04,2.884642e-04,2.860057e-04,2.837044e-04,2.815536e-04,2.795469e-04,2.776781e-04,2.759414e-04,2.743310e-04,2.728413e-04,2.714670e-04
0.000000e+00,8.828956e-09,1.194147e-07,1.246482e-07,7.676705e-07,2.672533e-06,2.790153e-06,6.714564e-06,1.149821e-05,1.181519e-05,1.703918e-05,2.157721e-05,2.195623e-05,2.647459e-05,3.019786e-05,3.059204e-05,3.432710e-05,3.731584e-05,3.770271e-05,4.074222e-05,4.310473e-05,4.346835e-05,4.590292e-05,4.773786e-05,4.806670e-05,4.997941e-05,5.137358e-05,5.165968e-05,5.312503e-05,5.415368e-05,5.439194e-05,5.547581e-05,5.620349e-05,5.639108e-05,5.715118e-05,5.763283e-05,5.776865e-05,5.825517e-05,5.853730e-05,5.862159e-05,5.887803e-05,5.899986e-05,5.903387e-05,5.909781e-05,5.909225e-05,5.907796e-05,5.898180e-05,5.887639e-05,5.881628e-05,5.858788e-05,5.840561e-05,5.830257e-05,5.796589e-05,5.772584e-05,5.758297e-05,5.715854e-05,5.687649e-05,5.669699e-05,5.620238e-05,5.589131e-05,5.567845e-05,5.512864e-05,5.479917e-05,5.455614e-05,5.396387e-05,5.362459e-05,5.335455e-05,5.273070e-05,5.238859e-05,5.209461e-05,5.144841e-05,5.110903e-05,5.079401e-05,5.013320e-05,4.980090e-05,4.946760e-05,4.879870e-05,4.847686e-05,4.812786e-05,4.745633e-05,4.714751e-05,4.678523e-05,4.611561e-05,4.582168e-05,4.544838e-05,4.478441e-05,4.450670e-05,4.412447e-05,4.346924e-05,4.320861e-05,4.281936e-05,4.217539e-05,4.193234e-05,4.153784e-05,4.090714e-05,4.068185e-05,4.028371e-05,3.966789e-05,3.946030e-05,3.905999e-05,3.846028e-05,3.827015e-05,3.786900e-05,3.728635e-05,3.711326e-05,3.671248e-05,3.614754e-05,3.599098e-05,3.559166e-05,3.504490e-05,3.490425e-05,3.450735e-05,3.397906e-05,3.385365e-05,3.346004e-05,3.295033e-05,3.283944e-05,3.244990e-05,3.195875e-05,3.186164e-05,3.147686e-05,3.100416e-05,3.092005e-05,3.054063e-05,3.008619e-05,3.001432e-05,2.964078e-05,2.920432e-05,2.914392e-05,2.877672e-05,2.835791e-05,2.830824e-05,2.794777e-05,2.754622e-05,2.750654e-05,2.715315e-05,2.676845e-05,2.673803e-05,2.639201e-05,2.602372e-05,2.600187e-05,2.566345e-05,2.531110e-05,2.529717e-05,2.496654e-05,2.462965e-05,2.462299e-05,2.430030e-05,2.397839e-05,2.336242e-05,2.277412e-05,2.221254e-05,2.167671e-05,2.116571e-05,2.067861e-05,2.021449e-05,1.977249e-05,1.935172e-05,1.895134e-05,1.857052e-05,1.820848e-05,1.786444e-05,1.753765e-05,1.722739e-05,1.693295e-05,1.665366e-05,1.638887e-05,1.613796e-05,1.590032e-05,1.567536e-05,1.546253e-05,1.526130e-05,1.507113e-05,1.489154e-05,1.472205e-05,1.456221e-05,1.441156e-05,1.426969e-05,1.413620e-05,1.401069e-05,1.389280e-05,1.378216e-05,1.367844e-05,1.358130e-05,1.349044e-05,1.340555e-05,1.332634e-05,1.325254e-05,1.318388e-05,1.312012e-05,1.306100e-05,1.300629e-05,1.295578e-05,1.290925e-05,1.286649e-05,1.282732e-05,1.279155e-05,1.275899e-05
0.000000e+00,1.966248e-08,4.369479e-07,4.593824e-07,3.776371e-06,1.543897e-05,1.618736e-05,4.093846e-05,6.923909e-05,7.104846e-05,9.999376e-05,1.240070e-04,1.259691e-04,1.488421e-04,1.669494e-04,1.688251e-04,1.861821e-04,1.994883e-04,2.011698e-04,2.140262e-04,2.235447e-04,2.249692e-04,2.341976e-04,2.407575e-04,2.418926e-04,2.482185e-04,2.524891e-04,2.533243e-04,2.573442e-04,2.598603e-04,2.603996e-04,2.625997e-04,2.637855e-04,2.640426e-04,2.648165e-04,2.650063e-04,2.650006e-04,2.646662e-04,2.641226e-04,2.638768e-04,2.626889e-04,2.616159e-04,2.611539e-04,2.593177e-04,2.578750e-04,2.572209e-04,2.549001e-04,2.532106e-04,2.523876e-04,2.497126e-04,2.478707e-04,2.469009e-04,2.439754e-04,2.420529e-04,2.409565e-04,2.378625e-04,2.359136e-04,2.347095e-04,2.315118e-04,2.295770e-04,2.282820e-04,2.250315e-04,2.231406e-04,2.217700e-04,2.185063e-04,2.166806e-04,2.152480e-04,2.120019e-04,2.102561e-04,2.087738e-04,2.055688e-04,2.039129e-04,2.023914e-04,1.992455e-04,1.976853e-04,1.961343e-04,1.930607e-04,1.915994e-04,1.900270e-04,1.870355e-04,1.856739e-04,1.840876e-04,1.811848e-04,1.799222e-04,1.783283e-04,1.755189e-04,1.743532e-04,1.727573e-04,1.700440e-04,1.689722e-04,1.673792e-04,1.647633e-04,1.637820e-04,1.621961e-04,1.596778e-04,1.587830e-04,1.572080e-04,1.547866e-04,1.539742e-04,1.524132e-04,1.500874e-04,1.493532e-04,1.478089e-04,1.455770e-04,1.449165e-04,1.433913e-04,1.412512e-04,1.406600e-04,1.391560e-04,1.371052e-04,1.365792e-04,1.350981e-04,1.331341e-04,1.326690e-04,1.312124e-04,1.293323e-04,1.289242e-04,1.274932e-04,1.256943e-04,1.253393e-04,1.239350e-04,1.222146e-04,1.219090e-04,1.205323e-04,1.188873e-04,1.186276e-04,1.172792e-04,1.157070e-04,1.154897e-04,1.141702e-04,1.126680e-04,1.124900e-04,1.111998e-04,1.097648e-04,1.096231e-04,1.083625e-04,1.069922e-04,1.068839e-04,1.056532e-04,1.043448e-04,1.042673e-04,1.030666e-04,1.018177e-04,1.017684e-04,1.005977e-04,9.940593e-05,9.938238e-05,9.824179e-05,9.710470e-05,9.493089e-05,9.285664e-05,9.087781e-05,8.899040e-05,8.719057e-05,8.547463e-05,8.383902e-05,8.228033e-05,8.079527e-05,7.938070e-05,7.803359e-05,7.675105e-05,7.553028e-05,7.436862e-05,7.326350e-05,7.221247e-05,7.121318e-05,7.026336e-05,6.936085e-05,6.850357e-05,6.768954e-05,6.691684e-05,6.618364e-05,6.548821e-05,6.482884e-05,6.420395e-05,6.361198e-05,6.305146e-05,6.252096e-05,6.201915e-05,6.154471e-05,6.109640e-05,6.067303e-05,6.027346e-05,5.989660e-05,5.954138e-05,5.920683e-05,5.889196e-05,5.859586e-05,5.831766e-05,5.805650e-05,5.781159e-05,5.758214e-05,5.736741e-05,5.716671e-05,5.697935e-05,5.680468e-05,5.664209e-05,5.649097e-05
0.000000e+00,1.831661e-08,1.233804e-06,1.319357e-06,2.010282e-05,1.133549e-04,1.201024e-04,3.909126e-04,8.524142e-04,8.891837e-04,1.631432e-03,2.520964e-03,2.607048e-03,3.789753e-03,5.003207e-03,5.145534e-03,6.637823e-03,8.035390e-03,8.230715e-03,9.890860e-03,1.134954e-02,1.158845e-02,1.329764e-02,1.472621e-02,1.499656e-02,1.666715e-02,1.800556e-02,1.829483e-02,1.986813e-02,2.108165e-02,2.137829e-02,2.281888e-02,2.389131e-02,2.418542e-02,2.547508e-02,2.640285e-02,2.668637e-02,2.781888e-02,2.860647e-02,2.887309e-02,2.985015e-02,3.050681e-02,3.075177e-02,3.158004e-02,3.211746e-02,3.233735e-02,3.302630e-02,3.345714e-02,3.364964e-02,3.421018e-02,3.454712e-02,3.471078e-02,3.515429e-02,3.540949e-02,3.554354e-02,3.588131e-02,3.606607e-02,3.617032e-02,3.641319e-02,3.653782e-02,3.661246e-02,3.677061e-02,3.684443e-02,3.689000e-02,3.697289e-02,3.700418e-02,3.702146e-02,3.703779e-02,3.703391e-02,3.702387e-02,3.698158e-02,3.694899e-02,3.691274e-02,3.681907e-02,3.676344e-02,3.670220e-02,3.656370e-02,3.648997e-02,3.640504e-02,3.622765e-02,3.614012e-02,3.603285e-02,3.582192e-02,3.572432e-02,3.559607e-02,3.535646e-02,3.525198e-02,3.510416e-02,3.484022e-02,3.473160e-02,3.456561e-02,3.428128e-02,3.417087e-02,3.398810e-02,3.368690e-02,3.357667e-02,3.337850e-02,3.306362e-02,3.295522e-02,3.274300e-02,3.241730e-02,3.231211e-02,3.208716e-02,3.175318e-02,3.165232e-02,3.141594e-02,3.107597e-02,3.098036e-02,3.073379e-02,3.038987e-02,3.030022e-02,3.004466e-02,2.969861e-02,2.961547e-02,2.935210e-02,2.900552e-02,2.892930e-02,2.865922e-02,2.831354e-02,2.824451e-02,2.796880e-02,2.762529e-02,2.756361e-02,2.728329e-02,2.694305e-02,2.688879e-02,2.660482e-02,2.626883e-02,2.622199e-02,2.593529e-02,2.560439e-02,2.556487e-02,2.527632e-02,2.495125e-02,2.491891e-02,2.462933e-02,2.431071e-02,2.428536e-02,2.399552e-02,2.368390e-02,2.366532e-02,2.337594e-02,2.307177e-02,2.305968e-02,2.277146e-02,2.247511e-02,2.246922e-02,2.218279e-02,2.189457e-02,2.133625e-02,2.079466e-02,2.027011e-02,1.976282e-02,1.927292e-02,1.880048e-02,1.834553e-02,1.790800e-02,1.748780e-02,1.708480e-02,1.669880e-02,1.632959e-02,1.597694e-02,1.564056e-02,1.532017e-02,1.501544e-02,1.472604e-02,1.445164e-02,1.419187e-02,1.394635e-02,1.371472e-02,1.349658e-02,1.329154e-02,1.309921e-02,1.291919e-02,1.275107e-02,1.259445e-02,1.244893e-02,1.231410e-02,1.218957e-02,1.207494e-02,1.196981e-02,1.187379e-02,1.178649e-02,1.170753e-02,1.163652e-02,1.157310e-02,1.151689e-02,1.146754e-02,1.142468e-02,1.138798e-02,1.135708e-02,1.133165e-02,1.131138e-02,1.129593e-02,1.128501e-02,1.127831e-02,1.127553e-02,1.127640e-02
0.000000e+00,8.868118e-09,1.553573e-07,1.628208e-07,1.113295e-06,3.721102e-06,3.868816e-06,8.118832e-06,1.237838e-05,1.264633e-05,1.698044e-05,2.072199e-05,2.103587e-05,2.480662e-05,2.796476e-05,2.830230e-05,3.153567e-05,3.417457e-05,3.451997e-05,3.726828e-05,3.945278e-05,3.979331e-05,4.210716e-05,4.389607e-05,4.422141e-05,4.614764e-05,4.759466e-05,4.789697e-05,4.948007e-05,5.063375e-05,5.090716e-05,5.218793e-05,5.309131e-05,5.333161e-05,5.434696e-05,5.503790e-05,5.524224e-05,5.602529e-05,5.653685e-05,5.670350e-05,5.728383e-05,5.764477e-05,5.777287e-05,5.817681e-05,5.841207e-05,5.850148e-05,5.875239e-05,5.888353e-05,5.893471e-05,5.905329e-05,5.909888e-05,5.911273e-05,5.911731e-05,5.909333e-05,5.907108e-05,5.897784e-05,5.889800e-05,5.884116e-05,5.866439e-05,5.854040e-05,5.845068e-05,5.820297e-05,5.804483e-05,5.792405e-05,5.761649e-05,5.743268e-05,5.728275e-05,5.692511e-05,5.672280e-05,5.654570e-05,5.614652e-05,5.593177e-05,5.572947e-05,5.529628e-05,5.507416e-05,5.484861e-05,5.438800e-05,5.416273e-05,5.391587e-05,5.343358e-05,5.320867e-05,5.294238e-05,5.244345e-05,5.222175e-05,5.193786e-05,5.142666e-05,5.121050e-05,5.091077e-05,5.039110e-05,5.018236e-05,4.986846e-05,4.934363e-05,4.914377e-05,4.881731e-05,4.829017e-05,4.810032e-05,4.776283e-05,4.723584e-05,4.705684e-05,4.670975e-05,4.618503e-05,4.601749e-05,4.566214e-05,4.514150e-05,4.498581e-05,4.462349e-05,4.410847e-05,4.396484e-05,4.359675e-05,4.308865e-05,4.295716e-05,4.258442e-05,4.208432e-05,4.196493e-05,4.158857e-05,4.109739e-05,4.098996e-05,4.061095e-05,4.012944e-05,4.003374e-05,3.965299e-05,3.918175e-05,3.909748e-05,3.871583e-05,3.825534e-05,3.818218e-05,3.780039e-05,3.735104e-05,3.728858e-05,3.690737e-05,3.646943e-05,3.641727e-05,3.603729e-05,3.561098e-05,3.556867e-05,3.519052e-05,3.477596e-05,3.474305e-05,3.436730e-05,3.396456e-05,3.394058e-05,3.356773e-05,3.317682e-05,3.316130e-05,3.279182e-05,3.241271e-05,3.240519e-05,3.203948e-05,3.167210e-05,3.096188e-05,3.027426e-05,2.960897e-05,2.896567e-05,2.834400e-05,2.774357e-05,2.716396e-05,2.660474e-05,2.606546e-05,2.554567e-05,2.504489e-05,2.456266e-05,2.409850e-05,2.365195e-05,2.322252e-05,2.280975e-05,2.241317e-05,2.203231e-05,2.166672e-05,2.131595e-05,2.097955e-05,2.065709e-05,2.034814e-05,2.005227e-05,1.976908e-05,1.949816e-05,1.923911e-05,1.899156e-05,1.875512e-05,1.852943e-05,1.831412e-05,1.810885e-05,1.791328e-05,1.772707e-05,1.754990e-05,1.738145e-05,1.722142e-05,1.706951e-05,1.692542e-05,1.678888e-05,1.665961e-05,1.653733e-05,1.642180e-05,1.631276e-05,1.620997e-05,1.611318e-05,1.602216e-05,1.593669e-05,1.585655e-05
0.000000e+00,3.441326e-08,1.392111e-06,1.476450e-06,1.802955e-05,1.095806e-04,1.169591e-04,4.796407e-04,1.310738e-03,1.385568e-03,3.094444e-03,5.515755e-03,5.766984e-03,9.462447e-03,1.364799e-02,1.416121e-02,1.978825e-02,2.542031e-02,2.623253e-02,3.336215e-02,3.993397e-02,4.103565e-02,4.911035e-02,5.610200e-02,5.744832e-02,6.592040e-02,7.288457e-02,7.440882e-02,8.280865e-02,8.940286e-02,9.102851e-02,9.899054e-02,1.049798e-01,1.066300e-01,1.138946e-01,1.191395e-01,1.207436e-01,1.271466e-01,1.315850e-01,1.330827e-01,1.385392e-01,1.421676e-01,1.435106e-01,1.479978e-01,1.508536e-01,1.520066e-01,1.555473e-01,1.576945e-01,1.586337e-01,1.612824e-01,1.627998e-01,1.635122e-01,1.653433e-01,1.663159e-01,1.667973e-01,1.678962e-01,1.684090e-01,1.686624e-01,1.691184e-01,1.692523e-01,1.692863e-01,1.691879e-01,1.690171e-01,1.688442e-01,1.682758e-01,1.678666e-01,1.675020e-01,1.665417e-01,1.659517e-01,1.654124e-01,1.641309e-01,1.634097e-01,1.627130e-01,1.611735e-01,1.603625e-01,1.595262e-01,1.577838e-01,1.569173e-01,1.559585e-01,1.540613e-01,1.531673e-01,1.521024e-01,1.500913e-01,1.491922e-01,1.480368e-01,1.459467e-01,1.450601e-01,1.438285e-01,1.416887e-01,1.408282e-01,1.395336e-01,1.373686e-01,1.365444e-01,1.351989e-01,1.330290e-01,1.322487e-01,1.308632e-01,1.287050e-01,1.279736e-01,1.265580e-01,1.244251e-01,1.237460e-01,1.223091e-01,1.202125e-01,1.195876e-01,1.181373e-01,1.160857e-01,1.155156e-01,1.140591e-01,1.120593e-01,1.115439e-01,1.100874e-01,1.081447e-01,1.076830e-01,1.062322e-01,1.043507e-01,1.039410e-01,1.025010e-01,1.006837e-01,1.003241e-01,9.889923e-02,9.714810e-02,9.683647e-02,9.543062e-02,9.374703e-02,9.348081e-02,9.209751e-02,9.048217e-02,9.025875e-02,8.890107e-02,8.735420e-02,8.717087e-02,8.584151e-02,8.436292e-02,8.421693e-02,8.291827e-02,8.150741e-02,8.139599e-02,8.013011e-02,7.878614e-02,7.870656e-02,7.747525e-02,7.619714e-02,7.614669e-02,7.495150e-02,7.373801e-02,7.371407e-02,7.255633e-02,7.140607e-02,6.921984e-02,6.715229e-02,6.520020e-02,6.336022e-02,6.162889e-02,6.000268e-02,5.847801e-02,5.705124e-02,5.571875e-02,5.447685e-02,5.332188e-02,5.225021e-02,5.125818e-02,5.034219e-02,4.949866e-02,4.872408e-02,4.801494e-02,4.736783e-02,4.677937e-02,4.624626e-02,4.576527e-02,4.533325e-02,4.494714e-02,4.460393e-02,4.430076e-02,4.403480e-02,4.380336e-02,4.360384e-02,4.343374e-02,4.329065e-02,4.317228e-02,4.307644e-02,4.300106e-02,4.294416e-02,4.290387e-02,4.287842e-02,4.286616e-02,4.286552e-02,4.287505e-02,4.289339e-02,4.291927e-02,4.295153e-02,4.298909e-02,4.303095e-02,4.307621e-02,4.312403e-02,4.317367e-02,4.322444e-02,4.327575e-02
0.000000e+00,2.244599e-08,7.404133e-07,7.821837e-07,7.740499e-06,3.703511e-05,3.910129e-05,1.195415e-04,2.431497e-04,2.522671e-04,4.172935e-04,5.789771e-04,5.930582e-04,7.658296e-04,9.130483e-04,9.288070e-04,1.079273e-03,1.200758e-03,1.216534e-03,1.340797e-03,1.437708e-03,1.452646e-03,1.552798e-03,1.628439e-03,1.642009e-03,1.721032e-03,1.778744e-03,1.790601e-03,1.851417e-03,1.894220e-03,1.904150e-03,1.949434e-03,1.979967e-03,1.987862e-03,2.019994e-03,2.040526e-03,2.046352e-03,2.067421e-03,2.079875e-03,2.083655e-03,2.095473e-03,2.101470e-03,2.103268e-03,2.107399e-03,2.108292e-03,2.108203e-03,2.105989e-03,2.102906e-03,2.101043e-03,2.093631e-03,2.087507e-03,2.083997e-03,2.072366e-03,2.063972e-03,2.058948e-03,2.043933e-03,2.033900e-03,2.027498e-03,2.009806e-03,1.998650e-03,1.991007e-03,1.971238e-03,1.959378e-03,1.950626e-03,1.929286e-03,1.917058e-03,1.907325e-03,1.884841e-03,1.872514e-03,1.861923e-03,1.838652e-03,1.826437e-03,1.815104e-03,1.791346e-03,1.779408e-03,1.767440e-03,1.743444e-03,1.731909e-03,1.719408e-03,1.695380e-03,1.684341e-03,1.671401e-03,1.647510e-03,1.637034e-03,1.623740e-03,1.600125e-03,1.590259e-03,1.576690e-03,1.553462e-03,1.544233e-03,1.530461e-03,1.507710e-03,1.499133e-03,1.485223e-03,1.463018e-03,1.455096e-03,1.441108e-03,1.419503e-03,1.412229e-03,1.398215e-03,1.377252e-03,1.370614e-03,1.356621e-03,1.336329e-03,1.330307e-03,1.316379e-03,1.296776e-03,1.291349e-03,1.277522e-03,1.258620e-03,1.253764e-03,1.240071e-03,1.221875e-03,1.217560e-03,1.204032e-03,1.186541e-03,1.182740e-03,1.169401e-03,1.152609e-03,1.149293e-03,1.136165e-03,1.120064e-03,1.117203e-03,1.104305e-03,1.088883e-03,1.086447e-03,1.073796e-03,1.059039e-03,1.056999e-03,1.044608e-03,1.030500e-03,1.028828e-03,1.016709e-03,1.003231e-03,1.001900e-03,9.900620e-04,9.771965e-04,9.761803e-04,9.646300e-04,9.523574e-04,9.516303e-04,9.403739e-04,9.286744e-04,9.282123e-04,9.172539e-04,9.061073e-04,9.058872e-04,8.952297e-04,8.846158e-04,8.643591e-04,8.450780e-04,8.267344e-04,8.092903e-04,7.927087e-04,7.769537e-04,7.619899e-04,7.477833e-04,7.343006e-04,7.215098e-04,7.093799e-04,6.978810e-04,6.869844e-04,6.766623e-04,6.668880e-04,6.576360e-04,6.488816e-04,6.406014e-04,6.327727e-04,6.253738e-04,6.183840e-04,6.117836e-04,6.055536e-04,5.996757e-04,5.941327e-04,5.889080e-04,5.839858e-04,5.793510e-04,5.749892e-04,5.708865e-04,5.670299e-04,5.634069e-04,5.600054e-04,5.568141e-04,5.538221e-04,5.510191e-04,5.483951e-04,5.459408e-04,5.436473e-04,5.415059e-04,5.395086e-04,5.376476e-04,5.359155e-04,5.343053e-04,5.328104e-04,5.314243e-04,5.301410e-04,5.289549e-04,5.278603e-04
0.000000e+00,2.555842e-08,5.662493e-07,5.952879e-07,4.892337e-06,2.015416e-05,2.113968e-05,5.399161e-05,9.239194e-05,9.489229e-05,1.358764e-04,1.715726e-04,1.745692e-04,2.105414e-04,2.405960e-04,2.438030e-04,2.744611e-04,2.993867e-04,3.026419e-04,3.284728e-04,3.489031e-04,3.520785e-04,3.735805e-04,3.901029e-04,3.930969e-04,4.107426e-04,4.238941e-04,4.266286e-04,4.408621e-04,4.511284e-04,4.535461e-04,4.647794e-04,4.725949e-04,4.746561e-04,4.832660e-04,4.890148e-04,4.906941e-04,4.970208e-04,5.010384e-04,5.023223e-04,5.066710e-04,5.092502e-04,5.101346e-04,5.127772e-04,5.141707e-04,5.146587e-04,5.158359e-04,5.162613e-04,5.163619e-04,5.162866e-04,5.159304e-04,5.156568e-04,5.145165e-04,5.135379e-04,5.129068e-04,5.108665e-04,5.094013e-04,5.084318e-04,5.056365e-04,5.037996e-04,5.025125e-04,4.990895e-04,4.969782e-04,4.953953e-04,4.914558e-04,4.891517e-04,4.872954e-04,4.829369e-04,4.805083e-04,4.784013e-04,4.737085e-04,4.712122e-04,4.688768e-04,4.639236e-04,4.614064e-04,4.588648e-04,4.537153e-04,4.512154e-04,4.484890e-04,4.431987e-04,4.407471e-04,4.378565e-04,4.324735e-04,4.300947e-04,4.270600e-04,4.216255e-04,4.193389e-04,4.161788e-04,4.107282e-04,4.085485e-04,4.052811e-04,3.998445e-04,3.977827e-04,3.944248e-04,3.890280e-04,3.870917e-04,3.836593e-04,3.783238e-04,3.765181e-04,3.730260e-04,3.677699e-04,3.660974e-04,3.625594e-04,3.573979e-04,3.558595e-04,3.522884e-04,3.472338e-04,3.458287e-04,3.422365e-04,3.372988e-04,3.360250e-04,3.324226e-04,3.276097e-04,3.264643e-04,3.228617e-04,3.181799e-04,3.171589e-04,3.135655e-04,3.090193e-04,3.081184e-04,3.045424e-04,3.001353e-04,2.993494e-04,2.957985e-04,2.915325e-04,2.908565e-04,2.873376e-04,2.832138e-04,2.826422e-04,2.791614e-04,2.751803e-04,2.747073e-04,2.712703e-04,2.674314e-04,2.670514e-04,2.636631e-04,2.599652e-04,2.596724e-04,2.563373e-04,2.527790e-04,2.525677e-04,2.492897e-04,2.458689e-04,2.457334e-04,2.425159e-04,2.392303e-04,2.391652e-04,2.360112e-04,2.328580e-04,2.268063e-04,2.210041e-04,2.154452e-04,2.101231e-04,2.050313e-04,2.001629e-04,1.955111e-04,1.910690e-04,1.868299e-04,1.827870e-04,1.789334e-04,1.752625e-04,1.717679e-04,1.684430e-04,1.652815e-04,1.622773e-04,1.594243e-04,1.567167e-04,1.541488e-04,1.517149e-04,1.494098e-04,1.472282e-04,1.451649e-04,1.432151e-04,1.413741e-04,1.396371e-04,1.379999e-04,1.364581e-04,1.350075e-04,1.336441e-04,1.323642e-04,1.311640e-04,1.300399e-04,1.289884e-04,1.280062e-04,1.270902e-04,1.262373e-04,1.254445e-04,1.247089e-04,1.240279e-04,1.233987e-04,1.228190e-04,1.222861e-04,1.217979e-04,1.213520e-04,1.209464e-04,1.205789e-04,1.202476e-04,1.199505e-04
0.000000e+00,3.370012e-09,6.620410e-08,6.944373e-08,4.625284e-07,1.381763e-06,1.428613e-06,2.646357e-06,3.743474e-06,3.810380e-06,4.867426e-06,5.745853e-06,5.818165e-06,6.669935e-06,7.358393e-06,7.430573e-06,8.107549e-06,8.639650e-06,8.707859e-06,9.238019e-06,9.642473e-06,9.704076e-06,1.011163e-05,1.041255e-05,1.046584e-05,1.077148e-05,1.098894e-05,1.103292e-05,1.125418e-05,1.140474e-05,1.143894e-05,1.159058e-05,1.168785e-05,1.171216e-05,1.180654e-05,1.186167e-05,1.187630e-05,1.192380e-05,1.194591e-05,1.195122e-05,1.196053e-05,1.195704e-05,1.195354e-05,1.193191e-05,1.190886e-05,1.189714e-05,1.185060e-05,1.181288e-05,1.179356e-05,1.172715e-05,1.167870e-05,1.165242e-05,1.157033e-05,1.151433e-05,1.148173e-05,1.138742e-05,1.132640e-05,1.128812e-05,1.118447e-05,1.112045e-05,1.107708e-05,1.096647e-05,1.090105e-05,1.085315e-05,1.073756e-05,1.067199e-05,1.062010e-05,1.050113e-05,1.043638e-05,1.038099e-05,1.025999e-05,1.019681e-05,1.013838e-05,1.001641e-05,9.955361e-06,9.894305e-06,9.772264e-06,9.713760e-06,9.650465e-06,9.529066e-06,9.473398e-06,9.408213e-06,9.288033e-06,9.235397e-06,9.168641e-06,9.050139e-06,9.000655e-06,8.932617e-06,8.816156e-06,8.769885e-06,8.700826e-06,8.586689e-06,8.543641e-06,8.473798e-06,8.362200e-06,8.322350e-06,8.251936e-06,8.143039e-06,8.106330e-06,8.035538e-06,7.929457e-06,7.895814e-06,7.824816e-06,7.721629e-06,7.690959e-06,7.619910e-06,7.519665e-06,7.491862e-06,7.420901e-06,7.323621e-06,7.298571e-06,7.227824e-06,7.133510e-06,7.111095e-06,7.040674e-06,6.949311e-06,6.929408e-06,6.859413e-06,6.770973e-06,6.753459e-06,6.683980e-06,6.598423e-06,6.583175e-06,6.514292e-06,6.431572e-06,6.418467e-06,6.350251e-06,6.270314e-06,6.259233e-06,6.191747e-06,6.114534e-06,6.105359e-06,6.038660e-06,5.964107e-06,5.956724e-06,5.890861e-06,5.818905e-06,5.813203e-06,5.748220e-06,5.678791e-06,5.674665e-06,5.610601e-06,5.543632e-06,5.540978e-06,5.477866e-06,5.413287e-06,5.412007e-06,5.349876e-06,5.287618e-06,5.167677e-06,5.052052e-06,4.940609e-06,4.833221e-06,4.729759e-06,4.630099e-06,4.534119e-06,4.441699e-06,4.352723e-06,4.267077e-06,4.184651e-06,4.105337e-06,4.029032e-06,3.955633e-06,3.885043e-06,3.817166e-06,3.751909e-06,3.689183e-06,3.628901e-06,3.570979e-06,3.515334e-06,3.461889e-06,3.410566e-06,3.361292e-06,3.313995e-06,3.268606e-06,3.225058e-06,3.183286e-06,3.143227e-06,3.104821e-06,3.068009e-06,3.032734e-06,2.998941e-06,2.966578e-06,2.935593e-06,2.905936e-06,2.877560e-06,2.850417e-06,2.824465e-06,2.799658e-06,2.775955e-06,2.753316e-06,2.731702e-06,2.711074e-06,2.691397e-06,2.672634e-06,2.654752e-06,2.637718e-06,2.621500e-06
0.000000e+00,5.449584e-10,7.771837e-09,8.116467e-09,4.864017e-08,1.562801e-07,1.625340e-07,3.548941e-07,5.655067e-07,5.790538e-07,8.002062e-07,9.924465e-07,1.008589e-06,1.202524e-06,1.364818e-06,1.382152e-06,1.548030e-06,1.683144e-06,1.700807e-06,1.841145e-06,1.952390e-06,1.969703e-06,2.087134e-06,2.177642e-06,2.194074e-06,2.291139e-06,2.363783e-06,2.378925e-06,2.457999e-06,2.515354e-06,2.528908e-06,2.592172e-06,2.636527e-06,2.648282e-06,2.697708e-06,2.731073e-06,2.740891e-06,2.778248e-06,2.802374e-06,2.810173e-06,2.837039e-06,2.853445e-06,2.859193e-06,2.876966e-06,2.886966e-06,2.890667e-06,2.900587e-06,2.905313e-06,2.907000e-06,2.910163e-06,2.910588e-06,2.910317e-06,2.907691e-06,2.904649e-06,2.902495e-06,2.894931e-06,2.889134e-06,2.885185e-06,2.873434e-06,2.865490e-06,2.859842e-06,2.844563e-06,2.834986e-06,2.827742e-06,2.809514e-06,2.798740e-06,2.790007e-06,2.769338e-06,2.757734e-06,2.747619e-06,2.724954e-06,2.712826e-06,2.701439e-06,2.677165e-06,2.664770e-06,2.652216e-06,2.626673e-06,2.614222e-06,2.600608e-06,2.574089e-06,2.561757e-06,2.547182e-06,2.519946e-06,2.507872e-06,2.492436e-06,2.464704e-06,2.453002e-06,2.436798e-06,2.408762e-06,2.397521e-06,2.380638e-06,2.352464e-06,2.341752e-06,2.324276e-06,2.296106e-06,2.285976e-06,2.267986e-06,2.239942e-06,2.230429e-06,2.212001e-06,2.184187e-06,2.175317e-06,2.156522e-06,2.129025e-06,2.120812e-06,2.101715e-06,2.074610e-06,2.067059e-06,2.047723e-06,2.021070e-06,2.014180e-06,1.994663e-06,1.968513e-06,1.962277e-06,1.942631e-06,1.917026e-06,1.911431e-06,1.891707e-06,1.866680e-06,1.861711e-06,1.841953e-06,1.817531e-06,1.813167e-06,1.793418e-06,1.769620e-06,1.765842e-06,1.746139e-06,1.722980e-06,1.719763e-06,1.700144e-06,1.677633e-06,1.674953e-06,1.655448e-06,1.633592e-06,1.631424e-06,1.612063e-06,1.590863e-06,1.589181e-06,1.569991e-06,1.549447e-06,1.548225e-06,1.529230e-06,1.509339e-06,1.508550e-06,1.489772e-06,1.470528e-06,1.470147e-06,1.451605e-06,1.433002e-06,1.397099e-06,1.362419e-06,1.328942e-06,1.296643e-06,1.265500e-06,1.235486e-06,1.206575e-06,1.178741e-06,1.151955e-06,1.126191e-06,1.101420e-06,1.077615e-06,1.054748e-06,1.032791e-06,1.011718e-06,9.915003e-07,9.721129e-07,9.535291e-07,9.357233e-07,9.186705e-07,9.023459e-07,8.867256e-07,8.717861e-07,8.575044e-07,8.438582e-07,8.308257e-07,8.183857e-07,8.065175e-07,7.952011e-07,7.844169e-07,7.741460e-07,7.643699e-07,7.550708e-07,7.462315e-07,7.378349e-07,7.298649e-07,7.223056e-07,7.151417e-07,7.083583e-07,7.019410e-07,6.958758e-07,6.901493e-07,6.847484e-07,6.796604e-07,6.748730e-07,6.703743e-07,6.661529e-07,6.621976e-07,6.584976e-07
0.000000e+00,1.788049e-08,4.959190e-07,5.219280e-07,4.374442e-06,1.900534e-05,2.001691e-05,6.009246e-05,1.270483e-04,1.322542e-04,2.315451e-04,3.351328e-04,3.443223e-04,4.579893e-04,5.549389e-04,5.652710e-04,6.631814e-04,7.410081e-04,7.510219e-04,8.290777e-04,8.888650e-04,8.979893e-04,9.584908e-04,1.003347e-03,1.011311e-03,1.057141e-03,1.089957e-03,1.096622e-03,1.130344e-03,1.153542e-03,1.158850e-03,1.182637e-03,1.198207e-03,1.202157e-03,1.217825e-03,1.227391e-03,1.230020e-03,1.239084e-03,1.243962e-03,1.245332e-03,1.249050e-03,1.250306e-03,1.250497e-03,1.249910e-03,1.248406e-03,1.247505e-03,1.243477e-03,1.239902e-03,1.238004e-03,1.231248e-03,1.226157e-03,1.223355e-03,1.214459e-03,1.208296e-03,1.204681e-03,1.194131e-03,1.187247e-03,1.182909e-03,1.171104e-03,1.163777e-03,1.158799e-03,1.146068e-03,1.138515e-03,1.132977e-03,1.119587e-03,1.111979e-03,1.105953e-03,1.092125e-03,1.084592e-03,1.078146e-03,1.064058e-03,1.056701e-03,1.049896e-03,1.035692e-03,1.028585e-03,1.021477e-03,1.007276e-03,1.000471e-03,9.931125e-04,9.790074e-04,9.725439e-04,9.649794e-04,9.510451e-04,9.449476e-04,9.372192e-04,9.235148e-04,9.177979e-04,9.099431e-04,8.965143e-04,8.911849e-04,8.832372e-04,8.701194e-04,8.651777e-04,8.571673e-04,8.443867e-04,8.398286e-04,8.317823e-04,8.193580e-04,8.151754e-04,8.071171e-04,7.950623e-04,7.912444e-04,7.831955e-04,7.715184e-04,7.680524e-04,7.600320e-04,7.487370e-04,7.456087e-04,7.376336e-04,7.267218e-04,7.239161e-04,7.160012e-04,7.054712e-04,7.029723e-04,6.951308e-04,6.849790e-04,6.827708e-04,6.750144e-04,6.652357e-04,6.633021e-04,6.556411e-04,6.462289e-04,6.445539e-04,6.369973e-04,6.279442e-04,6.265122e-04,6.190677e-04,6.103655e-04,6.091610e-04,6.018356e-04,5.934755e-04,5.924836e-04,5.852831e-04,5.772560e-04,5.764623e-04,5.693918e-04,5.616881e-04,5.610787e-04,5.541425e-04,5.467527e-04,5.463142e-04,5.395161e-04,5.324303e-04,5.321500e-04,5.254930e-04,5.187017e-04,5.185673e-04,5.120539e-04,5.055474e-04,4.930716e-04,4.811216e-04,4.696793e-04,4.587272e-04,4.482478e-04,4.382244e-04,4.286405e-04,4.194800e-04,4.107274e-04,4.023676e-04,3.943859e-04,3.867682e-04,3.795007e-04,3.725701e-04,3.659636e-04,3.596685e-04,3.536730e-04,3.479654e-04,3.425345e-04,3.373693e-04,3.324595e-04,3.277950e-04,3.233658e-04,3.191628e-04,3.151767e-04,3.113987e-04,3.078205e-04,3.044339e-04,3.012309e-04,2.982041e-04,2.953461e-04,2.926498e-04,2.901084e-04,2.877154e-04,2.854645e-04,2.833495e-04,2.813647e-04,2.795042e-04,2.777627e-04,2.761350e-04,2.746159e-04,2.732006e-04,2.718843e-04,2.706627e-04,2.695312e-04,2.684857e-04,2.675222e-04,2.666367e-04,2.658256e-04
0.000000e+00,1.345721e-08,4.152441e-07,4.379562e-07,4.165295e-06,2.098543e-05,2.224041e-05,7.700458e-05,1.794247e-04,1.876974e-04,3.506929e-04,5.287278e-04,5.448398e-04,7.474073e-04,9.230737e-04,9.418269e-04,1.118485e-03,1.255716e-03,1.273040e-03,1.404506e-03,1.499755e-03,1.513779e-03,1.602686e-03,1.663225e-03,1.673413e-03,1.728193e-03,1.762707e-03,1.769149e-03,1.798221e-03,1.814093e-03,1.817141e-03,1.827436e-03,1.830342e-03,1.830439e-03,1.827306e-03,1.821442e-03,1.819038e-03,1.806494e-03,1.794900e-03,1.790416e-03,1.771438e-03,1.756286e-03,1.750103e-03,1.726875e-03,1.709703e-03,1.702149e-03,1.676263e-03,1.658146e-03,1.649503e-03,1.622113e-03,1.603791e-03,1.594298e-03,1.566232e-03,1.548208e-03,1.538063e-03,1.509911e-03,1.492513e-03,1.481882e-03,1.454060e-03,1.437496e-03,1.426517e-03,1.399311e-03,1.383706e-03,1.372491e-03,1.346094e-03,1.331509e-03,1.320152e-03,1.294689e-03,1.281145e-03,1.269724e-03,1.245270e-03,1.232759e-03,1.221336e-03,1.197930e-03,1.186425e-03,1.175053e-03,1.152708e-03,1.142171e-03,1.130893e-03,1.109604e-03,1.099986e-03,1.088837e-03,1.068587e-03,1.059839e-03,1.048846e-03,1.029608e-03,1.021676e-03,1.010865e-03,9.926075e-04,9.854385e-04,9.748269e-04,9.575140e-04,9.510558e-04,9.406593e-04,9.242533e-04,9.184552e-04,9.082863e-04,8.927486e-04,8.875618e-04,8.776304e-04,8.629220e-04,8.583003e-04,8.486138e-04,8.346963e-04,8.305959e-04,8.211601e-04,8.079957e-04,8.043750e-04,7.951940e-04,7.827460e-04,7.795663e-04,7.706428e-04,7.588757e-04,7.561007e-04,7.474362e-04,7.363158e-04,7.339113e-04,7.255064e-04,7.149999e-04,7.129343e-04,7.047885e-04,6.948646e-04,6.931082e-04,6.852205e-04,6.758490e-04,6.743743e-04,6.667429e-04,6.578952e-04,6.566767e-04,6.492991e-04,6.409479e-04,6.399619e-04,6.328352e-04,6.249546e-04,6.241791e-04,6.172999e-04,6.098651e-04,6.092796e-04,6.026443e-04,5.956319e-04,5.952176e-04,5.888221e-04,5.822096e-04,5.819492e-04,5.757891e-04,5.695555e-04,5.694327e-04,5.635035e-04,5.576285e-04,5.464992e-04,5.360089e-04,5.261239e-04,5.168120e-04,5.080426e-04,4.997869e-04,4.920172e-04,4.847077e-04,4.778334e-04,4.713711e-04,4.652984e-04,4.595942e-04,4.542386e-04,4.492125e-04,4.444980e-04,4.400781e-04,4.359364e-04,4.320578e-04,4.284277e-04,4.250323e-04,4.218585e-04,4.188941e-04,4.161272e-04,4.135468e-04,4.111423e-04,4.089038e-04,4.068217e-04,4.048873e-04,4.030920e-04,4.014277e-04,3.998869e-04,3.984623e-04,3.971472e-04,3.959351e-04,3.948199e-04,3.937958e-04,3.928573e-04,3.919993e-04,3.912169e-04,3.905054e-04,3.898605e-04,3.892781e-04,3.887541e-04,3.882849e-04,3.878671e-04,3.874973e-04,3.871723e-04,3.868893e-04,3.866455e-04
0.000000e+00,9.088476e-09,2.528033e-07,2.659669e-07,2.240656e-06,1.036665e-05,1.095751e-05,3.638740e-05,8.475035e-05,8.873531e-05,1.692294e-04,2.597071e-04,2.679470e-04,3.713312e-04,4.595671e-04,4.688549e-04,5.546549e-04,6.186671e-04,6.265478e-04,6.845861e-04,7.243007e-04,7.299461e-04,7.642392e-04,7.857202e-04,7.891394e-04,8.062080e-04,8.153332e-04,8.168231e-04,8.221673e-04,8.233229e-04,8.232369e-04,8.208629e-04,8.170680e-04,8.157338e-04,8.084173e-04,8.016845e-04,7.993805e-04,7.890064e-04,7.806554e-04,7.776088e-04,7.654442e-04,7.563298e-04,7.527217e-04,7.396109e-04,7.302764e-04,7.262483e-04,7.127447e-04,7.035281e-04,6.991895e-04,6.856546e-04,6.767612e-04,6.721978e-04,6.588655e-04,6.504155e-04,6.456945e-04,6.327140e-04,6.247723e-04,6.199476e-04,6.074147e-04,6.000131e-04,5.951293e-04,5.831006e-04,5.762441e-04,5.713346e-04,5.598343e-04,5.535107e-04,5.486008e-04,5.376337e-04,5.318218e-04,5.269315e-04,5.164918e-04,5.111658e-04,5.063112e-04,4.963856e-04,4.915172e-04,4.867109e-04,4.772827e-04,4.728433e-04,4.680962e-04,4.591466e-04,4.551080e-04,4.504290e-04,4.419383e-04,4.382729e-04,4.336693e-04,4.256169e-04,4.222983e-04,4.177761e-04,4.101419e-04,4.071449e-04,4.027093e-04,3.954733e-04,3.927741e-04,3.884291e-04,3.815719e-04,3.791481e-04,3.748970e-04,3.683998e-04,3.662305e-04,3.620759e-04,3.559208e-04,3.539861e-04,3.499302e-04,3.441000e-04,3.423815e-04,3.384259e-04,3.329040e-04,3.313846e-04,3.275303e-04,3.223010e-04,3.209645e-04,3.172123e-04,3.122606e-04,3.110922e-04,3.074423e-04,3.027540e-04,3.017396e-04,2.981922e-04,2.937536e-04,2.928804e-04,2.894351e-04,2.852335e-04,2.844893e-04,2.811456e-04,2.771686e-04,2.765424e-04,2.732995e-04,2.695355e-04,2.690168e-04,2.658738e-04,2.623117e-04,2.618909e-04,2.588467e-04,2.554760e-04,2.551441e-04,2.521974e-04,2.490082e-04,2.487569e-04,2.459062e-04,2.428891e-04,2.427107e-04,2.399546e-04,2.371005e-04,2.369880e-04,2.343248e-04,2.316252e-04,2.315720e-04,2.289999e-04,2.264468e-04,2.215974e-04,2.170095e-04,2.126695e-04,2.085644e-04,2.046822e-04,2.010112e-04,1.975403e-04,1.942592e-04,1.911580e-04,1.882272e-04,1.854580e-04,1.828419e-04,1.803708e-04,1.780372e-04,1.758339e-04,1.737540e-04,1.717910e-04,1.699388e-04,1.681915e-04,1.665436e-04,1.649899e-04,1.635254e-04,1.621453e-04,1.608452e-04,1.596208e-04,1.584681e-04,1.573834e-04,1.563629e-04,1.554033e-04,1.545013e-04,1.536538e-04,1.528579e-04,1.521108e-04,1.514099e-04,1.507527e-04,1.501369e-04,1.495602e-04,1.490205e-04,1.485157e-04,1.480441e-04,1.476037e-04,1.471928e-04,1.468099e-04,1.464534e-04,1.461219e-04,1.458139e-04,1.455281e-04,1.452634e-04,1.450184e-04
0.000000e+00,6.890817e-10,1.037713e-08,1.084412e-08,6.573321e-08,2.090102e-07,2.172275e-07,4.657308e-07,7.343916e-07,7.517394e-07,1.037980e-06,1.292964e-06,1.314685e-06,1.579815e-06,1.808239e-06,1.833023e-06,2.074369e-06,2.277082e-06,2.304032e-06,2.522249e-06,2.700965e-06,2.729288e-06,2.925446e-06,3.082040e-06,3.111038e-06,3.286388e-06,3.422768e-06,3.451832e-06,3.607705e-06,3.725738e-06,3.754343e-06,3.892079e-06,3.993543e-06,4.021239e-06,4.142147e-06,4.228710e-06,4.255115e-06,4.360452e-06,4.433663e-06,4.458455e-06,4.549416e-06,4.610706e-06,4.633617e-06,4.711331e-06,4.762015e-06,4.782825e-06,4.848357e-06,4.889640e-06,4.908175e-06,4.962520e-06,4.995504e-06,5.011627e-06,5.055721e-06,5.081412e-06,5.095020e-06,5.129736e-06,5.149047e-06,5.160071e-06,5.186222e-06,5.199984e-06,5.208380e-06,5.226727e-06,5.235692e-06,5.241440e-06,5.252689e-06,5.257537e-06,5.260639e-06,5.265448e-06,5.266793e-06,5.267268e-06,5.266248e-06,5.264641e-06,5.262527e-06,5.256243e-06,5.252181e-06,5.247527e-06,5.236506e-06,5.230433e-06,5.223301e-06,5.208028e-06,5.200340e-06,5.190802e-06,5.171729e-06,5.162779e-06,5.150914e-06,5.128457e-06,5.118559e-06,5.104455e-06,5.078999e-06,5.068429e-06,5.052178e-06,5.024077e-06,5.013081e-06,4.994779e-06,4.964362e-06,4.953152e-06,4.932901e-06,4.900468e-06,4.889232e-06,4.867133e-06,4.832963e-06,4.821862e-06,4.798020e-06,4.762366e-06,4.751540e-06,4.726059e-06,4.689156e-06,4.678723e-06,4.651710e-06,4.613772e-06,4.603834e-06,4.575392e-06,4.536616e-06,4.527256e-06,4.497490e-06,4.458056e-06,4.449343e-06,4.418355e-06,4.378427e-06,4.370417e-06,4.338308e-06,4.298035e-06,4.290772e-06,4.257641e-06,4.217158e-06,4.210675e-06,4.176619e-06,4.136051e-06,4.130371e-06,4.095484e-06,4.054943e-06,4.050081e-06,4.014454e-06,3.974042e-06,3.970006e-06,3.933728e-06,3.893535e-06,3.890326e-06,3.853483e-06,3.813592e-06,3.811204e-06,3.773879e-06,3.734363e-06,3.732787e-06,3.695060e-06,3.655985e-06,3.655205e-06,3.617152e-06,3.578577e-06,3.503005e-06,3.428582e-06,3.355388e-06,3.283494e-06,3.212961e-06,3.143841e-06,3.076179e-06,3.010012e-06,2.945370e-06,2.882278e-06,2.820755e-06,2.760813e-06,2.702463e-06,2.645708e-06,2.590550e-06,2.536985e-06,2.485009e-06,2.434612e-06,2.385783e-06,2.338509e-06,2.292773e-06,2.248559e-06,2.205847e-06,2.164616e-06,2.124845e-06,2.086510e-06,2.049587e-06,2.014052e-06,1.979878e-06,1.947040e-06,1.915510e-06,1.885262e-06,1.856267e-06,1.828499e-06,1.801928e-06,1.776526e-06,1.752266e-06,1.729120e-06,1.707058e-06,1.686053e-06,1.666076e-06,1.647101e-06,1.629098e-06,1.612041e-06,1.595902e-06,1.580654e-06,1.566271e-06,1.552725e-06,1.539991e-06
0.000000e+00,1.338601e-08,2.267511e-07,2.377253e-07,1.745522e-06,6.607912e-06,6.909737e-06,1.651605e-05,2.699999e-05,2.766433e-05,3.833476e-05,4.734888e-05,4.809473e-05,5.691639e-05,6.409261e-05,6.484733e-05,7.194790e-05,7.755717e-05,7.827802e-05,8.389467e-05,8.819549e-05,8.885168e-05,9.319974e-05,9.641647e-05,9.698651e-05,1.002568e-04,1.025825e-04,1.030525e-04,1.054129e-04,1.070125e-04,1.073746e-04,1.089717e-04,1.099846e-04,1.102357e-04,1.111962e-04,1.117399e-04,1.118803e-04,1.123133e-04,1.124858e-04,1.125185e-04,1.125175e-04,1.124003e-04,1.123301e-04,1.119749e-04,1.116354e-04,1.114687e-04,1.108271e-04,1.103209e-04,1.100645e-04,1.091942e-04,1.085668e-04,1.082284e-04,1.071782e-04,1.064666e-04,1.060539e-04,1.048650e-04,1.040993e-04,1.036202e-04,1.023272e-04,1.015314e-04,1.009935e-04,9.962559e-05,9.881897e-05,9.822959e-05,9.681102e-05,9.600866e-05,9.537492e-05,9.392587e-05,9.313950e-05,9.246806e-05,9.100527e-05,9.024379e-05,8.954091e-05,8.807811e-05,8.734817e-05,8.661965e-05,8.516805e-05,8.447440e-05,8.372558e-05,8.229427e-05,8.164011e-05,8.087591e-05,7.947212e-05,7.885943e-05,7.808431e-05,7.671375e-05,7.614353e-05,7.536154e-05,7.402863e-05,7.350106e-05,7.271585e-05,7.142390e-05,7.093856e-05,7.015339e-05,6.890482e-05,6.846078e-05,6.767858e-05,6.647502e-05,6.607101e-05,6.529436e-05,6.413680e-05,6.377128e-05,6.300245e-05,6.189138e-05,6.156259e-05,6.080358e-05,5.973903e-05,5.944511e-05,5.869764e-05,5.767929e-05,5.741828e-05,5.668384e-05,5.571111e-05,5.548101e-05,5.476088e-05,5.383292e-05,5.363174e-05,5.292699e-05,5.204280e-05,5.186854e-05,5.118007e-05,5.033849e-05,5.018923e-05,4.951776e-05,4.871754e-05,4.859139e-05,4.793751e-05,4.717731e-05,4.707245e-05,4.643661e-05,4.571505e-05,4.562974e-05,4.501228e-05,4.432793e-05,4.426050e-05,4.366165e-05,4.301308e-05,4.296195e-05,4.238185e-05,4.176760e-05,4.173128e-05,4.116998e-05,4.058863e-05,4.056571e-05,4.002320e-05,3.947333e-05,3.946249e-05,3.893867e-05,3.841888e-05,3.743225e-05,3.649999e-05,3.561957e-05,3.478856e-05,3.400459e-05,3.326537e-05,3.256870e-05,3.191247e-05,3.129465e-05,3.071329e-05,3.016653e-05,2.965258e-05,2.916974e-05,2.871639e-05,2.829097e-05,2.789200e-05,2.751807e-05,2.716784e-05,2.684002e-05,2.653341e-05,2.624685e-05,2.597924e-05,2.572952e-05,2.549672e-05,2.527989e-05,2.507814e-05,2.489061e-05,2.471650e-05,2.455506e-05,2.440554e-05,2.426727e-05,2.413959e-05,2.402189e-05,2.391359e-05,2.381412e-05,2.372296e-05,2.363962e-05,2.356363e-05,2.349454e-05,2.343193e-05,2.337541e-05,2.332460e-05,2.327913e-05,2.323868e-05,2.320291e-05,2.317153e-05,2.314426e-05,2.312082e-05,2.310095e-05
0.000000e+00,5.426164e-09,7.995496e-08,8.362339e-08,5.518643e-07,1.945071e-06,2.029579e-06,4.717354e-06,7.746177e-06,7.942359e-06,1.116205e-05,1.398654e-05,1.422487e-05,1.710299e-05,1.953463e-05,1.979569e-05,2.230836e-05,2.437607e-05,2.464792e-05,2.682173e-05,2.856431e-05,2.883723e-05,3.070180e-05,3.215674e-05,3.242273e-05,3.400712e-05,3.520930e-05,3.546189e-05,3.679371e-05,3.777499e-05,3.800903e-05,3.911404e-05,3.990320e-05,4.011467e-05,4.101662e-05,4.163944e-05,4.182530e-05,4.254593e-05,4.302542e-05,4.318345e-05,4.374260e-05,4.409920e-05,4.422789e-05,4.464363e-05,4.489546e-05,4.499390e-05,4.528262e-05,4.544569e-05,4.551350e-05,4.569006e-05,4.577848e-05,4.581568e-05,4.589355e-05,4.591974e-05,4.592672e-05,4.591807e-05,4.589292e-05,4.587035e-05,4.578617e-05,4.571919e-05,4.566800e-05,4.551819e-05,4.541769e-05,4.533898e-05,4.513248e-05,4.500568e-05,4.490070e-05,4.464554e-05,4.449867e-05,4.436880e-05,4.407218e-05,4.391063e-05,4.375732e-05,4.342573e-05,4.325411e-05,4.307886e-05,4.271809e-05,4.254036e-05,4.234470e-05,4.195993e-05,4.177943e-05,4.156493e-05,4.116078e-05,4.098033e-05,4.074853e-05,4.032913e-05,4.015108e-05,3.990351e-05,3.947253e-05,3.929881e-05,3.903699e-05,3.859767e-05,3.842988e-05,3.815528e-05,3.771049e-05,3.754991e-05,3.726395e-05,3.681623e-05,3.666385e-05,3.636791e-05,3.591950e-05,3.577607e-05,3.547148e-05,3.502432e-05,3.489041e-05,3.457844e-05,3.413424e-05,3.401022e-05,3.369208e-05,3.325231e-05,3.313840e-05,3.281525e-05,3.238119e-05,3.227750e-05,3.195041e-05,3.152316e-05,3.142966e-05,3.109966e-05,3.068015e-05,3.059674e-05,3.026480e-05,2.985380e-05,2.978030e-05,2.944732e-05,2.904549e-05,2.898164e-05,2.864847e-05,2.825636e-05,2.820186e-05,2.786927e-05,2.748730e-05,2.744181e-05,2.711054e-05,2.673905e-05,2.670220e-05,2.637291e-05,2.601216e-05,2.598354e-05,2.565686e-05,2.530703e-05,2.528622e-05,2.496272e-05,2.462393e-05,2.461050e-05,2.429069e-05,2.396301e-05,2.395651e-05,2.364088e-05,2.332430e-05,2.271382e-05,2.212495e-05,2.155750e-05,2.101122e-05,2.048581e-05,1.998093e-05,1.949621e-05,1.903125e-05,1.858559e-05,1.815881e-05,1.775042e-05,1.735994e-05,1.698688e-05,1.663075e-05,1.629103e-05,1.596724e-05,1.565886e-05,1.536540e-05,1.508635e-05,1.482122e-05,1.456954e-05,1.433081e-05,1.410457e-05,1.389036e-05,1.368771e-05,1.349620e-05,1.331538e-05,1.314484e-05,1.298416e-05,1.283294e-05,1.269079e-05,1.255733e-05,1.243220e-05,1.231504e-05,1.220549e-05,1.210324e-05,1.200794e-05,1.191930e-05,1.183701e-05,1.176077e-05,1.169030e-05,1.162534e-05,1.156562e-05,1.151088e-05,1.146088e-05,1.141539e-05,1.137418e-05,1.133703e-05,1.130374e-05
0.000000e+00,4.555508e-10,7.403202e-09,7.755654e-09,5.350719e-08,1.848150e-07,1.924237e-07,4.158885e-07,6.445676e-07,6.590355e-07,8.939904e-07,1.098005e-06,1.115165e-06,1.321848e-06,1.495716e-06,1.514342e-06,1.693171e-06,1.839692e-06,1.858908e-06,2.012139e-06,2.134361e-06,2.153448e-06,2.283414e-06,2.384239e-06,2.402610e-06,2.511595e-06,2.593729e-06,2.610917e-06,2.701106e-06,2.767022e-06,2.782668e-06,2.856097e-06,2.908031e-06,2.921866e-06,2.980425e-06,3.020374e-06,3.032205e-06,3.077612e-06,3.107333e-06,3.117025e-06,3.150811e-06,3.171846e-06,3.179315e-06,3.202878e-06,3.216616e-06,3.221839e-06,3.236496e-06,3.244151e-06,3.247135e-06,3.254024e-06,3.256641e-06,3.257418e-06,3.257556e-06,3.256042e-06,3.254668e-06,3.248967e-06,3.244110e-06,3.240658e-06,3.229934e-06,3.222415e-06,3.216975e-06,3.201952e-06,3.192358e-06,3.185029e-06,3.166357e-06,3.155191e-06,3.146081e-06,3.124336e-06,3.112028e-06,3.101250e-06,3.076943e-06,3.063859e-06,3.051529e-06,3.025115e-06,3.011565e-06,2.997801e-06,2.969681e-06,2.955924e-06,2.940844e-06,2.911373e-06,2.897625e-06,2.881346e-06,2.850837e-06,2.837278e-06,2.819914e-06,2.788642e-06,2.775418e-06,2.757081e-06,2.725286e-06,2.712515e-06,2.693312e-06,2.661207e-06,2.648982e-06,2.629016e-06,2.596784e-06,2.585178e-06,2.564549e-06,2.532348e-06,2.521414e-06,2.500217e-06,2.468187e-06,2.457963e-06,2.436287e-06,2.404545e-06,2.395057e-06,2.372987e-06,2.341635e-06,2.332897e-06,2.310511e-06,2.279635e-06,2.271650e-06,2.249025e-06,2.218697e-06,2.211463e-06,2.188667e-06,2.158948e-06,2.152453e-06,2.129552e-06,2.100491e-06,2.094720e-06,2.071775e-06,2.043412e-06,2.038345e-06,2.015411e-06,1.987778e-06,1.983391e-06,1.960519e-06,1.933641e-06,1.929908e-06,1.907146e-06,1.881039e-06,1.877933e-06,1.855324e-06,1.830002e-06,1.827491e-06,1.805074e-06,1.780544e-06,1.778598e-06,1.756410e-06,1.732673e-06,1.731262e-06,1.709334e-06,1.686391e-06,1.685482e-06,1.663844e-06,1.641690e-06,1.641251e-06,1.619929e-06,1.598557e-06,1.557384e-06,1.517710e-06,1.479510e-06,1.442758e-06,1.407423e-06,1.373474e-06,1.340877e-06,1.309598e-06,1.279602e-06,1.250852e-06,1.223313e-06,1.196946e-06,1.171716e-06,1.147587e-06,1.124521e-06,1.102483e-06,1.081438e-06,1.061349e-06,1.042184e-06,1.023909e-06,1.006490e-06,9.898952e-07,9.740936e-07,9.590545e-07,9.447480e-07,9.311455e-07,9.182187e-07,9.059405e-07,8.942845e-07,8.832252e-07,8.727380e-07,8.627989e-07,8.533850e-07,8.444739e-07,8.360443e-07,8.280752e-07,8.205469e-07,8.134400e-07,8.067361e-07,8.004172e-07,7.944663e-07,7.888668e-07,7.836028e-07,7.786591e-07,7.740211e-07,7.696746e-07,7.656060e-07,7.618025e-07,7.582515e-07
0.000000e+00,1.265109e-08,3.895437e-07,4.107440e-07,3.687251e-06,1.657372e-05,1.747487e-05,5.368982e-05,1.153801e-04,1.202126e-04,2.130353e-04,3.110639e-04,3.198202e-04,4.289797e-04,5.233449e-04,5.334695e-04,6.300472e-04,7.076164e-04,7.176480e-04,7.962435e-04,8.569348e-04,8.662359e-04,9.281835e-04,9.744382e-04,9.826817e-04,1.030317e-03,1.064650e-03,1.071649e-03,1.107204e-03,1.131821e-03,1.137475e-03,1.162920e-03,1.179692e-03,1.183964e-03,1.201002e-03,1.211495e-03,1.214396e-03,1.224482e-03,1.230000e-03,1.231570e-03,1.235944e-03,1.237561e-03,1.237867e-03,1.237577e-03,1.236178e-03,1.235297e-03,1.231227e-03,1.227534e-03,1.225555e-03,1.218450e-03,1.213053e-03,1.210069e-03,1.200556e-03,1.193934e-03,1.190041e-03,1.178646e-03,1.171186e-03,1.166478e-03,1.153640e-03,1.145653e-03,1.140221e-03,1.126306e-03,1.118038e-03,1.111970e-03,1.097283e-03,1.088929e-03,1.082307e-03,1.067100e-03,1.058810e-03,1.051713e-03,1.036193e-03,1.028085e-03,1.020583e-03,1.004923e-03,9.970839e-04,9.892452e-04,9.735826e-04,9.660782e-04,9.579631e-04,9.424120e-04,9.352879e-04,9.269522e-04,9.116038e-04,9.048906e-04,8.963851e-04,8.813119e-04,8.750280e-04,8.663984e-04,8.516572e-04,8.458114e-04,8.370991e-04,8.227336e-04,8.173270e-04,8.085690e-04,7.946122e-04,7.896397e-04,7.808691e-04,7.673447e-04,7.627970e-04,7.540431e-04,7.409674e-04,7.368314e-04,7.281203e-04,7.155034e-04,7.117634e-04,7.031181e-04,6.909650e-04,6.876038e-04,6.790443e-04,6.673559e-04,6.643548e-04,6.558989e-04,6.446723e-04,6.420121e-04,6.336749e-04,6.229049e-04,6.205659e-04,6.123605e-04,6.020395e-04,6.000019e-04,5.919396e-04,5.820583e-04,5.803026e-04,5.723928e-04,5.629405e-04,5.614477e-04,5.536984e-04,5.446634e-04,5.434149e-04,5.358325e-04,5.272025e-04,5.261803e-04,5.187702e-04,5.105322e-04,5.097190e-04,5.024853e-04,4.946262e-04,4.940055e-04,4.869514e-04,4.794576e-04,4.790137e-04,4.721415e-04,4.649996e-04,4.647175e-04,4.580286e-04,4.512251e-04,4.510908e-04,4.445860e-04,4.381077e-04,4.257428e-04,4.139711e-04,4.027680e-04,3.921097e-04,3.819729e-04,3.723353e-04,3.631749e-04,3.544708e-04,3.462026e-04,3.383508e-04,3.308966e-04,3.238218e-04,3.171091e-04,3.107418e-04,3.047040e-04,2.989802e-04,2.935559e-04,2.884171e-04,2.835501e-04,2.789423e-04,2.745814e-04,2.704555e-04,2.665536e-04,2.628648e-04,2.593790e-04,2.560863e-04,2.529776e-04,2.500438e-04,2.472765e-04,2.446675e-04,2.422093e-04,2.398943e-04,2.377155e-04,2.356664e-04,2.337404e-04,2.319314e-04,2.302338e-04,2.286418e-04,2.271504e-04,2.257543e-04,2.244488e-04,2.232294e-04,2.220916e-04,2.210313e-04,2.200446e-04,2.191276e-04,2.182768e-04,2.174888e-04,2.167602e-04
0.000000e+00,5.103328e-09,2.228531e-07,2.366878e-07,2.964102e-06,1.718276e-05,1.828532e-05,6.859435e-05,1.704351e-04,1.790767e-04,3.628475e-04,5.958614e-04,6.187879e-04,9.365694e-04,1.263304e-03,1.301459e-03,1.697558e-03,2.059891e-03,2.109742e-03,2.524691e-03,2.875258e-03,2.931340e-03,3.320964e-03,3.630267e-03,3.687050e-03,4.025059e-03,4.279226e-03,4.332135e-03,4.606813e-03,4.802959e-03,4.848738e-03,5.058409e-03,5.200277e-03,5.236966e-03,5.386001e-03,5.480681e-03,5.507408e-03,5.603263e-03,5.659012e-03,5.675721e-03,5.726953e-03,5.751891e-03,5.759082e-03,5.774152e-03,5.775592e-03,5.774098e-03,5.760725e-03,5.744882e-03,5.735705e-03,5.700572e-03,5.672528e-03,5.656721e-03,5.605411e-03,5.569187e-03,5.547777e-03,5.484830e-03,5.443534e-03,5.417471e-03,5.346499e-03,5.302478e-03,5.272617e-03,5.196443e-03,5.151429e-03,5.118519e-03,5.039317e-03,4.994561e-03,4.959247e-03,4.878663e-03,4.835044e-03,4.797872e-03,4.717138e-03,4.675254e-03,4.636684e-03,4.556703e-03,4.516942e-03,4.477358e-03,4.398785e-03,4.361379e-03,4.321099e-03,4.244395e-03,4.209463e-03,4.168752e-03,4.094233e-03,4.061815e-03,4.020890e-03,3.948763e-03,3.918840e-03,3.877883e-03,3.808273e-03,3.780788e-03,3.739949e-03,3.672922e-03,3.647793e-03,3.607196e-03,3.542772e-03,3.519897e-03,3.479647e-03,3.417815e-03,3.397086e-03,3.357268e-03,3.297995e-03,3.279294e-03,3.239982e-03,3.183216e-03,3.166427e-03,3.127682e-03,3.073362e-03,3.058367e-03,3.020239e-03,2.968296e-03,2.954981e-03,2.917513e-03,2.867872e-03,2.856126e-03,2.819354e-03,2.771938e-03,2.761653e-03,2.725605e-03,2.680336e-03,2.671408e-03,2.636110e-03,2.592908e-03,2.585239e-03,2.550710e-03,2.509497e-03,2.502993e-03,2.469249e-03,2.429947e-03,2.424519e-03,2.391573e-03,2.354107e-03,2.349671e-03,2.317530e-03,2.281826e-03,2.278302e-03,2.246974e-03,2.212959e-03,2.210273e-03,2.179761e-03,2.147364e-03,2.145446e-03,2.115751e-03,2.084905e-03,2.083687e-03,2.054810e-03,2.025449e-03,2.024870e-03,1.996807e-03,1.968868e-03,1.915563e-03,1.864839e-03,1.816583e-03,1.770690e-03,1.727055e-03,1.685580e-03,1.646168e-03,1.608730e-03,1.573175e-03,1.539421e-03,1.507386e-03,1.476993e-03,1.448168e-03,1.420838e-03,1.394936e-03,1.370397e-03,1.347157e-03,1.325156e-03,1.304338e-03,1.284647e-03,1.266030e-03,1.248437e-03,1.231821e-03,1.216134e-03,1.201333e-03,1.187375e-03,1.174220e-03,1.161829e-03,1.150166e-03,1.139196e-03,1.128884e-03,1.119198e-03,1.110107e-03,1.101583e-03,1.093596e-03,1.086121e-03,1.079130e-03,1.072601e-03,1.066508e-03,1.060830e-03,1.055546e-03,1.050635e-03,1.046077e-03,1.041854e-03,1.037948e-03,1.034342e-03,1.031020e-03,1.027967e-03,1.025167e-03
0.000000e+00,2.369207e-09,4.010425e-08,4.198119e-08,2.631978e-07,7.826461e-07,8.097080e-07,1.536974e-06,2.226016e-06,2.268961e-06,2.961635e-06,3.558945e-06,3.609073e-06,4.211657e-06,4.716879e-06,4.770903e-06,5.288589e-06,5.711261e-06,5.766588e-06,6.206808e-06,6.556639e-06,6.611160e-06,6.981528e-06,7.267724e-06,7.319755e-06,7.627620e-06,7.858617e-06,7.906837e-06,8.159060e-06,8.342464e-06,8.385865e-06,8.588761e-06,8.731346e-06,8.769182e-06,8.928503e-06,9.036267e-06,9.068008e-06,9.188930e-06,9.267136e-06,9.292436e-06,9.379635e-06,9.432914e-06,9.451579e-06,9.509261e-06,9.541659e-06,9.553624e-06,9.585559e-06,9.600608e-06,9.605909e-06,9.615472e-06,9.616243e-06,9.615003e-06,9.605213e-06,9.594368e-06,9.586775e-06,9.560325e-06,9.540167e-06,9.526462e-06,9.485754e-06,9.458266e-06,9.438733e-06,9.385903e-06,9.352789e-06,9.327740e-06,9.264689e-06,9.227405e-06,9.197173e-06,9.125588e-06,9.085372e-06,9.050306e-06,8.971679e-06,8.929581e-06,8.890036e-06,8.805689e-06,8.762592e-06,8.718927e-06,8.630024e-06,8.586666e-06,8.539237e-06,8.446806e-06,8.403798e-06,8.352956e-06,8.257899e-06,8.215743e-06,8.161833e-06,8.064941e-06,8.024042e-06,7.967396e-06,7.869360e-06,7.830042e-06,7.770983e-06,7.672405e-06,7.634920e-06,7.573756e-06,7.475159e-06,7.439698e-06,7.376725e-06,7.278559e-06,7.245262e-06,7.180759e-06,7.083413e-06,7.052373e-06,6.986606e-06,6.890412e-06,6.861685e-06,6.794903e-06,6.700144e-06,6.673753e-06,6.606193e-06,6.513104e-06,6.489049e-06,6.420928e-06,6.329710e-06,6.307964e-06,6.239489e-06,6.150303e-06,6.130824e-06,6.062184e-06,5.975163e-06,5.957893e-06,5.889265e-06,5.804515e-06,5.789383e-06,5.720931e-06,5.638531e-06,5.625458e-06,5.557331e-06,5.477343e-06,5.466242e-06,5.398578e-06,5.321044e-06,5.311823e-06,5.244747e-06,5.169692e-06,5.162255e-06,5.095881e-06,5.023317e-06,5.017566e-06,4.951999e-06,4.881925e-06,4.877760e-06,4.813092e-06,4.745498e-06,4.742820e-06,4.679136e-06,4.614001e-06,4.612710e-06,4.550085e-06,4.487381e-06,4.366769e-06,4.250798e-06,4.139385e-06,4.032438e-06,3.929859e-06,3.831544e-06,3.737386e-06,3.647276e-06,3.561100e-06,3.478745e-06,3.400097e-06,3.325041e-06,3.253461e-06,3.185245e-06,3.120280e-06,3.058453e-06,2.999655e-06,2.943779e-06,2.890718e-06,2.840368e-06,2.792628e-06,2.747399e-06,2.704584e-06,2.664089e-06,2.625823e-06,2.589696e-06,2.555621e-06,2.523516e-06,2.493297e-06,2.464888e-06,2.438211e-06,2.413192e-06,2.389760e-06,2.367846e-06,2.347384e-06,2.328308e-06,2.310557e-06,2.294070e-06,2.278791e-06,2.264662e-06,2.251630e-06,2.239644e-06,2.228653e-06,2.218610e-06,2.209468e-06,2.201182e-06,2.193711e-06,2.187011e-06,2.181045e-06
0.000000e+00,8.494538e-09,4.499140e-07,4.792041e-07,6.151068e-06,2.993747e-05,3.151830e-05,8.655428e-05,1.592881e-04,1.643710e-04,2.528435e-04,3.356341e-04,3.427297e-04,4.286695e-04,5.004631e-04,5.080731e-04,5.799683e-04,6.369166e-04,6.442326e-04,7.011533e-04,7.445853e-04,7.511970e-04,7.948947e-04,8.270908e-04,8.327846e-04,8.653865e-04,8.885185e-04,8.931898e-04,9.166491e-04,9.325715e-04,9.361833e-04,9.521767e-04,9.624206e-04,9.649806e-04,9.749149e-04,9.807262e-04,9.822711e-04,9.873141e-04,9.896991e-04,9.902845e-04,9.914009e-04,9.911686e-04,9.908614e-04,9.888458e-04,9.866447e-04,9.855174e-04,9.810238e-04,9.773715e-04,9.754990e-04,9.690641e-04,9.643723e-04,9.618289e-04,9.538926e-04,9.484872e-04,9.453448e-04,9.362667e-04,9.304044e-04,9.267316e-04,9.168054e-04,9.106870e-04,9.065478e-04,8.960126e-04,8.897943e-04,8.852483e-04,8.742986e-04,8.681005e-04,8.632026e-04,8.519956e-04,8.459090e-04,8.407093e-04,8.293720e-04,8.234651e-04,8.180092e-04,8.066436e-04,8.009662e-04,7.952955e-04,7.839829e-04,7.785702e-04,7.727219e-04,7.615268e-04,7.564027e-04,7.504102e-04,7.393832e-04,7.345623e-04,7.284557e-04,7.176361e-04,7.131259e-04,7.069319e-04,6.963497e-04,6.921522e-04,6.858949e-04,6.755723e-04,6.716853e-04,6.653860e-04,6.553393e-04,6.517573e-04,6.454351e-04,6.356754e-04,6.323904e-04,6.260622e-04,6.165966e-04,6.135990e-04,6.072797e-04,5.981119e-04,5.953907e-04,5.890935e-04,5.802246e-04,5.777680e-04,5.715048e-04,5.629336e-04,5.607293e-04,5.545103e-04,5.462342e-04,5.442697e-04,5.381041e-04,5.301188e-04,5.283814e-04,5.222772e-04,5.145777e-04,5.130547e-04,5.070189e-04,4.995993e-04,4.982784e-04,4.923172e-04,4.851708e-04,4.840399e-04,4.781586e-04,4.712786e-04,4.703258e-04,4.645290e-04,4.579080e-04,4.571220e-04,4.514137e-04,4.450443e-04,4.444141e-04,4.387978e-04,4.326723e-04,4.321874e-04,4.266659e-04,4.207767e-04,4.204270e-04,4.150027e-04,4.093422e-04,4.091181e-04,4.037931e-04,3.983536e-04,3.982459e-04,3.930219e-04,3.877960e-04,3.777538e-04,3.681055e-04,3.588371e-04,3.499353e-04,3.413868e-04,3.331790e-04,3.252994e-04,3.177361e-04,3.104774e-04,3.035119e-04,2.968288e-04,2.904175e-04,2.842678e-04,2.783698e-04,2.727141e-04,2.672915e-04,2.620930e-04,2.571102e-04,2.523348e-04,2.477589e-04,2.433749e-04,2.391753e-04,2.351531e-04,2.313014e-04,2.276136e-04,2.240835e-04,2.207048e-04,2.174718e-04,2.143787e-04,2.114201e-04,2.085907e-04,2.058856e-04,2.032998e-04,2.008287e-04,1.984678e-04,1.962127e-04,1.940592e-04,1.920035e-04,1.900415e-04,1.881697e-04,1.863844e-04,1.846822e-04,1.830598e-04,1.815140e-04,1.800417e-04,1.786400e-04,1.773061e-04,1.760372e-04,1.748308e-04
0.000000e+00,4.389019e-08,9.338983e-07,9.791786e-07,7.067976e-06,2.751525e-05,2.885584e-05,7.796685e-05,1.489925e-04,1.540974e-04,2.437409e-04,3.278670e-04,3.350957e-04,4.234654e-04,4.993930e-04,5.076070e-04,5.872822e-04,6.537147e-04,6.625099e-04,7.333809e-04,7.909349e-04,8.000130e-04,8.625385e-04,9.119892e-04,9.210982e-04,9.758377e-04,1.017977e-03,1.026905e-03,1.074449e-03,1.110045e-03,1.118615e-03,1.159550e-03,1.189325e-03,1.197393e-03,1.232282e-03,1.256905e-03,1.264352e-03,1.293730e-03,1.313812e-03,1.320543e-03,1.344911e-03,1.361008e-03,1.366950e-03,1.386773e-03,1.399388e-03,1.404487e-03,1.420197e-03,1.429786e-03,1.434002e-03,1.445998e-03,1.452970e-03,1.456278e-03,1.464931e-03,1.469654e-03,1.472041e-03,1.477690e-03,1.480493e-03,1.481956e-03,1.484916e-03,1.486094e-03,1.486640e-03,1.487197e-03,1.487013e-03,1.486655e-03,1.485076e-03,1.483762e-03,1.482521e-03,1.479048e-03,1.476811e-03,1.474713e-03,1.469569e-03,1.466591e-03,1.463666e-03,1.457053e-03,1.453495e-03,1.449777e-03,1.441882e-03,1.437885e-03,1.433410e-03,1.424402e-03,1.420088e-03,1.414896e-03,1.404929e-03,1.400406e-03,1.394536e-03,1.383751e-03,1.379112e-03,1.372606e-03,1.361131e-03,1.356455e-03,1.349355e-03,1.337305e-03,1.332660e-03,1.325009e-03,1.312490e-03,1.307934e-03,1.299774e-03,1.286881e-03,1.282461e-03,1.273834e-03,1.260653e-03,1.256410e-03,1.247357e-03,1.233965e-03,1.229931e-03,1.220494e-03,1.206960e-03,1.203162e-03,1.193380e-03,1.179767e-03,1.176224e-03,1.166136e-03,1.152499e-03,1.149227e-03,1.138870e-03,1.125260e-03,1.122270e-03,1.111680e-03,1.098140e-03,1.095438e-03,1.084651e-03,1.071221e-03,1.068810e-03,1.057859e-03,1.044573e-03,1.042455e-03,1.031371e-03,1.018259e-03,1.016431e-03,1.005246e-03,9.923353e-04,9.907933e-04,9.795343e-04,9.668480e-04,9.655859e-04,9.542814e-04,9.418390e-04,9.408491e-04,9.295250e-04,9.173434e-04,9.166168e-04,9.052976e-04,8.933911e-04,8.929177e-04,8.816266e-04,8.700070e-04,8.697761e-04,8.585346e-04,8.472117e-04,8.252406e-04,8.038753e-04,7.831252e-04,7.629969e-04,7.434945e-04,7.246198e-04,7.063724e-04,6.887505e-04,6.717503e-04,6.553667e-04,6.395933e-04,6.244225e-04,6.098460e-04,5.958544e-04,5.824376e-04,5.695850e-04,5.572854e-04,5.455272e-04,5.342982e-04,5.235862e-04,5.133787e-04,5.036628e-04,4.944257e-04,4.856544e-04,4.773359e-04,4.694572e-04,4.620052e-04,4.549672e-04,4.483300e-04,4.420811e-04,4.362077e-04,4.306974e-04,4.255377e-04,4.207164e-04,4.162215e-04,4.120413e-04,4.081639e-04,4.045780e-04,4.012724e-04,3.982359e-04,3.954578e-04,3.929275e-04,3.906346e-04,3.885689e-04,3.867205e-04,3.850797e-04,3.836370e-04,3.823832e-04,3.813092e-04
0.000000e+00,9.098516e-09,1.265532e-07,1.321569e-07,8.244470e-07,2.871038e-06,2.996946e-06,7.161895e-06,1.214291e-05,1.247030e-05,1.785317e-05,2.254719e-05,2.294113e-05,2.766786e-05,3.161307e-05,3.203379e-05,3.605285e-05,3.931594e-05,3.974174e-05,4.311753e-05,4.578323e-05,4.619718e-05,4.899730e-05,5.114524e-05,5.153407e-05,5.382316e-05,5.552597e-05,5.587962e-05,5.771794e-05,5.904082e-05,5.935191e-05,6.079468e-05,6.179538e-05,6.205876e-05,6.315599e-05,6.388523e-05,6.409760e-05,6.489420e-05,6.539625e-05,6.555583e-05,6.609195e-05,6.640527e-05,6.651149e-05,6.682287e-05,6.698075e-05,6.703403e-05,6.715244e-05,6.718357e-05,6.718512e-05,6.713868e-05,6.706773e-05,6.701935e-05,6.683295e-05,6.668101e-05,6.658498e-05,6.628058e-05,6.606565e-05,6.592460e-05,6.552156e-05,6.525894e-05,6.507572e-05,6.459105e-05,6.429363e-05,6.407128e-05,6.351989e-05,6.319853e-05,6.294016e-05,6.233513e-05,6.199890e-05,6.170765e-05,6.106038e-05,6.071681e-05,6.039580e-05,5.971623e-05,5.937150e-05,5.902381e-05,5.832055e-05,5.797969e-05,5.760832e-05,5.688885e-05,5.655590e-05,5.616374e-05,5.543448e-05,5.511265e-05,5.470245e-05,5.396894e-05,5.366070e-05,5.323511e-05,5.250206e-05,5.220928e-05,5.177079e-05,5.104221e-05,5.076624e-05,5.031718e-05,4.959647e-05,4.933821e-05,4.888079e-05,4.817079e-05,4.793078e-05,4.746704e-05,4.677010e-05,4.654859e-05,4.608044e-05,4.539849e-05,4.519546e-05,4.472464e-05,4.405925e-05,4.387449e-05,4.340261e-05,4.275502e-05,4.258815e-05,4.211669e-05,4.148784e-05,4.133835e-05,4.086865e-05,4.025927e-05,4.012653e-05,3.965981e-05,3.907039e-05,3.895372e-05,3.849108e-05,3.792194e-05,3.782058e-05,3.736301e-05,3.681430e-05,3.672746e-05,3.627584e-05,3.574760e-05,3.567446e-05,3.522956e-05,3.472169e-05,3.466143e-05,3.422395e-05,3.373626e-05,3.368805e-05,3.325858e-05,3.279081e-05,3.275381e-05,3.233288e-05,3.188469e-05,3.185811e-05,3.144615e-05,3.101714e-05,3.100018e-05,3.059757e-05,3.018731e-05,3.017920e-05,2.978625e-05,2.939426e-05,2.864440e-05,2.792861e-05,2.724586e-05,2.659506e-05,2.597516e-05,2.538506e-05,2.482368e-05,2.428994e-05,2.378279e-05,2.330117e-05,2.284405e-05,2.241042e-05,2.199929e-05,2.160970e-05,2.124071e-05,2.089142e-05,2.056095e-05,2.024843e-05,1.995306e-05,1.967404e-05,1.941059e-05,1.916199e-05,1.892752e-05,1.870651e-05,1.849830e-05,1.830226e-05,1.811779e-05,1.794432e-05,1.778130e-05,1.762820e-05,1.748451e-05,1.734975e-05,1.722347e-05,1.710523e-05,1.699460e-05,1.689119e-05,1.679461e-05,1.670451e-05,1.662053e-05,1.654236e-05,1.646966e-05,1.640215e-05,1.633955e-05,1.628158e-05,1.622798e-05,1.617851e-05,1.613295e-05,1.609106e-05,1.605264e-05
0.000000e+00,2.428047e-09,3.640156e-08,3.803631e-08,2.316946e-07,7.586943e-07,7.900443e-07,1.806676e-06,3.027540e-06,3.108357e-06,4.431865e-06,5.557420e-06,5.650058e-06,6.735618e-06,7.601462e-06,7.691474e-06,8.527423e-06,9.172466e-06,9.254278e-06,9.882429e-06,1.035107e-05,1.042151e-05,1.088036e-05,1.120971e-05,1.126705e-05,1.158893e-05,1.180923e-05,1.185270e-05,1.206444e-05,1.220009e-05,1.222966e-05,1.235334e-05,1.242389e-05,1.244000e-05,1.249371e-05,1.251479e-05,1.251817e-05,1.251669e-05,1.250068e-05,1.249228e-05,1.244761e-05,1.240430e-05,1.238514e-05,1.230705e-05,1.224414e-05,1.221529e-05,1.211166e-05,1.203521e-05,1.199772e-05,1.187492e-05,1.178963e-05,1.174452e-05,1.160769e-05,1.151722e-05,1.146545e-05,1.131872e-05,1.122586e-05,1.116833e-05,1.101502e-05,1.092190e-05,1.085944e-05,1.070217e-05,1.061040e-05,1.054376e-05,1.038465e-05,1.029540e-05,1.022526e-05,1.006597e-05,9.980098e-06,9.907081e-06,9.748891e-06,9.666993e-06,9.591651e-06,9.435580e-06,9.358044e-06,9.280871e-06,9.127691e-06,9.054753e-06,8.976188e-06,8.826486e-06,8.758257e-06,8.678692e-06,8.532897e-06,8.469401e-06,8.389179e-06,8.247602e-06,8.188790e-06,8.108217e-06,7.971067e-06,7.916841e-06,7.836185e-06,7.703595e-06,7.653815e-06,7.573312e-06,7.445348e-06,7.399850e-06,7.319707e-06,7.196388e-06,7.154988e-06,7.075386e-06,6.956692e-06,6.919195e-06,6.840292e-06,6.726171e-06,6.692376e-06,6.614310e-06,6.504687e-06,6.474391e-06,6.397280e-06,6.292064e-06,6.265063e-06,6.189011e-06,6.088094e-06,6.064189e-06,5.989285e-06,5.892552e-06,5.871547e-06,5.797866e-06,5.705195e-06,5.686900e-06,5.614507e-06,5.525771e-06,5.510003e-06,5.438953e-06,5.354022e-06,5.340606e-06,5.270945e-06,5.189689e-06,5.178457e-06,5.110221e-06,5.032510e-06,5.023301e-06,4.956522e-06,4.882226e-06,4.874888e-06,4.809589e-06,4.738581e-06,4.732970e-06,4.669170e-06,4.601325e-06,4.597304e-06,4.535016e-06,4.470212e-06,4.467651e-06,4.406883e-06,4.345001e-06,4.343778e-06,4.284536e-06,4.225460e-06,4.112478e-06,4.004617e-06,3.901672e-06,3.803445e-06,3.709743e-06,3.620380e-06,3.535179e-06,3.453967e-06,3.376579e-06,3.302855e-06,3.232643e-06,3.165795e-06,3.102169e-06,3.041631e-06,2.984048e-06,2.929297e-06,2.877256e-06,2.827810e-06,2.780847e-06,2.736263e-06,2.693953e-06,2.653821e-06,2.615772e-06,2.579716e-06,2.545565e-06,2.513238e-06,2.482653e-06,2.453735e-06,2.426411e-06,2.400608e-06,2.376261e-06,2.353304e-06,2.331675e-06,2.311313e-06,2.292164e-06,2.274170e-06,2.257280e-06,2.241444e-06,2.226612e-06,2.212739e-06,2.199780e-06,2.187692e-06,2.176434e-06,2.165967e-06,2.156254e-06,2.147257e-06,2.138944e-06,2.131280e-06,2.124234e-06
0.000000e+00,1.287459e-08,1.586634e-07,1.650142e-07,8.683351e-07,2.801474e-06,2.920103e-06,7.018626e-06,1.267937e-05,1.308552e-05,2.026113e-05,2.691795e-05,2.747532e-05,3.395646e-05,3.889784e-05,3.939302e-05,4.378204e-05,4.686657e-05,4.723616e-05,4.988935e-05,5.162662e-05,5.186713e-05,5.327962e-05,5.409875e-05,5.422123e-05,5.477221e-05,5.498045e-05,5.500038e-05,5.496291e-05,5.477430e-05,5.470795e-05,5.427597e-05,5.383818e-05,5.370091e-05,5.301121e-05,5.242517e-05,5.223068e-05,5.137921e-05,5.071332e-05,5.047340e-05,4.952710e-05,4.882723e-05,4.855181e-05,4.755709e-05,4.685353e-05,4.655086e-05,4.553965e-05,4.485197e-05,4.452884e-05,4.352284e-05,4.286329e-05,4.252525e-05,4.153899e-05,4.091484e-05,4.056641e-05,3.960938e-05,3.902448e-05,3.866936e-05,3.774748e-05,3.720343e-05,3.684460e-05,3.596135e-05,3.545823e-05,3.509815e-05,3.425527e-05,3.379220e-05,3.343286e-05,3.263093e-05,3.220638e-05,3.184941e-05,3.108818e-05,3.070030e-05,3.034704e-05,2.962572e-05,2.927241e-05,2.892394e-05,2.824139e-05,2.792049e-05,2.757772e-05,2.693256e-05,2.664190e-05,2.630553e-05,2.569625e-05,2.543369e-05,2.510432e-05,2.452934e-05,2.429281e-05,2.397091e-05,2.342863e-05,2.321615e-05,2.290209e-05,2.239091e-05,2.220060e-05,2.189468e-05,2.141302e-05,2.124312e-05,2.094555e-05,2.049188e-05,2.034072e-05,2.005166e-05,1.962450e-05,1.949052e-05,1.921007e-05,1.880800e-05,1.868975e-05,1.841797e-05,1.803963e-05,1.793574e-05,1.767266e-05,1.731674e-05,1.722597e-05,1.697156e-05,1.663681e-05,1.655800e-05,1.631221e-05,1.599746e-05,1.592951e-05,1.569229e-05,1.539641e-05,1.533833e-05,1.510957e-05,1.483149e-05,1.478235e-05,1.456194e-05,1.430067e-05,1.425961e-05,1.404742e-05,1.380198e-05,1.376823e-05,1.356412e-05,1.333361e-05,1.330644e-05,1.311025e-05,1.289381e-05,1.287254e-05,1.268411e-05,1.248094e-05,1.246496e-05,1.228411e-05,1.209344e-05,1.208219e-05,1.190875e-05,1.172985e-05,1.172281e-05,1.155658e-05,1.138877e-05,1.138547e-05,1.122626e-05,1.106890e-05,1.077190e-05,1.049334e-05,1.023215e-05,9.987317e-06,9.757889e-06,9.542967e-06,9.341700e-06,9.153287e-06,8.976973e-06,8.812045e-06,8.657829e-06,8.513693e-06,8.379038e-06,8.253300e-06,8.135948e-06,8.026480e-06,7.924426e-06,7.829338e-06,7.740798e-06,7.658411e-06,7.581805e-06,7.510627e-06,7.444549e-06,7.383257e-06,7.326460e-06,7.273881e-06,7.225260e-06,7.180352e-06,7.138926e-06,7.100765e-06,7.065665e-06,7.033434e-06,7.003890e-06,6.976863e-06,6.952193e-06,6.929729e-06,6.909329e-06,6.890859e-06,6.874195e-06,6.859218e-06,6.845817e-06,6.833889e-06,6.823334e-06,6.814061e-06,6.805984e-06,6.799020e-06,6.793094e-06,6.788134e-06,6.784073e-06
0.000000e+00,1.673622e-09,3.697150e-08,3.887352e-08,2.917112e-07,9.566564e-07,9.920308e-07,1.946822e-06,2.863349e-06,2.921025e-06,3.861683e-06,4.690207e-06,4.760546e-06,5.616919e-06,6.351957e-06,6.431574e-06,7.205559e-06,7.853884e-06,7.939958e-06,8.635864e-06,9.204398e-06,9.294382e-06,9.916644e-06,1.041217e-05,1.050380e-05,1.105703e-05,1.148619e-05,1.157751e-05,1.206643e-05,1.243563e-05,1.252496e-05,1.295428e-05,1.326960e-05,1.335553e-05,1.372983e-05,1.399694e-05,1.407827e-05,1.440192e-05,1.462608e-05,1.470182e-05,1.497896e-05,1.516496e-05,1.523432e-05,1.546884e-05,1.562108e-05,1.568341e-05,1.587892e-05,1.600141e-05,1.605621e-05,1.621609e-05,1.631246e-05,1.635935e-05,1.648675e-05,1.656030e-05,1.659902e-05,1.669685e-05,1.675055e-05,1.678092e-05,1.685189e-05,1.688844e-05,1.691038e-05,1.695699e-05,1.697881e-05,1.699230e-05,1.701687e-05,1.702613e-05,1.703123e-05,1.703590e-05,1.703457e-05,1.703138e-05,1.701813e-05,1.700795e-05,1.699662e-05,1.696728e-05,1.694981e-05,1.693053e-05,1.688679e-05,1.686342e-05,1.683643e-05,1.677983e-05,1.675180e-05,1.671735e-05,1.664933e-05,1.661773e-05,1.657609e-05,1.649796e-05,1.646376e-05,1.641523e-05,1.632820e-05,1.629225e-05,1.623714e-05,1.614232e-05,1.610536e-05,1.604399e-05,1.594240e-05,1.590507e-05,1.583778e-05,1.573035e-05,1.569322e-05,1.562032e-05,1.550791e-05,1.547147e-05,1.539330e-05,1.527669e-05,1.524134e-05,1.515825e-05,1.503815e-05,1.500425e-05,1.491656e-05,1.479362e-05,1.476146e-05,1.466950e-05,1.454433e-05,1.451414e-05,1.441824e-05,1.429137e-05,1.426336e-05,1.416383e-05,1.403575e-05,1.401008e-05,1.390723e-05,1.377838e-05,1.375516e-05,1.364931e-05,1.352010e-05,1.349942e-05,1.339085e-05,1.326165e-05,1.324357e-05,1.313257e-05,1.300370e-05,1.298825e-05,1.287510e-05,1.274685e-05,1.273405e-05,1.261901e-05,1.249165e-05,1.248149e-05,1.236483e-05,1.223859e-05,1.223104e-05,1.211300e-05,1.198810e-05,1.198312e-05,1.186394e-05,1.174056e-05,1.173810e-05,1.161801e-05,1.149631e-05,1.125804e-05,1.102354e-05,1.079303e-05,1.056670e-05,1.034471e-05,1.012719e-05,9.914259e-06,9.706007e-06,9.502505e-06,9.303805e-06,9.109946e-06,8.920949e-06,8.736826e-06,8.557572e-06,8.383176e-06,8.213614e-06,8.048855e-06,7.888858e-06,7.733578e-06,7.582961e-06,7.436950e-06,7.295482e-06,7.158489e-06,7.025900e-06,6.897641e-06,6.773636e-06,6.653805e-06,6.538066e-06,6.426339e-06,6.318538e-06,6.214578e-06,6.114375e-06,6.017843e-06,5.924895e-06,5.835445e-06,5.749406e-06,5.666695e-06,5.587224e-06,5.510910e-06,5.437669e-06,5.367417e-06,5.300072e-06,5.235553e-06,5.173780e-06,5.114673e-06,5.058155e-06,5.004148e-06,4.952578e-06,4.903370e-06
0.000000e+00,9.235015e-09,2.716978e-07,2.865925e-07,2.694423e-06,1.273074e-05,1.344573e-05,4.242978e-05,9.052600e-05,9.418084e-05,1.612921e-04,2.272106e-04,2.329239e-04,3.026288e-04,3.616283e-04,3.679357e-04,4.282166e-04,4.771206e-04,4.834969e-04,5.340000e-04,5.738191e-04,5.799981e-04,6.217677e-04,6.537831e-04,6.595772e-04,6.936831e-04,7.190578e-04,7.243293e-04,7.517469e-04,7.715034e-04,7.761541e-04,7.977572e-04,8.127863e-04,8.167503e-04,8.333166e-04,8.443903e-04,8.476283e-04,8.598471e-04,8.676310e-04,8.701244e-04,8.786025e-04,8.836678e-04,8.854146e-04,8.906857e-04,8.935212e-04,8.945324e-04,8.970641e-04,8.980871e-04,8.983833e-04,8.985854e-04,8.981507e-04,8.977601e-04,8.959909e-04,8.943995e-04,8.933559e-04,8.899280e-04,8.874345e-04,8.857753e-04,8.809614e-04,8.777805e-04,8.755456e-04,8.695831e-04,8.658949e-04,8.631256e-04,8.562210e-04,8.521759e-04,8.489141e-04,8.412465e-04,8.369698e-04,8.332571e-04,8.249819e-04,8.205771e-04,8.164544e-04,8.077059e-04,8.032578e-04,7.987652e-04,7.896593e-04,7.852371e-04,7.804129e-04,7.710493e-04,7.667086e-04,7.615898e-04,7.520542e-04,7.478392e-04,7.424609e-04,7.328266e-04,7.287718e-04,7.231671e-04,7.134967e-04,7.096285e-04,7.038287e-04,6.941752e-04,6.905131e-04,6.845475e-04,6.749558e-04,6.715134e-04,6.654095e-04,6.559172e-04,6.527036e-04,6.464868e-04,6.371254e-04,6.341454e-04,6.278394e-04,6.186348e-04,6.158900e-04,6.095167e-04,6.004901e-04,5.979796e-04,5.915591e-04,5.827276e-04,5.804481e-04,5.739989e-04,5.653761e-04,5.633227e-04,5.568618e-04,5.484582e-04,5.466245e-04,5.401674e-04,5.319909e-04,5.303695e-04,5.239302e-04,5.159864e-04,5.145690e-04,5.081603e-04,5.004528e-04,4.992306e-04,4.928641e-04,4.853947e-04,4.843586e-04,4.780447e-04,4.708141e-04,4.699544e-04,4.637025e-04,4.567099e-04,4.560171e-04,4.498357e-04,4.430793e-04,4.425439e-04,4.364402e-04,4.299176e-04,4.295299e-04,4.235107e-04,4.172185e-04,4.169692e-04,4.110401e-04,4.049745e-04,4.048544e-04,3.990206e-04,3.931773e-04,3.819289e-04,3.710995e-04,3.606791e-04,3.506570e-04,3.410227e-04,3.317651e-04,3.228732e-04,3.143360e-04,3.061425e-04,2.982816e-04,2.907426e-04,2.835148e-04,2.765875e-04,2.699506e-04,2.635938e-04,2.575073e-04,2.516813e-04,2.461065e-04,2.407737e-04,2.356740e-04,2.307987e-04,2.261395e-04,2.216881e-04,2.174367e-04,2.133777e-04,2.095037e-04,2.058074e-04,2.022821e-04,1.989210e-04,1.957178e-04,1.926661e-04,1.897600e-04,1.869938e-04,1.843618e-04,1.818587e-04,1.794792e-04,1.772185e-04,1.750716e-04,1.730340e-04,1.711013e-04,1.692690e-04,1.675331e-04,1.658895e-04,1.643346e-04,1.628645e-04,1.614758e-04,1.601650e-04,1.589288e-04,1.577641e-04
0.000000e+00,6.824989e-10,1.058425e-08,1.106956e-08,6.959068e-08,2.228012e-07,2.314139e-07,4.802981e-07,7.315993e-07,7.474261e-07,1.003274e-06,1.223546e-06,1.241987e-06,1.462985e-06,1.647141e-06,1.666765e-06,1.854051e-06,2.005825e-06,2.025607e-06,2.182194e-06,2.305465e-06,2.324571e-06,2.453487e-06,2.551918e-06,2.569686e-06,2.673900e-06,2.750906e-06,2.766833e-06,2.849174e-06,2.907869e-06,2.921590e-06,2.984718e-06,3.027906e-06,3.039171e-06,3.085531e-06,3.115694e-06,3.124352e-06,3.156160e-06,3.175476e-06,3.181452e-06,3.200700e-06,3.211066e-06,3.214348e-06,3.222816e-06,3.225873e-06,3.226498e-06,3.225768e-06,3.222931e-06,3.220976e-06,3.212451e-06,3.204931e-06,3.200504e-06,3.185424e-06,3.174256e-06,3.167486e-06,3.146944e-06,3.133008e-06,3.124040e-06,3.098998e-06,3.083035e-06,3.072029e-06,3.043329e-06,3.025963e-06,3.013083e-06,2.981462e-06,2.963214e-06,2.948627e-06,2.914727e-06,2.896028e-06,2.879903e-06,2.844283e-06,2.825488e-06,2.807990e-06,2.771134e-06,2.752529e-06,2.733821e-06,2.696147e-06,2.677962e-06,2.658202e-06,2.620067e-06,2.602484e-06,2.581821e-06,2.543533e-06,2.526691e-06,2.505269e-06,2.467089e-06,2.451091e-06,2.429046e-06,2.391193e-06,2.376115e-06,2.353574e-06,2.316231e-06,2.302122e-06,2.279204e-06,2.242525e-06,2.229413e-06,2.206228e-06,2.170339e-06,2.158234e-06,2.134884e-06,2.099885e-06,2.088785e-06,2.065363e-06,2.031335e-06,2.021226e-06,1.997817e-06,1.964822e-06,1.955679e-06,1.932362e-06,1.900445e-06,1.892237e-06,1.869081e-06,1.838275e-06,1.830965e-06,1.808033e-06,1.778359e-06,1.771907e-06,1.749254e-06,1.720721e-06,1.715083e-06,1.692761e-06,1.665371e-06,1.660501e-06,1.638551e-06,1.612299e-06,1.608151e-06,1.586612e-06,1.561486e-06,1.558012e-06,1.536916e-06,1.512899e-06,1.510053e-06,1.489428e-06,1.466497e-06,1.464234e-06,1.444102e-06,1.422235e-06,1.420508e-06,1.400888e-06,1.380056e-06,1.378823e-06,1.359731e-06,1.339904e-06,1.339121e-06,1.320569e-06,1.301716e-06,1.301344e-06,1.283339e-06,1.265428e-06,1.231308e-06,1.198919e-06,1.168195e-06,1.139070e-06,1.111478e-06,1.085353e-06,1.060632e-06,1.037251e-06,1.015150e-06,9.942674e-07,9.745459e-07,9.559290e-07,9.383622e-07,9.217928e-07,9.061702e-07,8.914457e-07,8.775725e-07,8.645057e-07,8.522024e-07,8.406216e-07,8.297242e-07,8.194729e-07,8.098319e-07,8.007675e-07,7.922475e-07,7.842410e-07,7.767192e-07,7.696542e-07,7.630201e-07,7.567919e-07,7.509461e-07,7.454605e-07,7.403140e-07,7.354866e-07,7.309597e-07,7.267153e-07,7.227366e-07,7.190079e-07,7.155141e-07,7.122411e-07,7.091756e-07,7.063050e-07,7.036175e-07,7.011020e-07,6.987479e-07,6.965453e-07,6.944850e-07,6.925582e-07,6.907565e-07
0.000000e+00,5.830118e-09,2.044768e-07,2.162612e-07,2.298676e-06,1.218121e-05,1.292541e-05,4.550734e-05,1.064756e-04,1.114080e-04,2.091637e-04,3.175619e-04,3.274643e-04,4.532916e-04,5.643523e-04,5.763101e-04,6.898450e-04,7.790404e-04,7.903546e-04,8.765284e-04,9.392249e-04,9.484673e-04,1.007070e-03,1.046925e-03,1.053622e-03,1.089546e-03,1.112063e-03,1.116250e-03,1.135054e-03,1.145215e-03,1.147151e-03,1.153595e-03,1.155295e-03,1.155308e-03,1.153084e-03,1.149184e-03,1.147604e-03,1.139449e-03,1.131984e-03,1.129111e-03,1.117008e-03,1.107401e-03,1.103492e-03,1.088858e-03,1.078085e-03,1.073357e-03,1.057196e-03,1.045920e-03,1.040550e-03,1.023566e-03,1.012231e-03,1.006365e-03,9.890474e-04,9.779427e-04,9.716978e-04,9.543853e-04,9.436955e-04,9.371667e-04,9.200887e-04,9.099255e-04,9.031893e-04,8.864991e-04,8.769247e-04,8.700429e-04,8.538401e-04,8.448830e-04,8.379059e-04,8.222521e-04,8.139188e-04,8.068874e-04,7.918176e-04,7.840993e-04,7.770468e-04,7.625772e-04,7.554557e-04,7.484096e-04,7.345436e-04,7.279947e-04,7.209778e-04,7.077100e-04,7.017061e-04,6.947373e-04,6.820563e-04,6.765680e-04,6.696630e-04,6.575534e-04,6.525508e-04,6.457228e-04,6.341666e-04,6.296199e-04,6.228799e-04,6.118577e-04,6.077376e-04,6.010950e-04,5.905866e-04,5.868648e-04,5.803273e-04,5.703121e-04,5.669616e-04,5.605358e-04,5.509933e-04,5.479882e-04,5.416795e-04,5.325894e-04,5.299052e-04,5.237180e-04,5.150606e-04,5.126741e-04,5.066121e-04,4.983680e-04,4.962574e-04,4.903235e-04,4.824741e-04,4.806187e-04,4.748152e-04,4.673425e-04,4.657230e-04,4.600516e-04,4.529382e-04,4.515365e-04,4.459983e-04,4.392277e-04,4.380267e-04,4.326224e-04,4.261786e-04,4.251624e-04,4.198925e-04,4.137602e-04,4.129137e-04,4.077781e-04,4.019427e-04,4.012521e-04,3.962504e-04,3.906979e-04,3.901502e-04,3.852818e-04,3.799988e-04,3.795818e-04,3.748457e-04,3.698195e-04,3.695219e-04,3.649170e-04,3.601354e-04,3.599466e-04,3.554716e-04,3.509229e-04,3.508330e-04,3.464864e-04,3.421595e-04,3.339052e-04,3.260502e-04,3.185756e-04,3.114635e-04,3.046966e-04,2.982584e-04,2.921333e-04,2.863065e-04,2.807636e-04,2.754912e-04,2.704764e-04,2.657068e-04,2.611706e-04,2.568569e-04,2.527548e-04,2.488544e-04,2.451458e-04,2.416200e-04,2.382682e-04,2.350820e-04,2.320535e-04,2.291751e-04,2.264396e-04,2.238401e-04,2.213702e-04,2.190236e-04,2.167943e-04,2.146767e-04,2.126656e-04,2.107556e-04,2.089420e-04,2.072202e-04,2.055856e-04,2.040342e-04,2.025619e-04,2.011649e-04,1.998395e-04,1.985823e-04,1.973900e-04,1.962596e-04,1.951879e-04,1.941722e-04,1.932097e-04,1.922979e-04,1.914343e-04,1.906167e-04,1.898427e-04,1.891102e-04,1.884173e-04
0.000000e+00,2.843967e-08,7.272785e-07,7.648925e-07,6.462709e-06,2.954098e-05,3.118632e-05,9.854193e-05,2.128117e-04,2.216071e-04,3.855419e-04,5.505777e-04,5.650580e-04,7.440047e-04,8.989244e-04,9.156865e-04,1.077997e-03,1.212735e-03,1.230524e-03,1.373407e-03,1.488807e-03,1.506955e-03,1.631528e-03,1.729508e-03,1.747501e-03,1.855247e-03,1.937719e-03,1.955136e-03,2.047533e-03,2.116294e-03,2.132792e-03,2.211260e-03,2.267966e-03,2.283272e-03,2.349151e-03,2.395311e-03,2.409211e-03,2.463752e-03,2.500728e-03,2.513061e-03,2.557417e-03,2.586435e-03,2.597084e-03,2.632315e-03,2.654468e-03,2.663353e-03,2.690431e-03,2.706695e-03,2.713770e-03,2.733580e-03,2.744821e-03,2.750065e-03,2.763416e-03,2.770401e-03,2.773817e-03,2.781443e-03,2.784851e-03,2.786461e-03,2.789030e-03,2.789458e-03,2.789300e-03,2.787418e-03,2.785393e-03,2.783518e-03,2.777733e-03,2.773716e-03,2.770186e-03,2.760994e-03,2.755388e-03,2.750272e-03,2.738124e-03,2.731279e-03,2.724654e-03,2.709956e-03,2.702175e-03,2.694122e-03,2.677240e-03,2.668788e-03,2.659391e-03,2.640654e-03,2.631757e-03,2.621102e-03,2.600807e-03,2.591658e-03,2.579834e-03,2.558246e-03,2.549011e-03,2.536104e-03,2.513464e-03,2.504280e-03,2.490379e-03,2.466899e-03,2.457884e-03,2.443073e-03,2.418945e-03,2.410194e-03,2.394559e-03,2.369953e-03,2.361544e-03,2.345166e-03,2.320234e-03,2.312231e-03,2.295190e-03,2.270066e-03,2.262518e-03,2.244892e-03,2.219694e-03,2.212639e-03,2.194501e-03,2.169335e-03,2.162800e-03,2.144221e-03,2.119179e-03,2.113182e-03,2.094229e-03,2.069392e-03,2.063944e-03,2.044683e-03,2.020119e-03,2.015226e-03,1.995716e-03,1.971488e-03,1.967146e-03,1.947447e-03,1.923606e-03,1.919811e-03,1.899975e-03,1.876566e-03,1.873307e-03,1.853386e-03,1.830446e-03,1.827710e-03,1.807753e-03,1.785313e-03,1.783083e-03,1.763134e-03,1.741221e-03,1.739479e-03,1.719579e-03,1.698214e-03,1.696941e-03,1.677128e-03,1.656326e-03,1.655500e-03,1.635811e-03,1.615585e-03,1.615184e-03,1.595651e-03,1.576010e-03,1.537992e-03,1.501137e-03,1.465445e-03,1.430915e-03,1.397542e-03,1.365314e-03,1.334220e-03,1.304244e-03,1.275370e-03,1.247578e-03,1.220848e-03,1.195157e-03,1.170483e-03,1.146800e-03,1.124086e-03,1.102313e-03,1.081457e-03,1.061492e-03,1.042391e-03,1.024128e-03,1.006677e-03,9.900116e-04,9.741068e-04,9.589367e-04,9.444758e-04,9.306994e-04,9.175829e-04,9.051023e-04,8.932340e-04,8.819549e-04,8.712423e-04,8.610742e-04,8.514291e-04,8.422858e-04,8.336241e-04,8.254240e-04,8.176662e-04,8.103318e-04,8.034028e-04,7.968614e-04,7.906905e-04,7.848736e-04,7.793946e-04,7.742380e-04,7.693889e-04,7.648329e-04,7.605559e-04,7.565445e-04,7.527857e-04
0.000000e+00,1.861352e-08,6.956832e-07,7.364486e-07,8.051340e-06,4.284981e-05,4.546048e-05,1.588197e-04,3.717206e-04,3.891891e-04,7.471468e-04,1.176035e-03,1.217127e-03,1.770787e-03,2.314673e-03,2.376766e-03,3.006045e-03,3.559679e-03,3.634350e-03,4.242815e-03,4.739640e-03,4.817717e-03,5.349784e-03,5.759417e-03,5.833396e-03,6.265810e-03,6.581732e-03,6.646456e-03,6.976345e-03,7.205103e-03,7.257587e-03,7.493009e-03,7.646914e-03,7.685866e-03,7.839624e-03,7.932495e-03,7.957798e-03,8.043842e-03,8.088784e-03,8.101069e-03,8.132609e-03,8.141056e-03,8.141375e-03,8.130052e-03,8.111498e-03,8.101097e-03,8.056741e-03,8.018817e-03,7.998997e-03,7.929678e-03,7.878383e-03,7.850408e-03,7.762640e-03,7.702612e-03,7.667667e-03,7.566640e-03,7.501417e-03,7.460582e-03,7.350399e-03,7.282647e-03,7.236894e-03,7.120776e-03,7.052482e-03,7.002675e-03,6.883142e-03,6.815764e-03,6.762668e-03,6.641681e-03,6.576270e-03,6.520560e-03,6.399637e-03,6.336933e-03,6.279203e-03,6.159511e-03,6.100014e-03,6.040784e-03,5.923215e-03,5.867243e-03,5.806970e-03,5.692194e-03,5.639925e-03,5.579010e-03,5.467523e-03,5.419030e-03,5.357822e-03,5.249980e-03,5.205257e-03,5.144061e-03,5.040113e-03,4.999095e-03,4.938176e-03,4.838282e-03,4.800862e-03,4.740450e-03,4.644697e-03,4.610736e-03,4.551030e-03,4.459452e-03,4.428791e-03,4.369959e-03,4.282546e-03,4.255011e-03,4.197200e-03,4.113907e-03,4.089316e-03,4.032649e-03,3.953405e-03,3.931575e-03,3.876153e-03,3.800868e-03,3.781613e-03,3.727523e-03,3.656089e-03,3.639227e-03,3.586538e-03,3.518838e-03,3.504189e-03,3.452958e-03,3.388865e-03,3.376259e-03,3.326528e-03,3.265912e-03,3.255181e-03,3.206984e-03,3.149711e-03,3.140698e-03,3.094057e-03,3.039990e-03,3.032545e-03,2.987476e-03,2.936479e-03,2.930460e-03,2.886968e-03,2.838909e-03,2.834182e-03,2.792268e-03,2.747012e-03,2.743451e-03,2.703110e-03,2.660529e-03,2.658016e-03,2.619237e-03,2.579204e-03,2.577629e-03,2.540398e-03,2.502790e-03,2.502050e-03,2.466349e-03,2.431047e-03,2.364394e-03,2.301875e-03,2.243280e-03,2.188408e-03,2.137067e-03,2.089072e-03,2.044246e-03,2.002420e-03,1.963433e-03,1.927130e-03,1.893365e-03,1.861997e-03,1.832893e-03,1.805925e-03,1.780972e-03,1.757919e-03,1.736656e-03,1.717078e-03,1.699087e-03,1.682588e-03,1.667492e-03,1.653712e-03,1.641168e-03,1.629784e-03,1.619485e-03,1.610204e-03,1.601873e-03,1.594430e-03,1.587817e-03,1.581976e-03,1.576855e-03,1.572403e-03,1.568571e-03,1.565316e-03,1.562593e-03,1.560362e-03,1.558585e-03,1.557225e-03,1.556248e-03,1.555621e-03,1.555313e-03,1.555297e-03,1.555544e-03,1.556029e-03,1.556727e-03,1.557617e-03,1.558676e-03,1.559885e-03,1.561225e-03
0.000000e+00,3.952274e-09,6.816152e-08,7.131946e-08,4.402043e-07,1.373196e-06,1.425920e-06,3.002376e-06,4.662650e-06,4.767585e-06,6.450939e-06,7.869046e-06,7.986176e-06,9.368752e-06,1.048911e-05,1.060668e-05,1.171011e-05,1.257795e-05,1.268921e-05,1.355370e-05,1.421252e-05,1.431277e-05,1.497500e-05,1.546236e-05,1.554846e-05,1.604065e-05,1.638850e-05,1.645853e-05,1.680859e-05,1.704384e-05,1.709681e-05,1.732874e-05,1.747387e-05,1.750949e-05,1.764379e-05,1.771748e-05,1.773599e-05,1.779009e-05,1.780778e-05,1.780979e-05,1.779846e-05,1.777285e-05,1.775922e-05,1.769495e-05,1.763647e-05,1.760825e-05,1.750155e-05,1.741870e-05,1.737705e-05,1.723677e-05,1.713646e-05,1.708258e-05,1.691617e-05,1.680398e-05,1.673909e-05,1.655276e-05,1.643316e-05,1.635847e-05,1.615741e-05,1.603398e-05,1.595065e-05,1.573918e-05,1.561471e-05,1.552387e-05,1.530554e-05,1.518224e-05,1.508493e-05,1.486269e-05,1.474222e-05,1.463943e-05,1.441569e-05,1.429933e-05,1.419197e-05,1.396870e-05,1.385735e-05,1.374627e-05,1.352505e-05,1.341938e-05,1.330534e-05,1.308744e-05,1.298788e-05,1.287159e-05,1.265800e-05,1.256480e-05,1.244689e-05,1.223841e-05,1.215167e-05,1.203271e-05,1.182993e-05,1.174965e-05,1.163016e-05,1.143351e-05,1.135962e-05,1.124005e-05,1.104984e-05,1.098217e-05,1.086294e-05,1.067938e-05,1.061773e-05,1.049918e-05,1.032238e-05,1.026652e-05,1.014898e-05,9.978979e-06,9.928642e-06,9.812378e-06,9.649166e-06,9.604072e-06,9.489326e-06,9.332837e-06,9.292696e-06,9.179675e-06,9.029809e-06,8.994329e-06,8.883208e-06,8.739834e-06,8.708721e-06,8.599650e-06,8.462615e-06,8.435581e-06,8.328684e-06,8.197815e-06,8.174580e-06,8.069960e-06,7.945073e-06,7.925363e-06,7.823103e-06,7.704003e-06,7.687556e-06,7.587722e-06,7.474210e-06,7.460772e-06,7.363416e-06,7.255288e-06,7.244620e-06,7.149776e-06,7.046829e-06,7.038702e-06,6.946395e-06,6.848424e-06,6.842623e-06,6.752865e-06,6.659668e-06,6.655988e-06,6.568783e-06,6.480161e-06,6.478412e-06,6.393754e-06,6.309513e-06,6.148920e-06,5.996271e-06,5.851214e-06,5.713409e-06,5.582527e-06,5.458251e-06,5.340275e-06,5.228304e-06,5.122058e-06,5.021264e-06,4.925664e-06,4.835009e-06,4.749062e-06,4.667595e-06,4.590391e-06,4.517244e-06,4.447954e-06,4.382333e-06,4.320201e-06,4.261387e-06,4.205726e-06,4.153063e-06,4.103248e-06,4.056142e-06,4.011608e-06,3.969519e-06,3.929752e-06,3.892191e-06,3.856725e-06,3.823249e-06,3.791663e-06,3.761872e-06,3.733785e-06,3.707315e-06,3.682380e-06,3.658903e-06,3.636809e-06,3.616027e-06,3.596490e-06,3.578135e-06,3.560901e-06,3.544729e-06,3.529566e-06,3.515358e-06,3.502057e-06,3.489614e-06,3.477986e-06,3.467129e-06,3.457002e-06
0.000000e+00,3.771940e-08,1.352654e-06,1.430068e-06,1.503993e-05,8.333370e-05,8.871367e-05,3.506407e-04,9.605921e-04,1.016363e-03,2.320006e-03,4.238715e-03,4.441477e-03,7.486868e-03,1.105277e-02,1.149731e-02,1.646330e-02,2.158725e-02,2.233796e-02,2.904807e-02,3.541811e-02,3.650292e-02,4.460126e-02,5.182341e-02,5.323675e-02,6.230212e-02,6.998266e-02,7.169228e-02,8.130663e-02,8.909578e-02,9.105066e-02,1.008370e-01,1.084482e-01,1.105861e-01,1.202264e-01,1.274412e-01,1.296948e-01,1.389358e-01,1.455996e-01,1.479020e-01,1.565529e-01,1.625674e-01,1.648553e-01,1.727820e-01,1.780957e-01,1.803119e-01,1.874291e-01,1.920271e-01,1.941223e-01,2.003847e-01,2.042802e-01,2.062131e-01,2.116078e-01,2.148341e-01,2.165719e-01,2.211109e-01,2.237149e-01,2.252325e-01,2.289461e-01,2.309829e-01,2.322626e-01,2.351943e-01,2.367235e-01,2.377542e-01,2.399561e-01,2.410381e-01,2.418143e-01,2.433436e-01,2.440380e-01,2.445590e-01,2.454754e-01,2.458389e-01,2.461080e-01,2.464716e-01,2.465571e-01,2.465809e-01,2.464504e-01,2.463067e-01,2.460942e-01,2.455262e-01,2.451974e-01,2.447597e-01,2.438076e-01,2.433332e-01,2.426826e-01,2.413967e-01,2.408115e-01,2.399615e-01,2.383881e-01,2.377225e-01,2.366873e-01,2.348691e-01,2.341495e-01,2.329435e-01,2.309195e-01,2.301686e-01,2.288062e-01,2.266118e-01,2.258487e-01,2.243444e-01,2.220116e-01,2.212524e-01,2.196205e-01,2.171780e-01,2.164361e-01,2.146904e-01,2.121638e-01,2.114502e-01,2.096040e-01,2.070164e-01,2.063398e-01,2.044061e-01,2.017779e-01,2.011449e-01,1.991362e-01,1.964854e-01,1.959014e-01,1.938294e-01,1.911719e-01,1.906405e-01,1.885164e-01,1.858662e-01,1.853900e-01,1.832244e-01,1.805938e-01,1.801741e-01,1.779770e-01,1.753766e-01,1.750140e-01,1.727948e-01,1.702338e-01,1.699280e-01,1.676955e-01,1.651818e-01,1.649319e-01,1.626943e-01,1.602347e-01,1.600391e-01,1.578042e-01,1.554043e-01,1.552613e-01,1.530361e-01,1.507006e-01,1.506079e-01,1.483989e-01,1.461318e-01,1.460868e-01,1.439002e-01,1.417046e-01,1.374663e-01,1.333757e-01,1.294358e-01,1.256483e-01,1.220143e-01,1.185340e-01,1.152070e-01,1.120321e-01,1.090080e-01,1.061324e-01,1.034031e-01,1.008172e-01,9.837165e-02,9.606304e-02,9.388779e-02,9.184214e-02,8.992214e-02,8.812373e-02,8.644273e-02,8.487488e-02,8.341588e-02,8.206137e-02,8.080697e-02,7.964833e-02,7.858106e-02,7.760083e-02,7.670334e-02,7.588433e-02,7.513962e-02,7.446508e-02,7.385667e-02,7.331043e-02,7.282251e-02,7.238912e-02,7.200663e-02,7.167147e-02,7.138022e-02,7.112956e-02,7.091630e-02,7.073737e-02,7.058984e-02,7.047087e-02,7.037779e-02,7.030805e-02,7.025920e-02,7.022894e-02,7.021511e-02,7.021565e-02,7.022863e-02
0.000000e+00,8.497186e-10,1.520149e-08,1.592068e-08,1.001036e-07,2.937570e-07,3.037234e-07,5.671651e-07,8.100580e-07,8.250162e-07,1.063641e-06,1.265559e-06,1.282344e-06,1.482154e-06,1.646840e-06,1.664294e-06,1.829978e-06,1.963094e-06,1.980371e-06,2.116581e-06,2.223182e-06,2.239660e-06,2.350593e-06,2.435069e-06,2.450305e-06,2.539659e-06,2.605764e-06,2.619456e-06,2.690443e-06,2.741355e-06,2.753310e-06,2.808698e-06,2.847092e-06,2.857200e-06,2.899365e-06,2.927487e-06,2.935702e-06,2.966679e-06,2.986408e-06,2.992731e-06,3.014259e-06,3.027167e-06,3.031634e-06,3.045198e-06,3.052596e-06,3.055268e-06,3.062136e-06,3.065116e-06,3.066072e-06,3.067324e-06,3.066793e-06,3.066123e-06,3.062681e-06,3.059393e-06,3.057193e-06,3.049841e-06,3.044420e-06,3.040791e-06,3.030198e-06,3.023160e-06,3.018202e-06,3.004934e-06,2.996705e-06,2.990516e-06,2.975059e-06,2.965987e-06,2.958664e-06,2.941428e-06,2.931800e-06,2.923436e-06,2.904769e-06,2.894820e-06,2.885501e-06,2.865700e-06,2.855620e-06,2.845429e-06,2.824746e-06,2.814687e-06,2.803703e-06,2.782349e-06,2.772435e-06,2.760730e-06,2.738887e-06,2.729214e-06,2.716857e-06,2.694676e-06,2.685323e-06,2.672376e-06,2.649986e-06,2.641011e-06,2.627534e-06,2.605043e-06,2.596492e-06,2.582537e-06,2.560037e-06,2.551942e-06,2.537561e-06,2.515127e-06,2.507512e-06,2.492751e-06,2.470447e-06,2.463327e-06,2.448229e-06,2.426108e-06,2.419493e-06,2.404096e-06,2.382203e-06,2.376095e-06,2.360437e-06,2.338808e-06,2.333207e-06,2.317321e-06,2.295984e-06,2.290886e-06,2.274802e-06,2.253782e-06,2.249180e-06,2.232928e-06,2.212244e-06,2.208128e-06,2.191734e-06,2.171401e-06,2.167760e-06,2.151248e-06,2.131278e-06,2.128100e-06,2.111493e-06,2.091895e-06,2.089166e-06,2.072485e-06,2.053265e-06,2.050971e-06,2.034235e-06,2.015397e-06,2.013524e-06,1.996751e-06,1.978298e-06,1.976830e-06,1.960037e-06,1.941969e-06,1.940891e-06,1.924094e-06,1.906411e-06,1.905708e-06,1.888920e-06,1.871622e-06,1.871277e-06,1.854514e-06,1.837596e-06,1.804658e-06,1.772457e-06,1.740984e-06,1.710231e-06,1.680189e-06,1.650848e-06,1.622197e-06,1.594225e-06,1.566921e-06,1.540275e-06,1.514274e-06,1.488908e-06,1.464164e-06,1.440031e-06,1.416498e-06,1.393553e-06,1.371185e-06,1.349382e-06,1.328133e-06,1.307427e-06,1.287253e-06,1.267601e-06,1.248458e-06,1.229816e-06,1.211664e-06,1.193990e-06,1.176786e-06,1.160042e-06,1.143746e-06,1.127891e-06,1.112466e-06,1.097463e-06,1.082872e-06,1.068684e-06,1.054891e-06,1.041483e-06,1.028453e-06,1.015792e-06,1.003492e-06,9.915453e-07,9.799435e-07,9.686791e-07,9.577446e-07,9.471327e-07,9.368360e-07,9.268474e-07,9.171599e-07,9.077667e-07,8.986611e-07
0.000000e+00,1.504680e-08,2.669022e-07,2.797078e-07,1.915962e-06,6.471990e-06,6.733457e-06,1.435506e-05,2.199786e-05,2.247540e-05,3.013565e-05,3.664758e-05,3.718947e-05,4.364397e-05,4.896679e-05,4.953095e-05,5.488536e-05,5.918396e-05,5.974149e-05,6.413225e-05,6.756015e-05,6.808912e-05,7.164209e-05,7.433532e-05,7.481963e-05,7.764867e-05,7.972629e-05,8.015461e-05,8.236133e-05,8.392636e-05,8.429122e-05,8.596524e-05,8.710600e-05,8.740298e-05,8.862273e-05,8.941449e-05,8.964156e-05,9.047534e-05,9.098191e-05,9.113881e-05,9.164572e-05,9.192097e-05,9.200886e-05,9.224014e-05,9.232950e-05,9.235057e-05,9.235045e-05,9.229211e-05,9.224930e-05,9.205598e-05,9.188191e-05,9.177870e-05,9.142507e-05,9.116197e-05,9.100217e-05,9.051656e-05,9.018669e-05,8.997433e-05,8.938108e-05,8.900280e-05,8.874198e-05,8.806184e-05,8.765032e-05,8.734511e-05,8.659588e-05,8.616355e-05,8.581796e-05,8.501485e-05,8.457184e-05,8.418978e-05,8.334573e-05,8.290025e-05,8.248546e-05,8.161152e-05,8.117015e-05,8.072622e-05,7.983173e-05,7.939969e-05,7.893002e-05,7.802290e-05,7.760427e-05,7.711204e-05,7.619896e-05,7.579688e-05,7.528508e-05,7.437166e-05,7.398845e-05,7.345988e-05,7.255081e-05,7.218815e-05,7.164541e-05,7.074457e-05,7.040362e-05,6.984911e-05,6.895973e-05,6.864118e-05,6.807711e-05,6.720182e-05,6.690599e-05,6.633441e-05,6.547536e-05,6.520229e-05,6.462507e-05,6.378395e-05,6.353345e-05,6.295231e-05,6.213046e-05,6.190213e-05,6.131865e-05,6.051710e-05,6.031040e-05,5.972601e-05,5.894552e-05,5.875980e-05,5.817578e-05,5.741690e-05,5.725142e-05,5.666896e-05,5.593203e-05,5.578597e-05,5.520615e-05,5.449135e-05,5.436387e-05,5.378764e-05,5.309503e-05,5.298523e-05,5.241348e-05,5.174297e-05,5.164998e-05,5.108347e-05,5.043492e-05,5.035783e-05,4.979726e-05,4.917043e-05,4.910834e-05,4.855434e-05,4.794891e-05,4.790094e-05,4.735406e-05,4.676969e-05,4.673496e-05,4.619569e-05,4.563197e-05,4.560963e-05,4.507841e-05,4.453491e-05,4.452414e-05,4.400134e-05,4.347759e-05,4.246907e-05,4.149763e-05,4.056228e-05,3.966205e-05,3.879593e-05,3.796294e-05,3.716208e-05,3.639238e-05,3.565285e-05,3.494255e-05,3.426052e-05,3.360584e-05,3.297760e-05,3.237492e-05,3.179694e-05,3.124280e-05,3.071168e-05,3.020279e-05,2.971534e-05,2.924857e-05,2.880176e-05,2.837418e-05,2.796515e-05,2.757400e-05,2.720007e-05,2.684273e-05,2.650138e-05,2.617543e-05,2.586430e-05,2.556745e-05,2.528434e-05,2.501445e-05,2.475728e-05,2.451235e-05,2.427920e-05,2.405737e-05,2.384643e-05,2.364596e-05,2.345555e-05,2.327481e-05,2.310336e-05,2.294083e-05,2.278688e-05,2.264115e-05,2.250333e-05,2.237309e-05,2.225012e-05,2.213414e-05,2.202485e-05
0.000000e+00,1.244046e-08,4.350298e-07,4.599843e-07,4.875815e-06,2.641757e-05,2.806939e-05,1.028758e-04,2.516297e-04,2.640707e-04,5.218612e-04,8.317265e-04,8.612926e-04,1.256170e-03,1.636655e-03,1.679592e-03,2.108879e-03,2.477848e-03,2.527002e-03,2.922282e-03,3.238324e-03,3.287462e-03,3.618645e-03,3.869431e-03,3.914352e-03,4.174758e-03,4.362806e-03,4.401117e-03,4.595337e-03,4.729092e-03,4.759688e-03,4.896598e-03,4.985915e-03,5.008517e-03,5.097834e-03,5.152003e-03,5.166822e-03,5.217611e-03,5.244641e-03,5.252169e-03,5.272302e-03,5.278796e-03,5.279656e-03,5.275725e-03,5.266985e-03,5.261856e-03,5.239264e-03,5.219480e-03,5.209039e-03,5.172162e-03,5.144608e-03,5.129508e-03,5.081861e-03,5.049075e-03,5.029924e-03,4.974322e-03,4.938256e-03,4.915615e-03,4.854301e-03,4.816448e-03,4.790825e-03,4.725583e-03,4.687074e-03,4.658928e-03,4.591176e-03,4.552861e-03,4.522605e-03,4.453464e-03,4.415970e-03,4.383974e-03,4.314328e-03,4.278110e-03,4.244701e-03,4.175245e-03,4.140624e-03,4.106095e-03,4.037370e-03,4.004564e-03,3.969174e-03,3.901599e-03,3.870744e-03,3.834723e-03,3.768615e-03,3.739787e-03,3.703337e-03,3.638937e-03,3.612163e-03,3.575462e-03,3.512946e-03,3.488216e-03,3.451422e-03,3.390914e-03,3.368192e-03,3.331443e-03,3.273025e-03,3.252255e-03,3.215672e-03,3.159394e-03,3.140505e-03,3.104195e-03,3.050078e-03,3.032990e-03,2.997044e-03,2.945092e-03,2.929716e-03,2.894216e-03,2.844412e-03,2.830658e-03,2.795673e-03,2.747990e-03,2.735764e-03,2.701354e-03,2.655753e-03,2.644962e-03,2.611177e-03,2.567614e-03,2.558165e-03,2.525050e-03,2.483471e-03,2.475273e-03,2.442865e-03,2.403215e-03,2.396179e-03,2.364508e-03,2.326729e-03,2.320769e-03,2.289862e-03,2.253891e-03,2.248926e-03,2.218802e-03,2.184579e-03,2.180529e-03,2.151205e-03,2.118666e-03,2.115458e-03,2.086946e-03,2.056029e-03,2.053589e-03,2.025899e-03,1.996541e-03,1.994804e-03,1.967941e-03,1.940082e-03,1.938983e-03,1.912950e-03,1.886530e-03,1.886008e-03,1.860806e-03,1.835766e-03,1.788143e-03,1.743030e-03,1.700323e-03,1.659917e-03,1.621713e-03,1.585614e-03,1.551529e-03,1.519366e-03,1.489039e-03,1.460466e-03,1.433565e-03,1.408260e-03,1.384476e-03,1.362143e-03,1.341191e-03,1.321555e-03,1.303172e-03,1.285980e-03,1.269923e-03,1.254944e-03,1.240989e-03,1.228008e-03,1.215951e-03,1.204771e-03,1.194423e-03,1.184863e-03,1.176050e-03,1.167944e-03,1.160508e-03,1.153704e-03,1.147499e-03,1.141857e-03,1.136749e-03,1.132142e-03,1.128008e-03,1.124318e-03,1.121047e-03,1.118167e-03,1.115656e-03,1.113490e-03,1.111646e-03,1.110104e-03,1.108842e-03,1.107842e-03,1.107086e-03,1.106555e-03,1.106233e-03,1.106105e-03,1.106155e-03
0.000000e+00,1.750400e-08,5.916777e-07,6.250023e-07,6.134293e-06,2.980462e-05,3.151696e-05,1.030433e-04,2.307171e-04,2.409160e-04,4.417284e-04,6.640655e-04,6.844428e-04,9.453260e-04,1.180160e-03,1.205798e-03,1.453823e-03,1.656371e-03,1.682699e-03,1.889388e-03,2.048772e-03,2.073124e-03,2.234447e-03,2.353520e-03,2.374578e-03,2.495053e-03,2.580329e-03,2.597517e-03,2.683611e-03,2.741759e-03,2.754906e-03,2.812876e-03,2.849722e-03,2.858882e-03,2.894174e-03,2.914536e-03,2.919892e-03,2.937069e-03,2.944838e-03,2.946645e-03,2.949468e-03,2.947753e-03,2.946306e-03,2.937851e-03,2.929120e-03,2.924728e-03,2.907501e-03,2.893704e-03,2.886678e-03,2.862715e-03,2.845382e-03,2.836026e-03,2.806979e-03,2.787309e-03,2.775910e-03,2.743117e-03,2.722039e-03,2.708870e-03,2.673409e-03,2.651641e-03,2.636952e-03,2.599692e-03,2.577783e-03,2.561803e-03,2.523441e-03,2.501804e-03,2.484745e-03,2.445838e-03,2.424779e-03,2.406830e-03,2.367819e-03,2.347562e-03,2.328893e-03,2.290128e-03,2.270827e-03,2.251592e-03,2.213345e-03,2.195105e-03,2.175440e-03,2.137922e-03,2.120805e-03,2.100832e-03,2.064203e-03,2.048241e-03,2.028066e-03,1.992447e-03,1.977646e-03,1.957366e-03,1.922841e-03,1.909191e-03,1.888888e-03,1.855518e-03,1.842993e-03,1.822741e-03,1.790564e-03,1.779128e-03,1.758991e-03,1.728027e-03,1.717638e-03,1.697673e-03,1.667928e-03,1.658539e-03,1.638793e-03,1.610265e-03,1.601824e-03,1.582340e-03,1.555014e-03,1.547470e-03,1.528283e-03,1.502141e-03,1.495440e-03,1.476582e-03,1.451598e-03,1.445687e-03,1.427183e-03,1.403330e-03,1.398157e-03,1.380030e-03,1.357276e-03,1.352790e-03,1.335058e-03,1.313369e-03,1.309520e-03,1.292199e-03,1.271540e-03,1.268282e-03,1.251383e-03,1.231719e-03,1.229004e-03,1.212538e-03,1.193832e-03,1.191619e-03,1.175592e-03,1.157809e-03,1.156055e-03,1.140473e-03,1.123576e-03,1.122243e-03,1.107109e-03,1.091064e-03,1.090114e-03,1.075431e-03,1.060202e-03,1.059601e-03,1.045368e-03,1.030922e-03,1.030637e-03,1.016854e-03,1.003157e-03,9.770985e-04,9.524008e-04,9.290045e-04,9.068525e-04,8.858897e-04,8.660628e-04,8.473206e-04,8.296140e-04,8.128955e-04,7.971196e-04,7.822428e-04,7.682232e-04,7.550205e-04,7.425962e-04,7.309135e-04,7.199370e-04,7.096328e-04,6.999685e-04,6.909131e-04,6.824368e-04,6.745111e-04,6.671090e-04,6.602043e-04,6.537722e-04,6.477888e-04,6.422313e-04,6.370780e-04,6.323080e-04,6.279014e-04,6.238392e-04,6.201031e-04,6.166758e-04,6.135406e-04,6.106816e-04,6.080837e-04,6.057324e-04,6.036138e-04,6.017146e-04,6.000223e-04,5.985249e-04,5.972107e-04,5.960688e-04,5.950888e-04,5.942607e-04,5.935749e-04,5.930223e-04,5.925944e-04,5.922828e-04,5.920798e-04
0.000000e+00,3.299419e-09,5.775141e-08,6.046447e-08,3.779058e-07,1.106810e-06,1.144093e-06,2.127623e-06,3.043138e-06,3.099970e-06,4.014528e-06,4.800807e-06,4.866712e-06,5.658004e-06,6.320088e-06,6.390809e-06,7.067683e-06,7.619133e-06,7.691230e-06,8.264078e-06,8.718187e-06,8.788861e-06,9.268191e-06,9.637579e-06,9.704631e-06,1.010068e-05,1.039699e-05,1.045874e-05,1.078113e-05,1.101486e-05,1.107007e-05,1.132766e-05,1.150811e-05,1.155591e-05,1.175671e-05,1.189208e-05,1.193187e-05,1.208309e-05,1.218053e-05,1.221198e-05,1.232006e-05,1.238579e-05,1.240875e-05,1.247942e-05,1.251884e-05,1.253332e-05,1.257167e-05,1.258944e-05,1.259559e-05,1.260614e-05,1.260627e-05,1.260432e-05,1.259107e-05,1.257700e-05,1.256726e-05,1.253374e-05,1.250842e-05,1.249128e-05,1.244060e-05,1.240654e-05,1.238240e-05,1.231731e-05,1.227664e-05,1.224594e-05,1.216885e-05,1.212338e-05,1.208657e-05,1.199960e-05,1.195085e-05,1.190840e-05,1.181340e-05,1.176263e-05,1.171500e-05,1.161359e-05,1.156186e-05,1.150951e-05,1.140310e-05,1.135129e-05,1.129467e-05,1.118450e-05,1.113331e-05,1.107285e-05,1.095998e-05,1.090999e-05,1.084612e-05,1.073148e-05,1.068315e-05,1.061626e-05,1.050065e-05,1.045433e-05,1.038481e-05,1.026892e-05,1.022489e-05,1.015311e-05,1.003751e-05,9.995979e-06,9.922267e-06,9.807481e-06,9.768578e-06,9.693262e-06,9.579707e-06,9.543525e-06,9.466906e-06,9.354940e-06,9.321524e-06,9.243883e-06,9.133804e-06,9.103166e-06,9.024764e-06,8.916820e-06,8.888940e-06,8.810020e-06,8.704411e-06,8.679247e-06,8.600033e-06,8.496921e-06,8.474409e-06,8.395107e-06,8.294620e-06,8.274683e-06,8.195482e-06,8.097716e-06,8.080265e-06,8.001338e-06,7.906363e-06,7.891298e-06,7.812804e-06,7.720669e-06,7.707884e-06,7.629965e-06,7.540698e-06,7.530083e-06,7.452871e-06,7.366483e-06,7.357923e-06,7.281534e-06,7.198023e-06,7.191404e-06,7.115944e-06,7.035293e-06,7.030499e-06,6.956063e-06,6.878246e-06,6.875163e-06,6.801834e-06,6.726817e-06,6.725331e-06,6.653184e-06,6.580923e-06,6.441849e-06,6.308006e-06,6.179284e-06,6.055565e-06,5.936727e-06,5.822644e-06,5.713187e-06,5.608224e-06,5.507623e-06,5.411252e-06,5.318976e-06,5.230666e-06,5.146190e-06,5.065420e-06,4.988227e-06,4.914488e-06,4.844080e-06,4.776881e-06,4.712776e-06,4.651649e-06,4.593389e-06,4.537887e-06,4.485037e-06,4.434736e-06,4.386885e-06,4.341386e-06,4.298145e-06,4.257073e-06,4.218079e-06,4.181081e-06,4.145994e-06,4.112741e-06,4.081242e-06,4.051426e-06,4.023219e-06,3.996552e-06,3.971360e-06,3.947577e-06,3.925143e-06,3.903996e-06,3.884081e-06,3.865340e-06,3.847722e-06,3.831175e-06,3.815649e-06,3.801097e-06,3.787474e-06,3.774736e-06,3.762841e-06
0.000000e+00,3.575064e-10,5.781531e-09,6.055990e-09,4.139323e-08,1.412718e-07,1.470109e-07,3.134783e-07,4.793745e-07,4.897073e-07,6.546138e-07,7.931348e-07,8.045776e-07,9.397346e-07,1.049434e-06,1.060957e-06,1.169235e-06,1.254581e-06,1.265535e-06,1.350778e-06,1.415903e-06,1.425827e-06,1.491496e-06,1.539967e-06,1.548546e-06,1.597691e-06,1.632560e-06,1.639597e-06,1.674885e-06,1.698738e-06,1.704130e-06,1.727867e-06,1.742880e-06,1.746594e-06,1.760767e-06,1.768754e-06,1.770809e-06,1.777112e-06,1.779581e-06,1.780035e-06,1.779909e-06,1.778103e-06,1.777039e-06,1.771705e-06,1.766644e-06,1.764165e-06,1.754653e-06,1.747170e-06,1.743386e-06,1.730562e-06,1.721335e-06,1.716364e-06,1.700956e-06,1.690531e-06,1.684491e-06,1.667107e-06,1.655924e-06,1.648932e-06,1.630080e-06,1.618488e-06,1.610656e-06,1.590757e-06,1.579032e-06,1.570469e-06,1.549871e-06,1.538228e-06,1.529036e-06,1.508027e-06,1.496631e-06,1.486904e-06,1.465719e-06,1.454695e-06,1.444521e-06,1.423351e-06,1.412790e-06,1.402250e-06,1.381250e-06,1.371216e-06,1.360384e-06,1.339678e-06,1.330213e-06,1.319156e-06,1.298840e-06,1.289972e-06,1.278750e-06,1.258900e-06,1.250639e-06,1.239307e-06,1.219981e-06,1.212328e-06,1.200934e-06,1.182174e-06,1.175123e-06,1.163710e-06,1.145546e-06,1.139082e-06,1.127689e-06,1.110141e-06,1.104245e-06,1.092905e-06,1.075984e-06,1.070635e-06,1.059378e-06,1.043087e-06,1.038261e-06,1.027111e-06,1.011450e-06,1.007121e-06,9.961012e-07,9.810631e-07,9.772038e-07,9.663333e-07,9.519089e-07,9.484922e-07,9.377869e-07,9.239639e-07,9.209625e-07,9.104361e-07,8.971998e-07,8.945871e-07,8.842508e-07,8.715849e-07,8.693348e-07,8.591979e-07,8.470851e-07,8.451722e-07,8.352420e-07,8.236641e-07,8.220640e-07,8.123465e-07,8.012846e-07,7.999741e-07,7.904735e-07,7.799085e-07,7.788654e-07,7.695849e-07,7.594977e-07,7.587008e-07,7.496424e-07,7.400140e-07,7.394434e-07,7.306080e-07,7.214195e-07,7.210565e-07,7.124441e-07,7.036772e-07,7.035039e-07,6.951141e-07,6.867504e-07,6.707615e-07,6.555038e-07,6.409446e-07,6.270526e-07,6.137976e-07,6.011503e-07,5.890828e-07,5.775681e-07,5.665804e-07,5.560950e-07,5.460883e-07,5.365377e-07,5.274215e-07,5.187192e-07,5.104110e-07,5.024783e-07,4.949031e-07,4.876684e-07,4.807579e-07,4.741562e-07,4.678485e-07,4.618209e-07,4.560600e-07,4.505531e-07,4.452880e-07,4.402534e-07,4.354382e-07,4.308321e-07,4.264251e-07,4.222079e-07,4.181715e-07,4.143073e-07,4.106073e-07,4.070637e-07,4.036692e-07,4.004169e-07,3.973000e-07,3.943124e-07,3.914479e-07,3.887009e-07,3.860660e-07,3.835379e-07,3.811117e-07,3.787828e-07,3.765468e-07,3.743992e-07,3.723363e-07,3.703540e-07,3.684487e-07
0.000000e+00,1.086039e-09,1.912814e-08,2.003476e-08,1.288323e-07,3.934329e-07,4.074702e-07,7.892062e-07,1.153138e-06,1.175794e-06,1.540184e-06,1.852439e-06,1.878549e-06,2.191187e-06,2.451427e-06,2.479146e-06,2.743606e-06,2.957841e-06,2.985761e-06,3.206787e-06,3.380856e-06,3.407844e-06,3.590064e-06,3.729376e-06,3.754546e-06,3.902352e-06,4.011827e-06,4.034504e-06,4.151984e-06,4.236035e-06,4.255728e-06,4.346627e-06,4.409159e-06,4.425529e-06,4.493234e-06,4.537671e-06,4.550502e-06,4.598050e-06,4.627379e-06,4.636557e-06,4.666661e-06,4.683473e-06,4.688966e-06,4.704039e-06,4.710576e-06,4.712417e-06,4.714602e-06,4.712793e-06,4.711068e-06,4.702262e-06,4.693766e-06,4.688602e-06,4.670483e-06,4.656717e-06,4.648272e-06,4.622318e-06,4.604491e-06,4.592947e-06,4.560462e-06,4.539597e-06,4.525151e-06,4.487281e-06,4.464244e-06,4.447103e-06,4.404853e-06,4.380370e-06,4.360750e-06,4.314999e-06,4.289676e-06,4.267792e-06,4.219308e-06,4.193648e-06,4.169715e-06,4.119167e-06,4.093581e-06,4.067810e-06,4.015779e-06,3.990602e-06,3.963200e-06,3.910189e-06,3.885689e-06,3.856854e-06,3.803297e-06,3.779685e-06,3.749609e-06,3.695877e-06,3.673316e-06,3.642181e-06,3.588593e-06,3.567204e-06,3.535182e-06,3.482009e-06,3.461877e-06,3.429131e-06,3.376601e-06,3.357785e-06,3.324467e-06,3.272771e-06,3.255301e-06,3.221554e-06,3.170851e-06,3.154740e-06,3.120695e-06,3.071115e-06,3.056358e-06,3.022138e-06,2.973786e-06,2.960363e-06,2.926081e-06,2.879040e-06,2.866921e-06,2.832680e-06,2.787015e-06,2.776160e-06,2.742055e-06,2.697812e-06,2.688176e-06,2.654293e-06,2.611506e-06,2.603036e-06,2.569454e-06,2.528142e-06,2.520785e-06,2.487572e-06,2.447746e-06,2.441443e-06,2.408663e-06,2.370323e-06,2.365015e-06,2.332724e-06,2.295863e-06,2.291489e-06,2.259737e-06,2.224342e-06,2.220842e-06,2.189672e-06,2.155722e-06,2.153037e-06,2.122486e-06,2.089958e-06,2.088029e-06,2.058130e-06,2.026996e-06,2.025765e-06,1.996547e-06,1.966775e-06,1.966187e-06,1.937672e-06,1.909230e-06,1.854826e-06,1.802904e-06,1.753390e-06,1.706209e-06,1.661286e-06,1.618542e-06,1.577902e-06,1.539290e-06,1.502630e-06,1.467847e-06,1.434868e-06,1.403621e-06,1.374036e-06,1.346044e-06,1.319578e-06,1.294573e-06,1.270966e-06,1.248695e-06,1.227700e-06,1.207926e-06,1.189316e-06,1.171817e-06,1.155377e-06,1.139947e-06,1.125479e-06,1.111926e-06,1.099246e-06,1.087396e-06,1.076334e-06,1.066022e-06,1.056423e-06,1.047500e-06,1.039220e-06,1.031550e-06,1.024457e-06,1.017912e-06,1.011887e-06,1.006353e-06,1.001285e-06,9.966566e-07,9.924447e-07,9.886262e-07,9.851792e-07,9.820827e-07,9.793169e-07,9.768628e-07,9.747022e-07,9.728179e-07,9.711935e-07
0.000000e+00,2.740936e-10,3.637200e-09,3.794143e-09,2.183884e-08,6.919058e-08,7.195928e-08,1.599014e-07,2.628900e-07,2.696700e-07,3.810411e-07,4.773894e-07,4.854256e-07,5.811454e-07,6.599510e-07,6.682918e-07,7.473122e-07,8.105321e-07,8.187152e-07,8.830063e-07,9.329808e-07,9.406729e-07,9.921799e-07,1.031009e-06,1.037968e-06,1.078452e-06,1.107968e-06,1.114025e-06,1.145054e-06,1.166838e-06,1.171884e-06,1.194836e-06,1.210242e-06,1.214212e-06,1.230293e-06,1.240473e-06,1.243342e-06,1.253602e-06,1.259535e-06,1.261302e-06,1.266654e-06,1.269164e-06,1.269854e-06,1.271086e-06,1.270870e-06,1.270522e-06,1.268319e-06,1.265961e-06,1.264626e-06,1.259580e-06,1.255571e-06,1.253308e-06,1.245929e-06,1.240676e-06,1.237551e-06,1.228276e-06,1.222117e-06,1.218198e-06,1.207403e-06,1.200616e-06,1.195972e-06,1.183980e-06,1.176794e-06,1.171494e-06,1.158579e-06,1.151181e-06,1.145293e-06,1.131689e-06,1.124229e-06,1.117819e-06,1.103726e-06,1.096324e-06,1.089453e-06,1.075039e-06,1.067790e-06,1.060518e-06,1.045924e-06,1.038901e-06,1.031285e-06,1.016630e-06,1.009890e-06,1.001983e-06,9.873662e-07,9.809500e-07,9.728007e-07,9.583050e-07,9.522417e-07,9.438959e-07,9.295888e-07,9.238977e-07,9.153975e-07,9.013343e-07,8.960262e-07,8.874103e-07,8.736355e-07,8.687147e-07,8.600185e-07,8.465671e-07,8.420326e-07,8.332882e-07,8.201876e-07,8.160339e-07,8.072704e-07,7.945411e-07,7.907595e-07,7.820033e-07,7.696601e-07,7.662393e-07,7.575141e-07,7.455671e-07,7.424937e-07,7.338206e-07,7.222758e-07,7.195351e-07,7.109330e-07,6.997928e-07,6.973691e-07,6.888548e-07,6.781187e-07,6.759957e-07,6.675839e-07,6.572493e-07,6.554103e-07,6.471139e-07,6.371761e-07,6.356043e-07,6.274344e-07,6.178871e-07,6.165658e-07,6.085322e-07,5.993677e-07,5.982806e-07,5.903914e-07,5.816012e-07,5.807323e-07,5.729945e-07,5.645690e-07,5.639027e-07,5.563221e-07,5.482513e-07,5.477726e-07,5.403539e-07,5.326273e-07,5.323218e-07,5.250688e-07,5.176755e-07,5.175293e-07,5.104449e-07,5.033740e-07,4.898344e-07,4.768888e-07,4.645157e-07,4.526940e-07,4.414026e-07,4.306208e-07,4.203286e-07,4.105060e-07,4.011340e-07,3.921938e-07,3.836673e-07,3.755369e-07,3.677858e-07,3.603975e-07,3.533563e-07,3.466469e-07,3.402547e-07,3.341656e-07,3.283661e-07,3.228432e-07,3.175845e-07,3.125781e-07,3.078125e-07,3.032767e-07,2.989602e-07,2.948531e-07,2.909457e-07,2.872288e-07,2.836936e-07,2.803318e-07,2.771354e-07,2.740966e-07,2.712081e-07,2.684631e-07,2.658546e-07,2.633765e-07,2.610227e-07,2.587872e-07,2.566647e-07,2.546497e-07,2.527372e-07,2.509225e-07,2.492010e-07,2.475683e-07,2.460201e-07,2.445526e-07,2.431619e-07,2.418443e-07,2.405964e-07
0.000000e+00,5.348138e-10,8.140797e-09,8.512955e-09,5.348072e-08,1.733139e-07,1.801826e-07,3.848932e-07,5.971522e-07,6.104990e-07,8.242952e-07,1.004456e-06,1.019351e-06,1.195419e-06,1.338505e-06,1.353546e-06,1.494996e-06,1.606673e-06,1.621023e-06,1.732827e-06,1.818468e-06,1.831541e-06,1.918229e-06,1.982482e-06,1.993884e-06,2.059431e-06,2.106239e-06,2.115726e-06,2.163565e-06,2.196243e-06,2.203682e-06,2.236756e-06,2.258070e-06,2.263415e-06,2.284236e-06,2.296480e-06,2.299746e-06,2.310444e-06,2.315530e-06,2.316783e-06,2.319179e-06,2.318676e-06,2.318011e-06,2.313629e-06,2.308824e-06,2.306357e-06,2.296488e-06,2.288433e-06,2.284294e-06,2.270023e-06,2.259578e-06,2.253903e-06,2.236141e-06,2.224002e-06,2.216930e-06,2.196443e-06,2.183172e-06,2.174841e-06,2.152268e-06,2.138316e-06,2.128860e-06,2.104737e-06,2.090462e-06,2.080010e-06,2.054780e-06,2.040467e-06,2.029141e-06,2.003175e-06,1.989044e-06,1.976958e-06,1.950561e-06,1.936784e-06,1.924046e-06,1.897468e-06,1.884173e-06,1.870881e-06,1.844330e-06,1.831611e-06,1.817857e-06,1.791500e-06,1.779423e-06,1.765291e-06,1.739263e-06,1.727874e-06,1.713440e-06,1.687848e-06,1.677174e-06,1.662508e-06,1.637438e-06,1.627490e-06,1.612655e-06,1.588174e-06,1.578953e-06,1.564007e-06,1.540164e-06,1.531662e-06,1.516655e-06,1.493488e-06,1.485690e-06,1.470669e-06,1.448204e-06,1.441090e-06,1.426096e-06,1.404349e-06,1.397896e-06,1.382965e-06,1.361946e-06,1.356126e-06,1.341292e-06,1.321003e-06,1.315787e-06,1.301079e-06,1.281518e-06,1.276878e-06,1.262320e-06,1.243482e-06,1.239386e-06,1.225002e-06,1.206876e-06,1.203293e-06,1.189102e-06,1.171677e-06,1.168578e-06,1.154597e-06,1.137858e-06,1.135211e-06,1.121456e-06,1.105387e-06,1.103163e-06,1.089646e-06,1.074230e-06,1.072402e-06,1.059133e-06,1.044352e-06,1.042891e-06,1.029881e-06,1.015715e-06,1.014595e-06,1.001851e-06,9.882825e-07,9.874777e-07,9.750053e-07,9.620145e-07,9.615008e-07,9.493053e-07,9.368730e-07,9.366271e-07,9.247125e-07,9.128192e-07,8.900401e-07,8.682530e-07,8.474220e-07,8.275117e-07,8.084876e-07,7.903160e-07,7.729641e-07,7.564001e-07,7.405930e-07,7.255129e-07,7.111308e-07,6.974188e-07,6.843496e-07,6.718971e-07,6.600362e-07,6.487425e-07,6.379926e-07,6.277640e-07,6.180348e-07,6.087841e-07,5.999919e-07,5.916389e-07,5.837062e-07,5.761762e-07,5.690315e-07,5.622557e-07,5.558328e-07,5.497476e-07,5.439854e-07,5.385321e-07,5.333742e-07,5.284988e-07,5.238933e-07,5.195457e-07,5.154446e-07,5.115789e-07,5.079381e-07,5.045119e-07,5.012906e-07,4.982648e-07,4.954256e-07,4.927643e-07,4.902726e-07,4.879426e-07,4.857667e-07,4.837376e-07,4.818482e-07,4.800919e-07,4.784623e-07
0.000000e+00,1.005616e-08,1.453890e-07,1.518407e-07,9.237646e-07,3.047376e-06,3.173014e-06,7.117241e-06,1.146473e-05,1.173981e-05,1.608784e-05,1.960513e-05,1.988830e-05,2.313616e-05,2.562948e-05,2.588335e-05,2.818834e-05,2.989465e-05,3.010600e-05,3.168544e-05,3.280655e-05,3.297015e-05,3.399847e-05,3.468877e-05,3.480387e-05,3.541545e-05,3.579077e-05,3.585937e-05,3.615860e-05,3.630742e-05,3.633327e-05,3.640096e-05,3.638942e-05,3.637700e-05,3.627476e-05,3.615194e-05,3.610590e-05,3.588053e-05,3.568260e-05,3.560745e-05,3.529432e-05,3.504781e-05,3.494775e-05,3.457351e-05,3.429777e-05,3.417657e-05,3.376126e-05,3.347029e-05,3.333132e-05,3.288995e-05,3.259378e-05,3.243997e-05,3.198376e-05,3.168949e-05,3.152340e-05,3.106067e-05,3.077328e-05,3.059711e-05,3.013402e-05,2.985686e-05,2.967251e-05,2.921353e-05,2.894882e-05,2.875791e-05,2.830632e-05,2.805540e-05,2.785933e-05,2.741743e-05,2.718107e-05,2.698102e-05,2.655043e-05,2.632891e-05,2.612593e-05,2.570772e-05,2.550103e-05,2.529598e-05,2.489084e-05,2.469874e-05,2.449239e-05,2.410070e-05,2.392280e-05,2.371580e-05,2.333772e-05,2.317353e-05,2.296646e-05,2.260199e-05,2.245093e-05,2.224428e-05,2.189330e-05,2.175478e-05,2.154899e-05,2.121128e-05,2.108467e-05,2.088012e-05,2.055541e-05,2.044009e-05,2.023710e-05,1.992508e-05,1.982042e-05,1.961928e-05,1.931961e-05,1.922499e-05,1.902597e-05,1.873827e-05,1.865310e-05,1.845642e-05,1.818032e-05,1.810402e-05,1.790987e-05,1.764498e-05,1.757701e-05,1.738556e-05,1.713151e-05,1.707132e-05,1.688273e-05,1.663913e-05,1.658622e-05,1.640062e-05,1.616710e-05,1.612099e-05,1.593848e-05,1.571467e-05,1.567489e-05,1.549559e-05,1.528113e-05,1.524725e-05,1.507123e-05,1.486578e-05,1.483736e-05,1.466470e-05,1.446791e-05,1.444458e-05,1.427533e-05,1.408688e-05,1.406826e-05,1.390247e-05,1.372203e-05,1.370777e-05,1.354548e-05,1.337275e-05,1.336250e-05,1.320375e-05,1.303842e-05,1.303189e-05,1.287669e-05,1.271848e-05,1.271535e-05,1.256372e-05,1.241235e-05,1.212235e-05,1.184486e-05,1.157938e-05,1.132544e-05,1.108258e-05,1.085037e-05,1.062839e-05,1.041624e-05,1.021351e-05,1.001984e-05,9.834858e-06,9.658224e-06,9.489601e-06,9.328666e-06,9.175110e-06,9.028635e-06,8.888953e-06,8.755789e-06,8.628878e-06,8.507965e-06,8.392805e-06,8.283163e-06,8.178811e-06,8.079532e-06,7.985116e-06,7.895363e-06,7.810078e-06,7.729075e-06,7.652176e-06,7.579209e-06,7.510008e-06,7.444415e-06,7.382276e-06,7.323447e-06,7.267784e-06,7.215154e-06,7.165425e-06,7.118473e-06,7.074178e-06,7.032423e-06,6.993099e-06,6.956098e-06,6.921317e-06,6.888660e-06,6.858030e-06,6.829338e-06,6.802496e-06,6.777420e-06,6.754030e-06
0.000000e+00,1.271894e-09,2.207995e-08,2.312752e-08,1.510072e-07,4.811415e-07,4.994845e-07,1.023934e-06,1.547611e-06,1.580497e-06,2.111440e-06,2.568297e-06,2.606559e-06,3.065421e-06,3.448532e-06,3.489413e-06,3.880315e-06,4.198376e-06,4.239939e-06,4.570026e-06,4.831475e-06,4.872150e-06,5.147927e-06,5.360371e-06,5.398930e-06,5.626662e-06,5.797044e-06,5.832555e-06,6.017969e-06,6.152422e-06,6.184190e-06,6.332440e-06,6.436342e-06,6.463870e-06,6.579572e-06,6.657620e-06,6.680573e-06,6.767844e-06,6.824125e-06,6.842300e-06,6.904804e-06,6.942865e-06,6.956169e-06,6.997161e-06,7.020070e-06,7.028499e-06,7.050864e-06,7.061274e-06,7.064893e-06,7.071188e-06,7.071381e-06,7.070312e-06,7.062798e-06,7.054737e-06,7.049144e-06,7.029821e-06,7.015187e-06,7.005267e-06,6.975898e-06,6.956128e-06,6.942103e-06,6.904244e-06,6.880561e-06,6.862666e-06,6.817688e-06,6.791129e-06,6.769612e-06,6.718720e-06,6.690161e-06,6.665276e-06,6.609528e-06,6.579706e-06,6.551707e-06,6.492031e-06,6.461561e-06,6.430702e-06,6.367909e-06,6.337302e-06,6.303831e-06,6.238633e-06,6.208309e-06,6.172469e-06,6.105484e-06,6.075785e-06,6.037811e-06,5.969577e-06,5.940780e-06,5.900898e-06,5.831883e-06,5.804205e-06,5.762632e-06,5.693239e-06,5.666850e-06,5.623791e-06,5.554369e-06,5.529398e-06,5.485047e-06,5.415895e-06,5.392433e-06,5.346976e-06,5.278349e-06,5.256460e-06,5.210069e-06,5.142186e-06,5.121905e-06,5.074744e-06,5.007787e-06,4.989131e-06,4.941352e-06,4.875475e-06,4.858442e-06,4.810187e-06,4.745517e-06,4.730092e-06,4.681492e-06,4.618135e-06,4.604288e-06,4.555467e-06,4.493507e-06,4.481201e-06,4.432271e-06,4.371775e-06,4.360965e-06,4.312031e-06,4.253050e-06,4.243685e-06,4.194842e-06,4.137415e-06,4.129438e-06,4.080775e-06,4.024928e-06,4.018280e-06,3.969878e-06,3.915627e-06,3.910246e-06,3.862178e-06,3.809532e-06,3.805355e-06,3.757689e-06,3.706647e-06,3.703610e-06,3.656405e-06,3.606961e-06,3.605000e-06,3.558312e-06,3.510455e-06,3.509506e-06,3.463384e-06,3.417096e-06,3.327732e-06,3.241371e-06,3.157960e-06,3.077446e-06,2.999769e-06,2.924868e-06,2.852678e-06,2.783133e-06,2.716167e-06,2.651711e-06,2.589697e-06,2.530056e-06,2.472720e-06,2.417621e-06,2.364691e-06,2.313865e-06,2.265075e-06,2.218257e-06,2.173349e-06,2.130287e-06,2.089011e-06,2.049461e-06,2.011580e-06,1.975309e-06,1.940594e-06,1.907381e-06,1.875617e-06,1.845252e-06,1.816236e-06,1.788520e-06,1.762059e-06,1.736807e-06,1.712719e-06,1.689754e-06,1.667869e-06,1.647026e-06,1.627185e-06,1.608309e-06,1.590362e-06,1.573309e-06,1.557115e-06,1.541748e-06,1.527176e-06,1.513368e-06,1.500296e-06,1.487929e-06,1.476242e-06,1.465206e-06,1.454796e-06
0.000000e+00,1.679968e-08,3.375488e-07,3.543812e-07,2.734648e-06,1.078634e-05,1.130081e-05,2.850546e-05,4.875093e-05,5.006997e-05,7.170404e-05,9.060518e-05,9.219586e-05,1.113523e-04,1.274582e-04,1.291829e-04,1.457367e-04,1.592918e-04,1.610691e-04,1.752362e-04,1.865302e-04,1.882934e-04,2.002955e-04,2.096012e-04,2.112962e-04,2.213483e-04,2.289193e-04,2.305033e-04,2.388111e-04,2.448799e-04,2.463200e-04,2.530766e-04,2.578531e-04,2.591253e-04,2.645089e-04,2.681806e-04,2.692679e-04,2.734410e-04,2.761735e-04,2.770648e-04,2.801743e-04,2.821132e-04,2.828023e-04,2.849803e-04,2.862531e-04,2.867379e-04,2.881031e-04,2.888209e-04,2.891025e-04,2.897614e-04,2.900214e-04,2.901036e-04,2.901515e-04,2.900373e-04,2.899259e-04,2.894469e-04,2.890310e-04,2.887334e-04,2.878029e-04,2.871475e-04,2.866723e-04,2.853571e-04,2.845157e-04,2.838723e-04,2.822317e-04,2.812499e-04,2.804485e-04,2.785350e-04,2.774517e-04,2.765029e-04,2.743629e-04,2.732109e-04,2.721253e-04,2.697998e-04,2.686069e-04,2.673953e-04,2.649203e-04,2.637097e-04,2.623828e-04,2.597902e-04,2.585810e-04,2.571494e-04,2.544670e-04,2.532751e-04,2.517490e-04,2.490011e-04,2.478394e-04,2.462286e-04,2.434366e-04,2.423153e-04,2.406295e-04,2.378118e-04,2.367392e-04,2.349875e-04,2.321602e-04,2.311423e-04,2.293334e-04,2.265104e-04,2.255520e-04,2.236941e-04,2.208873e-04,2.199916e-04,2.180925e-04,2.153121e-04,2.144811e-04,2.125482e-04,2.098029e-04,2.090378e-04,2.070779e-04,2.043750e-04,2.036760e-04,2.016956e-04,1.990411e-04,1.984079e-04,1.964128e-04,1.938119e-04,1.932435e-04,1.912394e-04,1.886962e-04,1.881912e-04,1.861831e-04,1.837009e-04,1.832574e-04,1.812502e-04,1.788315e-04,1.784475e-04,1.764454e-04,1.740922e-04,1.737654e-04,1.717724e-04,1.694861e-04,1.692140e-04,1.672337e-04,1.650153e-04,1.647953e-04,1.628310e-04,1.606809e-04,1.605103e-04,1.585650e-04,1.564833e-04,1.563595e-04,1.544358e-04,1.524224e-04,1.523426e-04,1.504430e-04,1.484974e-04,1.484589e-04,1.465855e-04,1.447071e-04,1.410856e-04,1.375925e-04,1.342255e-04,1.309823e-04,1.278601e-04,1.248562e-04,1.219677e-04,1.191916e-04,1.165248e-04,1.139642e-04,1.115067e-04,1.091492e-04,1.068885e-04,1.047215e-04,1.026451e-04,1.006563e-04,9.875213e-05,9.692956e-05,9.518573e-05,9.351781e-05,9.192304e-05,9.039871e-05,8.894219e-05,8.755092e-05,8.622243e-05,8.495428e-05,8.374414e-05,8.258973e-05,8.148886e-05,8.043939e-05,7.943927e-05,7.848650e-05,7.757917e-05,7.671542e-05,7.589346e-05,7.511156e-05,7.436806e-05,7.366135e-05,7.298989e-05,7.235219e-05,7.174683e-05,7.117241e-05,7.062763e-05,7.011119e-05,6.962188e-05,6.915852e-05,6.871997e-05,6.830515e-05,6.791302e-05
0.000000e+00,1.999922e-08,8.396964e-07,8.914134e-07,1.037034e-05,5.036083e-05,5.307727e-05,1.495989e-04,2.764997e-04,2.852337e-04,4.344133e-04,5.704188e-04,5.819843e-04,7.218418e-04,8.395539e-04,8.521405e-04,9.726320e-04,1.070770e-03,1.083597e-03,1.185469e-03,1.266167e-03,1.278721e-03,1.363825e-03,1.429354e-03,1.441243e-03,1.511423e-03,1.563872e-03,1.574796e-03,1.631775e-03,1.673021e-03,1.682755e-03,1.728114e-03,1.759822e-03,1.768208e-03,1.803378e-03,1.827012e-03,1.833945e-03,1.860214e-03,1.877055e-03,1.882472e-03,1.900990e-03,1.912153e-03,1.916026e-03,1.927820e-03,1.934271e-03,1.936603e-03,1.942587e-03,1.945163e-03,1.945978e-03,1.946966e-03,1.946390e-03,1.945731e-03,1.942444e-03,1.939338e-03,1.937265e-03,1.930342e-03,1.925237e-03,1.921818e-03,1.911825e-03,1.905177e-03,1.900488e-03,1.887922e-03,1.880115e-03,1.874238e-03,1.859538e-03,1.850899e-03,1.843920e-03,1.827472e-03,1.818276e-03,1.810280e-03,1.792423e-03,1.782899e-03,1.773975e-03,1.755005e-03,1.745346e-03,1.735579e-03,1.715757e-03,1.706118e-03,1.695595e-03,1.675147e-03,1.665658e-03,1.654460e-03,1.633582e-03,1.624346e-03,1.612554e-03,1.591417e-03,1.582515e-03,1.570206e-03,1.548957e-03,1.540453e-03,1.527699e-03,1.506464e-03,1.498406e-03,1.485278e-03,1.464165e-03,1.456587e-03,1.443150e-03,1.422252e-03,1.415178e-03,1.401492e-03,1.380888e-03,1.374330e-03,1.360454e-03,1.340208e-03,1.334172e-03,1.320160e-03,1.300325e-03,1.294811e-03,1.280713e-03,1.261334e-03,1.256335e-03,1.242197e-03,1.223310e-03,1.218815e-03,1.204680e-03,1.186313e-03,1.182308e-03,1.168214e-03,1.150388e-03,1.146856e-03,1.132839e-03,1.115571e-03,1.112492e-03,1.098585e-03,1.081884e-03,1.079239e-03,1.065471e-03,1.049344e-03,1.047110e-03,1.033507e-03,1.017958e-03,1.016112e-03,1.002698e-03,9.877257e-04,9.862443e-04,9.730409e-04,9.586423e-04,9.575027e-04,9.445285e-04,9.306979e-04,9.298770e-04,9.171485e-04,9.038782e-04,9.033532e-04,8.908848e-04,8.781657e-04,8.779141e-04,8.657183e-04,8.535398e-04,8.302078e-04,8.078940e-04,7.865729e-04,7.662175e-04,7.468003e-04,7.282930e-04,7.106669e-04,6.938930e-04,6.779425e-04,6.627864e-04,6.483962e-04,6.347435e-04,6.218004e-04,6.095394e-04,5.979337e-04,5.869568e-04,5.765830e-04,5.667873e-04,5.575453e-04,5.488332e-04,5.406281e-04,5.329076e-04,5.256501e-04,5.188349e-04,5.124417e-04,5.064510e-04,5.008441e-04,4.956029e-04,4.907099e-04,4.861485e-04,4.819023e-04,4.779561e-04,4.742948e-04,4.709042e-04,4.677706e-04,4.648807e-04,4.622220e-04,4.597824e-04,4.575502e-04,4.555144e-04,4.536644e-04,4.519899e-04,4.504814e-04,4.491295e-04,4.479253e-04,4.468604e-04,4.459266e-04,4.451162e-04,4.444220e-04
0.000000e+00,8.472394e-10,1.294633e-08,1.354186e-08,8.736529e-08,2.987575e-07,3.115295e-07,7.295189e-07,1.233448e-06,1.266804e-06,1.814911e-06,2.287725e-06,2.327068e-06,2.794425e-06,3.177289e-06,3.217704e-06,3.599515e-06,3.903500e-06,3.942745e-06,4.250212e-06,4.488074e-06,4.524590e-06,4.768395e-06,4.951289e-06,4.983979e-06,5.173541e-06,5.311007e-06,5.339132e-06,5.482658e-06,5.582792e-06,5.605898e-06,5.710488e-06,5.780108e-06,5.797957e-06,5.869726e-06,5.914583e-06,5.927110e-06,5.971329e-06,5.996240e-06,6.003509e-06,6.024694e-06,6.033688e-06,6.035855e-06,6.037888e-06,6.034324e-06,6.031618e-06,6.017812e-06,6.004482e-06,5.997177e-06,5.970366e-06,5.949583e-06,5.937983e-06,5.900584e-06,5.874255e-06,5.858683e-06,5.812756e-06,5.782451e-06,5.763238e-06,5.710533e-06,5.677537e-06,5.655013e-06,5.597019e-06,5.562373e-06,5.536864e-06,5.474838e-06,5.439386e-06,5.411206e-06,5.346213e-06,5.310630e-06,5.280082e-06,5.213018e-06,5.177839e-06,5.145209e-06,5.076827e-06,5.042471e-06,5.008029e-06,4.938959e-06,4.905747e-06,4.869747e-06,4.800512e-06,4.768687e-06,4.731364e-06,4.662401e-06,4.632139e-06,4.593712e-06,4.525378e-06,4.496801e-06,4.457471e-06,4.390057e-06,4.363243e-06,4.323196e-06,4.256939e-06,4.231931e-06,4.191335e-06,4.126424e-06,4.103234e-06,4.062245e-06,3.998829e-06,3.977446e-06,3.936205e-06,3.874397e-06,3.854795e-06,3.813428e-06,3.753314e-06,3.735449e-06,3.694072e-06,3.635713e-06,3.619533e-06,3.578248e-06,3.521685e-06,3.507127e-06,3.466029e-06,3.411285e-06,3.398282e-06,3.357453e-06,3.304536e-06,3.293017e-06,3.252532e-06,3.201439e-06,3.191330e-06,3.151255e-06,3.101973e-06,3.093198e-06,3.053590e-06,3.006100e-06,2.998584e-06,2.959494e-06,2.913767e-06,2.907435e-06,2.868909e-06,2.824912e-06,2.819690e-06,2.781767e-06,2.739463e-06,2.735279e-06,2.697991e-06,2.657341e-06,2.654124e-06,2.617502e-06,2.578462e-06,2.576145e-06,2.540211e-06,2.502738e-06,2.501255e-06,2.466031e-06,2.430079e-06,2.429367e-06,2.394869e-06,2.360391e-06,2.294236e-06,2.230812e-06,2.170027e-06,2.111792e-06,2.056018e-06,2.002618e-06,1.951507e-06,1.902600e-06,1.855816e-06,1.811074e-06,1.768298e-06,1.727412e-06,1.688343e-06,1.651019e-06,1.615373e-06,1.581339e-06,1.548851e-06,1.517849e-06,1.488272e-06,1.460064e-06,1.433167e-06,1.407530e-06,1.383101e-06,1.359829e-06,1.337668e-06,1.316571e-06,1.296494e-06,1.277395e-06,1.259232e-06,1.241968e-06,1.225563e-06,1.209982e-06,1.195189e-06,1.181152e-06,1.167838e-06,1.155217e-06,1.143258e-06,1.131933e-06,1.121215e-06,1.111078e-06,1.101496e-06,1.092445e-06,1.083902e-06,1.075844e-06,1.068251e-06,1.061102e-06,1.054377e-06,1.048057e-06,1.042124e-06
0.000000e+00,2.756301e-08,6.885405e-07,7.255490e-07,6.167957e-06,2.341759e-05,2.443513e-05,5.416715e-05,8.428889e-05,8.619466e-05,1.172763e-04,1.445797e-04,1.468930e-04,1.749928e-04,1.990074e-04,2.016024e-04,2.267614e-04,2.477339e-04,2.505108e-04,2.728920e-04,2.910772e-04,2.939466e-04,3.137174e-04,3.293648e-04,3.322483e-04,3.495838e-04,3.629386e-04,3.657691e-04,3.808496e-04,3.921486e-04,3.948701e-04,4.078751e-04,4.173421e-04,4.199083e-04,4.310123e-04,4.388555e-04,4.412286e-04,4.505976e-04,4.570082e-04,4.591583e-04,4.669484e-04,4.721006e-04,4.740043e-04,4.803612e-04,4.844132e-04,4.860528e-04,4.911118e-04,4.942067e-04,4.955697e-04,4.994564e-04,5.017230e-04,5.028011e-04,5.056315e-04,5.071855e-04,5.079744e-04,5.098554e-04,5.108005e-04,5.112992e-04,5.123293e-04,5.127582e-04,5.129683e-04,5.132378e-04,5.132331e-04,5.131587e-04,5.127506e-04,5.123856e-04,5.120327e-04,5.110231e-04,5.103627e-04,5.097392e-04,5.081976e-04,5.072995e-04,5.064144e-04,5.044046e-04,5.033193e-04,5.021829e-04,4.997631e-04,4.985352e-04,4.971586e-04,4.943820e-04,4.930503e-04,4.914453e-04,4.883602e-04,4.869586e-04,4.851377e-04,4.817881e-04,4.803459e-04,4.783217e-04,4.747478e-04,4.732902e-04,4.710757e-04,4.673139e-04,4.658626e-04,4.634707e-04,4.595539e-04,4.581273e-04,4.555711e-04,4.515292e-04,4.501427e-04,4.474351e-04,4.432950e-04,4.419615e-04,4.391152e-04,4.349013e-04,4.336313e-04,4.306588e-04,4.263930e-04,4.251950e-04,4.221087e-04,4.178105e-04,4.166912e-04,4.135029e-04,4.091899e-04,4.081545e-04,4.048757e-04,4.005637e-04,3.996158e-04,3.962576e-04,3.919607e-04,3.911027e-04,3.876759e-04,3.834064e-04,3.826397e-04,3.791547e-04,3.749234e-04,3.742485e-04,3.707151e-04,3.665319e-04,3.659484e-04,3.623759e-04,3.582492e-04,3.577561e-04,3.541535e-04,3.500906e-04,3.496862e-04,3.460621e-04,3.420694e-04,3.417516e-04,3.381139e-04,3.341968e-04,3.339630e-04,3.303194e-04,3.264826e-04,3.263300e-04,3.226874e-04,3.189348e-04,3.188602e-04,3.152255e-04,3.115602e-04,3.044353e-04,2.974897e-04,2.907266e-04,2.841483e-04,2.777564e-04,2.715516e-04,2.655341e-04,2.597035e-04,2.540587e-04,2.485985e-04,2.433211e-04,2.382242e-04,2.333054e-04,2.285619e-04,2.239909e-04,2.195891e-04,2.153532e-04,2.112797e-04,2.073650e-04,2.036054e-04,1.999971e-04,1.965363e-04,1.932192e-04,1.900418e-04,1.870003e-04,1.840907e-04,1.813092e-04,1.786518e-04,1.761148e-04,1.736943e-04,1.713866e-04,1.691880e-04,1.670947e-04,1.651033e-04,1.632102e-04,1.614119e-04,1.597050e-04,1.580862e-04,1.565523e-04,1.550999e-04,1.537262e-04,1.524279e-04,1.512021e-04,1.500460e-04,1.489568e-04,1.479318e-04,1.469682e-04,1.460635e-04,1.452153e-04
0.000000e+00,1.012681e-07,3.337224e-06,3.520709e-06,3.343584e-05,1.735944e-04,1.844595e-04,7.097985e-04,1.947690e-03,2.062214e-03,4.787220e-03,8.903577e-03,9.343245e-03,1.601155e-02,2.391129e-02,2.490011e-02,3.597924e-02,4.743974e-02,4.911932e-02,6.412297e-02,7.833463e-02,8.075063e-02,9.874028e-02,1.147068e-01,1.178223e-01,1.377302e-01,1.544914e-01,1.582086e-01,1.790185e-01,1.957570e-01,1.999405e-01,2.207769e-01,2.368562e-01,2.413523e-01,2.615138e-01,2.764782e-01,2.811302e-01,3.000912e-01,3.136460e-01,3.183055e-01,3.357000e-01,3.476839e-01,3.522178e-01,3.678164e-01,3.781724e-01,3.824666e-01,3.961504e-01,4.048992e-01,4.088602e-01,4.205967e-01,4.278134e-01,4.313682e-01,4.411891e-01,4.469844e-01,4.500790e-01,4.580617e-01,4.625673e-01,4.651647e-01,4.714178e-01,4.747750e-01,4.768531e-01,4.815042e-01,4.838560e-01,4.854054e-01,4.885920e-01,4.900774e-01,4.910992e-01,4.929623e-01,4.937129e-01,4.942162e-01,4.948955e-01,4.950329e-01,4.950339e-01,4.946643e-01,4.942990e-01,4.938187e-01,4.925282e-01,4.917596e-01,4.908228e-01,4.887312e-01,4.876472e-01,4.862814e-01,4.834999e-01,4.821776e-01,4.804122e-01,4.770426e-01,4.755490e-01,4.734144e-01,4.695496e-01,4.679422e-01,4.654693e-01,4.611934e-01,4.595213e-01,4.567410e-01,4.521298e-01,4.504343e-01,4.473770e-01,4.424985e-01,4.408139e-01,4.375096e-01,4.324244e-01,4.307791e-01,4.272566e-01,4.220187e-01,4.204355e-01,4.167227e-01,4.113798e-01,4.098769e-01,4.060006e-01,4.005948e-01,3.991861e-01,3.951717e-01,3.897399e-01,3.884359e-01,3.843076e-01,3.788821e-01,3.776902e-01,3.734707e-01,3.680796e-01,3.670044e-01,3.627152e-01,3.573829e-01,3.564269e-01,3.520880e-01,3.468352e-01,3.459990e-01,3.416292e-01,3.364739e-01,3.357564e-01,3.313731e-01,3.263303e-01,3.257293e-01,3.213487e-01,3.164311e-01,3.159429e-01,3.115801e-01,3.067981e-01,3.064186e-01,3.020872e-01,2.974494e-01,2.971735e-01,2.928863e-01,2.883995e-01,2.882217e-01,2.839903e-01,2.796597e-01,2.795739e-01,2.754089e-01,2.712386e-01,2.632214e-01,2.555264e-01,2.481553e-01,2.411085e-01,2.343850e-01,2.279823e-01,2.218970e-01,2.161246e-01,2.106599e-01,2.054969e-01,2.006290e-01,1.960489e-01,1.917491e-01,1.877213e-01,1.839574e-01,1.804485e-01,1.771857e-01,1.741599e-01,1.713620e-01,1.687824e-01,1.664119e-01,1.642409e-01,1.622600e-01,1.604598e-01,1.588309e-01,1.573640e-01,1.560499e-01,1.548796e-01,1.538442e-01,1.529349e-01,1.521432e-01,1.514608e-01,1.508795e-01,1.503916e-01,1.499894e-01,1.496655e-01,1.494130e-01,1.492250e-01,1.490950e-01,1.490170e-01,1.489849e-01,1.489932e-01,1.490367e-01,1.491104e-01,1.492097e-01,1.493301e-01,1.494678e-01,1.496188e-01,1.497798e-01
0.000000e+00,1.228745e-08,4.179830e-07,4.418943e-07,4.636944e-06,2.428860e-05,2.575479e-05,8.841355e-05,1.997894e-04,2.085562e-04,3.773471e-04,5.574546e-04,5.736863e-04,7.784225e-04,9.591023e-04,9.786841e-04,1.167194e-03,1.320536e-03,1.340470e-03,1.497284e-03,1.618968e-03,1.637648e-03,1.762203e-03,1.855290e-03,1.871881e-03,1.967727e-03,2.036746e-03,2.050805e-03,2.122153e-03,2.171452e-03,2.182759e-03,2.233553e-03,2.266920e-03,2.275401e-03,2.309111e-03,2.329748e-03,2.335427e-03,2.355039e-03,2.365610e-03,2.368580e-03,2.376636e-03,2.379342e-03,2.379742e-03,2.378392e-03,2.375038e-03,2.373037e-03,2.364093e-03,2.356156e-03,2.351940e-03,2.336927e-03,2.325609e-03,2.319375e-03,2.299575e-03,2.285847e-03,2.277793e-03,2.254274e-03,2.238918e-03,2.229240e-03,2.202896e-03,2.186537e-03,2.175425e-03,2.146998e-03,2.130133e-03,2.117768e-03,2.087874e-03,2.070892e-03,2.057445e-03,2.026594e-03,2.009797e-03,1.995427e-03,1.964039e-03,1.947658e-03,1.932514e-03,1.900931e-03,1.885139e-03,1.869359e-03,1.837860e-03,1.822783e-03,1.806491e-03,1.775302e-03,1.761028e-03,1.744338e-03,1.713638e-03,1.700224e-03,1.683239e-03,1.653172e-03,1.640649e-03,1.623463e-03,1.594138e-03,1.582520e-03,1.565217e-03,1.536717e-03,1.526002e-03,1.508656e-03,1.481044e-03,1.471217e-03,1.453895e-03,1.427215e-03,1.418252e-03,1.401012e-03,1.375293e-03,1.367165e-03,1.350060e-03,1.325316e-03,1.317988e-03,1.301062e-03,1.277300e-03,1.270734e-03,1.254028e-03,1.231244e-03,1.225400e-03,1.208947e-03,1.187132e-03,1.181968e-03,1.165798e-03,1.144938e-03,1.140412e-03,1.124549e-03,1.104625e-03,1.100696e-03,1.085161e-03,1.066151e-03,1.062776e-03,1.047588e-03,1.029466e-03,1.026607e-03,1.011778e-03,9.945183e-04,9.921356e-04,9.776787e-04,9.612524e-04,9.593086e-04,9.452322e-04,9.296107e-04,9.280702e-04,9.143807e-04,8.995347e-04,8.983634e-04,8.850654e-04,8.709654e-04,8.701309e-04,8.572272e-04,8.438435e-04,8.433154e-04,8.308071e-04,8.181106e-04,8.178601e-04,8.057468e-04,7.937086e-04,7.708061e-04,7.490985e-04,7.285334e-04,7.090598e-04,6.906281e-04,6.731907e-04,6.567013e-04,6.411155e-04,6.263905e-04,6.124853e-04,5.993603e-04,5.869778e-04,5.753016e-04,5.642970e-04,5.539309e-04,5.441715e-04,5.349885e-04,5.263532e-04,5.182378e-04,5.106160e-04,5.034627e-04,4.967541e-04,4.904672e-04,4.845803e-04,4.790728e-04,4.739248e-04,4.691177e-04,4.646334e-04,4.604550e-04,4.565662e-04,4.529517e-04,4.495967e-04,4.464873e-04,4.436102e-04,4.409527e-04,4.385027e-04,4.362490e-04,4.341805e-04,4.322870e-04,4.305585e-04,4.289858e-04,4.275600e-04,4.262726e-04,4.251156e-04,4.240814e-04,4.231626e-04,4.223525e-04,4.216444e-04,4.210322e-04
0.000000e+00,1.195033e-08,5.146671e-07,5.464253e-07,6.588601e-06,3.533471e-05,3.744753e-05,1.246363e-04,2.741849e-04,2.859271e-04,5.152176e-04,7.705988e-04,7.942751e-04,1.103291e-03,1.393103e-03,1.425534e-03,1.748506e-03,2.026405e-03,2.063591e-03,2.365250e-03,2.611389e-03,2.650198e-03,2.916717e-03,3.125841e-03,3.164140e-03,3.392479e-03,3.565774e-03,3.602170e-03,3.793906e-03,3.934925e-03,3.968521e-03,4.126919e-03,4.239809e-03,4.270029e-03,4.398770e-03,4.487558e-03,4.514042e-03,4.616705e-03,4.685045e-03,4.707585e-03,4.787462e-03,4.838576e-03,4.857074e-03,4.917118e-03,4.953809e-03,4.968250e-03,5.011085e-03,5.035772e-03,5.046204e-03,5.074148e-03,5.088910e-03,5.095429e-03,5.110524e-03,5.117148e-03,5.119883e-03,5.123927e-03,5.123939e-03,5.123051e-03,5.117623e-03,5.112327e-03,5.107991e-03,5.094480e-03,5.084987e-03,5.077395e-03,5.057019e-03,5.044272e-03,5.033621e-03,5.007451e-03,4.992249e-03,4.978742e-03,4.947714e-03,4.930732e-03,4.914572e-03,4.879508e-03,4.861312e-03,4.842702e-03,4.804321e-03,4.785385e-03,4.764522e-03,4.723452e-03,4.704171e-03,4.681248e-03,4.638038e-03,4.618738e-03,4.593941e-03,4.549069e-03,4.530017e-03,4.503526e-03,4.457408e-03,4.438821e-03,4.410807e-03,4.363805e-03,4.345856e-03,4.316482e-03,4.268910e-03,4.251736e-03,4.221156e-03,4.173285e-03,4.156992e-03,4.125353e-03,4.077416e-03,4.062083e-03,4.029522e-03,3.981719e-03,3.967403e-03,3.934050e-03,3.886553e-03,3.873290e-03,3.839266e-03,3.792223e-03,3.780035e-03,3.745453e-03,3.698986e-03,3.687882e-03,3.652847e-03,3.607061e-03,3.597037e-03,3.561648e-03,3.516630e-03,3.507675e-03,3.472023e-03,3.427844e-03,3.419939e-03,3.384108e-03,3.340828e-03,3.333946e-03,3.298015e-03,3.255681e-03,3.249793e-03,3.213834e-03,3.172482e-03,3.167553e-03,3.131633e-03,3.091292e-03,3.087286e-03,3.051465e-03,3.012155e-03,3.009033e-03,2.973367e-03,2.935103e-03,2.932824e-03,2.897365e-03,2.860155e-03,2.858678e-03,2.823473e-03,2.787320e-03,2.786602e-03,2.751695e-03,2.716597e-03,2.648654e-03,2.582761e-03,2.518897e-03,2.457040e-03,2.397161e-03,2.339229e-03,2.283211e-03,2.229072e-03,2.176774e-03,2.126278e-03,2.077545e-03,2.030533e-03,1.985202e-03,1.941511e-03,1.899417e-03,1.858879e-03,1.819856e-03,1.782306e-03,1.746190e-03,1.711465e-03,1.678094e-03,1.646035e-03,1.615252e-03,1.585706e-03,1.557359e-03,1.530176e-03,1.504121e-03,1.479158e-03,1.455253e-03,1.432374e-03,1.410487e-03,1.389560e-03,1.369562e-03,1.350464e-03,1.332234e-03,1.314845e-03,1.298269e-03,1.282477e-03,1.267443e-03,1.253141e-03,1.239545e-03,1.226632e-03,1.214377e-03,1.202756e-03,1.191747e-03,1.181328e-03,1.171477e-03,1.162173e-03,1.153396e-03
0.000000e+00,1.400783e-08,4.791983e-07,5.064268e-07,5.161294e-06,2.636474e-05,2.793677e-05,9.526652e-05,2.171318e-04,2.268402e-04,4.159997e-04,6.198969e-04,6.382486e-04,8.674801e-04,1.063380e-03,1.084081e-03,1.276366e-03,1.421238e-03,1.439162e-03,1.571725e-03,1.662934e-03,1.675925e-03,1.754916e-03,1.804412e-03,1.812287e-03,1.851562e-03,1.872525e-03,1.875946e-03,1.888227e-03,1.890937e-03,1.890764e-03,1.885514e-03,1.877058e-03,1.874084e-03,1.857782e-03,1.842794e-03,1.837669e-03,1.814603e-03,1.796046e-03,1.789277e-03,1.762250e-03,1.741994e-03,1.733974e-03,1.704814e-03,1.684037e-03,1.675066e-03,1.644967e-03,1.624399e-03,1.614709e-03,1.584449e-03,1.564537e-03,1.554310e-03,1.524392e-03,1.505398e-03,1.494774e-03,1.465519e-03,1.447585e-03,1.436677e-03,1.408287e-03,1.391482e-03,1.380379e-03,1.352975e-03,1.337319e-03,1.326092e-03,1.299742e-03,1.285222e-03,1.273932e-03,1.248668e-03,1.235253e-03,1.223951e-03,1.199780e-03,1.187427e-03,1.176154e-03,1.153069e-03,1.141728e-03,1.130520e-03,1.108500e-03,1.098118e-03,1.087005e-03,1.066026e-03,1.056546e-03,1.045555e-03,1.025585e-03,1.016954e-03,1.006107e-03,9.871116e-04,9.792756e-04,9.685907e-04,9.505351e-04,9.434411e-04,9.329355e-04,9.157828e-04,9.093801e-04,8.990678e-04,8.827813e-04,8.770212e-04,8.669140e-04,8.514570e-04,8.462934e-04,8.364011e-04,8.217373e-04,8.171263e-04,8.074570e-04,7.935512e-04,7.894512e-04,7.800113e-04,7.668289e-04,7.632008e-04,7.539956e-04,7.415030e-04,7.383097e-04,7.293430e-04,7.175078e-04,7.147148e-04,7.059894e-04,6.947801e-04,6.923548e-04,6.838725e-04,6.732590e-04,6.711710e-04,6.629325e-04,6.528858e-04,6.511065e-04,6.431119e-04,6.336041e-04,6.321071e-04,6.243557e-04,6.153601e-04,6.141205e-04,6.066109e-04,5.981019e-04,5.970967e-04,5.898270e-04,5.817801e-04,5.809877e-04,5.739555e-04,5.663475e-04,5.657480e-04,5.589504e-04,5.517588e-04,5.513337e-04,5.447674e-04,5.379710e-04,5.377031e-04,5.313645e-04,5.249429e-04,5.248163e-04,5.187015e-04,5.126355e-04,5.011244e-04,4.902484e-04,4.799749e-04,4.702725e-04,4.611115e-04,4.524636e-04,4.443019e-04,4.366007e-04,4.293358e-04,4.224840e-04,4.160234e-04,4.099330e-04,4.041931e-04,3.987848e-04,3.936903e-04,3.888925e-04,3.843754e-04,3.801236e-04,3.761227e-04,3.723588e-04,3.688188e-04,3.654904e-04,3.623618e-04,3.594219e-04,3.566599e-04,3.540660e-04,3.516305e-04,3.493445e-04,3.471994e-04,3.451870e-04,3.432997e-04,3.415302e-04,3.398716e-04,3.383174e-04,3.368613e-04,3.354975e-04,3.342205e-04,3.330249e-04,3.319058e-04,3.308584e-04,3.298784e-04,3.289615e-04,3.281037e-04,3.273013e-04,3.265506e-04,3.258483e-04,3.251912e-04,3.245764e-04,3.240009e-04
0.000000e+00,1.861086e-09,2.032710e-08,2.114477e-08,1.172023e-07,4.070792e-07,4.255453e-07,1.081405e-06,1.978807e-06,2.041372e-06,3.107054e-06,4.062568e-06,4.142979e-06,5.105177e-06,5.900608e-06,5.984867e-06,6.783288e-06,7.421797e-06,7.504399e-06,8.152820e-06,8.655901e-06,8.733238e-06,9.250218e-06,9.638667e-06,9.708141e-06,1.011118e-05,1.040351e-05,1.046331e-05,1.076827e-05,1.098067e-05,1.102962e-05,1.125068e-05,1.139716e-05,1.143459e-05,1.158429e-05,1.167689e-05,1.170254e-05,1.179192e-05,1.184089e-05,1.185483e-05,1.189351e-05,1.190755e-05,1.191007e-05,1.190647e-05,1.189292e-05,1.188451e-05,1.184589e-05,1.181093e-05,1.179219e-05,1.172487e-05,1.167364e-05,1.164529e-05,1.155470e-05,1.149149e-05,1.145428e-05,1.134510e-05,1.127346e-05,1.122818e-05,1.110443e-05,1.102726e-05,1.097471e-05,1.083982e-05,1.075951e-05,1.070049e-05,1.055738e-05,1.047583e-05,1.041112e-05,1.026228e-05,1.018102e-05,1.011138e-05,9.958907e-06,9.879142e-06,9.805290e-06,9.650937e-06,9.573601e-06,9.496216e-06,9.341461e-06,9.267258e-06,9.186978e-06,9.033042e-06,8.962486e-06,8.879906e-06,8.727795e-06,8.661244e-06,8.576913e-06,8.427444e-06,8.365129e-06,8.279552e-06,8.133383e-06,8.075427e-06,7.989065e-06,7.846714e-06,7.793158e-06,7.706429e-06,7.568298e-06,7.519113e-06,7.432395e-06,7.298783e-06,7.253887e-06,7.167518e-06,7.038641e-06,6.997912e-06,6.912190e-06,6.788192e-06,6.751474e-06,6.666666e-06,6.547628e-06,6.514744e-06,6.431084e-06,6.317036e-06,6.287792e-06,6.205481e-06,6.096412e-06,6.070604e-06,5.989816e-06,5.885679e-06,5.863097e-06,5.783982e-06,5.684701e-06,5.665133e-06,5.587813e-06,5.493291e-06,5.476526e-06,5.401105e-06,5.311223e-06,5.297054e-06,5.223614e-06,5.138243e-06,5.126468e-06,5.055074e-06,4.974070e-06,4.964494e-06,4.895195e-06,4.818409e-06,4.810843e-06,4.743673e-06,4.670949e-06,4.665216e-06,4.600196e-06,4.531374e-06,4.527305e-06,4.464443e-06,4.399363e-06,4.396798e-06,4.336094e-06,4.274595e-06,4.273383e-06,4.214827e-06,4.156750e-06,4.046593e-06,3.942608e-06,3.844502e-06,3.751987e-06,3.664782e-06,3.582618e-06,3.505234e-06,3.432378e-06,3.363809e-06,3.299296e-06,3.238618e-06,3.181562e-06,3.127928e-06,3.077522e-06,3.030162e-06,2.985675e-06,2.943894e-06,2.904663e-06,2.867835e-06,2.833267e-06,2.800828e-06,2.770391e-06,2.741838e-06,2.715056e-06,2.689939e-06,2.666387e-06,2.644307e-06,2.623608e-06,2.604208e-06,2.586027e-06,2.568991e-06,2.553030e-06,2.538079e-06,2.524075e-06,2.510961e-06,2.498681e-06,2.487184e-06,2.476422e-06,2.466349e-06,2.456923e-06,2.448103e-06,2.439853e-06,2.432136e-06,2.424920e-06,2.418173e-06,2.411867e-06,2.405973e-06,2.400466e-06,2.395322e-06
0.000000e+00,2.277308e-08,5.009452e-07,5.256371e-07,3.934308e-06,1.571475e-05,1.649482e-05,4.539530e-05,8.787617e-05,9.094694e-05,1.448288e-04,1.946287e-04,1.988495e-04,2.495313e-04,2.915878e-04,2.960496e-04,3.383977e-04,3.723663e-04,3.767684e-04,4.113958e-04,4.383630e-04,4.425178e-04,4.703658e-04,4.913912e-04,4.951624e-04,5.171198e-04,5.331480e-04,5.364396e-04,5.533124e-04,5.651702e-04,5.679183e-04,5.804265e-04,5.888294e-04,5.909961e-04,5.997760e-04,6.053380e-04,6.069058e-04,6.125161e-04,6.157616e-04,6.167289e-04,6.196580e-04,6.210320e-04,6.214096e-04,6.220826e-04,6.219618e-04,6.217697e-04,6.205568e-04,6.192592e-04,6.185243e-04,6.157466e-04,6.135392e-04,6.122935e-04,6.082295e-04,6.053358e-04,6.036146e-04,5.985048e-04,5.951109e-04,5.929517e-04,5.870035e-04,5.832637e-04,5.807049e-04,5.740972e-04,5.701384e-04,5.672188e-04,5.601048e-04,5.560304e-04,5.527879e-04,5.452982e-04,5.411918e-04,5.376636e-04,5.299097e-04,5.258384e-04,5.220600e-04,5.141364e-04,5.101532e-04,5.061589e-04,4.981457e-04,4.942918e-04,4.901138e-04,4.820784e-04,4.783849e-04,4.740537e-04,4.660525e-04,4.625424e-04,4.580864e-04,4.501660e-04,4.468555e-04,4.423010e-04,4.345001e-04,4.313995e-04,4.267711e-04,4.191210e-04,4.162360e-04,4.115562e-04,4.040822e-04,4.014147e-04,3.967040e-04,3.894259e-04,3.869749e-04,3.822520e-04,3.751853e-04,3.729472e-04,3.682289e-04,3.613852e-04,3.593544e-04,3.546562e-04,3.480436e-04,3.462132e-04,3.415488e-04,3.351727e-04,3.335344e-04,3.289161e-04,3.227794e-04,3.213245e-04,3.167630e-04,3.108669e-04,3.095858e-04,3.050908e-04,2.994344e-04,2.983174e-04,2.938971e-04,2.884784e-04,2.875156e-04,2.831774e-04,2.779930e-04,2.771743e-04,2.729244e-04,2.679703e-04,2.672858e-04,2.631295e-04,2.584006e-04,2.578406e-04,2.537824e-04,2.492732e-04,2.488282e-04,2.448717e-04,2.405761e-04,2.402370e-04,2.363851e-04,2.322968e-04,2.320548e-04,2.283098e-04,2.244221e-04,2.242687e-04,2.206323e-04,2.169385e-04,2.168656e-04,2.133391e-04,2.098322e-04,2.031549e-04,1.968204e-04,1.908150e-04,1.851257e-04,1.797393e-04,1.746430e-04,1.698243e-04,1.652711e-04,1.609714e-04,1.569138e-04,1.530871e-04,1.494806e-04,1.460839e-04,1.428870e-04,1.398803e-04,1.370545e-04,1.344008e-04,1.319107e-04,1.295760e-04,1.273889e-04,1.253419e-04,1.234280e-04,1.216403e-04,1.199722e-04,1.184176e-04,1.169706e-04,1.156254e-04,1.143767e-04,1.132194e-04,1.121485e-04,1.111593e-04,1.102475e-04,1.094089e-04,1.086393e-04,1.079349e-04,1.072922e-04,1.067077e-04,1.061780e-04,1.057000e-04,1.052708e-04,1.048875e-04,1.045475e-04,1.042481e-04,1.039870e-04,1.037619e-04,1.035705e-04,1.034108e-04,1.032809e-04,1.031787e-04
0.000000e+00,1.013455e-08,3.401252e-07,3.593420e-07,3.708127e-06,2.009761e-05,2.136361e-05,7.975361e-05,1.997668e-04,2.099608e-04,4.245890e-04,6.882247e-04,7.136090e-04,1.055628e-03,1.389709e-03,1.427665e-03,1.809953e-03,2.142763e-03,2.187417e-03,2.549513e-03,2.843369e-03,2.889455e-03,3.203314e-03,3.445385e-03,3.489220e-03,3.746721e-03,3.936995e-03,3.976301e-03,4.179035e-03,4.322843e-03,4.356347e-03,4.509845e-03,4.614124e-03,4.641211e-03,4.752131e-03,4.823769e-03,4.844248e-03,4.919136e-03,4.964343e-03,4.978288e-03,5.023104e-03,5.047231e-03,5.054889e-03,5.074857e-03,5.082409e-03,5.084132e-03,5.083753e-03,5.078471e-03,5.074675e-03,5.057780e-03,5.042743e-03,5.033878e-03,5.003711e-03,4.981435e-03,4.967964e-03,4.927261e-03,4.899790e-03,4.882176e-03,4.833235e-03,4.802220e-03,4.780918e-03,4.725665e-03,4.692433e-03,4.667878e-03,4.607925e-03,4.573531e-03,4.546141e-03,4.482830e-03,4.448107e-03,4.418272e-03,4.352721e-03,4.318319e-03,4.286406e-03,4.219537e-03,4.185955e-03,4.152305e-03,4.084880e-03,4.052494e-03,4.017419e-03,3.950062e-03,3.919149e-03,3.882937e-03,3.816155e-03,3.786907e-03,3.749821e-03,3.684024e-03,3.656570e-03,3.618846e-03,3.554360e-03,3.528774e-03,3.490629e-03,3.427709e-03,3.404023e-03,3.365650e-03,3.304495e-03,3.282707e-03,3.244280e-03,3.185037e-03,3.165121e-03,3.126793e-03,3.069569e-03,3.051476e-03,3.013384e-03,2.958253e-03,2.941921e-03,2.904186e-03,2.851190e-03,2.836544e-03,2.799272e-03,2.748433e-03,2.735392e-03,2.698674e-03,2.649993e-03,2.638469e-03,2.602386e-03,2.555847e-03,2.545751e-03,2.510370e-03,2.465947e-03,2.457187e-03,2.422567e-03,2.380220e-03,2.372706e-03,2.338895e-03,2.298579e-03,2.292221e-03,2.259259e-03,2.220921e-03,2.215631e-03,2.183551e-03,2.147134e-03,2.142828e-03,2.111655e-03,2.077099e-03,2.073693e-03,2.043448e-03,2.010688e-03,2.008105e-03,1.978802e-03,1.947774e-03,1.945940e-03,1.917588e-03,1.888226e-03,1.887069e-03,1.859673e-03,1.831912e-03,1.831364e-03,1.804926e-03,1.778700e-03,1.728949e-03,1.681987e-03,1.637692e-03,1.595945e-03,1.556630e-03,1.519634e-03,1.484848e-03,1.452167e-03,1.421488e-03,1.392713e-03,1.365749e-03,1.340503e-03,1.316890e-03,1.294826e-03,1.274231e-03,1.255029e-03,1.237147e-03,1.220514e-03,1.205064e-03,1.190734e-03,1.177463e-03,1.165193e-03,1.153868e-03,1.143437e-03,1.133849e-03,1.125057e-03,1.117014e-03,1.109679e-03,1.103010e-03,1.096967e-03,1.091515e-03,1.086616e-03,1.082239e-03,1.078351e-03,1.074921e-03,1.071921e-03,1.069324e-03,1.067103e-03,1.065234e-03,1.063695e-03,1.062462e-03,1.061514e-03,1.060832e-03,1.060397e-03,1.060192e-03,1.060198e-03,1.060401e-03,1.060784e-03,1.061335e-03
0.000000e+00,6.149701e-09,1.204454e-07,1.262489e-07,8.172053e-07,2.465571e-06,2.552290e-06,4.893512e-06,7.102726e-06,7.239642e-06,9.432539e-06,1.129786e-05,1.145325e-05,1.330646e-05,1.483815e-05,1.500068e-05,1.654496e-05,1.778697e-05,1.794820e-05,1.921904e-05,2.021239e-05,2.036577e-05,2.139649e-05,2.217831e-05,2.231894e-05,2.314054e-05,2.374394e-05,2.386832e-05,2.450893e-05,2.496289e-05,2.506865e-05,2.555337e-05,2.588297e-05,2.596864e-05,2.631964e-05,2.654642e-05,2.661123e-05,2.684797e-05,2.699034e-05,2.703409e-05,2.717356e-05,2.724717e-05,2.727007e-05,2.732709e-05,2.734524e-05,2.734784e-05,2.733530e-05,2.730921e-05,2.729229e-05,2.722139e-05,2.716052e-05,2.712505e-05,2.700550e-05,2.691780e-05,2.686486e-05,2.670508e-05,2.659719e-05,2.652796e-05,2.633519e-05,2.621268e-05,2.612835e-05,2.590888e-05,2.577634e-05,2.567814e-05,2.543737e-05,2.529860e-05,2.518774e-05,2.493032e-05,2.478842e-05,2.466610e-05,2.439602e-05,2.425354e-05,2.412092e-05,2.384159e-05,2.370057e-05,2.355876e-05,2.327309e-05,2.313515e-05,2.298522e-05,2.269571e-05,2.256213e-05,2.240508e-05,2.211383e-05,2.198559e-05,2.182239e-05,2.153117e-05,2.140901e-05,2.124055e-05,2.095086e-05,2.083532e-05,2.066242e-05,2.037551e-05,2.026695e-05,2.009040e-05,1.980731e-05,1.970594e-05,1.952647e-05,1.924806e-05,1.915398e-05,1.897225e-05,1.869921e-05,1.861245e-05,1.842908e-05,1.816197e-05,1.808244e-05,1.789799e-05,1.763725e-05,1.756484e-05,1.737984e-05,1.712581e-05,1.706033e-05,1.687524e-05,1.662819e-05,1.656942e-05,1.638469e-05,1.614478e-05,1.609249e-05,1.590850e-05,1.567586e-05,1.562978e-05,1.544689e-05,1.522158e-05,1.518142e-05,1.499995e-05,1.478200e-05,1.474747e-05,1.456771e-05,1.435709e-05,1.432790e-05,1.415012e-05,1.394678e-05,1.392262e-05,1.374705e-05,1.355091e-05,1.353149e-05,1.335834e-05,1.316930e-05,1.315433e-05,1.298378e-05,1.280172e-05,1.279091e-05,1.262312e-05,1.244792e-05,1.244098e-05,1.227609e-05,1.210760e-05,1.210426e-05,1.194240e-05,1.178046e-05,1.146926e-05,1.117036e-05,1.088341e-05,1.060809e-05,1.034406e-05,1.009099e-05,9.848530e-06,9.616360e-06,9.394145e-06,9.181561e-06,8.978287e-06,8.784009e-06,8.598419e-06,8.421214e-06,8.252102e-06,8.090793e-06,7.937010e-06,7.790478e-06,7.650934e-06,7.518119e-06,7.391785e-06,7.271689e-06,7.157596e-06,7.049277e-06,6.946512e-06,6.849087e-06,6.756796e-06,6.669438e-06,6.586820e-06,6.508754e-06,6.435058e-06,6.365558e-06,6.300085e-06,6.238474e-06,6.180569e-06,6.126215e-06,6.075265e-06,6.027578e-06,5.983015e-06,5.941443e-06,5.902734e-06,5.866765e-06,5.833415e-06,5.802569e-06,5.774115e-06,5.747947e-06,5.723961e-06,5.702055e-06,5.682134e-06
0.000000e+00,2.341240e-08,5.300719e-07,5.571278e-07,4.145259e-06,1.433356e-05,1.492256e-05,3.230607e-05,4.992848e-05,5.102890e-05,6.862486e-05,8.347695e-05,8.470777e-05,9.930088e-05,1.112313e-04,1.124896e-04,1.243661e-04,1.338037e-04,1.350206e-04,1.445395e-04,1.518804e-04,1.530052e-04,1.604953e-04,1.660866e-04,1.670828e-04,1.728368e-04,1.769788e-04,1.778222e-04,1.820996e-04,1.850501e-04,1.857258e-04,1.887535e-04,1.907314e-04,1.912318e-04,1.932066e-04,1.943969e-04,1.947203e-04,1.958123e-04,1.963704e-04,1.965191e-04,1.968747e-04,1.969311e-04,1.969106e-04,1.966559e-04,1.963191e-04,1.961374e-04,1.953802e-04,1.947408e-04,1.944074e-04,1.932403e-04,1.923732e-04,1.918986e-04,1.904006e-04,1.893677e-04,1.887631e-04,1.870017e-04,1.858536e-04,1.851306e-04,1.831631e-04,1.819414e-04,1.811113e-04,1.789865e-04,1.777247e-04,1.767989e-04,1.745580e-04,1.732831e-04,1.722725e-04,1.699505e-04,1.686839e-04,1.675991e-04,1.652251e-04,1.639838e-04,1.628347e-04,1.604335e-04,1.592304e-04,1.580264e-04,1.556183e-04,1.544633e-04,1.532133e-04,1.508154e-04,1.497156e-04,1.484278e-04,1.460540e-04,1.450145e-04,1.436965e-04,1.413582e-04,1.403823e-04,1.390411e-04,1.367474e-04,1.358369e-04,1.344790e-04,1.322373e-04,1.313929e-04,1.300240e-04,1.278401e-04,1.270614e-04,1.256869e-04,1.235652e-04,1.228512e-04,1.214759e-04,1.194196e-04,1.187687e-04,1.173970e-04,1.154084e-04,1.148185e-04,1.134542e-04,1.115348e-04,1.110036e-04,1.096502e-04,1.078007e-04,1.073256e-04,1.059862e-04,1.042068e-04,1.037850e-04,1.024624e-04,1.007528e-04,1.003814e-04,9.907793e-05,9.743754e-05,9.711358e-05,9.583140e-05,9.425922e-05,9.397981e-05,9.272070e-05,9.121549e-05,9.097772e-05,8.974324e-05,8.830356e-05,8.810459e-05,8.689606e-05,8.552032e-05,8.535734e-05,8.417589e-05,8.286235e-05,8.273267e-05,8.157922e-05,8.032606e-05,8.022709e-05,7.910239e-05,7.790772e-05,7.783696e-05,7.674159e-05,7.560350e-05,7.555855e-05,7.449297e-05,7.340951e-05,7.338811e-05,7.235262e-05,7.132183e-05,6.935592e-05,6.748662e-05,6.571021e-05,6.402304e-05,6.242151e-05,6.090213e-05,5.946147e-05,5.809621e-05,5.680312e-05,5.557907e-05,5.442104e-05,5.332609e-05,5.229141e-05,5.131428e-05,5.039207e-05,4.952226e-05,4.870243e-05,4.793026e-05,4.720349e-05,4.651999e-05,4.587771e-05,4.527465e-05,4.470894e-05,4.417877e-05,4.368240e-05,4.321816e-05,4.278448e-05,4.237983e-05,4.200275e-05,4.165187e-05,4.132584e-05,4.102341e-05,4.074336e-05,4.048452e-05,4.024580e-05,4.002613e-05,3.982452e-05,3.963998e-05,3.947161e-05,3.931853e-05,3.917990e-05,3.905492e-05,3.894283e-05,3.884291e-05,3.875446e-05,3.867682e-05,3.860937e-05,3.855150e-05,3.850264e-05
0.000000e+00,7.081197e-08,2.487007e-06,2.627587e-06,2.637097e-05,1.377774e-04,1.463106e-04,5.469229e-04,1.447317e-03,1.528996e-03,3.434046e-03,6.241607e-03,6.538611e-03,1.100017e-02,1.621296e-02,1.686130e-02,2.407500e-02,3.145534e-02,3.253089e-02,4.207712e-02,5.102503e-02,5.253760e-02,6.372522e-02,7.354683e-02,7.545164e-02,8.753438e-02,9.758733e-02,9.980185e-02,1.120966e-01,1.218564e-01,1.242771e-01,1.362191e-01,1.452988e-01,1.478155e-01,1.589758e-01,1.671199e-01,1.696260e-01,1.797068e-01,1.867729e-01,1.891729e-01,1.979915e-01,2.039275e-01,2.061410e-01,2.136095e-01,2.184303e-01,2.203939e-01,2.264982e-01,2.302657e-01,2.319327e-01,2.367130e-01,2.395190e-01,2.408587e-01,2.443927e-01,2.463451e-01,2.473405e-01,2.497296e-01,2.509428e-01,2.515887e-01,2.529474e-01,2.535348e-01,2.538355e-01,2.542829e-01,2.543522e-01,2.543194e-01,2.539739e-01,2.536242e-01,2.532749e-01,2.522498e-01,2.515701e-01,2.509252e-01,2.493264e-01,2.483948e-01,2.474777e-01,2.454022e-01,2.442862e-01,2.431217e-01,2.406569e-01,2.394142e-01,2.380274e-01,2.352514e-01,2.339301e-01,2.323462e-01,2.293277e-01,2.279676e-01,2.262110e-01,2.230102e-01,2.216438e-01,2.197381e-01,2.164068e-01,2.150603e-01,2.130276e-01,2.096109e-01,2.083046e-01,2.061660e-01,2.027020e-01,2.014518e-01,1.992268e-01,1.957480e-01,1.945656e-01,1.922723e-01,1.888061e-01,1.876998e-01,1.853550e-01,1.819242e-01,1.808997e-01,1.785185e-01,1.751422e-01,1.742027e-01,1.717992e-01,1.684929e-01,1.676397e-01,1.652266e-01,1.620030e-01,1.612360e-01,1.588247e-01,1.556938e-01,1.550116e-01,1.526125e-01,1.495824e-01,1.489827e-01,1.466050e-01,1.436817e-01,1.431613e-01,1.408135e-01,1.380014e-01,1.375567e-01,1.352461e-01,1.325484e-01,1.321753e-01,1.299087e-01,1.273273e-01,1.270215e-01,1.248045e-01,1.223406e-01,1.220974e-01,1.199354e-01,1.175891e-01,1.174039e-01,1.153014e-01,1.130722e-01,1.129403e-01,1.109012e-01,1.087881e-01,1.087048e-01,1.067326e-01,1.047342e-01,1.046948e-01,1.027924e-01,1.009068e-01,9.733667e-02,9.397988e-02,9.083137e-02,8.788579e-02,8.513751e-02,8.258068e-02,8.020928e-02,7.801716e-02,7.599806e-02,7.414565e-02,7.245354e-02,7.091527e-02,6.952438e-02,6.827438e-02,6.715878e-02,6.617109e-02,6.530482e-02,6.455351e-02,6.391074e-02,6.337012e-02,6.292534e-02,6.257012e-02,6.229828e-02,6.210373e-02,6.198048e-02,6.192266e-02,6.192453e-02,6.198050e-02,6.208514e-02,6.223318e-02,6.241953e-02,6.263932e-02,6.288787e-02,6.316071e-02,6.345360e-02,6.376253e-02,6.408372e-02,6.441365e-02,6.474902e-02,6.508678e-02,6.542412e-02,6.575850e-02,6.608759e-02,6.640930e-02,6.672178e-02,6.702340e-02,6.731275e-02,6.758861e-02,6.784998e-02
0.000000e+00,1.120545e-07,4.760594e-06,5.053411e-06,6.267275e-05,3.656439e-04,3.891733e-04,1.458492e-03,3.625421e-03,3.810770e-03,7.835569e-03,1.319691e-02,1.374074e-02,2.158720e-02,3.027095e-02,3.132706e-02,4.283548e-02,5.428656e-02,5.593599e-02,7.042024e-02,8.381203e-02,8.606321e-02,1.026347e-01,1.171063e-01,1.199081e-01,1.376662e-01,1.524464e-01,1.557057e-01,1.738398e-01,1.883013e-01,1.919000e-01,2.097366e-01,2.234091e-01,2.272187e-01,2.442339e-01,2.567942e-01,2.606873e-01,2.765004e-01,2.877520e-01,2.916098e-01,3.059664e-01,3.158159e-01,3.195333e-01,3.322849e-01,3.407172e-01,3.442056e-01,3.552884e-01,3.623462e-01,3.655339e-01,3.749491e-01,3.807142e-01,3.835465e-01,3.913430e-01,3.959220e-01,3.983595e-01,4.046198e-01,4.081328e-01,4.101500e-01,4.149781e-01,4.175500e-01,4.191333e-01,4.226458e-01,4.244007e-01,4.255463e-01,4.278657e-01,4.289222e-01,4.296348e-01,4.308841e-01,4.313531e-01,4.316435e-01,4.319426e-01,4.319257e-01,4.318099e-01,4.312733e-01,4.308620e-01,4.303597e-01,4.290949e-01,4.283705e-01,4.275039e-01,4.256107e-01,4.246446e-01,4.234380e-01,4.210077e-01,4.198621e-01,4.183405e-01,4.154562e-01,4.141846e-01,4.123737e-01,4.091106e-01,4.077586e-01,4.056838e-01,4.021093e-01,4.007154e-01,3.984020e-01,3.945763e-01,3.931726e-01,3.906453e-01,3.866218e-01,3.852349e-01,3.825176e-01,3.783437e-01,3.769951e-01,3.741106e-01,3.698281e-01,3.685351e-01,3.655053e-01,3.611507e-01,3.599269e-01,3.567724e-01,3.523779e-01,3.512335e-01,3.479740e-01,3.435673e-01,3.425100e-01,3.391638e-01,3.347692e-01,3.338041e-01,3.303886e-01,3.260269e-01,3.251573e-01,3.216886e-01,3.173777e-01,3.166050e-01,3.130981e-01,3.088534e-01,3.081777e-01,3.046467e-01,3.004810e-01,2.999013e-01,2.963591e-01,2.922834e-01,2.917976e-01,2.882562e-01,2.842796e-01,2.838848e-01,2.803554e-01,2.764852e-01,2.761780e-01,2.726707e-01,2.689131e-01,2.686895e-01,2.652136e-01,2.615734e-01,2.614290e-01,2.579932e-01,2.544739e-01,2.544042e-01,2.510163e-01,2.476207e-01,2.410827e-01,2.347925e-01,2.287514e-01,2.229595e-01,2.174159e-01,2.121188e-01,2.070656e-01,2.022531e-01,1.976774e-01,1.933343e-01,1.892189e-01,1.853262e-01,1.816505e-01,1.781862e-01,1.749272e-01,1.718674e-01,1.690003e-01,1.663194e-01,1.638182e-01,1.614900e-01,1.593278e-01,1.573251e-01,1.554750e-01,1.537707e-01,1.522055e-01,1.507726e-01,1.494654e-01,1.482774e-01,1.472021e-01,1.462331e-01,1.453641e-01,1.445891e-01,1.439022e-01,1.432974e-01,1.427692e-01,1.423120e-01,1.419207e-01,1.415900e-01,1.413151e-01,1.410913e-01,1.409139e-01,1.407788e-01,1.406818e-01,1.406189e-01,1.405866e-01,1.405812e-01,1.405994e-01,1.406383e-01,1.406948e-01
0.000000e+00,2.227032e-08,4.105827e-07,4.303613e-07,2.994998e-06,1.037718e-05,1.081174e-05,2.408110e-05,3.820919e-05,3.910361e-05,5.348989e-05,6.569103e-05,6.670309e-05,7.870676e-05,8.852121e-05,8.955620e-05,9.932221e-05,1.070774e-04,1.080769e-04,1.158906e-04,1.219093e-04,1.228308e-04,1.289617e-04,1.335309e-04,1.343443e-04,1.390356e-04,1.424044e-04,1.430893e-04,1.465559e-04,1.489380e-04,1.494821e-04,1.519119e-04,1.534887e-04,1.538859e-04,1.554422e-04,1.563674e-04,1.566161e-04,1.574405e-04,1.578435e-04,1.579458e-04,1.581604e-04,1.581497e-04,1.581106e-04,1.578207e-04,1.574870e-04,1.573132e-04,1.566091e-04,1.560280e-04,1.557278e-04,1.546871e-04,1.539210e-04,1.535036e-04,1.521927e-04,1.512935e-04,1.507686e-04,1.492443e-04,1.482543e-04,1.476319e-04,1.459423e-04,1.448959e-04,1.441859e-04,1.423721e-04,1.412972e-04,1.405095e-04,1.386062e-04,1.375253e-04,1.366695e-04,1.347059e-04,1.336366e-04,1.327217e-04,1.307224e-04,1.296785e-04,1.287131e-04,1.266986e-04,1.256907e-04,1.246830e-04,1.226701e-04,1.217060e-04,1.206636e-04,1.186665e-04,1.177518e-04,1.166817e-04,1.147119e-04,1.138504e-04,1.127592e-04,1.108257e-04,1.100199e-04,1.089134e-04,1.070238e-04,1.062747e-04,1.051584e-04,1.033184e-04,1.026262e-04,1.015050e-04,9.971914e-05,9.908311e-05,9.796158e-05,9.623306e-05,9.565207e-05,9.453413e-05,9.286527e-05,9.233766e-05,9.122686e-05,8.961917e-05,8.914289e-05,8.804241e-05,8.649671e-05,8.606948e-05,8.498211e-05,8.349863e-05,8.311801e-05,8.204619e-05,8.062470e-05,8.028813e-05,7.923398e-05,7.787386e-05,7.757871e-05,7.654408e-05,7.524438e-05,7.498802e-05,7.397446e-05,7.273400e-05,7.251382e-05,7.152264e-05,7.034002e-05,7.015345e-05,6.918575e-05,6.805942e-05,6.790394e-05,6.696061e-05,6.588890e-05,6.576209e-05,6.484383e-05,6.382497e-05,6.372451e-05,6.283187e-05,6.186405e-05,6.178770e-05,6.092105e-05,6.000241e-05,5.994806e-05,5.910766e-05,5.823633e-05,5.820195e-05,5.738794e-05,5.656204e-05,5.654575e-05,5.575815e-05,5.497581e-05,5.348856e-05,5.208045e-05,5.074804e-05,4.948792e-05,4.829682e-05,4.717153e-05,4.610895e-05,4.510608e-05,4.416004e-05,4.326805e-05,4.242743e-05,4.163563e-05,4.089017e-05,4.018870e-05,3.952896e-05,3.890881e-05,3.832617e-05,3.777909e-05,3.726568e-05,3.678417e-05,3.633285e-05,3.591010e-05,3.551437e-05,3.514421e-05,3.479821e-05,3.447505e-05,3.417347e-05,3.389228e-05,3.363033e-05,3.338656e-05,3.315993e-05,3.294948e-05,3.275429e-05,3.257348e-05,3.240623e-05,3.225176e-05,3.210932e-05,3.197821e-05,3.185776e-05,3.174735e-05,3.164637e-05,3.155426e-05,3.147048e-05,3.139454e-05,3.132595e-05,3.126426e-05,3.120903e-05,3.115988e-05,3.111640e-05
0.000000e+00,5.798727e-09,2.916629e-07,3.107147e-07,4.316531e-06,2.472262e-05,2.622700e-05,8.636443e-05,1.820449e-04,1.892493e-04,3.229226e-04,4.585754e-04,4.705224e-04,6.173101e-04,7.401250e-04,7.529951e-04,8.716853e-04,9.600816e-04,9.709490e-04,1.050726e-03,1.104775e-03,1.112392e-03,1.158056e-03,1.185782e-03,1.190089e-03,1.210831e-03,1.220924e-03,1.222424e-03,1.226742e-03,1.226033e-03,1.225370e-03,1.219616e-03,1.212773e-03,1.210535e-03,1.198972e-03,1.188935e-03,1.185587e-03,1.170896e-03,1.159421e-03,1.155296e-03,1.139090e-03,1.127178e-03,1.122508e-03,1.105723e-03,1.093923e-03,1.088864e-03,1.072027e-03,1.060627e-03,1.055282e-03,1.038682e-03,1.027824e-03,1.022264e-03,1.006054e-03,9.957977e-04,9.900710e-04,9.743286e-04,9.646930e-04,9.588352e-04,9.435963e-04,9.345766e-04,9.286153e-04,9.138935e-04,9.054738e-04,8.994312e-04,8.852277e-04,8.773862e-04,8.712813e-04,8.575902e-04,8.503022e-04,8.441519e-04,8.309637e-04,8.242037e-04,8.180227e-04,8.053259e-04,7.990680e-04,7.928700e-04,7.806517e-04,7.748704e-04,7.686678e-04,7.569147e-04,7.515850e-04,7.453892e-04,7.340878e-04,7.291853e-04,7.230070e-04,7.121434e-04,7.076446e-04,7.014934e-04,6.910537e-04,6.869359e-04,6.808207e-04,6.707910e-04,6.670324e-04,6.609612e-04,6.513280e-04,6.479075e-04,6.418878e-04,6.326375e-04,6.295350e-04,6.235737e-04,6.146930e-04,6.118894e-04,6.059924e-04,5.974685e-04,5.949453e-04,5.891181e-04,5.809382e-04,5.786780e-04,5.729257e-04,5.650774e-04,5.630634e-04,5.573904e-04,5.498618e-04,5.480781e-04,5.424885e-04,5.352676e-04,5.336992e-04,5.281964e-04,5.212720e-04,5.199045e-04,5.144917e-04,5.078527e-04,5.066725e-04,5.013523e-04,4.949880e-04,4.939822e-04,4.887571e-04,4.826571e-04,4.818134e-04,4.766854e-04,4.708396e-04,4.701465e-04,4.651173e-04,4.595160e-04,4.589625e-04,4.540335e-04,4.486674e-04,4.482430e-04,4.434154e-04,4.382753e-04,4.379704e-04,4.332450e-04,4.283222e-04,4.281275e-04,4.235050e-04,4.187911e-04,4.186978e-04,4.141785e-04,4.096653e-04,4.010146e-04,3.927307e-04,3.847995e-04,3.772071e-04,3.699401e-04,3.629857e-04,3.563316e-04,3.499658e-04,3.438769e-04,3.380537e-04,3.324858e-04,3.271628e-04,3.220748e-04,3.172125e-04,3.125666e-04,3.081283e-04,3.038893e-04,2.998413e-04,2.959766e-04,2.922876e-04,2.887672e-04,2.854082e-04,2.822041e-04,2.791484e-04,2.762350e-04,2.734578e-04,2.708111e-04,2.682895e-04,2.658877e-04,2.636006e-04,2.614233e-04,2.593512e-04,2.573797e-04,2.555045e-04,2.537214e-04,2.520266e-04,2.504160e-04,2.488861e-04,2.474333e-04,2.460542e-04,2.447455e-04,2.435042e-04,2.423272e-04,2.412116e-04,2.401547e-04,2.391538e-04,2.382063e-04,2.373099e-04,2.364621e-04
0.000000e+00,6.652547e-08,2.858496e-06,3.035644e-06,3.898927e-05,2.391456e-04,2.550988e-04,1.007793e-03,2.608557e-03,2.748145e-03,5.842539e-03,1.009119e-02,1.052814e-02,1.692876e-02,2.418506e-02,2.507814e-02,3.494096e-02,4.496960e-02,4.643039e-02,5.942243e-02,7.168394e-02,7.376769e-02,8.930079e-02,1.031395e-01,1.058479e-01,1.232328e-01,1.379912e-01,1.412813e-01,1.598248e-01,1.749079e-01,1.787030e-01,1.977655e-01,2.126723e-01,2.168733e-01,2.358991e-01,2.502328e-01,2.547281e-01,2.732577e-01,2.867232e-01,2.913974e-01,3.090680e-01,3.214621e-01,3.262020e-01,3.427418e-01,3.539403e-01,3.586399e-01,3.738578e-01,3.838016e-01,3.883652e-01,4.021396e-01,4.108213e-01,4.151652e-01,4.274324e-01,4.348832e-01,4.389370e-01,4.496798e-01,4.559598e-01,4.596658e-01,4.689038e-01,4.740923e-01,4.774055e-01,4.851858e-01,4.893743e-01,4.922615e-01,4.986514e-01,5.019378e-01,5.043760e-01,5.094570e-01,5.119409e-01,5.139168e-01,5.177788e-01,5.195587e-01,5.210668e-01,5.238048e-01,5.249751e-01,5.260170e-01,5.277274e-01,5.283773e-01,5.289601e-01,5.297386e-01,5.299507e-01,5.300863e-01,5.300261e-01,5.298761e-01,5.295802e-01,5.287705e-01,5.283270e-01,5.276181e-01,5.261434e-01,5.254678e-01,5.243665e-01,5.223063e-01,5.214531e-01,5.199816e-01,5.174100e-01,5.164271e-01,5.146087e-01,5.115941e-01,5.105233e-01,5.083819e-01,5.049872e-01,5.038647e-01,5.014244e-01,4.977072e-01,4.965640e-01,4.938488e-01,4.898617e-01,4.887239e-01,4.857577e-01,4.815482e-01,4.804378e-01,4.772439e-01,4.728552e-01,4.717904e-01,4.683915e-01,4.638623e-01,4.628579e-01,4.592761e-01,4.546412e-01,4.537091e-01,4.499654e-01,4.452561e-01,4.444054e-01,4.405203e-01,4.357645e-01,4.350021e-01,4.309948e-01,4.262172e-01,4.255480e-01,4.214372e-01,4.166598e-01,4.160869e-01,4.118899e-01,4.071322e-01,4.066572e-01,4.023907e-01,3.976697e-01,3.972930e-01,3.929727e-01,3.883033e-01,3.880241e-01,3.836648e-01,3.790602e-01,3.788767e-01,3.744922e-01,3.699636e-01,3.698735e-01,3.654768e-01,3.610340e-01,3.523752e-01,3.439112e-01,3.356542e-01,3.276142e-01,3.197993e-01,3.122160e-01,3.048692e-01,2.977628e-01,2.908991e-01,2.842795e-01,2.779044e-01,2.717735e-01,2.658855e-01,2.602385e-01,2.548301e-01,2.496571e-01,2.447162e-01,2.400032e-01,2.355140e-01,2.312438e-01,2.271878e-01,2.233407e-01,2.196971e-01,2.162516e-01,2.129983e-01,2.099315e-01,2.070452e-01,2.043333e-01,2.017898e-01,1.994087e-01,1.971837e-01,1.951088e-01,1.931779e-01,1.913848e-01,1.897237e-01,1.881885e-01,1.867734e-01,1.854724e-01,1.842801e-01,1.831907e-01,1.821987e-01,1.812988e-01,1.804857e-01,1.797543e-01,1.790996e-01,1.785168e-01,1.780013e-01,1.775484e-01,1.771538e-01
0.000000e+00,2.029276e-08,8.417309e-07,8.933585e-07,1.115136e-05,6.619160e-05,7.049366e-05,2.657480e-04,6.526010e-04,6.850962e-04,1.370629e-03,2.234672e-03,2.319686e-03,3.501156e-03,4.725539e-03,4.869314e-03,6.373267e-03,7.769171e-03,7.962876e-03,9.592178e-03,1.099442e-02,1.122113e-02,1.281627e-02,1.411020e-02,1.435070e-02,1.580368e-02,1.692352e-02,1.716000e-02,1.840929e-02,1.932731e-02,1.954526e-02,2.056503e-02,2.127963e-02,2.146848e-02,2.225767e-02,2.278327e-02,2.293631e-02,2.350940e-02,2.386895e-02,2.398279e-02,2.436290e-02,2.458261e-02,2.465649e-02,2.487044e-02,2.497649e-02,2.501161e-02,2.508670e-02,2.510333e-02,2.510218e-02,2.506422e-02,2.501272e-02,2.497862e-02,2.485083e-02,2.474924e-02,2.468588e-02,2.448844e-02,2.435160e-02,2.426277e-02,2.401276e-02,2.385256e-02,2.374195e-02,2.345351e-02,2.327929e-02,2.315033e-02,2.283497e-02,2.265391e-02,2.250972e-02,2.217664e-02,2.199416e-02,2.183753e-02,2.149400e-02,2.131410e-02,2.114747e-02,2.079918e-02,2.062472e-02,2.045022e-02,2.010154e-02,1.993452e-02,1.975398e-02,1.940826e-02,1.925002e-02,1.906500e-02,1.872475e-02,1.857612e-02,1.838798e-02,1.805509e-02,1.791652e-02,1.772642e-02,1.740226e-02,1.727391e-02,1.708285e-02,1.676841e-02,1.665026e-02,1.645911e-02,1.615508e-02,1.604695e-02,1.585645e-02,1.556331e-02,1.546490e-02,1.527572e-02,1.499375e-02,1.490471e-02,1.471743e-02,1.444679e-02,1.436670e-02,1.418183e-02,1.392256e-02,1.385099e-02,1.366898e-02,1.342106e-02,1.335752e-02,1.317878e-02,1.294211e-02,1.288614e-02,1.271101e-02,1.248545e-02,1.243656e-02,1.226537e-02,1.205073e-02,1.200845e-02,1.184148e-02,1.163754e-02,1.160140e-02,1.143887e-02,1.124540e-02,1.121493e-02,1.105707e-02,1.087380e-02,1.084855e-02,1.069553e-02,1.052219e-02,1.050172e-02,1.035370e-02,1.019000e-02,1.017388e-02,1.003099e-02,9.876617e-03,9.864464e-03,9.726793e-03,9.581443e-03,9.572863e-03,9.440489e-03,9.303852e-03,9.298475e-03,9.171452e-03,9.043211e-03,9.040688e-03,8.919048e-03,8.798884e-03,8.572445e-03,8.360753e-03,8.163195e-03,7.979160e-03,7.808046e-03,7.649259e-03,7.502213e-03,7.366333e-03,7.241054e-03,7.125825e-03,7.020107e-03,6.923373e-03,6.835111e-03,6.754823e-03,6.682025e-03,6.616249e-03,6.557043e-03,6.503968e-03,6.456601e-03,6.414537e-03,6.377384e-03,6.344767e-03,6.316327e-03,6.291720e-03,6.270619e-03,6.252712e-03,6.237702e-03,6.225309e-03,6.215266e-03,6.207323e-03,6.201244e-03,6.196806e-03,6.193802e-03,6.192039e-03,6.191336e-03,6.191525e-03,6.192453e-03,6.193976e-03,6.195963e-03,6.198296e-03,6.200865e-03,6.203572e-03,6.206329e-03,6.209056e-03,6.211683e-03,6.214149e-03,6.216398e-03,6.218385e-03,6.220069e-03
0.000000e+00,3.979669e-10,4.936832e-09,5.149548e-09,3.138113e-08,1.105346e-07,1.154667e-07,2.809813e-07,4.813710e-07,4.945080e-07,7.077540e-07,8.873779e-07,9.021200e-07,1.074499e-06,1.211489e-06,1.225700e-06,1.357353e-06,1.458407e-06,1.471181e-06,1.568836e-06,1.641058e-06,1.651853e-06,1.721652e-06,1.771026e-06,1.779538e-06,1.826711e-06,1.858172e-06,1.864269e-06,1.893215e-06,1.910790e-06,1.914466e-06,1.928856e-06,1.935807e-06,1.937143e-06,1.940014e-06,1.938960e-06,1.938093e-06,1.931946e-06,1.924979e-06,1.922084e-06,1.908969e-06,1.897746e-06,1.893015e-06,1.874601e-06,1.860432e-06,1.854068e-06,1.831720e-06,1.815629e-06,1.807834e-06,1.782654e-06,1.765435e-06,1.756401e-06,1.729275e-06,1.711538e-06,1.701451e-06,1.673089e-06,1.655297e-06,1.644330e-06,1.615298e-06,1.597796e-06,1.586106e-06,1.556853e-06,1.539892e-06,1.527624e-06,1.498499e-06,1.482259e-06,1.469544e-06,1.440818e-06,1.425421e-06,1.412374e-06,1.384255e-06,1.369775e-06,1.356501e-06,1.329144e-06,1.315623e-06,1.302211e-06,1.275728e-06,1.263181e-06,1.249712e-06,1.224181e-06,1.212603e-06,1.199146e-06,1.174618e-06,1.163988e-06,1.150603e-06,1.127107e-06,1.117394e-06,1.104132e-06,1.081679e-06,1.072845e-06,1.059749e-06,1.038339e-06,1.030339e-06,1.017447e-06,9.970670e-07,9.898550e-07,9.771954e-07,9.578260e-07,9.513536e-07,9.389522e-07,9.205668e-07,9.147854e-07,9.026623e-07,8.852304e-07,8.800918e-07,8.682629e-07,8.517509e-07,8.472080e-07,8.356855e-07,8.200577e-07,8.160650e-07,8.048581e-07,7.900774e-07,7.865914e-07,7.757063e-07,7.617353e-07,7.587145e-07,7.481551e-07,7.349562e-07,7.323613e-07,7.221294e-07,7.096654e-07,7.074597e-07,6.975552e-07,6.857896e-07,6.839385e-07,6.743598e-07,6.632569e-07,6.617282e-07,6.524725e-07,6.419978e-07,6.407613e-07,6.318247e-07,6.219449e-07,6.209727e-07,6.123504e-07,6.030333e-07,6.022997e-07,5.939860e-07,5.852009e-07,5.846820e-07,5.766707e-07,5.683882e-07,5.680620e-07,5.603464e-07,5.525385e-07,5.523847e-07,5.449577e-07,5.375976e-07,5.236510e-07,5.104974e-07,4.980920e-07,4.863922e-07,4.753578e-07,4.649505e-07,4.551345e-07,4.458757e-07,4.371420e-07,4.289031e-07,4.211304e-07,4.137970e-07,4.068775e-07,4.003479e-07,3.941856e-07,3.883694e-07,3.828794e-07,3.776965e-07,3.728032e-07,3.681826e-07,3.638190e-07,3.596976e-07,3.558045e-07,3.521265e-07,3.486512e-07,3.453671e-07,3.422631e-07,3.393289e-07,3.365549e-07,3.339319e-07,3.314512e-07,3.291048e-07,3.268851e-07,3.247849e-07,3.227973e-07,3.209162e-07,3.191353e-07,3.174492e-07,3.158524e-07,3.143400e-07,3.129072e-07,3.115496e-07,3.102630e-07,3.090435e-07,3.078874e-07,3.067911e-07,3.057514e-07,3.047651e-07,3.038293e-07
0.000000e+00,2.163573e-08,3.715642e-07,3.892010e-07,2.764517e-06,1.049283e-05,1.098277e-05,2.744631e-05,4.724891e-05,4.855286e-05,7.007092e-05,8.896678e-05,9.055807e-05,1.097159e-04,1.257983e-04,1.275184e-04,1.440034e-04,1.574625e-04,1.592242e-04,1.732384e-04,1.843705e-04,1.861049e-04,1.978818e-04,2.069746e-04,2.086267e-04,2.183957e-04,2.257164e-04,2.272434e-04,2.352223e-04,2.410141e-04,2.423832e-04,2.487749e-04,2.532565e-04,2.544439e-04,2.594342e-04,2.627983e-04,2.637870e-04,2.675419e-04,2.699582e-04,2.707371e-04,2.734085e-04,2.750272e-04,2.755909e-04,2.773192e-04,2.782762e-04,2.786256e-04,2.795393e-04,2.799505e-04,2.800879e-04,2.802974e-04,2.802619e-04,2.801924e-04,2.797961e-04,2.793998e-04,2.791304e-04,2.782161e-04,2.775329e-04,2.770725e-04,2.757182e-04,2.748117e-04,2.741704e-04,2.724455e-04,2.713700e-04,2.705588e-04,2.685247e-04,2.673264e-04,2.663569e-04,2.640680e-04,2.627860e-04,2.616701e-04,2.591745e-04,2.578417e-04,2.565917e-04,2.539315e-04,2.525754e-04,2.512034e-04,2.484159e-04,2.470592e-04,2.455771e-04,2.426948e-04,2.413563e-04,2.397760e-04,2.368272e-04,2.355219e-04,2.338548e-04,2.308644e-04,2.296044e-04,2.278614e-04,2.248508e-04,2.236455e-04,2.218373e-04,2.188250e-04,2.176816e-04,2.158181e-04,2.128201e-04,2.117437e-04,2.098345e-04,2.068644e-04,2.058586e-04,2.039127e-04,2.009820e-04,2.000490e-04,1.980747e-04,1.951931e-04,1.943340e-04,1.923393e-04,1.895149e-04,1.887296e-04,1.867218e-04,1.839613e-04,1.832491e-04,1.812349e-04,1.785437e-04,1.779032e-04,1.758889e-04,1.732714e-04,1.727006e-04,1.706919e-04,1.681512e-04,1.676478e-04,1.656500e-04,1.631888e-04,1.627500e-04,1.607679e-04,1.583877e-04,1.580107e-04,1.560486e-04,1.537506e-04,1.534322e-04,1.514939e-04,1.492786e-04,1.490156e-04,1.471047e-04,1.449721e-04,1.447611e-04,1.428808e-04,1.408305e-04,1.406682e-04,1.388211e-04,1.368524e-04,1.367356e-04,1.349241e-04,1.330359e-04,1.329612e-04,1.311875e-04,1.293785e-04,1.293427e-04,1.276085e-04,1.258772e-04,1.225615e-04,1.193920e-04,1.163652e-04,1.134769e-04,1.107232e-04,1.080999e-04,1.056029e-04,1.032277e-04,1.009703e-04,9.882624e-05,9.679141e-05,9.486161e-05,9.303271e-05,9.130068e-05,8.966154e-05,8.811142e-05,8.664654e-05,8.526322e-05,8.395787e-05,8.272703e-05,8.156733e-05,8.047551e-05,7.944843e-05,7.848305e-05,7.757645e-05,7.672580e-05,7.592839e-05,7.518161e-05,7.448296e-05,7.383003e-05,7.322050e-05,7.265217e-05,7.212292e-05,7.163072e-05,7.117362e-05,7.074977e-05,7.035740e-05,6.999479e-05,6.966035e-05,6.935252e-05,6.906982e-05,6.881085e-05,6.857427e-05,6.835881e-05,6.816324e-05,6.798640e-05,6.782721e-05,6.768459e-05,6.755757e-05
0.000000e+00,1.453849e-08,1.829726e-07,1.907228e-07,1.138769e-06,4.088949e-06,4.278261e-06,1.104703e-05,2.039988e-05,2.105447e-05,3.222243e-05,4.223283e-05,4.307435e-05,5.313024e-05,6.142309e-05,6.230045e-05,7.060362e-05,7.723005e-05,7.808640e-05,8.480151e-05,9.000269e-05,9.080157e-05,9.613725e-05,1.001412e-04,1.008568e-04,1.050059e-04,1.080129e-04,1.086277e-04,1.117626e-04,1.139455e-04,1.144485e-04,1.167210e-04,1.182279e-04,1.186131e-04,1.201560e-04,1.211127e-04,1.213783e-04,1.223070e-04,1.228200e-04,1.229672e-04,1.233821e-04,1.235411e-04,1.235732e-04,1.235608e-04,1.234409e-04,1.233633e-04,1.229981e-04,1.226621e-04,1.224810e-04,1.218269e-04,1.213269e-04,1.210495e-04,1.201615e-04,1.195405e-04,1.191745e-04,1.180994e-04,1.173930e-04,1.169461e-04,1.157240e-04,1.149612e-04,1.144415e-04,1.131064e-04,1.123108e-04,1.117259e-04,1.103068e-04,1.094974e-04,1.088550e-04,1.073762e-04,1.065683e-04,1.058756e-04,1.043578e-04,1.035632e-04,1.028271e-04,1.012876e-04,1.005156e-04,9.974276e-05,9.819590e-05,9.745359e-05,9.665003e-05,9.510784e-05,9.440036e-05,9.357180e-05,9.204413e-05,9.137514e-05,9.052686e-05,8.902178e-05,8.839368e-05,8.753052e-05,8.605454e-05,8.546871e-05,8.459512e-05,8.315342e-05,8.261044e-05,8.173045e-05,8.032710e-05,7.982685e-05,7.894414e-05,7.758224e-05,7.712410e-05,7.624197e-05,7.492382e-05,7.450675e-05,7.362818e-05,7.235539e-05,7.197804e-05,7.110568e-05,6.987927e-05,6.954007e-05,6.867628e-05,6.749679e-05,6.719398e-05,6.634085e-05,6.520843e-05,6.494015e-05,6.409949e-05,6.301395e-05,6.277826e-05,6.195168e-05,6.091253e-05,6.070746e-05,5.989634e-05,5.890291e-05,5.872649e-05,5.793201e-05,5.698340e-05,5.683368e-05,5.605684e-05,5.515204e-05,5.502709e-05,5.426873e-05,5.340661e-05,5.330457e-05,5.256537e-05,5.174470e-05,5.166375e-05,5.094428e-05,5.016377e-05,5.010218e-05,4.940285e-05,4.866119e-05,4.861729e-05,4.793843e-05,4.723424e-05,4.720645e-05,4.654828e-05,4.588020e-05,4.586702e-05,4.522966e-05,4.459631e-05,4.339168e-05,4.225049e-05,4.117013e-05,4.014806e-05,3.918177e-05,3.826883e-05,3.740687e-05,3.659357e-05,3.582672e-05,3.510414e-05,3.442377e-05,3.378358e-05,3.318166e-05,3.261613e-05,3.208521e-05,3.158720e-05,3.112044e-05,3.068335e-05,3.027444e-05,2.989226e-05,2.953543e-05,2.920262e-05,2.889257e-05,2.860409e-05,2.833603e-05,2.808727e-05,2.785679e-05,2.764357e-05,2.744668e-05,2.726519e-05,2.709826e-05,2.694505e-05,2.680478e-05,2.667670e-05,2.656011e-05,2.645434e-05,2.635873e-05,2.627268e-05,2.619560e-05,2.612695e-05,2.606621e-05,2.601286e-05,2.596645e-05,2.592652e-05,2.589265e-05,2.586443e-05,2.584148e-05,2.582344e-05,2.580996e-05
0.000000e+00,1.456666e-08,2.518289e-07,2.636669e-07,1.775899e-06,6.324998e-06,6.606333e-06,1.605655e-05,2.785454e-05,2.864887e-05,4.197021e-05,5.391524e-05,5.493001e-05,6.725287e-05,7.775627e-05,7.888894e-05,8.984321e-05,9.893384e-05,1.001345e-04,1.097859e-04,1.175929e-04,1.188218e-04,1.272684e-04,1.339259e-04,1.351500e-04,1.424908e-04,1.481238e-04,1.493151e-04,1.556469e-04,1.603733e-04,1.615093e-04,1.669246e-04,1.708522e-04,1.719145e-04,1.764999e-04,1.797267e-04,1.807009e-04,1.845366e-04,1.871507e-04,1.880254e-04,1.911852e-04,1.932660e-04,1.940328e-04,1.965845e-04,1.982030e-04,1.988558e-04,2.008615e-04,2.020810e-04,2.026159e-04,2.041324e-04,2.050093e-04,2.054240e-04,2.065032e-04,2.070878e-04,2.073816e-04,2.080707e-04,2.084075e-04,2.085810e-04,2.089230e-04,2.090514e-04,2.091063e-04,2.091403e-04,2.090951e-04,2.090339e-04,2.087955e-04,2.086074e-04,2.084333e-04,2.079549e-04,2.076509e-04,2.073677e-04,2.066786e-04,2.062822e-04,2.058942e-04,2.050209e-04,2.045529e-04,2.040648e-04,2.030314e-04,2.025096e-04,2.019263e-04,2.007546e-04,2.001946e-04,1.995213e-04,1.982309e-04,1.976463e-04,1.968880e-04,1.954968e-04,1.948990e-04,1.940612e-04,1.925851e-04,1.919841e-04,1.910720e-04,1.895254e-04,1.889296e-04,1.879485e-04,1.863444e-04,1.857608e-04,1.847160e-04,1.830660e-04,1.825005e-04,1.813971e-04,1.797116e-04,1.791692e-04,1.780121e-04,1.763006e-04,1.757851e-04,1.745792e-04,1.728499e-04,1.723646e-04,1.711146e-04,1.693751e-04,1.689223e-04,1.676328e-04,1.658896e-04,1.654712e-04,1.641467e-04,1.624055e-04,1.620228e-04,1.606674e-04,1.589336e-04,1.585875e-04,1.572053e-04,1.554834e-04,1.551742e-04,1.537690e-04,1.520630e-04,1.517909e-04,1.503663e-04,1.486797e-04,1.484445e-04,1.470041e-04,1.453400e-04,1.451411e-04,1.436882e-04,1.420492e-04,1.418860e-04,1.404237e-04,1.388121e-04,1.386838e-04,1.372149e-04,1.356326e-04,1.355381e-04,1.340655e-04,1.325141e-04,1.324524e-04,1.309787e-04,1.294595e-04,1.294293e-04,1.279569e-04,1.264711e-04,1.235797e-04,1.207564e-04,1.180024e-04,1.153183e-04,1.127047e-04,1.101618e-04,1.076896e-04,1.052879e-04,1.029564e-04,1.006945e-04,9.850155e-05,9.637688e-05,9.431956e-05,9.232866e-05,9.040311e-05,8.854183e-05,8.674366e-05,8.500740e-05,8.333180e-05,8.171560e-05,8.015752e-05,7.865624e-05,7.721046e-05,7.581885e-05,7.448006e-05,7.319279e-05,7.195570e-05,7.076748e-05,6.962682e-05,6.853242e-05,6.748301e-05,6.647731e-05,6.551407e-05,6.459208e-05,6.371010e-05,6.286696e-05,6.206148e-05,6.129251e-05,6.055892e-05,5.985961e-05,5.919350e-05,5.855952e-05,5.795664e-05,5.738384e-05,5.684013e-05,5.632455e-05,5.583614e-05,5.537398e-05,5.493717e-05
0.000000e+00,5.386886e-09,6.435647e-08,6.702497e-08,3.815727e-07,1.300702e-06,1.357887e-06,3.311775e-06,5.802789e-06,5.970686e-06,8.759882e-06,1.119472e-05,1.139808e-05,1.382023e-05,1.581177e-05,1.602232e-05,1.801426e-05,1.960341e-05,1.980876e-05,2.141881e-05,2.266558e-05,2.285705e-05,2.413557e-05,2.509458e-05,2.526594e-05,2.625910e-05,2.697839e-05,2.712541e-05,2.787464e-05,2.839591e-05,2.851597e-05,2.905797e-05,2.941697e-05,2.950868e-05,2.987560e-05,3.010272e-05,3.016569e-05,3.038543e-05,3.050632e-05,3.054086e-05,3.063758e-05,3.067379e-05,3.068078e-05,3.067527e-05,3.064482e-05,3.062549e-05,3.053557e-05,3.045346e-05,3.040934e-05,3.025034e-05,3.012904e-05,3.006184e-05,2.984687e-05,2.969670e-05,2.960823e-05,2.934847e-05,2.917787e-05,2.906997e-05,2.877493e-05,2.859081e-05,2.846536e-05,2.814310e-05,2.795106e-05,2.780987e-05,2.746723e-05,2.727180e-05,2.711665e-05,2.675942e-05,2.656419e-05,2.639677e-05,2.602982e-05,2.583764e-05,2.565957e-05,2.528695e-05,2.510003e-05,2.491282e-05,2.453796e-05,2.435797e-05,2.416306e-05,2.378876e-05,2.361695e-05,2.341565e-05,2.304426e-05,2.288151e-05,2.267505e-05,2.230846e-05,2.215537e-05,2.194487e-05,2.158463e-05,2.144154e-05,2.122804e-05,2.087538e-05,2.074245e-05,2.052690e-05,2.018279e-05,2.006003e-05,1.984326e-05,1.950847e-05,1.939574e-05,1.917855e-05,1.885362e-05,1.875072e-05,1.853379e-05,1.821913e-05,1.812576e-05,1.790972e-05,1.760560e-05,1.752140e-05,1.730682e-05,1.701340e-05,1.693799e-05,1.672536e-05,1.644269e-05,1.637565e-05,1.616541e-05,1.589349e-05,1.583438e-05,1.562691e-05,1.536565e-05,1.531404e-05,1.510968e-05,1.485895e-05,1.481438e-05,1.461343e-05,1.437305e-05,1.433507e-05,1.413778e-05,1.390755e-05,1.387571e-05,1.368230e-05,1.346198e-05,1.343587e-05,1.324652e-05,1.303585e-05,1.301504e-05,1.282990e-05,1.262860e-05,1.261270e-05,1.243189e-05,1.223969e-05,1.222830e-05,1.205192e-05,1.186852e-05,1.186128e-05,1.168941e-05,1.151451e-05,1.151106e-05,1.134376e-05,1.117707e-05,1.085872e-05,1.055544e-05,1.026667e-05,9.991832e-06,9.730384e-06,9.481783e-06,9.245505e-06,9.021036e-06,8.807881e-06,8.605556e-06,8.413593e-06,8.231542e-06,8.058967e-06,7.895445e-06,7.740574e-06,7.593962e-06,7.455236e-06,7.324034e-06,7.200012e-06,7.082836e-06,6.972188e-06,6.867763e-06,6.769268e-06,6.676423e-06,6.588959e-06,6.506619e-06,6.429158e-06,6.356339e-06,6.287938e-06,6.223740e-06,6.163538e-06,6.107137e-06,6.054348e-06,6.004991e-06,5.958896e-06,5.915899e-06,5.875842e-06,5.838578e-06,5.803962e-06,5.771861e-06,5.742142e-06,5.714683e-06,5.689366e-06,5.666078e-06,5.644711e-06,5.625163e-06,5.607337e-06,5.591139e-06,5.576480e-06
0.000000e+00,1.733184e-08,4.895211e-07,5.154599e-07,4.599211e-06,2.252893e-05,2.386315e-05,8.248164e-05,1.939538e-04,2.030194e-04,3.822836e-04,5.785271e-04,5.963123e-04,8.210055e-04,1.019257e-03,1.040731e-03,1.247485e-03,1.416015e-03,1.437973e-03,1.611349e-03,1.746982e-03,1.767915e-03,1.908452e-03,2.014815e-03,2.033918e-03,2.145311e-03,2.226846e-03,2.243618e-03,2.329787e-03,2.390591e-03,2.404720e-03,2.469271e-03,2.512934e-03,2.524246e-03,2.570402e-03,2.600022e-03,2.608451e-03,2.639059e-03,2.657286e-03,2.662848e-03,2.680399e-03,2.689478e-03,2.692252e-03,2.698912e-03,2.700735e-03,2.700846e-03,2.698492e-03,2.694649e-03,2.692253e-03,2.682503e-03,2.674314e-03,2.669588e-03,2.653829e-03,2.642387e-03,2.635521e-03,2.614938e-03,2.601145e-03,2.592332e-03,2.567937e-03,2.552530e-03,2.541966e-03,2.514617e-03,2.498197e-03,2.486074e-03,2.456502e-03,2.439550e-03,2.426055e-03,2.394875e-03,2.377778e-03,2.363090e-03,2.330819e-03,2.313882e-03,2.298170e-03,2.265242e-03,2.248702e-03,2.232125e-03,2.198902e-03,2.182938e-03,2.165646e-03,2.132425e-03,2.117173e-03,2.099301e-03,2.066329e-03,2.051883e-03,2.033560e-03,2.001037e-03,1.987461e-03,1.968801e-03,1.936889e-03,1.924221e-03,1.905331e-03,1.874157e-03,1.862416e-03,1.843391e-03,1.813055e-03,1.802243e-03,1.783167e-03,1.753746e-03,1.743851e-03,1.724803e-03,1.696351e-03,1.687352e-03,1.668400e-03,1.640957e-03,1.632824e-03,1.614028e-03,1.587619e-03,1.580318e-03,1.561732e-03,1.536369e-03,1.529860e-03,1.511530e-03,1.487216e-03,1.481459e-03,1.463425e-03,1.440155e-03,1.435106e-03,1.417403e-03,1.395165e-03,1.390779e-03,1.373437e-03,1.352214e-03,1.348447e-03,1.331490e-03,1.311260e-03,1.308069e-03,1.291517e-03,1.272255e-03,1.269597e-03,1.253468e-03,1.235146e-03,1.232979e-03,1.217285e-03,1.199875e-03,1.198158e-03,1.182909e-03,1.166379e-03,1.165076e-03,1.150278e-03,1.134597e-03,1.133670e-03,1.119328e-03,1.104464e-03,1.103878e-03,1.089995e-03,1.075914e-03,1.075637e-03,1.062213e-03,1.048884e-03,1.023556e-03,9.995925e-04,9.769320e-04,9.555154e-04,9.352849e-04,9.161844e-04,8.981595e-04,8.811578e-04,8.651286e-04,8.500231e-04,8.357946e-04,8.223981e-04,8.097905e-04,7.979307e-04,7.867793e-04,7.762988e-04,7.664531e-04,7.572083e-04,7.485316e-04,7.403920e-04,7.327602e-04,7.256080e-04,7.189088e-04,7.126372e-04,7.067693e-04,7.012823e-04,6.961544e-04,6.913651e-04,6.868951e-04,6.827259e-04,6.788400e-04,6.752209e-04,6.718529e-04,6.687212e-04,6.658117e-04,6.631112e-04,6.606072e-04,6.582877e-04,6.561416e-04,6.541582e-04,6.523275e-04,6.506400e-04,6.490868e-04,6.476594e-04,6.463499e-04,6.451506e-04,6.440546e-04,6.430551e-04,6.421457e-04
0.000000e+00,1.946558e-08,2.615856e-07,2.729686e-07,1.689542e-06,5.990378e-06,6.256914e-06,1.498392e-05,2.510790e-05,2.576652e-05,3.657095e-05,4.601696e-05,4.681211e-05,5.638879e-05,6.443927e-05,6.530114e-05,7.356968e-05,8.033358e-05,8.121982e-05,8.827836e-05,9.389643e-05,9.477271e-05,1.007305e-04,1.053404e-04,1.061791e-04,1.111458e-04,1.148774e-04,1.156570e-04,1.197385e-04,1.227110e-04,1.234151e-04,1.267107e-04,1.290316e-04,1.296482e-04,1.322493e-04,1.340140e-04,1.345349e-04,1.365246e-04,1.378177e-04,1.382374e-04,1.396910e-04,1.405866e-04,1.409023e-04,1.418872e-04,1.424501e-04,1.426610e-04,1.432378e-04,1.435246e-04,1.436314e-04,1.438544e-04,1.439141e-04,1.439191e-04,1.438368e-04,1.437121e-04,1.436185e-04,1.432742e-04,1.430019e-04,1.428138e-04,1.422461e-04,1.418577e-04,1.415799e-04,1.408233e-04,1.403460e-04,1.399839e-04,1.390687e-04,1.385256e-04,1.380845e-04,1.370376e-04,1.364483e-04,1.359340e-04,1.347791e-04,1.341601e-04,1.335783e-04,1.323364e-04,1.317014e-04,1.310580e-04,1.297474e-04,1.291081e-04,1.284088e-04,1.270458e-04,1.264116e-04,1.256620e-04,1.242607e-04,1.236394e-04,1.228451e-04,1.214179e-04,1.208157e-04,1.199820e-04,1.185397e-04,1.179615e-04,1.170934e-04,1.156453e-04,1.150950e-04,1.141974e-04,1.127516e-04,1.122319e-04,1.113096e-04,1.098730e-04,1.093860e-04,1.084433e-04,1.070218e-04,1.065689e-04,1.056099e-04,1.042086e-04,1.037904e-04,1.028190e-04,1.014421e-04,1.010590e-04,1.000788e-04,9.872986e-05,9.838158e-05,9.739601e-05,9.607792e-05,9.576398e-05,9.477617e-05,9.349129e-05,9.321093e-05,9.222376e-05,9.097399e-05,9.072620e-05,8.974233e-05,8.852911e-05,8.831271e-05,8.733459e-05,8.615900e-05,8.597268e-05,8.500253e-05,8.386533e-05,8.370767e-05,8.274752e-05,8.164919e-05,8.151870e-05,8.057038e-05,7.951113e-05,7.940628e-05,7.847144e-05,7.745129e-05,7.737052e-05,7.645064e-05,7.546942e-05,7.541116e-05,7.450754e-05,7.356491e-05,7.352761e-05,7.264142e-05,7.173692e-05,7.171903e-05,7.085128e-05,6.998434e-05,6.832227e-05,6.673139e-05,6.521015e-05,6.375688e-05,6.236982e-05,6.104716e-05,5.978701e-05,5.858749e-05,5.744666e-05,5.636259e-05,5.533334e-05,5.435698e-05,5.343160e-05,5.255531e-05,5.172625e-05,5.094257e-05,5.020248e-05,4.950421e-05,4.884606e-05,4.822632e-05,4.764338e-05,4.709563e-05,4.658154e-05,4.609960e-05,4.564837e-05,4.522645e-05,4.483246e-05,4.446510e-05,4.412310e-05,4.380523e-05,4.351033e-05,4.323725e-05,4.298490e-05,4.275223e-05,4.253823e-05,4.234193e-05,4.216240e-05,4.199875e-05,4.185012e-05,4.171568e-05,4.159465e-05,4.148627e-05,4.138983e-05,4.130463e-05,4.123001e-05,4.116535e-05,4.111004e-05,4.106351e-05,4.102520e-05
0.000000e+00,8.698306e-09,2.649134e-07,2.793237e-07,2.642930e-06,1.356725e-05,1.439698e-05,5.194017e-05,1.267719e-04,1.330121e-04,2.606636e-04,4.090515e-04,4.229175e-04,6.036291e-04,7.708431e-04,7.893484e-04,9.709837e-04,1.123120e-03,1.143174e-03,1.303155e-03,1.430074e-03,1.449784e-03,1.582860e-03,1.684393e-03,1.702700e-03,1.809883e-03,1.888822e-03,1.905115e-03,1.989145e-03,2.048811e-03,2.062728e-03,2.126602e-03,2.170142e-03,2.181478e-03,2.228033e-03,2.258247e-03,2.266910e-03,2.298716e-03,2.318036e-03,2.324020e-03,2.343360e-03,2.353874e-03,2.357237e-03,2.366120e-03,2.369602e-03,2.370446e-03,2.370625e-03,2.368573e-03,2.367036e-03,2.360033e-03,2.353701e-03,2.349944e-03,2.337074e-03,2.327510e-03,2.321706e-03,2.304101e-03,2.292169e-03,2.284501e-03,2.263130e-03,2.249545e-03,2.240196e-03,2.215889e-03,2.201232e-03,2.190385e-03,2.163847e-03,2.148591e-03,2.136425e-03,2.108255e-03,2.092777e-03,2.079463e-03,2.050166e-03,2.034767e-03,2.020469e-03,1.990470e-03,1.975385e-03,1.960257e-03,1.929910e-03,1.915319e-03,1.899504e-03,1.869106e-03,1.855142e-03,1.838775e-03,1.808567e-03,1.795328e-03,1.778532e-03,1.748714e-03,1.736265e-03,1.719153e-03,1.689885e-03,1.678267e-03,1.660941e-03,1.632351e-03,1.621585e-03,1.604139e-03,1.576326e-03,1.566415e-03,1.548933e-03,1.521974e-03,1.512910e-03,1.495465e-03,1.469417e-03,1.461181e-03,1.443840e-03,1.418741e-03,1.411306e-03,1.394127e-03,1.370003e-03,1.363337e-03,1.346372e-03,1.323235e-03,1.317301e-03,1.300594e-03,1.278448e-03,1.273206e-03,1.256795e-03,1.235635e-03,1.231045e-03,1.214963e-03,1.194776e-03,1.190796e-03,1.175070e-03,1.155839e-03,1.152428e-03,1.137079e-03,1.118783e-03,1.115899e-03,1.100946e-03,1.083561e-03,1.081162e-03,1.066620e-03,1.050117e-03,1.048165e-03,1.034044e-03,1.018394e-03,1.016852e-03,1.003159e-03,9.883311e-04,9.871622e-04,9.739026e-04,9.598653e-04,9.590354e-04,9.462113e-04,9.329325e-04,9.324090e-04,9.200207e-04,9.074678e-04,9.072204e-04,8.952659e-04,8.834069e-04,8.609065e-04,8.396583e-04,8.196025e-04,8.006807e-04,7.828364e-04,7.660146e-04,7.501626e-04,7.352293e-04,7.211659e-04,7.079253e-04,6.954628e-04,6.837355e-04,6.727025e-04,6.623248e-04,6.525655e-04,6.433895e-04,6.347632e-04,6.266551e-04,6.190352e-04,6.118751e-04,6.051479e-04,5.988283e-04,5.928923e-04,5.873173e-04,5.820819e-04,5.771660e-04,5.725505e-04,5.682176e-04,5.641504e-04,5.603330e-04,5.567504e-04,5.533886e-04,5.502343e-04,5.472752e-04,5.444993e-04,5.418958e-04,5.394543e-04,5.371650e-04,5.350187e-04,5.330069e-04,5.311215e-04,5.293549e-04,5.276999e-04,5.261498e-04,5.246984e-04,5.233397e-04,5.220681e-04,5.208784e-04,5.197658e-04
0.000000e+00,4.693357e-10,5.427538e-09,5.652467e-09,3.212727e-08,1.084710e-07,1.131792e-07,2.722688e-07,4.726483e-07,4.860858e-07,7.069877e-07,8.941993e-07,9.095249e-07,1.087754e-06,1.227634e-06,1.242034e-06,1.374215e-06,1.473919e-06,1.486392e-06,1.580587e-06,1.648650e-06,1.658680e-06,1.722394e-06,1.765955e-06,1.773300e-06,1.812827e-06,1.837661e-06,1.842271e-06,1.862805e-06,1.873531e-06,1.875486e-06,1.881268e-06,1.881544e-06,1.881009e-06,1.875477e-06,1.868175e-06,1.865365e-06,1.851290e-06,1.838652e-06,1.833807e-06,1.813410e-06,1.797169e-06,1.790539e-06,1.765586e-06,1.747070e-06,1.738901e-06,1.710796e-06,1.691015e-06,1.681546e-06,1.651396e-06,1.631111e-06,1.620564e-06,1.589242e-06,1.569017e-06,1.557598e-06,1.525782e-06,1.506028e-06,1.493924e-06,1.462139e-06,1.443144e-06,1.430526e-06,1.399177e-06,1.381144e-06,1.368164e-06,1.337549e-06,1.320598e-06,1.307385e-06,1.277718e-06,1.261917e-06,1.248585e-06,1.220017e-06,1.205393e-06,1.192039e-06,1.164670e-06,1.151220e-06,1.137927e-06,1.111820e-06,1.099517e-06,1.086357e-06,1.061542e-06,1.050346e-06,1.037378e-06,1.013864e-06,1.003723e-06,9.909975e-07,9.687737e-07,9.596300e-07,9.471867e-07,9.262290e-07,9.180202e-07,9.058919e-07,8.861659e-07,8.788281e-07,8.670407e-07,8.485052e-07,8.419746e-07,8.305480e-07,8.131569e-07,8.073707e-07,7.963195e-07,7.800232e-07,7.749205e-07,7.642550e-07,7.490019e-07,7.445245e-07,7.342509e-07,7.199887e-07,7.160811e-07,7.062025e-07,6.928790e-07,6.894891e-07,6.800055e-07,6.675696e-07,6.646486e-07,6.555582e-07,6.439592e-07,6.414616e-07,6.327605e-07,6.219499e-07,6.198334e-07,6.115158e-07,6.014466e-07,5.996720e-07,5.917309e-07,5.823578e-07,5.808892e-07,5.733164e-07,5.645962e-07,5.634004e-07,5.561869e-07,5.480785e-07,5.471252e-07,5.402612e-07,5.327258e-07,5.319873e-07,5.254627e-07,5.184632e-07,5.179144e-07,5.117186e-07,5.052203e-07,5.048381e-07,4.989601e-07,4.929301e-07,4.926936e-07,4.871225e-07,4.815299e-07,4.814202e-07,4.761448e-07,4.709603e-07,4.612603e-07,4.522693e-07,4.439399e-07,4.362276e-07,4.290906e-07,4.224898e-07,4.163887e-07,4.107529e-07,4.055506e-07,4.007517e-07,3.963283e-07,3.922543e-07,3.885053e-07,3.850585e-07,3.818926e-07,3.789879e-07,3.763257e-07,3.738889e-07,3.716613e-07,3.696278e-07,3.677746e-07,3.660885e-07,3.645574e-07,3.631699e-07,3.619156e-07,3.607844e-07,3.597674e-07,3.588559e-07,3.580420e-07,3.573183e-07,3.566780e-07,3.561146e-07,3.556223e-07,3.551953e-07,3.548287e-07,3.545176e-07,3.542576e-07,3.540445e-07,3.538745e-07,3.537440e-07,3.536497e-07,3.535887e-07,3.535579e-07,3.535548e-07,3.535769e-07,3.536220e-07,3.536879e-07,3.537727e-07,3.538746e-07
0.000000e+00,4.769714e-08,1.927364e-06,2.043907e-06,2.173647e-05,9.180315e-05,9.611211e-05,2.298095e-04,3.771738e-04,3.867405e-04,5.450007e-04,6.862920e-04,6.983356e-04,8.454491e-04,9.723901e-04,9.861770e-04,1.120592e-03,1.233750e-03,1.248814e-03,1.370977e-03,1.471304e-03,1.487228e-03,1.597720e-03,1.686198e-03,1.702611e-03,1.802068e-03,1.879686e-03,1.896259e-03,1.985354e-03,2.053074e-03,2.069521e-03,2.148929e-03,2.207671e-03,2.223744e-03,2.294130e-03,2.344758e-03,2.360245e-03,2.422246e-03,2.465568e-03,2.480285e-03,2.534512e-03,2.571276e-03,2.585070e-03,2.632100e-03,2.662995e-03,2.675739e-03,2.716118e-03,2.741779e-03,2.753366e-03,2.787608e-03,2.808620e-03,2.818965e-03,2.847553e-03,2.864448e-03,2.873485e-03,2.896872e-03,2.910140e-03,2.917820e-03,2.936430e-03,2.946516e-03,2.952803e-03,2.967034e-03,2.974343e-03,2.979216e-03,2.989439e-03,2.994341e-03,2.997790e-03,3.004352e-03,3.007181e-03,3.009207e-03,3.012431e-03,3.013489e-03,3.014102e-03,3.014291e-03,3.013852e-03,3.013068e-03,3.010502e-03,3.008813e-03,3.006659e-03,3.001600e-03,2.998882e-03,2.995387e-03,2.988078e-03,2.984530e-03,2.979731e-03,2.970399e-03,2.966199e-03,2.960135e-03,2.948989e-03,2.944295e-03,2.937011e-03,2.924247e-03,2.919200e-03,2.910742e-03,2.896540e-03,2.891265e-03,2.881683e-03,2.866210e-03,2.860816e-03,2.850161e-03,2.833573e-03,2.828157e-03,2.816481e-03,2.798921e-03,2.793566e-03,2.780924e-03,2.762523e-03,2.757303e-03,2.743749e-03,2.724630e-03,2.719606e-03,2.705195e-03,2.685471e-03,2.680697e-03,2.665483e-03,2.645257e-03,2.640778e-03,2.624816e-03,2.604183e-03,2.600036e-03,2.583380e-03,2.562429e-03,2.558643e-03,2.541348e-03,2.520157e-03,2.516757e-03,2.498875e-03,2.477519e-03,2.474524e-03,2.456105e-03,2.434651e-03,2.432075e-03,2.413171e-03,2.391680e-03,2.389531e-03,2.370192e-03,2.348719e-03,2.347003e-03,2.327276e-03,2.305874e-03,2.304591e-03,2.284524e-03,2.263237e-03,2.262387e-03,2.242025e-03,2.220896e-03,2.220474e-03,2.199860e-03,2.178925e-03,2.137809e-03,2.097184e-03,2.057105e-03,2.017620e-03,1.978773e-03,1.940599e-03,1.903132e-03,1.866400e-03,1.830427e-03,1.795234e-03,1.760838e-03,1.727251e-03,1.694487e-03,1.662552e-03,1.631452e-03,1.601191e-03,1.571770e-03,1.543189e-03,1.515445e-03,1.488534e-03,1.462452e-03,1.437192e-03,1.412745e-03,1.389103e-03,1.366256e-03,1.344194e-03,1.322904e-03,1.302374e-03,1.282593e-03,1.263545e-03,1.245218e-03,1.227598e-03,1.210668e-03,1.194416e-03,1.178824e-03,1.163879e-03,1.149564e-03,1.135864e-03,1.122763e-03,1.110245e-03,1.098294e-03,1.086895e-03,1.076032e-03,1.065688e-03,1.055849e-03,1.046498e-03,1.037621e-03,1.029201e-03,1.021225e-03
0.000000e+00,2.946983e-08,1.510903e-06,1.609448e-06,2.233948e-05,1.318673e-04,1.402111e-04,5.015940e-04,1.179497e-03,1.235513e-03,2.406212e-03,3.877325e-03,4.022532e-03,6.055700e-03,8.199368e-03,8.453830e-03,1.115257e-02,1.372114e-02,1.408266e-02,1.717506e-02,1.991438e-02,2.036444e-02,2.359122e-02,2.629190e-02,2.680278e-02,2.995394e-02,3.246613e-02,3.300698e-02,3.593135e-02,3.816195e-02,3.870316e-02,4.130455e-02,4.320711e-02,4.372300e-02,4.595069e-02,4.751364e-02,4.798374e-02,4.982164e-02,5.105728e-02,5.146663e-02,5.292316e-02,5.385860e-02,5.419744e-02,5.529698e-02,5.596722e-02,5.623030e-02,5.700655e-02,5.744955e-02,5.763529e-02,5.812628e-02,5.837963e-02,5.848929e-02,5.873398e-02,5.883284e-02,5.886976e-02,5.890572e-02,5.888173e-02,5.885059e-02,5.871266e-02,5.859344e-02,5.849978e-02,5.821933e-02,5.802844e-02,5.787820e-02,5.748285e-02,5.724000e-02,5.703923e-02,5.655288e-02,5.627429e-02,5.602889e-02,5.547196e-02,5.517078e-02,5.488638e-02,5.427611e-02,5.396286e-02,5.364475e-02,5.299556e-02,5.267852e-02,5.233155e-02,5.165543e-02,5.134104e-02,5.096966e-02,5.027648e-02,4.996966e-02,4.957791e-02,4.887578e-02,4.858022e-02,4.817172e-02,4.746724e-02,4.718562e-02,4.676366e-02,4.606218e-02,4.579640e-02,4.536389e-02,4.466975e-02,4.442105e-02,4.398063e-02,4.329729e-02,4.306639e-02,4.262042e-02,4.195063e-02,4.173789e-02,4.128847e-02,4.063441e-02,4.043983e-02,3.998886e-02,3.935221e-02,3.917558e-02,3.872476e-02,3.810679e-02,3.794770e-02,3.749855e-02,3.690023e-02,3.675813e-02,3.631200e-02,3.573400e-02,3.560823e-02,3.516635e-02,3.460913e-02,3.449895e-02,3.406241e-02,3.352624e-02,3.343085e-02,3.300063e-02,3.248561e-02,3.240419e-02,3.198116e-02,3.148727e-02,3.141896e-02,3.100390e-02,3.053100e-02,3.047496e-02,3.006854e-02,2.961643e-02,2.957179e-02,2.917461e-02,2.874299e-02,2.870890e-02,2.832149e-02,2.791001e-02,2.788564e-02,2.750845e-02,2.711670e-02,2.710123e-02,2.673465e-02,2.636218e-02,2.635483e-02,2.599918e-02,2.564552e-02,2.497232e-02,2.433422e-02,2.373016e-02,2.315905e-02,2.261981e-02,2.211131e-02,2.163243e-02,2.118204e-02,2.075903e-02,2.036226e-02,1.999063e-02,1.964303e-02,1.931837e-02,1.901557e-02,1.873358e-02,1.847136e-02,1.822790e-02,1.800220e-02,1.779329e-02,1.760022e-02,1.742209e-02,1.725799e-02,1.710707e-02,1.696850e-02,1.684147e-02,1.672521e-02,1.661898e-02,1.652207e-02,1.643379e-02,1.635349e-02,1.628056e-02,1.621440e-02,1.615446e-02,1.610021e-02,1.605114e-02,1.600679e-02,1.596671e-02,1.593048e-02,1.589773e-02,1.586807e-02,1.584118e-02,1.581674e-02,1.579446e-02,1.577407e-02,1.575532e-02,1.573799e-02,1.572186e-02,1.570675e-02,1.569249e-02
0.000000e+00,7.240120e-08,2.606295e-06,2.756121e-06,2.900232e-05,1.551425e-04,1.647868e-04,6.061664e-04,1.527666e-03,1.607513e-03,3.353004e-03,5.667313e-03,5.900037e-03,9.205767e-03,1.274618e-02,1.316843e-02,1.765864e-02,2.193770e-02,2.253959e-02,2.767921e-02,3.221387e-02,3.295696e-02,3.826709e-02,4.268645e-02,4.351978e-02,4.864090e-02,5.269991e-02,5.357101e-02,5.826401e-02,6.182425e-02,6.268555e-02,6.681144e-02,6.981413e-02,7.062613e-02,7.412134e-02,7.656238e-02,7.729470e-02,8.014871e-02,8.205868e-02,8.268970e-02,8.492701e-02,8.635627e-02,8.687224e-02,8.853863e-02,8.954689e-02,8.994061e-02,9.109330e-02,9.174262e-02,9.201217e-02,9.271280e-02,9.306319e-02,9.321066e-02,9.352088e-02,9.362775e-02,9.365816e-02,9.363664e-02,9.354953e-02,9.346988e-02,9.317073e-02,9.293279e-02,9.275137e-02,9.222328e-02,9.187144e-02,9.159722e-02,9.088325e-02,9.044855e-02,9.009076e-02,8.922847e-02,8.873668e-02,8.830447e-02,8.732627e-02,8.679849e-02,8.630077e-02,8.523435e-02,8.468765e-02,8.413289e-02,8.300178e-02,8.244979e-02,8.184598e-02,8.067002e-02,8.012346e-02,7.947805e-02,7.827387e-02,7.774107e-02,7.706096e-02,7.584246e-02,7.532972e-02,7.462125e-02,7.339996e-02,7.291196e-02,7.218095e-02,7.096639e-02,7.050643e-02,6.975821e-02,6.855818e-02,6.812848e-02,6.736789e-02,6.618877e-02,6.579065e-02,6.502210e-02,6.386902e-02,6.350308e-02,6.273057e-02,6.160765e-02,6.127392e-02,6.050106e-02,5.941152e-02,5.910959e-02,5.833965e-02,5.728599e-02,5.701507e-02,5.625099e-02,5.523505e-02,5.499410e-02,5.423851e-02,5.326164e-02,5.304939e-02,5.230465e-02,5.136773e-02,5.118277e-02,5.045100e-02,4.955455e-02,4.939534e-02,4.867841e-02,4.782262e-02,4.768758e-02,4.698715e-02,4.617195e-02,4.605943e-02,4.537694e-02,4.460204e-02,4.451040e-02,4.384712e-02,4.311204e-02,4.303962e-02,4.239664e-02,4.170075e-02,4.164591e-02,4.102417e-02,4.036670e-02,4.032785e-02,3.972812e-02,3.910820e-02,3.908379e-02,3.850670e-02,3.792338e-02,3.791190e-02,3.735797e-02,3.681021e-02,3.577665e-02,3.480903e-02,3.390511e-02,3.306260e-02,3.227913e-02,3.155235e-02,3.087987e-02,3.025929e-02,2.968823e-02,2.916431e-02,2.868518e-02,2.824850e-02,2.785196e-02,2.749332e-02,2.717034e-02,2.688085e-02,2.662271e-02,2.639387e-02,2.619230e-02,2.601605e-02,2.586323e-02,2.573202e-02,2.562066e-02,2.552748e-02,2.545085e-02,2.538924e-02,2.534118e-02,2.530529e-02,2.528024e-02,2.526481e-02,2.525781e-02,2.525817e-02,2.526485e-02,2.527691e-02,2.529347e-02,2.531372e-02,2.533691e-02,2.536235e-02,2.538944e-02,2.541760e-02,2.544632e-02,2.547516e-02,2.550372e-02,2.553164e-02,2.555861e-02,2.558437e-02,2.560869e-02,2.563138e-02,2.565229e-02
0.000000e+00,3.539632e-09,1.132675e-07,1.194694e-07,1.128279e-06,5.762367e-06,6.116103e-06,2.263107e-05,5.899738e-05,6.224165e-05,1.354295e-04,2.356413e-04,2.457765e-04,3.889959e-04,5.384638e-04,5.559170e-04,7.358162e-04,8.968275e-04,9.186237e-04,1.096026e-03,1.239489e-03,1.261827e-03,1.411875e-03,1.523955e-03,1.543787e-03,1.656594e-03,1.734876e-03,1.750384e-03,1.825994e-03,1.874270e-03,1.884746e-03,1.928240e-03,1.952682e-03,1.958201e-03,1.976364e-03,1.983309e-03,1.984399e-03,1.983864e-03,1.978787e-03,1.976172e-03,1.962586e-03,1.949781e-03,1.944211e-03,1.922005e-03,1.904625e-03,1.896786e-03,1.869247e-03,1.849494e-03,1.839967e-03,1.809428e-03,1.788779e-03,1.778028e-03,1.746089e-03,1.725490e-03,1.713875e-03,1.681596e-03,1.661625e-03,1.649419e-03,1.617477e-03,1.598468e-03,1.585873e-03,1.554687e-03,1.536815e-03,1.523979e-03,1.493793e-03,1.477130e-03,1.464162e-03,1.435107e-03,1.419663e-03,1.406644e-03,1.378781e-03,1.364530e-03,1.351521e-03,1.324864e-03,1.311762e-03,1.298808e-03,1.273348e-03,1.261336e-03,1.248476e-03,1.224184e-03,1.213203e-03,1.200465e-03,1.177308e-03,1.167295e-03,1.154703e-03,1.132641e-03,1.123534e-03,1.111111e-03,1.090102e-03,1.081842e-03,1.069604e-03,1.049607e-03,1.042137e-03,1.030099e-03,1.011072e-03,1.004338e-03,9.925145e-04,9.744165e-04,9.683661e-04,9.567683e-04,9.395600e-04,9.341447e-04,9.227821e-04,9.064250e-04,9.015986e-04,8.904795e-04,8.749363e-04,8.706551e-04,8.597865e-04,8.450213e-04,8.412442e-04,8.306319e-04,8.166097e-04,8.132981e-04,8.029464e-04,7.896338e-04,7.867513e-04,7.766638e-04,7.640284e-04,7.615408e-04,7.517198e-04,7.397305e-04,7.376058e-04,7.280530e-04,7.166799e-04,7.148880e-04,7.056041e-04,6.948185e-04,6.933312e-04,6.843162e-04,6.740904e-04,6.728816e-04,6.641347e-04,6.544424e-04,6.534874e-04,6.450072e-04,6.358230e-04,6.350989e-04,6.268836e-04,6.181832e-04,6.176687e-04,6.097160e-04,6.014761e-04,6.011512e-04,5.934582e-04,5.856567e-04,5.855028e-04,5.780663e-04,5.706819e-04,5.566486e-04,5.433647e-04,5.307940e-04,5.189016e-04,5.076545e-04,4.970208e-04,4.869703e-04,4.774744e-04,4.685054e-04,4.600372e-04,4.520448e-04,4.445043e-04,4.373932e-04,4.306897e-04,4.243732e-04,4.184242e-04,4.128241e-04,4.075548e-04,4.025997e-04,3.979425e-04,3.935679e-04,3.894612e-04,3.856087e-04,3.819970e-04,3.786135e-04,3.754464e-04,3.724842e-04,3.697160e-04,3.671317e-04,3.647213e-04,3.624755e-04,3.603856e-04,3.584430e-04,3.566398e-04,3.549684e-04,3.534214e-04,3.519922e-04,3.506741e-04,3.494609e-04,3.483467e-04,3.473260e-04,3.463935e-04,3.455440e-04,3.447728e-04,3.440753e-04,3.434473e-04,3.428846e-04,3.423833e-04,3.419398e-04
0.000000e+00,8.024277e-09,2.239627e-07,2.359264e-07,2.122576e-06,1.001841e-05,1.058642e-05,3.404861e-05,7.421453e-05,7.731139e-05,1.348595e-04,1.918330e-04,1.967562e-04,2.562235e-04,3.052267e-04,3.103713e-04,3.584605e-04,3.958674e-04,4.006278e-04,4.372976e-04,4.648098e-04,4.689590e-04,4.960908e-04,5.157097e-04,5.191408e-04,5.385209e-04,5.519390e-04,5.546073e-04,5.677431e-04,5.763381e-04,5.782405e-04,5.863831e-04,5.912657e-04,5.924277e-04,5.966069e-04,5.986656e-04,5.991308e-04,6.001891e-04,6.001299e-04,5.999528e-04,5.985760e-04,5.969567e-04,5.961971e-04,5.929409e-04,5.901999e-04,5.889193e-04,5.842327e-04,5.807125e-04,5.789715e-04,5.732163e-04,5.691828e-04,5.670396e-04,5.605061e-04,5.561644e-04,5.536736e-04,5.465940e-04,5.421009e-04,5.393133e-04,5.318726e-04,5.273468e-04,5.243086e-04,5.166537e-04,5.121837e-04,5.089368e-04,5.011835e-04,4.968342e-04,4.934163e-04,4.856552e-04,4.814730e-04,4.779177e-04,4.702192e-04,4.662360e-04,4.625733e-04,4.549915e-04,4.512279e-04,4.474841e-04,4.400600e-04,4.365282e-04,4.327266e-04,4.254904e-04,4.221959e-04,4.183569e-04,4.113305e-04,4.082739e-04,4.044151e-04,3.976138e-04,3.947918e-04,3.909289e-04,3.843623e-04,3.817691e-04,3.779154e-04,3.715891e-04,3.692169e-04,3.653840e-04,3.593002e-04,3.571397e-04,3.533375e-04,3.474958e-04,3.455370e-04,3.417742e-04,3.361720e-04,3.344043e-04,3.306882e-04,3.253215e-04,3.237342e-04,3.200708e-04,3.149346e-04,3.135168e-04,3.099114e-04,3.049996e-04,3.037406e-04,3.001976e-04,2.955035e-04,2.943928e-04,2.909157e-04,2.864323e-04,2.854598e-04,2.820516e-04,2.777717e-04,2.769276e-04,2.735906e-04,2.695066e-04,2.687817e-04,2.655178e-04,2.616222e-04,2.610075e-04,2.578181e-04,2.541035e-04,2.535905e-04,2.504766e-04,2.469356e-04,2.465164e-04,2.434787e-04,2.401041e-04,2.397711e-04,2.368100e-04,2.335946e-04,2.333407e-04,2.304563e-04,2.273934e-04,2.272120e-04,2.244041e-04,2.214869e-04,2.213717e-04,2.186401e-04,2.158621e-04,2.158072e-04,2.131514e-04,2.105065e-04,2.054577e-04,2.006494e-04,1.960710e-04,1.917118e-04,1.875620e-04,1.836119e-04,1.798523e-04,1.762745e-04,1.728701e-04,1.696311e-04,1.665497e-04,1.636186e-04,1.608309e-04,1.581799e-04,1.556591e-04,1.532625e-04,1.509842e-04,1.488188e-04,1.467609e-04,1.448055e-04,1.429477e-04,1.411830e-04,1.395069e-04,1.379154e-04,1.364043e-04,1.349699e-04,1.336086e-04,1.323170e-04,1.310916e-04,1.299294e-04,1.288273e-04,1.277826e-04,1.267924e-04,1.258542e-04,1.249655e-04,1.241239e-04,1.233272e-04,1.225732e-04,1.218599e-04,1.211853e-04,1.205475e-04,1.199448e-04,1.193756e-04,1.188380e-04,1.183307e-04,1.178522e-04,1.174011e-04,1.169759e-04,1.165756e-04
0.000000e+00,5.062968e-09,1.638628e-07,1.729850e-07,1.692446e-06,8.560220e-06,9.072964e-06,3.175116e-05,7.637080e-05,8.010233e-05,1.569039e-04,2.462452e-04,2.545365e-04,3.607674e-04,4.546869e-04,4.647493e-04,5.593164e-04,6.317932e-04,6.408322e-04,7.082141e-04,7.551977e-04,7.619403e-04,8.033008e-04,8.296650e-04,8.339087e-04,8.554170e-04,8.673518e-04,8.693694e-04,8.771342e-04,8.796876e-04,8.798874e-04,8.786186e-04,8.753712e-04,8.741501e-04,8.671580e-04,8.605004e-04,8.581952e-04,8.477114e-04,8.391912e-04,8.360709e-04,8.235679e-04,8.141665e-04,8.104392e-04,7.968753e-04,7.872044e-04,7.830284e-04,7.690204e-04,7.594532e-04,7.549482e-04,7.408887e-04,7.316465e-04,7.269027e-04,7.130376e-04,7.042449e-04,6.993305e-04,6.858097e-04,6.775301e-04,6.724969e-04,6.594086e-04,6.516685e-04,6.465566e-04,6.339491e-04,6.267510e-04,6.215916e-04,6.094878e-04,6.028212e-04,5.976394e-04,5.860465e-04,5.798923e-04,5.747081e-04,5.636222e-04,5.579566e-04,5.527864e-04,5.421976e-04,5.369946e-04,5.318519e-04,5.217455e-04,5.169782e-04,5.118741e-04,5.022333e-04,4.978747e-04,4.928186e-04,4.836255e-04,4.796495e-04,4.746494e-04,4.658858e-04,4.622674e-04,4.573302e-04,4.489780e-04,4.456931e-04,4.408248e-04,4.328662e-04,4.298920e-04,4.250978e-04,4.175153e-04,4.148304e-04,4.101146e-04,4.028915e-04,4.004754e-04,3.958420e-04,3.889619e-04,3.867954e-04,3.822474e-04,3.756946e-04,3.737598e-04,3.692999e-04,3.630595e-04,3.613393e-04,3.569698e-04,3.510273e-04,3.495060e-04,3.452286e-04,3.395703e-04,3.382328e-04,3.340490e-04,3.286617e-04,3.274941e-04,3.234050e-04,3.182760e-04,3.172652e-04,3.132716e-04,3.083888e-04,3.075227e-04,3.036249e-04,2.989770e-04,2.982439e-04,2.944423e-04,2.900182e-04,2.894075e-04,2.857020e-04,2.814912e-04,2.809928e-04,2.773832e-04,2.733757e-04,2.729804e-04,2.694662e-04,2.656524e-04,2.653514e-04,2.619321e-04,2.583029e-04,2.580880e-04,2.547628e-04,2.513096e-04,2.511732e-04,2.479412e-04,2.446556e-04,2.445907e-04,2.414509e-04,2.383250e-04,2.323612e-04,2.266852e-04,2.212836e-04,2.161434e-04,2.112524e-04,2.065990e-04,2.021719e-04,1.979605e-04,1.939547e-04,1.901448e-04,1.865216e-04,1.830762e-04,1.798004e-04,1.766860e-04,1.737255e-04,1.709116e-04,1.682374e-04,1.656963e-04,1.632820e-04,1.609885e-04,1.588100e-04,1.567412e-04,1.547767e-04,1.529118e-04,1.511416e-04,1.494616e-04,1.478677e-04,1.463555e-04,1.449214e-04,1.435615e-04,1.422724e-04,1.410506e-04,1.398930e-04,1.387964e-04,1.377580e-04,1.367749e-04,1.358446e-04,1.349645e-04,1.341321e-04,1.333452e-04,1.326017e-04,1.318993e-04,1.312362e-04,1.306103e-04,1.300200e-04,1.294635e-04,1.289392e-04,1.284455e-04,1.279808e-04
0.000000e+00,4.903816e-10,6.782891e-09,7.080487e-09,4.182451e-08,1.342201e-07,1.396300e-07,3.097425e-07,5.025725e-07,5.150590e-07,7.180023e-07,8.914079e-07,9.058022e-07,1.076478e-06,1.215897e-06,1.230592e-06,1.369218e-06,1.479301e-06,1.493494e-06,1.604525e-06,1.690218e-06,1.703358e-06,1.790977e-06,1.856585e-06,1.868301e-06,1.936187e-06,1.985369e-06,1.995429e-06,2.046761e-06,2.082591e-06,2.090864e-06,2.128363e-06,2.153400e-06,2.159835e-06,2.185811e-06,2.202179e-06,2.206779e-06,2.223189e-06,2.232641e-06,2.235453e-06,2.243949e-06,2.247929e-06,2.249024e-06,2.250998e-06,2.250691e-06,2.250161e-06,2.246782e-06,2.243160e-06,2.241109e-06,2.233369e-06,2.227230e-06,2.223769e-06,2.212498e-06,2.204489e-06,2.199731e-06,2.185625e-06,2.176273e-06,2.170329e-06,2.153974e-06,2.143704e-06,2.136683e-06,2.118570e-06,2.107728e-06,2.099736e-06,2.080273e-06,2.069132e-06,2.060268e-06,2.039797e-06,2.028575e-06,2.018933e-06,1.997739e-06,1.986608e-06,1.976275e-06,1.954594e-06,1.943687e-06,1.932745e-06,1.910773e-06,1.900194e-06,1.888717e-06,1.866616e-06,1.856443e-06,1.844502e-06,1.822406e-06,1.812696e-06,1.800354e-06,1.778371e-06,1.769165e-06,1.756480e-06,1.734701e-06,1.726024e-06,1.713051e-06,1.691547e-06,1.683416e-06,1.670203e-06,1.649032e-06,1.641455e-06,1.628046e-06,1.607255e-06,1.600232e-06,1.586668e-06,1.566293e-06,1.559818e-06,1.546136e-06,1.526203e-06,1.520268e-06,1.506500e-06,1.487032e-06,1.481623e-06,1.467801e-06,1.448810e-06,1.443912e-06,1.430063e-06,1.411561e-06,1.407157e-06,1.393305e-06,1.375297e-06,1.371368e-06,1.357537e-06,1.340025e-06,1.336552e-06,1.322761e-06,1.305746e-06,1.302709e-06,1.288977e-06,1.272455e-06,1.269834e-06,1.256178e-06,1.240145e-06,1.237920e-06,1.224354e-06,1.208804e-06,1.206954e-06,1.193493e-06,1.178419e-06,1.176925e-06,1.163580e-06,1.148974e-06,1.147815e-06,1.134598e-06,1.120451e-06,1.119609e-06,1.106529e-06,1.092831e-06,1.092288e-06,1.079354e-06,1.066096e-06,1.065833e-06,1.053053e-06,1.040224e-06,1.015442e-06,9.914651e-07,9.682734e-07,9.458462e-07,9.241629e-07,9.032031e-07,8.829466e-07,8.633734e-07,8.444639e-07,8.261989e-07,8.085593e-07,7.915266e-07,7.750828e-07,7.592100e-07,7.438910e-07,7.291088e-07,7.148471e-07,7.010898e-07,6.878213e-07,6.750264e-07,6.626903e-07,6.507988e-07,6.393377e-07,6.282936e-07,6.176534e-07,6.074041e-07,5.975334e-07,5.880292e-07,5.788799e-07,5.700740e-07,5.616005e-07,5.534488e-07,5.456085e-07,5.380695e-07,5.308221e-07,5.238567e-07,5.171642e-07,5.107358e-07,5.045627e-07,4.986366e-07,4.929494e-07,4.874932e-07,4.822604e-07,4.772436e-07,4.724356e-07,4.678294e-07,4.634184e-07,4.591960e-07,4.551558e-07
0.000000e+00,7.854619e-10,1.102558e-08,1.149840e-08,6.286067e-08,1.850303e-07,1.918530e-07,3.971863e-07,6.186106e-07,6.327232e-07,8.595178e-07,1.050047e-06,1.065734e-06,1.250151e-06,1.398378e-06,1.413859e-06,1.558362e-06,1.670852e-06,1.685187e-06,1.795804e-06,1.879031e-06,1.891599e-06,1.973877e-06,2.033436e-06,2.043853e-06,2.102654e-06,2.143267e-06,2.151323e-06,2.190819e-06,2.216405e-06,2.222023e-06,2.245749e-06,2.259545e-06,2.262741e-06,2.273681e-06,2.278333e-06,2.279192e-06,2.279843e-06,2.277501e-06,2.276149e-06,2.268576e-06,2.260964e-06,2.257553e-06,2.243472e-06,2.231988e-06,2.226691e-06,2.207549e-06,2.193342e-06,2.186352e-06,2.163365e-06,2.147334e-06,2.138833e-06,2.112977e-06,2.095826e-06,2.085995e-06,2.058070e-06,2.040354e-06,2.029363e-06,2.000023e-06,1.982171e-06,1.970182e-06,1.939962e-06,1.922302e-06,1.909468e-06,1.878800e-06,1.861582e-06,1.848043e-06,1.817275e-06,1.800680e-06,1.786565e-06,1.755975e-06,1.740134e-06,1.725560e-06,1.695368e-06,1.680370e-06,1.665444e-06,1.635823e-06,1.621724e-06,1.606540e-06,1.577624e-06,1.564452e-06,1.549098e-06,1.520985e-06,1.508750e-06,1.493302e-06,1.466065e-06,1.454762e-06,1.439287e-06,1.412978e-06,1.402587e-06,1.387146e-06,1.361797e-06,1.352292e-06,1.336936e-06,1.312566e-06,1.303913e-06,1.288688e-06,1.265303e-06,1.257465e-06,1.242410e-06,1.220008e-06,1.212942e-06,1.198093e-06,1.176662e-06,1.170327e-06,1.155711e-06,1.135236e-06,1.129588e-06,1.115231e-06,1.095691e-06,1.090686e-06,1.076609e-06,1.057979e-06,1.053574e-06,1.039794e-06,1.022048e-06,1.018202e-06,1.004733e-06,9.878409e-07,9.845127e-07,9.713654e-07,9.552985e-07,9.524493e-07,9.396326e-07,9.243598e-07,9.219522e-07,9.094725e-07,8.949629e-07,8.929612e-07,8.808231e-07,8.670456e-07,8.654162e-07,8.536225e-07,8.405462e-07,8.392573e-07,8.278091e-07,8.154038e-07,8.144255e-07,8.033227e-07,7.915586e-07,7.908627e-07,7.801042e-07,7.689522e-07,7.685123e-07,7.580957e-07,7.475278e-07,7.473193e-07,7.372415e-07,7.272302e-07,7.081934e-07,6.901590e-07,6.730790e-07,6.569075e-07,6.416001e-07,6.271143e-07,6.134095e-07,6.004470e-07,5.881897e-07,5.766021e-07,5.656504e-07,5.553026e-07,5.455278e-07,5.362968e-07,5.275820e-07,5.193566e-07,5.115957e-07,5.042751e-07,4.973722e-07,4.908653e-07,4.847338e-07,4.789581e-07,4.735197e-07,4.684010e-07,4.635851e-07,4.590561e-07,4.547990e-07,4.507994e-07,4.470436e-07,4.435188e-07,4.402126e-07,4.371135e-07,4.342103e-07,4.314926e-07,4.289503e-07,4.265742e-07,4.243551e-07,4.222846e-07,4.203546e-07,4.185575e-07,4.168860e-07,4.153332e-07,4.138926e-07,4.125580e-07,4.113235e-07,4.101835e-07,4.091328e-07,4.081664e-07,4.072795e-07
0.000000e+00,7.869677e-10,9.746746e-09,1.015623e-08,5.678847e-08,1.805302e-07,1.878437e-07,4.236167e-07,7.056337e-07,7.243296e-07,1.031778e-06,1.295846e-06,1.317713e-06,1.575742e-06,1.784248e-06,1.806081e-06,2.010443e-06,2.170369e-06,2.190812e-06,2.349143e-06,2.469106e-06,2.487300e-06,2.607033e-06,2.694566e-06,2.709971e-06,2.797625e-06,2.859081e-06,2.871394e-06,2.932566e-06,2.973232e-06,2.982324e-06,3.021756e-06,3.045989e-06,3.051859e-06,3.073543e-06,3.084911e-06,3.087646e-06,3.094929e-06,3.096340e-06,3.096090e-06,3.091768e-06,3.085590e-06,3.082545e-06,3.068952e-06,3.057098e-06,3.051473e-06,3.030549e-06,3.014561e-06,3.006584e-06,2.979942e-06,2.961055e-06,2.950956e-06,2.919930e-06,2.899131e-06,2.887139e-06,2.852833e-06,2.830902e-06,2.817237e-06,2.780559e-06,2.758110e-06,2.742984e-06,2.704680e-06,2.682191e-06,2.665800e-06,2.626482e-06,2.604318e-06,2.586848e-06,2.547012e-06,2.525452e-06,2.507073e-06,2.467121e-06,2.446369e-06,2.427238e-06,2.387495e-06,2.367696e-06,2.347956e-06,2.308680e-06,2.289935e-06,2.269716e-06,2.231110e-06,2.213482e-06,2.192901e-06,2.155123e-06,2.138646e-06,2.117808e-06,2.080980e-06,2.065664e-06,2.044663e-06,2.008876e-06,1.994714e-06,1.973635e-06,1.938953e-06,1.925923e-06,1.904842e-06,1.871309e-06,1.859381e-06,1.838362e-06,1.806005e-06,1.795139e-06,1.774242e-06,1.743075e-06,1.733227e-06,1.712503e-06,1.682526e-06,1.673649e-06,1.653143e-06,1.624350e-06,1.616393e-06,1.596143e-06,1.568519e-06,1.561432e-06,1.541473e-06,1.514997e-06,1.508728e-06,1.489088e-06,1.463737e-06,1.458234e-06,1.438939e-06,1.414684e-06,1.409898e-06,1.390967e-06,1.367779e-06,1.363661e-06,1.345112e-06,1.322958e-06,1.319460e-06,1.301308e-06,1.280155e-06,1.277232e-06,1.259488e-06,1.239301e-06,1.236910e-06,1.219584e-06,1.200328e-06,1.198427e-06,1.181525e-06,1.163167e-06,1.161717e-06,1.145244e-06,1.127748e-06,1.126712e-06,1.110672e-06,1.094005e-06,1.093347e-06,1.077741e-06,1.061870e-06,1.061557e-06,1.046386e-06,1.031278e-06,1.002449e-06,9.750083e-07,9.488982e-07,9.240615e-07,9.004434e-07,8.779909e-07,8.566529e-07,8.363800e-07,8.171249e-07,7.988420e-07,7.814878e-07,7.650201e-07,7.493987e-07,7.345850e-07,7.205421e-07,7.072346e-07,6.946285e-07,6.826913e-07,6.713921e-07,6.607012e-07,6.505900e-07,6.410316e-07,6.319998e-07,6.234699e-07,6.154181e-07,6.078218e-07,6.006594e-07,5.939100e-07,5.875540e-07,5.815725e-07,5.759475e-07,5.706617e-07,5.656987e-07,5.610428e-07,5.566789e-07,5.525928e-07,5.487708e-07,5.451998e-07,5.418674e-07,5.387618e-07,5.358715e-07,5.331858e-07,5.306944e-07,5.283873e-07,5.262552e-07,5.242892e-07,5.224805e-07,5.208210e-07,5.193030e-07
0.000000e+00,6.026463e-09,6.580830e-08,6.841239e-08,3.554254e-07,1.125582e-06,1.172146e-06,2.743739e-06,4.808556e-06,4.952292e-06,7.419754e-06,9.671425e-06,9.862831e-06,1.217949e-05,1.413638e-05,1.434618e-05,1.636138e-05,1.801282e-05,1.822940e-05,1.995618e-05,2.133312e-05,2.154810e-05,2.301156e-05,2.414633e-05,2.435304e-05,2.557894e-05,2.650230e-05,2.669548e-05,2.770869e-05,2.844878e-05,2.862439e-05,2.944814e-05,3.003028e-05,3.018528e-05,3.084092e-05,3.128770e-05,3.141992e-05,3.192693e-05,3.225838e-05,3.236637e-05,3.274243e-05,3.297621e-05,3.305912e-05,3.332023e-05,3.347187e-05,3.352935e-05,3.368991e-05,3.377301e-05,3.380515e-05,3.387813e-05,3.390457e-05,3.391176e-05,3.390880e-05,3.388891e-05,3.387185e-05,3.380339e-05,3.374613e-05,3.370573e-05,3.358108e-05,3.349422e-05,3.343154e-05,3.325905e-05,3.314923e-05,3.306548e-05,3.285258e-05,3.272553e-05,3.262199e-05,3.237529e-05,3.223588e-05,3.211392e-05,3.183927e-05,3.169164e-05,3.155265e-05,3.125527e-05,3.110290e-05,3.094828e-05,3.063276e-05,3.047858e-05,3.030973e-05,2.998013e-05,2.982656e-05,2.964487e-05,2.930476e-05,2.915379e-05,2.896060e-05,2.861313e-05,2.846636e-05,2.826301e-05,2.791089e-05,2.776962e-05,2.755738e-05,2.720301e-05,2.706824e-05,2.684832e-05,2.649378e-05,2.636627e-05,2.613983e-05,2.578690e-05,2.566721e-05,2.543537e-05,2.508559e-05,2.497408e-05,2.473789e-05,2.439257e-05,2.428948e-05,2.404990e-05,2.371016e-05,2.361558e-05,2.337356e-05,2.304032e-05,2.295425e-05,2.271063e-05,2.238467e-05,2.230701e-05,2.206260e-05,2.174455e-05,2.167514e-05,2.143067e-05,2.112105e-05,2.105965e-05,2.081581e-05,2.051502e-05,2.046136e-05,2.021876e-05,1.992711e-05,1.988088e-05,1.964011e-05,1.935781e-05,1.931866e-05,1.908024e-05,1.880743e-05,1.877502e-05,1.853941e-05,1.827619e-05,1.825013e-05,1.801776e-05,1.776414e-05,1.774405e-05,1.751531e-05,1.727126e-05,1.725677e-05,1.703198e-05,1.679745e-05,1.678816e-05,1.656763e-05,1.634251e-05,1.633805e-05,1.612204e-05,1.590618e-05,1.549227e-05,1.509597e-05,1.471690e-05,1.435466e-05,1.400881e-05,1.367892e-05,1.336451e-05,1.306511e-05,1.278024e-05,1.250943e-05,1.225217e-05,1.200800e-05,1.177643e-05,1.155699e-05,1.134921e-05,1.115262e-05,1.096678e-05,1.079124e-05,1.062557e-05,1.046935e-05,1.032216e-05,1.018362e-05,1.005333e-05,9.930910e-06,9.816006e-06,9.708263e-06,9.607342e-06,9.512916e-06,9.424668e-06,9.342295e-06,9.265503e-06,9.194011e-06,9.127548e-06,9.065854e-06,9.008680e-06,8.955786e-06,8.906943e-06,8.861932e-06,8.820540e-06,8.782568e-06,8.747823e-06,8.716120e-06,8.687284e-06,8.661146e-06,8.637546e-06,8.616332e-06,8.597357e-06,8.580483e-06,8.565576e-06
0.000000e+00,8.911265e-09,3.592572e-07,3.809988e-07,4.577979e-06,2.678481e-05,2.853319e-05,1.107933e-04,2.854955e-04,3.006328e-04,6.295651e-04,1.058983e-03,1.101745e-03,1.701272e-03,2.327784e-03,2.401469e-03,3.171725e-03,3.883459e-03,3.981839e-03,4.804497e-03,5.504197e-03,5.616486e-03,6.399084e-03,7.023153e-03,7.137968e-03,7.822833e-03,8.339249e-03,8.446882e-03,9.006260e-03,9.406152e-03,9.499509e-03,9.927051e-03,1.021607e-02,1.029074e-02,1.059348e-02,1.078502e-02,1.083890e-02,1.103107e-02,1.114154e-02,1.117432e-02,1.127307e-02,1.131906e-02,1.133167e-02,1.135435e-02,1.135102e-02,1.134514e-02,1.130781e-02,1.126816e-02,1.124587e-02,1.116255e-02,1.109730e-02,1.106081e-02,1.094332e-02,1.086099e-02,1.081250e-02,1.067050e-02,1.057770e-02,1.051924e-02,1.036043e-02,1.026215e-02,1.019557e-02,1.002598e-02,9.925911e-03,9.852815e-03,9.677088e-03,9.577892e-03,9.499673e-03,9.321332e-03,9.224878e-03,9.142722e-03,8.964408e-03,8.871966e-03,8.786875e-03,8.610538e-03,8.522930e-03,8.435748e-03,8.262805e-03,8.180523e-03,8.091959e-03,7.923420e-03,7.846716e-03,7.757363e-03,7.593931e-03,7.522883e-03,7.433239e-03,7.275381e-03,7.209943e-03,7.120427e-03,6.968436e-03,6.908478e-03,6.819446e-03,6.673485e-03,6.618817e-03,6.530567e-03,6.390700e-03,6.341094e-03,6.253879e-03,6.120095e-03,6.075298e-03,5.989331e-03,5.861565e-03,5.821309e-03,5.736771e-03,5.614919e-03,5.578932e-03,5.495975e-03,5.379903e-03,5.347912e-03,5.266664e-03,5.156217e-03,5.127954e-03,5.048521e-03,4.943531e-03,4.918731e-03,4.841203e-03,4.741490e-03,4.719900e-03,4.644347e-03,4.549726e-03,4.531100e-03,4.457580e-03,4.367863e-03,4.351968e-03,4.280526e-03,4.195523e-03,4.182136e-03,4.112806e-03,4.032328e-03,4.021237e-03,3.954042e-03,3.877902e-03,3.868907e-03,3.803863e-03,3.731878e-03,3.724790e-03,3.661902e-03,3.593892e-03,3.588535e-03,3.527804e-03,3.463593e-03,3.459799e-03,3.401218e-03,3.340636e-03,3.338250e-03,3.281807e-03,3.224689e-03,3.223563e-03,3.169242e-03,3.115427e-03,3.013539e-03,2.917607e-03,2.827350e-03,2.742497e-03,2.662789e-03,2.587977e-03,2.517820e-03,2.452089e-03,2.390564e-03,2.333035e-03,2.279299e-03,2.229164e-03,2.182445e-03,2.138964e-03,2.098555e-03,2.061053e-03,2.026306e-03,1.994165e-03,1.964490e-03,1.937145e-03,1.912002e-03,1.888937e-03,1.867832e-03,1.848576e-03,1.831061e-03,1.815185e-03,1.800848e-03,1.787958e-03,1.776426e-03,1.766166e-03,1.757097e-03,1.749141e-03,1.742225e-03,1.736277e-03,1.731231e-03,1.727022e-03,1.723589e-03,1.720875e-03,1.718824e-03,1.717384e-03,1.716504e-03,1.716139e-03,1.716242e-03,1.716771e-03,1.717686e-03,1.718950e-03,1.720526e-03,1.722380e-03,1.724480e-03
0.000000e+00,2.844171e-08,9.271662e-07,9.779954e-07,9.166760e-06,4.618657e-05,4.899796e-05,1.798780e-04,4.694802e-04,4.954792e-04,1.090449e-03,1.934353e-03,2.021728e-03,3.299144e-03,4.724278e-03,4.897326e-03,6.770365e-03,8.602153e-03,8.862946e-03,1.111767e-02,1.314435e-02,1.347952e-02,1.589836e-02,1.794182e-02,1.833016e-02,2.073739e-02,2.267097e-02,2.308894e-02,2.535971e-02,2.710479e-02,2.753004e-02,2.958514e-02,3.110118e-02,3.151441e-02,3.331083e-02,3.458472e-02,3.497043e-02,3.649172e-02,3.752871e-02,3.787528e-02,3.912332e-02,3.993991e-02,4.023933e-02,4.122780e-02,4.184660e-02,4.209393e-02,4.284345e-02,4.328960e-02,4.348243e-02,4.401710e-02,4.431592e-02,4.445378e-02,4.479876e-02,4.497428e-02,4.505821e-02,4.523815e-02,4.531235e-02,4.534441e-02,4.538255e-02,4.537497e-02,4.535790e-02,4.527551e-02,4.520316e-02,4.514016e-02,4.495634e-02,4.483383e-02,4.472830e-02,4.445998e-02,4.429966e-02,4.415510e-02,4.381711e-02,4.362935e-02,4.344924e-02,4.305450e-02,4.284792e-02,4.263567e-02,4.219535e-02,4.197708e-02,4.173596e-02,4.125973e-02,4.103558e-02,4.076873e-02,4.026489e-02,4.003960e-02,3.975000e-02,3.922571e-02,3.900307e-02,3.869354e-02,3.815491e-02,3.793795e-02,3.761114e-02,3.706343e-02,3.685450e-02,3.651290e-02,3.596059e-02,3.576151e-02,3.540746e-02,3.485438e-02,3.466649e-02,3.430216e-02,3.375155e-02,3.357581e-02,3.320324e-02,3.265785e-02,3.249489e-02,3.211595e-02,3.157809e-02,3.142827e-02,3.104473e-02,3.051632e-02,3.037979e-02,2.999325e-02,2.947588e-02,2.935260e-02,2.896455e-02,2.845955e-02,2.834932e-02,2.796113e-02,2.746954e-02,2.737206e-02,2.698498e-02,2.650763e-02,2.642249e-02,2.603767e-02,2.557522e-02,2.550194e-02,2.512042e-02,2.467335e-02,2.461139e-02,2.423412e-02,2.380278e-02,2.375155e-02,2.337940e-02,2.296400e-02,2.292291e-02,2.255664e-02,2.215731e-02,2.212571e-02,2.176603e-02,2.138280e-02,2.136007e-02,2.100761e-02,2.064043e-02,2.062591e-02,2.028123e-02,1.992999e-02,1.992305e-02,1.958667e-02,1.925121e-02,1.861001e-02,1.799899e-02,1.741765e-02,1.686542e-02,1.634171e-02,1.584587e-02,1.537727e-02,1.493521e-02,1.451901e-02,1.412796e-02,1.376136e-02,1.341847e-02,1.309859e-02,1.280098e-02,1.252493e-02,1.226969e-02,1.203454e-02,1.181875e-02,1.162160e-02,1.144235e-02,1.128028e-02,1.113465e-02,1.100476e-02,1.088986e-02,1.078925e-02,1.070220e-02,1.062800e-02,1.056593e-02,1.051530e-02,1.047540e-02,1.044554e-02,1.042505e-02,1.041324e-02,1.040945e-02,1.041304e-02,1.042336e-02,1.043980e-02,1.046175e-02,1.048863e-02,1.051985e-02,1.055488e-02,1.059319e-02,1.063426e-02,1.067761e-02,1.072279e-02,1.076936e-02,1.081690e-02,1.086503e-02,1.091338e-02
0.000000e+00,2.857370e-08,5.168720e-07,5.416817e-07,3.943422e-06,1.537779e-05,1.611600e-05,4.166210e-05,7.373033e-05,7.587316e-05,1.116010e-04,1.434920e-04,1.462004e-04,1.791132e-04,2.072252e-04,2.102610e-04,2.396681e-04,2.641448e-04,2.673830e-04,2.934611e-04,3.146231e-04,3.179600e-04,3.409388e-04,3.591096e-04,3.624567e-04,3.825729e-04,3.980633e-04,4.013459e-04,4.188332e-04,4.319354e-04,4.350913e-04,4.501750e-04,4.611593e-04,4.641375e-04,4.770305e-04,4.861445e-04,4.889036e-04,4.998050e-04,5.072737e-04,5.097809e-04,5.188759e-04,5.249028e-04,5.271326e-04,5.345924e-04,5.393614e-04,5.412948e-04,5.472775e-04,5.509533e-04,5.525770e-04,5.572283e-04,5.599594e-04,5.612649e-04,5.647188e-04,5.666378e-04,5.676209e-04,5.700005e-04,5.712260e-04,5.718860e-04,5.733041e-04,5.739415e-04,5.742809e-04,5.748408e-04,5.749839e-04,5.750076e-04,5.748037e-04,5.745357e-04,5.742508e-04,5.733694e-04,5.727639e-04,5.721793e-04,5.706992e-04,5.698210e-04,5.689472e-04,5.669403e-04,5.658465e-04,5.646950e-04,5.622268e-04,5.609673e-04,5.595507e-04,5.566809e-04,5.552994e-04,5.536308e-04,5.504136e-04,5.489482e-04,5.470413e-04,5.435259e-04,5.420094e-04,5.398784e-04,5.361095e-04,5.345702e-04,5.322293e-04,5.282474e-04,5.267096e-04,5.241730e-04,5.200149e-04,5.184990e-04,5.157812e-04,5.114798e-04,5.100033e-04,5.071183e-04,5.027036e-04,5.012808e-04,4.982426e-04,4.937416e-04,4.923844e-04,4.892066e-04,4.846434e-04,4.833614e-04,4.800574e-04,4.754538e-04,4.742546e-04,4.708373e-04,4.662127e-04,4.651020e-04,4.615841e-04,4.569558e-04,4.559380e-04,4.523316e-04,4.477150e-04,4.467930e-04,4.431097e-04,4.385187e-04,4.376941e-04,4.339451e-04,4.293917e-04,4.286653e-04,4.248613e-04,4.203564e-04,4.197278e-04,4.158792e-04,4.114319e-04,4.109004e-04,4.070167e-04,4.026354e-04,4.021992e-04,3.982899e-04,3.939816e-04,3.936386e-04,3.897122e-04,3.854832e-04,3.852307e-04,3.812957e-04,3.771509e-04,3.769861e-04,3.730501e-04,3.689942e-04,3.689135e-04,3.649840e-04,3.610205e-04,3.533132e-04,3.457964e-04,3.384742e-04,3.313493e-04,3.244238e-04,3.176989e-04,3.111753e-04,3.048527e-04,2.987306e-04,2.928078e-04,2.870828e-04,2.815535e-04,2.762176e-04,2.710725e-04,2.661154e-04,2.613430e-04,2.567521e-04,2.523392e-04,2.481007e-04,2.440329e-04,2.401318e-04,2.363935e-04,2.328142e-04,2.293898e-04,2.261162e-04,2.229894e-04,2.200053e-04,2.171599e-04,2.144490e-04,2.118688e-04,2.094151e-04,2.070841e-04,2.048718e-04,2.027743e-04,2.007879e-04,1.989088e-04,1.971333e-04,1.954577e-04,1.938785e-04,1.923922e-04,1.909954e-04,1.896847e-04,1.884567e-04,1.873084e-04,1.862365e-04,1.852379e-04,1.843097e-04,1.834490e-04,1.826528e-04
0.000000e+00,4.486024e-08,1.044781e-06,1.097679e-06,8.647596e-06,3.517424e-05,3.692011e-05,9.925954e-05,1.823754e-04,1.880861e-04,2.849742e-04,3.726944e-04,3.801582e-04,4.708203e-04,5.480547e-04,5.563784e-04,6.368033e-04,7.034129e-04,7.121995e-04,7.827102e-04,8.395632e-04,8.484947e-04,9.097223e-04,9.577604e-04,9.665688e-04,1.019214e-03,1.059376e-03,1.067840e-03,1.112628e-03,1.145815e-03,1.153757e-03,1.191402e-03,1.218457e-03,1.225735e-03,1.256922e-03,1.278620e-03,1.285124e-03,1.310496e-03,1.327537e-03,1.333187e-03,1.353340e-03,1.366357e-03,1.371093e-03,1.386577e-03,1.396134e-03,1.399919e-03,1.411239e-03,1.417841e-03,1.420653e-03,1.428272e-03,1.432367e-03,1.434200e-03,1.438538e-03,1.440524e-03,1.441382e-03,1.442824e-03,1.443053e-03,1.442952e-03,1.441847e-03,1.440627e-03,1.439591e-03,1.436257e-03,1.433859e-03,1.431919e-03,1.426643e-03,1.423304e-03,1.420496e-03,1.413538e-03,1.409465e-03,1.405830e-03,1.397426e-03,1.392798e-03,1.388379e-03,1.378740e-03,1.373713e-03,1.368556e-03,1.357873e-03,1.352581e-03,1.346734e-03,1.335179e-03,1.329735e-03,1.323247e-03,1.310974e-03,1.305475e-03,1.298395e-03,1.285542e-03,1.280069e-03,1.272446e-03,1.259137e-03,1.253759e-03,1.245641e-03,1.231986e-03,1.226760e-03,1.218194e-03,1.204291e-03,1.199262e-03,1.190296e-03,1.176231e-03,1.171437e-03,1.162115e-03,1.147966e-03,1.143435e-03,1.133802e-03,1.119637e-03,1.115389e-03,1.105486e-03,1.091365e-03,1.087418e-03,1.077286e-03,1.063260e-03,1.059624e-03,1.049300e-03,1.035417e-03,1.032097e-03,1.021619e-03,1.007916e-03,1.004915e-03,9.943170e-04,9.808294e-04,9.781459e-04,9.674605e-04,9.542170e-04,9.518470e-04,9.411052e-04,9.281305e-04,9.260676e-04,9.152982e-04,9.026129e-04,9.008489e-04,8.900789e-04,8.777001e-04,8.762252e-04,8.654799e-04,8.534213e-04,8.522245e-04,8.415272e-04,8.297999e-04,8.288690e-04,8.182415e-04,8.068538e-04,8.061760e-04,7.956383e-04,7.845964e-04,7.841583e-04,7.737290e-04,7.630368e-04,7.628248e-04,7.525206e-04,7.421806e-04,7.222280e-04,7.029662e-04,6.843922e-04,6.665007e-04,6.492848e-04,6.327357e-04,6.168434e-04,6.015966e-04,5.869832e-04,5.729899e-04,5.596032e-04,5.468085e-04,5.345911e-04,5.229360e-04,5.118275e-04,5.012503e-04,4.911886e-04,4.816267e-04,4.725488e-04,4.639395e-04,4.557830e-04,4.480642e-04,4.407677e-04,4.338785e-04,4.273820e-04,4.212636e-04,4.155090e-04,4.101042e-04,4.050357e-04,4.002900e-04,3.958540e-04,3.917151e-04,3.878607e-04,3.842788e-04,3.809575e-04,3.778853e-04,3.750512e-04,3.724442e-04,3.700538e-04,3.678699e-04,3.658824e-04,3.640818e-04,3.624589e-04,3.610045e-04,3.597100e-04,3.585669e-04,3.575672e-04,3.567028e-04,3.559663e-04
0.000000e+00,1.520714e-08,4.509074e-07,4.752257e-07,4.154285e-06,1.801523e-05,1.896378e-05,5.591880e-05,1.160222e-04,1.206327e-04,2.070933e-04,2.944744e-04,3.020906e-04,3.944897e-04,4.706560e-04,4.786281e-04,5.527439e-04,6.097195e-04,6.169176e-04,6.719004e-04,7.125363e-04,7.186126e-04,7.579636e-04,7.859470e-04,7.907939e-04,8.178632e-04,8.362400e-04,8.398509e-04,8.573629e-04,8.685144e-04,8.709384e-04,8.810560e-04,8.868220e-04,8.881400e-04,8.925671e-04,8.943620e-04,8.946717e-04,8.947494e-04,8.936573e-04,8.930622e-04,8.898421e-04,8.866904e-04,8.852939e-04,8.795989e-04,8.750167e-04,8.729174e-04,8.653910e-04,8.598548e-04,8.571447e-04,8.482887e-04,8.421575e-04,8.389204e-04,8.291257e-04,8.226687e-04,8.189803e-04,8.085508e-04,8.019679e-04,7.978959e-04,7.870670e-04,7.805054e-04,7.761096e-04,7.650634e-04,7.586298e-04,7.539631e-04,7.428395e-04,7.366101e-04,7.317190e-04,7.206250e-04,7.146525e-04,7.095777e-04,6.985945e-04,6.929137e-04,6.876906e-04,6.768792e-04,6.715117e-04,6.661715e-04,6.555771e-04,6.505345e-04,6.451042e-04,6.347597e-04,6.300460e-04,6.245494e-04,6.144780e-04,6.100916e-04,6.045494e-04,5.947668e-04,5.907023e-04,5.851327e-04,5.756488e-04,5.718976e-04,5.663164e-04,5.571365e-04,5.536883e-04,5.481096e-04,5.392356e-04,5.360783e-04,5.305143e-04,5.219454e-04,5.190665e-04,5.135280e-04,5.052612e-04,5.026475e-04,4.971440e-04,4.891750e-04,4.868130e-04,4.813528e-04,4.736760e-04,4.715523e-04,4.661430e-04,4.587519e-04,4.568533e-04,4.515012e-04,4.443890e-04,4.427025e-04,4.374134e-04,4.305725e-04,4.290854e-04,4.238644e-04,4.172872e-04,4.159873e-04,4.108388e-04,4.045174e-04,4.033929e-04,3.983209e-04,3.922474e-04,3.912869e-04,3.862949e-04,3.804614e-04,3.796541e-04,3.747449e-04,3.691436e-04,3.684791e-04,3.636554e-04,3.582786e-04,3.577469e-04,3.530110e-04,3.478509e-04,3.474427e-04,3.427965e-04,3.378458e-04,3.375520e-04,3.329971e-04,3.282485e-04,3.280606e-04,3.235983e-04,3.190448e-04,3.189547e-04,3.145861e-04,3.102206e-04,3.018454e-04,2.938163e-04,2.861210e-04,2.787474e-04,2.716840e-04,2.649195e-04,2.584431e-04,2.522442e-04,2.463128e-04,2.406390e-04,2.352133e-04,2.300266e-04,2.250699e-04,2.203349e-04,2.158131e-04,2.114968e-04,2.073780e-04,2.034495e-04,1.997041e-04,1.961349e-04,1.927351e-04,1.894984e-04,1.864185e-04,1.834894e-04,1.807054e-04,1.780608e-04,1.755502e-04,1.731684e-04,1.709105e-04,1.687715e-04,1.667467e-04,1.648317e-04,1.630220e-04,1.613135e-04,1.597021e-04,1.581838e-04,1.567549e-04,1.554117e-04,1.541506e-04,1.529683e-04,1.518614e-04,1.508268e-04,1.498614e-04,1.489622e-04,1.481264e-04,1.473511e-04,1.466339e-04,1.459719e-04,1.453628e-04
0.000000e+00,1.383541e-08,4.139209e-07,4.357307e-07,3.676463e-06,1.685507e-05,1.781605e-05,6.017339e-05,1.468664e-04,1.543816e-04,3.189374e-04,5.354295e-04,5.569700e-04,8.567376e-04,1.163104e-03,1.198564e-03,1.561174e-03,1.882195e-03,1.925451e-03,2.276090e-03,2.558140e-03,2.601961e-03,2.895787e-03,3.114800e-03,3.153525e-03,3.373675e-03,3.526374e-03,3.556621e-03,3.704064e-03,3.798150e-03,3.818553e-03,3.903132e-03,3.950433e-03,3.961058e-03,3.995609e-03,4.008192e-03,4.009954e-03,4.007060e-03,3.995426e-03,3.989640e-03,3.960136e-03,3.932632e-03,3.920705e-03,3.873232e-03,3.836099e-03,3.819346e-03,3.760438e-03,3.718120e-03,3.697685e-03,3.632078e-03,3.587620e-03,3.564442e-03,3.495458e-03,3.450865e-03,3.425688e-03,3.355588e-03,3.312125e-03,3.285527e-03,3.215804e-03,3.174233e-03,3.146655e-03,3.078269e-03,3.039014e-03,3.010794e-03,2.944345e-03,2.907615e-03,2.879010e-03,2.814857e-03,2.780724e-03,2.751935e-03,2.690281e-03,2.658730e-03,2.629919e-03,2.570866e-03,2.541833e-03,2.513131e-03,2.456717e-03,2.430107e-03,2.401623e-03,2.347846e-03,2.323548e-03,2.295377e-03,2.244206e-03,2.222100e-03,2.194323e-03,2.145715e-03,2.125675e-03,2.098365e-03,2.052260e-03,2.034163e-03,2.007382e-03,1.963715e-03,1.947435e-03,1.921239e-03,1.879936e-03,1.865351e-03,1.839788e-03,1.800773e-03,1.787763e-03,1.762872e-03,1.726065e-03,1.714514e-03,1.690330e-03,1.655646e-03,1.645443e-03,1.621993e-03,1.589348e-03,1.580385e-03,1.557691e-03,1.526999e-03,1.519175e-03,1.497251e-03,1.468426e-03,1.461643e-03,1.440502e-03,1.413458e-03,1.407625e-03,1.387273e-03,1.361924e-03,1.356954e-03,1.337393e-03,1.313657e-03,1.309468e-03,1.290697e-03,1.268492e-03,1.265008e-03,1.247022e-03,1.226268e-03,1.223419e-03,1.206211e-03,1.186831e-03,1.184550e-03,1.168110e-03,1.150030e-03,1.148256e-03,1.132572e-03,1.115719e-03,1.114397e-03,1.099455e-03,1.083761e-03,1.082837e-03,1.068621e-03,1.054020e-03,1.053447e-03,1.039941e-03,1.026369e-03,1.026103e-03,1.013289e-03,1.000686e-03,9.770853e-04,9.551919e-04,9.349043e-04,9.161256e-04,8.987639e-04,8.827322e-04,8.679481e-04,8.543336e-04,8.418150e-04,8.303228e-04,8.197910e-04,8.101576e-04,8.013640e-04,7.933550e-04,7.860784e-04,7.794852e-04,7.735290e-04,7.681662e-04,7.633558e-04,7.590591e-04,7.552397e-04,7.518635e-04,7.488980e-04,7.463132e-04,7.440803e-04,7.421728e-04,7.405654e-04,7.392345e-04,7.381579e-04,7.373147e-04,7.366854e-04,7.362517e-04,7.359964e-04,7.359034e-04,7.359575e-04,7.361448e-04,7.364520e-04,7.368668e-04,7.373777e-04,7.379739e-04,7.386454e-04,7.393830e-04,7.401779e-04,7.410221e-04,7.419082e-04,7.428291e-04,7.437786e-04,7.447506e-04,7.457398e-04
0.000000e+00,1.162798e-08,3.941477e-07,4.166130e-07,4.385459e-06,2.374031e-05,2.522289e-05,9.219163e-05,2.244431e-04,2.354377e-04,4.606998e-04,7.254025e-04,7.503553e-04,1.079488e-03,1.391065e-03,1.425985e-03,1.773591e-03,2.071797e-03,2.111608e-03,2.433605e-03,2.694995e-03,2.736095e-03,3.017505e-03,3.237290e-03,3.277445e-03,3.516231e-03,3.696744e-03,3.734578e-03,3.933417e-03,4.079132e-03,4.113776e-03,4.276716e-03,4.392396e-03,4.423291e-03,4.554528e-03,4.644617e-03,4.671411e-03,4.774881e-03,4.843338e-03,4.865828e-03,4.945094e-03,4.995380e-03,5.013473e-03,5.071713e-03,5.106827e-03,5.120518e-03,5.160550e-03,5.183080e-03,5.192432e-03,5.216748e-03,5.228922e-03,5.234049e-03,5.244850e-03,5.248576e-03,5.249635e-03,5.248858e-03,5.245771e-03,5.242945e-03,5.232295e-03,5.223789e-03,5.217284e-03,5.198263e-03,5.185523e-03,5.175559e-03,5.149482e-03,5.133513e-03,5.120320e-03,5.088343e-03,5.069994e-03,5.053804e-03,5.016940e-03,4.996925e-03,4.977971e-03,4.937106e-03,4.916022e-03,4.894536e-03,4.850443e-03,4.828788e-03,4.804996e-03,4.758351e-03,4.736533e-03,4.710656e-03,4.662048e-03,4.640404e-03,4.612653e-03,4.562592e-03,4.541394e-03,4.511975e-03,4.460904e-03,4.440370e-03,4.409475e-03,4.357777e-03,4.338079e-03,4.305893e-03,4.253898e-03,4.235167e-03,4.201865e-03,4.149857e-03,4.132192e-03,4.097937e-03,4.046159e-03,4.029629e-03,3.994576e-03,3.943234e-03,3.927885e-03,3.892178e-03,3.841447e-03,3.827306e-03,3.791078e-03,3.741105e-03,3.728181e-03,3.691558e-03,3.642466e-03,3.630754e-03,3.593852e-03,3.545741e-03,3.535226e-03,3.498152e-03,3.451104e-03,3.441761e-03,3.404614e-03,3.358696e-03,3.350493e-03,3.313363e-03,3.268627e-03,3.261525e-03,3.224496e-03,3.180981e-03,3.174938e-03,3.138086e-03,3.095819e-03,3.090790e-03,3.054185e-03,3.013186e-03,3.009122e-03,2.972826e-03,2.933107e-03,2.929957e-03,2.894029e-03,2.855592e-03,2.853307e-03,2.817797e-03,2.780642e-03,2.779169e-03,2.744125e-03,2.708243e-03,2.707532e-03,2.672995e-03,2.638376e-03,2.571672e-03,2.507388e-03,2.445482e-03,2.385912e-03,2.328631e-03,2.273588e-03,2.220732e-03,2.170008e-03,2.121361e-03,2.074734e-03,2.030071e-03,1.987316e-03,1.946410e-03,1.907297e-03,1.869921e-03,1.834226e-03,1.800157e-03,1.767659e-03,1.736679e-03,1.707164e-03,1.679064e-03,1.652327e-03,1.626905e-03,1.602749e-03,1.579813e-03,1.558051e-03,1.537419e-03,1.517872e-03,1.499369e-03,1.481869e-03,1.465333e-03,1.449721e-03,1.434996e-03,1.421122e-03,1.408064e-03,1.395787e-03,1.384258e-03,1.373447e-03,1.363320e-03,1.353849e-03,1.345004e-03,1.336758e-03,1.329084e-03,1.321954e-03,1.315345e-03,1.309231e-03,1.303588e-03,1.298395e-03,1.293630e-03
0.000000e+00,1.421285e-08,6.070592e-07,6.435822e-07,6.559006e-06,2.623652e-05,2.741736e-05,6.356033e-05,1.025072e-04,1.049836e-04,1.445354e-04,1.770671e-04,1.797043e-04,2.101338e-04,2.337331e-04,2.361494e-04,2.582268e-04,2.747722e-04,2.768370e-04,2.924090e-04,3.036643e-04,3.053259e-04,3.159272e-04,3.232632e-04,3.245127e-04,3.313459e-04,3.358050e-04,3.366584e-04,3.406528e-04,3.430191e-04,3.435063e-04,3.453734e-04,3.462326e-04,3.463893e-04,3.466715e-04,3.464588e-04,3.463224e-04,3.454314e-04,3.444693e-04,3.440762e-04,3.423243e-04,3.408507e-04,3.402347e-04,3.378585e-04,3.360487e-04,3.352403e-04,3.324187e-04,3.304012e-04,3.294274e-04,3.262957e-04,3.241643e-04,3.230490e-04,3.197094e-04,3.175322e-04,3.162960e-04,3.128255e-04,3.106514e-04,3.093122e-04,3.057686e-04,3.036325e-04,3.022056e-04,2.986326e-04,2.965588e-04,2.950575e-04,2.914875e-04,2.894927e-04,2.879284e-04,2.843855e-04,2.824806e-04,2.808632e-04,2.773653e-04,2.755571e-04,2.738950e-04,2.704552e-04,2.687474e-04,2.670481e-04,2.636757e-04,2.620698e-04,2.603397e-04,2.570414e-04,2.555371e-04,2.537819e-04,2.505622e-04,2.491583e-04,2.473830e-04,2.442448e-04,2.429391e-04,2.411480e-04,2.380930e-04,2.368828e-04,2.350800e-04,2.321090e-04,2.309910e-04,2.291800e-04,2.262930e-04,2.252640e-04,2.234479e-04,2.206445e-04,2.197008e-04,2.178826e-04,2.151620e-04,2.143000e-04,2.124823e-04,2.098432e-04,2.090593e-04,2.072444e-04,2.046855e-04,2.039761e-04,2.021662e-04,1.996860e-04,1.990475e-04,1.972445e-04,1.948414e-04,1.942703e-04,1.924761e-04,1.901482e-04,1.896411e-04,1.878574e-04,1.856030e-04,1.851565e-04,1.833848e-04,1.812022e-04,1.808131e-04,1.790547e-04,1.769420e-04,1.766072e-04,1.748636e-04,1.728189e-04,1.725353e-04,1.708076e-04,1.688292e-04,1.685940e-04,1.668832e-04,1.649693e-04,1.647796e-04,1.630869e-04,1.612356e-04,1.610888e-04,1.594149e-04,1.576245e-04,1.575181e-04,1.558639e-04,1.541327e-04,1.540640e-04,1.524304e-04,1.507566e-04,1.507235e-04,1.491110e-04,1.474930e-04,1.443696e-04,1.413501e-04,1.384314e-04,1.356107e-04,1.328848e-04,1.302512e-04,1.277069e-04,1.252493e-04,1.228759e-04,1.205839e-04,1.183710e-04,1.162348e-04,1.141728e-04,1.121829e-04,1.102628e-04,1.084102e-04,1.066233e-04,1.048998e-04,1.032378e-04,1.016354e-04,1.000907e-04,9.860195e-05,9.716731e-05,9.578510e-05,9.445366e-05,9.317136e-05,9.193665e-05,9.074800e-05,8.960394e-05,8.850303e-05,8.744390e-05,8.642518e-05,8.544557e-05,8.450381e-05,8.359866e-05,8.272893e-05,8.189345e-05,8.109112e-05,8.032082e-05,7.958152e-05,7.887219e-05,7.819182e-05,7.753946e-05,7.691418e-05,7.631506e-05,7.574123e-05,7.519183e-05,7.466605e-05,7.416307e-05
0.000000e+00,6.403355e-09,1.228595e-07,1.287814e-07,8.728543e-07,2.959780e-06,3.083752e-06,7.070156e-06,1.182157e-05,1.213607e-05,1.728299e-05,2.164570e-05,2.200408e-05,2.619770e-05,2.953724e-05,2.988428e-05,3.310721e-05,3.559556e-05,3.591137e-05,3.833886e-05,4.015474e-05,4.042824e-05,4.221458e-05,4.350419e-05,4.372957e-05,4.500187e-05,4.588224e-05,4.605728e-05,4.691905e-05,4.748316e-05,4.760809e-05,4.814321e-05,4.846469e-05,4.854132e-05,4.881761e-05,4.895456e-05,4.898571e-05,4.905789e-05,4.905606e-05,4.904514e-05,4.895732e-05,4.885262e-05,4.880329e-05,4.859100e-05,4.841156e-05,4.832755e-05,4.801934e-05,4.778713e-05,4.767208e-05,4.729090e-05,4.702298e-05,4.688037e-05,4.644461e-05,4.615419e-05,4.598729e-05,4.551170e-05,4.520897e-05,4.502078e-05,4.451717e-05,4.420988e-05,4.400318e-05,4.348091e-05,4.317494e-05,4.295222e-05,4.241877e-05,4.211852e-05,4.188204e-05,4.134332e-05,4.105201e-05,4.080379e-05,4.026446e-05,3.998440e-05,3.972625e-05,3.918997e-05,3.892277e-05,3.865630e-05,3.812588e-05,3.787259e-05,3.759924e-05,3.707686e-05,3.683812e-05,3.655916e-05,3.604649e-05,3.582259e-05,3.553916e-05,3.503743e-05,3.482843e-05,3.454152e-05,3.405164e-05,3.385740e-05,3.356792e-05,3.309051e-05,3.291077e-05,3.261950e-05,3.215498e-05,3.198935e-05,3.169701e-05,3.124563e-05,3.109366e-05,3.080086e-05,3.036273e-05,3.022393e-05,2.993122e-05,2.950635e-05,2.938017e-05,2.908807e-05,2.867636e-05,2.856226e-05,2.827120e-05,2.787252e-05,2.776993e-05,2.748030e-05,2.709446e-05,2.700281e-05,2.671496e-05,2.634174e-05,2.626046e-05,2.597471e-05,2.561383e-05,2.554238e-05,2.525901e-05,2.491019e-05,2.484803e-05,2.456729e-05,2.423023e-05,2.417684e-05,2.389894e-05,2.357335e-05,2.352821e-05,2.325336e-05,2.293891e-05,2.290154e-05,2.262991e-05,2.232629e-05,2.229622e-05,2.202797e-05,2.173486e-05,2.171164e-05,2.144690e-05,2.116400e-05,2.114718e-05,2.088608e-05,2.061307e-05,2.060225e-05,2.034489e-05,2.008146e-05,2.007624e-05,1.982272e-05,1.956858e-05,1.907868e-05,1.860599e-05,1.814995e-05,1.771002e-05,1.728570e-05,1.687645e-05,1.648181e-05,1.610127e-05,1.573438e-05,1.538069e-05,1.503975e-05,1.471114e-05,1.439445e-05,1.408927e-05,1.379523e-05,1.351194e-05,1.323904e-05,1.297619e-05,1.272303e-05,1.247925e-05,1.224451e-05,1.201853e-05,1.180099e-05,1.159160e-05,1.139010e-05,1.119620e-05,1.100965e-05,1.083019e-05,1.065758e-05,1.049159e-05,1.033198e-05,1.017854e-05,1.003104e-05,9.889289e-06,9.753081e-06,9.622224e-06,9.496530e-06,9.375820e-06,9.259919e-06,9.148658e-06,9.041873e-06,8.939409e-06,8.841111e-06,8.746833e-06,8.656433e-06,8.569773e-06,8.486721e-06,8.407147e-06,8.330928e-06
0.000000e+00,1.515268e-08,5.477945e-07,5.793890e-07,5.603713e-06,2.361762e-05,2.477383e-05,6.364310e-05,1.107852e-04,1.139024e-04,1.649640e-04,2.082916e-04,2.118457e-04,2.532849e-04,2.859984e-04,2.893796e-04,3.205871e-04,3.444091e-04,3.474131e-04,3.703340e-04,3.872537e-04,3.897824e-04,4.061476e-04,4.177690e-04,4.197798e-04,4.309935e-04,4.385826e-04,4.400704e-04,4.472626e-04,4.518113e-04,4.527950e-04,4.568685e-04,4.591488e-04,4.596618e-04,4.613329e-04,4.619394e-04,4.620221e-04,4.618538e-04,4.612424e-04,4.609381e-04,4.593726e-04,4.578919e-04,4.572435e-04,4.546269e-04,4.525414e-04,4.515899e-04,4.481920e-04,4.457023e-04,4.444856e-04,4.405170e-04,4.377741e-04,4.363270e-04,4.319515e-04,4.290687e-04,4.274222e-04,4.227671e-04,4.198287e-04,4.180107e-04,4.131748e-04,4.102430e-04,4.082782e-04,4.033376e-04,4.004579e-04,3.983678e-04,3.933816e-04,3.905865e-04,3.883903e-04,3.834037e-04,3.807159e-04,3.784304e-04,3.734778e-04,3.709130e-04,3.685527e-04,3.636605e-04,3.612283e-04,3.588062e-04,3.539940e-04,3.517002e-04,3.492276e-04,3.445100e-04,3.423570e-04,3.398439e-04,3.352315e-04,3.332195e-04,3.306746e-04,3.261749e-04,3.243023e-04,3.217335e-04,3.173515e-04,3.156155e-04,3.130296e-04,3.087685e-04,3.071653e-04,3.045686e-04,3.004301e-04,2.989553e-04,2.963532e-04,2.923379e-04,2.909867e-04,2.883841e-04,2.844917e-04,2.832590e-04,2.806603e-04,2.768897e-04,2.757703e-04,2.731795e-04,2.695292e-04,2.685178e-04,2.659384e-04,2.624066e-04,2.614979e-04,2.589331e-04,2.555175e-04,2.547063e-04,2.521590e-04,2.488572e-04,2.481383e-04,2.456113e-04,2.424206e-04,2.417891e-04,2.392846e-04,2.362024e-04,2.356533e-04,2.331735e-04,2.301972e-04,2.297258e-04,2.272727e-04,2.243993e-04,2.240010e-04,2.215763e-04,2.188031e-04,2.184736e-04,2.160789e-04,2.134031e-04,2.131381e-04,2.107749e-04,2.081936e-04,2.079891e-04,2.056586e-04,2.031692e-04,2.030212e-04,2.007246e-04,1.983243e-04,1.982292e-04,1.959675e-04,1.936536e-04,1.936078e-04,1.913819e-04,1.891519e-04,1.848565e-04,1.807167e-04,1.767276e-04,1.728848e-04,1.691834e-04,1.656192e-04,1.621877e-04,1.588848e-04,1.557064e-04,1.526483e-04,1.497069e-04,1.468783e-04,1.441588e-04,1.415449e-04,1.390331e-04,1.366201e-04,1.343027e-04,1.320776e-04,1.299418e-04,1.278924e-04,1.259264e-04,1.240412e-04,1.222338e-04,1.205018e-04,1.188426e-04,1.172538e-04,1.157328e-04,1.142774e-04,1.128854e-04,1.115546e-04,1.102828e-04,1.090681e-04,1.079084e-04,1.068017e-04,1.057464e-04,1.047404e-04,1.037822e-04,1.028699e-04,1.020020e-04,1.011769e-04,1.003930e-04,9.964875e-05,9.894283e-05,9.827379e-05,9.764026e-05,9.704094e-05,9.647455e-05,9.593986e-05,9.543566e-05
0.000000e+00,3.220749e-08,6.783295e-07,7.107760e-07,5.128163e-06,2.116744e-05,2.227009e-05,6.559587e-05,1.351126e-04,1.403291e-04,2.349832e-04,3.266040e-04,3.345162e-04,4.310717e-04,5.132485e-04,5.220757e-04,6.069560e-04,6.766022e-04,6.857403e-04,7.586245e-04,8.167729e-04,8.258542e-04,8.876894e-04,9.356545e-04,9.443931e-04,9.962260e-04,1.035274e-03,1.043444e-03,1.086297e-03,1.117600e-03,1.125027e-03,1.159866e-03,1.184486e-03,1.191041e-03,1.218767e-03,1.237660e-03,1.243251e-03,1.264689e-03,1.278703e-03,1.283268e-03,1.299169e-03,1.309055e-03,1.312561e-03,1.323608e-03,1.330026e-03,1.332461e-03,1.339267e-03,1.342796e-03,1.344163e-03,1.347280e-03,1.348424e-03,1.348742e-03,1.348666e-03,1.347862e-03,1.347163e-03,1.344336e-03,1.341964e-03,1.340287e-03,1.335108e-03,1.331495e-03,1.328887e-03,1.321708e-03,1.317137e-03,1.313650e-03,1.304787e-03,1.299499e-03,1.295189e-03,1.284922e-03,1.279122e-03,1.274049e-03,1.262627e-03,1.256489e-03,1.250711e-03,1.238354e-03,1.232025e-03,1.225604e-03,1.212506e-03,1.206108e-03,1.199103e-03,1.185436e-03,1.179070e-03,1.171541e-03,1.157455e-03,1.151205e-03,1.143210e-03,1.128837e-03,1.122769e-03,1.114364e-03,1.099819e-03,1.093986e-03,1.085226e-03,1.070609e-03,1.065053e-03,1.055989e-03,1.041387e-03,1.036138e-03,1.026821e-03,1.012308e-03,1.007388e-03,9.978639e-04,9.835042e-04,9.789291e-04,9.692421e-04,9.550901e-04,9.508677e-04,9.410595e-04,9.271609e-04,9.232942e-04,9.134038e-04,8.997969e-04,8.962847e-04,8.863481e-04,8.730645e-04,8.699017e-04,8.599525e-04,8.470177e-04,8.441964e-04,8.342654e-04,8.217000e-04,8.192097e-04,8.093253e-04,7.971449e-04,7.949733e-04,7.851616e-04,7.733779e-04,7.715112e-04,7.617958e-04,7.504170e-04,7.488402e-04,7.392426e-04,7.282735e-04,7.269711e-04,7.175104e-04,7.069535e-04,7.059092e-04,6.966028e-04,6.864579e-04,6.856552e-04,6.765185e-04,6.667836e-04,6.662060e-04,6.572525e-04,6.479238e-04,6.475548e-04,6.387963e-04,6.298685e-04,6.296920e-04,6.211388e-04,6.126053e-04,5.962804e-04,5.807013e-04,5.658506e-04,5.517094e-04,5.382583e-04,5.254769e-04,5.133445e-04,5.018398e-04,4.909414e-04,4.806280e-04,4.708781e-04,4.616704e-04,4.529839e-04,4.447978e-04,4.370915e-04,4.298451e-04,4.230387e-04,4.166532e-04,4.106698e-04,4.050704e-04,3.998373e-04,3.949532e-04,3.904016e-04,3.861664e-04,3.822320e-04,3.785835e-04,3.752064e-04,3.720867e-04,3.692112e-04,3.665668e-04,3.641414e-04,3.619229e-04,3.599000e-04,3.580619e-04,3.563980e-04,3.548984e-04,3.535535e-04,3.523542e-04,3.512918e-04,3.503579e-04,3.495447e-04,3.488444e-04,3.482500e-04,3.477545e-04,3.473514e-04,3.470345e-04,3.467979e-04,3.466359e-04,3.465432e-04
0.000000e+00,1.824169e-08,6.168550e-07,6.512014e-07,5.947979e-06,2.589583e-05,2.725508e-05,7.989817e-05,1.652666e-04,1.718369e-04,2.965728e-04,4.273258e-04,4.390191e-04,5.854816e-04,7.135841e-04,7.274301e-04,8.606404e-04,9.692873e-04,9.834576e-04,1.095535e-03,1.183518e-03,1.197128e-03,1.288751e-03,1.358449e-03,1.371006e-03,1.444519e-03,1.498704e-03,1.509899e-03,1.567732e-03,1.608939e-03,1.618574e-03,1.662946e-03,1.693380e-03,1.701337e-03,1.734205e-03,1.755756e-03,1.761979e-03,1.785057e-03,1.799331e-03,1.803811e-03,1.818587e-03,1.826944e-03,1.829708e-03,1.837473e-03,1.841063e-03,1.842163e-03,1.844036e-03,1.843825e-03,1.843334e-03,1.840281e-03,1.837079e-03,1.835084e-03,1.827939e-03,1.822426e-03,1.819023e-03,1.808504e-03,1.801246e-03,1.796536e-03,1.783263e-03,1.774727e-03,1.768816e-03,1.753320e-03,1.743896e-03,1.736887e-03,1.719624e-03,1.709630e-03,1.701627e-03,1.682988e-03,1.672685e-03,1.663789e-03,1.644107e-03,1.633706e-03,1.624014e-03,1.603574e-03,1.593244e-03,1.582849e-03,1.561893e-03,1.551767e-03,1.540758e-03,1.519490e-03,1.509675e-03,1.498134e-03,1.476727e-03,1.467302e-03,1.455307e-03,1.433907e-03,1.424932e-03,1.412557e-03,1.391284e-03,1.382802e-03,1.370113e-03,1.349068e-03,1.341108e-03,1.328168e-03,1.307433e-03,1.300012e-03,1.286880e-03,1.266523e-03,1.259649e-03,1.246376e-03,1.226451e-03,1.220124e-03,1.206760e-03,1.187310e-03,1.181524e-03,1.168111e-03,1.149171e-03,1.143915e-03,1.130495e-03,1.112088e-03,1.107347e-03,1.093955e-03,1.076101e-03,1.071857e-03,1.058527e-03,1.041237e-03,1.037471e-03,1.024232e-03,1.007513e-03,1.004204e-03,9.910812e-04,9.749368e-04,9.720613e-04,9.590795e-04,9.435088e-04,9.410440e-04,9.282237e-04,9.132230e-04,9.111455e-04,8.985052e-04,8.840684e-04,8.823548e-04,8.699106e-04,8.560295e-04,8.546565e-04,8.424227e-04,8.290875e-04,8.280324e-04,8.160212e-04,8.032207e-04,8.024611e-04,7.906831e-04,7.784052e-04,7.779194e-04,7.663836e-04,7.546151e-04,7.543823e-04,7.430963e-04,7.318235e-04,7.102157e-04,6.895311e-04,6.697415e-04,6.508187e-04,6.327343e-04,6.154601e-04,5.989681e-04,5.832306e-04,5.682206e-04,5.539113e-04,5.402767e-04,5.272914e-04,5.149309e-04,5.031710e-04,4.919882e-04,4.813597e-04,4.712635e-04,4.616781e-04,4.525830e-04,4.439582e-04,4.357844e-04,4.280432e-04,4.207165e-04,4.137869e-04,4.072379e-04,4.010533e-04,3.952176e-04,3.897159e-04,3.845339e-04,3.796578e-04,3.750742e-04,3.707704e-04,3.667341e-04,3.629534e-04,3.594170e-04,3.561139e-04,3.530336e-04,3.501661e-04,3.475015e-04,3.450307e-04,3.427445e-04,3.406344e-04,3.386921e-04,3.369097e-04,3.352794e-04,3.337940e-04,3.324463e-04,3.312297e-04,3.301376e-04
0.000000e+00,2.195069e-08,7.374443e-07,7.789457e-07,7.877283e-06,4.139064e-05,4.393446e-05,1.579413e-04,3.831810e-04,4.020379e-04,7.949072e-04,1.273878e-03,1.320000e-03,1.943429e-03,2.557931e-03,2.628178e-03,3.341300e-03,3.971259e-03,4.056485e-03,4.754223e-03,5.329838e-03,5.420939e-03,6.047822e-03,6.539746e-03,6.629690e-03,7.164012e-03,7.566179e-03,7.650141e-03,8.088725e-03,8.406348e-03,8.481265e-03,8.829803e-03,9.072628e-03,9.136698e-03,9.404469e-03,9.583391e-03,9.635687e-03,9.832905e-03,9.958423e-03,9.998609e-03,1.013519e-02,1.021677e-02,1.024492e-02,1.032995e-02,1.037586e-02,1.039230e-02,1.043387e-02,1.045118e-02,1.045644e-02,1.046165e-02,1.045633e-02,1.045104e-02,1.042606e-02,1.040313e-02,1.038801e-02,1.033815e-02,1.030181e-02,1.027761e-02,1.020746e-02,1.016116e-02,1.012867e-02,1.004217e-02,9.988788e-03,9.948779e-03,9.849292e-03,9.791186e-03,9.744427e-03,9.634849e-03,9.573936e-03,9.521173e-03,9.403969e-03,9.341804e-03,9.283760e-03,9.161030e-03,9.098859e-03,9.036223e-03,8.909748e-03,8.848560e-03,8.781984e-03,8.653275e-03,8.593840e-03,8.523939e-03,8.394267e-03,8.337174e-03,8.264525e-03,8.134957e-03,8.080644e-03,8.005784e-03,7.877208e-03,7.825987e-03,7.749413e-03,7.622565e-03,7.574643e-03,7.496814e-03,7.372297e-03,7.327796e-03,7.249135e-03,7.127436e-03,7.086410e-03,7.007300e-03,6.888811e-03,6.851255e-03,6.772046e-03,6.657072e-03,6.622938e-03,6.543947e-03,6.432720e-03,6.401923e-03,6.323435e-03,6.216127e-03,6.188554e-03,6.110825e-03,6.007553e-03,5.983072e-03,5.906329e-03,5.807165e-03,5.785627e-03,5.710072e-03,5.615051e-03,5.596296e-03,5.522106e-03,5.431232e-03,5.415094e-03,5.342423e-03,5.255671e-03,5.241981e-03,5.170963e-03,5.088287e-03,5.076873e-03,5.007624e-03,4.928958e-03,4.919651e-03,4.852268e-03,4.777532e-03,4.770165e-03,4.704727e-03,4.633829e-03,4.628239e-03,4.564813e-03,4.497652e-03,4.493681e-03,4.432318e-03,4.368784e-03,4.366280e-03,4.307022e-03,4.247001e-03,4.245818e-03,4.188692e-03,4.132066e-03,4.024789e-03,3.923751e-03,3.828713e-03,3.739437e-03,3.655685e-03,3.577223e-03,3.503822e-03,3.435253e-03,3.371297e-03,3.311738e-03,3.256364e-03,3.204974e-03,3.157368e-03,3.113355e-03,3.072752e-03,3.035378e-03,3.001064e-03,2.969642e-03,2.940955e-03,2.914849e-03,2.891178e-03,2.869800e-03,2.850582e-03,2.833394e-03,2.818112e-03,2.804619e-03,2.792800e-03,2.782549e-03,2.773762e-03,2.766341e-03,2.760192e-03,2.755226e-03,2.751357e-03,2.748506e-03,2.746595e-03,2.745550e-03,2.745303e-03,2.745788e-03,2.746943e-03,2.748707e-03,2.751026e-03,2.753846e-03,2.757117e-03,2.760793e-03,2.764829e-03,2.769183e-03,2.773817e-03,2.778692e-03,2.783775e-03
0.000000e+00,1.666147e-08,3.441756e-07,3.611425e-07,2.455602e-06,7.691168e-06,7.972549e-06,1.570567e-05,2.313884e-05,2.360224e-05,3.106229e-05,3.746481e-05,3.800065e-05,4.442332e-05,4.978100e-05,5.035240e-05,5.581273e-05,6.024969e-05,6.082900e-05,6.542526e-05,6.906002e-05,6.962496e-05,7.345087e-05,7.639188e-05,7.692498e-05,8.006845e-05,8.241364e-05,8.290158e-05,8.544376e-05,8.728046e-05,8.771345e-05,8.972818e-05,9.113340e-05,9.150457e-05,9.305837e-05,9.409955e-05,9.440443e-05,9.555679e-05,9.629265e-05,9.652869e-05,9.733262e-05,9.781406e-05,9.798032e-05,9.848287e-05,9.875389e-05,9.885068e-05,9.909354e-05,9.919203e-05,9.922066e-05,9.924069e-05,9.919922e-05,9.916176e-05,9.899151e-05,9.883794e-05,9.873709e-05,9.840523e-05,9.816338e-05,9.800224e-05,9.753403e-05,9.722412e-05,9.700614e-05,9.642375e-05,9.606294e-05,9.579175e-05,9.511467e-05,9.471741e-05,9.439677e-05,9.364205e-05,9.322051e-05,9.285423e-05,9.203678e-05,9.160109e-05,9.119297e-05,9.032583e-05,8.988440e-05,8.943818e-05,8.853268e-05,8.809243e-05,8.761179e-05,8.667780e-05,8.624435e-05,8.573284e-05,8.477889e-05,8.435679e-05,8.381781e-05,8.285131e-05,8.244415e-05,8.188098e-05,8.090828e-05,8.051885e-05,7.993459e-05,7.896117e-05,7.859158e-05,7.798917e-05,7.701968e-05,7.667148e-05,7.605369e-05,7.509211e-05,7.476633e-05,7.413578e-05,7.318546e-05,7.288274e-05,7.224186e-05,7.130561e-05,7.102626e-05,7.037731e-05,6.945747e-05,6.920151e-05,6.854660e-05,6.764510e-05,6.741230e-05,6.675339e-05,6.587179e-05,6.566175e-05,6.500064e-05,6.414019e-05,6.395235e-05,6.329069e-05,6.245236e-05,6.228605e-05,6.162537e-05,6.080988e-05,6.066432e-05,6.000601e-05,5.921388e-05,5.908823e-05,5.843356e-05,5.766513e-05,5.755850e-05,5.690863e-05,5.616408e-05,5.607554e-05,5.543150e-05,5.471089e-05,5.463948e-05,5.400222e-05,5.330548e-05,5.325025e-05,5.262061e-05,5.194758e-05,5.190757e-05,5.128631e-05,5.063673e-05,5.061099e-05,4.999878e-05,4.937235e-05,4.935994e-05,4.875736e-05,4.815371e-05,4.699151e-05,4.587248e-05,4.479568e-05,4.376011e-05,4.276475e-05,4.180854e-05,4.089041e-05,4.000927e-05,3.916402e-05,3.835356e-05,3.757679e-05,3.683265e-05,3.612005e-05,3.543792e-05,3.478524e-05,3.416098e-05,3.356413e-05,3.299371e-05,3.244877e-05,3.192837e-05,3.143160e-05,3.095757e-05,3.050543e-05,3.007434e-05,2.966348e-05,2.927208e-05,2.889937e-05,2.854461e-05,2.820709e-05,2.788613e-05,2.758104e-05,2.729120e-05,2.701598e-05,2.675477e-05,2.650699e-05,2.627210e-05,2.604955e-05,2.583881e-05,2.563940e-05,2.545082e-05,2.527261e-05,2.510433e-05,2.494554e-05,2.479582e-05,2.465479e-05,2.452205e-05,2.439723e-05,2.427998e-05,2.416995e-05
0.000000e+00,4.607651e-08,1.562908e-06,1.650200e-06,1.635363e-05,8.738313e-05,9.292583e-05,3.609814e-04,9.844300e-04,1.041510e-03,2.376376e-03,4.331989e-03,4.537622e-03,7.598747e-03,1.111677e-02,1.155044e-02,1.632519e-02,2.112561e-02,2.181880e-02,2.790685e-02,3.351690e-02,3.445669e-02,4.133598e-02,4.727647e-02,4.841835e-02,5.558720e-02,6.145632e-02,6.273780e-02,6.977843e-02,7.527860e-02,7.663064e-02,8.322893e-02,8.816472e-02,8.952015e-02,9.546257e-02,9.972587e-02,1.010248e-01,1.061848e-01,1.097357e-01,1.109286e-01,1.152492e-01,1.180975e-01,1.191460e-01,1.226230e-01,1.248116e-01,1.256888e-01,1.283550e-01,1.299472e-01,1.306363e-01,1.325491e-01,1.336185e-01,1.341116e-01,1.353428e-01,1.359660e-01,1.362624e-01,1.368906e-01,1.371424e-01,1.372473e-01,1.373524e-01,1.373027e-01,1.372252e-01,1.368847e-01,1.365967e-01,1.363491e-01,1.356356e-01,1.351647e-01,1.347611e-01,1.337411e-01,1.331350e-01,1.325905e-01,1.313233e-01,1.306227e-01,1.299526e-01,1.284906e-01,1.277289e-01,1.269486e-01,1.253373e-01,1.245421e-01,1.236663e-01,1.219447e-01,1.211380e-01,1.201807e-01,1.183820e-01,1.175814e-01,1.165556e-01,1.147079e-01,1.139269e-01,1.128447e-01,1.109713e-01,1.102203e-01,1.090927e-01,1.072132e-01,1.064996e-01,1.053368e-01,1.034671e-01,1.027963e-01,1.016074e-01,9.976060e-02,9.913611e-02,9.792939e-02,9.611612e-02,9.554002e-02,9.432292e-02,9.255165e-02,9.202481e-02,9.080402e-02,8.908149e-02,8.860386e-02,8.738537e-02,8.571682e-02,8.528764e-02,8.407683e-02,8.246625e-02,8.208418e-02,8.088583e-02,7.933619e-02,7.899946e-02,7.781785e-02,7.633123e-02,7.603774e-02,7.487668e-02,7.345444e-02,7.320189e-02,7.206473e-02,7.070765e-02,7.049355e-02,6.938326e-02,6.809158e-02,6.791335e-02,6.683255e-02,6.560609e-02,6.546110e-02,6.441206e-02,6.325029e-02,6.313588e-02,6.212058e-02,6.102269e-02,6.093622e-02,5.995634e-02,5.892126e-02,5.886014e-02,5.791712e-02,5.694359e-02,5.690528e-02,5.600031e-02,5.508690e-02,5.506894e-02,5.420298e-02,5.334813e-02,5.173966e-02,5.024016e-02,4.884610e-02,4.755385e-02,4.635970e-02,4.525986e-02,4.425050e-02,4.332778e-02,4.248784e-02,4.172681e-02,4.104085e-02,4.042613e-02,3.987888e-02,3.939534e-02,3.897182e-02,3.860467e-02,3.829032e-02,3.802527e-02,3.780609e-02,3.762943e-02,3.749206e-02,3.739081e-02,3.732262e-02,3.728455e-02,3.727375e-02,3.728748e-02,3.732314e-02,3.737823e-02,3.745036e-02,3.753730e-02,3.763690e-02,3.774717e-02,3.786622e-02,3.799230e-02,3.812378e-02,3.825914e-02,3.839699e-02,3.853606e-02,3.867519e-02,3.881333e-02,3.894953e-02,3.908296e-02,3.921287e-02,3.933862e-02,3.945966e-02,3.957551e-02,3.968579e-02,3.979017e-02,3.988841e-02
0.000000e+00,1.075345e-08,3.050569e-07,3.214423e-07,2.420383e-06,6.895870e-06,7.106333e-06,1.239170e-05,1.713319e-05,1.742531e-05,2.210169e-05,2.608913e-05,2.642201e-05,3.040252e-05,3.370926e-05,3.406115e-05,3.741543e-05,4.012889e-05,4.048228e-05,4.327801e-05,4.547751e-05,4.581836e-05,4.811864e-05,4.987620e-05,5.019365e-05,5.205760e-05,5.343809e-05,5.372407e-05,5.520601e-05,5.626700e-05,5.651573e-05,5.766486e-05,5.845680e-05,5.866440e-05,5.952472e-05,6.009149e-05,6.025559e-05,6.086621e-05,6.124576e-05,6.136522e-05,6.176074e-05,6.198573e-05,6.206039e-05,6.227132e-05,6.236979e-05,6.240024e-05,6.245344e-05,6.244938e-05,6.243680e-05,6.235586e-05,6.226973e-05,6.221577e-05,6.202137e-05,6.187056e-05,6.177719e-05,6.148746e-05,6.128670e-05,6.115613e-05,6.078691e-05,6.054863e-05,6.038324e-05,5.994836e-05,5.968302e-05,5.948526e-05,5.899677e-05,5.871310e-05,5.848549e-05,5.795388e-05,5.765915e-05,5.740419e-05,5.683856e-05,5.653878e-05,5.625894e-05,5.566718e-05,5.536728e-05,5.506497e-05,5.445389e-05,5.415787e-05,5.383543e-05,5.321092e-05,5.292198e-05,5.258165e-05,5.194877e-05,5.166944e-05,5.131337e-05,5.067645e-05,5.040871e-05,5.003892e-05,4.940164e-05,4.914698e-05,4.876539e-05,4.813090e-05,4.789039e-05,4.749882e-05,4.686975e-05,4.664414e-05,4.624426e-05,4.562285e-05,4.541259e-05,4.500599e-05,4.439409e-05,4.419939e-05,4.378753e-05,4.318666e-05,4.300756e-05,4.259180e-05,4.200321e-05,4.183956e-05,4.142115e-05,4.084584e-05,4.069738e-05,4.027747e-05,3.971622e-05,3.958260e-05,3.916224e-05,3.861566e-05,3.849641e-05,3.807658e-05,3.754511e-05,3.743973e-05,3.702131e-05,3.650525e-05,3.641318e-05,3.599697e-05,3.549650e-05,3.541715e-05,3.500388e-05,3.451910e-05,3.445185e-05,3.404216e-05,3.357307e-05,3.351730e-05,3.311179e-05,3.265831e-05,3.261339e-05,3.221258e-05,3.177457e-05,3.173986e-05,3.134423e-05,3.092151e-05,3.089639e-05,3.050635e-05,3.009869e-05,3.008254e-05,2.969845e-05,2.930558e-05,2.929780e-05,2.892000e-05,2.854162e-05,2.781339e-05,2.711247e-05,2.643818e-05,2.578982e-05,2.516670e-05,2.456808e-05,2.399324e-05,2.344146e-05,2.291201e-05,2.240417e-05,2.191724e-05,2.145050e-05,2.100328e-05,2.057490e-05,2.016469e-05,1.977201e-05,1.939622e-05,1.903672e-05,1.869290e-05,1.836417e-05,1.804997e-05,1.774976e-05,1.746300e-05,1.718917e-05,1.692778e-05,1.667834e-05,1.644039e-05,1.621347e-05,1.599715e-05,1.579102e-05,1.559465e-05,1.540767e-05,1.522970e-05,1.506036e-05,1.489932e-05,1.474623e-05,1.460076e-05,1.446261e-05,1.433148e-05,1.420706e-05,1.408909e-05,1.397728e-05,1.387140e-05,1.377117e-05,1.367638e-05,1.358677e-05,1.350214e-05,1.342227e-05,1.334696e-05
0.000000e+00,3.936029e-09,7.348603e-08,7.707586e-08,5.403677e-07,1.842445e-06,1.917172e-06,4.092559e-06,6.299529e-06,6.438863e-06,8.698641e-06,1.065755e-05,1.082222e-05,1.280484e-05,1.447236e-05,1.465101e-05,1.636706e-05,1.777469e-05,1.795945e-05,1.943445e-05,2.061366e-05,2.079808e-05,2.205611e-05,2.303534e-05,2.321412e-05,2.427747e-05,2.508246e-05,2.525140e-05,2.614101e-05,2.679528e-05,2.695118e-05,2.768661e-05,2.821123e-05,2.835175e-05,2.895087e-05,2.936460e-05,2.948810e-05,2.996732e-05,3.028676e-05,3.039219e-05,3.076618e-05,3.100578e-05,3.109254e-05,3.137439e-05,3.154677e-05,3.161465e-05,3.181606e-05,3.193215e-05,3.198121e-05,3.211255e-05,3.218183e-05,3.221237e-05,3.228284e-05,3.231348e-05,3.232599e-05,3.234372e-05,3.234275e-05,3.233784e-05,3.231002e-05,3.228347e-05,3.226186e-05,3.219484e-05,3.214788e-05,3.211036e-05,3.200973e-05,3.194678e-05,3.189417e-05,3.176485e-05,3.168968e-05,3.162285e-05,3.146918e-05,3.138498e-05,3.130480e-05,3.113059e-05,3.104007e-05,3.094740e-05,3.075600e-05,3.066144e-05,3.055714e-05,3.035149e-05,3.025480e-05,3.013971e-05,2.992239e-05,2.982517e-05,2.970011e-05,2.947338e-05,2.937695e-05,2.924270e-05,2.900853e-05,2.891398e-05,2.877130e-05,2.853142e-05,2.843964e-05,2.828925e-05,2.804516e-05,2.795688e-05,2.779947e-05,2.755248e-05,2.746826e-05,2.730448e-05,2.705573e-05,2.697601e-05,2.680648e-05,2.655696e-05,2.648209e-05,2.630739e-05,2.605796e-05,2.598817e-05,2.580885e-05,2.556025e-05,2.549571e-05,2.531229e-05,2.506515e-05,2.500597e-05,2.481894e-05,2.457380e-05,2.452002e-05,2.432984e-05,2.408717e-05,2.403880e-05,2.384588e-05,2.360608e-05,2.356307e-05,2.336783e-05,2.313122e-05,2.309352e-05,2.289632e-05,2.266319e-05,2.263069e-05,2.243189e-05,2.220246e-05,2.217506e-05,2.197497e-05,2.174945e-05,2.172701e-05,2.152594e-05,2.130447e-05,2.128684e-05,2.108507e-05,2.086778e-05,2.085481e-05,2.065261e-05,2.043958e-05,2.043111e-05,2.022872e-05,2.002003e-05,2.001588e-05,1.981354e-05,1.960924e-05,1.921124e-05,1.882192e-05,1.844129e-05,1.806934e-05,1.770601e-05,1.735127e-05,1.700503e-05,1.666722e-05,1.633774e-05,1.601649e-05,1.570335e-05,1.539820e-05,1.510093e-05,1.481140e-05,1.452947e-05,1.425503e-05,1.398793e-05,1.372803e-05,1.347519e-05,1.322928e-05,1.299016e-05,1.275769e-05,1.253173e-05,1.231215e-05,1.209880e-05,1.189156e-05,1.169030e-05,1.149487e-05,1.130516e-05,1.112103e-05,1.094235e-05,1.076902e-05,1.060089e-05,1.043787e-05,1.027981e-05,1.012662e-05,9.978176e-06,9.834367e-06,9.695084e-06,9.560221e-06,9.429672e-06,9.303334e-06,9.181107e-06,9.062890e-06,8.948586e-06,8.838102e-06,8.731342e-06,8.628215e-06,8.528633e-06
0.000000e+00,1.326721e-05,4.888619e-04,5.171241e-04,5.473586e-03,2.930700e-02,3.113540e-02,1.160958e-01,3.007255e-01,3.171113e-01,6.869905e-01,1.203064e+00,1.256225e+00,2.031377e+00,2.896142e+00,3.001332e+00,4.143870e+00,5.269686e+00,5.430719e+00,6.831127e+00,8.102767e+00,8.314270e+00,9.850793e+00,1.116293e+01,1.141375e+01,1.297913e+01,1.424979e+01,1.452603e+01,1.603672e+01,1.720920e+01,1.749646e+01,1.889336e+01,1.993322e+01,2.021807e+01,2.146357e+01,2.235404e+01,2.262487e+01,2.369873e+01,2.443604e+01,2.468344e+01,2.557856e+01,2.616789e+01,2.638472e+01,2.710345e+01,2.755569e+01,2.773694e+01,2.828799e+01,2.861724e+01,2.875981e+01,2.915594e+01,2.937775e+01,2.948015e+01,2.973632e+01,2.986639e+01,2.992842e+01,3.006046e+01,3.011390e+01,3.013640e+01,3.016016e+01,3.015096e+01,3.013555e+01,3.006627e+01,3.000703e+01,2.995588e+01,2.980779e+01,2.970962e+01,2.962527e+01,2.941144e+01,2.928399e+01,2.916923e+01,2.890144e+01,2.875295e+01,2.861068e+01,2.829942e+01,2.813682e+01,2.796996e+01,2.762447e+01,2.745354e+01,2.726497e+01,2.689333e+01,2.671879e+01,2.651132e+01,2.612055e+01,2.594623e+01,2.572253e+01,2.531865e+01,2.514759e+01,2.491021e+01,2.449839e+01,2.433297e+01,2.408430e+01,2.366893e+01,2.351095e+01,2.325321e+01,2.283799e+01,2.268878e+01,2.242404e+01,2.201208e+01,2.187257e+01,2.160274e+01,2.119661e+01,2.106741e+01,2.079422e+01,2.039606e+01,2.027750e+01,2.000255e+01,1.961408e+01,1.950626e+01,1.923100e+01,1.885362e+01,1.875647e+01,1.848221e+01,1.811701e+01,1.803031e+01,1.775823e+01,1.740605e+01,1.732947e+01,1.706063e+01,1.672209e+01,1.665522e+01,1.639056e+01,1.606611e+01,1.600847e+01,1.574882e+01,1.543874e+01,1.538980e+01,1.513591e+01,1.484034e+01,1.479954e+01,1.455205e+01,1.427103e+01,1.423779e+01,1.399726e+01,1.373072e+01,1.370446e+01,1.347137e+01,1.321917e+01,1.319930e+01,1.297406e+01,1.273598e+01,1.272192e+01,1.250488e+01,1.228067e+01,1.227184e+01,1.206327e+01,1.185261e+01,1.184847e+01,1.164860e+01,1.145115e+01,1.107916e+01,1.073174e+01,1.040808e+01,1.010736e+01,9.828722e+00,9.571299e+00,9.334217e+00,9.116598e+00,8.917563e+00,8.736234e+00,8.571744e+00,8.423229e+00,8.289838e+00,8.170732e+00,8.065085e+00,7.972087e+00,7.890944e+00,7.820883e+00,7.761146e+00,7.710998e+00,7.669724e+00,7.636631e+00,7.611049e+00,7.592332e+00,7.579858e+00,7.573030e+00,7.571278e+00,7.574056e+00,7.580845e+00,7.591153e+00,7.604515e+00,7.620491e+00,7.638670e+00,7.658667e+00,7.680122e+00,7.702704e+00,7.726104e+00,7.750042e+00,7.774258e+00,7.798520e+00,7.822615e+00,7.846355e+00,7.869572e+00,7.892119e+00,7.913867e+00,7.934707e+00,7.954545e+00,7.973305e+00,7.990926e+00
0.000000e+00,1.309219e-08,4.062659e-07,4.285191e-07,4.039210e-06,1.986924e-05,2.103688e-05,7.175472e-05,1.687830e-04,1.767955e-04,3.398149e-04,5.279378e-04,5.454461e-04,7.725184e-04,9.809334e-04,1.003912e-03,1.228756e-03,1.416442e-03,1.441164e-03,1.638443e-03,1.795308e-03,1.819720e-03,1.985087e-03,2.112106e-03,2.135110e-03,2.270570e-03,2.371386e-03,2.392331e-03,2.501271e-03,2.579770e-03,2.598249e-03,2.684087e-03,2.743813e-03,2.759569e-03,2.825435e-03,2.869491e-03,2.882380e-03,2.931059e-03,2.962121e-03,2.972084e-03,3.006030e-03,3.026390e-03,3.033434e-03,3.054798e-03,3.066412e-03,3.070593e-03,3.081257e-03,3.085789e-03,3.087202e-03,3.088809e-03,3.087669e-03,3.086437e-03,3.080419e-03,3.074799e-03,3.071067e-03,3.058669e-03,3.049574e-03,3.043498e-03,3.025805e-03,3.014077e-03,3.005825e-03,2.983777e-03,2.970122e-03,2.959864e-03,2.934276e-03,2.919281e-03,2.907188e-03,2.878765e-03,2.862916e-03,2.849159e-03,2.818510e-03,2.802204e-03,2.786950e-03,2.754599e-03,2.738164e-03,2.721572e-03,2.687971e-03,2.671668e-03,2.653895e-03,2.619430e-03,2.603470e-03,2.584661e-03,2.549663e-03,2.534210e-03,2.514507e-03,2.479256e-03,2.464438e-03,2.443971e-03,2.408706e-03,2.394617e-03,2.373511e-03,2.338433e-03,2.325142e-03,2.303512e-03,2.268788e-03,2.256342e-03,2.234295e-03,2.200065e-03,2.188492e-03,2.166127e-03,2.132508e-03,2.121820e-03,2.099229e-03,2.066313e-03,2.056512e-03,2.033779e-03,2.001643e-03,1.992718e-03,1.969920e-03,1.938622e-03,1.930557e-03,1.907763e-03,1.877352e-03,1.870120e-03,1.847396e-03,1.817904e-03,1.811478e-03,1.788881e-03,1.760332e-03,1.754680e-03,1.732261e-03,1.704671e-03,1.699756e-03,1.677564e-03,1.650940e-03,1.646725e-03,1.624800e-03,1.599145e-03,1.595592e-03,1.573972e-03,1.549281e-03,1.546350e-03,1.525069e-03,1.501334e-03,1.498986e-03,1.478072e-03,1.455281e-03,1.453478e-03,1.432957e-03,1.411096e-03,1.409798e-03,1.389692e-03,1.368742e-03,1.367913e-03,1.348241e-03,1.328183e-03,1.327786e-03,1.308563e-03,1.289377e-03,1.252641e-03,1.217535e-03,1.184013e-03,1.152025e-03,1.121526e-03,1.092466e-03,1.064797e-03,1.038471e-03,1.013440e-03,9.896576e-04,9.670774e-04,9.456539e-04,9.253428e-04,9.061004e-04,8.878846e-04,8.706539e-04,8.543682e-04,8.389885e-04,8.244770e-04,8.107970e-04,7.979130e-04,7.857908e-04,7.743972e-04,7.637001e-04,7.536686e-04,7.442728e-04,7.354840e-04,7.272744e-04,7.196173e-04,7.124870e-04,7.058588e-04,6.997087e-04,6.940139e-04,6.887524e-04,6.839029e-04,6.794450e-04,6.753592e-04,6.716267e-04,6.682295e-04,6.651502e-04,6.623722e-04,6.598795e-04,6.576568e-04,6.556894e-04,6.539633e-04,6.524649e-04,6.511814e-04,6.501002e-04,6.492097e-04
0.000000e+00,2.887661e-08,9.829838e-07,1.038070e-06,1.038149e-05,5.552066e-05,5.902866e-05,2.263600e-04,6.037288e-04,6.377024e-04,1.415364e-03,2.519993e-03,2.634616e-03,4.318311e-03,6.217017e-03,6.449117e-03,8.982979e-03,1.149882e-02,1.185997e-02,1.501232e-02,1.789030e-02,1.837020e-02,2.186564e-02,2.486147e-02,2.543511e-02,2.902115e-02,3.193836e-02,3.257318e-02,3.604781e-02,3.874718e-02,3.940877e-02,4.262657e-02,4.502195e-02,4.567803e-02,4.854566e-02,5.059433e-02,5.121709e-02,5.368437e-02,5.537618e-02,5.594339e-02,5.799330e-02,5.934067e-02,5.983591e-02,6.147526e-02,6.250491e-02,6.291714e-02,6.416873e-02,6.491526e-02,6.523821e-02,6.613452e-02,6.663577e-02,6.686706e-02,6.744555e-02,6.773945e-02,6.787977e-02,6.817949e-02,6.830199e-02,6.835432e-02,6.841363e-02,6.839756e-02,6.836649e-02,6.822159e-02,6.809605e-02,6.798725e-02,6.767136e-02,6.746163e-02,6.728137e-02,6.682433e-02,6.655198e-02,6.630682e-02,6.573502e-02,6.541816e-02,6.511470e-02,6.445121e-02,6.410485e-02,6.374954e-02,6.301431e-02,6.265075e-02,6.224980e-02,6.145996e-02,6.108914e-02,6.064844e-02,5.981861e-02,5.944849e-02,5.897355e-02,5.811612e-02,5.775294e-02,5.724893e-02,5.637436e-02,5.602297e-02,5.549463e-02,5.461174e-02,5.427579e-02,5.372751e-02,5.284364e-02,5.252584e-02,5.196165e-02,5.108293e-02,5.078514e-02,5.020874e-02,4.934023e-02,4.906368e-02,4.847844e-02,4.762431e-02,4.736969e-02,4.677868e-02,4.594232e-02,4.570989e-02,4.511590e-02,4.430004e-02,4.408971e-02,4.349528e-02,4.270209e-02,4.251350e-02,4.192092e-02,4.115212e-02,4.098468e-02,4.039602e-02,3.965289e-02,3.950584e-02,3.892297e-02,3.820646e-02,3.807892e-02,3.750352e-02,3.681429e-02,3.670529e-02,3.613886e-02,3.547731e-02,3.538580e-02,3.482969e-02,3.419603e-02,3.412093e-02,3.357634e-02,3.297059e-02,3.291078e-02,3.237877e-02,3.180082e-02,3.175518e-02,3.123669e-02,3.068629e-02,3.065370e-02,3.014955e-02,2.962637e-02,2.960572e-02,2.911663e-02,2.862023e-02,2.861044e-02,2.813704e-02,2.766693e-02,2.677414e-02,2.593093e-02,2.513610e-02,2.438837e-02,2.368642e-02,2.302890e-02,2.241443e-02,2.184161e-02,2.130903e-02,2.081527e-02,2.035890e-02,1.993850e-02,1.955264e-02,1.919989e-02,1.887884e-02,1.858808e-02,1.832621e-02,1.809184e-02,1.788359e-02,1.770010e-02,1.754001e-02,1.740200e-02,1.728475e-02,1.718696e-02,1.710737e-02,1.704472e-02,1.699779e-02,1.696539e-02,1.694635e-02,1.693953e-02,1.694384e-02,1.695821e-02,1.698160e-02,1.701304e-02,1.705156e-02,1.709625e-02,1.714626e-02,1.720075e-02,1.725895e-02,1.732012e-02,1.738357e-02,1.744865e-02,1.751477e-02,1.758137e-02,1.764793e-02,1.771399e-02,1.777913e-02,1.784297e-02,1.790515e-02
0.000000e+00,5.197572e-09,8.799582e-08,9.211895e-08,6.026293e-07,2.045796e-06,2.132155e-06,4.895734e-06,8.074325e-06,8.280841e-06,1.164726e-05,1.453882e-05,1.477949e-05,1.764062e-05,1.998829e-05,2.023632e-05,2.258143e-05,2.445088e-05,2.469236e-05,2.658522e-05,2.805046e-05,2.827545e-05,2.977775e-05,3.090466e-05,3.110604e-05,3.227347e-05,3.311943e-05,3.329242e-05,3.417450e-05,3.478896e-05,3.493060e-05,3.557087e-05,3.599600e-05,3.610479e-05,3.654117e-05,3.681265e-05,3.688821e-05,3.715349e-05,3.730133e-05,3.734407e-05,3.746649e-05,3.751584e-05,3.752680e-05,3.753059e-05,3.750241e-05,3.748305e-05,3.738896e-05,3.730067e-05,3.725276e-05,3.707852e-05,3.694453e-05,3.687001e-05,3.663072e-05,3.646292e-05,3.636386e-05,3.607241e-05,3.588056e-05,3.575908e-05,3.542640e-05,3.521847e-05,3.507668e-05,3.471205e-05,3.449451e-05,3.433447e-05,3.394574e-05,3.372380e-05,3.354751e-05,3.314129e-05,3.291910e-05,3.272847e-05,3.231033e-05,3.209118e-05,3.188803e-05,3.146262e-05,3.124906e-05,3.103509e-05,3.060631e-05,3.040030e-05,3.017710e-05,2.974818e-05,2.955116e-05,2.932022e-05,2.889382e-05,2.870684e-05,2.846953e-05,2.804783e-05,2.787160e-05,2.762918e-05,2.721397e-05,2.704892e-05,2.680254e-05,2.639523e-05,2.624159e-05,2.599232e-05,2.559404e-05,2.545184e-05,2.520063e-05,2.481227e-05,2.468141e-05,2.442914e-05,2.405136e-05,2.393163e-05,2.367908e-05,2.331238e-05,2.320347e-05,2.295135e-05,2.259606e-05,2.249762e-05,2.224656e-05,2.190290e-05,2.181450e-05,2.156509e-05,2.123315e-05,2.115436e-05,2.090709e-05,2.058690e-05,2.051724e-05,2.027256e-05,1.996406e-05,1.990306e-05,1.966137e-05,1.936445e-05,1.931161e-05,1.907326e-05,1.878776e-05,1.874260e-05,1.850789e-05,1.823360e-05,1.819564e-05,1.796483e-05,1.770152e-05,1.767029e-05,1.744361e-05,1.719102e-05,1.716606e-05,1.694370e-05,1.670157e-05,1.668242e-05,1.646455e-05,1.623257e-05,1.621881e-05,1.600556e-05,1.578345e-05,1.577466e-05,1.556614e-05,1.535358e-05,1.534937e-05,1.514568e-05,1.494235e-05,1.455300e-05,1.418070e-05,1.382488e-05,1.348492e-05,1.316026e-05,1.285032e-05,1.255455e-05,1.227239e-05,1.200331e-05,1.174681e-05,1.150237e-05,1.126951e-05,1.104775e-05,1.083665e-05,1.063575e-05,1.044464e-05,1.026291e-05,1.009015e-05,9.925991e-06,9.770060e-06,9.622006e-06,9.481487e-06,9.348177e-06,9.221763e-06,9.101941e-06,8.988422e-06,8.880928e-06,8.779190e-06,8.682953e-06,8.591969e-06,8.506003e-06,8.424829e-06,8.348227e-06,8.275991e-06,8.207921e-06,8.143824e-06,8.083517e-06,8.026825e-06,7.973579e-06,7.923617e-06,7.876784e-06,7.832934e-06,7.791923e-06,7.753616e-06,7.717882e-06,7.684599e-06,7.653645e-06,7.624908e-06,7.598278e-06
0.000000e+00,9.268723e-10,1.078899e-08,1.123068e-08,6.103487e-08,1.958574e-07,2.039929e-07,4.766079e-07,8.276510e-07,8.517137e-07,1.254663e-06,1.601870e-06,1.630356e-06,1.961403e-06,2.220327e-06,2.246915e-06,2.490288e-06,2.672897e-06,2.695674e-06,2.867115e-06,2.990264e-06,3.008348e-06,3.122777e-06,3.200445e-06,3.213481e-06,3.283238e-06,3.326571e-06,3.334549e-06,3.369658e-06,3.387437e-06,3.390575e-06,3.399100e-06,3.398185e-06,3.396838e-06,3.385221e-06,3.370927e-06,3.365526e-06,3.338885e-06,3.315296e-06,3.306306e-06,3.268684e-06,3.238922e-06,3.226811e-06,3.181389e-06,3.147816e-06,3.133036e-06,3.082302e-06,3.046691e-06,3.029669e-06,2.975562e-06,2.939227e-06,2.920354e-06,2.864373e-06,2.828273e-06,2.807905e-06,2.751202e-06,2.716023e-06,2.694479e-06,2.637928e-06,2.604148e-06,2.581710e-06,2.525967e-06,2.493902e-06,2.470819e-06,2.416368e-06,2.386213e-06,2.362702e-06,2.309892e-06,2.281753e-06,2.258000e-06,2.207075e-06,2.180989e-06,2.157155e-06,2.108273e-06,2.084229e-06,2.060452e-06,2.013709e-06,1.991658e-06,1.968055e-06,1.923497e-06,1.903369e-06,1.880036e-06,1.837672e-06,1.819377e-06,1.796397e-06,1.756206e-06,1.739646e-06,1.717086e-06,1.679027e-06,1.664096e-06,1.642012e-06,1.606027e-06,1.592619e-06,1.571054e-06,1.537076e-06,1.525084e-06,1.504074e-06,1.472027e-06,1.461346e-06,1.440917e-06,1.410722e-06,1.401250e-06,1.381422e-06,1.352997e-06,1.344637e-06,1.325425e-06,1.298685e-06,1.291345e-06,1.272758e-06,1.247621e-06,1.241212e-06,1.223254e-06,1.199638e-06,1.194079e-06,1.176751e-06,1.154575e-06,1.149790e-06,1.133090e-06,1.112277e-06,1.108193e-06,1.092117e-06,1.072591e-06,1.069142e-06,1.053682e-06,1.035372e-06,1.032497e-06,1.017644e-06,1.000481e-06,9.981222e-07,9.838661e-07,9.677837e-07,9.658889e-07,9.522181e-07,9.371539e-07,9.356745e-07,9.225764e-07,9.084709e-07,9.073624e-07,8.948233e-07,8.816200e-07,8.808417e-07,8.688476e-07,8.564930e-07,8.560074e-07,8.445437e-07,8.329872e-07,8.327600e-07,8.218117e-07,8.110056e-07,7.906553e-07,7.716253e-07,7.538363e-07,7.372137e-07,7.216871e-07,7.071904e-07,6.936608e-07,6.810398e-07,6.692718e-07,6.583048e-07,6.480897e-07,6.385803e-07,6.297333e-07,6.215078e-07,6.138654e-07,6.067699e-07,6.001874e-07,5.940859e-07,5.884355e-07,5.832078e-07,5.783763e-07,5.739161e-07,5.698036e-07,5.660170e-07,5.625353e-07,5.593393e-07,5.564104e-07,5.537317e-07,5.512868e-07,5.490607e-07,5.470390e-07,5.452084e-07,5.435562e-07,5.420707e-07,5.407407e-07,5.395558e-07,5.385062e-07,5.375828e-07,5.367768e-07,5.360803e-07,5.354856e-07,5.349855e-07,5.345734e-07,5.342429e-07,5.339882e-07,5.338038e-07,5.336844e-07,5.336253e-07,5.336217e-07
0.000000e+00,4.982324e-10,6.243465e-09,6.510156e-09,3.789197e-08,1.245319e-07,1.297142e-07,2.971492e-07,4.946388e-07,5.076166e-07,7.206066e-07,9.049398e-07,9.203249e-07,1.103721e-06,1.254924e-06,1.270940e-06,1.422810e-06,1.544519e-06,1.560288e-06,1.684329e-06,1.780961e-06,1.795855e-06,1.895745e-06,1.971270e-06,1.984831e-06,2.063897e-06,2.121773e-06,2.133681e-06,2.194875e-06,2.238081e-06,2.248126e-06,2.294038e-06,2.325119e-06,2.333175e-06,2.366065e-06,2.387187e-06,2.393199e-06,2.415032e-06,2.428028e-06,2.431991e-06,2.444471e-06,2.450891e-06,2.452840e-06,2.457439e-06,2.458587e-06,2.458587e-06,2.456579e-06,2.453552e-06,2.451690e-06,2.444175e-06,2.437893e-06,2.434272e-06,2.422201e-06,2.413432e-06,2.408166e-06,2.392356e-06,2.381742e-06,2.374950e-06,2.356111e-06,2.344184e-06,2.335991e-06,2.314728e-06,2.301922e-06,2.292449e-06,2.269276e-06,2.255949e-06,2.245317e-06,2.220674e-06,2.207116e-06,2.195441e-06,2.169704e-06,2.156149e-06,2.143544e-06,2.117033e-06,2.103667e-06,2.090239e-06,2.063224e-06,2.050196e-06,2.036047e-06,2.008758e-06,1.996182e-06,1.981407e-06,1.954037e-06,1.941999e-06,1.926689e-06,1.899399e-06,1.887963e-06,1.872202e-06,1.845127e-06,1.834337e-06,1.818202e-06,1.791453e-06,1.781340e-06,1.764903e-06,1.738573e-06,1.729151e-06,1.712480e-06,1.686641e-06,1.677917e-06,1.661072e-06,1.635785e-06,1.627755e-06,1.610792e-06,1.586104e-06,1.578759e-06,1.561730e-06,1.537677e-06,1.531001e-06,1.513952e-06,1.490562e-06,1.484535e-06,1.467510e-06,1.444801e-06,1.439402e-06,1.422438e-06,1.400423e-06,1.395627e-06,1.378758e-06,1.357445e-06,1.353224e-06,1.336483e-06,1.315873e-06,1.312200e-06,1.295614e-06,1.275706e-06,1.272553e-06,1.256147e-06,1.236935e-06,1.234273e-06,1.218069e-06,1.199547e-06,1.197348e-06,1.181366e-06,1.163523e-06,1.161757e-06,1.146015e-06,1.128840e-06,1.127480e-06,1.111993e-06,1.095472e-06,1.094491e-06,1.079272e-06,1.063391e-06,1.062762e-06,1.047823e-06,1.032566e-06,1.032264e-06,1.017615e-06,1.002966e-06,9.748370e-07,9.478437e-07,9.219533e-07,8.971329e-07,8.733491e-07,8.505692e-07,8.287603e-07,8.078902e-07,7.879271e-07,7.688398e-07,7.505978e-07,7.331710e-07,7.165305e-07,7.006476e-07,6.854947e-07,6.710448e-07,6.572718e-07,6.441504e-07,6.316559e-07,6.197644e-07,6.084530e-07,5.976992e-07,5.874814e-07,5.777788e-07,5.685711e-07,5.598389e-07,5.515633e-07,5.437262e-07,5.363099e-07,5.292976e-07,5.226729e-07,5.164200e-07,5.105238e-07,5.049695e-07,4.997430e-07,4.948307e-07,4.902194e-07,4.858965e-07,4.818497e-07,4.780672e-07,4.745378e-07,4.712504e-07,4.681947e-07,4.653603e-07,4.627375e-07,4.603169e-07,4.580895e-07,4.560463e-07,4.541792e-07
0.000000e+00,5.211281e-06,1.678172e-04,1.769309e-04,1.614323e-03,8.009766e-03,8.495388e-03,3.137113e-02,8.388758e-02,8.871698e-02,2.034794e-01,3.772154e-01,3.957930e-01,6.774145e-01,1.009493e+00,1.050885e+00,1.511532e+00,1.981633e+00,2.049971e+00,2.654185e+00,3.216402e+00,3.311031e+00,4.007277e+00,4.613275e+00,4.730252e+00,5.468255e+00,6.077216e+00,6.210771e+00,6.948561e+00,7.530008e+00,7.673678e+00,8.379419e+00,8.912847e+00,9.060249e+00,9.711708e+00,1.018499e+01,1.033030e+01,1.091341e+01,1.132093e+01,1.145915e+01,1.196631e+01,1.230721e+01,1.243426e+01,1.286284e+01,1.313952e+01,1.325228e+01,1.360316e+01,1.382018e+01,1.391636e+01,1.419294e+01,1.435603e+01,1.443417e+01,1.464142e+01,1.475692e+01,1.481619e+01,1.496004e+01,1.503439e+01,1.507455e+01,1.516136e+01,1.520081e+01,1.522207e+01,1.525831e+01,1.526873e+01,1.527164e+01,1.526363e+01,1.525038e+01,1.523578e+01,1.518954e+01,1.515742e+01,1.512631e+01,1.504746e+01,1.500071e+01,1.495426e+01,1.484794e+01,1.479023e+01,1.472968e+01,1.460058e+01,1.453507e+01,1.446168e+01,1.431398e+01,1.424335e+01,1.415842e+01,1.399586e+01,1.392234e+01,1.382714e+01,1.365302e+01,1.357845e+01,1.347422e+01,1.329143e+01,1.321734e+01,1.310527e+01,1.291633e+01,1.284392e+01,1.272516e+01,1.253226e+01,1.246248e+01,1.233810e+01,1.214312e+01,1.207671e+01,1.194772e+01,1.175228e+01,1.168978e+01,1.155713e+01,1.136259e+01,1.130439e+01,1.116896e+01,1.097649e+01,1.092284e+01,1.078544e+01,1.059601e+01,1.054706e+01,1.040843e+01,1.022286e+01,1.017864e+01,1.003947e+01,9.858416e+00,9.818911e+00,9.679829e+00,9.503829e+00,9.468949e+00,9.330522e+00,9.160003e+00,9.129612e+00,8.992354e+00,8.827647e+00,8.801571e+00,8.665944e+00,8.507297e+00,8.485333e+00,8.351752e+00,8.199342e+00,8.181265e+00,8.050098e+00,7.904040e+00,7.889611e+00,7.761184e+00,7.621540e+00,7.610507e+00,7.485110e+00,7.351893e+00,7.344002e+00,7.221884e+00,7.095073e+00,7.090067e+00,6.971445e+00,6.850982e+00,6.848605e+00,6.733664e+00,6.619467e+00,6.402453e+00,6.197327e+00,6.003820e+00,5.821634e+00,5.650454e+00,5.489943e+00,5.339753e+00,5.199527e+00,5.068899e+00,4.947498e+00,4.834952e+00,4.730886e+00,4.634928e+00,4.546705e+00,4.465850e+00,4.392000e+00,4.324793e+00,4.263879e+00,4.208908e+00,4.159543e+00,4.115450e+00,4.076305e+00,4.041792e+00,4.011604e+00,3.985443e+00,3.963020e+00,3.944056e+00,3.928282e+00,3.915437e+00,3.905274e+00,3.897554e+00,3.892048e+00,3.888538e+00,3.886816e+00,3.886687e+00,3.887964e+00,3.890470e+00,3.894041e+00,3.898520e+00,3.903763e+00,3.909633e+00,3.916006e+00,3.922765e+00,3.929802e+00,3.937020e+00,3.944330e+00,3.951649e+00,3.958904e+00,3.966030e+00
0.000000e+00,1.521802e-08,3.882150e-07,4.088283e-07,3.539749e-06,1.504430e-05,1.580771e-05,4.299424e-05,7.830065e-05,8.067383e-05,1.198765e-04,1.537041e-04,1.565117e-04,1.897383e-04,2.167569e-04,2.195970e-04,2.463042e-04,2.673896e-04,2.700990e-04,2.912117e-04,3.073886e-04,3.098583e-04,3.262405e-04,3.383893e-04,3.405460e-04,3.529496e-04,3.618156e-04,3.636136e-04,3.726884e-04,3.788977e-04,3.803130e-04,3.866161e-04,3.906917e-04,3.917163e-04,3.957229e-04,3.980988e-04,3.987366e-04,4.008500e-04,4.018845e-04,4.021480e-04,4.027089e-04,4.026968e-04,4.026044e-04,4.019002e-04,4.010830e-04,4.006567e-04,3.989293e-04,3.975043e-04,3.967686e-04,3.942212e-04,3.923488e-04,3.913294e-04,3.881322e-04,3.859423e-04,3.846653e-04,3.809610e-04,3.785583e-04,3.770491e-04,3.729567e-04,3.704251e-04,3.687087e-04,3.643275e-04,3.617335e-04,3.598337e-04,3.552461e-04,3.526424e-04,3.505816e-04,3.458558e-04,3.432834e-04,3.410828e-04,3.362753e-04,3.337656e-04,3.314447e-04,3.266017e-04,3.241785e-04,3.217557e-04,3.169151e-04,3.145958e-04,3.120877e-04,3.072803e-04,3.050774e-04,3.024992e-04,2.977499e-04,2.956716e-04,2.930374e-04,2.883659e-04,2.864171e-04,2.837395e-04,2.791616e-04,2.773447e-04,2.746352e-04,2.701629e-04,2.684782e-04,2.657471e-04,2.613897e-04,2.598357e-04,2.570924e-04,2.528567e-04,2.514307e-04,2.486836e-04,2.445743e-04,2.432729e-04,2.405294e-04,2.365496e-04,2.353684e-04,2.326352e-04,2.287865e-04,2.277207e-04,2.250038e-04,2.212869e-04,2.203313e-04,2.176359e-04,2.140504e-04,2.131997e-04,2.105304e-04,2.070753e-04,2.063239e-04,2.036848e-04,2.003584e-04,1.997007e-04,1.970955e-04,1.938955e-04,1.933261e-04,1.907578e-04,1.876817e-04,1.871952e-04,1.846665e-04,1.817115e-04,1.813025e-04,1.788158e-04,1.759787e-04,1.756422e-04,1.731994e-04,1.704770e-04,1.702079e-04,1.678108e-04,1.651998e-04,1.649933e-04,1.626432e-04,1.601402e-04,1.599917e-04,1.576898e-04,1.552913e-04,1.551964e-04,1.529437e-04,1.506462e-04,1.506007e-04,1.483979e-04,1.461980e-04,1.419815e-04,1.379448e-04,1.340813e-04,1.303847e-04,1.268489e-04,1.234678e-04,1.202356e-04,1.171464e-04,1.141949e-04,1.113757e-04,1.086835e-04,1.061133e-04,1.036604e-04,1.013199e-04,9.908749e-05,9.695870e-05,9.492937e-05,9.299545e-05,9.115306e-05,8.939846e-05,8.772805e-05,8.613836e-05,8.462606e-05,8.318795e-05,8.182095e-05,8.052210e-05,7.928856e-05,7.811759e-05,7.700656e-05,7.595296e-05,7.495436e-05,7.400844e-05,7.311295e-05,7.226574e-05,7.146477e-05,7.070803e-05,6.999364e-05,6.931977e-05,6.868465e-05,6.808661e-05,6.752402e-05,6.699534e-05,6.649907e-05,6.603378e-05,6.559809e-05,6.519068e-05,6.481028e-05,6.445568e-05,6.412570e-05
0.000000e+00,1.043276e-08,4.701162e-07,4.997986e-07,6.483328e-06,3.696644e-05,3.925609e-05,1.351723e-04,3.007165e-04,3.137014e-04,5.665379e-04,8.464863e-04,8.723540e-04,1.208665e-03,1.521876e-03,1.556791e-03,1.902970e-03,2.198497e-03,2.237869e-03,2.555619e-03,2.812562e-03,2.852868e-03,3.128002e-03,3.341659e-03,3.380555e-03,3.610802e-03,3.783460e-03,3.819469e-03,4.007549e-03,4.143947e-03,4.176171e-03,4.326524e-03,4.431887e-03,4.459803e-03,4.577182e-03,4.656452e-03,4.679789e-03,4.768703e-03,4.826285e-03,4.844943e-03,4.909468e-03,4.949181e-03,4.963179e-03,5.006917e-03,5.032022e-03,5.041467e-03,5.067563e-03,5.080829e-03,5.085887e-03,5.097075e-03,5.100838e-03,5.101718e-03,5.100366e-03,5.096592e-03,5.093531e-03,5.081688e-03,5.072027e-03,5.065281e-03,5.044720e-03,5.030549e-03,5.020385e-03,4.992631e-03,4.975096e-03,4.961784e-03,4.928149e-03,4.908201e-03,4.892007e-03,4.853619e-03,4.832041e-03,4.813226e-03,4.771052e-03,4.748488e-03,4.727305e-03,4.682175e-03,4.659147e-03,4.635839e-03,4.588462e-03,4.565396e-03,4.540194e-03,4.491176e-03,4.468412e-03,4.441536e-03,4.391393e-03,4.369199e-03,4.340856e-03,4.290027e-03,4.268614e-03,4.238997e-03,4.187853e-03,4.167381e-03,4.136672e-03,4.085527e-03,4.066115e-03,4.034483e-03,3.983600e-03,3.965332e-03,3.932933e-03,3.882532e-03,3.865464e-03,3.832442e-03,3.782705e-03,3.766870e-03,3.733359e-03,3.684438e-03,3.669848e-03,3.635971e-03,3.587986e-03,3.574641e-03,3.540509e-03,3.493561e-03,3.481443e-03,3.447161e-03,3.401327e-03,3.390412e-03,3.356073e-03,3.311414e-03,3.301669e-03,3.267359e-03,3.223919e-03,3.215306e-03,3.181103e-03,3.138915e-03,3.131389e-03,3.097363e-03,3.056449e-03,3.049963e-03,3.016178e-03,2.976551e-03,2.971055e-03,2.937569e-03,2.899232e-03,2.894675e-03,2.861541e-03,2.824492e-03,2.820822e-03,2.788085e-03,2.752316e-03,2.749482e-03,2.717183e-03,2.682682e-03,2.680632e-03,2.648808e-03,2.615558e-03,2.614240e-03,2.582925e-03,2.550905e-03,2.550271e-03,2.519492e-03,2.488680e-03,2.429422e-03,2.372446e-03,2.317700e-03,2.265129e-03,2.214675e-03,2.166283e-03,2.119893e-03,2.075448e-03,2.032889e-03,1.992159e-03,1.953199e-03,1.915954e-03,1.880366e-03,1.846381e-03,1.813945e-03,1.783003e-03,1.753505e-03,1.725399e-03,1.698635e-03,1.673166e-03,1.648943e-03,1.625921e-03,1.604054e-03,1.583300e-03,1.563616e-03,1.544961e-03,1.527295e-03,1.510579e-03,1.494775e-03,1.479848e-03,1.465762e-03,1.452482e-03,1.439976e-03,1.428212e-03,1.417158e-03,1.406784e-03,1.397062e-03,1.387963e-03,1.379459e-03,1.371526e-03,1.364137e-03,1.357267e-03,1.350894e-03,1.344994e-03,1.339544e-03,1.334525e-03,1.329914e-03,1.325693e-03,1.321841e-03
0.000000e+00,2.723485e-08,8.646503e-07,9.117948e-07,8.528970e-06,4.323928e-05,4.587541e-05,1.668351e-04,4.206409e-04,4.426142e-04,9.193449e-04,1.537663e-03,1.598924e-03,2.451643e-03,3.331111e-03,3.433834e-03,4.499799e-03,5.474091e-03,5.608112e-03,6.724216e-03,7.669392e-03,7.820942e-03,8.877987e-03,9.724557e-03,9.880952e-03,1.082026e-02,1.153885e-02,1.169014e-02,1.248776e-02,1.307334e-02,1.321247e-02,1.386521e-02,1.432568e-02,1.444803e-02,1.496378e-02,1.531291e-02,1.541576e-02,1.580756e-02,1.606094e-02,1.614291e-02,1.642556e-02,1.659851e-02,1.665920e-02,1.684742e-02,1.695400e-02,1.699366e-02,1.710120e-02,1.715381e-02,1.717314e-02,1.721241e-02,1.722178e-02,1.722176e-02,1.720376e-02,1.717900e-02,1.716081e-02,1.709516e-02,1.704397e-02,1.700888e-02,1.690392e-02,1.683274e-02,1.678210e-02,1.664508e-02,1.655927e-02,1.649443e-02,1.633160e-02,1.623559e-02,1.615792e-02,1.597465e-02,1.587211e-02,1.578294e-02,1.558387e-02,1.547777e-02,1.537842e-02,1.516751e-02,1.506028e-02,1.495199e-02,1.473265e-02,1.462623e-02,1.451022e-02,1.428536e-02,1.418128e-02,1.405869e-02,1.383078e-02,1.373024e-02,1.360215e-02,1.337329e-02,1.327721e-02,1.314464e-02,1.291660e-02,1.282564e-02,1.268953e-02,1.246379e-02,1.237841e-02,1.223967e-02,1.201745e-02,1.193796e-02,1.179738e-02,1.157970e-02,1.150627e-02,1.136460e-02,1.115228e-02,1.108495e-02,1.094289e-02,1.073659e-02,1.067532e-02,1.053349e-02,1.033372e-02,1.027839e-02,1.013736e-02,9.944514e-03,9.894955e-03,9.755237e-03,9.569593e-03,9.525585e-03,9.387632e-03,9.209390e-03,9.170679e-03,9.034898e-03,8.864174e-03,8.830482e-03,8.697231e-03,8.534074e-03,8.505108e-03,8.374702e-03,8.219107e-03,8.194561e-03,8.067274e-03,7.919186e-03,7.898752e-03,7.774819e-03,7.634146e-03,7.617512e-03,7.497134e-03,7.363749e-03,7.350609e-03,7.233954e-03,7.107706e-03,7.097758e-03,6.984963e-03,6.865679e-03,6.858631e-03,6.749806e-03,6.637294e-03,6.632863e-03,6.528093e-03,6.422151e-03,6.420065e-03,6.319414e-03,6.219828e-03,6.031725e-03,5.855322e-03,5.690179e-03,5.535852e-03,5.391899e-03,5.257881e-03,5.133362e-03,5.017916e-03,4.911122e-03,4.812570e-03,4.721859e-03,4.638599e-03,4.562410e-03,4.492925e-03,4.429787e-03,4.372651e-03,4.321186e-03,4.275069e-03,4.233990e-03,4.197653e-03,4.165769e-03,4.138062e-03,4.114268e-03,4.094132e-03,4.077409e-03,4.063865e-03,4.053277e-03,4.045429e-03,4.040115e-03,4.037140e-03,4.036315e-03,4.037462e-03,4.040409e-03,4.044995e-03,4.051064e-03,4.058470e-03,4.067072e-03,4.076739e-03,4.087344e-03,4.098771e-03,4.110907e-03,4.123646e-03,4.136890e-03,4.150545e-03,4.164526e-03,4.178749e-03,4.193141e-03,4.207629e-03,4.222150e-03
0.000000e+00,1.558324e-08,7.270506e-07,7.736511e-07,1.048989e-05,6.165188e-05,6.552362e-05,2.280523e-04,5.086438e-04,5.306689e-04,9.606145e-04,1.440158e-03,1.484702e-03,2.068163e-03,2.620119e-03,2.682243e-03,3.305706e-03,3.850373e-03,3.923928e-03,4.527351e-03,5.029852e-03,5.110028e-03,5.668477e-03,6.117466e-03,6.200851e-03,6.706360e-03,7.100738e-03,7.184892e-03,7.636761e-03,7.979439e-03,8.062542e-03,8.462972e-03,8.758236e-03,8.838874e-03,9.191121e-03,9.443558e-03,9.520606e-03,9.828223e-03,1.004230e-02,1.011486e-02,1.038137e-02,1.056128e-02,1.062862e-02,1.085742e-02,1.100703e-02,1.106856e-02,1.126284e-02,1.138568e-02,1.144097e-02,1.160370e-02,1.170299e-02,1.175170e-02,1.188565e-02,1.196430e-02,1.200618e-02,1.211393e-02,1.217458e-02,1.220949e-02,1.229343e-02,1.233845e-02,1.236630e-02,1.242864e-02,1.246017e-02,1.248095e-02,1.252373e-02,1.254369e-02,1.255744e-02,1.258255e-02,1.259268e-02,1.259948e-02,1.260866e-02,1.261051e-02,1.261049e-02,1.260536e-02,1.260029e-02,1.259363e-02,1.257566e-02,1.256491e-02,1.255179e-02,1.252235e-02,1.250702e-02,1.248765e-02,1.244800e-02,1.242906e-02,1.240369e-02,1.235498e-02,1.233328e-02,1.230216e-02,1.224546e-02,1.222176e-02,1.218514e-02,1.212143e-02,1.209638e-02,1.205455e-02,1.198472e-02,1.195889e-02,1.191213e-02,1.183700e-02,1.181091e-02,1.175950e-02,1.167981e-02,1.165388e-02,1.159811e-02,1.151456e-02,1.148916e-02,1.142932e-02,1.134253e-02,1.131797e-02,1.125434e-02,1.116488e-02,1.114143e-02,1.107429e-02,1.098269e-02,1.096057e-02,1.089020e-02,1.079693e-02,1.077632e-02,1.070299e-02,1.060847e-02,1.058951e-02,1.051349e-02,1.041813e-02,1.040093e-02,1.032248e-02,1.022662e-02,1.021127e-02,1.013064e-02,1.003461e-02,1.002116e-02,9.938594e-03,9.842673e-03,9.831172e-03,9.746907e-03,9.651357e-03,9.641816e-03,9.556082e-03,9.461136e-03,9.453556e-03,9.366572e-03,9.272439e-03,9.266805e-03,9.178783e-03,9.085648e-03,9.081934e-03,8.993076e-03,8.901104e-03,8.899271e-03,8.809771e-03,8.719109e-03,8.541704e-03,8.367285e-03,8.196048e-03,8.028164e-03,7.863781e-03,7.703023e-03,7.545995e-03,7.392782e-03,7.243454e-03,7.098066e-03,6.956656e-03,6.819251e-03,6.685868e-03,6.556509e-03,6.431171e-03,6.309838e-03,6.192490e-03,6.079097e-03,5.969625e-03,5.864031e-03,5.762271e-03,5.664292e-03,5.570040e-03,5.479457e-03,5.392479e-03,5.309043e-03,5.229081e-03,5.152522e-03,5.079296e-03,5.009329e-03,4.942547e-03,4.878873e-03,4.818230e-03,4.760542e-03,4.705731e-03,4.653717e-03,4.604422e-03,4.557767e-03,4.513674e-03,4.472063e-03,4.432857e-03,4.395977e-03,4.361346e-03,4.328887e-03,4.298524e-03,4.270180e-03,4.243783e-03,4.219256e-03,4.196529e-03
0.000000e+00,1.113011e-08,1.414183e-07,1.472926e-07,8.440363e-07,2.951199e-06,3.085515e-06,7.900087e-06,1.472518e-05,1.521206e-05,2.365325e-05,3.133026e-05,3.197724e-05,3.971327e-05,4.609277e-05,4.676751e-05,5.315089e-05,5.824167e-05,5.889930e-05,6.405376e-05,6.804278e-05,6.865518e-05,7.274304e-05,7.580752e-05,7.635493e-05,7.952645e-05,8.182211e-05,8.229118e-05,8.468063e-05,8.634187e-05,8.672429e-05,8.844974e-05,8.959128e-05,8.988267e-05,9.104711e-05,9.176640e-05,9.196552e-05,9.265874e-05,9.303819e-05,9.314615e-05,9.344579e-05,9.355470e-05,9.357439e-05,9.354746e-05,9.344383e-05,9.337941e-05,9.308359e-05,9.281579e-05,9.267234e-05,9.215712e-05,9.176528e-05,9.154849e-05,9.085625e-05,9.037353e-05,9.008943e-05,8.925639e-05,8.871005e-05,8.836482e-05,8.742183e-05,8.683409e-05,8.643395e-05,8.540722e-05,8.479611e-05,8.434717e-05,8.325888e-05,8.263887e-05,8.214704e-05,8.101593e-05,8.039851e-05,7.986948e-05,7.871127e-05,7.810546e-05,7.754460e-05,7.637245e-05,7.578519e-05,7.519756e-05,7.402241e-05,7.345891e-05,7.284924e-05,7.168011e-05,7.114418e-05,7.051685e-05,6.936113e-05,6.885540e-05,6.821445e-05,6.707815e-05,6.660428e-05,6.595341e-05,6.484132e-05,6.440023e-05,6.374281e-05,6.265871e-05,6.225068e-05,6.158975e-05,6.053657e-05,6.016139e-05,5.949970e-05,5.847961e-05,5.813667e-05,5.747669e-05,5.649126e-05,5.617966e-05,5.552358e-05,5.457385e-05,5.429246e-05,5.364222e-05,5.272880e-05,5.247631e-05,5.183363e-05,5.095675e-05,5.073175e-05,5.009813e-05,4.925773e-05,4.905873e-05,4.843546e-05,4.763122e-05,4.745670e-05,4.684489e-05,4.607630e-05,4.592470e-05,4.532530e-05,4.459169e-05,4.446147e-05,4.387527e-05,4.317582e-05,4.306547e-05,4.249313e-05,4.182694e-05,4.173498e-05,4.117702e-05,4.054310e-05,4.046809e-05,3.992493e-05,3.932224e-05,3.926281e-05,3.873476e-05,3.816222e-05,3.811706e-05,3.760434e-05,3.706084e-05,3.702868e-05,3.653144e-05,3.601585e-05,3.599551e-05,3.551381e-05,3.502503e-05,3.501539e-05,3.454923e-05,3.408613e-05,3.320558e-05,3.237165e-05,3.158225e-05,3.083535e-05,3.012900e-05,2.946127e-05,2.883032e-05,2.823435e-05,2.767166e-05,2.714058e-05,2.663952e-05,2.616695e-05,2.572143e-05,2.530153e-05,2.490595e-05,2.453339e-05,2.418264e-05,2.385255e-05,2.354200e-05,2.324995e-05,2.297540e-05,2.271740e-05,2.247505e-05,2.224748e-05,2.203389e-05,2.183350e-05,2.164558e-05,2.146943e-05,2.130440e-05,2.114986e-05,2.100522e-05,2.086992e-05,2.074344e-05,2.062526e-05,2.051491e-05,2.041195e-05,2.031594e-05,2.022649e-05,2.014322e-05,2.006576e-05,1.999378e-05,1.992696e-05,1.986498e-05,1.980757e-05,1.975445e-05,1.970537e-05,1.966008e-05,1.961836e-05,1.957999e-05
0.000000e+00,1.217661e-08,4.561597e-07,4.829072e-07,5.288288e-06,2.840116e-05,3.015330e-05,1.083550e-04,2.625113e-04,2.754190e-04,5.442134e-04,8.705148e-04,9.017994e-04,1.321340e-03,1.727069e-03,1.772849e-03,2.229305e-03,2.617895e-03,2.669255e-03,3.077354e-03,3.395276e-03,3.443845e-03,3.763588e-03,3.994805e-03,4.034998e-03,4.259047e-03,4.409280e-03,4.438430e-03,4.576886e-03,4.661050e-03,4.678693e-03,4.748294e-03,4.783038e-03,4.790048e-03,4.808065e-03,4.808211e-03,4.806106e-03,4.787535e-03,4.764856e-03,4.755315e-03,4.712010e-03,4.675212e-03,4.659814e-03,4.600583e-03,4.555781e-03,4.535876e-03,4.466988e-03,4.418311e-03,4.394991e-03,4.320762e-03,4.270903e-03,4.245019e-03,4.168343e-03,4.119002e-03,4.091205e-03,4.013984e-03,3.966201e-03,3.936983e-03,3.860445e-03,3.814827e-03,3.784565e-03,3.709494e-03,3.666374e-03,3.635356e-03,3.562245e-03,3.521781e-03,3.490238e-03,3.419392e-03,3.381635e-03,3.349753e-03,3.281355e-03,3.246287e-03,3.214223e-03,3.148374e-03,3.115935e-03,3.083821e-03,3.020569e-03,2.990671e-03,2.958620e-03,2.897975e-03,2.870515e-03,2.838628e-03,2.780574e-03,2.755437e-03,2.723803e-03,2.668304e-03,2.645371e-03,2.614066e-03,2.561075e-03,2.540225e-03,2.509318e-03,2.458778e-03,2.439889e-03,2.409441e-03,2.361288e-03,2.344240e-03,2.314303e-03,2.268467e-03,2.253142e-03,2.223763e-03,2.180172e-03,2.166455e-03,2.137676e-03,2.096254e-03,2.084034e-03,2.055889e-03,2.016560e-03,2.005731e-03,1.978249e-03,1.940936e-03,1.931396e-03,1.904602e-03,1.869228e-03,1.860879e-03,1.834795e-03,1.801283e-03,1.794032e-03,1.768674e-03,1.736949e-03,1.730709e-03,1.706090e-03,1.676079e-03,1.670765e-03,1.646897e-03,1.618527e-03,1.614062e-03,1.590951e-03,1.564152e-03,1.560461e-03,1.538112e-03,1.512815e-03,1.509829e-03,1.488245e-03,1.464385e-03,1.462037e-03,1.441219e-03,1.418731e-03,1.416961e-03,1.396906e-03,1.375729e-03,1.374479e-03,1.355185e-03,1.335259e-03,1.334475e-03,1.315937e-03,1.297205e-03,1.296836e-03,1.279049e-03,1.261455e-03,1.228227e-03,1.197052e-03,1.167834e-03,1.140480e-03,1.114903e-03,1.091017e-03,1.068739e-03,1.047993e-03,1.028702e-03,1.010795e-03,9.942027e-04,9.788587e-04,9.646994e-04,9.516639e-04,9.396939e-04,9.287334e-04,9.187284e-04,9.096277e-04,9.013818e-04,8.939432e-04,8.872667e-04,8.813087e-04,8.760274e-04,8.713830e-04,8.673369e-04,8.638527e-04,8.608949e-04,8.584301e-04,8.564258e-04,8.548514e-04,8.536772e-04,8.528750e-04,8.524179e-04,8.522801e-04,8.524369e-04,8.528651e-04,8.535421e-04,8.544467e-04,8.555587e-04,8.568587e-04,8.583286e-04,8.599508e-04,8.617091e-04,8.635878e-04,8.655722e-04,8.676484e-04,8.698033e-04,8.720247e-04,8.743010e-04
0.000000e+00,9.297304e-09,4.542384e-07,4.828648e-07,5.765672e-06,2.854210e-05,3.012926e-05,9.017162e-05,1.789075e-04,1.853683e-04,3.013189e-04,4.137291e-04,4.234698e-04,5.421986e-04,6.418606e-04,6.524235e-04,7.520228e-04,8.304840e-04,8.405255e-04,9.182875e-04,9.771186e-04,9.860309e-04,1.044610e-03,1.087372e-03,1.094896e-03,1.137721e-03,1.167816e-03,1.173860e-03,1.204024e-03,1.224288e-03,1.228856e-03,1.248941e-03,1.261650e-03,1.264801e-03,1.276907e-03,1.283858e-03,1.285681e-03,1.291502e-03,1.294109e-03,1.294709e-03,1.295603e-03,1.294968e-03,1.294455e-03,1.291510e-03,1.288494e-03,1.286982e-03,1.281065e-03,1.276338e-03,1.273933e-03,1.265740e-03,1.259819e-03,1.256624e-03,1.246707e-03,1.239992e-03,1.236101e-03,1.224902e-03,1.217700e-03,1.213198e-03,1.201067e-03,1.193613e-03,1.188578e-03,1.175794e-03,1.168266e-03,1.162770e-03,1.149554e-03,1.142086e-03,1.136190e-03,1.122718e-03,1.115409e-03,1.109170e-03,1.095579e-03,1.088503e-03,1.081970e-03,1.068368e-03,1.061577e-03,1.054795e-03,1.041268e-03,1.034797e-03,1.027804e-03,1.014419e-03,1.008291e-03,1.001123e-03,9.879296e-04,9.821591e-04,9.748472e-04,9.618845e-04,9.564777e-04,9.490488e-04,9.363464e-04,9.313040e-04,9.237826e-04,9.113619e-04,9.066804e-04,8.990882e-04,8.869646e-04,8.826374e-04,8.749938e-04,8.631778e-04,8.591959e-04,8.515182e-04,8.400163e-04,8.363692e-04,8.286729e-04,8.174886e-04,8.141643e-04,8.064635e-04,7.955976e-04,7.925837e-04,7.848907e-04,7.743424e-04,7.716257e-04,7.639519e-04,7.537185e-04,7.512858e-04,7.436414e-04,7.337193e-04,7.315572e-04,7.239513e-04,7.143359e-04,7.124311e-04,7.048719e-04,6.955580e-04,6.938973e-04,6.863925e-04,6.773740e-04,6.759446e-04,6.685010e-04,6.597718e-04,6.585610e-04,6.511847e-04,6.427383e-04,6.417340e-04,6.344306e-04,6.262602e-04,6.254506e-04,6.182252e-04,6.103239e-04,6.096975e-04,6.025546e-04,5.949156e-04,5.944614e-04,5.874052e-04,5.800216e-04,5.797289e-04,5.727632e-04,5.656281e-04,5.654867e-04,5.586148e-04,5.517214e-04,5.384200e-04,5.255695e-04,5.131571e-04,5.011703e-04,4.895969e-04,4.784249e-04,4.676423e-04,4.572379e-04,4.472003e-04,4.375186e-04,4.281821e-04,4.191804e-04,4.105035e-04,4.021413e-04,3.940844e-04,3.863234e-04,3.788493e-04,3.716531e-04,3.647263e-04,3.580605e-04,3.516477e-04,3.454799e-04,3.395495e-04,3.338491e-04,3.283713e-04,3.231093e-04,3.180561e-04,3.132051e-04,3.085499e-04,3.040842e-04,2.998019e-04,2.956972e-04,2.917644e-04,2.879977e-04,2.843919e-04,2.809417e-04,2.776419e-04,2.744877e-04,2.714742e-04,2.685967e-04,2.658508e-04,2.632319e-04,2.607359e-04,2.583585e-04,2.560957e-04,2.539436e-04,2.518984e-04,2.499564e-04,2.481140e-04
0.000000e+00,4.218645e-10,7.262302e-09,7.600307e-09,4.724717e-08,1.464975e-07,1.520327e-07,3.131876e-07,4.733853e-07,4.831762e-07,6.346128e-07,7.535438e-07,7.629937e-07,8.699754e-07,9.501165e-07,9.581633e-07,1.030075e-06,1.081684e-06,1.087957e-06,1.133777e-06,1.164847e-06,1.169247e-06,1.195852e-06,1.212298e-06,1.214882e-06,1.227450e-06,1.233614e-06,1.234520e-06,1.236924e-06,1.235977e-06,1.235385e-06,1.230524e-06,1.224774e-06,1.222878e-06,1.212908e-06,1.204023e-06,1.201011e-06,1.187528e-06,1.176704e-06,1.172753e-06,1.156936e-06,1.145024e-06,1.140292e-06,1.123005e-06,1.110607e-06,1.105233e-06,1.087110e-06,1.074644e-06,1.068749e-06,1.050248e-06,1.038001e-06,1.031689e-06,1.013141e-06,1.001304e-06,9.946638e-07,9.763056e-07,9.650016e-07,9.581075e-07,9.401036e-07,9.294063e-07,9.223219e-07,9.047853e-07,8.947340e-07,8.875125e-07,8.705182e-07,8.611275e-07,8.538139e-07,8.374085e-07,8.286761e-07,8.213083e-07,8.055179e-07,7.974302e-07,7.900399e-07,7.748758e-07,7.674114e-07,7.600255e-07,7.454882e-07,7.386209e-07,7.312620e-07,7.173446e-07,7.110454e-07,7.037327e-07,6.904228e-07,6.846610e-07,6.774108e-07,6.646924e-07,6.594371e-07,6.522629e-07,6.401175e-07,6.353378e-07,6.282513e-07,6.166592e-07,6.123249e-07,6.053358e-07,5.942761e-07,5.903582e-07,5.834748e-07,5.729265e-07,5.693968e-07,5.626260e-07,5.525681e-07,5.493999e-07,5.427475e-07,5.331592e-07,5.303272e-07,5.237979e-07,5.146587e-07,5.121389e-07,5.057367e-07,4.970269e-07,4.947965e-07,4.885245e-07,4.802248e-07,4.782626e-07,4.721232e-07,4.642152e-07,4.625009e-07,4.564961e-07,4.489618e-07,4.474767e-07,4.416078e-07,4.344301e-07,4.331565e-07,4.274244e-07,4.205868e-07,4.195081e-07,4.139133e-07,4.074000e-07,4.065008e-07,4.010433e-07,3.948394e-07,3.941050e-07,3.887846e-07,3.828756e-07,3.822926e-07,3.771088e-07,3.714808e-07,3.710365e-07,3.659885e-07,3.606285e-07,3.603111e-07,3.553978e-07,3.502933e-07,3.500917e-07,3.453119e-07,3.404508e-07,3.403547e-07,3.357070e-07,3.310779e-07,3.222397e-07,3.138197e-07,3.057984e-07,2.981573e-07,2.908785e-07,2.839452e-07,2.773413e-07,2.710512e-07,2.650604e-07,2.593549e-07,2.539212e-07,2.487468e-07,2.438193e-07,2.391274e-07,2.346598e-07,2.304062e-07,2.263564e-07,2.225010e-07,2.188307e-07,2.153370e-07,2.120115e-07,2.088463e-07,2.058339e-07,2.029671e-07,2.002391e-07,1.976433e-07,1.951735e-07,1.928239e-07,1.905886e-07,1.884625e-07,1.864402e-07,1.845170e-07,1.826882e-07,1.809492e-07,1.792959e-07,1.777243e-07,1.762304e-07,1.748107e-07,1.734615e-07,1.721796e-07,1.709618e-07,1.698051e-07,1.687065e-07,1.676633e-07,1.666730e-07,1.657329e-07,1.648407e-07,1.639942e-07,1.631911e-07
0.000000e+00,2.465963e-08,4.024024e-07,4.208087e-07,2.689670e-06,9.213543e-06,9.610051e-06,2.278404e-05,3.929966e-05,4.041867e-05,5.919164e-05,7.585383e-05,7.725682e-05,9.410861e-05,1.081772e-04,1.096769e-04,1.239964e-04,1.356112e-04,1.371260e-04,1.491299e-04,1.586015e-04,1.600718e-04,1.700140e-04,1.776369e-04,1.790166e-04,1.871371e-04,1.931761e-04,1.944302e-04,2.009481e-04,2.056376e-04,2.067403e-04,2.118538e-04,2.153999e-04,2.163332e-04,2.202206e-04,2.228036e-04,2.235558e-04,2.263765e-04,2.281535e-04,2.287181e-04,2.306141e-04,2.317211e-04,2.320961e-04,2.331938e-04,2.337486e-04,2.339352e-04,2.343467e-04,2.344508e-04,2.344531e-04,2.342777e-04,2.340182e-04,2.338424e-04,2.331679e-04,2.326197e-04,2.322736e-04,2.311776e-04,2.304044e-04,2.298971e-04,2.284480e-04,2.275040e-04,2.268454e-04,2.251034e-04,2.240344e-04,2.232352e-04,2.212532e-04,2.200978e-04,2.191688e-04,2.169931e-04,2.157837e-04,2.147360e-04,2.124070e-04,2.111705e-04,2.100151e-04,2.075683e-04,2.063268e-04,2.050745e-04,2.025407e-04,2.013123e-04,1.999737e-04,1.973796e-04,1.961788e-04,1.947642e-04,1.921329e-04,1.909714e-04,1.894907e-04,1.868421e-04,1.857288e-04,1.841914e-04,1.815425e-04,1.804843e-04,1.788992e-04,1.762646e-04,1.752664e-04,1.736420e-04,1.710341e-04,1.700993e-04,1.684435e-04,1.658726e-04,1.650034e-04,1.633236e-04,1.607984e-04,1.599957e-04,1.582988e-04,1.558265e-04,1.550904e-04,1.533829e-04,1.509693e-04,1.502990e-04,1.485868e-04,1.462365e-04,1.456308e-04,1.439193e-04,1.416361e-04,1.410932e-04,1.393874e-04,1.371739e-04,1.366917e-04,1.349961e-04,1.328544e-04,1.324304e-04,1.307491e-04,1.286805e-04,1.283121e-04,1.266488e-04,1.246541e-04,1.243384e-04,1.226964e-04,1.207758e-04,1.205099e-04,1.188922e-04,1.170456e-04,1.168265e-04,1.152358e-04,1.134626e-04,1.132872e-04,1.117258e-04,1.100251e-04,1.098907e-04,1.083604e-04,1.067313e-04,1.066347e-04,1.051375e-04,1.035786e-04,1.035170e-04,1.020543e-04,1.005641e-04,1.005346e-04,9.910769e-05,9.768463e-05,9.496360e-05,9.236807e-05,8.989440e-05,8.753885e-05,8.529762e-05,8.316687e-05,8.114275e-05,7.922140e-05,7.739901e-05,7.567180e-05,7.403604e-05,7.248806e-05,7.102428e-05,6.964120e-05,6.833538e-05,6.710350e-05,6.594231e-05,6.484869e-05,6.381958e-05,6.285205e-05,6.194324e-05,6.109042e-05,6.029094e-05,5.954225e-05,5.884190e-05,5.818752e-05,5.757686e-05,5.700772e-05,5.647804e-05,5.598579e-05,5.552907e-05,5.510603e-05,5.471492e-05,5.435406e-05,5.402183e-05,5.371669e-05,5.343717e-05,5.318188e-05,5.294946e-05,5.273864e-05,5.254820e-05,5.237698e-05,5.222386e-05,5.208778e-05,5.196775e-05,5.186279e-05,5.177201e-05,5.169452e-05,5.162951e-05
0.000000e+00,9.155915e-09,3.507452e-07,3.715874e-07,4.270583e-06,2.416922e-05,2.571331e-05,9.667663e-05,2.416206e-04,2.539323e-04,5.146654e-04,8.405951e-04,8.723456e-04,1.306542e-03,1.741901e-03,1.792039e-03,2.304285e-03,2.760233e-03,2.822055e-03,3.328401e-03,3.744960e-03,3.810659e-03,4.260014e-03,4.607870e-03,4.670869e-03,5.040202e-03,5.311286e-03,5.366964e-03,5.651562e-03,5.849825e-03,5.895436e-03,6.100716e-03,6.235681e-03,6.269964e-03,6.405969e-03,6.488871e-03,6.511609e-03,6.589745e-03,6.631492e-03,6.643147e-03,6.674446e-03,6.684689e-03,6.686111e-03,6.680430e-03,6.667263e-03,6.659501e-03,6.625243e-03,6.595228e-03,6.579394e-03,6.523523e-03,6.481849e-03,6.459040e-03,6.387210e-03,6.337908e-03,6.309160e-03,6.225896e-03,6.172052e-03,6.138314e-03,6.047206e-03,5.991144e-03,5.953274e-03,5.857140e-03,5.800591e-03,5.759349e-03,5.660385e-03,5.604612e-03,5.560670e-03,5.460576e-03,5.406484e-03,5.360428e-03,5.260508e-03,5.208724e-03,5.161064e-03,5.062310e-03,5.013251e-03,4.964431e-03,4.867585e-03,4.821507e-03,4.771910e-03,4.677521e-03,4.634561e-03,4.584516e-03,4.492978e-03,4.453183e-03,4.402974e-03,4.314560e-03,4.277911e-03,4.227781e-03,4.142671e-03,4.109100e-03,4.059256e-03,3.977556e-03,3.946962e-03,3.897581e-03,3.819338e-03,3.791595e-03,3.742829e-03,3.668048e-03,3.643015e-03,3.594989e-03,3.523641e-03,3.501169e-03,3.453990e-03,3.386018e-03,3.365952e-03,3.319709e-03,3.255039e-03,3.237223e-03,3.191989e-03,3.130532e-03,3.114812e-03,3.070646e-03,3.012304e-03,2.998528e-03,2.955479e-03,2.900145e-03,2.888168e-03,2.846273e-03,2.793837e-03,2.783519e-03,2.742807e-03,2.693155e-03,2.684362e-03,2.644854e-03,2.597874e-03,2.590478e-03,2.552188e-03,2.507766e-03,2.501647e-03,2.464582e-03,2.422608e-03,2.417651e-03,2.381815e-03,2.342178e-03,2.338277e-03,2.303669e-03,2.266261e-03,2.263316e-03,2.229930e-03,2.194648e-03,2.192564e-03,2.160391e-03,2.127134e-03,2.125824e-03,2.094853e-03,2.063523e-03,2.062906e-03,2.033122e-03,2.003625e-03,1.947805e-03,1.895273e-03,1.845868e-03,1.799432e-03,1.755816e-03,1.714875e-03,1.676473e-03,1.640479e-03,1.606767e-03,1.575218e-03,1.545719e-03,1.518161e-03,1.492441e-03,1.468461e-03,1.446126e-03,1.425348e-03,1.406041e-03,1.388125e-03,1.371523e-03,1.356161e-03,1.341970e-03,1.328885e-03,1.316841e-03,1.305779e-03,1.295643e-03,1.286378e-03,1.277932e-03,1.270258e-03,1.263308e-03,1.257039e-03,1.251408e-03,1.246377e-03,1.241906e-03,1.237962e-03,1.234509e-03,1.231515e-03,1.228950e-03,1.226785e-03,1.224993e-03,1.223547e-03,1.222423e-03,1.221598e-03,1.221049e-03,1.220756e-03,1.220698e-03,1.220858e-03,1.221218e-03,1.221761e-03,1.222471e-03
0.000000e+00,1.704881e-08,5.559879e-07,5.872485e-07,5.680253e-06,2.634588e-05,2.778918e-05,8.446354e-05,1.747791e-04,1.815548e-04,3.048362e-04,4.238001e-04,4.339779e-04,5.557644e-04,6.544659e-04,6.647328e-04,7.597044e-04,8.321517e-04,8.412678e-04,9.105845e-04,9.613690e-04,9.689214e-04,1.017490e-03,1.051556e-03,1.057403e-03,1.089664e-03,1.111042e-03,1.115172e-03,1.134734e-03,1.146589e-03,1.149069e-03,1.158818e-03,1.163608e-03,1.164552e-03,1.166779e-03,1.166406e-03,1.165951e-03,1.162468e-03,1.158393e-03,1.156687e-03,1.148922e-03,1.142262e-03,1.139454e-03,1.128531e-03,1.120137e-03,1.116371e-03,1.103168e-03,1.093683e-03,1.089094e-03,1.074302e-03,1.064210e-03,1.058924e-03,1.043078e-03,1.032740e-03,1.026868e-03,1.010385e-03,1.000064e-03,9.937093e-04,9.769103e-04,9.667976e-04,9.600495e-04,9.431801e-04,9.334106e-04,9.263489e-04,9.095961e-04,9.002621e-04,8.929568e-04,8.764610e-04,8.676221e-04,8.601344e-04,8.439992e-04,8.356908e-04,8.280739e-04,8.123744e-04,8.046134e-04,7.969136e-04,7.817025e-04,7.744924e-04,7.667496e-04,7.520619e-04,7.453961e-04,7.376447e-04,7.235020e-04,7.173670e-04,7.096366e-04,6.960501e-04,6.904272e-04,6.827433e-04,6.697160e-04,6.645832e-04,6.569674e-04,6.444962e-04,6.398294e-04,6.323003e-04,6.203775e-04,6.161515e-04,6.087248e-04,5.973391e-04,5.935282e-04,5.862171e-04,5.753550e-04,5.719334e-04,5.647490e-04,5.543951e-04,5.513374e-04,5.442891e-04,5.344267e-04,5.317083e-04,5.248036e-04,5.154155e-04,5.130125e-04,5.062578e-04,4.973262e-04,4.952157e-04,4.886161e-04,4.801231e-04,4.782833e-04,4.718427e-04,4.637705e-04,4.621807e-04,4.559021e-04,4.482331e-04,4.468735e-04,4.407592e-04,4.334761e-04,4.323283e-04,4.263797e-04,4.194657e-04,4.185121e-04,4.127301e-04,4.061689e-04,4.053930e-04,3.997780e-04,3.935536e-04,3.929402e-04,3.874918e-04,3.815890e-04,3.811235e-04,3.758413e-04,3.702452e-04,3.699142e-04,3.647972e-04,3.594937e-04,3.592845e-04,3.543313e-04,3.493068e-04,3.492077e-04,3.444168e-04,3.396581e-04,3.306111e-04,3.220432e-04,3.139319e-04,3.062556e-04,2.989935e-04,2.921261e-04,2.856345e-04,2.795006e-04,2.737073e-04,2.682381e-04,2.630775e-04,2.582103e-04,2.536224e-04,2.493001e-04,2.452305e-04,2.414011e-04,2.378000e-04,2.344161e-04,2.312385e-04,2.282569e-04,2.254616e-04,2.228432e-04,2.203929e-04,2.181020e-04,2.159624e-04,2.139666e-04,2.121070e-04,2.103766e-04,2.087688e-04,2.072772e-04,2.058956e-04,2.046182e-04,2.034396e-04,2.023543e-04,2.013575e-04,2.004442e-04,1.996100e-04,1.988504e-04,1.981613e-04,1.975389e-04,1.969792e-04,1.964787e-04,1.960340e-04,1.956419e-04,1.952992e-04,1.950030e-04,1.947504e-04,1.945389e-04,1.943659e-04
0.000000e+00,9.221656e-09,1.753775e-07,1.840074e-07,1.302996e-06,4.386327e-06,4.560037e-06,9.490770e-06,1.430604e-05,1.460517e-05,1.938592e-05,2.342601e-05,2.376119e-05,2.774032e-05,3.100168e-05,3.134617e-05,3.460302e-05,3.719913e-05,3.753448e-05,4.016303e-05,4.219769e-05,4.251011e-05,4.459608e-05,4.616067e-05,4.644025e-05,4.806087e-05,4.923502e-05,4.947508e-05,5.069899e-05,5.155127e-05,5.174767e-05,5.263525e-05,5.322419e-05,5.337483e-05,5.397858e-05,5.435357e-05,5.445780e-05,5.482302e-05,5.502563e-05,5.508397e-05,5.524969e-05,5.531477e-05,5.532855e-05,5.532832e-05,5.528495e-05,5.525615e-05,5.511866e-05,5.499101e-05,5.492199e-05,5.467180e-05,5.447991e-05,5.437331e-05,5.403136e-05,5.379177e-05,5.365039e-05,5.323452e-05,5.296082e-05,5.278753e-05,5.231291e-05,5.201623e-05,5.181388e-05,5.129340e-05,5.098277e-05,5.075418e-05,5.019874e-05,4.988147e-05,4.962937e-05,4.904819e-05,4.873013e-05,4.845714e-05,4.785798e-05,4.754377e-05,4.725236e-05,4.664176e-05,4.633502e-05,4.602754e-05,4.541095e-05,4.511448e-05,4.479312e-05,4.417509e-05,4.389099e-05,4.355780e-05,4.294211e-05,4.267191e-05,4.232878e-05,4.171852e-05,4.146328e-05,4.111197e-05,4.050969e-05,4.027010e-05,3.991221e-05,3.931997e-05,3.909638e-05,3.873339e-05,3.815284e-05,3.794538e-05,3.757864e-05,3.701107e-05,3.681965e-05,3.645039e-05,3.589681e-05,3.572120e-05,3.535052e-05,3.481169e-05,3.465151e-05,3.428043e-05,3.375688e-05,3.361168e-05,3.324112e-05,3.273321e-05,3.260245e-05,3.223322e-05,3.174118e-05,3.162427e-05,3.125711e-05,3.078102e-05,3.067736e-05,3.031292e-05,2.985277e-05,2.976170e-05,2.940057e-05,2.895627e-05,2.887714e-05,2.851984e-05,2.809122e-05,2.802336e-05,2.767035e-05,2.725718e-05,2.719995e-05,2.685164e-05,2.645365e-05,2.640640e-05,2.606314e-05,2.568002e-05,2.564211e-05,2.530421e-05,2.493563e-05,2.490645e-05,2.457418e-05,2.421977e-05,2.419873e-05,2.387231e-05,2.353170e-05,2.351822e-05,2.319785e-05,2.287065e-05,2.286418e-05,2.255001e-05,2.223584e-05,2.163243e-05,2.105318e-05,2.049732e-05,1.996407e-05,1.945268e-05,1.896240e-05,1.849249e-05,1.804222e-05,1.761091e-05,1.719784e-05,1.680237e-05,1.642382e-05,1.606158e-05,1.571503e-05,1.538356e-05,1.506661e-05,1.476362e-05,1.447405e-05,1.419737e-05,1.393309e-05,1.368071e-05,1.343978e-05,1.320983e-05,1.299043e-05,1.278117e-05,1.258164e-05,1.239145e-05,1.221022e-05,1.203759e-05,1.187322e-05,1.171677e-05,1.156792e-05,1.142636e-05,1.129179e-05,1.116393e-05,1.104249e-05,1.092722e-05,1.081786e-05,1.071416e-05,1.061589e-05,1.052282e-05,1.043473e-05,1.035142e-05,1.027267e-05,1.019831e-05,1.012814e-05,1.006198e-05,9.999666e-06,9.941024e-06
0.000000e+00,1.621679e-08,4.125530e-07,4.338933e-07,3.533470e-06,1.473435e-05,1.548693e-05,4.386556e-05,8.680053e-05,8.995003e-05,1.460217e-04,1.988016e-04,2.032995e-04,2.574504e-04,3.024647e-04,3.072410e-04,3.525743e-04,3.889495e-04,3.936657e-04,4.307975e-04,4.597822e-04,4.642554e-04,4.943120e-04,5.171191e-04,5.212238e-04,5.452317e-04,5.629094e-04,5.665603e-04,5.854190e-04,5.988590e-04,6.020027e-04,6.164925e-04,6.264496e-04,6.290566e-04,6.398512e-04,6.469609e-04,6.490208e-04,6.566991e-04,6.614943e-04,6.630102e-04,6.680684e-04,6.709942e-04,6.719795e-04,6.748414e-04,6.762691e-04,6.767444e-04,6.777718e-04,6.780098e-04,6.780006e-04,6.775019e-04,6.768063e-04,6.763413e-04,6.745792e-04,6.731617e-04,6.722714e-04,6.694693e-04,6.675048e-04,6.662205e-04,6.625686e-04,6.602009e-04,6.585540e-04,6.542136e-04,6.515606e-04,6.495819e-04,6.446901e-04,6.418481e-04,6.395674e-04,6.342403e-04,6.312875e-04,6.287335e-04,6.230695e-04,6.200690e-04,6.172690e-04,6.113511e-04,6.083537e-04,6.053333e-04,5.992317e-04,5.962775e-04,5.930609e-04,5.868346e-04,5.839553e-04,5.805651e-04,5.742638e-04,5.714838e-04,5.679410e-04,5.616062e-04,5.589441e-04,5.552681e-04,5.489345e-04,5.464041e-04,5.426128e-04,5.363094e-04,5.339202e-04,5.300304e-04,5.237811e-04,5.215395e-04,5.175664e-04,5.113908e-04,5.093007e-04,5.052583e-04,4.991725e-04,4.972354e-04,4.931366e-04,4.871536e-04,4.853695e-04,4.812261e-04,4.753563e-04,4.737234e-04,4.695464e-04,4.637980e-04,4.623138e-04,4.581129e-04,4.524923e-04,4.511531e-04,4.469375e-04,4.414494e-04,4.402511e-04,4.360290e-04,4.306769e-04,4.296147e-04,4.253937e-04,4.201799e-04,4.192488e-04,4.150357e-04,4.099614e-04,4.091561e-04,4.049573e-04,4.000232e-04,3.993380e-04,3.951592e-04,3.903651e-04,3.897945e-04,3.856409e-04,3.809862e-04,3.805246e-04,3.764009e-04,3.718845e-04,3.715262e-04,3.674367e-04,3.630571e-04,3.627965e-04,3.587452e-04,3.545006e-04,3.543322e-04,3.503227e-04,3.462109e-04,3.461294e-04,3.421648e-04,3.381837e-04,3.304906e-04,3.230451e-04,3.158422e-04,3.088767e-04,3.021431e-04,2.956362e-04,2.893505e-04,2.832806e-04,2.774211e-04,2.717665e-04,2.663116e-04,2.610511e-04,2.559797e-04,2.510923e-04,2.463839e-04,2.418494e-04,2.374841e-04,2.332832e-04,2.292419e-04,2.253557e-04,2.216201e-04,2.180307e-04,2.145834e-04,2.112737e-04,2.080978e-04,2.050516e-04,2.021312e-04,1.993328e-04,1.966527e-04,1.940873e-04,1.916331e-04,1.892867e-04,1.870447e-04,1.849038e-04,1.828609e-04,1.809128e-04,1.790566e-04,1.772892e-04,1.756079e-04,1.740098e-04,1.724922e-04,1.710524e-04,1.696879e-04,1.683960e-04,1.671745e-04,1.660208e-04,1.649327e-04,1.639078e-04,1.629440e-04
0.000000e+00,2.256013e-09,2.412568e-08,2.506261e-08,1.246621e-07,3.793168e-07,3.944671e-07,9.025301e-07,1.585121e-06,1.633971e-06,2.506167e-06,3.350589e-06,3.423828e-06,4.318971e-06,5.078339e-06,5.159573e-06,5.936181e-06,6.566243e-06,6.648375e-06,7.298609e-06,7.810734e-06,7.890142e-06,8.426389e-06,8.836581e-06,8.910722e-06,9.346411e-06,9.669574e-06,9.736580e-06,1.008421e-05,1.033359e-05,1.039212e-05,1.066300e-05,1.085020e-05,1.089936e-05,1.110359e-05,1.123871e-05,1.127795e-05,1.142455e-05,1.151634e-05,1.154538e-05,1.164233e-05,1.169833e-05,1.171715e-05,1.177151e-05,1.179822e-05,1.180695e-05,1.182495e-05,1.182792e-05,1.182686e-05,1.181398e-05,1.179797e-05,1.178752e-05,1.174859e-05,1.171763e-05,1.169826e-05,1.163752e-05,1.159504e-05,1.156730e-05,1.148845e-05,1.143735e-05,1.140180e-05,1.130809e-05,1.125079e-05,1.120804e-05,1.110231e-05,1.104084e-05,1.099150e-05,1.087620e-05,1.081225e-05,1.075693e-05,1.063420e-05,1.056917e-05,1.050847e-05,1.038016e-05,1.031517e-05,1.024969e-05,1.011741e-05,1.005338e-05,9.983673e-06,9.848799e-06,9.786456e-06,9.713080e-06,9.576789e-06,9.516705e-06,9.440178e-06,9.303477e-06,9.246089e-06,9.166902e-06,9.030648e-06,8.976277e-06,8.894894e-06,8.759807e-06,8.708680e-06,8.625535e-06,8.492217e-06,8.444481e-06,8.359978e-06,8.228930e-06,8.184664e-06,8.099177e-06,7.970811e-06,7.930041e-06,7.843915e-06,7.718563e-06,7.681269e-06,7.594822e-06,7.472749e-06,7.438875e-06,7.352397e-06,7.233809e-06,7.203270e-06,7.117025e-06,7.002076e-06,6.974765e-06,6.888989e-06,6.777788e-06,6.753579e-06,6.668489e-06,6.561107e-06,6.539861e-06,6.455649e-06,6.352125e-06,6.333695e-06,6.250534e-06,6.150879e-06,6.135113e-06,6.053154e-06,5.957356e-06,5.944097e-06,5.863475e-06,5.771501e-06,5.760591e-06,5.681421e-06,5.593221e-06,5.584504e-06,5.506886e-06,5.422397e-06,5.415717e-06,5.339736e-06,5.258883e-06,5.254088e-06,5.179817e-06,5.102515e-06,5.099460e-06,5.026955e-06,4.953113e-06,4.951654e-06,4.880967e-06,4.810491e-06,4.675777e-06,4.547308e-06,4.424878e-06,4.308278e-06,4.197297e-06,4.091728e-06,3.991363e-06,3.895998e-06,3.805431e-06,3.719463e-06,3.637900e-06,3.560553e-06,3.487237e-06,3.417775e-06,3.351992e-06,3.289721e-06,3.230801e-06,3.175074e-06,3.122390e-06,3.072604e-06,3.025577e-06,2.981176e-06,2.939273e-06,2.899743e-06,2.862471e-06,2.827342e-06,2.794250e-06,2.763092e-06,2.733769e-06,2.706187e-06,2.680258e-06,2.655895e-06,2.633018e-06,2.611549e-06,2.591414e-06,2.572543e-06,2.554868e-06,2.538327e-06,2.522859e-06,2.508407e-06,2.494915e-06,2.482331e-06,2.470607e-06,2.459695e-06,2.449551e-06,2.440133e-06,2.431399e-06,2.423314e-06,2.415839e-06
0.000000e+00,9.689090e-09,5.621782e-07,5.995844e-07,8.308962e-06,4.580121e-05,4.853130e-05,1.589428e-04,3.459739e-04,3.607232e-04,6.529986e-04,9.899453e-04,1.021827e-03,1.447843e-03,1.863459e-03,1.910882e-03,2.392438e-03,2.818964e-03,2.876788e-03,3.351318e-03,3.744164e-03,3.806425e-03,4.235194e-03,4.571561e-03,4.632995e-03,4.997063e-03,5.269489e-03,5.326115e-03,5.619997e-03,5.830223e-03,5.879401e-03,6.105619e-03,6.260116e-03,6.300353e-03,6.465560e-03,6.572661e-03,6.603342e-03,6.715847e-03,6.784086e-03,6.805213e-03,6.873520e-03,6.910780e-03,6.922754e-03,6.954794e-03,6.967935e-03,6.971393e-03,6.974180e-03,6.968954e-03,6.964651e-03,6.944181e-03,6.925289e-03,6.914021e-03,6.875311e-03,6.846530e-03,6.829083e-03,6.776268e-03,6.740588e-03,6.717709e-03,6.654163e-03,6.613929e-03,6.586312e-03,6.514768e-03,6.471799e-03,6.440080e-03,6.362741e-03,6.318439e-03,6.283191e-03,6.201827e-03,6.157262e-03,6.119002e-03,6.035032e-03,5.991010e-03,5.950199e-03,5.864756e-03,5.821877e-03,5.778928e-03,5.692917e-03,5.651619e-03,5.606900e-03,5.521037e-03,5.481631e-03,5.435469e-03,5.350322e-03,5.313020e-03,5.265707e-03,5.181722e-03,5.146657e-03,5.098453e-03,5.015977e-03,4.983224e-03,4.934361e-03,4.853661e-03,4.823246e-03,4.773929e-03,4.695207e-03,4.667123e-03,4.617535e-03,4.540943e-03,4.515152e-03,4.465457e-03,4.391100e-03,4.367548e-03,4.317890e-03,4.245841e-03,4.224454e-03,4.174963e-03,4.105265e-03,4.085961e-03,4.036751e-03,3.969425e-03,3.952115e-03,3.903287e-03,3.838335e-03,3.822922e-03,3.774566e-03,3.711976e-03,3.698364e-03,3.650558e-03,3.590305e-03,3.578394e-03,3.531209e-03,3.473259e-03,3.462950e-03,3.416447e-03,3.360759e-03,3.351953e-03,3.306186e-03,3.252713e-03,3.245314e-03,3.200329e-03,3.149021e-03,3.142935e-03,3.098773e-03,3.049573e-03,3.044710e-03,3.001406e-03,2.954258e-03,2.950529e-03,2.908113e-03,2.862958e-03,2.860280e-03,2.818777e-03,2.775556e-03,2.773847e-03,2.733278e-03,2.691930e-03,2.691113e-03,2.651496e-03,2.611962e-03,2.536278e-03,2.463946e-03,2.394853e-03,2.328888e-03,2.265940e-03,2.205903e-03,2.148671e-03,2.094144e-03,2.042222e-03,1.992808e-03,1.945809e-03,1.901133e-03,1.858692e-03,1.818401e-03,1.780177e-03,1.743941e-03,1.709613e-03,1.677120e-03,1.646389e-03,1.617349e-03,1.589934e-03,1.564078e-03,1.539717e-03,1.516790e-03,1.495239e-03,1.475006e-03,1.456037e-03,1.438279e-03,1.421679e-03,1.406189e-03,1.391761e-03,1.378348e-03,1.365905e-03,1.354390e-03,1.343761e-03,1.333978e-03,1.325002e-03,1.316795e-03,1.309321e-03,1.302545e-03,1.296433e-03,1.290953e-03,1.286073e-03,1.281763e-03,1.277993e-03,1.274734e-03,1.271960e-03,1.269645e-03,1.267761e-03
0.000000e+00,1.964048e-08,3.413434e-07,3.572011e-07,2.258260e-06,7.368419e-06,7.668275e-06,1.716187e-05,2.812788e-05,2.884576e-05,4.063889e-05,5.090434e-05,5.176467e-05,6.206913e-05,7.063973e-05,7.155191e-05,8.024716e-05,8.728034e-05,8.819624e-05,9.544143e-05,1.011411e-04,1.020244e-04,1.079858e-04,1.125419e-04,1.133650e-04,1.181994e-04,1.217823e-04,1.225249e-04,1.263756e-04,1.291359e-04,1.297836e-04,1.327793e-04,1.348482e-04,1.353913e-04,1.376467e-04,1.391379e-04,1.395708e-04,1.411873e-04,1.421988e-04,1.425187e-04,1.435860e-04,1.442019e-04,1.444087e-04,1.450053e-04,1.452977e-04,1.453931e-04,1.455883e-04,1.456187e-04,1.456060e-04,1.454603e-04,1.452812e-04,1.451646e-04,1.447311e-04,1.443868e-04,1.441715e-04,1.434966e-04,1.430248e-04,1.427166e-04,1.418407e-04,1.412729e-04,1.408779e-04,1.398363e-04,1.391992e-04,1.387237e-04,1.375471e-04,1.368628e-04,1.363132e-04,1.350282e-04,1.343151e-04,1.336978e-04,1.323275e-04,1.316008e-04,1.309222e-04,1.294865e-04,1.287586e-04,1.280248e-04,1.265409e-04,1.258220e-04,1.250387e-04,1.235216e-04,1.228196e-04,1.219927e-04,1.204550e-04,1.197763e-04,1.189111e-04,1.173637e-04,1.167132e-04,1.158149e-04,1.142669e-04,1.136484e-04,1.127218e-04,1.111812e-04,1.105973e-04,1.096468e-04,1.081202e-04,1.075728e-04,1.066027e-04,1.050956e-04,1.045857e-04,1.036000e-04,1.021169e-04,1.016452e-04,1.006474e-04,9.919220e-05,9.875856e-05,9.775213e-05,9.632786e-05,9.593199e-05,9.492002e-05,9.352912e-05,9.317033e-05,9.215567e-05,9.080006e-05,9.047741e-05,8.946267e-05,8.814380e-05,8.785616e-05,8.684372e-05,8.556265e-05,8.530873e-05,8.430076e-05,8.305820e-05,8.283660e-05,8.183507e-05,8.063145e-05,8.044068e-05,7.944736e-05,7.828284e-05,7.812136e-05,7.713786e-05,7.601239e-05,7.587864e-05,7.490639e-05,7.381976e-05,7.371216e-05,7.275243e-05,7.170428e-05,7.162125e-05,7.067518e-05,6.966500e-05,6.960499e-05,6.867359e-05,6.770077e-05,6.766224e-05,6.674639e-05,6.581025e-05,6.579171e-05,6.489217e-05,6.399194e-05,6.226137e-05,6.059836e-05,5.900118e-05,5.746807e-05,5.599724e-05,5.458684e-05,5.323506e-05,5.194006e-05,5.070001e-05,4.951311e-05,4.837758e-05,4.729164e-05,4.625358e-05,4.526168e-05,4.431430e-05,4.340980e-05,4.254661e-05,4.172318e-05,4.093802e-05,4.018965e-05,3.947667e-05,3.879770e-05,3.815141e-05,3.753650e-05,3.695174e-05,3.639591e-05,3.586784e-05,3.536641e-05,3.489051e-05,3.443911e-05,3.401118e-05,3.360574e-05,3.322184e-05,3.285858e-05,3.251506e-05,3.219045e-05,3.188393e-05,3.159470e-05,3.132201e-05,3.106513e-05,3.082336e-05,3.059602e-05,3.038245e-05,3.018203e-05,2.999416e-05,2.981825e-05,2.965375e-05,2.950011e-05,2.935683e-05
0.000000e+00,1.449896e-08,6.064838e-07,6.433422e-07,7.551766e-06,4.123849e-05,4.377836e-05,1.547923e-04,3.660503e-04,3.835191e-04,7.453717e-04,1.187518e-03,1.230323e-03,1.813948e-03,2.398788e-03,2.466232e-03,3.157087e-03,3.775317e-03,3.859405e-03,4.550500e-03,5.122129e-03,5.212523e-03,5.832305e-03,6.313604e-03,6.400872e-03,6.912823e-03,7.288553e-03,7.365669e-03,7.759207e-03,8.032310e-03,8.094954e-03,8.375658e-03,8.558678e-03,8.604897e-03,8.786745e-03,8.895908e-03,8.925520e-03,9.025590e-03,9.077240e-03,9.091223e-03,9.126492e-03,9.135236e-03,9.135209e-03,9.120885e-03,9.098873e-03,9.086714e-03,9.035566e-03,8.992405e-03,8.969998e-03,8.892273e-03,8.835288e-03,8.804373e-03,8.708029e-03,8.642640e-03,8.604743e-03,8.495813e-03,8.425938e-03,8.382355e-03,8.265327e-03,8.193742e-03,8.145548e-03,8.023719e-03,7.952357e-03,7.900435e-03,7.776205e-03,7.706387e-03,7.651462e-03,7.526573e-03,7.459184e-03,7.401851e-03,7.277563e-03,7.213181e-03,7.153935e-03,7.031161e-03,6.970147e-03,6.909406e-03,6.788811e-03,6.731373e-03,6.669495e-03,6.551560e-03,6.497799e-03,6.435094e-03,6.320169e-03,6.270107e-03,6.206849e-03,6.095187e-03,6.048793e-03,5.985226e-03,5.877003e-03,5.834207e-03,5.770548e-03,5.665885e-03,5.626588e-03,5.563034e-03,5.462008e-03,5.426087e-03,5.362818e-03,5.265469e-03,5.232791e-03,5.169966e-03,5.076306e-03,5.046725e-03,4.984489e-03,4.894507e-03,4.867870e-03,4.806354e-03,4.720020e-03,4.696170e-03,4.635493e-03,4.552760e-03,4.531541e-03,4.471807e-03,4.392618e-03,4.373873e-03,4.315176e-03,4.239462e-03,4.223036e-03,4.165459e-03,4.093146e-03,4.078885e-03,4.022503e-03,3.953509e-03,3.941264e-03,3.886142e-03,3.820381e-03,3.810007e-03,3.756203e-03,3.693585e-03,3.684941e-03,3.632505e-03,3.572939e-03,3.565892e-03,3.514865e-03,3.458259e-03,3.452678e-03,3.403098e-03,3.349359e-03,3.345120e-03,3.297018e-03,3.246052e-03,3.243038e-03,3.196439e-03,3.148155e-03,3.146250e-03,3.101177e-03,3.055482e-03,3.054581e-03,3.011049e-03,2.967854e-03,2.885897e-03,2.808540e-03,2.735616e-03,2.666964e-03,2.602425e-03,2.541844e-03,2.485068e-03,2.431953e-03,2.382352e-03,2.336128e-03,2.293142e-03,2.253264e-03,2.216362e-03,2.182312e-03,2.150990e-03,2.122277e-03,2.096056e-03,2.072213e-03,2.050638e-03,2.031221e-03,2.013858e-03,1.998446e-03,1.984884e-03,1.973074e-03,1.962920e-03,1.954330e-03,1.947214e-03,1.941481e-03,1.937047e-03,1.933828e-03,1.931742e-03,1.930711e-03,1.930657e-03,1.931506e-03,1.933187e-03,1.935630e-03,1.938768e-03,1.942535e-03,1.946870e-03,1.951713e-03,1.957006e-03,1.962694e-03,1.968725e-03,1.975049e-03,1.981619e-03,1.988388e-03,1.995316e-03,2.002361e-03,2.009485e-03
0.000000e+00,3.456713e-08,7.414504e-07,7.764172e-07,5.252008e-06,2.006201e-05,2.104664e-05,5.883583e-05,1.203170e-04,1.250692e-04,2.153073e-04,3.086164e-04,3.168531e-04,4.183991e-04,5.050582e-04,5.143296e-04,6.028388e-04,6.743714e-04,6.836721e-04,7.570720e-04,8.145419e-04,8.234219e-04,8.831369e-04,9.284744e-04,9.366327e-04,9.843151e-04,1.019352e-03,1.026575e-03,1.063789e-03,1.090165e-03,1.096311e-03,1.124482e-03,1.143641e-03,1.148621e-03,1.169028e-03,1.182217e-03,1.185987e-03,1.199762e-03,1.208053e-03,1.210603e-03,1.218742e-03,1.223053e-03,1.224398e-03,1.227774e-03,1.228882e-03,1.229059e-03,1.228432e-03,1.227001e-03,1.226063e-03,1.222104e-03,1.218692e-03,1.216701e-03,1.209988e-03,1.205063e-03,1.202090e-03,1.193122e-03,1.187072e-03,1.183192e-03,1.172402e-03,1.165553e-03,1.160843e-03,1.148602e-03,1.141221e-03,1.135759e-03,1.122389e-03,1.114697e-03,1.108560e-03,1.094335e-03,1.086511e-03,1.079775e-03,1.064932e-03,1.057118e-03,1.049856e-03,1.034595e-03,1.026907e-03,1.019189e-03,1.003679e-03,9.962080e-04,9.881005e-04,9.724855e-04,9.652988e-04,9.568645e-04,9.412649e-04,9.344145e-04,9.257120e-04,9.102284e-04,9.037511e-04,8.948350e-04,8.795505e-04,8.734711e-04,8.643920e-04,8.493748e-04,8.437082e-04,8.345126e-04,8.198177e-04,8.145707e-04,8.053012e-04,7.909728e-04,7.861456e-04,7.768410e-04,7.629134e-04,7.585007e-04,7.491964e-04,7.356957e-04,7.316883e-04,7.224159e-04,7.093612e-04,7.057467e-04,6.965348e-04,6.839392e-04,6.807024e-04,6.715764e-04,6.594480e-04,6.565721e-04,6.475547e-04,6.358970e-04,6.333640e-04,6.244750e-04,6.132882e-04,6.110790e-04,6.023358e-04,5.916168e-04,5.897121e-04,5.811299e-04,5.708733e-04,5.692535e-04,5.608452e-04,5.510435e-04,5.496892e-04,5.414658e-04,5.321098e-04,5.310018e-04,5.229727e-04,5.140517e-04,5.131714e-04,5.053441e-04,4.968467e-04,4.961759e-04,4.885564e-04,4.804702e-04,4.799914e-04,4.725847e-04,4.648966e-04,4.645931e-04,4.574026e-04,4.500993e-04,4.499552e-04,4.429833e-04,4.360511e-04,4.228544e-04,4.103381e-04,3.984755e-04,3.872404e-04,3.766064e-04,3.665481e-04,3.570403e-04,3.480587e-04,3.395794e-04,3.315793e-04,3.240361e-04,3.169281e-04,3.102346e-04,3.039354e-04,2.980112e-04,2.924434e-04,2.872143e-04,2.823067e-04,2.777043e-04,2.733913e-04,2.693530e-04,2.655748e-04,2.620432e-04,2.587450e-04,2.556679e-04,2.528000e-04,2.501299e-04,2.476469e-04,2.453406e-04,2.432014e-04,2.412199e-04,2.393873e-04,2.376951e-04,2.361354e-04,2.347005e-04,2.333832e-04,2.321766e-04,2.310743e-04,2.300699e-04,2.291577e-04,2.283320e-04,2.275875e-04,2.269192e-04,2.263224e-04,2.257924e-04,2.253250e-04,2.249162e-04,2.245621e-04,2.242590e-04
0.000000e+00,1.214664e-08,1.527568e-07,1.591288e-07,8.953100e-07,2.961062e-06,3.087369e-06,7.343331e-06,1.275218e-05,1.311901e-05,1.926552e-05,2.470534e-05,2.516252e-05,3.064016e-05,3.518947e-05,3.567294e-05,4.027220e-05,4.397723e-05,4.445854e-05,4.825465e-05,5.122465e-05,5.168341e-05,5.476729e-05,5.710724e-05,5.752815e-05,5.998708e-05,6.179233e-05,6.216433e-05,6.407925e-05,6.543471e-05,6.575025e-05,6.719475e-05,6.817488e-05,6.842926e-05,6.946930e-05,7.013869e-05,7.032948e-05,7.102351e-05,7.143773e-05,7.156427e-05,7.196383e-05,7.217043e-05,7.223345e-05,7.238369e-05,7.242310e-05,7.242434e-05,7.236457e-05,7.227097e-05,7.221297e-05,7.197760e-05,7.178002e-05,7.166593e-05,7.128494e-05,7.100773e-05,7.084110e-05,7.034048e-05,7.000407e-05,6.978872e-05,6.919107e-05,6.881251e-05,6.855242e-05,6.787724e-05,6.747056e-05,6.716971e-05,6.643368e-05,6.601042e-05,6.567277e-05,6.489030e-05,6.445988e-05,6.408932e-05,6.327269e-05,6.284273e-05,6.244302e-05,6.160273e-05,6.117931e-05,6.075405e-05,5.989904e-05,5.948694e-05,5.903957e-05,5.817740e-05,5.778033e-05,5.731410e-05,5.645113e-05,5.607189e-05,5.558984e-05,5.473144e-05,5.437204e-05,5.387704e-05,5.302764e-05,5.268949e-05,5.218417e-05,5.134745e-05,5.103143e-05,5.051823e-05,4.969719e-05,4.940373e-05,4.888492e-05,4.808196e-05,4.781116e-05,4.728880e-05,4.650585e-05,4.625753e-05,4.573349e-05,4.497204e-05,4.474578e-05,4.422178e-05,4.348295e-05,4.327815e-05,4.275574e-05,4.204032e-05,4.185626e-05,4.133682e-05,4.064535e-05,4.048120e-05,3.996598e-05,3.929876e-05,3.915361e-05,3.864372e-05,3.800086e-05,3.787375e-05,3.737018e-05,3.675163e-05,3.664158e-05,3.614518e-05,3.555076e-05,3.545676e-05,3.496830e-05,3.439770e-05,3.431876e-05,3.383888e-05,3.329172e-05,3.322684e-05,3.275611e-05,3.223192e-05,3.218013e-05,3.171902e-05,3.121728e-05,3.117761e-05,3.072654e-05,3.024666e-05,3.021821e-05,2.977749e-05,2.931887e-05,2.930074e-05,2.887064e-05,2.843264e-05,2.842398e-05,2.800470e-05,2.758667e-05,2.678752e-05,2.602523e-05,2.529848e-05,2.460598e-05,2.394643e-05,2.331855e-05,2.272109e-05,2.215283e-05,2.161255e-05,2.109908e-05,2.061130e-05,2.014809e-05,1.970837e-05,1.929113e-05,1.889535e-05,1.852007e-05,1.816436e-05,1.782733e-05,1.750811e-05,1.720589e-05,1.691987e-05,1.664929e-05,1.639342e-05,1.615156e-05,1.592304e-05,1.570723e-05,1.550351e-05,1.531130e-05,1.513004e-05,1.495920e-05,1.479826e-05,1.464673e-05,1.450416e-05,1.437010e-05,1.424412e-05,1.412583e-05,1.401483e-05,1.391076e-05,1.381326e-05,1.372202e-05,1.363670e-05,1.355700e-05,1.348264e-05,1.341334e-05,1.334883e-05,1.328887e-05,1.323322e-05,1.318166e-05,1.313396e-05
0.000000e+00,6.217154e-09,7.038089e-08,7.321339e-08,3.936826e-07,1.288750e-06,1.343788e-06,3.230494e-06,5.734736e-06,5.908873e-06,8.891465e-06,1.160943e-05,1.184055e-05,1.463985e-05,1.700751e-05,1.726153e-05,1.970323e-05,2.170678e-05,2.196973e-05,2.406787e-05,2.574330e-05,2.600511e-05,2.778907e-05,2.917466e-05,2.942730e-05,3.092723e-05,3.205908e-05,3.229613e-05,3.354103e-05,3.445225e-05,3.466874e-05,3.568582e-05,3.640639e-05,3.659855e-05,3.741294e-05,3.796966e-05,3.813475e-05,3.876947e-05,3.918618e-05,3.932233e-05,3.979830e-05,4.009607e-05,4.020214e-05,4.053836e-05,4.073580e-05,4.081127e-05,4.102491e-05,4.113832e-05,4.118315e-05,4.128965e-05,4.133329e-05,4.134788e-05,4.136114e-05,4.134746e-05,4.133252e-05,4.126499e-05,4.120480e-05,4.116133e-05,4.102418e-05,4.092686e-05,4.085604e-05,4.065928e-05,4.053292e-05,4.043611e-05,4.018865e-05,4.004020e-05,3.991888e-05,3.962868e-05,3.946410e-05,3.931981e-05,3.899396e-05,3.881833e-05,3.865268e-05,3.829747e-05,3.811507e-05,3.792971e-05,3.755071e-05,3.736517e-05,3.716171e-05,3.676387e-05,3.657820e-05,3.635828e-05,3.594595e-05,3.576265e-05,3.552786e-05,3.510488e-05,3.492599e-05,3.467788e-05,3.424763e-05,3.407479e-05,3.381487e-05,3.338029e-05,3.321481e-05,3.294454e-05,3.250821e-05,3.235110e-05,3.207186e-05,3.163600e-05,3.148801e-05,3.120113e-05,3.076769e-05,3.062936e-05,3.033609e-05,2.990672e-05,2.977839e-05,2.947993e-05,2.905604e-05,2.893792e-05,2.863537e-05,2.821818e-05,2.811032e-05,2.780473e-05,2.739525e-05,2.729759e-05,2.698994e-05,2.658901e-05,2.650140e-05,2.619261e-05,2.580091e-05,2.572314e-05,2.541404e-05,2.503213e-05,2.496392e-05,2.465529e-05,2.428360e-05,2.422462e-05,2.391716e-05,2.355604e-05,2.350591e-05,2.320029e-05,2.284997e-05,2.280830e-05,2.250511e-05,2.216575e-05,2.213211e-05,2.183190e-05,2.150358e-05,2.147756e-05,2.118080e-05,2.086356e-05,2.084470e-05,2.055185e-05,2.024566e-05,2.023352e-05,1.994496e-05,1.964975e-05,1.964390e-05,1.935998e-05,1.907562e-05,1.852844e-05,1.800202e-05,1.749599e-05,1.700993e-05,1.654341e-05,1.609595e-05,1.566706e-05,1.525622e-05,1.486293e-05,1.448664e-05,1.412682e-05,1.378295e-05,1.345449e-05,1.314090e-05,1.284166e-05,1.255625e-05,1.228417e-05,1.202490e-05,1.177796e-05,1.154287e-05,1.131916e-05,1.110637e-05,1.090406e-05,1.071180e-05,1.052916e-05,1.035575e-05,1.019117e-05,1.003503e-05,9.886985e-06,9.746667e-06,9.613739e-06,9.487871e-06,9.368748e-06,9.256064e-06,9.149528e-06,9.048857e-06,8.953782e-06,8.864044e-06,8.779392e-06,8.699590e-06,8.624407e-06,8.553624e-06,8.487031e-06,8.424426e-06,8.365618e-06,8.310421e-06,8.258660e-06,8.210164e-06,8.164774e-06
0.000000e+00,2.517928e-08,1.014058e-06,1.072072e-06,9.385320e-06,3.433191e-05,3.581208e-05,8.156901e-05,1.306209e-04,1.336812e-04,1.811339e-04,2.178468e-04,2.207226e-04,2.527284e-04,2.759215e-04,2.782069e-04,2.982223e-04,3.120558e-04,3.137007e-04,3.254214e-04,3.329913e-04,3.340301e-04,3.400605e-04,3.434655e-04,3.439634e-04,3.461169e-04,3.468001e-04,3.468361e-04,3.463834e-04,3.453252e-04,3.449767e-04,3.427970e-04,3.406575e-04,3.399941e-04,3.366922e-04,3.339131e-04,3.329943e-04,3.289853e-04,3.258604e-04,3.247358e-04,3.203038e-04,3.170270e-04,3.157372e-04,3.110756e-04,3.077737e-04,3.063516e-04,3.015919e-04,2.983462e-04,2.968184e-04,2.920491e-04,2.889109e-04,2.872986e-04,2.825788e-04,2.795788e-04,2.778994e-04,2.732680e-04,2.704235e-04,2.686909e-04,2.641730e-04,2.614923e-04,2.597181e-04,2.553291e-04,2.528146e-04,2.510083e-04,2.467572e-04,2.444075e-04,2.425770e-04,2.384683e-04,2.362795e-04,2.344316e-04,2.304668e-04,2.284336e-04,2.265739e-04,2.227525e-04,2.208684e-04,2.190021e-04,2.153220e-04,2.135804e-04,2.117117e-04,2.081702e-04,2.065639e-04,2.046966e-04,2.012902e-04,1.998124e-04,1.979499e-04,1.946748e-04,1.933184e-04,1.914637e-04,1.883158e-04,1.870741e-04,1.852300e-04,1.822052e-04,1.810716e-04,1.792405e-04,1.763347e-04,1.753028e-04,1.734868e-04,1.706959e-04,1.697598e-04,1.679609e-04,1.652807e-04,1.644345e-04,1.626544e-04,1.600811e-04,1.593192e-04,1.575596e-04,1.550891e-04,1.544063e-04,1.526685e-04,1.502971e-04,1.496884e-04,1.479738e-04,1.456977e-04,1.451583e-04,1.434679e-04,1.412836e-04,1.408090e-04,1.391438e-04,1.370478e-04,1.366338e-04,1.349947e-04,1.329836e-04,1.326260e-04,1.310138e-04,1.290844e-04,1.287794e-04,1.271947e-04,1.253439e-04,1.250879e-04,1.235313e-04,1.217560e-04,1.215455e-04,1.200174e-04,1.183148e-04,1.181465e-04,1.166474e-04,1.150146e-04,1.148855e-04,1.134157e-04,1.118500e-04,1.117571e-04,1.103168e-04,1.088156e-04,1.087562e-04,1.073456e-04,1.059064e-04,1.058779e-04,1.044972e-04,1.031174e-04,1.004702e-04,9.793192e-05,9.549822e-05,9.316506e-05,9.092851e-05,8.878478e-05,8.673022e-05,8.476133e-05,8.287475e-05,8.106722e-05,7.933562e-05,7.767695e-05,7.608833e-05,7.456696e-05,7.311019e-05,7.171543e-05,7.038023e-05,6.910219e-05,6.787905e-05,6.670859e-05,6.558871e-05,6.451737e-05,6.349263e-05,6.251260e-05,6.157548e-05,6.067954e-05,5.982310e-05,5.900456e-05,5.822239e-05,5.747509e-05,5.676125e-05,5.607949e-05,5.542851e-05,5.480703e-05,5.421385e-05,5.364779e-05,5.310772e-05,5.259258e-05,5.210132e-05,5.163295e-05,5.118651e-05,5.076107e-05,5.035576e-05,4.996973e-05,4.960215e-05,4.925225e-05,4.891926e-05,4.860248e-05,4.830119e-05
0.000000e+00,4.477580e-08,9.030262e-07,9.451098e-07,6.334667e-06,2.397858e-05,2.513568e-05,6.806567e-05,1.327686e-04,1.375469e-04,2.233958e-04,3.045222e-04,3.113949e-04,3.930723e-04,4.589502e-04,4.658097e-04,5.294976e-04,5.785303e-04,5.847372e-04,6.322646e-04,6.675235e-04,6.728042e-04,7.070347e-04,7.313724e-04,7.355824e-04,7.590223e-04,7.748015e-04,7.778797e-04,7.926338e-04,8.017769e-04,8.037205e-04,8.115361e-04,8.155942e-04,8.164404e-04,8.187596e-04,8.189762e-04,8.187892e-04,8.167967e-04,8.141637e-04,8.130242e-04,8.076904e-04,8.029950e-04,8.009928e-04,7.931098e-04,7.869730e-04,7.842020e-04,7.744142e-04,7.673230e-04,7.638769e-04,7.527072e-04,7.450404e-04,7.410104e-04,7.288809e-04,7.209304e-04,7.164033e-04,7.036531e-04,6.956411e-04,6.906980e-04,6.775983e-04,6.696917e-04,6.644078e-04,6.511742e-04,6.434958e-04,6.379397e-04,6.247415e-04,6.173789e-04,6.116127e-04,5.985819e-04,5.915951e-04,5.856743e-04,5.729120e-04,5.663395e-04,5.603143e-04,5.478977e-04,5.417618e-04,5.356762e-04,5.236612e-04,5.179703e-04,5.118626e-04,5.002889e-04,4.950424e-04,4.889467e-04,4.778412e-04,4.730308e-04,4.669763e-04,4.563545e-04,4.519665e-04,4.459780e-04,4.358476e-04,4.318645e-04,4.259635e-04,4.163250e-04,4.127266e-04,4.069311e-04,3.977800e-04,3.945448e-04,3.888699e-04,3.801980e-04,3.773033e-04,3.717615e-04,3.635572e-04,3.609803e-04,3.555816e-04,3.478312e-04,3.455494e-04,3.403021e-04,3.329902e-04,3.309812e-04,3.258914e-04,3.190015e-04,3.172438e-04,3.123161e-04,3.058311e-04,3.043039e-04,2.995418e-04,2.934439e-04,2.921276e-04,2.875330e-04,2.818047e-04,2.806806e-04,2.762545e-04,2.708781e-04,2.699284e-04,2.656710e-04,2.606291e-04,2.598375e-04,2.557481e-04,2.510237e-04,2.503746e-04,2.464519e-04,2.420285e-04,2.415074e-04,2.377495e-04,2.336110e-04,2.332048e-04,2.296092e-04,2.257402e-04,2.254363e-04,2.220004e-04,2.183860e-04,2.181731e-04,2.148937e-04,2.115197e-04,2.113872e-04,2.082609e-04,2.051137e-04,2.050519e-04,2.020751e-04,1.991418e-04,1.936327e-04,1.885013e-04,1.837259e-04,1.792854e-04,1.751603e-04,1.713318e-04,1.677822e-04,1.644947e-04,1.614536e-04,1.586439e-04,1.560513e-04,1.536627e-04,1.514655e-04,1.494476e-04,1.475981e-04,1.459062e-04,1.443620e-04,1.429562e-04,1.416798e-04,1.405247e-04,1.394827e-04,1.385467e-04,1.377096e-04,1.369648e-04,1.363062e-04,1.357279e-04,1.352244e-04,1.347905e-04,1.344215e-04,1.341127e-04,1.338597e-04,1.336587e-04,1.335056e-04,1.333970e-04,1.333295e-04,1.332998e-04,1.333051e-04,1.333425e-04,1.334093e-04,1.335031e-04,1.336216e-04,1.337626e-04,1.339240e-04,1.341039e-04,1.343006e-04,1.345123e-04,1.347374e-04,1.349745e-04,1.352223e-04
0.000000e+00,4.258054e-10,5.705134e-09,5.960341e-09,3.872486e-08,1.413628e-07,1.478135e-07,3.638464e-07,6.246172e-07,6.418794e-07,9.289314e-07,1.184885e-06,1.206622e-06,1.470744e-06,1.696229e-06,1.720569e-06,1.956227e-06,2.152172e-06,2.178079e-06,2.386555e-06,2.555499e-06,2.582117e-06,2.765239e-06,2.909799e-06,2.936401e-06,3.096085e-06,3.218796e-06,3.244768e-06,3.382918e-06,3.486164e-06,3.510995e-06,3.629448e-06,3.715440e-06,3.738712e-06,3.839208e-06,3.909974e-06,3.931347e-06,4.015524e-06,4.072908e-06,4.092112e-06,4.161482e-06,4.207160e-06,4.223990e-06,4.279973e-06,4.315454e-06,4.329758e-06,4.373658e-06,4.400303e-06,4.411974e-06,4.444995e-06,4.464024e-06,4.472999e-06,4.496249e-06,4.508753e-06,4.515001e-06,4.529496e-06,4.536449e-06,4.539970e-06,4.546646e-06,4.548919e-06,4.549739e-06,4.549453e-06,4.547816e-06,4.545984e-06,4.539521e-06,4.534661e-06,4.530243e-06,4.518322e-06,4.510843e-06,4.503921e-06,4.487198e-06,4.477634e-06,4.468302e-06,4.447376e-06,4.436195e-06,4.424557e-06,4.399975e-06,4.387586e-06,4.373755e-06,4.346014e-06,4.332774e-06,4.316866e-06,4.286418e-06,4.272636e-06,4.254774e-06,4.222031e-06,4.207973e-06,4.188281e-06,4.153614e-06,4.139510e-06,4.118114e-06,4.081861e-06,4.067903e-06,4.044931e-06,4.007396e-06,3.993748e-06,3.969325e-06,3.930783e-06,3.917582e-06,3.891832e-06,3.852530e-06,3.839889e-06,3.812934e-06,3.773095e-06,3.761104e-06,3.733064e-06,3.692887e-06,3.681617e-06,3.652609e-06,3.612272e-06,3.601779e-06,3.571915e-06,3.531577e-06,3.521902e-06,3.491291e-06,3.451092e-06,3.442263e-06,3.411010e-06,3.371075e-06,3.363108e-06,3.331314e-06,3.291752e-06,3.284655e-06,3.252415e-06,3.213324e-06,3.207094e-06,3.174501e-06,3.135964e-06,3.130593e-06,3.097732e-06,3.059823e-06,3.055296e-06,3.022251e-06,2.985032e-06,2.981330e-06,2.948178e-06,2.911702e-06,2.908800e-06,2.875614e-06,2.839926e-06,2.837798e-06,2.804647e-06,2.769784e-06,2.768399e-06,2.735346e-06,2.701340e-06,2.700664e-06,2.667771e-06,2.634645e-06,2.570379e-06,2.507896e-06,2.447215e-06,2.388348e-06,2.331301e-06,2.276070e-06,2.222650e-06,2.171026e-06,2.121183e-06,2.073100e-06,2.026752e-06,1.982113e-06,1.939152e-06,1.897837e-06,1.858136e-06,1.820011e-06,1.783428e-06,1.748348e-06,1.714733e-06,1.682543e-06,1.651741e-06,1.622285e-06,1.594137e-06,1.567257e-06,1.541606e-06,1.517144e-06,1.493832e-06,1.471632e-06,1.450507e-06,1.430418e-06,1.411330e-06,1.393207e-06,1.376012e-06,1.359712e-06,1.344273e-06,1.329661e-06,1.315845e-06,1.302794e-06,1.290476e-06,1.278862e-06,1.267923e-06,1.257631e-06,1.247958e-06,1.238880e-06,1.230369e-06,1.222401e-06,1.214951e-06,1.207998e-06,1.201518e-06
0.000000e+00,3.063716e-09,4.619288e-08,4.832473e-08,3.181391e-07,1.098610e-06,1.144959e-06,2.563018e-06,4.078530e-06,4.175382e-06,5.758053e-06,7.145542e-06,7.262805e-06,8.682478e-06,9.888056e-06,1.001787e-05,1.127142e-05,1.230908e-05,1.244595e-05,1.354438e-05,1.443042e-05,1.456967e-05,1.552479e-05,1.627503e-05,1.641270e-05,1.723636e-05,1.786584e-05,1.799865e-05,1.870242e-05,1.922516e-05,1.935043e-05,1.994542e-05,2.037437e-05,2.048997e-05,2.098660e-05,2.133349e-05,2.143774e-05,2.184571e-05,2.212114e-05,2.221276e-05,2.254103e-05,2.275453e-05,2.283258e-05,2.308939e-05,2.324949e-05,2.331333e-05,2.350620e-05,2.362049e-05,2.366973e-05,2.380557e-05,2.388081e-05,2.391528e-05,2.400037e-05,2.404257e-05,2.406227e-05,2.410234e-05,2.411680e-05,2.412189e-05,2.412217e-05,2.411357e-05,2.410434e-05,2.406955e-05,2.404202e-05,2.401886e-05,2.395330e-05,2.391045e-05,2.387384e-05,2.378140e-05,2.372641e-05,2.367688e-05,2.356110e-05,2.349672e-05,2.343487e-05,2.329894e-05,2.322757e-05,2.315404e-05,2.300083e-05,2.292454e-05,2.283999e-05,2.267211e-05,2.259269e-05,2.249779e-05,2.231758e-05,2.223656e-05,2.213200e-05,2.194156e-05,2.186024e-05,2.174673e-05,2.154795e-05,2.146743e-05,2.134565e-05,2.114022e-05,2.106142e-05,2.093205e-05,2.072149e-05,2.064517e-05,2.050889e-05,2.029456e-05,2.022134e-05,2.007880e-05,1.986189e-05,1.979229e-05,1.964411e-05,1.942571e-05,1.936010e-05,1.920692e-05,1.898797e-05,1.892666e-05,1.876906e-05,1.855040e-05,1.849361e-05,1.833217e-05,1.811454e-05,1.806241e-05,1.789766e-05,1.768171e-05,1.763434e-05,1.746681e-05,1.725310e-05,1.721051e-05,1.704069e-05,1.682972e-05,1.679190e-05,1.662027e-05,1.641245e-05,1.637936e-05,1.620635e-05,1.600206e-05,1.597360e-05,1.579964e-05,1.559918e-05,1.557526e-05,1.540073e-05,1.520436e-05,1.518484e-05,1.501012e-05,1.481806e-05,1.480279e-05,1.462822e-05,1.444065e-05,1.442946e-05,1.425537e-05,1.407242e-05,1.406515e-05,1.389182e-05,1.371361e-05,1.371007e-05,1.353779e-05,1.336439e-05,1.302823e-05,1.270168e-05,1.238475e-05,1.207746e-05,1.177977e-05,1.149162e-05,1.121293e-05,1.094360e-05,1.068350e-05,1.043250e-05,1.019046e-05,9.957199e-06,9.732559e-06,9.516358e-06,9.308411e-06,9.108529e-06,8.916518e-06,8.732180e-06,8.555318e-06,8.385732e-06,8.223221e-06,8.067586e-06,7.918628e-06,7.776150e-06,7.639956e-06,7.509852e-06,7.385648e-06,7.267156e-06,7.154191e-06,7.046570e-06,6.944116e-06,6.846654e-06,6.754012e-06,6.666023e-06,6.582524e-06,6.503355e-06,6.428359e-06,6.357386e-06,6.290287e-06,6.226918e-06,6.167139e-06,6.110814e-06,6.057809e-06,6.007996e-06,5.961250e-06,5.917449e-06,5.876475e-06,5.838214e-06,5.802555e-06
0.000000e+00,6.006851e-08,1.132536e-06,1.187000e-06,8.489687e-06,3.196569e-05,3.345038e-05,8.381092e-05,1.459389e-04,1.500717e-04,2.186705e-04,2.793686e-04,2.844988e-04,3.465144e-04,3.989776e-04,4.046133e-04,4.588884e-04,5.035956e-04,5.094763e-04,5.565242e-04,5.942683e-04,6.001820e-04,6.405999e-04,6.721563e-04,6.779271e-04,7.123111e-04,7.384107e-04,7.438957e-04,7.728213e-04,7.941388e-04,7.992238e-04,8.232347e-04,8.403845e-04,8.449805e-04,8.645832e-04,8.781201e-04,8.821597e-04,8.978213e-04,9.082412e-04,9.116750e-04,9.238233e-04,9.315695e-04,9.343645e-04,9.433923e-04,9.488591e-04,9.509956e-04,9.572588e-04,9.607939e-04,9.622630e-04,9.660851e-04,9.679957e-04,9.687981e-04,9.704719e-04,9.710284e-04,9.711726e-04,9.709634e-04,9.704030e-04,9.699040e-04,9.680514e-04,9.665816e-04,9.654595e-04,9.621798e-04,9.599817e-04,9.582609e-04,9.537489e-04,9.509796e-04,9.486878e-04,9.431190e-04,9.399147e-04,9.370819e-04,9.306139e-04,9.270920e-04,9.237502e-04,9.165243e-04,9.127855e-04,9.089678e-04,9.011107e-04,8.972408e-04,8.929812e-04,8.846060e-04,8.806780e-04,8.760106e-04,8.672185e-04,8.632936e-04,8.582525e-04,8.491337e-04,8.452630e-04,8.398820e-04,8.305164e-04,8.267422e-04,8.210545e-04,8.115130e-04,8.078697e-04,8.019077e-04,7.922533e-04,7.887683e-04,7.825635e-04,7.728515e-04,7.695465e-04,7.631293e-04,7.534083e-04,7.502996e-04,7.436992e-04,7.340119e-04,7.311114e-04,7.243558e-04,7.147395e-04,7.120552e-04,7.051711e-04,6.956580e-04,6.931945e-04,6.862073e-04,6.768254e-04,6.745846e-04,6.675182e-04,6.582914e-04,6.562728e-04,6.491500e-04,6.400986e-04,6.382995e-04,6.311416e-04,6.222828e-04,6.206990e-04,6.135260e-04,6.048742e-04,6.034999e-04,5.963305e-04,5.878975e-04,5.867259e-04,5.795776e-04,5.713729e-04,5.703962e-04,5.632853e-04,5.553164e-04,5.545261e-04,5.474675e-04,5.397401e-04,5.391271e-04,5.321349e-04,5.246529e-04,5.242080e-04,5.172948e-04,5.100610e-04,5.097743e-04,5.029520e-04,4.959678e-04,4.958294e-04,4.891086e-04,4.823744e-04,4.694085e-04,4.569292e-04,4.449325e-04,4.334132e-04,4.223649e-04,4.117804e-04,4.016516e-04,3.919697e-04,3.827252e-04,3.739085e-04,3.655091e-04,3.575167e-04,3.499203e-04,3.427090e-04,3.358716e-04,3.293971e-04,3.232741e-04,3.174915e-04,3.120380e-04,3.069025e-04,3.020739e-04,2.975412e-04,2.932937e-04,2.893206e-04,2.856114e-04,2.821557e-04,2.789434e-04,2.759643e-04,2.732088e-04,2.706672e-04,2.683300e-04,2.661880e-04,2.642323e-04,2.624540e-04,2.608446e-04,2.593957e-04,2.580991e-04,2.569469e-04,2.559315e-04,2.550453e-04,2.542812e-04,2.536319e-04,2.530907e-04,2.526510e-04,2.523065e-04,2.520508e-04,2.518780e-04,2.517824e-04,2.517585e-04
0.000000e+00,7.293683e-09,1.071400e-07,1.119430e-07,6.970525e-07,2.367101e-06,2.468396e-06,5.811092e-06,9.886959e-06,1.015712e-05,1.457564e-05,1.833004e-05,1.863935e-05,2.227223e-05,2.518608e-05,2.549010e-05,2.832578e-05,3.053224e-05,3.081349e-05,3.298554e-05,3.462398e-05,3.487193e-05,3.650018e-05,3.768694e-05,3.789552e-05,3.908098e-05,3.991125e-05,4.007757e-05,4.090438e-05,4.145529e-05,4.157874e-05,4.211639e-05,4.245006e-05,4.253157e-05,4.283718e-05,4.300339e-05,4.304489e-05,4.316524e-05,4.320370e-05,4.320777e-05,4.318107e-05,4.312339e-05,4.309293e-05,4.295036e-05,4.282158e-05,4.275968e-05,4.252661e-05,4.234655e-05,4.225628e-05,4.195334e-05,4.173758e-05,4.162196e-05,4.126590e-05,4.102664e-05,4.088854e-05,4.049293e-05,4.023970e-05,4.008180e-05,3.965762e-05,3.939776e-05,3.922257e-05,3.877866e-05,3.851783e-05,3.832764e-05,3.787111e-05,3.761359e-05,3.741050e-05,3.694706e-05,3.669604e-05,3.648194e-05,3.601614e-05,3.577397e-05,3.555057e-05,3.508603e-05,3.485437e-05,3.462322e-05,3.416277e-05,3.394276e-05,3.370524e-05,3.325111e-05,3.304347e-05,3.280081e-05,3.235473e-05,3.215986e-05,3.191317e-05,3.147643e-05,3.129449e-05,3.104474e-05,3.061832e-05,3.044927e-05,3.019735e-05,2.978196e-05,2.962560e-05,2.937228e-05,2.896841e-05,2.882445e-05,2.857043e-05,2.817839e-05,2.804646e-05,2.779235e-05,2.741232e-05,2.729199e-05,2.703833e-05,2.667038e-05,2.656117e-05,2.630846e-05,2.595256e-05,2.585398e-05,2.560265e-05,2.525870e-05,2.517025e-05,2.492068e-05,2.458853e-05,2.450968e-05,2.426221e-05,2.394167e-05,2.387192e-05,2.362685e-05,2.331770e-05,2.325654e-05,2.301414e-05,2.271611e-05,2.266305e-05,2.242355e-05,2.213639e-05,2.209094e-05,2.185456e-05,2.157798e-05,2.153967e-05,2.130658e-05,2.104030e-05,2.100868e-05,2.077905e-05,2.052276e-05,2.049740e-05,2.027136e-05,2.002478e-05,2.000526e-05,1.978293e-05,1.954575e-05,1.953167e-05,1.931317e-05,1.908510e-05,1.907607e-05,1.886148e-05,1.864224e-05,1.863790e-05,1.842730e-05,1.821659e-05,1.781159e-05,1.742238e-05,1.704841e-05,1.668918e-05,1.634419e-05,1.601295e-05,1.569498e-05,1.538983e-05,1.509705e-05,1.481620e-05,1.454687e-05,1.428864e-05,1.404113e-05,1.380394e-05,1.357671e-05,1.335909e-05,1.315072e-05,1.295127e-05,1.276041e-05,1.257784e-05,1.240324e-05,1.223633e-05,1.207682e-05,1.192443e-05,1.177891e-05,1.164000e-05,1.150744e-05,1.138100e-05,1.126045e-05,1.114557e-05,1.103614e-05,1.093195e-05,1.083281e-05,1.073850e-05,1.064886e-05,1.056370e-05,1.048284e-05,1.040611e-05,1.033335e-05,1.026441e-05,1.019913e-05,1.013736e-05,1.007897e-05,1.002381e-05,9.971761e-06,9.922686e-06,9.876465e-06,9.832980e-06,9.792117e-06
0.000000e+00,1.524909e-08,4.682378e-07,4.931252e-07,4.236839e-06,1.973099e-05,2.087133e-05,7.216527e-05,1.823531e-04,1.922076e-04,4.194227e-04,7.502965e-04,7.851435e-04,1.305525e-03,1.905430e-03,1.979354e-03,2.790375e-03,3.596446e-03,3.711803e-03,4.711258e-03,5.607486e-03,5.755068e-03,6.811420e-03,7.687828e-03,7.852315e-03,8.854527e-03,9.634556e-03,9.799858e-03,1.067492e-02,1.131817e-02,1.147067e-02,1.218180e-02,1.267622e-02,1.280609e-02,1.334382e-02,1.369590e-02,1.379719e-02,1.416979e-02,1.439622e-02,1.446626e-02,1.469185e-02,1.481355e-02,1.485221e-02,1.495312e-02,1.499149e-02,1.500036e-02,1.499954e-02,1.497429e-02,1.495604e-02,1.487494e-02,1.480312e-02,1.476097e-02,1.461852e-02,1.451427e-02,1.445159e-02,1.426384e-02,1.413844e-02,1.405856e-02,1.383872e-02,1.370094e-02,1.360696e-02,1.336563e-02,1.322211e-02,1.311683e-02,1.286239e-02,1.271805e-02,1.260392e-02,1.234285e-02,1.220123e-02,1.208041e-02,1.181766e-02,1.168122e-02,1.155553e-02,1.129483e-02,1.116523e-02,1.103623e-02,1.078033e-02,1.065859e-02,1.052760e-02,1.027848e-02,1.016519e-02,1.003331e-02,9.792372e-03,9.687765e-03,9.555909e-03,9.324109e-03,9.228181e-03,9.097121e-03,8.875060e-03,8.787635e-03,8.658010e-03,8.446027e-03,8.366811e-03,8.239148e-03,8.037386e-03,7.966004e-03,7.840739e-03,7.649189e-03,7.585219e-03,7.462708e-03,7.281253e-03,7.224241e-03,7.104774e-03,6.933212e-03,6.882692e-03,6.766502e-03,6.604573e-03,6.560080e-03,6.447351e-03,6.294754e-03,6.255827e-03,6.146702e-03,6.003109e-03,5.969300e-03,5.863887e-03,5.728948e-03,5.699828e-03,5.598202e-03,5.471559e-03,5.446714e-03,5.348926e-03,5.230214e-03,5.209255e-03,5.115331e-03,5.004187e-03,4.986745e-03,4.896693e-03,4.792759e-03,4.778487e-03,4.692297e-03,4.595221e-03,4.583795e-03,4.501443e-03,4.410880e-03,4.401997e-03,4.323448e-03,4.239064e-03,4.232442e-03,4.157647e-03,4.079119e-03,4.074498e-03,4.003402e-03,3.930419e-03,3.927555e-03,3.860095e-03,3.792357e-03,3.791028e-03,3.727133e-03,3.664353e-03,3.546992e-03,3.438427e-03,3.338166e-03,3.245739e-03,3.160697e-03,3.082613e-03,3.011081e-03,2.945713e-03,2.886143e-03,2.832020e-03,2.783012e-03,2.738804e-03,2.699095e-03,2.663600e-03,2.632049e-03,2.604185e-03,2.579764e-03,2.558554e-03,2.540334e-03,2.524897e-03,2.512043e-03,2.501585e-03,2.493343e-03,2.487149e-03,2.482842e-03,2.480269e-03,2.479287e-03,2.479758e-03,2.481553e-03,2.484550e-03,2.488634e-03,2.493695e-03,2.499630e-03,2.506342e-03,2.513740e-03,2.521738e-03,2.530256e-03,2.539217e-03,2.548552e-03,2.558194e-03,2.568082e-03,2.578158e-03,2.588370e-03,2.598668e-03,2.609007e-03,2.619346e-03,2.629645e-03,2.639872e-03,2.649993e-03
0.000000e+00,1.363604e-08,3.193379e-07,3.359615e-07,2.594973e-06,9.055433e-06,9.424275e-06,2.004977e-05,3.062113e-05,3.128202e-05,4.189933e-05,5.095007e-05,5.170428e-05,6.070082e-05,6.814022e-05,6.892993e-05,7.643856e-05,8.248694e-05,8.327295e-05,8.947745e-05,9.434166e-05,9.509411e-05,1.001627e-04,1.040245e-04,1.047210e-04,1.088046e-04,1.118225e-04,1.124470e-04,1.156799e-04,1.179912e-04,1.185327e-04,1.210333e-04,1.227559e-04,1.232075e-04,1.250797e-04,1.263145e-04,1.266725e-04,1.280070e-04,1.288399e-04,1.291029e-04,1.299788e-04,1.304828e-04,1.306517e-04,1.311375e-04,1.313744e-04,1.314513e-04,1.316068e-04,1.316288e-04,1.316170e-04,1.314938e-04,1.313449e-04,1.312485e-04,1.308914e-04,1.306087e-04,1.304322e-04,1.298798e-04,1.294943e-04,1.292427e-04,1.285285e-04,1.280661e-04,1.277446e-04,1.268975e-04,1.263797e-04,1.259935e-04,1.250383e-04,1.244831e-04,1.240373e-04,1.229955e-04,1.224175e-04,1.219173e-04,1.208072e-04,1.202186e-04,1.196690e-04,1.185063e-04,1.179169e-04,1.173226e-04,1.161209e-04,1.155386e-04,1.149042e-04,1.136751e-04,1.131062e-04,1.124360e-04,1.111892e-04,1.106388e-04,1.099369e-04,1.086808e-04,1.081526e-04,1.074229e-04,1.061647e-04,1.056616e-04,1.049076e-04,1.036532e-04,1.031774e-04,1.024025e-04,1.011568e-04,1.007098e-04,9.991714e-05,9.868440e-05,9.826702e-05,9.745949e-05,9.624318e-05,9.585590e-05,9.503619e-05,9.383915e-05,9.348207e-05,9.265265e-05,9.147720e-05,9.115012e-05,9.031326e-05,8.916126e-05,8.886374e-05,8.802155e-05,8.689447e-05,8.662588e-05,8.578028e-05,8.467924e-05,8.443880e-05,8.359156e-05,8.251741e-05,8.230421e-05,8.145693e-05,8.041026e-05,8.022333e-05,7.937747e-05,7.835866e-05,7.819695e-05,7.735386e-05,7.636310e-05,7.622552e-05,7.538641e-05,7.442377e-05,7.430920e-05,7.347517e-05,7.254057e-05,7.244788e-05,7.161994e-05,7.071320e-05,7.064126e-05,6.982029e-05,6.894114e-05,6.888883e-05,6.807566e-05,6.722374e-05,6.718995e-05,6.638530e-05,6.556022e-05,6.554385e-05,6.474839e-05,6.394968e-05,6.240647e-05,6.091321e-05,5.946883e-05,5.807221e-05,5.672223e-05,5.541773e-05,5.415757e-05,5.294056e-05,5.176554e-05,5.063135e-05,4.953684e-05,4.848085e-05,4.746226e-05,4.647996e-05,4.553287e-05,4.461991e-05,4.374004e-05,4.289223e-05,4.207548e-05,4.128881e-05,4.053127e-05,3.980192e-05,3.909986e-05,3.842421e-05,3.777411e-05,3.714873e-05,3.654725e-05,3.596889e-05,3.541289e-05,3.487849e-05,3.436497e-05,3.387165e-05,3.339784e-05,3.294287e-05,3.250612e-05,3.208695e-05,3.168478e-05,3.129902e-05,3.092910e-05,3.057448e-05,3.023462e-05,2.990902e-05,2.959717e-05,2.929860e-05,2.901283e-05,2.873942e-05,2.847792e-05,2.822791e-05,2.798898e-05
0.000000e+00,9.538360e-09,2.786915e-07,2.940540e-07,2.803746e-06,1.316024e-05,1.388642e-05,4.200604e-05,8.414447e-05,8.717677e-05,1.401229e-04,1.889033e-04,1.930366e-04,2.426329e-04,2.836957e-04,2.880451e-04,3.292511e-04,3.622033e-04,3.664674e-04,3.999637e-04,4.260021e-04,4.300109e-04,4.568679e-04,4.771412e-04,4.807784e-04,5.019706e-04,5.174698e-04,5.206577e-04,5.370387e-04,5.486080e-04,5.512988e-04,5.636101e-04,5.719633e-04,5.741324e-04,5.830140e-04,5.887514e-04,5.903920e-04,5.963935e-04,6.000179e-04,6.011361e-04,6.047285e-04,6.066596e-04,6.072713e-04,6.088573e-04,6.094444e-04,6.095723e-04,6.094954e-04,6.090284e-04,6.086998e-04,6.072527e-04,6.059713e-04,6.052165e-04,6.026484e-04,6.007502e-04,5.996011e-04,5.961233e-04,5.937707e-04,5.922599e-04,5.880519e-04,5.853777e-04,5.835374e-04,5.787511e-04,5.758632e-04,5.737250e-04,5.684887e-04,5.654746e-04,5.630690e-04,5.574908e-04,5.544208e-04,5.517769e-04,5.459478e-04,5.428777e-04,5.400229e-04,5.340194e-04,5.309932e-04,5.279533e-04,5.218392e-04,5.188913e-04,5.156903e-04,5.095187e-04,5.066752e-04,5.033354e-04,4.971504e-04,4.944309e-04,4.909728e-04,4.848109e-04,4.822294e-04,4.786720e-04,4.725630e-04,4.701291e-04,4.664897e-04,4.604578e-04,4.581776e-04,4.544721e-04,4.485369e-04,4.464134e-04,4.426561e-04,4.368332e-04,4.348672e-04,4.310712e-04,4.253728e-04,4.235632e-04,4.197404e-04,4.141759e-04,4.125200e-04,4.086811e-04,4.032574e-04,4.017517e-04,3.979062e-04,3.926284e-04,3.912683e-04,3.874249e-04,3.822962e-04,3.810765e-04,3.772429e-04,3.722653e-04,3.711804e-04,3.673636e-04,3.625378e-04,3.615817e-04,3.577878e-04,3.531136e-04,3.522802e-04,3.485148e-04,3.439910e-04,3.432742e-04,3.395420e-04,3.351672e-04,3.345606e-04,3.308661e-04,3.266380e-04,3.261355e-04,3.224823e-04,3.183983e-04,3.179938e-04,3.143853e-04,3.104426e-04,3.101301e-04,3.065692e-04,3.027645e-04,3.025383e-04,2.990275e-04,2.953574e-04,2.952120e-04,2.917533e-04,2.882144e-04,2.881443e-04,2.847397e-04,2.813283e-04,2.747569e-04,2.684230e-04,2.623194e-04,2.564389e-04,2.507744e-04,2.453190e-04,2.400656e-04,2.350077e-04,2.301385e-04,2.254516e-04,2.209406e-04,2.165994e-04,2.124220e-04,2.084025e-04,2.045352e-04,2.008149e-04,1.972360e-04,1.937936e-04,1.904826e-04,1.872982e-04,1.842358e-04,1.812909e-04,1.784592e-04,1.757365e-04,1.731188e-04,1.706022e-04,1.681829e-04,1.658574e-04,1.636221e-04,1.614736e-04,1.594088e-04,1.574245e-04,1.555177e-04,1.536854e-04,1.519250e-04,1.502337e-04,1.486089e-04,1.470482e-04,1.455490e-04,1.441091e-04,1.427263e-04,1.413984e-04,1.401233e-04,1.388991e-04,1.377238e-04,1.365955e-04,1.355126e-04,1.344732e-04,1.334758e-04
0.000000e+00,1.344852e-08,4.344507e-07,4.591072e-07,4.699508e-06,2.344549e-05,2.479635e-05,7.886695e-05,1.640470e-04,1.703360e-04,2.830757e-04,3.906027e-04,3.998116e-04,5.107464e-04,6.023292e-04,6.119755e-04,7.025706e-04,7.737161e-04,7.828220e-04,8.534400e-04,9.070870e-04,9.152382e-04,9.690189e-04,1.008551e-03,1.015535e-03,1.055479e-03,1.083778e-03,1.089489e-03,1.118147e-03,1.137580e-03,1.141986e-03,1.161491e-03,1.173979e-03,1.177100e-03,1.189215e-03,1.196310e-03,1.198198e-03,1.204379e-03,1.207325e-03,1.208055e-03,1.209497e-03,1.209290e-03,1.208949e-03,1.206631e-03,1.204064e-03,1.202744e-03,1.197469e-03,1.193173e-03,1.190969e-03,1.183390e-03,1.177864e-03,1.174868e-03,1.165520e-03,1.159156e-03,1.155457e-03,1.144775e-03,1.137881e-03,1.133563e-03,1.121899e-03,1.114714e-03,1.109855e-03,1.097495e-03,1.090204e-03,1.084876e-03,1.072051e-03,1.064796e-03,1.059065e-03,1.045959e-03,1.038846e-03,1.032772e-03,1.019536e-03,1.012644e-03,1.006280e-03,9.930319e-04,9.864177e-04,9.798138e-04,9.666468e-04,9.603503e-04,9.535494e-04,9.405379e-04,9.345854e-04,9.276265e-04,9.148278e-04,9.092350e-04,9.021528e-04,8.896109e-04,8.843850e-04,8.772104e-04,8.649584e-04,8.601006e-04,8.528610e-04,8.409233e-04,8.364297e-04,8.291495e-04,8.175431e-04,8.134064e-04,8.061070e-04,7.948434e-04,7.910533e-04,7.837539e-04,7.728397e-04,7.693843e-04,7.621016e-04,7.515398e-04,7.484057e-04,7.411546e-04,7.309454e-04,7.281183e-04,7.209117e-04,7.110528e-04,7.085180e-04,7.013676e-04,6.918549e-04,6.895973e-04,6.825132e-04,6.733410e-04,6.713457e-04,6.643366e-04,6.554983e-04,6.537504e-04,6.468241e-04,6.383121e-04,6.367970e-04,6.299603e-04,6.217665e-04,6.204700e-04,6.137286e-04,6.058445e-04,6.047529e-04,5.981120e-04,5.905288e-04,5.896287e-04,5.830926e-04,5.758012e-04,5.750800e-04,5.686524e-04,5.616438e-04,5.610891e-04,5.547731e-04,5.480382e-04,5.476384e-04,5.414368e-04,5.349666e-04,5.347105e-04,5.286254e-04,5.224109e-04,5.222879e-04,5.163210e-04,5.103536e-04,4.988908e-04,4.878830e-04,4.773142e-04,4.671688e-04,4.574316e-04,4.480877e-04,4.391228e-04,4.305230e-04,4.222749e-04,4.143653e-04,4.067817e-04,3.995119e-04,3.925441e-04,3.858670e-04,3.794695e-04,3.733410e-04,3.674713e-04,3.618506e-04,3.564693e-04,3.513182e-04,3.463884e-04,3.416715e-04,3.371592e-04,3.328435e-04,3.287169e-04,3.247719e-04,3.210013e-04,3.173985e-04,3.139568e-04,3.106697e-04,3.075313e-04,3.045356e-04,3.016769e-04,2.989497e-04,2.963488e-04,2.938691e-04,2.915056e-04,2.892538e-04,2.871090e-04,2.850668e-04,2.831232e-04,2.812739e-04,2.795152e-04,2.778433e-04,2.762545e-04,2.747454e-04,2.733126e-04,2.719529e-04,2.706632e-04
0.000000e+00,1.892809e-08,3.301953e-07,3.461176e-07,2.491217e-06,9.138414e-06,9.541043e-06,2.199053e-05,3.543183e-05,3.629333e-05,5.038666e-05,6.273936e-05,6.378245e-05,7.639423e-05,8.707480e-05,8.822298e-05,9.929003e-05,1.084199e-04,1.096218e-04,1.192461e-04,1.269788e-04,1.281913e-04,1.364862e-04,1.429725e-04,1.441596e-04,1.512404e-04,1.566245e-04,1.577571e-04,1.637377e-04,1.681546e-04,1.692096e-04,1.741993e-04,1.777733e-04,1.787327e-04,1.828345e-04,1.856778e-04,1.865283e-04,1.898371e-04,1.920505e-04,1.927826e-04,1.953855e-04,1.970587e-04,1.976658e-04,1.996423e-04,2.008549e-04,2.013331e-04,2.027553e-04,2.035773e-04,2.039252e-04,2.048583e-04,2.053516e-04,2.055693e-04,2.060721e-04,2.062909e-04,2.063801e-04,2.065059e-04,2.064976e-04,2.064614e-04,2.062579e-04,2.060640e-04,2.059062e-04,2.054164e-04,2.050729e-04,2.047983e-04,2.040608e-04,2.035990e-04,2.032128e-04,2.022624e-04,2.017093e-04,2.012172e-04,2.000848e-04,1.994637e-04,1.988719e-04,1.975851e-04,1.969160e-04,1.962307e-04,1.948144e-04,1.941142e-04,1.933418e-04,1.918180e-04,1.911013e-04,1.902481e-04,1.886366e-04,1.879155e-04,1.869879e-04,1.853062e-04,1.845909e-04,1.835952e-04,1.818587e-04,1.811577e-04,1.801000e-04,1.783225e-04,1.776427e-04,1.765290e-04,1.747226e-04,1.740696e-04,1.729058e-04,1.710811e-04,1.704593e-04,1.692509e-04,1.674175e-04,1.668304e-04,1.655828e-04,1.637487e-04,1.631989e-04,1.619172e-04,1.600897e-04,1.595790e-04,1.582680e-04,1.564535e-04,1.559830e-04,1.546474e-04,1.528511e-04,1.524216e-04,1.510657e-04,1.492924e-04,1.489039e-04,1.475320e-04,1.457855e-04,1.454379e-04,1.440537e-04,1.423375e-04,1.420303e-04,1.406375e-04,1.389544e-04,1.386867e-04,1.372887e-04,1.356411e-04,1.354119e-04,1.340119e-04,1.324016e-04,1.322096e-04,1.308106e-04,1.292392e-04,1.290832e-04,1.276878e-04,1.261565e-04,1.260349e-04,1.246457e-04,1.231555e-04,1.230668e-04,1.216861e-04,1.202376e-04,1.201801e-04,1.188102e-04,1.174038e-04,1.173758e-04,1.160185e-04,1.146544e-04,1.120160e-04,1.094604e-04,1.069872e-04,1.045958e-04,1.022851e-04,1.000542e-04,9.790183e-05,9.582667e-05,9.382728e-05,9.190212e-05,9.004959e-05,8.826801e-05,8.655568e-05,8.491085e-05,8.333175e-05,8.181661e-05,8.036363e-05,7.897102e-05,7.763701e-05,7.635981e-05,7.513768e-05,7.396888e-05,7.285169e-05,7.178443e-05,7.076543e-05,6.979307e-05,6.886575e-05,6.798190e-05,6.714000e-05,6.633855e-05,6.557609e-05,6.485120e-05,6.416248e-05,6.350860e-05,6.288823e-05,6.230010e-05,6.174296e-05,6.121561e-05,6.071688e-05,6.024563e-05,5.980077e-05,5.938121e-05,5.898594e-05,5.861394e-05,5.826424e-05,5.793591e-05,5.762804e-05,5.733975e-05,5.707018e-05
0.000000e+00,3.385383e-08,9.708122e-07,1.023286e-06,9.504404e-06,4.551145e-05,4.807761e-05,1.485190e-04,3.001580e-04,3.111557e-04,5.065365e-04,6.936508e-04,7.098603e-04,9.090118e-04,1.080835e-03,1.099431e-03,1.279734e-03,1.429824e-03,1.449671e-03,1.609361e-03,1.738681e-03,1.759045e-03,1.899013e-03,2.009308e-03,2.029580e-03,2.151084e-03,2.244198e-03,2.263874e-03,2.368310e-03,2.446089e-03,2.464757e-03,2.553580e-03,2.617803e-03,2.635141e-03,2.709793e-03,2.762123e-03,2.777884e-03,2.839748e-03,2.881711e-03,2.895711e-03,2.946084e-03,2.979061e-03,2.991168e-03,3.031251e-03,3.056482e-03,3.066609e-03,3.097506e-03,3.116096e-03,3.124193e-03,3.146913e-03,3.159847e-03,3.165895e-03,3.181358e-03,3.189504e-03,3.193511e-03,3.202554e-03,3.206682e-03,3.208676e-03,3.212059e-03,3.212845e-03,3.212873e-03,3.211283e-03,3.209321e-03,3.207444e-03,3.201504e-03,3.197313e-03,3.193604e-03,3.183876e-03,3.177909e-03,3.172448e-03,3.159440e-03,3.152089e-03,3.144966e-03,3.129134e-03,3.120741e-03,3.112046e-03,3.093801e-03,3.084660e-03,3.074490e-03,3.054202e-03,3.044563e-03,3.033017e-03,3.011016e-03,3.001096e-03,2.988272e-03,2.964856e-03,2.954836e-03,2.940833e-03,2.916267e-03,2.906302e-03,2.891217e-03,2.865739e-03,2.855956e-03,2.839886e-03,2.813706e-03,2.804211e-03,2.787249e-03,2.760557e-03,2.751436e-03,2.733672e-03,2.706635e-03,2.697956e-03,2.679481e-03,2.652245e-03,2.644064e-03,2.624961e-03,2.597659e-03,2.590014e-03,2.570366e-03,2.543112e-03,2.536035e-03,2.515919e-03,2.488813e-03,2.482323e-03,2.461815e-03,2.434945e-03,2.429053e-03,2.408223e-03,2.381666e-03,2.376376e-03,2.355292e-03,2.329114e-03,2.324424e-03,2.303148e-03,2.277407e-03,2.273310e-03,2.251903e-03,2.226646e-03,2.223131e-03,2.201648e-03,2.176917e-03,2.173968e-03,2.152463e-03,2.128292e-03,2.125890e-03,2.104412e-03,2.080829e-03,2.078955e-03,2.057549e-03,2.034577e-03,2.033209e-03,2.011918e-03,1.989575e-03,1.988688e-03,1.967552e-03,1.945852e-03,1.945421e-03,1.924477e-03,1.903430e-03,1.862727e-03,1.823321e-03,1.785214e-03,1.748406e-03,1.712889e-03,1.678655e-03,1.645690e-03,1.613979e-03,1.583504e-03,1.554245e-03,1.526181e-03,1.499287e-03,1.473540e-03,1.448914e-03,1.425382e-03,1.402918e-03,1.381494e-03,1.361081e-03,1.341653e-03,1.323179e-03,1.305632e-03,1.288984e-03,1.273205e-03,1.258268e-03,1.244145e-03,1.230808e-03,1.218229e-03,1.206382e-03,1.195241e-03,1.184778e-03,1.174967e-03,1.165785e-03,1.157206e-03,1.149205e-03,1.141759e-03,1.134844e-03,1.128438e-03,1.122519e-03,1.117064e-03,1.112053e-03,1.107465e-03,1.103281e-03,1.099480e-03,1.096043e-03,1.092953e-03,1.090192e-03,1.087741e-03,1.085585e-03,1.083707e-03
0.000000e+00,2.510065e-08,6.400467e-07,6.724717e-07,5.078597e-06,1.962949e-05,2.057630e-05,5.544903e-05,1.085403e-04,1.125315e-04,1.867661e-04,2.622870e-04,2.689488e-04,3.513658e-04,4.223393e-04,4.299744e-04,5.033106e-04,5.632296e-04,5.710675e-04,6.333495e-04,6.827119e-04,6.903925e-04,7.424673e-04,7.825732e-04,7.898507e-04,8.328161e-04,8.649397e-04,8.716322e-04,9.065585e-04,9.318598e-04,9.378336e-04,9.656836e-04,9.851696e-04,9.903267e-04,1.011971e-03,1.026537e-03,1.030814e-03,1.047042e-03,1.057471e-03,1.060831e-03,1.072348e-03,1.079322e-03,1.081750e-03,1.089184e-03,1.093292e-03,1.094790e-03,1.098700e-03,1.100453e-03,1.101037e-03,1.101918e-03,1.101756e-03,1.101453e-03,1.099744e-03,1.098043e-03,1.096888e-03,1.092977e-03,1.090060e-03,1.088096e-03,1.082326e-03,1.078468e-03,1.075741e-03,1.068414e-03,1.063849e-03,1.060409e-03,1.051790e-03,1.046716e-03,1.042614e-03,1.032937e-03,1.027521e-03,1.022810e-03,1.012280e-03,1.006660e-03,1.001392e-03,9.901887e-04,9.844808e-04,9.787084e-04,9.669877e-04,9.612866e-04,9.550609e-04,9.429595e-04,9.373425e-04,9.307133e-04,9.183495e-04,9.128790e-04,9.058940e-04,8.933704e-04,8.880955e-04,8.808007e-04,8.682055e-04,8.631645e-04,8.556036e-04,8.430126e-04,8.382343e-04,8.304487e-04,8.179267e-04,8.134317e-04,8.054604e-04,7.930624e-04,7.888647e-04,7.807442e-04,7.685166e-04,7.646245e-04,7.563891e-04,7.443706e-04,7.407876e-04,7.324692e-04,7.206920e-04,7.174175e-04,7.090455e-04,6.975358e-04,6.945663e-04,6.861680e-04,6.749469e-04,6.722761e-04,6.638765e-04,6.529606e-04,6.505801e-04,6.422021e-04,6.316040e-04,6.295038e-04,6.211685e-04,6.108974e-04,6.090662e-04,6.007924e-04,5.908548e-04,5.892804e-04,5.810854e-04,5.714849e-04,5.701543e-04,5.620536e-04,5.527917e-04,5.516917e-04,5.436991e-04,5.347754e-04,5.338923e-04,5.260202e-04,5.174327e-04,5.167529e-04,5.090122e-04,5.007575e-04,5.002675e-04,4.926677e-04,4.847413e-04,4.844277e-04,4.769771e-04,4.693736e-04,4.692231e-04,4.619291e-04,4.546421e-04,4.406712e-04,4.272963e-04,4.145022e-04,4.022732e-04,3.905930e-04,3.794450e-04,3.688126e-04,3.586787e-04,3.490265e-04,3.398393e-04,3.311003e-04,3.227931e-04,3.149016e-04,3.074098e-04,3.003021e-04,2.935634e-04,2.871788e-04,2.811339e-04,2.754146e-04,2.700073e-04,2.648987e-04,2.600762e-04,2.555274e-04,2.512402e-04,2.472031e-04,2.434050e-04,2.398352e-04,2.364833e-04,2.333394e-04,2.303939e-04,2.276376e-04,2.250617e-04,2.226576e-04,2.204172e-04,2.183326e-04,2.163964e-04,2.146014e-04,2.129405e-04,2.114073e-04,2.099953e-04,2.086984e-04,2.075109e-04,2.064271e-04,2.054418e-04,2.045497e-04,2.037460e-04,2.030260e-04,2.023852e-04,2.018194e-04
0.000000e+00,1.923058e-08,5.732143e-07,6.045385e-07,5.625039e-06,2.638940e-05,2.786409e-05,8.738531e-05,1.858665e-04,1.933560e-04,3.309940e-04,4.654947e-04,4.770655e-04,6.163580e-04,7.305908e-04,7.425571e-04,8.541668e-04,9.406534e-04,9.516365e-04,1.036044e-03,1.099109e-03,1.108598e-03,1.170468e-03,1.214982e-03,1.222743e-03,1.266421e-03,1.296460e-03,1.302407e-03,1.331525e-03,1.350377e-03,1.354519e-03,1.372062e-03,1.382354e-03,1.384761e-03,1.393164e-03,1.396982e-03,1.397763e-03,1.399003e-03,1.397993e-03,1.397281e-03,1.392957e-03,1.388414e-03,1.386351e-03,1.377753e-03,1.370688e-03,1.367421e-03,1.355586e-03,1.346787e-03,1.342457e-03,1.328219e-03,1.318296e-03,1.313039e-03,1.297065e-03,1.286486e-03,1.280429e-03,1.263250e-03,1.252373e-03,1.245633e-03,1.227672e-03,1.216766e-03,1.209452e-03,1.191045e-03,1.180310e-03,1.172518e-03,1.153929e-03,1.143512e-03,1.135330e-03,1.116765e-03,1.106769e-03,1.098275e-03,1.079894e-03,1.070390e-03,1.061654e-03,1.043581e-03,1.034614e-03,1.025697e-03,1.008023e-03,9.996190e-04,9.905757e-04,9.733697e-04,9.655395e-04,9.564173e-04,9.397286e-04,9.324714e-04,9.233122e-04,9.071749e-04,9.004818e-04,8.913221e-04,8.757579e-04,8.696138e-04,8.604854e-04,8.455065e-04,8.398917e-04,8.308223e-04,8.164333e-04,8.113254e-04,8.023389e-04,7.885384e-04,7.839128e-04,7.750300e-04,7.618119e-04,7.576430e-04,7.488816e-04,7.362364e-04,7.324979e-04,7.238731e-04,7.117885e-04,7.084543e-04,6.999790e-04,6.884409e-04,6.854849e-04,6.771701e-04,6.661627e-04,6.635596e-04,6.554145e-04,6.449212e-04,6.426465e-04,6.346785e-04,6.246821e-04,6.227120e-04,6.149276e-04,6.054105e-04,6.037223e-04,5.961264e-04,5.870708e-04,5.856429e-04,5.782394e-04,5.696277e-04,5.684393e-04,5.612312e-04,5.530458e-04,5.520775e-04,5.450669e-04,5.372905e-04,5.365238e-04,5.297121e-04,5.223278e-04,5.217453e-04,5.151333e-04,5.081246e-04,5.077099e-04,5.012976e-04,4.946485e-04,4.943862e-04,4.881733e-04,4.818682e-04,4.817438e-04,4.757295e-04,4.697534e-04,4.583863e-04,4.476153e-04,4.374137e-04,4.277562e-04,4.186181e-04,4.099759e-04,4.018070e-04,3.940896e-04,3.868028e-04,3.799267e-04,3.734422e-04,3.673307e-04,3.615747e-04,3.561573e-04,3.510623e-04,3.462743e-04,3.417785e-04,3.375606e-04,3.336071e-04,3.299050e-04,3.264418e-04,3.232058e-04,3.201854e-04,3.173698e-04,3.147486e-04,3.123118e-04,3.100500e-04,3.079540e-04,3.060152e-04,3.042251e-04,3.025760e-04,3.010602e-04,2.996704e-04,2.983998e-04,2.972417e-04,2.961898e-04,2.952381e-04,2.943810e-04,2.936128e-04,2.929284e-04,2.923228e-04,2.917912e-04,2.913291e-04,2.909323e-04,2.905966e-04,2.903181e-04,2.900931e-04,2.899181e-04,2.897896e-04
0.000000e+00,8.225550e-09,3.006516e-07,3.179379e-07,3.232064e-06,1.605569e-05,1.699732e-05,5.783072e-05,1.374449e-04,1.441523e-04,2.857012e-04,4.614689e-04,4.785007e-04,7.094576e-04,9.371190e-04,9.630842e-04,1.225510e-03,1.455075e-03,1.485941e-03,1.736736e-03,1.940867e-03,1.972927e-03,2.191605e-03,2.360687e-03,2.391348e-03,2.571766e-03,2.705472e-03,2.733143e-03,2.876195e-03,2.978088e-03,3.001890e-03,3.111327e-03,3.186144e-03,3.205660e-03,3.286048e-03,3.338511e-03,3.353617e-03,3.409443e-03,3.443795e-03,3.454544e-03,3.489872e-03,3.509758e-03,3.516315e-03,3.534691e-03,3.543165e-03,3.545762e-03,3.550224e-03,3.549814e-03,3.548721e-03,3.541843e-03,3.534625e-03,3.530134e-03,3.514089e-03,3.501757e-03,3.494165e-03,3.470779e-03,3.454710e-03,3.444313e-03,3.415118e-03,3.396426e-03,3.383514e-03,3.349793e-03,3.329372e-03,3.314223e-03,3.277049e-03,3.255615e-03,3.238494e-03,3.198761e-03,3.176882e-03,3.158036e-03,3.116490e-03,3.094612e-03,3.074275e-03,3.031533e-03,3.010004e-03,2.988391e-03,2.944964e-03,2.924050e-03,2.901359e-03,2.857669e-03,2.837568e-03,2.813982e-03,2.770376e-03,2.751232e-03,2.726919e-03,2.683675e-03,2.665591e-03,2.640702e-03,2.598049e-03,2.581088e-03,2.555763e-03,2.513882e-03,2.498082e-03,2.472444e-03,2.431480e-03,2.416854e-03,2.391017e-03,2.351080e-03,2.337625e-03,2.311690e-03,2.272864e-03,2.260562e-03,2.234619e-03,2.196967e-03,2.185789e-03,2.159920e-03,2.123485e-03,2.113394e-03,2.087669e-03,2.052479e-03,2.043432e-03,2.017916e-03,1.983985e-03,1.975935e-03,1.950684e-03,1.918015e-03,1.910913e-03,1.885977e-03,1.854565e-03,1.848358e-03,1.823779e-03,1.793614e-03,1.788250e-03,1.764065e-03,1.735128e-03,1.730555e-03,1.706797e-03,1.679066e-03,1.675231e-03,1.651928e-03,1.625376e-03,1.622229e-03,1.599404e-03,1.574003e-03,1.571494e-03,1.549166e-03,1.524885e-03,1.522966e-03,1.501152e-03,1.477958e-03,1.476584e-03,1.455296e-03,1.433156e-03,1.432281e-03,1.411530e-03,1.390409e-03,1.389992e-03,1.369785e-03,1.349649e-03,1.311186e-03,1.274535e-03,1.239629e-03,1.206403e-03,1.174793e-03,1.144734e-03,1.116166e-03,1.089028e-03,1.063262e-03,1.038810e-03,1.015618e-03,9.936323e-04,9.728015e-04,9.530758e-04,9.344073e-04,9.167498e-04,9.000587e-04,8.842912e-04,8.694060e-04,8.553636e-04,8.421260e-04,8.296565e-04,8.179200e-04,8.068829e-04,7.965129e-04,7.867789e-04,7.776512e-04,7.691013e-04,7.611019e-04,7.536268e-04,7.466510e-04,7.401502e-04,7.341017e-04,7.284832e-04,7.232736e-04,7.184528e-04,7.140014e-04,7.099007e-04,7.061332e-04,7.026817e-04,6.995300e-04,6.966626e-04,6.940645e-04,6.917217e-04,6.896203e-04,6.877475e-04,6.860907e-04,6.846380e-04,6.833781e-04
0.000000e+00,2.695027e-10,3.262977e-09,3.400350e-09,1.958767e-08,6.611171e-08,6.898804e-08,1.678185e-07,2.988947e-07,3.079739e-07,4.617738e-07,5.978102e-07,6.091579e-07,7.436069e-07,8.527697e-07,8.642217e-07,9.716145e-07,1.055937e-06,1.066737e-06,1.150582e-06,1.214396e-06,1.224101e-06,1.288190e-06,1.335348e-06,1.343681e-06,1.391347e-06,1.425095e-06,1.431899e-06,1.465995e-06,1.489028e-06,1.494236e-06,1.517178e-06,1.531722e-06,1.535329e-06,1.549154e-06,1.557031e-06,1.559079e-06,1.565495e-06,1.568193e-06,1.568757e-06,1.569190e-06,1.567918e-06,1.567091e-06,1.562730e-06,1.558464e-06,1.556354e-06,1.548187e-06,1.541717e-06,1.538435e-06,1.527284e-06,1.519240e-06,1.514902e-06,1.501444e-06,1.492331e-06,1.487049e-06,1.471845e-06,1.462062e-06,1.455946e-06,1.439457e-06,1.429320e-06,1.422473e-06,1.405078e-06,1.394833e-06,1.387351e-06,1.369361e-06,1.359196e-06,1.351171e-06,1.332838e-06,1.322897e-06,1.314413e-06,1.295941e-06,1.286331e-06,1.277464e-06,1.259019e-06,1.249818e-06,1.240637e-06,1.222350e-06,1.213613e-06,1.204182e-06,1.186157e-06,1.177919e-06,1.168295e-06,1.150614e-06,1.142896e-06,1.133130e-06,1.115857e-06,1.108667e-06,1.098805e-06,1.081985e-06,1.075325e-06,1.065407e-06,1.049077e-06,1.042938e-06,1.033001e-06,1.017184e-06,1.011554e-06,1.001630e-06,9.863421e-07,9.812053e-07,9.713226e-07,9.565727e-07,9.519099e-07,9.420933e-07,9.278845e-07,9.236746e-07,9.139460e-07,9.002770e-07,8.964978e-07,8.868761e-07,8.737418e-07,8.703703e-07,8.608722e-07,8.482648e-07,8.452779e-07,8.359174e-07,8.238270e-07,8.212013e-07,8.119907e-07,8.004054e-07,7.981182e-07,7.890679e-07,7.779748e-07,7.760037e-07,7.671224e-07,7.565074e-07,7.548307e-07,7.461259e-07,7.359743e-07,7.345712e-07,7.260487e-07,7.163455e-07,7.151959e-07,7.068607e-07,6.975905e-07,6.966752e-07,6.885311e-07,6.796787e-07,6.789793e-07,6.710293e-07,6.625792e-07,6.620784e-07,6.543245e-07,6.462616e-07,6.459430e-07,6.383866e-07,6.306959e-07,6.305439e-07,6.231857e-07,6.158525e-07,6.018409e-07,5.884816e-07,5.757481e-07,5.636147e-07,5.520563e-07,5.410488e-07,5.305688e-07,5.205938e-07,5.111021e-07,5.020728e-07,4.934859e-07,4.853219e-07,4.775623e-07,4.701892e-07,4.631856e-07,4.565350e-07,4.502216e-07,4.442303e-07,4.385467e-07,4.331568e-07,4.280474e-07,4.232056e-07,4.186193e-07,4.142769e-07,4.101670e-07,4.062790e-07,4.026025e-07,3.991279e-07,3.958457e-07,3.927469e-07,3.898229e-07,3.870654e-07,3.844667e-07,3.820190e-07,3.797154e-07,3.775488e-07,3.755126e-07,3.736006e-07,3.718068e-07,3.701254e-07,3.685508e-07,3.670779e-07,3.657016e-07,3.644171e-07,3.632198e-07,3.621053e-07,3.610695e-07,3.601083e-07,3.592180e-07
0.000000e+00,2.319775e-10,3.397729e-09,3.554913e-09,2.416735e-08,8.940657e-08,9.350710e-08,2.297295e-07,3.896341e-07,4.000190e-07,5.688638e-07,7.129799e-07,7.249260e-07,8.662599e-07,9.811383e-07,9.932096e-07,1.106654e-06,1.196087e-06,1.207566e-06,1.296899e-06,1.365152e-06,1.375552e-06,1.444370e-06,1.495156e-06,1.504143e-06,1.555609e-06,1.592097e-06,1.599457e-06,1.636330e-06,1.661211e-06,1.666828e-06,1.691510e-06,1.707058e-06,1.710892e-06,1.725457e-06,1.733578e-06,1.735648e-06,1.741876e-06,1.744158e-06,1.744521e-06,1.743934e-06,1.741691e-06,1.740436e-06,1.734325e-06,1.728640e-06,1.725874e-06,1.715333e-06,1.707090e-06,1.702933e-06,1.688886e-06,1.678807e-06,1.673384e-06,1.656606e-06,1.645274e-06,1.638714e-06,1.619856e-06,1.607739e-06,1.600168e-06,1.579774e-06,1.567246e-06,1.558786e-06,1.537308e-06,1.524663e-06,1.515433e-06,1.493246e-06,1.480713e-06,1.470823e-06,1.448235e-06,1.435992e-06,1.425546e-06,1.402811e-06,1.390988e-06,1.380082e-06,1.357406e-06,1.346101e-06,1.334824e-06,1.312373e-06,1.301652e-06,1.290086e-06,1.267992e-06,1.257901e-06,1.246118e-06,1.224487e-06,1.215051e-06,1.203118e-06,1.182029e-06,1.173259e-06,1.161236e-06,1.140751e-06,1.132646e-06,1.120586e-06,1.100750e-06,1.093300e-06,1.081251e-06,1.062094e-06,1.055283e-06,1.043286e-06,1.024828e-06,1.018633e-06,1.006725e-06,9.889771e-07,9.833731e-07,9.715856e-07,9.545502e-07,9.495089e-07,9.378701e-07,9.215437e-07,9.170354e-07,9.055690e-07,8.899433e-07,8.859374e-07,8.746636e-07,8.597264e-07,8.561920e-07,8.451279e-07,8.308638e-07,8.277702e-07,8.169299e-07,8.033213e-07,8.006382e-07,7.900333e-07,7.770608e-07,7.747588e-07,7.643985e-07,7.520413e-07,7.500921e-07,7.399836e-07,7.282200e-07,7.265963e-07,7.167450e-07,7.055530e-07,7.042288e-07,6.946384e-07,6.839956e-07,6.829461e-07,6.736190e-07,6.635029e-07,6.627047e-07,6.536419e-07,6.440304e-07,6.434615e-07,6.346628e-07,6.255339e-07,6.251736e-07,6.166381e-07,6.079702e-07,6.077992e-07,5.995249e-07,5.912971e-07,5.756275e-07,5.607516e-07,5.466319e-07,5.332322e-07,5.205178e-07,5.084551e-07,4.970120e-07,4.861578e-07,4.758631e-07,4.660997e-07,4.568408e-07,4.480609e-07,4.397354e-07,4.318413e-07,4.243564e-07,4.172596e-07,4.105310e-07,4.041515e-07,3.981033e-07,3.923690e-07,3.869324e-07,3.817782e-07,3.768916e-07,3.722588e-07,3.678666e-07,3.637024e-07,3.597546e-07,3.560117e-07,3.524632e-07,3.490990e-07,3.459096e-07,3.428858e-07,3.400191e-07,3.373013e-07,3.347247e-07,3.322821e-07,3.299664e-07,3.277712e-07,3.256902e-07,3.237175e-07,3.218476e-07,3.200751e-07,3.183951e-07,3.168028e-07,3.152937e-07,3.138635e-07,3.125082e-07,3.112240e-07,3.100072e-07
0.000000e+00,3.519553e-10,5.644322e-09,5.903846e-09,3.684612e-08,1.187973e-07,1.235523e-07,2.712500e-07,4.352865e-07,4.457796e-07,6.138912e-07,7.537703e-07,7.652205e-07,8.990178e-07,1.005456e-06,1.016515e-06,1.119214e-06,1.198500e-06,1.208562e-06,1.285893e-06,1.343718e-06,1.352424e-06,1.409263e-06,1.450253e-06,1.457411e-06,1.497779e-06,1.525653e-06,1.531187e-06,1.558376e-06,1.576103e-06,1.580016e-06,1.596710e-06,1.606647e-06,1.608998e-06,1.617371e-06,1.621387e-06,1.622267e-06,1.624080e-06,1.623647e-06,1.623165e-06,1.619841e-06,1.616118e-06,1.614395e-06,1.607081e-06,1.600976e-06,1.598132e-06,1.587753e-06,1.579974e-06,1.576130e-06,1.563427e-06,1.554526e-06,1.549795e-06,1.535365e-06,1.525767e-06,1.520256e-06,1.504575e-06,1.494608e-06,1.488418e-06,1.471869e-06,1.461783e-06,1.455004e-06,1.437892e-06,1.427877e-06,1.420592e-06,1.403157e-06,1.393352e-06,1.385634e-06,1.368065e-06,1.358572e-06,1.350488e-06,1.332935e-06,1.323827e-06,1.315435e-06,1.298013e-06,1.289339e-06,1.280693e-06,1.263493e-06,1.255284e-06,1.246430e-06,1.229519e-06,1.221795e-06,1.212774e-06,1.196204e-06,1.188972e-06,1.179820e-06,1.163630e-06,1.156889e-06,1.147639e-06,1.131855e-06,1.125599e-06,1.116280e-06,1.100919e-06,1.095139e-06,1.085775e-06,1.070850e-06,1.065530e-06,1.056144e-06,1.041660e-06,1.036786e-06,1.027397e-06,1.013355e-06,1.008909e-06,9.995348e-07,9.859343e-07,9.818969e-07,9.725528e-07,9.593889e-07,9.557418e-07,9.464410e-07,9.337074e-07,9.304315e-07,9.211860e-07,9.088748e-07,9.059511e-07,8.967714e-07,8.848736e-07,8.822834e-07,8.731788e-07,8.616845e-07,8.594095e-07,8.503881e-07,8.392870e-07,8.373093e-07,8.283784e-07,8.176597e-07,8.159621e-07,8.071281e-07,7.967808e-07,7.953467e-07,7.866150e-07,7.766280e-07,7.754415e-07,7.668171e-07,7.571793e-07,7.562250e-07,7.477121e-07,7.384127e-07,7.376759e-07,7.292782e-07,7.203062e-07,7.197729e-07,7.114938e-07,7.028384e-07,7.024954e-07,6.943374e-07,6.859883e-07,6.858228e-07,6.777884e-07,6.697352e-07,6.542131e-07,6.392374e-07,6.247897e-07,6.108521e-07,5.974070e-07,5.844377e-07,5.719278e-07,5.598615e-07,5.482234e-07,5.369986e-07,5.261730e-07,5.157325e-07,5.056639e-07,4.959542e-07,4.865908e-07,4.775618e-07,4.688555e-07,4.604605e-07,4.523662e-07,4.445618e-07,4.370373e-07,4.297830e-07,4.227893e-07,4.160472e-07,4.095478e-07,4.032827e-07,3.972436e-07,3.914226e-07,3.858121e-07,3.804046e-07,3.751931e-07,3.701707e-07,3.653307e-07,3.606668e-07,3.561727e-07,3.518424e-07,3.476703e-07,3.436506e-07,3.397781e-07,3.360476e-07,3.324541e-07,3.289927e-07,3.256587e-07,3.224477e-07,3.193553e-07,3.163774e-07,3.135098e-07,3.107486e-07,3.080901e-07
0.000000e+00,2.799213e-08,6.162009e-07,6.464492e-07,4.582445e-06,1.658544e-05,1.733379e-05,4.309672e-05,7.745371e-05,7.985124e-05,1.210209e-04,1.585049e-04,1.616838e-04,2.000408e-04,2.322493e-04,2.356912e-04,2.686299e-04,2.954479e-04,2.989524e-04,3.267792e-04,3.488107e-04,3.522368e-04,3.754517e-04,3.933103e-04,3.965486e-04,4.156491e-04,4.299043e-04,4.328707e-04,4.483267e-04,4.594932e-04,4.621254e-04,4.743704e-04,4.829065e-04,4.851603e-04,4.945892e-04,5.009001e-04,5.027464e-04,5.097163e-04,5.141571e-04,5.155794e-04,5.204112e-04,5.232916e-04,5.242829e-04,5.272622e-04,5.288509e-04,5.294126e-04,5.307944e-04,5.313240e-04,5.314643e-04,5.314756e-04,5.311468e-04,5.308785e-04,5.297202e-04,5.287051e-04,5.280453e-04,5.258956e-04,5.243417e-04,5.233104e-04,5.203268e-04,5.183598e-04,5.169793e-04,5.133005e-04,5.110271e-04,5.093209e-04,5.050691e-04,5.025792e-04,5.005719e-04,4.958544e-04,4.932237e-04,4.909402e-04,4.858512e-04,4.831427e-04,4.806080e-04,4.752297e-04,4.724956e-04,4.697344e-04,4.641386e-04,4.614216e-04,4.584581e-04,4.527072e-04,4.500420e-04,4.468996e-04,4.410476e-04,4.384618e-04,4.351631e-04,4.292567e-04,4.267720e-04,4.233386e-04,4.174179e-04,4.150508e-04,4.115032e-04,4.056025e-04,4.033654e-04,3.997230e-04,3.938714e-04,3.917729e-04,3.880538e-04,3.822759e-04,3.803214e-04,3.765428e-04,3.708592e-04,3.690517e-04,3.652294e-04,3.596572e-04,3.579973e-04,3.541461e-04,3.486992e-04,3.471860e-04,3.433194e-04,3.380091e-04,3.366401e-04,3.327706e-04,3.276058e-04,3.263774e-04,3.225164e-04,3.175038e-04,3.164115e-04,3.125694e-04,3.077141e-04,3.067526e-04,3.029388e-04,2.982441e-04,2.974077e-04,2.936307e-04,2.890988e-04,2.883813e-04,2.846486e-04,2.802803e-04,2.796753e-04,2.759938e-04,2.717890e-04,2.712899e-04,2.676656e-04,2.636233e-04,2.632235e-04,2.596616e-04,2.557801e-04,2.554730e-04,2.519782e-04,2.482552e-04,2.480343e-04,2.446104e-04,2.410431e-04,2.409020e-04,2.375524e-04,2.341376e-04,2.340700e-04,2.307976e-04,2.275316e-04,2.212794e-04,2.153057e-04,2.096022e-04,2.041607e-04,1.989727e-04,1.940295e-04,1.893226e-04,1.848432e-04,1.805828e-04,1.765330e-04,1.726853e-04,1.690317e-04,1.655640e-04,1.622744e-04,1.591553e-04,1.561993e-04,1.533990e-04,1.507476e-04,1.482383e-04,1.458645e-04,1.436199e-04,1.414986e-04,1.394946e-04,1.376023e-04,1.358164e-04,1.341317e-04,1.325431e-04,1.310461e-04,1.296359e-04,1.283083e-04,1.270592e-04,1.258844e-04,1.247803e-04,1.237432e-04,1.227696e-04,1.218563e-04,1.210001e-04,1.201980e-04,1.194471e-04,1.187448e-04,1.180884e-04,1.174756e-04,1.169039e-04,1.163711e-04,1.158751e-04,1.154139e-04,1.149856e-04,1.145884e-04,1.142205e-04
0.000000e+00,1.786947e-09,2.824309e-08,2.955705e-08,1.914189e-07,6.179699e-07,6.417265e-07,1.317396e-06,1.991770e-06,2.034317e-06,2.726001e-06,3.329391e-06,3.380306e-06,3.995817e-06,4.517131e-06,4.573181e-06,5.113576e-06,5.559582e-06,5.618302e-06,6.088552e-06,6.466433e-06,6.525691e-06,6.931118e-06,7.248204e-06,7.306246e-06,7.652479e-06,7.915798e-06,7.971198e-06,8.263755e-06,8.479849e-06,8.531465e-06,8.775599e-06,8.950447e-06,8.997383e-06,9.197995e-06,9.336998e-06,9.378567e-06,9.540183e-06,9.648189e-06,9.683884e-06,9.810661e-06,9.891996e-06,9.921464e-06,1.001720e-05,1.007572e-05,1.009874e-05,1.016690e-05,1.020601e-05,1.022247e-05,1.026620e-05,1.028893e-05,1.029881e-05,1.032098e-05,1.033000e-05,1.033336e-05,1.033656e-05,1.033420e-05,1.033118e-05,1.031776e-05,1.030608e-05,1.029684e-05,1.026893e-05,1.024973e-05,1.023451e-05,1.019402e-05,1.016886e-05,1.014790e-05,1.009657e-05,1.006682e-05,1.004040e-05,9.979782e-06,9.946613e-06,9.915050e-06,9.846540e-06,9.810967e-06,9.774565e-06,9.699425e-06,9.662317e-06,9.621401e-06,9.540758e-06,9.502854e-06,9.457750e-06,9.372615e-06,9.334539e-06,9.285577e-06,9.196849e-06,9.159129e-06,9.106633e-06,9.015117e-06,8.978188e-06,8.922481e-06,8.828892e-06,8.793111e-06,8.734508e-06,8.639480e-06,8.605139e-06,8.543947e-06,8.448041e-06,8.415371e-06,8.351886e-06,8.255598e-06,8.224776e-06,8.159286e-06,8.063051e-06,8.034210e-06,7.966989e-06,7.871189e-06,7.844423e-06,7.775734e-06,7.680702e-06,7.656072e-06,7.586165e-06,7.492190e-06,7.469727e-06,7.398840e-06,7.306171e-06,7.285881e-06,7.214238e-06,7.123090e-06,7.104958e-06,7.032771e-06,6.943324e-06,6.927320e-06,6.854788e-06,6.767196e-06,6.753271e-06,6.680580e-06,6.594970e-06,6.583066e-06,6.510391e-06,6.426866e-06,6.416915e-06,6.344417e-06,6.263062e-06,6.254988e-06,6.182818e-06,6.103697e-06,6.097416e-06,6.025713e-06,5.948875e-06,5.944301e-06,5.873193e-06,5.798672e-06,5.795716e-06,5.725319e-06,5.653137e-06,5.651706e-06,5.582129e-06,5.512296e-06,5.377490e-06,5.247276e-06,5.121625e-06,5.000495e-06,4.883834e-06,4.771577e-06,4.663654e-06,4.559985e-06,4.460485e-06,4.365064e-06,4.273627e-06,4.186078e-06,4.102314e-06,4.022236e-06,3.945738e-06,3.872716e-06,3.803067e-06,3.736684e-06,3.673465e-06,3.613304e-06,3.556100e-06,3.501751e-06,3.450158e-06,3.401221e-06,3.354844e-06,3.310932e-06,3.269392e-06,3.230134e-06,3.193068e-06,3.158109e-06,3.125170e-06,3.094171e-06,3.065031e-06,3.037673e-06,3.012020e-06,2.988000e-06,2.965542e-06,2.944576e-06,2.925036e-06,2.906857e-06,2.889977e-06,2.874335e-06,2.859873e-06,2.846535e-06,2.834266e-06,2.823013e-06,2.812727e-06,2.803358e-06,2.794860e-06
0.000000e+00,1.499950e-08,7.396850e-07,7.856620e-07,8.531436e-06,3.570363e-05,3.738068e-05,9.020913e-05,1.486181e-04,1.523406e-04,2.114406e-04,2.590340e-04,2.628334e-04,3.058681e-04,3.380269e-04,3.412487e-04,3.699739e-04,3.905152e-04,3.930081e-04,4.112038e-04,4.235452e-04,4.252955e-04,4.359131e-04,4.425438e-04,4.435956e-04,4.488037e-04,4.515057e-04,4.519307e-04,4.533122e-04,4.533543e-04,4.532342e-04,4.519399e-04,4.502202e-04,4.496362e-04,4.464986e-04,4.436489e-04,4.426761e-04,4.382949e-04,4.347567e-04,4.334619e-04,4.282675e-04,4.243471e-04,4.227881e-04,4.170881e-04,4.129964e-04,4.112220e-04,4.052355e-04,4.011158e-04,3.991671e-04,3.930492e-04,3.889976e-04,3.869089e-04,3.807687e-04,3.768479e-04,3.746475e-04,3.685609e-04,3.648104e-04,3.625218e-04,3.565410e-04,3.529841e-04,3.506271e-04,3.447872e-04,3.414362e-04,3.390269e-04,3.333508e-04,3.302103e-04,3.277624e-04,3.222641e-04,3.193333e-04,3.168581e-04,3.115457e-04,3.088205e-04,3.063277e-04,3.012046e-04,2.986787e-04,2.961764e-04,2.912430e-04,2.889085e-04,2.864039e-04,2.816584e-04,2.795067e-04,2.770058e-04,2.724450e-04,2.704670e-04,2.679749e-04,2.635945e-04,2.617812e-04,2.593025e-04,2.550976e-04,2.534397e-04,2.509784e-04,2.469437e-04,2.454323e-04,2.429919e-04,2.391217e-04,2.377481e-04,2.353316e-04,2.316203e-04,2.303762e-04,2.279863e-04,2.244282e-04,2.233054e-04,2.209446e-04,2.175341e-04,2.165250e-04,2.141953e-04,2.109267e-04,2.100240e-04,2.077272e-04,2.045953e-04,2.037919e-04,2.015296e-04,1.985290e-04,1.978184e-04,1.955921e-04,1.927176e-04,1.920935e-04,1.899043e-04,1.871510e-04,1.866074e-04,1.844565e-04,1.818196e-04,1.813510e-04,1.792391e-04,1.767139e-04,1.763149e-04,1.742429e-04,1.718249e-04,1.714906e-04,1.694590e-04,1.671440e-04,1.668696e-04,1.648789e-04,1.626627e-04,1.624437e-04,1.604943e-04,1.583729e-04,1.582051e-04,1.562974e-04,1.542668e-04,1.541464e-04,1.522804e-04,1.503371e-04,1.502603e-04,1.484361e-04,1.465765e-04,1.465397e-04,1.447574e-04,1.429781e-04,1.395689e-04,1.363061e-04,1.331835e-04,1.301957e-04,1.273369e-04,1.246021e-04,1.219860e-04,1.194839e-04,1.170911e-04,1.148031e-04,1.126156e-04,1.105245e-04,1.085258e-04,1.066156e-04,1.047905e-04,1.030467e-04,1.013810e-04,9.979015e-05,9.827103e-05,9.682066e-05,9.543619e-05,9.411487e-05,9.285409e-05,9.165130e-05,9.050410e-05,8.941015e-05,8.836723e-05,8.737319e-05,8.642599e-05,8.552365e-05,8.466428e-05,8.384607e-05,8.306729e-05,8.232625e-05,8.162137e-05,8.095109e-05,8.031396e-05,7.970856e-05,7.913353e-05,7.858757e-05,7.806943e-05,7.757792e-05,7.711188e-05,7.667023e-05,7.625189e-05,7.585586e-05,7.548117e-05,7.512687e-05,7.479209e-05
0.000000e+00,1.756422e-09,3.173254e-08,3.328739e-08,2.385421e-07,8.376982e-07,8.728327e-07,1.921080e-06,3.006387e-06,3.075053e-06,4.188172e-06,5.150889e-06,5.231688e-06,6.202636e-06,7.016112e-06,7.103067e-06,7.936041e-06,8.615828e-06,8.704795e-06,9.412558e-06,9.974877e-06,1.006251e-05,1.065774e-05,1.111767e-05,1.120129e-05,1.169607e-05,1.206738e-05,1.214490e-05,1.255047e-05,1.284551e-05,1.291536e-05,1.324203e-05,1.347181e-05,1.353282e-05,1.378996e-05,1.396417e-05,1.401554e-05,1.421157e-05,1.433873e-05,1.437995e-05,1.452246e-05,1.461000e-05,1.464079e-05,1.473656e-05,1.479099e-05,1.481128e-05,1.486637e-05,1.489332e-05,1.490319e-05,1.492301e-05,1.492737e-05,1.492704e-05,1.491641e-05,1.490241e-05,1.489219e-05,1.485539e-05,1.482667e-05,1.480696e-05,1.474779e-05,1.470749e-05,1.467873e-05,1.460058e-05,1.455137e-05,1.451407e-05,1.441991e-05,1.436409e-05,1.431877e-05,1.421126e-05,1.415077e-05,1.409797e-05,1.397944e-05,1.391591e-05,1.385619e-05,1.372870e-05,1.366351e-05,1.359742e-05,1.346279e-05,1.339708e-05,1.332519e-05,1.318499e-05,1.311973e-05,1.304255e-05,1.289820e-05,1.283415e-05,1.275222e-05,1.260492e-05,1.254272e-05,1.245656e-05,1.230737e-05,1.224752e-05,1.215760e-05,1.200746e-05,1.195035e-05,1.185714e-05,1.170684e-05,1.165276e-05,1.155671e-05,1.140694e-05,1.135612e-05,1.125765e-05,1.110899e-05,1.106157e-05,1.096108e-05,1.081404e-05,1.077011e-05,1.066797e-05,1.052298e-05,1.048259e-05,1.037915e-05,1.023656e-05,1.019970e-05,1.009529e-05,9.955411e-06,9.922053e-06,9.816976e-06,9.680044e-06,9.650125e-06,9.544663e-06,9.410879e-06,9.384318e-06,9.278731e-06,9.148253e-06,9.124946e-06,9.019475e-06,8.892424e-06,8.872258e-06,8.767123e-06,8.643589e-06,8.626437e-06,8.521839e-06,8.401885e-06,8.387612e-06,8.283736e-06,8.167400e-06,8.155866e-06,8.052880e-06,7.940178e-06,7.931241e-06,7.829295e-06,7.720228e-06,7.713741e-06,7.612972e-06,7.507523e-06,7.503342e-06,7.403872e-06,7.302011e-06,7.299992e-06,7.201930e-06,7.103617e-06,6.914122e-06,6.731399e-06,6.555323e-06,6.385760e-06,6.222568e-06,6.065595e-06,5.914684e-06,5.769676e-06,5.630408e-06,5.496713e-06,5.368426e-06,5.245380e-06,5.127410e-06,5.014351e-06,4.906041e-06,4.802320e-06,4.703028e-06,4.608011e-06,4.517118e-06,4.430198e-06,4.347108e-06,4.267704e-06,4.191850e-06,4.119411e-06,4.050257e-06,3.984260e-06,3.921298e-06,3.861253e-06,3.804009e-06,3.749455e-06,3.697482e-06,3.647987e-06,3.600869e-06,3.556031e-06,3.513380e-06,3.472824e-06,3.434278e-06,3.397657e-06,3.362881e-06,3.329871e-06,3.298553e-06,3.268854e-06,3.240707e-06,3.214043e-06,3.188799e-06,3.164914e-06,3.142328e-06,3.120984e-06,3.100827e-06
0.000000e+00,1.380839e-08,2.277585e-07,2.383573e-07,1.672255e-06,6.610365e-06,6.936828e-06,1.877725e-05,3.489786e-05,3.601024e-05,5.490098e-05,7.202821e-05,7.348688e-05,9.122342e-05,1.063602e-04,1.079932e-04,1.237890e-04,1.369014e-04,1.386335e-04,1.525573e-04,1.638214e-04,1.655945e-04,1.777797e-04,1.873826e-04,1.891481e-04,1.997347e-04,2.078566e-04,2.095740e-04,2.187002e-04,2.255099e-04,2.271463e-04,2.349449e-04,2.405984e-04,2.421272e-04,2.487235e-04,2.533628e-04,2.547630e-04,2.602738e-04,2.640273e-04,2.652828e-04,2.698158e-04,2.727988e-04,2.738977e-04,2.775521e-04,2.798680e-04,2.808017e-04,2.836683e-04,2.854094e-04,2.861725e-04,2.883343e-04,2.895826e-04,2.901724e-04,2.917050e-04,2.925336e-04,2.929494e-04,2.939220e-04,2.943954e-04,2.946384e-04,2.951137e-04,2.952890e-04,2.953620e-04,2.953971e-04,2.953249e-04,2.952318e-04,2.948785e-04,2.946030e-04,2.943490e-04,2.936543e-04,2.932143e-04,2.928052e-04,2.918118e-04,2.912415e-04,2.906838e-04,2.894302e-04,2.887591e-04,2.880598e-04,2.865809e-04,2.858348e-04,2.850013e-04,2.833286e-04,2.825298e-04,2.815698e-04,2.797316e-04,2.788993e-04,2.778205e-04,2.758425e-04,2.749932e-04,2.738034e-04,2.717086e-04,2.708563e-04,2.695633e-04,2.673724e-04,2.665289e-04,2.651406e-04,2.628721e-04,2.620474e-04,2.605713e-04,2.582420e-04,2.574442e-04,2.558879e-04,2.535126e-04,2.527485e-04,2.511193e-04,2.487112e-04,2.479863e-04,2.462912e-04,2.438622e-04,2.431808e-04,2.414266e-04,2.389871e-04,2.383525e-04,2.365460e-04,2.341053e-04,2.335199e-04,2.316672e-04,2.292336e-04,2.286990e-04,2.268063e-04,2.243869e-04,2.239041e-04,2.219771e-04,2.195784e-04,2.191479e-04,2.171920e-04,2.148194e-04,2.144411e-04,2.124617e-04,2.101199e-04,2.097934e-04,2.077952e-04,2.054886e-04,2.052130e-04,2.032008e-04,2.009327e-04,2.007070e-04,1.986850e-04,1.964585e-04,1.962813e-04,1.942538e-04,1.920714e-04,1.919412e-04,1.899119e-04,1.877757e-04,1.876907e-04,1.856633e-04,1.835750e-04,1.835335e-04,1.815112e-04,1.794721e-04,1.755089e-04,1.716455e-04,1.678829e-04,1.642219e-04,1.606627e-04,1.572053e-04,1.538493e-04,1.505941e-04,1.474388e-04,1.443824e-04,1.414237e-04,1.385611e-04,1.357933e-04,1.331184e-04,1.305349e-04,1.280409e-04,1.256344e-04,1.233136e-04,1.210764e-04,1.189210e-04,1.168451e-04,1.148469e-04,1.129242e-04,1.110750e-04,1.092973e-04,1.075890e-04,1.059482e-04,1.043729e-04,1.028611e-04,1.014108e-04,1.000203e-04,9.868750e-05,9.741070e-05,9.618807e-05,9.501783e-05,9.389826e-05,9.282768e-05,9.180442e-05,9.082688e-05,8.989349e-05,8.900270e-05,8.815303e-05,8.734301e-05,8.657124e-05,8.583632e-05,8.513693e-05,8.447176e-05,8.383955e-05,8.323906e-05
0.000000e+00,2.478773e-09,3.090698e-08,3.222441e-08,1.896292e-07,6.442197e-07,6.720819e-07,1.592584e-06,2.688910e-06,2.760514e-06,3.921457e-06,4.898483e-06,4.978643e-06,5.915629e-06,6.659836e-06,6.737027e-06,7.452059e-06,8.001034e-06,8.070450e-06,8.601432e-06,8.994677e-06,9.053518e-06,9.434514e-06,9.704854e-06,9.751561e-06,1.001120e-05,1.018546e-05,1.021939e-05,1.038160e-05,1.048160e-05,1.050278e-05,1.058746e-05,1.063081e-05,1.063973e-05,1.066330e-05,1.066411e-05,1.066155e-05,1.063748e-05,1.060692e-05,1.059383e-05,1.053307e-05,1.047997e-05,1.045740e-05,1.036881e-05,1.030009e-05,1.026910e-05,1.015984e-05,1.008083e-05,1.004247e-05,9.918263e-06,9.833099e-06,9.788358e-06,9.653772e-06,9.565602e-06,9.515410e-06,9.374078e-06,9.285277e-06,9.230490e-06,9.085282e-06,8.997617e-06,8.939016e-06,8.792188e-06,8.706944e-06,8.645234e-06,8.498540e-06,8.416632e-06,8.352443e-06,8.207239e-06,8.129292e-06,8.063185e-06,7.920505e-06,7.846920e-06,7.779392e-06,7.640011e-06,7.571015e-06,7.502504e-06,7.366991e-06,7.302683e-06,7.233571e-06,7.102329e-06,7.042708e-06,6.973332e-06,6.846634e-06,6.791626e-06,6.722276e-06,6.600289e-06,6.549767e-06,6.480695e-06,6.363507e-06,6.317307e-06,6.248730e-06,6.136363e-06,6.094294e-06,6.026399e-06,5.918826e-06,5.880682e-06,5.813627e-06,5.710782e-06,5.676347e-06,5.610267e-06,5.512056e-06,5.481111e-06,5.416120e-06,5.322427e-06,5.294752e-06,5.230945e-06,5.141640e-06,5.117020e-06,5.054475e-06,4.969414e-06,4.947639e-06,4.886420e-06,4.805455e-06,4.786321e-06,4.726480e-06,4.649457e-06,4.632770e-06,4.574346e-06,4.501109e-06,4.486684e-06,4.429708e-06,4.360103e-06,4.347762e-06,4.292256e-06,4.226129e-06,4.215706e-06,4.161684e-06,4.098884e-06,4.090221e-06,4.037691e-06,3.978069e-06,3.971019e-06,3.919983e-06,3.863397e-06,3.857819e-06,3.808275e-06,3.754584e-06,3.750349e-06,3.702290e-06,3.651359e-06,3.648346e-06,3.601760e-06,3.553460e-06,3.551555e-06,3.506428e-06,3.460634e-06,3.459730e-06,3.416047e-06,3.372638e-06,3.290050e-06,3.211752e-06,3.137536e-06,3.067203e-06,3.000565e-06,2.937440e-06,2.877656e-06,2.821047e-06,2.767458e-06,2.716739e-06,2.668746e-06,2.623345e-06,2.580405e-06,2.539804e-06,2.501425e-06,2.465155e-06,2.430889e-06,2.398526e-06,2.367970e-06,2.339129e-06,2.311916e-06,2.286249e-06,2.262049e-06,2.239241e-06,2.217753e-06,2.197519e-06,2.178474e-06,2.160557e-06,2.143709e-06,2.127875e-06,2.113003e-06,2.099043e-06,2.085947e-06,2.073669e-06,2.062168e-06,2.051401e-06,2.041331e-06,2.031921e-06,2.023134e-06,2.014939e-06,2.007303e-06,2.000196e-06,1.993590e-06,1.987457e-06,1.981772e-06,1.976510e-06,1.971648e-06,1.967163e-06,1.963035e-06
0.000000e+00,5.687115e-10,7.327587e-09,7.648192e-09,4.733130e-08,1.659443e-07,1.732845e-07,4.175165e-07,7.127986e-07,7.323531e-07,1.056612e-06,1.343456e-06,1.367697e-06,1.660619e-06,1.908194e-06,1.934775e-06,2.190613e-06,2.401164e-06,2.428849e-06,2.650258e-06,2.827812e-06,2.855627e-06,3.045732e-06,3.194179e-06,3.221330e-06,3.383158e-06,3.506083e-06,3.531929e-06,3.668329e-06,3.768987e-06,3.793019e-06,3.906632e-06,3.987952e-06,4.009775e-06,4.103028e-06,4.167629e-06,4.186946e-06,4.262057e-06,4.312267e-06,4.328865e-06,4.387851e-06,4.425735e-06,4.439473e-06,4.484163e-06,4.511545e-06,4.522336e-06,4.554383e-06,4.572869e-06,4.580681e-06,4.601586e-06,4.612593e-06,4.617435e-06,4.628551e-06,4.633322e-06,4.635237e-06,4.637784e-06,4.637405e-06,4.636465e-06,4.631541e-06,4.626959e-06,4.623258e-06,4.611851e-06,4.603890e-06,4.597539e-06,4.580532e-06,4.569906e-06,4.561029e-06,4.539217e-06,4.526541e-06,4.515273e-06,4.489365e-06,4.475170e-06,4.461652e-06,4.432283e-06,4.417022e-06,4.401400e-06,4.369138e-06,4.353199e-06,4.335622e-06,4.300971e-06,4.284682e-06,4.265298e-06,4.228708e-06,4.212344e-06,4.191302e-06,4.153173e-06,4.136965e-06,4.114410e-06,4.075096e-06,4.059234e-06,4.035310e-06,3.995124e-06,3.979763e-06,3.954608e-06,3.913827e-06,3.899093e-06,3.872841e-06,3.831707e-06,3.817698e-06,3.790479e-06,3.749207e-06,3.735998e-06,3.707936e-06,3.666711e-06,3.654358e-06,3.625572e-06,3.584556e-06,3.573099e-06,3.543700e-06,3.503035e-06,3.492497e-06,3.462591e-06,3.422398e-06,3.412792e-06,3.382481e-06,3.342863e-06,3.334190e-06,3.303568e-06,3.264614e-06,3.256866e-06,3.226021e-06,3.187806e-06,3.180969e-06,3.149984e-06,3.112570e-06,3.106623e-06,3.075576e-06,3.039013e-06,3.033930e-06,3.002893e-06,2.967224e-06,2.962974e-06,2.932013e-06,2.897270e-06,2.893821e-06,2.862998e-06,2.829205e-06,2.826522e-06,2.795894e-06,2.763069e-06,2.761115e-06,2.730732e-06,2.698888e-06,2.697624e-06,2.667536e-06,2.636678e-06,2.636066e-06,2.606315e-06,2.576446e-06,2.518761e-06,2.463004e-06,2.409158e-06,2.357203e-06,2.307113e-06,2.258860e-06,2.212411e-06,2.167732e-06,2.124784e-06,2.083528e-06,2.043923e-06,2.005929e-06,1.969501e-06,1.934597e-06,1.901172e-06,1.869183e-06,1.838585e-06,1.809336e-06,1.781391e-06,1.754708e-06,1.729244e-06,1.704956e-06,1.681805e-06,1.659748e-06,1.638748e-06,1.618764e-06,1.599759e-06,1.581695e-06,1.564537e-06,1.548250e-06,1.532798e-06,1.518149e-06,1.504270e-06,1.491130e-06,1.478698e-06,1.466945e-06,1.455843e-06,1.445363e-06,1.435478e-06,1.426163e-06,1.417393e-06,1.409143e-06,1.401391e-06,1.394113e-06,1.387289e-06,1.380896e-06,1.374915e-06,1.369327e-06,1.364112e-06
0.000000e+00,1.327038e-08,2.365581e-07,2.472684e-07,1.516620e-06,5.034552e-06,5.247144e-06,1.240287e-05,2.192193e-05,2.259578e-05,3.441934e-05,4.546060e-05,4.639978e-05,5.766495e-05,6.693936e-05,6.791706e-05,7.712335e-05,8.439901e-05,8.533401e-05,9.261998e-05,9.820256e-05,9.905490e-05,1.047096e-04,1.089055e-04,1.096507e-04,1.139399e-04,1.170109e-04,1.176345e-04,1.207877e-04,1.229532e-04,1.234481e-04,1.256608e-04,1.271026e-04,1.274671e-04,1.289047e-04,1.297722e-04,1.300084e-04,1.308099e-04,1.312257e-04,1.313384e-04,1.316206e-04,1.316850e-04,1.316808e-04,1.315413e-04,1.313359e-04,1.312226e-04,1.307433e-04,1.303343e-04,1.301203e-04,1.293693e-04,1.288104e-04,1.285044e-04,1.275386e-04,1.268730e-04,1.264836e-04,1.253504e-04,1.246127e-04,1.241485e-04,1.228871e-04,1.221050e-04,1.215742e-04,1.202171e-04,1.194125e-04,1.188227e-04,1.173970e-04,1.165871e-04,1.159456e-04,1.144734e-04,1.136715e-04,1.129851e-04,1.114847e-04,1.107010e-04,1.099760e-04,1.084623e-04,1.077046e-04,1.069467e-04,1.054319e-04,1.047058e-04,1.039203e-04,1.024142e-04,1.017237e-04,1.009154e-04,9.942588e-05,9.877379e-05,9.794706e-05,9.648037e-05,9.586828e-05,9.502705e-05,9.358817e-05,9.301689e-05,9.216471e-05,9.075749e-05,9.022716e-05,8.936723e-05,8.799456e-05,8.750481e-05,8.664001e-05,8.530402e-05,8.485409e-05,8.398698e-05,8.268919e-05,8.227801e-05,8.141090e-05,8.015229e-05,7.977857e-05,7.891350e-05,7.769463e-05,7.735692e-05,7.649571e-05,7.531676e-05,7.501350e-05,7.415776e-05,7.301866e-05,7.274823e-05,7.189938e-05,7.079982e-05,7.056055e-05,6.971984e-05,6.865931e-05,6.844953e-05,6.761807e-05,6.659594e-05,6.641397e-05,6.559272e-05,6.460822e-05,6.445242e-05,6.364222e-05,6.269451e-05,6.256328e-05,6.176485e-05,6.085301e-05,6.074477e-05,5.995874e-05,5.908181e-05,5.899506e-05,5.822196e-05,5.737894e-05,5.731222e-05,5.655250e-05,5.574238e-05,5.569429e-05,5.494832e-05,5.417007e-05,5.413926e-05,5.340736e-05,5.265995e-05,5.264515e-05,5.192756e-05,5.120996e-05,4.983170e-05,4.850842e-05,4.723820e-05,4.601916e-05,4.484945e-05,4.372728e-05,4.265088e-05,4.161856e-05,4.062866e-05,3.967958e-05,3.876977e-05,3.789772e-05,3.706198e-05,3.626114e-05,3.549386e-05,3.475882e-05,3.405477e-05,3.338048e-05,3.273480e-05,3.211658e-05,3.152476e-05,3.095827e-05,3.041611e-05,2.989732e-05,2.940096e-05,2.892614e-05,2.847200e-05,2.803771e-05,2.762246e-05,2.722551e-05,2.684610e-05,2.648353e-05,2.613713e-05,2.580624e-05,2.549023e-05,2.518849e-05,2.490046e-05,2.462556e-05,2.436328e-05,2.411308e-05,2.387449e-05,2.364702e-05,2.343022e-05,2.322365e-05,2.302689e-05,2.283954e-05,2.266121e-05,2.249153e-05,2.233014e-05
0.000000e+00,1.392135e-08,2.336358e-07,2.444576e-07,1.590415e-06,5.502373e-06,5.741400e-06,1.372200e-05,2.369255e-05,2.436228e-05,3.544692e-05,4.503179e-05,4.582763e-05,5.524472e-05,6.289501e-05,6.369851e-05,7.124544e-05,7.718873e-05,7.795118e-05,8.388043e-05,8.840556e-05,8.909472e-05,9.365187e-05,9.701174e-05,9.760601e-05,1.010077e-04,1.034180e-04,1.039041e-04,1.063388e-04,1.079816e-04,1.083525e-04,1.099827e-04,1.110105e-04,1.112642e-04,1.122290e-04,1.127687e-04,1.129066e-04,1.133242e-04,1.134807e-04,1.135070e-04,1.134779e-04,1.133377e-04,1.132581e-04,1.128671e-04,1.125012e-04,1.123228e-04,1.116415e-04,1.111077e-04,1.108382e-04,1.099268e-04,1.092722e-04,1.089198e-04,1.078287e-04,1.070912e-04,1.066641e-04,1.054357e-04,1.046460e-04,1.041524e-04,1.028220e-04,1.020043e-04,1.014520e-04,1.000491e-04,9.922275e-05,9.861934e-05,9.716823e-05,9.634817e-05,9.570079e-05,9.422157e-05,9.341937e-05,9.273470e-05,9.124390e-05,9.046825e-05,8.975252e-05,8.826358e-05,8.752088e-05,8.677980e-05,8.530361e-05,8.459838e-05,8.383719e-05,8.238250e-05,8.171775e-05,8.094125e-05,7.951498e-05,7.889253e-05,7.810505e-05,7.671263e-05,7.613329e-05,7.533875e-05,7.398432e-05,7.344816e-05,7.265009e-05,7.133672e-05,7.084323e-05,7.004477e-05,6.877468e-05,6.832287e-05,6.752681e-05,6.630145e-05,6.588999e-05,6.509881e-05,6.391905e-05,6.354637e-05,6.276225e-05,6.162844e-05,6.129278e-05,6.051762e-05,5.942973e-05,5.912922e-05,5.836468e-05,5.732234e-05,5.705503e-05,5.630255e-05,5.530511e-05,5.506903e-05,5.432983e-05,5.337645e-05,5.316963e-05,5.244475e-05,5.153443e-05,5.135491e-05,5.064523e-05,4.977684e-05,4.962272e-05,4.892896e-05,4.810127e-05,4.797069e-05,4.729344e-05,4.650515e-05,4.639633e-05,4.573605e-05,4.498582e-05,4.489704e-05,4.425410e-05,4.354056e-05,4.347019e-05,4.284484e-05,4.216661e-05,4.211310e-05,4.150551e-05,4.086121e-05,4.082308e-05,4.023336e-05,3.962162e-05,3.959748e-05,3.902566e-05,3.844513e-05,3.843367e-05,3.787971e-05,3.732906e-05,3.628112e-05,3.528738e-05,3.434543e-05,3.345296e-05,3.260770e-05,3.180749e-05,3.105022e-05,3.033387e-05,2.965652e-05,2.901628e-05,2.841138e-05,2.784011e-05,2.730083e-05,2.679196e-05,2.631201e-05,2.585955e-05,2.543321e-05,2.503169e-05,2.465373e-05,2.429815e-05,2.396382e-05,2.364966e-05,2.335463e-05,2.307776e-05,2.281811e-05,2.257479e-05,2.234697e-05,2.213382e-05,2.193458e-05,2.174853e-05,2.157496e-05,2.141322e-05,2.126268e-05,2.112274e-05,2.099283e-05,2.087241e-05,2.076097e-05,2.065802e-05,2.056309e-05,2.047574e-05,2.039556e-05,2.032214e-05,2.025511e-05,2.019410e-05,2.013877e-05,2.008880e-05,2.004388e-05,2.000372e-05,1.996803e-05
0.000000e+00,3.197427e-09,4.655866e-08,4.868248e-08,3.196852e-07,1.137050e-06,1.187117e-06,2.792918e-06,4.579435e-06,4.692650e-06,6.490243e-06,7.961217e-06,8.080492e-06,9.459567e-06,1.053477e-05,1.064523e-05,1.165827e-05,1.242265e-05,1.251840e-05,1.324343e-05,1.377112e-05,1.384932e-05,1.435027e-05,1.469930e-05,1.475897e-05,1.508667e-05,1.530199e-05,1.534337e-05,1.553793e-05,1.565417e-05,1.567823e-05,1.577121e-05,1.581485e-05,1.582300e-05,1.583902e-05,1.583025e-05,1.582407e-05,1.578231e-05,1.573635e-05,1.571746e-05,1.563278e-05,1.556116e-05,1.553114e-05,1.541503e-05,1.532633e-05,1.528664e-05,1.514791e-05,1.504853e-05,1.500052e-05,1.484594e-05,1.474062e-05,1.468547e-05,1.452023e-05,1.441245e-05,1.435122e-05,1.417930e-05,1.407157e-05,1.400521e-05,1.382961e-05,1.372377e-05,1.365308e-05,1.347609e-05,1.337341e-05,1.329910e-05,1.312246e-05,1.302382e-05,1.294650e-05,1.277149e-05,1.267747e-05,1.259768e-05,1.242526e-05,1.233621e-05,1.225441e-05,1.208528e-05,1.200140e-05,1.191799e-05,1.175264e-05,1.167399e-05,1.158933e-05,1.142811e-05,1.135468e-05,1.126906e-05,1.111222e-05,1.104391e-05,1.095761e-05,1.080527e-05,1.074197e-05,1.065522e-05,1.050747e-05,1.044901e-05,1.036202e-05,1.021887e-05,1.016507e-05,1.007802e-05,9.939458e-06,9.890136e-06,9.803179e-06,9.669165e-06,9.624113e-06,9.537399e-06,9.407864e-06,9.366880e-06,9.280538e-06,9.155398e-06,9.118280e-06,9.032422e-06,8.911584e-06,8.878130e-06,8.792860e-06,8.676221e-06,8.646234e-06,8.561642e-06,8.449095e-06,8.422383e-06,8.338553e-06,8.229987e-06,8.206365e-06,8.123369e-06,8.018671e-06,7.997959e-06,7.915865e-06,7.814922e-06,7.796948e-06,7.715815e-06,7.618514e-06,7.603112e-06,7.522993e-06,7.429223e-06,7.416233e-06,7.337176e-06,7.246826e-06,7.236096e-06,7.158144e-06,7.071105e-06,7.062491e-06,6.985682e-06,6.901848e-06,6.895210e-06,6.819578e-06,6.738845e-06,6.734050e-06,6.659625e-06,6.581892e-06,6.578814e-06,6.505622e-06,6.430790e-06,6.429308e-06,6.357373e-06,6.285345e-06,6.146743e-06,6.013322e-06,5.884911e-06,5.761343e-06,5.642454e-06,5.528087e-06,5.418089e-06,5.312312e-06,5.210613e-06,5.112853e-06,5.018896e-06,4.928612e-06,4.841876e-06,4.758564e-06,4.678559e-06,4.601746e-06,4.528013e-06,4.457255e-06,4.389366e-06,4.324247e-06,4.261800e-06,4.201931e-06,4.144549e-06,4.089566e-06,4.036897e-06,3.986460e-06,3.938176e-06,3.891966e-06,3.847756e-06,3.805475e-06,3.765053e-06,3.726423e-06,3.689518e-06,3.654277e-06,3.620639e-06,3.588543e-06,3.557935e-06,3.528758e-06,3.500959e-06,3.474488e-06,3.449293e-06,3.425328e-06,3.402546e-06,3.380901e-06,3.360351e-06,3.340854e-06,3.322369e-06,3.304857e-06,3.288280e-06
0.000000e+00,4.969645e-07,1.923086e-05,2.036896e-05,2.289296e-04,1.265767e-03,1.345598e-03,5.004948e-03,1.260502e-02,1.326167e-02,2.760385e-02,4.669111e-02,4.861814e-02,7.616494e-02,1.060411e-01,1.096301e-01,1.481287e-01,1.853702e-01,1.906509e-01,2.361614e-01,2.769287e-01,2.836637e-01,3.322400e-01,3.732726e-01,3.810725e-01,4.294532e-01,4.683661e-01,4.767852e-01,5.225779e-01,5.578379e-01,5.664402e-01,6.080708e-01,6.388481e-01,6.472478e-01,6.838186e-01,7.098100e-01,7.176898e-01,7.488174e-01,7.700824e-01,7.771984e-01,8.028634e-01,8.196916e-01,8.258695e-01,8.462948e-01,8.591071e-01,8.642339e-01,8.797935e-01,8.890732e-01,8.930884e-01,9.042387e-01,9.104827e-01,9.133672e-01,9.205973e-01,9.242848e-01,9.260513e-01,9.298494e-01,9.314242e-01,9.321087e-01,9.329424e-01,9.328036e-01,9.324590e-01,9.307628e-01,9.292625e-01,9.279527e-01,9.241230e-01,9.215663e-01,9.193625e-01,9.137554e-01,9.104035e-01,9.073806e-01,9.003125e-01,8.963863e-01,8.926205e-01,8.843698e-01,8.800541e-01,8.756212e-01,8.664312e-01,8.618789e-01,8.568526e-01,8.469343e-01,8.422705e-01,8.367219e-01,8.262573e-01,8.215832e-01,8.155797e-01,8.047250e-01,8.001213e-01,7.937264e-01,7.826145e-01,7.781444e-01,7.714174e-01,7.601610e-01,7.558731e-01,7.488691e-01,7.375633e-01,7.334937e-01,7.262634e-01,7.149877e-01,7.111624e-01,7.037524e-01,6.925728e-01,6.890093e-01,6.814623e-01,6.704333e-01,6.671421e-01,6.594968e-01,6.486629e-01,6.456491e-01,6.379406e-01,6.273379e-01,6.246017e-01,6.168620e-01,6.065192e-01,6.040574e-01,5.963152e-01,5.862548e-01,5.840613e-01,5.763426e-01,5.665821e-01,5.646485e-01,5.569766e-01,5.475288e-01,5.458452e-01,5.382411e-01,5.291154e-01,5.276704e-01,5.201531e-01,5.113555e-01,5.101370e-01,5.027235e-01,4.942576e-01,4.932529e-01,4.859583e-01,4.778257e-01,4.770216e-01,4.698597e-01,4.620599e-01,4.614431e-01,4.544261e-01,4.469576e-01,4.465148e-01,4.396537e-01,4.325135e-01,4.322312e-01,4.255360e-01,4.187202e-01,4.185855e-01,4.120649e-01,4.055689e-01,3.931715e-01,3.813825e-01,3.701900e-01,3.595817e-01,3.495445e-01,3.400651e-01,3.311299e-01,3.227248e-01,3.148355e-01,3.074477e-01,3.005466e-01,2.941176e-01,2.881456e-01,2.826156e-01,2.775124e-01,2.728206e-01,2.685248e-01,2.646095e-01,2.610591e-01,2.578578e-01,2.549899e-01,2.524396e-01,2.501910e-01,2.482283e-01,2.465359e-01,2.450979e-01,2.438987e-01,2.429229e-01,2.421552e-01,2.415804e-01,2.411837e-01,2.409506e-01,2.408668e-01,2.409183e-01,2.410917e-01,2.413740e-01,2.417524e-01,2.422150e-01,2.427500e-01,2.433464e-01,2.439937e-01,2.446820e-01,2.454020e-01,2.461449e-01,2.469025e-01,2.476674e-01,2.484327e-01,2.491920e-01,2.499396e-01
0.000000e+00,6.995819e-08,3.065325e-06,3.254076e-06,3.947802e-05,2.240628e-04,2.383500e-04,9.004475e-04,2.312731e-03,2.436661e-03,5.199001e-03,8.996443e-03,9.385831e-03,1.504920e-02,2.136363e-02,2.213262e-02,3.050706e-02,3.880765e-02,3.999938e-02,5.041351e-02,5.995153e-02,6.154568e-02,7.319515e-02,8.324072e-02,8.517145e-02,9.729897e-02,1.072450e-01,1.094197e-01,1.213945e-01,1.307879e-01,1.331032e-01,1.444444e-01,1.529809e-01,1.553343e-01,1.657056e-01,1.732081e-01,1.755058e-01,1.846963e-01,1.910884e-01,1.932501e-01,2.011508e-01,2.064305e-01,2.083911e-01,2.149716e-01,2.191889e-01,2.208993e-01,2.261865e-01,2.294245e-01,2.308503e-01,2.349111e-01,2.372721e-01,2.383921e-01,2.413186e-01,2.429129e-01,2.437175e-01,2.456164e-01,2.465551e-01,2.470438e-01,2.480281e-01,2.484178e-01,2.485976e-01,2.487804e-01,2.487200e-01,2.486037e-01,2.480942e-01,2.476732e-01,2.472776e-01,2.461786e-01,2.454761e-01,2.448209e-01,2.432270e-01,2.423121e-01,2.414185e-01,2.394155e-01,2.383472e-01,2.372373e-01,2.349021e-01,2.337303e-01,2.324266e-01,2.298268e-01,2.285933e-01,2.271176e-01,2.243129e-01,2.230518e-01,2.214254e-01,2.184674e-01,2.172067e-01,2.154499e-01,2.123832e-01,2.111449e-01,2.092769e-01,2.061399e-01,2.049414e-01,2.029802e-01,1.998053e-01,1.986600e-01,1.966222e-01,1.934371e-01,1.923547e-01,1.902558e-01,1.870836e-01,1.860713e-01,1.839254e-01,1.807855e-01,1.798477e-01,1.776679e-01,1.745763e-01,1.737158e-01,1.715139e-01,1.684837e-01,1.677015e-01,1.654884e-01,1.625302e-01,1.618261e-01,1.596114e-01,1.567339e-01,1.561065e-01,1.538992e-01,1.511090e-01,1.505564e-01,1.483644e-01,1.456665e-01,1.451859e-01,1.430164e-01,1.404147e-01,1.400030e-01,1.378623e-01,1.353595e-01,1.350131e-01,1.329069e-01,1.305047e-01,1.302198e-01,1.281531e-01,1.258524e-01,1.256251e-01,1.236025e-01,1.214034e-01,1.212296e-01,1.192549e-01,1.171570e-01,1.170328e-01,1.151095e-01,1.131119e-01,1.130330e-01,1.111640e-01,1.092655e-01,1.092281e-01,1.074159e-01,1.056148e-01,1.021897e-01,9.894857e-02,9.588705e-02,9.300036e-02,9.028347e-02,8.773118e-02,8.533814e-02,8.309889e-02,8.100788e-02,7.905953e-02,7.724825e-02,7.556842e-02,7.401448e-02,7.258086e-02,7.126208e-02,7.005270e-02,6.894735e-02,6.794075e-02,6.702770e-02,6.620310e-02,6.546196e-02,6.479940e-02,6.421067e-02,6.369114e-02,6.323629e-02,6.284176e-02,6.250329e-02,6.221681e-02,6.197835e-02,6.178411e-02,6.163043e-02,6.151382e-02,6.143091e-02,6.137852e-02,6.135360e-02,6.135326e-02,6.137476e-02,6.141553e-02,6.147311e-02,6.154524e-02,6.162977e-02,6.172470e-02,6.182819e-02,6.193851e-02,6.205408e-02,6.217344e-02,6.229526e-02,6.241832e-02,6.254154e-02
0.000000e+00,1.231726e-08,1.610505e-07,1.677567e-07,9.358544e-07,3.082902e-06,3.214632e-06,7.732161e-06,1.379019e-05,1.421399e-05,2.143783e-05,2.778840e-05,2.831209e-05,3.441069e-05,3.918520e-05,3.967534e-05,4.415950e-05,4.752158e-05,4.794086e-05,5.109753e-05,5.336806e-05,5.370195e-05,5.581970e-05,5.726571e-05,5.750957e-05,5.882410e-05,5.965492e-05,5.981007e-05,6.050911e-05,6.088672e-05,6.095816e-05,6.118999e-05,6.123879e-05,6.123358e-05,6.111460e-05,6.092948e-05,6.085569e-05,6.047683e-05,6.012970e-05,5.999565e-05,5.942765e-05,5.897267e-05,5.878649e-05,5.808416e-05,5.756182e-05,5.733119e-05,5.653682e-05,5.597716e-05,5.570913e-05,5.485520e-05,5.428027e-05,5.398121e-05,5.309255e-05,5.251830e-05,5.219390e-05,5.128932e-05,5.072707e-05,5.038235e-05,4.947606e-05,4.893374e-05,4.857310e-05,4.767570e-05,4.715852e-05,4.678577e-05,4.590497e-05,4.541625e-05,4.503472e-05,4.417619e-05,4.371781e-05,4.333036e-05,4.249800e-05,4.207073e-05,4.167978e-05,4.087621e-05,4.048006e-05,4.008771e-05,3.931456e-05,3.894897e-05,3.855697e-05,3.781508e-05,3.747911e-05,3.708897e-05,3.637864e-05,3.607109e-05,3.568406e-05,3.500517e-05,3.472468e-05,3.434184e-05,3.369394e-05,3.343906e-05,3.306130e-05,3.244372e-05,3.221295e-05,3.184100e-05,3.125291e-05,3.104474e-05,3.067922e-05,3.011967e-05,2.993260e-05,2.957401e-05,2.904198e-05,2.887457e-05,2.852332e-05,2.801774e-05,2.786858e-05,2.752499e-05,2.704479e-05,2.691254e-05,2.657686e-05,2.612094e-05,2.600433e-05,2.567675e-05,2.524403e-05,2.514185e-05,2.482251e-05,2.441193e-05,2.432304e-05,2.401202e-05,2.362255e-05,2.354588e-05,2.324324e-05,2.287386e-05,2.280841e-05,2.251417e-05,2.216392e-05,2.210874e-05,2.182288e-05,2.149082e-05,2.144503e-05,2.116751e-05,2.085275e-05,2.081554e-05,2.054630e-05,2.024797e-05,2.021857e-05,1.995754e-05,1.967481e-05,1.965252e-05,1.939959e-05,1.913168e-05,1.911583e-05,1.887090e-05,1.861706e-05,1.860705e-05,1.836999e-05,1.812950e-05,1.812476e-05,1.789543e-05,1.766762e-05,1.723436e-05,1.682377e-05,1.643469e-05,1.606603e-05,1.571674e-05,1.538583e-05,1.507235e-05,1.477543e-05,1.449420e-05,1.422786e-05,1.397565e-05,1.373683e-05,1.351073e-05,1.329668e-05,1.309406e-05,1.290228e-05,1.272079e-05,1.254906e-05,1.238658e-05,1.223287e-05,1.208748e-05,1.194998e-05,1.181996e-05,1.169705e-05,1.158086e-05,1.147105e-05,1.136729e-05,1.126927e-05,1.117670e-05,1.108928e-05,1.100675e-05,1.092886e-05,1.085537e-05,1.078605e-05,1.072068e-05,1.065906e-05,1.060099e-05,1.054629e-05,1.049478e-05,1.044630e-05,1.040069e-05,1.035780e-05,1.031748e-05,1.027961e-05,1.024405e-05,1.021069e-05,1.017940e-05,1.015008e-05,1.012263e-05
0.000000e+00,4.152879e-09,4.861878e-08,5.060811e-08,2.770634e-07,9.009575e-07,9.388035e-07,2.202803e-06,3.791079e-06,3.898269e-06,5.685661e-06,7.257092e-06,7.388854e-06,8.965099e-06,1.027174e-05,1.041050e-05,1.172981e-05,1.279170e-05,1.292959e-05,1.401689e-05,1.486726e-05,1.499860e-05,1.588140e-05,1.655133e-05,1.667186e-05,1.737626e-05,1.789387e-05,1.800061e-05,1.855061e-05,1.894069e-05,1.903163e-05,1.944874e-05,1.973279e-05,1.980670e-05,2.010997e-05,2.030646e-05,2.036273e-05,2.056889e-05,2.069360e-05,2.073210e-05,2.085576e-05,2.092210e-05,2.094305e-05,2.099694e-05,2.101628e-05,2.102019e-05,2.101538e-05,2.099730e-05,2.098489e-05,2.093097e-05,2.088355e-05,2.085567e-05,2.076094e-05,2.069095e-05,2.064857e-05,2.052022e-05,2.043330e-05,2.037744e-05,2.022167e-05,2.012253e-05,2.005424e-05,1.987638e-05,1.976891e-05,1.968926e-05,1.949391e-05,1.938130e-05,1.929134e-05,1.908244e-05,1.896731e-05,1.886807e-05,1.864900e-05,1.853346e-05,1.842594e-05,1.819957e-05,1.808533e-05,1.797049e-05,1.773926e-05,1.762767e-05,1.750641e-05,1.727242e-05,1.716451e-05,1.703771e-05,1.680270e-05,1.669929e-05,1.656774e-05,1.633319e-05,1.623487e-05,1.609934e-05,1.586648e-05,1.577367e-05,1.563486e-05,1.540472e-05,1.531770e-05,1.517626e-05,1.494968e-05,1.486860e-05,1.472515e-05,1.450282e-05,1.442775e-05,1.428283e-05,1.406530e-05,1.399623e-05,1.385035e-05,1.363807e-05,1.357492e-05,1.342854e-05,1.322185e-05,1.316449e-05,1.301804e-05,1.281719e-05,1.276545e-05,1.261932e-05,1.242449e-05,1.237818e-05,1.223271e-05,1.204403e-05,1.200293e-05,1.185844e-05,1.167597e-05,1.163985e-05,1.149661e-05,1.132038e-05,1.128899e-05,1.114726e-05,1.097726e-05,1.095035e-05,1.081036e-05,1.064654e-05,1.062385e-05,1.048579e-05,1.032809e-05,1.030937e-05,1.017342e-05,1.002175e-05,1.000675e-05,9.873057e-06,9.727311e-06,9.715777e-06,9.584480e-06,9.444534e-06,9.436228e-06,9.307440e-06,9.173163e-06,9.167850e-06,9.041669e-06,8.912921e-06,8.910374e-06,8.786882e-06,8.663515e-06,8.426983e-06,8.200476e-06,7.983692e-06,7.776324e-06,7.578066e-06,7.388615e-06,7.207667e-06,7.034926e-06,6.870098e-06,6.712894e-06,6.563033e-06,6.420240e-06,6.284245e-06,6.154787e-06,6.031612e-06,5.914473e-06,5.803129e-06,5.697349e-06,5.596909e-06,5.501590e-06,5.411183e-06,5.325484e-06,5.244298e-06,5.167436e-06,5.094716e-06,5.025960e-06,4.961001e-06,4.899676e-06,4.841826e-06,4.787302e-06,4.735957e-06,4.687652e-06,4.642253e-06,4.599629e-06,4.559657e-06,4.522216e-06,4.487193e-06,4.454477e-06,4.423962e-06,4.395545e-06,4.369129e-06,4.344621e-06,4.321930e-06,4.300970e-06,4.281657e-06,4.263912e-06,4.247659e-06,4.232823e-06,4.219336e-06
0.000000e+00,1.383335e-09,2.064579e-08,2.157385e-08,1.302779e-07,4.119150e-07,4.280798e-07,9.224238e-07,1.459805e-06,1.494080e-06,2.046472e-06,2.514705e-06,2.553495e-06,3.012879e-06,3.387527e-06,3.426988e-06,3.798918e-06,4.093795e-06,4.131774e-06,4.428523e-06,4.656987e-06,4.691964e-06,4.924720e-06,5.098321e-06,5.129243e-06,5.307815e-06,5.436372e-06,5.462557e-06,5.595437e-06,5.687231e-06,5.708280e-06,5.802774e-06,5.864753e-06,5.880484e-06,5.942852e-06,5.980817e-06,5.991214e-06,6.026802e-06,6.045587e-06,6.050756e-06,6.064124e-06,6.067742e-06,6.067876e-06,6.062905e-06,6.054679e-06,6.050035e-06,6.030022e-06,6.012692e-06,6.003565e-06,5.971309e-06,5.947133e-06,5.933847e-06,5.891725e-06,5.862554e-06,5.845443e-06,5.795462e-06,5.762803e-06,5.742205e-06,5.686063e-06,5.651142e-06,5.627392e-06,5.566520e-06,5.530325e-06,5.503747e-06,5.439348e-06,5.402669e-06,5.373575e-06,5.306658e-06,5.270123e-06,5.238808e-06,5.170218e-06,5.134317e-06,5.101062e-06,5.031500e-06,4.996613e-06,4.961679e-06,4.891730e-06,4.858144e-06,4.821773e-06,4.751918e-06,4.719847e-06,4.682264e-06,4.612899e-06,4.582492e-06,4.543905e-06,4.475353e-06,4.446709e-06,4.407308e-06,4.339829e-06,4.313007e-06,4.272967e-06,4.206769e-06,4.181797e-06,4.141275e-06,4.076522e-06,4.053398e-06,4.012541e-06,3.949359e-06,3.928063e-06,3.886999e-06,3.825483e-06,3.805979e-06,3.764827e-06,3.705046e-06,3.687284e-06,3.646150e-06,3.588150e-06,3.572072e-06,3.531053e-06,3.474862e-06,3.460401e-06,3.419582e-06,3.365213e-06,3.352300e-06,3.311756e-06,3.259210e-06,3.247771e-06,3.207571e-06,3.156836e-06,3.146797e-06,3.107001e-06,3.058059e-06,3.049344e-06,3.010004e-06,2.962829e-06,2.955362e-06,2.916526e-06,2.871087e-06,2.864794e-06,2.826502e-06,2.782763e-06,2.777570e-06,2.739859e-06,2.697780e-06,2.693618e-06,2.656517e-06,2.616057e-06,2.612855e-06,2.576391e-06,2.537508e-06,2.535199e-06,2.499395e-06,2.462042e-06,2.460564e-06,2.425437e-06,2.389569e-06,2.388859e-06,2.354426e-06,2.319997e-06,2.253888e-06,2.190442e-06,2.129570e-06,2.071185e-06,2.015201e-06,1.961532e-06,1.910097e-06,1.860813e-06,1.813603e-06,1.768389e-06,1.725097e-06,1.683654e-06,1.643990e-06,1.606038e-06,1.569731e-06,1.535007e-06,1.501803e-06,1.470060e-06,1.439722e-06,1.410733e-06,1.383040e-06,1.356592e-06,1.331339e-06,1.307234e-06,1.284232e-06,1.262287e-06,1.241358e-06,1.221404e-06,1.202385e-06,1.184265e-06,1.167006e-06,1.150573e-06,1.134934e-06,1.120055e-06,1.105906e-06,1.092457e-06,1.079679e-06,1.067544e-06,1.056027e-06,1.045101e-06,1.034741e-06,1.024926e-06,1.015631e-06,1.006836e-06,9.985180e-07,9.906587e-07,9.832381e-07,9.762377e-07,9.696396e-07
0.000000e+00,7.724455e-09,2.635536e-07,2.785432e-07,2.813397e-06,1.394668e-05,1.475684e-05,4.872691e-05,1.093322e-04,1.141597e-04,2.086841e-04,3.122766e-04,3.217270e-04,4.423390e-04,5.508060e-04,5.626734e-04,6.780905e-04,7.736844e-04,7.862373e-04,8.861545e-04,9.653479e-04,9.776570e-04,1.060959e-03,1.124889e-03,1.136465e-03,1.204656e-03,1.255467e-03,1.266034e-03,1.321090e-03,1.360901e-03,1.370295e-03,1.414096e-03,1.444777e-03,1.452908e-03,1.487121e-03,1.510270e-03,1.517096e-03,1.543167e-03,1.560131e-03,1.565646e-03,1.584821e-03,1.596730e-03,1.600956e-03,1.614299e-03,1.622099e-03,1.625076e-03,1.633499e-03,1.637982e-03,1.639762e-03,1.644045e-03,1.645869e-03,1.646515e-03,1.647325e-03,1.647039e-03,1.646617e-03,1.644523e-03,1.642583e-03,1.641164e-03,1.636652e-03,1.633435e-03,1.631091e-03,1.624576e-03,1.620396e-03,1.617196e-03,1.609032e-03,1.604146e-03,1.600159e-03,1.590647e-03,1.585268e-03,1.580561e-03,1.569959e-03,1.564261e-03,1.558896e-03,1.547423e-03,1.541547e-03,1.535585e-03,1.523426e-03,1.517488e-03,1.510986e-03,1.498300e-03,1.492391e-03,1.485402e-03,1.472323e-03,1.466518e-03,1.459091e-03,1.445733e-03,1.440091e-03,1.432273e-03,1.418732e-03,1.413297e-03,1.405131e-03,1.391488e-03,1.386296e-03,1.377821e-03,1.364145e-03,1.359222e-03,1.350475e-03,1.336823e-03,1.332188e-03,1.323203e-03,1.309623e-03,1.305289e-03,1.296096e-03,1.282630e-03,1.278603e-03,1.269232e-03,1.255911e-03,1.252196e-03,1.242674e-03,1.229527e-03,1.226124e-03,1.216474e-03,1.203522e-03,1.200429e-03,1.190675e-03,1.177937e-03,1.175150e-03,1.165312e-03,1.152802e-03,1.150314e-03,1.140411e-03,1.128141e-03,1.125946e-03,1.115995e-03,1.103974e-03,1.102062e-03,1.092080e-03,1.080314e-03,1.078677e-03,1.068678e-03,1.057172e-03,1.055800e-03,1.045798e-03,1.034555e-03,1.033438e-03,1.023445e-03,1.012467e-03,1.011594e-03,1.001621e-03,9.909088e-04,9.902702e-04,9.803287e-04,9.698810e-04,9.694658e-04,9.595653e-04,9.493813e-04,9.491789e-04,9.393284e-04,9.294061e-04,9.101428e-04,8.913834e-04,8.731218e-04,8.553509e-04,8.380633e-04,8.212511e-04,8.049061e-04,7.890198e-04,7.735837e-04,7.585888e-04,7.440265e-04,7.298876e-04,7.161634e-04,7.028447e-04,6.899229e-04,6.773889e-04,6.652342e-04,6.534500e-04,6.420278e-04,6.309592e-04,6.202358e-04,6.098495e-04,5.997921e-04,5.900558e-04,5.806328e-04,5.715153e-04,5.626960e-04,5.541674e-04,5.459223e-04,5.379536e-04,5.302543e-04,5.228177e-04,5.156371e-04,5.087059e-04,5.020177e-04,4.955663e-04,4.893455e-04,4.833493e-04,4.775718e-04,4.720073e-04,4.666500e-04,4.614946e-04,4.565355e-04,4.517675e-04,4.471855e-04,4.427842e-04,4.385588e-04,4.345045e-04,4.306164e-04
0.000000e+00,1.349835e-08,3.546768e-07,3.732009e-07,3.238150e-06,1.518779e-05,1.604816e-05,5.137100e-05,1.102558e-04,1.147209e-04,1.966148e-04,2.772910e-04,2.843086e-04,3.703418e-04,4.438326e-04,4.517283e-04,5.275902e-04,5.896994e-04,5.978371e-04,6.626393e-04,7.142015e-04,7.222426e-04,7.769041e-04,8.191906e-04,8.268833e-04,8.724382e-04,9.066691e-04,9.138213e-04,9.512771e-04,9.785727e-04,9.850411e-04,1.015339e-03,1.036704e-03,1.042385e-03,1.066386e-03,1.082710e-03,1.087536e-03,1.106020e-03,1.118084e-03,1.122011e-03,1.135677e-03,1.144164e-03,1.147172e-03,1.156645e-03,1.162148e-03,1.164235e-03,1.170072e-03,1.173104e-03,1.174281e-03,1.176978e-03,1.177983e-03,1.178273e-03,1.178268e-03,1.177629e-03,1.177062e-03,1.174745e-03,1.172789e-03,1.171404e-03,1.167119e-03,1.164127e-03,1.161966e-03,1.156017e-03,1.152228e-03,1.149338e-03,1.141992e-03,1.137609e-03,1.134039e-03,1.125532e-03,1.120728e-03,1.116526e-03,1.107066e-03,1.101984e-03,1.097201e-03,1.086971e-03,1.081732e-03,1.076416e-03,1.065575e-03,1.060279e-03,1.054481e-03,1.043168e-03,1.037898e-03,1.031665e-03,1.020001e-03,1.014825e-03,1.008203e-03,9.962950e-04,9.912663e-04,9.842997e-04,9.722386e-04,9.674003e-04,9.601316e-04,9.479971e-04,9.433823e-04,9.358520e-04,9.237123e-04,9.193461e-04,9.115924e-04,8.995061e-04,8.954066e-04,8.874656e-04,8.754825e-04,8.716618e-04,8.635675e-04,8.517301e-04,8.481954e-04,8.399793e-04,8.283232e-04,8.250775e-04,8.167693e-04,8.053244e-04,8.023673e-04,7.939945e-04,7.827852e-04,7.801135e-04,7.717015e-04,7.607479e-04,7.583560e-04,7.499284e-04,7.392465e-04,7.371269e-04,7.287053e-04,7.183076e-04,7.164514e-04,7.080557e-04,6.979516e-04,6.963488e-04,6.879971e-04,6.781936e-04,6.768332e-04,6.685421e-04,6.590436e-04,6.579141e-04,6.496986e-04,6.405076e-04,6.395970e-04,6.314708e-04,6.225882e-04,6.218842e-04,6.138595e-04,6.052844e-04,6.047748e-04,5.968625e-04,5.885931e-04,5.882655e-04,5.804754e-04,5.725085e-04,5.723507e-04,5.646915e-04,5.570233e-04,5.422744e-04,5.280938e-04,5.144704e-04,5.013922e-04,4.888463e-04,4.768196e-04,4.652984e-04,4.542686e-04,4.437162e-04,4.336267e-04,4.239860e-04,4.147797e-04,4.059936e-04,3.976136e-04,3.896260e-04,3.820169e-04,3.747730e-04,3.678811e-04,3.613282e-04,3.551017e-04,3.491893e-04,3.435791e-04,3.382592e-04,3.332184e-04,3.284456e-04,3.239300e-04,3.196614e-04,3.156296e-04,3.118249e-04,3.082378e-04,3.048592e-04,3.016803e-04,2.986925e-04,2.958876e-04,2.932576e-04,2.907950e-04,2.884922e-04,2.863422e-04,2.843381e-04,2.824732e-04,2.807412e-04,2.791360e-04,2.776515e-04,2.762822e-04,2.750226e-04,2.738673e-04,2.728114e-04,2.718500e-04,2.709783e-04
0.000000e+00,3.690510e-08,4.852044e-07,5.055490e-07,2.935539e-06,1.027383e-05,1.073739e-05,2.678882e-05,4.750632e-05,4.891185e-05,7.255470e-05,9.381831e-05,9.562680e-05,1.176132e-04,1.363879e-04,1.384142e-04,1.580254e-04,1.743149e-04,1.764670e-04,1.937679e-04,2.077598e-04,2.099617e-04,2.250852e-04,2.369903e-04,2.391774e-04,2.522786e-04,2.623106e-04,2.644295e-04,2.756711e-04,2.840370e-04,2.860440e-04,2.955879e-04,3.024816e-04,3.043416e-04,3.123430e-04,3.179434e-04,3.196286e-04,3.262338e-04,3.307038e-04,3.321928e-04,3.375382e-04,3.410249e-04,3.423019e-04,3.465138e-04,3.491498e-04,3.502036e-04,3.533992e-04,3.553037e-04,3.561274e-04,3.584140e-04,3.596933e-04,3.602836e-04,3.617597e-04,3.625084e-04,3.628649e-04,3.636207e-04,3.639229e-04,3.640477e-04,3.641658e-04,3.640961e-04,3.639936e-04,3.635491e-04,3.631733e-04,3.628495e-04,3.619112e-04,3.612873e-04,3.607498e-04,3.593801e-04,3.585590e-04,3.578164e-04,3.560723e-04,3.550982e-04,3.541604e-04,3.520932e-04,3.510050e-04,3.498823e-04,3.475388e-04,3.463700e-04,3.450733e-04,3.424959e-04,3.412752e-04,3.398159e-04,3.370426e-04,3.357950e-04,3.341845e-04,3.312498e-04,3.299963e-04,3.282463e-04,3.251812e-04,3.239395e-04,3.220616e-04,3.188940e-04,3.176790e-04,3.156846e-04,3.124395e-04,3.112635e-04,3.091641e-04,3.058637e-04,3.047368e-04,3.025433e-04,2.992076e-04,2.981377e-04,2.958611e-04,2.925078e-04,2.915011e-04,2.891518e-04,2.857966e-04,2.848578e-04,2.824459e-04,2.791028e-04,2.782352e-04,2.757703e-04,2.724515e-04,2.716573e-04,2.691488e-04,2.658649e-04,2.651452e-04,2.626020e-04,2.593624e-04,2.587174e-04,2.561480e-04,2.529607e-04,2.523900e-04,2.498022e-04,2.466742e-04,2.461767e-04,2.435782e-04,2.405154e-04,2.400893e-04,2.374872e-04,2.344947e-04,2.341380e-04,2.315389e-04,2.286207e-04,2.283310e-04,2.257411e-04,2.229008e-04,2.226753e-04,2.201004e-04,2.173407e-04,2.171764e-04,2.146220e-04,2.119449e-04,2.118386e-04,2.093097e-04,2.067168e-04,2.066654e-04,2.041665e-04,2.016589e-04,1.968207e-04,1.921515e-04,1.876513e-04,1.833195e-04,1.791549e-04,1.751561e-04,1.713210e-04,1.676472e-04,1.641320e-04,1.607726e-04,1.575658e-04,1.545082e-04,1.515964e-04,1.488266e-04,1.461951e-04,1.436981e-04,1.413317e-04,1.390921e-04,1.369752e-04,1.349770e-04,1.330937e-04,1.313212e-04,1.296558e-04,1.280934e-04,1.266304e-04,1.252628e-04,1.239870e-04,1.227993e-04,1.216961e-04,1.206739e-04,1.197293e-04,1.188589e-04,1.180593e-04,1.173275e-04,1.166602e-04,1.160544e-04,1.155071e-04,1.150156e-04,1.145769e-04,1.141884e-04,1.138475e-04,1.135516e-04,1.132982e-04,1.130851e-04,1.129098e-04,1.127702e-04,1.126642e-04,1.125896e-04,1.125446e-04
0.000000e+00,2.333878e-08,3.651513e-07,3.812494e-07,2.390002e-06,8.795240e-06,9.210130e-06,2.419105e-05,4.511713e-05,4.658695e-05,7.174979e-05,9.445210e-05,9.636776e-05,1.193588e-04,1.384749e-04,1.405065e-04,1.598292e-04,1.753861e-04,1.774062e-04,1.933316e-04,2.057800e-04,2.077018e-04,2.206118e-04,2.303958e-04,2.321544e-04,2.424188e-04,2.499419e-04,2.514905e-04,2.594511e-04,2.650720e-04,2.663784e-04,2.723459e-04,2.763792e-04,2.774232e-04,2.816761e-04,2.843954e-04,2.851668e-04,2.879536e-04,2.895947e-04,2.900907e-04,2.916285e-04,2.923915e-04,2.926146e-04,2.930937e-04,2.931500e-04,2.931077e-04,2.926958e-04,2.921915e-04,2.918953e-04,2.907424e-04,2.898048e-04,2.892704e-04,2.875092e-04,2.862430e-04,2.854864e-04,2.832279e-04,2.817198e-04,2.807577e-04,2.780981e-04,2.764203e-04,2.752701e-04,2.722928e-04,2.705047e-04,2.691842e-04,2.659609e-04,2.641115e-04,2.626382e-04,2.592306e-04,2.573597e-04,2.557510e-04,2.522118e-04,2.503517e-04,2.486243e-04,2.449987e-04,2.431746e-04,2.413446e-04,2.376709e-04,2.359030e-04,2.339856e-04,2.302962e-04,2.285995e-04,2.266094e-04,2.229314e-04,2.213173e-04,2.192679e-04,2.156241e-04,2.141007e-04,2.120046e-04,2.084138e-04,2.069863e-04,2.048553e-04,2.013328e-04,2.000043e-04,1.978493e-04,1.944075e-04,1.931792e-04,1.910100e-04,1.876589e-04,1.865304e-04,1.843561e-04,1.811033e-04,1.800732e-04,1.779020e-04,1.747534e-04,1.738192e-04,1.716585e-04,1.686181e-04,1.677767e-04,1.656331e-04,1.627039e-04,1.619515e-04,1.598310e-04,1.570145e-04,1.563470e-04,1.542548e-04,1.515517e-04,1.509647e-04,1.489053e-04,1.463155e-04,1.458043e-04,1.437819e-04,1.413043e-04,1.408643e-04,1.388824e-04,1.365156e-04,1.361420e-04,1.342035e-04,1.319456e-04,1.316338e-04,1.297413e-04,1.275899e-04,1.273352e-04,1.254907e-04,1.234432e-04,1.232412e-04,1.214464e-04,1.194999e-04,1.193463e-04,1.176026e-04,1.157539e-04,1.156445e-04,1.139529e-04,1.121989e-04,1.121297e-04,1.104910e-04,1.088284e-04,1.087956e-04,1.072102e-04,1.056356e-04,1.026431e-04,9.981169e-05,9.713474e-05,9.460578e-05,9.221846e-05,8.996651e-05,8.784384e-05,8.584448e-05,8.396265e-05,8.219274e-05,8.052931e-05,7.896714e-05,7.750117e-05,7.612654e-05,7.483859e-05,7.363284e-05,7.250499e-05,7.145093e-05,7.046674e-05,6.954866e-05,6.869311e-05,6.789666e-05,6.715606e-05,6.646820e-05,6.583013e-05,6.523903e-05,6.469223e-05,6.418719e-05,6.372150e-05,6.329285e-05,6.289909e-05,6.253814e-05,6.220806e-05,6.190697e-05,6.163313e-05,6.138488e-05,6.116062e-05,6.095888e-05,6.077824e-05,6.061737e-05,6.047500e-05,6.034993e-05,6.024104e-05,6.014727e-05,6.006760e-05,6.000109e-05,5.994683e-05,5.990398e-05,5.987175e-05
0.000000e+00,1.169684e-09,1.374322e-08,1.431596e-08,8.247063e-08,2.854253e-07,2.982439e-07,7.540557e-07,1.400429e-06,1.446851e-06,2.260260e-06,3.012770e-06,3.076668e-06,3.846231e-06,4.488856e-06,4.557285e-06,5.209525e-06,5.736826e-06,5.805469e-06,6.348275e-06,6.775054e-06,6.841174e-06,7.287320e-06,7.628169e-06,7.689737e-06,8.051295e-06,8.319197e-06,8.374715e-06,8.662566e-06,8.868869e-06,8.917269e-06,9.141114e-06,9.295688e-06,9.336264e-06,9.504740e-06,9.616096e-06,9.648410e-06,9.769027e-06,9.844430e-06,9.868263e-06,9.947684e-06,9.993432e-06,1.000877e-05,1.005293e-05,1.007453e-05,1.008157e-05,1.009590e-05,1.009807e-05,1.009708e-05,1.008615e-05,1.007279e-05,1.006411e-05,1.003189e-05,1.000633e-05,9.990358e-06,9.940318e-06,9.905356e-06,9.882529e-06,9.817697e-06,9.775693e-06,9.746480e-06,9.669492e-06,9.622422e-06,9.587306e-06,9.500455e-06,9.449968e-06,9.409437e-06,9.314715e-06,9.262178e-06,9.216719e-06,9.115849e-06,9.062385e-06,9.012477e-06,8.906948e-06,8.853475e-06,8.799582e-06,8.690676e-06,8.637936e-06,8.580506e-06,8.469326e-06,8.417910e-06,8.357372e-06,8.244861e-06,8.195232e-06,8.131994e-06,8.018955e-06,7.971470e-06,7.905916e-06,7.793033e-06,7.747955e-06,7.680449e-06,7.568297e-06,7.525818e-06,7.456697e-06,7.345760e-06,7.306004e-06,7.235585e-06,7.126264e-06,7.089305e-06,7.017881e-06,6.910508e-06,6.876374e-06,6.804215e-06,6.699060e-06,6.667745e-06,6.595100e-06,6.492381e-06,6.463848e-06,6.390946e-06,6.290834e-06,6.265025e-06,6.192075e-06,6.094699e-06,6.071537e-06,5.998730e-06,5.904187e-06,5.883581e-06,5.811088e-06,5.719445e-06,5.701293e-06,5.629270e-06,5.540570e-06,5.524761e-06,5.453349e-06,5.367610e-06,5.354029e-06,5.283353e-06,5.200578e-06,5.189107e-06,5.119279e-06,5.039453e-06,5.029972e-06,4.961091e-06,4.884187e-06,4.876576e-06,4.808730e-06,4.734709e-06,4.728849e-06,4.662114e-06,4.590930e-06,4.586704e-06,4.521145e-06,4.452744e-06,4.450037e-06,4.385712e-06,4.320033e-06,4.318733e-06,4.255691e-06,4.192669e-06,4.071711e-06,3.955723e-06,3.844562e-06,3.738083e-06,3.636140e-06,3.538587e-06,3.445276e-06,3.356061e-06,3.270797e-06,3.189343e-06,3.111558e-06,3.037305e-06,2.966448e-06,2.898858e-06,2.834406e-06,2.772967e-06,2.714422e-06,2.658654e-06,2.605547e-06,2.554994e-06,2.506888e-06,2.461125e-06,2.417609e-06,2.376243e-06,2.336935e-06,2.299597e-06,2.264145e-06,2.230495e-06,2.198571e-06,2.168295e-06,2.139595e-06,2.112402e-06,2.086648e-06,2.062269e-06,2.039204e-06,2.017393e-06,1.996780e-06,1.977310e-06,1.958932e-06,1.941595e-06,1.925251e-06,1.909856e-06,1.895364e-06,1.881734e-06,1.868925e-06,1.856900e-06,1.845621e-06,1.835053e-06,1.825162e-06
0.000000e+00,7.314852e-07,2.647357e-05,2.800121e-05,3.026566e-04,1.710482e-03,1.821686e-03,7.173744e-03,1.912958e-02,2.019488e-02,4.423605e-02,7.771035e-02,8.115586e-02,1.313916e-01,1.875014e-01,1.943346e-01,2.686905e-01,3.422226e-01,3.527626e-01,4.446608e-01,5.284757e-01,5.424495e-01,6.442486e-01,7.315676e-01,7.482989e-01,8.530015e-01,9.383446e-01,9.569395e-01,1.058885e+00,1.138303e+00,1.157800e+00,1.252825e+00,1.323795e+00,1.343271e+00,1.428603e+00,1.489788e+00,1.508426e+00,1.582468e+00,1.633438e+00,1.650566e+00,1.712649e+00,1.753626e+00,1.768725e+00,1.818868e+00,1.850506e+00,1.863208e+00,1.901917e+00,1.925127e+00,1.935201e+00,1.963292e+00,1.979110e+00,1.986443e+00,2.004916e+00,2.014410e+00,2.018984e+00,2.028921e+00,2.033127e+00,2.035000e+00,2.037494e+00,2.037378e+00,2.036665e+00,2.032772e+00,2.029208e+00,2.026062e+00,2.016775e+00,2.010532e+00,2.005136e+00,1.991362e+00,1.983108e+00,1.975657e+00,1.958214e+00,1.948518e+00,1.939216e+00,1.918831e+00,1.908170e+00,1.897220e+00,1.874532e+00,1.863299e+00,1.850904e+00,1.826465e+00,1.814985e+00,1.801336e+00,1.775628e+00,1.764159e+00,1.749442e+00,1.722873e+00,1.711622e+00,1.696010e+00,1.668931e+00,1.658057e+00,1.641712e+00,1.614419e+00,1.604042e+00,1.587115e+00,1.559857e+00,1.550065e+00,1.532696e+00,1.505680e+00,1.496535e+00,1.478852e+00,1.452250e+00,1.443791e+00,1.425910e+00,1.399864e+00,1.392112e+00,1.374140e+00,1.348764e+00,1.341724e+00,1.323759e+00,1.299144e+00,1.292811e+00,1.274939e+00,1.251158e+00,1.245516e+00,1.227816e+00,1.204924e+00,1.199949e+00,1.182492e+00,1.160529e+00,1.156193e+00,1.139042e+00,1.118036e+00,1.114307e+00,1.097516e+00,1.077486e+00,1.074326e+00,1.057946e+00,1.038898e+00,1.036271e+00,1.020343e+00,1.002279e+00,1.000145e+00,9.847064e-01,9.676215e-01,9.659398e-01,9.510222e-01,9.349049e-01,9.336363e-01,9.192659e-01,9.041007e-01,9.032057e-01,8.894045e-01,8.751719e-01,8.746122e-01,8.613974e-01,8.480750e-01,8.478132e-01,8.351985e-01,8.227611e-01,7.994041e-01,7.776869e-01,7.575515e-01,7.389378e-01,7.217842e-01,7.060277e-01,6.916050e-01,6.784521e-01,6.665053e-01,6.557007e-01,6.459752e-01,6.372661e-01,6.295118e-01,6.226516e-01,6.166261e-01,6.113772e-01,6.068481e-01,6.029838e-01,5.997311e-01,5.970383e-01,5.948557e-01,5.931358e-01,5.918327e-01,5.909030e-01,5.903051e-01,5.899997e-01,5.899498e-01,5.901203e-01,5.904786e-01,5.909940e-01,5.916382e-01,5.923849e-01,5.932099e-01,5.940911e-01,5.950082e-01,5.959432e-01,5.968795e-01,5.978027e-01,5.986998e-01,5.995596e-01,6.003723e-01,6.011297e-01,6.018248e-01,6.024520e-01,6.030068e-01,6.034858e-01,6.038866e-01,6.042078e-01,6.044487e-01
0.000000e+00,2.443290e-07,9.219401e-06,9.757141e-06,1.051760e-04,5.673709e-04,6.028809e-04,2.255863e-03,5.862735e-03,6.183719e-03,1.346076e-02,2.369024e-02,2.474784e-02,4.023080e-02,5.760786e-02,5.972747e-02,8.281508e-02,1.056598e-01,1.089338e-01,1.374620e-01,1.634418e-01,1.677688e-01,1.992479e-01,2.261849e-01,2.313393e-01,2.635413e-01,2.897203e-01,2.954161e-01,3.265910e-01,3.508172e-01,3.567567e-01,3.856632e-01,4.072084e-01,4.131148e-01,4.389647e-01,4.574741e-01,4.631091e-01,4.854815e-01,5.008749e-01,5.060473e-01,5.247990e-01,5.371844e-01,5.417513e-01,5.569368e-01,5.665405e-01,5.704032e-01,5.822092e-01,5.893228e-01,5.924220e-01,6.011152e-01,6.060579e-01,6.083665e-01,6.142561e-01,6.173482e-01,6.188651e-01,6.222750e-01,6.238222e-01,6.245660e-01,6.258167e-01,6.260996e-01,6.261034e-01,6.254997e-01,6.247696e-01,6.240764e-01,6.219009e-01,6.203780e-01,6.190372e-01,6.155462e-01,6.134206e-01,6.114853e-01,6.069082e-01,6.043412e-01,6.018659e-01,5.964056e-01,5.935328e-01,5.905719e-01,5.844061e-01,5.813400e-01,5.779469e-01,5.712299e-01,5.680629e-01,5.642887e-01,5.571540e-01,5.539609e-01,5.498545e-01,5.424166e-01,5.392573e-01,5.348647e-01,5.272215e-01,5.241433e-01,5.195076e-01,5.117422e-01,5.087816e-01,5.039429e-01,4.961259e-01,4.933102e-01,4.883058e-01,4.804963e-01,4.778456e-01,4.727096e-01,4.649572e-01,4.624854e-01,4.572493e-01,4.495953e-01,4.473109e-01,4.420036e-01,4.344818e-01,4.323893e-01,4.270371e-01,4.196755e-01,4.177758e-01,4.124026e-01,4.052236e-01,4.035151e-01,3.981427e-01,3.911641e-01,3.896428e-01,3.842910e-01,3.775266e-01,3.761871e-01,3.708736e-01,3.643341e-01,3.631692e-01,3.579101e-01,3.516032e-01,3.506050e-01,3.454146e-01,3.393456e-01,3.385055e-01,3.333967e-01,3.275687e-01,3.268775e-01,3.218619e-01,3.162764e-01,3.157245e-01,3.108123e-01,3.054693e-01,3.050471e-01,3.002472e-01,2.951456e-01,2.948433e-01,2.901638e-01,2.853011e-01,2.851091e-01,2.805569e-01,2.759301e-01,2.758387e-01,2.714198e-01,2.670249e-01,2.586594e-01,2.507326e-01,2.432346e-01,2.361543e-01,2.294804e-01,2.232012e-01,2.173044e-01,2.117778e-01,2.066086e-01,2.017843e-01,1.972919e-01,1.931188e-01,1.892520e-01,1.856787e-01,1.823862e-01,1.793618e-01,1.765928e-01,1.740668e-01,1.717715e-01,1.696948e-01,1.678247e-01,1.661493e-01,1.646573e-01,1.633372e-01,1.621780e-01,1.611690e-01,1.602997e-01,1.595599e-01,1.589396e-01,1.584295e-01,1.580203e-01,1.577031e-01,1.574695e-01,1.573114e-01,1.572210e-01,1.571910e-01,1.572143e-01,1.572844e-01,1.573951e-01,1.575405e-01,1.577152e-01,1.579140e-01,1.581322e-01,1.583655e-01,1.586098e-01,1.588614e-01,1.591170e-01,1.593735e-01,1.596283e-01
0.000000e+00,1.943399e-08,8.402654e-07,8.918861e-07,1.050933e-05,5.500202e-05,5.824024e-05,1.905194e-04,4.148395e-04,4.323803e-04,7.736487e-04,1.151962e-03,1.186975e-03,1.643376e-03,2.070958e-03,2.118805e-03,2.595554e-03,3.006491e-03,3.061555e-03,3.509099e-03,3.875670e-03,3.933605e-03,4.332631e-03,4.647345e-03,4.705155e-03,5.051066e-03,5.315165e-03,5.370825e-03,5.665243e-03,5.883204e-03,5.935326e-03,6.182190e-03,6.359370e-03,6.406993e-03,6.610902e-03,6.752607e-03,6.795066e-03,6.960602e-03,7.071743e-03,7.108590e-03,7.240065e-03,7.325058e-03,7.356015e-03,7.457380e-03,7.520140e-03,7.545057e-03,7.619895e-03,7.663865e-03,7.682700e-03,7.734236e-03,7.762430e-03,7.775227e-03,7.806357e-03,7.821406e-03,7.828275e-03,7.841595e-03,7.845791e-03,7.846897e-03,7.844729e-03,7.840061e-03,7.835612e-03,7.820036e-03,7.808226e-03,7.798464e-03,7.771334e-03,7.753869e-03,7.739061e-03,7.702034e-03,7.680194e-03,7.660623e-03,7.615176e-03,7.590058e-03,7.566021e-03,7.513469e-03,7.486011e-03,7.457811e-03,7.399324e-03,7.370321e-03,7.338265e-03,7.274881e-03,7.245007e-03,7.209401e-03,7.142042e-03,7.111861e-03,7.073007e-03,7.002488e-03,6.972471e-03,6.930665e-03,6.857707e-03,6.828242e-03,6.783774e-03,6.709013e-03,6.680417e-03,6.633566e-03,6.557562e-03,6.530088e-03,6.481124e-03,6.404368e-03,6.378217e-03,6.327399e-03,6.250319e-03,6.225645e-03,6.173221e-03,6.096191e-03,6.073108e-03,6.019312e-03,5.942659e-03,5.921246e-03,5.866302e-03,5.790305e-03,5.770613e-03,5.714731e-03,5.639633e-03,5.621687e-03,5.565065e-03,5.491074e-03,5.474877e-03,5.417703e-03,5.344992e-03,5.330533e-03,5.272980e-03,5.201699e-03,5.188948e-03,5.131180e-03,5.061451e-03,5.050369e-03,4.992537e-03,4.924461e-03,4.914999e-03,4.857244e-03,4.790904e-03,4.783002e-03,4.725456e-03,4.660914e-03,4.654511e-03,4.597292e-03,4.534600e-03,4.529625e-03,4.472846e-03,4.412038e-03,4.408420e-03,4.352182e-03,4.293283e-03,4.290947e-03,4.235344e-03,4.178368e-03,4.177238e-03,4.122355e-03,4.067306e-03,3.961148e-03,3.858748e-03,3.760080e-03,3.665103e-03,3.573773e-03,3.486035e-03,3.401828e-03,3.321087e-03,3.243741e-03,3.169717e-03,3.098939e-03,3.031326e-03,2.966799e-03,2.905275e-03,2.846673e-03,2.790908e-03,2.737898e-03,2.687559e-03,2.639809e-03,2.594565e-03,2.551747e-03,2.511272e-03,2.473063e-03,2.437041e-03,2.403129e-03,2.371250e-03,2.341332e-03,2.313301e-03,2.287085e-03,2.262615e-03,2.239822e-03,2.218640e-03,2.199003e-03,2.180846e-03,2.164109e-03,2.148730e-03,2.134650e-03,2.121811e-03,2.110157e-03,2.099634e-03,2.090187e-03,2.081766e-03,2.074320e-03,2.067799e-03,2.062158e-03,2.057348e-03,2.053326e-03,2.050048e-03,2.047472e-03
0.000000e+00,3.289215e-08,5.777555e-07,6.055292e-07,4.444440e-06,1.735160e-05,1.817919e-05,4.618485e-05,7.981663e-05,8.201960e-05,1.181243e-04,1.494198e-04,1.520370e-04,1.833077e-04,2.092006e-04,2.119495e-04,2.380770e-04,2.590978e-04,2.618268e-04,2.833374e-04,3.001490e-04,3.027443e-04,3.201785e-04,3.333910e-04,3.357659e-04,3.496274e-04,3.597868e-04,3.618780e-04,3.726274e-04,3.802163e-04,3.819798e-04,3.900335e-04,3.954739e-04,3.968817e-04,4.026121e-04,4.062708e-04,4.073076e-04,4.110458e-04,4.132390e-04,4.138999e-04,4.159387e-04,4.169380e-04,4.172265e-04,4.178236e-04,4.178609e-04,4.177863e-04,4.171677e-04,4.164405e-04,4.160175e-04,4.143823e-04,4.130587e-04,4.123056e-04,4.098279e-04,4.080495e-04,4.069873e-04,4.038193e-04,4.017052e-04,4.003568e-04,3.966307e-04,3.942805e-04,3.926697e-04,3.885005e-04,3.859968e-04,3.841479e-04,3.796352e-04,3.770462e-04,3.749837e-04,3.702132e-04,3.675942e-04,3.653421e-04,3.603875e-04,3.577833e-04,3.553650e-04,3.502892e-04,3.477355e-04,3.451735e-04,3.400304e-04,3.375553e-04,3.348711e-04,3.297063e-04,3.273313e-04,3.245455e-04,3.193975e-04,3.171385e-04,3.142703e-04,3.091714e-04,3.070399e-04,3.041074e-04,2.990844e-04,2.970879e-04,2.941079e-04,2.891828e-04,2.873257e-04,2.843137e-04,2.795045e-04,2.777886e-04,2.747588e-04,2.700798e-04,2.685046e-04,2.654702e-04,2.609326e-04,2.594961e-04,2.564690e-04,2.520812e-04,2.507799e-04,2.477708e-04,2.435391e-04,2.423684e-04,2.393870e-04,2.353156e-04,2.342702e-04,2.313252e-04,2.274165e-04,2.264905e-04,2.235896e-04,2.198446e-04,2.190317e-04,2.161815e-04,2.126002e-04,2.118937e-04,2.091002e-04,2.056813e-04,2.050744e-04,2.023428e-04,1.990842e-04,1.985702e-04,1.959048e-04,1.928037e-04,1.923758e-04,1.897802e-04,1.868334e-04,1.864849e-04,1.839623e-04,1.811659e-04,1.808903e-04,1.784431e-04,1.757929e-04,1.755840e-04,1.732142e-04,1.707057e-04,1.705574e-04,1.682664e-04,1.658950e-04,1.658016e-04,1.635904e-04,1.613512e-04,1.613071e-04,1.591764e-04,1.570645e-04,1.530642e-04,1.492965e-04,1.457517e-04,1.424203e-04,1.392927e-04,1.363598e-04,1.336125e-04,1.310418e-04,1.286392e-04,1.263963e-04,1.243050e-04,1.223574e-04,1.205461e-04,1.188637e-04,1.173033e-04,1.158581e-04,1.145217e-04,1.132880e-04,1.121511e-04,1.111054e-04,1.101454e-04,1.092662e-04,1.084627e-04,1.077305e-04,1.070650e-04,1.064621e-04,1.059178e-04,1.054283e-04,1.049901e-04,1.045998e-04,1.042541e-04,1.039500e-04,1.036847e-04,1.034553e-04,1.032595e-04,1.030947e-04,1.029587e-04,1.028492e-04,1.027644e-04,1.027022e-04,1.026609e-04,1.026388e-04,1.026342e-04,1.026458e-04,1.026721e-04,1.027118e-04,1.027636e-04,1.028265e-04,1.028993e-04
0.000000e+00,2.087801e-07,7.117251e-06,7.516103e-06,7.519848e-05,4.040562e-04,4.297228e-04,1.664745e-03,4.488091e-03,4.743771e-03,1.063540e-02,1.908403e-02,1.996440e-02,3.295451e-02,4.770567e-02,4.951500e-02,6.934309e-02,8.915451e-02,9.200800e-02,1.170133e-01,1.399945e-01,1.438408e-01,1.719810e-01,1.962799e-01,2.009525e-01,2.303143e-01,2.544039e-01,2.596719e-01,2.886810e-01,3.114374e-01,3.170465e-01,3.445217e-01,3.652028e-01,3.709046e-01,3.960348e-01,4.142191e-01,4.197894e-01,4.420786e-01,4.575926e-01,4.628420e-01,4.820445e-01,4.948955e-01,4.996727e-01,5.157316e-01,5.260493e-01,5.302412e-01,5.432343e-01,5.512247e-01,5.547534e-01,5.648490e-01,5.707596e-01,5.735777e-01,5.810003e-01,5.850948e-01,5.871807e-01,5.921845e-01,5.947250e-01,5.960781e-01,5.989279e-01,6.001642e-01,6.007997e-01,6.017579e-01,6.019199e-01,6.018654e-01,6.011830e-01,6.004778e-01,5.997694e-01,5.976809e-01,5.962915e-01,5.949712e-01,5.916917e-01,5.897773e-01,5.878908e-01,5.836147e-01,5.813121e-01,5.789068e-01,5.738081e-01,5.712333e-01,5.683571e-01,5.625901e-01,5.598406e-01,5.565411e-01,5.502418e-01,5.473986e-01,5.437221e-01,5.370097e-01,5.341393e-01,5.301305e-01,5.231087e-01,5.202652e-01,5.159669e-01,5.087259e-01,5.059524e-01,5.014052e-01,4.940229e-01,4.913534e-01,4.865956e-01,4.791391e-01,4.765997e-01,4.716675e-01,4.641941e-01,4.618043e-01,4.567313e-01,4.492903e-01,4.470639e-01,4.418815e-01,4.345145e-01,4.324604e-01,4.271980e-01,4.199401e-01,4.180635e-01,4.127480e-01,4.056286e-01,4.039314e-01,3.985878e-01,3.916313e-01,3.901126e-01,3.847639e-01,3.779903e-01,3.766472e-01,3.713144e-01,3.647399e-01,3.635675e-01,3.582699e-01,3.519073e-01,3.508994e-01,3.456546e-01,3.395138e-01,3.386632e-01,3.334869e-01,3.275754e-01,3.268738e-01,3.217805e-01,3.161034e-01,3.155422e-01,3.105448e-01,3.051053e-01,3.046753e-01,2.997853e-01,2.945851e-01,2.942769e-01,2.895047e-01,2.845439e-01,2.843480e-01,2.797026e-01,2.749803e-01,2.748870e-01,2.703764e-01,2.658905e-01,2.573530e-01,2.492678e-01,2.416267e-01,2.344204e-01,2.276390e-01,2.212716e-01,2.153067e-01,2.097323e-01,2.045362e-01,1.997056e-01,1.952276e-01,1.910893e-01,1.872773e-01,1.837783e-01,1.805792e-01,1.776665e-01,1.750270e-01,1.726476e-01,1.705150e-01,1.686164e-01,1.669389e-01,1.654698e-01,1.641966e-01,1.631072e-01,1.621894e-01,1.614314e-01,1.608219e-01,1.603494e-01,1.600033e-01,1.597727e-01,1.596475e-01,1.596179e-01,1.596741e-01,1.598072e-01,1.600083e-01,1.602691e-01,1.605817e-01,1.609383e-01,1.613321e-01,1.617562e-01,1.622043e-01,1.626706e-01,1.631496e-01,1.636363e-01,1.641259e-01,1.646144e-01,1.650977e-01,1.655724e-01,1.660354e-01
0.000000e+00,3.531835e-08,1.211237e-06,1.279484e-06,1.297735e-05,6.998849e-05,7.442972e-05,2.870168e-04,7.693047e-04,8.128331e-04,1.810282e-03,3.222242e-03,3.368147e-03,5.495515e-03,7.857482e-03,8.143531e-03,1.122971e-02,1.423059e-02,1.465643e-02,1.832325e-02,2.159566e-02,2.213462e-02,2.600420e-02,2.924445e-02,2.985704e-02,3.363015e-02,3.662836e-02,3.727235e-02,4.074342e-02,4.337640e-02,4.401306e-02,4.705966e-02,4.927185e-02,4.986909e-02,5.243353e-02,5.421689e-02,5.475038e-02,5.682127e-02,5.819820e-02,5.865118e-02,6.024772e-02,6.125801e-02,6.162041e-02,6.278023e-02,6.347177e-02,6.373905e-02,6.450935e-02,6.493196e-02,6.510385e-02,6.553527e-02,6.573678e-02,6.581615e-02,6.595872e-02,6.598282e-02,6.597473e-02,6.587544e-02,6.576067e-02,6.567151e-02,6.537302e-02,6.515248e-02,6.498939e-02,6.452945e-02,6.423097e-02,6.400139e-02,6.341281e-02,6.305941e-02,6.277073e-02,6.208162e-02,6.169206e-02,6.135143e-02,6.058561e-02,6.017498e-02,5.978916e-02,5.896665e-02,5.854695e-02,5.812226e-02,5.725977e-02,5.684038e-02,5.638266e-02,5.549407e-02,5.508226e-02,5.459687e-02,5.369364e-02,5.329493e-02,5.278675e-02,5.187833e-02,5.149681e-02,5.097030e-02,5.006441e-02,4.970301e-02,4.916223e-02,4.826517e-02,4.792590e-02,4.737452e-02,4.649141e-02,4.617554e-02,4.561687e-02,4.475182e-02,4.446001e-02,4.389706e-02,4.305334e-02,4.278578e-02,4.222128e-02,4.140146e-02,4.115797e-02,4.059436e-02,3.980043e-02,3.958053e-02,3.902002e-02,3.825346e-02,3.805646e-02,3.750103e-02,3.676293e-02,3.658794e-02,3.603936e-02,3.533047e-02,3.517649e-02,3.463636e-02,3.395711e-02,3.382304e-02,3.329277e-02,3.264337e-02,3.252807e-02,3.200892e-02,3.138938e-02,3.129163e-02,3.078472e-02,3.019487e-02,3.011347e-02,2.961977e-02,2.905932e-02,2.899305e-02,2.851342e-02,2.798195e-02,2.792959e-02,2.746478e-02,2.696178e-02,2.692215e-02,2.647281e-02,2.599770e-02,2.596963e-02,2.553630e-02,2.508843e-02,2.507080e-02,2.465393e-02,2.423262e-02,2.422433e-02,2.382431e-02,2.342881e-02,2.268277e-02,2.198470e-02,2.133303e-02,2.072620e-02,2.016258e-02,1.964058e-02,1.915856e-02,1.871490e-02,1.830797e-02,1.793617e-02,1.759786e-02,1.729145e-02,1.701535e-02,1.676798e-02,1.654779e-02,1.635323e-02,1.618279e-02,1.603498e-02,1.590833e-02,1.580141e-02,1.571282e-02,1.564118e-02,1.558517e-02,1.554349e-02,1.551489e-02,1.549817e-02,1.549216e-02,1.549576e-02,1.550788e-02,1.552752e-02,1.555371e-02,1.558554e-02,1.562215e-02,1.566273e-02,1.570652e-02,1.575282e-02,1.580098e-02,1.585040e-02,1.590052e-02,1.595086e-02,1.600095e-02,1.605039e-02,1.609881e-02,1.614591e-02,1.619139e-02,1.623502e-02,1.627661e-02,1.631597e-02,1.635297e-02
0.000000e+00,1.784504e-08,3.182910e-07,3.326812e-07,2.117872e-06,7.667224e-06,8.022973e-06,2.091643e-05,4.004088e-05,4.146067e-05,6.754358e-05,9.357025e-05,9.584181e-05,1.235493e-04,1.467070e-04,1.491540e-04,1.721787e-04,1.903016e-04,1.926232e-04,2.106412e-04,2.243403e-04,2.264222e-04,2.401564e-04,2.502437e-04,2.520242e-04,2.621937e-04,2.693746e-04,2.708201e-04,2.780464e-04,2.829080e-04,2.840039e-04,2.888132e-04,2.918387e-04,2.925847e-04,2.954194e-04,2.970045e-04,2.974099e-04,2.986407e-04,2.991081e-04,2.991891e-04,2.991259e-04,2.987381e-04,2.985155e-04,2.974169e-04,2.963862e-04,2.958836e-04,2.939644e-04,2.924616e-04,2.917036e-04,2.891418e-04,2.873044e-04,2.863162e-04,2.832602e-04,2.811978e-04,2.800045e-04,2.765770e-04,2.743769e-04,2.730030e-04,2.693055e-04,2.670364e-04,2.655052e-04,2.616212e-04,2.593369e-04,2.576707e-04,2.536696e-04,2.514122e-04,2.496319e-04,2.455699e-04,2.433701e-04,2.414945e-04,2.374159e-04,2.352969e-04,2.333432e-04,2.292841e-04,2.272620e-04,2.252459e-04,2.212349e-04,2.193210e-04,2.172568e-04,2.133164e-04,2.115178e-04,2.094182e-04,2.055660e-04,2.038864e-04,2.017630e-04,1.980122e-04,1.964531e-04,1.943161e-04,1.906767e-04,1.892372e-04,1.870958e-04,1.835748e-04,1.822529e-04,1.801151e-04,1.767173e-04,1.755095e-04,1.733824e-04,1.701106e-04,1.690127e-04,1.669025e-04,1.637581e-04,1.627654e-04,1.606775e-04,1.576605e-04,1.567678e-04,1.547069e-04,1.518164e-04,1.510183e-04,1.489885e-04,1.462228e-04,1.455138e-04,1.435185e-04,1.408751e-04,1.402496e-04,1.382918e-04,1.357678e-04,1.352204e-04,1.333024e-04,1.308948e-04,1.304201e-04,1.285440e-04,1.262492e-04,1.258420e-04,1.240094e-04,1.218237e-04,1.214789e-04,1.196912e-04,1.176109e-04,1.173237e-04,1.155818e-04,1.136030e-04,1.133688e-04,1.116734e-04,1.097922e-04,1.096067e-04,1.079583e-04,1.061708e-04,1.060298e-04,1.044288e-04,1.027311e-04,1.026307e-04,1.010770e-04,9.946550e-05,9.940191e-05,9.789562e-05,9.636649e-05,9.633631e-05,9.487719e-05,9.342682e-05,9.066657e-05,8.804887e-05,8.556727e-05,8.321554e-05,8.098765e-05,7.887783e-05,7.688050e-05,7.499033e-05,7.320220e-05,7.151119e-05,6.991261e-05,6.840197e-05,6.697497e-05,6.562751e-05,6.435566e-05,6.315570e-05,6.202404e-05,6.095729e-05,5.995220e-05,5.900568e-05,5.811477e-05,5.727667e-05,5.648871e-05,5.574833e-05,5.505311e-05,5.440073e-05,5.378901e-05,5.321584e-05,5.267923e-05,5.217729e-05,5.170821e-05,5.127027e-05,5.086186e-05,5.048140e-05,5.012742e-05,4.979852e-05,4.949336e-05,4.921067e-05,4.894925e-05,4.870794e-05,4.848564e-05,4.828134e-05,4.809402e-05,4.792277e-05,4.776668e-05,4.762491e-05,4.749666e-05,4.738116e-05,4.727768e-05
0.000000e+00,6.577553e-08,2.382979e-06,2.520668e-06,2.694613e-05,1.463325e-04,1.555233e-04,5.801480e-04,1.476689e-03,1.554657e-03,3.262995e-03,5.530085e-03,5.757925e-03,8.989703e-03,1.244079e-02,1.285172e-02,1.721399e-02,2.136068e-02,2.194332e-02,2.691444e-02,3.129711e-02,3.201525e-02,3.714893e-02,4.142659e-02,4.223401e-02,4.720364e-02,5.115458e-02,5.200418e-02,5.659380e-02,6.009210e-02,6.094091e-02,6.502273e-02,6.801231e-02,6.882395e-02,7.233553e-02,7.480810e-02,7.555364e-02,7.847868e-02,8.045670e-02,8.111452e-02,8.346776e-02,8.499194e-02,8.554712e-02,8.736296e-02,8.848338e-02,8.892680e-02,9.025101e-02,9.102115e-02,9.134847e-02,9.223233e-02,9.270511e-02,9.291583e-02,9.341209e-02,9.363740e-02,9.373401e-02,9.389416e-02,9.391757e-02,9.390471e-02,9.377734e-02,9.363940e-02,9.352325e-02,9.315310e-02,9.288923e-02,9.267699e-02,9.210448e-02,9.174515e-02,9.144459e-02,9.070578e-02,9.027682e-02,8.989598e-02,8.902264e-02,8.854571e-02,8.809268e-02,8.711258e-02,8.660562e-02,8.608835e-02,8.502558e-02,8.450330e-02,8.392946e-02,8.280480e-02,8.227911e-02,8.165604e-02,8.048730e-02,7.996771e-02,7.930237e-02,7.810474e-02,7.759874e-02,7.689764e-02,7.568404e-02,7.519739e-02,7.446665e-02,7.324797e-02,7.278501e-02,7.203028e-02,7.081568e-02,7.037955e-02,6.960608e-02,6.840321e-02,6.799606e-02,6.720867e-02,6.602390e-02,6.564705e-02,6.485019e-02,6.368872e-02,6.334283e-02,6.254057e-02,6.140666e-02,6.109184e-02,6.028787e-02,5.918494e-02,5.890086e-02,5.809855e-02,5.702929e-02,5.677528e-02,5.597768e-02,5.494417e-02,5.471927e-02,5.392916e-02,5.293295e-02,5.273599e-02,5.195584e-02,5.099804e-02,5.082770e-02,5.005973e-02,4.914104e-02,4.899588e-02,4.824208e-02,4.736290e-02,4.724140e-02,4.650353e-02,4.566396e-02,4.556455e-02,4.484417e-02,4.404409e-02,4.396516e-02,4.326363e-02,4.250271e-02,4.244267e-02,4.176119e-02,4.103893e-02,4.099620e-02,4.033577e-02,3.965154e-02,3.962456e-02,3.898606e-02,3.833912e-02,3.832637e-02,3.771051e-02,3.710001e-02,3.594374e-02,3.485568e-02,3.383386e-02,3.287619e-02,3.198058e-02,3.114483e-02,3.036675e-02,2.964411e-02,2.897467e-02,2.835619e-02,2.778645e-02,2.726321e-02,2.678426e-02,2.634743e-02,2.595054e-02,2.559147e-02,2.526814e-02,2.497847e-02,2.472047e-02,2.449214e-02,2.429159e-02,2.411692e-02,2.396632e-02,2.383803e-02,2.373033e-02,2.364159e-02,2.357020e-02,2.351464e-02,2.347345e-02,2.344524e-02,2.342867e-02,2.342246e-02,2.342543e-02,2.343644e-02,2.345442e-02,2.347837e-02,2.350735e-02,2.354048e-02,2.357697e-02,2.361605e-02,2.365705e-02,2.369932e-02,2.374230e-02,2.378546e-02,2.382835e-02,2.387053e-02,2.391164e-02,2.395136e-02,2.398940e-02
0.000000e+00,9.779478e-09,1.859891e-07,1.947021e-07,1.376719e-06,5.680972e-06,5.977667e-06,1.772192e-05,3.689046e-05,3.833950e-05,6.459608e-05,8.949399e-05,9.160740e-05,1.168645e-04,1.375424e-04,1.397171e-04,1.601510e-04,1.762467e-04,1.783117e-04,1.943752e-04,2.066452e-04,2.085152e-04,2.208964e-04,2.300496e-04,2.316717e-04,2.409832e-04,2.476186e-04,2.489620e-04,2.557290e-04,2.603453e-04,2.613956e-04,2.660641e-04,2.690731e-04,2.698280e-04,2.727734e-04,2.745133e-04,2.749793e-04,2.765181e-04,2.772665e-04,2.774561e-04,2.778538e-04,2.778358e-04,2.777647e-04,2.772382e-04,2.766342e-04,2.763202e-04,2.750516e-04,2.740086e-04,2.734712e-04,2.716164e-04,2.702585e-04,2.695210e-04,2.672140e-04,2.656388e-04,2.647218e-04,2.620679e-04,2.603509e-04,2.592740e-04,2.563597e-04,2.545608e-04,2.533428e-04,2.502395e-04,2.484057e-04,2.470643e-04,2.438306e-04,2.419986e-04,2.405503e-04,2.372342e-04,2.354321e-04,2.338921e-04,2.305328e-04,2.287819e-04,2.271643e-04,2.237936e-04,2.221094e-04,2.204271e-04,2.170706e-04,2.154645e-04,2.137292e-04,2.104075e-04,2.088872e-04,2.071094e-04,2.038387e-04,2.024091e-04,2.005985e-04,1.973915e-04,1.960551e-04,1.942203e-04,1.910869e-04,1.898445e-04,1.879932e-04,1.849408e-04,1.837920e-04,1.819311e-04,1.789651e-04,1.779083e-04,1.760439e-04,1.731682e-04,1.722009e-04,1.703386e-04,1.675555e-04,1.666748e-04,1.648194e-04,1.621303e-04,1.613328e-04,1.594885e-04,1.568939e-04,1.561759e-04,1.543465e-04,1.518461e-04,1.512037e-04,1.493925e-04,1.469855e-04,1.464147e-04,1.446247e-04,1.423097e-04,1.418065e-04,1.400402e-04,1.378156e-04,1.373760e-04,1.356355e-04,1.334994e-04,1.331195e-04,1.314067e-04,1.293569e-04,1.290328e-04,1.273493e-04,1.253835e-04,1.251115e-04,1.234587e-04,1.215744e-04,1.213510e-04,1.197300e-04,1.179248e-04,1.177464e-04,1.161581e-04,1.144294e-04,1.142928e-04,1.127380e-04,1.110833e-04,1.109852e-04,1.094646e-04,1.078812e-04,1.078186e-04,1.063326e-04,1.048182e-04,1.047882e-04,1.033372e-04,1.018891e-04,9.911635e-05,9.646534e-05,9.393145e-05,9.151017e-05,8.919712e-05,8.698805e-05,8.487884e-05,8.286550e-05,8.094416e-05,7.911110e-05,7.736272e-05,7.569555e-05,7.410622e-05,7.259153e-05,7.114837e-05,6.977374e-05,6.846477e-05,6.721871e-05,6.603289e-05,6.490476e-05,6.383187e-05,6.281187e-05,6.184248e-05,6.092155e-05,6.004698e-05,5.921677e-05,5.842901e-05,5.768184e-05,5.697350e-05,5.630230e-05,5.566661e-05,5.506486e-05,5.449555e-05,5.395726e-05,5.344860e-05,5.296826e-05,5.251496e-05,5.208750e-05,5.168471e-05,5.130546e-05,5.094871e-05,5.061341e-05,5.029859e-05,5.000330e-05,4.972665e-05,4.946776e-05,4.922582e-05,4.900002e-05,4.878961e-05
0.000000e+00,1.920048e-08,3.083279e-07,3.225272e-07,2.130811e-06,7.626030e-06,7.967742e-06,1.948321e-05,3.375257e-05,3.470188e-05,5.029719e-05,6.365900e-05,6.476416e-05,7.778957e-05,8.829380e-05,8.939258e-05,9.966685e-05,1.076934e-04,1.087186e-04,1.166515e-04,1.226534e-04,1.235630e-04,1.295440e-04,1.339104e-04,1.346783e-04,1.390435e-04,1.420994e-04,1.427111e-04,1.457467e-04,1.477608e-04,1.482106e-04,1.501581e-04,1.513513e-04,1.516397e-04,1.527018e-04,1.532544e-04,1.533864e-04,1.537325e-04,1.537915e-04,1.537752e-04,1.535465e-04,1.532301e-04,1.530753e-04,1.523882e-04,1.517918e-04,1.515094e-04,1.504609e-04,1.496613e-04,1.492627e-04,1.479332e-04,1.469920e-04,1.464890e-04,1.449453e-04,1.439117e-04,1.433163e-04,1.416148e-04,1.405284e-04,1.398520e-04,1.380379e-04,1.369286e-04,1.361815e-04,1.342912e-04,1.331822e-04,1.323743e-04,1.304376e-04,1.293466e-04,1.284869e-04,1.265278e-04,1.254680e-04,1.245650e-04,1.226028e-04,1.215841e-04,1.206452e-04,1.186956e-04,1.177248e-04,1.167571e-04,1.148324e-04,1.139142e-04,1.129239e-04,1.110338e-04,1.101710e-04,1.091638e-04,1.073156e-04,1.065097e-04,1.054907e-04,1.036902e-04,1.029416e-04,1.019153e-04,1.001667e-04,9.947476e-05,9.844514e-05,9.675134e-05,9.611506e-05,9.508573e-05,9.344869e-05,9.286641e-05,9.184051e-05,9.026138e-05,8.973112e-05,8.871144e-05,8.719072e-05,8.671027e-05,8.569923e-05,8.423688e-05,8.380385e-05,8.280358e-05,8.139914e-05,8.101105e-05,8.002339e-05,7.867608e-05,7.833040e-05,7.735695e-05,7.606570e-05,7.575992e-05,7.480203e-05,7.356559e-05,7.329719e-05,7.235604e-05,7.117300e-05,7.093954e-05,7.001610e-05,6.888494e-05,6.868404e-05,6.777913e-05,6.669826e-05,6.652761e-05,6.564191e-05,6.460967e-05,6.446706e-05,6.360112e-05,6.261583e-05,6.249914e-05,6.165339e-05,6.071337e-05,6.062058e-05,5.979535e-05,5.889891e-05,5.882811e-05,5.802363e-05,5.716910e-05,5.711848e-05,5.633491e-05,5.552064e-05,5.548848e-05,5.472589e-05,5.395027e-05,5.393495e-05,5.319338e-05,5.245483e-05,5.104510e-05,4.970285e-05,4.842523e-05,4.720950e-05,4.605302e-05,4.495321e-05,4.390762e-05,4.291385e-05,4.196964e-05,4.107277e-05,4.022114e-05,3.941272e-05,3.864556e-05,3.791781e-05,3.722767e-05,3.657344e-05,3.595346e-05,3.536617e-05,3.481007e-05,3.428371e-05,3.378572e-05,3.331478e-05,3.286962e-05,3.244905e-05,3.205190e-05,3.167707e-05,3.132351e-05,3.099020e-05,3.067618e-05,3.038054e-05,3.010238e-05,2.984086e-05,2.959517e-05,2.936455e-05,2.914827e-05,2.894560e-05,2.875589e-05,2.857849e-05,2.841278e-05,2.825818e-05,2.811412e-05,2.798008e-05,2.785554e-05,2.774001e-05,2.763303e-05,2.753414e-05,2.744293e-05,2.735898e-05,2.728191e-05
0.000000e+00,1.574810e-07,5.991465e-06,6.344304e-06,7.156901e-05,4.091685e-04,4.357737e-04,1.707081e-03,4.522132e-03,4.772320e-03,1.041046e-02,1.825950e-02,1.906796e-02,3.087265e-02,4.410119e-02,4.571549e-02,6.332877e-02,8.083206e-02,8.334791e-02,1.053576e-01,1.255480e-01,1.289251e-01,1.536234e-01,1.749466e-01,1.790474e-01,2.048236e-01,2.259861e-01,2.306162e-01,2.561298e-01,2.761673e-01,2.811098e-01,3.053418e-01,3.236086e-01,3.286491e-01,3.508901e-01,3.670115e-01,3.719550e-01,3.917631e-01,4.055782e-01,4.102585e-01,4.274080e-01,4.389135e-01,4.431971e-01,4.576272e-01,4.669275e-01,4.707137e-01,4.824826e-01,4.897507e-01,4.929695e-01,5.022169e-01,5.076645e-01,5.102731e-01,5.171904e-01,5.210451e-01,5.230239e-01,5.278306e-01,5.303203e-01,5.316682e-01,5.345946e-01,5.359371e-01,5.366674e-01,5.379428e-01,5.383390e-01,5.384760e-01,5.383202e-01,5.379513e-01,5.375269e-01,5.361455e-01,5.351716e-01,5.342230e-01,5.318043e-01,5.303646e-01,5.289319e-01,5.256460e-01,5.238599e-01,5.219845e-01,5.179831e-01,5.159517e-01,5.136754e-01,5.090928e-01,5.069007e-01,5.042647e-01,4.992185e-01,4.969358e-01,4.939799e-01,4.885726e-01,4.862566e-01,4.830188e-01,4.773392e-01,4.750364e-01,4.715527e-01,4.656771e-01,4.634245e-01,4.597288e-01,4.537230e-01,4.515495e-01,4.476735e-01,4.415933e-01,4.395212e-01,4.354944e-01,4.293875e-01,4.274333e-01,4.232828e-01,4.171895e-01,4.153651e-01,4.111162e-01,4.050704e-01,4.033835e-01,3.990594e-01,3.930895e-01,3.915449e-01,3.871668e-01,3.812965e-01,3.798959e-01,3.754834e-01,3.697321e-01,3.684755e-01,3.640464e-01,3.584300e-01,3.573153e-01,3.528859e-01,3.474172e-01,3.464410e-01,3.420263e-01,3.367154e-01,3.358732e-01,3.314865e-01,3.263413e-01,3.256278e-01,3.212814e-01,3.163079e-01,3.157169e-01,3.114219e-01,3.066243e-01,3.061494e-01,3.019157e-01,2.972967e-01,2.969310e-01,2.927676e-01,2.883288e-01,2.880653e-01,2.839803e-01,2.797220e-01,2.795536e-01,2.755540e-01,2.714760e-01,2.713953e-01,2.674876e-01,2.635886e-01,2.561299e-01,2.490148e-01,2.422380e-01,2.357931e-01,2.296732e-01,2.238709e-01,2.183781e-01,2.131865e-01,2.082875e-01,2.036720e-01,1.993310e-01,1.952552e-01,1.914352e-01,1.878614e-01,1.845245e-01,1.814149e-01,1.785231e-01,1.758396e-01,1.733550e-01,1.710602e-01,1.689458e-01,1.670028e-01,1.652224e-01,1.635958e-01,1.621144e-01,1.607698e-01,1.595539e-01,1.584586e-01,1.574764e-01,1.565995e-01,1.558208e-01,1.551333e-01,1.545302e-01,1.540049e-01,1.535513e-01,1.531633e-01,1.528352e-01,1.525617e-01,1.523375e-01,1.521577e-01,1.520177e-01,1.519131e-01,1.518399e-01,1.517940e-01,1.517721e-01,1.517706e-01,1.517864e-01,1.518167e-01,1.518588e-01
0.000000e+00,7.347314e-08,2.405240e-06,2.537273e-06,2.413062e-05,1.264581e-04,1.344340e-04,5.229395e-04,1.446792e-03,1.532566e-03,3.580173e-03,6.677828e-03,7.008252e-03,1.199925e-02,1.785162e-02,1.857926e-02,2.665712e-02,3.487251e-02,3.606491e-02,4.659045e-02,5.635951e-02,5.800155e-02,7.006305e-02,8.053121e-02,8.254846e-02,9.524753e-02,1.056865e-01,1.079706e-01,1.205511e-01,1.304159e-01,1.328459e-01,1.447350e-01,1.536631e-01,1.561205e-01,1.669249e-01,1.747107e-01,1.770892e-01,1.865708e-01,1.931307e-01,1.953417e-01,2.033863e-01,2.087256e-01,2.106998e-01,2.172865e-01,2.214707e-01,2.231579e-01,2.283317e-01,2.314627e-01,2.328303e-01,2.366797e-01,2.388787e-01,2.399089e-01,2.425487e-01,2.439436e-01,2.446311e-01,2.461888e-01,2.469054e-01,2.472546e-01,2.478612e-01,2.480182e-01,2.480408e-01,2.478245e-01,2.475297e-01,2.472428e-01,2.463250e-01,2.456747e-01,2.450990e-01,2.435916e-01,2.426695e-01,2.418281e-01,2.398325e-01,2.387106e-01,2.376275e-01,2.352345e-01,2.339737e-01,2.326734e-01,2.299630e-01,2.286142e-01,2.271209e-01,2.241634e-01,2.227684e-01,2.211057e-01,2.179620e-01,2.165550e-01,2.147455e-01,2.114682e-01,2.100764e-01,2.081415e-01,2.047758e-01,2.034207e-01,2.013806e-01,1.979649e-01,1.966632e-01,1.945367e-01,1.911036e-01,1.898678e-01,1.876723e-01,1.842491e-01,1.830881e-01,1.808398e-01,1.774496e-01,1.763696e-01,1.740832e-01,1.707449e-01,1.697495e-01,1.674386e-01,1.641679e-01,1.632589e-01,1.609359e-01,1.577453e-01,1.569229e-01,1.545989e-01,1.514988e-01,1.507618e-01,1.484469e-01,1.454452e-01,1.447916e-01,1.424949e-01,1.395976e-01,1.390246e-01,1.367543e-01,1.339660e-01,1.334700e-01,1.312335e-01,1.285574e-01,1.281345e-01,1.259382e-01,1.233763e-01,1.230222e-01,1.208720e-01,1.184253e-01,1.181356e-01,1.160365e-01,1.137054e-01,1.134755e-01,1.114320e-01,1.092161e-01,1.090413e-01,1.070574e-01,1.049556e-01,1.048312e-01,1.029103e-01,1.009212e-01,1.008428e-01,9.898779e-02,9.710956e-02,9.707256e-02,9.528600e-02,9.351652e-02,9.017018e-02,8.702862e-02,8.408662e-02,8.133870e-02,7.877917e-02,7.640222e-02,7.420190e-02,7.217220e-02,7.030704e-02,6.860030e-02,6.704584e-02,6.563750e-02,6.436913e-02,6.323457e-02,6.222767e-02,6.134232e-02,6.057241e-02,5.991186e-02,5.935463e-02,5.889474e-02,5.852624e-02,5.824325e-02,5.803996e-02,5.791065e-02,5.784967e-02,5.785150e-02,5.791072e-02,5.802205e-02,5.818033e-02,5.838057e-02,5.861794e-02,5.888777e-02,5.918559e-02,5.950711e-02,5.984827e-02,6.020517e-02,6.057418e-02,6.095185e-02,6.133498e-02,6.172057e-02,6.210586e-02,6.248833e-02,6.286567e-02,6.323579e-02,6.359683e-02,6.394712e-02,6.428523e-02,6.460990e-02,6.492009e-02
0.000000e+00,1.431011e-09,1.919773e-08,2.003273e-08,1.172260e-07,3.709176e-07,3.854475e-07,8.208697e-07,1.278514e-06,1.307502e-06,1.775066e-06,2.173774e-06,2.206936e-06,2.601329e-06,2.925337e-06,2.959593e-06,3.283723e-06,3.542393e-06,3.575823e-06,3.837950e-06,4.040909e-06,4.072073e-06,4.280110e-06,4.436057e-06,4.463909e-06,4.625229e-06,4.741910e-06,4.765737e-06,4.887012e-06,4.971187e-06,4.990541e-06,5.077718e-06,5.135208e-06,5.149849e-06,5.208155e-06,5.243924e-06,5.253773e-06,5.287767e-06,5.306021e-06,5.311123e-06,5.324760e-06,5.329043e-06,5.329532e-06,5.326232e-06,5.319515e-06,5.315595e-06,5.298305e-06,5.283071e-06,5.274993e-06,5.246245e-06,5.224559e-06,5.212605e-06,5.174573e-06,5.148145e-06,5.132615e-06,5.087160e-06,5.057396e-06,5.038603e-06,4.987311e-06,4.955365e-06,4.933622e-06,4.877845e-06,4.844652e-06,4.820268e-06,4.761155e-06,4.727471e-06,4.700747e-06,4.639268e-06,4.605696e-06,4.576922e-06,4.513896e-06,4.480911e-06,4.450362e-06,4.386477e-06,4.354448e-06,4.322385e-06,4.258215e-06,4.227422e-06,4.194088e-06,4.130111e-06,4.100759e-06,4.066382e-06,4.002991e-06,3.975227e-06,3.940018e-06,3.877535e-06,3.851454e-06,3.815606e-06,3.754291e-06,3.729948e-06,3.693640e-06,3.633701e-06,3.611119e-06,3.574512e-06,3.516111e-06,3.495286e-06,3.458529e-06,3.401791e-06,3.382697e-06,3.345921e-06,3.290940e-06,3.273536e-06,3.236862e-06,3.183701e-06,3.167933e-06,3.131467e-06,3.080170e-06,3.065975e-06,3.029813e-06,2.980401e-06,2.967709e-06,2.931935e-06,2.884416e-06,2.873151e-06,2.837840e-06,2.792206e-06,2.782292e-06,2.747508e-06,2.703740e-06,2.695098e-06,2.660897e-06,2.618970e-06,2.611519e-06,2.577950e-06,2.537829e-06,2.531492e-06,2.498595e-06,2.460239e-06,2.454939e-06,2.422750e-06,2.386114e-06,2.381775e-06,2.350322e-06,2.315359e-06,2.311908e-06,2.281213e-06,2.247872e-06,2.245239e-06,2.215322e-06,2.183550e-06,2.181668e-06,2.152542e-06,2.122284e-06,2.121090e-06,2.092764e-06,2.063967e-06,2.063399e-06,2.035881e-06,2.008490e-06,1.956257e-06,1.906595e-06,1.859400e-06,1.814572e-06,1.772010e-06,1.731617e-06,1.693300e-06,1.656966e-06,1.622527e-06,1.589896e-06,1.558991e-06,1.529732e-06,1.502042e-06,1.475847e-06,1.451076e-06,1.427661e-06,1.405536e-06,1.384640e-06,1.364911e-06,1.346293e-06,1.328732e-06,1.312174e-06,1.296570e-06,1.281872e-06,1.268035e-06,1.255015e-06,1.242770e-06,1.231262e-06,1.220453e-06,1.210307e-06,1.200790e-06,1.191869e-06,1.183513e-06,1.175693e-06,1.168381e-06,1.161551e-06,1.155176e-06,1.149233e-06,1.143699e-06,1.138551e-06,1.133771e-06,1.129336e-06,1.125230e-06,1.121433e-06,1.117930e-06,1.114703e-06,1.111738e-06,1.109020e-06,1.106536e-06
0.000000e+00,1.257299e-08,5.138621e-07,5.443608e-07,5.602220e-06,2.524854e-05,2.657976e-05,7.649864e-05,1.509173e-04,1.563675e-04,2.545671e-04,3.504192e-04,3.587699e-04,4.615276e-04,5.498932e-04,5.594167e-04,6.511747e-04,7.266051e-04,7.365069e-04,8.155104e-04,8.785763e-04,8.884293e-04,9.555568e-04,1.007691e-03,1.017198e-03,1.073654e-03,1.116286e-03,1.125220e-03,1.172178e-03,1.206608e-03,1.214797e-03,1.253337e-03,1.280724e-03,1.288043e-03,1.319146e-03,1.340513e-03,1.346870e-03,1.371422e-03,1.387666e-03,1.393001e-03,1.411796e-03,1.423703e-03,1.427982e-03,1.441729e-03,1.449984e-03,1.453193e-03,1.462526e-03,1.467728e-03,1.469869e-03,1.475356e-03,1.478022e-03,1.479113e-03,1.481259e-03,1.481838e-03,1.481905e-03,1.481158e-03,1.480039e-03,1.479117e-03,1.475877e-03,1.473395e-03,1.471527e-03,1.466150e-03,1.462592e-03,1.459825e-03,1.452626e-03,1.448240e-03,1.444624e-03,1.435883e-03,1.430877e-03,1.426465e-03,1.416428e-03,1.410983e-03,1.405828e-03,1.394714e-03,1.388980e-03,1.383135e-03,1.371136e-03,1.365240e-03,1.358760e-03,1.346047e-03,1.340096e-03,1.333033e-03,1.319754e-03,1.313836e-03,1.306243e-03,1.292530e-03,1.286718e-03,1.278644e-03,1.264612e-03,1.258964e-03,1.250459e-03,1.236209e-03,1.230773e-03,1.221883e-03,1.207502e-03,1.202315e-03,1.193084e-03,1.178649e-03,1.173740e-03,1.164212e-03,1.149788e-03,1.145177e-03,1.135392e-03,1.121036e-03,1.116740e-03,1.106735e-03,1.092497e-03,1.088524e-03,1.078335e-03,1.064257e-03,1.060612e-03,1.050273e-03,1.036390e-03,1.033074e-03,1.022617e-03,1.008959e-03,1.005971e-03,9.954243e-04,9.820171e-04,9.793515e-04,9.687430e-04,9.556067e-04,9.532571e-04,9.426122e-04,9.297635e-04,9.277215e-04,9.170639e-04,9.045162e-04,9.027718e-04,8.921232e-04,8.798869e-04,8.784292e-04,8.678095e-04,8.558926e-04,8.547098e-04,8.441374e-04,8.325452e-04,8.316249e-04,8.211168e-04,8.098529e-04,8.091823e-04,7.987538e-04,7.878199e-04,7.873860e-04,7.770511e-04,7.664474e-04,7.662370e-04,7.560086e-04,7.457341e-04,7.258733e-04,7.066490e-04,6.880540e-04,6.700795e-04,6.527155e-04,6.359514e-04,6.197752e-04,6.041748e-04,5.891373e-04,5.746492e-04,5.606972e-04,5.472674e-04,5.343460e-04,5.219188e-04,5.099719e-04,4.984915e-04,4.874636e-04,4.768746e-04,4.667110e-04,4.569593e-04,4.476065e-04,4.386397e-04,4.300462e-04,4.218137e-04,4.139301e-04,4.063836e-04,3.991625e-04,3.922558e-04,3.856525e-04,3.793418e-04,3.733136e-04,3.675576e-04,3.620641e-04,3.568238e-04,3.518272e-04,3.470656e-04,3.425303e-04,3.382129e-04,3.341052e-04,3.301995e-04,3.264882e-04,3.229638e-04,3.196193e-04,3.164477e-04,3.134424e-04,3.105970e-04,3.079052e-04,3.053611e-04,3.029588e-04
0.000000e+00,2.643285e-08,9.192573e-07,9.713730e-07,1.012541e-05,5.709103e-05,6.083866e-05,2.468190e-04,6.886573e-04,7.292450e-04,1.677621e-03,3.060859e-03,3.205920e-03,5.358842e-03,7.821830e-03,8.124796e-03,1.145278e-02,1.478639e-02,1.526685e-02,1.947727e-02,2.334266e-02,2.398884e-02,2.870682e-02,3.276325e-02,3.354101e-02,3.840846e-02,4.237231e-02,4.323507e-02,4.795637e-02,5.162056e-02,5.251775e-02,5.687427e-02,6.010679e-02,6.099011e-02,6.483792e-02,6.757062e-02,6.839801e-02,7.165750e-02,7.387172e-02,7.460946e-02,7.725205e-02,7.896438e-02,7.958773e-02,8.162252e-02,8.287252e-02,8.336533e-02,8.482730e-02,8.566756e-02,8.602134e-02,8.696157e-02,8.745034e-02,8.766297e-02,8.814100e-02,8.833695e-02,8.841132e-02,8.848957e-02,8.844838e-02,8.839112e-02,8.813096e-02,8.790328e-02,8.772355e-02,8.718276e-02,8.681321e-02,8.652177e-02,8.575307e-02,8.527995e-02,8.488839e-02,8.393871e-02,8.339417e-02,8.291427e-02,8.182461e-02,8.123516e-02,8.067854e-02,7.948417e-02,7.887124e-02,7.824899e-02,7.697986e-02,7.636048e-02,7.568305e-02,7.436428e-02,7.375172e-02,7.302876e-02,7.168123e-02,7.108564e-02,7.032598e-02,6.896689e-02,6.839577e-02,6.760744e-02,6.625080e-02,6.570957e-02,6.489979e-02,6.355693e-02,6.304927e-02,6.222450e-02,6.090450e-02,6.043269e-02,5.959871e-02,5.830873e-02,5.787398e-02,5.703593e-02,5.578154e-02,5.538419e-02,5.454661e-02,5.333208e-02,5.297182e-02,5.213873e-02,5.096724e-02,5.064321e-02,4.981816e-02,4.869197e-02,4.840296e-02,4.758905e-02,4.650970e-02,4.625419e-02,4.545415e-02,4.442257e-02,4.419885e-02,4.341506e-02,4.243168e-02,4.223790e-02,4.147243e-02,4.053728e-02,4.037151e-02,3.962616e-02,3.873895e-02,3.859921e-02,3.787552e-02,3.703569e-02,3.691999e-02,3.621929e-02,3.542609e-02,3.533246e-02,3.465587e-02,3.390838e-02,3.383487e-02,3.318335e-02,3.248051e-02,3.242524e-02,3.179958e-02,3.114025e-02,3.110137e-02,3.050223e-02,2.988520e-02,2.986095e-02,2.928884e-02,2.871284e-02,2.870152e-02,2.815686e-02,2.762058e-02,2.661556e-02,2.568388e-02,2.482293e-02,2.403011e-02,2.330281e-02,2.263846e-02,2.203448e-02,2.148834e-02,2.099750e-02,2.055946e-02,2.017174e-02,1.983188e-02,1.953744e-02,1.928600e-02,1.907515e-02,1.890254e-02,1.876579e-02,1.866259e-02,1.859064e-02,1.854767e-02,1.853143e-02,1.853973e-02,1.857042e-02,1.862139e-02,1.869057e-02,1.877597e-02,1.887564e-02,1.898771e-02,1.911039e-02,1.924193e-02,1.938069e-02,1.952512e-02,1.967373e-02,1.982514e-02,1.997804e-02,2.013125e-02,2.028365e-02,2.043422e-02,2.058205e-02,2.072632e-02,2.086629e-02,2.100131e-02,2.113083e-02,2.125438e-02,2.137157e-02,2.148207e-02,2.158566e-02,2.168214e-02,2.177143e-02
0.000000e+00,9.992407e-09,3.743879e-07,3.961665e-07,4.200566e-06,2.197620e-05,2.331704e-05,8.379089e-05,2.086526e-04,2.194458e-04,4.543454e-04,7.612462e-04,7.917567e-04,1.217510e-03,1.657153e-03,1.708452e-03,2.239190e-03,2.720298e-03,2.786076e-03,3.329122e-03,3.780975e-03,3.852614e-03,4.345010e-03,4.728757e-03,4.798464e-03,5.208222e-03,5.509949e-03,5.571996e-03,5.889392e-03,6.110550e-03,6.161405e-03,6.390013e-03,6.539868e-03,6.577840e-03,6.727898e-03,6.818648e-03,6.843387e-03,6.927558e-03,6.971565e-03,6.983606e-03,7.014595e-03,7.023020e-03,7.023415e-03,7.012753e-03,6.995031e-03,6.985081e-03,6.942653e-03,6.906421e-03,6.887506e-03,6.821474e-03,6.772734e-03,6.746196e-03,6.663132e-03,6.606489e-03,6.573576e-03,6.478673e-03,6.417595e-03,6.379431e-03,6.276738e-03,6.213792e-03,6.171369e-03,6.064006e-03,6.001058e-03,5.955240e-03,5.845588e-03,5.783966e-03,5.735500e-03,5.625363e-03,5.565989e-03,5.515513e-03,5.406240e-03,5.349730e-03,5.297793e-03,5.190384e-03,5.137127e-03,5.084195e-03,4.979381e-03,4.929597e-03,4.876070e-03,4.774372e-03,4.728157e-03,4.674375e-03,4.576152e-03,4.533512e-03,4.479763e-03,4.385252e-03,4.346127e-03,4.292656e-03,4.202001e-03,4.166286e-03,4.113302e-03,4.026571e-03,3.994130e-03,3.941810e-03,3.859017e-03,3.829692e-03,3.778184e-03,3.699302e-03,3.672923e-03,3.622353e-03,3.547321e-03,3.523712e-03,3.474184e-03,3.402920e-03,3.381902e-03,3.333502e-03,3.265904e-03,3.247299e-03,3.200098e-03,3.136055e-03,3.119689e-03,3.073743e-03,3.013133e-03,2.998836e-03,2.954191e-03,2.896886e-03,2.884496e-03,2.841187e-03,2.787059e-03,2.776419e-03,2.734470e-03,2.683387e-03,2.674350e-03,2.633779e-03,2.585612e-03,2.578036e-03,2.538853e-03,2.493472e-03,2.487227e-03,2.449436e-03,2.406714e-03,2.401675e-03,2.365275e-03,2.325089e-03,2.321138e-03,2.286124e-03,2.248352e-03,2.245381e-03,2.211744e-03,2.176269e-03,2.174176e-03,2.141901e-03,2.108611e-03,2.107302e-03,2.076373e-03,2.045159e-03,2.044545e-03,2.014943e-03,1.985700e-03,1.930570e-03,1.878966e-03,1.830706e-03,1.785617e-03,1.743532e-03,1.704294e-03,1.667751e-03,1.633759e-03,1.602179e-03,1.572881e-03,1.545740e-03,1.520636e-03,1.497456e-03,1.476093e-03,1.456444e-03,1.438411e-03,1.421901e-03,1.406825e-03,1.393101e-03,1.380648e-03,1.369389e-03,1.359254e-03,1.350173e-03,1.342082e-03,1.334917e-03,1.328622e-03,1.323139e-03,1.318416e-03,1.314402e-03,1.311050e-03,1.308314e-03,1.306152e-03,1.304522e-03,1.303387e-03,1.302708e-03,1.302453e-03,1.302587e-03,1.303080e-03,1.303903e-03,1.305027e-03,1.306427e-03,1.308077e-03,1.309954e-03,1.312036e-03,1.314303e-03,1.316734e-03,1.319311e-03,1.322018e-03,1.324837e-03
0.000000e+00,1.127354e-08,1.569664e-07,1.637032e-07,1.002479e-06,3.730984e-06,3.909910e-06,1.043788e-05,1.950254e-05,2.013195e-05,3.077154e-05,4.019645e-05,4.098529e-05,5.037572e-05,5.807028e-05,5.888161e-05,6.653195e-05,7.259744e-05,7.337841e-05,7.947674e-05,8.416472e-05,8.488165e-05,8.964549e-05,9.318817e-05,9.381800e-05,9.744602e-05,1.000457e-04,1.005736e-04,1.032422e-04,1.050726e-04,1.054904e-04,1.073543e-04,1.085631e-04,1.088676e-04,1.100614e-04,1.107729e-04,1.109646e-04,1.116042e-04,1.119223e-04,1.120047e-04,1.121887e-04,1.121986e-04,1.121766e-04,1.119878e-04,1.117600e-04,1.116399e-04,1.111492e-04,1.107416e-04,1.105307e-04,1.097986e-04,1.092601e-04,1.089669e-04,1.080474e-04,1.074177e-04,1.070506e-04,1.059860e-04,1.052958e-04,1.048625e-04,1.036880e-04,1.029620e-04,1.024700e-04,1.012151e-04,1.004728e-04,9.992940e-05,9.861838e-05,9.787506e-05,9.728710e-05,9.594012e-05,9.520771e-05,9.458160e-05,9.321529e-05,9.250287e-05,9.184458e-05,9.047254e-05,8.978689e-05,8.910192e-05,8.773521e-05,8.708123e-05,8.637462e-05,8.502215e-05,8.440324e-05,8.367960e-05,8.234854e-05,8.176689e-05,8.103039e-05,7.972638e-05,7.918318e-05,7.843760e-05,7.716501e-05,7.666069e-05,7.590943e-05,7.467158e-05,7.420597e-05,7.345205e-05,7.225139e-05,7.182385e-05,7.107000e-05,6.990824e-05,6.951777e-05,6.876640e-05,6.764467e-05,6.729000e-05,6.654323e-05,6.546216e-05,6.514183e-05,6.440152e-05,6.336132e-05,6.307372e-05,6.234152e-05,6.134206e-05,6.108552e-05,6.036284e-05,5.940373e-05,5.917652e-05,5.846459e-05,5.754524e-05,5.734562e-05,5.664550e-05,5.576513e-05,5.559137e-05,5.490394e-05,5.406166e-05,5.391205e-05,5.323806e-05,5.243287e-05,5.230573e-05,5.164582e-05,5.087663e-05,5.077035e-05,5.012502e-05,4.939070e-05,4.930373e-05,4.867339e-05,4.797278e-05,4.790363e-05,4.728858e-05,4.662049e-05,4.656773e-05,4.596821e-05,4.533145e-05,4.529373e-05,4.470990e-05,4.410327e-05,4.407931e-05,4.351127e-05,4.293359e-05,4.292218e-05,4.236995e-05,4.182005e-05,4.077070e-05,3.977194e-05,3.882165e-05,3.791774e-05,3.705820e-05,3.624109e-05,3.546452e-05,3.472668e-05,3.402582e-05,3.336025e-05,3.272836e-05,3.212859e-05,3.155945e-05,3.101951e-05,3.050741e-05,3.002183e-05,2.956151e-05,2.912527e-05,2.871195e-05,2.832045e-05,2.794973e-05,2.759879e-05,2.726668e-05,2.695248e-05,2.665532e-05,2.637438e-05,2.610886e-05,2.585801e-05,2.562111e-05,2.539747e-05,2.518644e-05,2.498739e-05,2.479974e-05,2.462291e-05,2.445636e-05,2.429959e-05,2.415209e-05,2.401341e-05,2.388311e-05,2.376075e-05,2.364593e-05,2.353827e-05,2.343741e-05,2.334299e-05,2.325469e-05,2.317219e-05,2.309519e-05,2.302340e-05,2.295656e-05
0.000000e+00,5.245371e-10,1.142301e-08,1.199594e-08,8.197914e-08,2.362774e-07,2.437985e-07,4.367489e-07,6.138605e-07,6.248656e-07,8.024754e-07,9.561419e-07,9.690689e-07,1.124915e-06,1.256311e-06,1.270405e-06,1.405944e-06,1.517307e-06,1.531935e-06,1.648780e-06,1.742258e-06,1.756881e-06,1.856640e-06,1.934284e-06,1.948457e-06,2.032723e-06,2.096458e-06,2.109824e-06,2.180134e-06,2.231735e-06,2.244013e-06,2.301813e-06,2.342892e-06,2.353867e-06,2.400498e-06,2.432500e-06,2.442013e-06,2.478707e-06,2.502921e-06,2.510858e-06,2.538735e-06,2.556302e-06,2.562591e-06,2.582669e-06,2.594600e-06,2.599200e-06,2.612403e-06,2.619587e-06,2.622487e-06,2.629651e-06,2.632871e-06,2.634082e-06,2.635959e-06,2.635897e-06,2.635449e-06,2.632715e-06,2.629970e-06,2.627908e-06,2.621173e-06,2.616264e-06,2.612647e-06,2.602458e-06,2.595835e-06,2.590729e-06,2.577575e-06,2.569628e-06,2.563107e-06,2.547428e-06,2.538492e-06,2.530636e-06,2.512823e-06,2.503186e-06,2.494077e-06,2.474480e-06,2.464387e-06,2.454110e-06,2.433041e-06,2.422700e-06,2.411342e-06,2.389077e-06,2.378663e-06,2.366310e-06,2.343097e-06,2.332757e-06,2.319493e-06,2.295550e-06,2.285404e-06,2.271316e-06,2.246835e-06,2.236983e-06,2.222150e-06,2.197302e-06,2.187825e-06,2.172328e-06,2.147262e-06,2.138223e-06,2.122138e-06,2.096986e-06,2.088433e-06,2.071834e-06,2.046710e-06,2.038681e-06,2.021639e-06,1.996642e-06,1.989161e-06,1.971743e-06,1.946961e-06,1.940046e-06,1.922314e-06,1.897821e-06,1.891479e-06,1.873496e-06,1.849354e-06,1.843589e-06,1.825409e-06,1.801674e-06,1.796481e-06,1.778159e-06,1.754874e-06,1.750246e-06,1.731831e-06,1.709036e-06,1.704960e-06,1.686498e-06,1.664224e-06,1.660685e-06,1.642219e-06,1.620490e-06,1.617470e-06,1.599041e-06,1.577877e-06,1.575357e-06,1.557002e-06,1.536418e-06,1.534375e-06,1.516128e-06,1.496134e-06,1.494548e-06,1.476439e-06,1.457043e-06,1.455889e-06,1.437948e-06,1.419153e-06,1.418408e-06,1.400660e-06,1.382468e-06,1.382107e-06,1.364576e-06,1.346985e-06,1.313035e-06,1.280248e-06,1.248610e-06,1.218106e-06,1.188718e-06,1.160424e-06,1.133204e-06,1.107034e-06,1.081891e-06,1.057748e-06,1.034581e-06,1.012362e-06,9.910664e-07,9.706660e-07,9.511345e-07,9.324452e-07,9.145713e-07,8.974867e-07,8.811651e-07,8.655808e-07,8.507085e-07,8.365233e-07,8.230009e-07,8.101173e-07,7.978492e-07,7.861737e-07,7.750687e-07,7.645125e-07,7.544840e-07,7.449628e-07,7.359290e-07,7.273632e-07,7.192467e-07,7.115615e-07,7.042899e-07,6.974150e-07,6.909203e-07,6.847900e-07,6.790086e-07,6.735614e-07,6.684341e-07,6.636128e-07,6.590842e-07,6.548355e-07,6.508543e-07,6.471287e-07,6.436472e-07,6.403988e-07,6.373728e-07
0.000000e+00,4.949377e-10,1.052780e-08,1.106040e-08,7.912970e-08,2.444876e-07,2.529140e-07,4.727129e-07,6.747439e-07,6.872268e-07,8.871782e-07,1.057641e-06,1.071866e-06,1.241881e-06,1.382997e-06,1.398008e-06,1.541034e-06,1.656664e-06,1.671719e-06,1.790790e-06,1.884436e-06,1.898946e-06,1.996861e-06,2.071667e-06,2.085179e-06,2.164518e-06,2.223290e-06,2.235467e-06,2.298583e-06,2.343795e-06,2.354398e-06,2.403412e-06,2.437225e-06,2.446096e-06,2.482895e-06,2.507185e-06,2.514227e-06,2.540488e-06,2.556875e-06,2.562048e-06,2.579252e-06,2.589125e-06,2.592425e-06,2.601873e-06,2.606422e-06,2.607879e-06,2.610711e-06,2.610951e-06,2.610617e-06,2.607833e-06,2.604627e-06,2.602574e-06,2.595046e-06,2.589125e-06,2.585439e-06,2.573930e-06,2.565913e-06,2.560686e-06,2.545862e-06,2.536269e-06,2.529602e-06,2.512041e-06,2.501310e-06,2.493305e-06,2.473511e-06,2.462005e-06,2.452768e-06,2.431178e-06,2.419200e-06,2.408834e-06,2.385825e-06,2.373624e-06,2.362232e-06,2.338131e-06,2.325913e-06,2.313593e-06,2.288683e-06,2.276612e-06,2.263461e-06,2.237984e-06,2.226193e-06,2.212304e-06,2.186468e-06,2.175062e-06,2.160520e-06,2.134503e-06,2.123564e-06,2.108454e-06,2.082407e-06,2.071997e-06,2.056395e-06,2.030448e-06,2.020610e-06,2.004591e-06,1.978851e-06,1.969617e-06,1.953249e-06,1.927807e-06,1.919196e-06,1.902543e-06,1.877475e-06,1.869496e-06,1.852617e-06,1.827985e-06,1.820641e-06,1.803590e-06,1.779444e-06,1.772729e-06,1.755558e-06,1.731940e-06,1.725844e-06,1.708598e-06,1.685540e-06,1.680049e-06,1.662771e-06,1.640297e-06,1.635393e-06,1.618123e-06,1.596251e-06,1.591914e-06,1.574687e-06,1.553431e-06,1.549637e-06,1.532486e-06,1.511853e-06,1.508581e-06,1.491533e-06,1.471528e-06,1.468752e-06,1.451836e-06,1.432458e-06,1.430154e-06,1.413393e-06,1.394640e-06,1.392781e-06,1.376197e-06,1.358064e-06,1.356626e-06,1.340238e-06,1.322717e-06,1.321676e-06,1.305500e-06,1.288584e-06,1.287913e-06,1.271966e-06,1.255643e-06,1.255320e-06,1.239613e-06,1.223873e-06,1.193550e-06,1.164325e-06,1.136173e-06,1.109066e-06,1.082977e-06,1.057877e-06,1.033739e-06,1.010533e-06,9.882322e-07,9.668078e-07,9.462321e-07,9.264776e-07,9.075173e-07,8.893246e-07,8.718737e-07,8.551390e-07,8.390956e-07,8.237193e-07,8.089865e-07,7.948739e-07,7.813594e-07,7.684214e-07,7.560385e-07,7.441906e-07,7.328578e-07,7.220208e-07,7.116612e-07,7.017608e-07,6.923024e-07,6.832691e-07,6.746446e-07,6.664133e-07,6.585601e-07,6.510704e-07,6.439299e-07,6.371252e-07,6.306431e-07,6.244709e-07,6.185964e-07,6.130077e-07,6.076936e-07,6.026431e-07,5.978456e-07,5.932910e-07,5.889695e-07,5.848715e-07,5.809882e-07,5.773106e-07,5.738303e-07
0.000000e+00,4.454642e-09,4.956727e-08,5.153264e-08,2.648418e-07,8.197615e-07,8.528845e-07,1.962739e-06,3.438820e-06,3.543411e-06,5.379826e-06,7.098711e-06,7.245332e-06,9.012885e-06,1.048481e-05,1.064107e-05,1.212421e-05,1.331344e-05,1.346751e-05,1.467905e-05,1.562218e-05,1.576746e-05,1.674127e-05,1.747670e-05,1.760866e-05,1.837753e-05,1.893969e-05,1.905527e-05,1.964858e-05,2.006677e-05,2.016388e-05,2.060717e-05,2.090658e-05,2.098408e-05,2.129985e-05,2.150197e-05,2.155938e-05,2.176721e-05,2.189022e-05,2.192757e-05,2.204441e-05,2.210364e-05,2.212137e-05,2.216187e-05,2.217023e-05,2.216906e-05,2.214588e-05,2.211415e-05,2.209503e-05,2.201904e-05,2.195627e-05,2.192026e-05,2.180085e-05,2.171453e-05,2.166281e-05,2.150801e-05,2.140437e-05,2.133817e-05,2.115487e-05,2.103905e-05,2.095959e-05,2.075369e-05,2.062991e-05,2.053843e-05,2.031496e-05,2.018664e-05,2.008436e-05,1.984760e-05,1.971752e-05,1.960560e-05,1.935920e-05,1.922958e-05,1.910915e-05,1.885617e-05,1.872879e-05,1.860091e-05,1.834396e-05,1.822018e-05,1.808586e-05,1.782712e-05,1.770801e-05,1.756819e-05,1.730948e-05,1.719581e-05,1.705137e-05,1.679421e-05,1.668656e-05,1.653831e-05,1.628395e-05,1.618270e-05,1.603139e-05,1.578086e-05,1.568624e-05,1.553257e-05,1.528669e-05,1.519880e-05,1.504341e-05,1.480285e-05,1.472171e-05,1.456517e-05,1.433046e-05,1.425600e-05,1.409883e-05,1.387037e-05,1.380246e-05,1.364514e-05,1.342322e-05,1.336168e-05,1.320465e-05,1.298948e-05,1.293410e-05,1.277775e-05,1.256947e-05,1.252000e-05,1.236466e-05,1.216334e-05,1.211952e-05,1.196552e-05,1.177118e-05,1.173274e-05,1.158034e-05,1.139297e-05,1.135961e-05,1.120906e-05,1.102859e-05,1.100004e-05,1.085155e-05,1.067791e-05,1.065387e-05,1.050763e-05,1.034069e-05,1.032088e-05,1.017706e-05,1.001670e-05,1.000084e-05,9.859572e-06,9.705641e-06,9.693463e-06,9.554865e-06,9.407205e-06,9.398444e-06,9.262618e-06,9.121062e-06,9.115462e-06,8.982492e-06,8.846866e-06,8.844183e-06,8.714137e-06,8.584262e-06,8.335348e-06,8.097087e-06,7.869124e-06,7.651103e-06,7.442674e-06,7.243492e-06,7.053215e-06,6.871510e-06,6.698052e-06,6.532522e-06,6.374609e-06,6.224011e-06,6.080435e-06,5.943598e-06,5.813224e-06,5.689049e-06,5.570815e-06,5.458275e-06,5.351190e-06,5.249329e-06,5.152470e-06,5.060401e-06,4.972915e-06,4.889814e-06,4.810909e-06,4.736017e-06,4.664963e-06,4.597578e-06,4.533699e-06,4.473172e-06,4.415848e-06,4.361584e-06,4.310242e-06,4.261690e-06,4.215802e-06,4.172458e-06,4.131540e-06,4.092938e-06,4.056545e-06,4.022259e-06,3.989980e-06,3.959617e-06,3.931077e-06,3.904276e-06,3.879129e-06,3.855559e-06,3.833489e-06,3.812847e-06,3.793563e-06
0.000000e+00,5.178036e-08,2.215524e-06,2.352738e-06,3.020203e-05,1.861521e-04,1.986532e-04,7.971527e-04,2.095263e-03,2.209106e-03,4.737265e-03,8.194661e-03,8.548623e-03,1.369476e-02,1.944134e-02,2.014241e-02,2.779974e-02,3.543644e-02,3.653705e-02,4.620241e-02,5.513319e-02,5.663349e-02,6.766605e-02,7.728099e-02,7.914016e-02,9.090437e-02,1.006688e-01,1.028185e-01,1.147553e-01,1.242443e-01,1.266012e-01,1.382567e-01,1.471600e-01,1.496358e-01,1.606656e-01,1.687770e-01,1.712856e-01,1.814466e-01,1.886471e-01,1.911099e-01,2.002460e-01,2.064854e-01,2.088339e-01,2.168600e-01,2.221399e-01,2.243171e-01,2.312038e-01,2.355624e-01,2.375233e-01,2.432828e-01,2.467825e-01,2.484933e-01,2.531682e-01,2.558863e-01,2.573234e-01,2.609766e-01,2.629977e-01,2.641468e-01,2.668540e-01,2.682648e-01,2.691192e-01,2.709634e-01,2.718486e-01,2.724082e-01,2.734749e-01,2.739151e-01,2.741848e-01,2.745590e-01,2.746288e-01,2.746181e-01,2.743820e-01,2.741492e-01,2.738704e-01,2.731021e-01,2.726274e-01,2.720953e-01,2.708676e-01,2.702048e-01,2.694358e-01,2.678159e-01,2.670119e-01,2.660234e-01,2.640727e-01,2.631680e-01,2.619780e-01,2.597523e-01,2.587814e-01,2.574081e-01,2.549574e-01,2.539498e-01,2.524113e-01,2.497804e-01,2.487605e-01,2.470746e-01,2.443033e-01,2.432914e-01,2.414754e-01,2.385991e-01,2.376115e-01,2.356822e-01,2.327320e-01,2.317820e-01,2.297552e-01,2.267584e-01,2.258563e-01,2.237474e-01,2.207277e-01,2.198814e-01,2.177047e-01,2.146830e-01,2.138981e-01,2.116671e-01,2.086614e-01,2.079419e-01,2.056694e-01,2.026950e-01,2.020432e-01,1.997412e-01,1.968112e-01,1.962283e-01,1.939078e-01,1.910335e-01,1.905194e-01,1.881906e-01,1.853813e-01,1.849351e-01,1.826076e-01,1.798712e-01,1.794912e-01,1.771737e-01,1.745165e-01,1.742004e-01,1.719009e-01,1.693281e-01,1.690732e-01,1.667990e-01,1.643145e-01,1.641177e-01,1.618754e-01,1.594823e-01,1.593401e-01,1.571357e-01,1.548361e-01,1.547451e-01,1.525839e-01,1.503792e-01,1.503356e-01,1.482223e-01,1.461133e-01,1.420786e-01,1.382310e-01,1.345691e-01,1.310906e-01,1.277926e-01,1.246716e-01,1.217235e-01,1.189439e-01,1.163281e-01,1.138710e-01,1.115672e-01,1.094112e-01,1.073973e-01,1.055200e-01,1.037733e-01,1.021514e-01,1.006485e-01,9.925885e-02,9.797667e-02,9.679633e-02,9.571227e-02,9.471902e-02,9.381128e-02,9.298387e-02,9.223174e-02,9.155003e-02,9.093403e-02,9.037920e-02,8.988119e-02,8.943582e-02,8.903910e-02,8.868720e-02,8.837650e-02,8.810355e-02,8.786509e-02,8.765803e-02,8.747946e-02,8.732664e-02,8.719700e-02,8.708814e-02,8.699782e-02,8.692393e-02,8.686455e-02,8.681786e-02,8.678222e-02,8.675609e-02,8.673806e-02,8.672687e-02,8.672133e-02
0.000000e+00,4.574237e-08,2.049515e-06,2.178714e-06,2.918089e-05,1.840030e-04,1.964889e-04,7.968310e-04,2.099724e-03,2.213847e-03,4.742149e-03,8.183961e-03,8.535464e-03,1.363074e-02,1.929223e-02,1.998115e-02,2.748392e-02,3.493096e-02,3.600161e-02,4.537807e-02,5.400418e-02,5.545001e-02,6.605520e-02,7.526163e-02,7.703817e-02,8.825388e-02,9.753120e-02,9.957002e-02,1.108682e-01,1.198233e-01,1.220442e-01,1.330080e-01,1.413628e-01,1.436831e-01,1.540058e-01,1.615830e-01,1.639241e-01,1.733967e-01,1.801005e-01,1.823919e-01,1.908867e-01,1.966841e-01,1.988655e-01,2.063193e-01,2.112226e-01,2.132448e-01,2.196433e-01,2.236961e-01,2.255205e-01,2.308853e-01,2.341510e-01,2.357494e-01,2.401267e-01,2.426798e-01,2.440328e-01,2.474849e-01,2.494051e-01,2.505010e-01,2.530998e-01,2.544668e-01,2.553005e-01,2.571224e-01,2.580132e-01,2.585849e-01,2.597072e-01,2.601941e-01,2.605082e-01,2.610067e-01,2.611565e-01,2.612207e-01,2.611678e-01,2.610406e-01,2.608652e-01,2.603292e-01,2.599787e-01,2.595757e-01,2.586199e-01,2.580936e-01,2.574764e-01,2.561590e-01,2.554982e-01,2.546809e-01,2.530549e-01,2.522957e-01,2.512929e-01,2.494063e-01,2.485794e-01,2.474059e-01,2.453021e-01,2.444338e-01,2.431044e-01,2.408221e-01,2.399345e-01,2.384638e-01,2.360378e-01,2.351493e-01,2.335516e-01,2.310127e-01,2.301387e-01,2.284279e-01,2.258036e-01,2.249564e-01,2.231458e-01,2.204604e-01,2.196502e-01,2.177526e-01,2.150276e-01,2.142621e-01,2.122899e-01,2.095441e-01,2.088293e-01,2.067942e-01,2.040442e-01,2.033846e-01,2.012976e-01,1.985579e-01,1.979564e-01,1.958282e-01,1.931114e-01,1.925699e-01,1.904103e-01,1.877274e-01,1.872466e-01,1.850650e-01,1.824254e-01,1.820053e-01,1.798104e-01,1.772221e-01,1.768619e-01,1.746620e-01,1.721319e-01,1.718303e-01,1.696330e-01,1.671667e-01,1.669219e-01,1.647342e-01,1.623365e-01,1.621463e-01,1.599747e-01,1.576496e-01,1.575113e-01,1.553620e-01,1.531124e-01,1.530233e-01,1.509017e-01,1.487301e-01,1.486871e-01,1.465983e-01,1.445064e-01,1.404839e-01,1.366210e-01,1.329183e-01,1.293759e-01,1.259928e-01,1.227677e-01,1.196985e-01,1.167828e-01,1.140178e-01,1.114001e-01,1.089263e-01,1.065926e-01,1.043949e-01,1.023291e-01,1.003907e-01,9.857526e-02,9.687831e-02,9.529518e-02,9.382122e-02,9.245177e-02,9.118216e-02,9.000774e-02,8.892392e-02,8.792615e-02,8.700996e-02,8.617095e-02,8.540481e-02,8.470734e-02,8.407444e-02,8.350213e-02,8.298654e-02,8.252395e-02,8.211073e-02,8.174343e-02,8.141871e-02,8.113337e-02,8.088434e-02,8.066872e-02,8.048371e-02,8.032668e-02,8.019513e-02,8.008667e-02,7.999908e-02,7.993025e-02,7.987820e-02,7.984109e-02,7.981717e-02,7.980483e-02,7.980257e-02
0.000000e+00,8.540645e-09,2.916788e-07,3.082256e-07,3.211307e-06,1.764519e-05,1.877039e-05,7.163384e-05,1.839828e-04,1.936895e-04,4.022793e-04,6.665746e-04,6.923801e-04,1.044737e-03,1.395181e-03,1.435271e-03,1.840935e-03,2.195039e-03,2.242480e-03,2.625300e-03,2.931713e-03,2.979258e-03,3.298057e-03,3.536242e-03,3.578467e-03,3.819586e-03,3.988481e-03,4.022177e-03,4.188141e-03,4.296281e-03,4.320092e-03,4.421048e-03,4.480324e-03,4.494194e-03,4.542718e-03,4.565029e-03,4.569698e-03,4.578033e-03,4.573776e-03,4.570392e-03,4.549201e-03,4.526782e-03,4.516632e-03,4.474608e-03,4.440480e-03,4.424820e-03,4.368739e-03,4.327666e-03,4.307636e-03,4.242599e-03,4.197977e-03,4.174558e-03,4.104301e-03,4.058485e-03,4.032492e-03,3.959686e-03,3.914252e-03,3.886346e-03,3.812854e-03,3.768820e-03,3.739526e-03,3.666621e-03,3.624615e-03,3.594349e-03,3.522878e-03,3.483256e-03,3.452343e-03,3.382851e-03,3.345790e-03,3.314486e-03,3.247310e-03,3.212866e-03,3.181373e-03,3.116710e-03,3.084864e-03,3.053345e-03,2.991293e-03,2.961978e-03,2.930564e-03,2.871160e-03,2.844278e-03,2.813079e-03,2.756316e-03,2.731755e-03,2.700862e-03,2.646706e-03,2.624345e-03,2.593835e-03,2.542235e-03,2.521947e-03,2.491889e-03,2.442780e-03,2.424440e-03,2.394892e-03,2.348204e-03,2.331687e-03,2.302699e-03,2.258357e-03,2.243542e-03,2.215159e-03,2.173083e-03,2.159853e-03,2.132111e-03,2.092222e-03,2.080464e-03,2.053397e-03,2.015613e-03,2.005218e-03,1.978852e-03,1.943093e-03,1.933957e-03,1.908316e-03,1.874500e-03,1.866525e-03,1.841626e-03,1.809674e-03,1.802766e-03,1.778624e-03,1.748456e-03,1.742527e-03,1.719152e-03,1.690691e-03,1.685657e-03,1.663056e-03,1.636227e-03,1.632007e-03,1.610185e-03,1.584913e-03,1.581435e-03,1.560392e-03,1.536605e-03,1.533799e-03,1.513534e-03,1.491162e-03,1.488962e-03,1.469472e-03,1.448446e-03,1.446793e-03,1.428070e-03,1.408326e-03,1.407162e-03,1.389200e-03,1.370674e-03,1.369945e-03,1.352734e-03,1.335366e-03,1.335024e-03,1.318553e-03,1.302283e-03,1.271611e-03,1.242902e-03,1.216054e-03,1.190969e-03,1.167554e-03,1.145719e-03,1.125377e-03,1.106448e-03,1.088853e-03,1.072517e-03,1.057368e-03,1.043340e-03,1.030367e-03,1.018387e-03,1.007342e-03,9.971755e-04,9.878344e-04,9.792679e-04,9.714280e-04,9.642688e-04,9.577467e-04,9.518205e-04,9.464509e-04,9.416007e-04,9.372346e-04,9.333191e-04,9.298225e-04,9.267148e-04,9.239676e-04,9.215539e-04,9.194484e-04,9.176271e-04,9.160674e-04,9.147478e-04,9.136484e-04,9.127501e-04,9.120351e-04,9.114867e-04,9.110891e-04,9.108277e-04,9.106887e-04,9.106590e-04,9.107267e-04,9.108805e-04,9.111099e-04,9.114051e-04,9.117571e-04,9.121575e-04,9.125985e-04
0.000000e+00,2.844816e-08,1.074933e-06,1.138145e-06,1.285968e-05,7.394449e-05,7.876409e-05,3.077279e-04,8.044878e-04,8.481104e-04,1.816809e-03,3.136827e-03,3.271524e-03,5.219486e-03,7.371448e-03,7.632320e-03,1.045875e-02,1.323712e-02,1.363431e-02,1.708838e-02,2.022694e-02,2.074929e-02,2.454776e-02,2.779736e-02,2.841920e-02,3.230513e-02,3.546598e-02,3.615393e-02,3.992110e-02,4.285068e-02,4.356921e-02,4.706757e-02,4.967646e-02,5.039183e-02,5.352336e-02,5.576598e-02,5.644872e-02,5.915900e-02,6.102310e-02,6.164926e-02,6.391792e-02,6.541476e-02,6.596626e-02,6.779791e-02,6.895403e-02,6.941840e-02,7.083480e-02,7.168552e-02,7.205531e-02,7.308902e-02,7.367361e-02,7.394560e-02,7.463510e-02,7.499343e-02,7.516777e-02,7.555388e-02,7.572412e-02,7.580358e-02,7.592687e-02,7.594422e-02,7.593345e-02,7.583266e-02,7.572856e-02,7.563348e-02,7.534446e-02,7.514640e-02,7.497371e-02,7.452889e-02,7.426044e-02,7.401721e-02,7.344542e-02,7.312646e-02,7.281985e-02,7.214638e-02,7.179341e-02,7.143048e-02,7.067723e-02,7.030379e-02,6.989132e-02,6.907709e-02,6.869414e-02,6.823853e-02,6.737934e-02,6.699564e-02,6.650289e-02,6.561229e-02,6.523471e-02,6.471038e-02,6.379976e-02,6.343362e-02,6.288283e-02,6.196174e-02,6.161106e-02,6.103848e-02,6.011486e-02,5.978258e-02,5.919250e-02,5.827291e-02,5.796113e-02,5.735743e-02,5.644729e-02,5.615735e-02,5.554358e-02,5.464731e-02,5.438002e-02,5.375938e-02,5.288057e-02,5.263624e-02,5.201162e-02,5.115318e-02,5.093177e-02,5.030581e-02,4.947001e-02,4.927120e-02,4.864625e-02,4.783491e-02,4.765811e-02,4.703633e-02,4.625079e-02,4.609528e-02,4.547857e-02,4.471986e-02,4.458474e-02,4.397484e-02,4.324366e-02,4.312796e-02,4.252642e-02,4.182320e-02,4.172588e-02,4.113407e-02,4.045906e-02,4.037901e-02,3.979817e-02,3.915141e-02,3.908750e-02,3.851873e-02,3.790009e-02,3.785121e-02,3.729544e-02,3.670470e-02,3.666970e-02,3.612778e-02,3.556458e-02,3.554233e-02,3.501498e-02,3.447887e-02,3.446829e-02,3.395612e-02,3.344658e-02,3.247612e-02,3.155567e-02,3.068394e-02,2.985955e-02,2.908106e-02,2.834702e-02,2.765590e-02,2.700617e-02,2.639629e-02,2.582471e-02,2.528986e-02,2.479020e-02,2.432418e-02,2.389028e-02,2.348697e-02,2.311278e-02,2.276622e-02,2.244587e-02,2.215031e-02,2.187816e-02,2.162807e-02,2.139874e-02,2.118888e-02,2.099727e-02,2.082270e-02,2.066402e-02,2.052012e-02,2.038991e-02,2.027239e-02,2.016654e-02,2.007144e-02,1.998618e-02,1.990990e-02,1.984179e-02,1.978107e-02,1.972702e-02,1.967895e-02,1.963622e-02,1.959820e-02,1.956435e-02,1.953413e-02,1.950704e-02,1.948263e-02,1.946048e-02,1.944021e-02,1.942145e-02,1.940388e-02,1.938722e-02,1.937118e-02
0.000000e+00,2.735809e-10,4.116043e-09,4.304748e-09,2.775847e-08,9.540616e-08,9.949624e-08,2.317687e-07,3.866120e-07,3.967910e-07,5.653595e-07,7.148737e-07,7.275448e-07,8.812124e-07,1.012007e-06,1.026105e-06,1.162405e-06,1.275471e-06,1.290402e-06,1.410418e-06,1.507495e-06,1.522776e-06,1.627803e-06,1.710595e-06,1.725819e-06,1.817138e-06,1.887237e-06,1.902066e-06,1.980901e-06,2.039776e-06,2.053930e-06,2.121431e-06,2.170417e-06,2.183671e-06,2.240908e-06,2.281214e-06,2.293388e-06,2.341348e-06,2.374062e-06,2.385015e-06,2.424606e-06,2.450706e-06,2.460331e-06,2.492388e-06,2.512749e-06,2.520968e-06,2.546254e-06,2.561656e-06,2.568419e-06,2.587630e-06,2.598769e-06,2.604046e-06,2.617819e-06,2.625314e-06,2.629094e-06,2.638010e-06,2.642412e-06,2.644700e-06,2.649290e-06,2.651085e-06,2.651899e-06,2.652643e-06,2.652264e-06,2.651632e-06,2.648970e-06,2.646795e-06,2.644756e-06,2.639086e-06,2.635451e-06,2.632050e-06,2.623734e-06,2.618931e-06,2.614219e-06,2.603585e-06,2.597871e-06,2.591905e-06,2.579250e-06,2.572849e-06,2.565687e-06,2.551280e-06,2.544386e-06,2.536090e-06,2.520175e-06,2.512957e-06,2.503590e-06,2.486387e-06,2.478990e-06,2.468616e-06,2.450323e-06,2.442871e-06,2.431554e-06,2.412351e-06,2.404949e-06,2.392755e-06,2.372803e-06,2.365540e-06,2.352531e-06,2.331975e-06,2.324926e-06,2.311166e-06,2.290135e-06,2.283363e-06,2.268911e-06,2.247523e-06,2.241078e-06,2.225996e-06,2.204354e-06,2.198277e-06,2.182622e-06,2.160820e-06,2.155143e-06,2.138970e-06,2.117091e-06,2.111838e-06,2.095201e-06,2.073319e-06,2.068507e-06,2.051460e-06,2.029639e-06,2.025281e-06,2.007871e-06,1.986170e-06,1.982272e-06,1.964548e-06,1.943017e-06,1.939581e-06,1.921588e-06,1.900272e-06,1.897297e-06,1.879078e-06,1.858015e-06,1.855497e-06,1.837092e-06,1.816317e-06,1.814248e-06,1.795696e-06,1.775237e-06,1.773607e-06,1.754945e-06,1.734826e-06,1.733625e-06,1.714886e-06,1.695130e-06,1.694344e-06,1.675561e-06,1.656184e-06,1.655799e-06,1.637002e-06,1.618019e-06,1.581030e-06,1.544850e-06,1.509493e-06,1.474971e-06,1.441291e-06,1.408457e-06,1.376469e-06,1.345328e-06,1.315028e-06,1.285566e-06,1.256934e-06,1.229123e-06,1.202123e-06,1.175924e-06,1.150513e-06,1.125877e-06,1.102004e-06,1.078877e-06,1.056484e-06,1.034809e-06,1.013836e-06,9.935510e-07,9.739368e-07,9.549780e-07,9.366589e-07,9.189636e-07,9.018761e-07,8.853808e-07,8.694620e-07,8.541043e-07,8.392923e-07,8.250109e-07,8.112453e-07,7.979806e-07,7.852026e-07,7.728971e-07,7.610500e-07,7.496478e-07,7.386771e-07,7.281249e-07,7.179783e-07,7.082249e-07,6.988523e-07,6.898488e-07,6.812027e-07,6.729025e-07,6.649374e-07,6.572964e-07,6.499692e-07
0.000000e+00,1.077641e-08,3.535589e-07,3.730103e-07,3.527005e-06,1.784244e-05,1.892928e-05,6.933423e-05,1.796533e-04,1.894900e-04,4.124487e-04,7.238561e-04,7.558601e-04,1.219786e-03,1.730002e-03,1.791487e-03,2.450913e-03,3.085424e-03,3.174936e-03,3.940207e-03,4.614653e-03,4.724938e-03,5.509893e-03,6.157464e-03,6.278843e-03,7.018669e-03,7.596394e-03,7.719231e-03,8.373114e-03,8.859168e-03,8.975300e-03,9.522816e-03,9.911056e-03,1.001439e-02,1.045012e-02,1.074461e-02,1.083118e-02,1.115955e-02,1.137013e-02,1.143783e-02,1.166899e-02,1.180807e-02,1.185628e-02,1.200304e-02,1.208348e-02,1.211267e-02,1.218850e-02,1.222241e-02,1.223375e-02,1.225149e-02,1.224955e-02,1.224463e-02,1.221586e-02,1.218711e-02,1.216769e-02,1.210242e-02,1.205429e-02,1.202214e-02,1.192878e-02,1.186720e-02,1.182405e-02,1.170950e-02,1.163912e-02,1.158653e-02,1.145639e-02,1.138079e-02,1.132017e-02,1.117889e-02,1.110080e-02,1.103341e-02,1.088451e-02,1.080596e-02,1.073288e-02,1.057914e-02,1.050165e-02,1.042382e-02,1.026741e-02,1.019206e-02,1.011031e-02,9.952916e-03,9.880503e-03,9.795543e-03,9.638483e-03,9.569543e-03,9.481992e-03,9.326293e-03,9.261185e-03,9.171586e-03,9.018045e-03,8.956990e-03,8.865822e-03,8.715054e-03,8.658168e-03,8.565857e-03,8.418334e-03,8.365653e-03,8.272575e-03,8.128657e-03,8.080156e-03,7.986647e-03,7.846602e-03,7.802210e-03,7.708570e-03,7.572594e-03,7.532207e-03,7.438706e-03,7.306935e-03,7.270421e-03,7.177302e-03,7.049824e-03,7.017034e-03,6.924513e-03,6.801377e-03,6.772149e-03,6.680420e-03,6.561643e-03,6.535804e-03,6.445042e-03,6.330612e-03,6.307986e-03,6.218345e-03,6.108231e-03,6.088638e-03,6.000257e-03,5.894409e-03,5.877669e-03,5.790670e-03,5.689022e-03,5.674958e-03,5.589448e-03,5.491925e-03,5.480360e-03,5.396434e-03,5.302952e-03,5.293713e-03,5.211455e-03,5.121919e-03,5.114840e-03,5.034321e-03,4.948635e-03,4.943554e-03,4.864835e-03,4.782896e-03,4.779656e-03,4.702791e-03,4.624494e-03,4.622946e-03,4.547979e-03,4.473218e-03,4.330262e-03,4.193871e-03,4.063836e-03,3.939952e-03,3.822013e-03,3.709820e-03,3.603174e-03,3.501882e-03,3.405756e-03,3.314610e-03,3.228264e-03,3.146543e-03,3.069277e-03,2.996299e-03,2.927450e-03,2.862572e-03,2.801515e-03,2.744130e-03,2.690277e-03,2.639816e-03,2.592613e-03,2.548538e-03,2.507465e-03,2.469272e-03,2.433840e-03,2.401054e-03,2.370802e-03,2.342974e-03,2.317467e-03,2.294176e-03,2.273003e-03,2.253851e-03,2.236626e-03,2.221235e-03,2.207590e-03,2.195604e-03,2.185192e-03,2.176274e-03,2.168767e-03,2.162596e-03,2.157684e-03,2.153958e-03,2.151345e-03,2.149778e-03,2.149187e-03,2.149507e-03,2.150675e-03,2.152629e-03,2.155308e-03
0.000000e+00,1.401822e-09,1.550299e-08,1.612667e-08,8.750753e-08,2.913239e-07,3.039729e-07,7.399996e-07,1.315274e-06,1.354930e-06,2.027169e-06,2.629726e-06,2.680564e-06,3.291358e-06,3.800574e-06,3.854782e-06,4.371308e-06,4.788545e-06,4.842825e-06,5.271595e-06,5.607933e-06,5.659958e-06,6.010240e-06,6.276720e-06,6.324724e-06,6.605628e-06,6.812427e-06,6.855108e-06,7.075226e-06,7.231511e-06,7.267959e-06,7.435187e-06,7.549073e-06,7.578699e-06,7.700193e-06,7.778793e-06,7.801273e-06,7.883450e-06,7.932936e-06,7.948154e-06,7.996725e-06,8.022416e-06,8.030422e-06,8.050430e-06,8.056886e-06,8.057856e-06,8.053741e-06,8.044850e-06,8.039058e-06,8.014717e-06,7.993778e-06,7.981571e-06,7.940416e-06,7.910218e-06,7.891994e-06,7.836999e-06,7.799887e-06,7.776079e-06,7.709836e-06,7.667771e-06,7.638832e-06,7.563591e-06,7.518203e-06,7.484599e-06,7.402307e-06,7.354941e-06,7.317136e-06,7.229476e-06,7.181232e-06,7.139686e-06,7.048103e-06,6.999875e-06,6.955035e-06,6.860769e-06,6.813270e-06,6.765568e-06,6.669677e-06,6.623470e-06,6.573319e-06,6.476701e-06,6.432222e-06,6.380012e-06,6.283425e-06,6.241001e-06,6.187101e-06,6.091183e-06,6.051050e-06,5.995803e-06,5.901083e-06,5.863405e-06,5.807132e-06,5.714046e-06,5.678920e-06,5.621916e-06,5.530821e-06,5.498294e-06,5.440833e-06,5.352013e-06,5.322092e-06,5.264420e-06,5.178101e-06,5.150756e-06,5.093100e-06,5.009454e-06,4.984630e-06,4.927195e-06,4.846349e-06,4.823968e-06,4.766938e-06,4.688980e-06,4.668950e-06,4.612488e-06,4.537474e-06,4.519691e-06,4.463943e-06,4.391899e-06,4.376250e-06,4.321344e-06,4.252274e-06,4.238638e-06,4.184686e-06,4.118574e-06,4.106829e-06,4.053928e-06,3.990740e-06,3.980764e-06,3.928997e-06,3.868685e-06,3.860355e-06,3.809791e-06,3.752299e-06,3.745493e-06,3.696191e-06,3.641450e-06,3.636050e-06,3.588057e-06,3.535993e-06,3.531885e-06,3.485238e-06,3.435770e-06,3.432843e-06,3.387570e-06,3.340616e-06,3.338763e-06,3.294885e-06,3.250356e-06,3.249477e-06,3.207006e-06,3.164814e-06,3.084599e-06,3.008657e-06,2.936813e-06,2.868894e-06,2.804730e-06,2.744152e-06,2.686996e-06,2.633102e-06,2.582314e-06,2.534482e-06,2.489460e-06,2.447105e-06,2.407284e-06,2.369865e-06,2.334723e-06,2.301738e-06,2.270795e-06,2.241784e-06,2.214600e-06,2.189143e-06,2.165317e-06,2.143032e-06,2.122200e-06,2.102741e-06,2.084574e-06,2.067627e-06,2.051829e-06,2.037114e-06,2.023417e-06,2.010679e-06,1.998843e-06,1.987856e-06,1.977666e-06,1.968226e-06,1.959491e-06,1.951416e-06,1.943963e-06,1.937093e-06,1.930769e-06,1.924958e-06,1.919628e-06,1.914748e-06,1.910290e-06,1.906227e-06,1.902534e-06,1.899186e-06,1.896161e-06,1.893439e-06,1.890998e-06
0.000000e+00,6.530169e-10,7.467442e-09,7.775087e-09,4.402864e-08,1.505351e-07,1.571940e-07,3.867171e-07,6.842271e-07,7.044575e-07,1.043274e-06,1.342389e-06,1.367484e-06,1.667543e-06,1.915838e-06,1.942175e-06,2.192247e-06,2.393111e-06,2.419170e-06,2.624475e-06,2.784883e-06,2.809648e-06,2.976020e-06,3.102183e-06,3.124875e-06,3.257468e-06,3.354895e-06,3.374986e-06,3.478546e-06,3.552051e-06,3.569197e-06,3.647923e-06,3.701646e-06,3.715645e-06,3.773223e-06,3.810694e-06,3.821459e-06,3.861101e-06,3.885314e-06,3.892844e-06,3.917335e-06,3.930817e-06,3.935175e-06,3.946922e-06,3.951799e-06,3.953094e-06,3.954172e-06,3.952223e-06,3.950600e-06,3.942792e-06,3.935504e-06,3.931129e-06,3.915967e-06,3.904579e-06,3.897632e-06,3.876429e-06,3.861966e-06,3.852637e-06,3.826515e-06,3.809825e-06,3.798304e-06,3.768225e-06,3.750005e-06,3.736483e-06,3.703266e-06,3.684085e-06,3.668748e-06,3.633090e-06,3.613413e-06,3.596440e-06,3.558935e-06,3.539136e-06,3.520699e-06,3.481848e-06,3.462226e-06,3.442489e-06,3.402719e-06,3.383510e-06,3.362627e-06,3.322296e-06,3.303685e-06,3.281801e-06,3.241210e-06,3.223337e-06,3.200587e-06,3.159990e-06,3.142959e-06,3.119470e-06,3.079075e-06,3.062962e-06,3.038849e-06,2.998832e-06,2.983687e-06,2.959058e-06,2.919561e-06,2.905415e-06,2.880369e-06,2.841509e-06,2.828376e-06,2.803004e-06,2.764875e-06,2.752756e-06,2.727140e-06,2.689817e-06,2.678702e-06,2.652920e-06,2.616461e-06,2.606333e-06,2.580452e-06,2.544902e-06,2.535735e-06,2.509819e-06,2.475211e-06,2.466976e-06,2.441082e-06,2.407438e-06,2.400102e-06,2.374282e-06,2.341616e-06,2.335142e-06,2.309442e-06,2.277761e-06,2.272111e-06,2.246574e-06,2.215880e-06,2.211015e-06,2.185678e-06,2.155966e-06,2.151845e-06,2.126743e-06,2.098005e-06,2.094589e-06,2.069751e-06,2.041977e-06,2.039226e-06,2.014679e-06,1.987853e-06,1.985727e-06,1.961496e-06,1.935602e-06,1.934063e-06,1.910168e-06,1.885188e-06,1.884199e-06,1.860658e-06,1.836573e-06,1.836096e-06,1.812927e-06,1.789715e-06,1.745014e-06,1.701951e-06,1.660482e-06,1.620562e-06,1.582148e-06,1.545195e-06,1.509659e-06,1.475496e-06,1.442664e-06,1.411120e-06,1.380822e-06,1.351730e-06,1.323803e-06,1.297003e-06,1.271291e-06,1.246631e-06,1.222985e-06,1.200320e-06,1.178600e-06,1.157793e-06,1.137866e-06,1.118788e-06,1.100528e-06,1.083058e-06,1.066350e-06,1.050374e-06,1.035106e-06,1.020518e-06,1.006586e-06,9.932869e-07,9.805960e-07,9.684911e-07,9.569505e-07,9.459531e-07,9.354785e-07,9.255071e-07,9.160198e-07,9.069983e-07,8.984248e-07,8.902822e-07,8.825539e-07,8.752240e-07,8.682771e-07,8.616982e-07,8.554729e-07,8.495874e-07,8.440282e-07,8.387824e-07,8.338375e-07
0.000000e+00,2.858706e-08,1.179339e-06,1.251216e-06,1.543312e-05,9.350819e-05,9.976657e-05,4.029940e-04,1.080171e-03,1.140455e-03,2.502215e-03,4.409044e-03,4.606205e-03,7.500775e-03,1.077756e-02,1.117969e-02,1.559701e-02,2.003737e-02,2.067951e-02,2.633663e-02,3.158506e-02,3.246817e-02,3.897018e-02,4.464254e-02,4.573942e-02,5.267652e-02,5.842461e-02,5.968831e-02,6.668931e-02,7.223036e-02,7.360262e-02,8.036042e-02,8.548548e-02,8.690403e-02,9.318373e-02,9.775423e-02,9.915845e-02,1.047952e-01,1.087336e-01,1.100685e-01,1.149599e-01,1.182379e-01,1.194568e-01,1.235526e-01,1.261796e-01,1.272450e-01,1.305365e-01,1.325485e-01,1.334328e-01,1.359429e-01,1.373934e-01,1.380781e-01,1.398520e-01,1.408046e-01,1.412796e-01,1.423775e-01,1.429001e-01,1.431628e-01,1.436535e-01,1.438140e-01,1.438676e-01,1.438237e-01,1.436871e-01,1.435399e-01,1.430342e-01,1.426607e-01,1.423243e-01,1.414274e-01,1.408711e-01,1.403599e-01,1.391379e-01,1.384464e-01,1.377765e-01,1.362902e-01,1.355046e-01,1.346928e-01,1.329973e-01,1.321522e-01,1.312158e-01,1.293597e-01,1.284839e-01,1.274399e-01,1.254661e-01,1.245829e-01,1.234476e-01,1.213930e-01,1.205213e-01,1.193102e-01,1.172065e-01,1.163606e-01,1.150884e-01,1.129621e-01,1.121532e-01,1.108333e-01,1.087068e-01,1.079428e-01,1.065874e-01,1.044791e-01,1.037655e-01,1.023858e-01,1.003107e-01,9.965106e-02,9.825695e-02,9.622715e-02,9.562325e-02,9.422369e-02,9.224867e-02,9.170102e-02,9.030392e-02,8.839104e-02,8.789909e-02,8.651142e-02,8.466623e-02,8.422862e-02,8.285647e-02,8.108298e-02,8.069775e-02,7.934644e-02,7.764738e-02,7.731211e-02,7.598623e-02,7.436328e-02,7.407523e-02,7.277874e-02,7.123271e-02,7.098892e-02,6.972521e-02,6.825619e-02,6.805359e-02,6.682551e-02,6.543301e-02,6.526847e-02,6.407844e-02,6.276151e-02,6.263187e-02,6.148189e-02,6.023920e-02,6.014137e-02,5.903304e-02,5.786298e-02,5.779392e-02,5.672856e-02,5.562928e-02,5.558603e-02,5.456464e-02,5.353413e-02,5.351386e-02,5.253719e-02,5.157328e-02,4.975998e-02,4.806949e-02,4.649728e-02,4.503875e-02,4.368928e-02,4.244426e-02,4.129911e-02,4.024929e-02,3.929032e-02,3.841777e-02,3.762730e-02,3.691465e-02,3.627563e-02,3.570615e-02,3.520220e-02,3.475989e-02,3.437540e-02,3.404502e-02,3.376515e-02,3.353227e-02,3.334299e-02,3.319402e-02,3.308216e-02,3.300436e-02,3.295764e-02,3.293916e-02,3.294620e-02,3.297613e-02,3.302646e-02,3.309482e-02,3.317895e-02,3.327672e-02,3.338611e-02,3.350522e-02,3.363229e-02,3.376564e-02,3.390374e-02,3.404516e-02,3.418858e-02,3.433281e-02,3.447674e-02,3.461938e-02,3.475983e-02,3.489730e-02,3.503109e-02,3.516056e-02,3.528521e-02,3.540456e-02,3.551825e-02
0.000000e+00,9.867243e-08,3.882156e-06,4.111941e-06,4.585760e-05,2.524636e-04,2.684332e-04,1.015538e-03,2.650393e-03,2.795989e-03,6.107360e-03,1.081583e-02,1.130689e-02,1.859319e-02,2.699133e-02,2.803164e-02,3.958522e-02,5.141420e-02,5.314164e-02,6.853575e-02,8.309250e-02,8.556742e-02,1.040158e-01,1.204386e-01,1.236502e-01,1.442390e-01,1.616746e-01,1.655554e-01,1.873827e-01,2.050748e-01,2.095169e-01,2.317697e-01,2.490978e-01,2.539689e-01,2.759598e-01,2.924483e-01,2.976048e-01,3.187830e-01,3.340925e-01,3.393901e-01,3.593372e-01,3.732480e-01,3.785496e-01,3.969665e-01,4.093584e-01,4.145391e-01,4.312301e-01,4.420620e-01,4.470121e-01,4.618670e-01,4.711582e-01,4.757848e-01,4.887625e-01,4.965761e-01,5.008034e-01,5.119161e-01,5.183455e-01,5.221139e-01,5.314142e-01,5.365719e-01,5.398374e-01,5.474069e-01,5.514159e-01,5.541480e-01,5.600881e-01,5.630752e-01,5.652557e-01,5.696804e-01,5.717714e-01,5.733924e-01,5.764223e-01,5.777386e-01,5.788011e-01,5.805593e-01,5.812153e-01,5.817277e-01,5.823363e-01,5.824383e-01,5.824148e-01,5.819925e-01,5.816378e-01,5.810976e-01,5.797580e-01,5.790346e-01,5.780005e-01,5.758513e-01,5.748379e-01,5.733356e-01,5.704776e-01,5.692439e-01,5.673010e-01,5.638282e-01,5.624354e-01,5.600809e-01,5.560799e-01,5.545813e-01,5.518452e-01,5.473957e-01,5.458372e-01,5.427497e-01,5.379246e-01,5.363455e-01,5.329369e-01,5.278024e-01,5.262357e-01,5.225361e-01,5.171522e-01,5.156256e-01,5.116645e-01,5.060856e-01,5.046217e-01,5.004278e-01,4.947027e-01,4.933199e-01,4.889212e-01,4.830937e-01,4.818064e-01,4.772299e-01,4.713390e-01,4.701584e-01,4.654298e-01,4.595104e-01,4.584444e-01,4.535886e-01,4.476715e-01,4.467257e-01,4.417661e-01,4.358787e-01,4.350563e-01,4.300154e-01,4.241816e-01,4.234838e-01,4.183826e-01,4.126234e-01,4.120498e-01,4.069084e-01,4.012420e-01,4.007909e-01,3.956279e-01,3.900699e-01,3.897383e-01,3.845714e-01,3.791354e-01,3.789193e-01,3.737647e-01,3.684621e-01,3.683568e-01,3.632299e-01,3.580703e-01,3.480760e-01,3.383871e-01,3.290142e-01,3.199654e-01,3.112467e-01,3.028619e-01,2.948135e-01,2.871021e-01,2.797272e-01,2.726870e-01,2.659784e-01,2.595975e-01,2.535395e-01,2.477988e-01,2.423691e-01,2.372436e-01,2.324148e-01,2.278751e-01,2.236162e-01,2.196297e-01,2.159067e-01,2.124382e-01,2.092152e-01,2.062284e-01,2.034683e-01,2.009255e-01,1.985906e-01,1.964541e-01,1.945066e-01,1.927388e-01,1.911413e-01,1.897051e-01,1.884212e-01,1.872807e-01,1.862749e-01,1.853953e-01,1.846336e-01,1.839817e-01,1.834319e-01,1.829765e-01,1.826082e-01,1.823199e-01,1.821047e-01,1.819562e-01,1.818681e-01,1.818343e-01,1.818493e-01,1.819075e-01,1.820039e-01
0.000000e+00,1.290814e-08,5.225187e-07,5.542673e-07,6.807621e-06,4.092867e-05,4.364095e-05,1.716765e-04,4.419552e-04,4.652956e-04,9.721563e-04,1.637539e-03,1.704171e-03,2.646896e-03,3.650724e-03,3.770119e-03,5.035878e-03,6.235688e-03,6.403942e-03,7.835309e-03,9.089593e-03,9.294297e-03,1.074966e-02,1.194992e-02,1.217501e-02,1.354889e-02,1.462509e-02,1.485442e-02,1.607900e-02,1.699428e-02,1.721372e-02,1.825291e-02,1.899517e-02,1.919361e-02,2.003506e-02,2.060881e-02,2.077836e-02,2.142597e-02,2.184566e-02,2.198146e-02,2.244919e-02,2.273435e-02,2.283406e-02,2.314133e-02,2.331316e-02,2.337644e-02,2.354491e-02,2.362418e-02,2.365217e-02,2.370356e-02,2.370938e-02,2.370422e-02,2.365907e-02,2.360828e-02,2.357275e-02,2.344964e-02,2.335665e-02,2.329384e-02,2.310915e-02,2.298594e-02,2.289908e-02,2.266687e-02,2.252322e-02,2.241548e-02,2.214764e-02,2.199139e-02,2.186581e-02,2.157224e-02,2.140955e-02,2.126895e-02,2.095778e-02,2.079341e-02,2.064038e-02,2.031823e-02,2.015579e-02,1.999266e-02,1.966485e-02,1.950703e-02,1.933587e-02,1.900665e-02,1.885536e-02,1.867802e-02,1.835072e-02,1.820730e-02,1.802540e-02,1.770263e-02,1.756795e-02,1.738291e-02,1.706666e-02,1.694123e-02,1.675428e-02,1.644607e-02,1.633011e-02,1.614232e-02,1.584327e-02,1.573680e-02,1.554911e-02,1.526001e-02,1.516289e-02,1.497610e-02,1.469749e-02,1.460948e-02,1.442428e-02,1.415652e-02,1.407726e-02,1.389425e-02,1.363751e-02,1.356662e-02,1.338631e-02,1.314065e-02,1.307768e-02,1.290051e-02,1.266588e-02,1.261038e-02,1.243672e-02,1.221299e-02,1.216450e-02,1.199465e-02,1.178165e-02,1.173968e-02,1.157392e-02,1.137140e-02,1.133550e-02,1.117403e-02,1.098174e-02,1.095144e-02,1.079445e-02,1.061208e-02,1.058694e-02,1.043457e-02,1.026183e-02,1.024141e-02,1.009377e-02,9.930319e-03,9.914224e-03,9.771391e-03,9.616903e-03,9.604733e-03,9.466768e-03,9.320905e-03,9.312287e-03,9.179226e-03,9.041650e-03,9.036231e-03,8.908091e-03,8.778465e-03,8.775912e-03,8.652689e-03,8.530681e-03,8.299900e-03,8.082939e-03,7.879183e-03,7.688031e-03,7.508898e-03,7.341215e-03,7.184429e-03,7.038006e-03,6.901429e-03,6.774198e-03,6.655830e-03,6.545862e-03,6.443846e-03,6.349352e-03,6.261965e-03,6.181289e-03,6.106942e-03,6.038558e-03,5.975787e-03,5.918294e-03,5.865757e-03,5.817869e-03,5.774337e-03,5.734881e-03,5.699234e-03,5.667141e-03,5.638359e-03,5.612657e-03,5.589816e-03,5.569628e-03,5.551894e-03,5.536427e-03,5.523049e-03,5.511592e-03,5.501896e-03,5.493813e-03,5.487200e-03,5.481924e-03,5.477860e-03,5.474891e-03,5.472906e-03,5.471801e-03,5.471482e-03,5.471856e-03,5.472841e-03,5.474359e-03,5.476337e-03,5.478708e-03,5.481410e-03
0.000000e+00,9.462361e-09,1.123154e-07,1.169130e-07,6.494589e-07,2.192398e-06,2.288825e-06,5.655123e-06,1.021021e-05,1.052776e-05,1.593799e-05,2.078087e-05,2.118778e-05,2.604798e-05,3.005289e-05,3.047641e-05,3.448258e-05,3.767648e-05,3.808897e-05,4.132081e-05,4.381987e-05,4.420331e-05,4.676081e-05,4.867504e-05,4.901662e-05,5.099287e-05,5.241953e-05,5.271053e-05,5.418938e-05,5.521306e-05,5.544803e-05,5.650397e-05,5.719744e-05,5.737356e-05,5.807209e-05,5.849739e-05,5.861385e-05,5.901212e-05,5.922179e-05,5.927931e-05,5.942691e-05,5.946517e-05,5.946563e-05,5.940538e-05,5.930928e-05,5.925538e-05,5.902416e-05,5.882459e-05,5.871962e-05,5.834908e-05,5.807169e-05,5.791932e-05,5.743658e-05,5.710251e-05,5.690665e-05,5.633486e-05,5.596151e-05,5.572614e-05,5.508504e-05,5.468658e-05,5.441572e-05,5.372205e-05,5.330997e-05,5.300757e-05,5.227553e-05,5.185904e-05,5.152891e-05,5.077046e-05,5.035687e-05,5.000268e-05,4.922788e-05,4.882291e-05,4.844814e-05,4.766539e-05,4.727343e-05,4.688136e-05,4.609763e-05,4.572199e-05,4.531566e-05,4.453674e-05,4.417979e-05,4.376205e-05,4.299265e-05,4.265604e-05,4.222949e-05,4.147344e-05,4.115820e-05,4.072525e-05,3.998561e-05,3.969228e-05,3.925511e-05,3.853429e-05,3.826302e-05,3.782361e-05,3.712347e-05,3.687407e-05,3.643422e-05,3.575615e-05,3.552819e-05,3.508950e-05,3.443449e-05,3.422737e-05,3.379127e-05,3.315998e-05,3.297293e-05,3.254070e-05,3.193350e-05,3.176565e-05,3.133842e-05,3.075546e-05,3.060587e-05,3.018461e-05,2.962584e-05,2.949353e-05,2.907910e-05,2.854431e-05,2.842825e-05,2.802139e-05,2.751024e-05,2.740941e-05,2.701075e-05,2.652279e-05,2.643618e-05,2.604625e-05,2.558096e-05,2.550755e-05,2.512680e-05,2.468359e-05,2.462241e-05,2.425118e-05,2.382941e-05,2.377951e-05,2.341811e-05,2.301709e-05,2.297755e-05,2.262619e-05,2.224522e-05,2.221517e-05,2.187401e-05,2.151238e-05,2.149098e-05,2.116014e-05,2.081710e-05,2.080357e-05,2.048310e-05,2.015794e-05,2.015152e-05,1.984144e-05,1.953342e-05,1.894786e-05,1.839348e-05,1.786891e-05,1.737283e-05,1.690396e-05,1.646104e-05,1.604287e-05,1.564826e-05,1.527609e-05,1.492527e-05,1.459475e-05,1.428354e-05,1.399066e-05,1.371519e-05,1.345625e-05,1.321299e-05,1.298460e-05,1.277033e-05,1.256942e-05,1.238119e-05,1.220496e-05,1.204009e-05,1.188599e-05,1.174207e-05,1.160779e-05,1.148263e-05,1.136609e-05,1.125770e-05,1.115701e-05,1.106360e-05,1.097707e-05,1.089703e-05,1.082312e-05,1.075499e-05,1.069232e-05,1.063480e-05,1.058212e-05,1.053403e-05,1.049023e-05,1.045050e-05,1.041459e-05,1.038226e-05,1.035332e-05,1.032755e-05,1.030477e-05,1.028479e-05,1.026744e-05,1.025255e-05,1.023998e-05
0.000000e+00,2.237277e-08,5.807578e-07,6.117486e-07,5.014303e-06,1.868995e-05,1.951111e-05,4.463352e-05,7.119012e-05,7.287241e-05,1.000977e-04,1.235573e-04,1.255225e-04,1.490947e-04,1.687839e-04,1.708853e-04,1.909846e-04,2.073450e-04,2.094833e-04,2.264698e-04,2.399342e-04,2.420299e-04,2.562467e-04,2.672093e-04,2.692002e-04,2.809670e-04,2.897821e-04,2.916208e-04,3.012316e-04,3.082141e-04,3.098659e-04,3.175869e-04,3.230135e-04,3.244540e-04,3.305237e-04,3.346364e-04,3.358494e-04,3.404810e-04,3.434894e-04,3.444657e-04,3.478477e-04,3.499331e-04,3.506687e-04,3.529679e-04,3.542866e-04,3.547819e-04,3.561454e-04,3.568318e-04,3.570907e-04,3.576482e-04,3.578177e-04,3.578465e-04,3.577123e-04,3.574636e-04,3.572708e-04,3.565454e-04,3.559628e-04,3.555582e-04,3.543299e-04,3.534853e-04,3.528799e-04,3.512262e-04,3.501805e-04,3.493859e-04,3.473748e-04,3.461796e-04,3.452079e-04,3.428990e-04,3.415978e-04,3.404611e-04,3.379065e-04,3.365357e-04,3.352465e-04,3.324916e-04,3.310818e-04,3.296520e-04,3.267367e-04,3.253131e-04,3.237545e-04,3.207134e-04,3.192969e-04,3.176210e-04,3.144843e-04,3.130917e-04,3.113097e-04,3.081034e-04,3.067487e-04,3.048711e-04,3.016179e-04,3.003120e-04,2.983489e-04,2.950685e-04,2.938198e-04,2.917809e-04,2.884901e-04,2.873053e-04,2.851996e-04,2.819129e-04,2.807969e-04,2.786330e-04,2.753628e-04,2.743189e-04,2.721050e-04,2.688619e-04,2.678921e-04,2.656357e-04,2.624287e-04,2.615344e-04,2.592425e-04,2.560791e-04,2.552605e-04,2.529398e-04,2.498263e-04,2.490830e-04,2.467397e-04,2.436813e-04,2.430123e-04,2.406521e-04,2.376531e-04,2.370570e-04,2.346852e-04,2.317491e-04,2.312241e-04,2.288455e-04,2.259751e-04,2.255189e-04,2.231382e-04,2.203355e-04,2.199459e-04,2.175673e-04,2.148339e-04,2.145082e-04,2.121355e-04,2.094725e-04,2.092082e-04,2.068450e-04,2.042530e-04,2.040472e-04,2.016968e-04,1.991763e-04,1.990262e-04,1.966915e-04,1.942425e-04,1.941452e-04,1.918291e-04,1.894512e-04,1.894040e-04,1.871088e-04,1.848018e-04,1.803373e-04,1.760091e-04,1.718155e-04,1.677544e-04,1.638238e-04,1.600212e-04,1.563442e-04,1.527904e-04,1.493570e-04,1.460414e-04,1.428408e-04,1.397526e-04,1.367739e-04,1.339021e-04,1.311343e-04,1.284678e-04,1.258999e-04,1.234279e-04,1.210492e-04,1.187612e-04,1.165612e-04,1.144468e-04,1.124154e-04,1.104646e-04,1.085921e-04,1.067954e-04,1.050723e-04,1.034206e-04,1.018380e-04,1.003224e-04,9.887167e-05,9.748385e-05,9.615689e-05,9.488885e-05,9.367782e-05,9.252197e-05,9.141947e-05,9.036856e-05,8.936755e-05,8.841474e-05,8.750851e-05,8.664727e-05,8.582949e-05,8.505364e-05,8.431826e-05,8.362193e-05,8.296325e-05,8.234087e-05,8.175346e-05
0.000000e+00,2.508355e-08,8.495781e-07,8.987720e-07,8.468353e-06,3.092036e-05,3.214873e-05,6.554577e-05,9.751490e-05,9.951943e-05,1.321026e-04,1.606459e-04,1.630627e-04,1.924078e-04,2.174734e-04,2.201814e-04,2.464316e-04,2.683102e-04,2.712070e-04,2.945562e-04,3.135333e-04,3.165284e-04,3.371734e-04,3.535264e-04,3.565415e-04,3.746830e-04,3.886786e-04,3.916476e-04,4.074844e-04,4.193743e-04,4.222417e-04,4.359663e-04,4.459841e-04,4.487040e-04,4.604988e-04,4.688588e-04,4.713937e-04,4.814299e-04,4.883272e-04,4.906471e-04,4.990836e-04,5.046953e-04,5.067764e-04,5.137607e-04,5.182465e-04,5.200707e-04,5.257390e-04,5.292431e-04,5.307971e-04,5.352750e-04,5.379266e-04,5.392016e-04,5.426046e-04,5.445201e-04,5.455106e-04,5.479451e-04,5.492284e-04,5.499324e-04,5.514960e-04,5.522401e-04,5.526582e-04,5.534404e-04,5.537281e-04,5.538632e-04,5.539462e-04,5.538514e-04,5.537083e-04,5.531673e-04,5.527553e-04,5.523406e-04,5.512445e-04,5.505734e-04,5.498949e-04,5.483067e-04,5.474276e-04,5.464942e-04,5.444714e-04,5.434295e-04,5.422512e-04,5.398462e-04,5.386812e-04,5.372684e-04,5.345292e-04,5.332756e-04,5.316395e-04,5.286097e-04,5.272978e-04,5.254497e-04,5.221691e-04,5.208250e-04,5.187767e-04,5.152814e-04,5.139278e-04,5.116911e-04,5.080139e-04,5.066702e-04,5.042570e-04,5.004276e-04,4.991103e-04,4.965325e-04,4.925779e-04,4.913010e-04,4.885702e-04,4.845149e-04,4.832899e-04,4.804178e-04,4.762839e-04,4.751205e-04,4.721183e-04,4.679257e-04,4.668318e-04,4.637106e-04,4.594773e-04,4.584590e-04,4.552296e-04,4.509716e-04,4.500338e-04,4.467067e-04,4.424385e-04,4.415847e-04,4.381701e-04,4.339045e-04,4.331373e-04,4.296448e-04,4.253935e-04,4.247143e-04,4.211534e-04,4.169267e-04,4.163362e-04,4.127158e-04,4.085228e-04,4.080209e-04,4.043497e-04,4.001984e-04,3.997845e-04,3.960707e-04,3.919682e-04,3.916412e-04,3.878925e-04,3.838451e-04,3.836032e-04,3.798273e-04,3.758403e-04,3.756814e-04,3.718853e-04,3.679634e-04,3.678853e-04,3.640755e-04,3.602227e-04,3.527007e-04,3.453251e-04,3.381005e-04,3.310311e-04,3.241198e-04,3.173691e-04,3.107807e-04,3.043558e-04,2.980950e-04,2.919984e-04,2.860657e-04,2.802962e-04,2.746889e-04,2.692425e-04,2.639554e-04,2.588257e-04,2.538515e-04,2.490305e-04,2.443603e-04,2.398384e-04,2.354621e-04,2.312289e-04,2.271358e-04,2.231799e-04,2.193584e-04,2.156684e-04,2.121067e-04,2.086704e-04,2.053565e-04,2.021619e-04,1.990836e-04,1.961186e-04,1.932640e-04,1.905167e-04,1.878739e-04,1.853325e-04,1.828897e-04,1.805428e-04,1.782888e-04,1.761251e-04,1.740488e-04,1.720574e-04,1.701483e-04,1.683188e-04,1.665664e-04,1.648887e-04,1.632832e-04,1.617477e-04,1.602796e-04
0.000000e+00,2.601232e-08,8.498335e-07,8.964504e-07,8.452261e-06,4.325123e-05,4.592022e-05,1.719879e-04,4.552349e-04,4.807572e-04,1.065767e-03,1.896528e-03,1.982591e-03,3.242025e-03,4.649649e-03,4.820727e-03,6.673946e-03,8.487578e-03,8.745766e-03,1.097643e-02,1.297699e-02,1.330725e-02,1.568370e-02,1.767947e-02,1.805724e-02,2.038611e-02,2.223790e-02,2.263562e-02,2.477792e-02,2.639996e-02,2.679157e-02,2.866088e-02,3.001179e-02,3.037529e-02,3.192864e-02,3.299985e-02,3.331848e-02,3.454542e-02,3.535022e-02,3.561255e-02,3.652494e-02,3.708966e-02,3.728912e-02,3.791273e-02,3.827008e-02,3.840414e-02,3.877219e-02,3.895661e-02,3.902593e-02,3.917444e-02,3.921919e-02,3.922671e-02,3.919146e-02,3.912688e-02,3.907711e-02,3.889169e-02,3.874439e-02,3.864280e-02,3.833759e-02,3.813023e-02,3.798273e-02,3.758439e-02,3.733571e-02,3.714830e-02,3.667970e-02,3.640488e-02,3.618337e-02,3.566371e-02,3.537479e-02,3.512466e-02,3.456982e-02,3.427615e-02,3.400242e-02,3.342538e-02,3.313407e-02,3.284130e-02,3.225251e-02,3.196884e-02,3.166110e-02,3.106891e-02,3.079670e-02,3.047759e-02,2.988858e-02,2.963049e-02,2.930317e-02,2.872249e-02,2.848026e-02,2.814752e-02,2.757913e-02,2.735378e-02,2.701806e-02,2.646496e-02,2.625699e-02,2.592039e-02,2.538484e-02,2.519432e-02,2.485869e-02,2.434230e-02,2.416900e-02,2.383595e-02,2.333986e-02,2.318331e-02,2.285423e-02,2.237918e-02,2.223875e-02,2.191484e-02,2.146127e-02,2.133621e-02,2.101851e-02,2.058658e-02,2.047606e-02,2.016548e-02,1.975517e-02,1.965830e-02,1.935561e-02,1.896673e-02,1.888260e-02,1.858846e-02,1.822070e-02,1.814840e-02,1.786334e-02,1.751629e-02,1.745490e-02,1.717940e-02,1.685255e-02,1.680117e-02,1.653559e-02,1.622839e-02,1.618616e-02,1.593080e-02,1.564265e-02,1.560870e-02,1.536378e-02,1.509404e-02,1.506757e-02,1.483327e-02,1.458128e-02,1.456149e-02,1.433791e-02,1.410299e-02,1.408916e-02,1.387635e-02,1.365781e-02,1.364923e-02,1.344720e-02,1.324435e-02,1.324037e-02,1.304909e-02,1.286124e-02,1.251049e-02,1.218680e-02,1.188888e-02,1.161544e-02,1.136522e-02,1.113701e-02,1.092961e-02,1.074186e-02,1.057264e-02,1.042086e-02,1.028547e-02,1.016544e-02,1.005979e-02,9.967581e-03,9.887896e-03,9.819859e-03,9.762629e-03,9.715396e-03,9.677387e-03,9.647861e-03,9.626110e-03,9.611456e-03,9.603255e-03,9.600893e-03,9.603786e-03,9.611381e-03,9.623154e-03,9.638608e-03,9.657277e-03,9.678721e-03,9.702526e-03,9.728306e-03,9.755701e-03,9.784375e-03,9.814015e-03,9.844335e-03,9.875070e-03,9.905976e-03,9.936833e-03,9.967439e-03,9.997614e-03,1.002720e-02,1.005604e-02,1.008402e-02,1.011102e-02,1.013696e-02,1.016174e-02,1.018531e-02,1.020760e-02
0.000000e+00,1.127299e-08,3.283723e-07,3.457062e-07,2.947543e-06,1.335912e-05,1.410327e-05,4.531611e-05,1.026944e-04,1.073658e-04,2.010718e-04,3.065149e-04,3.161781e-04,4.388173e-04,5.461834e-04,5.576645e-04,6.656884e-04,7.490709e-04,7.595392e-04,8.383511e-04,8.945176e-04,9.026996e-04,9.538783e-04,9.878365e-04,9.934558e-04,1.023027e-03,1.040864e-03,1.044090e-03,1.057989e-03,1.064746e-03,1.065901e-03,1.068840e-03,1.068240e-03,1.067669e-03,1.063121e-03,1.057789e-03,1.055812e-03,1.046258e-03,1.038002e-03,1.034896e-03,1.022087e-03,1.012142e-03,1.008136e-03,9.932960e-04,9.824928e-04,9.777767e-04,9.617539e-04,9.506463e-04,9.453735e-04,9.287570e-04,9.177108e-04,9.120059e-04,8.952042e-04,8.844573e-04,8.784218e-04,8.617171e-04,8.514212e-04,8.451394e-04,8.287294e-04,8.189776e-04,8.125194e-04,7.965352e-04,7.873760e-04,7.807971e-04,7.653213e-04,7.567739e-04,7.501194e-04,7.352002e-04,7.272637e-04,7.205700e-04,7.062334e-04,6.988953e-04,6.921930e-04,6.784500e-04,6.716901e-04,6.650046e-04,6.518556e-04,6.456490e-04,6.390015e-04,6.264400e-04,6.207592e-04,6.141682e-04,6.021827e-04,5.969989e-04,5.904798e-04,5.790554e-04,5.743391e-04,5.679050e-04,5.570242e-04,5.527463e-04,5.464082e-04,5.360524e-04,5.321844e-04,5.259518e-04,5.161015e-04,5.126158e-04,5.064966e-04,4.971320e-04,4.940019e-04,4.880027e-04,4.791039e-04,4.763041e-04,4.704305e-04,4.619776e-04,4.594841e-04,4.537406e-04,4.457145e-04,4.435044e-04,4.378947e-04,4.302764e-04,4.283281e-04,4.228551e-04,4.156263e-04,4.139195e-04,4.085854e-04,4.017282e-04,4.002438e-04,3.950502e-04,3.885474e-04,3.872674e-04,3.822154e-04,3.760504e-04,3.749581e-04,3.700483e-04,3.642051e-04,3.632847e-04,3.585171e-04,3.529805e-04,3.522172e-04,3.475916e-04,3.423468e-04,3.417269e-04,3.372426e-04,3.322757e-04,3.317864e-04,3.274425e-04,3.227398e-04,3.223692e-04,3.181645e-04,3.137132e-04,3.134500e-04,3.093831e-04,3.051710e-04,3.050049e-04,3.010740e-04,2.970892e-04,2.970107e-04,2.932139e-04,2.894453e-04,2.822878e-04,2.755181e-04,2.691171e-04,2.630664e-04,2.573487e-04,2.519474e-04,2.468467e-04,2.420315e-04,2.374875e-04,2.332010e-04,2.291591e-04,2.253492e-04,2.217597e-04,2.183793e-04,2.151974e-04,2.122038e-04,2.093888e-04,2.067432e-04,2.042584e-04,2.019259e-04,1.997379e-04,1.976869e-04,1.957656e-04,1.939673e-04,1.922856e-04,1.907142e-04,1.892474e-04,1.878796e-04,1.866054e-04,1.854199e-04,1.843183e-04,1.832961e-04,1.823489e-04,1.814728e-04,1.806636e-04,1.799179e-04,1.792320e-04,1.786027e-04,1.780267e-04,1.775011e-04,1.770230e-04,1.765896e-04,1.761985e-04,1.758471e-04,1.755332e-04,1.752545e-04,1.750090e-04,1.747946e-04,1.746094e-04
0.000000e+00,2.845311e-08,8.078416e-07,8.523226e-07,7.250436e-06,2.491048e-05,2.585104e-05,5.096217e-05,7.453352e-05,7.600091e-05,9.969049e-05,1.201910e-04,1.219158e-04,1.427137e-04,1.602573e-04,1.621398e-04,1.802500e-04,1.951415e-04,1.970984e-04,2.127383e-04,2.252624e-04,2.272227e-04,2.406042e-04,2.510312e-04,2.529358e-04,2.642694e-04,2.728539e-04,2.746558e-04,2.841452e-04,2.911234e-04,2.927859e-04,3.006246e-04,3.062112e-04,3.077066e-04,3.140751e-04,3.184636e-04,3.197715e-04,3.248353e-04,3.281975e-04,3.293042e-04,3.332140e-04,3.357021e-04,3.365989e-04,3.394911e-04,3.412392e-04,3.419216e-04,3.439195e-04,3.450451e-04,3.455124e-04,3.467267e-04,3.473327e-04,3.475870e-04,3.481170e-04,3.482932e-04,3.483389e-04,3.482738e-04,3.480982e-04,3.479417e-04,3.473613e-04,3.469014e-04,3.465505e-04,3.455261e-04,3.448404e-04,3.443040e-04,3.428991e-04,3.420379e-04,3.413257e-04,3.395971e-04,3.386035e-04,3.377258e-04,3.357238e-04,3.346348e-04,3.336021e-04,3.313715e-04,3.302183e-04,3.290416e-04,3.266220e-04,3.254313e-04,3.241213e-04,3.215479e-04,3.203418e-04,3.189095e-04,3.162133e-04,3.150104e-04,3.134662e-04,3.106746e-04,3.094903e-04,3.078446e-04,3.049817e-04,3.038286e-04,3.020913e-04,2.991783e-04,2.980664e-04,2.962474e-04,2.933028e-04,2.922401e-04,2.903485e-04,2.873885e-04,2.863813e-04,2.844261e-04,2.814646e-04,2.805176e-04,2.785071e-04,2.755564e-04,2.746729e-04,2.726151e-04,2.696857e-04,2.688679e-04,2.667704e-04,2.638713e-04,2.631204e-04,2.609902e-04,2.581291e-04,2.574456e-04,2.552894e-04,2.524728e-04,2.518563e-04,2.496805e-04,2.469137e-04,2.463636e-04,2.441738e-04,2.414615e-04,2.409763e-04,2.387780e-04,2.361239e-04,2.357021e-04,2.335001e-04,2.309073e-04,2.305468e-04,2.283459e-04,2.258166e-04,2.255152e-04,2.233197e-04,2.208556e-04,2.206110e-04,2.184248e-04,2.160273e-04,2.158370e-04,2.136635e-04,2.113335e-04,2.111948e-04,2.090374e-04,2.067753e-04,2.066856e-04,2.045473e-04,2.023533e-04,2.023098e-04,2.001933e-04,1.980672e-04,1.939572e-04,1.899787e-04,1.861304e-04,1.824104e-04,1.788167e-04,1.753472e-04,1.719993e-04,1.687706e-04,1.656583e-04,1.626596e-04,1.597718e-04,1.569918e-04,1.543169e-04,1.517439e-04,1.492700e-04,1.468922e-04,1.446075e-04,1.424131e-04,1.403060e-04,1.382834e-04,1.363426e-04,1.344808e-04,1.326952e-04,1.309834e-04,1.293426e-04,1.277703e-04,1.262642e-04,1.248218e-04,1.234408e-04,1.221189e-04,1.208540e-04,1.196438e-04,1.184864e-04,1.173797e-04,1.163218e-04,1.153107e-04,1.143447e-04,1.134219e-04,1.125408e-04,1.116996e-04,1.108967e-04,1.101306e-04,1.093998e-04,1.087028e-04,1.080384e-04,1.074051e-04,1.068016e-04,1.062267e-04,1.056793e-04
0.000000e+00,2.349213e-09,3.260354e-08,3.405581e-08,2.129263e-07,7.371032e-07,7.693720e-07,1.859686e-06,3.256603e-06,3.351804e-06,4.947272e-06,6.347348e-06,6.464150e-06,7.851251e-06,8.984356e-06,9.103693e-06,1.022788e-05,1.111799e-05,1.123254e-05,1.212657e-05,1.281351e-05,1.291854e-05,1.361652e-05,1.413571e-05,1.422804e-05,1.476014e-05,1.514181e-05,1.521937e-05,1.561180e-05,1.588144e-05,1.594305e-05,1.621832e-05,1.639729e-05,1.644243e-05,1.661983e-05,1.672596e-05,1.675464e-05,1.685065e-05,1.689880e-05,1.691138e-05,1.694009e-05,1.694260e-05,1.693974e-05,1.691310e-05,1.688018e-05,1.686271e-05,1.679092e-05,1.673098e-05,1.669987e-05,1.659155e-05,1.651150e-05,1.646779e-05,1.633027e-05,1.623576e-05,1.618054e-05,1.602001e-05,1.591563e-05,1.584998e-05,1.567166e-05,1.556114e-05,1.548614e-05,1.529442e-05,1.518076e-05,1.509743e-05,1.489602e-05,1.478158e-05,1.469094e-05,1.448291e-05,1.436957e-05,1.427256e-05,1.406049e-05,1.394971e-05,1.384723e-05,1.363326e-05,1.352614e-05,1.341902e-05,1.320491e-05,1.310229e-05,1.299129e-05,1.277849e-05,1.268096e-05,1.256680e-05,1.235650e-05,1.226446e-05,1.214781e-05,1.194094e-05,1.185465e-05,1.173609e-05,1.153343e-05,1.145301e-05,1.133309e-05,1.113522e-05,1.106070e-05,1.093993e-05,1.074731e-05,1.067864e-05,1.055746e-05,1.037043e-05,1.030750e-05,1.018630e-05,1.000512e-05,9.947768e-06,9.826918e-06,9.651734e-06,9.599771e-06,9.479591e-06,9.310504e-06,9.263709e-06,9.144483e-06,8.981532e-06,8.939668e-06,8.821649e-06,8.664827e-06,8.627644e-06,8.511055e-06,8.360317e-06,8.327560e-06,8.212594e-06,8.067863e-06,8.039274e-06,7.926100e-06,7.787276e-06,7.762598e-06,7.651362e-06,7.518324e-06,7.497303e-06,7.388129e-06,7.260742e-06,7.243130e-06,7.136125e-06,7.014239e-06,6.999795e-06,6.895047e-06,6.778507e-06,6.766998e-06,6.664579e-06,6.553222e-06,6.544423e-06,6.444393e-06,6.338050e-06,6.331747e-06,6.234151e-06,6.132653e-06,6.128642e-06,6.033514e-06,5.936691e-06,5.934777e-06,5.842141e-06,5.749823e-06,5.573450e-06,5.405335e-06,5.245158e-06,5.092606e-06,4.947374e-06,4.809164e-06,4.677684e-06,4.552655e-06,4.433802e-06,4.320863e-06,4.213581e-06,4.111711e-06,4.015017e-06,3.923269e-06,3.836248e-06,3.753742e-06,3.675550e-06,3.601475e-06,3.531332e-06,3.464940e-06,3.402129e-06,3.342732e-06,3.286594e-06,3.233562e-06,3.183492e-06,3.136245e-06,3.091690e-06,3.049700e-06,3.010153e-06,2.972934e-06,2.937933e-06,2.905042e-06,2.874163e-06,2.845197e-06,2.818053e-06,2.792642e-06,2.768882e-06,2.746690e-06,2.725992e-06,2.706712e-06,2.688782e-06,2.672135e-06,2.656707e-06,2.642436e-06,2.629266e-06,2.617141e-06,2.606007e-06,2.595815e-06,2.586515e-06
0.000000e+00,1.258580e-08,4.169292e-07,4.403187e-07,4.389988e-06,2.257453e-05,2.394207e-05,8.492573e-05,2.056430e-04,2.157484e-04,4.245415e-04,6.720092e-04,6.953667e-04,1.002890e-03,1.291774e-03,1.323955e-03,1.641592e-03,1.909536e-03,1.944945e-03,2.227859e-03,2.452521e-03,2.487400e-03,2.722669e-03,2.901746e-03,2.933982e-03,3.122338e-03,3.260598e-03,3.289084e-03,3.435717e-03,3.539572e-03,3.563769e-03,3.674741e-03,3.750369e-03,3.770069e-03,3.851104e-03,3.903911e-03,3.919108e-03,3.975252e-03,4.009804e-03,4.020619e-03,4.056205e-03,4.076287e-03,4.082925e-03,4.101617e-03,4.110339e-03,4.113050e-03,4.117928e-03,4.117832e-03,4.116895e-03,4.110542e-03,4.103700e-03,4.099411e-03,4.084001e-03,4.072106e-03,4.064769e-03,4.042127e-03,4.026544e-03,4.016454e-03,3.988094e-03,3.969921e-03,3.957362e-03,3.924542e-03,3.904653e-03,3.889895e-03,3.853657e-03,3.832751e-03,3.816046e-03,3.777257e-03,3.755885e-03,3.737470e-03,3.696845e-03,3.675439e-03,3.655531e-03,3.613662e-03,3.592557e-03,3.571358e-03,3.528731e-03,3.508184e-03,3.485880e-03,3.442895e-03,3.423101e-03,3.399859e-03,3.356845e-03,3.337943e-03,3.313919e-03,3.271140e-03,3.253230e-03,3.228562e-03,3.186233e-03,3.169381e-03,3.144197e-03,3.102491e-03,3.086736e-03,3.061149e-03,3.020203e-03,3.005564e-03,2.979678e-03,2.939598e-03,2.926077e-03,2.899984e-03,2.860854e-03,2.848437e-03,2.822222e-03,2.784103e-03,2.772769e-03,2.746507e-03,2.709444e-03,2.699163e-03,2.672922e-03,2.636946e-03,2.627682e-03,2.601521e-03,2.566652e-03,2.558366e-03,2.532339e-03,2.498585e-03,2.491234e-03,2.465390e-03,2.432754e-03,2.426294e-03,2.400675e-03,2.369152e-03,2.363536e-03,2.338181e-03,2.307760e-03,2.302944e-03,2.277886e-03,2.248554e-03,2.244490e-03,2.219760e-03,2.191499e-03,2.188143e-03,2.163766e-03,2.136556e-03,2.133864e-03,2.109864e-03,2.083682e-03,2.081610e-03,2.058007e-03,2.032830e-03,2.031336e-03,2.008147e-03,1.983951e-03,1.982993e-03,1.960234e-03,1.936991e-03,1.936531e-03,1.914216e-03,1.891901e-03,1.849049e-03,1.807923e-03,1.768472e-03,1.730644e-03,1.694387e-03,1.659651e-03,1.626385e-03,1.594540e-03,1.564068e-03,1.534922e-03,1.507055e-03,1.480423e-03,1.454982e-03,1.430688e-03,1.407501e-03,1.385380e-03,1.364285e-03,1.344179e-03,1.325023e-03,1.306782e-03,1.289422e-03,1.272908e-03,1.257208e-03,1.242289e-03,1.228120e-03,1.214673e-03,1.201918e-03,1.189827e-03,1.178373e-03,1.167530e-03,1.157272e-03,1.147576e-03,1.138416e-03,1.129771e-03,1.121618e-03,1.113936e-03,1.106704e-03,1.099903e-03,1.093512e-03,1.087513e-03,1.081889e-03,1.076622e-03,1.071695e-03,1.067093e-03,1.062799e-03,1.058798e-03,1.055077e-03,1.051622e-03,1.048418e-03
0.000000e+00,1.670280e-08,5.541967e-07,5.847756e-07,5.442531e-06,2.603906e-05,2.754607e-05,9.343072e-05,2.253450e-04,2.366460e-04,4.808685e-04,7.972798e-04,8.286336e-04,1.264894e-03,1.713896e-03,1.766245e-03,2.307972e-03,2.800330e-03,2.867825e-03,3.427536e-03,3.897969e-03,3.973073e-03,4.494265e-03,4.908115e-03,4.984200e-03,5.438572e-03,5.782957e-03,5.855082e-03,6.232929e-03,6.507529e-03,6.572391e-03,6.874503e-03,7.085198e-03,7.140802e-03,7.373142e-03,7.528255e-03,7.573554e-03,7.744147e-03,7.852432e-03,7.887034e-03,8.004291e-03,8.073971e-03,8.097916e-03,8.169816e-03,8.208189e-03,8.221794e-03,8.255544e-03,8.268895e-03,8.272650e-03,8.274589e-03,8.268231e-03,8.262734e-03,8.238357e-03,8.216734e-03,8.202641e-03,8.156679e-03,8.123484e-03,8.101483e-03,8.037990e-03,7.996273e-03,7.967064e-03,7.889504e-03,7.841774e-03,7.806051e-03,7.717385e-03,7.665692e-03,7.624137e-03,7.526889e-03,7.472902e-03,7.426177e-03,7.322497e-03,7.267563e-03,7.216304e-03,7.108017e-03,7.053211e-03,6.998022e-03,6.886673e-03,6.832841e-03,6.774295e-03,6.661185e-03,6.608984e-03,6.547616e-03,6.433838e-03,6.383768e-03,6.320077e-03,6.206542e-03,6.158970e-03,6.093419e-03,5.980880e-03,5.936063e-03,5.869079e-03,5.758156e-03,5.716262e-03,5.648237e-03,5.539435e-03,5.500559e-03,5.431850e-03,5.325573e-03,5.289751e-03,5.220683e-03,5.117250e-03,5.084470e-03,5.015336e-03,4.914993e-03,4.885203e-03,4.816267e-03,4.719197e-03,4.692318e-03,4.623815e-03,4.530148e-03,4.506078e-03,4.438217e-03,4.348040e-03,4.326659e-03,4.259627e-03,4.172987e-03,4.154164e-03,4.088123e-03,4.005037e-03,3.988633e-03,3.923726e-03,3.844184e-03,3.830054e-03,3.766404e-03,3.690375e-03,3.678373e-03,3.616086e-03,3.543521e-03,3.533499e-03,3.472665e-03,3.403501e-03,3.395314e-03,3.336009e-03,3.270170e-03,3.263676e-03,3.205963e-03,3.143366e-03,3.138427e-03,3.082356e-03,3.022910e-03,3.019392e-03,2.965003e-03,2.908612e-03,2.906388e-03,2.853711e-03,2.800276e-03,2.799222e-03,2.748280e-03,2.697699e-03,2.601619e-03,2.510782e-03,2.424989e-03,2.344041e-03,2.267743e-03,2.195902e-03,2.128333e-03,2.064849e-03,2.005275e-03,1.949436e-03,1.897166e-03,1.848301e-03,1.802686e-03,1.760170e-03,1.720607e-03,1.683858e-03,1.649788e-03,1.618269e-03,1.589176e-03,1.562391e-03,1.537799e-03,1.515292e-03,1.494763e-03,1.476113e-03,1.459246e-03,1.444068e-03,1.430492e-03,1.418433e-03,1.407808e-03,1.398541e-03,1.390556e-03,1.383781e-03,1.378149e-03,1.373592e-03,1.370048e-03,1.367455e-03,1.365756e-03,1.364894e-03,1.364816e-03,1.365470e-03,1.366806e-03,1.368778e-03,1.371340e-03,1.374447e-03,1.378057e-03,1.382131e-03,1.386630e-03,1.391516e-03,1.396755e-03
0.000000e+00,2.474293e-08,8.003348e-07,8.455403e-07,8.579743e-06,4.278815e-05,4.525326e-05,1.435534e-04,2.971938e-04,3.085031e-04,5.106848e-04,7.020121e-04,7.182835e-04,9.120540e-04,1.067619e-03,1.083698e-03,1.231159e-03,1.341560e-03,1.355284e-03,1.458050e-03,1.531087e-03,1.541741e-03,1.608607e-03,1.653306e-03,1.660736e-03,1.700016e-03,1.723827e-03,1.728134e-03,1.746591e-03,1.755297e-03,1.756712e-03,1.759670e-03,1.757671e-03,1.756495e-03,1.748092e-03,1.738704e-03,1.735258e-03,1.718688e-03,1.704384e-03,1.698994e-03,1.676707e-03,1.659319e-03,1.652293e-03,1.626158e-03,1.607030e-03,1.598654e-03,1.570087e-03,1.550191e-03,1.540723e-03,1.510792e-03,1.490824e-03,1.480492e-03,1.449993e-03,1.430438e-03,1.419442e-03,1.388965e-03,1.370153e-03,1.358667e-03,1.328640e-03,1.310785e-03,1.298958e-03,1.269687e-03,1.252919e-03,1.240879e-03,1.212576e-03,1.196961e-03,1.184815e-03,1.157623e-03,1.143184e-03,1.131023e-03,1.105029e-03,1.091757e-03,1.079655e-03,1.054907e-03,1.042769e-03,1.030789e-03,1.007304e-03,9.962552e-04,9.844492e-04,9.622213e-04,9.522055e-04,9.406149e-04,9.196230e-04,9.105793e-04,8.992376e-04,8.794491e-04,8.713135e-04,8.602474e-04,8.416215e-04,8.343298e-04,8.235599e-04,8.060507e-04,7.995395e-04,7.890816e-04,7.726399e-04,7.668476e-04,7.567131e-04,7.412882e-04,7.361559e-04,7.263525e-04,7.118932e-04,7.073647e-04,6.978975e-04,6.843527e-04,6.803753e-04,6.712464e-04,6.585663e-04,6.550906e-04,6.463001e-04,6.344360e-04,6.314158e-04,6.229622e-04,6.118672e-04,6.092595e-04,6.011398e-04,5.907689e-04,5.885340e-04,5.807437e-04,5.710538e-04,5.691552e-04,5.616890e-04,5.526391e-04,5.510429e-04,5.438946e-04,5.354459e-04,5.341209e-04,5.272837e-04,5.193992e-04,5.183171e-04,5.117836e-04,5.044285e-04,5.035630e-04,4.973255e-04,4.904668e-04,4.897940e-04,4.838445e-04,4.774511e-04,4.769493e-04,4.712793e-04,4.653220e-04,4.649712e-04,4.595723e-04,4.540235e-04,4.538056e-04,4.486692e-04,4.435031e-04,4.434017e-04,4.385191e-04,4.337113e-04,4.246895e-04,4.162940e-04,4.084848e-04,4.012247e-04,3.944786e-04,3.882136e-04,3.823987e-04,3.770050e-04,3.720052e-04,3.673739e-04,3.630872e-04,3.591225e-04,3.554589e-04,3.520765e-04,3.489570e-04,3.460830e-04,3.434381e-04,3.410072e-04,3.387759e-04,3.367310e-04,3.348597e-04,3.331505e-04,3.315922e-04,3.301745e-04,3.288878e-04,3.277230e-04,3.266716e-04,3.257257e-04,3.248778e-04,3.241210e-04,3.234487e-04,3.228548e-04,3.223337e-04,3.218800e-04,3.214886e-04,3.211550e-04,3.208747e-04,3.206436e-04,3.204580e-04,3.203142e-04,3.202089e-04,3.201391e-04,3.201017e-04,3.200941e-04,3.201138e-04,3.201583e-04,3.202255e-04,3.203133e-04,3.204197e-04
0.000000e+00,1.120451e-08,4.226067e-07,4.472331e-07,4.710133e-06,2.395523e-05,2.537745e-05,8.718374e-05,2.070001e-04,2.170432e-04,4.277615e-04,6.879114e-04,7.130958e-04,1.054737e-03,1.391965e-03,1.430444e-03,1.819116e-03,2.157819e-03,2.203183e-03,2.569333e-03,2.862763e-03,2.908346e-03,3.214532e-03,3.444199e-03,3.485029e-03,3.719118e-03,3.884438e-03,3.917613e-03,4.082367e-03,4.191538e-03,4.215873e-03,4.320969e-03,4.385126e-03,4.400616e-03,4.457747e-03,4.487842e-03,4.495169e-03,4.515501e-03,4.520959e-03,4.521134e-03,4.514223e-03,4.502564e-03,4.496683e-03,4.470202e-03,4.447142e-03,4.436252e-03,4.396114e-03,4.365853e-03,4.350889e-03,4.301525e-03,4.267076e-03,4.248832e-03,4.193498e-03,4.156974e-03,4.136111e-03,4.077164e-03,4.040021e-03,4.017078e-03,3.956205e-03,3.919430e-03,3.894844e-03,3.833243e-03,3.797490e-03,3.771614e-03,3.710132e-03,3.675822e-03,3.648944e-03,3.588172e-03,3.555565e-03,3.527918e-03,3.468265e-03,3.437508e-03,3.409284e-03,3.351033e-03,3.322195e-03,3.293556e-03,3.236893e-03,3.209993e-03,3.181074e-03,3.126122e-03,3.101140e-03,3.072055e-03,3.018888e-03,2.995783e-03,2.966631e-03,2.915289e-03,2.893999e-03,2.864865e-03,2.815363e-03,2.795819e-03,2.766779e-03,2.719111e-03,2.701237e-03,2.672355e-03,2.626505e-03,2.610220e-03,2.581555e-03,2.537496e-03,2.522717e-03,2.494319e-03,2.452016e-03,2.438662e-03,2.410577e-03,2.369990e-03,2.357979e-03,2.330246e-03,2.291332e-03,2.280584e-03,2.253238e-03,2.215951e-03,2.206388e-03,2.179460e-03,2.143753e-03,2.135298e-03,2.108816e-03,2.074640e-03,2.067221e-03,2.041210e-03,2.008514e-03,2.002062e-03,1.976541e-03,1.945278e-03,1.939725e-03,1.914713e-03,1.884833e-03,1.880115e-03,1.855627e-03,1.827082e-03,1.823138e-03,1.799188e-03,1.771931e-03,1.768702e-03,1.745300e-03,1.719285e-03,1.716716e-03,1.693872e-03,1.669051e-03,1.667091e-03,1.644811e-03,1.621141e-03,1.619739e-03,1.598030e-03,1.575468e-03,1.574576e-03,1.553442e-03,1.531944e-03,1.531520e-03,1.510963e-03,1.490489e-03,1.451407e-03,1.414197e-03,1.378787e-03,1.345105e-03,1.313083e-03,1.282656e-03,1.253758e-03,1.226329e-03,1.200308e-03,1.175638e-03,1.152264e-03,1.130131e-03,1.109189e-03,1.089388e-03,1.070679e-03,1.053017e-03,1.036356e-03,1.020655e-03,1.005870e-03,9.919640e-04,9.788969e-04,9.666321e-04,9.551339e-04,9.443682e-04,9.343018e-04,9.249029e-04,9.161408e-04,9.079860e-04,9.004102e-04,8.933858e-04,8.868866e-04,8.808871e-04,8.753630e-04,8.702908e-04,8.656477e-04,8.614120e-04,8.575628e-04,8.540798e-04,8.509438e-04,8.481360e-04,8.456385e-04,8.434341e-04,8.415062e-04,8.398389e-04,8.384169e-04,8.372256e-04,8.362509e-04,8.354793e-04,8.348978e-04
0.000000e+00,1.881860e-08,3.503806e-07,3.663946e-07,2.432721e-06,9.425164e-06,9.890134e-06,2.716410e-05,5.192177e-05,5.365754e-05,8.260211e-05,1.065547e-04,1.084548e-04,1.296481e-04,1.449388e-04,1.464381e-04,1.594869e-04,1.683954e-04,1.694470e-04,1.768797e-04,1.816086e-04,1.822519e-04,1.859487e-04,1.879928e-04,1.882869e-04,1.895270e-04,1.898754e-04,1.898824e-04,1.895282e-04,1.888311e-04,1.886076e-04,1.872378e-04,1.859197e-04,1.855145e-04,1.835154e-04,1.818512e-04,1.813041e-04,1.789320e-04,1.770981e-04,1.764410e-04,1.738651e-04,1.719735e-04,1.712317e-04,1.685628e-04,1.666833e-04,1.658765e-04,1.631868e-04,1.613620e-04,1.605055e-04,1.578414e-04,1.560962e-04,1.552018e-04,1.525925e-04,1.509405e-04,1.500178e-04,1.474813e-04,1.459287e-04,1.449851e-04,1.425314e-04,1.410803e-04,1.401219e-04,1.377575e-04,1.364069e-04,1.354386e-04,1.331656e-04,1.319129e-04,1.309388e-04,1.287579e-04,1.275992e-04,1.266226e-04,1.245327e-04,1.234636e-04,1.224875e-04,1.204865e-04,1.195024e-04,1.185291e-04,1.166146e-04,1.157107e-04,1.147422e-04,1.129113e-04,1.120828e-04,1.111210e-04,1.093707e-04,1.086130e-04,1.076595e-04,1.059867e-04,1.052954e-04,1.043515e-04,1.027533e-04,1.021241e-04,1.011911e-04,9.966444e-05,9.909342e-05,9.817241e-05,9.671435e-05,9.619762e-05,9.528953e-05,9.389727e-05,9.343120e-05,9.253688e-05,9.120767e-05,9.078880e-05,8.990899e-05,8.864018e-05,8.826527e-05,8.740061e-05,8.618965e-05,8.585562e-05,8.500667e-05,8.385109e-05,8.355505e-05,8.272230e-05,8.161972e-05,8.135894e-05,8.054279e-05,7.949095e-05,7.926285e-05,7.846364e-05,7.746034e-05,7.726252e-05,7.648052e-05,7.552367e-05,7.535383e-05,7.458927e-05,7.367685e-05,7.353287e-05,7.278591e-05,7.191598e-05,7.179584e-05,7.106660e-05,7.023731e-05,7.013912e-05,6.942767e-05,6.863725e-05,6.855925e-05,6.786562e-05,6.711236e-05,6.705288e-05,6.637707e-05,6.565934e-05,6.561683e-05,6.495879e-05,6.427503e-05,6.424802e-05,6.360768e-05,6.295639e-05,6.294352e-05,6.232078e-05,6.170052e-05,6.051631e-05,5.938832e-05,5.831407e-05,5.729118e-05,5.631739e-05,5.539052e-05,5.450849e-05,5.366929e-05,5.287102e-05,5.211185e-05,5.139004e-05,5.070389e-05,5.005181e-05,4.943226e-05,4.884377e-05,4.828494e-05,4.775441e-05,4.725090e-05,4.677317e-05,4.632005e-05,4.589041e-05,4.548316e-05,4.509728e-05,4.473177e-05,4.438569e-05,4.405814e-05,4.374826e-05,4.345521e-05,4.317821e-05,4.291649e-05,4.266935e-05,4.243608e-05,4.221603e-05,4.200857e-05,4.181309e-05,4.162902e-05,4.145581e-05,4.129293e-05,4.113987e-05,4.099616e-05,4.086134e-05,4.073497e-05,4.061664e-05,4.050594e-05,4.040249e-05,4.030592e-05,4.021590e-05,4.013209e-05,4.005417e-05
0.000000e+00,1.862861e-08,6.279650e-07,6.642494e-07,6.675548e-06,2.965118e-05,3.116436e-05,8.312893e-05,1.470913e-04,1.513345e-04,2.213172e-04,2.820058e-04,2.870639e-04,3.472054e-04,3.965326e-04,4.017422e-04,4.509864e-04,4.902330e-04,4.953029e-04,5.350507e-04,5.658407e-04,5.705713e-04,6.021846e-04,6.259402e-04,6.301906e-04,6.548706e-04,6.728113e-04,6.764875e-04,6.952864e-04,7.084503e-04,7.114952e-04,7.253258e-04,7.345896e-04,7.369746e-04,7.466241e-04,7.527248e-04,7.544429e-04,7.605874e-04,7.641418e-04,7.652021e-04,7.684208e-04,7.699436e-04,7.703671e-04,7.711551e-04,7.710744e-04,7.708903e-04,7.696701e-04,7.683407e-04,7.675842e-04,7.647157e-04,7.624310e-04,7.611408e-04,7.569302e-04,7.539319e-04,7.521486e-04,7.468560e-04,7.433422e-04,7.411072e-04,7.349531e-04,7.310857e-04,7.284403e-04,7.216115e-04,7.175217e-04,7.145061e-04,7.071604e-04,7.029542e-04,6.996074e-04,6.918776e-04,6.876400e-04,6.839990e-04,6.759971e-04,6.717952e-04,6.678952e-04,6.597148e-04,6.556014e-04,6.514755e-04,6.431949e-04,6.392105e-04,6.348895e-04,6.265739e-04,6.227491e-04,6.182617e-04,6.099649e-04,6.063222e-04,6.016949e-04,5.934614e-04,5.900165e-04,5.852737e-04,5.771397e-04,5.739029e-04,5.690670e-04,5.610619e-04,5.580390e-04,5.531305e-04,5.452779e-04,5.424712e-04,5.375088e-04,5.298272e-04,5.272360e-04,5.222367e-04,5.147405e-04,5.123621e-04,5.073413e-04,5.000414e-04,4.978711e-04,4.928427e-04,4.857469e-04,4.837787e-04,4.787554e-04,4.718692e-04,4.700961e-04,4.650891e-04,4.584157e-04,4.568300e-04,4.518494e-04,4.453904e-04,4.439839e-04,4.390388e-04,4.327944e-04,4.315583e-04,4.266569e-04,4.206259e-04,4.195516e-04,4.147010e-04,4.088814e-04,4.079600e-04,4.031665e-04,3.975554e-04,3.967781e-04,3.920474e-04,3.866414e-04,3.859995e-04,3.813364e-04,3.761314e-04,3.756164e-04,3.710253e-04,3.660169e-04,3.656204e-04,3.611051e-04,3.562886e-04,3.560026e-04,3.515662e-04,3.469366e-04,3.467533e-04,3.423985e-04,3.379508e-04,3.378627e-04,3.335919e-04,3.293207e-04,3.211170e-04,3.132414e-04,3.056836e-04,2.984333e-04,2.914803e-04,2.848148e-04,2.784268e-04,2.723067e-04,2.664452e-04,2.608328e-04,2.554607e-04,2.503202e-04,2.454026e-04,2.406998e-04,2.362036e-04,2.319064e-04,2.278007e-04,2.238790e-04,2.201344e-04,2.165601e-04,2.131494e-04,2.098960e-04,2.067937e-04,2.038367e-04,2.010191e-04,1.983355e-04,1.957806e-04,1.933491e-04,1.910361e-04,1.888369e-04,1.867468e-04,1.847615e-04,1.828765e-04,1.810879e-04,1.793917e-04,1.777839e-04,1.762610e-04,1.748194e-04,1.734556e-04,1.721665e-04,1.709487e-04,1.697994e-04,1.687154e-04,1.676941e-04,1.667327e-04,1.658286e-04,1.649792e-04,1.641822e-04,1.634352e-04
0.000000e+00,2.845602e-09,5.207913e-08,5.463169e-08,3.909472e-07,1.375042e-06,1.433121e-06,3.185141e-06,4.995715e-06,5.108819e-06,6.906980e-06,8.400667e-06,8.523202e-06,9.959490e-06,1.110888e-05,1.122869e-05,1.234505e-05,1.321190e-05,1.332225e-05,1.417301e-05,1.481254e-05,1.490910e-05,1.554133e-05,1.599943e-05,1.607963e-05,1.653311e-05,1.684752e-05,1.691008e-05,1.721813e-05,1.741962e-05,1.746418e-05,1.765452e-05,1.776802e-05,1.779489e-05,1.789048e-05,1.793612e-05,1.794604e-05,1.796587e-05,1.795981e-05,1.795381e-05,1.791335e-05,1.786842e-05,1.784765e-05,1.775960e-05,1.768608e-05,1.765181e-05,1.752666e-05,1.743274e-05,1.738629e-05,1.723269e-05,1.712500e-05,1.706777e-05,1.689311e-05,1.677688e-05,1.671014e-05,1.652012e-05,1.639927e-05,1.632420e-05,1.612341e-05,1.600099e-05,1.591868e-05,1.571084e-05,1.558916e-05,1.550063e-05,1.528872e-05,1.516954e-05,1.507571e-05,1.486214e-05,1.474674e-05,1.464847e-05,1.443513e-05,1.432445e-05,1.422249e-05,1.401089e-05,1.390557e-05,1.380062e-05,1.359194e-05,1.349241e-05,1.338508e-05,1.318024e-05,1.308674e-05,1.297759e-05,1.277728e-05,1.268992e-05,1.257943e-05,1.238417e-05,1.230295e-05,1.219157e-05,1.200172e-05,1.192657e-05,1.181468e-05,1.163050e-05,1.156128e-05,1.144923e-05,1.127088e-05,1.120740e-05,1.109549e-05,1.092306e-05,1.086511e-05,1.075360e-05,1.058711e-05,1.053446e-05,1.042358e-05,1.026301e-05,1.021541e-05,1.010537e-05,9.950650e-06,9.907848e-06,9.798824e-06,9.649866e-06,9.611604e-06,9.503748e-06,9.360438e-06,9.326458e-06,9.219904e-06,9.082111e-06,9.052161e-06,8.947023e-06,8.814603e-06,8.788436e-06,8.684812e-06,8.557612e-06,8.534988e-06,8.432963e-06,8.310824e-06,8.291512e-06,8.191155e-06,8.073915e-06,8.057693e-06,7.959064e-06,7.846559e-06,7.833215e-06,7.736361e-06,7.628428e-06,7.617758e-06,7.522719e-06,7.419194e-06,7.411005e-06,7.317813e-06,7.218536e-06,7.212645e-06,7.121323e-06,7.026135e-06,7.022369e-06,6.932933e-06,6.841680e-06,6.839875e-06,6.752338e-06,6.664868e-06,6.497062e-06,6.336178e-06,6.181946e-06,6.034103e-06,5.892397e-06,5.756583e-06,5.626425e-06,5.501696e-06,5.382177e-06,5.267658e-06,5.157935e-06,5.052814e-06,4.952108e-06,4.855635e-06,4.763224e-06,4.674707e-06,4.589926e-06,4.508726e-06,4.430962e-06,4.356492e-06,4.285180e-06,4.216896e-06,4.151517e-06,4.088921e-06,4.028995e-06,3.971628e-06,3.916714e-06,3.864153e-06,3.813847e-06,3.765703e-06,3.719632e-06,3.675547e-06,3.633367e-06,3.593013e-06,3.554410e-06,3.517483e-06,3.482166e-06,3.448389e-06,3.416090e-06,3.385208e-06,3.355683e-06,3.327459e-06,3.300482e-06,3.274701e-06,3.250065e-06,3.226526e-06,3.204040e-06,3.182563e-06,3.162051e-06
0.000000e+00,5.512319e-09,6.990035e-08,7.281551e-08,3.953082e-07,1.226875e-06,1.275977e-06,2.897433e-06,5.011114e-06,5.159813e-06,7.757466e-06,1.016886e-05,1.037341e-05,1.281949e-05,1.482087e-05,1.503105e-05,1.700100e-05,1.854369e-05,1.874085e-05,2.026694e-05,2.142145e-05,2.159635e-05,2.274557e-05,2.358305e-05,2.373013e-05,2.456453e-05,2.514617e-05,2.526224e-05,2.583570e-05,2.621276e-05,2.629640e-05,2.665495e-05,2.686998e-05,2.692107e-05,2.710373e-05,2.719183e-05,2.721117e-05,2.725094e-05,2.724091e-05,2.722998e-05,2.715467e-05,2.707009e-05,2.703084e-05,2.686382e-05,2.672386e-05,2.665852e-05,2.641938e-05,2.623955e-05,2.615051e-05,2.585563e-05,2.564842e-05,2.553813e-05,2.520112e-05,2.497652e-05,2.484743e-05,2.447963e-05,2.424553e-05,2.410004e-05,2.371079e-05,2.347341e-05,2.331380e-05,2.291082e-05,2.267496e-05,2.250340e-05,2.209299e-05,2.186232e-05,2.168084e-05,2.126812e-05,2.104538e-05,2.085586e-05,2.044498e-05,2.023215e-05,2.003631e-05,1.963057e-05,1.942902e-05,1.922843e-05,1.883046e-05,1.864107e-05,1.843716e-05,1.804898e-05,1.787224e-05,1.766630e-05,1.728946e-05,1.712557e-05,1.691873e-05,1.655437e-05,1.640328e-05,1.619657e-05,1.584550e-05,1.570698e-05,1.550128e-05,1.516403e-05,1.503772e-05,1.483382e-05,1.451070e-05,1.439612e-05,1.419470e-05,1.388584e-05,1.378245e-05,1.358410e-05,1.328947e-05,1.319668e-05,1.300190e-05,1.272136e-05,1.263855e-05,1.244777e-05,1.218107e-05,1.210762e-05,1.192119e-05,1.166803e-05,1.160329e-05,1.142150e-05,1.118150e-05,1.112487e-05,1.094794e-05,1.072070e-05,1.067155e-05,1.049968e-05,1.028475e-05,1.024249e-05,1.007581e-05,9.872737e-06,9.836797e-06,9.675411e-06,9.483712e-06,9.453555e-06,9.297521e-06,9.116717e-06,9.091828e-06,8.941179e-06,8.770788e-06,8.750681e-06,8.605422e-06,8.444964e-06,8.429184e-06,8.289296e-06,8.138302e-06,8.126421e-06,7.991865e-06,7.849872e-06,7.841491e-06,7.712211e-06,7.578771e-06,7.573519e-06,7.449442e-06,7.324119e-06,7.321652e-06,7.202694e-06,7.085065e-06,6.862962e-06,6.654576e-06,6.459174e-06,6.276053e-06,6.104539e-06,5.943990e-06,5.793796e-06,5.653373e-06,5.522168e-06,5.399655e-06,5.285334e-06,5.178734e-06,5.079406e-06,4.986924e-06,4.900887e-06,4.820914e-06,4.746648e-06,4.677747e-06,4.613891e-06,4.554777e-06,4.500119e-06,4.449647e-06,4.403105e-06,4.360254e-06,4.320867e-06,4.284730e-06,4.251640e-06,4.221409e-06,4.193858e-06,4.168816e-06,4.146125e-06,4.125636e-06,4.107207e-06,4.090705e-06,4.076005e-06,4.062988e-06,4.051545e-06,4.041570e-06,4.032964e-06,4.025636e-06,4.019498e-06,4.014469e-06,4.010470e-06,4.007429e-06,4.005278e-06,4.003953e-06,4.003393e-06,4.003543e-06,4.004347e-06
0.000000e+00,1.845513e-08,6.859685e-07,7.259367e-07,7.959405e-06,4.470731e-05,4.759403e-05,1.862737e-04,5.005301e-04,5.288582e-04,1.178188e-03,2.102338e-03,2.198314e-03,3.609329e-03,5.202520e-03,5.397384e-03,7.525988e-03,9.641352e-03,9.945150e-03,1.259818e-02,1.502216e-02,1.542652e-02,1.837310e-02,2.090039e-02,2.138452e-02,2.441239e-02,2.687740e-02,2.741404e-02,3.035280e-02,3.263767e-02,3.319792e-02,3.592432e-02,3.795558e-02,3.851219e-02,4.094650e-02,4.268712e-02,4.321650e-02,4.531517e-02,4.675555e-02,4.723872e-02,4.898611e-02,5.013576e-02,5.055857e-02,5.195923e-02,5.283991e-02,5.319274e-02,5.426490e-02,5.490522e-02,5.518246e-02,5.595279e-02,5.638435e-02,5.658373e-02,5.708337e-02,5.733804e-02,5.745995e-02,5.772167e-02,5.782983e-02,5.787666e-02,5.793286e-02,5.792238e-02,5.789798e-02,5.777943e-02,5.767515e-02,5.758431e-02,5.731939e-02,5.714294e-02,5.699106e-02,5.660536e-02,5.637525e-02,5.616798e-02,5.568422e-02,5.541600e-02,5.515905e-02,5.459710e-02,5.430368e-02,5.400266e-02,5.337972e-02,5.307169e-02,5.273198e-02,5.206283e-02,5.174871e-02,5.137542e-02,5.067262e-02,5.035921e-02,4.995710e-02,4.923129e-02,4.892393e-02,4.849743e-02,4.775754e-02,4.746032e-02,4.701350e-02,4.626700e-02,4.598301e-02,4.551959e-02,4.477269e-02,4.450417e-02,4.402756e-02,4.328537e-02,4.303389e-02,4.254717e-02,4.181390e-02,4.158044e-02,4.108642e-02,4.036549e-02,4.015059e-02,3.965180e-02,3.894596e-02,3.874981e-02,3.824853e-02,3.755998e-02,3.738247e-02,3.688076e-02,3.621123e-02,3.605202e-02,3.555172e-02,3.490252e-02,3.476111e-02,3.426388e-02,3.363600e-02,3.351173e-02,3.301906e-02,3.241319e-02,3.230532e-02,3.181852e-02,3.123513e-02,3.114284e-02,3.066309e-02,3.010243e-02,3.002485e-02,2.955320e-02,2.901538e-02,2.895161e-02,2.848897e-02,2.797394e-02,2.792306e-02,2.747025e-02,2.697784e-02,2.693894e-02,2.649667e-02,2.602664e-02,2.599879e-02,2.556767e-02,2.511968e-02,2.510199e-02,2.468256e-02,2.425622e-02,2.424780e-02,2.384052e-02,2.343536e-02,2.266375e-02,2.193197e-02,2.123895e-02,2.058361e-02,1.996483e-02,1.938147e-02,1.883236e-02,1.831635e-02,1.783228e-02,1.737898e-02,1.695530e-02,1.656008e-02,1.619219e-02,1.585052e-02,1.553393e-02,1.524135e-02,1.497170e-02,1.472391e-02,1.449694e-02,1.428977e-02,1.410141e-02,1.393086e-02,1.377717e-02,1.363939e-02,1.351663e-02,1.340796e-02,1.331254e-02,1.322951e-02,1.315806e-02,1.309737e-02,1.304669e-02,1.300527e-02,1.297238e-02,1.294733e-02,1.292946e-02,1.291813e-02,1.291273e-02,1.291267e-02,1.291739e-02,1.292636e-02,1.293909e-02,1.295510e-02,1.297394e-02,1.299518e-02,1.301844e-02,1.304335e-02,1.306956e-02,1.309676e-02,1.312465e-02
0.000000e+00,2.341624e-08,4.741217e-07,4.968141e-07,3.552935e-06,1.398596e-05,1.467539e-05,4.004310e-05,7.636854e-05,7.894578e-05,1.232971e-04,1.632058e-04,1.665523e-04,2.063463e-04,2.388269e-04,2.422429e-04,2.743628e-04,2.997044e-04,3.029590e-04,3.283052e-04,3.477055e-04,3.506657e-04,3.702893e-04,3.848285e-04,3.874082e-04,4.022371e-04,4.128287e-04,4.149759e-04,4.258096e-04,4.332202e-04,4.349091e-04,4.424321e-04,4.472994e-04,4.485237e-04,4.533175e-04,4.561687e-04,4.569362e-04,4.594923e-04,4.607608e-04,4.610891e-04,4.618210e-04,4.618612e-04,4.617745e-04,4.610287e-04,4.601296e-04,4.596560e-04,4.577224e-04,4.561183e-04,4.552884e-04,4.524090e-04,4.502892e-04,4.491345e-04,4.455107e-04,4.430276e-04,4.415794e-04,4.373787e-04,4.346543e-04,4.329433e-04,4.283046e-04,4.254360e-04,4.234915e-04,4.185299e-04,4.155937e-04,4.134437e-04,4.082542e-04,4.053103e-04,4.029810e-04,3.976417e-04,3.947367e-04,3.922524e-04,3.868275e-04,3.839969e-04,3.813801e-04,3.759218e-04,3.731921e-04,3.704635e-04,3.650145e-04,3.624049e-04,3.595835e-04,3.541782e-04,3.517022e-04,3.488053e-04,3.434710e-04,3.411375e-04,3.381807e-04,3.329393e-04,3.307535e-04,3.277510e-04,3.226195e-04,3.205835e-04,3.175481e-04,3.125397e-04,3.106535e-04,3.075967e-04,3.027212e-04,3.009829e-04,2.979150e-04,2.931796e-04,2.915859e-04,2.885162e-04,2.839257e-04,2.824723e-04,2.794091e-04,2.749668e-04,2.736486e-04,2.705992e-04,2.663065e-04,2.651180e-04,2.620889e-04,2.579463e-04,2.568815e-04,2.538786e-04,2.498854e-04,2.489381e-04,2.459665e-04,2.421213e-04,2.412852e-04,2.383493e-04,2.346500e-04,2.339188e-04,2.310228e-04,2.274668e-04,2.268342e-04,2.239814e-04,2.205658e-04,2.200257e-04,2.172191e-04,2.139406e-04,2.134869e-04,2.107292e-04,2.075842e-04,2.072112e-04,2.045046e-04,2.014895e-04,2.011915e-04,1.985379e-04,1.956489e-04,1.954205e-04,1.928215e-04,1.900548e-04,1.898907e-04,1.873477e-04,1.846993e-04,1.845946e-04,1.821087e-04,1.795749e-04,1.795248e-04,1.770968e-04,1.746736e-04,1.700338e-04,1.655980e-04,1.613589e-04,1.573096e-04,1.534432e-04,1.497528e-04,1.462320e-04,1.428744e-04,1.396738e-04,1.366243e-04,1.337199e-04,1.309551e-04,1.283245e-04,1.258228e-04,1.234449e-04,1.211859e-04,1.190410e-04,1.170058e-04,1.150757e-04,1.132466e-04,1.115143e-04,1.098749e-04,1.083246e-04,1.068598e-04,1.054768e-04,1.041722e-04,1.029429e-04,1.017856e-04,1.006973e-04,9.967507e-05,9.871606e-05,9.781757e-05,9.697697e-05,9.619174e-05,9.545945e-05,9.477777e-05,9.414444e-05,9.355729e-05,9.301424e-05,9.251328e-05,9.205246e-05,9.162993e-05,9.124390e-05,9.089264e-05,9.057448e-05,9.028782e-05,9.003114e-05,8.980294e-05,8.960180e-05
0.000000e+00,1.032247e-08,3.064501e-07,3.230022e-07,2.943457e-06,1.397564e-05,1.477330e-05,4.828012e-05,1.087096e-04,1.135459e-04,2.080914e-04,3.099216e-04,3.190703e-04,4.334122e-04,5.321843e-04,5.427520e-04,6.430516e-04,7.226898e-04,7.329122e-04,8.122659e-04,8.724948e-04,8.816312e-04,9.417457e-04,9.856720e-04,9.934007e-04,1.037372e-03,1.068209e-03,1.074391e-03,1.105135e-03,1.125635e-03,1.130229e-03,1.150243e-03,1.162665e-03,1.165698e-03,1.177068e-03,1.183245e-03,1.184786e-03,1.189244e-03,1.190656e-03,1.190799e-03,1.189773e-03,1.187602e-03,1.186460e-03,1.181124e-03,1.176316e-03,1.174006e-03,1.165324e-03,1.158628e-03,1.155274e-03,1.144035e-03,1.136045e-03,1.131768e-03,1.118619e-03,1.109801e-03,1.104718e-03,1.090181e-03,1.080896e-03,1.075115e-03,1.059616e-03,1.050144e-03,1.043769e-03,1.027649e-03,1.018203e-03,1.011326e-03,9.948616e-04,9.856000e-04,9.783098e-04,9.617197e-04,9.527607e-04,9.451349e-04,9.285937e-04,9.200210e-04,9.121301e-04,8.957740e-04,8.876447e-04,8.795518e-04,8.634867e-04,8.558373e-04,8.475989e-04,8.319058e-04,8.247566e-04,8.164225e-04,8.011618e-04,7.945205e-04,7.861347e-04,7.713502e-04,7.652150e-04,7.568160e-04,7.425382e-04,7.369000e-04,7.285217e-04,7.147701e-04,7.096145e-04,7.012861e-04,6.880714e-04,6.833803e-04,6.751270e-04,6.624531e-04,6.582056e-04,6.500493e-04,6.379145e-04,6.340879e-04,6.260472e-04,6.144454e-04,6.110164e-04,6.031070e-04,5.920290e-04,5.889734e-04,5.812085e-04,5.706423e-04,5.679363e-04,5.603269e-04,5.502585e-04,5.478785e-04,5.404335e-04,5.308477e-04,5.287705e-04,5.214972e-04,5.123777e-04,5.105812e-04,5.034851e-04,4.948151e-04,4.932779e-04,4.863635e-04,4.781258e-04,4.768273e-04,4.700977e-04,4.622749e-04,4.611958e-04,4.546531e-04,4.472280e-04,4.463500e-04,4.399952e-04,4.329506e-04,4.322564e-04,4.260900e-04,4.194092e-04,4.188824e-04,4.129041e-04,4.065706e-04,4.061960e-04,4.004048e-04,3.944027e-04,3.941660e-04,3.885605e-04,3.828743e-04,3.827621e-04,3.773404e-04,3.719551e-04,3.617167e-04,3.520196e-04,3.428377e-04,3.341460e-04,3.259203e-04,3.181376e-04,3.107759e-04,3.038142e-04,2.972324e-04,2.910114e-04,2.851330e-04,2.795798e-04,2.743351e-04,2.693834e-04,2.647095e-04,2.602992e-04,2.561389e-04,2.522159e-04,2.485177e-04,2.450327e-04,2.417500e-04,2.386589e-04,2.357495e-04,2.330122e-04,2.304381e-04,2.280186e-04,2.257456e-04,2.236113e-04,2.216084e-04,2.197300e-04,2.179694e-04,2.163205e-04,2.147771e-04,2.133337e-04,2.119850e-04,2.107258e-04,2.095512e-04,2.084568e-04,2.074381e-04,2.064911e-04,2.056117e-04,2.047964e-04,2.040415e-04,2.033438e-04,2.027000e-04,2.021071e-04,2.015624e-04,2.010630e-04,2.006064e-04
0.000000e+00,3.841098e-08,1.433223e-06,1.517536e-06,1.646754e-05,8.402167e-05,8.893630e-05,2.904352e-04,6.293103e-04,6.554609e-04,1.151946e-03,1.675270e-03,1.722359e-03,2.317511e-03,2.847180e-03,2.904966e-03,3.466309e-03,3.931275e-03,3.992384e-03,4.479479e-03,4.866595e-03,4.926856e-03,5.335321e-03,5.649491e-03,5.706435e-03,6.042104e-03,6.292328e-03,6.344360e-03,6.615252e-03,6.810736e-03,6.856790e-03,7.070912e-03,7.220094e-03,7.259476e-03,7.424248e-03,7.534593e-03,7.566897e-03,7.689002e-03,7.767011e-03,7.792048e-03,7.877431e-03,7.928708e-03,7.946460e-03,8.000364e-03,8.029715e-03,8.040292e-03,8.067321e-03,8.078849e-03,8.082457e-03,8.086644e-03,8.083838e-03,8.080760e-03,8.065629e-03,8.051449e-03,8.042020e-03,8.010650e-03,7.987599e-03,7.972190e-03,7.927266e-03,7.897454e-03,7.876463e-03,7.820326e-03,7.785524e-03,7.759363e-03,7.694050e-03,7.655740e-03,7.624829e-03,7.552111e-03,7.511527e-03,7.476282e-03,7.397700e-03,7.355860e-03,7.316696e-03,7.233582e-03,7.191324e-03,7.148645e-03,7.062152e-03,7.020157e-03,6.974353e-03,6.885477e-03,6.844293e-03,6.795740e-03,6.705339e-03,6.665400e-03,6.614457e-03,6.523265e-03,6.484910e-03,6.431919e-03,6.340563e-03,6.304048e-03,6.249331e-03,6.158346e-03,6.123860e-03,6.067720e-03,5.977557e-03,5.945230e-03,5.887952e-03,5.798990e-03,5.768905e-03,5.710752e-03,5.623309e-03,5.595506e-03,5.536726e-03,5.451062e-03,5.425550e-03,5.366371e-03,5.282700e-03,5.259460e-03,5.200091e-03,5.118584e-03,5.097576e-03,5.038211e-03,4.959002e-03,4.940168e-03,4.880982e-03,4.804175e-03,4.787442e-03,4.728598e-03,4.654268e-03,4.639553e-03,4.581198e-03,4.509397e-03,4.496609e-03,4.438874e-03,4.369635e-03,4.358676e-03,4.301682e-03,4.235018e-03,4.225788e-03,4.169641e-03,4.105551e-03,4.097947e-03,4.042743e-03,3.981213e-03,3.975131e-03,3.920955e-03,3.861961e-03,3.857296e-03,3.804223e-03,3.747732e-03,3.744382e-03,3.692477e-03,3.638446e-03,3.636310e-03,3.585629e-03,3.534013e-03,3.532993e-03,3.483585e-03,3.434330e-03,3.340212e-03,3.250526e-03,3.165151e-03,3.083962e-03,3.006834e-03,2.933637e-03,2.864242e-03,2.798518e-03,2.736336e-03,2.677566e-03,2.622081e-03,2.569753e-03,2.520459e-03,2.474075e-03,2.430482e-03,2.389561e-03,2.351198e-03,2.315281e-03,2.281698e-03,2.250344e-03,2.221115e-03,2.193909e-03,2.168629e-03,2.145178e-03,2.123466e-03,2.103402e-03,2.084899e-03,2.067875e-03,2.052248e-03,2.037941e-03,2.024877e-03,2.012984e-03,2.002193e-03,1.992435e-03,1.983647e-03,1.975765e-03,1.968731e-03,1.962487e-03,1.956978e-03,1.952151e-03,1.947956e-03,1.944346e-03,1.941275e-03,1.938698e-03,1.936574e-03,1.934864e-03,1.933531e-03,1.932538e-03,1.931853e-03
0.000000e+00,9.657852e-09,1.164000e-07,1.211586e-07,6.492086e-07,2.041051e-06,2.124186e-06,4.904002e-06,8.595056e-06,8.857132e-06,1.349011e-05,1.789470e-05,1.827329e-05,2.286314e-05,2.671031e-05,2.711961e-05,3.101087e-05,3.413809e-05,3.454365e-05,3.773608e-05,4.022534e-05,4.060913e-05,4.318394e-05,4.513135e-05,4.548104e-05,4.751997e-05,4.901226e-05,4.931924e-05,5.089630e-05,5.200902e-05,5.226756e-05,5.344840e-05,5.424659e-05,5.445325e-05,5.529561e-05,5.583493e-05,5.598811e-05,5.654256e-05,5.687050e-05,5.697000e-05,5.728074e-05,5.743764e-05,5.748440e-05,5.758994e-05,5.760996e-05,5.760576e-05,5.753965e-05,5.745161e-05,5.739885e-05,5.719014e-05,5.701826e-05,5.691979e-05,5.659366e-05,5.635819e-05,5.621718e-05,5.579536e-05,5.551312e-05,5.533287e-05,5.483410e-05,5.451913e-05,5.430311e-05,5.374363e-05,5.340743e-05,5.315909e-05,5.255272e-05,5.220472e-05,5.192746e-05,5.128605e-05,5.093387e-05,5.063101e-05,4.996464e-05,4.961437e-05,4.928910e-05,4.860636e-05,4.826287e-05,4.791825e-05,4.722642e-05,4.689347e-05,4.653240e-05,4.583758e-05,4.551805e-05,4.514323e-05,4.445051e-05,4.414651e-05,4.376048e-05,4.307411e-05,4.278714e-05,4.239227e-05,4.171574e-05,4.144678e-05,4.104524e-05,4.038142e-05,4.013103e-05,3.972483e-05,3.907600e-05,3.884441e-05,3.843538e-05,3.780335e-05,3.759048e-05,3.718027e-05,3.656645e-05,3.637203e-05,3.596215e-05,3.536758e-05,3.519114e-05,3.478294e-05,3.420838e-05,3.404933e-05,3.364403e-05,3.308998e-05,3.294762e-05,3.254630e-05,3.201303e-05,3.188660e-05,3.149021e-05,3.097783e-05,3.086651e-05,3.047588e-05,2.998434e-05,2.988728e-05,2.950316e-05,2.903227e-05,2.894860e-05,2.857162e-05,2.812111e-05,2.804997e-05,2.768066e-05,2.725017e-05,2.719069e-05,2.682952e-05,2.641861e-05,2.636995e-05,2.601730e-05,2.562547e-05,2.558681e-05,2.524299e-05,2.486972e-05,2.484026e-05,2.450552e-05,2.415025e-05,2.412922e-05,2.380376e-05,2.346589e-05,2.345256e-05,2.313651e-05,2.281546e-05,2.280912e-05,2.250259e-05,2.219773e-05,2.161720e-05,2.106633e-05,2.054395e-05,2.004888e-05,1.957998e-05,1.913612e-05,1.871619e-05,1.831914e-05,1.794390e-05,1.758948e-05,1.725490e-05,1.693921e-05,1.664150e-05,1.636090e-05,1.609657e-05,1.584769e-05,1.561351e-05,1.539326e-05,1.518625e-05,1.499179e-05,1.480924e-05,1.463798e-05,1.447741e-05,1.432696e-05,1.418611e-05,1.405435e-05,1.393117e-05,1.381612e-05,1.370876e-05,1.360867e-05,1.351544e-05,1.342870e-05,1.334809e-05,1.327326e-05,1.320389e-05,1.313967e-05,1.308031e-05,1.302553e-05,1.297506e-05,1.292866e-05,1.288609e-05,1.284712e-05,1.281153e-05,1.277914e-05,1.274975e-05,1.272317e-05,1.269923e-05,1.267778e-05,1.265866e-05
0.000000e+00,1.999638e-08,6.093925e-07,6.419850e-07,5.677586e-06,2.721906e-05,2.881750e-05,1.005809e-04,2.502556e-04,2.633046e-04,5.501745e-04,9.286862e-04,9.663610e-04,1.490884e-03,2.028411e-03,2.090819e-03,2.732885e-03,3.310290e-03,3.388996e-03,4.037793e-03,4.578276e-03,4.664210e-03,5.258344e-03,5.728008e-03,5.814222e-03,6.328724e-03,6.718904e-03,6.800723e-03,7.230434e-03,7.544467e-03,7.618946e-03,7.967890e-03,8.213845e-03,8.279214e-03,8.555022e-03,8.742215e-03,8.797478e-03,9.008732e-03,9.146210e-03,9.190884e-03,9.345955e-03,9.441924e-03,9.475873e-03,9.582469e-03,9.644138e-03,9.667470e-03,9.732503e-03,9.766105e-03,9.779099e-03,9.808691e-03,9.819565e-03,9.822626e-03,9.822161e-03,9.814855e-03,9.808478e-03,9.782678e-03,9.761053e-03,9.745795e-03,9.698792e-03,9.666111e-03,9.642572e-03,9.577977e-03,9.536987e-03,9.505794e-03,9.426757e-03,9.379761e-03,9.341553e-03,9.250820e-03,9.199737e-03,9.155155e-03,9.055114e-03,9.001537e-03,8.951215e-03,8.843939e-03,8.789176e-03,8.733734e-03,8.621016e-03,8.566134e-03,8.506173e-03,8.389562e-03,8.335420e-03,8.271516e-03,8.152343e-03,8.099624e-03,8.032328e-03,7.911735e-03,7.860973e-03,7.790807e-03,7.669769e-03,7.621371e-03,7.548829e-03,7.428175e-03,7.382439e-03,7.307983e-03,7.188412e-03,7.145547e-03,7.069608e-03,6.951703e-03,6.911843e-03,6.834821e-03,6.719071e-03,6.682287e-03,6.604554e-03,6.491360e-03,6.457673e-03,6.379571e-03,6.269258e-03,6.238644e-03,6.160487e-03,6.053315e-03,6.025718e-03,5.947791e-03,5.843960e-03,5.819297e-03,5.741860e-03,5.641524e-03,5.619689e-03,5.542977e-03,5.446244e-03,5.427117e-03,5.351342e-03,5.258285e-03,5.241732e-03,5.167084e-03,5.077744e-03,5.063623e-03,4.990269e-03,4.904661e-03,4.892824e-03,4.820915e-03,4.739028e-03,4.729326e-03,4.658993e-03,4.580799e-03,4.573081e-03,4.504436e-03,4.429891e-03,4.424005e-03,4.357149e-03,4.286193e-03,4.281992e-03,4.217007e-03,4.149572e-03,4.146910e-03,4.083867e-03,4.019873e-03,4.018610e-03,3.957567e-03,3.896928e-03,3.781687e-03,3.672702e-03,3.569781e-03,3.472728e-03,3.381342e-03,3.295421e-03,3.214764e-03,3.139169e-03,3.068436e-03,3.002368e-03,2.940769e-03,2.883449e-03,2.830220e-03,2.780898e-03,2.735305e-03,2.693267e-03,2.654614e-03,2.619180e-03,2.586808e-03,2.557340e-03,2.530628e-03,2.506526e-03,2.484894e-03,2.465597e-03,2.448504e-03,2.433490e-03,2.420432e-03,2.409215e-03,2.399726e-03,2.391857e-03,2.385504e-03,2.380568e-03,2.376953e-03,2.374567e-03,2.373322e-03,2.373135e-03,2.373924e-03,2.375614e-03,2.378130e-03,2.381403e-03,2.385366e-03,2.389956e-03,2.395111e-03,2.400774e-03,2.406891e-03,2.413411e-03,2.420284e-03,2.427464e-03,2.434908e-03
0.000000e+00,1.190518e-08,2.188554e-07,2.292142e-07,1.482057e-06,4.817267e-06,5.010878e-06,1.104821e-05,1.784946e-05,1.828794e-05,2.534091e-05,3.121579e-05,3.169600e-05,3.729378e-05,4.172339e-05,4.218215e-05,4.642643e-05,4.967979e-05,5.009094e-05,5.323542e-05,5.556547e-05,5.591440e-05,5.817740e-05,5.978972e-05,6.006917e-05,6.163005e-05,6.268864e-05,6.289633e-05,6.390065e-05,6.453526e-05,6.467226e-05,6.523740e-05,6.555010e-05,6.561959e-05,6.583987e-05,6.591070e-05,6.591713e-05,6.586826e-05,6.575983e-05,6.570835e-05,6.545087e-05,6.521184e-05,6.510779e-05,6.468992e-05,6.435815e-05,6.420698e-05,6.366788e-05,6.327324e-05,6.308042e-05,6.245142e-05,6.201655e-05,6.178706e-05,6.109286e-05,6.063519e-05,6.037370e-05,5.963389e-05,5.916654e-05,5.887728e-05,5.810732e-05,5.764023e-05,5.732709e-05,5.653929e-05,5.607986e-05,5.574633e-05,5.495034e-05,5.450398e-05,5.415321e-05,5.335661e-05,5.292719e-05,5.256201e-05,5.177071e-05,5.136091e-05,5.098383e-05,5.020238e-05,4.981397e-05,4.942722e-05,4.865909e-05,4.829308e-05,4.789864e-05,4.714645e-05,4.680335e-05,4.640298e-05,4.566866e-05,4.534853e-05,4.494380e-05,4.422871e-05,4.393134e-05,4.352362e-05,4.282871e-05,4.255363e-05,4.214414e-05,4.147002e-05,4.121661e-05,4.080643e-05,4.015342e-05,3.992093e-05,3.951102e-05,3.887924e-05,3.866685e-05,3.825805e-05,3.764743e-05,3.745426e-05,3.704733e-05,3.645769e-05,3.628283e-05,3.587843e-05,3.530948e-05,3.515201e-05,3.475074e-05,3.420211e-05,3.406111e-05,3.366349e-05,3.313476e-05,3.300932e-05,3.261581e-05,3.210652e-05,3.199576e-05,3.160676e-05,3.111641e-05,3.101946e-05,3.063534e-05,3.016341e-05,3.007943e-05,2.970051e-05,2.924648e-05,2.917465e-05,2.880121e-05,2.836455e-05,2.830410e-05,2.793637e-05,2.751654e-05,2.746672e-05,2.710493e-05,2.670140e-05,2.666149e-05,2.630583e-05,2.591807e-05,2.588738e-05,2.553800e-05,2.516550e-05,2.514339e-05,2.480043e-05,2.444267e-05,2.442851e-05,2.409209e-05,2.374857e-05,2.374177e-05,2.341199e-05,2.308223e-05,2.244895e-05,2.184103e-05,2.125759e-05,2.069778e-05,2.016077e-05,1.964575e-05,1.915195e-05,1.867861e-05,1.822500e-05,1.779042e-05,1.737418e-05,1.697563e-05,1.659412e-05,1.622905e-05,1.587980e-05,1.554581e-05,1.522652e-05,1.492140e-05,1.462992e-05,1.435158e-05,1.408590e-05,1.383241e-05,1.359066e-05,1.336021e-05,1.314065e-05,1.293156e-05,1.273255e-05,1.254325e-05,1.236328e-05,1.219230e-05,1.202995e-05,1.187593e-05,1.172989e-05,1.159154e-05,1.146058e-05,1.133673e-05,1.121970e-05,1.110922e-05,1.100505e-05,1.090693e-05,1.081461e-05,1.072787e-05,1.064648e-05,1.057023e-05,1.049890e-05,1.043230e-05,1.037022e-05,1.031248e-05,1.025890e-05
0.000000e+00,5.439856e-09,6.424520e-08,6.693231e-08,3.911132e-07,1.367497e-06,1.428782e-06,3.520737e-06,6.158132e-06,6.335709e-06,9.312396e-06,1.197871e-05,1.220503e-05,1.494984e-05,1.728299e-05,1.753417e-05,1.995862e-05,2.196308e-05,2.222726e-05,2.434537e-05,2.605090e-05,2.631866e-05,2.815306e-05,2.959100e-05,2.985455e-05,3.142915e-05,3.262980e-05,3.288280e-05,3.422134e-05,3.521313e-05,3.545047e-05,3.657573e-05,3.738476e-05,3.760246e-05,3.853582e-05,3.918578e-05,3.938076e-05,4.014204e-05,4.065421e-05,4.082421e-05,4.143163e-05,4.182503e-05,4.196846e-05,4.243869e-05,4.273026e-05,4.284611e-05,4.319436e-05,4.339912e-05,4.348687e-05,4.372695e-05,4.385821e-05,4.391774e-05,4.406222e-05,4.413171e-05,4.416324e-05,4.422350e-05,4.424153e-05,4.424558e-05,4.423192e-05,4.420755e-05,4.418486e-05,4.410660e-05,4.404775e-05,4.399925e-05,4.386480e-05,4.377838e-05,4.370515e-05,4.352209e-05,4.341411e-05,4.331733e-05,4.309249e-05,4.296815e-05,4.284910e-05,4.258862e-05,4.245240e-05,4.231242e-05,4.202180e-05,4.187755e-05,4.171800e-05,4.140220e-05,4.125320e-05,4.107548e-05,4.073890e-05,4.058794e-05,4.039345e-05,4.004005e-05,3.988947e-05,3.967959e-05,3.931290e-05,3.916466e-05,3.894076e-05,3.856391e-05,3.841961e-05,3.818304e-05,3.779882e-05,3.765979e-05,3.741185e-05,3.702272e-05,3.689002e-05,3.663198e-05,3.624013e-05,3.611458e-05,3.584765e-05,3.545499e-05,3.533723e-05,3.506258e-05,3.467081e-05,3.456128e-05,3.428005e-05,3.389064e-05,3.378965e-05,3.350290e-05,3.311712e-05,3.302486e-05,3.273360e-05,3.235258e-05,3.226911e-05,3.197430e-05,3.159898e-05,3.152429e-05,3.122684e-05,3.085805e-05,3.079203e-05,3.049278e-05,3.013121e-05,3.007371e-05,2.977346e-05,2.941968e-05,2.937048e-05,2.906999e-05,2.872448e-05,2.868330e-05,2.838326e-05,2.804642e-05,2.801298e-05,2.771403e-05,2.738616e-05,2.736012e-05,2.706286e-05,2.674420e-05,2.672523e-05,2.643022e-05,2.612094e-05,2.610867e-05,2.581641e-05,2.551663e-05,2.551069e-05,2.522164e-05,2.493144e-05,2.437100e-05,2.382935e-05,2.330642e-05,2.280207e-05,2.231612e-05,2.184833e-05,2.139844e-05,2.096614e-05,2.055110e-05,2.015296e-05,1.977136e-05,1.940591e-05,1.905620e-05,1.872181e-05,1.840234e-05,1.809736e-05,1.780643e-05,1.752914e-05,1.726505e-05,1.701374e-05,1.677478e-05,1.654776e-05,1.633226e-05,1.612787e-05,1.593419e-05,1.575083e-05,1.557738e-05,1.541349e-05,1.525877e-05,1.511286e-05,1.497540e-05,1.484605e-05,1.472448e-05,1.461034e-05,1.450333e-05,1.440314e-05,1.430946e-05,1.422200e-05,1.414048e-05,1.406462e-05,1.399416e-05,1.392884e-05,1.386842e-05,1.381265e-05,1.376131e-05,1.371416e-05,1.367100e-05,1.363162e-05,1.359581e-05
0.000000e+00,1.192976e-08,3.565364e-07,3.761372e-07,3.556277e-06,1.660607e-05,1.751662e-05,5.224718e-05,1.030573e-04,1.066903e-04,1.701300e-04,2.288641e-04,2.338548e-04,2.938500e-04,3.435775e-04,3.488429e-04,3.986782e-04,4.384394e-04,4.435771e-04,4.838656e-04,5.150878e-04,5.198864e-04,5.519726e-04,5.761162e-04,5.804403e-04,6.055859e-04,6.239215e-04,6.276867e-04,6.469996e-04,6.606034e-04,6.637629e-04,6.781967e-04,6.879693e-04,6.905043e-04,7.008729e-04,7.075628e-04,7.094748e-04,7.164682e-04,7.206936e-04,7.219983e-04,7.261982e-04,7.284676e-04,7.291902e-04,7.310862e-04,7.318166e-04,7.319888e-04,7.319922e-04,7.315250e-04,7.311824e-04,7.296383e-04,7.282524e-04,7.274323e-04,7.246303e-04,7.225526e-04,7.212931e-04,7.174759e-04,7.148906e-04,7.132295e-04,7.086002e-04,7.056566e-04,7.036304e-04,6.983589e-04,6.951773e-04,6.928212e-04,6.870495e-04,6.837263e-04,6.810734e-04,6.749200e-04,6.715321e-04,6.686138e-04,6.621774e-04,6.587858e-04,6.556312e-04,6.489939e-04,6.456465e-04,6.422826e-04,6.355128e-04,6.322466e-04,6.286984e-04,6.218524e-04,6.186959e-04,6.149865e-04,6.081111e-04,6.050854e-04,6.012358e-04,5.943694e-04,5.914900e-04,5.875196e-04,5.806936e-04,5.779713e-04,5.738978e-04,5.671379e-04,5.645797e-04,5.604192e-04,5.537462e-04,5.513560e-04,5.471232e-04,5.405538e-04,5.383330e-04,5.340414e-04,5.275888e-04,5.255371e-04,5.211987e-04,5.148734e-04,5.129887e-04,5.086148e-04,5.024246e-04,5.007039e-04,4.963045e-04,4.902555e-04,4.886946e-04,4.842789e-04,4.783755e-04,4.769696e-04,4.725460e-04,4.667910e-04,4.655349e-04,4.611109e-04,4.555061e-04,4.543941e-04,4.499766e-04,4.445227e-04,4.435491e-04,4.391443e-04,4.338414e-04,4.329999e-04,4.286137e-04,4.234610e-04,4.227456e-04,4.183831e-04,4.133795e-04,4.127841e-04,4.084499e-04,4.035938e-04,4.031122e-04,3.988107e-04,3.941000e-04,3.937263e-04,3.894613e-04,3.848938e-04,3.846220e-04,3.803970e-04,3.759702e-04,3.757946e-04,3.716128e-04,3.673240e-04,3.672390e-04,3.631033e-04,3.589497e-04,3.509213e-04,3.431480e-04,3.356238e-04,3.283429e-04,3.212994e-04,3.144872e-04,3.079006e-04,3.015336e-04,2.953804e-04,2.894353e-04,2.836927e-04,2.781469e-04,2.727925e-04,2.676242e-04,2.626367e-04,2.578249e-04,2.531837e-04,2.487082e-04,2.443936e-04,2.402352e-04,2.362285e-04,2.323689e-04,2.286521e-04,2.250739e-04,2.216301e-04,2.183167e-04,2.151298e-04,2.120655e-04,2.091201e-04,2.062900e-04,2.035716e-04,2.009616e-04,1.984565e-04,1.960531e-04,1.937483e-04,1.915389e-04,1.894221e-04,1.873947e-04,1.854541e-04,1.835974e-04,1.818220e-04,1.801253e-04,1.785046e-04,1.769577e-04,1.754819e-04,1.740751e-04,1.727350e-04,1.714592e-04,1.702458e-04
0.000000e+00,1.020480e-08,2.640533e-07,2.776680e-07,2.288634e-06,1.001836e-05,1.055516e-05,3.162832e-05,6.463848e-05,6.705725e-05,1.089608e-04,1.446909e-04,1.475006e-04,1.778196e-04,1.976689e-04,1.994805e-04,2.139165e-04,2.220466e-04,2.228881e-04,2.279097e-04,2.299585e-04,2.301362e-04,2.304058e-04,2.295614e-04,2.293143e-04,2.272816e-04,2.251227e-04,2.246033e-04,2.214878e-04,2.187816e-04,2.180831e-04,2.144949e-04,2.116183e-04,2.107989e-04,2.070492e-04,2.041879e-04,2.032847e-04,1.995335e-04,1.967774e-04,1.958144e-04,1.921412e-04,1.895304e-04,1.885234e-04,1.849676e-04,1.825179e-04,1.814783e-04,1.780580e-04,1.757725e-04,1.747083e-04,1.714300e-04,1.693055e-04,1.682232e-04,1.650875e-04,1.631176e-04,1.620221e-04,1.590263e-04,1.572033e-04,1.560989e-04,1.532388e-04,1.515546e-04,1.504449e-04,1.477157e-04,1.461620e-04,1.450500e-04,1.424466e-04,1.410153e-04,1.399040e-04,1.374209e-04,1.361044e-04,1.349961e-04,1.326282e-04,1.314190e-04,1.303160e-04,1.280582e-04,1.269494e-04,1.258536e-04,1.237009e-04,1.226857e-04,1.215989e-04,1.195465e-04,1.186188e-04,1.175426e-04,1.155859e-04,1.147397e-04,1.136754e-04,1.118100e-04,1.110398e-04,1.099887e-04,1.082104e-04,1.075108e-04,1.064740e-04,1.047787e-04,1.041450e-04,1.031234e-04,1.015072e-04,1.009348e-04,9.992921e-05,9.838844e-05,9.787291e-05,9.688405e-05,9.541518e-05,9.495250e-05,9.398096e-05,9.258059e-05,9.216696e-05,9.121326e-05,8.987817e-05,8.951002e-05,8.857457e-05,8.730169e-05,8.697568e-05,8.605881e-05,8.484520e-05,8.455821e-05,8.366017e-05,8.250304e-05,8.225215e-05,8.137314e-05,8.026981e-05,8.005228e-05,7.919242e-05,7.814036e-05,7.795363e-05,7.711300e-05,7.610977e-05,7.595145e-05,7.513009e-05,7.417338e-05,7.404124e-05,7.323910e-05,7.232672e-05,7.221868e-05,7.143570e-05,7.056554e-05,7.047965e-05,6.971573e-05,6.888579e-05,6.882024e-05,6.807525e-05,6.728363e-05,6.723672e-05,6.651048e-05,6.575536e-05,6.572553e-05,6.501784e-05,6.429750e-05,6.428327e-05,6.359393e-05,6.290671e-05,6.159278e-05,6.033854e-05,5.914119e-05,5.799808e-05,5.690665e-05,5.586449e-05,5.486930e-05,5.391888e-05,5.301114e-05,5.214409e-05,5.131584e-05,5.052457e-05,4.976856e-05,4.904617e-05,4.835585e-05,4.769609e-05,4.706548e-05,4.646267e-05,4.588638e-05,4.533537e-05,4.480848e-05,4.430460e-05,4.382267e-05,4.336167e-05,4.292065e-05,4.249868e-05,4.209490e-05,4.170847e-05,4.133861e-05,4.098454e-05,4.064557e-05,4.032099e-05,4.001015e-05,3.971244e-05,3.942726e-05,3.915404e-05,3.889224e-05,3.864136e-05,3.840089e-05,3.817038e-05,3.794938e-05,3.773746e-05,3.753422e-05,3.733928e-05,3.715226e-05,3.697282e-05,3.680062e-05,3.663534e-05,3.647669e-05
0.000000e+00,1.867826e-08,4.386404e-07,4.605211e-07,3.473611e-06,1.373956e-05,1.441416e-05,3.920057e-05,7.552333e-05,7.816041e-05,1.248041e-04,1.683287e-04,1.720208e-04,2.162144e-04,2.525188e-04,2.563436e-04,2.923419e-04,3.207694e-04,3.244209e-04,3.528557e-04,3.746087e-04,3.779262e-04,3.999012e-04,4.161516e-04,4.190310e-04,4.355490e-04,4.473008e-04,4.496769e-04,4.616218e-04,4.697360e-04,4.715764e-04,4.797186e-04,4.849177e-04,4.862131e-04,4.912120e-04,4.940974e-04,4.948552e-04,4.972717e-04,4.983402e-04,4.985800e-04,4.988893e-04,4.985499e-04,4.982997e-04,4.969033e-04,4.954912e-04,4.947844e-04,4.920205e-04,4.898091e-04,4.886826e-04,4.848357e-04,4.820469e-04,4.805391e-04,4.758474e-04,4.726605e-04,4.708102e-04,4.654730e-04,4.620316e-04,4.598772e-04,4.540605e-04,4.504790e-04,4.480574e-04,4.418992e-04,4.382677e-04,4.356143e-04,4.292286e-04,4.256173e-04,4.227654e-04,4.162461e-04,4.127092e-04,4.096898e-04,4.031138e-04,3.996918e-04,3.965337e-04,3.899636e-04,3.866863e-04,3.834160e-04,3.769022e-04,3.737906e-04,3.704323e-04,3.640151e-04,3.610832e-04,3.576587e-04,3.513700e-04,3.486261e-04,3.451553e-04,3.390197e-04,3.364676e-04,3.329682e-04,3.270046e-04,3.246445e-04,3.211324e-04,3.153545e-04,3.131841e-04,3.096733e-04,3.040908e-04,3.021056e-04,2.986086e-04,2.932278e-04,2.914216e-04,2.879493e-04,2.827738e-04,2.811394e-04,2.777015e-04,2.727324e-04,2.712618e-04,2.678665e-04,2.631033e-04,2.617880e-04,2.584424e-04,2.538830e-04,2.527141e-04,2.494244e-04,2.450656e-04,2.440342e-04,2.408054e-04,2.366429e-04,2.357401e-04,2.325767e-04,2.286055e-04,2.278226e-04,2.247280e-04,2.209428e-04,2.202711e-04,2.172483e-04,2.136430e-04,2.130744e-04,2.101255e-04,2.066942e-04,2.062206e-04,2.033474e-04,2.000836e-04,1.996975e-04,1.969012e-04,1.937986e-04,1.934926e-04,1.907741e-04,1.878262e-04,1.875936e-04,1.849533e-04,1.821537e-04,1.819880e-04,1.794258e-04,1.767682e-04,1.766634e-04,1.741793e-04,1.716574e-04,1.716077e-04,1.692012e-04,1.668091e-04,1.622559e-04,1.579371e-04,1.538415e-04,1.499588e-04,1.462787e-04,1.427915e-04,1.394878e-04,1.363586e-04,1.333952e-04,1.305895e-04,1.279335e-04,1.254197e-04,1.230409e-04,1.207902e-04,1.186612e-04,1.166476e-04,1.147434e-04,1.129432e-04,1.112414e-04,1.096330e-04,1.081132e-04,1.066774e-04,1.053212e-04,1.040404e-04,1.028312e-04,1.016897e-04,1.006125e-04,9.959614e-05,9.863747e-05,9.773345e-05,9.688120e-05,9.607801e-05,9.532127e-05,9.460855e-05,9.393751e-05,9.330595e-05,9.271178e-05,9.215302e-05,9.162779e-05,9.113430e-05,9.067087e-05,9.023589e-05,8.982785e-05,8.944531e-05,8.908690e-05,8.875134e-05,8.843738e-05,8.814388e-05,8.786973e-05
0.000000e+00,5.323247e-09,6.647029e-08,6.928194e-08,4.134266e-07,1.481139e-06,1.549328e-06,3.945313e-06,7.075636e-06,7.286382e-06,1.073681e-05,1.363114e-05,1.386679e-05,1.659345e-05,1.871641e-05,1.893416e-05,2.092660e-05,2.242291e-05,2.260979e-05,2.401979e-05,2.503876e-05,2.518909e-05,2.614670e-05,2.680650e-05,2.691847e-05,2.752744e-05,2.791972e-05,2.799404e-05,2.833647e-05,2.853189e-05,2.857082e-05,2.871131e-05,2.876388e-05,2.877052e-05,2.875953e-05,2.871027e-05,2.868810e-05,2.856481e-05,2.844466e-05,2.839721e-05,2.819192e-05,2.802406e-05,2.795475e-05,2.769077e-05,2.749244e-05,2.740442e-05,2.709956e-05,2.688342e-05,2.677955e-05,2.644729e-05,2.622254e-05,2.610534e-05,2.575597e-05,2.552940e-05,2.540115e-05,2.504257e-05,2.481902e-05,2.468171e-05,2.431987e-05,2.410281e-05,2.395827e-05,2.359804e-05,2.339007e-05,2.323999e-05,2.288474e-05,2.268726e-05,2.253290e-05,2.218491e-05,2.199874e-05,2.184118e-05,2.150205e-05,2.132760e-05,2.116777e-05,2.083857e-05,2.067593e-05,2.051462e-05,2.019607e-05,2.004511e-05,1.988301e-05,1.957554e-05,1.943599e-05,1.927368e-05,1.897748e-05,1.884895e-05,1.868694e-05,1.840205e-05,1.828407e-05,1.812278e-05,1.784912e-05,1.774121e-05,1.758101e-05,1.731841e-05,1.722005e-05,1.706125e-05,1.680947e-05,1.672014e-05,1.656300e-05,1.632176e-05,1.624092e-05,1.608567e-05,1.585466e-05,1.578179e-05,1.562863e-05,1.540751e-05,1.534212e-05,1.519121e-05,1.497965e-05,1.492125e-05,1.477273e-05,1.457038e-05,1.451850e-05,1.437249e-05,1.417900e-05,1.413320e-05,1.398980e-05,1.380482e-05,1.376468e-05,1.362397e-05,1.344716e-05,1.341227e-05,1.327431e-05,1.310535e-05,1.307534e-05,1.294018e-05,1.277874e-05,1.275325e-05,1.262094e-05,1.246670e-05,1.244539e-05,1.231596e-05,1.216862e-05,1.215117e-05,1.202464e-05,1.188392e-05,1.187002e-05,1.174640e-05,1.161202e-05,1.160140e-05,1.148069e-05,1.135237e-05,1.134476e-05,1.122697e-05,1.110445e-05,1.109960e-05,1.098473e-05,1.086775e-05,1.086544e-05,1.075346e-05,1.064179e-05,1.042821e-05,1.022427e-05,1.002954e-05,9.843635e-06,9.666168e-06,9.496775e-06,9.335104e-06,9.180819e-06,9.033599e-06,8.893137e-06,8.759136e-06,8.631315e-06,8.509403e-06,8.393141e-06,8.282282e-06,8.176587e-06,8.075830e-06,7.979794e-06,7.888269e-06,7.801057e-06,7.717967e-06,7.638816e-06,7.563430e-06,7.491642e-06,7.423291e-06,7.358224e-06,7.296295e-06,7.237364e-06,7.181296e-06,7.127962e-06,7.077241e-06,7.029014e-06,6.983169e-06,6.939599e-06,6.898200e-06,6.858874e-06,6.821527e-06,6.786069e-06,6.752413e-06,6.720478e-06,6.690184e-06,6.661457e-06,6.634223e-06,6.608415e-06,6.583965e-06,6.560812e-06,6.538896e-06,6.518157e-06,6.498542e-06
0.000000e+00,4.354928e-08,2.338786e-06,2.491180e-06,3.312288e-05,1.813154e-04,1.921848e-04,6.434818e-04,1.454972e-03,1.521201e-03,2.893471e-03,4.605270e-03,4.774046e-03,7.139249e-03,9.643384e-03,9.941621e-03,1.312002e-02,1.617446e-02,1.660688e-02,2.033328e-02,2.367852e-02,2.423241e-02,2.824180e-02,3.165317e-02,3.230467e-02,3.637058e-02,3.967596e-02,4.039572e-02,4.434276e-02,4.742304e-02,4.818057e-02,5.188379e-02,5.466574e-02,5.543227e-02,5.881055e-02,6.125712e-02,6.200732e-02,6.501484e-02,6.711573e-02,6.782847e-02,7.044618e-02,7.220966e-02,7.286817e-02,7.509640e-02,7.654268e-02,7.713434e-02,7.898663e-02,8.014296e-02,8.065884e-02,8.215720e-02,8.305416e-02,8.348849e-02,8.465982e-02,8.532891e-02,8.567853e-02,8.655207e-02,8.702403e-02,8.728789e-02,8.789340e-02,8.819719e-02,8.837589e-02,8.874249e-02,8.890476e-02,8.900015e-02,8.915557e-02,8.920038e-02,8.921525e-02,8.918542e-02,8.913420e-02,8.907205e-02,8.888085e-02,8.875249e-02,8.861728e-02,8.828654e-02,8.809754e-02,8.789357e-02,8.744307e-02,8.720771e-02,8.693949e-02,8.638705e-02,8.611763e-02,8.578975e-02,8.515138e-02,8.485841e-02,8.447551e-02,8.376552e-02,8.345792e-02,8.302459e-02,8.225574e-02,8.194103e-02,8.146181e-02,8.064546e-02,8.032990e-02,7.980922e-02,7.895544e-02,7.864422e-02,7.808637e-02,7.720408e-02,7.690145e-02,7.631056e-02,7.540764e-02,7.511701e-02,7.449706e-02,7.358044e-02,7.330451e-02,7.265931e-02,7.173508e-02,7.147593e-02,7.080909e-02,6.988259e-02,6.964175e-02,6.895672e-02,6.803258e-02,6.781116e-02,6.711118e-02,6.619345e-02,6.599213e-02,6.528026e-02,6.437244e-02,6.419158e-02,6.347071e-02,6.257579e-02,6.241548e-02,6.168832e-02,6.080887e-02,6.066894e-02,5.993801e-02,5.907622e-02,5.895633e-02,5.822398e-02,5.738169e-02,5.728130e-02,5.654974e-02,5.572848e-02,5.564695e-02,5.491821e-02,5.411923e-02,5.405580e-02,5.333178e-02,5.255609e-02,5.250992e-02,5.179236e-02,5.104076e-02,5.101096e-02,5.030146e-02,4.957457e-02,4.956016e-02,4.886022e-02,4.815849e-02,4.680657e-02,4.550480e-02,4.425334e-02,4.305215e-02,4.190103e-02,4.079961e-02,3.974739e-02,3.874376e-02,3.778799e-02,3.687929e-02,3.601677e-02,3.519948e-02,3.442641e-02,3.369650e-02,3.300864e-02,3.236169e-02,3.175447e-02,3.118579e-02,3.065440e-02,3.015908e-02,2.969856e-02,2.927158e-02,2.887685e-02,2.851309e-02,2.817902e-02,2.787336e-02,2.759481e-02,2.734211e-02,2.711400e-02,2.690921e-02,2.672651e-02,2.656466e-02,2.642247e-02,2.629874e-02,2.619230e-02,2.610203e-02,2.602679e-02,2.596551e-02,2.591713e-02,2.588063e-02,2.585500e-02,2.583930e-02,2.583260e-02,2.583401e-02,2.584268e-02,2.585780e-02,2.587861e-02,2.590436e-02,2.593436e-02
0.000000e+00,2.420829e-08,4.289957e-07,4.484708e-07,2.938475e-06,1.121357e-05,1.176199e-05,3.246384e-05,6.457867e-05,6.698385e-05,1.108724e-04,1.535208e-04,1.571906e-04,2.015865e-04,2.386243e-04,2.425549e-04,2.798305e-04,3.096621e-04,3.135224e-04,3.438363e-04,3.673758e-04,3.709969e-04,3.952260e-04,4.134693e-04,4.167368e-04,4.357314e-04,4.495633e-04,4.524002e-04,4.669221e-04,4.771071e-04,4.794650e-04,4.901851e-04,4.973757e-04,4.992284e-04,5.067307e-04,5.114802e-04,5.128187e-04,5.176097e-04,5.203845e-04,5.212129e-04,5.237301e-04,5.249233e-04,5.252557e-04,5.258769e-04,5.258174e-04,5.256750e-04,5.247252e-04,5.236878e-04,5.230971e-04,5.208551e-04,5.190683e-04,5.180589e-04,5.147638e-04,5.124168e-04,5.110207e-04,5.068769e-04,5.041257e-04,5.023758e-04,4.975577e-04,4.945302e-04,4.924596e-04,4.871159e-04,4.839164e-04,4.815578e-04,4.758146e-04,4.725275e-04,4.699129e-04,4.638771e-04,4.605701e-04,4.577299e-04,4.514920e-04,4.482188e-04,4.451823e-04,4.388181e-04,4.356206e-04,4.324154e-04,4.259886e-04,4.228991e-04,4.195510e-04,4.131146e-04,4.101573e-04,4.066904e-04,4.002884e-04,3.974808e-04,3.939175e-04,3.875859e-04,3.849402e-04,3.813010e-04,3.750693e-04,3.725929e-04,3.688968e-04,3.627888e-04,3.604856e-04,3.567499e-04,3.507843e-04,3.486554e-04,3.448957e-04,3.390873e-04,3.371312e-04,3.333619e-04,3.277219e-04,3.259354e-04,3.221692e-04,3.167057e-04,3.150843e-04,3.113328e-04,3.060515e-04,3.045892e-04,3.008627e-04,2.957671e-04,2.944576e-04,2.907652e-04,2.858572e-04,2.846932e-04,2.810431e-04,2.763228e-04,2.752969e-04,2.716962e-04,2.671627e-04,2.662672e-04,2.627220e-04,2.583735e-04,2.576005e-04,2.541164e-04,2.499499e-04,2.492917e-04,2.458733e-04,2.418855e-04,2.413342e-04,2.379855e-04,2.341723e-04,2.337205e-04,2.304449e-04,2.268020e-04,2.264423e-04,2.232425e-04,2.197651e-04,2.194904e-04,2.163687e-04,2.130520e-04,2.128555e-04,2.098136e-04,2.066524e-04,2.065275e-04,2.035669e-04,2.005560e-04,2.004965e-04,1.976182e-04,1.947523e-04,1.892846e-04,1.840833e-04,1.791383e-04,1.744394e-04,1.699771e-04,1.657415e-04,1.617235e-04,1.579137e-04,1.543033e-04,1.508837e-04,1.476466e-04,1.445838e-04,1.416876e-04,1.389505e-04,1.363651e-04,1.339247e-04,1.316223e-04,1.294516e-04,1.274065e-04,1.254809e-04,1.236692e-04,1.219659e-04,1.203658e-04,1.188639e-04,1.174554e-04,1.161357e-04,1.149005e-04,1.137454e-04,1.126666e-04,1.116601e-04,1.107224e-04,1.098498e-04,1.090391e-04,1.082870e-04,1.075906e-04,1.069468e-04,1.063529e-04,1.058063e-04,1.053044e-04,1.048448e-04,1.044252e-04,1.040434e-04,1.036972e-04,1.033848e-04,1.031042e-04,1.028535e-04,1.026311e-04,1.024352e-04,1.022644e-04
0.000000e+00,1.857276e-09,3.075526e-08,3.216120e-08,1.954097e-07,6.136230e-07,6.375920e-07,1.372520e-06,2.181519e-06,2.233646e-06,3.083532e-06,3.818737e-06,3.880275e-06,4.616849e-06,5.229143e-06,5.294303e-06,5.915458e-06,6.418015e-06,6.483476e-06,7.001513e-06,7.409389e-06,7.472632e-06,7.899783e-06,8.226677e-06,8.285785e-06,8.633337e-06,8.891434e-06,8.944993e-06,9.223180e-06,9.423176e-06,9.470189e-06,9.688180e-06,9.839383e-06,9.879189e-06,1.004513e-05,1.015559e-05,1.018780e-05,1.030888e-05,1.038552e-05,1.040996e-05,1.049252e-05,1.054128e-05,1.055794e-05,1.060752e-05,1.063346e-05,1.064248e-05,1.066395e-05,1.067139e-05,1.067300e-05,1.067063e-05,1.066325e-05,1.065774e-05,1.063522e-05,1.061612e-05,1.060386e-05,1.056442e-05,1.053621e-05,1.051758e-05,1.046402e-05,1.042890e-05,1.040433e-05,1.033908e-05,1.029890e-05,1.026881e-05,1.019399e-05,1.015028e-05,1.011509e-05,1.003254e-05,9.986577e-06,9.946720e-06,9.858010e-06,9.810850e-06,9.766745e-06,9.673244e-06,9.625748e-06,9.577801e-06,9.480687e-06,9.433554e-06,9.382156e-06,9.282441e-06,9.236234e-06,9.181758e-06,9.080308e-06,9.035475e-06,8.978275e-06,8.875830e-06,8.832719e-06,8.773131e-06,8.670323e-06,8.629199e-06,8.567539e-06,8.464901e-06,8.425962e-06,8.362524e-06,8.260510e-06,8.223893e-06,8.158954e-06,8.057942e-06,8.023736e-06,7.957553e-06,7.857860e-06,7.826115e-06,7.758926e-06,7.660812e-06,7.631546e-06,7.563571e-06,7.467251e-06,7.440453e-06,7.371896e-06,7.277543e-06,7.253180e-06,7.184227e-06,7.091979e-06,7.070001e-06,7.000825e-06,6.910788e-06,6.891132e-06,6.821890e-06,6.734145e-06,6.716736e-06,6.647571e-06,6.562177e-06,6.546932e-06,6.477974e-06,6.394970e-06,6.381801e-06,6.313169e-06,6.232576e-06,6.221389e-06,6.153192e-06,6.075017e-06,6.065718e-06,5.998052e-06,5.922293e-06,5.914783e-06,5.847736e-06,5.774378e-06,5.768561e-06,5.702212e-06,5.631232e-06,5.627010e-06,5.561430e-06,5.492798e-06,5.490077e-06,5.425327e-06,5.359008e-06,5.357693e-06,5.293830e-06,5.229783e-06,5.106261e-06,4.987038e-06,4.872018e-06,4.761100e-06,4.654183e-06,4.551162e-06,4.451931e-06,4.356385e-06,4.264418e-06,4.175923e-06,4.090796e-06,4.008933e-06,3.930231e-06,3.854590e-06,3.781911e-06,3.712096e-06,3.645051e-06,3.580683e-06,3.518902e-06,3.459618e-06,3.402746e-06,3.348202e-06,3.295905e-06,3.245775e-06,3.197736e-06,3.151714e-06,3.107635e-06,3.065430e-06,3.025031e-06,2.986372e-06,2.949389e-06,2.914021e-06,2.880208e-06,2.847892e-06,2.817017e-06,2.787530e-06,2.759377e-06,2.732509e-06,2.706876e-06,2.682433e-06,2.659132e-06,2.636930e-06,2.615784e-06,2.595654e-06,2.576499e-06,2.558282e-06,2.540965e-06,2.524513e-06,2.508891e-06
0.000000e+00,9.639178e-09,2.745660e-07,2.893903e-07,2.652910e-06,1.254658e-05,1.325594e-05,4.229233e-05,9.097542e-05,9.468573e-05,1.629520e-04,2.301094e-04,2.359282e-04,3.068080e-04,3.665259e-04,3.728894e-04,4.334611e-04,4.822231e-04,4.885525e-04,5.384260e-04,5.773886e-04,5.834028e-04,6.238090e-04,6.544495e-04,6.599604e-04,6.921579e-04,7.158103e-04,7.206872e-04,7.458186e-04,7.636492e-04,7.678073e-04,7.868932e-04,7.999107e-04,8.033019e-04,8.172444e-04,8.263133e-04,8.289182e-04,8.385071e-04,8.443620e-04,8.461827e-04,8.521044e-04,8.553656e-04,8.564204e-04,8.592682e-04,8.604568e-04,8.607755e-04,8.610606e-04,8.606126e-04,8.602331e-04,8.583944e-04,8.566728e-04,8.556383e-04,8.520517e-04,8.493576e-04,8.477146e-04,8.427013e-04,8.392839e-04,8.370805e-04,8.309154e-04,8.269793e-04,8.242640e-04,8.171804e-04,8.128938e-04,8.097147e-04,8.019125e-04,7.974122e-04,7.938161e-04,7.854641e-04,7.808606e-04,7.768926e-04,7.681342e-04,7.635161e-04,7.592191e-04,7.501747e-04,7.456121e-04,7.410265e-04,7.317976e-04,7.273454e-04,7.225093e-04,7.131808e-04,7.088812e-04,7.038300e-04,6.944728e-04,6.903575e-04,6.851240e-04,6.757971e-04,6.718893e-04,6.665041e-04,6.572561e-04,6.535717e-04,6.480629e-04,6.389335e-04,6.354828e-04,6.298760e-04,6.208975e-04,6.176859e-04,6.120046e-04,6.032030e-04,6.002322e-04,5.944979e-04,5.858936e-04,5.831623e-04,5.773943e-04,5.690033e-04,5.665075e-04,5.607236e-04,5.525577e-04,5.502920e-04,5.445079e-04,5.365759e-04,5.345331e-04,5.287632e-04,5.210708e-04,5.192427e-04,5.134998e-04,5.060506e-04,5.044282e-04,4.987237e-04,4.915193e-04,4.900931e-04,4.844373e-04,4.774775e-04,4.762377e-04,4.706397e-04,4.639231e-04,4.628597e-04,4.573274e-04,4.508516e-04,4.499545e-04,4.444949e-04,4.382564e-04,4.375156e-04,4.321350e-04,4.261296e-04,4.255353e-04,4.202389e-04,4.144619e-04,4.140046e-04,4.087970e-04,4.032431e-04,4.029134e-04,3.977987e-04,3.924623e-04,3.922511e-04,3.872326e-04,3.821080e-04,3.820065e-04,3.770870e-04,3.721681e-04,3.627240e-04,3.536621e-04,3.449705e-04,3.366371e-04,3.286500e-04,3.209972e-04,3.136672e-04,3.066485e-04,2.999299e-04,2.935004e-04,2.873492e-04,2.814660e-04,2.758406e-04,2.704630e-04,2.653239e-04,2.604139e-04,2.557241e-04,2.512458e-04,2.469706e-04,2.428905e-04,2.389977e-04,2.352846e-04,2.317439e-04,2.283687e-04,2.251523e-04,2.220881e-04,2.191700e-04,2.163918e-04,2.137478e-04,2.112325e-04,2.088404e-04,2.065665e-04,2.044058e-04,2.023535e-04,2.004050e-04,1.985561e-04,1.968023e-04,1.951397e-04,1.935644e-04,1.920726e-04,1.906608e-04,1.893254e-04,1.880631e-04,1.868709e-04,1.857455e-04,1.846841e-04,1.836838e-04,1.827419e-04,1.818559e-04
0.000000e+00,5.451717e-09,6.438098e-08,6.704962e-08,3.852476e-07,1.345385e-06,1.406409e-06,3.584309e-06,6.654567e-06,6.873429e-06,1.068136e-05,1.419002e-05,1.448846e-05,1.809632e-05,2.113356e-05,2.145850e-05,2.457207e-05,2.711283e-05,2.744529e-05,3.008929e-05,3.218876e-05,3.251583e-05,3.473659e-05,3.645138e-05,3.676300e-05,3.860612e-05,3.998819e-05,4.027660e-05,4.178461e-05,4.288060e-05,4.313989e-05,4.435170e-05,4.520300e-05,4.542885e-05,4.637973e-05,4.702286e-05,4.721230e-05,4.793412e-05,4.840120e-05,4.855236e-05,4.907381e-05,4.939293e-05,4.950487e-05,4.985163e-05,5.004730e-05,5.011984e-05,5.031491e-05,5.040842e-05,5.044198e-05,5.050590e-05,5.051571e-05,5.051122e-05,5.046227e-05,5.040435e-05,5.036312e-05,5.021759e-05,5.010567e-05,5.002930e-05,4.980166e-05,4.964753e-05,4.953787e-05,4.924095e-05,4.905468e-05,4.891374e-05,4.855891e-05,4.834908e-05,4.817896e-05,4.777626e-05,4.755012e-05,4.735302e-05,4.691131e-05,4.667498e-05,4.645309e-05,4.598019e-05,4.573877e-05,4.549431e-05,4.499706e-05,4.475479e-05,4.448994e-05,4.397435e-05,4.373470e-05,4.345160e-05,4.292292e-05,4.268871e-05,4.238944e-05,4.185223e-05,4.162573e-05,4.131229e-05,4.077052e-05,4.055350e-05,4.022780e-05,3.968491e-05,3.947872e-05,3.914258e-05,3.860151e-05,3.840716e-05,3.806232e-05,3.752560e-05,3.734377e-05,3.699187e-05,3.646163e-05,3.629277e-05,3.593534e-05,3.541340e-05,3.525773e-05,3.489620e-05,3.438408e-05,3.424164e-05,3.387735e-05,3.337630e-05,3.324699e-05,3.288118e-05,3.239222e-05,3.227581e-05,3.190963e-05,3.143357e-05,3.132974e-05,3.096423e-05,3.050172e-05,3.041005e-05,3.004617e-05,2.959770e-05,2.951773e-05,2.915637e-05,2.872226e-05,2.865348e-05,2.829544e-05,2.787593e-05,2.781779e-05,2.746378e-05,2.705899e-05,2.701092e-05,2.666159e-05,2.627156e-05,2.623296e-05,2.588889e-05,2.551357e-05,2.548386e-05,2.514556e-05,2.478484e-05,2.476342e-05,2.443135e-05,2.408506e-05,2.407135e-05,2.374590e-05,2.341382e-05,2.340725e-05,2.308876e-05,2.277064e-05,2.216097e-05,2.157765e-05,2.102003e-05,2.048744e-05,1.997917e-05,1.949450e-05,1.903268e-05,1.859298e-05,1.817463e-05,1.777689e-05,1.739901e-05,1.704025e-05,1.669989e-05,1.637719e-05,1.607145e-05,1.578199e-05,1.550812e-05,1.524919e-05,1.500456e-05,1.477360e-05,1.455571e-05,1.435030e-05,1.415681e-05,1.397469e-05,1.380341e-05,1.364246e-05,1.349135e-05,1.334961e-05,1.321679e-05,1.309244e-05,1.297614e-05,1.286751e-05,1.276614e-05,1.267167e-05,1.258375e-05,1.250203e-05,1.242619e-05,1.235593e-05,1.229094e-05,1.223094e-05,1.217566e-05,1.212485e-05,1.207825e-05,1.203563e-05,1.199677e-05,1.196145e-05,1.192948e-05,1.190065e-05,1.187479e-05
0.000000e+00,2.273198e-09,2.744368e-08,2.860055e-08,1.675701e-07,5.815368e-07,6.075109e-07,1.510743e-06,2.717065e-06,2.800634e-06,4.219406e-06,5.486760e-06,5.593273e-06,6.866611e-06,7.918110e-06,8.029456e-06,9.084338e-06,9.927821e-06,1.003694e-05,1.089363e-05,1.155853e-05,1.166077e-05,1.234451e-05,1.285871e-05,1.295073e-05,1.348502e-05,1.387318e-05,1.395266e-05,1.435865e-05,1.464219e-05,1.470765e-05,1.500407e-05,1.520143e-05,1.525201e-05,1.545532e-05,1.558220e-05,1.561759e-05,1.574216e-05,1.581192e-05,1.583216e-05,1.589051e-05,1.591445e-05,1.591992e-05,1.592293e-05,1.591058e-05,1.590187e-05,1.585893e-05,1.581827e-05,1.579613e-05,1.571535e-05,1.565305e-05,1.561835e-05,1.550674e-05,1.542833e-05,1.538201e-05,1.524556e-05,1.515565e-05,1.509869e-05,1.494257e-05,1.484492e-05,1.477831e-05,1.460692e-05,1.450463e-05,1.442935e-05,1.424647e-05,1.414203e-05,1.405906e-05,1.386787e-05,1.376330e-05,1.367357e-05,1.347679e-05,1.337367e-05,1.327809e-05,1.307800e-05,1.297759e-05,1.287700e-05,1.267552e-05,1.257876e-05,1.247397e-05,1.227271e-05,1.218032e-05,1.207207e-05,1.187235e-05,1.178484e-05,1.167383e-05,1.147674e-05,1.139445e-05,1.128133e-05,1.108777e-05,1.101091e-05,1.089625e-05,1.070694e-05,1.063560e-05,1.051996e-05,1.033545e-05,1.026965e-05,1.015351e-05,9.974242e-06,9.913912e-06,9.797721e-06,9.624021e-06,9.569042e-06,9.453199e-06,9.285303e-06,9.235510e-06,9.120372e-06,8.958437e-06,8.913635e-06,8.799520e-06,8.643635e-06,8.603604e-06,8.490793e-06,8.340995e-06,8.305496e-06,8.194238e-06,8.050513e-06,8.019300e-06,7.909809e-06,7.772109e-06,7.744928e-06,7.637391e-06,7.505633e-06,7.482229e-06,7.376807e-06,7.250883e-06,7.231002e-06,7.127829e-06,7.007611e-06,6.991005e-06,6.890194e-06,6.775538e-06,6.761963e-06,6.663606e-06,6.554355e-06,6.543576e-06,6.447746e-06,6.343734e-06,6.335524e-06,6.242277e-06,6.143331e-06,6.137473e-06,6.046852e-06,5.952794e-06,5.949081e-06,5.861113e-06,5.771764e-06,5.770000e-06,5.684701e-06,5.599879e-06,5.438367e-06,5.285116e-06,5.139784e-06,5.002032e-06,4.871529e-06,4.747953e-06,4.630991e-06,4.520337e-06,4.415697e-06,4.316785e-06,4.223328e-06,4.135061e-06,4.051730e-06,3.973090e-06,3.898908e-06,3.828960e-06,3.763031e-06,3.700917e-06,3.642421e-06,3.587357e-06,3.535547e-06,3.486820e-06,3.441015e-06,3.397977e-06,3.357561e-06,3.319626e-06,3.284039e-06,3.250675e-06,3.219414e-06,3.190142e-06,3.162750e-06,3.137137e-06,3.113204e-06,3.090859e-06,3.070015e-06,3.050588e-06,3.032500e-06,3.015676e-06,3.000044e-06,2.985538e-06,2.972094e-06,2.959652e-06,2.948155e-06,2.937548e-06,2.927780e-06,2.918803e-06,2.910570e-06,2.903039e-06,2.896168e-06
0.000000e+00,7.025843e-10,6.918481e-09,7.176932e-09,3.384975e-08,1.001392e-07,1.040431e-07,2.333496e-07,4.033750e-07,4.154061e-07,6.273994e-07,8.273281e-07,8.443829e-07,1.048075e-06,1.212100e-06,1.229070e-06,1.384901e-06,1.502020e-06,1.516624e-06,1.626494e-06,1.705383e-06,1.716971e-06,1.790394e-06,1.840450e-06,1.848886e-06,1.894350e-06,1.923094e-06,1.928467e-06,1.952723e-06,1.965913e-06,1.968427e-06,1.976728e-06,1.978718e-06,1.978636e-06,1.975041e-06,1.969113e-06,1.966725e-06,1.954373e-06,1.942991e-06,1.938587e-06,1.919895e-06,1.904897e-06,1.898755e-06,1.875561e-06,1.858289e-06,1.850656e-06,1.824344e-06,1.805785e-06,1.796891e-06,1.768554e-06,1.749479e-06,1.739558e-06,1.710079e-06,1.691030e-06,1.680269e-06,1.650262e-06,1.631609e-06,1.620172e-06,1.590095e-06,1.572091e-06,1.560117e-06,1.530312e-06,1.513129e-06,1.500741e-06,1.471457e-06,1.455200e-06,1.442504e-06,1.413920e-06,1.398650e-06,1.385737e-06,1.357980e-06,1.343722e-06,1.330670e-06,1.303824e-06,1.290579e-06,1.277456e-06,1.251575e-06,1.239327e-06,1.226188e-06,1.201302e-06,1.190022e-06,1.176917e-06,1.153036e-06,1.142688e-06,1.129658e-06,1.106782e-06,1.097323e-06,1.084404e-06,1.062520e-06,1.053904e-06,1.041126e-06,1.020215e-06,1.012395e-06,9.997829e-07,9.798219e-07,9.727500e-07,9.603253e-07,9.412859e-07,9.349152e-07,9.226958e-07,9.045475e-07,8.988320e-07,8.868329e-07,8.695439e-07,8.644390e-07,8.526724e-07,8.362101e-07,8.316729e-07,8.201489e-07,8.044806e-07,8.004702e-07,7.891969e-07,7.742898e-07,7.707672e-07,7.597511e-07,7.455729e-07,7.425012e-07,7.317471e-07,7.182662e-07,7.156107e-07,7.051222e-07,6.923077e-07,6.900355e-07,6.798151e-07,6.676370e-07,6.657173e-07,6.557664e-07,6.441959e-07,6.425996e-07,6.329188e-07,6.219280e-07,6.206281e-07,6.112170e-07,6.007791e-07,5.997501e-07,5.906079e-07,5.806970e-07,5.799152e-07,5.710403e-07,5.616317e-07,5.610750e-07,5.524654e-07,5.435354e-07,5.431830e-07,5.348361e-07,5.263621e-07,5.261948e-07,5.181078e-07,5.100679e-07,4.947615e-07,4.802368e-07,4.664566e-07,4.533855e-07,4.409895e-07,4.292365e-07,4.180957e-07,4.075375e-07,3.975341e-07,3.880587e-07,3.790858e-07,3.705912e-07,3.625517e-07,3.549453e-07,3.477511e-07,3.409489e-07,3.345197e-07,3.284454e-07,3.227086e-07,3.172928e-07,3.121824e-07,3.073623e-07,3.028183e-07,2.985369e-07,2.945050e-07,2.907104e-07,2.871413e-07,2.837866e-07,2.806355e-07,2.776779e-07,2.749042e-07,2.723052e-07,2.698720e-07,2.675963e-07,2.654701e-07,2.634860e-07,2.616365e-07,2.599149e-07,2.583146e-07,2.568294e-07,2.554532e-07,2.541805e-07,2.530058e-07,2.519240e-07,2.509302e-07,2.500197e-07,2.491881e-07,2.484310e-07,2.477446e-07
0.000000e+00,1.834969e-08,4.628453e-07,4.869749e-07,3.728374e-06,1.310407e-05,1.365528e-05,3.049965e-05,4.846030e-05,4.959886e-05,6.797093e-05,8.368705e-05,8.499801e-05,1.006498e-04,1.136125e-04,1.149896e-04,1.280939e-04,1.386649e-04,1.400398e-04,1.509018e-04,1.594311e-04,1.607518e-04,1.696579e-04,1.764571e-04,1.776849e-04,1.848937e-04,1.902349e-04,1.913419e-04,1.970837e-04,2.012027e-04,2.021698e-04,2.066479e-04,2.097475e-04,2.105624e-04,2.139543e-04,2.162061e-04,2.168616e-04,2.193206e-04,2.208722e-04,2.213661e-04,2.230301e-04,2.240085e-04,2.243420e-04,2.253291e-04,2.258406e-04,2.260170e-04,2.264296e-04,2.265641e-04,2.265887e-04,2.265152e-04,2.263486e-04,2.262282e-04,2.257455e-04,2.253416e-04,2.250837e-04,2.242584e-04,2.236709e-04,2.232839e-04,2.221735e-04,2.214472e-04,2.209396e-04,2.195939e-04,2.187664e-04,2.181470e-04,2.166089e-04,2.157111e-04,2.149887e-04,2.132951e-04,2.123529e-04,2.115361e-04,2.097189e-04,2.087533e-04,2.078504e-04,2.059370e-04,2.049653e-04,2.039845e-04,2.019982e-04,2.010344e-04,1.999833e-04,1.979444e-04,1.969996e-04,1.958857e-04,1.938112e-04,1.928944e-04,1.917246e-04,1.896291e-04,1.887472e-04,1.875280e-04,1.854240e-04,1.845822e-04,1.833198e-04,1.812177e-04,1.804200e-04,1.791201e-04,1.770288e-04,1.762779e-04,1.749458e-04,1.728728e-04,1.721705e-04,1.708112e-04,1.687625e-04,1.681099e-04,1.667280e-04,1.647088e-04,1.641062e-04,1.627059e-04,1.607204e-04,1.601676e-04,1.587530e-04,1.568045e-04,1.563011e-04,1.548756e-04,1.529668e-04,1.525118e-04,1.510788e-04,1.492119e-04,1.488041e-04,1.473666e-04,1.455432e-04,1.451812e-04,1.437421e-04,1.419634e-04,1.416456e-04,1.402073e-04,1.384741e-04,1.381989e-04,1.367638e-04,1.350766e-04,1.348422e-04,1.334124e-04,1.317714e-04,1.315760e-04,1.301535e-04,1.285586e-04,1.284004e-04,1.269869e-04,1.254381e-04,1.253152e-04,1.239122e-04,1.224090e-04,1.223196e-04,1.209286e-04,1.194707e-04,1.194128e-04,1.180351e-04,1.166218e-04,1.165937e-04,1.152305e-04,1.138611e-04,1.112134e-04,1.086491e-04,1.061665e-04,1.037639e-04,1.014395e-04,9.919150e-05,9.701799e-05,9.491712e-05,9.288699e-05,9.092572e-05,8.903143e-05,8.720226e-05,8.543637e-05,8.373196e-05,8.208724e-05,8.050046e-05,7.896989e-05,7.749385e-05,7.607069e-05,7.469879e-05,7.337657e-05,7.210249e-05,7.087505e-05,6.969277e-05,6.855425e-05,6.745808e-05,6.640292e-05,6.538746e-05,6.441041e-05,6.347053e-05,6.256662e-05,6.169751e-05,6.086205e-05,6.005914e-05,5.928771e-05,5.854671e-05,5.783514e-05,5.715202e-05,5.649639e-05,5.586734e-05,5.526396e-05,5.468538e-05,5.413078e-05,5.359932e-05,5.309023e-05,5.260273e-05,5.213607e-05,5.168955e-05,5.126245e-05
0.000000e+00,8.474841e-09,1.454882e-07,1.523308e-07,9.857954e-07,3.146683e-06,3.267144e-06,6.683865e-06,9.916434e-06,1.011084e-05,1.309708e-05,1.543303e-05,1.561882e-05,1.772811e-05,1.932059e-05,1.948139e-05,2.092925e-05,2.198583e-05,2.211571e-05,2.307883e-05,2.375362e-05,2.385140e-05,2.446167e-05,2.486668e-05,2.493385e-05,2.528872e-05,2.550473e-05,2.554405e-05,2.571503e-05,2.579984e-05,2.581460e-05,2.585381e-05,2.584860e-05,2.584207e-05,2.578741e-05,2.572140e-05,2.569665e-05,2.557561e-05,2.546948e-05,2.542924e-05,2.526176e-05,2.513015e-05,2.507677e-05,2.487732e-05,2.473051e-05,2.466602e-05,2.444507e-05,2.429029e-05,2.421636e-05,2.398151e-05,2.382380e-05,2.374186e-05,2.349858e-05,2.334144e-05,2.325266e-05,2.300493e-05,2.285076e-05,2.275612e-05,2.250682e-05,2.235722e-05,2.225754e-05,2.200873e-05,2.186478e-05,2.176075e-05,2.151391e-05,2.137628e-05,2.126848e-05,2.102467e-05,2.089376e-05,2.078267e-05,2.054265e-05,2.041865e-05,2.030472e-05,2.006899e-05,1.995198e-05,1.983555e-05,1.960449e-05,1.949443e-05,1.937584e-05,1.914967e-05,1.904646e-05,1.892600e-05,1.870486e-05,1.860837e-05,1.848628e-05,1.827026e-05,1.818030e-05,1.805682e-05,1.784595e-05,1.776233e-05,1.763767e-05,1.743195e-05,1.735445e-05,1.722880e-05,1.702821e-05,1.695662e-05,1.683016e-05,1.663463e-05,1.656873e-05,1.644162e-05,1.625110e-05,1.619066e-05,1.606307e-05,1.587748e-05,1.582229e-05,1.569434e-05,1.551361e-05,1.546344e-05,1.533528e-05,1.515932e-05,1.511395e-05,1.498570e-05,1.481442e-05,1.477365e-05,1.464544e-05,1.447874e-05,1.444237e-05,1.431429e-05,1.415208e-05,1.411991e-05,1.399208e-05,1.383427e-05,1.380609e-05,1.367861e-05,1.352509e-05,1.350073e-05,1.337369e-05,1.322438e-05,1.320364e-05,1.307713e-05,1.293193e-05,1.291464e-05,1.278875e-05,1.264756e-05,1.263355e-05,1.250834e-05,1.237107e-05,1.236018e-05,1.223573e-05,1.210230e-05,1.209435e-05,1.197074e-05,1.184105e-05,1.183590e-05,1.171319e-05,1.158714e-05,1.158464e-05,1.146288e-05,1.134040e-05,1.110302e-05,1.087232e-05,1.064816e-05,1.043036e-05,1.021877e-05,1.001324e-05,9.813615e-06,9.619754e-06,9.431509e-06,9.248740e-06,9.071309e-06,8.899082e-06,8.731927e-06,8.569716e-06,8.412321e-06,8.259622e-06,8.111497e-06,7.967829e-06,7.828504e-06,7.693409e-06,7.562436e-06,7.435479e-06,7.312432e-06,7.193194e-06,7.077667e-06,6.965753e-06,6.857358e-06,6.752389e-06,6.650757e-06,6.552375e-06,6.457155e-06,6.365016e-06,6.275875e-06,6.189652e-06,6.106271e-06,6.025655e-06,5.947731e-06,5.872426e-06,5.799671e-06,5.729396e-06,5.661535e-06,5.596023e-06,5.532795e-06,5.471790e-06,5.412948e-06,5.356208e-06,5.301513e-06,5.248807e-06,5.198035e-06
0.000000e+00,1.412493e-08,4.450539e-07,4.693101e-07,4.263343e-06,1.991997e-05,2.104875e-05,6.907451e-05,1.604366e-04,1.680461e-04,3.259459e-04,5.149208e-04,5.328111e-04,7.681708e-04,9.874907e-04,1.011743e-03,1.248587e-03,1.444065e-03,1.469555e-03,1.669961e-03,1.824480e-03,1.848058e-03,2.003847e-03,2.118154e-03,2.138284e-03,2.252801e-03,2.332972e-03,2.349014e-03,2.428576e-03,2.481317e-03,2.493089e-03,2.544067e-03,2.575342e-03,2.582916e-03,2.610927e-03,2.625699e-03,2.629284e-03,2.639063e-03,2.641356e-03,2.641243e-03,2.636709e-03,2.629741e-03,2.626263e-03,2.610630e-03,2.596953e-03,2.590464e-03,2.566353e-03,2.547979e-03,2.538830e-03,2.508372e-03,2.486874e-03,2.475410e-03,2.440330e-03,2.416929e-03,2.403479e-03,2.365167e-03,2.340804e-03,2.325674e-03,2.285246e-03,2.260636e-03,2.244108e-03,2.202458e-03,2.178136e-03,2.160472e-03,2.118307e-03,2.094670e-03,2.076103e-03,2.033983e-03,2.011312e-03,1.992055e-03,1.950414e-03,1.928903e-03,1.909144e-03,1.868318e-03,1.848091e-03,1.827998e-03,1.788239e-03,1.769367e-03,1.749087e-03,1.710582e-03,1.693096e-03,1.672757e-03,1.635639e-03,1.619537e-03,1.599250e-03,1.563609e-03,1.548866e-03,1.528729e-03,1.494619e-03,1.481192e-03,1.461287e-03,1.428736e-03,1.416572e-03,1.396967e-03,1.365981e-03,1.355016e-03,1.335773e-03,1.306338e-03,1.296506e-03,1.277671e-03,1.249765e-03,1.240994e-03,1.222609e-03,1.196194e-03,1.188413e-03,1.170511e-03,1.145546e-03,1.138683e-03,1.121288e-03,1.097725e-03,1.091711e-03,1.074843e-03,1.052629e-03,1.047396e-03,1.031070e-03,1.010151e-03,1.005633e-03,9.898587e-04,9.701790e-04,9.663153e-04,9.510977e-04,9.326007e-04,9.293322e-04,9.146739e-04,8.973035e-04,8.945749e-04,8.804754e-04,8.641759e-04,8.619354e-04,8.483915e-04,8.331087e-04,8.313078e-04,8.183141e-04,8.039948e-04,8.025885e-04,7.901379e-04,7.767308e-04,7.756773e-04,7.637610e-04,7.512165e-04,7.504771e-04,7.390853e-04,7.273557e-04,7.268947e-04,7.160163e-04,7.050559e-04,7.048405e-04,6.944637e-04,6.842288e-04,6.649778e-04,6.470093e-04,6.302490e-04,6.146265e-04,6.000748e-04,5.865303e-04,5.739330e-04,5.622261e-04,5.513557e-04,5.412711e-04,5.319242e-04,5.232698e-04,5.152653e-04,5.078702e-04,5.010466e-04,4.947588e-04,4.889731e-04,4.836576e-04,4.787825e-04,4.743196e-04,4.702425e-04,4.665262e-04,4.631473e-04,4.600836e-04,4.573145e-04,4.548203e-04,4.525828e-04,4.505846e-04,4.488096e-04,4.472424e-04,4.458688e-04,4.446752e-04,4.436490e-04,4.427782e-04,4.420518e-04,4.414593e-04,4.409907e-04,4.406368e-04,4.403890e-04,4.402391e-04,4.401795e-04,4.402029e-04,4.403027e-04,4.404727e-04,4.407068e-04,4.409995e-04,4.413458e-04,4.417406e-04,4.421796e-04
0.000000e+00,2.492042e-08,7.942991e-07,8.388136e-07,8.201991e-06,3.890105e-05,4.105518e-05,1.237769e-04,2.458623e-04,2.546158e-04,4.073468e-04,5.472637e-04,5.590280e-04,6.982357e-04,8.096781e-04,8.212265e-04,9.277880e-04,1.008824e-03,1.019007e-03,1.096323e-03,1.152801e-03,1.161183e-03,1.214936e-03,1.252407e-03,1.258811e-03,1.293922e-03,1.316882e-03,1.321275e-03,1.341780e-03,1.353806e-03,1.356255e-03,1.365438e-03,1.369355e-03,1.369990e-03,1.370505e-03,1.368524e-03,1.367512e-03,1.361484e-03,1.355318e-03,1.352840e-03,1.341955e-03,1.332917e-03,1.329160e-03,1.314746e-03,1.303835e-03,1.298975e-03,1.282074e-03,1.270039e-03,1.264244e-03,1.245665e-03,1.233068e-03,1.226491e-03,1.206860e-03,1.194112e-03,1.186892e-03,1.166692e-03,1.154092e-03,1.146352e-03,1.125951e-03,1.113711e-03,1.105560e-03,1.085237e-03,1.073503e-03,1.065037e-03,1.045002e-03,1.033869e-03,1.025171e-03,1.005577e-03,9.951048e-04,9.862476e-04,9.672056e-04,9.574238e-04,9.484702e-04,9.300573e-04,9.209758e-04,9.119796e-04,8.942472e-04,8.858607e-04,8.768680e-04,8.598475e-04,8.521397e-04,8.431897e-04,8.268970e-04,8.198441e-04,8.109703e-04,7.954094e-04,7.889827e-04,7.802131e-04,7.653793e-04,7.595466e-04,7.509051e-04,7.367868e-04,7.315144e-04,7.230205e-04,7.096015e-04,7.048547e-04,6.965248e-04,6.837852e-04,6.795294e-04,6.713769e-04,6.592942e-04,6.554956e-04,6.475311e-04,6.360815e-04,6.327068e-04,6.249391e-04,6.140977e-04,6.111151e-04,6.035508e-04,5.932921e-04,5.906713e-04,5.833153e-04,5.736139e-04,5.713259e-04,5.641817e-04,5.550124e-04,5.530298e-04,5.460997e-04,5.374376e-04,5.357347e-04,5.290199e-04,5.208407e-04,5.193933e-04,5.128941e-04,5.051742e-04,5.039597e-04,4.976754e-04,4.903920e-04,4.893892e-04,4.833186e-04,4.764498e-04,4.756390e-04,4.697802e-04,4.633048e-04,4.626677e-04,4.570183e-04,4.509160e-04,4.504356e-04,4.449929e-04,4.392442e-04,4.389047e-04,4.336654e-04,4.282519e-04,4.280387e-04,4.229993e-04,4.179032e-04,4.178028e-04,4.129595e-04,4.081640e-04,3.990906e-04,3.905527e-04,3.825215e-04,3.749701e-04,3.678724e-04,3.612040e-04,3.549415e-04,3.490629e-04,3.435472e-04,3.383743e-04,3.335255e-04,3.289828e-04,3.247292e-04,3.207486e-04,3.170258e-04,3.135462e-04,3.102962e-04,3.072628e-04,3.044336e-04,3.017971e-04,2.993421e-04,2.970583e-04,2.949357e-04,2.929649e-04,2.911370e-04,2.894437e-04,2.878770e-04,2.864294e-04,2.850937e-04,2.838632e-04,2.827315e-04,2.816926e-04,2.807408e-04,2.798707e-04,2.790772e-04,2.783554e-04,2.777008e-04,2.771090e-04,2.765761e-04,2.760982e-04,2.756715e-04,2.752928e-04,2.749587e-04,2.746662e-04,2.744125e-04,2.741947e-04,2.740104e-04,2.738571e-04,2.737325e-04
0.000000e+00,2.548362e-08,5.077781e-07,5.327996e-07,3.870180e-06,1.399324e-05,1.460645e-05,3.385601e-05,5.480370e-05,5.613431e-05,7.757413e-05,9.581440e-05,9.733026e-05,1.153520e-04,1.301598e-04,1.317261e-04,1.465586e-04,1.584192e-04,1.599542e-04,1.720129e-04,1.813865e-04,1.828294e-04,1.924938e-04,1.997838e-04,2.010910e-04,2.087013e-04,2.142582e-04,2.154000e-04,2.212578e-04,2.253833e-04,2.263409e-04,2.307110e-04,2.336619e-04,2.344256e-04,2.375383e-04,2.395319e-04,2.400985e-04,2.421519e-04,2.433706e-04,2.437415e-04,2.449067e-04,2.455034e-04,2.456839e-04,2.461072e-04,2.462097e-04,2.462077e-04,2.460144e-04,2.457289e-04,2.455541e-04,2.448515e-04,2.442661e-04,2.439293e-04,2.428086e-04,2.419962e-04,2.415088e-04,2.400479e-04,2.390684e-04,2.384422e-04,2.367071e-04,2.356098e-04,2.348566e-04,2.329035e-04,2.317284e-04,2.308597e-04,2.287362e-04,2.275159e-04,2.265430e-04,2.242893e-04,2.230502e-04,2.219837e-04,2.196339e-04,2.183969e-04,2.172471e-04,2.148298e-04,2.136116e-04,2.123881e-04,2.099274e-04,2.087410e-04,2.074528e-04,2.049689e-04,2.038243e-04,2.024798e-04,1.999895e-04,1.988943e-04,1.975014e-04,1.950186e-04,1.939782e-04,1.925441e-04,1.900805e-04,1.890986e-04,1.876301e-04,1.851951e-04,1.842743e-04,1.827774e-04,1.803788e-04,1.795203e-04,1.780008e-04,1.756448e-04,1.748490e-04,1.733120e-04,1.710036e-04,1.702702e-04,1.687204e-04,1.664635e-04,1.657916e-04,1.642335e-04,1.620310e-04,1.614193e-04,1.598567e-04,1.577109e-04,1.571577e-04,1.555941e-04,1.535066e-04,1.530100e-04,1.514487e-04,1.494205e-04,1.489783e-04,1.474223e-04,1.454540e-04,1.450639e-04,1.435157e-04,1.416075e-04,1.412672e-04,1.397293e-04,1.378810e-04,1.375881e-04,1.360626e-04,1.342738e-04,1.340258e-04,1.325147e-04,1.307849e-04,1.305793e-04,1.290843e-04,1.274127e-04,1.272471e-04,1.257698e-04,1.241554e-04,1.240274e-04,1.225692e-04,1.210110e-04,1.209184e-04,1.194804e-04,1.179772e-04,1.179176e-04,1.165011e-04,1.150517e-04,1.150230e-04,1.136288e-04,1.122320e-04,1.095422e-04,1.069509e-04,1.044556e-04,1.020536e-04,9.974238e-05,9.751929e-05,9.538174e-05,9.332716e-05,9.135303e-05,8.945685e-05,8.763618e-05,8.588862e-05,8.421182e-05,8.260348e-05,8.106137e-05,7.958329e-05,7.816711e-05,7.681075e-05,7.551220e-05,7.426948e-05,7.308067e-05,7.194393e-05,7.085744e-05,6.981945e-05,6.882826e-05,6.788221e-05,6.697970e-05,6.611917e-05,6.529911e-05,6.451806e-05,6.377460e-05,6.306735e-05,6.239498e-05,6.175619e-05,6.114974e-05,6.057440e-05,6.002899e-05,5.951238e-05,5.902347e-05,5.856117e-05,5.812446e-05,5.771232e-05,5.732379e-05,5.695792e-05,5.661380e-05,5.629054e-05,5.598728e-05,5.570321e-05,5.543752e-05
0.000000e+00,1.237655e-08,4.829461e-07,5.115221e-07,5.507040e-06,2.735598e-05,2.892462e-05,9.260967e-05,2.000721e-04,2.084365e-04,3.695310e-04,5.439082e-04,5.598106e-04,7.634274e-04,9.480647e-04,9.683631e-04,1.166699e-03,1.332002e-03,1.353756e-03,1.527107e-03,1.664450e-03,1.685768e-03,1.829641e-03,1.939359e-03,1.959138e-03,2.074950e-03,2.160280e-03,2.177901e-03,2.268871e-03,2.333614e-03,2.348742e-03,2.418369e-03,2.466095e-03,2.478570e-03,2.530115e-03,2.563945e-03,2.573723e-03,2.610065e-03,2.632647e-03,2.639762e-03,2.663389e-03,2.676941e-03,2.681477e-03,2.694517e-03,2.700886e-03,2.702962e-03,2.707228e-03,2.707939e-03,2.707699e-03,2.704729e-03,2.701043e-03,2.698644e-03,2.689742e-03,2.682695e-03,2.678299e-03,2.664570e-03,2.655012e-03,2.648787e-03,2.631164e-03,2.619790e-03,2.611899e-03,2.591172e-03,2.578546e-03,2.569149e-03,2.545983e-03,2.532563e-03,2.521814e-03,2.496770e-03,2.482925e-03,2.470970e-03,2.444520e-03,2.430543e-03,2.417521e-03,2.390061e-03,2.376185e-03,2.362224e-03,2.334087e-03,2.320494e-03,2.305716e-03,2.277177e-03,2.264008e-03,2.248526e-03,2.219815e-03,2.207176e-03,2.191093e-03,2.162402e-03,2.150371e-03,2.133782e-03,2.105269e-03,2.093901e-03,2.076894e-03,2.048687e-03,2.038018e-03,2.020673e-03,1.992877e-03,1.982928e-03,1.965320e-03,1.938019e-03,1.928798e-03,1.910992e-03,1.884255e-03,1.875762e-03,1.857819e-03,1.831697e-03,1.823923e-03,1.805898e-03,1.780432e-03,1.773362e-03,1.755305e-03,1.730524e-03,1.724139e-03,1.706095e-03,1.682021e-03,1.676297e-03,1.658307e-03,1.634954e-03,1.629865e-03,1.611965e-03,1.589341e-03,1.584860e-03,1.567082e-03,1.545190e-03,1.541288e-03,1.523662e-03,1.502499e-03,1.499147e-03,1.481700e-03,1.461262e-03,1.458429e-03,1.441184e-03,1.421463e-03,1.419120e-03,1.402097e-03,1.383083e-03,1.381200e-03,1.364417e-03,1.346098e-03,1.344647e-03,1.328121e-03,1.310483e-03,1.309435e-03,1.293180e-03,1.276208e-03,1.275536e-03,1.259563e-03,1.243242e-03,1.242919e-03,1.227240e-03,1.211553e-03,1.181406e-03,1.152446e-03,1.124637e-03,1.097947e-03,1.072342e-03,1.047788e-03,1.024253e-03,1.001703e-03,9.801067e-04,9.594321e-04,9.396481e-04,9.207243e-04,9.026310e-04,8.853394e-04,8.688210e-04,8.530485e-04,8.379952e-04,8.236350e-04,8.099427e-04,7.968940e-04,7.844649e-04,7.726325e-04,7.613746e-04,7.506694e-04,7.404962e-04,7.308346e-04,7.216650e-04,7.129685e-04,7.047267e-04,6.969219e-04,6.895369e-04,6.825552e-04,6.759607e-04,6.697379e-04,6.638719e-04,6.583481e-04,6.531525e-04,6.482718e-04,6.436927e-04,6.394027e-04,6.353897e-04,6.316418e-04,6.281477e-04,6.248964e-04,6.218774e-04,6.190804e-04,6.164956e-04,6.141134e-04,6.119246e-04
0.000000e+00,2.581744e-09,4.026204e-08,4.212777e-08,2.731500e-07,9.027329e-07,9.389322e-07,2.011911e-06,3.105745e-06,3.173847e-06,4.253891e-06,5.147719e-06,5.220920e-06,6.077518e-06,6.761000e-06,6.832133e-06,7.493847e-06,8.006156e-06,8.071266e-06,8.572372e-06,8.947908e-06,9.004513e-06,9.374421e-06,9.641569e-06,9.688252e-06,9.951621e-06,1.013353e-05,1.016964e-05,1.034695e-05,1.046234e-05,1.048777e-05,1.059592e-05,1.065982e-05,1.067484e-05,1.072768e-05,1.075215e-05,1.075727e-05,1.076615e-05,1.076077e-05,1.075665e-05,1.073085e-05,1.070325e-05,1.069063e-05,1.063770e-05,1.059390e-05,1.057358e-05,1.049966e-05,1.044443e-05,1.041717e-05,1.032726e-05,1.026433e-05,1.023091e-05,1.012903e-05,1.006132e-05,1.002245e-05,9.911901e-06,9.841653e-06,9.798030e-06,9.681431e-06,9.610384e-06,9.562632e-06,9.442107e-06,9.371580e-06,9.320279e-06,9.197525e-06,9.128506e-06,9.074182e-06,8.950551e-06,8.883766e-06,8.826899e-06,8.703462e-06,8.639430e-06,8.580450e-06,8.458049e-06,8.397130e-06,8.336423e-06,8.215715e-06,8.158139e-06,8.096051e-06,7.977540e-06,7.923440e-06,7.860279e-06,7.744349e-06,7.693781e-06,7.629822e-06,7.516756e-06,7.469717e-06,7.405203e-06,7.295205e-06,7.251649e-06,7.186796e-06,7.080004e-06,7.039851e-06,6.974850e-06,6.871351e-06,6.834499e-06,6.769518e-06,6.669359e-06,6.635686e-06,6.570876e-06,6.474069e-06,6.443444e-06,6.378935e-06,6.285467e-06,6.257751e-06,6.193658e-06,6.103497e-06,6.078545e-06,6.014971e-06,5.928065e-06,5.905733e-06,5.842765e-06,5.759054e-06,5.739198e-06,5.676914e-06,5.596326e-06,5.578803e-06,5.517271e-06,5.439729e-06,5.424401e-06,5.363680e-06,5.289102e-06,5.275832e-06,5.215973e-06,5.144273e-06,5.132932e-06,5.073979e-06,5.005068e-06,4.995530e-06,4.937520e-06,4.871312e-06,4.863456e-06,4.806421e-06,4.742825e-06,4.736536e-06,4.680503e-06,4.619433e-06,4.614601e-06,4.559592e-06,4.500959e-06,4.497479e-06,4.443513e-06,4.387232e-06,4.385004e-06,4.332095e-06,4.278082e-06,4.277013e-06,4.225172e-06,4.173344e-06,4.073841e-06,3.978351e-06,3.886726e-06,3.798823e-06,3.714502e-06,3.633628e-06,3.556071e-06,3.481705e-06,3.410407e-06,3.342060e-06,3.276551e-06,3.213770e-06,3.153612e-06,3.095975e-06,3.040761e-06,2.987875e-06,2.937228e-06,2.888731e-06,2.842300e-06,2.797854e-06,2.755316e-06,2.714609e-06,2.675661e-06,2.638404e-06,2.602770e-06,2.568694e-06,2.536116e-06,2.504974e-06,2.475213e-06,2.446776e-06,2.419611e-06,2.393666e-06,2.368894e-06,2.345246e-06,2.322677e-06,2.301144e-06,2.280604e-06,2.261018e-06,2.242347e-06,2.224552e-06,2.207600e-06,2.191454e-06,2.176082e-06,2.161453e-06,2.147535e-06,2.134299e-06,2.121717e-06,2.109762e-06,2.098407e-06
0.000000e+00,1.359458e-06,5.854151e-05,6.208964e-05,7.118898e-04,3.845055e-03,4.083505e-03,1.501291e-02,3.848659e-02,4.056964e-02,8.794423e-02,1.555573e-01,1.626289e-01,2.679715e-01,3.902306e-01,4.054305e-01,5.749585e-01,7.497402e-01,7.753566e-01,1.004575e+00,1.222743e+00,1.259962e+00,1.538467e+00,1.787876e+00,1.836803e+00,2.151580e+00,2.419583e+00,2.479404e+00,2.816959e+00,3.091867e+00,3.161066e+00,3.508725e+00,3.780563e+00,3.857148e+00,4.203774e+00,4.464571e+00,4.546283e+00,4.882600e+00,5.126400e+00,5.210890e+00,5.529556e+00,5.752257e+00,5.837225e+00,6.132740e+00,6.331851e+00,6.415148e+00,6.683679e+00,6.858046e+00,6.937742e+00,7.176901e+00,7.326435e+00,7.400865e+00,7.609470e+00,7.734892e+00,7.802671e+00,7.980522e+00,8.083141e+00,8.143168e+00,8.290831e+00,8.372356e+00,8.423802e+00,8.542427e+00,8.604810e+00,8.647101e+00,8.738256e+00,8.783571e+00,8.816359e+00,8.881899e+00,8.912245e+00,8.935384e+00,8.977336e+00,8.994768e+00,9.008284e+00,9.028761e+00,9.035241e+00,9.039303e+00,9.040439e+00,9.037798e+00,9.032695e+00,9.016588e+00,9.006511e+00,8.992625e+00,8.961300e+00,8.945309e+00,8.923094e+00,8.878477e+00,8.857934e+00,8.827899e+00,8.771797e+00,8.747904e+00,8.710592e+00,8.644687e+00,8.618493e+00,8.574471e+00,8.500312e+00,8.472718e+00,8.422564e+00,8.341566e+00,8.313344e+00,8.257638e+00,8.171085e+00,8.142882e+00,8.082197e+00,7.991249e+00,7.963601e+00,7.898499e+00,7.804193e+00,7.777541e+00,7.708563e+00,7.611827e+00,7.586520e+00,7.514190e+00,7.415844e+00,7.392156e+00,7.316972e+00,7.217743e+00,7.195880e+00,7.118315e+00,7.018838e+00,6.998949e+00,6.919449e+00,6.820279e+00,6.802461e+00,6.721447e+00,6.623064e+00,6.607372e+00,6.525236e+00,6.428056e+00,6.414508e+00,6.331615e+00,6.235993e+00,6.224577e+00,6.141266e+00,6.047503e+00,6.038182e+00,5.954767e+00,5.863115e+00,5.855832e+00,5.772600e+00,5.683270e+00,5.677948e+00,5.595166e+00,5.508328e+00,5.504881e+00,5.422790e+00,5.338583e+00,5.336912e+00,5.255732e+00,5.174263e+00,5.017103e+00,4.865556e+00,4.719705e+00,4.579597e+00,4.445247e+00,4.316645e+00,4.193754e+00,4.076519e+00,3.964867e+00,3.858707e+00,3.757938e+00,3.662446e+00,3.572107e+00,3.486791e+00,3.406360e+00,3.330671e+00,3.259575e+00,3.192922e+00,3.130558e+00,3.072326e+00,3.018071e+00,2.967633e+00,2.920856e+00,2.877582e+00,2.837655e+00,2.800918e+00,2.767219e+00,2.736406e+00,2.708329e+00,2.682840e+00,2.659797e+00,2.639057e+00,2.620482e+00,2.603939e+00,2.589295e+00,2.576425e+00,2.565205e+00,2.555515e+00,2.547240e+00,2.540270e+00,2.534499e+00,2.529824e+00,2.526148e+00,2.523377e+00,2.521422e+00,2.520200e+00,2.519631e+00,2.519638e+00,2.520150e+00
0.000000e+00,6.541248e-10,8.825652e-09,9.215950e-09,5.722652e-08,1.983713e-07,2.070410e-07,4.933839e-07,8.364597e-07,8.590854e-07,1.232194e-06,1.558228e-06,1.585579e-06,1.913300e-06,2.185932e-06,2.214946e-06,2.491457e-06,2.714994e-06,2.744094e-06,2.974176e-06,3.155001e-06,3.183005e-06,3.371843e-06,3.515911e-06,3.541910e-06,3.694387e-06,3.807087e-06,3.830405e-06,3.951044e-06,4.037175e-06,4.057333e-06,4.150252e-06,4.214041e-06,4.230721e-06,4.299610e-06,4.344728e-06,4.357740e-06,4.405889e-06,4.435526e-06,4.444789e-06,4.475127e-06,4.492031e-06,4.497546e-06,4.512650e-06,4.519176e-06,4.521007e-06,4.523148e-06,4.521308e-06,4.519571e-06,4.510741e-06,4.502250e-06,4.497096e-06,4.479045e-06,4.465356e-06,4.456967e-06,4.431222e-06,4.413564e-06,4.402141e-06,4.370037e-06,4.349445e-06,4.335199e-06,4.297900e-06,4.275239e-06,4.258392e-06,4.216909e-06,4.192899e-06,4.173673e-06,4.128886e-06,4.104124e-06,4.082739e-06,4.035408e-06,4.010383e-06,3.987057e-06,3.937838e-06,3.912948e-06,3.887893e-06,3.837353e-06,3.812918e-06,3.786338e-06,3.734960e-06,3.711233e-06,3.683323e-06,3.631522e-06,3.608701e-06,3.579646e-06,3.527775e-06,3.506009e-06,3.475984e-06,3.424342e-06,3.403740e-06,3.372910e-06,3.321748e-06,3.302387e-06,3.270906e-06,3.220432e-06,3.202360e-06,3.170370e-06,3.120760e-06,3.104001e-06,3.071635e-06,3.023030e-06,3.007590e-06,2.974971e-06,2.927485e-06,2.913354e-06,2.880594e-06,2.834318e-06,2.821474e-06,2.788675e-06,2.743681e-06,2.732090e-06,2.699348e-06,2.655687e-06,2.645310e-06,2.612708e-06,2.570418e-06,2.561208e-06,2.528824e-06,2.487930e-06,2.479836e-06,2.447739e-06,2.408254e-06,2.401221e-06,2.369474e-06,2.331401e-06,2.325374e-06,2.294032e-06,2.257366e-06,2.252288e-06,2.221399e-06,2.186129e-06,2.181943e-06,2.151551e-06,2.117659e-06,2.114308e-06,2.084450e-06,2.051915e-06,2.049341e-06,2.020050e-06,1.988847e-06,1.986996e-06,1.958299e-06,1.928398e-06,1.927215e-06,1.899137e-06,1.870507e-06,1.869941e-06,1.842500e-06,1.815108e-06,1.762650e-06,1.712497e-06,1.664580e-06,1.618825e-06,1.575161e-06,1.533517e-06,1.493819e-06,1.455998e-06,1.419983e-06,1.385706e-06,1.353098e-06,1.322093e-06,1.292628e-06,1.264640e-06,1.238067e-06,1.212851e-06,1.188934e-06,1.166260e-06,1.144776e-06,1.124430e-06,1.105173e-06,1.086955e-06,1.069731e-06,1.053455e-06,1.038086e-06,1.023581e-06,1.009901e-06,9.970074e-07,9.848644e-07,9.734366e-07,9.626904e-07,9.525935e-07,9.431150e-07,9.342253e-07,9.258961e-07,9.181003e-07,9.108119e-07,9.040060e-07,8.976588e-07,8.917475e-07,8.862505e-07,8.811469e-07,8.764168e-07,8.720411e-07,8.680019e-07,8.642815e-07,8.608636e-07,8.577322e-07,8.548722e-07
0.000000e+00,7.445557e-08,2.633917e-06,2.784251e-06,2.902709e-05,1.575694e-04,1.675432e-04,6.383637e-04,1.677520e-03,1.770084e-03,3.863030e-03,6.785050e-03,7.086016e-03,1.147380e-02,1.636887e-02,1.696442e-02,2.343626e-02,2.982187e-02,3.073614e-02,3.869887e-02,4.595155e-02,4.716024e-02,5.596520e-02,6.352308e-02,6.497249e-02,7.405711e-02,8.148784e-02,8.311096e-02,9.204258e-02,9.904845e-02,1.007762e-01,1.092504e-01,1.156485e-01,1.174166e-01,1.252375e-01,1.309331e-01,1.326855e-01,1.397416e-01,1.447034e-01,1.463936e-01,1.526354e-01,1.568745e-01,1.584655e-01,1.638866e-01,1.674409e-01,1.689043e-01,1.735270e-01,1.764500e-01,1.777649e-01,1.816297e-01,1.839822e-01,1.851340e-01,1.882914e-01,1.901366e-01,1.911159e-01,1.936217e-01,1.950216e-01,1.958232e-01,1.977346e-01,1.987482e-01,1.993702e-01,2.007438e-01,2.014258e-01,2.018690e-01,2.027590e-01,2.031596e-01,2.034268e-01,2.038848e-01,2.040491e-01,2.041450e-01,2.042190e-01,2.041875e-01,2.041178e-01,2.038523e-01,2.036612e-01,2.034327e-01,2.028689e-01,2.025498e-01,2.021702e-01,2.013456e-01,2.009265e-01,2.004039e-01,1.993531e-01,1.988583e-01,1.982012e-01,1.969557e-01,1.964064e-01,1.956237e-01,1.942119e-01,1.936264e-01,1.927270e-01,1.911750e-01,1.905689e-01,1.895618e-01,1.878930e-01,1.872797e-01,1.861740e-01,1.844096e-01,1.838003e-01,1.826048e-01,1.807640e-01,1.801681e-01,1.788916e-01,1.769915e-01,1.764167e-01,1.750678e-01,1.731240e-01,1.725766e-01,1.711636e-01,1.691898e-01,1.686748e-01,1.672058e-01,1.652144e-01,1.647356e-01,1.632184e-01,1.612203e-01,1.607807e-01,1.592226e-01,1.572277e-01,1.568292e-01,1.552375e-01,1.532542e-01,1.528981e-01,1.512796e-01,1.493156e-01,1.490024e-01,1.473636e-01,1.454254e-01,1.451552e-01,1.435023e-01,1.415957e-01,1.413681e-01,1.397068e-01,1.378367e-01,1.376508e-01,1.359866e-01,1.341573e-01,1.340119e-01,1.323499e-01,1.305651e-01,1.304588e-01,1.288037e-01,1.270664e-01,1.269974e-01,1.253538e-01,1.236665e-01,1.236330e-01,1.220049e-01,1.203695e-01,1.172104e-01,1.141580e-01,1.112143e-01,1.083803e-01,1.056567e-01,1.030437e-01,1.005409e-01,9.814748e-02,9.586241e-02,9.368426e-02,9.161132e-02,8.964162e-02,8.777300e-02,8.600307e-02,8.432932e-02,8.274906e-02,8.125952e-02,7.985782e-02,7.854099e-02,7.730602e-02,7.614985e-02,7.506937e-02,7.406150e-02,7.312311e-02,7.225112e-02,7.144242e-02,7.069397e-02,7.000273e-02,6.936575e-02,6.878011e-02,6.824296e-02,6.775151e-02,6.730304e-02,6.689492e-02,6.652457e-02,6.618953e-02,6.588739e-02,6.561584e-02,6.537268e-02,6.515576e-02,6.496307e-02,6.479266e-02,6.464269e-02,6.451140e-02,6.439713e-02,6.429829e-02,6.421341e-02,6.414108e-02,6.408000e-02
0.000000e+00,8.349226e-09,1.749082e-07,1.837576e-07,1.353255e-06,4.575220e-06,4.754463e-06,9.776722e-06,1.469420e-05,1.500255e-05,1.998906e-05,2.429938e-05,2.466137e-05,2.901600e-05,3.267269e-05,3.306410e-05,3.681951e-05,3.989317e-05,4.029609e-05,4.350731e-05,4.606665e-05,4.646617e-05,4.918515e-05,5.129249e-05,5.167623e-05,5.395117e-05,5.566342e-05,5.602148e-05,5.789832e-05,5.926778e-05,5.959251e-05,6.111450e-05,6.218860e-05,6.247435e-05,6.368169e-05,6.450296e-05,6.474574e-05,6.567531e-05,6.628156e-05,6.647879e-05,6.716413e-05,6.758871e-05,6.773893e-05,6.821035e-05,6.848249e-05,6.858519e-05,6.886991e-05,6.901516e-05,6.907059e-05,6.919300e-05,6.923357e-05,6.924259e-05,6.922449e-05,6.917964e-05,6.914357e-05,6.900440e-05,6.889078e-05,6.881132e-05,6.856840e-05,6.840033e-05,6.827948e-05,6.794818e-05,6.773797e-05,6.757792e-05,6.717190e-05,6.693005e-05,6.673315e-05,6.626451e-05,6.599996e-05,6.576865e-05,6.524809e-05,6.496843e-05,6.470519e-05,6.414216e-05,6.385376e-05,6.356109e-05,6.296393e-05,6.267211e-05,6.235250e-05,6.172854e-05,6.143774e-05,6.109363e-05,6.044930e-05,6.016317e-05,5.979694e-05,5.913787e-05,5.885936e-05,5.847332e-05,5.780444e-05,5.753592e-05,5.713231e-05,5.645790e-05,5.620123e-05,5.578217e-05,5.510597e-05,5.486257e-05,5.443010e-05,5.375530e-05,5.352624e-05,5.308228e-05,5.241167e-05,5.219768e-05,5.174406e-05,5.107999e-05,5.088154e-05,5.041997e-05,4.976447e-05,4.958180e-05,4.911391e-05,4.846867e-05,4.830182e-05,4.782911e-05,4.719556e-05,4.704443e-05,4.656831e-05,4.594763e-05,4.581198e-05,4.533375e-05,4.472690e-05,4.460639e-05,4.412726e-05,4.353501e-05,4.342920e-05,4.295029e-05,4.237325e-05,4.228164e-05,4.180399e-05,4.124261e-05,4.116465e-05,4.068919e-05,4.014380e-05,4.007890e-05,3.960650e-05,3.907732e-05,3.902485e-05,3.855629e-05,3.804343e-05,3.800276e-05,3.753876e-05,3.704226e-05,3.701273e-05,3.655393e-05,3.607375e-05,3.605472e-05,3.560170e-05,3.513773e-05,3.512854e-05,3.468182e-05,3.423391e-05,3.337046e-05,3.253773e-05,3.173520e-05,3.096231e-05,3.021842e-05,2.950288e-05,2.881500e-05,2.815409e-05,2.751942e-05,2.691025e-05,2.632584e-05,2.576545e-05,2.522832e-05,2.471372e-05,2.422092e-05,2.374918e-05,2.329778e-05,2.286602e-05,2.245321e-05,2.205866e-05,2.168170e-05,2.132169e-05,2.097800e-05,2.064999e-05,2.033706e-05,2.003864e-05,1.975415e-05,1.948304e-05,1.922476e-05,1.897880e-05,1.874466e-05,1.852185e-05,1.830989e-05,1.810833e-05,1.791673e-05,1.773466e-05,1.756172e-05,1.739750e-05,1.724162e-05,1.709372e-05,1.695343e-05,1.682042e-05,1.669436e-05,1.657493e-05,1.646182e-05,1.635474e-05,1.625341e-05,1.615755e-05,1.606691e-05
0.000000e+00,1.019601e-08,4.527671e-07,4.811669e-07,6.176368e-06,3.554359e-05,3.777514e-05,1.338094e-04,3.079633e-04,3.219691e-04,6.024848e-04,9.271507e-04,9.577762e-04,1.364185e-03,1.754579e-03,1.798710e-03,2.241929e-03,2.627110e-03,2.678805e-03,3.098458e-03,3.439900e-03,3.493536e-03,3.859482e-03,4.142532e-03,4.193860e-03,4.495782e-03,4.719260e-03,4.765457e-03,5.003835e-03,5.172956e-03,5.212349e-03,5.392719e-03,5.515071e-03,5.546815e-03,5.676566e-03,5.760074e-03,5.783886e-03,5.870639e-03,5.922646e-03,5.938606e-03,5.989471e-03,6.016395e-03,6.024813e-03,6.046101e-03,6.053376e-03,6.054700e-03,6.051867e-03,6.044008e-03,6.038764e-03,6.016454e-03,5.997166e-03,5.985918e-03,5.948049e-03,5.920348e-03,5.903669e-03,5.853528e-03,5.819849e-03,5.798309e-03,5.738638e-03,5.700938e-03,5.675085e-03,5.608171e-03,5.568008e-03,5.538368e-03,5.466109e-03,5.424718e-03,5.391785e-03,5.315752e-03,5.274099e-03,5.238335e-03,5.159826e-03,5.118660e-03,5.080493e-03,5.000576e-03,4.960467e-03,4.920292e-03,4.839839e-03,4.801215e-03,4.759394e-03,4.679117e-03,4.642285e-03,4.599150e-03,4.519622e-03,4.484799e-03,4.440648e-03,4.362330e-03,4.329654e-03,4.284759e-03,4.208015e-03,4.177566e-03,4.132170e-03,4.057285e-03,4.029092e-03,3.983415e-03,3.910606e-03,3.884663e-03,3.838900e-03,3.768329e-03,3.744599e-03,3.698924e-03,3.630707e-03,3.609132e-03,3.563698e-03,3.497912e-03,3.478416e-03,3.433360e-03,3.370050e-03,3.352546e-03,3.307987e-03,3.247172e-03,3.231565e-03,3.187606e-03,3.129285e-03,3.115473e-03,3.072205e-03,3.016358e-03,3.004237e-03,2.961737e-03,2.908331e-03,2.897795e-03,2.856131e-03,2.805122e-03,2.796066e-03,2.755292e-03,2.706628e-03,2.698948e-03,2.659113e-03,2.612732e-03,2.606329e-03,2.567470e-03,2.523309e-03,2.518082e-03,2.480232e-03,2.438222e-03,2.434079e-03,2.397260e-03,2.357330e-03,2.354180e-03,2.318413e-03,2.280490e-03,2.278246e-03,2.243544e-03,2.207556e-03,2.206136e-03,2.172507e-03,2.138379e-03,2.137706e-03,2.105155e-03,2.072815e-03,2.011322e-03,1.953089e-03,1.897980e-03,1.845863e-03,1.796606e-03,1.750086e-03,1.706180e-03,1.664771e-03,1.625743e-03,1.588987e-03,1.554397e-03,1.521871e-03,1.491311e-03,1.462622e-03,1.435715e-03,1.410501e-03,1.386899e-03,1.364829e-03,1.344213e-03,1.324979e-03,1.307057e-03,1.290381e-03,1.274885e-03,1.260510e-03,1.247196e-03,1.234888e-03,1.223532e-03,1.213077e-03,1.203475e-03,1.194680e-03,1.186645e-03,1.179331e-03,1.172695e-03,1.166701e-03,1.161309e-03,1.156487e-03,1.152199e-03,1.148415e-03,1.145103e-03,1.142236e-03,1.139785e-03,1.137723e-03,1.136027e-03,1.134672e-03,1.133635e-03,1.132895e-03,1.132432e-03,1.132225e-03,1.132257e-03
0.000000e+00,1.785760e-09,3.093074e-08,3.241756e-08,2.245473e-07,7.838231e-07,8.169849e-07,1.829059e-06,2.905037e-06,2.973451e-06,4.082364e-06,5.037266e-06,5.117126e-06,6.072712e-06,6.866949e-06,6.951478e-06,7.757403e-06,8.409708e-06,8.494697e-06,9.167449e-06,9.697382e-06,9.779570e-06,1.033479e-05,1.075980e-05,1.083666e-05,1.128857e-05,1.162413e-05,1.169376e-05,1.205531e-05,1.231511e-05,1.237616e-05,1.265910e-05,1.285516e-05,1.290674e-05,1.312152e-05,1.326422e-05,1.330578e-05,1.346176e-05,1.356023e-05,1.359157e-05,1.369713e-05,1.375916e-05,1.378029e-05,1.384273e-05,1.387497e-05,1.388605e-05,1.391175e-05,1.391988e-05,1.392123e-05,1.391577e-05,1.390459e-05,1.389661e-05,1.386487e-05,1.383845e-05,1.382162e-05,1.376783e-05,1.372961e-05,1.370445e-05,1.363231e-05,1.358517e-05,1.355223e-05,1.346494e-05,1.341129e-05,1.337114e-05,1.327147e-05,1.321332e-05,1.316654e-05,1.305689e-05,1.299591e-05,1.294305e-05,1.282550e-05,1.276306e-05,1.270468e-05,1.258101e-05,1.251823e-05,1.245487e-05,1.232661e-05,1.226440e-05,1.219657e-05,1.206505e-05,1.200413e-05,1.193233e-05,1.179867e-05,1.173963e-05,1.166431e-05,1.152948e-05,1.147275e-05,1.139437e-05,1.125917e-05,1.120511e-05,1.112407e-05,1.098920e-05,1.093805e-05,1.085473e-05,1.072078e-05,1.067271e-05,1.058748e-05,1.045493e-05,1.041005e-05,1.032323e-05,1.019249e-05,1.015087e-05,1.006278e-05,9.934170e-06,9.895814e-06,9.806738e-06,9.680540e-06,9.645433e-06,9.555631e-06,9.432060e-06,9.400157e-06,9.309870e-06,9.189097e-06,9.160326e-06,9.069775e-06,8.951933e-06,8.926209e-06,8.835594e-06,8.720780e-06,8.698002e-06,8.607507e-06,8.495790e-06,8.475847e-06,8.385639e-06,8.277062e-06,8.259836e-06,8.170065e-06,8.064651e-06,8.050019e-06,7.960821e-06,7.858574e-06,7.846410e-06,7.757907e-06,7.658816e-06,7.648994e-06,7.561296e-06,7.465337e-06,7.457728e-06,7.370933e-06,7.278072e-06,7.272550e-06,7.186745e-06,7.096939e-06,7.093378e-06,7.008641e-06,6.921839e-06,6.920118e-06,6.836517e-06,6.752661e-06,6.590892e-06,6.434684e-06,6.283908e-06,6.138427e-06,5.998104e-06,5.862798e-06,5.732368e-06,5.606671e-06,5.485568e-06,5.368917e-06,5.256580e-06,5.148420e-06,5.044301e-06,4.944092e-06,4.847662e-06,4.754883e-06,4.665633e-06,4.579790e-06,4.497236e-06,4.417857e-06,4.341541e-06,4.268179e-06,4.197667e-06,4.129903e-06,4.064787e-06,4.002224e-06,3.942121e-06,3.884390e-06,3.828942e-06,3.775694e-06,3.724565e-06,3.675476e-06,3.628353e-06,3.583121e-06,3.539710e-06,3.498052e-06,3.458082e-06,3.419735e-06,3.382951e-06,3.347670e-06,3.313836e-06,3.281393e-06,3.250289e-06,3.220473e-06,3.191895e-06,3.164508e-06,3.138265e-06,3.113124e-06,3.089041e-06
0.000000e+00,1.738331e-08,4.793275e-07,5.048893e-07,4.457784e-06,1.978500e-05,2.083165e-05,5.984134e-05,1.153491e-04,1.192748e-04,1.872324e-04,2.495930e-04,2.548847e-04,3.185807e-04,3.716650e-04,3.773090e-04,4.309982e-04,4.742385e-04,4.798551e-04,5.241566e-04,5.588324e-04,5.641910e-04,6.002408e-04,6.276424e-04,6.325776e-04,6.614603e-04,6.827391e-04,6.871341e-04,7.098302e-04,7.259899e-04,7.297663e-04,7.471466e-04,7.590526e-04,7.621625e-04,7.749930e-04,7.833860e-04,7.858055e-04,7.947562e-04,8.002672e-04,8.019909e-04,8.076458e-04,8.108106e-04,8.118476e-04,8.147145e-04,8.159862e-04,8.163564e-04,8.168757e-04,8.166366e-04,8.163679e-04,8.149214e-04,8.134930e-04,8.126189e-04,8.095370e-04,8.071885e-04,8.057466e-04,8.013141e-04,7.982706e-04,7.963009e-04,7.907640e-04,7.872126e-04,7.847562e-04,7.783264e-04,7.744219e-04,7.715203e-04,7.643797e-04,7.602495e-04,7.569436e-04,7.492482e-04,7.449967e-04,7.413267e-04,7.332100e-04,7.289216e-04,7.249263e-04,7.165019e-04,7.122446e-04,7.079611e-04,6.993260e-04,6.951538e-04,6.906173e-04,6.818537e-04,6.778089e-04,6.730526e-04,6.642297e-04,6.603446e-04,6.553997e-04,6.465758e-04,6.428746e-04,6.377703e-04,6.289943e-04,6.254944e-04,6.202579e-04,6.115703e-04,6.082836e-04,6.029399e-04,5.943742e-04,5.913077e-04,5.858801e-04,5.774636e-04,5.746207e-04,5.691304e-04,5.608854e-04,5.582663e-04,5.527329e-04,5.446769e-04,5.422794e-04,5.367207e-04,5.288674e-04,5.266873e-04,5.211196e-04,5.134794e-04,5.115108e-04,5.059487e-04,4.985291e-04,4.967651e-04,4.912220e-04,4.840283e-04,4.824609e-04,4.769487e-04,4.699839e-04,4.686048e-04,4.631343e-04,4.563998e-04,4.551999e-04,4.497806e-04,4.432765e-04,4.422464e-04,4.368870e-04,4.306119e-04,4.297424e-04,4.244504e-04,4.184020e-04,4.176837e-04,4.124658e-04,4.066410e-04,4.060646e-04,4.009266e-04,3.953216e-04,3.948779e-04,3.898249e-04,3.844353e-04,3.841153e-04,3.791517e-04,3.739728e-04,3.737678e-04,3.688974e-04,3.639240e-04,3.638256e-04,3.590514e-04,3.542782e-04,3.451150e-04,3.363248e-04,3.278966e-04,3.198190e-04,3.120807e-04,3.046705e-04,2.975771e-04,2.907896e-04,2.842970e-04,2.780888e-04,2.721544e-04,2.664837e-04,2.610667e-04,2.558937e-04,2.509553e-04,2.462424e-04,2.417461e-04,2.374579e-04,2.333693e-04,2.294725e-04,2.257595e-04,2.222231e-04,2.188558e-04,2.156508e-04,2.126013e-04,2.097009e-04,2.069433e-04,2.043226e-04,2.018329e-04,1.994688e-04,1.972249e-04,1.950961e-04,1.930773e-04,1.911640e-04,1.893516e-04,1.876356e-04,1.860120e-04,1.844766e-04,1.830255e-04,1.816552e-04,1.803619e-04,1.791423e-04,1.779932e-04,1.769113e-04,1.758936e-04,1.749372e-04,1.740394e-04,1.731975e-04,1.724088e-04
0.000000e+00,4.041687e-06,1.628245e-04,1.725836e-04,2.000314e-03,1.139989e-02,1.213663e-02,4.717022e-02,1.249836e-01,1.319361e-01,2.902281e-01,5.151003e-01,5.385252e-01,8.854770e-01,1.284019e+00,1.333295e+00,1.879291e+00,2.436076e+00,2.517209e+00,3.238313e+00,3.917136e+00,4.032260e+00,4.887789e+00,5.645508e+00,5.793258e+00,6.737057e+00,7.531652e+00,7.707916e+00,8.695130e+00,9.489943e+00,9.688719e+00,1.067953e+01,1.144509e+01,1.165930e+01,1.262067e+01,1.333501e+01,1.355720e+01,1.446334e+01,1.511153e+01,1.533440e+01,1.616648e+01,1.673966e+01,1.695646e+01,1.770188e+01,1.819617e+01,1.840093e+01,1.905240e+01,1.946782e+01,1.965555e+01,2.021012e+01,2.054958e+01,2.071625e+01,2.117441e+01,2.144281e+01,2.158538e+01,2.195020e+01,2.215375e+01,2.227011e+01,2.254652e+01,2.269214e+01,2.278100e+01,2.297520e+01,2.307006e+01,2.313087e+01,2.324982e+01,2.330108e+01,2.333389e+01,2.338493e+01,2.339942e+01,2.340482e+01,2.339539e+01,2.337951e+01,2.335848e+01,2.329587e+01,2.325549e+01,2.320933e+01,2.310056e+01,2.304093e+01,2.297120e+01,2.282286e+01,2.274868e+01,2.265707e+01,2.247531e+01,2.239064e+01,2.227898e+01,2.206944e+01,2.197780e+01,2.184796e+01,2.161577e+01,2.152015e+01,2.137402e+01,2.112380e+01,2.102672e+01,2.086616e+01,2.060207e+01,2.050559e+01,2.033244e+01,2.005813e+01,1.996394e+01,1.977996e+01,1.949867e+01,1.940812e+01,1.921499e+01,1.892956e+01,1.884369e+01,1.864301e+01,1.835591e+01,1.827549e+01,1.806878e+01,1.778213e+01,1.770773e+01,1.749640e+01,1.721202e+01,1.714401e+01,1.692937e+01,1.664881e+01,1.658740e+01,1.637066e+01,1.609523e+01,1.604050e+01,1.582279e+01,1.555357e+01,1.550547e+01,1.528782e+01,1.502572e+01,1.498413e+01,1.476746e+01,1.451320e+01,1.447793e+01,1.426308e+01,1.401724e+01,1.398803e+01,1.377578e+01,1.353880e+01,1.351535e+01,1.330638e+01,1.307859e+01,1.306057e+01,1.285549e+01,1.263712e+01,1.262417e+01,1.242352e+01,1.221472e+01,1.220647e+01,1.201072e+01,1.181155e+01,1.180762e+01,1.161720e+01,1.142766e+01,1.106651e+01,1.072400e+01,1.039987e+01,1.009380e+01,9.805391e+00,9.534220e+00,9.279810e+00,9.041652e+00,8.819210e+00,8.611928e+00,8.419232e+00,8.240536e+00,8.075246e+00,7.922765e+00,7.782492e+00,7.653829e+00,7.536180e+00,7.428957e+00,7.331578e+00,7.243471e+00,7.164075e+00,7.092841e+00,7.029234e+00,6.972735e+00,6.922840e+00,6.879059e+00,6.840924e+00,6.807981e+00,6.779796e+00,6.755954e+00,6.736057e+00,6.719729e+00,6.706610e+00,6.696363e+00,6.688668e+00,6.683224e+00,6.679749e+00,6.677980e+00,6.677672e+00,6.678598e+00,6.680547e+00,6.683326e+00,6.686758e+00,6.690681e+00,6.694949e+00,6.699428e+00,6.704002e+00,6.708562e+00,6.713017e+00
0.000000e+00,1.104493e-08,2.242439e-07,2.352304e-07,1.791799e-06,7.412799e-06,7.791360e-06,2.196849e-05,4.251123e-05,4.396468e-05,6.871368e-05,9.044658e-05,9.224344e-05,1.132900e-04,1.300004e-04,1.317315e-04,1.477411e-04,1.600000e-04,1.615482e-04,1.733787e-04,1.821325e-04,1.834424e-04,1.919298e-04,1.979676e-04,1.990132e-04,2.048479e-04,2.087991e-04,2.095737e-04,2.133162e-04,2.156783e-04,2.161880e-04,2.182904e-04,2.194545e-04,2.197137e-04,2.205390e-04,2.208112e-04,2.208388e-04,2.206777e-04,2.202961e-04,2.201136e-04,2.191980e-04,2.183471e-04,2.179768e-04,2.164911e-04,2.153133e-04,2.147772e-04,2.128676e-04,2.114722e-04,2.107912e-04,2.085737e-04,2.070439e-04,2.062377e-04,2.038034e-04,2.022023e-04,2.012888e-04,1.987097e-04,1.970845e-04,1.960801e-04,1.934124e-04,1.917980e-04,1.907175e-04,1.880049e-04,1.864270e-04,1.852833e-04,1.825599e-04,1.810365e-04,1.798412e-04,1.771330e-04,1.756766e-04,1.744400e-04,1.717667e-04,1.703856e-04,1.691167e-04,1.664932e-04,1.651922e-04,1.638989e-04,1.613361e-04,1.601177e-04,1.588067e-04,1.563124e-04,1.551772e-04,1.538546e-04,1.514342e-04,1.503814e-04,1.490523e-04,1.467093e-04,1.457371e-04,1.444060e-04,1.421425e-04,1.412483e-04,1.399191e-04,1.377360e-04,1.369169e-04,1.355930e-04,1.334901e-04,1.327428e-04,1.314271e-04,1.294037e-04,1.287247e-04,1.274197e-04,1.254747e-04,1.248604e-04,1.235682e-04,1.216999e-04,1.211468e-04,1.198693e-04,1.180758e-04,1.175803e-04,1.163190e-04,1.145983e-04,1.141567e-04,1.129131e-04,1.112629e-04,1.108720e-04,1.096472e-04,1.080652e-04,1.077217e-04,1.065165e-04,1.050005e-04,1.047011e-04,1.035165e-04,1.020640e-04,1.018058e-04,1.006424e-04,9.925106e-05,9.903123e-05,9.788949e-05,9.655709e-05,9.637284e-05,9.525327e-05,9.397748e-05,9.382625e-05,9.272917e-05,9.150778e-05,9.138710e-05,9.031278e-05,8.914363e-05,8.905119e-05,8.799980e-05,8.688078e-05,8.681442e-05,8.578606e-05,8.471515e-05,8.467280e-05,8.366754e-05,8.264276e-05,8.262249e-05,8.164033e-05,8.065979e-05,7.878110e-05,7.698298e-05,7.526212e-05,7.361530e-05,7.203948e-05,7.053169e-05,6.908911e-05,6.770902e-05,6.638881e-05,6.512598e-05,6.391813e-05,6.276296e-05,6.165827e-05,6.060193e-05,5.959192e-05,5.862629e-05,5.770317e-05,5.682079e-05,5.597743e-05,5.517144e-05,5.440125e-05,5.366536e-05,5.296231e-05,5.229073e-05,5.164929e-05,5.103671e-05,5.045177e-05,4.989330e-05,4.936019e-05,4.885136e-05,4.836578e-05,4.790246e-05,4.746047e-05,4.703889e-05,4.663685e-05,4.625353e-05,4.588812e-05,4.553987e-05,4.520803e-05,4.489191e-05,4.459084e-05,4.430417e-05,4.403128e-05,4.377158e-05,4.352451e-05,4.328951e-05,4.306608e-05,4.285370e-05,4.265190e-05
0.000000e+00,1.574585e-08,7.003339e-07,7.425370e-07,7.736234e-06,3.403326e-05,3.577109e-05,9.780144e-05,1.821955e-04,1.880943e-04,2.890469e-04,3.785574e-04,3.859367e-04,4.710287e-04,5.353747e-04,5.418027e-04,5.985441e-04,6.380339e-04,6.427338e-04,6.761955e-04,6.977542e-04,7.007091e-04,7.178625e-04,7.275841e-04,7.290145e-04,7.353039e-04,7.374998e-04,7.376739e-04,7.369005e-04,7.344497e-04,7.336192e-04,7.283494e-04,7.231336e-04,7.215141e-04,7.134580e-04,7.066929e-04,7.044606e-04,6.947485e-04,6.872107e-04,6.845051e-04,6.738789e-04,6.660596e-04,6.629904e-04,6.519369e-04,6.441438e-04,6.407965e-04,6.296319e-04,6.220522e-04,6.184933e-04,6.074206e-04,6.001643e-04,5.964452e-04,5.855918e-04,5.787190e-04,5.748803e-04,5.643267e-04,5.578678e-04,5.539422e-04,5.437353e-04,5.376989e-04,5.337120e-04,5.238769e-04,5.182599e-04,5.142327e-04,5.047806e-04,4.995714e-04,4.955207e-04,4.864524e-04,4.816349e-04,4.775749e-04,4.688865e-04,4.644426e-04,4.603852e-04,4.520688e-04,4.479791e-04,4.439346e-04,4.359798e-04,4.322245e-04,4.282018e-04,4.205975e-04,4.171570e-04,4.131638e-04,4.058976e-04,4.027528e-04,3.987958e-04,3.918551e-04,3.889873e-04,3.850723e-04,3.784443e-04,3.758357e-04,3.719680e-04,3.656401e-04,3.632739e-04,3.594577e-04,3.534177e-04,3.512776e-04,3.475171e-04,3.417528e-04,3.398235e-04,3.361219e-04,3.306217e-04,3.288887e-04,3.252492e-04,3.200016e-04,3.184513e-04,3.148762e-04,3.098704e-04,3.084898e-04,3.049814e-04,3.002068e-04,2.989838e-04,2.955439e-04,2.909902e-04,2.899134e-04,2.865435e-04,2.822011e-04,2.812596e-04,2.779609e-04,2.738204e-04,2.730041e-04,2.697776e-04,2.658301e-04,2.651295e-04,2.619758e-04,2.582126e-04,2.576188e-04,2.545384e-04,2.509512e-04,2.504559e-04,2.474491e-04,2.440301e-04,2.436253e-04,2.406923e-04,2.374338e-04,2.371122e-04,2.342528e-04,2.311477e-04,2.309025e-04,2.281165e-04,2.251577e-04,2.249824e-04,2.222695e-04,2.194504e-04,2.193391e-04,2.166987e-04,2.140130e-04,2.139599e-04,2.113916e-04,2.088332e-04,2.039473e-04,1.992915e-04,1.948553e-04,1.906288e-04,1.866023e-04,1.827669e-04,1.791138e-04,1.756347e-04,1.723217e-04,1.691671e-04,1.661637e-04,1.633046e-04,1.605832e-04,1.579931e-04,1.555282e-04,1.531829e-04,1.509517e-04,1.488292e-04,1.468104e-04,1.448906e-04,1.430652e-04,1.413297e-04,1.396801e-04,1.381123e-04,1.366226e-04,1.352072e-04,1.338628e-04,1.325861e-04,1.313738e-04,1.302229e-04,1.291306e-04,1.280942e-04,1.271110e-04,1.261784e-04,1.252942e-04,1.244560e-04,1.236617e-04,1.229092e-04,1.221964e-04,1.215216e-04,1.208829e-04,1.202785e-04,1.197070e-04,1.191665e-04,1.186558e-04,1.181733e-04,1.177176e-04,1.172876e-04,1.168819e-04
0.000000e+00,7.488100e-09,1.480251e-07,1.554509e-07,1.162901e-06,4.214740e-06,4.397305e-06,9.980793e-06,1.589846e-05,1.627394e-05,2.235365e-05,2.758699e-05,2.802481e-05,3.326683e-05,3.762932e-05,3.809395e-05,4.252736e-05,4.612063e-05,4.658915e-05,5.030091e-05,5.322897e-05,5.368347e-05,5.675684e-05,5.911360e-05,5.954021e-05,6.205186e-05,6.392092e-05,6.430924e-05,6.632893e-05,6.778414e-05,6.812666e-05,6.971726e-05,7.082321e-05,7.111480e-05,7.233257e-05,7.314558e-05,7.338309e-05,7.427804e-05,7.484663e-05,7.502840e-05,7.564443e-05,7.601026e-05,7.613583e-05,7.651171e-05,7.671069e-05,7.678062e-05,7.695078e-05,7.701412e-05,7.703001e-05,7.702529e-05,7.697944e-05,7.694327e-05,7.679010e-05,7.665743e-05,7.657158e-05,7.629312e-05,7.609260e-05,7.595977e-05,7.557625e-05,7.532391e-05,7.514698e-05,7.467606e-05,7.438538e-05,7.416736e-05,7.362447e-05,7.330677e-05,7.305074e-05,7.244932e-05,7.211406e-05,7.182310e-05,7.117481e-05,7.082982e-05,7.050698e-05,6.982194e-05,6.947367e-05,6.912190e-05,6.840890e-05,6.806261e-05,6.768481e-05,6.695140e-05,6.661136e-05,6.621030e-05,6.546302e-05,6.513262e-05,6.471095e-05,6.395539e-05,6.363730e-05,6.319753e-05,6.243848e-05,6.213476e-05,6.167926e-05,6.092081e-05,6.063298e-05,6.016399e-05,5.940960e-05,5.913876e-05,5.865838e-05,5.791097e-05,5.765784e-05,5.716801e-05,5.643005e-05,5.619504e-05,5.569759e-05,5.497109e-05,5.475437e-05,5.425098e-05,5.353764e-05,5.333916e-05,5.283139e-05,5.213256e-05,5.195211e-05,5.144141e-05,5.075817e-05,5.059540e-05,5.008308e-05,4.941630e-05,4.927075e-05,4.875801e-05,4.810835e-05,4.797946e-05,4.746743e-05,4.683534e-05,4.672251e-05,4.621218e-05,4.559800e-05,4.550057e-05,4.499286e-05,4.439678e-05,4.431406e-05,4.380979e-05,4.323189e-05,4.316315e-05,4.266308e-05,4.210334e-05,4.204787e-05,4.155266e-05,4.101099e-05,4.096804e-05,4.047830e-05,3.995454e-05,3.992340e-05,3.943965e-05,3.893358e-05,3.891352e-05,3.843625e-05,3.794759e-05,3.793790e-05,3.746753e-05,3.699598e-05,3.608710e-05,3.521058e-05,3.436567e-05,3.355162e-05,3.276762e-05,3.201287e-05,3.128655e-05,3.058785e-05,2.991593e-05,2.926997e-05,2.864917e-05,2.805271e-05,2.747980e-05,2.692965e-05,2.640151e-05,2.589461e-05,2.540822e-05,2.494163e-05,2.449413e-05,2.406504e-05,2.365370e-05,2.325946e-05,2.288170e-05,2.251981e-05,2.217321e-05,2.184133e-05,2.152360e-05,2.121951e-05,2.092852e-05,2.065016e-05,2.038392e-05,2.012936e-05,1.988601e-05,1.965345e-05,1.943126e-05,1.921902e-05,1.901637e-05,1.882291e-05,1.863828e-05,1.846215e-05,1.829417e-05,1.813401e-05,1.798138e-05,1.783596e-05,1.769746e-05,1.756562e-05,1.744015e-05,1.732081e-05,1.720734e-05
0.000000e+00,1.525617e-08,2.548428e-07,2.666293e-07,1.680464e-06,5.458345e-06,5.678568e-06,1.256815e-05,2.039296e-05,2.090349e-05,2.931125e-05,3.670457e-05,3.732856e-05,4.486383e-05,5.122858e-05,5.191179e-05,5.848643e-05,6.389536e-05,6.460640e-05,7.029156e-05,7.484824e-05,7.556185e-05,8.043703e-05,8.424106e-05,8.493651e-05,8.907912e-05,9.222261e-05,9.288314e-05,9.636619e-05,9.893297e-05,9.954526e-05,1.024365e-04,1.045018e-04,1.050553e-04,1.074164e-04,1.090473e-04,1.095340e-04,1.114219e-04,1.126788e-04,1.130933e-04,1.145607e-04,1.154975e-04,1.158359e-04,1.169301e-04,1.175940e-04,1.178539e-04,1.186177e-04,1.190506e-04,1.192311e-04,1.197033e-04,1.199418e-04,1.200430e-04,1.202586e-04,1.203352e-04,1.203580e-04,1.203488e-04,1.202916e-04,1.202380e-04,1.200324e-04,1.198663e-04,1.197385e-04,1.193624e-04,1.191088e-04,1.189098e-04,1.183862e-04,1.180639e-04,1.177968e-04,1.171466e-04,1.167719e-04,1.164402e-04,1.156821e-04,1.152688e-04,1.148764e-04,1.140270e-04,1.135871e-04,1.131377e-04,1.122121e-04,1.117558e-04,1.112534e-04,1.102649e-04,1.098010e-04,1.092495e-04,1.082100e-04,1.077457e-04,1.071491e-04,1.060693e-04,1.056107e-04,1.049729e-04,1.038621e-04,1.034143e-04,1.027391e-04,1.016058e-04,1.011728e-04,1.004640e-04,9.931548e-05,9.890068e-05,9.816186e-05,9.700466e-05,9.661065e-05,9.584531e-05,9.468514e-05,9.431392e-05,9.352541e-05,9.236728e-05,9.202032e-05,9.121185e-05,9.006012e-05,8.973844e-05,8.891306e-05,8.777153e-05,8.747574e-05,8.663635e-05,8.550828e-05,8.523868e-05,8.438802e-05,8.327622e-05,8.303282e-05,8.217347e-05,8.108033e-05,8.086290e-05,7.999729e-05,7.892481e-05,7.873292e-05,7.786332e-05,7.681320e-05,7.664625e-05,7.577478e-05,7.474839e-05,7.460567e-05,7.373430e-05,7.273275e-05,7.261342e-05,7.174398e-05,7.076816e-05,7.067130e-05,6.980548e-05,6.885607e-05,6.878069e-05,6.792004e-05,6.699752e-05,6.694260e-05,6.608856e-05,6.519324e-05,6.515771e-05,6.431159e-05,6.344365e-05,6.342643e-05,6.258942e-05,6.174891e-05,6.012508e-05,5.855467e-05,5.703724e-05,5.557223e-05,5.415893e-05,5.279653e-05,5.148414e-05,5.022078e-05,4.900540e-05,4.783691e-05,4.671418e-05,4.563604e-05,4.460132e-05,4.360882e-05,4.265732e-05,4.174562e-05,4.087249e-05,4.003673e-05,3.923714e-05,3.847252e-05,3.774171e-05,3.704354e-05,3.637690e-05,3.574065e-05,3.513371e-05,3.455502e-05,3.400352e-05,3.347820e-05,3.297807e-05,3.250216e-05,3.204953e-05,3.161927e-05,3.121050e-05,3.082236e-05,3.045401e-05,3.010465e-05,2.977349e-05,2.945979e-05,2.916281e-05,2.888185e-05,2.861622e-05,2.836528e-05,2.812837e-05,2.790490e-05,2.769427e-05,2.749591e-05,2.730928e-05,2.713385e-05,2.696910e-05
0.000000e+00,1.033317e-08,5.116603e-07,5.448902e-07,7.532890e-06,4.395528e-05,4.669324e-05,1.615104e-04,3.635135e-04,3.796305e-04,7.016825e-04,1.075916e-03,1.111385e-03,1.585330e-03,2.046500e-03,2.098989e-03,2.629910e-03,3.096267e-03,3.159155e-03,3.671716e-03,4.090526e-03,4.156373e-03,4.605284e-03,4.951024e-03,5.013461e-03,5.378238e-03,5.644331e-03,5.698770e-03,5.975594e-03,6.166598e-03,6.210259e-03,6.405014e-03,6.530946e-03,6.562563e-03,6.685873e-03,6.758581e-03,6.778020e-03,6.842081e-03,6.873173e-03,6.881055e-03,6.897800e-03,6.897608e-03,6.895003e-03,6.875154e-03,6.852345e-03,6.840536e-03,6.793226e-03,6.754769e-03,6.735095e-03,6.667817e-03,6.619134e-03,6.592882e-03,6.511609e-03,6.456809e-03,6.425157e-03,6.334542e-03,6.276663e-03,6.240650e-03,6.144248e-03,6.085484e-03,6.046003e-03,5.946485e-03,5.888378e-03,5.846185e-03,5.745521e-03,5.689126e-03,5.644851e-03,5.544475e-03,5.490486e-03,5.444649e-03,5.345586e-03,5.294436e-03,5.247466e-03,5.150435e-03,5.102368e-03,5.054617e-03,4.960110e-03,4.915238e-03,4.866997e-03,4.775340e-03,4.733682e-03,4.685192e-03,4.596593e-03,4.558107e-03,4.509571e-03,4.424147e-03,4.388750e-03,4.340337e-03,4.258149e-03,4.225728e-03,4.177585e-03,4.098644e-03,4.069072e-03,4.021323e-03,3.945614e-03,3.918752e-03,3.871507e-03,3.798990e-03,3.774694e-03,3.728048e-03,3.658668e-03,3.636793e-03,3.590831e-03,3.524521e-03,3.504922e-03,3.459718e-03,3.396404e-03,3.378940e-03,3.334559e-03,3.274162e-03,3.258694e-03,3.215193e-03,3.157630e-03,3.144022e-03,3.101452e-03,3.046637e-03,3.034758e-03,2.993163e-03,2.941009e-03,2.930735e-03,2.890153e-03,2.840572e-03,2.831781e-03,2.792244e-03,2.745148e-03,2.737725e-03,2.699260e-03,2.654561e-03,2.648396e-03,2.611026e-03,2.568636e-03,2.563625e-03,2.527368e-03,2.487200e-03,2.483243e-03,2.448112e-03,2.410082e-03,2.407085e-03,2.373090e-03,2.337114e-03,2.334987e-03,2.302134e-03,2.268130e-03,2.266790e-03,2.235081e-03,2.202968e-03,2.202335e-03,2.171771e-03,2.141471e-03,2.084047e-03,2.029919e-03,1.978944e-03,1.930984e-03,1.885907e-03,1.843584e-03,1.803888e-03,1.766700e-03,1.731902e-03,1.699381e-03,1.669029e-03,1.640740e-03,1.614413e-03,1.589950e-03,1.567258e-03,1.546245e-03,1.526826e-03,1.508915e-03,1.492434e-03,1.477303e-03,1.463448e-03,1.450799e-03,1.439287e-03,1.428845e-03,1.419411e-03,1.410925e-03,1.403327e-03,1.396562e-03,1.390578e-03,1.385323e-03,1.380748e-03,1.376807e-03,1.373456e-03,1.370652e-03,1.368355e-03,1.366526e-03,1.365128e-03,1.364127e-03,1.363489e-03,1.363183e-03,1.363179e-03,1.363450e-03,1.363967e-03,1.364707e-03,1.365644e-03,1.366758e-03,1.368027e-03,1.369430e-03,1.370950e-03
0.000000e+00,6.037206e-09,1.614668e-07,1.698325e-07,1.424590e-06,6.523033e-06,6.890033e-06,2.239011e-05,5.098965e-05,5.331445e-05,9.965964e-05,1.510737e-04,1.557550e-04,2.150833e-04,2.676877e-04,2.734039e-04,3.286987e-04,3.742530e-04,3.802300e-04,4.278486e-04,4.657351e-04,4.716420e-04,5.117832e-04,5.428247e-04,5.484711e-04,5.819080e-04,6.070392e-04,6.122915e-04,6.398118e-04,6.598885e-04,6.646500e-04,6.869783e-04,7.027571e-04,7.069595e-04,7.247477e-04,7.368896e-04,7.404880e-04,7.543173e-04,7.633968e-04,7.663646e-04,7.767518e-04,7.832670e-04,7.855931e-04,7.929958e-04,7.973759e-04,7.990606e-04,8.038814e-04,8.064945e-04,8.075469e-04,8.101407e-04,8.113038e-04,8.117413e-04,8.124228e-04,8.124088e-04,8.122546e-04,8.113029e-04,8.103472e-04,8.096308e-04,8.072976e-04,8.056029e-04,8.043573e-04,8.008605e-04,7.985960e-04,7.968541e-04,7.923821e-04,7.896899e-04,7.874857e-04,7.822033e-04,7.792029e-04,7.765706e-04,7.706212e-04,7.674129e-04,7.643865e-04,7.578958e-04,7.545630e-04,7.511764e-04,7.442540e-04,7.408661e-04,7.371522e-04,7.298930e-04,7.265067e-04,7.224971e-04,7.149837e-04,7.116452e-04,7.073707e-04,6.996746e-04,6.964212e-04,6.919109e-04,6.840941e-04,6.809554e-04,6.762373e-04,6.683529e-04,6.653520e-04,6.604523e-04,6.525459e-04,6.497001e-04,6.446436e-04,6.367542e-04,6.340762e-04,6.288860e-04,6.210466e-04,6.185453e-04,6.132431e-04,6.054819e-04,6.031626e-04,5.977688e-04,5.901092e-04,5.879748e-04,5.825080e-04,5.749697e-04,5.730205e-04,5.674982e-04,5.600973e-04,5.583319e-04,5.527701e-04,5.455197e-04,5.439352e-04,5.383487e-04,5.312595e-04,5.298516e-04,5.242540e-04,5.173341e-04,5.160977e-04,5.105014e-04,5.037571e-04,5.026863e-04,4.971026e-04,4.905386e-04,4.896269e-04,4.840660e-04,4.776854e-04,4.769259e-04,4.713972e-04,4.652018e-04,4.645873e-04,4.590993e-04,4.530898e-04,4.526130e-04,4.471732e-04,4.413494e-04,4.410029e-04,4.356181e-04,4.299791e-04,4.297554e-04,4.244318e-04,4.189758e-04,4.188676e-04,4.136105e-04,4.083353e-04,3.981535e-04,3.883164e-04,3.788174e-04,3.696496e-04,3.608055e-04,3.522774e-04,3.440573e-04,3.361370e-04,3.285082e-04,3.211626e-04,3.140918e-04,3.072874e-04,3.007413e-04,2.944451e-04,2.883908e-04,2.825704e-04,2.769761e-04,2.716003e-04,2.664353e-04,2.614740e-04,2.567091e-04,2.521338e-04,2.477411e-04,2.435246e-04,2.394778e-04,2.355945e-04,2.318687e-04,2.282947e-04,2.248667e-04,2.215793e-04,2.184272e-04,2.154053e-04,2.125088e-04,2.097328e-04,2.070727e-04,2.045241e-04,2.020828e-04,1.997445e-04,1.975054e-04,1.953616e-04,1.933094e-04,1.913453e-04,1.894657e-04,1.876674e-04,1.859473e-04,1.843023e-04,1.827293e-04,1.812256e-04,1.797885e-04
0.000000e+00,1.509652e-09,1.692293e-08,1.760920e-08,9.648018e-08,3.212517e-07,3.351761e-07,8.149746e-07,1.450710e-06,1.494717e-06,2.244881e-06,2.924571e-06,2.982259e-06,3.679910e-06,4.268614e-06,4.331701e-06,4.937314e-06,5.433075e-06,5.498051e-06,6.015688e-06,6.427851e-06,6.492150e-06,6.929396e-06,7.267815e-06,7.329390e-06,7.694052e-06,7.968033e-06,8.025265e-06,8.324853e-06,8.542944e-06,8.594584e-06,8.836157e-06,9.006091e-06,9.051207e-06,9.241290e-06,9.369974e-06,9.407900e-06,9.552487e-06,9.646106e-06,9.676414e-06,9.780986e-06,9.844982e-06,9.867427e-06,9.936910e-06,9.976058e-06,9.990550e-06,1.002940e-05,1.004789e-05,1.005447e-05,1.006670e-05,1.006818e-05,1.006700e-05,1.005622e-05,1.004388e-05,1.003516e-05,1.000460e-05,9.981189e-06,9.965243e-06,9.917784e-06,9.885688e-06,9.862865e-06,9.801094e-06,9.762356e-06,9.733047e-06,9.659266e-06,9.615635e-06,9.580261e-06,9.496515e-06,9.449482e-06,9.408481e-06,9.316587e-06,9.267411e-06,9.221234e-06,9.122800e-06,9.072540e-06,9.021640e-06,8.918087e-06,8.867624e-06,8.812453e-06,8.705032e-06,8.655094e-06,8.596098e-06,8.485907e-06,8.437088e-06,8.374702e-06,8.262704e-06,8.215481e-06,8.150126e-06,8.037161e-06,7.991908e-06,7.923991e-06,7.810787e-06,7.767793e-06,7.697705e-06,7.584891e-06,7.544369e-06,7.472479e-06,7.360596e-06,7.322697e-06,7.249356e-06,7.138866e-06,7.103684e-06,7.029224e-06,6.920518e-06,6.888102e-06,6.812832e-06,6.706239e-06,6.676599e-06,6.600809e-06,6.496603e-06,6.469717e-06,6.393677e-06,6.292080e-06,6.267900e-06,6.191858e-06,6.093050e-06,6.071506e-06,5.995692e-06,5.899814e-06,5.880819e-06,5.805443e-06,5.712602e-06,5.696055e-06,5.621309e-06,5.531581e-06,5.517371e-06,5.443431e-06,5.356866e-06,5.344874e-06,5.271896e-06,5.188523e-06,5.178626e-06,5.106750e-06,5.026577e-06,5.018648e-06,4.948001e-06,4.871018e-06,4.864928e-06,4.795621e-06,4.721804e-06,4.717425e-06,4.649556e-06,4.578868e-06,4.576073e-06,4.509727e-06,4.442120e-06,4.440783e-06,4.376033e-06,4.311451e-06,4.187955e-06,4.070162e-06,3.957928e-06,3.851102e-06,3.749526e-06,3.653038e-06,3.561473e-06,3.474661e-06,3.392436e-06,3.314628e-06,3.241070e-06,3.171595e-06,3.106041e-06,3.044244e-06,2.986047e-06,2.931295e-06,2.879837e-06,2.831524e-06,2.786214e-06,2.743767e-06,2.704048e-06,2.666928e-06,2.632279e-06,2.599979e-06,2.569913e-06,2.541966e-06,2.516030e-06,2.492001e-06,2.469778e-06,2.449266e-06,2.430371e-06,2.413007e-06,2.397089e-06,2.382535e-06,2.369269e-06,2.357217e-06,2.346308e-06,2.336477e-06,2.327658e-06,2.319792e-06,2.312820e-06,2.306686e-06,2.301340e-06,2.296730e-06,2.292809e-06,2.289533e-06,2.286859e-06,2.284746e-06,2.283156e-06
0.000000e+00,1.146292e-08,1.251734e-07,1.301296e-07,6.964694e-07,2.367744e-06,2.474193e-06,6.324924e-06,1.191966e-05,1.232508e-05,1.949878e-05,2.627849e-05,2.686149e-05,3.397893e-05,4.006502e-05,4.072117e-05,4.705888e-05,5.230198e-05,5.299309e-05,5.853430e-05,6.299575e-05,6.369611e-05,6.849332e-05,7.225233e-05,7.294113e-05,7.705484e-05,8.018941e-05,8.084961e-05,8.434050e-05,8.692418e-05,8.754203e-05,9.046844e-05,9.256892e-05,9.313350e-05,9.555056e-05,9.722959e-05,9.773247e-05,9.969158e-05,1.010049e-04,1.014398e-04,1.029885e-04,1.039862e-04,1.043486e-04,1.055306e-04,1.062574e-04,1.065445e-04,1.074000e-04,1.078958e-04,1.081060e-04,1.086714e-04,1.089716e-04,1.091046e-04,1.094134e-04,1.095494e-04,1.096056e-04,1.096883e-04,1.096877e-04,1.096685e-04,1.095528e-04,1.094399e-04,1.093474e-04,1.090583e-04,1.088545e-04,1.086912e-04,1.082515e-04,1.079755e-04,1.077443e-04,1.071746e-04,1.068426e-04,1.065470e-04,1.058659e-04,1.054920e-04,1.051355e-04,1.043598e-04,1.039561e-04,1.035425e-04,1.026873e-04,1.022643e-04,1.017975e-04,1.008764e-04,1.004430e-04,9.992693e-05,9.895209e-05,9.851582e-05,9.795457e-05,9.693695e-05,9.650415e-05,9.590167e-05,9.485102e-05,9.442695e-05,9.378719e-05,9.271221e-05,9.230121e-05,9.162803e-05,9.053646e-05,9.014202e-05,8.943922e-05,8.833791e-05,8.796282e-05,8.723406e-05,8.612907e-05,8.577545e-05,8.502428e-05,8.392094e-05,8.359039e-05,8.282021e-05,8.172319e-05,8.141683e-05,8.063089e-05,7.954427e-05,7.926279e-05,7.846421e-05,7.739152e-05,7.713526e-05,7.632697e-05,7.527127e-05,7.504027e-05,7.422507e-05,7.318896e-05,7.298300e-05,7.216351e-05,7.114921e-05,7.096786e-05,7.014653e-05,6.915590e-05,6.899854e-05,6.817769e-05,6.721226e-05,6.707814e-05,6.625992e-05,6.532094e-05,6.520917e-05,6.439557e-05,6.348403e-05,6.339364e-05,6.258650e-05,6.170315e-05,6.163310e-05,6.083413e-05,5.997953e-05,5.992872e-05,5.913946e-05,5.831399e-05,5.828128e-05,5.750317e-05,5.670703e-05,5.669126e-05,5.592559e-05,5.515885e-05,5.368400e-05,5.226643e-05,5.090567e-05,4.960108e-05,4.835188e-05,4.715717e-05,4.601593e-05,4.492704e-05,4.388935e-05,4.290159e-05,4.196248e-05,4.107068e-05,4.022483e-05,3.942354e-05,3.866542e-05,3.794905e-05,3.727303e-05,3.663594e-05,3.603640e-05,3.547301e-05,3.494440e-05,3.444923e-05,3.398616e-05,3.355389e-05,3.315112e-05,3.277662e-05,3.242915e-05,3.210751e-05,3.181054e-05,3.153709e-05,3.128608e-05,3.105641e-05,3.084705e-05,3.065699e-05,3.048525e-05,3.033089e-05,3.019298e-05,3.007065e-05,2.996305e-05,2.986934e-05,2.978873e-05,2.972047e-05,2.966381e-05,2.961805e-05,2.958252e-05,2.955655e-05,2.953953e-05,2.953086e-05,2.952996e-05
0.000000e+00,1.841311e-08,5.506913e-07,5.809271e-07,5.042736e-06,1.972700e-05,2.064246e-05,5.074028e-05,8.625528e-05,8.857905e-05,1.265542e-04,1.591845e-04,1.618986e-04,1.941433e-04,2.205798e-04,2.233721e-04,2.497722e-04,2.708230e-04,2.735432e-04,2.948784e-04,3.114177e-04,3.139600e-04,3.309572e-04,3.437392e-04,3.460271e-04,3.593191e-04,3.689902e-04,3.709730e-04,3.811192e-04,3.882323e-04,3.898788e-04,3.973639e-04,4.023850e-04,4.036789e-04,4.089204e-04,4.122412e-04,4.131778e-04,4.165338e-04,4.184822e-04,4.190650e-04,4.208424e-04,4.216922e-04,4.219313e-04,4.223924e-04,4.223717e-04,4.222816e-04,4.216507e-04,4.209492e-04,4.205475e-04,4.190160e-04,4.177905e-04,4.170969e-04,4.148279e-04,4.132082e-04,4.122436e-04,4.093760e-04,4.074689e-04,4.062546e-04,4.029065e-04,4.007993e-04,3.993567e-04,3.956283e-04,3.933924e-04,3.917425e-04,3.877189e-04,3.854121e-04,3.835753e-04,3.793282e-04,3.769972e-04,3.749928e-04,3.705831e-04,3.682649e-04,3.661117e-04,3.615903e-04,3.593142e-04,3.570296e-04,3.524395e-04,3.502285e-04,3.478289e-04,3.432060e-04,3.410774e-04,3.385782e-04,3.339524e-04,3.319192e-04,3.293347e-04,3.247307e-04,3.228024e-04,3.201457e-04,3.155841e-04,3.137669e-04,3.110501e-04,3.065476e-04,3.048456e-04,3.020799e-04,2.976500e-04,2.960651e-04,2.932607e-04,2.889144e-04,2.874469e-04,2.846132e-04,2.803591e-04,2.790080e-04,2.761537e-04,2.719984e-04,2.707618e-04,2.678945e-04,2.638431e-04,2.627183e-04,2.598452e-04,2.559013e-04,2.548849e-04,2.520123e-04,2.481786e-04,2.472668e-04,2.444006e-04,2.406785e-04,2.398672e-04,2.370125e-04,2.334028e-04,2.326876e-04,2.298492e-04,2.263519e-04,2.257283e-04,2.229105e-04,2.195250e-04,2.189884e-04,2.161950e-04,2.129203e-04,2.124663e-04,2.097006e-04,2.065354e-04,2.061592e-04,2.034243e-04,2.003669e-04,2.000641e-04,1.973627e-04,1.944112e-04,1.941773e-04,1.915118e-04,1.886640e-04,1.884948e-04,1.858673e-04,1.831210e-04,1.830121e-04,1.804245e-04,1.777772e-04,1.777248e-04,1.751785e-04,1.726279e-04,1.677165e-04,1.629858e-04,1.584307e-04,1.540461e-04,1.498270e-04,1.457685e-04,1.418656e-04,1.381135e-04,1.345074e-04,1.310426e-04,1.277144e-04,1.245186e-04,1.214505e-04,1.185061e-04,1.156811e-04,1.129714e-04,1.103733e-04,1.078827e-04,1.054961e-04,1.032098e-04,1.010203e-04,9.892436e-05,9.691857e-05,9.499981e-05,9.316499e-05,9.141116e-05,8.973544e-05,8.813504e-05,8.660727e-05,8.514953e-05,8.375931e-05,8.243416e-05,8.117174e-05,7.996976e-05,7.882603e-05,7.773842e-05,7.670487e-05,7.572339e-05,7.479207e-05,7.390904e-05,7.307250e-05,7.228073e-05,7.153203e-05,7.082479e-05,7.015744e-05,6.952846e-05,6.893639e-05,6.837981e-05,6.785734e-05
0.000000e+00,1.314775e-08,6.739004e-07,7.177512e-07,9.795894e-06,5.677291e-05,6.033419e-05,2.140243e-04,4.988379e-04,5.221449e-04,1.001623e-03,1.585819e-03,1.642500e-03,2.419882e-03,3.210438e-03,3.302507e-03,4.258092e-03,5.135261e-03,5.256393e-03,6.270784e-03,7.138846e-03,7.278881e-03,8.262605e-03,9.059715e-03,9.207912e-03,1.010436e-02,1.079775e-02,1.094461e-02,1.172391e-02,1.230166e-02,1.243966e-02,1.309091e-02,1.355434e-02,1.367807e-02,1.420255e-02,1.456052e-02,1.466648e-02,1.507254e-02,1.533753e-02,1.542375e-02,1.572335e-02,1.590898e-02,1.597468e-02,1.618112e-02,1.630069e-02,1.634598e-02,1.647249e-02,1.653822e-02,1.656379e-02,1.662284e-02,1.664552e-02,1.665246e-02,1.665530e-02,1.664422e-02,1.663385e-02,1.659045e-02,1.655346e-02,1.652723e-02,1.644621e-02,1.638983e-02,1.634924e-02,1.623803e-02,1.616762e-02,1.611413e-02,1.597902e-02,1.589894e-02,1.583400e-02,1.568029e-02,1.559407e-02,1.551901e-02,1.535118e-02,1.526163e-02,1.517773e-02,1.499950e-02,1.490883e-02,1.481726e-02,1.463173e-02,1.454170e-02,1.444355e-02,1.425329e-02,1.416522e-02,1.406149e-02,1.386862e-02,1.378353e-02,1.367512e-02,1.348138e-02,1.340003e-02,1.328776e-02,1.309458e-02,1.301750e-02,1.290213e-02,1.271066e-02,1.263821e-02,1.252042e-02,1.233160e-02,1.226401e-02,1.214439e-02,1.195897e-02,1.189636e-02,1.177547e-02,1.159403e-02,1.153643e-02,1.141476e-02,1.123777e-02,1.118512e-02,1.106313e-02,1.089092e-02,1.084315e-02,1.072121e-02,1.055405e-02,1.051101e-02,1.038949e-02,1.022755e-02,1.018909e-02,1.006828e-02,9.911699e-03,9.877611e-03,9.757812e-03,9.606636e-03,9.576727e-03,9.458175e-03,9.312431e-03,9.286485e-03,9.169399e-03,9.029071e-03,9.006869e-03,8.891437e-03,8.756483e-03,8.737803e-03,8.624192e-03,8.494544e-03,8.479163e-03,8.367517e-03,8.243089e-03,8.230788e-03,8.121232e-03,8.001921e-03,7.992485e-03,7.885126e-03,7.770817e-03,7.764037e-03,7.658965e-03,7.549536e-03,7.545209e-03,7.442499e-03,7.337819e-03,7.335750e-03,7.235464e-03,7.135398e-03,6.943884e-03,6.760937e-03,6.586278e-03,6.419632e-03,6.260722e-03,6.109275e-03,5.965020e-03,5.827690e-03,5.697023e-03,5.572763e-03,5.454659e-03,5.342464e-03,5.235941e-03,5.134857e-03,5.038985e-03,4.948107e-03,4.862008e-03,4.780484e-03,4.703334e-03,4.630365e-03,4.561391e-03,4.496229e-03,4.434707e-03,4.376656e-03,4.321913e-03,4.270323e-03,4.221733e-03,4.176000e-03,4.132983e-03,4.092548e-03,4.054565e-03,4.018910e-03,3.985463e-03,3.954110e-03,3.924741e-03,3.897249e-03,3.871534e-03,3.847498e-03,3.825048e-03,3.804096e-03,3.784556e-03,3.766346e-03,3.749389e-03,3.733610e-03,3.718939e-03,3.705306e-03,3.692649e-03,3.680904e-03,3.670014e-03
0.000000e+00,1.861293e-08,3.623491e-07,3.799122e-07,2.869694e-06,1.186506e-05,1.246571e-05,3.401699e-05,6.191156e-05,6.377101e-05,9.410537e-05,1.195852e-04,1.216659e-04,1.458323e-04,1.647855e-04,1.667371e-04,1.846697e-04,1.982336e-04,1.999342e-04,2.128163e-04,2.221889e-04,2.235766e-04,2.324508e-04,2.386039e-04,2.396517e-04,2.453715e-04,2.490780e-04,2.497826e-04,2.530403e-04,2.549100e-04,2.552837e-04,2.566375e-04,2.571479e-04,2.572130e-04,2.571097e-04,2.566320e-04,2.564160e-04,2.552111e-04,2.540321e-04,2.535654e-04,2.515414e-04,2.498809e-04,2.491938e-04,2.465712e-04,2.445947e-04,2.437162e-04,2.406671e-04,2.385002e-04,2.374576e-04,2.341175e-04,2.318544e-04,2.306732e-04,2.271495e-04,2.248633e-04,2.235688e-04,2.199484e-04,2.176910e-04,2.163043e-04,2.126496e-04,2.104567e-04,2.089961e-04,2.053541e-04,2.032505e-04,2.017323e-04,1.981383e-04,1.961403e-04,1.945787e-04,1.910589e-04,1.891765e-04,1.875837e-04,1.841570e-04,1.823954e-04,1.807822e-04,1.774619e-04,1.758229e-04,1.741984e-04,1.709934e-04,1.694762e-04,1.678483e-04,1.647641e-04,1.633660e-04,1.617415e-04,1.587809e-04,1.574979e-04,1.558825e-04,1.530464e-04,1.518738e-04,1.502724e-04,1.475601e-04,1.464924e-04,1.449091e-04,1.423188e-04,1.413503e-04,1.397886e-04,1.373178e-04,1.364426e-04,1.349054e-04,1.325506e-04,1.317630e-04,1.302526e-04,1.280102e-04,1.273043e-04,1.258227e-04,1.236889e-04,1.230590e-04,1.216078e-04,1.195783e-04,1.190192e-04,1.175995e-04,1.156702e-04,1.151766e-04,1.137894e-04,1.119561e-04,1.115231e-04,1.101692e-04,1.084276e-04,1.080505e-04,1.067304e-04,1.050765e-04,1.047508e-04,1.034649e-04,1.018946e-04,1.016162e-04,1.003646e-04,9.887395e-05,9.863904e-05,9.742174e-05,9.600700e-05,9.581187e-05,9.462883e-05,9.328633e-05,9.312758e-05,9.197862e-05,9.070484e-05,9.057929e-05,8.946414e-05,8.825570e-05,8.816040e-05,8.707872e-05,8.593240e-05,8.586458e-05,8.481597e-05,8.372867e-05,8.368577e-05,8.266977e-05,8.163855e-05,8.161820e-05,8.063430e-05,7.965634e-05,7.779493e-05,7.602894e-05,7.435359e-05,7.276434e-05,7.125686e-05,6.982702e-05,6.847092e-05,6.718483e-05,6.596522e-05,6.480871e-05,6.371213e-05,6.267243e-05,6.168674e-05,6.075231e-05,5.986655e-05,5.902699e-05,5.823129e-05,5.747722e-05,5.676266e-05,5.608562e-05,5.544418e-05,5.483654e-05,5.426097e-05,5.371586e-05,5.319964e-05,5.271085e-05,5.224809e-05,5.181005e-05,5.139545e-05,5.100311e-05,5.063189e-05,5.028072e-05,4.994857e-05,4.963447e-05,4.933750e-05,4.905678e-05,4.879149e-05,4.854084e-05,4.830407e-05,4.808047e-05,4.786938e-05,4.767014e-05,4.748216e-05,4.730484e-05,4.713765e-05,4.698006e-05,4.683157e-05,4.669172e-05,4.656006e-05
0.000000e+00,5.879808e-10,9.336715e-09,9.771739e-09,6.410788e-08,2.174074e-07,2.264526e-07,5.051605e-07,8.083191e-07,8.277912e-07,1.146313e-06,1.425097e-06,1.448613e-06,1.732622e-06,1.972645e-06,1.998420e-06,2.246571e-06,2.450883e-06,2.477752e-06,2.692668e-06,2.865030e-06,2.892031e-06,3.076551e-06,3.220590e-06,3.246930e-06,3.403862e-06,3.522988e-06,3.548025e-06,3.680073e-06,3.777418e-06,3.800644e-06,3.910349e-06,3.988756e-06,4.009778e-06,4.099496e-06,4.161520e-06,4.180043e-06,4.251931e-06,4.299846e-06,4.315657e-06,4.371696e-06,4.407536e-06,4.420495e-06,4.462483e-06,4.488041e-06,4.498066e-06,4.527632e-06,4.544488e-06,4.551549e-06,4.570168e-06,4.579716e-06,4.583821e-06,4.592824e-06,4.596285e-06,4.597477e-06,4.598064e-06,4.596506e-06,4.594857e-06,4.588110e-06,4.582465e-06,4.578067e-06,4.564959e-06,4.556038e-06,4.549003e-06,4.530407e-06,4.518913e-06,4.509366e-06,4.486065e-06,4.472606e-06,4.460681e-06,4.433378e-06,4.418475e-06,4.404314e-06,4.373637e-06,4.357737e-06,4.341487e-06,4.307996e-06,4.291482e-06,4.273290e-06,4.237486e-06,4.220679e-06,4.200696e-06,4.163023e-06,4.146194e-06,4.124568e-06,4.085422e-06,4.068797e-06,4.045674e-06,4.005405e-06,3.989170e-06,3.964694e-06,3.923612e-06,3.907918e-06,3.882228e-06,3.840607e-06,3.825576e-06,3.798807e-06,3.756885e-06,3.742613e-06,3.714894e-06,3.672883e-06,3.659443e-06,3.630898e-06,3.588982e-06,3.576427e-06,3.547175e-06,3.505513e-06,3.493879e-06,3.464032e-06,3.422763e-06,3.412071e-06,3.381736e-06,3.340979e-06,3.331240e-06,3.300517e-06,3.260373e-06,3.251586e-06,3.220570e-06,3.181126e-06,3.173282e-06,3.142060e-06,3.103388e-06,3.096471e-06,3.065126e-06,3.027287e-06,3.021273e-06,2.989883e-06,2.952925e-06,2.947787e-06,2.916423e-06,2.880386e-06,2.876093e-06,2.844821e-06,2.809735e-06,2.806253e-06,2.775134e-06,2.741022e-06,2.738315e-06,2.707404e-06,2.674283e-06,2.672312e-06,2.641661e-06,2.609541e-06,2.608266e-06,2.577922e-06,2.546807e-06,2.546190e-06,2.516195e-06,2.486086e-06,2.427949e-06,2.371766e-06,2.317520e-06,2.265186e-06,2.214737e-06,2.166142e-06,2.119364e-06,2.074367e-06,2.031111e-06,1.989554e-06,1.949655e-06,1.911367e-06,1.874648e-06,1.839452e-06,1.805734e-06,1.773447e-06,1.742548e-06,1.712991e-06,1.684731e-06,1.657724e-06,1.631927e-06,1.607297e-06,1.583793e-06,1.561372e-06,1.539994e-06,1.519621e-06,1.500214e-06,1.481736e-06,1.464150e-06,1.447421e-06,1.431515e-06,1.416398e-06,1.402037e-06,1.388402e-06,1.375463e-06,1.363189e-06,1.351552e-06,1.340526e-06,1.330083e-06,1.320198e-06,1.310847e-06,1.302005e-06,1.293650e-06,1.285759e-06,1.278312e-06,1.271288e-06,1.264668e-06,1.258432e-06,1.252562e-06
0.000000e+00,4.137467e-09,6.020093e-08,6.297029e-08,4.216692e-07,1.491628e-06,1.555352e-06,3.481526e-06,5.498123e-06,5.625872e-06,7.693504e-06,9.471591e-06,9.620230e-06,1.139787e-05,1.287351e-05,1.303042e-05,1.452460e-05,1.573067e-05,1.588752e-05,1.712624e-05,1.809743e-05,1.824760e-05,1.925829e-05,2.002651e-05,2.016481e-05,2.097350e-05,2.156793e-05,2.169049e-05,2.232173e-05,2.276882e-05,2.287292e-05,2.334952e-05,2.367285e-05,2.375674e-05,2.409953e-05,2.431987e-05,2.438260e-05,2.461038e-05,2.474581e-05,2.478705e-05,2.491654e-05,2.498267e-05,2.500259e-05,2.504870e-05,2.505895e-05,2.505811e-05,2.503391e-05,2.499972e-05,2.497895e-05,2.489593e-05,2.482698e-05,2.478734e-05,2.465553e-05,2.456000e-05,2.450268e-05,2.433084e-05,2.421560e-05,2.414191e-05,2.393765e-05,2.380843e-05,2.371971e-05,2.348963e-05,2.335118e-05,2.324883e-05,2.299862e-05,2.285486e-05,2.274025e-05,2.247483e-05,2.232896e-05,2.220344e-05,2.192703e-05,2.178162e-05,2.164652e-05,2.136272e-05,2.121984e-05,2.107642e-05,2.078831e-05,2.064956e-05,2.049903e-05,2.020920e-05,2.007584e-05,1.991935e-05,1.962998e-05,1.950293e-05,1.934155e-05,1.905448e-05,1.893441e-05,1.876914e-05,1.848588e-05,1.837322e-05,1.820500e-05,1.792678e-05,1.782182e-05,1.765149e-05,1.737934e-05,1.728217e-05,1.711053e-05,1.684524e-05,1.675588e-05,1.658363e-05,1.632584e-05,1.624417e-05,1.607197e-05,1.582214e-05,1.574799e-05,1.557643e-05,1.533491e-05,1.526805e-05,1.509765e-05,1.486467e-05,1.480481e-05,1.463603e-05,1.441175e-05,1.435857e-05,1.419183e-05,1.397629e-05,1.392946e-05,1.376512e-05,1.355832e-05,1.351748e-05,1.335587e-05,1.315774e-05,1.312253e-05,1.296390e-05,1.277433e-05,1.274440e-05,1.258899e-05,1.240784e-05,1.238281e-05,1.223082e-05,1.205790e-05,1.203742e-05,1.188901e-05,1.172412e-05,1.170784e-05,1.156315e-05,1.140605e-05,1.139365e-05,1.125277e-05,1.110324e-05,1.109438e-05,1.095739e-05,1.081517e-05,1.080955e-05,1.067650e-05,1.054134e-05,1.053867e-05,1.040960e-05,1.028122e-05,1.003669e-05,9.804579e-06,9.584366e-06,9.375550e-06,9.177633e-06,8.990128e-06,8.812562e-06,8.644470e-06,8.485403e-06,8.334928e-06,8.192623e-06,8.058084e-06,7.930922e-06,7.810763e-06,7.697248e-06,7.590033e-06,7.488790e-06,7.393205e-06,7.302979e-06,7.217825e-06,7.137472e-06,7.061660e-06,6.990144e-06,6.922689e-06,6.859072e-06,6.799084e-06,6.742523e-06,6.689199e-06,6.638932e-06,6.591552e-06,6.546897e-06,6.504815e-06,6.465161e-06,6.427797e-06,6.392595e-06,6.359433e-06,6.328194e-06,6.298769e-06,6.271056e-06,6.244956e-06,6.220377e-06,6.197233e-06,6.175442e-06,6.154926e-06,6.135611e-06,6.117430e-06,6.100316e-06,6.084209e-06,6.069051e-06
0.000000e+00,3.198652e-10,4.040729e-09,4.215453e-09,2.551160e-08,8.823147e-08,9.210542e-08,2.222375e-07,3.830890e-07,3.937589e-07,5.677977e-07,7.142856e-07,7.262691e-07,8.657813e-07,9.757241e-07,9.870778e-07,1.091753e-06,1.171444e-06,1.181475e-06,1.257813e-06,1.313857e-06,1.322202e-06,1.375944e-06,1.413723e-06,1.420214e-06,1.456071e-06,1.479867e-06,1.484467e-06,1.506256e-06,1.519450e-06,1.522207e-06,1.533006e-06,1.538249e-06,1.539266e-06,1.541538e-06,1.540900e-06,1.540311e-06,1.536025e-06,1.531114e-06,1.529069e-06,1.519793e-06,1.511853e-06,1.508507e-06,1.495486e-06,1.485473e-06,1.480978e-06,1.465200e-06,1.453846e-06,1.448348e-06,1.430595e-06,1.418459e-06,1.412094e-06,1.392983e-06,1.380487e-06,1.373381e-06,1.353396e-06,1.340856e-06,1.333124e-06,1.312648e-06,1.300297e-06,1.292044e-06,1.271376e-06,1.259381e-06,1.250698e-06,1.230063e-06,1.218541e-06,1.209512e-06,1.189083e-06,1.178114e-06,1.168810e-06,1.148720e-06,1.138354e-06,1.128838e-06,1.109184e-06,1.099449e-06,1.089778e-06,1.070633e-06,1.061540e-06,1.051762e-06,1.033176e-06,1.024725e-06,1.014883e-06,9.968897e-07,9.890688e-07,9.792010e-07,9.618212e-07,9.546144e-07,9.447529e-07,9.279977e-07,9.213835e-07,9.115564e-07,8.954290e-07,8.893826e-07,8.796145e-07,8.641116e-07,8.586065e-07,8.489185e-07,8.340327e-07,8.290411e-07,8.194515e-07,8.051717e-07,8.006653e-07,7.911900e-07,7.775026e-07,7.734532e-07,7.641056e-07,7.509949e-07,7.473747e-07,7.381663e-07,7.256155e-07,7.223972e-07,7.133379e-07,7.013291e-07,6.984864e-07,6.895844e-07,6.780994e-07,6.756070e-07,6.668692e-07,6.558894e-07,6.537231e-07,6.451552e-07,6.346621e-07,6.327985e-07,6.244053e-07,6.143804e-07,6.127976e-07,6.045827e-07,5.950078e-07,5.936849e-07,5.856513e-07,5.765086e-07,5.754256e-07,5.675755e-07,5.588476e-07,5.579859e-07,5.503207e-07,5.419907e-07,5.413326e-07,5.338533e-07,5.259047e-07,5.254337e-07,5.181407e-07,5.105575e-07,5.102579e-07,5.031512e-07,4.959180e-07,4.957751e-07,4.888543e-07,4.819564e-07,4.687735e-07,4.561996e-07,4.442087e-07,4.327757e-07,4.218767e-07,4.114886e-07,4.015893e-07,3.921576e-07,3.831731e-07,3.746162e-07,3.664684e-07,3.587116e-07,3.513286e-07,3.443031e-07,3.376191e-07,3.312618e-07,3.252164e-07,3.194693e-07,3.140072e-07,3.088174e-07,3.038877e-07,2.992064e-07,2.947626e-07,2.905454e-07,2.865448e-07,2.827509e-07,2.791545e-07,2.757465e-07,2.725185e-07,2.694622e-07,2.665698e-07,2.638338e-07,2.612472e-07,2.588029e-07,2.564945e-07,2.543157e-07,2.522605e-07,2.503231e-07,2.484981e-07,2.467802e-07,2.451644e-07,2.436459e-07,2.422201e-07,2.408826e-07,2.396292e-07,2.384560e-07,2.373591e-07,2.363347e-07,2.353795e-07
0.000000e+00,6.573093e-09,2.308513e-07,2.440664e-07,2.578947e-06,1.406742e-05,1.495423e-05,5.579592e-05,1.402561e-04,1.474874e-04,3.021509e-04,4.983180e-04,5.175456e-04,7.819131e-04,1.048683e-03,1.079463e-03,1.394069e-03,1.673521e-03,1.711314e-03,2.019414e-03,2.270191e-03,2.309450e-03,2.575211e-03,2.776811e-03,2.812843e-03,3.020434e-03,3.167924e-03,3.197585e-03,3.345029e-03,3.442601e-03,3.464292e-03,3.557420e-03,3.613421e-03,3.626760e-03,3.674792e-03,3.698577e-03,3.704001e-03,3.716796e-03,3.717036e-03,3.715444e-03,3.702039e-03,3.685997e-03,3.678478e-03,3.646459e-03,3.619823e-03,3.607481e-03,3.562856e-03,3.529872e-03,3.513720e-03,3.461053e-03,3.424769e-03,3.405688e-03,3.348331e-03,3.310857e-03,3.289577e-03,3.229920e-03,3.192663e-03,3.169772e-03,3.109469e-03,3.073331e-03,3.049288e-03,2.989451e-03,2.954976e-03,2.930139e-03,2.871493e-03,2.838985e-03,2.813627e-03,2.756629e-03,2.726235e-03,2.700566e-03,2.645487e-03,2.617248e-03,2.591428e-03,2.538415e-03,2.512307e-03,2.486465e-03,2.435587e-03,2.411548e-03,2.385787e-03,2.337062e-03,2.315009e-03,2.289409e-03,2.242820e-03,2.222656e-03,2.197285e-03,2.152793e-03,2.134414e-03,2.109331e-03,2.066886e-03,2.050189e-03,2.025442e-03,1.984984e-03,1.969865e-03,1.945497e-03,1.906964e-03,1.893323e-03,1.869369e-03,1.832696e-03,1.820434e-03,1.796927e-03,1.762047e-03,1.751070e-03,1.728037e-03,1.694883e-03,1.685101e-03,1.662566e-03,1.631071e-03,1.622397e-03,1.600381e-03,1.570479e-03,1.562831e-03,1.541349e-03,1.512975e-03,1.506276e-03,1.485342e-03,1.458433e-03,1.452608e-03,1.432232e-03,1.406725e-03,1.401706e-03,1.381896e-03,1.357730e-03,1.353450e-03,1.334212e-03,1.311328e-03,1.307724e-03,1.289063e-03,1.267403e-03,1.264418e-03,1.246334e-03,1.225842e-03,1.223421e-03,1.205914e-03,1.186537e-03,1.184629e-03,1.167697e-03,1.149382e-03,1.147939e-03,1.131579e-03,1.114276e-03,1.113254e-03,1.097461e-03,1.081122e-03,1.080479e-03,1.065248e-03,1.049826e-03,1.049522e-03,1.034847e-03,1.020298e-03,9.927216e-04,9.667131e-04,9.421954e-04,9.190950e-04,8.973416e-04,8.768678e-04,8.576095e-04,8.395052e-04,8.224964e-04,8.065274e-04,7.915448e-04,7.774978e-04,7.643382e-04,7.520197e-04,7.404985e-04,7.297328e-04,7.196828e-04,7.103104e-04,7.015798e-04,6.934564e-04,6.859077e-04,6.789026e-04,6.724115e-04,6.664062e-04,6.608599e-04,6.557474e-04,6.510443e-04,6.467276e-04,6.427755e-04,6.391672e-04,6.358829e-04,6.329039e-04,6.302122e-04,6.277909e-04,6.256239e-04,6.236959e-04,6.219924e-04,6.204994e-04,6.192040e-04,6.180937e-04,6.171567e-04,6.163817e-04,6.157582e-04,6.152760e-04,6.149256e-04,6.146978e-04,6.145842e-04,6.145766e-04,6.146672e-04
0.000000e+00,4.363011e-09,5.911181e-08,6.175668e-08,3.968987e-07,1.388730e-06,1.448203e-06,3.282463e-06,5.268794e-06,5.396441e-06,7.490040e-06,9.333182e-06,9.489162e-06,1.137936e-05,1.298638e-05,1.315949e-05,1.483171e-05,1.621643e-05,1.639910e-05,1.786513e-05,1.904767e-05,1.923350e-05,2.050798e-05,2.150882e-05,2.169245e-05,2.279079e-05,2.362989e-05,2.380689e-05,2.474455e-05,2.544070e-05,2.560748e-05,2.639930e-05,2.696983e-05,2.712353e-05,2.778358e-05,2.824429e-05,2.838269e-05,2.892403e-05,2.928921e-05,2.941062e-05,2.984536e-05,3.012784e-05,3.023104e-05,3.057033e-05,3.078160e-05,3.086578e-05,3.111983e-05,3.127013e-05,3.133482e-05,3.151298e-05,3.161144e-05,3.165645e-05,3.176726e-05,3.182195e-05,3.184736e-05,3.189861e-05,3.191666e-05,3.192276e-05,3.192150e-05,3.190923e-05,3.189645e-05,3.184913e-05,3.181206e-05,3.178100e-05,3.169344e-05,3.163642e-05,3.158778e-05,3.146527e-05,3.139254e-05,3.132711e-05,3.117442e-05,3.108965e-05,3.100829e-05,3.082975e-05,3.073612e-05,3.063975e-05,3.043922e-05,3.033949e-05,3.022905e-05,3.001005e-05,2.990656e-05,2.978301e-05,2.954869e-05,2.944346e-05,2.930777e-05,2.906094e-05,2.895566e-05,2.880882e-05,2.855200e-05,2.844809e-05,2.829106e-05,2.802652e-05,2.792516e-05,2.775889e-05,2.748864e-05,2.739079e-05,2.721621e-05,2.694203e-05,2.684848e-05,2.666650e-05,2.638998e-05,2.630134e-05,2.611282e-05,2.583536e-05,2.575211e-05,2.555790e-05,2.528074e-05,2.520322e-05,2.500413e-05,2.472834e-05,2.465679e-05,2.445359e-05,2.418012e-05,2.411470e-05,2.390812e-05,2.363778e-05,2.357855e-05,2.336929e-05,2.310280e-05,2.304975e-05,2.283846e-05,2.257643e-05,2.252952e-05,2.231682e-05,2.205975e-05,2.201887e-05,2.180534e-05,2.155368e-05,2.151867e-05,2.130486e-05,2.105896e-05,2.102965e-05,2.081606e-05,2.057622e-05,2.055241e-05,2.033950e-05,2.010596e-05,2.008741e-05,1.987563e-05,1.964856e-05,1.963504e-05,1.942478e-05,1.920431e-05,1.919556e-05,1.898719e-05,1.877344e-05,1.876920e-05,1.856305e-05,1.835605e-05,1.795620e-05,1.756963e-05,1.719631e-05,1.683614e-05,1.648899e-05,1.615469e-05,1.583304e-05,1.552384e-05,1.522684e-05,1.494178e-05,1.466840e-05,1.440641e-05,1.415552e-05,1.391542e-05,1.368582e-05,1.346640e-05,1.325685e-05,1.305686e-05,1.286613e-05,1.268433e-05,1.251117e-05,1.234635e-05,1.218956e-05,1.204050e-05,1.189890e-05,1.176446e-05,1.163691e-05,1.151597e-05,1.140139e-05,1.129289e-05,1.119024e-05,1.109319e-05,1.100149e-05,1.091493e-05,1.083327e-05,1.075630e-05,1.068381e-05,1.061560e-05,1.055148e-05,1.049124e-05,1.043472e-05,1.038174e-05,1.033212e-05,1.028571e-05,1.024234e-05,1.020187e-05,1.016416e-05,1.012905e-05,1.009643e-05
0.000000e+00,3.906603e-07,1.820879e-05,1.936179e-05,2.543207e-04,1.522264e-03,1.621806e-03,6.248211e-03,1.595081e-02,1.679192e-02,3.526774e-02,6.017020e-02,6.270402e-02,9.930530e-02,1.397704e-01,1.446831e-01,1.980523e-01,2.508138e-01,2.583835e-01,3.245173e-01,3.851141e-01,3.952482e-01,4.693846e-01,5.334572e-01,5.457900e-01,6.234109e-01,6.872941e-01,7.012927e-01,7.785886e-01,8.395047e-01,8.545619e-01,9.285844e-01,9.846268e-01,1.000132e+00,1.068776e+00,1.118793e+00,1.134179e+00,1.196084e+00,1.239530e+00,1.254305e+00,1.308720e+00,1.345503e+00,1.359262e+00,1.405913e+00,1.436262e+00,1.448692e+00,1.487656e+00,1.512013e+00,1.522886e+00,1.554488e+00,1.573416e+00,1.582583e+00,1.607310e+00,1.621433e+00,1.628812e+00,1.647244e+00,1.657198e+00,1.662762e+00,1.675526e+00,1.681929e+00,1.685695e+00,1.693426e+00,1.696855e+00,1.698875e+00,1.702192e+00,1.703173e+00,1.703524e+00,1.703014e+00,1.702019e+00,1.700795e+00,1.697000e+00,1.694444e+00,1.691750e+00,1.685165e+00,1.681407e+00,1.677356e+00,1.668428e+00,1.663774e+00,1.658480e+00,1.647606e+00,1.642318e+00,1.635894e+00,1.623426e+00,1.617720e+00,1.610278e+00,1.596523e+00,1.590581e+00,1.582227e+00,1.567453e+00,1.561423e+00,1.552260e+00,1.536700e+00,1.530701e+00,1.520824e+00,1.504678e+00,1.498808e+00,1.488306e+00,1.471746e+00,1.466080e+00,1.455037e+00,1.438210e+00,1.432807e+00,1.421299e+00,1.404332e+00,1.399234e+00,1.387334e+00,1.370331e+00,1.365572e+00,1.353345e+00,1.336396e+00,1.331998e+00,1.319503e+00,1.302683e+00,1.298659e+00,1.285952e+00,1.269324e+00,1.265681e+00,1.252812e+00,1.236428e+00,1.233167e+00,1.220182e+00,1.204085e+00,1.201204e+00,1.188145e+00,1.172369e+00,1.169861e+00,1.156765e+00,1.141339e+00,1.139194e+00,1.126098e+00,1.111044e+00,1.109251e+00,1.096184e+00,1.081521e+00,1.080065e+00,1.067057e+00,1.052797e+00,1.051665e+00,1.038742e+00,1.024894e+00,1.024070e+00,1.011255e+00,9.978270e-01,9.972942e-01,9.846097e-01,9.716043e-01,9.713464e-01,9.588113e-01,9.462307e-01,9.219475e-01,8.984942e-01,8.758651e-01,8.540525e-01,8.330464e-01,8.128355e-01,7.934069e-01,7.747465e-01,7.568392e-01,7.396694e-01,7.232203e-01,7.074750e-01,6.924159e-01,6.780251e-01,6.642846e-01,6.511759e-01,6.386805e-01,6.267799e-01,6.154556e-01,6.046888e-01,5.944610e-01,5.847539e-01,5.755490e-01,5.668282e-01,5.585736e-01,5.507672e-01,5.433915e-01,5.364293e-01,5.298635e-01,5.236773e-01,5.178544e-01,5.123785e-01,5.072340e-01,5.024055e-01,4.978779e-01,4.936365e-01,4.896671e-01,4.859559e-01,4.824892e-01,4.792542e-01,4.762380e-01,4.734286e-01,4.708142e-01,4.683832e-01,4.661248e-01,4.640285e-01,4.620841e-01,4.602819e-01,4.586128e-01
0.000000e+00,1.070266e-06,4.022316e-05,4.256997e-05,4.636453e-04,2.558611e-03,2.721709e-03,1.048000e-02,2.799155e-02,2.957494e-02,6.621077e-02,1.194504e-01,1.250468e-01,2.086110e-01,3.055373e-01,3.175623e-01,4.511405e-01,5.876769e-01,6.075812e-01,7.844548e-01,9.507569e-01,9.789314e-01,1.187984e+00,1.372602e+00,1.408538e+00,1.637587e+00,1.829731e+00,1.872266e+00,2.109909e+00,2.300511e+00,2.348079e+00,2.584588e+00,2.766658e+00,2.817502e+00,3.045141e+00,3.213726e+00,3.266068e+00,3.479079e+00,3.631021e+00,3.683185e+00,3.877597e+00,4.011222e+00,4.061705e+00,4.235065e+00,4.349855e+00,4.397375e+00,4.548461e+00,4.644753e+00,4.688262e+00,4.816812e+00,4.895546e+00,4.934228e+00,5.040696e+00,5.103200e+00,5.136460e+00,5.221811e+00,5.269642e+00,5.297078e+00,5.362622e+00,5.397439e+00,5.418824e+00,5.466083e+00,5.489557e+00,5.504809e+00,5.535418e+00,5.549169e+00,5.558327e+00,5.573953e+00,5.579509e+00,5.582710e+00,5.585002e+00,5.583773e+00,5.581229e+00,5.571778e+00,5.565042e+00,5.557026e+00,5.537336e+00,5.526235e+00,5.513061e+00,5.484539e+00,5.470083e+00,5.452094e+00,5.416037e+00,5.399104e+00,5.376664e+00,5.334258e+00,5.315608e+00,5.289088e+00,5.241409e+00,5.221689e+00,5.191463e+00,5.139481e+00,5.119239e+00,5.085679e+00,5.030261e+00,5.009952e+00,4.973421e+00,4.915340e+00,4.895340e+00,4.856189e+00,4.796130e+00,4.776744e+00,4.735312e+00,4.673877e+00,4.655346e+00,4.611957e+00,4.549676e+00,4.532188e+00,4.487148e+00,4.424482e+00,4.408179e+00,4.361778e+00,4.299128e+00,4.284110e+00,4.236619e+00,4.174331e+00,4.160665e+00,4.112339e+00,4.050711e+00,4.038435e+00,3.989511e+00,3.928795e+00,3.917923e+00,3.868620e+00,3.809032e+00,3.799556e+00,3.750077e+00,3.691797e+00,3.683694e+00,3.634228e+00,3.577404e+00,3.570636e+00,3.521355e+00,3.466110e+00,3.460630e+00,3.411691e+00,3.358122e+00,3.353874e+00,3.305422e+00,3.253606e+00,3.250526e+00,3.202690e+00,3.152687e+00,3.150706e+00,3.103607e+00,3.055458e+00,3.054504e+00,3.008248e+00,2.961982e+00,2.873174e+00,2.788095e+00,2.706743e+00,2.629095e+00,2.555117e+00,2.484762e+00,2.417973e+00,2.354682e+00,2.294815e+00,2.238291e+00,2.185022e+00,2.134916e+00,2.087879e+00,2.043810e+00,2.002608e+00,1.964169e+00,1.928389e+00,1.895161e+00,1.864379e+00,1.835936e+00,1.809725e+00,1.785641e+00,1.763578e+00,1.743432e+00,1.725101e+00,1.708483e+00,1.693480e+00,1.679995e+00,1.667933e+00,1.657202e+00,1.647712e+00,1.639376e+00,1.632110e+00,1.625834e+00,1.620470e+00,1.615942e+00,1.612178e+00,1.609112e+00,1.606677e+00,1.604811e+00,1.603456e+00,1.602557e+00,1.602061e+00,1.601920e+00,1.602087e+00,1.602521e+00,1.603181e+00,1.604030e+00,1.605035e+00
0.000000e+00,1.737403e-08,2.887263e-07,3.020940e-07,1.968126e-06,6.876248e-06,7.179400e-06,1.749564e-05,3.088350e-05,3.180345e-05,4.745939e-05,6.173578e-05,6.295581e-05,7.784795e-05,9.064848e-05,9.203477e-05,1.055031e-04,1.167686e-04,1.182629e-04,1.303310e-04,1.401714e-04,1.417271e-04,1.524719e-04,1.610100e-04,1.625870e-04,1.720943e-04,1.794522e-04,1.810158e-04,1.893737e-04,1.956687e-04,1.971896e-04,2.044850e-04,2.098277e-04,2.112810e-04,2.175980e-04,2.220909e-04,2.234560e-04,2.288743e-04,2.326120e-04,2.338719e-04,2.384668e-04,2.415358e-04,2.426767e-04,2.465187e-04,2.489979e-04,2.500091e-04,2.531638e-04,2.551251e-04,2.559982e-04,2.585269e-04,2.600354e-04,2.607643e-04,2.627240e-04,2.638386e-04,2.644192e-04,2.658627e-04,2.666367e-04,2.670668e-04,2.680431e-04,2.685243e-04,2.688030e-04,2.693575e-04,2.695891e-04,2.697170e-04,2.698916e-04,2.699122e-04,2.698910e-04,2.697245e-04,2.695688e-04,2.694011e-04,2.689294e-04,2.686282e-04,2.683176e-04,2.675735e-04,2.671543e-04,2.667049e-04,2.657189e-04,2.652061e-04,2.646227e-04,2.634227e-04,2.628377e-04,2.621256e-04,2.607374e-04,2.600992e-04,2.592640e-04,2.577111e-04,2.570365e-04,2.560841e-04,2.543881e-04,2.536915e-04,2.526281e-04,2.508089e-04,2.501031e-04,2.489350e-04,2.470107e-04,2.463064e-04,2.450402e-04,2.430273e-04,2.423340e-04,2.409760e-04,2.388897e-04,2.382153e-04,2.367720e-04,2.346261e-04,2.339773e-04,2.324552e-04,2.302622e-04,2.296446e-04,2.280500e-04,2.258213e-04,2.252395e-04,2.235787e-04,2.213246e-04,2.207822e-04,2.190614e-04,2.167912e-04,2.162911e-04,2.145162e-04,2.122384e-04,2.117827e-04,2.099597e-04,2.076818e-04,2.072720e-04,2.054065e-04,2.031354e-04,2.027725e-04,2.008699e-04,1.986116e-04,1.982961e-04,1.963618e-04,1.941218e-04,1.938537e-04,1.918927e-04,1.896758e-04,1.894548e-04,1.874720e-04,1.852825e-04,1.851079e-04,1.831080e-04,1.809496e-04,1.808206e-04,1.788079e-04,1.766839e-04,1.765993e-04,1.745782e-04,1.724914e-04,1.724499e-04,1.704242e-04,1.683772e-04,1.643856e-04,1.604786e-04,1.566592e-04,1.529299e-04,1.492928e-04,1.457492e-04,1.423004e-04,1.389471e-04,1.356897e-04,1.325284e-04,1.294629e-04,1.264930e-04,1.236179e-04,1.208369e-04,1.181491e-04,1.155531e-04,1.130479e-04,1.106320e-04,1.083039e-04,1.060621e-04,1.039049e-04,1.018306e-04,9.983733e-05,9.792341e-05,9.608696e-05,9.432609e-05,9.263891e-05,9.102353e-05,8.947803e-05,8.800051e-05,8.658904e-05,8.524175e-05,8.395673e-05,8.273212e-05,8.156606e-05,8.045673e-05,7.940232e-05,7.840105e-05,7.745116e-05,7.655093e-05,7.569867e-05,7.489271e-05,7.413144e-05,7.341325e-05,7.273658e-05,7.209991e-05,7.150175e-05,7.094064e-05,7.041516e-05
0.000000e+00,7.372156e-09,1.040716e-07,1.086920e-07,6.604535e-07,2.134435e-06,2.219176e-06,4.739694e-06,7.308145e-06,7.467412e-06,9.977332e-06,1.202655e-05,1.219305e-05,1.412444e-05,1.563990e-05,1.579612e-05,1.723376e-05,1.832477e-05,1.846180e-05,1.950172e-05,2.026067e-05,2.037325e-05,2.109457e-05,2.159655e-05,2.168222e-05,2.215116e-05,2.245665e-05,2.251493e-05,2.278573e-05,2.294285e-05,2.297454e-05,2.309124e-05,2.313791e-05,2.314465e-05,2.314270e-05,2.310856e-05,2.309245e-05,2.300021e-05,2.290826e-05,2.287162e-05,2.271169e-05,2.257965e-05,2.252487e-05,2.231513e-05,2.215657e-05,2.208598e-05,2.184056e-05,2.166580e-05,2.158162e-05,2.131161e-05,2.112840e-05,2.103269e-05,2.074677e-05,2.056090e-05,2.045554e-05,2.016046e-05,1.997615e-05,1.986283e-05,1.956380e-05,1.938413e-05,1.926436e-05,1.896537e-05,1.879246e-05,1.866758e-05,1.837165e-05,1.820695e-05,1.807813e-05,1.778751e-05,1.763193e-05,1.750021e-05,1.721656e-05,1.707060e-05,1.693686e-05,1.666135e-05,1.652523e-05,1.639024e-05,1.612368e-05,1.599739e-05,1.586181e-05,1.560472e-05,1.548809e-05,1.535249e-05,1.510517e-05,1.499790e-05,1.486277e-05,1.462533e-05,1.452708e-05,1.439283e-05,1.416525e-05,1.407559e-05,1.394257e-05,1.372475e-05,1.364324e-05,1.351174e-05,1.330349e-05,1.322967e-05,1.309993e-05,1.290101e-05,1.283442e-05,1.270666e-05,1.251679e-05,1.245697e-05,1.233134e-05,1.215022e-05,1.209672e-05,1.197336e-05,1.180068e-05,1.175306e-05,1.163208e-05,1.146750e-05,1.142535e-05,1.130684e-05,1.115003e-05,1.111296e-05,1.099697e-05,1.084760e-05,1.081522e-05,1.070182e-05,1.055956e-05,1.053152e-05,1.042073e-05,1.028526e-05,1.026122e-05,1.015307e-05,1.002408e-05,1.000373e-05,9.898215e-06,9.775405e-06,9.758451e-06,9.655575e-06,9.538653e-06,9.524815e-06,9.424570e-06,9.313257e-06,9.302275e-06,9.204646e-06,9.098671e-06,9.090305e-06,8.995269e-06,8.894376e-06,8.888401e-06,8.795930e-06,8.699872e-06,8.696079e-06,8.606142e-06,8.514683e-06,8.512877e-06,8.425439e-06,8.338355e-06,8.172091e-06,8.013686e-06,7.862758e-06,7.718942e-06,7.581892e-06,7.451280e-06,7.326792e-06,7.208131e-06,7.095012e-06,6.987168e-06,6.884341e-06,6.786289e-06,6.692781e-06,6.603596e-06,6.518525e-06,6.437371e-06,6.359945e-06,6.286066e-06,6.215565e-06,6.148279e-06,6.084055e-06,6.022745e-06,5.964211e-06,5.908320e-06,5.854947e-06,5.803971e-06,5.755279e-06,5.708763e-06,5.664320e-06,5.621852e-06,5.581265e-06,5.542473e-06,5.505389e-06,5.469935e-06,5.436033e-06,5.403612e-06,5.372602e-06,5.342939e-06,5.314558e-06,5.287402e-06,5.261413e-06,5.236538e-06,5.212725e-06,5.189926e-06,5.168094e-06,5.147185e-06,5.127157e-06,5.107970e-06,5.089586e-06
0.000000e+00,2.979339e-08,9.154445e-07,9.638793e-07,7.247185e-06,2.456694e-05,2.557132e-05,5.622172e-05,8.938536e-05,9.150748e-05,1.259820e-04,1.557247e-04,1.582140e-04,1.880224e-04,2.128292e-04,2.154707e-04,2.406655e-04,2.610630e-04,2.637204e-04,2.847500e-04,3.013021e-04,3.038676e-04,3.211846e-04,3.344190e-04,3.368097e-04,3.508483e-04,3.612474e-04,3.634018e-04,3.745671e-04,3.825621e-04,3.844366e-04,3.930979e-04,3.990684e-04,4.006339e-04,4.071229e-04,4.113998e-04,4.126386e-04,4.172507e-04,4.201203e-04,4.210243e-04,4.240207e-04,4.257296e-04,4.262978e-04,4.279097e-04,4.286695e-04,4.289071e-04,4.293378e-04,4.293298e-04,4.292463e-04,4.286743e-04,4.280527e-04,4.276610e-04,4.262431e-04,4.251393e-04,4.244549e-04,4.223285e-04,4.208534e-04,4.198937e-04,4.171788e-04,4.154263e-04,4.142098e-04,4.110110e-04,4.090595e-04,4.076053e-04,4.040137e-04,4.019287e-04,4.002561e-04,3.963509e-04,3.941868e-04,3.923152e-04,3.881649e-04,3.859664e-04,3.839148e-04,3.795788e-04,3.773826e-04,3.751696e-04,3.706991e-04,3.685348e-04,3.661783e-04,3.616175e-04,3.595087e-04,3.570260e-04,3.524125e-04,3.503778e-04,3.477852e-04,3.431514e-04,3.412050e-04,3.385181e-04,3.338914e-04,3.320439e-04,3.292772e-04,3.246809e-04,3.229400e-04,3.201073e-04,3.155609e-04,3.139316e-04,3.110457e-04,3.065655e-04,3.050507e-04,3.021235e-04,2.977229e-04,2.963239e-04,2.933664e-04,2.890564e-04,2.877728e-04,2.847952e-04,2.805847e-04,2.794151e-04,2.764267e-04,2.723228e-04,2.712648e-04,2.682742e-04,2.642823e-04,2.633327e-04,2.603479e-04,2.564719e-04,2.556271e-04,2.526551e-04,2.488979e-04,2.481537e-04,2.452009e-04,2.415644e-04,2.409163e-04,2.379886e-04,2.344736e-04,2.339168e-04,2.310194e-04,2.276261e-04,2.271559e-04,2.242935e-04,2.210215e-04,2.206329e-04,2.178097e-04,2.146579e-04,2.143460e-04,2.115657e-04,2.085327e-04,2.082926e-04,2.055584e-04,2.026424e-04,2.024693e-04,1.997840e-04,1.969828e-04,1.968720e-04,1.942381e-04,1.915494e-04,1.914962e-04,1.889159e-04,1.863370e-04,1.813892e-04,1.766472e-04,1.721053e-04,1.677578e-04,1.635988e-04,1.596222e-04,1.558223e-04,1.521929e-04,1.487284e-04,1.454228e-04,1.422705e-04,1.392658e-04,1.364033e-04,1.336775e-04,1.310833e-04,1.286154e-04,1.262689e-04,1.240390e-04,1.219211e-04,1.199104e-04,1.180027e-04,1.161936e-04,1.144792e-04,1.128553e-04,1.113181e-04,1.098640e-04,1.084893e-04,1.071907e-04,1.059648e-04,1.048084e-04,1.037185e-04,1.026921e-04,1.017263e-04,1.008185e-04,9.996600e-05,9.916630e-05,9.841696e-05,9.771568e-05,9.706021e-05,9.644841e-05,9.587824e-05,9.534771e-05,9.485493e-05,9.439810e-05,9.397546e-05,9.358535e-05,9.322618e-05,9.289640e-05,9.259454e-05
0.000000e+00,1.890728e-08,4.382059e-07,4.596660e-07,3.006448e-06,9.426226e-06,9.788219e-06,2.065653e-05,3.227638e-05,3.301849e-05,4.508392e-05,5.553771e-05,5.641528e-05,6.696225e-05,7.580034e-05,7.674517e-05,8.579707e-05,9.318568e-05,9.415276e-05,1.018471e-04,1.079618e-04,1.089148e-04,1.153897e-04,1.203946e-04,1.213047e-04,1.266920e-04,1.307374e-04,1.315823e-04,1.360051e-04,1.392258e-04,1.399887e-04,1.435599e-04,1.460756e-04,1.467442e-04,1.495658e-04,1.514818e-04,1.520476e-04,1.542114e-04,1.556200e-04,1.560777e-04,1.576658e-04,1.586473e-04,1.589941e-04,1.600798e-04,1.607044e-04,1.609394e-04,1.615882e-04,1.619164e-04,1.620407e-04,1.623106e-04,1.623951e-04,1.624109e-04,1.623536e-04,1.622396e-04,1.621502e-04,1.618115e-04,1.615380e-04,1.613477e-04,1.607682e-04,1.603688e-04,1.600821e-04,1.592978e-04,1.588010e-04,1.584232e-04,1.574658e-04,1.568961e-04,1.564326e-04,1.553302e-04,1.547083e-04,1.541647e-04,1.529420e-04,1.522854e-04,1.516675e-04,1.503463e-04,1.496697e-04,1.489832e-04,1.475826e-04,1.468982e-04,1.461488e-04,1.446856e-04,1.440037e-04,1.431968e-04,1.416858e-04,1.410148e-04,1.401558e-04,1.386098e-04,1.379564e-04,1.370507e-04,1.354809e-04,1.348506e-04,1.339030e-04,1.323193e-04,1.317163e-04,1.307317e-04,1.291424e-04,1.285701e-04,1.275530e-04,1.259654e-04,1.254263e-04,1.243811e-04,1.228015e-04,1.222973e-04,1.212280e-04,1.196618e-04,1.191935e-04,1.181040e-04,1.165558e-04,1.161241e-04,1.150180e-04,1.134917e-04,1.130968e-04,1.119774e-04,1.104761e-04,1.101178e-04,1.089884e-04,1.075149e-04,1.071927e-04,1.060562e-04,1.046127e-04,1.043258e-04,1.031848e-04,1.017731e-04,1.015208e-04,1.003779e-04,9.899940e-05,9.878041e-05,9.763794e-05,9.629376e-05,9.610696e-05,9.496704e-05,9.365796e-05,9.350207e-05,9.236666e-05,9.109325e-05,9.096689e-05,8.983781e-05,8.860039e-05,8.850218e-05,8.738105e-05,8.617979e-05,8.610829e-05,8.499660e-05,8.383148e-05,8.378525e-05,8.268437e-05,8.155523e-05,8.153283e-05,8.044399e-05,7.935055e-05,7.723773e-05,7.519351e-05,7.321688e-05,7.130672e-05,6.946180e-05,6.768081e-05,6.596236e-05,6.430504e-05,6.270736e-05,6.116783e-05,5.968493e-05,5.825714e-05,5.688291e-05,5.556073e-05,5.428907e-05,5.306643e-05,5.189131e-05,5.076224e-05,4.967778e-05,4.863650e-05,4.763702e-05,4.667795e-05,4.575798e-05,4.487578e-05,4.403010e-05,4.321969e-05,4.244334e-05,4.169987e-05,4.098814e-05,4.030704e-05,3.965550e-05,3.903246e-05,3.843690e-05,3.786785e-05,3.732435e-05,3.680547e-05,3.631032e-05,3.583804e-05,3.538777e-05,3.495872e-05,3.455009e-05,3.416112e-05,3.379108e-05,3.343926e-05,3.310498e-05,3.278758e-05,3.248640e-05,3.220083e-05,3.193028e-05
0.000000e+00,2.500926e-08,8.936347e-07,9.448064e-07,9.891810e-06,5.365720e-05,5.705311e-05,2.180377e-04,5.785652e-04,6.109778e-04,1.352819e-03,2.406771e-03,2.516121e-03,4.121410e-03,5.928808e-03,6.149519e-03,8.555938e-03,1.094025e-02,1.128217e-02,1.426382e-02,1.698282e-02,1.743605e-02,2.073711e-02,2.356801e-02,2.411044e-02,2.750579e-02,3.027566e-02,3.087963e-02,3.419518e-02,3.678504e-02,3.742206e-02,4.053580e-02,4.287349e-02,4.351726e-02,4.635202e-02,4.840184e-02,4.902976e-02,5.154367e-02,5.329612e-02,5.388989e-02,5.606705e-02,5.753023e-02,5.807581e-02,5.991844e-02,6.111133e-02,6.159855e-02,6.312072e-02,6.406829e-02,6.449031e-02,6.571324e-02,6.644309e-02,6.679581e-02,6.774456e-02,6.828460e-02,6.856613e-02,6.926722e-02,6.964431e-02,6.985447e-02,7.033440e-02,7.057351e-02,7.071340e-02,7.099766e-02,7.112149e-02,7.119317e-02,7.130568e-02,7.133451e-02,7.134074e-02,7.130360e-02,7.125531e-02,7.119931e-02,7.103265e-02,7.092287e-02,7.080819e-02,7.053022e-02,7.037247e-02,7.020286e-02,6.982995e-02,6.963586e-02,6.941516e-02,6.896194e-02,6.874146e-02,6.847355e-02,6.795306e-02,6.771462e-02,6.740336e-02,6.682719e-02,6.657793e-02,6.622711e-02,6.560555e-02,6.535141e-02,6.496476e-02,6.430689e-02,6.405284e-02,6.363395e-02,6.294781e-02,6.269792e-02,6.225026e-02,6.154295e-02,6.130052e-02,6.082743e-02,6.010516e-02,5.987284e-02,5.937752e-02,5.864577e-02,5.842562e-02,5.791111e-02,5.717466e-02,5.696827e-02,5.643746e-02,5.570048e-02,5.550902e-02,5.496464e-02,5.423077e-02,5.405502e-02,5.349966e-02,5.277204e-02,5.261251e-02,5.204859e-02,5.132994e-02,5.118683e-02,5.061666e-02,4.990929e-02,4.978263e-02,4.920833e-02,4.851423e-02,4.840384e-02,4.782742e-02,4.714828e-02,4.705383e-02,4.647715e-02,4.581437e-02,4.573541e-02,4.516021e-02,4.451495e-02,4.445092e-02,4.387882e-02,4.325203e-02,4.320230e-02,4.263478e-02,4.202723e-02,4.199109e-02,4.142953e-02,4.084181e-02,4.081851e-02,4.026418e-02,3.969675e-02,3.968550e-02,3.913957e-02,3.859273e-02,3.754065e-02,3.652949e-02,3.555932e-02,3.463004e-02,3.374144e-02,3.289315e-02,3.208472e-02,3.131559e-02,3.058514e-02,2.989265e-02,2.923737e-02,2.861846e-02,2.803505e-02,2.748624e-02,2.697108e-02,2.648859e-02,2.603777e-02,2.561759e-02,2.522701e-02,2.486499e-02,2.453044e-02,2.422231e-02,2.393951e-02,2.368096e-02,2.344559e-02,2.323233e-02,2.304010e-02,2.286785e-02,2.271453e-02,2.257910e-02,2.246055e-02,2.235787e-02,2.227007e-02,2.219620e-02,2.213531e-02,2.208649e-02,2.204883e-02,2.202149e-02,2.200361e-02,2.199440e-02,2.199307e-02,2.199888e-02,2.201111e-02,2.202907e-02,2.205212e-02,2.207964e-02,2.211104e-02,2.214576e-02,2.218329e-02
0.000000e+00,1.122859e-08,2.477182e-07,2.595162e-07,1.800087e-06,7.057324e-06,7.410784e-06,2.109158e-05,4.341591e-05,4.513806e-05,7.768091e-05,1.107184e-04,1.135812e-04,1.477173e-04,1.745525e-04,1.772699e-04,2.015330e-04,2.187668e-04,2.208436e-04,2.358619e-04,2.458662e-04,2.472697e-04,2.556772e-04,2.608050e-04,2.616060e-04,2.654945e-04,2.674194e-04,2.677088e-04,2.685536e-04,2.684153e-04,2.682824e-04,2.671056e-04,2.656725e-04,2.651978e-04,2.627036e-04,2.604902e-04,2.597426e-04,2.564141e-04,2.537630e-04,2.527998e-04,2.489675e-04,2.461049e-04,2.449728e-04,2.408618e-04,2.379353e-04,2.366722e-04,2.324348e-04,2.295393e-04,2.281751e-04,2.239135e-04,2.211083e-04,2.196672e-04,2.154499e-04,2.127712e-04,2.112727e-04,2.071447e-04,2.046131e-04,2.030728e-04,1.990624e-04,1.966875e-04,1.951177e-04,1.912419e-04,1.890265e-04,1.874373e-04,1.837054e-04,1.816479e-04,1.800477e-04,1.764647e-04,1.745611e-04,1.729567e-04,1.695236e-04,1.677680e-04,1.661652e-04,1.628808e-04,1.612661e-04,1.596695e-04,1.565305e-04,1.550492e-04,1.534628e-04,1.504653e-04,1.491096e-04,1.475367e-04,1.446760e-04,1.434385e-04,1.418819e-04,1.391531e-04,1.380261e-04,1.364883e-04,1.338863e-04,1.328627e-04,1.313457e-04,1.288653e-04,1.279383e-04,1.264438e-04,1.240800e-04,1.232429e-04,1.217726e-04,1.195203e-04,1.187669e-04,1.173220e-04,1.151764e-04,1.145007e-04,1.130823e-04,1.110386e-04,1.104351e-04,1.090441e-04,1.070977e-04,1.065612e-04,1.051984e-04,1.033449e-04,1.028704e-04,1.015363e-04,9.977153e-05,9.935439e-05,9.804955e-05,9.636936e-05,9.600524e-05,9.473000e-05,9.313051e-05,9.281531e-05,9.156995e-05,9.004740e-05,8.977731e-05,8.856197e-05,8.711279e-05,8.688423e-05,8.569899e-05,8.431975e-05,8.412936e-05,8.297424e-05,8.166165e-05,8.150632e-05,8.038122e-05,7.913218e-05,7.900897e-05,7.791377e-05,7.672526e-05,7.663145e-05,7.556596e-05,7.443515e-05,7.436819e-05,7.333215e-05,7.225631e-05,7.221383e-05,7.120697e-05,7.018349e-05,7.016328e-05,6.918526e-05,6.821168e-05,6.635436e-05,6.458692e-05,6.290510e-05,6.130489e-05,5.978243e-05,5.833404e-05,5.695624e-05,5.564568e-05,5.439918e-05,5.321371e-05,5.208638e-05,5.101442e-05,4.999521e-05,4.902625e-05,4.810515e-05,4.722964e-05,4.639754e-05,4.560680e-05,4.485544e-05,4.414159e-05,4.346347e-05,4.281937e-05,4.220766e-05,4.162682e-05,4.107535e-05,4.055186e-05,4.005502e-05,3.958355e-05,3.913624e-05,3.871193e-05,3.830953e-05,3.792798e-05,3.756629e-05,3.722351e-05,3.689872e-05,3.659108e-05,3.629975e-05,3.602395e-05,3.576294e-05,3.551600e-05,3.528246e-05,3.506168e-05,3.485304e-05,3.465595e-05,3.446986e-05,3.429424e-05,3.412858e-05,3.397239e-05,3.382523e-05
0.000000e+00,1.483747e-08,3.513021e-07,3.684007e-07,2.695641e-06,1.146698e-05,1.209076e-05,3.853718e-05,8.863562e-05,9.278214e-05,1.773421e-04,2.740545e-04,2.829426e-04,3.957720e-04,4.948044e-04,5.054448e-04,6.066570e-04,6.871822e-04,6.975248e-04,7.778596e-04,8.389032e-04,8.481699e-04,9.091986e-04,9.538684e-04,9.617358e-04,1.006548e-03,1.038038e-03,1.044357e-03,1.075829e-03,1.096858e-03,1.101578e-03,1.122168e-03,1.134981e-03,1.138115e-03,1.149891e-03,1.156318e-03,1.157927e-03,1.162616e-03,1.164141e-03,1.164314e-03,1.163348e-03,1.161170e-03,1.160014e-03,1.154582e-03,1.149663e-03,1.147296e-03,1.138380e-03,1.131489e-03,1.128034e-03,1.116442e-03,1.108190e-03,1.103770e-03,1.090166e-03,1.081035e-03,1.075768e-03,1.060697e-03,1.051064e-03,1.045064e-03,1.028969e-03,1.019128e-03,1.012501e-03,9.957423e-04,9.859174e-04,9.787644e-04,9.616329e-04,9.519941e-04,9.444060e-04,9.271358e-04,9.178085e-04,9.098689e-04,8.926467e-04,8.837211e-04,8.755058e-04,8.584788e-04,8.500170e-04,8.415942e-04,8.248773e-04,8.169193e-04,8.083501e-04,7.920315e-04,7.845998e-04,7.759383e-04,7.600847e-04,7.531881e-04,7.444826e-04,7.291423e-04,7.227795e-04,7.140722e-04,6.992791e-04,6.934407e-04,6.847684e-04,6.705444e-04,6.652151e-04,6.566100e-04,6.429674e-04,6.381277e-04,6.296176e-04,6.165610e-04,6.121885e-04,6.037972e-04,5.913250e-04,5.873952e-04,5.791429e-04,5.672487e-04,5.637362e-04,5.556398e-04,5.443133e-04,5.411920e-04,5.332658e-04,5.224938e-04,5.197378e-04,5.119934e-04,5.017605e-04,4.993440e-04,4.917909e-04,4.820801e-04,4.799781e-04,4.726237e-04,4.634168e-04,4.616050e-04,4.544549e-04,4.457332e-04,4.441884e-04,4.372468e-04,4.289908e-04,4.276909e-04,4.209605e-04,4.131508e-04,4.120748e-04,4.055571e-04,3.981743e-04,3.973024e-04,3.909979e-04,3.840229e-04,3.833363e-04,3.772446e-04,3.706584e-04,3.701397e-04,3.642598e-04,3.580441e-04,3.576768e-04,3.520068e-04,3.461436e-04,3.459126e-04,3.404500e-04,3.349219e-04,3.348130e-04,3.295550e-04,3.243452e-04,3.144775e-04,3.051795e-04,2.964220e-04,2.881770e-04,2.804177e-04,2.731186e-04,2.662553e-04,2.598046e-04,2.537443e-04,2.480534e-04,2.427119e-04,2.377007e-04,2.330019e-04,2.285984e-04,2.244737e-04,2.206126e-04,2.170005e-04,2.136234e-04,2.104684e-04,2.075228e-04,2.047751e-04,2.022140e-04,1.998289e-04,1.976100e-04,1.955477e-04,1.936331e-04,1.918577e-04,1.902136e-04,1.886931e-04,1.872891e-04,1.859947e-04,1.848037e-04,1.837098e-04,1.827075e-04,1.817912e-04,1.809558e-04,1.801964e-04,1.795086e-04,1.788879e-04,1.783303e-04,1.778318e-04,1.773888e-04,1.769979e-04,1.766557e-04,1.763592e-04,1.761055e-04,1.758917e-04,1.757154e-04,1.755739e-04
0.000000e+00,2.119770e-08,6.958546e-07,7.343178e-07,7.152432e-06,3.812879e-05,4.054895e-05,1.575947e-04,4.276016e-04,4.521318e-04,1.017484e-03,1.822378e-03,1.905683e-03,3.121452e-03,4.472072e-03,4.635633e-03,6.399798e-03,8.114015e-03,8.357167e-03,1.044984e-02,1.231596e-02,1.262320e-02,1.482835e-02,1.667426e-02,1.702323e-02,1.917291e-02,2.088201e-02,2.124930e-02,2.323061e-02,2.473614e-02,2.510064e-02,2.684804e-02,2.812109e-02,2.846556e-02,2.994933e-02,3.098678e-02,3.129825e-02,3.251342e-02,3.332813e-02,3.359764e-02,3.455503e-02,3.516863e-02,3.539065e-02,3.611025e-02,3.654823e-02,3.672000e-02,3.722634e-02,3.751490e-02,3.763578e-02,3.795484e-02,3.811903e-02,3.818992e-02,3.834724e-02,3.840991e-02,3.843281e-02,3.845238e-02,3.843378e-02,3.841143e-02,3.831512e-02,3.823282e-02,3.816836e-02,3.797573e-02,3.784470e-02,3.774154e-02,3.746981e-02,3.730265e-02,3.716429e-02,3.682848e-02,3.663570e-02,3.646562e-02,3.607873e-02,3.586898e-02,3.567060e-02,3.524382e-02,3.502419e-02,3.480079e-02,3.434372e-02,3.411994e-02,3.387465e-02,3.339547e-02,3.317214e-02,3.290793e-02,3.241362e-02,3.219436e-02,3.191401e-02,3.141048e-02,3.119812e-02,3.090425e-02,3.039649e-02,3.019318e-02,2.988822e-02,2.938043e-02,2.918777e-02,2.887397e-02,2.836966e-02,2.818877e-02,2.786822e-02,2.737032e-02,2.720195e-02,2.687657e-02,2.638749e-02,2.623206e-02,2.590360e-02,2.542534e-02,2.528301e-02,2.495309e-02,2.448722e-02,2.435796e-02,2.402804e-02,2.357583e-02,2.345943e-02,2.313084e-02,2.269329e-02,2.258940e-02,2.226335e-02,2.184118e-02,2.174936e-02,2.142693e-02,2.102069e-02,2.094042e-02,2.062257e-02,2.023262e-02,2.016330e-02,1.985090e-02,1.947745e-02,1.941846e-02,1.911228e-02,1.875540e-02,1.870609e-02,1.840680e-02,1.806646e-02,1.802617e-02,1.773435e-02,1.741043e-02,1.737849e-02,1.709466e-02,1.678696e-02,1.676269e-02,1.648729e-02,1.619555e-02,1.617830e-02,1.591169e-02,1.563561e-02,1.562472e-02,1.536722e-02,1.510643e-02,1.510129e-02,1.485314e-02,1.460726e-02,1.414184e-02,1.370418e-02,1.329343e-02,1.290868e-02,1.254902e-02,1.221355e-02,1.190134e-02,1.161146e-02,1.134301e-02,1.109506e-02,1.086674e-02,1.065714e-02,1.046540e-02,1.029065e-02,1.013206e-02,9.988804e-03,9.860075e-03,9.745088e-03,9.643075e-03,9.553289e-03,9.475000e-03,9.407502e-03,9.350107e-03,9.302149e-03,9.262980e-03,9.231977e-03,9.208535e-03,9.192071e-03,9.182024e-03,9.177854e-03,9.179041e-03,9.185089e-03,9.195521e-03,9.209884e-03,9.227743e-03,9.248688e-03,9.272328e-03,9.298293e-03,9.326235e-03,9.355826e-03,9.386759e-03,9.418745e-03,9.451518e-03,9.484827e-03,9.518443e-03,9.552155e-03,9.585768e-03,9.619106e-03,9.652009e-03
0.000000e+00,2.962200e-08,9.325254e-07,9.826598e-07,8.817656e-06,4.407313e-05,4.677857e-05,1.766286e-04,4.814859e-04,5.096887e-04,1.180701e-03,2.191718e-03,2.299410e-03,3.924373e-03,5.828122e-03,6.064790e-03,8.692503e-03,1.136617e-02,1.175436e-02,1.518233e-02,1.836594e-02,1.890122e-02,2.283420e-02,2.624868e-02,2.690671e-02,3.104907e-02,3.445331e-02,3.519799e-02,3.929759e-02,4.250907e-02,4.329962e-02,4.716353e-02,5.005989e-02,5.085612e-02,5.435108e-02,5.686254e-02,5.762839e-02,6.067368e-02,6.277215e-02,6.347759e-02,6.603511e-02,6.772309e-02,6.834493e-02,7.040890e-02,7.170967e-02,7.223144e-02,7.381910e-02,7.476869e-02,7.518011e-02,7.632394e-02,7.696496e-02,7.726107e-02,7.800257e-02,7.837979e-02,7.855998e-02,7.894498e-02,7.910225e-02,7.916932e-02,7.924461e-02,7.922299e-02,7.918224e-02,7.899327e-02,7.882987e-02,7.868836e-02,7.827774e-02,7.800526e-02,7.777114e-02,7.717782e-02,7.682445e-02,7.650649e-02,7.576535e-02,7.535494e-02,7.496209e-02,7.410391e-02,7.365632e-02,7.319748e-02,7.224903e-02,7.178055e-02,7.126432e-02,7.024867e-02,6.977246e-02,6.920702e-02,6.814387e-02,6.767037e-02,6.706341e-02,6.596944e-02,6.550681e-02,6.486548e-02,6.375471e-02,6.330917e-02,6.264007e-02,6.152421e-02,6.110038e-02,6.040957e-02,5.929833e-02,5.889951e-02,5.819250e-02,5.709388e-02,5.672229e-02,5.600410e-02,5.492463e-02,5.458160e-02,5.385678e-02,5.280173e-02,5.248788e-02,5.176054e-02,5.073414e-02,5.044951e-02,4.972335e-02,4.872891e-02,4.847312e-02,4.775146e-02,4.679154e-02,4.656382e-02,4.584963e-02,4.492615e-02,4.472549e-02,4.402142e-02,4.313574e-02,4.296091e-02,4.226932e-02,4.142235e-02,4.127197e-02,4.059496e-02,3.978723e-02,3.965982e-02,3.899921e-02,3.823092e-02,3.812494e-02,3.748235e-02,3.675343e-02,3.666728e-02,3.604411e-02,3.535427e-02,3.528636e-02,3.468381e-02,3.403258e-02,3.398130e-02,3.340041e-02,3.278715e-02,3.275095e-02,3.219259e-02,3.161652e-02,3.159386e-02,3.105874e-02,3.051901e-02,3.050840e-02,2.999709e-02,2.949275e-02,2.854498e-02,2.766303e-02,2.684479e-02,2.608806e-02,2.539060e-02,2.475016e-02,2.416444e-02,2.363116e-02,2.314802e-02,2.271276e-02,2.232308e-02,2.197675e-02,2.167154e-02,2.140523e-02,2.117565e-02,2.098067e-02,2.081817e-02,2.068607e-02,2.058236e-02,2.050503e-02,2.045215e-02,2.042181e-02,2.041217e-02,2.042143e-02,2.044786e-02,2.048975e-02,2.054550e-02,2.061353e-02,2.069234e-02,2.078051e-02,2.087665e-02,2.097948e-02,2.108775e-02,2.120032e-02,2.131609e-02,2.143404e-02,2.155323e-02,2.167279e-02,2.179191e-02,2.190985e-02,2.202596e-02,2.213963e-02,2.225033e-02,2.235758e-02,2.246099e-02,2.256019e-02,2.265489e-02,2.274486e-02,2.282989e-02
0.000000e+00,1.730096e-08,3.377845e-07,3.537677e-07,2.288626e-06,7.565291e-06,7.877827e-06,1.793627e-05,2.982281e-05,3.060191e-05,4.321732e-05,5.372196e-05,5.457681e-05,6.447524e-05,7.219801e-05,7.299110e-05,8.025760e-05,8.572597e-05,8.640962e-05,9.157218e-05,9.530737e-05,9.585867e-05,9.937124e-05,1.017911e-04,1.022016e-04,1.044318e-04,1.058644e-04,1.061351e-04,1.073770e-04,1.080774e-04,1.082154e-04,1.087019e-04,1.088666e-04,1.088821e-04,1.087966e-04,1.085759e-04,1.084809e-04,1.079667e-04,1.074749e-04,1.072818e-04,1.064507e-04,1.057740e-04,1.054949e-04,1.044337e-04,1.036371e-04,1.032836e-04,1.020594e-04,1.011913e-04,1.007741e-04,9.943885e-05,9.853523e-05,9.806380e-05,9.665757e-05,9.574477e-05,9.522777e-05,9.378110e-05,9.287830e-05,9.232342e-05,9.085980e-05,8.998061e-05,8.939461e-05,8.793169e-05,8.708556e-05,8.647436e-05,8.502548e-05,8.421872e-05,8.358748e-05,8.216247e-05,8.139900e-05,8.075223e-05,7.935827e-05,7.864029e-05,7.798189e-05,7.662414e-05,7.595253e-05,7.528590e-05,7.396790e-05,7.334262e-05,7.267071e-05,7.139478e-05,7.081509e-05,7.014046e-05,6.890798e-05,6.837265e-05,6.769751e-05,6.650914e-05,6.601663e-05,6.534290e-05,6.419876e-05,6.374727e-05,6.307663e-05,6.197640e-05,6.156402e-05,6.089791e-05,5.984097e-05,5.946571e-05,5.880537e-05,5.779089e-05,5.745072e-05,5.679725e-05,5.582420e-05,5.551713e-05,5.487146e-05,5.393872e-05,5.366276e-05,5.302569e-05,5.213206e-05,5.188528e-05,5.125751e-05,5.040172e-05,5.018225e-05,4.956438e-05,4.874516e-05,4.855121e-05,4.794374e-05,4.715978e-05,4.698963e-05,4.639298e-05,4.564300e-05,4.549500e-05,4.490954e-05,4.419226e-05,4.406485e-05,4.349087e-05,4.280504e-05,4.269673e-05,4.213447e-05,4.147886e-05,4.138825e-05,4.083791e-05,4.021132e-05,4.013708e-05,3.959880e-05,3.900006e-05,3.894094e-05,3.841483e-05,3.784282e-05,3.779762e-05,3.728375e-05,3.673737e-05,3.670498e-05,3.620340e-05,3.568159e-05,3.566097e-05,3.517168e-05,3.467342e-05,3.466357e-05,3.418657e-05,3.371088e-05,3.280103e-05,3.193223e-05,3.110278e-05,3.031102e-05,2.955535e-05,2.883427e-05,2.814630e-05,2.749003e-05,2.686412e-05,2.626728e-05,2.569826e-05,2.515587e-05,2.463897e-05,2.414647e-05,2.367731e-05,2.323049e-05,2.280505e-05,2.240006e-05,2.201464e-05,2.164794e-05,2.129914e-05,2.096747e-05,2.065217e-05,2.035255e-05,2.006790e-05,1.979758e-05,1.954096e-05,1.929743e-05,1.906642e-05,1.884738e-05,1.863978e-05,1.844310e-05,1.825688e-05,1.808063e-05,1.791393e-05,1.775633e-05,1.760744e-05,1.746686e-05,1.733422e-05,1.720916e-05,1.709134e-05,1.698043e-05,1.687611e-05,1.677808e-05,1.668606e-05,1.659977e-05,1.651894e-05,1.644332e-05,1.637268e-05
0.000000e+00,2.025557e-09,2.654678e-08,2.770582e-08,1.691127e-07,5.834785e-07,6.089845e-07,1.461180e-06,2.512023e-06,2.582337e-06,3.757682e-06,4.810547e-06,4.900094e-06,5.989709e-06,6.922423e-06,7.023256e-06,8.001152e-06,8.816720e-06,8.924735e-06,9.795631e-06,1.050379e-05,1.061558e-05,1.138638e-05,1.199722e-05,1.210987e-05,1.278787e-05,1.331116e-05,1.342220e-05,1.401465e-05,1.445964e-05,1.456698e-05,1.508089e-05,1.545615e-05,1.555805e-05,1.600006e-05,1.631345e-05,1.640849e-05,1.678483e-05,1.704352e-05,1.713053e-05,1.744701e-05,1.765754e-05,1.773561e-05,1.799762e-05,1.816589e-05,1.823431e-05,1.844687e-05,1.857821e-05,1.863645e-05,1.880418e-05,1.890343e-05,1.895112e-05,1.907830e-05,1.914978e-05,1.918671e-05,1.927728e-05,1.932489e-05,1.935094e-05,1.940855e-05,1.943576e-05,1.945095e-05,1.947894e-05,1.948887e-05,1.949329e-05,1.949474e-05,1.949018e-05,1.948400e-05,1.946174e-05,1.944516e-05,1.942861e-05,1.938524e-05,1.935884e-05,1.933222e-05,1.927012e-05,1.923583e-05,1.919948e-05,1.912083e-05,1.908038e-05,1.903467e-05,1.894147e-05,1.889636e-05,1.884169e-05,1.873576e-05,1.868732e-05,1.862412e-05,1.850714e-05,1.845651e-05,1.838522e-05,1.825871e-05,1.820690e-05,1.812797e-05,1.799332e-05,1.794120e-05,1.785508e-05,1.771356e-05,1.766186e-05,1.756903e-05,1.742178e-05,1.737114e-05,1.727206e-05,1.712012e-05,1.707107e-05,1.696620e-05,1.681053e-05,1.676351e-05,1.665331e-05,1.649475e-05,1.645014e-05,1.633504e-05,1.617437e-05,1.613246e-05,1.601292e-05,1.585084e-05,1.581186e-05,1.568829e-05,1.552542e-05,1.548956e-05,1.536238e-05,1.519929e-05,1.516668e-05,1.503629e-05,1.487349e-05,1.484421e-05,1.471100e-05,1.454893e-05,1.452304e-05,1.438738e-05,1.422644e-05,1.420396e-05,1.406621e-05,1.390676e-05,1.388768e-05,1.374818e-05,1.359053e-05,1.357482e-05,1.343389e-05,1.327832e-05,1.326593e-05,1.312389e-05,1.297064e-05,1.296148e-05,1.281862e-05,1.266790e-05,1.266190e-05,1.251851e-05,1.237049e-05,1.236755e-05,1.222389e-05,1.207873e-05,1.179571e-05,1.151872e-05,1.124791e-05,1.098346e-05,1.072546e-05,1.047399e-05,1.022913e-05,9.990890e-06,9.759296e-06,9.534337e-06,9.315990e-06,9.104216e-06,8.898961e-06,8.700161e-06,8.507742e-06,8.321618e-06,8.141697e-06,7.967880e-06,7.800061e-06,7.638128e-06,7.481967e-06,7.331460e-06,7.186485e-06,7.046917e-06,6.912631e-06,6.783502e-06,6.659399e-06,6.540197e-06,6.425766e-06,6.315980e-06,6.210710e-06,6.109832e-06,6.013218e-06,5.920746e-06,5.832292e-06,5.747737e-06,5.666960e-06,5.589844e-06,5.516275e-06,5.446138e-06,5.379323e-06,5.315720e-06,5.255224e-06,5.197728e-06,5.143132e-06,5.091334e-06,5.042237e-06,4.995746e-06,4.951767e-06
0.000000e+00,2.103735e-08,5.473336e-07,5.754119e-07,4.517611e-06,1.811404e-05,1.901227e-05,5.252248e-05,1.040499e-04,1.079268e-04,1.798546e-04,2.524436e-04,2.588142e-04,3.372140e-04,4.041674e-04,4.113420e-04,4.799948e-04,5.357466e-04,5.430169e-04,6.005985e-04,6.459864e-04,6.530279e-04,7.006125e-04,7.370605e-04,7.436539e-04,7.824421e-04,8.112702e-04,8.172551e-04,8.483563e-04,8.707330e-04,8.759953e-04,9.004078e-04,9.173532e-04,9.218161e-04,9.404296e-04,9.528283e-04,9.564453e-04,9.700484e-04,9.786643e-04,9.814131e-04,9.907027e-04,9.961928e-04,9.980706e-04,1.003661e-03,1.006589e-03,1.007608e-03,1.010039e-03,1.010887e-03,1.011072e-03,1.010818e-03,1.009996e-03,1.009381e-03,1.006858e-03,1.004715e-03,1.003340e-03,9.989113e-04,9.957437e-04,9.936523e-04,9.876368e-04,9.836934e-04,9.809341e-04,9.736088e-04,9.690988e-04,9.657213e-04,9.573277e-04,9.524260e-04,9.484807e-04,9.392288e-04,9.340807e-04,9.296177e-04,9.196897e-04,9.144150e-04,9.094840e-04,8.990373e-04,8.937342e-04,8.883834e-04,8.775539e-04,8.723020e-04,8.665779e-04,8.554826e-04,8.503457e-04,8.442930e-04,8.330322e-04,8.280605e-04,8.217216e-04,8.103810e-04,8.056134e-04,7.990285e-04,7.876810e-04,7.831468e-04,7.763537e-04,7.650608e-04,7.607813e-04,7.538154e-04,7.426291e-04,7.386186e-04,7.315128e-04,7.204763e-04,7.167437e-04,7.095285e-04,6.986776e-04,6.952270e-04,6.879308e-04,6.772948e-04,6.741264e-04,6.667753e-04,6.563778e-04,6.534889e-04,6.461067e-04,6.359664e-04,6.333517e-04,6.259603e-04,6.160916e-04,6.137439e-04,6.063630e-04,5.967769e-04,5.946873e-04,5.873350e-04,5.780389e-04,5.761973e-04,5.688899e-04,5.598888e-04,5.582843e-04,5.510362e-04,5.423326e-04,5.409539e-04,5.337782e-04,5.253729e-04,5.242080e-04,5.171164e-04,5.090083e-04,5.080453e-04,5.010480e-04,4.932347e-04,4.924614e-04,4.855675e-04,4.780453e-04,4.774497e-04,4.706670e-04,4.634313e-04,4.630016e-04,4.563368e-04,4.493822e-04,4.491069e-04,4.425659e-04,4.358863e-04,4.357541e-04,4.293417e-04,4.229306e-04,4.106230e-04,3.988173e-04,3.874990e-04,3.766533e-04,3.662653e-04,3.563198e-04,3.468017e-04,3.376961e-04,3.289881e-04,3.206631e-04,3.127067e-04,3.051046e-04,2.978433e-04,2.909091e-04,2.842890e-04,2.779702e-04,2.719403e-04,2.661874e-04,2.606999e-04,2.554665e-04,2.504764e-04,2.457192e-04,2.411849e-04,2.368637e-04,2.327463e-04,2.288237e-04,2.250873e-04,2.215289e-04,2.181405e-04,2.149145e-04,2.118435e-04,2.089205e-04,2.061389e-04,2.034921e-04,2.009742e-04,1.985790e-04,1.963010e-04,1.941349e-04,1.920753e-04,1.901175e-04,1.882566e-04,1.864882e-04,1.848079e-04,1.832115e-04,1.816951e-04,1.802550e-04,1.788875e-04,1.775892e-04,1.763567e-04
0.000000e+00,1.410602e-08,5.103153e-07,5.397159e-07,5.729189e-06,3.121881e-05,3.319493e-05,1.264268e-04,3.328423e-04,3.512800e-04,7.696682e-04,1.356169e-03,1.416638e-03,2.298156e-03,3.279851e-03,3.399094e-03,4.691675e-03,5.960740e-03,6.141905e-03,7.713937e-03,9.136635e-03,9.372880e-03,1.108647e-02,1.254696e-02,1.282594e-02,1.456642e-02,1.597952e-02,1.628691e-02,1.797016e-02,1.928050e-02,1.960228e-02,2.117247e-02,2.234888e-02,2.267256e-02,2.409668e-02,2.512572e-02,2.544090e-02,2.670288e-02,2.758319e-02,2.788164e-02,2.897725e-02,2.971510e-02,2.999065e-02,3.092343e-02,3.152955e-02,3.177774e-02,3.255608e-02,3.304338e-02,3.326126e-02,3.389624e-02,3.427838e-02,3.446413e-02,3.496808e-02,3.525853e-02,3.541127e-02,3.579686e-02,3.600835e-02,3.612794e-02,3.640754e-02,3.655182e-02,3.663860e-02,3.682398e-02,3.691164e-02,3.696639e-02,3.706849e-02,3.710899e-02,3.713277e-02,3.716165e-02,3.716333e-02,3.715741e-02,3.712224e-02,3.709241e-02,3.705820e-02,3.696726e-02,3.691230e-02,3.685130e-02,3.671207e-02,3.663747e-02,3.655125e-02,3.637044e-02,3.628097e-02,3.617114e-02,3.595476e-02,3.585449e-02,3.572265e-02,3.547609e-02,3.536851e-02,3.521627e-02,3.494433e-02,3.483240e-02,3.466134e-02,3.436832e-02,3.425454e-02,3.406621e-02,3.375593e-02,3.364239e-02,3.343832e-02,3.311418e-02,3.300262e-02,3.278427e-02,3.244932e-02,3.234117e-02,3.210997e-02,3.176688e-02,3.166331e-02,3.142063e-02,3.107179e-02,3.097372e-02,3.072088e-02,3.036839e-02,3.027655e-02,3.001480e-02,2.966054e-02,2.957546e-02,2.930601e-02,2.895160e-02,2.887369e-02,2.859768e-02,2.824457e-02,2.817407e-02,2.789259e-02,2.754203e-02,2.747910e-02,2.719316e-02,2.684625e-02,2.679094e-02,2.650153e-02,2.615922e-02,2.611150e-02,2.581951e-02,2.548261e-02,2.544238e-02,2.514869e-02,2.481791e-02,2.478501e-02,2.449041e-02,2.416634e-02,2.414057e-02,2.384582e-02,2.352896e-02,2.351007e-02,2.321587e-02,2.290665e-02,2.289436e-02,2.260137e-02,2.230013e-02,2.229414e-02,2.200297e-02,2.170997e-02,2.114230e-02,2.059146e-02,2.005771e-02,1.954122e-02,1.904206e-02,1.856027e-02,1.809582e-02,1.764863e-02,1.721856e-02,1.680546e-02,1.640911e-02,1.602931e-02,1.566578e-02,1.531825e-02,1.498642e-02,1.466999e-02,1.436861e-02,1.408196e-02,1.380969e-02,1.355143e-02,1.330683e-02,1.307552e-02,1.285711e-02,1.265124e-02,1.245753e-02,1.227560e-02,1.210506e-02,1.194555e-02,1.179667e-02,1.165806e-02,1.152934e-02,1.141013e-02,1.130007e-02,1.119879e-02,1.110593e-02,1.102113e-02,1.094403e-02,1.087430e-02,1.081157e-02,1.075552e-02,1.070581e-02,1.066212e-02,1.062413e-02,1.059151e-02,1.056397e-02,1.054121e-02,1.052293e-02,1.050884e-02,1.049868e-02
0.000000e+00,2.330691e-07,8.750485e-06,9.258737e-06,9.864094e-05,5.283896e-04,5.613625e-04,2.097628e-03,5.469469e-03,5.770891e-03,1.266122e-02,2.252182e-02,2.355241e-02,3.886547e-02,5.652896e-02,5.871654e-02,8.299285e-02,1.078008e-01,1.114191e-01,1.436105e-01,1.739627e-01,1.791147e-01,2.174435e-01,2.514568e-01,2.580970e-01,3.005812e-01,3.364503e-01,3.444211e-01,3.891691e-01,4.253418e-01,4.344110e-01,4.797695e-01,5.150104e-01,5.249053e-01,5.695174e-01,6.029091e-01,6.133427e-01,6.561537e-01,6.870659e-01,6.977570e-01,7.379909e-01,7.660356e-01,7.767225e-01,8.138456e-01,8.388298e-01,8.492780e-01,8.829587e-01,9.048392e-01,9.148462e-01,9.449153e-01,9.637592e-01,9.731557e-01,9.995698e-01,1.015522e+00,1.024171e+00,1.046982e+00,1.060239e+00,1.068034e+00,1.087363e+00,1.098151e+00,1.105012e+00,1.121028e+00,1.129588e+00,1.135461e+00,1.148364e+00,1.154941e+00,1.159791e+00,1.169800e+00,1.174634e+00,1.178445e+00,1.185786e+00,1.189106e+00,1.191878e+00,1.196778e+00,1.198799e+00,1.200543e+00,1.203227e+00,1.204147e+00,1.204884e+00,1.205568e+00,1.205570e+00,1.205330e+00,1.204219e+00,1.203467e+00,1.202285e+00,1.199575e+00,1.198216e+00,1.196134e+00,1.192006e+00,1.190172e+00,1.187234e+00,1.181858e+00,1.179665e+00,1.175918e+00,1.169451e+00,1.167001e+00,1.162493e+00,1.155081e+00,1.152462e+00,1.147245e+00,1.139020e+00,1.136310e+00,1.130434e+00,1.121517e+00,1.118782e+00,1.112298e+00,1.102802e+00,1.100097e+00,1.093056e+00,1.083082e+00,1.080455e+00,1.072906e+00,1.062547e+00,1.060037e+00,1.052029e+00,1.041369e+00,1.039007e+00,1.030589e+00,1.019704e+00,1.017516e+00,1.008733e+00,9.976921e-01,9.956985e-01,9.865963e-01,9.754603e-01,9.736758e-01,9.642980e-01,9.531226e-01,9.515577e-01,9.419463e-01,9.307809e-01,9.294424e-01,9.196375e-01,9.085265e-01,9.074176e-01,8.974576e-01,8.864402e-01,8.855613e-01,8.754829e-01,8.645939e-01,8.639429e-01,8.537808e-01,8.430507e-01,8.426234e-01,8.324105e-01,8.218662e-01,8.216563e-01,8.114237e-01,8.010884e-01,7.809601e-01,7.613060e-01,7.421555e-01,7.235332e-01,7.054592e-01,6.879496e-01,6.710170e-01,6.546704e-01,6.389160e-01,6.237572e-01,6.091949e-01,5.952278e-01,5.818527e-01,5.690642e-01,5.568558e-01,5.452191e-01,5.341448e-01,5.236222e-01,5.136396e-01,5.041847e-01,4.952441e-01,4.868039e-01,4.788496e-01,4.713663e-01,4.643386e-01,4.577511e-01,4.515879e-01,4.458330e-01,4.404703e-01,4.354838e-01,4.308574e-01,4.265750e-01,4.226209e-01,4.189792e-01,4.156344e-01,4.125714e-01,4.097749e-01,4.072304e-01,4.049233e-01,4.028397e-01,4.009658e-01,3.992883e-01,3.977944e-01,3.964715e-01,3.953076e-01,3.942911e-01,3.934107e-01,3.926558e-01,3.920161e-01
0.000000e+00,5.402257e-07,1.900290e-05,2.008925e-05,2.129582e-04,1.194674e-03,1.272283e-03,5.043880e-03,1.368454e-02,1.446449e-02,3.229418e-02,5.744150e-02,6.003760e-02,9.790353e-02,1.400733e-01,1.451943e-01,2.006850e-01,2.551306e-01,2.629003e-01,3.302962e-01,3.912544e-01,4.013735e-01,4.747429e-01,5.372289e-01,5.491591e-01,6.235343e-01,6.838347e-01,6.969393e-01,7.685967e-01,8.242323e-01,8.378701e-01,9.042509e-01,9.537623e-01,9.673443e-01,1.026855e+00,1.069557e+00,1.082576e+00,1.134374e+00,1.170134e+00,1.182177e+00,1.225969e+00,1.255029e+00,1.265777e+00,1.301664e+00,1.324500e+00,1.333722e+00,1.362067e+00,1.379288e+00,1.386831e+00,1.408162e+00,1.420434e+00,1.426214e+00,1.441151e+00,1.449152e+00,1.453139e+00,1.462344e+00,1.466727e+00,1.468933e+00,1.473072e+00,1.474446e+00,1.474922e+00,1.474639e+00,1.473559e+00,1.472378e+00,1.468284e+00,1.465245e+00,1.462500e+00,1.455160e+00,1.450595e+00,1.446393e+00,1.436323e+00,1.430609e+00,1.425064e+00,1.412728e+00,1.406189e+00,1.399418e+00,1.385233e+00,1.378140e+00,1.370264e+00,1.354598e+00,1.347180e+00,1.338316e+00,1.321494e+00,1.313939e+00,1.304203e+00,1.286509e+00,1.278973e+00,1.268475e+00,1.250157e+00,1.242763e+00,1.231609e+00,1.212882e+00,1.205727e+00,1.194019e+00,1.175065e+00,1.168227e+00,1.156059e+00,1.137037e+00,1.130572e+00,1.118032e+00,1.099076e+00,1.093025e+00,1.080196e+00,1.061418e+00,1.055809e+00,1.042767e+00,1.024263e+00,1.019112e+00,1.005927e+00,9.877763e-01,9.830894e-01,9.698268e-01,9.520933e-01,9.478709e-01,9.345890e-01,9.173254e-01,9.135608e-01,9.003130e-01,8.835611e-01,8.802427e-01,8.670778e-01,8.508702e-01,8.479826e-01,8.349444e-01,8.193056e-01,8.168303e-01,8.039582e-01,7.889058e-01,7.868221e-01,7.741513e-01,7.596969e-01,7.579827e-01,7.455444e-01,7.316947e-01,7.303264e-01,7.181485e-01,7.049057e-01,7.038594e-01,6.919662e-01,6.793290e-01,6.785804e-01,6.669931e-01,6.549569e-01,6.544817e-01,6.432188e-01,6.317766e-01,6.315507e-01,6.206280e-01,6.097704e-01,5.891199e-01,5.695756e-01,5.511114e-01,5.336991e-01,5.173089e-01,5.019100e-01,4.874705e-01,4.739579e-01,4.613390e-01,4.495806e-01,4.386492e-01,4.285114e-01,4.191338e-01,4.104832e-01,4.025269e-01,3.952322e-01,3.885670e-01,3.824998e-01,3.769992e-01,3.720346e-01,3.675762e-01,3.635943e-01,3.600604e-01,3.569464e-01,3.542249e-01,3.518694e-01,3.498542e-01,3.481542e-01,3.467453e-01,3.456041e-01,3.447082e-01,3.440360e-01,3.435669e-01,3.432811e-01,3.431597e-01,3.431848e-01,3.433394e-01,3.436073e-01,3.439735e-01,3.444236e-01,3.449443e-01,3.455231e-01,3.461484e-01,3.468095e-01,3.474964e-01,3.482001e-01,3.489123e-01,3.496253e-01,3.503325e-01
0.000000e+00,1.253559e-08,4.460559e-07,4.722600e-07,5.191564e-06,2.668624e-05,2.823623e-05,8.892306e-05,1.797024e-04,1.862404e-04,3.010616e-04,4.078154e-04,4.168741e-04,5.252143e-04,6.137302e-04,6.230096e-04,7.097543e-04,7.773395e-04,7.859526e-04,8.524275e-04,9.024870e-04,9.100538e-04,9.596665e-04,9.957147e-04,1.002037e-03,1.037871e-03,1.062831e-03,1.067813e-03,1.092452e-03,1.108707e-03,1.112325e-03,1.127926e-03,1.137418e-03,1.139702e-03,1.148064e-03,1.152365e-03,1.153383e-03,1.155999e-03,1.156374e-03,1.156216e-03,1.154313e-03,1.151772e-03,1.150541e-03,1.145125e-03,1.140465e-03,1.138268e-03,1.130155e-03,1.124005e-03,1.120950e-03,1.110800e-03,1.103649e-03,1.099839e-03,1.088185e-03,1.080413e-03,1.075946e-03,1.063215e-03,1.055113e-03,1.050079e-03,1.036613e-03,1.028404e-03,1.022886e-03,1.008958e-03,1.000809e-03,9.948824e-04,9.807072e-04,9.727417e-04,9.664750e-04,9.522233e-04,9.445312e-04,9.379854e-04,9.237904e-04,9.164348e-04,9.096644e-04,8.956299e-04,8.886532e-04,8.817066e-04,8.679118e-04,8.613404e-04,8.542604e-04,8.407653e-04,8.346131e-04,8.274376e-04,8.142867e-04,8.085584e-04,8.013205e-04,7.885457e-04,7.832387e-04,7.759678e-04,7.635911e-04,7.586976e-04,7.514192e-04,7.394549e-04,7.349632e-04,7.276999e-04,7.161557e-04,7.120515e-04,7.048228e-04,6.937014e-04,6.899682e-04,6.827912e-04,6.720914e-04,6.687118e-04,6.616012e-04,6.513190e-04,6.482747e-04,6.412433e-04,6.313722e-04,6.286446e-04,6.217035e-04,6.122350e-04,6.098057e-04,6.029644e-04,5.938890e-04,5.917396e-04,5.850061e-04,5.763132e-04,5.744259e-04,5.678072e-04,5.594853e-04,5.578428e-04,5.513446e-04,5.433821e-04,5.419675e-04,5.355948e-04,5.279796e-04,5.267770e-04,5.205336e-04,5.132537e-04,5.122476e-04,5.061369e-04,4.991800e-04,4.983558e-04,4.923803e-04,4.857346e-04,4.850783e-04,4.792399e-04,4.728934e-04,4.723920e-04,4.666922e-04,4.606333e-04,4.602742e-04,4.547139e-04,4.489313e-04,4.487027e-04,4.432825e-04,4.377649e-04,4.376559e-04,4.323759e-04,4.271126e-04,4.170524e-04,4.074556e-04,3.983028e-04,3.895757e-04,3.812563e-04,3.733276e-04,3.657728e-04,3.585760e-04,3.517220e-04,3.451959e-04,3.389836e-04,3.330716e-04,3.274466e-04,3.220964e-04,3.170087e-04,3.121721e-04,3.075755e-04,3.032083e-04,2.990604e-04,2.951219e-04,2.913837e-04,2.878367e-04,2.844723e-04,2.812824e-04,2.782591e-04,2.753948e-04,2.726823e-04,2.701147e-04,2.676855e-04,2.653882e-04,2.632167e-04,2.611654e-04,2.592285e-04,2.574009e-04,2.556773e-04,2.540530e-04,2.525231e-04,2.510834e-04,2.497294e-04,2.484571e-04,2.472626e-04,2.461421e-04,2.450921e-04,2.441090e-04,2.431897e-04,2.423310e-04,2.415299e-04,2.407835e-04,2.400891e-04
0.000000e+00,2.197406e-09,2.970412e-08,3.100432e-08,1.878891e-07,6.446374e-07,6.729270e-07,1.645123e-06,2.932065e-06,3.021180e-06,4.538372e-06,5.906807e-06,6.022616e-06,7.418935e-06,8.591145e-06,8.716437e-06,9.916001e-06,1.089367e-05,1.102152e-05,1.203759e-05,1.284337e-05,1.296880e-05,1.381973e-05,1.447579e-05,1.459491e-05,1.529871e-05,1.582551e-05,1.593533e-05,1.650882e-05,1.692475e-05,1.702303e-05,1.748163e-05,1.780297e-05,1.788810e-05,1.824575e-05,1.848686e-05,1.855774e-05,1.882701e-05,1.900044e-05,1.905640e-05,1.924854e-05,1.936524e-05,1.940596e-05,1.953101e-05,1.960049e-05,1.962594e-05,1.969284e-05,1.972336e-05,1.973372e-05,1.975044e-05,1.974910e-05,1.974476e-05,1.971835e-05,1.969130e-05,1.967277e-05,1.960950e-05,1.956200e-05,1.952992e-05,1.943533e-05,1.937188e-05,1.932695e-05,1.920595e-05,1.913040e-05,1.907339e-05,1.893029e-05,1.884592e-05,1.877762e-05,1.861625e-05,1.852580e-05,1.844703e-05,1.827075e-05,1.817654e-05,1.808814e-05,1.789988e-05,1.780385e-05,1.770664e-05,1.750900e-05,1.741274e-05,1.730754e-05,1.710277e-05,1.700761e-05,1.689520e-05,1.668528e-05,1.659229e-05,1.647344e-05,1.626008e-05,1.617011e-05,1.604557e-05,1.583025e-05,1.574397e-05,1.561445e-05,1.539846e-05,1.531639e-05,1.518255e-05,1.496699e-05,1.488952e-05,1.475201e-05,1.453782e-05,1.446522e-05,1.432464e-05,1.411263e-05,1.404507e-05,1.390198e-05,1.369284e-05,1.363041e-05,1.348535e-05,1.327963e-05,1.322237e-05,1.307582e-05,1.287401e-05,1.282189e-05,1.267431e-05,1.247680e-05,1.242973e-05,1.228156e-05,1.208866e-05,1.204654e-05,1.189815e-05,1.171011e-05,1.167280e-05,1.152457e-05,1.134157e-05,1.130891e-05,1.116116e-05,1.098335e-05,1.095514e-05,1.080818e-05,1.063566e-05,1.061172e-05,1.046581e-05,1.029864e-05,1.027876e-05,1.013415e-05,9.972355e-06,9.956323e-06,9.813247e-06,9.656825e-06,9.644427e-06,9.503081e-06,9.352008e-06,9.343029e-06,9.203594e-06,9.057824e-06,9.052048e-06,8.914683e-06,8.774154e-06,8.771370e-06,8.636216e-06,8.500849e-06,8.240315e-06,7.989578e-06,7.748432e-06,7.516656e-06,7.294019e-06,7.080284e-06,6.875204e-06,6.678532e-06,6.490016e-06,6.309404e-06,6.136445e-06,5.970888e-06,5.812485e-06,5.660991e-06,5.516166e-06,5.377773e-06,5.245578e-06,5.119355e-06,4.998882e-06,4.883943e-06,4.774327e-06,4.669829e-06,4.570251e-06,4.475399e-06,4.385087e-06,4.299133e-06,4.217363e-06,4.139606e-06,4.065701e-06,3.995488e-06,3.928815e-06,3.865537e-06,3.805509e-06,3.748598e-06,3.694670e-06,3.643599e-06,3.595265e-06,3.549548e-06,3.506338e-06,3.465525e-06,3.427006e-06,3.390680e-06,3.356452e-06,3.324229e-06,3.293922e-06,3.265447e-06,3.238721e-06,3.213667e-06,3.190209e-06
0.000000e+00,4.859729e-08,1.569835e-06,1.654969e-06,1.487399e-05,7.135346e-05,7.555182e-05,2.665704e-04,6.830303e-04,7.205035e-04,1.590523e-03,2.869934e-03,3.005274e-03,5.037418e-03,7.405693e-03,7.699562e-03,1.095683e-02,1.426303e-02,1.474250e-02,1.897127e-02,2.289091e-02,2.354928e-02,2.838131e-02,3.256923e-02,3.337562e-02,3.844720e-02,4.260964e-02,4.351961e-02,4.852594e-02,5.244472e-02,5.340907e-02,5.812150e-02,6.165369e-02,6.262482e-02,6.688901e-02,6.995579e-02,7.089162e-02,7.461693e-02,7.718913e-02,7.805507e-02,8.120122e-02,8.328516e-02,8.405477e-02,8.661868e-02,8.824410e-02,8.889877e-02,9.090314e-02,9.211363e-02,9.264173e-02,9.412575e-02,9.497166e-02,9.536742e-02,9.637956e-02,9.691296e-02,9.717538e-02,9.776821e-02,9.803967e-02,9.817135e-02,9.839791e-02,9.845441e-02,9.846066e-02,9.837202e-02,9.825595e-02,9.814390e-02,9.778774e-02,9.753644e-02,9.731442e-02,9.673428e-02,9.638005e-02,9.605709e-02,9.529205e-02,9.486241e-02,9.444783e-02,9.353255e-02,9.305066e-02,9.255381e-02,9.151870e-02,9.100379e-02,9.043385e-02,8.930543e-02,8.877331e-02,8.813915e-02,8.694033e-02,8.640384e-02,8.571392e-02,8.446449e-02,8.393388e-02,8.319625e-02,8.191311e-02,8.139650e-02,8.061869e-02,7.931630e-02,7.881995e-02,7.800901e-02,7.669963e-02,7.622825e-02,7.539077e-02,7.408478e-02,7.364179e-02,7.278385e-02,7.148997e-02,7.107772e-02,7.020495e-02,6.893045e-02,6.855038e-02,6.766798e-02,6.641889e-02,6.607172e-02,6.518444e-02,6.396572e-02,6.365156e-02,6.276374e-02,6.157941e-02,6.129788e-02,6.041351e-02,5.926676e-02,5.901711e-02,5.813978e-02,5.703313e-02,5.681428e-02,5.594727e-02,5.488261e-02,5.469326e-02,5.383951e-02,5.281824e-02,5.265688e-02,5.181905e-02,5.084211e-02,5.070713e-02,4.988758e-02,4.895554e-02,4.884521e-02,4.804605e-02,4.715914e-02,4.707169e-02,4.629480e-02,4.545299e-02,4.538662e-02,4.463364e-02,4.383665e-02,4.378954e-02,4.306192e-02,4.230928e-02,4.227964e-02,4.157860e-02,4.086969e-02,4.085573e-02,4.018235e-02,3.951638e-02,3.825992e-02,3.708446e-02,3.598798e-02,3.496831e-02,3.402316e-02,3.315015e-02,3.234685e-02,3.161074e-02,3.093928e-02,3.032988e-02,2.977992e-02,2.928677e-02,2.884778e-02,2.846029e-02,2.812165e-02,2.782922e-02,2.758035e-02,2.737243e-02,2.720287e-02,2.706909e-02,2.696856e-02,2.689878e-02,2.685732e-02,2.684177e-02,2.684979e-02,2.687912e-02,2.692753e-02,2.699291e-02,2.707319e-02,2.716640e-02,2.727066e-02,2.738417e-02,2.750523e-02,2.763224e-02,2.776369e-02,2.789818e-02,2.803441e-02,2.817116e-02,2.830733e-02,2.844192e-02,2.857403e-02,2.870283e-02,2.882762e-02,2.894777e-02,2.906273e-02,2.917206e-02,2.927537e-02,2.937236e-02,2.946281e-02
0.000000e+00,1.160355e-06,4.164670e-05,4.405212e-05,4.755596e-04,2.639672e-03,2.808229e-03,1.071220e-02,2.763747e-02,2.911441e-02,6.153983e-02,1.046542e-01,1.089907e-01,1.705735e-01,2.365058e-01,2.443699e-01,3.280466e-01,4.079552e-01,4.192143e-01,5.156177e-01,6.011573e-01,6.152265e-01,7.162683e-01,8.011375e-01,8.172314e-01,9.168511e-01,9.968017e-01,1.014089e+00,1.108108e+00,1.180558e+00,1.198250e+00,1.284011e+00,1.347621e+00,1.365020e+00,1.441022e+00,1.495331e+00,1.511854e+00,1.577438e+00,1.622582e+00,1.637762e+00,1.692869e+00,1.729363e+00,1.742847e+00,1.787820e+00,1.816404e+00,1.827941e+00,1.863385e+00,1.884912e+00,1.894342e+00,1.921014e+00,1.936372e+00,1.943610e+00,1.962344e+00,1.972406e+00,1.977431e+00,1.989084e+00,1.994677e+00,1.997515e+00,2.002929e+00,2.004814e+00,2.005529e+00,2.005510e+00,2.004373e+00,2.003060e+00,1.998358e+00,1.994807e+00,1.991579e+00,1.982888e+00,1.977454e+00,1.972440e+00,1.960385e+00,1.953529e+00,1.946864e+00,1.932011e+00,1.924124e+00,1.915951e+00,1.898802e+00,1.890217e+00,1.880676e+00,1.861677e+00,1.852672e+00,1.841904e+00,1.821447e+00,1.812252e+00,1.800393e+00,1.778821e+00,1.769625e+00,1.756806e+00,1.734418e+00,1.725373e+00,1.711721e+00,1.688774e+00,1.680001e+00,1.665635e+00,1.642354e+00,1.633948e+00,1.618980e+00,1.595556e+00,1.587588e+00,1.572124e+00,1.548721e+00,1.541244e+00,1.525382e+00,1.502139e+00,1.495189e+00,1.479020e+00,1.456054e+00,1.449654e+00,1.433263e+00,1.410671e+00,1.404833e+00,1.388298e+00,1.366162e+00,1.360887e+00,1.344280e+00,1.322667e+00,1.317950e+00,1.301336e+00,1.280301e+00,1.276130e+00,1.259570e+00,1.239155e+00,1.235514e+00,1.219063e+00,1.199301e+00,1.196171e+00,1.179877e+00,1.160794e+00,1.158151e+00,1.142059e+00,1.123674e+00,1.121492e+00,1.105643e+00,1.087967e+00,1.086219e+00,1.070648e+00,1.053689e+00,1.052347e+00,1.037088e+00,1.020846e+00,1.019883e+00,1.004963e+00,9.894370e-01,9.888234e-01,9.742677e-01,9.594530e-01,9.591604e-01,9.449911e-01,9.308796e-01,9.039622e-01,8.783851e-01,8.541222e-01,8.311440e-01,8.094191e-01,7.889142e-01,7.695941e-01,7.514229e-01,7.343633e-01,7.183774e-01,7.034267e-01,6.894724e-01,6.764755e-01,6.643970e-01,6.531981e-01,6.428400e-01,6.332843e-01,6.244930e-01,6.164284e-01,6.090536e-01,6.023322e-01,5.962284e-01,5.907071e-01,5.857343e-01,5.812765e-01,5.773012e-01,5.737768e-01,5.706728e-01,5.679593e-01,5.656079e-01,5.635910e-01,5.618820e-01,5.604555e-01,5.592872e-01,5.583537e-01,5.576330e-01,5.571041e-01,5.567469e-01,5.565426e-01,5.564735e-01,5.565228e-01,5.566749e-01,5.569152e-01,5.572301e-01,5.576069e-01,5.580340e-01,5.585006e-01,5.589969e-01,5.595138e-01
0.000000e+00,1.777232e-08,4.706754e-07,4.949472e-07,4.090763e-06,1.830419e-05,1.931047e-05,6.035176e-05,1.305456e-04,1.360067e-04,2.395654e-04,3.468434e-04,3.563668e-04,4.749531e-04,5.781893e-04,5.893540e-04,6.971441e-04,7.859277e-04,7.975884e-04,8.906449e-04,9.649292e-04,9.765332e-04,1.055565e-03,1.116903e-03,1.128082e-03,1.194431e-03,1.244473e-03,1.254951e-03,1.309975e-03,1.350252e-03,1.359822e-03,1.404797e-03,1.436684e-03,1.445193e-03,1.481288e-03,1.506006e-03,1.513346e-03,1.541618e-03,1.560243e-03,1.566343e-03,1.587745e-03,1.601218e-03,1.606039e-03,1.621426e-03,1.630571e-03,1.634098e-03,1.644235e-03,1.649768e-03,1.652008e-03,1.657577e-03,1.660121e-03,1.661097e-03,1.662709e-03,1.662803e-03,1.662550e-03,1.660748e-03,1.658859e-03,1.657424e-03,1.652691e-03,1.649220e-03,1.646657e-03,1.639423e-03,1.634715e-03,1.631084e-03,1.621729e-03,1.616079e-03,1.611444e-03,1.600306e-03,1.593965e-03,1.588392e-03,1.575771e-03,1.568951e-03,1.562509e-03,1.548668e-03,1.541549e-03,1.534306e-03,1.519479e-03,1.512211e-03,1.504236e-03,1.488625e-03,1.481334e-03,1.472693e-03,1.456481e-03,1.449269e-03,1.440028e-03,1.423371e-03,1.416323e-03,1.406545e-03,1.389581e-03,1.382764e-03,1.372511e-03,1.355361e-03,1.348828e-03,1.338157e-03,1.320925e-03,1.314719e-03,1.303686e-03,1.286462e-03,1.280612e-03,1.269271e-03,1.252133e-03,1.246662e-03,1.235063e-03,1.218077e-03,1.213000e-03,1.201189e-03,1.184413e-03,1.179737e-03,1.167760e-03,1.151241e-03,1.146969e-03,1.134866e-03,1.118645e-03,1.114776e-03,1.102586e-03,1.086696e-03,1.083224e-03,1.070983e-03,1.055453e-03,1.052369e-03,1.040110e-03,1.024961e-03,1.022255e-03,1.010010e-03,9.952592e-04,9.929180e-04,9.807135e-04,9.663755e-04,9.643849e-04,9.522476e-04,9.383317e-04,9.366762e-04,9.246297e-04,9.111428e-04,9.098060e-04,8.978720e-04,8.848180e-04,8.837831e-04,8.719812e-04,8.593618e-04,8.586115e-04,8.469596e-04,8.347743e-04,8.342914e-04,8.228054e-04,8.110521e-04,8.108192e-04,7.995135e-04,7.881885e-04,7.663900e-04,7.454124e-04,7.252426e-04,7.058658e-04,6.872661e-04,6.694264e-04,6.523288e-04,6.359549e-04,6.202855e-04,6.053014e-04,5.909830e-04,5.773105e-04,5.642643e-04,5.518247e-04,5.399721e-04,5.286872e-04,5.179509e-04,5.077442e-04,4.980488e-04,4.888463e-04,4.801190e-04,4.718494e-04,4.640205e-04,4.566157e-04,4.496186e-04,4.430136e-04,4.367854e-04,4.309188e-04,4.253996e-04,4.202136e-04,4.153472e-04,4.107871e-04,4.065206e-04,4.025352e-04,3.988190e-04,3.953603e-04,3.921479e-04,3.891709e-04,3.864189e-04,3.838818e-04,3.815497e-04,3.794132e-04,3.774633e-04,3.756912e-04,3.740883e-04,3.726465e-04,3.713581e-04,3.702152e-04,3.692108e-04
0.000000e+00,1.560153e-08,4.160400e-07,4.372881e-07,3.491234e-06,1.528276e-05,1.611867e-05,5.108498e-05,1.160166e-04,1.213612e-04,2.304918e-04,3.568393e-04,3.685513e-04,5.183685e-04,6.505866e-04,6.647616e-04,7.985080e-04,9.024863e-04,9.156154e-04,1.015322e-03,1.087787e-03,1.098489e-03,1.166643e-03,1.213541e-03,1.221492e-03,1.264698e-03,1.292516e-03,1.297790e-03,1.322141e-03,1.336148e-03,1.338964e-03,1.349327e-03,1.353529e-03,1.354161e-03,1.354282e-03,1.351661e-03,1.350398e-03,1.343126e-03,1.335881e-03,1.333002e-03,1.320491e-03,1.310233e-03,1.305996e-03,1.289866e-03,1.277768e-03,1.272406e-03,1.253878e-03,1.240785e-03,1.234508e-03,1.214490e-03,1.201006e-03,1.193992e-03,1.173158e-03,1.159705e-03,1.152111e-03,1.130957e-03,1.117827e-03,1.109784e-03,1.088670e-03,1.076057e-03,1.067679e-03,1.046865e-03,1.034893e-03,1.026275e-03,1.005945e-03,9.946871e-04,9.859088e-04,9.661899e-04,9.556815e-04,9.468098e-04,9.277845e-04,9.180363e-04,9.091273e-04,8.908473e-04,8.818513e-04,8.729518e-04,8.554451e-04,8.471807e-04,8.383296e-04,8.216059e-04,8.140445e-04,8.052734e-04,7.893302e-04,7.824377e-04,7.737731e-04,7.585985e-04,7.523382e-04,7.438019e-04,7.293779e-04,7.237115e-04,7.153211e-04,7.016253e-04,6.965143e-04,6.882841e-04,6.752910e-04,6.706973e-04,6.626390e-04,6.503212e-04,6.462080e-04,6.383306e-04,6.266600e-04,6.229919e-04,6.153024e-04,6.042506e-04,6.009936e-04,5.934974e-04,5.830359e-04,5.801579e-04,5.728589e-04,5.629597e-04,5.604306e-04,5.533314e-04,5.439672e-04,5.417584e-04,5.348606e-04,5.260049e-04,5.240898e-04,5.173939e-04,5.090213e-04,5.073748e-04,5.008808e-04,4.929666e-04,4.915656e-04,4.852726e-04,4.777932e-04,4.766160e-04,4.705227e-04,4.634556e-04,4.624821e-04,4.565865e-04,4.499102e-04,4.491218e-04,4.434215e-04,4.371155e-04,4.364948e-04,4.309873e-04,4.250320e-04,4.245630e-04,4.192452e-04,4.136222e-04,4.132899e-04,4.081586e-04,4.028502e-04,4.026411e-04,3.976928e-04,3.926822e-04,3.925835e-04,3.878146e-04,3.830860e-04,3.741189e-04,3.656541e-04,3.576650e-04,3.501261e-04,3.430134e-04,3.363043e-04,3.299772e-04,3.240115e-04,3.183879e-04,3.130881e-04,3.080945e-04,3.033908e-04,2.989613e-04,2.947911e-04,2.908663e-04,2.871735e-04,2.837002e-04,2.804344e-04,2.773648e-04,2.744808e-04,2.717721e-04,2.692292e-04,2.668429e-04,2.646047e-04,2.625064e-04,2.605402e-04,2.586989e-04,2.569754e-04,2.553634e-04,2.538564e-04,2.524486e-04,2.511345e-04,2.499088e-04,2.487664e-04,2.477027e-04,2.467131e-04,2.457934e-04,2.449397e-04,2.441480e-04,2.434149e-04,2.427369e-04,2.421108e-04,2.415335e-04,2.410021e-04,2.405140e-04,2.400665e-04,2.396573e-04,2.392839e-04,2.389442e-04
0.000000e+00,6.181981e-09,2.709146e-07,2.876393e-07,3.452363e-06,1.858502e-05,1.970750e-05,6.713232e-05,1.516386e-04,1.583748e-04,2.912998e-04,4.400541e-04,4.537892e-04,6.310077e-04,7.920478e-04,8.096632e-04,9.796764e-04,1.116775e-03,1.134386e-03,1.270087e-03,1.370455e-03,1.385356e-03,1.480371e-03,1.545399e-03,1.556345e-03,1.615082e-03,1.651835e-03,1.658654e-03,1.689183e-03,1.705588e-03,1.708704e-03,1.719077e-03,1.721891e-03,1.721958e-03,1.718779e-03,1.713068e-03,1.710759e-03,1.698917e-03,1.688195e-03,1.684096e-03,1.666983e-03,1.653560e-03,1.648136e-03,1.627999e-03,1.613331e-03,1.606930e-03,1.585208e-03,1.570180e-03,1.563056e-03,1.540645e-03,1.525778e-03,1.518109e-03,1.495553e-03,1.481144e-03,1.473056e-03,1.450681e-03,1.436890e-03,1.428474e-03,1.406471e-03,1.393378e-03,1.384699e-03,1.363179e-03,1.350820e-03,1.341928e-03,1.320955e-03,1.309336e-03,1.300270e-03,1.279880e-03,1.268993e-03,1.259788e-03,1.239998e-03,1.229827e-03,1.220511e-03,1.201329e-03,1.191852e-03,1.182451e-03,1.163878e-03,1.155071e-03,1.145608e-03,1.127641e-03,1.119478e-03,1.109975e-03,1.092609e-03,1.085061e-03,1.075539e-03,1.058764e-03,1.051806e-03,1.042281e-03,1.026088e-03,1.019692e-03,1.010182e-03,9.945605e-04,9.886980e-04,9.792195e-04,9.641563e-04,9.588009e-04,9.493677e-04,9.348504e-04,9.299758e-04,9.206011e-04,9.066164e-04,9.021966e-04,8.928927e-04,8.794265e-04,8.754364e-04,8.662144e-04,8.532528e-04,8.496679e-04,8.405380e-04,8.280666e-04,8.248634e-04,8.158348e-04,8.038392e-04,8.009950e-04,7.920761e-04,7.805420e-04,7.780348e-04,7.692332e-04,7.581463e-04,7.559553e-04,7.472777e-04,7.366240e-04,7.347288e-04,7.261815e-04,7.159469e-04,7.143284e-04,7.059167e-04,6.960875e-04,6.947273e-04,6.864560e-04,6.770188e-04,6.758993e-04,6.677727e-04,6.587143e-04,6.578186e-04,6.498404e-04,6.411479e-04,6.404602e-04,6.326336e-04,6.242944e-04,6.237995e-04,6.161272e-04,6.081290e-04,6.078125e-04,6.002968e-04,5.926276e-04,5.924759e-04,5.851186e-04,5.777669e-04,5.636634e-04,5.501440e-04,5.371877e-04,5.247745e-04,5.128846e-04,5.014990e-04,4.905994e-04,4.801679e-04,4.701872e-04,4.606407e-04,4.515121e-04,4.427859e-04,4.344470e-04,4.264807e-04,4.188730e-04,4.116101e-04,4.046790e-04,3.980669e-04,3.917616e-04,3.857511e-04,3.800240e-04,3.745693e-04,3.693762e-04,3.644345e-04,3.597343e-04,3.552658e-04,3.510199e-04,3.469876e-04,3.431603e-04,3.395297e-04,3.360876e-04,3.328265e-04,3.297388e-04,3.268173e-04,3.240551e-04,3.214454e-04,3.189817e-04,3.166580e-04,3.144681e-04,3.124062e-04,3.104667e-04,3.086444e-04,3.069339e-04,3.053303e-04,3.038287e-04,3.024245e-04,3.011133e-04,2.998907e-04,2.987526e-04
0.000000e+00,1.974786e-08,3.923208e-07,4.116805e-07,3.133060e-06,1.240934e-05,1.300818e-05,3.364795e-05,5.942323e-05,6.113990e-05,8.955442e-05,1.144525e-04,1.165427e-04,1.416087e-04,1.624962e-04,1.647214e-04,1.859536e-04,2.031582e-04,2.054009e-04,2.231627e-04,2.371646e-04,2.393371e-04,2.540193e-04,2.652666e-04,2.673012e-04,2.792706e-04,2.881652e-04,2.900115e-04,2.996036e-04,3.065012e-04,3.081226e-04,3.156403e-04,3.208530e-04,3.222249e-04,3.279405e-04,3.317402e-04,3.328471e-04,3.370014e-04,3.396228e-04,3.404569e-04,3.432640e-04,3.449101e-04,3.454697e-04,3.471183e-04,3.479633e-04,3.482515e-04,3.489081e-04,3.491012e-04,3.491249e-04,3.489360e-04,3.486048e-04,3.483735e-04,3.474677e-04,3.467208e-04,3.462465e-04,3.447365e-04,3.436662e-04,3.429623e-04,3.409470e-04,3.396311e-04,3.387122e-04,3.362780e-04,3.347823e-04,3.336633e-04,3.308857e-04,3.292652e-04,3.279616e-04,3.249064e-04,3.232072e-04,3.217344e-04,3.184589e-04,3.167189e-04,3.150923e-04,3.116461e-04,3.098966e-04,3.081312e-04,3.045575e-04,3.028240e-04,3.009343e-04,2.972702e-04,2.955733e-04,2.935733e-04,2.898510e-04,2.882069e-04,2.861101e-04,2.823570e-04,2.807786e-04,2.785977e-04,2.748374e-04,2.733342e-04,2.710812e-04,2.673338e-04,2.659129e-04,2.635993e-04,2.598817e-04,2.585481e-04,2.561844e-04,2.525109e-04,2.512678e-04,2.488640e-04,2.452465e-04,2.440955e-04,2.416609e-04,2.381093e-04,2.370508e-04,2.345938e-04,2.311162e-04,2.301495e-04,2.276781e-04,2.242810e-04,2.234047e-04,2.209262e-04,2.176148e-04,2.168267e-04,2.143478e-04,2.111260e-04,2.104234e-04,2.079503e-04,2.048211e-04,2.042009e-04,2.017391e-04,1.987046e-04,1.981634e-04,1.957179e-04,1.927794e-04,1.923137e-04,1.898892e-04,1.870473e-04,1.866533e-04,1.842538e-04,1.815087e-04,1.811825e-04,1.788118e-04,1.761630e-04,1.759008e-04,1.735622e-04,1.710090e-04,1.708068e-04,1.685032e-04,1.660445e-04,1.658984e-04,1.636324e-04,1.612668e-04,1.611731e-04,1.589470e-04,1.566728e-04,1.566278e-04,1.544436e-04,1.522589e-04,1.480629e-04,1.440355e-04,1.401726e-04,1.364699e-04,1.329229e-04,1.295269e-04,1.262775e-04,1.231701e-04,1.202001e-04,1.173629e-04,1.146541e-04,1.120691e-04,1.096037e-04,1.072536e-04,1.050145e-04,1.028823e-04,1.008530e-04,9.892277e-05,9.708774e-05,9.534421e-05,9.368861e-05,9.211745e-05,9.062734e-05,8.921503e-05,8.787735e-05,8.661124e-05,8.541373e-05,8.428198e-05,8.321323e-05,8.220480e-05,8.125415e-05,8.035878e-05,7.951631e-05,7.872445e-05,7.798097e-05,7.728374e-05,7.663072e-05,7.601991e-05,7.544943e-05,7.491744e-05,7.442218e-05,7.396195e-05,7.353513e-05,7.314015e-05,7.277551e-05,7.243977e-05,7.213153e-05,7.184946e-05,7.159228e-05
0.000000e+00,1.186580e-08,2.005615e-07,2.098294e-07,1.321029e-06,4.309028e-06,4.484005e-06,9.980823e-06,1.625002e-05,1.666012e-05,2.344257e-05,2.946025e-05,2.997071e-05,3.616896e-05,4.145660e-05,4.202722e-05,4.755046e-05,5.214096e-05,5.274776e-05,5.762964e-05,6.158424e-05,6.220721e-05,6.649201e-05,6.987355e-05,7.049575e-05,7.423008e-05,7.709928e-05,7.770653e-05,8.093648e-05,8.335041e-05,8.393100e-05,8.670082e-05,8.871202e-05,8.925637e-05,9.160773e-05,9.326417e-05,9.376459e-05,9.573633e-05,9.708153e-05,9.753193e-05,9.916007e-05,1.002333e-04,1.006290e-04,1.019468e-04,1.027834e-04,1.031211e-04,1.041591e-04,1.047908e-04,1.050680e-04,1.058545e-04,1.063096e-04,1.065250e-04,1.070857e-04,1.073896e-04,1.075425e-04,1.079011e-04,1.080765e-04,1.081669e-04,1.083451e-04,1.084120e-04,1.084406e-04,1.084581e-04,1.084344e-04,1.084023e-04,1.082773e-04,1.081786e-04,1.080873e-04,1.078362e-04,1.076766e-04,1.075278e-04,1.071657e-04,1.069574e-04,1.067534e-04,1.062939e-04,1.060476e-04,1.057906e-04,1.052463e-04,1.049713e-04,1.046638e-04,1.040459e-04,1.037505e-04,1.033951e-04,1.027139e-04,1.024051e-04,1.020046e-04,1.012693e-04,1.009533e-04,1.005103e-04,9.972941e-05,9.941139e-05,9.892865e-05,9.810980e-05,9.779425e-05,9.727457e-05,9.642459e-05,9.611529e-05,9.556141e-05,9.468649e-05,9.438659e-05,9.380123e-05,9.290695e-05,9.261907e-05,9.200489e-05,9.109624e-05,9.082253e-05,9.018212e-05,8.926359e-05,8.900575e-05,8.834166e-05,8.741726e-05,8.717662e-05,8.649129e-05,8.556460e-05,8.534218e-05,8.463798e-05,8.371218e-05,8.350868e-05,8.278790e-05,8.186582e-05,8.168172e-05,8.094654e-05,8.003067e-05,7.986621e-05,7.911874e-05,7.821126e-05,7.806652e-05,7.730874e-05,7.641160e-05,7.628645e-05,7.552027e-05,7.463515e-05,7.452937e-05,7.375659e-05,7.288493e-05,7.279816e-05,7.202049e-05,7.116356e-05,7.109534e-05,7.031440e-05,6.947326e-05,6.942305e-05,6.864036e-05,6.781591e-05,6.778311e-05,6.700010e-05,6.619310e-05,6.617705e-05,6.539507e-05,6.460613e-05,6.307137e-05,6.157355e-05,6.011330e-05,5.869104e-05,5.730704e-05,5.596145e-05,5.465425e-05,5.338537e-05,5.215458e-05,5.096160e-05,4.980607e-05,4.868755e-05,4.760556e-05,4.655956e-05,4.554895e-05,4.457311e-05,4.363140e-05,4.272312e-05,4.184759e-05,4.100407e-05,4.019185e-05,3.941018e-05,3.865831e-05,3.793549e-05,3.724097e-05,3.657400e-05,3.593383e-05,3.531972e-05,3.473092e-05,3.416670e-05,3.362635e-05,3.310916e-05,3.261441e-05,3.214142e-05,3.168951e-05,3.125802e-05,3.084628e-05,3.045366e-05,3.007954e-05,2.972330e-05,2.938433e-05,2.906206e-05,2.875591e-05,2.846532e-05,2.818975e-05,2.792868e-05,2.768157e-05,2.744793e-05,2.722727e-05
0.000000e+00,2.059705e-08,2.710935e-07,2.820595e-07,1.496679e-06,4.891759e-06,5.103621e-06,1.268703e-05,2.399835e-05,2.484695e-05,4.066363e-05,5.680815e-05,5.823091e-05,7.573248e-05,9.054995e-05,9.212510e-05,1.070321e-04,1.188726e-04,1.203962e-04,1.322753e-04,1.413743e-04,1.427625e-04,1.519595e-04,1.587614e-04,1.599666e-04,1.668797e-04,1.717957e-04,1.727892e-04,1.777798e-04,1.811640e-04,1.819306e-04,1.853151e-04,1.874671e-04,1.880015e-04,1.900529e-04,1.912234e-04,1.915278e-04,1.924801e-04,1.928780e-04,1.929598e-04,1.930122e-04,1.928091e-04,1.926794e-04,1.920006e-04,1.913388e-04,1.910115e-04,1.897452e-04,1.887416e-04,1.882325e-04,1.865011e-04,1.852514e-04,1.845771e-04,1.824843e-04,1.810667e-04,1.802451e-04,1.778801e-04,1.763585e-04,1.754072e-04,1.728429e-04,1.712667e-04,1.702021e-04,1.674985e-04,1.659065e-04,1.647444e-04,1.619512e-04,1.603738e-04,1.591292e-04,1.562876e-04,1.547480e-04,1.534348e-04,1.505785e-04,1.490941e-04,1.477255e-04,1.448819e-04,1.434654e-04,1.420533e-04,1.392445e-04,1.379047e-04,1.364600e-04,1.337038e-04,1.324464e-04,1.309792e-04,1.282893e-04,1.271175e-04,1.256368e-04,1.230239e-04,1.219388e-04,1.204526e-04,1.179247e-04,1.169260e-04,1.154416e-04,1.130044e-04,1.120905e-04,1.106141e-04,1.082716e-04,1.074401e-04,1.059773e-04,1.037318e-04,1.029794e-04,1.015352e-04,9.938767e-05,9.871083e-05,9.728925e-05,9.523980e-05,9.463449e-05,9.323915e-05,9.128700e-05,9.074903e-05,8.938296e-05,8.752662e-05,8.705172e-05,8.571745e-05,8.395491e-05,8.353877e-05,8.223837e-05,8.056718e-05,8.020554e-05,7.894067e-05,7.735809e-05,7.704678e-05,7.581870e-05,7.432174e-05,7.405673e-05,7.286641e-05,7.145192e-05,7.122933e-05,7.007744e-05,6.874216e-05,6.855830e-05,6.744524e-05,6.618586e-05,6.603722e-05,6.496318e-05,6.377637e-05,6.365963e-05,6.262459e-05,6.150703e-05,6.141907e-05,6.042285e-05,5.937124e-05,5.930916e-05,5.835140e-05,5.736253e-05,5.732361e-05,5.640384e-05,5.547456e-05,5.545627e-05,5.457392e-05,5.370117e-05,5.205251e-05,5.050468e-05,4.905229e-05,4.769015e-05,4.641330e-05,4.521698e-05,4.409666e-05,4.304802e-05,4.206694e-05,4.114952e-05,4.029204e-05,3.949098e-05,3.874302e-05,3.804499e-05,3.739391e-05,3.678695e-05,3.622147e-05,3.569493e-05,3.520498e-05,3.474936e-05,3.432597e-05,3.393283e-05,3.356807e-05,3.322992e-05,3.291672e-05,3.262691e-05,3.235903e-05,3.211170e-05,3.188361e-05,3.167356e-05,3.148038e-05,3.130301e-05,3.114043e-05,3.099169e-05,3.085590e-05,3.073222e-05,3.061985e-05,3.051807e-05,3.042617e-05,3.034351e-05,3.026946e-05,3.020347e-05,3.014498e-05,3.009349e-05,3.004854e-05,3.000966e-05,2.997645e-05,2.994852e-05,2.992549e-05
0.000000e+00,4.958421e-08,1.328288e-06,1.396149e-06,1.119235e-05,4.954782e-05,5.228507e-05,1.674863e-04,3.812548e-04,3.987631e-04,7.533126e-04,1.161033e-03,1.198965e-03,1.691368e-03,2.145300e-03,2.195545e-03,2.690232e-03,3.108808e-03,3.164429e-03,3.613217e-03,3.977490e-03,4.034873e-03,4.429242e-03,4.739838e-03,4.796905e-03,5.138772e-03,5.400587e-03,5.455890e-03,5.749355e-03,5.967836e-03,6.020266e-03,6.269703e-03,6.450037e-03,6.498721e-03,6.708341e-03,6.855285e-03,6.899546e-03,7.073286e-03,7.191145e-03,7.230470e-03,7.371972e-03,7.464616e-03,7.498631e-03,7.611248e-03,7.682138e-03,7.710592e-03,7.797397e-03,7.849623e-03,7.872367e-03,7.936173e-03,7.972481e-03,7.989455e-03,8.032828e-03,8.055656e-03,8.066874e-03,8.092153e-03,8.103657e-03,8.109196e-03,8.118510e-03,8.120592e-03,8.120581e-03,8.115867e-03,8.110199e-03,8.104809e-03,8.087825e-03,8.075875e-03,8.065313e-03,8.037651e-03,8.020700e-03,8.005200e-03,7.968302e-03,7.947467e-03,7.927284e-03,7.882455e-03,7.858704e-03,7.834109e-03,7.782526e-03,7.756694e-03,7.727970e-03,7.670693e-03,7.643498e-03,7.610934e-03,7.548919e-03,7.520974e-03,7.484863e-03,7.418968e-03,7.390790e-03,7.351426e-03,7.282421e-03,7.254447e-03,7.212123e-03,7.140695e-03,7.113289e-03,7.068292e-03,6.995058e-03,6.968516e-03,6.921129e-03,6.846635e-03,6.821201e-03,6.771698e-03,6.696432e-03,6.672295e-03,6.620944e-03,6.545336e-03,6.522645e-03,6.469703e-03,6.394134e-03,6.372997e-03,6.318712e-03,6.243516e-03,6.224012e-03,6.168620e-03,6.094090e-03,6.076265e-03,6.019991e-03,5.946383e-03,5.930260e-03,5.873320e-03,5.800854e-03,5.786436e-03,5.729031e-03,5.657897e-03,5.645170e-03,5.587492e-03,5.517852e-03,5.506783e-03,5.449012e-03,5.381003e-03,5.371550e-03,5.313854e-03,5.247590e-03,5.239699e-03,5.182235e-03,5.117811e-03,5.111420e-03,5.054335e-03,4.991824e-03,4.986865e-03,4.930294e-03,4.869757e-03,4.866157e-03,4.810224e-03,4.751705e-03,4.749385e-03,4.694207e-03,4.637736e-03,4.636617e-03,4.582298e-03,4.527895e-03,4.423241e-03,4.322659e-03,4.226135e-03,4.133644e-03,4.045147e-03,3.960592e-03,3.879919e-03,3.803062e-03,3.729943e-03,3.660481e-03,3.594590e-03,3.532179e-03,3.473152e-03,3.417413e-03,3.364862e-03,3.315398e-03,3.268919e-03,3.225320e-03,3.184500e-03,3.146354e-03,3.110780e-03,3.077675e-03,3.046939e-03,3.018472e-03,2.992174e-03,2.967949e-03,2.945702e-03,2.925338e-03,2.906767e-03,2.889898e-03,2.874646e-03,2.860924e-03,2.848650e-03,2.837744e-03,2.828127e-03,2.819723e-03,2.812461e-03,2.806268e-03,2.801076e-03,2.796820e-03,2.793436e-03,2.790864e-03,2.789044e-03,2.787921e-03,2.787441e-03,2.787552e-03,2.788206e-03,2.789354e-03,2.790954e-03
0.000000e+00,8.312194e-10,9.441633e-09,9.825502e-09,5.333345e-08,1.725619e-07,1.797841e-07,4.213791e-07,7.287139e-07,7.496704e-07,1.102801e-06,1.417463e-06,1.443969e-06,1.762130e-06,2.027172e-06,2.055384e-06,2.324255e-06,2.541592e-06,2.569882e-06,2.793550e-06,2.969333e-06,2.996559e-06,3.180178e-06,3.320336e-06,3.345639e-06,3.494126e-06,3.604013e-06,3.626769e-06,3.744642e-06,3.828992e-06,3.848763e-06,3.940092e-06,4.003034e-06,4.019536e-06,4.087947e-06,4.133056e-06,4.146127e-06,4.194826e-06,4.225178e-06,4.234753e-06,4.266567e-06,4.284799e-06,4.290888e-06,4.308297e-06,4.316663e-06,4.319337e-06,4.324516e-06,4.324933e-06,4.324308e-06,4.319157e-06,4.313252e-06,4.309478e-06,4.295657e-06,4.284806e-06,4.278056e-06,4.257011e-06,4.242373e-06,4.232837e-06,4.205826e-06,4.188372e-06,4.176251e-06,4.144366e-06,4.124908e-06,4.110407e-06,4.074593e-06,4.053804e-06,4.037130e-06,3.998206e-06,3.976643e-06,3.957999e-06,3.916671e-06,3.894789e-06,3.874375e-06,3.831251e-06,3.809419e-06,3.787428e-06,3.743029e-06,3.721545e-06,3.698163e-06,3.652933e-06,3.632032e-06,3.607435e-06,3.561755e-06,3.541620e-06,3.515975e-06,3.470168e-06,3.450938e-06,3.424402e-06,3.378740e-06,3.360517e-06,3.333238e-06,3.287948e-06,3.270804e-06,3.242919e-06,3.198193e-06,3.182174e-06,3.153810e-06,3.109805e-06,3.094935e-06,3.066210e-06,3.023054e-06,3.009341e-06,2.980363e-06,2.938161e-06,2.925598e-06,2.896467e-06,2.855300e-06,2.843870e-06,2.814677e-06,2.774610e-06,2.764285e-06,2.735111e-06,2.696192e-06,2.686938e-06,2.657860e-06,2.620122e-06,2.611900e-06,2.582984e-06,2.546451e-06,2.539217e-06,2.510526e-06,2.475209e-06,2.468917e-06,2.440504e-06,2.406409e-06,2.401011e-06,2.372924e-06,2.340048e-06,2.335494e-06,2.307778e-06,2.276110e-06,2.272351e-06,2.245043e-06,2.214571e-06,2.211556e-06,2.184690e-06,2.155395e-06,2.153077e-06,2.126681e-06,2.098542e-06,2.096871e-06,2.070971e-06,2.043963e-06,2.042894e-06,2.017510e-06,1.991607e-06,1.991094e-06,1.966245e-06,1.941418e-06,1.893809e-06,1.848208e-06,1.804556e-06,1.762790e-06,1.722851e-06,1.684676e-06,1.648205e-06,1.613378e-06,1.580134e-06,1.548415e-06,1.518164e-06,1.489324e-06,1.461840e-06,1.435659e-06,1.410729e-06,1.386998e-06,1.364419e-06,1.342943e-06,1.322524e-06,1.303119e-06,1.284683e-06,1.267176e-06,1.250558e-06,1.234790e-06,1.219836e-06,1.205659e-06,1.192225e-06,1.179501e-06,1.167456e-06,1.156060e-06,1.145282e-06,1.135095e-06,1.125472e-06,1.116387e-06,1.107816e-06,1.099734e-06,1.092120e-06,1.084950e-06,1.078205e-06,1.071863e-06,1.065907e-06,1.060318e-06,1.055077e-06,1.050169e-06,1.045576e-06,1.041285e-06,1.037279e-06,1.033546e-06,1.030070e-06
0.000000e+00,9.651432e-09,3.830396e-07,4.059914e-07,4.547889e-06,2.341612e-05,2.479233e-05,8.162762e-05,1.783570e-04,1.858438e-04,3.275341e-04,4.741492e-04,4.871272e-04,6.470866e-04,7.816345e-04,7.957871e-04,9.270958e-04,1.026411e-03,1.038763e-03,1.130897e-03,1.195537e-03,1.204869e-03,1.262607e-03,1.300085e-03,1.306193e-03,1.337645e-03,1.355686e-03,1.358814e-03,1.371341e-03,1.376113e-03,1.376662e-03,1.376010e-03,1.372038e-03,1.370438e-03,1.360843e-03,1.351329e-03,1.347980e-03,1.332488e-03,1.319650e-03,1.314903e-03,1.295675e-03,1.281026e-03,1.275179e-03,1.253730e-03,1.238290e-03,1.231589e-03,1.208974e-03,1.193419e-03,1.186066e-03,1.163013e-03,1.147780e-03,1.139939e-03,1.116944e-03,1.102308e-03,1.094112e-03,1.071508e-03,1.057633e-03,1.049188e-03,1.027194e-03,1.014169e-03,1.005561e-03,9.843152e-04,9.721782e-04,9.634769e-04,9.430611e-04,9.318169e-04,9.230785e-04,9.035360e-04,8.931676e-04,8.844377e-04,8.657849e-04,8.562614e-04,8.475771e-04,8.298119e-04,8.210942e-04,8.124857e-04,7.955935e-04,7.876379e-04,7.791298e-04,7.630881e-04,7.558487e-04,7.474614e-04,7.322423e-04,7.256730e-04,7.174229e-04,7.029952e-04,6.970504e-04,6.889509e-04,6.752817e-04,6.699172e-04,6.619792e-04,6.490350e-04,6.442084e-04,6.364407e-04,6.241879e-04,6.198590e-04,6.122685e-04,6.006741e-04,5.968046e-04,5.893967e-04,5.784284e-04,5.749825e-04,5.677613e-04,5.573878e-04,5.543319e-04,5.473003e-04,5.374914e-04,5.347938e-04,5.279538e-04,5.186806e-04,5.163120e-04,5.096647e-04,5.008993e-04,4.988322e-04,4.923779e-04,4.840940e-04,4.823028e-04,4.760412e-04,4.682134e-04,4.666743e-04,4.606046e-04,4.532088e-04,4.518998e-04,4.460205e-04,4.390340e-04,4.379345e-04,4.322438e-04,4.256447e-04,4.247357e-04,4.192314e-04,4.129991e-04,4.122631e-04,4.069427e-04,4.010575e-04,4.004782e-04,3.953388e-04,3.897821e-04,3.893445e-04,3.843830e-04,3.791372e-04,3.788273e-04,3.740405e-04,3.690889e-04,3.688938e-04,3.642783e-04,3.596049e-04,3.595128e-04,3.550650e-04,3.506548e-04,3.422919e-04,3.343973e-04,3.269460e-04,3.199142e-04,3.132792e-04,3.070197e-04,3.011154e-04,2.955472e-04,2.902968e-04,2.853470e-04,2.806816e-04,2.762852e-04,2.721431e-04,2.682414e-04,2.645673e-04,2.611081e-04,2.578523e-04,2.547887e-04,2.519067e-04,2.491966e-04,2.466488e-04,2.442545e-04,2.420052e-04,2.398930e-04,2.379103e-04,2.360499e-04,2.343051e-04,2.326696e-04,2.311372e-04,2.297023e-04,2.283594e-04,2.271034e-04,2.259294e-04,2.248329e-04,2.238095e-04,2.228551e-04,2.219658e-04,2.211379e-04,2.203680e-04,2.196528e-04,2.189891e-04,2.183741e-04,2.178049e-04,2.172788e-04,2.167935e-04,2.163465e-04,2.159356e-04,2.155587e-04,2.152138e-04
0.000000e+00,6.665300e-09,1.673709e-07,1.759351e-07,1.464235e-06,6.755928e-06,7.137644e-06,2.310893e-05,5.113973e-05,5.332309e-05,9.398114e-05,1.335751e-04,1.369350e-04,1.764564e-04,2.072362e-04,2.103587e-04,2.384171e-04,2.586713e-04,2.611385e-04,2.792094e-04,2.915436e-04,2.932999e-04,3.040092e-04,3.107755e-04,3.118585e-04,3.172964e-04,3.202277e-04,3.207075e-04,3.224210e-04,3.227599e-04,3.227180e-04,3.218381e-04,3.204675e-04,3.199858e-04,3.173348e-04,3.148774e-04,3.140325e-04,3.102042e-04,3.070956e-04,3.059559e-04,3.013771e-04,2.979187e-04,2.965434e-04,2.915186e-04,2.879165e-04,2.863561e-04,2.811009e-04,2.774938e-04,2.757905e-04,2.704562e-04,2.669353e-04,2.651241e-04,2.598155e-04,2.564388e-04,2.545484e-04,2.493371e-04,2.461394e-04,2.441933e-04,2.391267e-04,2.361268e-04,2.341445e-04,2.292526e-04,2.264586e-04,2.244556e-04,2.197568e-04,2.171691e-04,2.151583e-04,2.106618e-04,2.082764e-04,2.062680e-04,2.019773e-04,1.997868e-04,1.977893e-04,1.937036e-04,1.916987e-04,1.897191e-04,1.858347e-04,1.840053e-04,1.820489e-04,1.783603e-04,1.766957e-04,1.747672e-04,1.712677e-04,1.697571e-04,1.678599e-04,1.645420e-04,1.631749e-04,1.613120e-04,1.581679e-04,1.569339e-04,1.551077e-04,1.521294e-04,1.510187e-04,1.492310e-04,1.464106e-04,1.454139e-04,1.436661e-04,1.409956e-04,1.401042e-04,1.383973e-04,1.358693e-04,1.350749e-04,1.334097e-04,1.310168e-04,1.303116e-04,1.286887e-04,1.264238e-04,1.258007e-04,1.242203e-04,1.220766e-04,1.215289e-04,1.199912e-04,1.179623e-04,1.174837e-04,1.159886e-04,1.140685e-04,1.136531e-04,1.122005e-04,1.103833e-04,1.100258e-04,1.086154e-04,1.068955e-04,1.065909e-04,1.052223e-04,1.035945e-04,1.033382e-04,1.020109e-04,1.004703e-04,1.002580e-04,9.897146e-05,9.751329e-05,9.734098e-05,9.609465e-05,9.471448e-05,9.457853e-05,9.337171e-05,9.206532e-05,9.196235e-05,9.079432e-05,8.955774e-05,8.948462e-05,8.835463e-05,8.718408e-05,8.713792e-05,8.604519e-05,8.493710e-05,8.491525e-05,8.385898e-05,8.280999e-05,8.081585e-05,7.892692e-05,7.713756e-05,7.544246e-05,7.383660e-05,7.231521e-05,7.087379e-05,6.950809e-05,6.821407e-05,6.698793e-05,6.582606e-05,6.472504e-05,6.368165e-05,6.269282e-05,6.175566e-05,6.086745e-05,6.002559e-05,5.922762e-05,5.847124e-05,5.775425e-05,5.707457e-05,5.643024e-05,5.581940e-05,5.524028e-05,5.469122e-05,5.417065e-05,5.367707e-05,5.320907e-05,5.276531e-05,5.234452e-05,5.194551e-05,5.156715e-05,5.120835e-05,5.086810e-05,5.054544e-05,5.023945e-05,4.994927e-05,4.967409e-05,4.941313e-05,4.916566e-05,4.893097e-05,4.870842e-05,4.849739e-05,4.829727e-05,4.810751e-05,4.792759e-05,4.775699e-05,4.759525e-05,4.744191e-05
0.000000e+00,5.891157e-09,1.786362e-07,1.882517e-07,1.710809e-06,8.416366e-06,8.917677e-06,3.144124e-05,7.760435e-05,8.156441e-05,1.660916e-04,2.710118e-04,2.810874e-04,4.152039e-04,5.418351e-04,5.558837e-04,6.930193e-04,8.053742e-04,8.199157e-04,9.328984e-04,1.017787e-03,1.030517e-03,1.112779e-03,1.170628e-03,1.180548e-03,1.235132e-03,1.271088e-03,1.278010e-03,1.310672e-03,1.330399e-03,1.334530e-03,1.350868e-03,1.359134e-03,1.360832e-03,1.365422e-03,1.365855e-03,1.365505e-03,1.361828e-03,1.357063e-03,1.355026e-03,1.345641e-03,1.337546e-03,1.334133e-03,1.320890e-03,1.310767e-03,1.306242e-03,1.290467e-03,1.279218e-03,1.273801e-03,1.256441e-03,1.244686e-03,1.238555e-03,1.220283e-03,1.208441e-03,1.201743e-03,1.183033e-03,1.171385e-03,1.164237e-03,1.145425e-03,1.134153e-03,1.126653e-03,1.107970e-03,1.097191e-03,1.089417e-03,1.071027e-03,1.060810e-03,1.052827e-03,1.034840e-03,1.025221e-03,1.017083e-03,9.995704e-04,9.905649e-04,9.823149e-04,9.653250e-04,9.569320e-04,9.486078e-04,9.321682e-04,9.243769e-04,9.160098e-04,9.001348e-04,8.929278e-04,8.845444e-04,8.692388e-04,8.625944e-04,8.542174e-04,8.394791e-04,8.333730e-04,8.250220e-04,8.108440e-04,8.052503e-04,7.969424e-04,7.833143e-04,7.782068e-04,7.699567e-04,7.568660e-04,7.522180e-04,7.440388e-04,7.314713e-04,7.272568e-04,7.191597e-04,7.071002e-04,7.032937e-04,6.952887e-04,6.837214e-04,6.802981e-04,6.723940e-04,6.613027e-04,6.582389e-04,6.504434e-04,6.398121e-04,6.370848e-04,6.294047e-04,6.192173e-04,6.168046e-04,6.092459e-04,5.994865e-04,5.973675e-04,5.899353e-04,5.805884e-04,5.787432e-04,5.714420e-04,5.624924e-04,5.609020e-04,5.537357e-04,5.451685e-04,5.438150e-04,5.367869e-04,5.285876e-04,5.274540e-04,5.205669e-04,5.127214e-04,5.117915e-04,5.050477e-04,4.975425e-04,4.968011e-04,4.902024e-04,4.830243e-04,4.824570e-04,4.760049e-04,4.691411e-04,4.687342e-04,4.624299e-04,4.558681e-04,4.556087e-04,4.494529e-04,4.431813e-04,4.430573e-04,4.370504e-04,4.310575e-04,4.195876e-04,4.086268e-04,3.981548e-04,3.881523e-04,3.786006e-04,3.694816e-04,3.607781e-04,3.524733e-04,3.445511e-04,3.369962e-04,3.297936e-04,3.229290e-04,3.163886e-04,3.101593e-04,3.042282e-04,2.985832e-04,2.932125e-04,2.881047e-04,2.832490e-04,2.786349e-04,2.742524e-04,2.700918e-04,2.661438e-04,2.623995e-04,2.588503e-04,2.554880e-04,2.523047e-04,2.492926e-04,2.464447e-04,2.437537e-04,2.412130e-04,2.388160e-04,2.365566e-04,2.344287e-04,2.324266e-04,2.305447e-04,2.287778e-04,2.271207e-04,2.255686e-04,2.241167e-04,2.227605e-04,2.214957e-04,2.203181e-04,2.192237e-04,2.182086e-04,2.172692e-04,2.164020e-04,2.156034e-04,2.148703e-04
0.000000e+00,1.033028e-08,4.733561e-07,5.030183e-07,6.278244e-06,3.475176e-05,3.688658e-05,1.284449e-04,2.966684e-04,3.103441e-04,5.882549e-04,9.178188e-04,9.492716e-04,1.371563e-03,1.784160e-03,1.831135e-03,2.305646e-03,2.720506e-03,2.776245e-03,3.228177e-03,3.593625e-03,3.650708e-03,4.036693e-03,4.329575e-03,4.381993e-03,4.684872e-03,4.901598e-03,4.945423e-03,5.165073e-03,5.312892e-03,5.346158e-03,5.491592e-03,5.582352e-03,5.604601e-03,5.688523e-03,5.734888e-03,5.746663e-03,5.782195e-03,5.795691e-03,5.798093e-03,5.797095e-03,5.787318e-03,5.781682e-03,5.754074e-03,5.728554e-03,5.716235e-03,5.669889e-03,5.634286e-03,5.616532e-03,5.557458e-03,5.515881e-03,5.493773e-03,5.426421e-03,5.381766e-03,5.356202e-03,5.283787e-03,5.238040e-03,5.209743e-03,5.134540e-03,5.089028e-03,5.058570e-03,4.982159e-03,4.937746e-03,4.905574e-03,4.829037e-03,4.786266e-03,4.752729e-03,4.676800e-03,4.635999e-03,4.601371e-03,4.526543e-03,4.487898e-03,4.452398e-03,4.379002e-03,4.342603e-03,4.306412e-03,4.234671e-03,4.200549e-03,4.163818e-03,4.093883e-03,4.062027e-03,4.024889e-03,3.956859e-03,3.927235e-03,3.889808e-03,3.823751e-03,3.796306e-03,3.758698e-03,3.694658e-03,3.669327e-03,3.631638e-03,3.569643e-03,3.546354e-03,3.508675e-03,3.448737e-03,3.427411e-03,3.389828e-03,3.331950e-03,3.312505e-03,3.275099e-03,3.219273e-03,3.201624e-03,3.164468e-03,3.110681e-03,3.094743e-03,3.057906e-03,3.006137e-03,2.991822e-03,2.955368e-03,2.905590e-03,2.892809e-03,2.856796e-03,2.808978e-03,2.797646e-03,2.762127e-03,2.716233e-03,2.706264e-03,2.671287e-03,2.627278e-03,2.618588e-03,2.584196e-03,2.542029e-03,2.534536e-03,2.500768e-03,2.460400e-03,2.454023e-03,2.420914e-03,2.382298e-03,2.376961e-03,2.344541e-03,2.307631e-03,2.303258e-03,2.271554e-03,2.236301e-03,2.232820e-03,2.201857e-03,2.168211e-03,2.165553e-03,2.135351e-03,2.103264e-03,2.101363e-03,2.071939e-03,2.041362e-03,2.040154e-03,2.011522e-03,1.982408e-03,1.981833e-03,1.954006e-03,1.926305e-03,1.873478e-03,1.823262e-03,1.775567e-03,1.730305e-03,1.687391e-03,1.646740e-03,1.608272e-03,1.571906e-03,1.537564e-03,1.505170e-03,1.474652e-03,1.445937e-03,1.418955e-03,1.393639e-03,1.369922e-03,1.347741e-03,1.327034e-03,1.307739e-03,1.289799e-03,1.273156e-03,1.257755e-03,1.243541e-03,1.230462e-03,1.218468e-03,1.207509e-03,1.197536e-03,1.188503e-03,1.180365e-03,1.173078e-03,1.166598e-03,1.160885e-03,1.155897e-03,1.151595e-03,1.147943e-03,1.144901e-03,1.142436e-03,1.140512e-03,1.139095e-03,1.138154e-03,1.137656e-03,1.137572e-03,1.137871e-03,1.138527e-03,1.139510e-03,1.140796e-03,1.142359e-03,1.144174e-03,1.146219e-03,1.148470e-03
0.000000e+00,1.699591e-08,4.633585e-07,4.876244e-07,4.183707e-06,1.914332e-05,2.020606e-05,6.322821e-05,1.346800e-04,1.401338e-04,2.413757e-04,3.430298e-04,3.519330e-04,4.614189e-04,5.548353e-04,5.648365e-04,6.603610e-04,7.375797e-04,7.476180e-04,8.268121e-04,8.887812e-04,8.983537e-04,9.627145e-04,1.011579e-03,1.020373e-03,1.071793e-03,1.109613e-03,1.117417e-03,1.157662e-03,1.186252e-03,1.192924e-03,1.223578e-03,1.244514e-03,1.249972e-03,1.272435e-03,1.287066e-03,1.291272e-03,1.306770e-03,1.316245e-03,1.319194e-03,1.328793e-03,1.334084e-03,1.335797e-03,1.340421e-03,1.342350e-03,1.342866e-03,1.343317e-03,1.342573e-03,1.341946e-03,1.338915e-03,1.336078e-03,1.334373e-03,1.328457e-03,1.324011e-03,1.321297e-03,1.313011e-03,1.307358e-03,1.303711e-03,1.293497e-03,1.286971e-03,1.282466e-03,1.270705e-03,1.263582e-03,1.258296e-03,1.245313e-03,1.237819e-03,1.231827e-03,1.217901e-03,1.210219e-03,1.203595e-03,1.188964e-03,1.181244e-03,1.174058e-03,1.158923e-03,1.151284e-03,1.143603e-03,1.128137e-03,1.120672e-03,1.112561e-03,1.096908e-03,1.089691e-03,1.081210e-03,1.065493e-03,1.058578e-03,1.049783e-03,1.034104e-03,1.027533e-03,1.018476e-03,1.002920e-03,9.967211e-04,9.874521e-04,9.720891e-04,9.662816e-04,9.568450e-04,9.417328e-04,9.363271e-04,9.267643e-04,9.119498e-04,9.069497e-04,8.972987e-04,8.828192e-04,8.782232e-04,8.685187e-04,8.544035e-04,8.502060e-04,8.404793e-04,8.267510e-04,8.229427e-04,8.132225e-04,7.998975e-04,7.964667e-04,7.867789e-04,7.738689e-04,7.708018e-04,7.611694e-04,7.486819e-04,7.459631e-04,7.364071e-04,7.243459e-04,7.219592e-04,7.124982e-04,7.008640e-04,6.987925e-04,6.894429e-04,6.782342e-04,6.764605e-04,6.672370e-04,6.564500e-04,6.549565e-04,6.458719e-04,6.355011e-04,6.342705e-04,6.253360e-04,6.153746e-04,6.143895e-04,6.056149e-04,5.960548e-04,5.952986e-04,5.866922e-04,5.775246e-04,5.769807e-04,5.685496e-04,5.597648e-04,5.594173e-04,5.511676e-04,5.427555e-04,5.425891e-04,5.345257e-04,5.264756e-04,5.110560e-04,4.963090e-04,4.822130e-04,4.687467e-04,4.558886e-04,4.436173e-04,4.319120e-04,4.207519e-04,4.101166e-04,3.999864e-04,3.903419e-04,3.811641e-04,3.724346e-04,3.641356e-04,3.562498e-04,3.487603e-04,3.416510e-04,3.349060e-04,3.285104e-04,3.224493e-04,3.167087e-04,3.112750e-04,3.061351e-04,3.012763e-04,2.966864e-04,2.923538e-04,2.882673e-04,2.844159e-04,2.807894e-04,2.773777e-04,2.741713e-04,2.711608e-04,2.683375e-04,2.656929e-04,2.632188e-04,2.609073e-04,2.587511e-04,2.567427e-04,2.548754e-04,2.531425e-04,2.515376e-04,2.500546e-04,2.486877e-04,2.474312e-04,2.462798e-04,2.452282e-04,2.442715e-04,2.434050e-04,2.426242e-04
0.000000e+00,1.358879e-08,1.808828e-07,1.884118e-07,1.057175e-06,3.527512e-06,3.680055e-06,8.932433e-06,1.599657e-05,1.649133e-05,2.492029e-05,3.224477e-05,3.284109e-05,3.965757e-05,4.478617e-05,4.530008e-05,4.987274e-05,5.312091e-05,5.351301e-05,5.635310e-05,5.824609e-05,5.851118e-05,6.009049e-05,6.103548e-05,6.118025e-05,6.185749e-05,6.215177e-05,6.218845e-05,6.222996e-05,6.208774e-05,6.203071e-05,6.163213e-05,6.120582e-05,6.106961e-05,6.037324e-05,5.977036e-05,5.956859e-05,5.867743e-05,5.797329e-05,5.771829e-05,5.670682e-05,5.595367e-05,5.565625e-05,5.457777e-05,5.381132e-05,5.348078e-05,5.237319e-05,5.161738e-05,5.126159e-05,5.015147e-05,4.942187e-05,4.904742e-05,4.795319e-05,4.725950e-05,4.687189e-05,4.580603e-05,4.515385e-05,4.475762e-05,4.372831e-05,4.312041e-05,4.271934e-05,4.173168e-05,4.116889e-05,4.076605e-05,3.982293e-05,3.930475e-05,3.890266e-05,3.800541e-05,3.753048e-05,3.713121e-05,3.628003e-05,3.584645e-05,3.545170e-05,3.464601e-05,3.425158e-05,3.386269e-05,3.310142e-05,3.274373e-05,3.236182e-05,3.164352e-05,3.132013e-05,3.094609e-05,3.026909e-05,2.997757e-05,2.961208e-05,2.897460e-05,2.871257e-05,2.835619e-05,2.775637e-05,2.752155e-05,2.717469e-05,2.661067e-05,2.640087e-05,2.606384e-05,2.553376e-05,2.534695e-05,2.501997e-05,2.452201e-05,2.435624e-05,2.403945e-05,2.357186e-05,2.342532e-05,2.311880e-05,2.267987e-05,2.255088e-05,2.225465e-05,2.184275e-05,2.172975e-05,2.144377e-05,2.105735e-05,2.095889e-05,2.068311e-05,2.032068e-05,2.023542e-05,1.996972e-05,1.962988e-05,1.955658e-05,1.930084e-05,1.898225e-05,1.891976e-05,1.867382e-05,1.837523e-05,1.832250e-05,1.808618e-05,1.780638e-05,1.776246e-05,1.753556e-05,1.727343e-05,1.723741e-05,1.701973e-05,1.677421e-05,1.674528e-05,1.653660e-05,1.630667e-05,1.628409e-05,1.608418e-05,1.586890e-05,1.585198e-05,1.566060e-05,1.545907e-05,1.544719e-05,1.526410e-05,1.507549e-05,1.506808e-05,1.489304e-05,1.471654e-05,1.471307e-05,1.454583e-05,1.438072e-05,1.406962e-05,1.377849e-05,1.350609e-05,1.325127e-05,1.301296e-05,1.279012e-05,1.258180e-05,1.238710e-05,1.220517e-05,1.203521e-05,1.187648e-05,1.172826e-05,1.158990e-05,1.146078e-05,1.134031e-05,1.122795e-05,1.112317e-05,1.102550e-05,1.093448e-05,1.084969e-05,1.077072e-05,1.069721e-05,1.062880e-05,1.056515e-05,1.050596e-05,1.045095e-05,1.039983e-05,1.035235e-05,1.030827e-05,1.026737e-05,1.022944e-05,1.019429e-05,1.016171e-05,1.013155e-05,1.010365e-05,1.007784e-05,1.005399e-05,1.003197e-05,1.001165e-05,9.992916e-06,9.975657e-06,9.959774e-06,9.945170e-06,9.931758e-06,9.919453e-06,9.908179e-06,9.897863e-06,9.888437e-06,9.879838e-06
0.000000e+00,1.226792e-08,1.976723e-07,2.066407e-07,1.376169e-06,5.273309e-06,5.529409e-06,1.494408e-05,2.850146e-05,2.946503e-05,4.594957e-05,6.048088e-05,6.168313e-05,7.577219e-05,8.697021e-05,8.813097e-05,9.887370e-05,1.071093e-04,1.081500e-04,1.161068e-04,1.219984e-04,1.228802e-04,1.285949e-04,1.326600e-04,1.333638e-04,1.372894e-04,1.399444e-04,1.404643e-04,1.429719e-04,1.445484e-04,1.448875e-04,1.462787e-04,1.470391e-04,1.472063e-04,1.477249e-04,1.478758e-04,1.478834e-04,1.477257e-04,1.474287e-04,1.472910e-04,1.466144e-04,1.459953e-04,1.457274e-04,1.446580e-04,1.438144e-04,1.434312e-04,1.420695e-04,1.410767e-04,1.405927e-04,1.390186e-04,1.379342e-04,1.373631e-04,1.356402e-04,1.345079e-04,1.338623e-04,1.320406e-04,1.308934e-04,1.301848e-04,1.283038e-04,1.271663e-04,1.264052e-04,1.244958e-04,1.233857e-04,1.225815e-04,1.206677e-04,1.195980e-04,1.187590e-04,1.168594e-04,1.158386e-04,1.149723e-04,1.131009e-04,1.121348e-04,1.112477e-04,1.094151e-04,1.085071e-04,1.076049e-04,1.058188e-04,1.049705e-04,1.040582e-04,1.023242e-04,1.015358e-04,1.006177e-04,9.893962e-05,9.821037e-05,9.729041e-05,9.567057e-05,9.499908e-05,9.408044e-05,9.252024e-05,9.190457e-05,9.099009e-05,8.949003e-05,8.892789e-05,8.802001e-05,8.657992e-05,8.606878e-05,8.516960e-05,8.378883e-05,8.332605e-05,8.243735e-05,8.111486e-05,8.069774e-05,7.982104e-05,7.855552e-05,7.818133e-05,7.731793e-05,7.610787e-05,7.577392e-05,7.492490e-05,7.376862e-05,7.347230e-05,7.263857e-05,7.153431e-05,7.127307e-05,7.045538e-05,6.940132e-05,6.917273e-05,6.837168e-05,6.736599e-05,6.716769e-05,6.638379e-05,6.542461e-05,6.525437e-05,6.448800e-05,6.357349e-05,6.342919e-05,6.268064e-05,6.180899e-05,6.168862e-05,6.095810e-05,6.012753e-05,6.002920e-05,5.931684e-05,5.852562e-05,5.844755e-05,5.775343e-05,5.699987e-05,5.694038e-05,5.626452e-05,5.554698e-05,5.550449e-05,5.484687e-05,5.416378e-05,5.413680e-05,5.349733e-05,5.284717e-05,5.283433e-05,5.221291e-05,5.159420e-05,5.041366e-05,4.929005e-05,4.822081e-05,4.720350e-05,4.623577e-05,4.531538e-05,4.444017e-05,4.360809e-05,4.281716e-05,4.206550e-05,4.135130e-05,4.067284e-05,4.002848e-05,3.941662e-05,3.883577e-05,3.828449e-05,3.776141e-05,3.726520e-05,3.679462e-05,3.634847e-05,3.592560e-05,3.552491e-05,3.514536e-05,3.478596e-05,3.444576e-05,3.412383e-05,3.381932e-05,3.353139e-05,3.325925e-05,3.300215e-05,3.275937e-05,3.253021e-05,3.231402e-05,3.211016e-05,3.191805e-05,3.173711e-05,3.156679e-05,3.140658e-05,3.125597e-05,3.111450e-05,3.098170e-05,3.085715e-05,3.074044e-05,3.063118e-05,3.052898e-05,3.043350e-05,3.034439e-05,3.026133e-05,3.018401e-05
0.000000e+00,5.249565e-09,1.492438e-07,1.570838e-07,1.339551e-06,6.166199e-06,6.515150e-06,2.145839e-05,5.010534e-05,5.249664e-05,1.021646e-04,1.614522e-04,1.670416e-04,2.399571e-04,3.065560e-04,3.138261e-04,3.837297e-04,4.398272e-04,4.470298e-04,5.027120e-04,5.444411e-04,5.507108e-04,5.914420e-04,6.204916e-04,6.255264e-04,6.536431e-04,6.727155e-04,6.764601e-04,6.946014e-04,7.061304e-04,7.086330e-04,7.190616e-04,7.249874e-04,7.263393e-04,7.308681e-04,7.326923e-04,7.330043e-04,7.330632e-04,7.319344e-04,7.313232e-04,7.280303e-04,7.248207e-04,7.234014e-04,7.176281e-04,7.129969e-04,7.108789e-04,7.033022e-04,6.977448e-04,6.950289e-04,6.861741e-04,6.800611e-04,6.768390e-04,6.671126e-04,6.607188e-04,6.570730e-04,6.467883e-04,6.403153e-04,6.363185e-04,6.257160e-04,6.193102e-04,6.150269e-04,6.042910e-04,5.980568e-04,5.935433e-04,5.828139e-04,5.768232e-04,5.721288e-04,5.615106e-04,5.558116e-04,5.509788e-04,5.405501e-04,5.351726e-04,5.302385e-04,5.200564e-04,5.150170e-04,5.100136e-04,5.001188e-04,4.954239e-04,4.903788e-04,4.807991e-04,4.764476e-04,4.713843e-04,4.621378e-04,4.581233e-04,4.530622e-04,4.441593e-04,4.404719e-04,4.354304e-04,4.268759e-04,4.235030e-04,4.184959e-04,4.102900e-04,4.072173e-04,4.022574e-04,3.943969e-04,3.916090e-04,3.867071e-04,3.791863e-04,3.766675e-04,3.718327e-04,3.646442e-04,3.623784e-04,3.576186e-04,3.507535e-04,3.487249e-04,3.440464e-04,3.374949e-04,3.356880e-04,3.310964e-04,3.248481e-04,3.232479e-04,3.187474e-04,3.127917e-04,3.113835e-04,3.069780e-04,3.013037e-04,3.000738e-04,2.957661e-04,2.903624e-04,2.892975e-04,2.850899e-04,2.799458e-04,2.790333e-04,2.749275e-04,2.700322e-04,2.692602e-04,2.652575e-04,2.606006e-04,2.599579e-04,2.560590e-04,2.516301e-04,2.511061e-04,2.473115e-04,2.431007e-04,2.426855e-04,2.389953e-04,2.349929e-04,2.346770e-04,2.310911e-04,2.272876e-04,2.270625e-04,2.235803e-04,2.199668e-04,2.198242e-04,2.164451e-04,2.130130e-04,2.129452e-04,2.096683e-04,2.064091e-04,2.002003e-04,1.943036e-04,1.887046e-04,1.833894e-04,1.783448e-04,1.735582e-04,1.690173e-04,1.647106e-04,1.606270e-04,1.567559e-04,1.530872e-04,1.496111e-04,1.463185e-04,1.432006e-04,1.402490e-04,1.374556e-04,1.348128e-04,1.323132e-04,1.299499e-04,1.277164e-04,1.256061e-04,1.236131e-04,1.217317e-04,1.199563e-04,1.182817e-04,1.167029e-04,1.152152e-04,1.138140e-04,1.124950e-04,1.112542e-04,1.100875e-04,1.089912e-04,1.079618e-04,1.069960e-04,1.060904e-04,1.052420e-04,1.044478e-04,1.037052e-04,1.030114e-04,1.023639e-04,1.017603e-04,1.011984e-04,1.006759e-04,1.001907e-04,9.974100e-05,9.932480e-05,9.894034e-05,9.858593e-05,9.825996e-05
0.000000e+00,2.610792e-09,4.603118e-08,4.827055e-08,3.423953e-07,1.199062e-06,1.249265e-06,2.735866e-06,4.236859e-06,4.330354e-06,5.821499e-06,7.073657e-06,7.177138e-06,8.400576e-06,9.396007e-06,9.500749e-06,1.048709e-05,1.126805e-05,1.136857e-05,1.215361e-05,1.275757e-05,1.285000e-05,1.346505e-05,1.392378e-05,1.400551e-05,1.447766e-05,1.481796e-05,1.488733e-05,1.523989e-05,1.548417e-05,1.554031e-05,1.579316e-05,1.596010e-05,1.600267e-05,1.617273e-05,1.627778e-05,1.630688e-05,1.640840e-05,1.646429e-05,1.648029e-05,1.652529e-05,1.654247e-05,1.654593e-05,1.654452e-05,1.653156e-05,1.652319e-05,1.648388e-05,1.644780e-05,1.642838e-05,1.635832e-05,1.630485e-05,1.627522e-05,1.618046e-05,1.611429e-05,1.607532e-05,1.596094e-05,1.588585e-05,1.583836e-05,1.570855e-05,1.562756e-05,1.557237e-05,1.543063e-05,1.534615e-05,1.528404e-05,1.513328e-05,1.504726e-05,1.497895e-05,1.482161e-05,1.473558e-05,1.466176e-05,1.449986e-05,1.441500e-05,1.433632e-05,1.417151e-05,1.408874e-05,1.400579e-05,1.383946e-05,1.375949e-05,1.367281e-05,1.350610e-05,1.342946e-05,1.333956e-05,1.317339e-05,1.310045e-05,1.300779e-05,1.284293e-05,1.277394e-05,1.267895e-05,1.251600e-05,1.245114e-05,1.235420e-05,1.219366e-05,1.213300e-05,1.203447e-05,1.187673e-05,1.182031e-05,1.172051e-05,1.156587e-05,1.151367e-05,1.141288e-05,1.126158e-05,1.121353e-05,1.111203e-05,1.096425e-05,1.092026e-05,1.081828e-05,1.067414e-05,1.063412e-05,1.053187e-05,1.039147e-05,1.035527e-05,1.025295e-05,1.011634e-05,1.008383e-05,9.981624e-06,9.848819e-06,9.819858e-06,9.717921e-06,9.588930e-06,9.563360e-06,9.461839e-06,9.336645e-06,9.314310e-06,9.213337e-06,9.091908e-06,9.072653e-06,8.972345e-06,8.854637e-06,8.838305e-06,8.738770e-06,8.624729e-06,8.611166e-06,8.512499e-06,8.402063e-06,8.391117e-06,8.293404e-06,8.186505e-06,8.178029e-06,8.081348e-06,7.977913e-06,7.971762e-06,7.876182e-06,7.776135e-06,7.772168e-06,7.677752e-06,7.581014e-06,7.579095e-06,7.485899e-06,7.392388e-06,7.211888e-06,7.037435e-06,6.868869e-06,6.706032e-06,6.548764e-06,6.396909e-06,6.250314e-06,6.108826e-06,5.972295e-06,5.840576e-06,5.713524e-06,5.591001e-06,5.472868e-06,5.358992e-06,5.249243e-06,5.143493e-06,5.041620e-06,4.943502e-06,4.849022e-06,4.758066e-06,4.670524e-06,4.586288e-06,4.505253e-06,4.427318e-06,4.352384e-06,4.280354e-06,4.211137e-06,4.144641e-06,4.080779e-06,4.019466e-06,3.960619e-06,3.904159e-06,3.850006e-06,3.798086e-06,3.748326e-06,3.700655e-06,3.655003e-06,3.611304e-06,3.569492e-06,3.529506e-06,3.491283e-06,3.454766e-06,3.419895e-06,3.386617e-06,3.354875e-06,3.324619e-06,3.295797e-06,3.268360e-06,3.242260e-06
0.000000e+00,6.994020e-09,2.429322e-07,2.567584e-07,2.637824e-06,1.373363e-05,1.456842e-05,5.170132e-05,1.255287e-04,1.317634e-04,2.631589e-04,4.256838e-04,4.413996e-04,6.539557e-04,8.622196e-04,8.858669e-04,1.123191e-03,1.327430e-03,1.354580e-03,1.571714e-03,1.742813e-03,1.769126e-03,1.943759e-03,2.071944e-03,2.094438e-03,2.221370e-03,2.308519e-03,2.325704e-03,2.409183e-03,2.462329e-03,2.473866e-03,2.521936e-03,2.549292e-03,2.555555e-03,2.576780e-03,2.585792e-03,2.587502e-03,2.589423e-03,2.586069e-03,2.584044e-03,2.572672e-03,2.561407e-03,2.556424e-03,2.536251e-03,2.520229e-03,2.512954e-03,2.487199e-03,2.468569e-03,2.459541e-03,2.430435e-03,2.410617e-03,2.400255e-03,2.369305e-03,2.349208e-03,2.337831e-03,2.306030e-03,2.286222e-03,2.274063e-03,2.242057e-03,2.222877e-03,2.210113e-03,2.178312e-03,2.159958e-03,2.146717e-03,2.115381e-03,2.097960e-03,2.084341e-03,2.053629e-03,2.037189e-03,2.023268e-03,1.993277e-03,1.977833e-03,1.963670e-03,1.934458e-03,1.920003e-03,1.905650e-03,1.877250e-03,1.863764e-03,1.849262e-03,1.821690e-03,1.809146e-03,1.794533e-03,1.767792e-03,1.756158e-03,1.741468e-03,1.715558e-03,1.704799e-03,1.690061e-03,1.664974e-03,1.655054e-03,1.640296e-03,1.616023e-03,1.606905e-03,1.592152e-03,1.568680e-03,1.560328e-03,1.545604e-03,1.522919e-03,1.515294e-03,1.500621e-03,1.478707e-03,1.471775e-03,1.457173e-03,1.436013e-03,1.429738e-03,1.415225e-03,1.394803e-03,1.389150e-03,1.374743e-03,1.355040e-03,1.349975e-03,1.335690e-03,1.316689e-03,1.312180e-03,1.298031e-03,1.279713e-03,1.275727e-03,1.261728e-03,1.244074e-03,1.240583e-03,1.226745e-03,1.209737e-03,1.206710e-03,1.193045e-03,1.176665e-03,1.174072e-03,1.160591e-03,1.144820e-03,1.142635e-03,1.129346e-03,1.114166e-03,1.112364e-03,1.099275e-03,1.084669e-03,1.083224e-03,1.070343e-03,1.056293e-03,1.055180e-03,1.042514e-03,1.029003e-03,1.028200e-03,1.015754e-03,1.002765e-03,1.002251e-03,9.900307e-04,9.775471e-04,9.773000e-04,9.653103e-04,9.533163e-04,9.302690e-04,9.081282e-04,8.868646e-04,8.664499e-04,8.468562e-04,8.280566e-04,8.100249e-04,7.927354e-04,7.761635e-04,7.602849e-04,7.450763e-04,7.305149e-04,7.165786e-04,7.032460e-04,6.904963e-04,6.783093e-04,6.666655e-04,6.555458e-04,6.449319e-04,6.348058e-04,6.251502e-04,6.159484e-04,6.071840e-04,5.988413e-04,5.909049e-04,5.833600e-04,5.761923e-04,5.693877e-04,5.629327e-04,5.568143e-04,5.510197e-04,5.455366e-04,5.403531e-04,5.354576e-04,5.308390e-04,5.264863e-04,5.223891e-04,5.185371e-04,5.149205e-04,5.115298e-04,5.083555e-04,5.053889e-04,5.026211e-04,5.000438e-04,4.976488e-04,4.954282e-04,4.933744e-04,4.914800e-04,4.897379e-04
0.000000e+00,1.514553e-08,3.361598e-07,3.524315e-07,2.576442e-06,1.067833e-05,1.123668e-05,3.328593e-05,6.889102e-05,7.156348e-05,1.197040e-04,1.649270e-04,1.687371e-04,2.136926e-04,2.494009e-04,2.530843e-04,2.869152e-04,3.124463e-04,3.156420e-04,3.398085e-04,3.573441e-04,3.599374e-04,3.765052e-04,3.879838e-04,3.899388e-04,4.006194e-04,4.075622e-04,4.088860e-04,4.150405e-04,4.186248e-04,4.193513e-04,4.220568e-04,4.231892e-04,4.233679e-04,4.234720e-04,4.228469e-04,4.225354e-04,4.207042e-04,4.188491e-04,4.181064e-04,4.148536e-04,4.121617e-04,4.110442e-04,4.067649e-04,4.035310e-04,4.020919e-04,3.970929e-04,3.935399e-04,3.918309e-04,3.863597e-04,3.826564e-04,3.807246e-04,3.749640e-04,3.712274e-04,3.691120e-04,3.631974e-04,3.595102e-04,3.572456e-04,3.512782e-04,3.476983e-04,3.453143e-04,3.393699e-04,3.359368e-04,3.334591e-04,3.275937e-04,3.243327e-04,3.217838e-04,3.160379e-04,3.129644e-04,3.103634e-04,3.047662e-04,3.018878e-04,2.992512e-04,2.938226e-04,2.911418e-04,2.884837e-04,2.832368e-04,2.807517e-04,2.780841e-04,2.730270e-04,2.707330e-04,2.680663e-04,2.632028e-04,2.610937e-04,2.584367e-04,2.537680e-04,2.518361e-04,2.491963e-04,2.447210e-04,2.429578e-04,2.403416e-04,2.360570e-04,2.344536e-04,2.318664e-04,2.277685e-04,2.263157e-04,2.237621e-04,2.198459e-04,2.185347e-04,2.160186e-04,2.122787e-04,2.111002e-04,2.086248e-04,2.050554e-04,2.040008e-04,2.015688e-04,1.981637e-04,1.972247e-04,1.948385e-04,1.915915e-04,1.907600e-04,1.884213e-04,1.853263e-04,1.845945e-04,1.823049e-04,1.793557e-04,1.787164e-04,1.764770e-04,1.736674e-04,1.731137e-04,1.709255e-04,1.682496e-04,1.677749e-04,1.656384e-04,1.630905e-04,1.626886e-04,1.606045e-04,1.581789e-04,1.578440e-04,1.558123e-04,1.535036e-04,1.532304e-04,1.512513e-04,1.490541e-04,1.488374e-04,1.469109e-04,1.448203e-04,1.446553e-04,1.427811e-04,1.407922e-04,1.406744e-04,1.388523e-04,1.369604e-04,1.368857e-04,1.351153e-04,1.333159e-04,1.332804e-04,1.315612e-04,1.298500e-04,1.265865e-04,1.234822e-04,1.205297e-04,1.177219e-04,1.150521e-04,1.125138e-04,1.101009e-04,1.078074e-04,1.056279e-04,1.035568e-04,1.015891e-04,9.971989e-05,9.794453e-05,9.625855e-05,9.465772e-05,9.313800e-05,9.169553e-05,9.032663e-05,8.902779e-05,8.779567e-05,8.662708e-05,8.551899e-05,8.446849e-05,8.347282e-05,8.252936e-05,8.163558e-05,8.078911e-05,7.998766e-05,7.922907e-05,7.851125e-05,7.783224e-05,7.719015e-05,7.658320e-05,7.600968e-05,7.546796e-05,7.495649e-05,7.447380e-05,7.401848e-05,7.358918e-05,7.318462e-05,7.280360e-05,7.244495e-05,7.210756e-05,7.179039e-05,7.149243e-05,7.121272e-05,7.095035e-05,7.070445e-05,7.047421e-05
0.000000e+00,1.320405e-08,5.003921e-07,5.298312e-07,5.866322e-06,3.205375e-05,3.406126e-05,1.255771e-04,3.128026e-04,3.287748e-04,6.691569e-04,1.098626e-03,1.140622e-03,1.716705e-03,2.296062e-03,2.362810e-03,3.044175e-03,3.648426e-03,3.730097e-03,4.395728e-03,4.937561e-03,5.022414e-03,5.597244e-03,6.034074e-03,6.112251e-03,6.563479e-03,6.885230e-03,6.950093e-03,7.273563e-03,7.488915e-03,7.536983e-03,7.744509e-03,7.870639e-03,7.900919e-03,8.011281e-03,8.067501e-03,8.080695e-03,8.114124e-03,8.118474e-03,8.116273e-03,8.091507e-03,8.059266e-03,8.043818e-03,7.976810e-03,7.920148e-03,7.893700e-03,7.797325e-03,7.725496e-03,7.690173e-03,7.574407e-03,7.494202e-03,7.451896e-03,7.324244e-03,7.240489e-03,7.192819e-03,7.058782e-03,6.974805e-03,6.923115e-03,6.786642e-03,6.704662e-03,6.650050e-03,6.513913e-03,6.435352e-03,6.378704e-03,6.244809e-03,6.170523e-03,6.112546e-03,5.982171e-03,5.912627e-03,5.853888e-03,5.727857e-03,5.663255e-03,5.604205e-03,5.483026e-03,5.423386e-03,5.364389e-03,5.248343e-03,5.193572e-03,5.134921e-03,5.024138e-03,4.974065e-03,4.915998e-03,4.810496e-03,4.764907e-03,4.707618e-03,4.607344e-03,4.565999e-03,4.509648e-03,4.414499e-03,4.377145e-03,4.321864e-03,4.231706e-03,4.198087e-03,4.143985e-03,4.058660e-03,4.028522e-03,3.975689e-03,3.895027e-03,3.868120e-03,3.816630e-03,3.740454e-03,3.716539e-03,3.666452e-03,3.594579e-03,3.573425e-03,3.524788e-03,3.457035e-03,3.438423e-03,3.391273e-03,3.327457e-03,3.311178e-03,3.265542e-03,3.205483e-03,3.191341e-03,3.147237e-03,3.090759e-03,3.078567e-03,3.036007e-03,2.982938e-03,2.972523e-03,2.931511e-03,2.881684e-03,2.872882e-03,2.833416e-03,2.786668e-03,2.779327e-03,2.741401e-03,2.697577e-03,2.691554e-03,2.655157e-03,2.614105e-03,2.609269e-03,2.574384e-03,2.535960e-03,2.532188e-03,2.498797e-03,2.462861e-03,2.460039e-03,2.428120e-03,2.394540e-03,2.392561e-03,2.362089e-03,2.330737e-03,2.329505e-03,2.300453e-03,2.271207e-03,2.270632e-03,2.242970e-03,2.215714e-03,2.164534e-03,2.116883e-03,2.072564e-03,2.031388e-03,1.993176e-03,1.957758e-03,1.924970e-03,1.894660e-03,1.866680e-03,1.840892e-03,1.817163e-03,1.795368e-03,1.775388e-03,1.757109e-03,1.740427e-03,1.725237e-03,1.711445e-03,1.698960e-03,1.687695e-03,1.677568e-03,1.668503e-03,1.660425e-03,1.653267e-03,1.646962e-03,1.641448e-03,1.636668e-03,1.632566e-03,1.629090e-03,1.626191e-03,1.623823e-03,1.621942e-03,1.620508e-03,1.619481e-03,1.618826e-03,1.618509e-03,1.618498e-03,1.618762e-03,1.619275e-03,1.620009e-03,1.620940e-03,1.622046e-03,1.623305e-03,1.624698e-03,1.626206e-03,1.627811e-03,1.629499e-03,1.631255e-03,1.633065e-03,1.634916e-03
0.000000e+00,1.444042e-09,2.578214e-08,2.700922e-08,1.758715e-07,5.540114e-07,5.747587e-07,1.153678e-06,1.706706e-06,1.740736e-06,2.279903e-06,2.728839e-06,2.765808e-06,3.201351e-06,3.553538e-06,3.590473e-06,3.937042e-06,4.209711e-06,4.244687e-06,4.516783e-06,4.724746e-06,4.756459e-06,4.966607e-06,5.122269e-06,5.149893e-06,5.308768e-06,5.422410e-06,5.445476e-06,5.562077e-06,5.642156e-06,5.660461e-06,5.742341e-06,5.795764e-06,5.809285e-06,5.862721e-06,5.895104e-06,5.903952e-06,5.934163e-06,5.950067e-06,5.954440e-06,5.965765e-06,5.968882e-06,5.969034e-06,5.965061e-06,5.958372e-06,5.954589e-06,5.938290e-06,5.924193e-06,5.916776e-06,5.890604e-06,5.871027e-06,5.860280e-06,5.826263e-06,5.802748e-06,5.788970e-06,5.748781e-06,5.722561e-06,5.706039e-06,5.661057e-06,5.633111e-06,5.614117e-06,5.565478e-06,5.536581e-06,5.515372e-06,5.464009e-06,5.434770e-06,5.411583e-06,5.358264e-06,5.329157e-06,5.304211e-06,5.249565e-06,5.220958e-06,5.194455e-06,5.138995e-06,5.111168e-06,5.083291e-06,5.027438e-06,5.000600e-06,4.971519e-06,4.915612e-06,4.889917e-06,4.859785e-06,4.804100e-06,4.779658e-06,4.748613e-06,4.693373e-06,4.670257e-06,4.638425e-06,4.583807e-06,4.562061e-06,4.529557e-06,4.475703e-06,4.455349e-06,4.422276e-06,4.369298e-06,4.350340e-06,4.316791e-06,4.264774e-06,4.247203e-06,4.213264e-06,4.162274e-06,4.146069e-06,4.111816e-06,4.061902e-06,4.047035e-06,4.012539e-06,3.963734e-06,3.950169e-06,3.915493e-06,3.867822e-06,3.855521e-06,3.820723e-06,3.774198e-06,3.763118e-06,3.728249e-06,3.682878e-06,3.672974e-06,3.638083e-06,3.593864e-06,3.585090e-06,3.550220e-06,3.507149e-06,3.499457e-06,3.464649e-06,3.422716e-06,3.416059e-06,3.381348e-06,3.340541e-06,3.334872e-06,3.300291e-06,3.260594e-06,3.255868e-06,3.221446e-06,3.182843e-06,3.179012e-06,3.144779e-06,3.107249e-06,3.104270e-06,3.070249e-06,3.033774e-06,3.031602e-06,2.997817e-06,2.962375e-06,2.960968e-06,2.927440e-06,2.893009e-06,2.892325e-06,2.859074e-06,2.825631e-06,2.760842e-06,2.697914e-06,2.636804e-06,2.577467e-06,2.519859e-06,2.463938e-06,2.409660e-06,2.356984e-06,2.305868e-06,2.256272e-06,2.208154e-06,2.161477e-06,2.116201e-06,2.072289e-06,2.029705e-06,1.988411e-06,1.948374e-06,1.909558e-06,1.871931e-06,1.835459e-06,1.800111e-06,1.765855e-06,1.732661e-06,1.700501e-06,1.669344e-06,1.639164e-06,1.609932e-06,1.581622e-06,1.554208e-06,1.527666e-06,1.501970e-06,1.477096e-06,1.453022e-06,1.429725e-06,1.407183e-06,1.385374e-06,1.364277e-06,1.343872e-06,1.324140e-06,1.305062e-06,1.286618e-06,1.268790e-06,1.251561e-06,1.234914e-06,1.218832e-06,1.203298e-06,1.188297e-06,1.173814e-06,1.159833e-06
0.000000e+00,1.624044e-07,5.545895e-06,5.856870e-06,5.893867e-05,3.212325e-04,3.418868e-04,1.351287e-03,3.717801e-03,3.934724e-03,9.011888e-03,1.647479e-02,1.726180e-02,2.903619e-02,4.270873e-02,4.440461e-02,6.322558e-02,8.241778e-02,8.521112e-02,1.099790e-01,1.331728e-01,1.370929e-01,1.660935e-01,1.915748e-01,1.965202e-01,2.279280e-01,2.541196e-01,2.598980e-01,2.920452e-01,3.176559e-01,3.240225e-01,3.555228e-01,3.795889e-01,3.862794e-01,4.160646e-01,4.379336e-01,4.446886e-01,4.719967e-01,4.912845e-01,4.978666e-01,5.222054e-01,5.387431e-01,5.449467e-01,5.660477e-01,5.798298e-01,5.854862e-01,6.032578e-01,6.143953e-01,6.193733e-01,6.338569e-01,6.425385e-01,6.467432e-01,6.580759e-01,6.645367e-01,6.679058e-01,6.762893e-01,6.807872e-01,6.832871e-01,6.889628e-01,6.917609e-01,6.933821e-01,6.966121e-01,6.979670e-01,6.987199e-01,6.997728e-01,6.999263e-01,6.998370e-01,6.989779e-01,6.981525e-01,6.972590e-01,6.947424e-01,6.931384e-01,6.914878e-01,6.875531e-01,6.853482e-01,6.829938e-01,6.778629e-01,6.752120e-01,6.722111e-01,6.660868e-01,6.631237e-01,6.595359e-01,6.526019e-01,6.494402e-01,6.453260e-01,6.377471e-01,6.344825e-01,6.299019e-01,6.218249e-01,6.185366e-01,6.135486e-01,6.051034e-01,6.018559e-01,5.965178e-01,5.878186e-01,5.846639e-01,5.790307e-01,5.701773e-01,5.671561e-01,5.612801e-01,5.523593e-01,5.495027e-01,5.434335e-01,5.345201e-01,5.318509e-01,5.256351e-01,5.167933e-01,5.143272e-01,5.080084e-01,4.992929e-01,4.970397e-01,4.906584e-01,4.821153e-01,4.800797e-01,4.736734e-01,4.653414e-01,4.635239e-01,4.571273e-01,4.490381e-01,4.474359e-01,4.410805e-01,4.332601e-01,4.318674e-01,4.255821e-01,4.180511e-01,4.168601e-01,4.106711e-01,4.034455e-01,4.024464e-01,3.963773e-01,3.894691e-01,3.886509e-01,3.827228e-01,3.761403e-01,3.754911e-01,3.697227e-01,3.634710e-01,3.629781e-01,3.573860e-01,3.514677e-01,3.511180e-01,3.457164e-01,3.401317e-01,3.399118e-01,3.347132e-01,3.294600e-01,3.293566e-01,3.243714e-01,3.194460e-01,3.101704e-01,3.015173e-01,2.934724e-01,2.860191e-01,2.791393e-01,2.728134e-01,2.670208e-01,2.617400e-01,2.569486e-01,2.526239e-01,2.487427e-01,2.452816e-01,2.422171e-01,2.395257e-01,2.371840e-01,2.351691e-01,2.334582e-01,2.320291e-01,2.308599e-01,2.299295e-01,2.292174e-01,2.287036e-01,2.283692e-01,2.281959e-01,2.281661e-01,2.282633e-01,2.284717e-01,2.287766e-01,2.291639e-01,2.296206e-01,2.301346e-01,2.306946e-01,2.312903e-01,2.319122e-01,2.325515e-01,2.332005e-01,2.338521e-01,2.344999e-01,2.351384e-01,2.357627e-01,2.363686e-01,2.369525e-01,2.375113e-01,2.380425e-01,2.385441e-01,2.390147e-01,2.394530e-01,2.398584e-01,2.402305e-01
0.000000e+00,1.671361e-08,2.561170e-07,2.677448e-07,1.705305e-06,5.890971e-06,6.146534e-06,1.455331e-05,2.460198e-05,2.526472e-05,3.622111e-05,4.588103e-05,4.669663e-05,5.654663e-05,6.486592e-05,6.575883e-05,7.434956e-05,8.141333e-05,8.234155e-05,8.975903e-05,9.569731e-05,9.662657e-05,1.029687e-04,1.079078e-04,1.088097e-04,1.141734e-04,1.182321e-04,1.190835e-04,1.235629e-04,1.268517e-04,1.276345e-04,1.313200e-04,1.339405e-04,1.346409e-04,1.376174e-04,1.396615e-04,1.402693e-04,1.426153e-04,1.441651e-04,1.446735e-04,1.464609e-04,1.475894e-04,1.479940e-04,1.492884e-04,1.500604e-04,1.503590e-04,1.512198e-04,1.516923e-04,1.518845e-04,1.523656e-04,1.525886e-04,1.526755e-04,1.528255e-04,1.528427e-04,1.528266e-04,1.526892e-04,1.525388e-04,1.524231e-04,1.520376e-04,1.517526e-04,1.515414e-04,1.509430e-04,1.505521e-04,1.502501e-04,1.494703e-04,1.489982e-04,1.486105e-04,1.476775e-04,1.471454e-04,1.466774e-04,1.456163e-04,1.450422e-04,1.444996e-04,1.433327e-04,1.427319e-04,1.421204e-04,1.408675e-04,1.402530e-04,1.395784e-04,1.382571e-04,1.376396e-04,1.369075e-04,1.355334e-04,1.349218e-04,1.341380e-04,1.327247e-04,1.321264e-04,1.312963e-04,1.298557e-04,1.292767e-04,1.284056e-04,1.269483e-04,1.263932e-04,1.254862e-04,1.240214e-04,1.234939e-04,1.225560e-04,1.210916e-04,1.205943e-04,1.196301e-04,1.181731e-04,1.177080e-04,1.167220e-04,1.152781e-04,1.148466e-04,1.138429e-04,1.124173e-04,1.120201e-04,1.110026e-04,1.095996e-04,1.092368e-04,1.082093e-04,1.068324e-04,1.065040e-04,1.054698e-04,1.041220e-04,1.038276e-04,1.027898e-04,1.014736e-04,1.012124e-04,1.001740e-04,9.889131e-05,9.866226e-05,9.762599e-05,9.637836e-05,9.618040e-05,9.514870e-05,9.393727e-05,9.376914e-05,9.274427e-05,9.156986e-05,9.143018e-05,9.041419e-05,8.927734e-05,8.916470e-05,8.815941e-05,8.706044e-05,8.697334e-05,8.598043e-05,8.491938e-05,8.485632e-05,8.387727e-05,8.285403e-05,8.281350e-05,8.184961e-05,8.086391e-05,8.084439e-05,7.989682e-05,7.894823e-05,7.712403e-05,7.537059e-05,7.368656e-05,7.207042e-05,7.052056e-05,6.903528e-05,6.761280e-05,6.625128e-05,6.494887e-05,6.370366e-05,6.251375e-05,6.137724e-05,6.029224e-05,5.925687e-05,5.826926e-05,5.732758e-05,5.643004e-05,5.557487e-05,5.476036e-05,5.398481e-05,5.324661e-05,5.254416e-05,5.187591e-05,5.124038e-05,5.063612e-05,5.006173e-05,4.951587e-05,4.899724e-05,4.850459e-05,4.803670e-05,4.759243e-05,4.717067e-05,4.677034e-05,4.639043e-05,4.602994e-05,4.568795e-05,4.536355e-05,4.505588e-05,4.476412e-05,4.448749e-05,4.422522e-05,4.397660e-05,4.374096e-05,4.351762e-05,4.330598e-05,4.310544e-05,4.291543e-05,4.273541e-05,4.256487e-05
0.000000e+00,1.493641e-08,4.845429e-07,5.118260e-07,5.272191e-06,2.830530e-05,3.006518e-05,1.088619e-04,2.599998e-04,2.723089e-04,5.171796e-04,7.903409e-04,8.154202e-04,1.137294e-03,1.429253e-03,1.461331e-03,1.774684e-03,2.036167e-03,2.070641e-03,2.346219e-03,2.566188e-03,2.600505e-03,2.833663e-03,3.013689e-03,3.046389e-03,3.239623e-03,3.384259e-03,3.414406e-03,3.571800e-03,3.685905e-03,3.712859e-03,3.838606e-03,3.926693e-03,3.950024e-03,4.048055e-03,4.114157e-03,4.133593e-03,4.207489e-03,4.255151e-03,4.270547e-03,4.323530e-03,4.355843e-03,4.367155e-03,4.402098e-03,4.421737e-03,4.428999e-03,4.448456e-03,4.457725e-03,4.461034e-03,4.467263e-03,4.468140e-03,4.467641e-03,4.462634e-03,4.456807e-03,4.452681e-03,4.438192e-03,4.427102e-03,4.419553e-03,4.397124e-03,4.381988e-03,4.371241e-03,4.342222e-03,4.324071e-03,4.310361e-03,4.275934e-03,4.255631e-03,4.239199e-03,4.200397e-03,4.178663e-03,4.159751e-03,4.117472e-03,4.094906e-03,4.073754e-03,4.028779e-03,4.005873e-03,3.982716e-03,3.935722e-03,3.912878e-03,3.887943e-03,3.839516e-03,3.817056e-03,3.790564e-03,3.741205e-03,3.719386e-03,3.691547e-03,3.641689e-03,3.620711e-03,3.591723e-03,3.541734e-03,3.521749e-03,3.491799e-03,3.441992e-03,3.423112e-03,3.392377e-03,3.343015e-03,3.325317e-03,3.293961e-03,3.245266e-03,3.228799e-03,3.196975e-03,3.149129e-03,3.133919e-03,3.101768e-03,3.054923e-03,3.040975e-03,3.008626e-03,2.962905e-03,2.950209e-03,2.917782e-03,2.873281e-03,2.861814e-03,2.829419e-03,2.786212e-03,2.775942e-03,2.743676e-03,2.701822e-03,2.692707e-03,2.660660e-03,2.620199e-03,2.612191e-03,2.580444e-03,2.541401e-03,2.534450e-03,2.503074e-03,2.465465e-03,2.459514e-03,2.428575e-03,2.392403e-03,2.387396e-03,2.356949e-03,2.322211e-03,2.318090e-03,2.288185e-03,2.254867e-03,2.251574e-03,2.222254e-03,2.190340e-03,2.187817e-03,2.159119e-03,2.128585e-03,2.126775e-03,2.098731e-03,2.069549e-03,2.068396e-03,2.041033e-03,2.013173e-03,2.012622e-03,1.985961e-03,1.959390e-03,1.908630e-03,1.860270e-03,1.814237e-03,1.770455e-03,1.728846e-03,1.689333e-03,1.651838e-03,1.616284e-03,1.582596e-03,1.550697e-03,1.520514e-03,1.491975e-03,1.465008e-03,1.439544e-03,1.415517e-03,1.392861e-03,1.371512e-03,1.351411e-03,1.332498e-03,1.314715e-03,1.298008e-03,1.282325e-03,1.267614e-03,1.253826e-03,1.240915e-03,1.228836e-03,1.217545e-03,1.207002e-03,1.197167e-03,1.188002e-03,1.179470e-03,1.171538e-03,1.164173e-03,1.157343e-03,1.151019e-03,1.145171e-03,1.139773e-03,1.134798e-03,1.130222e-03,1.126021e-03,1.122174e-03,1.118659e-03,1.115455e-03,1.112544e-03,1.109908e-03,1.107528e-03,1.105390e-03,1.103476e-03,1.101774e-03
0.000000e+00,4.164866e-09,1.582128e-07,1.676001e-07,1.924201e-06,1.090513e-05,1.160236e-05,4.360081e-05,1.083765e-04,1.138356e-04,2.278064e-04,3.660134e-04,3.792332e-04,5.558229e-04,7.252006e-04,7.442173e-04,9.326792e-04,1.091322e-03,1.112153e-03,1.276401e-03,1.402571e-03,1.421686e-03,1.546285e-03,1.634762e-03,1.649970e-03,1.733558e-03,1.788129e-03,1.798530e-03,1.846736e-03,1.874579e-03,1.880186e-03,1.900893e-03,1.909441e-03,1.910780e-03,1.911617e-03,1.907184e-03,1.904991e-03,1.892298e-03,1.879715e-03,1.874743e-03,1.853348e-03,1.836057e-03,1.828977e-03,1.802344e-03,1.782675e-03,1.774038e-03,1.744541e-03,1.724003e-03,1.714240e-03,1.683447e-03,1.662976e-03,1.652409e-03,1.621322e-03,1.601473e-03,1.590339e-03,1.559577e-03,1.540656e-03,1.529127e-03,1.499059e-03,1.481223e-03,1.469424e-03,1.440259e-03,1.423570e-03,1.411591e-03,1.383440e-03,1.367905e-03,1.355817e-03,1.328730e-03,1.314327e-03,1.302183e-03,1.276175e-03,1.262863e-03,1.250705e-03,1.225770e-03,1.213501e-03,1.201364e-03,1.177483e-03,1.166205e-03,1.154120e-03,1.131268e-03,1.120925e-03,1.108919e-03,1.087066e-03,1.077606e-03,1.065701e-03,1.044817e-03,1.036186e-03,1.024404e-03,1.004455e-03,9.966035e-04,9.849619e-04,9.659164e-04,9.587947e-04,9.473102e-04,9.291354e-04,9.226964e-04,9.113836e-04,8.940469e-04,8.882456e-04,8.771173e-04,8.605868e-04,8.553801e-04,8.444476e-04,8.286917e-04,8.240386e-04,8.133116e-04,7.982994e-04,7.941610e-04,7.836478e-04,7.693491e-04,7.656884e-04,7.553961e-04,7.417814e-04,7.385634e-04,7.284979e-04,7.155385e-04,7.127302e-04,7.028962e-04,6.905642e-04,6.881345e-04,6.785358e-04,6.668042e-04,6.647235e-04,6.553630e-04,6.442057e-04,6.424464e-04,6.333260e-04,6.227178e-04,6.212540e-04,6.123750e-04,6.022915e-04,6.010986e-04,5.924615e-04,5.828794e-04,5.819346e-04,5.735394e-04,5.644360e-04,5.637178e-04,5.555638e-04,5.469175e-04,5.464058e-04,5.384919e-04,5.302819e-04,5.299579e-04,5.222825e-04,5.144888e-04,5.143350e-04,5.068961e-04,4.994996e-04,4.854156e-04,4.720486e-04,4.593656e-04,4.473348e-04,4.359261e-04,4.251104e-04,4.148600e-04,4.051485e-04,3.959505e-04,3.872419e-04,3.789994e-04,3.712011e-04,3.638257e-04,3.568533e-04,3.502644e-04,3.440408e-04,3.381649e-04,3.326199e-04,3.273900e-04,3.224598e-04,3.178148e-04,3.134412e-04,3.093256e-04,3.054554e-04,3.018187e-04,2.984038e-04,2.951998e-04,2.921963e-04,2.893833e-04,2.867512e-04,2.842909e-04,2.819939e-04,2.798518e-04,2.778569e-04,2.760014e-04,2.742784e-04,2.726810e-04,2.712026e-04,2.698371e-04,2.685785e-04,2.674213e-04,2.663599e-04,2.653894e-04,2.645047e-04,2.637013e-04,2.629747e-04,2.623207e-04,2.617353e-04,2.612145e-04
0.000000e+00,3.191125e-09,6.439043e-08,6.751604e-08,4.327883e-07,1.231191e-06,1.270725e-06,2.286632e-06,3.198083e-06,3.253690e-06,4.132552e-06,4.863118e-06,4.923255e-06,5.631405e-06,6.203271e-06,6.263185e-06,6.824564e-06,7.264833e-06,7.321187e-06,7.758357e-06,8.090570e-06,8.141042e-06,8.473877e-06,8.718097e-06,8.761173e-06,9.006923e-06,9.180039e-06,9.214824e-06,9.388283e-06,9.504370e-06,9.530439e-06,9.644177e-06,9.714879e-06,9.732149e-06,9.796790e-06,9.831693e-06,9.840331e-06,9.864822e-06,9.871790e-06,9.872139e-06,9.864000e-06,9.849460e-06,9.841981e-06,9.807522e-06,9.776708e-06,9.761939e-06,9.706438e-06,9.663596e-06,9.642117e-06,9.569984e-06,9.518545e-06,9.490955e-06,9.405867e-06,9.348586e-06,9.315483e-06,9.220500e-06,9.159581e-06,9.121551e-06,9.019214e-06,8.956405e-06,8.914012e-06,8.806423e-06,8.743099e-06,8.696879e-06,8.585773e-06,8.523005e-06,8.473460e-06,8.360264e-06,8.298874e-06,8.246475e-06,8.132357e-06,8.072964e-06,8.018145e-06,7.904055e-06,7.847116e-06,7.790278e-06,7.676985e-06,7.622823e-06,7.564331e-06,7.452453e-06,7.401284e-06,7.341474e-06,7.231501e-06,7.183457e-06,7.122631e-06,7.014948e-06,6.970093e-06,6.908525e-06,6.803428e-06,6.761773e-06,6.699712e-06,6.597425e-06,6.558939e-06,6.496607e-06,6.397293e-06,6.361914e-06,6.299510e-06,6.203282e-06,6.170921e-06,6.108625e-06,6.015553e-06,5.986106e-06,5.924075e-06,5.834196e-06,5.807545e-06,5.745920e-06,5.659246e-06,5.635264e-06,5.574170e-06,5.490687e-06,5.469241e-06,5.408789e-06,5.328466e-06,5.309422e-06,5.249707e-06,5.172499e-06,5.155720e-06,5.096828e-06,5.022679e-06,5.008030e-06,4.950034e-06,4.878878e-06,4.866226e-06,4.809190e-06,4.740954e-06,4.730169e-06,4.674149e-06,4.608755e-06,4.599711e-06,4.544752e-06,4.482120e-06,4.474695e-06,4.420837e-06,4.360883e-06,4.354959e-06,4.302235e-06,4.244874e-06,4.240340e-06,4.188777e-06,4.133923e-06,4.130671e-06,4.080290e-06,4.027858e-06,4.025785e-06,3.976604e-06,3.926508e-06,3.925518e-06,3.877549e-06,3.829705e-06,3.738186e-06,3.650801e-06,3.567397e-06,3.487820e-06,3.411925e-06,3.339567e-06,3.270606e-06,3.204909e-06,3.142344e-06,3.082785e-06,3.026110e-06,2.972200e-06,2.920941e-06,2.872225e-06,2.825945e-06,2.781998e-06,2.740287e-06,2.700718e-06,2.663199e-06,2.627642e-06,2.593964e-06,2.562083e-06,2.531922e-06,2.503405e-06,2.476462e-06,2.451022e-06,2.427019e-06,2.404390e-06,2.383074e-06,2.363010e-06,2.344144e-06,2.326420e-06,2.309787e-06,2.294194e-06,2.279594e-06,2.265940e-06,2.253189e-06,2.241297e-06,2.230224e-06,2.219931e-06,2.210381e-06,2.201538e-06,2.193367e-06,2.185834e-06,2.178910e-06,2.172562e-06,2.166763e-06,2.161483e-06,2.156697e-06
0.000000e+00,2.570679e-09,3.243620e-08,3.383301e-08,2.023518e-07,6.815904e-07,7.103749e-07,1.626327e-06,2.665399e-06,2.732713e-06,3.832737e-06,4.786565e-06,4.866465e-06,5.823447e-06,6.619618e-06,6.704370e-06,7.512370e-06,8.166019e-06,8.251143e-06,8.924501e-06,9.454161e-06,9.536233e-06,1.009005e-05,1.051312e-05,1.058953e-05,1.103813e-05,1.137033e-05,1.143914e-05,1.179567e-05,1.205088e-05,1.211070e-05,1.238701e-05,1.257738e-05,1.262727e-05,1.283397e-05,1.297007e-05,1.300947e-05,1.315600e-05,1.324701e-05,1.327563e-05,1.337027e-05,1.342398e-05,1.344177e-05,1.349183e-05,1.351499e-05,1.352207e-05,1.353403e-05,1.353245e-05,1.352915e-05,1.350887e-05,1.348767e-05,1.347446e-05,1.342712e-05,1.339053e-05,1.336792e-05,1.329792e-05,1.324951e-05,1.321806e-05,1.312926e-05,1.307203e-05,1.303234e-05,1.292811e-05,1.286459e-05,1.281729e-05,1.270057e-05,1.263286e-05,1.257858e-05,1.245193e-05,1.238180e-05,1.232117e-05,1.218681e-05,1.211568e-05,1.204934e-05,1.190919e-05,1.183825e-05,1.176680e-05,1.162254e-05,1.155274e-05,1.147677e-05,1.132983e-05,1.126192e-05,1.118201e-05,1.103360e-05,1.096819e-05,1.088487e-05,1.073606e-05,1.067358e-05,1.058738e-05,1.043904e-05,1.037984e-05,1.029123e-05,1.014413e-05,1.008845e-05,9.997889e-06,9.852651e-06,9.800637e-06,9.708549e-06,9.565701e-06,9.517438e-06,9.424217e-06,9.284194e-06,9.239709e-06,9.145719e-06,9.008873e-06,8.968147e-06,8.873725e-06,8.740338e-06,8.703313e-06,8.608767e-06,8.479061e-06,8.445648e-06,8.351260e-06,8.225402e-06,8.195488e-06,8.101516e-06,7.979628e-06,7.953083e-06,7.859759e-06,7.741924e-06,7.718603e-06,7.626137e-06,7.512405e-06,7.492151e-06,7.400732e-06,7.291122e-06,7.273776e-06,7.183572e-06,7.078079e-06,7.063474e-06,6.974636e-06,6.873234e-06,6.861203e-06,6.773863e-06,6.676508e-06,6.666883e-06,6.581157e-06,6.487792e-06,6.480408e-06,6.396396e-06,6.306950e-06,6.301645e-06,6.219434e-06,6.133827e-06,6.130442e-06,6.050105e-06,5.968247e-06,5.966629e-06,5.888229e-06,5.810026e-06,5.660440e-06,5.517672e-06,5.381516e-06,5.251764e-06,5.128204e-06,5.010626e-06,4.898818e-06,4.792570e-06,4.691676e-06,4.595930e-06,4.505131e-06,4.419082e-06,4.337590e-06,4.260467e-06,4.187530e-06,4.118601e-06,4.053508e-06,3.992082e-06,3.934162e-06,3.879591e-06,3.828217e-06,3.779895e-06,3.734483e-06,3.691846e-06,3.651852e-06,3.614377e-06,3.579300e-06,3.546504e-06,3.515878e-06,3.487315e-06,3.460713e-06,3.435973e-06,3.413001e-06,3.391706e-06,3.372003e-06,3.353809e-06,3.337044e-06,3.321632e-06,3.307503e-06,3.294585e-06,3.282814e-06,3.272126e-06,3.262462e-06,3.253763e-06,3.245975e-06,3.239045e-06,3.232924e-06,3.227564e-06,3.222921e-06
0.000000e+00,2.723845e-10,3.463949e-09,3.613625e-09,2.187012e-08,7.681201e-08,8.027440e-08,2.018084e-07,3.675147e-07,3.791242e-07,5.783461e-07,7.592826e-07,7.746106e-07,9.593774e-07,1.114264e-06,1.130801e-06,1.288919e-06,1.417475e-06,1.434262e-06,1.567481e-06,1.672866e-06,1.689249e-06,1.800242e-06,1.885651e-06,1.901145e-06,1.992604e-06,2.060922e-06,2.075146e-06,2.149318e-06,2.202993e-06,2.215660e-06,2.274681e-06,2.315948e-06,2.326866e-06,2.372669e-06,2.403478e-06,2.412522e-06,2.446829e-06,2.468871e-06,2.475972e-06,2.500311e-06,2.515050e-06,2.520183e-06,2.535906e-06,2.544604e-06,2.547779e-06,2.556082e-06,2.559825e-06,2.561080e-06,2.563018e-06,2.562735e-06,2.562130e-06,2.558634e-06,2.555122e-06,2.552733e-06,2.544619e-06,2.538557e-06,2.534472e-06,2.522461e-06,2.514425e-06,2.508742e-06,2.493464e-06,2.483943e-06,2.476765e-06,2.458774e-06,2.448180e-06,2.439612e-06,2.419392e-06,2.408072e-06,2.398221e-06,2.376196e-06,2.364437e-06,2.353411e-06,2.329951e-06,2.317993e-06,2.305896e-06,2.281322e-06,2.269363e-06,2.256298e-06,2.230890e-06,2.219090e-06,2.205157e-06,2.179157e-06,2.167645e-06,2.152941e-06,2.126558e-06,2.115438e-06,2.100053e-06,2.073467e-06,2.062819e-06,2.046840e-06,2.020208e-06,2.010093e-06,1.993602e-06,1.967055e-06,1.957517e-06,1.940593e-06,1.914243e-06,1.905314e-06,1.888029e-06,1.861972e-06,1.853671e-06,1.836093e-06,1.810410e-06,1.802745e-06,1.784939e-06,1.759695e-06,1.752670e-06,1.734693e-06,1.709944e-06,1.703552e-06,1.685460e-06,1.661251e-06,1.655483e-06,1.637326e-06,1.613692e-06,1.608533e-06,1.590357e-06,1.567327e-06,1.562758e-06,1.544608e-06,1.522202e-06,1.518203e-06,1.500116e-06,1.478351e-06,1.474899e-06,1.456911e-06,1.435797e-06,1.432867e-06,1.415011e-06,1.394554e-06,1.392121e-06,1.374426e-06,1.354628e-06,1.352666e-06,1.335159e-06,1.316019e-06,1.314502e-06,1.297206e-06,1.278720e-06,1.277621e-06,1.260559e-06,1.242721e-06,1.242014e-06,1.225204e-06,1.208006e-06,1.207665e-06,1.191124e-06,1.174557e-06,1.142668e-06,1.111975e-06,1.082453e-06,1.054076e-06,1.026816e-06,1.000645e-06,9.755339e-07,9.514526e-07,9.283717e-07,9.062614e-07,8.850919e-07,8.648337e-07,8.454573e-07,8.269340e-07,8.092352e-07,7.923327e-07,7.761992e-07,7.608077e-07,7.461318e-07,7.321458e-07,7.188246e-07,7.061437e-07,6.940793e-07,6.826082e-07,6.717079e-07,6.613567e-07,6.515333e-07,6.422172e-07,6.333885e-07,6.250279e-07,6.171168e-07,6.096370e-07,6.025712e-07,5.959024e-07,5.896143e-07,5.836912e-07,5.781178e-07,5.728794e-07,5.679619e-07,5.633514e-07,5.590348e-07,5.549993e-07,5.512327e-07,5.477230e-07,5.444588e-07,5.414291e-07,5.386233e-07,5.360310e-07,5.336426e-07
0.000000e+00,1.357628e-08,3.869553e-07,4.072939e-07,3.471276e-06,1.591333e-05,1.680981e-05,5.492516e-05,1.268064e-04,1.327441e-04,2.541417e-04,3.949417e-04,4.080222e-04,5.761410e-04,7.261811e-04,7.423781e-04,8.963494e-04,1.017507e-03,1.032894e-03,1.150359e-03,1.236346e-03,1.249082e-03,1.330379e-03,1.386444e-03,1.395953e-03,1.447588e-03,1.480736e-03,1.487001e-03,1.515771e-03,1.532081e-03,1.535314e-03,1.546894e-03,1.551120e-03,1.551625e-03,1.550492e-03,1.546243e-03,1.544356e-03,1.533974e-03,1.523950e-03,1.520007e-03,1.503031e-03,1.489232e-03,1.483552e-03,1.462008e-03,1.445905e-03,1.438781e-03,1.414203e-03,1.396867e-03,1.388563e-03,1.362111e-03,1.344314e-03,1.335063e-03,1.307607e-03,1.289895e-03,1.279902e-03,1.252088e-03,1.234841e-03,1.224283e-03,1.196588e-03,1.180061e-03,1.169090e-03,1.141861e-03,1.126216e-03,1.114963e-03,1.088446e-03,1.073780e-03,1.062354e-03,1.036721e-03,1.023080e-03,1.011574e-03,9.869368e-04,9.743325e-04,9.628258e-04,9.392538e-04,9.276730e-04,9.162300e-04,8.937600e-04,8.831720e-04,8.718467e-04,8.504907e-04,8.408536e-04,8.296903e-04,8.094423e-04,8.007069e-04,7.897417e-04,7.705825e-04,7.626954e-04,7.519576e-04,7.338588e-04,7.267646e-04,7.162774e-04,6.992039e-04,6.928472e-04,6.826286e-04,6.665413e-04,6.608672e-04,6.509313e-04,6.357881e-04,6.307438e-04,6.211007e-04,6.068583e-04,6.023929e-04,5.930499e-04,5.796645e-04,5.757297e-04,5.666912e-04,5.541193e-04,5.506696e-04,5.419380e-04,5.301368e-04,5.271295e-04,5.187052e-04,5.076330e-04,5.050281e-04,4.969101e-04,4.865266e-04,4.842868e-04,4.764728e-04,4.667392e-04,4.648301e-04,4.573165e-04,4.481955e-04,4.465851e-04,4.393676e-04,4.308239e-04,4.294827e-04,4.225561e-04,4.145559e-04,4.134567e-04,4.068152e-04,3.993264e-04,3.984443e-04,3.920817e-04,3.850739e-04,3.843858e-04,3.782956e-04,3.717399e-04,3.712248e-04,3.654000e-04,3.592692e-04,3.589079e-04,3.533413e-04,3.476098e-04,3.473846e-04,3.420689e-04,3.367125e-04,3.366072e-04,3.315349e-04,3.265307e-04,3.171129e-04,3.083136e-04,3.000953e-04,2.924227e-04,2.852622e-04,2.785827e-04,2.723546e-04,2.665501e-04,2.611431e-04,2.561092e-04,2.514253e-04,2.470696e-04,2.430220e-04,2.392631e-04,2.357750e-04,2.325409e-04,2.295448e-04,2.267718e-04,2.242080e-04,2.218401e-04,2.196558e-04,2.176435e-04,2.157922e-04,2.140917e-04,2.125324e-04,2.111051e-04,2.098016e-04,2.086136e-04,2.075338e-04,2.065551e-04,2.056709e-04,2.048750e-04,2.041615e-04,2.035249e-04,2.029602e-04,2.024625e-04,2.020272e-04,2.016501e-04,2.013272e-04,2.010547e-04,2.008291e-04,2.006471e-04,2.005057e-04,2.004017e-04,2.003327e-04,2.002958e-04,2.002889e-04,2.003095e-04,2.003557e-04
0.000000e+00,1.425874e-08,5.432197e-07,5.756343e-07,6.233675e-06,2.970835e-05,3.132250e-05,9.048424e-05,1.709575e-04,1.765305e-04,2.717207e-04,3.583253e-04,3.656865e-04,4.547895e-04,5.300690e-04,5.381415e-04,6.157041e-04,6.793165e-04,6.876634e-04,7.542558e-04,8.074189e-04,8.157253e-04,8.723126e-04,9.162464e-04,9.242546e-04,9.717840e-04,1.007625e-03,1.015129e-03,1.054511e-03,1.083310e-03,1.090147e-03,1.122247e-03,1.144960e-03,1.151012e-03,1.176637e-03,1.194126e-03,1.199307e-03,1.219203e-03,1.232238e-03,1.236491e-03,1.251334e-03,1.260594e-03,1.263886e-03,1.274292e-03,1.280374e-03,1.282691e-03,1.289215e-03,1.292643e-03,1.293987e-03,1.297126e-03,1.298357e-03,1.298743e-03,1.298944e-03,1.298376e-03,1.297830e-03,1.295493e-03,1.293470e-03,1.292024e-03,1.287507e-03,1.284327e-03,1.282021e-03,1.275642e-03,1.271561e-03,1.268440e-03,1.260483e-03,1.255720e-03,1.251833e-03,1.242550e-03,1.237293e-03,1.232689e-03,1.222304e-03,1.216712e-03,1.211443e-03,1.200154e-03,1.194363e-03,1.188480e-03,1.176463e-03,1.170584e-03,1.164141e-03,1.151550e-03,1.145678e-03,1.138725e-03,1.125697e-03,1.119908e-03,1.112496e-03,1.099150e-03,1.093508e-03,1.085686e-03,1.072128e-03,1.066683e-03,1.058498e-03,1.044818e-03,1.039611e-03,1.031108e-03,1.017386e-03,1.012446e-03,1.003669e-03,9.899744e-04,9.853256e-04,9.763156e-04,9.627067e-04,9.583646e-04,9.491606e-04,9.356888e-04,9.316634e-04,9.223022e-04,9.090109e-04,9.053076e-04,8.958238e-04,8.827494e-04,8.793695e-04,8.697953e-04,8.569685e-04,8.539098e-04,8.442754e-04,8.317216e-04,8.289790e-04,8.193124e-04,8.070523e-04,8.046186e-04,7.949456e-04,7.829957e-04,7.808617e-04,7.712061e-04,7.595795e-04,7.577345e-04,7.481183e-04,7.368246e-04,7.352569e-04,7.257000e-04,7.147461e-04,7.134432e-04,7.039640e-04,6.933544e-04,6.923029e-04,6.829179e-04,6.726549e-04,6.718414e-04,6.625655e-04,6.526496e-04,6.520601e-04,6.429069e-04,6.333369e-04,6.329576e-04,6.239390e-04,6.147124e-04,6.145296e-04,6.056561e-04,5.967692e-04,5.796679e-04,5.632152e-04,5.473992e-04,5.322070e-04,5.176246e-04,5.036372e-04,4.902293e-04,4.773852e-04,4.650888e-04,4.533235e-04,4.420729e-04,4.313204e-04,4.210496e-04,4.112440e-04,4.018875e-04,3.929640e-04,3.844578e-04,3.763534e-04,3.686357e-04,3.612899e-04,3.543014e-04,3.476562e-04,3.413406e-04,3.353412e-04,3.296451e-04,3.242397e-04,3.191130e-04,3.142530e-04,3.096485e-04,3.052885e-04,3.011624e-04,2.972599e-04,2.935713e-04,2.900869e-04,2.867978e-04,2.836950e-04,2.807701e-04,2.780150e-04,2.754218e-04,2.729831e-04,2.706917e-04,2.685405e-04,2.665231e-04,2.646329e-04,2.628640e-04,2.612104e-04,2.596666e-04,2.582271e-04,2.568869e-04
0.000000e+00,1.044510e-08,3.146010e-07,3.316711e-07,3.108728e-06,1.567251e-05,1.661656e-05,5.875534e-05,1.417112e-04,1.486023e-04,2.887359e-04,4.494422e-04,4.643380e-04,6.567413e-04,8.323374e-04,8.516544e-04,1.040348e-03,1.197559e-03,1.218255e-03,1.383371e-03,1.514675e-03,1.535115e-03,1.673637e-03,1.780143e-03,1.799444e-03,1.913196e-03,1.997980e-03,2.015611e-03,2.107415e-03,2.173695e-03,2.189316e-03,2.261994e-03,2.312699e-03,2.326098e-03,2.382238e-03,2.419936e-03,2.430993e-03,2.472903e-03,2.499810e-03,2.508477e-03,2.538192e-03,2.556210e-03,2.562494e-03,2.581798e-03,2.592548e-03,2.596496e-03,2.606949e-03,2.611807e-03,2.613498e-03,2.616459e-03,2.616592e-03,2.616127e-03,2.612778e-03,2.609170e-03,2.606667e-03,2.598035e-03,2.591514e-03,2.587102e-03,2.574077e-03,2.565338e-03,2.559151e-03,2.542505e-03,2.532127e-03,2.524304e-03,2.504703e-03,2.493169e-03,2.483846e-03,2.461867e-03,2.449575e-03,2.438889e-03,2.415028e-03,2.402307e-03,2.390390e-03,2.365074e-03,2.352190e-03,2.339171e-03,2.312766e-03,2.299937e-03,2.285938e-03,2.258758e-03,2.246155e-03,2.231293e-03,2.203605e-03,2.191367e-03,2.175752e-03,2.147785e-03,2.136016e-03,2.119752e-03,2.091698e-03,2.080479e-03,2.063663e-03,2.035685e-03,2.025075e-03,2.007797e-03,1.980032e-03,1.970071e-03,1.952416e-03,1.924977e-03,1.915692e-03,1.897737e-03,1.870718e-03,1.862121e-03,1.843939e-03,1.817417e-03,1.809513e-03,1.791168e-03,1.765206e-03,1.757990e-03,1.739544e-03,1.714192e-03,1.707653e-03,1.689160e-03,1.664456e-03,1.658577e-03,1.640089e-03,1.616063e-03,1.610824e-03,1.592384e-03,1.569058e-03,1.564435e-03,1.546087e-03,1.523474e-03,1.519442e-03,1.501221e-03,1.479331e-03,1.475862e-03,1.457803e-03,1.436638e-03,1.433704e-03,1.415837e-03,1.395398e-03,1.392969e-03,1.375320e-03,1.355602e-03,1.353650e-03,1.336242e-03,1.317239e-03,1.315734e-03,1.298589e-03,1.280290e-03,1.279203e-03,1.262339e-03,1.244734e-03,1.244037e-03,1.227470e-03,1.210544e-03,1.210209e-03,1.193953e-03,1.177693e-03,1.146459e-03,1.116475e-03,1.087708e-03,1.060126e-03,1.033694e-03,1.008377e-03,9.841409e-04,9.609512e-04,9.387733e-04,9.175732e-04,8.973174e-04,8.779729e-04,8.595071e-04,8.418884e-04,8.250856e-04,8.090685e-04,7.938075e-04,7.792739e-04,7.654398e-04,7.522779e-04,7.397621e-04,7.278668e-04,7.165673e-04,7.058397e-04,6.956609e-04,6.860085e-04,6.768609e-04,6.681973e-04,6.599975e-04,6.522421e-04,6.449124e-04,6.379903e-04,6.314583e-04,6.252996e-04,6.194982e-04,6.140383e-04,6.089050e-04,6.040838e-04,5.995607e-04,5.953225e-04,5.913561e-04,5.876493e-04,5.841900e-04,5.809667e-04,5.779686e-04,5.751848e-04,5.726052e-04,5.702201e-04,5.680200e-04
0.000000e+00,6.791740e-09,1.399675e-07,1.468533e-07,9.843212e-07,2.969570e-06,3.071890e-06,5.758718e-06,8.190994e-06,8.338894e-06,1.066282e-05,1.257097e-05,1.272696e-05,1.455027e-05,1.600298e-05,1.615408e-05,1.755868e-05,1.864483e-05,1.878277e-05,1.984351e-05,2.063707e-05,2.075655e-05,2.153633e-05,2.209809e-05,2.219610e-05,2.274796e-05,2.312775e-05,2.320296e-05,2.357112e-05,2.380929e-05,2.386156e-05,2.408253e-05,2.421149e-05,2.424150e-05,2.434521e-05,2.439085e-05,2.439976e-05,2.441066e-05,2.439354e-05,2.438285e-05,2.432080e-05,2.425721e-05,2.422855e-05,2.410969e-05,2.401243e-05,2.396751e-05,2.380491e-05,2.368405e-05,2.362455e-05,2.342876e-05,2.329214e-05,2.321969e-05,2.299923e-05,2.285296e-05,2.276909e-05,2.253080e-05,2.237958e-05,2.228573e-05,2.203511e-05,2.188253e-05,2.178002e-05,2.152145e-05,2.137023e-05,2.126027e-05,2.099725e-05,2.084942e-05,2.073309e-05,2.046840e-05,2.032545e-05,2.020373e-05,1.993956e-05,1.980253e-05,1.967632e-05,1.941438e-05,1.928400e-05,1.915407e-05,1.889569e-05,1.877242e-05,1.863948e-05,1.838568e-05,1.826979e-05,1.813446e-05,1.788600e-05,1.777759e-05,1.764044e-05,1.739789e-05,1.729694e-05,1.715845e-05,1.692222e-05,1.682864e-05,1.668925e-05,1.645961e-05,1.637323e-05,1.623333e-05,1.601045e-05,1.593105e-05,1.579099e-05,1.557496e-05,1.550229e-05,1.536237e-05,1.515322e-05,1.508701e-05,1.494749e-05,1.474519e-05,1.468516e-05,1.454629e-05,1.435076e-05,1.429662e-05,1.415859e-05,1.396975e-05,1.392119e-05,1.378420e-05,1.360192e-05,1.355866e-05,1.342287e-05,1.324700e-05,1.320874e-05,1.307429e-05,1.290469e-05,1.287114e-05,1.273817e-05,1.257467e-05,1.254556e-05,1.241417e-05,1.225660e-05,1.223166e-05,1.210194e-05,1.195014e-05,1.192912e-05,1.180116e-05,1.165495e-05,1.163759e-05,1.151146e-05,1.137066e-05,1.135673e-05,1.123250e-05,1.109693e-05,1.108620e-05,1.096393e-05,1.083343e-05,1.082568e-05,1.070540e-05,1.057980e-05,1.057482e-05,1.045658e-05,1.033571e-05,1.033332e-05,1.021714e-05,1.010084e-05,9.877076e-06,9.661731e-06,9.454509e-06,9.255122e-06,9.063293e-06,8.878754e-06,8.701242e-06,8.530506e-06,8.366301e-06,8.208392e-06,8.056548e-06,7.910551e-06,7.770186e-06,7.635247e-06,7.505537e-06,7.380863e-06,7.261040e-06,7.145890e-06,7.035240e-06,6.928923e-06,6.826780e-06,6.728656e-06,6.634402e-06,6.543873e-06,6.456932e-06,6.373445e-06,6.293282e-06,6.216320e-06,6.142439e-06,6.071523e-06,6.003461e-06,5.938146e-06,5.875474e-06,5.815345e-06,5.757665e-06,5.702339e-06,5.649280e-06,5.598400e-06,5.549618e-06,5.502853e-06,5.458028e-06,5.415069e-06,5.373905e-06,5.334468e-06,5.296689e-06,5.260507e-06,5.225859e-06,5.192686e-06,5.160931e-06
0.000000e+00,1.765948e-08,7.044148e-07,7.470656e-07,8.476704e-06,4.214493e-05,4.450357e-05,1.333286e-04,2.610512e-04,2.701774e-04,4.309170e-04,5.834711e-04,5.966424e-04,7.578812e-04,8.960043e-04,9.108912e-04,1.054532e-03,1.173081e-03,1.188684e-03,1.313591e-03,1.413879e-03,1.429598e-03,1.537092e-03,1.621099e-03,1.636471e-03,1.728131e-03,1.797807e-03,1.812463e-03,1.889850e-03,1.947007e-03,1.960661e-03,2.025253e-03,2.071540e-03,2.083970e-03,2.137141e-03,2.174037e-03,2.185082e-03,2.228092e-03,2.256915e-03,2.266459e-03,2.300455e-03,2.322372e-03,2.330340e-03,2.356361e-03,2.372402e-03,2.378751e-03,2.397734e-03,2.408804e-03,2.413520e-03,2.426309e-03,2.433201e-03,2.436291e-03,2.443646e-03,2.447053e-03,2.448543e-03,2.451145e-03,2.451673e-03,2.451604e-03,2.450064e-03,2.448237e-03,2.446661e-03,2.441527e-03,2.437803e-03,2.434781e-03,2.426541e-03,2.421315e-03,2.416916e-03,2.406008e-03,2.399619e-03,2.393915e-03,2.380730e-03,2.373471e-03,2.366539e-03,2.351424e-03,2.343544e-03,2.335462e-03,2.318728e-03,2.310441e-03,2.301289e-03,2.283209e-03,2.274695e-03,2.264552e-03,2.245373e-03,2.236783e-03,2.225727e-03,2.205665e-03,2.197126e-03,2.185234e-03,2.164481e-03,2.156098e-03,2.143446e-03,2.122170e-03,2.114030e-03,2.100690e-03,2.079041e-03,2.071213e-03,2.057256e-03,2.035365e-03,2.027903e-03,2.013397e-03,1.991380e-03,1.984328e-03,1.969337e-03,1.947293e-03,1.940683e-03,1.925269e-03,1.903286e-03,1.897140e-03,1.881362e-03,1.859516e-03,1.853851e-03,1.837764e-03,1.816120e-03,1.810944e-03,1.794600e-03,1.773215e-03,1.768530e-03,1.751978e-03,1.730901e-03,1.726705e-03,1.709992e-03,1.689262e-03,1.685550e-03,1.668719e-03,1.648371e-03,1.645134e-03,1.628225e-03,1.608287e-03,1.605512e-03,1.588563e-03,1.569059e-03,1.566733e-03,1.549779e-03,1.530726e-03,1.528834e-03,1.511906e-03,1.493321e-03,1.491844e-03,1.474973e-03,1.456866e-03,1.455787e-03,1.439000e-03,1.421378e-03,1.420679e-03,1.404001e-03,1.386870e-03,1.386530e-03,1.369986e-03,1.353348e-03,1.321134e-03,1.289886e-03,1.259601e-03,1.230269e-03,1.201881e-03,1.174425e-03,1.147887e-03,1.122251e-03,1.097502e-03,1.073621e-03,1.050589e-03,1.028388e-03,1.006998e-03,9.863995e-04,9.665712e-04,9.474929e-04,9.291441e-04,9.115043e-04,8.945528e-04,8.782695e-04,8.626339e-04,8.476263e-04,8.332268e-04,8.194161e-04,8.061751e-04,7.934850e-04,7.813275e-04,7.696846e-04,7.585386e-04,7.478725e-04,7.376694e-04,7.279128e-04,7.185870e-04,7.096763e-04,7.011655e-04,6.930400e-04,6.852855e-04,6.778880e-04,6.708341e-04,6.641107e-04,6.577051e-04,6.516048e-04,6.457981e-04,6.402733e-04,6.350192e-04,6.300250e-04,6.252801e-04,6.207744e-04,6.164980e-04
0.000000e+00,6.580324e-09,1.071113e-07,1.120469e-07,7.245165e-07,2.513004e-06,2.622871e-06,6.329777e-06,1.105767e-05,1.137874e-05,1.674938e-05,2.147316e-05,2.186863e-05,2.658800e-05,3.048076e-05,3.089300e-05,3.480027e-05,3.792811e-05,3.833308e-05,4.151561e-05,4.399055e-05,4.437158e-05,4.692369e-05,4.884855e-05,4.919365e-05,5.120203e-05,5.266736e-05,5.296824e-05,5.451056e-05,5.559478e-05,5.584614e-05,5.699102e-05,5.776132e-05,5.796018e-05,5.876762e-05,5.928115e-05,5.942635e-05,5.994850e-05,6.025362e-05,6.034535e-05,6.062739e-05,6.076486e-05,6.080436e-05,6.088531e-05,6.088937e-05,6.087864e-05,6.079215e-05,6.069145e-05,6.063306e-05,6.040807e-05,6.022651e-05,6.012339e-05,5.978476e-05,5.954220e-05,5.939751e-05,5.896656e-05,5.867944e-05,5.849647e-05,5.799144e-05,5.767328e-05,5.745536e-05,5.689182e-05,5.655371e-05,5.630415e-05,5.569538e-05,5.534632e-05,5.506834e-05,5.442561e-05,5.407287e-05,5.376959e-05,5.310247e-05,5.275186e-05,5.242626e-05,5.174281e-05,5.139891e-05,5.105382e-05,5.036084e-05,5.002722e-05,4.966529e-05,4.896847e-05,4.864784e-05,4.827157e-05,4.757565e-05,4.727001e-05,4.688170e-05,4.619062e-05,4.590142e-05,4.550321e-05,4.482019e-05,4.454836e-05,4.414223e-05,4.346991e-05,4.321602e-05,4.280377e-05,4.214427e-05,4.190856e-05,4.149185e-05,4.084686e-05,4.062932e-05,4.020964e-05,3.958047e-05,3.938088e-05,3.895961e-05,3.834726e-05,3.816525e-05,3.774361e-05,3.714881e-05,3.698387e-05,3.656298e-05,3.598623e-05,3.583777e-05,3.541863e-05,3.486024e-05,3.472760e-05,3.431109e-05,3.377121e-05,3.365368e-05,3.324060e-05,3.271924e-05,3.261608e-05,3.220712e-05,3.170420e-05,3.161465e-05,3.121043e-05,3.072576e-05,3.064905e-05,3.025012e-05,2.978343e-05,2.971880e-05,2.932562e-05,2.887660e-05,2.882330e-05,2.843628e-05,2.800455e-05,2.796185e-05,2.758133e-05,2.716649e-05,2.713367e-05,2.675994e-05,2.636156e-05,2.633791e-05,2.597123e-05,2.558885e-05,2.557372e-05,2.521428e-05,2.484742e-05,2.484016e-05,2.448813e-05,2.413630e-05,2.346121e-05,2.281392e-05,2.219349e-05,2.159898e-05,2.102946e-05,2.048400e-05,1.996170e-05,1.946170e-05,1.898311e-05,1.852512e-05,1.808690e-05,1.766766e-05,1.726665e-05,1.688313e-05,1.651637e-05,1.616568e-05,1.583041e-05,1.550990e-05,1.520355e-05,1.491076e-05,1.463095e-05,1.436358e-05,1.410812e-05,1.386406e-05,1.363092e-05,1.340822e-05,1.319552e-05,1.299240e-05,1.279843e-05,1.261323e-05,1.243642e-05,1.226763e-05,1.210651e-05,1.195274e-05,1.180599e-05,1.166597e-05,1.153237e-05,1.140492e-05,1.128335e-05,1.116740e-05,1.105683e-05,1.095141e-05,1.085091e-05,1.075511e-05,1.066381e-05,1.057682e-05,1.049393e-05,1.041498e-05,1.033980e-05
0.000000e+00,2.987056e-06,1.277352e-04,1.356247e-04,1.713606e-03,1.034563e-02,1.103131e-02,4.346686e-02,1.126703e-01,1.186919e-01,2.509775e-01,4.284031e-01,4.463797e-01,7.044185e-01,9.862870e-01,1.020278e+00,1.386571e+00,1.743745e+00,1.794613e+00,2.235298e+00,2.633562e+00,2.699680e+00,3.179339e+00,3.588418e+00,3.666599e+00,4.154641e+00,4.551235e+00,4.637540e+00,5.110258e+00,5.478258e+00,5.568602e+00,6.009169e+00,6.338716e+00,6.429269e+00,6.826855e+00,7.113033e+00,7.200446e+00,7.549055e+00,7.790595e+00,7.872116e+00,8.169426e+00,8.367586e+00,8.441079e+00,8.687421e+00,8.845086e+00,8.908998e+00,9.106517e+00,9.227509e+00,9.280811e+00,9.432805e+00,9.521387e+00,9.563495e+00,9.673923e+00,9.734454e+00,9.765154e+00,9.838268e+00,9.874973e+00,9.894342e+00,9.934439e+00,9.951264e+00,9.959603e+00,9.970850e+00,9.971386e+00,9.969165e+00,9.955494e+00,9.942944e+00,9.930747e+00,9.895793e+00,9.872965e+00,9.851457e+00,9.798525e+00,9.767852e+00,9.737742e+00,9.669809e+00,9.633370e+00,9.595388e+00,9.515104e+00,9.474658e+00,9.429541e+00,9.339247e+00,9.296266e+00,9.244737e+00,9.146490e+00,9.102195e+00,9.044955e+00,8.940551e+00,8.895941e+00,8.833667e+00,8.724666e+00,8.680549e+00,8.613883e+00,8.501632e+00,8.458653e+00,8.388202e+00,8.273860e+00,8.232522e+00,8.158855e+00,8.043416e+00,8.004105e+00,7.927753e+00,7.812062e+00,7.775064e+00,7.696521e+00,7.581294e+00,7.546810e+00,7.466533e+00,7.352375e+00,7.320536e+00,7.238946e+00,7.126362e+00,7.097241e+00,7.014727e+00,6.904136e+00,6.877760e+00,6.794676e+00,6.686424e+00,6.662778e+00,6.579450e+00,6.473818e+00,6.452857e+00,6.369582e+00,6.266793e+00,6.248449e+00,6.165496e+00,6.065728e+00,6.049909e+00,5.967524e+00,5.870912e+00,5.857515e+00,5.775918e+00,5.682562e+00,5.671470e+00,5.590861e+00,5.500830e+00,5.491920e+00,5.412480e+00,5.325817e+00,5.318957e+00,5.240848e+00,5.157574e+00,5.152632e+00,5.075997e+00,4.996115e+00,4.992955e+00,4.917924e+00,4.841419e+00,4.839906e+00,4.766594e+00,4.693438e+00,4.553480e+00,4.419943e+00,4.292720e+00,4.171692e+00,4.056728e+00,3.947689e+00,3.844426e+00,3.746787e+00,3.654612e+00,3.567738e+00,3.486000e+00,3.409229e+00,3.337256e+00,3.269910e+00,3.207020e+00,3.148413e+00,3.093919e+00,3.043367e+00,2.996587e+00,2.953412e+00,2.913674e+00,2.877208e+00,2.843852e+00,2.813446e+00,2.785832e+00,2.760855e+00,2.738363e+00,2.718208e+00,2.700244e+00,2.684332e+00,2.670332e+00,2.658112e+00,2.647543e+00,2.638500e+00,2.630863e+00,2.624516e+00,2.619347e+00,2.615251e+00,2.612127e+00,2.609876e+00,2.608408e+00,2.607635e+00,2.607476e+00,2.607851e+00,2.608690e+00,2.609924e+00,2.611489e+00,2.613326e+00,2.615382e+00
0.000000e+00,9.866301e-10,1.215844e-08,1.267041e-08,7.169885e-08,2.311404e-07,2.405914e-07,5.410158e-07,8.844525e-07,9.067480e-07,1.270246e-06,1.582607e-06,1.608609e-06,1.917725e-06,2.171303e-06,2.198086e-06,2.451213e-06,2.652804e-06,2.678828e-06,2.882647e-06,3.040170e-06,3.064335e-06,3.225493e-06,3.346119e-06,3.367647e-06,3.492241e-06,3.582266e-06,3.600642e-06,3.694134e-06,3.759005e-06,3.773920e-06,3.841121e-06,3.885481e-06,3.896790e-06,3.941908e-06,3.969702e-06,3.977383e-06,4.004059e-06,4.018599e-06,4.022720e-06,4.034080e-06,4.038105e-06,4.038789e-06,4.037456e-06,4.033232e-06,4.030645e-06,4.018908e-06,4.008378e-06,4.002758e-06,3.982641e-06,3.967391e-06,3.958967e-06,3.932115e-06,3.913425e-06,3.902434e-06,3.870244e-06,3.849156e-06,3.835839e-06,3.799487e-06,3.776846e-06,3.761437e-06,3.721917e-06,3.698404e-06,3.681134e-06,3.639278e-06,3.615436e-06,3.596524e-06,3.553031e-06,3.529290e-06,3.508945e-06,3.464397e-06,3.441091e-06,3.419510e-06,3.374391e-06,3.351778e-06,3.329143e-06,3.283854e-06,3.262126e-06,3.238608e-06,3.193477e-06,3.172774e-06,3.148528e-06,3.103823e-06,3.084243e-06,3.059414e-06,3.015350e-06,2.996956e-06,2.971674e-06,2.928426e-06,2.911254e-06,2.885639e-06,2.843343e-06,2.827404e-06,2.801564e-06,2.760325e-06,2.745615e-06,2.719646e-06,2.679544e-06,2.666043e-06,2.640033e-06,2.601126e-06,2.588805e-06,2.562832e-06,2.525158e-06,2.513978e-06,2.488112e-06,2.451697e-06,2.441615e-06,2.415917e-06,2.380772e-06,2.371739e-06,2.346264e-06,2.312390e-06,2.304355e-06,2.279151e-06,2.246542e-06,2.239452e-06,2.214560e-06,2.183202e-06,2.177005e-06,2.152461e-06,2.122334e-06,2.116975e-06,2.092812e-06,2.063891e-06,2.059319e-06,2.035563e-06,2.007821e-06,2.003984e-06,1.980657e-06,1.954064e-06,1.950911e-06,1.928034e-06,1.902557e-06,1.900040e-06,1.877627e-06,1.853233e-06,1.851305e-06,1.829369e-06,1.806024e-06,1.804640e-06,1.783191e-06,1.760860e-06,1.759977e-06,1.739023e-06,1.717670e-06,1.717248e-06,1.696793e-06,1.676383e-06,1.637316e-06,1.599978e-06,1.564303e-06,1.530227e-06,1.497686e-06,1.466619e-06,1.436964e-06,1.408663e-06,1.381661e-06,1.355901e-06,1.331333e-06,1.307903e-06,1.285565e-06,1.264269e-06,1.243971e-06,1.224627e-06,1.206195e-06,1.188635e-06,1.171908e-06,1.155977e-06,1.140807e-06,1.126363e-06,1.112613e-06,1.099526e-06,1.087072e-06,1.075223e-06,1.063950e-06,1.053229e-06,1.043033e-06,1.033338e-06,1.024123e-06,1.015365e-06,1.007043e-06,9.991377e-07,9.916292e-07,9.844994e-07,9.777310e-07,9.713073e-07,9.652124e-07,9.594310e-07,9.539487e-07,9.487514e-07,9.438260e-07,9.391598e-07,9.347406e-07,9.305569e-07,9.265977e-07,9.228523e-07,9.193108e-07
0.000000e+00,1.618662e-08,2.909974e-07,3.048712e-07,2.212397e-06,8.650613e-06,9.064103e-06,2.305994e-05,3.992468e-05,4.103327e-05,5.927402e-05,7.519535e-05,7.653165e-05,9.256131e-05,1.059291e-04,1.073538e-04,1.209531e-04,1.319783e-04,1.334158e-04,1.448008e-04,1.537751e-04,1.551673e-04,1.645737e-04,1.717746e-04,1.730766e-04,1.807308e-04,1.864111e-04,1.875892e-04,1.937021e-04,1.980881e-04,1.991177e-04,2.038816e-04,2.071732e-04,2.080375e-04,2.116267e-04,2.139992e-04,2.146876e-04,2.172564e-04,2.188606e-04,2.193672e-04,2.210523e-04,2.220192e-04,2.223422e-04,2.232660e-04,2.237101e-04,2.238522e-04,2.241277e-04,2.241499e-04,2.241165e-04,2.238413e-04,2.235254e-04,2.233232e-04,2.225819e-04,2.219990e-04,2.216361e-04,2.205032e-04,2.197141e-04,2.191996e-04,2.177405e-04,2.167965e-04,2.161404e-04,2.144125e-04,2.133568e-04,2.125694e-04,2.106229e-04,2.094918e-04,2.085839e-04,2.064626e-04,2.052862e-04,2.042685e-04,2.020106e-04,2.008140e-04,1.996971e-04,1.973357e-04,1.961394e-04,1.949337e-04,1.924977e-04,1.913182e-04,1.900339e-04,1.875480e-04,1.863986e-04,1.850454e-04,1.825311e-04,1.814222e-04,1.800095e-04,1.774850e-04,1.764247e-04,1.749614e-04,1.724423e-04,1.714367e-04,1.699310e-04,1.674306e-04,1.664839e-04,1.649438e-04,1.624733e-04,1.615883e-04,1.600212e-04,1.575897e-04,1.567681e-04,1.551808e-04,1.527962e-04,1.520385e-04,1.504374e-04,1.481059e-04,1.474120e-04,1.458030e-04,1.435297e-04,1.428986e-04,1.412870e-04,1.390759e-04,1.385063e-04,1.368971e-04,1.347512e-04,1.342412e-04,1.326389e-04,1.305605e-04,1.301079e-04,1.285165e-04,1.265072e-04,1.261095e-04,1.245328e-04,1.225934e-04,1.222481e-04,1.206893e-04,1.188204e-04,1.185246e-04,1.169867e-04,1.151882e-04,1.149392e-04,1.134248e-04,1.116963e-04,1.114912e-04,1.100026e-04,1.083434e-04,1.081794e-04,1.067186e-04,1.051277e-04,1.050019e-04,1.035706e-04,1.020469e-04,1.019565e-04,1.005563e-04,9.909831e-05,9.904066e-05,9.767267e-05,9.627895e-05,9.625139e-05,9.491672e-05,9.358558e-05,9.103988e-05,8.861081e-05,8.629481e-05,8.408821e-05,8.198733e-05,7.998846e-05,7.808790e-05,7.628197e-05,7.456703e-05,7.293948e-05,7.139579e-05,6.993251e-05,6.854625e-05,6.723374e-05,6.599176e-05,6.481720e-05,6.370704e-05,6.265837e-05,6.166836e-05,6.073429e-05,5.985353e-05,5.902354e-05,5.824189e-05,5.750625e-05,5.681435e-05,5.616405e-05,5.555328e-05,5.498004e-05,5.444244e-05,5.393867e-05,5.346698e-05,5.302571e-05,5.261328e-05,5.222817e-05,5.186894e-05,5.153419e-05,5.122262e-05,5.093298e-05,5.066406e-05,5.041474e-05,5.018392e-05,4.997058e-05,4.977374e-05,4.959246e-05,4.942586e-05,4.927309e-05,4.913336e-05,4.900591e-05,4.889002e-05
0.000000e+00,2.826139e-10,6.944095e-09,7.300955e-09,5.003574e-08,1.338884e-07,1.377121e-07,2.314688e-07,3.120957e-07,3.169533e-07,3.928961e-07,4.548087e-07,4.598528e-07,5.186020e-07,5.650872e-07,5.699025e-07,6.144541e-07,6.485851e-07,6.528951e-07,6.858056e-07,7.100941e-07,7.137202e-07,7.371295e-07,7.536420e-07,7.564835e-07,7.721944e-07,7.826239e-07,7.846386e-07,7.941596e-07,7.998828e-07,8.010701e-07,8.056542e-07,8.077816e-07,8.081698e-07,8.088502e-07,8.082710e-07,8.079070e-07,8.055311e-07,8.029527e-07,8.018950e-07,7.971543e-07,7.931362e-07,7.914491e-07,7.849058e-07,7.798881e-07,7.776379e-07,7.697475e-07,7.640737e-07,7.613264e-07,7.524567e-07,7.463932e-07,7.432122e-07,7.336589e-07,7.274102e-07,7.238557e-07,7.138554e-07,7.075770e-07,7.037048e-07,6.934458e-07,6.872540e-07,6.831156e-07,6.727469e-07,6.667272e-07,6.623691e-07,6.520078e-07,6.462213e-07,6.416858e-07,6.314228e-07,6.259116e-07,6.212363e-07,6.111415e-07,6.059328e-07,6.011513e-07,5.912773e-07,5.863869e-07,5.815290e-07,5.719147e-07,5.673496e-07,5.624414e-07,5.531147e-07,5.488751e-07,5.439395e-07,5.349195e-07,5.310007e-07,5.260577e-07,5.173563e-07,5.137499e-07,5.088168e-07,5.004403e-07,4.971355e-07,4.922272e-07,4.841775e-07,4.811615e-07,4.762909e-07,4.685666e-07,4.658253e-07,4.610034e-07,4.536002e-07,4.511193e-07,4.463554e-07,4.392672e-07,4.370317e-07,4.323336e-07,4.255526e-07,4.235477e-07,4.189220e-07,4.124394e-07,4.106505e-07,4.061026e-07,3.999089e-07,3.983217e-07,3.938560e-07,3.879411e-07,3.865418e-07,3.821618e-07,3.765154e-07,3.752907e-07,3.709992e-07,3.656107e-07,3.645481e-07,3.603472e-07,3.552061e-07,3.542935e-07,3.501848e-07,3.452808e-07,3.445068e-07,3.404913e-07,3.358140e-07,3.351679e-07,3.312462e-07,3.267856e-07,3.262574e-07,3.224297e-07,3.181761e-07,3.177563e-07,3.140224e-07,3.099664e-07,3.096460e-07,3.060057e-07,3.021381e-07,3.019089e-07,2.983614e-07,2.946734e-07,2.945277e-07,2.910721e-07,2.875554e-07,2.874859e-07,2.841213e-07,2.807677e-07,2.743578e-07,2.682417e-07,2.624055e-07,2.568358e-07,2.515201e-07,2.464462e-07,2.416026e-07,2.369782e-07,2.325627e-07,2.283461e-07,2.243188e-07,2.204719e-07,2.167967e-07,2.132852e-07,2.099294e-07,2.067221e-07,2.036561e-07,2.007249e-07,1.979220e-07,1.952414e-07,1.926773e-07,1.902243e-07,1.878771e-07,1.856308e-07,1.834807e-07,1.814224e-07,1.794515e-07,1.775640e-07,1.757560e-07,1.740239e-07,1.723642e-07,1.707736e-07,1.692488e-07,1.677870e-07,1.663852e-07,1.650407e-07,1.637509e-07,1.625134e-07,1.613257e-07,1.601858e-07,1.590913e-07,1.580403e-07,1.570309e-07,1.560612e-07,1.551295e-07,1.542341e-07,1.533734e-07,1.525459e-07,1.517501e-07
0.000000e+00,4.659570e-09,1.841062e-07,1.951986e-07,2.294540e-06,1.286410e-05,1.367391e-05,4.984395e-05,1.195435e-04,1.252674e-04,2.409301e-04,3.736515e-04,3.859948e-04,5.458997e-04,6.916533e-04,7.076014e-04,8.614903e-04,9.855510e-04,1.001490e-03,1.124427e-03,1.215657e-03,1.229241e-03,1.316269e-03,1.376475e-03,1.386689e-03,1.442120e-03,1.477640e-03,1.484348e-03,1.515160e-03,1.532726e-03,1.536239e-03,1.549116e-03,1.554344e-03,1.555146e-03,1.555507e-03,1.552617e-03,1.551208e-03,1.543108e-03,1.535095e-03,1.531928e-03,1.518271e-03,1.507190e-03,1.502641e-03,1.485453e-03,1.472682e-03,1.467053e-03,1.447724e-03,1.434171e-03,1.427701e-03,1.407174e-03,1.393429e-03,1.386302e-03,1.365214e-03,1.351653e-03,1.344014e-03,1.322789e-03,1.309649e-03,1.301609e-03,1.280531e-03,1.267953e-03,1.259601e-03,1.238855e-03,1.226920e-03,1.218325e-03,1.198034e-03,1.186783e-03,1.178001e-03,1.158240e-03,1.147687e-03,1.138764e-03,1.119581e-03,1.109724e-03,1.100698e-03,1.082118e-03,1.072944e-03,1.063846e-03,1.045882e-03,1.037370e-03,1.028228e-03,1.010883e-03,1.003007e-03,9.938451e-04,9.771138e-04,9.698485e-04,9.606866e-04,9.445609e-04,9.378773e-04,9.287338e-04,9.132021e-04,9.070713e-04,8.979624e-04,8.830111e-04,8.774044e-04,8.683445e-04,8.539587e-04,8.488478e-04,8.398498e-04,8.260138e-04,8.213710e-04,8.124467e-04,7.991443e-04,7.949427e-04,7.861025e-04,7.733173e-04,7.695311e-04,7.607845e-04,7.485000e-04,7.451043e-04,7.364598e-04,7.246597e-04,7.216305e-04,7.130957e-04,7.017639e-04,6.990784e-04,6.906603e-04,6.797808e-04,6.774171e-04,6.691217e-04,6.586791e-04,6.566163e-04,6.484492e-04,6.384282e-04,6.366464e-04,6.286125e-04,6.189983e-04,6.174784e-04,6.095820e-04,6.003601e-04,5.990843e-04,5.913290e-04,5.824854e-04,5.814366e-04,5.738258e-04,5.653468e-04,5.645087e-04,5.570451e-04,5.489175e-04,5.482747e-04,5.409608e-04,5.331717e-04,5.327097e-04,5.255473e-04,5.180844e-04,5.177892e-04,5.107801e-04,5.036313e-04,5.034899e-04,4.966352e-04,4.897889e-04,4.766643e-04,4.640948e-04,4.520598e-04,4.405394e-04,4.295144e-04,4.189663e-04,4.088772e-04,3.992298e-04,3.900074e-04,3.811941e-04,3.727741e-04,3.647326e-04,3.570551e-04,3.497277e-04,3.427370e-04,3.360700e-04,3.297142e-04,3.236575e-04,3.178885e-04,3.123958e-04,3.071687e-04,3.021968e-04,2.974701e-04,2.929789e-04,2.887139e-04,2.846661e-04,2.808269e-04,2.771879e-04,2.737410e-04,2.704787e-04,2.673933e-04,2.644777e-04,2.617250e-04,2.591284e-04,2.566815e-04,2.543782e-04,2.522124e-04,2.501784e-04,2.482706e-04,2.464837e-04,2.448125e-04,2.432520e-04,2.417975e-04,2.404444e-04,2.391881e-04,2.380244e-04,2.369493e-04,2.359586e-04,2.350487e-04
0.000000e+00,1.446858e-08,5.856664e-07,6.210056e-07,7.289522e-06,4.103774e-05,4.364002e-05,1.619723e-04,4.004228e-04,4.205942e-04,8.471382e-04,1.381469e-03,1.433666e-03,2.150696e-03,2.876243e-03,2.960249e-03,3.824050e-03,4.601747e-03,4.707864e-03,5.583324e-03,6.312509e-03,6.428306e-03,7.226532e-03,7.852592e-03,7.966810e-03,8.642161e-03,9.144876e-03,9.248968e-03,9.786213e-03,1.016649e-02,1.025482e-02,1.065710e-02,1.092693e-02,1.099634e-02,1.127646e-02,1.145241e-02,1.150170e-02,1.167649e-02,1.177596e-02,1.180526e-02,1.189234e-02,1.193156e-02,1.194189e-02,1.195785e-02,1.195102e-02,1.194391e-02,1.190351e-02,1.186255e-02,1.183981e-02,1.175572e-02,1.169034e-02,1.165387e-02,1.153666e-02,1.145460e-02,1.140626e-02,1.126463e-02,1.117196e-02,1.111353e-02,1.095453e-02,1.085592e-02,1.078903e-02,1.061831e-02,1.051733e-02,1.044347e-02,1.026551e-02,1.016482e-02,1.008531e-02,9.903665e-03,9.805217e-03,9.721253e-03,9.538687e-03,9.443872e-03,9.356501e-03,9.175165e-03,9.084946e-03,8.995089e-03,8.816631e-03,8.731638e-03,8.640099e-03,8.465764e-03,8.386372e-03,8.293854e-03,8.124567e-03,8.050956e-03,7.958069e-03,7.794499e-03,7.726701e-03,7.633973e-03,7.476584e-03,7.414524e-03,7.322407e-03,7.171502e-03,7.115025e-03,7.023910e-03,6.879660e-03,6.828552e-03,6.738771e-03,6.601249e-03,6.555258e-03,6.467091e-03,6.336287e-03,6.295136e-03,6.208820e-03,6.084664e-03,6.048058e-03,5.963789e-03,5.846162e-03,5.813803e-03,5.731742e-03,5.620487e-03,5.592074e-03,5.512352e-03,5.407287e-03,5.382523e-03,5.305242e-03,5.206164e-03,5.184760e-03,5.109999e-03,5.016692e-03,4.998368e-03,4.926185e-03,4.838423e-03,4.822913e-03,4.753347e-03,4.670900e-03,4.657948e-03,4.591022e-03,4.513657e-03,4.503023e-03,4.438746e-03,4.366232e-03,4.357689e-03,4.296057e-03,4.228164e-03,4.221498e-03,4.162497e-03,4.099001e-03,4.094013e-03,4.037620e-03,3.978300e-03,3.974805e-03,3.920987e-03,3.865630e-03,3.863455e-03,3.812175e-03,3.760573e-03,3.759559e-03,3.710772e-03,3.662725e-03,3.572575e-03,3.488747e-03,3.410890e-03,3.338673e-03,3.271775e-03,3.209891e-03,3.152729e-03,3.100014e-03,3.051479e-03,3.006874e-03,2.965960e-03,2.928510e-03,2.894306e-03,2.863146e-03,2.834834e-03,2.809187e-03,2.786030e-03,2.765197e-03,2.746532e-03,2.729887e-03,2.715121e-03,2.702101e-03,2.690703e-03,2.680808e-03,2.672303e-03,2.665084e-03,2.659051e-03,2.654110e-03,2.650172e-03,2.647154e-03,2.644978e-03,2.643570e-03,2.642860e-03,2.642784e-03,2.643280e-03,2.644292e-03,2.645766e-03,2.647652e-03,2.649904e-03,2.652477e-03,2.655331e-03,2.658429e-03,2.661734e-03,2.665216e-03,2.668843e-03,2.672588e-03,2.676426e-03,2.680331e-03,2.684284e-03
0.000000e+00,3.160246e-09,1.423557e-07,1.513272e-07,1.959398e-06,1.144361e-05,1.217537e-05,4.477925e-05,1.067128e-04,1.117641e-04,2.135274e-04,3.309291e-04,3.419332e-04,4.864663e-04,6.224489e-04,6.376383e-04,7.881459e-04,9.159704e-04,9.329197e-04,1.068755e-03,1.177023e-03,1.193852e-03,1.307405e-03,1.393752e-03,1.409274e-03,1.499744e-03,1.565799e-03,1.579358e-03,1.648797e-03,1.697523e-03,1.708808e-03,1.760152e-03,1.794666e-03,1.803577e-03,1.839798e-03,1.862923e-03,1.869487e-03,1.893271e-03,1.907410e-03,1.911726e-03,1.925384e-03,1.932522e-03,1.934730e-03,1.940206e-03,1.941954e-03,1.942214e-03,1.941122e-03,1.938779e-03,1.937261e-03,1.930934e-03,1.925542e-03,1.922416e-03,1.911954e-03,1.904344e-03,1.899776e-03,1.886086e-03,1.876922e-03,1.871071e-03,1.854896e-03,1.844699e-03,1.837714e-03,1.819661e-03,1.808839e-03,1.800859e-03,1.781420e-03,1.770293e-03,1.761444e-03,1.741021e-03,1.729836e-03,1.720233e-03,1.699152e-03,1.688098e-03,1.677846e-03,1.656372e-03,1.645590e-03,1.634784e-03,1.613130e-03,1.602724e-03,1.591451e-03,1.569786e-03,1.559835e-03,1.548170e-03,1.526632e-03,1.517188e-03,1.505200e-03,1.483898e-03,1.474995e-03,1.462747e-03,1.441765e-03,1.433424e-03,1.420970e-03,1.400376e-03,1.392606e-03,1.379996e-03,1.359840e-03,1.352641e-03,1.339919e-03,1.320240e-03,1.313605e-03,1.300809e-03,1.281634e-03,1.275552e-03,1.262718e-03,1.244066e-03,1.238522e-03,1.225680e-03,1.207563e-03,1.202538e-03,1.189716e-03,1.172141e-03,1.167616e-03,1.154838e-03,1.137807e-03,1.133760e-03,1.121048e-03,1.104559e-03,1.100968e-03,1.088341e-03,1.072391e-03,1.069233e-03,1.056707e-03,1.041288e-03,1.038541e-03,1.026132e-03,1.011236e-03,1.008877e-03,9.965981e-04,9.822152e-04,9.802218e-04,9.680847e-04,9.542038e-04,9.525547e-04,9.405695e-04,9.271788e-04,9.258530e-04,9.140285e-04,9.011156e-04,9.000928e-04,8.884369e-04,8.759891e-04,8.752495e-04,8.637689e-04,8.517731e-04,8.512979e-04,8.399985e-04,8.284417e-04,8.282127e-04,8.170994e-04,8.059684e-04,7.845395e-04,7.639009e-04,7.440276e-04,7.248951e-04,7.064794e-04,6.887568e-04,6.717044e-04,6.552997e-04,6.395206e-04,6.243460e-04,6.097552e-04,5.957279e-04,5.822446e-04,5.692865e-04,5.568351e-04,5.448727e-04,5.333821e-04,5.223465e-04,5.117499e-04,5.015767e-04,4.918117e-04,4.824405e-04,4.734488e-04,4.648232e-04,4.565503e-04,4.486176e-04,4.410126e-04,4.337237e-04,4.267391e-04,4.200481e-04,4.136397e-04,4.075038e-04,4.016303e-04,3.960096e-04,3.906325e-04,3.854900e-04,3.805733e-04,3.758743e-04,3.713847e-04,3.670967e-04,3.630030e-04,3.590963e-04,3.553694e-04,3.518159e-04,3.484291e-04,3.452027e-04,3.421306e-04,3.392071e-04,3.364265e-04
0.000000e+00,6.520000e-09,2.023630e-07,2.134995e-07,2.036917e-06,1.004137e-05,1.062985e-05,3.592775e-05,8.313979e-05,8.697758e-05,1.632451e-04,2.472352e-04,2.548419e-04,3.503296e-04,4.328416e-04,4.416383e-04,5.245276e-04,5.892051e-04,5.974102e-04,6.601769e-04,7.065110e-04,7.134237e-04,7.580246e-04,7.894946e-04,7.949176e-04,8.250084e-04,8.451952e-04,8.491319e-04,8.680398e-04,8.798635e-04,8.824016e-04,8.928094e-04,8.985205e-04,8.997850e-04,9.037874e-04,9.050907e-04,9.052198e-04,9.044357e-04,9.026124e-04,9.017453e-04,8.974200e-04,8.934283e-04,8.916978e-04,8.847868e-04,8.793401e-04,8.768690e-04,8.681036e-04,8.617307e-04,8.586298e-04,8.485689e-04,8.416593e-04,8.380271e-04,8.270969e-04,8.199353e-04,8.158587e-04,8.043829e-04,7.971755e-04,7.927302e-04,7.809539e-04,7.738481e-04,7.690998e-04,7.572078e-04,7.503068e-04,7.453122e-04,7.334429e-04,7.268172e-04,7.216254e-04,7.098814e-04,7.035770e-04,6.982298e-04,6.866865e-04,6.807313e-04,6.752650e-04,6.639766e-04,6.583854e-04,6.528309e-04,6.418357e-04,6.366134e-04,6.309974e-04,6.203214e-04,6.154660e-04,6.098116e-04,5.994713e-04,5.949758e-04,5.893027e-04,5.793075e-04,5.751615e-04,5.694867e-04,5.598409e-04,5.560315e-04,5.503699e-04,5.410733e-04,5.375863e-04,5.319505e-04,5.230004e-04,5.198204e-04,5.142217e-04,5.056127e-04,5.027241e-04,4.971720e-04,4.888975e-04,4.862844e-04,4.807872e-04,4.728392e-04,4.704860e-04,4.650510e-04,4.574206e-04,4.553120e-04,4.499455e-04,4.426235e-04,4.407445e-04,4.354519e-04,4.284285e-04,4.267647e-04,4.215508e-04,4.148163e-04,4.133537e-04,4.082226e-04,4.017671e-04,4.004924e-04,3.954476e-04,3.892614e-04,3.881619e-04,3.832062e-04,3.772797e-04,3.763432e-04,3.714794e-04,3.658029e-04,3.650180e-04,3.602481e-04,3.548124e-04,3.541680e-04,3.494937e-04,3.442898e-04,3.437757e-04,3.391984e-04,3.342174e-04,3.338236e-04,3.293446e-04,3.245779e-04,3.242953e-04,3.199153e-04,3.153547e-04,3.151743e-04,3.108940e-04,3.065314e-04,3.064451e-04,3.022648e-04,2.980924e-04,2.901015e-04,2.824584e-04,2.751492e-04,2.681609e-04,2.614808e-04,2.550965e-04,2.489964e-04,2.431690e-04,2.376034e-04,2.322892e-04,2.272162e-04,2.223747e-04,2.177554e-04,2.133491e-04,2.091473e-04,2.051417e-04,2.013242e-04,1.976872e-04,1.942232e-04,1.909251e-04,1.877862e-04,1.847997e-04,1.819595e-04,1.792594e-04,1.766937e-04,1.742567e-04,1.719429e-04,1.697474e-04,1.676650e-04,1.656910e-04,1.638208e-04,1.620500e-04,1.603743e-04,1.587898e-04,1.572924e-04,1.558784e-04,1.545442e-04,1.532864e-04,1.521016e-04,1.509865e-04,1.499383e-04,1.489538e-04,1.480303e-04,1.471650e-04,1.463554e-04,1.455988e-04,1.448930e-04,1.442356e-04,1.436244e-04
0.000000e+00,1.407059e-08,4.142886e-07,4.368943e-07,4.036829e-06,1.858106e-05,1.959743e-05,5.919564e-05,1.202223e-04,1.247030e-04,2.047555e-04,2.811104e-04,2.876738e-04,3.673627e-04,4.344577e-04,4.416174e-04,5.099330e-04,5.652087e-04,5.724055e-04,6.293160e-04,6.740589e-04,6.809904e-04,7.277582e-04,7.634857e-04,7.699391e-04,8.078389e-04,8.359268e-04,8.417486e-04,8.719440e-04,8.936020e-04,8.986862e-04,9.222215e-04,9.385022e-04,9.427814e-04,9.605835e-04,9.723946e-04,9.758316e-04,9.887167e-04,9.968357e-04,9.994172e-04,1.008100e-03,1.013190e-03,1.014921e-03,1.020027e-03,1.022652e-03,1.023552e-03,1.025623e-03,1.026263e-03,1.026360e-03,1.025871e-03,1.024928e-03,1.024260e-03,1.021622e-03,1.019437e-03,1.018047e-03,1.013616e-03,1.010474e-03,1.008407e-03,1.002493e-03,9.986327e-04,9.959383e-04,9.888063e-04,9.844280e-04,9.811544e-04,9.730358e-04,9.683043e-04,9.645003e-04,9.555938e-04,9.506453e-04,9.463592e-04,9.368358e-04,9.317818e-04,9.270604e-04,9.170670e-04,9.119984e-04,9.068869e-04,8.965492e-04,8.915390e-04,8.860807e-04,8.755062e-04,8.706127e-04,8.648486e-04,8.541289e-04,8.493976e-04,8.433665e-04,8.325793e-04,8.280453e-04,8.217838e-04,8.109949e-04,8.066843e-04,8.002265e-04,7.894911e-04,7.854228e-04,7.788005e-04,7.681650e-04,7.643516e-04,7.575943e-04,7.470972e-04,7.435463e-04,7.366815e-04,7.263543e-04,7.230694e-04,7.161221e-04,7.059908e-04,7.029719e-04,6.959655e-04,6.860508e-04,6.832951e-04,6.762508e-04,6.665692e-04,6.640717e-04,6.570091e-04,6.475732e-04,6.453274e-04,6.382640e-04,6.290835e-04,6.270812e-04,6.200333e-04,6.111149e-04,6.093471e-04,6.023293e-04,5.936773e-04,5.921342e-04,5.851597e-04,5.767767e-04,5.754479e-04,5.685285e-04,5.604152e-04,5.592901e-04,5.524366e-04,5.445924e-04,5.436600e-04,5.368820e-04,5.293048e-04,5.285544e-04,5.218603e-04,5.145474e-04,5.139680e-04,5.073653e-04,5.003130e-04,4.998940e-04,4.933894e-04,4.865933e-04,4.863240e-04,4.799234e-04,4.733785e-04,4.732489e-04,4.669573e-04,4.606583e-04,4.485414e-04,4.368866e-04,4.256821e-04,4.149156e-04,4.045747e-04,3.946471e-04,3.851201e-04,3.759815e-04,3.672188e-04,3.588197e-04,3.507723e-04,3.430646e-04,3.356849e-04,3.286219e-04,3.218643e-04,3.154013e-04,3.092225e-04,3.033173e-04,2.976759e-04,2.922883e-04,2.871452e-04,2.822373e-04,2.775557e-04,2.730919e-04,2.688375e-04,2.647844e-04,2.609249e-04,2.572514e-04,2.537567e-04,2.504337e-04,2.472756e-04,2.442759e-04,2.414283e-04,2.387266e-04,2.361650e-04,2.337379e-04,2.314397e-04,2.292651e-04,2.272092e-04,2.252670e-04,2.234338e-04,2.217051e-04,2.200764e-04,2.185437e-04,2.171027e-04,2.157495e-04,2.144805e-04,2.132920e-04,2.121805e-04
0.000000e+00,5.541911e-10,6.682375e-09,6.968108e-09,4.277182e-08,1.560323e-07,1.632640e-07,4.123566e-07,7.253862e-07,7.463675e-07,1.096954e-06,1.409757e-06,1.436263e-06,1.757168e-06,2.029050e-06,2.058267e-06,2.339690e-06,2.571504e-06,2.601993e-06,2.845873e-06,3.041433e-06,3.072063e-06,3.281311e-06,3.444535e-06,3.474367e-06,3.651982e-06,3.786629e-06,3.814903e-06,3.963862e-06,4.073459e-06,4.099576e-06,4.222743e-06,4.310528e-06,4.334022e-06,4.434048e-06,4.502922e-06,4.523438e-06,4.602819e-06,4.655463e-06,4.672777e-06,4.733861e-06,4.772641e-06,4.786594e-06,4.831476e-06,4.858478e-06,4.868984e-06,4.899569e-06,4.916636e-06,4.923666e-06,4.941685e-06,4.950438e-06,4.954016e-06,4.961031e-06,4.962894e-06,4.963083e-06,4.960506e-06,4.956725e-06,4.953620e-06,4.942725e-06,4.934384e-06,4.928109e-06,4.910042e-06,4.898084e-06,4.888781e-06,4.864571e-06,4.849812e-06,4.837642e-06,4.808212e-06,4.791354e-06,4.776488e-06,4.742665e-06,4.724309e-06,4.706927e-06,4.669448e-06,4.650108e-06,4.630393e-06,4.589918e-06,4.570028e-06,4.548167e-06,4.505281e-06,4.485208e-06,4.461388e-06,4.416610e-06,4.396658e-06,4.371064e-06,4.324856e-06,4.305277e-06,4.278089e-06,4.230858e-06,4.211856e-06,4.183253e-06,4.135357e-06,4.117096e-06,4.087248e-06,4.039001e-06,4.021612e-06,3.990684e-06,3.942361e-06,3.925941e-06,3.894092e-06,3.845932e-06,3.830552e-06,3.797933e-06,3.750143e-06,3.735854e-06,3.702607e-06,3.655366e-06,3.642196e-06,3.608457e-06,3.561917e-06,3.549881e-06,3.515778e-06,3.470068e-06,3.459165e-06,3.424816e-06,3.380046e-06,3.370263e-06,3.335780e-06,3.292040e-06,3.283357e-06,3.248843e-06,3.206206e-06,3.198592e-06,3.164144e-06,3.122670e-06,3.116090e-06,3.081795e-06,3.041530e-06,3.035942e-06,3.001883e-06,2.962862e-06,2.958222e-06,2.924472e-06,2.886719e-06,2.882979e-06,2.849607e-06,2.813138e-06,2.810248e-06,2.777315e-06,2.742137e-06,2.740047e-06,2.707607e-06,2.673723e-06,2.672381e-06,2.640483e-06,2.607887e-06,2.607241e-06,2.575931e-06,2.544612e-06,2.484465e-06,2.426768e-06,2.371480e-06,2.318555e-06,2.267942e-06,2.219586e-06,2.173431e-06,2.129417e-06,2.087481e-06,2.047562e-06,2.009594e-06,1.973514e-06,1.939257e-06,1.906757e-06,1.875952e-06,1.846777e-06,1.819169e-06,1.793067e-06,1.768410e-06,1.745139e-06,1.723195e-06,1.702521e-06,1.683063e-06,1.664766e-06,1.647579e-06,1.631449e-06,1.616330e-06,1.602172e-06,1.588930e-06,1.576560e-06,1.565019e-06,1.554267e-06,1.544262e-06,1.534968e-06,1.526347e-06,1.518365e-06,1.510988e-06,1.504183e-06,1.497920e-06,1.492169e-06,1.486901e-06,1.482089e-06,1.477709e-06,1.473734e-06,1.470141e-06,1.466907e-06,1.464012e-06,1.461435e-06,1.459155e-06
0.000000e+00,5.209395e-08,1.592864e-06,1.681404e-06,1.511654e-05,5.788608e-05,6.040052e-05,1.349621e-04,2.122900e-04,2.171843e-04,2.962612e-04,3.640241e-04,3.696787e-04,4.371922e-04,4.930735e-04,4.990063e-04,5.554044e-04,6.007880e-04,6.066802e-04,6.531175e-04,6.893919e-04,6.949896e-04,7.325745e-04,7.610342e-04,7.661473e-04,7.959751e-04,8.178201e-04,8.223151e-04,8.454133e-04,8.617154e-04,8.655036e-04,8.828071e-04,8.945038e-04,8.975323e-04,9.098753e-04,9.177763e-04,9.200199e-04,9.281384e-04,9.329367e-04,9.343918e-04,9.389306e-04,9.412161e-04,9.418952e-04,9.434166e-04,9.436886e-04,9.436169e-04,9.426097e-04,9.412895e-04,9.405009e-04,9.373889e-04,9.348301e-04,9.333652e-04,9.285149e-04,9.250136e-04,9.229170e-04,9.166448e-04,9.124475e-04,9.097664e-04,9.023449e-04,8.976559e-04,8.944388e-04,8.861024e-04,8.810899e-04,8.773857e-04,8.683351e-04,8.631371e-04,8.589937e-04,8.494010e-04,8.441294e-04,8.395936e-04,8.296054e-04,8.243505e-04,8.194674e-04,8.092084e-04,8.040418e-04,7.988547e-04,7.884306e-04,7.834086e-04,7.779582e-04,7.674582e-04,7.626241e-04,7.569492e-04,7.464483e-04,7.418345e-04,7.359710e-04,7.255317e-04,7.211617e-04,7.151434e-04,7.048177e-04,7.007074e-04,6.945654e-04,6.843960e-04,6.805553e-04,6.743184e-04,6.643402e-04,6.607738e-04,6.544685e-04,6.447095e-04,6.414181e-04,6.350687e-04,6.255511e-04,6.225322e-04,6.161608e-04,6.069017e-04,6.041500e-04,5.977769e-04,5.887892e-04,5.862975e-04,5.799408e-04,5.712337e-04,5.689932e-04,5.626694e-04,5.542491e-04,5.522498e-04,5.459737e-04,5.378437e-04,5.360747e-04,5.298595e-04,5.220211e-04,5.204709e-04,5.143284e-04,5.067811e-04,5.054380e-04,4.993787e-04,4.921204e-04,4.909724e-04,4.850054e-04,4.780327e-04,4.770678e-04,4.712011e-04,4.645096e-04,4.637160e-04,4.579568e-04,4.515411e-04,4.509071e-04,4.452613e-04,4.391156e-04,4.386296e-04,4.331024e-04,4.272201e-04,4.268713e-04,4.214670e-04,4.158412e-04,4.156188e-04,4.103409e-04,4.049643e-04,4.048581e-04,3.997096e-04,3.945748e-04,3.847544e-04,3.753818e-04,3.664421e-04,3.579204e-04,3.498019e-04,3.420718e-04,3.347157e-04,3.277193e-04,3.210688e-04,3.147505e-04,3.087510e-04,3.030576e-04,2.976576e-04,2.925388e-04,2.876894e-04,2.830979e-04,2.787533e-04,2.746449e-04,2.707624e-04,2.670958e-04,2.636355e-04,2.603722e-04,2.572971e-04,2.544016e-04,2.516774e-04,2.491165e-04,2.467115e-04,2.444549e-04,2.423397e-04,2.403591e-04,2.385068e-04,2.367763e-04,2.351619e-04,2.336577e-04,2.322582e-04,2.309583e-04,2.297527e-04,2.286367e-04,2.276057e-04,2.266552e-04,2.257809e-04,2.249788e-04,2.242450e-04,2.235757e-04,2.229674e-04,2.224166e-04,2.219201e-04,2.214747e-04,2.210775e-04
0.000000e+00,1.394692e-08,3.718360e-07,3.910936e-07,2.734327e-06,7.670817e-06,7.902213e-06,1.350321e-05,1.805054e-05,1.831424e-05,2.227123e-05,2.525343e-05,2.548623e-05,2.807861e-05,2.996542e-05,3.015199e-05,3.179272e-05,3.293568e-05,3.307220e-05,3.404948e-05,3.468585e-05,3.477358e-05,3.528548e-05,3.557691e-05,3.561970e-05,3.580536e-05,3.586415e-05,3.586709e-05,3.582577e-05,3.573048e-05,3.569906e-05,3.550200e-05,3.530763e-05,3.524718e-05,3.494524e-05,3.468984e-05,3.460518e-05,3.423457e-05,3.394444e-05,3.383977e-05,3.342608e-05,3.311905e-05,3.299794e-05,3.255908e-05,3.224717e-05,3.211259e-05,3.166104e-05,3.135221e-05,3.120657e-05,3.075096e-05,3.045036e-05,3.029568e-05,2.984194e-05,2.955282e-05,2.939074e-05,2.894290e-05,2.866723e-05,2.849909e-05,2.805987e-05,2.779872e-05,2.762567e-05,2.719685e-05,2.695071e-05,2.677369e-05,2.635641e-05,2.612537e-05,2.594518e-05,2.554013e-05,2.532401e-05,2.514135e-05,2.474890e-05,2.454733e-05,2.436281e-05,2.398310e-05,2.379564e-05,2.360977e-05,2.324280e-05,2.306890e-05,2.288216e-05,2.252781e-05,2.236691e-05,2.217971e-05,2.183779e-05,2.168930e-05,2.150201e-05,2.117229e-05,2.103560e-05,2.084856e-05,2.053075e-05,2.040527e-05,2.021879e-05,1.991260e-05,1.979774e-05,1.961209e-05,1.931719e-05,1.921238e-05,1.902782e-05,1.874389e-05,1.864858e-05,1.846532e-05,1.819203e-05,1.810568e-05,1.792394e-05,1.766096e-05,1.758305e-05,1.740301e-05,1.715001e-05,1.708004e-05,1.690187e-05,1.665852e-05,1.659603e-05,1.641988e-05,1.618586e-05,1.613038e-05,1.595639e-05,1.573138e-05,1.568247e-05,1.551076e-05,1.529446e-05,1.525171e-05,1.508239e-05,1.487448e-05,1.483750e-05,1.467066e-05,1.447086e-05,1.443926e-05,1.427500e-05,1.408300e-05,1.405643e-05,1.389481e-05,1.371035e-05,1.368847e-05,1.352956e-05,1.335236e-05,1.333483e-05,1.317868e-05,1.300848e-05,1.299501e-05,1.284167e-05,1.267820e-05,1.266849e-05,1.251800e-05,1.236102e-05,1.235480e-05,1.220718e-05,1.205645e-05,1.205346e-05,1.190874e-05,1.176401e-05,1.148601e-05,1.121904e-05,1.096267e-05,1.071651e-05,1.048017e-05,1.025329e-05,1.003549e-05,9.826436e-06,9.625790e-06,9.433229e-06,9.248441e-06,9.071127e-06,8.900997e-06,8.737773e-06,8.581187e-06,8.430978e-06,8.286900e-06,8.148713e-06,8.016184e-06,7.889093e-06,7.767226e-06,7.650377e-06,7.538348e-06,7.430949e-06,7.327997e-06,7.229315e-06,7.134735e-06,7.044092e-06,6.957231e-06,6.874001e-06,6.794256e-06,6.717858e-06,6.644671e-06,6.574568e-06,6.507425e-06,6.443122e-06,6.381545e-06,6.322584e-06,6.266134e-06,6.212092e-06,6.160361e-06,6.110848e-06,6.063461e-06,6.018114e-06,5.974724e-06,5.933211e-06,5.893497e-06,5.855510e-06,5.819177e-06
0.000000e+00,1.862602e-08,3.399144e-07,3.550390e-07,2.181219e-06,7.936691e-06,8.314981e-06,2.276392e-05,4.644020e-05,4.828807e-05,8.399018e-05,1.221411e-04,1.255613e-04,1.682397e-04,2.051647e-04,2.091318e-04,2.470999e-04,2.778654e-04,2.818687e-04,3.134807e-04,3.382532e-04,3.420827e-04,3.678506e-04,3.874372e-04,3.909643e-04,4.115999e-04,4.267904e-04,4.299260e-04,4.461020e-04,4.575964e-04,4.602789e-04,4.726010e-04,4.810125e-04,4.832045e-04,4.922175e-04,4.980778e-04,4.997600e-04,5.059451e-04,5.097105e-04,5.108784e-04,5.146589e-04,5.167191e-04,5.173790e-04,5.191250e-04,5.198110e-04,5.199775e-04,5.200119e-04,5.196038e-04,5.192981e-04,5.179017e-04,5.166358e-04,5.158835e-04,5.133002e-04,5.113749e-04,5.102046e-04,5.066458e-04,5.042269e-04,5.026695e-04,4.983180e-04,4.955435e-04,4.936306e-04,4.886440e-04,4.856282e-04,4.833921e-04,4.779061e-04,4.747428e-04,4.722154e-04,4.663466e-04,4.631124e-04,4.603249e-04,4.541732e-04,4.509300e-04,4.479127e-04,4.415631e-04,4.383606e-04,4.351425e-04,4.286674e-04,4.255445e-04,4.221531e-04,4.156138e-04,4.126009e-04,4.090623e-04,4.025104e-04,3.996303e-04,3.959689e-04,3.894476e-04,3.867169e-04,3.829556e-04,3.765009e-04,3.739311e-04,3.700909e-04,3.637324e-04,3.613309e-04,3.574314e-04,3.511932e-04,3.489639e-04,3.450229e-04,3.389246e-04,3.368684e-04,3.329023e-04,3.269594e-04,3.250749e-04,3.210988e-04,3.153230e-04,3.136072e-04,3.096345e-04,3.040350e-04,3.024833e-04,2.985261e-04,2.931092e-04,2.917160e-04,2.877854e-04,2.825553e-04,2.813141e-04,2.774197e-04,2.723789e-04,2.712827e-04,2.674332e-04,2.625826e-04,2.616238e-04,2.578269e-04,2.531659e-04,2.523370e-04,2.485993e-04,2.441264e-04,2.434195e-04,2.397468e-04,2.354597e-04,2.348668e-04,2.312642e-04,2.271596e-04,2.266731e-04,2.231448e-04,2.192190e-04,2.188312e-04,2.153809e-04,2.116295e-04,2.113331e-04,2.079637e-04,2.043822e-04,2.041699e-04,2.008838e-04,1.974673e-04,1.973323e-04,1.941313e-04,1.908747e-04,1.908103e-04,1.876960e-04,1.845940e-04,1.786729e-04,1.730366e-04,1.676747e-04,1.625767e-04,1.577325e-04,1.531319e-04,1.487648e-04,1.446216e-04,1.406928e-04,1.369690e-04,1.334412e-04,1.301009e-04,1.269394e-04,1.239487e-04,1.211210e-04,1.184486e-04,1.159242e-04,1.135410e-04,1.112922e-04,1.091712e-04,1.071721e-04,1.052888e-04,1.035157e-04,1.018474e-04,1.002787e-04,9.880463e-05,9.742055e-05,9.612192e-05,9.490443e-05,9.376397e-05,9.269664e-05,9.169871e-05,9.076661e-05,8.989695e-05,8.908652e-05,8.833222e-05,8.763114e-05,8.698048e-05,8.637758e-05,8.581992e-05,8.530510e-05,8.483082e-05,8.439491e-05,8.399529e-05,8.362999e-05,8.329713e-05,8.299494e-05,8.272171e-05,8.247584e-05
0.000000e+00,2.170175e-10,2.726761e-09,2.843370e-09,1.674037e-08,5.679665e-08,5.926130e-08,1.423110e-07,2.468356e-07,2.538824e-07,3.715791e-07,4.756212e-07,4.843728e-07,5.893971e-07,6.769291e-07,6.862514e-07,7.751611e-07,8.471316e-07,8.565074e-07,9.307046e-07,9.891130e-07,9.981675e-07,1.059299e-06,1.106043e-06,1.114491e-06,1.164120e-06,1.200919e-06,1.208548e-06,1.248118e-06,1.276497e-06,1.283157e-06,1.313974e-06,1.335270e-06,1.340862e-06,1.364099e-06,1.379479e-06,1.383946e-06,1.400646e-06,1.411113e-06,1.414429e-06,1.425511e-06,1.431931e-06,1.434094e-06,1.440369e-06,1.443483e-06,1.444512e-06,1.446690e-06,1.447129e-06,1.447059e-06,1.445764e-06,1.444064e-06,1.442940e-06,1.438716e-06,1.435333e-06,1.433210e-06,1.426532e-06,1.421849e-06,1.418786e-06,1.410069e-06,1.404410e-06,1.400470e-06,1.390073e-06,1.383709e-06,1.378958e-06,1.367195e-06,1.360352e-06,1.354854e-06,1.341997e-06,1.334861e-06,1.328684e-06,1.314967e-06,1.307692e-06,1.300899e-06,1.286525e-06,1.279238e-06,1.271891e-06,1.257035e-06,1.249837e-06,1.241996e-06,1.226808e-06,1.219781e-06,1.211504e-06,1.196112e-06,1.189320e-06,1.180661e-06,1.165175e-06,1.158666e-06,1.149678e-06,1.134191e-06,1.128003e-06,1.118734e-06,1.103324e-06,1.097485e-06,1.087979e-06,1.072714e-06,1.067240e-06,1.057541e-06,1.042474e-06,1.037378e-06,1.027524e-06,1.012702e-06,1.007988e-06,9.980167e-07,9.834763e-07,9.791437e-07,9.690888e-07,9.548607e-07,9.509062e-07,9.407980e-07,9.269062e-07,9.233229e-07,9.131898e-07,8.996529e-07,8.964311e-07,8.862989e-07,8.731310e-07,8.702592e-07,8.601515e-07,8.473625e-07,8.448278e-07,8.347658e-07,8.223625e-07,8.201506e-07,8.101537e-07,7.981398e-07,7.962357e-07,7.863212e-07,7.746980e-07,7.730863e-07,7.632699e-07,7.520364e-07,7.507015e-07,7.409970e-07,7.301506e-07,7.290766e-07,7.194964e-07,7.090331e-07,7.082042e-07,6.987593e-07,6.886735e-07,6.880743e-07,6.787743e-07,6.690597e-07,6.686750e-07,6.595281e-07,6.501776e-07,6.499924e-07,6.410061e-07,6.320116e-07,6.147165e-07,5.980900e-07,5.821146e-07,5.667722e-07,5.520444e-07,5.379129e-07,5.243590e-07,5.113642e-07,4.989102e-07,4.869787e-07,4.755518e-07,4.646120e-07,4.541419e-07,4.441245e-07,4.345434e-07,4.253823e-07,4.166257e-07,4.082581e-07,4.002649e-07,3.926316e-07,3.853442e-07,3.783892e-07,3.717537e-07,3.654249e-07,3.593906e-07,3.536391e-07,3.481590e-07,3.429393e-07,3.379695e-07,3.332393e-07,3.287389e-07,3.244589e-07,3.203901e-07,3.165239e-07,3.128517e-07,3.093655e-07,3.060574e-07,3.029199e-07,2.999459e-07,2.971284e-07,2.944607e-07,2.919364e-07,2.895494e-07,2.872937e-07,2.851638e-07,2.831541e-07,2.812593e-07,2.794745e-07,2.777949e-07
0.000000e+00,6.186768e-09,2.098099e-07,2.216768e-07,2.239472e-06,1.148842e-05,1.218040e-05,4.272409e-05,1.022121e-04,1.071538e-04,2.081351e-04,3.247552e-04,3.355629e-04,4.740348e-04,5.965067e-04,6.096237e-04,7.326647e-04,8.262993e-04,8.379030e-04,9.235506e-04,9.818962e-04,9.901288e-04,1.039477e-03,1.069388e-03,1.074028e-03,1.096336e-03,1.107188e-03,1.108805e-03,1.113553e-03,1.113002e-03,1.112363e-03,1.106692e-03,1.099911e-03,1.097697e-03,1.086283e-03,1.076425e-03,1.073146e-03,1.058810e-03,1.047667e-03,1.043671e-03,1.028022e-03,1.016562e-03,1.012077e-03,9.959949e-04,9.847172e-04,9.798879e-04,9.638380e-04,9.529872e-04,9.479035e-04,9.321255e-04,9.218122e-04,9.165330e-04,9.011468e-04,8.914147e-04,8.859812e-04,8.710458e-04,8.619044e-04,8.563471e-04,8.418895e-04,8.333316e-04,8.276752e-04,8.137055e-04,8.057153e-04,7.999807e-04,7.865006e-04,7.790581e-04,7.732639e-04,7.602688e-04,7.533512e-04,7.475132e-04,7.349948e-04,7.285781e-04,7.227110e-04,7.106589e-04,7.047188e-04,6.988356e-04,6.872381e-04,6.817507e-04,6.758635e-04,6.647088e-04,6.596505e-04,6.537707e-04,6.430463e-04,6.383944e-04,6.325323e-04,6.222255e-04,6.179577e-04,6.121228e-04,6.022209e-04,5.983156e-04,5.925166e-04,5.830068e-04,5.794435e-04,5.736884e-04,5.645581e-04,5.613166e-04,5.556128e-04,5.468494e-04,5.439108e-04,5.382648e-04,5.298558e-04,5.272016e-04,5.216195e-04,5.135526e-04,5.111652e-04,5.056524e-04,4.979157e-04,4.957784e-04,4.903397e-04,4.829215e-04,4.810183e-04,4.756582e-04,4.685469e-04,4.668626e-04,4.615849e-04,4.547694e-04,4.532894e-04,4.480977e-04,4.415671e-04,4.402777e-04,4.351749e-04,4.289187e-04,4.278068e-04,4.227957e-04,4.168035e-04,4.158567e-04,4.109396e-04,4.052015e-04,4.044080e-04,3.995868e-04,3.940932e-04,3.934420e-04,3.887184e-04,3.834600e-04,3.829404e-04,3.783157e-04,3.732835e-04,3.728857e-04,3.683610e-04,3.635462e-04,3.632607e-04,3.588369e-04,3.542312e-04,3.540490e-04,3.497268e-04,3.453219e-04,3.452348e-04,3.410145e-04,3.368027e-04,3.287378e-04,3.210259e-04,3.136531e-04,3.066062e-04,2.998724e-04,2.934392e-04,2.872949e-04,2.814278e-04,2.758270e-04,2.704818e-04,2.653820e-04,2.605177e-04,2.558795e-04,2.514581e-04,2.472448e-04,2.432311e-04,2.394089e-04,2.357703e-04,2.323077e-04,2.290141e-04,2.258822e-04,2.229055e-04,2.200775e-04,2.173919e-04,2.148428e-04,2.124244e-04,2.101313e-04,2.079580e-04,2.058996e-04,2.039510e-04,2.021075e-04,2.003647e-04,1.987181e-04,1.971635e-04,1.956969e-04,1.943144e-04,1.930123e-04,1.917871e-04,1.906352e-04,1.895533e-04,1.885383e-04,1.875871e-04,1.866969e-04,1.858646e-04,1.850877e-04,1.843636e-04,1.836897e-04,1.830637e-04,1.824832e-04
0.000000e+00,4.164711e-07,1.971847e-05,2.098212e-05,2.870035e-04,1.736708e-03,1.848908e-03,6.819081e-03,1.643802e-02,1.724367e-02,3.433710e-02,5.633054e-02,5.852624e-02,8.966607e-02,1.232067e-01,1.272322e-01,1.704680e-01,2.125074e-01,2.184925e-01,2.703766e-01,3.173782e-01,3.251961e-01,3.820676e-01,4.308235e-01,4.401713e-01,4.987639e-01,5.467093e-01,5.571858e-01,6.148624e-01,6.601344e-01,6.713027e-01,7.260953e-01,7.674703e-01,7.789029e-01,8.294563e-01,8.662392e-01,8.775475e-01,9.230229e-01,9.549269e-01,9.657769e-01,1.005745e+00,1.032781e+00,1.042900e+00,1.077243e+00,1.099623e+00,1.108800e+00,1.137620e+00,1.155687e+00,1.163768e+00,1.187321e+00,1.201488e+00,1.208369e+00,1.227007e+00,1.237718e+00,1.243337e+00,1.257465e+00,1.265166e+00,1.269498e+00,1.279545e+00,1.284664e+00,1.287712e+00,1.294106e+00,1.297044e+00,1.298833e+00,1.301992e+00,1.303114e+00,1.303684e+00,1.304003e+00,1.303638e+00,1.303043e+00,1.300890e+00,1.299327e+00,1.297629e+00,1.293342e+00,1.290837e+00,1.288104e+00,1.281989e+00,1.278763e+00,1.275066e+00,1.267401e+00,1.263643e+00,1.259056e+00,1.250090e+00,1.245962e+00,1.240558e+00,1.230512e+00,1.226152e+00,1.220002e+00,1.209074e+00,1.204595e+00,1.197771e+00,1.186135e+00,1.181634e+00,1.174204e+00,1.162014e+00,1.157569e+00,1.149599e+00,1.136989e+00,1.132663e+00,1.124215e+00,1.111305e+00,1.107149e+00,1.098283e+00,1.085174e+00,1.081228e+00,1.072001e+00,1.058784e+00,1.055078e+00,1.045542e+00,1.032294e+00,1.028850e+00,1.019056e+00,1.005843e+00,1.002678e+00,9.926710e-01,9.795520e-01,9.766742e-01,9.664984e-01,9.535217e-01,9.509365e-01,9.406322e-01,9.278393e-01,9.255476e-01,9.151520e-01,9.025782e-01,9.005774e-01,8.901252e-01,8.777997e-01,8.760846e-01,8.656078e-01,8.535549e-01,8.521182e-01,8.416462e-01,8.298860e-01,8.287183e-01,8.182784e-01,8.068269e-01,8.059176e-01,7.955348e-01,7.844049e-01,7.837423e-01,7.734395e-01,7.626409e-01,7.622125e-01,7.520109e-01,7.415510e-01,7.413436e-01,7.312626e-01,7.211465e-01,7.016285e-01,6.827934e-01,6.646424e-01,6.471743e-01,6.303857e-01,6.142715e-01,5.988249e-01,5.840381e-01,5.699020e-01,5.564063e-01,5.435403e-01,5.312924e-01,5.196503e-01,5.086012e-01,4.981320e-01,4.882289e-01,4.788781e-01,4.700653e-01,4.617759e-01,4.539951e-01,4.467080e-01,4.398993e-01,4.335539e-01,4.276563e-01,4.221908e-01,4.171418e-01,4.124937e-01,4.082307e-01,4.043369e-01,4.007967e-01,3.975942e-01,3.947138e-01,3.921398e-01,3.898567e-01,3.878492e-01,3.861019e-01,3.845997e-01,3.833280e-01,3.822719e-01,3.814172e-01,3.807497e-01,3.802557e-01,3.799217e-01,3.797348e-01,3.796820e-01,3.797513e-01,3.799307e-01,3.802087e-01,3.805743e-01
0.000000e+00,3.349774e-10,4.917258e-09,5.139854e-09,3.228823e-08,1.086134e-07,1.131840e-07,2.603455e-07,4.325131e-07,4.437899e-07,6.285335e-07,7.880985e-07,8.014057e-07,9.599140e-07,1.090442e-06,1.104261e-06,1.235239e-06,1.340154e-06,1.353746e-06,1.460669e-06,1.544005e-06,1.556855e-06,1.643105e-06,1.708427e-06,1.720170e-06,1.788755e-06,1.839129e-06,1.849516e-06,1.903064e-06,1.941091e-06,1.949965e-06,1.990749e-06,2.018630e-06,2.025905e-06,2.055888e-06,2.075474e-06,2.081117e-06,2.101983e-06,2.114828e-06,2.118846e-06,2.132039e-06,2.139440e-06,2.141871e-06,2.148627e-06,2.151667e-06,2.152570e-06,2.153945e-06,2.153528e-06,2.152976e-06,2.149871e-06,2.146746e-06,2.144823e-06,2.138009e-06,2.132797e-06,2.129593e-06,2.119725e-06,2.112940e-06,2.108546e-06,2.096184e-06,2.088249e-06,2.082758e-06,2.068377e-06,2.059638e-06,2.053141e-06,2.037145e-06,2.027887e-06,2.020474e-06,2.003206e-06,1.993659e-06,1.985414e-06,1.967165e-06,1.957515e-06,1.948520e-06,1.929536e-06,1.919933e-06,1.910264e-06,1.890753e-06,1.881315e-06,1.871045e-06,1.851182e-06,1.842002e-06,1.831199e-06,1.811131e-06,1.802282e-06,1.791008e-06,1.770858e-06,1.762394e-06,1.750708e-06,1.730580e-06,1.722540e-06,1.710497e-06,1.690476e-06,1.682889e-06,1.670537e-06,1.650695e-06,1.643579e-06,1.630965e-06,1.611360e-06,1.604725e-06,1.591892e-06,1.572572e-06,1.566422e-06,1.553408e-06,1.534410e-06,1.528744e-06,1.515585e-06,1.496941e-06,1.491754e-06,1.478483e-06,1.460216e-06,1.455498e-06,1.442145e-06,1.424274e-06,1.420015e-06,1.406606e-06,1.389145e-06,1.385331e-06,1.371892e-06,1.354850e-06,1.351468e-06,1.338021e-06,1.321405e-06,1.318437e-06,1.305004e-06,1.288818e-06,1.286248e-06,1.272847e-06,1.257091e-06,1.254903e-06,1.241551e-06,1.226225e-06,1.224401e-06,1.211114e-06,1.196216e-06,1.194738e-06,1.181530e-06,1.167055e-06,1.165906e-06,1.152790e-06,1.138734e-06,1.137898e-06,1.124885e-06,1.111242e-06,1.110701e-06,1.097803e-06,1.084566e-06,1.084303e-06,1.071529e-06,1.058691e-06,1.033850e-06,1.009764e-06,9.864173e-07,9.637940e-07,9.418772e-07,9.206501e-07,9.000958e-07,8.801975e-07,8.609383e-07,8.423018e-07,8.242713e-07,8.068307e-07,7.899639e-07,7.736551e-07,7.578890e-07,7.426502e-07,7.279240e-07,7.136957e-07,6.999512e-07,6.866765e-07,6.738579e-07,6.614824e-07,6.495369e-07,6.380088e-07,6.268859e-07,6.161561e-07,6.058079e-07,5.958298e-07,5.862108e-07,5.769402e-07,5.680074e-07,5.594023e-07,5.511150e-07,5.431359e-07,5.354556e-07,5.280650e-07,5.209552e-07,5.141176e-07,5.075438e-07,5.012258e-07,4.951555e-07,4.893254e-07,4.837278e-07,4.783556e-07,4.732017e-07,4.682592e-07,4.635215e-07,4.589820e-07,4.546345e-07
0.000000e+00,1.376312e-08,4.008128e-07,4.224299e-07,3.893750e-06,1.893811e-05,2.003859e-05,6.669413e-05,1.504953e-04,1.571381e-04,2.849759e-04,4.190866e-04,4.309940e-04,5.783629e-04,7.041195e-04,7.175195e-04,8.444025e-04,9.450006e-04,9.579178e-04,1.058314e-03,1.134747e-03,1.146365e-03,1.223013e-03,1.279287e-03,1.289216e-03,1.345897e-03,1.385876e-03,1.393918e-03,1.434081e-03,1.461055e-03,1.467128e-03,1.493741e-03,1.510438e-03,1.514547e-03,1.530122e-03,1.538787e-03,1.540993e-03,1.547642e-03,1.550104e-03,1.550509e-03,1.549997e-03,1.547743e-03,1.546473e-03,1.540270e-03,1.534500e-03,1.531695e-03,1.521024e-03,1.512701e-03,1.508511e-03,1.494383e-03,1.484277e-03,1.478850e-03,1.462101e-03,1.450823e-03,1.444307e-03,1.425624e-03,1.413656e-03,1.406193e-03,1.386140e-03,1.373858e-03,1.365580e-03,1.344618e-03,1.332312e-03,1.323346e-03,1.301848e-03,1.289739e-03,1.280200e-03,1.258470e-03,1.246723e-03,1.236717e-03,1.214996e-03,1.203730e-03,1.193355e-03,1.171837e-03,1.161136e-03,1.150479e-03,1.129315e-03,1.119233e-03,1.108373e-03,1.087681e-03,1.078252e-03,1.067259e-03,1.047127e-03,1.038365e-03,1.027301e-03,1.007796e-03,9.997027e-04,9.886236e-04,9.697928e-04,9.623580e-04,9.513117e-04,9.331866e-04,9.263934e-04,9.154221e-04,8.980217e-04,8.918471e-04,8.809875e-04,8.643206e-04,8.587376e-04,8.480211e-04,8.320882e-04,8.270669e-04,8.165205e-04,8.013158e-04,7.968247e-04,7.864712e-04,7.719834e-04,7.679903e-04,7.578488e-04,7.440629e-04,7.405352e-04,7.306214e-04,7.175193e-04,7.144248e-04,7.047516e-04,6.923129e-04,6.896200e-04,6.801976e-04,6.684002e-04,6.660783e-04,6.569148e-04,6.457355e-04,6.437552e-04,6.348563e-04,6.242713e-04,6.226046e-04,6.139744e-04,6.039595e-04,6.025796e-04,5.942205e-04,5.847515e-04,5.836331e-04,5.755464e-04,5.665992e-04,5.657184e-04,5.579039e-04,5.494548e-04,5.487893e-04,5.412459e-04,5.332716e-04,5.328004e-04,5.255261e-04,5.180038e-04,5.177075e-04,5.106993e-04,5.036072e-04,5.034675e-04,4.967220e-04,4.900386e-04,4.773806e-04,4.654547e-04,4.542236e-04,4.436515e-04,4.337041e-04,4.243487e-04,4.155540e-04,4.072901e-04,3.995285e-04,3.922422e-04,3.854054e-04,3.789936e-04,3.729834e-04,3.673528e-04,3.620808e-04,3.571474e-04,3.525337e-04,3.482218e-04,3.441947e-04,3.404363e-04,3.369314e-04,3.336655e-04,3.306249e-04,3.277967e-04,3.251685e-04,3.227289e-04,3.204668e-04,3.183718e-04,3.164341e-04,3.146445e-04,3.129940e-04,3.114744e-04,3.100779e-04,3.087970e-04,3.076246e-04,3.065543e-04,3.055796e-04,3.046947e-04,3.038939e-04,3.031720e-04,3.025241e-04,3.019453e-04,3.014313e-04,3.009778e-04,3.005809e-04,3.002368e-04,2.999421e-04,2.996934e-04,2.994875e-04
0.000000e+00,1.090161e-08,2.758632e-07,2.904089e-07,2.511505e-06,1.094907e-05,1.152174e-05,3.279677e-05,6.239417e-05,6.442796e-05,9.796106e-05,1.258115e-04,1.280481e-04,1.534585e-04,1.725260e-04,1.744400e-04,1.915371e-04,2.038014e-04,2.052922e-04,2.161884e-04,2.235940e-04,2.246452e-04,2.310249e-04,2.350085e-04,2.356399e-04,2.387592e-04,2.403646e-04,2.406146e-04,2.414054e-04,2.413873e-04,2.413026e-04,2.404532e-04,2.393538e-04,2.389828e-04,2.369990e-04,2.352051e-04,2.345939e-04,2.318457e-04,2.296309e-04,2.288214e-04,2.255778e-04,2.231340e-04,2.221632e-04,2.186186e-04,2.160789e-04,2.149788e-04,2.112730e-04,2.087281e-04,2.075259e-04,2.037584e-04,2.012692e-04,1.999878e-04,1.962288e-04,1.938347e-04,1.924934e-04,1.887915e-04,1.865169e-04,1.851315e-04,1.815199e-04,1.793787e-04,1.779624e-04,1.744633e-04,1.724618e-04,1.710258e-04,1.676526e-04,1.657924e-04,1.643456e-04,1.611062e-04,1.593854e-04,1.579353e-04,1.548334e-04,1.532477e-04,1.518005e-04,1.488367e-04,1.473806e-04,1.459415e-04,1.431143e-04,1.417813e-04,1.403545e-04,1.376612e-04,1.364443e-04,1.350333e-04,1.324700e-04,1.313623e-04,1.299700e-04,1.275323e-04,1.265267e-04,1.251555e-04,1.228385e-04,1.219282e-04,1.205801e-04,1.183789e-04,1.175573e-04,1.162338e-04,1.141435e-04,1.134041e-04,1.121066e-04,1.101220e-04,1.094590e-04,1.081885e-04,1.063048e-04,1.057123e-04,1.044697e-04,1.026821e-04,1.021549e-04,1.009407e-04,9.924450e-05,9.877749e-05,9.759231e-05,9.598305e-05,9.557154e-05,9.441565e-05,9.288906e-05,9.252863e-05,9.140224e-05,8.995420e-05,8.964074e-05,8.854396e-05,8.717054e-05,8.690020e-05,8.583303e-05,8.453050e-05,8.429969e-05,8.326206e-05,8.202684e-05,8.183223e-05,8.082399e-05,7.965268e-05,7.949116e-05,7.851210e-05,7.740147e-05,7.727017e-05,7.632002e-05,7.526699e-05,7.516322e-05,7.424166e-05,7.324331e-05,7.316459e-05,7.227125e-05,7.132481e-05,7.126882e-05,7.040332e-05,6.950614e-05,6.947075e-05,6.863265e-05,6.778223e-05,6.776545e-05,6.695429e-05,6.614825e-05,6.461470e-05,6.316058e-05,6.178189e-05,6.047482e-05,5.923575e-05,5.806125e-05,5.694805e-05,5.589305e-05,5.489331e-05,5.394604e-05,5.304857e-05,5.219839e-05,5.139311e-05,5.063044e-05,4.990823e-05,4.922443e-05,4.857708e-05,4.796433e-05,4.738444e-05,4.683572e-05,4.631660e-05,4.582557e-05,4.536119e-05,4.492212e-05,4.450705e-05,4.411477e-05,4.374411e-05,4.339397e-05,4.306330e-05,4.275110e-05,4.245642e-05,4.217838e-05,4.191610e-05,4.166879e-05,4.143567e-05,4.121602e-05,4.100913e-05,4.081435e-05,4.063105e-05,4.045864e-05,4.029656e-05,4.014426e-05,4.000124e-05,3.986702e-05,3.974113e-05,3.962315e-05,3.951265e-05,3.940924e-05,3.931255e-05
0.000000e+00,2.033442e-08,5.822582e-07,6.133469e-07,5.601434e-06,2.808482e-05,2.977394e-05,1.047371e-04,2.486734e-04,2.604130e-04,4.931264e-04,7.488464e-04,7.720682e-04,1.066155e-03,1.326858e-03,1.355176e-03,1.628696e-03,1.852983e-03,1.882304e-03,2.114726e-03,2.297787e-03,2.326149e-03,2.517388e-03,2.663208e-03,2.689509e-03,2.843649e-03,2.957427e-03,2.980948e-03,3.102518e-03,3.189170e-03,3.209429e-03,3.302700e-03,3.366612e-03,3.383306e-03,3.452166e-03,3.497183e-03,3.510153e-03,3.558087e-03,3.587543e-03,3.596742e-03,3.626844e-03,3.643606e-03,3.649075e-03,3.664074e-03,3.670592e-03,3.672438e-03,3.674727e-03,3.673081e-03,3.671463e-03,3.663133e-03,3.655084e-03,3.650194e-03,3.633068e-03,3.620094e-03,3.612151e-03,3.587812e-03,3.571154e-03,3.560392e-03,3.530211e-03,3.510900e-03,3.497563e-03,3.462724e-03,3.441614e-03,3.425948e-03,3.387473e-03,3.365266e-03,3.347515e-03,3.306279e-03,3.283547e-03,3.263952e-03,3.220706e-03,3.197909e-03,3.176702e-03,3.132086e-03,3.109592e-03,3.086995e-03,3.041552e-03,3.019649e-03,2.995872e-03,2.950061e-03,2.928971e-03,2.904215e-03,2.858421e-03,2.838309e-03,2.812759e-03,2.767303e-03,2.748289e-03,2.722119e-03,2.677267e-03,2.659431e-03,2.632800e-03,2.588769e-03,2.572160e-03,2.545216e-03,2.502182e-03,2.486823e-03,2.459701e-03,2.417803e-03,2.403696e-03,2.376516e-03,2.335864e-03,2.322993e-03,2.295867e-03,2.256543e-03,2.244879e-03,2.217907e-03,2.179970e-03,2.169475e-03,2.142744e-03,2.106235e-03,2.096861e-03,2.070450e-03,2.035393e-03,2.027087e-03,2.001066e-03,1.967470e-03,1.960177e-03,1.934605e-03,1.902469e-03,1.896129e-03,1.871059e-03,1.840371e-03,1.834924e-03,1.810400e-03,1.781141e-03,1.776525e-03,1.752587e-03,1.724731e-03,1.720886e-03,1.697564e-03,1.671079e-03,1.667946e-03,1.645267e-03,1.620117e-03,1.617638e-03,1.595621e-03,1.571769e-03,1.569888e-03,1.548549e-03,1.525952e-03,1.524616e-03,1.503967e-03,1.482582e-03,1.481739e-03,1.461787e-03,1.441570e-03,1.441171e-03,1.421920e-03,1.402825e-03,1.366614e-03,1.332448e-03,1.300241e-03,1.269905e-03,1.241357e-03,1.214512e-03,1.189289e-03,1.165610e-03,1.143397e-03,1.122576e-03,1.103076e-03,1.084827e-03,1.067764e-03,1.051822e-03,1.036941e-03,1.023061e-03,1.010128e-03,9.980873e-04,9.868886e-04,9.764833e-04,9.668251e-04,9.578702e-04,9.495769e-04,9.419054e-04,9.348182e-04,9.282796e-04,9.222558e-04,9.167148e-04,9.116262e-04,9.069613e-04,9.026931e-04,8.987959e-04,8.952455e-04,8.920190e-04,8.890949e-04,8.864527e-04,8.840734e-04,8.819388e-04,8.800319e-04,8.783366e-04,8.768380e-04,8.755217e-04,8.743744e-04,8.733837e-04,8.725376e-04,8.718252e-04,8.712361e-04,8.707606e-04,8.703894e-04
0.000000e+00,1.229856e-08,2.329777e-07,2.440996e-07,1.771417e-06,7.084295e-06,7.435525e-06,2.008603e-05,3.691361e-05,3.805418e-05,5.694257e-05,7.321158e-05,7.455784e-05,9.042398e-05,1.032172e-04,1.045555e-04,1.170710e-04,1.268548e-04,1.281050e-04,1.377870e-04,1.451251e-04,1.462385e-04,1.535717e-04,1.589438e-04,1.598907e-04,1.652912e-04,1.690964e-04,1.698615e-04,1.736824e-04,1.762495e-04,1.768279e-04,1.793657e-04,1.809630e-04,1.813573e-04,1.828588e-04,1.837039e-04,1.839215e-04,1.845916e-04,1.848593e-04,1.849107e-04,1.849170e-04,1.847473e-04,1.846448e-04,1.841255e-04,1.836300e-04,1.833871e-04,1.824551e-04,1.817228e-04,1.813529e-04,1.801012e-04,1.792023e-04,1.787187e-04,1.772223e-04,1.762119e-04,1.756272e-04,1.739473e-04,1.728687e-04,1.721950e-04,1.703813e-04,1.692678e-04,1.685162e-04,1.666087e-04,1.654861e-04,1.646668e-04,1.626979e-04,1.615859e-04,1.607084e-04,1.587041e-04,1.576175e-04,1.566903e-04,1.546716e-04,1.536213e-04,1.526521e-04,1.506355e-04,1.496293e-04,1.486251e-04,1.466238e-04,1.456671e-04,1.446341e-04,1.426585e-04,1.417549e-04,1.406988e-04,1.387567e-04,1.379083e-04,1.368339e-04,1.349317e-04,1.341392e-04,1.330512e-04,1.311933e-04,1.304567e-04,1.293590e-04,1.275489e-04,1.268676e-04,1.257637e-04,1.240037e-04,1.233764e-04,1.222695e-04,1.205612e-04,1.199864e-04,1.188792e-04,1.172235e-04,1.166993e-04,1.155944e-04,1.139917e-04,1.135161e-04,1.124155e-04,1.108658e-04,1.104366e-04,1.093424e-04,1.078453e-04,1.074603e-04,1.063742e-04,1.049291e-04,1.045861e-04,1.035096e-04,1.021155e-04,1.018122e-04,1.007467e-04,9.940278e-05,9.913697e-05,9.808354e-05,9.678867e-05,9.655816e-05,9.551788e-05,9.427086e-05,9.407353e-05,9.304730e-05,9.184688e-05,9.168065e-05,9.066927e-05,8.951415e-05,8.937703e-05,8.838119e-05,8.727005e-05,8.716013e-05,8.618041e-05,8.511192e-05,8.502735e-05,8.406426e-05,8.303709e-05,8.297610e-05,8.203008e-05,8.104290e-05,8.100382e-05,8.007522e-05,7.912672e-05,7.910795e-05,7.819708e-05,7.728596e-05,7.553539e-05,7.385381e-05,7.223885e-05,7.068818e-05,6.919955e-05,6.777078e-05,6.639971e-05,6.508430e-05,6.382252e-05,6.261243e-05,6.145216e-05,6.033986e-05,5.927379e-05,5.825224e-05,5.727355e-05,5.633613e-05,5.543844e-05,5.457901e-05,5.375638e-05,5.296918e-05,5.221607e-05,5.149576e-05,5.080699e-05,5.014858e-05,4.951936e-05,4.891821e-05,4.834405e-05,4.779585e-05,4.727260e-05,4.677333e-05,4.629712e-05,4.584305e-05,4.541028e-05,4.499795e-05,4.460526e-05,4.423145e-05,4.387576e-05,4.353746e-05,4.321587e-05,4.291032e-05,4.262016e-05,4.234476e-05,4.208354e-05,4.183592e-05,4.160133e-05,4.137925e-05,4.116916e-05,4.097056e-05,4.078297e-05
0.000000e+00,2.219377e-08,8.264245e-07,8.743906e-07,9.175745e-06,4.701102e-05,4.982180e-05,1.724961e-04,4.095853e-04,4.293750e-04,8.427844e-04,1.352108e-03,1.401507e-03,2.075345e-03,2.750361e-03,2.828184e-03,3.625528e-03,4.340479e-03,4.437933e-03,5.242034e-03,5.913436e-03,6.020334e-03,6.760454e-03,7.346565e-03,7.454217e-03,8.096747e-03,8.583671e-03,8.685681e-03,9.220509e-03,9.609932e-03,9.702050e-03,1.013203e-02,1.043311e-02,1.051279e-02,1.084702e-02,1.107169e-02,1.113761e-02,1.138753e-02,1.154800e-02,1.159970e-02,1.177699e-02,1.188459e-02,1.192215e-02,1.203779e-02,1.210249e-02,1.212636e-02,1.219017e-02,1.222052e-02,1.223136e-02,1.225192e-02,1.225510e-02,1.225371e-02,1.223843e-02,1.222043e-02,1.220767e-02,1.216289e-02,1.212867e-02,1.210543e-02,1.203655e-02,1.199022e-02,1.195739e-02,1.186902e-02,1.181393e-02,1.177240e-02,1.166844e-02,1.160733e-02,1.155797e-02,1.144175e-02,1.137685e-02,1.132048e-02,1.119482e-02,1.112793e-02,1.106534e-02,1.093261e-02,1.086519e-02,1.079713e-02,1.065935e-02,1.059253e-02,1.051971e-02,1.037859e-02,1.031328e-02,1.023635e-02,1.009331e-02,1.003020e-02,9.949782e-03,9.806027e-03,9.745644e-03,9.662298e-03,9.518824e-03,9.461553e-03,9.375811e-03,9.233447e-03,9.179555e-03,9.091903e-03,8.951332e-03,8.900993e-03,8.811875e-03,8.673657e-03,8.626966e-03,8.536791e-03,8.401377e-03,8.358367e-03,8.267508e-03,8.135261e-03,8.095914e-03,8.004708e-03,7.875912e-03,7.840171e-03,7.748926e-03,7.623799e-03,7.591575e-03,7.500569e-03,7.379272e-03,7.350451e-03,7.259935e-03,7.142583e-03,7.117034e-03,7.027234e-03,6.913901e-03,6.891478e-03,6.802597e-03,6.693326e-03,6.673873e-03,6.586092e-03,6.480896e-03,6.464254e-03,6.377735e-03,6.276604e-03,6.262607e-03,6.177494e-03,6.080398e-03,6.068881e-03,5.985303e-03,5.892195e-03,5.882994e-03,5.801062e-03,5.711886e-03,5.704836e-03,5.624650e-03,5.539336e-03,5.534278e-03,5.455924e-03,5.374394e-03,5.371172e-03,5.294725e-03,5.216895e-03,5.215357e-03,5.140882e-03,5.066663e-03,4.924910e-03,4.789914e-03,4.661484e-03,4.539431e-03,4.423562e-03,4.313682e-03,4.209601e-03,4.111127e-03,4.018072e-03,3.930248e-03,3.847472e-03,3.769563e-03,3.696343e-03,3.627639e-03,3.563278e-03,3.503093e-03,3.446922e-03,3.394602e-03,3.345979e-03,3.300898e-03,3.259209e-03,3.220767e-03,3.185429e-03,3.153054e-03,3.123508e-03,3.096656e-03,3.072370e-03,3.050522e-03,3.030990e-03,3.013652e-03,2.998392e-03,2.985095e-03,2.973650e-03,2.963950e-03,2.955887e-03,2.949362e-03,2.944273e-03,2.940525e-03,2.938024e-03,2.936681e-03,2.936407e-03,2.937119e-03,2.938734e-03,2.941175e-03,2.944365e-03,2.948234e-03,2.952710e-03,2.957727e-03,2.963222e-03
0.000000e+00,2.871028e-09,3.574454e-08,3.724908e-08,2.175707e-07,7.526608e-07,7.861215e-07,1.943009e-06,3.471652e-06,3.576702e-06,5.332454e-06,6.841460e-06,6.965280e-06,8.406325e-06,9.538153e-06,9.654716e-06,1.072558e-05,1.153504e-05,1.163647e-05,1.240427e-05,1.296203e-05,1.304453e-05,1.357139e-05,1.393572e-05,1.399765e-05,1.433482e-05,1.455215e-05,1.459329e-05,1.478235e-05,1.488927e-05,1.491035e-05,1.498476e-05,1.500991e-05,1.501224e-05,1.499878e-05,1.496445e-05,1.494968e-05,1.486969e-05,1.479312e-05,1.476305e-05,1.463351e-05,1.452796e-05,1.448443e-05,1.431877e-05,1.419437e-05,1.413918e-05,1.394799e-05,1.381243e-05,1.374729e-05,1.353889e-05,1.339793e-05,1.332443e-05,1.310532e-05,1.296324e-05,1.288282e-05,1.265804e-05,1.251796e-05,1.243195e-05,1.220538e-05,1.206953e-05,1.197909e-05,1.175371e-05,1.162363e-05,1.152979e-05,1.130782e-05,1.118453e-05,1.108821e-05,1.087131e-05,1.075542e-05,1.065742e-05,1.044678e-05,1.033860e-05,1.023960e-05,1.003605e-05,9.935686e-06,9.836277e-06,9.640380e-06,9.547752e-06,9.448443e-06,9.260526e-06,9.175445e-06,9.076668e-06,8.896893e-06,8.819088e-06,8.721208e-06,8.549607e-06,8.478749e-06,8.382074e-06,8.218580e-06,8.154306e-06,8.059091e-06,7.903563e-06,7.845491e-06,7.751947e-06,7.604188e-06,7.551928e-06,7.460228e-06,7.320003e-06,7.273166e-06,7.183448e-06,7.050495e-06,7.008699e-06,6.921073e-06,6.795111e-06,6.757986e-06,6.672536e-06,6.553275e-06,6.520466e-06,6.437254e-06,6.324400e-06,6.295567e-06,6.214637e-06,6.107894e-06,6.082716e-06,6.004096e-06,5.903172e-06,5.881348e-06,5.805051e-06,5.709661e-06,5.690904e-06,5.616932e-06,5.526797e-06,5.510843e-06,5.439188e-06,5.354038e-06,5.340638e-06,5.271283e-06,5.190859e-06,5.179782e-06,5.112703e-06,5.036754e-06,5.027786e-06,4.962953e-06,4.891241e-06,4.884182e-06,4.821560e-06,4.753855e-06,4.748523e-06,4.688072e-06,4.624157e-06,4.620381e-06,4.562058e-06,4.501725e-06,4.499348e-06,4.443108e-06,4.386159e-06,4.385037e-06,4.330832e-06,4.277080e-06,4.175127e-06,4.078846e-06,3.987923e-06,3.902061e-06,3.820976e-06,3.744402e-06,3.672088e-06,3.603793e-06,3.539292e-06,3.478372e-06,3.420831e-06,3.366478e-06,3.315134e-06,3.266629e-06,3.220801e-06,3.177500e-06,3.136583e-06,3.097913e-06,3.061363e-06,3.026814e-06,2.994151e-06,2.963267e-06,2.934061e-06,2.906437e-06,2.880305e-06,2.855580e-06,2.832182e-06,2.810035e-06,2.789067e-06,2.769211e-06,2.750404e-06,2.732585e-06,2.715699e-06,2.699691e-06,2.684511e-06,2.670113e-06,2.656451e-06,2.643483e-06,2.631169e-06,2.619472e-06,2.608357e-06,2.597791e-06,2.587741e-06,2.578178e-06,2.569075e-06,2.560405e-06,2.552143e-06,2.544267e-06,2.536753e-06
0.000000e+00,2.100416e-08,6.211451e-07,6.549184e-07,5.950762e-06,2.682345e-05,2.826589e-05,8.354902e-05,1.663462e-04,1.723306e-04,2.771557e-04,3.731991e-04,3.812579e-04,4.763564e-04,5.521461e-04,5.599845e-04,6.322045e-04,6.870315e-04,6.939183e-04,7.462151e-04,7.844681e-04,7.901536e-04,8.267044e-04,8.523399e-04,8.567413e-04,8.810457e-04,8.971895e-04,9.003152e-04,9.151704e-04,9.242493e-04,9.261632e-04,9.337832e-04,9.376660e-04,9.384638e-04,9.405885e-04,9.407041e-04,9.404966e-04,9.384874e-04,9.359218e-04,9.348234e-04,9.297360e-04,9.253071e-04,9.234290e-04,9.160818e-04,9.104051e-04,9.078520e-04,8.988780e-04,8.924134e-04,8.892815e-04,8.791691e-04,8.722579e-04,8.686338e-04,8.577577e-04,8.506514e-04,8.466121e-04,8.352598e-04,8.281418e-04,8.237553e-04,8.121461e-04,8.051477e-04,8.004736e-04,7.887739e-04,7.819881e-04,7.770782e-04,7.654138e-04,7.589042e-04,7.538040e-04,7.422689e-04,7.360773e-04,7.308259e-04,7.194896e-04,7.136413e-04,7.082728e-04,6.971860e-04,6.916943e-04,6.862383e-04,6.754371e-04,6.703064e-04,6.647886e-04,6.542977e-04,6.495260e-04,6.439686e-04,6.338042e-04,6.293848e-04,6.238071e-04,6.139788e-04,6.099015e-04,6.043204e-04,5.948327e-04,5.910853e-04,5.855155e-04,5.763689e-04,5.729377e-04,5.673920e-04,5.585841e-04,5.554544e-04,5.499440e-04,5.414704e-04,5.386270e-04,5.331618e-04,5.250165e-04,5.224442e-04,5.170326e-04,5.092083e-04,5.068918e-04,5.015414e-04,4.940300e-04,4.919543e-04,4.866717e-04,4.794643e-04,4.776149e-04,4.724057e-04,4.654934e-04,4.638560e-04,4.587253e-04,4.520989e-04,4.506599e-04,4.456119e-04,4.392620e-04,4.380083e-04,4.330469e-04,4.269641e-04,4.258831e-04,4.210114e-04,4.151865e-04,4.142663e-04,4.094871e-04,4.039109e-04,4.031399e-04,3.984557e-04,3.931192e-04,3.924867e-04,3.878992e-04,3.827936e-04,3.822892e-04,3.778002e-04,3.729169e-04,3.725310e-04,3.681417e-04,3.634723e-04,3.631955e-04,3.589069e-04,3.544435e-04,3.542670e-04,3.500799e-04,3.458144e-04,3.457301e-04,3.416450e-04,3.375698e-04,3.297716e-04,3.223217e-04,3.152064e-04,3.084128e-04,3.019281e-04,2.957403e-04,2.898376e-04,2.842086e-04,2.788424e-04,2.737286e-04,2.688569e-04,2.642175e-04,2.598012e-04,2.555988e-04,2.516015e-04,2.478009e-04,2.441890e-04,2.407580e-04,2.375003e-04,2.344087e-04,2.314763e-04,2.286964e-04,2.260625e-04,2.235683e-04,2.212081e-04,2.189760e-04,2.168664e-04,2.148741e-04,2.129940e-04,2.112212e-04,2.095508e-04,2.079784e-04,2.064996e-04,2.051102e-04,2.038061e-04,2.025834e-04,2.014384e-04,2.003675e-04,1.993673e-04,1.984344e-04,1.975655e-04,1.967578e-04,1.960081e-04,1.953138e-04,1.946719e-04,1.940800e-04,1.935356e-04,1.930362e-04,1.925795e-04
0.000000e+00,1.827756e-07,6.849130e-06,7.250424e-06,8.076161e-05,4.564508e-04,4.858920e-04,1.880161e-03,4.925040e-03,5.193836e-03,1.119735e-02,1.942949e-02,2.027089e-02,3.244497e-02,4.588023e-02,4.750686e-02,6.509418e-02,8.230995e-02,8.476489e-02,1.060469e-01,1.252804e-01,1.284718e-01,1.515970e-01,1.712669e-01,1.750191e-01,1.983814e-01,2.172765e-01,2.213762e-01,2.437454e-01,2.610469e-01,2.652778e-01,2.858061e-01,3.010377e-01,3.052026e-01,3.233748e-01,3.363279e-01,3.402610e-01,3.558259e-01,3.664848e-01,3.700564e-01,3.829581e-01,3.914356e-01,3.945517e-01,4.048699e-01,4.113560e-01,4.139549e-01,4.218561e-01,4.265803e-01,4.286280e-01,4.343286e-01,4.375334e-01,4.390182e-01,4.427577e-01,4.446807e-01,4.456084e-01,4.476306e-01,4.484942e-01,4.488834e-01,4.494242e-01,4.494299e-01,4.493082e-01,4.485884e-01,4.479142e-01,4.473151e-01,4.455363e-01,4.443363e-01,4.432971e-01,4.406401e-01,4.390458e-01,4.376054e-01,4.342303e-01,4.323525e-01,4.305499e-01,4.265968e-01,4.245276e-01,4.224014e-01,4.179919e-01,4.158071e-01,4.133945e-01,4.086333e-01,4.063944e-01,4.037308e-01,3.987077e-01,3.964642e-01,3.935830e-01,3.883743e-01,3.861655e-01,3.830978e-01,3.777682e-01,3.756246e-01,3.723993e-01,3.670034e-01,3.649483e-01,3.615920e-01,3.561755e-01,3.542261e-01,3.507634e-01,3.453643e-01,3.435331e-01,3.399862e-01,3.346362e-01,3.329312e-01,3.293207e-01,3.240457e-01,3.224718e-01,3.188163e-01,3.136374e-01,3.121970e-01,3.085132e-01,3.034476e-01,3.021405e-01,2.984438e-01,2.935050e-01,2.923297e-01,2.886338e-01,2.838324e-01,2.827857e-01,2.791030e-01,2.744473e-01,2.735251e-01,2.698668e-01,2.653628e-01,2.645603e-01,2.609364e-01,2.565884e-01,2.559001e-01,2.523196e-01,2.481304e-01,2.475503e-01,2.440212e-01,2.399924e-01,2.395143e-01,2.360440e-01,2.321760e-01,2.317936e-01,2.283884e-01,2.246809e-01,2.243878e-01,2.210533e-01,2.175053e-01,2.172949e-01,2.140364e-01,2.106461e-01,2.105121e-01,2.073339e-01,2.040992e-01,2.040353e-01,2.009414e-01,1.978597e-01,1.919798e-01,1.863897e-01,1.810827e-01,1.760521e-01,1.712907e-01,1.667912e-01,1.625460e-01,1.585474e-01,1.547876e-01,1.512587e-01,1.479528e-01,1.448618e-01,1.419777e-01,1.392926e-01,1.367984e-01,1.344872e-01,1.323510e-01,1.303819e-01,1.285722e-01,1.269140e-01,1.253998e-01,1.240220e-01,1.227731e-01,1.216460e-01,1.206333e-01,1.197281e-01,1.189235e-01,1.182129e-01,1.175897e-01,1.170477e-01,1.165806e-01,1.161827e-01,1.158482e-01,1.155717e-01,1.153478e-01,1.151717e-01,1.150385e-01,1.149437e-01,1.148829e-01,1.148522e-01,1.148477e-01,1.148657e-01,1.149031e-01,1.149565e-01,1.150232e-01,1.151005e-01,1.151858e-01,1.152770e-01,1.153720e-01
0.000000e+00,1.781029e-07,6.244111e-06,6.599038e-06,6.872239e-05,3.814480e-04,4.061412e-04,1.611519e-03,4.419996e-03,4.676391e-03,1.063984e-02,1.930751e-02,2.021621e-02,3.371393e-02,4.920102e-02,5.111017e-02,7.214722e-02,9.334802e-02,9.641471e-02,1.234133e-01,1.484045e-01,1.526023e-01,1.834341e-01,2.102136e-01,2.153785e-01,2.479390e-01,2.747795e-01,2.806633e-01,3.131487e-01,3.387279e-01,3.450450e-01,3.760539e-01,3.994637e-01,4.059276e-01,4.344655e-01,4.551629e-01,4.615107e-01,4.869457e-01,5.046815e-01,5.106884e-01,5.326873e-01,5.474320e-01,5.529178e-01,5.713781e-01,5.832556e-01,5.880855e-01,6.030733e-01,6.123058e-01,6.163876e-01,6.280844e-01,6.349491e-01,6.382278e-01,6.468877e-01,6.516854e-01,6.541378e-01,6.600544e-01,6.630870e-01,6.647150e-01,6.681973e-01,6.697532e-01,6.705782e-01,6.719334e-01,6.722785e-01,6.723364e-01,6.718585e-01,6.712317e-01,6.705682e-01,6.685311e-01,6.671428e-01,6.658099e-01,6.624637e-01,6.604956e-01,6.585489e-01,6.541184e-01,6.517254e-01,6.492219e-01,6.439062e-01,6.412188e-01,6.382151e-01,6.321893e-01,6.293157e-01,6.258670e-01,6.192834e-01,6.163125e-01,6.124716e-01,6.054621e-01,6.024660e-01,5.982830e-01,5.909606e-01,5.879969e-01,5.835188e-01,5.759801e-01,5.730942e-01,5.683648e-01,5.606918e-01,5.579188e-01,5.529784e-01,5.452404e-01,5.426066e-01,5.374925e-01,5.297479e-01,5.272723e-01,5.220187e-01,5.143161e-01,5.120120e-01,5.066502e-01,4.990300e-01,4.969058e-01,4.914641e-01,4.839598e-01,4.820196e-01,4.765239e-01,4.691627e-01,4.674078e-01,4.618817e-01,4.546857e-01,4.531144e-01,4.475791e-01,4.405660e-01,4.391749e-01,4.336497e-01,4.268333e-01,4.256172e-01,4.201196e-01,4.135107e-01,4.124631e-01,4.070087e-01,4.006153e-01,3.997290e-01,3.943319e-01,3.881598e-01,3.874266e-01,3.820997e-01,3.761525e-01,3.755640e-01,3.703186e-01,3.645985e-01,3.641458e-01,3.589923e-01,3.535001e-01,3.531742e-01,3.481217e-01,3.428569e-01,3.426487e-01,3.377054e-01,3.326667e-01,3.325670e-01,3.277402e-01,3.229254e-01,3.137185e-01,3.049398e-01,2.965820e-01,2.886370e-01,2.810958e-01,2.739491e-01,2.671869e-01,2.607991e-01,2.547749e-01,2.491036e-01,2.437741e-01,2.387752e-01,2.340956e-01,2.297239e-01,2.256485e-01,2.218581e-01,2.183410e-01,2.150859e-01,2.120812e-01,2.093156e-01,2.067778e-01,2.044566e-01,2.023411e-01,2.004203e-01,1.986835e-01,1.971202e-01,1.957202e-01,1.944732e-01,1.933695e-01,1.923995e-01,1.915538e-01,1.908235e-01,1.901998e-01,1.896744e-01,1.892390e-01,1.888860e-01,1.886078e-01,1.883974e-01,1.882480e-01,1.881532e-01,1.881069e-01,1.881033e-01,1.881371e-01,1.882032e-01,1.882968e-01,1.884136e-01,1.885494e-01,1.887005e-01,1.888634e-01
0.000000e+00,3.738789e-09,5.626148e-08,5.887246e-08,4.014211e-07,1.483474e-06,1.551437e-06,3.816798e-06,6.518004e-06,6.695616e-06,9.630285e-06,1.221883e-05,1.243747e-05,1.507877e-05,1.731075e-05,1.755037e-05,1.985669e-05,2.175461e-05,2.200414e-05,2.399964e-05,2.559952e-05,2.585012e-05,2.756246e-05,2.889903e-05,2.914343e-05,3.059964e-05,3.170515e-05,3.193751e-05,3.316329e-05,3.406724e-05,3.428297e-05,3.530233e-05,3.603137e-05,3.622692e-05,3.706204e-05,3.764001e-05,3.781274e-05,3.848386e-05,3.893197e-05,3.908000e-05,3.960551e-05,3.994250e-05,4.006457e-05,4.046112e-05,4.070353e-05,4.079892e-05,4.108157e-05,4.124400e-05,4.131245e-05,4.149476e-05,4.158997e-05,4.163155e-05,4.172573e-05,4.176490e-05,4.178001e-05,4.179701e-05,4.178991e-05,4.177918e-05,4.172886e-05,4.168399e-05,4.164825e-05,4.153943e-05,4.146417e-05,4.140437e-05,4.124495e-05,4.114570e-05,4.106294e-05,4.086000e-05,4.074227e-05,4.063772e-05,4.039759e-05,4.026613e-05,4.014101e-05,3.986933e-05,3.972821e-05,3.958379e-05,3.928558e-05,3.913827e-05,3.897582e-05,3.865558e-05,3.850502e-05,3.832584e-05,3.798756e-05,3.783623e-05,3.764160e-05,3.728881e-05,3.713879e-05,3.692996e-05,3.656581e-05,3.641881e-05,3.619703e-05,3.582429e-05,3.568174e-05,3.544820e-05,3.506933e-05,3.493236e-05,3.468822e-05,3.430538e-05,3.417491e-05,3.392129e-05,3.353638e-05,3.341311e-05,3.315109e-05,3.276578e-05,3.265024e-05,3.238083e-05,3.199658e-05,3.188916e-05,3.161334e-05,3.123140e-05,3.113235e-05,3.085105e-05,3.047253e-05,3.038198e-05,3.009608e-05,2.972192e-05,2.963994e-05,2.935026e-05,2.898127e-05,2.890781e-05,2.861513e-05,2.825201e-05,2.818698e-05,2.789204e-05,2.753536e-05,2.747860e-05,2.718208e-05,2.683233e-05,2.678365e-05,2.648620e-05,2.614378e-05,2.610294e-05,2.580515e-05,2.547039e-05,2.543713e-05,2.513956e-05,2.481271e-05,2.478674e-05,2.448990e-05,2.417117e-05,2.415217e-05,2.385655e-05,2.354608e-05,2.353374e-05,2.323977e-05,2.293766e-05,2.293166e-05,2.263976e-05,2.234606e-05,2.177701e-05,2.122450e-05,2.068848e-05,2.016885e-05,1.966546e-05,1.917814e-05,1.870668e-05,1.825083e-05,1.781035e-05,1.738497e-05,1.697437e-05,1.657828e-05,1.619637e-05,1.582832e-05,1.547381e-05,1.513250e-05,1.480407e-05,1.448818e-05,1.418450e-05,1.389270e-05,1.361244e-05,1.334340e-05,1.308527e-05,1.283770e-05,1.260040e-05,1.237305e-05,1.215535e-05,1.194700e-05,1.174771e-05,1.155718e-05,1.137513e-05,1.120130e-05,1.103542e-05,1.087721e-05,1.072642e-05,1.058281e-05,1.044614e-05,1.031615e-05,1.019263e-05,1.007534e-05,9.964076e-06,9.858614e-06,9.758749e-06,9.664282e-06,9.575014e-06,9.490757e-06,9.411325e-06,9.336539e-06,9.266225e-06
0.000000e+00,8.829918e-10,1.296369e-08,1.355601e-08,8.768795e-08,3.019375e-07,3.147957e-07,7.195317e-07,1.164713e-06,1.193057e-06,1.648817e-06,2.033314e-06,2.065077e-06,2.439985e-06,2.743768e-06,2.775646e-06,3.074847e-06,3.310214e-06,3.340391e-06,3.574937e-06,3.753767e-06,3.780987e-06,3.960887e-06,4.093400e-06,4.116826e-06,4.250842e-06,4.345709e-06,4.364829e-06,4.460542e-06,4.525051e-06,4.539605e-06,4.603520e-06,4.643751e-06,4.653669e-06,4.691330e-06,4.712324e-06,4.717674e-06,4.733783e-06,4.739700e-06,4.740648e-06,4.739181e-06,4.733438e-06,4.730218e-06,4.714527e-06,4.699919e-06,4.692811e-06,4.665715e-06,4.644520e-06,4.633829e-06,4.597694e-06,4.571758e-06,4.557803e-06,4.514610e-06,4.485424e-06,4.468526e-06,4.419928e-06,4.388688e-06,4.369162e-06,4.316539e-06,4.284194e-06,4.262346e-06,4.206843e-06,4.174144e-06,4.150265e-06,4.092828e-06,4.060361e-06,4.034726e-06,3.976136e-06,3.944351e-06,3.917217e-06,3.858113e-06,3.827350e-06,3.798956e-06,3.739861e-06,3.710371e-06,3.680935e-06,3.622271e-06,3.594231e-06,3.563955e-06,3.506062e-06,3.479591e-06,3.448658e-06,3.391804e-06,3.366976e-06,3.335552e-06,3.279948e-06,3.256797e-06,3.225032e-06,3.170839e-06,3.149371e-06,3.117399e-06,3.064738e-06,3.044936e-06,3.012878e-06,2.961837e-06,2.943665e-06,2.911629e-06,2.862266e-06,2.845677e-06,2.813758e-06,2.766110e-06,2.751045e-06,2.719327e-06,2.673411e-06,2.659806e-06,2.628362e-06,2.584180e-06,2.571963e-06,2.540860e-06,2.498401e-06,2.487501e-06,2.456795e-06,2.416038e-06,2.406382e-06,2.376122e-06,2.337038e-06,2.328551e-06,2.298778e-06,2.261333e-06,2.253941e-06,2.224692e-06,2.188845e-06,2.182476e-06,2.153782e-06,2.119490e-06,2.114074e-06,2.085958e-06,2.053175e-06,2.048644e-06,2.021128e-06,1.989805e-06,1.986094e-06,1.959194e-06,1.929283e-06,1.926330e-06,1.900059e-06,1.871510e-06,1.869255e-06,1.843622e-06,1.816385e-06,1.814771e-06,1.789784e-06,1.763809e-06,1.762783e-06,1.738446e-06,1.713684e-06,1.713195e-06,1.689510e-06,1.665913e-06,1.620844e-06,1.577899e-06,1.536988e-06,1.498028e-06,1.460935e-06,1.425629e-06,1.392032e-06,1.360070e-06,1.329670e-06,1.300763e-06,1.273282e-06,1.247165e-06,1.222348e-06,1.198773e-06,1.176384e-06,1.155126e-06,1.134947e-06,1.115798e-06,1.097632e-06,1.080403e-06,1.064066e-06,1.048582e-06,1.033910e-06,1.020012e-06,1.006851e-06,9.943940e-07,9.826067e-07,9.714578e-07,9.609170e-07,9.509556e-07,9.415459e-07,9.326617e-07,9.242777e-07,9.163702e-07,9.089162e-07,9.018940e-07,8.952826e-07,8.890622e-07,8.832138e-07,8.777194e-07,8.725616e-07,8.677239e-07,8.631907e-07,8.589469e-07,8.549782e-07,8.512710e-07,8.478123e-07,8.445895e-07,8.415910e-07
0.000000e+00,6.293104e-10,1.118321e-08,1.172241e-08,7.968822e-08,2.627025e-07,2.730056e-07,5.674679e-07,8.578592e-07,8.759722e-07,1.166734e-06,1.414606e-06,1.435271e-06,1.681927e-06,1.886115e-06,1.907802e-06,2.114089e-06,2.280354e-06,2.301965e-06,2.472562e-06,2.606289e-06,2.626972e-06,2.766237e-06,2.872246e-06,2.891354e-06,3.003269e-06,3.085820e-06,3.102880e-06,3.191035e-06,3.253849e-06,3.268533e-06,3.336127e-06,3.382432e-06,3.394525e-06,3.444391e-06,3.476968e-06,3.486348e-06,3.520982e-06,3.542219e-06,3.548839e-06,3.570433e-06,3.582372e-06,3.586242e-06,3.596717e-06,3.601102e-06,3.602278e-06,3.603315e-06,3.601626e-06,3.600197e-06,3.593267e-06,3.586761e-06,3.582844e-06,3.569228e-06,3.558967e-06,3.552697e-06,3.533511e-06,3.520390e-06,3.511913e-06,3.488130e-06,3.472898e-06,3.462371e-06,3.434833e-06,3.418118e-06,3.405699e-06,3.375138e-06,3.357460e-06,3.343309e-06,3.310358e-06,3.292146e-06,3.276421e-06,3.241626e-06,3.223233e-06,3.206090e-06,3.169922e-06,3.151633e-06,3.133223e-06,3.096085e-06,3.078130e-06,3.058597e-06,3.020837e-06,3.003396e-06,2.982879e-06,2.944791e-06,2.928008e-06,2.906637e-06,2.868473e-06,2.852455e-06,2.830353e-06,2.792326e-06,2.777151e-06,2.754436e-06,2.716724e-06,2.702448e-06,2.679228e-06,2.641981e-06,2.628639e-06,2.605015e-06,2.568357e-06,2.555968e-06,2.532034e-06,2.496067e-06,2.484636e-06,2.460478e-06,2.425284e-06,2.414806e-06,2.390503e-06,2.356149e-06,2.346609e-06,2.322235e-06,2.288772e-06,2.280147e-06,2.255770e-06,2.223238e-06,2.215501e-06,2.191182e-06,2.159609e-06,2.152728e-06,2.128522e-06,2.097927e-06,2.091867e-06,2.067826e-06,2.038220e-06,2.032944e-06,2.009112e-06,1.980501e-06,1.975969e-06,1.952387e-06,1.924770e-06,1.920943e-06,1.897647e-06,1.871018e-06,1.867856e-06,1.844879e-06,1.819229e-06,1.816690e-06,1.794062e-06,1.769377e-06,1.767423e-06,1.745168e-06,1.721432e-06,1.720023e-06,1.698164e-06,1.675360e-06,1.674457e-06,1.653013e-06,1.631120e-06,1.630687e-06,1.609675e-06,1.588672e-06,1.548369e-06,1.509733e-06,1.472717e-06,1.437275e-06,1.403358e-06,1.370920e-06,1.339911e-06,1.310285e-06,1.281994e-06,1.254992e-06,1.229233e-06,1.204672e-06,1.181264e-06,1.158966e-06,1.137737e-06,1.117535e-06,1.098320e-06,1.080053e-06,1.062696e-06,1.046212e-06,1.030567e-06,1.015725e-06,1.001653e-06,9.883188e-07,9.756911e-07,9.637399e-07,9.524360e-07,9.417512e-07,9.316586e-07,9.221318e-07,9.131457e-07,9.046761e-07,8.966994e-07,8.891933e-07,8.821360e-07,8.755066e-07,8.692851e-07,8.634521e-07,8.579892e-07,8.528784e-07,8.481027e-07,8.436455e-07,8.394911e-07,8.356243e-07,8.320305e-07,8.286957e-07,8.256066e-07,8.227503e-07,8.201144e-07
0.000000e+00,4.561742e-09,5.776433e-08,6.024702e-08,3.621583e-07,1.257580e-06,1.313157e-06,3.187209e-06,5.510419e-06,5.665415e-06,8.237555e-06,1.050390e-05,1.069479e-05,1.299235e-05,1.491992e-05,1.512602e-05,1.710049e-05,1.871164e-05,1.892246e-05,2.059911e-05,2.193032e-05,2.213768e-05,2.354535e-05,2.463180e-05,2.482918e-05,2.599601e-05,2.687018e-05,2.705248e-05,2.800493e-05,2.869613e-05,2.885950e-05,2.962212e-05,3.015675e-05,3.029840e-05,3.089373e-05,3.129519e-05,3.141321e-05,3.186168e-05,3.215055e-05,3.224375e-05,3.256377e-05,3.275810e-05,3.282588e-05,3.303400e-05,3.314953e-05,3.319180e-05,3.330280e-05,3.335324e-05,3.337029e-05,3.339740e-05,3.339460e-05,3.338706e-05,3.334207e-05,3.329629e-05,3.326503e-05,3.315841e-05,3.307849e-05,3.302456e-05,3.286565e-05,3.275915e-05,3.268376e-05,3.248082e-05,3.235420e-05,3.225867e-05,3.201902e-05,3.187778e-05,3.176348e-05,3.149358e-05,3.134236e-05,3.121073e-05,3.091627e-05,3.075899e-05,3.061146e-05,3.029746e-05,3.013736e-05,2.997537e-05,2.964623e-05,2.948602e-05,2.931099e-05,2.897055e-05,2.881243e-05,2.862575e-05,2.827738e-05,2.812315e-05,2.792616e-05,2.757277e-05,2.742386e-05,2.721785e-05,2.686198e-05,2.671949e-05,2.650571e-05,2.614955e-05,2.601433e-05,2.579396e-05,2.543937e-05,2.531205e-05,2.508619e-05,2.473479e-05,2.461578e-05,2.438550e-05,2.403864e-05,2.392820e-05,2.369448e-05,2.335330e-05,2.325156e-05,2.301533e-05,2.268078e-05,2.258775e-05,2.234986e-05,2.202273e-05,2.193832e-05,2.169956e-05,2.138048e-05,2.130453e-05,2.106563e-05,2.075512e-05,2.068740e-05,2.044904e-05,2.014748e-05,2.008772e-05,1.985051e-05,1.955819e-05,1.950607e-05,1.927058e-05,1.898771e-05,1.894289e-05,1.870962e-05,1.843632e-05,1.839844e-05,1.816784e-05,1.790418e-05,1.787287e-05,1.764535e-05,1.739134e-05,1.736620e-05,1.714213e-05,1.689772e-05,1.687837e-05,1.665808e-05,1.642318e-05,1.640923e-05,1.619300e-05,1.596749e-05,1.595857e-05,1.574664e-05,1.553038e-05,1.552610e-05,1.531868e-05,1.511150e-05,1.471439e-05,1.433438e-05,1.397103e-05,1.362390e-05,1.329251e-05,1.297639e-05,1.267506e-05,1.238802e-05,1.211478e-05,1.185484e-05,1.160774e-05,1.137297e-05,1.115007e-05,1.093857e-05,1.073802e-05,1.054796e-05,1.036795e-05,1.019759e-05,1.003644e-05,9.884107e-06,9.740207e-06,9.604360e-06,9.476203e-06,9.355384e-06,9.241564e-06,9.134417e-06,9.033628e-06,8.938895e-06,8.849927e-06,8.766444e-06,8.688178e-06,8.614873e-06,8.546282e-06,8.482168e-06,8.422306e-06,8.366480e-06,8.314481e-06,8.266113e-06,8.221185e-06,8.179517e-06,8.140936e-06,8.105278e-06,8.072384e-06,8.042105e-06,8.014298e-06,7.988826e-06,7.965559e-06,7.944375e-06,7.925153e-06
0.000000e+00,1.532069e-10,2.004724e-09,2.092202e-09,1.277506e-08,4.472320e-08,4.672908e-08,1.168231e-07,2.116634e-07,2.182794e-07,3.312961e-07,4.332183e-07,4.418242e-07,5.452162e-07,6.313769e-07,6.405471e-07,7.279261e-07,7.985393e-07,8.077302e-07,8.803979e-07,9.375204e-07,9.463695e-07,1.006074e-06,1.051684e-06,1.059923e-06,1.108307e-06,1.144166e-06,1.151598e-06,1.190146e-06,1.217792e-06,1.224282e-06,1.254318e-06,1.275090e-06,1.280549e-06,1.303248e-06,1.318298e-06,1.322675e-06,1.339072e-06,1.349388e-06,1.352664e-06,1.363664e-06,1.370091e-06,1.372270e-06,1.378666e-06,1.381923e-06,1.383027e-06,1.385512e-06,1.386209e-06,1.386273e-06,1.385451e-06,1.384104e-06,1.383176e-06,1.379570e-06,1.376617e-06,1.374748e-06,1.368815e-06,1.364623e-06,1.361871e-06,1.354008e-06,1.348884e-06,1.345310e-06,1.335858e-06,1.330060e-06,1.325726e-06,1.314983e-06,1.308724e-06,1.303692e-06,1.291914e-06,1.285370e-06,1.279703e-06,1.267110e-06,1.260427e-06,1.254183e-06,1.240967e-06,1.234262e-06,1.227500e-06,1.213823e-06,1.207192e-06,1.199968e-06,1.185969e-06,1.179489e-06,1.171855e-06,1.157653e-06,1.151383e-06,1.143390e-06,1.129087e-06,1.123074e-06,1.114768e-06,1.100451e-06,1.094729e-06,1.086154e-06,1.071895e-06,1.066489e-06,1.057688e-06,1.043546e-06,1.038474e-06,1.029484e-06,1.015512e-06,1.010783e-06,1.001640e-06,9.878783e-07,9.834992e-07,9.742353e-07,9.607187e-07,9.566894e-07,9.473353e-07,9.340912e-07,9.304086e-07,9.209920e-07,9.080425e-07,9.047007e-07,8.952470e-07,8.826092e-07,8.795999e-07,8.701323e-07,8.578190e-07,8.551323e-07,8.456718e-07,8.336924e-07,8.313169e-07,8.218826e-07,8.102433e-07,8.081665e-07,7.987757e-07,7.874803e-07,7.856890e-07,7.763573e-07,7.654071e-07,7.638878e-07,7.546293e-07,7.440237e-07,7.427625e-07,7.335897e-07,7.233267e-07,7.223098e-07,7.132339e-07,7.033101e-07,7.025235e-07,6.935544e-07,6.839654e-07,6.833953e-07,6.745418e-07,6.652821e-07,6.649151e-07,6.561848e-07,6.472484e-07,6.470713e-07,6.384711e-07,6.298512e-07,6.132411e-07,5.972266e-07,5.817926e-07,5.669236e-07,5.526040e-07,5.388180e-07,5.255496e-07,5.127829e-07,5.005023e-07,4.886921e-07,4.773369e-07,4.664216e-07,4.559312e-07,4.458513e-07,4.361675e-07,4.268660e-07,4.179331e-07,4.093558e-07,4.011212e-07,3.932168e-07,3.856305e-07,3.783507e-07,3.713659e-07,3.646653e-07,3.582380e-07,3.520740e-07,3.461632e-07,3.404960e-07,3.350632e-07,3.298558e-07,3.248653e-07,3.200832e-07,3.155015e-07,3.111126e-07,3.069089e-07,3.028832e-07,2.990287e-07,2.953387e-07,2.918067e-07,2.884266e-07,2.851923e-07,2.820982e-07,2.791388e-07,2.763086e-07,2.736027e-07,2.710161e-07,2.685440e-07,2.661819e-07,2.639255e-07
0.000000e+00,1.171567e-08,5.214110e-07,5.541066e-07,6.863572e-06,3.595369e-05,3.801787e-05,1.163504e-04,2.314250e-04,2.397883e-04,3.904131e-04,5.389440e-04,5.520006e-04,7.144698e-04,8.570217e-04,8.725471e-04,1.023778e-03,1.150385e-03,1.167163e-03,1.302399e-03,1.412197e-03,1.429508e-03,1.548663e-03,1.642779e-03,1.660101e-03,1.764095e-03,1.844017e-03,1.860932e-03,1.950905e-03,2.018140e-03,2.034309e-03,2.111437e-03,2.167424e-03,2.182574e-03,2.248003e-03,2.294079e-03,2.307995e-03,2.362815e-03,2.400202e-03,2.412718e-03,2.457949e-03,2.487756e-03,2.498745e-03,2.535332e-03,2.558556e-03,2.567929e-03,2.596744e-03,2.614280e-03,2.621977e-03,2.643822e-03,2.656471e-03,2.662460e-03,2.678067e-03,2.686543e-03,2.690811e-03,2.700854e-03,2.705791e-03,2.708348e-03,2.713440e-03,2.715401e-03,2.716270e-03,2.716973e-03,2.716456e-03,2.715675e-03,2.712499e-03,2.709943e-03,2.707560e-03,2.700970e-03,2.696761e-03,2.692833e-03,2.683250e-03,2.677727e-03,2.672316e-03,2.660124e-03,2.653583e-03,2.646759e-03,2.632305e-03,2.625003e-03,2.616839e-03,2.600438e-03,2.592598e-03,2.583171e-03,2.565106e-03,2.556922e-03,2.546309e-03,2.526839e-03,2.518475e-03,2.506755e-03,2.486112e-03,2.477710e-03,2.464962e-03,2.443354e-03,2.435033e-03,2.421336e-03,2.398952e-03,2.390813e-03,2.376245e-03,2.353253e-03,2.345378e-03,2.330016e-03,2.306568e-03,2.299026e-03,2.282944e-03,2.259175e-03,2.252020e-03,2.235291e-03,2.211322e-03,2.204599e-03,2.187293e-03,2.163230e-03,2.156971e-03,2.139157e-03,2.115096e-03,2.109326e-03,2.091069e-03,2.067094e-03,2.061828e-03,2.043190e-03,2.019375e-03,2.014624e-03,1.995665e-03,1.972076e-03,1.967844e-03,1.948620e-03,1.925313e-03,1.921598e-03,1.902165e-03,1.879188e-03,1.875985e-03,1.856393e-03,1.833790e-03,1.831091e-03,1.811387e-03,1.789194e-03,1.786987e-03,1.767218e-03,1.745465e-03,1.743734e-03,1.723942e-03,1.702656e-03,1.701386e-03,1.681611e-03,1.660812e-03,1.659985e-03,1.640264e-03,1.619970e-03,1.619567e-03,1.599934e-03,1.580158e-03,1.541781e-03,1.504452e-03,1.468180e-03,1.432972e-03,1.398830e-03,1.365751e-03,1.333730e-03,1.302761e-03,1.272831e-03,1.243929e-03,1.216041e-03,1.189150e-03,1.163238e-03,1.138288e-03,1.114279e-03,1.091191e-03,1.069003e-03,1.047694e-03,1.027241e-03,1.007622e-03,9.888145e-04,9.707964e-04,9.535450e-04,9.370378e-04,9.212523e-04,9.061664e-04,8.917582e-04,8.780060e-04,8.648884e-04,8.523843e-04,8.404731e-04,8.291344e-04,8.183485e-04,8.080957e-04,7.983570e-04,7.891139e-04,7.803481e-04,7.720420e-04,7.641782e-04,7.567400e-04,7.497111e-04,7.430754e-04,7.368176e-04,7.309227e-04,7.253762e-04,7.201638e-04,7.152719e-04,7.106872e-04,7.063970e-04
0.000000e+00,2.052835e-08,7.322548e-07,7.740420e-07,7.946080e-06,4.159288e-05,4.414868e-05,1.611678e-04,4.106342e-04,4.326256e-04,9.262425e-04,1.610216e-03,1.680456e-03,2.700677e-03,3.830417e-03,3.967237e-03,5.444842e-03,6.885378e-03,7.090150e-03,8.857170e-03,1.043976e-02,1.070090e-02,1.257965e-02,1.415758e-02,1.445633e-02,1.629913e-02,1.776626e-02,1.808165e-02,1.978274e-02,2.107391e-02,2.138615e-02,2.288006e-02,2.396405e-02,2.425651e-02,2.551089e-02,2.638138e-02,2.664140e-02,2.764855e-02,2.831575e-02,2.853470e-02,2.930367e-02,2.978752e-02,2.996041e-02,3.051062e-02,3.083572e-02,3.096057e-02,3.131685e-02,3.150906e-02,3.158621e-02,3.177539e-02,3.185955e-02,3.189103e-02,3.193959e-02,3.193834e-02,3.192727e-02,3.185996e-02,3.179308e-02,3.174324e-02,3.158232e-02,3.146659e-02,3.138206e-02,3.114698e-02,3.099632e-02,3.088122e-02,3.058861e-02,3.041433e-02,3.027263e-02,2.993647e-02,2.974759e-02,2.958303e-02,2.921493e-02,2.901852e-02,2.883454e-02,2.844399e-02,2.824552e-02,2.804521e-02,2.763993e-02,2.744355e-02,2.722970e-02,2.681591e-02,2.662471e-02,2.639979e-02,2.598244e-02,2.579868e-02,2.556486e-02,2.514790e-02,2.497316e-02,2.473235e-02,2.431889e-02,2.415422e-02,2.390812e-02,2.350058e-02,2.334666e-02,2.309673e-02,2.269700e-02,2.255417e-02,2.230173e-02,2.191124e-02,2.177961e-02,2.152580e-02,2.114564e-02,2.102514e-02,2.077096e-02,2.040194e-02,2.029236e-02,2.003872e-02,1.968141e-02,1.958244e-02,1.933012e-02,1.898491e-02,1.889617e-02,1.864586e-02,1.831301e-02,1.823405e-02,1.798638e-02,1.766600e-02,1.759636e-02,1.735188e-02,1.704401e-02,1.698318e-02,1.674237e-02,1.644696e-02,1.639445e-02,1.615774e-02,1.587468e-02,1.582996e-02,1.559774e-02,1.532688e-02,1.528944e-02,1.506204e-02,1.480318e-02,1.477252e-02,1.455024e-02,1.430315e-02,1.427876e-02,1.406186e-02,1.382630e-02,1.380770e-02,1.359640e-02,1.337209e-02,1.335881e-02,1.315331e-02,1.293998e-02,1.293155e-02,1.273202e-02,1.252937e-02,1.252537e-02,1.233195e-02,1.213967e-02,1.177388e-02,1.142738e-02,1.109958e-02,1.078989e-02,1.049770e-02,1.022242e-02,9.963460e-03,9.720235e-03,9.492170e-03,9.278694e-03,9.079248e-03,8.893278e-03,8.720242e-03,8.559603e-03,8.410836e-03,8.273424e-03,8.146859e-03,8.030644e-03,7.924290e-03,7.827318e-03,7.739259e-03,7.659653e-03,7.588050e-03,7.524011e-03,7.467107e-03,7.416920e-03,7.373041e-03,7.335073e-03,7.302630e-03,7.275338e-03,7.252834e-03,7.234765e-03,7.220793e-03,7.210590e-03,7.203841e-03,7.200243e-03,7.199506e-03,7.201351e-03,7.205515e-03,7.211745e-03,7.219801e-03,7.229456e-03,7.240495e-03,7.252716e-03,7.265930e-03,7.279959e-03,7.294637e-03,7.309809e-03,7.325334e-03
0.000000e+00,6.203040e-09,2.104776e-07,2.223746e-07,2.276238e-06,1.211529e-05,1.286808e-05,4.725570e-05,1.178893e-04,1.239178e-04,2.519251e-04,4.112602e-04,4.266828e-04,6.351417e-04,8.386950e-04,8.617414e-04,1.092059e-03,1.288509e-03,1.314474e-03,1.520602e-03,1.680692e-03,1.705089e-03,1.865112e-03,1.979947e-03,1.999805e-03,2.109712e-03,2.182367e-03,2.196325e-03,2.261702e-03,2.300286e-03,2.308189e-03,2.338213e-03,2.351730e-03,2.354141e-03,2.358193e-03,2.354580e-03,2.352387e-03,2.338520e-03,2.323999e-03,2.318159e-03,2.292650e-03,2.271744e-03,2.263134e-03,2.230569e-03,2.206388e-03,2.195745e-03,2.159315e-03,2.133898e-03,2.121806e-03,2.083643e-03,2.058265e-03,2.045166e-03,2.006641e-03,1.982060e-03,1.968280e-03,1.930242e-03,1.906877e-03,1.892651e-03,1.855599e-03,1.833655e-03,1.819153e-03,1.783362e-03,1.762916e-03,1.748258e-03,1.713862e-03,1.694915e-03,1.680188e-03,1.647240e-03,1.629750e-03,1.615018e-03,1.583519e-03,1.567423e-03,1.552736e-03,1.522661e-03,1.507885e-03,1.493282e-03,1.464588e-03,1.451056e-03,1.436569e-03,1.409210e-03,1.396844e-03,1.382500e-03,1.356426e-03,1.345151e-03,1.330974e-03,1.306134e-03,1.295880e-03,1.281891e-03,1.258234e-03,1.248933e-03,1.235151e-03,1.212630e-03,1.204216e-03,1.190658e-03,1.169225e-03,1.161638e-03,1.148319e-03,1.127928e-03,1.121111e-03,1.108043e-03,1.088651e-03,1.082548e-03,1.069743e-03,1.051307e-03,1.045868e-03,1.033335e-03,1.015814e-03,1.010989e-03,9.987367e-04,9.820916e-04,9.778336e-04,9.658696e-04,9.500612e-04,9.463277e-04,9.346570e-04,9.196480e-04,9.163981e-04,9.050250e-04,8.907793e-04,8.879747e-04,8.769023e-04,8.633853e-04,8.609898e-04,8.502201e-04,8.373984e-04,8.353783e-04,8.249123e-04,8.127537e-04,8.110772e-04,8.009151e-04,7.893887e-04,7.880262e-04,7.781673e-04,7.672434e-04,7.661671e-04,7.566101e-04,7.462603e-04,7.454443e-04,7.361871e-04,7.263840e-04,7.258042e-04,7.168443e-04,7.075616e-04,7.071956e-04,6.985297e-04,6.897425e-04,6.895692e-04,6.811940e-04,6.728782e-04,6.570775e-04,6.421240e-04,6.279768e-04,6.145964e-04,6.019453e-04,5.899878e-04,5.786896e-04,5.680181e-04,5.579423e-04,5.484324e-04,5.394602e-04,5.309987e-04,5.230221e-04,5.155062e-04,5.084274e-04,5.017637e-04,4.954938e-04,4.895977e-04,4.840560e-04,4.788507e-04,4.739642e-04,4.693801e-04,4.650826e-04,4.610568e-04,4.572883e-04,4.537636e-04,4.504699e-04,4.473948e-04,4.445268e-04,4.418546e-04,4.393677e-04,4.370561e-04,4.349103e-04,4.329211e-04,4.310801e-04,4.293788e-04,4.278097e-04,4.263652e-04,4.250384e-04,4.238225e-04,4.227112e-04,4.216985e-04,4.207786e-04,4.199462e-04,4.191961e-04,4.185233e-04,4.179232e-04,4.173915e-04,4.169239e-04
0.000000e+00,6.233740e-09,7.538433e-08,7.854532e-08,4.494362e-07,1.483637e-06,1.545562e-06,3.512516e-06,5.728520e-06,5.871176e-06,8.180832e-06,1.014350e-05,1.030596e-05,1.222605e-05,1.378440e-05,1.394804e-05,1.548478e-05,1.669478e-05,1.684999e-05,1.805702e-05,1.897823e-05,1.911853e-05,2.004646e-05,2.073091e-05,2.085201e-05,2.154566e-05,2.203783e-05,2.213718e-05,2.263567e-05,2.297315e-05,2.304953e-05,2.338650e-05,2.360059e-05,2.365375e-05,2.385789e-05,2.397457e-05,2.400497e-05,2.410057e-05,2.414119e-05,2.414980e-05,2.415732e-05,2.413932e-05,2.412740e-05,2.406397e-05,2.400156e-05,2.397060e-05,2.385055e-05,2.375520e-05,2.370679e-05,2.354205e-05,2.342305e-05,2.335881e-05,2.315932e-05,2.302407e-05,2.294563e-05,2.271961e-05,2.257405e-05,2.248297e-05,2.223725e-05,2.208605e-05,2.198385e-05,2.172404e-05,2.157088e-05,2.145898e-05,2.118971e-05,2.103744e-05,2.091717e-05,2.064222e-05,2.049302e-05,2.036563e-05,2.008809e-05,1.994361e-05,1.981023e-05,1.953260e-05,1.939403e-05,1.925570e-05,1.898000e-05,1.884820e-05,1.870588e-05,1.843372e-05,1.830926e-05,1.816381e-05,1.789645e-05,1.777968e-05,1.763188e-05,1.737032e-05,1.726141e-05,1.711196e-05,1.685696e-05,1.675593e-05,1.660546e-05,1.635759e-05,1.626437e-05,1.611344e-05,1.587310e-05,1.578753e-05,1.563664e-05,1.540412e-05,1.532597e-05,1.517557e-05,1.495103e-05,1.488003e-05,1.473052e-05,1.451406e-05,1.444990e-05,1.430163e-05,1.409324e-05,1.403562e-05,1.388888e-05,1.368853e-05,1.363710e-05,1.349217e-05,1.329977e-05,1.325418e-05,1.311129e-05,1.292671e-05,1.288662e-05,1.274598e-05,1.256907e-05,1.253414e-05,1.239592e-05,1.222649e-05,1.219639e-05,1.206074e-05,1.189861e-05,1.187300e-05,1.174005e-05,1.158501e-05,1.156358e-05,1.143343e-05,1.128526e-05,1.126771e-05,1.114045e-05,1.099893e-05,1.098496e-05,1.086066e-05,1.072558e-05,1.071491e-05,1.059363e-05,1.046476e-05,1.045713e-05,1.033891e-05,1.021603e-05,1.021117e-05,1.009605e-05,9.978929e-06,9.976615e-06,9.864609e-06,9.753036e-06,9.540016e-06,9.337148e-06,9.144033e-06,8.960282e-06,8.785517e-06,8.619371e-06,8.461489e-06,8.311527e-06,8.169152e-06,8.034043e-06,7.905890e-06,7.784395e-06,7.669269e-06,7.560236e-06,7.457029e-06,7.359391e-06,7.267075e-06,7.179845e-06,7.097471e-06,7.019736e-06,6.946429e-06,6.877347e-06,6.812298e-06,6.751095e-06,6.693560e-06,6.639521e-06,6.588814e-06,6.541282e-06,6.496773e-06,6.455142e-06,6.416252e-06,6.379967e-06,6.346162e-06,6.314714e-06,6.285505e-06,6.258423e-06,6.233362e-06,6.210217e-06,6.188890e-06,6.169288e-06,6.151319e-06,6.134898e-06,6.119941e-06,6.106370e-06,6.094109e-06,6.083085e-06,6.073230e-06,6.064477e-06,6.056763e-06
0.000000e+00,1.881777e-09,2.868866e-08,3.000088e-08,1.891280e-07,6.182083e-07,6.430385e-07,1.395958e-06,2.200150e-06,2.251387e-06,3.082171e-06,3.797474e-06,3.857288e-06,4.572902e-06,5.167531e-06,5.230805e-06,5.833939e-06,6.321872e-06,6.385426e-06,6.888354e-06,7.284318e-06,7.345713e-06,7.760372e-06,8.077697e-06,8.135073e-06,8.472424e-06,8.722918e-06,8.774896e-06,9.044832e-06,9.238842e-06,9.284439e-06,9.495797e-06,9.642311e-06,9.680866e-06,9.841485e-06,9.948271e-06,9.979382e-06,1.009618e-05,1.016993e-05,1.019340e-05,1.027248e-05,1.031893e-05,1.033474e-05,1.038144e-05,1.040551e-05,1.041376e-05,1.043279e-05,1.043867e-05,1.043956e-05,1.043504e-05,1.042631e-05,1.042012e-05,1.039565e-05,1.037534e-05,1.036241e-05,1.032114e-05,1.029182e-05,1.027252e-05,1.021720e-05,1.018104e-05,1.015577e-05,1.008879e-05,1.004761e-05,1.001679e-05,9.940241e-06,9.895563e-06,9.859608e-06,9.775310e-06,9.728404e-06,9.687739e-06,9.597261e-06,9.549178e-06,9.504217e-06,9.408924e-06,9.360526e-06,9.311674e-06,9.212743e-06,9.164734e-06,9.112384e-06,9.010832e-06,8.963778e-06,8.908305e-06,8.805007e-06,8.759359e-06,8.701123e-06,8.596827e-06,8.552939e-06,8.492280e-06,8.387628e-06,8.345769e-06,8.283008e-06,8.178546e-06,8.138916e-06,8.074356e-06,7.970545e-06,7.933285e-06,7.867210e-06,7.764440e-06,7.729642e-06,7.662316e-06,7.560913e-06,7.528627e-06,7.460297e-06,7.360531e-06,7.330775e-06,7.261669e-06,7.163763e-06,7.136526e-06,7.066856e-06,6.970989e-06,6.946239e-06,6.876199e-06,6.782517e-06,6.760201e-06,6.689971e-06,6.598586e-06,6.578639e-06,6.508383e-06,6.419381e-06,6.401726e-06,6.331594e-06,6.245037e-06,6.229588e-06,6.159719e-06,6.075649e-06,6.062314e-06,5.992833e-06,5.911274e-06,5.899956e-06,5.830975e-06,5.751938e-06,5.742538e-06,5.674160e-06,5.597641e-06,5.590058e-06,5.522375e-06,5.448360e-06,5.442493e-06,5.375589e-06,5.304056e-06,5.299803e-06,5.233752e-06,5.164670e-06,5.161932e-06,5.096801e-06,5.030134e-06,5.028813e-06,4.964660e-06,4.900366e-06,4.776504e-06,4.657134e-06,4.542155e-06,4.431463e-06,4.324951e-06,4.222509e-06,4.124026e-06,4.029391e-06,3.938492e-06,3.851218e-06,3.767459e-06,3.687104e-06,3.610045e-06,3.536175e-06,3.465389e-06,3.397585e-06,3.332661e-06,3.270520e-06,3.211065e-06,3.154203e-06,3.099841e-06,3.047892e-06,2.998268e-06,2.950886e-06,2.905663e-06,2.862521e-06,2.821383e-06,2.782174e-06,2.744822e-06,2.709258e-06,2.675412e-06,2.643221e-06,2.612620e-06,2.583547e-06,2.555945e-06,2.529754e-06,2.504921e-06,2.481390e-06,2.459111e-06,2.438033e-06,2.418108e-06,2.399289e-06,2.381530e-06,2.364790e-06,2.349025e-06,2.334194e-06,2.320259e-06,2.307183e-06,2.294927e-06
0.000000e+00,1.785217e-08,5.884693e-07,6.211554e-07,5.985782e-06,2.985102e-05,3.162554e-05,1.099510e-04,2.647362e-04,2.777722e-04,5.512420e-04,8.863657e-04,9.186059e-04,1.352240e-03,1.773655e-03,1.821346e-03,2.298890e-03,2.709436e-03,2.764070e-03,3.202394e-03,3.550811e-03,3.604756e-03,3.966240e-03,4.236861e-03,4.284977e-03,4.561203e-03,4.757088e-03,4.796530e-03,4.993408e-03,5.125175e-03,5.154748e-03,5.283659e-03,5.363713e-03,5.383271e-03,5.456621e-03,5.496583e-03,5.506590e-03,5.535859e-03,5.545649e-03,5.546893e-03,5.541938e-03,5.529621e-03,5.523030e-03,5.492001e-03,5.463956e-03,5.450495e-03,5.399980e-03,5.361158e-03,5.341765e-03,5.277018e-03,5.231213e-03,5.206772e-03,5.131946e-03,5.082034e-03,5.053354e-03,4.971715e-03,4.919852e-03,4.887666e-03,4.801768e-03,4.749550e-03,4.714515e-03,4.626343e-03,4.574934e-03,4.537632e-03,4.448720e-03,4.398951e-03,4.359897e-03,4.271421e-03,4.223867e-03,4.183513e-03,4.096365e-03,4.051405e-03,4.010145e-03,3.924995e-03,3.882860e-03,3.841036e-03,3.758372e-03,3.719180e-03,3.677090e-03,3.597261e-03,3.561045e-03,3.518945e-03,3.442189e-03,3.408920e-03,3.367029e-03,3.293494e-03,3.263099e-03,3.221604e-03,3.151372e-03,3.123745e-03,3.082804e-03,3.015902e-03,2.990915e-03,2.950661e-03,2.887073e-03,2.864584e-03,2.825128e-03,2.764809e-03,2.744669e-03,2.706101e-03,2.648982e-03,2.631036e-03,2.593430e-03,2.539422e-03,2.523517e-03,2.486932e-03,2.435935e-03,2.421919e-03,2.386402e-03,2.338305e-03,2.326032e-03,2.291616e-03,2.246305e-03,2.235632e-03,2.202343e-03,2.159700e-03,2.150492e-03,2.118345e-03,2.078250e-03,2.070379e-03,2.039383e-03,2.001716e-03,1.995061e-03,1.965218e-03,1.929860e-03,1.924307e-03,1.895614e-03,1.862450e-03,1.857892e-03,1.830341e-03,1.799258e-03,1.795596e-03,1.769174e-03,1.740063e-03,1.737204e-03,1.711898e-03,1.684652e-03,1.682511e-03,1.658301e-03,1.632819e-03,1.631318e-03,1.608183e-03,1.584368e-03,1.583432e-03,1.561350e-03,1.539108e-03,1.538671e-03,1.517619e-03,1.496860e-03,1.457833e-03,1.421429e-03,1.387498e-03,1.355896e-03,1.326487e-03,1.299141e-03,1.273737e-03,1.250156e-03,1.228291e-03,1.208037e-03,1.189296e-03,1.171975e-03,1.155987e-03,1.141248e-03,1.127681e-03,1.115211e-03,1.103770e-03,1.093290e-03,1.083712e-03,1.074975e-03,1.067025e-03,1.059810e-03,1.053281e-03,1.047392e-03,1.042100e-03,1.037363e-03,1.033142e-03,1.029403e-03,1.026109e-03,1.023230e-03,1.020735e-03,1.018596e-03,1.016784e-03,1.015277e-03,1.014049e-03,1.013079e-03,1.012346e-03,1.011829e-03,1.011511e-03,1.011375e-03,1.011404e-03,1.011583e-03,1.011898e-03,1.012336e-03,1.012884e-03,1.013530e-03,1.014264e-03,1.015076e-03,1.015957e-03
0.000000e+00,7.469765e-09,1.599081e-07,1.679310e-07,1.189615e-06,3.834303e-06,3.977258e-06,7.897844e-06,1.166371e-05,1.189876e-05,1.568872e-05,1.895149e-05,1.922502e-05,2.250933e-05,2.525783e-05,2.555145e-05,2.836248e-05,3.065383e-05,3.095350e-05,3.333545e-05,3.522489e-05,3.551905e-05,3.751489e-05,3.905386e-05,3.933330e-05,4.098432e-05,4.222010e-05,4.247770e-05,4.382283e-05,4.479825e-05,4.502870e-05,4.610393e-05,4.685721e-05,4.705672e-05,4.789485e-05,4.845970e-05,4.862570e-05,4.925632e-05,4.966237e-05,4.979335e-05,5.024308e-05,5.051615e-05,5.061140e-05,5.090390e-05,5.106636e-05,5.112583e-05,5.128215e-05,5.135337e-05,5.137754e-05,5.141638e-05,5.141307e-05,5.140284e-05,5.134079e-05,5.127733e-05,5.123391e-05,5.108565e-05,5.097437e-05,5.089924e-05,5.067773e-05,5.052917e-05,5.042397e-05,5.014066e-05,4.996380e-05,4.983032e-05,4.949531e-05,4.929777e-05,4.913786e-05,4.876003e-05,4.854823e-05,4.836379e-05,4.795095e-05,4.773029e-05,4.752324e-05,4.708224e-05,4.685723e-05,4.662946e-05,4.616630e-05,4.594068e-05,4.569406e-05,4.521397e-05,4.499081e-05,4.472717e-05,4.423472e-05,4.401651e-05,4.373762e-05,4.323678e-05,4.302552e-05,4.273307e-05,4.222729e-05,4.202457e-05,4.172018e-05,4.121243e-05,4.101945e-05,4.070468e-05,4.019752e-05,4.001519e-05,3.969150e-05,3.918713e-05,3.901610e-05,3.868486e-05,3.818515e-05,3.802584e-05,3.768837e-05,3.719490e-05,3.704755e-05,3.670506e-05,3.621917e-05,3.608386e-05,3.573749e-05,3.526029e-05,3.513698e-05,3.478779e-05,3.432020e-05,3.420873e-05,3.385771e-05,3.340048e-05,3.330061e-05,3.294866e-05,3.250239e-05,3.241381e-05,3.206178e-05,3.162693e-05,3.154928e-05,3.119793e-05,3.077486e-05,3.070773e-05,3.035779e-05,2.994675e-05,2.988969e-05,2.954180e-05,2.914296e-05,2.909551e-05,2.875026e-05,2.836371e-05,2.832539e-05,2.798332e-05,2.760909e-05,2.757942e-05,2.724102e-05,2.687908e-05,2.685756e-05,2.652326e-05,2.617353e-05,2.615967e-05,2.582987e-05,2.549224e-05,2.548555e-05,2.516060e-05,2.483492e-05,2.420744e-05,2.360273e-05,2.302036e-05,2.245988e-05,2.192080e-05,2.140261e-05,2.090479e-05,2.042680e-05,1.996812e-05,1.952819e-05,1.910646e-05,1.870239e-05,1.831543e-05,1.794504e-05,1.759069e-05,1.725185e-05,1.692801e-05,1.661865e-05,1.632327e-05,1.604139e-05,1.577253e-05,1.551622e-05,1.527200e-05,1.503944e-05,1.481809e-05,1.460755e-05,1.440740e-05,1.421724e-05,1.403670e-05,1.386539e-05,1.370296e-05,1.354906e-05,1.340334e-05,1.326548e-05,1.313516e-05,1.301208e-05,1.289593e-05,1.278643e-05,1.268329e-05,1.258626e-05,1.249507e-05,1.240948e-05,1.232923e-05,1.225410e-05,1.218387e-05,1.211831e-05,1.205721e-05,1.200038e-05,1.194762e-05
0.000000e+00,3.070533e-08,6.550597e-07,6.877569e-07,5.375053e-06,2.184111e-05,2.291453e-05,6.000847e-05,1.061263e-04,1.091896e-04,1.597747e-04,2.039059e-04,2.076019e-04,2.518076e-04,2.884666e-04,2.923614e-04,3.294134e-04,3.592712e-04,3.631512e-04,3.937678e-04,4.177473e-04,4.214539e-04,4.463952e-04,4.653559e-04,4.687708e-04,4.887528e-04,5.034673e-04,5.065052e-04,5.221836e-04,5.333322e-04,5.359352e-04,5.478988e-04,5.560738e-04,5.582055e-04,5.669779e-04,5.726895e-04,5.743304e-04,5.803693e-04,5.840520e-04,5.851955e-04,5.889032e-04,5.909298e-04,5.915804e-04,5.933097e-04,5.939981e-04,5.941688e-04,5.942296e-04,5.938497e-04,5.935598e-04,5.922225e-04,5.910034e-04,5.902776e-04,5.877815e-04,5.859180e-04,5.847844e-04,5.813335e-04,5.789852e-04,5.774722e-04,5.732412e-04,5.705410e-04,5.686783e-04,5.638185e-04,5.608767e-04,5.586942e-04,5.533355e-04,5.502427e-04,5.477703e-04,5.420246e-04,5.388554e-04,5.361224e-04,5.300859e-04,5.269008e-04,5.239357e-04,5.176905e-04,5.145379e-04,5.113679e-04,5.049842e-04,5.019026e-04,4.985540e-04,4.920912e-04,4.891108e-04,4.856082e-04,4.791168e-04,4.762606e-04,4.726274e-04,4.661498e-04,4.634349e-04,4.596929e-04,4.532646e-04,4.507030e-04,4.468724e-04,4.405229e-04,4.381226e-04,4.342223e-04,4.279759e-04,4.257415e-04,4.217888e-04,4.156654e-04,4.135987e-04,4.096097e-04,4.036253e-04,4.017258e-04,3.977152e-04,3.918822e-04,3.901477e-04,3.861288e-04,3.804571e-04,3.788839e-04,3.748688e-04,3.693656e-04,3.679489e-04,3.639487e-04,3.586192e-04,3.573532e-04,3.533779e-04,3.482254e-04,3.471039e-04,3.431623e-04,3.381887e-04,3.372048e-04,3.333049e-04,3.285108e-04,3.276574e-04,3.238063e-04,3.191912e-04,3.184610e-04,3.146650e-04,3.102274e-04,3.096132e-04,3.058777e-04,3.016154e-04,3.011098e-04,2.974397e-04,2.933499e-04,2.929456e-04,2.893451e-04,2.854245e-04,2.851144e-04,2.815871e-04,2.778319e-04,2.776092e-04,2.741580e-04,2.705642e-04,2.704221e-04,2.670496e-04,2.636130e-04,2.635450e-04,2.602533e-04,2.569693e-04,2.506860e-04,2.446861e-04,2.389604e-04,2.334997e-04,2.282947e-04,2.233364e-04,2.186156e-04,2.141235e-04,2.098512e-04,2.057902e-04,2.019321e-04,1.982688e-04,1.947921e-04,1.914945e-04,1.883683e-04,1.854064e-04,1.826016e-04,1.799471e-04,1.774365e-04,1.750633e-04,1.728213e-04,1.707049e-04,1.687081e-04,1.668256e-04,1.650522e-04,1.633827e-04,1.618124e-04,1.603366e-04,1.589507e-04,1.576506e-04,1.564320e-04,1.552912e-04,1.542242e-04,1.532274e-04,1.522974e-04,1.514309e-04,1.506246e-04,1.498756e-04,1.491808e-04,1.485375e-04,1.479430e-04,1.473949e-04,1.468905e-04,1.464277e-04,1.460041e-04,1.456176e-04,1.452662e-04,1.449480e-04,1.446611e-04
0.000000e+00,1.186290e-08,2.776513e-07,2.919133e-07,2.454954e-06,1.091754e-05,1.150322e-05,3.386903e-05,6.634487e-05,6.862896e-05,1.073708e-04,1.413539e-04,1.441669e-04,1.771738e-04,2.034733e-04,2.062032e-04,2.315057e-04,2.509567e-04,2.534185e-04,2.722757e-04,2.862871e-04,2.883885e-04,3.020410e-04,3.117975e-04,3.134916e-04,3.229753e-04,3.294338e-04,3.307045e-04,3.368713e-04,3.407968e-04,3.416489e-04,3.451935e-04,3.471931e-04,3.476454e-04,3.491309e-04,3.496838e-04,3.497635e-04,3.496447e-04,3.491270e-04,3.488657e-04,3.475083e-04,3.462141e-04,3.456455e-04,3.433427e-04,3.415006e-04,3.406585e-04,3.376452e-04,3.354321e-04,3.343493e-04,3.308126e-04,3.283646e-04,3.270722e-04,3.231612e-04,3.205823e-04,3.191090e-04,3.149419e-04,3.123109e-04,3.106832e-04,3.063534e-04,3.037292e-04,3.019710e-04,2.975522e-04,2.949783e-04,2.931113e-04,2.886608e-04,2.861687e-04,2.842121e-04,2.797747e-04,2.773864e-04,2.753574e-04,2.709676e-04,2.686980e-04,2.666119e-04,2.622958e-04,2.601542e-04,2.580243e-04,2.538015e-04,2.517930e-04,2.496311e-04,2.455162e-04,2.436426e-04,2.414591e-04,2.374621e-04,2.357230e-04,2.335269e-04,2.296549e-04,2.280478e-04,2.258471e-04,2.221044e-04,2.206257e-04,2.184273e-04,2.148162e-04,2.134613e-04,2.112712e-04,2.077924e-04,2.065562e-04,2.043796e-04,2.010325e-04,1.999094e-04,1.977508e-04,1.945340e-04,1.935183e-04,1.913816e-04,1.882929e-04,1.873786e-04,1.852672e-04,1.823037e-04,1.814850e-04,1.794018e-04,1.765605e-04,1.758315e-04,1.737789e-04,1.710563e-04,1.704115e-04,1.683916e-04,1.657840e-04,1.652179e-04,1.632326e-04,1.607362e-04,1.602435e-04,1.582942e-04,1.559053e-04,1.554809e-04,1.535688e-04,1.512836e-04,1.509226e-04,1.490487e-04,1.468633e-04,1.465613e-04,1.447265e-04,1.426371e-04,1.423896e-04,1.405944e-04,1.385974e-04,1.384002e-04,1.366453e-04,1.347370e-04,1.345862e-04,1.328718e-04,1.310487e-04,1.309407e-04,1.292670e-04,1.275256e-04,1.274568e-04,1.258240e-04,1.241611e-04,1.241282e-04,1.225362e-04,1.209485e-04,1.179116e-04,1.150116e-04,1.122429e-04,1.096000e-04,1.070776e-04,1.046707e-04,1.023744e-04,1.001840e-04,9.809504e-05,9.610321e-05,9.420436e-05,9.239453e-05,9.066990e-05,8.902681e-05,8.746177e-05,8.597142e-05,8.455252e-05,8.320199e-05,8.191688e-05,8.069433e-05,7.953164e-05,7.842619e-05,7.737549e-05,7.637714e-05,7.542884e-05,7.452840e-05,7.367372e-05,7.286277e-05,7.209361e-05,7.136440e-05,7.067337e-05,7.001881e-05,6.939909e-05,6.881265e-05,6.825800e-05,6.773371e-05,6.723841e-05,6.677078e-05,6.632956e-05,6.591355e-05,6.552160e-05,6.515261e-05,6.480550e-05,6.447928e-05,6.417297e-05,6.388564e-05,6.361641e-05,6.336441e-05,6.312885e-05
0.000000e+00,1.264295e-08,4.662214e-07,4.935714e-07,5.534689e-06,3.119597e-05,3.319521e-05,1.265242e-04,3.242982e-04,3.414371e-04,7.128517e-04,1.192616e-03,1.240023e-03,1.897811e-03,2.572840e-03,2.651506e-03,3.466235e-03,4.209293e-03,4.311457e-03,5.162498e-03,5.884549e-03,6.000531e-03,6.811884e-03,7.465795e-03,7.587120e-03,8.320127e-03,8.887100e-03,9.007314e-03,9.646956e-03,1.012414e-02,1.023866e-02,1.078300e-02,1.117544e-02,1.128115e-02,1.173475e-02,1.205085e-02,1.214568e-02,1.251597e-02,1.276505e-02,1.284771e-02,1.314301e-02,1.333424e-02,1.340396e-02,1.363256e-02,1.377440e-02,1.383079e-02,1.400052e-02,1.410057e-02,1.414354e-02,1.426157e-02,1.432656e-02,1.435622e-02,1.442905e-02,1.446487e-02,1.448149e-02,1.451495e-02,1.452674e-02,1.453073e-02,1.453005e-02,1.452223e-02,1.451408e-02,1.448394e-02,1.446037e-02,1.444065e-02,1.438520e-02,1.434918e-02,1.431852e-02,1.424147e-02,1.419585e-02,1.415489e-02,1.405956e-02,1.400677e-02,1.395620e-02,1.384550e-02,1.378761e-02,1.372812e-02,1.360467e-02,1.354343e-02,1.347573e-02,1.334183e-02,1.327872e-02,1.320349e-02,1.306119e-02,1.299744e-02,1.291538e-02,1.276649e-02,1.270312e-02,1.261490e-02,1.246099e-02,1.239886e-02,1.230512e-02,1.214761e-02,1.208739e-02,1.198876e-02,1.182887e-02,1.177110e-02,1.166819e-02,1.150699e-02,1.145211e-02,1.134550e-02,1.118392e-02,1.113224e-02,1.102247e-02,1.086134e-02,1.081309e-02,1.070069e-02,1.054070e-02,1.049604e-02,1.038151e-02,1.022326e-02,1.018228e-02,1.006608e-02,9.910087e-03,9.872839e-03,9.755394e-03,9.602099e-03,9.568571e-03,9.450293e-03,9.300061e-03,9.270210e-03,9.151478e-03,9.004615e-03,8.978367e-03,8.859533e-03,8.716289e-03,8.693544e-03,8.574933e-03,8.435512e-03,8.416149e-03,8.298063e-03,8.162623e-03,8.146506e-03,8.029221e-03,7.897884e-03,7.884864e-03,7.768633e-03,7.641488e-03,7.631408e-03,7.516463e-03,7.393569e-03,7.386263e-03,7.272815e-03,7.154206e-03,7.149507e-03,7.037746e-03,6.923435e-03,6.921171e-03,6.811271e-03,6.701249e-03,6.489702e-03,6.286463e-03,6.091437e-03,5.904513e-03,5.725557e-03,5.554424e-03,5.390954e-03,5.234978e-03,5.086318e-03,4.944790e-03,4.810205e-03,4.682370e-03,4.561088e-03,4.446164e-03,4.337398e-03,4.234594e-03,4.137554e-03,4.046082e-03,3.959986e-03,3.879073e-03,3.803154e-03,3.732044e-03,3.665558e-03,3.603518e-03,3.545748e-03,3.492073e-03,3.442327e-03,3.396342e-03,3.353958e-03,3.315016e-03,3.279364e-03,3.246851e-03,3.217332e-03,3.190663e-03,3.166707e-03,3.145329e-03,3.126398e-03,3.109787e-03,3.095372e-03,3.083035e-03,3.072659e-03,3.064132e-03,3.057344e-03,3.052190e-03,3.048569e-03,3.046382e-03,3.045533e-03,3.045932e-03,3.047488e-03
0.000000e+00,2.104518e-08,5.563627e-07,5.854691e-07,4.980575e-06,2.216209e-05,2.336043e-05,7.068909e-05,1.461955e-04,1.518240e-04,2.530007e-04,3.489314e-04,3.571020e-04,4.550373e-04,5.354318e-04,5.438885e-04,6.233028e-04,6.857330e-04,6.937308e-04,7.558190e-04,8.030513e-04,8.102309e-04,8.576009e-04,8.923871e-04,8.985252e-04,9.335607e-04,9.582606e-04,9.632262e-04,9.880043e-04,1.004610e-03,1.008343e-03,1.024655e-03,1.034832e-03,1.037325e-03,1.046704e-03,1.051833e-03,1.053118e-03,1.056863e-03,1.058079e-03,1.058214e-03,1.057421e-03,1.055652e-03,1.054714e-03,1.050301e-03,1.046300e-03,1.044374e-03,1.037108e-03,1.031484e-03,1.028662e-03,1.019182e-03,1.012423e-03,1.008799e-03,9.976337e-04,9.901279e-04,9.857948e-04,9.733821e-04,9.654378e-04,9.604855e-04,9.471867e-04,9.390453e-04,9.335593e-04,9.196700e-04,9.115182e-04,9.055790e-04,8.913404e-04,8.833208e-04,8.770032e-04,8.626113e-04,8.548309e-04,8.482038e-04,8.338160e-04,8.263526e-04,8.194792e-04,8.052213e-04,7.981298e-04,7.910671e-04,7.770383e-04,7.703549e-04,7.631543e-04,7.494319e-04,7.431779e-04,7.358856e-04,7.225282e-04,7.167137e-04,7.093707e-04,6.964222e-04,6.910482e-04,6.836907e-04,6.711826e-04,6.662431e-04,6.589031e-04,6.468566e-04,6.423407e-04,6.350462e-04,6.234742e-04,6.193671e-04,6.121424e-04,6.010514e-04,5.973354e-04,5.902015e-04,5.795923e-04,5.762480e-04,5.692229e-04,5.590919e-04,5.560989e-04,5.491977e-04,5.395381e-04,5.368751e-04,5.301107e-04,5.209129e-04,5.185587e-04,5.119417e-04,5.031940e-04,5.011274e-04,4.946664e-04,4.863557e-04,4.845560e-04,4.782580e-04,4.703699e-04,4.688170e-04,4.626874e-04,4.552068e-04,4.538814e-04,4.479241e-04,4.408355e-04,4.397190e-04,4.339369e-04,4.272244e-04,4.262993e-04,4.206941e-04,4.143419e-04,4.135914e-04,4.081639e-04,4.021562e-04,4.015647e-04,3.963149e-04,3.906361e-04,3.901887e-04,3.851160e-04,3.797508e-04,3.794337e-04,3.745368e-04,3.694703e-04,3.692707e-04,3.645477e-04,3.597654e-04,3.596711e-04,3.551198e-04,3.506076e-04,3.420537e-04,3.339836e-04,3.263728e-04,3.191977e-04,3.124357e-04,3.060653e-04,3.000656e-04,2.944172e-04,2.891011e-04,2.840995e-04,2.793955e-04,2.749729e-04,2.708163e-04,2.669113e-04,2.632438e-04,2.598009e-04,2.565701e-04,2.535396e-04,2.506983e-04,2.480355e-04,2.455413e-04,2.432061e-04,2.410211e-04,2.389776e-04,2.370677e-04,2.352837e-04,2.336185e-04,2.320652e-04,2.306174e-04,2.292690e-04,2.280143e-04,2.268478e-04,2.257643e-04,2.247591e-04,2.238274e-04,2.229651e-04,2.221679e-04,2.214319e-04,2.207536e-04,2.201295e-04,2.195562e-04,2.190307e-04,2.185501e-04,2.181116e-04,2.177127e-04,2.173508e-04,2.170236e-04,2.167290e-04,2.164649e-04
0.000000e+00,5.433083e-09,2.325753e-07,2.469809e-07,3.106933e-06,1.819305e-05,1.936580e-05,7.262965e-05,1.783710e-04,1.872282e-04,3.721662e-04,5.991070e-04,6.210527e-04,9.191612e-04,1.215223e-03,1.249173e-03,1.594533e-03,1.899826e-03,1.941074e-03,2.277584e-03,2.552574e-03,2.595783e-03,2.890010e-03,3.116042e-03,3.156794e-03,3.394409e-03,3.567179e-03,3.602462e-03,3.781534e-03,3.904757e-03,3.932888e-03,4.058228e-03,4.139199e-03,4.159527e-03,4.238879e-03,4.285813e-03,4.298403e-03,4.340176e-03,4.360831e-03,4.366181e-03,4.378280e-03,4.379352e-03,4.378193e-03,4.367496e-03,4.354466e-03,4.347617e-03,4.319841e-03,4.297034e-03,4.285316e-03,4.245064e-03,4.215804e-03,4.199989e-03,4.150890e-03,4.117682e-03,4.098467e-03,4.043335e-03,4.008031e-03,3.986030e-03,3.927021e-03,3.890968e-03,3.866713e-03,3.805460e-03,3.769622e-03,3.743567e-03,3.681296e-03,3.646345e-03,3.618875e-03,3.556498e-03,3.522893e-03,3.494333e-03,3.432522e-03,3.400560e-03,3.371185e-03,3.310425e-03,3.280289e-03,3.250329e-03,3.190969e-03,3.162756e-03,3.132406e-03,3.074688e-03,3.048433e-03,3.017856e-03,2.961942e-03,2.937638e-03,2.906973e-03,2.852967e-03,2.830575e-03,2.799939e-03,2.747898e-03,2.727360e-03,2.696851e-03,2.646800e-03,2.628042e-03,2.597745e-03,2.549683e-03,2.532623e-03,2.502609e-03,2.456517e-03,2.441068e-03,2.411398e-03,2.367243e-03,2.353316e-03,2.324042e-03,2.281782e-03,2.269285e-03,2.240451e-03,2.200036e-03,2.188883e-03,2.160525e-03,2.121902e-03,2.112004e-03,2.084154e-03,2.047266e-03,2.038539e-03,2.011223e-03,1.976011e-03,1.968374e-03,1.941614e-03,1.908018e-03,1.901393e-03,1.875207e-03,1.843168e-03,1.837481e-03,1.811884e-03,1.781341e-03,1.776522e-03,1.751525e-03,1.722421e-03,1.718402e-03,1.694014e-03,1.666291e-03,1.663009e-03,1.639237e-03,1.612838e-03,1.610234e-03,1.587082e-03,1.561954e-03,1.559970e-03,1.537441e-03,1.513530e-03,1.512114e-03,1.490208e-03,1.467463e-03,1.466565e-03,1.445282e-03,1.423653e-03,1.423226e-03,1.402564e-03,1.382003e-03,1.342807e-03,1.305548e-03,1.270144e-03,1.236514e-03,1.204580e-03,1.174268e-03,1.145505e-03,1.118223e-03,1.092356e-03,1.067840e-03,1.044616e-03,1.022624e-03,1.001808e-03,9.821167e-04,9.634969e-04,9.459002e-04,9.292795e-04,9.135898e-04,8.987879e-04,8.848326e-04,8.716843e-04,8.593053e-04,8.476592e-04,8.367115e-04,8.264289e-04,8.167798e-04,8.077336e-04,7.992613e-04,7.913351e-04,7.839284e-04,7.770157e-04,7.705726e-04,7.645759e-04,7.590031e-04,7.538331e-04,7.490454e-04,7.446204e-04,7.405396e-04,7.367852e-04,7.333400e-04,7.301877e-04,7.273129e-04,7.247005e-04,7.223364e-04,7.202070e-04,7.182992e-04,7.166008e-04,7.150998e-04,7.137849e-04
0.000000e+00,1.612841e-08,3.378716e-07,3.547403e-07,2.793427e-06,1.153938e-05,1.211772e-05,3.264750e-05,5.919296e-05,6.097625e-05,9.048881e-05,1.160992e-04,1.182322e-04,1.435663e-04,1.642964e-04,1.664826e-04,1.871114e-04,2.034979e-04,2.056106e-04,2.221381e-04,2.348872e-04,2.368410e-04,2.498579e-04,2.595865e-04,2.613216e-04,2.713563e-04,2.786001e-04,2.800781e-04,2.875954e-04,2.928097e-04,2.940086e-04,2.994111e-04,3.029793e-04,3.038894e-04,3.075235e-04,3.097666e-04,3.103875e-04,3.125498e-04,3.137355e-04,3.140736e-04,3.150171e-04,3.153675e-04,3.154342e-04,3.153743e-04,3.150732e-04,3.148832e-04,3.140029e-04,3.132018e-04,3.127721e-04,3.112264e-04,3.100497e-04,3.093985e-04,3.073186e-04,3.058681e-04,3.050143e-04,3.025110e-04,3.008694e-04,2.998320e-04,2.969986e-04,2.952327e-04,2.940305e-04,2.909454e-04,2.891091e-04,2.877600e-04,2.844890e-04,2.826252e-04,2.811464e-04,2.777445e-04,2.758869e-04,2.742949e-04,2.708078e-04,2.689829e-04,2.672928e-04,2.637585e-04,2.619866e-04,2.602127e-04,2.566625e-04,2.549587e-04,2.531142e-04,2.495738e-04,2.479493e-04,2.460464e-04,2.425366e-04,2.409991e-04,2.390488e-04,2.355868e-04,2.341412e-04,2.321538e-04,2.287529e-04,2.274021e-04,2.253867e-04,2.220577e-04,2.208028e-04,2.187678e-04,2.155188e-04,2.143595e-04,2.123124e-04,2.091498e-04,2.080847e-04,2.060322e-04,2.029605e-04,2.019874e-04,1.999355e-04,1.969578e-04,1.960739e-04,1.940280e-04,1.911464e-04,1.903482e-04,1.883132e-04,1.855286e-04,1.848126e-04,1.827926e-04,1.801053e-04,1.794675e-04,1.774664e-04,1.748758e-04,1.743123e-04,1.723332e-04,1.698384e-04,1.693452e-04,1.673910e-04,1.649906e-04,1.645635e-04,1.626368e-04,1.603291e-04,1.599641e-04,1.580669e-04,1.558497e-04,1.555429e-04,1.536771e-04,1.515484e-04,1.512958e-04,1.494629e-04,1.474202e-04,1.472183e-04,1.454196e-04,1.434604e-04,1.433054e-04,1.415420e-04,1.396638e-04,1.395524e-04,1.378251e-04,1.360252e-04,1.359540e-04,1.342635e-04,1.325394e-04,1.325053e-04,1.308521e-04,1.292011e-04,1.260364e-04,1.230060e-04,1.201052e-04,1.173289e-04,1.146725e-04,1.121313e-04,1.097007e-04,1.073765e-04,1.051543e-04,1.030299e-04,1.009995e-04,9.905918e-05,9.720518e-05,9.543395e-05,9.374202e-05,9.212609e-05,9.058294e-05,8.910952e-05,8.770286e-05,8.636013e-05,8.507861e-05,8.385567e-05,8.268882e-05,8.157565e-05,8.051384e-05,7.950119e-05,7.853557e-05,7.761494e-05,7.673736e-05,7.590096e-05,7.510395e-05,7.434462e-05,7.362132e-05,7.293247e-05,7.227657e-05,7.165218e-05,7.105792e-05,7.049245e-05,6.995451e-05,6.944290e-05,6.895643e-05,6.849402e-05,6.805457e-05,6.763709e-05,6.724058e-05,6.686412e-05,6.650681e-05,6.616780e-05,6.584625e-05
0.000000e+00,1.871770e-08,4.326685e-07,4.550220e-07,3.411502e-06,1.116955e-05,1.158559e-05,2.289666e-05,3.373609e-05,3.441489e-05,4.541864e-05,5.499736e-05,5.580536e-05,6.557332e-05,7.384882e-05,7.473882e-05,8.332211e-05,9.041094e-05,9.134480e-05,9.882915e-05,1.048524e-04,1.057978e-04,1.122736e-04,1.173489e-04,1.182790e-04,1.238364e-04,1.280742e-04,1.289672e-04,1.336927e-04,1.371951e-04,1.380334e-04,1.420088e-04,1.448681e-04,1.456377e-04,1.489383e-04,1.512378e-04,1.519279e-04,1.546232e-04,1.564376e-04,1.570400e-04,1.591935e-04,1.605891e-04,1.610982e-04,1.627679e-04,1.638039e-04,1.642158e-04,1.654545e-04,1.661834e-04,1.664959e-04,1.673515e-04,1.678198e-04,1.680323e-04,1.685484e-04,1.687969e-04,1.689098e-04,1.691260e-04,1.691909e-04,1.692057e-04,1.691576e-04,1.690707e-04,1.689897e-04,1.687096e-04,1.684987e-04,1.683247e-04,1.678419e-04,1.675313e-04,1.672678e-04,1.666086e-04,1.662194e-04,1.658704e-04,1.650586e-04,1.646092e-04,1.641787e-04,1.632358e-04,1.627422e-04,1.622346e-04,1.611796e-04,1.606555e-04,1.600754e-04,1.589258e-04,1.583828e-04,1.577348e-04,1.565061e-04,1.559544e-04,1.552431e-04,1.539491e-04,1.533971e-04,1.526272e-04,1.512805e-04,1.507354e-04,1.499115e-04,1.485230e-04,1.479907e-04,1.471174e-04,1.456971e-04,1.451825e-04,1.442642e-04,1.428208e-04,1.423280e-04,1.413690e-04,1.399104e-04,1.394425e-04,1.384469e-04,1.369801e-04,1.365396e-04,1.355114e-04,1.340424e-04,1.336312e-04,1.325744e-04,1.311086e-04,1.307281e-04,1.296463e-04,1.281884e-04,1.278393e-04,1.267361e-04,1.252904e-04,1.249732e-04,1.238520e-04,1.224219e-04,1.221369e-04,1.210007e-04,1.195894e-04,1.193364e-04,1.181884e-04,1.167985e-04,1.165771e-04,1.154201e-04,1.140539e-04,1.138636e-04,1.127002e-04,1.113596e-04,1.111996e-04,1.100325e-04,1.087191e-04,1.085885e-04,1.074199e-04,1.061351e-04,1.060330e-04,1.048651e-04,1.036099e-04,1.035351e-04,1.023700e-04,1.011454e-04,1.010967e-04,9.993630e-05,9.874286e-05,9.871915e-05,9.756519e-05,9.640339e-05,9.415013e-05,9.195978e-05,8.983250e-05,8.776823e-05,8.576671e-05,8.382752e-05,8.195010e-05,8.013375e-05,7.837767e-05,7.668097e-05,7.504266e-05,7.346170e-05,7.193697e-05,7.046734e-05,6.905160e-05,6.768856e-05,6.637694e-05,6.511551e-05,6.390299e-05,6.273809e-05,6.161955e-05,6.054609e-05,5.951644e-05,5.852934e-05,5.758356e-05,5.667786e-05,5.581103e-05,5.498186e-05,5.418918e-05,5.343182e-05,5.270865e-05,5.201854e-05,5.136042e-05,5.073320e-05,5.013585e-05,4.956734e-05,4.902668e-05,4.851289e-05,4.802502e-05,4.756216e-05,4.712338e-05,4.670783e-05,4.631464e-05,4.594298e-05,4.559205e-05,4.526105e-05,4.494924e-05,4.465586e-05,4.438020e-05
0.000000e+00,1.416658e-08,5.667302e-07,6.007381e-07,6.942100e-06,3.840742e-05,4.080960e-05,1.483241e-04,3.611116e-04,3.790336e-04,7.580838e-04,1.236517e-03,1.283563e-03,1.936204e-03,2.609533e-03,2.688373e-03,3.510110e-03,4.267924e-03,4.372715e-03,5.250666e-03,6.001470e-03,6.122461e-03,6.970797e-03,7.655423e-03,7.782361e-03,8.547424e-03,9.135333e-03,9.259345e-03,9.914056e-03,1.039525e-02,1.050958e-02,1.104559e-02,1.142292e-02,1.152301e-02,1.194372e-02,1.222707e-02,1.231025e-02,1.262559e-02,1.282790e-02,1.289301e-02,1.311588e-02,1.325069e-02,1.329763e-02,1.344165e-02,1.352177e-02,1.355121e-02,1.362943e-02,1.366624e-02,1.367928e-02,1.370353e-02,1.370678e-02,1.370477e-02,1.368541e-02,1.366322e-02,1.364763e-02,1.359348e-02,1.355250e-02,1.352480e-02,1.344328e-02,1.338884e-02,1.335044e-02,1.324768e-02,1.318403e-02,1.313625e-02,1.301730e-02,1.294778e-02,1.289184e-02,1.276080e-02,1.268801e-02,1.262500e-02,1.248520e-02,1.241115e-02,1.234206e-02,1.219620e-02,1.212241e-02,1.204815e-02,1.189840e-02,1.182605e-02,1.174739e-02,1.159551e-02,1.152545e-02,1.144311e-02,1.129051e-02,1.122337e-02,1.113798e-02,1.098578e-02,1.092201e-02,1.083413e-02,1.068323e-02,1.062312e-02,1.053325e-02,1.038436e-02,1.032810e-02,1.023670e-02,1.009038e-02,1.003805e-02,9.945513e-03,9.802202e-03,9.753845e-03,9.660527e-03,9.520561e-03,9.476144e-03,9.382368e-03,9.246001e-03,9.205454e-03,9.111507e-03,8.978927e-03,8.942151e-03,8.848291e-03,8.719628e-03,8.686502e-03,8.592959e-03,8.468301e-03,8.438683e-03,8.345665e-03,8.225060e-03,8.198800e-03,8.106491e-03,7.989961e-03,7.966899e-03,7.875466e-03,7.763003e-03,7.742975e-03,7.652566e-03,7.544146e-03,7.526985e-03,7.437732e-03,7.333312e-03,7.318852e-03,7.230873e-03,7.130400e-03,7.118474e-03,7.031875e-03,6.935283e-03,6.925729e-03,6.840604e-03,6.747820e-03,6.740479e-03,6.656910e-03,6.567853e-03,6.562568e-03,6.480629e-03,6.395214e-03,6.391835e-03,6.311588e-03,6.229727e-03,6.228107e-03,6.149608e-03,6.071209e-03,5.920959e-03,5.777175e-03,5.639671e-03,5.508262e-03,5.382765e-03,5.262995e-03,5.148770e-03,5.039912e-03,4.936241e-03,4.837585e-03,4.743770e-03,4.654629e-03,4.569996e-03,4.489709e-03,4.413609e-03,4.341541e-03,4.273354e-03,4.208898e-03,4.148030e-03,4.090608e-03,4.036495e-03,3.985556e-03,3.937659e-03,3.892679e-03,3.850489e-03,3.810971e-03,3.774005e-03,3.739477e-03,3.707277e-03,3.677296e-03,3.649429e-03,3.623574e-03,3.599633e-03,3.577509e-03,3.557110e-03,3.538346e-03,3.521129e-03,3.505376e-03,3.491004e-03,3.477936e-03,3.466096e-03,3.455410e-03,3.445808e-03,3.437222e-03,3.429587e-03,3.422839e-03,3.416920e-03,3.411770e-03,3.407336e-03
0.000000e+00,9.375997e-09,3.555834e-07,3.763377e-07,3.990023e-06,2.048744e-05,2.171303e-05,7.540889e-05,1.809460e-04,1.898597e-04,3.790748e-04,6.182935e-04,6.417770e-04,9.660014e-04,1.296452e-03,1.334827e-03,1.730370e-03,2.087358e-03,2.136091e-03,2.537937e-03,2.871828e-03,2.924735e-03,3.288167e-03,3.571129e-03,3.622497e-03,3.924197e-03,4.145986e-03,4.191544e-03,4.424229e-03,4.585903e-03,4.623011e-03,4.789407e-03,4.898011e-03,4.925453e-03,5.033500e-03,5.098431e-03,5.116056e-03,5.175672e-03,5.206494e-03,5.214850e-03,5.235989e-03,5.241311e-03,5.241342e-03,5.232988e-03,5.220010e-03,5.212828e-03,5.182576e-03,5.157031e-03,5.143768e-03,5.097765e-03,5.064052e-03,5.045769e-03,4.988831e-03,4.950225e-03,4.927866e-03,4.863669e-03,4.822548e-03,4.796925e-03,4.728221e-03,4.686270e-03,4.658061e-03,4.586875e-03,4.545263e-03,4.515027e-03,4.442828e-03,4.402342e-03,4.370538e-03,4.298376e-03,4.259529e-03,4.226528e-03,4.155146e-03,4.118256e-03,4.084360e-03,4.014275e-03,3.979524e-03,3.944980e-03,3.876546e-03,3.844021e-03,3.809032e-03,3.742484e-03,3.712208e-03,3.676942e-03,3.612433e-03,3.584383e-03,3.548982e-03,3.486604e-03,3.460729e-03,3.425313e-03,3.365116e-03,3.341345e-03,3.306017e-03,3.248019e-03,3.226267e-03,3.191118e-03,3.135313e-03,3.115491e-03,3.080599e-03,3.026968e-03,3.008979e-03,2.974412e-03,2.922923e-03,2.906670e-03,2.872490e-03,2.823102e-03,2.808488e-03,2.774748e-03,2.727415e-03,2.714343e-03,2.681090e-03,2.635760e-03,2.624136e-03,2.591412e-03,2.548032e-03,2.537763e-03,2.505605e-03,2.464117e-03,2.455114e-03,2.423553e-03,2.383900e-03,2.376077e-03,2.345141e-03,2.307264e-03,2.300538e-03,2.270251e-03,2.234090e-03,2.228382e-03,2.198765e-03,2.164262e-03,2.159496e-03,2.130565e-03,2.097661e-03,2.093765e-03,2.065534e-03,2.034170e-03,2.031075e-03,2.003556e-03,1.973677e-03,1.971318e-03,1.944518e-03,1.916067e-03,1.914382e-03,1.888309e-03,1.861231e-03,1.860162e-03,1.834819e-03,1.809061e-03,1.808553e-03,1.783943e-03,1.759453e-03,1.712763e-03,1.668387e-03,1.626232e-03,1.586207e-03,1.548225e-03,1.512200e-03,1.478051e-03,1.445699e-03,1.415067e-03,1.386083e-03,1.358674e-03,1.332774e-03,1.308316e-03,1.285237e-03,1.263477e-03,1.242975e-03,1.223677e-03,1.205529e-03,1.188477e-03,1.172472e-03,1.157467e-03,1.143414e-03,1.130271e-03,1.117993e-03,1.106540e-03,1.095872e-03,1.085953e-03,1.076746e-03,1.068216e-03,1.060330e-03,1.053055e-03,1.046361e-03,1.040219e-03,1.034600e-03,1.029476e-03,1.024823e-03,1.020615e-03,1.016828e-03,1.013439e-03,1.010426e-03,1.007767e-03,1.005444e-03,1.003436e-03,1.001725e-03,1.000293e-03,9.991227e-04,9.981984e-04,9.975043e-04,9.970256e-04
0.000000e+00,2.718255e-08,6.639409e-07,6.988423e-07,5.610743e-06,2.095174e-05,2.188556e-05,5.150947e-05,8.470929e-05,8.685241e-05,1.218941e-04,1.524473e-04,1.550179e-04,1.859741e-04,2.120015e-04,2.147887e-04,2.415452e-04,2.634642e-04,2.663390e-04,2.892630e-04,3.075519e-04,3.104087e-04,3.298673e-04,3.449735e-04,3.477272e-04,3.640740e-04,3.764069e-04,3.789897e-04,3.925531e-04,4.024808e-04,4.048395e-04,4.159211e-04,4.237727e-04,4.258667e-04,4.347420e-04,4.408099e-04,4.426095e-04,4.495288e-04,4.540721e-04,4.555566e-04,4.607470e-04,4.639943e-04,4.651511e-04,4.688178e-04,4.709706e-04,4.717933e-04,4.741217e-04,4.753568e-04,4.758448e-04,4.770020e-04,4.774742e-04,4.776311e-04,4.777676e-04,4.776121e-04,4.774453e-04,4.766962e-04,4.760308e-04,4.755507e-04,4.740374e-04,4.729642e-04,4.721834e-04,4.700145e-04,4.686219e-04,4.675550e-04,4.648278e-04,4.631918e-04,4.618546e-04,4.586559e-04,4.568418e-04,4.552511e-04,4.516585e-04,4.497218e-04,4.478952e-04,4.439775e-04,4.419655e-04,4.399207e-04,4.357391e-04,4.336917e-04,4.314465e-04,4.270554e-04,4.250059e-04,4.225780e-04,4.180255e-04,4.160013e-04,4.134084e-04,4.087367e-04,4.067605e-04,4.040196e-04,3.992660e-04,3.973562e-04,3.944840e-04,3.896811e-04,3.878521e-04,3.848646e-04,3.800411e-04,3.783041e-04,3.752168e-04,3.703974e-04,3.687609e-04,3.655883e-04,3.607946e-04,3.592647e-04,3.560209e-04,3.512714e-04,3.498519e-04,3.465502e-04,3.418608e-04,3.405539e-04,3.372066e-04,3.325909e-04,3.313974e-04,3.280163e-04,3.234854e-04,3.224048e-04,3.190008e-04,3.145644e-04,3.135951e-04,3.101783e-04,3.058442e-04,3.049838e-04,3.015637e-04,2.973382e-04,2.965835e-04,2.931689e-04,2.890569e-04,2.884044e-04,2.850032e-04,2.810087e-04,2.804542e-04,2.770739e-04,2.731995e-04,2.727386e-04,2.693859e-04,2.656335e-04,2.652616e-04,2.619426e-04,2.583134e-04,2.580257e-04,2.547459e-04,2.512401e-04,2.510318e-04,2.477961e-04,2.444137e-04,2.442797e-04,2.410927e-04,2.378328e-04,2.377683e-04,2.346339e-04,2.314954e-04,2.254583e-04,2.196533e-04,2.140764e-04,2.087230e-04,2.035882e-04,1.986669e-04,1.939534e-04,1.894422e-04,1.851274e-04,1.810031e-04,1.770633e-04,1.733020e-04,1.697132e-04,1.662909e-04,1.630293e-04,1.599224e-04,1.569645e-04,1.541499e-04,1.514730e-04,1.489285e-04,1.465110e-04,1.442153e-04,1.420363e-04,1.399693e-04,1.380093e-04,1.361519e-04,1.343925e-04,1.327268e-04,1.311507e-04,1.296601e-04,1.282511e-04,1.269200e-04,1.256632e-04,1.244773e-04,1.233588e-04,1.223046e-04,1.213116e-04,1.203769e-04,1.194976e-04,1.186710e-04,1.178945e-04,1.171656e-04,1.164819e-04,1.158412e-04,1.152412e-04,1.146799e-04,1.141552e-04,1.136653e-04,1.132083e-04
0.000000e+00,1.761803e-08,3.874340e-07,4.064112e-07,3.048833e-06,1.244542e-05,1.307397e-05,3.631950e-05,6.930236e-05,7.161429e-05,1.105484e-04,1.437610e-04,1.464497e-04,1.771242e-04,2.002268e-04,2.025477e-04,2.232849e-04,2.381645e-04,2.399734e-04,2.531987e-04,2.621960e-04,2.634743e-04,2.712450e-04,2.761182e-04,2.768935e-04,2.807489e-04,2.827715e-04,2.830933e-04,2.841682e-04,2.842539e-04,2.841802e-04,2.833055e-04,2.821052e-04,2.816945e-04,2.794754e-04,2.774498e-04,2.767571e-04,2.736326e-04,2.711056e-04,2.701805e-04,2.664678e-04,2.636654e-04,2.625511e-04,2.584786e-04,2.555570e-04,2.542907e-04,2.500217e-04,2.470874e-04,2.457004e-04,2.413511e-04,2.384751e-04,2.369940e-04,2.326462e-04,2.298751e-04,2.283219e-04,2.240328e-04,2.213956e-04,2.197887e-04,2.155976e-04,2.131112e-04,2.114661e-04,2.073995e-04,2.050723e-04,2.034018e-04,1.994760e-04,1.973100e-04,1.956247e-04,1.918495e-04,1.898430e-04,1.881516e-04,1.845321e-04,1.826810e-04,1.809911e-04,1.775287e-04,1.758268e-04,1.741444e-04,1.708380e-04,1.692783e-04,1.676086e-04,1.644554e-04,1.630303e-04,1.613775e-04,1.583738e-04,1.570753e-04,1.554431e-04,1.525842e-04,1.514046e-04,1.497959e-04,1.470768e-04,1.460083e-04,1.444257e-04,1.418411e-04,1.408762e-04,1.393218e-04,1.368663e-04,1.359976e-04,1.344732e-04,1.321413e-04,1.313622e-04,1.298692e-04,1.276555e-04,1.269592e-04,1.254989e-04,1.233981e-04,1.227786e-04,1.213518e-04,1.193588e-04,1.188101e-04,1.174178e-04,1.155275e-04,1.150441e-04,1.136867e-04,1.118943e-04,1.114712e-04,1.101491e-04,1.084500e-04,1.080822e-04,1.067958e-04,1.051855e-04,1.048686e-04,1.036179e-04,1.020921e-04,1.018218e-04,1.006069e-04,9.916148e-05,9.893383e-05,9.775476e-05,9.638580e-05,9.619711e-05,9.505366e-05,9.375742e-05,9.360424e-05,9.249619e-05,9.126909e-05,9.114823e-05,9.007527e-05,8.891390e-05,8.882236e-05,8.778415e-05,8.668523e-05,8.662026e-05,8.561637e-05,8.457681e-05,8.453582e-05,8.356579e-05,8.258261e-05,8.256323e-05,8.162656e-05,8.069693e-05,7.893164e-05,7.726232e-05,7.568416e-05,7.419259e-05,7.278326e-05,7.145200e-05,7.019487e-05,6.900811e-05,6.788814e-05,6.683154e-05,6.583507e-05,6.489564e-05,6.401031e-05,6.317629e-05,6.239093e-05,6.165168e-05,6.095615e-05,6.030205e-05,5.968720e-05,5.910954e-05,5.856710e-05,5.805802e-05,5.758051e-05,5.713290e-05,5.671358e-05,5.632102e-05,5.595378e-05,5.561050e-05,5.528985e-05,5.499062e-05,5.471161e-05,5.445172e-05,5.420988e-05,5.398510e-05,5.377641e-05,5.358292e-05,5.340376e-05,5.323812e-05,5.308523e-05,5.294437e-05,5.281483e-05,5.269595e-05,5.258713e-05,5.248776e-05,5.239728e-05,5.231518e-05,5.224094e-05,5.217409e-05,5.211418e-05
0.000000e+00,1.705563e-08,5.656359e-07,5.973271e-07,5.985075e-06,3.152471e-05,3.347925e-05,1.235505e-04,3.126550e-04,3.289752e-04,6.791680e-04,1.119959e-03,1.162771e-03,1.743134e-03,2.313142e-03,2.377949e-03,3.030046e-03,3.595430e-03,3.671039e-03,4.281320e-03,4.772063e-03,4.848591e-03,5.366111e-03,5.760252e-03,5.831088e-03,6.243411e-03,6.543313e-03,6.604683e-03,6.917550e-03,7.135141e-03,7.185225e-03,7.411177e-03,7.560717e-03,7.598920e-03,7.751892e-03,7.846922e-03,7.873374e-03,7.966450e-03,8.018731e-03,8.033984e-03,8.078620e-03,8.097950e-03,8.102783e-03,8.108687e-03,8.103042e-03,8.098347e-03,8.073596e-03,8.049390e-03,8.036099e-03,7.987363e-03,7.949711e-03,7.928755e-03,7.861509e-03,7.814458e-03,7.786740e-03,7.705457e-03,7.652191e-03,7.618566e-03,7.526887e-03,7.469891e-03,7.431158e-03,7.332046e-03,7.273249e-03,7.230148e-03,7.126003e-03,7.066882e-03,7.020093e-03,6.912853e-03,6.854528e-03,6.804670e-03,6.695894e-03,6.639200e-03,6.586834e-03,6.477769e-03,6.423312e-03,6.368945e-03,6.260582e-03,6.208790e-03,6.152875e-03,6.045996e-03,5.997152e-03,5.940096e-03,5.835309e-03,5.789585e-03,5.731750e-03,5.629521e-03,5.587003e-03,5.528710e-03,5.429392e-03,5.390097e-03,5.331630e-03,5.235479e-03,5.199373e-03,5.140983e-03,5.048178e-03,5.015189e-03,4.957095e-03,4.867756e-03,4.837781e-03,4.780177e-03,4.694369e-03,4.667286e-03,4.610340e-03,4.528091e-03,4.503763e-03,4.447620e-03,4.368922e-03,4.347203e-03,4.291988e-03,4.216809e-03,4.197548e-03,4.143370e-03,4.071657e-03,4.054701e-03,4.001651e-03,3.933335e-03,3.918530e-03,3.866687e-03,3.801686e-03,3.788882e-03,3.738310e-03,3.676535e-03,3.665583e-03,3.616336e-03,3.557689e-03,3.548448e-03,3.500568e-03,3.444948e-03,3.437279e-03,3.390802e-03,3.338104e-03,3.331876e-03,3.286827e-03,3.236945e-03,3.232032e-03,3.188430e-03,3.141257e-03,3.137540e-03,3.095398e-03,3.050827e-03,3.048193e-03,3.007518e-03,2.965444e-03,2.963786e-03,2.924579e-03,2.884898e-03,2.884116e-03,2.846375e-03,2.808985e-03,2.738196e-03,2.671561e-03,2.608893e-03,2.550014e-03,2.494749e-03,2.442930e-03,2.394393e-03,2.348982e-03,2.306544e-03,2.266933e-03,2.230009e-03,2.195635e-03,2.163682e-03,2.134025e-03,2.106542e-03,2.081118e-03,2.057644e-03,2.036011e-03,2.016119e-03,1.997869e-03,1.981167e-03,1.965925e-03,1.952056e-03,1.939478e-03,1.928113e-03,1.917885e-03,1.908722e-03,1.900557e-03,1.893324e-03,1.886960e-03,1.881406e-03,1.876606e-03,1.872505e-03,1.869053e-03,1.866200e-03,1.863901e-03,1.862112e-03,1.860792e-03,1.859900e-03,1.859400e-03,1.859257e-03,1.859438e-03,1.859911e-03,1.860647e-03,1.861619e-03,1.862800e-03,1.864167e-03,1.865696e-03,1.867366e-03
0.000000e+00,8.134614e-10,7.502614e-09,7.769790e-09,3.401994e-08,9.708363e-08,1.007962e-07,2.255766e-07,3.963732e-07,4.087563e-07,6.330313e-07,8.545165e-07,8.738579e-07,1.111059e-06,1.312377e-06,1.333868e-06,1.538532e-06,1.703148e-06,1.724490e-06,1.892327e-06,2.022896e-06,2.042995e-06,2.177552e-06,2.278908e-06,2.297061e-06,2.402560e-06,2.479315e-06,2.495045e-06,2.575464e-06,2.631717e-06,2.644715e-06,2.703646e-06,2.742962e-06,2.753053e-06,2.793683e-06,2.819125e-06,2.826237e-06,2.851370e-06,2.865552e-06,2.869694e-06,2.881780e-06,2.886920e-06,2.888161e-06,2.889336e-06,2.887308e-06,2.885765e-06,2.877881e-06,2.870261e-06,2.866084e-06,2.850745e-06,2.838852e-06,2.832212e-06,2.810805e-06,2.795735e-06,2.786822e-06,2.760540e-06,2.743202e-06,2.732213e-06,2.702079e-06,2.683223e-06,2.670357e-06,2.637249e-06,2.617485e-06,2.602942e-06,2.567608e-06,2.547433e-06,2.531407e-06,2.494484e-06,2.474294e-06,2.456975e-06,2.419002e-06,2.399111e-06,2.380680e-06,2.342111e-06,2.322765e-06,2.303392e-06,2.264608e-06,2.245992e-06,2.225839e-06,2.187157e-06,2.169411e-06,2.148627e-06,2.110309e-06,2.093530e-06,2.072256e-06,2.034516e-06,2.018769e-06,1.997132e-06,1.960144e-06,1.945468e-06,1.923586e-06,1.887488e-06,1.873897e-06,1.851877e-06,1.816777e-06,1.804271e-06,1.782209e-06,1.748190e-06,1.736752e-06,1.714736e-06,1.681858e-06,1.671461e-06,1.649568e-06,1.617874e-06,1.608483e-06,1.586782e-06,1.556297e-06,1.547871e-06,1.526423e-06,1.497161e-06,1.489653e-06,1.468511e-06,1.440474e-06,1.433836e-06,1.413046e-06,1.386226e-06,1.380407e-06,1.360009e-06,1.334391e-06,1.329339e-06,1.309367e-06,1.284931e-06,1.280595e-06,1.261077e-06,1.237796e-06,1.234124e-06,1.215083e-06,1.192929e-06,1.189872e-06,1.171326e-06,1.150265e-06,1.147774e-06,1.129738e-06,1.109735e-06,1.107764e-06,1.090248e-06,1.071268e-06,1.069771e-06,1.052784e-06,1.034787e-06,1.033722e-06,1.017268e-06,1.000217e-06,9.995441e-07,9.836237e-07,9.674795e-07,9.671612e-07,9.517744e-07,9.364987e-07,9.074826e-07,8.800393e-07,8.540970e-07,8.295854e-07,8.064360e-07,7.845823e-07,7.639600e-07,7.445068e-07,7.261630e-07,7.088709e-07,6.925756e-07,6.772241e-07,6.627658e-07,6.491527e-07,6.363385e-07,6.242796e-07,6.129341e-07,6.022623e-07,5.922266e-07,5.827913e-07,5.739223e-07,5.655875e-07,5.577564e-07,5.504002e-07,5.434916e-07,5.370047e-07,5.309152e-07,5.251999e-07,5.198372e-07,5.148063e-07,5.100880e-07,5.056639e-07,5.015167e-07,4.976301e-07,4.939887e-07,4.905781e-07,4.873846e-07,4.843953e-07,4.815981e-07,4.789816e-07,4.765350e-07,4.742483e-07,4.721118e-07,4.701166e-07,4.682543e-07,4.665169e-07,4.648969e-07,4.633873e-07,4.619814e-07
0.000000e+00,9.515626e-09,4.062926e-07,4.315646e-07,5.327796e-06,2.890319e-05,3.063418e-05,1.005537e-04,2.121828e-04,2.205345e-04,3.739581e-04,5.282909e-04,5.419268e-04,7.120068e-04,8.614237e-04,8.776921e-04,1.036046e-03,1.168420e-03,1.185949e-03,1.327122e-03,1.441613e-03,1.459656e-03,1.583792e-03,1.681797e-03,1.699833e-03,1.808103e-03,1.891319e-03,1.908934e-03,2.002653e-03,2.072725e-03,2.089583e-03,2.170037e-03,2.228492e-03,2.244319e-03,2.312724e-03,2.360955e-03,2.375533e-03,2.433021e-03,2.472289e-03,2.485447e-03,2.533065e-03,2.564507e-03,2.576114e-03,2.614826e-03,2.639463e-03,2.649422e-03,2.680114e-03,2.698859e-03,2.707106e-03,2.730590e-03,2.744259e-03,2.750753e-03,2.767773e-03,2.777095e-03,2.781820e-03,2.793056e-03,2.798679e-03,2.801636e-03,2.807709e-03,2.810208e-03,2.811416e-03,2.812893e-03,2.812780e-03,2.812270e-03,2.809669e-03,2.807393e-03,2.805209e-03,2.799002e-03,2.794962e-03,2.791156e-03,2.781772e-03,2.776318e-03,2.770949e-03,2.758779e-03,2.752217e-03,2.745351e-03,2.730751e-03,2.723350e-03,2.715058e-03,2.698349e-03,2.690342e-03,2.680697e-03,2.662172e-03,2.653762e-03,2.642840e-03,2.622765e-03,2.614126e-03,2.602005e-03,2.580619e-03,2.571901e-03,2.558659e-03,2.536179e-03,2.527510e-03,2.513226e-03,2.489846e-03,2.481334e-03,2.466085e-03,2.441984e-03,2.433719e-03,2.417582e-03,2.392917e-03,2.384974e-03,2.368024e-03,2.342938e-03,2.335379e-03,2.317690e-03,2.292310e-03,2.285184e-03,2.266827e-03,2.241268e-03,2.234613e-03,2.215658e-03,2.190021e-03,2.183867e-03,2.164380e-03,2.138757e-03,2.133124e-03,2.113170e-03,2.087640e-03,2.082542e-03,2.062183e-03,2.036817e-03,2.032262e-03,2.011557e-03,1.986418e-03,1.982408e-03,1.961414e-03,1.936556e-03,1.933089e-03,1.911858e-03,1.887330e-03,1.884399e-03,1.862983e-03,1.838826e-03,1.836422e-03,1.814869e-03,1.791119e-03,1.789228e-03,1.767584e-03,1.744271e-03,1.742880e-03,1.721187e-03,1.698337e-03,1.697428e-03,1.675727e-03,1.653361e-03,1.652916e-03,1.631245e-03,1.609381e-03,1.566851e-03,1.525349e-03,1.484893e-03,1.445495e-03,1.407162e-03,1.369899e-03,1.333707e-03,1.298582e-03,1.264519e-03,1.231510e-03,1.199545e-03,1.168611e-03,1.138696e-03,1.109784e-03,1.081858e-03,1.054901e-03,1.028896e-03,1.003822e-03,9.796603e-04,9.563909e-04,9.339932e-04,9.124465e-04,8.917299e-04,8.718224e-04,8.527030e-04,8.343506e-04,8.167443e-04,7.998634e-04,7.836871e-04,7.681952e-04,7.533675e-04,7.391841e-04,7.256253e-04,7.126720e-04,7.003052e-04,6.885064e-04,6.772571e-04,6.665397e-04,6.563366e-04,6.466306e-04,6.374051e-04,6.286436e-04,6.203304e-04,6.124497e-04,6.049865e-04,5.979259e-04,5.912536e-04,5.849554e-04,5.790178e-04
0.000000e+00,2.283523e-10,2.759110e-09,2.875891e-09,1.683807e-08,5.760680e-08,6.013479e-08,1.465477e-07,2.580607e-07,2.656149e-07,3.901419e-07,4.951431e-07,5.036914e-07,6.024648e-07,6.790962e-07,6.869379e-07,7.585035e-07,8.119758e-07,8.186342e-07,8.686977e-07,9.046417e-07,9.099236e-07,9.434067e-07,9.662626e-07,9.701181e-07,9.909173e-07,1.004097e-06,1.006564e-06,1.017728e-06,1.023832e-06,1.025001e-06,1.028902e-06,1.029902e-06,1.029890e-06,1.028367e-06,1.025748e-06,1.024685e-06,1.019155e-06,1.014034e-06,1.012049e-06,1.003605e-06,9.968149e-07,9.940314e-07,9.835113e-07,9.756702e-07,9.722041e-07,9.602496e-07,9.518136e-07,9.477696e-07,9.348704e-07,9.261727e-07,9.216445e-07,9.081724e-07,8.994539e-07,8.945244e-07,8.807609e-07,8.721927e-07,8.669341e-07,8.530898e-07,8.447915e-07,8.392675e-07,8.255011e-07,8.175536e-07,8.118190e-07,7.982457e-07,7.907001e-07,7.848022e-07,7.715067e-07,7.643941e-07,7.583743e-07,7.454174e-07,7.387526e-07,7.326461e-07,7.200687e-07,7.138549e-07,7.076920e-07,6.955213e-07,6.897537e-07,6.835605e-07,6.718124e-07,6.664802e-07,6.602788e-07,6.489608e-07,6.440494e-07,6.378590e-07,6.269730e-07,6.224651e-07,6.163022e-07,6.058454e-07,6.017222e-07,5.956010e-07,5.855672e-07,5.818091e-07,5.757417e-07,5.661223e-07,5.627092e-07,5.567062e-07,5.474908e-07,5.444027e-07,5.384731e-07,5.296501e-07,5.268674e-07,5.210188e-07,5.125760e-07,5.100794e-07,5.043185e-07,4.962431e-07,4.940142e-07,4.883465e-07,4.806255e-07,4.786463e-07,4.730767e-07,4.656970e-07,4.639507e-07,4.584831e-07,4.514317e-07,4.499019e-07,4.445397e-07,4.378039e-07,4.364752e-07,4.312212e-07,4.247884e-07,4.236462e-07,4.185025e-07,4.123605e-07,4.113909e-07,4.063594e-07,4.004963e-07,3.996864e-07,3.947684e-07,3.891726e-07,3.885099e-07,3.837064e-07,3.783669e-07,3.778399e-07,3.731515e-07,3.680575e-07,3.676551e-07,3.630823e-07,3.582234e-07,3.579355e-07,3.534782e-07,3.488444e-07,3.486613e-07,3.443195e-07,3.399012e-07,3.398139e-07,3.355871e-07,3.313750e-07,3.233273e-07,3.156541e-07,3.083392e-07,3.013674e-07,2.947238e-07,2.883943e-07,2.823651e-07,2.766234e-07,2.711565e-07,2.659525e-07,2.609998e-07,2.562876e-07,2.518051e-07,2.475423e-07,2.434895e-07,2.396374e-07,2.359771e-07,2.325001e-07,2.291982e-07,2.260636e-07,2.230888e-07,2.202667e-07,2.175903e-07,2.150531e-07,2.126489e-07,2.103715e-07,2.082152e-07,2.061744e-07,2.042440e-07,2.024188e-07,2.006940e-07,1.990649e-07,1.975271e-07,1.960764e-07,1.947088e-07,1.934202e-07,1.922071e-07,1.910658e-07,1.899930e-07,1.889854e-07,1.880399e-07,1.871535e-07,1.863233e-07,1.855468e-07,1.848211e-07,1.841440e-07,1.835130e-07,1.829257e-07,1.823802e-07
0.000000e+00,5.334388e-08,9.555614e-07,9.983938e-07,6.267157e-06,2.289602e-05,2.397721e-05,6.394898e-05,1.240749e-04,1.285075e-04,2.080941e-04,2.842834e-04,2.908440e-04,3.708506e-04,4.390412e-04,4.463783e-04,5.170908e-04,5.753594e-04,5.830229e-04,6.443097e-04,6.934281e-04,7.011185e-04,7.536313e-04,7.945604e-04,8.020373e-04,8.465280e-04,8.802233e-04,8.872950e-04,9.245273e-04,9.518923e-04,9.584094e-04,9.891208e-04,1.010986e-03,1.016835e-03,1.041718e-03,1.058836e-03,1.063932e-03,1.083628e-03,1.096670e-03,1.100955e-03,1.116051e-03,1.125615e-03,1.129052e-03,1.140083e-03,1.146699e-03,1.149267e-03,1.156718e-03,1.160852e-03,1.162547e-03,1.166858e-03,1.168920e-03,1.169751e-03,1.171318e-03,1.171667e-03,1.171650e-03,1.170831e-03,1.169780e-03,1.168941e-03,1.166058e-03,1.163881e-03,1.162252e-03,1.157593e-03,1.154526e-03,1.152145e-03,1.145970e-03,1.142216e-03,1.139125e-03,1.131665e-03,1.127399e-03,1.123641e-03,1.115103e-03,1.110476e-03,1.106097e-03,1.096667e-03,1.091805e-03,1.086853e-03,1.076693e-03,1.071705e-03,1.066225e-03,1.055484e-03,1.050459e-03,1.044500e-03,1.033304e-03,1.028319e-03,1.021926e-03,1.010391e-03,1.005507e-03,9.987260e-04,9.869531e-04,9.822189e-04,9.750950e-04,9.631722e-04,9.586287e-04,9.512043e-04,9.392093e-04,9.348877e-04,9.272041e-04,9.152044e-04,9.111284e-04,9.032250e-04,8.912795e-04,8.874662e-04,8.793806e-04,8.675400e-04,8.640009e-04,8.557688e-04,8.440768e-04,8.408186e-04,8.324735e-04,8.209675e-04,8.179929e-04,8.095666e-04,7.982781e-04,7.955863e-04,7.871086e-04,7.760640e-04,7.736516e-04,7.651500e-04,7.543714e-04,7.522323e-04,7.437327e-04,7.332379e-04,7.313644e-04,7.228906e-04,7.126939e-04,7.110766e-04,7.026507e-04,6.927633e-04,6.913916e-04,6.830338e-04,6.734640e-04,6.723265e-04,6.640554e-04,6.548091e-04,6.538934e-04,6.457260e-04,6.368068e-04,6.361004e-04,6.280520e-04,6.194618e-04,6.189516e-04,6.110361e-04,6.027749e-04,6.024479e-04,5.946778e-04,5.867443e-04,5.865873e-04,5.789737e-04,5.713653e-04,5.567754e-04,5.428089e-04,5.294559e-04,5.167048e-04,5.045433e-04,4.929579e-04,4.819344e-04,4.714580e-04,4.615135e-04,4.520852e-04,4.431573e-04,4.347137e-04,4.267382e-04,4.192149e-04,4.121277e-04,4.054607e-04,3.991980e-04,3.933242e-04,3.878238e-04,3.826819e-04,3.778835e-04,3.734143e-04,3.692600e-04,3.654068e-04,3.618413e-04,3.585501e-04,3.555207e-04,3.527405e-04,3.501974e-04,3.478798e-04,3.457763e-04,3.438759e-04,3.421680e-04,3.406424e-04,3.392890e-04,3.380984e-04,3.370613e-04,3.361687e-04,3.354122e-04,3.347834e-04,3.342745e-04,3.338778e-04,3.335860e-04,3.333921e-04,3.332894e-04,3.332714e-04,3.333319e-04,3.334651e-04,3.336653e-04
0.000000e+00,1.085901e-08,2.962283e-07,3.115707e-07,2.610688e-06,1.221016e-05,1.291672e-05,4.421526e-05,1.076375e-04,1.130640e-04,2.284975e-04,3.701806e-04,3.836652e-04,5.609586e-04,7.249162e-04,7.429392e-04,9.177750e-04,1.060648e-03,1.079203e-03,1.224708e-03,1.336750e-03,1.353863e-03,1.467269e-03,1.551110e-03,1.565960e-03,1.651119e-03,1.711687e-03,1.723935e-03,1.785545e-03,1.827484e-03,1.837016e-03,1.879329e-03,1.906561e-03,1.913389e-03,1.940024e-03,1.955767e-03,1.959989e-03,1.973972e-03,1.980840e-03,1.982602e-03,1.986449e-03,1.986550e-03,1.986032e-03,1.981822e-03,1.976850e-03,1.974248e-03,1.963697e-03,1.955002e-03,1.950520e-03,1.935037e-03,1.923696e-03,1.917536e-03,1.898278e-03,1.885141e-03,1.877499e-03,1.855413e-03,1.841148e-03,1.832212e-03,1.808069e-03,1.793198e-03,1.783143e-03,1.757574e-03,1.742499e-03,1.731488e-03,1.705001e-03,1.690032e-03,1.678216e-03,1.651223e-03,1.636590e-03,1.624105e-03,1.596936e-03,1.582810e-03,1.569782e-03,1.542701e-03,1.529204e-03,1.515745e-03,1.488960e-03,1.476176e-03,1.462386e-03,1.436060e-03,1.424042e-03,1.410012e-03,1.384271e-03,1.373048e-03,1.358859e-03,1.333797e-03,1.323380e-03,1.309103e-03,1.284791e-03,1.275176e-03,1.260874e-03,1.237362e-03,1.228536e-03,1.214263e-03,1.191584e-03,1.183524e-03,1.169330e-03,1.147504e-03,1.140181e-03,1.126108e-03,1.105143e-03,1.098525e-03,1.084610e-03,1.064507e-03,1.058560e-03,1.044833e-03,1.025585e-03,1.020271e-03,1.006760e-03,9.883552e-04,9.836382e-04,9.703658e-04,9.527873e-04,9.486291e-04,9.356149e-04,9.188433e-04,9.152068e-04,9.024670e-04,8.864801e-04,8.833290e-04,8.708769e-04,8.556511e-04,8.529501e-04,8.407965e-04,8.263066e-04,8.240217e-04,8.121751e-04,7.983954e-04,7.964939e-04,7.849608e-04,7.718649e-04,7.703159e-04,7.591011e-04,7.466626e-04,7.454364e-04,7.345431e-04,7.227359e-04,7.218046e-04,7.112345e-04,7.000326e-04,6.993699e-04,6.891237e-04,6.785014e-04,6.780824e-04,6.681596e-04,6.580921e-04,6.578935e-04,6.482927e-04,6.387554e-04,6.206220e-04,6.034483e-04,5.871908e-04,5.718076e-04,5.572582e-04,5.435036e-04,5.305066e-04,5.182310e-04,5.066424e-04,4.957079e-04,4.853957e-04,4.756756e-04,4.665187e-04,4.578972e-04,4.497847e-04,4.421559e-04,4.349867e-04,4.282541e-04,4.219361e-04,4.160117e-04,4.104609e-04,4.052647e-04,4.004048e-04,3.958640e-04,3.916256e-04,3.876740e-04,3.839941e-04,3.805716e-04,3.773928e-04,3.744449e-04,3.717154e-04,3.691926e-04,3.668652e-04,3.647225e-04,3.627545e-04,3.609513e-04,3.593038e-04,3.578032e-04,3.564412e-04,3.552098e-04,3.541015e-04,3.531090e-04,3.522256e-04,3.514447e-04,3.507602e-04,3.501661e-04,3.496569e-04,3.492273e-04,3.488722e-04
0.000000e+00,1.834292e-08,5.608642e-07,5.906891e-07,5.163609e-06,2.523703e-05,2.676262e-05,9.894142e-05,2.642925e-04,2.793815e-04,6.302684e-04,1.135449e-03,1.187877e-03,1.952446e-03,2.795797e-03,2.897288e-03,3.981398e-03,5.014348e-03,5.159118e-03,6.386244e-03,7.450909e-03,7.623414e-03,8.837654e-03,9.820522e-03,1.000275e-02,1.109895e-02,1.193648e-02,1.211231e-02,1.303387e-02,1.370167e-02,1.385882e-02,1.458564e-02,1.508506e-02,1.521541e-02,1.575115e-02,1.609811e-02,1.619729e-02,1.655920e-02,1.677628e-02,1.684284e-02,1.705450e-02,1.716588e-02,1.720051e-02,1.728715e-02,1.731571e-02,1.732046e-02,1.730622e-02,1.727215e-02,1.724984e-02,1.715637e-02,1.707664e-02,1.703046e-02,1.687635e-02,1.676473e-02,1.669792e-02,1.649868e-02,1.636608e-02,1.628176e-02,1.605000e-02,1.590489e-02,1.580593e-02,1.555180e-02,1.540059e-02,1.528961e-02,1.502113e-02,1.486863e-02,1.474793e-02,1.447140e-02,1.432112e-02,1.419275e-02,1.391306e-02,1.376753e-02,1.363327e-02,1.335420e-02,1.321516e-02,1.307656e-02,1.280099e-02,1.266961e-02,1.252803e-02,1.225814e-02,1.213514e-02,1.199174e-02,1.172916e-02,1.161492e-02,1.147071e-02,1.121663e-02,1.111127e-02,1.096713e-02,1.072239e-02,1.062586e-02,1.048256e-02,1.024773e-02,1.015983e-02,1.001801e-02,9.793459e-03,9.713896e-03,9.574123e-03,9.360031e-03,9.288437e-03,9.151196e-03,8.947618e-03,8.883581e-03,8.749283e-03,8.556168e-03,8.499247e-03,8.368240e-03,8.185456e-03,8.135192e-03,8.007767e-03,7.835116e-03,7.791044e-03,7.667440e-03,7.504674e-03,7.466333e-03,7.346746e-03,7.193580e-03,7.160515e-03,7.045100e-03,6.901225e-03,6.872995e-03,6.761872e-03,6.626957e-03,6.603137e-03,6.496394e-03,6.370096e-03,6.350279e-03,6.247977e-03,6.129948e-03,6.113745e-03,6.015920e-03,5.905806e-03,5.892852e-03,5.799519e-03,5.696969e-03,5.686916e-03,5.598070e-03,5.502736e-03,5.495261e-03,5.410881e-03,5.322420e-03,5.317218e-03,5.237269e-03,5.155345e-03,5.152134e-03,5.076566e-03,5.000852e-03,4.999368e-03,4.928123e-03,4.858300e-03,4.728328e-03,4.608869e-03,4.499360e-03,4.399260e-03,4.308049e-03,4.225224e-03,4.150307e-03,4.082835e-03,4.022367e-03,3.968479e-03,3.920766e-03,3.878838e-03,3.842326e-03,3.810873e-03,3.784140e-03,3.761801e-03,3.743546e-03,3.729078e-03,3.718112e-03,3.710379e-03,3.705619e-03,3.703586e-03,3.704045e-03,3.706773e-03,3.711555e-03,3.718191e-03,3.726487e-03,3.736261e-03,3.747342e-03,3.759564e-03,3.772776e-03,3.786831e-03,3.801593e-03,3.816935e-03,3.832737e-03,3.848886e-03,3.865280e-03,3.881823e-03,3.898424e-03,3.915002e-03,3.931483e-03,3.947798e-03,3.963885e-03,3.979687e-03,3.995156e-03,4.010246e-03,4.024918e-03,4.039139e-03,4.052879e-03
0.000000e+00,9.497578e-09,1.467020e-07,1.535079e-07,1.017090e-06,3.508444e-06,3.655711e-06,8.132527e-06,1.290060e-05,1.320551e-05,1.819132e-05,2.256393e-05,2.293342e-05,2.740496e-05,3.119856e-05,3.160679e-05,3.554606e-05,3.880223e-05,3.923135e-05,4.267167e-05,4.544132e-05,4.587607e-05,4.885375e-05,5.118662e-05,5.161403e-05,5.416621e-05,5.611021e-05,5.651954e-05,5.868321e-05,6.028365e-05,6.066623e-05,6.247747e-05,6.377652e-05,6.412552e-05,6.561874e-05,6.665497e-05,6.696514e-05,6.817257e-05,6.898099e-05,6.924848e-05,7.020007e-05,7.081210e-05,7.103420e-05,7.175743e-05,7.220110e-05,7.237608e-05,7.289617e-05,7.319648e-05,7.332345e-05,7.366338e-05,7.384245e-05,7.392121e-05,7.410192e-05,7.417931e-05,7.421027e-05,7.425078e-05,7.424373e-05,7.422777e-05,7.414534e-05,7.406899e-05,7.400739e-05,7.381764e-05,7.368524e-05,7.357961e-05,7.329667e-05,7.311980e-05,7.297200e-05,7.260862e-05,7.239732e-05,7.220941e-05,7.177710e-05,7.154009e-05,7.131428e-05,7.082340e-05,7.056817e-05,7.030679e-05,6.976664e-05,6.949963e-05,6.920506e-05,6.862400e-05,6.835070e-05,6.802535e-05,6.741088e-05,6.713592e-05,6.678224e-05,6.614103e-05,6.586833e-05,6.548873e-05,6.482676e-05,6.455956e-05,6.415644e-05,6.347902e-05,6.321999e-05,6.279569e-05,6.210754e-05,6.185884e-05,6.141564e-05,6.072096e-05,6.048430e-05,6.002441e-05,5.932688e-05,5.910359e-05,5.862917e-05,5.793203e-05,5.772311e-05,5.723619e-05,5.654231e-05,5.634846e-05,5.585100e-05,5.516286e-05,5.498452e-05,5.447841e-05,5.379816e-05,5.363557e-05,5.312257e-05,5.245208e-05,5.230530e-05,5.178709e-05,5.112796e-05,5.099687e-05,5.047503e-05,4.982862e-05,4.971298e-05,4.918901e-05,4.855647e-05,4.845593e-05,4.793122e-05,4.731349e-05,4.722762e-05,4.670347e-05,4.610133e-05,4.602961e-05,4.550724e-05,4.492132e-05,4.486319e-05,4.434371e-05,4.377450e-05,4.372933e-05,4.321379e-05,4.266165e-05,4.262880e-05,4.211815e-05,4.158333e-05,4.156212e-05,4.105725e-05,4.053992e-05,4.052966e-05,4.003136e-05,3.953159e-05,3.856793e-05,3.763858e-05,3.674333e-05,3.588185e-05,3.505374e-05,3.425852e-05,3.349564e-05,3.276449e-05,3.206443e-05,3.139476e-05,3.075478e-05,3.014374e-05,2.956086e-05,2.900536e-05,2.847647e-05,2.797337e-05,2.749527e-05,2.704138e-05,2.661088e-05,2.620299e-05,2.581693e-05,2.545191e-05,2.510716e-05,2.478195e-05,2.447551e-05,2.418713e-05,2.391609e-05,2.366169e-05,2.342325e-05,2.320009e-05,2.299159e-05,2.279709e-05,2.261599e-05,2.244768e-05,2.229159e-05,2.214715e-05,2.201381e-05,2.189104e-05,2.177833e-05,2.167519e-05,2.158112e-05,2.149566e-05,2.141837e-05,2.134882e-05,2.128658e-05,2.123126e-05,2.118246e-05,2.113982e-05,2.110297e-05
0.000000e+00,4.329571e-09,7.753444e-08,8.126337e-08,5.484925e-07,1.803048e-06,1.874011e-06,3.932961e-06,6.020220e-06,6.152072e-06,8.294755e-06,1.016205e-05,1.031954e-05,1.222281e-05,1.383432e-05,1.400758e-05,1.567819e-05,1.705754e-05,1.723924e-05,1.869539e-05,1.986734e-05,2.005131e-05,2.131164e-05,2.229975e-05,2.248090e-05,2.356352e-05,2.438964e-05,2.456380e-05,2.548587e-05,2.616992e-05,2.633374e-05,2.711122e-05,2.767117e-05,2.782200e-05,2.846958e-05,2.892155e-05,2.905733e-05,2.958844e-05,2.994681e-05,3.006599e-05,3.049292e-05,3.077054e-05,3.087202e-05,3.120596e-05,3.141420e-05,3.149726e-05,3.174834e-05,3.189728e-05,3.196150e-05,3.213894e-05,3.223748e-05,3.228272e-05,3.239484e-05,3.245085e-05,3.247718e-05,3.253154e-05,3.255194e-05,3.255962e-05,3.256304e-05,3.255390e-05,3.254334e-05,3.250199e-05,3.246864e-05,3.244038e-05,3.235982e-05,3.230691e-05,3.226158e-05,3.214684e-05,3.207842e-05,3.201673e-05,3.187233e-05,3.179193e-05,3.171465e-05,3.154465e-05,3.145532e-05,3.136325e-05,3.117132e-05,3.107569e-05,3.096968e-05,3.075909e-05,3.065943e-05,3.054031e-05,3.031403e-05,3.021226e-05,3.008091e-05,2.984157e-05,2.973933e-05,2.959660e-05,2.934656e-05,2.924524e-05,2.909197e-05,2.883335e-05,2.873411e-05,2.857115e-05,2.830582e-05,2.820962e-05,2.803778e-05,2.776742e-05,2.767504e-05,2.749513e-05,2.722123e-05,2.713330e-05,2.694608e-05,2.666997e-05,2.658699e-05,2.639320e-05,2.611604e-05,2.603841e-05,2.583876e-05,2.556158e-05,2.548957e-05,2.528475e-05,2.500847e-05,2.494226e-05,2.473293e-05,2.445833e-05,2.439806e-05,2.418484e-05,2.391261e-05,2.385833e-05,2.364181e-05,2.337256e-05,2.332427e-05,2.310501e-05,2.283926e-05,2.279692e-05,2.257543e-05,2.231363e-05,2.227715e-05,2.205395e-05,2.179647e-05,2.176573e-05,2.154129e-05,2.128846e-05,2.126331e-05,2.103805e-05,2.079014e-05,2.077042e-05,2.054477e-05,2.030199e-05,2.028751e-05,2.006185e-05,1.982438e-05,1.981494e-05,1.958963e-05,1.935761e-05,1.935300e-05,1.912837e-05,1.890192e-05,1.846184e-05,1.803289e-05,1.761512e-05,1.720855e-05,1.681318e-05,1.642894e-05,1.605576e-05,1.569355e-05,1.534217e-05,1.500150e-05,1.467136e-05,1.435160e-05,1.404203e-05,1.374246e-05,1.345269e-05,1.317251e-05,1.290173e-05,1.264011e-05,1.238745e-05,1.214353e-05,1.190814e-05,1.168104e-05,1.146202e-05,1.125088e-05,1.104738e-05,1.085133e-05,1.066250e-05,1.048069e-05,1.030570e-05,1.013732e-05,9.975352e-06,9.819606e-06,9.669891e-06,9.526020e-06,9.387811e-06,9.255085e-06,9.127669e-06,9.005392e-06,8.888088e-06,8.775595e-06,8.667756e-06,8.564417e-06,8.465428e-06,8.370644e-06,8.279923e-06,8.193129e-06,8.110126e-06,8.030785e-06,7.954979e-06
0.000000e+00,1.326304e-08,2.951380e-07,3.103402e-07,2.359210e-06,8.044809e-06,8.360037e-06,1.714978e-05,2.578518e-05,2.633069e-05,3.524939e-05,4.313539e-05,4.380620e-05,5.198996e-05,5.903959e-05,5.980464e-05,6.725722e-05,7.352216e-05,7.435553e-05,8.110804e-05,8.664548e-05,8.752375e-05,9.361218e-05,9.848075e-05,9.938319e-05,1.048469e-04,1.091050e-04,1.100136e-04,1.148935e-04,1.185977e-04,1.194967e-04,1.238334e-04,1.270373e-04,1.279133e-04,1.317462e-04,1.344997e-04,1.353413e-04,1.387080e-04,1.410574e-04,1.418550e-04,1.447911e-04,1.467791e-04,1.475246e-04,1.500636e-04,1.517294e-04,1.524159e-04,1.545893e-04,1.559687e-04,1.565910e-04,1.584282e-04,1.595539e-04,1.601077e-04,1.616361e-04,1.625380e-04,1.630199e-04,1.642653e-04,1.649706e-04,1.653782e-04,1.663644e-04,1.668977e-04,1.672295e-04,1.679788e-04,1.683624e-04,1.686174e-04,1.691505e-04,1.694046e-04,1.695827e-04,1.699187e-04,1.700617e-04,1.701630e-04,1.703198e-04,1.703682e-04,1.703933e-04,1.703876e-04,1.703561e-04,1.703063e-04,1.701533e-04,1.700554e-04,1.699320e-04,1.696459e-04,1.694935e-04,1.692984e-04,1.688924e-04,1.686961e-04,1.684312e-04,1.679176e-04,1.676870e-04,1.673545e-04,1.667445e-04,1.664880e-04,1.660903e-04,1.653944e-04,1.651195e-04,1.646591e-04,1.638868e-04,1.636001e-04,1.630797e-04,1.622399e-04,1.619473e-04,1.613695e-04,1.604705e-04,1.601770e-04,1.595446e-04,1.585938e-04,1.583040e-04,1.576198e-04,1.566241e-04,1.563417e-04,1.556085e-04,1.545745e-04,1.543028e-04,1.535234e-04,1.524568e-04,1.521987e-04,1.513760e-04,1.502822e-04,1.500399e-04,1.491767e-04,1.480606e-04,1.478363e-04,1.469352e-04,1.458014e-04,1.455965e-04,1.446604e-04,1.435130e-04,1.433289e-04,1.423603e-04,1.412031e-04,1.410408e-04,1.400423e-04,1.388787e-04,1.387389e-04,1.377131e-04,1.365463e-04,1.364296e-04,1.353790e-04,1.342118e-04,1.341184e-04,1.330453e-04,1.318803e-04,1.318104e-04,1.307172e-04,1.295567e-04,1.295104e-04,1.283993e-04,1.272454e-04,1.272224e-04,1.260956e-04,1.249503e-04,1.226974e-04,1.204669e-04,1.182614e-04,1.160835e-04,1.139351e-04,1.118184e-04,1.097348e-04,1.076858e-04,1.056728e-04,1.036967e-04,1.017585e-04,9.985881e-05,9.799835e-05,9.617755e-05,9.439675e-05,9.265619e-05,9.095602e-05,8.929629e-05,8.767696e-05,8.609791e-05,8.455898e-05,8.305993e-05,8.160047e-05,8.018026e-05,7.879890e-05,7.745599e-05,7.615105e-05,7.488361e-05,7.365313e-05,7.245908e-05,7.130090e-05,7.017800e-05,6.908978e-05,6.803565e-05,6.701497e-05,6.602710e-05,6.507142e-05,6.414728e-05,6.325403e-05,6.239103e-05,6.155764e-05,6.075320e-05,5.997707e-05,5.922862e-05,5.850719e-05,5.781216e-05,5.714289e-05,5.649876e-05,5.587914e-05
0.000000e+00,1.441345e-08,3.111346e-07,3.266890e-07,2.186581e-06,5.959588e-06,6.136340e-06,1.061054e-05,1.469963e-05,1.495416e-05,1.907369e-05,2.265797e-05,2.296040e-05,2.661774e-05,2.971737e-05,3.005072e-05,3.326455e-05,3.591589e-05,3.626486e-05,3.905794e-05,4.129964e-05,4.165089e-05,4.405131e-05,4.592472e-05,4.626720e-05,4.830691e-05,4.985395e-05,5.017892e-05,5.189165e-05,5.315273e-05,5.345340e-05,5.487226e-05,5.588483e-05,5.615607e-05,5.731239e-05,5.811041e-05,5.834848e-05,5.927128e-05,5.988514e-05,6.008744e-05,6.080328e-05,6.125998e-05,6.142485e-05,6.195789e-05,6.228127e-05,6.240785e-05,6.277992e-05,6.299096e-05,6.307902e-05,6.330983e-05,6.342691e-05,6.347677e-05,6.358404e-05,6.362323e-05,6.363562e-05,6.363526e-05,6.361053e-05,6.358654e-05,6.349281e-05,6.341631e-05,6.335727e-05,6.318293e-05,6.306516e-05,6.297263e-05,6.272907e-05,6.257910e-05,6.245478e-05,6.215216e-05,6.197776e-05,6.182346e-05,6.147083e-05,6.127867e-05,6.109627e-05,6.070166e-05,6.049741e-05,6.028881e-05,5.985939e-05,5.964785e-05,5.941497e-05,5.895705e-05,5.874227e-05,5.848703e-05,5.800622e-05,5.779157e-05,5.751586e-05,5.701709e-05,5.680538e-05,5.651103e-05,5.599868e-05,5.579219e-05,5.548100e-05,5.495888e-05,5.475949e-05,5.443318e-05,5.390466e-05,5.371385e-05,5.337407e-05,5.284209e-05,5.266101e-05,5.230936e-05,5.177647e-05,5.160601e-05,5.124399e-05,5.071242e-05,5.055320e-05,5.018224e-05,4.965391e-05,4.950637e-05,4.912784e-05,4.860441e-05,4.846879e-05,4.808396e-05,4.756684e-05,4.744326e-05,4.705334e-05,4.654373e-05,4.643217e-05,4.603828e-05,4.553720e-05,4.543753e-05,4.504072e-05,4.454901e-05,4.446103e-05,4.406227e-05,4.358064e-05,4.350406e-05,4.310427e-05,4.263328e-05,4.256778e-05,4.216779e-05,4.170790e-05,4.165309e-05,4.125369e-05,4.080524e-05,4.076072e-05,4.036262e-05,3.992587e-05,3.989119e-05,3.949505e-05,3.907019e-05,3.904489e-05,3.865132e-05,3.823846e-05,3.822207e-05,3.783162e-05,3.743080e-05,3.742285e-05,3.703602e-05,3.664725e-05,3.589519e-05,3.516653e-05,3.446106e-05,3.377849e-05,3.311850e-05,3.248072e-05,3.186476e-05,3.127018e-05,3.069653e-05,3.014333e-05,2.961010e-05,2.909634e-05,2.860154e-05,2.812518e-05,2.766677e-05,2.722577e-05,2.680168e-05,2.639399e-05,2.600220e-05,2.562580e-05,2.526431e-05,2.491724e-05,2.458411e-05,2.426445e-05,2.395782e-05,2.366376e-05,2.338184e-05,2.311163e-05,2.285271e-05,2.260468e-05,2.236715e-05,2.213973e-05,2.192205e-05,2.171376e-05,2.151449e-05,2.132390e-05,2.114168e-05,2.096750e-05,2.080104e-05,2.064201e-05,2.049012e-05,2.034509e-05,2.020665e-05,2.007453e-05,1.994848e-05,1.982826e-05,1.971363e-05,1.960436e-05,1.950023e-05
0.000000e+00,3.457913e-08,1.378904e-06,1.461633e-06,1.710974e-05,9.735138e-05,1.035628e-04,3.862309e-04,9.606917e-04,1.009832e-03,2.074418e-03,3.482265e-03,3.624363e-03,5.660385e-03,7.884551e-03,8.153099e-03,1.105396e-02,1.389725e-02,1.430350e-02,1.783724e-02,2.105383e-02,2.159001e-02,2.549878e-02,2.885943e-02,2.950461e-02,3.355380e-02,3.687276e-02,3.759853e-02,4.159707e-02,4.473846e-02,4.551372e-02,4.931856e-02,5.219275e-02,5.298705e-02,5.649964e-02,5.905548e-02,5.984120e-02,6.300057e-02,6.521657e-02,6.597006e-02,6.874499e-02,7.062118e-02,7.132323e-02,7.370481e-02,7.525583e-02,7.589158e-02,7.788683e-02,7.913646e-02,7.969506e-02,8.132168e-02,8.229873e-02,8.277284e-02,8.405521e-02,8.479059e-02,8.517583e-02,8.614197e-02,8.666665e-02,8.696104e-02,8.764049e-02,8.798423e-02,8.818772e-02,8.861004e-02,8.880058e-02,8.891462e-02,8.910844e-02,8.917114e-02,8.919829e-02,8.919073e-02,8.914837e-02,8.909206e-02,8.890836e-02,8.878118e-02,8.864546e-02,8.830892e-02,8.811470e-02,8.790405e-02,8.743593e-02,8.719019e-02,8.690939e-02,8.632900e-02,8.604516e-02,8.569914e-02,8.502393e-02,8.471350e-02,8.430731e-02,8.355299e-02,8.322578e-02,8.276448e-02,8.194511e-02,8.160943e-02,8.109803e-02,8.022621e-02,7.988902e-02,7.933245e-02,7.841939e-02,7.808645e-02,7.748953e-02,7.654522e-02,7.622125e-02,7.558865e-02,7.462192e-02,7.431074e-02,7.364697e-02,7.266562e-02,7.237023e-02,7.167961e-02,7.069053e-02,7.041325e-02,6.969991e-02,6.870913e-02,6.845167e-02,6.771953e-02,6.673233e-02,6.649589e-02,6.574868e-02,6.476963e-02,6.455496e-02,6.379619e-02,6.282928e-02,6.263675e-02,6.186973e-02,6.091836e-02,6.074803e-02,5.997587e-02,5.904296e-02,5.889462e-02,5.812022e-02,5.720824e-02,5.708145e-02,5.630753e-02,5.541856e-02,5.531270e-02,5.454178e-02,5.367756e-02,5.359184e-02,5.282627e-02,5.198822e-02,5.192176e-02,5.116370e-02,5.035296e-02,5.030476e-02,4.955623e-02,4.877370e-02,4.874269e-02,4.800554e-02,4.725191e-02,4.723699e-02,4.651293e-02,4.578869e-02,4.439851e-02,4.306688e-02,4.179397e-02,4.057973e-02,3.942394e-02,3.832617e-02,3.728588e-02,3.630237e-02,3.537484e-02,3.450239e-02,3.368402e-02,3.291867e-02,3.220519e-02,3.154240e-02,3.092903e-02,3.036378e-02,2.984528e-02,2.937214e-02,2.894293e-02,2.855617e-02,2.821037e-02,2.790397e-02,2.763542e-02,2.740314e-02,2.720551e-02,2.704091e-02,2.690770e-02,2.680421e-02,2.672879e-02,2.667977e-02,2.665548e-02,2.665425e-02,2.667442e-02,2.671436e-02,2.677243e-02,2.684702e-02,2.693656e-02,2.703949e-02,2.715431e-02,2.727953e-02,2.741372e-02,2.755551e-02,2.770355e-02,2.785659e-02,2.801338e-02,2.817279e-02,2.833372e-02,2.849514e-02,2.865608e-02
0.000000e+00,4.303238e-10,7.565425e-09,7.921208e-09,4.960365e-08,1.475718e-07,1.527012e-07,2.895578e-07,4.136478e-07,4.211332e-07,5.374486e-07,6.307984e-07,6.383311e-07,7.251377e-07,7.924531e-07,7.993475e-07,8.623389e-07,9.094903e-07,9.153660e-07,9.595630e-07,9.912918e-07,9.959515e-07,1.025449e-06,1.045506e-06,1.048878e-06,1.066973e-06,1.078291e-06,1.080388e-06,1.089705e-06,1.094559e-06,1.095443e-06,1.098061e-06,1.098200e-06,1.097965e-06,1.095517e-06,1.092280e-06,1.091035e-06,1.084802e-06,1.079209e-06,1.077067e-06,1.068050e-06,1.060875e-06,1.057947e-06,1.046927e-06,1.038750e-06,1.035143e-06,1.022727e-06,1.013983e-06,1.009795e-06,9.964515e-07,9.874627e-07,9.827851e-07,9.688752e-07,9.598772e-07,9.547907e-07,9.405918e-07,9.317543e-07,9.263309e-07,9.120538e-07,9.034963e-07,8.977998e-07,8.836033e-07,8.754073e-07,8.694936e-07,8.554961e-07,8.477148e-07,8.416326e-07,8.279212e-07,8.205860e-07,8.143777e-07,8.010150e-07,7.941415e-07,7.878438e-07,7.748731e-07,7.684653e-07,7.621101e-07,7.495603e-07,7.436134e-07,7.372280e-07,7.251166e-07,7.196201e-07,7.132281e-07,7.015639e-07,6.965029e-07,6.901245e-07,6.789099e-07,6.742666e-07,6.679194e-07,6.571517e-07,6.529067e-07,6.466053e-07,6.362782e-07,6.324109e-07,6.261681e-07,6.162726e-07,6.127622e-07,6.065889e-07,5.971139e-07,5.939395e-07,5.878448e-07,5.787781e-07,5.759190e-07,5.699107e-07,5.612392e-07,5.586754e-07,5.527600e-07,5.444698e-07,5.421819e-07,5.363650e-07,5.284422e-07,5.264116e-07,5.206977e-07,5.131281e-07,5.113370e-07,5.057298e-07,4.984995e-07,4.969310e-07,4.914336e-07,4.845288e-07,4.831668e-07,4.777816e-07,4.711888e-07,4.700182e-07,4.647470e-07,4.584529e-07,4.574594e-07,4.523035e-07,4.462956e-07,4.454656e-07,4.404261e-07,4.346918e-07,4.340127e-07,4.290900e-07,4.236176e-07,4.230773e-07,4.182717e-07,4.130496e-07,4.126371e-07,4.079485e-07,4.029657e-07,4.026704e-07,3.980985e-07,3.933443e-07,3.931564e-07,3.887006e-07,3.841649e-07,3.840753e-07,3.797348e-07,3.754079e-07,3.671358e-07,3.592416e-07,3.517083e-07,3.445201e-07,3.376614e-07,3.311175e-07,3.248744e-07,3.189186e-07,3.132372e-07,3.078181e-07,3.026493e-07,2.977197e-07,2.930186e-07,2.885356e-07,2.842611e-07,2.801856e-07,2.763003e-07,2.725965e-07,2.690661e-07,2.657013e-07,2.624946e-07,2.594390e-07,2.565277e-07,2.537540e-07,2.511119e-07,2.485954e-07,2.461989e-07,2.439168e-07,2.417441e-07,2.396759e-07,2.377073e-07,2.358340e-07,2.340515e-07,2.323558e-07,2.307429e-07,2.292091e-07,2.277508e-07,2.263646e-07,2.250472e-07,2.237955e-07,2.226064e-07,2.214772e-07,2.204050e-07,2.193874e-07,2.184217e-07,2.175057e-07,2.166371e-07,2.158136e-07,2.150332e-07
0.000000e+00,1.452482e-08,3.529373e-07,3.707857e-07,2.910581e-06,1.204432e-05,1.265880e-05,3.583326e-05,7.064673e-05,7.317988e-05,1.175051e-04,1.572171e-04,1.604808e-04,1.979720e-04,2.262862e-04,2.291243e-04,2.543699e-04,2.722914e-04,2.744544e-04,2.901235e-04,3.005790e-04,3.020450e-04,3.107994e-04,3.160732e-04,3.168862e-04,3.207339e-04,3.224769e-04,3.227088e-04,3.231236e-04,3.225127e-04,3.222449e-04,3.202993e-04,3.181661e-04,3.174794e-04,3.139486e-04,3.108756e-04,3.098451e-04,3.052859e-04,3.016773e-04,3.003696e-04,2.951794e-04,2.913126e-04,2.897852e-04,2.842458e-04,2.803085e-04,2.786104e-04,2.729200e-04,2.690368e-04,2.672088e-04,2.615052e-04,2.577564e-04,2.558325e-04,2.502099e-04,2.466452e-04,2.446532e-04,2.391750e-04,2.358224e-04,2.337854e-04,2.284924e-04,2.253657e-04,2.233023e-04,2.182199e-04,2.153227e-04,2.132484e-04,2.083903e-04,2.057198e-04,2.036469e-04,1.990190e-04,1.965681e-04,1.945068e-04,1.901097e-04,1.878685e-04,1.858270e-04,1.816574e-04,1.796146e-04,1.775995e-04,1.736517e-04,1.717952e-04,1.698119e-04,1.660783e-04,1.643959e-04,1.624486e-04,1.589208e-04,1.574002e-04,1.554925e-04,1.521614e-04,1.507908e-04,1.489253e-04,1.457817e-04,1.445497e-04,1.427285e-04,1.397632e-04,1.386590e-04,1.368836e-04,1.340875e-04,1.331009e-04,1.313726e-04,1.287368e-04,1.278582e-04,1.261778e-04,1.236936e-04,1.229141e-04,1.212820e-04,1.189412e-04,1.182524e-04,1.166690e-04,1.144636e-04,1.138578e-04,1.123231e-04,1.102456e-04,1.097155e-04,1.082293e-04,1.062726e-04,1.058116e-04,1.043736e-04,1.025307e-04,1.021327e-04,1.007424e-04,9.900702e-05,9.866616e-05,9.732306e-05,9.568902e-05,9.540009e-05,9.410348e-05,9.256502e-05,9.232314e-05,9.107227e-05,8.962392e-05,8.942462e-05,8.821866e-05,8.685525e-05,8.669439e-05,8.553247e-05,8.424913e-05,8.412292e-05,8.300408e-05,8.179622e-05,8.170116e-05,8.062444e-05,7.948771e-05,7.942060e-05,7.838499e-05,7.731529e-05,7.727317e-05,7.627765e-05,7.527112e-05,7.525130e-05,7.429480e-05,7.334781e-05,7.155593e-05,6.986929e-05,6.828187e-05,6.678799e-05,6.538229e-05,6.405973e-05,6.281553e-05,6.164520e-05,6.054452e-05,5.950947e-05,5.853630e-05,5.762145e-05,5.676157e-05,5.595350e-05,5.519426e-05,5.448105e-05,5.381121e-05,5.318224e-05,5.259180e-05,5.203765e-05,5.151772e-05,5.103002e-05,5.057269e-05,5.014398e-05,4.974224e-05,4.936590e-05,4.901350e-05,4.868364e-05,4.837503e-05,4.808642e-05,4.781666e-05,4.756465e-05,4.732936e-05,4.710981e-05,4.690509e-05,4.671432e-05,4.653670e-05,4.637145e-05,4.621786e-05,4.607522e-05,4.594290e-05,4.582030e-05,4.570683e-05,4.560196e-05,4.550517e-05,4.541600e-05,4.533397e-05,4.525868e-05,4.518970e-05
0.000000e+00,2.674045e-08,1.089008e-06,1.155173e-06,1.378845e-05,7.686173e-05,8.163500e-05,2.883766e-04,6.714924e-04,7.027193e-04,1.339371e-03,2.100238e-03,2.173258e-03,3.162222e-03,4.147682e-03,4.261342e-03,5.429927e-03,6.488693e-03,6.634133e-03,7.847306e-03,8.882290e-03,9.049295e-03,1.022538e-02,1.118559e-02,1.136521e-02,1.246175e-02,1.332543e-02,1.351055e-02,1.450902e-02,1.527071e-02,1.545595e-02,1.635111e-02,1.701368e-02,1.719497e-02,1.798847e-02,1.855863e-02,1.873290e-02,1.942973e-02,1.991569e-02,2.008059e-02,2.068715e-02,2.109741e-02,2.125113e-02,2.177425e-02,2.211703e-02,2.225820e-02,2.270466e-02,2.298767e-02,2.311525e-02,2.349155e-02,2.372188e-02,2.383511e-02,2.414740e-02,2.433152e-02,2.442985e-02,2.468386e-02,2.482764e-02,2.491075e-02,2.511181e-02,2.522056e-02,2.528827e-02,2.544132e-02,2.551981e-02,2.557210e-02,2.568171e-02,2.573424e-02,2.577121e-02,2.584160e-02,2.587202e-02,2.589387e-02,2.592895e-02,2.594070e-02,2.594774e-02,2.595110e-02,2.594725e-02,2.593986e-02,2.591481e-02,2.589812e-02,2.587673e-02,2.582634e-02,2.579923e-02,2.576435e-02,2.569143e-02,2.565605e-02,2.560823e-02,2.551537e-02,2.547363e-02,2.541344e-02,2.530301e-02,2.525658e-02,2.518463e-02,2.505881e-02,2.500916e-02,2.492607e-02,2.478688e-02,2.473528e-02,2.464170e-02,2.449096e-02,2.443852e-02,2.433509e-02,2.417449e-02,2.412216e-02,2.400954e-02,2.384061e-02,2.378921e-02,2.366805e-02,2.349219e-02,2.344240e-02,2.331335e-02,2.313184e-02,2.308425e-02,2.294795e-02,2.276196e-02,2.271703e-02,2.257412e-02,2.238470e-02,2.234284e-02,2.219393e-02,2.200204e-02,2.196354e-02,2.180924e-02,2.161576e-02,2.158087e-02,2.142177e-02,2.122747e-02,2.119636e-02,2.103303e-02,2.083863e-02,2.081142e-02,2.064442e-02,2.045055e-02,2.042732e-02,2.025717e-02,2.006442e-02,2.004518e-02,1.987241e-02,1.968128e-02,1.966603e-02,1.949113e-02,1.930208e-02,1.929078e-02,1.911423e-02,1.892766e-02,1.892023e-02,1.874248e-02,1.855876e-02,1.855511e-02,1.837659e-02,1.819604e-02,1.784359e-02,1.749824e-02,1.716041e-02,1.683045e-02,1.650868e-02,1.619535e-02,1.589066e-02,1.559477e-02,1.530783e-02,1.502990e-02,1.476106e-02,1.450133e-02,1.425072e-02,1.400919e-02,1.377671e-02,1.355322e-02,1.333861e-02,1.313281e-02,1.293568e-02,1.274710e-02,1.256694e-02,1.239503e-02,1.223122e-02,1.207534e-02,1.192721e-02,1.178663e-02,1.165344e-02,1.152742e-02,1.140838e-02,1.129612e-02,1.119043e-02,1.109111e-02,1.099794e-02,1.091072e-02,1.082924e-02,1.075328e-02,1.068264e-02,1.061711e-02,1.055649e-02,1.050056e-02,1.044912e-02,1.040198e-02,1.035894e-02,1.031979e-02,1.028436e-02,1.025245e-02,1.022387e-02,1.019845e-02,1.017601e-02
0.000000e+00,1.403702e-09,1.425399e-08,1.479546e-08,7.246348e-08,2.243121e-07,2.335012e-07,5.466251e-07,9.684646e-07,9.982482e-07,1.513426e-06,1.977772e-06,2.016478e-06,2.471187e-06,2.831921e-06,2.869185e-06,3.212216e-06,3.472120e-06,3.504713e-06,3.751564e-06,3.930954e-06,3.957486e-06,4.126864e-06,4.243851e-06,4.263716e-06,4.371701e-06,4.441045e-06,4.454135e-06,4.514014e-06,4.547503e-06,4.554040e-06,4.576635e-06,4.583567e-06,4.583975e-06,4.578005e-06,4.565644e-06,4.560465e-06,4.532910e-06,4.506895e-06,4.496730e-06,4.453165e-06,4.417846e-06,4.403313e-06,4.348153e-06,4.306852e-06,4.288553e-06,4.225284e-06,4.180516e-06,4.159027e-06,4.090383e-06,4.044032e-06,4.019884e-06,3.947999e-06,3.901457e-06,3.875139e-06,3.801665e-06,3.755943e-06,3.727892e-06,3.654097e-06,3.609909e-06,3.580517e-06,3.507362e-06,3.465198e-06,3.434810e-06,3.363014e-06,3.323188e-06,3.292106e-06,3.222196e-06,3.184893e-06,3.153378e-06,3.085729e-06,3.051035e-06,3.019312e-06,2.954180e-06,2.922108e-06,2.890372e-06,2.827919e-06,2.798429e-06,2.766843e-06,2.707160e-06,2.680176e-06,2.648878e-06,2.591999e-06,2.567417e-06,2.536522e-06,2.482441e-06,2.460140e-06,2.429744e-06,2.378420e-06,2.358271e-06,2.328451e-06,2.279820e-06,2.261687e-06,2.232507e-06,2.186489e-06,2.170236e-06,2.141744e-06,2.098247e-06,2.083738e-06,2.055973e-06,2.014897e-06,2.002001e-06,1.974992e-06,1.936231e-06,1.924822e-06,1.898587e-06,1.862035e-06,1.851992e-06,1.826546e-06,1.792094e-06,1.783303e-06,1.758652e-06,1.726193e-06,1.718547e-06,1.694692e-06,1.664123e-06,1.657521e-06,1.634460e-06,1.605678e-06,1.600026e-06,1.577753e-06,1.550660e-06,1.545870e-06,1.524376e-06,1.498877e-06,1.494869e-06,1.474141e-06,1.450146e-06,1.446844e-06,1.426869e-06,1.404291e-06,1.401627e-06,1.382389e-06,1.361145e-06,1.359056e-06,1.340538e-06,1.320550e-06,1.318977e-06,1.301161e-06,1.282355e-06,1.281245e-06,1.264113e-06,1.246418e-06,1.245721e-06,1.229253e-06,1.212603e-06,1.212276e-06,1.196452e-06,1.180785e-06,1.151133e-06,1.123209e-06,1.096911e-06,1.072141e-06,1.048806e-06,1.026822e-06,1.006108e-06,9.865854e-07,9.681844e-07,9.508372e-07,9.344807e-07,9.190553e-07,9.045053e-07,8.907783e-07,8.778250e-07,8.655992e-07,8.540576e-07,8.431595e-07,8.328665e-07,8.231429e-07,8.139549e-07,8.052708e-07,7.970608e-07,7.892971e-07,7.819534e-07,7.750051e-07,7.684291e-07,7.622038e-07,7.563087e-07,7.507248e-07,7.454338e-07,7.404191e-07,7.356647e-07,7.311556e-07,7.268779e-07,7.228183e-07,7.189646e-07,7.153051e-07,7.118289e-07,7.085256e-07,7.053857e-07,7.024001e-07,6.995601e-07,6.968578e-07,6.942855e-07,6.918362e-07,6.895032e-07,6.872802e-07,6.851612e-07
0.000000e+00,1.943715e-08,6.278630e-07,6.621716e-07,6.201590e-06,3.176438e-05,3.373175e-05,1.276637e-04,3.443430e-04,3.641738e-04,8.284734e-04,1.508842e-03,1.580285e-03,2.639851e-03,3.846417e-03,3.994262e-03,5.609017e-03,7.208860e-03,7.437985e-03,9.430598e-03,1.123674e-02,1.153661e-02,1.370902e-02,1.555422e-02,1.590576e-02,1.809042e-02,1.985121e-02,2.023244e-02,2.230689e-02,2.390444e-02,2.429412e-02,2.617916e-02,2.757145e-02,2.795117e-02,2.960285e-02,3.077492e-02,3.112992e-02,3.253054e-02,3.348565e-02,3.380493e-02,3.495488e-02,3.570750e-02,3.598350e-02,3.689481e-02,3.746545e-02,3.769356e-02,3.838502e-02,3.879675e-02,3.897474e-02,3.946847e-02,3.974457e-02,3.987203e-02,4.019120e-02,4.035383e-02,4.043169e-02,4.059904e-02,4.066842e-02,4.069860e-02,4.073553e-02,4.072966e-02,4.071471e-02,4.064083e-02,4.057542e-02,4.051830e-02,4.035128e-02,4.023978e-02,4.014368e-02,3.989919e-02,3.975304e-02,3.962124e-02,3.931306e-02,3.914186e-02,3.897764e-02,3.861778e-02,3.842950e-02,3.823608e-02,3.783498e-02,3.763623e-02,3.741672e-02,3.698340e-02,3.677955e-02,3.653694e-02,3.607916e-02,3.587458e-02,3.561171e-02,3.513614e-02,3.493433e-02,3.465388e-02,3.416625e-02,3.396996e-02,3.367446e-02,3.317964e-02,3.299103e-02,3.268282e-02,3.218497e-02,3.200566e-02,3.168697e-02,3.118962e-02,3.102080e-02,3.069366e-02,3.019979e-02,3.004229e-02,2.970862e-02,2.922072e-02,2.907507e-02,2.873662e-02,2.825679e-02,2.812327e-02,2.778166e-02,2.731163e-02,2.719030e-02,2.684704e-02,2.638821e-02,2.627898e-02,2.593543e-02,2.548895e-02,2.539159e-02,2.504900e-02,2.461577e-02,2.452995e-02,2.418945e-02,2.377018e-02,2.369547e-02,2.335810e-02,2.295331e-02,2.288923e-02,2.255591e-02,2.216597e-02,2.211198e-02,2.178356e-02,2.140871e-02,2.136424e-02,2.104146e-02,2.068184e-02,2.064629e-02,2.032983e-02,1.998545e-02,1.995823e-02,1.964867e-02,1.931948e-02,1.929997e-02,1.899784e-02,1.868372e-02,1.867131e-02,1.837706e-02,1.807782e-02,1.807191e-02,1.778594e-02,1.750135e-02,1.695912e-02,1.644462e-02,1.595722e-02,1.549625e-02,1.506097e-02,1.465065e-02,1.426451e-02,1.390178e-02,1.356165e-02,1.324333e-02,1.294602e-02,1.266892e-02,1.241123e-02,1.217217e-02,1.195095e-02,1.174681e-02,1.155897e-02,1.138671e-02,1.122927e-02,1.108594e-02,1.095601e-02,1.083880e-02,1.073361e-02,1.063980e-02,1.055671e-02,1.048373e-02,1.042023e-02,1.036563e-02,1.031934e-02,1.028081e-02,1.024949e-02,1.022486e-02,1.020642e-02,1.019366e-02,1.018613e-02,1.018338e-02,1.018495e-02,1.019045e-02,1.019947e-02,1.021164e-02,1.022659e-02,1.024397e-02,1.026348e-02,1.028478e-02,1.030761e-02,1.033168e-02,1.035675e-02,1.038256e-02,1.040891e-02
0.000000e+00,2.186175e-08,3.854941e-07,4.039588e-07,2.823798e-06,1.007117e-05,1.050907e-05,2.432844e-05,3.961049e-05,4.058863e-05,5.645123e-05,7.009375e-05,7.123377e-05,8.486432e-05,9.617755e-05,9.738062e-05,1.088394e-04,1.180954e-04,1.192999e-04,1.288207e-04,1.363006e-04,1.374588e-04,1.452694e-04,1.512295e-04,1.523053e-04,1.586169e-04,1.632858e-04,1.642524e-04,1.692571e-04,1.728358e-04,1.736741e-04,1.775440e-04,1.802073e-04,1.809049e-04,1.837929e-04,1.856923e-04,1.862417e-04,1.882830e-04,1.895489e-04,1.899467e-04,1.912607e-04,1.920050e-04,1.922512e-04,1.929427e-04,1.932614e-04,1.933584e-04,1.935198e-04,1.934946e-04,1.934470e-04,1.931589e-04,1.928595e-04,1.926732e-04,1.920064e-04,1.914918e-04,1.911739e-04,1.901903e-04,1.895104e-04,1.890689e-04,1.878223e-04,1.870192e-04,1.864624e-04,1.849999e-04,1.841089e-04,1.834453e-04,1.818079e-04,1.808582e-04,1.800967e-04,1.783199e-04,1.773359e-04,1.764853e-04,1.745998e-04,1.736015e-04,1.726702e-04,1.707027e-04,1.697065e-04,1.687030e-04,1.666763e-04,1.656954e-04,1.646277e-04,1.625615e-04,1.616065e-04,1.604822e-04,1.583935e-04,1.574725e-04,1.562991e-04,1.542023e-04,1.533216e-04,1.521061e-04,1.500133e-04,1.491777e-04,1.479265e-04,1.458481e-04,1.450610e-04,1.437803e-04,1.417250e-04,1.409885e-04,1.396840e-04,1.376590e-04,1.369744e-04,1.356514e-04,1.336627e-04,1.330304e-04,1.316939e-04,1.297463e-04,1.291663e-04,1.278208e-04,1.259183e-04,1.253898e-04,1.240395e-04,1.221851e-04,1.217071e-04,1.203558e-04,1.185519e-04,1.181229e-04,1.167741e-04,1.150225e-04,1.146407e-04,1.132976e-04,1.115996e-04,1.112633e-04,1.099287e-04,1.082850e-04,1.079920e-04,1.066686e-04,1.050796e-04,1.048279e-04,1.035179e-04,1.019837e-04,1.017710e-04,1.004767e-04,9.899693e-05,9.882119e-05,9.754427e-05,9.611855e-05,9.597746e-05,9.471962e-05,9.334728e-05,9.323864e-05,9.200133e-05,9.068154e-05,9.060318e-05,8.938767e-05,8.811946e-05,8.806926e-05,8.687664e-05,8.565893e-05,8.563483e-05,8.446604e-05,8.329767e-05,8.105542e-05,7.890560e-05,7.684565e-05,7.487297e-05,7.298492e-05,7.117883e-05,6.945204e-05,6.780191e-05,6.622580e-05,6.472112e-05,6.328530e-05,6.191585e-05,6.061030e-05,5.936623e-05,5.818131e-05,5.705324e-05,5.597980e-05,5.495882e-05,5.398821e-05,5.306593e-05,5.219001e-05,5.135855e-05,5.056969e-05,4.982167e-05,4.911275e-05,4.844129e-05,4.780569e-05,4.720439e-05,4.663591e-05,4.609884e-05,4.559178e-05,4.511341e-05,4.466246e-05,4.423771e-05,4.383797e-05,4.346212e-05,4.310905e-05,4.277774e-05,4.246717e-05,4.217638e-05,4.190444e-05,4.165046e-05,4.141360e-05,4.119302e-05,4.098796e-05,4.079765e-05,4.062138e-05,4.045845e-05,4.030819e-05
0.000000e+00,1.675543e-08,2.065567e-07,2.150867e-07,1.178042e-06,3.769627e-06,3.925291e-06,9.125872e-06,1.590536e-05,1.637813e-05,2.452257e-05,3.196430e-05,3.259572e-05,4.021383e-05,4.660910e-05,4.729245e-05,5.383204e-05,5.915736e-05,5.985339e-05,6.538202e-05,6.976269e-05,7.044431e-05,7.506632e-05,7.862712e-05,7.927338e-05,8.308989e-05,8.594444e-05,8.653924e-05,8.964376e-05,9.189341e-05,9.242469e-05,9.490216e-05,9.663627e-05,9.709531e-05,9.902228e-05,1.003193e-04,1.007002e-04,1.021452e-04,1.030737e-04,1.033728e-04,1.043975e-04,1.050173e-04,1.052330e-04,1.058922e-04,1.062554e-04,1.063875e-04,1.067303e-04,1.068819e-04,1.069315e-04,1.070015e-04,1.069805e-04,1.069498e-04,1.067856e-04,1.066255e-04,1.065175e-04,1.061536e-04,1.058831e-04,1.057014e-04,1.051681e-04,1.048120e-04,1.045604e-04,1.038847e-04,1.034640e-04,1.031469e-04,1.023526e-04,1.018850e-04,1.015070e-04,1.006150e-04,1.001156e-04,9.968122e-05,9.871002e-05,9.819155e-05,9.770543e-05,9.667123e-05,9.614415e-05,9.561099e-05,9.452800e-05,9.400101e-05,9.342538e-05,9.230601e-05,9.178624e-05,9.117261e-05,9.002770e-05,8.952090e-05,8.887362e-05,8.771256e-05,8.722333e-05,8.654656e-05,8.537751e-05,8.490943e-05,8.420716e-05,8.303715e-05,8.259294e-05,8.186897e-05,8.070403e-05,8.028569e-05,7.954361e-05,7.838890e-05,7.799780e-05,7.724099e-05,7.610089e-05,7.573786e-05,7.496952e-05,7.384771e-05,7.351315e-05,7.273624e-05,7.163582e-05,7.132976e-05,7.054706e-05,6.947056e-05,6.919274e-05,6.840682e-05,6.735630e-05,6.710620e-05,6.631943e-05,6.529657e-05,6.507345e-05,6.428804e-05,6.329412e-05,6.309711e-05,6.231505e-05,6.135105e-05,6.117914e-05,6.040228e-05,5.946889e-05,5.932099e-05,5.855100e-05,5.764868e-05,5.752360e-05,5.676201e-05,5.589101e-05,5.578754e-05,5.503571e-05,5.419609e-05,5.411300e-05,5.337215e-05,5.256383e-05,5.249984e-05,5.177109e-05,5.099384e-05,5.094770e-05,5.023202e-05,4.948551e-05,4.945596e-05,4.875421e-05,4.803801e-05,4.802384e-05,4.733677e-05,4.665036e-05,4.533444e-05,4.407488e-05,4.287038e-05,4.171957e-05,4.062104e-05,3.957332e-05,3.857493e-05,3.762435e-05,3.672006e-05,3.586054e-05,3.504428e-05,3.426976e-05,3.353551e-05,3.284004e-05,3.218192e-05,3.155972e-05,3.097206e-05,3.041757e-05,2.989492e-05,2.940283e-05,2.894003e-05,2.850530e-05,2.809744e-05,2.771531e-05,2.735778e-05,2.702378e-05,2.671225e-05,2.642218e-05,2.615258e-05,2.590252e-05,2.567108e-05,2.545738e-05,2.526056e-05,2.507980e-05,2.491433e-05,2.476337e-05,2.462620e-05,2.450211e-05,2.439043e-05,2.429050e-05,2.420171e-05,2.412344e-05,2.405511e-05,2.399619e-05,2.394612e-05,2.390441e-05,2.387056e-05,2.384411e-05,2.382459e-05
0.000000e+00,8.856784e-09,3.338132e-07,3.532699e-07,3.769129e-06,1.986343e-05,2.108202e-05,7.635134e-05,1.914179e-04,2.014032e-04,4.198915e-04,7.082889e-04,7.371270e-04,1.142472e-03,1.566410e-03,1.616213e-03,2.135354e-03,2.611809e-03,2.677367e-03,3.222268e-03,3.680515e-03,3.753561e-03,4.258471e-03,4.655351e-03,4.727756e-03,5.155302e-03,5.472235e-03,5.537632e-03,5.873394e-03,6.108630e-03,6.162886e-03,6.407630e-03,6.568981e-03,6.610014e-03,6.772987e-03,6.872497e-03,6.899824e-03,6.993946e-03,7.044549e-03,7.058774e-03,7.097628e-03,7.111298e-03,7.113661e-03,7.109813e-03,7.096746e-03,7.088783e-03,7.053022e-03,7.021422e-03,7.004729e-03,6.945862e-03,6.902066e-03,6.878150e-03,6.803108e-03,6.751852e-03,6.722057e-03,6.636143e-03,6.580873e-03,6.546354e-03,6.453539e-03,6.396703e-03,6.358422e-03,6.261624e-03,6.204922e-03,6.163671e-03,6.065007e-03,6.009588e-03,5.966009e-03,5.866995e-03,5.813617e-03,5.768232e-03,5.669943e-03,5.619084e-03,5.572317e-03,5.475510e-03,5.427455e-03,5.379652e-03,5.284853e-03,5.239752e-03,5.191202e-03,5.098772e-03,5.056682e-03,5.007626e-03,4.917812e-03,4.878726e-03,4.829369e-03,4.742330e-03,4.706198e-03,4.656719e-03,4.572555e-03,4.539297e-03,4.489851e-03,4.408616e-03,4.378133e-03,4.328856e-03,4.250573e-03,4.222753e-03,4.173767e-03,4.098433e-03,4.073154e-03,4.024567e-03,3.952161e-03,3.929298e-03,3.881206e-03,3.811692e-03,3.791117e-03,3.743607e-03,3.676938e-03,3.658523e-03,3.611672e-03,3.547793e-03,3.531410e-03,3.485286e-03,3.424134e-03,3.409658e-03,3.364322e-03,3.305832e-03,3.293139e-03,3.248645e-03,3.192744e-03,3.181717e-03,3.138111e-03,3.084727e-03,3.075249e-03,3.032573e-03,2.981630e-03,2.973590e-03,2.931879e-03,2.883301e-03,2.876593e-03,2.835877e-03,2.789587e-03,2.784108e-03,2.744413e-03,2.700336e-03,2.695988e-03,2.657335e-03,2.615394e-03,2.612083e-03,2.574491e-03,2.534610e-03,2.532249e-03,2.495731e-03,2.457836e-03,2.456340e-03,2.420907e-03,2.384925e-03,2.384215e-03,2.349874e-03,2.315735e-03,2.250762e-03,2.189166e-03,2.130815e-03,2.075586e-03,2.023355e-03,1.974003e-03,1.927416e-03,1.883483e-03,1.842095e-03,1.803148e-03,1.766541e-03,1.732176e-03,1.699959e-03,1.669798e-03,1.641606e-03,1.615296e-03,1.590787e-03,1.567999e-03,1.546855e-03,1.527281e-03,1.509205e-03,1.492556e-03,1.477270e-03,1.463279e-03,1.450523e-03,1.438940e-03,1.428472e-03,1.419062e-03,1.410656e-03,1.403202e-03,1.396647e-03,1.390943e-03,1.386042e-03,1.381899e-03,1.378469e-03,1.375710e-03,1.373580e-03,1.372039e-03,1.371049e-03,1.370574e-03,1.370577e-03,1.371026e-03,1.371886e-03,1.373126e-03,1.374716e-03,1.376628e-03,1.378832e-03,1.381303e-03,1.384015e-03
0.000000e+00,5.336398e-09,7.420648e-08,7.749220e-08,4.805552e-07,1.630833e-06,1.699534e-06,3.848735e-06,6.201639e-06,6.351506e-06,8.764421e-06,1.080525e-05,1.097405e-05,1.296885e-05,1.458811e-05,1.475816e-05,1.635526e-05,1.761254e-05,1.777378e-05,1.902701e-05,1.998228e-05,2.012764e-05,2.108772e-05,2.179392e-05,2.191864e-05,2.263108e-05,2.313390e-05,2.323503e-05,2.373980e-05,2.407804e-05,2.415404e-05,2.448575e-05,2.469199e-05,2.474236e-05,2.493077e-05,2.503226e-05,2.505731e-05,2.512780e-05,2.514704e-05,2.514759e-05,2.512159e-05,2.507711e-05,2.505438e-05,2.495014e-05,2.485722e-05,2.481273e-05,2.464571e-05,2.451696e-05,2.445246e-05,2.423602e-05,2.408180e-05,2.399913e-05,2.374428e-05,2.357281e-05,2.347376e-05,2.318968e-05,2.300758e-05,2.289395e-05,2.258831e-05,2.240084e-05,2.227436e-05,2.195355e-05,2.176486e-05,2.162720e-05,2.129651e-05,2.110985e-05,2.096259e-05,2.062642e-05,2.044427e-05,2.028889e-05,1.995083e-05,1.977507e-05,1.961296e-05,1.927595e-05,1.910795e-05,1.894037e-05,1.860678e-05,1.844749e-05,1.827563e-05,1.794735e-05,1.779741e-05,1.762231e-05,1.730086e-05,1.716063e-05,1.698327e-05,1.666981e-05,1.653944e-05,1.636069e-05,1.605611e-05,1.593558e-05,1.575622e-05,1.546118e-05,1.535036e-05,1.517109e-05,1.488604e-05,1.478467e-05,1.460611e-05,1.433136e-05,1.423913e-05,1.406182e-05,1.379753e-05,1.371406e-05,1.353849e-05,1.328471e-05,1.320961e-05,1.303619e-05,1.279289e-05,1.272570e-05,1.255480e-05,1.232187e-05,1.226216e-05,1.209408e-05,1.187137e-05,1.181866e-05,1.165368e-05,1.144096e-05,1.139483e-05,1.123316e-05,1.103019e-05,1.099018e-05,1.083200e-05,1.063852e-05,1.060419e-05,1.044966e-05,1.026536e-05,1.023629e-05,1.008554e-05,9.910116e-06,9.885904e-06,9.739012e-06,9.572149e-06,9.552406e-06,9.409445e-06,9.250819e-06,9.235178e-06,9.096192e-06,8.945482e-06,8.933592e-06,8.798609e-06,8.655491e-06,8.647022e-06,8.516050e-06,8.380206e-06,8.374846e-06,8.247881e-06,8.118995e-06,8.116452e-06,7.993474e-06,7.871239e-06,7.638621e-06,7.418026e-06,7.208901e-06,7.010709e-06,6.822934e-06,6.645075e-06,6.476653e-06,6.317208e-06,6.166296e-06,6.023495e-06,5.888400e-06,5.760622e-06,5.639793e-06,5.525557e-06,5.417580e-06,5.315539e-06,5.219128e-06,5.128057e-06,5.042048e-06,4.960837e-06,4.884173e-06,4.811819e-06,4.743546e-06,4.679141e-06,4.618398e-06,4.561124e-06,4.507133e-06,4.456252e-06,4.408313e-06,4.363160e-06,4.320642e-06,4.280618e-06,4.242954e-06,4.207522e-06,4.174200e-06,4.142876e-06,4.113438e-06,4.085786e-06,4.059820e-06,4.035450e-06,4.012586e-06,3.991147e-06,3.971053e-06,3.952230e-06,3.934608e-06,3.918119e-06,3.902700e-06,3.888292e-06,3.874836e-06
0.000000e+00,1.697259e-09,2.621157e-08,2.743046e-08,1.806608e-07,6.044810e-07,6.287750e-07,1.336595e-06,2.042577e-06,2.086365e-06,2.780698e-06,3.356273e-06,3.403470e-06,3.956489e-06,4.398737e-06,4.444814e-06,4.873857e-06,5.206504e-06,5.248805e-06,5.574502e-06,5.818649e-06,5.855446e-06,6.095798e-06,6.269141e-06,6.299396e-06,6.469775e-06,6.586979e-06,6.610174e-06,6.723548e-06,6.796620e-06,6.812610e-06,6.879842e-06,6.918587e-06,6.927500e-06,6.957635e-06,6.969975e-06,6.972117e-06,6.972645e-06,6.964963e-06,6.960758e-06,6.937850e-06,6.915246e-06,6.905185e-06,6.863910e-06,6.830453e-06,6.815061e-06,6.759576e-06,6.718492e-06,6.698303e-06,6.632008e-06,6.585841e-06,6.561383e-06,6.487052e-06,6.437797e-06,6.409577e-06,6.329466e-06,6.278675e-06,6.247175e-06,6.163114e-06,6.111983e-06,6.077652e-06,5.991119e-06,5.940558e-06,5.903812e-06,5.815996e-06,5.766686e-06,5.727908e-06,5.639759e-06,5.592200e-06,5.551736e-06,5.464008e-06,5.418555e-06,5.376721e-06,5.290007e-06,5.246901e-06,5.203981e-06,5.118744e-06,5.078137e-06,5.034385e-06,4.950980e-06,4.912953e-06,4.868596e-06,4.787291e-06,4.751871e-06,4.707112e-06,4.628101e-06,4.595272e-06,4.550291e-06,4.473711e-06,4.443429e-06,4.398384e-06,4.324326e-06,4.296520e-06,4.251551e-06,4.180068e-06,4.154651e-06,4.109882e-06,4.040996e-06,4.017870e-06,3.973408e-06,3.907116e-06,3.886175e-06,3.842114e-06,3.778395e-06,3.759528e-06,3.715950e-06,3.654768e-06,3.637862e-06,3.594837e-06,3.536144e-06,3.521085e-06,3.478675e-06,3.422414e-06,3.409090e-06,3.367346e-06,3.313454e-06,3.301754e-06,3.260721e-06,3.209130e-06,3.198947e-06,3.158662e-06,3.109300e-06,3.100531e-06,3.061025e-06,3.013819e-06,3.006364e-06,2.967663e-06,2.922538e-06,2.916302e-06,2.878426e-06,2.835307e-06,2.830199e-06,2.793164e-06,2.751978e-06,2.747911e-06,2.711730e-06,2.672402e-06,2.669295e-06,2.633976e-06,2.596434e-06,2.594209e-06,2.559758e-06,2.523931e-06,2.522515e-06,2.488935e-06,2.454753e-06,2.454077e-06,2.421368e-06,2.388765e-06,2.326449e-06,2.267005e-06,2.210314e-06,2.156260e-06,2.104731e-06,2.055618e-06,2.008818e-06,1.964232e-06,1.921763e-06,1.881319e-06,1.842811e-06,1.806156e-06,1.771270e-06,1.738076e-06,1.706500e-06,1.676469e-06,1.647915e-06,1.620772e-06,1.594977e-06,1.570469e-06,1.547191e-06,1.525088e-06,1.504106e-06,1.484195e-06,1.465307e-06,1.447394e-06,1.430414e-06,1.414322e-06,1.399080e-06,1.384647e-06,1.370987e-06,1.358064e-06,1.345845e-06,1.334296e-06,1.323387e-06,1.313088e-06,1.303371e-06,1.294208e-06,1.285573e-06,1.277442e-06,1.269791e-06,1.262598e-06,1.255839e-06,1.249496e-06,1.243548e-06,1.237976e-06,1.232761e-06,1.227888e-06,1.223339e-06
0.000000e+00,1.435836e-10,3.071914e-09,3.228498e-09,2.397095e-08,8.051390e-08,8.362034e-08,1.686517e-07,2.485687e-07,2.534848e-07,3.315429e-07,3.968650e-07,4.022597e-07,4.660210e-07,5.178890e-07,5.233467e-07,5.747483e-07,6.154609e-07,6.207027e-07,6.616517e-07,6.931766e-07,6.980036e-07,7.301370e-07,7.541267e-07,7.584031e-07,7.831269e-07,8.009693e-07,8.046099e-07,8.231316e-07,8.359909e-07,8.389501e-07,8.523035e-07,8.611505e-07,8.634123e-07,8.724771e-07,8.781142e-07,8.796836e-07,8.852016e-07,8.882904e-07,8.891876e-07,8.917850e-07,8.928697e-07,8.931257e-07,8.933306e-07,8.928577e-07,8.925099e-07,8.907643e-07,8.890966e-07,8.881864e-07,8.848607e-07,8.822939e-07,8.808644e-07,8.762684e-07,8.730422e-07,8.711371e-07,8.655296e-07,8.618378e-07,8.595000e-07,8.530972e-07,8.490953e-07,8.463661e-07,8.393477e-07,8.351602e-07,8.320793e-07,8.245949e-07,8.203210e-07,8.169255e-07,8.090994e-07,8.048171e-07,8.011420e-07,7.930768e-07,7.888474e-07,7.849249e-07,7.767056e-07,7.725762e-07,7.684364e-07,7.601330e-07,7.561395e-07,7.518097e-07,7.434796e-07,7.396487e-07,7.351543e-07,7.268442e-07,7.231951e-07,7.185590e-07,7.103071e-07,7.068531e-07,7.020961e-07,6.939331e-07,6.906826e-07,6.858240e-07,6.777743e-07,6.747320e-07,6.697889e-07,6.618721e-07,6.590396e-07,6.540277e-07,6.462589e-07,6.436353e-07,6.385687e-07,6.309597e-07,6.285423e-07,6.234339e-07,6.159932e-07,6.137778e-07,6.086392e-07,6.013732e-07,5.993546e-07,5.941962e-07,5.871090e-07,5.852812e-07,5.801124e-07,5.732067e-07,5.715629e-07,5.663923e-07,5.596693e-07,5.582026e-07,5.530378e-07,5.464976e-07,5.452005e-07,5.400485e-07,5.336902e-07,5.325554e-07,5.274224e-07,5.212445e-07,5.202644e-07,5.151561e-07,5.091564e-07,5.083235e-07,5.032450e-07,4.974209e-07,4.967279e-07,4.916836e-07,4.860321e-07,4.854717e-07,4.804658e-07,4.749836e-07,4.745487e-07,4.695849e-07,4.642685e-07,4.639521e-07,4.590337e-07,4.538795e-07,4.536750e-07,4.488049e-07,4.438090e-07,4.437099e-07,4.388908e-07,4.340494e-07,4.246859e-07,4.156119e-07,4.068197e-07,3.983018e-07,3.900506e-07,3.820588e-07,3.743190e-07,3.668240e-07,3.595669e-07,3.525406e-07,3.457386e-07,3.391541e-07,3.327807e-07,3.266121e-07,3.206423e-07,3.148652e-07,3.092750e-07,3.038662e-07,2.986332e-07,2.935706e-07,2.886734e-07,2.839364e-07,2.793547e-07,2.749237e-07,2.706386e-07,2.664951e-07,2.624887e-07,2.586152e-07,2.548706e-07,2.512508e-07,2.477521e-07,2.443706e-07,2.411027e-07,2.379449e-07,2.348939e-07,2.319461e-07,2.290986e-07,2.263481e-07,2.236916e-07,2.211262e-07,2.186490e-07,2.162573e-07,2.139484e-07,2.117197e-07,2.095687e-07,2.074930e-07,2.054901e-07,2.035578e-07,2.016939e-07
0.000000e+00,3.458293e-08,9.681032e-07,1.018795e-06,8.685543e-06,4.018568e-05,4.246413e-05,1.390274e-04,3.159551e-04,3.302201e-04,6.121293e-04,9.237821e-04,9.522807e-04,1.316823e-03,1.646456e-03,1.682671e-03,2.037032e-03,2.334397e-03,2.373770e-03,2.690403e-03,2.946102e-03,2.986277e-03,3.261609e-03,3.477456e-03,3.517013e-03,3.753277e-03,3.933332e-03,3.971258e-03,4.171828e-03,4.320334e-03,4.355858e-03,4.524197e-03,4.645142e-03,4.677673e-03,4.817084e-03,4.914103e-03,4.943198e-03,5.056753e-03,5.133114e-03,5.158455e-03,5.248982e-03,5.307605e-03,5.328979e-03,5.399060e-03,5.442533e-03,5.459813e-03,5.511795e-03,5.542405e-03,5.555537e-03,5.591544e-03,5.611306e-03,5.620296e-03,5.642250e-03,5.652934e-03,5.657839e-03,5.667474e-03,5.670630e-03,5.671546e-03,5.670426e-03,5.667407e-03,5.664463e-03,5.653992e-03,5.645978e-03,5.639329e-03,5.620771e-03,5.608784e-03,5.598603e-03,5.573093e-03,5.558018e-03,5.544495e-03,5.513048e-03,5.495646e-03,5.478980e-03,5.442506e-03,5.423430e-03,5.403828e-03,5.363138e-03,5.342946e-03,5.320618e-03,5.276438e-03,5.255603e-03,5.230759e-03,5.183734e-03,5.162654e-03,5.135506e-03,5.086209e-03,5.065217e-03,5.035972e-03,4.984912e-03,4.964284e-03,4.933144e-03,4.880773e-03,4.860735e-03,4.827898e-03,4.774612e-03,4.755346e-03,4.721004e-03,4.667154e-03,4.648804e-03,4.613140e-03,4.559034e-03,4.541711e-03,4.504902e-03,4.450808e-03,4.434596e-03,4.396811e-03,4.342963e-03,4.327920e-03,4.289318e-03,4.235921e-03,4.222084e-03,4.182816e-03,4.130044e-03,4.117433e-03,4.077643e-03,4.025648e-03,4.014266e-03,3.974089e-03,3.922998e-03,3.912838e-03,3.872400e-03,3.822321e-03,3.813363e-03,3.772782e-03,3.723805e-03,3.716022e-03,3.675408e-03,3.627608e-03,3.620965e-03,3.580420e-03,3.533857e-03,3.528312e-03,3.487931e-03,3.442652e-03,3.438160e-03,3.398030e-03,3.354073e-03,3.350585e-03,3.310786e-03,3.268177e-03,3.265642e-03,3.226248e-03,3.185004e-03,3.183368e-03,3.144447e-03,3.104578e-03,3.103788e-03,3.065399e-03,3.026910e-03,2.952733e-03,2.881244e-03,2.812422e-03,2.746239e-03,2.682659e-03,2.621639e-03,2.563134e-03,2.507095e-03,2.453467e-03,2.402194e-03,2.353217e-03,2.306477e-03,2.261911e-03,2.219457e-03,2.179051e-03,2.140630e-03,2.104130e-03,2.069487e-03,2.036638e-03,2.005521e-03,1.976073e-03,1.948232e-03,1.921939e-03,1.897134e-03,1.873759e-03,1.851757e-03,1.831072e-03,1.811648e-03,1.793433e-03,1.776374e-03,1.760420e-03,1.745522e-03,1.731632e-03,1.718702e-03,1.706688e-03,1.695545e-03,1.685230e-03,1.675702e-03,1.666921e-03,1.658848e-03,1.651446e-03,1.644678e-03,1.638509e-03,1.632907e-03,1.627837e-03,1.623269e-03,1.619173e-03,1.615520e-03,1.612282e-03
0.000000e+00,1.540510e-08,3.222541e-07,3.382695e-07,2.399380e-06,8.171847e-06,8.507178e-06,1.857386e-05,2.907059e-05,2.973218e-05,4.036330e-05,4.938022e-05,5.012847e-05,5.900805e-05,6.627690e-05,6.704401e-05,7.428893e-05,8.005217e-05,8.079571e-05,8.661524e-05,9.110729e-05,9.179585e-05,9.638346e-05,9.981093e-05,1.004219e-04,1.039526e-04,1.064963e-04,1.070145e-04,1.096444e-04,1.114604e-04,1.118766e-04,1.137432e-04,1.149648e-04,1.152743e-04,1.164977e-04,1.172378e-04,1.174395e-04,1.181236e-04,1.184773e-04,1.185725e-04,1.188070e-04,1.188540e-04,1.188463e-04,1.187083e-04,1.185150e-04,1.184093e-04,1.179647e-04,1.175865e-04,1.173887e-04,1.166941e-04,1.161767e-04,1.158932e-04,1.149970e-04,1.143782e-04,1.140157e-04,1.129589e-04,1.122697e-04,1.118353e-04,1.106530e-04,1.099184e-04,1.094192e-04,1.081409e-04,1.073815e-04,1.068242e-04,1.054750e-04,1.047072e-04,1.040985e-04,1.026995e-04,1.019363e-04,1.012825e-04,9.985153e-05,9.910315e-05,9.841029e-05,9.696218e-05,9.623652e-05,9.551027e-05,9.405737e-05,9.336039e-05,9.260603e-05,9.115858e-05,9.049464e-05,8.971710e-05,8.828349e-05,8.765565e-05,8.685947e-05,8.544657e-05,8.485680e-05,8.404616e-05,8.265948e-05,8.210890e-05,8.128763e-05,7.993157e-05,7.942059e-05,7.859216e-05,7.727015e-05,7.679861e-05,7.596619e-05,7.468085e-05,7.424816e-05,7.341461e-05,7.216787e-05,7.177309e-05,7.094098e-05,6.973419e-05,6.937612e-05,6.854774e-05,6.738178e-05,6.705900e-05,6.623642e-05,6.511174e-05,6.482271e-05,6.400776e-05,6.292448e-05,6.266756e-05,6.186185e-05,6.081980e-05,6.059330e-05,5.979824e-05,5.879704e-05,5.859923e-05,5.781605e-05,5.685511e-05,5.668426e-05,5.591405e-05,5.499265e-05,5.484703e-05,5.409070e-05,5.320798e-05,5.308592e-05,5.234426e-05,5.149928e-05,5.139913e-05,5.067279e-05,4.986454e-05,4.978470e-05,4.907424e-05,4.830163e-05,4.824058e-05,4.754644e-05,4.680837e-05,4.676463e-05,4.608716e-05,4.538250e-05,4.535466e-05,4.469413e-05,4.402174e-05,4.400845e-05,4.336506e-05,4.272379e-05,4.149845e-05,4.033022e-05,3.921693e-05,3.815645e-05,3.714667e-05,3.618554e-05,3.527109e-05,3.440135e-05,3.357446e-05,3.278859e-05,3.204198e-05,3.133292e-05,3.065977e-05,3.002096e-05,2.941495e-05,2.884029e-05,2.829557e-05,2.777943e-05,2.729058e-05,2.682777e-05,2.638981e-05,2.597555e-05,2.558390e-05,2.521381e-05,2.486428e-05,2.453434e-05,2.422307e-05,2.392959e-05,2.365306e-05,2.339268e-05,2.314767e-05,2.291730e-05,2.270086e-05,2.249769e-05,2.230714e-05,2.212860e-05,2.196148e-05,2.180522e-05,2.165929e-05,2.152317e-05,2.139638e-05,2.127846e-05,2.116895e-05,2.106744e-05,2.097351e-05,2.088679e-05,2.080690e-05,2.073349e-05,2.066622e-05
0.000000e+00,1.809720e-10,2.102714e-09,2.186643e-09,1.097595e-08,3.214948e-08,3.336757e-08,7.256273e-08,1.219672e-07,1.253994e-07,1.847794e-07,2.392786e-07,2.438861e-07,2.988982e-07,3.438875e-07,3.486153e-07,3.929865e-07,4.278454e-07,4.323101e-07,4.669685e-07,4.933393e-07,4.973492e-07,5.238233e-07,5.432973e-07,5.467380e-07,5.664159e-07,5.803461e-07,5.831547e-07,5.972282e-07,6.067377e-07,6.088879e-07,6.183643e-07,6.243765e-07,6.258683e-07,6.315926e-07,6.348619e-07,6.357135e-07,6.383918e-07,6.395318e-07,6.397743e-07,6.399947e-07,6.395026e-07,6.391748e-07,6.374257e-07,6.357029e-07,6.348484e-07,6.315350e-07,6.289043e-07,6.275690e-07,6.230266e-07,6.197466e-07,6.179768e-07,6.124824e-07,6.087591e-07,6.066003e-07,6.003822e-07,5.963790e-07,5.938750e-07,5.871210e-07,5.829663e-07,5.801588e-07,5.730229e-07,5.688171e-07,5.657449e-07,5.583528e-07,5.541732e-07,5.508724e-07,5.433266e-07,5.392320e-07,5.357360e-07,5.281192e-07,5.241537e-07,5.204929e-07,5.128719e-07,5.090677e-07,5.052697e-07,4.976980e-07,4.940776e-07,4.901675e-07,4.826876e-07,4.792662e-07,4.752666e-07,4.679117e-07,4.646982e-07,4.606295e-07,4.534253e-07,4.504241e-07,4.463043e-07,4.392705e-07,4.364822e-07,4.323276e-07,4.254785e-07,4.229011e-07,4.187260e-07,4.120720e-07,4.097011e-07,4.055183e-07,3.990663e-07,3.968959e-07,3.927169e-07,3.864708e-07,3.844940e-07,3.803286e-07,3.742904e-07,3.724993e-07,3.683563e-07,3.625260e-07,3.609121e-07,3.567993e-07,3.511755e-07,3.497301e-07,3.456541e-07,3.402343e-07,3.389486e-07,3.349152e-07,3.296959e-07,3.285609e-07,3.245753e-07,3.195523e-07,3.185593e-07,3.146257e-07,3.097944e-07,3.089348e-07,3.050570e-07,3.004123e-07,2.996776e-07,2.958588e-07,2.913952e-07,2.907774e-07,2.870203e-07,2.827324e-07,2.822236e-07,2.785303e-07,2.744125e-07,2.740053e-07,2.703775e-07,2.664240e-07,2.661112e-07,2.625506e-07,2.587557e-07,2.585305e-07,2.550381e-07,2.513962e-07,2.512521e-07,2.478287e-07,2.443342e-07,2.442651e-07,2.409114e-07,2.375588e-07,2.311227e-07,2.249466e-07,2.190205e-07,2.133346e-07,2.078795e-07,2.026461e-07,1.976255e-07,1.928093e-07,1.881891e-07,1.837571e-07,1.795056e-07,1.754272e-07,1.715149e-07,1.677619e-07,1.641615e-07,1.607076e-07,1.573941e-07,1.542151e-07,1.511652e-07,1.482389e-07,1.454313e-07,1.427373e-07,1.401522e-07,1.376715e-07,1.352910e-07,1.330064e-07,1.308138e-07,1.287093e-07,1.266893e-07,1.247503e-07,1.228890e-07,1.211021e-07,1.193865e-07,1.177393e-07,1.161577e-07,1.146389e-07,1.131803e-07,1.117795e-07,1.104341e-07,1.091418e-07,1.079004e-07,1.067078e-07,1.055620e-07,1.044611e-07,1.034033e-07,1.023867e-07,1.014096e-07,1.004706e-07,9.956796e-08
0.000000e+00,1.705192e-09,1.915910e-08,1.994074e-08,1.109911e-07,3.738430e-07,3.901389e-07,9.464183e-07,1.659150e-06,1.707366e-06,2.509648e-06,3.209256e-06,3.267573e-06,3.960272e-06,4.526687e-06,4.586380e-06,5.149099e-06,5.595157e-06,5.652590e-06,6.101078e-06,6.445897e-06,6.498635e-06,6.849126e-06,7.109841e-06,7.156199e-06,7.423287e-06,7.614725e-06,7.653606e-06,7.850161e-06,7.984987e-06,8.015758e-06,8.153005e-06,8.241945e-06,8.264330e-06,8.351981e-06,8.404052e-06,8.418044e-06,8.464450e-06,8.487190e-06,8.492985e-06,8.505299e-06,8.504981e-06,8.502916e-06,8.487245e-06,8.469068e-06,8.459584e-06,8.421129e-06,8.389382e-06,8.372985e-06,8.316168e-06,8.274374e-06,8.251612e-06,8.180180e-06,8.131223e-06,8.102663e-06,8.019787e-06,7.966008e-06,7.932221e-06,7.840577e-06,7.783869e-06,7.745418e-06,7.647257e-06,7.589137e-06,7.546567e-06,7.443779e-06,7.385448e-06,7.339285e-06,7.233447e-06,7.175851e-06,7.126591e-06,7.019016e-06,6.962885e-06,6.910995e-06,6.802772e-06,6.748656e-06,6.694572e-06,6.586597e-06,6.534903e-06,6.479030e-06,6.372034e-06,6.323050e-06,6.265759e-06,6.160337e-06,6.114252e-06,6.055886e-06,5.952512e-06,5.909440e-06,5.850310e-06,5.749361e-06,5.709350e-06,5.649739e-06,5.551507e-06,5.514555e-06,5.454720e-06,5.359424e-06,5.325491e-06,5.265661e-06,5.173464e-06,5.142479e-06,5.082861e-06,4.993873e-06,4.965741e-06,4.906518e-06,4.820809e-06,4.795418e-06,4.736754e-06,4.654359e-06,4.631585e-06,4.573624e-06,4.494548e-06,4.474260e-06,4.417127e-06,4.341354e-06,4.323413e-06,4.267220e-06,4.194713e-06,4.178979e-06,4.123821e-06,4.054529e-06,4.040861e-06,3.986821e-06,3.920679e-06,3.908938e-06,3.856085e-06,3.793019e-06,3.783069e-06,3.731462e-06,3.671391e-06,3.663099e-06,3.612786e-06,3.555624e-06,3.548860e-06,3.499881e-06,3.445536e-06,3.440177e-06,3.392564e-06,3.340942e-06,3.336870e-06,3.290646e-06,3.241652e-06,3.238754e-06,3.193937e-06,3.147475e-06,3.145642e-06,3.102244e-06,3.058219e-06,3.057350e-06,3.015376e-06,2.973692e-06,2.894485e-06,2.819548e-06,2.748704e-06,2.681780e-06,2.618609e-06,2.559025e-06,2.502871e-06,2.449991e-06,2.400238e-06,2.353467e-06,2.309540e-06,2.268322e-06,2.229686e-06,2.193508e-06,2.159668e-06,2.128053e-06,2.098554e-06,2.071065e-06,2.045486e-06,2.021720e-06,1.999674e-06,1.979261e-06,1.960395e-06,1.942996e-06,1.926986e-06,1.912291e-06,1.898839e-06,1.886564e-06,1.875399e-06,1.865285e-06,1.856160e-06,1.847969e-06,1.840659e-06,1.834176e-06,1.828473e-06,1.823503e-06,1.819220e-06,1.815582e-06,1.812549e-06,1.810082e-06,1.808144e-06,1.806700e-06,1.805716e-06,1.805161e-06,1.805004e-06,1.805217e-06,1.805772e-06,1.806643e-06,1.807806e-06
0.000000e+00,1.653753e-08,3.963443e-07,4.163775e-07,3.257408e-06,1.337703e-05,1.405526e-05,3.957726e-05,7.794777e-05,8.074692e-05,1.301667e-04,1.759702e-04,1.798429e-04,2.261003e-04,2.640299e-04,2.680251e-04,3.056403e-04,3.353798e-04,3.392032e-04,3.690136e-04,3.918745e-04,3.953663e-04,4.185411e-04,4.357448e-04,4.388008e-04,4.563912e-04,4.689844e-04,4.715410e-04,4.844624e-04,4.933277e-04,4.953521e-04,5.043917e-04,5.102666e-04,5.117488e-04,5.175777e-04,5.210734e-04,5.220204e-04,5.252078e-04,5.268293e-04,5.272599e-04,5.282857e-04,5.284453e-04,5.283853e-04,5.276509e-04,5.266860e-04,5.261667e-04,5.240101e-04,5.221962e-04,5.212524e-04,5.179586e-04,5.155201e-04,5.141882e-04,5.099964e-04,5.071163e-04,5.054344e-04,5.005488e-04,4.973752e-04,4.953804e-04,4.899671e-04,4.866159e-04,4.843429e-04,4.785389e-04,4.751016e-04,4.725837e-04,4.665030e-04,4.630518e-04,4.603201e-04,4.540560e-04,4.506465e-04,4.477301e-04,4.413599e-04,4.380351e-04,4.349611e-04,4.285479e-04,4.253400e-04,4.221333e-04,4.157287e-04,4.126612e-04,4.093446e-04,4.029902e-04,4.000796e-04,3.966740e-04,3.904033e-04,3.876604e-04,3.841848e-04,3.780244e-04,3.754556e-04,3.719273e-04,3.658979e-04,3.635061e-04,3.599404e-04,3.540582e-04,3.518434e-04,3.482543e-04,3.425314e-04,3.404913e-04,3.368915e-04,3.313365e-04,3.294674e-04,3.258678e-04,3.204868e-04,3.187836e-04,3.151943e-04,3.099910e-04,3.084475e-04,3.048774e-04,2.998538e-04,2.984633e-04,2.949202e-04,2.900765e-04,2.888319e-04,2.853226e-04,2.806581e-04,2.795519e-04,2.760825e-04,2.715953e-04,2.706199e-04,2.671958e-04,2.628833e-04,2.620311e-04,2.586568e-04,2.545156e-04,2.537792e-04,2.504587e-04,2.464852e-04,2.458570e-04,2.425938e-04,2.387837e-04,2.382567e-04,2.350536e-04,2.314025e-04,2.309697e-04,2.278292e-04,2.243325e-04,2.239870e-04,2.209113e-04,2.175643e-04,2.172997e-04,2.142903e-04,2.110881e-04,2.108982e-04,2.079565e-04,2.048944e-04,2.047733e-04,2.019004e-04,1.989733e-04,1.989155e-04,1.961121e-04,1.933154e-04,1.879637e-04,1.828514e-04,1.779694e-04,1.733091e-04,1.688619e-04,1.646194e-04,1.605736e-04,1.567167e-04,1.530410e-04,1.495392e-04,1.462042e-04,1.430292e-04,1.400075e-04,1.371328e-04,1.343990e-04,1.318000e-04,1.293303e-04,1.269843e-04,1.247568e-04,1.226428e-04,1.206374e-04,1.187358e-04,1.169337e-04,1.152267e-04,1.136107e-04,1.120817e-04,1.106359e-04,1.092697e-04,1.079795e-04,1.067620e-04,1.056139e-04,1.045322e-04,1.035138e-04,1.025560e-04,1.016560e-04,1.008112e-04,1.000190e-04,9.927705e-05,9.858305e-05,9.793478e-05,9.733010e-05,9.676698e-05,9.624347e-05,9.575770e-05,9.530787e-05,9.489225e-05,9.450921e-05,9.415716e-05,9.383458e-05
0.000000e+00,3.619494e-08,1.260424e-06,1.331475e-06,1.319005e-05,6.703766e-05,7.108616e-05,2.549275e-04,6.466072e-04,6.812890e-04,1.468041e-03,2.582631e-03,2.698509e-03,4.406727e-03,6.345249e-03,6.582964e-03,9.186932e-03,1.178613e-02,1.216026e-02,1.543593e-02,1.844211e-02,1.894487e-02,2.262023e-02,2.579062e-02,2.640003e-02,3.022863e-02,3.337013e-02,3.405736e-02,3.784462e-02,4.082098e-02,4.155563e-02,4.516197e-02,4.788746e-02,4.864094e-02,5.197497e-02,5.440370e-02,5.515097e-02,5.815967e-02,6.027479e-02,6.099510e-02,6.365403e-02,6.545854e-02,6.613548e-02,6.844036e-02,6.994994e-02,7.057105e-02,7.253115e-02,7.376884e-02,7.432516e-02,7.595829e-02,7.695079e-02,7.743626e-02,7.876513e-02,7.954026e-02,7.995120e-02,8.100090e-02,8.158605e-02,8.192067e-02,8.271695e-02,8.313809e-02,8.339608e-02,8.396429e-02,8.424542e-02,8.442763e-02,8.479200e-02,8.495495e-02,8.506309e-02,8.524640e-02,8.531076e-02,8.534721e-02,8.537058e-02,8.535375e-02,8.532137e-02,8.520421e-02,8.512154e-02,8.502354e-02,8.478358e-02,8.464853e-02,8.448836e-02,8.414172e-02,8.396601e-02,8.374731e-02,8.330858e-02,8.310236e-02,8.282885e-02,8.231123e-02,8.208325e-02,8.175869e-02,8.117406e-02,8.093182e-02,8.056000e-02,7.991904e-02,7.966893e-02,7.925359e-02,7.856591e-02,7.831333e-02,7.785816e-02,7.713237e-02,7.688183e-02,7.639045e-02,7.563424e-02,7.538951e-02,7.486544e-02,7.408567e-02,7.384984e-02,7.329648e-02,7.249929e-02,7.227484e-02,7.169548e-02,7.088632e-02,7.067522e-02,7.007303e-02,6.925673e-02,6.906049e-02,6.843850e-02,6.761934e-02,6.743909e-02,6.680019e-02,6.598194e-02,6.581847e-02,6.516541e-02,6.435139e-02,6.420518e-02,6.354059e-02,6.273370e-02,6.260501e-02,6.193135e-02,6.113414e-02,6.102297e-02,6.034261e-02,5.955727e-02,5.946347e-02,5.877860e-02,5.800704e-02,5.793029e-02,5.724299e-02,5.648684e-02,5.642670e-02,5.573892e-02,5.499956e-02,5.495547e-02,5.426904e-02,5.354764e-02,5.351897e-02,5.283559e-02,5.213312e-02,5.211917e-02,5.144042e-02,5.075768e-02,4.943583e-02,4.815464e-02,4.691491e-02,4.571718e-02,4.456184e-02,4.344904e-02,4.237884e-02,4.135107e-02,4.036552e-02,3.942179e-02,3.851945e-02,3.765794e-02,3.683664e-02,3.605485e-02,3.531180e-02,3.460668e-02,3.393862e-02,3.330672e-02,3.271003e-02,3.214757e-02,3.161836e-02,3.112136e-02,3.065554e-02,3.021985e-02,2.981321e-02,2.943456e-02,2.908282e-02,2.875691e-02,2.845576e-02,2.817828e-02,2.792343e-02,2.769013e-02,2.747735e-02,2.728405e-02,2.710921e-02,2.695184e-02,2.681094e-02,2.668556e-02,2.657477e-02,2.647763e-02,2.639327e-02,2.632081e-02,2.625941e-02,2.620827e-02,2.616660e-02,2.613365e-02,2.610869e-02,2.609103e-02,2.608001e-02
0.000000e+00,1.714215e-10,1.916340e-09,1.994392e-09,1.101920e-08,3.653526e-08,3.809494e-08,8.984770e-08,1.520641e-07,1.561213e-07,2.210792e-07,2.738405e-07,2.780702e-07,3.262235e-07,3.625765e-07,3.662399e-07,3.991052e-07,4.228706e-07,4.257727e-07,4.470963e-07,4.617349e-07,4.638259e-07,4.766157e-07,4.847330e-07,4.860348e-07,4.925779e-07,4.961002e-07,4.966743e-07,4.986961e-07,4.990375e-07,4.989649e-07,4.977587e-07,4.959490e-07,4.953168e-07,4.918453e-07,4.886284e-07,4.875215e-07,4.824972e-07,4.784055e-07,4.769026e-07,4.708489e-07,4.662601e-07,4.644314e-07,4.577312e-07,4.529101e-07,4.508171e-07,4.437480e-07,4.388782e-07,4.365736e-07,4.293360e-07,4.245420e-07,4.220706e-07,4.148072e-07,4.101715e-07,4.075710e-07,4.003828e-07,3.959581e-07,3.932601e-07,3.862169e-07,3.820341e-07,3.792649e-07,3.724137e-07,3.684893e-07,3.656710e-07,3.590427e-07,3.553827e-07,3.525336e-07,3.461469e-07,3.427500e-07,3.398853e-07,3.337503e-07,3.306104e-07,3.277428e-07,3.218631e-07,3.189711e-07,3.161109e-07,3.104858e-07,3.078306e-07,3.049868e-07,2.996125e-07,2.971818e-07,2.943614e-07,2.892319e-07,2.870130e-07,2.842222e-07,2.793301e-07,2.773101e-07,2.745538e-07,2.698911e-07,2.680573e-07,2.653397e-07,2.608975e-07,2.592376e-07,2.565621e-07,2.523314e-07,2.508336e-07,2.482031e-07,2.441749e-07,2.428278e-07,2.402446e-07,2.364100e-07,2.352028e-07,2.326688e-07,2.290189e-07,2.279415e-07,2.254582e-07,2.219845e-07,2.210272e-07,2.185958e-07,2.152901e-07,2.144439e-07,2.120653e-07,2.089195e-07,2.081760e-07,2.058507e-07,2.028572e-07,2.022085e-07,1.999370e-07,1.970884e-07,1.965272e-07,1.943097e-07,1.915990e-07,1.911182e-07,1.889547e-07,1.863752e-07,1.859684e-07,1.838589e-07,1.814043e-07,1.810654e-07,1.790097e-07,1.766737e-07,1.763973e-07,1.743949e-07,1.721718e-07,1.719525e-07,1.700031e-07,1.678874e-07,1.677204e-07,1.658234e-07,1.638098e-07,1.636905e-07,1.618453e-07,1.599288e-07,1.598531e-07,1.580590e-07,1.562348e-07,1.561988e-07,1.544550e-07,1.527186e-07,1.494042e-07,1.462475e-07,1.432407e-07,1.403767e-07,1.376485e-07,1.350495e-07,1.325734e-07,1.302143e-07,1.279666e-07,1.258247e-07,1.237837e-07,1.218386e-07,1.199847e-07,1.182178e-07,1.165336e-07,1.149280e-07,1.133974e-07,1.119381e-07,1.105467e-07,1.092200e-07,1.079548e-07,1.067481e-07,1.055973e-07,1.044996e-07,1.034524e-07,1.024535e-07,1.015004e-07,1.005910e-07,9.972325e-08,9.889515e-08,9.810483e-08,9.735049e-08,9.663045e-08,9.594309e-08,9.528686e-08,9.466031e-08,9.406204e-08,9.349074e-08,9.294513e-08,9.242402e-08,9.192628e-08,9.145080e-08,9.099657e-08,9.056259e-08,9.014793e-08,8.975171e-08,8.937306e-08,8.901118e-08,8.866531e-08
0.000000e+00,1.309048e-08,2.237696e-07,2.340947e-07,1.630492e-06,6.591774e-06,6.926612e-06,1.949109e-05,3.749770e-05,3.875948e-05,6.013034e-05,7.896233e-05,8.053015e-05,9.907208e-05,1.140787e-04,1.156503e-04,1.303586e-04,1.418646e-04,1.433351e-04,1.547219e-04,1.633473e-04,1.646553e-04,1.732626e-04,1.795549e-04,1.806623e-04,1.869641e-04,1.913838e-04,1.922696e-04,1.966721e-04,1.996021e-04,2.002578e-04,2.031058e-04,2.048620e-04,2.052886e-04,2.068725e-04,2.077134e-04,2.079183e-04,2.084815e-04,2.086174e-04,2.086125e-04,2.083576e-04,2.079589e-04,2.077589e-04,2.068544e-04,2.060583e-04,2.056792e-04,2.042648e-04,2.031811e-04,2.026399e-04,2.008307e-04,1.995472e-04,1.988608e-04,1.967518e-04,1.953380e-04,1.945231e-04,1.921922e-04,1.907029e-04,1.897752e-04,1.872864e-04,1.857641e-04,1.847388e-04,1.821441e-04,1.806218e-04,1.795129e-04,1.768547e-04,1.753575e-04,1.741780e-04,1.714904e-04,1.700370e-04,1.687988e-04,1.661095e-04,1.647137e-04,1.634277e-04,1.607584e-04,1.594298e-04,1.581059e-04,1.554739e-04,1.542189e-04,1.528659e-04,1.502848e-04,1.491073e-04,1.477333e-04,1.452134e-04,1.441152e-04,1.427271e-04,1.402762e-04,1.392577e-04,1.378620e-04,1.354857e-04,1.345460e-04,1.331483e-04,1.308505e-04,1.299879e-04,1.285930e-04,1.263763e-04,1.255883e-04,1.242006e-04,1.220663e-04,1.213501e-04,1.199734e-04,1.179219e-04,1.172742e-04,1.159118e-04,1.139429e-04,1.133603e-04,1.120150e-04,1.101279e-04,1.096067e-04,1.082811e-04,1.064743e-04,1.060111e-04,1.047071e-04,1.029791e-04,1.025701e-04,1.012897e-04,9.963840e-05,9.928018e-05,9.802471e-05,9.644806e-05,9.613712e-05,9.490786e-05,9.340354e-05,9.313652e-05,9.193448e-05,9.050009e-05,9.027376e-05,8.909975e-05,8.773285e-05,8.754412e-05,8.639876e-05,8.509687e-05,8.494278e-05,8.382655e-05,8.258718e-05,8.246492e-05,8.137815e-05,8.019884e-05,8.010576e-05,7.904864e-05,7.792694e-05,7.786054e-05,7.683316e-05,7.576670e-05,7.572460e-05,7.472697e-05,7.371339e-05,7.369338e-05,7.272540e-05,7.176244e-05,6.992743e-05,6.818417e-05,6.652860e-05,6.495679e-05,6.346496e-05,6.204948e-05,6.070685e-05,5.943371e-05,5.822682e-05,5.708309e-05,5.599957e-05,5.497342e-05,5.400191e-05,5.308245e-05,5.221256e-05,5.138986e-05,5.061208e-05,4.987706e-05,4.918272e-05,4.852708e-05,4.790827e-05,4.732448e-05,4.677399e-05,4.625517e-05,4.576644e-05,4.530633e-05,4.487340e-05,4.446630e-05,4.408373e-05,4.372448e-05,4.338735e-05,4.307123e-05,4.277506e-05,4.249781e-05,4.223851e-05,4.199625e-05,4.177015e-05,4.155936e-05,4.136308e-05,4.118057e-05,4.101109e-05,4.085395e-05,4.070850e-05,4.057412e-05,4.045021e-05,4.033620e-05,4.023156e-05,4.013577e-05,4.004835e-05
0.000000e+00,2.271833e-08,3.610270e-07,3.773686e-07,2.394398e-06,8.342840e-06,8.710696e-06,2.120664e-05,3.729908e-05,3.840037e-05,5.709677e-05,7.411260e-05,7.556626e-05,9.330842e-05,1.085574e-04,1.102088e-04,1.262515e-04,1.396678e-04,1.414471e-04,1.558150e-04,1.675267e-04,1.693780e-04,1.821605e-04,1.923137e-04,1.941886e-04,2.054890e-04,2.142310e-04,2.160883e-04,2.260135e-04,2.334860e-04,2.352909e-04,2.439468e-04,2.502833e-04,2.520066e-04,2.594951e-04,2.648193e-04,2.664367e-04,2.728550e-04,2.772810e-04,2.787727e-04,2.842120e-04,2.878441e-04,2.891943e-04,2.937400e-04,2.966730e-04,2.978691e-04,3.016008e-04,3.039208e-04,3.049536e-04,3.079453e-04,3.097303e-04,3.105930e-04,3.129132e-04,3.142337e-04,3.149219e-04,3.166343e-04,3.175536e-04,3.180650e-04,3.192283e-04,3.198036e-04,3.201377e-04,3.208061e-04,3.210884e-04,3.212462e-04,3.214700e-04,3.215051e-04,3.214889e-04,3.213141e-04,3.211429e-04,3.209562e-04,3.204253e-04,3.200841e-04,3.197312e-04,3.188833e-04,3.184046e-04,3.178906e-04,3.167617e-04,3.161738e-04,3.155047e-04,3.141276e-04,3.134559e-04,3.126380e-04,3.110430e-04,3.103096e-04,3.093495e-04,3.075643e-04,3.067886e-04,3.056935e-04,3.037434e-04,3.029424e-04,3.017195e-04,2.996275e-04,2.988158e-04,2.974727e-04,2.952600e-04,2.944503e-04,2.929944e-04,2.906803e-04,2.898832e-04,2.883221e-04,2.859241e-04,2.851489e-04,2.834901e-04,2.810241e-04,2.802786e-04,2.785295e-04,2.760099e-04,2.753004e-04,2.734685e-04,2.709085e-04,2.702401e-04,2.683326e-04,2.657439e-04,2.651210e-04,2.631449e-04,2.605382e-04,2.599639e-04,2.579262e-04,2.553111e-04,2.547879e-04,2.526951e-04,2.500803e-04,2.496099e-04,2.474686e-04,2.448618e-04,2.444452e-04,2.422616e-04,2.396696e-04,2.393075e-04,2.370875e-04,2.345166e-04,2.342089e-04,2.319582e-04,2.294138e-04,2.291602e-04,2.268844e-04,2.243712e-04,2.241709e-04,2.218752e-04,2.193975e-04,2.192495e-04,2.169389e-04,2.145004e-04,2.144033e-04,2.120826e-04,2.096864e-04,2.096387e-04,2.073123e-04,2.049612e-04,2.003755e-04,1.958855e-04,1.914947e-04,1.872056e-04,1.830204e-04,1.789407e-04,1.749679e-04,1.711025e-04,1.673451e-04,1.636958e-04,1.601541e-04,1.567198e-04,1.533919e-04,1.501697e-04,1.470519e-04,1.440373e-04,1.411244e-04,1.383118e-04,1.355976e-04,1.329802e-04,1.304577e-04,1.280281e-04,1.256895e-04,1.234398e-04,1.212771e-04,1.191991e-04,1.172038e-04,1.152892e-04,1.134531e-04,1.116933e-04,1.100078e-04,1.083944e-04,1.068511e-04,1.053758e-04,1.039665e-04,1.026212e-04,1.013378e-04,1.001144e-04,9.894911e-05,9.783997e-05,9.678515e-05,9.578281e-05,9.483116e-05,9.392846e-05,9.307299e-05,9.226307e-05,9.149706e-05,9.077336e-05,9.009041e-05
0.000000e+00,3.289823e-08,8.889708e-07,9.352149e-07,7.842111e-06,3.518565e-05,3.712131e-05,1.163749e-04,2.542379e-04,2.650928e-04,4.735958e-04,6.923860e-04,7.118304e-04,9.529064e-04,1.159655e-03,1.181768e-03,1.392255e-03,1.560965e-03,1.582775e-03,1.753668e-03,1.885731e-03,1.905983e-03,2.040985e-03,2.141952e-03,2.159964e-03,2.264170e-03,2.339428e-03,2.354787e-03,2.432927e-03,2.487157e-03,2.499630e-03,2.555861e-03,2.593034e-03,2.602521e-03,2.640440e-03,2.663889e-03,2.670390e-03,2.693083e-03,2.705593e-03,2.709177e-03,2.719282e-03,2.723164e-03,2.723957e-03,2.723720e-03,2.720888e-03,2.719047e-03,2.710378e-03,2.702409e-03,2.698118e-03,2.682638e-03,2.670826e-03,2.664282e-03,2.643364e-03,2.628767e-03,2.620174e-03,2.594977e-03,2.578455e-03,2.568017e-03,2.539519e-03,2.521767e-03,2.509687e-03,2.478710e-03,2.460287e-03,2.446759e-03,2.413992e-03,2.395340e-03,2.380553e-03,2.346573e-03,2.328041e-03,2.312171e-03,2.277456e-03,2.259314e-03,2.242528e-03,2.207477e-03,2.189930e-03,2.172383e-03,2.137322e-03,2.120524e-03,2.102359e-03,2.067556e-03,2.051615e-03,2.032966e-03,1.998638e-03,1.983628e-03,1.964615e-03,1.930937e-03,1.916903e-03,1.897637e-03,1.864746e-03,1.851710e-03,1.832291e-03,1.800295e-03,1.788261e-03,1.768779e-03,1.737761e-03,1.726719e-03,1.707255e-03,1.677273e-03,1.667201e-03,1.647828e-03,1.618926e-03,1.609794e-03,1.590576e-03,1.562781e-03,1.554551e-03,1.535545e-03,1.508871e-03,1.501503e-03,1.482760e-03,1.457211e-03,1.450660e-03,1.432224e-03,1.407795e-03,1.402015e-03,1.383923e-03,1.360604e-03,1.355548e-03,1.337834e-03,1.315607e-03,1.311226e-03,1.293918e-03,1.272761e-03,1.269009e-03,1.252131e-03,1.232020e-03,1.228850e-03,1.212421e-03,1.193328e-03,1.190695e-03,1.174732e-03,1.156626e-03,1.154486e-03,1.139002e-03,1.121852e-03,1.120163e-03,1.105169e-03,1.088943e-03,1.087664e-03,1.073166e-03,1.057831e-03,1.056924e-03,1.042928e-03,1.028450e-03,1.027879e-03,1.014387e-03,1.000733e-03,1.000464e-03,9.874778e-04,9.746139e-04,9.502650e-04,9.273543e-04,9.058197e-04,8.856008e-04,8.666383e-04,8.488750e-04,8.322548e-04,8.167237e-04,8.022292e-04,7.887209e-04,7.761498e-04,7.644689e-04,7.536330e-04,7.435983e-04,7.343231e-04,7.257670e-04,7.178915e-04,7.106596e-04,7.040357e-04,6.979857e-04,6.924773e-04,6.874791e-04,6.829614e-04,6.788956e-04,6.752546e-04,6.720122e-04,6.691438e-04,6.666255e-04,6.644348e-04,6.625502e-04,6.609511e-04,6.596180e-04,6.585323e-04,6.576764e-04,6.570334e-04,6.565875e-04,6.563234e-04,6.562269e-04,6.562843e-04,6.564828e-04,6.568102e-04,6.572550e-04,6.578062e-04,6.584538e-04,6.591879e-04,6.599995e-04,6.608801e-04,6.618215e-04,6.628164e-04
0.000000e+00,2.173371e-08,3.381914e-07,3.531303e-07,2.181982e-06,7.747887e-06,8.101369e-06,2.075929e-05,3.912300e-05,4.046832e-05,6.475491e-05,8.835914e-05,9.040457e-05,1.154335e-04,1.368142e-04,1.391147e-04,1.612739e-04,1.795123e-04,1.819096e-04,2.010693e-04,2.164133e-04,2.188150e-04,2.352131e-04,2.479944e-04,2.503296e-04,2.642300e-04,2.747652e-04,2.769774e-04,2.886333e-04,2.972121e-04,2.992569e-04,3.089048e-04,3.157879e-04,3.176314e-04,3.254885e-04,3.309091e-04,3.325259e-04,3.387906e-04,3.429556e-04,3.443277e-04,3.491801e-04,3.522729e-04,3.533886e-04,3.569920e-04,3.591741e-04,3.600272e-04,3.625292e-04,3.639431e-04,3.645314e-04,3.660654e-04,3.668361e-04,3.671614e-04,3.678478e-04,3.680847e-04,3.681517e-04,3.680988e-04,3.678975e-04,3.677133e-04,3.670185e-04,3.664622e-04,3.660361e-04,3.647869e-04,3.639479e-04,3.632905e-04,3.615654e-04,3.605061e-04,3.596293e-04,3.574986e-04,3.562728e-04,3.551892e-04,3.527159e-04,3.513697e-04,3.500927e-04,3.473328e-04,3.459056e-04,3.444488e-04,3.414525e-04,3.399776e-04,3.383549e-04,3.351667e-04,3.336724e-04,3.318976e-04,3.285569e-04,3.270667e-04,3.251535e-04,3.216956e-04,3.202288e-04,3.181908e-04,3.146465e-04,3.132193e-04,3.110695e-04,3.074662e-04,3.060913e-04,3.038426e-04,3.002043e-04,2.988919e-04,2.965565e-04,2.929042e-04,2.916623e-04,2.892520e-04,2.856041e-04,2.844384e-04,2.819646e-04,2.783370e-04,2.772516e-04,2.747249e-04,2.711315e-04,2.701291e-04,2.675598e-04,2.640124e-04,2.630943e-04,2.604919e-04,2.570006e-04,2.561673e-04,2.535407e-04,2.501141e-04,2.493649e-04,2.467226e-04,2.433679e-04,2.427015e-04,2.400514e-04,2.367745e-04,2.361889e-04,2.335384e-04,2.303441e-04,2.298370e-04,2.271927e-04,2.240850e-04,2.236535e-04,2.210218e-04,2.180036e-04,2.176445e-04,2.150311e-04,2.121047e-04,2.118146e-04,2.092248e-04,2.063918e-04,2.061671e-04,2.036058e-04,2.008670e-04,2.007042e-04,1.981755e-04,1.955315e-04,1.954267e-04,1.929348e-04,1.903854e-04,1.903349e-04,1.878833e-04,1.854282e-04,1.807051e-04,1.761638e-04,1.718018e-04,1.676163e-04,1.636039e-04,1.597612e-04,1.560843e-04,1.525692e-04,1.492117e-04,1.460075e-04,1.429521e-04,1.400412e-04,1.372701e-04,1.346343e-04,1.321294e-04,1.297507e-04,1.274939e-04,1.253544e-04,1.233280e-04,1.214102e-04,1.195970e-04,1.178842e-04,1.162677e-04,1.147435e-04,1.133080e-04,1.119572e-04,1.106875e-04,1.094955e-04,1.083777e-04,1.073307e-04,1.063513e-04,1.054365e-04,1.045832e-04,1.037885e-04,1.030496e-04,1.023638e-04,1.017285e-04,1.011413e-04,1.005996e-04,1.001012e-04,9.964389e-05,9.922548e-05,9.884395e-05,9.849731e-05,9.818369e-05,9.790129e-05,9.764836e-05,9.742326e-05,9.722441e-05
0.000000e+00,3.180559e-08,7.464124e-07,7.829324e-07,5.847430e-06,2.515361e-05,2.652085e-05,8.303036e-05,1.818012e-04,1.895290e-04,3.356877e-04,4.848294e-04,4.979261e-04,6.590109e-04,7.963335e-04,8.110286e-04,9.513683e-04,1.064858e-03,1.079618e-03,1.196137e-03,1.287416e-03,1.301524e-03,1.396435e-03,1.468546e-03,1.481527e-03,1.557442e-03,1.613277e-03,1.624796e-03,1.684178e-03,1.726324e-03,1.736152e-03,1.781250e-03,1.811979e-03,1.819977e-03,1.852809e-03,1.874096e-03,1.880195e-03,1.902556e-03,1.916102e-03,1.920287e-03,1.933759e-03,1.941016e-03,1.943318e-03,1.949287e-03,1.951492e-03,1.951969e-03,1.951646e-03,1.949845e-03,1.948582e-03,1.943023e-03,1.938099e-03,1.935198e-03,1.925320e-03,1.918013e-03,1.913588e-03,1.900185e-03,1.891112e-03,1.885282e-03,1.869040e-03,1.858713e-03,1.851604e-03,1.833112e-03,1.821954e-03,1.813691e-03,1.793457e-03,1.781812e-03,1.772519e-03,1.750978e-03,1.739127e-03,1.728925e-03,1.706446e-03,1.694614e-03,1.683619e-03,1.660518e-03,1.648885e-03,1.637208e-03,1.613750e-03,1.602455e-03,1.590201e-03,1.566613e-03,1.555761e-03,1.543030e-03,1.519497e-03,1.509168e-03,1.496052e-03,1.472731e-03,1.462981e-03,1.449566e-03,1.426585e-03,1.417450e-03,1.403815e-03,1.381279e-03,1.372781e-03,1.358998e-03,1.336990e-03,1.329138e-03,1.315273e-03,1.293861e-03,1.286653e-03,1.272767e-03,1.252002e-03,1.245428e-03,1.231574e-03,1.211494e-03,1.205538e-03,1.191766e-03,1.172398e-03,1.167040e-03,1.153393e-03,1.134754e-03,1.129968e-03,1.116485e-03,1.098586e-03,1.094346e-03,1.081059e-03,1.063903e-03,1.060179e-03,1.047119e-03,1.030705e-03,1.027466e-03,1.014658e-03,9.989779e-04,9.961941e-04,9.836606e-04,9.687033e-04,9.663433e-04,9.541026e-04,9.398545e-04,9.378877e-04,9.259552e-04,9.124000e-04,9.107963e-04,8.991846e-04,8.863040e-04,8.850342e-04,8.737534e-04,8.615275e-04,8.605633e-04,8.496211e-04,8.380288e-04,8.373432e-04,8.267453e-04,8.157649e-04,8.153319e-04,8.050820e-04,7.946911e-04,7.944862e-04,7.845864e-04,7.747624e-04,7.561162e-04,7.385038e-04,7.218814e-04,7.062060e-04,6.914351e-04,6.775273e-04,6.644422e-04,6.521406e-04,6.405844e-04,6.297366e-04,6.195616e-04,6.100254e-04,6.010947e-04,5.927381e-04,5.849251e-04,5.776266e-04,5.708148e-04,5.644631e-04,5.585462e-04,5.530397e-04,5.479207e-04,5.431672e-04,5.387581e-04,5.346737e-04,5.308950e-04,5.274040e-04,5.241837e-04,5.212179e-04,5.184913e-04,5.159893e-04,5.136981e-04,5.116047e-04,5.096967e-04,5.079624e-04,5.063907e-04,5.049712e-04,5.036940e-04,5.025497e-04,5.015295e-04,5.006250e-04,4.998285e-04,4.991324e-04,4.985298e-04,4.980141e-04,4.975790e-04,4.972187e-04,4.969278e-04,4.967009e-04,4.965331e-04
0.000000e+00,8.324678e-09,1.034564e-07,1.078277e-07,6.492359e-07,2.374457e-06,2.485846e-06,6.414192e-06,1.150808e-05,1.185062e-05,1.750995e-05,2.238649e-05,2.279033e-05,2.755063e-05,3.138497e-05,3.178557e-05,3.552496e-05,3.843560e-05,3.880647e-05,4.166805e-05,4.382073e-05,4.414579e-05,4.627340e-05,4.781298e-05,4.808219e-05,4.960119e-05,5.064947e-05,5.085732e-05,5.187546e-05,5.253411e-05,5.267858e-05,5.328791e-05,5.364124e-05,5.372292e-05,5.400151e-05,5.411879e-05,5.414012e-05,5.415377e-05,5.409156e-05,5.405622e-05,5.386003e-05,5.366416e-05,5.357664e-05,5.321648e-05,5.292380e-05,5.278903e-05,5.230290e-05,5.194282e-05,5.176588e-05,5.118505e-05,5.078083e-05,5.056680e-05,4.991692e-05,4.948682e-05,4.924061e-05,4.854259e-05,4.810079e-05,4.782709e-05,4.709789e-05,4.665524e-05,4.635843e-05,4.561175e-05,4.517645e-05,4.486057e-05,4.410735e-05,4.368546e-05,4.335423e-05,4.260314e-05,4.219901e-05,4.185579e-05,4.111366e-05,4.073027e-05,4.037808e-05,3.965019e-05,3.928944e-05,3.893098e-05,3.822133e-05,3.788432e-05,3.752198e-05,3.683354e-05,3.652068e-05,3.615657e-05,3.549148e-05,3.520270e-05,3.483864e-05,3.419834e-05,3.393321e-05,3.357080e-05,3.295618e-05,3.271397e-05,3.235459e-05,3.176609e-05,3.154590e-05,3.119071e-05,3.062844e-05,3.042921e-05,3.007921e-05,2.954296e-05,2.936358e-05,2.901959e-05,2.850896e-05,2.834823e-05,2.801094e-05,2.752536e-05,2.738209e-05,2.705206e-05,2.659084e-05,2.646384e-05,2.614151e-05,2.570385e-05,2.559195e-05,2.527767e-05,2.486273e-05,2.476479e-05,2.445881e-05,2.406570e-05,2.398064e-05,2.368314e-05,2.331093e-05,2.323770e-05,2.294882e-05,2.259658e-05,2.253420e-05,2.225398e-05,2.192079e-05,2.186834e-05,2.159678e-05,2.128173e-05,2.123833e-05,2.097541e-05,2.067760e-05,2.064242e-05,2.038808e-05,2.010664e-05,2.007893e-05,1.983306e-05,1.956713e-05,1.954618e-05,1.930866e-05,1.905744e-05,1.904259e-05,1.881327e-05,1.857596e-05,1.856661e-05,1.834533e-05,1.812119e-05,1.811677e-05,1.790336e-05,1.769165e-05,1.728991e-05,1.691026e-05,1.655146e-05,1.621237e-05,1.589188e-05,1.558894e-05,1.530256e-05,1.503180e-05,1.477579e-05,1.453368e-05,1.430468e-05,1.408806e-05,1.388310e-05,1.368914e-05,1.350556e-05,1.333177e-05,1.316721e-05,1.301136e-05,1.286373e-05,1.272386e-05,1.259130e-05,1.246564e-05,1.234651e-05,1.223352e-05,1.212635e-05,1.202466e-05,1.192815e-05,1.183653e-05,1.174954e-05,1.166691e-05,1.158842e-05,1.151382e-05,1.144292e-05,1.137551e-05,1.131140e-05,1.125042e-05,1.119239e-05,1.113716e-05,1.108458e-05,1.103450e-05,1.098681e-05,1.094136e-05,1.089805e-05,1.085676e-05,1.081739e-05,1.077983e-05,1.074400e-05,1.070981e-05,1.067718e-05
0.000000e+00,2.280334e-08,3.793098e-07,3.960569e-07,2.497836e-06,9.562246e-06,1.003703e-05,2.835011e-05,5.735061e-05,5.952303e-05,9.887220e-05,1.367771e-04,1.400417e-04,1.797854e-04,2.134831e-04,2.170960e-04,2.517649e-04,2.801090e-04,2.838206e-04,3.133611e-04,3.368438e-04,3.405040e-04,3.653712e-04,3.845898e-04,3.880840e-04,4.087611e-04,4.242783e-04,4.275178e-04,4.444657e-04,4.567939e-04,4.597120e-04,4.733599e-04,4.829591e-04,4.855078e-04,4.962495e-04,5.035274e-04,5.056736e-04,5.138647e-04,5.191795e-04,5.209028e-04,5.268643e-04,5.305306e-04,5.318213e-04,5.358422e-04,5.381348e-04,5.389920e-04,5.413331e-04,5.424930e-04,5.429236e-04,5.438176e-04,5.440513e-04,5.440666e-04,5.437184e-04,5.432032e-04,5.428183e-04,5.414089e-04,5.402970e-04,5.395304e-04,5.372205e-04,5.356424e-04,5.345148e-04,5.314465e-04,5.295133e-04,5.280472e-04,5.243462e-04,5.221523e-04,5.203712e-04,5.161481e-04,5.137731e-04,5.117011e-04,5.070531e-04,5.045638e-04,5.022254e-04,4.972379e-04,4.946901e-04,4.921093e-04,4.868572e-04,4.842971e-04,4.814977e-04,4.760463e-04,4.735116e-04,4.705170e-04,4.649231e-04,4.624445e-04,4.592770e-04,4.535901e-04,4.511921e-04,4.478732e-04,4.421361e-04,4.398378e-04,4.363882e-04,4.306378e-04,4.284536e-04,4.248928e-04,4.191607e-04,4.171016e-04,4.134481e-04,4.077613e-04,4.058347e-04,4.021059e-04,3.964872e-04,3.946978e-04,3.909101e-04,3.853788e-04,3.837290e-04,3.798975e-04,3.744698e-04,3.729601e-04,3.690989e-04,3.637879e-04,3.624172e-04,3.585394e-04,3.533559e-04,3.521217e-04,3.482394e-04,3.431920e-04,3.420910e-04,3.382152e-04,3.333105e-04,3.323383e-04,3.284792e-04,3.237223e-04,3.228740e-04,3.190407e-04,3.144351e-04,3.137053e-04,3.099062e-04,3.054543e-04,3.048372e-04,3.010798e-04,2.967827e-04,2.962723e-04,2.925633e-04,2.884215e-04,2.880116e-04,2.843571e-04,2.803699e-04,2.800543e-04,2.764596e-04,2.726259e-04,2.723983e-04,2.688682e-04,2.651860e-04,2.650403e-04,2.615789e-04,2.580461e-04,2.579762e-04,2.545870e-04,2.512009e-04,2.447086e-04,2.384931e-04,2.325476e-04,2.268650e-04,2.214379e-04,2.162588e-04,2.113199e-04,2.066135e-04,2.021317e-04,1.978669e-04,1.938111e-04,1.899568e-04,1.862964e-04,1.828223e-04,1.795274e-04,1.764043e-04,1.734462e-04,1.706462e-04,1.679977e-04,1.654942e-04,1.631294e-04,1.608974e-04,1.587922e-04,1.568081e-04,1.549397e-04,1.531818e-04,1.515291e-04,1.499768e-04,1.485202e-04,1.471547e-04,1.458759e-04,1.446798e-04,1.435621e-04,1.425191e-04,1.415471e-04,1.406424e-04,1.398018e-04,1.390219e-04,1.382996e-04,1.376320e-04,1.370161e-04,1.364492e-04,1.359287e-04,1.354522e-04,1.350172e-04,1.346215e-04,1.342628e-04,1.339392e-04,1.336486e-04
0.000000e+00,1.325413e-09,1.656767e-08,1.727111e-08,9.953639e-08,3.287929e-07,3.426757e-07,8.025016e-07,1.369675e-06,1.407613e-06,2.035432e-06,2.579836e-06,2.625117e-06,3.161700e-06,3.598423e-06,3.644322e-06,4.075622e-06,4.415416e-06,4.459009e-06,4.797959e-06,5.056483e-06,5.095834e-06,5.355818e-06,5.547131e-06,5.580922e-06,5.773979e-06,5.910237e-06,5.937640e-06,6.074384e-06,6.165958e-06,6.186523e-06,6.276208e-06,6.331866e-06,6.345439e-06,6.396067e-06,6.423164e-06,6.429809e-06,6.448252e-06,6.452917e-06,6.452862e-06,6.444994e-06,6.432308e-06,6.425897e-06,6.396719e-06,6.370869e-06,6.358522e-06,6.312280e-06,6.276701e-06,6.258890e-06,6.199175e-06,6.156668e-06,6.133891e-06,6.063732e-06,6.016568e-06,5.989334e-06,5.911279e-06,5.861284e-06,5.830100e-06,5.746283e-06,5.694913e-06,5.660272e-06,5.572472e-06,5.520876e-06,5.483254e-06,5.392951e-06,5.342022e-06,5.301868e-06,5.210283e-06,5.160706e-06,5.118444e-06,5.026578e-06,4.978865e-06,4.934888e-06,4.843557e-06,4.798078e-06,4.752749e-06,4.662612e-06,4.619623e-06,4.573275e-06,4.484856e-06,4.444519e-06,4.397456e-06,4.311167e-06,4.273572e-06,4.226067e-06,4.142225e-06,4.107401e-06,4.059700e-06,3.978542e-06,3.946471e-06,3.898794e-06,3.820491e-06,3.791121e-06,3.743663e-06,3.668330e-06,3.641581e-06,3.594512e-06,3.522220e-06,3.497989e-06,3.451461e-06,3.382240e-06,3.360414e-06,3.314556e-06,3.248407e-06,3.228860e-06,3.183785e-06,3.120682e-06,3.103284e-06,3.059087e-06,2.998986e-06,2.983603e-06,2.940364e-06,2.883203e-06,2.869700e-06,2.827486e-06,2.773192e-06,2.761436e-06,2.720301e-06,2.668790e-06,2.658652e-06,2.618638e-06,2.569821e-06,2.561174e-06,2.522315e-06,2.476095e-06,2.468818e-06,2.431137e-06,2.387416e-06,2.381393e-06,2.344907e-06,2.303584e-06,2.298704e-06,2.263422e-06,2.224396e-06,2.220555e-06,2.186480e-06,2.149650e-06,2.146749e-06,2.113879e-06,2.079144e-06,2.077092e-06,2.045419e-06,2.012681e-06,2.011392e-06,1.980905e-06,1.950067e-06,1.949460e-06,1.920145e-06,1.891114e-06,1.836175e-06,1.784472e-06,1.735837e-06,1.690112e-06,1.647142e-06,1.606781e-06,1.568887e-06,1.533325e-06,1.499969e-06,1.468694e-06,1.439386e-06,1.411933e-06,1.386231e-06,1.362179e-06,1.339683e-06,1.318655e-06,1.299008e-06,1.280663e-06,1.263544e-06,1.247579e-06,1.232699e-06,1.218842e-06,1.205947e-06,1.193955e-06,1.182814e-06,1.172472e-06,1.162882e-06,1.153997e-06,1.145776e-06,1.138178e-06,1.131164e-06,1.124699e-06,1.118750e-06,1.113284e-06,1.108272e-06,1.103684e-06,1.099496e-06,1.095681e-06,1.092216e-06,1.089078e-06,1.086247e-06,1.083704e-06,1.081429e-06,1.079405e-06,1.077615e-06,1.076045e-06,1.074679e-06,1.073504e-06,1.072508e-06
0.000000e+00,6.826245e-10,1.036242e-08,1.083958e-08,6.961049e-08,2.282452e-07,2.372937e-07,5.030766e-07,7.767182e-07,7.940645e-07,1.076097e-06,1.321456e-06,1.342114e-06,1.591192e-06,1.801128e-06,1.823641e-06,2.040061e-06,2.217781e-06,2.241119e-06,2.427491e-06,2.576495e-06,2.599794e-06,2.758684e-06,2.882267e-06,2.904818e-06,3.038840e-06,3.140137e-06,3.161373e-06,3.273019e-06,3.354887e-06,3.374358e-06,3.465946e-06,3.530961e-06,3.548319e-06,3.621986e-06,3.672453e-06,3.687438e-06,3.745140e-06,3.783114e-06,3.795539e-06,3.839060e-06,3.866364e-06,3.876108e-06,3.907070e-06,3.925320e-06,3.932314e-06,3.952191e-06,3.962812e-06,3.967034e-06,3.977161e-06,3.981409e-06,3.982874e-06,3.984458e-06,3.983433e-06,3.982188e-06,3.976323e-06,3.970988e-06,3.967107e-06,3.954775e-06,3.945973e-06,3.939548e-06,3.921637e-06,3.910097e-06,3.901240e-06,3.878546e-06,3.864902e-06,3.853735e-06,3.826976e-06,3.811772e-06,3.798428e-06,3.768245e-06,3.751951e-06,3.736569e-06,3.703537e-06,3.686552e-06,3.669276e-06,3.633907e-06,3.616571e-06,3.597546e-06,3.560299e-06,3.542896e-06,3.522269e-06,3.483551e-06,3.466321e-06,3.444236e-06,3.404408e-06,3.387547e-06,3.364148e-06,3.323531e-06,3.307200e-06,3.282627e-06,3.241502e-06,3.225830e-06,3.200219e-06,3.158835e-06,3.143923e-06,3.117405e-06,3.075981e-06,3.061906e-06,3.034608e-06,2.993332e-06,2.980151e-06,2.952194e-06,2.911233e-06,2.898984e-06,2.870483e-06,2.829978e-06,2.818685e-06,2.789749e-06,2.749825e-06,2.739497e-06,2.710230e-06,2.670989e-06,2.661627e-06,2.632125e-06,2.593657e-06,2.585249e-06,2.555604e-06,2.517982e-06,2.510511e-06,2.480807e-06,2.444093e-06,2.437534e-06,2.407851e-06,2.372093e-06,2.366417e-06,2.336828e-06,2.302065e-06,2.297239e-06,2.267812e-06,2.234074e-06,2.230061e-06,2.200858e-06,2.168167e-06,2.164927e-06,2.136005e-06,2.104375e-06,2.101868e-06,2.073280e-06,2.042719e-06,2.040903e-06,2.012695e-06,1.983207e-06,1.982038e-06,1.954254e-06,1.925836e-06,1.925273e-06,1.897950e-06,1.870595e-06,1.817987e-06,1.767424e-06,1.718878e-06,1.672313e-06,1.627691e-06,1.584971e-06,1.544110e-06,1.505059e-06,1.467773e-06,1.432200e-06,1.398292e-06,1.365997e-06,1.335264e-06,1.306042e-06,1.278280e-06,1.251926e-06,1.226931e-06,1.203245e-06,1.180818e-06,1.159602e-06,1.139551e-06,1.120617e-06,1.102757e-06,1.085925e-06,1.070078e-06,1.055175e-06,1.041175e-06,1.028039e-06,1.015728e-06,1.004206e-06,9.934363e-07,9.833846e-07,9.740176e-07,9.653028e-07,9.572092e-07,9.497068e-07,9.427667e-07,9.363611e-07,9.304632e-07,9.250475e-07,9.200891e-07,9.155645e-07,9.114509e-07,9.077265e-07,9.043704e-07,9.013626e-07,8.986838e-07,8.963158e-07,8.942410e-07
0.000000e+00,5.144842e-08,1.006760e-06,1.056993e-06,7.677155e-06,2.530106e-05,2.625118e-05,5.208063e-05,7.665201e-05,7.818104e-05,1.027710e-04,1.238393e-04,1.256009e-04,1.466904e-04,1.642401e-04,1.661089e-04,1.839348e-04,1.983669e-04,2.002470e-04,2.151239e-04,2.268291e-04,2.286428e-04,2.408799e-04,2.502228e-04,2.519094e-04,2.618035e-04,2.691184e-04,2.706319e-04,2.784618e-04,2.840499e-04,2.853572e-04,2.913795e-04,2.955085e-04,2.965871e-04,3.010350e-04,3.039395e-04,3.047752e-04,3.078566e-04,3.097402e-04,3.103258e-04,3.122266e-04,3.132668e-04,3.136008e-04,3.144878e-04,3.148395e-04,3.149261e-04,3.149515e-04,3.147496e-04,3.145965e-04,3.138917e-04,3.132489e-04,3.128659e-04,3.115460e-04,3.105588e-04,3.099575e-04,3.081239e-04,3.068738e-04,3.060675e-04,3.038091e-04,3.023654e-04,3.013684e-04,2.987634e-04,2.971840e-04,2.960112e-04,2.931277e-04,2.914612e-04,2.901278e-04,2.870254e-04,2.853121e-04,2.838334e-04,2.805638e-04,2.788368e-04,2.772280e-04,2.738364e-04,2.721227e-04,2.703986e-04,2.669237e-04,2.652450e-04,2.634200e-04,2.598954e-04,2.582690e-04,2.563569e-04,2.528112e-04,2.512504e-04,2.492644e-04,2.457222e-04,2.442371e-04,2.421898e-04,2.386719e-04,2.372698e-04,2.351729e-04,2.316969e-04,2.303827e-04,2.282474e-04,2.248279e-04,2.236048e-04,2.214414e-04,2.180906e-04,2.169599e-04,2.147780e-04,2.115059e-04,2.104677e-04,2.082762e-04,2.050908e-04,2.041440e-04,2.019511e-04,1.988587e-04,1.980014e-04,1.958146e-04,1.928201e-04,1.920497e-04,1.898759e-04,1.869828e-04,1.862962e-04,1.841415e-04,1.813524e-04,1.807459e-04,1.786160e-04,1.759324e-04,1.754021e-04,1.733019e-04,1.707246e-04,1.702663e-04,1.682005e-04,1.657294e-04,1.653390e-04,1.633113e-04,1.609460e-04,1.606190e-04,1.586331e-04,1.563724e-04,1.561046e-04,1.541634e-04,1.520058e-04,1.517929e-04,1.498991e-04,1.478428e-04,1.476804e-04,1.458363e-04,1.438791e-04,1.437632e-04,1.419705e-04,1.401101e-04,1.400366e-04,1.382970e-04,1.365307e-04,1.364959e-04,1.348105e-04,1.331357e-04,1.299506e-04,1.269350e-04,1.240832e-04,1.213893e-04,1.188475e-04,1.164520e-04,1.141969e-04,1.120766e-04,1.100853e-04,1.082174e-04,1.064675e-04,1.048301e-04,1.033002e-04,1.018725e-04,1.005420e-04,9.930412e-05,9.815402e-05,9.708725e-05,9.609942e-05,9.518635e-05,9.434396e-05,9.356836e-05,9.285578e-05,9.220261e-05,9.160540e-05,9.106082e-05,9.056567e-05,9.011693e-05,8.971166e-05,8.934708e-05,8.902054e-05,8.872950e-05,8.847153e-05,8.824435e-05,8.804576e-05,8.787368e-05,8.772613e-05,8.760125e-05,8.749724e-05,8.741245e-05,8.734526e-05,8.729419e-05,8.725782e-05,8.723480e-05,8.722389e-05,8.722390e-05,8.723371e-05,8.725230e-05,8.727868e-05
0.000000e+00,8.395779e-10,1.176037e-08,1.228190e-08,7.456518e-08,2.452859e-07,2.553702e-07,5.710605e-07,9.200027e-07,9.423241e-07,1.302891e-06,1.609571e-06,1.635013e-06,1.936669e-06,2.183094e-06,2.209067e-06,2.454000e-06,2.648286e-06,2.673311e-06,2.868782e-06,3.019111e-06,3.042104e-06,3.194878e-06,3.308443e-06,3.328623e-06,3.444775e-06,3.527843e-06,3.544687e-06,3.629638e-06,3.687633e-06,3.700824e-06,3.759371e-06,3.796942e-06,3.806329e-06,3.842681e-06,3.863779e-06,3.869340e-06,3.887159e-06,3.895122e-06,3.896930e-06,3.899386e-06,3.897010e-06,3.895210e-06,3.885034e-06,3.874655e-06,3.869442e-06,3.848975e-06,3.832531e-06,3.824135e-06,3.795383e-06,3.774472e-06,3.763145e-06,3.727815e-06,3.703750e-06,3.689756e-06,3.649301e-06,3.623151e-06,3.606757e-06,3.562406e-06,3.535038e-06,3.516508e-06,3.469301e-06,3.441407e-06,3.421002e-06,3.371811e-06,3.343942e-06,3.321909e-06,3.271465e-06,3.244053e-06,3.220628e-06,3.169538e-06,3.142914e-06,3.118321e-06,3.067088e-06,3.041500e-06,3.015945e-06,2.964984e-06,2.940613e-06,2.914290e-06,2.863936e-06,2.840907e-06,2.813992e-06,2.764517e-06,2.742911e-06,2.715565e-06,2.667184e-06,2.647045e-06,2.619415e-06,2.572296e-06,2.553637e-06,2.525857e-06,2.480126e-06,2.462939e-06,2.435127e-06,2.390879e-06,2.375138e-06,2.347400e-06,2.304701e-06,2.290363e-06,2.262794e-06,2.221686e-06,2.208701e-06,2.181382e-06,2.141887e-06,2.130196e-06,2.103201e-06,2.065324e-06,2.054863e-06,2.028254e-06,1.991988e-06,1.982690e-06,1.956521e-06,1.921847e-06,1.913643e-06,1.887960e-06,1.854851e-06,1.847670e-06,1.822512e-06,1.790933e-06,1.784708e-06,1.760105e-06,1.730017e-06,1.724678e-06,1.700657e-06,1.672015e-06,1.667499e-06,1.644079e-06,1.616837e-06,1.613077e-06,1.590275e-06,1.564383e-06,1.561320e-06,1.539146e-06,1.514553e-06,1.512128e-06,1.490590e-06,1.467244e-06,1.465403e-06,1.444503e-06,1.422354e-06,1.421043e-06,1.400783e-06,1.379779e-06,1.378950e-06,1.359327e-06,1.339417e-06,1.339024e-06,1.320034e-06,1.301168e-06,1.265286e-06,1.231286e-06,1.199078e-06,1.168572e-06,1.139687e-06,1.112339e-06,1.086451e-06,1.061947e-06,1.038756e-06,1.016810e-06,9.960417e-07,9.763896e-07,9.577938e-07,9.401977e-07,9.235474e-07,9.077916e-07,8.928817e-07,8.787717e-07,8.654177e-07,8.527784e-07,8.408146e-07,8.294890e-07,8.187666e-07,8.086142e-07,7.990002e-07,7.898951e-07,7.812707e-07,7.731005e-07,7.653594e-07,7.580239e-07,7.510715e-07,7.444812e-07,7.382330e-07,7.323082e-07,7.266891e-07,7.213588e-07,7.163017e-07,7.115028e-07,7.069481e-07,7.026243e-07,6.985191e-07,6.946204e-07,6.909172e-07,6.873990e-07,6.840558e-07,6.808784e-07,6.778578e-07,6.749858e-07,6.722544e-07
0.000000e+00,2.019129e-08,2.416583e-07,2.514361e-07,1.400315e-06,4.936369e-06,5.164530e-06,1.339808e-05,2.482502e-05,2.562200e-05,3.913464e-05,5.110623e-05,5.210628e-05,6.397343e-05,7.363160e-05,7.464580e-05,8.416324e-05,9.164093e-05,9.259867e-05,1.000312e-04,1.056805e-04,1.065386e-04,1.121954e-04,1.163413e-04,1.170719e-04,1.212340e-04,1.241574e-04,1.247436e-04,1.276584e-04,1.295983e-04,1.300322e-04,1.319148e-04,1.330719e-04,1.333522e-04,1.343874e-04,1.349296e-04,1.350599e-04,1.354056e-04,1.354705e-04,1.354575e-04,1.352457e-04,1.349457e-04,1.347982e-04,1.341405e-04,1.335679e-04,1.332964e-04,1.322881e-04,1.315197e-04,1.311368e-04,1.298603e-04,1.289573e-04,1.284751e-04,1.269959e-04,1.260062e-04,1.254363e-04,1.238085e-04,1.227700e-04,1.221238e-04,1.203922e-04,1.193346e-04,1.186229e-04,1.168241e-04,1.157704e-04,1.150035e-04,1.131676e-04,1.121351e-04,1.113226e-04,1.094739e-04,1.084758e-04,1.076263e-04,1.057843e-04,1.048300e-04,1.039517e-04,1.021320e-04,1.012279e-04,1.003281e-04,9.854288e-05,9.769328e-05,9.677861e-05,9.503735e-05,9.424460e-05,9.332089e-05,9.163076e-05,9.089579e-05,8.996826e-05,8.833451e-05,8.765714e-05,8.673043e-05,8.515676e-05,8.453595e-05,8.361410e-05,8.210290e-05,8.153698e-05,8.062352e-05,7.917614e-05,7.866296e-05,7.776091e-05,7.637785e-05,7.591493e-05,7.502690e-05,7.370794e-05,7.329261e-05,7.242080e-05,7.116521e-05,7.079464e-05,6.994089e-05,6.874750e-05,6.841884e-05,6.758466e-05,6.645197e-05,6.616235e-05,6.534898e-05,6.427523e-05,6.402183e-05,6.323023e-05,6.221348e-05,6.199354e-05,6.122446e-05,6.026265e-05,6.007350e-05,5.932749e-05,5.841844e-05,5.825755e-05,5.753496e-05,5.667649e-05,5.654142e-05,5.584248e-05,5.503236e-05,5.492082e-05,5.424558e-05,5.348160e-05,5.339143e-05,5.273986e-05,5.201982e-05,5.194899e-05,5.132095e-05,5.064270e-05,5.058932e-05,4.998456e-05,4.934601e-05,4.930831e-05,4.872653e-05,4.812563e-05,4.810197e-05,4.754281e-05,4.697759e-05,4.696646e-05,4.642949e-05,4.589805e-05,4.489314e-05,4.394832e-05,4.306027e-05,4.222587e-05,4.144211e-05,4.070615e-05,4.001525e-05,3.936686e-05,3.875852e-05,3.818792e-05,3.765286e-05,3.715127e-05,3.668119e-05,3.624076e-05,3.582823e-05,3.544194e-05,3.508034e-05,3.474196e-05,3.442541e-05,3.412937e-05,3.385262e-05,3.359399e-05,3.335240e-05,3.312681e-05,3.291625e-05,3.271982e-05,3.253665e-05,3.236593e-05,3.220690e-05,3.205885e-05,3.192110e-05,3.179302e-05,3.167401e-05,3.156352e-05,3.146101e-05,3.136599e-05,3.127799e-05,3.119658e-05,3.112134e-05,3.105189e-05,3.098786e-05,3.092892e-05,3.087472e-05,3.082498e-05,3.077942e-05,3.073775e-05,3.069974e-05,3.066514e-05,3.063374e-05
0.000000e+00,1.132772e-08,1.594531e-07,1.661667e-07,9.140295e-07,2.857234e-06,2.971808e-06,6.713815e-06,1.143725e-05,1.176250e-05,1.729208e-05,2.214766e-05,2.254574e-05,2.711479e-05,3.056086e-05,3.090598e-05,3.397234e-05,3.614363e-05,3.640524e-05,3.829652e-05,3.955317e-05,3.972888e-05,4.077426e-05,4.139878e-05,4.149443e-05,4.194224e-05,4.213797e-05,4.216266e-05,4.219392e-05,4.210470e-05,4.206845e-05,4.181373e-05,4.154043e-05,4.145303e-05,4.100605e-05,4.061898e-05,4.048943e-05,3.991720e-05,3.946498e-05,3.930120e-05,3.865140e-05,3.816738e-05,3.797618e-05,3.728258e-05,3.678933e-05,3.657650e-05,3.586285e-05,3.537539e-05,3.514577e-05,3.442866e-05,3.395676e-05,3.371437e-05,3.300521e-05,3.255496e-05,3.230312e-05,3.160964e-05,3.118458e-05,3.092605e-05,3.025334e-05,2.985527e-05,2.959230e-05,2.894356e-05,2.857311e-05,2.830757e-05,2.768466e-05,2.734164e-05,2.707507e-05,2.647893e-05,2.616263e-05,2.589630e-05,2.532719e-05,2.503658e-05,2.477154e-05,2.422927e-05,2.396310e-05,2.370023e-05,2.318429e-05,2.294123e-05,2.268125e-05,2.219092e-05,2.196958e-05,2.171309e-05,2.124752e-05,2.104649e-05,2.079398e-05,2.035224e-05,2.017016e-05,1.992204e-05,1.950315e-05,1.933870e-05,1.909530e-05,1.869826e-05,1.855017e-05,1.831177e-05,1.793559e-05,1.780264e-05,1.756947e-05,1.721317e-05,1.709422e-05,1.686645e-05,1.652907e-05,1.642304e-05,1.620080e-05,1.588142e-05,1.578730e-05,1.557070e-05,1.526841e-05,1.518525e-05,1.497435e-05,1.468831e-05,1.461522e-05,1.441007e-05,1.413944e-05,1.407560e-05,1.387621e-05,1.362021e-05,1.356483e-05,1.337123e-05,1.312909e-05,1.308147e-05,1.289362e-05,1.266463e-05,1.262409e-05,1.244196e-05,1.222545e-05,1.219136e-05,1.201492e-05,1.181022e-05,1.178202e-05,1.161119e-05,1.141769e-05,1.139483e-05,1.122956e-05,1.104667e-05,1.102866e-05,1.086886e-05,1.069602e-05,1.068240e-05,1.052800e-05,1.036467e-05,1.035502e-05,1.020591e-05,1.005160e-05,1.004552e-05,9.901615e-06,9.755840e-06,9.752967e-06,9.614161e-06,9.476468e-06,9.215177e-06,8.968290e-06,8.735047e-06,8.514723e-06,8.306634e-06,8.110129e-06,7.924591e-06,7.749437e-06,7.584112e-06,7.428089e-06,7.280873e-06,7.141989e-06,7.010992e-06,6.887456e-06,6.770981e-06,6.661185e-06,6.557707e-06,6.460206e-06,6.368358e-06,6.281857e-06,6.200411e-06,6.123745e-06,6.051599e-06,5.983727e-06,5.919893e-06,5.859877e-06,5.803469e-06,5.750471e-06,5.700694e-06,5.653961e-06,5.610102e-06,5.568960e-06,5.530382e-06,5.494226e-06,5.460357e-06,5.428646e-06,5.398973e-06,5.371223e-06,5.345288e-06,5.321065e-06,5.298457e-06,5.277372e-06,5.257723e-06,5.239429e-06,5.222412e-06,5.206598e-06,5.191917e-06,5.178305e-06,5.165700e-06
0.000000e+00,1.499330e-09,1.723271e-08,1.794031e-08,9.996959e-08,3.329085e-07,3.472496e-07,8.374173e-07,1.483216e-06,1.527864e-06,2.284065e-06,2.955251e-06,3.011448e-06,3.680800e-06,4.230219e-06,4.288225e-06,4.836079e-06,5.271844e-06,5.328060e-06,5.768042e-06,6.107720e-06,6.159799e-06,6.506924e-06,6.766505e-06,6.812810e-06,7.080647e-06,7.273984e-06,7.313424e-06,7.513930e-06,7.652863e-06,7.684779e-06,7.828392e-06,7.922950e-06,7.947012e-06,8.042744e-06,8.101394e-06,8.117533e-06,8.173189e-06,8.203046e-06,8.211386e-06,8.233678e-06,8.240691e-06,8.241503e-06,8.236194e-06,8.225327e-06,8.218983e-06,8.191010e-06,8.166381e-06,8.153327e-06,8.106907e-06,8.071922e-06,8.052647e-06,7.991376e-06,7.948838e-06,7.923857e-06,7.850794e-06,7.802998e-06,7.772836e-06,7.690580e-06,7.639393e-06,7.604574e-06,7.515323e-06,7.462255e-06,7.423290e-06,7.328900e-06,7.275158e-06,7.232542e-06,7.134573e-06,7.081117e-06,7.035320e-06,6.935081e-06,6.882659e-06,6.834128e-06,6.732709e-06,6.681897e-06,6.631050e-06,6.529356e-06,6.480586e-06,6.427813e-06,6.326590e-06,6.280176e-06,6.225838e-06,6.125695e-06,6.081857e-06,6.026284e-06,5.927715e-06,5.886592e-06,5.830088e-06,5.733490e-06,5.695157e-06,5.637999e-06,5.543683e-06,5.508164e-06,5.450603e-06,5.358810e-06,5.326089e-06,5.268351e-06,5.179263e-06,5.149291e-06,5.091579e-06,5.005326e-06,4.978031e-06,4.920525e-06,4.837196e-06,4.812486e-06,4.755349e-06,4.674996e-06,4.652765e-06,4.596141e-06,4.518786e-06,4.498920e-06,4.442933e-06,4.368577e-06,4.350954e-06,4.295713e-06,4.224334e-06,4.208829e-06,4.154431e-06,4.085991e-06,4.072478e-06,4.019003e-06,3.953453e-06,3.941805e-06,3.889324e-06,3.826601e-06,3.816695e-06,3.765267e-06,3.705302e-06,3.697015e-06,3.646688e-06,3.589406e-06,3.582620e-06,3.533435e-06,3.478754e-06,3.473357e-06,3.425344e-06,3.373182e-06,3.369062e-06,3.322247e-06,3.272517e-06,3.269571e-06,3.223971e-06,3.176587e-06,3.174715e-06,3.130342e-06,3.085216e-06,3.084325e-06,3.041186e-06,2.998230e-06,2.916263e-06,2.838259e-06,2.764054e-06,2.693488e-06,2.626406e-06,2.562657e-06,2.502094e-06,2.444574e-06,2.389962e-06,2.338123e-06,2.288930e-06,2.242260e-06,2.197995e-06,2.156022e-06,2.116233e-06,2.078523e-06,2.042793e-06,2.008948e-06,1.976896e-06,1.946550e-06,1.917827e-06,1.890647e-06,1.864935e-06,1.840618e-06,1.817628e-06,1.795898e-06,1.775367e-06,1.755974e-06,1.737662e-06,1.720378e-06,1.704070e-06,1.688688e-06,1.674186e-06,1.660520e-06,1.647647e-06,1.635526e-06,1.624121e-06,1.613393e-06,1.603309e-06,1.593835e-06,1.584940e-06,1.576594e-06,1.568769e-06,1.561439e-06,1.554576e-06,1.548157e-06,1.542160e-06,1.536560e-06,1.531339e-06
0.000000e+00,8.176345e-09,2.621670e-07,2.767238e-07,2.702609e-06,1.363835e-05,1.444982e-05,4.942944e-05,1.136255e-04,1.187767e-04,2.200690e-04,3.314432e-04,3.416034e-04,4.710099e-04,5.865213e-04,5.990821e-04,7.201379e-04,8.184493e-04,8.311962e-04,9.310442e-04,1.007808e-03,1.019522e-03,1.097048e-03,1.154217e-03,1.164327e-03,1.222185e-03,1.263198e-03,1.271476e-03,1.313028e-03,1.341226e-03,1.347625e-03,1.375991e-03,1.394221e-03,1.398792e-03,1.416630e-03,1.427206e-03,1.430051e-03,1.439550e-03,1.444316e-03,1.445570e-03,1.448508e-03,1.448919e-03,1.448724e-03,1.446538e-03,1.443734e-03,1.442238e-03,1.436080e-03,1.430951e-03,1.428296e-03,1.419092e-03,1.412330e-03,1.408653e-03,1.397142e-03,1.389282e-03,1.384709e-03,1.371485e-03,1.362941e-03,1.357588e-03,1.343124e-03,1.334213e-03,1.328187e-03,1.312861e-03,1.303823e-03,1.297220e-03,1.281331e-03,1.272347e-03,1.265253e-03,1.249038e-03,1.240242e-03,1.232733e-03,1.216379e-03,1.207869e-03,1.200013e-03,1.183667e-03,1.175511e-03,1.167370e-03,1.151145e-03,1.143390e-03,1.135017e-03,1.119003e-03,1.111680e-03,1.103121e-03,1.087385e-03,1.080511e-03,1.071809e-03,1.056402e-03,1.049985e-03,1.041176e-03,1.026137e-03,1.020176e-03,1.011293e-03,9.966493e-04,9.911381e-04,9.822104e-04,9.679803e-04,9.629091e-04,9.539619e-04,9.401575e-04,9.355131e-04,9.265688e-04,9.131968e-04,9.089637e-04,9.000423e-04,8.871052e-04,8.832665e-04,8.743854e-04,8.618823e-04,8.584202e-04,8.495950e-04,8.375223e-04,8.344184e-04,8.256628e-04,8.140148e-04,8.112506e-04,8.025766e-04,7.913463e-04,7.889033e-04,7.803216e-04,7.695004e-04,7.673604e-04,7.588804e-04,7.484591e-04,7.466042e-04,7.382340e-04,7.282027e-04,7.266155e-04,7.183624e-04,7.087106e-04,7.073743e-04,6.992446e-04,6.899617e-04,6.888599e-04,6.808591e-04,6.719343e-04,6.710514e-04,6.631843e-04,6.546065e-04,6.539277e-04,6.461983e-04,6.379567e-04,6.374675e-04,6.298792e-04,6.219631e-04,6.216497e-04,6.142056e-04,6.066041e-04,6.064536e-04,5.991559e-04,5.918586e-04,5.778445e-04,5.643916e-04,5.514806e-04,5.390927e-04,5.272094e-04,5.158130e-04,5.048861e-04,4.944118e-04,4.843739e-04,4.747564e-04,4.655441e-04,4.567220e-04,4.482759e-04,4.401918e-04,4.324563e-04,4.250563e-04,4.179794e-04,4.112134e-04,4.047466e-04,3.985676e-04,3.926656e-04,3.870300e-04,3.816507e-04,3.765178e-04,3.716218e-04,3.669536e-04,3.625044e-04,3.582657e-04,3.542292e-04,3.503871e-04,3.467318e-04,3.432558e-04,3.399520e-04,3.368137e-04,3.338343e-04,3.310073e-04,3.283267e-04,3.257865e-04,3.233810e-04,3.211049e-04,3.189526e-04,3.169193e-04,3.149999e-04,3.131898e-04,3.114843e-04,3.098791e-04,3.083699e-04,3.069527e-04,3.056236e-04
0.000000e+00,1.207810e-08,1.720992e-07,1.798686e-07,1.175280e-06,4.248031e-06,4.439234e-06,1.074669e-05,1.817891e-05,1.866545e-05,2.666852e-05,3.366802e-05,3.425647e-05,4.132897e-05,4.724895e-05,4.788119e-05,5.393074e-05,5.885719e-05,5.950115e-05,6.461704e-05,6.867096e-05,6.930171e-05,7.357820e-05,7.687186e-05,7.746951e-05,8.099790e-05,8.363546e-05,8.418484e-05,8.705094e-05,8.912608e-05,8.961590e-05,9.189852e-05,9.349450e-05,9.391668e-05,9.568737e-05,9.687751e-05,9.722667e-05,9.854984e-05,9.939836e-05,9.967130e-05,1.006047e-04,1.011675e-04,1.013629e-04,1.019580e-04,1.022837e-04,1.024015e-04,1.027042e-04,1.028349e-04,1.028764e-04,1.029276e-04,1.028995e-04,1.028668e-04,1.027026e-04,1.025469e-04,1.024429e-04,1.020953e-04,1.018388e-04,1.016669e-04,1.011643e-04,1.008297e-04,1.005937e-04,9.996113e-05,9.956796e-05,9.927196e-05,9.853138e-05,9.809602e-05,9.774424e-05,9.691507e-05,9.645136e-05,9.604814e-05,9.514741e-05,9.466693e-05,9.421662e-05,9.325924e-05,9.277160e-05,9.227852e-05,9.127752e-05,9.079067e-05,9.025906e-05,8.922579e-05,8.874620e-05,8.818018e-05,8.712452e-05,8.665740e-05,8.606095e-05,8.499146e-05,8.454096e-05,8.391790e-05,8.284197e-05,8.241129e-05,8.176526e-05,8.068924e-05,8.028082e-05,7.961527e-05,7.854459e-05,7.816018e-05,7.747837e-05,7.641767e-05,7.605846e-05,7.536346e-05,7.431664e-05,7.398335e-05,7.327802e-05,7.224836e-05,7.194131e-05,7.122832e-05,7.021854e-05,6.993771e-05,6.921956e-05,6.823189e-05,6.797701e-05,6.725598e-05,6.629224e-05,6.606279e-05,6.534101e-05,6.440261e-05,6.419791e-05,6.347732e-05,6.256537e-05,6.238460e-05,6.166697e-05,6.078229e-05,6.062452e-05,5.991147e-05,5.905463e-05,5.891883e-05,5.821184e-05,5.738318e-05,5.726830e-05,5.656868e-05,5.576837e-05,5.567329e-05,5.498225e-05,5.421029e-05,5.413387e-05,5.345247e-05,5.270874e-05,5.264985e-05,5.197904e-05,5.126328e-05,5.122078e-05,5.056139e-05,4.987326e-05,4.984602e-05,4.919879e-05,4.853786e-05,4.852478e-05,4.789035e-05,4.725611e-05,4.603897e-05,4.487219e-05,4.375457e-05,4.268482e-05,4.166161e-05,4.068358e-05,3.974937e-05,3.885758e-05,3.800681e-05,3.719568e-05,3.642279e-05,3.568680e-05,3.498633e-05,3.432007e-05,3.368671e-05,3.308498e-05,3.251363e-05,3.197144e-05,3.145723e-05,3.096984e-05,3.050817e-05,3.007111e-05,2.965762e-05,2.926669e-05,2.889732e-05,2.854858e-05,2.821953e-05,2.790930e-05,2.761703e-05,2.734191e-05,2.708313e-05,2.683994e-05,2.661161e-05,2.639742e-05,2.619672e-05,2.600883e-05,2.583315e-05,2.566907e-05,2.551602e-05,2.537344e-05,2.524082e-05,2.511764e-05,2.500342e-05,2.489770e-05,2.480003e-05,2.470999e-05,2.462716e-05,2.455117e-05,2.448164e-05
0.000000e+00,7.769302e-10,9.398902e-09,9.794030e-09,5.636690e-08,1.909160e-07,1.992683e-07,4.882533e-07,8.764045e-07,9.034760e-07,1.365990e-06,1.782017e-06,1.817046e-06,2.236234e-06,2.582765e-06,2.619474e-06,2.967359e-06,3.245678e-06,3.281695e-06,3.564567e-06,3.784271e-06,3.818070e-06,4.044236e-06,4.214512e-06,4.245005e-06,4.422218e-06,4.551178e-06,4.577614e-06,4.712828e-06,4.807502e-06,4.829394e-06,4.928751e-06,4.995173e-06,5.012246e-06,5.081133e-06,5.124446e-06,5.136591e-06,5.179719e-06,5.204298e-06,5.211536e-06,5.232991e-06,5.242522e-06,5.244969e-06,5.248291e-06,5.245878e-06,5.243722e-06,5.231971e-06,5.220215e-06,5.213696e-06,5.189509e-06,5.170584e-06,5.159977e-06,5.125624e-06,5.101336e-06,5.086939e-06,5.044373e-06,5.016216e-06,4.998342e-06,4.949232e-06,4.918439e-06,4.897402e-06,4.843180e-06,4.810756e-06,4.786871e-06,4.728755e-06,4.695519e-06,4.669092e-06,4.608120e-06,4.574729e-06,4.546059e-06,4.483109e-06,4.450087e-06,4.419457e-06,4.355272e-06,4.323029e-06,4.290710e-06,4.225914e-06,4.194768e-06,4.161015e-06,4.096130e-06,4.066318e-06,4.031368e-06,3.966828e-06,3.938524e-06,3.902600e-06,3.838763e-06,3.812086e-06,3.775391e-06,3.712551e-06,3.687577e-06,3.650301e-06,3.588694e-06,3.565462e-06,3.527777e-06,3.467592e-06,3.446113e-06,3.408177e-06,3.349564e-06,3.329823e-06,3.291780e-06,3.234850e-06,3.216817e-06,3.178796e-06,3.123634e-06,3.107262e-06,3.069380e-06,3.016044e-06,3.001276e-06,2.963636e-06,2.912163e-06,2.898934e-06,2.861630e-06,2.812040e-06,2.800279e-06,2.763393e-06,2.715689e-06,2.705320e-06,2.668925e-06,2.623099e-06,2.614046e-06,2.578206e-06,2.534239e-06,2.526423e-06,2.491192e-06,2.449057e-06,2.442400e-06,2.407827e-06,2.367490e-06,2.361914e-06,2.328039e-06,2.289461e-06,2.284890e-06,2.251747e-06,2.214884e-06,2.211244e-06,2.178861e-06,2.143667e-06,2.140886e-06,2.109287e-06,2.075711e-06,2.073722e-06,2.042925e-06,2.010915e-06,2.009651e-06,1.979670e-06,1.949175e-06,1.948572e-06,1.919417e-06,1.890384e-06,1.834982e-06,1.782263e-06,1.732125e-06,1.684468e-06,1.639190e-06,1.596196e-06,1.555389e-06,1.516677e-06,1.479970e-06,1.445179e-06,1.412221e-06,1.381013e-06,1.351475e-06,1.323533e-06,1.297112e-06,1.272141e-06,1.248553e-06,1.226282e-06,1.205266e-06,1.185445e-06,1.166761e-06,1.149160e-06,1.132587e-06,1.116994e-06,1.102332e-06,1.088555e-06,1.075618e-06,1.063481e-06,1.052102e-06,1.041443e-06,1.031468e-06,1.022142e-06,1.013432e-06,1.005305e-06,9.977321e-07,9.906837e-07,9.841326e-07,9.780525e-07,9.724187e-07,9.672073e-07,9.623958e-07,9.579625e-07,9.538871e-07,9.501500e-07,9.467326e-07,9.436173e-07,9.407873e-07,9.382265e-07,9.359198e-07
0.000000e+00,9.816448e-09,1.382957e-07,1.443773e-07,8.884454e-07,3.099335e-06,3.237044e-06,7.958350e-06,1.407660e-05,1.449382e-05,2.150360e-05,2.772893e-05,2.825306e-05,3.454681e-05,3.979718e-05,4.035662e-05,4.569517e-05,5.002093e-05,5.058479e-05,5.504978e-05,5.856863e-05,5.911449e-05,6.280265e-05,6.562653e-05,6.613722e-05,6.914028e-05,7.137026e-05,7.183295e-05,7.423534e-05,7.596116e-05,7.636660e-05,7.824487e-05,7.954537e-05,7.988732e-05,8.131014e-05,8.225404e-05,8.252863e-05,8.355719e-05,8.420404e-05,8.440937e-05,8.509793e-05,8.549913e-05,8.563484e-05,8.603137e-05,8.623109e-05,8.629808e-05,8.644487e-05,8.648098e-05,8.648107e-05,8.641537e-05,8.632018e-05,8.625595e-05,8.601046e-05,8.581150e-05,8.568606e-05,8.528945e-05,8.501006e-05,8.482691e-05,8.430432e-05,8.396423e-05,8.372715e-05,8.310052e-05,8.271630e-05,8.242921e-05,8.171769e-05,8.130325e-05,8.097014e-05,8.019043e-05,7.975730e-05,7.938219e-05,7.854878e-05,7.810652e-05,7.769336e-05,7.681882e-05,7.637525e-05,7.592789e-05,7.502310e-05,7.458456e-05,7.410677e-05,7.318108e-05,7.275267e-05,7.224803e-05,7.130948e-05,7.089523e-05,7.036716e-05,6.942265e-05,6.902566e-05,6.847741e-05,6.753280e-05,6.715542e-05,6.659007e-05,6.565035e-05,6.529427e-05,6.471469e-05,6.378405e-05,6.345042e-05,6.285931e-05,6.194128e-05,6.163080e-05,6.103067e-05,6.012814e-05,5.984114e-05,5.923430e-05,5.834968e-05,5.808617e-05,5.747477e-05,5.661000e-05,5.636974e-05,5.575576e-05,5.491238e-05,5.469492e-05,5.408016e-05,5.325937e-05,5.306411e-05,5.245023e-05,5.165294e-05,5.147914e-05,5.086765e-05,5.009449e-05,4.994133e-05,4.933358e-05,4.858499e-05,4.845156e-05,4.784879e-05,4.712500e-05,4.701035e-05,4.641366e-05,4.571475e-05,4.561790e-05,4.502827e-05,4.435417e-05,4.427411e-05,4.369243e-05,4.304297e-05,4.297870e-05,4.240573e-05,4.178064e-05,4.173115e-05,4.116759e-05,4.056649e-05,4.053080e-05,3.997723e-05,3.939971e-05,3.937685e-05,3.883379e-05,3.827936e-05,3.826839e-05,3.773628e-05,3.720442e-05,3.618387e-05,3.520561e-05,3.426846e-05,3.337124e-05,3.251272e-05,3.169168e-05,3.090688e-05,3.015710e-05,2.944112e-05,2.875774e-05,2.810576e-05,2.748403e-05,2.689140e-05,2.632676e-05,2.578901e-05,2.527709e-05,2.478997e-05,2.432665e-05,2.388615e-05,2.346753e-05,2.306989e-05,2.269234e-05,2.233403e-05,2.199414e-05,2.167187e-05,2.136648e-05,2.107721e-05,2.080337e-05,2.054427e-05,2.029927e-05,2.006773e-05,1.984904e-05,1.964263e-05,1.944795e-05,1.926445e-05,1.909163e-05,1.892899e-05,1.877607e-05,1.863240e-05,1.849757e-05,1.837114e-05,1.825273e-05,1.814196e-05,1.803845e-05,1.794187e-05,1.785187e-05,1.776814e-05,1.769037e-05,1.761826e-05
0.000000e+00,3.126780e-09,4.709600e-08,4.921687e-08,2.996948e-07,9.584068e-07,9.962440e-07,2.134572e-06,3.344659e-06,3.422090e-06,4.689306e-06,5.803140e-06,5.897396e-06,7.039983e-06,8.012243e-06,8.117032e-06,9.129878e-06,9.969426e-06,1.008023e-05,1.096999e-05,1.168828e-05,1.180120e-05,1.257601e-05,1.318488e-05,1.329663e-05,1.396531e-05,1.447646e-05,1.458432e-05,1.515590e-05,1.558049e-05,1.568225e-05,1.616553e-05,1.651396e-05,1.660786e-05,1.701123e-05,1.729295e-05,1.737761e-05,1.770888e-05,1.793248e-05,1.800685e-05,1.827327e-05,1.844650e-05,1.850982e-05,1.871809e-05,1.884787e-05,1.889961e-05,1.905587e-05,1.914840e-05,1.918825e-05,1.929811e-05,1.935891e-05,1.938673e-05,1.945534e-05,1.948928e-05,1.950510e-05,1.953713e-05,1.954856e-05,1.955250e-05,1.955223e-05,1.954497e-05,1.953729e-05,1.950859e-05,1.948600e-05,1.946703e-05,1.941343e-05,1.937846e-05,1.934861e-05,1.927331e-05,1.922854e-05,1.918825e-05,1.909414e-05,1.904184e-05,1.899162e-05,1.888131e-05,1.882342e-05,1.876381e-05,1.863967e-05,1.857788e-05,1.850943e-05,1.837359e-05,1.830936e-05,1.823264e-05,1.808702e-05,1.802158e-05,1.793717e-05,1.778350e-05,1.771792e-05,1.762640e-05,1.746623e-05,1.740138e-05,1.730334e-05,1.713805e-05,1.707468e-05,1.697068e-05,1.680152e-05,1.674023e-05,1.663084e-05,1.645891e-05,1.640022e-05,1.628598e-05,1.611226e-05,1.605655e-05,1.593800e-05,1.576337e-05,1.571095e-05,1.558859e-05,1.541384e-05,1.536493e-05,1.523927e-05,1.506506e-05,1.501984e-05,1.489135e-05,1.471828e-05,1.467686e-05,1.454599e-05,1.437459e-05,1.433701e-05,1.420420e-05,1.403492e-05,1.400121e-05,1.386685e-05,1.370009e-05,1.367022e-05,1.353472e-05,1.337081e-05,1.334473e-05,1.320845e-05,1.304768e-05,1.302531e-05,1.288858e-05,1.273120e-05,1.271243e-05,1.257559e-05,1.242180e-05,1.240652e-05,1.226987e-05,1.211983e-05,1.210791e-05,1.197171e-05,1.182556e-05,1.181685e-05,1.168139e-05,1.153922e-05,1.153358e-05,1.139908e-05,1.126098e-05,1.125824e-05,1.112493e-05,1.099095e-05,1.073179e-05,1.048078e-05,1.023795e-05,1.000325e-05,9.776644e-06,9.558058e-06,9.347400e-06,9.144562e-06,8.949421e-06,8.761843e-06,8.581682e-06,8.408783e-06,8.242985e-06,8.084121e-06,7.932017e-06,7.786497e-06,7.647384e-06,7.514495e-06,7.387651e-06,7.266668e-06,7.151365e-06,7.041562e-06,6.937078e-06,6.837735e-06,6.743359e-06,6.653775e-06,6.568812e-06,6.488303e-06,6.412083e-06,6.339991e-06,6.271867e-06,6.207558e-06,6.146911e-06,6.089781e-06,6.036022e-06,5.985494e-06,5.938062e-06,5.893592e-06,5.851957e-06,5.813030e-06,5.776690e-06,5.742820e-06,5.711306e-06,5.682037e-06,5.654907e-06,5.629812e-06,5.606652e-06,5.585331e-06,5.565756e-06
0.000000e+00,1.552126e-08,4.139931e-07,4.351877e-07,3.542946e-06,1.611285e-05,1.702314e-05,5.592808e-05,1.282163e-04,1.340663e-04,2.490669e-04,3.723805e-04,3.833557e-04,5.181080e-04,6.295158e-04,6.410831e-04,7.467374e-04,8.243681e-04,8.338674e-04,9.034975e-04,9.508486e-04,9.575608e-04,9.982068e-04,1.023484e-03,1.027482e-03,1.047211e-03,1.057386e-03,1.058981e-03,1.064155e-03,1.064332e-03,1.063894e-03,1.059183e-03,1.052959e-03,1.050853e-03,1.039603e-03,1.029467e-03,1.026022e-03,1.010602e-03,9.982532e-04,9.937563e-04,9.758281e-04,9.624127e-04,9.571045e-04,9.378235e-04,9.241022e-04,9.181824e-04,8.983439e-04,8.848105e-04,8.784422e-04,8.585870e-04,8.455522e-04,8.388677e-04,8.193567e-04,8.070065e-04,8.001124e-04,7.811810e-04,7.696171e-04,7.625991e-04,7.443947e-04,7.336624e-04,7.265890e-04,7.091975e-04,6.993046e-04,6.922309e-04,6.756959e-04,6.666263e-04,6.595961e-04,6.439323e-04,6.356547e-04,6.287031e-04,6.139053e-04,6.063795e-04,5.995343e-04,5.855843e-04,5.787652e-04,5.720487e-04,5.589199e-04,5.527603e-04,5.461899e-04,5.338503e-04,5.283027e-04,5.218921e-04,5.103064e-04,5.053243e-04,4.990840e-04,4.882157e-04,4.837543e-04,4.776922e-04,4.675043e-04,4.635211e-04,4.576429e-04,4.480988e-04,4.445534e-04,4.388631e-04,4.299270e-04,4.267817e-04,4.212819e-04,4.129191e-04,4.101386e-04,4.048304e-04,3.970076e-04,3.945592e-04,3.894428e-04,3.821281e-04,3.799814e-04,3.750561e-04,3.682192e-04,3.663460e-04,3.616103e-04,3.552224e-04,3.535969e-04,3.490486e-04,3.430824e-04,3.416806e-04,3.373172e-04,3.317467e-04,3.305468e-04,3.263650e-04,3.211660e-04,3.201476e-04,3.161440e-04,3.112934e-04,3.104381e-04,3.066088e-04,3.020850e-04,3.013757e-04,2.977168e-04,2.934993e-04,2.929206e-04,2.894277e-04,2.854973e-04,2.850349e-04,2.817036e-04,2.780423e-04,2.776832e-04,2.745090e-04,2.710997e-04,2.708322e-04,2.678103e-04,2.646371e-04,2.644503e-04,2.615762e-04,2.586240e-04,2.585081e-04,2.557770e-04,2.530318e-04,2.529779e-04,2.503850e-04,2.478335e-04,2.430504e-04,2.386057e-04,2.344778e-04,2.306463e-04,2.270921e-04,2.237975e-04,2.207455e-04,2.179206e-04,2.153078e-04,2.128933e-04,2.106641e-04,2.086080e-04,2.067136e-04,2.049701e-04,2.033675e-04,2.018963e-04,2.005477e-04,1.993133e-04,1.981856e-04,1.971570e-04,1.962210e-04,1.953709e-04,1.946010e-04,1.939055e-04,1.932792e-04,1.927173e-04,1.922151e-04,1.917683e-04,1.913730e-04,1.910252e-04,1.907217e-04,1.904589e-04,1.902339e-04,1.900439e-04,1.898860e-04,1.897578e-04,1.896571e-04,1.895815e-04,1.895290e-04,1.894978e-04,1.894861e-04,1.894922e-04,1.895147e-04,1.895519e-04,1.896027e-04,1.896657e-04,1.897399e-04,1.898241e-04,1.899173e-04
0.000000e+00,3.101838e-09,3.740393e-08,3.898566e-08,2.297320e-07,7.882702e-07,8.225407e-07,1.944096e-06,3.248895e-06,3.333348e-06,4.699969e-06,5.856501e-06,5.951963e-06,7.076584e-06,7.983769e-06,8.078695e-06,8.966522e-06,9.660074e-06,9.748621e-06,1.043326e-05,1.095009e-05,1.102827e-05,1.154105e-05,1.191332e-05,1.197853e-05,1.234723e-05,1.260250e-05,1.265320e-05,1.290212e-05,1.306371e-05,1.309923e-05,1.324940e-05,1.333685e-05,1.335712e-05,1.342654e-05,1.345605e-05,1.346149e-05,1.346546e-05,1.345037e-05,1.344170e-05,1.339315e-05,1.334439e-05,1.332254e-05,1.323235e-05,1.315879e-05,1.312485e-05,1.300213e-05,1.291096e-05,1.286609e-05,1.271846e-05,1.261545e-05,1.256082e-05,1.239462e-05,1.228436e-05,1.222115e-05,1.204162e-05,1.192774e-05,1.185709e-05,1.166856e-05,1.155388e-05,1.147689e-05,1.128290e-05,1.116960e-05,1.108730e-05,1.089074e-05,1.078047e-05,1.069381e-05,1.049703e-05,1.039099e-05,1.030086e-05,1.010573e-05,1.000479e-05,9.911998e-06,9.720001e-06,9.624744e-06,9.530025e-06,9.342323e-06,9.253101e-06,9.157118e-06,8.974600e-06,8.891591e-06,8.794936e-06,8.618266e-06,8.541511e-06,8.444709e-06,8.274364e-06,8.203796e-06,8.107310e-06,7.943612e-06,7.879084e-06,7.783319e-06,7.626466e-06,7.567769e-06,7.473076e-06,7.323162e-06,7.270044e-06,7.176726e-06,7.033761e-06,6.985942e-06,6.894255e-06,6.758185e-06,6.715365e-06,6.625526e-06,6.496244e-06,6.458112e-06,6.370301e-06,6.247656e-06,6.213900e-06,6.128263e-06,6.012074e-06,5.982383e-06,5.899037e-06,5.789100e-06,5.763169e-06,5.682205e-06,5.578296e-06,5.555831e-06,5.477315e-06,5.379203e-06,5.359919e-06,5.283898e-06,5.191341e-06,5.174968e-06,5.101470e-06,5.014224e-06,5.000504e-06,4.929542e-06,4.847363e-06,4.836055e-06,4.767627e-06,4.690272e-06,4.681147e-06,4.615240e-06,4.542470e-06,4.535316e-06,4.471906e-06,4.403488e-06,4.398106e-06,4.337161e-06,4.272868e-06,4.269074e-06,4.210554e-06,4.150165e-06,4.147789e-06,4.091649e-06,4.034952e-06,4.033836e-06,3.980024e-06,3.926815e-06,3.826341e-06,3.732049e-06,3.643586e-06,3.560618e-06,3.482827e-06,3.409912e-06,3.341585e-06,3.277574e-06,3.217623e-06,3.161488e-06,3.108940e-06,3.059762e-06,3.013750e-06,2.970710e-06,2.930461e-06,2.892831e-06,2.857661e-06,2.824798e-06,2.794099e-06,2.765432e-06,2.738670e-06,2.713695e-06,2.690396e-06,2.668667e-06,2.648412e-06,2.629538e-06,2.611958e-06,2.595591e-06,2.580363e-06,2.566200e-06,2.553036e-06,2.540808e-06,2.529457e-06,2.518928e-06,2.509169e-06,2.500131e-06,2.491768e-06,2.484037e-06,2.476898e-06,2.470314e-06,2.464249e-06,2.458670e-06,2.453546e-06,2.448848e-06,2.444548e-06,2.440621e-06,2.437043e-06,2.433791e-06,2.430844e-06
0.000000e+00,8.418411e-09,2.833035e-07,2.991298e-07,2.872833e-06,1.388344e-05,1.468499e-05,4.904557e-05,1.148908e-04,1.203955e-04,2.355477e-04,3.763567e-04,3.898813e-04,5.711237e-04,7.455723e-04,7.651821e-04,9.597842e-04,1.124154e-03,1.145797e-03,1.317235e-03,1.450392e-03,1.470732e-03,1.604881e-03,1.702553e-03,1.719636e-03,1.815814e-03,1.881737e-03,1.894739e-03,1.957992e-03,1.998432e-03,2.007242e-03,2.044134e-03,2.065341e-03,2.070232e-03,2.086973e-03,2.094244e-03,2.095659e-03,2.097449e-03,2.094943e-03,2.093370e-03,2.084318e-03,2.075165e-03,2.071075e-03,2.054322e-03,2.040822e-03,2.034643e-03,2.012545e-03,1.996361e-03,1.988463e-03,1.962771e-03,1.945090e-03,1.935789e-03,1.907792e-03,1.889452e-03,1.879016e-03,1.849660e-03,1.831246e-03,1.819898e-03,1.789876e-03,1.771790e-03,1.759718e-03,1.729531e-03,1.712046e-03,1.699405e-03,1.669417e-03,1.652708e-03,1.639630e-03,1.610100e-03,1.594276e-03,1.580871e-03,1.551982e-03,1.537105e-03,1.523464e-03,1.495343e-03,1.481439e-03,1.467641e-03,1.440373e-03,1.427443e-03,1.413554e-03,1.387194e-03,1.375224e-03,1.361299e-03,1.335876e-03,1.324840e-03,1.310927e-03,1.286455e-03,1.276319e-03,1.262459e-03,1.238939e-03,1.229663e-03,1.215892e-03,1.193315e-03,1.184858e-03,1.171205e-03,1.149556e-03,1.141875e-03,1.128365e-03,1.107626e-03,1.100676e-03,1.087332e-03,1.067478e-03,1.061217e-03,1.048057e-03,1.029063e-03,1.023447e-03,1.010489e-03,9.923280e-04,9.873159e-04,9.745729e-04,9.572167e-04,9.527686e-04,9.402525e-04,9.236731e-04,9.197505e-04,9.074714e-04,8.916403e-04,8.882065e-04,8.761728e-04,8.610617e-04,8.580817e-04,8.463002e-04,8.318813e-04,8.293218e-04,8.177983e-04,8.040442e-04,8.018737e-04,7.906126e-04,7.774967e-04,7.756853e-04,7.646900e-04,7.521862e-04,7.507058e-04,7.399790e-04,7.280621e-04,7.268861e-04,7.164294e-04,7.050749e-04,7.041784e-04,6.939927e-04,6.831769e-04,6.825363e-04,6.726219e-04,6.623220e-04,6.619152e-04,6.522717e-04,6.424657e-04,6.422720e-04,6.328986e-04,6.235651e-04,6.057545e-04,5.888017e-04,5.726697e-04,5.573228e-04,5.427269e-04,5.288491e-04,5.156581e-04,5.031235e-04,4.912165e-04,4.799092e-04,4.691751e-04,4.589887e-04,4.493254e-04,4.401620e-04,4.314760e-04,4.232459e-04,4.154513e-04,4.080724e-04,4.010903e-04,3.944872e-04,3.882456e-04,3.823492e-04,3.767821e-04,3.715292e-04,3.665761e-04,3.619088e-04,3.575141e-04,3.533795e-04,3.494926e-04,3.458421e-04,3.424166e-04,3.392058e-04,3.361993e-04,3.333874e-04,3.307609e-04,3.283110e-04,3.260289e-04,3.239068e-04,3.219367e-04,3.201112e-04,3.184232e-04,3.168659e-04,3.154328e-04,3.141176e-04,3.129144e-04,3.118175e-04,3.108214e-04,3.099210e-04,3.091113e-04
0.000000e+00,1.215639e-08,1.898241e-07,1.984656e-07,1.355963e-06,5.381214e-06,5.649540e-06,1.545840e-05,2.870359e-05,2.960290e-05,4.448117e-05,5.725745e-05,5.831236e-05,7.070755e-05,8.063737e-05,8.167193e-05,9.130122e-05,9.875964e-05,9.970750e-05,1.070002e-04,1.124593e-04,1.132813e-04,1.186451e-04,1.225056e-04,1.231785e-04,1.269612e-04,1.295546e-04,1.300667e-04,1.325626e-04,1.341621e-04,1.345107e-04,1.359677e-04,1.367967e-04,1.369855e-04,1.376113e-04,1.378516e-04,1.378884e-04,1.378559e-04,1.376536e-04,1.375494e-04,1.370012e-04,1.364733e-04,1.362405e-04,1.352938e-04,1.345333e-04,1.341850e-04,1.329357e-04,1.320159e-04,1.315653e-04,1.300914e-04,1.290696e-04,1.285297e-04,1.268943e-04,1.258149e-04,1.251980e-04,1.234522e-04,1.223494e-04,1.216670e-04,1.198516e-04,1.187513e-04,1.180141e-04,1.161617e-04,1.150831e-04,1.143009e-04,1.124374e-04,1.113946e-04,1.105763e-04,1.087219e-04,1.077248e-04,1.068782e-04,1.050487e-04,1.041040e-04,1.032363e-04,1.014437e-04,1.005555e-04,9.967306e-05,9.792635e-05,9.709692e-05,9.620521e-05,9.451103e-05,9.374109e-05,9.284497e-05,9.120797e-05,9.049710e-05,8.960080e-05,8.802405e-05,8.737100e-05,8.647818e-05,8.496350e-05,8.436642e-05,8.348022e-05,8.202844e-05,8.148503e-05,8.060817e-05,7.921932e-05,7.872701e-05,7.786176e-05,7.653528e-05,7.609131e-05,7.523962e-05,7.397445e-05,7.357599e-05,7.273944e-05,7.153419e-05,7.117836e-05,7.035829e-05,6.921129e-05,6.889524e-05,6.809272e-05,6.700211e-05,6.672306e-05,6.593895e-05,6.490273e-05,6.465799e-05,6.389294e-05,6.290905e-05,6.269602e-05,6.195053e-05,6.101685e-05,6.083305e-05,6.010748e-05,5.922189e-05,5.906496e-05,5.835953e-05,5.751990e-05,5.738763e-05,5.670245e-05,5.590668e-05,5.579698e-05,5.513208e-05,5.437813e-05,5.428902e-05,5.364434e-05,5.293021e-05,5.285986e-05,5.223527e-05,5.155903e-05,5.150572e-05,5.090102e-05,5.026080e-05,5.022294e-05,4.963789e-05,4.903188e-05,4.900798e-05,4.844231e-05,4.786877e-05,4.785746e-05,4.731084e-05,4.676811e-05,4.573684e-05,4.476065e-05,4.383671e-05,4.296231e-05,4.213486e-05,4.135192e-05,4.061115e-05,3.991033e-05,3.924736e-05,3.862023e-05,3.802706e-05,3.746604e-05,3.693546e-05,3.643372e-05,3.595928e-05,3.551068e-05,3.508656e-05,3.468560e-05,3.430659e-05,3.394834e-05,3.360975e-05,3.328978e-05,3.298742e-05,3.270175e-05,3.243188e-05,3.217695e-05,3.193618e-05,3.170881e-05,3.149412e-05,3.129144e-05,3.110013e-05,3.091957e-05,3.074921e-05,3.058849e-05,3.043690e-05,3.029395e-05,3.015919e-05,3.003217e-05,2.991248e-05,2.979972e-05,2.969354e-05,2.959358e-05,2.949950e-05,2.941099e-05,2.932775e-05,2.924951e-05,2.917599e-05,2.910693e-05,2.904211e-05
0.000000e+00,1.740007e-08,2.461169e-07,2.566082e-07,1.551694e-06,5.792553e-06,6.073341e-06,1.658073e-05,3.204494e-05,3.315055e-05,5.219203e-05,6.929121e-05,7.072363e-05,8.774844e-05,1.016349e-04,1.030947e-04,1.168118e-04,1.276159e-04,1.290018e-04,1.397761e-04,1.479922e-04,1.492427e-04,1.575050e-04,1.635865e-04,1.646610e-04,1.708032e-04,1.751444e-04,1.760184e-04,1.803874e-04,1.833244e-04,1.839859e-04,1.868840e-04,1.887002e-04,1.891465e-04,1.908337e-04,1.917654e-04,1.920010e-04,1.926994e-04,1.929422e-04,1.929760e-04,1.928740e-04,1.925886e-04,1.924331e-04,1.916896e-04,1.910071e-04,1.906769e-04,1.894255e-04,1.884525e-04,1.879632e-04,1.863156e-04,1.851381e-04,1.845060e-04,1.825555e-04,1.812423e-04,1.804835e-04,1.783076e-04,1.769135e-04,1.760439e-04,1.737068e-04,1.722748e-04,1.713095e-04,1.688640e-04,1.674279e-04,1.663811e-04,1.638706e-04,1.624559e-04,1.613412e-04,1.588008e-04,1.574270e-04,1.562566e-04,1.537150e-04,1.523963e-04,1.511816e-04,1.486616e-04,1.474080e-04,1.461594e-04,1.436790e-04,1.424973e-04,1.412240e-04,1.387975e-04,1.376916e-04,1.364021e-04,1.340402e-04,1.330122e-04,1.317139e-04,1.294248e-04,1.284748e-04,1.271744e-04,1.249639e-04,1.240912e-04,1.227944e-04,1.206665e-04,1.198690e-04,1.185809e-04,1.165381e-04,1.158132e-04,1.145383e-04,1.125817e-04,1.119264e-04,1.106684e-04,1.087983e-04,1.082090e-04,1.069713e-04,1.051870e-04,1.046600e-04,1.034452e-04,1.017456e-04,1.012772e-04,1.000876e-04,9.847079e-05,9.805710e-05,9.689464e-05,9.535857e-05,9.499581e-05,9.386197e-05,9.240420e-05,9.208863e-05,9.098460e-05,8.960250e-05,8.933052e-05,8.825720e-05,8.694800e-05,8.671612e-05,8.567417e-05,8.443499e-05,8.423988e-05,8.322973e-05,8.205766e-05,8.189617e-05,8.091804e-05,7.981015e-05,7.967930e-05,7.873326e-05,7.768665e-05,7.758362e-05,7.666958e-05,7.568137e-05,7.560353e-05,7.472129e-05,7.378866e-05,7.373356e-05,7.288279e-05,7.200300e-05,7.196834e-05,7.114863e-05,7.031902e-05,7.030268e-05,6.951353e-05,6.873153e-05,6.725003e-05,6.585350e-05,6.453745e-05,6.329759e-05,6.212980e-05,6.103017e-05,5.999495e-05,5.902060e-05,5.810372e-05,5.724112e-05,5.642975e-05,5.566671e-05,5.494928e-05,5.427486e-05,5.364101e-05,5.304540e-05,5.248584e-05,5.196026e-05,5.146671e-05,5.100333e-05,5.056838e-05,5.016022e-05,4.977729e-05,4.941813e-05,4.908135e-05,4.876564e-05,4.846978e-05,4.819260e-05,4.793302e-05,4.769000e-05,4.746256e-05,4.724980e-05,4.705085e-05,4.686489e-05,4.669116e-05,4.652894e-05,4.637754e-05,4.623632e-05,4.610468e-05,4.598205e-05,4.586789e-05,4.576169e-05,4.566299e-05,4.557133e-05,4.548629e-05,4.540747e-05,4.533449e-05,4.526701e-05,4.520468e-05
0.000000e+00,2.360007e-09,3.068650e-08,3.203673e-08,2.025023e-07,7.327401e-07,7.662278e-07,1.911009e-06,3.347923e-06,3.444215e-06,5.048372e-06,6.468436e-06,6.588206e-06,8.030809e-06,9.241798e-06,9.371291e-06,1.061184e-05,1.162405e-05,1.175649e-05,1.280972e-05,1.364585e-05,1.377608e-05,1.466008e-05,1.534221e-05,1.546612e-05,1.619846e-05,1.674691e-05,1.686127e-05,1.745853e-05,1.789174e-05,1.799409e-05,1.847162e-05,1.880607e-05,1.889462e-05,1.926644e-05,1.951677e-05,1.959028e-05,1.986917e-05,2.004831e-05,2.010599e-05,2.030348e-05,2.042278e-05,2.046423e-05,2.059071e-05,2.066009e-05,2.068522e-05,2.074999e-05,2.077810e-05,2.078708e-05,2.079847e-05,2.079282e-05,2.078603e-05,2.075150e-05,2.071859e-05,2.069656e-05,2.062277e-05,2.056820e-05,2.053161e-05,2.042447e-05,2.035307e-05,2.030267e-05,2.016746e-05,2.008335e-05,2.001999e-05,1.986137e-05,1.976806e-05,1.969263e-05,1.951475e-05,1.941521e-05,1.932863e-05,1.913515e-05,1.903189e-05,1.893510e-05,1.872923e-05,1.862435e-05,1.851827e-05,1.830288e-05,1.819810e-05,1.808368e-05,1.786124e-05,1.775799e-05,1.763612e-05,1.740883e-05,1.730826e-05,1.717984e-05,1.694959e-05,1.685261e-05,1.671850e-05,1.648695e-05,1.639428e-05,1.625529e-05,1.602387e-05,1.593605e-05,1.579298e-05,1.556290e-05,1.548033e-05,1.533392e-05,1.510625e-05,1.502919e-05,1.488013e-05,1.465577e-05,1.458438e-05,1.443335e-05,1.421304e-05,1.414738e-05,1.399500e-05,1.377937e-05,1.371945e-05,1.356629e-05,1.335587e-05,1.330160e-05,1.314820e-05,1.294340e-05,1.289468e-05,1.274154e-05,1.254269e-05,1.249936e-05,1.234693e-05,1.215429e-05,1.211615e-05,1.196484e-05,1.177862e-05,1.174544e-05,1.159565e-05,1.141596e-05,1.138752e-05,1.123958e-05,1.106651e-05,1.104255e-05,1.089677e-05,1.073036e-05,1.071062e-05,1.056729e-05,1.040754e-05,1.039175e-05,1.025111e-05,1.009798e-05,1.008588e-05,9.948149e-06,9.801586e-06,9.792896e-06,9.658274e-06,9.518187e-06,9.512651e-06,9.381300e-06,9.247582e-06,9.244940e-06,9.117003e-06,8.989530e-06,8.746159e-06,8.514541e-06,8.294371e-06,8.085331e-06,7.887087e-06,7.699300e-06,7.521624e-06,7.353709e-06,7.195207e-06,7.045766e-06,6.905039e-06,6.772680e-06,6.648348e-06,6.531709e-06,6.422432e-06,6.320196e-06,6.224685e-06,6.135592e-06,6.052618e-06,5.975473e-06,5.903874e-06,5.837548e-06,5.776231e-06,5.719666e-06,5.667607e-06,5.619817e-06,5.576065e-06,5.536131e-06,5.499804e-06,5.466879e-06,5.437161e-06,5.410463e-06,5.386604e-06,5.365412e-06,5.346724e-06,5.330382e-06,5.316235e-06,5.304141e-06,5.293963e-06,5.285570e-06,5.278839e-06,5.273651e-06,5.269894e-06,5.267463e-06,5.266255e-06,5.266175e-06,5.267131e-06,5.269039e-06,5.271816e-06
0.000000e+00,4.672026e-10,6.765951e-09,7.070349e-09,4.419708e-08,1.496873e-07,1.560279e-07,3.584490e-07,5.899244e-07,6.050143e-07,8.536240e-07,1.072551e-06,1.091041e-06,1.314451e-06,1.503311e-06,1.523591e-06,1.718826e-06,1.879540e-06,1.900672e-06,2.069671e-06,2.205147e-06,2.226363e-06,2.371285e-06,2.484308e-06,2.504962e-06,2.627916e-06,2.721095e-06,2.740657e-06,2.843690e-06,2.919458e-06,2.937508e-06,3.022590e-06,3.083192e-06,3.099405e-06,3.168402e-06,3.215882e-06,3.230019e-06,3.284674e-06,3.320873e-06,3.332769e-06,3.374687e-06,3.401251e-06,3.410797e-06,3.441448e-06,3.459836e-06,3.466975e-06,3.487695e-06,3.499194e-06,3.503911e-06,3.515910e-06,3.521653e-06,3.523965e-06,3.528334e-06,3.529310e-06,3.529264e-06,3.526986e-06,3.524060e-06,3.521721e-06,3.513680e-06,3.507604e-06,3.503058e-06,3.490044e-06,3.481470e-06,3.474815e-06,3.457539e-06,3.447029e-06,3.438373e-06,3.417467e-06,3.405505e-06,3.394963e-06,3.370994e-06,3.357994e-06,3.345687e-06,3.319159e-06,3.305473e-06,3.291524e-06,3.262886e-06,3.248813e-06,3.233345e-06,3.202995e-06,3.188787e-06,3.171924e-06,3.140215e-06,3.126081e-06,3.107946e-06,3.075191e-06,3.061305e-06,3.042017e-06,3.008490e-06,2.994994e-06,2.974670e-06,2.940614e-06,2.927622e-06,2.906375e-06,2.872003e-06,2.859605e-06,2.837544e-06,2.803041e-06,2.791308e-06,2.768536e-06,2.734065e-06,2.723047e-06,2.699664e-06,2.665365e-06,2.655100e-06,2.631199e-06,2.597195e-06,2.587706e-06,2.563377e-06,2.529770e-06,2.521070e-06,2.496397e-06,2.463278e-06,2.455369e-06,2.430431e-06,2.397874e-06,2.390752e-06,2.365623e-06,2.333691e-06,2.327344e-06,2.302093e-06,2.270839e-06,2.265251e-06,2.239941e-06,2.209408e-06,2.204558e-06,2.179249e-06,2.149471e-06,2.145333e-06,2.120080e-06,2.091084e-06,2.087631e-06,2.062485e-06,2.034290e-06,2.031493e-06,2.006501e-06,1.979121e-06,1.976948e-06,1.952152e-06,1.925597e-06,1.924016e-06,1.899455e-06,1.873729e-06,1.872708e-06,1.848417e-06,1.823520e-06,1.823026e-06,1.799037e-06,1.774966e-06,1.728518e-06,1.683667e-06,1.640393e-06,1.598674e-06,1.558482e-06,1.519790e-06,1.482565e-06,1.446775e-06,1.412386e-06,1.379363e-06,1.347668e-06,1.317265e-06,1.288117e-06,1.260187e-06,1.233438e-06,1.207832e-06,1.183332e-06,1.159902e-06,1.137505e-06,1.116107e-06,1.095673e-06,1.076167e-06,1.057558e-06,1.039811e-06,1.022895e-06,1.006780e-06,9.914337e-07,9.768277e-07,9.629332e-07,9.497222e-07,9.371678e-07,9.252439e-07,9.139250e-07,9.031868e-07,8.930053e-07,8.833578e-07,8.742221e-07,8.655767e-07,8.574011e-07,8.496753e-07,8.423800e-07,8.354969e-07,8.290079e-07,8.228959e-07,8.171444e-07,8.117374e-07,8.066596e-07,8.018961e-07,7.974329e-07
0.000000e+00,3.214086e-10,5.895387e-09,6.180654e-09,4.215818e-08,1.400936e-07,1.456622e-07,3.077381e-07,4.728376e-07,4.832827e-07,6.530275e-07,8.006987e-07,8.131346e-07,9.631391e-07,1.089692e-06,1.103271e-06,1.233909e-06,1.341336e-06,1.355455e-06,1.468315e-06,1.558730e-06,1.572886e-06,1.669564e-06,1.744958e-06,1.758737e-06,1.840783e-06,1.903005e-06,1.916075e-06,1.984971e-06,2.035719e-06,2.047821e-06,2.104960e-06,2.145768e-06,2.156705e-06,2.203363e-06,2.235602e-06,2.245227e-06,2.282576e-06,2.307464e-06,2.315676e-06,2.344776e-06,2.363388e-06,2.370118e-06,2.391929e-06,2.405212e-06,2.410424e-06,2.425808e-06,2.434591e-06,2.438274e-06,2.448006e-06,2.453016e-06,2.455178e-06,2.459954e-06,2.461827e-06,2.462492e-06,2.462938e-06,2.462226e-06,2.461432e-06,2.458106e-06,2.455289e-06,2.453085e-06,2.446488e-06,2.441984e-06,2.438426e-06,2.429004e-06,2.423172e-06,2.418323e-06,2.406476e-06,2.399625e-06,2.393552e-06,2.379635e-06,2.372033e-06,2.364806e-06,2.349137e-06,2.341010e-06,2.332700e-06,2.315561e-06,2.307104e-06,2.297784e-06,2.279426e-06,2.270802e-06,2.260544e-06,2.241189e-06,2.232537e-06,2.221412e-06,2.201258e-06,2.192692e-06,2.180772e-06,2.159993e-06,2.151609e-06,2.138962e-06,2.117713e-06,2.109588e-06,2.096281e-06,2.074697e-06,2.066896e-06,2.052992e-06,2.031193e-06,2.023765e-06,2.009327e-06,1.987417e-06,1.980401e-06,1.965488e-06,1.943561e-06,1.936985e-06,1.921654e-06,1.899788e-06,1.893675e-06,1.877978e-06,1.856243e-06,1.850605e-06,1.834596e-06,1.813051e-06,1.807897e-06,1.791621e-06,1.770319e-06,1.765651e-06,1.749155e-06,1.728140e-06,1.723955e-06,1.707282e-06,1.686592e-06,1.682886e-06,1.666075e-06,1.645740e-06,1.642504e-06,1.625594e-06,1.605642e-06,1.602864e-06,1.585889e-06,1.566342e-06,1.564010e-06,1.547003e-06,1.527877e-06,1.525976e-06,1.508968e-06,1.490278e-06,1.488792e-06,1.471810e-06,1.453567e-06,1.452480e-06,1.435550e-06,1.417762e-06,1.417055e-06,1.400203e-06,1.382874e-06,1.382530e-06,1.365776e-06,1.348910e-06,1.316201e-06,1.284400e-06,1.253506e-06,1.223512e-06,1.194411e-06,1.166192e-06,1.138846e-06,1.112358e-06,1.086714e-06,1.061900e-06,1.037900e-06,1.014698e-06,9.922761e-07,9.706176e-07,9.497049e-07,9.295201e-07,9.100453e-07,8.912624e-07,8.731533e-07,8.557003e-07,8.388855e-07,8.226916e-07,8.071008e-07,7.920964e-07,7.776611e-07,7.637783e-07,7.504316e-07,7.376049e-07,7.252824e-07,7.134485e-07,7.020883e-07,6.911868e-07,6.807298e-07,6.707031e-07,6.610929e-07,6.518859e-07,6.430690e-07,6.346294e-07,6.265548e-07,6.188331e-07,6.114524e-07,6.044015e-07,5.976692e-07,5.912447e-07,5.851174e-07,5.792773e-07,5.737144e-07,5.684191e-07,5.633821e-07
0.000000e+00,1.459860e-08,4.165555e-07,4.386869e-07,3.731532e-06,1.590777e-05,1.673277e-05,4.826978e-05,9.771965e-05,1.014402e-04,1.696983e-04,2.361262e-04,2.418001e-04,3.090889e-04,3.622052e-04,3.676273e-04,4.166275e-04,4.523296e-04,4.567006e-04,4.888979e-04,5.111261e-04,5.143151e-04,5.339568e-04,5.466406e-04,5.487039e-04,5.593149e-04,5.653864e-04,5.664366e-04,5.706213e-04,5.721739e-04,5.723409e-04,5.719985e-04,5.705226e-04,5.699373e-04,5.664491e-04,5.629978e-04,5.617820e-04,5.561470e-04,5.514601e-04,5.497228e-04,5.426613e-04,5.372552e-04,5.350908e-04,5.271206e-04,5.213538e-04,5.188432e-04,5.103364e-04,5.044549e-04,5.016662e-04,4.928879e-04,4.870582e-04,4.840485e-04,4.751872e-04,4.695201e-04,4.663371e-04,4.575257e-04,4.520921e-04,4.487757e-04,4.401059e-04,4.349493e-04,4.315321e-04,4.230668e-04,4.182109e-04,4.147205e-04,4.065015e-04,4.019569e-04,3.984163e-04,3.904699e-04,3.862380e-04,3.826663e-04,3.750080e-04,3.710838e-04,3.674970e-04,3.601345e-04,3.565090e-04,3.529208e-04,3.458559e-04,3.425175e-04,3.389393e-04,3.321701e-04,3.291054e-04,3.255471e-04,3.190688e-04,3.162637e-04,3.127335e-04,3.065394e-04,3.039795e-04,3.004845e-04,2.945667e-04,2.922374e-04,2.887837e-04,2.831334e-04,2.810205e-04,2.776133e-04,2.722212e-04,2.703109e-04,2.669547e-04,2.618113e-04,2.600902e-04,2.567887e-04,2.518845e-04,2.503398e-04,2.470963e-04,2.424217e-04,2.410411e-04,2.378584e-04,2.334041e-04,2.321760e-04,2.290564e-04,2.248131e-04,2.237266e-04,2.206719e-04,2.166307e-04,2.156755e-04,2.126873e-04,2.088395e-04,2.080057e-04,2.050853e-04,2.014226e-04,2.007008e-04,1.978493e-04,1.943634e-04,1.937451e-04,1.909631e-04,1.876464e-04,1.871234e-04,1.844114e-04,1.812564e-04,1.808209e-04,1.781794e-04,1.751787e-04,1.748236e-04,1.722526e-04,1.693994e-04,1.691180e-04,1.666174e-04,1.639051e-04,1.636910e-04,1.612607e-04,1.586829e-04,1.585303e-04,1.561700e-04,1.537205e-04,1.536238e-04,1.513331e-04,1.490062e-04,1.489603e-04,1.467385e-04,1.445286e-04,1.403183e-04,1.363195e-04,1.325225e-04,1.289181e-04,1.254975e-04,1.222524e-04,1.191747e-04,1.162568e-04,1.134913e-04,1.108713e-04,1.083899e-04,1.060408e-04,1.038179e-04,1.017153e-04,9.972742e-05,9.784895e-05,9.607476e-05,9.439999e-05,9.281997e-05,9.133025e-05,8.992657e-05,8.860487e-05,8.736127e-05,8.619207e-05,8.509371e-05,8.406281e-05,8.309614e-05,8.219062e-05,8.134328e-05,8.055132e-05,7.981203e-05,7.912285e-05,7.848131e-05,7.788508e-05,7.733190e-05,7.681964e-05,7.634626e-05,7.590979e-05,7.550837e-05,7.514023e-05,7.480365e-05,7.449702e-05,7.421878e-05,7.396744e-05,7.374161e-05,7.353991e-05,7.336107e-05,7.320385e-05,7.306707e-05
0.000000e+00,1.007626e-08,3.772932e-07,3.994160e-07,4.300385e-06,2.204093e-05,2.334362e-05,7.822794e-05,1.758338e-04,1.835742e-04,3.340443e-04,4.959211e-04,5.104778e-04,6.919767e-04,8.461869e-04,8.624024e-04,1.011866e-03,1.122378e-03,1.135864e-03,1.233723e-03,1.298226e-03,1.307132e-03,1.358997e-03,1.388368e-03,1.392674e-03,1.411484e-03,1.417953e-03,1.418458e-03,1.416219e-03,1.409277e-03,1.406952e-03,1.392435e-03,1.378385e-03,1.374077e-03,1.352980e-03,1.335643e-03,1.329990e-03,1.305753e-03,1.287303e-03,1.280751e-03,1.255346e-03,1.236957e-03,1.229803e-03,1.204316e-03,1.186586e-03,1.179026e-03,1.154033e-03,1.137243e-03,1.129406e-03,1.105196e-03,1.089463e-03,1.081436e-03,1.058146e-03,1.043494e-03,1.035341e-03,1.013027e-03,9.994415e-04,9.912089e-04,9.698857e-04,9.573286e-04,9.490554e-04,9.287141e-04,9.171382e-04,9.088565e-04,8.894767e-04,8.788303e-04,8.705680e-04,8.521227e-04,8.423522e-04,8.341329e-04,8.165902e-04,8.076419e-04,7.994862e-04,7.828123e-04,7.746338e-04,7.665596e-04,7.507195e-04,7.432603e-04,7.352833e-04,7.202424e-04,7.134539e-04,7.055882e-04,6.913123e-04,6.851486e-04,6.774064e-04,6.638620e-04,6.582792e-04,6.506711e-04,6.378254e-04,6.327821e-04,6.253171e-04,6.131384e-04,6.085953e-04,6.012815e-04,5.897388e-04,5.856589e-04,5.785030e-04,5.675666e-04,5.639152e-04,5.569226e-04,5.465639e-04,5.433082e-04,5.364834e-04,5.266745e-04,5.237838e-04,5.171304e-04,5.078448e-04,5.052902e-04,4.988111e-04,4.900233e-04,4.877779e-04,4.814751e-04,4.731606e-04,4.711992e-04,4.650739e-04,4.572093e-04,4.555083e-04,4.495612e-04,4.421242e-04,4.406616e-04,4.348929e-04,4.278621e-04,4.266174e-04,4.210267e-04,4.143817e-04,4.133359e-04,4.079223e-04,4.016437e-04,4.007788e-04,3.955412e-04,3.896104e-04,3.889100e-04,3.838467e-04,3.782460e-04,3.776947e-04,3.728040e-04,3.675165e-04,3.671001e-04,3.623796e-04,3.573894e-04,3.570946e-04,3.525420e-04,3.478338e-04,3.476483e-04,3.432610e-04,3.388202e-04,3.387327e-04,3.345079e-04,3.303206e-04,3.223863e-04,3.149052e-04,3.078538e-04,3.012100e-04,2.949526e-04,2.890616e-04,2.835178e-04,2.783031e-04,2.734003e-04,2.687929e-04,2.644654e-04,2.604030e-04,2.565917e-04,2.530181e-04,2.496695e-04,2.465339e-04,2.435998e-04,2.408564e-04,2.382933e-04,2.359008e-04,2.336696e-04,2.315909e-04,2.296562e-04,2.278576e-04,2.261876e-04,2.246390e-04,2.232050e-04,2.218790e-04,2.206551e-04,2.195274e-04,2.184903e-04,2.175387e-04,2.166675e-04,2.158721e-04,2.151480e-04,2.144909e-04,2.138968e-04,2.133620e-04,2.128827e-04,2.124557e-04,2.120776e-04,2.117453e-04,2.114560e-04,2.112069e-04,2.109954e-04,2.108189e-04,2.106752e-04,2.105621e-04,2.104774e-04
0.000000e+00,2.491618e-08,5.774176e-07,6.054606e-07,4.328849e-06,1.714132e-05,1.800498e-05,5.169646e-05,1.078705e-04,1.122644e-04,1.968942e-04,2.863973e-04,2.943709e-04,3.931990e-04,4.776585e-04,4.866686e-04,5.721996e-04,6.404750e-04,6.492852e-04,7.182112e-04,7.713676e-04,7.795127e-04,8.337783e-04,8.743480e-04,8.815864e-04,9.234859e-04,9.537954e-04,9.599897e-04,9.915740e-04,1.013597e-03,1.018679e-03,1.041711e-03,1.057089e-03,1.061043e-03,1.077016e-03,1.087105e-03,1.089946e-03,1.100119e-03,1.106028e-03,1.107798e-03,1.113224e-03,1.115859e-03,1.116616e-03,1.118175e-03,1.118274e-03,1.118084e-03,1.116509e-03,1.114670e-03,1.113605e-03,1.109509e-03,1.106215e-03,1.104348e-03,1.098239e-03,1.093880e-03,1.091286e-03,1.083585e-03,1.078474e-03,1.075224e-03,1.066283e-03,1.060669e-03,1.056833e-03,1.046941e-03,1.041024e-03,1.036666e-03,1.026063e-03,1.020001e-03,1.015182e-03,1.004067e-03,9.979821e-04,9.927589e-04,9.812948e-04,9.752829e-04,9.697078e-04,9.580281e-04,9.521622e-04,9.462831e-04,9.344977e-04,9.288328e-04,9.226939e-04,9.108918e-04,9.054684e-04,8.991095e-04,8.873631e-04,8.822100e-04,8.756674e-04,8.640353e-04,8.591717e-04,8.524785e-04,8.410073e-04,8.364449e-04,8.296310e-04,8.183578e-04,8.141025e-04,8.071949e-04,7.961488e-04,7.922018e-04,7.852248e-04,7.744279e-04,7.707867e-04,7.637623e-04,7.532316e-04,7.498907e-04,7.428387e-04,7.325864e-04,7.295384e-04,7.224766e-04,7.125110e-04,7.097467e-04,7.026910e-04,6.930176e-04,6.905266e-04,6.834913e-04,6.741128e-04,6.718839e-04,6.648820e-04,6.557991e-04,6.538206e-04,6.468636e-04,6.380752e-04,6.363351e-04,6.294332e-04,6.209369e-04,6.194230e-04,6.125855e-04,6.043779e-04,6.030779e-04,5.963130e-04,5.883896e-04,5.872916e-04,5.806065e-04,5.729623e-04,5.720543e-04,5.654556e-04,5.580850e-04,5.573554e-04,5.508489e-04,5.437458e-04,5.431832e-04,5.367740e-04,5.299321e-04,5.295256e-04,5.232182e-04,5.166308e-04,5.163700e-04,5.101682e-04,5.038287e-04,5.037031e-04,4.976105e-04,4.915120e-04,4.797833e-04,4.685037e-04,4.576601e-04,4.472393e-04,4.372283e-04,4.276143e-04,4.183849e-04,4.095276e-04,4.010305e-04,3.928816e-04,3.850696e-04,3.775831e-04,3.704111e-04,3.635431e-04,3.569685e-04,3.506774e-04,3.446598e-04,3.389062e-04,3.334074e-04,3.281542e-04,3.231381e-04,3.183505e-04,3.137831e-04,3.094280e-04,3.052774e-04,3.013239e-04,2.975601e-04,2.939789e-04,2.905736e-04,2.873375e-04,2.842641e-04,2.813472e-04,2.785808e-04,2.759591e-04,2.734763e-04,2.711270e-04,2.689059e-04,2.668078e-04,2.648277e-04,2.629607e-04,2.612023e-04,2.595479e-04,2.579930e-04,2.565335e-04,2.551653e-04,2.538843e-04,2.526868e-04,2.515690e-04,2.505273e-04
0.000000e+00,1.560693e-08,5.566641e-07,5.886828e-07,6.059463e-06,3.025049e-05,3.201321e-05,1.058324e-04,2.365369e-04,2.468909e-04,4.479019e-04,6.635479e-04,6.829084e-04,9.238970e-04,1.128166e-03,1.149627e-03,1.347399e-03,1.493758e-03,1.511641e-03,1.641703e-03,1.727915e-03,1.739870e-03,1.809891e-03,1.850067e-03,1.856017e-03,1.882428e-03,1.892059e-03,1.892930e-03,1.890832e-03,1.881970e-03,1.878919e-03,1.859484e-03,1.840309e-03,1.834381e-03,1.805091e-03,1.780761e-03,1.772785e-03,1.738380e-03,1.711996e-03,1.702591e-03,1.665969e-03,1.639329e-03,1.628940e-03,1.591826e-03,1.565931e-03,1.554874e-03,1.518271e-03,1.493652e-03,1.482155e-03,1.446628e-03,1.423540e-03,1.411765e-03,1.377620e-03,1.356162e-03,1.344230e-03,1.311619e-03,1.291799e-03,1.279802e-03,1.248786e-03,1.230561e-03,1.218571e-03,1.189154e-03,1.172455e-03,1.160529e-03,1.132686e-03,1.117432e-03,1.105615e-03,1.079302e-03,1.065404e-03,1.053734e-03,1.028897e-03,1.016264e-03,1.004774e-03,9.813503e-04,9.698958e-04,9.586103e-04,9.365377e-04,9.261753e-04,9.151166e-04,8.943309e-04,8.849785e-04,8.741647e-04,8.546022e-04,8.461819e-04,8.356277e-04,8.172259e-04,8.096642e-04,7.993815e-04,7.820795e-04,7.753073e-04,7.653053e-04,7.490446e-04,7.429972e-04,7.332831e-04,7.180071e-04,7.126239e-04,7.032030e-04,6.888575e-04,6.840822e-04,6.749578e-04,6.614912e-04,6.572713e-04,6.484454e-04,6.358083e-04,6.320951e-04,6.235682e-04,6.117137e-04,6.084620e-04,6.002335e-04,5.891169e-04,5.862848e-04,5.783532e-04,5.679321e-04,5.654809e-04,5.578435e-04,5.480778e-04,5.459717e-04,5.386253e-04,5.294769e-04,5.276829e-04,5.206235e-04,5.120564e-04,5.105440e-04,5.037670e-04,4.957471e-04,4.944883e-04,4.879886e-04,4.804837e-04,4.794528e-04,4.732248e-04,4.662045e-04,4.653777e-04,4.594156e-04,4.528512e-04,4.522068e-04,4.465044e-04,4.403688e-04,4.398868e-04,4.344378e-04,4.287053e-04,4.283675e-04,4.231652e-04,4.178117e-04,4.176014e-04,4.126392e-04,4.076420e-04,4.075438e-04,4.028148e-04,3.981524e-04,3.893874e-04,3.812113e-04,3.735887e-04,3.664862e-04,3.598723e-04,3.537175e-04,3.479937e-04,3.426747e-04,3.377356e-04,3.331532e-04,3.289055e-04,3.249717e-04,3.213323e-04,3.179689e-04,3.148644e-04,3.120023e-04,3.093674e-04,3.069452e-04,3.047221e-04,3.026854e-04,3.008231e-04,2.991237e-04,2.975767e-04,2.961720e-04,2.949002e-04,2.937524e-04,2.927202e-04,2.917958e-04,2.909719e-04,2.902415e-04,2.895980e-04,2.890354e-04,2.885479e-04,2.881300e-04,2.877766e-04,2.874830e-04,2.872447e-04,2.870575e-04,2.869174e-04,2.868207e-04,2.867640e-04,2.867439e-04,2.867576e-04,2.868020e-04,2.868745e-04,2.869725e-04,2.870939e-04,2.872362e-04,2.873975e-04
0.000000e+00,1.285926e-08,6.353225e-07,6.757972e-07,8.604673e-06,4.698620e-05,4.982623e-05,1.690864e-04,3.829805e-04,4.002540e-04,7.504152e-04,1.166707e-03,1.206589e-03,1.745424e-03,2.278849e-03,2.340059e-03,2.964284e-03,3.519472e-03,3.594782e-03,4.212159e-03,4.720890e-03,4.801188e-03,5.350627e-03,5.775847e-03,5.852792e-03,6.303033e-03,6.631899e-03,6.699183e-03,7.041040e-03,7.276263e-03,7.329895e-03,7.568128e-03,7.720800e-03,7.758866e-03,7.905708e-03,7.990314e-03,8.012503e-03,8.083183e-03,8.114523e-03,8.121631e-03,8.131592e-03,8.123121e-03,8.116605e-03,8.079974e-03,8.043090e-03,8.024733e-03,7.953644e-03,7.897532e-03,7.869196e-03,7.773612e-03,7.705395e-03,7.668866e-03,7.556697e-03,7.481725e-03,7.438628e-03,7.315985e-03,7.238160e-03,7.189916e-03,7.061411e-03,6.983496e-03,6.931318e-03,6.800360e-03,6.724255e-03,6.669153e-03,6.538213e-03,6.465170e-03,6.407977e-03,6.278808e-03,6.209608e-03,6.151005e-03,6.024817e-03,5.959906e-03,5.900446e-03,5.778054e-03,5.717642e-03,5.657771e-03,5.539699e-03,5.483833e-03,5.423914e-03,5.310475e-03,5.259092e-03,5.199422e-03,5.090779e-03,5.043745e-03,4.984563e-03,4.880776e-03,4.837909e-03,4.779414e-03,4.680466e-03,4.641560e-03,4.583917e-03,4.489742e-03,4.454574e-03,4.397918e-03,4.308414e-03,4.276755e-03,4.221199e-03,4.136238e-03,4.107858e-03,4.053496e-03,3.972935e-03,3.947610e-03,3.894518e-03,3.818206e-03,3.795716e-03,3.743958e-03,3.671737e-03,3.651872e-03,3.601500e-03,3.533208e-03,3.515766e-03,3.466820e-03,3.402297e-03,3.387084e-03,3.339597e-03,3.278682e-03,3.265516e-03,3.219511e-03,3.162045e-03,3.150754e-03,3.106247e-03,3.052076e-03,3.042495e-03,2.999495e-03,2.948467e-03,2.940445e-03,2.898956e-03,2.850923e-03,2.844315e-03,2.804334e-03,2.759154e-03,2.753826e-03,2.715348e-03,2.672881e-03,2.668707e-03,2.631721e-03,2.591834e-03,2.588697e-03,2.553188e-03,2.515752e-03,2.513544e-03,2.479495e-03,2.444385e-03,2.443004e-03,2.410394e-03,2.377492e-03,2.376845e-03,2.345651e-03,2.314842e-03,2.256780e-03,2.202455e-03,2.151669e-03,2.104233e-03,2.059970e-03,2.018706e-03,1.980280e-03,1.944534e-03,1.911321e-03,1.880500e-03,1.851935e-03,1.825500e-03,1.801071e-03,1.778534e-03,1.757778e-03,1.738699e-03,1.721197e-03,1.705179e-03,1.690554e-03,1.677238e-03,1.665150e-03,1.654213e-03,1.644355e-03,1.635507e-03,1.627603e-03,1.620582e-03,1.614385e-03,1.608956e-03,1.604243e-03,1.600196e-03,1.596767e-03,1.593912e-03,1.591589e-03,1.589758e-03,1.588380e-03,1.587421e-03,1.586847e-03,1.586626e-03,1.586728e-03,1.587125e-03,1.587790e-03,1.588699e-03,1.589829e-03,1.591156e-03,1.592660e-03,1.594322e-03,1.596124e-03,1.598049e-03,1.600080e-03
0.000000e+00,2.388532e-08,6.969721e-07,7.348202e-07,6.635085e-06,2.931921e-05,3.085982e-05,8.797932e-05,1.687135e-04,1.743985e-04,2.720535e-04,3.599825e-04,3.673524e-04,4.547645e-04,5.255872e-04,5.329990e-04,6.022877e-04,6.563826e-04,6.632895e-04,7.167352e-04,7.571938e-04,7.633297e-04,8.037287e-04,8.333192e-04,8.385359e-04,8.683039e-04,8.893088e-04,8.935373e-04,9.146955e-04,9.289697e-04,9.321959e-04,9.464172e-04,9.554550e-04,9.577019e-04,9.663601e-04,9.713568e-04,9.726715e-04,9.768888e-04,9.787964e-04,9.792400e-04,9.799304e-04,9.795038e-04,9.791451e-04,9.770510e-04,9.748874e-04,9.737982e-04,9.695220e-04,9.660921e-04,9.643439e-04,9.583735e-04,9.540472e-04,9.517091e-04,9.444394e-04,9.395062e-04,9.366439e-04,9.283941e-04,9.230795e-04,9.197541e-04,9.107816e-04,9.052602e-04,9.015284e-04,8.920410e-04,8.864476e-04,8.823611e-04,8.725259e-04,8.669630e-04,8.625689e-04,8.525200e-04,8.470650e-04,8.424060e-04,8.322505e-04,8.269604e-04,8.220748e-04,8.118981e-04,8.068147e-04,8.017372e-04,7.916069e-04,7.867593e-04,7.815207e-04,7.714903e-04,7.668980e-04,7.615261e-04,7.516371e-04,7.473120e-04,7.418316e-04,7.321163e-04,7.280644e-04,7.224977e-04,7.129808e-04,7.092036e-04,7.035704e-04,6.942703e-04,6.907660e-04,6.850840e-04,6.760143e-04,6.727782e-04,6.670634e-04,6.582334e-04,6.552590e-04,6.495258e-04,6.409417e-04,6.382210e-04,6.324821e-04,6.241475e-04,6.216716e-04,6.159384e-04,6.078548e-04,6.056140e-04,5.998968e-04,5.920641e-04,5.900481e-04,5.843564e-04,5.767730e-04,5.749715e-04,5.693135e-04,5.619770e-04,5.603794e-04,5.547626e-04,5.476695e-04,5.462654e-04,5.406967e-04,5.338430e-04,5.326219e-04,5.271074e-04,5.204886e-04,5.194403e-04,5.139854e-04,5.075967e-04,5.067113e-04,5.013211e-04,4.951572e-04,4.944250e-04,4.891038e-04,4.831595e-04,4.825710e-04,4.773229e-04,4.715927e-04,4.711388e-04,4.659674e-04,4.604458e-04,4.601177e-04,4.550263e-04,4.497076e-04,4.494969e-04,4.444883e-04,4.393670e-04,4.392655e-04,4.343423e-04,4.294129e-04,4.199283e-04,4.108011e-04,4.020211e-04,3.935779e-04,3.854615e-04,3.776620e-04,3.701698e-04,3.629755e-04,3.560698e-04,3.494437e-04,3.430885e-04,3.369956e-04,3.311566e-04,3.255635e-04,3.202082e-04,3.150831e-04,3.101807e-04,3.054937e-04,3.010149e-04,2.967375e-04,2.926547e-04,2.887599e-04,2.850468e-04,2.815092e-04,2.781411e-04,2.749366e-04,2.718901e-04,2.689959e-04,2.662487e-04,2.636432e-04,2.611745e-04,2.588374e-04,2.566272e-04,2.545393e-04,2.525690e-04,2.507119e-04,2.489639e-04,2.473205e-04,2.457779e-04,2.443321e-04,2.429792e-04,2.417155e-04,2.405374e-04,2.394414e-04,2.384240e-04,2.374820e-04,2.366122e-04,2.358114e-04,2.350766e-04
0.000000e+00,1.346580e-08,2.164003e-07,2.260570e-07,1.325094e-06,4.103655e-06,4.263434e-06,9.307449e-06,1.536531e-05,1.577448e-05,2.264408e-05,2.865681e-05,2.915483e-05,3.499967e-05,3.965602e-05,4.013920e-05,4.461503e-05,4.805024e-05,4.848448e-05,5.180488e-05,5.426246e-05,5.463007e-05,5.700967e-05,5.869751e-05,5.898907e-05,6.060968e-05,6.169734e-05,6.190910e-05,6.292145e-05,6.354552e-05,6.367766e-05,6.420572e-05,6.447562e-05,6.453097e-05,6.467629e-05,6.467917e-05,6.466232e-05,6.450776e-05,6.431287e-05,6.422950e-05,6.384280e-05,6.350500e-05,6.336138e-05,6.279744e-05,6.235961e-05,6.216215e-05,6.146546e-05,6.096124e-05,6.071632e-05,5.992281e-05,5.937834e-05,5.909218e-05,5.823092e-05,5.766633e-05,5.734480e-05,5.643899e-05,5.586955e-05,5.551811e-05,5.458627e-05,5.402345e-05,5.364714e-05,5.270397e-05,5.215623e-05,5.175963e-05,5.081666e-05,5.029004e-05,4.987730e-05,4.894353e-05,4.844223e-05,4.801706e-05,4.709941e-05,4.662615e-05,4.619187e-05,4.529557e-05,4.485195e-05,4.441148e-05,4.354042e-05,4.312715e-05,4.268308e-05,4.184005e-05,4.145719e-05,4.101179e-05,4.019870e-05,3.984582e-05,3.940106e-05,3.861911e-05,3.829540e-05,3.785300e-05,3.710283e-05,3.680723e-05,3.636864e-05,3.565046e-05,3.538173e-05,3.494823e-05,3.426188e-05,3.401866e-05,3.359131e-05,3.293639e-05,3.271726e-05,3.229696e-05,3.167285e-05,3.147633e-05,3.106385e-05,3.046977e-05,3.029442e-05,2.989037e-05,2.932543e-05,2.916980e-05,2.877470e-05,2.823794e-05,2.810064e-05,2.771488e-05,2.720528e-05,2.708494e-05,2.670885e-05,2.622535e-05,2.612069e-05,2.575450e-05,2.529603e-05,2.520580e-05,2.484968e-05,2.441518e-05,2.433821e-05,2.399227e-05,2.358068e-05,2.351585e-05,2.318014e-05,2.279042e-05,2.273670e-05,2.241124e-05,2.204235e-05,2.199876e-05,2.168351e-05,2.133448e-05,2.130010e-05,2.099500e-05,2.066485e-05,2.063884e-05,2.034380e-05,2.003161e-05,2.001315e-05,1.972806e-05,1.943293e-05,1.942129e-05,1.914600e-05,1.886708e-05,1.886158e-05,1.859594e-05,1.833239e-05,1.783218e-05,1.735948e-05,1.691285e-05,1.649096e-05,1.609253e-05,1.571632e-05,1.536117e-05,1.502598e-05,1.470969e-05,1.441130e-05,1.412985e-05,1.386446e-05,1.361426e-05,1.337843e-05,1.315622e-05,1.294689e-05,1.274974e-05,1.256412e-05,1.238940e-05,1.222501e-05,1.207037e-05,1.192495e-05,1.178827e-05,1.165983e-05,1.153919e-05,1.142592e-05,1.131963e-05,1.121991e-05,1.112643e-05,1.103882e-05,1.095677e-05,1.087996e-05,1.080811e-05,1.074094e-05,1.067820e-05,1.061962e-05,1.056498e-05,1.051406e-05,1.046665e-05,1.042254e-05,1.038156e-05,1.034352e-05,1.030826e-05,1.027561e-05,1.024543e-05,1.021758e-05,1.019191e-05,1.016831e-05,1.014665e-05
0.000000e+00,2.224495e-08,5.868611e-07,6.179039e-07,5.230296e-06,2.186464e-05,2.297051e-05,6.358001e-05,1.215195e-04,1.256358e-04,1.970073e-04,2.626950e-04,2.682898e-04,3.361003e-04,3.935264e-04,3.996930e-04,4.590412e-04,5.078647e-04,5.142824e-04,5.655899e-04,6.067053e-04,6.131435e-04,6.571225e-04,6.914312e-04,6.977028e-04,7.350563e-04,7.633954e-04,7.693496e-04,8.007436e-04,8.238755e-04,8.293931e-04,8.554467e-04,8.740583e-04,8.790469e-04,9.003296e-04,9.150348e-04,9.194249e-04,9.364566e-04,9.478014e-04,9.515431e-04,9.647967e-04,9.732648e-04,9.763247e-04,9.862290e-04,9.922481e-04,9.946066e-04,1.001550e-03,1.005497e-03,1.007146e-03,1.011478e-03,1.013684e-03,1.014626e-03,1.016664e-03,1.017420e-03,1.017664e-03,1.017694e-03,1.017253e-03,1.016817e-03,1.015095e-03,1.013681e-03,1.012586e-03,1.009344e-03,1.007148e-03,1.005420e-03,1.000865e-03,9.980554e-04,9.957243e-04,9.900424e-04,9.867638e-04,9.838607e-04,9.772188e-04,9.735956e-04,9.701540e-04,9.627014e-04,9.588402e-04,9.548945e-04,9.467646e-04,9.427564e-04,9.383416e-04,9.296535e-04,9.255752e-04,9.207266e-04,9.115862e-04,9.075028e-04,9.022555e-04,8.927570e-04,8.887225e-04,8.831113e-04,8.733382e-04,8.693975e-04,8.634562e-04,8.534827e-04,8.496722e-04,8.434339e-04,8.333253e-04,8.296743e-04,8.231711e-04,8.129850e-04,8.095166e-04,8.027794e-04,7.925662e-04,7.892983e-04,7.823565e-04,7.721606e-04,7.691060e-04,7.619881e-04,7.518480e-04,7.490158e-04,7.417487e-04,7.316978e-04,7.290934e-04,7.217027e-04,7.117699e-04,7.093960e-04,7.019058e-04,6.921159e-04,6.899727e-04,6.824056e-04,6.727798e-04,6.708651e-04,6.632427e-04,6.537986e-04,6.521088e-04,6.444510e-04,6.352034e-04,6.337333e-04,6.260589e-04,6.170202e-04,6.157633e-04,6.080897e-04,5.992696e-04,5.982188e-04,5.905620e-04,5.819686e-04,5.811155e-04,5.734907e-04,5.651297e-04,5.644660e-04,5.568868e-04,5.487627e-04,5.482791e-04,5.407583e-04,5.328740e-04,5.325611e-04,5.251103e-04,5.174675e-04,5.173159e-04,5.099457e-04,5.025449e-04,4.882478e-04,4.744225e-04,4.610655e-04,4.481719e-04,4.357357e-04,4.237504e-04,4.122082e-04,4.011008e-04,3.904194e-04,3.801548e-04,3.702973e-04,3.608369e-04,3.517635e-04,3.430667e-04,3.347363e-04,3.267617e-04,3.191326e-04,3.118386e-04,3.048692e-04,2.982144e-04,2.918639e-04,2.858078e-04,2.800362e-04,2.745396e-04,2.693084e-04,2.643334e-04,2.596054e-04,2.551157e-04,2.508555e-04,2.468164e-04,2.429902e-04,2.393689e-04,2.359447e-04,2.327100e-04,2.296575e-04,2.267800e-04,2.240706e-04,2.215226e-04,2.191294e-04,2.168848e-04,2.147827e-04,2.128170e-04,2.109822e-04,2.092725e-04,2.076828e-04,2.062078e-04,2.048425e-04,2.035820e-04,2.024217e-04
0.000000e+00,1.124771e-08,6.771233e-07,7.215488e-07,8.787775e-06,3.747720e-05,3.921243e-05,9.278348e-05,1.522918e-04,1.561596e-04,2.195561e-04,2.743066e-04,2.788624e-04,3.328866e-04,3.769179e-04,3.815496e-04,4.251270e-04,4.595581e-04,4.639842e-04,4.984932e-04,5.249652e-04,5.290099e-04,5.558684e-04,5.758309e-04,5.793800e-04,5.998345e-04,6.145147e-04,6.175000e-04,6.326248e-04,6.430496e-04,6.454376e-04,6.561488e-04,6.631697e-04,6.649520e-04,6.720245e-04,6.763425e-04,6.775286e-04,6.816133e-04,6.838027e-04,6.844148e-04,6.860577e-04,6.865876e-04,6.866561e-04,6.863145e-04,6.855672e-04,6.851279e-04,6.831832e-04,6.814687e-04,6.805600e-04,6.773305e-04,6.748993e-04,6.735608e-04,6.693112e-04,6.663651e-04,6.646365e-04,6.595866e-04,6.562874e-04,6.542071e-04,6.485395e-04,6.450165e-04,6.426215e-04,6.364873e-04,6.328427e-04,6.301679e-04,6.236918e-04,6.200063e-04,6.170845e-04,6.103693e-04,6.067057e-04,6.035673e-04,5.966975e-04,5.931042e-04,5.897772e-04,5.828220e-04,5.793358e-04,5.758460e-04,5.688618e-04,5.655099e-04,5.618809e-04,5.549136e-04,5.517157e-04,5.479690e-04,5.410554e-04,5.380252e-04,5.341802e-04,5.273499e-04,5.244960e-04,5.205704e-04,5.138468e-04,5.111741e-04,5.071837e-04,5.005852e-04,4.980954e-04,4.940547e-04,4.875954e-04,4.852879e-04,4.812098e-04,4.749003e-04,4.727728e-04,4.686688e-04,4.625169e-04,4.605653e-04,4.564459e-04,4.504570e-04,4.486765e-04,4.445510e-04,4.387286e-04,4.371133e-04,4.329901e-04,4.273360e-04,4.258798e-04,4.217663e-04,4.162810e-04,4.149771e-04,4.108801e-04,4.055632e-04,4.044047e-04,4.003300e-04,3.951802e-04,3.941602e-04,3.901131e-04,3.851283e-04,3.842397e-04,3.802250e-04,3.754026e-04,3.746385e-04,3.706603e-04,3.659973e-04,3.653508e-04,3.614129e-04,3.569061e-04,3.563704e-04,3.524760e-04,3.481218e-04,3.476905e-04,3.438424e-04,3.396370e-04,3.393038e-04,3.355046e-04,3.314442e-04,3.312029e-04,3.274548e-04,3.235355e-04,3.233801e-04,3.196851e-04,3.159028e-04,3.158279e-04,3.121875e-04,3.085383e-04,3.015037e-04,2.947164e-04,2.881688e-04,2.818534e-04,2.757629e-04,2.698899e-04,2.642276e-04,2.587688e-04,2.535070e-04,2.484356e-04,2.435482e-04,2.388387e-04,2.343009e-04,2.299291e-04,2.257177e-04,2.216610e-04,2.177539e-04,2.139912e-04,2.103678e-04,2.068791e-04,2.035202e-04,2.002867e-04,1.971743e-04,1.941787e-04,1.912958e-04,1.885217e-04,1.858526e-04,1.832847e-04,1.808147e-04,1.784389e-04,1.761541e-04,1.739570e-04,1.718447e-04,1.698140e-04,1.678621e-04,1.659861e-04,1.641835e-04,1.624515e-04,1.607877e-04,1.591897e-04,1.576550e-04,1.561814e-04,1.547668e-04,1.534090e-04,1.521059e-04,1.508557e-04,1.496563e-04,1.485060e-04,1.474030e-04
0.000000e+00,4.252627e-09,6.322961e-08,6.611224e-08,4.169468e-07,1.334374e-06,1.385308e-06,2.822370e-06,4.227963e-06,4.315602e-06,5.722523e-06,6.921629e-06,7.021564e-06,8.213678e-06,9.199140e-06,9.303704e-06,1.029712e-05,1.109579e-05,1.119944e-05,1.201605e-05,1.265384e-05,1.275226e-05,1.341321e-05,1.391388e-05,1.400386e-05,1.452898e-05,1.491389e-05,1.499313e-05,1.540062e-05,1.568857e-05,1.575554e-05,1.606175e-05,1.626911e-05,1.632286e-05,1.654228e-05,1.668311e-05,1.672318e-05,1.686855e-05,1.695490e-05,1.698118e-05,1.706368e-05,1.710580e-05,1.711849e-05,1.714787e-05,1.715444e-05,1.715394e-05,1.713867e-05,1.711705e-05,1.710392e-05,1.705138e-05,1.700774e-05,1.698266e-05,1.689923e-05,1.683876e-05,1.680247e-05,1.669367e-05,1.662069e-05,1.657402e-05,1.644462e-05,1.636273e-05,1.630650e-05,1.616061e-05,1.607279e-05,1.600783e-05,1.584899e-05,1.575766e-05,1.568483e-05,1.551605e-05,1.542323e-05,1.534331e-05,1.516721e-05,1.507449e-05,1.498829e-05,1.480707e-05,1.471574e-05,1.462401e-05,1.443955e-05,1.435063e-05,1.425409e-05,1.406799e-05,1.398226e-05,1.388159e-05,1.369519e-05,1.361325e-05,1.350908e-05,1.332352e-05,1.324580e-05,1.313873e-05,1.295494e-05,1.288175e-05,1.277234e-05,1.259110e-05,1.252262e-05,1.241138e-05,1.223333e-05,1.216966e-05,1.205707e-05,1.188272e-05,1.182390e-05,1.171039e-05,1.154017e-05,1.148615e-05,1.137213e-05,1.120635e-05,1.115706e-05,1.104288e-05,1.088179e-05,1.083712e-05,1.072312e-05,1.056690e-05,1.052669e-05,1.041317e-05,1.026195e-05,1.022603e-05,1.011326e-05,9.967120e-06,9.935311e-06,9.823532e-06,9.682504e-06,9.654606e-06,9.544037e-06,9.408128e-06,9.383936e-06,9.274771e-06,9.143956e-06,9.123260e-06,9.015671e-06,8.889902e-06,8.872494e-06,8.766631e-06,8.645840e-06,8.631510e-06,8.527507e-06,8.411609e-06,8.400152e-06,8.298122e-06,8.187021e-06,8.178235e-06,8.078278e-06,7.971865e-06,7.965554e-06,7.867754e-06,7.765915e-06,7.761888e-06,7.666316e-06,7.568927e-06,7.567002e-06,7.473716e-06,7.380651e-06,7.202585e-06,7.032549e-06,6.870285e-06,6.715533e-06,6.568038e-06,6.427542e-06,6.293792e-06,6.166541e-06,6.045543e-06,5.930558e-06,5.821353e-06,5.717698e-06,5.619370e-06,5.526155e-06,5.437841e-06,5.354225e-06,5.275109e-06,5.200303e-06,5.129622e-06,5.062887e-06,4.999926e-06,4.940573e-06,4.884668e-06,4.832057e-06,4.782589e-06,4.736124e-06,4.692522e-06,4.651651e-06,4.613383e-06,4.577596e-06,4.544173e-06,4.512999e-06,4.483967e-06,4.456971e-06,4.431912e-06,4.408693e-06,4.387223e-06,4.367412e-06,4.349176e-06,4.332433e-06,4.317106e-06,4.303120e-06,4.290402e-06,4.278885e-06,4.268503e-06,4.259193e-06,4.250894e-06,4.243549e-06,4.237103e-06
0.000000e+00,2.401650e-08,8.979370e-07,9.505496e-07,1.023421e-05,5.245484e-05,5.554933e-05,1.849171e-04,4.122055e-04,4.302043e-04,7.831531e-04,1.176032e-03,1.212333e-03,1.683276e-03,2.119132e-03,2.167508e-03,2.644525e-03,3.047515e-03,3.100879e-03,3.528509e-03,3.869970e-03,3.923149e-03,4.283073e-03,4.558479e-03,4.608187e-03,4.899401e-03,5.113937e-03,5.158210e-03,5.386425e-03,5.548280e-03,5.586000e-03,5.758925e-03,5.876568e-03,5.907159e-03,6.032591e-03,6.113780e-03,6.137020e-03,6.222142e-03,6.273644e-03,6.289551e-03,6.340734e-03,6.368321e-03,6.377078e-03,6.399872e-03,6.408411e-03,6.410315e-03,6.409517e-03,6.403083e-03,6.398510e-03,6.378248e-03,6.360238e-03,6.349617e-03,6.313434e-03,6.286667e-03,6.270459e-03,6.221391e-03,6.188197e-03,6.166881e-03,6.107526e-03,6.069819e-03,6.043880e-03,5.976454e-03,5.935803e-03,5.905721e-03,5.832114e-03,5.789790e-03,5.756035e-03,5.677853e-03,5.634881e-03,5.597908e-03,5.516511e-03,5.473707e-03,5.433950e-03,5.350487e-03,5.308494e-03,5.266364e-03,5.181801e-03,5.141115e-03,5.097000e-03,5.012146e-03,4.973141e-03,4.927405e-03,4.842930e-03,4.805882e-03,4.758860e-03,4.675319e-03,4.640418e-03,4.592422e-03,4.510269e-03,4.477637e-03,4.428952e-03,4.348553e-03,4.318258e-03,4.269146e-03,4.190794e-03,4.162857e-03,4.113554e-03,4.037478e-03,4.011884e-03,3.962607e-03,3.888980e-03,3.865688e-03,3.816629e-03,3.745580e-03,3.724523e-03,3.675856e-03,3.607474e-03,3.588570e-03,3.540448e-03,3.474789e-03,3.457943e-03,3.410504e-03,3.347596e-03,3.332704e-03,3.286067e-03,3.225915e-03,3.212867e-03,3.167137e-03,3.109727e-03,3.098408e-03,3.053676e-03,2.998977e-03,2.989274e-03,2.945617e-03,2.893585e-03,2.885382e-03,2.842867e-03,2.793448e-03,2.786632e-03,2.745313e-03,2.698445e-03,2.692905e-03,2.652827e-03,2.608441e-03,2.604069e-03,2.565268e-03,2.523289e-03,2.519981e-03,2.482485e-03,2.442836e-03,2.440493e-03,2.404322e-03,2.366922e-03,2.365449e-03,2.330617e-03,2.295385e-03,2.294691e-03,2.261206e-03,2.228059e-03,2.165391e-03,2.106527e-03,2.051309e-03,1.999579e-03,1.951185e-03,1.905974e-03,1.863800e-03,1.824520e-03,1.787995e-03,1.754090e-03,1.722676e-03,1.693625e-03,1.666818e-03,1.642137e-03,1.619470e-03,1.598709e-03,1.579750e-03,1.562494e-03,1.546844e-03,1.532710e-03,1.520005e-03,1.508643e-03,1.498546e-03,1.489637e-03,1.481841e-03,1.475091e-03,1.469317e-03,1.464458e-03,1.460452e-03,1.457242e-03,1.454772e-03,1.452989e-03,1.451845e-03,1.451290e-03,1.451281e-03,1.451774e-03,1.452728e-03,1.454105e-03,1.455868e-03,1.457982e-03,1.460415e-03,1.463135e-03,1.466114e-03,1.469322e-03,1.472735e-03,1.476327e-03,1.480075e-03,1.483958e-03,1.487955e-03
0.000000e+00,7.554665e-10,9.667330e-09,1.008718e-08,6.130102e-08,2.103057e-07,2.193907e-07,5.151130e-07,8.591374e-07,8.814966e-07,1.245965e-06,1.559555e-06,1.585700e-06,1.897281e-06,2.154204e-06,2.181425e-06,2.439646e-06,2.646734e-06,2.673577e-06,2.884824e-06,3.049537e-06,3.074937e-06,3.245392e-06,3.374414e-06,3.397596e-06,3.532878e-06,3.632062e-06,3.652489e-06,3.757608e-06,3.832012e-06,3.849337e-06,3.928707e-06,3.982657e-06,3.996679e-06,4.054151e-06,4.091322e-06,4.101957e-06,4.140876e-06,4.164382e-06,4.171631e-06,4.194889e-06,4.207344e-06,4.211273e-06,4.221360e-06,4.224966e-06,4.225691e-06,4.224765e-06,4.221369e-06,4.219044e-06,4.208960e-06,4.200111e-06,4.194916e-06,4.177288e-06,4.164283e-06,4.156416e-06,4.132617e-06,4.116523e-06,4.106187e-06,4.077393e-06,4.059087e-06,4.046486e-06,4.013696e-06,3.993900e-06,3.979236e-06,3.943303e-06,3.922605e-06,3.906077e-06,3.867726e-06,3.846604e-06,3.828405e-06,3.788255e-06,3.767093e-06,3.747406e-06,3.705979e-06,3.685083e-06,3.664084e-06,3.621822e-06,3.601434e-06,3.579286e-06,3.536561e-06,3.516865e-06,3.493723e-06,3.450845e-06,3.431983e-06,3.407992e-06,3.365221e-06,3.347296e-06,3.322589e-06,3.280143e-06,3.263226e-06,3.237927e-06,3.195983e-06,3.180123e-06,3.154346e-06,3.113048e-06,3.098270e-06,3.072120e-06,3.031586e-06,3.017899e-06,2.991471e-06,2.951795e-06,2.939195e-06,2.912577e-06,2.873833e-06,2.862304e-06,2.835576e-06,2.797818e-06,2.787337e-06,2.760571e-06,2.723842e-06,2.714378e-06,2.687639e-06,2.651968e-06,2.643487e-06,2.616833e-06,2.582238e-06,2.574700e-06,2.548186e-06,2.514677e-06,2.508040e-06,2.481713e-06,2.449293e-06,2.443515e-06,2.417416e-06,2.386081e-06,2.381117e-06,2.355285e-06,2.325026e-06,2.320833e-06,2.295301e-06,2.266105e-06,2.262637e-06,2.237435e-06,2.209286e-06,2.206499e-06,2.181653e-06,2.154531e-06,2.152383e-06,2.127915e-06,2.101800e-06,2.100249e-06,2.076179e-06,2.051047e-06,2.050051e-06,2.026397e-06,2.002223e-06,2.001744e-06,1.978519e-06,1.955278e-06,1.910604e-06,1.867669e-06,1.826422e-06,1.786812e-06,1.748786e-06,1.712294e-06,1.677283e-06,1.643705e-06,1.611509e-06,1.580648e-06,1.551074e-06,1.522741e-06,1.495605e-06,1.469620e-06,1.444746e-06,1.420940e-06,1.398162e-06,1.376374e-06,1.355537e-06,1.335616e-06,1.316575e-06,1.298380e-06,1.280999e-06,1.264399e-06,1.248550e-06,1.233422e-06,1.218986e-06,1.205216e-06,1.192085e-06,1.179566e-06,1.167636e-06,1.156271e-06,1.145447e-06,1.135144e-06,1.125339e-06,1.116012e-06,1.107144e-06,1.098716e-06,1.090709e-06,1.083106e-06,1.075890e-06,1.069046e-06,1.062556e-06,1.056407e-06,1.050585e-06,1.045074e-06,1.039862e-06,1.034936e-06,1.030284e-06
0.000000e+00,2.889544e-08,3.757111e-07,3.912423e-07,2.170646e-06,7.191708e-06,7.500715e-06,1.804911e-05,3.186044e-05,3.281259e-05,4.898349e-05,6.354519e-05,6.477754e-05,7.964091e-05,9.212721e-05,9.346220e-05,1.062451e-04,1.166615e-04,1.180232e-04,1.288392e-04,1.374065e-04,1.387391e-04,1.477698e-04,1.547184e-04,1.559784e-04,1.634114e-04,1.689594e-04,1.701139e-04,1.761297e-04,1.804761e-04,1.815008e-04,1.862674e-04,1.895906e-04,1.904681e-04,1.941394e-04,1.965969e-04,1.973159e-04,2.000306e-04,2.017606e-04,2.023147e-04,2.041977e-04,2.053208e-04,2.057075e-04,2.068704e-04,2.074915e-04,2.077114e-04,2.082538e-04,2.084635e-04,2.085199e-04,2.085304e-04,2.084069e-04,2.083049e-04,2.078619e-04,2.074724e-04,2.072188e-04,2.063920e-04,2.057939e-04,2.053968e-04,2.042475e-04,2.034896e-04,2.029576e-04,2.015400e-04,2.006641e-04,2.000067e-04,1.983687e-04,1.974096e-04,1.966365e-04,1.948198e-04,1.938069e-04,1.929278e-04,1.909690e-04,1.899268e-04,1.889516e-04,1.868828e-04,1.858314e-04,1.847697e-04,1.826188e-04,1.815747e-04,1.804361e-04,1.782272e-04,1.772038e-04,1.759974e-04,1.737514e-04,1.727593e-04,1.714938e-04,1.692288e-04,1.682762e-04,1.669602e-04,1.646916e-04,1.637849e-04,1.624262e-04,1.601671e-04,1.593109e-04,1.579171e-04,1.556788e-04,1.548763e-04,1.534544e-04,1.512461e-04,1.504994e-04,1.490560e-04,1.468857e-04,1.461957e-04,1.447370e-04,1.426111e-04,1.419781e-04,1.405096e-04,1.384335e-04,1.378569e-04,1.363839e-04,1.343617e-04,1.338405e-04,1.323678e-04,1.304028e-04,1.299356e-04,1.284675e-04,1.265623e-04,1.261472e-04,1.246877e-04,1.228440e-04,1.224790e-04,1.210316e-04,1.192507e-04,1.189335e-04,1.175015e-04,1.157840e-04,1.155121e-04,1.140983e-04,1.124445e-04,1.122155e-04,1.108225e-04,1.092322e-04,1.090435e-04,1.076735e-04,1.061463e-04,1.059953e-04,1.046504e-04,1.031855e-04,1.030696e-04,1.017514e-04,1.003478e-04,1.002646e-04,9.897453e-05,9.763118e-05,9.757806e-05,9.631744e-05,9.503296e-05,9.500757e-05,9.377740e-05,9.255036e-05,9.020349e-05,8.796386e-05,8.582826e-05,8.379338e-05,8.185587e-05,8.001235e-05,7.825942e-05,7.659373e-05,7.501190e-05,7.351065e-05,7.208671e-05,7.073690e-05,6.945809e-05,6.824725e-05,6.710140e-05,6.601767e-05,6.499326e-05,6.402548e-05,6.311171e-05,6.224942e-05,6.143620e-05,6.066969e-05,5.994764e-05,5.926790e-05,5.862838e-05,5.802709e-05,5.746212e-05,5.693164e-05,5.643390e-05,5.596722e-05,5.553001e-05,5.512074e-05,5.473793e-05,5.438021e-05,5.404623e-05,5.373474e-05,5.344452e-05,5.317441e-05,5.292333e-05,5.269022e-05,5.247409e-05,5.227401e-05,5.208906e-05,5.191840e-05,5.176121e-05,5.161672e-05,5.148420e-05,5.136294e-05,5.125230e-05
0.000000e+00,1.773168e-09,3.650803e-08,3.833792e-08,2.745083e-07,9.033426e-07,9.378837e-07,1.895489e-06,2.817637e-06,2.875007e-06,3.795635e-06,4.580492e-06,4.645928e-06,5.426971e-06,6.073486e-06,6.142145e-06,6.795182e-06,7.321373e-06,7.389753e-06,7.929381e-06,8.352091e-06,8.417436e-06,8.857137e-06,9.191370e-06,9.251557e-06,9.603628e-06,9.862684e-06,9.916136e-06,1.019173e-05,1.038732e-05,1.043292e-05,1.064208e-05,1.078444e-05,1.082145e-05,1.097315e-05,1.107116e-05,1.109916e-05,1.120136e-05,1.126270e-05,1.128151e-05,1.134125e-05,1.137250e-05,1.138214e-05,1.140562e-05,1.141245e-05,1.141308e-05,1.140577e-05,1.139299e-05,1.138491e-05,1.135161e-05,1.132333e-05,1.130692e-05,1.125182e-05,1.121152e-05,1.118723e-05,1.111401e-05,1.106464e-05,1.103297e-05,1.094486e-05,1.088889e-05,1.085036e-05,1.075014e-05,1.068962e-05,1.064478e-05,1.053486e-05,1.047151e-05,1.042090e-05,1.030340e-05,1.023863e-05,1.018280e-05,1.005953e-05,9.994499e-06,9.933972e-06,9.806499e-06,9.742149e-06,9.677445e-06,9.547121e-06,9.484201e-06,9.415818e-06,9.283800e-06,9.222901e-06,9.151315e-06,9.018590e-06,8.960169e-06,8.885832e-06,8.753236e-06,8.697636e-06,8.620976e-06,8.489215e-06,8.436684e-06,8.358101e-06,8.227770e-06,8.178475e-06,8.098344e-06,7.969935e-06,7.923977e-06,7.842646e-06,7.716568e-06,7.673992e-06,7.591783e-06,7.468367e-06,7.429173e-06,7.346384e-06,7.225894e-06,7.190047e-06,7.106950e-06,6.989597e-06,6.957028e-06,6.873874e-06,6.759816e-06,6.730438e-06,6.647452e-06,6.536807e-06,6.510510e-06,6.427900e-06,6.320748e-06,6.297411e-06,6.215362e-06,6.111752e-06,6.091244e-06,6.009923e-06,5.909877e-06,5.892058e-06,5.811614e-06,5.715132e-06,5.699860e-06,5.620425e-06,5.527487e-06,5.514616e-06,5.436308e-06,5.346878e-06,5.336264e-06,5.259185e-06,5.173215e-06,5.164712e-06,5.088952e-06,5.006380e-06,4.999847e-06,4.925482e-06,4.846240e-06,4.841537e-06,4.768633e-06,4.692643e-06,4.689637e-06,4.618249e-06,4.545429e-06,4.543988e-06,4.474161e-06,4.404424e-06,4.270771e-06,4.142850e-06,4.020481e-06,3.903479e-06,3.791661e-06,3.684844e-06,3.582846e-06,3.485488e-06,3.392592e-06,3.303986e-06,3.219501e-06,3.138969e-06,3.062231e-06,2.989129e-06,2.919511e-06,2.853231e-06,2.790145e-06,2.730115e-06,2.673009e-06,2.618699e-06,2.567060e-06,2.517975e-06,2.471329e-06,2.427012e-06,2.384920e-06,2.344950e-06,2.307005e-06,2.270994e-06,2.236827e-06,2.204418e-06,2.173686e-06,2.144552e-06,2.116943e-06,2.090786e-06,2.066013e-06,2.042560e-06,2.020363e-06,1.999363e-06,1.979502e-06,1.960728e-06,1.942987e-06,1.926231e-06,1.910411e-06,1.895484e-06,1.881405e-06,1.868135e-06,1.855633e-06,1.843862e-06,1.832787e-06
0.000000e+00,6.984607e-09,2.577181e-07,2.728328e-07,3.052502e-06,1.709123e-05,1.817871e-05,6.816943e-05,1.704810e-04,1.791714e-04,3.626004e-04,5.892998e-04,6.112007e-04,9.071797e-04,1.197063e-03,1.229989e-03,1.560759e-03,1.846190e-03,1.884209e-03,2.189086e-03,2.430608e-03,2.467875e-03,2.716193e-03,2.899762e-03,2.932109e-03,3.115511e-03,3.242423e-03,3.267559e-03,3.390246e-03,3.468914e-03,3.486054e-03,3.557704e-03,3.598607e-03,3.607971e-03,3.639560e-03,3.652654e-03,3.655025e-03,3.656724e-03,3.650380e-03,3.646787e-03,3.627117e-03,3.607877e-03,3.599389e-03,3.565062e-03,3.537790e-03,3.525398e-03,3.481478e-03,3.449657e-03,3.434223e-03,3.384409e-03,3.350453e-03,3.332692e-03,3.279618e-03,3.245152e-03,3.225642e-03,3.171141e-03,3.137225e-03,3.116424e-03,3.061744e-03,3.029041e-03,3.007306e-03,2.953274e-03,2.922175e-03,2.899780e-03,2.846926e-03,2.817639e-03,2.794794e-03,2.743447e-03,2.716063e-03,2.692932e-03,2.643284e-03,2.617818e-03,2.594527e-03,2.546678e-03,2.523097e-03,2.499747e-03,2.453738e-03,2.431983e-03,2.408654e-03,2.364492e-03,2.344485e-03,2.321245e-03,2.278909e-03,2.260567e-03,2.237473e-03,2.196927e-03,2.180160e-03,2.157260e-03,2.118460e-03,2.103181e-03,2.080516e-03,2.043414e-03,2.029534e-03,2.007142e-03,1.971686e-03,1.959119e-03,1.937033e-03,1.903170e-03,1.891834e-03,1.870083e-03,1.837758e-03,1.827573e-03,1.806183e-03,1.775345e-03,1.766235e-03,1.745229e-03,1.715822e-03,1.707714e-03,1.687113e-03,1.659087e-03,1.651910e-03,1.631731e-03,1.605034e-03,1.598723e-03,1.578982e-03,1.553563e-03,1.548055e-03,1.528765e-03,1.504575e-03,1.499809e-03,1.480982e-03,1.457973e-03,1.453893e-03,1.435537e-03,1.413662e-03,1.410214e-03,1.392338e-03,1.371551e-03,1.368684e-03,1.351293e-03,1.331550e-03,1.329215e-03,1.312314e-03,1.293572e-03,1.291725e-03,1.275316e-03,1.257534e-03,1.256131e-03,1.240216e-03,1.223352e-03,1.222355e-03,1.206933e-03,1.190949e-03,1.190319e-03,1.175391e-03,1.160249e-03,1.159950e-03,1.145514e-03,1.131177e-03,1.103930e-03,1.078142e-03,1.053751e-03,1.030693e-03,1.008909e-03,9.883415e-04,9.689359e-04,9.506388e-04,9.333992e-04,9.171679e-04,9.018979e-04,8.875438e-04,8.740621e-04,8.614110e-04,8.495505e-04,8.384421e-04,8.280489e-04,8.183353e-04,8.092676e-04,8.008129e-04,7.929403e-04,7.856196e-04,7.788223e-04,7.725208e-04,7.666888e-04,7.613011e-04,7.563336e-04,7.517632e-04,7.475677e-04,7.437262e-04,7.402183e-04,7.370247e-04,7.341270e-04,7.315076e-04,7.291497e-04,7.270372e-04,7.251547e-04,7.234877e-04,7.220224e-04,7.207453e-04,7.196440e-04,7.187064e-04,7.179211e-04,7.172773e-04,7.167647e-04,7.163734e-04,7.160944e-04,7.159186e-04,7.158379e-04
0.000000e+00,1.010909e-08,1.266897e-07,1.318033e-07,7.134850e-07,2.415090e-06,2.523074e-06,6.426359e-06,1.217727e-05,1.259980e-05,2.016501e-05,2.725865e-05,2.785636e-05,3.491591e-05,4.054659e-05,4.112937e-05,4.650537e-05,5.059732e-05,5.111211e-05,5.502778e-05,5.789991e-05,5.832741e-05,6.107981e-05,6.301471e-05,6.334731e-05,6.518599e-05,6.640919e-05,6.664617e-05,6.777285e-05,6.846125e-05,6.860624e-05,6.918222e-05,6.947347e-05,6.953274e-05,6.968621e-05,6.968671e-05,6.966790e-05,6.950025e-05,6.929185e-05,6.920318e-05,6.879434e-05,6.843962e-05,6.828937e-05,6.770212e-05,6.724872e-05,6.704485e-05,6.632840e-05,6.581233e-05,6.556232e-05,6.475507e-05,6.420339e-05,6.391410e-05,6.304597e-05,6.247880e-05,6.215644e-05,6.125058e-05,6.068273e-05,6.033285e-05,5.940714e-05,5.884932e-05,5.847686e-05,5.754498e-05,5.700480e-05,5.661411e-05,5.568649e-05,5.516918e-05,5.476407e-05,5.384853e-05,5.335751e-05,5.294130e-05,5.204363e-05,5.158097e-05,5.115656e-05,5.028098e-05,4.984773e-05,4.941763e-05,4.856711e-05,4.816358e-05,4.772994e-05,4.690650e-05,4.653243e-05,4.609712e-05,4.530204e-05,4.495678e-05,4.452142e-05,4.375538e-05,4.343801e-05,4.300398e-05,4.226724e-05,4.197664e-05,4.154513e-05,4.083759e-05,4.057253e-05,4.014455e-05,3.946588e-05,3.922506e-05,3.880146e-05,3.815114e-05,3.793321e-05,3.751475e-05,3.689211e-05,3.669574e-05,3.628304e-05,3.568732e-05,3.551118e-05,3.510476e-05,3.453514e-05,3.437793e-05,3.397824e-05,3.343384e-05,3.329432e-05,3.290173e-05,3.238166e-05,3.225861e-05,3.187342e-05,3.137677e-05,3.126904e-05,3.089150e-05,3.041737e-05,3.032387e-05,2.995417e-05,2.950167e-05,2.942133e-05,2.905964e-05,2.862788e-05,2.855974e-05,2.820617e-05,2.779429e-05,2.773740e-05,2.739203e-05,2.699919e-05,2.695267e-05,2.661556e-05,2.624095e-05,2.620397e-05,2.587515e-05,2.551798e-05,2.548977e-05,2.516923e-05,2.482874e-05,2.480856e-05,2.449630e-05,2.417175e-05,2.415893e-05,2.385491e-05,2.354560e-05,2.353949e-05,2.324365e-05,2.294891e-05,2.238592e-05,2.184929e-05,2.133785e-05,2.085049e-05,2.038611e-05,1.994370e-05,1.952226e-05,1.912085e-05,1.873856e-05,1.837454e-05,1.802795e-05,1.769801e-05,1.738395e-05,1.708507e-05,1.680067e-05,1.653008e-05,1.627268e-05,1.602787e-05,1.579508e-05,1.557374e-05,1.536335e-05,1.516339e-05,1.497338e-05,1.479288e-05,1.462143e-05,1.445863e-05,1.430408e-05,1.415739e-05,1.401820e-05,1.388616e-05,1.376095e-05,1.364224e-05,1.352973e-05,1.342313e-05,1.332217e-05,1.322658e-05,1.313611e-05,1.305052e-05,1.296958e-05,1.289307e-05,1.282079e-05,1.275252e-05,1.268809e-05,1.262731e-05,1.257001e-05,1.251601e-05,1.246517e-05,1.241733e-05,1.237234e-05
0.000000e+00,3.135715e-08,1.400318e-06,1.486821e-06,1.666875e-05,7.452418e-05,7.823523e-05,2.004501e-04,3.459050e-04,3.555549e-04,5.160135e-04,6.575939e-04,6.694988e-04,8.122642e-04,9.310641e-04,9.437052e-04,1.064157e-03,1.161512e-03,1.174185e-03,1.274388e-03,1.353147e-03,1.365345e-03,1.447612e-03,1.510390e-03,1.521720e-03,1.588181e-03,1.637317e-03,1.647485e-03,1.700102e-03,1.737682e-03,1.746480e-03,1.787045e-03,1.814913e-03,1.822203e-03,1.852335e-03,1.872098e-03,1.877804e-03,1.898949e-03,1.912002e-03,1.916090e-03,1.929530e-03,1.937073e-03,1.939549e-03,1.946413e-03,1.949473e-03,1.950369e-03,1.951650e-03,1.951104e-03,1.950472e-03,1.947039e-03,1.943631e-03,1.941540e-03,1.934153e-03,1.928511e-03,1.925043e-03,1.914364e-03,1.907018e-03,1.902260e-03,1.888865e-03,1.880261e-03,1.874305e-03,1.858695e-03,1.849204e-03,1.842145e-03,1.824755e-03,1.814685e-03,1.806619e-03,1.787825e-03,1.777430e-03,1.768452e-03,1.748577e-03,1.738067e-03,1.728270e-03,1.707594e-03,1.697137e-03,1.686610e-03,1.665373e-03,1.655105e-03,1.643935e-03,1.622343e-03,1.612371e-03,1.600640e-03,1.578867e-03,1.569274e-03,1.557061e-03,1.535256e-03,1.526106e-03,1.513484e-03,1.491773e-03,1.483112e-03,1.470150e-03,1.448639e-03,1.440498e-03,1.427261e-03,1.406037e-03,1.398437e-03,1.384985e-03,1.364121e-03,1.357073e-03,1.343461e-03,1.323017e-03,1.316522e-03,1.302802e-03,1.282826e-03,1.276881e-03,1.263099e-03,1.243629e-03,1.238225e-03,1.224425e-03,1.205491e-03,1.200613e-03,1.186834e-03,1.168458e-03,1.164091e-03,1.150368e-03,1.132567e-03,1.128690e-03,1.115057e-03,1.097840e-03,1.094432e-03,1.080917e-03,1.064291e-03,1.061330e-03,1.047960e-03,1.031926e-03,1.029388e-03,1.016187e-03,1.000744e-03,9.986052e-04,9.855942e-04,9.707371e-04,9.689738e-04,9.561708e-04,9.418935e-04,9.404816e-04,9.279030e-04,9.141969e-04,9.131126e-04,9.007726e-04,8.876275e-04,8.868477e-04,8.747587e-04,8.621631e-04,8.616649e-04,8.498375e-04,8.377787e-04,8.375403e-04,8.259835e-04,8.144482e-04,7.923618e-04,7.712530e-04,7.510933e-04,7.318537e-04,7.135049e-04,6.960175e-04,6.793625e-04,6.635107e-04,6.484336e-04,6.341028e-04,6.204907e-04,6.075699e-04,5.953138e-04,5.836965e-04,5.726926e-04,5.622775e-04,5.524270e-04,5.431179e-04,5.343277e-04,5.260344e-04,5.182168e-04,5.108545e-04,5.039276e-04,4.974168e-04,4.913038e-04,4.855707e-04,4.802002e-04,4.751757e-04,4.704812e-04,4.661012e-04,4.620209e-04,4.582260e-04,4.547027e-04,4.514378e-04,4.484184e-04,4.456323e-04,4.430677e-04,4.407133e-04,4.385582e-04,4.365918e-04,4.348042e-04,4.331857e-04,4.317271e-04,4.304193e-04,4.292540e-04,4.282229e-04,4.273182e-04,4.265323e-04,4.258582e-04
0.000000e+00,1.681379e-08,1.226007e-06,1.311093e-06,1.866795e-05,8.997281e-05,9.466073e-05,2.613645e-04,5.006410e-04,5.183226e-04,8.481074e-04,1.197408e-03,1.229315e-03,1.642445e-03,2.028501e-03,2.071803e-03,2.505622e-03,2.884323e-03,2.935486e-03,3.355609e-03,3.706168e-03,3.762168e-03,4.152755e-03,4.467455e-03,4.525964e-03,4.881087e-03,5.158615e-03,5.217888e-03,5.536452e-03,5.778366e-03,5.837075e-03,6.120188e-03,6.329192e-03,6.386309e-03,6.636002e-03,6.815147e-03,6.869860e-03,7.088484e-03,7.240811e-03,7.292474e-03,7.482422e-03,7.610817e-03,7.658910e-03,7.822504e-03,7.929642e-03,7.973753e-03,8.113189e-03,8.201522e-03,8.241328e-03,8.358665e-03,8.430424e-03,8.465680e-03,8.562835e-03,8.620046e-03,8.650575e-03,8.729329e-03,8.773825e-03,8.799509e-03,8.861513e-03,8.894950e-03,8.915722e-03,8.962505e-03,8.986376e-03,9.002215e-03,9.035191e-03,9.050839e-03,9.061761e-03,9.082239e-03,9.090871e-03,9.096927e-03,9.106115e-03,9.108812e-03,9.110082e-03,9.109096e-03,9.106826e-03,9.103413e-03,9.093281e-03,9.086908e-03,9.078937e-03,9.060609e-03,9.050900e-03,9.038514e-03,9.012862e-03,9.000501e-03,8.983855e-03,8.951684e-03,8.937274e-03,8.916535e-03,8.878585e-03,8.862658e-03,8.838003e-03,8.794952e-03,8.777979e-03,8.749589e-03,8.702062e-03,8.684450e-03,8.652514e-03,8.601083e-03,8.583191e-03,8.547899e-03,8.493087e-03,8.475223e-03,8.436768e-03,8.379055e-03,8.361486e-03,8.320060e-03,8.259885e-03,8.242839e-03,8.198633e-03,8.136397e-03,8.120066e-03,8.073270e-03,8.009339e-03,7.993885e-03,7.944687e-03,7.879393e-03,7.864949e-03,7.813533e-03,7.747179e-03,7.733855e-03,7.680400e-03,7.613262e-03,7.601144e-03,7.545827e-03,7.478154e-03,7.467308e-03,7.410300e-03,7.342318e-03,7.332793e-03,7.274260e-03,7.206174e-03,7.198004e-03,7.138106e-03,7.070100e-03,7.063305e-03,7.002198e-03,6.934438e-03,6.929025e-03,6.866858e-03,6.799494e-03,6.795459e-03,6.732377e-03,6.665540e-03,6.662873e-03,6.599014e-03,6.532824e-03,6.531504e-03,6.467000e-03,6.401564e-03,6.273240e-03,6.146698e-03,6.022084e-03,5.899526e-03,5.779135e-03,5.661006e-03,5.545221e-03,5.431849e-03,5.320947e-03,5.212562e-03,5.106730e-03,5.003480e-03,4.902831e-03,4.804796e-03,4.709382e-03,4.616588e-03,4.526409e-03,4.438835e-03,4.353852e-03,4.271441e-03,4.191581e-03,4.114246e-03,4.039409e-03,3.967038e-03,3.897103e-03,3.829567e-03,3.764396e-03,3.701551e-03,3.640993e-03,3.582683e-03,3.526579e-03,3.472640e-03,3.420823e-03,3.371085e-03,3.323383e-03,3.277673e-03,3.233911e-03,3.192053e-03,3.152055e-03,3.113872e-03,3.077460e-03,3.042775e-03,3.009774e-03,2.978411e-03,2.948645e-03,2.920431e-03,2.893727e-03,2.868489e-03,2.844677e-03
0.000000e+00,1.095269e-09,1.172743e-08,1.219052e-08,6.401893e-08,2.079210e-07,2.167461e-07,5.159274e-07,9.002731e-07,9.265420e-07,1.372245e-06,1.777622e-06,1.812236e-06,2.234340e-06,2.596402e-06,2.635561e-06,3.015367e-06,3.332015e-06,3.373934e-06,3.711677e-06,3.985881e-06,4.029124e-06,4.326873e-06,4.562231e-06,4.605569e-06,4.865892e-06,5.066135e-06,5.108538e-06,5.334213e-06,5.503008e-06,5.543622e-06,5.737463e-06,5.878294e-06,5.916423e-06,6.081173e-06,6.197281e-06,6.232365e-06,6.370633e-06,6.464992e-06,6.496590e-06,6.610827e-06,6.686142e-06,6.713914e-06,6.806403e-06,6.865123e-06,6.888822e-06,6.961680e-06,7.006011e-06,7.025464e-06,7.080644e-06,7.112570e-06,7.127672e-06,7.166977e-06,7.188271e-06,7.198973e-06,7.224057e-06,7.236305e-06,7.242608e-06,7.254989e-06,7.259601e-06,7.261547e-06,7.262616e-06,7.260848e-06,7.258516e-06,7.249553e-06,7.242518e-06,7.236017e-06,7.218187e-06,7.206868e-06,7.196330e-06,7.170701e-06,7.155964e-06,7.141542e-06,7.109084e-06,7.091688e-06,7.073549e-06,7.035146e-06,7.015754e-06,6.994078e-06,6.950534e-06,6.929723e-06,6.904697e-06,6.856741e-06,6.835011e-06,6.806830e-06,6.755123e-06,6.732907e-06,6.701769e-06,6.646911e-06,6.624576e-06,6.590682e-06,6.533213e-06,6.511075e-06,6.474626e-06,6.415035e-06,6.393359e-06,6.354553e-06,6.293283e-06,6.272290e-06,6.231324e-06,6.168771e-06,6.148643e-06,6.105712e-06,6.042232e-06,6.023118e-06,5.978410e-06,5.914321e-06,5.896339e-06,5.850038e-06,5.785626e-06,5.768866e-06,5.721150e-06,5.656669e-06,5.641199e-06,5.592240e-06,5.527916e-06,5.513783e-06,5.463746e-06,5.399778e-06,5.387012e-06,5.336055e-06,5.272620e-06,5.261235e-06,5.209510e-06,5.146761e-06,5.136757e-06,5.084408e-06,5.022482e-06,5.013848e-06,4.961012e-06,4.900025e-06,4.892741e-06,4.839548e-06,4.779602e-06,4.773638e-06,4.720211e-06,4.661393e-06,4.656713e-06,4.603167e-06,4.545550e-06,4.542113e-06,4.488557e-06,4.432203e-06,4.429962e-06,4.376499e-06,4.321457e-06,4.320363e-06,4.267088e-06,4.213399e-06,4.109137e-06,4.007626e-06,3.908904e-06,3.812993e-06,3.719907e-06,3.629649e-06,3.542211e-06,3.457581e-06,3.375735e-06,3.296648e-06,3.220286e-06,3.146612e-06,3.075585e-06,3.007158e-06,2.941285e-06,2.877915e-06,2.816996e-06,2.758472e-06,2.702289e-06,2.648390e-06,2.596717e-06,2.547213e-06,2.499819e-06,2.454478e-06,2.411130e-06,2.369718e-06,2.330184e-06,2.292472e-06,2.256525e-06,2.222286e-06,2.189701e-06,2.158717e-06,2.129278e-06,2.101334e-06,2.074833e-06,2.049725e-06,2.025960e-06,2.003490e-06,1.982268e-06,1.962248e-06,1.943386e-06,1.925637e-06,1.908958e-06,1.893309e-06,1.878649e-06,1.864938e-06,1.852138e-06,1.840212e-06,1.829124e-06
0.000000e+00,1.655258e-09,2.560364e-08,2.678366e-08,1.722816e-07,5.714228e-07,5.944427e-07,1.274400e-06,1.970627e-06,2.014500e-06,2.723408e-06,3.333455e-06,3.384533e-06,3.996830e-06,4.507545e-06,4.562002e-06,5.082192e-06,5.504470e-06,5.559564e-06,5.996245e-06,6.340840e-06,6.394324e-06,6.755865e-06,7.032808e-06,7.082896e-06,7.377408e-06,7.596004e-06,7.641339e-06,7.876569e-06,8.045305e-06,8.084905e-06,8.268082e-06,8.394562e-06,8.427755e-06,8.565507e-06,8.656459e-06,8.682830e-06,8.781132e-06,8.842417e-06,8.861747e-06,8.925927e-06,8.962630e-06,8.974861e-06,9.009666e-06,9.026189e-06,9.031396e-06,9.041049e-06,9.041201e-06,9.039574e-06,9.027853e-06,9.014901e-06,9.006699e-06,8.976882e-06,8.953590e-06,8.939126e-06,8.894104e-06,8.862821e-06,8.842449e-06,8.784755e-06,8.747471e-06,8.721576e-06,8.653429e-06,8.611821e-06,8.580801e-06,8.504142e-06,8.459611e-06,8.423874e-06,8.340394e-06,8.294109e-06,8.254069e-06,8.165242e-06,8.118170e-06,8.074233e-06,7.981340e-06,7.934274e-06,7.886839e-06,7.790987e-06,7.744570e-06,7.694024e-06,7.596170e-06,7.550915e-06,7.497631e-06,7.398597e-06,7.354912e-06,7.299245e-06,7.199737e-06,7.157933e-06,7.100222e-06,7.000839e-06,6.961152e-06,6.901716e-06,6.802969e-06,6.765567e-06,6.704706e-06,6.607025e-06,6.572019e-06,6.510014e-06,6.413757e-06,6.381215e-06,6.318328e-06,6.223793e-06,6.193741e-06,6.130214e-06,6.037646e-06,6.010081e-06,5.946138e-06,5.855734e-06,5.830624e-06,5.766472e-06,5.678387e-06,5.655682e-06,5.591510e-06,5.505864e-06,5.485495e-06,5.421474e-06,5.338359e-06,5.320246e-06,5.256533e-06,5.176011e-06,5.160064e-06,5.096802e-06,5.018913e-06,5.005034e-06,4.942351e-06,4.867117e-06,4.855202e-06,4.793212e-06,4.720636e-06,4.710582e-06,4.649386e-06,4.579458e-06,4.571155e-06,4.510846e-06,4.443543e-06,4.436884e-06,4.377540e-06,4.312829e-06,4.307708e-06,4.249400e-06,4.187240e-06,4.183551e-06,4.126339e-06,4.066682e-06,4.064321e-06,4.008257e-06,3.951049e-06,3.949918e-06,3.895045e-06,3.840228e-06,3.735134e-06,3.634511e-06,3.538232e-06,3.446163e-06,3.358174e-06,3.274128e-06,3.193894e-06,3.117336e-06,3.044323e-06,2.974725e-06,2.908412e-06,2.845259e-06,2.785143e-06,2.727943e-06,2.673541e-06,2.621824e-06,2.572680e-06,2.526002e-06,2.481685e-06,2.439630e-06,2.399738e-06,2.361916e-06,2.326072e-06,2.292120e-06,2.259975e-06,2.229557e-06,2.200787e-06,2.173591e-06,2.147897e-06,2.123636e-06,2.100742e-06,2.079150e-06,2.058801e-06,2.039636e-06,2.021598e-06,2.004635e-06,1.988696e-06,1.973730e-06,1.959691e-06,1.946535e-06,1.934217e-06,1.922698e-06,1.911937e-06,1.901897e-06,1.892542e-06,1.883837e-06,1.875750e-06,1.868250e-06,1.861306e-06
0.000000e+00,3.231093e-08,7.027432e-07,7.378075e-07,5.488065e-06,2.062679e-05,2.158078e-05,5.415216e-05,9.552861e-05,9.833027e-05,1.455073e-04,1.880508e-04,1.916745e-04,2.358019e-04,2.736002e-04,2.776870e-04,3.173211e-04,3.503691e-04,3.547451e-04,3.900154e-04,4.186736e-04,4.231955e-04,4.543533e-04,4.790146e-04,4.835594e-04,5.108862e-04,5.319430e-04,5.364066e-04,5.601934e-04,5.780232e-04,5.823188e-04,6.028529e-04,6.178091e-04,6.218645e-04,6.394206e-04,6.518300e-04,6.555863e-04,6.704243e-04,6.805855e-04,6.839954e-04,6.963584e-04,7.045436e-04,7.075700e-04,7.176846e-04,7.241404e-04,7.267549e-04,7.348314e-04,7.397806e-04,7.419627e-04,7.481957e-04,7.518393e-04,7.535753e-04,7.581446e-04,7.606630e-04,7.619452e-04,7.650168e-04,7.665719e-04,7.673977e-04,7.691244e-04,7.698612e-04,7.702322e-04,7.707548e-04,7.708025e-04,7.707244e-04,7.701720e-04,7.696458e-04,7.691273e-04,7.676187e-04,7.666208e-04,7.656733e-04,7.633173e-04,7.619382e-04,7.605756e-04,7.574719e-04,7.557914e-04,7.540290e-04,7.502688e-04,7.483574e-04,7.462122e-04,7.418789e-04,7.397980e-04,7.372881e-04,7.324579e-04,7.302612e-04,7.274056e-04,7.221478e-04,7.198821e-04,7.167003e-04,7.110782e-04,7.087837e-04,7.052958e-04,6.993667e-04,6.970780e-04,6.933042e-04,6.871205e-04,6.848670e-04,6.808275e-04,6.744364e-04,6.722430e-04,6.679580e-04,6.614024e-04,6.592899e-04,6.547793e-04,6.480979e-04,6.460834e-04,6.413669e-04,6.345946e-04,6.326920e-04,6.277887e-04,6.209569e-04,6.191772e-04,6.141060e-04,6.072429e-04,6.055946e-04,6.003737e-04,5.935044e-04,5.919938e-04,5.866408e-04,5.797880e-04,5.784192e-04,5.729511e-04,5.661349e-04,5.649105e-04,5.593438e-04,5.525819e-04,5.515030e-04,5.458532e-04,5.391614e-04,5.382276e-04,5.325099e-04,5.259019e-04,5.251120e-04,5.193406e-04,5.128286e-04,5.121802e-04,5.063686e-04,4.999632e-04,4.994531e-04,4.936144e-04,4.873245e-04,4.869490e-04,4.810953e-04,4.749287e-04,4.746833e-04,4.688262e-04,4.627894e-04,4.626694e-04,4.568197e-04,4.509183e-04,4.394392e-04,4.282396e-04,4.173252e-04,4.067006e-04,3.963688e-04,3.863318e-04,3.765904e-04,3.671447e-04,3.579938e-04,3.491361e-04,3.405694e-04,3.322907e-04,3.242968e-04,3.165837e-04,3.091474e-04,3.019832e-04,2.950863e-04,2.884517e-04,2.820740e-04,2.759477e-04,2.700674e-04,2.644272e-04,2.590214e-04,2.538441e-04,2.488894e-04,2.441514e-04,2.396242e-04,2.353019e-04,2.311787e-04,2.272486e-04,2.235060e-04,2.199450e-04,2.165602e-04,2.133457e-04,2.102963e-04,2.074065e-04,2.046709e-04,2.020843e-04,1.996417e-04,1.973379e-04,1.951681e-04,1.931274e-04,1.912111e-04,1.894147e-04,1.877335e-04,1.861632e-04,1.846995e-04,1.833383e-04,1.820754e-04
0.000000e+00,1.337981e-08,3.608684e-07,3.795580e-07,3.230474e-06,1.560243e-05,1.652728e-05,5.789332e-05,1.395679e-04,1.463346e-04,2.823792e-04,4.337459e-04,4.475073e-04,6.212532e-04,7.736656e-04,7.900945e-04,9.472440e-04,1.073742e-03,1.090103e-03,1.218213e-03,1.316963e-03,1.332078e-03,1.432578e-03,1.507399e-03,1.520710e-03,1.597469e-03,1.652599e-03,1.663813e-03,1.720643e-03,1.759824e-03,1.768800e-03,1.809066e-03,1.835463e-03,1.842164e-03,1.868766e-03,1.885019e-03,1.889487e-03,1.904896e-03,1.913188e-03,1.915516e-03,1.921824e-03,1.923944e-03,1.924260e-03,1.923225e-03,1.920633e-03,1.919086e-03,1.912178e-03,1.906056e-03,1.902807e-03,1.891252e-03,1.882553e-03,1.877766e-03,1.862582e-03,1.852071e-03,1.845910e-03,1.827940e-03,1.816225e-03,1.808848e-03,1.788790e-03,1.776352e-03,1.767910e-03,1.746338e-03,1.733556e-03,1.724191e-03,1.701576e-03,1.688743e-03,1.678588e-03,1.655314e-03,1.642655e-03,1.631832e-03,1.608213e-03,1.595898e-03,1.584519e-03,1.560808e-03,1.548962e-03,1.537130e-03,1.513530e-03,1.502242e-03,1.490049e-03,1.466722e-03,1.456053e-03,1.443583e-03,1.420658e-03,1.410646e-03,1.397973e-03,1.375548e-03,1.366213e-03,1.353404e-03,1.331556e-03,1.322903e-03,1.310019e-03,1.288804e-03,1.280829e-03,1.267921e-03,1.247379e-03,1.240069e-03,1.227184e-03,1.207343e-03,1.200678e-03,1.187858e-03,1.168733e-03,1.162690e-03,1.149971e-03,1.131571e-03,1.126121e-03,1.113534e-03,1.095860e-03,1.090976e-03,1.078547e-03,1.061594e-03,1.057245e-03,1.044998e-03,1.028757e-03,1.024911e-03,1.012867e-03,9.973242e-04,9.939511e-04,9.821257e-04,9.672669e-04,9.643355e-04,9.527435e-04,9.385508e-04,9.360309e-04,9.246841e-04,9.111384e-04,9.090006e-04,8.979087e-04,8.849899e-04,8.832058e-04,8.723767e-04,8.600637e-04,8.586061e-04,8.480458e-04,8.363174e-04,8.351603e-04,8.248733e-04,8.137081e-04,8.128268e-04,8.028163e-04,7.921927e-04,7.915637e-04,7.818318e-04,7.717284e-04,7.713296e-04,7.618773e-04,7.522731e-04,7.520835e-04,7.429108e-04,7.337851e-04,7.163951e-04,6.998748e-04,6.841869e-04,6.692952e-04,6.551645e-04,6.417608e-04,6.290515e-04,6.170049e-04,6.055907e-04,5.947798e-04,5.845441e-04,5.748568e-04,5.656920e-04,5.570250e-04,5.488323e-04,5.410911e-04,5.337798e-04,5.268776e-04,5.203647e-04,5.142222e-04,5.084319e-04,5.029765e-04,4.978396e-04,4.930053e-04,4.884585e-04,4.841849e-04,4.801708e-04,4.764029e-04,4.728689e-04,4.695568e-04,4.664553e-04,4.635533e-04,4.608407e-04,4.583075e-04,4.559444e-04,4.537423e-04,4.516928e-04,4.497876e-04,4.480190e-04,4.463796e-04,4.448624e-04,4.434607e-04,4.421681e-04,4.409784e-04,4.398859e-04,4.388852e-04,4.379708e-04,4.371380e-04,4.363818e-04
0.000000e+00,4.202741e-10,5.554531e-09,5.795917e-09,3.418263e-08,1.109826e-07,1.155162e-07,2.594441e-07,4.243166e-07,4.349992e-07,6.081493e-07,7.551776e-07,7.673422e-07,9.111134e-07,1.027903e-06,1.040178e-06,1.155616e-06,1.246800e-06,1.258522e-06,1.349939e-06,1.420111e-06,1.430839e-06,1.502126e-06,1.555194e-06,1.564639e-06,1.619148e-06,1.658373e-06,1.666364e-06,1.706943e-06,1.735030e-06,1.741482e-06,1.770532e-06,1.789706e-06,1.794597e-06,1.814136e-06,1.826220e-06,1.829571e-06,1.841289e-06,1.847775e-06,1.849642e-06,1.854951e-06,1.857055e-06,1.857511e-06,1.857590e-06,1.856301e-06,1.855433e-06,1.851263e-06,1.847384e-06,1.845287e-06,1.837690e-06,1.831872e-06,1.828643e-06,1.818302e-06,1.811072e-06,1.806811e-06,1.794300e-06,1.786084e-06,1.780888e-06,1.766680e-06,1.757815e-06,1.751776e-06,1.736264e-06,1.727021e-06,1.720226e-06,1.703736e-06,1.694329e-06,1.686861e-06,1.669660e-06,1.660256e-06,1.652190e-06,1.634500e-06,1.625230e-06,1.616636e-06,1.598639e-06,1.589603e-06,1.580547e-06,1.562393e-06,1.553666e-06,1.544207e-06,1.526018e-06,1.517656e-06,1.507849e-06,1.489724e-06,1.481768e-06,1.471663e-06,1.453683e-06,1.446160e-06,1.435801e-06,1.418031e-06,1.410958e-06,1.400387e-06,1.382880e-06,1.376265e-06,1.365520e-06,1.348316e-06,1.342162e-06,1.331276e-06,1.314407e-06,1.308711e-06,1.297715e-06,1.281206e-06,1.275962e-06,1.264884e-06,1.248752e-06,1.243950e-06,1.232815e-06,1.217074e-06,1.212703e-06,1.201533e-06,1.186192e-06,1.182237e-06,1.171054e-06,1.156118e-06,1.152564e-06,1.141386e-06,1.126858e-06,1.123689e-06,1.112533e-06,1.098413e-06,1.095613e-06,1.084495e-06,1.070780e-06,1.068333e-06,1.057266e-06,1.043954e-06,1.041842e-06,1.030840e-06,1.017925e-06,1.016132e-06,1.005206e-06,9.926821e-07,9.911923e-07,9.803519e-07,9.682135e-07,9.670101e-07,9.562650e-07,9.445047e-07,9.435720e-07,9.329306e-07,9.215408e-07,9.208633e-07,9.103334e-07,8.993062e-07,8.988688e-07,8.884572e-07,8.777844e-07,8.775727e-07,8.672856e-07,8.569588e-07,8.370108e-07,8.177119e-07,7.990458e-07,7.809958e-07,7.635457e-07,7.466793e-07,7.303805e-07,7.146337e-07,6.994233e-07,6.847341e-07,6.705513e-07,6.568603e-07,6.436469e-07,6.308971e-07,6.185972e-07,6.067342e-07,5.952950e-07,5.842670e-07,5.736379e-07,5.633958e-07,5.535290e-07,5.440262e-07,5.348764e-07,5.260687e-07,5.175929e-07,5.094386e-07,5.015961e-07,4.940557e-07,4.868081e-07,4.798442e-07,4.731552e-07,4.667325e-07,4.605678e-07,4.546529e-07,4.489800e-07,4.435415e-07,4.383299e-07,4.333379e-07,4.285586e-07,4.239851e-07,4.196107e-07,4.154291e-07,4.114340e-07,4.076193e-07,4.039790e-07,4.005075e-07,3.971992e-07,3.940485e-07,3.910503e-07
0.000000e+00,1.020374e-08,1.395668e-07,1.454683e-07,8.403810e-07,2.870437e-06,2.997322e-06,7.437672e-06,1.356803e-05,1.400265e-05,2.149176e-05,2.811397e-05,2.865769e-05,3.492849e-05,3.972916e-05,4.021521e-05,4.459276e-05,4.777969e-05,4.817040e-05,5.105529e-05,5.305623e-05,5.334405e-05,5.512134e-05,5.627338e-05,5.646110e-05,5.742761e-05,5.798088e-05,5.807649e-05,5.845580e-05,5.859322e-05,5.860701e-05,5.856582e-05,5.842005e-05,5.836296e-05,5.802482e-05,5.769145e-05,5.757409e-05,5.703020e-05,5.657764e-05,5.640981e-05,5.572720e-05,5.520411e-05,5.499457e-05,5.422233e-05,5.366302e-05,5.341939e-05,5.259332e-05,5.202172e-05,5.175057e-05,5.089663e-05,5.032917e-05,5.003612e-05,4.917297e-05,4.862072e-05,4.831049e-05,4.745146e-05,4.692162e-05,4.659819e-05,4.575263e-05,4.524967e-05,4.491637e-05,4.409074e-05,4.361717e-05,4.327680e-05,4.247543e-05,4.203240e-05,4.168730e-05,4.091295e-05,4.050067e-05,4.015278e-05,3.940709e-05,3.902512e-05,3.867607e-05,3.795985e-05,3.760731e-05,3.725848e-05,3.657195e-05,3.624768e-05,3.590022e-05,3.524318e-05,3.494585e-05,3.460072e-05,3.397269e-05,3.370088e-05,3.335890e-05,3.275917e-05,3.251143e-05,3.217329e-05,3.160104e-05,3.137590e-05,3.104217e-05,3.049647e-05,3.029250e-05,2.996367e-05,2.944355e-05,2.925935e-05,2.893584e-05,2.844029e-05,2.827453e-05,2.795667e-05,2.748471e-05,2.733610e-05,2.702417e-05,2.657480e-05,2.644213e-05,2.613636e-05,2.570861e-05,2.559072e-05,2.529131e-05,2.488422e-05,2.478002e-05,2.448711e-05,2.409976e-05,2.400823e-05,2.372195e-05,2.335344e-05,2.327360e-05,2.299404e-05,2.264352e-05,2.257446e-05,2.230168e-05,2.196831e-05,2.190919e-05,2.164323e-05,2.132622e-05,2.127624e-05,2.101711e-05,2.071571e-05,2.067412e-05,2.042183e-05,2.013529e-05,2.010139e-05,1.985593e-05,1.958356e-05,1.955670e-05,1.931803e-05,1.905917e-05,1.903874e-05,1.880681e-05,1.856081e-05,1.854625e-05,1.832102e-05,1.808728e-05,1.807805e-05,1.785944e-05,1.763738e-05,1.763299e-05,1.742093e-05,1.720999e-05,1.680799e-05,1.642602e-05,1.606312e-05,1.571839e-05,1.539097e-05,1.508004e-05,1.478480e-05,1.450451e-05,1.423847e-05,1.398597e-05,1.374639e-05,1.351909e-05,1.330349e-05,1.309903e-05,1.290517e-05,1.272139e-05,1.254721e-05,1.238217e-05,1.222582e-05,1.207774e-05,1.193753e-05,1.180481e-05,1.167920e-05,1.156036e-05,1.144796e-05,1.134168e-05,1.124123e-05,1.114631e-05,1.105665e-05,1.097199e-05,1.089208e-05,1.081669e-05,1.074559e-05,1.067857e-05,1.061542e-05,1.055595e-05,1.049997e-05,1.044730e-05,1.039779e-05,1.035126e-05,1.030757e-05,1.026658e-05,1.022813e-05,1.019211e-05,1.015839e-05,1.012684e-05,1.009737e-05,1.006985e-05,1.004418e-05
0.000000e+00,1.932246e-08,3.564409e-07,3.735771e-07,2.623366e-06,9.494251e-06,9.915951e-06,2.351437e-05,3.885955e-05,3.984053e-05,5.557648e-05,6.872489e-05,6.980387e-05,8.244285e-05,9.253850e-05,9.358956e-05,1.033690e-04,1.109417e-04,1.119040e-04,1.193087e-04,1.248531e-04,1.256882e-04,1.311392e-04,1.350656e-04,1.357504e-04,1.396037e-04,1.422506e-04,1.427740e-04,1.453303e-04,1.469756e-04,1.473354e-04,1.488469e-04,1.497172e-04,1.499173e-04,1.505943e-04,1.508726e-04,1.509213e-04,1.509374e-04,1.507703e-04,1.506783e-04,1.501761e-04,1.496804e-04,1.494598e-04,1.485558e-04,1.478239e-04,1.474875e-04,1.462764e-04,1.453810e-04,1.449415e-04,1.435001e-04,1.424981e-04,1.419678e-04,1.403583e-04,1.392936e-04,1.386843e-04,1.369568e-04,1.358634e-04,1.351860e-04,1.333807e-04,1.322844e-04,1.315489e-04,1.296977e-04,1.286177e-04,1.278335e-04,1.259618e-04,1.249122e-04,1.240876e-04,1.222154e-04,1.212066e-04,1.203491e-04,1.184921e-04,1.175311e-04,1.166474e-04,1.148176e-04,1.139091e-04,1.130051e-04,1.112119e-04,1.103585e-04,1.094396e-04,1.076898e-04,1.068928e-04,1.059638e-04,1.042625e-04,1.035220e-04,1.025869e-04,1.009376e-04,1.002530e-04,9.931540e-05,9.772060e-05,9.709044e-05,9.615358e-05,9.461460e-05,9.403716e-05,9.310379e-05,9.162124e-05,9.109445e-05,9.016696e-05,8.874088e-05,8.826243e-05,8.734291e-05,8.597286e-05,8.554032e-05,8.463056e-05,8.331575e-05,8.292662e-05,8.202816e-05,8.076750e-05,8.041929e-05,7.953344e-05,7.832563e-05,7.801586e-05,7.714373e-05,7.598734e-05,7.571356e-05,7.485609e-05,7.374957e-05,7.350942e-05,7.266738e-05,7.160911e-05,7.140029e-05,7.057435e-05,6.956266e-05,6.938297e-05,6.857363e-05,6.760684e-05,6.745419e-05,6.666187e-05,6.573830e-05,6.561068e-05,6.483570e-05,6.395366e-05,6.384918e-05,6.309178e-05,6.224963e-05,6.216648e-05,6.142682e-05,6.062294e-05,6.055943e-05,5.983760e-05,5.907041e-05,5.902495e-05,5.832099e-05,5.758895e-05,5.756002e-05,5.687392e-05,5.617553e-05,5.616173e-05,5.549343e-05,5.482726e-05,5.355386e-05,5.233891e-05,5.117987e-05,5.007427e-05,4.901979e-05,4.801415e-05,4.705519e-05,4.614083e-05,4.526908e-05,4.443804e-05,4.364587e-05,4.289082e-05,4.217122e-05,4.148547e-05,4.083204e-05,4.020946e-05,3.961633e-05,3.905131e-05,3.851312e-05,3.800054e-05,3.751240e-05,3.704758e-05,3.660502e-05,3.618369e-05,3.578262e-05,3.540089e-05,3.503760e-05,3.469190e-05,3.436298e-05,3.405008e-05,3.375244e-05,3.346936e-05,3.320017e-05,3.294423e-05,3.270091e-05,3.246963e-05,3.224984e-05,3.204099e-05,3.184257e-05,3.165410e-05,3.147510e-05,3.130514e-05,3.114379e-05,3.099064e-05,3.084531e-05,3.070742e-05,3.057662e-05,3.045258e-05,3.033497e-05
0.000000e+00,1.109694e-08,4.906255e-07,5.213216e-07,6.681216e-06,3.886175e-05,4.133188e-05,1.501549e-04,3.565427e-04,3.735403e-04,7.241537e-04,1.150641e-03,1.191890e-03,1.754522e-03,2.319990e-03,2.385374e-03,3.057898e-03,3.665060e-03,3.748111e-03,4.435696e-03,5.012347e-03,5.104303e-03,5.741397e-03,6.245461e-03,6.337885e-03,6.887634e-03,7.300910e-03,7.386973e-03,7.834225e-03,8.154402e-03,8.229273e-03,8.573190e-03,8.807181e-03,8.867926e-03,9.116046e-03,9.275256e-03,9.320517e-03,9.484542e-03,9.581824e-03,9.611426e-03,9.704479e-03,9.752349e-03,9.766936e-03,9.801909e-03,9.811623e-03,9.812346e-03,9.801008e-03,9.782176e-03,9.770457e-03,9.723054e-03,9.683589e-03,9.660950e-03,9.586104e-03,9.532338e-03,9.500281e-03,9.405069e-03,9.341952e-03,9.301888e-03,9.192002e-03,9.123325e-03,9.076535e-03,8.956481e-03,8.885098e-03,8.832717e-03,8.706015e-03,8.634034e-03,8.577051e-03,8.446419e-03,8.375369e-03,8.314636e-03,8.182154e-03,8.113120e-03,8.049366e-03,7.916614e-03,7.850345e-03,7.784193e-03,7.652361e-03,7.589357e-03,7.521339e-03,7.391318e-03,7.331890e-03,7.262461e-03,7.134909e-03,7.079231e-03,7.008783e-03,6.884186e-03,6.832333e-03,6.761206e-03,6.639917e-03,6.591890e-03,6.520382e-03,6.402653e-03,6.358399e-03,6.286774e-03,6.172779e-03,6.132208e-03,6.060698e-03,5.950552e-03,5.913546e-03,5.842357e-03,5.736126e-03,5.702549e-03,5.631867e-03,5.529583e-03,5.499284e-03,5.429276e-03,5.330945e-03,5.303765e-03,5.234584e-03,5.140186e-03,5.115963e-03,5.047743e-03,4.957243e-03,4.935810e-03,4.868673e-03,4.782018e-03,4.763210e-03,4.697264e-03,4.614394e-03,4.598044e-03,4.533388e-03,4.454230e-03,4.440176e-03,4.376898e-03,4.301373e-03,4.289455e-03,4.227633e-03,4.155657e-03,4.145720e-03,4.085422e-03,4.016905e-03,4.008797e-03,3.950083e-03,3.884934e-03,3.878510e-03,3.821432e-03,3.759555e-03,3.754674e-03,3.699278e-03,3.640576e-03,3.637104e-03,3.583426e-03,3.527803e-03,3.525609e-03,3.473682e-03,3.421039e-03,3.420001e-03,3.369850e-03,3.320090e-03,3.225686e-03,3.136602e-03,3.052652e-03,2.973652e-03,2.899423e-03,2.829785e-03,2.764564e-03,2.703591e-03,2.646696e-03,2.593716e-03,2.544491e-03,2.498863e-03,2.456680e-03,2.417792e-03,2.382053e-03,2.349321e-03,2.319456e-03,2.292324e-03,2.267791e-03,2.245728e-03,2.226011e-03,2.208517e-03,2.193126e-03,2.179722e-03,2.168193e-03,2.158429e-03,2.150322e-03,2.143770e-03,2.138671e-03,2.134928e-03,2.132447e-03,2.131136e-03,2.130906e-03,2.131672e-03,2.133352e-03,2.135866e-03,2.139139e-03,2.143097e-03,2.147671e-03,2.152792e-03,2.158398e-03,2.164427e-03,2.170821e-03,2.177526e-03,2.184489e-03,2.191662e-03,2.198999e-03,2.206455e-03,2.213992e-03
0.000000e+00,7.574579e-09,8.189534e-08,8.512292e-08,4.545422e-07,1.559621e-06,1.630617e-06,4.228620e-06,8.052303e-06,8.330196e-06,1.325241e-05,1.791102e-05,1.831202e-05,2.321329e-05,2.741348e-05,2.786684e-05,3.225123e-05,3.588616e-05,3.636584e-05,4.021675e-05,4.332398e-05,4.381233e-05,4.716182e-05,4.979224e-05,5.027483e-05,5.316111e-05,5.536557e-05,5.583049e-05,5.829269e-05,6.011975e-05,6.055732e-05,6.263380e-05,6.412873e-05,6.453128e-05,6.625868e-05,6.746306e-05,6.782460e-05,6.923736e-05,7.018892e-05,7.050497e-05,7.163512e-05,7.236787e-05,7.263519e-05,7.351227e-05,7.405669e-05,7.427314e-05,7.492429e-05,7.530759e-05,7.547194e-05,7.592202e-05,7.616840e-05,7.628021e-05,7.655193e-05,7.668284e-05,7.674234e-05,7.685637e-05,7.689079e-05,7.689874e-05,7.687393e-05,7.682858e-05,7.678621e-05,7.663965e-05,7.652922e-05,7.643813e-05,7.618535e-05,7.602271e-05,7.588480e-05,7.553984e-05,7.533622e-05,7.515364e-05,7.472922e-05,7.449438e-05,7.426945e-05,7.377705e-05,7.351942e-05,7.325460e-05,7.270456e-05,7.243144e-05,7.212927e-05,7.153092e-05,7.124851e-05,7.091160e-05,7.027331e-05,6.998694e-05,6.961791e-05,6.894719e-05,6.866132e-05,6.826281e-05,6.756637e-05,6.728476e-05,6.685937e-05,6.614322e-05,6.586896e-05,6.541926e-05,6.468875e-05,6.442439e-05,6.395287e-05,6.321276e-05,6.296034e-05,6.246945e-05,6.172393e-05,6.148505e-05,6.097714e-05,6.022995e-05,6.000584e-05,5.948317e-05,5.873757e-05,5.852911e-05,5.799387e-05,5.725274e-05,5.706054e-05,5.651479e-05,5.578062e-05,5.560504e-05,5.505076e-05,5.432572e-05,5.416690e-05,5.360596e-05,5.289192e-05,5.274983e-05,5.218399e-05,5.148254e-05,5.135700e-05,5.078792e-05,5.010043e-05,4.999112e-05,4.942036e-05,4.874796e-05,4.865445e-05,4.808347e-05,4.742709e-05,4.734888e-05,4.677903e-05,4.613945e-05,4.607596e-05,4.550849e-05,4.488630e-05,4.483691e-05,4.427299e-05,4.366865e-05,4.363268e-05,4.307338e-05,4.248723e-05,4.246397e-05,4.191027e-05,4.134254e-05,4.133128e-05,4.078407e-05,4.023488e-05,3.917488e-05,3.815126e-05,3.716383e-05,3.621231e-05,3.529630e-05,3.441532e-05,3.356880e-05,3.275614e-05,3.197664e-05,3.122959e-05,3.051422e-05,2.982974e-05,2.917534e-05,2.855018e-05,2.795342e-05,2.738420e-05,2.684167e-05,2.632497e-05,2.583324e-05,2.536563e-05,2.492131e-05,2.449945e-05,2.409921e-05,2.371981e-05,2.336045e-05,2.302035e-05,2.269877e-05,2.239495e-05,2.210819e-05,2.183777e-05,2.158302e-05,2.134328e-05,2.111789e-05,2.090624e-05,2.070771e-05,2.052173e-05,2.034773e-05,2.018516e-05,2.003349e-05,1.989222e-05,1.976084e-05,1.963888e-05,1.952590e-05,1.942144e-05,1.932509e-05,1.923644e-05,1.915509e-05,1.908068e-05,1.901284e-05
0.000000e+00,9.522071e-09,2.933816e-07,3.091480e-07,2.782913e-06,1.374492e-05,1.457392e-05,5.308323e-05,1.383468e-04,1.460097e-04,3.213519e-04,5.679742e-04,5.932686e-04,9.564242e-04,1.345397e-03,1.391431e-03,1.873411e-03,2.317080e-03,2.378123e-03,2.885020e-03,3.310456e-03,3.378207e-03,3.846290e-03,4.214464e-03,4.281723e-03,4.680035e-03,4.977389e-03,5.039082e-03,5.358413e-03,5.585746e-03,5.638761e-03,5.881647e-03,6.046377e-03,6.089086e-03,6.263376e-03,6.375159e-03,6.406946e-03,6.522250e-03,6.590798e-03,6.611698e-03,6.677608e-03,6.711729e-03,6.722181e-03,6.747483e-03,6.754765e-03,6.755440e-03,6.747840e-03,6.734631e-03,6.726329e-03,6.692424e-03,6.663938e-03,6.647516e-03,6.592876e-03,6.553343e-03,6.529671e-03,6.458960e-03,6.411778e-03,6.381712e-03,6.298808e-03,6.246686e-03,6.211048e-03,6.119162e-03,6.064240e-03,6.023810e-03,5.925589e-03,5.869538e-03,5.825044e-03,5.722666e-03,5.666776e-03,5.618896e-03,5.514136e-03,5.459391e-03,5.408746e-03,5.303049e-03,5.250178e-03,5.197336e-03,5.091868e-03,5.041399e-03,4.986877e-03,4.882570e-03,4.834870e-03,4.779130e-03,4.676722e-03,4.632026e-03,4.575488e-03,4.475553e-03,4.433995e-03,4.377028e-03,4.280008e-03,4.241640e-03,4.184574e-03,4.090795e-03,4.055606e-03,3.998730e-03,3.908428e-03,3.876359e-03,3.819928e-03,3.733260e-03,3.704215e-03,3.648449e-03,3.565511e-03,3.539368e-03,3.484457e-03,3.405291e-03,3.381911e-03,3.328016e-03,3.252626e-03,3.231853e-03,3.179113e-03,3.107465e-03,3.089141e-03,3.037669e-03,2.969706e-03,2.953666e-03,2.903557e-03,2.839199e-03,2.825278e-03,2.776608e-03,2.715759e-03,2.703796e-03,2.656624e-03,2.599176e-03,2.589012e-03,2.543385e-03,2.489221e-03,2.480703e-03,2.436653e-03,2.385649e-03,2.378632e-03,2.336179e-03,2.288210e-03,2.282553e-03,2.241709e-03,2.196645e-03,2.192216e-03,2.152985e-03,2.110696e-03,2.107371e-03,2.069747e-03,2.030105e-03,2.027767e-03,1.991738e-03,1.954616e-03,1.953157e-03,1.918707e-03,1.883979e-03,1.883297e-03,1.850404e-03,1.817950e-03,1.756886e-03,1.699880e-03,1.646717e-03,1.597190e-03,1.551097e-03,1.508249e-03,1.468463e-03,1.431563e-03,1.397384e-03,1.365766e-03,1.336560e-03,1.309622e-03,1.284816e-03,1.262014e-03,1.241094e-03,1.221938e-03,1.204440e-03,1.188493e-03,1.174002e-03,1.160873e-03,1.149018e-03,1.138356e-03,1.128809e-03,1.120301e-03,1.112766e-03,1.106135e-03,1.100349e-03,1.095349e-03,1.091079e-03,1.087488e-03,1.084528e-03,1.082151e-03,1.080316e-03,1.078981e-03,1.078108e-03,1.077662e-03,1.077607e-03,1.077912e-03,1.078547e-03,1.079485e-03,1.080698e-03,1.082161e-03,1.083852e-03,1.085748e-03,1.087830e-03,1.090077e-03,1.092472e-03,1.094998e-03,1.097639e-03
0.000000e+00,3.494210e-10,5.079474e-09,5.309892e-09,3.396020e-08,1.178275e-07,1.229485e-07,2.904379e-07,4.872944e-07,5.001527e-07,7.106995e-07,8.932050e-07,9.084763e-07,1.091131e-06,1.242714e-06,1.258829e-06,1.412262e-06,1.536100e-06,1.552207e-06,1.679440e-06,1.779267e-06,1.794712e-06,1.898749e-06,1.977966e-06,1.992245e-06,2.075868e-06,2.137520e-06,2.150256e-06,2.216020e-06,2.262812e-06,2.273739e-06,2.323965e-06,2.358276e-06,2.367219e-06,2.403996e-06,2.427900e-06,2.434759e-06,2.459948e-06,2.475244e-06,2.479976e-06,2.495232e-06,2.503466e-06,2.506079e-06,2.512860e-06,2.515361e-06,2.515897e-06,2.515489e-06,2.513390e-06,2.511921e-06,2.505455e-06,2.499721e-06,2.496339e-06,2.484804e-06,2.476253e-06,2.471066e-06,2.455328e-06,2.444647e-06,2.437775e-06,2.418586e-06,2.406355e-06,2.397924e-06,2.375942e-06,2.362645e-06,2.352784e-06,2.328582e-06,2.314620e-06,2.303460e-06,2.277533e-06,2.263235e-06,2.250906e-06,2.223680e-06,2.209315e-06,2.195944e-06,2.167785e-06,2.153571e-06,2.139281e-06,2.110504e-06,2.096614e-06,2.081522e-06,2.052396e-06,2.038966e-06,2.023184e-06,1.993937e-06,1.981071e-06,1.964705e-06,1.935531e-06,1.923306e-06,1.906456e-06,1.877517e-06,1.865988e-06,1.848748e-06,1.820179e-06,1.809382e-06,1.791839e-06,1.763752e-06,1.753708e-06,1.735942e-06,1.708428e-06,1.699145e-06,1.681230e-06,1.654363e-06,1.645839e-06,1.627843e-06,1.601682e-06,1.593905e-06,1.575890e-06,1.550479e-06,1.543433e-06,1.525455e-06,1.500827e-06,1.494489e-06,1.476599e-06,1.452777e-06,1.447121e-06,1.429365e-06,1.406365e-06,1.401360e-06,1.383778e-06,1.361607e-06,1.357223e-06,1.339852e-06,1.318512e-06,1.314715e-06,1.297586e-06,1.277073e-06,1.273829e-06,1.256971e-06,1.237278e-06,1.234553e-06,1.217990e-06,1.199105e-06,1.196866e-06,1.180618e-06,1.162526e-06,1.160739e-06,1.144825e-06,1.127510e-06,1.126141e-06,1.110576e-06,1.094019e-06,1.093037e-06,1.077833e-06,1.062013e-06,1.061388e-06,1.046554e-06,1.031450e-06,1.031152e-06,1.016696e-06,1.002286e-06,9.747469e-07,9.484889e-07,9.234669e-07,8.996354e-07,8.769492e-07,8.553634e-07,8.348337e-07,8.153168e-07,7.967701e-07,7.791521e-07,7.624223e-07,7.465416e-07,7.314719e-07,7.171763e-07,7.036193e-07,6.907666e-07,6.785852e-07,6.670434e-07,6.561105e-07,6.457573e-07,6.359558e-07,6.266790e-07,6.179011e-07,6.095976e-07,6.017449e-07,5.943206e-07,5.873030e-07,5.806718e-07,5.744074e-07,5.684912e-07,5.629055e-07,5.576333e-07,5.526585e-07,5.479659e-07,5.435409e-07,5.393695e-07,5.354387e-07,5.317359e-07,5.282492e-07,5.249672e-07,5.218793e-07,5.189752e-07,5.162452e-07,5.136801e-07,5.112712e-07,5.090102e-07,5.068892e-07,5.049007e-07,5.030376e-07
0.000000e+00,6.832268e-09,4.409436e-07,4.714834e-07,7.298066e-06,4.225601e-05,4.480966e-05,1.470999e-04,3.172241e-04,3.305279e-04,5.919495e-04,8.897419e-04,9.177775e-04,1.290726e-03,1.652427e-03,1.693608e-03,2.111181e-03,2.480731e-03,2.530851e-03,2.942755e-03,3.285108e-03,3.339531e-03,3.715961e-03,4.013866e-03,4.068587e-03,4.395342e-03,4.643253e-03,4.695233e-03,4.968074e-03,5.167125e-03,5.214266e-03,5.434624e-03,5.589268e-03,5.630245e-03,5.802403e-03,5.918396e-03,5.952475e-03,6.081881e-03,6.165176e-03,6.192047e-03,6.284370e-03,6.340558e-03,6.360206e-03,6.420850e-03,6.454923e-03,6.467532e-03,6.501413e-03,6.517699e-03,6.523581e-03,6.535055e-03,6.537233e-03,6.536784e-03,6.529650e-03,6.520813e-03,6.514472e-03,6.492008e-03,6.474732e-03,6.462960e-03,6.427975e-03,6.404386e-03,6.387652e-03,6.342540e-03,6.314383e-03,6.293148e-03,6.239943e-03,6.208644e-03,6.183355e-03,6.123780e-03,6.090497e-03,6.061582e-03,5.997094e-03,5.962759e-03,5.930625e-03,5.862454e-03,5.827813e-03,5.792841e-03,5.722022e-03,5.687665e-03,5.650214e-03,5.577616e-03,5.544005e-03,5.504408e-03,5.430757e-03,5.398250e-03,5.356814e-03,5.282717e-03,5.251582e-03,5.208592e-03,5.134553e-03,5.104985e-03,5.060704e-03,4.987139e-03,4.959277e-03,4.913944e-03,4.841195e-03,4.815128e-03,4.768962e-03,4.697308e-03,4.673088e-03,4.626290e-03,4.555956e-03,4.533601e-03,4.486351e-03,4.417516e-03,4.397020e-03,4.349484e-03,4.282288e-03,4.263626e-03,4.215953e-03,4.150502e-03,4.133632e-03,4.085956e-03,4.022332e-03,4.007200e-03,3.959642e-03,3.897900e-03,3.884445e-03,3.837114e-03,3.777290e-03,3.765441e-03,3.718434e-03,3.660549e-03,3.650233e-03,3.603637e-03,3.547697e-03,3.538837e-03,3.492728e-03,3.438728e-03,3.431245e-03,3.385693e-03,3.333618e-03,3.327434e-03,3.282498e-03,3.232325e-03,3.227360e-03,3.183094e-03,3.134795e-03,3.130971e-03,3.087420e-03,3.040961e-03,3.038202e-03,2.995407e-03,2.950750e-03,2.948982e-03,2.906977e-03,2.864079e-03,2.863230e-03,2.822045e-03,2.780864e-03,2.701795e-03,2.625934e-03,2.553187e-03,2.483462e-03,2.416666e-03,2.352705e-03,2.291486e-03,2.232917e-03,2.176909e-03,2.123372e-03,2.072218e-03,2.023363e-03,1.976723e-03,1.932217e-03,1.889765e-03,1.849290e-03,1.810719e-03,1.773977e-03,1.738995e-03,1.705704e-03,1.674039e-03,1.643935e-03,1.615331e-03,1.588167e-03,1.562385e-03,1.537930e-03,1.514747e-03,1.492786e-03,1.471995e-03,1.452327e-03,1.433734e-03,1.416172e-03,1.399597e-03,1.383969e-03,1.369245e-03,1.355388e-03,1.342361e-03,1.330126e-03,1.318650e-03,1.307900e-03,1.297842e-03,1.288446e-03,1.279682e-03,1.271521e-03,1.263936e-03,1.256900e-03,1.250388e-03,1.244374e-03,1.238835e-03
0.000000e+00,4.548144e-09,1.454057e-07,1.533765e-07,1.468951e-06,7.747856e-06,8.236407e-06,3.170000e-05,8.504041e-05,8.983982e-05,1.984279e-04,3.467317e-04,3.616865e-04,5.722596e-04,7.909056e-04,8.163853e-04,1.078628e-03,1.313042e-03,1.344773e-03,1.603206e-03,1.812638e-03,1.845305e-03,2.065296e-03,2.230504e-03,2.259845e-03,2.427568e-03,2.545100e-03,2.568540e-03,2.683869e-03,2.758853e-03,2.775339e-03,2.845121e-03,2.886009e-03,2.895571e-03,2.929068e-03,2.944605e-03,2.947908e-03,2.954243e-03,2.952042e-03,2.950036e-03,2.937042e-03,2.923124e-03,2.916812e-03,2.890689e-03,2.869524e-03,2.859831e-03,2.825222e-03,2.799974e-03,2.787691e-03,2.747932e-03,2.720755e-03,2.706522e-03,2.663935e-03,2.636244e-03,2.620560e-03,2.576716e-03,2.549411e-03,2.532658e-03,2.488594e-03,2.462222e-03,2.444687e-03,2.401071e-03,2.375948e-03,2.357847e-03,2.315098e-03,2.291389e-03,2.272886e-03,2.231259e-03,2.209037e-03,2.190253e-03,2.149898e-03,2.129176e-03,2.110210e-03,2.071207e-03,2.051964e-03,2.032895e-03,1.995281e-03,1.977475e-03,1.958366e-03,1.922151e-03,1.905726e-03,1.886632e-03,1.851807e-03,1.836703e-03,1.817671e-03,1.784218e-03,1.770370e-03,1.751442e-03,1.719335e-03,1.706678e-03,1.687889e-03,1.657098e-03,1.645567e-03,1.626951e-03,1.597441e-03,1.586972e-03,1.568559e-03,1.540295e-03,1.530825e-03,1.512641e-03,1.485586e-03,1.477054e-03,1.459122e-03,1.433239e-03,1.425585e-03,1.407927e-03,1.383177e-03,1.376346e-03,1.358980e-03,1.335325e-03,1.329263e-03,1.312204e-03,1.289606e-03,1.284260e-03,1.267523e-03,1.245945e-03,1.241265e-03,1.224863e-03,1.204267e-03,1.200205e-03,1.184148e-03,1.164498e-03,1.161010e-03,1.145306e-03,1.126566e-03,1.123608e-03,1.108266e-03,1.090400e-03,1.087933e-03,1.072958e-03,1.055932e-03,1.053917e-03,1.039314e-03,1.023095e-03,1.021495e-03,1.007267e-03,9.918231e-04,9.906039e-04,9.767543e-04,9.620533e-04,9.611827e-04,9.477124e-04,9.337242e-04,9.331720e-04,9.200815e-04,9.067768e-04,9.065141e-04,8.938032e-04,8.811536e-04,8.570369e-04,8.341120e-04,8.123292e-04,7.916402e-04,7.719987e-04,7.533601e-04,7.356815e-04,7.189216e-04,7.030406e-04,6.880005e-04,6.737644e-04,6.602973e-04,6.475652e-04,6.355357e-04,6.241776e-04,6.134609e-04,6.033569e-04,5.938379e-04,5.848775e-04,5.764503e-04,5.685319e-04,5.610988e-04,5.541287e-04,5.476000e-04,5.414921e-04,5.357851e-04,5.304600e-04,5.254987e-04,5.208835e-04,5.165978e-04,5.126255e-04,5.089511e-04,5.055599e-04,5.024377e-04,4.995709e-04,4.969465e-04,4.945520e-04,4.923754e-04,4.904052e-04,4.886306e-04,4.870408e-04,4.856260e-04,4.843763e-04,4.832826e-04,4.823360e-04,4.815281e-04,4.808506e-04,4.802959e-04,4.798565e-04
0.000000e+00,1.193061e-08,3.990606e-07,4.212497e-07,4.094249e-06,2.108754e-05,2.238390e-05,8.272199e-05,2.150961e-04,2.269029e-04,4.943104e-04,8.664089e-04,9.045342e-04,1.454604e-03,2.054097e-03,2.125973e-03,2.892296e-03,3.622512e-03,3.725015e-03,4.596776e-03,5.359058e-03,5.483240e-03,6.363871e-03,7.086849e-03,7.222084e-03,8.045026e-03,8.686751e-03,8.823182e-03,9.549913e-03,1.009135e-02,1.022098e-02,1.083410e-02,1.127159e-02,1.138853e-02,1.188475e-02,1.222377e-02,1.232413e-02,1.270870e-02,1.295946e-02,1.304097e-02,1.332374e-02,1.349836e-02,1.356000e-02,1.375280e-02,1.386356e-02,1.390523e-02,1.402032e-02,1.407875e-02,1.410100e-02,1.415012e-02,1.416656e-02,1.417037e-02,1.416429e-02,1.414771e-02,1.413430e-02,1.408265e-02,1.404067e-02,1.401143e-02,1.392262e-02,1.386164e-02,1.381801e-02,1.369930e-02,1.362460e-02,1.356804e-02,1.342566e-02,1.334158e-02,1.327350e-02,1.311277e-02,1.302281e-02,1.294458e-02,1.276998e-02,1.267696e-02,1.258989e-02,1.240519e-02,1.231136e-02,1.221667e-02,1.202505e-02,1.193218e-02,1.183101e-02,1.163513e-02,1.154457e-02,1.143799e-02,1.124008e-02,1.115287e-02,1.104185e-02,1.084373e-02,1.076064e-02,1.064609e-02,1.044928e-02,1.037086e-02,1.025360e-02,1.005934e-02,9.985940e-03,9.866735e-03,9.676023e-03,9.607868e-03,9.487399e-03,9.301044e-03,9.238229e-03,9.117116e-03,8.935754e-03,8.878281e-03,8.757081e-03,8.581204e-03,8.529000e-03,8.408214e-03,8.238190e-03,8.191125e-03,8.071199e-03,7.907294e-03,7.865191e-03,7.746522e-03,7.588915e-03,7.551563e-03,7.434500e-03,7.283295e-03,7.250462e-03,7.135311e-03,6.990552e-03,6.961986e-03,6.849014e-03,6.710690e-03,6.686132e-03,6.575567e-03,6.443629e-03,6.422813e-03,6.314852e-03,6.189213e-03,6.171872e-03,6.066681e-03,5.947227e-03,5.933098e-03,5.830815e-03,5.717409e-03,5.706232e-03,5.606969e-03,5.499456e-03,5.490980e-03,5.394827e-03,5.293039e-03,5.287021e-03,5.194046e-03,5.097803e-03,5.094010e-03,5.004263e-03,4.913380e-03,4.911589e-03,4.825105e-03,4.739389e-03,4.577035e-03,4.424147e-03,4.280350e-03,4.145266e-03,4.018525e-03,3.899763e-03,3.788623e-03,3.684756e-03,3.587823e-03,3.497496e-03,3.413455e-03,3.335391e-03,3.263008e-03,3.196017e-03,3.134144e-03,3.077122e-03,3.024697e-03,2.976623e-03,2.932668e-03,2.892605e-03,2.856219e-03,2.823305e-03,2.793666e-03,2.767112e-03,2.743465e-03,2.722551e-03,2.704207e-03,2.688275e-03,2.674605e-03,2.663054e-03,2.653487e-03,2.645771e-03,2.639784e-03,2.635406e-03,2.632525e-03,2.631033e-03,2.630827e-03,2.631810e-03,2.633889e-03,2.636976e-03,2.640986e-03,2.645840e-03,2.651461e-03,2.657777e-03,2.664721e-03,2.672226e-03,2.680233e-03,2.688683e-03,2.697522e-03
0.000000e+00,1.520261e-08,3.392003e-07,3.567506e-07,2.858792e-06,1.074190e-05,1.121382e-05,2.536475e-05,3.970308e-05,4.058977e-05,5.455194e-05,6.595141e-05,6.687803e-05,7.763308e-05,8.608253e-05,8.695418e-05,9.498174e-05,1.010803e-04,1.018468e-04,1.076692e-04,1.119262e-04,1.125583e-04,1.166138e-04,1.194428e-04,1.199263e-04,1.225779e-04,1.243114e-04,1.246429e-04,1.261886e-04,1.270921e-04,1.272755e-04,1.279578e-04,1.282407e-04,1.282843e-04,1.282987e-04,1.281251e-04,1.280400e-04,1.275432e-04,1.270408e-04,1.268395e-04,1.259567e-04,1.252242e-04,1.249196e-04,1.237503e-04,1.228638e-04,1.224685e-04,1.210916e-04,1.201089e-04,1.196350e-04,1.181127e-04,1.170779e-04,1.165367e-04,1.149179e-04,1.138638e-04,1.132657e-04,1.115886e-04,1.105396e-04,1.098940e-04,1.081884e-04,1.071621e-04,1.064775e-04,1.047663e-04,1.037755e-04,1.030593e-04,1.013601e-04,1.004133e-04,9.967214e-05,9.799824e-05,9.710106e-05,9.634085e-05,9.470206e-05,9.385785e-05,9.308367e-05,9.148718e-05,9.069755e-05,8.991384e-05,8.836469e-05,8.762994e-05,8.684056e-05,8.534215e-05,8.466165e-05,8.386995e-05,8.242436e-05,8.179681e-05,8.100565e-05,7.961398e-05,7.903757e-05,7.824943e-05,7.691198e-05,7.638457e-05,7.560155e-05,7.431802e-05,7.383729e-05,7.306119e-05,7.183083e-05,7.139433e-05,7.062668e-05,6.944841e-05,6.905365e-05,6.829571e-05,6.716822e-05,6.681269e-05,6.606556e-05,6.498734e-05,6.466858e-05,6.393316e-05,6.290259e-05,6.261821e-05,6.189522e-05,6.091062e-05,6.065830e-05,5.994835e-05,5.900799e-05,5.878551e-05,5.808909e-05,5.719122e-05,5.699646e-05,5.631394e-05,5.545683e-05,5.528779e-05,5.461946e-05,5.380139e-05,5.365616e-05,5.300223e-05,5.222153e-05,5.209831e-05,5.145891e-05,5.071396e-05,5.061105e-05,4.998627e-05,4.927546e-05,4.919128e-05,4.858114e-05,4.790294e-05,4.783600e-05,4.724049e-05,4.659342e-05,4.654231e-05,4.596138e-05,4.534401e-05,4.530743e-05,4.474098e-05,4.415195e-05,4.412867e-05,4.357659e-05,4.301458e-05,4.300347e-05,4.246560e-05,4.192936e-05,4.090397e-05,3.992505e-05,3.899045e-05,3.809810e-05,3.724603e-05,3.643237e-05,3.565532e-05,3.491318e-05,3.420431e-05,3.352718e-05,3.288029e-05,3.226223e-05,3.167167e-05,3.110732e-05,3.056795e-05,3.005242e-05,2.955961e-05,2.908846e-05,2.863798e-05,2.820719e-05,2.779520e-05,2.740113e-05,2.702415e-05,2.666348e-05,2.631837e-05,2.598809e-05,2.567197e-05,2.536935e-05,2.507962e-05,2.480218e-05,2.453648e-05,2.428198e-05,2.403817e-05,2.380456e-05,2.358069e-05,2.336611e-05,2.316040e-05,2.296317e-05,2.277404e-05,2.259262e-05,2.241859e-05,2.225161e-05,2.209135e-05,2.193753e-05,2.178985e-05,2.164804e-05,2.151183e-05,2.138099e-05,2.125527e-05
0.000000e+00,1.048765e-09,1.186817e-08,1.235059e-08,6.741348e-08,2.207764e-07,2.301456e-07,5.471623e-07,9.574780e-07,9.856194e-07,1.460172e-06,1.880861e-06,1.916136e-06,2.337237e-06,2.684401e-06,2.721141e-06,3.069015e-06,3.346901e-06,3.382831e-06,3.664705e-06,3.883177e-06,3.916743e-06,4.140992e-06,4.309320e-06,4.339410e-06,4.513865e-06,4.640282e-06,4.666127e-06,4.797864e-06,4.889534e-06,4.910645e-06,5.005943e-06,5.069028e-06,5.085135e-06,5.149511e-06,5.189270e-06,5.200273e-06,5.238545e-06,5.259443e-06,5.265373e-06,5.281731e-06,5.287538e-06,5.288527e-06,5.286604e-06,5.280494e-06,5.276749e-06,5.259689e-06,5.244321e-06,5.236102e-06,5.206617e-06,5.184211e-06,5.171816e-06,5.132242e-06,5.104641e-06,5.088393e-06,5.040736e-06,5.009464e-06,4.989698e-06,4.935677e-06,4.901987e-06,4.879040e-06,4.820127e-06,4.785038e-06,4.759249e-06,4.696696e-06,4.661034e-06,4.632733e-06,4.567604e-06,4.532030e-06,4.501535e-06,4.434730e-06,4.399765e-06,4.367381e-06,4.299659e-06,4.265709e-06,4.231724e-06,4.163720e-06,4.131093e-06,4.095780e-06,4.028023e-06,3.996947e-06,3.960559e-06,3.893486e-06,3.864121e-06,3.826894e-06,3.760863e-06,3.733315e-06,3.695466e-06,3.630767e-06,3.605097e-06,3.566825e-06,3.503691e-06,3.479922e-06,3.441410e-06,3.380023e-06,3.358148e-06,3.319562e-06,3.260060e-06,3.240052e-06,3.201541e-06,3.144027e-06,3.125838e-06,3.087537e-06,3.032084e-06,3.015653e-06,2.977681e-06,2.924335e-06,2.909588e-06,2.872053e-06,2.820838e-06,2.807697e-06,2.770692e-06,2.721614e-06,2.709994e-06,2.673601e-06,2.626651e-06,2.616463e-06,2.580756e-06,2.535910e-06,2.527066e-06,2.492105e-06,2.449331e-06,2.441740e-06,2.407578e-06,2.366836e-06,2.360410e-06,2.327092e-06,2.288333e-06,2.282985e-06,2.250546e-06,2.213718e-06,2.209362e-06,2.177834e-06,2.142879e-06,2.139434e-06,2.108839e-06,2.075698e-06,2.073085e-06,2.043440e-06,2.012051e-06,2.010194e-06,1.981513e-06,1.951812e-06,1.950641e-06,1.922930e-06,1.894853e-06,1.894300e-06,1.867564e-06,1.841046e-06,1.790757e-06,1.743308e-06,1.698577e-06,1.656446e-06,1.616798e-06,1.579519e-06,1.544499e-06,1.511629e-06,1.480805e-06,1.451928e-06,1.424901e-06,1.399629e-06,1.376024e-06,1.354000e-06,1.333473e-06,1.314364e-06,1.296598e-06,1.280102e-06,1.264808e-06,1.250648e-06,1.237560e-06,1.225483e-06,1.214361e-06,1.204139e-06,1.194764e-06,1.186188e-06,1.178362e-06,1.171244e-06,1.164789e-06,1.158959e-06,1.153714e-06,1.149018e-06,1.144837e-06,1.141139e-06,1.137892e-06,1.135067e-06,1.132636e-06,1.130573e-06,1.128854e-06,1.127454e-06,1.126352e-06,1.125526e-06,1.124957e-06,1.124627e-06,1.124516e-06,1.124610e-06,1.124891e-06,1.125346e-06,1.125960e-06
0.000000e+00,1.282241e-08,3.233642e-07,3.397076e-07,2.685811e-06,1.170595e-05,1.234211e-05,3.859663e-05,8.584383e-05,8.965790e-05,1.654855e-04,2.496509e-04,2.573251e-04,3.547555e-04,4.414351e-04,4.508733e-04,5.424130e-04,6.182209e-04,6.281985e-04,7.079839e-04,7.718837e-04,7.818836e-04,8.501362e-04,9.033057e-04,9.130174e-04,9.708090e-04,1.014595e-03,1.023788e-03,1.072221e-03,1.107869e-03,1.116367e-03,1.156470e-03,1.185095e-03,1.192765e-03,1.225476e-03,1.248071e-03,1.254816e-03,1.280986e-03,1.298425e-03,1.304179e-03,1.324576e-03,1.337628e-03,1.342350e-03,1.357665e-03,1.367004e-03,1.370674e-03,1.381525e-03,1.387743e-03,1.390357e-03,1.397301e-03,1.400910e-03,1.402481e-03,1.406014e-03,1.407463e-03,1.408012e-03,1.408579e-03,1.408257e-03,1.407816e-03,1.405814e-03,1.404056e-03,1.402664e-03,1.398448e-03,1.395546e-03,1.393246e-03,1.387131e-03,1.383335e-03,1.380175e-03,1.372442e-03,1.367966e-03,1.363996e-03,1.354896e-03,1.349924e-03,1.345197e-03,1.334952e-03,1.329640e-03,1.324209e-03,1.313016e-03,1.307495e-03,1.301415e-03,1.289447e-03,1.283830e-03,1.277152e-03,1.264565e-03,1.258943e-03,1.251720e-03,1.238650e-03,1.233100e-03,1.225383e-03,1.211949e-03,1.206534e-03,1.198372e-03,1.184679e-03,1.179450e-03,1.170892e-03,1.157032e-03,1.152029e-03,1.143120e-03,1.129174e-03,1.124428e-03,1.115212e-03,1.101250e-03,1.096785e-03,1.087303e-03,1.073386e-03,1.069219e-03,1.059512e-03,1.045692e-03,1.041834e-03,1.031939e-03,1.018261e-03,1.014719e-03,1.004670e-03,9.911742e-04,9.879502e-04,9.777813e-04,9.644990e-04,9.615925e-04,9.513343e-04,9.382934e-04,9.357006e-04,9.253821e-04,9.126055e-04,9.103204e-04,8.999684e-04,8.874749e-04,8.854896e-04,8.751289e-04,8.629338e-04,8.612387e-04,8.508925e-04,8.390077e-04,8.375922e-04,8.272817e-04,8.157164e-04,8.145688e-04,8.043135e-04,7.930745e-04,7.921825e-04,7.820004e-04,7.710922e-04,7.704430e-04,7.603505e-04,7.497757e-04,7.493561e-04,7.393680e-04,7.291276e-04,7.289245e-04,7.190544e-04,7.091479e-04,6.900235e-04,6.715464e-04,6.537098e-04,6.365055e-04,6.199237e-04,6.039536e-04,5.885834e-04,5.738006e-04,5.595921e-04,5.459442e-04,5.328429e-04,5.202740e-04,5.082229e-04,4.966750e-04,4.856157e-04,4.750304e-04,4.649044e-04,4.552235e-04,4.459732e-04,4.371395e-04,4.287085e-04,4.206666e-04,4.130004e-04,4.056968e-04,3.987429e-04,3.921262e-04,3.858344e-04,3.798557e-04,3.741785e-04,3.687914e-04,3.636834e-04,3.588438e-04,3.542624e-04,3.499290e-04,3.458338e-04,3.419675e-04,3.383209e-04,3.348851e-04,3.316516e-04,3.286120e-04,3.257582e-04,3.230827e-04,3.205778e-04,3.182363e-04,3.160512e-04,3.140159e-04,3.121236e-04,3.103683e-04,3.087437e-04
0.000000e+00,6.167730e-08,2.382325e-06,2.524047e-06,2.930762e-05,1.692099e-04,1.801622e-04,6.867254e-04,1.729263e-03,1.818442e-03,3.738080e-03,6.231087e-03,6.479760e-03,9.986767e-03,1.370764e-02,1.414972e-02,1.883435e-02,2.327650e-02,2.389990e-02,2.921057e-02,3.387871e-02,3.464217e-02,4.008550e-02,4.459853e-02,4.544768e-02,5.065208e-02,5.475856e-02,5.563749e-02,6.035676e-02,6.391692e-02,6.477528e-02,6.886937e-02,7.182802e-02,7.262467e-02,7.603464e-02,7.839499e-02,7.909918e-02,8.182338e-02,8.362544e-02,8.421642e-02,8.629063e-02,8.759480e-02,8.806066e-02,8.954279e-02,9.041823e-02,9.075434e-02,9.171320e-02,9.223012e-02,9.243745e-02,9.294505e-02,9.316993e-02,9.325356e-02,9.338002e-02,9.337299e-02,9.334076e-02,9.315133e-02,9.296495e-02,9.282642e-02,9.237984e-02,9.205891e-02,9.182451e-02,9.117242e-02,9.075430e-02,9.043470e-02,8.962164e-02,8.913696e-02,8.874267e-02,8.780647e-02,8.727995e-02,8.682097e-02,8.579340e-02,8.524466e-02,8.473037e-02,8.363784e-02,8.308223e-02,8.252125e-02,8.138551e-02,8.083488e-02,8.023507e-02,7.907393e-02,7.853722e-02,7.790570e-02,7.673362e-02,7.621745e-02,7.556060e-02,7.438925e-02,7.389836e-02,7.322192e-02,7.206068e-02,7.159832e-02,7.090741e-02,6.976375e-02,6.933199e-02,6.863117e-02,6.751098e-02,6.711097e-02,6.640433e-02,6.531223e-02,6.494439e-02,6.423557e-02,6.317512e-02,6.283932e-02,6.213156e-02,6.110548e-02,6.080113e-02,6.009734e-02,5.910759e-02,5.883380e-02,5.813656e-02,5.718453e-02,5.694014e-02,5.625173e-02,5.533834e-02,5.512203e-02,5.444447e-02,5.357023e-02,5.338053e-02,5.271563e-02,5.188071e-02,5.171608e-02,5.106542e-02,5.026971e-02,5.012856e-02,4.949350e-02,4.873668e-02,4.861738e-02,4.799912e-02,4.728066e-02,4.718160e-02,4.658114e-02,4.590037e-02,4.581993e-02,4.523813e-02,4.459422e-02,4.453083e-02,4.396840e-02,4.336043e-02,4.331256e-02,4.277005e-02,4.219700e-02,4.216316e-02,4.164100e-02,4.110178e-02,4.108056e-02,4.057905e-02,4.007251e-02,4.006254e-02,3.958187e-02,3.910683e-02,3.821103e-02,3.737275e-02,3.658953e-02,3.585890e-02,3.517839e-02,3.454554e-02,3.395790e-02,3.341305e-02,3.290864e-02,3.244232e-02,3.201183e-02,3.161494e-02,3.124952e-02,3.091348e-02,3.060481e-02,3.032158e-02,3.006194e-02,2.982412e-02,2.960643e-02,2.940726e-02,2.922508e-02,2.905845e-02,2.890602e-02,2.876649e-02,2.863866e-02,2.852141e-02,2.841370e-02,2.831453e-02,2.822301e-02,2.813830e-02,2.805962e-02,2.798626e-02,2.791758e-02,2.785297e-02,2.779190e-02,2.773387e-02,2.767845e-02,2.762524e-02,2.757388e-02,2.752405e-02,2.747548e-02,2.742793e-02,2.738117e-02,2.733502e-02,2.728932e-02,2.724393e-02,2.719874e-02,2.715366e-02,2.710860e-02
0.000000e+00,9.357887e-09,2.588774e-07,2.723390e-07,2.283578e-06,1.049365e-05,1.108891e-05,3.671384e-05,8.611677e-05,9.024286e-05,1.756564e-04,2.764694e-04,2.859034e-04,4.079961e-04,5.182857e-04,5.302772e-04,6.453349e-04,7.376555e-04,7.495292e-04,8.416372e-04,9.112272e-04,9.217415e-04,9.905422e-04,1.040287e-03,1.048982e-03,1.098055e-03,1.131977e-03,1.138716e-03,1.171856e-03,1.193506e-03,1.198295e-03,1.218775e-03,1.231049e-03,1.233971e-03,1.244487e-03,1.249688e-03,1.250869e-03,1.253604e-03,1.253540e-03,1.253131e-03,1.249840e-03,1.245926e-03,1.244084e-03,1.236177e-03,1.229513e-03,1.226399e-03,1.215003e-03,1.206444e-03,1.202212e-03,1.188229e-03,1.178434e-03,1.173231e-03,1.157380e-03,1.146854e-03,1.140818e-03,1.123672e-03,1.112798e-03,1.106055e-03,1.088068e-03,1.077136e-03,1.069800e-03,1.051331e-03,1.040554e-03,1.032730e-03,1.014061e-03,1.003597e-03,9.953776e-04,9.767280e-04,9.666865e-04,9.581549e-04,9.396951e-04,9.301519e-04,9.213813e-04,9.032415e-04,8.942446e-04,8.853001e-04,8.675781e-04,8.591549e-04,8.500935e-04,8.328615e-04,8.250232e-04,8.158949e-04,7.992044e-04,7.919503e-04,7.827987e-04,7.666848e-04,7.600054e-04,7.508682e-04,7.353531e-04,7.292321e-04,7.201423e-04,7.052377e-04,6.996544e-04,6.906401e-04,6.763497e-04,6.712802e-04,6.623656e-04,6.486867e-04,6.441051e-04,6.353110e-04,6.222362e-04,6.181154e-04,6.094595e-04,5.969775e-04,5.932899e-04,5.847869e-04,5.728838e-04,5.696020e-04,5.612642e-04,5.499238e-04,5.470205e-04,5.388583e-04,5.280631e-04,5.255119e-04,5.175335e-04,5.072649e-04,5.050404e-04,4.972525e-04,4.874915e-04,4.855690e-04,4.779769e-04,4.687040e-04,4.670602e-04,4.596678e-04,4.508635e-04,4.494760e-04,4.422863e-04,4.339312e-04,4.327790e-04,4.257937e-04,4.178688e-04,4.169319e-04,4.101520e-04,4.026386e-04,4.018983e-04,3.953240e-04,3.882038e-04,3.876425e-04,3.812735e-04,3.745287e-04,3.741298e-04,3.679652e-04,3.615786e-04,3.613267e-04,3.553649e-04,3.493199e-04,3.492007e-04,3.434397e-04,3.377203e-04,3.268553e-04,3.165768e-04,3.068568e-04,2.976686e-04,2.889867e-04,2.807865e-04,2.730445e-04,2.657385e-04,2.588470e-04,2.523495e-04,2.462267e-04,2.404598e-04,2.350312e-04,2.299241e-04,2.251222e-04,2.206102e-04,2.163735e-04,2.123982e-04,2.086710e-04,2.051793e-04,2.019109e-04,1.988545e-04,1.959992e-04,1.933346e-04,1.908507e-04,1.885382e-04,1.863881e-04,1.843918e-04,1.825414e-04,1.808290e-04,1.792472e-04,1.777893e-04,1.764483e-04,1.752181e-04,1.740926e-04,1.730661e-04,1.721331e-04,1.712885e-04,1.705272e-04,1.698447e-04,1.692365e-04,1.686983e-04,1.682261e-04,1.678161e-04,1.674645e-04,1.671681e-04,1.669234e-04,1.667274e-04,1.665770e-04
0.000000e+00,5.215362e-09,1.613373e-07,1.699963e-07,1.515740e-06,7.362996e-06,7.801062e-06,2.786718e-05,7.154116e-05,7.544754e-05,1.648630e-04,2.921130e-04,3.053001e-04,4.975872e-04,7.094769e-04,7.349376e-04,1.006048e-03,1.262429e-03,1.298180e-03,1.599213e-03,1.857214e-03,1.898719e-03,2.188366e-03,2.419436e-03,2.461925e-03,2.715075e-03,2.905486e-03,2.945108e-03,3.150627e-03,3.297106e-03,3.331248e-03,3.487349e-03,3.592663e-03,3.619850e-03,3.730038e-03,3.799787e-03,3.819431e-03,3.889670e-03,3.930305e-03,3.942438e-03,3.979408e-03,3.997153e-03,4.002194e-03,4.012333e-03,4.012680e-03,4.011264e-03,4.000319e-03,3.987864e-03,3.980721e-03,3.953584e-03,3.932037e-03,3.919915e-03,3.880624e-03,3.852907e-03,3.836525e-03,3.788346e-03,3.756714e-03,3.736736e-03,3.682271e-03,3.648436e-03,3.625460e-03,3.566757e-03,3.532001e-03,3.506559e-03,3.445219e-03,3.410487e-03,3.383046e-03,3.320310e-03,3.286285e-03,3.257251e-03,3.194076e-03,3.161241e-03,3.130968e-03,3.068084e-03,3.036771e-03,3.005565e-03,2.943527e-03,2.913952e-03,2.882077e-03,2.821301e-03,2.793593e-03,2.761277e-03,2.702069e-03,2.676291e-03,2.643733e-03,2.586314e-03,2.562481e-03,2.529851e-03,2.474374e-03,2.452465e-03,2.419909e-03,2.366476e-03,2.346444e-03,2.314088e-03,2.262758e-03,2.244539e-03,2.212490e-03,2.163289e-03,2.146804e-03,2.115156e-03,2.068087e-03,2.053249e-03,2.022078e-03,1.977123e-03,1.963841e-03,1.933214e-03,1.890341e-03,1.878521e-03,1.848493e-03,1.807657e-03,1.797204e-03,1.767820e-03,1.728969e-03,1.719790e-03,1.691088e-03,1.654163e-03,1.646166e-03,1.618177e-03,1.583114e-03,1.576211e-03,1.548958e-03,1.515692e-03,1.509797e-03,1.483298e-03,1.451760e-03,1.446792e-03,1.421061e-03,1.391183e-03,1.387065e-03,1.362109e-03,1.333823e-03,1.330480e-03,1.306306e-03,1.279543e-03,1.276907e-03,1.253516e-03,1.228209e-03,1.226215e-03,1.203605e-03,1.179689e-03,1.178275e-03,1.156444e-03,1.133854e-03,1.132964e-03,1.111904e-03,1.090579e-03,1.090159e-03,1.069863e-03,1.049743e-03,1.011602e-03,9.756269e-04,9.417122e-04,9.097566e-04,8.796631e-04,8.513386e-04,8.246942e-04,7.996448e-04,7.761093e-04,7.540101e-04,7.332733e-04,7.138285e-04,6.956086e-04,6.785497e-04,6.625911e-04,6.476748e-04,6.337459e-04,6.207520e-04,6.086433e-04,5.973726e-04,5.868949e-04,5.771675e-04,5.681498e-04,5.598033e-04,5.520914e-04,5.449792e-04,5.384339e-04,5.324239e-04,5.269195e-04,5.218925e-04,5.173159e-04,5.131644e-04,5.094136e-04,5.060406e-04,5.030236e-04,5.003420e-04,4.979759e-04,4.959069e-04,4.941170e-04,4.925897e-04,4.913088e-04,4.902593e-04,4.894268e-04,4.887977e-04,4.883590e-04,4.880985e-04,4.880045e-04,4.880660e-04,4.882725e-04
0.000000e+00,1.161288e-08,3.423258e-07,3.607457e-07,3.263190e-06,1.547654e-05,1.635994e-05,5.325820e-05,1.176874e-04,1.227039e-04,2.166213e-04,3.091775e-04,3.170562e-04,4.091871e-04,4.787029e-04,4.855479e-04,5.444138e-04,5.828063e-04,5.871672e-04,6.163894e-04,6.327953e-04,6.348221e-04,6.449108e-04,6.484220e-04,6.486678e-04,6.476797e-04,6.441967e-04,6.431702e-04,6.360717e-04,6.290104e-04,6.270916e-04,6.167648e-04,6.080396e-04,6.054968e-04,5.935945e-04,5.842700e-04,5.812908e-04,5.687625e-04,5.594255e-04,5.561407e-04,5.435223e-04,5.344834e-04,5.309848e-04,5.185875e-04,5.100168e-04,5.063742e-04,4.943760e-04,4.863515e-04,4.826147e-04,4.711056e-04,4.636525e-04,4.598582e-04,4.488781e-04,4.419925e-04,4.381682e-04,4.277296e-04,4.213936e-04,4.175614e-04,4.076613e-04,4.018487e-04,3.980263e-04,3.886525e-04,3.833337e-04,3.795356e-04,3.706708e-04,3.658147e-04,3.620530e-04,3.536769e-04,3.492524e-04,3.455371e-04,3.376282e-04,3.336050e-04,3.299447e-04,3.224810e-04,3.188299e-04,3.152317e-04,3.081913e-04,3.048845e-04,3.013544e-04,2.947158e-04,2.917272e-04,2.882703e-04,2.820125e-04,2.793173e-04,2.759376e-04,2.700406e-04,2.676157e-04,2.643165e-04,2.587607e-04,2.565845e-04,2.533685e-04,2.481354e-04,2.461876e-04,2.430569e-04,2.381287e-04,2.363905e-04,2.333465e-04,2.287063e-04,2.271603e-04,2.242040e-04,2.198357e-04,2.184655e-04,2.155976e-04,2.114859e-04,2.102765e-04,2.074970e-04,2.036274e-04,2.025648e-04,1.998736e-04,1.962323e-04,1.953036e-04,1.927003e-04,1.892743e-04,1.884675e-04,1.859514e-04,1.827284e-04,1.820324e-04,1.796024e-04,1.765708e-04,1.759755e-04,1.736306e-04,1.707792e-04,1.702751e-04,1.680139e-04,1.653324e-04,1.649109e-04,1.627321e-04,1.602105e-04,1.598637e-04,1.577655e-04,1.553947e-04,1.551151e-04,1.530959e-04,1.508671e-04,1.506479e-04,1.487061e-04,1.466109e-04,1.464461e-04,1.445796e-04,1.426103e-04,1.424941e-04,1.407012e-04,1.388504e-04,1.387775e-04,1.370562e-04,1.353170e-04,1.352828e-04,1.336311e-04,1.319969e-04,1.289079e-04,1.260041e-04,1.232750e-04,1.207101e-04,1.183001e-04,1.160357e-04,1.139087e-04,1.119108e-04,1.100345e-04,1.082728e-04,1.066189e-04,1.050665e-04,1.036096e-04,1.022426e-04,1.009603e-04,9.975772e-05,9.863009e-05,9.757304e-05,9.658241e-05,9.565430e-05,9.478502e-05,9.397109e-05,9.320925e-05,9.249643e-05,9.182972e-05,9.120639e-05,9.062389e-05,9.007978e-05,8.957179e-05,8.909776e-05,8.865569e-05,8.824367e-05,8.785990e-05,8.750270e-05,8.717048e-05,8.686174e-05,8.657507e-05,8.630915e-05,8.606272e-05,8.583460e-05,8.562370e-05,8.542895e-05,8.524939e-05,8.508409e-05,8.493216e-05,8.479280e-05,8.466522e-05,8.454870e-05,8.444255e-05
0.000000e+00,3.545740e-10,3.756520e-09,3.905228e-09,2.083690e-08,6.935439e-08,7.237792e-08,1.776016e-07,3.197274e-07,3.296487e-07,4.990288e-07,6.508529e-07,6.636021e-07,8.156653e-07,9.405690e-07,9.537527e-07,1.078196e-06,1.177047e-06,1.189789e-06,1.289421e-06,1.366212e-06,1.377974e-06,1.456292e-06,1.514753e-06,1.525171e-06,1.585361e-06,1.628725e-06,1.637561e-06,1.682426e-06,1.713444e-06,1.720560e-06,1.752532e-06,1.773531e-06,1.778866e-06,1.800049e-06,1.812983e-06,1.816534e-06,1.828740e-06,1.835243e-06,1.837049e-06,1.841818e-06,1.843246e-06,1.843377e-06,1.842031e-06,1.839510e-06,1.838058e-06,1.831718e-06,1.826177e-06,1.823248e-06,1.812868e-06,1.805069e-06,1.800778e-06,1.787166e-06,1.777734e-06,1.772200e-06,1.756038e-06,1.745480e-06,1.738823e-06,1.720687e-06,1.709415e-06,1.701752e-06,1.682127e-06,1.670469e-06,1.661914e-06,1.641207e-06,1.629426e-06,1.620089e-06,1.598638e-06,1.586941e-06,1.576925e-06,1.555013e-06,1.543560e-06,1.532962e-06,1.510824e-06,1.499738e-06,1.488648e-06,1.466476e-06,1.455847e-06,1.444349e-06,1.422302e-06,1.412196e-06,1.400367e-06,1.378572e-06,1.369034e-06,1.356944e-06,1.335505e-06,1.326562e-06,1.314275e-06,1.293273e-06,1.284940e-06,1.272515e-06,1.252014e-06,1.244294e-06,1.231783e-06,1.211832e-06,1.204720e-06,1.192170e-06,1.172804e-06,1.166289e-06,1.153742e-06,1.134988e-06,1.129053e-06,1.116546e-06,1.098420e-06,1.093044e-06,1.080612e-06,1.063123e-06,1.058284e-06,1.045954e-06,1.029106e-06,1.024778e-06,1.012578e-06,9.963681e-07,9.925251e-07,9.804760e-07,9.648995e-07,9.615148e-07,9.496364e-07,9.346840e-07,9.317306e-07,9.200394e-07,9.056995e-07,9.031504e-07,8.916607e-07,8.779195e-07,8.757483e-07,8.644721e-07,8.513144e-07,8.494953e-07,8.384424e-07,8.258519e-07,8.243597e-07,8.135384e-07,8.014976e-07,8.003083e-07,7.897250e-07,7.782161e-07,7.773066e-07,7.669663e-07,7.559710e-07,7.553193e-07,7.452257e-07,7.347257e-07,7.343108e-07,7.244664e-07,7.144433e-07,7.142452e-07,7.046517e-07,6.950870e-07,6.768010e-07,6.593525e-07,6.427076e-07,6.268329e-07,6.116963e-07,5.972664e-07,5.835125e-07,5.704055e-07,5.579167e-07,5.460188e-07,5.346853e-07,5.238910e-07,5.136113e-07,5.038230e-07,4.945034e-07,4.856311e-07,4.771856e-07,4.691470e-07,4.614964e-07,4.542159e-07,4.472882e-07,4.406968e-07,4.344259e-07,4.284605e-07,4.227863e-07,4.173895e-07,4.122570e-07,4.073765e-07,4.027360e-07,3.983242e-07,3.941302e-07,3.901437e-07,3.863549e-07,3.827544e-07,3.793333e-07,3.760830e-07,3.729955e-07,3.700629e-07,3.672780e-07,3.646337e-07,3.621233e-07,3.597404e-07,3.574790e-07,3.553332e-07,3.532976e-07,3.513669e-07,3.495360e-07,3.478003e-07,3.461551e-07
0.000000e+00,2.781650e-06,1.014495e-04,1.073140e-04,1.168268e-03,6.717446e-03,7.161644e-03,2.926479e-02,8.220759e-02,8.710355e-02,2.029902e-01,3.765150e-01,3.949877e-01,6.745859e-01,1.005717e+00,1.047214e+00,1.513417e+00,1.998620e+00,2.070008e+00,2.711068e+00,3.324000e+00,3.428761e+00,4.213999e+00,4.918635e+00,5.056975e+00,5.947582e+00,6.706340e+00,6.875734e+00,7.831621e+00,8.609990e+00,8.805881e+00,9.789740e+00,1.055857e+01,1.077509e+01,1.175455e+01,1.249089e+01,1.272148e+01,1.367000e+01,1.435699e+01,1.459496e+01,1.549192e+01,1.611827e+01,1.635714e+01,1.718748e+01,1.774660e+01,1.798042e+01,1.873398e+01,1.922312e+01,1.944665e+01,2.011742e+01,2.053685e+01,2.074565e+01,2.133109e+01,2.168332e+01,2.187378e+01,2.237407e+01,2.266320e+01,2.283253e+01,2.324995e+01,2.348108e+01,2.362727e+01,2.396559e+01,2.414442e+01,2.426612e+01,2.453018e+01,2.466264e+01,2.475914e+01,2.495443e+01,2.504640e+01,2.511751e+01,2.524987e+01,2.530705e+01,2.535300e+01,2.542839e+01,2.545615e+01,2.547753e+01,2.550187e+01,2.550517e+01,2.550285e+01,2.548186e+01,2.546521e+01,2.544027e+01,2.537939e+01,2.534683e+01,2.530051e+01,2.520486e+01,2.515997e+01,2.509363e+01,2.496794e+01,2.491387e+01,2.482891e+01,2.467757e+01,2.461703e+01,2.451490e+01,2.434187e+01,2.427721e+01,2.415937e+01,2.396825e+01,2.390145e+01,2.376932e+01,2.356335e+01,2.349608e+01,2.335107e+01,2.313316e+01,2.306678e+01,2.291026e+01,2.268297e+01,2.261863e+01,2.245188e+01,2.221751e+01,2.215611e+01,2.198038e+01,2.174094e+01,2.168319e+01,2.149965e+01,2.125691e+01,2.120336e+01,2.101312e+01,2.076863e+01,2.071968e+01,2.052377e+01,2.027887e+01,2.023480e+01,2.003421e+01,1.979006e+01,1.975106e+01,1.954667e+01,1.930428e+01,1.927043e+01,1.906309e+01,1.882331e+01,1.879465e+01,1.858513e+01,1.834870e+01,1.832517e+01,1.811419e+01,1.788174e+01,1.786324e+01,1.765148e+01,1.742352e+01,1.740992e+01,1.719798e+01,1.697495e+01,1.696608e+01,1.675452e+01,1.653678e+01,1.653245e+01,1.632179e+01,1.610963e+01,1.569809e+01,1.529820e+01,1.491026e+01,1.453447e+01,1.417096e+01,1.381982e+01,1.348108e+01,1.315471e+01,1.284066e+01,1.253883e+01,1.224912e+01,1.197137e+01,1.170541e+01,1.145106e+01,1.120811e+01,1.097634e+01,1.075552e+01,1.054541e+01,1.034576e+01,1.015631e+01,9.976786e+00,9.806924e+00,9.646445e+00,9.495066e+00,9.352504e+00,9.218473e+00,9.092685e+00,8.974852e+00,8.864684e+00,8.761892e+00,8.666189e+00,8.577287e+00,8.494901e+00,8.418750e+00,8.348552e+00,8.284032e+00,8.224917e+00,8.170938e+00,8.121832e+00,8.077338e+00,8.037204e+00,8.001181e+00,7.969026e+00,7.940504e+00,7.915385e+00,7.893446e+00,7.874471e+00,7.858252e+00,7.844586e+00
0.000000e+00,1.221566e-08,3.812595e-07,4.016532e-07,3.489425e-06,1.624494e-05,1.718003e-05,5.884387e-05,1.466039e-04,1.543652e-04,3.302601e-04,5.780963e-04,6.037242e-04,9.777380e-04,1.392702e-03,1.442864e-03,1.981911e-03,2.501068e-03,2.574262e-03,3.198934e-03,3.747096e-03,3.836461e-03,4.469900e-03,4.988505e-03,5.085259e-03,5.671534e-03,6.124748e-03,6.220531e-03,6.726564e-03,7.098018e-03,7.186098e-03,7.597383e-03,7.884450e-03,7.960110e-03,8.275093e-03,8.483547e-03,8.543995e-03,8.769087e-03,8.909020e-03,8.953058e-03,9.098853e-03,9.181909e-03,9.209544e-03,9.288232e-03,9.325912e-03,9.337972e-03,9.361718e-03,9.364459e-03,9.362281e-03,9.342306e-03,9.319076e-03,9.304255e-03,9.250402e-03,9.208611e-03,9.182827e-03,9.103424e-03,9.049014e-03,9.013909e-03,8.915821e-03,8.853435e-03,8.810543e-03,8.699306e-03,8.632495e-03,8.583204e-03,8.463205e-03,8.394626e-03,8.340163e-03,8.214827e-03,8.146426e-03,8.087854e-03,7.959818e-03,7.892988e-03,7.831218e-03,7.702487e-03,7.638192e-03,7.573999e-03,7.446077e-03,7.384958e-03,7.318997e-03,7.192995e-03,7.135453e-03,7.068274e-03,6.945001e-03,6.891258e-03,6.823320e-03,6.703349e-03,6.653497e-03,6.585188e-03,6.468917e-03,6.422953e-03,6.354601e-03,6.242290e-03,6.200147e-03,6.132025e-03,6.023832e-03,5.985395e-03,5.917733e-03,5.813739e-03,5.778862e-03,5.711856e-03,5.612084e-03,5.580602e-03,5.514419e-03,5.418850e-03,5.390587e-03,5.325366e-03,5.233949e-03,5.208720e-03,5.144579e-03,5.057237e-03,5.034856e-03,4.971896e-03,4.888534e-03,4.868818e-03,4.807123e-03,4.727635e-03,4.710403e-03,4.650042e-03,4.574316e-03,4.559391e-03,4.500424e-03,4.428339e-03,4.415553e-03,4.358027e-03,4.289458e-03,4.278646e-03,4.222600e-03,4.157422e-03,4.148429e-03,4.093890e-03,4.031975e-03,4.024652e-03,3.971643e-03,3.912863e-03,3.907069e-03,3.855604e-03,3.799835e-03,3.795437e-03,3.745525e-03,3.692643e-03,3.689515e-03,3.641159e-03,3.591043e-03,3.589066e-03,3.542266e-03,3.494797e-03,3.493861e-03,3.448609e-03,3.403673e-03,3.318282e-03,3.237474e-03,3.161044e-03,3.088789e-03,3.020519e-03,2.956045e-03,2.895189e-03,2.837776e-03,2.783642e-03,2.732626e-03,2.684574e-03,2.639341e-03,2.596785e-03,2.556771e-03,2.519169e-03,2.483857e-03,2.450716e-03,2.419633e-03,2.390500e-03,2.363215e-03,2.337677e-03,2.313795e-03,2.291478e-03,2.270640e-03,2.251200e-03,2.233081e-03,2.216209e-03,2.200512e-03,2.185925e-03,2.172382e-03,2.159824e-03,2.148192e-03,2.137432e-03,2.127490e-03,2.118318e-03,2.109868e-03,2.102096e-03,2.094958e-03,2.088414e-03,2.082426e-03,2.076957e-03,2.071973e-03,2.067441e-03,2.063331e-03,2.059612e-03,2.056257e-03,2.053240e-03,2.050537e-03,2.048122e-03
0.000000e+00,3.847129e-09,1.290807e-07,1.363110e-07,1.360872e-06,7.171301e-06,7.617331e-06,2.839506e-05,7.343709e-05,7.741256e-05,1.658027e-04,2.843624e-04,2.962583e-04,4.633657e-04,6.369297e-04,6.571949e-04,8.665472e-04,1.055269e-03,1.080957e-03,1.291670e-03,1.464741e-03,1.491956e-03,1.677065e-03,1.818576e-03,1.843979e-03,1.991112e-03,2.096638e-03,2.117988e-03,2.224957e-03,2.296810e-03,2.312949e-03,2.383271e-03,2.426833e-03,2.437449e-03,2.477112e-03,2.498559e-03,2.503900e-03,2.519404e-03,2.524500e-03,2.525126e-03,2.522458e-03,2.516056e-03,2.512662e-03,2.496871e-03,2.482793e-03,2.476090e-03,2.451198e-03,2.432321e-03,2.422964e-03,2.392049e-03,2.370455e-03,2.359019e-03,2.324359e-03,2.301512e-03,2.288476e-03,2.251716e-03,2.228612e-03,2.214366e-03,2.176665e-03,2.153961e-03,2.138814e-03,2.100974e-03,2.079086e-03,2.063279e-03,2.025839e-03,2.005017e-03,1.988740e-03,1.952053e-03,1.932433e-03,1.915833e-03,1.880124e-03,1.861768e-03,1.844959e-03,1.810364e-03,1.793287e-03,1.776358e-03,1.742954e-03,1.727136e-03,1.710160e-03,1.677983e-03,1.663389e-03,1.646425e-03,1.615484e-03,1.602066e-03,1.585161e-03,1.555451e-03,1.543155e-03,1.526350e-03,1.497852e-03,1.486620e-03,1.469951e-03,1.442640e-03,1.432415e-03,1.415912e-03,1.389759e-03,1.380484e-03,1.364173e-03,1.339147e-03,1.330763e-03,1.314670e-03,1.290736e-03,1.283190e-03,1.267334e-03,1.244458e-03,1.237696e-03,1.222098e-03,1.200245e-03,1.194216e-03,1.178891e-03,1.158027e-03,1.152682e-03,1.137644e-03,1.117735e-03,1.113026e-03,1.098289e-03,1.079300e-03,1.075182e-03,1.060757e-03,1.042654e-03,1.039085e-03,1.024981e-03,1.007731e-03,1.004670e-03,9.908953e-04,9.744657e-04,9.718742e-04,9.584345e-04,9.427937e-04,9.406347e-04,9.275355e-04,9.126523e-04,9.108911e-04,8.981365e-04,8.839806e-04,8.825845e-04,8.701772e-04,8.567190e-04,8.556571e-04,8.435990e-04,8.308099e-04,8.300530e-04,8.183450e-04,8.061973e-04,8.057178e-04,7.943600e-04,7.828267e-04,7.825990e-04,7.715907e-04,7.606456e-04,7.398083e-04,7.200394e-04,7.012930e-04,6.835249e-04,6.666924e-04,6.507544e-04,6.356714e-04,6.214053e-04,6.079195e-04,5.951790e-04,5.831500e-04,5.718002e-04,5.610985e-04,5.510151e-04,5.415214e-04,5.325899e-04,5.241944e-04,5.163097e-04,5.089116e-04,5.019769e-04,4.954835e-04,4.894102e-04,4.837367e-04,4.784434e-04,4.735117e-04,4.689237e-04,4.646624e-04,4.607114e-04,4.570551e-04,4.536784e-04,4.505671e-04,4.477073e-04,4.450861e-04,4.426909e-04,4.405096e-04,4.385308e-04,4.367436e-04,4.351374e-04,4.337022e-04,4.324285e-04,4.313071e-04,4.303293e-04,4.294867e-04,4.287715e-04,4.281759e-04,4.276927e-04,4.273150e-04,4.270361e-04,4.268499e-04
0.000000e+00,2.827725e-08,7.683819e-07,8.088648e-07,7.040048e-06,3.243774e-05,3.424802e-05,1.083057e-04,2.342537e-04,2.439794e-04,4.263487e-04,6.123016e-04,6.287352e-04,8.333990e-04,1.012965e-03,1.032530e-03,1.223409e-03,1.383943e-03,1.405288e-03,1.578089e-03,1.719542e-03,1.741952e-03,1.897095e-03,2.020859e-03,2.043768e-03,2.182236e-03,2.289849e-03,2.312773e-03,2.435657e-03,2.528640e-03,2.551164e-03,2.659570e-03,2.739371e-03,2.761145e-03,2.856153e-03,2.924127e-03,2.944853e-03,3.027497e-03,3.084899e-03,3.104329e-03,3.175588e-03,3.223572e-03,3.241503e-03,3.302297e-03,3.341923e-03,3.358187e-03,3.409382e-03,3.441615e-03,3.456082e-03,3.498484e-03,3.524206e-03,3.536776e-03,3.571139e-03,3.591152e-03,3.601750e-03,3.628778e-03,3.643809e-03,3.652387e-03,3.672735e-03,3.683442e-03,3.689975e-03,3.704252e-03,3.711231e-03,3.715708e-03,3.724479e-03,3.728268e-03,3.730698e-03,3.734490e-03,3.735571e-03,3.735976e-03,3.735274e-03,3.734082e-03,3.732496e-03,3.727751e-03,3.724673e-03,3.721143e-03,3.712772e-03,3.708156e-03,3.702734e-03,3.691122e-03,3.685277e-03,3.678025e-03,3.663529e-03,3.656729e-03,3.647715e-03,3.630663e-03,3.623151e-03,3.612449e-03,3.593144e-03,3.585132e-03,3.572819e-03,3.551540e-03,3.543218e-03,3.529372e-03,3.506377e-03,3.497907e-03,3.482612e-03,3.458136e-03,3.449661e-03,3.433001e-03,3.407261e-03,3.398904e-03,3.380963e-03,3.354157e-03,3.346022e-03,3.326887e-03,3.299196e-03,3.291374e-03,3.271128e-03,3.242720e-03,3.235283e-03,3.214011e-03,3.185038e-03,3.178049e-03,3.155835e-03,3.126435e-03,3.119943e-03,3.096869e-03,3.067167e-03,3.061213e-03,3.037359e-03,3.007470e-03,3.002084e-03,2.977528e-03,2.947557e-03,2.942761e-03,2.917580e-03,2.887620e-03,2.883428e-03,2.857697e-03,2.827832e-03,2.824253e-03,2.798044e-03,2.768350e-03,2.765387e-03,2.738769e-03,2.709315e-03,2.706965e-03,2.680005e-03,2.650852e-03,2.649108e-03,2.621871e-03,2.593073e-03,2.591925e-03,2.564472e-03,2.536078e-03,2.535512e-03,2.507902e-03,2.479954e-03,2.425326e-03,2.371692e-03,2.319110e-03,2.267628e-03,2.217288e-03,2.168123e-03,2.120162e-03,2.073429e-03,2.027940e-03,1.983709e-03,1.940743e-03,1.899049e-03,1.858626e-03,1.819473e-03,1.781585e-03,1.744954e-03,1.709571e-03,1.675422e-03,1.642495e-03,1.610773e-03,1.580240e-03,1.550877e-03,1.522664e-03,1.495581e-03,1.469605e-03,1.444716e-03,1.420889e-03,1.398102e-03,1.376330e-03,1.355549e-03,1.335735e-03,1.316862e-03,1.298907e-03,1.281843e-03,1.265646e-03,1.250291e-03,1.235754e-03,1.222008e-03,1.209031e-03,1.196797e-03,1.185281e-03,1.174461e-03,1.164313e-03,1.154812e-03,1.145937e-03,1.137664e-03,1.129971e-03,1.122836e-03,1.116238e-03
0.000000e+00,1.625216e-08,6.043348e-07,6.391123e-07,6.523378e-06,3.297814e-05,3.494940e-05,1.230159e-04,3.049977e-04,3.208344e-04,6.708333e-04,1.143675e-03,1.191617e-03,1.877445e-03,2.617404e-03,2.705796e-03,3.645219e-03,4.536364e-03,4.661182e-03,5.719931e-03,6.641176e-03,6.790791e-03,7.847371e-03,8.707876e-03,8.868009e-03,9.835751e-03,1.058089e-02,1.073804e-02,1.156623e-02,1.217182e-02,1.231509e-02,1.298220e-02,1.344563e-02,1.356741e-02,1.407240e-02,1.440436e-02,1.450019e-02,1.485477e-02,1.507276e-02,1.514081e-02,1.536338e-02,1.548726e-02,1.552772e-02,1.563909e-02,1.568832e-02,1.570268e-02,1.572345e-02,1.571553e-02,1.570610e-02,1.565505e-02,1.560488e-02,1.557436e-02,1.546777e-02,1.538756e-02,1.533870e-02,1.519023e-02,1.508965e-02,1.502511e-02,1.484584e-02,1.473241e-02,1.465462e-02,1.445342e-02,1.433285e-02,1.424398e-02,1.402783e-02,1.390437e-02,1.380633e-02,1.358066e-02,1.345744e-02,1.335188e-02,1.312090e-02,1.300020e-02,1.288854e-02,1.265549e-02,1.253891e-02,1.242239e-02,1.218976e-02,1.207841e-02,1.195808e-02,1.172777e-02,1.162239e-02,1.149919e-02,1.127266e-02,1.117371e-02,1.104845e-02,1.082680e-02,1.073453e-02,1.060792e-02,1.039199e-02,1.030648e-02,1.017916e-02,9.969558e-03,9.890781e-03,9.763301e-03,9.560482e-03,9.488324e-03,9.361177e-03,9.165451e-03,9.099728e-03,8.973353e-03,8.784921e-03,8.725402e-03,8.600184e-03,8.419161e-03,8.365580e-03,8.241862e-03,8.068290e-03,8.020357e-03,7.898439e-03,7.732301e-03,7.689711e-03,7.569859e-03,7.411092e-03,7.373532e-03,7.255975e-03,7.104478e-03,7.071632e-03,6.956570e-03,6.812214e-03,6.783766e-03,6.671373e-03,6.534004e-03,6.509643e-03,6.400066e-03,6.269513e-03,6.248936e-03,6.142299e-03,6.018378e-03,6.001289e-03,5.897700e-03,5.780216e-03,5.766330e-03,5.665875e-03,5.554629e-03,5.543672e-03,5.446424e-03,5.341211e-03,5.332921e-03,5.238937e-03,5.139552e-03,5.133680e-03,5.043005e-03,4.949243e-03,4.945550e-03,4.858217e-03,4.769876e-03,4.768136e-03,4.684169e-03,4.601048e-03,4.443903e-03,4.296325e-03,4.157948e-03,4.028414e-03,3.907377e-03,3.794500e-03,3.689459e-03,3.591936e-03,3.501627e-03,3.418237e-03,3.341480e-03,3.271078e-03,3.206766e-03,3.148282e-03,3.095377e-03,3.047805e-03,3.005331e-03,2.967724e-03,2.934759e-03,2.906219e-03,2.881890e-03,2.861565e-03,2.845039e-03,2.832114e-03,2.822594e-03,2.816289e-03,2.813012e-03,2.812578e-03,2.814807e-03,2.819522e-03,2.826550e-03,2.835719e-03,2.846863e-03,2.859819e-03,2.874425e-03,2.890527e-03,2.907970e-03,2.926606e-03,2.946291e-03,2.966883e-03,2.988246e-03,3.010250e-03,3.032766e-03,3.055674e-03,3.078857e-03,3.102204e-03,3.125608e-03,3.148971e-03,3.172197e-03
0.000000e+00,9.137809e-09,3.079989e-07,3.255250e-07,3.353134e-06,1.732052e-05,1.836148e-05,6.344165e-05,1.469370e-04,1.536698e-04,2.867901e-04,4.346012e-04,4.481683e-04,6.225424e-04,7.814959e-04,7.990262e-04,9.711600e-04,1.116310e-03,1.135568e-03,1.290714e-03,1.416306e-03,1.436061e-03,1.571589e-03,1.678010e-03,1.697529e-03,1.814225e-03,1.903298e-03,1.922077e-03,2.021508e-03,2.095274e-03,2.112941e-03,2.196792e-03,2.257194e-03,2.273467e-03,2.343355e-03,2.392162e-03,2.406831e-03,2.464253e-03,2.503049e-03,2.515963e-03,2.562285e-03,2.592476e-03,2.603531e-03,2.639995e-03,2.662825e-03,2.671957e-03,2.699685e-03,2.716250e-03,2.723431e-03,2.743435e-03,2.754699e-03,2.759926e-03,2.773119e-03,2.779928e-03,2.783221e-03,2.790426e-03,2.793519e-03,2.794918e-03,2.796873e-03,2.796898e-03,2.796457e-03,2.793826e-03,2.791344e-03,2.789129e-03,2.782507e-03,2.778009e-03,2.774095e-03,2.764017e-03,2.757926e-03,2.752395e-03,2.739340e-03,2.732021e-03,2.724960e-03,2.709356e-03,2.701125e-03,2.692624e-03,2.674854e-03,2.665981e-03,2.656132e-03,2.636537e-03,2.627252e-03,2.616147e-03,2.595034e-03,2.585532e-03,2.573264e-03,2.550903e-03,2.541349e-03,2.528010e-03,2.504642e-03,2.495175e-03,2.480854e-03,2.456694e-03,2.447426e-03,2.432211e-03,2.407450e-03,2.398476e-03,2.382452e-03,2.357256e-03,2.348652e-03,2.331901e-03,2.306420e-03,2.298245e-03,2.280846e-03,2.255210e-03,2.247512e-03,2.229541e-03,2.203865e-03,2.196678e-03,2.178207e-03,2.152590e-03,2.145939e-03,2.127037e-03,2.101567e-03,2.095469e-03,2.076201e-03,2.050954e-03,2.045418e-03,2.025844e-03,2.000886e-03,1.995914e-03,1.976094e-03,1.951481e-03,1.947071e-03,1.927059e-03,1.902839e-03,1.898983e-03,1.878830e-03,1.855043e-03,1.851731e-03,1.831486e-03,1.808166e-03,1.805384e-03,1.785091e-03,1.762267e-03,1.759998e-03,1.739699e-03,1.717394e-03,1.715621e-03,1.695354e-03,1.673585e-03,1.672288e-03,1.652090e-03,1.630872e-03,1.630029e-03,1.609933e-03,1.589277e-03,1.588867e-03,1.568904e-03,1.548816e-03,1.509887e-03,1.472084e-03,1.435408e-03,1.399856e-03,1.365422e-03,1.332095e-03,1.299865e-03,1.268716e-03,1.238632e-03,1.209597e-03,1.181592e-03,1.154596e-03,1.128588e-03,1.103548e-03,1.079453e-03,1.056280e-03,1.034007e-03,1.012610e-03,9.920675e-04,9.723550e-04,9.534499e-04,9.353293e-04,9.179704e-04,9.013508e-04,8.854481e-04,8.702405e-04,8.557063e-04,8.418243e-04,8.285738e-04,8.159342e-04,8.038855e-04,7.924081e-04,7.814827e-04,7.710908e-04,7.612138e-04,7.518340e-04,7.429338e-04,7.344964e-04,7.265051e-04,7.189438e-04,7.117969e-04,7.050491e-04,6.986854e-04,6.926916e-04,6.870535e-04,6.817575e-04,6.767904e-04,6.721393e-04,6.677918e-04
0.000000e+00,9.194749e-08,3.202030e-06,3.382962e-06,3.435644e-05,1.845484e-04,1.962304e-04,7.567208e-04,2.050648e-03,2.169152e-03,4.958004e-03,9.114054e-03,9.555741e-03,1.622514e-02,2.408445e-02,2.506634e-02,3.605101e-02,4.739524e-02,4.905696e-02,6.389726e-02,7.795363e-02,8.034356e-02,9.814421e-02,1.139525e-01,1.170382e-01,1.367656e-01,1.533874e-01,1.570752e-01,1.777298e-01,1.943538e-01,1.985100e-01,2.192160e-01,2.351998e-01,2.396695e-01,2.597133e-01,2.745879e-01,2.792111e-01,2.980473e-01,3.115026e-01,3.161252e-01,3.333662e-01,3.452260e-01,3.497081e-01,3.651038e-01,3.752993e-01,3.795197e-01,3.929344e-01,4.014786e-01,4.053371e-01,4.167264e-01,4.236911e-01,4.271090e-01,4.364984e-01,4.419952e-01,4.449141e-01,4.523801e-01,4.565444e-01,4.589248e-01,4.645793e-01,4.675588e-01,4.693776e-01,4.733551e-01,4.753005e-01,4.765488e-01,4.789965e-01,4.800555e-01,4.807363e-01,4.818064e-01,4.821193e-01,4.822450e-01,4.820894e-01,4.817861e-01,4.813767e-01,4.801429e-01,4.793415e-01,4.784230e-01,4.762510e-01,4.750576e-01,4.736599e-01,4.706812e-01,4.691892e-01,4.673453e-01,4.636813e-01,4.619725e-01,4.597171e-01,4.554792e-01,4.536237e-01,4.509927e-01,4.462816e-01,4.443394e-01,4.413687e-01,4.362755e-01,4.342971e-01,4.310223e-01,4.256282e-01,4.236554e-01,4.201114e-01,4.144889e-01,4.125560e-01,4.087765e-01,4.029894e-01,4.011240e-01,3.971415e-01,3.912459e-01,3.894698e-01,3.853150e-01,3.793601e-01,3.776900e-01,3.733920e-01,3.674206e-01,3.658686e-01,3.614549e-01,3.555037e-01,3.540785e-01,3.495748e-01,3.436754e-01,3.423822e-01,3.378124e-01,3.319919e-01,3.308334e-01,3.262197e-01,3.205008e-01,3.194775e-01,3.148402e-01,3.092420e-01,3.083524e-01,3.037104e-01,2.982488e-01,2.974900e-01,2.928605e-01,2.875484e-01,2.869162e-01,2.823151e-01,2.771628e-01,2.766521e-01,2.720936e-01,2.671093e-01,2.667142e-01,2.622113e-01,2.574012e-01,2.571154e-01,2.526798e-01,2.480483e-01,2.478649e-01,2.435073e-01,2.390573e-01,2.389693e-01,2.346990e-01,2.304324e-01,2.222561e-01,2.144400e-01,2.069824e-01,1.998802e-01,1.931288e-01,1.867230e-01,1.806564e-01,1.749222e-01,1.695127e-01,1.644199e-01,1.596352e-01,1.551499e-01,1.509548e-01,1.470407e-01,1.433981e-01,1.400172e-01,1.368885e-01,1.340021e-01,1.313482e-01,1.289170e-01,1.266987e-01,1.246835e-01,1.228616e-01,1.212236e-01,1.197597e-01,1.184605e-01,1.173167e-01,1.163191e-01,1.154587e-01,1.147266e-01,1.141141e-01,1.136127e-01,1.132143e-01,1.129106e-01,1.126940e-01,1.125569e-01,1.124920e-01,1.124923e-01,1.125511e-01,1.126618e-01,1.128184e-01,1.130151e-01,1.132461e-01,1.135064e-01,1.137910e-01,1.140952e-01,1.144147e-01,1.147455e-01,1.150839e-01
0.000000e+00,7.909448e-09,1.078038e-07,1.124911e-07,6.658732e-07,2.194952e-06,2.286662e-06,5.282996e-06,8.910463e-06,9.151440e-06,1.312426e-05,1.656732e-05,1.685440e-05,2.027104e-05,2.307928e-05,2.337623e-05,2.618689e-05,2.843202e-05,2.872239e-05,3.100204e-05,3.277202e-05,3.304432e-05,3.486679e-05,3.623997e-05,3.648604e-05,3.791765e-05,3.896183e-05,3.917622e-05,4.027538e-05,4.104849e-05,4.122782e-05,4.204537e-05,4.259653e-05,4.273905e-05,4.331900e-05,4.368952e-05,4.379464e-05,4.417474e-05,4.439929e-05,4.446740e-05,4.468009e-05,4.478764e-05,4.481977e-05,4.489286e-05,4.490760e-05,4.490530e-05,4.486259e-05,4.480464e-05,4.476979e-05,4.463157e-05,4.451759e-05,4.445226e-05,4.423585e-05,4.407958e-05,4.398601e-05,4.370613e-05,4.351890e-05,4.339934e-05,4.306852e-05,4.285960e-05,4.271632e-05,4.234520e-05,4.212217e-05,4.195740e-05,4.155498e-05,4.132397e-05,4.113986e-05,4.071378e-05,4.047971e-05,4.027834e-05,3.983502e-05,3.960184e-05,3.938517e-05,3.893003e-05,3.870083e-05,3.847072e-05,3.800829e-05,3.778550e-05,3.754369e-05,3.707777e-05,3.686323e-05,3.661134e-05,3.614510e-05,3.594019e-05,3.567971e-05,3.521577e-05,3.502147e-05,3.475381e-05,3.429432e-05,3.411131e-05,3.383774e-05,3.338446e-05,3.321316e-05,3.293486e-05,3.248923e-05,3.232984e-05,3.204788e-05,3.161105e-05,3.146360e-05,3.117897e-05,3.075184e-05,3.061623e-05,3.032982e-05,2.991308e-05,2.978911e-05,2.950175e-05,2.909592e-05,2.898330e-05,2.869571e-05,2.830119e-05,2.819955e-05,2.791242e-05,2.752945e-05,2.743841e-05,2.715232e-05,2.678106e-05,2.670018e-05,2.641569e-05,2.605620e-05,2.598501e-05,2.570261e-05,2.535489e-05,2.529292e-05,2.501304e-05,2.467703e-05,2.462381e-05,2.434683e-05,2.402241e-05,2.397745e-05,2.370374e-05,2.339076e-05,2.335358e-05,2.308343e-05,2.278170e-05,2.275184e-05,2.248552e-05,2.219484e-05,2.217182e-05,2.190958e-05,2.162971e-05,2.161308e-05,2.135514e-05,2.108582e-05,2.107516e-05,2.082168e-05,2.056266e-05,2.055753e-05,2.030869e-05,2.005970e-05,1.958113e-05,1.912127e-05,1.867958e-05,1.825553e-05,1.784857e-05,1.745816e-05,1.708378e-05,1.672489e-05,1.638099e-05,1.605158e-05,1.573615e-05,1.543423e-05,1.514535e-05,1.486904e-05,1.460486e-05,1.435238e-05,1.411118e-05,1.388084e-05,1.366098e-05,1.345119e-05,1.325111e-05,1.306038e-05,1.287865e-05,1.270558e-05,1.254084e-05,1.238410e-05,1.223508e-05,1.209346e-05,1.195896e-05,1.183131e-05,1.171023e-05,1.159546e-05,1.148677e-05,1.138389e-05,1.128661e-05,1.119470e-05,1.110793e-05,1.102610e-05,1.094900e-05,1.087644e-05,1.080824e-05,1.074420e-05,1.068415e-05,1.062793e-05,1.057536e-05,1.052630e-05,1.048058e-05,1.043806e-05,1.039861e-05
0.000000e+00,1.402840e-07,4.555098e-06,4.803599e-06,4.464974e-05,2.277672e-04,2.418778e-04,9.212787e-04,2.531186e-03,2.681341e-03,6.316331e-03,1.199061e-02,1.260690e-02,2.213319e-02,3.374183e-02,3.521383e-02,5.193202e-02,6.957578e-02,7.218614e-02,9.573897e-02,1.183821e-01,1.222594e-01,1.513563e-01,1.774785e-01,1.826049e-01,2.155678e-01,2.435717e-01,2.498108e-01,2.849145e-01,3.133499e-01,3.204827e-01,3.561486e-01,3.838195e-01,3.915779e-01,4.264714e-01,4.524684e-01,4.605651e-01,4.936304e-01,5.173208e-01,5.254725e-01,5.559294e-01,5.769255e-01,5.848693e-01,6.121888e-01,6.303058e-01,6.378103e-01,6.616795e-01,6.768920e-01,6.837633e-01,7.040472e-01,7.164487e-01,7.225328e-01,7.392361e-01,7.490035e-01,7.541853e-01,7.674187e-01,7.747821e-01,7.789833e-01,7.889332e-01,7.941526e-01,7.973279e-01,8.042314e-01,8.075785e-01,8.097109e-01,8.138356e-01,8.155801e-01,8.166764e-01,8.183046e-01,8.187047e-01,8.187914e-01,8.182077e-01,8.175042e-01,8.166229e-01,8.141055e-01,8.125178e-01,8.107218e-01,8.065361e-01,8.042605e-01,8.016108e-01,7.960058e-01,7.932151e-01,7.897784e-01,7.829837e-01,7.798279e-01,7.756741e-01,7.678993e-01,7.645067e-01,7.597066e-01,7.511406e-01,7.476192e-01,7.422435e-01,7.330552e-01,7.294950e-01,7.236129e-01,7.139517e-01,7.104265e-01,7.041046e-01,6.941022e-01,6.906712e-01,6.839733e-01,6.737446e-01,6.704545e-01,6.634410e-01,6.530855e-01,6.499720e-01,6.426996e-01,6.323031e-01,6.293927e-01,6.219142e-01,6.115499e-01,6.088611e-01,6.012255e-01,5.909555e-01,5.885002e-01,5.807528e-01,5.706292e-01,5.684138e-01,5.605958e-01,5.506624e-01,5.486885e-01,5.408379e-01,5.311303e-01,5.293959e-01,5.215470e-01,5.120944e-01,5.105946e-01,5.027785e-01,4.936042e-01,4.923314e-01,4.845762e-01,4.756985e-01,4.746434e-01,4.669744e-01,4.584070e-01,4.575590e-01,4.499987e-01,4.417516e-01,4.410988e-01,4.336673e-01,4.257473e-01,4.252774e-01,4.179925e-01,4.104035e-01,4.101034e-01,4.029808e-01,3.957245e-01,3.955810e-01,3.886344e-01,3.817103e-01,3.684879e-01,3.559076e-01,3.439608e-01,3.326368e-01,3.219234e-01,3.118067e-01,3.022719e-01,2.933034e-01,2.848845e-01,2.769983e-01,2.696271e-01,2.627532e-01,2.563584e-01,2.504246e-01,2.449335e-01,2.398666e-01,2.352058e-01,2.309328e-01,2.270295e-01,2.234782e-01,2.202609e-01,2.173604e-01,2.147594e-01,2.124410e-01,2.103885e-01,2.085858e-01,2.070170e-01,2.056665e-01,2.045193e-01,2.035608e-01,2.027767e-01,2.021533e-01,2.016773e-01,2.013360e-01,2.011171e-01,2.010090e-01,2.010003e-01,2.010804e-01,2.012391e-01,2.014669e-01,2.017546e-01,2.020937e-01,2.024763e-01,2.028947e-01,2.033420e-01,2.038118e-01,2.042981e-01,2.047954e-01,2.052987e-01
0.000000e+00,1.120507e-07,4.116303e-06,4.353790e-06,4.633664e-05,2.558870e-04,2.723346e-04,1.071278e-03,2.946728e-03,3.119628e-03,7.217671e-03,1.338983e-02,1.404925e-02,2.407383e-02,3.602889e-02,3.753219e-02,5.448508e-02,7.223434e-02,7.485366e-02,9.845478e-02,1.211419e-01,1.250304e-01,1.542717e-01,1.806460e-01,1.858383e-01,2.193729e-01,2.480862e-01,2.545140e-01,2.909043e-01,3.206832e-01,3.281983e-01,3.660676e-01,3.958063e-01,4.042045e-01,4.423246e-01,4.711238e-01,4.801681e-01,5.175008e-01,5.446743e-01,5.541137e-01,5.898228e-01,6.148831e-01,6.244684e-01,6.579137e-01,6.805490e-01,6.900439e-01,7.207644e-01,7.408097e-01,7.499994e-01,7.776908e-01,7.951001e-01,8.037959e-01,8.282865e-01,8.431058e-01,8.511475e-01,8.723750e-01,8.847181e-01,8.919753e-01,9.099637e-01,9.199923e-01,9.263631e-01,9.412034e-01,9.491101e-01,9.545199e-01,9.663527e-01,9.723473e-01,9.767459e-01,9.857469e-01,9.900459e-01,9.934054e-01,9.997731e-01,1.002592e+00,1.004903e+00,1.008849e+00,1.010396e+00,1.011666e+00,1.013409e+00,1.013879e+00,1.014130e+00,1.013886e+00,1.013463e+00,1.012727e+00,1.010708e+00,1.009559e+00,1.007877e+00,1.004286e+00,1.002563e+00,9.999832e-01,9.950150e-01,9.928517e-01,9.894270e-01,9.832634e-01,9.807791e-01,9.765663e-01,9.693766e-01,9.666753e-01,9.617333e-01,9.536740e-01,9.508455e-01,9.452346e-01,9.364493e-01,9.335703e-01,9.273509e-01,9.179706e-01,9.151061e-01,9.083382e-01,8.984818e-01,8.956856e-01,8.884284e-01,8.782033e-01,8.755196e-01,8.678306e-01,8.573333e-01,8.547978e-01,8.467328e-01,8.360496e-01,8.336901e-01,8.253028e-01,8.145106e-01,8.123482e-01,8.036901e-01,7.928572e-01,7.909071e-01,7.820270e-01,7.712136e-01,7.694859e-01,7.604302e-01,7.496892e-01,7.481895e-01,7.390022e-01,7.283798e-01,7.271100e-01,7.178322e-01,7.073686e-01,7.063273e-01,6.969977e-01,6.867275e-01,6.859105e-01,6.765654e-01,6.665181e-01,6.659191e-01,6.565920e-01,6.467926e-01,6.464034e-01,6.371254e-01,6.275950e-01,6.274058e-01,6.182058e-01,6.089616e-01,5.910991e-01,5.738410e-01,5.572049e-01,5.412032e-01,5.258445e-01,5.111334e-01,4.970711e-01,4.836559e-01,4.708834e-01,4.587468e-01,4.472374e-01,4.363446e-01,4.260560e-01,4.163582e-01,4.072365e-01,3.986750e-01,3.906571e-01,3.831656e-01,3.761826e-01,3.696897e-01,3.636682e-01,3.580993e-01,3.529638e-01,3.482426e-01,3.439166e-01,3.399667e-01,3.363739e-01,3.331195e-01,3.301851e-01,3.275525e-01,3.252038e-01,3.231216e-01,3.212888e-01,3.196888e-01,3.183055e-01,3.171233e-01,3.161271e-01,3.153022e-01,3.146348e-01,3.141113e-01,3.137189e-01,3.134452e-01,3.132785e-01,3.132077e-01,3.132222e-01,3.133121e-01,3.134679e-01,3.136809e-01,3.139426e-01
0.000000e+00,1.193354e-07,3.991628e-06,4.213272e-06,4.140705e-05,2.234569e-04,2.378148e-04,9.485970e-04,2.674605e-03,2.836132e-03,6.724917e-03,1.268564e-02,1.332597e-02,2.309393e-02,3.476290e-02,3.622917e-02,5.272662e-02,6.990248e-02,7.242772e-02,9.506524e-02,1.166246e-01,1.202998e-01,1.477488e-01,1.722225e-01,1.770090e-01,2.076735e-01,2.335870e-01,2.393450e-01,2.716449e-01,2.976989e-01,3.042199e-01,3.367466e-01,3.618950e-01,3.689332e-01,4.005214e-01,4.239883e-01,4.312858e-01,4.610337e-01,4.822964e-01,4.896031e-01,5.168612e-01,5.356146e-01,5.427022e-01,5.670453e-01,5.831622e-01,5.898323e-01,6.110249e-01,6.245144e-01,6.306032e-01,6.485628e-01,6.595335e-01,6.649131e-01,6.796753e-01,6.883037e-01,6.928806e-01,7.045684e-01,7.110729e-01,7.147851e-01,7.235825e-01,7.282029e-01,7.310168e-01,7.371472e-01,7.401295e-01,7.420352e-01,7.457440e-01,7.473295e-01,7.483372e-01,7.498785e-01,7.502958e-01,7.504314e-01,7.500583e-01,7.495187e-01,7.488205e-01,7.467778e-01,7.454728e-01,7.439881e-01,7.405075e-01,7.386072e-01,7.363897e-01,7.316866e-01,7.293403e-01,7.264476e-01,7.207199e-01,7.180565e-01,7.145484e-01,7.079756e-01,7.051051e-01,7.010418e-01,6.937851e-01,6.908001e-01,6.862413e-01,6.784441e-01,6.754215e-01,6.704254e-01,6.622146e-01,6.592172e-01,6.538398e-01,6.453267e-01,6.424052e-01,6.366997e-01,6.279813e-01,6.251756e-01,6.191926e-01,6.103528e-01,6.076937e-01,6.014802e-01,5.925915e-01,5.901018e-01,5.837020e-01,5.748260e-01,5.725221e-01,5.659766e-01,5.571659e-01,5.550584e-01,5.484050e-01,5.397039e-01,5.377986e-01,5.310718e-01,5.225172e-01,5.208163e-01,5.140478e-01,5.056705e-01,5.041728e-01,4.973915e-01,4.892165e-01,4.879184e-01,4.811504e-01,4.731980e-01,4.720939e-01,4.653630e-01,4.576491e-01,4.567318e-01,4.500594e-01,4.425964e-01,4.418572e-01,4.352626e-01,4.280598e-01,4.274893e-01,4.209897e-01,4.140536e-01,4.136417e-01,4.072525e-01,4.005873e-01,4.003235e-01,3.940584e-01,3.876662e-01,3.875397e-01,3.814107e-01,3.752920e-01,3.635792e-01,3.523974e-01,3.417410e-01,3.316023e-01,3.219721e-01,3.128403e-01,3.041952e-01,2.960248e-01,2.883160e-01,2.810553e-01,2.742287e-01,2.678218e-01,2.618201e-01,2.562087e-01,2.509726e-01,2.460970e-01,2.415669e-01,2.373672e-01,2.334832e-01,2.299001e-01,2.266033e-01,2.235786e-01,2.208117e-01,2.182886e-01,2.159959e-01,2.139202e-01,2.120483e-01,2.103677e-01,2.088661e-01,2.075314e-01,2.063522e-01,2.053171e-01,2.044156e-01,2.036371e-01,2.029717e-01,2.024100e-01,2.019428e-01,2.015616e-01,2.012580e-01,2.010242e-01,2.008530e-01,2.007372e-01,2.006705e-01,2.006467e-01,2.006600e-01,2.007052e-01,2.007772e-01,2.008716e-01,2.009839e-01
0.000000e+00,1.012570e-08,3.097177e-07,3.262598e-07,2.876638e-06,1.386853e-05,1.468956e-05,5.204137e-05,1.316658e-04,1.386774e-04,2.945945e-04,5.036757e-04,5.246236e-04,8.177166e-04,1.118922e-03,1.153832e-03,1.510846e-03,1.826380e-03,1.868822e-03,2.211931e-03,2.486398e-03,2.528893e-03,2.812608e-03,3.022500e-03,3.059451e-03,3.268473e-03,3.412286e-03,3.440646e-03,3.578230e-03,3.665414e-03,3.684256e-03,3.762139e-03,3.805616e-03,3.815397e-03,3.847454e-03,3.859622e-03,3.861518e-03,3.860516e-03,3.851619e-03,3.847052e-03,3.823408e-03,3.801194e-03,3.791547e-03,3.753144e-03,3.723133e-03,3.709607e-03,3.662111e-03,3.628054e-03,3.611625e-03,3.558946e-03,3.523297e-03,3.504722e-03,3.449476e-03,3.413780e-03,3.393629e-03,3.337518e-03,3.302717e-03,3.281411e-03,3.225518e-03,3.192155e-03,3.170003e-03,3.114996e-03,3.083365e-03,3.060597e-03,3.006883e-03,2.977124e-03,2.953912e-03,2.901730e-03,2.873891e-03,2.850369e-03,2.799853e-03,2.773925e-03,2.750200e-03,2.701421e-03,2.677362e-03,2.653524e-03,2.606512e-03,2.584261e-03,2.560386e-03,2.515146e-03,2.494632e-03,2.470789e-03,2.427309e-03,2.408455e-03,2.384702e-03,2.342960e-03,2.325686e-03,2.302078e-03,2.262045e-03,2.246268e-03,2.222854e-03,2.184496e-03,2.170136e-03,2.146961e-03,2.110238e-03,2.097215e-03,2.074318e-03,2.039189e-03,2.027424e-03,2.004841e-03,1.971264e-03,1.960680e-03,1.938444e-03,1.906372e-03,1.896895e-03,1.875036e-03,1.844423e-03,1.835980e-03,1.814523e-03,1.785323e-03,1.777844e-03,1.756812e-03,1.728978e-03,1.722397e-03,1.701809e-03,1.675293e-03,1.669546e-03,1.649419e-03,1.624176e-03,1.619202e-03,1.599550e-03,1.575532e-03,1.571273e-03,1.552110e-03,1.529271e-03,1.525671e-03,1.507006e-03,1.485303e-03,1.482308e-03,1.464150e-03,1.443538e-03,1.441100e-03,1.423454e-03,1.403890e-03,1.401962e-03,1.384834e-03,1.366275e-03,1.364812e-03,1.348205e-03,1.330612e-03,1.329571e-03,1.313487e-03,1.296820e-03,1.296162e-03,1.280601e-03,1.264821e-03,1.264510e-03,1.249471e-03,1.234541e-03,1.206186e-03,1.179376e-03,1.154045e-03,1.130129e-03,1.107567e-03,1.086300e-03,1.066270e-03,1.047421e-03,1.029702e-03,1.013060e-03,9.974459e-04,9.828124e-04,9.691135e-04,9.563051e-04,9.443449e-04,9.331920e-04,9.228072e-04,9.131527e-04,9.041922e-04,8.958908e-04,8.882149e-04,8.811323e-04,8.746121e-04,8.686246e-04,8.631411e-04,8.581342e-04,8.535777e-04,8.494463e-04,8.457158e-04,8.423631e-04,8.393658e-04,8.367026e-04,8.343533e-04,8.322983e-04,8.305188e-04,8.289971e-04,8.277161e-04,8.266595e-04,8.258118e-04,8.251581e-04,8.246843e-04,8.243770e-04,8.242234e-04,8.242112e-04,8.243289e-04,8.245655e-04,8.249106e-04,8.253544e-04,8.258874e-04
0.000000e+00,5.036886e-10,5.727785e-09,5.964197e-09,3.382198e-08,1.131071e-07,1.179055e-07,2.714910e-07,4.412965e-07,4.518934e-07,6.151433e-07,7.394460e-07,7.490812e-07,8.549415e-07,9.295104e-07,9.367246e-07,9.984977e-07,1.039147e-06,1.043821e-06,1.075686e-06,1.094231e-06,1.096576e-06,1.108545e-06,1.112957e-06,1.113292e-06,1.112219e-06,1.107816e-06,1.106485e-06,1.097048e-06,1.087369e-06,1.084699e-06,1.070086e-06,1.057458e-06,1.053736e-06,1.036090e-06,1.022033e-06,1.017504e-06,9.982680e-07,9.837560e-07,9.786186e-07,9.587452e-07,9.443852e-07,9.388015e-07,9.189107e-07,9.050713e-07,8.991696e-07,8.796549e-07,8.665454e-07,8.604264e-07,8.415299e-07,8.292573e-07,8.230001e-07,8.048624e-07,7.934687e-07,7.871350e-07,7.698302e-07,7.593167e-07,7.529551e-07,7.365132e-07,7.268561e-07,7.205046e-07,7.049272e-07,6.960883e-07,6.897769e-07,6.750479e-07,6.669813e-07,6.607336e-07,6.468260e-07,6.394822e-07,6.333169e-07,6.201972e-07,6.135259e-07,6.074579e-07,5.950895e-07,5.890415e-07,5.830825e-07,5.714274e-07,5.659551e-07,5.601145e-07,5.491344e-07,5.441927e-07,5.384777e-07,5.281352e-07,5.236817e-07,5.180979e-07,5.083568e-07,5.043518e-07,4.989034e-07,4.897291e-07,4.861357e-07,4.808257e-07,4.721851e-07,4.689690e-07,4.637995e-07,4.556613e-07,4.527907e-07,4.477631e-07,4.400977e-07,4.375432e-07,4.326580e-07,4.254374e-07,4.231720e-07,4.184292e-07,4.116269e-07,4.096255e-07,4.050245e-07,3.986159e-07,3.968555e-07,3.923953e-07,3.863570e-07,3.848162e-07,3.804954e-07,3.748054e-07,3.734647e-07,3.692817e-07,3.639193e-07,3.627607e-07,3.587134e-07,3.536592e-07,3.526662e-07,3.487522e-07,3.439881e-07,3.431453e-07,3.393624e-07,3.348711e-07,3.341646e-07,3.305100e-07,3.262754e-07,3.256924e-07,3.221634e-07,3.181703e-07,3.176990e-07,3.142926e-07,3.105268e-07,3.101563e-07,3.068697e-07,3.033178e-07,3.030381e-07,2.998682e-07,2.965176e-07,2.963197e-07,2.932633e-07,2.901023e-07,2.899777e-07,2.870318e-07,2.840491e-07,2.839904e-07,2.811517e-07,2.783370e-07,2.729982e-07,2.679558e-07,2.631927e-07,2.586927e-07,2.544406e-07,2.504221e-07,2.466238e-07,2.430331e-07,2.396380e-07,2.364274e-07,2.333906e-07,2.305179e-07,2.277997e-07,2.252274e-07,2.227926e-07,2.204875e-07,2.183049e-07,2.162378e-07,2.142797e-07,2.124245e-07,2.106663e-07,2.089999e-07,2.074200e-07,2.059218e-07,2.045008e-07,2.031527e-07,2.018735e-07,2.006594e-07,1.995068e-07,1.984123e-07,1.973727e-07,1.963851e-07,1.954467e-07,1.945547e-07,1.937066e-07,1.929002e-07,1.921331e-07,1.914032e-07,1.907086e-07,1.900474e-07,1.894178e-07,1.888182e-07,1.882469e-07,1.877026e-07,1.871837e-07,1.866890e-07,1.862172e-07,1.857671e-07,1.853376e-07
0.000000e+00,2.309874e-08,5.574555e-07,5.855139e-07,4.605345e-06,1.972014e-05,2.076911e-05,6.273718e-05,1.336721e-04,1.391928e-04,2.439301e-04,3.519578e-04,3.615118e-04,4.801424e-04,5.833629e-04,5.945503e-04,7.030426e-04,7.933232e-04,8.052578e-04,9.012516e-04,9.789649e-04,9.912020e-04,1.075324e-03,1.141647e-03,1.153843e-03,1.226989e-03,1.283119e-03,1.294990e-03,1.358071e-03,1.405143e-03,1.416454e-03,1.470355e-03,1.509422e-03,1.519985e-03,1.565545e-03,1.597572e-03,1.607234e-03,1.645241e-03,1.671103e-03,1.679748e-03,1.710931e-03,1.731420e-03,1.738959e-03,1.763994e-03,1.779821e-03,1.786191e-03,1.805698e-03,1.817501e-03,1.822659e-03,1.837211e-03,1.845558e-03,1.849483e-03,1.859601e-03,1.865002e-03,1.867685e-03,1.873849e-03,1.876755e-03,1.878203e-03,1.880851e-03,1.881662e-03,1.881893e-03,1.881424e-03,1.880496e-03,1.879536e-03,1.876316e-03,1.873961e-03,1.871846e-03,1.866206e-03,1.862700e-03,1.859471e-03,1.851713e-03,1.847298e-03,1.843001e-03,1.833400e-03,1.828286e-03,1.822973e-03,1.811778e-03,1.806149e-03,1.799872e-03,1.787310e-03,1.781324e-03,1.774141e-03,1.760414e-03,1.754210e-03,1.746177e-03,1.731471e-03,1.725166e-03,1.716340e-03,1.700823e-03,1.694517e-03,1.684957e-03,1.668778e-03,1.662555e-03,1.652320e-03,1.635614e-03,1.629546e-03,1.618692e-03,1.601581e-03,1.595725e-03,1.584309e-03,1.566902e-03,1.561307e-03,1.549383e-03,1.531776e-03,1.526480e-03,1.514103e-03,1.496383e-03,1.491416e-03,1.478637e-03,1.460881e-03,1.456265e-03,1.443133e-03,1.425410e-03,1.421162e-03,1.407726e-03,1.390094e-03,1.386224e-03,1.372530e-03,1.355044e-03,1.351557e-03,1.337648e-03,1.320353e-03,1.317252e-03,1.303170e-03,1.286107e-03,1.283389e-03,1.269173e-03,1.252377e-03,1.250036e-03,1.235725e-03,1.219224e-03,1.217255e-03,1.202882e-03,1.186703e-03,1.185094e-03,1.170693e-03,1.154857e-03,1.153598e-03,1.139199e-03,1.123724e-03,1.122801e-03,1.108434e-03,1.093333e-03,1.092733e-03,1.078425e-03,1.063710e-03,1.063418e-03,1.049192e-03,1.034873e-03,1.007112e-03,9.801435e-04,9.539740e-04,9.286052e-04,9.040363e-04,8.802638e-04,8.572820e-04,8.350830e-04,8.136574e-04,7.929939e-04,7.730802e-04,7.539026e-04,7.354467e-04,7.176970e-04,7.006377e-04,6.842522e-04,6.685235e-04,6.534344e-04,6.389675e-04,6.251051e-04,6.118295e-04,5.991231e-04,5.869683e-04,5.753475e-04,5.642435e-04,5.536392e-04,5.435175e-04,5.338618e-04,5.246558e-04,5.158835e-04,5.075290e-04,4.995769e-04,4.920124e-04,4.848205e-04,4.779871e-04,4.714981e-04,4.653401e-04,4.594998e-04,4.539644e-04,4.487215e-04,4.437590e-04,4.390651e-04,4.346288e-04,4.304388e-04,4.264847e-04,4.227562e-04,4.192435e-04,4.159369e-04,4.128273e-04
0.000000e+00,1.706683e-08,5.390983e-07,5.685223e-07,5.328700e-06,2.692884e-05,2.856581e-05,1.037530e-04,2.630261e-04,2.768925e-04,5.787535e-04,9.691750e-04,1.007668e-03,1.539172e-03,2.078988e-03,2.141526e-03,2.785031e-03,3.366092e-03,3.445616e-03,4.105341e-03,4.662284e-03,4.751597e-03,5.375959e-03,5.879539e-03,5.973104e-03,6.539912e-03,6.980908e-03,7.074796e-03,7.577210e-03,7.955841e-03,8.047296e-03,8.485650e-03,8.806101e-03,8.893157e-03,9.270876e-03,9.538731e-03,9.619966e-03,9.941636e-03,1.016274e-02,1.023711e-02,1.050762e-02,1.068760e-02,1.075436e-02,1.097849e-02,1.112255e-02,1.118116e-02,1.136347e-02,1.147634e-02,1.152646e-02,1.167116e-02,1.175712e-02,1.179854e-02,1.190953e-02,1.197238e-02,1.200503e-02,1.208589e-02,1.212903e-02,1.215293e-02,1.220693e-02,1.223338e-02,1.224864e-02,1.227877e-02,1.229120e-02,1.229799e-02,1.230697e-02,1.230775e-02,1.230632e-02,1.229662e-02,1.228783e-02,1.227845e-02,1.225233e-02,1.223579e-02,1.221879e-02,1.217830e-02,1.215560e-02,1.213133e-02,1.207833e-02,1.205087e-02,1.201971e-02,1.195588e-02,1.192487e-02,1.188721e-02,1.181407e-02,1.178056e-02,1.173680e-02,1.165572e-02,1.162062e-02,1.157116e-02,1.148341e-02,1.144747e-02,1.139274e-02,1.129942e-02,1.126332e-02,1.120371e-02,1.110584e-02,1.107013e-02,1.100605e-02,1.090454e-02,1.086968e-02,1.080153e-02,1.069720e-02,1.066356e-02,1.059173e-02,1.048531e-02,1.045322e-02,1.037808e-02,1.027022e-02,1.023992e-02,1.016185e-02,1.005313e-02,1.002482e-02,9.944171e-03,9.835106e-03,9.808927e-03,9.726046e-03,9.617098e-03,9.593155e-03,9.508366e-03,9.399942e-03,9.378302e-03,9.291917e-03,9.184374e-03,9.165073e-03,9.077390e-03,8.971040e-03,8.954087e-03,8.865391e-03,8.760505e-03,8.745886e-03,8.656443e-03,8.553259e-03,8.540939e-03,8.451004e-03,8.349724e-03,8.339652e-03,8.249463e-03,8.150261e-03,8.142372e-03,8.052154e-03,7.955175e-03,7.949392e-03,7.859354e-03,7.764721e-03,7.760960e-03,7.671298e-03,7.579110e-03,7.577278e-03,7.488175e-03,7.398511e-03,7.224787e-03,7.056205e-03,6.892832e-03,6.734715e-03,6.581874e-03,6.434311e-03,6.292010e-03,6.154938e-03,6.023050e-03,5.896288e-03,5.774581e-03,5.657853e-03,5.546017e-03,5.438979e-03,5.336641e-03,5.238899e-03,5.145644e-03,5.056765e-03,4.972148e-03,4.891677e-03,4.815234e-03,4.742700e-03,4.673957e-03,4.608885e-03,4.547365e-03,4.489278e-03,4.434507e-03,4.382935e-03,4.334445e-03,4.288925e-03,4.246262e-03,4.206344e-03,4.169063e-03,4.134313e-03,4.101987e-03,4.071984e-03,4.044204e-03,4.018547e-03,3.994919e-03,3.973225e-03,3.953375e-03,3.935280e-03,3.918854e-03,3.904013e-03,3.890675e-03,3.878761e-03,3.868196e-03,3.858904e-03,3.850814e-03
0.000000e+00,4.153517e-09,1.519245e-07,1.608439e-07,1.786146e-06,9.698461e-06,1.029858e-05,3.683291e-05,8.726785e-05,9.137135e-05,1.727367e-04,2.618723e-04,2.699118e-04,3.699820e-04,4.542514e-04,4.630484e-04,5.433748e-04,6.016802e-04,6.087181e-04,6.591876e-04,6.917697e-04,6.962171e-04,7.218201e-04,7.360524e-04,7.381192e-04,7.470876e-04,7.501766e-04,7.504297e-04,7.495488e-04,7.465619e-04,7.455604e-04,7.393293e-04,7.333410e-04,7.315124e-04,7.226004e-04,7.153211e-04,7.129546e-04,7.028385e-04,6.951635e-04,6.924417e-04,6.818999e-04,6.742753e-04,6.713093e-04,6.607375e-04,6.533741e-04,6.502314e-04,6.398239e-04,6.328147e-04,6.295372e-04,6.193863e-04,6.127661e-04,6.093811e-04,5.995277e-04,5.933031e-04,5.898300e-04,5.802904e-04,5.744555e-04,5.709095e-04,5.616876e-04,5.562305e-04,5.526240e-04,5.437176e-04,5.386235e-04,5.349673e-04,5.263715e-04,5.216248e-04,5.179286e-04,5.096366e-04,5.052211e-04,5.014938e-04,4.934982e-04,4.893979e-04,4.856477e-04,4.779404e-04,4.741398e-04,4.703742e-04,4.629469e-04,4.594306e-04,4.556566e-04,4.485011e-04,4.452543e-04,4.414784e-04,4.345864e-04,4.315948e-04,4.278231e-04,4.211863e-04,4.184361e-04,4.146740e-04,4.082843e-04,4.057623e-04,4.020152e-04,3.958645e-04,3.935580e-04,3.898305e-04,3.839110e-04,3.818077e-04,3.781043e-04,3.724084e-04,3.704967e-04,3.668214e-04,3.613414e-04,3.596102e-04,3.559667e-04,3.506954e-04,3.491339e-04,3.455257e-04,3.404559e-04,3.390540e-04,3.354842e-04,3.306090e-04,3.293570e-04,3.258284e-04,3.211409e-04,3.200296e-04,3.165448e-04,3.120385e-04,3.110590e-04,3.076204e-04,3.032890e-04,3.024329e-04,2.990426e-04,2.948798e-04,2.941393e-04,2.907991e-04,2.867990e-04,2.861663e-04,2.828780e-04,2.790348e-04,2.785028e-04,2.752678e-04,2.715759e-04,2.711378e-04,2.679575e-04,2.644113e-04,2.640606e-04,2.609361e-04,2.575305e-04,2.572610e-04,2.541933e-04,2.509232e-04,2.507291e-04,2.477190e-04,2.445795e-04,2.444552e-04,2.415035e-04,2.384898e-04,2.384301e-04,2.355373e-04,2.326448e-04,2.270906e-04,2.217591e-04,2.166423e-04,2.117322e-04,2.070214e-04,2.025026e-04,1.981686e-04,1.940128e-04,1.900284e-04,1.862093e-04,1.825492e-04,1.790423e-04,1.756828e-04,1.724653e-04,1.693845e-04,1.664352e-04,1.636125e-04,1.609116e-04,1.583280e-04,1.558572e-04,1.534949e-04,1.512369e-04,1.490794e-04,1.470185e-04,1.450505e-04,1.431717e-04,1.413788e-04,1.396685e-04,1.380375e-04,1.364827e-04,1.350013e-04,1.335902e-04,1.322468e-04,1.309683e-04,1.297523e-04,1.285961e-04,1.274975e-04,1.264541e-04,1.254638e-04,1.245242e-04,1.236335e-04,1.227896e-04,1.219906e-04,1.212347e-04,1.205200e-04,1.198449e-04,1.192077e-04,1.186069e-04,1.180408e-04
0.000000e+00,3.816260e-08,6.810073e-07,7.132271e-07,4.692698e-06,1.515835e-05,1.574302e-05,3.246946e-05,4.905886e-05,5.009434e-05,6.669201e-05,8.077526e-05,8.194569e-05,9.586337e-05,1.073003e-04,1.085099e-04,1.199608e-04,1.291091e-04,1.302922e-04,1.395773e-04,1.467806e-04,1.478881e-04,1.552943e-04,1.608653e-04,1.618625e-04,1.676558e-04,1.718697e-04,1.727334e-04,1.771511e-04,1.802452e-04,1.809608e-04,1.842111e-04,1.863871e-04,1.869471e-04,1.892107e-04,1.906393e-04,1.910410e-04,1.924741e-04,1.932988e-04,1.935436e-04,1.942806e-04,1.946216e-04,1.947139e-04,1.948701e-04,1.948279e-04,1.947740e-04,1.944483e-04,1.941065e-04,1.939142e-04,1.931912e-04,1.926194e-04,1.922974e-04,1.912494e-04,1.905049e-04,1.900626e-04,1.887512e-04,1.878814e-04,1.873284e-04,1.858061e-04,1.848497e-04,1.841956e-04,1.825072e-04,1.814959e-04,1.807501e-04,1.789333e-04,1.778927e-04,1.770646e-04,1.751515e-04,1.741023e-04,1.732007e-04,1.712183e-04,1.701770e-04,1.692102e-04,1.671815e-04,1.661610e-04,1.651370e-04,1.630811e-04,1.620915e-04,1.610179e-04,1.589508e-04,1.579997e-04,1.568834e-04,1.548186e-04,1.539116e-04,1.527592e-04,1.507077e-04,1.498489e-04,1.486663e-04,1.466373e-04,1.458295e-04,1.446223e-04,1.426231e-04,1.418679e-04,1.406412e-04,1.386780e-04,1.379760e-04,1.367346e-04,1.348121e-04,1.341634e-04,1.329115e-04,1.310336e-04,1.304376e-04,1.291791e-04,1.273488e-04,1.268044e-04,1.255430e-04,1.237623e-04,1.232683e-04,1.220071e-04,1.202778e-04,1.198324e-04,1.185745e-04,1.168974e-04,1.164989e-04,1.152468e-04,1.136228e-04,1.132690e-04,1.120253e-04,1.104544e-04,1.101434e-04,1.089102e-04,1.073924e-04,1.071220e-04,1.059012e-04,1.044363e-04,1.042043e-04,1.029976e-04,1.015849e-04,1.013892e-04,1.001982e-04,9.883717e-05,9.867556e-05,9.750162e-05,9.619132e-05,9.606167e-05,9.490604e-05,9.364553e-05,9.354575e-05,9.240952e-05,9.119775e-05,9.112581e-05,9.000993e-05,8.884579e-05,8.879971e-05,8.770503e-05,8.658735e-05,8.656523e-05,8.549245e-05,8.442004e-05,8.236178e-05,8.038806e-05,7.849644e-05,7.668449e-05,7.494981e-05,7.328999e-05,7.170266e-05,7.018548e-05,6.873615e-05,6.735242e-05,6.603207e-05,6.477293e-05,6.357290e-05,6.242990e-05,6.134192e-05,6.030701e-05,5.932326e-05,5.838880e-05,5.750185e-05,5.666064e-05,5.586347e-05,5.510869e-05,5.439471e-05,5.371995e-05,5.308292e-05,5.248214e-05,5.191621e-05,5.138374e-05,5.088341e-05,5.041391e-05,4.997401e-05,4.956247e-05,4.917814e-05,4.881986e-05,4.848655e-05,4.817712e-05,4.789054e-05,4.762582e-05,4.738198e-05,4.715808e-05,4.695322e-05,4.676652e-05,4.659711e-05,4.644419e-05,4.630696e-05,4.618464e-05,4.607648e-05,4.598178e-05,4.589984e-05
0.000000e+00,6.246335e-09,1.292140e-07,1.356329e-07,9.489883e-07,3.099919e-06,3.219199e-06,6.558679e-06,9.720389e-06,9.912775e-06,1.291495e-05,1.533749e-05,1.553347e-05,1.779861e-05,1.956660e-05,1.974845e-05,2.141904e-05,2.268402e-05,2.284283e-05,2.404869e-05,2.493107e-05,2.506227e-05,2.590632e-05,2.649912e-05,2.660100e-05,2.716432e-05,2.753949e-05,2.761226e-05,2.795896e-05,2.817190e-05,2.821695e-05,2.839730e-05,2.849042e-05,2.850980e-05,2.856309e-05,2.856870e-05,2.856477e-05,2.852156e-05,2.846419e-05,2.843938e-05,2.832343e-05,2.822164e-05,2.817831e-05,2.800803e-05,2.787580e-05,2.781617e-05,2.760584e-05,2.745368e-05,2.737978e-05,2.714042e-05,2.697620e-05,2.688988e-05,2.663003e-05,2.645959e-05,2.636249e-05,2.608872e-05,2.591641e-05,2.580998e-05,2.552737e-05,2.535635e-05,2.524186e-05,2.495431e-05,2.478689e-05,2.466546e-05,2.437596e-05,2.421378e-05,2.408639e-05,2.379722e-05,2.364140e-05,2.350891e-05,2.322182e-05,2.307313e-05,2.293628e-05,2.265258e-05,2.251149e-05,2.237095e-05,2.209161e-05,2.195839e-05,2.181473e-05,2.154048e-05,2.141524e-05,2.126897e-05,2.100033e-05,2.088306e-05,2.073465e-05,2.047199e-05,2.036259e-05,2.021242e-05,1.995599e-05,1.985431e-05,1.970274e-05,1.945270e-05,1.935853e-05,1.920589e-05,1.896231e-05,1.887542e-05,1.872199e-05,1.848492e-05,1.840506e-05,1.825110e-05,1.802051e-05,1.794741e-05,1.779315e-05,1.756900e-05,1.750238e-05,1.734805e-05,1.713027e-05,1.706985e-05,1.691563e-05,1.670413e-05,1.664964e-05,1.649572e-05,1.629038e-05,1.624155e-05,1.608808e-05,1.588880e-05,1.584536e-05,1.569250e-05,1.549914e-05,1.546082e-05,1.530870e-05,1.512115e-05,1.508769e-05,1.493645e-05,1.475456e-05,1.472572e-05,1.457546e-05,1.439911e-05,1.437464e-05,1.422548e-05,1.405453e-05,1.403419e-05,1.388622e-05,1.372054e-05,1.370411e-05,1.355743e-05,1.339688e-05,1.338414e-05,1.323883e-05,1.308327e-05,1.307402e-05,1.293016e-05,1.277946e-05,1.277349e-05,1.263115e-05,1.248519e-05,1.248229e-05,1.234154e-05,1.220019e-05,1.192692e-05,1.166226e-05,1.140597e-05,1.115782e-05,1.091757e-05,1.068501e-05,1.045993e-05,1.024211e-05,1.003135e-05,9.827443e-06,9.630201e-06,9.439432e-06,9.254948e-06,9.076570e-06,8.904121e-06,8.737431e-06,8.576331e-06,8.420660e-06,8.270260e-06,8.124976e-06,7.984659e-06,7.849163e-06,7.718347e-06,7.592072e-06,7.470205e-06,7.352614e-06,7.239174e-06,7.129761e-06,7.024254e-06,6.922538e-06,6.824499e-06,6.730027e-06,6.639015e-06,6.551358e-06,6.466955e-06,6.385708e-06,6.307521e-06,6.232300e-06,6.159956e-06,6.090401e-06,6.023548e-06,5.959316e-06,5.897622e-06,5.838389e-06,5.781540e-06,5.727001e-06,5.674701e-06,5.624568e-06,5.576535e-06
0.000000e+00,5.444109e-09,1.676587e-07,1.767048e-07,1.613993e-06,8.044709e-06,8.530757e-06,3.088189e-05,7.886365e-05,8.308844e-05,1.766512e-04,3.004671e-04,3.127517e-04,4.821445e-04,6.511449e-04,6.703856e-04,8.628512e-04,1.026087e-03,1.047521e-03,1.215906e-03,1.343728e-03,1.362910e-03,1.486227e-03,1.571289e-03,1.585619e-03,1.662242e-03,1.709471e-03,1.718098e-03,1.755616e-03,1.774152e-03,1.777361e-03,1.785834e-03,1.784735e-03,1.783362e-03,1.772029e-03,1.758617e-03,1.753651e-03,1.729782e-03,1.709358e-03,1.701723e-03,1.670552e-03,1.646682e-03,1.637147e-03,1.602214e-03,1.577160e-03,1.566319e-03,1.529905e-03,1.505028e-03,1.493320e-03,1.456831e-03,1.432903e-03,1.420644e-03,1.384910e-03,1.362333e-03,1.349745e-03,1.315231e-03,1.294185e-03,1.281426e-03,1.248370e-03,1.228908e-03,1.216089e-03,1.184598e-03,1.166698e-03,1.153903e-03,1.124005e-03,1.107609e-03,1.094900e-03,1.066580e-03,1.051610e-03,1.039035e-03,1.012255e-03,9.986266e-04,9.862251e-04,9.609321e-04,9.485573e-04,9.363614e-04,9.124982e-04,9.012907e-04,8.893273e-04,8.668335e-04,8.567094e-04,8.450012e-04,8.238153e-04,8.146943e-04,8.032603e-04,7.833212e-04,7.751268e-04,7.639828e-04,7.452303e-04,7.378900e-04,7.270489e-04,7.094240e-04,7.028695e-04,6.923413e-04,6.757868e-04,6.699537e-04,6.597463e-04,6.442063e-04,6.390344e-04,6.291534e-04,6.145743e-04,6.100069e-04,6.004560e-04,5.867860e-04,5.827705e-04,5.735517e-04,5.607409e-04,5.572282e-04,5.483418e-04,5.363426e-04,5.332870e-04,5.247321e-04,5.134990e-04,5.108580e-04,5.026324e-04,4.921219e-04,4.898563e-04,4.819570e-04,4.721276e-04,4.702011e-04,4.626238e-04,4.534362e-04,4.518153e-04,4.445553e-04,4.359721e-04,4.346258e-04,4.276776e-04,4.196633e-04,4.185631e-04,4.119207e-04,4.044417e-04,4.035615e-04,3.972183e-04,3.902428e-04,3.895586e-04,3.835077e-04,3.770057e-04,3.764954e-04,3.707297e-04,3.646727e-04,3.643161e-04,3.588280e-04,3.531892e-04,3.529679e-04,3.477499e-04,3.425040e-04,3.424010e-04,3.374454e-04,3.325684e-04,3.234258e-04,3.149312e-04,3.070451e-04,2.997304e-04,2.929519e-04,2.866766e-04,2.808733e-04,2.755127e-04,2.705671e-04,2.660105e-04,2.618185e-04,2.579680e-04,2.544373e-04,2.512059e-04,2.482546e-04,2.455654e-04,2.431212e-04,2.409060e-04,2.389048e-04,2.371033e-04,2.354884e-04,2.340473e-04,2.327685e-04,2.316408e-04,2.306537e-04,2.297976e-04,2.290631e-04,2.284418e-04,2.279254e-04,2.275064e-04,2.271775e-04,2.269321e-04,2.267639e-04,2.266668e-04,2.266355e-04,2.266646e-04,2.267493e-04,2.268850e-04,2.270673e-04,2.272924e-04,2.275563e-04,2.278556e-04,2.281870e-04,2.285473e-04,2.289338e-04,2.293437e-04,2.297744e-04,2.302237e-04,2.306894e-04
0.000000e+00,8.135793e-09,3.067298e-07,3.246213e-07,3.396615e-06,1.689777e-05,1.788034e-05,5.940852e-05,1.357230e-04,1.419317e-04,2.671422e-04,4.113693e-04,4.248367e-04,6.002939e-04,7.620366e-04,7.798530e-04,9.531631e-04,1.095046e-03,1.113442e-03,1.256903e-03,1.365587e-03,1.381975e-03,1.488586e-03,1.564484e-03,1.577596e-03,1.650390e-03,1.699118e-03,1.708594e-03,1.753893e-03,1.781944e-03,1.787923e-03,1.812210e-03,1.825285e-03,1.828137e-03,1.836937e-03,1.839530e-03,1.839693e-03,1.837350e-03,1.832818e-03,1.830724e-03,1.820516e-03,1.811291e-03,1.807329e-03,1.791677e-03,1.779491e-03,1.773997e-03,1.754663e-03,1.740735e-03,1.733992e-03,1.712252e-03,1.697432e-03,1.689674e-03,1.666450e-03,1.651325e-03,1.642745e-03,1.618697e-03,1.603668e-03,1.594424e-03,1.570026e-03,1.555362e-03,1.545586e-03,1.521175e-03,1.507054e-03,1.496854e-03,1.472671e-03,1.459205e-03,1.448669e-03,1.424883e-03,1.412139e-03,1.401343e-03,1.378071e-03,1.366083e-03,1.355089e-03,1.332411e-03,1.321191e-03,1.310052e-03,1.288021e-03,1.277565e-03,1.266326e-03,1.244973e-03,1.235267e-03,1.223967e-03,1.203311e-03,1.194334e-03,1.183006e-03,1.163054e-03,1.154778e-03,1.143453e-03,1.124202e-03,1.116600e-03,1.105301e-03,1.086747e-03,1.079786e-03,1.068537e-03,1.050668e-03,1.044318e-03,1.033136e-03,1.015939e-03,1.010168e-03,9.990723e-04,9.825314e-04,9.773064e-04,9.663122e-04,9.504104e-04,9.457010e-04,9.348214e-04,9.195407e-04,9.153167e-04,9.045636e-04,8.898854e-04,8.861175e-04,8.755015e-04,8.614070e-04,8.580668e-04,8.475972e-04,8.340674e-04,8.311280e-04,8.208129e-04,8.078290e-04,8.052642e-04,7.951109e-04,7.826541e-04,7.804392e-04,7.704538e-04,7.585057e-04,7.566171e-04,7.468050e-04,7.353474e-04,7.337625e-04,7.241285e-04,7.131438e-04,7.118411e-04,7.023890e-04,6.918598e-04,6.908192e-04,6.815521e-04,6.714617e-04,6.706638e-04,6.615846e-04,6.519166e-04,6.513430e-04,6.424538e-04,6.331922e-04,6.328259e-04,6.241282e-04,6.152577e-04,6.150823e-04,6.065772e-04,5.980829e-04,5.817997e-04,5.662050e-04,5.512727e-04,5.369770e-04,5.232934e-04,5.101980e-04,4.976679e-04,4.856808e-04,4.742155e-04,4.632513e-04,4.527684e-04,4.427477e-04,4.331708e-04,4.240199e-04,4.152780e-04,4.069287e-04,3.989561e-04,3.913451e-04,3.840811e-04,3.771499e-04,3.705381e-04,3.642325e-04,3.582208e-04,3.524908e-04,3.470310e-04,3.418303e-04,3.368779e-04,3.321636e-04,3.276774e-04,3.234099e-04,3.193519e-04,3.154947e-04,3.118298e-04,3.083491e-04,3.050448e-04,3.019094e-04,2.989357e-04,2.961167e-04,2.934459e-04,2.909168e-04,2.885234e-04,2.862596e-04,2.841199e-04,2.820987e-04,2.801909e-04,2.783914e-04,2.766954e-04,2.750983e-04,2.735955e-04
0.000000e+00,1.139922e-08,4.512044e-07,4.782662e-07,5.482037e-06,2.958209e-05,3.138975e-05,1.095677e-04,2.542961e-04,2.660391e-04,5.025096e-04,7.767141e-04,8.025343e-04,1.143879e-03,1.469095e-03,1.505682e-03,1.871179e-03,2.186038e-03,2.228111e-03,2.568185e-03,2.843165e-03,2.886242e-03,3.179450e-03,3.405643e-03,3.446630e-03,3.687721e-03,3.866405e-03,3.903397e-03,4.094786e-03,4.231338e-03,4.263276e-03,4.410381e-03,4.511277e-03,4.537655e-03,4.646635e-03,4.718141e-03,4.738807e-03,4.815584e-03,4.863273e-03,4.878295e-03,4.928184e-03,4.956815e-03,4.966403e-03,4.994021e-03,5.007577e-03,5.012023e-03,5.021316e-03,5.023089e-03,5.022735e-03,5.017047e-03,5.009744e-03,5.004956e-03,4.987107e-03,4.972938e-03,4.964093e-03,4.936454e-03,4.917215e-03,4.904688e-03,4.869249e-03,4.846397e-03,4.830552e-03,4.788980e-03,4.763688e-03,4.744878e-03,4.698566e-03,4.671774e-03,4.650333e-03,4.600445e-03,4.572904e-03,4.549145e-03,4.496652e-03,4.468952e-03,4.443169e-03,4.388878e-03,4.361483e-03,4.333947e-03,4.278527e-03,4.251793e-03,4.222756e-03,4.166760e-03,4.140957e-03,4.110651e-03,4.054533e-03,4.029862e-03,3.998498e-03,3.942631e-03,3.919235e-03,3.887007e-03,3.831693e-03,3.809669e-03,3.776752e-03,3.722238e-03,3.701644e-03,3.668199e-03,3.614678e-03,3.595546e-03,3.561716e-03,3.509344e-03,3.491678e-03,3.457594e-03,3.406491e-03,3.390279e-03,3.356059e-03,3.306316e-03,3.291530e-03,3.257279e-03,3.208963e-03,3.195565e-03,3.161378e-03,3.114535e-03,3.102478e-03,3.068440e-03,3.023099e-03,3.012330e-03,2.978517e-03,2.934695e-03,2.925156e-03,2.891635e-03,2.849336e-03,2.840968e-03,2.807798e-03,2.767018e-03,2.759758e-03,2.726993e-03,2.687718e-03,2.681504e-03,2.649190e-03,2.611402e-03,2.606170e-03,2.574348e-03,2.538022e-03,2.533712e-03,2.502417e-03,2.467526e-03,2.464075e-03,2.433340e-03,2.399851e-03,2.397202e-03,2.367052e-03,2.334933e-03,2.333027e-03,2.303485e-03,2.272700e-03,2.271482e-03,2.242568e-03,2.213080e-03,2.212497e-03,2.184227e-03,2.155999e-03,2.101914e-03,2.050167e-03,2.000685e-03,1.953394e-03,1.908219e-03,1.865089e-03,1.823932e-03,1.784678e-03,1.747259e-03,1.711607e-03,1.677657e-03,1.645346e-03,1.614611e-03,1.585392e-03,1.557630e-03,1.531269e-03,1.506254e-03,1.482530e-03,1.460047e-03,1.438755e-03,1.418604e-03,1.399549e-03,1.381543e-03,1.364544e-03,1.348508e-03,1.333396e-03,1.319167e-03,1.305784e-03,1.293210e-03,1.281409e-03,1.270347e-03,1.259993e-03,1.250312e-03,1.241276e-03,1.232853e-03,1.225017e-03,1.217739e-03,1.210994e-03,1.204754e-03,1.198997e-03,1.193698e-03,1.188835e-03,1.184386e-03,1.180330e-03,1.176646e-03,1.173315e-03,1.170319e-03,1.167639e-03,1.165259e-03
0.000000e+00,1.064009e-08,3.937032e-07,4.168594e-07,4.407523e-06,2.094544e-05,2.208851e-05,6.497883e-05,1.268896e-04,1.313172e-04,2.089629e-04,2.813877e-04,2.875563e-04,3.617081e-04,4.229187e-04,4.293739e-04,4.901205e-04,5.380210e-04,5.441664e-04,5.919544e-04,6.284274e-04,6.339835e-04,6.707469e-04,6.979019e-04,7.027123e-04,7.303147e-04,7.499759e-04,7.539560e-04,7.740062e-04,7.876897e-04,7.908045e-04,8.046617e-04,8.136122e-04,8.158618e-04,8.246643e-04,8.298971e-04,8.313059e-04,8.360025e-04,8.383420e-04,8.389506e-04,8.403294e-04,8.404424e-04,8.403017e-04,8.390158e-04,8.374399e-04,8.366067e-04,8.331969e-04,8.303638e-04,8.288977e-04,8.238102e-04,8.200656e-04,8.180263e-04,8.116293e-04,8.072488e-04,8.046949e-04,7.972917e-04,7.924937e-04,7.894817e-04,7.813212e-04,7.762781e-04,7.728612e-04,7.641478e-04,7.589945e-04,7.552227e-04,7.461235e-04,7.409647e-04,7.368841e-04,7.275352e-04,7.224511e-04,7.181043e-04,7.086164e-04,7.036675e-04,6.990936e-04,6.895560e-04,6.847873e-04,6.800215e-04,6.705063e-04,6.659501e-04,6.610246e-04,6.515892e-04,6.472676e-04,6.422115e-04,6.329015e-04,6.288289e-04,6.236682e-04,6.145194e-04,6.107038e-04,6.054620e-04,5.965020e-04,5.929465e-04,5.876446e-04,5.788943e-04,5.755980e-04,5.702549e-04,5.617298e-04,5.586892e-04,5.533216e-04,5.450326e-04,5.422418e-04,5.368646e-04,5.288192e-04,5.262707e-04,5.208972e-04,5.130996e-04,5.107846e-04,5.054267e-04,4.978788e-04,4.957878e-04,4.904559e-04,4.831578e-04,4.812807e-04,4.759841e-04,4.689341e-04,4.672604e-04,4.620072e-04,4.552026e-04,4.537218e-04,4.485192e-04,4.419561e-04,4.406578e-04,4.355120e-04,4.291858e-04,4.280595e-04,4.229761e-04,4.168816e-04,4.159171e-04,4.109010e-04,4.050327e-04,4.042200e-04,3.992753e-04,3.936273e-04,3.929568e-04,3.880871e-04,3.826532e-04,3.821156e-04,3.773240e-04,3.720978e-04,3.716842e-04,3.669733e-04,3.619486e-04,3.616503e-04,3.570223e-04,3.521927e-04,3.520015e-04,3.474583e-04,3.428175e-04,3.427256e-04,3.382687e-04,3.338103e-04,3.252434e-04,3.170132e-04,3.091079e-04,3.015161e-04,2.942267e-04,2.872288e-04,2.805119e-04,2.740658e-04,2.678805e-04,2.619463e-04,2.562540e-04,2.507945e-04,2.455591e-04,2.405394e-04,2.357272e-04,2.311146e-04,2.266942e-04,2.224586e-04,2.184006e-04,2.145136e-04,2.107909e-04,2.072263e-04,2.038137e-04,2.005471e-04,1.974210e-04,1.944298e-04,1.915685e-04,1.888318e-04,1.862150e-04,1.837134e-04,1.813225e-04,1.790379e-04,1.768555e-04,1.747713e-04,1.727813e-04,1.708819e-04,1.690696e-04,1.673407e-04,1.656921e-04,1.641205e-04,1.626229e-04,1.611963e-04,1.598379e-04,1.585448e-04,1.573146e-04,1.561447e-04,1.550326e-04,1.539760e-04,1.529727e-04
0.000000e+00,1.143878e-08,3.485534e-07,3.672533e-07,3.231434e-06,1.489815e-05,1.573732e-05,5.135054e-05,1.186900e-04,1.242757e-04,2.394377e-04,3.753732e-04,3.881234e-04,5.534903e-04,7.025157e-04,7.186177e-04,8.709493e-04,9.884859e-04,1.003156e-03,1.112253e-03,1.187546e-03,1.198249e-03,1.262930e-03,1.302723e-03,1.308953e-03,1.339240e-03,1.354329e-03,1.356625e-03,1.363664e-03,1.363340e-03,1.362562e-03,1.355158e-03,1.345985e-03,1.342953e-03,1.327151e-03,1.313327e-03,1.308701e-03,1.288348e-03,1.272408e-03,1.266671e-03,1.244115e-03,1.227524e-03,1.221018e-03,1.197640e-03,1.181213e-03,1.174174e-03,1.150768e-03,1.134943e-03,1.127531e-03,1.104545e-03,1.089542e-03,1.081871e-03,1.059550e-03,1.045466e-03,1.037615e-03,1.016086e-03,1.002950e-03,9.949800e-04,9.743045e-04,9.621083e-04,9.540649e-04,9.342630e-04,9.229782e-04,9.148981e-04,8.959679e-04,8.855556e-04,8.774689e-04,8.593965e-04,8.498128e-04,8.417451e-04,8.245085e-04,8.157073e-04,8.076803e-04,7.912535e-04,7.831885e-04,7.752212e-04,7.595759e-04,7.522015e-04,7.443104e-04,7.294170e-04,7.226890e-04,7.148883e-04,7.007169e-04,6.945926e-04,6.868951e-04,6.734156e-04,6.678545e-04,6.602710e-04,6.474539e-04,6.424172e-04,6.349572e-04,6.227736e-04,6.182245e-04,6.108961e-04,5.993177e-04,5.952214e-04,5.880316e-04,5.770309e-04,5.733545e-04,5.663091e-04,5.558596e-04,5.525723e-04,5.456761e-04,5.357521e-04,5.328247e-04,5.260817e-04,5.166586e-04,5.140636e-04,5.074769e-04,4.985309e-04,4.962429e-04,4.898149e-04,4.813231e-04,4.793179e-04,4.730503e-04,4.649910e-04,4.632461e-04,4.571400e-04,4.494921e-04,4.479865e-04,4.420424e-04,4.347860e-04,4.335000e-04,4.277180e-04,4.208337e-04,4.197490e-04,4.141287e-04,4.075984e-04,4.066979e-04,4.012384e-04,3.950445e-04,3.943122e-04,3.890125e-04,3.831384e-04,3.825595e-04,3.774180e-04,3.718476e-04,3.714084e-04,3.664234e-04,3.611416e-04,3.608292e-04,3.559987e-04,3.509911e-04,3.507936e-04,3.461153e-04,3.413681e-04,3.412744e-04,3.367461e-04,3.322461e-04,3.236839e-04,3.155645e-04,3.078658e-04,3.005664e-04,2.936464e-04,2.870864e-04,2.808682e-04,2.749746e-04,2.693890e-04,2.640958e-04,2.590800e-04,2.543274e-04,2.498247e-04,2.455589e-04,2.415180e-04,2.376904e-04,2.340650e-04,2.306316e-04,2.273801e-04,2.243011e-04,2.213858e-04,2.186256e-04,2.160124e-04,2.135386e-04,2.111970e-04,2.089805e-04,2.068827e-04,2.048973e-04,2.030185e-04,2.012405e-04,1.995582e-04,1.979663e-04,1.964601e-04,1.950351e-04,1.936869e-04,1.924115e-04,1.912048e-04,1.900633e-04,1.889833e-04,1.879617e-04,1.869951e-04,1.860807e-04,1.852156e-04,1.843970e-04,1.836224e-04,1.828894e-04,1.821956e-04,1.815390e-04,1.809173e-04
0.000000e+00,4.341032e-09,1.427652e-07,1.507156e-07,1.469971e-06,7.425463e-06,7.870557e-06,2.765001e-05,6.720814e-05,7.055945e-05,1.411383e-04,2.272307e-04,2.354421e-04,3.440387e-04,4.454267e-04,4.565993e-04,5.646696e-04,6.514699e-04,6.625544e-04,7.471507e-04,8.084061e-04,8.173715e-04,8.735104e-04,9.105959e-04,9.166963e-04,9.484812e-04,9.672241e-04,9.705566e-04,9.845745e-04,9.910093e-04,9.920464e-04,9.942967e-04,9.931566e-04,9.924486e-04,9.874318e-04,9.819703e-04,9.800015e-04,9.707612e-04,9.630422e-04,9.601869e-04,9.486501e-04,9.399113e-04,9.364375e-04,9.237690e-04,9.147212e-04,9.108119e-04,8.976924e-04,8.887275e-04,8.845048e-04,8.713199e-04,8.626454e-04,8.581900e-04,8.451536e-04,8.368728e-04,8.322389e-04,8.194663e-04,8.116254e-04,8.068507e-04,7.944024e-04,7.870168e-04,7.821287e-04,7.700345e-04,7.631034e-04,7.581230e-04,7.463962e-04,7.399101e-04,7.348548e-04,7.234991e-04,7.174441e-04,7.123286e-04,7.013428e-04,6.957027e-04,6.905403e-04,6.799200e-04,6.746777e-04,6.694803e-04,6.592194e-04,6.543572e-04,6.491356e-04,6.392270e-04,6.347273e-04,6.294915e-04,6.199272e-04,6.157726e-04,6.105320e-04,6.013037e-04,5.974771e-04,5.922402e-04,5.833392e-04,5.798239e-04,5.745986e-04,5.660162e-04,5.627959e-04,5.575898e-04,5.493170e-04,5.463760e-04,5.411957e-04,5.332237e-04,5.305468e-04,5.253987e-04,5.177184e-04,5.152910e-04,5.101808e-04,5.027836e-04,5.005915e-04,4.955246e-04,4.884016e-04,4.864313e-04,4.814126e-04,4.745553e-04,4.727937e-04,4.678277e-04,4.612276e-04,4.596623e-04,4.547530e-04,4.484018e-04,4.470209e-04,4.421721e-04,4.360617e-04,4.348538e-04,4.300688e-04,4.241913e-04,4.231455e-04,4.184274e-04,4.127751e-04,4.118809e-04,4.072325e-04,4.017977e-04,4.010453e-04,3.964690e-04,3.912445e-04,3.906245e-04,3.861224e-04,3.811010e-04,3.806043e-04,3.761785e-04,3.713532e-04,3.709714e-04,3.666235e-04,3.619876e-04,3.617124e-04,3.574440e-04,3.529909e-04,3.528147e-04,3.486269e-04,3.443503e-04,3.442657e-04,3.401597e-04,3.360534e-04,3.281662e-04,3.205927e-04,3.133218e-04,3.063431e-04,2.996461e-04,2.932209e-04,2.870579e-04,2.811476e-04,2.754812e-04,2.700497e-04,2.648448e-04,2.598584e-04,2.550824e-04,2.505092e-04,2.461315e-04,2.419421e-04,2.379341e-04,2.341009e-04,2.304360e-04,2.269332e-04,2.235864e-04,2.203899e-04,2.173380e-04,2.144254e-04,2.116468e-04,2.089971e-04,2.064714e-04,2.040651e-04,2.017736e-04,1.995925e-04,1.975176e-04,1.955447e-04,1.936699e-04,1.918893e-04,1.901994e-04,1.885965e-04,1.870773e-04,1.856383e-04,1.842764e-04,1.829885e-04,1.817716e-04,1.806229e-04,1.795396e-04,1.785190e-04,1.775585e-04,1.766556e-04,1.758080e-04,1.750133e-04,1.742693e-04
0.000000e+00,5.985973e-08,2.233728e-06,2.364189e-06,2.627251e-05,1.508128e-04,1.607013e-04,6.417184e-04,1.742688e-03,1.842188e-03,4.133121e-03,7.433452e-03,7.779088e-03,1.292373e-02,1.887165e-02,1.960898e-02,2.779857e-02,3.617658e-02,3.739899e-02,4.827682e-02,5.853234e-02,6.027265e-02,7.321218e-02,8.467856e-02,8.691479e-02,1.012002e-01,1.132261e-01,1.158934e-01,1.308282e-01,1.428458e-01,1.458501e-01,1.608175e-01,1.723715e-01,1.756026e-01,1.900925e-01,2.008461e-01,2.041884e-01,2.178056e-01,2.275317e-01,2.308728e-01,2.433315e-01,2.518983e-01,2.551350e-01,2.662474e-01,2.736006e-01,2.766427e-01,2.863040e-01,2.924495e-01,2.952222e-01,3.033953e-01,3.083831e-01,3.108273e-01,3.175276e-01,3.214381e-01,3.235102e-01,3.287927e-01,3.317254e-01,3.333961e-01,3.373436e-01,3.394078e-01,3.406606e-01,3.433741e-01,3.446824e-01,3.455120e-01,3.471031e-01,3.477660e-01,3.481763e-01,3.487609e-01,3.488836e-01,3.488859e-01,3.485801e-01,3.482602e-01,3.478716e-01,3.467880e-01,3.461139e-01,3.453560e-01,3.436015e-01,3.426522e-01,3.415495e-01,3.392241e-01,3.380690e-01,3.366482e-01,3.338439e-01,3.325430e-01,3.308319e-01,3.276322e-01,3.262370e-01,3.242637e-01,3.207441e-01,3.192978e-01,3.170903e-01,3.133180e-01,3.118567e-01,3.094424e-01,3.054772e-01,3.040304e-01,3.014357e-01,2.973300e-01,2.959216e-01,2.931718e-01,2.889717e-01,2.876204e-01,2.847396e-01,2.804849e-01,2.792053e-01,2.762161e-01,2.719412e-01,2.707441e-01,2.676676e-01,2.634022e-01,2.622953e-01,2.591512e-01,2.549205e-01,2.539087e-01,2.507153e-01,2.465407e-01,2.456268e-01,2.424010e-01,2.383003e-01,2.374852e-01,2.342425e-01,2.302308e-01,2.295138e-01,2.262683e-01,2.223578e-01,2.217372e-01,2.185019e-01,2.147026e-01,2.141754e-01,2.109621e-01,2.072819e-01,2.068445e-01,2.036638e-01,2.001090e-01,1.997571e-01,1.966187e-01,1.931939e-01,1.929228e-01,1.898354e-01,1.865438e-01,1.863485e-01,1.833198e-01,1.801637e-01,1.800389e-01,1.770758e-01,1.740563e-01,1.739966e-01,1.711052e-01,1.682226e-01,1.627164e-01,1.574763e-01,1.524995e-01,1.477821e-01,1.433197e-01,1.391071e-01,1.351385e-01,1.314078e-01,1.279083e-01,1.246331e-01,1.215750e-01,1.187268e-01,1.160808e-01,1.136295e-01,1.113651e-01,1.092798e-01,1.073659e-01,1.056155e-01,1.040210e-01,1.025746e-01,1.012687e-01,1.000957e-01,9.904828e-02,9.811900e-02,9.730072e-02,9.658639e-02,9.596915e-02,9.544227e-02,9.499924e-02,9.463372e-02,9.433959e-02,9.411091e-02,9.394198e-02,9.382733e-02,9.376169e-02,9.374005e-02,9.375762e-02,9.380985e-02,9.389243e-02,9.400129e-02,9.413261e-02,9.428277e-02,9.444844e-02,9.462648e-02,9.481399e-02,9.500829e-02,9.520694e-02,9.540767e-02,9.560845e-02
0.000000e+00,6.853765e-09,2.417278e-07,2.555579e-07,2.701785e-06,1.498960e-05,1.595451e-05,6.243419e-05,1.681807e-04,1.777170e-04,3.955799e-04,7.018876e-04,7.334158e-04,1.190862e-03,1.694494e-03,1.755217e-03,2.406980e-03,3.035188e-03,3.123914e-03,3.883714e-03,4.555532e-03,4.665614e-03,5.451264e-03,6.102646e-03,6.225112e-03,6.974473e-03,7.563612e-03,7.689391e-03,8.362402e-03,8.867030e-03,8.988234e-03,9.563490e-03,9.975860e-03,1.008635e-02,1.055626e-02,1.087826e-02,1.097372e-02,1.134000e-02,1.157919e-02,1.165699e-02,1.192700e-02,1.209379e-02,1.215266e-02,1.233676e-02,1.244246e-02,1.248222e-02,1.259194e-02,1.264763e-02,1.266884e-02,1.271573e-02,1.273156e-02,1.273533e-02,1.273023e-02,1.271514e-02,1.270287e-02,1.265557e-02,1.261718e-02,1.259047e-02,1.250957e-02,1.245421e-02,1.241470e-02,1.230756e-02,1.224042e-02,1.218972e-02,1.206259e-02,1.198783e-02,1.192747e-02,1.178553e-02,1.170644e-02,1.163785e-02,1.148540e-02,1.140452e-02,1.132903e-02,1.116953e-02,1.108884e-02,1.100762e-02,1.084391e-02,1.076487e-02,1.067898e-02,1.051333e-02,1.043701e-02,1.034739e-02,1.018158e-02,1.010876e-02,1.001625e-02,9.851703e-03,9.782895e-03,9.688217e-03,9.526035e-03,9.461575e-03,9.365366e-03,9.206394e-03,9.146463e-03,9.049278e-03,8.894157e-03,8.838824e-03,8.741147e-03,8.590348e-03,8.539596e-03,8.441846e-03,8.295709e-03,8.249454e-03,8.151995e-03,8.010750e-03,7.968864e-03,7.872010e-03,7.735802e-03,7.698120e-03,7.602144e-03,7.471048e-03,7.437383e-03,7.342518e-03,7.216556e-03,7.186706e-03,7.093154e-03,6.972303e-03,6.946057e-03,6.853989e-03,6.738195e-03,6.715337e-03,6.624900e-03,6.514080e-03,6.494394e-03,6.405711e-03,6.299766e-03,6.283037e-03,6.196214e-03,6.095025e-03,6.081045e-03,5.996167e-03,5.899607e-03,5.888172e-03,5.805311e-03,5.713244e-03,5.704158e-03,5.623371e-03,5.535655e-03,5.528730e-03,5.450062e-03,5.366553e-03,5.361608e-03,5.285093e-03,5.205646e-03,5.202509e-03,5.128173e-03,5.052638e-03,5.051147e-03,4.979006e-03,4.907239e-03,4.770502e-03,4.640660e-03,4.517439e-03,4.400572e-03,4.289799e-03,4.184867e-03,4.085527e-03,3.991542e-03,3.902678e-03,3.818713e-03,3.739430e-03,3.664618e-03,3.594077e-03,3.527611e-03,3.465035e-03,3.406167e-03,3.350835e-03,3.298871e-03,3.250115e-03,3.204415e-03,3.161621e-03,3.121592e-03,3.084193e-03,3.049292e-03,3.016764e-03,2.986490e-03,2.958353e-03,2.932245e-03,2.908059e-03,2.885695e-03,2.865054e-03,2.846046e-03,2.828580e-03,2.812571e-03,2.797940e-03,2.784607e-03,2.772500e-03,2.761545e-03,2.751677e-03,2.742831e-03,2.734943e-03,2.727956e-03,2.721813e-03,2.716460e-03,2.711847e-03,2.707924e-03,2.704645e-03,2.701966e-03,2.699845e-03
0.000000e+00,3.791002e-08,1.320463e-06,1.395048e-06,1.411911e-05,7.536976e-05,8.011754e-05,3.064730e-04,8.218612e-04,8.686581e-04,1.954846e-03,3.533802e-03,3.699449e-03,6.161628e-03,8.988044e-03,9.336425e-03,1.317313e-02,1.703380e-02,1.759164e-02,2.249521e-02,2.702102e-02,2.777989e-02,3.334126e-02,3.815311e-02,3.907908e-02,4.490035e-02,4.967688e-02,5.072114e-02,5.646758e-02,6.096814e-02,6.207610e-02,6.749335e-02,7.155760e-02,7.267565e-02,7.758835e-02,8.112518e-02,8.220506e-02,8.650673e-02,8.947956e-02,9.048085e-02,9.412054e-02,9.653275e-02,9.742380e-02,1.003927e-01,1.022748e-01,1.030327e-01,1.053521e-01,1.067514e-01,1.073613e-01,1.090724e-01,1.100451e-01,1.104991e-01,1.116555e-01,1.122608e-01,1.125568e-01,1.132181e-01,1.135144e-01,1.136549e-01,1.138825e-01,1.139249e-01,1.139159e-01,1.137698e-01,1.136085e-01,1.134585e-01,1.129956e-01,1.126751e-01,1.123943e-01,1.116671e-01,1.112262e-01,1.108258e-01,1.098816e-01,1.093535e-01,1.088452e-01,1.077264e-01,1.071391e-01,1.065346e-01,1.052784e-01,1.046549e-01,1.039659e-01,1.026046e-01,1.019641e-01,1.012017e-01,9.976344e-02,9.912099e-02,9.829591e-02,9.680462e-02,9.617243e-02,9.529467e-02,9.377075e-02,9.315824e-02,9.223715e-02,9.069784e-02,9.011216e-02,8.915642e-02,8.761620e-02,8.706261e-02,8.608020e-02,8.455115e-02,8.403331e-02,8.303156e-02,8.152368e-02,8.104398e-02,8.002957e-02,7.855107e-02,7.811081e-02,7.708984e-02,7.564738e-02,7.524704e-02,7.422502e-02,7.282394e-02,7.246328e-02,7.144520e-02,7.008971e-02,6.976795e-02,6.875829e-02,6.745163e-02,6.716755e-02,6.617034e-02,6.491493e-02,6.466699e-02,6.368582e-02,6.248337e-02,6.226978e-02,6.130784e-02,6.015946e-02,5.997825e-02,5.903838e-02,5.794469e-02,5.779376e-02,5.687843e-02,5.583961e-02,5.571679e-02,5.482817e-02,5.384404e-02,5.374712e-02,5.288708e-02,5.195714e-02,5.188391e-02,5.105405e-02,5.017757e-02,5.012582e-02,4.932748e-02,4.850351e-02,4.847109e-02,4.770537e-02,4.693277e-02,4.691757e-02,4.618537e-02,4.546285e-02,4.410427e-02,4.283894e-02,4.166385e-02,4.057583e-02,3.957165e-02,3.864796e-02,3.780140e-02,3.702854e-02,3.632597e-02,3.569026e-02,3.511797e-02,3.460573e-02,3.415018e-02,3.374798e-02,3.339588e-02,3.309067e-02,3.282921e-02,3.260843e-02,3.242535e-02,3.227706e-02,3.216077e-02,3.207375e-02,3.201339e-02,3.197718e-02,3.196272e-02,3.196772e-02,3.198998e-02,3.202745e-02,3.207816e-02,3.214027e-02,3.221206e-02,3.229190e-02,3.237829e-02,3.246984e-02,3.256527e-02,3.266340e-02,3.276315e-02,3.286354e-02,3.296370e-02,3.306284e-02,3.316026e-02,3.325536e-02,3.334759e-02,3.343650e-02,3.352171e-02,3.360289e-02,3.367979e-02,3.375222e-02,3.382001e-02
0.000000e+00,1.084374e-08,5.422742e-07,5.772034e-07,7.681989e-06,4.421292e-05,4.699437e-05,1.690783e-04,4.021524e-04,4.214752e-04,8.241021e-04,1.323181e-03,1.371946e-03,2.045144e-03,2.736087e-03,2.816875e-03,3.658473e-03,4.435000e-03,4.542473e-03,5.444267e-03,6.217932e-03,6.342861e-03,7.221068e-03,7.933010e-03,8.065360e-03,8.865544e-03,9.483593e-03,9.614339e-03,1.030694e-02,1.081866e-02,1.094060e-02,1.151421e-02,1.192004e-02,1.202798e-02,1.248312e-02,1.279100e-02,1.288159e-02,1.322589e-02,1.344747e-02,1.351888e-02,1.376365e-02,1.391183e-02,1.396341e-02,1.412140e-02,1.420886e-02,1.424083e-02,1.432482e-02,1.436324e-02,1.437639e-02,1.439841e-02,1.439809e-02,1.439360e-02,1.436452e-02,1.433429e-02,1.431357e-02,1.424296e-02,1.419022e-02,1.415476e-02,1.405087e-02,1.398176e-02,1.393307e-02,1.380296e-02,1.372245e-02,1.366204e-02,1.351164e-02,1.342376e-02,1.335303e-02,1.318733e-02,1.309527e-02,1.301558e-02,1.283870e-02,1.274500e-02,1.265757e-02,1.247296e-02,1.237957e-02,1.228556e-02,1.209603e-02,1.200446e-02,1.190493e-02,1.171278e-02,1.162418e-02,1.152007e-02,1.132722e-02,1.124242e-02,1.113460e-02,1.094257e-02,1.086216e-02,1.075142e-02,1.056145e-02,1.048584e-02,1.037288e-02,1.018596e-02,1.011539e-02,1.000086e-02,9.817762e-03,9.752368e-03,9.636822e-03,9.458170e-03,9.397971e-03,9.281923e-03,9.108183e-03,9.053130e-03,8.937037e-03,8.768557e-03,8.718543e-03,8.602808e-03,8.439840e-03,8.394713e-03,8.279695e-03,8.122406e-03,8.081982e-03,7.967998e-03,7.816489e-03,7.780560e-03,7.667890e-03,7.522205e-03,7.490546e-03,7.379435e-03,7.239574e-03,7.211950e-03,7.102612e-03,6.968536e-03,6.944707e-03,6.837328e-03,6.708968e-03,6.688694e-03,6.583433e-03,6.460697e-03,6.443736e-03,6.340732e-03,6.223507e-03,6.209623e-03,6.108991e-03,5.997151e-03,5.986113e-03,5.887952e-03,5.781357e-03,5.772941e-03,5.677331e-03,5.575836e-03,5.569826e-03,5.476832e-03,5.380281e-03,5.376470e-03,5.286144e-03,5.194381e-03,5.192570e-03,5.104953e-03,5.017818e-03,4.851901e-03,4.694509e-03,4.545331e-03,4.404062e-03,4.270400e-03,4.144047e-03,4.024715e-03,3.912119e-03,3.805983e-03,3.706039e-03,3.612026e-03,3.523693e-03,3.440794e-03,3.363093e-03,3.290360e-03,3.222374e-03,3.158922e-03,3.099797e-03,3.044800e-03,2.993739e-03,2.946430e-03,2.902695e-03,2.862361e-03,2.825263e-03,2.791241e-03,2.760142e-03,2.731817e-03,2.706125e-03,2.682928e-03,2.662094e-03,2.643495e-03,2.627010e-03,2.612519e-03,2.599911e-03,2.589075e-03,2.579906e-03,2.572304e-03,2.566172e-03,2.561416e-03,2.557946e-03,2.555677e-03,2.554526e-03,2.554414e-03,2.555264e-03,2.557005e-03,2.559565e-03,2.562880e-03,2.566884e-03,2.571517e-03
0.000000e+00,6.927426e-09,2.936388e-07,3.116724e-07,3.791838e-06,2.144988e-05,2.280294e-05,8.325650e-05,2.013106e-04,2.111520e-04,4.160328e-04,6.671123e-04,6.914130e-04,1.022338e-03,1.353198e-03,1.391317e-03,1.781672e-03,2.131428e-03,2.179084e-03,2.572091e-03,2.899875e-03,2.952023e-03,3.312685e-03,3.597669e-03,3.649936e-03,3.961284e-03,4.196366e-03,4.245499e-03,4.502303e-03,4.688267e-03,4.732105e-03,4.935793e-03,5.077312e-03,5.114577e-03,5.269864e-03,5.373099e-03,5.403171e-03,5.516059e-03,5.587363e-03,5.610079e-03,5.686749e-03,5.732028e-03,5.747525e-03,5.793793e-03,5.818249e-03,5.826855e-03,5.847934e-03,5.856006e-03,5.858166e-03,5.858604e-03,5.854004e-03,5.850222e-03,5.833919e-03,5.819713e-03,5.810523e-03,5.780793e-03,5.759488e-03,5.745426e-03,5.705059e-03,5.678683e-03,5.660273e-03,5.611600e-03,5.581781e-03,5.559524e-03,5.504484e-03,5.472519e-03,5.446882e-03,5.387084e-03,5.353998e-03,5.325421e-03,5.262193e-03,5.228789e-03,5.197676e-03,5.132115e-03,5.099015e-03,5.065736e-03,4.998740e-03,4.966418e-03,4.931312e-03,4.863617e-03,4.832429e-03,4.795804e-03,4.728009e-03,4.698216e-03,4.660351e-03,4.592940e-03,4.564724e-03,4.525871e-03,4.459233e-03,4.432716e-03,4.393102e-03,4.327548e-03,4.302801e-03,4.262631e-03,4.198405e-03,4.175462e-03,4.134917e-03,4.072209e-03,4.051073e-03,4.010316e-03,3.949269e-03,3.929917e-03,3.889094e-03,3.829813e-03,3.812206e-03,3.771444e-03,3.714003e-03,3.698088e-03,3.657502e-03,3.601949e-03,3.587662e-03,3.547352e-03,3.493715e-03,3.480985e-03,3.441040e-03,3.389328e-03,3.378081e-03,3.338578e-03,3.288787e-03,3.278944e-03,3.239951e-03,3.192064e-03,3.183545e-03,3.145121e-03,3.099114e-03,3.091839e-03,3.054035e-03,3.009875e-03,3.003765e-03,2.966624e-03,2.924272e-03,2.919250e-03,2.882809e-03,2.842224e-03,2.838213e-03,2.802504e-03,2.763638e-03,2.760565e-03,2.725614e-03,2.688420e-03,2.686214e-03,2.652042e-03,2.616468e-03,2.615062e-03,2.581686e-03,2.547683e-03,2.547010e-03,2.514445e-03,2.481959e-03,2.419807e-03,2.360453e-03,2.303798e-03,2.249744e-03,2.198193e-03,2.149051e-03,2.102224e-03,2.057623e-03,2.015158e-03,1.974745e-03,1.936301e-03,1.899744e-03,1.864997e-03,1.831984e-03,1.800633e-03,1.770874e-03,1.742639e-03,1.715862e-03,1.690481e-03,1.666435e-03,1.643666e-03,1.622118e-03,1.601736e-03,1.582470e-03,1.564269e-03,1.547085e-03,1.530873e-03,1.515588e-03,1.501188e-03,1.487632e-03,1.474881e-03,1.462897e-03,1.451646e-03,1.441091e-03,1.431200e-03,1.421941e-03,1.413284e-03,1.405200e-03,1.397661e-03,1.390639e-03,1.384109e-03,1.378047e-03,1.372429e-03,1.367232e-03,1.362435e-03,1.358017e-03,1.353959e-03,1.350240e-03,1.346844e-03
0.000000e+00,8.742652e-09,1.925410e-07,2.024026e-07,1.574961e-06,5.872053e-06,6.133432e-06,1.424455e-05,2.264006e-05,2.315304e-05,3.104247e-05,3.716872e-05,3.765278e-05,4.310601e-05,4.716069e-05,4.756652e-05,5.118457e-05,5.377483e-05,5.408960e-05,5.639184e-05,5.796155e-05,5.818507e-05,5.954907e-05,6.041307e-05,6.055169e-05,6.125065e-05,6.163179e-05,6.169491e-05,6.192604e-05,6.198132e-05,6.197923e-05,6.188424e-05,6.172363e-05,6.166625e-05,6.134652e-05,6.104660e-05,6.094296e-05,6.047068e-05,6.008454e-05,5.994244e-05,5.936895e-05,5.893314e-05,5.875923e-05,5.812089e-05,5.766047e-05,5.746030e-05,5.678282e-05,5.631481e-05,5.609294e-05,5.539444e-05,5.493026e-05,5.469047e-05,5.398368e-05,5.353089e-05,5.327627e-05,5.257008e-05,5.213354e-05,5.186665e-05,5.116725e-05,5.074998e-05,5.047292e-05,4.978452e-05,4.938825e-05,4.910276e-05,4.842822e-05,4.805381e-05,4.776136e-05,4.710255e-05,4.675023e-05,4.645206e-05,4.581014e-05,4.547978e-05,4.517694e-05,4.455259e-05,4.424375e-05,4.393716e-05,4.333070e-05,4.304279e-05,4.273322e-05,4.214473e-05,4.187704e-05,4.156520e-05,4.099459e-05,4.074633e-05,4.043285e-05,3.987991e-05,3.965028e-05,3.933570e-05,3.880013e-05,3.858831e-05,3.827313e-05,3.775460e-05,3.755975e-05,3.724443e-05,3.674254e-05,3.656387e-05,3.624882e-05,3.576316e-05,3.559985e-05,3.528546e-05,3.481561e-05,3.466690e-05,3.435350e-05,3.389903e-05,3.376416e-05,3.345208e-05,3.301255e-05,3.289080e-05,3.258033e-05,3.215532e-05,3.204598e-05,3.173740e-05,3.132647e-05,3.122888e-05,3.092243e-05,3.052517e-05,3.043868e-05,3.013460e-05,2.975059e-05,2.967457e-05,2.937307e-05,2.900192e-05,2.893578e-05,2.863704e-05,2.827834e-05,2.822152e-05,2.792573e-05,2.757911e-05,2.753105e-05,2.723838e-05,2.690345e-05,2.686364e-05,2.657423e-05,2.625063e-05,2.621857e-05,2.593255e-05,2.561993e-05,2.559515e-05,2.531265e-05,2.501065e-05,2.499269e-05,2.471383e-05,2.442211e-05,2.441055e-05,2.413542e-05,2.385366e-05,2.384808e-05,2.357677e-05,2.330466e-05,2.277969e-05,2.227257e-05,2.178275e-05,2.130967e-05,2.085280e-05,2.041160e-05,1.998559e-05,1.957427e-05,1.917717e-05,1.879383e-05,1.842380e-05,1.806665e-05,1.772197e-05,1.738934e-05,1.706838e-05,1.675871e-05,1.645995e-05,1.617175e-05,1.589377e-05,1.562567e-05,1.536712e-05,1.511782e-05,1.487745e-05,1.464573e-05,1.442236e-05,1.420707e-05,1.399960e-05,1.379969e-05,1.360708e-05,1.342153e-05,1.324281e-05,1.307070e-05,1.290496e-05,1.274539e-05,1.259178e-05,1.244394e-05,1.230167e-05,1.216478e-05,1.203309e-05,1.190642e-05,1.178462e-05,1.166751e-05,1.155493e-05,1.144673e-05,1.134277e-05,1.124290e-05,1.114698e-05,1.105487e-05,1.096645e-05
0.000000e+00,2.265145e-08,7.359835e-07,7.774894e-07,7.899363e-06,4.010608e-05,4.246041e-05,1.388058e-04,2.973313e-04,3.093629e-04,5.330593e-04,7.610002e-04,7.811983e-04,1.033062e-03,1.253200e-03,1.277055e-03,1.507664e-03,1.697757e-03,1.722715e-03,1.921677e-03,2.080081e-03,2.104779e-03,2.272580e-03,2.402212e-03,2.425772e-03,2.565099e-03,2.669528e-03,2.691313e-03,2.805157e-03,2.887816e-03,2.907360e-03,2.998623e-03,3.062652e-03,3.079626e-03,3.151020e-03,3.199236e-03,3.213427e-03,3.267438e-03,3.302332e-03,3.313614e-03,3.352484e-03,3.376229e-03,3.384549e-03,3.410284e-03,3.424772e-03,3.430135e-03,3.444531e-03,3.451414e-03,3.453879e-03,3.458562e-03,3.459271e-03,3.458936e-03,3.455336e-03,3.451092e-03,3.448076e-03,3.437451e-03,3.429295e-03,3.423737e-03,3.407193e-03,3.396009e-03,3.388061e-03,3.366570e-03,3.353109e-03,3.342934e-03,3.317353e-03,3.302248e-03,3.290014e-03,3.261092e-03,3.244875e-03,3.230753e-03,3.199148e-03,3.182262e-03,3.166422e-03,3.132709e-03,3.115521e-03,3.098132e-03,3.062810e-03,3.045622e-03,3.026849e-03,2.990352e-03,2.973409e-03,2.953412e-03,2.916117e-03,2.899615e-03,2.878547e-03,2.840778e-03,2.824872e-03,2.802879e-03,2.764916e-03,2.749726e-03,2.726947e-03,2.689028e-03,2.674643e-03,2.651210e-03,2.613539e-03,2.600022e-03,2.576058e-03,2.538807e-03,2.526200e-03,2.501821e-03,2.465134e-03,2.453462e-03,2.428776e-03,2.392773e-03,2.382045e-03,2.357150e-03,2.321931e-03,2.312144e-03,2.287133e-03,2.252777e-03,2.243918e-03,2.218877e-03,2.185447e-03,2.177496e-03,2.152500e-03,2.120047e-03,2.112975e-03,2.088097e-03,2.056657e-03,2.050431e-03,2.025734e-03,1.995334e-03,1.989918e-03,1.965460e-03,1.936117e-03,1.931471e-03,1.907305e-03,1.879028e-03,1.875111e-03,1.851283e-03,1.824073e-03,1.820844e-03,1.797395e-03,1.771249e-03,1.768663e-03,1.745631e-03,1.720539e-03,1.718554e-03,1.695970e-03,1.671920e-03,1.670493e-03,1.648385e-03,1.625360e-03,1.624449e-03,1.602840e-03,1.580821e-03,1.580385e-03,1.559296e-03,1.538260e-03,1.498028e-03,1.459640e-03,1.423045e-03,1.388190e-03,1.355022e-03,1.323484e-03,1.293522e-03,1.265080e-03,1.238103e-03,1.212535e-03,1.188322e-03,1.165410e-03,1.143748e-03,1.123283e-03,1.103965e-03,1.085746e-03,1.068577e-03,1.052412e-03,1.037206e-03,1.022915e-03,1.009498e-03,9.969137e-04,9.851226e-04,9.740869e-04,9.637701e-04,9.541371e-04,9.451540e-04,9.367883e-04,9.290089e-04,9.217857e-04,9.150901e-04,9.088945e-04,9.031725e-04,8.978988e-04,8.930492e-04,8.886006e-04,8.845309e-04,8.808188e-04,8.774441e-04,8.743876e-04,8.716307e-04,8.691559e-04,8.669464e-04,8.649862e-04,8.632600e-04,8.617533e-04,8.604522e-04,8.593435e-04,8.584148e-04
0.000000e+00,1.890887e-08,7.561596e-07,8.016430e-07,9.500028e-06,5.544021e-05,5.906205e-05,2.299619e-04,5.958450e-04,6.277630e-04,1.330635e-03,2.275054e-03,2.370730e-03,3.742381e-03,5.235095e-03,5.414616e-03,7.341602e-03,9.206063e-03,9.470347e-03,1.174606e-02,1.378019e-02,1.411572e-02,1.653033e-02,1.856120e-02,1.894620e-02,2.132556e-02,2.322698e-02,2.363672e-02,2.585388e-02,2.754612e-02,2.795676e-02,2.993013e-02,3.137241e-02,3.176326e-02,3.344930e-02,3.463008e-02,3.498478e-02,3.636901e-02,3.729685e-02,3.760362e-02,3.869211e-02,3.938807e-02,3.963942e-02,4.045161e-02,4.094340e-02,4.113554e-02,4.169860e-02,4.201637e-02,4.214851e-02,4.249315e-02,4.266676e-02,4.274037e-02,4.289791e-02,4.295517e-02,4.297331e-02,4.297382e-02,4.293958e-02,4.290636e-02,4.277748e-02,4.267326e-02,4.259336e-02,4.235975e-02,4.220372e-02,4.208204e-02,4.176519e-02,4.157238e-02,4.141379e-02,4.103206e-02,4.081468e-02,4.062385e-02,4.019270e-02,3.996051e-02,3.974181e-02,3.927410e-02,3.903476e-02,3.879220e-02,3.829851e-02,3.805799e-02,3.779519e-02,3.728418e-02,3.704702e-02,3.676723e-02,3.624590e-02,3.601550e-02,3.572161e-02,3.519562e-02,3.497448e-02,3.466906e-02,3.414294e-02,3.393282e-02,3.361817e-02,3.309554e-02,3.289766e-02,3.257578e-02,3.205952e-02,3.187464e-02,3.154734e-02,3.103974e-02,3.086828e-02,3.053717e-02,3.004002e-02,2.988214e-02,2.954865e-02,2.906336e-02,2.891900e-02,2.858442e-02,2.811207e-02,2.798103e-02,2.764653e-02,2.718796e-02,2.706990e-02,2.673653e-02,2.629236e-02,2.618685e-02,2.585556e-02,2.542624e-02,2.533279e-02,2.500445e-02,2.459027e-02,2.450835e-02,2.418374e-02,2.378490e-02,2.371392e-02,2.339375e-02,2.301033e-02,2.294969e-02,2.263461e-02,2.226660e-02,2.221570e-02,2.190629e-02,2.155363e-02,2.151183e-02,2.120861e-02,2.087118e-02,2.083786e-02,2.054130e-02,2.021893e-02,2.019346e-02,1.990399e-02,1.959645e-02,1.957823e-02,1.929622e-02,1.900325e-02,1.899168e-02,1.871746e-02,1.843877e-02,1.843327e-02,1.816712e-02,1.790242e-02,1.739847e-02,1.692077e-02,1.646861e-02,1.604127e-02,1.563801e-02,1.525806e-02,1.490065e-02,1.456502e-02,1.425037e-02,1.395592e-02,1.368089e-02,1.342449e-02,1.318595e-02,1.296449e-02,1.275935e-02,1.256977e-02,1.239499e-02,1.223429e-02,1.208694e-02,1.195222e-02,1.182945e-02,1.171793e-02,1.161701e-02,1.152604e-02,1.144437e-02,1.137141e-02,1.130656e-02,1.124924e-02,1.119890e-02,1.115501e-02,1.111705e-02,1.108452e-02,1.105697e-02,1.103394e-02,1.101499e-02,1.099974e-02,1.098778e-02,1.097876e-02,1.097233e-02,1.096817e-02,1.096598e-02,1.096547e-02,1.096639e-02,1.096848e-02,1.097153e-02,1.097533e-02,1.097968e-02,1.098441e-02,1.098937e-02
0.000000e+00,9.975122e-09,1.619759e-07,1.696801e-07,1.200344e-06,4.375713e-06,4.567202e-06,1.039656e-05,1.645324e-05,1.683335e-05,2.292221e-05,2.806395e-05,2.848982e-05,3.353452e-05,3.765185e-05,3.808573e-05,4.217729e-05,4.542396e-05,4.584229e-05,4.911208e-05,5.163063e-05,5.201626e-05,5.458276e-05,5.649699e-05,5.683793e-05,5.880654e-05,6.022334e-05,6.051186e-05,6.197563e-05,6.298642e-05,6.321815e-05,6.425828e-05,6.494040e-05,6.511354e-05,6.580016e-05,6.621847e-05,6.633313e-05,6.672632e-05,6.693485e-05,6.699251e-05,6.714348e-05,6.718696e-05,6.719008e-05,6.714231e-05,6.705766e-05,6.700934e-05,6.679963e-05,6.661718e-05,6.652094e-05,6.618039e-05,6.592494e-05,6.578453e-05,6.533935e-05,6.503112e-05,6.485037e-05,6.432261e-05,6.397798e-05,6.376071e-05,6.316889e-05,6.280106e-05,6.255101e-05,6.191062e-05,6.153016e-05,6.125094e-05,6.057492e-05,6.019023e-05,5.988526e-05,5.918440e-05,5.880208e-05,5.847459e-05,5.775785e-05,5.738303e-05,5.703603e-05,5.631081e-05,5.594741e-05,5.558371e-05,5.485610e-05,5.450704e-05,5.412923e-05,5.340422e-05,5.307162e-05,5.268208e-05,5.196372e-05,5.164906e-05,5.124996e-05,5.054153e-05,5.024573e-05,4.983907e-05,4.914317e-05,4.886676e-05,4.845433e-05,4.777301e-05,4.751616e-05,4.709960e-05,4.643445e-05,4.619707e-05,4.577785e-05,4.513007e-05,4.491188e-05,4.449132e-05,4.386179e-05,4.366231e-05,4.324161e-05,4.263092e-05,4.244958e-05,4.202980e-05,4.143834e-05,4.127447e-05,4.085657e-05,4.028453e-05,4.013739e-05,3.972222e-05,3.916963e-05,3.903846e-05,3.862676e-05,3.809355e-05,3.797754e-05,3.756997e-05,3.705595e-05,3.695429e-05,3.655144e-05,3.605635e-05,3.596823e-05,3.557060e-05,3.509410e-05,3.501871e-05,3.462676e-05,3.416847e-05,3.410503e-05,3.371913e-05,3.327863e-05,3.322636e-05,3.284685e-05,3.242368e-05,3.238183e-05,3.200900e-05,3.160269e-05,3.157054e-05,3.120463e-05,3.081469e-05,3.079155e-05,3.043274e-05,3.005867e-05,3.004387e-05,2.969235e-05,2.933365e-05,2.932655e-05,2.898244e-05,2.863860e-05,2.797905e-05,2.734692e-05,2.674127e-05,2.616115e-05,2.560565e-05,2.507386e-05,2.456490e-05,2.407792e-05,2.361209e-05,2.316659e-05,2.274064e-05,2.233349e-05,2.194440e-05,2.157265e-05,2.121757e-05,2.087848e-05,2.055476e-05,2.024578e-05,1.995096e-05,1.966971e-05,1.940149e-05,1.914576e-05,1.890202e-05,1.866977e-05,1.844853e-05,1.823787e-05,1.803732e-05,1.784648e-05,1.766494e-05,1.749231e-05,1.732822e-05,1.717230e-05,1.702421e-05,1.688362e-05,1.675021e-05,1.662367e-05,1.650370e-05,1.639003e-05,1.628238e-05,1.618049e-05,1.608411e-05,1.599299e-05,1.590692e-05,1.582566e-05,1.574900e-05,1.567674e-05,1.560868e-05,1.554463e-05,1.548440e-05
0.000000e+00,3.226585e-09,4.307876e-08,4.495757e-08,2.702690e-07,9.094030e-07,9.482220e-07,2.237608e-06,3.842491e-06,3.950399e-06,5.740526e-06,7.293086e-06,7.422092e-06,8.949075e-06,1.018981e-05,1.032013e-05,1.154433e-05,1.250886e-05,1.263266e-05,1.359607e-05,1.433263e-05,1.444494e-05,1.518895e-05,1.573951e-05,1.583713e-05,1.639785e-05,1.679783e-05,1.687886e-05,1.728724e-05,1.756607e-05,1.762954e-05,1.791171e-05,1.809365e-05,1.813931e-05,1.831740e-05,1.842252e-05,1.845064e-05,1.854332e-05,1.858809e-05,1.859933e-05,1.862228e-05,1.862018e-05,1.861544e-05,1.858183e-05,1.854384e-05,1.852418e-05,1.844503e-05,1.838011e-05,1.834667e-05,1.823121e-05,1.814658e-05,1.810057e-05,1.795649e-05,1.785798e-05,1.780059e-05,1.763431e-05,1.752661e-05,1.745901e-05,1.727587e-05,1.716270e-05,1.708602e-05,1.689045e-05,1.677476e-05,1.669008e-05,1.648573e-05,1.636985e-05,1.627817e-05,1.606808e-05,1.595379e-05,1.585607e-05,1.564270e-05,1.553138e-05,1.542849e-05,1.521388e-05,1.510656e-05,1.499929e-05,1.478510e-05,1.468252e-05,1.457163e-05,1.435918e-05,1.426187e-05,1.414802e-05,1.393838e-05,1.384668e-05,1.373048e-05,1.352451e-05,1.343862e-05,1.332063e-05,1.311899e-05,1.303899e-05,1.291971e-05,1.272291e-05,1.264879e-05,1.252867e-05,1.233709e-05,1.226878e-05,1.214822e-05,1.196214e-05,1.189951e-05,1.177887e-05,1.159848e-05,1.154136e-05,1.142097e-05,1.124638e-05,1.119457e-05,1.107472e-05,1.090599e-05,1.085927e-05,1.074020e-05,1.057735e-05,1.053549e-05,1.041743e-05,1.026043e-05,1.022318e-05,1.010633e-05,9.955109e-06,9.922227e-06,9.806757e-06,9.661244e-06,9.632479e-06,9.518543e-06,9.378628e-06,9.353736e-06,9.241466e-06,9.107028e-06,9.085768e-06,8.975279e-06,8.846186e-06,8.828322e-06,8.719712e-06,8.595823e-06,8.581128e-06,8.474480e-06,8.355647e-06,8.343901e-06,8.239287e-06,8.125359e-06,8.116349e-06,8.013827e-06,7.904651e-06,7.898174e-06,7.797793e-06,7.693213e-06,7.689077e-06,7.590874e-06,7.490737e-06,7.488757e-06,7.392763e-06,7.296914e-06,7.113253e-06,6.937483e-06,6.769318e-06,6.608476e-06,6.454685e-06,6.307679e-06,6.167197e-06,6.032987e-06,5.904807e-06,5.782417e-06,5.665591e-06,5.554107e-06,5.447750e-06,5.346314e-06,5.249600e-06,5.157417e-06,5.069578e-06,4.985907e-06,4.906230e-06,4.830383e-06,4.758207e-06,4.689549e-06,4.624262e-06,4.562203e-06,4.503237e-06,4.447233e-06,4.394065e-06,4.343613e-06,4.295760e-06,4.250394e-06,4.207409e-06,4.166701e-06,4.128172e-06,4.091727e-06,4.057274e-06,4.024726e-06,3.993999e-06,3.965012e-06,3.937688e-06,3.911953e-06,3.887735e-06,3.864966e-06,3.843580e-06,3.823514e-06,3.804708e-06,3.787104e-06,3.770647e-06,3.755283e-06,3.740961e-06
0.000000e+00,8.551052e-09,3.131225e-07,3.313702e-07,3.566096e-06,1.868726e-05,1.981497e-05,6.850561e-05,1.583747e-04,1.656272e-04,3.095374e-04,4.699720e-04,4.846753e-04,6.719706e-04,8.374028e-04,8.551772e-04,1.023003e-03,1.152740e-03,1.168989e-03,1.290513e-03,1.375446e-03,1.387622e-03,1.462017e-03,1.508826e-03,1.516272e-03,1.553291e-03,1.572822e-03,1.575969e-03,1.586979e-03,1.588986e-03,1.588684e-03,1.583099e-03,1.574768e-03,1.571895e-03,1.556437e-03,1.542522e-03,1.537813e-03,1.516886e-03,1.500317e-03,1.494325e-03,1.470649e-03,1.453137e-03,1.446252e-03,1.421433e-03,1.403933e-03,1.396419e-03,1.371377e-03,1.354398e-03,1.346432e-03,1.321677e-03,1.305475e-03,1.297177e-03,1.272983e-03,1.257676e-03,1.249130e-03,1.225642e-03,1.211272e-03,1.202538e-03,1.179830e-03,1.166398e-03,1.157525e-03,1.135628e-03,1.123117e-03,1.114144e-03,1.093071e-03,1.081451e-03,1.072411e-03,1.052161e-03,1.041396e-03,1.032319e-03,1.012882e-03,1.002933e-03,9.938461e-04,9.752081e-04,9.660368e-04,9.569633e-04,9.391072e-04,9.306728e-04,9.216347e-04,9.045408e-04,8.968032e-04,8.878201e-04,8.714673e-04,8.643872e-04,8.554768e-04,8.398429e-04,8.333816e-04,8.245598e-04,8.096217e-04,8.037418e-04,7.950228e-04,7.807572e-04,7.754225e-04,7.668190e-04,7.532023e-04,7.483779e-04,7.399012e-04,7.269099e-04,7.225624e-04,7.142225e-04,7.018332e-04,6.979306e-04,6.897362e-04,6.779259e-04,6.744379e-04,6.663966e-04,6.551426e-04,6.520401e-04,6.441586e-04,6.334389e-04,6.306944e-04,6.229782e-04,6.127711e-04,6.103586e-04,6.028125e-04,5.930971e-04,5.909919e-04,5.836199e-04,5.743758e-04,5.725546e-04,5.653600e-04,5.565674e-04,5.550081e-04,5.479934e-04,5.396333e-04,5.383152e-04,5.314825e-04,5.235363e-04,5.224400e-04,5.157905e-04,5.082405e-04,5.073475e-04,5.008822e-04,4.937113e-04,4.930043e-04,4.867236e-04,4.799152e-04,4.793781e-04,4.732820e-04,4.668201e-04,4.664378e-04,4.605258e-04,4.543952e-04,4.541534e-04,4.484248e-04,4.426108e-04,4.424961e-04,4.369499e-04,4.314384e-04,4.209537e-04,4.110164e-04,4.016022e-04,3.926874e-04,3.842496e-04,3.762672e-04,3.687195e-04,3.615867e-04,3.548497e-04,3.484903e-04,3.424911e-04,3.368353e-04,3.315070e-04,3.264908e-04,3.217720e-04,3.173365e-04,3.131710e-04,3.092625e-04,3.055987e-04,3.021678e-04,2.989585e-04,2.959599e-04,2.931618e-04,2.905543e-04,2.881278e-04,2.858732e-04,2.837821e-04,2.818459e-04,2.800568e-04,2.784072e-04,2.768899e-04,2.754978e-04,2.742245e-04,2.730634e-04,2.720086e-04,2.710542e-04,2.701947e-04,2.694248e-04,2.687395e-04,2.681339e-04,2.676034e-04,2.671436e-04,2.667503e-04,2.664194e-04,2.661472e-04,2.659299e-04,2.657642e-04,2.656467e-04,2.655741e-04
0.000000e+00,6.643839e-10,1.356259e-08,1.421192e-08,8.808965e-08,2.524882e-07,2.609235e-07,4.821991e-07,6.755743e-07,6.869848e-07,8.602698e-07,9.934724e-07,1.003974e-06,1.122111e-06,1.209720e-06,1.218475e-06,1.296366e-06,1.351884e-06,1.358611e-06,1.407619e-06,1.440756e-06,1.445447e-06,1.473842e-06,1.491497e-06,1.494289e-06,1.508051e-06,1.515103e-06,1.516198e-06,1.519637e-06,1.519520e-06,1.519138e-06,1.515352e-06,1.510475e-06,1.508831e-06,1.500041e-06,1.492089e-06,1.489377e-06,1.477175e-06,1.467322e-06,1.463715e-06,1.449237e-06,1.438297e-06,1.433943e-06,1.418002e-06,1.406537e-06,1.401559e-06,1.384736e-06,1.373131e-06,1.367633e-06,1.350337e-06,1.338852e-06,1.332921e-06,1.315445e-06,1.304253e-06,1.297960e-06,1.280509e-06,1.269723e-06,1.263128e-06,1.245845e-06,1.235533e-06,1.228686e-06,1.211671e-06,1.201874e-06,1.194816e-06,1.178135e-06,1.168874e-06,1.161640e-06,1.145338e-06,1.136619e-06,1.129238e-06,1.113344e-06,1.105162e-06,1.097661e-06,1.082191e-06,1.074537e-06,1.066937e-06,1.051899e-06,1.044759e-06,1.037079e-06,1.022476e-06,1.015832e-06,1.008091e-06,9.939212e-07,9.877548e-07,9.799666e-07,9.662255e-07,9.605175e-07,9.526963e-07,9.393770e-07,9.341076e-07,9.262656e-07,9.133600e-07,9.085093e-07,9.006579e-07,8.881570e-07,8.837054e-07,8.758548e-07,8.637489e-07,8.596771e-07,8.518367e-07,8.401159e-07,8.364052e-07,8.285837e-07,8.172377e-07,8.138699e-07,8.060754e-07,7.950940e-07,7.920514e-07,7.842912e-07,7.736643e-07,7.709298e-07,7.632109e-07,7.529283e-07,7.504857e-07,7.428142e-07,7.328660e-07,7.306994e-07,7.230813e-07,7.134577e-07,7.115521e-07,7.039927e-07,6.946841e-07,6.930249e-07,6.855293e-07,6.765263e-07,6.750997e-07,6.676725e-07,6.589658e-07,6.577585e-07,6.504039e-07,6.419846e-07,6.409838e-07,6.337057e-07,6.255651e-07,6.247586e-07,6.175607e-07,6.096903e-07,6.090664e-07,6.019518e-07,5.943433e-07,5.938909e-07,5.868627e-07,5.795081e-07,5.792165e-07,5.722774e-07,5.651688e-07,5.650278e-07,5.581803e-07,5.513101e-07,5.380488e-07,5.252299e-07,5.128398e-07,5.008652e-07,4.892932e-07,4.781114e-07,4.673076e-07,4.568701e-07,4.467874e-07,4.370485e-07,4.276425e-07,4.185591e-07,4.097880e-07,4.013196e-07,3.931443e-07,3.852528e-07,3.776361e-07,3.702856e-07,3.631929e-07,3.563497e-07,3.497481e-07,3.433806e-07,3.372395e-07,3.313178e-07,3.256083e-07,3.201044e-07,3.147993e-07,3.096868e-07,3.047607e-07,3.000149e-07,2.954437e-07,2.910415e-07,2.868027e-07,2.827221e-07,2.787946e-07,2.750153e-07,2.713792e-07,2.678817e-07,2.645184e-07,2.612848e-07,2.581767e-07,2.551899e-07,2.523206e-07,2.495647e-07,2.469187e-07,2.443788e-07,2.419415e-07,2.396035e-07,2.373613e-07
0.000000e+00,1.664343e-08,2.703773e-07,2.827003e-07,1.820741e-06,6.394787e-06,6.677993e-06,1.634169e-05,2.905280e-05,2.993450e-05,4.498420e-05,5.854389e-05,5.968773e-05,7.341370e-05,8.482878e-05,8.604244e-05,9.759417e-05,1.069111e-04,1.081225e-04,1.176879e-04,1.251904e-04,1.263512e-04,1.341711e-04,1.401293e-04,1.412039e-04,1.475028e-04,1.521558e-04,1.531184e-04,1.580981e-04,1.616543e-04,1.624868e-04,1.663263e-04,1.689655e-04,1.696563e-04,1.725136e-04,1.743905e-04,1.749329e-04,1.769468e-04,1.781940e-04,1.785856e-04,1.798779e-04,1.806088e-04,1.808503e-04,1.815276e-04,1.818388e-04,1.819332e-04,1.820886e-04,1.820618e-04,1.820142e-04,1.817292e-04,1.814342e-04,1.812511e-04,1.805964e-04,1.800920e-04,1.797807e-04,1.788182e-04,1.781537e-04,1.777223e-04,1.765055e-04,1.757222e-04,1.751793e-04,1.737547e-04,1.728873e-04,1.722416e-04,1.706495e-04,1.697267e-04,1.689870e-04,1.672622e-04,1.663076e-04,1.654826e-04,1.636552e-04,1.626881e-04,1.617863e-04,1.598821e-04,1.589184e-04,1.579480e-04,1.559891e-04,1.550415e-04,1.540103e-04,1.520159e-04,1.510944e-04,1.500099e-04,1.479961e-04,1.471085e-04,1.459779e-04,1.439585e-04,1.431107e-04,1.419407e-04,1.399273e-04,1.391237e-04,1.379206e-04,1.359230e-04,1.351666e-04,1.339363e-04,1.319626e-04,1.312556e-04,1.300035e-04,1.280604e-04,1.274037e-04,1.261349e-04,1.242282e-04,1.236221e-04,1.223413e-04,1.204752e-04,1.199196e-04,1.186310e-04,1.168093e-04,1.163033e-04,1.150108e-04,1.132362e-04,1.127788e-04,1.114861e-04,1.097607e-04,1.093504e-04,1.080607e-04,1.063861e-04,1.060212e-04,1.047374e-04,1.031147e-04,1.027933e-04,1.015182e-04,9.994788e-05,9.966803e-05,9.840395e-05,9.688636e-05,9.664599e-05,9.539512e-05,9.393017e-05,9.372717e-05,9.249143e-05,9.107879e-05,9.091103e-05,8.969213e-05,8.833128e-05,8.819661e-05,8.699606e-05,8.568628e-05,8.558259e-05,8.440172e-05,8.314215e-05,8.306737e-05,8.190733e-05,8.069698e-05,8.064907e-05,7.951085e-05,7.834866e-05,7.832566e-05,7.721011e-05,7.609491e-05,7.395449e-05,7.190199e-05,6.993492e-05,6.805074e-05,6.624690e-05,6.452085e-05,6.287002e-05,6.129188e-05,5.978392e-05,5.834366e-05,5.696867e-05,5.565656e-05,5.440501e-05,5.321173e-05,5.207450e-05,5.099116e-05,4.995960e-05,4.897780e-05,4.804376e-05,4.715558e-05,4.631140e-05,4.550944e-05,4.474795e-05,4.402527e-05,4.333979e-05,4.268994e-05,4.207423e-05,4.149121e-05,4.093949e-05,4.041773e-05,3.992465e-05,3.945899e-05,3.901957e-05,3.860523e-05,3.821488e-05,3.784746e-05,3.750193e-05,3.717733e-05,3.687272e-05,3.658719e-05,3.631987e-05,3.606993e-05,3.583657e-05,3.561903e-05,3.541656e-05,3.522847e-05,3.505407e-05,3.489271e-05,3.474377e-05
0.000000e+00,5.367576e-09,1.837048e-07,1.941930e-07,2.005464e-06,1.030842e-05,1.092481e-05,3.743329e-05,8.594718e-05,8.983446e-05,1.659857e-04,2.487340e-04,2.562157e-04,3.503027e-04,4.320671e-04,4.408124e-04,5.234251e-04,5.879967e-04,5.961820e-04,6.586251e-04,7.043575e-04,7.111389e-04,7.545222e-04,7.846076e-04,7.897328e-04,8.177490e-04,8.360068e-04,8.394982e-04,8.558269e-04,8.654987e-04,8.674918e-04,8.751600e-04,8.787449e-04,8.794152e-04,8.807654e-04,8.801221e-04,8.796513e-04,8.764534e-04,8.729406e-04,8.715006e-04,8.650763e-04,8.596781e-04,8.574247e-04,8.487562e-04,8.421810e-04,8.392514e-04,8.290654e-04,8.218186e-04,8.183315e-04,8.071639e-04,7.996041e-04,7.956608e-04,7.839060e-04,7.762843e-04,7.719709e-04,7.599168e-04,7.524066e-04,7.477956e-04,7.356520e-04,7.283710e-04,7.235236e-04,7.114421e-04,7.044672e-04,6.994347e-04,6.875238e-04,6.809032e-04,6.757287e-04,6.640649e-04,6.578258e-04,6.525456e-04,6.411814e-04,6.353363e-04,6.299811e-04,6.189517e-04,6.135028e-04,6.080986e-04,5.974261e-04,5.923684e-04,5.869372e-04,5.766341e-04,5.719574e-04,5.665180e-04,5.565896e-04,5.522806e-04,5.468489e-04,5.372956e-04,5.333388e-04,5.279287e-04,5.187470e-04,5.151259e-04,5.097491e-04,5.009330e-04,4.976301e-04,4.922967e-04,4.838382e-04,4.808362e-04,4.755550e-04,4.674448e-04,4.647262e-04,4.595049e-04,4.517327e-04,4.492806e-04,4.441257e-04,4.366809e-04,4.344788e-04,4.293958e-04,4.222675e-04,4.202993e-04,4.152932e-04,4.084702e-04,4.067206e-04,4.017956e-04,3.952667e-04,3.937212e-04,3.888808e-04,3.826351e-04,3.812796e-04,3.765269e-04,3.705535e-04,3.693748e-04,3.647123e-04,3.590006e-04,3.579860e-04,3.534159e-04,3.479556e-04,3.470933e-04,3.426171e-04,3.373982e-04,3.366769e-04,3.322962e-04,3.273088e-04,3.267179e-04,3.224336e-04,3.176683e-04,3.171978e-04,3.130107e-04,3.084585e-04,3.080988e-04,3.040094e-04,2.996614e-04,2.994037e-04,2.954123e-04,2.912600e-04,2.910959e-04,2.872025e-04,2.832378e-04,2.831594e-04,2.793639e-04,2.755789e-04,2.683394e-04,2.614267e-04,2.548272e-04,2.485276e-04,2.425153e-04,2.367781e-04,2.313044e-04,2.260830e-04,2.211030e-04,2.163543e-04,2.118268e-04,2.075112e-04,2.033982e-04,1.994793e-04,1.957460e-04,1.921903e-04,1.888044e-04,1.855812e-04,1.825134e-04,1.795944e-04,1.768175e-04,1.741768e-04,1.716661e-04,1.692797e-04,1.670123e-04,1.648586e-04,1.628135e-04,1.608723e-04,1.590304e-04,1.572834e-04,1.556270e-04,1.540572e-04,1.525702e-04,1.511623e-04,1.498299e-04,1.485696e-04,1.473782e-04,1.462525e-04,1.451896e-04,1.441867e-04,1.432410e-04,1.423499e-04,1.415108e-04,1.407215e-04,1.399796e-04,1.392828e-04,1.386292e-04,1.380167e-04,1.374434e-04
0.000000e+00,2.866261e-08,6.495195e-07,6.816338e-07,4.981352e-06,1.881828e-05,1.970323e-05,5.123153e-05,9.597823e-05,9.920613e-05,1.563309e-04,2.099815e-04,2.145559e-04,2.696900e-04,3.156562e-04,3.205427e-04,3.670232e-04,4.044597e-04,4.093231e-04,4.476928e-04,4.777434e-04,4.823891e-04,5.136603e-04,5.374552e-04,5.417437e-04,5.668640e-04,5.854006e-04,5.892331e-04,6.090501e-04,6.231921e-04,6.265018e-04,6.417633e-04,6.522523e-04,6.549980e-04,6.663587e-04,6.738276e-04,6.759880e-04,6.840191e-04,6.890064e-04,6.905760e-04,6.957742e-04,6.987366e-04,6.997217e-04,7.025187e-04,7.038423e-04,7.042586e-04,7.050286e-04,7.050395e-04,7.049094e-04,7.039764e-04,7.029490e-04,7.022996e-04,6.999441e-04,6.981086e-04,6.969705e-04,6.934349e-04,6.909837e-04,6.893896e-04,6.848831e-04,6.819767e-04,6.799604e-04,6.746632e-04,6.714346e-04,6.690302e-04,6.630975e-04,6.596567e-04,6.568982e-04,6.504632e-04,6.469004e-04,6.438210e-04,6.369981e-04,6.333869e-04,6.300188e-04,6.229057e-04,6.193056e-04,6.156797e-04,6.083600e-04,6.048186e-04,6.009644e-04,5.935093e-04,5.900641e-04,5.860096e-04,5.784793e-04,5.751596e-04,5.709312e-04,5.633768e-04,5.602047e-04,5.558269e-04,5.482914e-04,5.452833e-04,5.407793e-04,5.332987e-04,5.304659e-04,5.258571e-04,5.184613e-04,5.158112e-04,5.111175e-04,5.038313e-04,5.013681e-04,4.966078e-04,4.894516e-04,4.871764e-04,4.823666e-04,4.753567e-04,4.732688e-04,4.684249e-04,4.615744e-04,4.596711e-04,4.548075e-04,4.481266e-04,4.464039e-04,4.415336e-04,4.350301e-04,4.334828e-04,4.286176e-04,4.222973e-04,4.209193e-04,4.160701e-04,4.099369e-04,4.087216e-04,4.038982e-04,3.979545e-04,3.968948e-04,3.921061e-04,3.863530e-04,3.854413e-04,3.806953e-04,3.751329e-04,3.743618e-04,3.696656e-04,3.642930e-04,3.636547e-04,3.590148e-04,3.538304e-04,3.533171e-04,3.487394e-04,3.437409e-04,3.433450e-04,3.388345e-04,3.340192e-04,3.337332e-04,3.292944e-04,3.246591e-04,3.244755e-04,3.201124e-04,3.156535e-04,3.155653e-04,3.112815e-04,3.069952e-04,2.987575e-04,2.908442e-04,2.832471e-04,2.759575e-04,2.689669e-04,2.622668e-04,2.558485e-04,2.497033e-04,2.438228e-04,2.381987e-04,2.328226e-04,2.276863e-04,2.227820e-04,2.181016e-04,2.136376e-04,2.093824e-04,2.053287e-04,2.014694e-04,1.977975e-04,1.943063e-04,1.909891e-04,1.878397e-04,1.848518e-04,1.820193e-04,1.793365e-04,1.767976e-04,1.743973e-04,1.721300e-04,1.699908e-04,1.679746e-04,1.660766e-04,1.642920e-04,1.626163e-04,1.610452e-04,1.595744e-04,1.581997e-04,1.569172e-04,1.557231e-04,1.546135e-04,1.535850e-04,1.526339e-04,1.517570e-04,1.509510e-04,1.502127e-04,1.495390e-04,1.489271e-04,1.483740e-04,1.478771e-04,1.474336e-04
0.000000e+00,1.678265e-09,2.627672e-08,2.751117e-08,1.873725e-07,6.611580e-07,6.894478e-07,1.555076e-06,2.480748e-06,2.539930e-06,3.506161e-06,4.350110e-06,4.421242e-06,5.279556e-06,6.003811e-06,6.081520e-06,6.828985e-06,7.443399e-06,7.524126e-06,8.169165e-06,8.685505e-06,8.766301e-06,9.317707e-06,9.747113e-06,9.825521e-06,1.029184e-05,1.064469e-05,1.071871e-05,1.110815e-05,1.139407e-05,1.146212e-05,1.178250e-05,1.201026e-05,1.207112e-05,1.232976e-05,1.250731e-05,1.256011e-05,1.276380e-05,1.289828e-05,1.294237e-05,1.309729e-05,1.319497e-05,1.322996e-05,1.334173e-05,1.340823e-05,1.343389e-05,1.350765e-05,1.354791e-05,1.356421e-05,1.360472e-05,1.362320e-05,1.363027e-05,1.364185e-05,1.364237e-05,1.364041e-05,1.362684e-05,1.361271e-05,1.360199e-05,1.356667e-05,1.354076e-05,1.352163e-05,1.346758e-05,1.343239e-05,1.340523e-05,1.333519e-05,1.329285e-05,1.325810e-05,1.317451e-05,1.312686e-05,1.308497e-05,1.298999e-05,1.293862e-05,1.289006e-05,1.278563e-05,1.273186e-05,1.267712e-05,1.256495e-05,1.250992e-05,1.244950e-05,1.233111e-05,1.227577e-05,1.221014e-05,1.208689e-05,1.203201e-05,1.196166e-05,1.183473e-05,1.178097e-05,1.170636e-05,1.157680e-05,1.152469e-05,1.144627e-05,1.131500e-05,1.126496e-05,1.118317e-05,1.105099e-05,1.100335e-05,1.091862e-05,1.078623e-05,1.074124e-05,1.065397e-05,1.052198e-05,1.047982e-05,1.039039e-05,1.025933e-05,1.022013e-05,1.012890e-05,9.999207e-06,9.963040e-06,9.870355e-06,9.742428e-06,9.709328e-06,9.615507e-06,9.489667e-06,9.459633e-06,9.364976e-06,9.241496e-06,9.214499e-06,9.119285e-06,8.998393e-06,8.974377e-06,8.878866e-06,8.760745e-06,8.739636e-06,8.644069e-06,8.528869e-06,8.510576e-06,8.415174e-06,8.303010e-06,8.287430e-06,8.192398e-06,8.083357e-06,8.070378e-06,7.975902e-06,7.870045e-06,7.859548e-06,7.765797e-06,7.663164e-06,7.655024e-06,7.562153e-06,7.462765e-06,7.456854e-06,7.365002e-06,7.268862e-06,7.265051e-06,7.174344e-06,7.081441e-06,7.079599e-06,6.990149e-06,6.900459e-06,6.727567e-06,6.560841e-06,6.400185e-06,6.245490e-06,6.096635e-06,5.953491e-06,5.815919e-06,5.683778e-06,5.556920e-06,5.435194e-06,5.318450e-06,5.206532e-06,5.099286e-06,4.996559e-06,4.898197e-06,4.804050e-06,4.713967e-06,4.627801e-06,4.545409e-06,4.466649e-06,4.391381e-06,4.319472e-06,4.250788e-06,4.185201e-06,4.122586e-06,4.062823e-06,4.005794e-06,3.951384e-06,3.899485e-06,3.849989e-06,3.802794e-06,3.757801e-06,3.714914e-06,3.674041e-06,3.635093e-06,3.597985e-06,3.562634e-06,3.528962e-06,3.496892e-06,3.466353e-06,3.437273e-06,3.409586e-06,3.383228e-06,3.358137e-06,3.334253e-06,3.311519e-06,3.289883e-06,3.269291e-06,3.249695e-06
0.000000e+00,2.202457e-08,8.489720e-07,8.992942e-07,9.662786e-06,4.702313e-05,4.965666e-05,1.523610e-04,3.116022e-04,3.234215e-04,5.390491e-04,7.534258e-04,7.722464e-04,1.005261e-03,1.207134e-03,1.228943e-03,1.439337e-03,1.612409e-03,1.635122e-03,1.816186e-03,1.960429e-03,1.982933e-03,2.135970e-03,2.254418e-03,2.275971e-03,2.403634e-03,2.499598e-03,2.519652e-03,2.624700e-03,2.701282e-03,2.719434e-03,2.804480e-03,2.864479e-03,2.880441e-03,2.947887e-03,2.993789e-03,3.007364e-03,3.059386e-03,3.093372e-03,3.104442e-03,3.142994e-03,3.166970e-03,3.175479e-03,3.202308e-03,3.217932e-03,3.223870e-03,3.240533e-03,3.249242e-03,3.252641e-03,3.260521e-03,3.263555e-03,3.264478e-03,3.264802e-03,3.263229e-03,3.261764e-03,3.255620e-03,3.250356e-03,3.246609e-03,3.234958e-03,3.226789e-03,3.220879e-03,3.204570e-03,3.194164e-03,3.186220e-03,3.166003e-03,3.153928e-03,3.144084e-03,3.120619e-03,3.107356e-03,3.095751e-03,3.069617e-03,3.055569e-03,3.042343e-03,3.014049e-03,2.999555e-03,2.984846e-03,2.954838e-03,2.940177e-03,2.924123e-03,2.892791e-03,2.878195e-03,2.860928e-03,2.828612e-03,2.814269e-03,2.795917e-03,2.762913e-03,2.748975e-03,2.729663e-03,2.696228e-03,2.682814e-03,2.662661e-03,2.629016e-03,2.616220e-03,2.595339e-03,2.561674e-03,2.549566e-03,2.528063e-03,2.494544e-03,2.483175e-03,2.461151e-03,2.427917e-03,2.417320e-03,2.394870e-03,2.362039e-03,2.352236e-03,2.329448e-03,2.297121e-03,2.288119e-03,2.265077e-03,2.233336e-03,2.225135e-03,2.201914e-03,2.170829e-03,2.163420e-03,2.140093e-03,2.109719e-03,2.103086e-03,2.079718e-03,2.050100e-03,2.044224e-03,2.020875e-03,1.992049e-03,1.986904e-03,1.963630e-03,1.935623e-03,1.931180e-03,1.908033e-03,1.880863e-03,1.877093e-03,1.854118e-03,1.827799e-03,1.824670e-03,1.801909e-03,1.776448e-03,1.773925e-03,1.751417e-03,1.726816e-03,1.724866e-03,1.702645e-03,1.678903e-03,1.677492e-03,1.655588e-03,1.632698e-03,1.631792e-03,1.610233e-03,1.588188e-03,1.587752e-03,1.566562e-03,1.545352e-03,1.504567e-03,1.465371e-03,1.427731e-03,1.391614e-03,1.356985e-03,1.323808e-03,1.292044e-03,1.261654e-03,1.232598e-03,1.204838e-03,1.178333e-03,1.153043e-03,1.128929e-03,1.105951e-03,1.084070e-03,1.063249e-03,1.043449e-03,1.024633e-03,1.006766e-03,9.898117e-04,9.737354e-04,9.585035e-04,9.440830e-04,9.304417e-04,9.175486e-04,9.053733e-04,8.938863e-04,8.830590e-04,8.728639e-04,8.632739e-04,8.542632e-04,8.458065e-04,8.378796e-04,8.304587e-04,8.235213e-04,8.170453e-04,8.110094e-04,8.053932e-04,8.001769e-04,7.953412e-04,7.908680e-04,7.867393e-04,7.829382e-04,7.794480e-04,7.762530e-04,7.733378e-04,7.706878e-04,7.682888e-04,7.661272e-04
0.000000e+00,1.675165e-08,4.205952e-07,4.423896e-07,3.554526e-06,1.421361e-05,1.490871e-05,4.002677e-05,7.565257e-05,7.819429e-05,1.224527e-04,1.631519e-04,1.666020e-04,2.080908e-04,2.426469e-04,2.463218e-04,2.813011e-04,3.095161e-04,3.131848e-04,3.421597e-04,3.648954e-04,3.684141e-04,3.921298e-04,4.102161e-04,4.134800e-04,4.326286e-04,4.467963e-04,4.497301e-04,4.649296e-04,4.758117e-04,4.783635e-04,4.901595e-04,4.983007e-04,5.004374e-04,5.093089e-04,5.151750e-04,5.168783e-04,5.232438e-04,5.272331e-04,5.284967e-04,5.327223e-04,5.351735e-04,5.360001e-04,5.384044e-04,5.396050e-04,5.400044e-04,5.408645e-04,5.410576e-04,5.410448e-04,5.406013e-04,5.399923e-04,5.395861e-04,5.380477e-04,5.368095e-04,5.360312e-04,5.335787e-04,5.318565e-04,5.307293e-04,5.275194e-04,5.254346e-04,5.239828e-04,5.201508e-04,5.178045e-04,5.160526e-04,5.117154e-04,5.091916e-04,5.071643e-04,5.024226e-04,4.997905e-04,4.975119e-04,4.924524e-04,4.897689e-04,4.872626e-04,4.819598e-04,4.792710e-04,4.765598e-04,4.710775e-04,4.684207e-04,4.655264e-04,4.599191e-04,4.573241e-04,4.542673e-04,4.485816e-04,4.460718e-04,4.428720e-04,4.371475e-04,4.347408e-04,4.314165e-04,4.256867e-04,4.233966e-04,4.199650e-04,4.142580e-04,4.120945e-04,4.085717e-04,4.029112e-04,4.008808e-04,3.972817e-04,3.916875e-04,3.897943e-04,3.861328e-04,3.806212e-04,3.788672e-04,3.751561e-04,3.697404e-04,3.681258e-04,3.643769e-04,3.590680e-04,3.575916e-04,3.538158e-04,3.486223e-04,3.472818e-04,3.434890e-04,3.384176e-04,3.372098e-04,3.334092e-04,3.284650e-04,3.273859e-04,3.235858e-04,3.187725e-04,3.178178e-04,3.140257e-04,3.093459e-04,3.085106e-04,3.047334e-04,3.001886e-04,2.994677e-04,2.957116e-04,2.913025e-04,2.906906e-04,2.869612e-04,2.826876e-04,2.821794e-04,2.784817e-04,2.743432e-04,2.739330e-04,2.702716e-04,2.662668e-04,2.659493e-04,2.623284e-04,2.584557e-04,2.582254e-04,2.546484e-04,2.509060e-04,2.507576e-04,2.472278e-04,2.436134e-04,2.435417e-04,2.400619e-04,2.365729e-04,2.298462e-04,2.233561e-04,2.170971e-04,2.110633e-04,2.052490e-04,1.996481e-04,1.942546e-04,1.890625e-04,1.840659e-04,1.792589e-04,1.746356e-04,1.701902e-04,1.659170e-04,1.618105e-04,1.578652e-04,1.540758e-04,1.504370e-04,1.469439e-04,1.435913e-04,1.403746e-04,1.372890e-04,1.343299e-04,1.314930e-04,1.287739e-04,1.261685e-04,1.236727e-04,1.212827e-04,1.189947e-04,1.168049e-04,1.147099e-04,1.127062e-04,1.107906e-04,1.089597e-04,1.072105e-04,1.055400e-04,1.039452e-04,1.024235e-04,1.009721e-04,9.958829e-05,9.826966e-05,9.701374e-05,9.581817e-05,9.468067e-05,9.359904e-05,9.257116e-05,9.159499e-05,9.066854e-05,8.978989e-05,8.895721e-05
0.000000e+00,1.291949e-08,5.210557e-07,5.527288e-07,6.494145e-06,3.462040e-05,3.668670e-05,1.211736e-04,2.599204e-04,2.704501e-04,4.661666e-04,6.646920e-04,6.821878e-04,8.981536e-04,1.082157e-03,1.101748e-03,1.286848e-03,1.432607e-03,1.451222e-03,1.594811e-03,1.702448e-03,1.718651e-03,1.824261e-03,1.900111e-03,1.913317e-03,1.987486e-03,2.038309e-03,2.048349e-03,2.097369e-03,2.128959e-03,2.135880e-03,2.165091e-03,2.182123e-03,2.186090e-03,2.199855e-03,2.206020e-03,2.207261e-03,2.209091e-03,2.207271e-03,2.206046e-03,2.198750e-03,2.191181e-03,2.187762e-03,2.173575e-03,2.161979e-03,2.156631e-03,2.137322e-03,2.123021e-03,2.115998e-03,2.092966e-03,2.076964e-03,2.068501e-03,2.042846e-03,2.025903e-03,2.016216e-03,1.988801e-03,1.971485e-03,1.960770e-03,1.932270e-03,1.915000e-03,1.903432e-03,1.874371e-03,1.857454e-03,1.845188e-03,1.815972e-03,1.799625e-03,1.786799e-03,1.757738e-03,1.742113e-03,1.728847e-03,1.700177e-03,1.685371e-03,1.671772e-03,1.643670e-03,1.629742e-03,1.615902e-03,1.588497e-03,1.575478e-03,1.561477e-03,1.534861e-03,1.522758e-03,1.508666e-03,1.482904e-03,1.471708e-03,1.457585e-03,1.432717e-03,1.422409e-03,1.408306e-03,1.384357e-03,1.374907e-03,1.360871e-03,1.337849e-03,1.329222e-03,1.315291e-03,1.293196e-03,1.285355e-03,1.271561e-03,1.250384e-03,1.243287e-03,1.229659e-03,1.209384e-03,1.202990e-03,1.189553e-03,1.170160e-03,1.164427e-03,1.151200e-03,1.132667e-03,1.127553e-03,1.114554e-03,1.096856e-03,1.092321e-03,1.079564e-03,1.062673e-03,1.058678e-03,1.046175e-03,1.030063e-03,1.026570e-03,1.014331e-03,9.989703e-04,9.959423e-04,9.839750e-04,9.693374e-04,9.667402e-04,9.550507e-04,9.411078e-04,9.389083e-04,9.275016e-04,9.142252e-04,9.123925e-04,9.012719e-04,8.886347e-04,8.871392e-04,8.763070e-04,8.642823e-04,8.630962e-04,8.525539e-04,8.411155e-04,8.402127e-04,8.299607e-04,8.190833e-04,8.184394e-04,8.084773e-04,7.981365e-04,7.977283e-04,7.880551e-04,7.782273e-04,7.780333e-04,7.686474e-04,7.593098e-04,7.415149e-04,7.246072e-04,7.085470e-04,6.932962e-04,6.788181e-04,6.650778e-04,6.520415e-04,6.396770e-04,6.279533e-04,6.168411e-04,6.063118e-04,5.963385e-04,5.868952e-04,5.779571e-04,5.695006e-04,5.615028e-04,5.539422e-04,5.467980e-04,5.400503e-04,5.336803e-04,5.276698e-04,5.220014e-04,5.166587e-04,5.116258e-04,5.068877e-04,5.024298e-04,4.982385e-04,4.943004e-04,4.906032e-04,4.871346e-04,4.838833e-04,4.808383e-04,4.779892e-04,4.753258e-04,4.728388e-04,4.705190e-04,4.683577e-04,4.663467e-04,4.644779e-04,4.627440e-04,4.611376e-04,4.596520e-04,4.582805e-04,4.570170e-04,4.558555e-04,4.547902e-04,4.538159e-04,4.529273e-04,4.521196e-04
0.000000e+00,2.101078e-08,6.250342e-07,6.587635e-07,6.131680e-06,3.106927e-05,3.295027e-05,1.170392e-04,2.816377e-04,2.952552e-04,5.715237e-04,8.891654e-04,9.187368e-04,1.303597e-03,1.660728e-03,1.700423e-03,2.093062e-03,2.427875e-03,2.472539e-03,2.834359e-03,3.129877e-03,3.176576e-03,3.498607e-03,3.753590e-03,3.800573e-03,4.082952e-03,4.300338e-03,4.346391e-03,4.591616e-03,4.775190e-03,4.819383e-03,5.030453e-03,5.183979e-03,5.225575e-03,5.405485e-03,5.532482e-03,5.570895e-03,5.722496e-03,5.826184e-03,5.860955e-03,5.986913e-03,6.070209e-03,6.100987e-03,6.203771e-03,6.269309e-03,6.295836e-03,6.377728e-03,6.427873e-03,6.449972e-03,6.513072e-03,6.549943e-03,6.567509e-03,6.613746e-03,6.639240e-03,6.652226e-03,6.683373e-03,6.699180e-03,6.707592e-03,6.725273e-03,6.732897e-03,6.736785e-03,6.742486e-03,6.743264e-03,6.742715e-03,6.737796e-03,6.732910e-03,6.728041e-03,6.713746e-03,6.704239e-03,6.695195e-03,6.672657e-03,6.659449e-03,6.646393e-03,6.616647e-03,6.600543e-03,6.583655e-03,6.547643e-03,6.529346e-03,6.508822e-03,6.467398e-03,6.447523e-03,6.423565e-03,6.377508e-03,6.356583e-03,6.329402e-03,6.279416e-03,6.257900e-03,6.227709e-03,6.174433e-03,6.152716e-03,6.119732e-03,6.063744e-03,6.042158e-03,6.006597e-03,5.948417e-03,5.927242e-03,5.889321e-03,5.829419e-03,5.808887e-03,5.768817e-03,5.707615e-03,5.687919e-03,5.645908e-03,5.583785e-03,5.565080e-03,5.521332e-03,5.458628e-03,5.441036e-03,5.395749e-03,5.332766e-03,5.316382e-03,5.269747e-03,5.206755e-03,5.191648e-03,5.143851e-03,5.081089e-03,5.067306e-03,5.018524e-03,4.956204e-03,4.943774e-03,4.894176e-03,4.832485e-03,4.821419e-03,4.771170e-03,4.710270e-03,4.700567e-03,4.649821e-03,4.589855e-03,4.581500e-03,4.530403e-03,4.471495e-03,4.464464e-03,4.413156e-03,4.355412e-03,4.349671e-03,4.298283e-03,4.241793e-03,4.237302e-03,4.185958e-03,4.130797e-03,4.127510e-03,4.076326e-03,4.022559e-03,4.020423e-03,3.969508e-03,3.917185e-03,3.916146e-03,3.865602e-03,3.814765e-03,3.716346e-03,3.620937e-03,3.528574e-03,3.439277e-03,3.353056e-03,3.269907e-03,3.189821e-03,3.112777e-03,3.038748e-03,2.967698e-03,2.899588e-03,2.834372e-03,2.772002e-03,2.712423e-03,2.655581e-03,2.601415e-03,2.549864e-03,2.500864e-03,2.454351e-03,2.410259e-03,2.368519e-03,2.329065e-03,2.291827e-03,2.256739e-03,2.223731e-03,2.192737e-03,2.163687e-03,2.136516e-03,2.111156e-03,2.087541e-03,2.065605e-03,2.045286e-03,2.026518e-03,2.009240e-03,1.993390e-03,1.978909e-03,1.965738e-03,1.953818e-03,1.943093e-03,1.933508e-03,1.925008e-03,1.917542e-03,1.911056e-03,1.905502e-03,1.900830e-03,1.896993e-03,1.893944e-03,1.891640e-03,1.890035e-03
0.000000e+00,1.337798e-08,4.462472e-07,4.713936e-07,4.733716e-06,2.418555e-05,2.563717e-05,8.935981e-05,2.121066e-04,2.222457e-04,4.284911e-04,6.668631e-04,6.890826e-04,9.776734e-04,1.242576e-03,1.271731e-03,1.555727e-03,1.789884e-03,1.820446e-03,2.061251e-03,2.247892e-03,2.276474e-03,2.466215e-03,2.606683e-03,2.631561e-03,2.774094e-03,2.875199e-03,2.895601e-03,2.997914e-03,3.067145e-03,3.082814e-03,3.151989e-03,3.196046e-03,3.207013e-03,3.249336e-03,3.273830e-03,3.280289e-03,3.301088e-03,3.310595e-03,3.312837e-03,3.316543e-03,3.314745e-03,3.313115e-03,3.303380e-03,3.293216e-03,3.288084e-03,3.267903e-03,3.251702e-03,3.243445e-03,3.215262e-03,3.194864e-03,3.183851e-03,3.149657e-03,3.126501e-03,3.113085e-03,3.074496e-03,3.049702e-03,3.034216e-03,2.992537e-03,2.966968e-03,2.949721e-03,2.906004e-03,2.880318e-03,2.861594e-03,2.816680e-03,2.791370e-03,2.771428e-03,2.725988e-03,2.701419e-03,2.680492e-03,2.635057e-03,2.611489e-03,2.589786e-03,2.544772e-03,2.522386e-03,2.500094e-03,2.455822e-03,2.434734e-03,2.412018e-03,2.368735e-03,2.349012e-03,2.326018e-03,2.283908e-03,2.265580e-03,2.242437e-03,2.201633e-03,2.184700e-03,2.161519e-03,2.122115e-03,2.106555e-03,2.083434e-03,2.045489e-03,2.031265e-03,2.008288e-03,1.971838e-03,1.958900e-03,1.936141e-03,1.901199e-03,1.889490e-03,1.867010e-03,1.833574e-03,1.823032e-03,1.800885e-03,1.768938e-03,1.759498e-03,1.737727e-03,1.707244e-03,1.698839e-03,1.677482e-03,1.648430e-03,1.640992e-03,1.620080e-03,1.592420e-03,1.585883e-03,1.565440e-03,1.539130e-03,1.533430e-03,1.513477e-03,1.488470e-03,1.483545e-03,1.464096e-03,1.440344e-03,1.436134e-03,1.417202e-03,1.394658e-03,1.391105e-03,1.372698e-03,1.351311e-03,1.348362e-03,1.330485e-03,1.310208e-03,1.307811e-03,1.290466e-03,1.271249e-03,1.269356e-03,1.252545e-03,1.234341e-03,1.232906e-03,1.216627e-03,1.199390e-03,1.198370e-03,1.182619e-03,1.166304e-03,1.165661e-03,1.150434e-03,1.134996e-03,1.134692e-03,1.119982e-03,1.105381e-03,1.077648e-03,1.051416e-03,1.026612e-03,1.003165e-03,9.810072e-04,9.600733e-04,9.403016e-04,9.216331e-04,9.040112e-04,8.873822e-04,8.716947e-04,8.569000e-04,8.429516e-04,8.298051e-04,8.174187e-04,8.057521e-04,7.947674e-04,7.844285e-04,7.747009e-04,7.655520e-04,7.569509e-04,7.488680e-04,7.412755e-04,7.341467e-04,7.274565e-04,7.211809e-04,7.152973e-04,7.097841e-04,7.046208e-04,6.997881e-04,6.952675e-04,6.910416e-04,6.870940e-04,6.834087e-04,6.799711e-04,6.767669e-04,6.737828e-04,6.710061e-04,6.684249e-04,6.660276e-04,6.638036e-04,6.617426e-04,6.598349e-04,6.580714e-04,6.564433e-04,6.549425e-04,6.535612e-04,6.522919e-04,6.511279e-04
0.000000e+00,1.145240e-08,3.205535e-07,3.375096e-07,2.957065e-06,1.383838e-05,1.462466e-05,4.774817e-05,1.077168e-04,1.125172e-04,2.061698e-04,3.065733e-04,3.155774e-04,4.281153e-04,5.257782e-04,5.362797e-04,6.367429e-04,7.179208e-04,7.284589e-04,8.114098e-04,8.760276e-04,8.859823e-04,9.526994e-04,1.003076e-03,1.012114e-03,1.064770e-03,1.103267e-03,1.111183e-03,1.151844e-03,1.180538e-03,1.187208e-03,1.217704e-03,1.238367e-03,1.243728e-03,1.265651e-03,1.279781e-03,1.283816e-03,1.298540e-03,1.307395e-03,1.310118e-03,1.318824e-03,1.323455e-03,1.324908e-03,1.328607e-03,1.329892e-03,1.330134e-03,1.329690e-03,1.328355e-03,1.327457e-03,1.323606e-03,1.320253e-03,1.318291e-03,1.311658e-03,1.306783e-03,1.303839e-03,1.294956e-03,1.288963e-03,1.285121e-03,1.274439e-03,1.267662e-03,1.263004e-03,1.250904e-03,1.243613e-03,1.238220e-03,1.225025e-03,1.217438e-03,1.211387e-03,1.197370e-03,1.189662e-03,1.183029e-03,1.168418e-03,1.160729e-03,1.153584e-03,1.138571e-03,1.131010e-03,1.123419e-03,1.108164e-03,1.100816e-03,1.092841e-03,1.077479e-03,1.070408e-03,1.062107e-03,1.046748e-03,1.040001e-03,1.031427e-03,1.016163e-03,1.009774e-03,1.000976e-03,9.858812e-04,9.798730e-04,9.708950e-04,9.560306e-04,9.504167e-04,9.413002e-04,9.267146e-04,9.215012e-04,9.122835e-04,8.980153e-04,8.932026e-04,8.839175e-04,8.699967e-04,8.655803e-04,8.562584e-04,8.427077e-04,8.386797e-04,8.293486e-04,8.161846e-04,8.125341e-04,8.032187e-04,7.904531e-04,7.871671e-04,7.778897e-04,7.655297e-04,7.625937e-04,7.533742e-04,7.414235e-04,7.388219e-04,7.296780e-04,7.181374e-04,7.158538e-04,7.068013e-04,6.956690e-04,6.936867e-04,6.847395e-04,6.740118e-04,6.723139e-04,6.634843e-04,6.531557e-04,6.517255e-04,6.430243e-04,6.330881e-04,6.319088e-04,6.233453e-04,6.137938e-04,6.128491e-04,6.044315e-04,5.952560e-04,5.945300e-04,5.862652e-04,5.774565e-04,5.769337e-04,5.688276e-04,5.603760e-04,5.600416e-04,5.520992e-04,5.439947e-04,5.438343e-04,5.360598e-04,5.282920e-04,5.133945e-04,4.991215e-04,4.854527e-04,4.723681e-04,4.598477e-04,4.478719e-04,4.364212e-04,4.254768e-04,4.150201e-04,4.050331e-04,3.954981e-04,3.863981e-04,3.777165e-04,3.694370e-04,3.615442e-04,3.540228e-04,3.468583e-04,3.400365e-04,3.335437e-04,3.273669e-04,3.214932e-04,3.159104e-04,3.106066e-04,3.055705e-04,3.007911e-04,2.962577e-04,2.919603e-04,2.878890e-04,2.840344e-04,2.803873e-04,2.769390e-04,2.736812e-04,2.706057e-04,2.677048e-04,2.649709e-04,2.623968e-04,2.599757e-04,2.577008e-04,2.555657e-04,2.535643e-04,2.516907e-04,2.499392e-04,2.483043e-04,2.467808e-04,2.453636e-04,2.440477e-04,2.428287e-04,2.417019e-04,2.406631e-04
0.000000e+00,6.497240e-09,2.231972e-07,2.358379e-07,2.419706e-06,1.294728e-05,1.375706e-05,5.122567e-05,1.302171e-04,1.370591e-04,2.854120e-04,4.772495e-04,4.962073e-04,7.589350e-04,1.027173e-03,1.058292e-03,1.378216e-03,1.665153e-03,1.704162e-03,2.024152e-03,2.287542e-03,2.329053e-03,2.612440e-03,2.830822e-03,2.870243e-03,3.100323e-03,3.267817e-03,3.302043e-03,3.475883e-03,3.595709e-03,3.623103e-03,3.745477e-03,3.825009e-03,3.845079e-03,3.924116e-03,3.971802e-03,3.984814e-03,4.029331e-03,4.053059e-03,4.059704e-03,4.077814e-03,4.084227e-03,4.085371e-03,4.083906e-03,4.078247e-03,4.074778e-03,4.059177e-03,4.045405e-03,4.038139e-03,4.012562e-03,3.993575e-03,3.983218e-03,3.950764e-03,3.928625e-03,3.915763e-03,3.878690e-03,3.854845e-03,3.839950e-03,3.799883e-03,3.775328e-03,3.758777e-03,3.716872e-03,3.692284e-03,3.674373e-03,3.631450e-03,3.607283e-03,3.588248e-03,3.544887e-03,3.521444e-03,3.501471e-03,3.458085e-03,3.435560e-03,3.414802e-03,3.371684e-03,3.350204e-03,3.328784e-03,3.286147e-03,3.265786e-03,3.243810e-03,3.201806e-03,3.182604e-03,3.160163e-03,3.118905e-03,3.100878e-03,3.078051e-03,3.037619e-03,3.020767e-03,2.997624e-03,2.958079e-03,2.942389e-03,2.918993e-03,2.880377e-03,2.865827e-03,2.842237e-03,2.804579e-03,2.791141e-03,2.767408e-03,2.730728e-03,2.718370e-03,2.694542e-03,2.658852e-03,2.647537e-03,2.623660e-03,2.588965e-03,2.578653e-03,2.554768e-03,2.521069e-03,2.511722e-03,2.487866e-03,2.455158e-03,2.446735e-03,2.422943e-03,2.391220e-03,2.383679e-03,2.359985e-03,2.329235e-03,2.322535e-03,2.298968e-03,2.269181e-03,2.263280e-03,2.239869e-03,2.211029e-03,2.205888e-03,2.182657e-03,2.154750e-03,2.150327e-03,2.127302e-03,2.100310e-03,2.096567e-03,2.073769e-03,2.047675e-03,2.044574e-03,2.022024e-03,1.996809e-03,1.994312e-03,1.972028e-03,1.947675e-03,1.945745e-03,1.923745e-03,1.900234e-03,1.898837e-03,1.877137e-03,1.854449e-03,1.853550e-03,1.832165e-03,1.810280e-03,1.809846e-03,1.788790e-03,1.767689e-03,1.727040e-03,1.687863e-03,1.650120e-03,1.613775e-03,1.578791e-03,1.545133e-03,1.512765e-03,1.481653e-03,1.451763e-03,1.423061e-03,1.395514e-03,1.369091e-03,1.343759e-03,1.319488e-03,1.296247e-03,1.274007e-03,1.252738e-03,1.232412e-03,1.213001e-03,1.194478e-03,1.176815e-03,1.159988e-03,1.143970e-03,1.128736e-03,1.114261e-03,1.100523e-03,1.087496e-03,1.075159e-03,1.063488e-03,1.052462e-03,1.042059e-03,1.032258e-03,1.023038e-03,1.014380e-03,1.006262e-03,9.986670e-04,9.915746e-04,9.849666e-04,9.788249e-04,9.731316e-04,9.678695e-04,9.630215e-04,9.585710e-04,9.545017e-04,9.507977e-04,9.474436e-04,9.444241e-04,9.417243e-04,9.393300e-04
0.000000e+00,5.661677e-10,6.912416e-09,7.200589e-09,3.977480e-08,1.268230e-07,1.320376e-07,3.064286e-07,5.363449e-07,5.525416e-07,8.349279e-07,1.095715e-06,1.117797e-06,1.381949e-06,1.598975e-06,1.621851e-06,1.837338e-06,2.007804e-06,2.029725e-06,2.200652e-06,2.331750e-06,2.351775e-06,2.484673e-06,2.583314e-06,2.600833e-06,2.701645e-06,2.773766e-06,2.788399e-06,2.862294e-06,2.912898e-06,2.924437e-06,2.975853e-06,3.009122e-06,3.017488e-06,3.050213e-06,3.069622e-06,3.074832e-06,3.092091e-06,3.100530e-06,3.102677e-06,3.107219e-06,3.107077e-06,3.106301e-06,3.100456e-06,3.093698e-06,3.090176e-06,3.075915e-06,3.064157e-06,3.058088e-06,3.037077e-06,3.021636e-06,3.013231e-06,2.986873e-06,2.968823e-06,2.958298e-06,2.927775e-06,2.907982e-06,2.895551e-06,2.861854e-06,2.841015e-06,2.826890e-06,2.790848e-06,2.769519e-06,2.753901e-06,2.716206e-06,2.694824e-06,2.677906e-06,2.639133e-06,2.618040e-06,2.600003e-06,2.560626e-06,2.540085e-06,2.521099e-06,2.481511e-06,2.461719e-06,2.441940e-06,2.402460e-06,2.383561e-06,2.363135e-06,2.324023e-06,2.306117e-06,2.285176e-06,2.246641e-06,2.229796e-06,2.208460e-06,2.170668e-06,2.154920e-06,2.133299e-06,2.096381e-06,2.081746e-06,2.059939e-06,2.023995e-06,2.010470e-06,1.988566e-06,1.953670e-06,1.941240e-06,1.919318e-06,1.885523e-06,1.874161e-06,1.852293e-06,1.819635e-06,1.809306e-06,1.787554e-06,1.756055e-06,1.746718e-06,1.725138e-06,1.694806e-06,1.686418e-06,1.665059e-06,1.635894e-06,1.628406e-06,1.607310e-06,1.579303e-06,1.572667e-06,1.551871e-06,1.525008e-06,1.519174e-06,1.498709e-06,1.472970e-06,1.467888e-06,1.447783e-06,1.423142e-06,1.418764e-06,1.399040e-06,1.375471e-06,1.371749e-06,1.352427e-06,1.329899e-06,1.326786e-06,1.307881e-06,1.286364e-06,1.283815e-06,1.265339e-06,1.244800e-06,1.242772e-06,1.224736e-06,1.205141e-06,1.203593e-06,1.186005e-06,1.167319e-06,1.166212e-06,1.149077e-06,1.131268e-06,1.130565e-06,1.113885e-06,1.096919e-06,1.096584e-06,1.080362e-06,1.064206e-06,1.033366e-06,1.004002e-06,9.760531e-07,9.494591e-07,9.241623e-07,9.001064e-07,8.772371e-07,8.555020e-07,8.348504e-07,8.152336e-07,7.966046e-07,7.789185e-07,7.621320e-07,7.462036e-07,7.310936e-07,7.167637e-07,7.031776e-07,6.903004e-07,6.780987e-07,6.665406e-07,6.555955e-07,6.452343e-07,6.354293e-07,6.261537e-07,6.173823e-07,6.090908e-07,6.012561e-07,5.938561e-07,5.868697e-07,5.802770e-07,5.740588e-07,5.681967e-07,5.626734e-07,5.574723e-07,5.525775e-07,5.479740e-07,5.436473e-07,5.395838e-07,5.357704e-07,5.321945e-07,5.288444e-07,5.257087e-07,5.227766e-07,5.200379e-07,5.174827e-07,5.151017e-07,5.128860e-07,5.108272e-07,5.089171e-07
0.000000e+00,9.471132e-09,2.913220e-07,3.070320e-07,2.802333e-06,1.397992e-05,1.482558e-05,5.380858e-05,1.379685e-04,1.454045e-04,3.109779e-04,5.325333e-04,5.546700e-04,8.630923e-04,1.177735e-03,1.214076e-03,1.584699e-03,1.911541e-03,1.955522e-03,2.311973e-03,2.599401e-03,2.644197e-03,2.946286e-03,3.174571e-03,3.215352e-03,3.450684e-03,3.618984e-03,3.653041e-03,3.824117e-03,3.939946e-03,3.966145e-03,4.081621e-03,4.154915e-03,4.173116e-03,4.243153e-03,4.283512e-03,4.294132e-03,4.328288e-03,4.343947e-03,4.347674e-03,4.354148e-03,4.351763e-03,4.349387e-03,4.334887e-03,4.319662e-03,4.311981e-03,4.281853e-03,4.257779e-03,4.245548e-03,4.203991e-03,4.174084e-03,4.157993e-03,4.108273e-03,4.074792e-03,4.055460e-03,4.000108e-03,3.964730e-03,3.942702e-03,3.883667e-03,3.847622e-03,3.823377e-03,3.762155e-03,3.726333e-03,3.700286e-03,3.638017e-03,3.603054e-03,3.575565e-03,3.513116e-03,3.479453e-03,3.450834e-03,3.388859e-03,3.356795e-03,3.327313e-03,3.266301e-03,3.236023e-03,3.205911e-03,3.146220e-03,3.117837e-03,3.087293e-03,3.029184e-03,3.002741e-03,2.971938e-03,2.915593e-03,2.891095e-03,2.860179e-03,2.805720e-03,2.783137e-03,2.752236e-03,2.699739e-03,2.679020e-03,2.648241e-03,2.597747e-03,2.578823e-03,2.548260e-03,2.499781e-03,2.482575e-03,2.452308e-03,2.405836e-03,2.390263e-03,2.360359e-03,2.315870e-03,2.301841e-03,2.272360e-03,2.229818e-03,2.217243e-03,2.188234e-03,2.147594e-03,2.136383e-03,2.107887e-03,2.069100e-03,2.059164e-03,2.031217e-03,1.994225e-03,1.985478e-03,1.958110e-03,1.922857e-03,1.915215e-03,1.888450e-03,1.854875e-03,1.848259e-03,1.822117e-03,1.790160e-03,1.784491e-03,1.758989e-03,1.728589e-03,1.723795e-03,1.698944e-03,1.670041e-03,1.666053e-03,1.641863e-03,1.614397e-03,1.611148e-03,1.587627e-03,1.561539e-03,1.558967e-03,1.536119e-03,1.511353e-03,1.509400e-03,1.487227e-03,1.463727e-03,1.462336e-03,1.440839e-03,1.418552e-03,1.417672e-03,1.396850e-03,1.375722e-03,1.375305e-03,1.355155e-03,1.335137e-03,1.297071e-03,1.261016e-03,1.226884e-03,1.194589e-03,1.164049e-03,1.135185e-03,1.107922e-03,1.082186e-03,1.057909e-03,1.035023e-03,1.013463e-03,9.931695e-04,9.740820e-04,9.561443e-04,9.393022e-04,9.235038e-04,9.086993e-04,8.948411e-04,8.818834e-04,8.697825e-04,8.584965e-04,8.479852e-04,8.382103e-04,8.291349e-04,8.207236e-04,8.129429e-04,8.057602e-04,7.991447e-04,7.930668e-04,7.874979e-04,7.824111e-04,7.777803e-04,7.735806e-04,7.697882e-04,7.663803e-04,7.633353e-04,7.606321e-04,7.582510e-04,7.561729e-04,7.543796e-04,7.528536e-04,7.515785e-04,7.505383e-04,7.497179e-04,7.491028e-04,7.486794e-04,7.484345e-04,7.483555e-04,7.484304e-04
0.000000e+00,5.191891e-09,1.888220e-07,1.998957e-07,2.226474e-06,1.221074e-05,1.297172e-05,4.666668e-05,1.101035e-04,1.152278e-04,2.161497e-04,3.261268e-04,3.360503e-04,4.600024e-04,5.654863e-04,5.765842e-04,6.789712e-04,7.549183e-04,7.642149e-04,8.320439e-04,8.774214e-04,8.837658e-04,9.214515e-04,9.439450e-04,9.474024e-04,9.638374e-04,9.716112e-04,9.727361e-04,9.757782e-04,9.749306e-04,9.743415e-04,9.695275e-04,9.639915e-04,9.622008e-04,9.530298e-04,9.451455e-04,9.425252e-04,9.310729e-04,9.221610e-04,9.189620e-04,9.064089e-04,8.971890e-04,8.935746e-04,8.805788e-04,8.714345e-04,8.675109e-04,8.544372e-04,8.455698e-04,8.414076e-04,8.284600e-04,8.199744e-04,8.156245e-04,8.029240e-04,7.948741e-04,7.903744e-04,7.779872e-04,7.703921e-04,7.657698e-04,7.537270e-04,7.465864e-04,7.418617e-04,7.301758e-04,7.234805e-04,7.186701e-04,7.073448e-04,7.010814e-04,6.961997e-04,6.852344e-04,6.793876e-04,6.744480e-04,6.638394e-04,6.583929e-04,6.534075e-04,6.431509e-04,6.380880e-04,6.330682e-04,6.231578e-04,6.184615e-04,6.134180e-04,6.038470e-04,5.995006e-04,5.944431e-04,5.852042e-04,5.811909e-04,5.761286e-04,5.672141e-04,5.635176e-04,5.584588e-04,5.498607e-04,5.464650e-04,5.414176e-04,5.331274e-04,5.300168e-04,5.249881e-04,5.169975e-04,5.141569e-04,5.091535e-04,5.014540e-04,4.988687e-04,4.938968e-04,4.864799e-04,4.841357e-04,4.792011e-04,4.720582e-04,4.699416e-04,4.650493e-04,4.581723e-04,4.562700e-04,4.514250e-04,4.448054e-04,4.431050e-04,4.383115e-04,4.319412e-04,4.304306e-04,4.256927e-04,4.195638e-04,4.182313e-04,4.135526e-04,4.076573e-04,4.064920e-04,4.018758e-04,3.962064e-04,3.951976e-04,3.906470e-04,3.851960e-04,3.843337e-04,3.798514e-04,3.746115e-04,3.738861e-04,3.694744e-04,3.644385e-04,3.638409e-04,3.595020e-04,3.546632e-04,3.541846e-04,3.499204e-04,3.452720e-04,3.449041e-04,3.407163e-04,3.362517e-04,3.359867e-04,3.318767e-04,3.275897e-04,3.274200e-04,3.233891e-04,3.192734e-04,3.191919e-04,3.152412e-04,3.112909e-04,3.037056e-04,2.964250e-04,2.894385e-04,2.827358e-04,2.763070e-04,2.701424e-04,2.642326e-04,2.585687e-04,2.531418e-04,2.479436e-04,2.429658e-04,2.382005e-04,2.336400e-04,2.292771e-04,2.251044e-04,2.211151e-04,2.173025e-04,2.136601e-04,2.101817e-04,2.068613e-04,2.036930e-04,2.006711e-04,1.977903e-04,1.950453e-04,1.924310e-04,1.899424e-04,1.875748e-04,1.853236e-04,1.831845e-04,1.811530e-04,1.792251e-04,1.773968e-04,1.756641e-04,1.740235e-04,1.724711e-04,1.710037e-04,1.696178e-04,1.683102e-04,1.670776e-04,1.659172e-04,1.648259e-04,1.638009e-04,1.628396e-04,1.619391e-04,1.610971e-04,1.603111e-04,1.595786e-04,1.588973e-04,1.582652e-04
0.000000e+00,4.823183e-09,1.301926e-07,1.371020e-07,1.011459e-06,2.832401e-06,2.916962e-06,5.021924e-06,6.883709e-06,6.997594e-06,8.807242e-06,1.032943e-05,1.045561e-05,1.195319e-05,1.318099e-05,1.331074e-05,1.453831e-05,1.551847e-05,1.564522e-05,1.664015e-05,1.741244e-05,1.753122e-05,1.832608e-05,1.892469e-05,1.903192e-05,1.965552e-05,2.010996e-05,2.020322e-05,2.068100e-05,2.101664e-05,2.109443e-05,2.144870e-05,2.168708e-05,2.174864e-05,2.199876e-05,2.215809e-05,2.220321e-05,2.236585e-05,2.246140e-05,2.249026e-05,2.257973e-05,2.262423e-05,2.263731e-05,2.266579e-05,2.266983e-05,2.266780e-05,2.264573e-05,2.261811e-05,2.260180e-05,2.253804e-05,2.248603e-05,2.245635e-05,2.235847e-05,2.228807e-05,2.224599e-05,2.212038e-05,2.203650e-05,2.198298e-05,2.183502e-05,2.174166e-05,2.167765e-05,2.151191e-05,2.141234e-05,2.133878e-05,2.115913e-05,2.105598e-05,2.097377e-05,2.078346e-05,2.067887e-05,2.058887e-05,2.039063e-05,2.028630e-05,2.018932e-05,1.998546e-05,1.988273e-05,1.977953e-05,1.957198e-05,1.947190e-05,1.936320e-05,1.915357e-05,1.905694e-05,1.894341e-05,1.873305e-05,1.864049e-05,1.852274e-05,1.831276e-05,1.822471e-05,1.810332e-05,1.789463e-05,1.781142e-05,1.768690e-05,1.748028e-05,1.740208e-05,1.727492e-05,1.707098e-05,1.699793e-05,1.686858e-05,1.666782e-05,1.659995e-05,1.646881e-05,1.627163e-05,1.620893e-05,1.607637e-05,1.588309e-05,1.582550e-05,1.569185e-05,1.550272e-05,1.545015e-05,1.531573e-05,1.513093e-05,1.508324e-05,1.494834e-05,1.476800e-05,1.472506e-05,1.458993e-05,1.441415e-05,1.437579e-05,1.424067e-05,1.406950e-05,1.403555e-05,1.390066e-05,1.373413e-05,1.370440e-05,1.356993e-05,1.340805e-05,1.338236e-05,1.324848e-05,1.309122e-05,1.306939e-05,1.293627e-05,1.278360e-05,1.276544e-05,1.263322e-05,1.248509e-05,1.247040e-05,1.233922e-05,1.219558e-05,1.218418e-05,1.205415e-05,1.191492e-05,1.190663e-05,1.177787e-05,1.164297e-05,1.163762e-05,1.151021e-05,1.137957e-05,1.137698e-05,1.125102e-05,1.112454e-05,1.088014e-05,1.064359e-05,1.041471e-05,1.019332e-05,9.979220e-06,9.772239e-06,9.572185e-06,9.378877e-06,9.192130e-06,9.011766e-06,8.837606e-06,8.669476e-06,8.507205e-06,8.350625e-06,8.199571e-06,8.053881e-06,7.913399e-06,7.777969e-06,7.647442e-06,7.521671e-06,7.400512e-06,7.283825e-06,7.171476e-06,7.063331e-06,6.959261e-06,6.859141e-06,6.762848e-06,6.670263e-06,6.581271e-06,6.495759e-06,6.413616e-06,6.334737e-06,6.259019e-06,6.186359e-06,6.116661e-06,6.049829e-06,5.985770e-06,5.924395e-06,5.865616e-06,5.809348e-06,5.755509e-06,5.704017e-06,5.654797e-06,5.607770e-06,5.562865e-06,5.520009e-06,5.479132e-06,5.440168e-06,5.403051e-06
0.000000e+00,1.031054e-08,3.408597e-07,3.598143e-07,3.501163e-06,1.785020e-05,1.893277e-05,6.800441e-05,1.698458e-04,1.786453e-04,3.690149e-04,6.129325e-04,6.368380e-04,9.635323e-04,1.286990e-03,1.323794e-03,1.692843e-03,2.008452e-03,2.050163e-03,2.380753e-03,2.636207e-03,2.674977e-03,2.927746e-03,3.106817e-03,3.137505e-03,3.305242e-03,3.413272e-03,3.433634e-03,3.526362e-03,3.577660e-03,3.587592e-03,3.621611e-03,3.631937e-03,3.632571e-03,3.624334e-03,3.607394e-03,3.600385e-03,3.563799e-03,3.530170e-03,3.517237e-03,3.462964e-03,3.420192e-03,3.402879e-03,3.338558e-03,3.291714e-03,3.271291e-03,3.202124e-03,3.154441e-03,3.131896e-03,3.061272e-03,3.014701e-03,2.990773e-03,2.920805e-03,2.876449e-03,2.851676e-03,2.783620e-03,2.742041e-03,2.716808e-03,2.651363e-03,2.612789e-03,2.587371e-03,2.524887e-03,2.489351e-03,2.463944e-03,2.404558e-03,2.371983e-03,2.346731e-03,2.290455e-03,2.260705e-03,2.235715e-03,2.182490e-03,2.155404e-03,2.130757e-03,2.080487e-03,2.055893e-03,2.031653e-03,1.984223e-03,1.961947e-03,1.938167e-03,1.893453e-03,1.873327e-03,1.850051e-03,1.807928e-03,1.789792e-03,1.767054e-03,1.727398e-03,1.711098e-03,1.688929e-03,1.651617e-03,1.637010e-03,1.615434e-03,1.580349e-03,1.567299e-03,1.546335e-03,1.513363e-03,1.501743e-03,1.481406e-03,1.450437e-03,1.440128e-03,1.420429e-03,1.391357e-03,1.382247e-03,1.363195e-03,1.335918e-03,1.327904e-03,1.309502e-03,1.283923e-03,1.276908e-03,1.259158e-03,1.235184e-03,1.229078e-03,1.211979e-03,1.189520e-03,1.184239e-03,1.167787e-03,1.146760e-03,1.142226e-03,1.126417e-03,1.106738e-03,1.102881e-03,1.087706e-03,1.069300e-03,1.066052e-03,1.051503e-03,1.034297e-03,1.031597e-03,1.017664e-03,1.001587e-03,9.993795e-04,9.860498e-04,9.710365e-04,9.692694e-04,9.565314e-04,9.425191e-04,9.411444e-04,9.289849e-04,9.159144e-04,9.148884e-04,9.032935e-04,8.911087e-04,8.903912e-04,8.793466e-04,8.679943e-04,8.675486e-04,8.570394e-04,8.464696e-04,8.462620e-04,8.362731e-04,8.264385e-04,8.079898e-04,7.908329e-04,7.748892e-04,7.600847e-04,7.463494e-04,7.336174e-04,7.218264e-04,7.109179e-04,7.008364e-04,6.915299e-04,6.829494e-04,6.750484e-04,6.677834e-04,6.611133e-04,6.549996e-04,6.494058e-04,6.442975e-04,6.396427e-04,6.354108e-04,6.315733e-04,6.281035e-04,6.249759e-04,6.221669e-04,6.196540e-04,6.174163e-04,6.154341e-04,6.136888e-04,6.121630e-04,6.108403e-04,6.097055e-04,6.087441e-04,6.079425e-04,6.072882e-04,6.067693e-04,6.063746e-04,6.060938e-04,6.059171e-04,6.058353e-04,6.058401e-04,6.059234e-04,6.060777e-04,6.062963e-04,6.065725e-04,6.069004e-04,6.072743e-04,6.076891e-04,6.081400e-04,6.086223e-04,6.091319e-04
0.000000e+00,5.649354e-09,2.178588e-07,2.309649e-07,2.700802e-06,1.479226e-05,1.569889e-05,5.409309e-05,1.204783e-04,1.256233e-04,2.229963e-04,3.240925e-04,3.330831e-04,4.449293e-04,5.413429e-04,5.516653e-04,6.497540e-04,7.277754e-04,7.377960e-04,8.155955e-04,8.746198e-04,8.835687e-04,9.424071e-04,9.853474e-04,9.928980e-04,1.035835e-03,1.065939e-03,1.071975e-03,1.102022e-03,1.122109e-03,1.126623e-03,1.146363e-03,1.158731e-03,1.161775e-03,1.173339e-03,1.179822e-03,1.181488e-03,1.186609e-03,1.188656e-03,1.189051e-03,1.189129e-03,1.187880e-03,1.187123e-03,1.183285e-03,1.179630e-03,1.177840e-03,1.170990e-03,1.165623e-03,1.162917e-03,1.153781e-03,1.147240e-03,1.143727e-03,1.132884e-03,1.125584e-03,1.121367e-03,1.109279e-03,1.101539e-03,1.096712e-03,1.083748e-03,1.075809e-03,1.070459e-03,1.056910e-03,1.048955e-03,1.043159e-03,1.029257e-03,1.021423e-03,1.015249e-03,1.001176e-03,9.935620e-04,9.870733e-04,9.729725e-04,9.656501e-04,9.589013e-04,9.448842e-04,9.379027e-04,9.309425e-04,9.170952e-04,9.104869e-04,9.033586e-04,8.897470e-04,8.835311e-04,8.762728e-04,8.629464e-04,8.571321e-04,8.497773e-04,8.367730e-04,8.313620e-04,8.239402e-04,8.112844e-04,8.062727e-04,7.988101e-04,7.865209e-04,7.819001e-04,7.744196e-04,7.625085e-04,7.582673e-04,7.507890e-04,7.392622e-04,7.353871e-04,7.279287e-04,7.167886e-04,7.132646e-04,7.058417e-04,6.950874e-04,6.918985e-04,6.845247e-04,6.741527e-04,6.712825e-04,6.639700e-04,6.539749e-04,6.514067e-04,6.441658e-04,6.345409e-04,6.322581e-04,6.250981e-04,6.158354e-04,6.138216e-04,6.067506e-04,5.978414e-04,5.960804e-04,5.891055e-04,5.805404e-04,5.790167e-04,5.721439e-04,5.639133e-04,5.626117e-04,5.558463e-04,5.479403e-04,5.468462e-04,5.401928e-04,5.326013e-04,5.317007e-04,5.251633e-04,5.178763e-04,5.171558e-04,5.107376e-04,5.037450e-04,5.031918e-04,4.968957e-04,4.901875e-04,4.897895e-04,4.836179e-04,4.771843e-04,4.769298e-04,4.708845e-04,4.647160e-04,4.645940e-04,4.586765e-04,4.527637e-04,4.414211e-04,4.305486e-04,4.201293e-04,4.101467e-04,4.005847e-04,3.914277e-04,3.826608e-04,3.742693e-04,3.662391e-04,3.585567e-04,3.512088e-04,3.441827e-04,3.374661e-04,3.310471e-04,3.249144e-04,3.190568e-04,3.134637e-04,3.081248e-04,3.030302e-04,2.981704e-04,2.935361e-04,2.891185e-04,2.849090e-04,2.808993e-04,2.770815e-04,2.734480e-04,2.699914e-04,2.667045e-04,2.635806e-04,2.606129e-04,2.577953e-04,2.551215e-04,2.525857e-04,2.501821e-04,2.479054e-04,2.457503e-04,2.437117e-04,2.417848e-04,2.399648e-04,2.382472e-04,2.366278e-04,2.351023e-04,2.336667e-04,2.323171e-04,2.310499e-04,2.298613e-04,2.287481e-04,2.277068e-04,2.267344e-04
0.000000e+00,2.463003e-08,4.965028e-07,5.210407e-07,3.907424e-06,1.487431e-05,1.556081e-05,3.812262e-05,6.435444e-05,6.605781e-05,9.386363e-05,1.179150e-04,1.199276e-04,1.440155e-04,1.640359e-04,1.661663e-04,1.864738e-04,2.028986e-04,2.050370e-04,2.219479e-04,2.352431e-04,2.373027e-04,2.511960e-04,2.618040e-04,2.637193e-04,2.749600e-04,2.832792e-04,2.850019e-04,2.939244e-04,3.003072e-04,3.018029e-04,3.087086e-04,3.134631e-04,3.147088e-04,3.198669e-04,3.232607e-04,3.242426e-04,3.278922e-04,3.301565e-04,3.308684e-04,3.332208e-04,3.345546e-04,3.349961e-04,3.362379e-04,3.368119e-04,3.369874e-04,3.372830e-04,3.372432e-04,3.371606e-04,3.366542e-04,3.361250e-04,3.357953e-04,3.346135e-04,3.337006e-04,3.331366e-04,3.313904e-04,3.301832e-04,3.293991e-04,3.271854e-04,3.257592e-04,3.247703e-04,3.221737e-04,3.205918e-04,3.194139e-04,3.165081e-04,3.148230e-04,3.134722e-04,3.103211e-04,3.085766e-04,3.070688e-04,3.037281e-04,3.019600e-04,3.003109e-04,2.968285e-04,2.950661e-04,2.932912e-04,2.897085e-04,2.879754e-04,2.860894e-04,2.824420e-04,2.807569e-04,2.787740e-04,2.750924e-04,2.734699e-04,2.714037e-04,2.677138e-04,2.661651e-04,2.640283e-04,2.603522e-04,2.588854e-04,2.566901e-04,2.530463e-04,2.516673e-04,2.494247e-04,2.458287e-04,2.445411e-04,2.422617e-04,2.387266e-04,2.375324e-04,2.352259e-04,2.317622e-04,2.306619e-04,2.283374e-04,2.249537e-04,2.239468e-04,2.216125e-04,2.183156e-04,2.174005e-04,2.150641e-04,2.118593e-04,2.110339e-04,2.087022e-04,2.055936e-04,2.048549e-04,2.025343e-04,1.995248e-04,1.988695e-04,1.965657e-04,1.936572e-04,1.930817e-04,1.907998e-04,1.879935e-04,1.874938e-04,1.852384e-04,1.825346e-04,1.821067e-04,1.798820e-04,1.772804e-04,1.769203e-04,1.747298e-04,1.722298e-04,1.719332e-04,1.697801e-04,1.673805e-04,1.671433e-04,1.650305e-04,1.627297e-04,1.625478e-04,1.604777e-04,1.582739e-04,1.581432e-04,1.561179e-04,1.540091e-04,1.539257e-04,1.519469e-04,1.499308e-04,1.498909e-04,1.479601e-04,1.460343e-04,1.423510e-04,1.388359e-04,1.354839e-04,1.322897e-04,1.292482e-04,1.263539e-04,1.236016e-04,1.209861e-04,1.185022e-04,1.161448e-04,1.139089e-04,1.117896e-04,1.097822e-04,1.078819e-04,1.060843e-04,1.043850e-04,1.027796e-04,1.012640e-04,9.983425e-05,9.848646e-05,9.721690e-05,9.602196e-05,9.489818e-05,9.384222e-05,9.285086e-05,9.192101e-05,9.104971e-05,9.023410e-05,8.947146e-05,8.875916e-05,8.809468e-05,8.747563e-05,8.689970e-05,8.636467e-05,8.586845e-05,8.540900e-05,8.498439e-05,8.459279e-05,8.423242e-05,8.390160e-05,8.359873e-05,8.332228e-05,8.307076e-05,8.284280e-05,8.263706e-05,8.245227e-05,8.228722e-05,8.214076e-05,8.201180e-05
0.000000e+00,2.794082e-08,7.630720e-07,8.017292e-07,6.170129e-06,2.639337e-05,2.783175e-05,8.966066e-05,2.131837e-04,2.238250e-04,4.558984e-04,7.591699e-04,7.891887e-04,1.203226e-03,1.618631e-03,1.666217e-03,2.147655e-03,2.567816e-03,2.624154e-03,3.080139e-03,3.448725e-03,3.506399e-03,3.898234e-03,4.199431e-03,4.253892e-03,4.573441e-03,4.809298e-03,4.858010e-03,5.109305e-03,5.287721e-03,5.329322e-03,5.520166e-03,5.650131e-03,5.683946e-03,5.822717e-03,5.912672e-03,5.938448e-03,6.033003e-03,6.090378e-03,6.108140e-03,6.165502e-03,6.196662e-03,6.206624e-03,6.232937e-03,6.243261e-03,6.245771e-03,6.246359e-03,6.240352e-03,6.235847e-03,6.215297e-03,6.196717e-03,6.185693e-03,6.147946e-03,6.119905e-03,6.102897e-03,6.051326e-03,6.016394e-03,5.993951e-03,5.931439e-03,5.891722e-03,5.864402e-03,5.793406e-03,5.750621e-03,5.718971e-03,5.641579e-03,5.597113e-03,5.561669e-03,5.479649e-03,5.434613e-03,5.395891e-03,5.310738e-03,5.266011e-03,5.224501e-03,5.137468e-03,5.093735e-03,5.049900e-03,4.962037e-03,4.919822e-03,4.874095e-03,4.786271e-03,4.745963e-03,4.698746e-03,4.611680e-03,4.573555e-03,4.525220e-03,4.439498e-03,4.403743e-03,4.354630e-03,4.270723e-03,4.237450e-03,4.187869e-03,4.106152e-03,4.075413e-03,4.025645e-03,3.946411e-03,3.918210e-03,3.868506e-03,3.791977e-03,3.766278e-03,3.716865e-03,3.643203e-03,3.619943e-03,3.571021e-03,3.500338e-03,3.479429e-03,3.431174e-03,3.363541e-03,3.344879e-03,3.297447e-03,3.232896e-03,3.216366e-03,3.169890e-03,3.108426e-03,3.093903e-03,3.048499e-03,2.990101e-03,2.977458e-03,2.933222e-03,2.877850e-03,2.866955e-03,2.823970e-03,2.771567e-03,2.762290e-03,2.720623e-03,2.671119e-03,2.663331e-03,2.623036e-03,2.576352e-03,2.569926e-03,2.531045e-03,2.487092e-03,2.481908e-03,2.444471e-03,2.403157e-03,2.399096e-03,2.363125e-03,2.324352e-03,2.321304e-03,2.286812e-03,2.250479e-03,2.248337e-03,2.215329e-03,2.181335e-03,2.179999e-03,2.148472e-03,2.116715e-03,2.116091e-03,2.086038e-03,2.056416e-03,2.000779e-03,1.948987e-03,1.900850e-03,1.856183e-03,1.814809e-03,1.776551e-03,1.741242e-03,1.708719e-03,1.678826e-03,1.651413e-03,1.626337e-03,1.603458e-03,1.582646e-03,1.563775e-03,1.546724e-03,1.531380e-03,1.517633e-03,1.505380e-03,1.494523e-03,1.484968e-03,1.476627e-03,1.469416e-03,1.463255e-03,1.458069e-03,1.453786e-03,1.450340e-03,1.447665e-03,1.445703e-03,1.444397e-03,1.443692e-03,1.443538e-03,1.443888e-03,1.444696e-03,1.445921e-03,1.447524e-03,1.449466e-03,1.451713e-03,1.454232e-03,1.456993e-03,1.459966e-03,1.463126e-03,1.466446e-03,1.469905e-03,1.473479e-03,1.477150e-03,1.480898e-03,1.484705e-03,1.488557e-03,1.492438e-03
0.000000e+00,1.928086e-08,5.844563e-07,6.172030e-07,5.898953e-06,2.594997e-05,2.727181e-05,7.255305e-05,1.280652e-04,1.317556e-04,1.931382e-04,2.476016e-04,2.522080e-04,3.079062e-04,3.550348e-04,3.600977e-04,4.088571e-04,4.490215e-04,4.543045e-04,4.965683e-04,5.304667e-04,5.357767e-04,5.720557e-04,6.003580e-04,6.055309e-04,6.363298e-04,6.596777e-04,6.645805e-04,6.904092e-04,7.094120e-04,7.139402e-04,7.352942e-04,7.505146e-04,7.545884e-04,7.719362e-04,7.838858e-04,7.874463e-04,8.012234e-04,8.103617e-04,8.133675e-04,8.239741e-04,8.307103e-04,8.331346e-04,8.409360e-04,8.456327e-04,8.474610e-04,8.527885e-04,8.557656e-04,8.569934e-04,8.601469e-04,8.616853e-04,8.623167e-04,8.635669e-04,8.639128e-04,8.639585e-04,8.635492e-04,8.629174e-04,8.623938e-04,8.605442e-04,8.591217e-04,8.580495e-04,8.549562e-04,8.529054e-04,8.513086e-04,8.471481e-04,8.446091e-04,8.425144e-04,8.374445e-04,8.345379e-04,8.319738e-04,8.261355e-04,8.229648e-04,8.199611e-04,8.134801e-04,8.101335e-04,8.067206e-04,7.997090e-04,7.962612e-04,7.924701e-04,7.850272e-04,7.815412e-04,7.774026e-04,7.696170e-04,7.661453e-04,7.616897e-04,7.536393e-04,7.502256e-04,7.454830e-04,7.372369e-04,7.339167e-04,7.289161e-04,7.205351e-04,7.173372e-04,7.121069e-04,7.036443e-04,7.005915e-04,6.951587e-04,6.866612e-04,6.837712e-04,6.781619e-04,6.696703e-04,6.669560e-04,6.611951e-04,6.527447e-04,6.502156e-04,6.443267e-04,6.359482e-04,6.336101e-04,6.276156e-04,6.193352e-04,6.171915e-04,6.111124e-04,6.029525e-04,6.010041e-04,5.948603e-04,5.868399e-04,5.850855e-04,5.788955e-04,5.710306e-04,5.694675e-04,5.632487e-04,5.555525e-04,5.541766e-04,5.479449e-04,5.404283e-04,5.392343e-04,5.330048e-04,5.256764e-04,5.246581e-04,5.184447e-04,5.113111e-04,5.104617e-04,5.042770e-04,4.973435e-04,4.966557e-04,4.905113e-04,4.837813e-04,4.832473e-04,4.771540e-04,4.706299e-04,4.702417e-04,4.642091e-04,4.578920e-04,4.576415e-04,4.516785e-04,4.455686e-04,4.454474e-04,4.395620e-04,4.336585e-04,4.222722e-04,4.112847e-04,4.006911e-04,3.904857e-04,3.806617e-04,3.712118e-04,3.621283e-04,3.534027e-04,3.450264e-04,3.369904e-04,3.292857e-04,3.219028e-04,3.148325e-04,3.080651e-04,3.015914e-04,2.954020e-04,2.894874e-04,2.838384e-04,2.784460e-04,2.733012e-04,2.683952e-04,2.637192e-04,2.592650e-04,2.550241e-04,2.509885e-04,2.471504e-04,2.435021e-04,2.400362e-04,2.367454e-04,2.336227e-04,2.306614e-04,2.278547e-04,2.251964e-04,2.226803e-04,2.203004e-04,2.180510e-04,2.159264e-04,2.139214e-04,2.120306e-04,2.102493e-04,2.085724e-04,2.069954e-04,2.055138e-04,2.041233e-04,2.028198e-04,2.015994e-04,2.004580e-04,1.993922e-04,1.983983e-04
0.000000e+00,1.223698e-08,3.940344e-07,4.155487e-07,3.854880e-06,1.918533e-05,2.034119e-05,7.347780e-05,1.887341e-04,1.989884e-04,4.310553e-04,7.538857e-04,7.869501e-04,1.263395e-03,1.780844e-03,1.842734e-03,2.500430e-03,3.123294e-03,3.210420e-03,3.948256e-03,4.588747e-03,4.692666e-03,5.426136e-03,6.023634e-03,6.134917e-03,6.808706e-03,7.329894e-03,7.440196e-03,8.024593e-03,8.456298e-03,8.559147e-03,9.042723e-03,9.384566e-03,9.475441e-03,9.858347e-03,1.011708e-02,1.019316e-02,1.048209e-02,1.066781e-02,1.072762e-02,1.093244e-02,1.105625e-02,1.109931e-02,1.123099e-02,1.130369e-02,1.133020e-02,1.139959e-02,1.143104e-02,1.144169e-02,1.145888e-02,1.145770e-02,1.145344e-02,1.142750e-02,1.140105e-02,1.138303e-02,1.132188e-02,1.127635e-02,1.124577e-02,1.115628e-02,1.109677e-02,1.105487e-02,1.094289e-02,1.087360e-02,1.082159e-02,1.069210e-02,1.061641e-02,1.055547e-02,1.041268e-02,1.033331e-02,1.026459e-02,1.011202e-02,1.003116e-02,9.955701e-03,9.796319e-03,9.715673e-03,9.634488e-03,9.470772e-03,9.391672e-03,9.305685e-03,9.139697e-03,9.063158e-03,8.973232e-03,8.806677e-03,8.733457e-03,8.640385e-03,8.474672e-03,8.405315e-03,8.309825e-03,8.146103e-03,8.080982e-03,7.983738e-03,7.822939e-03,7.762285e-03,7.663892e-03,7.506763e-03,7.450695e-03,7.351699e-03,7.198829e-03,7.147374e-03,7.048267e-03,6.900112e-03,6.853224e-03,6.754448e-03,6.611347e-03,6.568926e-03,6.470871e-03,6.333070e-03,6.294971e-03,6.197985e-03,6.065648e-03,6.031694e-03,5.936083e-03,5.809305e-03,5.779294e-03,5.685325e-03,5.564147e-03,5.537863e-03,5.445767e-03,5.330179e-03,5.307395e-03,5.217371e-03,5.107326e-03,5.087810e-03,5.000026e-03,4.895446e-03,4.878964e-03,4.793561e-03,4.694341e-03,4.680662e-03,4.597756e-03,4.503771e-03,4.492666e-03,4.412352e-03,4.323461e-03,4.314710e-03,4.237060e-03,4.153110e-03,4.146498e-03,4.071569e-03,3.992396e-03,3.987720e-03,3.915550e-03,3.840986e-03,3.838051e-03,3.768663e-03,3.698536e-03,3.697156e-03,3.630562e-03,3.564697e-03,3.440334e-03,3.323728e-03,3.214543e-03,3.112448e-03,3.017118e-03,2.928237e-03,2.845496e-03,2.768594e-03,2.697243e-03,2.631161e-03,2.570078e-03,2.513734e-03,2.461880e-03,2.414274e-03,2.370687e-03,2.330897e-03,2.294695e-03,2.261879e-03,2.232254e-03,2.205639e-03,2.181855e-03,2.160737e-03,2.142123e-03,2.125862e-03,2.111808e-03,2.099822e-03,2.089773e-03,2.081535e-03,2.074989e-03,2.070021e-03,2.066522e-03,2.064390e-03,2.063526e-03,2.063838e-03,2.065237e-03,2.067638e-03,2.070962e-03,2.075133e-03,2.080079e-03,2.085732e-03,2.092027e-03,2.098902e-03,2.106299e-03,2.114164e-03,2.122444e-03,2.131090e-03,2.140056e-03,2.149297e-03,2.158773e-03
0.000000e+00,2.623270e-08,4.315038e-07,4.500723e-07,2.688056e-06,1.011112e-05,1.061494e-05,3.063025e-05,6.424342e-05,6.683453e-05,1.148712e-04,1.620503e-04,1.661166e-04,2.153520e-04,2.564515e-04,2.608124e-04,3.021396e-04,3.351489e-04,3.394142e-04,3.728430e-04,3.986970e-04,4.026637e-04,4.291165e-04,4.489049e-04,4.524344e-04,4.728416e-04,4.875538e-04,4.905518e-04,5.057688e-04,5.162774e-04,5.186856e-04,5.294852e-04,5.365503e-04,5.383399e-04,5.454120e-04,5.496886e-04,5.508537e-04,5.548074e-04,5.568537e-04,5.574061e-04,5.587738e-04,5.590612e-04,5.590256e-04,5.582686e-04,5.571920e-04,5.566022e-04,5.541182e-04,5.520057e-04,5.509017e-04,5.470312e-04,5.441540e-04,5.425794e-04,5.376131e-04,5.341933e-04,5.321939e-04,5.263786e-04,5.225972e-04,5.202193e-04,5.137637e-04,5.097666e-04,5.070558e-04,5.001357e-04,4.960394e-04,4.930401e-04,4.858026e-04,4.816992e-04,4.784538e-04,4.710216e-04,4.669825e-04,4.635313e-04,4.560059e-04,4.520857e-04,4.484661e-04,4.409309e-04,4.371704e-04,4.334172e-04,4.259403e-04,4.223685e-04,4.185138e-04,4.111500e-04,4.077867e-04,4.038597e-04,3.966525e-04,3.935099e-04,3.895370e-04,3.825206e-04,3.796049e-04,3.756099e-04,3.688103e-04,3.661228e-04,3.621268e-04,3.555634e-04,3.531015e-04,3.491234e-04,3.428096e-04,3.405680e-04,3.366244e-04,3.305692e-04,3.285403e-04,3.246454e-04,3.188537e-04,3.170284e-04,3.131946e-04,3.076682e-04,3.060361e-04,3.022741e-04,2.970119e-04,2.955620e-04,2.918807e-04,2.868796e-04,2.856005e-04,2.820073e-04,2.772626e-04,2.761426e-04,2.726437e-04,2.681490e-04,2.671767e-04,2.637768e-04,2.595251e-04,2.586890e-04,2.553919e-04,2.513751e-04,2.506642e-04,2.474725e-04,2.436820e-04,2.430857e-04,2.400013e-04,2.364281e-04,2.359363e-04,2.329601e-04,2.295951e-04,2.291981e-04,2.263306e-04,2.231644e-04,2.228531e-04,2.200941e-04,2.171174e-04,2.168832e-04,2.142319e-04,2.114355e-04,2.112704e-04,2.087257e-04,2.061003e-04,2.059970e-04,2.035572e-04,2.010941e-04,2.010456e-04,1.987089e-04,1.963993e-04,1.920416e-04,1.879567e-04,1.841293e-04,1.805448e-04,1.771890e-04,1.740486e-04,1.711108e-04,1.683634e-04,1.657950e-04,1.633946e-04,1.611517e-04,1.590567e-04,1.571003e-04,1.552738e-04,1.535689e-04,1.519780e-04,1.504936e-04,1.491091e-04,1.478179e-04,1.466141e-04,1.454919e-04,1.444460e-04,1.434715e-04,1.425638e-04,1.417183e-04,1.409311e-04,1.401983e-04,1.395163e-04,1.388818e-04,1.382916e-04,1.377428e-04,1.372326e-04,1.367586e-04,1.363183e-04,1.359094e-04,1.355299e-04,1.351778e-04,1.348514e-04,1.345488e-04,1.342686e-04,1.340092e-04,1.337692e-04,1.335474e-04,1.333425e-04,1.331534e-04,1.329791e-04,1.328186e-04,1.326709e-04,1.325352e-04
0.000000e+00,7.330904e-09,1.006763e-07,1.051837e-07,6.820442e-07,2.481991e-06,2.595184e-06,6.420351e-06,1.111908e-05,1.143100e-05,1.659078e-05,2.111510e-05,2.149518e-05,2.605634e-05,2.986167e-05,3.026730e-05,3.414011e-05,3.728154e-05,3.769127e-05,4.093814e-05,4.350025e-05,4.389799e-05,4.658763e-05,4.865005e-05,4.902336e-05,5.122081e-05,5.285541e-05,5.319490e-05,5.495983e-05,5.623034e-05,5.652920e-05,5.791586e-05,5.887849e-05,5.913200e-05,6.018921e-05,6.089304e-05,6.109825e-05,6.186939e-05,6.235693e-05,6.251226e-05,6.303597e-05,6.334408e-05,6.344908e-05,6.375963e-05,6.392005e-05,6.397517e-05,6.410284e-05,6.414289e-05,6.414933e-05,6.412090e-05,6.406398e-05,6.402345e-05,6.386250e-05,6.372857e-05,6.364324e-05,6.337053e-05,6.317662e-05,6.304893e-05,6.268272e-05,6.244325e-05,6.227589e-05,6.183219e-05,6.155933e-05,6.135511e-05,6.084794e-05,6.055193e-05,6.031374e-05,5.975536e-05,5.944473e-05,5.917547e-05,5.857657e-05,5.825841e-05,5.796098e-05,5.733085e-05,5.701098e-05,5.668822e-05,5.603495e-05,5.571812e-05,5.537278e-05,5.470335e-05,5.439338e-05,5.402814e-05,5.334857e-05,5.304851e-05,5.266591e-05,5.198137e-05,5.169357e-05,5.129606e-05,5.061098e-05,5.033724e-05,4.992709e-05,4.924526e-05,4.898686e-05,4.856627e-05,4.789086e-05,4.764872e-05,4.721970e-05,4.655340e-05,4.632806e-05,4.589251e-05,4.523756e-05,4.502930e-05,4.458899e-05,4.394722e-05,4.375607e-05,4.331263e-05,4.268555e-05,4.251135e-05,4.206628e-05,4.145510e-05,4.129754e-05,4.085223e-05,4.025787e-05,4.011652e-05,3.967222e-05,3.909542e-05,3.896973e-05,3.852760e-05,3.796887e-05,3.785823e-05,3.741932e-05,3.687901e-05,3.678274e-05,3.634800e-05,3.582632e-05,3.574372e-05,3.531398e-05,3.481100e-05,3.474133e-05,3.431737e-05,3.383307e-05,3.377558e-05,3.335806e-05,3.289231e-05,3.284624e-05,3.243577e-05,3.198838e-05,3.195298e-05,3.155008e-05,3.112079e-05,3.109531e-05,3.070043e-05,3.028892e-05,3.027264e-05,2.988617e-05,2.949208e-05,2.948429e-05,2.910656e-05,2.872951e-05,2.800748e-05,2.731737e-05,2.665826e-05,2.602926e-05,2.542942e-05,2.485780e-05,2.431346e-05,2.379544e-05,2.330281e-05,2.283464e-05,2.238999e-05,2.196798e-05,2.156770e-05,2.118829e-05,2.082890e-05,2.048870e-05,2.016688e-05,1.986267e-05,1.957529e-05,1.930402e-05,1.904813e-05,1.880695e-05,1.857980e-05,1.836604e-05,1.816505e-05,1.797623e-05,1.779902e-05,1.763284e-05,1.747718e-05,1.733152e-05,1.719537e-05,1.706825e-05,1.694972e-05,1.683934e-05,1.673669e-05,1.664139e-05,1.655303e-05,1.647127e-05,1.639575e-05,1.632613e-05,1.626210e-05,1.620334e-05,1.614958e-05,1.610052e-05,1.605591e-05,1.601548e-05,1.597900e-05,1.594624e-05,1.591697e-05
0.000000e+00,1.589704e-08,5.935567e-07,6.282286e-07,6.892729e-06,3.817305e-05,4.060273e-05,1.546939e-04,4.029667e-04,4.249031e-04,9.154860e-04,1.587979e-03,1.656605e-03,2.645988e-03,3.728552e-03,3.858889e-03,5.257439e-03,6.606872e-03,6.797679e-03,8.434435e-03,9.886215e-03,1.012452e-02,1.182870e-02,1.324590e-02,1.351274e-02,1.514784e-02,1.643557e-02,1.671067e-02,1.818307e-02,1.928672e-02,1.955163e-02,2.080717e-02,2.170437e-02,2.194417e-02,2.296019e-02,2.365146e-02,2.385537e-02,2.463189e-02,2.513232e-02,2.529358e-02,2.584549e-02,2.617819e-02,2.629355e-02,2.664430e-02,2.683562e-02,2.690465e-02,2.708165e-02,2.715803e-02,2.718239e-02,2.721381e-02,2.719985e-02,2.718264e-02,2.709530e-02,2.701277e-02,2.695791e-02,2.677618e-02,2.664361e-02,2.655547e-02,2.630072e-02,2.613343e-02,2.601645e-02,2.570684e-02,2.551715e-02,2.537566e-02,2.502633e-02,2.482395e-02,2.466195e-02,2.428528e-02,2.407766e-02,2.389882e-02,2.350478e-02,2.329754e-02,2.310511e-02,2.270158e-02,2.249885e-02,2.229571e-02,2.188886e-02,2.169358e-02,2.148222e-02,2.107683e-02,2.089103e-02,2.067359e-02,2.027330e-02,2.009828e-02,1.987662e-02,1.948415e-02,1.932070e-02,1.909640e-02,1.871378e-02,1.856226e-02,1.833667e-02,1.796537e-02,1.782585e-02,1.760014e-02,1.724118e-02,1.711353e-02,1.688868e-02,1.654276e-02,1.642667e-02,1.620354e-02,1.587109e-02,1.576615e-02,1.554548e-02,1.522673e-02,1.513245e-02,1.491488e-02,1.460992e-02,1.452576e-02,1.431184e-02,1.402062e-02,1.394602e-02,1.373622e-02,1.345860e-02,1.339297e-02,1.318770e-02,1.292349e-02,1.286625e-02,1.266587e-02,1.241480e-02,1.236536e-02,1.217019e-02,1.193196e-02,1.188975e-02,1.170003e-02,1.147432e-02,1.143878e-02,1.125474e-02,1.104120e-02,1.101178e-02,1.083360e-02,1.063186e-02,1.060804e-02,1.043588e-02,1.024556e-02,1.022684e-02,1.006082e-02,9.881540e-03,9.867431e-03,9.707640e-03,9.539018e-03,9.529066e-03,9.375577e-03,9.217220e-03,9.210990e-03,9.063851e-03,8.915373e-03,8.912452e-03,8.771690e-03,8.632706e-03,8.371014e-03,8.126649e-03,7.898896e-03,7.687054e-03,7.490435e-03,7.308368e-03,7.140198e-03,6.985285e-03,6.843006e-03,6.712755e-03,6.593942e-03,6.485993e-03,6.388350e-03,6.300473e-03,6.221834e-03,6.151924e-03,6.090247e-03,6.036322e-03,5.989684e-03,5.949881e-03,5.916476e-03,5.889046e-03,5.867182e-03,5.850489e-03,5.838585e-03,5.831102e-03,5.827687e-03,5.827997e-03,5.831707e-03,5.838501e-03,5.848078e-03,5.860152e-03,5.874448e-03,5.890705e-03,5.908675e-03,5.928122e-03,5.948825e-03,5.970573e-03,5.993171e-03,6.016432e-03,6.040186e-03,6.064271e-03,6.088538e-03,6.112851e-03,6.137083e-03,6.161119e-03,6.184854e-03,6.208193e-03,6.231051e-03
0.000000e+00,5.484053e-09,1.676612e-07,1.766132e-07,1.551234e-06,7.405728e-06,7.840314e-06,2.744773e-05,6.900293e-05,7.266766e-05,1.548317e-04,2.673327e-04,2.787446e-04,4.407121e-04,6.108840e-04,6.308103e-04,8.366404e-04,1.021245e-03,1.046245e-03,1.249676e-03,1.413989e-03,1.439547e-03,1.610980e-03,1.738694e-03,1.761258e-03,1.889372e-03,1.978039e-03,1.995581e-03,2.081006e-03,2.135488e-03,2.147311e-03,2.196449e-03,2.224185e-03,2.230481e-03,2.251445e-03,2.259830e-03,2.261271e-03,2.261732e-03,2.256987e-03,2.254419e-03,2.240731e-03,2.227615e-03,2.221880e-03,2.198902e-03,2.180836e-03,2.172672e-03,2.143926e-03,2.123255e-03,2.113270e-03,2.081205e-03,2.059473e-03,2.048141e-03,2.014408e-03,1.992593e-03,1.980273e-03,1.945951e-03,1.924653e-03,1.911612e-03,1.877392e-03,1.856962e-03,1.843397e-03,1.809709e-03,1.790338e-03,1.776394e-03,1.743500e-03,1.725278e-03,1.711065e-03,1.679117e-03,1.662076e-03,1.647677e-03,1.616759e-03,1.600891e-03,1.586372e-03,1.556526e-03,1.541806e-03,1.527222e-03,1.498464e-03,1.484854e-03,1.470251e-03,1.442581e-03,1.430035e-03,1.415452e-03,1.388859e-03,1.377328e-03,1.362800e-03,1.337268e-03,1.326701e-03,1.312259e-03,1.287768e-03,1.278115e-03,1.263788e-03,1.240312e-03,1.231523e-03,1.217335e-03,1.194850e-03,1.186874e-03,1.172849e-03,1.151326e-03,1.144115e-03,1.130273e-03,1.109683e-03,1.103192e-03,1.089550e-03,1.069866e-03,1.064047e-03,1.050623e-03,1.031814e-03,1.026624e-03,1.013432e-03,9.954685e-04,9.908658e-04,9.779173e-04,9.607706e-04,9.567148e-04,9.440211e-04,9.276615e-04,9.241140e-04,9.116845e-04,8.960830e-04,8.930071e-04,8.808498e-04,8.659779e-04,8.633388e-04,8.514603e-04,8.372900e-04,8.350545e-04,8.234601e-04,8.099640e-04,8.081008e-04,7.967950e-04,7.839464e-04,7.824258e-04,7.714118e-04,7.591847e-04,7.579787e-04,7.472589e-04,7.356281e-04,7.347102e-04,7.242862e-04,7.132272e-04,7.125725e-04,7.024451e-04,6.919342e-04,6.915193e-04,6.816886e-04,6.717029e-04,6.715058e-04,6.619713e-04,6.524885e-04,6.344258e-04,6.172771e-04,6.010037e-04,5.855681e-04,5.709341e-04,5.570671e-04,5.439338e-04,5.315021e-04,5.197411e-04,5.086212e-04,4.981141e-04,4.881924e-04,4.788299e-04,4.700015e-04,4.616831e-04,4.538515e-04,4.464845e-04,4.395609e-04,4.330603e-04,4.269630e-04,4.212502e-04,4.159041e-04,4.109073e-04,4.062433e-04,4.018963e-04,3.978509e-04,3.940928e-04,3.906078e-04,3.873827e-04,3.844045e-04,3.816611e-04,3.791406e-04,3.768317e-04,3.747236e-04,3.728060e-04,3.710689e-04,3.695029e-04,3.680987e-04,3.668478e-04,3.657418e-04,3.647726e-04,3.639325e-04,3.632144e-04,3.626111e-04,3.621158e-04,3.617223e-04,3.614243e-04,3.612160e-04,3.610916e-04
0.000000e+00,1.497110e-08,4.437318e-07,4.678919e-07,4.319201e-06,2.001806e-05,2.111871e-05,6.396157e-05,1.295544e-04,1.343565e-04,2.200356e-04,3.015994e-04,3.085977e-04,3.932648e-04,4.639003e-04,4.713910e-04,5.423098e-04,5.988355e-04,6.061306e-04,6.632298e-04,7.073030e-04,7.140589e-04,7.590783e-04,7.927324e-04,7.987350e-04,8.334545e-04,8.585220e-04,8.636371e-04,8.896572e-04,9.077128e-04,9.118656e-04,9.305887e-04,9.429690e-04,9.461296e-04,9.587690e-04,9.665947e-04,9.687662e-04,9.763605e-04,9.805637e-04,9.817725e-04,9.852054e-04,9.865573e-04,9.868463e-04,9.868673e-04,9.860033e-04,9.854265e-04,9.826693e-04,9.801110e-04,9.787292e-04,9.737287e-04,9.699025e-04,9.677803e-04,9.609870e-04,9.562399e-04,9.534434e-04,9.452360e-04,9.398491e-04,9.364441e-04,9.271402e-04,9.213399e-04,9.173906e-04,9.072559e-04,9.012234e-04,8.967915e-04,8.860480e-04,8.799269e-04,8.750712e-04,8.639032e-04,8.578066e-04,8.525822e-04,8.411429e-04,8.351583e-04,8.296169e-04,8.180327e-04,8.122270e-04,8.064163e-04,7.947912e-04,7.892143e-04,7.831784e-04,7.715971e-04,7.662851e-04,7.600644e-04,7.485958e-04,7.435735e-04,7.372050e-04,7.259044e-04,7.211878e-04,7.147050e-04,7.036164e-04,6.992140e-04,6.926473e-04,6.818053e-04,6.777200e-04,6.710969e-04,6.605278e-04,6.567581e-04,6.501031e-04,6.398269e-04,6.363675e-04,6.297028e-04,6.197337e-04,6.165767e-04,6.099220e-04,6.002697e-04,5.974053e-04,5.907782e-04,5.814484e-04,5.788652e-04,5.722812e-04,5.632767e-04,5.609622e-04,5.544351e-04,5.457560e-04,5.436971e-04,5.372389e-04,5.288831e-04,5.270663e-04,5.206876e-04,5.126514e-04,5.110631e-04,5.047731e-04,4.970513e-04,4.956779e-04,4.894845e-04,4.820709e-04,4.808989e-04,4.748089e-04,4.676966e-04,4.667128e-04,4.607321e-04,4.539133e-04,4.531048e-04,4.472383e-04,4.407049e-04,4.400592e-04,4.343110e-04,4.280544e-04,4.275598e-04,4.219331e-04,4.159447e-04,4.155896e-04,4.100871e-04,4.043580e-04,4.041314e-04,3.987552e-04,3.932765e-04,3.931682e-04,3.879197e-04,3.826825e-04,3.726574e-04,3.630758e-04,3.539211e-04,3.451771e-04,3.368276e-04,3.288572e-04,3.212507e-04,3.139934e-04,3.070711e-04,3.004700e-04,2.941767e-04,2.881784e-04,2.824626e-04,2.770174e-04,2.718313e-04,2.668932e-04,2.621925e-04,2.577188e-04,2.534623e-04,2.494137e-04,2.455637e-04,2.419038e-04,2.384255e-04,2.351209e-04,2.319823e-04,2.290023e-04,2.261738e-04,2.234902e-04,2.209448e-04,2.185316e-04,2.162446e-04,2.140781e-04,2.120266e-04,2.100849e-04,2.082481e-04,2.065113e-04,2.048700e-04,2.033198e-04,2.018564e-04,2.004760e-04,1.991747e-04,1.979487e-04,1.967945e-04,1.957089e-04,1.946885e-04,1.937304e-04,1.928315e-04,1.919891e-04,1.912004e-04
0.000000e+00,9.327967e-10,1.808752e-08,1.894308e-08,1.168733e-07,3.438535e-07,3.558628e-07,6.862987e-07,1.006960e-06,1.027062e-06,1.352573e-06,1.635006e-06,1.658782e-06,1.945560e-06,2.187538e-06,2.213507e-06,2.463378e-06,2.668934e-06,2.695957e-06,2.912000e-06,3.085129e-06,3.112240e-06,3.297437e-06,3.441922e-06,3.468335e-06,3.625659e-06,3.745026e-06,3.770107e-06,3.902353e-06,3.999800e-06,4.023044e-06,4.132801e-06,4.211203e-06,4.232217e-06,4.321858e-06,4.383783e-06,4.402267e-06,4.473959e-06,4.521691e-06,4.537428e-06,4.593143e-06,4.628709e-06,4.641551e-06,4.683078e-06,4.708270e-06,4.718129e-06,4.747089e-06,4.763490e-06,4.770325e-06,4.788185e-06,4.797190e-06,4.801002e-06,4.809089e-06,4.811921e-06,4.812745e-06,4.812256e-06,4.809988e-06,4.807889e-06,4.799901e-06,4.793471e-06,4.788534e-06,4.774019e-06,4.764245e-06,4.756575e-06,4.736407e-06,4.723997e-06,4.713712e-06,4.688677e-06,4.674246e-06,4.661476e-06,4.632277e-06,4.616356e-06,4.601237e-06,4.568506e-06,4.551550e-06,4.534224e-06,4.498526e-06,4.480925e-06,4.461537e-06,4.423377e-06,4.405461e-06,4.384158e-06,4.343987e-06,4.326035e-06,4.302963e-06,4.261182e-06,4.243429e-06,4.218732e-06,4.175698e-06,4.158338e-06,4.132158e-06,4.088188e-06,4.071381e-06,4.043857e-06,3.999231e-06,3.983106e-06,3.954373e-06,3.909340e-06,3.893998e-06,3.864186e-06,3.818963e-06,3.804485e-06,3.773719e-06,3.728499e-06,3.714944e-06,3.683344e-06,3.638294e-06,3.625703e-06,3.593384e-06,3.548650e-06,3.537052e-06,3.504122e-06,3.459831e-06,3.449239e-06,3.415803e-06,3.372064e-06,3.362482e-06,3.328637e-06,3.285544e-06,3.276967e-06,3.242804e-06,3.200437e-06,3.192852e-06,3.158459e-06,3.116885e-06,3.110272e-06,3.075730e-06,3.035005e-06,3.029339e-06,2.994723e-06,2.954894e-06,2.950145e-06,2.915526e-06,2.876630e-06,2.872766e-06,2.838211e-06,2.800276e-06,2.797263e-06,2.762831e-06,2.725881e-06,2.723680e-06,2.689429e-06,2.653479e-06,2.652051e-06,2.618033e-06,2.583093e-06,2.582400e-06,2.548662e-06,2.514739e-06,2.449073e-06,2.385399e-06,2.323708e-06,2.263985e-06,2.206212e-06,2.150362e-06,2.096410e-06,2.044324e-06,1.994070e-06,1.945613e-06,1.898916e-06,1.853939e-06,1.810644e-06,1.768988e-06,1.728931e-06,1.690432e-06,1.653446e-06,1.617934e-06,1.583852e-06,1.551159e-06,1.519814e-06,1.489775e-06,1.461003e-06,1.433456e-06,1.407096e-06,1.381885e-06,1.357784e-06,1.334757e-06,1.312766e-06,1.291778e-06,1.271756e-06,1.252668e-06,1.234480e-06,1.217160e-06,1.200678e-06,1.185002e-06,1.170104e-06,1.155954e-06,1.142524e-06,1.129788e-06,1.117720e-06,1.106293e-06,1.095484e-06,1.085268e-06,1.075622e-06,1.066524e-06,1.057951e-06,1.049884e-06,1.042301e-06
0.000000e+00,1.831970e-08,2.337227e-07,2.433254e-07,1.330037e-06,4.341675e-06,4.526139e-06,1.086271e-05,1.950669e-05,2.012233e-05,3.091877e-05,4.093787e-05,4.178748e-05,5.196737e-05,6.035779e-05,6.124381e-05,6.960640e-05,7.624518e-05,7.710051e-05,8.378443e-05,8.893011e-05,8.971777e-05,9.495822e-05,9.886486e-05,9.956050e-05,1.035761e-04,1.064649e-04,1.070531e-04,1.100362e-04,1.120953e-04,1.125673e-04,1.146847e-04,1.160724e-04,1.164244e-04,1.178193e-04,1.186678e-04,1.189001e-04,1.196948e-04,1.201142e-04,1.202297e-04,1.205285e-04,1.206101e-04,1.206136e-04,1.205053e-04,1.203245e-04,1.202224e-04,1.197821e-04,1.194011e-04,1.192005e-04,1.184920e-04,1.179616e-04,1.176703e-04,1.167477e-04,1.161095e-04,1.157354e-04,1.146440e-04,1.139318e-04,1.134830e-04,1.122611e-04,1.115022e-04,1.109864e-04,1.096663e-04,1.088825e-04,1.083075e-04,1.069160e-04,1.061247e-04,1.054976e-04,1.040573e-04,1.032722e-04,1.025999e-04,1.011295e-04,1.003611e-04,9.965003e-05,9.816502e-05,9.742144e-05,9.667763e-05,9.519074e-05,9.447799e-05,9.370696e-05,9.222864e-05,9.155103e-05,9.075788e-05,8.929659e-05,8.865707e-05,8.784648e-05,8.640907e-05,8.580947e-05,8.498570e-05,8.357758e-05,8.301884e-05,8.218576e-05,8.081118e-05,8.029352e-05,7.945462e-05,7.811680e-05,7.763989e-05,7.679832e-05,7.549970e-05,7.506277e-05,7.422137e-05,7.296369e-05,7.256564e-05,7.172694e-05,7.051134e-05,7.015081e-05,6.931705e-05,6.814419e-05,6.781964e-05,6.699282e-05,6.586297e-05,6.557273e-05,6.475460e-05,6.366768e-05,6.341000e-05,6.260213e-05,6.155782e-05,6.133091e-05,6.053462e-05,5.953239e-05,5.933444e-05,5.855093e-05,5.759004e-05,5.741925e-05,5.664952e-05,5.572913e-05,5.558372e-05,5.482863e-05,5.394776e-05,5.382599e-05,5.308626e-05,5.224387e-05,5.214405e-05,5.142030e-05,5.061526e-05,5.053577e-05,4.982849e-05,4.905967e-05,4.899893e-05,4.830853e-05,4.757475e-05,4.753127e-05,4.685805e-05,4.615813e-05,4.613048e-05,4.547468e-05,4.480741e-05,4.479423e-05,4.415602e-05,4.352021e-05,4.230613e-05,4.114971e-05,4.004873e-05,3.900101e-05,3.800440e-05,3.705682e-05,3.615627e-05,3.530077e-05,3.448843e-05,3.371740e-05,3.298592e-05,3.229227e-05,3.163481e-05,3.101194e-05,3.042213e-05,2.986391e-05,2.933588e-05,2.883666e-05,2.836497e-05,2.791954e-05,2.749919e-05,2.710275e-05,2.672913e-05,2.637727e-05,2.604615e-05,2.573482e-05,2.544232e-05,2.516779e-05,2.491036e-05,2.466923e-05,2.444360e-05,2.423274e-05,2.403592e-05,2.385247e-05,2.368173e-05,2.352307e-05,2.337589e-05,2.323963e-05,2.311373e-05,2.299768e-05,2.289096e-05,2.279310e-05,2.270364e-05,2.262215e-05,2.254821e-05,2.248141e-05,2.242138e-05,2.236775e-05,2.232017e-05
0.000000e+00,8.374209e-09,1.245474e-07,1.302456e-07,8.509053e-07,2.974065e-06,3.102588e-06,7.191650e-06,1.176869e-05,1.206213e-05,1.680060e-05,2.081642e-05,2.114860e-05,2.507275e-05,2.825557e-05,2.858968e-05,3.172627e-05,3.419416e-05,3.451058e-05,3.696960e-05,3.884374e-05,3.912892e-05,4.101262e-05,4.239851e-05,4.264330e-05,4.404209e-05,4.502995e-05,4.522872e-05,4.622155e-05,4.688776e-05,4.703760e-05,4.769268e-05,4.810132e-05,4.820138e-05,4.857721e-05,4.878167e-05,4.883261e-05,4.897904e-05,4.902350e-05,4.902708e-05,4.898645e-05,4.890734e-05,4.886608e-05,4.867419e-05,4.850138e-05,4.841832e-05,4.810539e-05,4.786326e-05,4.774174e-05,4.733320e-05,4.704158e-05,4.688509e-05,4.640229e-05,4.607717e-05,4.588926e-05,4.535008e-05,4.500429e-05,4.478846e-05,4.420781e-05,4.385158e-05,4.361122e-05,4.300152e-05,4.264289e-05,4.238125e-05,4.175277e-05,4.139802e-05,4.111817e-05,4.047938e-05,4.013330e-05,3.983812e-05,3.919597e-05,3.886217e-05,3.855433e-05,3.791448e-05,3.759558e-05,3.727754e-05,3.664456e-05,3.634240e-05,3.601643e-05,3.539396e-05,3.510973e-05,3.477787e-05,3.416881e-05,3.390319e-05,3.356732e-05,3.297389e-05,3.272716e-05,3.238895e-05,3.181285e-05,3.158496e-05,3.124591e-05,3.068840e-05,3.047905e-05,3.014051e-05,2.960244e-05,2.941116e-05,2.907431e-05,2.855625e-05,2.838241e-05,2.804831e-05,2.755054e-05,2.739341e-05,2.706298e-05,2.658561e-05,2.644439e-05,2.611842e-05,2.566137e-05,2.553521e-05,2.521441e-05,2.477747e-05,2.466549e-05,2.435046e-05,2.393329e-05,2.383462e-05,2.352585e-05,2.312804e-05,2.304180e-05,2.273973e-05,2.236080e-05,2.228612e-05,2.199110e-05,2.163051e-05,2.156656e-05,2.127888e-05,2.093606e-05,2.088202e-05,2.060191e-05,2.027626e-05,2.023134e-05,1.995898e-05,1.964989e-05,1.961335e-05,1.934885e-05,1.905570e-05,1.902682e-05,1.877029e-05,1.849245e-05,1.847055e-05,1.822203e-05,1.795888e-05,1.794332e-05,1.770283e-05,1.745374e-05,1.744392e-05,1.721146e-05,1.697583e-05,1.697119e-05,1.674671e-05,1.652394e-05,1.610105e-05,1.570141e-05,1.532395e-05,1.496763e-05,1.463144e-05,1.431443e-05,1.401566e-05,1.373424e-05,1.346930e-05,1.322003e-05,1.298563e-05,1.276536e-05,1.255849e-05,1.236434e-05,1.218224e-05,1.201157e-05,1.185173e-05,1.170215e-05,1.156229e-05,1.143163e-05,1.130967e-05,1.119596e-05,1.109004e-05,1.099148e-05,1.089989e-05,1.081488e-05,1.073608e-05,1.066316e-05,1.059577e-05,1.053361e-05,1.047638e-05,1.042380e-05,1.037559e-05,1.033152e-05,1.029133e-05,1.025479e-05,1.022169e-05,1.019182e-05,1.016499e-05,1.014101e-05,1.011971e-05,1.010092e-05,1.008448e-05,1.007024e-05,1.005806e-05,1.004781e-05,1.003936e-05,1.003259e-05,1.002739e-05
0.000000e+00,3.488414e-08,6.860100e-07,7.198685e-07,5.091801e-06,1.696755e-05,1.763144e-05,3.643582e-05,5.508089e-05,5.625660e-05,7.540332e-05,9.219416e-05,9.361579e-05,1.108693e-04,1.255889e-04,1.271779e-04,1.425639e-04,1.553607e-04,1.570529e-04,1.706728e-04,1.817132e-04,1.834530e-04,1.954241e-04,2.048774e-04,2.066173e-04,2.170640e-04,2.250950e-04,2.267951e-04,2.358413e-04,2.426053e-04,2.442326e-04,2.519980e-04,2.576389e-04,2.591661e-04,2.657643e-04,2.704141e-04,2.718190e-04,2.773557e-04,2.811339e-04,2.823990e-04,2.869727e-04,2.899879e-04,2.910997e-04,2.948018e-04,2.971518e-04,2.981001e-04,3.010148e-04,3.027877e-04,3.035654e-04,3.057706e-04,3.070455e-04,3.076482e-04,3.092154e-04,3.100630e-04,3.104885e-04,3.114833e-04,3.119670e-04,3.122149e-04,3.126978e-04,3.128739e-04,3.129458e-04,3.129720e-04,3.128907e-04,3.127893e-04,3.124096e-04,3.121153e-04,3.118446e-04,3.111053e-04,3.106374e-04,3.102023e-04,3.091458e-04,3.085390e-04,3.079454e-04,3.066103e-04,3.058950e-04,3.051493e-04,3.035708e-04,3.027738e-04,3.018829e-04,3.000931e-04,2.992377e-04,2.982089e-04,2.962371e-04,2.953435e-04,2.941844e-04,2.920571e-04,2.911429e-04,2.898612e-04,2.876025e-04,2.866826e-04,2.852863e-04,2.829179e-04,2.820053e-04,2.805022e-04,2.780440e-04,2.771494e-04,2.755476e-04,2.730173e-04,2.721500e-04,2.704571e-04,2.678708e-04,2.670383e-04,2.652621e-04,2.626345e-04,2.618429e-04,2.599910e-04,2.573349e-04,2.565893e-04,2.546690e-04,2.519962e-04,2.513004e-04,2.493189e-04,2.466398e-04,2.459968e-04,2.439610e-04,2.412849e-04,2.406967e-04,2.386135e-04,2.359487e-04,2.354167e-04,2.332924e-04,2.306463e-04,2.301712e-04,2.280121e-04,2.253912e-04,2.249732e-04,2.227851e-04,2.201951e-04,2.198338e-04,2.176225e-04,2.150684e-04,2.147632e-04,2.125340e-04,2.100202e-04,2.097700e-04,2.075280e-04,2.050583e-04,2.048617e-04,2.026119e-04,2.001895e-04,2.000449e-04,1.977917e-04,1.954194e-04,1.953250e-04,1.930729e-04,1.907529e-04,1.907068e-04,1.884598e-04,1.861941e-04,1.817902e-04,1.774975e-04,1.733180e-04,1.692533e-04,1.653042e-04,1.614713e-04,1.577548e-04,1.541546e-04,1.506701e-04,1.473007e-04,1.440453e-04,1.409029e-04,1.378720e-04,1.349512e-04,1.321387e-04,1.294328e-04,1.268316e-04,1.243332e-04,1.219354e-04,1.196362e-04,1.174334e-04,1.153248e-04,1.133081e-04,1.113812e-04,1.095416e-04,1.077872e-04,1.061156e-04,1.045245e-04,1.030117e-04,1.015749e-04,1.002119e-04,9.892031e-05,9.769805e-05,9.654287e-05,9.545262e-05,9.442516e-05,9.345837e-05,9.255019e-05,9.169856e-05,9.090147e-05,9.015694e-05,8.946302e-05,8.881781e-05,8.821944e-05,8.766606e-05,8.715588e-05,8.668715e-05,8.625814e-05,8.586716e-05
0.000000e+00,2.143070e-08,5.250021e-07,5.518009e-07,4.420145e-06,1.831997e-05,1.924660e-05,5.322855e-05,1.005819e-04,1.038578e-04,1.578220e-04,2.013568e-04,2.047485e-04,2.416930e-04,2.669770e-04,2.693729e-04,2.893954e-04,3.019208e-04,3.033142e-04,3.124275e-04,3.172232e-04,3.177790e-04,3.201990e-04,3.204522e-04,3.203458e-04,3.187410e-04,3.164104e-04,3.157973e-04,3.118407e-04,3.081212e-04,3.071288e-04,3.018646e-04,2.974789e-04,2.962075e-04,2.902827e-04,2.856618e-04,2.841880e-04,2.779998e-04,2.733957e-04,2.717773e-04,2.655663e-04,2.611215e-04,2.594018e-04,2.533108e-04,2.491017e-04,2.473133e-04,2.414240e-04,2.374868e-04,2.356537e-04,2.300100e-04,2.263571e-04,2.244981e-04,2.191211e-04,2.157515e-04,2.138807e-04,2.087775e-04,2.056822e-04,2.038109e-04,1.989803e-04,1.961465e-04,1.942840e-04,1.897200e-04,1.871325e-04,1.852858e-04,1.809786e-04,1.786211e-04,1.767958e-04,1.727345e-04,1.705909e-04,1.687918e-04,1.649647e-04,1.630193e-04,1.612501e-04,1.576451e-04,1.558827e-04,1.541467e-04,1.507519e-04,1.491584e-04,1.474580e-04,1.442620e-04,1.428240e-04,1.411612e-04,1.381530e-04,1.368580e-04,1.352346e-04,1.324036e-04,1.312400e-04,1.296574e-04,1.269935e-04,1.259505e-04,1.244097e-04,1.219035e-04,1.209711e-04,1.194728e-04,1.171153e-04,1.162841e-04,1.148288e-04,1.126114e-04,1.118729e-04,1.104610e-04,1.083756e-04,1.077217e-04,1.063534e-04,1.043924e-04,1.038157e-04,1.024909e-04,1.006471e-04,1.001409e-04,9.885931e-05,9.712592e-05,9.668395e-05,9.544530e-05,9.381590e-05,9.343229e-05,9.223619e-05,9.070472e-05,9.037413e-05,8.922006e-05,8.778081e-05,8.749829e-05,8.638564e-05,8.503324e-05,8.479425e-05,8.372234e-05,8.245170e-05,8.225206e-05,8.122015e-05,8.002650e-05,7.986235e-05,7.886965e-05,7.774848e-05,7.761629e-05,7.666195e-05,7.560902e-05,7.550554e-05,7.458870e-05,7.360000e-05,7.352224e-05,7.264199e-05,7.171375e-05,7.165899e-05,7.081440e-05,6.994307e-05,6.990879e-05,6.909893e-05,6.828117e-05,6.826507e-05,6.748899e-05,6.672163e-05,6.527261e-05,6.391251e-05,6.263613e-05,6.143858e-05,6.031524e-05,5.926177e-05,5.827408e-05,5.734832e-05,5.648084e-05,5.566822e-05,5.490723e-05,5.419485e-05,5.352820e-05,5.290459e-05,5.232148e-05,5.177647e-05,5.126732e-05,5.079189e-05,5.034818e-05,4.993432e-05,4.954852e-05,4.918912e-05,4.885454e-05,4.854329e-05,4.825399e-05,4.798530e-05,4.773600e-05,4.750491e-05,4.729094e-05,4.709304e-05,4.691025e-05,4.674164e-05,4.658635e-05,4.644357e-05,4.631252e-05,4.619248e-05,4.608278e-05,4.598277e-05,4.589184e-05,4.580944e-05,4.573501e-05,4.566807e-05,4.560813e-05,4.555475e-05,4.550750e-05,4.546600e-05,4.542986e-05,4.539875e-05,4.537232e-05
0.000000e+00,1.176264e-08,1.670163e-07,1.741782e-07,9.864595e-07,3.121572e-06,3.247678e-06,7.360804e-06,1.250259e-05,1.285363e-05,1.877099e-05,2.397717e-05,2.441002e-05,2.951569e-05,3.362404e-05,3.405279e-05,3.804983e-05,4.115431e-05,4.154947e-05,4.459566e-05,4.688476e-05,4.723033e-05,4.949251e-05,5.113133e-05,5.141824e-05,5.304061e-05,5.416591e-05,5.438989e-05,5.549368e-05,5.621696e-05,5.637716e-05,5.706320e-05,5.747469e-05,5.757258e-05,5.792414e-05,5.809635e-05,5.813496e-05,5.822051e-05,5.821144e-05,5.819477e-05,5.807040e-05,5.792626e-05,5.785886e-05,5.757046e-05,5.732789e-05,5.721454e-05,5.679951e-05,5.648744e-05,5.633297e-05,5.582175e-05,5.546289e-05,5.527201e-05,5.468929e-05,5.430136e-05,5.407857e-05,5.344433e-05,5.304107e-05,5.279058e-05,5.212093e-05,5.171286e-05,5.143860e-05,5.074648e-05,5.034159e-05,5.004714e-05,4.934289e-05,4.894714e-05,4.863577e-05,4.792761e-05,4.754535e-05,4.722003e-05,4.651446e-05,4.614878e-05,4.581216e-05,4.511424e-05,4.476723e-05,4.442168e-05,4.373534e-05,4.340833e-05,4.305597e-05,4.238420e-05,4.207789e-05,4.172059e-05,4.106562e-05,4.078027e-05,4.041969e-05,3.978313e-05,3.951865e-05,3.915624e-05,3.853923e-05,3.829523e-05,3.793229e-05,3.733555e-05,3.711148e-05,3.674911e-05,3.617306e-05,3.596822e-05,3.560741e-05,3.505219e-05,3.486579e-05,3.450739e-05,3.397297e-05,3.380414e-05,3.344888e-05,3.293507e-05,3.278291e-05,3.243143e-05,3.193790e-05,3.180150e-05,3.145435e-05,3.098069e-05,3.085914e-05,3.051678e-05,3.006251e-05,2.995490e-05,2.961774e-05,2.918233e-05,2.908778e-05,2.875613e-05,2.833901e-05,2.825667e-05,2.793082e-05,2.753141e-05,2.746043e-05,2.714062e-05,2.675831e-05,2.669791e-05,2.638432e-05,2.601849e-05,2.596792e-05,2.566069e-05,2.531075e-05,2.526928e-05,2.496852e-05,2.463386e-05,2.460080e-05,2.430661e-05,2.398663e-05,2.396134e-05,2.367377e-05,2.336788e-05,2.334975e-05,2.306883e-05,2.277647e-05,2.276491e-05,2.249067e-05,2.221128e-05,2.220576e-05,2.193817e-05,2.167122e-05,2.116028e-05,2.067196e-05,2.020530e-05,1.975937e-05,1.933331e-05,1.892625e-05,1.853737e-05,1.816590e-05,1.781108e-05,1.747218e-05,1.714851e-05,1.683941e-05,1.654424e-05,1.626239e-05,1.599328e-05,1.573635e-05,1.549106e-05,1.525690e-05,1.503339e-05,1.482005e-05,1.461644e-05,1.442213e-05,1.423670e-05,1.405977e-05,1.389096e-05,1.372991e-05,1.357628e-05,1.342975e-05,1.328999e-05,1.315670e-05,1.302961e-05,1.290844e-05,1.279293e-05,1.268281e-05,1.257787e-05,1.247786e-05,1.238256e-05,1.229178e-05,1.220530e-05,1.212294e-05,1.204452e-05,1.196985e-05,1.189877e-05,1.183113e-05,1.176677e-05,1.170554e-05,1.164730e-05,1.159192e-05,1.153927e-05
0.000000e+00,3.264755e-08,8.318604e-07,8.745896e-07,7.092729e-06,3.021097e-05,3.179066e-05,9.257502e-05,1.858728e-04,1.926972e-04,3.126418e-04,4.215388e-04,4.305844e-04,5.359776e-04,6.179636e-04,6.263298e-04,7.022923e-04,7.584171e-04,7.653566e-04,8.170933e-04,8.536334e-04,8.589478e-04,8.922057e-04,9.143313e-04,9.179992e-04,9.373236e-04,9.489595e-04,9.510538e-04,9.599584e-04,9.640642e-04,9.647125e-04,9.659086e-04,9.647076e-04,9.640654e-04,9.596364e-04,9.547871e-04,9.530185e-04,9.445582e-04,9.372904e-04,9.345572e-04,9.232782e-04,9.144953e-04,9.109494e-04,8.977691e-04,8.881290e-04,8.839088e-04,8.695171e-04,8.594936e-04,8.547226e-04,8.396359e-04,8.295656e-04,8.243524e-04,8.089539e-04,7.990714e-04,7.935106e-04,7.780825e-04,7.685473e-04,7.627205e-04,7.474680e-04,7.383845e-04,7.323615e-04,7.174316e-04,7.088635e-04,7.027040e-04,6.881998e-04,6.801816e-04,6.739363e-04,6.599276e-04,6.524728e-04,6.461847e-04,6.327163e-04,6.258234e-04,6.195288e-04,6.066267e-04,6.002838e-04,5.940131e-04,5.816896e-04,5.758775e-04,5.696566e-04,5.579135e-04,5.526087e-04,5.464589e-04,5.352907e-04,5.304666e-04,5.244059e-04,5.138014e-04,5.094302e-04,5.034734e-04,4.934178e-04,4.894709e-04,4.836302e-04,4.741061e-04,4.705550e-04,4.648405e-04,4.558286e-04,4.526454e-04,4.470653e-04,4.385454e-04,4.357031e-04,4.302637e-04,4.222151e-04,4.196879e-04,4.143943e-04,4.067961e-04,4.045593e-04,3.994154e-04,3.922468e-04,3.902770e-04,3.852855e-04,3.785262e-04,3.768013e-04,3.719641e-04,3.655943e-04,3.640936e-04,3.594118e-04,3.534121e-04,3.521161e-04,3.475903e-04,3.419419e-04,3.408326e-04,3.364624e-04,3.311475e-04,3.302079e-04,3.259927e-04,3.209940e-04,3.202084e-04,3.161471e-04,3.114480e-04,3.108017e-04,3.068928e-04,3.024776e-04,3.019570e-04,2.981987e-04,2.940524e-04,2.936449e-04,2.900350e-04,2.861431e-04,2.858371e-04,2.823733e-04,2.787222e-04,2.785069e-04,2.751866e-04,2.717634e-04,2.716287e-04,2.684493e-04,2.652414e-04,2.651783e-04,2.621368e-04,2.591326e-04,2.534696e-04,2.481684e-04,2.432094e-04,2.385736e-04,2.342432e-04,2.302013e-04,2.264319e-04,2.229196e-04,2.196501e-04,2.166095e-04,2.137850e-04,2.111642e-04,2.087354e-04,2.064875e-04,2.044100e-04,2.024930e-04,2.007271e-04,1.991032e-04,1.976129e-04,1.962483e-04,1.950016e-04,1.938657e-04,1.928338e-04,1.918994e-04,1.910563e-04,1.902989e-04,1.896216e-04,1.890192e-04,1.884868e-04,1.880197e-04,1.876137e-04,1.872644e-04,1.869681e-04,1.867210e-04,1.865195e-04,1.863604e-04,1.862406e-04,1.861570e-04,1.861070e-04,1.860879e-04,1.860971e-04,1.861324e-04,1.861917e-04,1.862727e-04,1.863736e-04,1.864926e-04,1.866279e-04,1.867779e-04,1.869412e-04
0.000000e+00,1.998561e-08,5.741212e-07,6.058947e-07,5.601912e-06,2.323668e-05,2.434145e-05,5.932684e-05,9.783038e-05,1.002927e-04,1.401403e-04,1.741822e-04,1.770141e-04,2.107016e-04,2.383982e-04,2.413282e-04,2.690781e-04,2.912688e-04,2.941405e-04,3.166998e-04,3.342340e-04,3.369330e-04,3.550087e-04,3.686425e-04,3.710871e-04,3.853191e-04,3.957112e-04,3.978464e-04,4.088013e-04,4.165170e-04,4.183082e-04,4.264827e-04,4.320031e-04,4.334320e-04,4.392564e-04,4.429878e-04,4.440484e-04,4.478942e-04,4.501779e-04,4.508733e-04,4.530594e-04,4.541810e-04,4.545210e-04,4.553210e-04,4.555190e-04,4.555181e-04,4.551661e-04,4.546388e-04,4.543151e-04,4.530112e-04,4.519233e-04,4.512969e-04,4.492117e-04,4.476994e-04,4.467919e-04,4.440710e-04,4.422464e-04,4.410798e-04,4.378469e-04,4.358022e-04,4.343986e-04,4.307591e-04,4.285693e-04,4.269505e-04,4.229935e-04,4.207198e-04,4.189069e-04,4.147081e-04,4.123997e-04,4.104129e-04,4.060361e-04,4.037323e-04,4.015910e-04,3.970900e-04,3.948221e-04,3.925444e-04,3.879644e-04,3.857567e-04,3.833597e-04,3.787388e-04,3.766099e-04,3.741096e-04,3.694793e-04,3.674433e-04,3.648545e-04,3.602411e-04,3.583082e-04,3.556446e-04,3.510698e-04,3.492470e-04,3.465212e-04,3.420028e-04,3.402945e-04,3.375183e-04,3.330708e-04,3.314793e-04,3.286633e-04,3.242984e-04,3.228244e-04,3.199783e-04,3.157053e-04,3.143481e-04,3.114809e-04,3.073069e-04,3.060647e-04,3.031845e-04,2.991151e-04,2.979852e-04,2.950995e-04,2.911387e-04,2.901179e-04,2.872333e-04,2.833839e-04,2.824684e-04,2.795909e-04,2.758548e-04,2.750404e-04,2.721756e-04,2.685536e-04,2.678361e-04,2.649888e-04,2.614812e-04,2.608558e-04,2.580306e-04,2.546369e-04,2.540992e-04,2.512999e-04,2.480193e-04,2.475645e-04,2.447948e-04,2.416259e-04,2.412494e-04,2.385123e-04,2.354536e-04,2.351507e-04,2.324492e-04,2.294987e-04,2.292650e-04,2.266015e-04,2.237570e-04,2.235880e-04,2.209648e-04,2.182241e-04,2.181156e-04,2.155345e-04,2.128952e-04,2.128429e-04,2.103057e-04,2.077652e-04,2.028775e-04,1.981747e-04,1.936517e-04,1.893033e-04,1.851243e-04,1.811096e-04,1.772542e-04,1.735531e-04,1.700012e-04,1.665938e-04,1.633260e-04,1.601933e-04,1.571911e-04,1.543149e-04,1.515605e-04,1.489235e-04,1.464000e-04,1.439858e-04,1.416772e-04,1.394703e-04,1.373616e-04,1.353474e-04,1.334244e-04,1.315891e-04,1.298385e-04,1.281693e-04,1.265786e-04,1.250634e-04,1.236209e-04,1.222483e-04,1.209430e-04,1.197025e-04,1.185242e-04,1.174058e-04,1.163449e-04,1.153393e-04,1.143869e-04,1.134855e-04,1.126331e-04,1.118278e-04,1.110677e-04,1.103510e-04,1.096758e-04,1.090406e-04,1.084436e-04,1.078833e-04,1.073582e-04,1.068667e-04,1.064075e-04
0.000000e+00,3.177234e-08,8.950284e-07,9.424758e-07,8.311510e-06,3.908971e-05,4.131196e-05,1.336208e-04,2.928204e-04,3.051730e-04,5.383405e-04,7.785572e-04,7.998477e-04,1.064640e-03,1.294607e-03,1.319437e-03,1.558591e-03,1.754608e-03,1.780274e-03,1.984322e-03,2.146075e-03,2.171239e-03,2.341776e-03,2.472979e-03,2.496768e-03,2.637072e-03,2.741754e-03,2.763533e-03,2.876983e-03,2.958915e-03,2.978224e-03,3.068033e-03,3.130626e-03,3.147152e-03,3.216292e-03,3.262581e-03,3.276128e-03,3.327301e-03,3.359952e-03,3.370421e-03,3.406061e-03,3.427396e-03,3.434763e-03,3.457038e-03,3.469063e-03,3.473364e-03,3.484192e-03,3.488633e-03,3.489947e-03,3.491026e-03,3.489358e-03,3.487800e-03,3.480621e-03,3.474103e-03,3.469815e-03,3.455691e-03,3.445393e-03,3.438534e-03,3.418613e-03,3.405440e-03,3.396181e-03,3.371471e-03,3.356183e-03,3.344704e-03,3.316084e-03,3.299320e-03,3.285804e-03,3.254040e-03,3.236331e-03,3.220961e-03,3.186719e-03,3.168503e-03,3.151461e-03,3.115320e-03,3.096957e-03,3.078420e-03,3.040879e-03,3.022663e-03,3.002803e-03,2.964292e-03,2.946457e-03,2.925439e-03,2.886329e-03,2.869060e-03,2.847042e-03,2.807650e-03,2.791090e-03,2.768220e-03,2.728816e-03,2.713075e-03,2.689495e-03,2.650307e-03,2.635462e-03,2.611303e-03,2.572526e-03,2.558629e-03,2.534015e-03,2.495809e-03,2.482894e-03,2.457939e-03,2.420437e-03,2.408519e-03,2.383330e-03,2.346642e-03,2.335721e-03,2.310396e-03,2.274611e-03,2.264676e-03,2.239304e-03,2.204492e-03,2.195524e-03,2.170188e-03,2.136403e-03,2.128373e-03,2.103147e-03,2.070430e-03,2.063306e-03,2.038259e-03,2.006639e-03,2.000381e-03,1.975575e-03,1.945071e-03,1.939639e-03,1.915128e-03,1.885749e-03,1.881101e-03,1.856935e-03,1.828684e-03,1.824774e-03,1.800996e-03,1.773870e-03,1.770653e-03,1.747303e-03,1.721292e-03,1.718721e-03,1.695833e-03,1.670924e-03,1.668954e-03,1.646558e-03,1.622733e-03,1.621320e-03,1.599442e-03,1.576680e-03,1.575780e-03,1.554441e-03,1.532720e-03,1.532291e-03,1.511510e-03,1.490804e-03,1.451269e-03,1.413633e-03,1.377840e-03,1.343833e-03,1.311554e-03,1.280947e-03,1.251952e-03,1.224512e-03,1.198569e-03,1.174067e-03,1.150948e-03,1.129159e-03,1.108645e-03,1.089353e-03,1.071232e-03,1.054230e-03,1.038300e-03,1.023393e-03,1.009462e-03,9.964642e-04,9.843547e-04,9.730915e-04,9.626341e-04,9.529429e-04,9.439799e-04,9.357084e-04,9.280931e-04,9.210997e-04,9.146954e-04,9.088486e-04,9.035288e-04,8.987067e-04,8.943542e-04,8.904442e-04,8.869509e-04,8.838492e-04,8.811153e-04,8.787264e-04,8.766604e-04,8.748963e-04,8.734142e-04,8.721947e-04,8.712197e-04,8.704714e-04,8.699333e-04,8.695894e-04,8.694246e-04,8.694244e-04,8.695751e-04
0.000000e+00,1.947460e-09,3.435085e-08,3.589262e-08,2.028182e-07,5.913387e-07,6.128504e-07,1.257722e-06,1.951861e-06,1.996017e-06,2.701946e-06,3.287004e-06,3.334764e-06,3.890819e-06,4.329775e-06,4.375168e-06,4.794359e-06,5.114465e-06,5.154822e-06,5.462526e-06,5.689124e-06,5.722922e-06,5.940971e-06,6.094709e-06,6.121170e-06,6.267597e-06,6.365058e-06,6.383930e-06,6.473493e-06,6.527889e-06,6.539276e-06,6.583970e-06,6.605762e-06,6.610003e-06,6.619559e-06,6.617014e-06,6.614596e-06,6.596872e-06,6.576477e-06,6.567968e-06,6.529291e-06,6.496097e-06,6.482087e-06,6.427476e-06,6.385385e-06,6.366466e-06,6.299953e-06,6.251998e-06,6.228749e-06,6.153608e-06,6.102192e-06,6.075205e-06,5.994103e-06,5.941021e-06,5.910814e-06,5.825788e-06,5.772377e-06,5.739426e-06,5.652086e-06,5.599346e-06,5.564083e-06,5.475694e-06,5.424350e-06,5.387164e-06,5.298711e-06,5.249282e-06,5.210524e-06,5.122773e-06,5.075620e-06,5.035602e-06,4.949141e-06,4.904498e-06,4.863498e-06,4.778770e-06,4.736775e-06,4.695039e-06,4.612374e-06,4.573092e-06,4.530836e-06,4.450474e-06,4.413913e-06,4.371329e-06,4.293435e-06,4.259565e-06,4.216819e-06,4.141502e-06,4.110260e-06,4.067499e-06,3.994821e-06,3.966122e-06,3.923475e-06,3.853463e-06,3.827209e-06,3.784787e-06,3.717441e-06,3.693522e-06,3.651421e-06,3.586719e-06,3.565019e-06,3.523325e-06,3.461227e-06,3.441627e-06,3.400412e-06,3.340867e-06,3.323248e-06,3.282575e-06,3.225521e-06,3.209765e-06,3.169688e-06,3.115057e-06,3.101048e-06,3.061612e-06,3.009333e-06,2.996957e-06,2.958201e-06,2.908197e-06,2.897346e-06,2.859302e-06,2.811497e-06,2.802064e-06,2.764761e-06,2.719075e-06,2.710962e-06,2.674421e-06,2.630777e-06,2.623886e-06,2.588125e-06,2.546446e-06,2.540687e-06,2.505720e-06,2.465930e-06,2.461217e-06,2.427055e-06,2.389077e-06,2.385328e-06,2.351979e-06,2.315742e-06,2.312879e-06,2.280348e-06,2.245780e-06,2.243732e-06,2.212021e-06,2.179053e-06,2.177750e-06,2.146860e-06,2.115425e-06,2.114804e-06,2.084733e-06,2.054767e-06,1.997516e-06,1.942935e-06,1.890909e-06,1.841330e-06,1.794092e-06,1.749095e-06,1.706241e-06,1.665437e-06,1.626595e-06,1.589628e-06,1.554455e-06,1.520997e-06,1.489178e-06,1.458926e-06,1.430172e-06,1.402849e-06,1.376894e-06,1.352247e-06,1.328848e-06,1.306643e-06,1.285577e-06,1.265601e-06,1.246664e-06,1.228720e-06,1.211724e-06,1.195634e-06,1.180408e-06,1.166007e-06,1.152394e-06,1.139532e-06,1.127388e-06,1.115928e-06,1.105120e-06,1.094936e-06,1.085346e-06,1.076322e-06,1.067838e-06,1.059868e-06,1.052390e-06,1.045379e-06,1.038814e-06,1.032673e-06,1.026936e-06,1.021585e-06,1.016600e-06,1.011964e-06,1.007659e-06,1.003671e-06,9.999829e-07
0.000000e+00,1.140345e-08,3.966939e-07,4.192423e-07,4.137841e-06,1.959419e-05,2.068794e-05,6.456721e-05,1.374387e-04,1.430493e-04,2.489841e-04,3.585163e-04,3.682211e-04,4.881381e-04,5.897503e-04,6.004992e-04,7.010336e-04,7.784377e-04,7.881793e-04,8.619658e-04,9.153777e-04,9.232479e-04,9.732408e-04,1.007474e-03,1.013260e-03,1.044589e-03,1.064629e-03,1.068412e-03,1.085794e-03,1.095697e-03,1.097674e-03,1.104871e-03,1.107697e-03,1.108098e-03,1.107968e-03,1.105952e-03,1.105010e-03,1.099676e-03,1.094431e-03,1.092356e-03,1.083383e-03,1.076061e-03,1.073043e-03,1.061579e-03,1.052999e-03,1.049200e-03,1.036085e-03,1.026824e-03,1.022385e-03,1.008230e-03,9.986932e-04,9.937311e-04,9.789822e-04,9.694493e-04,9.640637e-04,9.490439e-04,9.397066e-04,9.339808e-04,9.189232e-04,9.099089e-04,9.039128e-04,8.889843e-04,8.803752e-04,8.741673e-04,8.594860e-04,8.513317e-04,8.449612e-04,8.306099e-04,8.229374e-04,8.164461e-04,8.024808e-04,7.953004e-04,7.887231e-04,7.751800e-04,7.684907e-04,7.618570e-04,7.487581e-04,7.425511e-04,7.358861e-04,7.232429e-04,7.175041e-04,7.108294e-04,6.986459e-04,6.933580e-04,6.866921e-04,6.749670e-04,6.701103e-04,6.634691e-04,6.521966e-04,6.477504e-04,6.411476e-04,6.303197e-04,6.262625e-04,6.197102e-04,6.093166e-04,6.056271e-04,5.991358e-04,5.891649e-04,5.858221e-04,5.794008e-04,5.698402e-04,5.668232e-04,5.604798e-04,5.513165e-04,5.486054e-04,5.423467e-04,5.335673e-04,5.311428e-04,5.249749e-04,5.165661e-04,5.144095e-04,5.083376e-04,5.002860e-04,4.983796e-04,4.924081e-04,4.847006e-04,4.830275e-04,4.771602e-04,4.697838e-04,4.683279e-04,4.625681e-04,4.555100e-04,4.542561e-04,4.486065e-04,4.418544e-04,4.407880e-04,4.352509e-04,4.287928e-04,4.279001e-04,4.224772e-04,4.163014e-04,4.155696e-04,4.102625e-04,4.043576e-04,4.037744e-04,3.985841e-04,3.929393e-04,3.924932e-04,3.874204e-04,3.820250e-04,3.817052e-04,3.767505e-04,3.715943e-04,3.713905e-04,3.665541e-04,3.616273e-04,3.615299e-04,3.568116e-04,3.521048e-04,3.430973e-04,3.344903e-04,3.262672e-04,3.184120e-04,3.109094e-04,3.037448e-04,2.969040e-04,2.903733e-04,2.841398e-04,2.781909e-04,2.725147e-04,2.670995e-04,2.619343e-04,2.570084e-04,2.523118e-04,2.478345e-04,2.435672e-04,2.395010e-04,2.356271e-04,2.319374e-04,2.284238e-04,2.250789e-04,2.218953e-04,2.188659e-04,2.159842e-04,2.132437e-04,2.106383e-04,2.081621e-04,2.058093e-04,2.035747e-04,2.014529e-04,1.994391e-04,1.975285e-04,1.957166e-04,1.939988e-04,1.923712e-04,1.908296e-04,1.893703e-04,1.879895e-04,1.866837e-04,1.854496e-04,1.842839e-04,1.831835e-04,1.821455e-04,1.811669e-04,1.802451e-04,1.793775e-04,1.785614e-04,1.777947e-04
0.000000e+00,1.305847e-07,4.771611e-06,5.047390e-06,5.435522e-05,3.016746e-04,3.209563e-04,1.226191e-03,3.179272e-03,3.351177e-03,7.198129e-03,1.253384e-02,1.308406e-02,2.115001e-02,3.027668e-02,3.139732e-02,4.372363e-02,5.615220e-02,5.795314e-02,7.386123e-02,8.869147e-02,9.119386e-02,1.096828e-01,1.259088e-01,1.290572e-01,1.490524e-01,1.657345e-01,1.694165e-01,1.899146e-01,2.062646e-01,2.103321e-01,2.304760e-01,2.458882e-01,2.501763e-01,2.692855e-01,2.833354e-01,2.876784e-01,3.052509e-01,3.176764e-01,3.219191e-01,3.376174e-01,3.482918e-01,3.522973e-01,3.659255e-01,3.748285e-01,3.784824e-01,3.899606e-01,3.971507e-01,4.003630e-01,4.097016e-01,4.152917e-01,4.179963e-01,4.252730e-01,4.294102e-01,4.315632e-01,4.369025e-01,4.397521e-01,4.413296e-01,4.448857e-01,4.466192e-01,4.476139e-01,4.495581e-01,4.503440e-01,4.507627e-01,4.512723e-01,4.512706e-01,4.511310e-01,4.503823e-01,4.497404e-01,4.490687e-01,4.472314e-01,4.460825e-01,4.449106e-01,4.421448e-01,4.406066e-01,4.389708e-01,4.354242e-01,4.335993e-01,4.315385e-01,4.273459e-01,4.253226e-01,4.228766e-01,4.181596e-01,4.160126e-01,4.132218e-01,4.080888e-01,4.058806e-01,4.027848e-01,3.973321e-01,3.951143e-01,3.917521e-01,3.860643e-01,3.838787e-01,3.802874e-01,3.744386e-01,3.723185e-01,3.685338e-01,3.625881e-01,3.605597e-01,3.566153e-01,3.506282e-01,3.487114e-01,3.446389e-01,3.386582e-01,3.368672e-01,3.326964e-01,3.267628e-01,3.251077e-01,3.208661e-01,3.150142e-01,3.135010e-01,3.092143e-01,3.034731e-01,3.021046e-01,2.977965e-01,2.921901e-01,2.909666e-01,2.866589e-01,2.812073e-01,2.801269e-01,2.758394e-01,2.705588e-01,2.696178e-01,2.653688e-01,2.602721e-01,2.594655e-01,2.552713e-01,2.503686e-01,2.496902e-01,2.455658e-01,2.408646e-01,2.403074e-01,2.362663e-01,2.317720e-01,2.313283e-01,2.273825e-01,2.230985e-01,2.227603e-01,2.189204e-01,2.148486e-01,2.146077e-01,2.108832e-01,2.070240e-01,2.068718e-01,2.032709e-01,1.996235e-01,1.995517e-01,1.960815e-01,1.926442e-01,1.861445e-01,1.800463e-01,1.743418e-01,1.690225e-01,1.640786e-01,1.594999e-01,1.552751e-01,1.513930e-01,1.478413e-01,1.446080e-01,1.416803e-01,1.390456e-01,1.366908e-01,1.346030e-01,1.327690e-01,1.311756e-01,1.298097e-01,1.286583e-01,1.277082e-01,1.269465e-01,1.263605e-01,1.259374e-01,1.256648e-01,1.255304e-01,1.255223e-01,1.256287e-01,1.258381e-01,1.261396e-01,1.265223e-01,1.269758e-01,1.274903e-01,1.280562e-01,1.286644e-01,1.293062e-01,1.299737e-01,1.306591e-01,1.313552e-01,1.320554e-01,1.327537e-01,1.334443e-01,1.341222e-01,1.347828e-01,1.354218e-01,1.360358e-01,1.366215e-01,1.371761e-01,1.376975e-01,1.381838e-01,1.386334e-01
0.000000e+00,2.124565e-08,3.190742e-07,3.335993e-07,2.146909e-06,7.297268e-06,7.600760e-06,1.681873e-05,2.644284e-05,2.704617e-05,3.667481e-05,4.473869e-05,4.540340e-05,5.323566e-05,5.956305e-05,6.022592e-05,6.643492e-05,7.129975e-05,7.192199e-05,7.674378e-05,8.039947e-05,8.095401e-05,8.460339e-05,8.727040e-05,8.773957e-05,9.040716e-05,9.227413e-05,9.264767e-05,9.449970e-05,9.572568e-05,9.599893e-05,9.717835e-05,9.789593e-05,9.806836e-05,9.869694e-05,9.901572e-05,9.908981e-05,9.927059e-05,9.928064e-05,9.926095e-05,9.908075e-05,9.885566e-05,9.874818e-05,9.827988e-05,9.787953e-05,9.769109e-05,9.699571e-05,9.646849e-05,9.620643e-05,9.533485e-05,9.471970e-05,9.439154e-05,9.338610e-05,9.271411e-05,9.232732e-05,9.122312e-05,9.051892e-05,9.008076e-05,8.890679e-05,8.818973e-05,8.770715e-05,8.648724e-05,8.577233e-05,8.525190e-05,8.400555e-05,8.330426e-05,8.275212e-05,8.149518e-05,8.081611e-05,8.023791e-05,7.898319e-05,7.833260e-05,7.773356e-05,7.649129e-05,7.587356e-05,7.525841e-05,7.403669e-05,7.345471e-05,7.282772e-05,7.163288e-05,7.108834e-05,7.045337e-05,6.929024e-05,6.878389e-05,6.814438e-05,6.701657e-05,6.654843e-05,6.590745e-05,6.481756e-05,6.438709e-05,6.374735e-05,6.269716e-05,6.230339e-05,6.166726e-05,6.065786e-05,6.029951e-05,5.966907e-05,5.870097e-05,5.837654e-05,5.775359e-05,5.682688e-05,5.653470e-05,5.592079e-05,5.503519e-05,5.477349e-05,5.416996e-05,5.332490e-05,5.309188e-05,5.249983e-05,5.169453e-05,5.148835e-05,5.090874e-05,5.014221e-05,4.996107e-05,4.939466e-05,4.866580e-05,4.850794e-05,4.795535e-05,4.726298e-05,4.712664e-05,4.658837e-05,4.593122e-05,4.581476e-05,4.529119e-05,4.466794e-05,4.456976e-05,4.406116e-05,4.347050e-05,4.338907e-05,4.289562e-05,4.233620e-05,4.227009e-05,4.179190e-05,4.126239e-05,4.121024e-05,4.074734e-05,4.024642e-05,4.020694e-05,3.975930e-05,3.928567e-05,3.925767e-05,3.882521e-05,3.837760e-05,3.835996e-05,3.794254e-05,3.751972e-05,3.751138e-05,3.710884e-05,3.670961e-05,3.595237e-05,3.523748e-05,3.456283e-05,3.392640e-05,3.332624e-05,3.276050e-05,3.222739e-05,3.172522e-05,3.125237e-05,3.080728e-05,3.038848e-05,2.999457e-05,2.962422e-05,2.927615e-05,2.894916e-05,2.864210e-05,2.835388e-05,2.808347e-05,2.782990e-05,2.759222e-05,2.736956e-05,2.716108e-05,2.696599e-05,2.678354e-05,2.661301e-05,2.645374e-05,2.630507e-05,2.616642e-05,2.603720e-05,2.591687e-05,2.580492e-05,2.570086e-05,2.560424e-05,2.551462e-05,2.543158e-05,2.535475e-05,2.528374e-05,2.521821e-05,2.515784e-05,2.510231e-05,2.505132e-05,2.500461e-05,2.496190e-05,2.492295e-05,2.488752e-05,2.485540e-05,2.482636e-05,2.480023e-05,2.477680e-05
0.000000e+00,1.030875e-08,2.478913e-07,2.606597e-07,2.202819e-06,9.899217e-06,1.043582e-05,3.112369e-05,6.155866e-05,6.371432e-05,1.006067e-04,1.335041e-04,1.362504e-04,1.687530e-04,1.950475e-04,1.977992e-04,2.235285e-04,2.436212e-04,2.461866e-04,2.660308e-04,2.810339e-04,2.833067e-04,2.982434e-04,3.091383e-04,3.110531e-04,3.219314e-04,3.295375e-04,3.310588e-04,3.386018e-04,3.435987e-04,3.447134e-04,3.495338e-04,3.524807e-04,3.531920e-04,3.558064e-04,3.571620e-04,3.574850e-04,3.583267e-04,3.584641e-04,3.584217e-04,3.578520e-04,3.570720e-04,3.566917e-04,3.550086e-04,3.535524e-04,3.528640e-04,3.503139e-04,3.483742e-04,3.474087e-04,3.441941e-04,3.419232e-04,3.407115e-04,3.369981e-04,3.345163e-04,3.330879e-04,3.290114e-04,3.264125e-04,3.247958e-04,3.204660e-04,3.178226e-04,3.160442e-04,3.115503e-04,3.089179e-04,3.070022e-04,3.024161e-04,2.998366e-04,2.978062e-04,2.931853e-04,2.906895e-04,2.885648e-04,2.839549e-04,2.815649e-04,2.793645e-04,2.748016e-04,2.725327e-04,2.702733e-04,2.657856e-04,2.636475e-04,2.613438e-04,2.569527e-04,2.549510e-04,2.526164e-04,2.483382e-04,2.464750e-04,2.441211e-04,2.399676e-04,2.382426e-04,2.358798e-04,2.318594e-04,2.302704e-04,2.279077e-04,2.240258e-04,2.225691e-04,2.202145e-04,2.164742e-04,2.151452e-04,2.128054e-04,2.092082e-04,2.080014e-04,2.056825e-04,2.022281e-04,2.011377e-04,1.988447e-04,1.955319e-04,1.945517e-04,1.922890e-04,1.891155e-04,1.882392e-04,1.860106e-04,1.829734e-04,1.821948e-04,1.800033e-04,1.770991e-04,1.764119e-04,1.742601e-04,1.714851e-04,1.708831e-04,1.687732e-04,1.661233e-04,1.656007e-04,1.635344e-04,1.610053e-04,1.605563e-04,1.585349e-04,1.561223e-04,1.557415e-04,1.537662e-04,1.514655e-04,1.511478e-04,1.492192e-04,1.470262e-04,1.467665e-04,1.448852e-04,1.427953e-04,1.425891e-04,1.407554e-04,1.387644e-04,1.386072e-04,1.368213e-04,1.349249e-04,1.348126e-04,1.330743e-04,1.312684e-04,1.311971e-04,1.295062e-04,1.277869e-04,1.277529e-04,1.261092e-04,1.244725e-04,1.213484e-04,1.183736e-04,1.155412e-04,1.128448e-04,1.102779e-04,1.078345e-04,1.055089e-04,1.032954e-04,1.011889e-04,9.918419e-05,9.727648e-05,9.546114e-05,9.373377e-05,9.209018e-05,9.052634e-05,8.903845e-05,8.762287e-05,8.627612e-05,8.499490e-05,8.377607e-05,8.261662e-05,8.151371e-05,8.046461e-05,7.946674e-05,7.851764e-05,7.761497e-05,7.675648e-05,7.594006e-05,7.516368e-05,7.442542e-05,7.372345e-05,7.305603e-05,7.242149e-05,7.181826e-05,7.124483e-05,7.069977e-05,7.018173e-05,6.968941e-05,6.922156e-05,6.877703e-05,6.835469e-05,6.795348e-05,6.757238e-05,6.721044e-05,6.686673e-05,6.654039e-05,6.623059e-05,6.593653e-05,6.565745e-05
0.000000e+00,1.084339e-08,3.232957e-07,3.410812e-07,3.161126e-06,1.426234e-05,1.502760e-05,4.428107e-05,8.784286e-05,9.097617e-05,1.455618e-04,1.954176e-04,1.996137e-04,2.495343e-04,2.901633e-04,2.944242e-04,3.343403e-04,3.656094e-04,3.696087e-04,4.006081e-04,4.241352e-04,4.277074e-04,4.512488e-04,4.685010e-04,4.715416e-04,4.888736e-04,5.010653e-04,5.035130e-04,5.157082e-04,5.238588e-04,5.256879e-04,5.336631e-04,5.386175e-04,5.398276e-04,5.443598e-04,5.468137e-04,5.474231e-04,5.491675e-04,5.496903e-04,5.497301e-04,5.492362e-04,5.482912e-04,5.478004e-04,5.455269e-04,5.434883e-04,5.425108e-04,5.388388e-04,5.360075e-04,5.345894e-04,5.298342e-04,5.264505e-04,5.246381e-04,5.190599e-04,5.153142e-04,5.131530e-04,5.069657e-04,5.030080e-04,5.005416e-04,4.939202e-04,4.898677e-04,4.871372e-04,4.802246e-04,4.761675e-04,4.732115e-04,4.661237e-04,4.621308e-04,4.589848e-04,4.518155e-04,4.479382e-04,4.446348e-04,4.374592e-04,4.337350e-04,4.303037e-04,4.231817e-04,4.196369e-04,4.161047e-04,4.090833e-04,4.057355e-04,4.021266e-04,3.952425e-04,3.921022e-04,3.884382e-04,3.817196e-04,3.787919e-04,3.750919e-04,3.685598e-04,3.658456e-04,3.621268e-04,3.557963e-04,3.532934e-04,3.495708e-04,3.434525e-04,3.411559e-04,3.374429e-04,3.315433e-04,3.294466e-04,3.257547e-04,3.200775e-04,3.181727e-04,3.145119e-04,3.090580e-04,3.073363e-04,3.037155e-04,2.984840e-04,2.969360e-04,2.933627e-04,2.883509e-04,2.869671e-04,2.834476e-04,2.786518e-04,2.774223e-04,2.739622e-04,2.693776e-04,2.682927e-04,2.648965e-04,2.605176e-04,2.595678e-04,2.562393e-04,2.520601e-04,2.512360e-04,2.479783e-04,2.439924e-04,2.432850e-04,2.401006e-04,2.363013e-04,2.357019e-04,2.325928e-04,2.289734e-04,2.284737e-04,2.254414e-04,2.219950e-04,2.215871e-04,2.186326e-04,2.153524e-04,2.150289e-04,2.121528e-04,2.090320e-04,2.087857e-04,2.059884e-04,2.030204e-04,2.028446e-04,2.001262e-04,1.973044e-04,1.971930e-04,1.945532e-04,1.918711e-04,1.918182e-04,1.892566e-04,1.867082e-04,1.818511e-04,1.772358e-04,1.728510e-04,1.686863e-04,1.647314e-04,1.609765e-04,1.574123e-04,1.540297e-04,1.508201e-04,1.477752e-04,1.448872e-04,1.421484e-04,1.395517e-04,1.370903e-04,1.347574e-04,1.325470e-04,1.304529e-04,1.284696e-04,1.265915e-04,1.248136e-04,1.231308e-04,1.215385e-04,1.200323e-04,1.186078e-04,1.172610e-04,1.159881e-04,1.147854e-04,1.136493e-04,1.125767e-04,1.115642e-04,1.106089e-04,1.097079e-04,1.088586e-04,1.080582e-04,1.073043e-04,1.065947e-04,1.059269e-04,1.052990e-04,1.047089e-04,1.041546e-04,1.036344e-04,1.031465e-04,1.026892e-04,1.022610e-04,1.018604e-04,1.014859e-04,1.011362e-04,1.008100e-04,1.005061e-04
0.000000e+00,3.901288e-08,1.754868e-06,1.863347e-06,2.246459e-05,1.240914e-04,1.318187e-04,4.782564e-04,1.177216e-03,1.237000e-03,2.533067e-03,4.248156e-03,4.421249e-03,6.899668e-03,9.601451e-03,9.927167e-03,1.343770e-02,1.686314e-02,1.735121e-02,2.158166e-02,2.540740e-02,2.604268e-02,3.065144e-02,3.458069e-02,3.533131e-02,4.001329e-02,4.381138e-02,4.463688e-02,4.915031e-02,5.265243e-02,5.351038e-02,5.768202e-02,6.078717e-02,6.163775e-02,6.535696e-02,6.801624e-02,6.882514e-02,7.203318e-02,7.423686e-02,7.497659e-02,7.765481e-02,7.942033e-02,8.007054e-02,8.222920e-02,8.359127e-02,8.413832e-02,8.580711e-02,8.680991e-02,8.724603e-02,8.846642e-02,8.915795e-02,8.948022e-02,9.029967e-02,9.072784e-02,9.093714e-02,9.140492e-02,9.161503e-02,9.171508e-02,9.187938e-02,9.191270e-02,9.190919e-02,9.181539e-02,9.170846e-02,9.160837e-02,9.129795e-02,9.108245e-02,9.089345e-02,9.040360e-02,9.010650e-02,8.983659e-02,8.920008e-02,8.884401e-02,8.850119e-02,8.774655e-02,8.735027e-02,8.694232e-02,8.609419e-02,8.567306e-02,8.520744e-02,8.428691e-02,8.385338e-02,8.333710e-02,8.236213e-02,8.192617e-02,8.136580e-02,8.035161e-02,7.992111e-02,7.932276e-02,7.828219e-02,7.786329e-02,7.723259e-02,7.617644e-02,7.577386e-02,7.511599e-02,7.405332e-02,7.367058e-02,7.299031e-02,7.192868e-02,7.156833e-02,7.087001e-02,6.981574e-02,6.947951e-02,6.876716e-02,6.772545e-02,6.741444e-02,6.669170e-02,6.566687e-02,6.538164e-02,6.465184e-02,6.364741e-02,6.338808e-02,6.265429e-02,6.167311e-02,6.143948e-02,6.070447e-02,5.974886e-02,5.954042e-02,5.880674e-02,5.787851e-02,5.769456e-02,5.696452e-02,5.606508e-02,5.590474e-02,5.518045e-02,5.431086e-02,5.417314e-02,5.345651e-02,5.261755e-02,5.250133e-02,5.179410e-02,5.098628e-02,5.089040e-02,5.019415e-02,4.941778e-02,4.934101e-02,4.865718e-02,4.791237e-02,4.785346e-02,4.718333e-02,4.647006e-02,4.642776e-02,4.577250e-02,4.509059e-02,4.506364e-02,4.442428e-02,4.377348e-02,4.376062e-02,4.313809e-02,4.251801e-02,4.133500e-02,4.021060e-02,3.914375e-02,3.813325e-02,3.717784e-02,3.627618e-02,3.542689e-02,3.462852e-02,3.387958e-02,3.317854e-02,3.252386e-02,3.191396e-02,3.134723e-02,3.082206e-02,3.033684e-02,2.988993e-02,2.947969e-02,2.910449e-02,2.876270e-02,2.845270e-02,2.817286e-02,2.792159e-02,2.769731e-02,2.749844e-02,2.732346e-02,2.717083e-02,2.703909e-02,2.692678e-02,2.683248e-02,2.675482e-02,2.669245e-02,2.664409e-02,2.660849e-02,2.658443e-02,2.657078e-02,2.656641e-02,2.657028e-02,2.658139e-02,2.659879e-02,2.662159e-02,2.664895e-02,2.668008e-02,2.671425e-02,2.675077e-02,2.678902e-02,2.682841e-02,2.686841e-02,2.690854e-02,2.694837e-02
0.000000e+00,1.875776e-07,6.795483e-06,7.186636e-06,7.670341e-05,4.280194e-04,4.557126e-04,1.803320e-03,4.945731e-03,5.233610e-03,1.198641e-02,2.198350e-02,2.304284e-02,3.900037e-02,5.776590e-02,6.010984e-02,8.634797e-02,1.135023e-01,1.174863e-01,1.531492e-01,1.870774e-01,1.928612e-01,2.360847e-01,2.746896e-01,2.822497e-01,3.307768e-01,3.719302e-01,3.810946e-01,4.326532e-01,4.744432e-01,4.849332e-01,5.374524e-01,5.782981e-01,5.897696e-01,6.414872e-01,6.801724e-01,6.922516e-01,7.417528e-01,7.774115e-01,7.897232e-01,8.359358e-01,8.680129e-01,8.802017e-01,9.223675e-01,9.505684e-01,9.623130e-01,9.999474e-01,1.024185e+00,1.035207e+00,1.068054e+00,1.088401e+00,1.098469e+00,1.126454e+00,1.143098e+00,1.152028e+00,1.175222e+00,1.188427e+00,1.196082e+00,1.214661e+00,1.224740e+00,1.231024e+00,1.245241e+00,1.252533e+00,1.257388e+00,1.267545e+00,1.272395e+00,1.275796e+00,1.282227e+00,1.284973e+00,1.286924e+00,1.289975e+00,1.290940e+00,1.291468e+00,1.291489e+00,1.290975e+00,1.290124e+00,1.287458e+00,1.285740e+00,1.283572e+00,1.278547e+00,1.275874e+00,1.272460e+00,1.265387e+00,1.261982e+00,1.257401e+00,1.248572e+00,1.244629e+00,1.238967e+00,1.228650e+00,1.224338e+00,1.217683e+00,1.206125e+00,1.201589e+00,1.194031e+00,1.181456e+00,1.176820e+00,1.168449e+00,1.155059e+00,1.150427e+00,1.141330e+00,1.127307e+00,1.122764e+00,1.113029e+00,1.098535e+00,1.094149e+00,1.083860e+00,1.069038e+00,1.064866e+00,1.054102e+00,1.039080e+00,1.035164e+00,1.024001e+00,1.008890e+00,1.005262e+00,9.937725e-01,9.786706e-01,9.753524e-01,9.636053e-01,9.485965e-01,9.456031e-01,9.336621e-01,9.188191e-01,9.161583e-01,9.040831e-01,8.894684e-01,8.871422e-01,8.749882e-01,8.606548e-01,8.586605e-01,8.464792e-01,8.324716e-01,8.308024e-01,8.186412e-01,8.049966e-01,8.036426e-01,7.915452e-01,7.782940e-01,7.772427e-01,7.652490e-01,7.524157e-01,7.516526e-01,7.397990e-01,7.274031e-01,7.269119e-01,7.152316e-01,7.032878e-01,7.030512e-01,6.915742e-01,6.800932e-01,6.580532e-01,6.369407e-01,6.167596e-01,5.975092e-01,5.791847e-01,5.617777e-01,5.452768e-01,5.296676e-01,5.149338e-01,5.010568e-01,4.880166e-01,4.757915e-01,4.643589e-01,4.536950e-01,4.437751e-01,4.345740e-01,4.260659e-01,4.182244e-01,4.110231e-01,4.044352e-01,3.984338e-01,3.929921e-01,3.880831e-01,3.836802e-01,3.797569e-01,3.762868e-01,3.732442e-01,3.706033e-01,3.683391e-01,3.664269e-01,3.648427e-01,3.635629e-01,3.625647e-01,3.618258e-01,3.613246e-01,3.610404e-01,3.609532e-01,3.610436e-01,3.612933e-01,3.616845e-01,3.622006e-01,3.628256e-01,3.635444e-01,3.643428e-01,3.652074e-01,3.661258e-01,3.670862e-01,3.680779e-01,3.690907e-01
0.000000e+00,3.152748e-09,4.692110e-08,4.906205e-08,3.169650e-07,1.107224e-06,1.155656e-06,2.753919e-06,4.682669e-06,4.810748e-06,6.941756e-06,8.837672e-06,8.998350e-06,1.094565e-05,1.260004e-05,1.277815e-05,1.449752e-05,1.591977e-05,1.610729e-05,1.761153e-05,1.882399e-05,1.901446e-05,2.032035e-05,2.134541e-05,2.153345e-05,2.265797e-05,2.351689e-05,2.369805e-05,2.465770e-05,2.537015e-05,2.554084e-05,2.635126e-05,2.693526e-05,2.709261e-05,2.776840e-05,2.824024e-05,2.838201e-05,2.893668e-05,2.931102e-05,2.943552e-05,2.988149e-05,3.017145e-05,3.027744e-05,3.062609e-05,3.084340e-05,3.093004e-05,3.119178e-05,3.134685e-05,3.141366e-05,3.159796e-05,3.170007e-05,3.174684e-05,3.186235e-05,3.191967e-05,3.194645e-05,3.200103e-05,3.202082e-05,3.202785e-05,3.202863e-05,3.201727e-05,3.200498e-05,3.195843e-05,3.192153e-05,3.189046e-05,3.180247e-05,3.174494e-05,3.169578e-05,3.157165e-05,3.149779e-05,3.143128e-05,3.127582e-05,3.118937e-05,3.110634e-05,3.092389e-05,3.082810e-05,3.072943e-05,3.052390e-05,3.042157e-05,3.030817e-05,3.008308e-05,2.997662e-05,2.984943e-05,2.960796e-05,2.949943e-05,2.935939e-05,2.910439e-05,2.899553e-05,2.884359e-05,2.857761e-05,2.846990e-05,2.830701e-05,2.803234e-05,2.792700e-05,2.775410e-05,2.747277e-05,2.737082e-05,2.718881e-05,2.690265e-05,2.680493e-05,2.661470e-05,2.632533e-05,2.623249e-05,2.603490e-05,2.574375e-05,2.565632e-05,2.545221e-05,2.516055e-05,2.507891e-05,2.486908e-05,2.457804e-05,2.450248e-05,2.428769e-05,2.399825e-05,2.392895e-05,2.370994e-05,2.342296e-05,2.336002e-05,2.313750e-05,2.285372e-05,2.279719e-05,2.257180e-05,2.229188e-05,2.224172e-05,2.201411e-05,2.173860e-05,2.169474e-05,2.146548e-05,2.119486e-05,2.115718e-05,2.092684e-05,2.066151e-05,2.062985e-05,2.039894e-05,2.013923e-05,2.011342e-05,1.988244e-05,1.962863e-05,1.960846e-05,1.937785e-05,1.913016e-05,1.911540e-05,1.888560e-05,1.864420e-05,1.863462e-05,1.840601e-05,1.817104e-05,1.816638e-05,1.793932e-05,1.771088e-05,1.726826e-05,1.683858e-05,1.642187e-05,1.601811e-05,1.562721e-05,1.524909e-05,1.488361e-05,1.453061e-05,1.418990e-05,1.386128e-05,1.354452e-05,1.323940e-05,1.294567e-05,1.266306e-05,1.239132e-05,1.213018e-05,1.187935e-05,1.163857e-05,1.140756e-05,1.118603e-05,1.097371e-05,1.077032e-05,1.057558e-05,1.038923e-05,1.021099e-05,1.004060e-05,9.877794e-06,9.722320e-06,9.573926e-06,9.432363e-06,9.297392e-06,9.168777e-06,9.046287e-06,8.929698e-06,8.818792e-06,8.713356e-06,8.613182e-06,8.518070e-06,8.427824e-06,8.342255e-06,8.261179e-06,8.184416e-06,8.111796e-06,8.043149e-06,7.978315e-06,7.917137e-06,7.859462e-06,7.805146e-06,7.754045e-06
0.000000e+00,1.181991e-08,4.665723e-07,4.942905e-07,5.544829e-06,3.040935e-05,3.232379e-05,1.212806e-04,3.134097e-04,3.303720e-04,7.096526e-04,1.228665e-03,1.281529e-03,2.041056e-03,2.865976e-03,2.964843e-03,4.019605e-03,5.026799e-03,5.168389e-03,6.374670e-03,7.432317e-03,7.604831e-03,8.829497e-03,9.835858e-03,1.002411e-02,1.116897e-02,1.205993e-02,1.224901e-02,1.325333e-02,1.399729e-02,1.417469e-02,1.500895e-02,1.559813e-02,1.575456e-02,1.641200e-02,1.685394e-02,1.698339e-02,1.747207e-02,1.778289e-02,1.788225e-02,1.821874e-02,1.841828e-02,1.848671e-02,1.869152e-02,1.880017e-02,1.883852e-02,1.893302e-02,1.896989e-02,1.898010e-02,1.898465e-02,1.896660e-02,1.895127e-02,1.888423e-02,1.882551e-02,1.878751e-02,1.866478e-02,1.857710e-02,1.851937e-02,1.835432e-02,1.824701e-02,1.817237e-02,1.797602e-02,1.785641e-02,1.776746e-02,1.754869e-02,1.742239e-02,1.732148e-02,1.708739e-02,1.695863e-02,1.684783e-02,1.660401e-02,1.647590e-02,1.635702e-02,1.610782e-02,1.598265e-02,1.585724e-02,1.560602e-02,1.548539e-02,1.535479e-02,1.510412e-02,1.498914e-02,1.485450e-02,1.460635e-02,1.449772e-02,1.436003e-02,1.411586e-02,1.401402e-02,1.387412e-02,1.363505e-02,1.354021e-02,1.339883e-02,1.316566e-02,1.307787e-02,1.293566e-02,1.270896e-02,1.262818e-02,1.248567e-02,1.226587e-02,1.219195e-02,1.204963e-02,1.183699e-02,1.176972e-02,1.162801e-02,1.142272e-02,1.136185e-02,1.122113e-02,1.102326e-02,1.096852e-02,1.082911e-02,1.063869e-02,1.058979e-02,1.045199e-02,1.026898e-02,1.022561e-02,1.008967e-02,9.914022e-03,9.875869e-03,9.742016e-03,9.573623e-03,9.540375e-03,9.408812e-03,9.247552e-03,9.218899e-03,9.089806e-03,8.935537e-03,8.911174e-03,8.784706e-03,8.637274e-03,8.616902e-03,8.493197e-03,8.352433e-03,8.335762e-03,8.214938e-03,8.080667e-03,8.067416e-03,7.949575e-03,7.821617e-03,7.811514e-03,7.696745e-03,7.574914e-03,7.567700e-03,7.456076e-03,7.340185e-03,7.335610e-03,7.227193e-03,7.117053e-03,7.114879e-03,7.009719e-03,6.905142e-03,6.706034e-03,6.517193e-03,6.338261e-03,6.168885e-03,6.008718e-03,5.857419e-03,5.714650e-03,5.580086e-03,5.453403e-03,5.334289e-03,5.222435e-03,5.117543e-03,5.019321e-03,4.927483e-03,4.841751e-03,4.761856e-03,4.687533e-03,4.618525e-03,4.554585e-03,4.495468e-03,4.440938e-03,4.390767e-03,4.344731e-03,4.302614e-03,4.264206e-03,4.229304e-03,4.197709e-03,4.169232e-03,4.143687e-03,4.120896e-03,4.100685e-03,4.082889e-03,4.067346e-03,4.053902e-03,4.042407e-03,4.032720e-03,4.024703e-03,4.018225e-03,4.013159e-03,4.009386e-03,4.006791e-03,4.005266e-03,4.004706e-03,4.005013e-03,4.006095e-03,4.007863e-03,4.010234e-03,4.013131e-03,4.016480e-03
0.000000e+00,3.229183e-08,1.010058e-06,1.066164e-06,1.023496e-05,4.815979e-05,5.081805e-05,1.531828e-04,3.065350e-04,3.176749e-04,5.160500e-04,7.060586e-04,7.224752e-04,9.230371e-04,1.093709e-03,1.112017e-03,1.287621e-03,1.430905e-03,1.449639e-03,1.598445e-03,1.716282e-03,1.734607e-03,1.858752e-03,1.954217e-03,1.971523e-03,2.073559e-03,2.149660e-03,2.165490e-03,2.247928e-03,2.307444e-03,2.321468e-03,2.386679e-03,2.432115e-03,2.444108e-03,2.494277e-03,2.527854e-03,2.537679e-03,2.574785e-03,2.598450e-03,2.606036e-03,2.631849e-03,2.647290e-03,2.652618e-03,2.668713e-03,2.677385e-03,2.680480e-03,2.688247e-03,2.691400e-03,2.692320e-03,2.692986e-03,2.691692e-03,2.690516e-03,2.685164e-03,2.680336e-03,2.677167e-03,2.666748e-03,2.659165e-03,2.654117e-03,2.639467e-03,2.629785e-03,2.622981e-03,2.604829e-03,2.593600e-03,2.585169e-03,2.564150e-03,2.551837e-03,2.541909e-03,2.518574e-03,2.505562e-03,2.494267e-03,2.469099e-03,2.455706e-03,2.443174e-03,2.416589e-03,2.403077e-03,2.389433e-03,2.361791e-03,2.348373e-03,2.333740e-03,2.305353e-03,2.292201e-03,2.276696e-03,2.247832e-03,2.235081e-03,2.218817e-03,2.189705e-03,2.177460e-03,2.160543e-03,2.131379e-03,2.119721e-03,2.102252e-03,2.073201e-03,2.062190e-03,2.044262e-03,2.015466e-03,2.005140e-03,1.986843e-03,1.958419e-03,1.948805e-03,1.930219e-03,1.902266e-03,1.893377e-03,1.874580e-03,1.847178e-03,1.839016e-03,1.820077e-03,1.793292e-03,1.785851e-03,1.766836e-03,1.740721e-03,1.733988e-03,1.714956e-03,1.689551e-03,1.683508e-03,1.664513e-03,1.639850e-03,1.634475e-03,1.615567e-03,1.591668e-03,1.586935e-03,1.568158e-03,1.545039e-03,1.540920e-03,1.522314e-03,1.499985e-03,1.496449e-03,1.478052e-03,1.456515e-03,1.453531e-03,1.435375e-03,1.414630e-03,1.412167e-03,1.394280e-03,1.374322e-03,1.372348e-03,1.354756e-03,1.335578e-03,1.334060e-03,1.316785e-03,1.298376e-03,1.297283e-03,1.280345e-03,1.262691e-03,1.261992e-03,1.245409e-03,1.228495e-03,1.228160e-03,1.211945e-03,1.195755e-03,1.164743e-03,1.135088e-03,1.106754e-03,1.079702e-03,1.053893e-03,1.029287e-03,1.005847e-03,9.835302e-04,9.622992e-04,9.421145e-04,9.229377e-04,9.047307e-04,8.874566e-04,8.710787e-04,8.555614e-04,8.408701e-04,8.269709e-04,8.138308e-04,8.014177e-04,7.897007e-04,7.786496e-04,7.682353e-04,7.584295e-04,7.492050e-04,7.405354e-04,7.323954e-04,7.247602e-04,7.176064e-04,7.109110e-04,7.046521e-04,6.988085e-04,6.933598e-04,6.882866e-04,6.835698e-04,6.791916e-04,6.751344e-04,6.713815e-04,6.679169e-04,6.647253e-04,6.617917e-04,6.591022e-04,6.566430e-04,6.544011e-04,6.523642e-04,6.505203e-04,6.488579e-04,6.473661e-04,6.460345e-04,6.448531e-04
0.000000e+00,4.168708e-08,1.459698e-06,1.542729e-06,1.602908e-05,8.727648e-05,9.280688e-05,3.517186e-04,9.066866e-04,9.552288e-04,2.027290e-03,3.472194e-03,3.618693e-03,5.719814e-03,8.006835e-03,8.281880e-03,1.123428e-02,1.409165e-02,1.449681e-02,1.798781e-02,2.111320e-02,2.162934e-02,2.535023e-02,2.849087e-02,2.908764e-02,3.278768e-02,3.576199e-02,3.640535e-02,3.990402e-02,4.259763e-02,4.325482e-02,4.643574e-02,4.878847e-02,4.943082e-02,5.222928e-02,5.422053e-02,5.482472e-02,5.721441e-02,5.885035e-02,5.939858e-02,6.137991e-02,6.268337e-02,6.316297e-02,6.475379e-02,6.575677e-02,6.615951e-02,6.738808e-02,6.812663e-02,6.844798e-02,6.934798e-02,6.985875e-02,7.009706e-02,7.070417e-02,7.102232e-02,7.117819e-02,7.152782e-02,7.168586e-02,7.176154e-02,7.188750e-02,7.191465e-02,7.191358e-02,7.184727e-02,7.176932e-02,7.169575e-02,7.146580e-02,7.130519e-02,7.116388e-02,7.079605e-02,7.057205e-02,7.036805e-02,6.988528e-02,6.961430e-02,6.935282e-02,6.877543e-02,6.847130e-02,6.815758e-02,6.750344e-02,6.717773e-02,6.681693e-02,6.610170e-02,6.576400e-02,6.536117e-02,6.459852e-02,6.425673e-02,6.381674e-02,6.301858e-02,6.267910e-02,6.220664e-02,6.138332e-02,6.105131e-02,6.055084e-02,5.971130e-02,5.939082e-02,5.886661e-02,5.801858e-02,5.771278e-02,5.716884e-02,5.631896e-02,5.603022e-02,5.547034e-02,5.462430e-02,5.435431e-02,5.378205e-02,5.294471e-02,5.269462e-02,5.211330e-02,5.128877e-02,5.105926e-02,5.047198e-02,4.966372e-02,4.945506e-02,4.886471e-02,4.807559e-02,4.788774e-02,4.729697e-02,4.652938e-02,4.636203e-02,4.577329e-02,4.502915e-02,4.488179e-02,4.429733e-02,4.357817e-02,4.345008e-02,4.287196e-02,4.217897e-02,4.206933e-02,4.149942e-02,4.083349e-02,4.074135e-02,4.018133e-02,3.954308e-02,3.946742e-02,3.891882e-02,3.830863e-02,3.824839e-02,3.771256e-02,3.713062e-02,3.708468e-02,3.656283e-02,3.600916e-02,3.597638e-02,3.546957e-02,3.494402e-02,3.492329e-02,3.443244e-02,3.393474e-02,3.392492e-02,3.345082e-02,3.298059e-02,3.208938e-02,3.125026e-02,3.046202e-02,2.972334e-02,2.903283e-02,2.838898e-02,2.779024e-02,2.723501e-02,2.672163e-02,2.624844e-02,2.581375e-02,2.541584e-02,2.505303e-02,2.472360e-02,2.442587e-02,2.415816e-02,2.391882e-02,2.370622e-02,2.351876e-02,2.335488e-02,2.321303e-02,2.309172e-02,2.298951e-02,2.290499e-02,2.283678e-02,2.278356e-02,2.274408e-02,2.271711e-02,2.270148e-02,2.269607e-02,2.269982e-02,2.271172e-02,2.273079e-02,2.275615e-02,2.278693e-02,2.282233e-02,2.286159e-02,2.290403e-02,2.294898e-02,2.299584e-02,2.304406e-02,2.309313e-02,2.314259e-02,2.319202e-02,2.324102e-02,2.328927e-02,2.333646e-02,2.338233e-02,2.342664e-02
0.000000e+00,1.071755e-09,1.600455e-08,1.669227e-08,8.995281e-08,2.621937e-07,2.718815e-07,5.722874e-07,9.229335e-07,9.463039e-07,1.337310e-06,1.687161e-06,1.716850e-06,2.076881e-06,2.382912e-06,2.415861e-06,2.733913e-06,2.996940e-06,3.031612e-06,3.309663e-06,3.533653e-06,3.568828e-06,3.809892e-06,3.998975e-06,4.033645e-06,4.240866e-06,4.398992e-06,4.432325e-06,4.608770e-06,4.739605e-06,4.770927e-06,4.919499e-06,5.026392e-06,5.055164e-06,5.178574e-06,5.264556e-06,5.290355e-06,5.391109e-06,5.458908e-06,5.481413e-06,5.561818e-06,5.613878e-06,5.632854e-06,5.695027e-06,5.733535e-06,5.748821e-06,5.794700e-06,5.821602e-06,5.833105e-06,5.864460e-06,5.881488e-06,5.889167e-06,5.907613e-06,5.916303e-06,5.920165e-06,5.927174e-06,5.928884e-06,5.928975e-06,5.925886e-06,5.921813e-06,5.918213e-06,5.906243e-06,5.897442e-06,5.890255e-06,5.870510e-06,5.857906e-06,5.847259e-06,5.820741e-06,5.805142e-06,5.791181e-06,5.758796e-06,5.740907e-06,5.723790e-06,5.686359e-06,5.666792e-06,5.646687e-06,5.604951e-06,5.584234e-06,5.561317e-06,5.515945e-06,5.494531e-06,5.468984e-06,5.420577e-06,5.398855e-06,5.370860e-06,5.319960e-06,5.298259e-06,5.267999e-06,5.215092e-06,5.193689e-06,5.161348e-06,5.106869e-06,5.085995e-06,5.051753e-06,4.996092e-06,4.975938e-06,4.939973e-06,4.883477e-06,4.864196e-06,4.826681e-06,4.769659e-06,4.751375e-06,4.712479e-06,4.655205e-06,4.638013e-06,4.597898e-06,4.540614e-06,4.524587e-06,4.483408e-06,4.426330e-06,4.411516e-06,4.369426e-06,4.312740e-06,4.299172e-06,4.256313e-06,4.200184e-06,4.187880e-06,4.144389e-06,4.088960e-06,4.077921e-06,4.033928e-06,3.979322e-06,3.969541e-06,3.925169e-06,3.871493e-06,3.862951e-06,3.818317e-06,3.765660e-06,3.758331e-06,3.713543e-06,3.661983e-06,3.655834e-06,3.610995e-06,3.560594e-06,3.555587e-06,3.510793e-06,3.461603e-06,3.457694e-06,3.413035e-06,3.365098e-06,3.362242e-06,3.317800e-06,3.271148e-06,3.269295e-06,3.225148e-06,3.179805e-06,3.178905e-06,3.135124e-06,3.091107e-06,3.005924e-06,2.923367e-06,2.843437e-06,2.766126e-06,2.691420e-06,2.619294e-06,2.549721e-06,2.482666e-06,2.418092e-06,2.355955e-06,2.296211e-06,2.238811e-06,2.183705e-06,2.130839e-06,2.080160e-06,2.031613e-06,1.985142e-06,1.940692e-06,1.898206e-06,1.857626e-06,1.818898e-06,1.781963e-06,1.746767e-06,1.713254e-06,1.681370e-06,1.651060e-06,1.622272e-06,1.594953e-06,1.569053e-06,1.544522e-06,1.521310e-06,1.499369e-06,1.478653e-06,1.459116e-06,1.440713e-06,1.423400e-06,1.407136e-06,1.391878e-06,1.377588e-06,1.364225e-06,1.351752e-06,1.340133e-06,1.329330e-06,1.319311e-06,1.310042e-06,1.301489e-06,1.293621e-06,1.286409e-06,1.279822e-06
0.000000e+00,1.982636e-08,6.410709e-07,6.767265e-07,6.667728e-06,3.444108e-05,3.653887e-05,1.303580e-04,3.150440e-04,3.304158e-04,6.459177e-04,1.017535e-03,1.052602e-03,1.515749e-03,1.955557e-03,2.004959e-03,2.498306e-03,2.924468e-03,2.981613e-03,3.446422e-03,3.827750e-03,3.888087e-03,4.304362e-03,4.633800e-03,4.694450e-03,5.058405e-03,5.337723e-03,5.396775e-03,5.710380e-03,5.944077e-03,6.000182e-03,6.267216e-03,6.460375e-03,6.512536e-03,6.737195e-03,6.894754e-03,6.942225e-03,7.128633e-03,7.255157e-03,7.297388e-03,7.449427e-03,7.549050e-03,7.585647e-03,7.706908e-03,7.783333e-03,7.814034e-03,7.907810e-03,7.964338e-03,7.988989e-03,8.058286e-03,8.097848e-03,8.116387e-03,8.163942e-03,8.189133e-03,8.201576e-03,8.229879e-03,8.242990e-03,8.249416e-03,8.260726e-03,8.263777e-03,8.264320e-03,8.260686e-03,8.255450e-03,8.250287e-03,8.233565e-03,8.221597e-03,8.210940e-03,8.182811e-03,8.165467e-03,8.149557e-03,8.111539e-03,8.090001e-03,8.069099e-03,8.022563e-03,7.997857e-03,7.972240e-03,7.918423e-03,7.891433e-03,7.861391e-03,7.801406e-03,7.772892e-03,7.738720e-03,7.673569e-03,7.644180e-03,7.606179e-03,7.536760e-03,7.507049e-03,7.465516e-03,7.392637e-03,7.363068e-03,7.318302e-03,7.242682e-03,7.213643e-03,7.165938e-03,7.088221e-03,7.060033e-03,7.009675e-03,6.930435e-03,6.903359e-03,6.850629e-03,6.770375e-03,6.744618e-03,6.689788e-03,6.608973e-03,6.584699e-03,6.528029e-03,6.447051e-03,6.424384e-03,6.366127e-03,6.285338e-03,6.264365e-03,6.204762e-03,6.124470e-03,6.105250e-03,6.044531e-03,5.965006e-03,5.947572e-03,5.885955e-03,5.807431e-03,5.791795e-03,5.729486e-03,5.652166e-03,5.638318e-03,5.575514e-03,5.499570e-03,5.487488e-03,5.424372e-03,5.349954e-03,5.339599e-03,5.276346e-03,5.203576e-03,5.194901e-03,5.131671e-03,5.060655e-03,5.053603e-03,4.990548e-03,4.921369e-03,4.915876e-03,4.853136e-03,4.785863e-03,4.781858e-03,4.719565e-03,4.654251e-03,4.651659e-03,4.589933e-03,4.526619e-03,4.525363e-03,4.464315e-03,4.403027e-03,4.284692e-03,4.170376e-03,4.060085e-03,3.953806e-03,3.851517e-03,3.753184e-03,3.658762e-03,3.568198e-03,3.481432e-03,3.398397e-03,3.319023e-03,3.243232e-03,3.170946e-03,3.102081e-03,3.036553e-03,2.974274e-03,2.915155e-03,2.859108e-03,2.806041e-03,2.755865e-03,2.708488e-03,2.663821e-03,2.621774e-03,2.582257e-03,2.545182e-03,2.510462e-03,2.478010e-03,2.447743e-03,2.419575e-03,2.393425e-03,2.369212e-03,2.346856e-03,2.326280e-03,2.307408e-03,2.290165e-03,2.274479e-03,2.260278e-03,2.247492e-03,2.236055e-03,2.225900e-03,2.216963e-03,2.209182e-03,2.202495e-03,2.196844e-03,2.192171e-03,2.188420e-03,2.185538e-03,2.183472e-03,2.182171e-03
0.000000e+00,8.829161e-09,2.820187e-07,2.976395e-07,2.884909e-06,1.450020e-05,1.536313e-05,5.291883e-05,1.236350e-04,1.293865e-04,2.436557e-04,3.696106e-04,3.810247e-04,5.241384e-04,6.467660e-04,6.597232e-04,7.799623e-04,8.703155e-04,8.814730e-04,9.637924e-04,1.020120e-03,1.028109e-03,1.076394e-03,1.106184e-03,1.110862e-03,1.133688e-03,1.145119e-03,1.146859e-03,1.152121e-03,1.151649e-03,1.150970e-03,1.144667e-03,1.136858e-03,1.134264e-03,1.120633e-03,1.108561e-03,1.104492e-03,1.086427e-03,1.072107e-03,1.066920e-03,1.046362e-03,1.031091e-03,1.025072e-03,1.003307e-03,9.879012e-04,9.812741e-04,9.591422e-04,9.441052e-04,9.370448e-04,9.150890e-04,9.007179e-04,8.933599e-04,8.719243e-04,8.583840e-04,8.508341e-04,8.301293e-04,8.174994e-04,8.098400e-04,7.899884e-04,7.782943e-04,7.705902e-04,7.516558e-04,7.408889e-04,7.331913e-04,7.151993e-04,7.053303e-04,6.976798e-04,6.806303e-04,6.716176e-04,6.640466e-04,6.479233e-04,6.397188e-04,6.322535e-04,6.170297e-04,6.095825e-04,6.022437e-04,5.878867e-04,5.811450e-04,5.739494e-04,5.604225e-04,5.543353e-04,5.472964e-04,5.345613e-04,5.290793e-04,5.222077e-04,5.102257e-04,5.053017e-04,4.986057e-04,4.873382e-04,4.829277e-04,4.764136e-04,4.658228e-04,4.618839e-04,4.555565e-04,4.456056e-04,4.420989e-04,4.359615e-04,4.266154e-04,4.235041e-04,4.175588e-04,4.087835e-04,4.060335e-04,4.002815e-04,3.920447e-04,3.896243e-04,3.840656e-04,3.763366e-04,3.742163e-04,3.688504e-04,3.615998e-04,3.597524e-04,3.545780e-04,3.477780e-04,3.461784e-04,3.411935e-04,3.348179e-04,3.334427e-04,3.286451e-04,3.226690e-04,3.214969e-04,3.168838e-04,3.112836e-04,3.102948e-04,3.058629e-04,3.006164e-04,2.997928e-04,2.955388e-04,2.906250e-04,2.899498e-04,2.858700e-04,2.812690e-04,2.807270e-04,2.768174e-04,2.725106e-04,2.720878e-04,2.683443e-04,2.643140e-04,2.639974e-04,2.604158e-04,2.566455e-04,2.564232e-04,2.529992e-04,2.494732e-04,2.493346e-04,2.460638e-04,2.427673e-04,2.427025e-04,2.395804e-04,2.364996e-04,2.307001e-04,2.252798e-04,2.202159e-04,2.154867e-04,2.110722e-04,2.069532e-04,2.031118e-04,1.995311e-04,1.961951e-04,1.930890e-04,1.901987e-04,1.875109e-04,1.850131e-04,1.826937e-04,1.805417e-04,1.785465e-04,1.766986e-04,1.749887e-04,1.734082e-04,1.719491e-04,1.706035e-04,1.693645e-04,1.682252e-04,1.671794e-04,1.662210e-04,1.653444e-04,1.645444e-04,1.638160e-04,1.631547e-04,1.625559e-04,1.620156e-04,1.615300e-04,1.610954e-04,1.607084e-04,1.603658e-04,1.600646e-04,1.598020e-04,1.595753e-04,1.593820e-04,1.592199e-04,1.590866e-04,1.589802e-04,1.588987e-04,1.588403e-04,1.588033e-04,1.587861e-04,1.587873e-04,1.588053e-04,1.588389e-04
0.000000e+00,1.523541e-09,2.038892e-08,2.127924e-08,1.268786e-07,4.185458e-07,4.360148e-07,1.007026e-06,1.706242e-06,1.753233e-06,2.540153e-06,3.242758e-06,3.302288e-06,4.023113e-06,4.634441e-06,4.700194e-06,5.334312e-06,5.858018e-06,5.927012e-06,6.480020e-06,6.925206e-06,6.995100e-06,7.474002e-06,7.849577e-06,7.918441e-06,8.330083e-06,8.644289e-06,8.710540e-06,9.061364e-06,9.321694e-06,9.384049e-06,9.680030e-06,9.893243e-06,9.950680e-06,1.019731e-05,1.036947e-05,1.042119e-05,1.062351e-05,1.076003e-05,1.080542e-05,1.096803e-05,1.107374e-05,1.111238e-05,1.123947e-05,1.131867e-05,1.135025e-05,1.144565e-05,1.150216e-05,1.152651e-05,1.159368e-05,1.163089e-05,1.164793e-05,1.169004e-05,1.171094e-05,1.172071e-05,1.174061e-05,1.174784e-05,1.175041e-05,1.175072e-05,1.174660e-05,1.174213e-05,1.172520e-05,1.171177e-05,1.170046e-05,1.166842e-05,1.164746e-05,1.162955e-05,1.158432e-05,1.155741e-05,1.153317e-05,1.147650e-05,1.144498e-05,1.141471e-05,1.134816e-05,1.131322e-05,1.127722e-05,1.120222e-05,1.116487e-05,1.112347e-05,1.104129e-05,1.100240e-05,1.095594e-05,1.086772e-05,1.082805e-05,1.077686e-05,1.068362e-05,1.064381e-05,1.058823e-05,1.049090e-05,1.045148e-05,1.039184e-05,1.029125e-05,1.025266e-05,1.018930e-05,1.008618e-05,1.004880e-05,9.982048e-06,9.877057e-06,9.841190e-06,9.771354e-06,9.665077e-06,9.630969e-06,9.558358e-06,9.451316e-06,9.419159e-06,9.344069e-06,9.236723e-06,9.206663e-06,9.129381e-06,9.022137e-06,8.994281e-06,8.915081e-06,8.808297e-06,8.782718e-06,8.701863e-06,8.595853e-06,8.572594e-06,8.490334e-06,8.385372e-06,8.364451e-06,8.281024e-06,8.177347e-06,8.158761e-06,8.074393e-06,7.972207e-06,7.955932e-06,7.870836e-06,7.770318e-06,7.756316e-06,7.670693e-06,7.571994e-06,7.560214e-06,7.474253e-06,7.377499e-06,7.367879e-06,7.281758e-06,7.187054e-06,7.179523e-06,7.093409e-06,7.000842e-06,6.995323e-06,6.909371e-06,6.819011e-06,6.815420e-06,6.729775e-06,6.641676e-06,6.639925e-06,6.554722e-06,6.468924e-06,6.302478e-06,6.140626e-06,5.983388e-06,5.830770e-06,5.682760e-06,5.539335e-06,5.400460e-06,5.266089e-06,5.136170e-06,5.010641e-06,4.889434e-06,4.772476e-06,4.659690e-06,4.550994e-06,4.446304e-06,4.345532e-06,4.248589e-06,4.155385e-06,4.065828e-06,3.979825e-06,3.897284e-06,3.818113e-06,3.742218e-06,3.669508e-06,3.599892e-06,3.533280e-06,3.469581e-06,3.408709e-06,3.350577e-06,3.295098e-06,3.242189e-06,3.191768e-06,3.143753e-06,3.098066e-06,3.054628e-06,3.013365e-06,2.974201e-06,2.937064e-06,2.901884e-06,2.868592e-06,2.837119e-06,2.807402e-06,2.779375e-06,2.752977e-06,2.728147e-06,2.704825e-06,2.682955e-06,2.662481e-06,2.643349e-06
0.000000e+00,1.580812e-08,4.704266e-07,4.961291e-07,4.600227e-06,2.128237e-05,2.245198e-05,6.833447e-05,1.400622e-04,1.453662e-04,2.406684e-04,3.320385e-04,3.398956e-04,4.351586e-04,5.149895e-04,5.234793e-04,6.041411e-04,6.688737e-04,6.772616e-04,7.432225e-04,7.945659e-04,8.024744e-04,8.554730e-04,8.954836e-04,9.026608e-04,9.444597e-04,9.749947e-04,9.812694e-04,1.013466e-03,1.036142e-03,1.041405e-03,1.065416e-03,1.081617e-03,1.085808e-03,1.102872e-03,1.113781e-03,1.116877e-03,1.128072e-03,1.134686e-03,1.136691e-03,1.142952e-03,1.146112e-03,1.147054e-03,1.149186e-03,1.149600e-03,1.149521e-03,1.148220e-03,1.146477e-03,1.145432e-03,1.141295e-03,1.137889e-03,1.135938e-03,1.129479e-03,1.124818e-03,1.122028e-03,1.113687e-03,1.108109e-03,1.104549e-03,1.094702e-03,1.088486e-03,1.084225e-03,1.073193e-03,1.066567e-03,1.061673e-03,1.049730e-03,1.042878e-03,1.037420e-03,1.024797e-03,1.017868e-03,1.011910e-03,9.988045e-04,9.919171e-04,9.855217e-04,9.720995e-04,9.653471e-04,9.585727e-04,9.449733e-04,9.384284e-04,9.313303e-04,9.176703e-04,9.113878e-04,9.040176e-04,8.903942e-04,8.844145e-04,8.768202e-04,8.633137e-04,8.576651e-04,8.498912e-04,8.365675e-04,8.312687e-04,8.233559e-04,8.102684e-04,8.053299e-04,7.973157e-04,7.845073e-04,7.799332e-04,7.718516e-04,7.593562e-04,7.551455e-04,7.470276e-04,7.348713e-04,7.310186e-04,7.228924e-04,7.110949e-04,7.075916e-04,6.994824e-04,6.880578e-04,6.848929e-04,6.768234e-04,6.657811e-04,6.629417e-04,6.549322e-04,6.442776e-04,6.417495e-04,6.338180e-04,6.235535e-04,6.213215e-04,6.134839e-04,6.036087e-04,6.016570e-04,5.939273e-04,5.844387e-04,5.827512e-04,5.751417e-04,5.660349e-04,5.645953e-04,5.571167e-04,5.483854e-04,5.471778e-04,5.398392e-04,5.314760e-04,5.304846e-04,5.232937e-04,5.152901e-04,5.144994e-04,5.074629e-04,4.998097e-04,4.992048e-04,4.923280e-04,4.850154e-04,4.845820e-04,4.778693e-04,4.708872e-04,4.706113e-04,4.640663e-04,4.574040e-04,4.572724e-04,4.508977e-04,4.445447e-04,4.324075e-04,4.208399e-04,4.098210e-04,3.993304e-04,3.893477e-04,3.798530e-04,3.708267e-04,3.622499e-04,3.541039e-04,3.463706e-04,3.390326e-04,3.320728e-04,3.254749e-04,3.192230e-04,3.133018e-04,3.076965e-04,3.023930e-04,2.973775e-04,2.926370e-04,2.881588e-04,2.839308e-04,2.799413e-04,2.761793e-04,2.726340e-04,2.692951e-04,2.661529e-04,2.631979e-04,2.604212e-04,2.578141e-04,2.553685e-04,2.530763e-04,2.509301e-04,2.489227e-04,2.470472e-04,2.452970e-04,2.436658e-04,2.421476e-04,2.407367e-04,2.394275e-04,2.382150e-04,2.370940e-04,2.360598e-04,2.351078e-04,2.342337e-04,2.334334e-04,2.327029e-04,2.320384e-04,2.314364e-04,2.308934e-04
0.000000e+00,1.086617e-08,3.419239e-07,3.612614e-07,3.629381e-06,1.736199e-05,1.831923e-05,5.404451e-05,1.033770e-04,1.067880e-04,1.643339e-04,2.147650e-04,2.189409e-04,2.678939e-04,3.067511e-04,3.107728e-04,3.479131e-04,3.762635e-04,3.798368e-04,4.070755e-04,4.271312e-04,4.301226e-04,4.494253e-04,4.630418e-04,4.653864e-04,4.783687e-04,4.870219e-04,4.886993e-04,4.966737e-04,5.015368e-04,5.025585e-04,5.065944e-04,5.085992e-04,5.089984e-04,5.099659e-04,5.098493e-04,5.096727e-04,5.082767e-04,5.066173e-04,5.059192e-04,5.027271e-04,4.999761e-04,4.988137e-04,4.942800e-04,4.907861e-04,4.892163e-04,4.837029e-04,4.797337e-04,4.778112e-04,4.716047e-04,4.673635e-04,4.651396e-04,4.584658e-04,4.541057e-04,4.516275e-04,4.446635e-04,4.402980e-04,4.376082e-04,4.304919e-04,4.262041e-04,4.233412e-04,4.161793e-04,4.120283e-04,4.090265e-04,4.019006e-04,3.979277e-04,3.948171e-04,3.877893e-04,3.840216e-04,3.808287e-04,3.739451e-04,3.703990e-04,3.671470e-04,3.604415e-04,3.571253e-04,3.538345e-04,3.473309e-04,3.442472e-04,3.409348e-04,3.346495e-04,3.317962e-04,3.284775e-04,3.224207e-04,3.197925e-04,3.164804e-04,3.106575e-04,3.082470e-04,3.049525e-04,2.993656e-04,2.971638e-04,2.938963e-04,2.885443e-04,2.865411e-04,2.833088e-04,2.781888e-04,2.763736e-04,2.731831e-04,2.682904e-04,2.666524e-04,2.635093e-04,2.588382e-04,2.573665e-04,2.542755e-04,2.498195e-04,2.485032e-04,2.454683e-04,2.412201e-04,2.400488e-04,2.370731e-04,2.330253e-04,2.319889e-04,2.290748e-04,2.252196e-04,2.243083e-04,2.214578e-04,2.177875e-04,2.169921e-04,2.142067e-04,2.107134e-04,2.100251e-04,2.073059e-04,2.039820e-04,2.033925e-04,2.007401e-04,1.975781e-04,1.970795e-04,1.944943e-04,1.914868e-04,1.910717e-04,1.885539e-04,1.856938e-04,1.853554e-04,1.829048e-04,1.801851e-04,1.799169e-04,1.775332e-04,1.749474e-04,1.747433e-04,1.724260e-04,1.699676e-04,1.698221e-04,1.675705e-04,1.652333e-04,1.651411e-04,1.629546e-04,1.607327e-04,1.606889e-04,1.585664e-04,1.564543e-04,1.524269e-04,1.485964e-04,1.449534e-04,1.414885e-04,1.381931e-04,1.350586e-04,1.320773e-04,1.292416e-04,1.265441e-04,1.239781e-04,1.215371e-04,1.192148e-04,1.170054e-04,1.149033e-04,1.129031e-04,1.109997e-04,1.091885e-04,1.074647e-04,1.058241e-04,1.042626e-04,1.027762e-04,1.013612e-04,1.000141e-04,9.873145e-05,9.751016e-05,9.634717e-05,9.523960e-05,9.418471e-05,9.317992e-05,9.222276e-05,9.131089e-05,9.044207e-05,8.961421e-05,8.882528e-05,8.807340e-05,8.735673e-05,8.667358e-05,8.602229e-05,8.540132e-05,8.480920e-05,8.424452e-05,8.370595e-05,8.319223e-05,8.270216e-05,8.223459e-05,8.178844e-05,8.136268e-05,8.095632e-05,8.056845e-05
0.000000e+00,6.790820e-09,9.448330e-08,9.861582e-08,6.035972e-07,2.106483e-06,2.200097e-06,5.399033e-06,9.493045e-06,9.769321e-06,1.433351e-05,1.823183e-05,1.855225e-05,2.229537e-05,2.525958e-05,2.556635e-05,2.840053e-05,3.056578e-05,3.083880e-05,3.292066e-05,3.445376e-05,3.468237e-05,3.615680e-05,3.719563e-05,3.737435e-05,3.836268e-05,3.901975e-05,3.914689e-05,3.974968e-05,4.011513e-05,4.019154e-05,4.049097e-05,4.063640e-05,4.066459e-05,4.072736e-05,4.070924e-05,4.069270e-05,4.057265e-05,4.043523e-05,4.037800e-05,4.011841e-05,3.989619e-05,3.980252e-05,3.943806e-05,3.915775e-05,3.903191e-05,3.859023e-05,3.827242e-05,3.811851e-05,3.762162e-05,3.728203e-05,3.710393e-05,3.656928e-05,3.621982e-05,3.602112e-05,3.546247e-05,3.511205e-05,3.489604e-05,3.432421e-05,3.397940e-05,3.374907e-05,3.317247e-05,3.283803e-05,3.259605e-05,3.202122e-05,3.170048e-05,3.144922e-05,3.088115e-05,3.057636e-05,3.031794e-05,2.976041e-05,2.947297e-05,2.920925e-05,2.866506e-05,2.839574e-05,2.812835e-05,2.759954e-05,2.734862e-05,2.707898e-05,2.656696e-05,2.633437e-05,2.606372e-05,2.556943e-05,2.535481e-05,2.508423e-05,2.460822e-05,2.441105e-05,2.414146e-05,2.368398e-05,2.350359e-05,2.323579e-05,2.279687e-05,2.263250e-05,2.236718e-05,2.194665e-05,2.179749e-05,2.153522e-05,2.113280e-05,2.099802e-05,2.073929e-05,2.035459e-05,2.023332e-05,1.997856e-05,1.961110e-05,1.950251e-05,1.925206e-05,1.890132e-05,1.880458e-05,1.855873e-05,1.822414e-05,1.813845e-05,1.789743e-05,1.757843e-05,1.750300e-05,1.726700e-05,1.696300e-05,1.689710e-05,1.666626e-05,1.637665e-05,1.631957e-05,1.609402e-05,1.581821e-05,1.576928e-05,1.554908e-05,1.528649e-05,1.524508e-05,1.503030e-05,1.478035e-05,1.474585e-05,1.453652e-05,1.429866e-05,1.427051e-05,1.406663e-05,1.384031e-05,1.381798e-05,1.361956e-05,1.340425e-05,1.338725e-05,1.319425e-05,1.298945e-05,1.297732e-05,1.278971e-05,1.259492e-05,1.258723e-05,1.240496e-05,1.221971e-05,1.221605e-05,1.203907e-05,1.186291e-05,1.152696e-05,1.120738e-05,1.090339e-05,1.061425e-05,1.033926e-05,1.007772e-05,9.829006e-06,9.592487e-06,9.367578e-06,9.153717e-06,8.950371e-06,8.757029e-06,8.573207e-06,8.398444e-06,8.232299e-06,8.074354e-06,7.924211e-06,7.781490e-06,7.645830e-06,7.516889e-06,7.394339e-06,7.277869e-06,7.167184e-06,7.062002e-06,6.962055e-06,6.867090e-06,6.776862e-06,6.691143e-06,6.609712e-06,6.532362e-06,6.458893e-06,6.389117e-06,6.322854e-06,6.259935e-06,6.200195e-06,6.143481e-06,6.089646e-06,6.038550e-06,5.990060e-06,5.944050e-06,5.900398e-06,5.858991e-06,5.819720e-06,5.782481e-06,5.747175e-06,5.713709e-06,5.681994e-06,5.651945e-06,5.623481e-06
0.000000e+00,2.531675e-08,5.320609e-07,5.578720e-07,4.174210e-06,1.761670e-05,1.854570e-05,5.513063e-05,1.135699e-04,1.179326e-04,1.966406e-04,2.724171e-04,2.789597e-04,3.589370e-04,4.273235e-04,4.346916e-04,5.057925e-04,5.645120e-04,5.722447e-04,6.341835e-04,6.839736e-04,6.917832e-04,7.452290e-04,7.870501e-04,7.947078e-04,8.404047e-04,8.751818e-04,8.825015e-04,9.211761e-04,9.497681e-04,9.566013e-04,9.889446e-04,1.012137e-03,1.018368e-03,1.045028e-03,1.063533e-03,1.069073e-03,1.090649e-03,1.105105e-03,1.109892e-03,1.126934e-03,1.137912e-03,1.141901e-03,1.154913e-03,1.162920e-03,1.166085e-03,1.175525e-03,1.181009e-03,1.183338e-03,1.189623e-03,1.192979e-03,1.194472e-03,1.197976e-03,1.199553e-03,1.200221e-03,1.201285e-03,1.201387e-03,1.201247e-03,1.200179e-03,1.199072e-03,1.198150e-03,1.195225e-03,1.193143e-03,1.191468e-03,1.186936e-03,1.184081e-03,1.181686e-03,1.175771e-03,1.172317e-03,1.169240e-03,1.162142e-03,1.158242e-03,1.154521e-03,1.146420e-03,1.142202e-03,1.137879e-03,1.128936e-03,1.124511e-03,1.119627e-03,1.109986e-03,1.105448e-03,1.100045e-03,1.089834e-03,1.085263e-03,1.079382e-03,1.068715e-03,1.064178e-03,1.057860e-03,1.046839e-03,1.042390e-03,1.035676e-03,1.024391e-03,1.020075e-03,1.013004e-03,1.001535e-03,9.973887e-04,9.899996e-04,9.784156e-04,9.744686e-04,9.667979e-04,9.551611e-04,9.514355e-04,9.435186e-04,9.318831e-04,9.283956e-04,9.202663e-04,9.086792e-04,9.054416e-04,8.971320e-04,8.856344e-04,8.826542e-04,8.741950e-04,8.628222e-04,8.601035e-04,8.515235e-04,8.403061e-04,8.378498e-04,8.291763e-04,8.181403e-04,8.159449e-04,8.072035e-04,7.963709e-04,7.944325e-04,7.856472e-04,7.750364e-04,7.733494e-04,7.645424e-04,7.541686e-04,7.527261e-04,7.439181e-04,7.337935e-04,7.325872e-04,7.237975e-04,7.139322e-04,7.129529e-04,7.041994e-04,6.946009e-04,6.938389e-04,6.851381e-04,6.758121e-04,6.752569e-04,6.666239e-04,6.575742e-04,6.572151e-04,6.486637e-04,6.398928e-04,6.397188e-04,6.312615e-04,6.227701e-04,6.063690e-04,5.905136e-04,5.752000e-04,5.604227e-04,5.461749e-04,5.324488e-04,5.192354e-04,5.065248e-04,4.943067e-04,4.825701e-04,4.713034e-04,4.604949e-04,4.501325e-04,4.402038e-04,4.306965e-04,4.215981e-04,4.128962e-04,4.045782e-04,3.966319e-04,3.890450e-04,3.818053e-04,3.749010e-04,3.683203e-04,3.620517e-04,3.560837e-04,3.504055e-04,3.450060e-04,3.398748e-04,3.350016e-04,3.303762e-04,3.259890e-04,3.218303e-04,3.178910e-04,3.141622e-04,3.106350e-04,3.073011e-04,3.041523e-04,3.011807e-04,2.983786e-04,2.957387e-04,2.932538e-04,2.909170e-04,2.887217e-04,2.866613e-04,2.847297e-04,2.829210e-04,2.812293e-04,2.796490e-04,2.781749e-04
0.000000e+00,5.910142e-06,2.066878e-04,2.184142e-04,2.240765e-03,1.201257e-02,1.276712e-02,4.817369e-02,1.258918e-01,1.328087e-01,2.893251e-01,5.085149e-01,5.311376e-01,8.618216e-01,1.232361e+00,1.277540e+00,1.769631e+00,2.256799e+00,2.326655e+00,2.935887e+00,3.491684e+00,3.584356e+00,4.259535e+00,4.838778e+00,4.949783e+00,5.644600e+00,6.211241e+00,6.334751e+00,7.012292e+00,7.540730e+00,7.670564e+00,8.304105e+00,8.778267e+00,8.908569e+00,9.480619e+00,9.892161e+00,1.001780e+01,1.051846e+01,1.086483e+01,1.098161e+01,1.140683e+01,1.168954e+01,1.179421e+01,1.214422e+01,1.236741e+01,1.245766e+01,1.273559e+01,1.290494e+01,1.297928e+01,1.319015e+01,1.331209e+01,1.336973e+01,1.351962e+01,1.360072e+01,1.364145e+01,1.373690e+01,1.378355e+01,1.380761e+01,1.385522e+01,1.387337e+01,1.388134e+01,1.388751e+01,1.388255e+01,1.387525e+01,1.384600e+01,1.382271e+01,1.380113e+01,1.374195e+01,1.370450e+01,1.366973e+01,1.358564e+01,1.353759e+01,1.349078e+01,1.338622e+01,1.333060e+01,1.327292e+01,1.315182e+01,1.309117e+01,1.302377e+01,1.288958e+01,1.282599e+01,1.274999e+01,1.260569e+01,1.254088e+01,1.245735e+01,1.230554e+01,1.224089e+01,1.215084e+01,1.199376e+01,1.193036e+01,1.183476e+01,1.167429e+01,1.161302e+01,1.151276e+01,1.135052e+01,1.129201e+01,1.118793e+01,1.102530e+01,1.097005e+01,1.086292e+01,1.070104e+01,1.064939e+01,1.053991e+01,1.037976e+01,1.033193e+01,1.022077e+01,1.006313e+01,1.001926e+01,9.907013e+00,9.752557e+00,9.712688e+00,9.599900e+00,9.449165e+00,9.413286e+00,9.300458e+00,9.153878e+00,9.121925e+00,9.009510e+00,8.867430e+00,8.839295e+00,8.727706e+00,8.590395e+00,8.565940e+00,8.455549e+00,8.323211e+00,8.302272e+00,8.193416e+00,8.066197e+00,8.048593e+00,7.941576e+00,7.819574e+00,7.805111e+00,7.700204e+00,7.583476e+00,7.571949e+00,7.469395e+00,7.357962e+00,7.349162e+00,7.249176e+00,7.143030e+00,7.136745e+00,7.039517e+00,6.938625e+00,6.934644e+00,6.840340e+00,6.744646e+00,6.742758e+00,6.651524e+00,6.560953e+00,6.389063e+00,6.226893e+00,6.074228e+00,5.930834e+00,5.796459e+00,5.670840e+00,5.553703e+00,5.444762e+00,5.343729e+00,5.250306e+00,5.164192e+00,5.085084e+00,5.012677e+00,4.946665e+00,4.886742e+00,4.832604e+00,4.783948e+00,4.740475e+00,4.701889e+00,4.667900e+00,4.638221e+00,4.612572e+00,4.590680e+00,4.572276e+00,4.557103e+00,4.544907e+00,4.535447e+00,4.528487e+00,4.523803e+00,4.521179e+00,4.520409e+00,4.521295e+00,4.523651e+00,4.527301e+00,4.532078e+00,4.537826e+00,4.544396e+00,4.551654e+00,4.559471e+00,4.567730e+00,4.576322e+00,4.585148e+00,4.594117e+00,4.603146e+00,4.612162e+00,4.621098e+00,4.629895e+00,4.638501e+00,4.646871e+00
0.000000e+00,1.985242e-08,7.264941e-07,7.690764e-07,8.491019e-06,4.577522e-05,4.858633e-05,1.705999e-04,3.942238e-04,4.121639e-04,7.667680e-04,1.163531e-03,1.200180e-03,1.674569e-03,2.111174e-03,2.159468e-03,2.633845e-03,3.032100e-03,3.084675e-03,3.504746e-03,3.838783e-03,3.890711e-03,4.241653e-03,4.509743e-03,4.558107e-03,4.841432e-03,5.050286e-03,5.093418e-03,5.316053e-03,5.474402e-03,5.511381e-03,5.681422e-03,5.797758e-03,5.828126e-03,5.953350e-03,6.035235e-03,6.058844e-03,6.146245e-03,6.200179e-03,6.217085e-03,6.272785e-03,6.304260e-03,6.314666e-03,6.343951e-03,6.357565e-03,6.361771e-03,6.369172e-03,6.368749e-03,6.367119e-03,6.356505e-03,6.345211e-03,6.338150e-03,6.312813e-03,6.293258e-03,6.281192e-03,6.243930e-03,6.218256e-03,6.201619e-03,6.154804e-03,6.124763e-03,6.103986e-03,6.049626e-03,6.016642e-03,5.992146e-03,5.931937e-03,5.897162e-03,5.869356e-03,5.804730e-03,5.769088e-03,5.738359e-03,5.670519e-03,5.634747e-03,5.601463e-03,5.531420e-03,5.496095e-03,5.460602e-03,5.389201e-03,5.354774e-03,5.317393e-03,5.245338e-03,5.212150e-03,5.173181e-03,5.101056e-03,5.069362e-03,5.029082e-03,4.957368e-03,4.927349e-03,4.886012e-03,4.815104e-03,4.786885e-03,4.744724e-03,4.674942e-03,4.648596e-03,4.605824e-03,4.537426e-03,4.512990e-03,4.469801e-03,4.402992e-03,4.380470e-03,4.337040e-03,4.271980e-03,4.251354e-03,4.207841e-03,4.144650e-03,4.125881e-03,4.082429e-03,4.021197e-03,4.004232e-03,3.960969e-03,3.901758e-03,3.886531e-03,3.843573e-03,3.786422e-03,3.772861e-03,3.730311e-03,3.675241e-03,3.663265e-03,3.621214e-03,3.568229e-03,3.557758e-03,3.516286e-03,3.465379e-03,3.456325e-03,3.415504e-03,3.366655e-03,3.358933e-03,3.318825e-03,3.272006e-03,3.265531e-03,3.226189e-03,3.181365e-03,3.176052e-03,3.137524e-03,3.094654e-03,3.090420e-03,3.052744e-03,3.011783e-03,3.008547e-03,2.971759e-03,2.932658e-03,2.930341e-03,2.894468e-03,2.857175e-03,2.855702e-03,2.820767e-03,2.785230e-03,2.784528e-03,2.750550e-03,2.716713e-03,2.652150e-03,2.590731e-03,2.532348e-03,2.476893e-03,2.424258e-03,2.374340e-03,2.327032e-03,2.282234e-03,2.239845e-03,2.199767e-03,2.161906e-03,2.126168e-03,2.092464e-03,2.060704e-03,2.030805e-03,2.002684e-03,1.976260e-03,1.951457e-03,1.928200e-03,1.906416e-03,1.886036e-03,1.866992e-03,1.849220e-03,1.832656e-03,1.817241e-03,1.802916e-03,1.789625e-03,1.777314e-03,1.765933e-03,1.755430e-03,1.745758e-03,1.736871e-03,1.728726e-03,1.721279e-03,1.714491e-03,1.708322e-03,1.702735e-03,1.697695e-03,1.693168e-03,1.689121e-03,1.685522e-03,1.682344e-03,1.679556e-03,1.677132e-03,1.675046e-03,1.673275e-03,1.671794e-03,1.670581e-03,1.669616e-03
0.000000e+00,7.815384e-06,3.130102e-04,3.318873e-04,3.989014e-03,2.358518e-02,2.513323e-02,9.784464e-02,2.520793e-01,2.655006e-01,5.613908e-01,9.622134e-01,1.003086e+00,1.594837e+00,2.251291e+00,2.331114e+00,3.199687e+00,4.060434e+00,4.184062e+00,5.265336e+00,6.257556e+00,6.423600e+00,7.638953e+00,8.689916e+00,8.892234e+00,1.016552e+01,1.121300e+01,1.144243e+01,1.270834e+01,1.370446e+01,1.395042e+01,1.515766e+01,1.606913e+01,1.632084e+01,1.743236e+01,1.823882e+01,1.848621e+01,1.947779e+01,2.016947e+01,2.040378e+01,2.126197e+01,2.183720e+01,2.205120e+01,2.277112e+01,2.323403e+01,2.342216e+01,2.400535e+01,2.436393e+01,2.452224e+01,2.497481e+01,2.523938e+01,2.536537e+01,2.569648e+01,2.587846e+01,2.597090e+01,2.619151e+01,2.630257e+01,2.636129e+01,2.648323e+01,2.653470e+01,2.656037e+01,2.659566e+01,2.659813e+01,2.659206e+01,2.655242e+01,2.651552e+01,2.647951e+01,2.637601e+01,2.630831e+01,2.624448e+01,2.608737e+01,2.599635e+01,2.590701e+01,2.570561e+01,2.559768e+01,2.548526e+01,2.524791e+01,2.512850e+01,2.499543e+01,2.472954e+01,2.460318e+01,2.445186e+01,2.416392e+01,2.403433e+01,2.386710e+01,2.356272e+01,2.343293e+01,2.325200e+01,2.293606e+01,2.280845e+01,2.261592e+01,2.229257e+01,2.216903e+01,2.196686e+01,2.163962e+01,2.152158e+01,2.131158e+01,2.098343e+01,2.087195e+01,2.065580e+01,2.032924e+01,2.022506e+01,2.000429e+01,1.968140e+01,1.958500e+01,1.936101e+01,1.904349e+01,1.895515e+01,1.872921e+01,1.841847e+01,1.833829e+01,1.811155e+01,1.780870e+01,1.773665e+01,1.751014e+01,1.721608e+01,1.715201e+01,1.692668e+01,1.664210e+01,1.658577e+01,1.636246e+01,1.608788e+01,1.603900e+01,1.581845e+01,1.555425e+01,1.551247e+01,1.529535e+01,1.504179e+01,1.500672e+01,1.479362e+01,1.455086e+01,1.452209e+01,1.431353e+01,1.408163e+01,1.405874e+01,1.385517e+01,1.363413e+01,1.361668e+01,1.341849e+01,1.320824e+01,1.319580e+01,1.300334e+01,1.280376e+01,1.279588e+01,1.260945e+01,1.242037e+01,1.241664e+01,1.223647e+01,1.205769e+01,1.171861e+01,1.139891e+01,1.109807e+01,1.081553e+01,1.055071e+01,1.030301e+01,1.007182e+01,9.856499e+00,9.656417e+00,9.470932e+00,9.299404e+00,9.141191e+00,8.995658e+00,8.862173e+00,8.740112e+00,8.628861e+00,8.527816e+00,8.436386e+00,8.353991e+00,8.280066e+00,8.214062e+00,8.155446e+00,8.103700e+00,8.058325e+00,8.018839e+00,7.984780e+00,7.955704e+00,7.931187e+00,7.910825e+00,7.894231e+00,7.881041e+00,7.870907e+00,7.863503e+00,7.858522e+00,7.855675e+00,7.854691e+00,7.855321e+00,7.857329e+00,7.860500e+00,7.864634e+00,7.869547e+00,7.875074e+00,7.881060e+00,7.887367e+00,7.893872e+00,7.900462e+00,7.907039e+00,7.913515e+00,7.919813e+00
0.000000e+00,3.094778e-10,3.892263e-09,4.058163e-09,2.357806e-08,7.858386e-08,8.193896e-08,1.949714e-07,3.408360e-07,3.508625e-07,5.209746e-07,6.738748e-07,6.867979e-07,8.424217e-07,9.727955e-07,9.867152e-07,1.119822e-06,1.228070e-06,1.242207e-06,1.354413e-06,1.443190e-06,1.456992e-06,1.550492e-06,1.622402e-06,1.635441e-06,1.712349e-06,1.769759e-06,1.781707e-06,1.843981e-06,1.888999e-06,1.899616e-06,1.949035e-06,1.983526e-06,1.992639e-06,2.030808e-06,2.056402e-06,2.063899e-06,2.092254e-06,2.110376e-06,2.116192e-06,2.136014e-06,2.147900e-06,2.152008e-06,2.164443e-06,2.171166e-06,2.173572e-06,2.179634e-06,2.182120e-06,2.182854e-06,2.183443e-06,2.182488e-06,2.181601e-06,2.177515e-06,2.173804e-06,2.171361e-06,2.163305e-06,2.157423e-06,2.153502e-06,2.142097e-06,2.134543e-06,2.129228e-06,2.115023e-06,2.106220e-06,2.099603e-06,2.083081e-06,2.073386e-06,2.065562e-06,2.047145e-06,2.036859e-06,2.027923e-06,2.007983e-06,1.997357e-06,1.987405e-06,1.966266e-06,1.955508e-06,1.944635e-06,1.922579e-06,1.911860e-06,1.900160e-06,1.877434e-06,1.866892e-06,1.854454e-06,1.831271e-06,1.821018e-06,1.807931e-06,1.784475e-06,1.774599e-06,1.760944e-06,1.737375e-06,1.727944e-06,1.713802e-06,1.690255e-06,1.681320e-06,1.666764e-06,1.643355e-06,1.634953e-06,1.620054e-06,1.596883e-06,1.589037e-06,1.573861e-06,1.551009e-06,1.543735e-06,1.528344e-06,1.505880e-06,1.499183e-06,1.483633e-06,1.461615e-06,1.455493e-06,1.439838e-06,1.418312e-06,1.412757e-06,1.397046e-06,1.376049e-06,1.371051e-06,1.355328e-06,1.334890e-06,1.330432e-06,1.314739e-06,1.294880e-06,1.290944e-06,1.275318e-06,1.256056e-06,1.252621e-06,1.237096e-06,1.218440e-06,1.215483e-06,1.200090e-06,1.182047e-06,1.179545e-06,1.164311e-06,1.146883e-06,1.144812e-06,1.129761e-06,1.112946e-06,1.111282e-06,1.096437e-06,1.080231e-06,1.078948e-06,1.064328e-06,1.048724e-06,1.047798e-06,1.033419e-06,1.018410e-06,1.017816e-06,1.003694e-06,9.892686e-07,9.889830e-07,9.751304e-07,9.612766e-07,9.346721e-07,9.091434e-07,8.846624e-07,8.612004e-07,8.387276e-07,8.172136e-07,7.966280e-07,7.769400e-07,7.581189e-07,7.401343e-07,7.229561e-07,7.065544e-07,6.909001e-07,6.759644e-07,6.617194e-07,6.481376e-07,6.351924e-07,6.228577e-07,6.111086e-07,5.999205e-07,5.892698e-07,5.791337e-07,5.694900e-07,5.603176e-07,5.515957e-07,5.433048e-07,5.354256e-07,5.279400e-07,5.208302e-07,5.140794e-07,5.076713e-07,5.015903e-07,4.958216e-07,4.903507e-07,4.851640e-07,4.802483e-07,4.755909e-07,4.711799e-07,4.670038e-07,4.630514e-07,4.593122e-07,4.557762e-07,4.524337e-07,4.492755e-07,4.462927e-07,4.434770e-07,4.408204e-07,4.383152e-07,4.359540e-07
0.000000e+00,9.793300e-10,1.697315e-08,1.776691e-08,1.111213e-07,3.430798e-07,3.559145e-07,7.253961e-07,1.092462e-06,1.115216e-06,1.476054e-06,1.775669e-06,1.800274e-06,2.089174e-06,2.321193e-06,2.345429e-06,2.571799e-06,2.748359e-06,2.770892e-06,2.945132e-06,3.076812e-06,3.096756e-06,3.227822e-06,3.323418e-06,3.340220e-06,3.435685e-06,3.502449e-06,3.515804e-06,3.582031e-06,3.625906e-06,3.635693e-06,3.678003e-06,3.703842e-06,3.710071e-06,3.732905e-06,3.744655e-06,3.747430e-06,3.754484e-06,3.755349e-06,3.754836e-06,3.749182e-06,3.741752e-06,3.738158e-06,3.722344e-06,3.708709e-06,3.702268e-06,3.678408e-06,3.660246e-06,3.651200e-06,3.621041e-06,3.599697e-06,3.588293e-06,3.553282e-06,3.529826e-06,3.516305e-06,3.477632e-06,3.452910e-06,3.437506e-06,3.396149e-06,3.370827e-06,3.353760e-06,3.310522e-06,3.285120e-06,3.266597e-06,3.222135e-06,3.197051e-06,3.177267e-06,3.132114e-06,3.107652e-06,3.086786e-06,3.041378e-06,3.017763e-06,2.995978e-06,2.950664e-06,2.928062e-06,2.905507e-06,2.860568e-06,2.839091e-06,2.815903e-06,2.771562e-06,2.751286e-06,2.727588e-06,2.684021e-06,2.664988e-06,2.640892e-06,2.598233e-06,2.580463e-06,2.556069e-06,2.514422e-06,2.497913e-06,2.473312e-06,2.432753e-06,2.417489e-06,2.392761e-06,2.353346e-06,2.339299e-06,2.314517e-06,2.276281e-06,2.263417e-06,2.238644e-06,2.201610e-06,2.189887e-06,2.165181e-06,2.129357e-06,2.118729e-06,2.094140e-06,2.059529e-06,2.049945e-06,2.025520e-06,1.992112e-06,1.983524e-06,1.959301e-06,1.927082e-06,1.919438e-06,1.895452e-06,1.864405e-06,1.857652e-06,1.833935e-06,1.804037e-06,1.798125e-06,1.774703e-06,1.745928e-06,1.740807e-06,1.717703e-06,1.690023e-06,1.685645e-06,1.662880e-06,1.636266e-06,1.632582e-06,1.610174e-06,1.584596e-06,1.581560e-06,1.559524e-06,1.534950e-06,1.532520e-06,1.510867e-06,1.487267e-06,1.485399e-06,1.464141e-06,1.441483e-06,1.440138e-06,1.419283e-06,1.397535e-06,1.396674e-06,1.376230e-06,1.355360e-06,1.354947e-06,1.334919e-06,1.314899e-06,1.276468e-06,1.239600e-06,1.204236e-06,1.170322e-06,1.137805e-06,1.106632e-06,1.076754e-06,1.048121e-06,1.020687e-06,9.944057e-07,9.692326e-07,9.451254e-07,9.220429e-07,8.999453e-07,8.787945e-07,8.585535e-07,8.391867e-07,8.206600e-07,8.029405e-07,7.859962e-07,7.697968e-07,7.543128e-07,7.395159e-07,7.253790e-07,7.118758e-07,6.989812e-07,6.866711e-07,6.749220e-07,6.637116e-07,6.530184e-07,6.428218e-07,6.331017e-07,6.238391e-07,6.150156e-07,6.066135e-07,5.986158e-07,5.910061e-07,5.837689e-07,5.768889e-07,5.703516e-07,5.641431e-07,5.582500e-07,5.526594e-07,5.473588e-07,5.423365e-07,5.375808e-07,5.330809e-07,5.288261e-07,5.248063e-07
0.000000e+00,6.418613e-10,1.162977e-08,1.219003e-08,8.250666e-08,2.760512e-07,2.872617e-07,6.243324e-07,9.790185e-07,1.001529e-06,1.366221e-06,1.680517e-06,1.706830e-06,2.022139e-06,2.284969e-06,2.312988e-06,2.580621e-06,2.797969e-06,2.826342e-06,3.051433e-06,3.229458e-06,3.257133e-06,3.444636e-06,3.588910e-06,3.615080e-06,3.769547e-06,3.885010e-06,3.909065e-06,4.034606e-06,4.125596e-06,4.147091e-06,4.247384e-06,4.317677e-06,4.336303e-06,4.414614e-06,4.467479e-06,4.483035e-06,4.542251e-06,4.580520e-06,4.592897e-06,4.635570e-06,4.661676e-06,4.670834e-06,4.699213e-06,4.715250e-06,4.721204e-06,4.737270e-06,4.745033e-06,4.747845e-06,4.753338e-06,4.754365e-06,4.754129e-06,4.750576e-06,4.746177e-06,4.743013e-06,4.731753e-06,4.723046e-06,4.717091e-06,4.699299e-06,4.687230e-06,4.678636e-06,4.655340e-06,4.640712e-06,4.629637e-06,4.601736e-06,4.585225e-06,4.571834e-06,4.540114e-06,4.522290e-06,4.506747e-06,4.471893e-06,4.453232e-06,4.435702e-06,4.398313e-06,4.379211e-06,4.359856e-06,4.320452e-06,4.301235e-06,4.280214e-06,4.239247e-06,4.220185e-06,4.197649e-06,4.155512e-06,4.136823e-06,4.112920e-06,4.069952e-06,4.051811e-06,4.026682e-06,3.983177e-06,3.965723e-06,3.939500e-06,3.895711e-06,3.879053e-06,3.851863e-06,3.808006e-06,3.792225e-06,3.764187e-06,3.720449e-06,3.705603e-06,3.676831e-06,3.633369e-06,3.619500e-06,3.590098e-06,3.547048e-06,3.534180e-06,3.504247e-06,3.461721e-06,3.449867e-06,3.419494e-06,3.377588e-06,3.366747e-06,3.336022e-06,3.294813e-06,3.284978e-06,3.253979e-06,3.213534e-06,3.204689e-06,3.173490e-06,3.133861e-06,3.125985e-06,3.094655e-06,3.055883e-06,3.048950e-06,3.017552e-06,2.979669e-06,2.973650e-06,2.942242e-06,2.905274e-06,2.900136e-06,2.868771e-06,2.832735e-06,2.828443e-06,2.797171e-06,2.762079e-06,2.758596e-06,2.727463e-06,2.693321e-06,2.690611e-06,2.659656e-06,2.626468e-06,2.624491e-06,2.593754e-06,2.561516e-06,2.560236e-06,2.529751e-06,2.498458e-06,2.497837e-06,2.467635e-06,2.437279e-06,2.378545e-06,2.321610e-06,2.266450e-06,2.213035e-06,2.161334e-06,2.111315e-06,2.062943e-06,2.016182e-06,1.970997e-06,1.927350e-06,1.885205e-06,1.844524e-06,1.805269e-06,1.767403e-06,1.730889e-06,1.695691e-06,1.661771e-06,1.629094e-06,1.597624e-06,1.567327e-06,1.538169e-06,1.510115e-06,1.483133e-06,1.457190e-06,1.432255e-06,1.408298e-06,1.385287e-06,1.363195e-06,1.341991e-06,1.321648e-06,1.302139e-06,1.283437e-06,1.265516e-06,1.248351e-06,1.231918e-06,1.216192e-06,1.201151e-06,1.186772e-06,1.173032e-06,1.159911e-06,1.147387e-06,1.135442e-06,1.124054e-06,1.113205e-06,1.102876e-06,1.093050e-06,1.083708e-06,1.074835e-06,1.066413e-06
0.000000e+00,7.460547e-09,1.501393e-07,1.571767e-07,9.510427e-07,2.855265e-06,2.961008e-06,6.101165e-06,9.421137e-06,9.632509e-06,1.306196e-05,1.602385e-05,1.627211e-05,1.925098e-05,2.174016e-05,2.200587e-05,2.454750e-05,2.661663e-05,2.688709e-05,2.903578e-05,3.073931e-05,3.100449e-05,3.280375e-05,3.419163e-05,3.444374e-05,3.593419e-05,3.705130e-05,3.728439e-05,3.850316e-05,3.938917e-05,3.959885e-05,4.057943e-05,4.126919e-05,4.145236e-05,4.222465e-05,4.274841e-05,4.290297e-05,4.349357e-05,4.387761e-05,4.400234e-05,4.443485e-05,4.470197e-05,4.479631e-05,4.509162e-05,4.526145e-05,4.532539e-05,4.550195e-05,4.559142e-05,4.562537e-05,4.569948e-05,4.572312e-05,4.572784e-05,4.571384e-05,4.568410e-05,4.566061e-05,4.557114e-05,4.549869e-05,4.544819e-05,4.529438e-05,4.518830e-05,4.511214e-05,4.490377e-05,4.477179e-05,4.467140e-05,4.441706e-05,4.426573e-05,4.414261e-05,4.384983e-05,4.368469e-05,4.354036e-05,4.321575e-05,4.304145e-05,4.287743e-05,4.252676e-05,4.234719e-05,4.216500e-05,4.179333e-05,4.161173e-05,4.141284e-05,4.102457e-05,4.084361e-05,4.062947e-05,4.022844e-05,4.005032e-05,3.982231e-05,3.941187e-05,3.923837e-05,3.899782e-05,3.858086e-05,3.841339e-05,3.816159e-05,3.774062e-05,3.758031e-05,3.731847e-05,3.689565e-05,3.674336e-05,3.647262e-05,3.604982e-05,3.590619e-05,3.562764e-05,3.520646e-05,3.507195e-05,3.478662e-05,3.436842e-05,3.424333e-05,3.395216e-05,3.353811e-05,3.342261e-05,3.312651e-05,3.271758e-05,3.261173e-05,3.231154e-05,3.190856e-05,3.181232e-05,3.150882e-05,3.111247e-05,3.102575e-05,3.071966e-05,3.033051e-05,3.025313e-05,2.994513e-05,2.956363e-05,2.949538e-05,2.918609e-05,2.881261e-05,2.875323e-05,2.844324e-05,2.807805e-05,2.802726e-05,2.771709e-05,2.736041e-05,2.731790e-05,2.700805e-05,2.666003e-05,2.662547e-05,2.631639e-05,2.597714e-05,2.595019e-05,2.564229e-05,2.531185e-05,2.529216e-05,2.498582e-05,2.466421e-05,2.465144e-05,2.434701e-05,2.403421e-05,2.402800e-05,2.372580e-05,2.342176e-05,2.283259e-05,2.226031e-05,2.170471e-05,2.116556e-05,2.064259e-05,2.013552e-05,1.964405e-05,1.916786e-05,1.870663e-05,1.826003e-05,1.782772e-05,1.740936e-05,1.700462e-05,1.661314e-05,1.623459e-05,1.586862e-05,1.551491e-05,1.517311e-05,1.484289e-05,1.452395e-05,1.421595e-05,1.391858e-05,1.363154e-05,1.335453e-05,1.308725e-05,1.282941e-05,1.258074e-05,1.234095e-05,1.210978e-05,1.188697e-05,1.167227e-05,1.146542e-05,1.126618e-05,1.107432e-05,1.088961e-05,1.071183e-05,1.054076e-05,1.037620e-05,1.021792e-05,1.006575e-05,9.919479e-06,9.778926e-06,9.643909e-06,9.514250e-06,9.389777e-06,9.270325e-06,9.155731e-06,9.045839e-06,8.940496e-06
0.000000e+00,3.808833e-09,6.376010e-08,6.669481e-08,4.167725e-07,1.367554e-06,1.424052e-06,3.261924e-06,5.494500e-06,5.643268e-06,8.096071e-06,1.021204e-05,1.038777e-05,1.246886e-05,1.416325e-05,1.434147e-05,1.601847e-05,1.734396e-05,1.751438e-05,1.884336e-05,1.986300e-05,2.001879e-05,2.105319e-05,2.182165e-05,2.195822e-05,2.274476e-05,2.330839e-05,2.342287e-05,2.400191e-05,2.439964e-05,2.449052e-05,2.489666e-05,2.516097e-05,2.522771e-05,2.549044e-05,2.564827e-05,2.569107e-05,2.583536e-05,2.590896e-05,2.592856e-05,2.597553e-05,2.598322e-05,2.598070e-05,2.594816e-05,2.590495e-05,2.588163e-05,2.578455e-05,2.570271e-05,2.566008e-05,2.551111e-05,2.540065e-05,2.534026e-05,2.514996e-05,2.501898e-05,2.494240e-05,2.471962e-05,2.457467e-05,2.448346e-05,2.423562e-05,2.408195e-05,2.397763e-05,2.371091e-05,2.355271e-05,2.343673e-05,2.315626e-05,2.299686e-05,2.287057e-05,2.258063e-05,2.242260e-05,2.228730e-05,2.199140e-05,2.183676e-05,2.169365e-05,2.139469e-05,2.124495e-05,2.109514e-05,2.079551e-05,2.065181e-05,2.049631e-05,2.019796e-05,2.006111e-05,1.990086e-05,1.960536e-05,1.947593e-05,1.931177e-05,1.902038e-05,1.889872e-05,1.873144e-05,1.844517e-05,1.833145e-05,1.816176e-05,1.788139e-05,1.777568e-05,1.760422e-05,1.733036e-05,1.723261e-05,1.705994e-05,1.679304e-05,1.670312e-05,1.652976e-05,1.627016e-05,1.618788e-05,1.601430e-05,1.576222e-05,1.568734e-05,1.551396e-05,1.526954e-05,1.520179e-05,1.502897e-05,1.479227e-05,1.473136e-05,1.455944e-05,1.433047e-05,1.427609e-05,1.410536e-05,1.388409e-05,1.383592e-05,1.366663e-05,1.345297e-05,1.341070e-05,1.324309e-05,1.303694e-05,1.300022e-05,1.283449e-05,1.263572e-05,1.260425e-05,1.244057e-05,1.224902e-05,1.222249e-05,1.206102e-05,1.187653e-05,1.185462e-05,1.169549e-05,1.151788e-05,1.150030e-05,1.134363e-05,1.117270e-05,1.115917e-05,1.100505e-05,1.084063e-05,1.083086e-05,1.067938e-05,1.052126e-05,1.051500e-05,1.036622e-05,1.021422e-05,1.021121e-05,1.006519e-05,9.919094e-06,9.638286e-06,9.368406e-06,9.109084e-06,8.859954e-06,8.620659e-06,8.390849e-06,8.170183e-06,7.958328e-06,7.754961e-06,7.559769e-06,7.372446e-06,7.192699e-06,7.020242e-06,6.854798e-06,6.696102e-06,6.543896e-06,6.397931e-06,6.257968e-06,6.123774e-06,5.995128e-06,5.871814e-06,5.753626e-06,5.640363e-06,5.531835e-06,5.427856e-06,5.328249e-06,5.232842e-06,5.141470e-06,5.053976e-06,4.970207e-06,4.890016e-06,4.813262e-06,4.739809e-06,4.669528e-06,4.602293e-06,4.537983e-06,4.476482e-06,4.417680e-06,4.361468e-06,4.307744e-06,4.256410e-06,4.207369e-06,4.160530e-06,4.115806e-06,4.073112e-06,4.032367e-06,3.993493e-06,3.956414e-06,3.921059e-06
0.000000e+00,1.435164e-09,1.925913e-08,2.010305e-08,1.212698e-07,4.016649e-07,4.182270e-07,9.321541e-07,1.502734e-06,1.539871e-06,2.156136e-06,2.709506e-06,2.756808e-06,3.336139e-06,3.838101e-06,3.892724e-06,4.426264e-06,4.876745e-06,4.936801e-06,5.424525e-06,5.825945e-06,5.889732e-06,6.332802e-06,6.688199e-06,6.754182e-06,7.154378e-06,7.467113e-06,7.533936e-06,7.893434e-06,8.166989e-06,8.233467e-06,8.554646e-06,8.792470e-06,8.857582e-06,9.142889e-06,9.348307e-06,9.411175e-06,9.663038e-06,9.839189e-06,9.899065e-06,1.011983e-05,1.026965e-05,1.032590e-05,1.051783e-05,1.064404e-05,1.069614e-05,1.086136e-05,1.096649e-05,1.101399e-05,1.115454e-05,1.124092e-05,1.128349e-05,1.140129e-05,1.147105e-05,1.150840e-05,1.160526e-05,1.166035e-05,1.169229e-05,1.176990e-05,1.181211e-05,1.183849e-05,1.189844e-05,1.192941e-05,1.195013e-05,1.199392e-05,1.201512e-05,1.203016e-05,1.205917e-05,1.207195e-05,1.208129e-05,1.209683e-05,1.210242e-05,1.210610e-05,1.210939e-05,1.210888e-05,1.210698e-05,1.209914e-05,1.209354e-05,1.208615e-05,1.206825e-05,1.205844e-05,1.204569e-05,1.201871e-05,1.200550e-05,1.198753e-05,1.195238e-05,1.193648e-05,1.191347e-05,1.187099e-05,1.185305e-05,1.182516e-05,1.177615e-05,1.175673e-05,1.172415e-05,1.166933e-05,1.164894e-05,1.161187e-05,1.155193e-05,1.153101e-05,1.148966e-05,1.142521e-05,1.140415e-05,1.135873e-05,1.129036e-05,1.126950e-05,1.122023e-05,1.114846e-05,1.112810e-05,1.107519e-05,1.100053e-05,1.098091e-05,1.092460e-05,1.084749e-05,1.082883e-05,1.076933e-05,1.069020e-05,1.067267e-05,1.061021e-05,1.052944e-05,1.051320e-05,1.044798e-05,1.036592e-05,1.035110e-05,1.028335e-05,1.020033e-05,1.018701e-05,1.011694e-05,1.003325e-05,1.002151e-05,9.949327e-06,9.865241e-06,9.855142e-06,9.781050e-06,9.696813e-06,9.688389e-06,9.612586e-06,9.528423e-06,9.521694e-06,9.444374e-06,9.360489e-06,9.355462e-06,9.276813e-06,9.193390e-06,9.190059e-06,9.110263e-06,9.027470e-06,9.025818e-06,8.945049e-06,8.863037e-06,8.701986e-06,8.542906e-06,8.386014e-06,8.231501e-06,8.079537e-06,7.930270e-06,7.783830e-06,7.640330e-06,7.499866e-06,7.362519e-06,7.228356e-06,7.097432e-06,6.969790e-06,6.845462e-06,6.724470e-06,6.606827e-06,6.492539e-06,6.381604e-06,6.274011e-06,6.169747e-06,6.068788e-06,5.971108e-06,5.876674e-06,5.785452e-06,5.697402e-06,5.612482e-06,5.530647e-06,5.451848e-06,5.376034e-06,5.303153e-06,5.233150e-06,5.165968e-06,5.101551e-06,5.039839e-06,4.980773e-06,4.924292e-06,4.870336e-06,4.818843e-06,4.769751e-06,4.722998e-06,4.678523e-06,4.636263e-06,4.596156e-06,4.558142e-06,4.522159e-06,4.488146e-06,4.456042e-06,4.425788e-06,4.397325e-06
0.000000e+00,2.715742e-06,9.041209e-05,9.539624e-05,9.108424e-04,4.759513e-03,5.059244e-03,1.971454e-02,5.512973e-02,5.845527e-02,1.393779e-01,2.662094e-01,2.799978e-01,4.933463e-01,7.539287e-01,7.870235e-01,1.163790e+00,1.563264e+00,1.622530e+00,2.159183e+00,2.678337e+00,2.767551e+00,3.439962e+00,4.048001e+00,4.167810e+00,4.941985e+00,5.604877e+00,5.753222e+00,6.592360e+00,7.277795e+00,7.450546e+00,8.319384e+00,8.999412e+00,9.191041e+00,1.005831e+01,1.071046e+01,1.091467e+01,1.175427e+01,1.236173e+01,1.257196e+01,1.336327e+01,1.391451e+01,1.412438e+01,1.485208e+01,1.534017e+01,1.554376e+01,1.619733e+01,1.661918e+01,1.681123e+01,1.738433e+01,1.773986e+01,1.791591e+01,1.840565e+01,1.869711e+01,1.885353e+01,1.925984e+01,1.949109e+01,1.962510e+01,1.995006e+01,2.012608e+01,2.023567e+01,2.048302e+01,2.060942e+01,2.069332e+01,2.086792e+01,2.095061e+01,2.100821e+01,2.111568e+01,2.116060e+01,2.119184e+01,2.123824e+01,2.125112e+01,2.125644e+01,2.124801e+01,2.123429e+01,2.121450e+01,2.115745e+01,2.112216e+01,2.107839e+01,2.097879e+01,2.092648e+01,2.086010e+01,2.072374e+01,2.065849e+01,2.057106e+01,2.040338e+01,2.032878e+01,2.022196e+01,2.002804e+01,1.994722e+01,1.982276e+01,1.960724e+01,1.952289e+01,1.938255e+01,1.914969e+01,1.906405e+01,1.890963e+01,1.866326e+01,1.857821e+01,1.841145e+01,1.815500e+01,1.807209e+01,1.789469e+01,1.763123e+01,1.755168e+01,1.736530e+01,1.709752e+01,1.702229e+01,1.682849e+01,1.655876e+01,1.648858e+01,1.628884e+01,1.601923e+01,1.595461e+01,1.575035e+01,1.548262e+01,1.542392e+01,1.521643e+01,1.495213e+01,1.489953e+01,1.469004e+01,1.443045e+01,1.438401e+01,1.417365e+01,1.391987e+01,1.387956e+01,1.366935e+01,1.342228e+01,1.338798e+01,1.317886e+01,1.293925e+01,1.291076e+01,1.270360e+01,1.247204e+01,1.244911e+01,1.224468e+01,1.202163e+01,1.200398e+01,1.180298e+01,1.158879e+01,1.157608e+01,1.137913e+01,1.117405e+01,1.116594e+01,1.097359e+01,1.077779e+01,1.077392e+01,1.058666e+01,1.040021e+01,1.004489e+01,9.707893e+00,9.389089e+00,9.088244e+00,8.805055e+00,8.539160e+00,8.290140e+00,8.057539e+00,7.840862e+00,7.639586e+00,7.453166e+00,7.281038e+00,7.122624e+00,6.977339e+00,6.844588e+00,6.723778e+00,6.614313e+00,6.515602e+00,6.427060e+00,6.348105e+00,6.278168e+00,6.216687e+00,6.163115e+00,6.116916e+00,6.077569e+00,6.044567e+00,6.017421e+00,5.995658e+00,5.978822e+00,5.966475e+00,5.958199e+00,5.953593e+00,5.952276e+00,5.953886e+00,5.958080e+00,5.964535e+00,5.972947e+00,5.983030e+00,5.994518e+00,6.007162e+00,6.020734e+00,6.035022e+00,6.049829e+00,6.064978e+00,6.080308e+00,6.095670e+00,6.110934e+00,6.125982e+00,6.140711e+00
0.000000e+00,1.485762e-08,4.420397e-07,4.662167e-07,4.284278e-06,1.919909e-05,2.021871e-05,5.831653e-05,1.120334e-04,1.157602e-04,1.774225e-04,2.274172e-04,2.313063e-04,2.733635e-04,3.015252e-04,3.041522e-04,3.257234e-04,3.387827e-04,3.402098e-04,3.493937e-04,3.541130e-04,3.546556e-04,3.570347e-04,3.573769e-04,3.573038e-04,3.560352e-04,3.541480e-04,3.536520e-04,3.504670e-04,3.474988e-04,3.467108e-04,3.425539e-04,3.391156e-04,3.381222e-04,3.335092e-04,3.299246e-04,3.287828e-04,3.239928e-04,3.204290e-04,3.191754e-04,3.143569e-04,3.108982e-04,3.095570e-04,3.047901e-04,3.014790e-04,3.000675e-04,2.953992e-04,2.922597e-04,2.907926e-04,2.862516e-04,2.832919e-04,2.817792e-04,2.773771e-04,2.745968e-04,2.730456e-04,2.687852e-04,2.661795e-04,2.645961e-04,2.604781e-04,2.580413e-04,2.564310e-04,2.524544e-04,2.501802e-04,2.485480e-04,2.447111e-04,2.425925e-04,2.409429e-04,2.372427e-04,2.352727e-04,2.336098e-04,2.300434e-04,2.282148e-04,2.265426e-04,2.231067e-04,2.214127e-04,2.197346e-04,2.164256e-04,2.148594e-04,2.131787e-04,2.099929e-04,2.085478e-04,2.068675e-04,2.038015e-04,2.024710e-04,2.007940e-04,1.978440e-04,1.966220e-04,1.949507e-04,1.921132e-04,1.909936e-04,1.893306e-04,1.866019e-04,1.855790e-04,1.839263e-04,1.813030e-04,1.803712e-04,1.787309e-04,1.762094e-04,1.753634e-04,1.737375e-04,1.713143e-04,1.705491e-04,1.689391e-04,1.666110e-04,1.659216e-04,1.643292e-04,1.620928e-04,1.614747e-04,1.599012e-04,1.577534e-04,1.572021e-04,1.556488e-04,1.535866e-04,1.530978e-04,1.515659e-04,1.495861e-04,1.491560e-04,1.476465e-04,1.457462e-04,1.453708e-04,1.438846e-04,1.420610e-04,1.417368e-04,1.402748e-04,1.385251e-04,1.382485e-04,1.368114e-04,1.351329e-04,1.349007e-04,1.334891e-04,1.318793e-04,1.316884e-04,1.303029e-04,1.287592e-04,1.286066e-04,1.272477e-04,1.257677e-04,1.256507e-04,1.243187e-04,1.229000e-04,1.228159e-04,1.215112e-04,1.201516e-04,1.200978e-04,1.188207e-04,1.175180e-04,1.174922e-04,1.162429e-04,1.149949e-04,1.126018e-04,1.103091e-04,1.081130e-04,1.060099e-04,1.039963e-04,1.020688e-04,1.002242e-04,9.845930e-05,9.677106e-05,9.515658e-05,9.361301e-05,9.213763e-05,9.072783e-05,8.938105e-05,8.809486e-05,8.686690e-05,8.569489e-05,8.457666e-05,8.351008e-05,8.249313e-05,8.152383e-05,8.060031e-05,7.972073e-05,7.888335e-05,7.808648e-05,7.732848e-05,7.660778e-05,7.592287e-05,7.527231e-05,7.465467e-05,7.406862e-05,7.351285e-05,7.298610e-05,7.248718e-05,7.201491e-05,7.156819e-05,7.114592e-05,7.074708e-05,7.037067e-05,7.001572e-05,6.968131e-05,6.936656e-05,6.907059e-05,6.879260e-05,6.853178e-05,6.828738e-05,6.805866e-05,6.784491e-05,6.764546e-05
0.000000e+00,1.020854e-06,3.658974e-05,3.868195e-05,4.063278e-04,2.260465e-03,2.407162e-03,9.638270e-03,2.699741e-02,2.861390e-02,6.740052e-02,1.268815e-01,1.332879e-01,2.315425e-01,3.502802e-01,3.653044e-01,5.358895e-01,7.163766e-01,7.431512e-01,9.858111e-01,1.221205e+00,1.261742e+00,1.568201e+00,1.846916e+00,1.902028e+00,2.259801e+00,2.568550e+00,2.637963e+00,3.032927e+00,3.358615e+00,3.441155e+00,3.859217e+00,4.190020e+00,4.283840e+00,4.711939e+00,5.037845e+00,5.140644e+00,5.567309e+00,5.880301e+00,5.989523e+00,6.405111e+00,6.699132e+00,6.812131e+00,7.208869e+00,7.479660e+00,7.593831e+00,7.965731e+00,8.210598e+00,8.323479e+00,8.666172e+00,8.883740e+00,8.993078e+00,9.303623e+00,9.493582e+00,9.597378e+00,9.874048e+00,1.003692e+01,1.013346e+01,1.037554e+01,1.051247e+01,1.060031e+01,1.080790e+01,1.092050e+01,1.099850e+01,1.117234e+01,1.126250e+01,1.132976e+01,1.147111e+01,1.154090e+01,1.159680e+01,1.170725e+01,1.175882e+01,1.180295e+01,1.188437e+01,1.191988e+01,1.195202e+01,1.200643e+01,1.202800e+01,1.204812e+01,1.207763e+01,1.208726e+01,1.209550e+01,1.210226e+01,1.210185e+01,1.209844e+01,1.208458e+01,1.207589e+01,1.206119e+01,1.202880e+01,1.201343e+01,1.198789e+01,1.193897e+01,1.191838e+01,1.188251e+01,1.181899e+01,1.179448e+01,1.174885e+01,1.167253e+01,1.164526e+01,1.159047e+01,1.150307e+01,1.147404e+01,1.141073e+01,1.131383e+01,1.128393e+01,1.121274e+01,1.110782e+01,1.107780e+01,1.099940e+01,1.088780e+01,1.085831e+01,1.077334e+01,1.065632e+01,1.062788e+01,1.053701e+01,1.041570e+01,1.038877e+01,1.029263e+01,1.016805e+01,1.014298e+01,1.004220e+01,9.915297e+00,9.892359e+00,9.787550e+00,9.659160e+00,9.638570e+00,9.530314e+00,9.401192e+00,9.383103e+00,9.271963e+00,9.142784e+00,9.127293e+00,9.013806e+00,8.885170e+00,8.872331e+00,8.757009e+00,8.629447e+00,8.619271e+00,8.502600e+00,8.376579e+00,8.369046e+00,8.251484e+00,8.127411e+00,8.122471e+00,8.004449e+00,7.882681e+00,7.880258e+00,7.762182e+00,7.643024e+00,7.411296e+00,7.185522e+00,6.966078e+00,6.753275e+00,6.547361e+00,6.348534e+00,6.156939e+00,5.972682e+00,5.795825e+00,5.626399e+00,5.464400e+00,5.309798e+00,5.162537e+00,5.022538e+00,4.889704e+00,4.763920e+00,4.645054e+00,4.532963e+00,4.427490e+00,4.328470e+00,4.235729e+00,4.149083e+00,4.068346e+00,3.993323e+00,3.923817e+00,3.859627e+00,3.800551e+00,3.746382e+00,3.696917e+00,3.651948e+00,3.611271e+00,3.574680e+00,3.541972e+00,3.512946e+00,3.487403e+00,3.465148e+00,3.445986e+00,3.429730e+00,3.416193e+00,3.405195e+00,3.396560e+00,3.390115e+00,3.385694e+00,3.383136e+00,3.382284e+00,3.382989e+00,3.385106e+00,3.388495e+00,3.393025e+00
0.000000e+00,4.130629e-10,6.169659e-09,6.446586e-09,3.908298e-08,1.259651e-07,1.310307e-07,2.877097e-07,4.580436e-07,4.688301e-07,6.405675e-07,7.821316e-07,7.936630e-07,9.276741e-07,1.033177e-06,1.044075e-06,1.144630e-06,1.221346e-06,1.231016e-06,1.304770e-06,1.359152e-06,1.367273e-06,1.419768e-06,1.456949e-06,1.463371e-06,1.499087e-06,1.523123e-06,1.527815e-06,1.550364e-06,1.564443e-06,1.567457e-06,1.579740e-06,1.586355e-06,1.587790e-06,1.592121e-06,1.593209e-06,1.593192e-06,1.591410e-06,1.588469e-06,1.587137e-06,1.580696e-06,1.574876e-06,1.572371e-06,1.562415e-06,1.554597e-06,1.551054e-06,1.538485e-06,1.529339e-06,1.524885e-06,1.510409e-06,1.500443e-06,1.495195e-06,1.479366e-06,1.468962e-06,1.463028e-06,1.446276e-06,1.435720e-06,1.429195e-06,1.411858e-06,1.401360e-06,1.394329e-06,1.376667e-06,1.366382e-06,1.358922e-06,1.341136e-06,1.331174e-06,1.323350e-06,1.305597e-06,1.296035e-06,1.287907e-06,1.270305e-06,1.261194e-06,1.252813e-06,1.235451e-06,1.226824e-06,1.218235e-06,1.201181e-06,1.193056e-06,1.184300e-06,1.167602e-06,1.159985e-06,1.151097e-06,1.134791e-06,1.127682e-06,1.118692e-06,1.102803e-06,1.096194e-06,1.087129e-06,1.071674e-06,1.065553e-06,1.056438e-06,1.041425e-06,1.035779e-06,1.026635e-06,1.012068e-06,1.006879e-06,9.977257e-07,9.836063e-07,9.788565e-07,9.697097e-07,9.560348e-07,9.517054e-07,9.425804e-07,9.293450e-07,9.254168e-07,9.163268e-07,9.035241e-07,8.999776e-07,8.909346e-07,8.785564e-07,8.753723e-07,8.663870e-07,8.544242e-07,8.515836e-07,8.426655e-07,8.311084e-07,8.285927e-07,8.197503e-07,8.085887e-07,8.063797e-07,7.976209e-07,7.868442e-07,7.849245e-07,7.762560e-07,7.658535e-07,7.642062e-07,7.556341e-07,7.455951e-07,7.442039e-07,7.357338e-07,7.260476e-07,7.248968e-07,7.165336e-07,7.071894e-07,7.062642e-07,6.980123e-07,6.889996e-07,6.882856e-07,6.801488e-07,6.714573e-07,6.709408e-07,6.629225e-07,6.545419e-07,6.542099e-07,6.463131e-07,6.382336e-07,6.380735e-07,6.303009e-07,6.225126e-07,6.075087e-07,5.930436e-07,5.790999e-07,5.656603e-07,5.527081e-07,5.402274e-07,5.282022e-07,5.166175e-07,5.054584e-07,4.947107e-07,4.843604e-07,4.743941e-07,4.647988e-07,4.555619e-07,4.466711e-07,4.381147e-07,4.298812e-07,4.219595e-07,4.143389e-07,4.070091e-07,3.999600e-07,3.931820e-07,3.866656e-07,3.804017e-07,3.743816e-07,3.685968e-07,3.630391e-07,3.577006e-07,3.525735e-07,3.476505e-07,3.429243e-07,3.383881e-07,3.340351e-07,3.298589e-07,3.258531e-07,3.220117e-07,3.183289e-07,3.147990e-07,3.114165e-07,3.081762e-07,3.050728e-07,3.021015e-07,2.992575e-07,2.965362e-07,2.939330e-07,2.914438e-07,2.890643e-07,2.867904e-07,2.846184e-07
0.000000e+00,1.786538e-08,2.475918e-07,2.584706e-07,1.592012e-06,5.506594e-06,5.746389e-06,1.358201e-05,2.271362e-05,2.330715e-05,3.298187e-05,4.129989e-05,4.199286e-05,5.024119e-05,5.702446e-05,5.774196e-05,6.453461e-05,6.996100e-05,7.066263e-05,7.616675e-05,8.043217e-05,8.108742e-05,8.546396e-05,8.874734e-05,8.933402e-05,9.273360e-05,9.519422e-05,9.569689e-05,9.825631e-05,1.000337e-04,1.004424e-04,1.022841e-04,1.034989e-04,1.038083e-04,1.050403e-04,1.057959e-04,1.060040e-04,1.067213e-04,1.071058e-04,1.072130e-04,1.074983e-04,1.075860e-04,1.075951e-04,1.075201e-04,1.073737e-04,1.072888e-04,1.069155e-04,1.065874e-04,1.064136e-04,1.057956e-04,1.053297e-04,1.050730e-04,1.042563e-04,1.036889e-04,1.033555e-04,1.023796e-04,1.017407e-04,1.013373e-04,1.002361e-04,9.955030e-05,9.908350e-05,9.788598e-05,9.717330e-05,9.664973e-05,9.538041e-05,9.465711e-05,9.408324e-05,9.276300e-05,9.204204e-05,9.142410e-05,9.007058e-05,8.936221e-05,8.870614e-05,8.733419e-05,8.664638e-05,8.595782e-05,8.457987e-05,8.391866e-05,8.320292e-05,8.182932e-05,8.119919e-05,8.046121e-05,7.910052e-05,7.850462e-05,7.774900e-05,7.640823e-05,7.584866e-05,7.507963e-05,7.376448e-05,7.324244e-05,7.246390e-05,7.117891e-05,7.069489e-05,6.991040e-05,6.865916e-05,6.821307e-05,6.742586e-05,6.621111e-05,6.580241e-05,6.501541e-05,6.383921e-05,6.346700e-05,6.268285e-05,6.154664e-05,6.120974e-05,6.043081e-05,5.933554e-05,5.903257e-05,5.826096e-05,5.720716e-05,5.693657e-05,5.617416e-05,5.516199e-05,5.492216e-05,5.417059e-05,5.319992e-05,5.298914e-05,5.224987e-05,5.132032e-05,5.113686e-05,5.041114e-05,4.952214e-05,4.936426e-05,4.865316e-05,4.780399e-05,4.766994e-05,4.697440e-05,4.616418e-05,4.605228e-05,4.537308e-05,4.460084e-05,4.450943e-05,4.384721e-05,4.311190e-05,4.303937e-05,4.239466e-05,4.169518e-05,4.163998e-05,4.101320e-05,4.034840e-05,4.030906e-05,3.970052e-05,3.906923e-05,3.904432e-05,3.845426e-05,3.785530e-05,3.784348e-05,3.727204e-05,3.670421e-05,3.562419e-05,3.460114e-05,3.363276e-05,3.271683e-05,3.185117e-05,3.103362e-05,3.026210e-05,2.953460e-05,2.884914e-05,2.820382e-05,2.759680e-05,2.702631e-05,2.649063e-05,2.598813e-05,2.551721e-05,2.507635e-05,2.466410e-05,2.427905e-05,2.391985e-05,2.358522e-05,2.327392e-05,2.298477e-05,2.271664e-05,2.246846e-05,2.223917e-05,2.202781e-05,2.183341e-05,2.165509e-05,2.149198e-05,2.134324e-05,2.120811e-05,2.108583e-05,2.097568e-05,2.087697e-05,2.078907e-05,2.071134e-05,2.064319e-05,2.058406e-05,2.053341e-05,2.049073e-05,2.045552e-05,2.042732e-05,2.040568e-05,2.039019e-05,2.038043e-05,2.037603e-05,2.037662e-05,2.038186e-05,2.039140e-05
0.000000e+00,7.609462e-09,3.394484e-07,3.602212e-07,4.098876e-06,2.076098e-05,2.196829e-05,7.218189e-05,1.613990e-04,1.685330e-04,3.098912e-04,4.690892e-04,4.838358e-04,6.748978e-04,8.501458e-04,8.694381e-04,1.057305e-03,1.211744e-03,1.231836e-03,1.389231e-03,1.509556e-03,1.527802e-03,1.647304e-03,1.733425e-03,1.748412e-03,1.832342e-03,1.889387e-03,1.900584e-03,1.954729e-03,1.988962e-03,1.996361e-03,2.026989e-03,2.044145e-03,2.048013e-03,2.060706e-03,2.065489e-03,2.066211e-03,2.065545e-03,2.061611e-03,2.059605e-03,2.049180e-03,2.039285e-03,2.034956e-03,2.017536e-03,2.003723e-03,1.997442e-03,1.975126e-03,1.958884e-03,1.950981e-03,1.925346e-03,1.907756e-03,1.898516e-03,1.870743e-03,1.852575e-03,1.842245e-03,1.813212e-03,1.795014e-03,1.783804e-03,1.754161e-03,1.736312e-03,1.724402e-03,1.694628e-03,1.677387e-03,1.664927e-03,1.635372e-03,1.618910e-03,1.606028e-03,1.576946e-03,1.561367e-03,1.548172e-03,1.519743e-03,1.505107e-03,1.491690e-03,1.464039e-03,1.450371e-03,1.436812e-03,1.410023e-03,1.397325e-03,1.383688e-03,1.357816e-03,1.346072e-03,1.332414e-03,1.307488e-03,1.296672e-03,1.283040e-03,1.259073e-03,1.249150e-03,1.235587e-03,1.212579e-03,1.203510e-03,1.190048e-03,1.167991e-03,1.159732e-03,1.146403e-03,1.125280e-03,1.117789e-03,1.104617e-03,1.084407e-03,1.077638e-03,1.064645e-03,1.045324e-03,1.039233e-03,1.026437e-03,1.007979e-03,1.002523e-03,9.899404e-04,9.723154e-04,9.674535e-04,9.550964e-04,9.382761e-04,9.339672e-04,9.218470e-04,9.058018e-04,9.020072e-04,8.901331e-04,8.748335e-04,8.715164e-04,8.598957e-04,8.453125e-04,8.424377e-04,8.310766e-04,8.171808e-04,8.147151e-04,8.036182e-04,7.903817e-04,7.882936e-04,7.774644e-04,7.648596e-04,7.631195e-04,7.525606e-04,7.405608e-04,7.391407e-04,7.288538e-04,7.174331e-04,7.163065e-04,7.062924e-04,6.954257e-04,6.945680e-04,6.848269e-04,6.744900e-04,6.738780e-04,6.644093e-04,6.545790e-04,6.541909e-04,6.449934e-04,6.356472e-04,6.354627e-04,6.265349e-04,6.176512e-04,6.007159e-04,5.846178e-04,5.693194e-04,5.547849e-04,5.409798e-04,5.278713e-04,5.154276e-04,5.036187e-04,4.924155e-04,4.817904e-04,4.717167e-04,4.621692e-04,4.531236e-04,4.445567e-04,4.364463e-04,4.287713e-04,4.215112e-04,4.146468e-04,4.081595e-04,4.020316e-04,3.962462e-04,3.907871e-04,3.856390e-04,3.807869e-04,3.762169e-04,3.719155e-04,3.678697e-04,3.640674e-04,3.604967e-04,3.571465e-04,3.540060e-04,3.510651e-04,3.483139e-04,3.457431e-04,3.433438e-04,3.411075e-04,3.390261e-04,3.370918e-04,3.352972e-04,3.336353e-04,3.320993e-04,3.306827e-04,3.293794e-04,3.281835e-04,3.270894e-04,3.260918e-04,3.251855e-04,3.243658e-04,3.236278e-04
0.000000e+00,1.670578e-08,2.041137e-07,2.126599e-07,1.228704e-06,4.211585e-06,4.396958e-06,1.068065e-05,1.853775e-05,1.906346e-05,2.779389e-05,3.547301e-05,3.611850e-05,4.386656e-05,5.033135e-05,5.102041e-05,5.759788e-05,6.293002e-05,6.362517e-05,6.913017e-05,7.346809e-05,7.414086e-05,7.868482e-05,8.216078e-05,8.278898e-05,8.647955e-05,8.921498e-05,8.978184e-05,9.272017e-05,9.482449e-05,9.531786e-05,9.759716e-05,9.916763e-05,9.957923e-05,1.012842e-04,1.024063e-04,1.027310e-04,1.039377e-04,1.046861e-04,1.049213e-04,1.056981e-04,1.061377e-04,1.062830e-04,1.066905e-04,1.068773e-04,1.069338e-04,1.070257e-04,1.070077e-04,1.069780e-04,1.068018e-04,1.066203e-04,1.065077e-04,1.061054e-04,1.057955e-04,1.056042e-04,1.050127e-04,1.046041e-04,1.043389e-04,1.035905e-04,1.031086e-04,1.027746e-04,1.018978e-04,1.013637e-04,1.009662e-04,9.998572e-05,9.941731e-05,9.896173e-05,9.789929e-05,9.731126e-05,9.680310e-05,9.567755e-05,9.508203e-05,9.452672e-05,9.335440e-05,9.276131e-05,9.216414e-05,9.095921e-05,9.037654e-05,8.974265e-05,8.851729e-05,8.795139e-05,8.728574e-05,8.605040e-05,8.550624e-05,8.481352e-05,8.357716e-05,8.305849e-05,8.234319e-05,8.111337e-05,8.062297e-05,7.988930e-05,7.867243e-05,7.821219e-05,7.746411e-05,7.626555e-05,7.583668e-05,7.507787e-05,7.390207e-05,7.350517e-05,7.273907e-05,7.158968e-05,7.122487e-05,7.045464e-05,6.933461e-05,6.900161e-05,6.823017e-05,6.714183e-05,6.684004e-05,6.607004e-05,6.501520e-05,6.474376e-05,6.397764e-05,6.295765e-05,6.271549e-05,6.195546e-05,6.097126e-05,6.075717e-05,6.000521e-05,5.905741e-05,5.887004e-05,5.812794e-05,5.721684e-05,5.705480e-05,5.632413e-05,5.544980e-05,5.531161e-05,5.459380e-05,5.375607e-05,5.364024e-05,5.293653e-05,5.213506e-05,5.204009e-05,5.135155e-05,5.058585e-05,5.051025e-05,4.983781e-05,4.910726e-05,4.904957e-05,4.839403e-05,4.769791e-05,4.765668e-05,4.701870e-05,4.635620e-05,4.633004e-05,4.571018e-05,4.508041e-05,4.506798e-05,4.446668e-05,4.386873e-05,4.273041e-05,4.165111e-05,4.062885e-05,3.966166e-05,3.874753e-05,3.788446e-05,3.707047e-05,3.630359e-05,3.558187e-05,3.490343e-05,3.426638e-05,3.366890e-05,3.310921e-05,3.258559e-05,3.209635e-05,3.163986e-05,3.121454e-05,3.081887e-05,3.045138e-05,3.011064e-05,2.979529e-05,2.950401e-05,2.923553e-05,2.898864e-05,2.876218e-05,2.855502e-05,2.836608e-05,2.819435e-05,2.803884e-05,2.789860e-05,2.777274e-05,2.766041e-05,2.756077e-05,2.747305e-05,2.739649e-05,2.733040e-05,2.727408e-05,2.722690e-05,2.718824e-05,2.715751e-05,2.713415e-05,2.711765e-05,2.710750e-05,2.710322e-05,2.710436e-05,2.711050e-05,2.712123e-05,2.713616e-05,2.715494e-05
0.000000e+00,1.550852e-08,4.135061e-07,4.358123e-07,3.721411e-06,1.461420e-05,1.529045e-05,3.683843e-05,6.077762e-05,6.231464e-05,8.733066e-05,1.089720e-04,1.107855e-04,1.325321e-04,1.506806e-04,1.526165e-04,1.711223e-04,1.861716e-04,1.881377e-04,2.037488e-04,2.161145e-04,2.180385e-04,2.310861e-04,2.411421e-04,2.429680e-04,2.537573e-04,2.618383e-04,2.635239e-04,2.723342e-04,2.787367e-04,2.802517e-04,2.873359e-04,2.923198e-04,2.936436e-04,2.992278e-04,3.030189e-04,3.041386e-04,3.084231e-04,3.112163e-04,3.121252e-04,3.152865e-04,3.172495e-04,3.179455e-04,3.201387e-04,3.214149e-04,3.218998e-04,3.232607e-04,3.239727e-04,3.242510e-04,3.248985e-04,3.251508e-04,3.252292e-04,3.252671e-04,3.251483e-04,3.250350e-04,3.245540e-04,3.241395e-04,3.238438e-04,3.229228e-04,3.222763e-04,3.218082e-04,3.205161e-04,3.196912e-04,3.190613e-04,3.174578e-04,3.164998e-04,3.157187e-04,3.138560e-04,3.128027e-04,3.118810e-04,3.098042e-04,3.086873e-04,3.076354e-04,3.053838e-04,3.042296e-04,3.030578e-04,3.006654e-04,2.994956e-04,2.982138e-04,2.957099e-04,2.945423e-04,2.931601e-04,2.905703e-04,2.894195e-04,2.879459e-04,2.852921e-04,2.841698e-04,2.826135e-04,2.799145e-04,2.788302e-04,2.771993e-04,2.744715e-04,2.734324e-04,2.717347e-04,2.689920e-04,2.680038e-04,2.662466e-04,2.635010e-04,2.625679e-04,2.607579e-04,2.580196e-04,2.571447e-04,2.552882e-04,2.525658e-04,2.517511e-04,2.498542e-04,2.471551e-04,2.464018e-04,2.444700e-04,2.418003e-04,2.411088e-04,2.391473e-04,2.365122e-04,2.358826e-04,2.338961e-04,2.312999e-04,2.307315e-04,2.287246e-04,2.261709e-04,2.256628e-04,2.236395e-04,2.211312e-04,2.206822e-04,2.186464e-04,2.161857e-04,2.157943e-04,2.137496e-04,2.113384e-04,2.110028e-04,2.089525e-04,2.065922e-04,2.063107e-04,2.042578e-04,2.019494e-04,2.017200e-04,1.996673e-04,1.974116e-04,1.972323e-04,1.951824e-04,1.929798e-04,1.928485e-04,1.908038e-04,1.886545e-04,1.885691e-04,1.865319e-04,1.844360e-04,1.843943e-04,1.823666e-04,1.803238e-04,1.763571e-04,1.724935e-04,1.687319e-04,1.650712e-04,1.615101e-04,1.580473e-04,1.546811e-04,1.514100e-04,1.482324e-04,1.451465e-04,1.421506e-04,1.392429e-04,1.364216e-04,1.336849e-04,1.310311e-04,1.284582e-04,1.259646e-04,1.235484e-04,1.212080e-04,1.189414e-04,1.167470e-04,1.146231e-04,1.125681e-04,1.105802e-04,1.086578e-04,1.067994e-04,1.050033e-04,1.032680e-04,1.015920e-04,9.997385e-05,9.841202e-05,9.690511e-05,9.545171e-05,9.405046e-05,9.270001e-05,9.139904e-05,9.014626e-05,8.894042e-05,8.778027e-05,8.666460e-05,8.559223e-05,8.456201e-05,8.357278e-05,8.262344e-05,8.171290e-05,8.084010e-05,8.000398e-05,7.920354e-05,7.843776e-05
0.000000e+00,4.242131e-10,4.791588e-09,4.983003e-09,2.554077e-08,7.700400e-08,8.000450e-08,1.772243e-07,2.989235e-07,3.072802e-07,4.497091e-07,5.784957e-07,5.893940e-07,7.206422e-07,8.305143e-07,8.422382e-07,9.542749e-07,1.045297e-06,1.057180e-06,1.151461e-06,1.226040e-06,1.237636e-06,1.316213e-06,1.376703e-06,1.387679e-06,1.452498e-06,1.501001e-06,1.511113e-06,1.563942e-06,1.602304e-06,1.611377e-06,1.653789e-06,1.683605e-06,1.691521e-06,1.724902e-06,1.747548e-06,1.754235e-06,1.779806e-06,1.796466e-06,1.801885e-06,1.820721e-06,1.832409e-06,1.836550e-06,1.849591e-06,1.857172e-06,1.860050e-06,1.868117e-06,1.872329e-06,1.873972e-06,1.877783e-06,1.879255e-06,1.879706e-06,1.879887e-06,1.879152e-06,1.878462e-06,1.875558e-06,1.873068e-06,1.871294e-06,1.865781e-06,1.861917e-06,1.859122e-06,1.851413e-06,1.846496e-06,1.842743e-06,1.833198e-06,1.827498e-06,1.822853e-06,1.811783e-06,1.805527e-06,1.800054e-06,1.787730e-06,1.781106e-06,1.774869e-06,1.761526e-06,1.754690e-06,1.747751e-06,1.733592e-06,1.726672e-06,1.719092e-06,1.704292e-06,1.697394e-06,1.689230e-06,1.673942e-06,1.667151e-06,1.658459e-06,1.642812e-06,1.636198e-06,1.627029e-06,1.611135e-06,1.604753e-06,1.595156e-06,1.579114e-06,1.573005e-06,1.563028e-06,1.546918e-06,1.541116e-06,1.530801e-06,1.514694e-06,1.509223e-06,1.498612e-06,1.482569e-06,1.477445e-06,1.466576e-06,1.450646e-06,1.445881e-06,1.434790e-06,1.419016e-06,1.414616e-06,1.403335e-06,1.387754e-06,1.383720e-06,1.372281e-06,1.356922e-06,1.353254e-06,1.341684e-06,1.326572e-06,1.323265e-06,1.311591e-06,1.296746e-06,1.293793e-06,1.282040e-06,1.267478e-06,1.264873e-06,1.253063e-06,1.238796e-06,1.236528e-06,1.224682e-06,1.210721e-06,1.208779e-06,1.196916e-06,1.183269e-06,1.181642e-06,1.169780e-06,1.156450e-06,1.155126e-06,1.143281e-06,1.130273e-06,1.129239e-06,1.117426e-06,1.104741e-06,1.103985e-06,1.092218e-06,1.079856e-06,1.079365e-06,1.067656e-06,1.055617e-06,1.055378e-06,1.043738e-06,1.032020e-06,1.009286e-06,9.871713e-07,9.656672e-07,9.447656e-07,9.244572e-07,9.047319e-07,8.855793e-07,8.669885e-07,8.489483e-07,8.314472e-07,8.144735e-07,7.980155e-07,7.820614e-07,7.665994e-07,7.516176e-07,7.371043e-07,7.230479e-07,7.094369e-07,6.962600e-07,6.835058e-07,6.711634e-07,6.592220e-07,6.476708e-07,6.364994e-07,6.256976e-07,6.152552e-07,6.051624e-07,5.954096e-07,5.859874e-07,5.768866e-07,5.680981e-07,5.596132e-07,5.514234e-07,5.435202e-07,5.358955e-07,5.285413e-07,5.214498e-07,5.146135e-07,5.080251e-07,5.016772e-07,4.955629e-07,4.896754e-07,4.840080e-07,4.785543e-07,4.733079e-07,4.682626e-07,4.634125e-07,4.587518e-07,4.542747e-07
0.000000e+00,1.392553e-08,3.649744e-07,3.838972e-07,3.275914e-06,1.529523e-05,1.616125e-05,5.167468e-05,1.103461e-04,1.147627e-04,1.948276e-04,2.714903e-04,2.780284e-04,3.561195e-04,4.193274e-04,4.259029e-04,4.867629e-04,5.332521e-04,5.391066e-04,5.836609e-04,6.163436e-04,6.212065e-04,6.524898e-04,6.744322e-04,6.781971e-04,6.989521e-04,7.126733e-04,7.153190e-04,7.278072e-04,7.353153e-04,7.368760e-04,7.429386e-04,7.458208e-04,7.463663e-04,7.474918e-04,7.469920e-04,7.466130e-04,7.439959e-04,7.410804e-04,7.398774e-04,7.344687e-04,7.298816e-04,7.279572e-04,7.205093e-04,7.148182e-04,7.122723e-04,7.033766e-04,6.970106e-04,6.939374e-04,6.840561e-04,6.773363e-04,6.738224e-04,6.633148e-04,6.564784e-04,6.526023e-04,6.417455e-04,6.349652e-04,6.307972e-04,6.198034e-04,6.132022e-04,6.088042e-04,5.978345e-04,5.914974e-04,5.869241e-04,5.760988e-04,5.700823e-04,5.653809e-04,5.547891e-04,5.491277e-04,5.443393e-04,5.340449e-04,5.287569e-04,5.239169e-04,5.139644e-04,5.090563e-04,5.041947e-04,4.946137e-04,4.900832e-04,4.852257e-04,4.760340e-04,4.718723e-04,4.670407e-04,4.582472e-04,4.544415e-04,4.496540e-04,4.412609e-04,4.377952e-04,4.330670e-04,4.250712e-04,4.219279e-04,4.172717e-04,4.096663e-04,4.068267e-04,4.022527e-04,3.950281e-04,3.924730e-04,3.879897e-04,3.811344e-04,3.788447e-04,3.744588e-04,3.679597e-04,3.659167e-04,3.616336e-04,3.554768e-04,3.536623e-04,3.494859e-04,3.436573e-04,3.420538e-04,3.379872e-04,3.324721e-04,3.310631e-04,3.271083e-04,3.218922e-04,3.206619e-04,3.168203e-04,3.118889e-04,3.108226e-04,3.070947e-04,3.024340e-04,3.015176e-04,2.979035e-04,2.934999e-04,2.927204e-04,2.892197e-04,2.850599e-04,2.844053e-04,2.810172e-04,2.770884e-04,2.765473e-04,2.732706e-04,2.695608e-04,2.691227e-04,2.659560e-04,2.624534e-04,2.621087e-04,2.590502e-04,2.557437e-04,2.554832e-04,2.525311e-04,2.494100e-04,2.492256e-04,2.463779e-04,2.434321e-04,2.433160e-04,2.405704e-04,2.377904e-04,2.377356e-04,2.350898e-04,2.324663e-04,2.274913e-04,2.227945e-04,2.183604e-04,2.141748e-04,2.102238e-04,2.064945e-04,2.029748e-04,1.996529e-04,1.965179e-04,1.935596e-04,1.907680e-04,1.881340e-04,1.856487e-04,1.833041e-04,1.810922e-04,1.790056e-04,1.770375e-04,1.751813e-04,1.734307e-04,1.717798e-04,1.702233e-04,1.687557e-04,1.673722e-04,1.660682e-04,1.648391e-04,1.636809e-04,1.625896e-04,1.615616e-04,1.605932e-04,1.596812e-04,1.588225e-04,1.580142e-04,1.572533e-04,1.565374e-04,1.558638e-04,1.552303e-04,1.546347e-04,1.540747e-04,1.535486e-04,1.530543e-04,1.525902e-04,1.521545e-04,1.517456e-04,1.513622e-04,1.510027e-04,1.506659e-04,1.503505e-04,1.500552e-04,1.497791e-04
0.000000e+00,9.459791e-09,3.562494e-07,3.773722e-07,4.321501e-06,2.422568e-05,2.575526e-05,9.412800e-05,2.256247e-04,2.364323e-04,4.562817e-04,7.140320e-04,7.383863e-04,1.061108e-03,1.369368e-03,1.404077e-03,1.751079e-03,2.050401e-03,2.090431e-03,2.414359e-03,2.676912e-03,2.718107e-03,2.999090e-03,3.216694e-03,3.256219e-03,3.489394e-03,3.663087e-03,3.699154e-03,3.886429e-03,4.020834e-03,4.052377e-03,4.198268e-03,4.298983e-03,4.325414e-03,4.435124e-03,4.507627e-03,4.528671e-03,4.607280e-03,4.656519e-03,4.672113e-03,4.724270e-03,4.754554e-03,4.764780e-03,4.794610e-03,4.809621e-03,4.814660e-03,4.825771e-03,4.828621e-03,4.828723e-03,4.824244e-03,4.817545e-03,4.813006e-03,4.795635e-03,4.781568e-03,4.772710e-03,4.744770e-03,4.725148e-03,4.712311e-03,4.675795e-03,4.652116e-03,4.635646e-03,4.592260e-03,4.565757e-03,4.546000e-03,4.497202e-03,4.468884e-03,4.446177e-03,4.393212e-03,4.363898e-03,4.338571e-03,4.282496e-03,4.252847e-03,4.225213e-03,4.166928e-03,4.137469e-03,4.107829e-03,4.048091e-03,4.019237e-03,3.987873e-03,3.927322e-03,3.899394e-03,3.866571e-03,3.805743e-03,3.778984e-03,3.744950e-03,3.684292e-03,3.658879e-03,3.623863e-03,3.563746e-03,3.539804e-03,3.504017e-03,3.444745e-03,3.422355e-03,3.385992e-03,3.327813e-03,3.307019e-03,3.270257e-03,3.213370e-03,3.194187e-03,3.157189e-03,3.101751e-03,3.084172e-03,3.047085e-03,2.993217e-03,2.977216e-03,2.940171e-03,2.887966e-03,2.873502e-03,2.836618e-03,2.786141e-03,2.773161e-03,2.736545e-03,2.687839e-03,2.676283e-03,2.640030e-03,2.593121e-03,2.582922e-03,2.547114e-03,2.502011e-03,2.493099e-03,2.457810e-03,2.414510e-03,2.406812e-03,2.372107e-03,2.330596e-03,2.324036e-03,2.289970e-03,2.250225e-03,2.244730e-03,2.211351e-03,2.173341e-03,2.168837e-03,2.136185e-03,2.099875e-03,2.096290e-03,2.064398e-03,2.029746e-03,2.027009e-03,1.995907e-03,1.962869e-03,1.960912e-03,1.930621e-03,1.899150e-03,1.897907e-03,1.868445e-03,1.838492e-03,1.837900e-03,1.809279e-03,1.780794e-03,1.726490e-03,1.674886e-03,1.625885e-03,1.579384e-03,1.535287e-03,1.493495e-03,1.453913e-03,1.416448e-03,1.381009e-03,1.347507e-03,1.315856e-03,1.285973e-03,1.257777e-03,1.231189e-03,1.206136e-03,1.182544e-03,1.160345e-03,1.139470e-03,1.119857e-03,1.101443e-03,1.084170e-03,1.067980e-03,1.052821e-03,1.038639e-03,1.025385e-03,1.013012e-03,1.001475e-03,9.907309e-04,9.807376e-04,9.714561e-04,9.628489e-04,9.548800e-04,9.475152e-04,9.407220e-04,9.344693e-04,9.287274e-04,9.234681e-04,9.186645e-04,9.142911e-04,9.103234e-04,9.067382e-04,9.035135e-04,9.006281e-04,8.980622e-04,8.957965e-04,8.938131e-04,8.920947e-04,8.906249e-04,8.893881e-04
0.000000e+00,8.773049e-09,3.105569e-07,3.283685e-07,3.436594e-06,1.828729e-05,1.942135e-05,7.141161e-05,1.803412e-04,1.897708e-04,3.939453e-04,6.563629e-04,6.821721e-04,1.037522e-03,1.396270e-03,1.437664e-03,1.861109e-03,2.238702e-03,2.289960e-03,2.710611e-03,3.058384e-03,3.113442e-03,3.492144e-03,3.788810e-03,3.842975e-03,4.164095e-03,4.404868e-03,4.455015e-03,4.716176e-03,4.904367e-03,4.948624e-03,5.153787e-03,5.295921e-03,5.333301e-03,5.488901e-03,5.592246e-03,5.622344e-03,5.735353e-03,5.806802e-03,5.829586e-03,5.906623e-03,5.952280e-03,5.967949e-03,6.014949e-03,6.040020e-03,6.048913e-03,6.071033e-03,6.079876e-03,6.082413e-03,6.084066e-03,6.080286e-03,6.076927e-03,6.061854e-03,6.048411e-03,6.039636e-03,6.010994e-03,5.990303e-03,5.976592e-03,5.937037e-03,5.911064e-03,5.892885e-03,5.844648e-03,5.814983e-03,5.792790e-03,5.737740e-03,5.705665e-03,5.679889e-03,5.619593e-03,5.586134e-03,5.557181e-03,5.492950e-03,5.458924e-03,5.427175e-03,5.360103e-03,5.326153e-03,5.291963e-03,5.222963e-03,5.189592e-03,5.153290e-03,5.083117e-03,5.050713e-03,5.012601e-03,4.941884e-03,4.910738e-03,4.871095e-03,4.800351e-03,4.770677e-03,4.729758e-03,4.659412e-03,4.631362e-03,4.589399e-03,4.519797e-03,4.493471e-03,4.450677e-03,4.382100e-03,4.357556e-03,4.314123e-03,4.246795e-03,4.224060e-03,4.180162e-03,4.114262e-03,4.093334e-03,4.049129e-03,3.984795e-03,3.965654e-03,3.921284e-03,3.858620e-03,3.841228e-03,3.796821e-03,3.735904e-03,3.720212e-03,3.675883e-03,3.616767e-03,3.602715e-03,3.558567e-03,3.501287e-03,3.488810e-03,3.444934e-03,3.389509e-03,3.378535e-03,3.335013e-03,3.281447e-03,3.271904e-03,3.228808e-03,3.177095e-03,3.168906e-03,3.126302e-03,3.076426e-03,3.069516e-03,3.027460e-03,2.979399e-03,2.973692e-03,2.932234e-03,2.885959e-03,2.881380e-03,2.840564e-03,2.796041e-03,2.792516e-03,2.752380e-03,2.709573e-03,2.707031e-03,2.667608e-03,2.626476e-03,2.624847e-03,2.586165e-03,2.546666e-03,2.545884e-03,2.507967e-03,2.470056e-03,2.397278e-03,2.327462e-03,2.260518e-03,2.196358e-03,2.134894e-03,2.076037e-03,2.019701e-03,1.965801e-03,1.914253e-03,1.864975e-03,1.817887e-03,1.772910e-03,1.729968e-03,1.688986e-03,1.649894e-03,1.612619e-03,1.577096e-03,1.543256e-03,1.511038e-03,1.480378e-03,1.451216e-03,1.423495e-03,1.397159e-03,1.372153e-03,1.348424e-03,1.325923e-03,1.304600e-03,1.284408e-03,1.265301e-03,1.247235e-03,1.230166e-03,1.214055e-03,1.198862e-03,1.184547e-03,1.171074e-03,1.158406e-03,1.146510e-03,1.135352e-03,1.124900e-03,1.115123e-03,1.105990e-03,1.097472e-03,1.089542e-03,1.082173e-03,1.075339e-03,1.069013e-03,1.063173e-03,1.057795e-03,1.052856e-03
0.000000e+00,8.316119e-09,3.190547e-07,3.377448e-07,3.585547e-06,1.826575e-05,1.935169e-05,6.677853e-05,1.601421e-04,1.680489e-04,3.363182e-04,5.488172e-04,5.696027e-04,8.544833e-04,1.140051e-03,1.172872e-03,1.506859e-03,1.801444e-03,1.841150e-03,2.163887e-03,2.425672e-03,2.466616e-03,2.743840e-03,2.954669e-03,2.992453e-03,3.211181e-03,3.368245e-03,3.400079e-03,3.560129e-03,3.668451e-03,3.692917e-03,3.800392e-03,3.868018e-03,3.884686e-03,3.947990e-03,3.983396e-03,3.992465e-03,4.020186e-03,4.031064e-03,4.033102e-03,4.033024e-03,4.025859e-03,4.021611e-03,4.000369e-03,3.980385e-03,3.970658e-03,3.933701e-03,3.904992e-03,3.890587e-03,3.842286e-03,3.807988e-03,3.789659e-03,3.733464e-03,3.695942e-03,3.674375e-03,3.612979e-03,3.573985e-03,3.549795e-03,3.485275e-03,3.446089e-03,3.419815e-03,3.353759e-03,3.315292e-03,3.287405e-03,3.221013e-03,3.183902e-03,3.154808e-03,3.088981e-03,3.053651e-03,3.023698e-03,2.959101e-03,2.925822e-03,2.895309e-03,2.832422e-03,2.801345e-03,2.770524e-03,2.709685e-03,2.680875e-03,2.649960e-03,2.591396e-03,2.564855e-03,2.534026e-03,2.477879e-03,2.453566e-03,2.422972e-03,2.369320e-03,2.347161e-03,2.316928e-03,2.265798e-03,2.245700e-03,2.215929e-03,2.167314e-03,2.149168e-03,2.119945e-03,2.073809e-03,2.057499e-03,2.028893e-03,1.985179e-03,1.970588e-03,1.942652e-03,1.901291e-03,1.888299e-03,1.861077e-03,1.821988e-03,1.810477e-03,1.784002e-03,1.747097e-03,1.736955e-03,1.711251e-03,1.676439e-03,1.667555e-03,1.642639e-03,1.609827e-03,1.602097e-03,1.577981e-03,1.547076e-03,1.540401e-03,1.517089e-03,1.487998e-03,1.482285e-03,1.459779e-03,1.432410e-03,1.427572e-03,1.405869e-03,1.380135e-03,1.376090e-03,1.355184e-03,1.330997e-03,1.327671e-03,1.307553e-03,1.284831e-03,1.282152e-03,1.262811e-03,1.241474e-03,1.239377e-03,1.220800e-03,1.200772e-03,1.199197e-03,1.181370e-03,1.162577e-03,1.161468e-03,1.144375e-03,1.126748e-03,1.126055e-03,1.109679e-03,1.093152e-03,1.092827e-03,1.077151e-03,1.061661e-03,1.032439e-03,1.005049e-03,9.793877e-04,9.553536e-04,9.328525e-04,9.117951e-04,8.920967e-04,8.736777e-04,8.564627e-04,8.403805e-04,8.253639e-04,8.113497e-04,7.982781e-04,7.860928e-04,7.747406e-04,7.641715e-04,7.543383e-04,7.451966e-04,7.367043e-04,7.288220e-04,7.215126e-04,7.147410e-04,7.084742e-04,7.026811e-04,6.973324e-04,6.924006e-04,6.878596e-04,6.836852e-04,6.798542e-04,6.763450e-04,6.731372e-04,6.702116e-04,6.675502e-04,6.651359e-04,6.629528e-04,6.609857e-04,6.592206e-04,6.576441e-04,6.562436e-04,6.550075e-04,6.539245e-04,6.529842e-04,6.521769e-04,6.514934e-04,6.509249e-04,6.504634e-04,6.501011e-04,6.498309e-04,6.496461e-04
0.000000e+00,1.443206e-08,4.300430e-07,4.530203e-07,3.941242e-06,1.782140e-05,1.880713e-05,5.984583e-05,1.354658e-04,1.416816e-04,2.691603e-04,4.196660e-04,4.338412e-04,6.193456e-04,7.906380e-04,8.094891e-04,9.926884e-04,1.142793e-03,1.162305e-03,1.315329e-03,1.433020e-03,1.450971e-03,1.569638e-03,1.656916e-03,1.672320e-03,1.760243e-03,1.822228e-03,1.834691e-03,1.896918e-03,1.938700e-03,1.948109e-03,1.989365e-03,2.015303e-03,2.021700e-03,2.046041e-03,2.059718e-03,2.063235e-03,2.074051e-03,2.078364e-03,2.079190e-03,2.079287e-03,2.076560e-03,2.074918e-03,2.066605e-03,2.058694e-03,2.054821e-03,2.039993e-03,2.028370e-03,2.022508e-03,2.002715e-03,1.988544e-03,1.980932e-03,1.957443e-03,1.941635e-03,1.932506e-03,1.906350e-03,1.889614e-03,1.879185e-03,1.851195e-03,1.834076e-03,1.822549e-03,1.793395e-03,1.776306e-03,1.763867e-03,1.734085e-03,1.717336e-03,1.704155e-03,1.674171e-03,1.657988e-03,1.644218e-03,1.614371e-03,1.598913e-03,1.584694e-03,1.555244e-03,1.540621e-03,1.526073e-03,1.497224e-03,1.483502e-03,1.468734e-03,1.440638e-03,1.427853e-03,1.412962e-03,1.385732e-03,1.373897e-03,1.358966e-03,1.332682e-03,1.321790e-03,1.306893e-03,1.281609e-03,1.271638e-03,1.256838e-03,1.232586e-03,1.223507e-03,1.208857e-03,1.185653e-03,1.177428e-03,1.162975e-03,1.140821e-03,1.133408e-03,1.119191e-03,1.098080e-03,1.091434e-03,1.077485e-03,1.057400e-03,1.051473e-03,1.037820e-03,1.018739e-03,1.013484e-03,1.000149e-03,9.820429e-04,9.774138e-04,9.644135e-04,9.472523e-04,9.432024e-04,9.305511e-04,9.143014e-04,9.107862e-04,8.984944e-04,8.831213e-04,8.800980e-04,8.681732e-04,8.536410e-04,8.510687e-04,8.395157e-04,8.257883e-04,8.236282e-04,8.124496e-04,7.994908e-04,7.977064e-04,7.869029e-04,7.746770e-04,7.732338e-04,7.628044e-04,7.512764e-04,7.501423e-04,7.400845e-04,7.292202e-04,7.283650e-04,7.186752e-04,7.084414e-04,7.078371e-04,6.985107e-04,6.888751e-04,6.884957e-04,6.795270e-04,6.704587e-04,6.702802e-04,6.616628e-04,6.531320e-04,6.369953e-04,6.218164e-04,6.075439e-04,5.941288e-04,5.815246e-04,5.696867e-04,5.585729e-04,5.481430e-04,5.383590e-04,5.291846e-04,5.205856e-04,5.125294e-04,5.049853e-04,4.979241e-04,4.913183e-04,4.851417e-04,4.793696e-04,4.739787e-04,4.689469e-04,4.642533e-04,4.598783e-04,4.558031e-04,4.520103e-04,4.484832e-04,4.452062e-04,4.421642e-04,4.393434e-04,4.367305e-04,4.343130e-04,4.320792e-04,4.300179e-04,4.281187e-04,4.263716e-04,4.247673e-04,4.232971e-04,4.219525e-04,4.207258e-04,4.196095e-04,4.185966e-04,4.176806e-04,4.168553e-04,4.161148e-04,4.154536e-04,4.148666e-04,4.143489e-04,4.138958e-04,4.135030e-04,4.131665e-04,4.128823e-04
0.000000e+00,6.354759e-09,1.222747e-07,1.281871e-07,8.530848e-07,2.741186e-06,2.847462e-06,5.949873e-06,9.050890e-06,9.241754e-06,1.222658e-05,1.462783e-05,1.482134e-05,1.704592e-05,1.876160e-05,1.893672e-05,2.053028e-05,2.171357e-05,2.186029e-05,2.295720e-05,2.373505e-05,2.384837e-05,2.455831e-05,2.503071e-05,2.510894e-05,2.551977e-05,2.576458e-05,2.580818e-05,2.598968e-05,2.606724e-05,2.607808e-05,2.608561e-05,2.604239e-05,2.602315e-05,2.590030e-05,2.577185e-05,2.572562e-05,2.550661e-05,2.531985e-05,2.524977e-05,2.496101e-05,2.473637e-05,2.464566e-05,2.430826e-05,2.406114e-05,2.395284e-05,2.358290e-05,2.332465e-05,2.320155e-05,2.281148e-05,2.255042e-05,2.241505e-05,2.201433e-05,2.175647e-05,2.161114e-05,2.120706e-05,2.095668e-05,2.080344e-05,2.040144e-05,2.016145e-05,2.000209e-05,1.960624e-05,1.937855e-05,1.921463e-05,1.882789e-05,1.861363e-05,1.844653e-05,1.807099e-05,1.787075e-05,1.770164e-05,1.733877e-05,1.715271e-05,1.698261e-05,1.663335e-05,1.646135e-05,1.629113e-05,1.595603e-05,1.579774e-05,1.562813e-05,1.530744e-05,1.516235e-05,1.499398e-05,1.468773e-05,1.455526e-05,1.438865e-05,1.409669e-05,1.397618e-05,1.381178e-05,1.353384e-05,1.342460e-05,1.326278e-05,1.299849e-05,1.289982e-05,1.274088e-05,1.248982e-05,1.240103e-05,1.224521e-05,1.200693e-05,1.192733e-05,1.177484e-05,1.154882e-05,1.147776e-05,1.132876e-05,1.111451e-05,1.105135e-05,1.090594e-05,1.070294e-05,1.064708e-05,1.050538e-05,1.031312e-05,1.026398e-05,1.012604e-05,9.944013e-06,9.901065e-06,9.766921e-06,9.594640e-06,9.557372e-06,9.427051e-06,9.264036e-06,9.231971e-06,9.105479e-06,8.951266e-06,8.923960e-06,8.801286e-06,8.655431e-06,8.632469e-06,8.513592e-06,8.375665e-06,8.356662e-06,8.241549e-06,8.111143e-06,8.095738e-06,7.984348e-06,7.861070e-06,7.848932e-06,7.741215e-06,7.624692e-06,7.615511e-06,7.511411e-06,7.401288e-06,7.394779e-06,7.294235e-06,7.190172e-06,7.186071e-06,7.089017e-06,6.990693e-06,6.988755e-06,6.895123e-06,6.802232e-06,6.625930e-06,6.459309e-06,6.301854e-06,6.153078e-06,6.012519e-06,5.879738e-06,5.754320e-06,5.635871e-06,5.524018e-06,5.418408e-06,5.318706e-06,5.224596e-06,5.135775e-06,5.051962e-06,4.972885e-06,4.898290e-06,4.827935e-06,4.761592e-06,4.699044e-06,4.640086e-06,4.584524e-06,4.532175e-06,4.482863e-06,4.436425e-06,4.392705e-06,4.351554e-06,4.312834e-06,4.276412e-06,4.242162e-06,4.209966e-06,4.179712e-06,4.151293e-06,4.124610e-06,4.099566e-06,4.076072e-06,4.054042e-06,4.033396e-06,4.014057e-06,3.995954e-06,3.979017e-06,3.963182e-06,3.948388e-06,3.934576e-06,3.921692e-06,3.909684e-06,3.898503e-06,3.888102e-06,3.878437e-06,3.869467e-06
0.000000e+00,2.101295e-08,8.481412e-07,8.987274e-07,9.843904e-06,4.992304e-05,5.285045e-05,1.769945e-04,4.076532e-04,4.266008e-04,8.157152e-04,1.282524e-03,1.327226e-03,1.928802e-03,2.518689e-03,2.586008e-03,3.268758e-03,3.871771e-03,3.953401e-03,4.622645e-03,5.176708e-03,5.264621e-03,5.871731e-03,6.351459e-03,6.439564e-03,6.966010e-03,7.366415e-03,7.450555e-03,7.893762e-03,8.219395e-03,8.296890e-03,8.661622e-03,8.920693e-03,8.989884e-03,9.283716e-03,9.485275e-03,9.545186e-03,9.776339e-03,9.929041e-03,9.979156e-03,1.015554e-02,1.026719e-02,1.030731e-02,1.043617e-02,1.051361e-02,1.054374e-02,1.063156e-02,1.068072e-02,1.070104e-02,1.075354e-02,1.077951e-02,1.079032e-02,1.081255e-02,1.081966e-02,1.082134e-02,1.081773e-02,1.080970e-02,1.080269e-02,1.077713e-02,1.075710e-02,1.074190e-02,1.069779e-02,1.066844e-02,1.064556e-02,1.058589e-02,1.054948e-02,1.051945e-02,1.044683e-02,1.040526e-02,1.036861e-02,1.028533e-02,1.024019e-02,1.019747e-02,1.010551e-02,1.005813e-02,1.000988e-02,9.910973e-03,9.862449e-03,9.809176e-03,9.704837e-03,9.656079e-03,9.598284e-03,9.489820e-03,9.441565e-03,9.379730e-03,9.268276e-03,9.221118e-03,9.155702e-03,9.042237e-03,8.996649e-03,8.928090e-03,8.813457e-03,8.769807e-03,8.698518e-03,8.583442e-03,8.542011e-03,8.468382e-03,8.353483e-03,8.314477e-03,8.238874e-03,8.124678e-03,8.088241e-03,8.011007e-03,7.897962e-03,7.864185e-03,7.785638e-03,7.674120e-03,7.643051e-03,7.563488e-03,7.453813e-03,7.425462e-03,7.345160e-03,7.237588e-03,7.211938e-03,7.131150e-03,7.025895e-03,7.002902e-03,6.921865e-03,6.819100e-03,6.798702e-03,6.717633e-03,6.617496e-03,6.599614e-03,6.518713e-03,6.421310e-03,6.405855e-03,6.325305e-03,6.230715e-03,6.217587e-03,6.137556e-03,6.045837e-03,6.034928e-03,5.955568e-03,5.866757e-03,5.857957e-03,5.779408e-03,5.693524e-03,5.686717e-03,5.609107e-03,5.526155e-03,5.521225e-03,5.444668e-03,5.364642e-03,5.361471e-03,5.286072e-03,5.208953e-03,5.207425e-03,5.133277e-03,5.059038e-03,4.916247e-03,4.778975e-03,4.647136e-03,4.520633e-03,4.399364e-03,4.283220e-03,4.172089e-03,4.065853e-03,3.964394e-03,3.867590e-03,3.775320e-03,3.687459e-03,3.603886e-03,3.524477e-03,3.449109e-03,3.377662e-03,3.310015e-03,3.246048e-03,3.185644e-03,3.128687e-03,3.075061e-03,3.024653e-03,2.977352e-03,2.933048e-03,2.891634e-03,2.853003e-03,2.817052e-03,2.783677e-03,2.752779e-03,2.724258e-03,2.698018e-03,2.673964e-03,2.652002e-03,2.632041e-03,2.613992e-03,2.597767e-03,2.583280e-03,2.570447e-03,2.559186e-03,2.549416e-03,2.541059e-03,2.534039e-03,2.528280e-03,2.523709e-03,2.520257e-03,2.517853e-03,2.516430e-03,2.515923e-03,2.516269e-03
0.000000e+00,9.604339e-07,4.549476e-05,4.838913e-05,6.450336e-04,3.923016e-03,4.182217e-03,1.633300e-02,4.212064e-02,4.437028e-02,9.426249e-02,1.627533e-01,1.697934e-01,2.728027e-01,3.892902e-01,4.036049e-01,5.613705e-01,7.212075e-01,7.444427e-01,9.505918e-01,1.144361e+00,1.177219e+00,1.421513e+00,1.638255e+00,1.680579e+00,1.951527e+00,2.180598e+00,2.231550e+00,2.517968e+00,2.750013e+00,2.808269e+00,3.100132e+00,3.327499e+00,3.391438e+00,3.680279e+00,3.897097e+00,3.964956e+00,4.243975e+00,4.446035e+00,4.516037e+00,4.780031e+00,4.964579e+00,5.035021e+00,5.280234e+00,5.445727e+00,5.515048e+00,5.738976e+00,5.884839e+00,5.951655e+00,6.152833e+00,6.279232e+00,6.342357e+00,6.520161e+00,6.627806e+00,6.686254e+00,6.840714e+00,6.930695e+00,6.983676e+00,7.115323e+00,7.188972e+00,7.235880e+00,7.345609e+00,7.404403e+00,7.444798e+00,7.533760e+00,7.579233e+00,7.612824e+00,7.682337e+00,7.716027e+00,7.742652e+00,7.794132e+00,7.817531e+00,7.837142e+00,7.872048e+00,7.886576e+00,7.899216e+00,7.919010e+00,7.925997e+00,7.931788e+00,7.937904e+00,7.938577e+00,7.937706e+00,7.931531e+00,7.927007e+00,7.919711e+00,7.902568e+00,7.893855e+00,7.880413e+00,7.853549e+00,7.841550e+00,7.822268e+00,7.786854e+00,7.772369e+00,7.747578e+00,7.704701e+00,7.688433e+00,7.658476e+00,7.609143e+00,7.591704e+00,7.556935e+00,7.502073e+00,7.483991e+00,7.444769e+00,7.385226e+00,7.366955e+00,7.323637e+00,7.260186e+00,7.242111e+00,7.195051e+00,7.128397e+00,7.110838e+00,7.060385e+00,6.991165e+00,6.974389e+00,6.920882e+00,6.849672e+00,6.833894e+00,6.777664e+00,6.704982e+00,6.690375e+00,6.631741e+00,6.558051e+00,6.544747e+00,6.484015e+00,6.409733e+00,6.397831e+00,6.335296e+00,6.260792e+00,6.250360e+00,6.186302e+00,6.111905e+00,6.102987e+00,6.037673e+00,5.963673e+00,5.956289e+00,5.889971e+00,5.816627e+00,5.810776e+00,5.743695e+00,5.671230e+00,5.666898e+00,5.599280e+00,5.527891e+00,5.525047e+00,5.457104e+00,5.386961e+00,5.385565e+00,5.317497e+00,5.248747e+00,5.114845e+00,4.984077e+00,4.856622e+00,4.732630e+00,4.612224e+00,4.495499e+00,4.382531e+00,4.273373e+00,4.168058e+00,4.066608e+00,3.969025e+00,3.875301e+00,3.785414e+00,3.699333e+00,3.617016e+00,3.538413e+00,3.463468e+00,3.392116e+00,3.324288e+00,3.259909e+00,3.198899e+00,3.141176e+00,3.086653e+00,3.035240e+00,2.986845e+00,2.941375e+00,2.898732e+00,2.858822e+00,2.821545e+00,2.786804e+00,2.754499e+00,2.724533e+00,2.696805e+00,2.671220e+00,2.647678e+00,2.626084e+00,2.606343e+00,2.588360e+00,2.572044e+00,2.557303e+00,2.544049e+00,2.532194e+00,2.521655e+00,2.512347e+00,2.504192e+00,2.497111e+00,2.491028e+00,2.485872e+00,2.481571e+00
0.000000e+00,6.999931e-07,3.500342e-05,3.726708e-05,5.129492e-04,3.131809e-03,3.337824e-03,1.285671e-02,3.259624e-02,3.430168e-02,7.175859e-02,1.225263e-01,1.277179e-01,2.032984e-01,2.881569e-01,2.985514e-01,4.127296e-01,5.278213e-01,5.445104e-01,6.921752e-01,8.303726e-01,8.537532e-01,1.027135e+00,1.180317e+00,1.210160e+00,1.400687e+00,1.561059e+00,1.596642e+00,1.796057e+00,1.956840e+00,1.997094e+00,2.198067e+00,2.353789e+00,2.397442e+00,2.593852e+00,2.740391e+00,2.786088e+00,2.973100e+00,3.107589e+00,3.153986e+00,3.327990e+00,3.448656e+00,3.494488e+00,3.652979e+00,3.758947e+00,3.803076e+00,3.944494e+00,4.035600e+00,4.077042e+00,4.200610e+00,4.277225e+00,4.315162e+00,4.420725e+00,4.483604e+00,4.517383e+00,4.605268e+00,4.655426e+00,4.684554e+00,4.755446e+00,4.794049e+00,4.818180e+00,4.873016e+00,4.901310e+00,4.920230e+00,4.960113e+00,4.979358e+00,4.992968e+00,5.019102e+00,5.030531e+00,5.038829e+00,5.052463e+00,5.057248e+00,5.060317e+00,5.062702e+00,5.061941e+00,5.059927e+00,5.052291e+00,5.046987e+00,5.040091e+00,5.023613e+00,5.014675e+00,5.003139e+00,4.978939e+00,4.967179e+00,4.951275e+00,4.920399e+00,4.906533e+00,4.886555e+00,4.849975e+00,4.834627e+00,4.810882e+00,4.769489e+00,4.753200e+00,4.726002e+00,4.680612e+00,4.663842e+00,4.633506e+00,4.584859e+00,4.567997e+00,4.534837e+00,4.483597e+00,4.466968e+00,4.431290e+00,4.378055e+00,4.361924e+00,4.324027e+00,4.269330e+00,4.253911e+00,4.214083e+00,4.158396e+00,4.143859e+00,4.102375e+00,4.046116e+00,4.032589e+00,3.989712e+00,3.933247e+00,3.920825e+00,3.876803e+00,3.820453e+00,3.809201e+00,3.764268e+00,3.708311e+00,3.698268e+00,3.652644e+00,3.597322e+00,3.588506e+00,3.542397e+00,3.487915e+00,3.480326e+00,3.433922e+00,3.380456e+00,3.374078e+00,3.327557e+00,3.275257e+00,3.270061e+00,3.223587e+00,3.172576e+00,3.168525e+00,3.122249e+00,3.072630e+00,3.069675e+00,3.023738e+00,2.975592e+00,2.973682e+00,2.928209e+00,2.881604e+00,2.880680e+00,2.835788e+00,2.790773e+00,2.704042e+00,2.620540e+00,2.540303e+00,2.463347e+00,2.389675e+00,2.319273e+00,2.252118e+00,2.188173e+00,2.127396e+00,2.069733e+00,2.015127e+00,1.963513e+00,1.914822e+00,1.868979e+00,1.825908e+00,1.785528e+00,1.747756e+00,1.712507e+00,1.679695e+00,1.649232e+00,1.621028e+00,1.594996e+00,1.571043e+00,1.549082e+00,1.529022e+00,1.510774e+00,1.494249e+00,1.479358e+00,1.466017e+00,1.454137e+00,1.443636e+00,1.434431e+00,1.426439e+00,1.419582e+00,1.413783e+00,1.408965e+00,1.405056e+00,1.401986e+00,1.399684e+00,1.398087e+00,1.397129e+00,1.396751e+00,1.396893e+00,1.397501e+00,1.398522e+00,1.399905e+00,1.401604e+00,1.403573e+00,1.405772e+00
0.000000e+00,1.611639e-08,3.140772e-07,3.297480e-07,2.422330e-06,8.421565e-06,8.764321e-06,1.860022e-05,2.839325e-05,2.900815e-05,3.894632e-05,4.751996e-05,4.823910e-05,5.687780e-05,6.411264e-05,6.488590e-05,7.229273e-05,7.833690e-05,7.912790e-05,8.542023e-05,9.041881e-05,9.119767e-05,9.648732e-05,1.005729e-04,1.013154e-04,1.057075e-04,1.090009e-04,1.096882e-04,1.132813e-04,1.158923e-04,1.165100e-04,1.193962e-04,1.214234e-04,1.219611e-04,1.242242e-04,1.257540e-04,1.262045e-04,1.279199e-04,1.290288e-04,1.293874e-04,1.306235e-04,1.313794e-04,1.316445e-04,1.324650e-04,1.329275e-04,1.330989e-04,1.335590e-04,1.337789e-04,1.338576e-04,1.340062e-04,1.340273e-04,1.340155e-04,1.338959e-04,1.337562e-04,1.336570e-04,1.333077e-04,1.330395e-04,1.328567e-04,1.323118e-04,1.319431e-04,1.316808e-04,1.309705e-04,1.305249e-04,1.301877e-04,1.293387e-04,1.288365e-04,1.284292e-04,1.274649e-04,1.269231e-04,1.264508e-04,1.253918e-04,1.248248e-04,1.242924e-04,1.231569e-04,1.225768e-04,1.219892e-04,1.207932e-04,1.202100e-04,1.195721e-04,1.183295e-04,1.177514e-04,1.170681e-04,1.157910e-04,1.152248e-04,1.145008e-04,1.131998e-04,1.126508e-04,1.118905e-04,1.105750e-04,1.100475e-04,1.092552e-04,1.079331e-04,1.074304e-04,1.066103e-04,1.052884e-04,1.048130e-04,1.039690e-04,1.026533e-04,1.022071e-04,1.013427e-04,1.000384e-04,9.962245e-05,9.874129e-05,9.745251e-05,9.706763e-05,9.617293e-05,9.490338e-05,9.454981e-05,9.364463e-05,9.239736e-05,9.207503e-05,9.116221e-05,8.993975e-05,8.964831e-05,8.873051e-05,8.753493e-05,8.727378e-05,8.635345e-05,8.518643e-05,8.495479e-05,8.403420e-05,8.289706e-05,8.269400e-05,8.177525e-05,8.066899e-05,8.049344e-05,7.957846e-05,7.850383e-05,7.835465e-05,7.744521e-05,7.640270e-05,7.627869e-05,7.537639e-05,7.436632e-05,7.426621e-05,7.337253e-05,7.239502e-05,7.231752e-05,7.143380e-05,7.048884e-05,7.043266e-05,6.956010e-05,6.864752e-05,6.861136e-05,6.775105e-05,6.687059e-05,6.685314e-05,6.600606e-05,6.515736e-05,6.352317e-05,6.194962e-05,6.043563e-05,5.898004e-05,5.758161e-05,5.623902e-05,5.495093e-05,5.371595e-05,5.253267e-05,5.139965e-05,5.031546e-05,4.927866e-05,4.828780e-05,4.734147e-05,4.643823e-05,4.557670e-05,4.475550e-05,4.397325e-05,4.322863e-05,4.252032e-05,4.184705e-05,4.120755e-05,4.060060e-05,4.002501e-05,3.947959e-05,3.896322e-05,3.847480e-05,3.801322e-05,3.757747e-05,3.716650e-05,3.677934e-05,3.641503e-05,3.607263e-05,3.575124e-05,3.544998e-05,3.516801e-05,3.490450e-05,3.465866e-05,3.442971e-05,3.421691e-05,3.401953e-05,3.383689e-05,3.366830e-05,3.351310e-05,3.337068e-05,3.324043e-05,3.312174e-05,3.301406e-05,3.291683e-05
0.000000e+00,1.643857e-08,3.215750e-07,3.371626e-07,2.380194e-06,8.644662e-06,9.032973e-06,2.196211e-05,3.751538e-05,3.853333e-05,5.500221e-05,6.875334e-05,6.987568e-05,8.291920e-05,9.316853e-05,9.422534e-05,1.039516e-04,1.113316e-04,1.122585e-04,1.192954e-04,1.244353e-04,1.251982e-04,1.300904e-04,1.335018e-04,1.340848e-04,1.372807e-04,1.393694e-04,1.397688e-04,1.416309e-04,1.427198e-04,1.429410e-04,1.437657e-04,1.441105e-04,1.441645e-04,1.441908e-04,1.439913e-04,1.438924e-04,1.433119e-04,1.427233e-04,1.424873e-04,1.414524e-04,1.405940e-04,1.402372e-04,1.388685e-04,1.378318e-04,1.373699e-04,1.357624e-04,1.346166e-04,1.340645e-04,1.322927e-04,1.310899e-04,1.304614e-04,1.285834e-04,1.273622e-04,1.266699e-04,1.247307e-04,1.235194e-04,1.227745e-04,1.208089e-04,1.196278e-04,1.188405e-04,1.168749e-04,1.157383e-04,1.149173e-04,1.129719e-04,1.118892e-04,1.110424e-04,1.091321e-04,1.081094e-04,1.072435e-04,1.053791e-04,1.044198e-04,1.035408e-04,1.017301e-04,1.008356e-04,9.994847e-05,9.819688e-05,9.736705e-05,9.647620e-05,9.478708e-05,9.402082e-05,9.312999e-05,9.150527e-05,9.080070e-05,8.991310e-05,8.835358e-05,8.770830e-05,8.682666e-05,8.533226e-05,8.474356e-05,8.387018e-05,8.244017e-05,8.190511e-05,8.104193e-05,7.967511e-05,7.919068e-05,7.833932e-05,7.703413e-05,7.659726e-05,7.575908e-05,7.451370e-05,7.412137e-05,7.329750e-05,7.210995e-05,7.175919e-05,7.095053e-05,6.981872e-05,6.950668e-05,6.871397e-05,6.763574e-05,6.735968e-05,6.658350e-05,6.555668e-05,6.531397e-05,6.455476e-05,6.357718e-05,6.336533e-05,6.262343e-05,6.169296e-05,6.150961e-05,6.078525e-05,5.989978e-05,5.974272e-05,5.903604e-05,5.819353e-05,5.806067e-05,5.737175e-05,5.657021e-05,5.645958e-05,5.578842e-05,5.502593e-05,5.493571e-05,5.428227e-05,5.355698e-05,5.348545e-05,5.284963e-05,5.215977e-05,5.210532e-05,5.148698e-05,5.083085e-05,5.079200e-05,5.019096e-05,4.956692e-05,4.954229e-05,4.895835e-05,4.836484e-05,4.835313e-05,4.778605e-05,4.722160e-05,4.614491e-05,4.512041e-05,4.414555e-05,4.321792e-05,4.233522e-05,4.149526e-05,4.069594e-05,3.993528e-05,3.921140e-05,3.852249e-05,3.786684e-05,3.724284e-05,3.664893e-05,3.608363e-05,3.554557e-05,3.503340e-05,3.454586e-05,3.408175e-05,3.363993e-05,3.321932e-05,3.281887e-05,3.243761e-05,3.207461e-05,3.172898e-05,3.139987e-05,3.108649e-05,3.078807e-05,3.050388e-05,3.023324e-05,2.997550e-05,2.973002e-05,2.949623e-05,2.927354e-05,2.906144e-05,2.885940e-05,2.866695e-05,2.848363e-05,2.830899e-05,2.814262e-05,2.798413e-05,2.783313e-05,2.768927e-05,2.755220e-05,2.742161e-05,2.729719e-05,2.717863e-05,2.706567e-05,2.695803e-05,2.685547e-05
0.000000e+00,4.600281e-09,5.726502e-08,5.970916e-08,3.561134e-07,1.246052e-06,1.302042e-06,3.254584e-06,5.866925e-06,6.048044e-06,9.140301e-06,1.195872e-05,1.219909e-05,1.512467e-05,1.762540e-05,1.789539e-05,2.050956e-05,2.268321e-05,2.297060e-05,2.528332e-05,2.715771e-05,2.745307e-05,2.948537e-05,3.109036e-05,3.138580e-05,3.315988e-05,3.452420e-05,3.481309e-05,3.635077e-05,3.750124e-05,3.777812e-05,3.910020e-05,4.006149e-05,4.032189e-05,4.144792e-05,4.224251e-05,4.248281e-05,4.343097e-05,4.407924e-05,4.429658e-05,4.508371e-05,4.560402e-05,4.579622e-05,4.643784e-05,4.684672e-05,4.701215e-05,4.752257e-05,4.783485e-05,4.797239e-05,4.836474e-05,4.859369e-05,4.870265e-05,4.898899e-05,4.914647e-05,4.922652e-05,4.941790e-05,4.951447e-05,4.956563e-05,4.967214e-05,4.971723e-05,4.973974e-05,4.977064e-05,4.977258e-05,4.976695e-05,4.973068e-05,4.969687e-05,4.966377e-05,4.956804e-05,4.950499e-05,4.944527e-05,4.929711e-05,4.921058e-05,4.912519e-05,4.893101e-05,4.882604e-05,4.871604e-05,4.848167e-05,4.836267e-05,4.822922e-05,4.795994e-05,4.783077e-05,4.767506e-05,4.737570e-05,4.723968e-05,4.706296e-05,4.673788e-05,4.659790e-05,4.640144e-05,4.605459e-05,4.591313e-05,4.569822e-05,4.533317e-05,4.519235e-05,4.496027e-05,4.458026e-05,4.444187e-05,4.419390e-05,4.380185e-05,4.366738e-05,4.340479e-05,4.300334e-05,4.287404e-05,4.259808e-05,4.218957e-05,4.206646e-05,4.177834e-05,4.136490e-05,4.124881e-05,4.094973e-05,4.053326e-05,4.042482e-05,4.011592e-05,3.969812e-05,3.959782e-05,3.928023e-05,3.886260e-05,3.877079e-05,3.844558e-05,3.802947e-05,3.794638e-05,3.761457e-05,3.720117e-05,3.712694e-05,3.678953e-05,3.637989e-05,3.631455e-05,3.597248e-05,3.556752e-05,3.551103e-05,3.516521e-05,3.476574e-05,3.471800e-05,3.436927e-05,3.397599e-05,3.393684e-05,3.358603e-05,3.319954e-05,3.316878e-05,3.281665e-05,3.243747e-05,3.241484e-05,3.206212e-05,3.169070e-05,3.167592e-05,3.132329e-05,3.095998e-05,3.095276e-05,3.060085e-05,3.024595e-05,2.955602e-05,2.888336e-05,2.822827e-05,2.759100e-05,2.697169e-05,2.637042e-05,2.578721e-05,2.522203e-05,2.467478e-05,2.414536e-05,2.363359e-05,2.313929e-05,2.266222e-05,2.220215e-05,2.175879e-05,2.133187e-05,2.092106e-05,2.052606e-05,2.014652e-05,1.978212e-05,1.943249e-05,1.909730e-05,1.877617e-05,1.846876e-05,1.817469e-05,1.789360e-05,1.762513e-05,1.736892e-05,1.712460e-05,1.689183e-05,1.667024e-05,1.645948e-05,1.625922e-05,1.606911e-05,1.588880e-05,1.571798e-05,1.555632e-05,1.540349e-05,1.525918e-05,1.512309e-05,1.499492e-05,1.487436e-05,1.476114e-05,1.465496e-05,1.455556e-05,1.446266e-05,1.437601e-05,1.429535e-05,1.422043e-05
0.000000e+00,2.686100e-08,5.073715e-07,5.306385e-07,3.441193e-06,1.262962e-05,1.322452e-05,3.513579e-05,6.835345e-05,7.083202e-05,1.161596e-04,1.605853e-04,1.644278e-04,2.111535e-04,2.504599e-04,2.546485e-04,2.945419e-04,3.267052e-04,3.308838e-04,3.638399e-04,3.896225e-04,3.936050e-04,4.203773e-04,4.406958e-04,4.443515e-04,4.657151e-04,4.814114e-04,4.846477e-04,5.013203e-04,5.131402e-04,5.158947e-04,5.285239e-04,5.371172e-04,5.393517e-04,5.485135e-04,5.544406e-04,5.561362e-04,5.623387e-04,5.660800e-04,5.672324e-04,5.709210e-04,5.728857e-04,5.735022e-04,5.750670e-04,5.756033e-04,5.757003e-04,5.754811e-04,5.748830e-04,5.744834e-04,5.727759e-04,5.712915e-04,5.704227e-04,5.674835e-04,5.653206e-04,5.640136e-04,5.600648e-04,5.573971e-04,5.556848e-04,5.509183e-04,5.478902e-04,5.458066e-04,5.403880e-04,5.371187e-04,5.346980e-04,5.287696e-04,5.253570e-04,5.226332e-04,5.163170e-04,5.128408e-04,5.098472e-04,5.032478e-04,4.997723e-04,4.965409e-04,4.897472e-04,4.863236e-04,4.828853e-04,4.759728e-04,4.726415e-04,4.690255e-04,4.620580e-04,4.588499e-04,4.550838e-04,4.481151e-04,4.450535e-04,4.411631e-04,4.342380e-04,4.313397e-04,4.273491e-04,4.205049e-04,4.177814e-04,4.137129e-04,4.069801e-04,4.044385e-04,4.003127e-04,3.937162e-04,3.913598e-04,3.871956e-04,3.807553e-04,3.785846e-04,3.743993e-04,3.681310e-04,3.661442e-04,3.619534e-04,3.558691e-04,3.540624e-04,3.498804e-04,3.439890e-04,3.423571e-04,3.381967e-04,3.325046e-04,3.310412e-04,3.269137e-04,3.214249e-04,3.201228e-04,3.160386e-04,3.107551e-04,3.096066e-04,3.055746e-04,3.004970e-04,2.994938e-04,2.955221e-04,2.906495e-04,2.897833e-04,2.858787e-04,2.812092e-04,2.804714e-04,2.766401e-04,2.721707e-04,2.715529e-04,2.678000e-04,2.635271e-04,2.630209e-04,2.593508e-04,2.552701e-04,2.548672e-04,2.512837e-04,2.473904e-04,2.470829e-04,2.435889e-04,2.398779e-04,2.396580e-04,2.362560e-04,2.327219e-04,2.325823e-04,2.292741e-04,2.259112e-04,2.258448e-04,2.226319e-04,2.194345e-04,2.133401e-04,2.075502e-04,2.020533e-04,1.968383e-04,1.918939e-04,1.872090e-04,1.827730e-04,1.785751e-04,1.746052e-04,1.708531e-04,1.673091e-04,1.639638e-04,1.608081e-04,1.578332e-04,1.550305e-04,1.523919e-04,1.499096e-04,1.475759e-04,1.453836e-04,1.433258e-04,1.413958e-04,1.395871e-04,1.378937e-04,1.363098e-04,1.348297e-04,1.334481e-04,1.321598e-04,1.309601e-04,1.298442e-04,1.288078e-04,1.278466e-04,1.269565e-04,1.261337e-04,1.253746e-04,1.246756e-04,1.240335e-04,1.234451e-04,1.229073e-04,1.224174e-04,1.219725e-04,1.215701e-04,1.212078e-04,1.208831e-04,1.205939e-04,1.203380e-04,1.201135e-04,1.199183e-04,1.197508e-04,1.196092e-04
0.000000e+00,9.366955e-09,3.985864e-07,4.229917e-07,5.018412e-06,2.715705e-05,2.881136e-05,9.998964e-05,2.314745e-04,2.421568e-04,4.578709e-04,7.090526e-04,7.327327e-04,1.045608e-03,1.342214e-03,1.375416e-03,1.704347e-03,1.982258e-03,2.018902e-03,2.309798e-03,2.536648e-03,2.571374e-03,2.800840e-03,2.968250e-03,2.997541e-03,3.162323e-03,3.274890e-03,3.297017e-03,3.404038e-03,3.471543e-03,3.486090e-03,3.545963e-03,3.579028e-03,3.586387e-03,3.609941e-03,3.618032e-03,3.619005e-03,3.615730e-03,3.606498e-03,3.602032e-03,3.579602e-03,3.558880e-03,3.549912e-03,3.514239e-03,3.486300e-03,3.473678e-03,3.429169e-03,3.397061e-03,3.381511e-03,3.331383e-03,3.297228e-03,3.279358e-03,3.225921e-03,3.191170e-03,3.171478e-03,3.116371e-03,3.081999e-03,3.060887e-03,3.005266e-03,2.971913e-03,2.949708e-03,2.894380e-03,2.862450e-03,2.839419e-03,2.784942e-03,2.754681e-03,2.731041e-03,2.677796e-03,2.649339e-03,2.625270e-03,2.573513e-03,2.546919e-03,2.522569e-03,2.472468e-03,2.447742e-03,2.423236e-03,2.374893e-03,2.352009e-03,2.327453e-03,2.280924e-03,2.259828e-03,2.235312e-03,2.190621e-03,2.171248e-03,2.146849e-03,2.103994e-03,2.086267e-03,2.062051e-03,2.021015e-03,2.004852e-03,1.980876e-03,1.941627e-03,1.926944e-03,1.903258e-03,1.865757e-03,1.852467e-03,1.829114e-03,1.793315e-03,1.781334e-03,1.758350e-03,1.724205e-03,1.713449e-03,1.690866e-03,1.658320e-03,1.648709e-03,1.626554e-03,1.595554e-03,1.587009e-03,1.565306e-03,1.535796e-03,1.528243e-03,1.507011e-03,1.478936e-03,1.472303e-03,1.451559e-03,1.424864e-03,1.419082e-03,1.398839e-03,1.373471e-03,1.368475e-03,1.348745e-03,1.324649e-03,1.320378e-03,1.301170e-03,1.278295e-03,1.274690e-03,1.256011e-03,1.234305e-03,1.231312e-03,1.213166e-03,1.192582e-03,1.190148e-03,1.172539e-03,1.153027e-03,1.151104e-03,1.134034e-03,1.115548e-03,1.114091e-03,1.097559e-03,1.080056e-03,1.079021e-03,1.063027e-03,1.046462e-03,1.045809e-03,1.030351e-03,1.014684e-03,1.014375e-03,9.994502e-04,9.846403e-04,9.565299e-04,9.299712e-04,9.048948e-04,8.812340e-04,8.589245e-04,8.379050e-04,8.181163e-04,7.995019e-04,7.820074e-04,7.655809e-04,7.501725e-04,7.357344e-04,7.222208e-04,7.095878e-04,6.977934e-04,6.867973e-04,6.765608e-04,6.670472e-04,6.582209e-04,6.500481e-04,6.424963e-04,6.355344e-04,6.291325e-04,6.232623e-04,6.178962e-04,6.130083e-04,6.085734e-04,6.045676e-04,6.009678e-04,5.977522e-04,5.948995e-04,5.923897e-04,5.902035e-04,5.883225e-04,5.867288e-04,5.854058e-04,5.843371e-04,5.835073e-04,5.829016e-04,5.825060e-04,5.823067e-04,5.822911e-04,5.824467e-04,5.827617e-04,5.832250e-04,5.838257e-04,5.845537e-04,5.853991e-04,5.863528e-04
0.000000e+00,1.816983e-08,3.117710e-07,3.263082e-07,2.291439e-06,9.038479e-06,9.482534e-06,2.535093e-05,4.613776e-05,4.753944e-05,7.079140e-05,9.106292e-05,9.275593e-05,1.129259e-04,1.295215e-04,1.312769e-04,1.478914e-04,1.611585e-04,1.628737e-04,1.763299e-04,1.867602e-04,1.883629e-04,1.990715e-04,2.071124e-04,2.085501e-04,2.168881e-04,2.229342e-04,2.241708e-04,2.304780e-04,2.348722e-04,2.358851e-04,2.404629e-04,2.435006e-04,2.442775e-04,2.473911e-04,2.493242e-04,2.498613e-04,2.517416e-04,2.527825e-04,2.530815e-04,2.539271e-04,2.542543e-04,2.543218e-04,2.543057e-04,2.540702e-04,2.539163e-04,2.531884e-04,2.525168e-04,2.521545e-04,2.508447e-04,2.498427e-04,2.492869e-04,2.475069e-04,2.462628e-04,2.455298e-04,2.433784e-04,2.419656e-04,2.410723e-04,2.386302e-04,2.371067e-04,2.360689e-04,2.334040e-04,2.318167e-04,2.306500e-04,2.278201e-04,2.262067e-04,2.249264e-04,2.219799e-04,2.203706e-04,2.189911e-04,2.159691e-04,2.143874e-04,2.129225e-04,2.098592e-04,2.083235e-04,2.067863e-04,2.037102e-04,2.022343e-04,2.006369e-04,1.975716e-04,1.961657e-04,1.945194e-04,1.914844e-04,1.901555e-04,1.884707e-04,1.854817e-04,1.842346e-04,1.825208e-04,1.795905e-04,1.784277e-04,1.766936e-04,1.738323e-04,1.727547e-04,1.710084e-04,1.682237e-04,1.672312e-04,1.654798e-04,1.627777e-04,1.618688e-04,1.601187e-04,1.575036e-04,1.566762e-04,1.549332e-04,1.524081e-04,1.516595e-04,1.499287e-04,1.474954e-04,1.468223e-04,1.451083e-04,1.427676e-04,1.421667e-04,1.404734e-04,1.382255e-04,1.376929e-04,1.360239e-04,1.338682e-04,1.334002e-04,1.317584e-04,1.296939e-04,1.292864e-04,1.276744e-04,1.256996e-04,1.253488e-04,1.237689e-04,1.218818e-04,1.215839e-04,1.200379e-04,1.182365e-04,1.179876e-04,1.164770e-04,1.147589e-04,1.145555e-04,1.130815e-04,1.114442e-04,1.112827e-04,1.098463e-04,1.082872e-04,1.081641e-04,1.067662e-04,1.052825e-04,1.051947e-04,1.038356e-04,1.024247e-04,1.023690e-04,1.010492e-04,9.970831e-05,9.968185e-05,9.840140e-05,9.712777e-05,9.470151e-05,9.239782e-05,9.021155e-05,8.813764e-05,8.617117e-05,8.430734e-05,8.254150e-05,8.086915e-05,7.928594e-05,7.778766e-05,7.637028e-05,7.502992e-05,7.376283e-05,7.256545e-05,7.143433e-05,7.036621e-05,6.935793e-05,6.840649e-05,6.750904e-05,6.666284e-05,6.586527e-05,6.511384e-05,6.440619e-05,6.374005e-05,6.311327e-05,6.252380e-05,6.196970e-05,6.144911e-05,6.096026e-05,6.050149e-05,6.007118e-05,5.966784e-05,5.929002e-05,5.893635e-05,5.860554e-05,5.829635e-05,5.800762e-05,5.773822e-05,5.748710e-05,5.725327e-05,5.703577e-05,5.683370e-05,5.664620e-05,5.647246e-05,5.631171e-05,5.616323e-05,5.602631e-05,5.590031e-05,5.578459e-05
0.000000e+00,3.870505e-08,1.666841e-06,1.769736e-06,2.203899e-05,1.285199e-04,1.367910e-04,5.127082e-04,1.270529e-03,1.335012e-03,2.722007e-03,4.534127e-03,4.715918e-03,7.302403e-03,1.009490e-02,1.043004e-02,1.402535e-02,1.750904e-02,1.800376e-02,2.227726e-02,2.612264e-02,2.675966e-02,3.137003e-02,3.528756e-02,3.603479e-02,4.068882e-02,4.445738e-02,4.527587e-02,4.974852e-02,5.321781e-02,5.406779e-02,5.820251e-02,6.128379e-02,6.212865e-02,6.582851e-02,6.848142e-02,6.928996e-02,7.250564e-02,7.472495e-02,7.547227e-02,7.819001e-02,7.999420e-02,8.066176e-02,8.289273e-02,8.431481e-02,8.488988e-02,8.666156e-02,8.774225e-02,8.821712e-02,8.956660e-02,9.034947e-02,9.072053e-02,9.168965e-02,9.221789e-02,9.248477e-02,9.311664e-02,9.343107e-02,9.359584e-02,9.393268e-02,9.407060e-02,9.413712e-02,9.421876e-02,9.421349e-02,9.418680e-02,9.405000e-02,9.393072e-02,9.381668e-02,9.349473e-02,9.328666e-02,9.309159e-02,9.261427e-02,9.233895e-02,9.206936e-02,9.146307e-02,9.113872e-02,9.080117e-02,9.008912e-02,8.973101e-02,8.933196e-02,8.853445e-02,8.815527e-02,8.770100e-02,8.683573e-02,8.644592e-02,8.594246e-02,8.502476e-02,8.463285e-02,8.408595e-02,8.312911e-02,8.274197e-02,8.215708e-02,8.117254e-02,8.079564e-02,8.017792e-02,7.917550e-02,7.881314e-02,7.816740e-02,7.715556e-02,7.681101e-02,7.614178e-02,7.512772e-02,7.480342e-02,7.411492e-02,7.310477e-02,7.280244e-02,7.209858e-02,7.109753e-02,7.081832e-02,7.010274e-02,6.911519e-02,6.885973e-02,6.813581e-02,6.716543e-02,6.693397e-02,6.620483e-02,6.525469e-02,6.504713e-02,6.431566e-02,6.338829e-02,6.320426e-02,6.247311e-02,6.157058e-02,6.140950e-02,6.068112e-02,5.980509e-02,5.966619e-02,5.894283e-02,5.809463e-02,5.797702e-02,5.726074e-02,5.644138e-02,5.634404e-02,5.563674e-02,5.484698e-02,5.476883e-02,5.407223e-02,5.331258e-02,5.325247e-02,5.256814e-02,5.183896e-02,5.179570e-02,5.112509e-02,5.042654e-02,5.039891e-02,4.974332e-02,4.907543e-02,4.906223e-02,4.842284e-02,4.778551e-02,4.656838e-02,4.541029e-02,4.431051e-02,4.326818e-02,4.228230e-02,4.135179e-02,4.047545e-02,3.965201e-02,3.888011e-02,3.815832e-02,3.748516e-02,3.685911e-02,3.627859e-02,3.574200e-02,3.524769e-02,3.479401e-02,3.437928e-02,3.400180e-02,3.365986e-02,3.335175e-02,3.307578e-02,3.283023e-02,3.261341e-02,3.242365e-02,3.225930e-02,3.211872e-02,3.200031e-02,3.190249e-02,3.182374e-02,3.176255e-02,3.171748e-02,3.168713e-02,3.167013e-02,3.166518e-02,3.167103e-02,3.168648e-02,3.171040e-02,3.174170e-02,3.177937e-02,3.182244e-02,3.187000e-02,3.192122e-02,3.197531e-02,3.203155e-02,3.208926e-02,3.214784e-02,3.220673e-02,3.226542e-02,3.232346e-02
0.000000e+00,4.118677e-10,6.312890e-09,6.607368e-09,4.439627e-08,1.543345e-07,1.608221e-07,3.561933e-07,5.602435e-07,5.731531e-07,7.817614e-07,9.606166e-07,9.755444e-07,1.153788e-06,1.301346e-06,1.317015e-06,1.466011e-06,1.586006e-06,1.601594e-06,1.724562e-06,1.820813e-06,1.835684e-06,1.935698e-06,2.011645e-06,2.025313e-06,2.105212e-06,2.163937e-06,2.176046e-06,2.238437e-06,2.282668e-06,2.292975e-06,2.340223e-06,2.372357e-06,2.380710e-06,2.414935e-06,2.437049e-06,2.443369e-06,2.466451e-06,2.480332e-06,2.484597e-06,2.498192e-06,2.505368e-06,2.507600e-06,2.513158e-06,2.514929e-06,2.515183e-06,2.513971e-06,2.511438e-06,2.509795e-06,2.502914e-06,2.497006e-06,2.493565e-06,2.481972e-06,2.473471e-06,2.468342e-06,2.452867e-06,2.442425e-06,2.435727e-06,2.417088e-06,2.405250e-06,2.397105e-06,2.375922e-06,2.363139e-06,2.353672e-06,2.330478e-06,2.317121e-06,2.306456e-06,2.281710e-06,2.268082e-06,2.256340e-06,2.230435e-06,2.216782e-06,2.204081e-06,2.177354e-06,2.163873e-06,2.150325e-06,2.123061e-06,2.109908e-06,2.095622e-06,2.068064e-06,2.055362e-06,2.040438e-06,2.012791e-06,2.000631e-06,1.985166e-06,1.957603e-06,1.946054e-06,1.930137e-06,1.902802e-06,1.891911e-06,1.875626e-06,1.848638e-06,1.838436e-06,1.821861e-06,1.795318e-06,1.785823e-06,1.769028e-06,1.743010e-06,1.734229e-06,1.717280e-06,1.691851e-06,1.683780e-06,1.666737e-06,1.641948e-06,1.634576e-06,1.617494e-06,1.593384e-06,1.586695e-06,1.569624e-06,1.546221e-06,1.540195e-06,1.523179e-06,1.500503e-06,1.495116e-06,1.478196e-06,1.456261e-06,1.451485e-06,1.434698e-06,1.413510e-06,1.409317e-06,1.392696e-06,1.372256e-06,1.368616e-06,1.352189e-06,1.332495e-06,1.329378e-06,1.313172e-06,1.294217e-06,1.291592e-06,1.275628e-06,1.257403e-06,1.255240e-06,1.239538e-06,1.222031e-06,1.220300e-06,1.204877e-06,1.188074e-06,1.186744e-06,1.171616e-06,1.155501e-06,1.154544e-06,1.139723e-06,1.124278e-06,1.123667e-06,1.109163e-06,1.094372e-06,1.094079e-06,1.079900e-06,1.065744e-06,1.038624e-06,1.012683e-06,9.878823e-07,9.641839e-07,9.415496e-07,9.199419e-07,8.993234e-07,8.796573e-07,8.609079e-07,8.430396e-07,8.260180e-07,8.098095e-07,7.943812e-07,7.797015e-07,7.657394e-07,7.524651e-07,7.398497e-07,7.278653e-07,7.164849e-07,7.056825e-07,6.954329e-07,6.857119e-07,6.764963e-07,6.677637e-07,6.594926e-07,6.516622e-07,6.442525e-07,6.372446e-07,6.306200e-07,6.243610e-07,6.184509e-07,6.128734e-07,6.076128e-07,6.026544e-07,5.979838e-07,5.935872e-07,5.894517e-07,5.855646e-07,5.819138e-07,5.784879e-07,5.752758e-07,5.722669e-07,5.694511e-07,5.668188e-07,5.643607e-07,5.620680e-07,5.599321e-07,5.579451e-07,5.560990e-07
0.000000e+00,1.745618e-08,5.792327e-07,6.114351e-07,5.918106e-06,2.987389e-05,3.167166e-05,1.125613e-04,2.788259e-04,2.931408e-04,6.021093e-04,9.982767e-04,1.037213e-03,1.572603e-03,2.110945e-03,2.172858e-03,2.802898e-03,3.358124e-03,3.432898e-03,4.039909e-03,4.531043e-03,4.607738e-03,5.126019e-03,5.518801e-03,5.589048e-03,5.994644e-03,6.284569e-03,6.343167e-03,6.636723e-03,6.834136e-03,6.878540e-03,7.072503e-03,7.193271e-03,7.222811e-03,7.333734e-03,7.394275e-03,7.409454e-03,7.453962e-03,7.469008e-03,7.470989e-03,7.463976e-03,7.445815e-03,7.436062e-03,7.390087e-03,7.348535e-03,7.328602e-03,7.253886e-03,7.196566e-03,7.167967e-03,7.072643e-03,7.005356e-03,6.969503e-03,6.859947e-03,6.787040e-03,6.745209e-03,6.626369e-03,6.551050e-03,6.504377e-03,6.380061e-03,6.304661e-03,6.254145e-03,6.127259e-03,6.053440e-03,5.999952e-03,5.872699e-03,5.801617e-03,5.745912e-03,5.619945e-03,5.552373e-03,5.495103e-03,5.371646e-03,5.308071e-03,5.249797e-03,5.129742e-03,5.070437e-03,5.011638e-03,4.895617e-03,4.840699e-03,4.781786e-03,4.670230e-03,4.619698e-03,4.561018e-03,4.454202e-03,4.407973e-03,4.349821e-03,4.247901e-03,4.205832e-03,4.148456e-03,4.051494e-03,4.013404e-03,3.957011e-03,3.864998e-03,3.830678e-03,3.775440e-03,3.688315e-03,3.657541e-03,3.603598e-03,3.521260e-03,3.493800e-03,3.441266e-03,3.363583e-03,3.339206e-03,3.288171e-03,3.214991e-03,3.193466e-03,3.144001e-03,3.075158e-03,3.056261e-03,3.008419e-03,2.943739e-03,2.927254e-03,2.881072e-03,2.820374e-03,2.806094e-03,2.761598e-03,2.704700e-03,2.692430e-03,2.649633e-03,2.596353e-03,2.585908e-03,2.544815e-03,2.494973e-03,2.486179e-03,2.446785e-03,2.400207e-03,2.392901e-03,2.355196e-03,2.311711e-03,2.305742e-03,2.269709e-03,2.229150e-03,2.224377e-03,2.189994e-03,2.152202e-03,2.148496e-03,2.115735e-03,2.080557e-03,2.077797e-03,2.046629e-03,2.013917e-03,2.011992e-03,1.982385e-03,1.951999e-03,1.950807e-03,1.922725e-03,1.894531e-03,1.893978e-03,1.867384e-03,1.841254e-03,1.792397e-03,1.747180e-03,1.705387e-03,1.666814e-03,1.631266e-03,1.598561e-03,1.568524e-03,1.540990e-03,1.515805e-03,1.492819e-03,1.471894e-03,1.452898e-03,1.435706e-03,1.420202e-03,1.406272e-03,1.393813e-03,1.382725e-03,1.372915e-03,1.364294e-03,1.356778e-03,1.350288e-03,1.344751e-03,1.340096e-03,1.336256e-03,1.333171e-03,1.330779e-03,1.329027e-03,1.327862e-03,1.327235e-03,1.327100e-03,1.327413e-03,1.328134e-03,1.329224e-03,1.330646e-03,1.332368e-03,1.334358e-03,1.336586e-03,1.339024e-03,1.341647e-03,1.344430e-03,1.347351e-03,1.350389e-03,1.353524e-03,1.356739e-03,1.360017e-03,1.363342e-03,1.366700e-03,1.370078e-03,1.373463e-03
0.000000e+00,9.510649e-06,3.873550e-04,4.107440e-04,4.882472e-03,2.834410e-02,3.018882e-02,1.173521e-01,3.068643e-01,3.236016e-01,6.997059e-01,1.224803e+00,1.279126e+00,2.078501e+00,2.988790e+00,3.100935e+00,4.339300e+00,5.596264e+00,5.779054e+00,7.400533e+00,8.922911e+00,9.180793e+00,1.109505e+01,1.278793e+01,1.311782e+01,1.522377e+01,1.699548e+01,1.738837e+01,1.958838e+01,2.135927e+01,2.180215e+01,2.400983e+01,2.571601e+01,2.619352e+01,2.833730e+01,2.993121e+01,3.042720e+01,3.245119e+01,3.390045e+01,3.439908e+01,3.626239e+01,3.754771e+01,3.803429e+01,3.970942e+01,4.082225e+01,4.128379e+01,4.275464e+01,4.369480e+01,4.412030e+01,4.538010e+01,4.615363e+01,4.653420e+01,4.758354e+01,4.820082e+01,4.852966e+01,4.937468e+01,4.984893e+01,5.012117e+01,5.077207e+01,5.111806e+01,5.133063e+01,5.180034e+01,5.203350e+01,5.218487e+01,5.248804e+01,5.262371e+01,5.271372e+01,5.286586e+01,5.291883e+01,5.294841e+01,5.296530e+01,5.294943e+01,5.292043e+01,5.281762e+01,5.274567e+01,5.266064e+01,5.245314e+01,5.233665e+01,5.219868e+01,5.190070e+01,5.174993e+01,5.156251e+01,5.118732e+01,5.101130e+01,5.077818e+01,5.033804e+01,5.014461e+01,4.986969e+01,4.937581e+01,4.917168e+01,4.885893e+01,4.832147e+01,4.811232e+01,4.776571e+01,4.719381e+01,4.698437e+01,4.660782e+01,4.600965e+01,4.580382e+01,4.540112e+01,4.478393e+01,4.458486e+01,4.415967e+01,4.352986e+01,4.334004e+01,4.289589e+01,4.225906e+01,4.208040e+01,4.162060e+01,4.098164e+01,4.081556e+01,4.034325e+01,3.970640e+01,3.955389e+01,3.907200e+01,3.844090e+01,3.830257e+01,3.781386e+01,3.719161e+01,3.706779e+01,3.657479e+01,3.596402e+01,3.585477e+01,3.535984e+01,3.476276e+01,3.466791e+01,3.417322e+01,3.359164e+01,3.351088e+01,3.301840e+01,3.245383e+01,3.238667e+01,3.189822e+01,3.135183e+01,3.129771e+01,3.081491e+01,3.028766e+01,3.024590e+01,2.977024e+01,2.926281e+01,2.923268e+01,2.876550e+01,2.827840e+01,2.825913e+01,2.780160e+01,2.733516e+01,2.732594e+01,2.687913e+01,2.643353e+01,2.558204e+01,2.477139e+01,2.400130e+01,2.327131e+01,2.258083e+01,2.192914e+01,2.131540e+01,2.073869e+01,2.019803e+01,1.969236e+01,1.922057e+01,1.878150e+01,1.837398e+01,1.799680e+01,1.764873e+01,1.732854e+01,1.703497e+01,1.676678e+01,1.652272e+01,1.630157e+01,1.610209e+01,1.592306e+01,1.576331e+01,1.562164e+01,1.549692e+01,1.538800e+01,1.529381e+01,1.521326e+01,1.514532e+01,1.508899e+01,1.504330e+01,1.500732e+01,1.498015e+01,1.496095e+01,1.494888e+01,1.494319e+01,1.494312e+01,1.494798e+01,1.495712e+01,1.496992e+01,1.498580e+01,1.500422e+01,1.502469e+01,1.504675e+01,1.506996e+01,1.509395e+01,1.511835e+01,1.514285e+01,1.516716e+01
0.000000e+00,7.399516e-09,1.112311e-07,1.162609e-07,7.529820e-07,2.702177e-06,2.824339e-06,7.015210e-06,1.241026e-05,1.277541e-05,1.883089e-05,2.405940e-05,2.449266e-05,2.960744e-05,3.374540e-05,3.417909e-05,3.824374e-05,4.143371e-05,4.184225e-05,4.501421e-05,4.742935e-05,4.779678e-05,5.022442e-05,5.201276e-05,5.232903e-05,5.413991e-05,5.542462e-05,5.568400e-05,5.698599e-05,5.786852e-05,5.806847e-05,5.895212e-05,5.951561e-05,5.965593e-05,6.019734e-05,6.050997e-05,6.059214e-05,6.085477e-05,6.097181e-05,6.099840e-05,6.103509e-05,6.100150e-05,6.097583e-05,6.083062e-05,6.068277e-05,6.060861e-05,6.031808e-05,6.008527e-05,5.996660e-05,5.956106e-05,5.926686e-05,5.910773e-05,5.861230e-05,5.827554e-05,5.807995e-05,5.751538e-05,5.715107e-05,5.692288e-05,5.630631e-05,5.592630e-05,5.566920e-05,5.501474e-05,5.462835e-05,5.434581e-05,5.366503e-05,5.327952e-05,5.297477e-05,5.227717e-05,5.189809e-05,5.157414e-05,5.086744e-05,5.049903e-05,5.015862e-05,4.944911e-05,4.909448e-05,4.874015e-05,4.803289e-05,4.769431e-05,4.732835e-05,4.662742e-05,4.630643e-05,4.593092e-05,4.523956e-05,4.493715e-05,4.455398e-05,4.387473e-05,4.359146e-05,4.320232e-05,4.253718e-05,4.227324e-05,4.187967e-05,4.123013e-05,4.098545e-05,4.058883e-05,3.995601e-05,3.973031e-05,3.933187e-05,3.871658e-05,3.850941e-05,3.811026e-05,3.751303e-05,3.732384e-05,3.692495e-05,3.634610e-05,3.617425e-05,3.577651e-05,3.521618e-05,3.506095e-05,3.466513e-05,3.412335e-05,3.398400e-05,3.359079e-05,3.306743e-05,3.294319e-05,3.255321e-05,3.204808e-05,3.193816e-05,3.155196e-05,3.106477e-05,3.096840e-05,3.058645e-05,3.011689e-05,3.003329e-05,2.965600e-05,2.920370e-05,2.913212e-05,2.875986e-05,2.832440e-05,2.826409e-05,2.789719e-05,2.747814e-05,2.742839e-05,2.706712e-05,2.666403e-05,2.662416e-05,2.626875e-05,2.588117e-05,2.585049e-05,2.550116e-05,2.512861e-05,2.510650e-05,2.476341e-05,2.440544e-05,2.439127e-05,2.405457e-05,2.371070e-05,2.370390e-05,2.337371e-05,2.304348e-05,2.240913e-05,2.179997e-05,2.121514e-05,2.065379e-05,2.011510e-05,1.959826e-05,1.910250e-05,1.862704e-05,1.817116e-05,1.773414e-05,1.731528e-05,1.691391e-05,1.652938e-05,1.616106e-05,1.580834e-05,1.547064e-05,1.514740e-05,1.483805e-05,1.454208e-05,1.425897e-05,1.398824e-05,1.372941e-05,1.348202e-05,1.324563e-05,1.301982e-05,1.280418e-05,1.259831e-05,1.240183e-05,1.221439e-05,1.203562e-05,1.186519e-05,1.170276e-05,1.154803e-05,1.140069e-05,1.126045e-05,1.112703e-05,1.100015e-05,1.087955e-05,1.076499e-05,1.065622e-05,1.055301e-05,1.045514e-05,1.036238e-05,1.027453e-05,1.019139e-05,1.011278e-05,1.003849e-05,9.968360e-06,9.902213e-06
0.000000e+00,5.310088e-09,6.740677e-08,7.030930e-08,4.266450e-07,1.498135e-06,1.564905e-06,3.814585e-06,6.585229e-06,6.769511e-06,9.819581e-06,1.249140e-05,1.271560e-05,1.540200e-05,1.763686e-05,1.787472e-05,2.014199e-05,2.197594e-05,2.221479e-05,2.410460e-05,2.559213e-05,2.582275e-05,2.738019e-05,2.857193e-05,2.878741e-05,3.005444e-05,3.099547e-05,3.119078e-05,3.220540e-05,3.293519e-05,3.310680e-05,3.390295e-05,3.445573e-05,3.460136e-05,3.520906e-05,3.561433e-05,3.573267e-05,3.617835e-05,3.646140e-05,3.655189e-05,3.685871e-05,3.704116e-05,3.710386e-05,3.729207e-05,3.739232e-05,3.742776e-05,3.751505e-05,3.754873e-05,3.755778e-05,3.755955e-05,3.753992e-05,3.752371e-05,3.745337e-05,3.739161e-05,3.735146e-05,3.722067e-05,3.712620e-05,3.706354e-05,3.688241e-05,3.676313e-05,3.667947e-05,3.645677e-05,3.631930e-05,3.621620e-05,3.595952e-05,3.580936e-05,3.568837e-05,3.540427e-05,3.524597e-05,3.510863e-05,3.480276e-05,3.464008e-05,3.448789e-05,3.416513e-05,3.400113e-05,3.383555e-05,3.350009e-05,3.333725e-05,3.315967e-05,3.281510e-05,3.265543e-05,3.246716e-05,3.211656e-05,3.196162e-05,3.176394e-05,3.140991e-05,3.126093e-05,3.105503e-05,3.069979e-05,3.055771e-05,3.034468e-05,2.999013e-05,2.985563e-05,2.963653e-05,2.928424e-05,2.915780e-05,2.893359e-05,2.858489e-05,2.846683e-05,2.823841e-05,2.789441e-05,2.778489e-05,2.755310e-05,2.721470e-05,2.711377e-05,2.687939e-05,2.654733e-05,2.645496e-05,2.621868e-05,2.589357e-05,2.580963e-05,2.557211e-05,2.525442e-05,2.517874e-05,2.494058e-05,2.463067e-05,2.456302e-05,2.432476e-05,2.402290e-05,2.396303e-05,2.372516e-05,2.343156e-05,2.337916e-05,2.314214e-05,2.285692e-05,2.281168e-05,2.257593e-05,2.229916e-05,2.226075e-05,2.202663e-05,2.175833e-05,2.172642e-05,2.149427e-05,2.123442e-05,2.120867e-05,2.097878e-05,2.072733e-05,2.070740e-05,2.048005e-05,2.023692e-05,2.022246e-05,1.999789e-05,1.976296e-05,1.975365e-05,1.953208e-05,1.930522e-05,1.930072e-05,1.908234e-05,1.886341e-05,1.844140e-05,1.803438e-05,1.764201e-05,1.726394e-05,1.689981e-05,1.654924e-05,1.621187e-05,1.588732e-05,1.557523e-05,1.527521e-05,1.498691e-05,1.470996e-05,1.444399e-05,1.418867e-05,1.394364e-05,1.370856e-05,1.348310e-05,1.326694e-05,1.305976e-05,1.286125e-05,1.267111e-05,1.248905e-05,1.231479e-05,1.214804e-05,1.198854e-05,1.183603e-05,1.169025e-05,1.155096e-05,1.141793e-05,1.129092e-05,1.116971e-05,1.105408e-05,1.094383e-05,1.083875e-05,1.073865e-05,1.064334e-05,1.055263e-05,1.046635e-05,1.038433e-05,1.030640e-05,1.023240e-05,1.016218e-05,1.009559e-05,1.003248e-05,9.972717e-06,9.916166e-06,9.862697e-06,9.812184e-06,9.764507e-06
0.000000e+00,8.403697e-09,1.551857e-07,1.626691e-07,1.164112e-06,4.365607e-06,4.568406e-06,1.155705e-05,2.047895e-05,2.107671e-05,3.087062e-05,3.915251e-05,3.983154e-05,4.775951e-05,5.404560e-05,5.469721e-05,6.073144e-05,6.536516e-05,6.595139e-05,7.044048e-05,7.377488e-05,7.427494e-05,7.752382e-05,7.984585e-05,8.024908e-05,8.250651e-05,8.404404e-05,8.434656e-05,8.581489e-05,8.674966e-05,8.695257e-05,8.779651e-05,8.827231e-05,8.837986e-05,8.873237e-05,8.886243e-05,8.888075e-05,8.884895e-05,8.872212e-05,8.865842e-05,8.832838e-05,8.801411e-05,8.787606e-05,8.731685e-05,8.686926e-05,8.666456e-05,8.593151e-05,8.539258e-05,8.512872e-05,8.426604e-05,8.366818e-05,8.335228e-05,8.239527e-05,8.176337e-05,8.140204e-05,8.037880e-05,7.973180e-05,7.933114e-05,7.826399e-05,7.761620e-05,7.718176e-05,7.608834e-05,7.545042e-05,7.498722e-05,7.388146e-05,7.326123e-05,7.277377e-05,7.166656e-05,7.106962e-05,7.056194e-05,6.946178e-05,6.889200e-05,6.836770e-05,6.728112e-05,6.674105e-05,6.620331e-05,6.513534e-05,6.462649e-05,6.407814e-05,6.303253e-05,6.255563e-05,6.199918e-05,6.097869e-05,6.053388e-05,5.997155e-05,5.897816e-05,5.856512e-05,5.799886e-05,5.703393e-05,5.665202e-05,5.608356e-05,5.514792e-05,5.479626e-05,5.422711e-05,5.332122e-05,5.299876e-05,5.243027e-05,5.155427e-05,5.125983e-05,5.069319e-05,4.984698e-05,4.957932e-05,4.901556e-05,4.819885e-05,4.795668e-05,4.739673e-05,4.660907e-05,4.639111e-05,4.583576e-05,4.507662e-05,4.488155e-05,4.433151e-05,4.360026e-05,4.342681e-05,4.288271e-05,4.217866e-05,4.202556e-05,4.148794e-05,4.081037e-05,4.067641e-05,4.014574e-05,3.949388e-05,3.937788e-05,3.885458e-05,3.822765e-05,3.812848e-05,3.761290e-05,3.701013e-05,3.692669e-05,3.641914e-05,3.583975e-05,3.577099e-05,3.527174e-05,3.471494e-05,3.465987e-05,3.416914e-05,3.363417e-05,3.359183e-05,3.310982e-05,3.259592e-05,3.256541e-05,3.209227e-05,3.159869e-05,3.157916e-05,3.111501e-05,3.064104e-05,3.063166e-05,3.017661e-05,2.972154e-05,2.884746e-05,2.800812e-05,2.720224e-05,2.642861e-05,2.568603e-05,2.497336e-05,2.428948e-05,2.363333e-05,2.300386e-05,2.240007e-05,2.182100e-05,2.126572e-05,2.073332e-05,2.022295e-05,1.973377e-05,1.926497e-05,1.881578e-05,1.838545e-05,1.797327e-05,1.757854e-05,1.720059e-05,1.683878e-05,1.649250e-05,1.616115e-05,1.584415e-05,1.554096e-05,1.525103e-05,1.497387e-05,1.470898e-05,1.445588e-05,1.421412e-05,1.398326e-05,1.376287e-05,1.355256e-05,1.335192e-05,1.316058e-05,1.297818e-05,1.280438e-05,1.263882e-05,1.248120e-05,1.233120e-05,1.218851e-05,1.205286e-05,1.192396e-05,1.180155e-05,1.168537e-05,1.157517e-05,1.147071e-05,1.137177e-05
0.000000e+00,1.836587e-08,5.289734e-07,5.577937e-07,5.277092e-06,2.580758e-05,2.730330e-05,9.005442e-05,2.002019e-04,2.088061e-04,3.711578e-04,5.362625e-04,5.507424e-04,7.286891e-04,8.802906e-04,8.965147e-04,1.051520e-03,1.177022e-03,1.193359e-03,1.322497e-03,1.423928e-03,1.439632e-03,1.545515e-03,1.626298e-03,1.640879e-03,1.726429e-03,1.789726e-03,1.802832e-03,1.870721e-03,1.919302e-03,1.930689e-03,1.983298e-03,2.019564e-03,2.029074e-03,2.068512e-03,2.094532e-03,2.102075e-03,2.130198e-03,2.147748e-03,2.153289e-03,2.171729e-03,2.182327e-03,2.185874e-03,2.196059e-03,2.201000e-03,2.202596e-03,2.205775e-03,2.206160e-03,2.205871e-03,2.203139e-03,2.199903e-03,2.197817e-03,2.190126e-03,2.184058e-03,2.180275e-03,2.168455e-03,2.160218e-03,2.154848e-03,2.139620e-03,2.129771e-03,2.122928e-03,2.104919e-03,2.093923e-03,2.085727e-03,2.065478e-03,2.053722e-03,2.044290e-03,2.022272e-03,2.010072e-03,1.999524e-03,1.976141e-03,1.963759e-03,1.952209e-03,1.927809e-03,1.915457e-03,1.903016e-03,1.877899e-03,1.865747e-03,1.852522e-03,1.826943e-03,1.815125e-03,1.801218e-03,1.775397e-03,1.764017e-03,1.749525e-03,1.723646e-03,1.712784e-03,1.697798e-03,1.672017e-03,1.661731e-03,1.646336e-03,1.620786e-03,1.611116e-03,1.595392e-03,1.570181e-03,1.561154e-03,1.545175e-03,1.520393e-03,1.512022e-03,1.495856e-03,1.471579e-03,1.463868e-03,1.447577e-03,1.423864e-03,1.416808e-03,1.400451e-03,1.377349e-03,1.370937e-03,1.354567e-03,1.332113e-03,1.326329e-03,1.309994e-03,1.288215e-03,1.283039e-03,1.266781e-03,1.245698e-03,1.241106e-03,1.224967e-03,1.204591e-03,1.200558e-03,1.184571e-03,1.164910e-03,1.161409e-03,1.145608e-03,1.126663e-03,1.123666e-03,1.108077e-03,1.089848e-03,1.087324e-03,1.071974e-03,1.054455e-03,1.052376e-03,1.037287e-03,1.020468e-03,1.018805e-03,1.003996e-03,9.878674e-04,9.865919e-04,9.720793e-04,9.566283e-04,9.557119e-04,9.415106e-04,9.267225e-04,9.261378e-04,9.122601e-04,8.981193e-04,8.978397e-04,8.842958e-04,8.707856e-04,8.449418e-04,8.202737e-04,7.967457e-04,7.743218e-04,7.529656e-04,7.326409e-04,7.133114e-04,6.949414e-04,6.774954e-04,6.609386e-04,6.452369e-04,6.303566e-04,6.162651e-04,6.029304e-04,5.903213e-04,5.784077e-04,5.671602e-04,5.565503e-04,5.465505e-04,5.371341e-04,5.282752e-04,5.199490e-04,5.121313e-04,5.047991e-04,4.979297e-04,4.915018e-04,4.854945e-04,4.798878e-04,4.746626e-04,4.698001e-04,4.652828e-04,4.610934e-04,4.572155e-04,4.536334e-04,4.503320e-04,4.472965e-04,4.445132e-04,4.419686e-04,4.396500e-04,4.375449e-04,4.356417e-04,4.339290e-04,4.323961e-04,4.310326e-04,4.298286e-04,4.287747e-04,4.278618e-04,4.270813e-04,4.264248e-04
0.000000e+00,1.151748e-08,3.536664e-07,3.731370e-07,3.529207e-06,1.680218e-05,1.775133e-05,5.629329e-05,1.200729e-04,1.249096e-04,2.134846e-04,2.994354e-04,3.067907e-04,3.945770e-04,4.650618e-04,4.723399e-04,5.390182e-04,5.889078e-04,5.951133e-04,6.416827e-04,6.750050e-04,6.798939e-04,7.108561e-04,7.319946e-04,7.355653e-04,7.548969e-04,7.672738e-04,7.696130e-04,7.803747e-04,7.865241e-04,7.877542e-04,7.922454e-04,7.940203e-04,7.942752e-04,7.942122e-04,7.929622e-04,7.923747e-04,7.890363e-04,7.857393e-04,7.844324e-04,7.787655e-04,7.741260e-04,7.722100e-04,7.649162e-04,7.594412e-04,7.570132e-04,7.486119e-04,7.426634e-04,7.398073e-04,7.306810e-04,7.245160e-04,7.213033e-04,7.117343e-04,7.055339e-04,7.020256e-04,6.922211e-04,6.861109e-04,6.823584e-04,6.724696e-04,6.665354e-04,6.625823e-04,6.527198e-04,6.470189e-04,6.429020e-04,6.331457e-04,6.277144e-04,6.234651e-04,6.138718e-04,6.087314e-04,6.043760e-04,5.949859e-04,5.901471e-04,5.857082e-04,5.765488e-04,5.720148e-04,5.675120e-04,5.586016e-04,5.543704e-04,5.498204e-04,5.411704e-04,5.372359e-04,5.326532e-04,5.242699e-04,5.206238e-04,5.160211e-04,5.079071e-04,5.045393e-04,4.999277e-04,4.920826e-04,4.889821e-04,4.843713e-04,4.767929e-04,4.739477e-04,4.693464e-04,4.620309e-04,4.594291e-04,4.548450e-04,4.477874e-04,4.454169e-04,4.408568e-04,4.340516e-04,4.319002e-04,4.273704e-04,4.208114e-04,4.188673e-04,4.143732e-04,4.080539e-04,4.063056e-04,4.018521e-04,3.957659e-04,3.942022e-04,3.897936e-04,3.839336e-04,3.825437e-04,3.781841e-04,3.725435e-04,3.713170e-04,3.670099e-04,3.615818e-04,3.605086e-04,3.562573e-04,3.510349e-04,3.501056e-04,3.459128e-04,3.408894e-04,3.400947e-04,3.359631e-04,3.311322e-04,3.304634e-04,3.263951e-04,3.217502e-04,3.211990e-04,3.171960e-04,3.127309e-04,3.122892e-04,3.083533e-04,3.040618e-04,3.037222e-04,2.998549e-04,2.957310e-04,2.954862e-04,2.916888e-04,2.877267e-04,2.875699e-04,2.838435e-04,2.800377e-04,2.799623e-04,2.763078e-04,2.726527e-04,2.656307e-04,2.588861e-04,2.524093e-04,2.461908e-04,2.402213e-04,2.344921e-04,2.289946e-04,2.237204e-04,2.186616e-04,2.138103e-04,2.091591e-04,2.047008e-04,2.004283e-04,1.963348e-04,1.924139e-04,1.886592e-04,1.850647e-04,1.816243e-04,1.783326e-04,1.751839e-04,1.721730e-04,1.692948e-04,1.665443e-04,1.639168e-04,1.614077e-04,1.590124e-04,1.567269e-04,1.545468e-04,1.524683e-04,1.504874e-04,1.486005e-04,1.468040e-04,1.450944e-04,1.434683e-04,1.419226e-04,1.404541e-04,1.390598e-04,1.377369e-04,1.364825e-04,1.352939e-04,1.341685e-04,1.331039e-04,1.320975e-04,1.311471e-04,1.302504e-04,1.294051e-04,1.286093e-04,1.278609e-04,1.271578e-04
0.000000e+00,9.533426e-09,1.680042e-07,1.762195e-07,1.275159e-06,4.455500e-06,4.637197e-06,9.828183e-06,1.495573e-05,1.527619e-05,2.042598e-05,2.481740e-05,2.518332e-05,2.954694e-05,3.315165e-05,3.353398e-05,3.716488e-05,4.008171e-05,4.046006e-05,4.343936e-05,4.576339e-05,4.612174e-05,4.852574e-05,5.034312e-05,5.066930e-05,5.256973e-05,5.395833e-05,5.424363e-05,5.570688e-05,5.673598e-05,5.697457e-05,5.806097e-05,5.879123e-05,5.897959e-05,5.974313e-05,6.022708e-05,6.036353e-05,6.085197e-05,6.113465e-05,6.121894e-05,6.147424e-05,6.159408e-05,6.162703e-05,6.168586e-05,6.167543e-05,6.165871e-05,6.155302e-05,6.143984e-05,6.137571e-05,6.113324e-05,6.094045e-05,6.083162e-05,6.047642e-05,6.022338e-05,6.007283e-05,5.962569e-05,5.932857e-05,5.913947e-05,5.861833e-05,5.829050e-05,5.806612e-05,5.748642e-05,5.713891e-05,5.688254e-05,5.625753e-05,5.589937e-05,5.561425e-05,5.495529e-05,5.459380e-05,5.428309e-05,5.359987e-05,5.324093e-05,5.290770e-05,5.220846e-05,5.185674e-05,5.150390e-05,5.079562e-05,5.045476e-05,5.008510e-05,4.937367e-05,4.904645e-05,4.866257e-05,4.795294e-05,4.764143e-05,4.724578e-05,4.654205e-05,4.624771e-05,4.584259e-05,4.514817e-05,4.487197e-05,4.445948e-05,4.377716e-05,4.351967e-05,4.310176e-05,4.243380e-05,4.219524e-05,4.177371e-05,4.112191e-05,4.090224e-05,4.047873e-05,3.984449e-05,3.964347e-05,3.921946e-05,3.860386e-05,3.842105e-05,3.799789e-05,3.740171e-05,3.723656e-05,3.681547e-05,3.623926e-05,3.609110e-05,3.567317e-05,3.511726e-05,3.498536e-05,3.457157e-05,3.403611e-05,3.391969e-05,3.351090e-05,3.299590e-05,3.289413e-05,3.249111e-05,3.199647e-05,3.190851e-05,3.151192e-05,3.103742e-05,3.096242e-05,3.057286e-05,3.011818e-05,3.005531e-05,2.967328e-05,2.923806e-05,2.918648e-05,2.881241e-05,2.839623e-05,2.835512e-05,2.798938e-05,2.759176e-05,2.756034e-05,2.720323e-05,2.682366e-05,2.680117e-05,2.645293e-05,2.609089e-05,2.607659e-05,2.573741e-05,2.539236e-05,2.538554e-05,2.505558e-05,2.472695e-05,2.409972e-05,2.350274e-05,2.293492e-05,2.239515e-05,2.188237e-05,2.139549e-05,2.093347e-05,2.049530e-05,2.007996e-05,1.968649e-05,1.931394e-05,1.896140e-05,1.862797e-05,1.831280e-05,1.801507e-05,1.773397e-05,1.746873e-05,1.721861e-05,1.698291e-05,1.676094e-05,1.655203e-05,1.635557e-05,1.617095e-05,1.599758e-05,1.583492e-05,1.568244e-05,1.553962e-05,1.540598e-05,1.528106e-05,1.516442e-05,1.505562e-05,1.495426e-05,1.485997e-05,1.477236e-05,1.469109e-05,1.461581e-05,1.454621e-05,1.448199e-05,1.442284e-05,1.436850e-05,1.431870e-05,1.427318e-05,1.423170e-05,1.419404e-05,1.415997e-05,1.412930e-05,1.410181e-05,1.407733e-05,1.405567e-05
0.000000e+00,8.293967e-09,3.489111e-07,3.703832e-07,4.515267e-06,2.502891e-05,2.656644e-05,9.153040e-05,2.053069e-04,2.142713e-04,3.889950e-04,5.817087e-04,5.994424e-04,8.286015e-04,1.039424e-03,1.062760e-03,1.292247e-03,1.485350e-03,1.510873e-03,1.715051e-03,1.877693e-03,1.902996e-03,2.074103e-03,2.204908e-03,2.228512e-03,2.366802e-03,2.468751e-03,2.489805e-03,2.598471e-03,2.675753e-03,2.693800e-03,2.776788e-03,2.833574e-03,2.848400e-03,2.909557e-03,2.949580e-03,2.961127e-03,3.003920e-03,3.030382e-03,3.038691e-03,3.066139e-03,3.081732e-03,3.086910e-03,3.101601e-03,3.108564e-03,3.110763e-03,3.114903e-03,3.115089e-03,3.114487e-03,3.109946e-03,3.104883e-03,3.101675e-03,3.090037e-03,3.080978e-03,3.075367e-03,3.057972e-03,3.045944e-03,3.038135e-03,3.016114e-03,3.001953e-03,2.992147e-03,2.966455e-03,2.950841e-03,2.939236e-03,2.910675e-03,2.894159e-03,2.880941e-03,2.850190e-03,2.833211e-03,2.818561e-03,2.786186e-03,2.769096e-03,2.753183e-03,2.719661e-03,2.702736e-03,2.685718e-03,2.651446e-03,2.634902e-03,2.616926e-03,2.582236e-03,2.566240e-03,2.547442e-03,2.512608e-03,2.497283e-03,2.477790e-03,2.443039e-03,2.428475e-03,2.408403e-03,2.373922e-03,2.360182e-03,2.339636e-03,2.305578e-03,2.292703e-03,2.271779e-03,2.238267e-03,2.226278e-03,2.205066e-03,2.172198e-03,2.161103e-03,2.139683e-03,2.107537e-03,2.097331e-03,2.075776e-03,2.044413e-03,2.035083e-03,2.013459e-03,1.982924e-03,1.974450e-03,1.952816e-03,1.923142e-03,1.915499e-03,1.893908e-03,1.865118e-03,1.858275e-03,1.836777e-03,1.808886e-03,1.802810e-03,1.781446e-03,1.754460e-03,1.749118e-03,1.727927e-03,1.701847e-03,1.697201e-03,1.676219e-03,1.651041e-03,1.647054e-03,1.626311e-03,1.602027e-03,1.598662e-03,1.578185e-03,1.554783e-03,1.552004e-03,1.531817e-03,1.509284e-03,1.507054e-03,1.487178e-03,1.465496e-03,1.463780e-03,1.444233e-03,1.423385e-03,1.422148e-03,1.402947e-03,1.382914e-03,1.382121e-03,1.363280e-03,1.344041e-03,1.343660e-03,1.325191e-03,1.306725e-03,1.271275e-03,1.237267e-03,1.204658e-03,1.173408e-03,1.143472e-03,1.114810e-03,1.087380e-03,1.061141e-03,1.036053e-03,1.012077e-03,9.891742e-04,9.673069e-04,9.464386e-04,9.265337e-04,9.075574e-04,8.894759e-04,8.722564e-04,8.558671e-04,8.402770e-04,8.254563e-04,8.113758e-04,7.980075e-04,7.853241e-04,7.732993e-04,7.619076e-04,7.511244e-04,7.409256e-04,7.312883e-04,7.221901e-04,7.136096e-04,7.055257e-04,6.979184e-04,6.907682e-04,6.840563e-04,6.777645e-04,6.718752e-04,6.663715e-04,6.612370e-04,6.564558e-04,6.520127e-04,6.478929e-04,6.440821e-04,6.405667e-04,6.373332e-04,6.343690e-04,6.316615e-04,6.291989e-04,6.269696e-04,6.249626e-04
0.000000e+00,6.643016e-09,1.630192e-07,1.714209e-07,1.394745e-06,5.828249e-06,6.126644e-06,1.745611e-05,3.505945e-05,3.637794e-05,6.040430e-05,8.344539e-05,8.539896e-05,1.084889e-04,1.268089e-04,1.286957e-04,1.459975e-04,1.590257e-04,1.606552e-04,1.729742e-04,1.819185e-04,1.832427e-04,1.917203e-04,1.976265e-04,1.986368e-04,2.041943e-04,2.078622e-04,2.085698e-04,2.119180e-04,2.139472e-04,2.143725e-04,2.160515e-04,2.168904e-04,2.170594e-04,2.174874e-04,2.174746e-04,2.174157e-04,2.169141e-04,2.163023e-04,2.160436e-04,2.148576e-04,2.138347e-04,2.134027e-04,2.117196e-04,2.104249e-04,2.098439e-04,2.078064e-04,2.063425e-04,2.056342e-04,2.033507e-04,2.017927e-04,2.009764e-04,1.985291e-04,1.969318e-04,1.960243e-04,1.934754e-04,1.918782e-04,1.908941e-04,1.882906e-04,1.867215e-04,1.856735e-04,1.830505e-04,1.815290e-04,1.804281e-04,1.778118e-04,1.763512e-04,1.752065e-04,1.726164e-04,1.712253e-04,1.700450e-04,1.674952e-04,1.661788e-04,1.649697e-04,1.624704e-04,1.612313e-04,1.599994e-04,1.575579e-04,1.563969e-04,1.551472e-04,1.527684e-04,1.516850e-04,1.504221e-04,1.481090e-04,1.471019e-04,1.458296e-04,1.435841e-04,1.426511e-04,1.413727e-04,1.391956e-04,1.383344e-04,1.370528e-04,1.349442e-04,1.341519e-04,1.328698e-04,1.308292e-04,1.301029e-04,1.288223e-04,1.268489e-04,1.261856e-04,1.249087e-04,1.230013e-04,1.223978e-04,1.211263e-04,1.192835e-04,1.187368e-04,1.174724e-04,1.156926e-04,1.151998e-04,1.139437e-04,1.122254e-04,1.117835e-04,1.105371e-04,1.088785e-04,1.084848e-04,1.072491e-04,1.056484e-04,1.053001e-04,1.040762e-04,1.025318e-04,1.022262e-04,1.010149e-04,9.952509e-05,9.925975e-05,9.806187e-05,9.662484e-05,9.639732e-05,9.521358e-05,9.382766e-05,9.363563e-05,9.246667e-05,9.113021e-05,9.097146e-05,8.981786e-05,8.852921e-05,8.840164e-05,8.726389e-05,8.602148e-05,8.592306e-05,8.480161e-05,8.360389e-05,8.353272e-05,8.242795e-05,8.127342e-05,8.122768e-05,8.013992e-05,7.902711e-05,7.900507e-05,7.793463e-05,7.686213e-05,7.479617e-05,7.280459e-05,7.088485e-05,6.903452e-05,6.725123e-05,6.553269e-05,6.387667e-05,6.228103e-05,6.074371e-05,5.926269e-05,5.783605e-05,5.646189e-05,5.513842e-05,5.386389e-05,5.263659e-05,5.145490e-05,5.031724e-05,4.922207e-05,4.816794e-05,4.715340e-05,4.617709e-05,4.523767e-05,4.433387e-05,4.346443e-05,4.262817e-05,4.182391e-05,4.105056e-05,4.030701e-05,3.959224e-05,3.890523e-05,3.824502e-05,3.761065e-05,3.700122e-05,3.641586e-05,3.585372e-05,3.531397e-05,3.479584e-05,3.429855e-05,3.382137e-05,3.336359e-05,3.292452e-05,3.250350e-05,3.209989e-05,3.171305e-05,3.134241e-05,3.098738e-05,3.064740e-05,3.032193e-05,3.001046e-05
0.000000e+00,1.055989e-08,2.770812e-07,2.912567e-07,2.368983e-06,1.062955e-05,1.122013e-05,3.586173e-05,7.978510e-05,8.326714e-05,1.502605e-04,2.202804e-04,2.264752e-04,3.027539e-04,3.671793e-04,3.740033e-04,4.381874e-04,4.884664e-04,4.948794e-04,5.443500e-04,5.815160e-04,5.871229e-04,6.237874e-04,6.502903e-04,6.549236e-04,6.810777e-04,6.991617e-04,7.027544e-04,7.204166e-04,7.319414e-04,7.344871e-04,7.453507e-04,7.518240e-04,7.533568e-04,7.588225e-04,7.614548e-04,7.620345e-04,7.632519e-04,7.630072e-04,7.627087e-04,7.606158e-04,7.582565e-04,7.571628e-04,7.525206e-04,7.486461e-04,7.468422e-04,7.402653e-04,7.353434e-04,7.329136e-04,7.248979e-04,7.192927e-04,7.163179e-04,7.072622e-04,7.012541e-04,6.978105e-04,6.880342e-04,6.818381e-04,6.779970e-04,6.677556e-04,6.615338e-04,6.573601e-04,6.468551e-04,6.407277e-04,6.362800e-04,6.256699e-04,6.197246e-04,6.150557e-04,6.044645e-04,5.987635e-04,5.939205e-04,5.834444e-04,5.780299e-04,5.730545e-04,5.627666e-04,5.576653e-04,5.525944e-04,5.425497e-04,5.377766e-04,5.326426e-04,5.228816e-04,5.184425e-04,5.132737e-04,5.038249e-04,4.997190e-04,4.945399e-04,4.854227e-04,4.816442e-04,4.764762e-04,4.677027e-04,4.642421e-04,4.591037e-04,4.506800e-04,4.475250e-04,4.424319e-04,4.343595e-04,4.314962e-04,4.264619e-04,4.187385e-04,4.161520e-04,4.111879e-04,4.038087e-04,4.014833e-04,3.965991e-04,3.895570e-04,3.874767e-04,3.826803e-04,3.759668e-04,3.741159e-04,3.694139e-04,3.630191e-04,3.613821e-04,3.567799e-04,3.506934e-04,3.492551e-04,3.447569e-04,3.389677e-04,3.377135e-04,3.333227e-04,3.278193e-04,3.267353e-04,3.224544e-04,3.172253e-04,3.162982e-04,3.121290e-04,3.071627e-04,3.063800e-04,3.023235e-04,2.976087e-04,2.969584e-04,2.930153e-04,2.885407e-04,2.880116e-04,2.841821e-04,2.799368e-04,2.795184e-04,2.758021e-04,2.717754e-04,2.714579e-04,2.678541e-04,2.640357e-04,2.638098e-04,2.603177e-04,2.566976e-04,2.565548e-04,2.531731e-04,2.497417e-04,2.496740e-04,2.464012e-04,2.431493e-04,2.369632e-04,2.310992e-04,2.255413e-04,2.202742e-04,2.152834e-04,2.105549e-04,2.060756e-04,2.018328e-04,1.978144e-04,1.940091e-04,1.904059e-04,1.869945e-04,1.837650e-04,1.807082e-04,1.778151e-04,1.750772e-04,1.724867e-04,1.700358e-04,1.677173e-04,1.655244e-04,1.634505e-04,1.614896e-04,1.596357e-04,1.578833e-04,1.562270e-04,1.546620e-04,1.531834e-04,1.517867e-04,1.504677e-04,1.492223e-04,1.480467e-04,1.469373e-04,1.458905e-04,1.449031e-04,1.439720e-04,1.430942e-04,1.422670e-04,1.414876e-04,1.407537e-04,1.400627e-04,1.394125e-04,1.388009e-04,1.382258e-04,1.376854e-04,1.371777e-04,1.367011e-04,1.362540e-04,1.358347e-04,1.354418e-04
0.000000e+00,1.112646e-08,5.665891e-07,6.033847e-07,7.899297e-06,4.036538e-05,4.258672e-05,1.221011e-04,2.297751e-04,2.373356e-04,3.689905e-04,4.917210e-04,5.022031e-04,6.286081e-04,7.333599e-04,7.444160e-04,8.484116e-04,9.301895e-04,9.406563e-04,1.021778e-03,1.083286e-03,1.092618e-03,1.154067e-03,1.199064e-03,1.206994e-03,1.252221e-03,1.284095e-03,1.290507e-03,1.322550e-03,1.344121e-03,1.348990e-03,1.370408e-03,1.383969e-03,1.387332e-03,1.400242e-03,1.407636e-03,1.409570e-03,1.415708e-03,1.418404e-03,1.419008e-03,1.419788e-03,1.418951e-03,1.418334e-03,1.414905e-03,1.411453e-03,1.409731e-03,1.403021e-03,1.397676e-03,1.394961e-03,1.385720e-03,1.379048e-03,1.375449e-03,1.364283e-03,1.356724e-03,1.352343e-03,1.339738e-03,1.331633e-03,1.326566e-03,1.312914e-03,1.304525e-03,1.298860e-03,1.284473e-03,1.276002e-03,1.269818e-03,1.254949e-03,1.246548e-03,1.239917e-03,1.224765e-03,1.216548e-03,1.209534e-03,1.194259e-03,1.186310e-03,1.178972e-03,1.163700e-03,1.156077e-03,1.148467e-03,1.133296e-03,1.126042e-03,1.118206e-03,1.103214e-03,1.096355e-03,1.088335e-03,1.073581e-03,1.067133e-03,1.058965e-03,1.044496e-03,1.038465e-03,1.030182e-03,1.016032e-03,1.010419e-03,1.002050e-03,9.882436e-04,9.830437e-04,9.746156e-04,9.611702e-04,9.563751e-04,9.479102e-04,9.348380e-04,9.304366e-04,9.219554e-04,9.092635e-04,9.052425e-04,8.967632e-04,8.844550e-04,8.808000e-04,8.723389e-04,8.604146e-04,8.571101e-04,8.486817e-04,8.371393e-04,8.341694e-04,8.257865e-04,8.146221e-04,8.119705e-04,8.036447e-04,7.928529e-04,7.905034e-04,7.822450e-04,7.718193e-04,7.697559e-04,7.615740e-04,7.515070e-04,7.497138e-04,7.416165e-04,7.319004e-04,7.303619e-04,7.223566e-04,7.129829e-04,7.116840e-04,7.037771e-04,6.947370e-04,6.936632e-04,6.858604e-04,6.771451e-04,6.762823e-04,6.685887e-04,6.601890e-04,6.595237e-04,6.519438e-04,6.438507e-04,6.433699e-04,6.359075e-04,6.281120e-04,6.278032e-04,6.204619e-04,6.129549e-04,6.128062e-04,6.055889e-04,5.983616e-04,5.844524e-04,5.710618e-04,5.581734e-04,5.457712e-04,5.338395e-04,5.223629e-04,5.113265e-04,5.007159e-04,4.905167e-04,4.807154e-04,4.712985e-04,4.622531e-04,4.535666e-04,4.452267e-04,4.372218e-04,4.295401e-04,4.221708e-04,4.151028e-04,4.083259e-04,4.018298e-04,3.956049e-04,3.896415e-04,3.839305e-04,3.784630e-04,3.732303e-04,3.682242e-04,3.634366e-04,3.588596e-04,3.544857e-04,3.503075e-04,3.463181e-04,3.425104e-04,3.388779e-04,3.354142e-04,3.321130e-04,3.289684e-04,3.259746e-04,3.231258e-04,3.204167e-04,3.178421e-04,3.153967e-04,3.130757e-04,3.108744e-04,3.087881e-04,3.068124e-04,3.049429e-04,3.031755e-04,3.015062e-04,2.999311e-04
0.000000e+00,1.111049e-09,1.464448e-08,1.529135e-08,9.588569e-08,3.319036e-07,3.461103e-07,7.899608e-07,1.273904e-06,1.304798e-06,1.805198e-06,2.234144e-06,2.269899e-06,2.696019e-06,3.047418e-06,3.084646e-06,3.437715e-06,3.720652e-06,3.757304e-06,4.045473e-06,4.269693e-06,4.304219e-06,4.535473e-06,4.709838e-06,4.741088e-06,4.922837e-06,5.055255e-06,5.082416e-06,5.221427e-06,5.318850e-06,5.341388e-06,5.443731e-06,5.512197e-06,5.529802e-06,5.600863e-06,5.645563e-06,5.658099e-06,5.702619e-06,5.727990e-06,5.735461e-06,5.757589e-06,5.767395e-06,5.769903e-06,5.773236e-06,5.770644e-06,5.768365e-06,5.756018e-06,5.743700e-06,5.736873e-06,5.711560e-06,5.691761e-06,5.680666e-06,5.644738e-06,5.619345e-06,5.604300e-06,5.559845e-06,5.530455e-06,5.511803e-06,5.460577e-06,5.428469e-06,5.406539e-06,5.350029e-06,5.316248e-06,5.291367e-06,5.230844e-06,5.196240e-06,5.168731e-06,5.105274e-06,5.070531e-06,5.040704e-06,4.975232e-06,4.940894e-06,4.909050e-06,4.842338e-06,4.808834e-06,4.775258e-06,4.707957e-06,4.675616e-06,4.640573e-06,4.573229e-06,4.542296e-06,4.506039e-06,4.439106e-06,4.409761e-06,4.372522e-06,4.306373e-06,4.278739e-06,4.240735e-06,4.175676e-06,4.149829e-06,4.111258e-06,4.047536e-06,4.023514e-06,3.984558e-06,3.922368e-06,3.900179e-06,3.861003e-06,3.800497e-06,3.780126e-06,3.740878e-06,3.682173e-06,3.663583e-06,3.624400e-06,3.567579e-06,3.550720e-06,3.511723e-06,3.456843e-06,3.441653e-06,3.402949e-06,3.350047e-06,3.336455e-06,3.298140e-06,3.247230e-06,3.235160e-06,3.197318e-06,3.148402e-06,3.137774e-06,3.100478e-06,3.053543e-06,3.044273e-06,3.007589e-06,2.962610e-06,2.954617e-06,2.918598e-06,2.875543e-06,2.868743e-06,2.833436e-06,2.792266e-06,2.786576e-06,2.752022e-06,2.712691e-06,2.708032e-06,2.674262e-06,2.636721e-06,2.633015e-06,2.600055e-06,2.564250e-06,2.561423e-06,2.529294e-06,2.495171e-06,2.493150e-06,2.461867e-06,2.429368e-06,2.428085e-06,2.397660e-06,2.366727e-06,2.366116e-06,2.336555e-06,2.307130e-06,2.251014e-06,2.197653e-06,2.146938e-06,2.098757e-06,2.053003e-06,2.009571e-06,1.968357e-06,1.929262e-06,1.892191e-06,1.857048e-06,1.823744e-06,1.792192e-06,1.762309e-06,1.734014e-06,1.707230e-06,1.681883e-06,1.657902e-06,1.635221e-06,1.613773e-06,1.593497e-06,1.574333e-06,1.556227e-06,1.539123e-06,1.522971e-06,1.507721e-06,1.493328e-06,1.479747e-06,1.466936e-06,1.454855e-06,1.443465e-06,1.432732e-06,1.422619e-06,1.413095e-06,1.404128e-06,1.395689e-06,1.387751e-06,1.380285e-06,1.373268e-06,1.366674e-06,1.360482e-06,1.354670e-06,1.349217e-06,1.344104e-06,1.339312e-06,1.334824e-06,1.330623e-06,1.326695e-06,1.323022e-06,1.319593e-06
0.000000e+00,1.418599e-08,5.696446e-07,6.035548e-07,6.509311e-06,3.164901e-05,3.341793e-05,1.023942e-04,2.116157e-04,2.198990e-04,3.760605e-04,5.410688e-04,5.560096e-04,7.466489e-04,9.194435e-04,9.384823e-04,1.125335e-03,1.282668e-03,1.303512e-03,1.471001e-03,1.605756e-03,1.626861e-03,1.770813e-03,1.882609e-03,1.902976e-03,2.023697e-03,2.114485e-03,2.133456e-03,2.232802e-03,2.305168e-03,2.322311e-03,2.402569e-03,2.459121e-03,2.474154e-03,2.537629e-03,2.580779e-03,2.593535e-03,2.642387e-03,2.674286e-03,2.684676e-03,2.720867e-03,2.743395e-03,2.751397e-03,2.776676e-03,2.791456e-03,2.797092e-03,2.813007e-03,2.821432e-03,2.824760e-03,2.832671e-03,2.835931e-03,2.837035e-03,2.838132e-03,2.837240e-03,2.836221e-03,2.831545e-03,2.827358e-03,2.824332e-03,2.814792e-03,2.808035e-03,2.803125e-03,2.789514e-03,2.780797e-03,2.774131e-03,2.757137e-03,2.746973e-03,2.738682e-03,2.718905e-03,2.707721e-03,2.697935e-03,2.675894e-03,2.664047e-03,2.652895e-03,2.629041e-03,2.616824e-03,2.604430e-03,2.579153e-03,2.566809e-03,2.553294e-03,2.526931e-03,2.514655e-03,2.500136e-03,2.472977e-03,2.460927e-03,2.445515e-03,2.417809e-03,2.406112e-03,2.389912e-03,2.361873e-03,2.350628e-03,2.333738e-03,2.305548e-03,2.294831e-03,2.277344e-03,2.249161e-03,2.239026e-03,2.221031e-03,2.192985e-03,2.183473e-03,2.165051e-03,2.137254e-03,2.128391e-03,2.109617e-03,2.082162e-03,2.073964e-03,2.054909e-03,2.027874e-03,2.020346e-03,2.001074e-03,1.974523e-03,1.967663e-03,1.948235e-03,1.922221e-03,1.916019e-03,1.896491e-03,1.871055e-03,1.865499e-03,1.845921e-03,1.821096e-03,1.816169e-03,1.796587e-03,1.772400e-03,1.768080e-03,1.748538e-03,1.725006e-03,1.721271e-03,1.701807e-03,1.678944e-03,1.675770e-03,1.656419e-03,1.634233e-03,1.631593e-03,1.612387e-03,1.590883e-03,1.588751e-03,1.569719e-03,1.548896e-03,1.547245e-03,1.528414e-03,1.508270e-03,1.507072e-03,1.488465e-03,1.468995e-03,1.468223e-03,1.449860e-03,1.431058e-03,1.430685e-03,1.412585e-03,1.394440e-03,1.359470e-03,1.325751e-03,1.293260e-03,1.261971e-03,1.231855e-03,1.202887e-03,1.175035e-03,1.148272e-03,1.122567e-03,1.097890e-03,1.074213e-03,1.051505e-03,1.029737e-03,1.008879e-03,9.889042e-04,9.697830e-04,9.514881e-04,9.339922e-04,9.172687e-04,9.012915e-04,8.860353e-04,8.714750e-04,8.575867e-04,8.443466e-04,8.317320e-04,8.197203e-04,8.082901e-04,7.974202e-04,7.870902e-04,7.772803e-04,7.679712e-04,7.591443e-04,7.507814e-04,7.428650e-04,7.353782e-04,7.283045e-04,7.216280e-04,7.153332e-04,7.094052e-04,7.038295e-04,6.985922e-04,6.936797e-04,6.890789e-04,6.847771e-04,6.807621e-04,6.770220e-04,6.735453e-04,6.703210e-04,6.673382e-04
0.000000e+00,2.013153e-08,4.340238e-07,4.563180e-07,3.585382e-06,1.311592e-05,1.367419e-05,3.004913e-05,4.660387e-05,4.764298e-05,6.438286e-05,7.871416e-05,7.991085e-05,9.421442e-05,1.060831e-04,1.073452e-04,1.193660e-04,1.290764e-04,1.303401e-04,1.403293e-04,1.481779e-04,1.493934e-04,1.575899e-04,1.638453e-04,1.649745e-04,1.716004e-04,1.765034e-04,1.775186e-04,1.827773e-04,1.865404e-04,1.874225e-04,1.914973e-04,1.943059e-04,1.950424e-04,1.980964e-04,2.001111e-04,2.006951e-04,2.028724e-04,2.042309e-04,2.046598e-04,2.060871e-04,2.069073e-04,2.071819e-04,2.079700e-04,2.083523e-04,2.084758e-04,2.087217e-04,2.087513e-04,2.087288e-04,2.085169e-04,2.082659e-04,2.081042e-04,2.075079e-04,2.070373e-04,2.067439e-04,2.058271e-04,2.051880e-04,2.047712e-04,2.035892e-04,2.028245e-04,2.022930e-04,2.008938e-04,2.000392e-04,1.994019e-04,1.978270e-04,1.969121e-04,1.961779e-04,1.944630e-04,1.935123e-04,1.926900e-04,1.908659e-04,1.898995e-04,1.889975e-04,1.870909e-04,1.861250e-04,1.851516e-04,1.831851e-04,1.822328e-04,1.811960e-04,1.791889e-04,1.782608e-04,1.771680e-04,1.751370e-04,1.742411e-04,1.730995e-04,1.710586e-04,1.702012e-04,1.690174e-04,1.669786e-04,1.661643e-04,1.649447e-04,1.629179e-04,1.621500e-04,1.609003e-04,1.588939e-04,1.581747e-04,1.569004e-04,1.549214e-04,1.542521e-04,1.529582e-04,1.510123e-04,1.503934e-04,1.490847e-04,1.471764e-04,1.466079e-04,1.452885e-04,1.434218e-04,1.429030e-04,1.415769e-04,1.397546e-04,1.392845e-04,1.379554e-04,1.361798e-04,1.357572e-04,1.344282e-04,1.327010e-04,1.323243e-04,1.309984e-04,1.293208e-04,1.289883e-04,1.276683e-04,1.260410e-04,1.257508e-04,1.244391e-04,1.228626e-04,1.226127e-04,1.213115e-04,1.197858e-04,1.195743e-04,1.182855e-04,1.168106e-04,1.166353e-04,1.153608e-04,1.139361e-04,1.137950e-04,1.125364e-04,1.111614e-04,1.110525e-04,1.098110e-04,1.084851e-04,1.084063e-04,1.071834e-04,1.059056e-04,1.058550e-04,1.046515e-04,1.034210e-04,1.033966e-04,1.022137e-04,1.010294e-04,9.875106e-05,9.655958e-05,9.445267e-05,9.242801e-05,9.048327e-05,8.861611e-05,8.682418e-05,8.510511e-05,8.345658e-05,8.187630e-05,8.036197e-05,7.891138e-05,7.752232e-05,7.619264e-05,7.492025e-05,7.370310e-05,7.253920e-05,7.142659e-05,7.036339e-05,6.934775e-05,6.837790e-05,6.745210e-05,6.656868e-05,6.572601e-05,6.492253e-05,6.415671e-05,6.342708e-05,6.273222e-05,6.207077e-05,6.144139e-05,6.084280e-05,6.027377e-05,5.973310e-05,5.921965e-05,5.873230e-05,5.826999e-05,5.783169e-05,5.741639e-05,5.702315e-05,5.665104e-05,5.629917e-05,5.596668e-05,5.565275e-05,5.535658e-05,5.507742e-05,5.481451e-05,5.456717e-05,5.433469e-05,5.411643e-05
0.000000e+00,4.806735e-09,6.731040e-08,7.025677e-08,4.140457e-07,1.335977e-06,1.390411e-06,3.130899e-06,5.135322e-06,5.263341e-06,7.248048e-06,8.742278e-06,8.856585e-06,1.009345e-05,1.094051e-05,1.102126e-05,1.170340e-05,1.214284e-05,1.219290e-05,1.253208e-05,1.272913e-05,1.275422e-05,1.288542e-05,1.294042e-05,1.294610e-05,1.295222e-05,1.292540e-05,1.291630e-05,1.284809e-05,1.277548e-05,1.275524e-05,1.264372e-05,1.254681e-05,1.251819e-05,1.238227e-05,1.227379e-05,1.223880e-05,1.208998e-05,1.197744e-05,1.193754e-05,1.178281e-05,1.167058e-05,1.162683e-05,1.147040e-05,1.136097e-05,1.131414e-05,1.115854e-05,1.105328e-05,1.100394e-05,1.085066e-05,1.075033e-05,1.069893e-05,1.054890e-05,1.045383e-05,1.040069e-05,1.025439e-05,1.016468e-05,1.011007e-05,9.967768e-06,9.883370e-06,9.827518e-06,9.689337e-06,9.610142e-06,9.553229e-06,9.419195e-06,9.345038e-06,9.287227e-06,9.157316e-06,9.088016e-06,9.029450e-06,8.903611e-06,8.838968e-06,8.779778e-06,8.657931e-06,8.597745e-06,8.538047e-06,8.420104e-06,8.364173e-06,8.304077e-06,8.189943e-06,8.138070e-06,8.077677e-06,7.967254e-06,7.919245e-06,7.858648e-06,7.751835e-06,7.707502e-06,7.646789e-06,7.543485e-06,7.502646e-06,7.441899e-06,7.342004e-06,7.304483e-06,7.243777e-06,7.147193e-06,7.112820e-06,7.052227e-06,6.958856e-06,6.927468e-06,6.867054e-06,6.776799e-06,6.748240e-06,6.688067e-06,6.600835e-06,6.574954e-06,6.515079e-06,6.430777e-06,6.407430e-06,6.347906e-06,6.266445e-06,6.245493e-06,6.186371e-06,6.107663e-06,6.088973e-06,6.030298e-06,5.954257e-06,5.937704e-06,5.879518e-06,5.806061e-06,5.791521e-06,5.733865e-06,5.662910e-06,5.650268e-06,5.593177e-06,5.524645e-06,5.513791e-06,5.457297e-06,5.391113e-06,5.381939e-06,5.326073e-06,5.262161e-06,5.254566e-06,5.199357e-06,5.137643e-06,5.131531e-06,5.077003e-06,5.017419e-06,5.012697e-06,4.958873e-06,4.901349e-06,4.897930e-06,4.844830e-06,4.789300e-06,4.787099e-06,4.734742e-06,4.681141e-06,4.680079e-06,4.628481e-06,4.576747e-06,4.476984e-06,4.380676e-06,4.287711e-06,4.197980e-06,4.111378e-06,4.027803e-06,3.947157e-06,3.869345e-06,3.794272e-06,3.721850e-06,3.651992e-06,3.584613e-06,3.519631e-06,3.456968e-06,3.396546e-06,3.338292e-06,3.282134e-06,3.228002e-06,3.175829e-06,3.125550e-06,3.077101e-06,3.030421e-06,2.985452e-06,2.942136e-06,2.900417e-06,2.860242e-06,2.821559e-06,2.784318e-06,2.748470e-06,2.713967e-06,2.680765e-06,2.648820e-06,2.618088e-06,2.588528e-06,2.560100e-06,2.532767e-06,2.506489e-06,2.481232e-06,2.456960e-06,2.433638e-06,2.411236e-06,2.389719e-06,2.369059e-06,2.349225e-06,2.330188e-06,2.311922e-06,2.294398e-06,2.277590e-06,2.261474e-06
0.000000e+00,4.476869e-10,6.519915e-09,6.818376e-09,4.410237e-08,1.477161e-07,1.537011e-07,3.292935e-07,5.020357e-07,5.125618e-07,6.759067e-07,8.058108e-07,8.162265e-07,9.354342e-07,1.026740e-06,1.036030e-06,1.120364e-06,1.182793e-06,1.190527e-06,1.248366e-06,1.289493e-06,1.295503e-06,1.333359e-06,1.358904e-06,1.363182e-06,1.386062e-06,1.400313e-06,1.402950e-06,1.414677e-06,1.420832e-06,1.421966e-06,1.425447e-06,1.425873e-06,1.425667e-06,1.423101e-06,1.419546e-06,1.418164e-06,1.411212e-06,1.404954e-06,1.402554e-06,1.392461e-06,1.384436e-06,1.381164e-06,1.368867e-06,1.359758e-06,1.355744e-06,1.341946e-06,1.332247e-06,1.327606e-06,1.312836e-06,1.302900e-06,1.297733e-06,1.282382e-06,1.272463e-06,1.266858e-06,1.251222e-06,1.241496e-06,1.235528e-06,1.219820e-06,1.210405e-06,1.204137e-06,1.188513e-06,1.179489e-06,1.172976e-06,1.157548e-06,1.148964e-06,1.142251e-06,1.127100e-06,1.118985e-06,1.112111e-06,1.097294e-06,1.089660e-06,1.082659e-06,1.068213e-06,1.061064e-06,1.053964e-06,1.039915e-06,1.033244e-06,1.026071e-06,1.012434e-06,1.006230e-06,9.990048e-07,9.857858e-07,9.800360e-07,9.727770e-07,9.599782e-07,9.546652e-07,9.473889e-07,9.350080e-07,9.301137e-07,9.228342e-07,9.108661e-07,9.063717e-07,8.991017e-07,8.875390e-07,8.834254e-07,8.761759e-07,8.650100e-07,8.612580e-07,8.540388e-07,8.432599e-07,8.398509e-07,8.326708e-07,8.222686e-07,8.191840e-07,8.120508e-07,8.020146e-07,7.992367e-07,7.921574e-07,7.824763e-07,7.799877e-07,7.729686e-07,7.636316e-07,7.614158e-07,7.544626e-07,7.454588e-07,7.434999e-07,7.366176e-07,7.279363e-07,7.262189e-07,7.194122e-07,7.110427e-07,7.095524e-07,7.028252e-07,6.947572e-07,6.934800e-07,6.868361e-07,6.790595e-07,6.779821e-07,6.714248e-07,6.639297e-07,6.630395e-07,6.565717e-07,6.493485e-07,6.486335e-07,6.422578e-07,6.352972e-07,6.347459e-07,6.284646e-07,6.217576e-07,6.213592e-07,6.151742e-07,6.087121e-07,6.084562e-07,6.023693e-07,5.961437e-07,5.960204e-07,5.900332e-07,5.840358e-07,5.724870e-07,5.613589e-07,5.506370e-07,5.403073e-07,5.303563e-07,5.207708e-07,5.115383e-07,5.026463e-07,4.940832e-07,4.858375e-07,4.778981e-07,4.702543e-07,4.628959e-07,4.558129e-07,4.489956e-07,4.424348e-07,4.361215e-07,4.300469e-07,4.242027e-07,4.185808e-07,4.131734e-07,4.079729e-07,4.029719e-07,3.981635e-07,3.935409e-07,3.890974e-07,3.848267e-07,3.807226e-07,3.767793e-07,3.729910e-07,3.693521e-07,3.658574e-07,3.625017e-07,3.592799e-07,3.561873e-07,3.532193e-07,3.503713e-07,3.476390e-07,3.450182e-07,3.425049e-07,3.400952e-07,3.377853e-07,3.355716e-07,3.334505e-07,3.314187e-07,3.294729e-07,3.276099e-07,3.258268e-07,3.241205e-07
0.000000e+00,1.063473e-08,2.912630e-07,3.063053e-07,2.534092e-06,1.166720e-05,1.233414e-05,4.152856e-05,9.968113e-05,1.046241e-04,2.093072e-04,3.376438e-04,3.498781e-04,5.111709e-04,6.609392e-04,6.774239e-04,8.373487e-04,9.677274e-04,9.846160e-04,1.116501e-03,1.217151e-03,1.232435e-03,1.332973e-03,1.406304e-03,1.419186e-03,1.492332e-03,1.543456e-03,1.553685e-03,1.604464e-03,1.638236e-03,1.645798e-03,1.678721e-03,1.699165e-03,1.704166e-03,1.722978e-03,1.733307e-03,1.735914e-03,1.743655e-03,1.746401e-03,1.746813e-03,1.745934e-03,1.743080e-03,1.741510e-03,1.733979e-03,1.727070e-03,1.723733e-03,1.711126e-03,1.701365e-03,1.696470e-03,1.680048e-03,1.668364e-03,1.662109e-03,1.642877e-03,1.629984e-03,1.622553e-03,1.601317e-03,1.587762e-03,1.579326e-03,1.556724e-03,1.542922e-03,1.533636e-03,1.510175e-03,1.496435e-03,1.486438e-03,1.462513e-03,1.449063e-03,1.438479e-03,1.414405e-03,1.401409e-03,1.390350e-03,1.366368e-03,1.353942e-03,1.342506e-03,1.318804e-03,1.307024e-03,1.295297e-03,1.272019e-03,1.260933e-03,1.248994e-03,1.226246e-03,1.215881e-03,1.203795e-03,1.181658e-03,1.172021e-03,1.159848e-03,1.138377e-03,1.129463e-03,1.117255e-03,1.096490e-03,1.088285e-03,1.076086e-03,1.056050e-03,1.048533e-03,1.036383e-03,1.017088e-03,1.010233e-03,9.981661e-04,9.796167e-04,9.733947e-04,9.614393e-04,9.436322e-04,9.380119e-04,9.261935e-04,9.091204e-04,9.040693e-04,8.924098e-04,8.760580e-04,8.715432e-04,8.600610e-04,8.444147e-04,8.404036e-04,8.291145e-04,8.141557e-04,8.106158e-04,7.995333e-04,7.852423e-04,7.821422e-04,7.712774e-04,7.576335e-04,7.549427e-04,7.443050e-04,7.312866e-04,7.289759e-04,7.185729e-04,7.061583e-04,7.041994e-04,6.940373e-04,6.822045e-04,6.805706e-04,6.706543e-04,6.593814e-04,6.580470e-04,6.483803e-04,6.376456e-04,6.365866e-04,6.271720e-04,6.169543e-04,6.161477e-04,6.069872e-04,5.972655e-04,5.966899e-04,5.877843e-04,5.785384e-04,5.781734e-04,5.695230e-04,5.607331e-04,5.605596e-04,5.521640e-04,5.438110e-04,5.278913e-04,5.127653e-04,4.983992e-04,4.847603e-04,4.718171e-04,4.595393e-04,4.478977e-04,4.368645e-04,4.264125e-04,4.165162e-04,4.071507e-04,3.982921e-04,3.899179e-04,3.820060e-04,3.745356e-04,3.674865e-04,3.608396e-04,3.545765e-04,3.486793e-04,3.431314e-04,3.379164e-04,3.330188e-04,3.284238e-04,3.241172e-04,3.200852e-04,3.163149e-04,3.127938e-04,3.095099e-04,3.064517e-04,3.036083e-04,3.009691e-04,2.985241e-04,2.962638e-04,2.941787e-04,2.922602e-04,2.904997e-04,2.888892e-04,2.874210e-04,2.860875e-04,2.848819e-04,2.837972e-04,2.828269e-04,2.819649e-04,2.812053e-04,2.805423e-04,2.799705e-04,2.794848e-04,2.790801e-04,2.787517e-04
0.000000e+00,1.271810e-08,2.886449e-07,3.029783e-07,2.252239e-06,8.760946e-06,9.186355e-06,2.485875e-05,4.831371e-05,5.004433e-05,8.119299e-05,1.108303e-04,1.133538e-04,1.435286e-04,1.681540e-04,1.707351e-04,1.948752e-04,2.137148e-04,2.161185e-04,2.346962e-04,2.487204e-04,2.508430e-04,2.647811e-04,2.749325e-04,2.767154e-04,2.868368e-04,2.939074e-04,2.953211e-04,3.023295e-04,3.069730e-04,3.080093e-04,3.124950e-04,3.152441e-04,3.159092e-04,3.183632e-04,3.196489e-04,3.199585e-04,3.207869e-04,3.209557e-04,3.209320e-04,3.204694e-04,3.197988e-04,3.194676e-04,3.179887e-04,3.167000e-04,3.160889e-04,3.138190e-04,3.120876e-04,3.112248e-04,3.083479e-04,3.063126e-04,3.052257e-04,3.018920e-04,2.996617e-04,2.983773e-04,2.947091e-04,2.923687e-04,2.909121e-04,2.870085e-04,2.846236e-04,2.830183e-04,2.789595e-04,2.765804e-04,2.748481e-04,2.706986e-04,2.683630e-04,2.665237e-04,2.623351e-04,2.600712e-04,2.581430e-04,2.539564e-04,2.517844e-04,2.497836e-04,2.456316e-04,2.435654e-04,2.415068e-04,2.374148e-04,2.354637e-04,2.333604e-04,2.293479e-04,2.275173e-04,2.253811e-04,2.214631e-04,2.197554e-04,2.175967e-04,2.137842e-04,2.121995e-04,2.100276e-04,2.063286e-04,2.048654e-04,2.026885e-04,1.991083e-04,1.977637e-04,1.955889e-04,1.921309e-04,1.909011e-04,1.887347e-04,1.854006e-04,1.842812e-04,1.821287e-04,1.789189e-04,1.779049e-04,1.757711e-04,1.726850e-04,1.717711e-04,1.696602e-04,1.666964e-04,1.658774e-04,1.637929e-04,1.609492e-04,1.602196e-04,1.581647e-04,1.554386e-04,1.547929e-04,1.527702e-04,1.501587e-04,1.495918e-04,1.476035e-04,1.451035e-04,1.446101e-04,1.426580e-04,1.402661e-04,1.398412e-04,1.379269e-04,1.356396e-04,1.352784e-04,1.334033e-04,1.312169e-04,1.309148e-04,1.290798e-04,1.269908e-04,1.267434e-04,1.249492e-04,1.229541e-04,1.227571e-04,1.210045e-04,1.190996e-04,1.189491e-04,1.172384e-04,1.154202e-04,1.153125e-04,1.136440e-04,1.119090e-04,1.118405e-04,1.102144e-04,1.085593e-04,1.085266e-04,1.069429e-04,1.053644e-04,1.023476e-04,9.947020e-05,9.672634e-05,9.411038e-05,9.161685e-05,8.924051e-05,8.697630e-05,8.481936e-05,8.276501e-05,8.080878e-05,7.894634e-05,7.717357e-05,7.548652e-05,7.388138e-05,7.235452e-05,7.090246e-05,6.952186e-05,6.820953e-05,6.696241e-05,6.577758e-05,6.465224e-05,6.358371e-05,6.256942e-05,6.160694e-05,6.069390e-05,5.982808e-05,5.900733e-05,5.822959e-05,5.749291e-05,5.679541e-05,5.613530e-05,5.551086e-05,5.492046e-05,5.436253e-05,5.383558e-05,5.333816e-05,5.286891e-05,5.242653e-05,5.200975e-05,5.161739e-05,5.124830e-05,5.090140e-05,5.057562e-05,5.026999e-05,4.998353e-05,4.971534e-05,4.946455e-05,4.923033e-05,4.901188e-05
0.000000e+00,2.158241e-09,3.441919e-08,3.602298e-08,2.348976e-07,7.724089e-07,8.028357e-07,1.678263e-06,2.550112e-06,2.604632e-06,3.479980e-06,4.224675e-06,4.286648e-06,5.024766e-06,5.633358e-06,5.697855e-06,6.309915e-06,6.801126e-06,6.864820e-06,7.366241e-06,7.757335e-06,7.817645e-06,8.222327e-06,8.528458e-06,8.583432e-06,8.903960e-06,9.138526e-06,9.186772e-06,9.434590e-06,9.609387e-06,9.649994e-06,9.835420e-06,9.960725e-06,9.993166e-06,1.012539e-05,1.021005e-05,1.023410e-05,1.032120e-05,1.037278e-05,1.038845e-05,1.043748e-05,1.046237e-05,1.046983e-05,1.048690e-05,1.049047e-05,1.049002e-05,1.048040e-05,1.046717e-05,1.045919e-05,1.042742e-05,1.040116e-05,1.038609e-05,1.033608e-05,1.029991e-05,1.027823e-05,1.021332e-05,1.016985e-05,1.014206e-05,1.006511e-05,1.001647e-05,9.983085e-06,9.896548e-06,9.844497e-06,9.806021e-06,9.711983e-06,9.657953e-06,9.614872e-06,9.515094e-06,9.460239e-06,9.413024e-06,9.309008e-06,9.254256e-06,9.203362e-06,9.096379e-06,9.042470e-06,8.988325e-06,8.879445e-06,8.826956e-06,8.769964e-06,8.660089e-06,8.609467e-06,8.550008e-06,8.439895e-06,8.391475e-06,8.329905e-06,8.220182e-06,8.174210e-06,8.110856e-06,8.002047e-06,7.958692e-06,7.893860e-06,7.786395e-06,7.745765e-06,7.679738e-06,7.573968e-06,7.536123e-06,7.469158e-06,7.365370e-06,7.330325e-06,7.262661e-06,7.161081e-06,7.128822e-06,7.060676e-06,6.961483e-06,6.931967e-06,6.863537e-06,6.766868e-06,6.740033e-06,6.671500e-06,6.577456e-06,6.553223e-06,6.484752e-06,6.393404e-06,6.371683e-06,6.303423e-06,6.214817e-06,6.195509e-06,6.127594e-06,6.041755e-06,6.024754e-06,5.957305e-06,5.874241e-06,5.859437e-06,5.792563e-06,5.712266e-06,5.699546e-06,5.633345e-06,5.555795e-06,5.545046e-06,5.479606e-06,5.404772e-06,5.395882e-06,5.331281e-06,5.259123e-06,5.251980e-06,5.188287e-06,5.118760e-06,5.113254e-06,5.050530e-06,4.983583e-06,4.979607e-06,4.917906e-06,4.853483e-06,4.850932e-06,4.790301e-06,4.728345e-06,4.727118e-06,4.667598e-06,4.608046e-06,4.493595e-06,4.383641e-06,4.278056e-06,4.176716e-06,4.079493e-06,3.986261e-06,3.896895e-06,3.811272e-06,3.729270e-06,3.650770e-06,3.575654e-06,3.503808e-06,3.435118e-06,3.369476e-06,3.306774e-06,3.246908e-06,3.189778e-06,3.135285e-06,3.083332e-06,3.033827e-06,2.986681e-06,2.941804e-06,2.899114e-06,2.858527e-06,2.819964e-06,2.783348e-06,2.748604e-06,2.715661e-06,2.684448e-06,2.654897e-06,2.626943e-06,2.600524e-06,2.575576e-06,2.552043e-06,2.529865e-06,2.508989e-06,2.489360e-06,2.470926e-06,2.453638e-06,2.437448e-06,2.422308e-06,2.408174e-06,2.395002e-06,2.382750e-06,2.371377e-06,2.360844e-06,2.351113e-06,2.342148e-06,2.333913e-06
0.000000e+00,2.101464e-08,6.920388e-07,7.300837e-07,6.849233e-06,3.411322e-05,3.616377e-05,1.297544e-04,3.292526e-04,3.468206e-04,7.394729e-04,1.278163e-03,1.333171e-03,2.126731e-03,2.995775e-03,3.100440e-03,4.223901e-03,5.308485e-03,5.461888e-03,6.778329e-03,7.946943e-03,8.138873e-03,9.512417e-03,1.065633e-02,1.087192e-02,1.219469e-02,1.323895e-02,1.346238e-02,1.466072e-02,1.556226e-02,1.577916e-02,1.681045e-02,1.755142e-02,1.775017e-02,1.859627e-02,1.917661e-02,1.934871e-02,2.000901e-02,2.043988e-02,2.057991e-02,2.106512e-02,2.136385e-02,2.146901e-02,2.179643e-02,2.198285e-02,2.205248e-02,2.224241e-02,2.233648e-02,2.237148e-02,2.244486e-02,2.246524e-02,2.246759e-02,2.244446e-02,2.240773e-02,2.238007e-02,2.227872e-02,2.219909e-02,2.214443e-02,2.198096e-02,2.187032e-02,2.179176e-02,2.158002e-02,2.144804e-02,2.134865e-02,2.110031e-02,2.095473e-02,2.083741e-02,2.056215e-02,2.040908e-02,2.027652e-02,1.998229e-02,1.982643e-02,1.968107e-02,1.937432e-02,1.921928e-02,1.906334e-02,1.874927e-02,1.859773e-02,1.843316e-02,1.811594e-02,1.796988e-02,1.779844e-02,1.748138e-02,1.734218e-02,1.716542e-02,1.685114e-02,1.671978e-02,1.653907e-02,1.622964e-02,1.610671e-02,1.592327e-02,1.562030e-02,1.550614e-02,1.532106e-02,1.502580e-02,1.492053e-02,1.473476e-02,1.444816e-02,1.435175e-02,1.416616e-02,1.388891e-02,1.380122e-02,1.361655e-02,1.334918e-02,1.326995e-02,1.308689e-02,1.282974e-02,1.275867e-02,1.257781e-02,1.233111e-02,1.226783e-02,1.208969e-02,1.185355e-02,1.179767e-02,1.162271e-02,1.139716e-02,1.134825e-02,1.117689e-02,1.096187e-02,1.091950e-02,1.075209e-02,1.054750e-02,1.051122e-02,1.034807e-02,1.015375e-02,1.012313e-02,9.964494e-03,9.780249e-03,9.754852e-03,9.600958e-03,9.426560e-03,9.405958e-03,9.256992e-03,9.092189e-03,9.075968e-03,8.932081e-03,8.776600e-03,8.764359e-03,8.625674e-03,8.479230e-03,8.470584e-03,8.337193e-03,8.199490e-03,8.194071e-03,8.066043e-03,7.936777e-03,7.934234e-03,7.811615e-03,7.690480e-03,7.462210e-03,7.248826e-03,7.049733e-03,6.864345e-03,6.692080e-03,6.532371e-03,6.384658e-03,6.248398e-03,6.123060e-03,6.008127e-03,5.903097e-03,5.807482e-03,5.720809e-03,5.642620e-03,5.572473e-03,5.509937e-03,5.454598e-03,5.406054e-03,5.363918e-03,5.327814e-03,5.297382e-03,5.272270e-03,5.252143e-03,5.236674e-03,5.225548e-03,5.218464e-03,5.215129e-03,5.215260e-03,5.218588e-03,5.224852e-03,5.233801e-03,5.245194e-03,5.258801e-03,5.274400e-03,5.291778e-03,5.310734e-03,5.331074e-03,5.352613e-03,5.375177e-03,5.398598e-03,5.422720e-03,5.447394e-03,5.472479e-03,5.497842e-03,5.523362e-03,5.548921e-03,5.574413e-03,5.599738e-03,5.624805e-03
0.000000e+00,2.023479e-08,3.235847e-07,3.382882e-07,2.211717e-06,8.055963e-06,8.425874e-06,2.125740e-05,3.795998e-05,3.909386e-05,5.796564e-05,7.440143e-05,7.577070e-05,9.203192e-05,1.053310e-04,1.067329e-04,1.199536e-04,1.304403e-04,1.317910e-04,1.423423e-04,1.504593e-04,1.517012e-04,1.599571e-04,1.661017e-04,1.671946e-04,1.734936e-04,1.780111e-04,1.789290e-04,1.835710e-04,1.867577e-04,1.874853e-04,1.907330e-04,1.928402e-04,1.933710e-04,1.954521e-04,1.966916e-04,1.970254e-04,1.981362e-04,1.986855e-04,1.988268e-04,1.991360e-04,1.991428e-04,1.990999e-04,1.987517e-04,1.983388e-04,1.981222e-04,1.972396e-04,1.965084e-04,1.961303e-04,1.948182e-04,1.938519e-04,1.933255e-04,1.916727e-04,1.905396e-04,1.898785e-04,1.879603e-04,1.867157e-04,1.859338e-04,1.838136e-04,1.825022e-04,1.816131e-04,1.793444e-04,1.780018e-04,1.770187e-04,1.746462e-04,1.733007e-04,1.722363e-04,1.697972e-04,1.684709e-04,1.673369e-04,1.648623e-04,1.635720e-04,1.623798e-04,1.598951e-04,1.586536e-04,1.574135e-04,1.549396e-04,1.537561e-04,1.524776e-04,1.500315e-04,1.489125e-04,1.476045e-04,1.451997e-04,1.441493e-04,1.428198e-04,1.404672e-04,1.394877e-04,1.381439e-04,1.358518e-04,1.349441e-04,1.335925e-04,1.313674e-04,1.305311e-04,1.291776e-04,1.270242e-04,1.262580e-04,1.249079e-04,1.228295e-04,1.221315e-04,1.207894e-04,1.187880e-04,1.181558e-04,1.168257e-04,1.149026e-04,1.143333e-04,1.130187e-04,1.111742e-04,1.106647e-04,1.093688e-04,1.076025e-04,1.071496e-04,1.058750e-04,1.041861e-04,1.037864e-04,1.025354e-04,1.009226e-04,1.005728e-04,9.934725e-05,9.780892e-05,9.750566e-05,9.630714e-05,9.484139e-05,9.458135e-05,9.341116e-05,9.201589e-05,9.179586e-05,9.065503e-05,8.932800e-05,8.914488e-05,8.803421e-05,8.677306e-05,8.662388e-05,8.554395e-05,8.434627e-05,8.422820e-05,8.317940e-05,8.204273e-05,8.195309e-05,8.093565e-05,7.985754e-05,7.979376e-05,7.880778e-05,7.778576e-05,7.774545e-05,7.679088e-05,7.582253e-05,7.580343e-05,7.488011e-05,7.396304e-05,7.221973e-05,7.056904e-05,6.900664e-05,6.752835e-05,6.613010e-05,6.480799e-05,6.355825e-05,6.237727e-05,6.126158e-05,6.020785e-05,5.921291e-05,5.827374e-05,5.738742e-05,5.655119e-05,5.576244e-05,5.501864e-05,5.431741e-05,5.365650e-05,5.303374e-05,5.244709e-05,5.189461e-05,5.137444e-05,5.088485e-05,5.042417e-05,4.999082e-05,4.958332e-05,4.920026e-05,4.884028e-05,4.850213e-05,4.818461e-05,4.788657e-05,4.760694e-05,4.734469e-05,4.709887e-05,4.686855e-05,4.665288e-05,4.645103e-05,4.626223e-05,4.608575e-05,4.592090e-05,4.576701e-05,4.562348e-05,4.548971e-05,4.536514e-05,4.524926e-05,4.514157e-05,4.504160e-05,4.494890e-05,4.486306e-05
0.000000e+00,7.991777e-09,2.633124e-07,2.779854e-07,2.736533e-06,1.418149e-05,1.505235e-05,5.508659e-05,1.402433e-04,1.476951e-04,3.114023e-04,5.256006e-04,5.467618e-04,8.377702e-04,1.127946e-03,1.161043e-03,1.493525e-03,1.778643e-03,1.816383e-03,2.116137e-03,2.348892e-03,2.384343e-03,2.616672e-03,2.783125e-03,2.811880e-03,2.970865e-03,3.075760e-03,3.095888e-03,3.189995e-03,3.245303e-03,3.256588e-03,3.299138e-03,3.317803e-03,3.321000e-03,3.325296e-03,3.318568e-03,3.314859e-03,3.292211e-03,3.268901e-03,3.259561e-03,3.218823e-03,3.185415e-03,3.171638e-03,3.119401e-03,3.080469e-03,3.063292e-03,3.004299e-03,2.962964e-03,2.943249e-03,2.880825e-03,2.839153e-03,2.817595e-03,2.754024e-03,2.713337e-03,2.690490e-03,2.627303e-03,2.588413e-03,2.564712e-03,2.502915e-03,2.466285e-03,2.442070e-03,2.382300e-03,2.348164e-03,2.323700e-03,2.266341e-03,2.234782e-03,2.210274e-03,2.155537e-03,2.126539e-03,2.102150e-03,2.050126e-03,2.023613e-03,1.999467e-03,1.950170e-03,1.926029e-03,1.902224e-03,1.855615e-03,1.833713e-03,1.810326e-03,1.766335e-03,1.746528e-03,1.723618e-03,1.682151e-03,1.664295e-03,1.641909e-03,1.602863e-03,1.586814e-03,1.564986e-03,1.528250e-03,1.513869e-03,1.492627e-03,1.458088e-03,1.445242e-03,1.424606e-03,1.392153e-03,1.380716e-03,1.360700e-03,1.330221e-03,1.320075e-03,1.300688e-03,1.272076e-03,1.263110e-03,1.244358e-03,1.217510e-03,1.209621e-03,1.191506e-03,1.166322e-03,1.159414e-03,1.141934e-03,1.118320e-03,1.112304e-03,1.095456e-03,1.073321e-03,1.068114e-03,1.051893e-03,1.031151e-03,1.026678e-03,1.011076e-03,9.916470e-04,9.878371e-04,9.728450e-04,9.546513e-04,9.514396e-04,9.370478e-04,9.200166e-04,9.173436e-04,9.035407e-04,8.876033e-04,8.854141e-04,8.721881e-04,8.572794e-04,8.555237e-04,8.428619e-04,8.289206e-04,8.275521e-04,8.154411e-04,8.024093e-04,8.013857e-04,7.898116e-04,7.776347e-04,7.769172e-04,7.658658e-04,7.544925e-04,7.540456e-04,7.435025e-04,7.328841e-04,7.326755e-04,7.226260e-04,7.127169e-04,6.940852e-04,6.767006e-04,6.604877e-04,6.453756e-04,6.312977e-04,6.181910e-04,6.059964e-04,5.946580e-04,5.841234e-04,5.743431e-04,5.652707e-04,5.568622e-04,5.490766e-04,5.418749e-04,5.352208e-04,5.290797e-04,5.234194e-04,5.182094e-04,5.134212e-04,5.090277e-04,5.050036e-04,5.013251e-04,4.979697e-04,4.949164e-04,4.921453e-04,4.896378e-04,4.873763e-04,4.853444e-04,4.835265e-04,4.819080e-04,4.804753e-04,4.792155e-04,4.781165e-04,4.771669e-04,4.763561e-04,4.756740e-04,4.751113e-04,4.746591e-04,4.743091e-04,4.740536e-04,4.738853e-04,4.737972e-04,4.737831e-04,4.738369e-04,4.739530e-04,4.741261e-04,4.743513e-04,4.746240e-04,4.749398e-04
0.000000e+00,2.248974e-08,6.064375e-07,6.375881e-07,5.232522e-06,2.407689e-05,2.545286e-05,8.523942e-05,2.002731e-04,2.097840e-04,4.028323e-04,6.238345e-04,6.443014e-04,9.084353e-04,1.149343e-03,1.175855e-03,1.435172e-03,1.652069e-03,1.680706e-03,1.910077e-03,2.093870e-03,2.122612e-03,2.318468e-03,2.470485e-03,2.498183e-03,2.662464e-03,2.786189e-03,2.812069e-03,2.947773e-03,3.046844e-03,3.070344e-03,3.180538e-03,3.258368e-03,3.279085e-03,3.366690e-03,3.426368e-03,3.444028e-03,3.511742e-03,3.556018e-03,3.570448e-03,3.620729e-03,3.652026e-03,3.663139e-03,3.698203e-03,3.718644e-03,3.726419e-03,3.748257e-03,3.759693e-03,3.764163e-03,3.774558e-03,3.778592e-03,3.779837e-03,3.780377e-03,3.778400e-03,3.776531e-03,3.768633e-03,3.761839e-03,3.756996e-03,3.741917e-03,3.731335e-03,3.723675e-03,3.702533e-03,3.689039e-03,3.678737e-03,3.652519e-03,3.636861e-03,3.624097e-03,3.593678e-03,3.576489e-03,3.561453e-03,3.527603e-03,3.509415e-03,3.492297e-03,3.455695e-03,3.436955e-03,3.417945e-03,3.379186e-03,3.360262e-03,3.339549e-03,3.299156e-03,3.280352e-03,3.258119e-03,3.216547e-03,3.198111e-03,3.174537e-03,3.132183e-03,3.114312e-03,3.089569e-03,3.046776e-03,3.029626e-03,3.003878e-03,2.960944e-03,2.944633e-03,2.918038e-03,2.875219e-03,2.859836e-03,2.832541e-03,2.790054e-03,2.775660e-03,2.747805e-03,2.705837e-03,2.692472e-03,2.664188e-03,2.622894e-03,2.610580e-03,2.581987e-03,2.541498e-03,2.530240e-03,2.501453e-03,2.461877e-03,2.451666e-03,2.422790e-03,2.384214e-03,2.375033e-03,2.346164e-03,2.308657e-03,2.300480e-03,2.271707e-03,2.235324e-03,2.228116e-03,2.199519e-03,2.164301e-03,2.158025e-03,2.129677e-03,2.095652e-03,2.090264e-03,2.062231e-03,2.029419e-03,2.024873e-03,1.997216e-03,1.965625e-03,1.961875e-03,1.934645e-03,1.904277e-03,1.901274e-03,1.874519e-03,1.845370e-03,1.843064e-03,1.816826e-03,1.788884e-03,1.787227e-03,1.761541e-03,1.734791e-03,1.733734e-03,1.708631e-03,1.683055e-03,1.682549e-03,1.658057e-03,1.633631e-03,1.586931e-03,1.542395e-03,1.499967e-03,1.459589e-03,1.421198e-03,1.384731e-03,1.350124e-03,1.317312e-03,1.286231e-03,1.256816e-03,1.229002e-03,1.202727e-03,1.177928e-03,1.154543e-03,1.132512e-03,1.111777e-03,1.092280e-03,1.073966e-03,1.056780e-03,1.040671e-03,1.025586e-03,1.011478e-03,9.982993e-04,9.860035e-04,9.745470e-04,9.638875e-04,9.539843e-04,9.447983e-04,9.362920e-04,9.284293e-04,9.211759e-04,9.144988e-04,9.083662e-04,9.027482e-04,8.976157e-04,8.929412e-04,8.886983e-04,8.848620e-04,8.814082e-04,8.783141e-04,8.755579e-04,8.731189e-04,8.709774e-04,8.691145e-04,8.675124e-04,8.661540e-04,8.650234e-04,8.641051e-04,8.633846e-04
0.000000e+00,5.442048e-09,2.182293e-07,2.314484e-07,2.788324e-06,1.625101e-05,1.730539e-05,6.612004e-05,1.658550e-04,1.742983e-04,3.519497e-04,5.711328e-04,5.923257e-04,8.794916e-04,1.162660e-03,1.194972e-03,1.521551e-03,1.806724e-03,1.844980e-03,2.154448e-03,2.403585e-03,2.442399e-03,2.704065e-03,2.901648e-03,2.936917e-03,3.140123e-03,3.284887e-03,3.314091e-03,3.460072e-03,3.557902e-03,3.579864e-03,3.675582e-03,3.734978e-03,3.749479e-03,3.803833e-03,3.833439e-03,3.840859e-03,3.862656e-03,3.870134e-03,3.871174e-03,3.868198e-03,3.859853e-03,3.855345e-03,3.834064e-03,3.814846e-03,3.805639e-03,3.771208e-03,3.744879e-03,3.731769e-03,3.688194e-03,3.657541e-03,3.641241e-03,3.591570e-03,3.558621e-03,3.539750e-03,3.486272e-03,3.452470e-03,3.431557e-03,3.375967e-03,3.342323e-03,3.319811e-03,3.263353e-03,3.230559e-03,3.206817e-03,3.150394e-03,3.118908e-03,3.094245e-03,3.038504e-03,3.008613e-03,2.983283e-03,2.928677e-03,2.900551e-03,2.874763e-03,2.821605e-03,2.795325e-03,2.769253e-03,2.717749e-03,2.693339e-03,2.667126e-03,2.617409e-03,2.594848e-03,2.568615e-03,2.520759e-03,2.500001e-03,2.473848e-03,2.427887e-03,2.408867e-03,2.382878e-03,2.338818e-03,2.321459e-03,2.295704e-03,2.253528e-03,2.237746e-03,2.212284e-03,2.171962e-03,2.157670e-03,2.132551e-03,2.094040e-03,2.081149e-03,2.056416e-03,2.019666e-03,2.008088e-03,1.983776e-03,1.948733e-03,1.938383e-03,1.914522e-03,1.881129e-03,1.871923e-03,1.848538e-03,1.816736e-03,1.808594e-03,1.785706e-03,1.755434e-03,1.748280e-03,1.725905e-03,1.697104e-03,1.690864e-03,1.669016e-03,1.641627e-03,1.636232e-03,1.614923e-03,1.588887e-03,1.584271e-03,1.563508e-03,1.538769e-03,1.534870e-03,1.514659e-03,1.491162e-03,1.487921e-03,1.468266e-03,1.445957e-03,1.443319e-03,1.424223e-03,1.403050e-03,1.400963e-03,1.382425e-03,1.362338e-03,1.360753e-03,1.342774e-03,1.323723e-03,1.322596e-03,1.305173e-03,1.287113e-03,1.286400e-03,1.269530e-03,1.252415e-03,1.252077e-03,1.235756e-03,1.219542e-03,1.188714e-03,1.159514e-03,1.131869e-03,1.105705e-03,1.080954e-03,1.057551e-03,1.035431e-03,1.014535e-03,9.948045e-04,9.761840e-04,9.586207e-04,9.420638e-04,9.264649e-04,9.117777e-04,8.979577e-04,8.849628e-04,8.727525e-04,8.612880e-04,8.505324e-04,8.404506e-04,8.310086e-04,8.221745e-04,8.139174e-04,8.062080e-04,7.990183e-04,7.923215e-04,7.860921e-04,7.803057e-04,7.749391e-04,7.699701e-04,7.653775e-04,7.611412e-04,7.572417e-04,7.536609e-04,7.503812e-04,7.473858e-04,7.446589e-04,7.421853e-04,7.399505e-04,7.379408e-04,7.361431e-04,7.345448e-04,7.331340e-04,7.318995e-04,7.308306e-04,7.299168e-04,7.291485e-04,7.285166e-04,7.280120e-04
0.000000e+00,1.864425e-08,2.971128e-07,3.100106e-07,1.897783e-06,7.116505e-06,7.463979e-06,2.064803e-05,4.075839e-05,4.223113e-05,6.829955e-05,9.268854e-05,9.476792e-05,1.198859e-04,1.409369e-04,1.431812e-04,1.645902e-04,1.819102e-04,1.841650e-04,2.019896e-04,2.159896e-04,2.181568e-04,2.327607e-04,2.438902e-04,2.458974e-04,2.576588e-04,2.663359e-04,2.681292e-04,2.773932e-04,2.839908e-04,2.855324e-04,2.926245e-04,2.974771e-04,2.987433e-04,3.039588e-04,3.073592e-04,3.083369e-04,3.119400e-04,3.141418e-04,3.148265e-04,3.170515e-04,3.182729e-04,3.186665e-04,3.197201e-04,3.201478e-04,3.202574e-04,3.203210e-04,3.201139e-04,3.199504e-04,3.191828e-04,3.184755e-04,3.180527e-04,3.165926e-04,3.154988e-04,3.148325e-04,3.128006e-04,3.114158e-04,3.105230e-04,3.080243e-04,3.064284e-04,3.053270e-04,3.024524e-04,3.007117e-04,2.994201e-04,2.962482e-04,2.944175e-04,2.929539e-04,2.895526e-04,2.876767e-04,2.860591e-04,2.824868e-04,2.806022e-04,2.788482e-04,2.751547e-04,2.732908e-04,2.714171e-04,2.676452e-04,2.658252e-04,2.638481e-04,2.600339e-04,2.582759e-04,2.562106e-04,2.523849e-04,2.507026e-04,2.485634e-04,2.447520e-04,2.431556e-04,2.409561e-04,2.371805e-04,2.356769e-04,2.334297e-04,2.297077e-04,2.283017e-04,2.260182e-04,2.223646e-04,2.210586e-04,2.187496e-04,2.151761e-04,2.139709e-04,2.116462e-04,2.081622e-04,2.070574e-04,2.047259e-04,2.013389e-04,2.003326e-04,1.980024e-04,1.947179e-04,1.938076e-04,1.914862e-04,1.883082e-04,1.874908e-04,1.851846e-04,1.821159e-04,1.813876e-04,1.791025e-04,1.761446e-04,1.755014e-04,1.732426e-04,1.703964e-04,1.698338e-04,1.676059e-04,1.648711e-04,1.643848e-04,1.621918e-04,1.595677e-04,1.591529e-04,1.569984e-04,1.544836e-04,1.541359e-04,1.520228e-04,1.496155e-04,1.493302e-04,1.472611e-04,1.449591e-04,1.447318e-04,1.427089e-04,1.405097e-04,1.403360e-04,1.383610e-04,1.362620e-04,1.361376e-04,1.342119e-04,1.322101e-04,1.321311e-04,1.302558e-04,1.283483e-04,1.283106e-04,1.264866e-04,1.246701e-04,1.212035e-04,1.179045e-04,1.147670e-04,1.117846e-04,1.089512e-04,1.062607e-04,1.037071e-04,1.012846e-04,9.898746e-05,9.681007e-05,9.474705e-05,9.279316e-05,9.094334e-05,8.919269e-05,8.753652e-05,8.597028e-05,8.448963e-05,8.309037e-05,8.176850e-05,8.052019e-05,7.934174e-05,7.822965e-05,7.718055e-05,7.619125e-05,7.525867e-05,7.437990e-05,7.355216e-05,7.277280e-05,7.203928e-05,7.134922e-05,7.070031e-05,7.009040e-05,6.951740e-05,6.897936e-05,6.847441e-05,6.800078e-05,6.755678e-05,6.714081e-05,6.675136e-05,6.638698e-05,6.604632e-05,6.572806e-05,6.543099e-05,6.515395e-05,6.489582e-05,6.465556e-05,6.443218e-05,6.422474e-05,6.403234e-05
0.000000e+00,1.422816e-08,1.597300e-07,1.660542e-07,8.678442e-07,2.790832e-06,2.908264e-06,6.901058e-06,1.212848e-05,1.248939e-05,1.863167e-05,2.419228e-05,2.466462e-05,3.038797e-05,3.523995e-05,3.576141e-05,4.078430e-05,4.492171e-05,4.546586e-05,4.981833e-05,5.330844e-05,5.385510e-05,5.759005e-05,6.050446e-05,6.103725e-05,6.421070e-05,6.661831e-05,6.712415e-05,6.979105e-05,7.175580e-05,7.222440e-05,7.443676e-05,7.601676e-05,7.644019e-05,7.824626e-05,7.949370e-05,7.986603e-05,8.131008e-05,8.227150e-05,8.258850e-05,8.371092e-05,8.442762e-05,8.468649e-05,8.552394e-05,8.603245e-05,8.623159e-05,8.681731e-05,8.714981e-05,8.728862e-05,8.765265e-05,8.783746e-05,8.791619e-05,8.808565e-05,8.814757e-05,8.816715e-05,8.816647e-05,8.812722e-05,8.808914e-05,8.794036e-05,8.781887e-05,8.772508e-05,8.744798e-05,8.726070e-05,8.711351e-05,8.672587e-05,8.648705e-05,8.628903e-05,8.580676e-05,8.552871e-05,8.528263e-05,8.471999e-05,8.441327e-05,8.412203e-05,8.349176e-05,8.316540e-05,8.283202e-05,8.214549e-05,8.180718e-05,8.143469e-05,8.070203e-05,8.035828e-05,7.994974e-05,7.917996e-05,7.883623e-05,7.839467e-05,7.759577e-05,7.725661e-05,7.678503e-05,7.596410e-05,7.563323e-05,7.513456e-05,7.429787e-05,7.397835e-05,7.345542e-05,7.260850e-05,7.230275e-05,7.175831e-05,7.090601e-05,7.061593e-05,7.005264e-05,6.919921e-05,6.892625e-05,6.834664e-05,6.749579e-05,6.724100e-05,6.664748e-05,6.580245e-05,6.556652e-05,6.496139e-05,6.412496e-05,6.390832e-05,6.329375e-05,6.246833e-05,6.227114e-05,6.164919e-05,6.083682e-05,6.065905e-05,6.003165e-05,5.923407e-05,5.907550e-05,5.844445e-05,5.766312e-05,5.752339e-05,5.689039e-05,5.612652e-05,5.600514e-05,5.537176e-05,5.462634e-05,5.452274e-05,5.389045e-05,5.316426e-05,5.307778e-05,5.244794e-05,5.174160e-05,5.167152e-05,5.104537e-05,5.035934e-05,5.030490e-05,4.968360e-05,4.901821e-05,4.897861e-05,4.836321e-05,4.771866e-05,4.769309e-05,4.708456e-05,4.646094e-05,4.644857e-05,4.584778e-05,4.524509e-05,4.408256e-05,4.296070e-05,4.187915e-05,4.083743e-05,3.983498e-05,3.887115e-05,3.794524e-05,3.705648e-05,3.620407e-05,3.538718e-05,3.460492e-05,3.385642e-05,3.314076e-05,3.245702e-05,3.180429e-05,3.118165e-05,3.058817e-05,3.002293e-05,2.948502e-05,2.897355e-05,2.848763e-05,2.802637e-05,2.758893e-05,2.717445e-05,2.678211e-05,2.641109e-05,2.606061e-05,2.572988e-05,2.541816e-05,2.512471e-05,2.484881e-05,2.458976e-05,2.434689e-05,2.411954e-05,2.390707e-05,2.370885e-05,2.352429e-05,2.335280e-05,2.319381e-05,2.304678e-05,2.291118e-05,2.278649e-05,2.267221e-05,2.256788e-05,2.247302e-05,2.238718e-05,2.230994e-05,2.224087e-05,2.217956e-05
0.000000e+00,2.496556e-10,4.582898e-09,4.807458e-09,3.364729e-08,1.110713e-07,1.153588e-07,2.351094e-07,3.511267e-07,3.583592e-07,4.747306e-07,5.745256e-07,5.828751e-07,6.829264e-07,7.663603e-07,7.752576e-07,8.602757e-07,9.293638e-07,9.383853e-07,1.009980e-06,1.066633e-06,1.075442e-06,1.135136e-06,1.181080e-06,1.189414e-06,1.238611e-06,1.275383e-06,1.283043e-06,1.323013e-06,1.351970e-06,1.358808e-06,1.390698e-06,1.413025e-06,1.418936e-06,1.443761e-06,1.460485e-06,1.465399e-06,1.484061e-06,1.496075e-06,1.499950e-06,1.513256e-06,1.521342e-06,1.524165e-06,1.532842e-06,1.537674e-06,1.539446e-06,1.544126e-06,1.546279e-06,1.547019e-06,1.548256e-06,1.548225e-06,1.547960e-06,1.546245e-06,1.544454e-06,1.543221e-06,1.538988e-06,1.535798e-06,1.533641e-06,1.527271e-06,1.522992e-06,1.519960e-06,1.511787e-06,1.506680e-06,1.502825e-06,1.493143e-06,1.487431e-06,1.482806e-06,1.471874e-06,1.465744e-06,1.460404e-06,1.448448e-06,1.442055e-06,1.436056e-06,1.423273e-06,1.416750e-06,1.410144e-06,1.396709e-06,1.390162e-06,1.383004e-06,1.369066e-06,1.362585e-06,1.354927e-06,1.340617e-06,1.334274e-06,1.326165e-06,1.311597e-06,1.305450e-06,1.296939e-06,1.282212e-06,1.276307e-06,1.267438e-06,1.252637e-06,1.247009e-06,1.237826e-06,1.223024e-06,1.217700e-06,1.208246e-06,1.193505e-06,1.188504e-06,1.178816e-06,1.164190e-06,1.159525e-06,1.149640e-06,1.135174e-06,1.130853e-06,1.120804e-06,1.106537e-06,1.102562e-06,1.092382e-06,1.078346e-06,1.074717e-06,1.064435e-06,1.050656e-06,1.047369e-06,1.037014e-06,1.023514e-06,1.020563e-06,1.010159e-06,9.969552e-07,9.943327e-07,9.839044e-07,9.710101e-07,9.687059e-07,9.582749e-07,9.457010e-07,9.437043e-07,9.332905e-07,9.210450e-07,9.193438e-07,9.089657e-07,8.970538e-07,8.956356e-07,8.853100e-07,8.737350e-07,8.725868e-07,8.623291e-07,8.510925e-07,8.502009e-07,8.400251e-07,8.291267e-07,8.284782e-07,8.183971e-07,8.078356e-07,8.074166e-07,7.974416e-07,7.872144e-07,7.870116e-07,7.771531e-07,7.672567e-07,7.481438e-07,7.296635e-07,7.118053e-07,6.945576e-07,6.779082e-07,6.618441e-07,6.463519e-07,6.314179e-07,6.170282e-07,6.031686e-07,5.898248e-07,5.769827e-07,5.646278e-07,5.527462e-07,5.413238e-07,5.303466e-07,5.198011e-07,5.096738e-07,4.999514e-07,4.906209e-07,4.816697e-07,4.730854e-07,4.648557e-07,4.569688e-07,4.494131e-07,4.421774e-07,4.352506e-07,4.286222e-07,4.222816e-07,4.162189e-07,4.104242e-07,4.048881e-07,3.996012e-07,3.945546e-07,3.897396e-07,3.851479e-07,3.807712e-07,3.766016e-07,3.726315e-07,3.688535e-07,3.652604e-07,3.618452e-07,3.586013e-07,3.555221e-07,3.526014e-07,3.498330e-07,3.472112e-07,3.447302e-07,3.423845e-07
0.000000e+00,6.971963e-10,8.696280e-09,9.065028e-09,5.209831e-08,1.722736e-07,1.795883e-07,4.262674e-07,7.465730e-07,7.686689e-07,1.144125e-06,1.480981e-06,1.509377e-06,1.850076e-06,2.133430e-06,2.163558e-06,2.450323e-06,2.681590e-06,2.711655e-06,2.949013e-06,3.135088e-06,3.163867e-06,3.357647e-06,3.505145e-06,3.531729e-06,3.687424e-06,3.802253e-06,3.825982e-06,3.948580e-06,4.035916e-06,4.056329e-06,4.150279e-06,4.214614e-06,4.231412e-06,4.300658e-06,4.345872e-06,4.358887e-06,4.406917e-06,4.436345e-06,4.445514e-06,4.475394e-06,4.491890e-06,4.497231e-06,4.511652e-06,4.517651e-06,4.519246e-06,4.520564e-06,4.518139e-06,4.516120e-06,4.506394e-06,4.497301e-06,4.491835e-06,4.472863e-06,4.458587e-06,4.449869e-06,4.423218e-06,4.405007e-06,4.393249e-06,4.360281e-06,4.339184e-06,4.324609e-06,4.286507e-06,4.263397e-06,4.246233e-06,4.204023e-06,4.179624e-06,4.160101e-06,4.114671e-06,4.089579e-06,4.067924e-06,4.020037e-06,3.994741e-06,3.971176e-06,3.921493e-06,3.896387e-06,3.871127e-06,3.820211e-06,3.795611e-06,3.768863e-06,3.717197e-06,3.693351e-06,3.665313e-06,3.613307e-06,3.590408e-06,3.561266e-06,3.509269e-06,3.487461e-06,3.457390e-06,3.405696e-06,3.385084e-06,3.354248e-06,3.303102e-06,3.283757e-06,3.252310e-06,3.201917e-06,3.183882e-06,3.151966e-06,3.102494e-06,3.085789e-06,3.053536e-06,3.005123e-06,2.989750e-06,2.957281e-06,2.910035e-06,2.895981e-06,2.863407e-06,2.817415e-06,2.804653e-06,2.772076e-06,2.727404e-06,2.715900e-06,2.683411e-06,2.640107e-06,2.629818e-06,2.597502e-06,2.555600e-06,2.546477e-06,2.514408e-06,2.473929e-06,2.465919e-06,2.434166e-06,2.395119e-06,2.388167e-06,2.356790e-06,2.319177e-06,2.313225e-06,2.282278e-06,2.246091e-06,2.241081e-06,2.210611e-06,2.175836e-06,2.171710e-06,2.141760e-06,2.108378e-06,2.105077e-06,2.075683e-06,2.043670e-06,2.041138e-06,2.012331e-06,1.981660e-06,1.979841e-06,1.951648e-06,1.922288e-06,1.921127e-06,1.893572e-06,1.865490e-06,1.864935e-06,1.838036e-06,1.811199e-06,1.759849e-06,1.710815e-06,1.664025e-06,1.619405e-06,1.576883e-06,1.536385e-06,1.497840e-06,1.461175e-06,1.426319e-06,1.393205e-06,1.361762e-06,1.331926e-06,1.303631e-06,1.276814e-06,1.251413e-06,1.227371e-06,1.204627e-06,1.183128e-06,1.162818e-06,1.143646e-06,1.125562e-06,1.108516e-06,1.092461e-06,1.077354e-06,1.063150e-06,1.049808e-06,1.037287e-06,1.025549e-06,1.014557e-06,1.004275e-06,9.946690e-07,9.857064e-07,9.773555e-07,9.695862e-07,9.623695e-07,9.556778e-07,9.494844e-07,9.437639e-07,9.384919e-07,9.336450e-07,9.292010e-07,9.251383e-07,9.214366e-07,9.180763e-07,9.150387e-07,9.123058e-07,9.098605e-07,9.076866e-07,9.057683e-07
0.000000e+00,4.089299e-10,5.260710e-09,5.487476e-09,3.248134e-08,1.097971e-07,1.145564e-07,2.776651e-07,4.962086e-07,5.115430e-07,7.761684e-07,1.018299e-06,1.038856e-06,1.287029e-06,1.495507e-06,1.517788e-06,1.731055e-06,1.904765e-06,1.927472e-06,2.107862e-06,2.250831e-06,2.273080e-06,2.423968e-06,2.540244e-06,2.561351e-06,2.686021e-06,2.779295e-06,2.798733e-06,2.900210e-06,2.973763e-06,2.991135e-06,3.072164e-06,3.128897e-06,3.143917e-06,3.206982e-06,3.249445e-06,3.261916e-06,3.309248e-06,3.339675e-06,3.349478e-06,3.383078e-06,3.403416e-06,3.410494e-06,3.432147e-06,3.444089e-06,3.448435e-06,3.459735e-06,3.464751e-06,3.466401e-06,3.468766e-06,3.468126e-06,3.467147e-06,3.461841e-06,3.456640e-06,3.453127e-06,3.441269e-06,3.432448e-06,3.426516e-06,3.409101e-06,3.397467e-06,3.389245e-06,3.367152e-06,3.353392e-06,3.343019e-06,3.317028e-06,3.301725e-06,3.289350e-06,3.260145e-06,3.243794e-06,3.229566e-06,3.197754e-06,3.180768e-06,3.164841e-06,3.130952e-06,3.113678e-06,3.096203e-06,3.060703e-06,3.043427e-06,3.024555e-06,2.987852e-06,2.970808e-06,2.950685e-06,2.913136e-06,2.896513e-06,2.875282e-06,2.837195e-06,2.821146e-06,2.798943e-06,2.760586e-06,2.745228e-06,2.722185e-06,2.683791e-06,2.669213e-06,2.645454e-06,2.607221e-06,2.593491e-06,2.569134e-06,2.531232e-06,2.518394e-06,2.493551e-06,2.456125e-06,2.444207e-06,2.418982e-06,2.382153e-06,2.371168e-06,2.345660e-06,2.309529e-06,2.299480e-06,2.273780e-06,2.238431e-06,2.229308e-06,2.203499e-06,2.169001e-06,2.160788e-06,2.134949e-06,2.101357e-06,2.094029e-06,2.068233e-06,2.035588e-06,2.029117e-06,2.003429e-06,1.971764e-06,1.966117e-06,1.940598e-06,1.909935e-06,1.905076e-06,1.879780e-06,1.850135e-06,1.846026e-06,1.821003e-06,1.792383e-06,1.788984e-06,1.764278e-06,1.736686e-06,1.733955e-06,1.709607e-06,1.683040e-06,1.680936e-06,1.656982e-06,1.631431e-06,1.629914e-06,1.606384e-06,1.581838e-06,1.580867e-06,1.557790e-06,1.534235e-06,1.533769e-06,1.511169e-06,1.488587e-06,1.445285e-06,1.403823e-06,1.364156e-06,1.326240e-06,1.290027e-06,1.255467e-06,1.222511e-06,1.191109e-06,1.161210e-06,1.132763e-06,1.105718e-06,1.080024e-06,1.055633e-06,1.032494e-06,1.010561e-06,9.897856e-07,9.701226e-07,9.515267e-07,9.339542e-07,9.173622e-07,9.017095e-07,8.869557e-07,8.730618e-07,8.599899e-07,8.477035e-07,8.361672e-07,8.253468e-07,8.152093e-07,8.057229e-07,7.968570e-07,7.885819e-07,7.808693e-07,7.736918e-07,7.670232e-07,7.608381e-07,7.551124e-07,7.498226e-07,7.449464e-07,7.404625e-07,7.363501e-07,7.325896e-07,7.291621e-07,7.260496e-07,7.232346e-07,7.207007e-07,7.184319e-07,7.164132e-07,7.146301e-07,7.130686e-07
0.000000e+00,9.146961e-09,4.369135e-07,4.645384e-07,5.788359e-06,3.084619e-05,3.267165e-05,1.067546e-04,2.300814e-04,2.396167e-04,4.224402e-04,6.196725e-04,6.376520e-04,8.678241e-04,1.076269e-03,1.099148e-03,1.321990e-03,1.506204e-03,1.530303e-03,1.720748e-03,1.869102e-03,1.891880e-03,2.043500e-03,2.156192e-03,2.176189e-03,2.290981e-03,2.372643e-03,2.389146e-03,2.472050e-03,2.528311e-03,2.541069e-03,2.597534e-03,2.633676e-03,2.642706e-03,2.677758e-03,2.698297e-03,2.703770e-03,2.721727e-03,2.730359e-03,2.732525e-03,2.736975e-03,2.736662e-03,2.735808e-03,2.729683e-03,2.722766e-03,2.719193e-03,2.704870e-03,2.693186e-03,2.687191e-03,2.666584e-03,2.651568e-03,2.643434e-03,2.618084e-03,2.600849e-03,2.590841e-03,2.561982e-03,2.543387e-03,2.531752e-03,2.500372e-03,2.481075e-03,2.468039e-03,2.434927e-03,2.415429e-03,2.401195e-03,2.366982e-03,2.347660e-03,2.332413e-03,2.297599e-03,2.278732e-03,2.262638e-03,2.227618e-03,2.209410e-03,2.192616e-03,2.157701e-03,2.140296e-03,2.122934e-03,2.088369e-03,2.071863e-03,2.054051e-03,2.020023e-03,2.004478e-03,1.986320e-03,1.952974e-03,1.938422e-03,1.920011e-03,1.887455e-03,1.873908e-03,1.855325e-03,1.823639e-03,1.811092e-03,1.792410e-03,1.761650e-03,1.750086e-03,1.731368e-03,1.701572e-03,1.690965e-03,1.672267e-03,1.643458e-03,1.633777e-03,1.615148e-03,1.587337e-03,1.578544e-03,1.560027e-03,1.533217e-03,1.525271e-03,1.506905e-03,1.481088e-03,1.473948e-03,1.455765e-03,1.430932e-03,1.424554e-03,1.406583e-03,1.382716e-03,1.377059e-03,1.359325e-03,1.336404e-03,1.331424e-03,1.313949e-03,1.291952e-03,1.287608e-03,1.270410e-03,1.249314e-03,1.245563e-03,1.228659e-03,1.208437e-03,1.205242e-03,1.188644e-03,1.169271e-03,1.166592e-03,1.150312e-03,1.131761e-03,1.129562e-03,1.113610e-03,1.095853e-03,1.094098e-03,1.078482e-03,1.061492e-03,1.060149e-03,1.044875e-03,1.028624e-03,1.027661e-03,1.012734e-03,9.971961e-04,9.965819e-04,9.820054e-04,9.671548e-04,9.668612e-04,9.526379e-04,9.384485e-04,9.112945e-04,8.853515e-04,8.605727e-04,8.369130e-04,8.143282e-04,7.927760e-04,7.722152e-04,7.526060e-04,7.339101e-04,7.160903e-04,6.991110e-04,6.829379e-04,6.675376e-04,6.528784e-04,6.389295e-04,6.256614e-04,6.130457e-04,6.010551e-04,5.896633e-04,5.788451e-04,5.685762e-04,5.588334e-04,5.495942e-04,5.408372e-04,5.325417e-04,5.246879e-04,5.172567e-04,5.102300e-04,5.035900e-04,4.973201e-04,4.914039e-04,4.858259e-04,4.805713e-04,4.756256e-04,4.709751e-04,4.666067e-04,4.625077e-04,4.586658e-04,4.550695e-04,4.517074e-04,4.485689e-04,4.456437e-04,4.429217e-04,4.403935e-04,4.380499e-04,4.358822e-04,4.338819e-04,4.320411e-04,4.303518e-04
0.000000e+00,7.972040e-09,1.092435e-07,1.140253e-07,7.016028e-07,2.469076e-06,2.579864e-06,6.405805e-06,1.140542e-05,1.174731e-05,1.750981e-05,2.266578e-05,2.310197e-05,2.836955e-05,3.281222e-05,3.328853e-05,3.786563e-05,4.162155e-05,4.211461e-05,4.605089e-05,4.919799e-05,4.969019e-05,5.304801e-05,5.566216e-05,5.613952e-05,5.897943e-05,6.113038e-05,6.158192e-05,6.396062e-05,6.571123e-05,6.612856e-05,6.809817e-05,6.950439e-05,6.988125e-05,7.148904e-05,7.260030e-05,7.293219e-05,7.422078e-05,7.508047e-05,7.536437e-05,7.637199e-05,7.701810e-05,7.725218e-05,7.801301e-05,7.847868e-05,7.866212e-05,7.920669e-05,7.952077e-05,7.965353e-05,8.000904e-05,8.019660e-05,8.027927e-05,8.046993e-05,8.055270e-05,8.058642e-05,8.063380e-05,8.063059e-05,8.061686e-05,8.054011e-05,8.046712e-05,8.040779e-05,8.022390e-05,8.009511e-05,7.999221e-05,7.971627e-05,7.954366e-05,7.939940e-05,7.904476e-05,7.883860e-05,7.865530e-05,7.823380e-05,7.800282e-05,7.778286e-05,7.730495e-05,7.705661e-05,7.680238e-05,7.627730e-05,7.601788e-05,7.573177e-05,7.516770e-05,7.490250e-05,7.458689e-05,7.399101e-05,7.372447e-05,7.338166e-05,7.276031e-05,7.249610e-05,7.212835e-05,7.148710e-05,7.122826e-05,7.083776e-05,7.018148e-05,6.993050e-05,6.951933e-05,6.885231e-05,6.861117e-05,6.818135e-05,6.750734e-05,6.727762e-05,6.683107e-05,6.615332e-05,6.593624e-05,6.547479e-05,6.479615e-05,6.459263e-05,6.411800e-05,6.344094e-05,6.325162e-05,6.276547e-05,6.209209e-05,6.191741e-05,6.142127e-05,6.075342e-05,6.059362e-05,6.008893e-05,5.942818e-05,5.928335e-05,5.877149e-05,5.811917e-05,5.798926e-05,5.747151e-05,5.682877e-05,5.671362e-05,5.619118e-05,5.555896e-05,5.545832e-05,5.493231e-05,5.431140e-05,5.422494e-05,5.369640e-05,5.308745e-05,5.301479e-05,5.248469e-05,5.188823e-05,5.182894e-05,5.129818e-05,5.071462e-05,5.066822e-05,5.013764e-05,4.956731e-05,4.953330e-05,4.900368e-05,4.844680e-05,4.842467e-05,4.789672e-05,4.735346e-05,4.734266e-05,4.681705e-05,4.628750e-05,4.525929e-05,4.425803e-05,4.328365e-05,4.233600e-05,4.141487e-05,4.051998e-05,3.965103e-05,3.880765e-05,3.798947e-05,3.719606e-05,3.642700e-05,3.568183e-05,3.496007e-05,3.426125e-05,3.358488e-05,3.293047e-05,3.229750e-05,3.168550e-05,3.109395e-05,3.052235e-05,2.997022e-05,2.943705e-05,2.892237e-05,2.842569e-05,2.794653e-05,2.748442e-05,2.703892e-05,2.660955e-05,2.619587e-05,2.579746e-05,2.541387e-05,2.504469e-05,2.468950e-05,2.434791e-05,2.401952e-05,2.370394e-05,2.340079e-05,2.310971e-05,2.283034e-05,2.256232e-05,2.230532e-05,2.205899e-05,2.182302e-05,2.159707e-05,2.138085e-05,2.117404e-05,2.097636e-05,2.078751e-05,2.060722e-05
0.000000e+00,4.340132e-09,6.026882e-08,6.290561e-08,3.704384e-07,1.190490e-06,1.238526e-06,2.739118e-06,4.415302e-06,4.523667e-06,6.297749e-06,7.846837e-06,7.977229e-06,9.547911e-06,1.086887e-05,1.101033e-05,1.236808e-05,1.347977e-05,1.362551e-05,1.478712e-05,1.571287e-05,1.585737e-05,1.684068e-05,1.760273e-05,1.774150e-05,1.856423e-05,1.918360e-05,1.931315e-05,1.999241e-05,2.048836e-05,2.060601e-05,2.115780e-05,2.154766e-05,2.165146e-05,2.209048e-05,2.238967e-05,2.247822e-05,2.281785e-05,2.303998e-05,2.311238e-05,2.336467e-05,2.352169e-05,2.357743e-05,2.375324e-05,2.385561e-05,2.389451e-05,2.400354e-05,2.406038e-05,2.408251e-05,2.413346e-05,2.415269e-05,2.415833e-05,2.415896e-05,2.414743e-05,2.413706e-05,2.409426e-05,2.405791e-05,2.403210e-05,2.395203e-05,2.389596e-05,2.385541e-05,2.374353e-05,2.367212e-05,2.361759e-05,2.347874e-05,2.339574e-05,2.332804e-05,2.316651e-05,2.307511e-05,2.299509e-05,2.281467e-05,2.271757e-05,2.262609e-05,2.243013e-05,2.232962e-05,2.222754e-05,2.201901e-05,2.191700e-05,2.180518e-05,2.158667e-05,2.148474e-05,2.136404e-05,2.113784e-05,2.103730e-05,2.090855e-05,2.067664e-05,2.057857e-05,2.044256e-05,2.020671e-05,2.011196e-05,1.996947e-05,1.973120e-05,1.964045e-05,1.949222e-05,1.925285e-05,1.916663e-05,1.901337e-05,1.877405e-05,1.869276e-05,1.853513e-05,1.829685e-05,1.822077e-05,1.805942e-05,1.782303e-05,1.775234e-05,1.758786e-05,1.735408e-05,1.728889e-05,1.712184e-05,1.689129e-05,1.683164e-05,1.666255e-05,1.643575e-05,1.638162e-05,1.621098e-05,1.598836e-05,1.593967e-05,1.576795e-05,1.554986e-05,1.550652e-05,1.533414e-05,1.512087e-05,1.508274e-05,1.491010e-05,1.470187e-05,1.466880e-05,1.449624e-05,1.429325e-05,1.426504e-05,1.409292e-05,1.389529e-05,1.387175e-05,1.370037e-05,1.350819e-05,1.348912e-05,1.331876e-05,1.313209e-05,1.311727e-05,1.294819e-05,1.276706e-05,1.275628e-05,1.258870e-05,1.241311e-05,1.240615e-05,1.224029e-05,1.207022e-05,1.206685e-05,1.190291e-05,1.173832e-05,1.142046e-05,1.111313e-05,1.081619e-05,1.052946e-05,1.025276e-05,9.985867e-06,9.728584e-06,9.480684e-06,9.241938e-06,9.012113e-06,8.790971e-06,8.578274e-06,8.373782e-06,8.177257e-06,7.988459e-06,7.807154e-06,7.633108e-06,7.466090e-06,7.305874e-06,7.152238e-06,7.004962e-06,6.863833e-06,6.728643e-06,6.599186e-06,6.475264e-06,6.356682e-06,6.243252e-06,6.134790e-06,6.031118e-06,5.932061e-06,5.837452e-06,5.747128e-06,5.660930e-06,5.578705e-06,5.500304e-06,5.425583e-06,5.354404e-06,5.286632e-06,5.222136e-06,5.160792e-06,5.102476e-06,5.047072e-06,4.994465e-06,4.944547e-06,4.897212e-06,4.852357e-06,4.809883e-06,4.769695e-06,4.731701e-06
0.000000e+00,1.140040e-08,3.159486e-07,3.334632e-07,3.241804e-06,1.512136e-05,1.593611e-05,4.522957e-05,8.261776e-05,8.511065e-05,1.263629e-04,1.624935e-04,1.655269e-04,2.019202e-04,2.322895e-04,2.355279e-04,2.664679e-04,2.915997e-04,2.948805e-04,3.209068e-04,3.414855e-04,3.446838e-04,3.663436e-04,3.829938e-04,3.860119e-04,4.038092e-04,4.170886e-04,4.198518e-04,4.342506e-04,4.446572e-04,4.471112e-04,4.585338e-04,4.665064e-04,4.686133e-04,4.774395e-04,4.833614e-04,4.850970e-04,4.916657e-04,4.958700e-04,4.972209e-04,5.018333e-04,5.046081e-04,5.055697e-04,5.084926e-04,5.100864e-04,5.106610e-04,5.121303e-04,5.127567e-04,5.129524e-04,5.131760e-04,5.130181e-04,5.128470e-04,5.120083e-04,5.112228e-04,5.107003e-04,5.089606e-04,5.076808e-04,5.068247e-04,5.043256e-04,5.026650e-04,5.014946e-04,4.983607e-04,4.964149e-04,4.949509e-04,4.912909e-04,4.891410e-04,4.874045e-04,4.833137e-04,4.810272e-04,4.790396e-04,4.746014e-04,4.722347e-04,4.700172e-04,4.653041e-04,4.629041e-04,4.604777e-04,4.555527e-04,4.531578e-04,4.505429e-04,4.454609e-04,4.431022e-04,4.403185e-04,4.351269e-04,4.328297e-04,4.298962e-04,4.246359e-04,4.224199e-04,4.193548e-04,4.140611e-04,4.119417e-04,4.087622e-04,4.034652e-04,4.014542e-04,3.981765e-04,3.929019e-04,3.910076e-04,3.876471e-04,3.824169e-04,3.806451e-04,3.772160e-04,3.720486e-04,3.704028e-04,3.669186e-04,3.618294e-04,3.603112e-04,3.567844e-04,3.517863e-04,3.503956e-04,3.468378e-04,3.419413e-04,3.406770e-04,3.370989e-04,3.323126e-04,3.311723e-04,3.275838e-04,3.229143e-04,3.218951e-04,3.183053e-04,3.137579e-04,3.128558e-04,3.092730e-04,3.048516e-04,3.040626e-04,3.004943e-04,2.962017e-04,2.955209e-04,2.919742e-04,2.878122e-04,2.872348e-04,2.837159e-04,2.796854e-04,2.792061e-04,2.757208e-04,2.718220e-04,2.714357e-04,2.679890e-04,2.642215e-04,2.639229e-04,2.605193e-04,2.568822e-04,2.566660e-04,2.533097e-04,2.498014e-04,2.496624e-04,2.463570e-04,2.429759e-04,2.429090e-04,2.396577e-04,2.364016e-04,2.301359e-04,2.241070e-04,2.183097e-04,2.127384e-04,2.073874e-04,2.022510e-04,1.973230e-04,1.925975e-04,1.880683e-04,1.837296e-04,1.795751e-04,1.755989e-04,1.717951e-04,1.681579e-04,1.646814e-04,1.613601e-04,1.581885e-04,1.551611e-04,1.522727e-04,1.495180e-04,1.468922e-04,1.443904e-04,1.420078e-04,1.397398e-04,1.375820e-04,1.355300e-04,1.335798e-04,1.317271e-04,1.299682e-04,1.282992e-04,1.267165e-04,1.252166e-04,1.237960e-04,1.224514e-04,1.211797e-04,1.199779e-04,1.188429e-04,1.177719e-04,1.167622e-04,1.158111e-04,1.149161e-04,1.140748e-04,1.132848e-04,1.125439e-04,1.118497e-04,1.112004e-04,1.105938e-04,1.100279e-04,1.095011e-04
0.000000e+00,7.180988e-09,2.382512e-07,2.516322e-07,2.525654e-06,1.311292e-05,1.391235e-05,4.965209e-05,1.202069e-04,1.260932e-04,2.470865e-04,3.890966e-04,4.024227e-04,5.764873e-04,7.372519e-04,7.549660e-04,9.273256e-04,1.068573e-03,1.086906e-03,1.230134e-03,1.339125e-03,1.355612e-03,1.463339e-03,1.540701e-03,1.554142e-03,1.629293e-03,1.680265e-03,1.690261e-03,1.738553e-03,1.769048e-03,1.775635e-03,1.802878e-03,1.818109e-03,1.821537e-03,1.832746e-03,1.836910e-03,1.837519e-03,1.836756e-03,1.833098e-03,1.831251e-03,1.821704e-03,1.812673e-03,1.808725e-03,1.792852e-03,1.780272e-03,1.774553e-03,1.754235e-03,1.739449e-03,1.732254e-03,1.708921e-03,1.692911e-03,1.684503e-03,1.659233e-03,1.642707e-03,1.633313e-03,1.606917e-03,1.590380e-03,1.580196e-03,1.553279e-03,1.537082e-03,1.526278e-03,1.499289e-03,1.483673e-03,1.472392e-03,1.445657e-03,1.430779e-03,1.419144e-03,1.392901e-03,1.378858e-03,1.366971e-03,1.341389e-03,1.328233e-03,1.316183e-03,1.291376e-03,1.279128e-03,1.266988e-03,1.243033e-03,1.231691e-03,1.219522e-03,1.196465e-03,1.186013e-03,1.173867e-03,1.151732e-03,1.142140e-03,1.130062e-03,1.108857e-03,1.100089e-03,1.088115e-03,1.067834e-03,1.059850e-03,1.048010e-03,1.028640e-03,1.021398e-03,1.009718e-03,9.912391e-04,9.846937e-04,9.731962e-04,9.555830e-04,9.496913e-04,9.383927e-04,9.216181e-04,9.163368e-04,9.052516e-04,8.892857e-04,8.845729e-04,8.737127e-04,8.585249e-04,8.543403e-04,8.437144e-04,8.292734e-04,8.255783e-04,8.151941e-04,8.014687e-04,7.982264e-04,7.880894e-04,7.750487e-04,7.722244e-04,7.623389e-04,7.499525e-04,7.475134e-04,7.378821e-04,7.261204e-04,7.240355e-04,7.146602e-04,7.034944e-04,7.017347e-04,6.926161e-04,6.820184e-04,6.805568e-04,6.716947e-04,6.616384e-04,6.604493e-04,6.518430e-04,6.423022e-04,6.413619e-04,6.330098e-04,6.239598e-04,6.232461e-04,6.151463e-04,6.065633e-04,6.060555e-04,5.982053e-04,5.900668e-04,5.897457e-04,5.821422e-04,5.744263e-04,5.742740e-04,5.669139e-04,5.595999e-04,5.456844e-04,5.324905e-04,5.199829e-04,5.081277e-04,4.968930e-04,4.862479e-04,4.761634e-04,4.666116e-04,4.575662e-04,4.490019e-04,4.408947e-04,4.332219e-04,4.259616e-04,4.190934e-04,4.125974e-04,4.064550e-04,4.006485e-04,3.951608e-04,3.899760e-04,3.850787e-04,3.804544e-04,3.760891e-04,3.719699e-04,3.680841e-04,3.644199e-04,3.609660e-04,3.577116e-04,3.546465e-04,3.517610e-04,3.490458e-04,3.464922e-04,3.440918e-04,3.418367e-04,3.397194e-04,3.377326e-04,3.358696e-04,3.341240e-04,3.324895e-04,3.309603e-04,3.295308e-04,3.281958e-04,3.269503e-04,3.257895e-04,3.247088e-04,3.237040e-04,3.227710e-04,3.219059e-04,3.211050e-04,3.203648e-04
0.000000e+00,4.874460e-09,7.666404e-08,8.024840e-08,5.341963e-07,1.800638e-06,1.873422e-06,4.007440e-06,6.197120e-06,6.335983e-06,8.597442e-06,1.057199e-05,1.073858e-05,1.275174e-05,1.445554e-05,1.463865e-05,1.640317e-05,1.785823e-05,1.804975e-05,1.958306e-05,2.081477e-05,2.100790e-05,2.232905e-05,2.336219e-05,2.355129e-05,2.467933e-05,2.553727e-05,2.571778e-05,2.667113e-05,2.737546e-05,2.754372e-05,2.833967e-05,2.890985e-05,2.906293e-05,2.971756e-05,3.017149e-05,3.030731e-05,3.083575e-05,3.118932e-05,3.130627e-05,3.172213e-05,3.198944e-05,3.208641e-05,3.240208e-05,3.259563e-05,3.267194e-05,3.289869e-05,3.302956e-05,3.308487e-05,3.323292e-05,3.331087e-05,3.334515e-05,3.342376e-05,3.345739e-05,3.347084e-05,3.348839e-05,3.348527e-05,3.347829e-05,3.344234e-05,3.340908e-05,3.338225e-05,3.329963e-05,3.324201e-05,3.319603e-05,3.307290e-05,3.299594e-05,3.293163e-05,3.277353e-05,3.268159e-05,3.259983e-05,3.241173e-05,3.230860e-05,3.221033e-05,3.199670e-05,3.188562e-05,3.177184e-05,3.153669e-05,3.142043e-05,3.129215e-05,3.103906e-05,3.091999e-05,3.077823e-05,3.051042e-05,3.039056e-05,3.023634e-05,2.995666e-05,2.983768e-05,2.967203e-05,2.938304e-05,2.926635e-05,2.909025e-05,2.879421e-05,2.868096e-05,2.849541e-05,2.819433e-05,2.808547e-05,2.789141e-05,2.758706e-05,2.748333e-05,2.728169e-05,2.697566e-05,2.687764e-05,2.666930e-05,2.636296e-05,2.627110e-05,2.605692e-05,2.575147e-05,2.566609e-05,2.544688e-05,2.514339e-05,2.506469e-05,2.484123e-05,2.454061e-05,2.446872e-05,2.424174e-05,2.394479e-05,2.387974e-05,2.364994e-05,2.335735e-05,2.329912e-05,2.306716e-05,2.277951e-05,2.272801e-05,2.249451e-05,2.221228e-05,2.216739e-05,2.193293e-05,2.165655e-05,2.161809e-05,2.138322e-05,2.111301e-05,2.108080e-05,2.084601e-05,2.058227e-05,2.055608e-05,2.032185e-05,2.006478e-05,2.004436e-05,1.981113e-05,1.956091e-05,1.954601e-05,1.931417e-05,1.907093e-05,1.906127e-05,1.883120e-05,1.859501e-05,1.859033e-05,1.836237e-05,1.813328e-05,1.769019e-05,1.726104e-05,1.684578e-05,1.644431e-05,1.605649e-05,1.568217e-05,1.532115e-05,1.497321e-05,1.463813e-05,1.431565e-05,1.400550e-05,1.370742e-05,1.342112e-05,1.314630e-05,1.288268e-05,1.262996e-05,1.238782e-05,1.215598e-05,1.193413e-05,1.172197e-05,1.151920e-05,1.132553e-05,1.114067e-05,1.096433e-05,1.079622e-05,1.063608e-05,1.048362e-05,1.033858e-05,1.020070e-05,1.006972e-05,9.945389e-06,9.827466e-06,9.715712e-06,9.609895e-06,9.509791e-06,9.415180e-06,9.325849e-06,9.241590e-06,9.162203e-06,9.087493e-06,9.017269e-06,8.951350e-06,8.889557e-06,8.831719e-06,8.777668e-06,8.727243e-06,8.680289e-06,8.636655e-06,8.596195e-06
0.000000e+00,1.211503e-08,3.868377e-07,4.081189e-07,3.911997e-06,1.996422e-05,2.117668e-05,7.580988e-05,1.861301e-04,1.954769e-04,3.923098e-04,6.346169e-04,6.579843e-04,9.735191e-04,1.283184e-03,1.318474e-03,1.675397e-03,1.988794e-03,2.031071e-03,2.376273e-03,2.660134e-03,2.705012e-03,3.013712e-03,3.256137e-03,3.300514e-03,3.564729e-03,3.764571e-03,3.806438e-03,4.026215e-03,4.186824e-03,4.224931e-03,4.403620e-03,4.529816e-03,4.563405e-03,4.705428e-03,4.802187e-03,4.830826e-03,4.940704e-03,5.012648e-03,5.036123e-03,5.118094e-03,5.169326e-03,5.187575e-03,5.245469e-03,5.279558e-03,5.292626e-03,5.329845e-03,5.349860e-03,5.357873e-03,5.377413e-03,5.385979e-03,5.389120e-03,5.393609e-03,5.392961e-03,5.391455e-03,5.383194e-03,5.375227e-03,5.369329e-03,5.350329e-03,5.336649e-03,5.326634e-03,5.298652e-03,5.280610e-03,5.266766e-03,5.231334e-03,5.210068e-03,5.192689e-03,5.151142e-03,5.127603e-03,5.106983e-03,5.060482e-03,5.035460e-03,5.011890e-03,4.961444e-03,4.935593e-03,4.909359e-03,4.855841e-03,4.829698e-03,4.801076e-03,4.745241e-03,4.719243e-03,4.688499e-03,4.631000e-03,4.605497e-03,4.572884e-03,4.514282e-03,4.489554e-03,4.455314e-03,4.396091e-03,4.372353e-03,4.336715e-03,4.277283e-03,4.254701e-03,4.217880e-03,4.158588e-03,4.137285e-03,4.099481e-03,4.040628e-03,4.020686e-03,3.982089e-03,3.923923e-03,3.905397e-03,3.866181e-03,3.808911e-03,3.791829e-03,3.752156e-03,3.695956e-03,3.680324e-03,3.640345e-03,3.585355e-03,3.571163e-03,3.531015e-03,3.477351e-03,3.464574e-03,3.424384e-03,3.372135e-03,3.360738e-03,3.320621e-03,3.269858e-03,3.259797e-03,3.219858e-03,3.170633e-03,3.161855e-03,3.122191e-03,3.074541e-03,3.066991e-03,3.027688e-03,2.981636e-03,2.975253e-03,2.936389e-03,2.891948e-03,2.886670e-03,2.848314e-03,2.805487e-03,2.801249e-03,2.763465e-03,2.722245e-03,2.718982e-03,2.681825e-03,2.642201e-03,2.639848e-03,2.603367e-03,2.565319e-03,2.563813e-03,2.528050e-03,2.491555e-03,2.490833e-03,2.455826e-03,2.420856e-03,2.353824e-03,2.289672e-03,2.228333e-03,2.169735e-03,2.113803e-03,2.060461e-03,2.009632e-03,1.961237e-03,1.915199e-03,1.871438e-03,1.829878e-03,1.790441e-03,1.753050e-03,1.717632e-03,1.684112e-03,1.652419e-03,1.622482e-03,1.594232e-03,1.567602e-03,1.542527e-03,1.518943e-03,1.496788e-03,1.476003e-03,1.456528e-03,1.438309e-03,1.421289e-03,1.405416e-03,1.390640e-03,1.376910e-03,1.364179e-03,1.352401e-03,1.341531e-03,1.331526e-03,1.322346e-03,1.313949e-03,1.306297e-03,1.299354e-03,1.293084e-03,1.287451e-03,1.282424e-03,1.277969e-03,1.274057e-03,1.270658e-03,1.267744e-03,1.265287e-03,1.263261e-03,1.261641e-03,1.260403e-03,1.259524e-03
0.000000e+00,7.347869e-09,9.714973e-08,1.013406e-07,5.961804e-07,1.963256e-06,2.045054e-06,4.701921e-06,7.891380e-06,8.103001e-06,1.160251e-05,1.466712e-05,1.492445e-05,1.801224e-05,2.058903e-05,2.086377e-05,2.348795e-05,2.561802e-05,2.589594e-05,2.809931e-05,2.983931e-05,3.010954e-05,3.193783e-05,3.334093e-05,3.359501e-05,3.509151e-05,3.620572e-05,3.643726e-05,3.764177e-05,3.850974e-05,3.871403e-05,3.966258e-05,4.032179e-05,4.049551e-05,4.122047e-05,4.170368e-05,4.184468e-05,4.237496e-05,4.271069e-05,4.281774e-05,4.317905e-05,4.339196e-05,4.346459e-05,4.367975e-05,4.379122e-05,4.382962e-05,4.391898e-05,4.394754e-05,4.395244e-05,4.393431e-05,4.389601e-05,4.386854e-05,4.375888e-05,4.366731e-05,4.360886e-05,4.342176e-05,4.328851e-05,4.320069e-05,4.294855e-05,4.278350e-05,4.266807e-05,4.236180e-05,4.217330e-05,4.203214e-05,4.168133e-05,4.147642e-05,4.131146e-05,4.092451e-05,4.070910e-05,4.052231e-05,4.010657e-05,3.988558e-05,3.967890e-05,3.924080e-05,3.901827e-05,3.879365e-05,3.833877e-05,3.811803e-05,3.787735e-05,3.741053e-05,3.719428e-05,3.693936e-05,3.646481e-05,3.625517e-05,3.598778e-05,3.550911e-05,3.530777e-05,3.502958e-05,3.454990e-05,3.435814e-05,3.407074e-05,3.359271e-05,3.341147e-05,3.311636e-05,3.264223e-05,3.247217e-05,3.217077e-05,3.170244e-05,3.154399e-05,3.123762e-05,3.077669e-05,3.063006e-05,3.031996e-05,2.986774e-05,2.973299e-05,2.942030e-05,2.897788e-05,2.885493e-05,2.854070e-05,2.810895e-05,2.799761e-05,2.768281e-05,2.726243e-05,2.716240e-05,2.684793e-05,2.643944e-05,2.635039e-05,2.603706e-05,2.564086e-05,2.556237e-05,2.525091e-05,2.486727e-05,2.479889e-05,2.448998e-05,2.411907e-05,2.406032e-05,2.375456e-05,2.339645e-05,2.334683e-05,2.304476e-05,2.269947e-05,2.265846e-05,2.236056e-05,2.202801e-05,2.199511e-05,2.170180e-05,2.138188e-05,2.135656e-05,2.106822e-05,2.076077e-05,2.074252e-05,2.045947e-05,2.016428e-05,2.015259e-05,1.987512e-05,1.959195e-05,1.958635e-05,1.931469e-05,1.904328e-05,1.852285e-05,1.802447e-05,1.754755e-05,1.709147e-05,1.665559e-05,1.623926e-05,1.584184e-05,1.546267e-05,1.510113e-05,1.475655e-05,1.442832e-05,1.411581e-05,1.381841e-05,1.353552e-05,1.326657e-05,1.301097e-05,1.276819e-05,1.253768e-05,1.231891e-05,1.211140e-05,1.191464e-05,1.172817e-05,1.155153e-05,1.138428e-05,1.122601e-05,1.107629e-05,1.093475e-05,1.080101e-05,1.067470e-05,1.055548e-05,1.044301e-05,1.033698e-05,1.023708e-05,1.014301e-05,1.005451e-05,9.971284e-06,9.893093e-06,9.819687e-06,9.750830e-06,9.686297e-06,9.625873e-06,9.569354e-06,9.516542e-06,9.467252e-06,9.421303e-06,9.378525e-06,9.338756e-06,9.301840e-06,9.267629e-06
0.000000e+00,2.213196e-05,8.430521e-04,8.925963e-04,9.978404e-03,5.668115e-02,6.036233e-02,2.378435e-01,6.416174e-01,6.780848e-01,1.517425e+00,2.724557e+00,2.850789e+00,4.725026e+00,6.880881e+00,7.147326e+00,1.009535e+01,1.309060e+01,1.352597e+01,1.738235e+01,2.098992e+01,2.159948e+01,2.610845e+01,3.007059e+01,3.083970e+01,3.572545e+01,3.980179e+01,4.070137e+01,4.570781e+01,4.969829e+01,5.069053e+01,5.560111e+01,5.935377e+01,6.039711e+01,6.504201e+01,6.845196e+01,6.950507e+01,7.376096e+01,7.676487e+01,7.778946e+01,8.157503e+01,8.414372e+01,8.510637e+01,8.837597e+01,9.050663e+01,9.137972e+01,9.411644e+01,9.582552e+01,9.658756e+01,9.879669e+01,1.001138e+02,1.007493e+02,1.024524e+02,1.034151e+02,1.039141e+02,1.051439e+02,1.057941e+02,1.061516e+02,1.069477e+02,1.073283e+02,1.075431e+02,1.079491e+02,1.081020e+02,1.081766e+02,1.082369e+02,1.082017e+02,1.081410e+02,1.078996e+02,1.077126e+02,1.075235e+02,1.070227e+02,1.067163e+02,1.064072e+02,1.056864e+02,1.052894e+02,1.048695e+02,1.039651e+02,1.035023e+02,1.029814e+02,1.019263e+02,1.014190e+02,1.008071e+02,9.963078e+01,9.909682e+01,9.840394e+01,9.713273e+01,9.658699e+01,9.582290e+01,9.447986e+01,9.393448e+01,9.310863e+01,9.171390e+01,9.117866e+01,9.030004e+01,8.887111e+01,8.835373e+01,8.743084e+01,8.598273e+01,8.548916e+01,8.452997e+01,8.307554e+01,8.261021e+01,8.162214e+01,8.017229e+01,7.973837e+01,7.872827e+01,7.729219e+01,7.689177e+01,7.586596e+01,7.445133e+01,7.408562e+01,7.304988e+01,7.166304e+01,7.133253e+01,7.029213e+01,6.893829e+01,6.864285e+01,6.760259e+01,6.628594e+01,6.602497e+01,6.498918e+01,6.371305e+01,6.348559e+01,6.245819e+01,6.122514e+01,6.102991e+01,6.001440e+01,5.882638e+01,5.866189e+01,5.766141e+01,5.651978e+01,5.638437e+01,5.540172e+01,5.430740e+01,5.419928e+01,5.323694e+01,5.219043e+01,5.210774e+01,5.116790e+01,5.016937e+01,5.011022e+01,4.919480e+01,4.824413e+01,4.820660e+01,4.731727e+01,4.641410e+01,4.639628e+01,4.553449e+01,4.467827e+01,4.305124e+01,4.151359e+01,4.006348e+01,3.869890e+01,3.741770e+01,3.621759e+01,3.509620e+01,3.405110e+01,3.307979e+01,3.217973e+01,3.134837e+01,3.058314e+01,2.988146e+01,2.924073e+01,2.865839e+01,2.813186e+01,2.765859e+01,2.723604e+01,2.686169e+01,2.653304e+01,2.624762e+01,2.600301e+01,2.579677e+01,2.562656e+01,2.549002e+01,2.538487e+01,2.530887e+01,2.525981e+01,2.523554e+01,2.523399e+01,2.525311e+01,2.529094e+01,2.534557e+01,2.541517e+01,2.549798e+01,2.559231e+01,2.569655e+01,2.580916e+01,2.592869e+01,2.605377e+01,2.618310e+01,2.631548e+01,2.644978e+01,2.658496e+01,2.672006e+01,2.685420e+01,2.698658e+01,2.711648e+01,2.724324e+01
0.000000e+00,3.082839e-08,5.920850e-07,6.205437e-07,4.577492e-06,1.856804e-05,1.949950e-05,5.346922e-05,9.986586e-05,1.030559e-04,1.566310e-04,2.039248e-04,2.078901e-04,2.552949e-04,2.945333e-04,2.986970e-04,3.382516e-04,3.700476e-04,3.741739e-04,4.066858e-04,4.320838e-04,4.360040e-04,4.623365e-04,4.822946e-04,4.858827e-04,5.068322e-04,5.221999e-04,5.253654e-04,5.416529e-04,5.531749e-04,5.558562e-04,5.681270e-04,5.764486e-04,5.786078e-04,5.874332e-04,5.931115e-04,5.947296e-04,6.006150e-04,6.041275e-04,6.052006e-04,6.085897e-04,6.103431e-04,6.108785e-04,6.121574e-04,6.124970e-04,6.125106e-04,6.120170e-04,6.112354e-04,6.107500e-04,6.087775e-04,6.071203e-04,6.061632e-04,6.029664e-04,6.006403e-04,5.992421e-04,5.950417e-04,5.922194e-04,5.904128e-04,5.853996e-04,5.822243e-04,5.800430e-04,5.743813e-04,5.709717e-04,5.684497e-04,5.622812e-04,5.587346e-04,5.559059e-04,5.493520e-04,5.457478e-04,5.426453e-04,5.358100e-04,5.322122e-04,5.288681e-04,5.218400e-04,5.182996e-04,5.147446e-04,5.075992e-04,5.041563e-04,5.004196e-04,4.932205e-04,4.899061e-04,4.860153e-04,4.788163e-04,4.756535e-04,4.716345e-04,4.644803e-04,4.614861e-04,4.573630e-04,4.502910e-04,4.474766e-04,4.432720e-04,4.363129e-04,4.336854e-04,4.294199e-04,4.225987e-04,4.201616e-04,4.158542e-04,4.091910e-04,4.069447e-04,4.026130e-04,3.961237e-04,3.940663e-04,3.897261e-04,3.834229e-04,3.815507e-04,3.772165e-04,3.711086e-04,3.694163e-04,3.651009e-04,3.591948e-04,3.576760e-04,3.533913e-04,3.476912e-04,3.463387e-04,3.420951e-04,3.366033e-04,3.354091e-04,3.312160e-04,3.259331e-04,3.248891e-04,3.207546e-04,3.156801e-04,3.147777e-04,3.107091e-04,3.058410e-04,3.050716e-04,3.010752e-04,2.964109e-04,2.957659e-04,2.918471e-04,2.873830e-04,2.868540e-04,2.830175e-04,2.787494e-04,2.783279e-04,2.745776e-04,2.705010e-04,2.701789e-04,2.665181e-04,2.626279e-04,2.623973e-04,2.588288e-04,2.551195e-04,2.549730e-04,2.514987e-04,2.479649e-04,2.478952e-04,2.445168e-04,2.411528e-04,2.347348e-04,2.286297e-04,2.228264e-04,2.173134e-04,2.120796e-04,2.071140e-04,2.024056e-04,1.979440e-04,1.937186e-04,1.897193e-04,1.859365e-04,1.823604e-04,1.789818e-04,1.757918e-04,1.727818e-04,1.699433e-04,1.672685e-04,1.647495e-04,1.623789e-04,1.601496e-04,1.580548e-04,1.560877e-04,1.542422e-04,1.525123e-04,1.508920e-04,1.493758e-04,1.479586e-04,1.466351e-04,1.454006e-04,1.442504e-04,1.431801e-04,1.421854e-04,1.412624e-04,1.404072e-04,1.396161e-04,1.388857e-04,1.382125e-04,1.375934e-04,1.370253e-04,1.365055e-04,1.360310e-04,1.355994e-04,1.352081e-04,1.348547e-04,1.345370e-04,1.342528e-04,1.340001e-04,1.337770e-04,1.335815e-04
0.000000e+00,2.250624e-08,9.214264e-07,9.779295e-07,1.150270e-05,5.743709e-05,6.060317e-05,1.755051e-04,3.325016e-04,3.435084e-04,5.341521e-04,7.098209e-04,7.247312e-04,9.034708e-04,1.050261e-03,1.065693e-03,1.210340e-03,1.323514e-03,1.337967e-03,1.449747e-03,1.534238e-03,1.547037e-03,1.631192e-03,1.692670e-03,1.703492e-03,1.765123e-03,1.808464e-03,1.817171e-03,1.860620e-03,1.889794e-03,1.896367e-03,1.925220e-03,1.943412e-03,1.947909e-03,1.965096e-03,1.974846e-03,1.977375e-03,1.985282e-03,1.988605e-03,1.989300e-03,1.989864e-03,1.988352e-03,1.987364e-03,1.982153e-03,1.977064e-03,1.974548e-03,1.964834e-03,1.957155e-03,1.953266e-03,1.940076e-03,1.930583e-03,1.925470e-03,1.909635e-03,1.898933e-03,1.892737e-03,1.874927e-03,1.863486e-03,1.856339e-03,1.837093e-03,1.825275e-03,1.817298e-03,1.797050e-03,1.785133e-03,1.776436e-03,1.755534e-03,1.743729e-03,1.734413e-03,1.713134e-03,1.701598e-03,1.691753e-03,1.670319e-03,1.659167e-03,1.648875e-03,1.627462e-03,1.616777e-03,1.606112e-03,1.584858e-03,1.574697e-03,1.563725e-03,1.542739e-03,1.533140e-03,1.521919e-03,1.501284e-03,1.492267e-03,1.480850e-03,1.460632e-03,1.452207e-03,1.440641e-03,1.420887e-03,1.413055e-03,1.401381e-03,1.382128e-03,1.374880e-03,1.363136e-03,1.344410e-03,1.337735e-03,1.325954e-03,1.307771e-03,1.301651e-03,1.289864e-03,1.272234e-03,1.266652e-03,1.254884e-03,1.237813e-03,1.232747e-03,1.221022e-03,1.204511e-03,1.199938e-03,1.188278e-03,1.172324e-03,1.168221e-03,1.156645e-03,1.141242e-03,1.137585e-03,1.126111e-03,1.111251e-03,1.108018e-03,1.096660e-03,1.082334e-03,1.079501e-03,1.068272e-03,1.054471e-03,1.052015e-03,1.040928e-03,1.027640e-03,1.025537e-03,1.014604e-03,1.001817e-03,1.000046e-03,9.892752e-04,9.769764e-04,9.755167e-04,9.649170e-04,9.530938e-04,9.519244e-04,9.415036e-04,9.301431e-04,9.292441e-04,9.190090e-04,9.080980e-04,9.074504e-04,8.974069e-04,8.869324e-04,8.865178e-04,8.766712e-04,8.666202e-04,8.664213e-04,8.567761e-04,8.471356e-04,8.286361e-04,8.108982e-04,7.938981e-04,7.776122e-04,7.620174e-04,7.470912e-04,7.328116e-04,7.191570e-04,7.061066e-04,6.936397e-04,6.817366e-04,6.703779e-04,6.595445e-04,6.492183e-04,6.393812e-04,6.300160e-04,6.211058e-04,6.126341e-04,6.045849e-04,5.969429e-04,5.896929e-04,5.828202e-04,5.763107e-04,5.701506e-04,5.643264e-04,5.588252e-04,5.536344e-04,5.487415e-04,5.441349e-04,5.398029e-04,5.357343e-04,5.319182e-04,5.283442e-04,5.250019e-04,5.218816e-04,5.189735e-04,5.162684e-04,5.137573e-04,5.114314e-04,5.092823e-04,5.073018e-04,5.054819e-04,5.038151e-04,5.022939e-04,5.009112e-04,4.996600e-04,4.985337e-04,4.975258e-04,4.966301e-04
0.000000e+00,1.365165e-08,4.686043e-07,4.950567e-07,4.981010e-06,2.576691e-05,2.733538e-05,9.783474e-05,2.408964e-04,2.531116e-04,5.145979e-04,8.478026e-04,8.805689e-04,1.333040e-03,1.793370e-03,1.846732e-03,2.395289e-03,2.887748e-03,2.954759e-03,3.505201e-03,3.959441e-03,4.031136e-03,4.521361e-03,4.900023e-03,4.968448e-03,5.368106e-03,5.659116e-03,5.718547e-03,6.019892e-03,6.226600e-03,6.273653e-03,6.482308e-03,6.615725e-03,6.648955e-03,6.777044e-03,6.850818e-03,6.870174e-03,6.931940e-03,6.959510e-03,6.965826e-03,6.975139e-03,6.968367e-03,6.962958e-03,6.932118e-03,6.900817e-03,6.885194e-03,6.824511e-03,6.776455e-03,6.752144e-03,6.669940e-03,6.611097e-03,6.579530e-03,6.482354e-03,6.417198e-03,6.379670e-03,6.272579e-03,6.204396e-03,6.162041e-03,6.048888e-03,5.980047e-03,5.933845e-03,5.817539e-03,5.749718e-03,5.700508e-03,5.583223e-03,5.517583e-03,5.466082e-03,5.349430e-03,5.286747e-03,5.233562e-03,5.118730e-03,5.059498e-03,5.005147e-03,4.892995e-03,4.837505e-03,4.782427e-03,4.673572e-03,4.621962e-03,4.566535e-03,4.461404e-03,4.413703e-03,4.358249e-03,4.257126e-03,4.213288e-03,4.158080e-03,4.061142e-03,4.021063e-03,3.966335e-03,3.873674e-03,3.837211e-03,3.783164e-03,3.694806e-03,3.661793e-03,3.608595e-03,3.524520e-03,3.494773e-03,3.442566e-03,3.362715e-03,3.336041e-03,3.284945e-03,3.209232e-03,3.185434e-03,3.135549e-03,3.063866e-03,3.042747e-03,2.994154e-03,2.926380e-03,2.907746e-03,2.860510e-03,2.796512e-03,2.780175e-03,2.734350e-03,2.673988e-03,2.659765e-03,2.615390e-03,2.558521e-03,2.546238e-03,2.503344e-03,2.449822e-03,2.439313e-03,2.397920e-03,2.347600e-03,2.338708e-03,2.298827e-03,2.251565e-03,2.244141e-03,2.205779e-03,2.161433e-03,2.155338e-03,2.118493e-03,2.076925e-03,2.072028e-03,2.036695e-03,1.997770e-03,1.993948e-03,1.960116e-03,1.923703e-03,1.920843e-03,1.888498e-03,1.854471e-03,1.852466e-03,1.821590e-03,1.789827e-03,1.788579e-03,1.759152e-03,1.729536e-03,1.728955e-03,1.700952e-03,1.673372e-03,1.621622e-03,1.573502e-03,1.528821e-03,1.487395e-03,1.449048e-03,1.413614e-03,1.380934e-03,1.350856e-03,1.323236e-03,1.297937e-03,1.274829e-03,1.253787e-03,1.234692e-03,1.217434e-03,1.201904e-03,1.188002e-03,1.175630e-03,1.164696e-03,1.155114e-03,1.146799e-03,1.139674e-03,1.133661e-03,1.128690e-03,1.124692e-03,1.121603e-03,1.119360e-03,1.117905e-03,1.117183e-03,1.117138e-03,1.117722e-03,1.118886e-03,1.120584e-03,1.122773e-03,1.125410e-03,1.128458e-03,1.131878e-03,1.135635e-03,1.139696e-03,1.144029e-03,1.148603e-03,1.153390e-03,1.158363e-03,1.163497e-03,1.168768e-03,1.174152e-03,1.179629e-03,1.185179e-03,1.190782e-03,1.196422e-03
0.000000e+00,8.123108e-09,2.690578e-07,2.840578e-07,2.812625e-06,1.480895e-05,1.573050e-05,5.860202e-05,1.504751e-04,1.585065e-04,3.344632e-04,5.651830e-04,5.881129e-04,9.076486e-04,1.236697e-03,1.275038e-03,1.671195e-03,2.029792e-03,2.078805e-03,2.483543e-03,2.820811e-03,2.874359e-03,3.243277e-03,3.532286e-03,3.584975e-03,3.896290e-03,4.127821e-03,4.175750e-03,4.423153e-03,4.598450e-03,4.639212e-03,4.825277e-03,4.950706e-03,4.983104e-03,5.114687e-03,5.198434e-03,5.222134e-03,5.307571e-03,5.357853e-03,5.373082e-03,5.420662e-03,5.444877e-03,5.452191e-03,5.469421e-03,5.473843e-03,5.473965e-03,5.467301e-03,5.457057e-03,5.450770e-03,5.425588e-03,5.404764e-03,5.392847e-03,5.353532e-03,5.325329e-03,5.308521e-03,5.258601e-03,5.225497e-03,5.204474e-03,5.146765e-03,5.110654e-03,5.086030e-03,5.022764e-03,4.985085e-03,4.957406e-03,4.890346e-03,4.852179e-03,4.821929e-03,4.752461e-03,4.714608e-03,4.682214e-03,4.611428e-03,4.574478e-03,4.540316e-03,4.469065e-03,4.433439e-03,4.397840e-03,4.326787e-03,4.292781e-03,4.256035e-03,4.185697e-03,4.153508e-03,4.115871e-03,4.046643e-03,4.016392e-03,3.978090e-03,3.910275e-03,3.882028e-03,3.843257e-03,3.777083e-03,3.750859e-03,3.711795e-03,3.647428e-03,3.623217e-03,3.584012e-03,3.521572e-03,3.499336e-03,3.460127e-03,3.399693e-03,3.379378e-03,3.340283e-03,3.281906e-03,3.263444e-03,3.224567e-03,3.168271e-03,3.151586e-03,3.113020e-03,3.058811e-03,3.043819e-03,3.005643e-03,2.953512e-03,2.940127e-03,2.902411e-03,2.852335e-03,2.840468e-03,2.803275e-03,2.755223e-03,2.744785e-03,2.708168e-03,2.662100e-03,2.653003e-03,2.617008e-03,2.572880e-03,2.565038e-03,2.529704e-03,2.487468e-03,2.480796e-03,2.446158e-03,2.405761e-03,2.400177e-03,2.366263e-03,2.327652e-03,2.323077e-03,2.289912e-03,2.253030e-03,2.249388e-03,2.216992e-03,2.181784e-03,2.179003e-03,2.147392e-03,2.113802e-03,2.111812e-03,2.081000e-03,2.048971e-03,2.047706e-03,2.017702e-03,1.987179e-03,1.986576e-03,1.957389e-03,1.928317e-03,1.872823e-03,1.819991e-03,1.769721e-03,1.721914e-03,1.676475e-03,1.633310e-03,1.592331e-03,1.553448e-03,1.516579e-03,1.481640e-03,1.448554e-03,1.417243e-03,1.387634e-03,1.359657e-03,1.333241e-03,1.308322e-03,1.284836e-03,1.262721e-03,1.241918e-03,1.222371e-03,1.204024e-03,1.186825e-03,1.170723e-03,1.155669e-03,1.141617e-03,1.128520e-03,1.116336e-03,1.105023e-03,1.094540e-03,1.084848e-03,1.075910e-03,1.067691e-03,1.060155e-03,1.053270e-03,1.047003e-03,1.041324e-03,1.036203e-03,1.031611e-03,1.027522e-03,1.023909e-03,1.020747e-03,1.018011e-03,1.015677e-03,1.013724e-03,1.012130e-03,1.010874e-03,1.009936e-03,1.009297e-03,1.008938e-03
0.000000e+00,1.415005e-08,3.439475e-07,3.613743e-07,2.904999e-06,1.267658e-05,1.335777e-05,4.042845e-05,8.439586e-05,8.770910e-05,1.479457e-04,2.060637e-04,2.110568e-04,2.714890e-04,3.220264e-04,3.273992e-04,3.784627e-04,4.194973e-04,4.248199e-04,4.667297e-04,4.994288e-04,5.044723e-04,5.383246e-04,5.639499e-04,5.685537e-04,5.954149e-04,6.150985e-04,6.191508e-04,6.399909e-04,6.547241e-04,6.581519e-04,6.738373e-04,6.844767e-04,6.872382e-04,6.985333e-04,7.058124e-04,7.078896e-04,7.154630e-04,7.200053e-04,7.213988e-04,7.258324e-04,7.281654e-04,7.288897e-04,7.306878e-04,7.312559e-04,7.313357e-04,7.309344e-04,7.301105e-04,7.295779e-04,7.273533e-04,7.254491e-04,7.243416e-04,7.206175e-04,7.178926e-04,7.162506e-04,7.113052e-04,7.079748e-04,7.058408e-04,6.999125e-04,6.961542e-04,6.935713e-04,6.868642e-04,6.828237e-04,6.798346e-04,6.725228e-04,6.683188e-04,6.649657e-04,6.571973e-04,6.529258e-04,6.492492e-04,6.411502e-04,6.368879e-04,6.329268e-04,6.246035e-04,6.204115e-04,6.162027e-04,6.077448e-04,6.036704e-04,5.992487e-04,5.907316e-04,5.868110e-04,5.822090e-04,5.736953e-04,5.699556e-04,5.652036e-04,5.567456e-04,5.532059e-04,5.483321e-04,5.399726e-04,5.366460e-04,5.316761e-04,5.234503e-04,5.203445e-04,5.153022e-04,5.072382e-04,5.043568e-04,4.992639e-04,4.913842e-04,4.887274e-04,4.836035e-04,4.759256e-04,4.734910e-04,4.683539e-04,4.608912e-04,4.586740e-04,4.535399e-04,4.463021e-04,4.442961e-04,4.391794e-04,4.321732e-04,4.303708e-04,4.252845e-04,4.185141e-04,4.169069e-04,4.118626e-04,4.053300e-04,4.039088e-04,3.989166e-04,3.926221e-04,3.913775e-04,3.864463e-04,3.803887e-04,3.793109e-04,3.744487e-04,3.686255e-04,3.677046e-04,3.629182e-04,3.573259e-04,3.565521e-04,3.518475e-04,3.464818e-04,3.458455e-04,3.412276e-04,3.360837e-04,3.355753e-04,3.310485e-04,3.261208e-04,3.257312e-04,3.212991e-04,3.165818e-04,3.163020e-04,3.119674e-04,3.074544e-04,3.072760e-04,3.030412e-04,2.987263e-04,2.986410e-04,2.945079e-04,2.903844e-04,2.824938e-04,2.749563e-04,2.677594e-04,2.608904e-04,2.543370e-04,2.480870e-04,2.421284e-04,2.364496e-04,2.310390e-04,2.258857e-04,2.209788e-04,2.163080e-04,2.118631e-04,2.076344e-04,2.036126e-04,1.997884e-04,1.961533e-04,1.926988e-04,1.894168e-04,1.862995e-04,1.833397e-04,1.805300e-04,1.778637e-04,1.753341e-04,1.729351e-04,1.706605e-04,1.685047e-04,1.664620e-04,1.645273e-04,1.626954e-04,1.609616e-04,1.593213e-04,1.577699e-04,1.563034e-04,1.549176e-04,1.536089e-04,1.523733e-04,1.512076e-04,1.501082e-04,1.490721e-04,1.480961e-04,1.471773e-04,1.463131e-04,1.455006e-04,1.447374e-04,1.440211e-04,1.433493e-04,1.427199e-04,1.421307e-04
0.000000e+00,2.153259e-08,9.409063e-07,9.990647e-07,1.209853e-05,6.484630e-05,6.870701e-05,2.270677e-04,5.002538e-04,5.219235e-04,9.528268e-04,1.450324e-03,1.497349e-03,2.124105e-03,2.731683e-03,2.800720e-03,3.497961e-03,4.109151e-03,4.191504e-03,4.862350e-03,5.410345e-03,5.496521e-03,6.084434e-03,6.538097e-03,6.620149e-03,7.100642e-03,7.452831e-03,7.525126e-03,7.894481e-03,8.151631e-03,8.210773e-03,8.476870e-03,8.651735e-03,8.696139e-03,8.872217e-03,8.979445e-03,9.008834e-03,9.109687e-03,9.163405e-03,9.178356e-03,9.218243e-03,9.230938e-03,9.232535e-03,9.224186e-03,9.206334e-03,9.195911e-03,9.150187e-03,9.110283e-03,9.089260e-03,9.015158e-03,8.959926e-03,8.929702e-03,8.834527e-03,8.769194e-03,8.731090e-03,8.620691e-03,8.549259e-03,8.504486e-03,8.383501e-03,8.308998e-03,8.258646e-03,8.130727e-03,8.055414e-03,8.000456e-03,7.868463e-03,7.794005e-03,7.735304e-03,7.601467e-03,7.529067e-03,7.467382e-03,7.333428e-03,7.263935e-03,7.199936e-03,7.067195e-03,7.001188e-03,6.935461e-03,6.804953e-03,6.742802e-03,6.675862e-03,6.548355e-03,6.490274e-03,6.422574e-03,6.298640e-03,6.244722e-03,6.176658e-03,6.056713e-03,6.006962e-03,5.938878e-03,5.823213e-03,5.777565e-03,5.709765e-03,5.598570e-03,5.556914e-03,5.489659e-03,5.383048e-03,5.345235e-03,5.278753e-03,5.176778e-03,5.142636e-03,5.077124e-03,4.979786e-03,4.949125e-03,4.884753e-03,4.792011e-03,4.764633e-03,4.701545e-03,4.613332e-03,4.589033e-03,4.527351e-03,4.443575e-03,4.422151e-03,4.361977e-03,4.282527e-03,4.263776e-03,4.205195e-03,4.129949e-03,4.113671e-03,4.056755e-03,3.985579e-03,3.971582e-03,3.916385e-03,3.849139e-03,3.837239e-03,3.783804e-03,3.720345e-03,3.710363e-03,3.658723e-03,3.598904e-03,3.590671e-03,3.540849e-03,3.484523e-03,3.477878e-03,3.429889e-03,3.376910e-03,3.371702e-03,3.325550e-03,3.275774e-03,3.271859e-03,3.227546e-03,3.180830e-03,3.178074e-03,3.135592e-03,3.091797e-03,3.090075e-03,3.049412e-03,3.008402e-03,3.007596e-03,2.968736e-03,2.930381e-03,2.858178e-03,2.790746e-03,2.727850e-03,2.669265e-03,2.614774e-03,2.564168e-03,2.517246e-03,2.473814e-03,2.433689e-03,2.396692e-03,2.362655e-03,2.331414e-03,2.302815e-03,2.276708e-03,2.252951e-03,2.231408e-03,2.211950e-03,2.194452e-03,2.178796e-03,2.164869e-03,2.152562e-03,2.141774e-03,2.132405e-03,2.124363e-03,2.117557e-03,2.111903e-03,2.107320e-03,2.103731e-03,2.101062e-03,2.099245e-03,2.098211e-03,2.097900e-03,2.098250e-03,2.099206e-03,2.100713e-03,2.102722e-03,2.105183e-03,2.108051e-03,2.111285e-03,2.114842e-03,2.118685e-03,2.122779e-03,2.127089e-03,2.131585e-03,2.136236e-03,2.141014e-03,2.145896e-03,2.150855e-03,2.155869e-03
0.000000e+00,7.557266e-09,2.048257e-07,2.159004e-07,1.709458e-06,5.221495e-06,5.393297e-06,9.791719e-06,1.381378e-05,1.406314e-05,1.807725e-05,2.153278e-05,2.182268e-05,2.530713e-05,2.822908e-05,2.854160e-05,3.153740e-05,3.398515e-05,3.430569e-05,3.685741e-05,3.888688e-05,3.920331e-05,4.135391e-05,4.301703e-05,4.331951e-05,4.511014e-05,4.645471e-05,4.673550e-05,4.820492e-05,4.927423e-05,4.952739e-05,5.071150e-05,5.154434e-05,5.176545e-05,5.269706e-05,5.332786e-05,5.351379e-05,5.422272e-05,5.468190e-05,5.483058e-05,5.534375e-05,5.565801e-05,5.576828e-05,5.610989e-05,5.630261e-05,5.637403e-05,5.656582e-05,5.665741e-05,5.669014e-05,5.675158e-05,5.675981e-05,5.675450e-05,5.670301e-05,5.664330e-05,5.660099e-05,5.645212e-05,5.633782e-05,5.625987e-05,5.602749e-05,5.587010e-05,5.575809e-05,5.545457e-05,5.526398e-05,5.511967e-05,5.475599e-05,5.454067e-05,5.436595e-05,5.395187e-05,5.371902e-05,5.351588e-05,5.306004e-05,5.281579e-05,5.258625e-05,5.209630e-05,5.184581e-05,5.159190e-05,5.107461e-05,5.082218e-05,5.054594e-05,5.000728e-05,4.975650e-05,4.945993e-05,4.890513e-05,4.865896e-05,4.834402e-05,4.777769e-05,4.753851e-05,4.720712e-05,4.663327e-05,4.640301e-05,4.605701e-05,4.547915e-05,4.525931e-05,4.490047e-05,4.432166e-05,4.411339e-05,4.374339e-05,4.316627e-05,4.297042e-05,4.259088e-05,4.201772e-05,4.183487e-05,4.144730e-05,4.088007e-05,4.071058e-05,4.031643e-05,3.975677e-05,3.960083e-05,3.920145e-05,3.865077e-05,3.850839e-05,3.810504e-05,3.756452e-05,3.743560e-05,3.702946e-05,3.650008e-05,3.638439e-05,3.597657e-05,3.545911e-05,3.535636e-05,3.494787e-05,3.444298e-05,3.435278e-05,3.394457e-05,3.345275e-05,3.337467e-05,3.296760e-05,3.248922e-05,3.242279e-05,3.201767e-05,3.155299e-05,3.149770e-05,3.109525e-05,3.064446e-05,3.059977e-05,3.020066e-05,2.976386e-05,2.972922e-05,2.933406e-05,2.891125e-05,2.888611e-05,2.849544e-05,2.808660e-05,2.807040e-05,2.768472e-05,2.728975e-05,2.728192e-05,2.690167e-05,2.652044e-05,2.578562e-05,2.507707e-05,2.439436e-05,2.373699e-05,2.310442e-05,2.249610e-05,2.191144e-05,2.134985e-05,2.081069e-05,2.029334e-05,1.979718e-05,1.932156e-05,1.886586e-05,1.842944e-05,1.801168e-05,1.761195e-05,1.722965e-05,1.686418e-05,1.651494e-05,1.618136e-05,1.586288e-05,1.555894e-05,1.526901e-05,1.499256e-05,1.472908e-05,1.447807e-05,1.423905e-05,1.401156e-05,1.379514e-05,1.358936e-05,1.339379e-05,1.320803e-05,1.303167e-05,1.286433e-05,1.270565e-05,1.255525e-05,1.241281e-05,1.227798e-05,1.215044e-05,1.202990e-05,1.191604e-05,1.180859e-05,1.170726e-05,1.161180e-05,1.152195e-05,1.143745e-05,1.135808e-05,1.128361e-05,1.121382e-05
0.000000e+00,1.849318e-09,4.627710e-08,4.872137e-08,3.692955e-07,1.112397e-06,1.148678e-06,2.071278e-06,2.900815e-06,2.951742e-06,3.762853e-06,4.447216e-06,4.504010e-06,5.178700e-06,5.732453e-06,5.790989e-06,6.344864e-06,6.786977e-06,6.844126e-06,7.292389e-06,7.639731e-06,7.693089e-06,8.049496e-06,8.316926e-06,8.364717e-06,8.641697e-06,8.842245e-06,8.883223e-06,9.091922e-06,9.236912e-06,9.270266e-06,9.420576e-06,9.519761e-06,9.545027e-06,9.645657e-06,9.707379e-06,9.724368e-06,9.782938e-06,9.814292e-06,9.823025e-06,9.846175e-06,9.853168e-06,9.853827e-06,9.847322e-06,9.835016e-06,9.827906e-06,9.796743e-06,9.769395e-06,9.754910e-06,9.703409e-06,9.664577e-06,9.643171e-06,9.575061e-06,9.527712e-06,9.499880e-06,9.418372e-06,9.364962e-06,9.331223e-06,9.239071e-06,9.181626e-06,9.142506e-06,9.042072e-06,8.982248e-06,8.938274e-06,8.831575e-06,8.770718e-06,8.722404e-06,8.611157e-06,8.550350e-06,8.498198e-06,8.383861e-06,8.323964e-06,8.268454e-06,8.152259e-06,8.093948e-06,8.035535e-06,7.918520e-06,7.862313e-06,7.801429e-06,7.684462e-06,7.630749e-06,7.567798e-06,7.451601e-06,7.400661e-06,7.336019e-06,7.221189e-06,7.173214e-06,7.107232e-06,6.994257e-06,6.949364e-06,6.882363e-06,6.771638e-06,6.729885e-06,6.662160e-06,6.553999e-06,6.515395e-06,6.447216e-06,6.341866e-06,6.306381e-06,6.237994e-06,6.135641e-06,6.103215e-06,6.034842e-06,5.935625e-06,5.906172e-06,5.838013e-06,5.742026e-06,5.715443e-06,5.647679e-06,5.554982e-06,5.531152e-06,5.463942e-06,5.374563e-06,5.353360e-06,5.286847e-06,5.200791e-06,5.182081e-06,5.116391e-06,5.033640e-06,5.017287e-06,4.952530e-06,4.873049e-06,4.858915e-06,4.795186e-06,4.718927e-06,4.706873e-06,4.644256e-06,4.571157e-06,4.561048e-06,4.499613e-06,4.429604e-06,4.421305e-06,4.361112e-06,4.294117e-06,4.287499e-06,4.228598e-06,4.164532e-06,4.159469e-06,4.101900e-06,4.040678e-06,4.037049e-06,3.980844e-06,3.922376e-06,3.920065e-06,3.865249e-06,3.809442e-06,3.808339e-06,3.754930e-06,3.701691e-06,3.599941e-06,3.502909e-06,3.410416e-06,3.322284e-06,3.238341e-06,3.158416e-06,3.082343e-06,3.009960e-06,2.941110e-06,2.875640e-06,2.813402e-06,2.754254e-06,2.698057e-06,2.644678e-06,2.593991e-06,2.545870e-06,2.500200e-06,2.456865e-06,2.415757e-06,2.376772e-06,2.339810e-06,2.304775e-06,2.271575e-06,2.240124e-06,2.210336e-06,2.182133e-06,2.155438e-06,2.130178e-06,2.106283e-06,2.083687e-06,2.062326e-06,2.042140e-06,2.023071e-06,2.005064e-06,1.988068e-06,1.972030e-06,1.956906e-06,1.942648e-06,1.929213e-06,1.916561e-06,1.904652e-06,1.893449e-06,1.882916e-06,1.873020e-06,1.863728e-06,1.855010e-06,1.846836e-06,1.839178e-06,1.832011e-06
0.000000e+00,2.268872e-08,6.104725e-07,6.421072e-07,5.326764e-06,2.377686e-05,2.508445e-05,7.897835e-05,1.740920e-04,1.816366e-04,3.277822e-04,4.835333e-04,4.975019e-04,6.726517e-04,8.262039e-04,8.428379e-04,1.003499e-03,1.135741e-03,1.153093e-03,1.291383e-03,1.401474e-03,1.418643e-03,1.535332e-03,1.625561e-03,1.641970e-03,1.739087e-03,1.811990e-03,1.827212e-03,1.906861e-03,1.964815e-03,1.978535e-03,2.042716e-03,2.087873e-03,2.099866e-03,2.150428e-03,2.184709e-03,2.194824e-03,2.233454e-03,2.258553e-03,2.266699e-03,2.294918e-03,2.312316e-03,2.318452e-03,2.337622e-03,2.348608e-03,2.352732e-03,2.364069e-03,2.369763e-03,2.371906e-03,2.376498e-03,2.377871e-03,2.378090e-03,2.376908e-03,2.374797e-03,2.373168e-03,2.367069e-03,2.362187e-03,2.358801e-03,2.348541e-03,2.341499e-03,2.336456e-03,2.322701e-03,2.314017e-03,2.307425e-03,2.290765e-03,2.280879e-03,2.272850e-03,2.253801e-03,2.243083e-03,2.233731e-03,2.212748e-03,2.201508e-03,2.190949e-03,2.168428e-03,2.156924e-03,2.145272e-03,2.121562e-03,2.110007e-03,2.097374e-03,2.072778e-03,2.061344e-03,2.047839e-03,2.022619e-03,2.011448e-03,1.997176e-03,1.971561e-03,1.960763e-03,1.945824e-03,1.920011e-03,1.909673e-03,1.894163e-03,1.868320e-03,1.858509e-03,1.842518e-03,1.816790e-03,1.807552e-03,1.791167e-03,1.765677e-03,1.757045e-03,1.740346e-03,1.715197e-03,1.707191e-03,1.690252e-03,1.665531e-03,1.658161e-03,1.641052e-03,1.616831e-03,1.610097e-03,1.592883e-03,1.569221e-03,1.563117e-03,1.545856e-03,1.522800e-03,1.517314e-03,1.500062e-03,1.477650e-03,1.472763e-03,1.455570e-03,1.433830e-03,1.429523e-03,1.412434e-03,1.391387e-03,1.387636e-03,1.370692e-03,1.350352e-03,1.347131e-03,1.330370e-03,1.310747e-03,1.308028e-03,1.291483e-03,1.272579e-03,1.270335e-03,1.254036e-03,1.235852e-03,1.234053e-03,1.218026e-03,1.200557e-03,1.199175e-03,1.183444e-03,1.166683e-03,1.165688e-03,1.150273e-03,1.134210e-03,1.133575e-03,1.118492e-03,1.103116e-03,1.102812e-03,1.088078e-03,1.073375e-03,1.045234e-03,1.018358e-03,9.927136e-04,9.682668e-04,9.449817e-04,9.228218e-04,9.017504e-04,8.817302e-04,8.627242e-04,8.446954e-04,8.276073e-04,8.114237e-04,7.961089e-04,7.816281e-04,7.679471e-04,7.550323e-04,7.428514e-04,7.313725e-04,7.205649e-04,7.103986e-04,7.008448e-04,6.918755e-04,6.834636e-04,6.755829e-04,6.682083e-04,6.613154e-04,6.548810e-04,6.488825e-04,6.432983e-04,6.381076e-04,6.332904e-04,6.288276e-04,6.247009e-04,6.208927e-04,6.173861e-04,6.141649e-04,6.112137e-04,6.085178e-04,6.060629e-04,6.038356e-04,6.018230e-04,6.000127e-04,5.983929e-04,5.969525e-04,5.956808e-04,5.945674e-04,5.936026e-04,5.927773e-04,5.920825e-04
0.000000e+00,1.387691e-08,4.088732e-07,4.309017e-07,3.841621e-06,1.740128e-05,1.835218e-05,5.640575e-05,1.196943e-04,1.245556e-04,2.151555e-04,3.053702e-04,3.131702e-04,4.070153e-04,4.832035e-04,4.911080e-04,5.638424e-04,6.186509e-04,6.254933e-04,6.770363e-04,7.141544e-04,7.196192e-04,7.543583e-04,7.782256e-04,7.822717e-04,8.042659e-04,8.184467e-04,8.211383e-04,8.335878e-04,8.407758e-04,8.422248e-04,8.475817e-04,8.497833e-04,8.501219e-04,8.502489e-04,8.489494e-04,8.483141e-04,8.446227e-04,8.409176e-04,8.394401e-04,8.329972e-04,8.276914e-04,8.254942e-04,8.171035e-04,8.107827e-04,8.079746e-04,7.982370e-04,7.913254e-04,7.880026e-04,7.773691e-04,7.701749e-04,7.664231e-04,7.552400e-04,7.479883e-04,7.438836e-04,7.324088e-04,7.252561e-04,7.208630e-04,7.092860e-04,7.023391e-04,6.977116e-04,6.861696e-04,6.795002e-04,6.746853e-04,6.632803e-04,6.569352e-04,6.519731e-04,6.407787e-04,6.347853e-04,6.297102e-04,6.187784e-04,6.131509e-04,6.079921e-04,5.973588e-04,5.921013e-04,5.868841e-04,5.765729e-04,5.716827e-04,5.664289e-04,5.564547e-04,5.519243e-04,5.466525e-04,5.370234e-04,5.328416e-04,5.275681e-04,5.182868e-04,5.144404e-04,5.091792e-04,5.002446e-04,4.967190e-04,4.914822e-04,4.828907e-04,4.796704e-04,4.744686e-04,4.662144e-04,4.632836e-04,4.581261e-04,4.502020e-04,4.475448e-04,4.424398e-04,4.348373e-04,4.324379e-04,4.273924e-04,4.201027e-04,4.179457e-04,4.129658e-04,4.059794e-04,4.040498e-04,3.991410e-04,3.924481e-04,3.907315e-04,3.858984e-04,3.794894e-04,3.779719e-04,3.732187e-04,3.670837e-04,3.657520e-04,3.610821e-04,3.552115e-04,3.540529e-04,3.494694e-04,3.438536e-04,3.428559e-04,3.383615e-04,3.329910e-04,3.321429e-04,3.277397e-04,3.226054e-04,3.218958e-04,3.175858e-04,3.126787e-04,3.120973e-04,3.078820e-04,3.031935e-04,3.027305e-04,2.986110e-04,2.941326e-04,2.937788e-04,2.897562e-04,2.854798e-04,2.852263e-04,2.813013e-04,2.772190e-04,2.770576e-04,2.732307e-04,2.693348e-04,2.692578e-04,2.655292e-04,2.618123e-04,2.547073e-04,2.479293e-04,2.414654e-04,2.353030e-04,2.294302e-04,2.238353e-04,2.185072e-04,2.134351e-04,2.086087e-04,2.040180e-04,1.996533e-04,1.955056e-04,1.915659e-04,1.878257e-04,1.842767e-04,1.809111e-04,1.777213e-04,1.746999e-04,1.718399e-04,1.691346e-04,1.665775e-04,1.641623e-04,1.618830e-04,1.597338e-04,1.577092e-04,1.558037e-04,1.540124e-04,1.523301e-04,1.507522e-04,1.492741e-04,1.478913e-04,1.465998e-04,1.453953e-04,1.442739e-04,1.432320e-04,1.422659e-04,1.413721e-04,1.405473e-04,1.397882e-04,1.390918e-04,1.384551e-04,1.378752e-04,1.373495e-04,1.368752e-04,1.364498e-04,1.360710e-04,1.357363e-04,1.354434e-04,1.351904e-04
0.000000e+00,1.114281e-08,1.906661e-07,1.993592e-07,1.183713e-06,3.569355e-06,3.702627e-06,7.732292e-06,1.216188e-05,1.244631e-05,1.700508e-05,2.077525e-05,2.108225e-05,2.464787e-05,2.745209e-05,2.774162e-05,3.041220e-05,3.244918e-05,3.270598e-05,3.466518e-05,3.611154e-05,3.632775e-05,3.772761e-05,3.872273e-05,3.889505e-05,3.985701e-05,4.050942e-05,4.063750e-05,4.125784e-05,4.165160e-05,4.173696e-05,4.209168e-05,4.229167e-05,4.233693e-05,4.248596e-05,4.254216e-05,4.255053e-05,4.254106e-05,4.249187e-05,4.246681e-05,4.233597e-05,4.221082e-05,4.215577e-05,4.193263e-05,4.175398e-05,4.167229e-05,4.137988e-05,4.116502e-05,4.105985e-05,4.071618e-05,4.047817e-05,4.035245e-05,3.997173e-05,3.972044e-05,3.957678e-05,3.917004e-05,3.891289e-05,3.875365e-05,3.832951e-05,3.807201e-05,3.789929e-05,3.746447e-05,3.721069e-05,3.702636e-05,3.658610e-05,3.633900e-05,3.614471e-05,3.570306e-05,3.546475e-05,3.526195e-05,3.482205e-05,3.459398e-05,3.438395e-05,3.394819e-05,3.373133e-05,3.351521e-05,3.308540e-05,3.288032e-05,3.265910e-05,3.223661e-05,3.204361e-05,3.181818e-05,3.140403e-05,3.122320e-05,3.099434e-05,3.058926e-05,3.042053e-05,3.018892e-05,2.979343e-05,2.963661e-05,2.940287e-05,2.901731e-05,2.887212e-05,2.863680e-05,2.826137e-05,2.812747e-05,2.789106e-05,2.752587e-05,2.740287e-05,2.716581e-05,2.681088e-05,2.669838e-05,2.646106e-05,2.611635e-05,2.601392e-05,2.577670e-05,2.544211e-05,2.534932e-05,2.511253e-05,2.478793e-05,2.470434e-05,2.446826e-05,2.415350e-05,2.407867e-05,2.384358e-05,2.353846e-05,2.347198e-05,2.323811e-05,2.294245e-05,2.288388e-05,2.265145e-05,2.236505e-05,2.231398e-05,2.208320e-05,2.180584e-05,2.176187e-05,2.153292e-05,2.126438e-05,2.122713e-05,2.100017e-05,2.074023e-05,2.070932e-05,2.048451e-05,2.023295e-05,2.020802e-05,1.998550e-05,1.974210e-05,1.972280e-05,1.950269e-05,1.926723e-05,1.925322e-05,1.903565e-05,1.880791e-05,1.879888e-05,1.858394e-05,1.836371e-05,1.835934e-05,1.814714e-05,1.793420e-05,1.752305e-05,1.712551e-05,1.674117e-05,1.636966e-05,1.601062e-05,1.566367e-05,1.532847e-05,1.500466e-05,1.469192e-05,1.438992e-05,1.409834e-05,1.381686e-05,1.354519e-05,1.328304e-05,1.303011e-05,1.278612e-05,1.255082e-05,1.232394e-05,1.210521e-05,1.189439e-05,1.169125e-05,1.149554e-05,1.130704e-05,1.112552e-05,1.095077e-05,1.078259e-05,1.062076e-05,1.046509e-05,1.031539e-05,1.017148e-05,1.003316e-05,9.900268e-06,9.772631e-06,9.650081e-06,9.532459e-06,9.419606e-06,9.311371e-06,9.207608e-06,9.108171e-06,9.012922e-06,8.921726e-06,8.834450e-06,8.750969e-06,8.671156e-06,8.594893e-06,8.522061e-06,8.452548e-06,8.386244e-06,8.323040e-06
0.000000e+00,5.215385e-09,1.861410e-07,1.967847e-07,2.020857e-06,1.050450e-05,1.114636e-05,4.037733e-05,1.020093e-04,1.073987e-04,2.263717e-04,3.848797e-04,4.007552e-04,6.235173e-04,8.546210e-04,8.815929e-04,1.160085e-03,1.410834e-03,1.444936e-03,1.724293e-03,1.953085e-03,1.988991e-03,2.232532e-03,2.417684e-03,2.450799e-03,2.641650e-03,2.777238e-03,2.804496e-03,2.939907e-03,3.029390e-03,3.049264e-03,3.134480e-03,3.185610e-03,3.197772e-03,3.241489e-03,3.263073e-03,3.267985e-03,3.279532e-03,3.279716e-03,3.278267e-03,3.266150e-03,3.251707e-03,3.244950e-03,3.216239e-03,3.192420e-03,3.181399e-03,3.141631e-03,3.112307e-03,3.097967e-03,3.051287e-03,3.019194e-03,3.002338e-03,2.951743e-03,2.918744e-03,2.900025e-03,2.847614e-03,2.814930e-03,2.794865e-03,2.742068e-03,2.710466e-03,2.689456e-03,2.637216e-03,2.607149e-03,2.585499e-03,2.534422e-03,2.506132e-03,2.484075e-03,2.434529e-03,2.408125e-03,2.385835e-03,2.338032e-03,2.313536e-03,2.291147e-03,2.245196e-03,2.222575e-03,2.200190e-03,2.156132e-03,2.135321e-03,2.113022e-03,2.070856e-03,2.051774e-03,2.029626e-03,1.989324e-03,1.971882e-03,1.949938e-03,1.911455e-03,1.895559e-03,1.873864e-03,1.837148e-03,1.822705e-03,1.801295e-03,1.766289e-03,1.753206e-03,1.732115e-03,1.698758e-03,1.686946e-03,1.666202e-03,1.634433e-03,1.623807e-03,1.603434e-03,1.573190e-03,1.563670e-03,1.543687e-03,1.514909e-03,1.506415e-03,1.486842e-03,1.459470e-03,1.451929e-03,1.432779e-03,1.406755e-03,1.400097e-03,1.381384e-03,1.356651e-03,1.350809e-03,1.332543e-03,1.309046e-03,1.303957e-03,1.286146e-03,1.263832e-03,1.259438e-03,1.242088e-03,1.220903e-03,1.217149e-03,1.200265e-03,1.180160e-03,1.176992e-03,1.160577e-03,1.141504e-03,1.138873e-03,1.122928e-03,1.104839e-03,1.102701e-03,1.087225e-03,1.070076e-03,1.068386e-03,1.053379e-03,1.037125e-03,1.035844e-03,1.021304e-03,1.005904e-03,1.004993e-03,9.909157e-04,9.763298e-04,9.757546e-04,9.621363e-04,9.483259e-04,9.480535e-04,9.348892e-04,9.218172e-04,8.969764e-04,8.734645e-04,8.512181e-04,8.301763e-04,8.102809e-04,7.914762e-04,7.737092e-04,7.569290e-04,7.410873e-04,7.261376e-04,7.120360e-04,6.987402e-04,6.862101e-04,6.744075e-04,6.632957e-04,6.528400e-04,6.430072e-04,6.337657e-04,6.250853e-04,6.169373e-04,6.092945e-04,6.021307e-04,5.954212e-04,5.891424e-04,5.832716e-04,5.777876e-04,5.726700e-04,5.678993e-04,5.634570e-04,5.593256e-04,5.554884e-04,5.519294e-04,5.486335e-04,5.455863e-04,5.427741e-04,5.401837e-04,5.378029e-04,5.356198e-04,5.336232e-04,5.318024e-04,5.301472e-04,5.286481e-04,5.272959e-04,5.260818e-04,5.249976e-04,5.240354e-04,5.231877e-04,5.224475e-04,5.218080e-04
0.000000e+00,1.740227e-09,1.865857e-08,1.939442e-08,1.015538e-07,3.295083e-07,3.435385e-07,8.286891e-07,1.493175e-06,1.540370e-06,2.362595e-06,3.119846e-06,3.184081e-06,3.957172e-06,4.602093e-06,4.670732e-06,5.324566e-06,5.852492e-06,5.921163e-06,6.463632e-06,6.889320e-06,6.955194e-06,7.399024e-06,7.737208e-06,7.798199e-06,8.155669e-06,8.419653e-06,8.474249e-06,8.756605e-06,8.958110e-06,9.005262e-06,9.222599e-06,9.371827e-06,9.410859e-06,9.572147e-06,9.677910e-06,9.708444e-06,9.821605e-06,9.891478e-06,9.913373e-06,9.985379e-06,1.002585e-05,1.003915e-05,1.007612e-05,1.009272e-05,1.009763e-05,1.010492e-05,1.010236e-05,1.009917e-05,1.008147e-05,1.006374e-05,1.005284e-05,1.001424e-05,9.984712e-06,9.966550e-06,9.910603e-06,9.872111e-06,9.847173e-06,9.776981e-06,9.731902e-06,9.700699e-06,9.618951e-06,9.569263e-06,9.532317e-06,9.441339e-06,9.388682e-06,9.346518e-06,9.248321e-06,9.194043e-06,9.147178e-06,9.043492e-06,8.988695e-06,8.937634e-06,8.829947e-06,8.775518e-06,8.720749e-06,8.610334e-06,8.556983e-06,8.498973e-06,8.386917e-06,8.335203e-06,8.274397e-06,8.161625e-06,8.111976e-06,8.048796e-06,7.936088e-06,7.888827e-06,7.823666e-06,7.711680e-06,7.667039e-06,7.600267e-06,7.489552e-06,7.447687e-06,7.379648e-06,7.270658e-06,7.231664e-06,7.162675e-06,7.055783e-06,7.019702e-06,6.950057e-06,6.845564e-06,6.812397e-06,6.742364e-06,6.640510e-06,6.610223e-06,6.540049e-06,6.441021e-06,6.413555e-06,6.343462e-06,6.247402e-06,6.222675e-06,6.152867e-06,6.059877e-06,6.037792e-06,5.968451e-06,5.878600e-06,5.859045e-06,5.790335e-06,5.703664e-06,5.686521e-06,5.618589e-06,5.535112e-06,5.520256e-06,5.453232e-06,5.372946e-06,5.360247e-06,5.294247e-06,5.217128e-06,5.206457e-06,5.141580e-06,5.067593e-06,5.058818e-06,4.995153e-06,4.924249e-06,4.917242e-06,4.854865e-06,4.786985e-06,4.781620e-06,4.720594e-06,4.655673e-06,4.651825e-06,4.592205e-06,4.530171e-06,4.527719e-06,4.469551e-06,4.410325e-06,4.409155e-06,4.352474e-06,4.295975e-06,4.188020e-06,4.085122e-06,3.987114e-06,3.893829e-06,3.805095e-06,3.720747e-06,3.640616e-06,3.564540e-06,3.492356e-06,3.423908e-06,3.359040e-06,3.297602e-06,3.239447e-06,3.184433e-06,3.132422e-06,3.083281e-06,3.036880e-06,2.993095e-06,2.951806e-06,2.912896e-06,2.876253e-06,2.841772e-06,2.809348e-06,2.778882e-06,2.750280e-06,2.723450e-06,2.698304e-06,2.674760e-06,2.652737e-06,2.632157e-06,2.612948e-06,2.595039e-06,2.578364e-06,2.562857e-06,2.548458e-06,2.535108e-06,2.522752e-06,2.511335e-06,2.500808e-06,2.491121e-06,2.482230e-06,2.474088e-06,2.466655e-06,2.459891e-06,2.453757e-06,2.448218e-06,2.443238e-06,2.438785e-06,2.434829e-06
0.000000e+00,7.867552e-08,2.516102e-06,2.652465e-06,2.435594e-05,1.245775e-04,1.323486e-04,5.110377e-04,1.418388e-03,1.502976e-03,3.530449e-03,6.613441e-03,6.943135e-03,1.194170e-02,1.784786e-02,1.858560e-02,2.682680e-02,3.530455e-02,3.654311e-02,4.756524e-02,5.793986e-02,5.969754e-02,7.273322e-02,8.422972e-02,8.646531e-02,1.006943e-01,1.126013e-01,1.152333e-01,1.299111e-01,1.416493e-01,1.445739e-01,1.590861e-01,1.702247e-01,1.733299e-01,1.872053e-01,1.974521e-01,2.006284e-01,2.135306e-01,2.227102e-01,2.258572e-01,2.375658e-01,2.455956e-01,2.486255e-01,2.590147e-01,2.658812e-01,2.687209e-01,2.777384e-01,2.834772e-01,2.860681e-01,2.937161e-01,2.983953e-01,3.006930e-01,3.070127e-01,3.107203e-01,3.126924e-01,3.177515e-01,3.205856e-01,3.222110e-01,3.260935e-01,3.281557e-01,3.294224e-01,3.322217e-01,3.336123e-01,3.345158e-01,3.363293e-01,3.371439e-01,3.376863e-01,3.386112e-01,3.389393e-01,3.391276e-01,3.392589e-01,3.391824e-01,3.390276e-01,3.384558e-01,3.380489e-01,3.375649e-01,3.363757e-01,3.357047e-01,3.349080e-01,3.331811e-01,3.323047e-01,3.312134e-01,3.290227e-01,3.279925e-01,3.266258e-01,3.240391e-01,3.228999e-01,3.212781e-01,3.183575e-01,3.171478e-01,3.152915e-01,3.120934e-01,3.108462e-01,3.087762e-01,3.053519e-01,3.040951e-01,3.018320e-01,2.982276e-01,2.969846e-01,2.945489e-01,2.908059e-01,2.895961e-01,2.870078e-01,2.831634e-01,2.820023e-01,2.792809e-01,2.753683e-01,2.742684e-01,2.714329e-01,2.674817e-01,2.664526e-01,2.635211e-01,2.595573e-01,2.586062e-01,2.555961e-01,2.516428e-01,2.507746e-01,2.477025e-01,2.437799e-01,2.429979e-01,2.398795e-01,2.360053e-01,2.353110e-01,2.321610e-01,2.283504e-01,2.277441e-01,2.245766e-01,2.208428e-01,2.203234e-01,2.171516e-01,2.135056e-01,2.130712e-01,2.099073e-01,2.063587e-01,2.060067e-01,2.028619e-01,1.994186e-01,1.991455e-01,1.960305e-01,1.926989e-01,1.925008e-01,1.894252e-01,1.862106e-01,1.860832e-01,1.830560e-01,1.799623e-01,1.799010e-01,1.769303e-01,1.739605e-01,1.682662e-01,1.628210e-01,1.576263e-01,1.526823e-01,1.479880e-01,1.435414e-01,1.393397e-01,1.353792e-01,1.316555e-01,1.281637e-01,1.248983e-01,1.218533e-01,1.190224e-01,1.163989e-01,1.139758e-01,1.117459e-01,1.097017e-01,1.078357e-01,1.061402e-01,1.046073e-01,1.032293e-01,1.019982e-01,1.009063e-01,9.994553e-02,9.910829e-02,9.838683e-02,9.777355e-02,9.726100e-02,9.684183e-02,9.650890e-02,9.625523e-02,9.607404e-02,9.595877e-02,9.590308e-02,9.590087e-02,9.594630e-02,9.603377e-02,9.615796e-02,9.631382e-02,9.649655e-02,9.670168e-02,9.692496e-02,9.716246e-02,9.741052e-02,9.766575e-02,9.792504e-02,9.818553e-02,9.844462e-02,9.870000e-02
0.000000e+00,3.015414e-09,3.950139e-08,4.116743e-08,2.265239e-07,7.083591e-07,7.369105e-07,1.678277e-06,2.873995e-06,2.956069e-06,4.351432e-06,5.614191e-06,5.721396e-06,7.018891e-06,8.115764e-06,8.233443e-06,9.364634e-06,1.029291e-05,1.041474e-05,1.138683e-05,1.216295e-05,1.228421e-05,1.311032e-05,1.375169e-05,1.386859e-05,1.456246e-05,1.508575e-05,1.519530e-05,1.577041e-05,1.619109e-05,1.629100e-05,1.676015e-05,1.709230e-05,1.718084e-05,1.755592e-05,1.781215e-05,1.788811e-05,1.818002e-05,1.837154e-05,1.843410e-05,1.865269e-05,1.878936e-05,1.883803e-05,1.899224e-05,1.908274e-05,1.911732e-05,1.921520e-05,1.926713e-05,1.928766e-05,1.933644e-05,1.935644e-05,1.936313e-05,1.936928e-05,1.936311e-05,1.935634e-05,1.932566e-05,1.929831e-05,1.927855e-05,1.921623e-05,1.917202e-05,1.913986e-05,1.905051e-05,1.899315e-05,1.894922e-05,1.883695e-05,1.876963e-05,1.871463e-05,1.858310e-05,1.850854e-05,1.844318e-05,1.829564e-05,1.821614e-05,1.814118e-05,1.798049e-05,1.789800e-05,1.781419e-05,1.764289e-05,1.755905e-05,1.746714e-05,1.728747e-05,1.720364e-05,1.710437e-05,1.691830e-05,1.683561e-05,1.672970e-05,1.653897e-05,1.645832e-05,1.634648e-05,1.615260e-05,1.607473e-05,1.595764e-05,1.576193e-05,1.568742e-05,1.556574e-05,1.536935e-05,1.529865e-05,1.517300e-05,1.497693e-05,1.491036e-05,1.478134e-05,1.458644e-05,1.452424e-05,1.439241e-05,1.419942e-05,1.414175e-05,1.400762e-05,1.381717e-05,1.376410e-05,1.362819e-05,1.344080e-05,1.339236e-05,1.325512e-05,1.307125e-05,1.302740e-05,1.288927e-05,1.270928e-05,1.266995e-05,1.253134e-05,1.235552e-05,1.232062e-05,1.218189e-05,1.201050e-05,1.197989e-05,1.184139e-05,1.167460e-05,1.164813e-05,1.151017e-05,1.134813e-05,1.132564e-05,1.118851e-05,1.103133e-05,1.101263e-05,1.087660e-05,1.072433e-05,1.070924e-05,1.057454e-05,1.042722e-05,1.041555e-05,1.028239e-05,1.014004e-05,1.013158e-05,1.000016e-05,9.862759e-06,9.857314e-06,9.727815e-06,9.595322e-06,9.592697e-06,9.465266e-06,9.337632e-06,9.091997e-06,8.855645e-06,8.628408e-06,8.410101e-06,8.200523e-06,7.999466e-06,7.806708e-06,7.622023e-06,7.445181e-06,7.275945e-06,7.114081e-06,6.959349e-06,6.811515e-06,6.670341e-06,6.535596e-06,6.407048e-06,6.284472e-06,6.167645e-06,6.056347e-06,5.950365e-06,5.849491e-06,5.753520e-06,5.662255e-06,5.575503e-06,5.493077e-06,5.414795e-06,5.340480e-06,5.269964e-06,5.203080e-06,5.139669e-06,5.079578e-06,5.022658e-06,4.968765e-06,4.917762e-06,4.869516e-06,4.823899e-06,4.780787e-06,4.740063e-06,4.701611e-06,4.665324e-06,4.631095e-06,4.598823e-06,4.568413e-06,4.539771e-06,4.512808e-06,4.487439e-06,4.463582e-06,4.441159e-06,4.420095e-06
0.000000e+00,8.225707e-09,1.191777e-07,1.244658e-07,7.652669e-07,2.617929e-06,2.731980e-06,6.631759e-06,1.183449e-05,1.219881e-05,1.847409e-05,2.420835e-05,2.469552e-05,3.058769e-05,3.556056e-05,3.609364e-05,4.121448e-05,4.541389e-05,4.596498e-05,5.036299e-05,5.387734e-05,5.442684e-05,5.817456e-05,6.109114e-05,6.162362e-05,6.479084e-05,6.718898e-05,6.769234e-05,7.034348e-05,7.229403e-05,7.275894e-05,7.495259e-05,7.651816e-05,7.693762e-05,7.872651e-05,7.996217e-05,8.033107e-05,8.176251e-05,8.271661e-05,8.303148e-05,8.414804e-05,8.486293e-05,8.512167e-05,8.596136e-05,8.647401e-05,8.667560e-05,8.727242e-05,8.761506e-05,8.775938e-05,8.814364e-05,8.834429e-05,8.843195e-05,8.863070e-05,8.871368e-05,8.874588e-05,8.878319e-05,8.876958e-05,8.874798e-05,8.864530e-05,8.855329e-05,8.847990e-05,8.825628e-05,8.810158e-05,8.797867e-05,8.765106e-05,8.744716e-05,8.727720e-05,8.686062e-05,8.661910e-05,8.640468e-05,8.591249e-05,8.564321e-05,8.538701e-05,8.483103e-05,8.454242e-05,8.424715e-05,8.363783e-05,8.333700e-05,8.300538e-05,8.235198e-05,8.204495e-05,8.167966e-05,8.099035e-05,8.068213e-05,8.028583e-05,7.956781e-05,7.926259e-05,7.883786e-05,7.809747e-05,7.779870e-05,7.734802e-05,7.659084e-05,7.630134e-05,7.582713e-05,7.505805e-05,7.478007e-05,7.428466e-05,7.350795e-05,7.324329e-05,7.272887e-05,7.194829e-05,7.169832e-05,7.116702e-05,7.038581e-05,7.015157e-05,6.960538e-05,6.882638e-05,6.860860e-05,6.804942e-05,6.727506e-05,6.707423e-05,6.650385e-05,6.573625e-05,6.555262e-05,6.497273e-05,6.421370e-05,6.404735e-05,6.345954e-05,6.271060e-05,6.256147e-05,6.196722e-05,6.122969e-05,6.109758e-05,6.049829e-05,5.977325e-05,5.965785e-05,5.905482e-05,5.834319e-05,5.824411e-05,5.763855e-05,5.694107e-05,5.685786e-05,5.625089e-05,5.556816e-05,5.550030e-05,5.489298e-05,5.422547e-05,5.417240e-05,5.356570e-05,5.291377e-05,5.287490e-05,5.226973e-05,5.163364e-05,5.160836e-05,5.100554e-05,5.038547e-05,5.037315e-05,4.977346e-05,4.916951e-05,4.799752e-05,4.685718e-05,4.574837e-05,4.467089e-05,4.362448e-05,4.260879e-05,4.162344e-05,4.066799e-05,3.974196e-05,3.884486e-05,3.797614e-05,3.713526e-05,3.632164e-05,3.553472e-05,3.477389e-05,3.403856e-05,3.332813e-05,3.264199e-05,3.197955e-05,3.134020e-05,3.072334e-05,3.012840e-05,2.955477e-05,2.900189e-05,2.846920e-05,2.795612e-05,2.746211e-05,2.698663e-05,2.652914e-05,2.608914e-05,2.566610e-05,2.525953e-05,2.486894e-05,2.449386e-05,2.413381e-05,2.378835e-05,2.345703e-05,2.313940e-05,2.283506e-05,2.254359e-05,2.226458e-05,2.199764e-05,2.174239e-05,2.149847e-05,2.126549e-05,2.104312e-05,2.083101e-05,2.062881e-05,2.043622e-05
0.000000e+00,2.256794e-08,3.670942e-07,3.839475e-07,2.605538e-06,1.000704e-05,1.049016e-05,2.776294e-05,5.076791e-05,5.233704e-05,7.864986e-05,1.019858e-04,1.039508e-04,1.275597e-04,1.472787e-04,1.493813e-04,1.694604e-04,1.857505e-04,1.878752e-04,2.047105e-04,2.179898e-04,2.200505e-04,2.339775e-04,2.446430e-04,2.465718e-04,2.579111e-04,2.663259e-04,2.680709e-04,2.771238e-04,2.836164e-04,2.851399e-04,2.921863e-04,2.970505e-04,2.983269e-04,3.036229e-04,3.071186e-04,3.081321e-04,3.119095e-04,3.142643e-04,3.150071e-04,3.174739e-04,3.188856e-04,3.193563e-04,3.206978e-04,3.213372e-04,3.215396e-04,3.219200e-04,3.219339e-04,3.218755e-04,3.214401e-04,3.209541e-04,3.206456e-04,3.195222e-04,3.186436e-04,3.180979e-04,3.163990e-04,3.152186e-04,3.144501e-04,3.122743e-04,3.108689e-04,3.098931e-04,3.073268e-04,3.057609e-04,3.045941e-04,3.017125e-04,3.000399e-04,2.986984e-04,2.955672e-04,2.938327e-04,2.923331e-04,2.890092e-04,2.872495e-04,2.856080e-04,2.821408e-04,2.803858e-04,2.786183e-04,2.750504e-04,2.733243e-04,2.714461e-04,2.678140e-04,2.661360e-04,2.641618e-04,2.604969e-04,2.588820e-04,2.568258e-04,2.531547e-04,2.516143e-04,2.494893e-04,2.458348e-04,2.443771e-04,2.421959e-04,2.385769e-04,2.372078e-04,2.349819e-04,2.314144e-04,2.301375e-04,2.278778e-04,2.243751e-04,2.231924e-04,2.209089e-04,2.174816e-04,2.163935e-04,2.140955e-04,2.107524e-04,2.097582e-04,2.074541e-04,2.042021e-04,2.033000e-04,2.009977e-04,1.978421e-04,1.970297e-04,1.947361e-04,1.916808e-04,1.909551e-04,1.886767e-04,1.857243e-04,1.850818e-04,1.828243e-04,1.799767e-04,1.794135e-04,1.771820e-04,1.744401e-04,1.739522e-04,1.717511e-04,1.691151e-04,1.686982e-04,1.665317e-04,1.640010e-04,1.636508e-04,1.615225e-04,1.590960e-04,1.588083e-04,1.567211e-04,1.543975e-04,1.541679e-04,1.521245e-04,1.499018e-04,1.497262e-04,1.477289e-04,1.456050e-04,1.454792e-04,1.435298e-04,1.415024e-04,1.414223e-04,1.395224e-04,1.375890e-04,1.375508e-04,1.357016e-04,1.338594e-04,1.303428e-04,1.269952e-04,1.238112e-04,1.207848e-04,1.179104e-04,1.151822e-04,1.125946e-04,1.101418e-04,1.078185e-04,1.056190e-04,1.035382e-04,1.015708e-04,9.971190e-05,9.795650e-05,9.629990e-05,9.473752e-05,9.326494e-05,9.187788e-05,9.057225e-05,8.934408e-05,8.818957e-05,8.710507e-05,8.608709e-05,8.513227e-05,8.423740e-05,8.339940e-05,8.261533e-05,8.188238e-05,8.119786e-05,8.055922e-05,7.996401e-05,7.940989e-05,7.889465e-05,7.841615e-05,7.797240e-05,7.756145e-05,7.718149e-05,7.683078e-05,7.650766e-05,7.621055e-05,7.593797e-05,7.568849e-05,7.546077e-05,7.525351e-05,7.506551e-05,7.489561e-05,7.474271e-05,7.460577e-05,7.448382e-05
0.000000e+00,8.561439e-09,2.170507e-07,2.286647e-07,1.957097e-06,7.947703e-06,8.334036e-06,2.172627e-05,3.886454e-05,4.002073e-05,5.930381e-05,7.631812e-05,7.774926e-05,9.494129e-05,1.093154e-04,1.108498e-04,1.255282e-04,1.374833e-04,1.390466e-04,1.514761e-04,1.613473e-04,1.628857e-04,1.733409e-04,1.814312e-04,1.829037e-04,1.916328e-04,1.982072e-04,1.995831e-04,2.068065e-04,2.120945e-04,2.133514e-04,2.192636e-04,2.234632e-04,2.245855e-04,2.293574e-04,2.326392e-04,2.336165e-04,2.373981e-04,2.399084e-04,2.407349e-04,2.436578e-04,2.455221e-04,2.461954e-04,2.483747e-04,2.497005e-04,2.502208e-04,2.517574e-04,2.526367e-04,2.530063e-04,2.539883e-04,2.544996e-04,2.547226e-04,2.552272e-04,2.554374e-04,2.555189e-04,2.556134e-04,2.555796e-04,2.555256e-04,2.552690e-04,2.550394e-04,2.548565e-04,2.543002e-04,2.539161e-04,2.536112e-04,2.528001e-04,2.522962e-04,2.518765e-04,2.508497e-04,2.502553e-04,2.497281e-04,2.485197e-04,2.478596e-04,2.472320e-04,2.458718e-04,2.451666e-04,2.444456e-04,2.429595e-04,2.422266e-04,2.414191e-04,2.398297e-04,2.390834e-04,2.381961e-04,2.365228e-04,2.357752e-04,2.348143e-04,2.330743e-04,2.323350e-04,2.313066e-04,2.295146e-04,2.287918e-04,2.277016e-04,2.258705e-04,2.251705e-04,2.240240e-04,2.221647e-04,2.214927e-04,2.202951e-04,2.184173e-04,2.177773e-04,2.165334e-04,2.146453e-04,2.140405e-04,2.127547e-04,2.108634e-04,2.102961e-04,2.089729e-04,2.070844e-04,2.065563e-04,2.051995e-04,2.033192e-04,2.028312e-04,2.014446e-04,1.995769e-04,1.991298e-04,1.977169e-04,1.958655e-04,1.954594e-04,1.940235e-04,1.921916e-04,1.918265e-04,1.903706e-04,1.885609e-04,1.882365e-04,1.867633e-04,1.849781e-04,1.846937e-04,1.832059e-04,1.814470e-04,1.812019e-04,1.797020e-04,1.779710e-04,1.777642e-04,1.762544e-04,1.745525e-04,1.743831e-04,1.728656e-04,1.711937e-04,1.710606e-04,1.695372e-04,1.678962e-04,1.677983e-04,1.662709e-04,1.646613e-04,1.645972e-04,1.630675e-04,1.614897e-04,1.614583e-04,1.599278e-04,1.583821e-04,1.553689e-04,1.524188e-04,1.495318e-04,1.467076e-04,1.439458e-04,1.412461e-04,1.386077e-04,1.360300e-04,1.335123e-04,1.310538e-04,1.286537e-04,1.263111e-04,1.240251e-04,1.217947e-04,1.196191e-04,1.174972e-04,1.154281e-04,1.134108e-04,1.114444e-04,1.095278e-04,1.076600e-04,1.058402e-04,1.040673e-04,1.023404e-04,1.006585e-04,9.902078e-05,9.742621e-05,9.587390e-05,9.436296e-05,9.289250e-05,9.146165e-05,9.006954e-05,8.871534e-05,8.739821e-05,8.611733e-05,8.487191e-05,8.366114e-05,8.248426e-05,8.134051e-05,8.022914e-05,7.914942e-05,7.810063e-05,7.708206e-05,7.609303e-05,7.513285e-05,7.420086e-05,7.329641e-05,7.241886e-05,7.156757e-05
0.000000e+00,1.826282e-09,1.976141e-08,2.054126e-08,1.050368e-07,3.199051e-07,3.324482e-07,7.333821e-07,1.210554e-06,1.242129e-06,1.756644e-06,2.184886e-06,2.219554e-06,2.617720e-06,2.922917e-06,2.953921e-06,3.234428e-06,3.440395e-06,3.465764e-06,3.653980e-06,3.785530e-06,3.804526e-06,3.922256e-06,3.998953e-06,4.011473e-06,4.075977e-06,4.112791e-06,4.119116e-06,4.143834e-06,4.152094e-06,4.152717e-06,4.148029e-06,4.136240e-06,4.131759e-06,4.105641e-06,4.080146e-06,4.071193e-06,4.029742e-06,3.995246e-06,3.982445e-06,3.930309e-06,3.890273e-06,3.874213e-06,3.814921e-06,3.771875e-06,3.753097e-06,3.689309e-06,3.645075e-06,3.624067e-06,3.557803e-06,3.513691e-06,3.490888e-06,3.423644e-06,3.380563e-06,3.356345e-06,3.289226e-06,3.247793e-06,3.222490e-06,3.156305e-06,3.116919e-06,3.090814e-06,3.026140e-06,2.989043e-06,2.962382e-06,2.899624e-06,2.864943e-06,2.837935e-06,2.777367e-06,2.745143e-06,2.717964e-06,2.659760e-06,2.629975e-06,2.602778e-06,2.547035e-06,2.519632e-06,2.492543e-06,2.439305e-06,2.414197e-06,2.387322e-06,2.336589e-06,2.313670e-06,2.287100e-06,2.238843e-06,2.217998e-06,2.191807e-06,2.145975e-06,2.127081e-06,2.101332e-06,2.057858e-06,2.040792e-06,2.015535e-06,1.974341e-06,1.958980e-06,1.934257e-06,1.895259e-06,1.881482e-06,1.857327e-06,1.820437e-06,1.808128e-06,1.784567e-06,1.749695e-06,1.738742e-06,1.715797e-06,1.682851e-06,1.673149e-06,1.650834e-06,1.619725e-06,1.611174e-06,1.589501e-06,1.560141e-06,1.552646e-06,1.531623e-06,1.503925e-06,1.497397e-06,1.477028e-06,1.450910e-06,1.445266e-06,1.425551e-06,1.400933e-06,1.396096e-06,1.377035e-06,1.353839e-06,1.349737e-06,1.331326e-06,1.309478e-06,1.306043e-06,1.288278e-06,1.267708e-06,1.264877e-06,1.247751e-06,1.228391e-06,1.226107e-06,1.209612e-06,1.191398e-06,1.189607e-06,1.173733e-06,1.156604e-06,1.155256e-06,1.139995e-06,1.123892e-06,1.122941e-06,1.108281e-06,1.093149e-06,1.092554e-06,1.078483e-06,1.064269e-06,1.063990e-06,1.050496e-06,1.037151e-06,1.011945e-06,9.882836e-07,9.660825e-07,9.452622e-07,9.257474e-07,9.074667e-07,8.903523e-07,8.743400e-07,8.593688e-07,8.453812e-07,8.323225e-07,8.201408e-07,8.087872e-07,7.982151e-07,7.883806e-07,7.792418e-07,7.707594e-07,7.628958e-07,7.556157e-07,7.488855e-07,7.426733e-07,7.369491e-07,7.316843e-07,7.268520e-07,7.224266e-07,7.183838e-07,7.147007e-07,7.113557e-07,7.083283e-07,7.055989e-07,7.031492e-07,7.009617e-07,6.990200e-07,6.973085e-07,6.958125e-07,6.945180e-07,6.934118e-07,6.924815e-07,6.917152e-07,6.911019e-07,6.906309e-07,6.902924e-07,6.900769e-07,6.899756e-07,6.899801e-07,6.900826e-07,6.902754e-07,6.905517e-07,6.909047e-07
0.000000e+00,1.298641e-08,2.787625e-07,2.918596e-07,1.958848e-06,7.483777e-06,7.852457e-06,2.211659e-05,4.575993e-05,4.761075e-05,8.347899e-05,1.220725e-04,1.255471e-04,1.690724e-04,2.068677e-04,2.109287e-04,2.497416e-04,2.810629e-04,2.851271e-04,3.171098e-04,3.420177e-04,3.458545e-04,3.715655e-04,3.909718e-04,3.944524e-04,4.147189e-04,4.295186e-04,4.325592e-04,4.481579e-04,4.591396e-04,4.616882e-04,4.733130e-04,4.811557e-04,4.831843e-04,4.914441e-04,4.967256e-04,4.982249e-04,5.036498e-04,5.068591e-04,5.078336e-04,5.108826e-04,5.124311e-04,5.128958e-04,5.139648e-04,5.141972e-04,5.141747e-04,5.136043e-04,5.128082e-04,5.123266e-04,5.104090e-04,5.088235e-04,5.079142e-04,5.048998e-04,5.027228e-04,5.014193e-04,4.975219e-04,4.949163e-04,4.932532e-04,4.886551e-04,4.857544e-04,4.837663e-04,4.786225e-04,4.755353e-04,4.732564e-04,4.676983e-04,4.645122e-04,4.619758e-04,4.561143e-04,4.528997e-04,4.501374e-04,4.440663e-04,4.408786e-04,4.379206e-04,4.317183e-04,4.286010e-04,4.254757e-04,4.192077e-04,4.161941e-04,4.129279e-04,4.066487e-04,4.037636e-04,4.003813e-04,3.941358e-04,3.913971e-04,3.879214e-04,3.817464e-04,3.791664e-04,3.756181e-04,3.695434e-04,3.671298e-04,3.635280e-04,3.575774e-04,3.553341e-04,3.516961e-04,3.458884e-04,3.438164e-04,3.401579e-04,3.345077e-04,3.326054e-04,3.289405e-04,3.234586e-04,3.217227e-04,3.180640e-04,3.127583e-04,3.111841e-04,3.075428e-04,3.024185e-04,3.010002e-04,2.973862e-04,2.924465e-04,2.911773e-04,2.875996e-04,2.828456e-04,2.817185e-04,2.781846e-04,2.736162e-04,2.726236e-04,2.691402e-04,2.647560e-04,2.638901e-04,2.604630e-04,2.562606e-04,2.555137e-04,2.521478e-04,2.481239e-04,2.474882e-04,2.441877e-04,2.403384e-04,2.398064e-04,2.365747e-04,2.328956e-04,2.324597e-04,2.292998e-04,2.257861e-04,2.254392e-04,2.223532e-04,2.189998e-04,2.187350e-04,2.157247e-04,2.125265e-04,2.123370e-04,2.094038e-04,2.063553e-04,2.062349e-04,2.033796e-04,2.004754e-04,2.004180e-04,1.976412e-04,1.948757e-04,1.895974e-04,1.845726e-04,1.797908e-04,1.752420e-04,1.709160e-04,1.668033e-04,1.628942e-04,1.591798e-04,1.556511e-04,1.522995e-04,1.491168e-04,1.460952e-04,1.432268e-04,1.405045e-04,1.379211e-04,1.354700e-04,1.331447e-04,1.309391e-04,1.288474e-04,1.268638e-04,1.249831e-04,1.232001e-04,1.215099e-04,1.199079e-04,1.183897e-04,1.169511e-04,1.155881e-04,1.142968e-04,1.130736e-04,1.119151e-04,1.108179e-04,1.097791e-04,1.087956e-04,1.078645e-04,1.069833e-04,1.061494e-04,1.053603e-04,1.046138e-04,1.039077e-04,1.032400e-04,1.026086e-04,1.020116e-04,1.014475e-04,1.009143e-04,1.004107e-04,9.993492e-05,9.948569e-05,9.906160e-05,9.866136e-05
0.000000e+00,2.220259e-08,5.135568e-07,5.389843e-07,4.112343e-06,1.723262e-05,1.813168e-05,5.310972e-05,1.083420e-04,1.124596e-04,1.866773e-04,2.574105e-04,2.634509e-04,3.360595e-04,3.959841e-04,4.023068e-04,4.618838e-04,5.090151e-04,5.150749e-04,5.623152e-04,5.985302e-04,6.040605e-04,6.407523e-04,6.679740e-04,6.728077e-04,7.006177e-04,7.205101e-04,7.245463e-04,7.449322e-04,7.589019e-04,7.620892e-04,7.763070e-04,7.855294e-04,7.878533e-04,7.969760e-04,8.024292e-04,8.039030e-04,8.088435e-04,8.113344e-04,8.119900e-04,8.135198e-04,8.137117e-04,8.135949e-04,8.123638e-04,8.107981e-04,8.099624e-04,8.065155e-04,8.036327e-04,8.021367e-04,7.969302e-04,7.930870e-04,7.909910e-04,7.844059e-04,7.798893e-04,7.772541e-04,7.696077e-04,7.646477e-04,7.615326e-04,7.530884e-04,7.478677e-04,7.443298e-04,7.353061e-04,7.299689e-04,7.260624e-04,7.166392e-04,7.112978e-04,7.070736e-04,6.973990e-04,6.921400e-04,6.876454e-04,6.778402e-04,6.727293e-04,6.680079e-04,6.581706e-04,6.532563e-04,6.483481e-04,6.385581e-04,6.338752e-04,6.288166e-04,6.191377e-04,6.147099e-04,6.095339e-04,6.000164e-04,5.958587e-04,5.905951e-04,5.812786e-04,5.773987e-04,5.720743e-04,5.629890e-04,5.593894e-04,5.540281e-04,5.451966e-04,5.418754e-04,5.364985e-04,5.279373e-04,5.248893e-04,5.195157e-04,5.112359e-04,5.084535e-04,5.030998e-04,4.951085e-04,4.925821e-04,4.872630e-04,4.795637e-04,4.772824e-04,4.720108e-04,4.646041e-04,4.625564e-04,4.573433e-04,4.502276e-04,4.484012e-04,4.432563e-04,4.364282e-04,4.348107e-04,4.297423e-04,4.231969e-04,4.217757e-04,4.167908e-04,4.105222e-04,4.092848e-04,4.043895e-04,3.983907e-04,3.973250e-04,3.925241e-04,3.867878e-04,3.858819e-04,3.811796e-04,3.756976e-04,3.749400e-04,3.703397e-04,3.651037e-04,3.644835e-04,3.599876e-04,3.549893e-04,3.544959e-04,3.501065e-04,3.453372e-04,3.449605e-04,3.406791e-04,3.361302e-04,3.358607e-04,3.316882e-04,3.273512e-04,3.271798e-04,3.231168e-04,3.189832e-04,3.189015e-04,3.149481e-04,3.110096e-04,3.034881e-04,2.963217e-04,2.894952e-04,2.829941e-04,2.768043e-04,2.709120e-04,2.653040e-04,2.599676e-04,2.548907e-04,2.500614e-04,2.454684e-04,2.411009e-04,2.369486e-04,2.330014e-04,2.292499e-04,2.256850e-04,2.222978e-04,2.190801e-04,2.160240e-04,2.131217e-04,2.103660e-04,2.077500e-04,2.052670e-04,2.029108e-04,2.006751e-04,1.985544e-04,1.965430e-04,1.946358e-04,1.928277e-04,1.911139e-04,1.894899e-04,1.879513e-04,1.864941e-04,1.851141e-04,1.838077e-04,1.825713e-04,1.814015e-04,1.802949e-04,1.792485e-04,1.782592e-04,1.773244e-04,1.764412e-04,1.756072e-04,1.748198e-04,1.740767e-04,1.733757e-04,1.727147e-04,1.720917e-04,1.715047e-04
0.000000e+00,3.524492e-10,5.107924e-09,5.334267e-09,3.177708e-08,1.029585e-07,1.071824e-07,2.434204e-07,4.028615e-07,4.131852e-07,5.778646e-07,7.114695e-07,7.222007e-07,8.448314e-07,9.382736e-07,9.477484e-07,1.033396e-06,1.096303e-06,1.104061e-06,1.161763e-06,1.202371e-06,1.208267e-06,1.245103e-06,1.269556e-06,1.273606e-06,1.294935e-06,1.307785e-06,1.310100e-06,1.319979e-06,1.324592e-06,1.325334e-06,1.326829e-06,1.325690e-06,1.325041e-06,1.320466e-06,1.315391e-06,1.313534e-06,1.304618e-06,1.296935e-06,1.294041e-06,1.282081e-06,1.272748e-06,1.268976e-06,1.254933e-06,1.244643e-06,1.240132e-06,1.224724e-06,1.213967e-06,1.208839e-06,1.192591e-06,1.181715e-06,1.176075e-06,1.159375e-06,1.148623e-06,1.142560e-06,1.125691e-06,1.115228e-06,1.108819e-06,1.091988e-06,1.081924e-06,1.075233e-06,1.058587e-06,1.048993e-06,1.042076e-06,1.025721e-06,1.016637e-06,1.009540e-06,9.935492e-07,9.849972e-07,9.777600e-07,9.621827e-07,9.541689e-07,9.468252e-07,9.316939e-07,9.242146e-07,9.167935e-07,9.021274e-07,8.951717e-07,8.876981e-07,8.735072e-07,8.670596e-07,8.595552e-07,8.458421e-07,8.398840e-07,8.323675e-07,8.191301e-07,8.136408e-07,8.061286e-07,7.933611e-07,7.883192e-07,7.808255e-07,7.685195e-07,7.639029e-07,7.564404e-07,7.445856e-07,7.403722e-07,7.329521e-07,7.215369e-07,7.177049e-07,7.103370e-07,6.993492e-07,6.958773e-07,6.885702e-07,6.779970e-07,6.748646e-07,6.676261e-07,6.574545e-07,6.546416e-07,6.474786e-07,6.376954e-07,6.351829e-07,6.281015e-07,6.186937e-07,6.164632e-07,6.094688e-07,6.004236e-07,5.984574e-07,5.915549e-07,5.828595e-07,5.811410e-07,5.743345e-07,5.659766e-07,5.644897e-07,5.577830e-07,5.497506e-07,5.484801e-07,5.418764e-07,5.341576e-07,5.330892e-07,5.265913e-07,5.191748e-07,5.182947e-07,5.119051e-07,5.047797e-07,5.040750e-07,4.977957e-07,4.909507e-07,4.904090e-07,4.842419e-07,4.776668e-07,4.772765e-07,4.712229e-07,4.649077e-07,4.646578e-07,4.587189e-07,4.526540e-07,4.525339e-07,4.467106e-07,4.408865e-07,4.296978e-07,4.189507e-07,4.086288e-07,3.987160e-07,3.891971e-07,3.800571e-07,3.712818e-07,3.628575e-07,3.547709e-07,3.470091e-07,3.395600e-07,3.324115e-07,3.255523e-07,3.189714e-07,3.126582e-07,3.066024e-07,3.007942e-07,2.952241e-07,2.898831e-07,2.847624e-07,2.798534e-07,2.751481e-07,2.706387e-07,2.663176e-07,2.621776e-07,2.582116e-07,2.544130e-07,2.507753e-07,2.472923e-07,2.439580e-07,2.407665e-07,2.377125e-07,2.347905e-07,2.319953e-07,2.293221e-07,2.267661e-07,2.243227e-07,2.219875e-07,2.197563e-07,2.176250e-07,2.155896e-07,2.136465e-07,2.117920e-07,2.100226e-07,2.083348e-07,2.067256e-07,2.051917e-07,2.037302e-07,2.023381e-07
0.000000e+00,1.750757e-09,1.837927e-08,1.908935e-08,9.510550e-08,2.931673e-07,3.050513e-07,7.054866e-07,1.237307e-06,1.274722e-06,1.924018e-06,2.521948e-06,2.572742e-06,3.184844e-06,3.696131e-06,3.750559e-06,4.268962e-06,4.687266e-06,4.741648e-06,5.170904e-06,5.507205e-06,5.559192e-06,5.908995e-06,6.174870e-06,6.222746e-06,6.502796e-06,6.708879e-06,6.751407e-06,6.970732e-06,7.126487e-06,7.162820e-06,7.329608e-06,7.443320e-06,7.472926e-06,7.594497e-06,7.673348e-06,7.695943e-06,7.778786e-06,7.828958e-06,7.844456e-06,7.894292e-06,7.921077e-06,7.929549e-06,7.951401e-06,7.959314e-06,7.960948e-06,7.959215e-06,7.952087e-06,7.947163e-06,7.925686e-06,7.906758e-06,7.895622e-06,7.857748e-06,7.829749e-06,7.812793e-06,7.761431e-06,7.726648e-06,7.704294e-06,7.641967e-06,7.602308e-06,7.574996e-06,7.503886e-06,7.460932e-06,7.429107e-06,7.351097e-06,7.306151e-06,7.270259e-06,7.186968e-06,7.141094e-06,7.101571e-06,7.014389e-06,6.968448e-06,6.925718e-06,6.835831e-06,6.790512e-06,6.744982e-06,6.653402e-06,6.609248e-06,6.561306e-06,6.468889e-06,6.426320e-06,6.376332e-06,6.283799e-06,6.243132e-06,6.191443e-06,6.099399e-06,6.060865e-06,6.007795e-06,5.916743e-06,5.880501e-06,5.826348e-06,5.736704e-06,5.702853e-06,5.647893e-06,5.559993e-06,5.528584e-06,5.473070e-06,5.387185e-06,5.358231e-06,5.302392e-06,5.218738e-06,5.192216e-06,5.136264e-06,5.055005e-06,5.030869e-06,4.974993e-06,4.896253e-06,4.874437e-06,4.818807e-06,4.742673e-06,4.723095e-06,4.667865e-06,4.594394e-06,4.576961e-06,4.522267e-06,4.451488e-06,4.436098e-06,4.382060e-06,4.313983e-06,4.300530e-06,4.247254e-06,4.181868e-06,4.170241e-06,4.117819e-06,4.055100e-06,4.045187e-06,3.993700e-06,3.933608e-06,3.925299e-06,3.874813e-06,3.817301e-06,3.810485e-06,3.761058e-06,3.706070e-06,3.700639e-06,3.652319e-06,3.599790e-06,3.595640e-06,3.548465e-06,3.498328e-06,3.495357e-06,3.449358e-06,3.401539e-06,3.399650e-06,3.354852e-06,3.309276e-06,3.308376e-06,3.264794e-06,3.221385e-06,3.138526e-06,3.059648e-06,2.984597e-06,2.913223e-06,2.845376e-06,2.780909e-06,2.719678e-06,2.661543e-06,2.606366e-06,2.554013e-06,2.504357e-06,2.457272e-06,2.412637e-06,2.370337e-06,2.330260e-06,2.292298e-06,2.256348e-06,2.222312e-06,2.190094e-06,2.159605e-06,2.130758e-06,2.103470e-06,2.077662e-06,2.053259e-06,2.030190e-06,2.008385e-06,1.987780e-06,1.968312e-06,1.949923e-06,1.932557e-06,1.916160e-06,1.900682e-06,1.886074e-06,1.872291e-06,1.859289e-06,1.847027e-06,1.835466e-06,1.824569e-06,1.814300e-06,1.804627e-06,1.795516e-06,1.786939e-06,1.778867e-06,1.771273e-06,1.764131e-06,1.757417e-06,1.751107e-06,1.745181e-06,1.739618e-06
0.000000e+00,8.604983e-09,3.095528e-07,3.275369e-07,3.617793e-06,2.051393e-05,2.183820e-05,8.384068e-05,2.136158e-04,2.247418e-04,4.624966e-04,7.634914e-04,7.929838e-04,1.198953e-03,1.610817e-03,1.658565e-03,2.150455e-03,2.595230e-03,2.656108e-03,3.160645e-03,3.584960e-03,3.652778e-03,4.124380e-03,4.500560e-03,4.569936e-03,4.985995e-03,5.303801e-03,5.370686e-03,5.723310e-03,5.982400e-03,6.044016e-03,6.333547e-03,6.538466e-03,6.593048e-03,6.823921e-03,6.981190e-03,7.027718e-03,7.206064e-03,7.322622e-03,7.360602e-03,7.492956e-03,7.575403e-03,7.604705e-03,7.697365e-03,7.751646e-03,7.772381e-03,7.831120e-03,7.862425e-03,7.874869e-03,7.904837e-03,7.917618e-03,7.922153e-03,7.927872e-03,7.925904e-03,7.922978e-03,7.908385e-03,7.894843e-03,7.884945e-03,7.853448e-03,7.830991e-03,7.814630e-03,7.769173e-03,7.740018e-03,7.717711e-03,7.660832e-03,7.626817e-03,7.599078e-03,7.532956e-03,7.495599e-03,7.462932e-03,7.389439e-03,7.349986e-03,7.312877e-03,7.233618e-03,7.193086e-03,7.152005e-03,7.068353e-03,7.027563e-03,6.982956e-03,6.896085e-03,6.855698e-03,6.807989e-03,6.718899e-03,6.679440e-03,6.629028e-03,6.538571e-03,6.500448e-03,6.447708e-03,6.356605e-03,6.320131e-03,6.265414e-03,6.174273e-03,6.139680e-03,6.083312e-03,5.992646e-03,5.960099e-03,5.902382e-03,5.812617e-03,5.782227e-03,5.723441e-03,5.634934e-03,5.606765e-03,5.547168e-03,5.460209e-03,5.434287e-03,5.374116e-03,5.288942e-03,5.265265e-03,5.204736e-03,5.121539e-03,5.100078e-03,5.039389e-03,4.958319e-03,4.939026e-03,4.878357e-03,4.799529e-03,4.782341e-03,4.721856e-03,4.645356e-03,4.630198e-03,4.570044e-03,4.495933e-03,4.482721e-03,4.423031e-03,4.351346e-03,4.339990e-03,4.280884e-03,4.211646e-03,4.202051e-03,4.143635e-03,4.076849e-03,4.068917e-03,4.011287e-03,3.946944e-03,3.940577e-03,3.883817e-03,3.821899e-03,3.816997e-03,3.761182e-03,3.701658e-03,3.698125e-03,3.643319e-03,3.586154e-03,3.583892e-03,3.530153e-03,3.475305e-03,3.474219e-03,3.421597e-03,3.369016e-03,3.268185e-03,3.171619e-03,3.079212e-03,2.990848e-03,2.906413e-03,2.825789e-03,2.748859e-03,2.675506e-03,2.605610e-03,2.539058e-03,2.475732e-03,2.415521e-03,2.358312e-03,2.303998e-03,2.252470e-03,2.203626e-03,2.157363e-03,2.113582e-03,2.072187e-03,2.033085e-03,1.996184e-03,1.961396e-03,1.928637e-03,1.897822e-03,1.868872e-03,1.841709e-03,1.816259e-03,1.792447e-03,1.770205e-03,1.749464e-03,1.730158e-03,1.712224e-03,1.695600e-03,1.680228e-03,1.666050e-03,1.653011e-03,1.641057e-03,1.630137e-03,1.620202e-03,1.611204e-03,1.603095e-03,1.595833e-03,1.589373e-03,1.583674e-03,1.578697e-03,1.574402e-03,1.570752e-03,1.567712e-03,1.565247e-03
0.000000e+00,9.182844e-09,1.750901e-07,1.834297e-07,1.185391e-06,3.809310e-06,3.959838e-06,8.535448e-06,1.348537e-05,1.380266e-05,1.897165e-05,2.345510e-05,2.383135e-05,2.834973e-05,3.212931e-05,3.253294e-05,3.639528e-05,3.954134e-05,3.995264e-05,4.322091e-05,4.581231e-05,4.621568e-05,4.895215e-05,5.106194e-05,5.144502e-05,5.370848e-05,5.540290e-05,5.575614e-05,5.760103e-05,5.893932e-05,5.925558e-05,6.073161e-05,6.176624e-05,6.204036e-05,6.319245e-05,6.396949e-05,6.419796e-05,6.506643e-05,6.562619e-05,6.580687e-05,6.642777e-05,6.680532e-05,6.693716e-05,6.734262e-05,6.756845e-05,6.765129e-05,6.786991e-05,6.797038e-05,6.800481e-05,6.806196e-05,6.805985e-05,6.804701e-05,6.796523e-05,6.788015e-05,6.782162e-05,6.762087e-05,6.746965e-05,6.736737e-05,6.706529e-05,6.686234e-05,6.671850e-05,6.633068e-05,6.608831e-05,6.590526e-05,6.544547e-05,6.517411e-05,6.495434e-05,6.443470e-05,6.414319e-05,6.388922e-05,6.332041e-05,6.301619e-05,6.273060e-05,6.212199e-05,6.181128e-05,6.149663e-05,6.085643e-05,6.054440e-05,6.020320e-05,5.953862e-05,5.922953e-05,5.886425e-05,5.818156e-05,5.787889e-05,5.749191e-05,5.679659e-05,5.650314e-05,5.609677e-05,5.539356e-05,5.511156e-05,5.468799e-05,5.398102e-05,5.371219e-05,5.327353e-05,5.256635e-05,5.231199e-05,5.186024e-05,5.115590e-05,5.091694e-05,5.045398e-05,4.975509e-05,4.953218e-05,4.905979e-05,4.836858e-05,4.816209e-05,4.768193e-05,4.700028e-05,4.681036e-05,4.632401e-05,4.565348e-05,4.548012e-05,4.498902e-05,4.433092e-05,4.417396e-05,4.367946e-05,4.303487e-05,4.289400e-05,4.239737e-05,4.176715e-05,4.164199e-05,4.114438e-05,4.052921e-05,4.041930e-05,3.992178e-05,3.932220e-05,3.922700e-05,3.873056e-05,3.814695e-05,3.806589e-05,3.757144e-05,3.700406e-05,3.693653e-05,3.644488e-05,3.589391e-05,3.583927e-05,3.535118e-05,3.481668e-05,3.477428e-05,3.429043e-05,3.377241e-05,3.374159e-05,3.326260e-05,3.276098e-05,3.274109e-05,3.226752e-05,3.178217e-05,3.177254e-05,3.130489e-05,3.083564e-05,2.992998e-05,2.905508e-05,2.821041e-05,2.739540e-05,2.660942e-05,2.585184e-05,2.512197e-05,2.441914e-05,2.374264e-05,2.309177e-05,2.246580e-05,2.186403e-05,2.128575e-05,2.073025e-05,2.019682e-05,1.968479e-05,1.919346e-05,1.872217e-05,1.827027e-05,1.783711e-05,1.742206e-05,1.702452e-05,1.664387e-05,1.627954e-05,1.593096e-05,1.559758e-05,1.527886e-05,1.497427e-05,1.468332e-05,1.440551e-05,1.414037e-05,1.388743e-05,1.364625e-05,1.341639e-05,1.319745e-05,1.298901e-05,1.279068e-05,1.260209e-05,1.242286e-05,1.225265e-05,1.209112e-05,1.193793e-05,1.179276e-05,1.165532e-05,1.152529e-05,1.140240e-05,1.128637e-05,1.117692e-05,1.107381e-05
0.000000e+00,9.096951e-09,2.831723e-07,2.991716e-07,3.020241e-06,1.472980e-05,1.556121e-05,4.787708e-05,9.554677e-05,9.892801e-05,1.568659e-04,2.082822e-04,2.125444e-04,2.624230e-04,3.018007e-04,3.058618e-04,3.432184e-04,3.715430e-04,3.751008e-04,4.021309e-04,4.219352e-04,4.248827e-04,4.438696e-04,4.572436e-04,4.595467e-04,4.723173e-04,4.808726e-04,4.825391e-04,4.905282e-04,4.955012e-04,4.965646e-04,5.008952e-04,5.032303e-04,5.037383e-04,5.052863e-04,5.057015e-04,5.057085e-04,5.051545e-04,5.041939e-04,5.037556e-04,5.016274e-04,4.997011e-04,4.988716e-04,4.955775e-04,4.929938e-04,4.918237e-04,4.876789e-04,4.846683e-04,4.832036e-04,4.784510e-04,4.751851e-04,4.734674e-04,4.682936e-04,4.648992e-04,4.629653e-04,4.575137e-04,4.540840e-04,4.519662e-04,4.463465e-04,4.429489e-04,4.406756e-04,4.349714e-04,4.316542e-04,4.292499e-04,4.235249e-04,4.203217e-04,4.178081e-04,4.121100e-04,4.090439e-04,4.064394e-04,4.008041e-04,3.978900e-04,3.952108e-04,3.896649e-04,3.869114e-04,3.841716e-04,3.787347e-04,3.761461e-04,3.733578e-04,3.680438e-04,3.656211e-04,3.627950e-04,3.576134e-04,3.553552e-04,3.525006e-04,3.474579e-04,3.453610e-04,3.424861e-04,3.375860e-04,3.356461e-04,3.327580e-04,3.280025e-04,3.262145e-04,3.233196e-04,3.187091e-04,3.170671e-04,3.141710e-04,3.097049e-04,3.082028e-04,3.053105e-04,3.009873e-04,2.996188e-04,2.967348e-04,2.925524e-04,2.913112e-04,2.884394e-04,2.843952e-04,2.832751e-04,2.804190e-04,2.765101e-04,2.755047e-04,2.726677e-04,2.688909e-04,2.679942e-04,2.651790e-04,2.615310e-04,2.607370e-04,2.579462e-04,2.544237e-04,2.537266e-04,2.509627e-04,2.475622e-04,2.469564e-04,2.442214e-04,2.409394e-04,2.404196e-04,2.377153e-04,2.345484e-04,2.341095e-04,2.314376e-04,2.283823e-04,2.280194e-04,2.253815e-04,2.224344e-04,2.221426e-04,2.195401e-04,2.166979e-04,2.164727e-04,2.139069e-04,2.111662e-04,2.110034e-04,2.084752e-04,2.058330e-04,2.057283e-04,2.032388e-04,2.006918e-04,2.006414e-04,1.981914e-04,1.957366e-04,1.910083e-04,1.864507e-04,1.820583e-04,1.778259e-04,1.737481e-04,1.698199e-04,1.660365e-04,1.623932e-04,1.588851e-04,1.555081e-04,1.522576e-04,1.491295e-04,1.461197e-04,1.432243e-04,1.404394e-04,1.377614e-04,1.351867e-04,1.327117e-04,1.303332e-04,1.280479e-04,1.258526e-04,1.237443e-04,1.217201e-04,1.197770e-04,1.179122e-04,1.161232e-04,1.144073e-04,1.127621e-04,1.111850e-04,1.096737e-04,1.082259e-04,1.068395e-04,1.055123e-04,1.042422e-04,1.030273e-04,1.018656e-04,1.007552e-04,9.969428e-05,9.868115e-05,9.771408e-05,9.679143e-05,9.591161e-05,9.507307e-05,9.427432e-05,9.351393e-05,9.279050e-05,9.210268e-05,9.144916e-05,9.082867e-05
0.000000e+00,9.667866e-09,3.767154e-07,3.992616e-07,4.651638e-06,2.640786e-05,2.809457e-05,1.051325e-04,2.593511e-04,2.722717e-04,5.402880e-04,8.623738e-04,8.930657e-04,1.301677e-03,1.691929e-03,1.735680e-03,2.168942e-03,2.533749e-03,2.581700e-03,2.960582e-03,3.253191e-03,3.297701e-03,3.589464e-03,3.799076e-03,3.835393e-03,4.037128e-03,4.171634e-03,4.197645e-03,4.320662e-03,4.394790e-03,4.410223e-03,4.470401e-03,4.499477e-03,4.505122e-03,4.518043e-03,4.515345e-03,4.512494e-03,4.491461e-03,4.467490e-03,4.457579e-03,4.413150e-03,4.375760e-03,4.360166e-03,4.300337e-03,4.255175e-03,4.235123e-03,4.165760e-03,4.116764e-03,4.093293e-03,4.018596e-03,3.968435e-03,3.942400e-03,3.865313e-03,3.815744e-03,3.787835e-03,3.710381e-03,3.662521e-03,3.633287e-03,3.556829e-03,3.511353e-03,3.481228e-03,3.406661e-03,3.363943e-03,3.333269e-03,3.261159e-03,3.221371e-03,3.190417e-03,3.121105e-03,3.084288e-03,3.053268e-03,2.986936e-03,2.953046e-03,2.922129e-03,2.858855e-03,2.827793e-03,2.797115e-03,2.736903e-03,2.708542e-03,2.678210e-03,2.621018e-03,2.595210e-03,2.565310e-03,2.511065e-03,2.487654e-03,2.458258e-03,2.406865e-03,2.385695e-03,2.356858e-03,2.308211e-03,2.289126e-03,2.260894e-03,2.214880e-03,2.197730e-03,2.170138e-03,2.126641e-03,2.111280e-03,2.084358e-03,2.043260e-03,2.029552e-03,2.003320e-03,1.964508e-03,1.952322e-03,1.926796e-03,1.890156e-03,1.879369e-03,1.854561e-03,1.819983e-03,1.810480e-03,1.786397e-03,1.753775e-03,1.745448e-03,1.722093e-03,1.691326e-03,1.684075e-03,1.661448e-03,1.632436e-03,1.626167e-03,1.604267e-03,1.576917e-03,1.571544e-03,1.550365e-03,1.524587e-03,1.520028e-03,1.499564e-03,1.475273e-03,1.471453e-03,1.451695e-03,1.428810e-03,1.425660e-03,1.406598e-03,1.385041e-03,1.382497e-03,1.364119e-03,1.343816e-03,1.341820e-03,1.324114e-03,1.304996e-03,1.303491e-03,1.286444e-03,1.268444e-03,1.267381e-03,1.250979e-03,1.234034e-03,1.233367e-03,1.217594e-03,1.201645e-03,1.201331e-03,1.186172e-03,1.171162e-03,1.142755e-03,1.116011e-03,1.090835e-03,1.067138e-03,1.044836e-03,1.023849e-03,1.004102e-03,9.855222e-04,9.680432e-04,9.516009e-04,9.361351e-04,9.215889e-04,9.079084e-04,8.950429e-04,8.829443e-04,8.715675e-04,8.608696e-04,8.508102e-04,8.413513e-04,8.324569e-04,8.240932e-04,8.162280e-04,8.088313e-04,8.018745e-04,7.953309e-04,7.891750e-04,7.833831e-04,7.779326e-04,7.728024e-04,7.679725e-04,7.634240e-04,7.591393e-04,7.551017e-04,7.512954e-04,7.477057e-04,7.443186e-04,7.411210e-04,7.381006e-04,7.352458e-04,7.325458e-04,7.299902e-04,7.275694e-04,7.252745e-04,7.230968e-04,7.210284e-04,7.190619e-04,7.171901e-04,7.154066e-04,7.137050e-04
0.000000e+00,1.098923e-07,4.024223e-06,4.255234e-06,4.397377e-05,2.313481e-04,2.456769e-04,9.150806e-04,2.406901e-03,2.541687e-03,5.669573e-03,1.024489e-02,1.072732e-02,1.794990e-02,2.634948e-02,2.739211e-02,3.897158e-02,5.079046e-02,5.251128e-02,6.777409e-02,8.207235e-02,8.448937e-02,1.023728e-01,1.180898e-01,1.211406e-01,1.405199e-01,1.566874e-01,1.602553e-01,1.801130e-01,1.959455e-01,1.998834e-01,2.193821e-01,2.342988e-01,2.384493e-01,2.569495e-01,2.705601e-01,2.747697e-01,2.918183e-01,3.038942e-01,3.080227e-01,3.233278e-01,3.337676e-01,3.376936e-01,3.510942e-01,3.598921e-01,3.635151e-01,3.749524e-01,3.821698e-01,3.854105e-01,3.949015e-01,4.006443e-01,4.034434e-01,4.110591e-01,4.154595e-01,4.177758e-01,4.236235e-01,4.268269e-01,4.286349e-01,4.328444e-01,4.349999e-01,4.362875e-01,4.390007e-01,4.402543e-01,4.410205e-01,4.423836e-01,4.428736e-01,4.431264e-01,4.432850e-01,4.431401e-01,4.428946e-01,4.419897e-01,4.413270e-01,4.406038e-01,4.387695e-01,4.376941e-01,4.365183e-01,4.338804e-01,4.324856e-01,4.308851e-01,4.275604e-01,4.259278e-01,4.239329e-01,4.200284e-01,4.182289e-01,4.158712e-01,4.114846e-01,4.095792e-01,4.068909e-01,4.021109e-01,4.001513e-01,3.971647e-01,3.920711e-01,3.901006e-01,3.868480e-01,3.815123e-01,3.795670e-01,3.760799e-01,3.705659e-01,3.686750e-01,3.649843e-01,3.593484e-01,3.575355e-01,3.536708e-01,3.479630e-01,3.462465e-01,3.422361e-01,3.365003e-01,3.348940e-01,3.307652e-01,3.250396e-01,3.235535e-01,3.193319e-01,3.136497e-01,3.122906e-01,3.080003e-01,3.023903e-01,3.011620e-01,2.968257e-01,2.913123e-01,2.902163e-01,2.858553e-01,2.804593e-01,2.794949e-01,2.751289e-01,2.698679e-01,2.690329e-01,2.646801e-01,2.595686e-01,2.588593e-01,2.545365e-01,2.495865e-01,2.489981e-01,2.447208e-01,2.399417e-01,2.394687e-01,2.352510e-01,2.306503e-01,2.302862e-01,2.261410e-01,2.217244e-01,2.214624e-01,2.174014e-01,2.131728e-01,2.130056e-01,2.090393e-01,2.050014e-01,2.049216e-01,2.010594e-01,1.972134e-01,1.898820e-01,1.829265e-01,1.763444e-01,1.701317e-01,1.642832e-01,1.587927e-01,1.536528e-01,1.488556e-01,1.443923e-01,1.402537e-01,1.364299e-01,1.329107e-01,1.296855e-01,1.267434e-01,1.240731e-01,1.216634e-01,1.195027e-01,1.175794e-01,1.158818e-01,1.143980e-01,1.131163e-01,1.120251e-01,1.111125e-01,1.103670e-01,1.097771e-01,1.093316e-01,1.090192e-01,1.088292e-01,1.087508e-01,1.087737e-01,1.088879e-01,1.090834e-01,1.093511e-01,1.096817e-01,1.100668e-01,1.104981e-01,1.109678e-01,1.114685e-01,1.119933e-01,1.125357e-01,1.130898e-01,1.136499e-01,1.142109e-01,1.147682e-01,1.153175e-01,1.158551e-01,1.163775e-01,1.168819e-01,1.173656e-01
0.000000e+00,6.915273e-09,1.089811e-07,1.141301e-07,7.936185e-07,2.849006e-06,2.972183e-06,6.734689e-06,1.076459e-05,1.102356e-05,1.528715e-05,1.907851e-05,1.940138e-05,2.334198e-05,2.673727e-05,2.710571e-05,3.069419e-05,3.370949e-05,3.411047e-05,3.735822e-05,4.001962e-05,4.044155e-05,4.336485e-05,4.570018e-05,4.613282e-05,4.875028e-05,5.078777e-05,5.122219e-05,5.355353e-05,5.532074e-05,5.574927e-05,5.781435e-05,5.933753e-05,5.975362e-05,6.157183e-05,6.287558e-05,6.327364e-05,6.486357e-05,6.597069e-05,6.634603e-05,6.772530e-05,6.865682e-05,6.900554e-05,7.019077e-05,7.096600e-05,7.128490e-05,7.229170e-05,7.292830e-05,7.321481e-05,7.405778e-05,7.457189e-05,7.482401e-05,7.551680e-05,7.592312e-05,7.613933e-05,7.669468e-05,7.700657e-05,7.718582e-05,7.761561e-05,7.784518e-05,7.798680e-05,7.830207e-05,7.846031e-05,7.856398e-05,7.877500e-05,7.887184e-05,7.893752e-05,7.905384e-05,7.909823e-05,7.912617e-05,7.915665e-05,7.915664e-05,7.914732e-05,7.910017e-05,7.906300e-05,7.901709e-05,7.889992e-05,7.883209e-05,7.875042e-05,7.857028e-05,7.847758e-05,7.836113e-05,7.812454e-05,7.801214e-05,7.786201e-05,7.757500e-05,7.744749e-05,7.726490e-05,7.693303e-05,7.679448e-05,7.658070e-05,7.620912e-05,7.606312e-05,7.581949e-05,7.541294e-05,7.526265e-05,7.499056e-05,7.455340e-05,7.440158e-05,7.410247e-05,7.363871e-05,7.348776e-05,7.316307e-05,7.267642e-05,7.252841e-05,7.217962e-05,7.167347e-05,7.153019e-05,7.115877e-05,7.063624e-05,7.049919e-05,7.010661e-05,6.957056e-05,6.944102e-05,6.902874e-05,6.848177e-05,6.836081e-05,6.793026e-05,6.737477e-05,6.726325e-05,6.681586e-05,6.625403e-05,6.615263e-05,6.568979e-05,6.512361e-05,6.503287e-05,6.455594e-05,6.398722e-05,6.390754e-05,6.341786e-05,6.284824e-05,6.277989e-05,6.227875e-05,6.170973e-05,6.165286e-05,6.114152e-05,6.057444e-05,6.052913e-05,6.000880e-05,5.944488e-05,5.941110e-05,5.888296e-05,5.832329e-05,5.830095e-05,5.776613e-05,5.721169e-05,5.720064e-05,5.666022e-05,5.611190e-05,5.503630e-05,5.397524e-05,5.292994e-05,5.190147e-05,5.089079e-05,4.989872e-05,4.892595e-05,4.797309e-05,4.704062e-05,4.612897e-05,4.523847e-05,4.436936e-05,4.352183e-05,4.269600e-05,4.189195e-05,4.110967e-05,4.034915e-05,3.961030e-05,3.889302e-05,3.819714e-05,3.752248e-05,3.686885e-05,3.623600e-05,3.562367e-05,3.503159e-05,3.445946e-05,3.390698e-05,3.337381e-05,3.285961e-05,3.236405e-05,3.188676e-05,3.142738e-05,3.098555e-05,3.056088e-05,3.015301e-05,2.976154e-05,2.938610e-05,2.902630e-05,2.868176e-05,2.835210e-05,2.803693e-05,2.773586e-05,2.744853e-05,2.717456e-05,2.691356e-05,2.666518e-05,2.642903e-05,2.620477e-05,2.599203e-05
0.000000e+00,8.332736e-10,1.020261e-08,1.063406e-08,6.192215e-08,2.120502e-07,2.214144e-07,5.452090e-07,9.729866e-07,1.002493e-06,1.504797e-06,1.961506e-06,2.000428e-06,2.473774e-06,2.877682e-06,2.921245e-06,3.342486e-06,3.691898e-06,3.738032e-06,4.108673e-06,4.408174e-06,4.455287e-06,4.778778e-06,5.033313e-06,5.080065e-06,5.360067e-06,5.574430e-06,5.619703e-06,5.859879e-06,6.038608e-06,6.081486e-06,6.285396e-06,6.432709e-06,6.472460e-06,6.643500e-06,6.763267e-06,6.799315e-06,6.940675e-06,7.036412e-06,7.068321e-06,7.182965e-06,7.257843e-06,7.285291e-06,7.375953e-06,7.432819e-06,7.455588e-06,7.524796e-06,7.566196e-06,7.584152e-06,7.634210e-06,7.662411e-06,7.675496e-06,7.708513e-06,7.725528e-06,7.733744e-06,7.751647e-06,7.759259e-06,7.762660e-06,7.767202e-06,7.766987e-06,7.765670e-06,7.758445e-06,7.751788e-06,7.745887e-06,7.728342e-06,7.716460e-06,7.706136e-06,7.679582e-06,7.663540e-06,7.648977e-06,7.614603e-06,7.595328e-06,7.576728e-06,7.535607e-06,7.513906e-06,7.491484e-06,7.444587e-06,7.421156e-06,7.395136e-06,7.343337e-06,7.318777e-06,7.289389e-06,7.233477e-06,7.208299e-06,7.175778e-06,7.116460e-06,7.091102e-06,7.055681e-06,6.993592e-06,6.968422e-06,6.930335e-06,6.866045e-06,6.841370e-06,6.800848e-06,6.734864e-06,6.710939e-06,6.668207e-06,6.600983e-06,6.578016e-06,6.533294e-06,6.465235e-06,6.443392e-06,6.396894e-06,6.328356e-06,6.307769e-06,6.259701e-06,6.191002e-06,6.171768e-06,6.122329e-06,6.053748e-06,6.035939e-06,5.985319e-06,5.917100e-06,5.900765e-06,5.849145e-06,5.781504e-06,5.766670e-06,5.714223e-06,5.647345e-06,5.634021e-06,5.580911e-06,5.514958e-06,5.503140e-06,5.449521e-06,5.384631e-06,5.374302e-06,5.320319e-06,5.256611e-06,5.247741e-06,5.193532e-06,5.131104e-06,5.123658e-06,5.069350e-06,5.008286e-06,5.002219e-06,4.947932e-06,4.888300e-06,4.883561e-06,4.829406e-06,4.771261e-06,4.767797e-06,4.713877e-06,4.657261e-06,4.655013e-06,4.601423e-06,4.546369e-06,4.545276e-06,4.492104e-06,4.438634e-06,4.335119e-06,4.234747e-06,4.137520e-06,4.043432e-06,3.952463e-06,3.864586e-06,3.779766e-06,3.697960e-06,3.619123e-06,3.543200e-06,3.470135e-06,3.399868e-06,3.332336e-06,3.267475e-06,3.205215e-06,3.145490e-06,3.088229e-06,3.033364e-06,2.980822e-06,2.930535e-06,2.882432e-06,2.836444e-06,2.792501e-06,2.750535e-06,2.710479e-06,2.672267e-06,2.635833e-06,2.601114e-06,2.568047e-06,2.536572e-06,2.506628e-06,2.478156e-06,2.451102e-06,2.425408e-06,2.401021e-06,2.377890e-06,2.355963e-06,2.335192e-06,2.315528e-06,2.296926e-06,2.279340e-06,2.262728e-06,2.247048e-06,2.232259e-06,2.218323e-06,2.205202e-06,2.192859e-06,2.181260e-06,2.170371e-06
0.000000e+00,2.137965e-08,5.532887e-07,5.834673e-07,5.138713e-06,1.954936e-05,2.038426e-05,4.432625e-05,6.826382e-05,6.977451e-05,9.435397e-05,1.158406e-04,1.176560e-04,1.396365e-04,1.583097e-04,1.603209e-04,1.797491e-04,1.958404e-04,1.979635e-04,2.150077e-04,2.287633e-04,2.309256e-04,2.457623e-04,2.574224e-04,2.595627e-04,2.723720e-04,2.821678e-04,2.842355e-04,2.951974e-04,3.033469e-04,3.053010e-04,3.145882e-04,3.212919e-04,3.231000e-04,3.308756e-04,3.363160e-04,3.379529e-04,3.443681e-04,3.487098e-04,3.501563e-04,3.553508e-04,3.587412e-04,3.599835e-04,3.640849e-04,3.666554e-04,3.676841e-04,3.708091e-04,3.726768e-04,3.734863e-04,3.757411e-04,3.770096e-04,3.775975e-04,3.790787e-04,3.798398e-04,3.802064e-04,3.810016e-04,3.813364e-04,3.814842e-04,3.816730e-04,3.816528e-04,3.815861e-04,3.812406e-04,3.809282e-04,3.806528e-04,3.798381e-04,3.792884e-04,3.788114e-04,3.775866e-04,3.768475e-04,3.761769e-04,3.745951e-04,3.737086e-04,3.728532e-04,3.709624e-04,3.699647e-04,3.689337e-04,3.667773e-04,3.656998e-04,3.645030e-04,3.621198e-04,3.609895e-04,3.596368e-04,3.570620e-04,3.559021e-04,3.544034e-04,3.516684e-04,3.504986e-04,3.488640e-04,3.459970e-04,3.448341e-04,3.430737e-04,3.400999e-04,3.389579e-04,3.370815e-04,3.340236e-04,3.329141e-04,3.309313e-04,3.278095e-04,3.267421e-04,3.246625e-04,3.214946e-04,3.204772e-04,3.183099e-04,3.151120e-04,3.141506e-04,3.119045e-04,3.086908e-04,3.077902e-04,3.054739e-04,3.022568e-04,3.014207e-04,2.990423e-04,2.958330e-04,2.950638e-04,2.926312e-04,2.894394e-04,2.887387e-04,2.862595e-04,2.830936e-04,2.824623e-04,2.799436e-04,2.768111e-04,2.762493e-04,2.736979e-04,2.706053e-04,2.701125e-04,2.675348e-04,2.644877e-04,2.640631e-04,2.614652e-04,2.584683e-04,2.581104e-04,2.554981e-04,2.525555e-04,2.522628e-04,2.496413e-04,2.467564e-04,2.465269e-04,2.439014e-04,2.410770e-04,2.409086e-04,2.382838e-04,2.355223e-04,2.354125e-04,2.327929e-04,2.300961e-04,2.300425e-04,2.274322e-04,2.248015e-04,2.196919e-04,2.147153e-04,2.098726e-04,2.051644e-04,2.005908e-04,1.961514e-04,1.918456e-04,1.876724e-04,1.836305e-04,1.797183e-04,1.759343e-04,1.722764e-04,1.687427e-04,1.653309e-04,1.620389e-04,1.588642e-04,1.558045e-04,1.528572e-04,1.500198e-04,1.472899e-04,1.446646e-04,1.421416e-04,1.397181e-04,1.373916e-04,1.351595e-04,1.330192e-04,1.309681e-04,1.290039e-04,1.271240e-04,1.253259e-04,1.236072e-04,1.219655e-04,1.203984e-04,1.189037e-04,1.174790e-04,1.161222e-04,1.148310e-04,1.136034e-04,1.124371e-04,1.113303e-04,1.102809e-04,1.092869e-04,1.083464e-04,1.074576e-04,1.066187e-04,1.058278e-04,1.050832e-04,1.043832e-04,1.037263e-04
0.000000e+00,1.622526e-05,6.368662e-04,6.748005e-04,7.788106e-03,4.459582e-02,4.748006e-02,1.832451e-01,4.767462e-01,5.025941e-01,1.081359e+00,1.885017e+00,1.967951e+00,3.185118e+00,4.565603e+00,4.735351e+00,6.606001e+00,8.498736e+00,8.773547e+00,1.120706e+01,1.348555e+01,1.387096e+01,1.672718e+01,1.924662e+01,1.973690e+01,2.286175e+01,2.548411e+01,2.606485e+01,2.931144e+01,3.191832e+01,3.256937e+01,3.580937e+01,3.830715e+01,3.900522e+01,4.213381e+01,4.445408e+01,4.517504e+01,4.811180e+01,5.020921e+01,5.092975e+01,5.361720e+01,5.546607e+01,5.616489e+01,5.856580e+01,6.015633e+01,6.081490e+01,6.290900e+01,6.424357e+01,6.484649e+01,6.662719e+01,6.771701e+01,6.825213e+01,6.972341e+01,7.058573e+01,7.104400e+01,7.221766e+01,7.287341e+01,7.324871e+01,7.414201e+01,7.461404e+01,7.490280e+01,7.553658e+01,7.584823e+01,7.604909e+01,7.644619e+01,7.662037e+01,7.673381e+01,7.691791e+01,7.697636e+01,7.700439e+01,7.699912e+01,7.696202e+01,7.690782e+01,7.673612e+01,7.662183e+01,7.648948e+01,7.617317e+01,7.599810e+01,7.579231e+01,7.535180e+01,7.513045e+01,7.485638e+01,7.431053e+01,7.405550e+01,7.371857e+01,7.308459e+01,7.280674e+01,7.241249e+01,7.170596e+01,7.141450e+01,7.096849e+01,7.020339e+01,6.990606e+01,6.941377e+01,6.860257e+01,6.830579e+01,6.777254e+01,6.692628e+01,6.663528e+01,6.606620e+01,6.519460e+01,6.491360e+01,6.431358e+01,6.342515e+01,6.315745e+01,6.253114e+01,6.163329e+01,6.138142e+01,6.073319e+01,5.983233e+01,5.959816e+01,5.893210e+01,5.803377e+01,5.781858e+01,5.713851e+01,5.624743e+01,5.605205e+01,5.536152e+01,5.448170e+01,5.430654e+01,5.360882e+01,5.274365e+01,5.258880e+01,5.188691e+01,5.103923e+01,5.090448e+01,5.020120e+01,4.937335e+01,4.925829e+01,4.855615e+01,4.775005e+01,4.765408e+01,4.695541e+01,4.617259e+01,4.609497e+01,4.540188e+01,4.464356e+01,4.458344e+01,4.389785e+01,4.316495e+01,4.312139e+01,4.244503e+01,4.173824e+01,4.171024e+01,4.104469e+01,4.036447e+01,4.035100e+01,3.969765e+01,3.904429e+01,3.779042e+01,3.658945e+01,3.544118e+01,3.434524e+01,3.330107e+01,3.230796e+01,3.136510e+01,3.047157e+01,2.962636e+01,2.882839e+01,2.807654e+01,2.736961e+01,2.670638e+01,2.608560e+01,2.550596e+01,2.496618e+01,2.446493e+01,2.400087e+01,2.357266e+01,2.317894e+01,2.281837e+01,2.248959e+01,2.219125e+01,2.192198e+01,2.168046e+01,2.146534e+01,2.127529e+01,2.110900e+01,2.096516e+01,2.084248e+01,2.073969e+01,2.065555e+01,2.058882e+01,2.053829e+01,2.050280e+01,2.048117e+01,2.047230e+01,2.047508e+01,2.048847e+01,2.051143e+01,2.054298e+01,2.058217e+01,2.062808e+01,2.067986e+01,2.073666e+01,2.079770e+01,2.086223e+01,2.092954e+01,2.099899e+01
0.000000e+00,2.237971e-08,8.200767e-07,8.682819e-07,8.992502e-06,4.046230e-05,4.254186e-05,1.144978e-04,2.058409e-04,2.120453e-04,3.173071e-04,4.133720e-04,4.215932e-04,5.220989e-04,6.087223e-04,6.181172e-04,7.095393e-04,7.862269e-04,7.964148e-04,8.788369e-04,9.462423e-04,9.569165e-04,1.030774e-03,1.089645e-03,1.100537e-03,1.166340e-03,1.217438e-03,1.228318e-03,1.286608e-03,1.330677e-03,1.341347e-03,1.392671e-03,1.430417e-03,1.440711e-03,1.485599e-03,1.517682e-03,1.527460e-03,1.566418e-03,1.593448e-03,1.602592e-03,1.636099e-03,1.658635e-03,1.667050e-03,1.695554e-03,1.714108e-03,1.721717e-03,1.745639e-03,1.760676e-03,1.767418e-03,1.787150e-03,1.799095e-03,1.804924e-03,1.820829e-03,1.830067e-03,1.834950e-03,1.847369e-03,1.854248e-03,1.858163e-03,1.867410e-03,1.872245e-03,1.875181e-03,1.881548e-03,1.884624e-03,1.886578e-03,1.890336e-03,1.891908e-03,1.892884e-03,1.894284e-03,1.894583e-03,1.894593e-03,1.893866e-03,1.893097e-03,1.892158e-03,1.889520e-03,1.887868e-03,1.886001e-03,1.881649e-03,1.879278e-03,1.876509e-03,1.870626e-03,1.867682e-03,1.864042e-03,1.856796e-03,1.853408e-03,1.848928e-03,1.840475e-03,1.836758e-03,1.831472e-03,1.821954e-03,1.818010e-03,1.811954e-03,1.801503e-03,1.797420e-03,1.790632e-03,1.779369e-03,1.775223e-03,1.767741e-03,1.755776e-03,1.751636e-03,1.743499e-03,1.730934e-03,1.726856e-03,1.718104e-03,1.705031e-03,1.701065e-03,1.691737e-03,1.678243e-03,1.674431e-03,1.664567e-03,1.650728e-03,1.647105e-03,1.636743e-03,1.622631e-03,1.619226e-03,1.608406e-03,1.594084e-03,1.590922e-03,1.579680e-03,1.565208e-03,1.562307e-03,1.550681e-03,1.536112e-03,1.533486e-03,1.521513e-03,1.506894e-03,1.504555e-03,1.492269e-03,1.477645e-03,1.475599e-03,1.463035e-03,1.448446e-03,1.446697e-03,1.433887e-03,1.419368e-03,1.417918e-03,1.404895e-03,1.390477e-03,1.389326e-03,1.376121e-03,1.361833e-03,1.360978e-03,1.347619e-03,1.333486e-03,1.332922e-03,1.319439e-03,1.305484e-03,1.305205e-03,1.291625e-03,1.277867e-03,1.250941e-03,1.224458e-03,1.198447e-03,1.172928e-03,1.147922e-03,1.123446e-03,1.099513e-03,1.076135e-03,1.053319e-03,1.031074e-03,1.009403e-03,9.883090e-04,9.677943e-04,9.478583e-04,9.284996e-04,9.097156e-04,8.915027e-04,8.738560e-04,8.567703e-04,8.402391e-04,8.242556e-04,8.088122e-04,7.939009e-04,7.795133e-04,7.656403e-04,7.522729e-04,7.394013e-04,7.270160e-04,7.151069e-04,7.036639e-04,6.926767e-04,6.821349e-04,6.720281e-04,6.623458e-04,6.530776e-04,6.442130e-04,6.357415e-04,6.276529e-04,6.199367e-04,6.125826e-04,6.055806e-04,5.989206e-04,5.925925e-04,5.865866e-04,5.808932e-04,5.755026e-04,5.704053e-04,5.655922e-04,5.610541e-04
0.000000e+00,1.792543e-08,6.429114e-07,6.800101e-07,7.311789e-06,4.040477e-05,4.297667e-05,1.629134e-04,4.160070e-04,4.378915e-04,9.121210e-04,1.528116e-03,1.589299e-03,2.444745e-03,3.335347e-03,3.439949e-03,4.532619e-03,5.542726e-03,5.682513e-03,6.854346e-03,7.857217e-03,8.018889e-03,9.153041e-03,1.006932e-02,1.023934e-02,1.126523e-02,1.205535e-02,1.222227e-02,1.310537e-02,1.375689e-02,1.391207e-02,1.464197e-02,1.515866e-02,1.529620e-02,1.587700e-02,1.627116e-02,1.638743e-02,1.683105e-02,1.711859e-02,1.721174e-02,1.753355e-02,1.773110e-02,1.780058e-02,1.801687e-02,1.814021e-02,1.818637e-02,1.831286e-02,1.837615e-02,1.839994e-02,1.845104e-02,1.846661e-02,1.846935e-02,1.845789e-02,1.843622e-02,1.841944e-02,1.835661e-02,1.830648e-02,1.827181e-02,1.816726e-02,1.809591e-02,1.804502e-02,1.790699e-02,1.782040e-02,1.775492e-02,1.759042e-02,1.749342e-02,1.741496e-02,1.722990e-02,1.712641e-02,1.703648e-02,1.683584e-02,1.672900e-02,1.662902e-02,1.641699e-02,1.630929e-02,1.620061e-02,1.598068e-02,1.587407e-02,1.575794e-02,1.553304e-02,1.542903e-02,1.530659e-02,1.507916e-02,1.497891e-02,1.485124e-02,1.462329e-02,1.452764e-02,1.439572e-02,1.416892e-02,1.407850e-02,1.394323e-02,1.371896e-02,1.363416e-02,1.349638e-02,1.327575e-02,1.319684e-02,1.305729e-02,1.284120e-02,1.276831e-02,1.262767e-02,1.241685e-02,1.234999e-02,1.220889e-02,1.200390e-02,1.194299e-02,1.180199e-02,1.160326e-02,1.154819e-02,1.140778e-02,1.121564e-02,1.116623e-02,1.102687e-02,1.084152e-02,1.079756e-02,1.065964e-02,1.048126e-02,1.044248e-02,1.030638e-02,1.013502e-02,1.010118e-02,9.967196e-03,9.802898e-03,9.773698e-03,9.642121e-03,9.484856e-03,9.460018e-03,9.331087e-03,9.180794e-03,9.160029e-03,9.033953e-03,8.890539e-03,8.873558e-03,8.750520e-03,8.613864e-03,8.600382e-03,8.480536e-03,8.350499e-03,8.340237e-03,8.223713e-03,8.100136e-03,8.092823e-03,7.979727e-03,7.862442e-03,7.857815e-03,7.748235e-03,7.637061e-03,7.634868e-03,7.528871e-03,7.423620e-03,7.223699e-03,7.034727e-03,6.856320e-03,6.688094e-03,6.529664e-03,6.380651e-03,6.240675e-03,6.109366e-03,5.986357e-03,5.871289e-03,5.763812e-03,5.663582e-03,5.570265e-03,5.483534e-03,5.403073e-03,5.328574e-03,5.259738e-03,5.196276e-03,5.137907e-03,5.084359e-03,5.035370e-03,4.990687e-03,4.950064e-03,4.913266e-03,4.880065e-03,4.850242e-03,4.823585e-03,4.799893e-03,4.778969e-03,4.760628e-03,4.744690e-03,4.730984e-03,4.719344e-03,4.709615e-03,4.701646e-03,4.695293e-03,4.690422e-03,4.686903e-03,4.684612e-03,4.683432e-03,4.683254e-03,4.683973e-03,4.685490e-03,4.687712e-03,4.690552e-03,4.693928e-03,4.697763e-03,4.701985e-03,4.706528e-03
0.000000e+00,6.349125e-06,2.348474e-04,2.484535e-04,2.671565e-03,1.470272e-02,1.563850e-02,5.983234e-02,1.573481e-01,1.660470e-01,3.640877e-01,6.462242e-01,6.756891e-01,1.113879e+00,1.621294e+00,1.684324e+00,2.386847e+00,3.110691e+00,3.216767e+00,4.166039e+00,5.069937e+00,5.224195e+00,6.379124e+00,7.414473e+00,7.617710e+00,8.926345e+00,1.004208e+01,1.029133e+01,1.169922e+01,1.284768e+01,1.313703e+01,1.459244e+01,1.573244e+01,1.605394e+01,1.751087e+01,1.860907e+01,1.895352e+01,2.037315e+01,2.140422e+01,2.176194e+01,2.311304e+01,2.405911e+01,2.442049e+01,2.567923e+01,2.652905e+01,2.688499e+01,2.803429e+01,2.878212e+01,2.912435e+01,3.015308e+01,3.079767e+01,3.111895e+01,3.202100e+01,3.256458e+01,3.285876e+01,3.363219e+01,3.407955e+01,3.434164e+01,3.498780e+01,3.534552e+01,3.557166e+01,3.609446e+01,3.637027e+01,3.655765e+01,3.696289e+01,3.716517e+01,3.731196e+01,3.760677e+01,3.774411e+01,3.784934e+01,3.804173e+01,3.812266e+01,3.818610e+01,3.828460e+01,3.831733e+01,3.833941e+01,3.835273e+01,3.834502e+01,3.832673e+01,3.826356e+01,3.822260e+01,3.816534e+01,3.803418e+01,3.796656e+01,3.787211e+01,3.768113e+01,3.759276e+01,3.746317e+01,3.722011e+01,3.711628e+01,3.695379e+01,3.666596e+01,3.655130e+01,3.635832e+01,3.603250e+01,3.591106e+01,3.569007e+01,3.533253e+01,3.520778e+01,3.496131e+01,3.457778e+01,3.445267e+01,3.418326e+01,3.377900e+01,3.365600e+01,3.336617e+01,3.294591e+01,3.282705e+01,3.251927e+01,3.208728e+01,3.197420e+01,3.165088e+01,3.121099e+01,3.110499e+01,3.076844e+01,3.032405e+01,3.022612e+01,2.987857e+01,2.943271e+01,2.934356e+01,2.898714e+01,2.854247e+01,2.846257e+01,2.809929e+01,2.765814e+01,2.758778e+01,2.721954e+01,2.678395e+01,2.672323e+01,2.635180e+01,2.592352e+01,2.587240e+01,2.549947e+01,2.507999e+01,2.503831e+01,2.466542e+01,2.425603e+01,2.422351e+01,2.385211e+01,2.345389e+01,2.343018e+01,2.306159e+01,2.267542e+01,2.266010e+01,2.229556e+01,2.192217e+01,2.191477e+01,2.155539e+01,2.119536e+01,2.050281e+01,1.983781e+01,1.920087e+01,1.859229e+01,1.801224e+01,1.746072e+01,1.693762e+01,1.644273e+01,1.597574e+01,1.553625e+01,1.512378e+01,1.473782e+01,1.437778e+01,1.404301e+01,1.373287e+01,1.344662e+01,1.318354e+01,1.294287e+01,1.272382e+01,1.252559e+01,1.234737e+01,1.218831e+01,1.204760e+01,1.192439e+01,1.181782e+01,1.172705e+01,1.165123e+01,1.158951e+01,1.154106e+01,1.150503e+01,1.148060e+01,1.146696e+01,1.146329e+01,1.146882e+01,1.148276e+01,1.150436e+01,1.153289e+01,1.156762e+01,1.160787e+01,1.165297e+01,1.170227e+01,1.175516e+01,1.181105e+01,1.186937e+01,1.192959e+01,1.199122e+01,1.205377e+01,1.211682e+01,1.217994e+01
0.000000e+00,1.823632e-08,5.849887e-07,6.167490e-07,5.552965e-06,2.634800e-05,2.787630e-05,9.577918e-05,2.374552e-04,2.499201e-04,5.308431e-04,9.241808e-04,9.647768e-04,1.556439e-03,2.211824e-03,2.290992e-03,3.141050e-03,3.958621e-03,4.073807e-03,5.056187e-03,5.917533e-03,6.057923e-03,7.053094e-03,7.868426e-03,8.020656e-03,8.944345e-03,9.660563e-03,9.812264e-03,1.061630e-02,1.121013e-02,1.135152e-02,1.201553e-02,1.248373e-02,1.260797e-02,1.313002e-02,1.348107e-02,1.358397e-02,1.397294e-02,1.422107e-02,1.430057e-02,1.457081e-02,1.473216e-02,1.478778e-02,1.495560e-02,1.504603e-02,1.507836e-02,1.516000e-02,1.519395e-02,1.520428e-02,1.521476e-02,1.520480e-02,1.519479e-02,1.514749e-02,1.510421e-02,1.507573e-02,1.498219e-02,1.491432e-02,1.486929e-02,1.473930e-02,1.465395e-02,1.459425e-02,1.443604e-02,1.433893e-02,1.426637e-02,1.408679e-02,1.398243e-02,1.389872e-02,1.370342e-02,1.359538e-02,1.350208e-02,1.329573e-02,1.318677e-02,1.308533e-02,1.287176e-02,1.276402e-02,1.265577e-02,1.243809e-02,1.233319e-02,1.221934e-02,1.200010e-02,1.189923e-02,1.178088e-02,1.156215e-02,1.146617e-02,1.134431e-02,1.112775e-02,1.103725e-02,1.091278e-02,1.069971e-02,1.061507e-02,1.048880e-02,1.028028e-02,1.020171e-02,1.007435e-02,9.871190e-03,9.798762e-03,9.670960e-03,9.473792e-03,9.407474e-03,9.279802e-03,9.089089e-03,9.028767e-03,8.901735e-03,8.717807e-03,8.663305e-03,8.537361e-03,8.360440e-03,8.311538e-03,8.187075e-03,8.017290e-03,7.973734e-03,7.851097e-03,7.688502e-03,7.650015e-03,7.529504e-03,7.374094e-03,7.340383e-03,7.222257e-03,7.073975e-03,7.044743e-03,6.929224e-03,6.787975e-03,6.762920e-03,6.650196e-03,6.515852e-03,6.494673e-03,6.384905e-03,6.257314e-03,6.239716e-03,6.133035e-03,6.012026e-03,5.997722e-03,5.894237e-03,5.779624e-03,5.768335e-03,5.668135e-03,5.559721e-03,5.551179e-03,5.454332e-03,5.351916e-03,5.345864e-03,5.252421e-03,5.155796e-03,5.151990e-03,5.061988e-03,4.970944e-03,4.969151e-03,4.882613e-03,4.796942e-03,4.634957e-03,4.482798e-03,4.340070e-03,4.206388e-03,4.081374e-03,3.964660e-03,3.855887e-03,3.754706e-03,3.660781e-03,3.573784e-03,3.493400e-03,3.419323e-03,3.351259e-03,3.288921e-03,3.232034e-03,3.180331e-03,3.133555e-03,3.091459e-03,3.053802e-03,3.020354e-03,2.990892e-03,2.965199e-03,2.943067e-03,2.924295e-03,2.908687e-03,2.896056e-03,2.886219e-03,2.879001e-03,2.874231e-03,2.871746e-03,2.871387e-03,2.873000e-03,2.876437e-03,2.881556e-03,2.888220e-03,2.896295e-03,2.905654e-03,2.916175e-03,2.927739e-03,2.940233e-03,2.953550e-03,2.967586e-03,2.982241e-03,2.997422e-03,3.013040e-03,3.029009e-03,3.045249e-03,3.061684e-03,3.078242e-03
0.000000e+00,6.311833e-10,1.086844e-08,1.137106e-08,6.888893e-08,2.025783e-07,2.096056e-07,3.993629e-07,5.776903e-07,5.887162e-07,7.649953e-07,9.145575e-07,9.270025e-07,1.075253e-06,1.197523e-06,1.210481e-06,1.333433e-06,1.432055e-06,1.444837e-06,1.545404e-06,1.623747e-06,1.635820e-06,1.716750e-06,1.777869e-06,1.788833e-06,1.852680e-06,1.899298e-06,1.908872e-06,1.957961e-06,1.992467e-06,2.000466e-06,2.036878e-06,2.061346e-06,2.067656e-06,2.093231e-06,2.109439e-06,2.114009e-06,2.130367e-06,2.139835e-06,2.142659e-06,2.151215e-06,2.155237e-06,2.156344e-06,2.158334e-06,2.158003e-06,2.157452e-06,2.153949e-06,2.150188e-06,2.148055e-06,2.139989e-06,2.133573e-06,2.129951e-06,2.118128e-06,2.109705e-06,2.104694e-06,2.089810e-06,2.079920e-06,2.073626e-06,2.056280e-06,2.045369e-06,2.037901e-06,2.018608e-06,2.007044e-06,1.998512e-06,1.977714e-06,1.965796e-06,1.956309e-06,1.934383e-06,1.922355e-06,1.912017e-06,1.889285e-06,1.877343e-06,1.866255e-06,1.842990e-06,1.831288e-06,1.819548e-06,1.795980e-06,1.784638e-06,1.772337e-06,1.748663e-06,1.737773e-06,1.724997e-06,1.701377e-06,1.691008e-06,1.677838e-06,1.654409e-06,1.644609e-06,1.631119e-06,1.607992e-06,1.598793e-06,1.585053e-06,1.562320e-06,1.553740e-06,1.539813e-06,1.517548e-06,1.509595e-06,1.495540e-06,1.473802e-06,1.466474e-06,1.452345e-06,1.431179e-06,1.424469e-06,1.410313e-06,1.389754e-06,1.383647e-06,1.369509e-06,1.349582e-06,1.344061e-06,1.329980e-06,1.310703e-06,1.305745e-06,1.291756e-06,1.273141e-06,1.268722e-06,1.254858e-06,1.236907e-06,1.233003e-06,1.219290e-06,1.202006e-06,1.198589e-06,1.185053e-06,1.168430e-06,1.165473e-06,1.152135e-06,1.136167e-06,1.133642e-06,1.120522e-06,1.105198e-06,1.103079e-06,1.090193e-06,1.075501e-06,1.073759e-06,1.061121e-06,1.047048e-06,1.045657e-06,1.033279e-06,1.019809e-06,1.018744e-06,1.006635e-06,9.937521e-07,9.929883e-07,9.811563e-07,9.688432e-07,9.683565e-07,9.568082e-07,9.450470e-07,9.448146e-07,9.335550e-07,9.223277e-07,9.008604e-07,8.803770e-07,8.608421e-07,8.422203e-07,8.244768e-07,8.075773e-07,7.914882e-07,7.761765e-07,7.616102e-07,7.477581e-07,7.345898e-07,7.220760e-07,7.101883e-07,6.988993e-07,6.881823e-07,6.780118e-07,6.683633e-07,6.592131e-07,6.505383e-07,6.423173e-07,6.345289e-07,6.271530e-07,6.201705e-07,6.135627e-07,6.073119e-07,6.014013e-07,5.958146e-07,5.905362e-07,5.855514e-07,5.808459e-07,5.764063e-07,5.722194e-07,5.682731e-07,5.645554e-07,5.610550e-07,5.577613e-07,5.546638e-07,5.517529e-07,5.490191e-07,5.464536e-07,5.440477e-07,5.417935e-07,5.396831e-07,5.377091e-07,5.358646e-07,5.341428e-07,5.325373e-07,5.310421e-07,5.296513e-07
0.000000e+00,3.582586e-09,1.425460e-07,1.511090e-07,1.758852e-06,9.886484e-06,1.051450e-05,3.935904e-05,9.876908e-05,1.038429e-04,2.117729e-04,3.469231e-04,3.600657e-04,5.389928e-04,7.164435e-04,7.367329e-04,9.421011e-04,1.121694e-03,1.145794e-03,1.340752e-03,1.497626e-03,1.522054e-03,1.686619e-03,1.810704e-03,1.832834e-03,1.960202e-03,2.050781e-03,2.069036e-03,2.160198e-03,2.221212e-03,2.234902e-03,2.294560e-03,2.331610e-03,2.340669e-03,2.374731e-03,2.393459e-03,2.398200e-03,2.412444e-03,2.417791e-03,2.418724e-03,2.418185e-03,2.414157e-03,2.411856e-03,2.400648e-03,2.390331e-03,2.385360e-03,2.366691e-03,2.352377e-03,2.345246e-03,2.321544e-03,2.304884e-03,2.296031e-03,2.269085e-03,2.251238e-03,2.241027e-03,2.212129e-03,2.193891e-03,2.182618e-03,2.152685e-03,2.134590e-03,2.122489e-03,2.092162e-03,2.074556e-03,2.061813e-03,2.031531e-03,2.014632e-03,2.001392e-03,1.971453e-03,1.955388e-03,1.941765e-03,1.912365e-03,1.897202e-03,1.883285e-03,1.854550e-03,1.840318e-03,1.826180e-03,1.798188e-03,1.784890e-03,1.770587e-03,1.743385e-03,1.731007e-03,1.716587e-03,1.690199e-03,1.678718e-03,1.664221e-03,1.638656e-03,1.628042e-03,1.613503e-03,1.588763e-03,1.578981e-03,1.564432e-03,1.540510e-03,1.531526e-03,1.516993e-03,1.493878e-03,1.485655e-03,1.471163e-03,1.448843e-03,1.441344e-03,1.426915e-03,1.405375e-03,1.398563e-03,1.384219e-03,1.363442e-03,1.357282e-03,1.343040e-03,1.323009e-03,1.317466e-03,1.303344e-03,1.284042e-03,1.279082e-03,1.265096e-03,1.246503e-03,1.242092e-03,1.228257e-03,1.210355e-03,1.206462e-03,1.192791e-03,1.175561e-03,1.172155e-03,1.158660e-03,1.142084e-03,1.139134e-03,1.125827e-03,1.109885e-03,1.107363e-03,1.094253e-03,1.078927e-03,1.076805e-03,1.063901e-03,1.049172e-03,1.047424e-03,1.034735e-03,1.020585e-03,1.019185e-03,1.006717e-03,9.931276e-04,9.920523e-04,9.798117e-04,9.667650e-04,9.659906e-04,9.539830e-04,9.414615e-04,9.409660e-04,9.291961e-04,9.171825e-04,9.169448e-04,9.054166e-04,8.938941e-04,8.717817e-04,8.505761e-04,8.302465e-04,8.107629e-04,7.920962e-04,7.742178e-04,7.571001e-04,7.407162e-04,7.250400e-04,7.100462e-04,6.957101e-04,6.820079e-04,6.689164e-04,6.564132e-04,6.444767e-04,6.330857e-04,6.222199e-04,6.118596e-04,6.019857e-04,5.925797e-04,5.836239e-04,5.751008e-04,5.669938e-04,5.592868e-04,5.519641e-04,5.450106e-04,5.384117e-04,5.321534e-04,5.262220e-04,5.206043e-04,5.152875e-04,5.102595e-04,5.055083e-04,5.010225e-04,4.967910e-04,4.928030e-04,4.890483e-04,4.855169e-04,4.821992e-04,4.790858e-04,4.761678e-04,4.734366e-04,4.708838e-04,4.685013e-04,4.662814e-04,4.642166e-04,4.622997e-04,4.605237e-04,4.588819e-04
0.000000e+00,8.885232e-10,1.722159e-08,1.804076e-08,1.112126e-07,3.107486e-07,3.205709e-07,5.713889e-07,7.949012e-07,8.085192e-07,1.023677e-06,1.202558e-06,1.217288e-06,1.390814e-06,1.531060e-06,1.545760e-06,1.683550e-06,1.791677e-06,1.805520e-06,1.912926e-06,1.994544e-06,2.006943e-06,2.088676e-06,2.148595e-06,2.159156e-06,2.219344e-06,2.261649e-06,2.270136e-06,2.312359e-06,2.340487e-06,2.346783e-06,2.374115e-06,2.390933e-06,2.395009e-06,2.410069e-06,2.417955e-06,2.419848e-06,2.424856e-06,2.425766e-06,2.425560e-06,2.422390e-06,2.417931e-06,2.415740e-06,2.405971e-06,2.397455e-06,2.393415e-06,2.378377e-06,2.366876e-06,2.361135e-06,2.341943e-06,2.328322e-06,2.321034e-06,2.298621e-06,2.283578e-06,2.274898e-06,2.250042e-06,2.234134e-06,2.224215e-06,2.197563e-06,2.181233e-06,2.170222e-06,2.142312e-06,2.125908e-06,2.113944e-06,2.085219e-06,2.069011e-06,2.056227e-06,2.027052e-06,2.011247e-06,1.997767e-06,1.968440e-06,1.953193e-06,1.939130e-06,1.909894e-06,1.895318e-06,1.880779e-06,1.851829e-06,1.838003e-06,1.823083e-06,1.794576e-06,1.781551e-06,1.766338e-06,1.738398e-06,1.726204e-06,1.710778e-06,1.683500e-06,1.672150e-06,1.656582e-06,1.630040e-06,1.619531e-06,1.603887e-06,1.578134e-06,1.568455e-06,1.552792e-06,1.527867e-06,1.518998e-06,1.503366e-06,1.479295e-06,1.471209e-06,1.455655e-06,1.432451e-06,1.425118e-06,1.409683e-06,1.387352e-06,1.380737e-06,1.365456e-06,1.343996e-06,1.338065e-06,1.322969e-06,1.302372e-06,1.297088e-06,1.282204e-06,1.262459e-06,1.257782e-06,1.243134e-06,1.224225e-06,1.220120e-06,1.205727e-06,1.187635e-06,1.184065e-06,1.169944e-06,1.152648e-06,1.149576e-06,1.135742e-06,1.119220e-06,1.116612e-06,1.103076e-06,1.087304e-06,1.085126e-06,1.071899e-06,1.056852e-06,1.055071e-06,1.042160e-06,1.027814e-06,1.026399e-06,1.013810e-06,1.000140e-06,9.990608e-07,9.867987e-07,9.737794e-07,9.730083e-07,9.610759e-07,9.486821e-07,9.481927e-07,9.365918e-07,9.247989e-07,9.245660e-07,9.132973e-07,9.020811e-07,8.806916e-07,8.603526e-07,8.410199e-07,8.226509e-07,8.052041e-07,7.886395e-07,7.729184e-07,7.580035e-07,7.438587e-07,7.304494e-07,7.177424e-07,7.057057e-07,6.943084e-07,6.835212e-07,6.733158e-07,6.636651e-07,6.545431e-07,6.459250e-07,6.377870e-07,6.301063e-07,6.228610e-07,6.160304e-07,6.095946e-07,6.035344e-07,5.978316e-07,5.924689e-07,5.874296e-07,5.826977e-07,5.782581e-07,5.740963e-07,5.701984e-07,5.665512e-07,5.631421e-07,5.599589e-07,5.569902e-07,5.542249e-07,5.516526e-07,5.492633e-07,5.470474e-07,5.449957e-07,5.430997e-07,5.413509e-07,5.397415e-07,5.382640e-07,5.369110e-07,5.356759e-07,5.345520e-07,5.335330e-07,5.326132e-07
0.000000e+00,1.647625e-08,4.124489e-07,4.337644e-07,3.518218e-06,1.441122e-05,1.513043e-05,4.130942e-05,7.812668e-05,8.072188e-05,1.252195e-04,1.651377e-04,1.684832e-04,2.082718e-04,2.407843e-04,2.442069e-04,2.764269e-04,3.019030e-04,3.051788e-04,3.307217e-04,3.503129e-04,3.533054e-04,3.731660e-04,3.879070e-04,3.905250e-04,4.055896e-04,4.163664e-04,4.185530e-04,4.295948e-04,4.371572e-04,4.388818e-04,4.465684e-04,4.515452e-04,4.527974e-04,4.577006e-04,4.606156e-04,4.613997e-04,4.640069e-04,4.652943e-04,4.656255e-04,4.663506e-04,4.663687e-04,4.662694e-04,4.654623e-04,4.645050e-04,4.640027e-04,4.619585e-04,4.602664e-04,4.593917e-04,4.563596e-04,4.541289e-04,4.529141e-04,4.491035e-04,4.464935e-04,4.449718e-04,4.405595e-04,4.376992e-04,4.359034e-04,4.310369e-04,4.280289e-04,4.259908e-04,4.207929e-04,4.177186e-04,4.154684e-04,4.100406e-04,4.069638e-04,4.045303e-04,3.989565e-04,3.959263e-04,3.933362e-04,3.876854e-04,3.847396e-04,3.820180e-04,3.763468e-04,3.735134e-04,3.706832e-04,3.650376e-04,3.623368e-04,3.594192e-04,3.538363e-04,3.512821e-04,3.482963e-04,3.428056e-04,3.404069e-04,3.373702e-04,3.319950e-04,3.297566e-04,3.266847e-04,3.214431e-04,3.193664e-04,3.162736e-04,3.111791e-04,3.092635e-04,3.061622e-04,3.012250e-04,2.994674e-04,2.963690e-04,2.915958e-04,2.899919e-04,2.869064e-04,2.823016e-04,2.808460e-04,2.777820e-04,2.733480e-04,2.720345e-04,2.689997e-04,2.647371e-04,2.635589e-04,2.605600e-04,2.564681e-04,2.554181e-04,2.524609e-04,2.485379e-04,2.476089e-04,2.446984e-04,2.409415e-04,2.401260e-04,2.372664e-04,2.336721e-04,2.329629e-04,2.301578e-04,2.267222e-04,2.261121e-04,2.233644e-04,2.200831e-04,2.195651e-04,2.168773e-04,2.137456e-04,2.133130e-04,2.106869e-04,2.077000e-04,2.073463e-04,2.047835e-04,2.019363e-04,2.016553e-04,1.991569e-04,1.964442e-04,1.962301e-04,1.937969e-04,1.912137e-04,1.910607e-04,1.886933e-04,1.862344e-04,1.861373e-04,1.838358e-04,1.814963e-04,1.814501e-04,1.792145e-04,1.769893e-04,1.727454e-04,1.687093e-04,1.648718e-04,1.612242e-04,1.577580e-04,1.544650e-04,1.513373e-04,1.483672e-04,1.455475e-04,1.428711e-04,1.403312e-04,1.379214e-04,1.356354e-04,1.334674e-04,1.314116e-04,1.294627e-04,1.276154e-04,1.258648e-04,1.242062e-04,1.226351e-04,1.211472e-04,1.197384e-04,1.184048e-04,1.171427e-04,1.159485e-04,1.148189e-04,1.137507e-04,1.127407e-04,1.117861e-04,1.108842e-04,1.100322e-04,1.092277e-04,1.084682e-04,1.077515e-04,1.070755e-04,1.064381e-04,1.058373e-04,1.052712e-04,1.047382e-04,1.042365e-04,1.037645e-04,1.033206e-04,1.029035e-04,1.025118e-04,1.021441e-04,1.017992e-04,1.014760e-04,1.011732e-04,1.008899e-04
0.000000e+00,4.845376e-09,1.604794e-07,1.695042e-07,1.663788e-06,8.096162e-06,8.562451e-06,2.822495e-05,6.435844e-05,6.729893e-05,1.263592e-04,1.929893e-04,1.990987e-04,2.765758e-04,3.442278e-04,3.514515e-04,4.193621e-04,4.718296e-04,4.784307e-04,5.283457e-04,5.643271e-04,5.696145e-04,6.030973e-04,6.259066e-04,6.297515e-04,6.505064e-04,6.637217e-04,6.662107e-04,6.776150e-04,6.840846e-04,6.853726e-04,6.900467e-04,6.918654e-04,6.921206e-04,6.920075e-04,6.906779e-04,6.900602e-04,6.865797e-04,6.831693e-04,6.818224e-04,6.760070e-04,6.712704e-04,6.693197e-04,6.619188e-04,6.563866e-04,6.539391e-04,6.454952e-04,6.395385e-04,6.366845e-04,6.275898e-04,6.214665e-04,6.182817e-04,6.088197e-04,6.027069e-04,5.992543e-04,5.896285e-04,5.836463e-04,5.799784e-04,5.703346e-04,5.645622e-04,5.607228e-04,5.511644e-04,5.456521e-04,5.416773e-04,5.322764e-04,5.270542e-04,5.229741e-04,5.137808e-04,5.088647e-04,5.047047e-04,4.957524e-04,4.911479e-04,4.869291e-04,4.782390e-04,4.739449e-04,4.696852e-04,4.612699e-04,4.572802e-04,4.529946e-04,4.448603e-04,4.411661e-04,4.368675e-04,4.290161e-04,4.256062e-04,4.213058e-04,4.137360e-04,4.105983e-04,4.063057e-04,3.990137e-04,3.961354e-04,3.918588e-04,3.848395e-04,3.822074e-04,3.779542e-04,3.712011e-04,3.688020e-04,3.645786e-04,3.580847e-04,3.559058e-04,3.517177e-04,3.454756e-04,3.435042e-04,3.393564e-04,3.333582e-04,3.315821e-04,3.274790e-04,3.217168e-04,3.201240e-04,3.160695e-04,3.105353e-04,3.091147e-04,3.051122e-04,2.997981e-04,2.985387e-04,2.945912e-04,2.894894e-04,2.883810e-04,2.844910e-04,2.795940e-04,2.786267e-04,2.747966e-04,2.700969e-04,2.692612e-04,2.654931e-04,2.609834e-04,2.602704e-04,2.565660e-04,2.522393e-04,2.516406e-04,2.480014e-04,2.438507e-04,2.433584e-04,2.397856e-04,2.358044e-04,2.354109e-04,2.319056e-04,2.280874e-04,2.277854e-04,2.243485e-04,2.206872e-04,2.204700e-04,2.171021e-04,2.135917e-04,2.134528e-04,2.101546e-04,2.067892e-04,2.067226e-04,2.034943e-04,2.002685e-04,1.940799e-04,1.881467e-04,1.824591e-04,1.770076e-04,1.717833e-04,1.667772e-04,1.619811e-04,1.573868e-04,1.529864e-04,1.487725e-04,1.447378e-04,1.408754e-04,1.371785e-04,1.336408e-04,1.302559e-04,1.270180e-04,1.239213e-04,1.209602e-04,1.181295e-04,1.154240e-04,1.128388e-04,1.103693e-04,1.080108e-04,1.057590e-04,1.036096e-04,1.015587e-04,9.960226e-05,9.773665e-05,9.595823e-05,9.426355e-05,9.264927e-05,9.111220e-05,8.964926e-05,8.825749e-05,8.693404e-05,8.567618e-05,8.448127e-05,8.334679e-05,8.227030e-05,8.124946e-05,8.028202e-05,7.936581e-05,7.849876e-05,7.767885e-05,7.690417e-05,7.617286e-05,7.548315e-05,7.483331e-05,7.422171e-05
0.000000e+00,2.218319e-09,2.796513e-08,2.917271e-08,1.766924e-07,6.105647e-07,6.372060e-07,1.514630e-06,2.554448e-06,2.622318e-06,3.724998e-06,4.660061e-06,4.737206e-06,5.645086e-06,6.375864e-06,6.452244e-06,7.165851e-06,7.722486e-06,7.793514e-06,8.342548e-06,8.757081e-06,8.819823e-06,9.231739e-06,9.531591e-06,9.584227e-06,9.882776e-06,1.009090e-05,1.013244e-05,1.033789e-05,1.047328e-05,1.050338e-05,1.063283e-05,1.071111e-05,1.072984e-05,1.079768e-05,1.083157e-05,1.083933e-05,1.085754e-05,1.085739e-05,1.085479e-05,1.083335e-05,1.080750e-05,1.079528e-05,1.074247e-05,1.069764e-05,1.067661e-05,1.059927e-05,1.054085e-05,1.051186e-05,1.041565e-05,1.034790e-05,1.031180e-05,1.020137e-05,1.012768e-05,1.008530e-05,9.964470e-06,9.887502e-06,9.839644e-06,9.711527e-06,9.633345e-06,9.580755e-06,9.447899e-06,9.370091e-06,9.313471e-06,9.177936e-06,9.101708e-06,9.041705e-06,8.905152e-06,8.831396e-06,8.768606e-06,8.632364e-06,8.561727e-06,8.496689e-06,8.361814e-06,8.294742e-06,8.227946e-06,8.095267e-06,8.032051e-06,7.963938e-06,7.834097e-06,7.774905e-06,7.705868e-06,7.579355e-06,7.524256e-06,7.454648e-06,7.331823e-06,7.280815e-06,7.210946e-06,7.092070e-06,7.045090e-06,6.975238e-06,6.860484e-06,6.817429e-06,6.747836e-06,6.637311e-06,6.598044e-06,6.528922e-06,6.422677e-06,6.387042e-06,6.318577e-06,6.216619e-06,6.184443e-06,6.116795e-06,6.019096e-06,5.990198e-06,5.923506e-06,5.830008e-06,5.804201e-06,5.738583e-06,5.649208e-06,5.626304e-06,5.561860e-06,5.476514e-06,5.456325e-06,5.393141e-06,5.311715e-06,5.294059e-06,5.232205e-06,5.154583e-06,5.139282e-06,5.078816e-06,5.004874e-06,4.991755e-06,4.932724e-06,4.862335e-06,4.851234e-06,4.793673e-06,4.726708e-06,4.717466e-06,4.661405e-06,4.597732e-06,4.590199e-06,4.535657e-06,4.475147e-06,4.469181e-06,4.416171e-06,4.358696e-06,4.354162e-06,4.302690e-06,4.248122e-06,4.244893e-06,4.194962e-06,4.143178e-06,4.141135e-06,4.092740e-06,4.043619e-06,4.042650e-06,3.995785e-06,3.949208e-06,3.860587e-06,3.776571e-06,3.696950e-06,3.621524e-06,3.550100e-06,3.482490e-06,3.418516e-06,3.358006e-06,3.300796e-06,3.246728e-06,3.195651e-06,3.147421e-06,3.101899e-06,3.058953e-06,3.018457e-06,2.980291e-06,2.944339e-06,2.910491e-06,2.878643e-06,2.848694e-06,2.820548e-06,2.794115e-06,2.769308e-06,2.746043e-06,2.724242e-06,2.703829e-06,2.684733e-06,2.666884e-06,2.650218e-06,2.634673e-06,2.620189e-06,2.606710e-06,2.594182e-06,2.582554e-06,2.571778e-06,2.561807e-06,2.552596e-06,2.544105e-06,2.536292e-06,2.529120e-06,2.522553e-06,2.516556e-06,2.511096e-06,2.506143e-06,2.501667e-06,2.497639e-06,2.494034e-06,2.490826e-06,2.487990e-06
0.000000e+00,4.702175e-09,1.077550e-07,1.131667e-07,7.395944e-07,1.934537e-06,1.989059e-06,3.341872e-06,4.540376e-06,4.613880e-06,5.785515e-06,6.776653e-06,6.859041e-06,7.839525e-06,8.646836e-06,8.732321e-06,9.542725e-06,1.019183e-05,1.027590e-05,1.093685e-05,1.145118e-05,1.153040e-05,1.206119e-05,1.246177e-05,1.253361e-05,1.295185e-05,1.325714e-05,1.331984e-05,1.364126e-05,1.386722e-05,1.391960e-05,1.415808e-05,1.431840e-05,1.435975e-05,1.452745e-05,1.463382e-05,1.466383e-05,1.477135e-05,1.483370e-05,1.485232e-05,1.490890e-05,1.493565e-05,1.494307e-05,1.495671e-05,1.495497e-05,1.495154e-05,1.492919e-05,1.490494e-05,1.489115e-05,1.483882e-05,1.479708e-05,1.477349e-05,1.469638e-05,1.464136e-05,1.460860e-05,1.451118e-05,1.444637e-05,1.440510e-05,1.429124e-05,1.421954e-05,1.417043e-05,1.404345e-05,1.396725e-05,1.391100e-05,1.377373e-05,1.369499e-05,1.363227e-05,1.348716e-05,1.340747e-05,1.333893e-05,1.318806e-05,1.310871e-05,1.303499e-05,1.288013e-05,1.280215e-05,1.272385e-05,1.256651e-05,1.249069e-05,1.240841e-05,1.224984e-05,1.217682e-05,1.209108e-05,1.193238e-05,1.186262e-05,1.177394e-05,1.161599e-05,1.154983e-05,1.145869e-05,1.130224e-05,1.123992e-05,1.114677e-05,1.099243e-05,1.093410e-05,1.083934e-05,1.068762e-05,1.063336e-05,1.053737e-05,1.038868e-05,1.033850e-05,1.024164e-05,1.009631e-05,1.005018e-05,9.952758e-06,9.811043e-06,9.768894e-06,9.671212e-06,9.533307e-06,9.495044e-06,9.397364e-06,9.263413e-06,9.228915e-06,9.131478e-06,9.001581e-06,8.970710e-06,8.873735e-06,8.747953e-06,8.720559e-06,8.624243e-06,8.502607e-06,8.478529e-06,8.383048e-06,8.265563e-06,8.244636e-06,8.150148e-06,8.036795e-06,8.018849e-06,7.925495e-06,7.816237e-06,7.801103e-06,7.709007e-06,7.603792e-06,7.591300e-06,7.500573e-06,7.399335e-06,7.389319e-06,7.300058e-06,7.202722e-06,7.195018e-06,7.107305e-06,7.013787e-06,7.008236e-06,6.922145e-06,6.832355e-06,6.828801e-06,6.744393e-06,6.658236e-06,6.656531e-06,6.573859e-06,6.491237e-06,6.332723e-06,6.180791e-06,6.035240e-06,5.895868e-06,5.762474e-06,5.634858e-06,5.512822e-06,5.396173e-06,5.284719e-06,5.178273e-06,5.076650e-06,4.979672e-06,4.887164e-06,4.798954e-06,4.714879e-06,4.634776e-06,4.558492e-06,4.485874e-06,4.416777e-06,4.351060e-06,4.288585e-06,4.229222e-06,4.172843e-06,4.119324e-06,4.068547e-06,4.020398e-06,3.974767e-06,3.931547e-06,3.890636e-06,3.851936e-06,3.815351e-06,3.780790e-06,3.748166e-06,3.717395e-06,3.688393e-06,3.661085e-06,3.635393e-06,3.611247e-06,3.588576e-06,3.567314e-06,3.547396e-06,3.528761e-06,3.511351e-06,3.495106e-06,3.479974e-06,3.465902e-06,3.452839e-06,3.440737e-06,3.429549e-06
0.000000e+00,5.321235e-09,1.703095e-07,1.796228e-07,1.692395e-06,8.688335e-06,9.225654e-06,3.470007e-05,9.271658e-05,9.799603e-05,2.207339e-04,3.979644e-04,4.163869e-04,6.851377e-04,9.808109e-04,1.016293e-03,1.393673e-03,1.750271e-03,1.800017e-03,2.219546e-03,2.580773e-03,2.639098e-03,3.048411e-03,3.378727e-03,3.439936e-03,3.808461e-03,4.091121e-03,4.150681e-03,4.464782e-03,4.695326e-03,4.750077e-03,5.006704e-03,5.187419e-03,5.235383e-03,5.437231e-03,5.573529e-03,5.613619e-03,5.766063e-03,5.864386e-03,5.896146e-03,6.005467e-03,6.072207e-03,6.095598e-03,6.168059e-03,6.209050e-03,6.224304e-03,6.265707e-03,6.286047e-03,6.293561e-03,6.309075e-03,6.313103e-03,6.313372e-03,6.307498e-03,6.298850e-03,6.292419e-03,6.269028e-03,6.250717e-03,6.238151e-03,6.200546e-03,6.175048e-03,6.156914e-03,6.107897e-03,6.077235e-03,6.054087e-03,5.996028e-03,5.961846e-03,5.934218e-03,5.869116e-03,5.832741e-03,5.801142e-03,5.730682e-03,5.693178e-03,5.658088e-03,5.583684e-03,5.545897e-03,5.507767e-03,5.430606e-03,5.393201e-03,5.352450e-03,5.273524e-03,5.237017e-03,5.194035e-03,5.114170e-03,5.078955e-03,5.034101e-03,4.953984e-03,4.920355e-03,4.873959e-03,4.794155e-03,4.762322e-03,4.714688e-03,4.635662e-03,4.605768e-03,4.557172e-03,4.479302e-03,4.451435e-03,4.402128e-03,4.325719e-03,4.299925e-03,4.250135e-03,4.175429e-03,4.151717e-03,4.101649e-03,4.028837e-03,4.007188e-03,3.957028e-03,3.886254e-03,3.866627e-03,3.816542e-03,3.747914e-03,3.730251e-03,3.680390e-03,3.613984e-03,3.598214e-03,3.548709e-03,3.484574e-03,3.470618e-03,3.421586e-03,3.359750e-03,3.347521e-03,3.299067e-03,3.239537e-03,3.228945e-03,3.181160e-03,3.123931e-03,3.114881e-03,3.067845e-03,3.012897e-03,3.005295e-03,2.959079e-03,2.906382e-03,2.900134e-03,2.854797e-03,2.804313e-03,2.799325e-03,2.754920e-03,2.706604e-03,2.702785e-03,2.659354e-03,2.613157e-03,2.610419e-03,2.567999e-03,2.523867e-03,2.522123e-03,2.480745e-03,2.438620e-03,2.437787e-03,2.397476e-03,2.357298e-03,2.280539e-03,2.207389e-03,2.137730e-03,2.071441e-03,2.008402e-03,1.948495e-03,1.891605e-03,1.837615e-03,1.786414e-03,1.737893e-03,1.691943e-03,1.648461e-03,1.607347e-03,1.568500e-03,1.531828e-03,1.497237e-03,1.464639e-03,1.433947e-03,1.405080e-03,1.377956e-03,1.352499e-03,1.328635e-03,1.306291e-03,1.285400e-03,1.265894e-03,1.247711e-03,1.230789e-03,1.215068e-03,1.200493e-03,1.187009e-03,1.174564e-03,1.163107e-03,1.152591e-03,1.142969e-03,1.134197e-03,1.126232e-03,1.119033e-03,1.112561e-03,1.106778e-03,1.101649e-03,1.097138e-03,1.093212e-03,1.089839e-03,1.086989e-03,1.084632e-03,1.082741e-03,1.081288e-03,1.080247e-03,1.079595e-03
0.000000e+00,1.208427e-08,2.033314e-07,2.128179e-07,1.426370e-06,5.073189e-06,5.297363e-06,1.266642e-05,2.129318e-05,2.184832e-05,3.066665e-05,3.779377e-05,3.836572e-05,4.489677e-05,4.986449e-05,5.036752e-05,5.490527e-05,5.822146e-05,5.862895e-05,6.164465e-05,6.374355e-05,6.404592e-05,6.591497e-05,6.712676e-05,6.732400e-05,6.833629e-05,6.890942e-05,6.900727e-05,6.938539e-05,6.950567e-05,6.951300e-05,6.942697e-05,6.923241e-05,6.915947e-05,6.873842e-05,6.833080e-05,6.818811e-05,6.752961e-05,6.698350e-05,6.678117e-05,6.595863e-05,6.532826e-05,6.507565e-05,6.414407e-05,6.346858e-05,6.317410e-05,6.217452e-05,6.148180e-05,6.115289e-05,6.011570e-05,5.942537e-05,5.906853e-05,5.801620e-05,5.734191e-05,5.696279e-05,5.591176e-05,5.526264e-05,5.486607e-05,5.382823e-05,5.321019e-05,5.280035e-05,5.178417e-05,5.120074e-05,5.078117e-05,4.979254e-05,4.924556e-05,4.881927e-05,4.786215e-05,4.735224e-05,4.692181e-05,4.599873e-05,4.552568e-05,4.509329e-05,4.420571e-05,4.376867e-05,4.333615e-05,4.248468e-05,4.208240e-05,4.165131e-05,4.083599e-05,4.046699e-05,4.003864e-05,3.925911e-05,3.892172e-05,3.849723e-05,3.775281e-05,3.744531e-05,3.702563e-05,3.631544e-05,3.603606e-05,3.562199e-05,3.494501e-05,3.469203e-05,3.428423e-05,3.363935e-05,3.341103e-05,3.301008e-05,3.239612e-05,3.219081e-05,3.179718e-05,3.121294e-05,3.102905e-05,3.064312e-05,3.008741e-05,2.992340e-05,2.954550e-05,2.901711e-05,2.887154e-05,2.850194e-05,2.799969e-05,2.787119e-05,2.751008e-05,2.703282e-05,2.692009e-05,2.656764e-05,2.611425e-05,2.601606e-05,2.567239e-05,2.524178e-05,2.515699e-05,2.482217e-05,2.441330e-05,2.434082e-05,2.401491e-05,2.362677e-05,2.356560e-05,2.324862e-05,2.288023e-05,2.282942e-05,2.252137e-05,2.217181e-05,2.213047e-05,2.183132e-05,2.149969e-05,2.146700e-05,2.117670e-05,2.086215e-05,2.083734e-05,2.055583e-05,2.025754e-05,2.023990e-05,1.996709e-05,1.968429e-05,1.967313e-05,1.940894e-05,1.914087e-05,1.913558e-05,1.887990e-05,1.862586e-05,1.814263e-05,1.768461e-05,1.725059e-05,1.683942e-05,1.644997e-05,1.608121e-05,1.573213e-05,1.540176e-05,1.508919e-05,1.479355e-05,1.451401e-05,1.424977e-05,1.400009e-05,1.376425e-05,1.354155e-05,1.333135e-05,1.313302e-05,1.294598e-05,1.276966e-05,1.260352e-05,1.244705e-05,1.229977e-05,1.216120e-05,1.203091e-05,1.190848e-05,1.179351e-05,1.168562e-05,1.158443e-05,1.148962e-05,1.140084e-05,1.131779e-05,1.124017e-05,1.116770e-05,1.110010e-05,1.103712e-05,1.097852e-05,1.092405e-05,1.087352e-05,1.082669e-05,1.078338e-05,1.074339e-05,1.070654e-05,1.067267e-05,1.064160e-05,1.061319e-05,1.058728e-05,1.056373e-05,1.054242e-05,1.052322e-05
0.000000e+00,7.509766e-09,2.466753e-07,2.604423e-07,2.568061e-06,1.319392e-05,1.399628e-05,5.035935e-05,1.259676e-04,1.325158e-04,2.746670e-04,4.572869e-04,4.751729e-04,7.189938e-04,9.592563e-04,9.865454e-04,1.260204e-03,1.495483e-03,1.526771e-03,1.777556e-03,1.976699e-03,2.007531e-03,2.214324e-03,2.369647e-03,2.397345e-03,2.557130e-03,2.671638e-03,2.694871e-03,2.812106e-03,2.892259e-03,2.910518e-03,2.991813e-03,3.044407e-03,3.057644e-03,3.109577e-03,3.140650e-03,3.149065e-03,3.177445e-03,3.192016e-03,3.195936e-03,3.205646e-03,3.207768e-03,3.207579e-03,3.202638e-03,3.195531e-03,3.191641e-03,3.175321e-03,3.161522e-03,3.154338e-03,3.129287e-03,3.110787e-03,3.100701e-03,3.069059e-03,3.047404e-03,3.034789e-03,2.998278e-03,2.974668e-03,2.959869e-03,2.919874e-03,2.895230e-03,2.878567e-03,2.836196e-03,2.811221e-03,2.792982e-03,2.749123e-03,2.724346e-03,2.704793e-03,2.660150e-03,2.635962e-03,2.615332e-03,2.570462e-03,2.547145e-03,2.525648e-03,2.480987e-03,2.458741e-03,2.436564e-03,2.392453e-03,2.371409e-03,2.348718e-03,2.305417e-03,2.285658e-03,2.262599e-03,2.220305e-03,2.201872e-03,2.178574e-03,2.137435e-03,2.120340e-03,2.096915e-03,2.057037e-03,2.041269e-03,2.017818e-03,1.979272e-03,1.964804e-03,1.941411e-03,1.904245e-03,1.891036e-03,1.867778e-03,1.832014e-03,1.820016e-03,1.796957e-03,1.762605e-03,1.751762e-03,1.728959e-03,1.696015e-03,1.686268e-03,1.663768e-03,1.632216e-03,1.623504e-03,1.601351e-03,1.571166e-03,1.563429e-03,1.541656e-03,1.512810e-03,1.505986e-03,1.484622e-03,1.457083e-03,1.451110e-03,1.430182e-03,1.403910e-03,1.398730e-03,1.378258e-03,1.353215e-03,1.348771e-03,1.328771e-03,1.304916e-03,1.301153e-03,1.281639e-03,1.258930e-03,1.255795e-03,1.236778e-03,1.215173e-03,1.212616e-03,1.194103e-03,1.173560e-03,1.171534e-03,1.153532e-03,1.134008e-03,1.132468e-03,1.114979e-03,1.096435e-03,1.095337e-03,1.078364e-03,1.060759e-03,1.060064e-03,1.043607e-03,1.026901e-03,1.026571e-03,1.010630e-03,9.947844e-04,9.646305e-04,9.360393e-04,9.089426e-04,8.832748e-04,8.589723e-04,8.359742e-04,8.142217e-04,7.936582e-04,7.742296e-04,7.558838e-04,7.385708e-04,7.222427e-04,7.068536e-04,6.923595e-04,6.787182e-04,6.658894e-04,6.538344e-04,6.425163e-04,6.318996e-04,6.219504e-04,6.126364e-04,6.039266e-04,5.957912e-04,5.882019e-04,5.811317e-04,5.745545e-04,5.684455e-04,5.627811e-04,5.575385e-04,5.526962e-04,5.482333e-04,5.441301e-04,5.403678e-04,5.369281e-04,5.337940e-04,5.309488e-04,5.283768e-04,5.260630e-04,5.239930e-04,5.221532e-04,5.205303e-04,5.191120e-04,5.178863e-04,5.168419e-04,5.159678e-04,5.152538e-04,5.146899e-04,5.142668e-04,5.139755e-04
0.000000e+00,3.661169e-09,7.831825e-08,8.225562e-08,5.739011e-07,1.718625e-06,1.776130e-06,3.282014e-06,4.697097e-06,4.785806e-06,6.229376e-06,7.496821e-06,7.604263e-06,8.910213e-06,1.002768e-05,1.014851e-05,1.132079e-05,1.229916e-05,1.242879e-05,1.347434e-05,1.432504e-05,1.445938e-05,1.538591e-05,1.612049e-05,1.625599e-05,1.707173e-05,1.770154e-05,1.783521e-05,1.854852e-05,1.908443e-05,1.921372e-05,1.983281e-05,2.028497e-05,2.040777e-05,2.094050e-05,2.131827e-05,2.143285e-05,2.188663e-05,2.219861e-05,2.230356e-05,2.268532e-05,2.293933e-05,2.303354e-05,2.334977e-05,2.355290e-05,2.363551e-05,2.389221e-05,2.405089e-05,2.412126e-05,2.432400e-05,2.444402e-05,2.450171e-05,2.465564e-05,2.474222e-05,2.478697e-05,2.489684e-05,2.495467e-05,2.498635e-05,2.505656e-05,2.508983e-05,2.510846e-05,2.514303e-05,2.515551e-05,2.516120e-05,2.516385e-05,2.515888e-05,2.515184e-05,2.512599e-05,2.510656e-05,2.508709e-05,2.503587e-05,2.500461e-05,2.497306e-05,2.489935e-05,2.485861e-05,2.481540e-05,2.472183e-05,2.467368e-05,2.461924e-05,2.450823e-05,2.445448e-05,2.438932e-05,2.426306e-05,2.420530e-05,2.412994e-05,2.399045e-05,2.393007e-05,2.384504e-05,2.369415e-05,2.363235e-05,2.353820e-05,2.337758e-05,2.331541e-05,2.321269e-05,2.304388e-05,2.298222e-05,2.287150e-05,2.269588e-05,2.263548e-05,2.251733e-05,2.233614e-05,2.227766e-05,2.215262e-05,2.196701e-05,2.191097e-05,2.177959e-05,2.159060e-05,2.153743e-05,2.140027e-05,2.120881e-05,2.115888e-05,2.101645e-05,2.082338e-05,2.077695e-05,2.062978e-05,2.043583e-05,2.039314e-05,2.024171e-05,2.004758e-05,2.000876e-05,1.985358e-05,1.965985e-05,1.962502e-05,1.946654e-05,1.927377e-05,1.924298e-05,1.908165e-05,1.889031e-05,1.886359e-05,1.869984e-05,1.851035e-05,1.848768e-05,1.832193e-05,1.813467e-05,1.811602e-05,1.794866e-05,1.776395e-05,1.774924e-05,1.758064e-05,1.739879e-05,1.738792e-05,1.721845e-05,1.703969e-05,1.703257e-05,1.686255e-05,1.668710e-05,1.668361e-05,1.651337e-05,1.634141e-05,1.600627e-05,1.567846e-05,1.535818e-05,1.504561e-05,1.474087e-05,1.444406e-05,1.415524e-05,1.387446e-05,1.360171e-05,1.333699e-05,1.308026e-05,1.283148e-05,1.259056e-05,1.235743e-05,1.213199e-05,1.191415e-05,1.170377e-05,1.150074e-05,1.130492e-05,1.111617e-05,1.093436e-05,1.075934e-05,1.059095e-05,1.042904e-05,1.027345e-05,1.012404e-05,9.980632e-06,9.843079e-06,9.711220e-06,9.584897e-06,9.463954e-06,9.348235e-06,9.237584e-06,9.131850e-06,9.030881e-06,8.934528e-06,8.842645e-06,8.755087e-06,8.671712e-06,8.592381e-06,8.516958e-06,8.445308e-06,8.377299e-06,8.312805e-06,8.251699e-06,8.193859e-06,8.139165e-06,8.087500e-06,8.038751e-06
0.000000e+00,1.438166e-08,4.923447e-07,5.206273e-07,4.864777e-06,1.850333e-05,1.929621e-05,4.227753e-05,6.499234e-05,6.639501e-05,8.854000e-05,1.067731e-04,1.082638e-04,1.256865e-04,1.395646e-04,1.410079e-04,1.544250e-04,1.648021e-04,1.661203e-04,1.762609e-04,1.838554e-04,1.849998e-04,1.924768e-04,1.978757e-04,1.988192e-04,2.041431e-04,2.078229e-04,2.085538e-04,2.121470e-04,2.144914e-04,2.150092e-04,2.172185e-04,2.185342e-04,2.188455e-04,2.199537e-04,2.204845e-04,2.206005e-04,2.208376e-04,2.207768e-04,2.207114e-04,2.202639e-04,2.197639e-04,2.195325e-04,2.185512e-04,2.177320e-04,2.173504e-04,2.159574e-04,2.149129e-04,2.143966e-04,2.126902e-04,2.114938e-04,2.108577e-04,2.089171e-04,2.076256e-04,2.068839e-04,2.047726e-04,2.034299e-04,2.025958e-04,2.003648e-04,1.990045e-04,1.980898e-04,1.957799e-04,1.944274e-04,1.934432e-04,1.910868e-04,1.897611e-04,1.887173e-04,1.863402e-04,1.850553e-04,1.839607e-04,1.815832e-04,1.803491e-04,1.792118e-04,1.768499e-04,1.756736e-04,1.745007e-04,1.721668e-04,1.710527e-04,1.698506e-04,1.675542e-04,1.665050e-04,1.652794e-04,1.630278e-04,1.620448e-04,1.608007e-04,1.585993e-04,1.576826e-04,1.564245e-04,1.542772e-04,1.534261e-04,1.521580e-04,1.500675e-04,1.492808e-04,1.480062e-04,1.459743e-04,1.452501e-04,1.439722e-04,1.419999e-04,1.413362e-04,1.400577e-04,1.381455e-04,1.375399e-04,1.362633e-04,1.344111e-04,1.338612e-04,1.325887e-04,1.307961e-04,1.302994e-04,1.290329e-04,1.272991e-04,1.268531e-04,1.255944e-04,1.239184e-04,1.235205e-04,1.222711e-04,1.206519e-04,1.202995e-04,1.190607e-04,1.174971e-04,1.171877e-04,1.159608e-04,1.144514e-04,1.141825e-04,1.129686e-04,1.115120e-04,1.112814e-04,1.100813e-04,1.086761e-04,1.084814e-04,1.072961e-04,1.059408e-04,1.057798e-04,1.046100e-04,1.033031e-04,1.031738e-04,1.020200e-04,1.007602e-04,1.006604e-04,9.952327e-05,9.830896e-05,9.823681e-05,9.711687e-05,9.594665e-05,9.590029e-05,9.479793e-05,9.367037e-05,9.364803e-05,9.256362e-05,9.147734e-05,8.938555e-05,8.737007e-05,8.542836e-05,8.355797e-05,8.175648e-05,8.002157e-05,7.835096e-05,7.674248e-05,7.519397e-05,7.370339e-05,7.226872e-05,7.088805e-05,6.955948e-05,6.828121e-05,6.705148e-05,6.586860e-05,6.473093e-05,6.363689e-05,6.258493e-05,6.157358e-05,6.060141e-05,5.966703e-05,5.876912e-05,5.790636e-05,5.707753e-05,5.628141e-05,5.551684e-05,5.478270e-05,5.407789e-05,5.340138e-05,5.275215e-05,5.212922e-05,5.153165e-05,5.095851e-05,5.040895e-05,4.988209e-05,4.937713e-05,4.889327e-05,4.842974e-05,4.798581e-05,4.756075e-05,4.715389e-05,4.676455e-05,4.639209e-05,4.603590e-05,4.569538e-05,4.536994e-05,4.505903e-05,4.476213e-05
0.000000e+00,1.568333e-08,5.920349e-07,6.264540e-07,6.594472e-06,3.404053e-05,3.609480e-05,1.277450e-04,3.151391e-04,3.313382e-04,6.867853e-04,1.163821e-03,1.212164e-03,1.905635e-03,2.660993e-03,2.751874e-03,3.727848e-03,4.672974e-03,4.807018e-03,5.962182e-03,6.996484e-03,7.167288e-03,8.398509e-03,9.437444e-03,9.634816e-03,1.085819e-02,1.184107e-02,1.205360e-02,1.320888e-02,1.409769e-02,1.431445e-02,1.536305e-02,1.613800e-02,1.634947e-02,1.727023e-02,1.792480e-02,1.812331e-02,1.890792e-02,1.944453e-02,1.962425e-02,2.027331e-02,2.069986e-02,2.085671e-02,2.137657e-02,2.170397e-02,2.183535e-02,2.223577e-02,2.247618e-02,2.258070e-02,2.287314e-02,2.303885e-02,2.311610e-02,2.331259e-02,2.341534e-02,2.346561e-02,2.357804e-02,2.362862e-02,2.365273e-02,2.369237e-02,2.370042e-02,2.369957e-02,2.367682e-02,2.365083e-02,2.362646e-02,2.355074e-02,2.349804e-02,2.345174e-02,2.333147e-02,2.325833e-02,2.319177e-02,2.303441e-02,2.294614e-02,2.286101e-02,2.267311e-02,2.257417e-02,2.247213e-02,2.225943e-02,2.215352e-02,2.203622e-02,2.180369e-02,2.169389e-02,2.156291e-02,2.131487e-02,2.120369e-02,2.106053e-02,2.080074e-02,2.069020e-02,2.053631e-02,2.026799e-02,2.015973e-02,1.999647e-02,1.972240e-02,1.961771e-02,1.944637e-02,1.916894e-02,1.906881e-02,1.889060e-02,1.861184e-02,1.851705e-02,1.833309e-02,1.805475e-02,1.796583e-02,1.777719e-02,1.750075e-02,1.741809e-02,1.722575e-02,1.695246e-02,1.687628e-02,1.668115e-02,1.641207e-02,1.634250e-02,1.614543e-02,1.588143e-02,1.581849e-02,1.562025e-02,1.536206e-02,1.530567e-02,1.510700e-02,1.485520e-02,1.480525e-02,1.460679e-02,1.436186e-02,1.431816e-02,1.412052e-02,1.388284e-02,1.384515e-02,1.364889e-02,1.341874e-02,1.338682e-02,1.319243e-02,1.297001e-02,1.294358e-02,1.275151e-02,1.253697e-02,1.251573e-02,1.232639e-02,1.211980e-02,1.210344e-02,1.191720e-02,1.171860e-02,1.170681e-02,1.152399e-02,1.133336e-02,1.132582e-02,1.114671e-02,1.096401e-02,1.096040e-02,1.078525e-02,1.061041e-02,1.027566e-02,9.955905e-03,9.650883e-03,9.360287e-03,9.083788e-03,8.821038e-03,8.571674e-03,8.335321e-03,8.111594e-03,7.900105e-03,7.700460e-03,7.512268e-03,7.335135e-03,7.168673e-03,7.012494e-03,6.866216e-03,6.729463e-03,6.601865e-03,6.483058e-03,6.372686e-03,6.270403e-03,6.175868e-03,6.088747e-03,6.008719e-03,5.935466e-03,5.868680e-03,5.808063e-03,5.753322e-03,5.704176e-03,5.660349e-03,5.621574e-03,5.587592e-03,5.558152e-03,5.533009e-03,5.511926e-03,5.494674e-03,5.481031e-03,5.470780e-03,5.463713e-03,5.459629e-03,5.458333e-03,5.459635e-03,5.463355e-03,5.469315e-03,5.477347e-03,5.487288e-03,5.498978e-03,5.512268e-03,5.527011e-03
0.000000e+00,2.606478e-09,3.451447e-08,3.603473e-08,2.247043e-07,7.886578e-07,8.234757e-07,1.972050e-06,3.339611e-06,3.429810e-06,4.925504e-06,6.252976e-06,6.365450e-06,7.728662e-06,8.887219e-06,9.011972e-06,1.021649e-05,1.121305e-05,1.134444e-05,1.239844e-05,1.324781e-05,1.338122e-05,1.429561e-05,1.501293e-05,1.514446e-05,1.593064e-05,1.653055e-05,1.665701e-05,1.732635e-05,1.782260e-05,1.794140e-05,1.850484e-05,1.891015e-05,1.901924e-05,1.948710e-05,1.981303e-05,1.991082e-05,2.029272e-05,2.054970e-05,2.063500e-05,2.093980e-05,2.113719e-05,2.120915e-05,2.144499e-05,2.159115e-05,2.164920e-05,2.182355e-05,2.192593e-05,2.196975e-05,2.208944e-05,2.215466e-05,2.218415e-05,2.225539e-05,2.228932e-05,2.230457e-05,2.233306e-05,2.234090e-05,2.234214e-05,2.233303e-05,2.231932e-05,2.230689e-05,2.226485e-05,2.223359e-05,2.220795e-05,2.213720e-05,2.209190e-05,2.205358e-05,2.195799e-05,2.190169e-05,2.185129e-05,2.173430e-05,2.166966e-05,2.160781e-05,2.147255e-05,2.140186e-05,2.132924e-05,2.117854e-05,2.110377e-05,2.102108e-05,2.085747e-05,2.078029e-05,2.068826e-05,2.051399e-05,2.043584e-05,2.033517e-05,2.015229e-05,2.007437e-05,1.996579e-05,1.977611e-05,1.969944e-05,1.958366e-05,1.938882e-05,1.931423e-05,1.919195e-05,1.899339e-05,1.892156e-05,1.879347e-05,1.859248e-05,1.852395e-05,1.839071e-05,1.818843e-05,1.812364e-05,1.798589e-05,1.778333e-05,1.772259e-05,1.758096e-05,1.737900e-05,1.732255e-05,1.717764e-05,1.697706e-05,1.692505e-05,1.677742e-05,1.657889e-05,1.653142e-05,1.638161e-05,1.618572e-05,1.614282e-05,1.599134e-05,1.579859e-05,1.576024e-05,1.560757e-05,1.541840e-05,1.538455e-05,1.523115e-05,1.504591e-05,1.501646e-05,1.486276e-05,1.468177e-05,1.465661e-05,1.450300e-05,1.432651e-05,1.430549e-05,1.415235e-05,1.398056e-05,1.396351e-05,1.381118e-05,1.364426e-05,1.363101e-05,1.347982e-05,1.331789e-05,1.330825e-05,1.315849e-05,1.300163e-05,1.299541e-05,1.284734e-05,1.269563e-05,1.269262e-05,1.254650e-05,1.239996e-05,1.211745e-05,1.184508e-05,1.158279e-05,1.133052e-05,1.108814e-05,1.085552e-05,1.063250e-05,1.041891e-05,1.021457e-05,1.001926e-05,9.832785e-06,9.654910e-06,9.485411e-06,9.324052e-06,9.170598e-06,9.024807e-06,8.886437e-06,8.755247e-06,8.630994e-06,8.513438e-06,8.402340e-06,8.297464e-06,8.198577e-06,8.105447e-06,8.017850e-06,7.935564e-06,7.858371e-06,7.786059e-06,7.718419e-06,7.655250e-06,7.596353e-06,7.541537e-06,7.490614e-06,7.443403e-06,7.399729e-06,7.359419e-06,7.322310e-06,7.288241e-06,7.257057e-06,7.228611e-06,7.202756e-06,7.179355e-06,7.158274e-06,7.139384e-06,7.122562e-06,7.107687e-06,7.094646e-06,7.083329e-06,7.073631e-06
0.000000e+00,2.694537e-08,7.515261e-07,7.911645e-07,6.826244e-06,3.107566e-05,3.279716e-05,1.031385e-04,2.236986e-04,2.330894e-04,4.116391e-04,5.979523e-04,6.145746e-04,8.228474e-04,1.006294e-03,1.026262e-03,1.220434e-03,1.382404e-03,1.403824e-03,1.576096e-03,1.715460e-03,1.737391e-03,1.888025e-03,2.006601e-03,2.028385e-03,2.158879e-03,2.258817e-03,2.279927e-03,2.391947e-03,2.475339e-03,2.495349e-03,2.590540e-03,2.659342e-03,2.677913e-03,2.757850e-03,2.813857e-03,2.830721e-03,2.896883e-03,2.941725e-03,2.956678e-03,3.010437e-03,3.045584e-03,3.058476e-03,3.101100e-03,3.127870e-03,3.138598e-03,3.171250e-03,3.190821e-03,3.199321e-03,3.223068e-03,3.236490e-03,3.242733e-03,3.258550e-03,3.266756e-03,3.270741e-03,3.279519e-03,3.283336e-03,3.285085e-03,3.287635e-03,3.287793e-03,3.287351e-03,3.284411e-03,3.281554e-03,3.278981e-03,3.271221e-03,3.265916e-03,3.261285e-03,3.249316e-03,3.242056e-03,3.235452e-03,3.219826e-03,3.211045e-03,3.202561e-03,3.183776e-03,3.173849e-03,3.163585e-03,3.142094e-03,3.131347e-03,3.119405e-03,3.095616e-03,3.084329e-03,3.070817e-03,3.045097e-03,3.033509e-03,3.018537e-03,2.991216e-03,2.979533e-03,2.963209e-03,2.934585e-03,2.922977e-03,2.905411e-03,2.875750e-03,2.864363e-03,2.845661e-03,2.815202e-03,2.804156e-03,2.784424e-03,2.753379e-03,2.742771e-03,2.722113e-03,2.690672e-03,2.680580e-03,2.659097e-03,2.627428e-03,2.617914e-03,2.595702e-03,2.563954e-03,2.555065e-03,2.532217e-03,2.500523e-03,2.492293e-03,2.468900e-03,2.437374e-03,2.429826e-03,2.405972e-03,2.374718e-03,2.367864e-03,2.343632e-03,2.312737e-03,2.306582e-03,2.282051e-03,2.251591e-03,2.246134e-03,2.221375e-03,2.191418e-03,2.186650e-03,2.161734e-03,2.132335e-03,2.128243e-03,2.103235e-03,2.074443e-03,2.071009e-03,2.045970e-03,2.017825e-03,2.015029e-03,1.990017e-03,1.962552e-03,1.960370e-03,1.935438e-03,1.908680e-03,1.907086e-03,1.882284e-03,1.856255e-03,1.855221e-03,1.830596e-03,1.805311e-03,1.804809e-03,1.780403e-03,1.755875e-03,1.708435e-03,1.662500e-03,1.618074e-03,1.575155e-03,1.533738e-03,1.493810e-03,1.455357e-03,1.418363e-03,1.382806e-03,1.348664e-03,1.315912e-03,1.284523e-03,1.254468e-03,1.225720e-03,1.198247e-03,1.172019e-03,1.147004e-03,1.123170e-03,1.100484e-03,1.078915e-03,1.058430e-03,1.038996e-03,1.020581e-03,1.003153e-03,9.866808e-04,9.711325e-04,9.564772e-04,9.426844e-04,9.297239e-04,9.175662e-04,9.061822e-04,8.955434e-04,8.856218e-04,8.763900e-04,8.678212e-04,8.598891e-04,8.525682e-04,8.458334e-04,8.396602e-04,8.340249e-04,8.289041e-04,8.242751e-04,8.201160e-04,8.164052e-04,8.131217e-04,8.102453e-04,8.077561e-04,8.056348e-04,8.038629e-04
0.000000e+00,1.572486e-08,2.733787e-07,2.861120e-07,2.041279e-06,8.448859e-06,8.885433e-06,2.529159e-05,4.834798e-05,4.994120e-05,7.666122e-05,9.999757e-05,1.019366e-04,1.248436e-04,1.433584e-04,1.452962e-04,1.634213e-04,1.775849e-04,1.793939e-04,1.933920e-04,2.039804e-04,2.055848e-04,2.161303e-04,2.238231e-04,2.251752e-04,2.328549e-04,2.382220e-04,2.392951e-04,2.446116e-04,2.481281e-04,2.489116e-04,2.522935e-04,2.543527e-04,2.548480e-04,2.566582e-04,2.575833e-04,2.578003e-04,2.583438e-04,2.583984e-04,2.583525e-04,2.578843e-04,2.572817e-04,2.569920e-04,2.557237e-04,2.546358e-04,2.541232e-04,2.522301e-04,2.507941e-04,2.500803e-04,2.477066e-04,2.460320e-04,2.451390e-04,2.424041e-04,2.405773e-04,2.395262e-04,2.365273e-04,2.346159e-04,2.334271e-04,2.302436e-04,2.283001e-04,2.269926e-04,2.236888e-04,2.217535e-04,2.203450e-04,2.169730e-04,2.150763e-04,2.135832e-04,2.101850e-04,2.083494e-04,2.067867e-04,2.033957e-04,2.016375e-04,2.000186e-04,1.966614e-04,1.949918e-04,1.933291e-04,1.900263e-04,1.884527e-04,1.867571e-04,1.835249e-04,1.820514e-04,1.803328e-04,1.771834e-04,1.758117e-04,1.740788e-04,1.710211e-04,1.697512e-04,1.680118e-04,1.650523e-04,1.638827e-04,1.621436e-04,1.592865e-04,1.582145e-04,1.564818e-04,1.537298e-04,1.527521e-04,1.510309e-04,1.483852e-04,1.474978e-04,1.457928e-04,1.432536e-04,1.424522e-04,1.407673e-04,1.383337e-04,1.376139e-04,1.359525e-04,1.336232e-04,1.329802e-04,1.313453e-04,1.291183e-04,1.285475e-04,1.269415e-04,1.248143e-04,1.243111e-04,1.227361e-04,1.207061e-04,1.202660e-04,1.187237e-04,1.167880e-04,1.164064e-04,1.148983e-04,1.130538e-04,1.127265e-04,1.112537e-04,1.094972e-04,1.092202e-04,1.077836e-04,1.061119e-04,1.058812e-04,1.044814e-04,1.028914e-04,1.027032e-04,1.013408e-04,9.982909e-05,9.968001e-05,9.835531e-05,9.691872e-05,9.680538e-05,9.551852e-05,9.415395e-05,9.407319e-05,9.282422e-05,9.152858e-05,9.147745e-05,9.026627e-05,8.903657e-05,8.901231e-05,8.783875e-05,8.667207e-05,8.445122e-05,8.234442e-05,8.034652e-05,7.845253e-05,7.665767e-05,7.495736e-05,7.334716e-05,7.182284e-05,7.038036e-05,6.901580e-05,6.772547e-05,6.650579e-05,6.535336e-05,6.426494e-05,6.323740e-05,6.226780e-05,6.135328e-05,6.049116e-05,5.967885e-05,5.891388e-05,5.819391e-05,5.751670e-05,5.688012e-05,5.628212e-05,5.572077e-05,5.519422e-05,5.470070e-05,5.423854e-05,5.380612e-05,5.340193e-05,5.302451e-05,5.267248e-05,5.234452e-05,5.203936e-05,5.175581e-05,5.149274e-05,5.124905e-05,5.102372e-05,5.081575e-05,5.062422e-05,5.044823e-05,5.028692e-05,5.013950e-05,5.000520e-05,4.988327e-05,4.977303e-05,4.967382e-05,4.958500e-05,4.950597e-05
0.000000e+00,2.089334e-09,2.663209e-08,2.777274e-08,1.625293e-07,5.414838e-07,5.644642e-07,1.322422e-06,2.236754e-06,2.296783e-06,3.267021e-06,4.071096e-06,4.136337e-06,4.889156e-06,5.472471e-06,5.532133e-06,6.076258e-06,6.482146e-06,6.532622e-06,6.911415e-06,7.182167e-06,7.221825e-06,7.472088e-06,7.641222e-06,7.669545e-06,7.820738e-06,7.914296e-06,7.931485e-06,8.006953e-06,8.045026e-06,8.051727e-06,8.069866e-06,8.067850e-06,8.064962e-06,8.040189e-06,8.009808e-06,7.998346e-06,7.941904e-06,7.892025e-06,7.873035e-06,7.793652e-06,7.730939e-06,7.705437e-06,7.609864e-06,7.539286e-06,7.508229e-06,7.401664e-06,7.326897e-06,7.291163e-06,7.177592e-06,7.101325e-06,7.061708e-06,6.944169e-06,6.868344e-06,6.825549e-06,6.706346e-06,6.632337e-06,6.586988e-06,6.467849e-06,6.396605e-06,6.349248e-06,6.231458e-06,6.163606e-06,6.114715e-06,5.999217e-06,5.935145e-06,5.885131e-06,5.772600e-06,5.712521e-06,5.661739e-06,5.552645e-06,5.496640e-06,5.445395e-06,5.340051e-06,5.288109e-06,5.236661e-06,5.135262e-06,5.087305e-06,5.035877e-06,4.938524e-06,4.894426e-06,4.843209e-06,4.749933e-06,4.709537e-06,4.658692e-06,4.569475e-06,4.532604e-06,4.482267e-06,4.397051e-06,4.363517e-06,4.313804e-06,4.232503e-06,4.202113e-06,4.153121e-06,4.075629e-06,4.048189e-06,3.999997e-06,3.926195e-06,3.901514e-06,3.854191e-06,3.783950e-06,3.761841e-06,3.715441e-06,3.648629e-06,3.628911e-06,3.583479e-06,3.519959e-06,3.502460e-06,3.458033e-06,3.397667e-06,3.382223e-06,3.338828e-06,3.281482e-06,3.267937e-06,3.225595e-06,3.171135e-06,3.159342e-06,3.118069e-06,3.066364e-06,3.056184e-06,3.015990e-06,2.966914e-06,2.958216e-06,2.919107e-06,2.872537e-06,2.865199e-06,2.827176e-06,2.782995e-06,2.776902e-06,2.739965e-06,2.698057e-06,2.693103e-06,2.657246e-06,2.617503e-06,2.613587e-06,2.578804e-06,2.541121e-06,2.538150e-06,2.504431e-06,2.468708e-06,2.466595e-06,2.433929e-06,2.400070e-06,2.398734e-06,2.367108e-06,2.335021e-06,2.334388e-06,2.303787e-06,2.273385e-06,2.215561e-06,2.160761e-06,2.108835e-06,2.059641e-06,2.013046e-06,1.968918e-06,1.927137e-06,1.887586e-06,1.850153e-06,1.814733e-06,1.781226e-06,1.749535e-06,1.719570e-06,1.691244e-06,1.664475e-06,1.639185e-06,1.615298e-06,1.592745e-06,1.571459e-06,1.551374e-06,1.532430e-06,1.514570e-06,1.497737e-06,1.481881e-06,1.466950e-06,1.452899e-06,1.439681e-06,1.427254e-06,1.415578e-06,1.404614e-06,1.394324e-06,1.384675e-06,1.375633e-06,1.367166e-06,1.359245e-06,1.351841e-06,1.344927e-06,1.338477e-06,1.332467e-06,1.326873e-06,1.321674e-06,1.316848e-06,1.312376e-06,1.308238e-06,1.304417e-06,1.300895e-06,1.297656e-06,1.294685e-06,1.291966e-06
0.000000e+00,4.106240e-10,4.980130e-09,5.189936e-09,2.969229e-08,9.727527e-08,1.013201e-07,2.315927e-07,3.832974e-07,3.931906e-07,5.544357e-07,6.923425e-07,7.037804e-07,8.391827e-07,9.493649e-07,9.609499e-07,1.069894e-06,1.155872e-06,1.166914e-06,1.252895e-06,1.318657e-06,1.328684e-06,1.395084e-06,1.444157e-06,1.452849e-06,1.502687e-06,1.538103e-06,1.545257e-06,1.581175e-06,1.605505e-06,1.611012e-06,1.635299e-06,1.650706e-06,1.654525e-06,1.669144e-06,1.677432e-06,1.679575e-06,1.686206e-06,1.688876e-06,1.689392e-06,1.689464e-06,1.687758e-06,1.686724e-06,1.681452e-06,1.676393e-06,1.673903e-06,1.664315e-06,1.656743e-06,1.652907e-06,1.639878e-06,1.630481e-06,1.625412e-06,1.609676e-06,1.599011e-06,1.592826e-06,1.575001e-06,1.563518e-06,1.556332e-06,1.536936e-06,1.524996e-06,1.516923e-06,1.496390e-06,1.484279e-06,1.475428e-06,1.454118e-06,1.442062e-06,1.432537e-06,1.410751e-06,1.398924e-06,1.388823e-06,1.366808e-06,1.355344e-06,1.344758e-06,1.322719e-06,1.311716e-06,1.300731e-06,1.278831e-06,1.268361e-06,1.257054e-06,1.235430e-06,1.225541e-06,1.213985e-06,1.192742e-06,1.183465e-06,1.171724e-06,1.150948e-06,1.142299e-06,1.130431e-06,1.110188e-06,1.102170e-06,1.090231e-06,1.070569e-06,1.063178e-06,1.051214e-06,1.032171e-06,1.025393e-06,1.013447e-06,9.950479e-07,9.888667e-07,9.769769e-07,9.592372e-07,9.536308e-07,9.418307e-07,9.247588e-07,9.197025e-07,9.080218e-07,8.916196e-07,8.870869e-07,8.755514e-07,8.598158e-07,8.557789e-07,8.444110e-07,8.293347e-07,8.257650e-07,8.145842e-07,8.001564e-07,7.970253e-07,7.860481e-07,7.722556e-07,7.695347e-07,7.587751e-07,7.456024e-07,7.432637e-07,7.327334e-07,7.201636e-07,7.181799e-07,7.078884e-07,6.959033e-07,6.942483e-07,6.842035e-07,6.727842e-07,6.714325e-07,6.616405e-07,6.507674e-07,6.496948e-07,6.401600e-07,6.298134e-07,6.289968e-07,6.197225e-07,6.098824e-07,6.092999e-07,6.002882e-07,5.909348e-07,5.905656e-07,5.818174e-07,5.729311e-07,5.727557e-07,5.642710e-07,5.558324e-07,5.397586e-07,5.244982e-07,5.100157e-07,4.962770e-07,4.832486e-07,4.708984e-07,4.591954e-07,4.481095e-07,4.376120e-07,4.276750e-07,4.182721e-07,4.093777e-07,4.009674e-07,3.930176e-07,3.855061e-07,3.784115e-07,3.717131e-07,3.653917e-07,3.594283e-07,3.538053e-07,3.485057e-07,3.435133e-07,3.388126e-07,3.343889e-07,3.302282e-07,3.263173e-07,3.226432e-07,3.191940e-07,3.159581e-07,3.129246e-07,3.100830e-07,3.074234e-07,3.049363e-07,3.026127e-07,3.004441e-07,2.984224e-07,2.965398e-07,2.947889e-07,2.931628e-07,2.916549e-07,2.902586e-07,2.889682e-07,2.877778e-07,2.866821e-07,2.856758e-07,2.847541e-07,2.839123e-07,2.831460e-07,2.824509e-07
0.000000e+00,8.543579e-10,1.377775e-08,1.442763e-08,9.612043e-08,3.123988e-07,3.242992e-07,6.560659e-07,9.793217e-07,9.995456e-07,1.325791e-06,1.606471e-06,1.629982e-06,1.911972e-06,2.147420e-06,2.172539e-06,2.412649e-06,2.607813e-06,2.633296e-06,2.835475e-06,2.995326e-06,3.020166e-06,3.188336e-06,3.317520e-06,3.340925e-06,3.478850e-06,3.581622e-06,3.602988e-06,3.714186e-06,3.794372e-06,3.813253e-06,3.900958e-06,3.961958e-06,3.978041e-06,4.045192e-06,4.089988e-06,4.103066e-06,4.152287e-06,4.183486e-06,4.193442e-06,4.227090e-06,4.246962e-06,4.253752e-06,4.273924e-06,4.284432e-06,4.288070e-06,4.296630e-06,4.299472e-06,4.300017e-06,4.298620e-06,4.295254e-06,4.292803e-06,4.282909e-06,4.274588e-06,4.269263e-06,4.252166e-06,4.239959e-06,4.231904e-06,4.208743e-06,4.193560e-06,4.182934e-06,4.154713e-06,4.137326e-06,4.124298e-06,4.091897e-06,4.072958e-06,4.057704e-06,4.021898e-06,4.001952e-06,3.984649e-06,3.946116e-06,3.925620e-06,3.906446e-06,3.865777e-06,3.845109e-06,3.824239e-06,3.781951e-06,3.761420e-06,3.739026e-06,3.695569e-06,3.675426e-06,3.651676e-06,3.607437e-06,3.587885e-06,3.562938e-06,3.518255e-06,3.499451e-06,3.473461e-06,3.428624e-06,3.410691e-06,3.383804e-06,3.339060e-06,3.322088e-06,3.294444e-06,3.250004e-06,3.234058e-06,3.205786e-06,3.161831e-06,3.146953e-06,3.118176e-06,3.074855e-06,3.061069e-06,3.031901e-06,2.989342e-06,2.976655e-06,2.947204e-06,2.905510e-06,2.893918e-06,2.864281e-06,2.823537e-06,2.813024e-06,2.783293e-06,2.743567e-06,2.734111e-06,2.704369e-06,2.665713e-06,2.657283e-06,2.627608e-06,2.590063e-06,2.582622e-06,2.553085e-06,2.516680e-06,2.510188e-06,2.480853e-06,2.445607e-06,2.440022e-06,2.410945e-06,2.376870e-06,2.372146e-06,2.343382e-06,2.310480e-06,2.306572e-06,2.278166e-06,2.246436e-06,2.243296e-06,2.215290e-06,2.184725e-06,2.182305e-06,2.154737e-06,2.125324e-06,2.123577e-06,2.096481e-06,2.068203e-06,2.067084e-06,2.040487e-06,2.013326e-06,2.012789e-06,1.986716e-06,1.960651e-06,1.910625e-06,1.862662e-06,1.816711e-06,1.772719e-06,1.730629e-06,1.690386e-06,1.651933e-06,1.615212e-06,1.580166e-06,1.546738e-06,1.514872e-06,1.484511e-06,1.455601e-06,1.428087e-06,1.401917e-06,1.377038e-06,1.353400e-06,1.330953e-06,1.309650e-06,1.289444e-06,1.270289e-06,1.252142e-06,1.234959e-06,1.218701e-06,1.203327e-06,1.188798e-06,1.175079e-06,1.162132e-06,1.149924e-06,1.138421e-06,1.127591e-06,1.117405e-06,1.107831e-06,1.098843e-06,1.090411e-06,1.082512e-06,1.075118e-06,1.068206e-06,1.061754e-06,1.055738e-06,1.050137e-06,1.044932e-06,1.040102e-06,1.035628e-06,1.031494e-06,1.027681e-06,1.024173e-06,1.020954e-06,1.018011e-06
0.000000e+00,5.116976e-10,6.453299e-09,6.732715e-09,4.091937e-08,1.405509e-07,1.465951e-07,3.397764e-07,5.587333e-07,5.729123e-07,8.047993e-07,1.006223e-06,1.023110e-06,1.225512e-06,1.394099e-06,1.412055e-06,1.583355e-06,1.722087e-06,1.740165e-06,1.883262e-06,1.995943e-06,2.013413e-06,2.131374e-06,2.221573e-06,2.237872e-06,2.333607e-06,2.404553e-06,2.419255e-06,2.495459e-06,2.550037e-06,2.562834e-06,2.621961e-06,2.662712e-06,2.673395e-06,2.717664e-06,2.746822e-06,2.755263e-06,2.786663e-06,2.806168e-06,2.812305e-06,2.832608e-06,2.844141e-06,2.847963e-06,2.858741e-06,2.863749e-06,2.865289e-06,2.867932e-06,2.867657e-06,2.866978e-06,2.862713e-06,2.858216e-06,2.855407e-06,2.845314e-06,2.837502e-06,2.832670e-06,2.817698e-06,2.807337e-06,2.800605e-06,2.781585e-06,2.769325e-06,2.760821e-06,2.738482e-06,2.724867e-06,2.714727e-06,2.689705e-06,2.675191e-06,2.663554e-06,2.636403e-06,2.621368e-06,2.608372e-06,2.579573e-06,2.564329e-06,2.550110e-06,2.520080e-06,2.504881e-06,2.489574e-06,2.458674e-06,2.443725e-06,2.427458e-06,2.395998e-06,2.381463e-06,2.364361e-06,2.332607e-06,2.318613e-06,2.300794e-06,2.268973e-06,2.255618e-06,2.237194e-06,2.205499e-06,2.192855e-06,2.173931e-06,2.142525e-06,2.130641e-06,2.111317e-06,2.080336e-06,2.069245e-06,2.049612e-06,2.019170e-06,2.008888e-06,1.989032e-06,1.959221e-06,1.949753e-06,1.929754e-06,1.900649e-06,1.891991e-06,1.871921e-06,1.843582e-06,1.835718e-06,1.815644e-06,1.788118e-06,1.781029e-06,1.761011e-06,1.734332e-06,1.727993e-06,1.708087e-06,1.682280e-06,1.676661e-06,1.656915e-06,1.631997e-06,1.627067e-06,1.607526e-06,1.583505e-06,1.579229e-06,1.559934e-06,1.536812e-06,1.533154e-06,1.514139e-06,1.491914e-06,1.488839e-06,1.470135e-06,1.448800e-06,1.446269e-06,1.427905e-06,1.407447e-06,1.405425e-06,1.387423e-06,1.367829e-06,1.366280e-06,1.348660e-06,1.329913e-06,1.328801e-06,1.311581e-06,1.293661e-06,1.292953e-06,1.276147e-06,1.259033e-06,1.258695e-06,1.242314e-06,1.225985e-06,1.194778e-06,1.165029e-06,1.136690e-06,1.109713e-06,1.084051e-06,1.059655e-06,1.036479e-06,1.014473e-06,9.935926e-07,9.737912e-07,9.550241e-07,9.372476e-07,9.204189e-07,9.044965e-07,8.894402e-07,8.752109e-07,8.617709e-07,8.490837e-07,8.371141e-07,8.258281e-07,8.151933e-07,8.051781e-07,7.957525e-07,7.868875e-07,7.785553e-07,7.707294e-07,7.633843e-07,7.564956e-07,7.500400e-07,7.439953e-07,7.383400e-07,7.330540e-07,7.281178e-07,7.235129e-07,7.192217e-07,7.152272e-07,7.115135e-07,7.080653e-07,7.048681e-07,7.019080e-07,6.991718e-07,6.966470e-07,6.943218e-07,6.921847e-07,6.902250e-07,6.884325e-07,6.867976e-07,6.853108e-07,6.839636e-07
0.000000e+00,2.307248e-06,8.767151e-05,9.283168e-05,1.043086e-03,5.930095e-03,6.314621e-03,2.473831e-02,6.602942e-02,6.972569e-02,1.537070e-01,2.718198e-01,2.840304e-01,4.628645e-01,6.639578e-01,6.885254e-01,9.567900e-01,1.223572e+00,1.261923e+00,1.597433e+00,1.905141e+00,1.956600e+00,2.332846e+00,2.657544e+00,2.719975e+00,3.112316e+00,3.434356e+00,3.504810e+00,3.893036e+00,4.197981e+00,4.273212e+00,4.642172e+00,4.920487e+00,4.997322e+00,5.336598e+00,5.582841e+00,5.658417e+00,5.961617e+00,6.173523e+00,6.245412e+00,6.509337e+00,6.686945e+00,6.753204e+00,6.977052e+00,7.121954e+00,7.181118e+00,7.365797e+00,7.480568e+00,7.531612e+00,7.679183e+00,7.766922e+00,7.809207e+00,7.922436e+00,7.986453e+00,8.019662e+00,8.101700e+00,8.145298e+00,8.169376e+00,8.223516e+00,8.249845e+00,8.264941e+00,8.294454e+00,8.306424e+00,8.312840e+00,8.320862e+00,8.321102e+00,8.319253e+00,8.308720e+00,8.299560e+00,8.289937e+00,8.263548e+00,8.247023e+00,8.230163e+00,8.190364e+00,8.168231e+00,8.144697e+00,8.093679e+00,8.067435e+00,8.037799e+00,7.977512e+00,7.948420e+00,7.913249e+00,7.845412e+00,7.814529e+00,7.774377e+00,7.700495e+00,7.668696e+00,7.624096e+00,7.545485e+00,7.513486e+00,7.464947e+00,7.382747e+00,7.351127e+00,7.299131e+00,7.214328e+00,7.183550e+00,7.128550e+00,7.041993e+00,7.012418e+00,6.954838e+00,6.867254e+00,6.839163e+00,6.779397e+00,6.691409e+00,6.665007e+00,6.603422e+00,6.515558e+00,6.490993e+00,6.427928e+00,6.340635e+00,6.318005e+00,6.253772e+00,6.167427e+00,6.146790e+00,6.081677e+00,5.996594e+00,5.977971e+00,5.912243e+00,5.828684e+00,5.812072e+00,5.745971e+00,5.664152e+00,5.649523e+00,5.583271e+00,5.503367e+00,5.490676e+00,5.424476e+00,5.346628e+00,5.335815e+00,5.269853e+00,5.194173e+00,5.185167e+00,5.119612e+00,5.046186e+00,5.038907e+00,4.973913e+00,4.902805e+00,4.897167e+00,4.832874e+00,4.764129e+00,4.760042e+00,4.696578e+00,4.630224e+00,4.627595e+00,4.565074e+00,4.501128e+00,4.499861e+00,4.438387e+00,4.376851e+00,4.258558e+00,4.144955e+00,4.036003e+00,3.931648e+00,3.831828e+00,3.736469e+00,3.645491e+00,3.558808e+00,3.476328e+00,3.397954e+00,3.323585e+00,3.253117e+00,3.186445e+00,3.123459e+00,3.064049e+00,3.008104e+00,2.955510e+00,2.906154e+00,2.859922e+00,2.816700e+00,2.776374e+00,2.738830e+00,2.703955e+00,2.671635e+00,2.641760e+00,2.614218e+00,2.588899e+00,2.565696e+00,2.544503e+00,2.525213e+00,2.507725e+00,2.491938e+00,2.477753e+00,2.465073e+00,2.453805e+00,2.443858e+00,2.435142e+00,2.427573e+00,2.421066e+00,2.415542e+00,2.410924e+00,2.407138e+00,2.404113e+00,2.401780e+00,2.400076e+00,2.398938e+00,2.398308e+00,2.398131e+00,2.398354e+00
0.000000e+00,5.460699e-08,1.347584e-06,1.416655e-06,1.145879e-05,4.822679e-05,5.070987e-05,1.441143e-04,2.823066e-04,2.923000e-04,4.690244e-04,6.371667e-04,6.517198e-04,8.309440e-04,9.868939e-04,1.003877e-03,1.169811e-03,1.309937e-03,1.328618e-03,1.480340e-03,1.605230e-03,1.625078e-03,1.762969e-03,1.873620e-03,1.894169e-03,2.018850e-03,2.116350e-03,2.137192e-03,2.249380e-03,2.334826e-03,2.355602e-03,2.456048e-03,2.530507e-03,2.550906e-03,2.640362e-03,2.704850e-03,2.724601e-03,2.803804e-03,2.859276e-03,2.878148e-03,2.947807e-03,2.995155e-03,3.012949e-03,3.073740e-03,3.113791e-03,3.130340e-03,3.182907e-03,3.216426e-03,3.231592e-03,3.276543e-03,3.304236e-03,3.317905e-03,3.355816e-03,3.378332e-03,3.390414e-03,3.421829e-03,3.439764e-03,3.450189e-03,3.475619e-03,3.489520e-03,3.498238e-03,3.518162e-03,3.528528e-03,3.535505e-03,3.550376e-03,3.557663e-03,3.562880e-03,3.573120e-03,3.577744e-03,3.581195e-03,3.587202e-03,3.589538e-03,3.591232e-03,3.593375e-03,3.593767e-03,3.593719e-03,3.592347e-03,3.591103e-03,3.589340e-03,3.584777e-03,3.582176e-03,3.578733e-03,3.571281e-03,3.567575e-03,3.562493e-03,3.552435e-03,3.547849e-03,3.541175e-03,3.528774e-03,3.523509e-03,3.515296e-03,3.500798e-03,3.495033e-03,3.485338e-03,3.468970e-03,3.462866e-03,3.451748e-03,3.433722e-03,3.427419e-03,3.414942e-03,3.395456e-03,3.389078e-03,3.375308e-03,3.354543e-03,3.348199e-03,3.333202e-03,3.311327e-03,3.305112e-03,3.288957e-03,3.266129e-03,3.260123e-03,3.242880e-03,3.219244e-03,3.213517e-03,3.195254e-03,3.170943e-03,3.165555e-03,3.146342e-03,3.121480e-03,3.116479e-03,3.096386e-03,3.071086e-03,3.066512e-03,3.045607e-03,3.019974e-03,3.015860e-03,2.994211e-03,2.968342e-03,2.964712e-03,2.942387e-03,2.916368e-03,2.913242e-03,2.890305e-03,2.864217e-03,2.861608e-03,2.838124e-03,2.812041e-03,2.809956e-03,2.785987e-03,2.759978e-03,2.758419e-03,2.734027e-03,2.708151e-03,2.707118e-03,2.682362e-03,2.656675e-03,2.656162e-03,2.631101e-03,2.605653e-03,2.555680e-03,2.506324e-03,2.457659e-03,2.409748e-03,2.362652e-03,2.316420e-03,2.271098e-03,2.226725e-03,2.183335e-03,2.140957e-03,2.099616e-03,2.059331e-03,2.020119e-03,1.981992e-03,1.944960e-03,1.909028e-03,1.874200e-03,1.840476e-03,1.807855e-03,1.776332e-03,1.745901e-03,1.716555e-03,1.688284e-03,1.661077e-03,1.634920e-03,1.609801e-03,1.585704e-03,1.562613e-03,1.540512e-03,1.519381e-03,1.499204e-03,1.479960e-03,1.461630e-03,1.444193e-03,1.427629e-03,1.411916e-03,1.397033e-03,1.382959e-03,1.369671e-03,1.357147e-03,1.345366e-03,1.334304e-03,1.323940e-03,1.314252e-03,1.305217e-03,1.296813e-03,1.289017e-03,1.281810e-03,1.275167e-03
0.000000e+00,3.737331e-09,1.560322e-07,1.656218e-07,2.067838e-06,1.239118e-05,1.321093e-05,5.227312e-05,1.366433e-04,1.439937e-04,3.040567e-04,5.123952e-04,5.330616e-04,8.210502e-04,1.118526e-03,1.153292e-03,1.514189e-03,1.844050e-03,1.889409e-03,2.266841e-03,2.585801e-03,2.636864e-03,2.992233e-03,3.275599e-03,3.327800e-03,3.640165e-03,3.877554e-03,3.927332e-03,4.188398e-03,4.378378e-03,4.423277e-03,4.632484e-03,4.778434e-03,4.816954e-03,4.977899e-03,5.085334e-03,5.116707e-03,5.234859e-03,5.309880e-03,5.333865e-03,5.415226e-03,5.463699e-03,5.480398e-03,5.530774e-03,5.557944e-03,5.567675e-03,5.592339e-03,5.602715e-03,5.605923e-03,5.609504e-03,5.606879e-03,5.604087e-03,5.590599e-03,5.578130e-03,5.569897e-03,5.542764e-03,5.523029e-03,5.509917e-03,5.472006e-03,5.447080e-03,5.429627e-03,5.383318e-03,5.354853e-03,5.333569e-03,5.280823e-03,5.250128e-03,5.225483e-03,5.167912e-03,5.136015e-03,5.108442e-03,5.047371e-03,5.015071e-03,4.984967e-03,4.921477e-03,4.889393e-03,4.857119e-03,4.792092e-03,4.760694e-03,4.726575e-03,4.660730e-03,4.630372e-03,4.594702e-03,4.528622e-03,4.499561e-03,4.462606e-03,4.396760e-03,4.369178e-03,4.331177e-03,4.265941e-03,4.239961e-03,4.201128e-03,4.136803e-03,4.112500e-03,4.073026e-03,4.009849e-03,3.987261e-03,3.947317e-03,3.885471e-03,3.864606e-03,3.824345e-03,3.763970e-03,3.744813e-03,3.704371e-03,3.645571e-03,3.628090e-03,3.587589e-03,3.530440e-03,3.514589e-03,3.474136e-03,3.418689e-03,3.404414e-03,3.364105e-03,3.310390e-03,3.297628e-03,3.257548e-03,3.205580e-03,3.194265e-03,3.154488e-03,3.104270e-03,3.094331e-03,3.054924e-03,3.006446e-03,2.997812e-03,2.958832e-03,2.912077e-03,2.904676e-03,2.866175e-03,2.821119e-03,2.814878e-03,2.776901e-03,2.733513e-03,2.728362e-03,2.690948e-03,2.649195e-03,2.645064e-03,2.608246e-03,2.568091e-03,2.564913e-03,2.528721e-03,2.490124e-03,2.487833e-03,2.452291e-03,2.415211e-03,2.413743e-03,2.378874e-03,2.343269e-03,2.342564e-03,2.308384e-03,2.274210e-03,2.208598e-03,2.145643e-03,2.085262e-03,2.027370e-03,1.971885e-03,1.918726e-03,1.867814e-03,1.819071e-03,1.772421e-03,1.727788e-03,1.685102e-03,1.644292e-03,1.605288e-03,1.568026e-03,1.532441e-03,1.498470e-03,1.466053e-03,1.435132e-03,1.405649e-03,1.377550e-03,1.350783e-03,1.325296e-03,1.301039e-03,1.277965e-03,1.256028e-03,1.235183e-03,1.215387e-03,1.196599e-03,1.178779e-03,1.161887e-03,1.145887e-03,1.130743e-03,1.116419e-03,1.102882e-03,1.090100e-03,1.078042e-03,1.066677e-03,1.055976e-03,1.045912e-03,1.036457e-03,1.027585e-03,1.019272e-03,1.011492e-03,1.004223e-03,9.974412e-04,9.911260e-04,9.852560e-04,9.798112e-04,9.747719e-04
0.000000e+00,1.359279e-08,3.128018e-07,3.283169e-07,2.365078e-06,8.610990e-06,9.000676e-06,2.242397e-05,4.036853e-05,4.161988e-05,6.279364e-05,8.080653e-05,8.224748e-05,9.833165e-05,1.098467e-04,1.109673e-04,1.206307e-04,1.271124e-04,1.278700e-04,1.331688e-04,1.364799e-04,1.369258e-04,1.394616e-04,1.408372e-04,1.410328e-04,1.418438e-04,1.420568e-04,1.420573e-04,1.418027e-04,1.413317e-04,1.411826e-04,1.402785e-04,1.394183e-04,1.391552e-04,1.378637e-04,1.367951e-04,1.364448e-04,1.349305e-04,1.337637e-04,1.333462e-04,1.317122e-04,1.305139e-04,1.300442e-04,1.283549e-04,1.271650e-04,1.266541e-04,1.249496e-04,1.237916e-04,1.232475e-04,1.215528e-04,1.204400e-04,1.198690e-04,1.181991e-04,1.171387e-04,1.165454e-04,1.149096e-04,1.139049e-04,1.132930e-04,1.116966e-04,1.107488e-04,1.101212e-04,1.085673e-04,1.076760e-04,1.070352e-04,1.055251e-04,1.046891e-04,1.040372e-04,1.025715e-04,1.017892e-04,1.011279e-04,9.970638e-05,9.897589e-05,9.830683e-05,9.692906e-05,9.624828e-05,9.557289e-05,9.423811e-05,9.360495e-05,9.292451e-05,9.163185e-05,9.104419e-05,9.035988e-05,8.910836e-05,8.856410e-05,8.787703e-05,8.666563e-05,8.616272e-05,8.547390e-05,8.430157e-05,8.383801e-05,8.314838e-05,8.201407e-05,8.158793e-05,8.089837e-05,7.980102e-05,7.941042e-05,7.872176e-05,7.766032e-05,7.730345e-05,7.661645e-05,7.558989e-05,7.526500e-05,7.458038e-05,7.358768e-05,7.329311e-05,7.261153e-05,7.165169e-05,7.138582e-05,7.070790e-05,6.977994e-05,6.954123e-05,6.886756e-05,6.797052e-05,6.775749e-05,6.708859e-05,6.622154e-05,6.603276e-05,6.536914e-05,6.453116e-05,6.436528e-05,6.370739e-05,6.289759e-05,6.275330e-05,6.210156e-05,6.131909e-05,6.119513e-05,6.054995e-05,5.979394e-05,5.968914e-05,5.905086e-05,5.832051e-05,5.823371e-05,5.760267e-05,5.689716e-05,5.682728e-05,5.620379e-05,5.552235e-05,5.546834e-05,5.485266e-05,5.419454e-05,5.415541e-05,5.354779e-05,5.291225e-05,5.288706e-05,5.228772e-05,5.167404e-05,5.166188e-05,5.107103e-05,5.047852e-05,4.933568e-05,4.823206e-05,4.716644e-05,4.613760e-05,4.514438e-05,4.418564e-05,4.326029e-05,4.236725e-05,4.150550e-05,4.067403e-05,3.987186e-05,3.909807e-05,3.835172e-05,3.763193e-05,3.693785e-05,3.626864e-05,3.562350e-05,3.500164e-05,3.440231e-05,3.382477e-05,3.326832e-05,3.273225e-05,3.221591e-05,3.171865e-05,3.123984e-05,3.077887e-05,3.033517e-05,2.990815e-05,2.949727e-05,2.910198e-05,2.872179e-05,2.835617e-05,2.800466e-05,2.766677e-05,2.734206e-05,2.703008e-05,2.673040e-05,2.644262e-05,2.616632e-05,2.590113e-05,2.564666e-05,2.540256e-05,2.516847e-05,2.494405e-05,2.472897e-05,2.452291e-05,2.432556e-05,2.413662e-05,2.395580e-05
0.000000e+00,3.125646e-09,5.216890e-08,5.462564e-08,3.576429e-07,1.157446e-06,1.202177e-06,2.474327e-06,3.711937e-06,3.788222e-06,4.993525e-06,5.988094e-06,6.069496e-06,7.021680e-06,7.780957e-06,7.859948e-06,8.594365e-06,9.162289e-06,9.234408e-06,9.788855e-06,1.020341e-05,1.026581e-05,1.067271e-05,1.096539e-05,1.101640e-05,1.130315e-05,1.149982e-05,1.153867e-05,1.172819e-05,1.184989e-05,1.187645e-05,1.198775e-05,1.205145e-05,1.206602e-05,1.211480e-05,1.213415e-05,1.213731e-05,1.213647e-05,1.212238e-05,1.211492e-05,1.207501e-05,1.203612e-05,1.201889e-05,1.194849e-05,1.189167e-05,1.186557e-05,1.177170e-05,1.170234e-05,1.166830e-05,1.155664e-05,1.147899e-05,1.143788e-05,1.131305e-05,1.123041e-05,1.118308e-05,1.104880e-05,1.096373e-05,1.091098e-05,1.077027e-05,1.068471e-05,1.062727e-05,1.048253e-05,1.039798e-05,1.033653e-05,1.018970e-05,1.010725e-05,1.004241e-05,9.895018e-06,9.815487e-06,9.747817e-06,9.601077e-06,9.525034e-06,9.455036e-06,9.309903e-06,9.237736e-06,9.165863e-06,9.023077e-06,8.955027e-06,8.881685e-06,8.741811e-06,8.678008e-06,8.603559e-06,8.467022e-06,8.407509e-06,8.332275e-06,8.199386e-06,8.144140e-06,8.068408e-06,7.939387e-06,7.888334e-06,7.812358e-06,7.687350e-06,7.640381e-06,7.564383e-06,7.443474e-06,7.400452e-06,7.324631e-06,7.207859e-06,7.168628e-06,7.093158e-06,6.980524e-06,6.944916e-06,6.869949e-06,6.761424e-06,6.729264e-06,6.654935e-06,6.550467e-06,6.521576e-06,6.448002e-06,6.347520e-06,6.321717e-06,6.249000e-06,6.152421e-06,6.129528e-06,6.057758e-06,5.964987e-06,5.944828e-06,5.874082e-06,5.785017e-06,5.767423e-06,5.697766e-06,5.612301e-06,5.597104e-06,5.528594e-06,5.446618e-06,5.433661e-06,5.366345e-06,5.287747e-06,5.276875e-06,5.210795e-06,5.135461e-06,5.126529e-06,5.061718e-06,4.989536e-06,4.982403e-06,4.918889e-06,4.849747e-06,4.844280e-06,4.782085e-06,4.715875e-06,4.711948e-06,4.651089e-06,4.587701e-06,4.585194e-06,4.525684e-06,4.465013e-06,4.463813e-06,4.405661e-06,4.347603e-06,4.236369e-06,4.129921e-06,4.028072e-06,3.930644e-06,3.837463e-06,3.748362e-06,3.663180e-06,3.581760e-06,3.503951e-06,3.429609e-06,3.358593e-06,3.290769e-06,3.226007e-06,3.164183e-06,3.105177e-06,3.048874e-06,2.995163e-06,2.943937e-06,2.895094e-06,2.848535e-06,2.804166e-06,2.761896e-06,2.721639e-06,2.683309e-06,2.646827e-06,2.612115e-06,2.579099e-06,2.547708e-06,2.517874e-06,2.489530e-06,2.462614e-06,2.437065e-06,2.412824e-06,2.389837e-06,2.368049e-06,2.347410e-06,2.327869e-06,2.309379e-06,2.291895e-06,2.275373e-06,2.259772e-06,2.245051e-06,2.231171e-06,2.218096e-06,2.205790e-06,2.194218e-06,2.183349e-06,2.173151e-06,2.163593e-06
0.000000e+00,1.237372e-09,1.660775e-08,1.734386e-08,1.089533e-07,3.788104e-07,3.951410e-07,9.073659e-07,1.464673e-06,1.500073e-06,2.068779e-06,2.547448e-06,2.586917e-06,3.051667e-06,3.426432e-06,3.465651e-06,3.832600e-06,4.119602e-06,4.156278e-06,4.440220e-06,4.655126e-06,4.687692e-06,4.901716e-06,5.057706e-06,5.085098e-06,5.240447e-06,5.348627e-06,5.370197e-06,5.476621e-06,5.546395e-06,5.561839e-06,5.627824e-06,5.667125e-06,5.676409e-06,5.709295e-06,5.724758e-06,5.728050e-06,5.734124e-06,5.731242e-06,5.728848e-06,5.713443e-06,5.696709e-06,5.689024e-06,5.656610e-06,5.629668e-06,5.617137e-06,5.571454e-06,5.537243e-06,5.520339e-06,5.464505e-06,5.425388e-06,5.404602e-06,5.341212e-06,5.299056e-06,5.274857e-06,5.206009e-06,5.162263e-06,5.135100e-06,5.062518e-06,5.018311e-06,4.988609e-06,4.913688e-06,4.869881e-06,4.838035e-06,4.761905e-06,4.719148e-06,4.685522e-06,4.609089e-06,4.567858e-06,4.532785e-06,4.456771e-06,4.417406e-06,4.381188e-06,4.306162e-06,4.268894e-06,4.231804e-06,4.158210e-06,4.123181e-06,4.085464e-06,4.013640e-06,3.980928e-06,3.942800e-06,3.873000e-06,3.842628e-06,3.804283e-06,3.736688e-06,3.708641e-06,3.670248e-06,3.604986e-06,3.579216e-06,3.540924e-06,3.478075e-06,3.454514e-06,3.416451e-06,3.356059e-06,3.334620e-06,3.296900e-06,3.238976e-06,3.219563e-06,3.182283e-06,3.126816e-06,3.109324e-06,3.072567e-06,3.019527e-06,3.003848e-06,2.967684e-06,2.917025e-06,2.903052e-06,2.867538e-06,2.819206e-06,2.806827e-06,2.772013e-06,2.725943e-06,2.715051e-06,2.680977e-06,2.637098e-06,2.627588e-06,2.594286e-06,2.552522e-06,2.544294e-06,2.511788e-06,2.472063e-06,2.465019e-06,2.433328e-06,2.395563e-06,2.389609e-06,2.358747e-06,2.322862e-06,2.317911e-06,2.287886e-06,2.253801e-06,2.249769e-06,2.220586e-06,2.188223e-06,2.185033e-06,2.156692e-06,2.125973e-06,2.123551e-06,2.096049e-06,2.066901e-06,2.065176e-06,2.038509e-06,2.010857e-06,2.009766e-06,1.983926e-06,1.957700e-06,1.957182e-06,1.932160e-06,1.907290e-06,1.859960e-06,1.815068e-06,1.772493e-06,1.732123e-06,1.693845e-06,1.657556e-06,1.623155e-06,1.590546e-06,1.559638e-06,1.530344e-06,1.502581e-06,1.476271e-06,1.451338e-06,1.427711e-06,1.405322e-06,1.384107e-06,1.364006e-06,1.344959e-06,1.326911e-06,1.309812e-06,1.293610e-06,1.278259e-06,1.263715e-06,1.249934e-06,1.236877e-06,1.224506e-06,1.212784e-06,1.201678e-06,1.191155e-06,1.181184e-06,1.171736e-06,1.162783e-06,1.154300e-06,1.146261e-06,1.138642e-06,1.131422e-06,1.124580e-06,1.118095e-06,1.111948e-06,1.106122e-06,1.100599e-06,1.095363e-06,1.090400e-06,1.085694e-06,1.081231e-06,1.076999e-06,1.072985e-06,1.069178e-06,1.065566e-06
0.000000e+00,7.004015e-09,2.538893e-07,2.686097e-07,2.918850e-06,1.623735e-05,1.727650e-05,6.637032e-05,1.733114e-04,1.827156e-04,3.900509e-04,6.643178e-04,6.916762e-04,1.074179e-03,1.469590e-03,1.515714e-03,1.992388e-03,2.423231e-03,2.482015e-03,2.965930e-03,3.366325e-03,3.429583e-03,3.862436e-03,4.197034e-03,4.257510e-03,4.610794e-03,4.868083e-03,4.920635e-03,5.187165e-03,5.370136e-03,5.411817e-03,5.596907e-03,5.715652e-03,5.745313e-03,5.860218e-03,5.927172e-03,5.944924e-03,6.002714e-03,6.030015e-03,6.036748e-03,6.050007e-03,6.048244e-03,6.045244e-03,6.024974e-03,6.002784e-03,5.991468e-03,5.946754e-03,5.910876e-03,5.892637e-03,5.830716e-03,5.786265e-03,5.762399e-03,5.688914e-03,5.639669e-03,5.611325e-03,5.530550e-03,5.479220e-03,5.447376e-03,5.362474e-03,5.310945e-03,5.276415e-03,5.189681e-03,5.139228e-03,5.102677e-03,5.015746e-03,4.967204e-03,4.929171e-03,4.843189e-03,4.797075e-03,4.757993e-03,4.673746e-03,4.630356e-03,4.590576e-03,4.508590e-03,4.468067e-03,4.427871e-03,4.348483e-03,4.310866e-03,4.270479e-03,4.193893e-03,4.159148e-03,4.118754e-03,4.045079e-03,4.013129e-03,3.972878e-03,3.902155e-03,3.872892e-03,3.832908e-03,3.765132e-03,3.738431e-03,3.698816e-03,3.633949e-03,3.609676e-03,3.570515e-03,3.508498e-03,3.486516e-03,3.447880e-03,3.388639e-03,3.368808e-03,3.330757e-03,3.274210e-03,3.256393e-03,3.218976e-03,3.165034e-03,3.149099e-03,3.112359e-03,3.060930e-03,3.046749e-03,3.010721e-03,2.961711e-03,2.949162e-03,2.913876e-03,2.867193e-03,2.856157e-03,2.821638e-03,2.777189e-03,2.767557e-03,2.733824e-03,2.691519e-03,2.683184e-03,2.650253e-03,2.610004e-03,2.602866e-03,2.570751e-03,2.532472e-03,2.526436e-03,2.495145e-03,2.458752e-03,2.453730e-03,2.423271e-03,2.388682e-03,2.384591e-03,2.354967e-03,2.322105e-03,2.318865e-03,2.290078e-03,2.258868e-03,2.256405e-03,2.228455e-03,2.198823e-03,2.197069e-03,2.169953e-03,2.141829e-03,2.140720e-03,2.114434e-03,2.087751e-03,2.087224e-03,2.061763e-03,2.036456e-03,1.988293e-03,1.942617e-03,1.899316e-03,1.858282e-03,1.819411e-03,1.782603e-03,1.747762e-03,1.714798e-03,1.683622e-03,1.654150e-03,1.626302e-03,1.600000e-03,1.575171e-03,1.551743e-03,1.529650e-03,1.508826e-03,1.489209e-03,1.470740e-03,1.453362e-03,1.437021e-03,1.421665e-03,1.407244e-03,1.393712e-03,1.381022e-03,1.369131e-03,1.357999e-03,1.347585e-03,1.337851e-03,1.328763e-03,1.320284e-03,1.312383e-03,1.305028e-03,1.298190e-03,1.291839e-03,1.285950e-03,1.280494e-03,1.275449e-03,1.270791e-03,1.266497e-03,1.262545e-03,1.258917e-03,1.255592e-03,1.252551e-03,1.249779e-03,1.247257e-03,1.244971e-03,1.242905e-03,1.241046e-03,1.239379e-03
0.000000e+00,1.858748e-08,7.938062e-07,8.424298e-07,9.919047e-06,5.220438e-05,5.529077e-05,1.818702e-04,3.984928e-04,4.155351e-04,7.500184e-04,1.127047e-03,1.162261e-03,1.626106e-03,2.068617e-03,2.118606e-03,2.621871e-03,3.063225e-03,3.122903e-03,3.612747e-03,4.020521e-03,4.085528e-03,4.537608e-03,4.899813e-03,4.966923e-03,5.372487e-03,5.687130e-03,5.754043e-03,6.111805e-03,6.381227e-03,6.446296e-03,6.758224e-03,6.986388e-03,7.048407e-03,7.317723e-03,7.509002e-03,7.567074e-03,7.797364e-03,7.956032e-03,8.009484e-03,8.204302e-03,8.334333e-03,8.382662e-03,8.545375e-03,8.650385e-03,8.693225e-03,8.826965e-03,8.910218e-03,8.947318e-03,9.054978e-03,9.119403e-03,9.150607e-03,9.234841e-03,9.283051e-03,9.308284e-03,9.371515e-03,9.405833e-03,9.425087e-03,9.469527e-03,9.492018e-03,9.505338e-03,9.533003e-03,9.545497e-03,9.552979e-03,9.565703e-03,9.569818e-03,9.571594e-03,9.571050e-03,9.568215e-03,9.564451e-03,9.552158e-03,9.543632e-03,9.534518e-03,9.511858e-03,9.498745e-03,9.484494e-03,9.452722e-03,9.435991e-03,9.416829e-03,9.377085e-03,9.357582e-03,9.333749e-03,9.287065e-03,9.265525e-03,9.237269e-03,9.184581e-03,9.161642e-03,9.129215e-03,9.071372e-03,9.047584e-03,9.011242e-03,8.949008e-03,8.924844e-03,8.884843e-03,8.818911e-03,8.794773e-03,8.751367e-03,8.682362e-03,8.658592e-03,8.612033e-03,8.540516e-03,8.517401e-03,8.467937e-03,8.394415e-03,8.372192e-03,8.320065e-03,8.244993e-03,8.223857e-03,8.169302e-03,8.093088e-03,8.073198e-03,8.016443e-03,7.939453e-03,7.920933e-03,7.862199e-03,7.784758e-03,7.767704e-03,7.707204e-03,7.629604e-03,7.614084e-03,7.552023e-03,7.474523e-03,7.460586e-03,7.397160e-03,7.319989e-03,7.307663e-03,7.243060e-03,7.166420e-03,7.155716e-03,7.090114e-03,7.014185e-03,7.005101e-03,6.938671e-03,6.863608e-03,6.856128e-03,6.789032e-03,6.714973e-03,6.709072e-03,6.641462e-03,6.568525e-03,6.564168e-03,6.496190e-03,6.424478e-03,6.421623e-03,6.353412e-03,6.283013e-03,6.281612e-03,6.213298e-03,6.144286e-03,6.009770e-03,5.878170e-03,5.749570e-03,5.624040e-03,5.501630e-03,5.382380e-03,5.266314e-03,5.153448e-03,5.043784e-03,4.937319e-03,4.834039e-03,4.733925e-03,4.636950e-03,4.543082e-03,4.452284e-03,4.364516e-03,4.279733e-03,4.197886e-03,4.118926e-03,4.042799e-03,3.969451e-03,3.898824e-03,3.830861e-03,3.765502e-03,3.702689e-03,3.642360e-03,3.584455e-03,3.528913e-03,3.475672e-03,3.424672e-03,3.375851e-03,3.329149e-03,3.284505e-03,3.241860e-03,3.201155e-03,3.162330e-03,3.125328e-03,3.090093e-03,3.056567e-03,3.024696e-03,2.994423e-03,2.965696e-03,2.938462e-03,2.912668e-03,2.888263e-03,2.865198e-03,2.843423e-03,2.822890e-03,2.803552e-03
0.000000e+00,2.447119e-08,7.495681e-07,7.906055e-07,7.458573e-06,3.633655e-05,3.843973e-05,1.264931e-04,2.803942e-04,2.924329e-04,5.220498e-04,7.624485e-04,7.838918e-04,1.051615e-03,1.284418e-03,1.309500e-03,1.549949e-03,1.744780e-03,1.770097e-03,1.969486e-03,2.124841e-03,2.148770e-03,2.309069e-03,2.429985e-03,2.451665e-03,2.577863e-03,2.670000e-03,2.688931e-03,2.786076e-03,2.854534e-03,2.870434e-03,2.943064e-03,2.992209e-03,3.004950e-03,3.057008e-03,3.090521e-03,3.100082e-03,3.134952e-03,3.155899e-03,3.162338e-03,3.182902e-03,3.193830e-03,3.197257e-03,3.205962e-03,3.208974e-03,3.209537e-03,3.208456e-03,3.205287e-03,3.203158e-03,3.194045e-03,3.186122e-03,3.181488e-03,3.165827e-03,3.154321e-03,3.147375e-03,3.126420e-03,3.112287e-03,3.103225e-03,3.078036e-03,3.062058e-03,3.051074e-03,3.022545e-03,3.005355e-03,2.992637e-03,2.961524e-03,2.943634e-03,2.929365e-03,2.896304e-03,2.878124e-03,2.862476e-03,2.828004e-03,2.809861e-03,2.792999e-03,2.757564e-03,2.739715e-03,2.721794e-03,2.685773e-03,2.668418e-03,2.649581e-03,2.613289e-03,2.596580e-03,2.576963e-03,2.540661e-03,2.524710e-03,2.504438e-03,2.468342e-03,2.453231e-03,2.432419e-03,2.396707e-03,2.382491e-03,2.361245e-03,2.326063e-03,2.312774e-03,2.291192e-03,2.256657e-03,2.244312e-03,2.222483e-03,2.188689e-03,2.177290e-03,2.155296e-03,2.122318e-03,2.111855e-03,2.089769e-03,2.057664e-03,2.048120e-03,2.026011e-03,1.994821e-03,1.986172e-03,1.964100e-03,1.933856e-03,1.926072e-03,1.904094e-03,1.874816e-03,1.867862e-03,1.846027e-03,1.817729e-03,1.811569e-03,1.789922e-03,1.762607e-03,1.757203e-03,1.735784e-03,1.709452e-03,1.704765e-03,1.683610e-03,1.658255e-03,1.654243e-03,1.633385e-03,1.608997e-03,1.605621e-03,1.585087e-03,1.561653e-03,1.558873e-03,1.538690e-03,1.516193e-03,1.513969e-03,1.494159e-03,1.472582e-03,1.470875e-03,1.451457e-03,1.430780e-03,1.429553e-03,1.410545e-03,1.390746e-03,1.389963e-03,1.371379e-03,1.352436e-03,1.352062e-03,1.333914e-03,1.315806e-03,1.281150e-03,1.248048e-03,1.216454e-03,1.186322e-03,1.157607e-03,1.130262e-03,1.104242e-03,1.079504e-03,1.056003e-03,1.033696e-03,1.012541e-03,9.924980e-04,9.735255e-04,9.555847e-04,9.386372e-04,9.226457e-04,9.075739e-04,8.933863e-04,8.800487e-04,8.675276e-04,8.557904e-04,8.448057e-04,8.345426e-04,8.249715e-04,8.160635e-04,8.077904e-04,8.001251e-04,7.930410e-04,7.865127e-04,7.805151e-04,7.750242e-04,7.700165e-04,7.654694e-04,7.613609e-04,7.576696e-04,7.543750e-04,7.514569e-04,7.488960e-04,7.466736e-04,7.447714e-04,7.431720e-04,7.418581e-04,7.408136e-04,7.400224e-04,7.394691e-04,7.391391e-04,7.390180e-04,7.390920e-04,7.393477e-04
0.000000e+00,1.506789e-08,5.141264e-07,5.431731e-07,5.565569e-06,2.997364e-05,3.185751e-05,1.189205e-04,2.996735e-04,3.151647e-04,6.470152e-04,1.070158e-03,1.111815e-03,1.688775e-03,2.280706e-03,2.349748e-03,3.065907e-03,3.720983e-03,3.811189e-03,4.563709e-03,5.203275e-03,5.306056e-03,6.025000e-03,6.603723e-03,6.710957e-03,7.357359e-03,7.854918e-03,7.960055e-03,8.516791e-03,8.928508e-03,9.026761e-03,9.490238e-03,9.820134e-03,9.908281e-03,1.028250e-02,1.053880e-02,1.061487e-02,1.090760e-02,1.110007e-02,1.116302e-02,1.138352e-02,1.152198e-02,1.157146e-02,1.172916e-02,1.182276e-02,1.185885e-02,1.196270e-02,1.201960e-02,1.204274e-02,1.210089e-02,1.212816e-02,1.213896e-02,1.215865e-02,1.216235e-02,1.216155e-02,1.214913e-02,1.213434e-02,1.212277e-02,1.208373e-02,1.205473e-02,1.203322e-02,1.197231e-02,1.193263e-02,1.190204e-02,1.182333e-02,1.177590e-02,1.173706e-02,1.164403e-02,1.159125e-02,1.154498e-02,1.144061e-02,1.138444e-02,1.133153e-02,1.121834e-02,1.116037e-02,1.110157e-02,1.098172e-02,1.092323e-02,1.085924e-02,1.073456e-02,1.067658e-02,1.060807e-02,1.048011e-02,1.042343e-02,1.035101e-02,1.022108e-02,1.016633e-02,1.009060e-02,9.959800e-03,9.907448e-03,9.828928e-03,9.698191e-03,9.648587e-03,9.567782e-03,9.437877e-03,9.391266e-03,9.308635e-03,9.180202e-03,9.136743e-03,9.052710e-03,8.926279e-03,8.886062e-03,8.801015e-03,8.677016e-03,8.640076e-03,8.554368e-03,8.433150e-03,8.399475e-03,8.313430e-03,8.195270e-03,8.164810e-03,8.078723e-03,7.963836e-03,7.936515e-03,7.850650e-03,7.739201e-03,7.714918e-03,7.629517e-03,7.521623e-03,7.500261e-03,7.415540e-03,7.311284e-03,7.292713e-03,7.208866e-03,7.108295e-03,7.092375e-03,7.009576e-03,6.912712e-03,6.899299e-03,6.817702e-03,6.724543e-03,6.713488e-03,6.633229e-03,6.543754e-03,6.534908e-03,6.456108e-03,6.370279e-03,6.363491e-03,6.286256e-03,6.204022e-03,6.199145e-03,6.123565e-03,6.044865e-03,6.041754e-03,5.967907e-03,5.892670e-03,5.891183e-03,5.819137e-03,5.747285e-03,5.609899e-03,5.478856e-03,5.353980e-03,5.235090e-03,5.122002e-03,5.014529e-03,4.912484e-03,4.815681e-03,4.723932e-03,4.637053e-03,4.554862e-03,4.477180e-03,4.403830e-03,4.334639e-03,4.269438e-03,4.208062e-03,4.150350e-03,4.096143e-03,4.045291e-03,3.997643e-03,3.953056e-03,3.911389e-03,3.872507e-03,3.836279e-03,3.802577e-03,3.771279e-03,3.742265e-03,3.715420e-03,3.690634e-03,3.667800e-03,3.646815e-03,3.627579e-03,3.609996e-03,3.593975e-03,3.579427e-03,3.566266e-03,3.554412e-03,3.543785e-03,3.534310e-03,3.525914e-03,3.518529e-03,3.512089e-03,3.506529e-03,3.501790e-03,3.497813e-03,3.494543e-03,3.491928e-03,3.489916e-03,3.488461e-03
0.000000e+00,3.245787e-08,7.269832e-07,7.637937e-07,5.897992e-06,2.222901e-05,2.323114e-05,5.507314e-05,9.059621e-05,9.287990e-05,1.300173e-04,1.620540e-04,1.647339e-04,1.968049e-04,2.234619e-04,2.262986e-04,2.533370e-04,2.752054e-04,2.780532e-04,3.005820e-04,3.183087e-04,3.210563e-04,3.396055e-04,3.537904e-04,3.563542e-04,3.714212e-04,3.826005e-04,3.849193e-04,3.969551e-04,4.055991e-04,4.076298e-04,4.170381e-04,4.235552e-04,4.252695e-04,4.324080e-04,4.371511e-04,4.385325e-04,4.437163e-04,4.469876e-04,4.480286e-04,4.515339e-04,4.535923e-04,4.542930e-04,4.563627e-04,4.574298e-04,4.577959e-04,4.586420e-04,4.589058e-04,4.589474e-04,4.587554e-04,4.583760e-04,4.581065e-04,4.570383e-04,4.561510e-04,4.555861e-04,4.537827e-04,4.525017e-04,4.516587e-04,4.492428e-04,4.476643e-04,4.465616e-04,4.436398e-04,4.418441e-04,4.405006e-04,4.371655e-04,4.352199e-04,4.336546e-04,4.299865e-04,4.279465e-04,4.261784e-04,4.222466e-04,4.201581e-04,4.182059e-04,4.140703e-04,4.119709e-04,4.098526e-04,4.055647e-04,4.034849e-04,4.012178e-04,3.968221e-04,3.947863e-04,3.923870e-04,3.879215e-04,3.859490e-04,3.834334e-04,3.789305e-04,3.770365e-04,3.744195e-04,3.699068e-04,3.681026e-04,3.653983e-04,3.608994e-04,3.591933e-04,3.564149e-04,3.519495e-04,3.503474e-04,3.475072e-04,3.430918e-04,3.415974e-04,3.387069e-04,3.343555e-04,3.329706e-04,3.300405e-04,3.257644e-04,3.244896e-04,3.215297e-04,3.173383e-04,3.161728e-04,3.131922e-04,3.090930e-04,3.080351e-04,3.050422e-04,3.010412e-04,3.000885e-04,2.970910e-04,2.931928e-04,2.923422e-04,2.893472e-04,2.855551e-04,2.848032e-04,2.818171e-04,2.781336e-04,2.774764e-04,2.745051e-04,2.709319e-04,2.703653e-04,2.674141e-04,2.639519e-04,2.634716e-04,2.605453e-04,2.571944e-04,2.567960e-04,2.538990e-04,2.506591e-04,2.503381e-04,2.474743e-04,2.443446e-04,2.440966e-04,2.412696e-04,2.382489e-04,2.380694e-04,2.352822e-04,2.323692e-04,2.322538e-04,2.295093e-04,2.267022e-04,2.266466e-04,2.239474e-04,2.212442e-04,2.160426e-04,2.110376e-04,2.062246e-04,2.015989e-04,1.971559e-04,1.928905e-04,1.887980e-04,1.848733e-04,1.811116e-04,1.775078e-04,1.740571e-04,1.707547e-04,1.675958e-04,1.645758e-04,1.616899e-04,1.589336e-04,1.563026e-04,1.537925e-04,1.513991e-04,1.491181e-04,1.469457e-04,1.448779e-04,1.429108e-04,1.410407e-04,1.392641e-04,1.375775e-04,1.359774e-04,1.344605e-04,1.330237e-04,1.316638e-04,1.303779e-04,1.291630e-04,1.280162e-04,1.269349e-04,1.259165e-04,1.249583e-04,1.240579e-04,1.232129e-04,1.224209e-04,1.216798e-04,1.209874e-04,1.203416e-04,1.197403e-04,1.191816e-04,1.186636e-04,1.181845e-04,1.177425e-04,1.173360e-04,1.169633e-04
0.000000e+00,7.568842e-10,1.016557e-08,1.061878e-08,6.808762e-08,2.436700e-07,2.545370e-07,6.085476e-07,1.016625e-06,1.043125e-06,1.476499e-06,1.852100e-06,1.883531e-06,2.259409e-06,2.571158e-06,2.604286e-06,2.919532e-06,3.173752e-06,3.206803e-06,3.467764e-06,3.672369e-06,3.704011e-06,3.917019e-06,4.079063e-06,4.108258e-06,4.279147e-06,4.405047e-06,4.431047e-06,4.565253e-06,4.660708e-06,4.682997e-06,4.785445e-06,4.855447e-06,4.873699e-06,4.948799e-06,4.997681e-06,5.011723e-06,5.063389e-06,5.094883e-06,5.104659e-06,5.136342e-06,5.153642e-06,5.159191e-06,5.173915e-06,5.179743e-06,5.181174e-06,5.181584e-06,5.178246e-06,5.175720e-06,5.164121e-06,5.153567e-06,5.147284e-06,5.125679e-06,5.109549e-06,5.099737e-06,5.069863e-06,5.049533e-06,5.036434e-06,4.999798e-06,4.976414e-06,4.960281e-06,4.918183e-06,4.892696e-06,4.873786e-06,4.827349e-06,4.800544e-06,4.779113e-06,4.729301e-06,4.701821e-06,4.678120e-06,4.625762e-06,4.598129e-06,4.572402e-06,4.518204e-06,4.490839e-06,4.463320e-06,4.407888e-06,4.381125e-06,4.352037e-06,4.295884e-06,4.269982e-06,4.239538e-06,4.183098e-06,4.158258e-06,4.126655e-06,4.070294e-06,4.046666e-06,4.014091e-06,3.958115e-06,3.935803e-06,3.902431e-06,3.847095e-06,3.826170e-06,3.792160e-06,3.737673e-06,3.718176e-06,3.683678e-06,3.630212e-06,3.612161e-06,3.577310e-06,3.525003e-06,3.508395e-06,3.473318e-06,3.422278e-06,3.407095e-06,3.371905e-06,3.322217e-06,3.308430e-06,3.273231e-06,3.224959e-06,3.212526e-06,3.177412e-06,3.130601e-06,3.119476e-06,3.084532e-06,3.039211e-06,3.029341e-06,2.994642e-06,2.950829e-06,2.942157e-06,2.907771e-06,2.865471e-06,2.857937e-06,2.823926e-06,2.783134e-06,2.776678e-06,2.743094e-06,2.703801e-06,2.698359e-06,2.665251e-06,2.627438e-06,2.622949e-06,2.590356e-06,2.554001e-06,2.550405e-06,2.518363e-06,2.483437e-06,2.480673e-06,2.449214e-06,2.415687e-06,2.413697e-06,2.382846e-06,2.350683e-06,2.349411e-06,2.319190e-06,2.288357e-06,2.287747e-06,2.258175e-06,2.228633e-06,2.171995e-06,2.117758e-06,2.065843e-06,2.016174e-06,1.968675e-06,1.923268e-06,1.879878e-06,1.838430e-06,1.798852e-06,1.761071e-06,1.725017e-06,1.690623e-06,1.657822e-06,1.626549e-06,1.596742e-06,1.568340e-06,1.541284e-06,1.515519e-06,1.490989e-06,1.467641e-06,1.445426e-06,1.424294e-06,1.404197e-06,1.385092e-06,1.366934e-06,1.349681e-06,1.333294e-06,1.317734e-06,1.302964e-06,1.288948e-06,1.275654e-06,1.263048e-06,1.251098e-06,1.239776e-06,1.229053e-06,1.218901e-06,1.209294e-06,1.200206e-06,1.191615e-06,1.183496e-06,1.175828e-06,1.168591e-06,1.161763e-06,1.155325e-06,1.149260e-06,1.143549e-06,1.138175e-06,1.133124e-06,1.128378e-06
0.000000e+00,2.237284e-08,6.369270e-07,6.710282e-07,6.021375e-06,2.786185e-05,2.940110e-05,8.978630e-05,1.830630e-04,1.899143e-04,3.125983e-04,4.302111e-04,4.403439e-04,5.635215e-04,6.672300e-04,6.782852e-04,7.835714e-04,8.684036e-04,8.794194e-04,9.662524e-04,1.034130e-03,1.044612e-03,1.115062e-03,1.168534e-03,1.178158e-03,1.234435e-03,1.275853e-03,1.284404e-03,1.328545e-03,1.359969e-03,1.367314e-03,1.401133e-03,1.424333e-03,1.430401e-03,1.455486e-03,1.471968e-03,1.476735e-03,1.494465e-03,1.505495e-03,1.508973e-03,1.520531e-03,1.527169e-03,1.529392e-03,1.535790e-03,1.538919e-03,1.539941e-03,1.542045e-03,1.542400e-03,1.542285e-03,1.540830e-03,1.539019e-03,1.537839e-03,1.533455e-03,1.529980e-03,1.527811e-03,1.521030e-03,1.516305e-03,1.513225e-03,1.504499e-03,1.498862e-03,1.494949e-03,1.484662e-03,1.478391e-03,1.473721e-03,1.462198e-03,1.455517e-03,1.450163e-03,1.437678e-03,1.430771e-03,1.424803e-03,1.411589e-03,1.404600e-03,1.398085e-03,1.384337e-03,1.377384e-03,1.370385e-03,1.356266e-03,1.349440e-03,1.342016e-03,1.327665e-03,1.321037e-03,1.313242e-03,1.298773e-03,1.292399e-03,1.284283e-03,1.269793e-03,1.263712e-03,1.255323e-03,1.240891e-03,1.235132e-03,1.226513e-03,1.212204e-03,1.206788e-03,1.197978e-03,1.183848e-03,1.178786e-03,1.169822e-03,1.155913e-03,1.151211e-03,1.142128e-03,1.128475e-03,1.124135e-03,1.114961e-03,1.101594e-03,1.097613e-03,1.088377e-03,1.075316e-03,1.071688e-03,1.062416e-03,1.049679e-03,1.046395e-03,1.037109e-03,1.024709e-03,1.021758e-03,1.012481e-03,1.000426e-03,9.977973e-04,9.885463e-04,9.768430e-04,9.745236e-04,9.653168e-04,9.539681e-04,9.519442e-04,9.427973e-04,9.318043e-04,9.300620e-04,9.209891e-04,9.103512e-04,9.088760e-04,8.998900e-04,8.896050e-04,8.883825e-04,8.794951e-04,8.695594e-04,8.685754e-04,8.597968e-04,8.502061e-04,8.494462e-04,8.407859e-04,8.315349e-04,8.309852e-04,8.224515e-04,8.135343e-04,8.131810e-04,8.047815e-04,7.961915e-04,7.960214e-04,7.877626e-04,7.794930e-04,7.635822e-04,7.482745e-04,7.335554e-04,7.194098e-04,7.058227e-04,6.927790e-04,6.802635e-04,6.682613e-04,6.567574e-04,6.457369e-04,6.351853e-04,6.250883e-04,6.154316e-04,6.062013e-04,5.973838e-04,5.889657e-04,5.809340e-04,5.732757e-04,5.659784e-04,5.590299e-04,5.524182e-04,5.461315e-04,5.401587e-04,5.344885e-04,5.291102e-04,5.240132e-04,5.191872e-04,5.146224e-04,5.103089e-04,5.062374e-04,5.023985e-04,4.987834e-04,4.953833e-04,4.921898e-04,4.891947e-04,4.863899e-04,4.837678e-04,4.813207e-04,4.790414e-04,4.769227e-04,4.749578e-04,4.731400e-04,4.714628e-04,4.699199e-04,4.685051e-04,4.672127e-04,4.660368e-04,4.649720e-04,4.640129e-04
0.000000e+00,7.224797e-06,2.551870e-04,2.697297e-04,2.812972e-03,1.543886e-02,1.642640e-02,6.367223e-02,1.699159e-01,1.794534e-01,3.970795e-01,7.053724e-01,7.373579e-01,1.207694e+00,1.739885e+00,1.805097e+00,2.519397e+00,3.233073e+00,3.335893e+00,4.237357e+00,5.066649e+00,5.205521e+00,6.222146e+00,7.100740e+00,7.269753e+00,8.332118e+00,9.203925e+00,9.394569e+00,1.044414e+01,1.126694e+01,1.146964e+01,1.246160e+01,1.320697e+01,1.341222e+01,1.431528e+01,1.496678e+01,1.516595e+01,1.596072e+01,1.651142e+01,1.669720e+01,1.737400e+01,1.782402e+01,1.799059e+01,1.854718e+01,1.890149e+01,1.904456e+01,1.948406e+01,1.975071e+01,1.986738e+01,2.019657e+01,2.038528e+01,2.047390e+01,2.070182e+01,2.082294e+01,2.088291e+01,2.101981e+01,2.108369e+01,2.111523e+01,2.117182e+01,2.118825e+01,2.119225e+01,2.117912e+01,2.115712e+01,2.113495e+01,2.106219e+01,2.100983e+01,2.096318e+01,2.084018e+01,2.076454e+01,2.069533e+01,2.053066e+01,2.043785e+01,2.034810e+01,2.014946e+01,2.004465e+01,1.993646e+01,1.971069e+01,1.959823e+01,1.947366e+01,1.922676e+01,1.911024e+01,1.897132e+01,1.870854e+01,1.859089e+01,1.843956e+01,1.816542e+01,1.804898e+01,1.788710e+01,1.760550e+01,1.749213e+01,1.732144e+01,1.703569e+01,1.692681e+01,1.674896e+01,1.646187e+01,1.635856e+01,1.617504e+01,1.588900e+01,1.579201e+01,1.560423e+01,1.532121e+01,1.523107e+01,1.504033e+01,1.476196e+01,1.467899e+01,1.448644e+01,1.421408e+01,1.413842e+01,1.394515e+01,1.367988e+01,1.361154e+01,1.341851e+01,1.316121e+01,1.310009e+01,1.290817e+01,1.265953e+01,1.260543e+01,1.241542e+01,1.217595e+01,1.212862e+01,1.194122e+01,1.171132e+01,1.167045e+01,1.148630e+01,1.126622e+01,1.123147e+01,1.105113e+01,1.084105e+01,1.081203e+01,1.063600e+01,1.043599e+01,1.041233e+01,1.024104e+01,1.005112e+01,1.003241e+01,9.866244e+00,9.686376e+00,9.672203e+00,9.511498e+00,9.341578e+00,9.331540e+00,9.176584e+00,9.016475e+00,9.010172e+00,8.861210e+00,8.710740e+00,8.707779e+00,8.565015e+00,8.423984e+00,8.158364e+00,7.910458e+00,7.679773e+00,7.465791e+00,7.267974e+00,7.085767e+00,6.918604e+00,6.765906e+00,6.627089e+00,6.501564e+00,6.388736e+00,6.288012e+00,6.198794e+00,6.120488e+00,6.052499e+00,5.994238e+00,5.945120e+00,5.904565e+00,5.872000e+00,5.846862e+00,5.828596e+00,5.816658e+00,5.810516e+00,5.809652e+00,5.813564e+00,5.821762e+00,5.833776e+00,5.849153e+00,5.867460e+00,5.888281e+00,5.911223e+00,5.935912e+00,5.961999e+00,5.989153e+00,6.017068e+00,6.045458e+00,6.074062e+00,6.102639e+00,6.130971e+00,6.158860e+00,6.186131e+00,6.212629e+00,6.238216e+00,6.262776e+00,6.286211e+00,6.308437e+00,6.329390e+00,6.349019e+00,6.367288e+00
0.000000e+00,9.361201e-09,1.791154e-07,1.880368e-07,1.430836e-06,5.403435e-06,5.646906e-06,1.320943e-05,2.112469e-05,2.161606e-05,2.934349e-05,3.562000e-05,3.612846e-05,4.200882e-05,4.659963e-05,4.707171e-05,5.140601e-05,5.468269e-05,5.509356e-05,5.820790e-05,6.047808e-05,6.081474e-05,6.297259e-05,6.447647e-05,6.473355e-05,6.614445e-05,6.706954e-05,6.724696e-05,6.807831e-05,6.857052e-05,6.867160e-05,6.905629e-05,6.922848e-05,6.925855e-05,6.930160e-05,6.924059e-05,6.920603e-05,6.899008e-05,6.876234e-05,6.866989e-05,6.825975e-05,6.791590e-05,6.777228e-05,6.721863e-05,6.679702e-05,6.660865e-05,6.595102e-05,6.548056e-05,6.525339e-05,6.452253e-05,6.402486e-05,6.376435e-05,6.298410e-05,6.247529e-05,6.218635e-05,6.137514e-05,6.086700e-05,6.055400e-05,5.972604e-05,5.922712e-05,5.889395e-05,5.806009e-05,5.757647e-05,5.722653e-05,5.639506e-05,5.593093e-05,5.556722e-05,5.474437e-05,5.430251e-05,5.392765e-05,5.311807e-05,5.270019e-05,5.231647e-05,5.152358e-05,5.113059e-05,5.074001e-05,4.996627e-05,4.959849e-05,4.920279e-05,4.844990e-05,4.810722e-05,4.770790e-05,4.697700e-05,4.665897e-05,4.625737e-05,4.554914e-05,4.525510e-05,4.485239e-05,4.416716e-05,4.389630e-05,4.349347e-05,4.283131e-05,4.258271e-05,4.218066e-05,4.154146e-05,4.131414e-05,4.091363e-05,4.029710e-05,4.009004e-05,3.969177e-05,3.909753e-05,3.890969e-05,3.851425e-05,3.794182e-05,3.777218e-05,3.738009e-05,3.682894e-05,3.667650e-05,3.628822e-05,3.575778e-05,3.562154e-05,3.523748e-05,3.472715e-05,3.460614e-05,3.422666e-05,3.373584e-05,3.362914e-05,3.325453e-05,3.278259e-05,3.268931e-05,3.231986e-05,3.186618e-05,3.178547e-05,3.142140e-05,3.098537e-05,3.091640e-05,3.055793e-05,3.013893e-05,3.008093e-05,2.972822e-05,2.932567e-05,2.927790e-05,2.893111e-05,2.854440e-05,2.850616e-05,2.816541e-05,2.779399e-05,2.776460e-05,2.743000e-05,2.707331e-05,2.705213e-05,2.672377e-05,2.638127e-05,2.636771e-05,2.604566e-05,2.571681e-05,2.571030e-05,2.539461e-05,2.507892e-05,2.447261e-05,2.389043e-05,2.333150e-05,2.279493e-05,2.227989e-05,2.178558e-05,2.131121e-05,2.085604e-05,2.041933e-05,2.000038e-05,1.959853e-05,1.921312e-05,1.884352e-05,1.848915e-05,1.814940e-05,1.782373e-05,1.751159e-05,1.721246e-05,1.692586e-05,1.665129e-05,1.638829e-05,1.613642e-05,1.589524e-05,1.566435e-05,1.544334e-05,1.523184e-05,1.502947e-05,1.483588e-05,1.465073e-05,1.447369e-05,1.430444e-05,1.414269e-05,1.398812e-05,1.384047e-05,1.369947e-05,1.356484e-05,1.343635e-05,1.331374e-05,1.319679e-05,1.308527e-05,1.297897e-05,1.287768e-05,1.278119e-05,1.268932e-05,1.260189e-05,1.251871e-05,1.243962e-05,1.236444e-05,1.229303e-05
0.000000e+00,1.200269e-08,2.431019e-07,2.552597e-07,1.901569e-06,6.860440e-06,7.156493e-06,1.619331e-05,2.553421e-05,2.611150e-05,3.514402e-05,4.241077e-05,4.299652e-05,4.973648e-05,5.495072e-05,5.548430e-05,6.035799e-05,6.400882e-05,6.446430e-05,6.789807e-05,7.037744e-05,7.074318e-05,7.307369e-05,7.468163e-05,7.495488e-05,7.644425e-05,7.740881e-05,7.759234e-05,7.844358e-05,7.893719e-05,7.903693e-05,7.940657e-05,7.955897e-05,7.958243e-05,7.959074e-05,7.949925e-05,7.945449e-05,7.919377e-05,7.893109e-05,7.882610e-05,7.836679e-05,7.798696e-05,7.782929e-05,7.722534e-05,7.676859e-05,7.656521e-05,7.585785e-05,7.535392e-05,7.511113e-05,7.433199e-05,7.380295e-05,7.352641e-05,7.269952e-05,7.216124e-05,7.185584e-05,7.099932e-05,7.046334e-05,7.013336e-05,6.926102e-05,6.873566e-05,6.838490e-05,6.750718e-05,6.699814e-05,6.662979e-05,6.575443e-05,6.526565e-05,6.488253e-05,6.401531e-05,6.354934e-05,6.315384e-05,6.229902e-05,6.185740e-05,6.145162e-05,6.061232e-05,6.019588e-05,5.978167e-05,5.896012e-05,5.856913e-05,5.814807e-05,5.734582e-05,5.698015e-05,5.655363e-05,5.577171e-05,5.543097e-05,5.500022e-05,5.423927e-05,5.392284e-05,5.348896e-05,5.274933e-05,5.245647e-05,5.202041e-05,5.130221e-05,5.103211e-05,5.059472e-05,4.989790e-05,4.964964e-05,4.921170e-05,4.853606e-05,4.830874e-05,4.787091e-05,4.721618e-05,4.700885e-05,4.657178e-05,4.593760e-05,4.574933e-05,4.531355e-05,4.469953e-05,4.452939e-05,4.409542e-05,4.350111e-05,4.334819e-05,4.291649e-05,4.234144e-05,4.220483e-05,4.177583e-05,4.121955e-05,4.109840e-05,4.067247e-05,4.013447e-05,4.002795e-05,3.960544e-05,3.908524e-05,3.899253e-05,3.857375e-05,3.807085e-05,3.799118e-05,3.757642e-05,3.709034e-05,3.702295e-05,3.661248e-05,3.614273e-05,3.608690e-05,3.568097e-05,3.522707e-05,3.518211e-05,3.478093e-05,3.434242e-05,3.430767e-05,3.391143e-05,3.348786e-05,3.346267e-05,3.307157e-05,3.266247e-05,3.264626e-05,3.226045e-05,3.186539e-05,3.185756e-05,3.147719e-05,3.109574e-05,3.036000e-05,2.964952e-05,2.896354e-05,2.830131e-05,2.766209e-05,2.704517e-05,2.644985e-05,2.587547e-05,2.532136e-05,2.478690e-05,2.427146e-05,2.377446e-05,2.329530e-05,2.283342e-05,2.238827e-05,2.195933e-05,2.154608e-05,2.114802e-05,2.076466e-05,2.039554e-05,2.004019e-05,1.969818e-05,1.936907e-05,1.905246e-05,1.874793e-05,1.845510e-05,1.817359e-05,1.790302e-05,1.764305e-05,1.739333e-05,1.715352e-05,1.692330e-05,1.670235e-05,1.649036e-05,1.628705e-05,1.609213e-05,1.590531e-05,1.572633e-05,1.555492e-05,1.539084e-05,1.523384e-05,1.508367e-05,1.494011e-05,1.480294e-05,1.467194e-05,1.454689e-05,1.442760e-05,1.431386e-05,1.420549e-05
0.000000e+00,1.497831e-08,2.195894e-07,2.295339e-07,1.457334e-06,4.872681e-06,5.072183e-06,1.113292e-05,1.760748e-05,1.802100e-05,2.476123e-05,3.063414e-05,3.112867e-05,3.709094e-05,4.211491e-05,4.265355e-05,4.782998e-05,5.207815e-05,5.263582e-05,5.708725e-05,6.064450e-05,6.120063e-05,6.499225e-05,6.794029e-05,6.847813e-05,7.167389e-05,7.408858e-05,7.459469e-05,7.725515e-05,7.920555e-05,7.966934e-05,8.185078e-05,8.339907e-05,8.381241e-05,8.556659e-05,8.676834e-05,8.712517e-05,8.849941e-05,8.940404e-05,8.970010e-05,9.073751e-05,9.138883e-05,9.162139e-05,9.236108e-05,9.279783e-05,9.296543e-05,9.344287e-05,9.369913e-05,9.380139e-05,9.404862e-05,9.415436e-05,9.419181e-05,9.423782e-05,9.421930e-05,9.419318e-05,9.406408e-05,9.394420e-05,9.385638e-05,9.357568e-05,9.337442e-05,9.322724e-05,9.281607e-05,9.255073e-05,9.234691e-05,9.182424e-05,9.150976e-05,9.125230e-05,9.063513e-05,9.028438e-05,8.997650e-05,8.928001e-05,8.890401e-05,8.854906e-05,8.778684e-05,8.739496e-05,8.699638e-05,8.618052e-05,8.578068e-05,8.534196e-05,8.448322e-05,8.408209e-05,8.360670e-05,8.271463e-05,8.231775e-05,8.180914e-05,8.089220e-05,8.050412e-05,7.996567e-05,7.903132e-05,7.865576e-05,7.809078e-05,7.714559e-05,7.678550e-05,7.619718e-05,7.524691e-05,7.490461e-05,7.429604e-05,7.334574e-05,7.302296e-05,7.239710e-05,7.145114e-05,7.114916e-05,7.050882e-05,6.957100e-05,6.929066e-05,6.863852e-05,6.771212e-05,6.745392e-05,6.679251e-05,6.588033e-05,6.564445e-05,6.497616e-05,6.408056e-05,6.386695e-05,6.319402e-05,6.231700e-05,6.212537e-05,6.144990e-05,6.059310e-05,6.042301e-05,5.974694e-05,5.891172e-05,5.876256e-05,5.808771e-05,5.727516e-05,5.714622e-05,5.647426e-05,5.568521e-05,5.557569e-05,5.490816e-05,5.414324e-05,5.405227e-05,5.339058e-05,5.265025e-05,5.257689e-05,5.192232e-05,5.120686e-05,5.115016e-05,5.050388e-05,4.981342e-05,4.977239e-05,4.913547e-05,4.847002e-05,4.844366e-05,4.781704e-05,4.717650e-05,4.716382e-05,4.654835e-05,4.593253e-05,4.474929e-05,4.361346e-05,4.252427e-05,4.148086e-05,4.048228e-05,3.952751e-05,3.861547e-05,3.774504e-05,3.691507e-05,3.612435e-05,3.537170e-05,3.465590e-05,3.397572e-05,3.332995e-05,3.271738e-05,3.213681e-05,3.158705e-05,3.106693e-05,3.057530e-05,3.011103e-05,2.967302e-05,2.926019e-05,2.887148e-05,2.850586e-05,2.816234e-05,2.783994e-05,2.753773e-05,2.725479e-05,2.699024e-05,2.674322e-05,2.651291e-05,2.629852e-05,2.609927e-05,2.591443e-05,2.574328e-05,2.558513e-05,2.543933e-05,2.530524e-05,2.518225e-05,2.506977e-05,2.496725e-05,2.487415e-05,2.478996e-05,2.471417e-05,2.464632e-05,2.458596e-05,2.453265e-05,2.448597e-05,2.444555e-05
0.000000e+00,1.248673e-08,4.520565e-07,4.785253e-07,5.347665e-06,2.953428e-05,3.137644e-05,1.118334e-04,2.590075e-04,2.707674e-04,5.016002e-04,7.557458e-04,7.789675e-04,1.074957e-03,1.338423e-03,1.366947e-03,1.639531e-03,1.856132e-03,1.883775e-03,2.095662e-03,2.251444e-03,2.274537e-03,2.421834e-03,2.523047e-03,2.540158e-03,2.632647e-03,2.691508e-03,2.702574e-03,2.753103e-03,2.781535e-03,2.787158e-03,2.807360e-03,2.814992e-03,2.816010e-03,2.815096e-03,2.809063e-03,2.806320e-03,2.791123e-03,2.776464e-03,2.770718e-03,2.746126e-03,2.726309e-03,2.718195e-03,2.687633e-03,2.664993e-03,2.655028e-03,2.620865e-03,2.596952e-03,2.585546e-03,2.549401e-03,2.525228e-03,2.512704e-03,2.475677e-03,2.451893e-03,2.438505e-03,2.401337e-03,2.378351e-03,2.364297e-03,2.327484e-03,2.305539e-03,2.290978e-03,2.254844e-03,2.234079e-03,2.219136e-03,2.183894e-03,2.164374e-03,2.149150e-03,2.114932e-03,2.096678e-03,2.081256e-03,2.048139e-03,2.031143e-03,2.015591e-03,1.983617e-03,1.967847e-03,1.952223e-03,1.921410e-03,1.906826e-03,1.891178e-03,1.861525e-03,1.848078e-03,1.832447e-03,1.803942e-03,1.791579e-03,1.776002e-03,1.748624e-03,1.737290e-03,1.721799e-03,1.695523e-03,1.685164e-03,1.669786e-03,1.644582e-03,1.635143e-03,1.619903e-03,1.595742e-03,1.587168e-03,1.572089e-03,1.548937e-03,1.541178e-03,1.526277e-03,1.504102e-03,1.497107e-03,1.482403e-03,1.461172e-03,1.454893e-03,1.440401e-03,1.420081e-03,1.414472e-03,1.400205e-03,1.380764e-03,1.375780e-03,1.361751e-03,1.343157e-03,1.338756e-03,1.324974e-03,1.307196e-03,1.303338e-03,1.289814e-03,1.272821e-03,1.269469e-03,1.256210e-03,1.239972e-03,1.237089e-03,1.224102e-03,1.208591e-03,1.206143e-03,1.193433e-03,1.178621e-03,1.176575e-03,1.164148e-03,1.150008e-03,1.148333e-03,1.136193e-03,1.122698e-03,1.121366e-03,1.109516e-03,1.096640e-03,1.095623e-03,1.084065e-03,1.071784e-03,1.071056e-03,1.059792e-03,1.048083e-03,1.047620e-03,1.036650e-03,1.025489e-03,1.025268e-03,1.014593e-03,1.003958e-03,9.836473e-04,9.642954e-04,9.458633e-04,9.283134e-04,9.116093e-04,8.957159e-04,8.805996e-04,8.662277e-04,8.525689e-04,8.395930e-04,8.272710e-04,8.155749e-04,8.044777e-04,7.939536e-04,7.839775e-04,7.745255e-04,7.655744e-04,7.571021e-04,7.490871e-04,7.415090e-04,7.343480e-04,7.275851e-04,7.212021e-04,7.151814e-04,7.095062e-04,7.041604e-04,6.991283e-04,6.943950e-04,6.899463e-04,6.857684e-04,6.818480e-04,6.781726e-04,6.747300e-04,6.715086e-04,6.684971e-04,6.656850e-04,6.630618e-04,6.606180e-04,6.583439e-04,6.562307e-04,6.542696e-04,6.524526e-04,6.507716e-04,6.492192e-04,6.477881e-04,6.464715e-04,6.452628e-04,6.441557e-04,6.431443e-04
0.000000e+00,5.087900e-08,1.716104e-06,1.811526e-06,1.759539e-05,9.124448e-05,9.690363e-05,3.648556e-04,9.743192e-04,1.029819e-03,2.326594e-03,4.234719e-03,4.436086e-03,7.448021e-03,1.093639e-02,1.136802e-02,1.613935e-02,2.096532e-02,2.166421e-02,2.782081e-02,3.351953e-02,3.447627e-02,4.149584e-02,4.757820e-02,4.874935e-02,5.611556e-02,6.216254e-02,6.348469e-02,7.075994e-02,7.645608e-02,7.785795e-02,8.470868e-02,8.984333e-02,9.125489e-02,9.745124e-02,1.019049e-01,1.032633e-01,1.086666e-01,1.123921e-01,1.136450e-01,1.181901e-01,1.211930e-01,1.223000e-01,1.259781e-01,1.283000e-01,1.292324e-01,1.320746e-01,1.337792e-01,1.345192e-01,1.365830e-01,1.377454e-01,1.382845e-01,1.396433e-01,1.403426e-01,1.406799e-01,1.414148e-01,1.417281e-01,1.418689e-01,1.420626e-01,1.420622e-01,1.420161e-01,1.417489e-01,1.415004e-01,1.412800e-01,1.406274e-01,1.401881e-01,1.398082e-01,1.388389e-01,1.382584e-01,1.377347e-01,1.365102e-01,1.358304e-01,1.351788e-01,1.337533e-01,1.330088e-01,1.322452e-01,1.306654e-01,1.298847e-01,1.290240e-01,1.273303e-01,1.265360e-01,1.255927e-01,1.238190e-01,1.230290e-01,1.220164e-01,1.201914e-01,1.194196e-01,1.183499e-01,1.164973e-01,1.157543e-01,1.146386e-01,1.127781e-01,1.120715e-01,1.109200e-01,1.090677e-01,1.084030e-01,1.072247e-01,1.053938e-01,1.047745e-01,1.035776e-01,1.017785e-01,1.012068e-01,9.999860e-02,9.823974e-02,9.771643e-02,9.650356e-02,9.479151e-02,9.431664e-02,9.310487e-02,9.144476e-02,9.101759e-02,8.981213e-02,8.820781e-02,8.782707e-02,8.663252e-02,8.508685e-02,8.475083e-02,8.357130e-02,8.208626e-02,8.179294e-02,8.063205e-02,7.920892e-02,7.895607e-02,7.781704e-02,7.645651e-02,7.624174e-02,7.512739e-02,7.382967e-02,7.365050e-02,7.256332e-02,7.132823e-02,7.118211e-02,7.012427e-02,6.895128e-02,6.883567e-02,6.780905e-02,6.669735e-02,6.660973e-02,6.561593e-02,6.456451e-02,6.450237e-02,6.354277e-02,6.255040e-02,6.251131e-02,6.158705e-02,6.065236e-02,6.063396e-02,5.974596e-02,5.886745e-02,5.720873e-02,5.565458e-02,5.420162e-02,5.284638e-02,5.158532e-02,5.041480e-02,4.933118e-02,4.833077e-02,4.740989e-02,4.656485e-02,4.579199e-02,4.508766e-02,4.444827e-02,4.387026e-02,4.335014e-02,4.288447e-02,4.246990e-02,4.210313e-02,4.178097e-02,4.150031e-02,4.125813e-02,4.105153e-02,4.087769e-02,4.073390e-02,4.061757e-02,4.052622e-02,4.045747e-02,4.040908e-02,4.037891e-02,4.036493e-02,4.036524e-02,4.037805e-02,4.040167e-02,4.043454e-02,4.047521e-02,4.052232e-02,4.057463e-02,4.063100e-02,4.069038e-02,4.075181e-02,4.081444e-02,4.087749e-02,4.094028e-02,4.100218e-02,4.106267e-02,4.112126e-02,4.117756e-02,4.123122e-02,4.128196e-02
0.000000e+00,1.311120e-08,4.329097e-07,4.568590e-07,4.326835e-06,2.124655e-05,2.250109e-05,7.838894e-05,1.937531e-04,2.037955e-04,4.256688e-04,7.236976e-04,7.537218e-04,1.178031e-03,1.623485e-03,1.675795e-03,2.219892e-03,2.716584e-03,2.784702e-03,3.348868e-03,3.820949e-03,3.896054e-03,4.414653e-03,4.822524e-03,4.897063e-03,5.338847e-03,5.669305e-03,5.737965e-03,6.094107e-03,6.348648e-03,6.408165e-03,6.681832e-03,6.868651e-03,6.917299e-03,7.117034e-03,7.246528e-03,7.283627e-03,7.419686e-03,7.502215e-03,7.527761e-03,7.610303e-03,7.655231e-03,7.669632e-03,7.707927e-03,7.723310e-03,7.727216e-03,7.729382e-03,7.721964e-03,7.716159e-03,7.689147e-03,7.664484e-03,7.649813e-03,7.599502e-03,7.562115e-03,7.539444e-03,7.470766e-03,7.424310e-03,7.394494e-03,7.311570e-03,7.258982e-03,7.222851e-03,7.129117e-03,7.072737e-03,7.031082e-03,6.929394e-03,6.871075e-03,6.824644e-03,6.717369e-03,6.658564e-03,6.608056e-03,6.497148e-03,6.438980e-03,6.385046e-03,6.272112e-03,6.215437e-03,6.158674e-03,6.045028e-03,5.990483e-03,5.931440e-03,5.818149e-03,5.766194e-03,5.705369e-03,5.593294e-03,5.544248e-03,5.482093e-03,5.371921e-03,5.325988e-03,5.262911e-03,5.155183e-03,5.112475e-03,5.048842e-03,4.943979e-03,4.904535e-03,4.840673e-03,4.738993e-03,4.702798e-03,4.638998e-03,4.540736e-03,4.507729e-03,4.444248e-03,4.349568e-03,4.319657e-03,4.256721e-03,4.165728e-03,4.138793e-03,4.076601e-03,3.989351e-03,3.965258e-03,3.903982e-03,3.820494e-03,3.799094e-03,3.738882e-03,3.659141e-03,3.640280e-03,3.581259e-03,3.505224e-03,3.488742e-03,3.431020e-03,3.358630e-03,3.344368e-03,3.288035e-03,3.219213e-03,3.207011e-03,3.152141e-03,3.086797e-03,3.076500e-03,3.023154e-03,2.961187e-03,2.952644e-03,2.900870e-03,2.842174e-03,2.835239e-03,2.785073e-03,2.729537e-03,2.724068e-03,2.675538e-03,2.623047e-03,2.618912e-03,2.572034e-03,2.522471e-03,2.519543e-03,2.474329e-03,2.427577e-03,2.425736e-03,2.382187e-03,2.338131e-03,2.337263e-03,2.295378e-03,2.253901e-03,2.175428e-03,2.101630e-03,2.032293e-03,1.967213e-03,1.906190e-03,1.849031e-03,1.795550e-03,1.745568e-03,1.698910e-03,1.655413e-03,1.614915e-03,1.577264e-03,1.542315e-03,1.509926e-03,1.479963e-03,1.452300e-03,1.426812e-03,1.403384e-03,1.381904e-03,1.362264e-03,1.344364e-03,1.328105e-03,1.313397e-03,1.300149e-03,1.288279e-03,1.277706e-03,1.268352e-03,1.260146e-03,1.253017e-03,1.246898e-03,1.241728e-03,1.237445e-03,1.233991e-03,1.231313e-03,1.229357e-03,1.228074e-03,1.227417e-03,1.227341e-03,1.227802e-03,1.228760e-03,1.230176e-03,1.232012e-03,1.234235e-03,1.236809e-03,1.239705e-03,1.242891e-03,1.246340e-03,1.250023e-03,1.253916e-03
0.000000e+00,9.608142e-09,3.488427e-07,3.690950e-07,3.940590e-06,2.068550e-05,2.194092e-05,7.696087e-05,1.818545e-04,1.904780e-04,3.658863e-04,5.707894e-04,5.900790e-04,8.441766e-04,1.083827e-03,1.110601e-03,1.375722e-03,1.600380e-03,1.630120e-03,1.867924e-03,2.056666e-03,2.085930e-03,2.282795e-03,2.431720e-03,2.458411e-03,2.613440e-03,2.725974e-03,2.748995e-03,2.866425e-03,2.948289e-03,2.967175e-03,3.052700e-03,3.109748e-03,3.124407e-03,3.183629e-03,3.221056e-03,3.231609e-03,3.269492e-03,3.291646e-03,3.298328e-03,3.319073e-03,3.329488e-03,3.332593e-03,3.339674e-03,3.341182e-03,3.341025e-03,3.337287e-03,3.332135e-03,3.329036e-03,3.316792e-03,3.306753e-03,3.301023e-03,3.282150e-03,3.268618e-03,3.260551e-03,3.236567e-03,3.220635e-03,3.210504e-03,3.182638e-03,3.165156e-03,3.153215e-03,3.122457e-03,3.104086e-03,3.090565e-03,3.057717e-03,3.038965e-03,3.024073e-03,2.989779e-03,2.971035e-03,2.954962e-03,2.919739e-03,2.901297e-03,2.884213e-03,2.848477e-03,2.830556e-03,2.812614e-03,2.776697e-03,2.759458e-03,2.740793e-03,2.704960e-03,2.688515e-03,2.669250e-03,2.633711e-03,2.618138e-03,2.598381e-03,2.563299e-03,2.548646e-03,2.528496e-03,2.494000e-03,2.480294e-03,2.459837e-03,2.426026e-03,2.413275e-03,2.392588e-03,2.359538e-03,2.347737e-03,2.326889e-03,2.294654e-03,2.283790e-03,2.262842e-03,2.231462e-03,2.221513e-03,2.200520e-03,2.170021e-03,2.160959e-03,2.139970e-03,2.110370e-03,2.102163e-03,2.081222e-03,2.052527e-03,2.045141e-03,2.024287e-03,1.996500e-03,1.989898e-03,1.969165e-03,1.942282e-03,1.936428e-03,1.915847e-03,1.889859e-03,1.884715e-03,1.864315e-03,1.839210e-03,1.834738e-03,1.814542e-03,1.790307e-03,1.786469e-03,1.766501e-03,1.743119e-03,1.739879e-03,1.720156e-03,1.697610e-03,1.694932e-03,1.675473e-03,1.653743e-03,1.651592e-03,1.632412e-03,1.611478e-03,1.609820e-03,1.590934e-03,1.570775e-03,1.569578e-03,1.550997e-03,1.531593e-03,1.530824e-03,1.512558e-03,1.493889e-03,1.493519e-03,1.475578e-03,1.457621e-03,1.423089e-03,1.389884e-03,1.357965e-03,1.327292e-03,1.297827e-03,1.269532e-03,1.242369e-03,1.216301e-03,1.191293e-03,1.167310e-03,1.144318e-03,1.122283e-03,1.101174e-03,1.080960e-03,1.061608e-03,1.043091e-03,1.025378e-03,1.008443e-03,9.922568e-04,9.767945e-04,9.620299e-04,9.479382e-04,9.344954e-04,9.216780e-04,9.094634e-04,8.978295e-04,8.867551e-04,8.762195e-04,8.662026e-04,8.566851e-04,8.476481e-04,8.390734e-04,8.309434e-04,8.232409e-04,8.159494e-04,8.090527e-04,8.025354e-04,7.963823e-04,7.905790e-04,7.851112e-04,7.799652e-04,7.751279e-04,7.705864e-04,7.663284e-04,7.623417e-04,7.586148e-04,7.551365e-04,7.518958e-04,7.488823e-04
0.000000e+00,1.243195e-09,1.545437e-08,1.612536e-08,1.012290e-07,3.709894e-07,3.881451e-07,9.720364e-07,1.686682e-06,1.733939e-06,2.514035e-06,3.196626e-06,3.253921e-06,3.940791e-06,4.512648e-06,4.573528e-06,5.153933e-06,5.623400e-06,5.684530e-06,6.167989e-06,6.548093e-06,6.606970e-06,7.004068e-06,7.307104e-06,7.361796e-06,7.682581e-06,7.919693e-06,7.968750e-06,8.222535e-06,8.403678e-06,8.446061e-06,8.641352e-06,8.775316e-06,8.810327e-06,8.954804e-06,9.049285e-06,9.076504e-06,9.177049e-06,9.238735e-06,9.257969e-06,9.320707e-06,9.355385e-06,9.366620e-06,9.396986e-06,9.409637e-06,9.413004e-06,9.415802e-06,9.410697e-06,9.406439e-06,9.385908e-06,9.366694e-06,9.355140e-06,9.315009e-06,9.284791e-06,9.266333e-06,9.209877e-06,9.171284e-06,9.146359e-06,9.076448e-06,9.031695e-06,9.000770e-06,8.919910e-06,8.870854e-06,8.834415e-06,8.744793e-06,8.692981e-06,8.651520e-06,8.555038e-06,8.501750e-06,8.455759e-06,8.354066e-06,8.300351e-06,8.250315e-06,8.144838e-06,8.091548e-06,8.037939e-06,7.929905e-06,7.877723e-06,7.820998e-06,7.711462e-06,7.660927e-06,7.601521e-06,7.491384e-06,7.442910e-06,7.381240e-06,7.271266e-06,7.225167e-06,7.161623e-06,7.052460e-06,7.008959e-06,6.943910e-06,6.836099e-06,6.795348e-06,6.729138e-06,6.623129e-06,6.585217e-06,6.518164e-06,6.414329e-06,6.379295e-06,6.311696e-06,6.210333e-06,6.178176e-06,6.110301e-06,6.011652e-06,5.982333e-06,5.914432e-06,5.818682e-06,5.792141e-06,5.724438e-06,5.631729e-06,5.607880e-06,5.540582e-06,5.451016e-06,5.429757e-06,5.363048e-06,5.276692e-06,5.257910e-06,5.191956e-06,5.108847e-06,5.092421e-06,5.027369e-06,4.947521e-06,4.933321e-06,4.869301e-06,4.792706e-06,4.780601e-06,4.717728e-06,4.644359e-06,4.634215e-06,4.572588e-06,4.502405e-06,4.494089e-06,4.433795e-06,4.366744e-06,4.360124e-06,4.301235e-06,4.237252e-06,4.232199e-06,4.174777e-06,4.113790e-06,4.110178e-06,4.054273e-06,3.996204e-06,3.993911e-06,3.939563e-06,3.884328e-06,3.883238e-06,3.830478e-06,3.777990e-06,3.677994e-06,3.583070e-06,3.493040e-06,3.407721e-06,3.326932e-06,3.250494e-06,3.178229e-06,3.109960e-06,3.045518e-06,2.984732e-06,2.927440e-06,2.873482e-06,2.822703e-06,2.774953e-06,2.730087e-06,2.687965e-06,2.648451e-06,2.611417e-06,2.576736e-06,2.544289e-06,2.513960e-06,2.485639e-06,2.459221e-06,2.434604e-06,2.411692e-06,2.390392e-06,2.370616e-06,2.352280e-06,2.335304e-06,2.319611e-06,2.305129e-06,2.291789e-06,2.279525e-06,2.268273e-06,2.257975e-06,2.248574e-06,2.240017e-06,2.232252e-06,2.225232e-06,2.218909e-06,2.213242e-06,2.208189e-06,2.203710e-06,2.199770e-06,2.196332e-06,2.193365e-06,2.190836e-06,2.188716e-06,2.186978e-06
0.000000e+00,2.227905e-07,7.306654e-06,7.706290e-06,7.069030e-05,3.414819e-04,3.615487e-04,1.262432e-03,3.165021e-03,3.333107e-03,7.136711e-03,1.250200e-02,1.305855e-02,2.124166e-02,3.049033e-02,3.162224e-02,4.399445e-02,5.630043e-02,5.806842e-02,7.351387e-02,8.763429e-02,8.999060e-02,1.071687e-01,1.219152e-01,1.247415e-01,1.424326e-01,1.568565e-01,1.599997e-01,1.772351e-01,1.906671e-01,1.939655e-01,2.100493e-01,2.220729e-01,2.253746e-01,2.398559e-01,2.502583e-01,2.534312e-01,2.660589e-01,2.747785e-01,2.777148e-01,2.883898e-01,2.954698e-01,2.980871e-01,3.068201e-01,3.123707e-01,3.146104e-01,3.214861e-01,3.256559e-01,3.274804e-01,3.326301e-01,3.355854e-01,3.369748e-01,3.405556e-01,3.424659e-01,3.434147e-01,3.455945e-01,3.466234e-01,3.471373e-01,3.480846e-01,3.483841e-01,3.484771e-01,3.483542e-01,3.480619e-01,3.477541e-01,3.467133e-01,3.459511e-01,3.452668e-01,3.434479e-01,3.423220e-01,3.412882e-01,3.388177e-01,3.374197e-01,3.360648e-01,3.330563e-01,3.314640e-01,3.298171e-01,3.263712e-01,3.246502e-01,3.227405e-01,3.189459e-01,3.171508e-01,3.150069e-01,3.109416e-01,3.091173e-01,3.067670e-01,3.024991e-01,3.006822e-01,2.981524e-01,2.937408e-01,2.919609e-01,2.892771e-01,2.847731e-01,2.830534e-01,2.802399e-01,2.756875e-01,2.740458e-01,2.711255e-01,2.665625e-01,2.650124e-01,2.620067e-01,2.574654e-01,2.560164e-01,2.529454e-01,2.484531e-01,2.471117e-01,2.439942e-01,2.395740e-01,2.383439e-01,2.351972e-01,2.308682e-01,2.297510e-01,2.265910e-01,2.223692e-01,2.213645e-01,2.182059e-01,2.141041e-01,2.132102e-01,2.100663e-01,2.060950e-01,2.053088e-01,2.021920e-01,1.983592e-01,1.976769e-01,1.945981e-01,1.909101e-01,1.903268e-01,1.872962e-01,1.837574e-01,1.832680e-01,1.802945e-01,1.769080e-01,1.765068e-01,1.735984e-01,1.703660e-01,1.700470e-01,1.672110e-01,1.641334e-01,1.638905e-01,1.611332e-01,1.582102e-01,1.580372e-01,1.553641e-01,1.525947e-01,1.524855e-01,1.499015e-01,1.472840e-01,1.472325e-01,1.447417e-01,1.422740e-01,1.376051e-01,1.332200e-01,1.291123e-01,1.252751e-01,1.217009e-01,1.183820e-01,1.153104e-01,1.124777e-01,1.098756e-01,1.074955e-01,1.053286e-01,1.033662e-01,1.015996e-01,1.000199e-01,9.861817e-02,9.738570e-02,9.631366e-02,9.539328e-02,9.461589e-02,9.397283e-02,9.345558e-02,9.305570e-02,9.276486e-02,9.257490e-02,9.247777e-02,9.246561e-02,9.253076e-02,9.266572e-02,9.286326e-02,9.311635e-02,9.341821e-02,9.376235e-02,9.414252e-02,9.455279e-02,9.498751e-02,9.544135e-02,9.590928e-02,9.638660e-02,9.686893e-02,9.735222e-02,9.783273e-02,9.830707e-02,9.877213e-02,9.922515e-02,9.966366e-02,1.000855e-01,1.004888e-01,1.008719e-01,1.012334e-01
0.000000e+00,9.986327e-10,1.534102e-08,1.603572e-08,9.716506e-08,3.024472e-07,3.139721e-07,6.521766e-07,9.992397e-07,1.021086e-06,1.372560e-06,1.671868e-06,1.696771e-06,1.993199e-06,2.237249e-06,2.263088e-06,2.507986e-06,2.704076e-06,2.729468e-06,2.929057e-06,3.084310e-06,3.108216e-06,3.268340e-06,3.389105e-06,3.410753e-06,3.536709e-06,3.628544e-06,3.647390e-06,3.743908e-06,3.811631e-06,3.827311e-06,3.898578e-06,3.946335e-06,3.958629e-06,4.008323e-06,4.039661e-06,4.048465e-06,4.079807e-06,4.097748e-06,4.103050e-06,4.118848e-06,4.125958e-06,4.127814e-06,4.130516e-06,4.128966e-06,4.127484e-06,4.119214e-06,4.110834e-06,4.106165e-06,4.088767e-06,4.075095e-06,4.067416e-06,4.042481e-06,4.024804e-06,4.014310e-06,3.983222e-06,3.962615e-06,3.949517e-06,3.913468e-06,3.890823e-06,3.875334e-06,3.835354e-06,3.811407e-06,3.793748e-06,3.750719e-06,3.726071e-06,3.706453e-06,3.661125e-06,3.636265e-06,3.614900e-06,3.567924e-06,3.543246e-06,3.520334e-06,3.472257e-06,3.448071e-06,3.423807e-06,3.375094e-06,3.351646e-06,3.326213e-06,3.277257e-06,3.254734e-06,3.228305e-06,3.179435e-06,3.157976e-06,3.130716e-06,3.082209e-06,3.061914e-06,3.033972e-06,2.986058e-06,2.966993e-06,2.938512e-06,2.891379e-06,2.873584e-06,2.844694e-06,2.798494e-06,2.781987e-06,2.752809e-06,2.707665e-06,2.692444e-06,2.663088e-06,2.619099e-06,2.605150e-06,2.575716e-06,2.532956e-06,2.520251e-06,2.490832e-06,2.449356e-06,2.437860e-06,2.408538e-06,2.368387e-06,2.358057e-06,2.328908e-06,2.290106e-06,2.280894e-06,2.251984e-06,2.214546e-06,2.206401e-06,2.177792e-06,2.141721e-06,2.134588e-06,2.106332e-06,2.071625e-06,2.065449e-06,2.037595e-06,2.004239e-06,1.998964e-06,1.971553e-06,1.939532e-06,1.935102e-06,1.908170e-06,1.877462e-06,1.873821e-06,1.847401e-06,1.817981e-06,1.815073e-06,1.789193e-06,1.761031e-06,1.758805e-06,1.733487e-06,1.706553e-06,1.704956e-06,1.680220e-06,1.654481e-06,1.653463e-06,1.629326e-06,1.604747e-06,1.604261e-06,1.580735e-06,1.557281e-06,1.512453e-06,1.469709e-06,1.428977e-06,1.390187e-06,1.353271e-06,1.318158e-06,1.284782e-06,1.253076e-06,1.222975e-06,1.194415e-06,1.167334e-06,1.141673e-06,1.117372e-06,1.094375e-06,1.072626e-06,1.052074e-06,1.032665e-06,1.014352e-06,9.970847e-07,9.808183e-07,9.655081e-07,9.511112e-07,9.375863e-07,9.248939e-07,9.129957e-07,9.018552e-07,8.914371e-07,8.817075e-07,8.726341e-07,8.641856e-07,8.563320e-07,8.490447e-07,8.422960e-07,8.360596e-07,8.303101e-07,8.250231e-07,8.201753e-07,8.157445e-07,8.117091e-07,8.080486e-07,8.047434e-07,8.017747e-07,7.991243e-07,7.967750e-07,7.947102e-07,7.929141e-07,7.913715e-07,7.900678e-07,7.889893e-07
0.000000e+00,1.952473e-08,3.407310e-07,3.566210e-07,2.473861e-06,9.619335e-06,1.008952e-05,2.729807e-05,5.164357e-05,5.335786e-05,8.272805e-05,1.092847e-04,1.115305e-04,1.385750e-04,1.612252e-04,1.636431e-04,1.867585e-04,2.055486e-04,2.080021e-04,2.274677e-04,2.428592e-04,2.452511e-04,2.614466e-04,2.738911e-04,2.761462e-04,2.894388e-04,2.993491e-04,3.014102e-04,3.121424e-04,3.198888e-04,3.217138e-04,3.301990e-04,3.361088e-04,3.376685e-04,3.441894e-04,3.485499e-04,3.498250e-04,3.546352e-04,3.576967e-04,3.586765e-04,3.620019e-04,3.639812e-04,3.646616e-04,3.667033e-04,3.677886e-04,3.681714e-04,3.691079e-04,3.694612e-04,3.695521e-04,3.695410e-04,3.693013e-04,3.691096e-04,3.682905e-04,3.675770e-04,3.671144e-04,3.656101e-04,3.645246e-04,3.638048e-04,3.617238e-04,3.603528e-04,3.593908e-04,3.568283e-04,3.552450e-04,3.540569e-04,3.510965e-04,3.493628e-04,3.479651e-04,3.446801e-04,3.428479e-04,3.412573e-04,3.377118e-04,3.358244e-04,3.340576e-04,3.303077e-04,3.284007e-04,3.264743e-04,3.225688e-04,3.206717e-04,3.186017e-04,3.145829e-04,3.127195e-04,3.105216e-04,3.064263e-04,3.046156e-04,3.023049e-04,2.981647e-04,2.964219e-04,2.940126e-04,2.898549e-04,2.881916e-04,2.856974e-04,2.815455e-04,2.799703e-04,2.774042e-04,2.732780e-04,2.717971e-04,2.691712e-04,2.650877e-04,2.637052e-04,2.610309e-04,2.570042e-04,2.557225e-04,2.530104e-04,2.490524e-04,2.478723e-04,2.451325e-04,2.412529e-04,2.401741e-04,2.374157e-04,2.336226e-04,2.326438e-04,2.298752e-04,2.261750e-04,2.252941e-04,2.225232e-04,2.189209e-04,2.181352e-04,2.153691e-04,2.118686e-04,2.111747e-04,2.084200e-04,2.050241e-04,2.044184e-04,2.016811e-04,1.983916e-04,1.978703e-04,1.951558e-04,1.919738e-04,1.915327e-04,1.888459e-04,1.857719e-04,1.854067e-04,1.827520e-04,1.797859e-04,1.794922e-04,1.768736e-04,1.740148e-04,1.737884e-04,1.712092e-04,1.684567e-04,1.682932e-04,1.657567e-04,1.631090e-04,1.630042e-04,1.605131e-04,1.579686e-04,1.579182e-04,1.554749e-04,1.530316e-04,1.483405e-04,1.438404e-04,1.395268e-04,1.353949e-04,1.314399e-04,1.276565e-04,1.240399e-04,1.205848e-04,1.172860e-04,1.141385e-04,1.111372e-04,1.082771e-04,1.055532e-04,1.029606e-04,1.004946e-04,9.815047e-05,9.592367e-05,9.380973e-05,9.180432e-05,8.990319e-05,8.810226e-05,8.639754e-05,8.478515e-05,8.326136e-05,8.182255e-05,8.046520e-05,7.918592e-05,7.798144e-05,7.684859e-05,7.578433e-05,7.478569e-05,7.384984e-05,7.297404e-05,7.215565e-05,7.139212e-05,7.068099e-05,7.001992e-05,6.940661e-05,6.883889e-05,6.831464e-05,6.783185e-05,6.738855e-05,6.698288e-05,6.661302e-05,6.627725e-05,6.597389e-05,6.570135e-05,6.545808e-05,6.524259e-05
0.000000e+00,5.442060e-08,1.876192e-06,1.981409e-06,1.950814e-05,1.005550e-04,1.067319e-04,3.948436e-04,1.037123e-03,1.095216e-03,2.446780e-03,4.433514e-03,4.643501e-03,7.794990e-03,1.147146e-02,1.192833e-02,1.700687e-02,2.219450e-02,2.294991e-02,2.964908e-02,3.592115e-02,3.698086e-02,4.481585e-02,5.169193e-02,5.302548e-02,6.148667e-02,6.853190e-02,7.008489e-02,7.871611e-02,8.558219e-02,8.728769e-02,9.571879e-02,1.021526e-01,1.039402e-01,1.118938e-01,1.177298e-01,1.195320e-01,1.268168e-01,1.319625e-01,1.337189e-01,1.402168e-01,1.446366e-01,1.462959e-01,1.519476e-01,1.556474e-01,1.571683e-01,1.619591e-01,1.649735e-01,1.663246e-01,1.702724e-01,1.726540e-01,1.738128e-01,1.769578e-01,1.787695e-01,1.797214e-01,1.821182e-01,1.834270e-01,1.841642e-01,1.858755e-01,1.867485e-01,1.872688e-01,1.883608e-01,1.888627e-01,1.891682e-01,1.897076e-01,1.898986e-01,1.899952e-01,1.900468e-01,1.899820e-01,1.898779e-01,1.895035e-01,1.892323e-01,1.889378e-01,1.881948e-01,1.877610e-01,1.872877e-01,1.862293e-01,1.856710e-01,1.850315e-01,1.837060e-01,1.830564e-01,1.822637e-01,1.807148e-01,1.800022e-01,1.790694e-01,1.773365e-01,1.765848e-01,1.755251e-01,1.736433e-01,1.728726e-01,1.716989e-01,1.696993e-01,1.689263e-01,1.676512e-01,1.655611e-01,1.647996e-01,1.634351e-01,1.612788e-01,1.605397e-01,1.590975e-01,1.568960e-01,1.561880e-01,1.546789e-01,1.524507e-01,1.517806e-01,1.502151e-01,1.479759e-01,1.473488e-01,1.457366e-01,1.435002e-01,1.429196e-01,1.412698e-01,1.390480e-01,1.385164e-01,1.368374e-01,1.346403e-01,1.341589e-01,1.324587e-01,1.302946e-01,1.298641e-01,1.281498e-01,1.260259e-01,1.256460e-01,1.239244e-01,1.218466e-01,1.215165e-01,1.197938e-01,1.177669e-01,1.174853e-01,1.157671e-01,1.137952e-01,1.135605e-01,1.118520e-01,1.099382e-01,1.097484e-01,1.080543e-01,1.062009e-01,1.060540e-01,1.043785e-01,1.025875e-01,1.024811e-01,1.008282e-01,9.910081e-02,9.903238e-02,9.740560e-02,9.574272e-02,9.570979e-02,9.411229e-02,9.251438e-02,8.944655e-02,8.650615e-02,8.369250e-02,8.100455e-02,7.844086e-02,7.599969e-02,7.367906e-02,7.147675e-02,6.939038e-02,6.741739e-02,6.555511e-02,6.380075e-02,6.215142e-02,6.060418e-02,5.915600e-02,5.780381e-02,5.654449e-02,5.537490e-02,5.429183e-02,5.329209e-02,5.237246e-02,5.152970e-02,5.076058e-02,5.006185e-02,4.943029e-02,4.886267e-02,4.835580e-02,4.790648e-02,4.751157e-02,4.716793e-02,4.687249e-02,4.662221e-02,4.641409e-02,4.624520e-02,4.611267e-02,4.601370e-02,4.594555e-02,4.590558e-02,4.589120e-02,4.589993e-02,4.592939e-02,4.597726e-02,4.604136e-02,4.611959e-02,4.620994e-02,4.631054e-02,4.641959e-02,4.653543e-02,4.665648e-02
0.000000e+00,2.114740e-08,4.076360e-07,4.272625e-07,2.874736e-06,9.443014e-06,9.814766e-06,2.058248e-05,3.136833e-05,3.204188e-05,4.281831e-05,5.191503e-05,5.266859e-05,6.159689e-05,6.888553e-05,6.965364e-05,7.689657e-05,8.264040e-05,8.337993e-05,8.915376e-05,9.358984e-05,9.426791e-05,9.877015e-05,1.021125e-04,1.027060e-04,1.061188e-04,1.085560e-04,1.090498e-04,1.115376e-04,1.132334e-04,1.136188e-04,1.153277e-04,1.164227e-04,1.166960e-04,1.177537e-04,1.183668e-04,1.185283e-04,1.190454e-04,1.192763e-04,1.193288e-04,1.194003e-04,1.193321e-04,1.192803e-04,1.189875e-04,1.186889e-04,1.185389e-04,1.179506e-04,1.174782e-04,1.172371e-04,1.164118e-04,1.158119e-04,1.154870e-04,1.144741e-04,1.137844e-04,1.133834e-04,1.122245e-04,1.114756e-04,1.110061e-04,1.097362e-04,1.089527e-04,1.084222e-04,1.070706e-04,1.062719e-04,1.056876e-04,1.042788e-04,1.034805e-04,1.028492e-04,1.014035e-04,1.006177e-04,9.994593e-05,9.848023e-05,9.771603e-05,9.700990e-05,9.553808e-05,9.480251e-05,9.406760e-05,9.260103e-05,9.189914e-05,9.114066e-05,8.968858e-05,8.902392e-05,8.824664e-05,8.681650e-05,8.619136e-05,8.539963e-05,8.399736e-05,8.341304e-05,8.261084e-05,8.124109e-05,8.069809e-05,7.988900e-05,7.855535e-05,7.805353e-05,7.724080e-05,7.594592e-05,7.548468e-05,7.467120e-05,7.341703e-05,7.299535e-05,7.218373e-05,7.097156e-05,7.058816e-05,6.978072e-05,6.861133e-05,6.826472e-05,6.746350e-05,6.633724e-05,6.602576e-05,6.523258e-05,6.414946e-05,6.387137e-05,6.308781e-05,6.204752e-05,6.180102e-05,6.102847e-05,6.003050e-05,5.981376e-05,5.905343e-05,5.809706e-05,5.790825e-05,5.716118e-05,5.624555e-05,5.608287e-05,5.534994e-05,5.447409e-05,5.433577e-05,5.361772e-05,5.278057e-05,5.266489e-05,5.196235e-05,5.116278e-05,5.106807e-05,5.038156e-05,4.961838e-05,4.954305e-05,4.887296e-05,4.814499e-05,4.808750e-05,4.743416e-05,4.674017e-05,4.669906e-05,4.606271e-05,4.540148e-05,4.537536e-05,4.475617e-05,4.412647e-05,4.411403e-05,4.351208e-05,4.291271e-05,4.176908e-05,4.068086e-05,3.964581e-05,3.866175e-05,3.772656e-05,3.683816e-05,3.599455e-05,3.519381e-05,3.443405e-05,3.371347e-05,3.303034e-05,3.238296e-05,3.176973e-05,3.118911e-05,3.063959e-05,3.011976e-05,2.962824e-05,2.916371e-05,2.872493e-05,2.831067e-05,2.791980e-05,2.755120e-05,2.720381e-05,2.687663e-05,2.656868e-05,2.627903e-05,2.600682e-05,2.575118e-05,2.551132e-05,2.528645e-05,2.507585e-05,2.487881e-05,2.469464e-05,2.452271e-05,2.436241e-05,2.421316e-05,2.407439e-05,2.394558e-05,2.382621e-05,2.371580e-05,2.361388e-05,2.352001e-05,2.343378e-05,2.335476e-05,2.328259e-05,2.321690e-05,2.315733e-05,2.310356e-05,2.305526e-05
0.000000e+00,3.226874e-10,4.843493e-09,5.066244e-09,3.297605e-08,1.131568e-07,1.179374e-07,2.667852e-07,4.302103e-07,4.407178e-07,6.123878e-07,7.620214e-07,7.746090e-07,9.261403e-07,1.053428e-06,1.067050e-06,1.197708e-06,1.304556e-06,1.318554e-06,1.430043e-06,1.518790e-06,1.532633e-06,1.626777e-06,1.699656e-06,1.712918e-06,1.791488e-06,1.850558e-06,1.862903e-06,1.927566e-06,1.974695e-06,1.985864e-06,2.038165e-06,2.075027e-06,2.084827e-06,2.126186e-06,2.154271e-06,2.162564e-06,2.194265e-06,2.214885e-06,2.221581e-06,2.244788e-06,2.259100e-06,2.264147e-06,2.279907e-06,2.288924e-06,2.292303e-06,2.301557e-06,2.306164e-06,2.307881e-06,2.311473e-06,2.312440e-06,2.312523e-06,2.311209e-06,2.309206e-06,2.307700e-06,2.302155e-06,2.297761e-06,2.294724e-06,2.285551e-06,2.279266e-06,2.274768e-06,2.262503e-06,2.254757e-06,2.248875e-06,2.233996e-06,2.225157e-06,2.217973e-06,2.200905e-06,2.191287e-06,2.182886e-06,2.164006e-06,2.153875e-06,2.144347e-06,2.123987e-06,2.113567e-06,2.103000e-06,2.081456e-06,2.070935e-06,2.059418e-06,2.036948e-06,2.026483e-06,2.014104e-06,1.990937e-06,1.980655e-06,1.967500e-06,1.943837e-06,1.933842e-06,1.919993e-06,1.896010e-06,1.886386e-06,1.871925e-06,1.847773e-06,1.838586e-06,1.823589e-06,1.799403e-06,1.790701e-06,1.775243e-06,1.751136e-06,1.742957e-06,1.727108e-06,1.703180e-06,1.695548e-06,1.679375e-06,1.655711e-06,1.648642e-06,1.632206e-06,1.608878e-06,1.602380e-06,1.585741e-06,1.562809e-06,1.556882e-06,1.540096e-06,1.517611e-06,1.512250e-06,1.495367e-06,1.473372e-06,1.468568e-06,1.451635e-06,1.430164e-06,1.425903e-06,1.408966e-06,1.388045e-06,1.384310e-06,1.367409e-06,1.347060e-06,1.343832e-06,1.327004e-06,1.307244e-06,1.304501e-06,1.287782e-06,1.268621e-06,1.266342e-06,1.249762e-06,1.231206e-06,1.229368e-06,1.212956e-06,1.195010e-06,1.193587e-06,1.177369e-06,1.160033e-06,1.159002e-06,1.143001e-06,1.126272e-06,1.125610e-06,1.109846e-06,1.093720e-06,1.093401e-06,1.077893e-06,1.062364e-06,1.032483e-06,1.003741e-06,9.761169e-07,9.495876e-07,9.241291e-07,8.997161e-07,8.763218e-07,8.539190e-07,8.324798e-07,8.119760e-07,7.923791e-07,7.736606e-07,7.557921e-07,7.387453e-07,7.224923e-07,7.070053e-07,6.922572e-07,6.782212e-07,6.648712e-07,6.521814e-07,6.401267e-07,6.286828e-07,6.178257e-07,6.075322e-07,5.977798e-07,5.885466e-07,5.798114e-07,5.715535e-07,5.637532e-07,5.563910e-07,5.494485e-07,5.429075e-07,5.367507e-07,5.309613e-07,5.255232e-07,5.204207e-07,5.156388e-07,5.111631e-07,5.069795e-07,5.030748e-07,4.994360e-07,4.960507e-07,4.929069e-07,4.899932e-07,4.872986e-07,4.848124e-07,4.825246e-07,4.804254e-07,4.785053e-07
0.000000e+00,5.333361e-07,1.932061e-05,2.043180e-05,2.157968e-04,1.171521e-03,1.245454e-03,4.712526e-03,1.229308e-02,1.296634e-02,2.818178e-02,4.951565e-02,5.172209e-02,8.409880e-02,1.206728e-01,1.251537e-01,1.742554e-01,2.233796e-01,2.304639e-01,2.926578e-01,3.500131e-01,3.596313e-01,4.301645e-01,4.912956e-01,5.030739e-01,5.772474e-01,6.382952e-01,6.516665e-01,7.254191e-01,7.834006e-01,7.977062e-01,8.678422e-01,9.206813e-01,9.352521e-01,9.994664e-01,1.045900e+00,1.060113e+00,1.116911e+00,1.156341e+00,1.169657e+00,1.218222e+00,1.250561e+00,1.262540e+00,1.302598e+00,1.328120e+00,1.338430e+00,1.370107e+00,1.389327e+00,1.397735e+00,1.421444e+00,1.435018e+00,1.441385e+00,1.457725e+00,1.466374e+00,1.470641e+00,1.480318e+00,1.484774e+00,1.486946e+00,1.490716e+00,1.491687e+00,1.491820e+00,1.490447e+00,1.488587e+00,1.486780e+00,1.480999e+00,1.476903e+00,1.473277e+00,1.463783e+00,1.457974e+00,1.452674e+00,1.440104e+00,1.433038e+00,1.426216e+00,1.411147e+00,1.403211e+00,1.395027e+00,1.377975e+00,1.369493e+00,1.360105e+00,1.341523e+00,1.332764e+00,1.322329e+00,1.302613e+00,1.293796e+00,1.282462e+00,1.261956e+00,1.253255e+00,1.241167e+00,1.220163e+00,1.211715e+00,1.199006e+00,1.177756e+00,1.169667e+00,1.156463e+00,1.135177e+00,1.127524e+00,1.113941e+00,1.092797e+00,1.085635e+00,1.071780e+00,1.050926e+00,1.044291e+00,1.030262e+00,1.009818e+00,1.003732e+00,9.896180e-01,9.696834e-01,9.641521e-01,9.500344e-01,9.306885e-01,9.257102e-01,9.116613e-01,8.929665e-01,8.885306e-01,8.746160e-01,8.566201e-01,8.527095e-01,8.389877e-01,8.217262e-01,8.183190e-01,8.048419e-01,7.883398e-01,7.854104e-01,7.722239e-01,7.564972e-01,7.540171e-01,7.411616e-01,7.262185e-01,7.241578e-01,7.116683e-01,6.975108e-01,6.958383e-01,6.837451e-01,6.703696e-01,6.690535e-01,6.573824e-01,6.447810e-01,6.437895e-01,6.325624e-01,6.207231e-01,6.200247e-01,6.092596e-01,5.981677e-01,5.977317e-01,5.874431e-01,5.770812e-01,5.768777e-01,5.670771e-01,5.574256e-01,5.393354e-01,5.225639e-01,5.070661e-01,4.927953e-01,4.797037e-01,4.677427e-01,4.568631e-01,4.470157e-01,4.381510e-01,4.302196e-01,4.231727e-01,4.169615e-01,4.115382e-01,4.068554e-01,4.028665e-01,3.995256e-01,3.967880e-01,3.946098e-01,3.929481e-01,3.917613e-01,3.910089e-01,3.906518e-01,3.906521e-01,3.909733e-01,3.915802e-01,3.924395e-01,3.935190e-01,3.947882e-01,3.962184e-01,3.977821e-01,3.994539e-01,4.012097e-01,4.030272e-01,4.048858e-01,4.067664e-01,4.086515e-01,4.105253e-01,4.123734e-01,4.141831e-01,4.159430e-01,4.176431e-01,4.192748e-01,4.208309e-01,4.223051e-01,4.236925e-01,4.249894e-01,4.261927e-01,4.273005e-01,4.283119e-01
0.000000e+00,1.685599e-08,4.933386e-07,5.197006e-07,4.457244e-06,1.912838e-05,2.012737e-05,5.858311e-05,1.190986e-04,1.236380e-04,2.064085e-04,2.864239e-04,2.932613e-04,3.747560e-04,4.400739e-04,4.468150e-04,5.085667e-04,5.547797e-04,5.605290e-04,6.036789e-04,6.345443e-04,6.390700e-04,6.676969e-04,6.871753e-04,6.904565e-04,7.081437e-04,7.193552e-04,7.214573e-04,7.310092e-04,7.363036e-04,7.373335e-04,7.408951e-04,7.420173e-04,7.420983e-04,7.412940e-04,7.395288e-04,7.387864e-04,7.348390e-04,7.311263e-04,7.296798e-04,7.235061e-04,7.185292e-04,7.164879e-04,7.087720e-04,7.030240e-04,7.004845e-04,6.917345e-04,6.855690e-04,6.826163e-04,6.732113e-04,6.668814e-04,6.635896e-04,6.538110e-04,6.474945e-04,6.439271e-04,6.339821e-04,6.278019e-04,6.240130e-04,6.140517e-04,6.080901e-04,6.041253e-04,5.942566e-04,5.885667e-04,5.844646e-04,5.747655e-04,5.693797e-04,5.651729e-04,5.556982e-04,5.506341e-04,5.463505e-04,5.371372e-04,5.324015e-04,5.280645e-04,5.191371e-04,5.147291e-04,5.103587e-04,5.017319e-04,4.976455e-04,4.932586e-04,4.849400e-04,4.811656e-04,4.767768e-04,4.687691e-04,4.652949e-04,4.609165e-04,4.532186e-04,4.500313e-04,4.456741e-04,4.382819e-04,4.353673e-04,4.310405e-04,4.239481e-04,4.212917e-04,4.170030e-04,4.102032e-04,4.077905e-04,4.035467e-04,3.970313e-04,3.948478e-04,3.906549e-04,3.844151e-04,3.824468e-04,3.783097e-04,3.723363e-04,3.705697e-04,3.664927e-04,3.607765e-04,3.591985e-04,3.551854e-04,3.497169e-04,3.483149e-04,3.443689e-04,3.391389e-04,3.379010e-04,3.340247e-04,3.290240e-04,3.279389e-04,3.241346e-04,3.193542e-04,3.184110e-04,3.146806e-04,3.101117e-04,3.093003e-04,3.056454e-04,3.012795e-04,3.005901e-04,2.970119e-04,2.928407e-04,2.922643e-04,2.887639e-04,2.847794e-04,2.843073e-04,2.808853e-04,2.770797e-04,2.767040e-04,2.733609e-04,2.697268e-04,2.694397e-04,2.661758e-04,2.627060e-04,2.625004e-04,2.593158e-04,2.560034e-04,2.558725e-04,2.527672e-04,2.496055e-04,2.495431e-04,2.465168e-04,2.434995e-04,2.377297e-04,2.322221e-04,2.269656e-04,2.219496e-04,2.171637e-04,2.125981e-04,2.082434e-04,2.040905e-04,2.001307e-04,1.963558e-04,1.927577e-04,1.893287e-04,1.860616e-04,1.829493e-04,1.799851e-04,1.771625e-04,1.744753e-04,1.719176e-04,1.694837e-04,1.671682e-04,1.649658e-04,1.628717e-04,1.608809e-04,1.589889e-04,1.571914e-04,1.554841e-04,1.538630e-04,1.523242e-04,1.508641e-04,1.494791e-04,1.481659e-04,1.469212e-04,1.457420e-04,1.446251e-04,1.435679e-04,1.425676e-04,1.416215e-04,1.407272e-04,1.398824e-04,1.390846e-04,1.383318e-04,1.376218e-04,1.369526e-04,1.363224e-04,1.357293e-04,1.351715e-04,1.346473e-04,1.341552e-04,1.336936e-04
0.000000e+00,1.694832e-07,5.592351e-06,5.900706e-06,5.628366e-05,2.884290e-04,3.061713e-04,1.136360e-03,2.974203e-03,3.138869e-03,6.894971e-03,1.220188e-02,1.275080e-02,2.077587e-02,2.974261e-02,3.083295e-02,4.265993e-02,5.427498e-02,5.593269e-02,7.030783e-02,8.329566e-02,8.544974e-02,1.010467e-01,1.142946e-01,1.168197e-01,1.325258e-01,1.452096e-01,1.479595e-01,1.629503e-01,1.745310e-01,1.773612e-01,1.910848e-01,2.012592e-01,2.040403e-01,2.161699e-01,2.248122e-01,2.274359e-01,2.378170e-01,2.449248e-01,2.473062e-01,2.559081e-01,2.615593e-01,2.636362e-01,2.705121e-01,2.748322e-01,2.765625e-01,2.818191e-01,2.849576e-01,2.863163e-01,2.900909e-01,2.922049e-01,2.931811e-01,2.956256e-01,2.968692e-01,2.974633e-01,2.987327e-01,2.992510e-01,2.994716e-01,2.997170e-01,2.996422e-01,2.995045e-01,2.988686e-01,2.983187e-01,2.978421e-01,2.964566e-01,2.955352e-01,2.947422e-01,2.927272e-01,2.915237e-01,2.904387e-01,2.879022e-01,2.864931e-01,2.851415e-01,2.821795e-01,2.806296e-01,2.790372e-01,2.757347e-01,2.740980e-01,2.722905e-01,2.687221e-01,2.670435e-01,2.650459e-01,2.612770e-01,2.595930e-01,2.574296e-01,2.535169e-01,2.518571e-01,2.495512e-01,2.455439e-01,2.439316e-01,2.415054e-01,2.374455e-01,2.358991e-01,2.333733e-01,2.292971e-01,2.278301e-01,2.252245e-01,2.211625e-01,2.197851e-01,2.171177e-01,2.130960e-01,2.118148e-01,2.091028e-01,2.051429e-01,2.039622e-01,2.012210e-01,1.973410e-01,1.962626e-01,1.935066e-01,1.897212e-01,1.887454e-01,1.859877e-01,1.823088e-01,1.814342e-01,1.786868e-01,1.751238e-01,1.743481e-01,1.716217e-01,1.681819e-01,1.675016e-01,1.648060e-01,1.614950e-01,1.609060e-01,1.582500e-01,1.550717e-01,1.545694e-01,1.519608e-01,1.489178e-01,1.484972e-01,1.459430e-01,1.430366e-01,1.426925e-01,1.401989e-01,1.374298e-01,1.371566e-01,1.347292e-01,1.320969e-01,1.318893e-01,1.295327e-01,1.270364e-01,1.268887e-01,1.246074e-01,1.222453e-01,1.221522e-01,1.199497e-01,1.177199e-01,1.176760e-01,1.155554e-01,1.134556e-01,1.094859e-01,1.057614e-01,1.022760e-01,9.902354e-02,9.599736e-02,9.319075e-02,9.059684e-02,8.820863e-02,8.601905e-02,8.402095e-02,8.220716e-02,8.057044e-02,7.910355e-02,7.779921e-02,7.665013e-02,7.564904e-02,7.478863e-02,7.406164e-02,7.346077e-02,7.297878e-02,7.260842e-02,7.234250e-02,7.217388e-02,7.209550e-02,7.210035e-02,7.218153e-02,7.233226e-02,7.254589e-02,7.281589e-02,7.313594e-02,7.349986e-02,7.390171e-02,7.433573e-02,7.479643e-02,7.527854e-02,7.577706e-02,7.628727e-02,7.680471e-02,7.732523e-02,7.784498e-02,7.836037e-02,7.886816e-02,7.936538e-02,7.984936e-02,8.031773e-02,8.076841e-02,8.119960e-02,8.160976e-02,8.199763e-02
0.000000e+00,1.787597e-08,2.111087e-07,2.195906e-07,1.169119e-06,3.793512e-06,3.954469e-06,9.489094e-06,1.700095e-05,1.753242e-05,2.676120e-05,3.520549e-05,3.591858e-05,4.444881e-05,5.147630e-05,5.221871e-05,5.923059e-05,6.480331e-05,6.552166e-05,7.113720e-05,7.546152e-05,7.612340e-05,8.052527e-05,8.380289e-05,8.438595e-05,8.774645e-05,9.015608e-05,9.064553e-05,9.311963e-05,9.481601e-05,9.520299e-05,9.692759e-05,9.804306e-05,9.832336e-05,9.941818e-05,1.000650e-04,1.002380e-04,1.008070e-04,1.010798e-04,1.011476e-04,1.012807e-04,1.012589e-04,1.012255e-04,1.010001e-04,1.007499e-04,1.006210e-04,1.001036e-04,9.968008e-05,9.946214e-05,9.870977e-05,9.815837e-05,9.785860e-05,9.691983e-05,9.627787e-05,9.590383e-05,9.482012e-05,9.411808e-05,9.367745e-05,9.248390e-05,9.174645e-05,9.124687e-05,8.997314e-05,8.922005e-05,8.866897e-05,8.734006e-05,8.658701e-05,8.599158e-05,8.462829e-05,8.388750e-05,8.325454e-05,8.187433e-05,8.115527e-05,8.049125e-05,7.910855e-05,7.841828e-05,7.772919e-05,7.635585e-05,7.569950e-05,7.499092e-05,7.363655e-05,7.301762e-05,7.229465e-05,7.096692e-05,7.038761e-05,6.965489e-05,6.835990e-05,6.782138e-05,6.708313e-05,6.582559e-05,6.532816e-05,6.458817e-05,6.337163e-05,6.291495e-05,6.217661e-05,6.100365e-05,6.058688e-05,5.985319e-05,5.872558e-05,5.834744e-05,5.762107e-05,5.653987e-05,5.619883e-05,5.548209e-05,5.444779e-05,5.414208e-05,5.343698e-05,5.244962e-05,5.217734e-05,5.148560e-05,5.054481e-05,5.030398e-05,4.962706e-05,4.873217e-05,4.852076e-05,4.785988e-05,4.700996e-05,4.682594e-05,4.618210e-05,4.537602e-05,4.521739e-05,4.459139e-05,4.382787e-05,4.369265e-05,4.308512e-05,4.236278e-05,4.224907e-05,4.166047e-05,4.097782e-05,4.088380e-05,4.031446e-05,3.966998e-05,3.959389e-05,3.904400e-05,3.843612e-05,3.837631e-05,3.784595e-05,3.727309e-05,3.722800e-05,3.671715e-05,3.617773e-05,3.614588e-05,3.565444e-05,3.514689e-05,3.512691e-05,3.465470e-05,3.417748e-05,3.416809e-05,3.371486e-05,3.326646e-05,3.241916e-05,3.162339e-05,3.087644e-05,3.017570e-05,2.951867e-05,2.890292e-05,2.832616e-05,2.778617e-05,2.728084e-05,2.680818e-05,2.636628e-05,2.595331e-05,2.556757e-05,2.520742e-05,2.487132e-05,2.455782e-05,2.426552e-05,2.399313e-05,2.373943e-05,2.350325e-05,2.328350e-05,2.307914e-05,2.288923e-05,2.271283e-05,2.254909e-05,2.239722e-05,2.225644e-05,2.212605e-05,2.200538e-05,2.189380e-05,2.179073e-05,2.169560e-05,2.160790e-05,2.152715e-05,2.145289e-05,2.138469e-05,2.132214e-05,2.126488e-05,2.121255e-05,2.116481e-05,2.112138e-05,2.108194e-05,2.104623e-05,2.101400e-05,2.098501e-05,2.095904e-05,2.093587e-05,2.091532e-05,2.089720e-05
0.000000e+00,8.343359e-10,8.321199e-09,8.637230e-09,4.327350e-08,1.417074e-07,1.479283e-07,3.736371e-07,7.115443e-07,7.366563e-07,1.194307e-06,1.642237e-06,1.681078e-06,2.156047e-06,2.560723e-06,2.604177e-06,3.021637e-06,3.363454e-06,3.408244e-06,3.764929e-06,4.048717e-06,4.092969e-06,4.393741e-06,4.626338e-06,4.668640e-06,4.919048e-06,5.107053e-06,5.146311e-06,5.351741e-06,5.501214e-06,5.536599e-06,5.702099e-06,5.818500e-06,5.849403e-06,5.979622e-06,6.067814e-06,6.093813e-06,6.192981e-06,6.257259e-06,6.278084e-06,6.350029e-06,6.394168e-06,6.409678e-06,6.457849e-06,6.485154e-06,6.495314e-06,6.522808e-06,6.536165e-06,6.541027e-06,6.550626e-06,6.552542e-06,6.552225e-06,6.546410e-06,6.539053e-06,6.533732e-06,6.514715e-06,6.499958e-06,6.489851e-06,6.459604e-06,6.439056e-06,6.424413e-06,6.384690e-06,6.359729e-06,6.340824e-06,6.293181e-06,6.264981e-06,6.242106e-06,6.187921e-06,6.157477e-06,6.130932e-06,6.071424e-06,6.039575e-06,6.009667e-06,5.945910e-06,5.913357e-06,5.880391e-06,5.813332e-06,5.780657e-06,5.744939e-06,5.675406e-06,5.643088e-06,5.604914e-06,5.533634e-06,5.502062e-06,5.461723e-06,5.389327e-06,5.358811e-06,5.316586e-06,5.243626e-06,5.214408e-06,5.170566e-06,5.097517e-06,5.069782e-06,5.024580e-06,4.951851e-06,4.925736e-06,4.879416e-06,4.807356e-06,4.782954e-06,4.735746e-06,4.664654e-06,4.642024e-06,4.594142e-06,4.524269e-06,4.503439e-06,4.455086e-06,4.386641e-06,4.367615e-06,4.318977e-06,4.252133e-06,4.234892e-06,4.186144e-06,4.121041e-06,4.105552e-06,4.056853e-06,3.993604e-06,3.979817e-06,3.931315e-06,3.870006e-06,3.857863e-06,3.809692e-06,3.750388e-06,3.739821e-06,3.692104e-06,3.634850e-06,3.625785e-06,3.578632e-06,3.523456e-06,3.515815e-06,3.469325e-06,3.416242e-06,3.409942e-06,3.364205e-06,3.313215e-06,3.308174e-06,3.263269e-06,3.214363e-06,3.210495e-06,3.166491e-06,3.119650e-06,3.116872e-06,3.073831e-06,3.029027e-06,3.027256e-06,2.985229e-06,2.942429e-06,2.941583e-06,2.900617e-06,2.859781e-06,2.781765e-06,2.707445e-06,2.636724e-06,2.569500e-06,2.505668e-06,2.445118e-06,2.387742e-06,2.333428e-06,2.282065e-06,2.233540e-06,2.187745e-06,2.144570e-06,2.103907e-06,2.065650e-06,2.029696e-06,1.995943e-06,1.964292e-06,1.934647e-06,1.906915e-06,1.881005e-06,1.856829e-06,1.834302e-06,1.813341e-06,1.793869e-06,1.775808e-06,1.759085e-06,1.743630e-06,1.729375e-06,1.716256e-06,1.704209e-06,1.693175e-06,1.683098e-06,1.673922e-06,1.665596e-06,1.658069e-06,1.651295e-06,1.645227e-06,1.639823e-06,1.635042e-06,1.630845e-06,1.627194e-06,1.624054e-06,1.621391e-06,1.619175e-06,1.617373e-06,1.615958e-06,1.614903e-06,1.614182e-06,1.613770e-06
0.000000e+00,1.115183e-07,3.956060e-06,4.179795e-06,4.128120e-05,2.068894e-04,2.192496e-04,7.755114e-04,1.946163e-03,2.049196e-03,4.366062e-03,7.600304e-03,7.934247e-03,1.282366e-02,1.832293e-02,1.899496e-02,2.633526e-02,3.363752e-02,3.468737e-02,4.387164e-02,5.229334e-02,5.370146e-02,6.399393e-02,7.287079e-02,7.457691e-02,8.529324e-02,9.408150e-02,9.600312e-02,1.065850e-01,1.148882e-01,1.169354e-01,1.269682e-01,1.345279e-01,1.366137e-01,1.458165e-01,1.524883e-01,1.545347e-01,1.627382e-01,1.684651e-01,1.704066e-01,1.775285e-01,1.823153e-01,1.840997e-01,1.901221e-01,1.940147e-01,1.956026e-01,2.005523e-01,2.036220e-01,2.049853e-01,2.089185e-01,2.112494e-01,2.123703e-01,2.153607e-01,2.170420e-01,2.179106e-01,2.200412e-01,2.211611e-01,2.217741e-01,2.231311e-01,2.237736e-01,2.241333e-01,2.248020e-01,2.250450e-01,2.251575e-01,2.252200e-01,2.251342e-01,2.250088e-01,2.245425e-01,2.241910e-01,2.238390e-01,2.229158e-01,2.223542e-01,2.217891e-01,2.204747e-01,2.197519e-01,2.189877e-01,2.173424e-01,2.165004e-01,2.155522e-01,2.136302e-01,2.127051e-01,2.115884e-01,2.094385e-01,2.084611e-01,2.071914e-01,2.048573e-01,2.038535e-01,2.024461e-01,1.999669e-01,1.989581e-01,1.974283e-01,1.948385e-01,1.938425e-01,1.922050e-01,1.895351e-01,1.885663e-01,1.868354e-01,1.841123e-01,1.831821e-01,1.813715e-01,1.786187e-01,1.777360e-01,1.758588e-01,1.730967e-01,1.722684e-01,1.703369e-01,1.675834e-01,1.668140e-01,1.648400e-01,1.621103e-01,1.614033e-01,1.593976e-01,1.567049e-01,1.560620e-01,1.540350e-01,1.513905e-01,1.508123e-01,1.487736e-01,1.461865e-01,1.456729e-01,1.436313e-01,1.411096e-01,1.406594e-01,1.386231e-01,1.361733e-01,1.357848e-01,1.337614e-01,1.313886e-01,1.310596e-01,1.290560e-01,1.267645e-01,1.264923e-01,1.245148e-01,1.223078e-01,1.220895e-01,1.201439e-01,1.180238e-01,1.178561e-01,1.159477e-01,1.139162e-01,1.137957e-01,1.119293e-01,1.099873e-01,1.099105e-01,1.080903e-01,1.062384e-01,1.062019e-01,1.044316e-01,1.026699e-01,9.931395e-02,9.613282e-02,9.312452e-02,9.028658e-02,8.761603e-02,8.510952e-02,8.276334e-02,8.057346e-02,7.853562e-02,7.664530e-02,7.489780e-02,7.328826e-02,7.181168e-02,7.046291e-02,6.923675e-02,6.812789e-02,6.713098e-02,6.624061e-02,6.545137e-02,6.475782e-02,6.415452e-02,6.363609e-02,6.319715e-02,6.283240e-02,6.253659e-02,6.230456e-02,6.213127e-02,6.201175e-02,6.194120e-02,6.191493e-02,6.192841e-02,6.197727e-02,6.205731e-02,6.216452e-02,6.229506e-02,6.244531e-02,6.261184e-02,6.279142e-02,6.298102e-02,6.317784e-02,6.337928e-02,6.358295e-02,6.378666e-02,6.398843e-02,6.418647e-02,6.437920e-02,6.456522e-02,6.474329e-02,6.491238e-02
0.000000e+00,1.675328e-08,2.378580e-07,2.482679e-07,1.557078e-06,5.742366e-06,6.012920e-06,1.568707e-05,2.881484e-05,2.972097e-05,4.500655e-05,5.855047e-05,5.968568e-05,7.322825e-05,8.437390e-05,8.555210e-05,9.669289e-05,1.055696e-04,1.067156e-04,1.156905e-04,1.226246e-04,1.236879e-04,1.307758e-04,1.360744e-04,1.370192e-04,1.424803e-04,1.464162e-04,1.472181e-04,1.512884e-04,1.540994e-04,1.547437e-04,1.576336e-04,1.595252e-04,1.600045e-04,1.618996e-04,1.630468e-04,1.633595e-04,1.644218e-04,1.649726e-04,1.651216e-04,1.654913e-04,1.655703e-04,1.655614e-04,1.653596e-04,1.650707e-04,1.649121e-04,1.642428e-04,1.636725e-04,1.633740e-04,1.623262e-04,1.615459e-04,1.611184e-04,1.597680e-04,1.588364e-04,1.582912e-04,1.567029e-04,1.556682e-04,1.550167e-04,1.532454e-04,1.521465e-04,1.514004e-04,1.494923e-04,1.483607e-04,1.475311e-04,1.455255e-04,1.443861e-04,1.434838e-04,1.414134e-04,1.402859e-04,1.393212e-04,1.372134e-04,1.361131e-04,1.350957e-04,1.329732e-04,1.319116e-04,1.308506e-04,1.287322e-04,1.277179e-04,1.266217e-04,1.245226e-04,1.235618e-04,1.224381e-04,1.203708e-04,1.194674e-04,1.183234e-04,1.162979e-04,1.154542e-04,1.142963e-04,1.123204e-04,1.115376e-04,1.103716e-04,1.084514e-04,1.077294e-04,1.065607e-04,1.047006e-04,1.040386e-04,1.028719e-04,1.010752e-04,1.004718e-04,9.931121e-05,9.758021e-05,9.703332e-05,9.588257e-05,9.421853e-05,9.372589e-05,9.258822e-05,9.099171e-05,9.055074e-05,8.942898e-05,8.789995e-05,8.750791e-05,8.640450e-05,8.494244e-05,8.459648e-05,8.351351e-05,8.211746e-05,8.181470e-05,8.075395e-05,7.942263e-05,7.916020e-05,7.812312e-05,7.685501e-05,7.663005e-05,7.561787e-05,7.441124e-05,7.422098e-05,7.323465e-05,7.208762e-05,7.192937e-05,7.096966e-05,6.988025e-05,6.975141e-05,6.881888e-05,6.778502e-05,6.768313e-05,6.677815e-05,6.579774e-05,6.572044e-05,6.484326e-05,6.391417e-05,6.385922e-05,6.300994e-05,6.213003e-05,6.209534e-05,6.127393e-05,6.044110e-05,6.042467e-05,5.963102e-05,5.884317e-05,5.734682e-05,5.593172e-05,5.459405e-05,5.333012e-05,5.213634e-05,5.100925e-05,4.994552e-05,4.894193e-05,4.799542e-05,4.710303e-05,4.626194e-05,4.546945e-05,4.472299e-05,4.402010e-05,4.335845e-05,4.273580e-05,4.215005e-05,4.159917e-05,4.108126e-05,4.059450e-05,4.013718e-05,3.970765e-05,3.930437e-05,3.892587e-05,3.857076e-05,3.823773e-05,3.792554e-05,3.763300e-05,3.735900e-05,3.710248e-05,3.686245e-05,3.663796e-05,3.642813e-05,3.623211e-05,3.604910e-05,3.587835e-05,3.571916e-05,3.557084e-05,3.543277e-05,3.530435e-05,3.518500e-05,3.507421e-05,3.497146e-05,3.487627e-05,3.478821e-05,3.470684e-05,3.463176e-05,3.456260e-05,3.449900e-05
0.000000e+00,8.196275e-09,4.149240e-07,4.418177e-07,5.807875e-06,3.092902e-05,3.272170e-05,1.015932e-04,2.039131e-04,2.113271e-04,3.425518e-04,4.646962e-04,4.749631e-04,5.949306e-04,6.866801e-04,6.958387e-04,7.760876e-04,8.306170e-04,8.369844e-04,8.811842e-04,9.081555e-04,9.117188e-04,9.314725e-04,9.415764e-04,9.429454e-04,9.481871e-04,9.489829e-04,9.488158e-04,9.460752e-04,9.420956e-04,9.409031e-04,9.339962e-04,9.277390e-04,9.258663e-04,9.168864e-04,9.096624e-04,9.073266e-04,8.973818e-04,8.898588e-04,8.871921e-04,8.768579e-04,8.693691e-04,8.664513e-04,8.560243e-04,8.487338e-04,8.456144e-04,8.352486e-04,8.282352e-04,8.249464e-04,8.147216e-04,8.080209e-04,8.045848e-04,7.945433e-04,7.881695e-04,7.846028e-04,7.747672e-04,7.687231e-04,7.650394e-04,7.554216e-04,7.497043e-04,7.459151e-04,7.365211e-04,7.311244e-04,7.272402e-04,7.180725e-04,7.129882e-04,7.090184e-04,7.000776e-04,6.952967e-04,6.912500e-04,6.825352e-04,6.780479e-04,6.739326e-04,6.654418e-04,6.612381e-04,6.570621e-04,6.487927e-04,6.448624e-04,6.406330e-04,6.325820e-04,6.289149e-04,6.246390e-04,6.168030e-04,6.133889e-04,6.090732e-04,6.014486e-04,5.982774e-04,5.939281e-04,5.865110e-04,5.835728e-04,5.791960e-04,5.719823e-04,5.692674e-04,5.648688e-04,5.578544e-04,5.553533e-04,5.509382e-04,5.441190e-04,5.418224e-04,5.373958e-04,5.307677e-04,5.286665e-04,5.242334e-04,5.177920e-04,5.158775e-04,5.114423e-04,5.051835e-04,5.034471e-04,4.990143e-04,4.929338e-04,4.913673e-04,4.869409e-04,4.810346e-04,4.796298e-04,4.752138e-04,4.694776e-04,4.682269e-04,4.638248e-04,4.582546e-04,4.571504e-04,4.527658e-04,4.473576e-04,4.463925e-04,4.420288e-04,4.367785e-04,4.359457e-04,4.316057e-04,4.265096e-04,4.258021e-04,4.214890e-04,4.165431e-04,4.159545e-04,4.116709e-04,4.068714e-04,4.063955e-04,4.021439e-04,3.974872e-04,3.971178e-04,3.929007e-04,3.883832e-04,3.881143e-04,3.839340e-04,3.795522e-04,3.793783e-04,3.752368e-04,3.709871e-04,3.709028e-04,3.668022e-04,3.626812e-04,3.547071e-04,3.469740e-04,3.394758e-04,3.322063e-04,3.251596e-04,3.183298e-04,3.117114e-04,3.052987e-04,2.990863e-04,2.930689e-04,2.872413e-04,2.815985e-04,2.761355e-04,2.708476e-04,2.657300e-04,2.607782e-04,2.559876e-04,2.513539e-04,2.468728e-04,2.425401e-04,2.383519e-04,2.343040e-04,2.303927e-04,2.266141e-04,2.229646e-04,2.194405e-04,2.160384e-04,2.127548e-04,2.095863e-04,2.065298e-04,2.035820e-04,2.007397e-04,1.980000e-04,1.953599e-04,1.928164e-04,1.903669e-04,1.880084e-04,1.857384e-04,1.835541e-04,1.814530e-04,1.794327e-04,1.774906e-04,1.756244e-04,1.738318e-04,1.721104e-04,1.704582e-04,1.688728e-04,1.673523e-04,1.658944e-04
0.000000e+00,1.533359e-09,2.006882e-08,2.095328e-08,1.340029e-07,4.976554e-07,5.210936e-07,1.345925e-06,2.415250e-06,2.487241e-06,3.680282e-06,4.717545e-06,4.803989e-06,5.831021e-06,6.671554e-06,6.760197e-06,7.596651e-06,8.261155e-06,8.346840e-06,9.017256e-06,9.534738e-06,9.614086e-06,1.014314e-05,1.053918e-05,1.060988e-05,1.101937e-05,1.131579e-05,1.137637e-05,1.168529e-05,1.190056e-05,1.195022e-05,1.217495e-05,1.232462e-05,1.236301e-05,1.251764e-05,1.261465e-05,1.264183e-05,1.273831e-05,1.279338e-05,1.280964e-05,1.285819e-05,1.288024e-05,1.288609e-05,1.289532e-05,1.289165e-05,1.288768e-05,1.286483e-05,1.284138e-05,1.282828e-05,1.277943e-05,1.274108e-05,1.271955e-05,1.264981e-05,1.260050e-05,1.257127e-05,1.248492e-05,1.242785e-05,1.239164e-05,1.229226e-05,1.223001e-05,1.218751e-05,1.207808e-05,1.201272e-05,1.196460e-05,1.184761e-05,1.178077e-05,1.172765e-05,1.160518e-05,1.153816e-05,1.148063e-05,1.135439e-05,1.128820e-05,1.122682e-05,1.109822e-05,1.103364e-05,1.096890e-05,1.083912e-05,1.077673e-05,1.070912e-05,1.057910e-05,1.051935e-05,1.044928e-05,1.031982e-05,1.026301e-05,1.019088e-05,1.006260e-05,1.000895e-05,9.935114e-06,9.808529e-06,9.758170e-06,9.682947e-06,9.558459e-06,9.511457e-06,9.435144e-06,9.313071e-06,9.269441e-06,9.192302e-06,9.072891e-06,9.032610e-06,8.954885e-06,8.838322e-06,8.801332e-06,8.723236e-06,8.609657e-06,8.575880e-06,8.497607e-06,8.387106e-06,8.356445e-06,8.278168e-06,8.170805e-06,8.143150e-06,8.065025e-06,7.960832e-06,7.936063e-06,7.858229e-06,7.757215e-06,7.735205e-06,7.657788e-06,7.559942e-06,7.540562e-06,7.463672e-06,7.368969e-06,7.352088e-06,7.275824e-06,7.184225e-06,7.169712e-06,7.094162e-06,7.005620e-06,6.993345e-06,6.918586e-06,6.833045e-06,6.822880e-06,6.748982e-06,6.666379e-06,6.658199e-06,6.585222e-06,6.505492e-06,6.499175e-06,6.427172e-06,6.350244e-06,6.345673e-06,6.274691e-06,6.200493e-06,6.197553e-06,6.127633e-06,6.056091e-06,6.054673e-06,5.985849e-06,5.916889e-06,5.784053e-06,5.656020e-06,5.532646e-06,5.413786e-06,5.299300e-06,5.189047e-06,5.082891e-06,4.980699e-06,4.882339e-06,4.787684e-06,4.696609e-06,4.608993e-06,4.524718e-06,4.443670e-06,4.365738e-06,4.290814e-06,4.218794e-06,4.149575e-06,4.083061e-06,4.019156e-06,3.957769e-06,3.898809e-06,3.842192e-06,3.787833e-06,3.735652e-06,3.685572e-06,3.637517e-06,3.591414e-06,3.547194e-06,3.504787e-06,3.464129e-06,3.425156e-06,3.387807e-06,3.352023e-06,3.317746e-06,3.284921e-06,3.253495e-06,3.223417e-06,3.194636e-06,3.167106e-06,3.140778e-06,3.115610e-06,3.091557e-06,3.068578e-06,3.046632e-06,3.025681e-06,3.005687e-06,2.986615e-06,2.968428e-06
0.000000e+00,2.733735e-08,6.223423e-07,6.543012e-07,4.877294e-06,1.604905e-05,1.665154e-05,3.305871e-05,4.866707e-05,4.963776e-05,6.524126e-05,7.860481e-05,7.972215e-05,9.310080e-05,1.042391e-04,1.054256e-04,1.167487e-04,1.259255e-04,1.271218e-04,1.365961e-04,1.440633e-04,1.452217e-04,1.530483e-04,1.590404e-04,1.601240e-04,1.664958e-04,1.712271e-04,1.722087e-04,1.773058e-04,1.809679e-04,1.818283e-04,1.858151e-04,1.885770e-04,1.893035e-04,1.923280e-04,1.943365e-04,1.949212e-04,1.971136e-04,1.984951e-04,1.989343e-04,2.004103e-04,2.012739e-04,2.015671e-04,2.024287e-04,2.028686e-04,2.030182e-04,2.033571e-04,2.034545e-04,2.034651e-04,2.033605e-04,2.031833e-04,2.030604e-04,2.025809e-04,2.021867e-04,2.019368e-04,2.011422e-04,2.005798e-04,2.002102e-04,1.991528e-04,1.984630e-04,1.979815e-04,1.967069e-04,1.959242e-04,1.953388e-04,1.938864e-04,1.930394e-04,1.923582e-04,1.907623e-04,1.898749e-04,1.891060e-04,1.873963e-04,1.864883e-04,1.856395e-04,1.838417e-04,1.829292e-04,1.820084e-04,1.801446e-04,1.792406e-04,1.782552e-04,1.763445e-04,1.754596e-04,1.744166e-04,1.724754e-04,1.716179e-04,1.705242e-04,1.685664e-04,1.677429e-04,1.666049e-04,1.646425e-04,1.638578e-04,1.626816e-04,1.607246e-04,1.599825e-04,1.587737e-04,1.568307e-04,1.561336e-04,1.548976e-04,1.529758e-04,1.523253e-04,1.510670e-04,1.491724e-04,1.485693e-04,1.472933e-04,1.454308e-04,1.448754e-04,1.435859e-04,1.417596e-04,1.412517e-04,1.399526e-04,1.381657e-04,1.377045e-04,1.363995e-04,1.346545e-04,1.342390e-04,1.329314e-04,1.312304e-04,1.308592e-04,1.295521e-04,1.278966e-04,1.275683e-04,1.262643e-04,1.246553e-04,1.243682e-04,1.230700e-04,1.215083e-04,1.212606e-04,1.199703e-04,1.184562e-04,1.182461e-04,1.169659e-04,1.154995e-04,1.153251e-04,1.140569e-04,1.126380e-04,1.124975e-04,1.112428e-04,1.098712e-04,1.097625e-04,1.085230e-04,1.071981e-04,1.071194e-04,1.058963e-04,1.046176e-04,1.045669e-04,1.033615e-04,1.021281e-04,1.021037e-04,1.009171e-04,9.972817e-05,9.743861e-05,9.523315e-05,9.310985e-05,9.106667e-05,8.910155e-05,8.721236e-05,8.539699e-05,8.365327e-05,8.197908e-05,8.037228e-05,7.883074e-05,7.735238e-05,7.593514e-05,7.457698e-05,7.327592e-05,7.203000e-05,7.083731e-05,6.969599e-05,6.860421e-05,6.756021e-05,6.656224e-05,6.560863e-05,6.469775e-05,6.382801e-05,6.299786e-05,6.220582e-05,6.145043e-05,6.073029e-05,6.004404e-05,5.939036e-05,5.876798e-05,5.817566e-05,5.761222e-05,5.707649e-05,5.656737e-05,5.608378e-05,5.562467e-05,5.518904e-05,5.477593e-05,5.438439e-05,5.401352e-05,5.366245e-05,5.333034e-05,5.301636e-05,5.271975e-05,5.243975e-05,5.217562e-05,5.192667e-05,5.169222e-05
0.000000e+00,1.379887e-09,1.906283e-08,1.988960e-08,1.136510e-07,3.547278e-07,3.687643e-07,8.183108e-07,1.365033e-06,1.401965e-06,2.023105e-06,2.578309e-06,2.625261e-06,3.192018e-06,3.669644e-06,3.720830e-06,4.212476e-06,4.615600e-06,4.668498e-06,5.090609e-06,5.427826e-06,5.480543e-06,5.840004e-06,6.119607e-06,6.170638e-06,6.474028e-06,6.703549e-06,6.751697e-06,7.005095e-06,7.191273e-06,7.235610e-06,7.444562e-06,7.593385e-06,7.633206e-06,7.802726e-06,7.919470e-06,7.954255e-06,8.088870e-06,8.178197e-06,8.207590e-06,8.311381e-06,8.377382e-06,8.401158e-06,8.477786e-06,8.524044e-06,8.542087e-06,8.594839e-06,8.624490e-06,8.636777e-06,8.668597e-06,8.684377e-06,8.690958e-06,8.704484e-06,8.708776e-06,8.709762e-06,8.707351e-06,8.702227e-06,8.697777e-06,8.681536e-06,8.668788e-06,8.659098e-06,8.630908e-06,8.612088e-06,8.597384e-06,8.558923e-06,8.535367e-06,8.515896e-06,8.468657e-06,8.441514e-06,8.417537e-06,8.362849e-06,8.333100e-06,8.304889e-06,8.243935e-06,8.212417e-06,8.180248e-06,8.114077e-06,8.081500e-06,8.045652e-06,7.975193e-06,7.942155e-06,7.902905e-06,7.828981e-06,7.795984e-06,7.753603e-06,7.676943e-06,7.644402e-06,7.599159e-06,7.520403e-06,7.488661e-06,7.440816e-06,7.360530e-06,7.329864e-06,7.279668e-06,7.198348e-06,7.168981e-06,7.116677e-06,7.034758e-06,7.006866e-06,6.952685e-06,6.870546e-06,6.844262e-06,6.788425e-06,6.706398e-06,6.681820e-06,6.624538e-06,6.542911e-06,6.520106e-06,6.461579e-06,6.380599e-06,6.359609e-06,6.300026e-06,6.219907e-06,6.200752e-06,6.140290e-06,6.061215e-06,6.043896e-06,5.982723e-06,5.904847e-06,5.889349e-06,5.827621e-06,5.751076e-06,5.737372e-06,5.675237e-06,5.600130e-06,5.588182e-06,5.525777e-06,5.452198e-06,5.441960e-06,5.379412e-06,5.307434e-06,5.298852e-06,5.236280e-06,5.165961e-06,5.158976e-06,5.096490e-06,5.027875e-06,5.022423e-06,4.960124e-06,4.893245e-06,4.889260e-06,4.827243e-06,4.762123e-06,4.759537e-06,4.697888e-06,4.634540e-06,4.633282e-06,4.572081e-06,4.510510e-06,4.391223e-06,4.275408e-06,4.163046e-06,4.054105e-06,3.948549e-06,3.846333e-06,3.747406e-06,3.651715e-06,3.559201e-06,3.469803e-06,3.383457e-06,3.300097e-06,3.219655e-06,3.142063e-06,3.067251e-06,2.995150e-06,2.925690e-06,2.858801e-06,2.794414e-06,2.732459e-06,2.672869e-06,2.615576e-06,2.560514e-06,2.507617e-06,2.456820e-06,2.408061e-06,2.361277e-06,2.316408e-06,2.273394e-06,2.232178e-06,2.192701e-06,2.154911e-06,2.118750e-06,2.084169e-06,2.051114e-06,2.019535e-06,1.989385e-06,1.960615e-06,1.933179e-06,1.907033e-06,1.882133e-06,1.858435e-06,1.835900e-06,1.814487e-06,1.794157e-06,1.774871e-06,1.756595e-06,1.739291e-06,1.722925e-06
0.000000e+00,2.454182e-08,7.186443e-07,7.569544e-07,6.565117e-06,2.931421e-05,3.090813e-05,9.532918e-05,2.072088e-04,2.161160e-04,3.919284e-04,5.875171e-04,6.054551e-04,8.346887e-04,1.039886e-03,1.062215e-03,1.277657e-03,1.453266e-03,1.476109e-03,1.655920e-03,1.795641e-03,1.817112e-03,1.960474e-03,2.067913e-03,2.087097e-03,2.198164e-03,2.278458e-03,2.294851e-03,2.378286e-03,2.436209e-03,2.449532e-03,2.509589e-03,2.549266e-03,2.559386e-03,2.599789e-03,2.624710e-03,2.631603e-03,2.655576e-03,2.668678e-03,2.672402e-03,2.682722e-03,2.686461e-03,2.687133e-03,2.686186e-03,2.682610e-03,2.680392e-03,2.670223e-03,2.661033e-03,2.656116e-03,2.638474e-03,2.625076e-03,2.617670e-03,2.594048e-03,2.577599e-03,2.567926e-03,2.539594e-03,2.521039e-03,2.509324e-03,2.477362e-03,2.457468e-03,2.443936e-03,2.409255e-03,2.388642e-03,2.373513e-03,2.336884e-03,2.316046e-03,2.299531e-03,2.261600e-03,2.240925e-03,2.223227e-03,2.184535e-03,2.164326e-03,2.145635e-03,2.106631e-03,2.087119e-03,2.067614e-03,2.028668e-03,2.010022e-03,1.989869e-03,1.951286e-03,1.933627e-03,1.912980e-03,1.875005e-03,1.858415e-03,1.837412e-03,1.800245e-03,1.784770e-03,1.763541e-03,1.727335e-03,1.712999e-03,1.691657e-03,1.656534e-03,1.643337e-03,1.621988e-03,1.588037e-03,1.575964e-03,1.554699e-03,1.521987e-03,1.511009e-03,1.489911e-03,1.458480e-03,1.448559e-03,1.427700e-03,1.397576e-03,1.388667e-03,1.368111e-03,1.339306e-03,1.331359e-03,1.311160e-03,1.283672e-03,1.276632e-03,1.256839e-03,1.230656e-03,1.224469e-03,1.205120e-03,1.180225e-03,1.174833e-03,1.155963e-03,1.132327e-03,1.127675e-03,1.109311e-03,1.086905e-03,1.082936e-03,1.065101e-03,1.043889e-03,1.040550e-03,1.023261e-03,1.003205e-03,1.000442e-03,9.837123e-04,9.647723e-04,9.625361e-04,9.463744e-04,9.285081e-04,9.267503e-04,9.111627e-04,8.943273e-04,8.930022e-04,8.779913e-04,8.621439e-04,8.612084e-04,8.467742e-04,8.318715e-04,8.312850e-04,8.174251e-04,8.034243e-04,8.031487e-04,7.898585e-04,7.767173e-04,7.519098e-04,7.286474e-04,7.068531e-04,6.864523e-04,6.673731e-04,6.495458e-04,6.329034e-04,6.173818e-04,6.029192e-04,5.894569e-04,5.769386e-04,5.653105e-04,5.545215e-04,5.445230e-04,5.352686e-04,5.267143e-04,5.188185e-04,5.115415e-04,5.048459e-04,4.986962e-04,4.930586e-04,4.879015e-04,4.831946e-04,4.789097e-04,4.750199e-04,4.714997e-04,4.683253e-04,4.654741e-04,4.629248e-04,4.606572e-04,4.586525e-04,4.568928e-04,4.553613e-04,4.540422e-04,4.529206e-04,4.519824e-04,4.512144e-04,4.506043e-04,4.501403e-04,4.498115e-04,4.496075e-04,4.495187e-04,4.495359e-04,4.496507e-04,4.498549e-04,4.501411e-04,4.505022e-04,4.509316e-04,4.514231e-04
0.000000e+00,2.351040e-08,5.467122e-07,5.749145e-07,4.760858e-06,1.996348e-05,2.096685e-05,5.603221e-05,1.000699e-04,1.030048e-04,1.516403e-04,1.943365e-04,1.979238e-04,2.409750e-04,2.768952e-04,2.807243e-04,3.172866e-04,3.469469e-04,3.508154e-04,3.814684e-04,4.056479e-04,4.094002e-04,4.347605e-04,4.541824e-04,4.576948e-04,4.783445e-04,4.936688e-04,4.968468e-04,5.133342e-04,5.251597e-04,5.279348e-04,5.407713e-04,5.496349e-04,5.519612e-04,5.616164e-04,5.679937e-04,5.698434e-04,5.767429e-04,5.810502e-04,5.824103e-04,5.869356e-04,5.895345e-04,5.904037e-04,5.928943e-04,5.940965e-04,5.944825e-04,5.952388e-04,5.953117e-04,5.952292e-04,5.945155e-04,5.936870e-04,5.931556e-04,5.912038e-04,5.896679e-04,5.887114e-04,5.857260e-04,5.836471e-04,5.822921e-04,5.784513e-04,5.759678e-04,5.742426e-04,5.697025e-04,5.669308e-04,5.648648e-04,5.597610e-04,5.567976e-04,5.544202e-04,5.488697e-04,5.457943e-04,5.431350e-04,5.372398e-04,5.341182e-04,5.312060e-04,5.250537e-04,5.219391e-04,5.188019e-04,5.124680e-04,5.094034e-04,5.060682e-04,4.996174e-04,4.966367e-04,4.931293e-04,4.866166e-04,4.837463e-04,4.800911e-04,4.735635e-04,4.708237e-04,4.670437e-04,4.605409e-04,4.579464e-04,4.540633e-04,4.476185e-04,4.451796e-04,4.412135e-04,4.348544e-04,4.325776e-04,4.285472e-04,4.222969e-04,4.201856e-04,4.161081e-04,4.099852e-04,4.080404e-04,4.039319e-04,3.979514e-04,3.961719e-04,3.920468e-04,3.862207e-04,3.846038e-04,3.804753e-04,3.748127e-04,3.733542e-04,3.692345e-04,3.637422e-04,3.624370e-04,3.583370e-04,3.530198e-04,3.518619e-04,3.477913e-04,3.426522e-04,3.416351e-04,3.376028e-04,3.326433e-04,3.317602e-04,3.277739e-04,3.229943e-04,3.222379e-04,3.183045e-04,3.137041e-04,3.130672e-04,3.091927e-04,3.047697e-04,3.042449e-04,3.004347e-04,2.961868e-04,2.957668e-04,2.920253e-04,2.879495e-04,2.876271e-04,2.839583e-04,2.800509e-04,2.798191e-04,2.762263e-04,2.724835e-04,2.723355e-04,2.688214e-04,2.652389e-04,2.651680e-04,2.617349e-04,2.583082e-04,2.517468e-04,2.454749e-04,2.394828e-04,2.337610e-04,2.283001e-04,2.230905e-04,2.181228e-04,2.133876e-04,2.088757e-04,2.045783e-04,2.004864e-04,1.965915e-04,1.928853e-04,1.893596e-04,1.860066e-04,1.828187e-04,1.797886e-04,1.769092e-04,1.741736e-04,1.715753e-04,1.691079e-04,1.667654e-04,1.645419e-04,1.624318e-04,1.604298e-04,1.585308e-04,1.567297e-04,1.550219e-04,1.534028e-04,1.518683e-04,1.504141e-04,1.490363e-04,1.477311e-04,1.464950e-04,1.453246e-04,1.442166e-04,1.431678e-04,1.421753e-04,1.412363e-04,1.403481e-04,1.395080e-04,1.387137e-04,1.379629e-04,1.372532e-04,1.365827e-04,1.359492e-04,1.353509e-04,1.347859e-04,1.342525e-04
0.000000e+00,5.206673e-10,8.969988e-09,9.375722e-09,5.392145e-08,1.578008e-07,1.635269e-07,3.346026e-07,5.194061e-07,5.311949e-07,7.194951e-07,8.746475e-07,8.872632e-07,1.033584e-06,1.148428e-06,1.160277e-06,1.269531e-06,1.352898e-06,1.363417e-06,1.443798e-06,1.503391e-06,1.512328e-06,1.570467e-06,1.612218e-06,1.619499e-06,1.660555e-06,1.688968e-06,1.694626e-06,1.722585e-06,1.741068e-06,1.745195e-06,1.763126e-06,1.774245e-06,1.776966e-06,1.787230e-06,1.792919e-06,1.794369e-06,1.798777e-06,1.800484e-06,1.800797e-06,1.800734e-06,1.799550e-06,1.798856e-06,1.795396e-06,1.792149e-06,1.790569e-06,1.784563e-06,1.779884e-06,1.777531e-06,1.769615e-06,1.763964e-06,1.760934e-06,1.751593e-06,1.745314e-06,1.741688e-06,1.731300e-06,1.724648e-06,1.720499e-06,1.709349e-06,1.702515e-06,1.697905e-06,1.686215e-06,1.679338e-06,1.674320e-06,1.662260e-06,1.655446e-06,1.650066e-06,1.637767e-06,1.631092e-06,1.625389e-06,1.612953e-06,1.606470e-06,1.600478e-06,1.587982e-06,1.581731e-06,1.575479e-06,1.562983e-06,1.556991e-06,1.550505e-06,1.538054e-06,1.532339e-06,1.525640e-06,1.513270e-06,1.507843e-06,1.500951e-06,1.488688e-06,1.483556e-06,1.476487e-06,1.464352e-06,1.459518e-06,1.452288e-06,1.440296e-06,1.435759e-06,1.428381e-06,1.416544e-06,1.412302e-06,1.404787e-06,1.393113e-06,1.389163e-06,1.381524e-06,1.370019e-06,1.366356e-06,1.358601e-06,1.347270e-06,1.343888e-06,1.336027e-06,1.324872e-06,1.321765e-06,1.313807e-06,1.302831e-06,1.299991e-06,1.291944e-06,1.281147e-06,1.278569e-06,1.270439e-06,1.259821e-06,1.257497e-06,1.249293e-06,1.238854e-06,1.236777e-06,1.228504e-06,1.218243e-06,1.216406e-06,1.208071e-06,1.197987e-06,1.196382e-06,1.187992e-06,1.178084e-06,1.176703e-06,1.168263e-06,1.158528e-06,1.157366e-06,1.148881e-06,1.139319e-06,1.138367e-06,1.129842e-06,1.120451e-06,1.119703e-06,1.111143e-06,1.101920e-06,1.101369e-06,1.092780e-06,1.083723e-06,1.083363e-06,1.074749e-06,1.065856e-06,1.065678e-06,1.057044e-06,1.048313e-06,1.031261e-06,1.014518e-06,9.980814e-07,9.819452e-07,9.661053e-07,9.505573e-07,9.352968e-07,9.203194e-07,9.056207e-07,8.911964e-07,8.770420e-07,8.631533e-07,8.495261e-07,8.361561e-07,8.230392e-07,8.101712e-07,7.975481e-07,7.851658e-07,7.730203e-07,7.611076e-07,7.494240e-07,7.379655e-07,7.267284e-07,7.157090e-07,7.049035e-07,6.943083e-07,6.839198e-07,6.737346e-07,6.637491e-07,6.539598e-07,6.443636e-07,6.349569e-07,6.257366e-07,6.166993e-07,6.078421e-07,5.991616e-07,5.906549e-07,5.823189e-07,5.741506e-07,5.661472e-07,5.583056e-07,5.506232e-07,5.430970e-07,5.357244e-07,5.285027e-07,5.214291e-07,5.145012e-07,5.077162e-07,5.010717e-07
0.000000e+00,9.289440e-09,1.376159e-07,1.437844e-07,8.831277e-07,2.908818e-06,3.028579e-06,6.812173e-06,1.108829e-05,1.136438e-05,1.585274e-05,1.970857e-05,2.003008e-05,2.386319e-05,2.702644e-05,2.736172e-05,3.054300e-05,3.309484e-05,3.342559e-05,3.602785e-05,3.805520e-05,3.836762e-05,4.046217e-05,4.204421e-05,4.232805e-05,4.398103e-05,4.518817e-05,4.543613e-05,4.670754e-05,4.760142e-05,4.780863e-05,4.875197e-05,4.938592e-05,4.954941e-05,5.021203e-05,5.063187e-05,5.075022e-05,5.117370e-05,5.141859e-05,5.149156e-05,5.171229e-05,5.181555e-05,5.184383e-05,5.189356e-05,5.188343e-05,5.186841e-05,5.177479e-05,5.167510e-05,5.161871e-05,5.140575e-05,5.123658e-05,5.114111e-05,5.082963e-05,5.060780e-05,5.047582e-05,5.008384e-05,4.982337e-05,4.965759e-05,4.920068e-05,4.891322e-05,4.871646e-05,4.820803e-05,4.790318e-05,4.767826e-05,4.712983e-05,4.681549e-05,4.656521e-05,4.598667e-05,4.566922e-05,4.539633e-05,4.479613e-05,4.448073e-05,4.418787e-05,4.357321e-05,4.326396e-05,4.295368e-05,4.233067e-05,4.203077e-05,4.170547e-05,4.107928e-05,4.079119e-05,4.045316e-05,3.982811e-05,3.955366e-05,3.920503e-05,3.858476e-05,3.832526e-05,3.796803e-05,3.735553e-05,3.711185e-05,3.674787e-05,3.614562e-05,3.591828e-05,3.554926e-05,3.495925e-05,3.474848e-05,3.437600e-05,3.379984e-05,3.360563e-05,3.323111e-05,3.267008e-05,3.249221e-05,3.211698e-05,3.157203e-05,3.141016e-05,3.103540e-05,3.050725e-05,3.036090e-05,2.998769e-05,2.947684e-05,2.934545e-05,2.897476e-05,2.848152e-05,2.836446e-05,2.799715e-05,2.752168e-05,2.741828e-05,2.705512e-05,2.659746e-05,2.650699e-05,2.614867e-05,2.570873e-05,2.563048e-05,2.527759e-05,2.485520e-05,2.478843e-05,2.444150e-05,2.403642e-05,2.398039e-05,2.363988e-05,2.325180e-05,2.320579e-05,2.287208e-05,2.250063e-05,2.246394e-05,2.213736e-05,2.178216e-05,2.175409e-05,2.143492e-05,2.109553e-05,2.107541e-05,2.076387e-05,2.043984e-05,2.042704e-05,2.012332e-05,1.981418e-05,1.980807e-05,1.951231e-05,1.921758e-05,1.865462e-05,1.811824e-05,1.760750e-05,1.712144e-05,1.665913e-05,1.621964e-05,1.580207e-05,1.540553e-05,1.502916e-05,1.467210e-05,1.433355e-05,1.401269e-05,1.370876e-05,1.342102e-05,1.314874e-05,1.289123e-05,1.264781e-05,1.241786e-05,1.220073e-05,1.199585e-05,1.180263e-05,1.162052e-05,1.144901e-05,1.128759e-05,1.113576e-05,1.099308e-05,1.085909e-05,1.073338e-05,1.061554e-05,1.050517e-05,1.040192e-05,1.030541e-05,1.021533e-05,1.013134e-05,1.005313e-05,9.980414e-06,9.912907e-06,9.850341e-06,9.792460e-06,9.739020e-06,9.689788e-06,9.644541e-06,9.603068e-06,9.565167e-06,9.530646e-06,9.499320e-06,9.471016e-06,9.445567e-06,9.422813e-06
0.000000e+00,1.692585e-08,4.431137e-07,4.655247e-07,3.644441e-06,1.587249e-05,1.674161e-05,5.331891e-05,1.216053e-04,1.272190e-04,2.411138e-04,3.715265e-04,3.835876e-04,5.386449e-04,6.786986e-04,6.940142e-04,8.426907e-04,9.653566e-04,9.814303e-04,1.109089e-03,1.209909e-03,1.225549e-03,1.331153e-03,1.411857e-03,1.426432e-03,1.511983e-03,1.575305e-03,1.588417e-03,1.656334e-03,1.704924e-03,1.716312e-03,1.768906e-03,1.805143e-03,1.814642e-03,1.854018e-03,1.879980e-03,1.887504e-03,1.915542e-03,1.933028e-03,1.938547e-03,1.956910e-03,1.967462e-03,1.970995e-03,1.981145e-03,1.986079e-03,1.987677e-03,1.990892e-03,1.991327e-03,1.991069e-03,1.988467e-03,1.985347e-03,1.983330e-03,1.975884e-03,1.970005e-03,1.966341e-03,1.954896e-03,1.946926e-03,1.941732e-03,1.927019e-03,1.917514e-03,1.910916e-03,1.893570e-03,1.882993e-03,1.875116e-03,1.855683e-03,1.844417e-03,1.835388e-03,1.814339e-03,1.802694e-03,1.792636e-03,1.770374e-03,1.758605e-03,1.747638e-03,1.724507e-03,1.712817e-03,1.701056e-03,1.677351e-03,1.665901e-03,1.653455e-03,1.629424e-03,1.618340e-03,1.605312e-03,1.581166e-03,1.570543e-03,1.557031e-03,1.532947e-03,1.522856e-03,1.508951e-03,1.485076e-03,1.475567e-03,1.461353e-03,1.437809e-03,1.428914e-03,1.414469e-03,1.391356e-03,1.383094e-03,1.368489e-03,1.345887e-03,1.338266e-03,1.323567e-03,1.301541e-03,1.294557e-03,1.279823e-03,1.258423e-03,1.252067e-03,1.237351e-03,1.216616e-03,1.210871e-03,1.196223e-03,1.176179e-03,1.171026e-03,1.156489e-03,1.137155e-03,1.132569e-03,1.118182e-03,1.099570e-03,1.095524e-03,1.081321e-03,1.063435e-03,1.059901e-03,1.045913e-03,1.028752e-03,1.025702e-03,1.011954e-03,9.955141e-04,9.929169e-04,9.794316e-04,9.637037e-04,9.615300e-04,9.483274e-04,9.332992e-04,9.315190e-04,9.186156e-04,9.042727e-04,9.028570e-04,8.902664e-04,8.765923e-04,8.755126e-04,8.632460e-04,8.502229e-04,8.494516e-04,8.375179e-04,8.251264e-04,8.246372e-04,8.130433e-04,8.012634e-04,8.010309e-04,7.897817e-04,7.785929e-04,7.572823e-04,7.370581e-04,7.178790e-04,6.997037e-04,6.824914e-04,6.662020e-04,6.507959e-04,6.362344e-04,6.224799e-04,6.094957e-04,5.972462e-04,5.856968e-04,5.748143e-04,5.645665e-04,5.549225e-04,5.458524e-04,5.373276e-04,5.293208e-04,5.218055e-04,5.147566e-04,5.081499e-04,5.019624e-04,4.961722e-04,4.907581e-04,4.857001e-04,4.809792e-04,4.765771e-04,4.724765e-04,4.686608e-04,4.651144e-04,4.618223e-04,4.587703e-04,4.559450e-04,4.533334e-04,4.509235e-04,4.487036e-04,4.466629e-04,4.447908e-04,4.430775e-04,4.415136e-04,4.400903e-04,4.387992e-04,4.376321e-04,4.365817e-04,4.356407e-04,4.348024e-04,4.340604e-04,4.334085e-04,4.328410e-04
0.000000e+00,1.241792e-08,4.750152e-07,5.032023e-07,5.554771e-06,2.867644e-05,3.037395e-05,1.018792e-04,2.295313e-04,2.396913e-04,4.385098e-04,6.563223e-04,6.761896e-04,9.295790e-04,1.156869e-03,1.181681e-03,1.422152e-03,1.619785e-03,1.645606e-03,1.849802e-03,2.009657e-03,2.034319e-03,2.199708e-03,2.324596e-03,2.346994e-03,2.477402e-03,2.572638e-03,2.592208e-03,2.692665e-03,2.763505e-03,2.779968e-03,2.855237e-03,2.906265e-03,2.919513e-03,2.973760e-03,3.008828e-03,3.018865e-03,3.055646e-03,3.077949e-03,3.084854e-03,3.107179e-03,3.119349e-03,3.123255e-03,3.133664e-03,3.137865e-03,3.138938e-03,3.139567e-03,3.137572e-03,3.135999e-03,3.128646e-03,3.121903e-03,3.117884e-03,3.104059e-03,3.093750e-03,3.087487e-03,3.068457e-03,3.055542e-03,3.047236e-03,3.024065e-03,3.009320e-03,2.999167e-03,2.972745e-03,2.956796e-03,2.944986e-03,2.916058e-03,2.899406e-03,2.886117e-03,2.855305e-03,2.838350e-03,2.823750e-03,2.791572e-03,2.774629e-03,2.758877e-03,2.725764e-03,2.709079e-03,2.692322e-03,2.658631e-03,2.642394e-03,2.624766e-03,2.590794e-03,2.575147e-03,2.556774e-03,2.522763e-03,2.507813e-03,2.488809e-03,2.454958e-03,2.440782e-03,2.421251e-03,2.387723e-03,2.374370e-03,2.354408e-03,2.321335e-03,2.308836e-03,2.288529e-03,2.256015e-03,2.244385e-03,2.223813e-03,2.191941e-03,2.181183e-03,2.160416e-03,2.129252e-03,2.119357e-03,2.098460e-03,2.068053e-03,2.059007e-03,2.038038e-03,2.008423e-03,2.000204e-03,1.979216e-03,1.950421e-03,1.943002e-03,1.922042e-03,1.894083e-03,1.887435e-03,1.866546e-03,1.839433e-03,1.833525e-03,1.812744e-03,1.786480e-03,1.781278e-03,1.760640e-03,1.735224e-03,1.730693e-03,1.710229e-03,1.685655e-03,1.681762e-03,1.661498e-03,1.637757e-03,1.634466e-03,1.614428e-03,1.591508e-03,1.588785e-03,1.568993e-03,1.546881e-03,1.544692e-03,1.525166e-03,1.503846e-03,1.502157e-03,1.482915e-03,1.462370e-03,1.461149e-03,1.442205e-03,1.422417e-03,1.421633e-03,1.403000e-03,1.383951e-03,1.383573e-03,1.365263e-03,1.346933e-03,1.311675e-03,1.277760e-03,1.245151e-03,1.213810e-03,1.183699e-03,1.154781e-03,1.127018e-03,1.100375e-03,1.074815e-03,1.050304e-03,1.026807e-03,1.004291e-03,9.827234e-04,9.620724e-04,9.423069e-04,9.233968e-04,9.053126e-04,8.880260e-04,8.715091e-04,8.557350e-04,8.406776e-04,8.263115e-04,8.126121e-04,7.995555e-04,7.871185e-04,7.752787e-04,7.640142e-04,7.533039e-04,7.431274e-04,7.334647e-04,7.242966e-04,7.156046e-04,7.073704e-04,6.995766e-04,6.922061e-04,6.852426e-04,6.786701e-04,6.724731e-04,6.666367e-04,6.611463e-04,6.559880e-04,6.511481e-04,6.466134e-04,6.423712e-04,6.384092e-04,6.347153e-04,6.312780e-04,6.280860e-04,6.251286e-04
0.000000e+00,6.954483e-09,1.895947e-07,1.995734e-07,1.725872e-06,7.898572e-06,8.338065e-06,2.644913e-05,5.836160e-05,6.089529e-05,1.100723e-04,1.623251e-04,1.669803e-04,2.245983e-04,2.735959e-04,2.788021e-04,3.279481e-04,3.667286e-04,3.716977e-04,4.102461e-04,4.395195e-04,4.439646e-04,4.732631e-04,4.947515e-04,4.985417e-04,5.201755e-04,5.354394e-04,5.385110e-04,5.538661e-04,5.642007e-04,5.665318e-04,5.767739e-04,5.832369e-04,5.848347e-04,5.909351e-04,5.943845e-04,5.952760e-04,5.980403e-04,5.991693e-04,5.993944e-04,5.994893e-04,5.988555e-04,5.984623e-04,5.964380e-04,5.944886e-04,5.935295e-04,5.898393e-04,5.869312e-04,5.854603e-04,5.804769e-04,5.768940e-04,5.749652e-04,5.689944e-04,5.649611e-04,5.626268e-04,5.559188e-04,5.516116e-04,5.489216e-04,5.416810e-04,5.372373e-04,5.342385e-04,5.266316e-04,5.221576e-04,5.188938e-04,5.110554e-04,5.066322e-04,5.031435e-04,4.951825e-04,4.908708e-04,4.871941e-04,4.791978e-04,4.750425e-04,4.712110e-04,4.632491e-04,4.592819e-04,4.553259e-04,4.474534e-04,4.436959e-04,4.396425e-04,4.319025e-04,4.283683e-04,4.242418e-04,4.166676e-04,4.133639e-04,4.091860e-04,4.018025e-04,3.987319e-04,3.945217e-04,3.873475e-04,3.845084e-04,3.802831e-04,3.733311e-04,3.707194e-04,3.664939e-04,3.597730e-04,3.573822e-04,3.531697e-04,3.466850e-04,3.445073e-04,3.403193e-04,3.340731e-04,3.320995e-04,3.279462e-04,3.219384e-04,3.201592e-04,3.160492e-04,3.102780e-04,3.086832e-04,3.046241e-04,2.990863e-04,2.976654e-04,2.936637e-04,2.883549e-04,2.870976e-04,2.831588e-04,2.780739e-04,2.769700e-04,2.730987e-04,2.682317e-04,2.672712e-04,2.634714e-04,2.588161e-04,2.579891e-04,2.542641e-04,2.498138e-04,2.491111e-04,2.454634e-04,2.412113e-04,2.406237e-04,2.370556e-04,2.329947e-04,2.325137e-04,2.290268e-04,2.251501e-04,2.247673e-04,2.213628e-04,2.176634e-04,2.173712e-04,2.140500e-04,2.105209e-04,2.103117e-04,2.070744e-04,2.037088e-04,2.035759e-04,2.004226e-04,1.972140e-04,1.971506e-04,1.940814e-04,1.910232e-04,1.851813e-04,1.796131e-04,1.743069e-04,1.692514e-04,1.644358e-04,1.598498e-04,1.554831e-04,1.513262e-04,1.473698e-04,1.436049e-04,1.400230e-04,1.366159e-04,1.333757e-04,1.302948e-04,1.273661e-04,1.245826e-04,1.219378e-04,1.194252e-04,1.170389e-04,1.147731e-04,1.126222e-04,1.105810e-04,1.086444e-04,1.068075e-04,1.050658e-04,1.034149e-04,1.018505e-04,1.003686e-04,9.896536e-05,9.763713e-05,9.638039e-05,9.519179e-05,9.406813e-05,9.300636e-05,9.200357e-05,9.105696e-05,9.016388e-05,8.932178e-05,8.852826e-05,8.778098e-05,8.707774e-05,8.641643e-05,8.579504e-05,8.521165e-05,8.466442e-05,8.415159e-05,8.367150e-05,8.322256e-05,8.280323e-05
0.000000e+00,2.076434e-08,4.173041e-07,4.370360e-07,3.143017e-06,1.329931e-05,1.400988e-05,4.252367e-05,8.896527e-05,9.243949e-05,1.546951e-04,2.133826e-04,2.183814e-04,2.785667e-04,3.286451e-04,3.339624e-04,3.844605e-04,4.250029e-04,4.302592e-04,4.716255e-04,5.038660e-04,5.088353e-04,5.421581e-04,5.673354e-04,5.718532e-04,5.981685e-04,6.173917e-04,6.213410e-04,6.415958e-04,6.558427e-04,6.591463e-04,6.741947e-04,6.843182e-04,6.869312e-04,6.975350e-04,7.042714e-04,7.061743e-04,7.130065e-04,7.169861e-04,7.181791e-04,7.218299e-04,7.235886e-04,7.240874e-04,7.250713e-04,7.250625e-04,7.248935e-04,7.236577e-04,7.222628e-04,7.214608e-04,7.183925e-04,7.159309e-04,7.145364e-04,7.099699e-04,7.067079e-04,7.047649e-04,6.989881e-04,6.951466e-04,6.927013e-04,6.859616e-04,6.817225e-04,6.788219e-04,6.713311e-04,6.668434e-04,6.635343e-04,6.554731e-04,6.508579e-04,6.471860e-04,6.387085e-04,6.340630e-04,6.300731e-04,6.213099e-04,6.167117e-04,6.124464e-04,6.035077e-04,5.990176e-04,5.945171e-04,5.854957e-04,5.811602e-04,5.764627e-04,5.674358e-04,5.632899e-04,5.584310e-04,5.494628e-04,5.455318e-04,5.405444e-04,5.316876e-04,5.279888e-04,5.229033e-04,5.142010e-04,5.107450e-04,5.055893e-04,4.970759e-04,4.938681e-04,4.886677e-04,4.803706e-04,4.774119e-04,4.721899e-04,4.641301e-04,4.614181e-04,4.561953e-04,4.483889e-04,4.459185e-04,4.407138e-04,4.331721e-04,4.309360e-04,4.257660e-04,4.184968e-04,4.164861e-04,4.113657e-04,4.043734e-04,4.025782e-04,3.975204e-04,3.908068e-04,3.892163e-04,3.842325e-04,3.777972e-04,3.764001e-04,3.715003e-04,3.653410e-04,3.641256e-04,3.593184e-04,3.534313e-04,3.523860e-04,3.476785e-04,3.420587e-04,3.411717e-04,3.365701e-04,3.312114e-04,3.304715e-04,3.259808e-04,3.208764e-04,3.202723e-04,3.158965e-04,3.110392e-04,3.105601e-04,3.063024e-04,3.016842e-04,3.013198e-04,2.971826e-04,2.927954e-04,2.925358e-04,2.885206e-04,2.843561e-04,2.841918e-04,2.802998e-04,2.763495e-04,2.762715e-04,2.725031e-04,2.687586e-04,2.616365e-04,2.548888e-04,2.484996e-04,2.424530e-04,2.367335e-04,2.313261e-04,2.262161e-04,2.213894e-04,2.168324e-04,2.125316e-04,2.084745e-04,2.046489e-04,2.010428e-04,1.976453e-04,1.944453e-04,1.914328e-04,1.885977e-04,1.859309e-04,1.834232e-04,1.810662e-04,1.788518e-04,1.767723e-04,1.748202e-04,1.729887e-04,1.712712e-04,1.696612e-04,1.681530e-04,1.667407e-04,1.654191e-04,1.641830e-04,1.630276e-04,1.619484e-04,1.609411e-04,1.600014e-04,1.591257e-04,1.583101e-04,1.575513e-04,1.568458e-04,1.561907e-04,1.555830e-04,1.550199e-04,1.544988e-04,1.540173e-04,1.535728e-04,1.531633e-04,1.527867e-04,1.524409e-04,1.521242e-04,1.518347e-04
0.000000e+00,1.338914e-08,2.172157e-07,2.271027e-07,1.510285e-06,5.714803e-06,5.988368e-06,1.586582e-05,2.952497e-05,3.047278e-05,4.634911e-05,6.001699e-05,6.113993e-05,7.423690e-05,8.457486e-05,8.564298e-05,9.549465e-05,1.030012e-04,1.039465e-04,1.111457e-04,1.164380e-04,1.172267e-04,1.223118e-04,1.258946e-04,1.265113e-04,1.299247e-04,1.322002e-04,1.326416e-04,1.347427e-04,1.360290e-04,1.363002e-04,1.373789e-04,1.379252e-04,1.380365e-04,1.383250e-04,1.383258e-04,1.382902e-04,1.379735e-04,1.375793e-04,1.374114e-04,1.366365e-04,1.359632e-04,1.356778e-04,1.345609e-04,1.336973e-04,1.333087e-04,1.319416e-04,1.309555e-04,1.304774e-04,1.289320e-04,1.278746e-04,1.273196e-04,1.256527e-04,1.245623e-04,1.239421e-04,1.221975e-04,1.211027e-04,1.204277e-04,1.186399e-04,1.175615e-04,1.168409e-04,1.150364e-04,1.139893e-04,1.132315e-04,1.114307e-04,1.104254e-04,1.096377e-04,1.078559e-04,1.068994e-04,1.060882e-04,1.043370e-04,1.034337e-04,1.026046e-04,1.008927e-04,1.000449e-04,9.920280e-05,9.753627e-05,9.674495e-05,9.589417e-05,9.427735e-05,9.354232e-05,9.268657e-05,9.112235e-05,9.044263e-05,8.958514e-05,8.807523e-05,8.744925e-05,8.659281e-05,8.513800e-05,8.456382e-05,8.371083e-05,8.231125e-05,8.178663e-05,8.093917e-05,7.959445e-05,7.911701e-05,7.827689e-05,7.698626e-05,7.655353e-05,7.572229e-05,7.448469e-05,7.409417e-05,7.327313e-05,7.208728e-05,7.173648e-05,7.092677e-05,6.979124e-05,6.947771e-05,6.868029e-05,6.759355e-05,6.731491e-05,6.653059e-05,6.549103e-05,6.524497e-05,6.447445e-05,6.348045e-05,6.326475e-05,6.250860e-05,6.155849e-05,6.137105e-05,6.062972e-05,5.972188e-05,5.956066e-05,5.883455e-05,5.796734e-05,5.783043e-05,5.711984e-05,5.629166e-05,5.617723e-05,5.548241e-05,5.469169e-05,5.459803e-05,5.391914e-05,5.316436e-05,5.308985e-05,5.242700e-05,5.170668e-05,5.164978e-05,5.100305e-05,5.031576e-05,5.027503e-05,4.964445e-05,4.898879e-05,4.896288e-05,4.834844e-05,4.772307e-05,4.771072e-05,4.711237e-05,4.651600e-05,4.537631e-05,4.428929e-05,4.325269e-05,4.226435e-05,4.132218e-05,4.042421e-05,3.956850e-05,3.875322e-05,3.797662e-05,3.723701e-05,3.653277e-05,3.586235e-05,3.522427e-05,3.461711e-05,3.403950e-05,3.349015e-05,3.296779e-05,3.247125e-05,3.199937e-05,3.155105e-05,3.112525e-05,3.072097e-05,3.033724e-05,2.997314e-05,2.962779e-05,2.930034e-05,2.899000e-05,2.869598e-05,2.841756e-05,2.815401e-05,2.790467e-05,2.766889e-05,2.744604e-05,2.723553e-05,2.703680e-05,2.684930e-05,2.667251e-05,2.650593e-05,2.634910e-05,2.620154e-05,2.606284e-05,2.593256e-05,2.581032e-05,2.569573e-05,2.558843e-05,2.548806e-05,2.539430e-05,2.530682e-05,2.522533e-05
0.000000e+00,1.081848e-08,1.911797e-07,2.003437e-07,1.380581e-06,4.874581e-06,5.087097e-06,1.197871e-05,1.998806e-05,2.050885e-05,2.898961e-05,3.625560e-05,3.685951e-05,4.402944e-05,4.989967e-05,5.051918e-05,5.637084e-05,6.102844e-05,6.162968e-05,6.633966e-05,6.998308e-05,7.054243e-05,7.427714e-05,7.707951e-05,7.758051e-05,8.048677e-05,8.259601e-05,8.302779e-05,8.523322e-05,8.677448e-05,8.713055e-05,8.874522e-05,8.982369e-05,9.010085e-05,9.121937e-05,9.192338e-05,9.212103e-05,9.282455e-05,9.322787e-05,9.334731e-05,9.370523e-05,9.386902e-05,9.391277e-05,9.398338e-05,9.395801e-05,9.392946e-05,9.376246e-05,9.358981e-05,9.349314e-05,9.313194e-05,9.284770e-05,9.268800e-05,9.216963e-05,9.180236e-05,9.158446e-05,9.093952e-05,9.051252e-05,9.024131e-05,8.949576e-05,8.902798e-05,8.870830e-05,8.788396e-05,8.739078e-05,8.702734e-05,8.614268e-05,8.563648e-05,8.523386e-05,8.430441e-05,8.379509e-05,8.335759e-05,8.239636e-05,8.189173e-05,8.142343e-05,8.044130e-05,7.994750e-05,7.945223e-05,7.845832e-05,7.798008e-05,7.746144e-05,7.646332e-05,7.600420e-05,7.546551e-05,7.446944e-05,7.403206e-05,7.347639e-05,7.248752e-05,7.207370e-05,7.150389e-05,7.052643e-05,7.013737e-05,6.955601e-05,6.859338e-05,6.822977e-05,6.763923e-05,6.669416e-05,6.635627e-05,6.575872e-05,6.483339e-05,6.452116e-05,6.391859e-05,6.301467e-05,6.272777e-05,6.212197e-05,6.124075e-05,6.097867e-05,6.037126e-05,5.951368e-05,5.927572e-05,5.866819e-05,5.783490e-05,5.762026e-05,5.701393e-05,5.620535e-05,5.601314e-05,5.540921e-05,5.462554e-05,5.445481e-05,5.385436e-05,5.309566e-05,5.294541e-05,5.234941e-05,5.161559e-05,5.148481e-05,5.089413e-05,5.018498e-05,5.007265e-05,4.948806e-05,4.880329e-05,4.870839e-05,4.813058e-05,4.746982e-05,4.739133e-05,4.682091e-05,4.618373e-05,4.612065e-05,4.555816e-05,4.494409e-05,4.489545e-05,4.434137e-05,4.374989e-05,4.371475e-05,4.316950e-05,4.260007e-05,4.257752e-05,4.204146e-05,4.149352e-05,4.148266e-05,4.095611e-05,4.042908e-05,3.941565e-05,3.844122e-05,3.750466e-05,3.660483e-05,3.574060e-05,3.491086e-05,3.411450e-05,3.335044e-05,3.261762e-05,3.191500e-05,3.124155e-05,3.059630e-05,2.997827e-05,2.938651e-05,2.882011e-05,2.827818e-05,2.775985e-05,2.726428e-05,2.679065e-05,2.633817e-05,2.590608e-05,2.549362e-05,2.510009e-05,2.472477e-05,2.436700e-05,2.402612e-05,2.370150e-05,2.339252e-05,2.309860e-05,2.281915e-05,2.255363e-05,2.230150e-05,2.206223e-05,2.183533e-05,2.162032e-05,2.141672e-05,2.122408e-05,2.104196e-05,2.086995e-05,2.070762e-05,2.055460e-05,2.041048e-05,2.027491e-05,2.014753e-05,2.002800e-05,1.991597e-05,1.981114e-05,1.971319e-05,1.962183e-05
0.000000e+00,1.484085e-08,5.162190e-07,5.455139e-07,5.597582e-06,2.976121e-05,3.160997e-05,1.160240e-04,2.897478e-04,3.046479e-04,6.257432e-04,1.041141e-03,1.082384e-03,1.659327e-03,2.260739e-03,2.331416e-03,3.069833e-03,3.751842e-03,3.846107e-03,4.634437e-03,5.305172e-03,5.412844e-03,6.163579e-03,6.762751e-03,6.873047e-03,7.531474e-03,8.028692e-03,8.132427e-03,8.672295e-03,9.059261e-03,9.149765e-03,9.565334e-03,9.847673e-03,9.920876e-03,1.021927e-02,1.040999e-02,1.046406e-02,1.065924e-02,1.077420e-02,1.080902e-02,1.091763e-02,1.097271e-02,1.098928e-02,1.102799e-02,1.103755e-02,1.103758e-02,1.102161e-02,1.099782e-02,1.098334e-02,1.092578e-02,1.087854e-02,1.085162e-02,1.076329e-02,1.070034e-02,1.066297e-02,1.055256e-02,1.047981e-02,1.043378e-02,1.030809e-02,1.022991e-02,1.017680e-02,1.004103e-02,9.960625e-03,9.901761e-03,9.759826e-03,9.679454e-03,9.615952e-03,9.470756e-03,9.391991e-03,9.324770e-03,9.178451e-03,9.102364e-03,9.032186e-03,8.886310e-03,8.813608e-03,8.741106e-03,8.596814e-03,8.527939e-03,8.453640e-03,8.311761e-03,8.246973e-03,8.171325e-03,8.032463e-03,7.971890e-03,7.895282e-03,7.759876e-03,7.703554e-03,7.626323e-03,7.494688e-03,7.442584e-03,7.365027e-03,7.237387e-03,7.189422e-03,7.111807e-03,6.988318e-03,6.944379e-03,6.866946e-03,6.747711e-03,6.707660e-03,6.630627e-03,6.515705e-03,6.479387e-03,6.402951e-03,6.292368e-03,6.259617e-03,6.183956e-03,6.077711e-03,6.048350e-03,5.973627e-03,5.871696e-03,5.845545e-03,5.771906e-03,5.674244e-03,5.651120e-03,5.578696e-03,5.485244e-03,5.464965e-03,5.393872e-03,5.304558e-03,5.286940e-03,5.217282e-03,5.132022e-03,5.116888e-03,5.048756e-03,4.967458e-03,4.954631e-03,4.888104e-03,4.810669e-03,4.799980e-03,4.735126e-03,4.661449e-03,4.652732e-03,4.589610e-03,4.519582e-03,4.512678e-03,4.451337e-03,4.384846e-03,4.379602e-03,4.320081e-03,4.257015e-03,4.253284e-03,4.195617e-03,4.135859e-03,4.133503e-03,4.077713e-03,4.021150e-03,4.020035e-03,3.966142e-03,3.912659e-03,3.811152e-03,3.715298e-03,3.624881e-03,3.539688e-03,3.459513e-03,3.384151e-03,3.313406e-03,3.247083e-03,3.184994e-03,3.126955e-03,3.072788e-03,3.022321e-03,2.975385e-03,2.931818e-03,2.891462e-03,2.854163e-03,2.819774e-03,2.788152e-03,2.759157e-03,2.732655e-03,2.708517e-03,2.686618e-03,2.666835e-03,2.649051e-03,2.633154e-03,2.619034e-03,2.606586e-03,2.595708e-03,2.586301e-03,2.578272e-03,2.571530e-03,2.565986e-03,2.561556e-03,2.558160e-03,2.555721e-03,2.554162e-03,2.553414e-03,2.553407e-03,2.554076e-03,2.555360e-03,2.557198e-03,2.559533e-03,2.562313e-03,2.565485e-03,2.569001e-03,2.572815e-03,2.576884e-03,2.581167e-03,2.585626e-03
0.000000e+00,6.302103e-09,2.064929e-07,2.180534e-07,2.077749e-06,9.574533e-06,1.009993e-05,3.112817e-05,6.666243e-05,6.944009e-05,1.228424e-04,1.795432e-04,1.846286e-04,2.483661e-04,3.040809e-04,3.100995e-04,3.679897e-04,4.152316e-04,4.213984e-04,4.702468e-04,5.087215e-04,5.146859e-04,5.549495e-04,5.857320e-04,5.912945e-04,6.239767e-04,6.482165e-04,6.532430e-04,6.793279e-04,6.980544e-04,7.024527e-04,7.228259e-04,7.369331e-04,7.406432e-04,7.560882e-04,7.663462e-04,7.693331e-04,7.805392e-04,7.876082e-04,7.898574e-04,7.974290e-04,8.018736e-04,8.033862e-04,8.078527e-04,8.101544e-04,8.109440e-04,8.127681e-04,8.133365e-04,8.134260e-04,8.130120e-04,8.121946e-04,8.116142e-04,8.093148e-04,8.074056e-04,8.061904e-04,8.023127e-04,7.995597e-04,7.977484e-04,7.925599e-04,7.891714e-04,7.868050e-04,7.805379e-04,7.766883e-04,7.738089e-04,7.666649e-04,7.624993e-04,7.591493e-04,7.513029e-04,7.469416e-04,7.431633e-04,7.347654e-04,7.303074e-04,7.261419e-04,7.173228e-04,7.128487e-04,7.083361e-04,6.992078e-04,6.947830e-04,6.899618e-04,6.806204e-04,6.762971e-04,6.712041e-04,6.617319e-04,6.575509e-04,6.522212e-04,6.426881e-04,6.386812e-04,6.331476e-04,6.236132e-04,6.198039e-04,6.140974e-04,6.046118e-04,6.010173e-04,5.951668e-04,5.857721e-04,5.824040e-04,5.764364e-04,5.671676e-04,5.640328e-04,5.579731e-04,5.488593e-04,5.459609e-04,5.398321e-04,5.308969e-04,5.282350e-04,5.220584e-04,5.133209e-04,5.108930e-04,5.046881e-04,4.961633e-04,4.939649e-04,4.877494e-04,4.794490e-04,4.774740e-04,4.712642e-04,4.631969e-04,4.614380e-04,4.552485e-04,4.474204e-04,4.458693e-04,4.397135e-04,4.321286e-04,4.307763e-04,4.246662e-04,4.173266e-04,4.161636e-04,4.101099e-04,4.030161e-04,4.020328e-04,3.960451e-04,3.891964e-04,3.883827e-04,3.824695e-04,3.758640e-04,3.752100e-04,3.693789e-04,3.630136e-04,3.625095e-04,3.567671e-04,3.506384e-04,3.502744e-04,3.446264e-04,3.387301e-04,3.384966e-04,3.329481e-04,3.272793e-04,3.271671e-04,3.217223e-04,3.162759e-04,3.058124e-04,2.957656e-04,2.861239e-04,2.768758e-04,2.680092e-04,2.595121e-04,2.513726e-04,2.435787e-04,2.361187e-04,2.289809e-04,2.221538e-04,2.156261e-04,2.093869e-04,2.034252e-04,1.977307e-04,1.922930e-04,1.871022e-04,1.821486e-04,1.774229e-04,1.729160e-04,1.686190e-04,1.645236e-04,1.606215e-04,1.569047e-04,1.533657e-04,1.499971e-04,1.467918e-04,1.437429e-04,1.408439e-04,1.380885e-04,1.354705e-04,1.329842e-04,1.306239e-04,1.283842e-04,1.262598e-04,1.242459e-04,1.223377e-04,1.205305e-04,1.188200e-04,1.172018e-04,1.156721e-04,1.142268e-04,1.128623e-04,1.115750e-04,1.103613e-04,1.092182e-04,1.081423e-04,1.071308e-04,1.061806e-04
0.000000e+00,1.195646e-08,4.286893e-07,4.533706e-07,4.786788e-06,2.550242e-05,2.707745e-05,9.793440e-05,2.396223e-04,2.515809e-04,5.035872e-04,8.168329e-04,8.472825e-04,1.262798e-03,1.677913e-03,1.725624e-03,2.211863e-03,2.642621e-03,2.700863e-03,3.176189e-03,3.564658e-03,3.625684e-03,4.041035e-03,4.359749e-03,4.417165e-03,4.751578e-03,4.994249e-03,5.043747e-03,5.294585e-03,5.466758e-03,5.506004e-03,5.680560e-03,5.793001e-03,5.821184e-03,5.930974e-03,5.995716e-03,6.013052e-03,6.070450e-03,6.098737e-03,6.106049e-03,6.122531e-03,6.123953e-03,6.122359e-03,6.107768e-03,6.090060e-03,6.080766e-03,6.043143e-03,6.012309e-03,5.996484e-03,5.942186e-03,5.902768e-03,5.881476e-03,5.815424e-03,5.770783e-03,5.744961e-03,5.670900e-03,5.623486e-03,5.593941e-03,5.514695e-03,5.466270e-03,5.433685e-03,5.351366e-03,5.303178e-03,5.268130e-03,5.184314e-03,5.137233e-03,5.100208e-03,5.016062e-03,4.970684e-03,4.932091e-03,4.848480e-03,4.805198e-03,4.765387e-03,4.682947e-03,4.642008e-03,4.601275e-03,4.520470e-03,4.482017e-03,4.440616e-03,4.361783e-03,4.325880e-03,4.284030e-03,4.207407e-03,4.174062e-03,4.131954e-03,4.057705e-03,4.026887e-03,3.984687e-03,3.912921e-03,3.884568e-03,3.842422e-03,3.773202e-03,3.747235e-03,3.705268e-03,3.638625e-03,3.614949e-03,3.573273e-03,3.509212e-03,3.487724e-03,3.446437e-03,3.384942e-03,3.365533e-03,3.324721e-03,3.265762e-03,3.248319e-03,3.208056e-03,3.151591e-03,3.136001e-03,3.096354e-03,3.042330e-03,3.028481e-03,2.989507e-03,2.937867e-03,2.925648e-03,2.887396e-03,2.838077e-03,2.827379e-03,2.789893e-03,2.742828e-03,2.733547e-03,2.696863e-03,2.651982e-03,2.644017e-03,2.608167e-03,2.565400e-03,2.558654e-03,2.523663e-03,2.482939e-03,2.477317e-03,2.443209e-03,2.404456e-03,2.399870e-03,2.366662e-03,2.329809e-03,2.326175e-03,2.293880e-03,2.258858e-03,2.256095e-03,2.224725e-03,2.191464e-03,2.189495e-03,2.159058e-03,2.127490e-03,2.126244e-03,2.096744e-03,2.066804e-03,2.066213e-03,2.037652e-03,2.009275e-03,1.955307e-03,1.904190e-03,1.855809e-03,1.810050e-03,1.766804e-03,1.725968e-03,1.687438e-03,1.651116e-03,1.616908e-03,1.584721e-03,1.554469e-03,1.526065e-03,1.499427e-03,1.474478e-03,1.451139e-03,1.429339e-03,1.409006e-03,1.390073e-03,1.372474e-03,1.356146e-03,1.341029e-03,1.327064e-03,1.314195e-03,1.302367e-03,1.291530e-03,1.281632e-03,1.272626e-03,1.264465e-03,1.257104e-03,1.250501e-03,1.244615e-03,1.239405e-03,1.234833e-03,1.230864e-03,1.227460e-03,1.224589e-03,1.222218e-03,1.220315e-03,1.218851e-03,1.217796e-03,1.217124e-03,1.216807e-03,1.216820e-03,1.217139e-03,1.217740e-03,1.218602e-03,1.219702e-03,1.221021e-03,1.222540e-03
0.000000e+00,4.201152e-09,9.486811e-08,9.965797e-08,7.006968e-07,2.207336e-06,2.287453e-06,4.422896e-06,6.343779e-06,6.459316e-06,8.252439e-06,9.691270e-06,9.807477e-06,1.114913e-05,1.219486e-05,1.230237e-05,1.328972e-05,1.403722e-05,1.413108e-05,1.484404e-05,1.536639e-05,1.544413e-05,1.594507e-05,1.629815e-05,1.635899e-05,1.669660e-05,1.692318e-05,1.696738e-05,1.717966e-05,1.731235e-05,1.734081e-05,1.745734e-05,1.752093e-05,1.753492e-05,1.757855e-05,1.759173e-05,1.759263e-05,1.758100e-05,1.755785e-05,1.754706e-05,1.749379e-05,1.744496e-05,1.742383e-05,1.733953e-05,1.727309e-05,1.724293e-05,1.713576e-05,1.705766e-05,1.701959e-05,1.689578e-05,1.681044e-05,1.676549e-05,1.662977e-05,1.654048e-05,1.648953e-05,1.634557e-05,1.625476e-05,1.619860e-05,1.604921e-05,1.595865e-05,1.589795e-05,1.574528e-05,1.565625e-05,1.559162e-05,1.543730e-05,1.535072e-05,1.528266e-05,1.512795e-05,1.504447e-05,1.497342e-05,1.481926e-05,1.473931e-05,1.466566e-05,1.451277e-05,1.443663e-05,1.436072e-05,1.420963e-05,1.413748e-05,1.405960e-05,1.391072e-05,1.384263e-05,1.376305e-05,1.361665e-05,1.355266e-05,1.347159e-05,1.332790e-05,1.326797e-05,1.318562e-05,1.304479e-05,1.298886e-05,1.290542e-05,1.276754e-05,1.271553e-05,1.263115e-05,1.249628e-05,1.244810e-05,1.236293e-05,1.223111e-05,1.218664e-05,1.210081e-05,1.197205e-05,1.193116e-05,1.184481e-05,1.171909e-05,1.168167e-05,1.159489e-05,1.147221e-05,1.143813e-05,1.135103e-05,1.123135e-05,1.120048e-05,1.111315e-05,1.099644e-05,1.096865e-05,1.088119e-05,1.076740e-05,1.074256e-05,1.065505e-05,1.054414e-05,1.052213e-05,1.043464e-05,1.032656e-05,1.030725e-05,1.021987e-05,1.011456e-05,1.009783e-05,1.001061e-05,9.908028e-06,9.893773e-06,9.806782e-06,9.706864e-06,9.694963e-06,9.608261e-06,9.510958e-06,9.501298e-06,9.414941e-06,9.320198e-06,9.312673e-06,9.226714e-06,9.134476e-06,9.128981e-06,9.043470e-06,8.953683e-06,8.950117e-06,8.865101e-06,8.777710e-06,8.775975e-06,8.691498e-06,8.606451e-06,8.441443e-06,8.280850e-06,8.124571e-06,7.972507e-06,7.824563e-06,7.680643e-06,7.540654e-06,7.404503e-06,7.272101e-06,7.143360e-06,7.018193e-06,6.896514e-06,6.778242e-06,6.663295e-06,6.551593e-06,6.443057e-06,6.337612e-06,6.235183e-06,6.135697e-06,6.039082e-06,5.945267e-06,5.854186e-06,5.765770e-06,5.679954e-06,5.596674e-06,5.515868e-06,5.437473e-06,5.361431e-06,5.287683e-06,5.216171e-06,5.146840e-06,5.079634e-06,5.014501e-06,4.951388e-06,4.890244e-06,4.831019e-06,4.773665e-06,4.718133e-06,4.664378e-06,4.612353e-06,4.562015e-06,4.513319e-06,4.466224e-06,4.420687e-06,4.376669e-06,4.334129e-06,4.293029e-06,4.253332e-06,4.214999e-06
0.000000e+00,1.125817e-09,1.439447e-08,1.502477e-08,9.427540e-08,3.353448e-07,3.502276e-07,8.324213e-07,1.384122e-06,1.419897e-06,2.005517e-06,2.515166e-06,2.557944e-06,3.071433e-06,3.500408e-06,3.546179e-06,3.983759e-06,4.339584e-06,4.386061e-06,4.755010e-06,5.047075e-06,5.092499e-06,5.400375e-06,5.637415e-06,5.680425e-06,5.934372e-06,6.124291e-06,6.163867e-06,6.370486e-06,6.520322e-06,6.555730e-06,6.721017e-06,6.836956e-06,6.867694e-06,6.997026e-06,7.084456e-06,7.110208e-06,7.208364e-06,7.271949e-06,7.292549e-06,7.363754e-06,7.407509e-06,7.422909e-06,7.470887e-06,7.498260e-06,7.508504e-06,7.536526e-06,7.550469e-06,7.555671e-06,7.566611e-06,7.569642e-06,7.569973e-06,7.566346e-06,7.560612e-06,7.556279e-06,7.540288e-06,7.527610e-06,7.518853e-06,7.492424e-06,7.474344e-06,7.461420e-06,7.426233e-06,7.404054e-06,7.387231e-06,7.344755e-06,7.319571e-06,7.299124e-06,7.250635e-06,7.223361e-06,7.199566e-06,7.146176e-06,7.117577e-06,7.090706e-06,7.033381e-06,7.004088e-06,6.974409e-06,6.913986e-06,6.884521e-06,6.852292e-06,6.789497e-06,6.760284e-06,6.725756e-06,6.661215e-06,6.632599e-06,6.596010e-06,6.530265e-06,6.502520e-06,6.464097e-06,6.397614e-06,6.370955e-06,6.330915e-06,6.264092e-06,6.238684e-06,6.197230e-06,6.130409e-06,6.106378e-06,6.063701e-06,5.997173e-06,5.974605e-06,5.930886e-06,5.864897e-06,5.843853e-06,5.799259e-06,5.734018e-06,5.714529e-06,5.669218e-06,5.604899e-06,5.586981e-06,5.541097e-06,5.477845e-06,5.461494e-06,5.415174e-06,5.353109e-06,5.338306e-06,5.291675e-06,5.230894e-06,5.217612e-06,5.170786e-06,5.111368e-06,5.099569e-06,5.052655e-06,4.994660e-06,4.984299e-06,4.937396e-06,4.880872e-06,4.871897e-06,4.825096e-06,4.770077e-06,4.762435e-06,4.715819e-06,4.662327e-06,4.655960e-06,4.609606e-06,4.557657e-06,4.552504e-06,4.506482e-06,4.456081e-06,4.452082e-06,4.406455e-06,4.357602e-06,4.354695e-06,4.309521e-06,4.262209e-06,4.260333e-06,4.215664e-06,4.169882e-06,4.168974e-06,4.124858e-06,4.080590e-06,3.995145e-06,3.912598e-06,3.832901e-06,3.756004e-06,3.681853e-06,3.610391e-06,3.541558e-06,3.475295e-06,3.411541e-06,3.350231e-06,3.291305e-06,3.234699e-06,3.180349e-06,3.128194e-06,3.078171e-06,3.030218e-06,2.984275e-06,2.940281e-06,2.898177e-06,2.857904e-06,2.819407e-06,2.782627e-06,2.747511e-06,2.714003e-06,2.682052e-06,2.651606e-06,2.622613e-06,2.595025e-06,2.568793e-06,2.543870e-06,2.520210e-06,2.497769e-06,2.476502e-06,2.456368e-06,2.437325e-06,2.419332e-06,2.402350e-06,2.386341e-06,2.371268e-06,2.357095e-06,2.343786e-06,2.331307e-06,2.319626e-06,2.308709e-06,2.298526e-06,2.289047e-06,2.280241e-06,2.272079e-06,2.264536e-06
0.000000e+00,1.016071e-09,1.438705e-08,1.503299e-08,9.382950e-08,3.092723e-07,3.216772e-07,6.875320e-07,1.061736e-06,1.085262e-06,1.463476e-06,1.784959e-06,1.811673e-06,2.129166e-06,2.389772e-06,2.417316e-06,2.677872e-06,2.885742e-06,2.912603e-06,3.123214e-06,3.286294e-06,3.311336e-06,3.478519e-06,3.603856e-06,3.626244e-06,3.755940e-06,3.849787e-06,3.868958e-06,3.966586e-06,4.034422e-06,4.050033e-06,4.120441e-06,4.166997e-06,4.178878e-06,4.226344e-06,4.255657e-06,4.263771e-06,4.292027e-06,4.307508e-06,4.311917e-06,4.324190e-06,4.328702e-06,4.329540e-06,4.328607e-06,4.324537e-06,4.321987e-06,4.310227e-06,4.299555e-06,4.293835e-06,4.273277e-06,4.257639e-06,4.248986e-06,4.221358e-06,4.202095e-06,4.190759e-06,4.157526e-06,4.135735e-06,4.121968e-06,4.084369e-06,4.060939e-06,4.044990e-06,4.004072e-06,3.979721e-06,3.961833e-06,3.918475e-06,3.893774e-06,3.874181e-06,3.829119e-06,3.804521e-06,3.783443e-06,3.737294e-06,3.713151e-06,3.690797e-06,3.644070e-06,3.620653e-06,3.597217e-06,3.550335e-06,3.527846e-06,3.503509e-06,3.456817e-06,3.435404e-06,3.410331e-06,3.364113e-06,3.343877e-06,3.318220e-06,3.272704e-06,3.253710e-06,3.227609e-06,3.182975e-06,3.165259e-06,3.138838e-06,3.095230e-06,3.078803e-06,3.052177e-06,3.009704e-06,2.994560e-06,2.967831e-06,2.926575e-06,2.912691e-06,2.885951e-06,2.845971e-06,2.833316e-06,2.806646e-06,2.767982e-06,2.756513e-06,2.729985e-06,2.692661e-06,2.682331e-06,2.656010e-06,2.620035e-06,2.610792e-06,2.584735e-06,2.550108e-06,2.541898e-06,2.516153e-06,2.482865e-06,2.475631e-06,2.450241e-06,2.418275e-06,2.411961e-06,2.386962e-06,2.356296e-06,2.350844e-06,2.326269e-06,2.296874e-06,2.292229e-06,2.268103e-06,2.239949e-06,2.236056e-06,2.212402e-06,2.185455e-06,2.182261e-06,2.159098e-06,2.133321e-06,2.130775e-06,2.108117e-06,2.083475e-06,2.081527e-06,2.059385e-06,2.035839e-06,2.034444e-06,2.012827e-06,1.990338e-06,1.989450e-06,1.968364e-06,1.946895e-06,1.946470e-06,1.925920e-06,1.905431e-06,1.866258e-06,1.828877e-06,1.793218e-06,1.759210e-06,1.726784e-06,1.695874e-06,1.666416e-06,1.638346e-06,1.611605e-06,1.586133e-06,1.561875e-06,1.538776e-06,1.516785e-06,1.495851e-06,1.475926e-06,1.456964e-06,1.438921e-06,1.421755e-06,1.405425e-06,1.389892e-06,1.375120e-06,1.361072e-06,1.347715e-06,1.335016e-06,1.322945e-06,1.311471e-06,1.300567e-06,1.290206e-06,1.280361e-06,1.271009e-06,1.262126e-06,1.253689e-06,1.245677e-06,1.238070e-06,1.230848e-06,1.223993e-06,1.217487e-06,1.211313e-06,1.205456e-06,1.199899e-06,1.194628e-06,1.189630e-06,1.184891e-06,1.180398e-06,1.176139e-06,1.172103e-06,1.168280e-06,1.164657e-06,1.161227e-06
0.000000e+00,1.963267e-08,6.415809e-07,6.772054e-07,6.369467e-06,2.966193e-05,3.131388e-05,9.852645e-05,2.134922e-04,2.224715e-04,3.944254e-04,5.762423e-04,5.925437e-04,7.969386e-04,9.754656e-04,9.947130e-04,1.179039e-03,1.327741e-03,1.346993e-03,1.497832e-03,1.614119e-03,1.631910e-03,1.750091e-03,1.837856e-03,1.853441e-03,1.943083e-03,2.007136e-03,2.020122e-03,2.085618e-03,2.130380e-03,2.140573e-03,2.185922e-03,2.215187e-03,2.222535e-03,2.251220e-03,2.268182e-03,2.272727e-03,2.287743e-03,2.295053e-03,2.296905e-03,2.300797e-03,2.300638e-03,2.299954e-03,2.294867e-03,2.289024e-03,2.285986e-03,2.273724e-03,2.263647e-03,2.258456e-03,2.240527e-03,2.227390e-03,2.220252e-03,2.197918e-03,2.182665e-03,2.173786e-03,2.148095e-03,2.131480e-03,2.121063e-03,2.092887e-03,2.075507e-03,2.063746e-03,2.033805e-03,2.016131e-03,2.003211e-03,1.972098e-03,1.954494e-03,1.940588e-03,1.908790e-03,1.891535e-03,1.876804e-03,1.844720e-03,1.828023e-03,1.812616e-03,1.780566e-03,1.764582e-03,1.748634e-03,1.716878e-03,1.701713e-03,1.685349e-03,1.654092e-03,1.639817e-03,1.623149e-03,1.592554e-03,1.579211e-03,1.562340e-03,1.532532e-03,1.520140e-03,1.503155e-03,1.474228e-03,1.462788e-03,1.445770e-03,1.417795e-03,1.407293e-03,1.390313e-03,1.363337e-03,1.353750e-03,1.336871e-03,1.310924e-03,1.302221e-03,1.285498e-03,1.260597e-03,1.252740e-03,1.236221e-03,1.212371e-03,1.205319e-03,1.189046e-03,1.166242e-03,1.159951e-03,1.143958e-03,1.122190e-03,1.116614e-03,1.100933e-03,1.080182e-03,1.075277e-03,1.059932e-03,1.040176e-03,1.035895e-03,1.020908e-03,1.002121e-03,9.984204e-04,9.838074e-04,9.659604e-04,9.627969e-04,9.485721e-04,9.316347e-04,9.289660e-04,9.151401e-04,8.990802e-04,8.968660e-04,8.834468e-04,8.682317e-04,8.664336e-04,8.534266e-04,8.390231e-04,8.376045e-04,8.250129e-04,8.113878e-04,8.103142e-04,7.981395e-04,7.852596e-04,7.844984e-04,7.727402e-04,7.605731e-04,7.600937e-04,7.487504e-04,7.372640e-04,7.370376e-04,7.261062e-04,7.152692e-04,6.947290e-04,6.753592e-04,6.571038e-04,6.399090e-04,6.237227e-04,6.084948e-04,5.941772e-04,5.807240e-04,5.680909e-04,5.562358e-04,5.451183e-04,5.346999e-04,5.249439e-04,5.158153e-04,5.072806e-04,4.993081e-04,4.918676e-04,4.849303e-04,4.784687e-04,4.724570e-04,4.668704e-04,4.616854e-04,4.568798e-04,4.524322e-04,4.483227e-04,4.445320e-04,4.410420e-04,4.378355e-04,4.348962e-04,4.322085e-04,4.297578e-04,4.275302e-04,4.255123e-04,4.236916e-04,4.220564e-04,4.205952e-04,4.192973e-04,4.181527e-04,4.171517e-04,4.162852e-04,4.155446e-04,4.149218e-04,4.144089e-04,4.139986e-04,4.136840e-04,4.134586e-04,4.133160e-04,4.132504e-04,4.132562e-04
0.000000e+00,1.983911e-09,2.502850e-08,2.610686e-08,1.581277e-07,5.569204e-07,5.819365e-07,1.433678e-06,2.494700e-06,2.565588e-06,3.747206e-06,4.799627e-06,4.888832e-06,5.970010e-06,6.888674e-06,6.987582e-06,7.942427e-06,8.732280e-06,8.836414e-06,9.671633e-06,1.034455e-05,1.045022e-05,1.117433e-05,1.174206e-05,1.184612e-05,1.246775e-05,1.294159e-05,1.304141e-05,1.356924e-05,1.395994e-05,1.405337e-05,1.449592e-05,1.481356e-05,1.489893e-05,1.526440e-05,1.551825e-05,1.559427e-05,1.589042e-05,1.608893e-05,1.615466e-05,1.638872e-05,1.653950e-05,1.659428e-05,1.677293e-05,1.688279e-05,1.692620e-05,1.705557e-05,1.713060e-05,1.716242e-05,1.724811e-05,1.729368e-05,1.731389e-05,1.736099e-05,1.738186e-05,1.739056e-05,1.740371e-05,1.740407e-05,1.740148e-05,1.738487e-05,1.736841e-05,1.735484e-05,1.731229e-05,1.728221e-05,1.725807e-05,1.719300e-05,1.715211e-05,1.711785e-05,1.703336e-05,1.698410e-05,1.694022e-05,1.683910e-05,1.678357e-05,1.673062e-05,1.661538e-05,1.655540e-05,1.649394e-05,1.636682e-05,1.630394e-05,1.623454e-05,1.609757e-05,1.603311e-05,1.595636e-05,1.581133e-05,1.574642e-05,1.566290e-05,1.551144e-05,1.544701e-05,1.535730e-05,1.520083e-05,1.513766e-05,1.504234e-05,1.488214e-05,1.482087e-05,1.472050e-05,1.455770e-05,1.449885e-05,1.439397e-05,1.422956e-05,1.417354e-05,1.406468e-05,1.389954e-05,1.384668e-05,1.373434e-05,1.356925e-05,1.351977e-05,1.340444e-05,1.324007e-05,1.319415e-05,1.307629e-05,1.291324e-05,1.287098e-05,1.275103e-05,1.258979e-05,1.255125e-05,1.242963e-05,1.227066e-05,1.223585e-05,1.211295e-05,1.195660e-05,1.192550e-05,1.180169e-05,1.164829e-05,1.162085e-05,1.149647e-05,1.134629e-05,1.132242e-05,1.119780e-05,1.105105e-05,1.103065e-05,1.090609e-05,1.076295e-05,1.074590e-05,1.062168e-05,1.048230e-05,1.046847e-05,1.034484e-05,1.020933e-05,1.019857e-05,1.007578e-05,9.944212e-06,9.936381e-06,9.814639e-06,9.687072e-06,9.682012e-06,9.561519e-06,9.437986e-06,9.435536e-06,9.316474e-06,9.196986e-06,8.966361e-06,8.743628e-06,8.528729e-06,8.321582e-06,8.122085e-06,7.930118e-06,7.745551e-06,7.568235e-06,7.398018e-06,7.234733e-06,7.078212e-06,6.928279e-06,6.784753e-06,6.647453e-06,6.516194e-06,6.390792e-06,6.271063e-06,6.156821e-06,6.047883e-06,5.944070e-06,5.845201e-06,5.751101e-06,5.661596e-06,5.576516e-06,5.495695e-06,5.418969e-06,5.346179e-06,5.277171e-06,5.211793e-06,5.149898e-06,5.091344e-06,5.035990e-06,4.983704e-06,4.934353e-06,4.887813e-06,4.843961e-06,4.802678e-06,4.763850e-06,4.727367e-06,4.693123e-06,4.661015e-06,4.630944e-06,4.602814e-06,4.576534e-06,4.552016e-06,4.529173e-06,4.507926e-06,4.488194e-06,4.469902e-06
0.000000e+00,1.303153e-09,1.934496e-08,2.021935e-08,1.262581e-07,4.238597e-07,4.417120e-07,1.017558e-06,1.691577e-06,1.735861e-06,2.468745e-06,3.118826e-06,3.173953e-06,3.843194e-06,4.413995e-06,4.475593e-06,5.071855e-06,5.567502e-06,5.633028e-06,6.160271e-06,6.587483e-06,6.654792e-06,7.117823e-06,7.483346e-06,7.550611e-06,7.954403e-06,8.264743e-06,8.330435e-06,8.679922e-06,8.941199e-06,9.004053e-06,9.303986e-06,9.521859e-06,9.580843e-06,9.835710e-06,1.001535e-05,1.006963e-05,1.028362e-05,1.042971e-05,1.047864e-05,1.065563e-05,1.077240e-05,1.081549e-05,1.095906e-05,1.105033e-05,1.108719e-05,1.120065e-05,1.126982e-05,1.130021e-05,1.138658e-05,1.143671e-05,1.146047e-05,1.152253e-05,1.155634e-05,1.157341e-05,1.161371e-05,1.163364e-05,1.164402e-05,1.166489e-05,1.167310e-05,1.167685e-05,1.168041e-05,1.167882e-05,1.167606e-05,1.166426e-05,1.165456e-05,1.164545e-05,1.162006e-05,1.160376e-05,1.158849e-05,1.155113e-05,1.152953e-05,1.150834e-05,1.146047e-05,1.143474e-05,1.140786e-05,1.135082e-05,1.132196e-05,1.128965e-05,1.122466e-05,1.119355e-05,1.115610e-05,1.108425e-05,1.105166e-05,1.100935e-05,1.093164e-05,1.089822e-05,1.085135e-05,1.076869e-05,1.073500e-05,1.068386e-05,1.059706e-05,1.056360e-05,1.050847e-05,1.041827e-05,1.038543e-05,1.032662e-05,1.023369e-05,1.020182e-05,1.013961e-05,1.004454e-05,1.001392e-05,9.948599e-06,9.851926e-06,9.822798e-06,9.754636e-06,9.656844e-06,9.629387e-06,9.558657e-06,9.460178e-06,9.434537e-06,9.361501e-06,9.262719e-06,9.239005e-06,9.163916e-06,9.065174e-06,9.043466e-06,8.966567e-06,8.868168e-06,8.848519e-06,8.770044e-06,8.672257e-06,8.654696e-06,8.574867e-06,8.477929e-06,8.462465e-06,8.381495e-06,8.285614e-06,8.272238e-06,8.190331e-06,8.095688e-06,8.084376e-06,8.001725e-06,7.908477e-06,7.899193e-06,7.815980e-06,7.724263e-06,7.716961e-06,7.633357e-06,7.543288e-06,7.537911e-06,7.454079e-06,7.365755e-06,7.362241e-06,7.278335e-06,7.191838e-06,7.190117e-06,7.106280e-06,7.021677e-06,6.857032e-06,6.696270e-06,6.539458e-06,6.386646e-06,6.237863e-06,6.093128e-06,5.952442e-06,5.815796e-06,5.683172e-06,5.554540e-06,5.429863e-06,5.309096e-06,5.192188e-06,5.079084e-06,4.969721e-06,4.864035e-06,4.761957e-06,4.663417e-06,4.568339e-06,4.476650e-06,4.388271e-06,4.303125e-06,4.221133e-06,4.142216e-06,4.066294e-06,3.993288e-06,3.923119e-06,3.855708e-06,3.790978e-06,3.728851e-06,3.669251e-06,3.612102e-06,3.557332e-06,3.504865e-06,3.454632e-06,3.406561e-06,3.360583e-06,3.316630e-06,3.274638e-06,3.234539e-06,3.196272e-06,3.159775e-06,3.124987e-06,3.091849e-06,3.060303e-06,3.030295e-06,3.001770e-06,2.974674e-06,2.948956e-06
0.000000e+00,1.419552e-08,4.200286e-07,4.433776e-07,4.269344e-06,1.977676e-05,2.084741e-05,6.084942e-05,1.168638e-04,1.207735e-04,1.876400e-04,2.482707e-04,2.534082e-04,3.153718e-04,3.673825e-04,3.729404e-04,4.261365e-04,4.694704e-04,4.751355e-04,5.201485e-04,5.558355e-04,5.613903e-04,5.990715e-04,6.281219e-04,6.333965e-04,6.645622e-04,6.878937e-04,6.927580e-04,7.181653e-04,7.366000e-04,7.409572e-04,7.612988e-04,7.755654e-04,7.793469e-04,7.952503e-04,8.059894e-04,8.091498e-04,8.211789e-04,8.289505e-04,8.314633e-04,8.401221e-04,8.454130e-04,8.472673e-04,8.530046e-04,8.562367e-04,8.574338e-04,8.606485e-04,8.621862e-04,8.627372e-04,8.637829e-04,8.639398e-04,8.638637e-04,8.630531e-04,8.620986e-04,8.614202e-04,8.590297e-04,8.571940e-04,8.559425e-04,8.522158e-04,8.496952e-04,8.479031e-04,8.430548e-04,8.400160e-04,8.377179e-04,8.319367e-04,8.285206e-04,8.257523e-04,8.192037e-04,8.155288e-04,8.123270e-04,8.051560e-04,8.013214e-04,7.977224e-04,7.900559e-04,7.861439e-04,7.821839e-04,7.741324e-04,7.702110e-04,7.659253e-04,7.575851e-04,7.537097e-04,7.491325e-04,7.405871e-04,7.368023e-04,7.319668e-04,7.232883e-04,7.196298e-04,7.145674e-04,7.058183e-04,7.023138e-04,6.970544e-04,6.882881e-04,6.849587e-04,6.795309e-04,6.707932e-04,6.676543e-04,6.620848e-04,6.534145e-04,6.504768e-04,6.447907e-04,6.362208e-04,6.334909e-04,6.277116e-04,6.192696e-04,6.167510e-04,6.109004e-04,6.026092e-04,6.003023e-04,5.944007e-04,5.862792e-04,5.841823e-04,5.782483e-04,5.703117e-04,5.684212e-04,5.624722e-04,5.547325e-04,5.530435e-04,5.470951e-04,5.395619e-04,5.380680e-04,5.321348e-04,5.248151e-04,5.235091e-04,5.176042e-04,5.105030e-04,5.093770e-04,5.035124e-04,4.966329e-04,4.956787e-04,4.898650e-04,4.832090e-04,4.824178e-04,4.766649e-04,4.702326e-04,4.695955e-04,4.639120e-04,4.577028e-04,4.572108e-04,4.516044e-04,4.456165e-04,4.452608e-04,4.397384e-04,4.339693e-04,4.337408e-04,4.283084e-04,4.227549e-04,4.226450e-04,4.173079e-04,4.119663e-04,4.016967e-04,3.918275e-04,3.823494e-04,3.732525e-04,3.645266e-04,3.561613e-04,3.481459e-04,3.404696e-04,3.331218e-04,3.260915e-04,3.193682e-04,3.129412e-04,3.068001e-04,3.009345e-04,2.953344e-04,2.899899e-04,2.848912e-04,2.800290e-04,2.753940e-04,2.709774e-04,2.667704e-04,2.627646e-04,2.589518e-04,2.553241e-04,2.518739e-04,2.485939e-04,2.454767e-04,2.425157e-04,2.397040e-04,2.370355e-04,2.345037e-04,2.321029e-04,2.298273e-04,2.276715e-04,2.256300e-04,2.236979e-04,2.218704e-04,2.201426e-04,2.185101e-04,2.169686e-04,2.155139e-04,2.141422e-04,2.128494e-04,2.116321e-04,2.104866e-04,2.094097e-04,2.083981e-04,2.074486e-04,2.065585e-04
0.000000e+00,3.791396e-07,1.793764e-05,1.907781e-05,2.513130e-04,1.484133e-03,1.579663e-03,5.883751e-03,1.444187e-02,1.516603e-02,3.066079e-02,5.077188e-02,5.278437e-02,8.135343e-02,1.121060e-01,1.157922e-01,1.552915e-01,1.935022e-01,1.989246e-01,2.457292e-01,2.877979e-01,2.947631e-01,3.451415e-01,3.879067e-01,3.960593e-01,4.468038e-01,4.878496e-01,4.967588e-01,5.454047e-01,5.830890e-01,5.923145e-01,6.371472e-01,6.705033e-01,6.796402e-01,7.196012e-01,7.481957e-01,7.568994e-01,7.914574e-01,8.152458e-01,8.232431e-01,8.522624e-01,8.714631e-01,8.785525e-01,9.021759e-01,9.171691e-01,9.232151e-01,9.417678e-01,9.530188e-01,9.579432e-01,9.718580e-01,9.798626e-01,9.836342e-01,9.933960e-01,9.986442e-01,1.001268e+00,1.007375e+00,1.010328e+00,1.011838e+00,1.014775e+00,1.015853e+00,1.016301e+00,1.016524e+00,1.016098e+00,1.015550e+00,1.013477e+00,1.011872e+00,1.010401e+00,1.006408e+00,1.003901e+00,1.001583e+00,9.960034e-01,9.928281e-01,9.897419e-01,9.828667e-01,9.792188e-01,9.754409e-01,9.675234e-01,9.635645e-01,9.591687e-01,9.504273e-01,9.462894e-01,9.413459e-01,9.319676e-01,9.277575e-01,9.223323e-01,9.124766e-01,9.082798e-01,9.024344e-01,8.922368e-01,8.881207e-01,8.819123e-01,8.714871e-01,8.675042e-01,8.609853e-01,8.504290e-01,8.466193e-01,8.398382e-01,8.292315e-01,8.256247e-01,8.186258e-01,8.080363e-01,8.046534e-01,7.974770e-01,7.869609e-01,7.838162e-01,7.764993e-01,7.661029e-01,7.632048e-01,7.557811e-01,7.455426e-01,7.428952e-01,7.353951e-01,7.253456e-01,7.229490e-01,7.154004e-01,7.055652e-01,7.034167e-01,6.958448e-01,6.862438e-01,6.843383e-01,6.767662e-01,6.674152e-01,6.657458e-01,6.581941e-01,6.491053e-01,6.476635e-01,6.401511e-01,6.313335e-01,6.301100e-01,6.226540e-01,6.141139e-01,6.130985e-01,6.057143e-01,5.974559e-01,5.966379e-01,5.893393e-01,5.813649e-01,5.807331e-01,5.735327e-01,5.658429e-01,5.653860e-01,5.582952e-01,5.508892e-01,5.505959e-01,5.436247e-01,5.365008e-01,5.363598e-01,5.295171e-01,5.226726e-01,5.095276e-01,4.969169e-01,4.848314e-01,4.732609e-01,4.621946e-01,4.516207e-01,4.415272e-01,4.319014e-01,4.227305e-01,4.140011e-01,4.056999e-01,3.978132e-01,3.903272e-01,3.832283e-01,3.765027e-01,3.701366e-01,3.641164e-01,3.584284e-01,3.530592e-01,3.479956e-01,3.432243e-01,3.387325e-01,3.345075e-01,3.305368e-01,3.268081e-01,3.233096e-01,3.200296e-01,3.169567e-01,3.140800e-01,3.113886e-01,3.088723e-01,3.065210e-01,3.043249e-01,3.022746e-01,3.003613e-01,2.985761e-01,2.969109e-01,2.953575e-01,2.939085e-01,2.925565e-01,2.912947e-01,2.901164e-01,2.890154e-01,2.879858e-01,2.870219e-01,2.861186e-01,2.852708e-01,2.844738e-01,2.837233e-01
0.000000e+00,2.216699e-08,4.621891e-07,4.859212e-07,3.920794e-06,1.514271e-05,1.582490e-05,3.647055e-05,5.783763e-05,5.918400e-05,8.092239e-05,9.960123e-05,1.011640e-04,1.198831e-04,1.354777e-04,1.371396e-04,1.530067e-04,1.658793e-04,1.675585e-04,1.808667e-04,1.913706e-04,1.930014e-04,2.040302e-04,2.124881e-04,2.140191e-04,2.230313e-04,2.297355e-04,2.311280e-04,2.383674e-04,2.435791e-04,2.448051e-04,2.504940e-04,2.544437e-04,2.554841e-04,2.598228e-04,2.627121e-04,2.635548e-04,2.667222e-04,2.687260e-04,2.693647e-04,2.715197e-04,2.727892e-04,2.732222e-04,2.745052e-04,2.751704e-04,2.753998e-04,2.759350e-04,2.761077e-04,2.761381e-04,2.760349e-04,2.758106e-04,2.756492e-04,2.750036e-04,2.744639e-04,2.741193e-04,2.730160e-04,2.722301e-04,2.717122e-04,2.702252e-04,2.692518e-04,2.685712e-04,2.667654e-04,2.656542e-04,2.648220e-04,2.627542e-04,2.615466e-04,2.605744e-04,2.582941e-04,2.570248e-04,2.559240e-04,2.534743e-04,2.521721e-04,2.509543e-04,2.483727e-04,2.470614e-04,2.457377e-04,2.430568e-04,2.417557e-04,2.403370e-04,2.375850e-04,2.363099e-04,2.348067e-04,2.320079e-04,2.307712e-04,2.291936e-04,2.263689e-04,2.251804e-04,2.235381e-04,2.207054e-04,2.195727e-04,2.178746e-04,2.150493e-04,2.139779e-04,2.122328e-04,2.094279e-04,2.084216e-04,2.066375e-04,2.038640e-04,2.029254e-04,2.011099e-04,1.983771e-04,1.975074e-04,1.956676e-04,1.929831e-04,1.921829e-04,1.903253e-04,1.876955e-04,1.869643e-04,1.850950e-04,1.825250e-04,1.818619e-04,1.799865e-04,1.774804e-04,1.768839e-04,1.750076e-04,1.725686e-04,1.720367e-04,1.701642e-04,1.677948e-04,1.673252e-04,1.654609e-04,1.631628e-04,1.627530e-04,1.609009e-04,1.586754e-04,1.583227e-04,1.564864e-04,1.543340e-04,1.540356e-04,1.522184e-04,1.501395e-04,1.498925e-04,1.480973e-04,1.460916e-04,1.458931e-04,1.441226e-04,1.421898e-04,1.420368e-04,1.402933e-04,1.384327e-04,1.383222e-04,1.366079e-04,1.348186e-04,1.347478e-04,1.330646e-04,1.313454e-04,1.313114e-04,1.296608e-04,1.280105e-04,1.248426e-04,1.218048e-04,1.188941e-04,1.161072e-04,1.134411e-04,1.108923e-04,1.084574e-04,1.061332e-04,1.039161e-04,1.018028e-04,9.978983e-05,9.787394e-05,9.605181e-05,9.432015e-05,9.267578e-05,9.111554e-05,8.963635e-05,8.823519e-05,8.690913e-05,8.565528e-05,8.447084e-05,8.335310e-05,8.229939e-05,8.130713e-05,8.037382e-05,7.949703e-05,7.867441e-05,7.790366e-05,7.718257e-05,7.650899e-05,7.588086e-05,7.529617e-05,7.475297e-05,7.424939e-05,7.378361e-05,7.335389e-05,7.295854e-05,7.259592e-05,7.226446e-05,7.196264e-05,7.168901e-05,7.144214e-05,7.122068e-05,7.102333e-05,7.084881e-05,7.069593e-05,7.056351e-05,7.045043e-05,7.035562e-05
0.000000e+00,5.722444e-09,2.463260e-07,2.614814e-07,3.172891e-06,1.786541e-05,1.899216e-05,6.986289e-05,1.718180e-04,1.804312e-04,3.621753e-04,5.885569e-04,6.105830e-04,9.113671e-04,1.211991e-03,1.246534e-03,1.598238e-03,1.908920e-03,1.950832e-03,2.291722e-03,2.568288e-03,2.611522e-03,2.903819e-03,3.125203e-03,3.164749e-03,3.392519e-03,3.554371e-03,3.586937e-03,3.748984e-03,3.856506e-03,3.880461e-03,3.983687e-03,4.046265e-03,4.061271e-03,4.115937e-03,4.143825e-03,4.150393e-03,4.167243e-03,4.169819e-03,4.168927e-03,4.157687e-03,4.142738e-03,4.135549e-03,4.104321e-03,4.077913e-03,4.065594e-03,4.020757e-03,3.987398e-03,3.971012e-03,3.917387e-03,3.880301e-03,3.860759e-03,3.801872e-03,3.763290e-03,3.741347e-03,3.679703e-03,3.641115e-03,3.617373e-03,3.554709e-03,3.517075e-03,3.492003e-03,3.429492e-03,3.393401e-03,3.367366e-03,3.305779e-03,3.271572e-03,3.244852e-03,3.184681e-03,3.152531e-03,3.125341e-03,3.066889e-03,3.036859e-03,3.009367e-03,2.952807e-03,2.924895e-03,2.897231e-03,2.842652e-03,2.816811e-03,2.789079e-03,2.736515e-03,2.712675e-03,2.684961e-03,2.634414e-03,2.612490e-03,2.584866e-03,2.536312e-03,2.516213e-03,2.488742e-03,2.442146e-03,2.423778e-03,2.396513e-03,2.351832e-03,2.335100e-03,2.308090e-03,2.265275e-03,2.250086e-03,2.223373e-03,2.182372e-03,2.168634e-03,2.142258e-03,2.103016e-03,2.090641e-03,2.064635e-03,2.027099e-03,2.016001e-03,1.990395e-03,1.954510e-03,1.944606e-03,1.919428e-03,1.885138e-03,1.876350e-03,1.851624e-03,1.818874e-03,1.811126e-03,1.786874e-03,1.755609e-03,1.748828e-03,1.725067e-03,1.695235e-03,1.689352e-03,1.666098e-03,1.637645e-03,1.632595e-03,1.609861e-03,1.582735e-03,1.578455e-03,1.556253e-03,1.530403e-03,1.526833e-03,1.505172e-03,1.480548e-03,1.477633e-03,1.456519e-03,1.433073e-03,1.430760e-03,1.410198e-03,1.387883e-03,1.386122e-03,1.366116e-03,1.344886e-03,1.343629e-03,1.324181e-03,1.303992e-03,1.303194e-03,1.284306e-03,1.265113e-03,1.264734e-03,1.246403e-03,1.228166e-03,1.193412e-03,1.160396e-03,1.129044e-03,1.099285e-03,1.071050e-03,1.044276e-03,1.018896e-03,9.948522e-04,9.720844e-04,9.505367e-04,9.301549e-04,9.108873e-04,8.926837e-04,8.754964e-04,8.592794e-04,8.439885e-04,8.295814e-04,8.160175e-04,8.032578e-04,7.912649e-04,7.800029e-04,7.694377e-04,7.595360e-04,7.502664e-04,7.415986e-04,7.335034e-04,7.259532e-04,7.189211e-04,7.123816e-04,7.063102e-04,7.006833e-04,6.954786e-04,6.906744e-04,6.862502e-04,6.821860e-04,6.784631e-04,6.750632e-04,6.719690e-04,6.691638e-04,6.666317e-04,6.643575e-04,6.623266e-04,6.605250e-04,6.589395e-04,6.575572e-04,6.563660e-04,6.553541e-04,6.545104e-04,6.538245e-04
0.000000e+00,1.254529e-08,4.002864e-07,4.223593e-07,4.044425e-06,2.025070e-05,2.145807e-05,7.480780e-05,1.803128e-04,1.891950e-04,3.747500e-04,5.984936e-04,6.197470e-04,9.004174e-04,1.163481e-03,1.192635e-03,1.477597e-03,1.712374e-03,1.742900e-03,1.981592e-03,2.163248e-03,2.190712e-03,2.369940e-03,2.498302e-03,2.520562e-03,2.644736e-03,2.728610e-03,2.745016e-03,2.824054e-03,2.873723e-03,2.884420e-03,2.928513e-03,2.953020e-03,2.958514e-03,2.976375e-03,2.982899e-03,2.983821e-03,2.982371e-03,2.976356e-03,2.973349e-03,2.957907e-03,2.943380e-03,2.937045e-03,2.911630e-03,2.891536e-03,2.882411e-03,2.850037e-03,2.826508e-03,2.815066e-03,2.777982e-03,2.752554e-03,2.739202e-03,2.699084e-03,2.672850e-03,2.657936e-03,2.616026e-03,2.589760e-03,2.573582e-03,2.530801e-03,2.505042e-03,2.487852e-03,2.444878e-03,2.419991e-03,2.402003e-03,2.359333e-03,2.335561e-03,2.316957e-03,2.274950e-03,2.252443e-03,2.233377e-03,2.192290e-03,2.171133e-03,2.151735e-03,2.111749e-03,2.091979e-03,2.072361e-03,2.033596e-03,2.015216e-03,1.995474e-03,1.958008e-03,1.940997e-03,1.921210e-03,1.885089e-03,1.869411e-03,1.849648e-03,1.814891e-03,1.800497e-03,1.780818e-03,1.747428e-03,1.734262e-03,1.714718e-03,1.682684e-03,1.670687e-03,1.651321e-03,1.620622e-03,1.609732e-03,1.590581e-03,1.561190e-03,1.551344e-03,1.532442e-03,1.504326e-03,1.495461e-03,1.476835e-03,1.449958e-03,1.442014e-03,1.423687e-03,1.398011e-03,1.390927e-03,1.372921e-03,1.348407e-03,1.342126e-03,1.324458e-03,1.301065e-03,1.295532e-03,1.278218e-03,1.255905e-03,1.251068e-03,1.234119e-03,1.212847e-03,1.208654e-03,1.192081e-03,1.171811e-03,1.168214e-03,1.152027e-03,1.132719e-03,1.129673e-03,1.113878e-03,1.095495e-03,1.092957e-03,1.077560e-03,1.060065e-03,1.057994e-03,1.043000e-03,1.026356e-03,1.024714e-03,1.010125e-03,9.942983e-04,9.930494e-04,9.788676e-04,9.638244e-04,9.629340e-04,9.491608e-04,9.348686e-04,9.343046e-04,9.209402e-04,9.073678e-04,9.070999e-04,8.941438e-04,8.812608e-04,8.567303e-04,8.334536e-04,8.113779e-04,7.904523e-04,7.706279e-04,7.518578e-04,7.340967e-04,7.173012e-04,7.014297e-04,6.864418e-04,6.722993e-04,6.589650e-04,6.464033e-04,6.345802e-04,6.234628e-04,6.130196e-04,6.032203e-04,5.940358e-04,5.854382e-04,5.774007e-04,5.698974e-04,5.629036e-04,5.563955e-04,5.503502e-04,5.447458e-04,5.395611e-04,5.347759e-04,5.303707e-04,5.263267e-04,5.226260e-04,5.192513e-04,5.161860e-04,5.134142e-04,5.109205e-04,5.086903e-04,5.067093e-04,5.049641e-04,5.034417e-04,5.021295e-04,5.010155e-04,5.000883e-04,4.993369e-04,4.987505e-04,4.983192e-04,4.980331e-04,4.978830e-04,4.978599e-04,4.979553e-04,4.981611e-04
0.000000e+00,7.281646e-08,2.450792e-06,2.587283e-06,2.542074e-05,1.337217e-04,1.420753e-04,5.359195e-04,1.409672e-03,1.487853e-03,3.269724e-03,5.798134e-03,6.061001e-03,9.939805e-03,1.435924e-02,1.490295e-02,2.088829e-02,2.692042e-02,2.779358e-02,3.549146e-02,4.263827e-02,4.384100e-02,5.269650e-02,6.042059e-02,6.191392e-02,7.135554e-02,7.917466e-02,8.089312e-02,9.040996e-02,9.793816e-02,9.980204e-02,1.089785e-01,1.159360e-01,1.178616e-01,1.263864e-01,1.325926e-01,1.344999e-01,1.421604e-01,1.475186e-01,1.493364e-01,1.560057e-01,1.604857e-01,1.621543e-01,1.677756e-01,1.713963e-01,1.728692e-01,1.774400e-01,1.802542e-01,1.814976e-01,1.850550e-01,1.871369e-01,1.881288e-01,1.907374e-01,1.921722e-01,1.929014e-01,1.946427e-01,1.955199e-01,1.959840e-01,1.969485e-01,1.973561e-01,1.975596e-01,1.978408e-01,1.978619e-01,1.978152e-01,1.975053e-01,1.972158e-01,1.969331e-01,1.961198e-01,1.955877e-01,1.950859e-01,1.938509e-01,1.931354e-01,1.924333e-01,1.908508e-01,1.900029e-01,1.891199e-01,1.872564e-01,1.863192e-01,1.852750e-01,1.831895e-01,1.821988e-01,1.810128e-01,1.787568e-01,1.777420e-01,1.764328e-01,1.740511e-01,1.730359e-01,1.716213e-01,1.691522e-01,1.681554e-01,1.666520e-01,1.641284e-01,1.631647e-01,1.615881e-01,1.590377e-01,1.581181e-01,1.564828e-01,1.539289e-01,1.530617e-01,1.513809e-01,1.488431e-01,1.480338e-01,1.463196e-01,1.438141e-01,1.430664e-01,1.413299e-01,1.388700e-01,1.381860e-01,1.364372e-01,1.340338e-01,1.334140e-01,1.316621e-01,1.293240e-01,1.287680e-01,1.270212e-01,1.247553e-01,1.242619e-01,1.225277e-01,1.203395e-01,1.199066e-01,1.181917e-01,1.160852e-01,1.157105e-01,1.140208e-01,1.119990e-01,1.116796e-01,1.100205e-01,1.080856e-01,1.078183e-01,1.061947e-01,1.043478e-01,1.041292e-01,1.025453e-01,1.007871e-01,1.006138e-01,9.907330e-02,9.740376e-02,9.727211e-02,9.577839e-02,9.419699e-02,9.410350e-02,9.265935e-02,9.116519e-02,9.110633e-02,8.971420e-02,8.830603e-02,8.827830e-02,8.694027e-02,8.561652e-02,8.311764e-02,8.077783e-02,7.859295e-02,7.655854e-02,7.466992e-02,7.292219e-02,7.131030e-02,6.982907e-02,6.847320e-02,6.723735e-02,6.611611e-02,6.510404e-02,6.419570e-02,6.338566e-02,6.266851e-02,6.203890e-02,6.149153e-02,6.102116e-02,6.062267e-02,6.029101e-02,6.002126e-02,5.980861e-02,5.964839e-02,5.953610e-02,5.946735e-02,5.943794e-02,5.944385e-02,5.948120e-02,5.954631e-02,5.963570e-02,5.974604e-02,5.987423e-02,6.001733e-02,6.017261e-02,6.033751e-02,6.050967e-02,6.068692e-02,6.086727e-02,6.104889e-02,6.123015e-02,6.140956e-02,6.158580e-02,6.175772e-02,6.192430e-02,6.208466e-02,6.223806e-02,6.238387e-02,6.252160e-02,6.265084e-02
0.000000e+00,1.068226e-08,4.227290e-07,4.481240e-07,5.252511e-06,2.963647e-05,3.151260e-05,1.159506e-04,2.827800e-04,2.967738e-04,5.906316e-04,9.564943e-04,9.922042e-04,1.483224e-03,1.982076e-03,2.040011e-03,2.638225e-03,3.181088e-03,3.255502e-03,3.872722e-03,4.391608e-03,4.474436e-03,5.048794e-03,5.503751e-03,5.587215e-03,6.083942e-03,6.457685e-03,6.535555e-03,6.940516e-03,7.230803e-03,7.298746e-03,7.611264e-03,7.824440e-03,7.879883e-03,8.106960e-03,8.253411e-03,8.295198e-03,8.447488e-03,8.538781e-03,8.566792e-03,8.656052e-03,8.703327e-03,8.718129e-03,8.755756e-03,8.768934e-03,8.771511e-03,8.767796e-03,8.755292e-03,8.746836e-03,8.710670e-03,8.679383e-03,8.661162e-03,8.600003e-03,8.555460e-03,8.528723e-03,8.448698e-03,8.395239e-03,8.361165e-03,8.267231e-03,8.208214e-03,8.167885e-03,8.064009e-03,8.001999e-03,7.956388e-03,7.845718e-03,7.782645e-03,7.732618e-03,7.617637e-03,7.554937e-03,7.501258e-03,7.383910e-03,7.322634e-03,7.265972e-03,7.147777e-03,7.088676e-03,7.029618e-03,6.911754e-03,6.855351e-03,6.794410e-03,6.677785e-03,6.624427e-03,6.562051e-03,6.447361e-03,6.397261e-03,6.333843e-03,6.221613e-03,6.174884e-03,6.110767e-03,6.001389e-03,5.958066e-03,5.893551e-03,5.787312e-03,5.747371e-03,5.682721e-03,5.579822e-03,5.543198e-03,5.478646e-03,5.379220e-03,5.345818e-03,5.281565e-03,5.185695e-03,5.155396e-03,5.091620e-03,4.999346e-03,4.972014e-03,4.908872e-03,4.820198e-03,4.795691e-03,4.733317e-03,4.648222e-03,4.626388e-03,4.564901e-03,4.483343e-03,4.464030e-03,4.403533e-03,4.325454e-03,4.308507e-03,4.249089e-03,4.174420e-03,4.159687e-03,4.101425e-03,4.030085e-03,4.017417e-03,3.960376e-03,3.892278e-03,3.881530e-03,3.825767e-03,3.760818e-03,3.751849e-03,3.697410e-03,3.635516e-03,3.628189e-03,3.575113e-03,3.516177e-03,3.510363e-03,3.458682e-03,3.402604e-03,3.398178e-03,3.347918e-03,3.294599e-03,3.291443e-03,3.242624e-03,3.191966e-03,3.189967e-03,3.142602e-03,3.094507e-03,3.093558e-03,3.047659e-03,3.002031e-03,2.915202e-03,2.832889e-03,2.754916e-03,2.681113e-03,2.611311e-03,2.545349e-03,2.483069e-03,2.424318e-03,2.368950e-03,2.316819e-03,2.267790e-03,2.221728e-03,2.178505e-03,2.137997e-03,2.100083e-03,2.064649e-03,2.031583e-03,2.000777e-03,1.972128e-03,1.945536e-03,1.920906e-03,1.898145e-03,1.877163e-03,1.857875e-03,1.840198e-03,1.824053e-03,1.809362e-03,1.796052e-03,1.784051e-03,1.773291e-03,1.763707e-03,1.755234e-03,1.747811e-03,1.741380e-03,1.735884e-03,1.731269e-03,1.727481e-03,1.724471e-03,1.722190e-03,1.720593e-03,1.719633e-03,1.719268e-03,1.719458e-03,1.720161e-03,1.721342e-03,1.722963e-03,1.724990e-03,1.727389e-03,1.730129e-03
0.000000e+00,4.122430e-08,1.355943e-06,1.430715e-06,1.368986e-05,7.023958e-05,7.455066e-05,2.740750e-04,7.037810e-04,7.416797e-04,1.589364e-03,2.755000e-03,2.874269e-03,4.600942e-03,6.506045e-03,6.736536e-03,9.225045e-03,1.165277e-02,1.199817e-02,1.498314e-02,1.766473e-02,1.810806e-02,2.130546e-02,2.400253e-02,2.451446e-02,2.768192e-02,3.021641e-02,3.076282e-02,3.372015e-02,3.597707e-02,3.652455e-02,3.915370e-02,4.107229e-02,4.159161e-02,4.382787e-02,4.538895e-02,4.585685e-02,4.767697e-02,4.889032e-02,4.928999e-02,5.070041e-02,5.159409e-02,5.191483e-02,5.294149e-02,5.355346e-02,5.378984e-02,5.447014e-02,5.484222e-02,5.499313e-02,5.536982e-02,5.554364e-02,5.561122e-02,5.572821e-02,5.574270e-02,5.573139e-02,5.563096e-02,5.552097e-02,5.543669e-02,5.515783e-02,5.495357e-02,5.480311e-02,5.438067e-02,5.410766e-02,5.389814e-02,5.336257e-02,5.304193e-02,5.278047e-02,5.215784e-02,5.180673e-02,5.150020e-02,5.081260e-02,5.044475e-02,5.009964e-02,4.936550e-02,4.899170e-02,4.861401e-02,4.784861e-02,4.747721e-02,4.707244e-02,4.628832e-02,4.592567e-02,4.549881e-02,4.470621e-02,4.435702e-02,4.391258e-02,4.311979e-02,4.278748e-02,4.232951e-02,4.154322e-02,4.123013e-02,4.076226e-02,3.998782e-02,3.969546e-02,3.922095e-02,3.846260e-02,3.819185e-02,3.771360e-02,3.697468e-02,3.672586e-02,3.624648e-02,3.552957e-02,3.530263e-02,3.482444e-02,3.413151e-02,3.392606e-02,3.345114e-02,3.278363e-02,3.259908e-02,3.212926e-02,3.148822e-02,3.132376e-02,3.086069e-02,3.024681e-02,3.010152e-02,2.964666e-02,2.906033e-02,2.893319e-02,2.848784e-02,2.792922e-02,2.781916e-02,2.738445e-02,2.685351e-02,2.675940e-02,2.633634e-02,2.583289e-02,2.575360e-02,2.534306e-02,2.486677e-02,2.480116e-02,2.440391e-02,2.395435e-02,2.390129e-02,2.351797e-02,2.309463e-02,2.305300e-02,2.268417e-02,2.228646e-02,2.225519e-02,2.190132e-02,2.152860e-02,2.150663e-02,2.116811e-02,2.081969e-02,2.080600e-02,2.048314e-02,2.015830e-02,2.015192e-02,1.984496e-02,1.954295e-02,1.897762e-02,1.845442e-02,1.797182e-02,1.752829e-02,1.712228e-02,1.675224e-02,1.641663e-02,1.611390e-02,1.584252e-02,1.560096e-02,1.538772e-02,1.520130e-02,1.504021e-02,1.490298e-02,1.478818e-02,1.469436e-02,1.462014e-02,1.456412e-02,1.452497e-02,1.450134e-02,1.449196e-02,1.449557e-02,1.451093e-02,1.453688e-02,1.457226e-02,1.461597e-02,1.466696e-02,1.472422e-02,1.478678e-02,1.485373e-02,1.492420e-02,1.499740e-02,1.507255e-02,1.514895e-02,1.522596e-02,1.530295e-02,1.537939e-02,1.545478e-02,1.552867e-02,1.560067e-02,1.567040e-02,1.573759e-02,1.580195e-02,1.586328e-02,1.592140e-02,1.597615e-02,1.602744e-02,1.607520e-02,1.611938e-02
0.000000e+00,4.883621e-08,1.992034e-06,2.112406e-06,2.496671e-05,1.416214e-04,1.506402e-04,5.626464e-04,1.408672e-03,1.481414e-03,3.066037e-03,5.177862e-03,5.391720e-03,8.466047e-03,1.184042e-02,1.224869e-02,1.666765e-02,2.101065e-02,2.163185e-02,2.704050e-02,3.196843e-02,3.279006e-02,3.877922e-02,4.392504e-02,4.491227e-02,5.110136e-02,5.616272e-02,5.726779e-02,6.334264e-02,6.809657e-02,6.926686e-02,7.499106e-02,7.929086e-02,8.047495e-02,8.568673e-02,8.945060e-02,9.060229e-02,9.520440e-02,9.840141e-02,9.948193e-02,1.034290e-01,1.060654e-01,1.070443e-01,1.103302e-01,1.124373e-01,1.132924e-01,1.159390e-01,1.175635e-01,1.182802e-01,1.203278e-01,1.215246e-01,1.220947e-01,1.235947e-01,1.244212e-01,1.248420e-01,1.258512e-01,1.263636e-01,1.266367e-01,1.272131e-01,1.274644e-01,1.275945e-01,1.277948e-01,1.278332e-01,1.278272e-01,1.277048e-01,1.275732e-01,1.274398e-01,1.270438e-01,1.267794e-01,1.265280e-01,1.259029e-01,1.255379e-01,1.251784e-01,1.243637e-01,1.239254e-01,1.234677e-01,1.224984e-01,1.220093e-01,1.214634e-01,1.203699e-01,1.198490e-01,1.192243e-01,1.180329e-01,1.174957e-01,1.168014e-01,1.155349e-01,1.149937e-01,1.142383e-01,1.129161e-01,1.123810e-01,1.115725e-01,1.102112e-01,1.096901e-01,1.088359e-01,1.074496e-01,1.069485e-01,1.060555e-01,1.046562e-01,1.041797e-01,1.032541e-01,1.018517e-01,1.014032e-01,1.004510e-01,9.905385e-02,9.863568e-02,9.766206e-02,9.627720e-02,9.589087e-02,9.490070e-02,9.353388e-02,9.318024e-02,9.217793e-02,9.083391e-02,9.051323e-02,8.950280e-02,8.818546e-02,8.789757e-02,8.688267e-02,8.559513e-02,8.533951e-02,8.432346e-02,8.306822e-02,8.284406e-02,8.182988e-02,8.060888e-02,8.041515e-02,7.940558e-02,7.822032e-02,7.805583e-02,7.705335e-02,7.590492e-02,7.576837e-02,7.477522e-02,7.366439e-02,7.355436e-02,7.257258e-02,7.149986e-02,7.141487e-02,7.044630e-02,6.941194e-02,6.935049e-02,6.839679e-02,6.740085e-02,6.736141e-02,6.642408e-02,6.546645e-02,6.544749e-02,6.452789e-02,6.360833e-02,6.184326e-02,6.015143e-02,5.853182e-02,5.698326e-02,5.550448e-02,5.409409e-02,5.275064e-02,5.147258e-02,5.025833e-02,4.910626e-02,4.801468e-02,4.698190e-02,4.600617e-02,4.508574e-02,4.421884e-02,4.340368e-02,4.263848e-02,4.192145e-02,4.125078e-02,4.062468e-02,4.004138e-02,3.949908e-02,3.899602e-02,3.853046e-02,3.810064e-02,3.770487e-02,3.734145e-02,3.700870e-02,3.670500e-02,3.642872e-02,3.617830e-02,3.595218e-02,3.574888e-02,3.556691e-02,3.540485e-02,3.526133e-02,3.513499e-02,3.502456e-02,3.492878e-02,3.484646e-02,3.477645e-02,3.471765e-02,3.466900e-02,3.462952e-02,3.459825e-02,3.457430e-02,3.455682e-02,3.454501e-02,3.453812e-02
0.000000e+00,1.577502e-08,5.085403e-07,5.375946e-07,5.504475e-06,2.620188e-05,2.762535e-05,7.923331e-05,1.477013e-04,1.523808e-04,2.311907e-04,3.010390e-04,3.068906e-04,3.765870e-04,4.337380e-04,4.397667e-04,4.966479e-04,5.418104e-04,5.476311e-04,5.931419e-04,6.282186e-04,6.335917e-04,6.693694e-04,6.960802e-04,7.008407e-04,7.283489e-04,7.481750e-04,7.522161e-04,7.727433e-04,7.869498e-04,7.902115e-04,8.048823e-04,8.145406e-04,8.169988e-04,8.267862e-04,8.327958e-04,8.344529e-04,8.401914e-04,8.433017e-04,8.441795e-04,8.465810e-04,8.474128e-04,8.475467e-04,8.472155e-04,8.462808e-04,8.457151e-04,8.431627e-04,8.408816e-04,8.396661e-04,8.353242e-04,8.320398e-04,8.302276e-04,8.244595e-04,8.204509e-04,8.180959e-04,8.112068e-04,8.066998e-04,8.038558e-04,7.961014e-04,7.912775e-04,7.879969e-04,7.795911e-04,7.745952e-04,7.709282e-04,7.620490e-04,7.569961e-04,7.529904e-04,7.437858e-04,7.387656e-04,7.344660e-04,7.250586e-04,7.201406e-04,7.155889e-04,7.060796e-04,7.013167e-04,6.965514e-04,6.870229e-04,6.824542e-04,6.775110e-04,6.680307e-04,6.636842e-04,6.585957e-04,6.492181e-04,6.451130e-04,6.399088e-04,6.306775e-04,6.268258e-04,6.215329e-04,6.124825e-04,6.088902e-04,6.035330e-04,5.946904e-04,5.913593e-04,5.859597e-04,5.773453e-04,5.742733e-04,5.688510e-04,5.604800e-04,5.576625e-04,5.522350e-04,5.441182e-04,5.415482e-04,5.361313e-04,5.282758e-04,5.259449e-04,5.205525e-04,5.129623e-04,5.108609e-04,5.055054e-04,4.981820e-04,4.962998e-04,4.909920e-04,4.839350e-04,4.822611e-04,4.770105e-04,4.702178e-04,4.687410e-04,4.635560e-04,4.570242e-04,4.557333e-04,4.506211e-04,4.443455e-04,4.432294e-04,4.381962e-04,4.321716e-04,4.312191e-04,4.262703e-04,4.204907e-04,4.196912e-04,4.148312e-04,4.092901e-04,4.086331e-04,4.038658e-04,3.985564e-04,3.980318e-04,3.933603e-04,3.882756e-04,3.878736e-04,3.833005e-04,3.784332e-04,3.781445e-04,3.736719e-04,3.690147e-04,3.688306e-04,3.644599e-04,3.600055e-04,3.599175e-04,3.556499e-04,3.513911e-04,3.432375e-04,3.354428e-04,3.279935e-04,3.208763e-04,3.140781e-04,3.075864e-04,3.013890e-04,2.954738e-04,2.898293e-04,2.844445e-04,2.793086e-04,2.744110e-04,2.697420e-04,2.652916e-04,2.610508e-04,2.570106e-04,2.531623e-04,2.494977e-04,2.460088e-04,2.426882e-04,2.395283e-04,2.365224e-04,2.336635e-04,2.309452e-04,2.283615e-04,2.259062e-04,2.235739e-04,2.213589e-04,2.192561e-04,2.172604e-04,2.153672e-04,2.135717e-04,2.118696e-04,2.102567e-04,2.087290e-04,2.072825e-04,2.059136e-04,2.046188e-04,2.033947e-04,2.022379e-04,2.011455e-04,2.001144e-04,1.991418e-04,1.982250e-04,1.973614e-04,1.965484e-04,1.957837e-04,1.950651e-04,1.943903e-04
0.000000e+00,9.615977e-09,4.060538e-07,4.305322e-07,4.802501e-06,2.459201e-05,2.604362e-05,8.780763e-05,2.020918e-04,2.114270e-04,4.013829e-04,6.253123e-04,6.465474e-04,9.288793e-04,1.199429e-03,1.229894e-03,1.533811e-03,1.793997e-03,1.828576e-03,2.105783e-03,2.326033e-03,2.360139e-03,2.588797e-03,2.760216e-03,2.790726e-03,2.966171e-03,3.091022e-03,3.116225e-03,3.242507e-03,3.327691e-03,3.346921e-03,3.431494e-03,3.484995e-03,3.498256e-03,3.549165e-03,3.578393e-03,3.586065e-03,3.610662e-03,3.621862e-03,3.624509e-03,3.629006e-03,3.627163e-03,3.625405e-03,3.614820e-03,3.603786e-03,3.598234e-03,3.576513e-03,3.559203e-03,3.550420e-03,3.520620e-03,3.499208e-03,3.487696e-03,3.452157e-03,3.428246e-03,3.414444e-03,3.374946e-03,3.349708e-03,3.333996e-03,3.291887e-03,3.266172e-03,3.248872e-03,3.205172e-03,3.179588e-03,3.160978e-03,3.116455e-03,3.091432e-03,3.071746e-03,3.026977e-03,3.002815e-03,2.982254e-03,2.937670e-03,2.914569e-03,2.893305e-03,2.849228e-03,2.827316e-03,2.805497e-03,2.762164e-03,2.741517e-03,2.719269e-03,2.676851e-03,2.657508e-03,2.634940e-03,2.593561e-03,2.575529e-03,2.552736e-03,2.512483e-03,2.495750e-03,2.472815e-03,2.433743e-03,2.418283e-03,2.395277e-03,2.357422e-03,2.343198e-03,2.320183e-03,2.283563e-03,2.270531e-03,2.247562e-03,2.212182e-03,2.200293e-03,2.177419e-03,2.143273e-03,2.132476e-03,2.109740e-03,2.076815e-03,2.067056e-03,2.044495e-03,2.012775e-03,2.004000e-03,1.981648e-03,1.951108e-03,1.943263e-03,1.921150e-03,1.891766e-03,1.884798e-03,1.862949e-03,1.834692e-03,1.828550e-03,1.806988e-03,1.779829e-03,1.774462e-03,1.753208e-03,1.727116e-03,1.722475e-03,1.701546e-03,1.676490e-03,1.672529e-03,1.651941e-03,1.627889e-03,1.624561e-03,1.604328e-03,1.581249e-03,1.578511e-03,1.558644e-03,1.536507e-03,1.534318e-03,1.514828e-03,1.493600e-03,1.491921e-03,1.472816e-03,1.452467e-03,1.451260e-03,1.432547e-03,1.413048e-03,1.412276e-03,1.393962e-03,1.375282e-03,1.374912e-03,1.357001e-03,1.339111e-03,1.304819e-03,1.271980e-03,1.240544e-03,1.210459e-03,1.181676e-03,1.154146e-03,1.127824e-03,1.102665e-03,1.078624e-03,1.055660e-03,1.033732e-03,1.012800e-03,9.928259e-04,9.737731e-04,9.556059e-04,9.382898e-04,9.217916e-04,9.060790e-04,8.911213e-04,8.768883e-04,8.633513e-04,8.504824e-04,8.382547e-04,8.266422e-04,8.156201e-04,8.051640e-04,7.952509e-04,7.858581e-04,7.769642e-04,7.685482e-04,7.605899e-04,7.530701e-04,7.459700e-04,7.392716e-04,7.329574e-04,7.270109e-04,7.214157e-04,7.161565e-04,7.112181e-04,7.065861e-04,7.022467e-04,6.981865e-04,6.943924e-04,6.908522e-04,6.875538e-04,6.844857e-04,6.816368e-04,6.789965e-04,6.765545e-04
0.000000e+00,4.832723e-08,1.627045e-06,1.717545e-06,1.684162e-05,8.948353e-05,9.514924e-05,3.697317e-04,1.012691e-03,1.071809e-03,2.463673e-03,4.528510e-03,4.747123e-03,8.030076e-03,1.186056e-02,1.233654e-02,1.762682e-02,2.302983e-02,2.381652e-02,3.079214e-02,3.732054e-02,3.842324e-02,4.657178e-02,5.371493e-02,5.509915e-02,6.387119e-02,7.115805e-02,7.276177e-02,8.165516e-02,8.870167e-02,9.044748e-02,9.904739e-02,1.055707e-01,1.073763e-01,1.153679e-01,1.211823e-01,1.229681e-01,1.301338e-01,1.351370e-01,1.368322e-01,1.430399e-01,1.471969e-01,1.487419e-01,1.539306e-01,1.572565e-01,1.586049e-01,1.627691e-01,1.653138e-01,1.664322e-01,1.696074e-01,1.714434e-01,1.723107e-01,1.745609e-01,1.757727e-01,1.763786e-01,1.777859e-01,1.784624e-01,1.788058e-01,1.794620e-01,1.796910e-01,1.797783e-01,1.797785e-01,1.796432e-01,1.794863e-01,1.789246e-01,1.785007e-01,1.781159e-01,1.770818e-01,1.764370e-01,1.758431e-01,1.744196e-01,1.736127e-01,1.728302e-01,1.710927e-01,1.701737e-01,1.692239e-01,1.672396e-01,1.662505e-01,1.651546e-01,1.629825e-01,1.619577e-01,1.607362e-01,1.584275e-01,1.573947e-01,1.560673e-01,1.536658e-01,1.526471e-01,1.512321e-01,1.487748e-01,1.477871e-01,1.463017e-01,1.438198e-01,1.428757e-01,1.413354e-01,1.388546e-01,1.379634e-01,1.363825e-01,1.339240e-01,1.330919e-01,1.314832e-01,1.290641e-01,1.282952e-01,1.266701e-01,1.243041e-01,1.236003e-01,1.219690e-01,1.196671e-01,1.190288e-01,1.174005e-01,1.151711e-01,1.145977e-01,1.129803e-01,1.108296e-01,1.103195e-01,1.087201e-01,1.066528e-01,1.062038e-01,1.046285e-01,1.026479e-01,1.022570e-01,1.007113e-01,9.881926e-02,9.848345e-02,9.697199e-02,9.516963e-02,9.488543e-02,9.341226e-02,9.169983e-02,9.146367e-02,9.003225e-02,8.840935e-02,8.821760e-02,8.683089e-02,8.529657e-02,8.514556e-02,8.380606e-02,8.235894e-02,8.224504e-02,8.095480e-02,7.959316e-02,7.951280e-02,7.827350e-02,7.699529e-02,7.694501e-02,7.575796e-02,7.456093e-02,7.453739e-02,7.340358e-02,7.228528e-02,7.018374e-02,6.822760e-02,6.641151e-02,6.473000e-02,6.317751e-02,6.174842e-02,6.043710e-02,5.923791e-02,5.814524e-02,5.715351e-02,5.625721e-02,5.545089e-02,5.472920e-02,5.408690e-02,5.351886e-02,5.302005e-02,5.258562e-02,5.221082e-02,5.189108e-02,5.162199e-02,5.139929e-02,5.121890e-02,5.107692e-02,5.096961e-02,5.089343e-02,5.084503e-02,5.082123e-02,5.081903e-02,5.083563e-02,5.086840e-02,5.091490e-02,5.097284e-02,5.104015e-02,5.111488e-02,5.119527e-02,5.127971e-02,5.136674e-02,5.145506e-02,5.154349e-02,5.163098e-02,5.171664e-02,5.179964e-02,5.187933e-02,5.195510e-02,5.202648e-02,5.209307e-02,5.215457e-02,5.221072e-02,5.226138e-02
0.000000e+00,3.850207e-08,1.262358e-06,1.331704e-06,1.261006e-05,6.501150e-05,6.905421e-05,2.629381e-04,7.146257e-04,7.562172e-04,1.739485e-03,3.204981e-03,3.360185e-03,5.684583e-03,8.371934e-03,8.703629e-03,1.235461e-02,1.601502e-02,1.654226e-02,2.115515e-02,2.537393e-02,2.607740e-02,3.119656e-02,3.557237e-02,3.640856e-02,4.162059e-02,4.583777e-02,4.675238e-02,5.173658e-02,5.558041e-02,5.651834e-02,6.105451e-02,6.440099e-02,6.531260e-02,6.926957e-02,7.206608e-02,7.291058e-02,7.622782e-02,7.847280e-02,7.921935e-02,8.188806e-02,8.361333e-02,8.424074e-02,8.628721e-02,8.754398e-02,8.803963e-02,8.951185e-02,9.036054e-02,9.071890e-02,9.167651e-02,9.217972e-02,9.240081e-02,9.290794e-02,9.312593e-02,9.321390e-02,9.333433e-02,9.332249e-02,9.328437e-02,9.307855e-02,9.288606e-02,9.273076e-02,9.225414e-02,9.192360e-02,9.166111e-02,9.096332e-02,9.053090e-02,9.017169e-02,8.929642e-02,8.879235e-02,8.834697e-02,8.733216e-02,8.678135e-02,8.626012e-02,8.513837e-02,8.456106e-02,8.397387e-02,8.277300e-02,8.218541e-02,8.154163e-02,8.028517e-02,7.970014e-02,7.900854e-02,7.771628e-02,7.714381e-02,7.641252e-02,7.510105e-02,7.454876e-02,7.378529e-02,7.246838e-02,7.194194e-02,7.115317e-02,6.984224e-02,6.934571e-02,6.853793e-02,6.724235e-02,6.677845e-02,6.595740e-02,6.468480e-02,6.425521e-02,6.342608e-02,6.218262e-02,6.178814e-02,6.095564e-02,5.974623e-02,5.938698e-02,5.855534e-02,5.738381e-02,5.705936e-02,5.623239e-02,5.510170e-02,5.481118e-02,5.399229e-02,5.290461e-02,5.264685e-02,5.183906e-02,5.079595e-02,5.056951e-02,4.977553e-02,4.877798e-02,4.858123e-02,4.780346e-02,4.685203e-02,4.668323e-02,4.592376e-02,4.501863e-02,4.487596e-02,4.413663e-02,4.327767e-02,4.315925e-02,4.244166e-02,4.162846e-02,4.153240e-02,4.083792e-02,4.006987e-02,3.999429e-02,3.932410e-02,3.860040e-02,3.854345e-02,3.789853e-02,3.721824e-02,3.717810e-02,3.655927e-02,3.592134e-02,3.589626e-02,3.530416e-02,3.470744e-02,3.469571e-02,3.413087e-02,3.357413e-02,3.252904e-02,3.155788e-02,3.065801e-02,2.982674e-02,2.906134e-02,2.835907e-02,2.771714e-02,2.713279e-02,2.660325e-02,2.612575e-02,2.569756e-02,2.531594e-02,2.497822e-02,2.468174e-02,2.442388e-02,2.420208e-02,2.401381e-02,2.385663e-02,2.372812e-02,2.362597e-02,2.354789e-02,2.349172e-02,2.345534e-02,2.343672e-02,2.343394e-02,2.344513e-02,2.346854e-02,2.350252e-02,2.354548e-02,2.359596e-02,2.365259e-02,2.371408e-02,2.377926e-02,2.384702e-02,2.391639e-02,2.398645e-02,2.405640e-02,2.412549e-02,2.419309e-02,2.425863e-02,2.432162e-02,2.438164e-02,2.443833e-02,2.449141e-02,2.454066e-02,2.458589e-02,2.462699e-02,2.466387e-02,2.469651e-02
0.000000e+00,1.517640e-08,2.155319e-07,2.250446e-07,1.394051e-06,4.833659e-06,5.044718e-06,1.198054e-05,2.014811e-05,2.068042e-05,2.935692e-05,3.680361e-05,3.742323e-05,4.478952e-05,5.083541e-05,5.147430e-05,5.751704e-05,6.233721e-05,6.296010e-05,6.784502e-05,7.163008e-05,7.221165e-05,7.609792e-05,7.901752e-05,7.953978e-05,8.257119e-05,8.477312e-05,8.522407e-05,8.752823e-05,8.913926e-05,8.951154e-05,9.120024e-05,9.232859e-05,9.261862e-05,9.378931e-05,9.452638e-05,9.473332e-05,9.546960e-05,9.589111e-05,9.601576e-05,9.638822e-05,9.655744e-05,9.660226e-05,9.667305e-05,9.664479e-05,9.661429e-05,9.643805e-05,9.625689e-05,9.615559e-05,9.577716e-05,9.547944e-05,9.531222e-05,9.476951e-05,9.438510e-05,9.415707e-05,9.348231e-05,9.303567e-05,9.275204e-05,9.197252e-05,9.148359e-05,9.114952e-05,9.028833e-05,8.977327e-05,8.939381e-05,8.847041e-05,8.794223e-05,8.752222e-05,8.655300e-05,8.602209e-05,8.556617e-05,8.456489e-05,8.403947e-05,8.355201e-05,8.253017e-05,8.201665e-05,8.150177e-05,8.046897e-05,7.997227e-05,7.943378e-05,7.839801e-05,7.792181e-05,7.736328e-05,7.633110e-05,7.587810e-05,7.530281e-05,7.427963e-05,7.385169e-05,7.326266e-05,7.225289e-05,7.185120e-05,7.125120e-05,7.025839e-05,6.988359e-05,6.927516e-05,6.830215e-05,6.795447e-05,6.733990e-05,6.638893e-05,6.606824e-05,6.544964e-05,6.452241e-05,6.422829e-05,6.360756e-05,6.270536e-05,6.243720e-05,6.181604e-05,6.093980e-05,6.069682e-05,6.007678e-05,5.922711e-05,5.900839e-05,5.839087e-05,5.756814e-05,5.737269e-05,5.675894e-05,5.596328e-05,5.579006e-05,5.518117e-05,5.441258e-05,5.426048e-05,5.365747e-05,5.291577e-05,5.278368e-05,5.218741e-05,5.147231e-05,5.135912e-05,5.077038e-05,5.008151e-05,4.998610e-05,4.940557e-05,4.874246e-05,4.866374e-05,4.809203e-05,4.745415e-05,4.739104e-05,4.682867e-05,4.621546e-05,4.616693e-05,4.561435e-05,4.502520e-05,4.499023e-05,4.444784e-05,4.388211e-05,4.385972e-05,4.332785e-05,4.278490e-05,4.277415e-05,4.225308e-05,4.173224e-05,4.073268e-05,3.977417e-05,3.885540e-05,3.797509e-05,3.713195e-05,3.632471e-05,3.555215e-05,3.481305e-05,3.410620e-05,3.343046e-05,3.278470e-05,3.216780e-05,3.157870e-05,3.101636e-05,3.047977e-05,2.996795e-05,2.947995e-05,2.901486e-05,2.857178e-05,2.814987e-05,2.774829e-05,2.736624e-05,2.700295e-05,2.665766e-05,2.632967e-05,2.601827e-05,2.572279e-05,2.544259e-05,2.517704e-05,2.492554e-05,2.468752e-05,2.446240e-05,2.424966e-05,2.404878e-05,2.385924e-05,2.368059e-05,2.351234e-05,2.335406e-05,2.320530e-05,2.306567e-05,2.293476e-05,2.281218e-05,2.269757e-05,2.259058e-05,2.249085e-05,2.239806e-05,2.231189e-05,2.223204e-05,2.215821e-05
0.000000e+00,4.536006e-07,2.085168e-05,2.216666e-05,2.868351e-04,1.646041e-03,1.749048e-03,6.222754e-03,1.476444e-02,1.547926e-02,3.070064e-02,5.050401e-02,5.249565e-02,8.102133e-02,1.123047e-01,1.160963e-01,1.572945e-01,1.981443e-01,2.040208e-01,2.555718e-01,3.031828e-01,3.111835e-01,3.700686e-01,4.214888e-01,4.314448e-01,4.945563e-01,5.471002e-01,5.586891e-01,6.231809e-01,6.746252e-01,6.874282e-01,7.508900e-01,7.995351e-01,8.130882e-01,8.736081e-01,9.182606e-01,9.320954e-01,9.882539e-01,1.028168e+00,1.041842e+00,1.092667e+00,1.127467e+00,1.140584e+00,1.185488e+00,1.215091e+00,1.227312e+00,1.266021e+00,1.290561e+00,1.301611e+00,1.334101e+00,1.353865e+00,1.363531e+00,1.389961e+00,1.405335e+00,1.413465e+00,1.434129e+00,1.445557e+00,1.452050e+00,1.467332e+00,1.475281e+00,1.480086e+00,1.490424e+00,1.495359e+00,1.498464e+00,1.504323e+00,1.506696e+00,1.508120e+00,1.509973e+00,1.510205e+00,1.509996e+00,1.508304e+00,1.506784e+00,1.505009e+00,1.500217e+00,1.497293e+00,1.494035e+00,1.486562e+00,1.482546e+00,1.477897e+00,1.468132e+00,1.463296e+00,1.457357e+00,1.445657e+00,1.440237e+00,1.433113e+00,1.419803e+00,1.414001e+00,1.405799e+00,1.391171e+00,1.385160e+00,1.375985e+00,1.360303e+00,1.354226e+00,1.344182e+00,1.327679e+00,1.321654e+00,1.310845e+00,1.293728e+00,1.287852e+00,1.276374e+00,1.258825e+00,1.253175e+00,1.241123e+00,1.223302e+00,1.217939e+00,1.205400e+00,1.187447e+00,1.182416e+00,1.169475e+00,1.151510e+00,1.146844e+00,1.133580e+00,1.115708e+00,1.111430e+00,1.097916e+00,1.080225e+00,1.076348e+00,1.062654e+00,1.045220e+00,1.041751e+00,1.027939e+00,1.010826e+00,1.007765e+00,9.938949e-01,9.771566e-01,9.744972e-01,9.606227e-01,9.443033e-01,9.420362e-01,9.282073e-01,9.123429e-01,9.104551e-01,8.967172e-01,8.813368e-01,8.798125e-01,8.662073e-01,8.513336e-01,8.501549e-01,8.367202e-01,8.223706e-01,8.215181e-01,8.082881e-01,7.944753e-01,7.939284e-01,7.809342e-01,7.676665e-01,7.674039e-01,7.546734e-01,7.419559e-01,7.175893e-01,6.943040e-01,6.720954e-01,6.509549e-01,6.308707e-01,6.118284e-01,5.938110e-01,5.767998e-01,5.607742e-01,5.457122e-01,5.315909e-01,5.183863e-01,5.060735e-01,4.946270e-01,4.840209e-01,4.742287e-01,4.652235e-01,4.569780e-01,4.494648e-01,4.426562e-01,4.365243e-01,4.310412e-01,4.261788e-01,4.219090e-01,4.182036e-01,4.150345e-01,4.123738e-01,4.101935e-01,4.084657e-01,4.071629e-01,4.062577e-01,4.057232e-01,4.055327e-01,4.056597e-01,4.060786e-01,4.067641e-01,4.076913e-01,4.088363e-01,4.101755e-01,4.116863e-01,4.133468e-01,4.151358e-01,4.170331e-01,4.190194e-01,4.210762e-01,4.231861e-01,4.253327e-01,4.275003e-01,4.296747e-01
0.000000e+00,4.506692e-07,2.082180e-05,2.213578e-05,2.859355e-04,1.632777e-03,1.734598e-03,6.143186e-03,1.452336e-02,1.522322e-02,3.008832e-02,4.934638e-02,5.127903e-02,7.889053e-02,1.090431e-01,1.126896e-01,1.522105e-01,1.912305e-01,1.968311e-01,2.458336e-01,2.908966e-01,2.984516e-01,3.539060e-01,4.021195e-01,4.114323e-01,4.703003e-01,5.190929e-01,5.298277e-01,5.893895e-01,6.366833e-01,6.484228e-01,7.064296e-01,7.506812e-01,7.629764e-01,8.176929e-01,8.578604e-01,8.702691e-01,9.204515e-01,9.559255e-01,9.680394e-01,1.012880e+00,1.043400e+00,1.054863e+00,1.093918e+00,1.119493e+00,1.130007e+00,1.163125e+00,1.183955e+00,1.193288e+00,1.220539e+00,1.236956e+00,1.244935e+00,1.266552e+00,1.278967e+00,1.285475e+00,1.301801e+00,1.310664e+00,1.315634e+00,1.327083e+00,1.332855e+00,1.336262e+00,1.343285e+00,1.346417e+00,1.348270e+00,1.351333e+00,1.352251e+00,1.352588e+00,1.352149e+00,1.351246e+00,1.350126e+00,1.346629e+00,1.344262e+00,1.341761e+00,1.335623e+00,1.332108e+00,1.328312e+00,1.319922e+00,1.315538e+00,1.310541e+00,1.300255e+00,1.295242e+00,1.289144e+00,1.277284e+00,1.271847e+00,1.264748e+00,1.251605e+00,1.245920e+00,1.237920e+00,1.223753e+00,1.217965e+00,1.209163e+00,1.194202e+00,1.188430e+00,1.178921e+00,1.163369e+00,1.157712e+00,1.147588e+00,1.131622e+00,1.126157e+00,1.115507e+00,1.099280e+00,1.094070e+00,1.082975e+00,1.066623e+00,1.061712e+00,1.050252e+00,1.033889e+00,1.029313e+00,1.017560e+00,1.001286e+00,9.970662e-01,9.850883e-01,9.689871e-01,9.651391e-01,9.529996e-01,9.371423e-01,9.336726e-01,9.214300e-01,9.058762e-01,9.027855e-01,8.904933e-01,8.752926e-01,8.725766e-01,8.602841e-01,8.454771e-01,8.431272e-01,8.308797e-01,8.164992e-01,8.145036e-01,8.023421e-01,7.884142e-01,7.867585e-01,7.747204e-01,7.612652e-01,7.599329e-01,7.480523e-01,7.350848e-01,7.340581e-01,7.223654e-01,7.098962e-01,7.091561e-01,6.976791e-01,6.857151e-01,6.852418e-01,6.740052e-01,6.625499e-01,6.623234e-01,6.513495e-01,6.404037e-01,6.194804e-01,5.995475e-01,5.805955e-01,5.626117e-01,5.455814e-01,5.294875e-01,5.143112e-01,5.000324e-01,4.866299e-01,4.740811e-01,4.623630e-01,4.514517e-01,4.413227e-01,4.319513e-01,4.233120e-01,4.153794e-01,4.081277e-01,4.015307e-01,3.955624e-01,3.901965e-01,3.854065e-01,3.811662e-01,3.774491e-01,3.742290e-01,3.714794e-01,3.691744e-01,3.672879e-01,3.657943e-01,3.646680e-01,3.638839e-01,3.634173e-01,3.632437e-01,3.633393e-01,3.636806e-01,3.642449e-01,3.650100e-01,3.659544e-01,3.670572e-01,3.682984e-01,3.696588e-01,3.711200e-01,3.726643e-01,3.742751e-01,3.759367e-01,3.776341e-01,3.793536e-01,3.810821e-01,3.828076e-01,3.845192e-01
0.000000e+00,2.564171e-08,4.300586e-07,4.499130e-07,3.064073e-06,1.164604e-05,1.219977e-05,3.156121e-05,5.629358e-05,5.794704e-05,8.521000e-05,1.087972e-04,1.107613e-04,1.341037e-04,1.532354e-04,1.552553e-04,1.743396e-04,1.895348e-04,1.914966e-04,2.068646e-04,2.187513e-04,2.205759e-04,2.327553e-04,2.418885e-04,2.435206e-04,2.529814e-04,2.598382e-04,2.612405e-04,2.683944e-04,2.733831e-04,2.745341e-04,2.797441e-04,2.832135e-04,2.841033e-04,2.876847e-04,2.899282e-04,2.905560e-04,2.927797e-04,2.940424e-04,2.944136e-04,2.955111e-04,2.959971e-04,2.961216e-04,2.962903e-04,2.961680e-04,2.960590e-04,2.954663e-04,2.948750e-04,2.945476e-04,2.933354e-04,2.923893e-04,2.918598e-04,2.901483e-04,2.889408e-04,2.882261e-04,2.861165e-04,2.847238e-04,2.838407e-04,2.814184e-04,2.799022e-04,2.788674e-04,2.762042e-04,2.746140e-04,2.734437e-04,2.705997e-04,2.689753e-04,2.676848e-04,2.647104e-04,2.630833e-04,2.616871e-04,2.586244e-04,2.570191e-04,2.555310e-04,2.524148e-04,2.508505e-04,2.492832e-04,2.461426e-04,2.446336e-04,2.429989e-04,2.398576e-04,2.384148e-04,2.367236e-04,2.336012e-04,2.322320e-04,2.304944e-04,2.274067e-04,2.261164e-04,2.243415e-04,2.213014e-04,2.200931e-04,2.182892e-04,2.153070e-04,2.141821e-04,2.123569e-04,2.094406e-04,2.083993e-04,2.065597e-04,2.037155e-04,2.027570e-04,2.009092e-04,1.981418e-04,1.972646e-04,1.954142e-04,1.927270e-04,1.919289e-04,1.900809e-04,1.874763e-04,1.867544e-04,1.849135e-04,1.823928e-04,1.817443e-04,1.799144e-04,1.774784e-04,1.769000e-04,1.750847e-04,1.727334e-04,1.722218e-04,1.704243e-04,1.681573e-04,1.677089e-04,1.659322e-04,1.637486e-04,1.633600e-04,1.616064e-04,1.595052e-04,1.591727e-04,1.574445e-04,1.554242e-04,1.551445e-04,1.534437e-04,1.515025e-04,1.512722e-04,1.496004e-04,1.477367e-04,1.475524e-04,1.459110e-04,1.441228e-04,1.439814e-04,1.423716e-04,1.406569e-04,1.405552e-04,1.389782e-04,1.373349e-04,1.372699e-04,1.357265e-04,1.341525e-04,1.341214e-04,1.326123e-04,1.311054e-04,1.282179e-04,1.254547e-04,1.228115e-04,1.202844e-04,1.178692e-04,1.155621e-04,1.133591e-04,1.112565e-04,1.092504e-04,1.073374e-04,1.055138e-04,1.037763e-04,1.021216e-04,1.005463e-04,9.904755e-05,9.762215e-05,9.626722e-05,9.497994e-05,9.375757e-05,9.259748e-05,9.149712e-05,9.045402e-05,8.946582e-05,8.853021e-05,8.764499e-05,8.680803e-05,8.601727e-05,8.527074e-05,8.456651e-05,8.390276e-05,8.327771e-05,8.268966e-05,8.213695e-05,8.161802e-05,8.113133e-05,8.067542e-05,8.024888e-05,7.985035e-05,7.947852e-05,7.913215e-05,7.881001e-05,7.851096e-05,7.823387e-05,7.797767e-05,7.774133e-05,7.752387e-05,7.732432e-05,7.714178e-05,7.697537e-05
0.000000e+00,1.975899e-08,3.840852e-07,4.029498e-07,2.917274e-06,1.056523e-05,1.102992e-05,2.575227e-05,4.214953e-05,4.320390e-05,6.037176e-05,7.521754e-05,7.646076e-05,9.135364e-05,1.037537e-04,1.050745e-04,1.176767e-04,1.278881e-04,1.292192e-04,1.397612e-04,1.480709e-04,1.493601e-04,1.580722e-04,1.647450e-04,1.659520e-04,1.730518e-04,1.783268e-04,1.794217e-04,1.851094e-04,1.891989e-04,1.901602e-04,1.946170e-04,1.977071e-04,1.985202e-04,2.019081e-04,2.041604e-04,2.048165e-04,2.072794e-04,2.088337e-04,2.093283e-04,2.109934e-04,2.119702e-04,2.123024e-04,2.132819e-04,2.137846e-04,2.139563e-04,2.143489e-04,2.144659e-04,2.144813e-04,2.143737e-04,2.141806e-04,2.140453e-04,2.135137e-04,2.130746e-04,2.127956e-04,2.119067e-04,2.112761e-04,2.108613e-04,2.096733e-04,2.088973e-04,2.083552e-04,2.069190e-04,2.060362e-04,2.053757e-04,2.037357e-04,2.027786e-04,2.020086e-04,2.002035e-04,1.991992e-04,1.983287e-04,1.963921e-04,1.953630e-04,1.944009e-04,1.923619e-04,1.913265e-04,1.902815e-04,1.881654e-04,1.871386e-04,1.860191e-04,1.838477e-04,1.828417e-04,1.816558e-04,1.794479e-04,1.784723e-04,1.772278e-04,1.749994e-04,1.740618e-04,1.727660e-04,1.705309e-04,1.696370e-04,1.682970e-04,1.660669e-04,1.652210e-04,1.638432e-04,1.616282e-04,1.608333e-04,1.594239e-04,1.572322e-04,1.564902e-04,1.550549e-04,1.528937e-04,1.522057e-04,1.507498e-04,1.486248e-04,1.479911e-04,1.465197e-04,1.444357e-04,1.438561e-04,1.423736e-04,1.403345e-04,1.398082e-04,1.383190e-04,1.363278e-04,1.358536e-04,1.343615e-04,1.324207e-04,1.319972e-04,1.305058e-04,1.286172e-04,1.282427e-04,1.267552e-04,1.249201e-04,1.245927e-04,1.231121e-04,1.213314e-04,1.210490e-04,1.195781e-04,1.178522e-04,1.176128e-04,1.161539e-04,1.144830e-04,1.142844e-04,1.128397e-04,1.112238e-04,1.110637e-04,1.096353e-04,1.080740e-04,1.079502e-04,1.065398e-04,1.050325e-04,1.049429e-04,1.035520e-04,1.020981e-04,1.020405e-04,1.006706e-04,9.926919e-05,9.924143e-05,9.789371e-05,9.654389e-05,9.394589e-05,9.144532e-05,8.903991e-05,8.672733e-05,8.450518e-05,8.237100e-05,8.032231e-05,7.835661e-05,7.647140e-05,7.466421e-05,7.293255e-05,7.127400e-05,6.968615e-05,6.816662e-05,6.671309e-05,6.532329e-05,6.399498e-05,6.272600e-05,6.151422e-05,6.035758e-05,5.925406e-05,5.820170e-05,5.719861e-05,5.624295e-05,5.533292e-05,5.446679e-05,5.364289e-05,5.285959e-05,5.211532e-05,5.140855e-05,5.073782e-05,5.010170e-05,4.949881e-05,4.892783e-05,4.838748e-05,4.787652e-05,4.739374e-05,4.693801e-05,4.650819e-05,4.610323e-05,4.572208e-05,4.536375e-05,4.502726e-05,4.471169e-05,4.441614e-05,4.413975e-05,4.388169e-05,4.364115e-05,4.341735e-05
0.000000e+00,1.272500e-08,1.660074e-07,1.730818e-07,1.027480e-06,3.600629e-06,3.762981e-06,9.432579e-06,1.694868e-05,1.746379e-05,2.608541e-05,3.359440e-05,3.421715e-05,4.155621e-05,4.745806e-05,4.807391e-05,5.381425e-05,5.827074e-05,5.883779e-05,6.320627e-05,6.648397e-05,6.697822e-05,7.020830e-05,7.253995e-05,7.294716e-05,7.524222e-05,7.682273e-05,7.713571e-05,7.866666e-05,7.965475e-05,7.987117e-05,8.078235e-05,8.130901e-05,8.143046e-05,8.184312e-05,8.201484e-05,8.204550e-05,8.206054e-05,8.196340e-05,8.190910e-05,8.161014e-05,8.131328e-05,8.118088e-05,8.063693e-05,8.019556e-05,7.999244e-05,7.926021e-05,7.871814e-05,7.845184e-05,7.757779e-05,7.696958e-05,7.664753e-05,7.566959e-05,7.502227e-05,7.465166e-05,7.360065e-05,7.293517e-05,7.252279e-05,7.142367e-05,7.075609e-05,7.030829e-05,6.918114e-05,6.852360e-05,6.804624e-05,6.690715e-05,6.626864e-05,6.576707e-05,6.462882e-05,6.401582e-05,6.349490e-05,6.236754e-05,6.178456e-05,6.124869e-05,6.014004e-05,5.959003e-05,5.904311e-05,5.795918e-05,5.744386e-05,5.688939e-05,5.583469e-05,5.535483e-05,5.479590e-05,5.377371e-05,5.332936e-05,5.276870e-05,5.178132e-05,5.137197e-05,5.081194e-05,4.986087e-05,4.948562e-05,4.892831e-05,4.801441e-05,4.767204e-05,4.711925e-05,4.624286e-05,4.593196e-05,4.538523e-05,4.454629e-05,4.426530e-05,4.372596e-05,4.292409e-05,4.267137e-05,4.214053e-05,4.137510e-05,4.114897e-05,4.062758e-05,3.989777e-05,3.969656e-05,3.918540e-05,3.849023e-05,3.831227e-05,3.781199e-05,3.715039e-05,3.699406e-05,3.650516e-05,3.587601e-05,3.573972e-05,3.526262e-05,3.466471e-05,3.454696e-05,3.408197e-05,3.351409e-05,3.341343e-05,3.296077e-05,3.242170e-05,3.233675e-05,3.189657e-05,3.138508e-05,3.131454e-05,3.088693e-05,3.040181e-05,3.034446e-05,2.992943e-05,2.946950e-05,2.942418e-05,2.902173e-05,2.858582e-05,2.855145e-05,2.816150e-05,2.774849e-05,2.772406e-05,2.734651e-05,2.695530e-05,2.693987e-05,2.657459e-05,2.620413e-05,2.619682e-05,2.584365e-05,2.549291e-05,2.482622e-05,2.419491e-05,2.359722e-05,2.303145e-05,2.249601e-05,2.198933e-05,2.150996e-05,2.105650e-05,2.062760e-05,2.022200e-05,1.983849e-05,1.947593e-05,1.913322e-05,1.880932e-05,1.850326e-05,1.821409e-05,1.794093e-05,1.768293e-05,1.743931e-05,1.720929e-05,1.699217e-05,1.678725e-05,1.659389e-05,1.641149e-05,1.623945e-05,1.607723e-05,1.592431e-05,1.578018e-05,1.564438e-05,1.551647e-05,1.539602e-05,1.528263e-05,1.517593e-05,1.507555e-05,1.498115e-05,1.489242e-05,1.480905e-05,1.473074e-05,1.465723e-05,1.458824e-05,1.452355e-05,1.446291e-05,1.440609e-05,1.435290e-05,1.430314e-05,1.425661e-05,1.421313e-05,1.417254e-05,1.413468e-05
0.000000e+00,2.303860e-08,3.388923e-07,3.536629e-07,2.146376e-06,7.473233e-06,7.804995e-06,1.916232e-05,3.390717e-05,3.491687e-05,5.200065e-05,6.741127e-05,6.872121e-05,8.462666e-05,9.817528e-05,9.963568e-05,1.137510e-04,1.254508e-04,1.269950e-04,1.393961e-04,1.494106e-04,1.509854e-04,1.617948e-04,1.702957e-04,1.718568e-04,1.812040e-04,1.883577e-04,1.898683e-04,1.978812e-04,2.038431e-04,2.052733e-04,2.120743e-04,2.169872e-04,2.183129e-04,2.240167e-04,2.280104e-04,2.292124e-04,2.339258e-04,2.371177e-04,2.381814e-04,2.420030e-04,2.444985e-04,2.454132e-04,2.484338e-04,2.503276e-04,2.510857e-04,2.533888e-04,2.547654e-04,2.553622e-04,2.570242e-04,2.579591e-04,2.583923e-04,2.594831e-04,2.600432e-04,2.603127e-04,2.608963e-04,2.611409e-04,2.612484e-04,2.613829e-04,2.613647e-04,2.613131e-04,2.610516e-04,2.608169e-04,2.606105e-04,2.600013e-04,2.595908e-04,2.592349e-04,2.583217e-04,2.577711e-04,2.572718e-04,2.560944e-04,2.554348e-04,2.547986e-04,2.533931e-04,2.526516e-04,2.518858e-04,2.502845e-04,2.494847e-04,2.485966e-04,2.468291e-04,2.459911e-04,2.449885e-04,2.430812e-04,2.422224e-04,2.411131e-04,2.390899e-04,2.382250e-04,2.370170e-04,2.348994e-04,2.340409e-04,2.327419e-04,2.305491e-04,2.297075e-04,2.283253e-04,2.260746e-04,2.252585e-04,2.238008e-04,2.215076e-04,2.207241e-04,2.191984e-04,2.168763e-04,2.161311e-04,2.145446e-04,2.122060e-04,2.115035e-04,2.098632e-04,2.075189e-04,2.068625e-04,2.051753e-04,2.028347e-04,2.022269e-04,2.004992e-04,1.981707e-04,1.976132e-04,1.958512e-04,1.935423e-04,1.930360e-04,1.912456e-04,1.889627e-04,1.885079e-04,1.866949e-04,1.844434e-04,1.840400e-04,1.822095e-04,1.799944e-04,1.796418e-04,1.777989e-04,1.756242e-04,1.753214e-04,1.734709e-04,1.713399e-04,1.710857e-04,1.692320e-04,1.671477e-04,1.669406e-04,1.650878e-04,1.630526e-04,1.628909e-04,1.610427e-04,1.590585e-04,1.589403e-04,1.571004e-04,1.551688e-04,1.550921e-04,1.532638e-04,1.513857e-04,1.513484e-04,1.495348e-04,1.477112e-04,1.441814e-04,1.407597e-04,1.374462e-04,1.342407e-04,1.311426e-04,1.281510e-04,1.252646e-04,1.224821e-04,1.198018e-04,1.172219e-04,1.147404e-04,1.123554e-04,1.100646e-04,1.078657e-04,1.057564e-04,1.037344e-04,1.017973e-04,9.994258e-05,9.816784e-05,9.647064e-05,9.484855e-05,9.329914e-05,9.182001e-05,9.040880e-05,8.906315e-05,8.778077e-05,8.655939e-05,8.539679e-05,8.429081e-05,8.323930e-05,8.224021e-05,8.129149e-05,8.039119e-05,7.953738e-05,7.872820e-05,7.796183e-05,7.723652e-05,7.655057e-05,7.590232e-05,7.529018e-05,7.471260e-05,7.416809e-05,7.365520e-05,7.317254e-05,7.271878e-05,7.229260e-05,7.189277e-05,7.151808e-05,7.116737e-05
0.000000e+00,1.821592e-08,4.812568e-07,5.061466e-07,4.235635e-06,1.919220e-05,2.025352e-05,6.294229e-05,1.319828e-04,1.371574e-04,2.312766e-04,3.229822e-04,3.309136e-04,4.274147e-04,5.085051e-04,5.171290e-04,5.989886e-04,6.645114e-04,6.729866e-04,7.394866e-04,7.910376e-04,7.989587e-04,8.518873e-04,8.916361e-04,8.987440e-04,9.399796e-04,9.699000e-04,9.760232e-04,1.007281e-03,1.029102e-03,1.034139e-03,1.056959e-03,1.072176e-03,1.076082e-03,1.091826e-03,1.101716e-03,1.104489e-03,1.114346e-03,1.119985e-03,1.121653e-03,1.126646e-03,1.128931e-03,1.129543e-03,1.130545e-03,1.130219e-03,1.129838e-03,1.127590e-03,1.125262e-03,1.123958e-03,1.119085e-03,1.115252e-03,1.113101e-03,1.106127e-03,1.101195e-03,1.098273e-03,1.089638e-03,1.083934e-03,1.080316e-03,1.070389e-03,1.064175e-03,1.059935e-03,1.049023e-03,1.042510e-03,1.037718e-03,1.026077e-03,1.019431e-03,1.014153e-03,1.001995e-03,9.953472e-04,9.896456e-04,9.771457e-04,9.705983e-04,9.645311e-04,9.518345e-04,9.454648e-04,9.390855e-04,9.263111e-04,9.201775e-04,9.135354e-04,9.007804e-04,8.949254e-04,8.880656e-04,8.754088e-04,8.698624e-04,8.628259e-04,8.503309e-04,8.451123e-04,8.379366e-04,8.256542e-04,8.207748e-04,8.134937e-04,8.014639e-04,7.969285e-04,7.895725e-04,7.778263e-04,7.736344e-04,7.662312e-04,7.547923e-04,7.509394e-04,7.435138e-04,7.323993e-04,7.288779e-04,7.214521e-04,7.106744e-04,7.074745e-04,7.000683e-04,6.896354e-04,6.867453e-04,6.793766e-04,6.692927e-04,6.666996e-04,6.593841e-04,6.496507e-04,6.473408e-04,6.400925e-04,6.307089e-04,6.286678e-04,6.214991e-04,6.124624e-04,6.106757e-04,6.035975e-04,5.949033e-04,5.933564e-04,5.863784e-04,5.780211e-04,5.766994e-04,5.698299e-04,5.618030e-04,5.606923e-04,5.539386e-04,5.462347e-04,5.453209e-04,5.386893e-04,5.313004e-04,5.305701e-04,5.240660e-04,5.169838e-04,5.164237e-04,5.100516e-04,5.032674e-04,5.028650e-04,4.966289e-04,4.901338e-04,4.898770e-04,4.837800e-04,4.775650e-04,4.774421e-04,4.714868e-04,4.655430e-04,4.541620e-04,4.432819e-04,4.328855e-04,4.229557e-04,4.134759e-04,4.044298e-04,3.958015e-04,3.875754e-04,3.797364e-04,3.722696e-04,3.651608e-04,3.583960e-04,3.519620e-04,3.458455e-04,3.400340e-04,3.345153e-04,3.292776e-04,3.243095e-04,3.196001e-04,3.151387e-04,3.109152e-04,3.069195e-04,3.031423e-04,2.995743e-04,2.962068e-04,2.930311e-04,2.900392e-04,2.872230e-04,2.845751e-04,2.820880e-04,2.797547e-04,2.775684e-04,2.755227e-04,2.736111e-04,2.718277e-04,2.701666e-04,2.686222e-04,2.671891e-04,2.658622e-04,2.646364e-04,2.635070e-04,2.624694e-04,2.615190e-04,2.606517e-04,2.598633e-04,2.591500e-04,2.585078e-04,2.579333e-04,2.574228e-04
0.000000e+00,5.009039e-10,1.147577e-08,1.204616e-08,7.850027e-08,2.165125e-07,2.230811e-07,3.864820e-07,5.271722e-07,5.356114e-07,6.668444e-07,7.727371e-07,7.813167e-07,8.806669e-07,9.584547e-07,9.664669e-07,1.040152e-06,1.096008e-06,1.103022e-06,1.156251e-06,1.195128e-06,1.200899e-06,1.237922e-06,1.263760e-06,1.268179e-06,1.292438e-06,1.308342e-06,1.311390e-06,1.325654e-06,1.334060e-06,1.335778e-06,1.342257e-06,1.345064e-06,1.345529e-06,1.345985e-06,1.344665e-06,1.343974e-06,1.339807e-06,1.335500e-06,1.333761e-06,1.326081e-06,1.319664e-06,1.316986e-06,1.306672e-06,1.298819e-06,1.295309e-06,1.283053e-06,1.274279e-06,1.270040e-06,1.256389e-06,1.247084e-06,1.242209e-06,1.227594e-06,1.218051e-06,1.212627e-06,1.197384e-06,1.187824e-06,1.181930e-06,1.166323e-06,1.156906e-06,1.150613e-06,1.134845e-06,1.125689e-06,1.119059e-06,1.103290e-06,1.094478e-06,1.087567e-06,1.071917e-06,1.063505e-06,1.056363e-06,1.040925e-06,1.032949e-06,1.025620e-06,1.010463e-06,1.002944e-06,9.954663e-07,9.806412e-07,9.735889e-07,9.659968e-07,9.515407e-07,9.449558e-07,9.372791e-07,9.232173e-07,9.170944e-07,9.093594e-07,8.957085e-07,8.900376e-07,8.822673e-07,8.690374e-07,8.638049e-07,8.560199e-07,8.432153e-07,8.384054e-07,8.306236e-07,8.182445e-07,8.138399e-07,8.060771e-07,7.941205e-07,7.901030e-07,7.823733e-07,7.708338e-07,7.671848e-07,7.595003e-07,7.483708e-07,7.450714e-07,7.374431e-07,7.267150e-07,7.237465e-07,7.161840e-07,7.058476e-07,7.031917e-07,6.957034e-07,6.857486e-07,6.833873e-07,6.759806e-07,6.663967e-07,6.643126e-07,6.569941e-07,6.477701e-07,6.459464e-07,6.387218e-07,6.298466e-07,6.282672e-07,6.211416e-07,6.126040e-07,6.112534e-07,6.042311e-07,5.960202e-07,5.948834e-07,5.879684e-07,5.800731e-07,5.791361e-07,5.723316e-07,5.647413e-07,5.639904e-07,5.572994e-07,5.500034e-07,5.494260e-07,5.428508e-07,5.358388e-07,5.354226e-07,5.289652e-07,5.222273e-07,5.219606e-07,5.156228e-07,5.091492e-07,5.090210e-07,5.028041e-07,4.965853e-07,4.846354e-07,4.731539e-07,4.621239e-07,4.515290e-07,4.413534e-07,4.315818e-07,4.221995e-07,4.131920e-07,4.045457e-07,3.962472e-07,3.882837e-07,3.806427e-07,3.733124e-07,3.662812e-07,3.595379e-07,3.530718e-07,3.468726e-07,3.409303e-07,3.352352e-07,3.297782e-07,3.245501e-07,3.195426e-07,3.147471e-07,3.101557e-07,3.057607e-07,3.015546e-07,2.975304e-07,2.936809e-07,2.899997e-07,2.864803e-07,2.831164e-07,2.799022e-07,2.768318e-07,2.738998e-07,2.711008e-07,2.684297e-07,2.658815e-07,2.634514e-07,2.611349e-07,2.589276e-07,2.568250e-07,2.548232e-07,2.529182e-07,2.511062e-07,2.493834e-07,2.477464e-07,2.461917e-07,2.447161e-07,2.433164e-07
0.000000e+00,1.480356e-08,3.009079e-07,3.158285e-07,2.271392e-06,7.861786e-06,8.188330e-06,1.801596e-05,2.823596e-05,2.887819e-05,3.917723e-05,4.789828e-05,4.862189e-05,5.721090e-05,6.424580e-05,6.498847e-05,7.200481e-05,7.758934e-05,7.831005e-05,8.395280e-05,8.831140e-05,8.897980e-05,9.343560e-05,9.676803e-05,9.736244e-05,1.008002e-04,1.032804e-04,1.037861e-04,1.063555e-04,1.081331e-04,1.085410e-04,1.103732e-04,1.115755e-04,1.118807e-04,1.130900e-04,1.138249e-04,1.140258e-04,1.147112e-04,1.150698e-04,1.151676e-04,1.154146e-04,1.154734e-04,1.154709e-04,1.153535e-04,1.151764e-04,1.150782e-04,1.146598e-04,1.143005e-04,1.141118e-04,1.134470e-04,1.129499e-04,1.126770e-04,1.118126e-04,1.112145e-04,1.108638e-04,1.098400e-04,1.091712e-04,1.087496e-04,1.076005e-04,1.068859e-04,1.063999e-04,1.051547e-04,1.044144e-04,1.038709e-04,1.025543e-04,1.018046e-04,1.012100e-04,9.984292e-05,9.909675e-05,9.845738e-05,9.705743e-05,9.632501e-05,9.564679e-05,9.422883e-05,9.351809e-05,9.280665e-05,9.138307e-05,9.070002e-05,8.996066e-05,8.854174e-05,8.789081e-05,8.712845e-05,8.572270e-05,8.510701e-05,8.432622e-05,8.294057e-05,8.236217e-05,8.156716e-05,8.020725e-05,7.966731e-05,7.886194e-05,7.753225e-05,7.703124e-05,7.621904e-05,7.492309e-05,7.446091e-05,7.364508e-05,7.238558e-05,7.196166e-05,7.114510e-05,6.992406e-05,6.953749e-05,6.872281e-05,6.754163e-05,6.719123e-05,6.638076e-05,6.524037e-05,6.492475e-05,6.412057e-05,6.302145e-05,6.273907e-05,6.194303e-05,6.088533e-05,6.063455e-05,5.984829e-05,5.883184e-05,5.861098e-05,5.783590e-05,5.686034e-05,5.666766e-05,5.590500e-05,5.496972e-05,5.480349e-05,5.405433e-05,5.315860e-05,5.301709e-05,5.228232e-05,5.142527e-05,5.130680e-05,5.058719e-05,4.976783e-05,4.967076e-05,4.896694e-05,4.818424e-05,4.810696e-05,4.741946e-05,4.667230e-05,4.661329e-05,4.594250e-05,4.522975e-05,4.518752e-05,4.453376e-05,4.385424e-05,4.382740e-05,4.319090e-05,4.254342e-05,4.253063e-05,4.191153e-05,4.129492e-05,4.011794e-05,3.899743e-05,3.793113e-05,3.691682e-05,3.595234e-05,3.503557e-05,3.416444e-05,3.333697e-05,3.255120e-05,3.180526e-05,3.109735e-05,3.042571e-05,2.978868e-05,2.918462e-05,2.861200e-05,2.806932e-05,2.755516e-05,2.706815e-05,2.660697e-05,2.617038e-05,2.575718e-05,2.536622e-05,2.499642e-05,2.464673e-05,2.431616e-05,2.400375e-05,2.370860e-05,2.342985e-05,2.316667e-05,2.291829e-05,2.268395e-05,2.246295e-05,2.225461e-05,2.205828e-05,2.187336e-05,2.169925e-05,2.153542e-05,2.138131e-05,2.123645e-05,2.110035e-05,2.097255e-05,2.085262e-05,2.074016e-05,2.063477e-05,2.053609e-05,2.044376e-05,2.035745e-05,2.027684e-05,2.020162e-05
0.000000e+00,1.424199e-09,2.097255e-08,2.186076e-08,1.128144e-07,3.116427e-07,3.224539e-07,6.485737e-07,1.025226e-06,1.050620e-06,1.483207e-06,1.879602e-06,1.913452e-06,2.324718e-06,2.674013e-06,2.711559e-06,3.073182e-06,3.371063e-06,3.410248e-06,3.723825e-06,3.975601e-06,4.015075e-06,4.285161e-06,4.496508e-06,4.535217e-06,4.766335e-06,4.942454e-06,4.979559e-06,5.175884e-06,5.321415e-06,5.356258e-06,5.521581e-06,5.640637e-06,5.672709e-06,5.810454e-06,5.906665e-06,5.935586e-06,6.048836e-06,6.125399e-06,6.150896e-06,6.242422e-06,6.302148e-06,6.324036e-06,6.396326e-06,6.441681e-06,6.459849e-06,6.515134e-06,6.548278e-06,6.562679e-06,6.602957e-06,6.625777e-06,6.636414e-06,6.663472e-06,6.677617e-06,6.684532e-06,6.699971e-06,6.706878e-06,6.710146e-06,6.715395e-06,6.716312e-06,6.716035e-06,6.712370e-06,6.708383e-06,6.704682e-06,6.693241e-06,6.685290e-06,6.678301e-06,6.660100e-06,6.648997e-06,6.638866e-06,6.614812e-06,6.601256e-06,6.588139e-06,6.559037e-06,6.543631e-06,6.527685e-06,6.494252e-06,6.477512e-06,6.458898e-06,6.421773e-06,6.404140e-06,6.383019e-06,6.342768e-06,6.324617e-06,6.301148e-06,6.258275e-06,6.239923e-06,6.214263e-06,6.169215e-06,6.150928e-06,6.123230e-06,6.076402e-06,6.058404e-06,6.028817e-06,5.980559e-06,5.963036e-06,5.931704e-06,5.882326e-06,5.865430e-06,5.832491e-06,5.782265e-06,5.766120e-06,5.731708e-06,5.680876e-06,5.665581e-06,5.629822e-06,5.578595e-06,5.564227e-06,5.527242e-06,5.475808e-06,5.462426e-06,5.424331e-06,5.372852e-06,5.360500e-06,5.321405e-06,5.270023e-06,5.258731e-06,5.218738e-06,5.167579e-06,5.157364e-06,5.116572e-06,5.065744e-06,5.056615e-06,5.015117e-06,4.964713e-06,4.956670e-06,4.914552e-06,4.864654e-06,4.857690e-06,4.815035e-06,4.765712e-06,4.759814e-06,4.716699e-06,4.668010e-06,4.663160e-06,4.619658e-06,4.571654e-06,4.567829e-06,4.524008e-06,4.476731e-06,4.473907e-06,4.429831e-06,4.383316e-06,4.381464e-06,4.337194e-06,4.291470e-06,4.290560e-06,4.246152e-06,4.201243e-06,4.113549e-06,4.027510e-06,3.943147e-06,3.860474e-06,3.779501e-06,3.700233e-06,3.622668e-06,3.546803e-06,3.472629e-06,3.400136e-06,3.329309e-06,3.260134e-06,3.192592e-06,3.126664e-06,3.062329e-06,2.999566e-06,2.938352e-06,2.878662e-06,2.820473e-06,2.763760e-06,2.708498e-06,2.654661e-06,2.602223e-06,2.551159e-06,2.501443e-06,2.453050e-06,2.405953e-06,2.360127e-06,2.315548e-06,2.272190e-06,2.230027e-06,2.189037e-06,2.149193e-06,2.110474e-06,2.072854e-06,2.036311e-06,2.000822e-06,1.966364e-06,1.932915e-06,1.900454e-06,1.868958e-06,1.838408e-06,1.808782e-06,1.780060e-06,1.752222e-06,1.725248e-06,1.699120e-06,1.673818e-06,1.649325e-06
0.000000e+00,9.085002e-09,2.864227e-07,3.019260e-07,2.767999e-06,1.396074e-05,1.481658e-05,5.524734e-05,1.470013e-04,1.553400e-04,3.489454e-04,6.282204e-04,6.572550e-04,1.081263e-03,1.548993e-03,1.605213e-03,2.204076e-03,2.770820e-03,2.849882e-03,3.515805e-03,4.086591e-03,4.178390e-03,4.818521e-03,5.328057e-03,5.421580e-03,5.977170e-03,6.392533e-03,6.478594e-03,6.922249e-03,7.234755e-03,7.307011e-03,7.633665e-03,7.849491e-03,7.904407e-03,8.122416e-03,8.255169e-03,8.291510e-03,8.415862e-03,8.481616e-03,8.499790e-03,8.547597e-03,8.561999e-03,8.563450e-03,8.551303e-03,8.528127e-03,8.514844e-03,8.457465e-03,8.408085e-03,8.382253e-03,8.291988e-03,8.225385e-03,8.189154e-03,8.075949e-03,7.998960e-03,7.954311e-03,7.825935e-03,7.743613e-03,7.692296e-03,7.554671e-03,7.470648e-03,7.414162e-03,7.271711e-03,7.188522e-03,7.128124e-03,6.984087e-03,6.903449e-03,6.840179e-03,6.696889e-03,6.619916e-03,6.554626e-03,6.413730e-03,6.341101e-03,6.274485e-03,6.137122e-03,6.069206e-03,6.001830e-03,5.868761e-03,5.805714e-03,5.738037e-03,5.609753e-03,5.551582e-03,5.483980e-03,5.360773e-03,5.307384e-03,5.240167e-03,5.122185e-03,5.073419e-03,5.006840e-03,4.894132e-03,4.849786e-03,4.784055e-03,4.676598e-03,4.636447e-03,4.571741e-03,4.469461e-03,4.433266e-03,4.369730e-03,4.272517e-03,4.240032e-03,4.177788e-03,4.085507e-03,4.056488e-03,3.995636e-03,3.908134e-03,3.882340e-03,3.822963e-03,3.740080e-03,3.717278e-03,3.659444e-03,3.581011e-03,3.560975e-03,3.504739e-03,3.430585e-03,3.413099e-03,3.358505e-03,3.288457e-03,3.273314e-03,3.220397e-03,3.154282e-03,3.141289e-03,3.090070e-03,3.027720e-03,3.016692e-03,2.967190e-03,2.908438e-03,2.899199e-03,2.851423e-03,2.796106e-03,2.788495e-03,2.742448e-03,2.690408e-03,2.684271e-03,2.639950e-03,2.591034e-03,2.586226e-03,2.543625e-03,2.497685e-03,2.494072e-03,2.453179e-03,2.410071e-03,2.407528e-03,2.368328e-03,2.327915e-03,2.326325e-03,2.288799e-03,2.250948e-03,2.250204e-03,2.214330e-03,2.178914e-03,2.112216e-03,2.049882e-03,1.991690e-03,1.937432e-03,1.886904e-03,1.839916e-03,1.796283e-03,1.755828e-03,1.718386e-03,1.683794e-03,1.651901e-03,1.622560e-03,1.595632e-03,1.570984e-03,1.548488e-03,1.528024e-03,1.509477e-03,1.492735e-03,1.477694e-03,1.464252e-03,1.452316e-03,1.441792e-03,1.432593e-03,1.424637e-03,1.417844e-03,1.412139e-03,1.407448e-03,1.403704e-03,1.400841e-03,1.398797e-03,1.397511e-03,1.396927e-03,1.396992e-03,1.397654e-03,1.398864e-03,1.400576e-03,1.402746e-03,1.405333e-03,1.408296e-03,1.411598e-03,1.415205e-03,1.419082e-03,1.423198e-03,1.427523e-03,1.432029e-03,1.436690e-03,1.441481e-03,1.446378e-03,1.451360e-03
0.000000e+00,1.638306e-08,6.022727e-07,6.376102e-07,7.076132e-06,3.834350e-05,4.070089e-05,1.423371e-04,3.261370e-04,3.408097e-04,6.301474e-04,9.540249e-04,9.839937e-04,1.372955e-03,1.732676e-03,1.772559e-03,2.165136e-03,2.495502e-03,2.539139e-03,2.887734e-03,3.164466e-03,3.207414e-03,3.496898e-03,3.716802e-03,3.756324e-03,3.986696e-03,4.154965e-03,4.189516e-03,4.366542e-03,4.490842e-03,4.519636e-03,4.650673e-03,4.738747e-03,4.761479e-03,4.853799e-03,4.912615e-03,4.929279e-03,4.989457e-03,5.024982e-03,5.035762e-03,5.069514e-03,5.086729e-03,5.091929e-03,5.104125e-03,5.107133e-03,5.107124e-03,5.101866e-03,5.094014e-03,5.089207e-03,5.069931e-03,5.053934e-03,5.044753e-03,5.014326e-03,4.992375e-03,4.979245e-03,4.940053e-03,4.913908e-03,4.897244e-03,4.851268e-03,4.822335e-03,4.802535e-03,4.751418e-03,4.720812e-03,4.698255e-03,4.643355e-03,4.611958e-03,4.586998e-03,4.529436e-03,4.497934e-03,4.470901e-03,4.411599e-03,4.380523e-03,4.351720e-03,4.291433e-03,4.261186e-03,4.230893e-03,4.170239e-03,4.141121e-03,4.109594e-03,4.049071e-03,4.021300e-03,3.988771e-03,3.928784e-03,3.902510e-03,3.869191e-03,3.810063e-03,3.785384e-03,3.751464e-03,3.693451e-03,3.670421e-03,3.636073e-03,3.579374e-03,3.558015e-03,3.523393e-03,3.468163e-03,3.448469e-03,3.413712e-03,3.360065e-03,3.342011e-03,3.307241e-03,3.255259e-03,3.238805e-03,3.204133e-03,3.153873e-03,3.138965e-03,3.104487e-03,3.055983e-03,3.042560e-03,3.008364e-03,2.961632e-03,2.949627e-03,2.915788e-03,2.870830e-03,2.860172e-03,2.826757e-03,2.783564e-03,2.774179e-03,2.741245e-03,2.699797e-03,2.691611e-03,2.659210e-03,2.619479e-03,2.612417e-03,2.580594e-03,2.542546e-03,2.536536e-03,2.505327e-03,2.468925e-03,2.463893e-03,2.433330e-03,2.398532e-03,2.394410e-03,2.364520e-03,2.331282e-03,2.328000e-03,2.298807e-03,2.267082e-03,2.264576e-03,2.236096e-03,2.205837e-03,2.204044e-03,2.176293e-03,2.147451e-03,2.146312e-03,2.119301e-03,2.091828e-03,2.091285e-03,2.065022e-03,2.038869e-03,1.988970e-03,1.941495e-03,1.896353e-03,1.853453e-03,1.812708e-03,1.774032e-03,1.737341e-03,1.702553e-03,1.669590e-03,1.638374e-03,1.608832e-03,1.580890e-03,1.554481e-03,1.529536e-03,1.505992e-03,1.483784e-03,1.462853e-03,1.443142e-03,1.424593e-03,1.407154e-03,1.390772e-03,1.375397e-03,1.360982e-03,1.347481e-03,1.334849e-03,1.323043e-03,1.312023e-03,1.301750e-03,1.292186e-03,1.283295e-03,1.275042e-03,1.267394e-03,1.260318e-03,1.253785e-03,1.247765e-03,1.242230e-03,1.237154e-03,1.232509e-03,1.228272e-03,1.224420e-03,1.220928e-03,1.217777e-03,1.214945e-03,1.212413e-03,1.210162e-03,1.208173e-03,1.206430e-03,1.204917e-03,1.203618e-03
0.000000e+00,1.796187e-06,7.961381e-05,8.459239e-05,1.093700e-03,6.499342e-03,6.919165e-03,2.582976e-02,6.358399e-02,6.679511e-02,1.362057e-01,2.282626e-01,2.375912e-01,3.721593e-01,5.212130e-01,5.393568e-01,7.373418e-01,9.348709e-01,9.633682e-01,1.214094e+00,1.446663e+00,1.485827e+00,1.774713e+00,2.027805e+00,2.076890e+00,2.388591e+00,2.648774e+00,2.706236e+00,3.026480e+00,3.282477e+00,3.346258e+00,3.662804e+00,3.905875e+00,3.973661e+00,4.276681e+00,4.500590e+00,4.570020e+00,4.852124e+00,5.052884e+00,5.121711e+00,5.377756e+00,5.553270e+00,5.619468e+00,5.846269e+00,5.995944e+00,6.057773e+00,6.253766e+00,6.378144e+00,6.434184e+00,6.599095e+00,6.699524e+00,6.748678e+00,6.883213e+00,6.961579e+00,7.003056e+00,7.108633e+00,7.167134e+00,7.200423e+00,7.278947e+00,7.319923e+00,7.344759e+00,7.398436e+00,7.424241e+00,7.440569e+00,7.471759e+00,7.484670e+00,7.492608e+00,7.503717e+00,7.505874e+00,7.505678e+00,7.499074e+00,7.492444e+00,7.484474e+00,7.462432e+00,7.448788e+00,7.433483e+00,7.398145e+00,7.379060e+00,7.356914e+00,7.310267e+00,7.287116e+00,7.258658e+00,7.202520e+00,7.176492e+00,7.142267e+00,7.078289e+00,7.050397e+00,7.010956e+00,6.940618e+00,6.911716e+00,6.867605e+00,6.792228e+00,6.763026e+00,6.714779e+00,6.635532e+00,6.606613e+00,6.554744e+00,6.472655e+00,6.444489e+00,6.389490e+00,6.305459e+00,6.278418e+00,6.220757e+00,6.135566e+00,6.109940e+00,6.050056e+00,5.964384e+00,5.940386e+00,5.878694e+00,5.793122e+00,5.770908e+00,5.707792e+00,5.622818e+00,5.602489e+00,5.538307e+00,5.454355e+00,5.435970e+00,5.371052e+00,5.288480e+00,5.272060e+00,5.206713e+00,5.125819e+00,5.111356e+00,5.045860e+00,4.966893e+00,4.954354e+00,4.888968e+00,4.812130e+00,4.801462e+00,4.736421e+00,4.661876e+00,4.653011e+00,4.588530e+00,4.516409e+00,4.509265e+00,4.445539e+00,4.375942e+00,4.370429e+00,4.307635e+00,4.240636e+00,4.236658e+00,4.174956e+00,4.110607e+00,4.108061e+00,4.047596e+00,3.985929e+00,3.984709e+00,3.925610e+00,3.866641e+00,3.753866e+00,3.646369e+00,3.544112e+00,3.447042e+00,3.355086e+00,3.268161e+00,3.186171e+00,3.109010e+00,3.036565e+00,2.968714e+00,2.905329e+00,2.846278e+00,2.791424e+00,2.740628e+00,2.693746e+00,2.650634e+00,2.611144e+00,2.575128e+00,2.542437e+00,2.512922e+00,2.486433e+00,2.462822e+00,2.441940e+00,2.423640e+00,2.407775e+00,2.394203e+00,2.382780e+00,2.373367e+00,2.365826e+00,2.360024e+00,2.355828e+00,2.353111e+00,2.351749e+00,2.351622e+00,2.352612e+00,2.354609e+00,2.357504e+00,2.361194e+00,2.365580e+00,2.370569e+00,2.376072e+00,2.382006e+00,2.388289e+00,2.394850e+00,2.401617e+00,2.408528e+00,2.415522e+00,2.422543e+00,2.429543e+00
0.000000e+00,5.392201e-07,2.022605e-05,2.140569e-05,2.340563e-04,1.306612e-03,1.390690e-03,5.433183e-03,1.469094e-02,1.553289e-02,3.513831e-02,6.390323e-02,6.694101e-02,1.125571e-01,1.659797e-01,1.726413e-01,2.470919e-01,3.239733e-01,3.352423e-01,4.360228e-01,5.317770e-01,5.480909e-01,6.699361e-01,7.786749e-01,7.999620e-01,9.365498e-01,1.052329e+00,1.078107e+00,1.223100e+00,1.340596e+00,1.370086e+00,1.517723e+00,1.632539e+00,1.664785e+00,1.810166e+00,1.918924e+00,1.952886e+00,2.092084e+00,2.192382e+00,2.227018e+00,2.357059e+00,2.447361e+00,2.481683e+00,2.600465e+00,2.679954e+00,2.713071e+00,2.819250e+00,2.887687e+00,2.918825e+00,3.011688e+00,3.069273e+00,3.097787e+00,3.177127e+00,3.224377e+00,3.249755e+00,3.315758e+00,3.353406e+00,3.375259e+00,3.428405e+00,3.457315e+00,3.475372e+00,3.516351e+00,3.537456e+00,3.551550e+00,3.581189e+00,3.595443e+00,3.605496e+00,3.624708e+00,3.633047e+00,3.639061e+00,3.648797e+00,3.652115e+00,3.654156e+00,3.655376e+00,3.654508e+00,3.652693e+00,3.646340e+00,3.642053e+00,3.636542e+00,3.623522e+00,3.616510e+00,3.607494e+00,3.588666e+00,3.579547e+00,3.567241e+00,3.543411e+00,3.532731e+00,3.517364e+00,3.489279e+00,3.477513e+00,3.459326e+00,3.427670e+00,3.415226e+00,3.394466e+00,3.359862e+00,3.347090e+00,3.324001e+00,3.287015e+00,3.274206e+00,3.249032e+00,3.210171e+00,3.197569e+00,3.170547e+00,3.130266e+00,3.118069e+00,3.089429e+00,3.048132e+00,3.036498e+00,3.006462e+00,2.964504e+00,2.953557e+00,2.922336e+00,2.880032e+00,2.869866e+00,2.837659e+00,2.795282e+00,2.785965e+00,2.752961e+00,2.710751e+00,2.702327e+00,2.668704e+00,2.626866e+00,2.619361e+00,2.585283e+00,2.543995e+00,2.537419e+00,2.503041e+00,2.462453e+00,2.456802e+00,2.422265e+00,2.382506e+00,2.377765e+00,2.343202e+00,2.304378e+00,2.300522e+00,2.266055e+00,2.228253e+00,2.225252e+00,2.190991e+00,2.154285e+00,2.152101e+00,2.118149e+00,2.082595e+00,2.081185e+00,2.047635e+00,2.013279e+00,2.012598e+00,1.979536e+00,1.946412e+00,1.882676e+00,1.821427e+00,1.762684e+00,1.706456e+00,1.652740e+00,1.601523e+00,1.552783e+00,1.506494e+00,1.462621e+00,1.421124e+00,1.381960e+00,1.345083e+00,1.310439e+00,1.277977e+00,1.247640e+00,1.219369e+00,1.193104e+00,1.168785e+00,1.146347e+00,1.125726e+00,1.106858e+00,1.089677e+00,1.074115e+00,1.060106e+00,1.047583e+00,1.036476e+00,1.026720e+00,1.018245e+00,1.010984e+00,1.004870e+00,9.998352e-01,9.958140e-01,9.927404e-01,9.905497e-01,9.891781e-01,9.885628e-01,9.886427e-01,9.893577e-01,9.906496e-01,9.924615e-01,9.947387e-01,9.974282e-01,1.000479e+00,1.003842e+00,1.007472e+00,1.011322e+00,1.015352e+00,1.019521e+00,1.023793e+00
0.000000e+00,1.026501e-09,2.047467e-08,2.149722e-08,1.519680e-07,4.747882e-07,4.914587e-07,9.291258e-07,1.332759e-06,1.357712e-06,1.757658e-06,2.099109e-06,2.127626e-06,2.468775e-06,2.752409e-06,2.782606e-06,3.070635e-06,3.303932e-06,3.334340e-06,3.575156e-06,3.765007e-06,3.794467e-06,3.993607e-06,4.146233e-06,4.173853e-06,4.336422e-06,4.457349e-06,4.482468e-06,4.613086e-06,4.707169e-06,4.729309e-06,4.832112e-06,4.903574e-06,4.922412e-06,5.001074e-06,5.053574e-06,5.068909e-06,5.126678e-06,5.163370e-06,5.175098e-06,5.214839e-06,5.238434e-06,5.246532e-06,5.270766e-06,5.283590e-06,5.288095e-06,5.299038e-06,5.303080e-06,5.304080e-06,5.303677e-06,5.300635e-06,5.298253e-06,5.288208e-06,5.279527e-06,5.273915e-06,5.255723e-06,5.242630e-06,5.233958e-06,5.208924e-06,5.192454e-06,5.180906e-06,5.150170e-06,5.131197e-06,5.116965e-06,5.081522e-06,5.060777e-06,5.044057e-06,5.004772e-06,4.982869e-06,4.963856e-06,4.921483e-06,4.898929e-06,4.877818e-06,4.833012e-06,4.810226e-06,4.787207e-06,4.740534e-06,4.717859e-06,4.693116e-06,4.645068e-06,4.622783e-06,4.596494e-06,4.547492e-06,4.525820e-06,4.498154e-06,4.448564e-06,4.427680e-06,4.398799e-06,4.348933e-06,4.328973e-06,4.299031e-06,4.249156e-06,4.230222e-06,4.199363e-06,4.149706e-06,4.131872e-06,4.100232e-06,4.050987e-06,4.034302e-06,4.002009e-06,3.953338e-06,3.937833e-06,3.905005e-06,3.857043e-06,3.842731e-06,3.809480e-06,3.762341e-06,3.749221e-06,3.715648e-06,3.669424e-06,3.657485e-06,3.623687e-06,3.578454e-06,3.567674e-06,3.533739e-06,3.489556e-06,3.479908e-06,3.445916e-06,3.402830e-06,3.394281e-06,3.360307e-06,3.318354e-06,3.310863e-06,3.276976e-06,3.236180e-06,3.229707e-06,3.195970e-06,3.156349e-06,3.150849e-06,3.117319e-06,3.078882e-06,3.074309e-06,3.041038e-06,3.003788e-06,3.000096e-06,2.967131e-06,2.931066e-06,2.928206e-06,2.895591e-06,2.860704e-06,2.858629e-06,2.826402e-06,2.792683e-06,2.791346e-06,2.759542e-06,2.726976e-06,2.726330e-06,2.694980e-06,2.663551e-06,2.602972e-06,2.544555e-06,2.488257e-06,2.434033e-06,2.381836e-06,2.331618e-06,2.283328e-06,2.236918e-06,2.192336e-06,2.149531e-06,2.108454e-06,2.069052e-06,2.031277e-06,1.995078e-06,1.960407e-06,1.927215e-06,1.895454e-06,1.865079e-06,1.836043e-06,1.808302e-06,1.781811e-06,1.756529e-06,1.732413e-06,1.709422e-06,1.687517e-06,1.666660e-06,1.646812e-06,1.627936e-06,1.609999e-06,1.592964e-06,1.576798e-06,1.561468e-06,1.546943e-06,1.533192e-06,1.520186e-06,1.507895e-06,1.496291e-06,1.485347e-06,1.475037e-06,1.465335e-06,1.456217e-06,1.447658e-06,1.439636e-06,1.432128e-06,1.425113e-06,1.418569e-06,1.412476e-06,1.406815e-06,1.401567e-06
0.000000e+00,1.903619e-08,6.213846e-07,6.554825e-07,5.122631e-06,1.562146e-05,1.614718e-05,2.980750e-05,4.242664e-05,4.321099e-05,5.587064e-05,6.682652e-05,6.774836e-05,7.886478e-05,8.824306e-05,8.924949e-05,9.893398e-05,1.069026e-04,1.079504e-04,1.163308e-04,1.230536e-04,1.241071e-04,1.313102e-04,1.369398e-04,1.379701e-04,1.441160e-04,1.487915e-04,1.497755e-04,1.549754e-04,1.588214e-04,1.597409e-04,1.640963e-04,1.672235e-04,1.680644e-04,1.716673e-04,1.741739e-04,1.749256e-04,1.778592e-04,1.798320e-04,1.804868e-04,1.828263e-04,1.843418e-04,1.848945e-04,1.867074e-04,1.878327e-04,1.882802e-04,1.896273e-04,1.904213e-04,1.907622e-04,1.916980e-04,1.922124e-04,1.924467e-04,1.930201e-04,1.933000e-04,1.934290e-04,1.936837e-04,1.937687e-04,1.937943e-04,1.937698e-04,1.936939e-04,1.936191e-04,1.933504e-04,1.931437e-04,1.929717e-04,1.924904e-04,1.921787e-04,1.919135e-04,1.912476e-04,1.908532e-04,1.904989e-04,1.896735e-04,1.892158e-04,1.887769e-04,1.878143e-04,1.873098e-04,1.867908e-04,1.857110e-04,1.851741e-04,1.845795e-04,1.834003e-04,1.828430e-04,1.821775e-04,1.809147e-04,1.803474e-04,1.796156e-04,1.782833e-04,1.777146e-04,1.769211e-04,1.755318e-04,1.749691e-04,1.741182e-04,1.726829e-04,1.721324e-04,1.712284e-04,1.697570e-04,1.692236e-04,1.682709e-04,1.667721e-04,1.662599e-04,1.652624e-04,1.637438e-04,1.632562e-04,1.622178e-04,1.606862e-04,1.602258e-04,1.591503e-04,1.576115e-04,1.571804e-04,1.560713e-04,1.545307e-04,1.541302e-04,1.529909e-04,1.514531e-04,1.510844e-04,1.499181e-04,1.483870e-04,1.480507e-04,1.468605e-04,1.453396e-04,1.450362e-04,1.438249e-04,1.423172e-04,1.420466e-04,1.408171e-04,1.393253e-04,1.390874e-04,1.378422e-04,1.363684e-04,1.361628e-04,1.349043e-04,1.334505e-04,1.332768e-04,1.320073e-04,1.305751e-04,1.304325e-04,1.291542e-04,1.277449e-04,1.276327e-04,1.263476e-04,1.249625e-04,1.248797e-04,1.235897e-04,1.222296e-04,1.221755e-04,1.208823e-04,1.195479e-04,1.195214e-04,1.182267e-04,1.169187e-04,1.143685e-04,1.118712e-04,1.094275e-04,1.070375e-04,1.047014e-04,1.024192e-04,1.001906e-04,9.801539e-05,9.589316e-05,9.382343e-05,9.180566e-05,8.983924e-05,8.792349e-05,8.605771e-05,8.424114e-05,8.247303e-05,8.075252e-05,7.907882e-05,7.745106e-05,7.586839e-05,7.432995e-05,7.283487e-05,7.138229e-05,6.997134e-05,6.860115e-05,6.727086e-05,6.597961e-05,6.472655e-05,6.351083e-05,6.233162e-05,6.118810e-05,6.007945e-05,5.900487e-05,5.796358e-05,5.695481e-05,5.597778e-05,5.503175e-05,5.411598e-05,5.322976e-05,5.237236e-05,5.154310e-05,5.074129e-05,4.996627e-05,4.921738e-05,4.849397e-05,4.779542e-05,4.712111e-05,4.647045e-05,4.584284e-05
0.000000e+00,2.121781e-08,7.507601e-07,7.936327e-07,8.357480e-06,4.669560e-05,4.972899e-05,1.981833e-04,5.449454e-04,5.766118e-04,1.312123e-03,2.375382e-03,2.486394e-03,4.124884e-03,5.981348e-03,6.208528e-03,8.688679e-03,1.114721e-02,1.149957e-02,1.456760e-02,1.735454e-02,1.781780e-02,2.117824e-02,2.403758e-02,2.458274e-02,2.797250e-02,3.070525e-02,3.129678e-02,3.451309e-02,3.698492e-02,3.758688e-02,4.049107e-02,4.262535e-02,4.320540e-02,4.571562e-02,4.748122e-02,4.801281e-02,5.009253e-02,5.149104e-02,5.195419e-02,5.360032e-02,5.465485e-02,5.503600e-02,5.626830e-02,5.701446e-02,5.730583e-02,5.815830e-02,5.863759e-02,5.883618e-02,5.935043e-02,5.960563e-02,5.971223e-02,5.993275e-02,6.000487e-02,6.002307e-02,5.999395e-02,5.992052e-02,5.985584e-02,5.961871e-02,5.943287e-02,5.929206e-02,5.888487e-02,5.861515e-02,5.840559e-02,5.786213e-02,5.753252e-02,5.726184e-02,5.661157e-02,5.624188e-02,5.591763e-02,5.518584e-02,5.479216e-02,5.442157e-02,5.362974e-02,5.322490e-02,5.281482e-02,5.198093e-02,5.157503e-02,5.113180e-02,5.027083e-02,4.987167e-02,4.940110e-02,4.852540e-02,4.813886e-02,4.764625e-02,4.676594e-02,4.639635e-02,4.588650e-02,4.500978e-02,4.466024e-02,4.413744e-02,4.327095e-02,4.294350e-02,4.241163e-02,4.156066e-02,4.125655e-02,4.071907e-02,3.988778e-02,3.960764e-02,3.906761e-02,3.825927e-02,3.800320e-02,3.746337e-02,3.668046e-02,3.644818e-02,3.591098e-02,3.515534e-02,3.494629e-02,3.441387e-02,3.368683e-02,3.350019e-02,3.297445e-02,3.227690e-02,3.211171e-02,3.159431e-02,3.092678e-02,3.078195e-02,3.027437e-02,2.963710e-02,2.951146e-02,2.901497e-02,2.840795e-02,2.830029e-02,2.781600e-02,2.723904e-02,2.714811e-02,2.667697e-02,2.612970e-02,2.605426e-02,2.559711e-02,2.507904e-02,2.501784e-02,2.457536e-02,2.408591e-02,2.403774e-02,2.361052e-02,2.314901e-02,2.311269e-02,2.270120e-02,2.226690e-02,2.224127e-02,2.184591e-02,2.143804e-02,2.142199e-02,2.104307e-02,2.066080e-02,2.065328e-02,2.029101e-02,1.993351e-02,1.926101e-02,1.863412e-02,1.805112e-02,1.751032e-02,1.701004e-02,1.654860e-02,1.612432e-02,1.573558e-02,1.538074e-02,1.505821e-02,1.476641e-02,1.450380e-02,1.426886e-02,1.406010e-02,1.387606e-02,1.371531e-02,1.357644e-02,1.345810e-02,1.335893e-02,1.327765e-02,1.321296e-02,1.316365e-02,1.312850e-02,1.310636e-02,1.309609e-02,1.309661e-02,1.310688e-02,1.312587e-02,1.315264e-02,1.318625e-02,1.322582e-02,1.327053e-02,1.331957e-02,1.337221e-02,1.342775e-02,1.348552e-02,1.354492e-02,1.360538e-02,1.366637e-02,1.372743e-02,1.378811e-02,1.384802e-02,1.390680e-02,1.396413e-02,1.401975e-02,1.407340e-02,1.412487e-02,1.417400e-02,1.422063e-02
0.000000e+00,1.086645e-08,3.641915e-07,3.845485e-07,3.377472e-06,1.308734e-05,1.369167e-05,3.386053e-05,5.861988e-05,6.026328e-05,8.702253e-05,1.092307e-04,1.110253e-04,1.316042e-04,1.473631e-04,1.489652e-04,1.634969e-04,1.742511e-04,1.755843e-04,1.855710e-04,1.927079e-04,1.937551e-04,2.003946e-04,2.049417e-04,2.057118e-04,2.098975e-04,2.126009e-04,2.131152e-04,2.155055e-04,2.169040e-04,2.171895e-04,2.182709e-04,2.187540e-04,2.188390e-04,2.189702e-04,2.188185e-04,2.187302e-04,2.181751e-04,2.175902e-04,2.173534e-04,2.163063e-04,2.154331e-04,2.150695e-04,2.136733e-04,2.126154e-04,2.121440e-04,2.105037e-04,2.093350e-04,2.087719e-04,2.069649e-04,2.057381e-04,2.050969e-04,2.031799e-04,2.019322e-04,2.012244e-04,1.992391e-04,1.979967e-04,1.972318e-04,1.952088e-04,1.939899e-04,1.931759e-04,1.911376e-04,1.899547e-04,1.890982e-04,1.870611e-04,1.859225e-04,1.850293e-04,1.830051e-04,1.819161e-04,1.809910e-04,1.789885e-04,1.779524e-04,1.769993e-04,1.750247e-04,1.740432e-04,1.730657e-04,1.711233e-04,1.701971e-04,1.691982e-04,1.672911e-04,1.664200e-04,1.654025e-04,1.635327e-04,1.627161e-04,1.616821e-04,1.598511e-04,1.590879e-04,1.580397e-04,1.562481e-04,1.555370e-04,1.544764e-04,1.527247e-04,1.520643e-04,1.509929e-04,1.492812e-04,1.486698e-04,1.475893e-04,1.459174e-04,1.453534e-04,1.442653e-04,1.426328e-04,1.421146e-04,1.410200e-04,1.394267e-04,1.389525e-04,1.378527e-04,1.362979e-04,1.358660e-04,1.347622e-04,1.332455e-04,1.328542e-04,1.317475e-04,1.302681e-04,1.299158e-04,1.288071e-04,1.273644e-04,1.270495e-04,1.259398e-04,1.245332e-04,1.242540e-04,1.231442e-04,1.217729e-04,1.215279e-04,1.204189e-04,1.190822e-04,1.188699e-04,1.177624e-04,1.164596e-04,1.162785e-04,1.151734e-04,1.139037e-04,1.137525e-04,1.126504e-04,1.114132e-04,1.112903e-04,1.101919e-04,1.089865e-04,1.088907e-04,1.077967e-04,1.066223e-04,1.065523e-04,1.054632e-04,1.043191e-04,1.042737e-04,1.031901e-04,1.020757e-04,1.020536e-04,1.009760e-04,9.989064e-05,9.778358e-05,9.573112e-05,9.373202e-05,9.178504e-05,8.988897e-05,8.804262e-05,8.624483e-05,8.449445e-05,8.279037e-05,8.113149e-05,7.951673e-05,7.794505e-05,7.641540e-05,7.492678e-05,7.347821e-05,7.206872e-05,7.069736e-05,6.936322e-05,6.806538e-05,6.680297e-05,6.557512e-05,6.438098e-05,6.321974e-05,6.209059e-05,6.099275e-05,5.992543e-05,5.888789e-05,5.787940e-05,5.689924e-05,5.594671e-05,5.502112e-05,5.412181e-05,5.324813e-05,5.239943e-05,5.157510e-05,5.077453e-05,4.999713e-05,4.924231e-05,4.850951e-05,4.779818e-05,4.710777e-05,4.643778e-05,4.578767e-05,4.515695e-05,4.454513e-05,4.395173e-05,4.337629e-05,4.281834e-05,4.227745e-05
0.000000e+00,5.189340e-09,1.459315e-07,1.538986e-07,1.343245e-06,5.323352e-06,5.572154e-06,1.366517e-05,2.284666e-05,2.343256e-05,3.277877e-05,4.049534e-05,4.112459e-05,4.844970e-05,5.423744e-05,5.483657e-05,6.037770e-05,6.462354e-05,6.516006e-05,6.926298e-05,7.230307e-05,7.275834e-05,7.571111e-05,7.781518e-05,7.817990e-05,8.021755e-05,8.160018e-05,8.187156e-05,8.318461e-05,8.401544e-05,8.419501e-05,8.493716e-05,8.534983e-05,8.544198e-05,8.573703e-05,8.583622e-05,8.584695e-05,8.579385e-05,8.566131e-05,8.559750e-05,8.527556e-05,8.497492e-05,8.484380e-05,8.431639e-05,8.389707e-05,8.370590e-05,8.302356e-05,8.252370e-05,8.227942e-05,8.148240e-05,8.093129e-05,8.064044e-05,7.976064e-05,7.918065e-05,7.884930e-05,7.791202e-05,7.732008e-05,7.695377e-05,7.597897e-05,7.538780e-05,7.499154e-05,7.399494e-05,7.341393e-05,7.299224e-05,7.198614e-05,7.142214e-05,7.097903e-05,6.997303e-05,6.943090e-05,6.896997e-05,6.797146e-05,6.745451e-05,6.697892e-05,6.599358e-05,6.550395e-05,6.501651e-05,6.404863e-05,6.358756e-05,6.309074e-05,6.214352e-05,6.171154e-05,6.120753e-05,6.028327e-05,5.988042e-05,5.937115e-05,5.847148e-05,5.809740e-05,5.758454e-05,5.671055e-05,5.636461e-05,5.584965e-05,5.500198e-05,5.468334e-05,5.416759e-05,5.334654e-05,5.305423e-05,5.253883e-05,5.174446e-05,5.147740e-05,5.096336e-05,5.019550e-05,4.995256e-05,4.944078e-05,4.869912e-05,4.847915e-05,4.797039e-05,4.725449e-05,4.705632e-05,4.655128e-05,4.586062e-05,4.568308e-05,4.518236e-05,4.451635e-05,4.435831e-05,4.386243e-05,4.322044e-05,4.308078e-05,4.259020e-05,4.197156e-05,4.184921e-05,4.136434e-05,4.076836e-05,4.066226e-05,4.018345e-05,3.960944e-05,3.951860e-05,3.904615e-05,3.849341e-05,3.841686e-05,3.795105e-05,3.741888e-05,3.735570e-05,3.689674e-05,3.638446e-05,3.633377e-05,3.588187e-05,3.538879e-05,3.534975e-05,3.490507e-05,3.443054e-05,3.440235e-05,3.396503e-05,3.350839e-05,3.349030e-05,3.306045e-05,3.262106e-05,3.261236e-05,3.219007e-05,3.176732e-05,3.095401e-05,3.017130e-05,2.941807e-05,2.869326e-05,2.799584e-05,2.732480e-05,2.667919e-05,2.605806e-05,2.546052e-05,2.488569e-05,2.433274e-05,2.380086e-05,2.328927e-05,2.279721e-05,2.232396e-05,2.186882e-05,2.143111e-05,2.101019e-05,2.060543e-05,2.021623e-05,1.984200e-05,1.948219e-05,1.913626e-05,1.880368e-05,1.848396e-05,1.817662e-05,1.788119e-05,1.759722e-05,1.732428e-05,1.706197e-05,1.680987e-05,1.656761e-05,1.633481e-05,1.611112e-05,1.589620e-05,1.568971e-05,1.549134e-05,1.530077e-05,1.511772e-05,1.494191e-05,1.477304e-05,1.461088e-05,1.445515e-05,1.430562e-05,1.416204e-05,1.402421e-05,1.389189e-05,1.376488e-05,1.364297e-05
0.000000e+00,1.237841e-08,2.970025e-07,3.121363e-07,2.530932e-06,1.085306e-05,1.142152e-05,3.305598e-05,6.518949e-05,6.749622e-05,1.074962e-04,1.436788e-04,1.467095e-04,1.826104e-04,2.116343e-04,2.146682e-04,2.429886e-04,2.650274e-04,2.678352e-04,2.894968e-04,3.057923e-04,3.082534e-04,3.243673e-04,3.360393e-04,3.380819e-04,3.496209e-04,3.576034e-04,3.591889e-04,3.669760e-04,3.720418e-04,3.731577e-04,3.778951e-04,3.806830e-04,3.813357e-04,3.836143e-04,3.846451e-04,3.848540e-04,3.851669e-04,3.848622e-04,3.846551e-04,3.834112e-04,3.821101e-04,3.815198e-04,3.790572e-04,3.770312e-04,3.760932e-04,3.726906e-04,3.701556e-04,3.689064e-04,3.647924e-04,3.619192e-04,3.603951e-04,3.557567e-04,3.526793e-04,3.509152e-04,3.459050e-04,3.427276e-04,3.407570e-04,3.354988e-04,3.323015e-04,3.301554e-04,3.247492e-04,3.215927e-04,3.193001e-04,3.138260e-04,3.107557e-04,3.083429e-04,3.028650e-04,2.999136e-04,2.974048e-04,2.919735e-04,2.891639e-04,2.865808e-04,2.812354e-04,2.785829e-04,2.759449e-04,2.707159e-04,2.682294e-04,2.655539e-04,2.604640e-04,2.581480e-04,2.554503e-04,2.505163e-04,2.483713e-04,2.456649e-04,2.408986e-04,2.389226e-04,2.362192e-04,2.316284e-04,2.298172e-04,2.271272e-04,2.227165e-04,2.210642e-04,2.183966e-04,2.141678e-04,2.126678e-04,2.100301e-04,2.059832e-04,2.046279e-04,2.020267e-04,1.981600e-04,1.969414e-04,1.943822e-04,1.906926e-04,1.896027e-04,1.870900e-04,1.835735e-04,1.826042e-04,1.801419e-04,1.767937e-04,1.759368e-04,1.735279e-04,1.703430e-04,1.695904e-04,1.672375e-04,1.642101e-04,1.635544e-04,1.612592e-04,1.583834e-04,1.578172e-04,1.555812e-04,1.528511e-04,1.523672e-04,1.501915e-04,1.476010e-04,1.471928e-04,1.450779e-04,1.426208e-04,1.422820e-04,1.402283e-04,1.378988e-04,1.376234e-04,1.356308e-04,1.334229e-04,1.332054e-04,1.312737e-04,1.291817e-04,1.290167e-04,1.271455e-04,1.251638e-04,1.250466e-04,1.232352e-04,1.213584e-04,1.212844e-04,1.195320e-04,1.177549e-04,1.177199e-04,1.160257e-04,1.143432e-04,1.111450e-04,1.081161e-04,1.052479e-04,1.025320e-04,9.996064e-05,9.752619e-05,9.522149e-05,9.303969e-05,9.097431e-05,8.901917e-05,8.716842e-05,8.541650e-05,8.375814e-05,8.218834e-05,8.070236e-05,7.929571e-05,7.796415e-05,7.670365e-05,7.551039e-05,7.438077e-05,7.331138e-05,7.229898e-05,7.134052e-05,7.043310e-05,6.957399e-05,6.876060e-05,6.799048e-05,6.726131e-05,6.657090e-05,6.591719e-05,6.529820e-05,6.471210e-05,6.415712e-05,6.363160e-05,6.313399e-05,6.266279e-05,6.221661e-05,6.179411e-05,6.139405e-05,6.101524e-05,6.065654e-05,6.031692e-05,5.999535e-05,5.969088e-05,5.940263e-05,5.912973e-05,5.887139e-05,5.862685e-05,5.839537e-05
0.000000e+00,2.503195e-06,1.036341e-04,1.099617e-04,1.359944e-03,8.139169e-03,8.675205e-03,3.377198e-02,8.677525e-02,9.138705e-02,1.933920e-01,3.329671e-01,3.472975e-01,5.567825e-01,7.934162e-01,8.224830e-01,1.142704e+00,1.466908e+00,1.514019e+00,1.931765e+00,2.323988e+00,2.390448e+00,2.884073e+00,3.321161e+00,3.406404e+00,3.951174e+00,4.410317e+00,4.512245e+00,5.083730e+00,5.544677e+00,5.660084e+00,6.236161e+00,6.682270e+00,6.807262e+00,7.369150e+00,7.787690e+00,7.918062e+00,8.450703e+00,8.832697e+00,8.964236e+00,9.456262e+00,9.796075e+00,9.924798e+00,1.036825e+01,1.066306e+01,1.078538e+01,1.117527e+01,1.142453e+01,1.153733e+01,1.187122e+01,1.207609e+01,1.217683e+01,1.245427e+01,1.261719e+01,1.270386e+01,1.292603e+01,1.305027e+01,1.312139e+01,1.329064e+01,1.338000e+01,1.343460e+01,1.355414e+01,1.361266e+01,1.365022e+01,1.372381e+01,1.375559e+01,1.377596e+01,1.380770e+01,1.381673e+01,1.382010e+01,1.381422e+01,1.380429e+01,1.379112e+01,1.375186e+01,1.372649e+01,1.369747e+01,1.362897e+01,1.359136e+01,1.354734e+01,1.345354e+01,1.340657e+01,1.334852e+01,1.323317e+01,1.317937e+01,1.310836e+01,1.297492e+01,1.291650e+01,1.283365e+01,1.268532e+01,1.262417e+01,1.253064e+01,1.237032e+01,1.230806e+01,1.220501e+01,1.203533e+01,1.197330e+01,1.186188e+01,1.168520e+01,1.162449e+01,1.150582e+01,1.132424e+01,1.126575e+01,1.114092e+01,1.095629e+01,1.090071e+01,1.077076e+01,1.058470e+01,1.053257e+01,1.039848e+01,1.021243e+01,1.016412e+01,1.002684e+01,9.841996e+00,9.797776e+00,9.658170e+00,9.475599e+00,9.435625e+00,9.294507e+00,9.115098e+00,9.079435e+00,8.937560e+00,8.762064e+00,8.730704e+00,8.588765e+00,8.417805e+00,8.390677e+00,8.249311e+00,8.083398e+00,8.060382e+00,7.920168e+00,7.759713e+00,7.740648e+00,7.602112e+00,7.447438e+00,7.432134e+00,7.295750e+00,7.147102e+00,7.135343e+00,7.001538e+00,6.859094e+00,6.850647e+00,6.719801e+00,6.583681e+00,6.578303e+00,6.450752e+00,6.321025e+00,6.318463e+00,6.194506e+00,6.071197e+00,5.836498e+00,5.614297e+00,5.404469e+00,5.206847e+00,5.021224e+00,4.847362e+00,4.684997e+00,4.533845e+00,4.393605e+00,4.263960e+00,4.144586e+00,4.035149e+00,3.935307e+00,3.844717e+00,3.763031e+00,3.689897e+00,3.624964e+00,3.567878e+00,3.518287e+00,3.475837e+00,3.440175e+00,3.410950e+00,3.387812e+00,3.370411e+00,3.358403e+00,3.351442e+00,3.349188e+00,3.351302e+00,3.357452e+00,3.367307e+00,3.380545e+00,3.396847e+00,3.415901e+00,3.437405e+00,3.461060e+00,3.486581e+00,3.513689e+00,3.542117e+00,3.571606e+00,3.601911e+00,3.632799e+00,3.664047e+00,3.695448e+00,3.726804e+00,3.757934e+00,3.788670e+00,3.818856e+00,3.848351e+00,3.877027e+00
0.000000e+00,4.315337e-08,1.539396e-06,1.627579e-06,1.722559e-05,9.578705e-05,1.019660e-04,3.998057e-04,1.074954e-03,1.135702e-03,2.524080e-03,4.493831e-03,4.698278e-03,7.705408e-03,1.110868e-02,1.152570e-02,1.609313e-02,2.065528e-02,2.131242e-02,2.707193e-02,3.236699e-02,3.325335e-02,3.973855e-02,4.533789e-02,4.641440e-02,5.317599e-02,5.871763e-02,5.992852e-02,6.658842e-02,7.180083e-02,7.308362e-02,7.935347e-02,8.405512e-02,8.534819e-02,9.102821e-02,9.511565e-02,9.636331e-02,1.013316e-01,1.047633e-01,1.059188e-01,1.101169e-01,1.128971e-01,1.139236e-01,1.173413e-01,1.195055e-01,1.203763e-01,1.230383e-01,1.246414e-01,1.253393e-01,1.272935e-01,1.284008e-01,1.289164e-01,1.302249e-01,1.309054e-01,1.312364e-01,1.319686e-01,1.322902e-01,1.324394e-01,1.326667e-01,1.326935e-01,1.326680e-01,1.324604e-01,1.322507e-01,1.320603e-01,1.314838e-01,1.310895e-01,1.307459e-01,1.298613e-01,1.293275e-01,1.288437e-01,1.277061e-01,1.270711e-01,1.264606e-01,1.251188e-01,1.244152e-01,1.236915e-01,1.221888e-01,1.214434e-01,1.206199e-01,1.189936e-01,1.182284e-01,1.173180e-01,1.156006e-01,1.148335e-01,1.138483e-01,1.120677e-01,1.113128e-01,1.102645e-01,1.084443e-01,1.077126e-01,1.066121e-01,1.047724e-01,1.040723e-01,1.029296e-01,1.010874e-01,1.004250e-01,9.924937e-02,9.741882e-02,9.679866e-02,9.559864e-02,9.379150e-02,9.321637e-02,9.199982e-02,9.022580e-02,8.969734e-02,8.847141e-02,8.673843e-02,8.625725e-02,8.502845e-02,8.334289e-02,8.290881e-02,8.168303e-02,8.004997e-02,7.966214e-02,7.844471e-02,7.686810e-02,7.652516e-02,7.532088e-02,7.380369e-02,7.350390e-02,7.231707e-02,7.086147e-02,7.060278e-02,6.943724e-02,6.804469e-02,6.782483e-02,6.668402e-02,6.535538e-02,6.517193e-02,6.405887e-02,6.279452e-02,6.264496e-02,6.156232e-02,6.036221e-02,6.024396e-02,5.919409e-02,5.805780e-02,5.796827e-02,5.695319e-02,5.588004e-02,5.581664e-02,5.483811e-02,5.382713e-02,5.378733e-02,5.284683e-02,5.189688e-02,5.187819e-02,5.097696e-02,5.008672e-02,4.841015e-02,4.684549e-02,4.538955e-02,4.403900e-02,4.279039e-02,4.164017e-02,4.058472e-02,3.962037e-02,3.874340e-02,3.795007e-02,3.723661e-02,3.659925e-02,3.603422e-02,3.553776e-02,3.510613e-02,3.473559e-02,3.442248e-02,3.416312e-02,3.395392e-02,3.379133e-02,3.367185e-02,3.359206e-02,3.354863e-02,3.353829e-02,3.355789e-02,3.360434e-02,3.367470e-02,3.376611e-02,3.387585e-02,3.400131e-02,3.414001e-02,3.428961e-02,3.444790e-02,3.461281e-02,3.478241e-02,3.495491e-02,3.512866e-02,3.530215e-02,3.547401e-02,3.564299e-02,3.580799e-02,3.596803e-02,3.612225e-02,3.626992e-02,3.641041e-02,3.654322e-02,3.666793e-02,3.678422e-02,3.689188e-02
0.000000e+00,2.705035e-08,9.298316e-07,9.821896e-07,9.935547e-06,5.354002e-05,5.693912e-05,2.199839e-04,5.911824e-04,6.247411e-04,1.396010e-03,2.495770e-03,2.609969e-03,4.286851e-03,6.173752e-03,6.403994e-03,8.910768e-03,1.138639e-02,1.174063e-02,1.481997e-02,1.761091e-02,1.807435e-02,2.143265e-02,2.428602e-02,2.482968e-02,2.820769e-02,3.092841e-02,3.151708e-02,3.471643e-02,3.717397e-02,3.777232e-02,4.065874e-02,4.277989e-02,4.335643e-02,4.585210e-02,4.760858e-02,4.813770e-02,5.020961e-02,5.160518e-02,5.206792e-02,5.371577e-02,5.477497e-02,5.515876e-02,5.640436e-02,5.716355e-02,5.746147e-02,5.834001e-02,5.884080e-02,5.905056e-02,5.960409e-02,5.988880e-02,6.001170e-02,6.028443e-02,6.039322e-02,6.043313e-02,6.046830e-02,6.043753e-02,6.040003e-02,6.023793e-02,6.009943e-02,5.999109e-02,5.966807e-02,5.944898e-02,5.927685e-02,5.882489e-02,5.854784e-02,5.831906e-02,5.776574e-02,5.744927e-02,5.717077e-02,5.653954e-02,5.619861e-02,5.587696e-02,5.518751e-02,5.483401e-02,5.447530e-02,5.374404e-02,5.338727e-02,5.299710e-02,5.223754e-02,5.188468e-02,5.146814e-02,5.069138e-02,5.034787e-02,4.990954e-02,4.912464e-02,4.879452e-02,4.833852e-02,4.755282e-02,4.723900e-02,4.676902e-02,4.598845e-02,4.569293e-02,4.521229e-02,4.444160e-02,4.416567e-02,4.367733e-02,4.292031e-02,4.266472e-02,4.217130e-02,4.143097e-02,4.119599e-02,4.069988e-02,3.997856e-02,3.976414e-02,3.926746e-02,3.856696e-02,3.837277e-02,3.787742e-02,3.719911e-02,3.702462e-02,3.653229e-02,3.587717e-02,3.572170e-02,3.523391e-02,3.460265e-02,3.446540e-02,3.398352e-02,3.337658e-02,3.325666e-02,3.278189e-02,3.219950e-02,3.209598e-02,3.162941e-02,3.107164e-02,3.098353e-02,3.052614e-02,2.999289e-02,2.991922e-02,2.947185e-02,2.896295e-02,2.890269e-02,2.846611e-02,2.798125e-02,2.793342e-02,2.750829e-02,2.704711e-02,2.701072e-02,2.659761e-02,2.615967e-02,2.613376e-02,2.573318e-02,2.531800e-02,2.530163e-02,2.491400e-02,2.452105e-02,2.451330e-02,2.413900e-02,2.376772e-02,2.306373e-02,2.240017e-02,2.177582e-02,2.118945e-02,2.063981e-02,2.012562e-02,1.964561e-02,1.919851e-02,1.878302e-02,1.839786e-02,1.804177e-02,1.771348e-02,1.741171e-02,1.713523e-02,1.688281e-02,1.665321e-02,1.644523e-02,1.625770e-02,1.608943e-02,1.593929e-02,1.580615e-02,1.568891e-02,1.558651e-02,1.549791e-02,1.542208e-02,1.535805e-02,1.530486e-02,1.526161e-02,1.522740e-02,1.520140e-02,1.518279e-02,1.517079e-02,1.516468e-02,1.516376e-02,1.516737e-02,1.517489e-02,1.518573e-02,1.519935e-02,1.521525e-02,1.523295e-02,1.525202e-02,1.527207e-02,1.529272e-02,1.531365e-02,1.533457e-02,1.535519e-02,1.537529e-02,1.539466e-02,1.541311e-02
0.000000e+00,4.411596e-08,1.498340e-06,1.582133e-06,1.582356e-05,8.624072e-05,9.180270e-05,3.663929e-04,1.024437e-03,1.085447e-03,2.533085e-03,4.699974e-03,4.930119e-03,8.395697e-03,1.245240e-02,1.295708e-02,1.857154e-02,2.431140e-02,2.514740e-02,3.256134e-02,3.950007e-02,4.067196e-02,4.933010e-02,5.691668e-02,5.838643e-02,6.769700e-02,7.542649e-02,7.712702e-02,8.655334e-02,9.401732e-02,9.586591e-02,1.049684e-01,1.118690e-01,1.137784e-01,1.222269e-01,1.283710e-01,1.302577e-01,1.378266e-01,1.431103e-01,1.449004e-01,1.514555e-01,1.558456e-01,1.574775e-01,1.629592e-01,1.664747e-01,1.679006e-01,1.723069e-01,1.750026e-01,1.761883e-01,1.795590e-01,1.815122e-01,1.824362e-01,1.848396e-01,1.861390e-01,1.867907e-01,1.883125e-01,1.890508e-01,1.894288e-01,1.901639e-01,1.904321e-01,1.905421e-01,1.905878e-01,1.904714e-01,1.903249e-01,1.897768e-01,1.893538e-01,1.889661e-01,1.879148e-01,1.872544e-01,1.866437e-01,1.851729e-01,1.843355e-01,1.835215e-01,1.817074e-01,1.807447e-01,1.797477e-01,1.776583e-01,1.766139e-01,1.754544e-01,1.731499e-01,1.720596e-01,1.707579e-01,1.682906e-01,1.671841e-01,1.657595e-01,1.631749e-01,1.620759e-01,1.605467e-01,1.578839e-01,1.568110e-01,1.551947e-01,1.524868e-01,1.514544e-01,1.497673e-01,1.470425e-01,1.460614e-01,1.443183e-01,1.416002e-01,1.406783e-01,1.388930e-01,1.362012e-01,1.353438e-01,1.335289e-01,1.308798e-01,1.300901e-01,1.282571e-01,1.256639e-01,1.249435e-01,1.231029e-01,1.205763e-01,1.199253e-01,1.180864e-01,1.156351e-01,1.150527e-01,1.132240e-01,1.108546e-01,1.103390e-01,1.085281e-01,1.062456e-01,1.057945e-01,1.040082e-01,1.018164e-01,1.014268e-01,9.967106e-02,9.757259e-02,9.724122e-02,9.552141e-02,9.351781e-02,9.324111e-02,9.156197e-02,8.965400e-02,8.942826e-02,8.779393e-02,8.598169e-02,8.580309e-02,8.421717e-02,8.250018e-02,8.236487e-02,8.083048e-02,7.920778e-02,7.911190e-02,7.763174e-02,7.610198e-02,7.604174e-02,7.461808e-02,7.317959e-02,7.315128e-02,7.178602e-02,7.043688e-02,6.789447e-02,6.551967e-02,6.330778e-02,6.125391e-02,5.935300e-02,5.759985e-02,5.598918e-02,5.451561e-02,5.317374e-02,5.195811e-02,5.086327e-02,4.988373e-02,4.901402e-02,4.824868e-02,4.758226e-02,4.700936e-02,4.652458e-02,4.612260e-02,4.579813e-02,4.554595e-02,4.536092e-02,4.523797e-02,4.517213e-02,4.515854e-02,4.519243e-02,4.526918e-02,4.538431e-02,4.553347e-02,4.571246e-02,4.591728e-02,4.614408e-02,4.638920e-02,4.664917e-02,4.692072e-02,4.720077e-02,4.748645e-02,4.777511e-02,4.806426e-02,4.835168e-02,4.863531e-02,4.891330e-02,4.918400e-02,4.944596e-02,4.969791e-02,4.993876e-02,5.016759e-02,5.038365e-02,5.058634e-02,5.077523e-02
0.000000e+00,3.350386e-07,1.454963e-05,1.545530e-05,2.006415e-04,1.244414e-03,1.328275e-03,5.356798e-03,1.413512e-02,1.490644e-02,3.206987e-02,5.560299e-02,5.801467e-02,9.310561e-02,1.323215e-01,1.371063e-01,1.893583e-01,2.414261e-01,2.489248e-01,3.147028e-01,3.753374e-01,3.855077e-01,4.601373e-01,5.249216e-01,5.374179e-01,6.162376e-01,6.812940e-01,6.955682e-01,7.744787e-01,8.367461e-01,8.521434e-01,9.278434e-01,9.851278e-01,1.000966e+00,1.071002e+00,1.121905e+00,1.137535e+00,1.200243e+00,1.244038e+00,1.258883e+00,1.313284e+00,1.349769e+00,1.363345e+00,1.409019e+00,1.438381e+00,1.450310e+00,1.487264e+00,1.509958e+00,1.519966e+00,1.548526e+00,1.565174e+00,1.573083e+00,1.593792e+00,1.605105e+00,1.610824e+00,1.624359e+00,1.631078e+00,1.634588e+00,1.641702e+00,1.644557e+00,1.645897e+00,1.647366e+00,1.647044e+00,1.646301e+00,1.642890e+00,1.640024e+00,1.637317e+00,1.629758e+00,1.624910e+00,1.620383e+00,1.609356e+00,1.603021e+00,1.596833e+00,1.582960e+00,1.575562e+00,1.567878e+00,1.551719e+00,1.543616e+00,1.534605e+00,1.516653e+00,1.508144e+00,1.497972e+00,1.478662e+00,1.469991e+00,1.458817e+00,1.438525e+00,1.429889e+00,1.417866e+00,1.396915e+00,1.388468e+00,1.375739e+00,1.354403e+00,1.346265e+00,1.332964e+00,1.311475e+00,1.303736e+00,1.289984e+00,1.268535e+00,1.261260e+00,1.247169e+00,1.225921e+00,1.219152e+00,1.204825e+00,1.183910e+00,1.177675e+00,1.163202e+00,1.142726e+00,1.137037e+00,1.122502e+00,1.102550e+00,1.097409e+00,1.082886e+00,1.063525e+00,1.058924e+00,1.044479e+00,1.025760e+00,1.021686e+00,1.007377e+00,9.893378e-01,9.857720e-01,9.716500e-01,9.543187e-01,9.512373e-01,9.373483e-01,9.207423e-01,9.181193e-01,9.045031e-01,8.886323e-01,8.864399e-01,8.731309e-01,8.579989e-01,8.562079e-01,8.432360e-01,8.288410e-01,8.274217e-01,8.148123e-01,8.011480e-01,8.000705e-01,7.878454e-01,7.749018e-01,7.741365e-01,7.623137e-01,7.500776e-01,7.495955e-01,7.381897e-01,7.266458e-01,7.264184e-01,7.154415e-01,7.045722e-01,6.840207e-01,6.647249e-01,6.466443e-01,6.297363e-01,6.139576e-01,5.992641e-01,5.856110e-01,5.729535e-01,5.612466e-01,5.504458e-01,5.405066e-01,5.313853e-01,5.230385e-01,5.154238e-01,5.084995e-01,5.022249e-01,4.965602e-01,4.914668e-01,4.869071e-01,4.828447e-01,4.792446e-01,4.760728e-01,4.732969e-01,4.708856e-01,4.688091e-01,4.670387e-01,4.655474e-01,4.643094e-01,4.633003e-01,4.624970e-01,4.618779e-01,4.614225e-01,4.611118e-01,4.609279e-01,4.608544e-01,4.608757e-01,4.609779e-01,4.611477e-01,4.613732e-01,4.616434e-01,4.619485e-01,4.622795e-01,4.626282e-01,4.629874e-01,4.633507e-01,4.637124e-01,4.640675e-01,4.644117e-01,4.647414e-01
0.000000e+00,1.808940e-08,5.783214e-07,6.111913e-07,6.239652e-06,3.052237e-05,3.224101e-05,9.827286e-05,1.947861e-04,2.016774e-04,3.223534e-04,4.357047e-04,4.454535e-04,5.645795e-04,6.666345e-04,6.776492e-04,7.841771e-04,8.725245e-04,8.841867e-04,9.778513e-04,1.053491e-03,1.065385e-03,1.147015e-03,1.211193e-03,1.222975e-03,1.293503e-03,1.347443e-03,1.358828e-03,1.419178e-03,1.464029e-03,1.474780e-03,1.525855e-03,1.562691e-03,1.572620e-03,1.615286e-03,1.645096e-03,1.654056e-03,1.689126e-03,1.712807e-03,1.720685e-03,1.748916e-03,1.767280e-03,1.773993e-03,1.796084e-03,1.809857e-03,1.815349e-03,1.831941e-03,1.841773e-03,1.846009e-03,1.857692e-03,1.864163e-03,1.867126e-03,1.874439e-03,1.878064e-03,1.879754e-03,1.883189e-03,1.884424e-03,1.884855e-03,1.884860e-03,1.884108e-03,1.883306e-03,1.880289e-03,1.877906e-03,1.875903e-03,1.870237e-03,1.866535e-03,1.863373e-03,1.855394e-03,1.850648e-03,1.846375e-03,1.836389e-03,1.830837e-03,1.825505e-03,1.813789e-03,1.807639e-03,1.801304e-03,1.788108e-03,1.781539e-03,1.774260e-03,1.759813e-03,1.752979e-03,1.744816e-03,1.729320e-03,1.722355e-03,1.713370e-03,1.697009e-03,1.690024e-03,1.680278e-03,1.663217e-03,1.656309e-03,1.645864e-03,1.628251e-03,1.621498e-03,1.610414e-03,1.592383e-03,1.585850e-03,1.574188e-03,1.555857e-03,1.549598e-03,1.537416e-03,1.518890e-03,1.512947e-03,1.500302e-03,1.481675e-03,1.476083e-03,1.463029e-03,1.444384e-03,1.439166e-03,1.425758e-03,1.407168e-03,1.402343e-03,1.388630e-03,1.370160e-03,1.365739e-03,1.351771e-03,1.333476e-03,1.329465e-03,1.315288e-03,1.297218e-03,1.293619e-03,1.279277e-03,1.261474e-03,1.258285e-03,1.243820e-03,1.226321e-03,1.223536e-03,1.208986e-03,1.191821e-03,1.189433e-03,1.174835e-03,1.158032e-03,1.156028e-03,1.141417e-03,1.124997e-03,1.123365e-03,1.108774e-03,1.092754e-03,1.091482e-03,1.076940e-03,1.061335e-03,1.060405e-03,1.045942e-03,1.030762e-03,1.030160e-03,1.015799e-03,1.001054e-03,1.000762e-03,9.865287e-04,9.722236e-04,9.445536e-04,9.177552e-04,8.918291e-04,8.667723e-04,8.425796e-04,8.192430e-04,7.967528e-04,7.750971e-04,7.542628e-04,7.342353e-04,7.149989e-04,6.965369e-04,6.788321e-04,6.618663e-04,6.456212e-04,6.300778e-04,6.152170e-04,6.010196e-04,5.874663e-04,5.745376e-04,5.622143e-04,5.504773e-04,5.393075e-04,5.286860e-04,5.185945e-04,5.090146e-04,4.999282e-04,4.913179e-04,4.831663e-04,4.754566e-04,4.681722e-04,4.612969e-04,4.548151e-04,4.487115e-04,4.429710e-04,4.375793e-04,4.325221e-04,4.277858e-04,4.233571e-04,4.192231e-04,4.153712e-04,4.117895e-04,4.084661e-04,4.053898e-04,4.025494e-04,3.999345e-04,3.975347e-04,3.953402e-04,3.933414e-04
0.000000e+00,1.967579e-07,7.995934e-06,8.477526e-06,9.975762e-05,5.736448e-04,6.107944e-04,2.363408e-03,6.177202e-03,6.514380e-03,1.410191e-02,2.471748e-02,2.581670e-02,4.200681e-02,6.046749e-02,6.274309e-02,8.788593e-02,1.134270e-01,1.171425e-01,1.501137e-01,1.810844e-01,1.863317e-01,2.252900e-01,2.597507e-01,2.664665e-01,3.093418e-01,3.454132e-01,3.534124e-01,3.982006e-01,4.342478e-01,4.432617e-01,4.881882e-01,5.228996e-01,5.326126e-01,5.762084e-01,6.086097e-01,6.186898e-01,6.598108e-01,6.892411e-01,6.993639e-01,7.371772e-01,7.632468e-01,7.731127e-01,8.070632e-01,8.296039e-01,8.389494e-01,8.687178e-01,8.877340e-01,8.963375e-01,9.217974e-01,9.374205e-01,9.451043e-01,9.662802e-01,9.787301e-01,9.853600e-01,1.002390e+00,1.011943e+00,1.017425e+00,1.030528e+00,1.037490e+00,1.041767e+00,1.051216e+00,1.055906e+00,1.058951e+00,1.065052e+00,1.067785e+00,1.069600e+00,1.072675e+00,1.073752e+00,1.074359e+00,1.074732e+00,1.074435e+00,1.073875e+00,1.071865e+00,1.070452e+00,1.068779e+00,1.064690e+00,1.062392e+00,1.059670e+00,1.053789e+00,1.050813e+00,1.047113e+00,1.039707e+00,1.036232e+00,1.031630e+00,1.022943e+00,1.019125e+00,1.013700e+00,1.003953e+00,9.999256e-01,9.937548e-01,9.831509e-01,9.790247e-01,9.721868e-01,9.609048e-01,9.567732e-01,9.493448e-01,9.375444e-01,9.334838e-01,9.255388e-01,9.133611e-01,9.094330e-01,9.010423e-01,8.886113e-01,8.848642e-01,8.760951e-01,8.635191e-01,8.599903e-01,8.509066e-01,8.382796e-01,8.349967e-01,8.256582e-01,8.130613e-01,8.100436e-01,8.005062e-01,7.880091e-01,7.852690e-01,7.755846e-01,7.632465e-01,7.607903e-01,7.510072e-01,7.388781e-01,7.367075e-01,7.268699e-01,7.149920e-01,7.131042e-01,7.032530e-01,6.916610e-01,6.900502e-01,6.802229e-01,6.689452e-01,6.676030e-01,6.578336e-01,6.468931e-01,6.458087e-01,6.361284e-01,6.255432e-01,6.247042e-01,6.151411e-01,6.049251e-01,6.043181e-01,5.948977e-01,5.850610e-01,5.846716e-01,5.754168e-01,5.659665e-01,5.657794e-01,5.567110e-01,5.476512e-01,5.302913e-01,5.137004e-01,4.978753e-01,4.828101e-01,4.684962e-01,4.549226e-01,4.420767e-01,4.299442e-01,4.185092e-01,4.077552e-01,3.976641e-01,3.882175e-01,3.793961e-01,3.711802e-01,3.635494e-01,3.564832e-01,3.499606e-01,3.439608e-01,3.384624e-01,3.334441e-01,3.288848e-01,3.247630e-01,3.210576e-01,3.177476e-01,3.148119e-01,3.122300e-01,3.099814e-01,3.080459e-01,3.064037e-01,3.050354e-01,3.039219e-01,3.030446e-01,3.023855e-01,3.019268e-01,3.016516e-01,3.015432e-01,3.015859e-01,3.017643e-01,3.020636e-01,3.024700e-01,3.029699e-01,3.035508e-01,3.042007e-01,3.049081e-01,3.056624e-01,3.064537e-01,3.072728e-01,3.081110e-01,3.089603e-01
0.000000e+00,1.005641e-07,3.407238e-06,3.597558e-06,3.602523e-05,1.985101e-04,2.114373e-04,8.556531e-04,2.406212e-03,2.549695e-03,5.937790e-03,1.097243e-02,1.150572e-02,1.952205e-02,2.890007e-02,3.006762e-02,4.308156e-02,5.644960e-02,5.840294e-02,7.580445e-02,9.223007e-02,9.501852e-02,1.157571e-01,1.341408e-01,1.377267e-01,1.606384e-01,1.799351e-01,1.842165e-01,2.082027e-01,2.275254e-01,2.323599e-01,2.564737e-01,2.751290e-01,2.803536e-01,3.038322e-01,3.213179e-01,3.267651e-01,3.490294e-01,3.650136e-01,3.705226e-01,3.911610e-01,4.054531e-01,4.108777e-01,4.296216e-01,4.421429e-01,4.473551e-01,4.640531e-01,4.748085e-01,4.797011e-01,4.942939e-01,5.033483e-01,5.078346e-01,5.203329e-01,5.277919e-01,5.318046e-01,5.422700e-01,5.482639e-01,5.517538e-01,5.602836e-01,5.649561e-01,5.678898e-01,5.746045e-01,5.781037e-01,5.804614e-01,5.854952e-01,5.879677e-01,5.897412e-01,5.932350e-01,5.948214e-01,5.960122e-01,5.981082e-01,5.989406e-01,5.995580e-01,6.003960e-01,6.005961e-01,6.006559e-01,6.003706e-01,6.000494e-01,5.995722e-01,5.982917e-01,5.975492e-01,5.965593e-01,5.944042e-01,5.933292e-01,5.918543e-01,5.889366e-01,5.876078e-01,5.856772e-01,5.821009e-01,5.805870e-01,5.782316e-01,5.740923e-01,5.724531e-01,5.697046e-01,5.650897e-01,5.633765e-01,5.602673e-01,5.552565e-01,5.535132e-01,5.500754e-01,5.447413e-01,5.430047e-01,5.392704e-01,5.336784e-01,5.319794e-01,5.279800e-01,5.221893e-01,5.205531e-01,5.163195e-01,5.103833e-01,5.088305e-01,5.043925e-01,4.983585e-01,4.969051e-01,4.922918e-01,4.862024e-01,4.848607e-01,4.800999e-01,4.739931e-01,4.727720e-01,4.678904e-01,4.617997e-01,4.607052e-01,4.557283e-01,4.496832e-01,4.487189e-01,4.436709e-01,4.376974e-01,4.368645e-01,4.317684e-01,4.258891e-01,4.251872e-01,4.200645e-01,4.142990e-01,4.137259e-01,4.085969e-01,4.029621e-01,4.025144e-01,3.973982e-01,3.919084e-01,3.915814e-01,3.864957e-01,3.811629e-01,3.809513e-01,3.759125e-01,3.707467e-01,3.706443e-01,3.656676e-01,3.606768e-01,3.510622e-01,3.418104e-01,3.329289e-01,3.244225e-01,3.162941e-01,3.085443e-01,3.011719e-01,2.941742e-01,2.875470e-01,2.812849e-01,2.753814e-01,2.698287e-01,2.646187e-01,2.597421e-01,2.551890e-01,2.509492e-01,2.470119e-01,2.433658e-01,2.399996e-01,2.369016e-01,2.340600e-01,2.314628e-01,2.290981e-01,2.269541e-01,2.250188e-01,2.232805e-01,2.217277e-01,2.203489e-01,2.191331e-01,2.180691e-01,2.171465e-01,2.163549e-01,2.156844e-01,2.151251e-01,2.146679e-01,2.143038e-01,2.140243e-01,2.138212e-01,2.136867e-01,2.136135e-01,2.135946e-01,2.136235e-01,2.136939e-01,2.138001e-01,2.139367e-01,2.140986e-01,2.142812e-01,2.144802e-01,2.146917e-01
0.000000e+00,2.477072e-08,5.598573e-07,5.868906e-07,4.139368e-06,1.604543e-05,1.683582e-05,4.693424e-05,9.517578e-05,9.888194e-05,1.690808e-04,2.418407e-04,2.482808e-04,3.278063e-04,3.955975e-04,4.028313e-04,4.715889e-04,5.266479e-04,5.337668e-04,5.895829e-04,6.327835e-04,6.394152e-04,6.836781e-04,7.168556e-04,7.227819e-04,7.571198e-04,7.819822e-04,7.870638e-04,8.129637e-04,8.309924e-04,8.351466e-04,8.539178e-04,8.663745e-04,8.695615e-04,8.823420e-04,8.902917e-04,8.925043e-04,9.002759e-04,9.046120e-04,9.058672e-04,9.094732e-04,9.109421e-04,9.112744e-04,9.114374e-04,9.106598e-04,9.101163e-04,9.074536e-04,9.049440e-04,9.035805e-04,8.986185e-04,8.948017e-04,8.926793e-04,8.858661e-04,8.810911e-04,8.782738e-04,8.699899e-04,8.645421e-04,8.610948e-04,8.516627e-04,8.457741e-04,8.417615e-04,8.314538e-04,8.253119e-04,8.207970e-04,8.098438e-04,8.035986e-04,7.986423e-04,7.872366e-04,7.810070e-04,7.756671e-04,7.639707e-04,7.578497e-04,7.521810e-04,7.403287e-04,7.343878e-04,7.284416e-04,7.165451e-04,7.108382e-04,7.046621e-04,6.928135e-04,6.873799e-04,6.810181e-04,6.692927e-04,6.641598e-04,6.576527e-04,6.461117e-04,6.412969e-04,6.346818e-04,6.233740e-04,6.188872e-04,6.121978e-04,6.011619e-04,5.970065e-04,5.902735e-04,5.795393e-04,5.757138e-04,5.689648e-04,5.585549e-04,5.550538e-04,5.483137e-04,5.382445e-04,5.350591e-04,5.283501e-04,5.186328e-04,5.157524e-04,5.090942e-04,4.997357e-04,4.971476e-04,4.905578e-04,4.815612e-04,4.792517e-04,4.727457e-04,4.641112e-04,4.620658e-04,4.556571e-04,4.473825e-04,4.455861e-04,4.392864e-04,4.313674e-04,4.298048e-04,4.236242e-04,4.160550e-04,4.147109e-04,4.086582e-04,4.014316e-04,4.002911e-04,3.943734e-04,3.874813e-04,3.865295e-04,3.807531e-04,3.741864e-04,3.734092e-04,3.677790e-04,3.615282e-04,3.609116e-04,3.554317e-04,3.494868e-04,3.490177e-04,3.436911e-04,3.380420e-04,3.377076e-04,3.325367e-04,3.271728e-04,3.269612e-04,3.219476e-04,3.168584e-04,3.167580e-04,3.119027e-04,3.070778e-04,2.979004e-04,2.892058e-04,2.809744e-04,2.731868e-04,2.658244e-04,2.588687e-04,2.523019e-04,2.461068e-04,2.402665e-04,2.347650e-04,2.295866e-04,2.247164e-04,2.201398e-04,2.158429e-04,2.118124e-04,2.080354e-04,2.044996e-04,2.011932e-04,1.981049e-04,1.952239e-04,1.925397e-04,1.900425e-04,1.877227e-04,1.855714e-04,1.835797e-04,1.817395e-04,1.800428e-04,1.784820e-04,1.770499e-04,1.757396e-04,1.745445e-04,1.734584e-04,1.724752e-04,1.715893e-04,1.707951e-04,1.700875e-04,1.694615e-04,1.689125e-04,1.684357e-04,1.680271e-04,1.676824e-04,1.673979e-04,1.671697e-04,1.669944e-04,1.668686e-04,1.667891e-04,1.667529e-04,1.667570e-04,1.667987e-04
0.000000e+00,6.883460e-08,2.250675e-06,2.374354e-06,2.272002e-05,1.200408e-04,1.276475e-04,4.973424e-04,1.358207e-03,1.436801e-03,3.263222e-03,5.910178e-03,6.187112e-03,1.028839e-02,1.496780e-02,1.554285e-02,2.185555e-02,2.817727e-02,2.908867e-02,3.708243e-02,4.443807e-02,4.566984e-02,5.468689e-02,6.247979e-02,6.397902e-02,7.340519e-02,8.114615e-02,8.283994e-02,9.217423e-02,9.950647e-02,1.013153e-01,1.101860e-01,1.168767e-01,1.187237e-01,1.268789e-01,1.327975e-01,1.346140e-01,1.419018e-01,1.469958e-01,1.487241e-01,1.550703e-01,1.593425e-01,1.609367e-01,1.663247e-01,1.698147e-01,1.712403e-01,1.756932e-01,1.784632e-01,1.796959e-01,1.832632e-01,1.853869e-01,1.864113e-01,1.891579e-01,1.907135e-01,1.915214e-01,1.935206e-01,1.945855e-01,1.951745e-01,1.965022e-01,1.971500e-01,1.975224e-01,1.982535e-01,1.985523e-01,1.987137e-01,1.989203e-01,1.989317e-01,1.988904e-01,1.986400e-01,1.984187e-01,1.981849e-01,1.975400e-01,1.971343e-01,1.967194e-01,1.957369e-01,1.951890e-01,1.946053e-01,1.933369e-01,1.926829e-01,1.919433e-01,1.904356e-01,1.897067e-01,1.888242e-01,1.871190e-01,1.863413e-01,1.853292e-01,1.834636e-01,1.826595e-01,1.815306e-01,1.795379e-01,1.787257e-01,1.774928e-01,1.754023e-01,1.745974e-01,1.732729e-01,1.711106e-01,1.703252e-01,1.689211e-01,1.667098e-01,1.659539e-01,1.644818e-01,1.622416e-01,1.615230e-01,1.599938e-01,1.577423e-01,1.570667e-01,1.554910e-01,1.532435e-01,1.526153e-01,1.510030e-01,1.487727e-01,1.481948e-01,1.465554e-01,1.443536e-01,1.438278e-01,1.421700e-01,1.400067e-01,1.395337e-01,1.378657e-01,1.357491e-01,1.353288e-01,1.336585e-01,1.315955e-01,1.312272e-01,1.295616e-01,1.275582e-01,1.272405e-01,1.255863e-01,1.236471e-01,1.233783e-01,1.217415e-01,1.198705e-01,1.196483e-01,1.180346e-01,1.162346e-01,1.160566e-01,1.144710e-01,1.127444e-01,1.126079e-01,1.110551e-01,1.094035e-01,1.093056e-01,1.077898e-01,1.062141e-01,1.061519e-01,1.046767e-01,1.031776e-01,1.031480e-01,1.017168e-01,1.002942e-01,9.759012e-02,9.503444e-02,9.262540e-02,9.036064e-02,8.823734e-02,8.625225e-02,8.440178e-02,8.268203e-02,8.108884e-02,7.961780e-02,7.826435e-02,7.702375e-02,7.589117e-02,7.486168e-02,7.393030e-02,7.309202e-02,7.234182e-02,7.167469e-02,7.108564e-02,7.056977e-02,7.012222e-02,6.973823e-02,6.941314e-02,6.914243e-02,6.892167e-02,6.874660e-02,6.861310e-02,6.851722e-02,6.845517e-02,6.842332e-02,6.841824e-02,6.843668e-02,6.847555e-02,6.853198e-02,6.860324e-02,6.868682e-02,6.878039e-02,6.888178e-02,6.898900e-02,6.910026e-02,6.921389e-02,6.932841e-02,6.944250e-02,6.955496e-02,6.966476e-02,6.977098e-02,6.987286e-02,6.996971e-02,7.006100e-02
0.000000e+00,1.064778e-08,4.698965e-07,4.989957e-07,6.182991e-06,3.576350e-05,3.806560e-05,1.444871e-04,3.667353e-04,3.859508e-04,8.055366e-04,1.363119e-03,1.419348e-03,2.221755e-03,3.088855e-03,3.192783e-03,4.304191e-03,5.372938e-03,5.523938e-03,6.819288e-03,7.969771e-03,8.158870e-03,9.513967e-03,1.064560e-02,1.085924e-02,1.217307e-02,1.321429e-02,1.343757e-02,1.463850e-02,1.554604e-02,1.576496e-02,1.680909e-02,1.756294e-02,1.776572e-02,1.863198e-02,1.922929e-02,1.940697e-02,2.009141e-02,2.054073e-02,2.068730e-02,2.119769e-02,2.151435e-02,2.162641e-02,2.197784e-02,2.218040e-02,2.225676e-02,2.246816e-02,2.257596e-02,2.261716e-02,2.270885e-02,2.274043e-02,2.274828e-02,2.274030e-02,2.271249e-02,2.268960e-02,2.260063e-02,2.252809e-02,2.247757e-02,2.232433e-02,2.221943e-02,2.214456e-02,2.194160e-02,2.181449e-02,2.171855e-02,2.147822e-02,2.133705e-02,2.122317e-02,2.095573e-02,2.080690e-02,2.067797e-02,2.039179e-02,2.024021e-02,2.009887e-02,1.980070e-02,1.965008e-02,1.949863e-02,1.919383e-02,1.904687e-02,1.888735e-02,1.858012e-02,1.843876e-02,1.827293e-02,1.796649e-02,1.783206e-02,1.766143e-02,1.735827e-02,1.723163e-02,1.705750e-02,1.675950e-02,1.664116e-02,1.646463e-02,1.617318e-02,1.606337e-02,1.588539e-02,1.560150e-02,1.550028e-02,1.532167e-02,1.504605e-02,1.495332e-02,1.477476e-02,1.450792e-02,1.442347e-02,1.424558e-02,1.398783e-02,1.391140e-02,1.373470e-02,1.348623e-02,1.341749e-02,1.324244e-02,1.300335e-02,1.294195e-02,1.276895e-02,1.253925e-02,1.248481e-02,1.231422e-02,1.209385e-02,1.204600e-02,1.187812e-02,1.166701e-02,1.162533e-02,1.146046e-02,1.125847e-02,1.122258e-02,1.106097e-02,1.086793e-02,1.083746e-02,1.067931e-02,1.049507e-02,1.046962e-02,1.031514e-02,1.013948e-02,1.011869e-02,9.968045e-03,9.800776e-03,9.784276e-03,9.637619e-03,9.478519e-03,9.465965e-03,9.323421e-03,9.172268e-03,9.163323e-03,9.025002e-03,8.881566e-03,8.875908e-03,8.741902e-03,8.605950e-03,8.603268e-03,8.473652e-03,8.344950e-03,8.100494e-03,7.869443e-03,7.651339e-03,7.445728e-03,7.252160e-03,7.070189e-03,6.899377e-03,6.739291e-03,6.589507e-03,6.449608e-03,6.319185e-03,6.197840e-03,6.085181e-03,5.980827e-03,5.884406e-03,5.795555e-03,5.713921e-03,5.639158e-03,5.570932e-03,5.508917e-03,5.452796e-03,5.402261e-03,5.357013e-03,5.316761e-03,5.281224e-03,5.250128e-03,5.223210e-03,5.200212e-03,5.180887e-03,5.164996e-03,5.152305e-03,5.142593e-03,5.135642e-03,5.131246e-03,5.129205e-03,5.129327e-03,5.131426e-03,5.135328e-03,5.140862e-03,5.147866e-03,5.156188e-03,5.165679e-03,5.176200e-03,5.187620e-03,5.199811e-03,5.212657e-03,5.226044e-03,5.239870e-03,5.254034e-03
0.000000e+00,3.979724e-08,1.758748e-06,1.867522e-06,2.285807e-05,1.286284e-04,1.367100e-04,4.981016e-04,1.217960e-03,1.279091e-03,2.593923e-03,4.315121e-03,4.488069e-03,6.954338e-03,9.628378e-03,9.950056e-03,1.341066e-02,1.678004e-02,1.725978e-02,2.141646e-02,2.517571e-02,2.580019e-02,3.033428e-02,3.420719e-02,3.494804e-02,3.957802e-02,4.334741e-02,4.416855e-02,4.867187e-02,5.218456e-02,5.304791e-02,5.726386e-02,6.042413e-02,6.129358e-02,6.511696e-02,6.787550e-02,6.871929e-02,7.209054e-02,7.443286e-02,7.522475e-02,7.811942e-02,8.005539e-02,8.077497e-02,8.319419e-02,8.474954e-02,8.538188e-02,8.734437e-02,8.855404e-02,8.908920e-02,9.062483e-02,9.152816e-02,9.196038e-02,9.310538e-02,9.374271e-02,9.406965e-02,9.486312e-02,9.527363e-02,9.549566e-02,9.597707e-02,9.619737e-02,9.631693e-02,9.652455e-02,9.658795e-02,9.660896e-02,9.657885e-02,9.651509e-02,9.644255e-02,9.620800e-02,9.604317e-02,9.588278e-02,9.547408e-02,9.523085e-02,9.498872e-02,9.443314e-02,9.413092e-02,9.381340e-02,9.313523e-02,9.279056e-02,9.240403e-02,9.162484e-02,9.125163e-02,9.080244e-02,8.994126e-02,8.955114e-02,8.904548e-02,8.811901e-02,8.772163e-02,8.716550e-02,8.618835e-02,8.579159e-02,8.519075e-02,8.417568e-02,8.378595e-02,8.314590e-02,8.210399e-02,8.172640e-02,8.105236e-02,7.999323e-02,7.963180e-02,7.892869e-02,7.786066e-02,7.751845e-02,7.679093e-02,7.572115e-02,7.540044e-02,7.465286e-02,7.358748e-02,7.328988e-02,7.252632e-02,7.147058e-02,7.119712e-02,7.042138e-02,6.937975e-02,6.913099e-02,6.834662e-02,6.732285e-02,6.709895e-02,6.630923e-02,6.530648e-02,6.510729e-02,6.431525e-02,6.333614e-02,6.316122e-02,6.236967e-02,6.141635e-02,6.126507e-02,6.047659e-02,5.955079e-02,5.942232e-02,5.863930e-02,5.774240e-02,5.763577e-02,5.686038e-02,5.599345e-02,5.590760e-02,5.514182e-02,5.430566e-02,5.423944e-02,5.348509e-02,5.268024e-02,5.263245e-02,5.189118e-02,5.111798e-02,5.108738e-02,5.036068e-02,4.961930e-02,4.960463e-02,4.889383e-02,4.818427e-02,4.682612e-02,4.552974e-02,4.429452e-02,4.311964e-02,4.200415e-02,4.094697e-02,3.994690e-02,3.900264e-02,3.811281e-02,3.727598e-02,3.649062e-02,3.575520e-02,3.506810e-02,3.442771e-02,3.383235e-02,3.328035e-02,3.277003e-02,3.229967e-02,3.186757e-02,3.147202e-02,3.111132e-02,3.078378e-02,3.048770e-02,3.022142e-02,2.998330e-02,2.977171e-02,2.958506e-02,2.942178e-02,2.928034e-02,2.915923e-02,2.905700e-02,2.897222e-02,2.890354e-02,2.884961e-02,2.880916e-02,2.878094e-02,2.876379e-02,2.875656e-02,2.875819e-02,2.876764e-02,2.878395e-02,2.880619e-02,2.883352e-02,2.886510e-02,2.890020e-02,2.893810e-02,2.897815e-02,2.901976e-02,2.906236e-02
0.000000e+00,9.823138e-09,4.193643e-07,4.452577e-07,5.535153e-06,3.197617e-05,3.401524e-05,1.251254e-04,3.016532e-04,3.163093e-04,6.206034e-04,9.933877e-04,1.029528e-03,1.523497e-03,2.021716e-03,2.079448e-03,2.675124e-03,3.216659e-03,3.291085e-03,3.911390e-03,4.438734e-03,4.523571e-03,5.118269e-03,5.599315e-03,5.688754e-03,6.230427e-03,6.651012e-03,6.740374e-03,7.216977e-03,7.573795e-03,7.659595e-03,8.068310e-03,8.363944e-03,8.443723e-03,8.786800e-03,9.026652e-03,9.098754e-03,9.380954e-03,9.571482e-03,9.634858e-03,9.861963e-03,1.000973e-02,1.006377e-02,1.024177e-02,1.035298e-02,1.039740e-02,1.053206e-02,1.061233e-02,1.064709e-02,1.074376e-02,1.079810e-02,1.082329e-02,1.088683e-02,1.091962e-02,1.093548e-02,1.097025e-02,1.098527e-02,1.099213e-02,1.100201e-02,1.100255e-02,1.100078e-02,1.098922e-02,1.097810e-02,1.096811e-02,1.093817e-02,1.091779e-02,1.090005e-02,1.085441e-02,1.082684e-02,1.080182e-02,1.074286e-02,1.070985e-02,1.067804e-02,1.060786e-02,1.057090e-02,1.053277e-02,1.045322e-02,1.041357e-02,1.036961e-02,1.028233e-02,1.024104e-02,1.019172e-02,1.009814e-02,1.005610e-02,1.000188e-02,9.903261e-03,9.861199e-03,9.802543e-03,9.699991e-03,9.658511e-03,9.595846e-03,9.490335e-03,9.449928e-03,9.383671e-03,9.276051e-03,9.237110e-03,9.167661e-03,9.058673e-03,9.021510e-03,8.949248e-03,8.839537e-03,8.804392e-03,8.729678e-03,8.619803e-03,8.586855e-03,8.510031e-03,8.400475e-03,8.369852e-03,8.291239e-03,8.182418e-03,8.154204e-03,8.074102e-03,7.966373e-03,7.940614e-03,7.859308e-03,7.752974e-03,7.729686e-03,7.647438e-03,7.542757e-03,7.521929e-03,7.438986e-03,7.336174e-03,7.317773e-03,7.234364e-03,7.133599e-03,7.117576e-03,7.033915e-03,6.935344e-03,6.921635e-03,6.837917e-03,6.741660e-03,6.730189e-03,6.646596e-03,6.552746e-03,6.543429e-03,6.460128e-03,6.368758e-03,6.361503e-03,6.278648e-03,6.189810e-03,6.184521e-03,6.102254e-03,6.015985e-03,6.012561e-03,5.931010e-03,5.847332e-03,5.845672e-03,5.764954e-03,5.683877e-03,5.527179e-03,5.375560e-03,5.228987e-03,5.087415e-03,4.950784e-03,4.819027e-03,4.692066e-03,4.569819e-03,4.452196e-03,4.339102e-03,4.230439e-03,4.126107e-03,4.026003e-03,3.930023e-03,3.838062e-03,3.750013e-03,3.665772e-03,3.585232e-03,3.508290e-03,3.434841e-03,3.364782e-03,3.298012e-03,3.234430e-03,3.173938e-03,3.116439e-03,3.061837e-03,3.010039e-03,2.960954e-03,2.914490e-03,2.870560e-03,2.829078e-03,2.789960e-03,2.753122e-03,2.718484e-03,2.685966e-03,2.655493e-03,2.626988e-03,2.600378e-03,2.575591e-03,2.552557e-03,2.531207e-03,2.511473e-03,2.493292e-03,2.476598e-03,2.461330e-03,2.447427e-03,2.434829e-03,2.423479e-03,2.413320e-03
0.000000e+00,8.086527e-08,3.090494e-06,3.271829e-06,3.605202e-05,1.994455e-04,2.121397e-04,8.109562e-04,2.135486e-03,2.253882e-03,4.953401e-03,8.795785e-03,9.196254e-03,1.512800e-02,2.193688e-02,2.277815e-02,3.208936e-02,4.156369e-02,4.294244e-02,5.517658e-02,6.666075e-02,6.860530e-02,8.302883e-02,9.576434e-02,9.824352e-02,1.140490e-01,1.273152e-01,1.302531e-01,1.466758e-01,1.598594e-01,1.631513e-01,1.795295e-01,1.921503e-01,1.956767e-01,2.114755e-01,2.231867e-01,2.268247e-01,2.416385e-01,2.522136e-01,2.558457e-01,2.693885e-01,2.787021e-01,2.822217e-01,2.943112e-01,3.023182e-01,3.056331e-01,3.161725e-01,3.228887e-01,3.259227e-01,3.348836e-01,3.403681e-01,3.430612e-01,3.504666e-01,3.548079e-01,3.571154e-01,3.630265e-01,3.663303e-01,3.682217e-01,3.727254e-01,3.751064e-01,3.765635e-01,3.797633e-01,3.813380e-01,3.823533e-01,3.843622e-01,3.852442e-01,3.858192e-01,3.867535e-01,3.870509e-01,3.871941e-01,3.871696e-01,3.869825e-01,3.867082e-01,3.858374e-01,3.852569e-01,3.845840e-01,3.829738e-01,3.820817e-01,3.810321e-01,3.787829e-01,3.776514e-01,3.762495e-01,3.734542e-01,3.721468e-01,3.704183e-01,3.671622e-01,3.657337e-01,3.637053e-01,3.600661e-01,3.585633e-01,3.562621e-01,3.523099e-01,3.507725e-01,3.482253e-01,3.440232e-01,3.424844e-01,3.397177e-01,3.353221e-01,3.338093e-01,3.308488e-01,3.263096e-01,3.248450e-01,3.217157e-01,3.170772e-01,3.156785e-01,3.124041e-01,3.077053e-01,3.063862e-01,3.029894e-01,2.982643e-01,2.970352e-01,2.935375e-01,2.888157e-01,2.876840e-01,2.841055e-01,2.794128e-01,2.783833e-01,2.747430e-01,2.701013e-01,2.691768e-01,2.654924e-01,2.609206e-01,2.601019e-01,2.563899e-01,2.519039e-01,2.511906e-01,2.474661e-01,2.430793e-01,2.424694e-01,2.387465e-01,2.344700e-01,2.339608e-01,2.302523e-01,2.260953e-01,2.256830e-01,2.220008e-01,2.179704e-01,2.176508e-01,2.140057e-01,2.101078e-01,2.098761e-01,2.062778e-01,2.025167e-01,2.023677e-01,1.988252e-01,1.952040e-01,1.951323e-01,1.916536e-01,1.881744e-01,1.814967e-01,1.751004e-01,1.689852e-01,1.631498e-01,1.575917e-01,1.523076e-01,1.472935e-01,1.425449e-01,1.380564e-01,1.338226e-01,1.298374e-01,1.260944e-01,1.225873e-01,1.193090e-01,1.162528e-01,1.134115e-01,1.107779e-01,1.083446e-01,1.061044e-01,1.040497e-01,1.021732e-01,1.004674e-01,9.892474e-02,9.753783e-02,9.629921e-02,9.520147e-02,9.423727e-02,9.339930e-02,9.268034e-02,9.207325e-02,9.157098e-02,9.116662e-02,9.085334e-02,9.062448e-02,9.047349e-02,9.039402e-02,9.037987e-02,9.042501e-02,9.052361e-02,9.067007e-02,9.085896e-02,9.108509e-02,9.134349e-02,9.162943e-02,9.193841e-02,9.226619e-02,9.260874e-02,9.296231e-02,9.332339e-02
0.000000e+00,2.015596e-08,5.546729e-07,5.844401e-07,5.299466e-06,2.456056e-05,2.591568e-05,7.891139e-05,1.595711e-04,1.654145e-04,2.681770e-04,3.641849e-04,3.723869e-04,4.717467e-04,5.555007e-04,5.644610e-04,6.502915e-04,7.202895e-04,7.294456e-04,8.022401e-04,8.600113e-04,8.690084e-04,9.300783e-04,9.772051e-04,9.857662e-04,1.036377e-03,1.074295e-03,1.082204e-03,1.123530e-03,1.153531e-03,1.160624e-03,1.193747e-03,1.216985e-03,1.223146e-03,1.249057e-03,1.266555e-03,1.271705e-03,1.291305e-03,1.303965e-03,1.308058e-03,1.322156e-03,1.330763e-03,1.333778e-03,1.343097e-03,1.348337e-03,1.350275e-03,1.355464e-03,1.357931e-03,1.358811e-03,1.360454e-03,1.360668e-03,1.360522e-03,1.359135e-03,1.357536e-03,1.356406e-03,1.352440e-03,1.349404e-03,1.347338e-03,1.341192e-03,1.337042e-03,1.334092e-03,1.326120e-03,1.321127e-03,1.317353e-03,1.307863e-03,1.302259e-03,1.297719e-03,1.286983e-03,1.280961e-03,1.275716e-03,1.263972e-03,1.257695e-03,1.251805e-03,1.239263e-03,1.232865e-03,1.226390e-03,1.213230e-03,1.206822e-03,1.199821e-03,1.186202e-03,1.179875e-03,1.172405e-03,1.158463e-03,1.152290e-03,1.144405e-03,1.130259e-03,1.124298e-03,1.116050e-03,1.101803e-03,1.096098e-03,1.087538e-03,1.073277e-03,1.067862e-03,1.059037e-03,1.044837e-03,1.039737e-03,1.030691e-03,1.016616e-03,1.011848e-03,1.002623e-03,9.887254e-04,9.843002e-04,9.749344e-04,9.612600e-04,9.571819e-04,9.477116e-04,9.342976e-04,9.305668e-04,9.210255e-04,9.079022e-04,9.045153e-04,8.949338e-04,8.821258e-04,8.790763e-04,8.694830e-04,8.570096e-04,8.542886e-04,8.447093e-04,8.325854e-04,8.301820e-04,8.206406e-04,8.088770e-04,8.067790e-04,7.972968e-04,7.859012e-04,7.840951e-04,7.746915e-04,7.636684e-04,7.621402e-04,7.528326e-04,7.421842e-04,7.409190e-04,7.317232e-04,7.214492e-04,7.204321e-04,7.113620e-04,7.014606e-04,7.006765e-04,6.917443e-04,6.822120e-04,6.816459e-04,6.728625e-04,6.636944e-04,6.633314e-04,6.547062e-04,6.458963e-04,6.457219e-04,6.372631e-04,6.288046e-04,6.125650e-04,5.969874e-04,5.820552e-04,5.677511e-04,5.540571e-04,5.409549e-04,5.284259e-04,5.164516e-04,5.050131e-04,4.940919e-04,4.836695e-04,4.737276e-04,4.642484e-04,4.552142e-04,4.466076e-04,4.384119e-04,4.306105e-04,4.231875e-04,4.161273e-04,4.094147e-04,4.030350e-04,3.969742e-04,3.912185e-04,3.857546e-04,3.805697e-04,3.756515e-04,3.709882e-04,3.665683e-04,3.623807e-04,3.584150e-04,3.546609e-04,3.511087e-04,3.477489e-04,3.445727e-04,3.415714e-04,3.387366e-04,3.360605e-04,3.335355e-04,3.311543e-04,3.289099e-04,3.267956e-04,3.248052e-04,3.229325e-04,3.211716e-04,3.195170e-04,3.179634e-04,3.165057e-04,3.151389e-04,3.138585e-04
0.000000e+00,1.319431e-06,4.739346e-05,5.011846e-05,5.408409e-04,3.103332e-03,3.308019e-03,1.336210e-02,3.655473e-02,3.865254e-02,8.690779e-02,1.562397e-01,1.634898e-01,2.712223e-01,3.954530e-01,4.108344e-01,5.814533e-01,7.556440e-01,7.810340e-01,1.006712e+00,1.219086e+00,1.255089e+00,1.522459e+00,1.758925e+00,1.804990e+00,2.098856e+00,2.345677e+00,2.400348e+00,2.705947e+00,2.951175e+00,3.012381e+00,3.316657e+00,3.550753e+00,3.616086e+00,3.908289e+00,4.124249e+00,4.191201e+00,4.463060e+00,4.656244e+00,4.722395e+00,4.968012e+00,5.135827e+00,5.198974e+00,5.414579e+00,5.556098e+00,5.614342e+00,5.797970e+00,5.913554e+00,5.965344e+00,6.116495e+00,6.207442e+00,6.251587e+00,6.370898e+00,6.439145e+00,6.474802e+00,6.563754e+00,6.611620e+00,6.638273e+00,6.698931e+00,6.728927e+00,6.746343e+00,6.781149e+00,6.795821e+00,6.804012e+00,6.815607e+00,6.817432e+00,6.816613e+00,6.807708e+00,6.799016e+00,6.789564e+00,6.762839e+00,6.745766e+00,6.728179e+00,6.686210e+00,6.662676e+00,6.637539e+00,6.582751e+00,6.554444e+00,6.522404e+00,6.457035e+00,6.425421e+00,6.387155e+00,6.313248e+00,6.279572e+00,6.235772e+00,6.155163e+00,6.120471e+00,6.071826e+00,5.986147e+00,5.951300e+00,5.898482e+00,5.809170e+00,5.774865e+00,5.718522e+00,5.626831e+00,5.593620e+00,5.534368e+00,5.441383e+00,5.409692e+00,5.348109e+00,5.254760e+00,5.224904e+00,5.161531e+00,5.068605e+00,5.040811e+00,4.976146e+00,4.884305e+00,4.858719e+00,4.793220e+00,4.703015e+00,4.679721e+00,4.613804e+00,4.525689e+00,4.504714e+00,4.438759e+00,4.353098e+00,4.334430e+00,4.268777e+00,4.185861e+00,4.169452e+00,4.104406e+00,4.024461e+00,4.010234e+00,3.946067e+00,3.869262e+00,3.857122e+00,3.794074e+00,3.720530e+00,3.710366e+00,3.648648e+00,3.578443e+00,3.570132e+00,3.509928e+00,3.443109e+00,3.436520e+00,3.377989e+00,3.314569e+00,3.309569e+00,3.252847e+00,3.192817e+00,3.189269e+00,3.134471e+00,3.077799e+00,3.075567e+00,3.022789e+00,2.969427e+00,2.968377e+00,2.917697e+00,2.867581e+00,2.773041e+00,2.684597e+00,2.602073e+00,2.525283e+00,2.454028e+00,2.388105e+00,2.327303e+00,2.271409e+00,2.220207e+00,2.173480e+00,2.131011e+00,2.092584e+00,2.057985e+00,2.027003e+00,1.999429e+00,1.975057e+00,1.953687e+00,1.935122e+00,1.919170e+00,1.905643e+00,1.894361e+00,1.885147e+00,1.877832e+00,1.872252e+00,1.868249e+00,1.865672e+00,1.864377e+00,1.864226e+00,1.865088e+00,1.866840e+00,1.869363e+00,1.872549e+00,1.876293e+00,1.880499e+00,1.885077e+00,1.889945e+00,1.895024e+00,1.900246e+00,1.905545e+00,1.910864e+00,1.916151e+00,1.921358e+00,1.926445e+00,1.931374e+00,1.936115e+00,1.940640e+00,1.944927e+00,1.948956e+00,1.952714e+00
0.000000e+00,5.796148e-09,1.022931e-07,1.072251e-07,7.233083e-07,2.236968e-06,2.315559e-06,4.402202e-06,6.354078e-06,6.475233e-06,8.421792e-06,1.008828e-05,1.022759e-05,1.189535e-05,1.328307e-05,1.343085e-05,1.484033e-05,1.598141e-05,1.613006e-05,1.730620e-05,1.823145e-05,1.837480e-05,1.934181e-05,2.007992e-05,2.021314e-05,2.099454e-05,2.157210e-05,2.169158e-05,2.230964e-05,2.275069e-05,2.285387e-05,2.332919e-05,2.365513e-05,2.374028e-05,2.409158e-05,2.432117e-05,2.438729e-05,2.463138e-05,2.478098e-05,2.482759e-05,2.497946e-05,2.506321e-05,2.509030e-05,2.516323e-05,2.519332e-05,2.520121e-05,2.520697e-05,2.519381e-05,2.518310e-05,2.513204e-05,2.508455e-05,2.505605e-05,2.495726e-05,2.488299e-05,2.483766e-05,2.469911e-05,2.460447e-05,2.454337e-05,2.437205e-05,2.426242e-05,2.418667e-05,2.398866e-05,2.386855e-05,2.377934e-05,2.355993e-05,2.343309e-05,2.333160e-05,2.309540e-05,2.296493e-05,2.285233e-05,2.260332e-05,2.247177e-05,2.234922e-05,2.209082e-05,2.196025e-05,2.182888e-05,2.156406e-05,2.143612e-05,2.129700e-05,2.102829e-05,2.090428e-05,2.075847e-05,2.048802e-05,2.036894e-05,2.021741e-05,1.994706e-05,1.983368e-05,1.967735e-05,1.940864e-05,1.930151e-05,1.914125e-05,1.887547e-05,1.877496e-05,1.861158e-05,1.834981e-05,1.825614e-05,1.809039e-05,1.783352e-05,1.774680e-05,1.757937e-05,1.732811e-05,1.724834e-05,1.707988e-05,1.683480e-05,1.676190e-05,1.659298e-05,1.635454e-05,1.628838e-05,1.611954e-05,1.588806e-05,1.582846e-05,1.566016e-05,1.543590e-05,1.538262e-05,1.521531e-05,1.499843e-05,1.495122e-05,1.478528e-05,1.457588e-05,1.453445e-05,1.437024e-05,1.416835e-05,1.413241e-05,1.397022e-05,1.377585e-05,1.374509e-05,1.358520e-05,1.339828e-05,1.337241e-05,1.321506e-05,1.303550e-05,1.301420e-05,1.285959e-05,1.268728e-05,1.267025e-05,1.251855e-05,1.235336e-05,1.234029e-05,1.219166e-05,1.203342e-05,1.202404e-05,1.187859e-05,1.172713e-05,1.172114e-05,1.157899e-05,1.143412e-05,1.143126e-05,1.129247e-05,1.115400e-05,1.088899e-05,1.063583e-05,1.039412e-05,1.016345e-05,9.943409e-06,9.733606e-06,9.533641e-06,9.343120e-06,9.161662e-06,8.988888e-06,8.824434e-06,8.667942e-06,8.519066e-06,8.377469e-06,8.242828e-06,8.114828e-06,7.993167e-06,7.877554e-06,7.767709e-06,7.663361e-06,7.564252e-06,7.470134e-06,7.380769e-06,7.295928e-06,7.215394e-06,7.138958e-06,7.066421e-06,6.997592e-06,6.932290e-06,6.870341e-06,6.811580e-06,6.755847e-06,6.702994e-06,6.652876e-06,6.605357e-06,6.560306e-06,6.517600e-06,6.477121e-06,6.438756e-06,6.402399e-06,6.367949e-06,6.335307e-06,6.304383e-06,6.275090e-06,6.247343e-06,6.221065e-06,6.196180e-06,6.172617e-06,6.150308e-06
0.000000e+00,2.198238e-08,2.984949e-07,3.114211e-07,1.930748e-06,7.161053e-06,7.502493e-06,1.994536e-05,3.745315e-05,3.868585e-05,5.995532e-05,7.960308e-05,8.128727e-05,1.018738e-04,1.195827e-04,1.215003e-04,1.401211e-04,1.556772e-04,1.577389e-04,1.743725e-04,1.879084e-04,1.900459e-04,2.047862e-04,2.164679e-04,2.186221e-04,2.315838e-04,2.415817e-04,2.437022e-04,2.550090e-04,2.634914e-04,2.655360e-04,2.753148e-04,2.824433e-04,2.843771e-04,2.927536e-04,2.986799e-04,3.004748e-04,3.075700e-04,3.124344e-04,3.140680e-04,3.199967e-04,3.239278e-04,3.253827e-04,3.302523e-04,3.333670e-04,3.346302e-04,3.385408e-04,3.409449e-04,3.420072e-04,3.450516e-04,3.468403e-04,3.476957e-04,3.499599e-04,3.512189e-04,3.518642e-04,3.534274e-04,3.542333e-04,3.546678e-04,3.556029e-04,3.560243e-04,3.562493e-04,3.566233e-04,3.567214e-04,3.567401e-04,3.566144e-04,3.564435e-04,3.562605e-04,3.556917e-04,3.552999e-04,3.549211e-04,3.539608e-04,3.533905e-04,3.528229e-04,3.515184e-04,3.508071e-04,3.500583e-04,3.484527e-04,3.476333e-04,3.467116e-04,3.448444e-04,3.439455e-04,3.428599e-04,3.407668e-04,3.398135e-04,3.385731e-04,3.362867e-04,3.353005e-04,3.339149e-04,3.314648e-04,3.304644e-04,3.289432e-04,3.263563e-04,3.253575e-04,3.237104e-04,3.210110e-04,3.200273e-04,3.182639e-04,3.154741e-04,3.145168e-04,3.126467e-04,3.097864e-04,3.088649e-04,3.068976e-04,3.039846e-04,3.031065e-04,3.010513e-04,2.981017e-04,2.972733e-04,2.951392e-04,2.921673e-04,2.913935e-04,2.891892e-04,2.862080e-04,2.854923e-04,2.832264e-04,2.802473e-04,2.795925e-04,2.772731e-04,2.743064e-04,2.737141e-04,2.713492e-04,2.684037e-04,2.678749e-04,2.654720e-04,2.625559e-04,2.620908e-04,2.596570e-04,2.567772e-04,2.563756e-04,2.539178e-04,2.510802e-04,2.507413e-04,2.482659e-04,2.454760e-04,2.451984e-04,2.427116e-04,2.399738e-04,2.397559e-04,2.372635e-04,2.345817e-04,2.344217e-04,2.319292e-04,2.293066e-04,2.292023e-04,2.267147e-04,2.241541e-04,2.241032e-04,2.216253e-04,2.191288e-04,2.142827e-04,2.095677e-04,2.049858e-04,2.005384e-04,1.962264e-04,1.920499e-04,1.880089e-04,1.841027e-04,1.803303e-04,1.766905e-04,1.731817e-04,1.698019e-04,1.665493e-04,1.634214e-04,1.604159e-04,1.575303e-04,1.547619e-04,1.521079e-04,1.495655e-04,1.471319e-04,1.448040e-04,1.425790e-04,1.404539e-04,1.384256e-04,1.364911e-04,1.346476e-04,1.328921e-04,1.312216e-04,1.296332e-04,1.281241e-04,1.266915e-04,1.253325e-04,1.240446e-04,1.228249e-04,1.216709e-04,1.205801e-04,1.195500e-04,1.185780e-04,1.176619e-04,1.167993e-04,1.159879e-04,1.152257e-04,1.145104e-04,1.138399e-04,1.132124e-04,1.126259e-04,1.120784e-04,1.115681e-04,1.110934e-04
0.000000e+00,3.367437e-08,1.524251e-06,1.620527e-06,2.154959e-05,1.312086e-04,1.398059e-04,5.289413e-04,1.296851e-03,1.361348e-03,2.725480e-03,4.458123e-03,4.629496e-03,7.028532e-03,9.549722e-03,9.848165e-03,1.300094e-02,1.597964e-02,1.639714e-02,1.995140e-02,2.307524e-02,2.358636e-02,2.723456e-02,3.026718e-02,3.083887e-02,3.435230e-02,3.713892e-02,3.773734e-02,4.096500e-02,4.341914e-02,4.401379e-02,4.686869e-02,4.895463e-02,4.952019e-02,5.196334e-02,5.367992e-02,5.419692e-02,5.622275e-02,5.759048e-02,5.804499e-02,5.966966e-02,6.072119e-02,6.110414e-02,6.235677e-02,6.313022e-02,6.343657e-02,6.435294e-02,6.488760e-02,6.511546e-02,6.573373e-02,6.606739e-02,6.621724e-02,6.657529e-02,6.674276e-02,6.681685e-02,6.695059e-02,6.698300e-02,6.698477e-02,6.692726e-02,6.685187e-02,6.678554e-02,6.656665e-02,6.640698e-02,6.627726e-02,6.592359e-02,6.569967e-02,6.551153e-02,6.504655e-02,6.477528e-02,6.453379e-02,6.397806e-02,6.367359e-02,6.338383e-02,6.275526e-02,6.242933e-02,6.209626e-02,6.141043e-02,6.107270e-02,6.070114e-02,5.997152e-02,5.962988e-02,5.922448e-02,5.846270e-02,5.812351e-02,5.768870e-02,5.690478e-02,5.657309e-02,5.611308e-02,5.531560e-02,5.499540e-02,5.451416e-02,5.371046e-02,5.340479e-02,5.290605e-02,5.210238e-02,5.181350e-02,5.130076e-02,5.050241e-02,5.023192e-02,4.970844e-02,4.891987e-02,4.866883e-02,4.813764e-02,4.736258e-02,4.713158e-02,4.659547e-02,4.583702e-02,4.562629e-02,4.508786e-02,4.434855e-02,4.415801e-02,4.361961e-02,4.290151e-02,4.273082e-02,4.219464e-02,4.149937e-02,4.134801e-02,4.081603e-02,4.014487e-02,4.001212e-02,3.948615e-02,3.884006e-02,3.872512e-02,3.820678e-02,3.758645e-02,3.748841e-02,3.697918e-02,3.638506e-02,3.630293e-02,3.580414e-02,3.523647e-02,3.516924e-02,3.468206e-02,3.414092e-02,3.408753e-02,3.361301e-02,3.309832e-02,3.305771e-02,3.259678e-02,3.210834e-02,3.207945e-02,3.163291e-02,3.117040e-02,3.115217e-02,3.072071e-02,3.028374e-02,3.027513e-02,2.985935e-02,2.944743e-02,2.866803e-02,2.793578e-02,2.724944e-02,2.660768e-02,2.600911e-02,2.545231e-02,2.493577e-02,2.445797e-02,2.401739e-02,2.361244e-02,2.324156e-02,2.290317e-02,2.259568e-02,2.231751e-02,2.206710e-02,2.184289e-02,2.164336e-02,2.146698e-02,2.131227e-02,2.117777e-02,2.106206e-02,2.096375e-02,2.088149e-02,2.081397e-02,2.075993e-02,2.071816e-02,2.068749e-02,2.066679e-02,2.065501e-02,2.065113e-02,2.065419e-02,2.066328e-02,2.067756e-02,2.069621e-02,2.071851e-02,2.074375e-02,2.077130e-02,2.080057e-02,2.083102e-02,2.086217e-02,2.089357e-02,2.092483e-02,2.095559e-02,2.098554e-02,2.101441e-02,2.104197e-02,2.106802e-02,2.109239e-02,2.111494e-02
0.000000e+00,1.980002e-06,7.265416e-05,7.679899e-05,7.668817e-04,3.838623e-03,4.067631e-03,1.439746e-02,3.641702e-02,3.837477e-02,8.318755e-02,1.479478e-01,1.547627e-01,2.569316e-01,3.765575e-01,3.914846e-01,5.585348e-01,7.315128e-01,7.569086e-01,9.844891e-01,1.201465e+00,1.238502e+00,1.515745e+00,1.764066e+00,1.812775e+00,2.126053e+00,2.392590e+00,2.452055e+00,2.787358e+00,3.060101e+00,3.128704e+00,3.473041e+00,3.741882e+00,3.817556e+00,4.159687e+00,4.416689e+00,4.497136e+00,4.827866e+00,5.067224e+00,5.150096e+00,5.462295e+00,5.680130e+00,5.763166e+00,6.051631e+00,6.245700e+00,6.326818e+00,6.588043e+00,6.757432e+00,6.834793e+00,7.066711e+00,7.211540e+00,7.283577e+00,7.485296e+00,7.606449e+00,7.671881e+00,7.843439e+00,7.942338e+00,8.000159e+00,8.142303e+00,8.220724e+00,8.270190e+00,8.384190e+00,8.444106e+00,8.484712e+00,8.572200e+00,8.615673e+00,8.647122e+00,8.709968e+00,8.739059e+00,8.761238e+00,8.801444e+00,8.818149e+00,8.831101e+00,8.850724e+00,8.856934e+00,8.860828e+00,8.861921e+00,8.859393e+00,8.854506e+00,8.839075e+00,8.829418e+00,8.816109e+00,8.786077e+00,8.770743e+00,8.749436e+00,8.706626e+00,8.686910e+00,8.658076e+00,8.604196e+00,8.581242e+00,8.545385e+00,8.482022e+00,8.456827e+00,8.414473e+00,8.343087e+00,8.316514e+00,8.268200e+00,8.190130e+00,8.162915e+00,8.109180e+00,8.025641e+00,7.998407e+00,7.939787e+00,7.851879e+00,7.825144e+00,7.762165e+00,7.670879e+00,7.645068e+00,7.578242e+00,7.484465e+00,7.459920e+00,7.389743e+00,7.294264e+00,7.271256e+00,7.198202e+00,7.101722e+00,7.080456e+00,7.004978e+00,6.908116e+00,6.888741e+00,6.811271e+00,6.714570e+00,6.697188e+00,6.618131e+00,6.522065e+00,6.506736e+00,6.426476e+00,6.331457e+00,6.318206e+00,6.237100e+00,6.143484e+00,6.132304e+00,6.050688e+00,5.958780e+00,5.949641e+00,5.867826e+00,5.777884e+00,5.770734e+00,5.689009e+00,5.601250e+00,5.596021e+00,5.514653e+00,5.429258e+00,5.425868e+00,5.345103e+00,5.262219e+00,5.260575e+00,5.180637e+00,5.100383e+00,4.945485e+00,4.796025e+00,4.652109e+00,4.513805e+00,4.381152e+00,4.254158e+00,4.132810e+00,4.017071e+00,3.906886e+00,3.802186e+00,3.702883e+00,3.608882e+00,3.520073e+00,3.436339e+00,3.357555e+00,3.283589e+00,3.214302e+00,3.149552e+00,3.089191e+00,3.033071e+00,2.981037e+00,2.932935e+00,2.888609e+00,2.847901e+00,2.810654e+00,2.776708e+00,2.745908e+00,2.718095e+00,2.693114e+00,2.670811e+00,2.651033e+00,2.633629e+00,2.618452e+00,2.605355e+00,2.594197e+00,2.584839e+00,2.577145e+00,2.570983e+00,2.566226e+00,2.562750e+00,2.560435e+00,2.559167e+00,2.558837e+00,2.559338e+00,2.560570e+00,2.562438e+00,2.564851e+00,2.567724e+00,2.570977e+00
0.000000e+00,2.716059e-08,9.253588e-07,9.769134e-07,9.413527e-06,4.735153e-05,5.020814e-05,1.810218e-04,4.645236e-04,4.898334e-04,1.069099e-03,1.898773e-03,1.985365e-03,3.265848e-03,4.723686e-03,4.902610e-03,6.862982e-03,8.818227e-03,9.099388e-03,1.155689e-02,1.380372e-02,1.417853e-02,1.690898e-02,1.924886e-02,1.969679e-02,2.249577e-02,2.477082e-02,2.526563e-02,2.797215e-02,3.007257e-02,3.058705e-02,3.308760e-02,3.494715e-02,3.545618e-02,3.767976e-02,3.926699e-02,3.974927e-02,4.165911e-02,4.296794e-02,4.340663e-02,4.499159e-02,4.603305e-02,4.641579e-02,4.768263e-02,4.847825e-02,4.879679e-02,4.976394e-02,5.034086e-02,5.059045e-02,5.128317e-02,5.167058e-02,5.184932e-02,5.229625e-02,5.252314e-02,5.263137e-02,5.286205e-02,5.295580e-02,5.299551e-02,5.303881e-02,5.302434e-02,5.299873e-02,5.288183e-02,5.278129e-02,5.269434e-02,5.244222e-02,5.227491e-02,5.213109e-02,5.176628e-02,5.154874e-02,5.135280e-02,5.089536e-02,5.064159e-02,5.039836e-02,4.986596e-02,4.958768e-02,4.930199e-02,4.871005e-02,4.841698e-02,4.809349e-02,4.745543e-02,4.715550e-02,4.679876e-02,4.612615e-02,4.582581e-02,4.544011e-02,4.474293e-02,4.444731e-02,4.403674e-02,4.332351e-02,4.303666e-02,4.260506e-02,4.188304e-02,4.160807e-02,4.115902e-02,4.043439e-02,4.017363e-02,3.971046e-02,3.898842e-02,3.874355e-02,3.826936e-02,3.755427e-02,3.732643e-02,3.684407e-02,3.613957e-02,3.592945e-02,3.544153e-02,3.475062e-02,3.455853e-02,3.406746e-02,3.339259e-02,3.321855e-02,3.272651e-02,3.206965e-02,3.191342e-02,3.142241e-02,3.078512e-02,3.064628e-02,3.015809e-02,2.954157e-02,2.941955e-02,2.893580e-02,2.834095e-02,2.823505e-02,2.775719e-02,2.718464e-02,2.709408e-02,2.662340e-02,2.607356e-02,2.599749e-02,2.553516e-02,2.500823e-02,2.494578e-02,2.449280e-02,2.398885e-02,2.393908e-02,2.349635e-02,2.301529e-02,2.297729e-02,2.254560e-02,2.208722e-02,2.206007e-02,2.164008e-02,2.120409e-02,2.118688e-02,2.077916e-02,2.036519e-02,2.035703e-02,1.996207e-02,1.956969e-02,1.882395e-02,1.811880e-02,1.745316e-02,1.682593e-02,1.623595e-02,1.568204e-02,1.516301e-02,1.467767e-02,1.422481e-02,1.380324e-02,1.341177e-02,1.304924e-02,1.271449e-02,1.240637e-02,1.212377e-02,1.186557e-02,1.163070e-02,1.141808e-02,1.122667e-02,1.105546e-02,1.090342e-02,1.076957e-02,1.065296e-02,1.055262e-02,1.046764e-02,1.039710e-02,1.034011e-02,1.029581e-02,1.026334e-02,1.024187e-02,1.023059e-02,1.022872e-02,1.023547e-02,1.025011e-02,1.027192e-02,1.030018e-02,1.033422e-02,1.037339e-02,1.041706e-02,1.046463e-02,1.051552e-02,1.056918e-02,1.062509e-02,1.068275e-02,1.074169e-02,1.080148e-02,1.086170e-02,1.092197e-02,1.098194e-02
0.000000e+00,2.211431e-08,2.790743e-07,2.907389e-07,1.720544e-06,6.381629e-06,6.690657e-06,1.833333e-05,3.573952e-05,3.699589e-05,5.889551e-05,7.899916e-05,8.070232e-05,1.011725e-04,1.181911e-04,1.199980e-04,1.371577e-04,1.509295e-04,1.527145e-04,1.667545e-04,1.776851e-04,1.793687e-04,1.906466e-04,1.991509e-04,2.006749e-04,2.095363e-04,2.159879e-04,2.173104e-04,2.240729e-04,2.288032e-04,2.298960e-04,2.348484e-04,2.381489e-04,2.389953e-04,2.423982e-04,2.445229e-04,2.451155e-04,2.472018e-04,2.483700e-04,2.487089e-04,2.496850e-04,2.500845e-04,2.501754e-04,2.502226e-04,2.500133e-04,2.498663e-04,2.491434e-04,2.484600e-04,2.480883e-04,2.467332e-04,2.456891e-04,2.451080e-04,2.432403e-04,2.419298e-04,2.411561e-04,2.388792e-04,2.373805e-04,2.364318e-04,2.338344e-04,2.322119e-04,2.311060e-04,2.282641e-04,2.265704e-04,2.253251e-04,2.223038e-04,2.205811e-04,2.192140e-04,2.160684e-04,2.143507e-04,2.128786e-04,2.096553e-04,2.079692e-04,2.064083e-04,2.031466e-04,2.015128e-04,1.998783e-04,1.966109e-04,1.950449e-04,1.933512e-04,1.901054e-04,1.886185e-04,1.868790e-04,1.836770e-04,1.822771e-04,1.805040e-04,1.773641e-04,1.760561e-04,1.742608e-04,1.711975e-04,1.699840e-04,1.681769e-04,1.652016e-04,1.640833e-04,1.622737e-04,1.593952e-04,1.583714e-04,1.565678e-04,1.537926e-04,1.528612e-04,1.510711e-04,1.484039e-04,1.475621e-04,1.457920e-04,1.432358e-04,1.424799e-04,1.407358e-04,1.382922e-04,1.376182e-04,1.359052e-04,1.335746e-04,1.329779e-04,1.313005e-04,1.290824e-04,1.285584e-04,1.269203e-04,1.248135e-04,1.243574e-04,1.227617e-04,1.207643e-04,1.203713e-04,1.188207e-04,1.169302e-04,1.165954e-04,1.150920e-04,1.133056e-04,1.130245e-04,1.115699e-04,1.098843e-04,1.096523e-04,1.082479e-04,1.066598e-04,1.064724e-04,1.051191e-04,1.036248e-04,1.034779e-04,1.021761e-04,1.007721e-04,1.006616e-04,9.941167e-05,9.809403e-05,9.801631e-05,9.681817e-05,9.558315e-05,9.553458e-05,9.438801e-05,9.323182e-05,9.320909e-05,9.211364e-05,9.103253e-05,8.899767e-05,8.709747e-05,8.532499e-05,8.367353e-05,8.213657e-05,8.070780e-05,7.938115e-05,7.815078e-05,7.701110e-05,7.595675e-05,7.498262e-05,7.408381e-05,7.325568e-05,7.249381e-05,7.179401e-05,7.115228e-05,7.056485e-05,7.002816e-05,6.953883e-05,6.909367e-05,6.868967e-05,6.832399e-05,6.799397e-05,6.769708e-05,6.743096e-05,6.719338e-05,6.698226e-05,6.679563e-05,6.663166e-05,6.648862e-05,6.636489e-05,6.625897e-05,6.616944e-05,6.609497e-05,6.603434e-05,6.598639e-05,6.595003e-05,6.592428e-05,6.590819e-05,6.590089e-05,6.590158e-05,6.590949e-05,6.592394e-05,6.594427e-05,6.596987e-05,6.600020e-05,6.603473e-05,6.607299e-05,6.611452e-05
0.000000e+00,4.863627e-09,1.652361e-07,1.745530e-07,1.760075e-06,9.194736e-06,9.760142e-06,3.563970e-05,9.017623e-05,9.492610e-05,1.987791e-04,3.341206e-04,3.474917e-04,5.317701e-04,7.166952e-04,7.378804e-04,9.519167e-04,1.137410e-03,1.162111e-03,1.359671e-03,1.514955e-03,1.538772e-03,1.696150e-03,1.810592e-03,1.830545e-03,1.942162e-03,2.017506e-03,2.032193e-03,2.102428e-03,2.145772e-03,2.154970e-03,2.192023e-03,2.211565e-03,2.215747e-03,2.228169e-03,2.231195e-03,2.231135e-03,2.226280e-03,2.218499e-03,2.215030e-03,2.198607e-03,2.184166e-03,2.178045e-03,2.154209e-03,2.135967e-03,2.127819e-03,2.099466e-03,2.079315e-03,2.069634e-03,2.038714e-03,2.017868e-03,2.007025e-03,1.974822e-03,1.954039e-03,1.942311e-03,1.909657e-03,1.889398e-03,1.876990e-03,1.844417e-03,1.824953e-03,1.812021e-03,1.779867e-03,1.761350e-03,1.748009e-03,1.716489e-03,1.698998e-03,1.685340e-03,1.654589e-03,1.638156e-03,1.624256e-03,1.594357e-03,1.578986e-03,1.564906e-03,1.535911e-03,1.521587e-03,1.507380e-03,1.479318e-03,1.466015e-03,1.451728e-03,1.424612e-03,1.412298e-03,1.397970e-03,1.371803e-03,1.360440e-03,1.346109e-03,1.320887e-03,1.310433e-03,1.296132e-03,1.271844e-03,1.262257e-03,1.248016e-03,1.224647e-03,1.215885e-03,1.201730e-03,1.179261e-03,1.171281e-03,1.157235e-03,1.135647e-03,1.128406e-03,1.114492e-03,1.093762e-03,1.087218e-03,1.073454e-03,1.053560e-03,1.047671e-03,1.034074e-03,1.014991e-03,1.009720e-03,9.963050e-04,9.780088e-04,9.733149e-04,9.600965e-04,9.425621e-04,9.384093e-04,9.253991e-04,9.086015e-04,9.049545e-04,8.921631e-04,8.760777e-04,8.729024e-04,8.603392e-04,8.449415e-04,8.422057e-04,8.298787e-04,8.151447e-04,8.128174e-04,8.007337e-04,7.866399e-04,7.846918e-04,7.728575e-04,7.593808e-04,7.577839e-04,7.462042e-04,7.333221e-04,7.320499e-04,7.207291e-04,7.084198e-04,7.074471e-04,6.963889e-04,6.846311e-04,6.839342e-04,6.731412e-04,6.619143e-04,6.614706e-04,6.509453e-04,6.402292e-04,6.400175e-04,6.297614e-04,6.195369e-04,5.999923e-04,5.813483e-04,5.635707e-04,5.466264e-04,5.304837e-04,5.151118e-04,5.004809e-04,4.865626e-04,4.733292e-04,4.607541e-04,4.488119e-04,4.374777e-04,4.267278e-04,4.165393e-04,4.068902e-04,3.977592e-04,3.891257e-04,3.809701e-04,3.732733e-04,3.660170e-04,3.591836e-04,3.527561e-04,3.467179e-04,3.410534e-04,3.357472e-04,3.307846e-04,3.261515e-04,3.218341e-04,3.178194e-04,3.140944e-04,3.106470e-04,3.074652e-04,3.045377e-04,3.018533e-04,2.994014e-04,2.971716e-04,2.951539e-04,2.933388e-04,2.917169e-04,2.902791e-04,2.890169e-04,2.879218e-04,2.869857e-04,2.862007e-04,2.855592e-04,2.850539e-04,2.846777e-04,2.844237e-04,2.842853e-04
0.000000e+00,8.561986e-09,3.402492e-07,3.606759e-07,4.078128e-06,2.105400e-05,2.228524e-05,7.209000e-05,1.535437e-04,1.597314e-04,2.746719e-04,3.900643e-04,4.001159e-04,5.216648e-04,6.200152e-04,6.301141e-04,7.210949e-04,7.859347e-04,7.937038e-04,8.491201e-04,8.846972e-04,8.895491e-04,9.175251e-04,9.332073e-04,9.355067e-04,9.456759e-04,9.494811e-04,9.498642e-04,9.495508e-04,9.468499e-04,9.458987e-04,9.398028e-04,9.337936e-04,9.319405e-04,9.228182e-04,9.152772e-04,9.128109e-04,9.021936e-04,8.940647e-04,8.911676e-04,8.798794e-04,8.716505e-04,8.684353e-04,8.569122e-04,8.488296e-04,8.453660e-04,8.338381e-04,8.260254e-04,8.223589e-04,8.109509e-04,8.034690e-04,7.996310e-04,7.884123e-04,7.812902e-04,7.773049e-04,7.663163e-04,7.595657e-04,7.554524e-04,7.447178e-04,7.383407e-04,7.341162e-04,7.236505e-04,7.176435e-04,7.133228e-04,7.031349e-04,6.974911e-04,6.930879e-04,6.831825e-04,6.778926e-04,6.734192e-04,6.637982e-04,6.588515e-04,6.543194e-04,6.449825e-04,6.403672e-04,6.357872e-04,6.267328e-04,6.224365e-04,6.178186e-04,6.090437e-04,6.050538e-04,6.004072e-04,5.919082e-04,5.882119e-04,5.835455e-04,5.753179e-04,5.719023e-04,5.672242e-04,5.592631e-04,5.561154e-04,5.514332e-04,5.437332e-04,5.408409e-04,5.361616e-04,5.287171e-04,5.260678e-04,5.213981e-04,5.142031e-04,5.117848e-04,5.071307e-04,5.001794e-04,4.979802e-04,4.933475e-04,4.866336e-04,4.846422e-04,4.800361e-04,4.735535e-04,4.717587e-04,4.671841e-04,4.609266e-04,4.593178e-04,4.547794e-04,4.487408e-04,4.473075e-04,4.428094e-04,4.369837e-04,4.357161e-04,4.312621e-04,4.256432e-04,4.245316e-04,4.201254e-04,4.147073e-04,4.137425e-04,4.093873e-04,4.041641e-04,4.033373e-04,3.990362e-04,3.940021e-04,3.933047e-04,3.890604e-04,3.842098e-04,3.836338e-04,3.794488e-04,3.747760e-04,3.743136e-04,3.701902e-04,3.656899e-04,3.653335e-04,3.612737e-04,3.569405e-04,3.566831e-04,3.526889e-04,3.485176e-04,3.483524e-04,3.444253e-04,3.404108e-04,3.403313e-04,3.364728e-04,3.326102e-04,3.251797e-04,3.180306e-04,3.111540e-04,3.045411e-04,2.981836e-04,2.920731e-04,2.862017e-04,2.805616e-04,2.751452e-04,2.699453e-04,2.649546e-04,2.601662e-04,2.555735e-04,2.511699e-04,2.469491e-04,2.429049e-04,2.390314e-04,2.353227e-04,2.317734e-04,2.283778e-04,2.251309e-04,2.220273e-04,2.190622e-04,2.162308e-04,2.135284e-04,2.109504e-04,2.084924e-04,2.061502e-04,2.039197e-04,2.017969e-04,1.997778e-04,1.978587e-04,1.960359e-04,1.943059e-04,1.926653e-04,1.911107e-04,1.896389e-04,1.882468e-04,1.869313e-04,1.856895e-04,1.845186e-04,1.834157e-04,1.823783e-04,1.814036e-04,1.804893e-04,1.796327e-04,1.788317e-04,1.780839e-04,1.773871e-04
0.000000e+00,9.879313e-08,5.322219e-06,5.672962e-06,7.897798e-05,4.517710e-04,4.795533e-04,1.639282e-03,3.688930e-03,3.853554e-03,7.184852e-03,1.116798e-02,1.155229e-02,1.681043e-02,2.216740e-02,2.279360e-02,2.933810e-02,3.544090e-02,3.629243e-02,4.352138e-02,4.986752e-02,5.090699e-02,5.834799e-02,6.457807e-02,6.575862e-02,7.306717e-02,7.894212e-02,8.021444e-02,8.715231e-02,9.252573e-02,9.384236e-02,1.002546e-01,1.050485e-01,1.063663e-01,1.121612e-01,1.163465e-01,1.176282e-01,1.227609e-01,1.263423e-01,1.275568e-01,1.320165e-01,1.350211e-01,1.361434e-01,1.399430e-01,1.424120e-01,1.434229e-01,1.465919e-01,1.485742e-01,1.494598e-01,1.520376e-01,1.535856e-01,1.543368e-01,1.563692e-01,1.575356e-01,1.581471e-01,1.596827e-01,1.605185e-01,1.609883e-01,1.620761e-01,1.626292e-01,1.629581e-01,1.636461e-01,1.639607e-01,1.641515e-01,1.644855e-01,1.646017e-01,1.646588e-01,1.646819e-01,1.646354e-01,1.645647e-01,1.643168e-01,1.641392e-01,1.639472e-01,1.634647e-01,1.631838e-01,1.628777e-01,1.621940e-01,1.618336e-01,1.614210e-01,1.605660e-01,1.601470e-01,1.596356e-01,1.586361e-01,1.581761e-01,1.575737e-01,1.564538e-01,1.559677e-01,1.552820e-01,1.540631e-01,1.535634e-01,1.528018e-01,1.515027e-01,1.510000e-01,1.501699e-01,1.488073e-01,1.483102e-01,1.474186e-01,1.460071e-01,1.455226e-01,1.445761e-01,1.431285e-01,1.426623e-01,1.416673e-01,1.401950e-01,1.397515e-01,1.387140e-01,1.372266e-01,1.368093e-01,1.357350e-01,1.342412e-01,1.338526e-01,1.327469e-01,1.312539e-01,1.308959e-01,1.297637e-01,1.282779e-01,1.279517e-01,1.267978e-01,1.253246e-01,1.250309e-01,1.238596e-01,1.224038e-01,1.221428e-01,1.209582e-01,1.195237e-01,1.192952e-01,1.181011e-01,1.166913e-01,1.164949e-01,1.152948e-01,1.139125e-01,1.137476e-01,1.125448e-01,1.111923e-01,1.110579e-01,1.098555e-01,1.085348e-01,1.084298e-01,1.072305e-01,1.059432e-01,1.058665e-01,1.046729e-01,1.034201e-01,1.033704e-01,1.021850e-01,1.009677e-01,1.009435e-01,9.976848e-02,9.858745e-02,9.630316e-02,9.409135e-02,9.195235e-02,8.988623e-02,8.789279e-02,8.597159e-02,8.412203e-02,8.234333e-02,8.063454e-02,7.899461e-02,7.742238e-02,7.591656e-02,7.447583e-02,7.309875e-02,7.178386e-02,7.052962e-02,6.933447e-02,6.819681e-02,6.711500e-02,6.608741e-02,6.511237e-02,6.418821e-02,6.331325e-02,6.248581e-02,6.170423e-02,6.096684e-02,6.027197e-02,5.961801e-02,5.900331e-02,5.842628e-02,5.788533e-02,5.737890e-02,5.690547e-02,5.646353e-02,5.605160e-02,5.566824e-02,5.531205e-02,5.498165e-02,5.467570e-02,5.439290e-02,5.413199e-02,5.389173e-02,5.367095e-02,5.346849e-02,5.328324e-02,5.311414e-02,5.296015e-02,5.282029e-02,5.269360e-02
0.000000e+00,1.261637e-08,1.674712e-07,1.746093e-07,1.001714e-06,3.268152e-06,3.404322e-06,7.877033e-06,1.331660e-05,1.367683e-05,1.955155e-05,2.449746e-05,2.490222e-05,2.961714e-05,3.333714e-05,3.372155e-05,3.726776e-05,3.997001e-05,4.031025e-05,4.290026e-05,4.480181e-05,4.508491e-05,4.690716e-05,4.818656e-05,4.840619e-05,4.961747e-05,5.041867e-05,5.057318e-05,5.130238e-05,5.174035e-05,5.183127e-05,5.218343e-05,5.234915e-05,5.238007e-05,5.244024e-05,5.240514e-05,5.238080e-05,5.221696e-05,5.203656e-05,5.196231e-05,5.162894e-05,5.134629e-05,5.122766e-05,5.076814e-05,5.041646e-05,5.025896e-05,4.970772e-05,4.931234e-05,4.912120e-05,4.850538e-05,4.808551e-05,4.786560e-05,4.720656e-05,4.677660e-05,4.653241e-05,4.584684e-05,4.541748e-05,4.515308e-05,4.445398e-05,4.403302e-05,4.375206e-05,4.304950e-05,4.264249e-05,4.234822e-05,4.164989e-05,4.126067e-05,4.095597e-05,4.026770e-05,3.989878e-05,3.958618e-05,3.891233e-05,3.856522e-05,3.824694e-05,3.759069e-05,3.726617e-05,3.694413e-05,3.630773e-05,3.600598e-05,3.568187e-05,3.506686e-05,3.478766e-05,3.446293e-05,3.387026e-05,3.361309e-05,3.328899e-05,3.271919e-05,3.248330e-05,3.216090e-05,3.161415e-05,3.139867e-05,3.107890e-05,3.055510e-05,3.035905e-05,3.004269e-05,2.954157e-05,2.936391e-05,2.905163e-05,2.857274e-05,2.841242e-05,2.810478e-05,2.764758e-05,2.750353e-05,2.720100e-05,2.676487e-05,2.663604e-05,2.633902e-05,2.592328e-05,2.580866e-05,2.551746e-05,2.512139e-05,2.501998e-05,2.473488e-05,2.435775e-05,2.426861e-05,2.398980e-05,2.363087e-05,2.355309e-05,2.328075e-05,2.293927e-05,2.287199e-05,2.260624e-05,2.228148e-05,2.222388e-05,2.196480e-05,2.165604e-05,2.160736e-05,2.135502e-05,2.106155e-05,2.102106e-05,2.077548e-05,2.049663e-05,2.046364e-05,2.022483e-05,1.995993e-05,1.993381e-05,1.970175e-05,1.945016e-05,1.943031e-05,1.920498e-05,1.896607e-05,1.895193e-05,1.873329e-05,1.850647e-05,1.849752e-05,1.828550e-05,1.807021e-05,1.806596e-05,1.786048e-05,1.765617e-05,1.726713e-05,1.689785e-05,1.654740e-05,1.621488e-05,1.589942e-05,1.560021e-05,1.531646e-05,1.504744e-05,1.479241e-05,1.455072e-05,1.432170e-05,1.410475e-05,1.389927e-05,1.370470e-05,1.352051e-05,1.334619e-05,1.318126e-05,1.302525e-05,1.287773e-05,1.273827e-05,1.260648e-05,1.248198e-05,1.236440e-05,1.225340e-05,1.214866e-05,1.204985e-05,1.195669e-05,1.186890e-05,1.178619e-05,1.170832e-05,1.163503e-05,1.156611e-05,1.150132e-05,1.144046e-05,1.138333e-05,1.132973e-05,1.127948e-05,1.123241e-05,1.118836e-05,1.114716e-05,1.110868e-05,1.107277e-05,1.103929e-05,1.100812e-05,1.097913e-05,1.095221e-05,1.092725e-05,1.090415e-05,1.088279e-05
0.000000e+00,2.537349e-08,5.060250e-07,5.306031e-07,3.988041e-06,1.631290e-05,1.713193e-05,4.654141e-05,8.543733e-05,8.808647e-05,1.326965e-04,1.727734e-04,1.761769e-04,2.174791e-04,2.526311e-04,2.564186e-04,2.930102e-04,3.233185e-04,3.273172e-04,3.594161e-04,3.853171e-04,3.893883e-04,4.173171e-04,4.392599e-04,4.432870e-04,4.673822e-04,4.858003e-04,4.896867e-04,5.102828e-04,5.255840e-04,5.292513e-04,5.466707e-04,5.592316e-04,5.626172e-04,5.771646e-04,5.873285e-04,5.903836e-04,6.023423e-04,6.104192e-04,6.131065e-04,6.227387e-04,6.290069e-04,6.312993e-04,6.388458e-04,6.435547e-04,6.454336e-04,6.511153e-04,6.544871e-04,6.559414e-04,6.599602e-04,6.621928e-04,6.632177e-04,6.657579e-04,6.670265e-04,6.676225e-04,6.688516e-04,6.693112e-04,6.694833e-04,6.695539e-04,6.693414e-04,6.690981e-04,6.681487e-04,6.673845e-04,6.667373e-04,6.648938e-04,6.636833e-04,6.626466e-04,6.600227e-04,6.584584e-04,6.570480e-04,6.537469e-04,6.519092e-04,6.501428e-04,6.462576e-04,6.442163e-04,6.421126e-04,6.377275e-04,6.355430e-04,6.331214e-04,6.283123e-04,6.260366e-04,6.233172e-04,6.181523e-04,6.158299e-04,6.128328e-04,6.073735e-04,6.050422e-04,6.017879e-04,5.960892e-04,5.937809e-04,5.902897e-04,5.844010e-04,5.821422e-04,5.784341e-04,5.723995e-04,5.702124e-04,5.663070e-04,5.601658e-04,5.580684e-04,5.539848e-04,5.477722e-04,5.457788e-04,5.415357e-04,5.352827e-04,5.334046e-04,5.290200e-04,5.227540e-04,5.209999e-04,5.164910e-04,5.102365e-04,5.086124e-04,5.039959e-04,4.977742e-04,4.962843e-04,4.915760e-04,4.854057e-04,4.840524e-04,4.792674e-04,4.731649e-04,4.719490e-04,4.671016e-04,4.610810e-04,4.600020e-04,4.551059e-04,4.491792e-04,4.482356e-04,4.433035e-04,4.374812e-04,4.366704e-04,4.317144e-04,4.260053e-04,4.253241e-04,4.203555e-04,4.147668e-04,4.142113e-04,4.092407e-04,4.037785e-04,4.033443e-04,3.983815e-04,3.930508e-04,3.927330e-04,3.877872e-04,3.825917e-04,3.823853e-04,3.774651e-04,3.724078e-04,3.723074e-04,3.674205e-04,3.625035e-04,3.529768e-04,3.437289e-04,3.347604e-04,3.260709e-04,3.176591e-04,3.095227e-04,3.016591e-04,2.940648e-04,2.867360e-04,2.796682e-04,2.728569e-04,2.662970e-04,2.599832e-04,2.539101e-04,2.480719e-04,2.424629e-04,2.370773e-04,2.319090e-04,2.269522e-04,2.222007e-04,2.176487e-04,2.132902e-04,2.091192e-04,2.051299e-04,2.013166e-04,1.976734e-04,1.941948e-04,1.908753e-04,1.877094e-04,1.846918e-04,1.818174e-04,1.790811e-04,1.764778e-04,1.740028e-04,1.716513e-04,1.694188e-04,1.673007e-04,1.652928e-04,1.633908e-04,1.615905e-04,1.598881e-04,1.582797e-04,1.567615e-04,1.553299e-04,1.539813e-04,1.527125e-04,1.515200e-04,1.504007e-04,1.493516e-04
0.000000e+00,8.768946e-09,4.360516e-07,4.640064e-07,6.031097e-06,3.344990e-05,3.548713e-05,1.208372e-04,2.715375e-04,2.835712e-04,5.237892e-04,8.019284e-04,8.282319e-04,1.178959e-03,1.519514e-03,1.558273e-03,1.950906e-03,2.297700e-03,2.344685e-03,2.730444e-03,3.050724e-03,3.101626e-03,3.453795e-03,3.732848e-03,3.784167e-03,4.091203e-03,4.325101e-03,4.374282e-03,4.633436e-03,4.823850e-03,4.869153e-03,5.082223e-03,5.233328e-03,5.273635e-03,5.444488e-03,5.561301e-03,5.595944e-03,5.729180e-03,5.816730e-03,5.845361e-03,5.945628e-03,6.008585e-03,6.031079e-03,6.102765e-03,6.145292e-03,6.161686e-03,6.208786e-03,6.234521e-03,6.244960e-03,6.271045e-03,6.283120e-03,6.287831e-03,6.296057e-03,6.297150e-03,6.296414e-03,6.289550e-03,6.281935e-03,6.276070e-03,6.256537e-03,6.242134e-03,6.231481e-03,6.201391e-03,6.181815e-03,6.166726e-03,6.127913e-03,6.104515e-03,6.085350e-03,6.039405e-03,6.013312e-03,5.990424e-03,5.938727e-03,5.910870e-03,5.884610e-03,5.828350e-03,5.799497e-03,5.770204e-03,5.710408e-03,5.681186e-03,5.649184e-03,5.586737e-03,5.557652e-03,5.523254e-03,5.458912e-03,5.430371e-03,5.393872e-03,5.328283e-03,5.300606e-03,5.262284e-03,5.196001e-03,5.169435e-03,5.129551e-03,5.063043e-03,5.037776e-03,4.996576e-03,4.930239e-03,4.906406e-03,4.864116e-03,4.798283e-03,4.775978e-03,4.732809e-03,4.667758e-03,4.647040e-03,4.603187e-03,4.539148e-03,4.520047e-03,4.475688e-03,4.412850e-03,4.395372e-03,4.350671e-03,4.289187e-03,4.273318e-03,4.228426e-03,4.168417e-03,4.154129e-03,4.109183e-03,4.050744e-03,4.037996e-03,3.993119e-03,3.936322e-03,3.925063e-03,3.880367e-03,3.825264e-03,3.815437e-03,3.771023e-03,3.717650e-03,3.709191e-03,3.665150e-03,3.613527e-03,3.606370e-03,3.562783e-03,3.512918e-03,3.506994e-03,3.463933e-03,3.415824e-03,3.411062e-03,3.368590e-03,3.322227e-03,3.318556e-03,3.276730e-03,3.232093e-03,3.229442e-03,3.188311e-03,3.145377e-03,3.143677e-03,3.103283e-03,3.062022e-03,3.061205e-03,3.021585e-03,2.981964e-03,2.905882e-03,2.832885e-03,2.762893e-03,2.695824e-03,2.631592e-03,2.570111e-03,2.511294e-03,2.455055e-03,2.401307e-03,2.349962e-03,2.300936e-03,2.254144e-03,2.209504e-03,2.166934e-03,2.126355e-03,2.087689e-03,2.050861e-03,2.015798e-03,1.982429e-03,1.950684e-03,1.920496e-03,1.891801e-03,1.864535e-03,1.838639e-03,1.814053e-03,1.790721e-03,1.768590e-03,1.747606e-03,1.727719e-03,1.708880e-03,1.691043e-03,1.674163e-03,1.658196e-03,1.643101e-03,1.628838e-03,1.615369e-03,1.602658e-03,1.590668e-03,1.579366e-03,1.568719e-03,1.558697e-03,1.549269e-03,1.540408e-03,1.532085e-03,1.524274e-03,1.516951e-03,1.510090e-03,1.503670e-03,1.497667e-03
