0.000000e+00,1.010101e+00,2.000000e+00,2.020202e+00,3.030303e+00,4.000000e+00,4.040404e+00,5.050505e+00,6.000000e+00,6.060606e+00,7.070707e+00,8.000000e+00,8.080808e+00,9.090909e+00,1.000000e+01,1.010101e+01,1.111111e+01,1.200000e+01,1.212121e+01,1.313131e+01,1.400000e+01,1.414141e+01,1.515152e+01,1.600000e+01,1.616162e+01,1.717172e+01,1.800000e+01,1.818182e+01,1.919192e+01,2.000000e+01,2.020202e+01,2.121212e+01,2.200000e+01,2.222222e+01,2.323232e+01,2.400000e+01,2.424242e+01,2.525253e+01,2.600000e+01,2.626263e+01,2.727273e+01,2.800000e+01,2.828283e+01,2.929293e+01,3.000000e+01,3.030303e+01,3.131313e+01,3.200000e+01,3.232323e+01,3.333333e+01,3.400000e+01,3.434343e+01,3.535354e+01,3.600000e+01,3.636364e+01,3.737374e+01,3.800000e+01,3.838384e+01,3.939394e+01,4.000000e+01,4.040404e+01,4.141414e+01,4.200000e+01,4.242424e+01,4.343434e+01,4.400000e+01,4.444444e+01,4.545455e+01,4.600000e+01,4.646465e+01,4.747475e+01,4.800000e+01,4.848485e+01,4.949495e+01,5.000000e+01,5.050505e+01,5.151515e+01,5.200000e+01,5.252525e+01,5.353535e+01,5.400000e+01,5.454545e+01,5.555556e+01,5.600000e+01,5.656566e+01,5.757576e+01,5.800000e+01,5.858586e+01,5.959596e+01,6.000000e+01,6.060606e+01,6.161616e+01,6.200000e+01,6.262626e+01,6.363636e+01,6.400000e+01,6.464646e+01,6.565657e+01,6.600000e+01,6.666667e+01,6.767677e+01,6.800000e+01,6.868687e+01,6.969697e+01,7.000000e+01,7.070707e+01,7.171717e+01,7.200000e+01,7.272727e+01,7.373737e+01,7.400000e+01,7.474747e+01,7.575758e+01,7.600000e+01,7.676768e+01,7.777778e+01,7.800000e+01,7.878788e+01,7.979798e+01,8.000000e+01,8.080808e+01,8.181818e+01,8.200000e+01,8.282828e+01,8.383838e+01,8.400000e+01,8.484848e+01,8.585859e+01,8.600000e+01,8.686869e+01,8.787879e+01,8.800000e+01,8.888889e+01,8.989899e+01,9.000000e+01,9.090909e+01,9.191919e+01,9.200000e+01,9.292929e+01,9.393939e+01,9.400000e+01,9.494949e+01,9.595960e+01,9.600000e+01,9.696970e+01,9.797980e+01,9.800000e+01,9.898990e+01,1.000000e+02,1.020000e+02,1.040000e+02,1.060000e+02,1.080000e+02,1.100000e+02,1.120000e+02,1.140000e+02,1.160000e+02,1.180000e+02,1.200000e+02,1.220000e+02,1.240000e+02,1.260000e+02,1.280000e+02,1.300000e+02,1.320000e+02,1.340000e+02,1.360000e+02,1.380000e+02,1.400000e+02,1.420000e+02,1.440000e+02,1.460000e+02,1.480000e+02,1.500000e+02,1.520000e+02,1.540000e+02,1.560000e+02,1.580000e+02,1.600000e+02,1.620000e+02,1.640000e+02,1.660000e+02,1.680000e+02,1.700000e+02,1.720000e+02,1.740000e+02,1.760000e+02,1.780000e+02,1.800000e+02,1.820000e+02,1.840000e+02,1.860000e+02,1.880000e+02,1.900000e+02,1.920000e+02,1.940000e+02,1.960000e+02,1.980000e+02
0.000000e+00,9.867588e-10,5.922993e-08,6.304186e-08,8.561477e-07,5.598967e-06,5.995907e-06,2.700438e-05,8.160124e-05,8.681762e-05,2.143316e-04,4.109372e-04,4.319469e-04,7.474817e-04,1.109926e-03,1.154296e-03,1.635797e-03,2.104343e-03,2.170590e-03,2.736538e-03,3.232635e-03,3.313373e-03,3.884041e-03,4.348730e-03,4.435146e-03,4.956835e-03,5.357872e-03,5.442392e-03,5.887706e-03,6.213553e-03,6.290734e-03,6.651004e-03,6.902734e-03,6.969189e-03,7.246763e-03,7.431778e-03,7.485730e-03,7.688415e-03,7.816507e-03,7.857313e-03,7.994976e-03,8.076174e-03,8.103932e-03,8.186638e-03,8.230174e-03,8.245438e-03,8.282550e-03,8.296463e-03,8.300050e-03,8.299873e-03,8.290948e-03,8.283810e-03,8.253516e-03,8.227369e-03,8.210515e-03,8.156205e-03,8.117420e-03,8.091867e-03,8.018676e-03,7.970962e-03,7.937704e-03,7.849929e-03,7.796259e-03,7.756246e-03,7.657468e-03,7.600206e-03,7.554336e-03,7.447525e-03,7.388534e-03,7.337645e-03,7.225255e-03,7.165989e-03,7.110858e-03,6.994912e-03,6.936490e-03,6.877832e-03,6.759992e-03,6.703259e-03,6.641729e-03,6.523348e-03,6.468930e-03,6.405123e-03,6.287298e-03,6.235640e-03,6.170095e-03,6.053710e-03,6.005115e-03,5.938318e-03,5.824076e-03,5.778732e-03,5.711119e-03,5.599570e-03,5.557573e-03,5.489535e-03,5.381106e-03,5.342480e-03,5.274362e-03,5.169373e-03,5.134087e-03,5.066196e-03,4.964880e-03,4.932859e-03,4.865465e-03,4.767983e-03,4.739119e-03,4.672459e-03,4.578911e-03,4.553073e-03,4.487352e-03,4.397789e-03,4.374831e-03,4.310226e-03,4.224660e-03,4.204421e-03,4.141086e-03,4.059495e-03,4.041809e-03,3.979874e-03,3.902208e-03,3.886909e-03,3.826481e-03,3.752673e-03,3.739589e-03,3.680762e-03,3.610724e-03,3.599691e-03,3.542537e-03,3.476172e-03,3.467025e-03,3.411604e-03,3.348804e-03,3.341386e-03,3.287744e-03,3.228393e-03,3.222551e-03,3.170722e-03,3.114700e-03,3.110289e-03,3.060297e-03,3.007481e-03,3.004361e-03,2.956221e-03,2.906486e-03,2.904527e-03,2.858244e-03,2.811465e-03,2.810544e-03,2.766116e-03,2.722169e-03,2.639162e-03,2.561288e-03,2.488316e-03,2.420019e-03,2.356177e-03,2.296576e-03,2.241011e-03,2.189280e-03,2.141191e-03,2.096559e-03,2.055203e-03,2.016954e-03,1.981645e-03,1.949119e-03,1.919224e-03,1.891815e-03,1.866753e-03,1.843905e-03,1.823145e-03,1.804352e-03,1.787408e-03,1.772204e-03,1.758635e-03,1.746598e-03,1.736000e-03,1.726747e-03,1.718753e-03,1.711934e-03,1.706213e-03,1.701512e-03,1.697761e-03,1.694893e-03,1.692841e-03,1.691544e-03,1.690945e-03,1.690988e-03,1.691620e-03,1.692792e-03,1.694457e-03,1.696570e-03,1.699089e-03,1.701975e-03,1.705189e-03,1.708697e-03,1.712466e-03,1.716463e-03,1.720661e-03,1.725031e-03,1.729547e-03
0.000000e+00,3.735585e-09,5.375714e-08,5.617880e-08,3.579123e-07,1.250693e-06,1.305544e-06,3.117942e-06,5.296218e-06,5.440190e-06,7.820380e-06,9.911003e-06,1.008691e-05,1.220199e-05,1.397308e-05,1.416226e-05,1.597273e-05,1.744757e-05,1.764040e-05,1.917269e-05,2.038778e-05,2.057693e-05,2.186027e-05,2.284990e-05,2.302961e-05,2.409163e-05,2.488691e-05,2.505274e-05,2.591910e-05,2.654791e-05,2.669657e-05,2.739073e-05,2.787776e-05,2.800689e-05,2.855009e-05,2.891706e-05,2.902507e-05,2.943628e-05,2.970208e-05,2.978805e-05,3.008436e-05,3.026551e-05,3.032902e-05,3.052559e-05,3.063638e-05,3.067742e-05,3.078769e-05,3.084045e-05,3.085936e-05,3.089526e-05,3.090063e-05,3.089800e-05,3.087007e-05,3.083719e-05,3.081381e-05,3.073140e-05,3.066808e-05,3.062490e-05,3.049624e-05,3.040916e-05,3.034723e-05,3.017957e-05,3.007442e-05,2.999487e-05,2.979461e-05,2.967619e-05,2.958020e-05,2.935295e-05,2.922533e-05,2.911409e-05,2.886477e-05,2.873136e-05,2.860608e-05,2.833902e-05,2.820264e-05,2.806452e-05,2.778348e-05,2.764650e-05,2.749671e-05,2.720499e-05,2.706932e-05,2.690901e-05,2.660946e-05,2.647669e-05,2.630695e-05,2.600207e-05,2.587344e-05,2.569534e-05,2.538727e-05,2.526378e-05,2.507833e-05,2.476894e-05,2.465133e-05,2.445949e-05,2.415037e-05,2.403923e-05,2.384191e-05,2.353443e-05,2.343016e-05,2.322821e-05,2.292352e-05,2.282639e-05,2.262062e-05,2.231971e-05,2.222986e-05,2.202102e-05,2.172473e-05,2.164222e-05,2.143100e-05,2.114001e-05,2.106481e-05,2.085188e-05,2.056674e-05,2.049877e-05,2.028471e-05,2.000590e-05,1.994500e-05,1.973039e-05,1.945826e-05,1.940425e-05,1.918959e-05,1.892443e-05,1.887708e-05,1.866284e-05,1.840487e-05,1.836393e-05,1.815055e-05,1.789992e-05,1.786512e-05,1.765299e-05,1.740979e-05,1.738086e-05,1.717033e-05,1.693462e-05,1.691125e-05,1.670265e-05,1.647444e-05,1.645635e-05,1.624997e-05,1.602923e-05,1.601611e-05,1.581222e-05,1.559891e-05,1.559046e-05,1.538929e-05,1.518333e-05,1.517925e-05,1.498101e-05,1.478230e-05,1.439942e-05,1.403034e-05,1.367480e-05,1.333252e-05,1.300319e-05,1.268650e-05,1.238212e-05,1.208973e-05,1.180899e-05,1.153956e-05,1.128111e-05,1.103330e-05,1.079579e-05,1.056826e-05,1.035038e-05,1.014182e-05,9.942275e-06,9.751429e-06,9.568980e-06,9.394630e-06,9.228091e-06,9.069079e-06,8.917320e-06,8.772545e-06,8.634496e-06,8.502918e-06,8.377567e-06,8.258206e-06,8.144603e-06,8.036536e-06,7.933789e-06,7.836152e-06,7.743424e-06,7.655408e-06,7.571918e-06,7.492770e-06,7.417788e-06,7.346802e-06,7.279648e-06,7.216167e-06,7.156207e-06,7.099621e-06,7.046266e-06,6.996006e-06,6.948708e-06,6.904246e-06,6.862496e-06,6.823341e-06,6.786668e-06
0.000000e+00,1.252691e-09,1.583061e-08,1.651374e-08,9.964269e-08,3.422372e-07,3.570383e-07,8.370730e-07,1.396026e-06,1.432652e-06,2.037842e-06,2.572665e-06,2.617899e-06,3.165162e-06,3.628788e-06,3.678627e-06,4.158935e-06,4.555035e-06,4.607169e-06,5.024532e-06,5.359717e-06,5.412263e-06,5.771634e-06,6.052520e-06,6.103918e-06,6.410384e-06,6.643301e-06,6.692286e-06,6.950850e-06,7.141705e-06,7.187275e-06,7.402720e-06,7.556928e-06,7.598309e-06,7.775120e-06,7.897577e-06,7.934190e-06,8.076512e-06,8.171610e-06,8.203039e-06,8.314677e-06,8.386327e-06,8.412295e-06,8.496718e-06,8.548387e-06,8.568735e-06,8.629095e-06,8.663847e-06,8.678513e-06,8.717666e-06,8.738200e-06,8.747202e-06,8.767732e-06,8.776416e-06,8.779840e-06,8.784077e-06,8.782984e-06,8.780970e-06,8.771015e-06,8.761953e-06,8.754684e-06,8.732426e-06,8.716967e-06,8.704662e-06,8.671796e-06,8.651304e-06,8.634206e-06,8.592253e-06,8.567905e-06,8.546277e-06,8.496599e-06,8.469406e-06,8.443524e-06,8.387339e-06,8.358165e-06,8.328314e-06,8.266707e-06,8.236290e-06,8.202759e-06,8.136698e-06,8.105660e-06,8.068738e-06,7.999082e-06,7.967946e-06,7.927921e-06,7.855434e-06,7.824635e-06,7.781789e-06,7.707146e-06,7.677042e-06,7.631652e-06,7.555448e-06,7.526332e-06,7.478666e-06,7.401427e-06,7.373532e-06,7.323847e-06,7.246034e-06,7.219543e-06,7.168088e-06,7.090104e-06,7.065155e-06,7.012169e-06,6.934364e-06,6.911060e-06,6.856766e-06,6.779447e-06,6.757856e-06,6.702470e-06,6.625898e-06,6.606062e-06,6.549786e-06,6.474187e-06,6.456125e-06,6.399149e-06,6.324715e-06,6.308425e-06,6.250926e-06,6.177820e-06,6.163284e-06,6.105430e-06,6.033787e-06,6.020972e-06,5.962919e-06,5.892851e-06,5.881715e-06,5.823605e-06,5.755203e-06,5.745695e-06,5.687662e-06,5.620998e-06,5.613058e-06,5.555225e-06,5.490354e-06,5.483917e-06,5.426397e-06,5.363360e-06,5.358358e-06,5.301253e-06,5.240079e-06,5.236438e-06,5.179843e-06,5.120548e-06,5.118196e-06,5.062196e-06,5.004786e-06,5.003648e-06,4.948320e-06,4.892794e-06,4.785620e-06,4.682098e-06,4.582188e-06,4.485841e-06,4.393001e-06,4.303604e-06,4.217580e-06,4.134855e-06,4.055351e-06,3.978986e-06,3.905677e-06,3.835339e-06,3.767885e-06,3.703229e-06,3.641283e-06,3.581960e-06,3.525174e-06,3.470838e-06,3.418869e-06,3.369182e-06,3.321694e-06,3.276326e-06,3.232999e-06,3.191635e-06,3.152158e-06,3.114495e-06,3.078575e-06,3.044327e-06,3.011685e-06,2.980582e-06,2.950956e-06,2.922744e-06,2.895886e-06,2.870326e-06,2.846008e-06,2.822878e-06,2.800884e-06,2.779976e-06,2.760106e-06,2.741228e-06,2.723297e-06,2.706270e-06,2.690107e-06,2.674766e-06,2.660210e-06,2.646404e-06,2.633310e-06,2.620896e-06,2.609130e-06
0.000000e+00,8.954504e-10,4.810600e-08,5.111158e-08,6.491953e-07,4.062304e-06,4.342646e-06,1.866589e-05,5.354226e-05,5.675736e-05,1.310849e-04,2.344574e-04,2.448955e-04,3.909765e-04,5.397689e-04,5.568817e-04,7.302298e-04,8.812012e-04,9.013850e-04,1.063984e-03,1.194165e-03,1.214415e-03,1.351032e-03,1.454806e-03,1.473446e-03,1.582005e-03,1.661199e-03,1.677451e-03,1.760706e-03,1.819193e-03,1.832753e-03,1.894565e-03,1.936274e-03,1.947072e-03,1.991145e-03,2.019498e-03,2.027590e-03,2.057146e-03,2.074983e-03,2.080491e-03,2.098244e-03,2.107880e-03,2.110966e-03,2.119172e-03,2.122480e-03,2.123327e-03,2.123855e-03,2.122339e-03,2.121140e-03,2.115532e-03,2.110402e-03,2.107349e-03,2.096878e-03,2.089097e-03,2.084380e-03,2.070093e-03,2.060431e-03,2.054230e-03,2.036987e-03,2.026053e-03,2.018540e-03,1.999047e-03,1.987320e-03,1.978654e-03,1.957490e-03,1.945347e-03,1.935675e-03,1.913313e-03,1.901045e-03,1.890502e-03,1.867328e-03,1.855160e-03,1.843868e-03,1.820195e-03,1.808297e-03,1.796370e-03,1.772450e-03,1.760950e-03,1.748486e-03,1.724525e-03,1.713515e-03,1.700606e-03,1.676767e-03,1.666311e-03,1.653039e-03,1.629451e-03,1.619592e-03,1.606029e-03,1.582796e-03,1.573561e-03,1.559772e-03,1.536973e-03,1.528372e-03,1.514416e-03,1.492113e-03,1.484149e-03,1.470077e-03,1.448316e-03,1.440981e-03,1.426839e-03,1.405653e-03,1.398936e-03,1.384765e-03,1.364178e-03,1.358061e-03,1.343896e-03,1.323923e-03,1.318386e-03,1.304260e-03,1.284908e-03,1.279928e-03,1.265869e-03,1.247143e-03,1.242695e-03,1.228728e-03,1.210624e-03,1.206683e-03,1.192830e-03,1.175345e-03,1.171884e-03,1.158165e-03,1.141290e-03,1.138284e-03,1.124715e-03,1.108440e-03,1.105864e-03,1.092460e-03,1.076773e-03,1.074600e-03,1.061376e-03,1.046264e-03,1.044470e-03,1.031435e-03,1.016885e-03,1.015445e-03,1.002610e-03,9.886063e-04,9.874976e-04,9.748706e-04,9.613987e-04,9.605987e-04,9.481870e-04,9.352314e-04,9.347184e-04,9.225282e-04,9.100733e-04,9.098268e-04,8.978631e-04,8.858935e-04,8.628887e-04,8.407826e-04,8.195458e-04,7.991493e-04,7.795650e-04,7.607650e-04,7.427222e-04,7.254104e-04,7.088038e-04,6.928774e-04,6.776069e-04,6.629690e-04,6.489406e-04,6.354998e-04,6.226251e-04,6.102958e-04,5.984918e-04,5.871937e-04,5.763829e-04,5.660411e-04,5.561508e-04,5.466953e-04,5.376579e-04,5.290231e-04,5.207756e-04,5.129006e-04,5.053839e-04,4.982117e-04,4.913710e-04,4.848488e-04,4.786328e-04,4.727111e-04,4.670722e-04,4.617051e-04,4.565990e-04,4.517435e-04,4.471289e-04,4.427453e-04,4.385836e-04,4.346348e-04,4.308903e-04,4.273417e-04,4.239811e-04,4.208007e-04,4.177931e-04,4.149510e-04,4.122674e-04,4.097359e-04,4.073497e-04
0.000000e+00,1.596443e-09,9.717353e-08,1.033731e-07,1.343435e-06,8.499145e-06,9.095812e-06,4.121012e-05,1.298810e-04,1.387017e-04,3.698685e-04,7.746775e-04,8.209672e-04,1.579067e-03,2.584705e-03,2.717273e-03,4.286375e-03,6.044678e-03,6.312152e-03,8.796443e-03,1.128571e-02,1.172034e-02,1.504836e-02,1.812157e-02,1.873281e-02,2.271787e-02,2.616776e-02,2.694331e-02,3.134742e-02,3.495849e-02,3.586952e-02,4.045172e-02,4.403285e-02,4.504034e-02,4.958669e-02,5.298690e-02,5.404764e-02,5.838579e-02,6.149811e-02,6.256945e-02,6.657246e-02,6.933081e-02,7.037386e-02,7.395750e-02,7.633000e-02,7.731158e-02,8.042823e-02,8.240951e-02,8.330296e-02,8.593429e-02,8.753804e-02,8.832325e-02,9.047303e-02,9.172558e-02,9.238856e-02,9.407623e-02,9.501140e-02,9.554353e-02,9.679886e-02,9.745404e-02,9.785125e-02,9.871019e-02,9.912358e-02,9.938545e-02,9.988695e-02,1.000956e-01,1.002246e-01,1.004084e-01,1.004470e-01,1.004479e-01,1.003528e-01,1.002532e-01,1.001322e-01,9.979517e-02,9.958570e-02,9.935033e-02,9.880599e-02,9.851170e-02,9.817009e-02,9.745022e-02,9.709290e-02,9.665363e-02,9.578718e-02,9.538550e-02,9.485738e-02,9.387040e-02,9.344023e-02,9.283206e-02,9.174787e-02,9.130252e-02,9.062300e-02,8.946231e-02,8.901282e-02,8.827039e-02,8.705152e-02,8.660691e-02,8.580973e-02,8.454878e-02,8.411633e-02,8.327220e-02,8.198327e-02,8.156870e-02,8.068504e-02,7.938039e-02,7.898814e-02,7.807195e-02,7.676218e-02,7.639553e-02,7.545338e-02,7.414767e-02,7.380893e-02,7.284698e-02,7.155313e-02,7.124381e-02,7.026778e-02,6.899246e-02,6.871338e-02,6.772857e-02,6.647738e-02,6.622878e-02,6.524008e-02,6.401772e-02,6.379936e-02,6.281128e-02,6.162162e-02,6.143288e-02,6.044953e-02,5.929572e-02,5.913568e-02,5.816081e-02,5.704537e-02,5.691284e-02,5.594987e-02,5.487477e-02,5.476839e-02,5.382041e-02,5.278712e-02,5.270538e-02,5.177517e-02,5.078477e-02,5.072604e-02,4.981610e-02,4.886928e-02,4.883186e-02,4.794441e-02,4.704156e-02,4.702373e-02,4.616074e-02,4.530195e-02,4.366640e-02,4.211652e-02,4.065143e-02,3.926995e-02,3.797063e-02,3.675183e-02,3.561171e-02,3.454830e-02,3.355947e-02,3.264303e-02,3.179664e-02,3.101795e-02,3.030450e-02,2.965381e-02,2.906335e-02,2.853056e-02,2.805286e-02,2.762766e-02,2.725237e-02,2.692438e-02,2.664109e-02,2.639994e-02,2.619834e-02,2.603378e-02,2.590373e-02,2.580573e-02,2.573735e-02,2.569619e-02,2.567995e-02,2.568634e-02,2.571316e-02,2.575828e-02,2.581963e-02,2.589524e-02,2.598321e-02,2.608173e-02,2.618907e-02,2.630362e-02,2.642382e-02,2.654826e-02,2.667558e-02,2.680455e-02,2.693401e-02,2.706292e-02,2.719033e-02,2.731538e-02,2.743730e-02,2.755542e-02,2.766914e-02
0.000000e+00,2.742677e-09,1.371233e-07,1.454012e-07,1.663101e-06,9.598869e-06,1.023363e-05,4.170787e-05,1.157075e-04,1.224333e-04,2.753951e-04,4.834569e-04,5.042852e-04,7.938852e-04,1.087394e-03,1.121167e-03,1.464572e-03,1.767120e-03,1.807924e-03,2.140695e-03,2.413681e-03,2.456792e-03,2.753139e-03,2.985884e-03,3.028522e-03,3.282794e-03,3.475848e-03,3.516405e-03,3.730114e-03,3.887365e-03,3.924837e-03,4.101554e-03,4.227534e-03,4.261260e-03,4.404933e-03,4.503989e-03,4.533525e-03,4.647952e-03,4.724023e-03,4.749087e-03,4.837764e-03,4.894344e-03,4.914776e-03,4.980873e-03,5.021031e-03,5.036769e-03,5.083136e-03,5.109551e-03,5.120614e-03,5.149803e-03,5.164807e-03,5.171275e-03,5.185567e-03,5.191182e-03,5.193187e-03,5.194614e-03,5.192589e-03,5.190301e-03,5.180673e-03,5.172514e-03,5.166134e-03,5.147061e-03,5.134064e-03,5.123812e-03,5.096724e-03,5.079995e-03,5.066111e-03,5.032273e-03,5.012758e-03,4.995489e-03,4.956023e-03,4.934523e-03,4.914122e-03,4.870018e-03,4.847210e-03,4.823931e-03,4.776065e-03,4.752515e-03,4.726613e-03,4.675754e-03,4.651933e-03,4.623657e-03,4.570482e-03,4.546781e-03,4.516375e-03,4.461475e-03,4.438212e-03,4.405912e-03,4.349806e-03,4.327237e-03,4.293270e-03,4.236409e-03,4.214737e-03,4.179321e-03,4.122097e-03,4.101479e-03,4.064821e-03,4.007573e-03,3.988128e-03,3.950425e-03,3.893445e-03,3.875257e-03,3.836694e-03,3.780232e-03,3.763357e-03,3.724110e-03,3.668378e-03,3.652849e-03,3.613081e-03,3.558259e-03,3.544088e-03,3.503951e-03,3.450191e-03,3.437374e-03,3.397010e-03,3.344436e-03,3.332953e-03,3.292494e-03,3.241208e-03,3.231032e-03,3.190598e-03,3.140683e-03,3.131773e-03,3.091478e-03,3.042997e-03,3.035308e-03,2.995253e-03,2.948256e-03,2.941737e-03,2.902016e-03,2.856538e-03,2.851132e-03,2.811829e-03,2.767895e-03,2.763544e-03,2.724737e-03,2.682358e-03,2.679002e-03,2.640760e-03,2.599943e-03,2.597518e-03,2.559905e-03,2.520645e-03,2.519091e-03,2.482160e-03,2.444448e-03,2.443702e-03,2.407504e-03,2.371324e-03,2.301921e-03,2.235447e-03,2.171849e-03,2.111071e-03,2.053049e-03,1.997717e-03,1.945007e-03,1.894846e-03,1.847162e-03,1.801880e-03,1.758926e-03,1.718224e-03,1.679699e-03,1.643277e-03,1.608883e-03,1.576443e-03,1.545886e-03,1.517140e-03,1.490134e-03,1.464802e-03,1.441074e-03,1.418887e-03,1.398174e-03,1.378875e-03,1.360928e-03,1.344274e-03,1.328855e-03,1.314616e-03,1.301501e-03,1.289459e-03,1.278438e-03,1.268390e-03,1.259265e-03,1.251018e-03,1.243604e-03,1.236979e-03,1.231103e-03,1.225933e-03,1.221432e-03,1.217561e-03,1.214284e-03,1.211567e-03,1.209376e-03,1.207678e-03,1.206442e-03,1.205638e-03,1.205238e-03,1.205213e-03,1.205537e-03
0.000000e+00,8.166295e-10,1.094960e-08,1.143070e-08,7.011263e-08,2.424990e-07,2.531504e-07,6.116237e-07,1.058638e-06,1.088652e-06,1.589961e-06,2.035411e-06,2.073042e-06,2.526975e-06,2.909019e-06,2.949927e-06,3.342412e-06,3.663494e-06,3.705566e-06,4.040684e-06,4.307472e-06,4.349091e-06,4.632108e-06,4.851174e-06,4.891036e-06,5.127149e-06,5.304607e-06,5.341686e-06,5.535850e-06,5.677295e-06,5.710803e-06,5.867661e-06,5.978141e-06,6.007497e-06,6.131333e-06,6.215350e-06,6.240146e-06,6.334866e-06,6.396408e-06,6.416378e-06,6.485521e-06,6.528092e-06,6.543089e-06,6.589845e-06,6.616526e-06,6.626506e-06,6.653749e-06,6.667224e-06,6.672217e-06,6.682516e-06,6.685119e-06,6.685220e-06,6.680873e-06,6.674626e-06,6.669984e-06,6.653037e-06,6.639689e-06,6.630489e-06,6.602770e-06,6.583826e-06,6.570285e-06,6.533418e-06,6.510170e-06,6.492528e-06,6.447955e-06,6.421505e-06,6.400017e-06,6.349016e-06,6.320302e-06,6.295234e-06,6.238937e-06,6.208753e-06,6.180375e-06,6.119782e-06,6.088793e-06,6.057378e-06,5.993370e-06,5.962134e-06,5.927951e-06,5.861303e-06,5.830280e-06,5.793596e-06,5.724988e-06,5.694554e-06,5.655628e-06,5.585655e-06,5.556115e-06,5.515198e-06,5.444379e-06,5.415976e-06,5.373310e-06,5.302096e-06,5.275017e-06,5.230833e-06,5.159614e-06,5.134002e-06,5.088522e-06,5.017634e-06,4.993592e-06,4.947023e-06,4.876755e-06,4.854352e-06,4.806892e-06,4.737490e-06,4.716767e-06,4.668601e-06,4.600272e-06,4.581247e-06,4.532548e-06,4.465467e-06,4.448135e-06,4.399065e-06,4.333376e-06,4.317720e-06,4.268429e-06,4.204250e-06,4.190236e-06,4.140863e-06,4.078289e-06,4.065874e-06,4.016547e-06,3.955653e-06,3.944783e-06,3.895621e-06,3.836463e-06,3.827080e-06,3.778189e-06,3.720809e-06,3.712847e-06,3.664327e-06,3.608751e-06,3.602143e-06,3.554083e-06,3.500326e-06,3.495001e-06,3.447481e-06,3.395549e-06,3.391434e-06,3.344528e-06,3.294415e-06,3.291438e-06,3.245209e-06,3.196906e-06,3.194992e-06,3.149500e-06,3.102987e-06,3.102066e-06,3.057360e-06,3.012613e-06,2.926581e-06,2.843908e-06,2.764527e-06,2.688363e-06,2.615341e-06,2.545377e-06,2.478390e-06,2.414293e-06,2.353000e-06,2.294423e-06,2.238476e-06,2.185070e-06,2.134119e-06,2.085538e-06,2.039241e-06,1.995145e-06,1.953168e-06,1.913229e-06,1.875252e-06,1.839158e-06,1.804873e-06,1.772325e-06,1.741443e-06,1.712159e-06,1.684406e-06,1.658120e-06,1.633239e-06,1.609703e-06,1.587453e-06,1.566434e-06,1.546591e-06,1.527872e-06,1.510228e-06,1.493610e-06,1.477970e-06,1.463266e-06,1.449452e-06,1.436489e-06,1.424337e-06,1.412956e-06,1.402311e-06,1.392367e-06,1.383089e-06,1.374446e-06,1.366406e-06,1.358939e-06,1.352018e-06,1.345614e-06,1.339703e-06
0.000000e+00,4.604102e-10,3.253419e-08,3.475340e-08,5.536132e-07,3.987800e-06,4.282985e-06,2.029867e-05,6.265149e-05,6.671500e-05,1.667894e-04,3.244017e-04,3.415046e-04,6.046152e-04,9.213885e-04,9.612351e-04,1.408660e-03,1.870693e-03,1.938176e-03,2.537082e-03,3.096335e-03,3.190519e-03,3.882945e-03,4.483616e-03,4.599231e-03,5.325390e-03,5.919455e-03,6.049024e-03,6.759536e-03,7.312563e-03,7.448185e-03,8.108016e-03,8.599214e-03,8.733726e-03,9.321491e-03,9.741206e-03,9.868764e-03,1.037409e-02,1.072066e-02,1.083690e-02,1.125738e-02,1.153430e-02,1.163626e-02,1.197472e-02,1.218841e-02,1.227430e-02,1.253672e-02,1.269492e-02,1.276391e-02,1.295784e-02,1.306860e-02,1.312055e-02,1.325408e-02,1.332515e-02,1.336043e-02,1.344154e-02,1.347999e-02,1.349931e-02,1.353553e-02,1.354763e-02,1.355191e-02,1.355008e-02,1.354127e-02,1.353156e-02,1.349779e-02,1.347272e-02,1.345011e-02,1.338978e-02,1.335235e-02,1.331796e-02,1.323575e-02,1.318922e-02,1.314415e-02,1.304410e-02,1.299119e-02,1.293648e-02,1.282209e-02,1.276499e-02,1.270167e-02,1.257591e-02,1.251645e-02,1.244546e-02,1.231090e-02,1.225053e-02,1.217277e-02,1.203157e-02,1.197147e-02,1.188777e-02,1.174180e-02,1.168289e-02,1.159404e-02,1.144485e-02,1.138786e-02,1.129457e-02,1.114351e-02,1.108899e-02,1.099194e-02,1.084011e-02,1.078848e-02,1.068828e-02,1.053664e-02,1.048820e-02,1.038541e-02,1.023475e-02,1.018969e-02,1.008483e-02,9.935805e-03,9.894257e-03,9.787808e-03,9.640960e-03,9.602982e-03,9.495374e-03,9.351150e-03,9.316749e-03,9.208378e-03,9.067139e-03,9.036280e-03,8.927506e-03,8.789542e-03,8.762155e-03,8.653305e-03,8.518845e-03,8.494835e-03,8.386207e-03,8.255426e-03,8.234676e-03,8.126537e-03,7.999566e-03,7.981945e-03,7.874537e-03,7.751466e-03,7.736830e-03,7.630370e-03,7.511259e-03,7.499457e-03,7.394140e-03,7.279019e-03,7.269896e-03,7.165897e-03,7.054773e-03,7.048169e-03,6.945644e-03,6.838504e-03,6.834260e-03,6.733347e-03,6.630164e-03,6.628120e-03,6.528943e-03,6.429673e-03,6.238817e-03,6.055435e-03,5.879392e-03,5.710541e-03,5.548727e-03,5.393786e-03,5.245548e-03,5.103840e-03,4.968486e-03,4.839307e-03,4.716127e-03,4.598767e-03,4.487050e-03,4.380800e-03,4.279844e-03,4.184011e-03,4.093133e-03,4.007043e-03,3.925580e-03,3.848584e-03,3.775899e-03,3.707372e-03,3.642852e-03,3.582195e-03,3.525258e-03,3.471901e-03,3.421988e-03,3.375386e-03,3.331966e-03,3.291601e-03,3.254169e-03,3.219548e-03,3.187621e-03,3.158275e-03,3.131397e-03,3.106879e-03,3.084614e-03,3.064501e-03,3.046437e-03,3.030324e-03,3.016069e-03,3.003576e-03,2.992756e-03,2.983521e-03,2.975784e-03,2.969463e-03,2.964477e-03,2.960747e-03,2.958196e-03
0.000000e+00,8.095959e-10,4.875717e-08,5.190612e-08,7.135754e-07,4.689129e-06,5.020995e-06,2.228156e-05,6.488568e-05,6.882739e-05,1.607421e-04,2.922189e-04,3.057792e-04,5.016518e-04,7.136001e-04,7.388150e-04,1.004243e-03,1.250470e-03,1.284459e-03,1.567409e-03,1.805436e-03,1.843350e-03,2.105049e-03,2.310221e-03,2.347601e-03,2.568067e-03,2.731350e-03,2.765051e-03,2.938312e-03,3.060206e-03,3.088424e-03,3.216501e-03,3.302028e-03,3.323990e-03,3.412515e-03,3.468150e-03,3.483766e-03,3.539421e-03,3.571522e-03,3.581102e-03,3.610334e-03,3.624475e-03,3.628538e-03,3.637015e-03,3.637800e-03,3.636950e-03,3.629414e-03,3.620518e-03,3.615371e-03,3.595683e-03,3.579973e-03,3.571117e-03,3.542359e-03,3.522037e-03,3.510016e-03,3.474625e-03,3.451364e-03,3.436663e-03,3.396551e-03,3.371608e-03,3.354660e-03,3.311317e-03,3.285629e-03,3.266812e-03,3.221400e-03,3.195657e-03,3.175303e-03,3.128718e-03,3.103421e-03,3.081818e-03,3.034753e-03,3.010260e-03,2.987657e-03,2.940644e-03,2.917201e-03,2.893815e-03,2.847259e-03,2.825031e-03,2.801051e-03,2.755257e-03,2.734346e-03,2.709933e-03,2.665129e-03,2.645591e-03,2.620886e-03,2.577239e-03,2.559092e-03,2.534217e-03,2.491846e-03,2.475084e-03,2.450145e-03,2.409132e-03,2.393729e-03,2.368818e-03,2.329213e-03,2.315131e-03,2.290326e-03,2.252159e-03,2.239348e-03,2.214717e-03,2.178000e-03,2.166403e-03,2.142007e-03,2.106735e-03,2.096294e-03,2.072182e-03,2.038343e-03,2.028995e-03,2.005212e-03,1.972783e-03,1.964465e-03,1.941049e-03,1.910002e-03,1.902652e-03,1.879634e-03,1.849936e-03,1.843492e-03,1.820900e-03,1.792515e-03,1.786915e-03,1.764773e-03,1.737663e-03,1.732849e-03,1.711175e-03,1.685300e-03,1.681216e-03,1.660027e-03,1.635345e-03,1.631937e-03,1.611245e-03,1.587716e-03,1.584930e-03,1.564748e-03,1.542329e-03,1.540117e-03,1.520451e-03,1.499103e-03,1.497417e-03,1.478274e-03,1.457954e-03,1.456751e-03,1.438135e-03,1.418804e-03,1.418041e-03,1.399954e-03,1.381574e-03,1.381211e-03,1.363655e-03,1.346186e-03,1.312894e-03,1.281265e-03,1.251228e-03,1.222719e-03,1.195673e-03,1.170028e-03,1.145723e-03,1.122702e-03,1.100908e-03,1.080288e-03,1.060790e-03,1.042365e-03,1.024964e-03,1.008542e-03,9.930538e-04,9.784579e-04,9.647132e-04,9.517806e-04,9.396225e-04,9.282028e-04,9.174869e-04,9.074416e-04,8.980350e-04,8.892365e-04,8.810169e-04,8.733479e-04,8.662027e-04,8.595553e-04,8.533811e-04,8.476563e-04,8.423580e-04,8.374646e-04,8.329551e-04,8.288096e-04,8.250088e-04,8.215344e-04,8.183688e-04,8.154953e-04,8.128978e-04,8.105607e-04,8.084695e-04,8.066100e-04,8.049687e-04,8.035329e-04,8.022901e-04,8.012286e-04,8.003372e-04,7.996053e-04,7.990225e-04
0.000000e+00,8.122339e-10,5.739741e-08,6.131036e-08,9.835347e-07,7.208241e-06,7.746851e-06,3.703566e-05,1.140139e-04,1.213759e-04,3.026497e-04,5.905229e-04,6.220051e-04,1.112858e-03,1.720007e-03,1.797601e-03,2.686921e-03,3.638861e-03,3.780671e-03,5.069549e-03,6.321637e-03,6.537083e-03,8.161634e-03,9.629397e-03,9.918237e-03,1.178019e-02,1.336655e-02,1.372035e-02,1.571218e-02,1.732588e-02,1.773052e-02,1.975212e-02,2.131764e-02,2.175599e-02,2.372359e-02,2.518479e-02,2.563895e-02,2.748854e-02,2.880829e-02,2.926127e-02,3.094830e-02,3.210600e-02,3.254283e-02,3.403998e-02,3.502825e-02,3.543650e-02,3.673063e-02,3.755184e-02,3.792185e-02,3.901074e-02,3.967403e-02,3.999876e-02,4.088813e-02,4.140684e-02,4.168167e-02,4.238267e-02,4.277239e-02,4.299476e-02,4.352188e-02,4.379905e-02,4.396810e-02,4.433764e-02,4.451850e-02,4.463473e-02,4.486361e-02,4.496356e-02,4.502848e-02,4.513346e-02,4.516666e-02,4.518256e-02,4.517965e-02,4.515883e-02,4.512848e-02,4.503265e-02,4.496906e-02,4.489559e-02,4.472056e-02,4.462399e-02,4.451068e-02,4.426889e-02,4.414771e-02,4.399795e-02,4.370050e-02,4.356186e-02,4.337900e-02,4.303576e-02,4.288565e-02,4.267297e-02,4.229265e-02,4.213605e-02,4.189671e-02,4.148694e-02,4.132795e-02,4.106499e-02,4.063241e-02,4.047437e-02,4.019066e-02,3.974107e-02,3.958665e-02,3.928490e-02,3.882331e-02,3.867464e-02,3.835738e-02,3.788812e-02,3.774683e-02,3.741645e-02,3.694323e-02,3.681056e-02,3.646926e-02,3.599527e-02,3.587211e-02,3.552194e-02,3.504990e-02,3.493687e-02,3.457973e-02,3.411196e-02,3.400942e-02,3.364707e-02,3.318551e-02,3.309364e-02,3.272769e-02,3.227399e-02,3.219279e-02,3.182474e-02,3.138026e-02,3.130960e-02,3.094082e-02,3.050669e-02,3.044635e-02,3.007808e-02,2.965521e-02,2.960486e-02,2.923825e-02,2.882738e-02,2.878663e-02,2.842272e-02,2.802442e-02,2.799283e-02,2.763257e-02,2.724727e-02,2.722436e-02,2.686860e-02,2.649662e-02,2.648188e-02,2.613138e-02,2.577293e-02,2.576583e-02,2.542129e-02,2.507648e-02,2.441393e-02,2.377817e-02,2.316904e-02,2.258630e-02,2.202960e-02,2.149855e-02,2.099266e-02,2.051141e-02,2.005423e-02,1.962051e-02,1.920961e-02,1.882088e-02,1.845363e-02,1.810718e-02,1.778081e-02,1.747381e-02,1.718548e-02,1.691510e-02,1.666197e-02,1.642537e-02,1.620461e-02,1.599899e-02,1.580783e-02,1.563046e-02,1.546623e-02,1.531448e-02,1.517457e-02,1.504590e-02,1.492786e-02,1.481986e-02,1.472132e-02,1.463169e-02,1.455044e-02,1.447703e-02,1.441098e-02,1.435178e-02,1.429898e-02,1.425211e-02,1.421076e-02,1.417449e-02,1.414291e-02,1.411565e-02,1.409234e-02,1.407263e-02,1.405620e-02,1.404272e-02,1.403192e-02,1.402350e-02,1.401721e-02
0.000000e+00,1.564491e-09,8.844673e-08,9.408053e-08,1.251910e-06,7.971613e-06,8.523584e-06,3.646556e-05,1.026814e-04,1.086836e-04,2.443126e-04,4.270742e-04,4.453099e-04,6.984064e-04,9.547991e-04,9.843221e-04,1.284923e-03,1.550438e-03,1.586295e-03,1.879075e-03,2.119616e-03,2.157622e-03,2.418932e-03,2.624138e-03,2.661720e-03,2.885742e-03,3.055674e-03,3.091353e-03,3.279233e-03,3.417336e-03,3.450228e-03,3.605257e-03,3.715697e-03,3.745254e-03,3.871141e-03,3.957929e-03,3.983811e-03,4.084121e-03,4.150873e-03,4.172884e-03,4.250872e-03,4.300762e-03,4.318814e-03,4.377396e-03,4.413184e-03,4.427267e-03,4.469035e-03,4.493103e-03,4.503273e-03,4.530518e-03,4.544915e-03,4.551275e-03,4.566018e-03,4.572505e-03,4.575193e-03,4.579217e-03,4.579297e-03,4.578480e-03,4.573350e-03,4.568308e-03,4.564171e-03,4.551264e-03,4.542190e-03,4.534932e-03,4.515456e-03,4.503275e-03,4.493101e-03,4.468115e-03,4.453610e-03,4.440728e-03,4.411158e-03,4.394986e-03,4.379607e-03,4.346263e-03,4.328975e-03,4.311304e-03,4.274894e-03,4.256947e-03,4.237187e-03,4.198327e-03,4.180101e-03,4.158447e-03,4.117673e-03,4.099480e-03,4.076121e-03,4.033899e-03,4.015991e-03,3.991108e-03,3.947842e-03,3.930422e-03,3.904187e-03,3.860224e-03,3.843453e-03,3.816029e-03,3.771671e-03,3.755675e-03,3.727214e-03,3.682719e-03,3.667591e-03,3.638239e-03,3.593827e-03,3.579637e-03,3.549529e-03,3.505388e-03,3.492183e-03,3.461445e-03,3.417734e-03,3.405542e-03,3.374292e-03,3.331147e-03,3.319981e-03,3.288327e-03,3.245860e-03,3.235722e-03,3.203767e-03,3.162069e-03,3.152951e-03,3.120786e-03,3.079935e-03,3.071818e-03,3.039531e-03,2.999587e-03,2.992448e-03,2.960117e-03,2.921129e-03,2.914937e-03,2.882635e-03,2.844641e-03,2.839362e-03,2.807155e-03,2.770182e-03,2.765780e-03,2.733728e-03,2.697796e-03,2.694232e-03,2.662389e-03,2.627510e-03,2.624743e-03,2.593160e-03,2.559340e-03,2.557327e-03,2.526049e-03,2.493288e-03,2.491988e-03,2.461055e-03,2.429349e-03,2.428720e-03,2.398168e-03,2.367509e-03,2.308335e-03,2.251172e-03,2.195989e-03,2.142752e-03,2.091424e-03,2.041964e-03,1.994331e-03,1.948479e-03,1.904365e-03,1.861942e-03,1.821164e-03,1.781984e-03,1.744356e-03,1.708233e-03,1.673567e-03,1.640315e-03,1.608429e-03,1.577865e-03,1.548580e-03,1.520529e-03,1.493671e-03,1.467964e-03,1.443367e-03,1.419840e-03,1.397346e-03,1.375846e-03,1.355303e-03,1.335682e-03,1.316948e-03,1.299067e-03,1.282007e-03,1.265735e-03,1.250221e-03,1.235435e-03,1.221348e-03,1.207932e-03,1.195159e-03,1.183004e-03,1.171441e-03,1.160445e-03,1.149992e-03,1.140060e-03,1.130626e-03,1.121669e-03,1.113169e-03,1.105104e-03,1.097456e-03,1.090207e-03,1.083338e-03
0.000000e+00,2.140382e-09,1.117951e-07,1.186824e-07,1.405380e-06,7.877873e-06,8.379271e-06,3.173204e-05,8.162540e-05,8.597667e-05,1.805788e-04,3.012110e-04,3.129339e-04,4.707829e-04,6.225268e-04,6.395193e-04,8.072642e-04,9.478496e-04,9.663129e-04,1.112550e-03,1.226756e-03,1.244313e-03,1.361394e-03,1.448798e-03,1.464359e-03,1.554133e-03,1.618647e-03,1.631776e-03,1.698366e-03,1.744377e-03,1.754938e-03,1.802462e-03,1.833828e-03,1.841833e-03,1.873872e-03,1.893781e-03,1.899327e-03,1.918876e-03,1.929906e-03,1.933137e-03,1.942669e-03,1.946890e-03,1.947979e-03,1.949523e-03,1.948587e-03,1.947716e-03,1.942934e-03,1.938156e-03,1.935513e-03,1.925760e-03,1.918181e-03,1.913951e-03,1.900335e-03,1.890778e-03,1.885137e-03,1.868559e-03,1.857669e-03,1.850785e-03,1.831978e-03,1.820261e-03,1.812287e-03,1.791847e-03,1.779695e-03,1.770776e-03,1.749184e-03,1.736900e-03,1.727166e-03,1.704811e-03,1.692626e-03,1.682196e-03,1.659391e-03,1.647479e-03,1.636460e-03,1.613457e-03,1.601945e-03,1.590434e-03,1.567434e-03,1.556414e-03,1.544497e-03,1.521659e-03,1.511195e-03,1.498951e-03,1.476399e-03,1.466533e-03,1.454030e-03,1.431863e-03,1.422618e-03,1.409918e-03,1.388211e-03,1.379598e-03,1.366756e-03,1.345564e-03,1.337583e-03,1.324647e-03,1.304014e-03,1.296656e-03,1.283670e-03,1.263624e-03,1.256876e-03,1.243878e-03,1.224438e-03,1.218282e-03,1.205306e-03,1.186484e-03,1.180899e-03,1.167974e-03,1.149776e-03,1.144736e-03,1.131890e-03,1.114316e-03,1.109797e-03,1.097052e-03,1.080098e-03,1.076075e-03,1.063451e-03,1.047110e-03,1.043555e-03,1.031071e-03,1.015334e-03,1.012222e-03,9.998930e-04,9.847469e-04,9.820516e-04,9.698919e-04,9.553246e-04,9.530203e-04,9.410416e-04,9.270390e-04,9.251009e-04,9.133133e-04,8.998606e-04,8.982645e-04,8.866771e-04,8.737589e-04,8.724815e-04,8.611019e-04,8.487023e-04,8.477213e-04,8.365560e-04,8.246591e-04,8.239532e-04,8.130076e-04,8.015975e-04,8.011460e-04,7.904247e-04,7.794854e-04,7.792690e-04,7.687757e-04,7.582916e-04,7.381834e-04,7.189149e-04,7.004567e-04,6.827803e-04,6.658578e-04,6.496622e-04,6.341669e-04,6.193464e-04,6.051758e-04,5.916309e-04,5.786883e-04,5.663253e-04,5.545202e-04,5.432516e-04,5.324991e-04,5.222429e-04,5.124638e-04,5.031434e-04,4.942638e-04,4.858079e-04,4.777590e-04,4.701011e-04,4.628186e-04,4.558967e-04,4.493210e-04,4.430775e-04,4.371529e-04,4.315342e-04,4.262090e-04,4.211653e-04,4.163913e-04,4.118761e-04,4.076087e-04,4.035789e-04,3.997765e-04,3.961919e-04,3.928158e-04,3.896392e-04,3.866535e-04,3.838502e-04,3.812215e-04,3.787594e-04,3.764566e-04,3.743058e-04,3.723001e-04,3.704329e-04,3.686976e-04,3.670882e-04,3.655985e-04
0.000000e+00,3.735842e-08,2.461041e-06,2.623401e-06,3.783258e-05,2.582941e-04,2.770864e-04,1.306212e-03,4.154424e-03,4.436220e-03,1.173655e-02,2.429616e-02,2.572236e-02,4.895269e-02,7.966885e-02,8.372153e-02,1.318700e-01,1.863526e-01,1.946962e-01,2.729348e-01,3.527099e-01,3.667822e-01,4.759510e-01,5.789903e-01,5.997395e-01,7.371077e-01,8.589758e-01,8.867533e-01,1.047185e+00,1.182212e+00,1.216786e+00,1.393874e+00,1.536108e+00,1.576752e+00,1.763743e+00,1.907610e+00,1.953231e+00,2.143679e+00,2.284383e+00,2.333656e+00,2.521842e+00,2.655552e+00,2.707043e+00,2.888191e+00,3.012074e+00,3.064345e+00,3.234694e+00,3.346856e+00,3.398544e+00,3.555320e+00,3.654687e+00,3.704556e+00,3.845888e+00,3.932063e+00,3.979044e+00,4.103839e+00,4.176962e+00,4.220163e+00,4.327977e+00,4.388587e+00,4.427301e+00,4.518209e+00,4.567125e+00,4.600821e+00,4.675296e+00,4.713519e+00,4.741828e+00,4.800638e+00,4.829269e+00,4.851969e+00,4.896084e+00,4.916264e+00,4.933260e+00,4.963782e+00,4.976640e+00,4.987945e+00,5.006047e+00,5.012671e+00,5.018387e+00,5.025266e+00,5.026678e+00,5.026980e+00,5.023824e+00,5.020967e+00,5.016086e+00,5.004047e+00,4.997776e+00,4.987984e+00,4.968164e+00,4.959242e+00,4.944845e+00,4.918277e+00,4.907380e+00,4.888701e+00,4.856349e+00,4.844065e+00,4.821441e+00,4.784190e+00,4.771027e+00,4.744799e+00,4.703461e+00,4.689852e+00,4.660360e+00,4.615672e+00,4.601980e+00,4.569561e+00,4.522185e+00,4.508714e+00,4.473694e+00,4.424226e+00,4.411221e+00,4.373916e+00,4.322887e+00,4.310546e+00,4.271258e+00,4.219138e+00,4.207617e+00,4.166633e+00,4.113839e+00,4.103253e+00,4.060846e+00,4.007742e+00,3.998177e+00,3.954604e+00,3.901508e+00,3.893022e+00,3.848523e+00,3.795712e+00,3.788336e+00,3.743136e+00,3.690850e+00,3.684598e+00,3.638905e+00,3.587349e+00,3.582217e+00,3.536226e+00,3.485574e+00,3.481544e+00,3.435432e+00,3.385833e+00,3.382875e+00,3.336808e+00,3.288385e+00,3.286461e+00,3.240590e+00,3.193445e+00,3.192508e+00,3.146970e+00,3.101186e+00,3.012629e+00,2.926943e+00,2.844209e+00,2.764483e+00,2.687801e+00,2.614182e+00,2.543627e+00,2.476127e+00,2.411657e+00,2.350183e+00,2.291664e+00,2.236049e+00,2.183280e+00,2.133293e+00,2.086020e+00,2.041389e+00,1.999324e+00,1.959745e+00,1.922570e+00,1.887718e+00,1.855102e+00,1.824638e+00,1.796238e+00,1.769816e+00,1.745285e+00,1.722559e+00,1.701552e+00,1.682179e+00,1.664357e+00,1.648002e+00,1.633033e+00,1.619371e+00,1.606937e+00,1.595657e+00,1.585456e+00,1.576262e+00,1.568007e+00,1.560622e+00,1.554044e+00,1.548211e+00,1.543062e+00,1.538541e+00,1.534594e+00,1.531169e+00,1.528217e+00,1.525692e+00,1.523549e+00,1.521747e+00,1.520247e+00
0.000000e+00,4.111625e-09,4.605641e-08,4.790107e-08,2.542110e-07,8.141964e-07,8.480065e-07,1.970656e-06,3.367304e-06,3.461067e-06,5.012704e-06,6.350898e-06,6.461688e-06,7.767125e-06,8.818096e-06,8.927875e-06,9.952391e-06,1.074950e-05,1.085104e-05,1.163421e-05,1.222300e-05,1.231187e-05,1.289339e-05,1.331399e-05,1.338753e-05,1.380244e-05,1.408885e-05,1.414566e-05,1.442415e-05,1.460465e-05,1.464430e-05,1.481197e-05,1.490976e-05,1.493249e-05,1.501077e-05,1.504477e-05,1.505127e-05,1.505805e-05,1.504354e-05,1.503479e-05,1.498487e-05,1.493414e-05,1.491134e-05,1.481700e-05,1.473993e-05,1.470436e-05,1.457571e-05,1.448014e-05,1.443311e-05,1.427844e-05,1.417057e-05,1.411339e-05,1.393949e-05,1.382421e-05,1.375814e-05,1.357057e-05,1.345166e-05,1.337792e-05,1.318118e-05,1.306156e-05,1.298128e-05,1.277903e-05,1.266093e-05,1.257515e-05,1.237032e-05,1.225541e-05,1.216511e-05,1.196004e-05,1.184953e-05,1.175559e-05,1.155215e-05,1.144689e-05,1.135009e-05,1.114974e-05,1.105030e-05,1.095138e-05,1.075526e-05,1.066197e-05,1.056158e-05,1.037053e-05,1.028358e-05,1.018228e-05,9.996953e-06,9.916369e-06,9.814672e-06,9.635529e-06,9.561244e-06,9.459602e-06,9.286953e-06,9.218822e-06,9.117629e-06,8.951665e-06,8.889485e-06,8.789086e-06,8.629904e-06,8.573432e-06,8.474125e-06,8.321745e-06,8.270709e-06,8.172754e-06,8.027134e-06,7.981245e-06,7.884864e-06,7.745915e-06,7.704873e-06,7.610256e-06,7.477850e-06,7.441354e-06,7.348659e-06,7.222641e-06,7.190391e-06,7.099751e-06,6.979944e-06,6.951643e-06,6.863169e-06,6.749378e-06,6.724740e-06,6.638520e-06,6.530542e-06,6.509288e-06,6.425393e-06,6.323018e-06,6.304881e-06,6.223364e-06,6.126377e-06,6.111103e-06,6.032004e-06,5.940189e-06,5.927537e-06,5.850881e-06,5.764024e-06,5.753763e-06,5.679566e-06,5.597454e-06,5.589369e-06,5.517635e-06,5.440059e-06,5.433948e-06,5.364673e-06,5.291429e-06,5.287101e-06,5.220274e-06,5.151162e-06,5.148439e-06,5.084042e-06,5.018869e-06,5.017585e-06,4.955594e-06,4.894173e-06,4.777849e-06,4.668271e-06,4.565111e-06,4.468054e-06,4.376796e-06,4.291047e-06,4.210529e-06,4.134976e-06,4.064132e-06,3.997756e-06,3.935615e-06,3.877487e-06,3.823161e-06,3.772435e-06,3.725119e-06,3.681028e-06,3.639988e-06,3.601835e-06,3.566409e-06,3.533561e-06,3.503147e-06,3.475033e-06,3.449088e-06,3.425190e-06,3.403223e-06,3.383074e-06,3.364639e-06,3.347817e-06,3.332514e-06,3.318639e-06,3.306107e-06,3.294835e-06,3.284748e-06,3.275771e-06,3.267836e-06,3.260876e-06,3.254829e-06,3.249637e-06,3.245242e-06,3.241592e-06,3.238637e-06,3.236329e-06,3.234624e-06,3.233478e-06,3.232852e-06,3.232708e-06,3.233010e-06,3.233723e-06,3.234817e-06
0.000000e+00,3.179325e-09,4.470114e-08,4.671138e-08,3.058060e-07,1.128239e-06,1.180408e-06,2.948601e-06,5.088066e-06,5.228354e-06,7.521738e-06,9.493338e-06,9.657304e-06,1.160388e-05,1.319634e-05,1.336428e-05,1.494907e-05,1.620791e-05,1.637020e-05,1.763944e-05,1.861801e-05,1.876792e-05,1.976612e-05,2.051114e-05,2.064388e-05,2.141044e-05,2.196214e-05,2.207447e-05,2.264410e-05,2.303696e-05,2.312694e-05,2.353010e-05,2.379355e-05,2.386024e-05,2.412356e-05,2.428254e-05,2.432581e-05,2.447238e-05,2.454793e-05,2.456824e-05,2.461801e-05,2.462772e-05,2.462596e-05,2.459603e-05,2.455450e-05,2.453186e-05,2.443683e-05,2.435617e-05,2.431404e-05,2.416634e-05,2.405650e-05,2.399637e-05,2.380656e-05,2.367570e-05,2.359913e-05,2.337614e-05,2.323090e-05,2.313946e-05,2.289083e-05,2.273658e-05,2.263183e-05,2.236391e-05,2.220495e-05,2.208839e-05,2.180650e-05,2.164628e-05,2.151935e-05,2.122795e-05,2.106916e-05,2.093323e-05,2.063602e-05,2.048076e-05,2.033711e-05,2.003718e-05,1.988703e-05,1.973686e-05,1.943674e-05,1.929290e-05,1.913732e-05,1.883908e-05,1.870240e-05,1.854243e-05,1.824776e-05,1.811882e-05,1.795540e-05,1.766565e-05,1.754480e-05,1.737878e-05,1.709503e-05,1.698245e-05,1.681461e-05,1.653770e-05,1.643343e-05,1.626446e-05,1.599503e-05,1.589899e-05,1.572953e-05,1.546806e-05,1.538010e-05,1.521070e-05,1.495753e-05,1.487740e-05,1.470859e-05,1.446392e-05,1.439136e-05,1.422357e-05,1.398754e-05,1.392223e-05,1.375585e-05,1.352849e-05,1.347009e-05,1.330547e-05,1.308677e-05,1.303493e-05,1.287238e-05,1.266225e-05,1.261660e-05,1.245638e-05,1.225471e-05,1.221488e-05,1.205721e-05,1.186385e-05,1.182948e-05,1.167457e-05,1.148932e-05,1.146005e-05,1.130806e-05,1.113072e-05,1.110621e-05,1.095726e-05,1.078762e-05,1.076752e-05,1.062174e-05,1.045957e-05,1.044355e-05,1.030103e-05,1.014607e-05,1.013383e-05,9.994637e-06,9.846659e-06,9.837889e-06,9.702077e-06,9.560830e-06,9.555249e-06,9.422855e-06,9.288091e-06,9.285428e-06,9.156477e-06,9.027950e-06,8.782339e-06,8.548130e-06,8.324864e-06,8.112095e-06,7.909385e-06,7.716310e-06,7.532458e-06,7.357431e-06,7.190844e-06,7.032325e-06,6.881516e-06,6.738071e-06,6.601660e-06,6.471964e-06,6.348677e-06,6.231505e-06,6.120168e-06,6.014397e-06,5.913933e-06,5.818530e-06,5.727953e-06,5.641974e-06,5.560380e-06,5.482963e-06,5.409526e-06,5.339882e-06,5.273852e-06,5.211263e-06,5.151952e-06,5.095763e-06,5.042547e-06,4.992161e-06,4.944471e-06,4.899347e-06,4.856666e-06,4.816309e-06,4.778167e-06,4.742130e-06,4.708098e-06,4.675974e-06,4.645663e-06,4.617080e-06,4.590138e-06,4.564758e-06,4.540864e-06,4.518383e-06,4.497245e-06,4.477384e-06,4.458737e-06
0.000000e+00,4.467544e-09,1.984020e-07,2.103171e-07,2.381033e-06,1.260462e-05,1.336266e-05,4.529986e-05,1.001690e-04,1.043785e-04,1.822409e-04,2.594393e-04,2.661545e-04,3.483346e-04,4.182310e-04,4.257216e-04,4.974981e-04,5.559950e-04,5.636409e-04,6.243648e-04,6.724636e-04,6.799461e-04,7.306718e-04,7.697363e-04,7.768250e-04,8.186806e-04,8.499816e-04,8.565037e-04,8.905485e-04,9.152272e-04,9.210574e-04,9.482619e-04,9.673296e-04,9.723822e-04,9.936264e-04,1.007970e-03,1.012192e-03,1.028263e-03,1.038652e-03,1.042012e-03,1.053602e-03,1.060696e-03,1.063185e-03,1.070907e-03,1.075282e-03,1.076910e-03,1.081323e-03,1.083478e-03,1.084267e-03,1.085856e-03,1.086213e-03,1.086194e-03,1.085379e-03,1.084296e-03,1.083505e-03,1.080657e-03,1.078438e-03,1.076916e-03,1.072358e-03,1.069260e-03,1.067053e-03,1.061067e-03,1.057308e-03,1.054462e-03,1.047295e-03,1.043056e-03,1.039620e-03,1.031488e-03,1.026922e-03,1.022944e-03,1.014033e-03,1.009268e-03,1.004796e-03,9.952697e-04,9.904093e-04,9.854896e-04,9.754887e-04,9.706188e-04,9.652973e-04,9.549437e-04,9.501339e-04,9.444543e-04,9.338533e-04,9.291593e-04,9.231633e-04,9.124053e-04,9.078713e-04,9.015986e-04,8.907611e-04,8.864212e-04,8.799093e-04,8.690586e-04,8.649385e-04,8.582229e-04,8.474151e-04,8.435335e-04,8.366473e-04,8.259302e-04,8.222997e-04,8.152738e-04,8.046873e-04,8.013157e-04,7.941789e-04,7.837562e-04,7.806472e-04,7.734261e-04,7.631948e-04,7.603485e-04,7.530679e-04,7.430505e-04,7.404644e-04,7.331470e-04,7.233614e-04,7.210309e-04,7.136974e-04,7.041580e-04,7.020764e-04,6.947460e-04,6.854637e-04,6.836230e-04,6.763131e-04,6.672960e-04,6.656872e-04,6.584137e-04,6.496674e-04,6.482806e-04,6.410578e-04,6.325857e-04,6.314106e-04,6.242515e-04,6.160553e-04,6.150811e-04,6.079973e-04,6.000771e-04,5.992927e-04,5.922946e-04,5.846493e-04,5.840436e-04,5.771406e-04,5.697677e-04,5.693297e-04,5.625300e-04,5.554264e-04,5.551450e-04,5.484559e-04,5.416175e-04,5.414820e-04,5.349099e-04,5.283319e-04,5.156847e-04,5.035296e-04,4.918553e-04,4.806496e-04,4.699003e-04,4.595945e-04,4.497194e-04,4.402621e-04,4.312095e-04,4.225487e-04,4.142667e-04,4.063508e-04,3.987884e-04,3.915672e-04,3.846749e-04,3.780996e-04,3.718297e-04,3.658537e-04,3.601607e-04,3.547397e-04,3.495804e-04,3.446724e-04,3.400058e-04,3.355712e-04,3.313591e-04,3.273606e-04,3.235669e-04,3.199697e-04,3.165607e-04,3.133322e-04,3.102765e-04,3.073862e-04,3.046545e-04,3.020743e-04,2.996393e-04,2.973430e-04,2.951793e-04,2.931425e-04,2.912268e-04,2.894268e-04,2.877373e-04,2.861533e-04,2.846699e-04,2.832826e-04,2.819867e-04,2.807781e-04,2.796526e-04,2.786063e-04,2.776353e-04
0.000000e+00,1.576481e-09,8.799304e-08,9.352498e-08,1.180441e-06,7.128193e-06,7.606949e-06,3.132509e-05,8.692535e-05,9.198427e-05,2.078768e-04,3.687734e-04,3.850978e-04,6.160720e-04,8.573416e-04,8.855356e-04,1.176869e-03,1.439901e-03,1.475782e-03,1.771572e-03,2.017855e-03,2.057000e-03,2.327608e-03,2.541638e-03,2.580958e-03,2.815977e-03,2.994860e-03,3.032472e-03,3.230782e-03,3.376769e-03,3.411561e-03,3.575628e-03,3.692575e-03,3.723880e-03,3.857241e-03,3.949198e-03,3.976624e-03,4.082918e-03,4.153654e-03,4.176979e-03,4.259617e-03,4.312480e-03,4.331606e-03,4.393672e-03,4.431584e-03,4.446503e-03,4.490746e-03,4.516237e-03,4.527008e-03,4.555863e-03,4.571110e-03,4.577845e-03,4.593460e-03,4.600331e-03,4.603180e-03,4.607449e-03,4.607541e-03,4.606683e-03,4.601272e-03,4.595949e-03,4.591582e-03,4.577956e-03,4.568376e-03,4.560713e-03,4.540157e-03,4.527303e-03,4.516567e-03,4.490207e-03,4.474909e-03,4.461324e-03,4.430149e-03,4.413104e-03,4.396897e-03,4.361770e-03,4.343562e-03,4.324955e-03,4.286630e-03,4.267745e-03,4.246956e-03,4.206089e-03,4.186929e-03,4.164170e-03,4.121332e-03,4.102225e-03,4.077700e-03,4.033389e-03,4.014601e-03,3.988505e-03,3.943150e-03,3.924896e-03,3.897415e-03,3.851387e-03,3.833836e-03,3.805146e-03,3.758765e-03,3.742048e-03,3.712315e-03,3.665857e-03,3.650070e-03,3.619451e-03,3.573150e-03,3.558365e-03,3.527006e-03,3.481063e-03,3.467326e-03,3.435364e-03,3.389947e-03,3.377286e-03,3.344849e-03,3.300101e-03,3.288527e-03,3.255733e-03,3.211772e-03,3.201285e-03,3.168243e-03,3.125167e-03,3.115754e-03,3.082565e-03,3.040454e-03,3.032092e-03,2.998850e-03,2.957768e-03,2.950429e-03,2.917219e-03,2.877215e-03,2.870866e-03,2.837766e-03,2.798879e-03,2.793480e-03,2.760561e-03,2.722819e-03,2.718329e-03,2.685657e-03,2.649079e-03,2.645453e-03,2.613086e-03,2.577682e-03,2.574875e-03,2.542867e-03,2.508642e-03,2.506607e-03,2.475006e-03,2.441958e-03,2.440649e-03,2.409497e-03,2.377620e-03,2.376989e-03,2.346325e-03,2.315609e-03,2.256483e-03,2.199581e-03,2.144866e-03,2.092296e-03,2.041828e-03,1.993416e-03,1.947010e-03,1.902559e-03,1.860014e-03,1.819320e-03,1.780425e-03,1.743275e-03,1.707818e-03,1.674001e-03,1.641770e-03,1.611074e-03,1.581861e-03,1.554082e-03,1.527685e-03,1.502622e-03,1.478846e-03,1.456309e-03,1.434966e-03,1.414772e-03,1.395683e-03,1.377656e-03,1.360651e-03,1.344627e-03,1.329545e-03,1.315367e-03,1.302056e-03,1.289576e-03,1.277891e-03,1.266969e-03,1.256777e-03,1.247282e-03,1.238455e-03,1.230264e-03,1.222683e-03,1.215682e-03,1.209234e-03,1.203314e-03,1.197896e-03,1.192956e-03,1.188471e-03,1.184418e-03,1.180774e-03,1.177518e-03,1.174631e-03
0.000000e+00,1.558085e-09,1.994522e-08,2.080210e-08,1.230846e-07,4.179405e-07,4.361121e-07,1.054832e-06,1.857743e-06,1.912703e-06,2.837275e-06,3.655693e-06,3.724357e-06,4.545194e-06,5.224132e-06,5.296132e-06,5.979583e-06,6.528176e-06,6.599309e-06,7.159269e-06,7.595999e-06,7.663347e-06,8.115271e-06,8.457185e-06,8.518591e-06,8.876676e-06,9.138793e-06,9.192713e-06,9.469713e-06,9.665117e-06,9.710511e-06,9.917772e-06,1.005777e-05,1.009400e-05,1.024155e-05,1.033586e-05,1.036261e-05,1.045924e-05,1.051616e-05,1.053337e-05,1.058680e-05,1.061340e-05,1.062121e-05,1.063817e-05,1.064044e-05,1.063914e-05,1.062548e-05,1.060850e-05,1.059848e-05,1.055930e-05,1.052732e-05,1.050906e-05,1.044879e-05,1.040539e-05,1.037944e-05,1.030189e-05,1.025006e-05,1.021698e-05,1.012547e-05,1.006769e-05,1.002807e-05,9.925437e-06,9.863760e-06,9.818193e-06,9.706900e-06,9.643004e-06,9.592083e-06,9.474228e-06,9.409483e-06,9.353785e-06,9.231167e-06,9.166675e-06,9.106758e-06,8.980911e-06,8.917550e-06,8.853950e-06,8.726175e-06,8.664635e-06,8.597860e-06,8.469257e-06,8.410067e-06,8.340597e-06,8.212092e-06,8.155649e-06,8.083934e-06,7.956301e-06,7.902890e-06,7.829351e-06,7.703230e-06,7.653044e-06,7.578070e-06,7.453990e-06,7.407145e-06,7.331096e-06,7.209486e-06,7.166037e-06,7.089244e-06,6.970448e-06,6.930398e-06,6.853164e-06,6.737452e-06,6.700765e-06,6.623364e-06,6.510945e-06,6.477550e-06,6.400233e-06,6.291261e-06,6.261064e-06,6.184056e-06,6.078639e-06,6.051526e-06,5.975028e-06,5.873236e-06,5.849078e-06,5.773272e-06,5.675141e-06,5.653798e-06,5.578845e-06,5.484383e-06,5.465710e-06,5.391751e-06,5.300943e-06,5.284790e-06,5.211950e-06,5.124761e-06,5.110978e-06,5.039364e-06,4.955745e-06,4.944179e-06,4.873886e-06,4.793771e-06,4.784274e-06,4.715381e-06,4.638697e-06,4.631121e-06,4.563697e-06,4.490360e-06,4.484564e-06,4.418664e-06,4.348585e-06,4.344431e-06,4.280100e-06,4.213184e-06,4.210540e-06,4.147814e-06,4.083964e-06,4.082703e-06,4.021610e-06,3.960725e-06,3.844409e-06,3.733557e-06,3.627969e-06,3.527449e-06,3.431801e-06,3.340831e-06,3.254351e-06,3.172174e-06,3.094122e-06,3.020016e-06,2.949687e-06,2.882969e-06,2.819702e-06,2.759731e-06,2.702906e-06,2.649084e-06,2.598126e-06,2.549899e-06,2.504275e-06,2.461131e-06,2.420350e-06,2.381819e-06,2.345429e-06,2.311077e-06,2.278665e-06,2.248097e-06,2.219283e-06,2.192137e-06,2.166577e-06,2.142524e-06,2.119901e-06,2.098639e-06,2.078668e-06,2.059924e-06,2.042344e-06,2.025868e-06,2.010441e-06,1.996008e-06,1.982519e-06,1.969925e-06,1.958179e-06,1.947237e-06,1.937057e-06,1.927599e-06,1.918825e-06,1.910698e-06,1.903184e-06,1.896250e-06,1.889865e-06
0.000000e+00,1.138029e-09,1.558228e-08,1.626051e-08,9.453026e-08,3.005365e-07,3.125935e-07,6.952280e-07,1.141639e-06,1.171009e-06,1.654398e-06,2.074679e-06,2.109827e-06,2.529578e-06,2.876702e-06,2.913527e-06,3.263312e-06,3.544455e-06,3.580940e-06,3.868459e-06,4.093161e-06,4.127856e-06,4.361038e-06,4.537980e-06,4.569817e-06,4.755914e-06,4.892729e-06,4.920950e-06,5.066449e-06,5.169744e-06,5.193840e-06,5.304464e-06,5.379923e-06,5.399577e-06,5.480348e-06,5.532821e-06,5.547876e-06,5.603184e-06,5.636811e-06,5.647230e-06,5.680902e-06,5.699192e-06,5.705033e-06,5.720396e-06,5.726321e-06,5.727712e-06,5.727652e-06,5.723718e-06,5.720840e-06,5.707857e-06,5.696172e-06,5.689244e-06,5.665502e-06,5.647833e-06,5.637099e-06,5.604468e-06,5.582291e-06,5.568011e-06,5.528103e-06,5.502646e-06,5.485089e-06,5.439293e-06,5.411574e-06,5.391011e-06,5.340521e-06,5.311378e-06,5.288079e-06,5.233920e-06,5.204038e-06,5.178264e-06,5.121315e-06,5.091253e-06,5.063259e-06,5.004270e-06,4.974475e-06,4.944506e-06,4.884116e-06,4.854946e-06,4.823234e-06,4.761985e-06,4.733720e-06,4.700485e-06,4.638838e-06,4.611692e-06,4.577141e-06,4.515483e-06,4.489618e-06,4.453945e-06,4.392601e-06,4.368133e-06,4.331518e-06,4.270758e-06,4.247766e-06,4.210378e-06,4.150428e-06,4.128960e-06,4.090953e-06,4.031995e-06,4.012074e-06,3.973592e-06,3.915776e-06,3.897404e-06,3.858578e-06,3.802024e-06,3.785187e-06,3.746138e-06,3.690940e-06,3.675610e-06,3.636447e-06,3.582676e-06,3.568816e-06,3.529640e-06,3.477350e-06,3.464912e-06,3.425815e-06,3.375043e-06,3.363976e-06,3.325039e-06,3.275808e-06,3.266055e-06,3.227353e-06,3.179675e-06,3.171176e-06,3.132776e-06,3.086655e-06,3.079347e-06,3.041309e-06,2.996738e-06,2.990560e-06,2.952937e-06,2.909903e-06,2.904790e-06,2.867631e-06,2.826116e-06,2.822006e-06,2.785352e-06,2.745333e-06,2.742164e-06,2.706053e-06,2.667503e-06,2.665213e-06,2.629677e-06,2.592567e-06,2.591097e-06,2.556164e-06,2.520461e-06,2.519754e-06,2.485449e-06,2.451119e-06,2.385123e-06,2.321695e-06,2.260765e-06,2.202258e-06,2.146103e-06,2.092226e-06,2.040554e-06,1.991015e-06,1.943538e-06,1.898054e-06,1.854493e-06,1.812789e-06,1.772875e-06,1.734687e-06,1.698163e-06,1.663242e-06,1.629864e-06,1.597973e-06,1.567512e-06,1.538428e-06,1.510668e-06,1.484181e-06,1.458919e-06,1.434835e-06,1.411881e-06,1.390015e-06,1.369193e-06,1.349375e-06,1.330521e-06,1.312591e-06,1.295551e-06,1.279363e-06,1.263993e-06,1.249409e-06,1.235579e-06,1.222471e-06,1.210057e-06,1.198307e-06,1.187195e-06,1.176693e-06,1.166778e-06,1.157423e-06,1.148605e-06,1.140303e-06,1.132493e-06,1.125155e-06,1.118269e-06,1.111815e-06,1.105775e-06
0.000000e+00,3.117413e-09,4.167838e-08,4.350199e-08,2.620603e-07,8.558150e-07,8.902043e-07,1.920909e-06,2.992410e-06,3.059771e-06,4.137718e-06,5.043406e-06,5.118132e-06,5.999089e-06,6.711042e-06,6.785624e-06,7.484050e-06,8.030871e-06,8.100772e-06,8.642006e-06,9.051634e-06,9.113700e-06,9.521546e-06,9.818734e-06,9.870916e-06,1.016686e-05,1.037298e-05,1.041409e-05,1.061699e-05,1.075013e-05,1.077962e-05,1.090574e-05,1.098100e-05,1.099881e-05,1.106201e-05,1.109188e-05,1.109828e-05,1.111030e-05,1.110505e-05,1.110055e-05,1.107129e-05,1.103931e-05,1.102459e-05,1.096236e-05,1.091049e-05,1.088633e-05,1.079809e-05,1.073186e-05,1.069909e-05,1.059066e-05,1.051453e-05,1.047401e-05,1.035025e-05,1.026777e-05,1.022037e-05,1.008529e-05,9.999297e-06,9.945843e-06,9.802787e-06,9.715507e-06,9.656804e-06,9.508517e-06,9.421679e-06,9.358488e-06,9.207224e-06,9.122150e-06,9.055185e-06,8.902784e-06,8.820470e-06,8.750393e-06,8.598344e-06,8.519514e-06,8.446936e-06,8.296435e-06,8.221599e-06,8.147078e-06,7.999075e-06,7.928570e-06,7.852612e-06,7.707853e-06,7.641875e-06,7.564940e-06,7.423997e-06,7.362635e-06,7.285133e-06,7.148439e-06,7.091694e-06,7.013993e-06,6.881859e-06,6.829666e-06,6.752092e-06,6.624735e-06,6.576977e-06,6.499819e-06,6.377371e-06,6.333898e-06,6.257408e-06,6.139938e-06,6.100567e-06,6.024966e-06,5.912489e-06,5.877023e-06,5.802501e-06,5.694988e-06,5.663215e-06,5.589936e-06,5.487325e-06,5.459028e-06,5.387131e-06,5.289329e-06,5.264289e-06,5.193891e-06,5.100787e-06,5.078786e-06,5.009985e-06,4.921449e-06,4.902272e-06,4.835146e-06,4.751039e-06,4.734478e-06,4.669090e-06,4.589262e-06,4.575115e-06,4.511514e-06,4.435809e-06,4.423883e-06,4.362105e-06,4.290364e-06,4.280475e-06,4.220545e-06,4.152608e-06,4.144581e-06,4.086513e-06,4.022221e-06,4.015889e-06,3.959690e-06,3.898882e-06,3.894091e-06,3.839758e-06,3.782280e-06,3.778882e-06,3.726407e-06,3.672104e-06,3.669964e-06,3.619332e-06,3.568054e-06,3.567044e-06,3.518235e-06,3.469838e-06,3.378072e-06,3.291479e-06,3.209803e-06,3.132797e-06,3.060223e-06,2.991855e-06,2.927475e-06,2.866875e-06,2.809856e-06,2.756229e-06,2.705813e-06,2.658436e-06,2.613934e-06,2.572152e-06,2.532941e-06,2.496162e-06,2.461680e-06,2.429368e-06,2.399107e-06,2.370782e-06,2.344286e-06,2.319515e-06,2.296373e-06,2.274768e-06,2.254612e-06,2.235824e-06,2.218324e-06,2.202040e-06,2.186900e-06,2.172840e-06,2.159796e-06,2.147708e-06,2.136522e-06,2.126184e-06,2.116644e-06,2.107855e-06,2.099771e-06,2.092351e-06,2.085554e-06,2.079343e-06,2.073682e-06,2.068537e-06,2.063877e-06,2.059672e-06,2.055892e-06,2.052512e-06,2.049506e-06,2.046849e-06,2.044521e-06
0.000000e+00,3.539794e-09,4.145365e-08,4.316237e-08,2.408683e-07,8.003161e-07,8.346891e-07,2.000818e-06,3.502226e-06,3.604792e-06,5.335799e-06,6.885349e-06,7.016282e-06,8.593636e-06,9.916405e-06,1.005772e-05,1.140986e-05,1.251060e-05,1.265443e-05,1.379657e-05,1.470096e-05,1.484162e-05,1.579487e-05,1.652846e-05,1.666151e-05,1.744655e-05,1.803282e-05,1.815487e-05,1.879111e-05,1.925123e-05,1.935976e-05,1.986506e-05,2.021784e-05,2.031108e-05,2.070166e-05,2.096367e-05,2.104044e-05,2.133089e-05,2.151663e-05,2.157627e-05,2.177966e-05,2.190174e-05,2.194397e-05,2.207195e-05,2.214132e-05,2.216620e-05,2.222914e-05,2.225525e-05,2.226309e-05,2.227019e-05,2.226118e-05,2.225250e-05,2.221191e-05,2.217476e-05,2.215023e-05,2.206915e-05,2.200984e-05,2.197026e-05,2.185505e-05,2.177867e-05,2.172491e-05,2.158117e-05,2.149205e-05,2.142505e-05,2.125770e-05,2.115948e-05,2.108020e-05,2.089357e-05,2.078933e-05,2.069876e-05,2.049664e-05,2.038893e-05,2.028805e-05,2.007376e-05,1.996471e-05,1.985449e-05,1.963092e-05,1.952226e-05,1.940367e-05,1.917334e-05,1.906649e-05,1.894045e-05,1.870553e-05,1.860164e-05,1.846904e-05,1.823142e-05,1.813138e-05,1.799308e-05,1.775439e-05,1.765889e-05,1.751569e-05,1.727732e-05,1.718689e-05,1.703957e-05,1.680271e-05,1.671771e-05,1.656700e-05,1.633266e-05,1.625334e-05,1.609991e-05,1.586895e-05,1.579544e-05,1.563994e-05,1.541305e-05,1.534542e-05,1.518844e-05,1.496622e-05,1.490444e-05,1.474652e-05,1.452945e-05,1.447346e-05,1.431511e-05,1.410357e-05,1.405323e-05,1.389492e-05,1.368922e-05,1.364436e-05,1.348652e-05,1.328689e-05,1.324733e-05,1.309035e-05,1.289695e-05,1.286248e-05,1.270671e-05,1.251966e-05,1.249003e-05,1.233581e-05,1.215516e-05,1.213013e-05,1.197774e-05,1.180354e-05,1.178285e-05,1.163255e-05,1.146478e-05,1.144818e-05,1.130021e-05,1.113883e-05,1.112606e-05,1.098062e-05,1.082557e-05,1.081636e-05,1.067365e-05,1.052484e-05,1.051895e-05,1.037911e-05,1.023644e-05,1.023361e-05,1.009679e-05,9.960139e-06,9.698281e-06,9.447773e-06,9.208333e-06,8.979668e-06,8.761474e-06,8.553441e-06,8.355255e-06,8.166603e-06,7.987166e-06,7.816630e-06,7.654682e-06,7.501013e-06,7.355318e-06,7.217296e-06,7.086652e-06,6.963098e-06,6.846353e-06,6.736140e-06,6.632193e-06,6.534249e-06,6.442056e-06,6.355367e-06,6.273944e-06,6.197556e-06,6.125979e-06,6.058997e-06,5.996399e-06,5.937985e-06,5.883560e-06,5.832934e-06,5.785927e-06,5.742364e-06,5.702077e-06,5.664903e-06,5.630686e-06,5.599276e-06,5.570529e-06,5.544307e-06,5.520475e-06,5.498907e-06,5.479478e-06,5.462072e-06,5.446575e-06,5.432879e-06,5.420879e-06,5.410476e-06,5.401576e-06,5.394085e-06,5.387918e-06
0.000000e+00,7.885818e-09,2.037069e-07,2.142444e-07,1.730724e-06,6.977422e-06,7.319772e-06,1.961607e-05,3.676168e-05,3.797266e-05,5.887772e-05,7.801091e-05,7.963835e-05,9.936364e-05,1.160918e-04,1.178902e-04,1.352241e-04,1.495233e-04,1.514058e-04,1.664836e-04,1.786054e-04,1.805071e-04,1.935260e-04,2.037212e-04,2.055891e-04,2.167436e-04,2.252446e-04,2.270355e-04,2.365088e-04,2.435267e-04,2.452061e-04,2.531681e-04,2.588930e-04,2.604336e-04,2.670399e-04,2.716417e-04,2.730225e-04,2.784154e-04,2.820456e-04,2.832510e-04,2.875603e-04,2.903537e-04,2.913727e-04,2.947162e-04,2.967919e-04,2.976175e-04,3.001025e-04,3.015668e-04,3.021953e-04,3.039193e-04,3.048658e-04,3.052964e-04,3.063476e-04,3.068584e-04,3.070925e-04,3.075503e-04,3.076978e-04,3.077388e-04,3.076752e-04,3.075227e-04,3.073756e-04,3.068555e-04,3.064586e-04,3.061296e-04,3.052116e-04,3.046186e-04,3.041148e-04,3.028518e-04,3.021047e-04,3.014342e-04,2.998735e-04,2.990089e-04,2.981802e-04,2.963645e-04,2.954137e-04,2.944359e-04,2.924035e-04,2.913936e-04,2.902758e-04,2.880610e-04,2.870151e-04,2.857668e-04,2.834003e-04,2.823380e-04,2.809685e-04,2.784779e-04,2.774158e-04,2.759345e-04,2.733442e-04,2.722962e-04,2.707124e-04,2.680442e-04,2.670218e-04,2.653446e-04,2.626179e-04,2.616306e-04,2.598687e-04,2.571008e-04,2.561561e-04,2.543181e-04,2.515242e-04,2.506283e-04,2.487224e-04,2.459160e-04,2.450735e-04,2.431077e-04,2.403005e-04,2.395150e-04,2.374968e-04,2.346992e-04,2.339730e-04,2.319098e-04,2.291308e-04,2.284656e-04,2.263641e-04,2.236116e-04,2.230081e-04,2.208749e-04,2.181557e-04,2.176141e-04,2.154554e-04,2.127754e-04,2.122952e-04,2.101168e-04,2.074809e-04,2.070613e-04,2.048686e-04,2.022810e-04,2.019208e-04,1.997190e-04,1.971832e-04,1.968807e-04,1.946746e-04,1.921936e-04,1.919471e-04,1.897410e-04,1.873171e-04,1.871245e-04,1.849226e-04,1.825578e-04,1.824168e-04,1.802230e-04,1.779186e-04,1.778270e-04,1.756447e-04,1.734018e-04,1.733572e-04,1.711898e-04,1.690090e-04,1.647832e-04,1.606802e-04,1.566999e-04,1.528418e-04,1.491050e-04,1.454884e-04,1.419905e-04,1.386097e-04,1.353440e-04,1.321914e-04,1.291498e-04,1.262168e-04,1.233900e-04,1.206670e-04,1.180452e-04,1.155222e-04,1.130952e-04,1.107616e-04,1.085189e-04,1.063645e-04,1.042957e-04,1.023100e-04,1.004048e-04,9.857759e-05,9.682590e-05,9.514726e-05,9.353928e-05,9.199960e-05,9.052591e-05,8.911595e-05,8.776753e-05,8.647848e-05,8.524670e-05,8.407016e-05,8.294685e-05,8.187485e-05,8.085226e-05,7.987726e-05,7.894808e-05,7.806299e-05,7.722031e-05,7.641844e-05,7.565580e-05,7.493088e-05,7.424220e-05,7.358835e-05,7.296796e-05,7.237968e-05,7.182225e-05
0.000000e+00,1.390148e-09,1.482376e-08,1.541087e-08,8.270367e-08,2.796682e-07,2.921009e-07,7.329689e-07,1.345715e-06,1.388990e-06,2.134229e-06,2.809208e-06,2.866100e-06,3.546758e-06,4.108499e-06,4.167926e-06,4.730165e-06,5.178519e-06,5.236431e-06,5.690250e-06,6.041314e-06,6.095196e-06,6.454738e-06,6.724094e-06,6.772190e-06,7.050691e-06,7.252081e-06,7.293206e-06,7.502522e-06,7.647836e-06,7.681256e-06,7.831858e-06,7.931274e-06,7.956615e-06,8.057661e-06,8.119828e-06,8.136987e-06,8.196440e-06,8.228657e-06,8.237740e-06,8.262485e-06,8.270886e-06,8.272156e-06,8.268128e-06,8.257843e-06,8.251674e-06,8.223975e-06,8.199276e-06,8.186122e-06,8.139127e-06,8.103558e-06,8.083923e-06,8.021374e-06,7.977859e-06,7.952277e-06,7.877368e-06,7.828305e-06,7.797325e-06,7.712773e-06,7.660120e-06,7.624289e-06,7.532402e-06,7.477742e-06,7.437599e-06,7.340327e-06,7.284932e-06,7.240998e-06,7.139988e-06,7.084865e-06,7.037640e-06,6.934271e-06,6.880212e-06,6.830169e-06,6.725596e-06,6.673208e-06,6.620791e-06,6.515972e-06,6.465713e-06,6.411337e-06,6.307065e-06,6.259267e-06,6.203317e-06,6.100238e-06,6.055130e-06,5.997961e-06,5.896602e-06,5.854330e-06,5.796266e-06,5.697047e-06,5.657691e-06,5.599027e-06,5.502280e-06,5.465863e-06,5.406869e-06,5.312849e-06,5.279352e-06,5.220269e-06,5.129168e-06,5.098538e-06,5.039582e-06,4.951539e-06,4.923695e-06,4.865062e-06,4.780168e-06,4.755011e-06,4.696871e-06,4.615180e-06,4.592595e-06,4.535101e-06,4.456636e-06,4.436499e-06,4.379783e-06,4.304539e-06,4.286719e-06,4.230897e-06,4.158848e-06,4.143210e-06,4.088382e-06,4.019485e-06,4.005892e-06,3.952142e-06,3.886339e-06,3.874657e-06,3.822058e-06,3.759280e-06,3.749373e-06,3.697985e-06,3.638154e-06,3.629893e-06,3.579764e-06,3.522794e-06,3.516052e-06,3.467222e-06,3.413025e-06,3.407680e-06,3.360179e-06,3.308660e-06,3.304595e-06,3.258445e-06,3.209510e-06,3.206614e-06,3.161830e-06,3.115381e-06,3.113548e-06,3.070139e-06,3.026079e-06,3.025210e-06,2.983178e-06,2.941411e-06,2.861966e-06,2.786692e-06,2.715406e-06,2.647935e-06,2.584106e-06,2.523753e-06,2.466714e-06,2.412832e-06,2.361958e-06,2.313946e-06,2.268656e-06,2.225955e-06,2.185713e-06,2.147807e-06,2.112120e-06,2.078539e-06,2.046955e-06,2.017266e-06,1.989374e-06,1.963184e-06,1.938608e-06,1.915561e-06,1.893960e-06,1.873731e-06,1.854798e-06,1.837092e-06,1.820548e-06,1.805101e-06,1.790693e-06,1.777265e-06,1.764765e-06,1.753140e-06,1.742343e-06,1.732326e-06,1.723047e-06,1.714463e-06,1.706535e-06,1.699225e-06,1.692499e-06,1.686322e-06,1.680663e-06,1.675491e-06,1.670778e-06,1.666496e-06,1.662621e-06,1.659127e-06,1.655992e-06,1.653194e-06,1.650712e-06
0.000000e+00,1.633973e-09,9.037671e-08,9.608420e-08,1.230049e-06,7.341065e-06,7.824179e-06,3.061347e-05,7.870845e-05,8.282857e-05,1.695003e-04,2.730778e-04,2.827791e-04,4.076330e-04,5.177193e-04,5.294290e-04,6.379589e-04,7.182781e-04,7.280453e-04,7.984548e-04,8.441732e-04,8.504236e-04,8.864156e-04,9.063865e-04,9.092788e-04,9.217562e-04,9.259374e-04,9.262523e-04,9.247565e-04,9.203217e-04,9.188516e-04,9.097654e-04,9.010787e-04,8.984309e-04,8.855463e-04,8.750410e-04,8.716288e-04,8.570579e-04,8.460203e-04,8.421097e-04,8.269844e-04,8.160673e-04,8.118262e-04,7.967379e-04,7.862574e-04,7.817919e-04,7.670391e-04,7.571361e-04,7.525148e-04,7.382429e-04,7.289695e-04,7.242388e-04,7.105121e-04,7.018752e-04,6.970682e-04,6.839096e-04,6.758948e-04,6.710367e-04,6.584480e-04,6.510302e-04,6.461410e-04,6.341126e-04,6.272623e-04,6.223590e-04,6.108758e-04,6.045615e-04,5.996581e-04,5.887013e-04,5.828913e-04,5.780002e-04,5.675499e-04,5.622131e-04,5.573452e-04,5.473809e-04,5.424874e-04,5.376521e-04,5.281537e-04,5.236749e-04,5.188809e-04,5.098287e-04,5.057375e-04,5.009924e-04,4.923673e-04,4.886379e-04,4.839486e-04,4.757320e-04,4.723402e-04,4.677129e-04,4.598870e-04,4.568098e-04,4.522500e-04,4.447977e-04,4.420133e-04,4.375258e-04,4.304304e-04,4.279185e-04,4.235075e-04,4.167531e-04,4.144944e-04,4.101635e-04,4.037349e-04,4.017112e-04,3.974637e-04,3.913462e-04,3.895405e-04,3.853790e-04,3.795587e-04,3.779548e-04,3.738817e-04,3.683449e-04,3.669279e-04,3.629450e-04,3.576789e-04,3.564346e-04,3.525435e-04,3.475357e-04,3.464508e-04,3.426526e-04,3.378912e-04,3.369533e-04,3.332489e-04,3.287228e-04,3.279202e-04,3.243101e-04,3.200083e-04,3.193301e-04,3.158147e-04,3.117268e-04,3.111628e-04,3.077422e-04,3.038584e-04,3.033990e-04,3.000730e-04,2.963838e-04,2.960200e-04,2.927884e-04,2.892847e-04,2.890082e-04,2.858704e-04,2.825435e-04,2.823467e-04,2.793020e-04,2.761437e-04,2.760191e-04,2.730667e-04,2.700692e-04,2.700100e-04,2.671491e-04,2.643046e-04,2.588887e-04,2.537489e-04,2.488721e-04,2.442461e-04,2.398591e-04,2.356998e-04,2.317573e-04,2.280216e-04,2.244827e-04,2.211313e-04,2.179585e-04,2.149556e-04,2.121146e-04,2.094277e-04,2.068874e-04,2.044867e-04,2.022187e-04,2.000771e-04,1.980556e-04,1.961484e-04,1.943499e-04,1.926547e-04,1.910577e-04,1.895540e-04,1.881389e-04,1.868082e-04,1.855574e-04,1.843826e-04,1.832799e-04,1.822457e-04,1.812764e-04,1.803688e-04,1.795196e-04,1.787258e-04,1.779846e-04,1.772931e-04,1.766488e-04,1.760491e-04,1.754917e-04,1.749743e-04,1.744947e-04,1.740509e-04,1.736410e-04,1.732630e-04,1.729152e-04,1.725959e-04,1.723035e-04,1.720365e-04,1.717934e-04
0.000000e+00,2.763176e-09,1.452541e-07,1.541042e-07,1.764293e-06,9.918538e-06,1.056190e-05,4.211042e-05,1.172795e-04,1.242524e-04,2.901014e-04,5.374630e-04,5.635264e-04,9.484291e-04,1.377743e-03,1.429466e-03,1.980340e-03,2.500083e-03,2.572419e-03,3.180245e-03,3.700180e-03,3.783838e-03,4.368917e-03,4.839087e-03,4.926091e-03,5.449758e-03,5.852080e-03,5.937042e-03,6.386934e-03,6.720038e-03,6.799643e-03,7.176136e-03,7.445556e-03,7.517822e-03,7.826358e-03,8.039758e-03,8.103507e-03,8.351061e-03,8.516240e-03,8.570789e-03,8.764410e-03,8.888581e-03,8.933574e-03,9.079859e-03,9.169450e-03,9.204762e-03,9.309706e-03,9.370356e-03,9.396034e-03,9.465018e-03,9.501632e-03,9.517858e-03,9.555688e-03,9.572518e-03,9.579576e-03,9.590531e-03,9.591248e-03,9.589504e-03,9.577389e-03,9.565152e-03,9.555032e-03,9.523226e-03,9.500746e-03,9.482720e-03,9.434219e-03,9.403815e-03,9.378385e-03,9.315840e-03,9.279484e-03,9.247172e-03,9.172928e-03,9.132292e-03,9.093628e-03,9.009755e-03,8.966247e-03,8.921765e-03,8.830084e-03,8.784884e-03,8.735112e-03,8.637224e-03,8.591313e-03,8.536770e-03,8.434079e-03,8.388266e-03,8.329457e-03,8.223190e-03,8.178133e-03,8.115546e-03,8.006774e-03,7.963001e-03,7.897106e-03,7.786758e-03,7.744690e-03,7.675932e-03,7.564814e-03,7.524774e-03,7.453578e-03,7.342386e-03,7.304616e-03,7.231384e-03,7.120713e-03,7.085389e-03,7.010498e-03,6.900858e-03,6.868094e-03,6.791899e-03,6.683722e-03,6.653585e-03,6.576416e-03,6.470065e-03,6.442579e-03,6.364744e-03,6.260523e-03,6.235681e-03,6.157464e-03,6.055623e-03,6.033387e-03,5.955051e-03,5.855795e-03,5.836105e-03,5.757894e-03,5.661384e-03,5.644163e-03,5.566298e-03,5.472663e-03,5.457817e-03,5.380502e-03,5.289836e-03,5.277264e-03,5.200683e-03,5.113056e-03,5.102644e-03,5.026966e-03,4.942421e-03,4.934052e-03,4.859428e-03,4.777991e-03,4.771543e-03,4.698111e-03,4.619787e-03,4.615137e-03,4.543018e-03,4.467799e-03,4.464822e-03,4.394125e-03,4.321989e-03,4.320562e-03,4.251383e-03,4.182298e-03,4.049952e-03,3.923431e-03,3.802629e-03,3.687428e-03,3.577702e-03,3.473319e-03,3.374139e-03,3.280020e-03,3.190817e-03,3.106380e-03,3.026561e-03,2.951210e-03,2.880178e-03,2.813314e-03,2.750472e-03,2.691505e-03,2.636269e-03,2.584621e-03,2.536421e-03,2.491531e-03,2.449817e-03,2.411145e-03,2.375387e-03,2.342415e-03,2.312105e-03,2.284336e-03,2.258990e-03,2.235951e-03,2.215109e-03,2.196351e-03,2.179574e-03,2.164671e-03,2.151544e-03,2.140093e-03,2.130224e-03,2.121844e-03,2.114864e-03,2.109197e-03,2.104758e-03,2.101467e-03,2.099244e-03,2.098015e-03,2.097705e-03,2.098244e-03,2.099565e-03,2.101601e-03,2.104290e-03,2.107572e-03,2.111389e-03
0.000000e+00,8.343340e-09,9.935651e-08,1.033651e-07,5.420499e-07,1.692409e-06,1.761319e-06,4.084260e-06,7.217560e-06,7.441646e-06,1.142610e-05,1.524710e-05,1.557726e-05,1.961141e-05,2.305082e-05,2.342053e-05,2.697768e-05,2.989915e-05,3.028266e-05,3.334340e-05,3.578813e-05,3.617021e-05,3.877407e-05,4.079717e-05,4.116612e-05,4.335753e-05,4.501237e-05,4.535908e-05,4.718072e-05,4.851519e-05,4.883238e-05,5.032358e-05,5.138119e-05,5.166341e-05,5.286062e-05,5.368025e-05,5.392352e-05,5.486003e-05,5.547612e-05,5.567768e-05,5.638366e-05,5.682667e-05,5.698480e-05,5.748759e-05,5.778433e-05,5.789819e-05,5.822246e-05,5.839650e-05,5.846597e-05,5.863398e-05,5.870596e-05,5.873151e-05,5.876329e-05,5.875122e-05,5.873383e-05,5.864738e-05,5.856695e-05,5.850798e-05,5.831945e-05,5.818426e-05,5.808540e-05,5.780926e-05,5.763109e-05,5.749426e-05,5.714345e-05,5.693244e-05,5.675972e-05,5.634581e-05,5.611065e-05,5.590428e-05,5.543758e-05,5.518570e-05,5.494798e-05,5.443767e-05,5.417538e-05,5.390866e-05,5.336289e-05,5.309550e-05,5.280215e-05,5.222816e-05,5.196011e-05,5.164249e-05,5.104667e-05,5.078165e-05,5.044209e-05,4.983008e-05,4.957113e-05,4.921189e-05,4.858867e-05,4.833822e-05,4.796151e-05,4.733144e-05,4.709145e-05,4.669940e-05,4.606629e-05,4.583826e-05,4.543292e-05,4.480008e-05,4.458517e-05,4.416849e-05,4.353881e-05,4.333782e-05,4.291166e-05,4.228761e-05,4.210109e-05,4.166721e-05,4.105094e-05,4.087918e-05,4.043924e-05,3.983255e-05,3.967568e-05,3.923124e-05,3.863566e-05,3.849361e-05,3.804613e-05,3.746294e-05,3.733551e-05,3.688635e-05,3.631661e-05,3.620350e-05,3.575393e-05,3.519849e-05,3.509929e-05,3.465047e-05,3.411002e-05,3.402426e-05,3.357727e-05,3.305233e-05,3.297946e-05,3.253530e-05,3.202625e-05,3.196571e-05,3.152527e-05,3.103240e-05,3.098356e-05,3.054767e-05,3.007113e-05,3.003336e-05,2.960278e-05,2.914263e-05,2.911528e-05,2.869068e-05,2.824691e-05,2.822933e-05,2.781132e-05,2.738385e-05,2.737539e-05,2.696449e-05,2.655320e-05,2.576241e-05,2.500258e-05,2.427320e-05,2.357369e-05,2.290342e-05,2.226172e-05,2.164788e-05,2.106117e-05,2.050083e-05,1.996610e-05,1.945620e-05,1.897035e-05,1.850776e-05,1.806766e-05,1.764928e-05,1.725183e-05,1.687458e-05,1.651677e-05,1.617767e-05,1.585657e-05,1.555276e-05,1.526556e-05,1.499430e-05,1.473834e-05,1.449703e-05,1.426977e-05,1.405597e-05,1.385503e-05,1.366642e-05,1.348958e-05,1.332399e-05,1.316916e-05,1.302459e-05,1.288981e-05,1.276438e-05,1.264785e-05,1.253980e-05,1.243984e-05,1.234757e-05,1.226262e-05,1.218463e-05,1.211326e-05,1.204817e-05,1.198904e-05,1.193557e-05,1.188746e-05,1.184444e-05,1.180624e-05,1.177259e-05
0.000000e+00,2.793775e-09,3.370013e-08,3.510780e-08,2.002862e-07,6.653181e-07,6.934715e-07,1.615338e-06,2.720026e-06,2.792943e-06,3.991299e-06,5.027621e-06,5.113990e-06,6.141427e-06,6.984880e-06,7.073990e-06,7.916413e-06,8.587636e-06,8.674309e-06,9.353349e-06,9.878464e-06,9.959046e-06,1.049668e-05,1.089937e-05,1.097126e-05,1.138753e-05,1.168849e-05,1.174994e-05,1.206266e-05,1.227970e-05,1.232960e-05,1.255441e-05,1.270270e-05,1.274048e-05,1.289097e-05,1.298338e-05,1.300885e-05,1.309684e-05,1.314421e-05,1.315749e-05,1.319316e-05,1.320462e-05,1.320606e-05,1.319821e-05,1.318140e-05,1.317152e-05,1.312772e-05,1.308901e-05,1.306845e-05,1.299518e-05,1.293985e-05,1.290932e-05,1.281214e-05,1.274457e-05,1.270485e-05,1.258854e-05,1.251235e-05,1.246423e-05,1.233285e-05,1.225101e-05,1.219529e-05,1.205234e-05,1.196725e-05,1.190474e-05,1.175316e-05,1.166677e-05,1.159822e-05,1.144049e-05,1.135434e-05,1.128050e-05,1.111873e-05,1.103405e-05,1.095562e-05,1.079157e-05,1.070931e-05,1.062695e-05,1.046210e-05,1.038298e-05,1.029732e-05,1.013288e-05,1.005743e-05,9.969047e-06,9.806043e-06,9.734637e-06,9.644073e-06,9.483325e-06,9.416215e-06,9.323965e-06,9.166143e-06,9.103475e-06,9.009992e-06,8.855633e-06,8.797468e-06,8.703169e-06,8.552693e-06,8.499025e-06,8.404286e-06,8.258019e-06,8.208786e-06,8.113950e-06,7.972131e-06,7.927231e-06,7.832604e-06,7.695405e-06,7.654704e-06,7.560562e-06,7.428095e-06,7.391432e-06,7.298020e-06,7.170348e-06,7.137548e-06,7.045084e-06,6.922227e-06,6.893099e-06,6.801775e-06,6.683720e-06,6.658069e-06,6.568053e-06,6.454758e-06,6.432383e-06,6.343820e-06,6.235220e-06,6.215919e-06,6.128937e-06,6.024947e-06,6.008520e-06,5.923226e-06,5.823748e-06,5.809998e-06,5.726484e-06,5.631406e-06,5.620142e-06,5.538483e-06,5.447685e-06,5.438720e-06,5.358979e-06,5.272333e-06,5.265489e-06,5.187714e-06,5.105088e-06,5.100193e-06,5.024422e-06,4.945682e-06,4.942572e-06,4.868833e-06,4.793840e-06,4.792359e-06,4.720670e-06,4.649289e-06,4.513094e-06,4.383509e-06,4.260274e-06,4.143131e-06,4.031827e-06,3.926117e-06,3.825760e-06,3.730523e-06,3.640181e-06,3.554514e-06,3.473310e-06,3.396366e-06,3.323486e-06,3.254479e-06,3.189165e-06,3.127369e-06,3.068922e-06,3.013665e-06,2.961443e-06,2.912110e-06,2.865524e-06,2.821550e-06,2.780059e-06,2.740929e-06,2.704041e-06,2.669285e-06,2.636551e-06,2.605739e-06,2.576750e-06,2.549493e-06,2.523877e-06,2.499820e-06,2.477241e-06,2.456062e-06,2.436212e-06,2.417620e-06,2.400222e-06,2.383953e-06,2.368755e-06,2.354570e-06,2.341344e-06,2.329027e-06,2.317568e-06,2.306922e-06,2.297044e-06,2.287893e-06,2.279428e-06,2.271611e-06,2.264408e-06
0.000000e+00,2.136160e-09,1.318247e-07,1.402729e-07,1.853299e-06,1.199336e-05,1.284864e-05,5.970339e-05,1.916386e-04,2.048397e-04,5.525064e-04,1.165462e-03,1.235828e-03,2.396102e-03,3.957553e-03,4.165223e-03,6.653981e-03,9.506140e-03,9.945553e-03,1.409292e-02,1.836241e-02,1.911907e-02,2.501900e-02,3.062902e-02,3.176289e-02,3.929989e-02,4.602486e-02,4.756210e-02,5.646857e-02,6.399720e-02,6.592906e-02,7.584743e-02,8.383800e-02,8.612474e-02,9.666181e-02,1.047838e-01,1.073615e-01,1.181302e-01,1.260914e-01,1.288798e-01,1.395282e-01,1.470898e-01,1.500001e-01,1.602279e-01,1.672095e-01,1.701514e-01,1.797181e-01,1.859965e-01,1.888832e-01,1.976091e-01,2.031125e-01,2.058653e-01,2.136277e-01,2.183280e-01,2.208785e-01,2.276055e-01,2.315098e-01,2.338014e-01,2.394638e-01,2.426057e-01,2.445943e-01,2.491980e-01,2.516300e-01,2.532833e-01,2.568611e-01,2.586479e-01,2.599447e-01,2.625495e-01,2.637628e-01,2.646922e-01,2.663907e-01,2.671047e-01,2.676641e-01,2.685319e-01,2.688200e-01,2.690143e-01,2.691317e-01,2.690644e-01,2.689044e-01,2.683530e-01,2.679960e-01,2.674975e-01,2.663579e-01,2.657715e-01,2.649537e-01,2.633038e-01,2.625421e-01,2.614269e-01,2.593406e-01,2.584514e-01,2.570624e-01,2.546087e-01,2.536336e-01,2.519956e-01,2.492382e-01,2.482130e-01,2.463511e-01,2.433481e-01,2.423031e-01,2.402425e-01,2.370466e-01,2.360069e-01,2.337724e-01,2.304308e-01,2.294169e-01,2.270326e-01,2.235874e-01,2.226157e-01,2.201047e-01,2.165932e-01,2.156764e-01,2.130609e-01,2.095155e-01,2.086635e-01,2.059642e-01,2.024135e-01,2.016330e-01,1.988695e-01,1.953380e-01,1.946337e-01,1.918242e-01,1.883330e-01,1.877074e-01,1.848689e-01,1.814359e-01,1.808898e-01,1.780379e-01,1.746782e-01,1.742111e-01,1.713601e-01,1.680864e-01,1.676966e-01,1.648596e-01,1.616820e-01,1.613670e-01,1.585558e-01,1.554828e-01,1.552393e-01,1.524646e-01,1.495027e-01,1.493269e-01,1.465984e-01,1.437527e-01,1.436401e-01,1.409665e-01,1.382407e-01,1.381868e-01,1.355758e-01,1.329724e-01,1.280003e-01,1.232723e-01,1.187886e-01,1.145481e-01,1.105487e-01,1.067872e-01,1.032599e-01,9.996205e-02,9.688866e-02,9.403409e-02,9.139238e-02,8.895718e-02,8.672190e-02,8.467967e-02,8.282346e-02,8.114606e-02,7.964015e-02,7.829828e-02,7.711293e-02,7.607652e-02,7.518141e-02,7.441995e-02,7.378449e-02,7.326739e-02,7.286104e-02,7.255788e-02,7.235041e-02,7.223125e-02,7.219310e-02,7.222881e-02,7.233137e-02,7.249393e-02,7.270984e-02,7.297267e-02,7.327618e-02,7.361441e-02,7.398162e-02,7.437237e-02,7.478149e-02,7.520409e-02,7.563561e-02,7.607177e-02,7.650861e-02,7.694249e-02,7.737009e-02,7.778838e-02,7.819466e-02,7.858652e-02,7.896187e-02
0.000000e+00,1.231500e-09,5.762971e-08,6.101944e-08,6.420319e-07,3.378079e-06,3.587625e-06,1.338088e-05,3.495054e-05,3.687526e-05,8.029627e-05,1.394711e-04,1.454191e-04,2.283992e-04,3.124755e-04,3.221151e-04,4.194004e-04,5.036309e-04,5.148627e-04,6.051749e-04,6.773920e-04,6.886303e-04,7.645700e-04,8.224975e-04,8.329349e-04,8.939764e-04,9.388413e-04,9.480905e-04,9.957285e-04,1.029487e-03,1.037353e-03,1.073415e-03,1.097961e-03,1.104347e-03,1.130557e-03,1.147554e-03,1.152427e-03,1.170316e-03,1.181187e-03,1.184557e-03,1.195460e-03,1.201407e-03,1.203315e-03,1.208389e-03,1.210421e-03,1.210932e-03,1.211175e-03,1.210136e-03,1.209332e-03,1.205603e-03,1.202197e-03,1.200169e-03,1.193202e-03,1.188012e-03,1.184859e-03,1.175285e-03,1.168790e-03,1.164614e-03,1.152969e-03,1.145563e-03,1.140465e-03,1.127207e-03,1.119210e-03,1.113292e-03,1.098808e-03,1.090480e-03,1.083839e-03,1.068458e-03,1.060006e-03,1.052735e-03,1.036733e-03,1.028321e-03,1.020509e-03,1.004118e-03,9.958743e-04,9.876064e-04,9.710189e-04,9.630418e-04,9.543955e-04,9.377725e-04,9.301352e-04,9.211828e-04,9.046564e-04,8.974119e-04,8.882202e-04,8.718983e-04,8.650825e-04,8.557125e-04,8.396823e-04,8.333177e-04,8.238250e-04,8.081560e-04,8.022541e-04,7.926889e-04,7.774357e-04,7.719989e-04,7.624066e-04,7.476107e-04,7.426346e-04,7.330556e-04,7.187478e-04,7.142224e-04,7.046926e-04,6.908945e-04,6.868058e-04,6.773570e-04,6.640827e-04,6.604133e-04,6.510735e-04,6.383305e-04,6.350610e-04,6.258543e-04,6.136449e-04,6.107543e-04,6.017018e-04,5.900238e-04,5.874901e-04,5.786096e-04,5.674573e-04,5.652581e-04,5.565648e-04,5.459295e-04,5.440422e-04,5.355486e-04,5.254193e-04,5.238217e-04,5.155382e-04,5.059020e-04,5.045722e-04,4.965070e-04,4.873496e-04,4.862665e-04,4.784259e-04,4.697320e-04,4.688751e-04,4.612638e-04,4.530172e-04,4.523670e-04,4.449882e-04,4.371725e-04,4.367102e-04,4.295658e-04,4.221640e-04,4.218721e-04,4.149628e-04,4.079578e-04,4.078197e-04,4.011450e-04,3.945201e-04,3.819405e-04,3.700487e-04,3.588130e-04,3.482026e-04,3.381874e-04,3.287380e-04,3.198264e-04,3.114253e-04,3.035084e-04,2.960507e-04,2.890279e-04,2.824170e-04,2.761958e-04,2.703434e-04,2.648396e-04,2.596652e-04,2.548021e-04,2.502330e-04,2.459415e-04,2.419119e-04,2.381294e-04,2.345800e-04,2.312505e-04,2.281282e-04,2.252013e-04,2.224585e-04,2.198891e-04,2.174832e-04,2.152312e-04,2.131241e-04,2.111534e-04,2.093112e-04,2.075899e-04,2.059824e-04,2.044820e-04,2.030822e-04,2.017773e-04,2.005614e-04,1.994294e-04,1.983761e-04,1.973970e-04,1.964875e-04,1.956435e-04,1.948610e-04,1.941363e-04,1.934659e-04,1.928465e-04,1.922750e-04,1.917485e-04
0.000000e+00,1.311224e-09,7.713342e-08,8.196193e-08,9.979301e-07,5.988748e-06,6.398857e-06,2.833515e-05,8.978932e-05,9.598786e-05,2.627892e-04,5.692182e-04,6.051305e-04,1.211883e-03,2.056897e-03,2.170957e-03,3.558449e-03,5.180075e-03,5.431957e-03,7.827569e-03,1.031680e-02,1.075954e-02,1.422174e-02,1.752267e-02,1.819020e-02,2.262616e-02,2.657751e-02,2.747933e-02,3.269107e-02,3.707571e-02,3.819734e-02,4.393130e-02,4.851850e-02,4.982561e-02,5.581422e-02,6.038960e-02,6.183392e-02,6.782550e-02,7.220894e-02,7.373451e-02,7.951188e-02,8.356547e-02,8.511419e-02,9.050384e-02,9.413278e-02,9.564898e-02,1.005233e-01,1.036723e-01,1.051060e-01,1.093810e-01,1.120283e-01,1.133370e-01,1.169668e-01,1.191171e-01,1.202672e-01,1.232379e-01,1.249155e-01,1.258820e-01,1.282048e-01,1.294473e-01,1.302138e-01,1.319183e-01,1.327716e-01,1.333291e-01,1.344579e-01,1.349716e-01,1.353175e-01,1.359213e-01,1.361459e-01,1.362832e-01,1.364171e-01,1.364013e-01,1.363371e-01,1.360574e-01,1.358470e-01,1.355919e-01,1.349541e-01,1.345907e-01,1.341573e-01,1.332145e-01,1.327352e-01,1.321380e-01,1.309398e-01,1.303770e-01,1.296314e-01,1.282235e-01,1.276051e-01,1.267267e-01,1.251506e-01,1.245001e-01,1.235045e-01,1.217972e-01,1.211341e-01,1.200369e-01,1.182313e-01,1.175716e-01,1.163875e-01,1.145123e-01,1.138687e-01,1.126119e-01,1.106922e-01,1.100747e-01,1.087585e-01,1.068158e-01,1.062320e-01,1.048688e-01,1.029217e-01,1.023770e-01,1.009784e-01,9.904240e-02,9.854067e-02,9.711710e-02,9.520546e-02,9.474900e-02,9.331020e-02,9.143380e-02,9.102375e-02,8.957851e-02,8.774635e-02,8.738286e-02,8.593913e-02,8.415849e-02,8.384091e-02,8.240587e-02,8.068256e-02,8.040963e-02,7.898969e-02,7.732825e-02,7.709820e-02,7.569909e-02,7.410295e-02,7.391366e-02,7.254045e-02,7.101211e-02,7.086117e-02,6.951835e-02,6.805951e-02,6.794432e-02,6.663585e-02,6.524753e-02,6.516535e-02,6.389467e-02,6.257732e-02,6.252536e-02,6.129546e-02,6.004905e-02,6.002448e-02,5.883795e-02,5.766203e-02,5.543668e-02,5.334653e-02,5.138923e-02,4.956207e-02,4.786200e-02,4.628574e-02,4.482979e-02,4.349049e-02,4.226405e-02,4.114658e-02,4.013408e-02,3.922250e-02,3.840772e-02,3.768558e-02,3.705186e-02,3.650234e-02,3.603275e-02,3.563882e-02,3.531627e-02,3.506082e-02,3.486817e-02,3.473409e-02,3.465433e-02,3.462470e-02,3.464105e-02,3.469929e-02,3.479541e-02,3.492548e-02,3.508565e-02,3.527219e-02,3.548151e-02,3.571013e-02,3.595470e-02,3.621205e-02,3.647917e-02,3.675319e-02,3.703144e-02,3.731143e-02,3.759086e-02,3.786759e-02,3.813970e-02,3.840544e-02,3.866325e-02,3.891177e-02,3.914980e-02,3.937633e-02,3.959051e-02,3.979166e-02,3.997925e-02
0.000000e+00,3.251784e-09,3.764751e-08,3.919615e-08,2.201218e-07,7.421793e-07,7.745405e-07,1.885248e-06,3.343021e-06,3.443345e-06,5.142196e-06,6.666848e-06,6.795810e-06,8.351840e-06,9.661321e-06,9.801518e-06,1.114638e-05,1.224622e-05,1.239031e-05,1.353780e-05,1.445106e-05,1.459351e-05,1.556206e-05,1.631163e-05,1.644802e-05,1.725587e-05,1.786305e-05,1.798992e-05,1.865435e-05,1.913845e-05,1.925315e-05,1.979017e-05,2.016851e-05,2.026906e-05,2.069331e-05,2.098126e-05,2.106626e-05,2.139106e-05,2.160219e-05,2.167072e-05,2.190810e-05,2.205437e-05,2.210592e-05,2.226675e-05,2.235862e-05,2.239302e-05,2.248705e-05,2.253369e-05,2.255103e-05,2.258703e-05,2.259642e-05,2.259701e-05,2.258284e-05,2.256191e-05,2.254627e-05,2.248896e-05,2.244370e-05,2.241247e-05,2.231829e-05,2.225387e-05,2.220781e-05,2.208235e-05,2.200321e-05,2.194316e-05,2.179141e-05,2.170136e-05,2.162820e-05,2.145458e-05,2.135684e-05,2.127152e-05,2.107995e-05,2.097726e-05,2.088074e-05,2.067469e-05,2.056935e-05,2.046258e-05,2.024511e-05,2.013903e-05,2.002298e-05,1.979679e-05,1.969156e-05,1.956716e-05,1.933463e-05,1.923153e-05,1.909972e-05,1.886291e-05,1.876300e-05,1.862466e-05,1.838539e-05,1.828948e-05,1.814549e-05,1.790532e-05,1.781406e-05,1.766523e-05,1.742552e-05,1.733938e-05,1.718650e-05,1.694844e-05,1.686775e-05,1.671157e-05,1.647614e-05,1.640114e-05,1.624236e-05,1.601042e-05,1.594122e-05,1.578050e-05,1.555277e-05,1.548942e-05,1.532737e-05,1.510444e-05,1.504690e-05,1.488411e-05,1.466648e-05,1.461466e-05,1.445165e-05,1.423972e-05,1.419349e-05,1.403076e-05,1.382485e-05,1.378403e-05,1.362203e-05,1.342238e-05,1.338678e-05,1.322592e-05,1.303270e-05,1.300209e-05,1.284275e-05,1.265610e-05,1.263023e-05,1.247276e-05,1.229274e-05,1.227137e-05,1.211606e-05,1.194272e-05,1.192557e-05,1.177272e-05,1.160605e-05,1.159286e-05,1.144270e-05,1.128266e-05,1.127316e-05,1.112591e-05,1.097244e-05,1.096637e-05,1.082222e-05,1.067523e-05,1.067233e-05,1.053145e-05,1.039084e-05,1.012167e-05,9.864559e-06,9.619232e-06,9.385386e-06,9.162707e-06,8.950869e-06,8.749539e-06,8.558376e-06,8.377040e-06,8.205187e-06,8.042472e-06,7.888556e-06,7.743101e-06,7.605772e-06,7.476241e-06,7.354187e-06,7.239292e-06,7.131251e-06,7.029761e-06,6.934532e-06,6.845279e-06,6.761727e-06,6.683607e-06,6.610663e-06,6.542643e-06,6.479307e-06,6.420423e-06,6.365765e-06,6.315120e-06,6.268279e-06,6.225045e-06,6.185225e-06,6.148636e-06,6.115103e-06,6.084457e-06,6.056538e-06,6.031191e-06,6.008269e-06,5.987631e-06,5.969143e-06,5.952677e-06,5.938110e-06,5.925326e-06,5.914214e-06,5.904669e-06,5.896589e-06,5.889879e-06,5.884449e-06,5.880211e-06
0.000000e+00,1.267331e-09,6.205714e-08,6.581034e-08,7.537475e-07,4.194245e-06,4.460582e-06,1.678137e-05,4.236275e-05,4.454527e-05,9.034658e-05,1.451669e-04,1.503271e-04,2.176022e-04,2.792906e-04,2.860595e-04,3.517352e-04,4.055666e-04,4.125777e-04,4.677807e-04,5.106414e-04,5.172221e-04,5.611108e-04,5.939398e-04,5.997959e-04,6.336723e-04,6.581421e-04,6.631377e-04,6.885741e-04,7.062641e-04,7.103401e-04,7.287690e-04,7.410259e-04,7.441688e-04,7.568226e-04,7.647640e-04,7.669907e-04,7.749114e-04,7.794550e-04,7.808030e-04,7.848651e-04,7.867599e-04,7.872799e-04,7.882139e-04,7.880685e-04,7.878190e-04,7.862338e-04,7.845408e-04,7.835845e-04,7.799864e-04,7.771430e-04,7.755441e-04,7.703532e-04,7.666786e-04,7.645006e-04,7.580654e-04,7.538147e-04,7.511193e-04,7.437278e-04,7.391040e-04,7.359502e-04,7.278403e-04,7.230038e-04,7.194471e-04,7.108148e-04,7.058915e-04,7.019836e-04,6.929899e-04,6.880775e-04,6.838665e-04,6.746432e-04,6.698166e-04,6.653467e-04,6.560014e-04,6.513172e-04,6.466288e-04,6.372488e-04,6.327489e-04,6.278787e-04,6.185344e-04,6.142486e-04,6.092299e-04,5.999779e-04,5.959265e-04,5.907894e-04,5.816745e-04,5.778703e-04,5.726419e-04,5.636993e-04,5.601491e-04,5.548536e-04,5.461107e-04,5.428165e-04,5.374758e-04,5.289532e-04,5.259133e-04,5.205467e-04,5.122597e-04,5.094697e-04,5.040946e-04,4.960538e-04,4.935072e-04,4.881389e-04,4.803514e-04,4.780401e-04,4.726922e-04,4.651620e-04,4.630767e-04,4.577612e-04,4.504899e-04,4.486206e-04,4.433480e-04,4.363352e-04,4.346713e-04,4.294511e-04,4.226948e-04,4.212255e-04,4.160656e-04,4.095626e-04,4.082770e-04,4.031846e-04,3.969305e-04,3.958178e-04,3.907990e-04,3.847888e-04,3.838383e-04,3.788983e-04,3.731262e-04,3.723275e-04,3.674709e-04,3.619308e-04,3.612737e-04,3.565044e-04,3.511898e-04,3.506645e-04,3.459856e-04,3.408899e-04,3.404869e-04,3.359011e-04,3.310175e-04,3.307278e-04,3.262373e-04,3.215588e-04,3.213737e-04,3.169802e-04,3.125000e-04,3.124114e-04,3.081163e-04,3.038273e-04,2.956084e-04,2.877415e-04,2.802137e-04,2.730126e-04,2.661258e-04,2.595414e-04,2.532477e-04,2.472334e-04,2.414875e-04,2.359994e-04,2.307589e-04,2.257560e-04,2.209812e-04,2.164251e-04,2.120789e-04,2.079339e-04,2.039819e-04,2.002150e-04,1.966253e-04,1.932056e-04,1.899488e-04,1.868480e-04,1.838966e-04,1.810884e-04,1.784173e-04,1.758775e-04,1.734633e-04,1.711695e-04,1.689907e-04,1.669222e-04,1.649591e-04,1.630969e-04,1.613312e-04,1.596577e-04,1.580726e-04,1.565718e-04,1.551517e-04,1.538087e-04,1.525395e-04,1.513406e-04,1.502091e-04,1.491418e-04,1.481359e-04,1.471886e-04,1.462973e-04,1.454594e-04,1.446725e-04,1.439342e-04,1.432422e-04
0.000000e+00,4.511333e-10,2.602505e-08,2.765892e-08,3.458977e-07,2.137292e-06,2.285378e-06,1.012547e-05,3.104121e-05,3.307987e-05,8.463814e-05,1.689811e-04,1.782672e-04,3.227006e-04,4.978268e-04,5.198246e-04,7.651070e-04,1.013547e-03,1.049332e-03,1.360641e-03,1.640350e-03,1.686350e-03,2.014318e-03,2.283671e-03,2.333842e-03,2.636154e-03,2.866466e-03,2.914590e-03,3.164533e-03,3.342060e-03,3.383220e-03,3.569458e-03,3.692215e-03,3.723332e-03,3.845906e-03,3.919211e-03,3.938969e-03,4.004781e-03,4.037431e-03,4.045893e-03,4.064988e-03,4.066618e-03,4.064760e-03,4.047819e-03,4.027343e-03,4.016631e-03,3.973482e-03,3.938379e-03,3.920453e-03,3.859406e-03,3.815532e-03,3.791988e-03,3.719636e-03,3.671323e-03,3.643593e-03,3.564921e-03,3.515225e-03,3.484520e-03,3.403145e-03,3.354117e-03,3.321421e-03,3.239866e-03,3.192809e-03,3.158897e-03,3.078851e-03,3.034531e-03,2.999997e-03,2.922542e-03,2.881357e-03,2.846647e-03,2.772432e-03,2.734533e-03,2.699981e-03,2.629354e-03,2.594736e-03,2.560586e-03,2.493698e-03,2.462261e-03,2.428693e-03,2.365564e-03,2.337151e-03,2.304296e-03,2.244864e-03,2.219289e-03,2.187240e-03,2.131392e-03,2.108457e-03,2.077284e-03,2.024878e-03,2.004384e-03,1.974135e-03,1.925016e-03,1.906768e-03,1.877479e-03,1.831483e-03,1.815293e-03,1.786987e-03,1.743950e-03,1.729643e-03,1.702333e-03,1.662095e-03,1.649504e-03,1.623198e-03,1.585601e-03,1.574571e-03,1.549268e-03,1.514162e-03,1.504547e-03,1.480245e-03,1.447482e-03,1.439149e-03,1.415839e-03,1.385281e-03,1.378105e-03,1.355776e-03,1.327289e-03,1.321156e-03,1.299791e-03,1.273250e-03,1.268055e-03,1.247637e-03,1.222921e-03,1.218565e-03,1.199075e-03,1.176070e-03,1.172466e-03,1.153880e-03,1.132479e-03,1.129544e-03,1.111841e-03,1.091941e-03,1.089602e-03,1.072756e-03,1.054261e-03,1.052449e-03,1.036435e-03,1.019254e-03,1.017907e-03,1.002699e-03,9.867482e-04,9.858099e-04,9.713811e-04,9.565787e-04,9.559981e-04,9.423220e-04,9.285926e-04,9.283233e-04,9.153729e-04,9.026456e-04,8.788336e-04,8.567642e-04,8.363214e-04,8.173970e-04,7.998892e-04,7.837027e-04,7.687484e-04,7.549427e-04,7.422077e-04,7.304700e-04,7.196614e-04,7.097180e-04,7.005799e-04,6.921913e-04,6.844999e-04,6.774571e-04,6.710172e-04,6.651376e-04,6.597787e-04,6.549031e-04,6.504764e-04,6.464660e-04,6.428417e-04,6.395755e-04,6.366408e-04,6.340132e-04,6.316697e-04,6.295890e-04,6.277511e-04,6.261374e-04,6.247306e-04,6.235145e-04,6.224740e-04,6.215950e-04,6.208646e-04,6.202704e-04,6.198012e-04,6.194464e-04,6.191961e-04,6.190413e-04,6.189732e-04,6.189842e-04,6.190668e-04,6.192141e-04,6.194199e-04,6.196783e-04,6.199838e-04,6.203313e-04,6.207161e-04
0.000000e+00,2.087271e-10,2.789506e-09,2.910622e-09,1.701812e-08,5.496667e-08,5.721651e-08,1.301216e-07,2.184763e-07,2.243754e-07,3.218112e-07,4.057189e-07,4.126639e-07,4.945081e-07,5.604590e-07,5.673538e-07,6.317827e-07,6.820609e-07,6.884787e-07,7.381131e-07,7.756326e-07,7.813161e-07,8.186705e-07,8.459221e-07,8.507127e-07,8.779370e-07,8.969849e-07,9.007966e-07,9.197069e-07,9.322481e-07,9.350478e-07,9.471664e-07,9.545869e-07,9.563797e-07,9.629773e-07,9.664052e-07,9.672229e-07,9.693572e-07,9.697068e-07,9.695992e-07,9.681487e-07,9.661590e-07,9.651874e-07,9.608808e-07,9.571467e-07,9.553792e-07,9.488195e-07,9.438183e-07,9.413259e-07,9.330115e-07,9.271245e-07,9.239787e-07,9.143206e-07,9.078506e-07,9.041216e-07,8.934581e-07,8.866441e-07,8.823994e-07,8.710081e-07,8.640375e-07,8.593409e-07,8.474491e-07,8.404672e-07,8.353787e-07,8.231715e-07,8.162899e-07,8.108651e-07,7.984930e-07,7.917957e-07,7.860857e-07,7.736703e-07,7.672193e-07,7.612712e-07,7.489100e-07,7.427498e-07,7.366062e-07,7.243769e-07,7.185379e-07,7.122375e-07,7.002014e-07,6.947028e-07,6.882805e-07,6.764852e-07,6.713375e-07,6.648247e-07,6.533068e-07,6.485134e-07,6.419383e-07,6.307249e-07,6.262842e-07,6.196717e-07,6.087828e-07,6.046887e-07,5.980614e-07,5.875102e-07,5.837539e-07,5.771315e-07,5.669267e-07,5.634970e-07,5.568970e-07,5.470430e-07,5.439268e-07,5.373649e-07,5.278626e-07,5.250462e-07,5.185358e-07,5.093837e-07,5.068523e-07,5.004055e-07,4.915999e-07,4.893385e-07,4.829656e-07,4.745011e-07,4.724947e-07,4.662047e-07,4.580745e-07,4.563080e-07,4.501088e-07,4.423053e-07,4.407640e-07,4.346621e-07,4.271770e-07,4.258462e-07,4.198476e-07,4.126717e-07,4.115376e-07,4.056469e-07,3.987710e-07,3.978200e-07,3.920413e-07,3.854557e-07,3.846750e-07,3.790116e-07,3.727066e-07,3.720836e-07,3.665382e-07,3.605041e-07,3.600271e-07,3.546017e-07,3.488288e-07,3.484865e-07,3.431828e-07,3.376614e-07,3.374431e-07,3.322623e-07,3.269831e-07,3.268787e-07,3.218215e-07,3.167751e-07,3.071147e-07,2.978801e-07,2.890547e-07,2.806221e-07,2.725665e-07,2.648727e-07,2.575259e-07,2.505118e-07,2.438168e-07,2.374274e-07,2.313311e-07,2.255154e-07,2.199687e-07,2.146796e-07,2.096371e-07,2.048309e-07,2.002508e-07,1.958873e-07,1.917310e-07,1.877731e-07,1.840051e-07,1.804189e-07,1.770065e-07,1.737605e-07,1.706737e-07,1.677393e-07,1.649505e-07,1.623011e-07,1.597850e-07,1.573963e-07,1.551296e-07,1.529795e-07,1.509408e-07,1.490087e-07,1.471785e-07,1.454456e-07,1.438059e-07,1.422551e-07,1.407893e-07,1.394047e-07,1.380978e-07,1.368650e-07,1.357030e-07,1.346087e-07,1.335789e-07,1.326108e-07,1.317016e-07,1.308486e-07,1.300492e-07
0.000000e+00,1.842401e-09,9.991130e-08,1.061922e-07,1.352717e-06,8.178313e-06,8.724400e-06,3.513945e-05,9.315888e-05,9.821815e-05,2.068359e-04,3.414227e-04,3.543058e-04,5.252780e-04,6.865351e-04,7.044678e-04,8.806924e-04,1.027882e-03,1.047217e-03,1.200665e-03,1.321181e-03,1.339785e-03,1.464526e-03,1.558597e-03,1.575448e-03,1.673391e-03,1.744677e-03,1.759293e-03,1.834102e-03,1.886582e-03,1.898737e-03,1.954067e-03,1.991289e-03,2.000904e-03,2.040006e-03,2.064983e-03,2.072074e-03,2.097754e-03,2.112999e-03,2.117644e-03,2.132294e-03,2.139881e-03,2.142206e-03,2.147845e-03,2.149478e-03,2.149634e-03,2.147962e-03,2.145031e-03,2.143184e-03,2.135626e-03,2.129259e-03,2.125584e-03,2.113328e-03,2.104439e-03,2.099107e-03,2.083147e-03,2.072469e-03,2.065653e-03,2.046812e-03,2.034933e-03,2.026795e-03,2.005758e-03,1.993145e-03,1.983841e-03,1.961174e-03,1.948197e-03,1.937874e-03,1.914046e-03,1.900994e-03,1.889787e-03,1.865185e-03,1.852283e-03,1.840318e-03,1.815258e-03,1.802677e-03,1.790070e-03,1.764811e-03,1.752678e-03,1.739534e-03,1.714286e-03,1.702694e-03,1.689110e-03,1.664042e-03,1.653055e-03,1.639117e-03,1.614365e-03,1.604028e-03,1.589814e-03,1.565486e-03,1.555822e-03,1.541403e-03,1.517583e-03,1.508605e-03,1.494044e-03,1.470798e-03,1.462504e-03,1.447858e-03,1.425235e-03,1.417617e-03,1.402938e-03,1.380974e-03,1.374016e-03,1.359348e-03,1.338068e-03,1.331751e-03,1.317135e-03,1.296554e-03,1.290854e-03,1.276325e-03,1.256452e-03,1.251343e-03,1.236933e-03,1.217770e-03,1.213224e-03,1.198961e-03,1.180506e-03,1.176493e-03,1.162402e-03,1.144648e-03,1.141139e-03,1.127241e-03,1.110179e-03,1.107144e-03,1.093458e-03,1.077075e-03,1.074485e-03,1.061027e-03,1.045310e-03,1.043135e-03,1.029919e-03,1.014852e-03,1.013065e-03,1.000103e-03,9.856691e-04,9.842428e-04,9.715449e-04,9.577263e-04,9.566339e-04,9.442088e-04,9.309877e-04,9.302038e-04,9.180584e-04,9.054164e-04,9.049166e-04,8.930569e-04,8.809752e-04,8.807364e-04,8.691668e-04,8.576269e-04,8.355520e-04,8.144761e-04,7.943637e-04,7.751802e-04,7.568916e-04,7.394645e-04,7.228664e-04,7.070658e-04,6.920319e-04,6.777347e-04,6.641453e-04,6.512357e-04,6.389786e-04,6.273477e-04,6.163176e-04,6.058638e-04,5.959625e-04,5.865908e-04,5.777267e-04,5.693489e-04,5.614367e-04,5.539705e-04,5.469311e-04,5.403001e-04,5.340599e-04,5.281933e-04,5.226840e-04,5.175161e-04,5.126743e-04,5.081440e-04,5.039112e-04,4.999621e-04,4.962838e-04,4.928636e-04,4.896894e-04,4.867496e-04,4.840330e-04,4.815289e-04,4.792268e-04,4.771167e-04,4.751892e-04,4.734350e-04,4.718453e-04,4.704115e-04,4.691255e-04,4.679794e-04,4.669658e-04,4.660773e-04,4.653071e-04
0.000000e+00,2.565948e-09,3.222899e-08,3.360713e-08,1.995657e-07,6.836689e-07,7.134927e-07,1.714185e-06,2.962288e-06,3.046181e-06,4.446669e-06,5.687190e-06,5.791748e-06,7.049765e-06,8.103549e-06,8.216097e-06,9.292905e-06,1.016951e-05,1.028407e-05,1.119389e-05,1.191457e-05,1.202668e-05,1.278671e-05,1.337193e-05,1.347811e-05,1.410488e-05,1.457330e-05,1.467086e-05,1.517971e-05,1.554803e-05,1.563495e-05,1.603991e-05,1.632292e-05,1.639777e-05,1.671152e-05,1.692225e-05,1.698404e-05,1.721800e-05,1.736782e-05,1.741597e-05,1.758036e-05,1.767921e-05,1.771344e-05,1.781738e-05,1.787389e-05,1.789421e-05,1.794584e-05,1.796748e-05,1.797408e-05,1.798064e-05,1.797387e-05,1.796711e-05,1.793503e-05,1.790541e-05,1.788580e-05,1.782077e-05,1.777307e-05,1.774120e-05,1.764828e-05,1.758659e-05,1.754313e-05,1.742678e-05,1.735457e-05,1.730023e-05,1.716440e-05,1.708461e-05,1.702016e-05,1.686832e-05,1.678344e-05,1.670964e-05,1.654484e-05,1.645695e-05,1.637459e-05,1.619952e-05,1.611035e-05,1.602020e-05,1.583720e-05,1.574820e-05,1.565101e-05,1.546213e-05,1.537446e-05,1.527099e-05,1.507802e-05,1.499262e-05,1.488359e-05,1.468807e-05,1.460571e-05,1.449180e-05,1.429508e-05,1.421633e-05,1.409820e-05,1.390144e-05,1.382675e-05,1.370503e-05,1.350921e-05,1.343891e-05,1.331420e-05,1.312017e-05,1.305446e-05,1.292731e-05,1.273579e-05,1.267481e-05,1.254576e-05,1.235735e-05,1.230116e-05,1.217068e-05,1.198588e-05,1.193448e-05,1.180304e-05,1.162226e-05,1.157560e-05,1.144362e-05,1.126719e-05,1.122518e-05,1.109304e-05,1.092124e-05,1.088376e-05,1.075182e-05,1.058484e-05,1.055174e-05,1.042033e-05,1.025832e-05,1.022943e-05,1.009885e-05,9.941933e-06,9.917064e-06,9.787585e-06,9.635819e-06,9.614779e-06,9.486645e-06,9.340065e-06,9.322650e-06,9.196081e-06,9.054690e-06,9.040693e-06,8.915887e-06,8.779663e-06,8.768876e-06,8.646008e-06,8.514907e-06,8.507122e-06,8.386346e-06,8.260307e-06,8.255318e-06,8.136770e-06,8.015715e-06,8.013319e-06,7.897117e-06,7.780955e-06,7.558034e-06,7.344347e-06,7.139672e-06,6.943773e-06,6.756408e-06,6.577328e-06,6.406279e-06,6.243007e-06,6.087254e-06,5.938766e-06,5.797287e-06,5.662566e-06,5.534354e-06,5.412408e-06,5.296487e-06,5.186357e-06,5.081788e-06,4.982557e-06,4.888446e-06,4.799243e-06,4.714743e-06,4.634747e-06,4.559061e-06,4.487499e-06,4.419881e-06,4.356034e-06,4.295788e-06,4.238984e-06,4.185464e-06,4.135078e-06,4.087684e-06,4.043141e-06,4.001317e-06,3.962083e-06,3.925318e-06,3.890903e-06,3.858724e-06,3.828675e-06,3.800650e-06,3.774551e-06,3.750282e-06,3.727752e-06,3.706874e-06,3.687564e-06,3.669742e-06,3.653332e-06,3.638261e-06,3.624459e-06,3.611859e-06
0.000000e+00,6.601245e-10,4.192785e-08,4.468908e-08,6.443899e-07,4.302910e-06,4.608080e-06,2.036537e-05,5.882482e-05,6.236968e-05,1.448749e-04,2.630689e-04,2.752908e-04,4.526788e-04,6.466239e-04,6.698449e-04,9.163041e-04,1.148425e-03,1.180747e-03,1.452647e-03,1.685607e-03,1.723102e-03,1.985122e-03,2.194904e-03,2.233587e-03,2.465028e-03,2.640592e-03,2.677337e-03,2.869476e-03,3.008486e-03,3.041210e-03,3.192882e-03,3.297729e-03,3.325238e-03,3.439280e-03,3.514411e-03,3.536164e-03,3.617123e-03,3.667516e-03,3.683409e-03,3.736259e-03,3.766664e-03,3.776867e-03,3.806369e-03,3.820986e-03,3.825832e-03,3.836252e-03,3.838646e-03,3.838552e-03,3.833583e-03,3.826703e-03,3.822126e-03,3.804899e-03,3.791149e-03,3.782554e-03,3.755690e-03,3.737004e-03,3.724849e-03,3.690527e-03,3.668451e-03,3.653172e-03,3.613191e-03,3.588947e-03,3.570955e-03,3.526796e-03,3.501342e-03,3.481019e-03,3.433895e-03,3.407977e-03,3.385673e-03,3.336574e-03,3.310763e-03,3.286799e-03,3.236528e-03,3.211257e-03,3.185922e-03,3.135129e-03,3.110720e-03,3.084277e-03,3.033483e-03,3.010166e-03,2.982850e-03,2.932472e-03,2.910407e-03,2.882430e-03,2.832796e-03,2.812088e-03,2.783636e-03,2.735006e-03,2.715713e-03,2.686954e-03,2.639523e-03,2.621670e-03,2.592751e-03,2.546669e-03,2.530254e-03,2.501305e-03,2.456680e-03,2.441680e-03,2.412814e-03,2.369722e-03,2.356098e-03,2.327416e-03,2.285905e-03,2.273608e-03,2.245196e-03,2.205292e-03,2.194264e-03,2.166197e-03,2.127910e-03,2.118087e-03,2.090429e-03,2.053753e-03,2.045070e-03,2.017876e-03,1.982793e-03,1.975181e-03,1.948497e-03,1.914982e-03,1.908372e-03,1.882238e-03,1.850257e-03,1.844581e-03,1.819029e-03,1.788544e-03,1.783735e-03,1.758791e-03,1.729759e-03,1.725752e-03,1.701437e-03,1.673813e-03,1.670545e-03,1.646875e-03,1.620611e-03,1.618022e-03,1.595009e-03,1.570057e-03,1.568089e-03,1.545742e-03,1.522052e-03,1.520650e-03,1.498975e-03,1.476497e-03,1.475610e-03,1.454608e-03,1.433294e-03,1.432873e-03,1.412543e-03,1.392344e-03,1.353930e-03,1.317539e-03,1.283082e-03,1.250472e-03,1.219626e-03,1.190461e-03,1.162901e-03,1.136868e-03,1.112289e-03,1.089096e-03,1.067221e-03,1.046598e-03,1.027168e-03,1.008870e-03,9.916477e-04,9.754477e-04,9.602183e-04,9.459102e-04,9.324764e-04,9.198722e-04,9.080547e-04,8.969834e-04,8.866193e-04,8.769256e-04,8.678670e-04,8.594099e-04,8.515225e-04,8.441745e-04,8.373368e-04,8.309820e-04,8.250839e-04,8.196177e-04,8.145596e-04,8.098872e-04,8.055791e-04,8.016149e-04,7.979754e-04,7.946420e-04,7.915974e-04,7.888250e-04,7.863090e-04,7.840344e-04,7.819871e-04,7.801535e-04,7.785209e-04,7.770770e-04,7.758102e-04,7.747097e-04,7.737650e-04
0.000000e+00,8.163290e-09,1.302822e-07,1.362631e-07,8.957546e-07,3.206562e-06,3.350661e-06,8.242605e-06,1.441586e-05,1.483147e-05,2.176297e-05,2.788639e-05,2.840180e-05,3.459520e-05,3.977237e-05,4.032474e-05,4.560363e-05,4.989246e-05,5.045232e-05,5.489294e-05,5.840240e-05,5.894765e-05,6.263825e-05,6.547248e-05,6.598591e-05,6.901113e-05,7.126502e-05,7.173356e-05,7.417206e-05,7.593054e-05,7.634460e-05,7.826827e-05,7.960644e-05,7.995930e-05,8.143307e-05,8.241682e-05,8.270413e-05,8.378624e-05,8.447301e-05,8.469237e-05,8.543479e-05,8.587447e-05,8.602504e-05,8.647401e-05,8.670974e-05,8.679196e-05,8.698852e-05,8.705751e-05,8.707279e-05,8.705330e-05,8.698752e-05,8.693808e-05,8.673466e-05,8.656148e-05,8.645013e-05,8.609114e-05,8.583392e-05,8.566392e-05,8.517434e-05,8.485294e-05,8.462787e-05,8.402966e-05,8.366090e-05,8.338452e-05,8.269697e-05,8.229499e-05,8.197122e-05,8.121121e-05,8.078787e-05,8.042063e-05,7.960292e-05,7.916807e-05,7.876131e-05,7.789878e-05,7.746055e-05,7.701813e-05,7.612196e-05,7.568701e-05,7.521270e-05,7.429261e-05,7.386631e-05,7.336377e-05,7.242813e-05,7.201476e-05,7.148749e-05,7.054353e-05,7.014645e-05,6.959779e-05,6.865170e-05,6.827347e-05,6.770659e-05,6.676366e-05,6.640616e-05,6.582404e-05,6.488876e-05,6.455330e-05,6.395875e-05,6.303489e-05,6.272232e-05,6.211797e-05,6.120870e-05,6.091945e-05,6.030773e-05,5.941566e-05,5.914985e-05,5.853302e-05,5.766029e-05,5.741776e-05,5.679790e-05,5.594624e-05,5.572660e-05,5.510563e-05,5.427639e-05,5.407909e-05,5.345876e-05,5.265298e-05,5.247732e-05,5.185923e-05,5.107768e-05,5.092284e-05,5.030845e-05,4.955165e-05,4.941676e-05,4.880737e-05,4.807564e-05,4.795974e-05,4.735653e-05,4.665002e-05,4.655212e-05,4.595614e-05,4.527485e-05,4.519395e-05,4.460613e-05,4.394993e-05,4.388499e-05,4.330618e-05,4.267481e-05,4.262483e-05,4.205574e-05,4.144888e-05,4.141285e-05,4.085411e-05,4.027134e-05,4.024827e-05,3.970043e-05,3.914127e-05,3.913020e-05,3.859371e-05,3.805764e-05,3.702950e-05,3.604464e-05,3.510186e-05,3.419992e-05,3.333757e-05,3.251353e-05,3.172652e-05,3.097526e-05,3.025847e-05,2.957489e-05,2.892329e-05,2.830243e-05,2.771112e-05,2.714819e-05,2.661248e-05,2.610289e-05,2.561832e-05,2.515773e-05,2.472010e-05,2.430444e-05,2.390980e-05,2.353526e-05,2.317992e-05,2.284293e-05,2.252347e-05,2.222074e-05,2.193398e-05,2.166247e-05,2.140549e-05,2.116237e-05,2.093247e-05,2.071516e-05,2.050985e-05,2.031598e-05,2.013299e-05,1.996036e-05,1.979761e-05,1.964424e-05,1.949981e-05,1.936388e-05,1.923603e-05,1.911587e-05,1.900301e-05,1.889710e-05,1.879778e-05,1.870474e-05,1.861764e-05,1.853620e-05,1.846013e-05
0.000000e+00,1.801443e-09,8.195243e-08,8.677466e-08,9.288006e-07,4.953469e-06,5.260809e-06,1.925785e-05,4.774090e-05,5.014823e-05,9.994262e-05,1.576284e-04,1.629435e-04,2.303090e-04,2.887528e-04,2.949618e-04,3.530019e-04,3.974340e-04,4.030002e-04,4.449323e-04,4.750040e-04,4.794131e-04,5.072763e-04,5.261940e-04,5.293765e-04,5.465094e-04,5.573534e-04,5.593862e-04,5.686305e-04,5.737774e-04,5.747845e-04,5.783166e-04,5.795141e-04,5.796318e-04,5.790788e-04,5.775953e-04,5.769577e-04,5.735269e-04,5.702763e-04,5.690076e-04,5.635891e-04,5.592231e-04,5.574336e-04,5.506797e-04,5.456602e-04,5.434461e-04,5.358341e-04,5.304862e-04,5.279297e-04,5.198061e-04,5.143550e-04,5.115255e-04,5.031410e-04,4.977414e-04,4.946974e-04,4.862324e-04,4.809874e-04,4.777775e-04,4.693591e-04,4.643349e-04,4.609994e-04,4.527170e-04,4.479547e-04,4.445271e-04,4.364423e-04,4.319644e-04,4.284724e-04,4.206257e-04,4.164421e-04,4.129087e-04,4.053262e-04,4.014378e-04,3.978821e-04,3.905789e-04,3.869808e-04,3.834184e-04,3.764016e-04,3.730848e-04,3.695289e-04,3.628003e-04,3.597533e-04,3.562150e-04,3.497721e-04,3.469820e-04,3.434703e-04,3.373079e-04,3.347610e-04,3.312834e-04,3.253946e-04,3.230767e-04,3.196396e-04,3.140161e-04,3.119132e-04,3.085219e-04,3.031547e-04,3.012531e-04,2.979120e-04,2.927915e-04,2.910779e-04,2.877907e-04,2.829072e-04,2.813688e-04,2.781385e-04,2.734823e-04,2.721070e-04,2.689361e-04,2.644976e-04,2.632737e-04,2.601643e-04,2.559339e-04,2.548506e-04,2.518042e-04,2.477729e-04,2.468197e-04,2.438377e-04,2.399965e-04,2.391638e-04,2.362470e-04,2.325873e-04,2.318659e-04,2.290151e-04,2.255286e-04,2.249099e-04,2.221256e-04,2.188043e-04,2.182804e-04,2.155627e-04,2.123990e-04,2.119622e-04,2.093113e-04,2.062979e-04,2.059412e-04,2.033569e-04,2.004868e-04,2.002036e-04,1.976857e-04,1.949522e-04,1.947363e-04,1.922845e-04,1.896811e-04,1.895269e-04,1.871405e-04,1.846612e-04,1.845633e-04,1.822418e-04,1.798807e-04,1.798341e-04,1.775767e-04,1.753284e-04,1.710358e-04,1.669463e-04,1.630505e-04,1.593393e-04,1.558040e-04,1.524366e-04,1.492290e-04,1.461738e-04,1.432639e-04,1.404925e-04,1.378530e-04,1.353394e-04,1.329457e-04,1.306662e-04,1.284957e-04,1.264289e-04,1.244612e-04,1.225877e-04,1.208041e-04,1.191061e-04,1.174898e-04,1.159513e-04,1.144870e-04,1.130934e-04,1.117671e-04,1.105050e-04,1.093041e-04,1.081615e-04,1.070745e-04,1.060404e-04,1.050569e-04,1.041214e-04,1.032319e-04,1.023860e-04,1.015817e-04,1.008172e-04,1.000904e-04,9.939977e-05,9.874346e-05,9.811990e-05,9.752754e-05,9.696491e-05,9.643064e-05,9.592337e-05,9.544184e-05,9.498484e-05,9.455122e-05,9.413987e-05,9.374975e-05
0.000000e+00,4.176560e-09,5.208618e-08,5.429193e-08,3.195994e-07,1.114458e-06,1.164574e-06,2.924266e-06,5.314894e-06,5.481663e-06,8.323016e-06,1.086323e-05,1.107639e-05,1.361784e-05,1.570428e-05,1.592444e-05,1.800175e-05,1.965031e-05,1.986267e-05,2.152160e-05,2.279771e-05,2.299292e-05,2.429040e-05,2.525552e-05,2.542710e-05,2.641539e-05,2.712323e-05,2.726691e-05,2.799259e-05,2.848945e-05,2.860269e-05,2.910676e-05,2.943212e-05,2.951376e-05,2.983198e-05,3.001925e-05,3.006918e-05,3.023253e-05,3.030981e-05,3.032871e-05,3.036390e-05,3.035472e-05,3.034384e-05,3.027384e-05,3.019775e-05,3.015878e-05,3.000323e-05,2.987646e-05,2.981135e-05,2.958703e-05,2.942294e-05,2.933382e-05,2.905501e-05,2.886455e-05,2.875363e-05,2.843247e-05,2.822454e-05,2.809408e-05,2.774082e-05,2.752263e-05,2.737484e-05,2.699813e-05,2.677543e-05,2.661249e-05,2.621958e-05,2.599695e-05,2.582092e-05,2.541788e-05,2.519887e-05,2.501173e-05,2.460361e-05,2.439096e-05,2.419455e-05,2.378551e-05,2.358125e-05,2.337732e-05,2.297075e-05,2.277639e-05,2.256651e-05,2.216521e-05,2.198175e-05,2.176739e-05,2.137357e-05,2.120167e-05,2.098417e-05,2.059959e-05,2.043958e-05,2.022016e-05,1.984618e-05,1.969818e-05,1.947792e-05,1.911558e-05,1.897949e-05,1.875937e-05,1.840943e-05,1.828501e-05,1.806589e-05,1.772887e-05,1.761578e-05,1.739843e-05,1.707465e-05,1.697245e-05,1.675755e-05,1.644716e-05,1.635535e-05,1.614348e-05,1.584652e-05,1.576457e-05,1.555624e-05,1.527261e-05,1.519995e-05,1.499559e-05,1.472512e-05,1.466118e-05,1.446116e-05,1.420361e-05,1.414781e-05,1.395241e-05,1.370749e-05,1.365925e-05,1.346874e-05,1.323608e-05,1.319484e-05,1.300942e-05,1.278865e-05,1.275386e-05,1.257367e-05,1.236439e-05,1.233554e-05,1.216069e-05,1.196248e-05,1.193906e-05,1.176963e-05,1.158205e-05,1.156358e-05,1.139963e-05,1.122225e-05,1.120827e-05,1.104980e-05,1.088218e-05,1.087228e-05,1.071929e-05,1.056100e-05,1.055476e-05,1.040721e-05,1.025782e-05,1.025488e-05,1.011273e-05,9.971820e-06,9.704781e-06,9.452983e-06,9.215670e-06,8.992109e-06,8.781595e-06,8.583450e-06,8.397022e-06,8.221686e-06,8.056844e-06,7.901927e-06,7.756390e-06,7.619715e-06,7.491407e-06,7.370999e-06,7.258044e-06,7.152120e-06,7.052826e-06,6.959783e-06,6.872629e-06,6.791025e-06,6.714649e-06,6.643196e-06,6.576378e-06,6.513923e-06,6.455574e-06,6.401089e-06,6.350238e-06,6.302806e-06,6.258589e-06,6.217394e-06,6.179041e-06,6.143359e-06,6.110186e-06,6.079372e-06,6.050772e-06,6.024253e-06,5.999688e-06,5.976957e-06,5.955948e-06,5.936555e-06,5.918679e-06,5.902224e-06,5.887104e-06,5.873235e-06,5.860539e-06,5.848941e-06,5.838374e-06,5.828772e-06,5.820073e-06
0.000000e+00,1.142071e-08,4.433568e-07,4.686934e-07,4.805639e-06,2.480446e-05,2.629640e-05,9.071030e-05,2.071849e-04,2.163590e-04,3.904276e-04,5.690109e-04,5.847626e-04,7.799953e-04,9.495264e-04,9.678882e-04,1.145856e-03,1.293820e-03,1.313371e-03,1.470551e-03,1.597693e-03,1.617704e-03,1.755195e-03,1.863503e-03,1.883410e-03,2.002739e-03,2.094234e-03,2.113575e-03,2.216304e-03,2.292907e-03,2.311308e-03,2.398957e-03,2.462449e-03,2.479611e-03,2.553619e-03,2.605626e-03,2.621316e-03,2.683024e-03,2.725017e-03,2.739055e-03,2.789705e-03,2.823002e-03,2.835259e-03,2.875990e-03,2.901771e-03,2.912157e-03,2.944011e-03,2.963329e-03,2.971789e-03,2.995717e-03,3.009508e-03,3.016014e-03,3.032887e-03,3.041979e-03,3.046531e-03,3.057137e-03,3.062265e-03,3.064882e-03,3.069939e-03,3.071751e-03,3.072471e-03,3.072632e-03,3.071697e-03,3.070570e-03,3.066426e-03,3.063246e-03,3.060334e-03,3.052421e-03,3.047434e-03,3.042809e-03,3.031612e-03,3.025200e-03,3.018941e-03,3.004899e-03,2.997395e-03,2.989585e-03,2.973094e-03,2.964786e-03,2.955514e-03,2.936931e-03,2.928068e-03,2.917424e-03,2.897070e-03,2.887865e-03,2.875941e-03,2.854106e-03,2.844741e-03,2.831630e-03,2.808574e-03,2.799202e-03,2.784996e-03,2.760952e-03,2.751704e-03,2.736494e-03,2.711671e-03,2.702654e-03,2.686529e-03,2.661114e-03,2.652417e-03,2.635465e-03,2.609624e-03,2.601320e-03,2.583626e-03,2.557506e-03,2.549651e-03,2.531297e-03,2.505031e-03,2.497670e-03,2.478736e-03,2.452440e-03,2.445606e-03,2.426168e-03,2.399944e-03,2.393660e-03,2.373791e-03,2.347731e-03,2.342011e-03,2.321782e-03,2.295963e-03,2.290816e-03,2.270291e-03,2.244783e-03,2.240211e-03,2.219454e-03,2.194317e-03,2.190314e-03,2.169385e-03,2.144670e-03,2.141228e-03,2.120183e-03,2.095935e-03,2.093041e-03,2.071933e-03,2.048188e-03,2.045828e-03,2.024707e-03,2.001496e-03,1.999651e-03,1.978563e-03,1.955913e-03,1.954563e-03,1.933551e-03,1.911482e-03,1.910605e-03,1.889709e-03,1.868238e-03,1.867812e-03,1.847070e-03,1.826209e-03,1.785816e-03,1.746646e-03,1.708705e-03,1.671997e-03,1.636518e-03,1.602264e-03,1.569226e-03,1.537390e-03,1.506742e-03,1.477265e-03,1.448939e-03,1.421744e-03,1.395657e-03,1.370656e-03,1.346714e-03,1.323807e-03,1.301908e-03,1.280992e-03,1.261030e-03,1.241996e-03,1.223861e-03,1.206599e-03,1.190181e-03,1.174581e-03,1.159770e-03,1.145722e-03,1.132410e-03,1.119807e-03,1.107887e-03,1.096624e-03,1.085993e-03,1.075969e-03,1.066528e-03,1.057645e-03,1.049297e-03,1.041462e-03,1.034117e-03,1.027240e-03,1.020810e-03,1.014807e-03,1.009210e-03,1.004000e-03,9.991584e-04,9.946666e-04,9.905070e-04,9.866625e-04,9.831164e-04,9.798529e-04,9.768565e-04
0.000000e+00,8.338926e-09,1.195608e-07,1.248326e-07,8.033978e-07,3.066613e-06,3.215968e-06,8.722262e-06,1.656996e-05,1.712225e-05,2.652498e-05,3.486724e-05,3.556349e-05,4.381368e-05,5.050946e-05,5.121152e-05,5.778953e-05,6.294414e-05,6.360344e-05,6.871254e-05,7.258657e-05,7.317432e-05,7.704312e-05,7.987196e-05,8.036979e-05,8.320165e-05,8.518548e-05,8.558266e-05,8.755368e-05,8.886079e-05,8.915250e-05,9.041404e-05,9.118471e-05,9.137051e-05,9.205152e-05,9.240170e-05,9.248431e-05,9.269388e-05,9.271882e-05,9.270317e-05,9.253318e-05,9.231065e-05,9.220316e-05,9.173070e-05,9.132390e-05,9.113188e-05,9.042140e-05,8.988137e-05,8.961265e-05,8.871786e-05,8.808562e-05,8.774817e-05,8.671371e-05,8.602196e-05,8.562371e-05,8.448654e-05,8.376118e-05,8.330981e-05,8.210042e-05,8.136172e-05,8.086460e-05,7.960800e-05,7.887168e-05,7.833572e-05,7.705236e-05,7.633041e-05,7.576207e-05,7.446855e-05,7.376989e-05,7.317514e-05,7.188482e-05,7.121598e-05,7.060027e-05,6.932384e-05,6.868934e-05,6.805764e-05,6.680352e-05,6.620632e-05,6.556312e-05,6.433786e-05,6.377968e-05,6.312899e-05,6.193760e-05,6.141916e-05,6.076459e-05,5.961076e-05,5.913204e-05,5.847677e-05,5.736316e-05,5.692352e-05,5.627036e-05,5.519873e-05,5.479712e-05,5.414853e-05,5.311995e-05,5.275497e-05,5.211310e-05,5.112804e-05,5.079809e-05,5.016478e-05,4.922325e-05,4.892655e-05,4.830338e-05,4.740503e-05,4.713969e-05,4.652802e-05,4.567217e-05,4.543629e-05,4.483725e-05,4.402300e-05,4.381465e-05,4.322917e-05,4.245546e-05,4.227273e-05,4.170157e-05,4.096718e-05,4.080820e-05,4.025197e-05,3.955560e-05,3.941856e-05,3.887773e-05,3.821801e-05,3.810116e-05,3.757609e-05,3.695160e-05,3.685328e-05,3.634420e-05,3.575351e-05,3.567213e-05,3.517919e-05,3.462087e-05,3.455493e-05,3.407819e-05,3.355080e-05,3.349889e-05,3.303834e-05,3.254047e-05,3.250126e-05,3.205684e-05,3.158711e-05,3.155936e-05,3.113093e-05,3.068798e-05,3.067054e-05,3.025793e-05,2.984046e-05,2.983223e-05,2.943524e-05,2.904196e-05,2.829732e-05,2.759600e-05,2.693578e-05,2.631451e-05,2.573016e-05,2.518076e-05,2.466446e-05,2.417946e-05,2.372408e-05,2.329671e-05,2.289579e-05,2.251988e-05,2.216758e-05,2.183759e-05,2.152864e-05,2.123957e-05,2.096924e-05,2.071659e-05,2.048061e-05,2.026036e-05,2.005492e-05,1.986344e-05,1.968512e-05,1.951919e-05,1.936493e-05,1.922165e-05,1.908870e-05,1.896549e-05,1.885142e-05,1.874595e-05,1.864857e-05,1.855879e-05,1.847616e-05,1.840023e-05,1.833060e-05,1.826688e-05,1.820871e-05,1.815574e-05,1.810764e-05,1.806411e-05,1.802487e-05,1.798963e-05,1.795814e-05,1.793016e-05,1.790546e-05,1.788382e-05,1.786504e-05,1.784893e-05,1.783531e-05
0.000000e+00,5.408449e-09,2.025071e-07,2.142377e-07,2.243065e-06,1.105252e-05,1.167967e-05,3.627834e-05,7.323284e-05,7.587146e-05,1.213156e-04,1.622778e-04,1.657202e-04,2.068157e-04,2.406636e-04,2.442437e-04,2.781320e-04,3.052027e-04,3.087039e-04,3.361916e-04,3.575348e-04,3.608183e-04,3.827956e-04,3.993553e-04,4.023229e-04,4.195875e-04,4.321800e-04,4.347655e-04,4.480214e-04,4.573459e-04,4.595089e-04,4.693711e-04,4.760213e-04,4.777411e-04,4.847427e-04,4.892200e-04,4.904911e-04,4.950925e-04,4.978170e-04,4.986450e-04,5.012402e-04,5.025633e-04,5.029620e-04,5.038885e-04,5.041026e-04,5.040916e-04,5.036379e-04,5.029857e-04,5.025887e-04,5.010006e-04,4.996828e-04,4.989258e-04,4.964125e-04,4.945944e-04,4.935049e-04,4.902439e-04,4.880612e-04,4.866671e-04,4.828092e-04,4.803729e-04,4.787020e-04,4.743746e-04,4.717746e-04,4.698541e-04,4.651652e-04,4.624743e-04,4.603304e-04,4.553706e-04,4.526471e-04,4.503048e-04,4.451505e-04,4.424407e-04,4.399237e-04,4.346390e-04,4.319791e-04,4.293096e-04,4.239479e-04,4.213660e-04,4.185648e-04,4.131706e-04,4.106881e-04,4.077744e-04,4.023845e-04,4.000169e-04,3.970085e-04,3.916533e-04,3.894118e-04,3.863250e-04,3.810292e-04,3.789212e-04,3.757710e-04,3.705548e-04,3.685845e-04,3.653846e-04,3.602641e-04,3.584335e-04,3.551964e-04,3.501843e-04,3.484933e-04,3.452303e-04,3.403365e-04,3.387836e-04,3.355049e-04,3.307370e-04,3.293192e-04,3.260341e-04,3.213975e-04,3.201112e-04,3.168280e-04,3.123265e-04,3.111673e-04,3.078934e-04,3.035293e-04,3.024922e-04,2.992345e-04,2.950090e-04,2.940887e-04,2.908530e-04,2.867663e-04,2.859573e-04,2.827489e-04,2.788005e-04,2.780971e-04,2.749208e-04,2.711094e-04,2.705058e-04,2.673657e-04,2.636894e-04,2.631801e-04,2.600799e-04,2.565365e-04,2.561157e-04,2.530586e-04,2.496454e-04,2.493077e-04,2.462964e-04,2.430108e-04,2.427506e-04,2.397877e-04,2.366264e-04,2.364387e-04,2.335261e-04,2.304859e-04,2.303655e-04,2.275051e-04,2.245827e-04,2.245249e-04,2.217180e-04,2.189101e-04,2.135144e-04,2.083312e-04,2.033538e-04,1.985754e-04,1.939895e-04,1.895895e-04,1.853691e-04,1.813219e-04,1.774418e-04,1.737228e-04,1.701591e-04,1.667450e-04,1.634750e-04,1.603437e-04,1.573459e-04,1.544765e-04,1.517307e-04,1.491039e-04,1.465913e-04,1.441887e-04,1.418918e-04,1.396964e-04,1.375987e-04,1.355947e-04,1.336808e-04,1.318535e-04,1.301094e-04,1.284451e-04,1.268574e-04,1.253434e-04,1.239000e-04,1.225245e-04,1.212140e-04,1.199660e-04,1.187779e-04,1.176473e-04,1.165719e-04,1.155493e-04,1.145775e-04,1.136543e-04,1.127777e-04,1.119458e-04,1.111567e-04,1.104086e-04,1.096998e-04,1.090287e-04,1.083937e-04,1.077931e-04,1.072257e-04
0.000000e+00,8.701480e-10,5.447802e-08,5.804059e-08,8.165438e-07,5.347660e-06,5.723852e-06,2.523084e-05,7.423970e-05,7.885270e-05,1.897412e-04,3.571028e-04,3.748394e-04,6.391439e-04,9.396213e-04,9.762469e-04,1.372083e-03,1.755041e-03,1.809044e-03,2.269192e-03,2.671005e-03,2.736277e-03,3.196756e-03,3.570661e-03,3.640096e-03,4.058649e-03,4.379702e-03,4.447290e-03,4.802977e-03,5.062810e-03,5.124304e-03,5.411096e-03,5.611256e-03,5.664068e-03,5.884545e-03,6.031424e-03,6.074249e-03,6.235132e-03,6.336843e-03,6.369258e-03,6.478716e-03,6.543404e-03,6.565556e-03,6.631757e-03,6.666829e-03,6.679199e-03,6.709649e-03,6.721495e-03,6.724755e-03,6.726045e-03,6.720016e-03,6.714927e-03,6.692698e-03,6.673194e-03,6.660547e-03,6.619562e-03,6.590156e-03,6.570739e-03,6.514983e-03,6.478550e-03,6.453124e-03,6.385915e-03,6.344755e-03,6.314042e-03,6.238130e-03,6.194068e-03,6.158746e-03,6.076405e-03,6.030879e-03,5.991577e-03,5.904685e-03,5.858815e-03,5.816115e-03,5.726215e-03,5.680866e-03,5.635301e-03,5.543657e-03,5.499485e-03,5.451541e-03,5.359185e-03,5.316679e-03,5.266798e-03,5.174567e-03,5.134079e-03,5.082661e-03,4.991230e-03,4.953003e-03,4.900409e-03,4.810317e-03,4.774508e-03,4.721061e-03,4.632734e-03,4.599432e-03,4.545421e-03,4.459193e-03,4.428428e-03,4.374112e-03,4.290234e-03,4.261998e-03,4.207606e-03,4.126267e-03,4.100517e-03,4.046251e-03,3.967586e-03,3.944253e-03,3.890293e-03,3.814391e-03,3.793389e-03,3.739892e-03,3.666806e-03,3.648036e-03,3.595139e-03,3.524892e-03,3.508245e-03,3.456067e-03,3.388659e-03,3.374019e-03,3.322663e-03,3.258073e-03,3.245322e-03,3.194878e-03,3.133068e-03,3.122088e-03,3.072631e-03,3.013552e-03,3.004225e-03,2.955817e-03,2.899411e-03,2.891619e-03,2.844316e-03,2.790515e-03,2.784145e-03,2.737990e-03,2.686721e-03,2.681663e-03,2.636691e-03,2.587880e-03,2.584027e-03,2.540267e-03,2.493833e-03,2.491084e-03,2.448557e-03,2.404420e-03,2.402677e-03,2.361400e-03,2.319477e-03,2.318649e-03,2.278631e-03,2.238841e-03,2.163095e-03,2.091254e-03,2.023164e-03,1.958675e-03,1.897638e-03,1.839910e-03,1.785350e-03,1.733823e-03,1.685198e-03,1.639348e-03,1.596149e-03,1.555485e-03,1.517240e-03,1.481305e-03,1.447575e-03,1.415948e-03,1.386327e-03,1.358618e-03,1.332731e-03,1.308581e-03,1.286083e-03,1.265160e-03,1.245735e-03,1.227734e-03,1.211088e-03,1.195729e-03,1.181593e-03,1.168618e-03,1.156746e-03,1.145918e-03,1.136081e-03,1.127182e-03,1.119171e-03,1.112000e-03,1.105623e-03,1.099995e-03,1.095075e-03,1.090822e-03,1.087196e-03,1.084160e-03,1.081679e-03,1.079718e-03,1.078244e-03,1.077225e-03,1.076632e-03,1.076436e-03,1.076609e-03,1.077124e-03,1.077956e-03
0.000000e+00,3.372181e-09,2.084187e-07,2.223701e-07,3.284329e-06,1.989579e-05,2.115563e-05,7.317805e-05,1.575019e-04,1.638249e-04,2.797662e-04,3.953821e-04,4.055309e-04,5.311057e-04,6.398374e-04,6.515863e-04,7.650334e-04,8.585996e-04,8.709019e-04,9.692227e-04,1.047929e-03,1.060244e-03,1.144285e-03,1.209734e-03,1.221686e-03,1.292792e-03,1.346640e-03,1.357943e-03,1.417469e-03,1.461259e-03,1.471695e-03,1.520930e-03,1.556062e-03,1.565474e-03,1.605609e-03,1.633331e-03,1.641608e-03,1.673728e-03,1.695144e-03,1.702213e-03,1.727295e-03,1.743370e-03,1.749193e-03,1.768112e-03,1.779689e-03,1.784248e-03,1.797786e-03,1.805596e-03,1.808898e-03,1.817748e-03,1.822425e-03,1.824490e-03,1.829270e-03,1.831363e-03,1.832224e-03,1.833481e-03,1.833461e-03,1.833162e-03,1.831380e-03,1.829654e-03,1.828243e-03,1.823853e-03,1.820769e-03,1.818302e-03,1.811681e-03,1.807538e-03,1.804074e-03,1.795558e-03,1.790608e-03,1.786207e-03,1.776092e-03,1.770551e-03,1.765276e-03,1.753822e-03,1.747873e-03,1.741786e-03,1.729221e-03,1.723018e-03,1.716179e-03,1.702707e-03,1.696377e-03,1.688848e-03,1.674644e-03,1.668296e-03,1.660135e-03,1.645355e-03,1.639075e-03,1.630340e-03,1.615120e-03,1.608982e-03,1.599726e-03,1.584185e-03,1.578246e-03,1.568523e-03,1.552764e-03,1.547071e-03,1.536930e-03,1.521043e-03,1.515633e-03,1.505123e-03,1.489186e-03,1.484086e-03,1.473250e-03,1.457332e-03,1.452561e-03,1.441444e-03,1.425601e-03,1.421175e-03,1.409816e-03,1.394099e-03,1.390025e-03,1.378462e-03,1.362913e-03,1.359196e-03,1.347464e-03,1.332121e-03,1.328760e-03,1.316892e-03,1.301784e-03,1.298778e-03,1.286804e-03,1.271957e-03,1.269300e-03,1.257250e-03,1.242685e-03,1.240369e-03,1.228269e-03,1.214005e-03,1.212020e-03,1.199895e-03,1.185945e-03,1.184281e-03,1.172155e-03,1.158529e-03,1.157175e-03,1.145068e-03,1.131775e-03,1.130719e-03,1.118651e-03,1.105696e-03,1.104925e-03,1.092914e-03,1.080303e-03,1.079802e-03,1.067864e-03,1.055599e-03,1.055355e-03,1.043507e-03,1.031588e-03,1.008499e-03,9.860866e-04,9.643459e-04,9.432709e-04,9.228542e-04,9.030872e-04,8.839603e-04,8.654628e-04,8.475837e-04,8.303112e-04,8.136330e-04,7.975365e-04,7.820089e-04,7.670372e-04,7.526081e-04,7.387084e-04,7.253249e-04,7.124443e-04,7.000534e-04,6.881392e-04,6.766885e-04,6.656887e-04,6.551269e-04,6.449908e-04,6.352680e-04,6.259463e-04,6.170140e-04,6.084593e-04,6.002707e-04,5.924371e-04,5.849475e-04,5.777910e-04,5.709572e-04,5.644358e-04,5.582166e-04,5.522900e-04,5.466462e-04,5.412758e-04,5.361699e-04,5.313193e-04,5.267155e-04,5.223498e-04,5.182141e-04,5.143002e-04,5.106004e-04,5.071068e-04,5.038122e-04,5.007091e-04,4.977904e-04
0.000000e+00,1.404497e-09,6.833353e-08,7.238187e-08,7.778818e-07,4.289799e-06,4.567995e-06,1.840707e-05,5.188799e-05,5.499345e-05,1.277662e-04,2.313911e-04,2.419724e-04,3.916942e-04,5.464415e-04,5.643394e-04,7.463749e-04,9.054443e-04,9.267102e-04,1.097701e-03,1.233768e-03,1.254830e-03,1.395921e-03,1.501568e-03,1.520367e-03,1.628514e-03,1.705639e-03,1.721240e-03,1.799683e-03,1.852980e-03,1.865074e-03,1.918648e-03,1.952997e-03,1.961589e-03,1.995009e-03,2.014676e-03,2.019935e-03,2.037306e-03,2.045804e-03,2.047979e-03,2.052730e-03,2.052879e-03,2.052258e-03,2.047198e-03,2.041232e-03,2.038117e-03,2.025527e-03,2.015198e-03,2.009887e-03,1.991610e-03,1.978284e-03,1.971065e-03,1.948582e-03,1.933313e-03,1.924456e-03,1.898952e-03,1.882552e-03,1.872306e-03,1.844727e-03,1.827811e-03,1.816403e-03,1.787499e-03,1.770528e-03,1.758164e-03,1.728528e-03,1.711845e-03,1.698709e-03,1.668807e-03,1.652658e-03,1.638913e-03,1.609108e-03,1.593667e-03,1.579459e-03,1.550028e-03,1.535411e-03,1.520868e-03,1.492024e-03,1.478303e-03,1.463536e-03,1.435438e-03,1.422652e-03,1.407759e-03,1.380522e-03,1.368684e-03,1.353748e-03,1.327454e-03,1.316556e-03,1.301652e-03,1.276353e-03,1.266376e-03,1.251565e-03,1.227294e-03,1.218207e-03,1.203543e-03,1.180314e-03,1.172079e-03,1.157607e-03,1.135422e-03,1.127997e-03,1.113755e-03,1.092604e-03,1.085944e-03,1.071965e-03,1.051831e-03,1.045889e-03,1.032198e-03,1.013059e-03,1.007788e-03,9.944070e-04,9.762345e-04,9.715873e-04,9.585339e-04,9.412972e-04,9.372286e-04,9.245163e-04,9.081825e-04,9.046483e-04,8.922875e-04,8.768223e-04,8.737801e-04,8.617783e-04,8.471466e-04,8.445560e-04,8.329184e-04,8.190849e-04,8.169075e-04,8.056371e-04,7.925665e-04,7.907662e-04,7.798642e-04,7.675217e-04,7.660644e-04,7.555305e-04,7.438821e-04,7.427358e-04,7.325682e-04,7.215806e-04,7.207154e-04,7.109112e-04,7.005522e-04,6.999404e-04,6.904957e-04,6.807340e-04,6.803496e-04,6.712597e-04,6.620653e-04,6.618842e-04,6.531436e-04,6.444875e-04,6.281051e-04,6.126848e-04,5.981767e-04,5.845332e-04,5.717086e-04,5.596596e-04,5.483447e-04,5.377248e-04,5.277622e-04,5.184213e-04,5.096685e-04,5.014715e-04,4.937997e-04,4.866244e-04,4.799179e-04,4.736542e-04,4.678087e-04,4.623578e-04,4.572794e-04,4.525524e-04,4.481569e-04,4.440740e-04,4.402857e-04,4.367752e-04,4.335263e-04,4.305238e-04,4.277534e-04,4.252014e-04,4.228549e-04,4.207018e-04,4.187303e-04,4.169296e-04,4.152894e-04,4.137999e-04,4.124517e-04,4.112362e-04,4.101451e-04,4.091705e-04,4.083050e-04,4.075417e-04,4.068739e-04,4.062953e-04,4.058002e-04,4.053828e-04,4.050380e-04,4.047608e-04,4.045464e-04,4.043905e-04,4.042889e-04
0.000000e+00,1.335065e-08,1.724487e-07,1.795298e-07,1.004350e-06,3.475207e-06,3.632979e-06,9.352326e-06,1.776477e-05,1.838136e-05,2.941838e-05,3.988402e-05,4.077697e-05,5.151558e-05,6.040023e-05,6.133941e-05,7.020865e-05,7.725213e-05,7.815955e-05,8.524837e-05,9.070109e-05,9.153519e-05,9.707900e-05,1.012030e-04,1.019363e-04,1.061606e-04,1.091876e-04,1.098022e-04,1.129083e-04,1.150375e-04,1.155232e-04,1.176877e-04,1.190882e-04,1.194402e-04,1.208165e-04,1.216313e-04,1.218496e-04,1.225703e-04,1.229193e-04,1.230071e-04,1.231865e-04,1.231702e-04,1.231331e-04,1.228693e-04,1.225709e-04,1.224163e-04,1.217935e-04,1.212820e-04,1.210185e-04,1.201081e-04,1.194404e-04,1.190773e-04,1.179402e-04,1.171627e-04,1.167097e-04,1.153976e-04,1.145479e-04,1.140147e-04,1.125711e-04,1.116797e-04,1.110760e-04,1.095376e-04,1.086286e-04,1.079636e-04,1.063611e-04,1.054537e-04,1.047364e-04,1.030954e-04,1.022043e-04,1.014432e-04,9.978471e-05,9.892126e-05,9.812424e-05,9.646571e-05,9.563829e-05,9.481264e-05,9.316822e-05,9.238282e-05,9.153529e-05,8.991639e-05,8.917704e-05,8.831378e-05,8.672948e-05,8.603864e-05,8.516524e-05,8.362263e-05,8.298151e-05,8.210298e-05,8.060748e-05,8.001627e-05,7.913712e-05,7.769274e-05,7.715084e-05,7.627506e-05,7.488464e-05,7.439085e-05,7.352194e-05,7.218733e-05,7.174000e-05,7.088105e-05,6.960326e-05,6.920040e-05,6.835406e-05,6.713345e-05,6.677284e-05,6.594139e-05,6.477777e-05,6.445703e-05,6.364241e-05,6.253512e-05,6.225178e-05,6.145562e-05,6.040365e-05,6.015523e-05,5.937886e-05,5.838091e-05,5.816492e-05,5.740941e-05,5.646397e-05,5.627797e-05,5.554416e-05,5.464955e-05,5.449117e-05,5.377969e-05,5.293411e-05,5.280104e-05,5.211235e-05,5.131391e-05,5.120397e-05,5.053833e-05,4.978511e-05,4.969620e-05,4.905376e-05,4.834379e-05,4.827395e-05,4.765470e-05,4.698602e-05,4.693339e-05,4.633724e-05,4.570789e-05,4.567074e-05,4.509749e-05,4.450555e-05,4.448225e-05,4.393161e-05,4.337520e-05,4.336425e-05,4.283586e-05,4.231314e-05,4.132543e-05,4.039776e-05,3.952688e-05,3.870966e-05,3.794311e-05,3.722436e-05,3.655067e-05,3.591942e-05,3.532815e-05,3.477448e-05,3.425617e-05,3.377113e-05,3.331732e-05,3.289287e-05,3.249597e-05,3.212494e-05,3.177817e-05,3.145418e-05,3.115154e-05,3.086892e-05,3.060506e-05,3.035880e-05,3.012901e-05,2.991467e-05,2.971478e-05,2.952845e-05,2.935479e-05,2.919301e-05,2.904234e-05,2.890208e-05,2.877156e-05,2.865015e-05,2.853728e-05,2.843238e-05,2.833495e-05,2.824451e-05,2.816060e-05,2.808280e-05,2.801072e-05,2.794398e-05,2.788224e-05,2.782517e-05,2.777248e-05,2.772387e-05,2.767908e-05,2.763785e-05,2.759997e-05,2.756520e-05,2.753335e-05
0.000000e+00,9.134839e-10,6.584346e-08,7.035165e-08,1.143054e-06,8.571066e-06,9.224595e-06,4.637969e-05,1.527185e-04,1.633310e-04,4.400765e-04,9.194710e-04,9.740575e-04,1.866337e-03,3.053701e-03,3.210924e-03,5.087752e-03,7.229191e-03,7.558639e-03,1.066554e-02,1.386340e-02,1.443039e-02,1.885615e-02,2.307454e-02,2.392853e-02,2.961814e-02,3.471506e-02,3.588295e-02,4.267076e-02,4.843741e-02,4.992152e-02,5.756967e-02,6.376677e-02,6.554619e-02,7.378039e-02,8.016717e-02,8.220155e-02,9.074029e-02,9.709517e-02,9.932966e-02,1.079061e-01,1.140394e-01,1.164099e-01,1.247863e-01,1.305469e-01,1.329851e-01,1.409614e-01,1.462376e-01,1.486754e-01,1.560926e-01,1.608108e-01,1.631835e-01,1.699237e-01,1.740440e-01,1.762933e-01,1.822770e-01,1.857880e-01,1.878635e-01,1.930454e-01,1.959586e-01,1.978188e-01,2.021830e-01,2.045274e-01,2.061399e-01,2.096944e-01,2.115115e-01,2.128531e-01,2.156249e-01,2.169643e-01,2.180200e-01,2.200503e-01,2.209661e-01,2.217286e-01,2.230687e-01,2.236165e-01,2.240852e-01,2.247929e-01,2.250274e-01,2.252072e-01,2.253437e-01,2.253175e-01,2.252180e-01,2.248456e-01,2.246076e-01,2.242420e-01,2.234224e-01,2.230174e-01,2.224017e-01,2.211943e-01,2.206622e-01,2.198144e-01,2.182755e-01,2.176518e-01,2.165909e-01,2.147732e-01,2.140886e-01,2.128345e-01,2.107863e-01,2.100670e-01,2.086397e-01,2.064052e-01,2.056732e-01,2.040926e-01,2.017114e-01,2.009849e-01,1.992704e-01,1.967779e-01,1.960719e-01,1.942420e-01,1.916698e-01,1.909959e-01,1.890683e-01,1.864440e-01,1.858114e-01,1.838029e-01,1.811505e-01,1.805660e-01,1.784921e-01,1.758326e-01,1.753009e-01,1.731763e-01,1.705275e-01,1.700518e-01,1.678899e-01,1.652671e-01,1.648490e-01,1.626622e-01,1.600783e-01,1.597183e-01,1.575180e-01,1.549837e-01,1.546815e-01,1.524778e-01,1.500023e-01,1.497564e-01,1.475588e-01,1.451492e-01,1.449580e-01,1.427749e-01,1.404371e-01,1.402980e-01,1.381370e-01,1.358757e-01,1.357860e-01,1.336539e-01,1.314725e-01,1.314293e-01,1.293322e-01,1.272333e-01,1.232018e-01,1.193372e-01,1.156406e-01,1.121122e-01,1.087511e-01,1.055559e-01,1.025244e-01,9.965377e-02,9.694085e-02,9.438204e-02,9.197342e-02,8.971078e-02,8.758970e-02,8.560559e-02,8.375370e-02,8.202920e-02,8.042716e-02,7.894263e-02,7.757061e-02,7.630609e-02,7.514409e-02,7.407967e-02,7.310790e-02,7.222393e-02,7.142295e-02,7.070029e-02,7.005131e-02,6.947151e-02,6.895650e-02,6.850200e-02,6.810386e-02,6.775805e-02,6.746068e-02,6.720800e-02,6.699641e-02,6.682245e-02,6.668280e-02,6.657430e-02,6.649396e-02,6.643890e-02,6.640644e-02,6.639401e-02,6.639922e-02,6.641980e-02,6.645364e-02,6.649878e-02,6.655339e-02,6.661576e-02,6.668434e-02
0.000000e+00,6.063286e-10,3.410483e-08,3.625996e-08,4.736663e-07,3.047240e-06,3.261593e-06,1.446994e-05,4.264917e-05,4.528284e-05,1.073127e-04,1.966625e-04,2.058710e-04,3.382400e-04,4.797220e-04,4.964246e-04,6.706609e-04,8.299823e-04,8.518257e-04,1.032564e-03,1.183537e-03,1.207538e-03,1.373214e-03,1.503629e-03,1.527494e-03,1.669326e-03,1.776095e-03,1.798384e-03,1.914812e-03,1.999150e-03,2.019049e-03,2.111704e-03,2.176377e-03,2.193468e-03,2.265069e-03,2.313138e-03,2.327235e-03,2.380675e-03,2.415003e-03,2.426068e-03,2.464055e-03,2.487161e-03,2.495241e-03,2.520190e-03,2.534227e-03,2.539428e-03,2.553445e-03,2.560227e-03,2.562694e-03,2.567597e-03,2.568643e-03,2.568544e-03,2.565895e-03,2.562468e-03,2.559984e-03,2.551121e-03,2.544268e-03,2.539589e-03,2.525654e-03,2.516240e-03,2.509557e-03,2.491523e-03,2.480258e-03,2.471758e-03,2.450454e-03,2.437918e-03,2.427787e-03,2.403917e-03,2.390580e-03,2.378994e-03,2.353154e-03,2.339398e-03,2.326524e-03,2.299219e-03,2.285347e-03,2.271346e-03,2.243001e-03,2.229254e-03,2.214274e-03,2.185246e-03,2.171813e-03,2.155993e-03,2.126582e-03,2.113608e-03,2.097076e-03,2.067531e-03,2.055124e-03,2.038000e-03,2.008529e-03,1.996767e-03,1.979161e-03,1.949934e-03,1.938872e-03,1.920883e-03,1.892039e-03,1.881712e-03,1.863431e-03,1.835085e-03,1.825510e-03,1.807022e-03,1.779263e-03,1.770447e-03,1.751826e-03,1.724726e-03,1.716664e-03,1.697977e-03,1.671591e-03,1.664270e-03,1.645579e-03,1.619949e-03,1.613349e-03,1.594708e-03,1.569864e-03,1.563960e-03,1.545419e-03,1.521380e-03,1.516146e-03,1.497748e-03,1.474526e-03,1.469931e-03,1.451714e-03,1.429314e-03,1.425326e-03,1.407325e-03,1.385746e-03,1.382331e-03,1.364575e-03,1.343812e-03,1.340937e-03,1.323453e-03,1.303496e-03,1.301128e-03,1.283937e-03,1.264773e-03,1.262879e-03,1.246001e-03,1.227616e-03,1.226162e-03,1.209614e-03,1.191991e-03,1.190945e-03,1.174741e-03,1.157860e-03,1.157193e-03,1.141344e-03,1.125186e-03,1.124866e-03,1.109382e-03,1.093926e-03,1.064330e-03,1.036037e-03,1.009005e-03,9.831906e-04,9.585513e-04,9.350452e-04,9.126306e-04,8.912666e-04,8.709129e-04,8.515304e-04,8.330807e-04,8.155264e-04,7.988313e-04,7.829602e-04,7.678790e-04,7.535546e-04,7.399552e-04,7.270498e-04,7.148088e-04,7.032034e-04,6.922061e-04,6.817901e-04,6.719300e-04,6.626010e-04,6.537795e-04,6.454428e-04,6.375689e-04,6.301369e-04,6.231267e-04,6.165189e-04,6.102949e-04,6.044371e-04,5.989282e-04,5.937520e-04,5.888928e-04,5.843356e-04,5.800660e-04,5.760702e-04,5.723350e-04,5.688479e-04,5.655966e-04,5.625696e-04,5.597559e-04,5.571448e-04,5.547262e-04,5.524904e-04,5.504282e-04,5.485305e-04,5.467891e-04
0.000000e+00,3.384784e-09,1.362419e-07,1.441323e-07,1.484397e-06,7.273930e-06,7.688969e-06,2.450793e-05,5.231037e-05,5.441930e-05,9.296263e-05,1.301913e-04,1.333769e-04,1.716218e-04,2.030249e-04,2.063265e-04,2.373118e-04,2.616498e-04,2.647668e-04,2.889640e-04,3.073800e-04,3.101810e-04,3.286810e-04,3.423013e-04,3.447093e-04,3.584924e-04,3.682660e-04,3.702388e-04,3.801396e-04,3.868495e-04,3.883699e-04,3.950905e-04,3.993796e-04,4.004485e-04,4.045780e-04,4.069708e-04,4.076018e-04,4.096318e-04,4.105541e-04,4.107694e-04,4.111073e-04,4.109030e-04,4.107297e-04,4.097136e-04,4.086601e-04,4.081289e-04,4.060390e-04,4.043589e-04,4.035015e-04,4.005689e-04,3.984403e-04,3.972890e-04,3.937048e-04,3.912696e-04,3.898557e-04,3.857769e-04,3.831470e-04,3.815006e-04,3.770561e-04,3.743196e-04,3.724695e-04,3.677649e-04,3.649906e-04,3.629636e-04,3.580850e-04,3.553259e-04,3.531468e-04,3.481645e-04,3.454609e-04,3.431525e-04,3.381234e-04,3.355053e-04,3.330886e-04,3.280582e-04,3.255476e-04,3.230415e-04,3.180466e-04,3.156589e-04,3.130807e-04,3.081502e-04,3.058957e-04,3.032608e-04,2.984175e-04,2.963022e-04,2.936246e-04,2.888861e-04,2.869129e-04,2.842051e-04,2.795846e-04,2.777539e-04,2.750271e-04,2.705346e-04,2.688448e-04,2.661088e-04,2.617512e-04,2.601994e-04,2.574629e-04,2.532450e-04,2.518270e-04,2.490979e-04,2.450223e-04,2.437333e-04,2.410184e-04,2.370864e-04,2.359208e-04,2.332263e-04,2.294378e-04,2.283899e-04,2.257208e-04,2.220750e-04,2.211386e-04,2.184997e-04,2.149946e-04,2.141638e-04,2.115591e-04,2.081923e-04,2.074608e-04,2.048937e-04,2.016625e-04,2.010243e-04,1.984978e-04,1.953988e-04,1.948479e-04,1.923645e-04,1.893942e-04,1.889248e-04,1.864868e-04,1.836414e-04,1.832480e-04,1.808571e-04,1.781328e-04,1.778099e-04,1.754677e-04,1.728606e-04,1.726030e-04,1.703106e-04,1.678167e-04,1.676196e-04,1.653780e-04,1.629934e-04,1.628520e-04,1.606619e-04,1.583826e-04,1.582925e-04,1.561545e-04,1.539766e-04,1.539336e-04,1.518480e-04,1.497677e-04,1.457876e-04,1.419861e-04,1.383562e-04,1.348911e-04,1.315843e-04,1.284293e-04,1.254199e-04,1.225502e-04,1.198145e-04,1.172070e-04,1.147225e-04,1.123558e-04,1.101019e-04,1.079559e-04,1.059134e-04,1.039699e-04,1.021210e-04,1.003628e-04,9.869130e-05,9.710270e-05,9.559341e-05,9.415996e-05,9.279901e-05,9.150737e-05,9.028198e-05,8.911990e-05,8.801830e-05,8.697450e-05,8.598590e-05,8.505002e-05,8.416449e-05,8.332703e-05,8.253545e-05,8.178767e-05,8.108168e-05,8.041558e-05,7.978751e-05,7.919573e-05,7.863855e-05,7.811436e-05,7.762162e-05,7.715886e-05,7.672465e-05,7.631765e-05,7.593656e-05,7.558016e-05,7.524724e-05,7.493669e-05,7.464741e-05
0.000000e+00,2.329286e-09,1.325280e-07,1.409601e-07,1.824823e-06,1.088705e-05,1.160313e-05,4.545555e-05,1.174667e-04,1.236705e-04,2.555239e-04,4.170660e-04,4.324599e-04,6.356015e-04,8.246696e-04,8.454937e-04,1.047271e-03,1.210664e-03,1.231691e-03,1.394182e-03,1.515293e-03,1.533388e-03,1.649894e-03,1.731386e-03,1.745320e-03,1.821740e-03,1.871756e-03,1.881338e-03,1.926232e-03,1.952882e-03,1.958380e-03,1.979548e-03,1.989454e-03,1.991306e-03,1.995035e-03,1.993247e-03,1.991940e-03,1.983074e-03,1.973337e-03,1.969346e-03,1.951548e-03,1.936601e-03,1.930363e-03,1.906381e-03,1.888205e-03,1.880111e-03,1.851994e-03,1.832013e-03,1.822405e-03,1.791672e-03,1.770899e-03,1.760074e-03,1.727850e-03,1.706994e-03,1.695206e-03,1.662318e-03,1.641872e-03,1.629337e-03,1.596389e-03,1.576683e-03,1.563584e-03,1.531012e-03,1.512259e-03,1.498752e-03,1.466868e-03,1.449197e-03,1.435413e-03,1.404432e-03,1.387913e-03,1.373961e-03,1.344030e-03,1.328686e-03,1.314661e-03,1.285872e-03,1.271699e-03,1.257676e-03,1.230084e-03,1.217056e-03,1.203101e-03,1.176730e-03,1.164805e-03,1.150972e-03,1.125826e-03,1.114955e-03,1.101289e-03,1.077357e-03,1.067484e-03,1.054023e-03,1.031282e-03,1.022349e-03,1.009124e-03,9.875428e-04,9.794909e-04,9.665280e-04,9.460704e-04,9.388402e-04,9.261602e-04,9.067871e-04,9.003208e-04,8.879408e-04,8.696105e-04,8.638521e-04,8.517857e-04,8.344556e-04,8.293515e-04,8.176094e-04,8.012364e-04,7.967352e-04,7.853257e-04,7.698669e-04,7.659203e-04,7.548493e-04,7.402625e-04,7.368246e-04,7.260962e-04,7.123403e-04,7.093681e-04,6.989848e-04,6.860199e-04,6.834729e-04,6.734357e-04,6.612229e-04,6.590633e-04,6.493720e-04,6.378740e-04,6.360664e-04,6.267198e-04,6.159006e-04,6.144121e-04,6.054078e-04,5.952331e-04,5.940331e-04,5.853681e-04,5.758048e-04,5.748648e-04,5.665354e-04,5.575521e-04,5.568456e-04,5.488474e-04,5.404140e-04,5.399165e-04,5.322447e-04,5.243324e-04,5.240212e-04,5.166704e-04,5.092519e-04,5.091060e-04,5.020705e-04,4.951198e-04,4.820139e-04,4.697419e-04,4.582596e-04,4.475252e-04,4.374986e-04,4.281418e-04,4.194190e-04,4.112956e-04,4.037392e-04,3.967188e-04,3.902049e-04,3.841696e-04,3.785864e-04,3.734300e-04,3.686764e-04,3.643029e-04,3.602880e-04,3.566109e-04,3.532524e-04,3.501937e-04,3.474174e-04,3.449067e-04,3.426458e-04,3.406196e-04,3.388137e-04,3.372147e-04,3.358096e-04,3.345862e-04,3.335329e-04,3.326386e-04,3.318929e-04,3.312859e-04,3.308081e-04,3.304506e-04,3.302051e-04,3.300633e-04,3.300179e-04,3.300615e-04,3.301873e-04,3.303890e-04,3.306603e-04,3.309956e-04,3.313893e-04,3.318364e-04,3.323320e-04,3.328715e-04,3.334505e-04,3.340649e-04,3.347111e-04
0.000000e+00,6.592241e-10,3.666503e-08,3.894434e-08,4.772604e-07,2.917926e-06,3.118726e-06,1.361029e-05,4.066803e-05,4.324928e-05,1.062035e-04,2.026456e-04,2.129016e-04,3.656746e-04,5.380946e-04,5.589680e-04,7.820846e-04,9.929716e-04,1.022272e-03,1.267112e-03,1.473220e-03,1.505966e-03,1.730627e-03,1.904147e-03,1.935412e-03,2.116916e-03,2.247264e-03,2.273622e-03,2.405460e-03,2.493648e-03,2.513394e-03,2.599064e-03,2.651734e-03,2.664507e-03,2.711939e-03,2.737321e-03,2.743598e-03,2.761642e-03,2.767419e-03,2.768083e-03,2.764745e-03,2.757210e-03,2.753258e-03,2.735050e-03,2.718973e-03,2.711355e-03,2.683235e-03,2.662051e-03,2.651590e-03,2.617179e-03,2.593265e-03,2.580637e-03,2.542495e-03,2.517451e-03,2.503193e-03,2.463092e-03,2.437961e-03,2.422490e-03,2.381632e-03,2.357077e-03,2.340715e-03,2.299901e-03,2.276329e-03,2.259321e-03,2.219080e-03,2.196725e-03,2.179263e-03,2.139936e-03,2.118923e-03,2.101154e-03,2.062956e-03,2.043336e-03,2.025376e-03,1.988436e-03,1.970212e-03,1.952154e-03,1.916543e-03,1.899691e-03,1.881611e-03,1.847363e-03,1.831839e-03,1.813800e-03,1.780922e-03,1.766672e-03,1.748726e-03,1.717208e-03,1.704171e-03,1.686363e-03,1.656183e-03,1.644297e-03,1.626663e-03,1.597793e-03,1.586991e-03,1.569565e-03,1.541970e-03,1.532189e-03,1.514999e-03,1.488641e-03,1.479818e-03,1.462887e-03,1.437727e-03,1.429800e-03,1.413151e-03,1.389147e-03,1.382057e-03,1.365707e-03,1.342819e-03,1.336509e-03,1.320474e-03,1.298661e-03,1.293075e-03,1.277370e-03,1.256590e-03,1.251678e-03,1.236312e-03,1.216526e-03,1.212238e-03,1.197222e-03,1.178390e-03,1.174679e-03,1.160020e-03,1.142104e-03,1.138927e-03,1.124632e-03,1.107594e-03,1.104907e-03,1.090981e-03,1.074785e-03,1.072550e-03,1.058997e-03,1.043607e-03,1.041787e-03,1.028608e-03,1.013991e-03,1.012550e-03,9.997484e-04,9.858711e-04,9.847765e-04,9.723517e-04,9.591823e-04,9.584031e-04,9.463552e-04,9.338629e-04,9.333700e-04,9.216980e-04,9.098532e-04,9.096196e-04,8.983215e-04,8.870959e-04,8.657455e-04,8.455168e-04,8.263600e-04,8.082275e-04,7.910736e-04,7.748542e-04,7.595271e-04,7.450517e-04,7.313891e-04,7.185021e-04,7.063547e-04,6.949128e-04,6.841433e-04,6.740147e-04,6.644967e-04,6.555604e-04,6.471780e-04,6.393228e-04,6.319694e-04,6.250932e-04,6.186710e-04,6.126803e-04,6.070996e-04,6.019083e-04,5.970869e-04,5.926164e-04,5.884788e-04,5.846568e-04,5.811340e-04,5.778945e-04,5.749233e-04,5.722058e-04,5.697283e-04,5.674774e-04,5.654407e-04,5.636060e-04,5.619618e-04,5.604970e-04,5.592012e-04,5.580642e-04,5.570766e-04,5.562291e-04,5.555130e-04,5.549201e-04,5.544422e-04,5.540720e-04,5.538022e-04,5.536260e-04,5.535368e-04
0.000000e+00,1.617914e-09,7.722340e-08,8.175075e-08,8.419060e-07,4.360427e-06,4.629730e-06,1.732214e-05,4.587210e-05,4.844908e-05,1.074520e-04,1.897231e-04,1.980804e-04,3.158739e-04,4.366522e-04,4.505359e-04,5.903195e-04,7.096060e-04,7.252936e-04,8.486541e-04,9.425236e-04,9.566451e-04,1.047879e-03,1.111676e-03,1.122549e-03,1.181773e-03,1.219908e-03,1.227124e-03,1.260320e-03,1.279265e-03,1.283051e-03,1.296888e-03,1.302418e-03,1.303238e-03,1.303340e-03,1.299903e-03,1.298265e-03,1.288935e-03,1.279758e-03,1.276136e-03,1.260533e-03,1.247882e-03,1.242689e-03,1.223079e-03,1.208518e-03,1.202103e-03,1.180095e-03,1.164685e-03,1.157336e-03,1.134061e-03,1.118514e-03,1.110467e-03,1.086715e-03,1.071494e-03,1.062940e-03,1.039254e-03,1.024654e-03,1.015748e-03,9.924975e-04,9.786951e-04,9.695623e-04,9.469913e-04,9.340826e-04,9.248232e-04,9.030883e-04,8.911148e-04,8.818096e-04,8.610043e-04,8.499707e-04,8.406845e-04,8.208581e-04,8.107451e-04,8.015298e-04,7.827010e-04,7.734739e-04,7.643712e-04,7.465374e-04,7.381520e-04,7.291951e-04,7.123384e-04,7.047456e-04,6.959605e-04,6.800535e-04,6.732015e-04,6.646090e-04,6.496180e-04,6.434548e-04,6.350710e-04,6.209584e-04,6.154327e-04,6.072701e-04,5.939962e-04,5.890586e-04,5.811263e-04,5.686504e-04,5.642536e-04,5.565584e-04,5.448401e-04,5.409392e-04,5.334855e-04,5.224848e-04,5.190378e-04,5.118284e-04,5.015065e-04,4.984737e-04,4.915097e-04,4.818290e-04,4.791738e-04,4.724552e-04,4.633795e-04,4.610676e-04,4.545932e-04,4.460880e-04,4.440876e-04,4.378555e-04,4.298877e-04,4.281695e-04,4.221768e-04,4.147151e-04,4.132520e-04,4.074952e-04,4.005099e-04,3.992769e-04,3.937521e-04,3.872149e-04,3.861890e-04,3.808917e-04,3.747760e-04,3.739360e-04,3.688615e-04,3.631420e-04,3.624685e-04,3.576116e-04,3.522645e-04,3.517397e-04,3.470951e-04,3.420980e-04,3.417055e-04,3.372677e-04,3.325993e-04,3.323242e-04,3.280876e-04,3.237279e-04,3.235566e-04,3.195154e-04,3.154456e-04,3.153656e-04,3.115140e-04,3.077163e-04,3.005757e-04,2.939129e-04,2.876987e-04,2.819055e-04,2.765076e-04,2.714805e-04,2.668014e-04,2.624486e-04,2.584020e-04,2.546423e-04,2.511518e-04,2.479134e-04,2.449114e-04,2.421308e-04,2.395576e-04,2.371786e-04,2.349815e-04,2.329545e-04,2.310868e-04,2.293680e-04,2.277885e-04,2.263393e-04,2.250117e-04,2.237979e-04,2.226903e-04,2.216818e-04,2.207658e-04,2.199361e-04,2.191868e-04,2.185126e-04,2.179082e-04,2.173688e-04,2.168899e-04,2.164672e-04,2.160969e-04,2.157751e-04,2.154984e-04,2.152634e-04,2.150672e-04,2.149069e-04,2.147797e-04,2.146832e-04,2.146150e-04,2.145728e-04,2.145547e-04,2.145587e-04,2.145830e-04,2.146258e-04,2.146857e-04
0.000000e+00,3.308698e-10,4.653288e-09,4.864296e-09,3.151112e-08,1.087556e-07,1.133307e-07,2.514350e-07,3.938061e-07,4.026987e-07,5.442674e-07,6.622899e-07,6.719930e-07,7.859842e-07,8.775583e-07,8.871217e-07,9.763907e-07,1.045888e-06,1.054745e-06,1.123079e-06,1.174476e-06,1.182235e-06,1.232997e-06,1.269690e-06,1.276101e-06,1.312229e-06,1.337098e-06,1.342020e-06,1.366061e-06,1.381523e-06,1.384899e-06,1.399037e-06,1.407103e-06,1.408940e-06,1.415032e-06,1.417357e-06,1.417706e-06,1.417320e-06,1.415258e-06,1.414202e-06,1.408652e-06,1.403305e-06,1.400945e-06,1.391330e-06,1.383589e-06,1.380037e-06,1.367273e-06,1.357851e-06,1.353228e-06,1.338072e-06,1.327539e-06,1.321964e-06,1.305043e-06,1.293848e-06,1.287440e-06,1.269270e-06,1.257766e-06,1.250637e-06,1.231638e-06,1.220099e-06,1.212358e-06,1.192872e-06,1.181505e-06,1.173252e-06,1.153558e-06,1.142518e-06,1.133845e-06,1.114164e-06,1.103565e-06,1.094559e-06,1.075067e-06,1.064988e-06,1.055724e-06,1.036561e-06,1.027054e-06,1.017603e-06,9.988735e-07,9.899708e-07,9.803934e-07,9.621796e-07,9.538948e-07,9.442469e-07,9.266076e-07,9.189421e-07,9.092723e-07,8.922494e-07,8.851947e-07,8.755458e-07,8.591666e-07,8.527067e-07,8.431159e-07,8.273961e-07,8.215098e-07,8.120089e-07,7.969548e-07,7.916169e-07,7.822335e-07,7.678439e-07,7.630266e-07,7.537841e-07,7.400517e-07,7.357260e-07,7.266437e-07,7.135567e-07,7.096926e-07,7.007868e-07,6.883299e-07,6.848974e-07,6.761812e-07,6.643362e-07,6.613055e-07,6.527896e-07,6.415364e-07,6.388786e-07,6.305711e-07,6.198882e-07,6.175753e-07,6.094822e-07,5.993475e-07,5.973526e-07,5.894782e-07,5.798687e-07,5.781662e-07,5.705133e-07,5.614061e-07,5.599716e-07,5.525415e-07,5.439138e-07,5.427245e-07,5.355173e-07,5.273464e-07,5.263808e-07,5.193956e-07,5.116593e-07,5.108973e-07,5.041323e-07,4.968092e-07,4.962320e-07,4.896846e-07,4.827536e-07,4.823438e-07,4.760110e-07,4.694518e-07,4.691932e-07,4.630712e-07,4.568644e-07,4.567421e-07,4.508268e-07,4.449537e-07,4.337930e-07,4.232263e-07,4.132217e-07,4.037485e-07,3.947777e-07,3.862818e-07,3.782344e-07,3.706109e-07,3.633876e-07,3.565424e-07,3.500541e-07,3.439028e-07,3.380697e-07,3.325371e-07,3.272881e-07,3.223070e-07,3.175788e-07,3.130895e-07,3.088256e-07,3.047748e-07,3.009251e-07,2.972654e-07,2.937853e-07,2.904749e-07,2.873248e-07,2.843262e-07,2.814709e-07,2.787510e-07,2.761592e-07,2.736886e-07,2.713325e-07,2.690850e-07,2.669400e-07,2.648923e-07,2.629365e-07,2.610679e-07,2.592819e-07,2.575741e-07,2.559404e-07,2.543770e-07,2.528803e-07,2.514468e-07,2.500734e-07,2.487568e-07,2.474944e-07,2.462833e-07,2.451210e-07,2.440050e-07,2.429331e-07
0.000000e+00,4.486126e-10,6.299949e-09,6.584580e-09,4.191971e-08,1.389245e-07,1.444448e-07,3.031194e-07,4.598374e-07,4.695845e-07,6.252003e-07,7.562120e-07,7.670522e-07,8.953272e-07,9.997800e-07,1.010770e-06,1.114205e-06,1.195941e-06,1.206445e-06,1.288274e-06,1.350895e-06,1.360445e-06,1.423679e-06,1.470390e-06,1.478659e-06,1.526033e-06,1.559634e-06,1.566412e-06,1.600369e-06,1.623272e-06,1.628440e-06,1.651127e-06,1.665385e-06,1.668895e-06,1.682177e-06,1.689520e-06,1.691376e-06,1.696864e-06,1.698741e-06,1.698987e-06,1.698063e-06,1.695679e-06,1.694389e-06,1.688236e-06,1.682590e-06,1.679856e-06,1.669482e-06,1.661398e-06,1.657327e-06,1.643588e-06,1.633741e-06,1.628446e-06,1.612068e-06,1.601008e-06,1.594606e-06,1.576201e-06,1.564374e-06,1.556982e-06,1.537066e-06,1.524828e-06,1.516562e-06,1.495568e-06,1.483203e-06,1.474174e-06,1.452462e-06,1.440193e-06,1.430508e-06,1.408378e-06,1.396378e-06,1.386136e-06,1.363837e-06,1.352236e-06,1.341531e-06,1.319265e-06,1.308160e-06,1.297080e-06,1.275013e-06,1.264473e-06,1.253097e-06,1.231362e-06,1.221433e-06,1.209835e-06,1.188539e-06,1.179247e-06,1.167494e-06,1.146719e-06,1.138077e-06,1.126229e-06,1.106039e-06,1.098050e-06,1.086160e-06,1.066603e-06,1.059257e-06,1.047374e-06,1.028483e-06,1.021765e-06,1.009933e-06,9.917300e-07,9.856203e-07,9.738762e-07,9.563740e-07,9.508478e-07,9.392248e-07,9.224288e-07,9.174588e-07,9.059857e-07,8.898944e-07,8.854517e-07,8.741534e-07,8.587603e-07,8.548147e-07,8.437124e-07,8.290067e-07,8.255278e-07,8.146395e-07,8.006070e-07,7.975644e-07,7.869050e-07,7.735290e-07,7.708925e-07,7.604743e-07,7.477361e-07,7.454764e-07,7.353093e-07,7.231886e-07,7.212774e-07,7.113689e-07,6.998446e-07,6.982545e-07,6.886104e-07,6.776605e-07,6.763654e-07,6.669896e-07,6.565919e-07,6.555669e-07,6.464618e-07,6.365938e-07,6.358155e-07,6.269822e-07,6.176214e-07,6.170677e-07,6.085060e-07,5.996303e-07,5.992802e-07,5.909890e-07,5.825767e-07,5.824107e-07,5.743879e-07,5.664175e-07,5.512599e-07,5.368983e-07,5.232944e-07,5.104113e-07,4.982132e-07,4.866658e-07,4.757361e-07,4.653927e-07,4.556053e-07,4.463450e-07,4.375843e-07,4.292969e-07,4.214579e-07,4.140433e-07,4.070307e-07,4.003985e-07,3.941262e-07,3.881946e-07,3.825852e-07,3.772807e-07,3.722644e-07,3.675207e-07,3.630349e-07,3.587929e-07,3.547814e-07,3.509881e-07,3.474008e-07,3.440084e-07,3.408004e-07,3.377664e-07,3.348972e-07,3.321837e-07,3.296175e-07,3.271904e-07,3.248949e-07,3.227239e-07,3.206705e-07,3.187285e-07,3.168917e-07,3.151544e-07,3.135113e-07,3.119573e-07,3.104874e-07,3.090972e-07,3.077824e-07,3.065389e-07,3.053629e-07,3.042508e-07,3.031990e-07
0.000000e+00,5.151146e-09,1.944512e-07,2.054786e-07,2.094213e-06,1.097409e-05,1.164440e-05,4.117242e-05,9.619558e-05,1.005807e-04,1.842896e-04,2.697974e-04,2.772720e-04,3.685495e-04,4.453098e-04,4.534648e-04,5.307592e-04,5.924691e-04,6.004403e-04,6.629001e-04,7.112091e-04,7.186232e-04,7.680998e-04,8.051788e-04,8.118018e-04,8.501752e-04,8.779602e-04,8.836393e-04,9.125874e-04,9.327422e-04,9.373871e-04,9.583812e-04,9.723214e-04,9.758896e-04,9.902080e-04,9.991256e-04,1.001610e-03,1.010350e-03,1.015244e-03,1.016665e-03,1.020772e-03,1.022477e-03,1.022875e-03,1.023161e-03,1.022373e-03,1.021802e-03,1.018962e-03,1.016260e-03,1.014788e-03,1.009418e-03,1.005279e-03,1.002976e-03,9.955768e-04,9.903882e-04,9.873260e-04,9.783201e-04,9.723967e-04,9.686483e-04,9.583922e-04,9.519896e-04,9.476269e-04,9.364213e-04,9.297455e-04,9.248388e-04,9.129370e-04,9.061525e-04,9.007688e-04,8.883822e-04,8.816183e-04,8.758214e-04,8.631265e-04,8.564845e-04,8.503342e-04,8.374778e-04,8.310351e-04,8.245874e-04,8.116907e-04,8.055053e-04,7.988123e-04,7.859746e-04,7.800886e-04,7.731978e-04,7.605000e-04,7.549422e-04,7.478975e-04,7.354048e-04,7.301939e-04,7.230351e-04,7.107996e-04,7.059454e-04,6.987087e-04,6.867713e-04,6.822769e-04,6.749951e-04,6.633869e-04,6.592502e-04,6.519525e-04,6.406970e-04,6.369116e-04,6.296244e-04,6.187382e-04,6.152945e-04,6.080412e-04,5.975354e-04,5.944213e-04,5.872226e-04,5.771038e-04,5.743053e-04,5.671796e-04,5.574503e-04,5.549526e-04,5.479158e-04,5.385756e-04,5.363627e-04,5.294288e-04,5.204745e-04,5.185302e-04,5.117112e-04,5.031376e-04,5.014455e-04,4.947518e-04,4.865519e-04,4.850956e-04,4.785360e-04,4.707017e-04,4.694650e-04,4.630468e-04,4.555689e-04,4.545360e-04,4.482654e-04,4.411338e-04,4.402894e-04,4.341713e-04,4.273754e-04,4.267048e-04,4.207431e-04,4.142718e-04,4.137610e-04,4.079587e-04,4.018008e-04,4.014362e-04,3.957954e-04,3.899396e-04,3.897085e-04,3.842306e-04,3.786654e-04,3.785555e-04,3.732412e-04,3.679553e-04,3.578861e-04,3.483261e-04,3.392544e-04,3.306501e-04,3.224932e-04,3.147640e-04,3.074435e-04,3.005134e-04,2.939557e-04,2.877535e-04,2.818900e-04,2.763496e-04,2.711168e-04,2.661771e-04,2.615163e-04,2.571210e-04,2.529783e-04,2.490757e-04,2.454015e-04,2.419444e-04,2.386935e-04,2.356385e-04,2.327696e-04,2.300773e-04,2.275526e-04,2.251871e-04,2.229724e-04,2.209008e-04,2.189648e-04,2.171574e-04,2.154718e-04,2.139015e-04,2.124405e-04,2.110828e-04,2.098230e-04,2.086557e-04,2.075759e-04,2.065787e-04,2.056596e-04,2.048143e-04,2.040386e-04,2.033286e-04,2.026806e-04,2.020909e-04,2.015562e-04,2.010732e-04,2.006390e-04,2.002506e-04,1.999053e-04
0.000000e+00,3.632666e-08,6.249389e-07,6.529332e-07,3.993765e-06,1.339323e-05,1.396312e-05,3.304224e-05,5.777566e-05,5.949137e-05,8.879091e-05,1.148949e-04,1.170691e-04,1.427020e-04,1.632754e-04,1.654185e-04,1.853519e-04,2.007633e-04,2.027194e-04,2.177452e-04,2.289585e-04,2.306439e-04,2.416158e-04,2.494796e-04,2.508468e-04,2.585078e-04,2.637290e-04,2.647559e-04,2.697343e-04,2.728907e-04,2.735731e-04,2.763912e-04,2.779512e-04,2.782976e-04,2.793913e-04,2.797346e-04,2.797622e-04,2.794922e-04,2.789236e-04,2.786554e-04,2.773189e-04,2.760818e-04,2.755438e-04,2.733852e-04,2.716729e-04,2.708929e-04,2.681120e-04,2.660771e-04,2.650832e-04,2.618432e-04,2.596053e-04,2.584251e-04,2.548585e-04,2.525105e-04,2.511703e-04,2.473844e-04,2.449977e-04,2.435224e-04,2.396036e-04,2.372322e-04,2.356450e-04,2.316622e-04,2.293464e-04,2.276686e-04,2.236765e-04,2.214455e-04,2.196965e-04,2.157381e-04,2.136125e-04,2.118096e-04,2.079184e-04,2.059118e-04,2.040707e-04,2.002721e-04,1.983928e-04,1.965274e-04,1.928406e-04,1.910926e-04,1.892152e-04,1.856540e-04,1.840382e-04,1.821595e-04,1.787336e-04,1.772484e-04,1.753779e-04,1.720934e-04,1.707355e-04,1.688812e-04,1.657417e-04,1.645063e-04,1.626752e-04,1.596819e-04,1.585636e-04,1.567616e-04,1.539141e-04,1.529067e-04,1.511389e-04,1.484353e-04,1.475323e-04,1.458028e-04,1.432403e-04,1.424350e-04,1.407472e-04,1.383222e-04,1.376079e-04,1.359645e-04,1.336729e-04,1.330429e-04,1.314462e-04,1.292832e-04,1.287311e-04,1.271827e-04,1.251435e-04,1.246630e-04,1.231642e-04,1.212437e-04,1.208289e-04,1.193805e-04,1.175734e-04,1.172186e-04,1.158211e-04,1.141223e-04,1.138221e-04,1.124757e-04,1.108801e-04,1.106294e-04,1.093341e-04,1.078366e-04,1.076307e-04,1.063862e-04,1.049817e-04,1.048162e-04,1.036220e-04,1.023058e-04,1.021765e-04,1.010320e-04,9.979943e-05,9.970257e-05,9.860696e-05,9.745349e-05,9.738550e-05,9.633793e-05,9.525923e-05,9.521683e-05,9.421633e-05,9.320823e-05,9.318842e-05,9.223394e-05,9.129247e-05,8.952153e-05,8.786848e-05,8.632657e-05,8.488936e-05,8.355071e-05,8.230484e-05,8.114623e-05,8.006966e-05,7.907021e-05,7.814319e-05,7.728419e-05,7.648902e-05,7.575375e-05,7.507465e-05,7.444819e-05,7.387107e-05,7.334013e-05,7.285244e-05,7.240521e-05,7.199581e-05,7.162178e-05,7.128078e-05,7.097062e-05,7.068923e-05,7.043468e-05,7.020513e-05,6.999887e-05,6.981427e-05,6.964983e-05,6.950410e-05,6.937575e-05,6.926352e-05,6.916623e-05,6.908276e-05,6.901207e-05,6.895319e-05,6.890520e-05,6.886724e-05,6.883850e-05,6.881825e-05,6.880576e-05,6.880039e-05,6.880152e-05,6.880857e-05,6.882100e-05,6.883833e-05,6.886007e-05,6.888579e-05,6.891509e-05
0.000000e+00,7.188471e-10,9.497788e-09,9.910012e-09,5.880097e-08,1.958340e-07,2.041253e-07,4.781119e-07,8.155672e-07,8.381596e-07,1.212785e-06,1.539114e-06,1.566331e-06,1.889859e-06,2.154748e-06,2.182681e-06,2.446164e-06,2.655211e-06,2.682139e-06,2.892490e-06,3.054298e-06,3.079051e-06,3.243566e-06,3.365937e-06,3.387692e-06,3.512992e-06,3.602724e-06,3.620936e-06,3.712906e-06,3.775851e-06,3.790194e-06,3.854008e-06,3.895158e-06,3.905476e-06,3.945650e-06,3.969231e-06,3.975504e-06,3.995949e-06,4.005517e-06,4.007825e-06,4.011916e-06,4.010448e-06,4.008944e-06,3.999582e-06,3.989561e-06,3.984451e-06,3.964124e-06,3.947608e-06,3.939134e-06,3.909968e-06,3.888654e-06,3.877081e-06,3.840890e-06,3.816171e-06,3.801777e-06,3.760097e-06,3.733111e-06,3.716177e-06,3.670319e-06,3.641990e-06,3.622798e-06,3.573865e-06,3.544930e-06,3.523753e-06,3.472672e-06,3.443718e-06,3.420819e-06,3.368368e-06,3.339853e-06,3.315481e-06,3.262306e-06,3.234585e-06,3.208975e-06,3.155613e-06,3.128954e-06,3.102327e-06,3.049219e-06,3.023816e-06,2.996377e-06,2.943882e-06,2.919871e-06,2.891806e-06,2.840215e-06,2.817684e-06,2.789166e-06,2.738710e-06,2.717706e-06,2.688892e-06,2.639752e-06,2.620294e-06,2.591324e-06,2.543639e-06,2.525718e-06,2.496721e-06,2.450592e-06,2.434182e-06,2.405270e-06,2.360769e-06,2.345829e-06,2.317102e-06,2.274277e-06,2.260752e-06,2.232301e-06,2.191177e-06,2.179007e-06,2.150908e-06,2.111494e-06,2.100611e-06,2.072933e-06,2.035221e-06,2.025555e-06,1.998356e-06,1.962329e-06,1.953807e-06,1.927136e-06,1.892768e-06,1.885316e-06,1.859215e-06,1.826469e-06,1.820016e-06,1.794519e-06,1.763355e-06,1.757828e-06,1.732964e-06,1.703336e-06,1.698665e-06,1.674457e-06,1.646315e-06,1.642433e-06,1.618897e-06,1.592191e-06,1.589033e-06,1.566182e-06,1.540858e-06,1.538363e-06,1.516205e-06,1.492209e-06,1.490317e-06,1.468857e-06,1.446135e-06,1.444791e-06,1.424030e-06,1.402528e-06,1.401680e-06,1.381615e-06,1.361280e-06,1.360879e-06,1.341507e-06,1.322285e-06,1.285797e-06,1.251318e-06,1.218750e-06,1.188001e-06,1.158982e-06,1.131604e-06,1.105786e-06,1.081447e-06,1.058509e-06,1.036900e-06,1.016550e-06,9.973901e-07,9.793576e-07,9.623912e-07,9.464329e-07,9.314276e-07,9.173228e-07,9.040687e-07,8.916181e-07,8.799262e-07,8.689505e-07,8.586508e-07,8.489889e-07,8.399288e-07,8.314363e-07,8.234791e-07,8.160267e-07,8.090502e-07,8.025223e-07,7.964172e-07,7.907105e-07,7.853792e-07,7.804015e-07,7.757569e-07,7.714260e-07,7.673906e-07,7.636333e-07,7.601378e-07,7.568888e-07,7.538717e-07,7.510728e-07,7.484793e-07,7.460789e-07,7.438602e-07,7.418122e-07,7.399248e-07,7.381883e-07,7.365936e-07,7.351322e-07
0.000000e+00,2.473934e-09,1.384508e-07,1.473427e-07,1.998082e-06,1.228090e-05,1.309098e-05,4.969111e-05,1.186557e-04,1.241973e-04,2.327709e-04,3.509985e-04,3.617233e-04,4.975797e-04,6.180510e-04,6.311313e-04,7.573041e-04,8.603742e-04,8.738116e-04,9.799440e-04,1.062973e-03,1.075786e-03,1.161786e-03,1.226850e-03,1.238534e-03,1.306666e-03,1.356548e-03,1.366813e-03,1.419585e-03,1.456881e-03,1.465559e-03,1.505280e-03,1.532251e-03,1.539259e-03,1.567972e-03,1.586546e-03,1.591863e-03,1.611345e-03,1.623148e-03,1.626798e-03,1.638577e-03,1.644968e-03,1.647009e-03,1.652395e-03,1.654503e-03,1.655014e-03,1.655124e-03,1.653887e-03,1.652961e-03,1.648744e-03,1.644934e-03,1.642674e-03,1.634936e-03,1.629187e-03,1.625700e-03,1.615122e-03,1.607954e-03,1.603348e-03,1.590508e-03,1.582343e-03,1.576724e-03,1.562108e-03,1.553290e-03,1.546761e-03,1.530779e-03,1.521583e-03,1.514246e-03,1.497241e-03,1.487887e-03,1.479836e-03,1.462097e-03,1.452761e-03,1.444084e-03,1.425852e-03,1.416670e-03,1.407451e-03,1.388927e-03,1.380004e-03,1.370321e-03,1.351671e-03,1.343087e-03,1.333012e-03,1.314374e-03,1.306187e-03,1.295785e-03,1.277271e-03,1.269524e-03,1.258856e-03,1.240558e-03,1.233277e-03,1.222398e-03,1.204391e-03,1.197592e-03,1.186553e-03,1.168896e-03,1.162587e-03,1.151433e-03,1.134173e-03,1.128353e-03,1.117126e-03,1.100299e-03,1.094962e-03,1.083699e-03,1.067332e-03,1.062468e-03,1.051203e-03,1.035316e-03,1.030911e-03,1.019674e-03,1.004280e-03,1.000318e-03,9.891358e-04,9.742432e-04,9.707065e-04,9.596029e-04,9.452156e-04,9.420843e-04,9.310811e-04,9.171993e-04,9.144532e-04,9.035693e-04,8.901903e-04,8.878086e-04,8.770608e-04,8.641794e-04,8.621413e-04,8.515444e-04,8.391536e-04,8.374382e-04,8.270049e-04,8.150960e-04,8.136829e-04,8.034245e-04,7.919876e-04,7.908567e-04,7.807827e-04,7.698070e-04,7.689387e-04,7.590575e-04,7.485312e-04,7.479067e-04,7.382252e-04,7.281363e-04,7.277372e-04,7.182614e-04,7.085972e-04,7.084061e-04,6.991407e-04,6.898885e-04,6.721596e-04,6.551941e-04,6.389669e-04,6.234532e-04,6.086282e-04,5.944677e-04,5.809478e-04,5.680452e-04,5.557370e-04,5.440011e-04,5.328156e-04,5.221595e-04,5.120124e-04,5.023544e-04,4.931662e-04,4.844293e-04,4.761256e-04,4.682376e-04,4.607487e-04,4.536425e-04,4.469033e-04,4.405160e-04,4.344661e-04,4.287394e-04,4.233224e-04,4.182020e-04,4.133658e-04,4.088015e-04,4.044975e-04,4.004425e-04,3.966258e-04,3.930370e-04,3.896660e-04,3.865032e-04,3.835393e-04,3.807655e-04,3.781731e-04,3.757539e-04,3.735001e-04,3.714039e-04,3.694580e-04,3.676554e-04,3.659894e-04,3.644533e-04,3.630411e-04,3.617466e-04,3.605640e-04,3.594879e-04,3.585129e-04
0.000000e+00,8.768526e-10,1.452228e-08,1.521112e-08,1.021066e-07,3.397534e-07,3.532586e-07,7.429002e-07,1.130171e-06,1.154325e-06,1.541131e-06,1.868848e-06,1.896065e-06,2.219496e-06,2.485044e-06,2.513119e-06,2.778813e-06,2.990991e-06,3.018427e-06,3.233736e-06,3.400756e-06,3.426433e-06,3.598130e-06,3.727245e-06,3.750352e-06,3.884541e-06,3.982072e-06,4.002051e-06,4.104157e-06,4.175553e-06,4.192049e-06,4.266841e-06,4.316757e-06,4.329574e-06,4.381216e-06,4.413605e-06,4.422671e-06,4.454777e-06,4.472979e-06,4.478316e-06,4.494013e-06,4.500840e-06,4.502543e-06,4.504531e-06,4.502343e-06,4.500558e-06,4.491163e-06,4.481933e-06,4.476844e-06,4.458066e-06,4.443438e-06,4.435256e-06,4.408811e-06,4.390150e-06,4.379100e-06,4.346460e-06,4.324892e-06,4.311207e-06,4.273630e-06,4.250080e-06,4.233996e-06,4.192553e-06,4.167777e-06,4.149528e-06,4.105131e-06,4.079742e-06,4.059556e-06,4.012979e-06,3.987470e-06,3.965566e-06,3.917464e-06,3.892226e-06,3.868814e-06,3.819740e-06,3.795081e-06,3.770359e-06,3.720777e-06,3.696935e-06,3.671091e-06,3.621388e-06,3.598542e-06,3.571750e-06,3.522248e-06,3.500529e-06,3.472951e-06,3.423916e-06,3.403414e-06,3.375200e-06,3.326851e-06,3.307624e-06,3.278913e-06,3.231426e-06,3.213506e-06,3.184425e-06,3.137942e-06,3.121340e-06,3.092004e-06,3.046637e-06,3.031345e-06,3.001860e-06,2.957694e-06,2.943692e-06,2.914153e-06,2.871252e-06,2.858508e-06,2.829002e-06,2.787412e-06,2.775887e-06,2.746491e-06,2.706243e-06,2.695889e-06,2.666673e-06,2.627784e-06,2.618552e-06,2.589577e-06,2.552054e-06,2.543890e-06,2.515213e-06,2.479052e-06,2.471901e-06,2.443569e-06,2.408760e-06,2.402566e-06,2.374622e-06,2.341150e-06,2.335856e-06,2.308338e-06,2.276180e-06,2.271730e-06,2.244671e-06,2.213802e-06,2.210140e-06,2.183567e-06,2.153959e-06,2.151032e-06,2.124969e-06,2.096590e-06,2.094346e-06,2.068813e-06,2.041630e-06,2.040018e-06,2.015032e-06,1.989010e-06,1.987981e-06,1.963556e-06,1.938660e-06,1.938168e-06,1.914314e-06,1.890508e-06,1.844932e-06,1.801368e-06,1.759746e-06,1.719997e-06,1.682052e-06,1.645844e-06,1.611305e-06,1.578372e-06,1.546980e-06,1.517070e-06,1.488579e-06,1.461452e-06,1.435631e-06,1.411063e-06,1.387694e-06,1.365474e-06,1.344354e-06,1.324287e-06,1.305228e-06,1.287132e-06,1.269958e-06,1.253666e-06,1.238215e-06,1.223570e-06,1.209693e-06,1.196552e-06,1.184112e-06,1.172342e-06,1.161211e-06,1.150691e-06,1.140753e-06,1.131371e-06,1.122519e-06,1.114171e-06,1.106306e-06,1.098900e-06,1.091931e-06,1.085378e-06,1.079223e-06,1.073446e-06,1.068028e-06,1.062952e-06,1.058203e-06,1.053763e-06,1.049618e-06,1.045752e-06,1.042153e-06,1.038806e-06,1.035700e-06
0.000000e+00,7.262876e-09,2.171270e-07,2.285505e-07,1.972934e-06,9.112935e-06,9.623054e-06,3.035798e-05,6.425202e-05,6.678545e-05,1.122892e-04,1.556180e-04,1.593354e-04,2.044772e-04,2.426381e-04,2.467253e-04,2.859150e-04,3.179209e-04,3.221100e-04,3.554341e-04,3.819021e-04,3.860256e-04,4.140238e-04,4.356390e-04,4.395663e-04,4.627875e-04,4.801881e-04,4.838176e-04,5.027830e-04,5.165508e-04,5.198056e-04,5.350025e-04,5.456607e-04,5.484854e-04,5.603612e-04,5.683750e-04,5.707320e-04,5.796949e-04,5.854754e-04,5.873420e-04,5.937609e-04,5.976686e-04,5.990342e-04,6.032404e-04,6.055895e-04,6.064533e-04,6.087431e-04,6.098067e-04,6.101757e-04,6.108134e-04,6.108275e-04,6.107150e-04,6.099357e-04,6.091040e-04,6.085279e-04,6.065404e-04,6.050375e-04,6.040196e-04,6.010088e-04,5.989843e-04,5.975491e-04,5.936786e-04,5.912598e-04,5.894335e-04,5.848477e-04,5.821427e-04,5.799529e-04,5.747788e-04,5.718787e-04,5.693536e-04,5.637032e-04,5.606842e-04,5.578522e-04,5.518235e-04,5.487493e-04,5.456386e-04,5.393175e-04,5.362405e-04,5.328789e-04,5.263402e-04,5.233034e-04,5.197179e-04,5.130269e-04,5.100648e-04,5.062814e-04,4.994947e-04,4.966349e-04,4.926788e-04,4.858450e-04,4.831089e-04,4.790040e-04,4.721654e-04,4.695692e-04,4.653381e-04,4.585306e-04,4.560862e-04,4.517503e-04,4.450045e-04,4.427199e-04,4.382994e-04,4.316411e-04,4.295212e-04,4.250350e-04,4.184860e-04,4.165331e-04,4.119986e-04,4.055769e-04,4.037911e-04,3.992245e-04,3.929449e-04,3.913245e-04,3.867410e-04,3.806153e-04,3.791571e-04,3.745704e-04,3.686082e-04,3.673078e-04,3.627305e-04,3.569390e-04,3.557911e-04,3.512349e-04,3.456193e-04,3.446180e-04,3.400933e-04,3.346574e-04,3.337961e-04,3.293123e-04,3.240584e-04,3.233302e-04,3.188959e-04,3.138249e-04,3.132226e-04,3.088455e-04,3.039574e-04,3.034736e-04,2.991604e-04,2.944542e-04,2.940816e-04,2.898383e-04,2.853123e-04,2.850436e-04,2.808755e-04,2.765272e-04,2.763551e-04,2.722667e-04,2.680932e-04,2.680106e-04,2.640059e-04,2.600038e-04,2.523276e-04,2.449741e-04,2.379352e-04,2.312023e-04,2.247663e-04,2.186183e-04,2.127490e-04,2.071492e-04,2.018096e-04,1.967210e-04,1.918743e-04,1.872603e-04,1.828702e-04,1.786953e-04,1.747271e-04,1.709571e-04,1.673772e-04,1.639796e-04,1.607566e-04,1.577006e-04,1.548045e-04,1.520613e-04,1.494642e-04,1.470067e-04,1.446826e-04,1.424859e-04,1.404106e-04,1.384512e-04,1.366024e-04,1.348589e-04,1.332158e-04,1.316684e-04,1.302121e-04,1.288425e-04,1.275555e-04,1.263471e-04,1.252133e-04,1.241506e-04,1.231555e-04,1.222245e-04,1.213546e-04,1.205426e-04,1.197856e-04,1.190808e-04,1.184256e-04,1.178174e-04,1.172538e-04,1.167325e-04,1.162512e-04
0.000000e+00,1.296765e-09,8.320761e-08,8.862553e-08,1.216467e-06,7.902899e-06,8.462078e-06,3.837696e-05,1.192982e-04,1.272502e-04,3.319303e-04,6.810619e-04,7.205479e-04,1.360252e-03,2.197989e-03,2.307931e-03,3.605014e-03,5.054965e-03,5.275523e-03,7.326337e-03,9.387993e-03,9.748828e-03,1.252123e-02,1.509713e-02,1.561132e-02,1.897912e-02,2.191634e-02,2.257942e-02,2.636409e-02,2.949152e-02,3.028396e-02,3.429050e-02,3.744566e-02,3.833705e-02,4.237985e-02,4.542497e-02,4.637867e-02,5.029734e-02,5.312664e-02,5.410398e-02,5.777108e-02,6.031182e-02,6.127549e-02,6.459824e-02,6.680791e-02,6.772436e-02,7.064255e-02,7.250399e-02,7.334491e-02,7.582659e-02,7.734247e-02,7.808546e-02,8.012176e-02,8.130918e-02,8.193779e-02,8.353758e-02,8.442322e-02,8.492663e-02,8.611162e-02,8.672779e-02,8.710015e-02,8.790054e-02,8.828205e-02,8.852167e-02,8.897278e-02,8.915466e-02,8.926333e-02,8.940288e-02,8.941879e-02,8.940092e-02,8.926694e-02,8.914813e-02,8.901012e-02,8.863952e-02,8.841431e-02,8.816392e-02,8.759174e-02,8.728521e-02,8.693115e-02,8.618992e-02,8.582392e-02,8.537545e-02,8.449479e-02,8.408807e-02,8.355462e-02,8.256126e-02,8.212962e-02,8.152063e-02,8.043836e-02,7.999498e-02,7.931970e-02,7.816959e-02,7.772527e-02,7.699265e-02,7.579317e-02,7.535663e-02,7.457519e-02,7.334244e-02,7.292057e-02,7.209841e-02,7.084631e-02,7.044443e-02,6.958914e-02,6.832967e-02,6.795177e-02,6.707045e-02,6.581383e-02,6.546274e-02,6.456197e-02,6.331687e-02,6.299447e-02,6.208033e-02,6.085402e-02,6.056140e-02,5.963946e-02,5.843802e-02,5.817560e-02,5.725095e-02,5.607938e-02,5.584701e-02,5.492431e-02,5.378665e-02,5.358378e-02,5.266721e-02,5.156670e-02,5.139242e-02,5.048575e-02,4.942492e-02,4.927804e-02,4.838467e-02,4.736542e-02,4.724453e-02,4.636749e-02,4.539118e-02,4.529474e-02,4.443671e-02,4.350425e-02,4.343061e-02,4.259394e-02,4.170585e-02,4.165328e-02,4.084005e-02,3.999652e-02,3.996325e-02,3.917526e-02,3.837620e-02,3.836044e-02,3.759926e-02,3.684433e-02,3.541397e-02,3.406808e-02,3.280514e-02,3.162337e-02,3.052085e-02,2.949550e-02,2.854513e-02,2.766746e-02,2.686013e-02,2.612075e-02,2.544689e-02,2.483608e-02,2.428585e-02,2.379373e-02,2.335721e-02,2.297380e-02,2.264099e-02,2.235628e-02,2.211718e-02,2.192121e-02,2.176588e-02,2.164871e-02,2.156726e-02,2.151908e-02,2.150175e-02,2.151286e-02,2.155005e-02,2.161097e-02,2.169332e-02,2.179484e-02,2.191334e-02,2.204665e-02,2.219268e-02,2.234943e-02,2.251493e-02,2.268733e-02,2.286484e-02,2.304578e-02,2.322855e-02,2.341165e-02,2.359369e-02,2.377339e-02,2.394956e-02,2.412112e-02,2.428711e-02,2.444666e-02,2.459903e-02,2.474355e-02,2.487968e-02
0.000000e+00,8.450320e-09,1.256931e-07,1.314872e-07,8.734741e-07,3.032693e-06,3.159784e-06,6.972967e-06,1.098034e-05,1.123620e-05,1.542243e-05,1.910220e-05,1.941360e-05,2.318831e-05,2.639993e-05,2.674605e-05,3.009118e-05,3.286353e-05,3.322939e-05,3.616683e-05,3.853741e-05,3.891001e-05,4.146572e-05,4.347279e-05,4.384100e-05,4.604306e-05,4.772458e-05,4.807916e-05,4.995659e-05,5.134914e-05,5.168256e-05,5.326418e-05,5.440211e-05,5.470839e-05,5.602194e-05,5.693688e-05,5.721136e-05,5.828299e-05,5.900374e-05,5.924290e-05,6.009696e-05,6.064950e-05,6.085079e-05,6.150983e-05,6.191754e-05,6.207925e-05,6.256401e-05,6.284773e-05,6.296887e-05,6.329837e-05,6.347669e-05,6.355687e-05,6.374852e-05,6.383793e-05,6.387729e-05,6.394697e-05,6.396210e-05,6.396119e-05,6.392340e-05,6.387713e-05,6.383688e-05,6.370477e-05,6.360845e-05,6.353007e-05,6.331561e-05,6.317917e-05,6.306411e-05,6.277816e-05,6.261028e-05,6.246020e-05,6.211257e-05,6.192082e-05,6.173749e-05,6.133708e-05,6.112801e-05,6.091334e-05,6.046818e-05,6.024742e-05,6.000340e-05,5.952072e-05,5.929313e-05,5.902177e-05,5.850810e-05,5.827779e-05,5.798116e-05,5.744234e-05,5.721282e-05,5.689296e-05,5.633426e-05,5.610843e-05,5.576740e-05,5.519351e-05,5.497380e-05,5.461362e-05,5.402873e-05,5.381712e-05,5.343977e-05,5.284762e-05,5.264572e-05,5.225312e-05,5.165703e-05,5.146607e-05,5.106010e-05,5.046301e-05,5.028395e-05,4.986641e-05,4.927091e-05,4.910444e-05,4.867707e-05,4.808543e-05,4.793203e-05,4.749649e-05,4.691071e-05,4.677064e-05,4.632852e-05,4.575033e-05,4.562370e-05,4.517650e-05,4.460740e-05,4.449417e-05,4.404333e-05,4.348459e-05,4.338461e-05,4.293146e-05,4.238419e-05,4.229719e-05,4.184302e-05,4.130814e-05,4.123377e-05,4.077975e-05,4.025802e-05,4.019587e-05,3.974312e-05,3.923518e-05,3.918477e-05,3.873432e-05,3.824066e-05,3.820149e-05,3.775430e-05,3.727531e-05,3.724681e-05,3.680377e-05,3.633975e-05,3.632134e-05,3.588328e-05,3.543441e-05,3.542551e-05,3.499316e-05,3.455957e-05,3.372364e-05,3.291774e-05,3.214174e-05,3.139543e-05,3.067852e-05,2.999064e-05,2.933136e-05,2.870018e-05,2.809656e-05,2.751994e-05,2.696969e-05,2.644517e-05,2.594572e-05,2.547065e-05,2.501926e-05,2.459086e-05,2.418471e-05,2.380011e-05,2.343634e-05,2.309267e-05,2.276839e-05,2.246280e-05,2.217518e-05,2.190484e-05,2.165111e-05,2.141330e-05,2.119075e-05,2.098282e-05,2.078887e-05,2.060827e-05,2.044042e-05,2.028472e-05,2.014061e-05,2.000751e-05,1.988488e-05,1.977219e-05,1.966892e-05,1.957458e-05,1.948868e-05,1.941075e-05,1.934035e-05,1.927704e-05,1.922040e-05,1.917002e-05,1.912552e-05,1.908652e-05,1.905266e-05,1.902359e-05,1.899899e-05
0.000000e+00,1.351779e-08,2.245467e-07,2.347361e-07,1.439868e-06,4.691768e-06,4.884490e-06,1.114777e-05,1.884736e-05,1.936758e-05,2.810252e-05,3.588130e-05,3.653756e-05,4.443529e-05,5.105006e-05,5.175638e-05,5.851192e-05,6.400786e-05,6.472582e-05,7.042512e-05,7.493589e-05,7.563728e-05,8.038923e-05,8.404384e-05,8.470640e-05,8.861377e-05,9.152916e-05,9.213573e-05,9.529566e-05,9.757798e-05,9.811588e-05,1.006176e-04,1.023609e-04,1.028211e-04,1.047455e-04,1.060325e-04,1.064089e-04,1.078285e-04,1.087317e-04,1.090206e-04,1.100007e-04,1.105831e-04,1.107831e-04,1.113817e-04,1.116983e-04,1.118094e-04,1.120784e-04,1.121766e-04,1.122002e-04,1.121858e-04,1.121065e-04,1.120452e-04,1.117882e-04,1.115669e-04,1.114239e-04,1.109608e-04,1.106276e-04,1.104069e-04,1.097697e-04,1.093504e-04,1.090564e-04,1.082737e-04,1.077904e-04,1.074278e-04,1.065245e-04,1.059957e-04,1.055695e-04,1.045678e-04,1.040092e-04,1.035243e-04,1.024436e-04,1.018684e-04,1.013300e-04,1.001872e-04,9.960618e-05,9.901924e-05,9.782941e-05,9.725150e-05,9.662099e-05,9.539702e-05,9.482955e-05,9.416031e-05,9.291348e-05,9.236231e-05,9.165898e-05,9.039908e-05,8.986883e-05,8.913590e-05,8.787137e-05,8.736560e-05,8.660732e-05,8.534543e-05,8.486679e-05,8.408723e-05,8.283416e-05,8.238457e-05,8.158754e-05,8.034857e-05,7.992926e-05,7.911836e-05,7.789793e-05,7.750961e-05,7.668820e-05,7.549001e-05,7.513293e-05,7.430414e-05,7.313128e-05,7.280529e-05,7.197204e-05,7.082700e-05,7.053167e-05,6.969664e-05,6.858143e-05,6.831607e-05,6.748173e-05,6.639791e-05,6.616163e-05,6.533025e-05,6.427901e-05,6.407075e-05,6.324440e-05,6.222659e-05,6.204518e-05,6.122574e-05,6.024193e-05,6.008611e-05,5.927526e-05,5.832578e-05,5.819422e-05,5.739350e-05,5.647843e-05,5.636978e-05,5.558055e-05,5.469981e-05,5.461268e-05,5.383615e-05,5.298950e-05,5.292250e-05,5.215975e-05,5.134680e-05,5.129855e-05,5.055052e-05,4.977078e-05,4.973993e-05,4.900743e-05,4.826030e-05,4.824552e-05,4.752924e-05,4.681407e-05,4.544418e-05,4.413437e-05,4.288306e-05,4.168859e-05,4.054930e-05,3.946345e-05,3.842931e-05,3.744513e-05,3.650917e-05,3.561970e-05,3.477498e-05,3.397334e-05,3.321310e-05,3.249262e-05,3.181030e-05,3.116457e-05,3.055391e-05,2.997683e-05,2.943190e-05,2.891772e-05,2.843292e-05,2.797620e-05,2.754629e-05,2.714198e-05,2.676207e-05,2.640545e-05,2.607100e-05,2.575768e-05,2.546448e-05,2.519043e-05,2.493459e-05,2.469607e-05,2.447400e-05,2.426758e-05,2.407600e-05,2.389851e-05,2.373440e-05,2.358296e-05,2.344354e-05,2.331550e-05,2.319824e-05,2.309119e-05,2.299378e-05,2.290550e-05,2.282584e-05,2.275432e-05,2.269048e-05,2.263389e-05,2.258413e-05
0.000000e+00,1.194687e-08,2.954840e-07,3.103631e-07,2.421251e-06,9.946619e-06,1.044984e-05,2.924829e-05,5.714058e-05,5.916511e-05,9.483372e-05,1.279996e-04,1.308188e-04,1.647771e-04,1.931236e-04,1.961409e-04,2.248865e-04,2.481039e-04,2.511247e-04,2.749964e-04,2.937437e-04,2.966462e-04,3.162155e-04,3.311454e-04,3.338400e-04,3.496489e-04,3.613436e-04,3.637648e-04,3.763040e-04,3.852737e-04,3.873757e-04,3.970833e-04,4.037707e-04,4.055236e-04,4.127875e-04,4.175742e-04,4.189606e-04,4.241228e-04,4.273365e-04,4.283494e-04,4.317106e-04,4.336319e-04,4.342723e-04,4.360962e-04,4.369650e-04,4.372401e-04,4.377578e-04,4.377781e-04,4.376999e-04,4.371135e-04,4.364584e-04,4.360426e-04,4.345283e-04,4.333443e-04,4.326090e-04,4.303206e-04,4.287311e-04,4.276964e-04,4.247676e-04,4.228763e-04,4.215632e-04,4.181104e-04,4.160039e-04,4.144342e-04,4.105581e-04,4.083084e-04,4.065040e-04,4.022920e-04,3.999586e-04,3.979410e-04,3.934686e-04,3.911004e-04,3.888909e-04,3.842231e-04,3.818597e-04,3.794790e-04,3.746715e-04,3.723450e-04,3.698128e-04,3.649137e-04,3.626495e-04,3.599846e-04,3.550347e-04,3.528525e-04,3.500729e-04,3.451071e-04,3.430221e-04,3.401447e-04,3.351923e-04,3.332156e-04,3.302563e-04,3.253422e-04,3.234817e-04,3.204552e-04,3.156001e-04,3.138609e-04,3.107811e-04,3.060021e-04,3.043870e-04,3.012666e-04,2.965779e-04,2.950878e-04,2.919387e-04,2.873516e-04,2.859860e-04,2.828190e-04,2.783427e-04,2.770997e-04,2.739247e-04,2.695664e-04,2.684432e-04,2.652692e-04,2.610343e-04,2.600273e-04,2.568627e-04,2.527551e-04,2.518601e-04,2.487122e-04,2.447346e-04,2.439469e-04,2.408226e-04,2.369765e-04,2.362912e-04,2.331965e-04,2.294827e-04,2.288946e-04,2.258349e-04,2.222531e-04,2.217569e-04,2.187371e-04,2.152866e-04,2.148769e-04,2.119012e-04,2.085806e-04,2.082521e-04,2.053243e-04,2.021319e-04,2.018792e-04,1.990026e-04,1.959361e-04,1.957541e-04,1.929316e-04,1.899885e-04,1.898720e-04,1.871060e-04,1.842836e-04,1.842277e-04,1.815204e-04,1.788156e-04,1.736298e-04,1.686639e-04,1.639118e-04,1.593669e-04,1.550228e-04,1.508729e-04,1.469106e-04,1.431296e-04,1.395233e-04,1.360856e-04,1.328102e-04,1.296911e-04,1.267222e-04,1.238978e-04,1.212123e-04,1.186601e-04,1.162360e-04,1.139347e-04,1.117512e-04,1.096807e-04,1.077184e-04,1.058599e-04,1.041008e-04,1.024368e-04,1.008638e-04,9.937795e-05,9.797543e-05,9.665260e-05,9.540595e-05,9.423210e-05,9.312781e-05,9.208995e-05,9.111553e-05,9.020166e-05,8.934558e-05,8.854462e-05,8.779622e-05,8.709794e-05,8.644743e-05,8.584242e-05,8.528074e-05,8.476032e-05,8.427916e-05,8.383534e-05,8.342704e-05,8.305249e-05,8.271001e-05,8.239798e-05,8.211484e-05
0.000000e+00,8.408091e-09,6.272318e-07,6.706571e-07,1.114340e-05,8.318508e-05,8.947556e-05,4.410564e-04,1.421709e-03,1.518520e-03,4.010986e-03,8.256399e-03,8.736486e-03,1.652758e-02,2.679354e-02,2.814714e-02,4.423513e-02,6.248046e-02,6.527984e-02,9.160701e-02,1.186032e-01,1.233816e-01,1.606178e-01,1.960321e-01,2.031948e-01,2.508748e-01,2.935481e-01,3.033231e-01,3.601274e-01,4.083922e-01,4.208168e-01,4.848795e-01,5.368450e-01,5.517782e-01,6.209640e-01,6.747370e-01,6.918884e-01,7.640132e-01,8.178521e-01,8.368190e-01,9.098109e-01,9.622183e-01,9.825245e-01,1.054528e+00,1.104296e+00,1.125428e+00,1.194865e+00,1.241083e+00,1.262521e+00,1.328113e+00,1.370153e+00,1.391397e+00,1.452163e+00,1.489650e+00,1.510236e+00,1.565474e+00,1.598247e+00,1.617764e+00,1.667022e+00,1.695096e+00,1.713190e+00,1.756232e+00,1.779759e+00,1.796136e+00,1.832906e+00,1.852137e+00,1.866566e+00,1.897153e+00,1.912411e+00,1.924720e+00,1.949327e+00,1.960978e+00,1.971049e+00,1.989964e+00,1.998397e+00,2.006161e+00,2.019733e+00,2.025344e+00,2.030777e+00,2.039393e+00,2.042570e+00,2.045685e+00,2.049758e+00,2.050873e+00,2.051715e+00,2.051663e+00,2.051068e+00,2.049707e+00,2.045951e+00,2.043967e+00,2.040496e+00,2.033444e+00,2.030366e+00,2.024894e+00,2.014941e+00,2.011032e+00,2.003679e+00,1.991198e+00,1.986693e+00,1.977587e+00,1.962931e+00,1.958033e+00,1.947310e+00,1.930805e+00,1.925692e+00,1.913490e+00,1.895438e+00,1.890261e+00,1.876719e+00,1.857398e+00,1.852283e+00,1.837538e+00,1.817200e+00,1.812254e+00,1.796441e+00,1.775315e+00,1.770623e+00,1.753874e+00,1.732166e+00,1.727796e+00,1.710237e+00,1.688131e+00,1.684137e+00,1.665890e+00,1.643551e+00,1.639970e+00,1.621151e+00,1.598725e+00,1.595585e+00,1.576304e+00,1.553919e+00,1.551236e+00,1.531597e+00,1.509366e+00,1.507148e+00,1.487248e+00,1.465268e+00,1.463517e+00,1.443447e+00,1.421804e+00,1.420511e+00,1.400357e+00,1.379123e+00,1.378278e+00,1.358118e+00,1.337355e+00,1.336943e+00,1.316849e+00,1.296611e+00,1.257371e+00,1.219297e+00,1.182446e+00,1.146866e+00,1.112593e+00,1.079651e+00,1.048058e+00,1.017822e+00,9.889470e-01,9.614276e-01,9.352549e-01,9.104148e-01,8.868889e-01,8.646554e-01,8.436893e-01,8.239629e-01,8.054458e-01,7.881058e-01,7.719091e-01,7.568199e-01,7.428017e-01,7.298166e-01,7.178261e-01,7.067910e-01,6.966717e-01,6.874282e-01,6.790205e-01,6.714086e-01,6.645523e-01,6.584121e-01,6.529485e-01,6.481227e-01,6.438964e-01,6.402319e-01,6.370923e-01,6.344414e-01,6.322441e-01,6.304662e-01,6.290745e-01,6.280368e-01,6.273222e-01,6.269009e-01,6.267443e-01,6.268251e-01,6.271172e-01,6.275958e-01,6.282374e-01,6.290199e-01,6.299224e-01
0.000000e+00,4.284401e-09,1.211890e-07,1.275852e-07,8.988379e-07,2.362473e-06,2.427584e-06,4.002509e-06,5.340394e-06,5.420772e-06,6.675516e-06,7.696854e-06,7.780027e-06,8.748524e-06,9.514753e-06,9.594132e-06,1.032873e-05,1.089193e-05,1.096310e-05,1.150704e-05,1.190935e-05,1.196950e-05,1.235865e-05,1.263434e-05,1.268192e-05,1.294610e-05,1.312298e-05,1.315736e-05,1.332128e-05,1.342176e-05,1.344294e-05,1.352693e-05,1.356899e-05,1.357742e-05,1.359816e-05,1.359610e-05,1.359250e-05,1.356349e-05,1.352862e-05,1.351389e-05,1.344615e-05,1.338742e-05,1.336252e-05,1.326500e-05,1.318944e-05,1.315538e-05,1.303528e-05,1.294838e-05,1.290617e-05,1.276934e-05,1.267537e-05,1.262596e-05,1.247708e-05,1.237934e-05,1.232363e-05,1.216646e-05,1.206748e-05,1.200632e-05,1.184387e-05,1.174554e-05,1.167971e-05,1.151436e-05,1.141811e-05,1.134832e-05,1.118198e-05,1.108885e-05,1.101573e-05,1.084989e-05,1.076061e-05,1.068475e-05,1.052057e-05,1.043565e-05,1.035757e-05,1.019595e-05,1.011571e-05,1.003588e-05,9.877500e-06,9.802120e-06,9.720947e-06,9.566327e-06,9.495877e-06,9.413733e-06,9.263244e-06,9.197713e-06,9.114925e-06,8.968830e-06,8.908144e-06,8.825001e-06,8.683473e-06,8.627512e-06,8.544271e-06,8.407412e-06,8.356022e-06,8.272907e-06,8.140762e-06,8.093768e-06,8.010977e-06,7.883547e-06,7.840757e-06,7.758465e-06,7.635716e-06,7.596927e-06,7.515287e-06,7.397158e-06,7.362165e-06,7.281310e-06,7.167719e-06,7.136315e-06,7.056362e-06,6.947211e-06,6.919190e-06,6.840240e-06,6.735420e-06,6.710580e-06,6.632721e-06,6.532114e-06,6.510257e-06,6.433566e-06,6.337048e-06,6.317985e-06,6.242527e-06,6.149971e-06,6.133517e-06,6.059347e-06,5.970624e-06,5.956603e-06,5.883769e-06,5.798750e-06,5.786992e-06,5.715534e-06,5.634089e-06,5.624433e-06,5.554383e-06,5.476385e-06,5.468678e-06,5.400063e-06,5.325387e-06,5.319483e-06,5.252324e-06,5.180845e-06,5.176606e-06,5.110919e-06,5.042518e-06,5.039813e-06,4.975610e-06,4.910169e-06,4.908875e-06,4.846164e-06,4.783568e-06,4.663677e-06,4.548991e-06,4.439307e-06,4.334429e-06,4.234166e-06,4.138336e-06,4.046762e-06,3.959274e-06,3.875707e-06,3.795904e-06,3.719713e-06,3.646986e-06,3.577584e-06,3.511370e-06,3.448215e-06,3.387994e-06,3.330585e-06,3.275874e-06,3.223749e-06,3.174104e-06,3.126835e-06,3.081844e-06,3.039036e-06,2.998321e-06,2.959610e-06,2.922820e-06,2.887870e-06,2.854683e-06,2.823184e-06,2.793301e-06,2.764966e-06,2.738114e-06,2.712680e-06,2.688604e-06,2.665827e-06,2.644294e-06,2.623950e-06,2.604744e-06,2.586626e-06,2.569549e-06,2.553466e-06,2.538335e-06,2.524112e-06,2.510757e-06,2.498231e-06,2.486498e-06,2.475521e-06,2.465265e-06,2.455698e-06
0.000000e+00,3.586111e-09,2.526742e-07,2.697992e-07,4.232000e-06,3.082872e-05,3.314718e-05,1.638876e-04,5.379920e-04,5.754571e-04,1.559900e-03,3.288674e-03,3.486881e-03,6.754453e-03,1.116067e-02,1.174789e-02,1.881075e-02,2.696480e-02,2.822671e-02,4.020985e-02,5.267808e-02,5.490123e-02,7.237006e-02,8.919332e-02,9.261796e-02,1.155854e-01,1.363701e-01,1.411591e-01,1.691806e-01,1.932296e-01,1.994540e-01,2.317545e-01,2.581984e-01,2.658361e-01,3.014382e-01,3.293478e-01,3.382925e-01,3.761279e-01,4.045996e-01,4.146759e-01,4.536746e-01,4.818906e-01,4.928716e-01,5.320273e-01,5.592904e-01,5.709164e-01,6.093300e-01,6.350811e-01,6.470764e-01,6.839815e-01,7.078015e-01,7.198893e-01,7.546621e-01,7.762647e-01,7.881796e-01,8.203389e-01,8.395570e-01,8.510536e-01,8.802531e-01,8.970217e-01,9.078816e-01,9.338970e-01,9.482348e-01,9.582702e-01,9.809838e-01,9.929758e-01,1.002031e+00,1.021416e+00,1.031196e+00,1.039150e+00,1.055252e+00,1.062989e+00,1.069749e+00,1.082674e+00,1.088558e+00,1.094064e+00,1.103962e+00,1.108196e+00,1.112412e+00,1.119465e+00,1.122254e+00,1.125171e+00,1.129583e+00,1.131129e+00,1.132756e+00,1.134745e+00,1.135240e+00,1.135605e+00,1.135393e+00,1.135020e+00,1.134165e+00,1.131975e+00,1.130903e+00,1.128879e+00,1.124931e+00,1.123311e+00,1.120182e+00,1.114685e+00,1.112655e+00,1.108490e+00,1.101645e+00,1.099325e+00,1.094197e+00,1.086192e+00,1.083688e+00,1.077674e+00,1.068685e+00,1.066089e+00,1.059265e+00,1.049453e+00,1.046842e+00,1.039287e+00,1.028801e+00,1.026241e+00,1.018030e+00,1.007005e+00,1.004548e+00,9.957570e-01,9.843151e-01,9.820058e-01,9.727064e-01,9.609570e-01,9.588290e-01,9.490911e-01,9.371320e-01,9.352113e-01,9.251012e-01,9.130192e-01,9.113248e-01,9.009052e-01,8.887772e-01,8.873217e-01,8.766519e-01,8.645450e-01,8.633359e-01,8.524713e-01,8.404444e-01,8.394846e-01,8.284770e-01,8.165809e-01,8.158696e-01,8.047670e-01,7.930456e-01,7.925788e-01,7.814258e-01,7.699164e-01,7.696873e-01,7.585251e-01,7.472593e-01,7.253483e-01,7.039989e-01,6.832476e-01,6.631237e-01,6.436500e-01,6.248436e-01,6.067168e-01,5.892771e-01,5.725287e-01,5.564719e-01,5.411042e-01,5.264209e-01,5.124146e-01,4.990763e-01,4.863951e-01,4.743588e-01,4.629539e-01,4.521659e-01,4.419792e-01,4.323777e-01,4.233446e-01,4.148626e-01,4.069140e-01,3.994808e-01,3.925446e-01,3.860871e-01,3.800896e-01,3.745335e-01,3.694002e-01,3.646713e-01,3.603281e-01,3.563525e-01,3.527263e-01,3.494315e-01,3.464507e-01,3.437663e-01,3.413614e-01,3.392194e-01,3.373237e-01,3.356587e-01,3.342087e-01,3.329587e-01,3.318942e-01,3.310010e-01,3.302654e-01,3.296745e-01,3.292156e-01,3.288766e-01,3.286460e-01
0.000000e+00,8.567606e-10,9.277733e-09,9.647884e-09,5.204667e-08,1.754294e-07,1.832119e-07,4.616195e-07,8.641095e-07,8.934116e-07,1.415604e-06,1.910805e-06,1.953230e-06,2.467146e-06,2.899108e-06,2.945205e-06,3.385277e-06,3.741769e-06,3.788214e-06,4.155710e-06,4.444863e-06,4.489671e-06,4.792028e-06,5.022970e-06,5.064673e-06,5.309432e-06,5.490558e-06,5.528059e-06,5.722230e-06,5.861036e-06,5.893544e-06,6.043516e-06,6.146607e-06,6.173585e-06,6.285112e-06,6.358265e-06,6.379383e-06,6.457611e-06,6.505847e-06,6.520942e-06,6.570456e-06,6.598125e-06,6.607171e-06,6.632039e-06,6.642885e-06,6.645967e-06,6.649808e-06,6.647067e-06,6.644359e-06,6.630370e-06,6.616803e-06,6.608545e-06,6.579543e-06,6.557503e-06,6.543983e-06,6.502446e-06,6.473931e-06,6.455476e-06,6.403581e-06,6.370281e-06,6.347240e-06,6.286898e-06,6.250231e-06,6.222970e-06,6.155848e-06,6.117000e-06,6.085893e-06,6.013446e-06,5.973401e-06,5.938823e-06,5.862317e-06,5.821883e-06,5.784204e-06,5.704737e-06,5.664570e-06,5.624153e-06,5.542671e-06,5.503302e-06,5.460496e-06,5.377815e-06,5.339661e-06,5.294803e-06,5.211622e-06,5.175006e-06,5.128418e-06,5.045330e-06,5.010498e-06,4.962482e-06,4.879991e-06,4.847118e-06,4.797960e-06,4.716488e-06,4.685693e-06,4.635661e-06,4.555559e-06,4.526914e-06,4.476255e-06,4.397815e-06,4.371352e-06,4.320296e-06,4.243753e-06,4.219472e-06,4.168231e-06,4.093773e-06,4.071648e-06,4.020414e-06,3.948188e-06,3.928172e-06,3.877122e-06,3.807239e-06,3.789266e-06,3.738560e-06,3.671100e-06,3.655093e-06,3.604874e-06,3.539891e-06,3.525763e-06,3.476159e-06,3.413683e-06,3.401339e-06,3.352465e-06,3.292506e-06,3.281847e-06,3.233803e-06,3.176355e-06,3.167279e-06,3.120154e-06,3.065195e-06,3.057600e-06,3.011470e-06,2.958969e-06,2.952750e-06,2.907681e-06,2.857594e-06,2.852651e-06,2.808697e-06,2.760975e-06,2.757208e-06,2.714414e-06,2.668999e-06,2.666311e-06,2.624715e-06,2.581545e-06,2.579842e-06,2.539473e-06,2.498482e-06,2.497673e-06,2.458553e-06,2.419671e-06,2.345697e-06,2.275610e-06,2.209267e-06,2.146524e-06,2.087237e-06,2.031264e-06,1.978464e-06,1.928698e-06,1.881830e-06,1.837729e-06,1.796264e-06,1.757311e-06,1.720747e-06,1.686454e-06,1.654320e-06,1.624234e-06,1.596092e-06,1.569791e-06,1.545235e-06,1.522331e-06,1.500989e-06,1.481124e-06,1.462655e-06,1.445504e-06,1.429597e-06,1.414863e-06,1.401236e-06,1.388651e-06,1.377047e-06,1.366367e-06,1.356556e-06,1.347561e-06,1.339334e-06,1.331828e-06,1.324998e-06,1.318803e-06,1.313202e-06,1.308158e-06,1.303636e-06,1.299602e-06,1.296024e-06,1.292873e-06,1.290119e-06,1.287737e-06,1.285701e-06,1.283987e-06,1.282574e-06,1.281439e-06,1.280563e-06
0.000000e+00,7.504079e-09,1.393676e-07,1.461477e-07,1.010826e-06,3.420774e-06,3.560877e-06,7.791262e-06,1.225333e-05,1.253648e-05,1.712804e-05,2.109914e-05,2.143245e-05,2.543845e-05,2.879640e-05,2.915546e-05,3.259644e-05,3.540692e-05,3.577492e-05,3.870428e-05,4.103427e-05,4.139760e-05,4.386758e-05,4.577873e-05,4.612646e-05,4.818603e-05,4.973410e-05,5.005759e-05,5.175193e-05,5.298673e-05,5.327934e-05,5.464963e-05,5.561541e-05,5.587214e-05,5.695577e-05,5.769163e-05,5.790893e-05,5.873965e-05,5.928004e-05,5.945553e-05,6.006376e-05,6.043889e-05,6.057120e-05,6.098432e-05,6.122069e-05,6.130927e-05,6.155193e-05,6.167276e-05,6.171781e-05,6.181212e-05,6.183758e-05,6.183982e-05,6.180555e-05,6.175315e-05,6.171373e-05,6.156853e-05,6.145344e-05,6.137391e-05,6.113358e-05,6.096892e-05,6.085107e-05,6.052968e-05,6.032670e-05,6.017254e-05,5.978262e-05,5.955098e-05,5.936268e-05,5.891536e-05,5.866329e-05,5.844312e-05,5.794828e-05,5.768277e-05,5.743304e-05,5.689945e-05,5.662638e-05,5.634944e-05,5.578483e-05,5.550914e-05,5.520733e-05,5.461854e-05,5.434432e-05,5.401995e-05,5.341298e-05,5.314360e-05,5.279894e-05,5.217907e-05,5.191726e-05,5.155451e-05,5.092635e-05,5.067431e-05,5.029560e-05,4.966318e-05,4.942261e-05,4.902998e-05,4.839681e-05,4.816902e-05,4.776442e-05,4.713352e-05,4.691947e-05,4.650475e-05,4.587873e-05,4.567908e-05,4.525601e-05,4.463710e-05,4.445224e-05,4.402248e-05,4.341258e-05,4.324271e-05,4.280780e-05,4.220851e-05,4.205364e-05,4.161505e-05,4.102771e-05,4.088769e-05,4.044677e-05,3.987248e-05,3.974705e-05,3.930507e-05,3.874473e-05,3.863352e-05,3.819164e-05,3.764595e-05,3.754853e-05,3.710782e-05,3.657734e-05,3.649319e-05,3.605464e-05,3.553979e-05,3.546834e-05,3.503286e-05,3.453391e-05,3.447457e-05,3.404298e-05,3.356011e-05,3.351226e-05,3.308531e-05,3.261860e-05,3.258161e-05,3.215997e-05,3.170941e-05,3.168264e-05,3.126691e-05,3.083244e-05,3.081523e-05,3.040596e-05,2.998743e-05,2.997914e-05,2.957682e-05,2.917405e-05,2.839952e-05,2.765504e-05,2.694004e-05,2.625391e-05,2.559598e-05,2.496555e-05,2.436190e-05,2.378428e-05,2.323194e-05,2.270412e-05,2.220002e-05,2.171889e-05,2.125996e-05,2.082246e-05,2.040563e-05,2.000872e-05,1.963101e-05,1.927178e-05,1.893031e-05,1.860591e-05,1.829792e-05,1.800567e-05,1.772853e-05,1.746588e-05,1.721711e-05,1.698164e-05,1.675891e-05,1.654837e-05,1.634948e-05,1.616173e-05,1.598464e-05,1.581773e-05,1.566053e-05,1.551261e-05,1.537354e-05,1.524291e-05,1.512033e-05,1.500542e-05,1.489781e-05,1.479715e-05,1.470312e-05,1.461539e-05,1.453365e-05,1.445760e-05,1.438696e-05,1.432146e-05,1.426085e-05,1.420486e-05,1.415327e-05
0.000000e+00,4.746357e-10,6.109771e-09,6.377111e-09,3.962199e-08,1.399095e-07,1.461395e-07,3.539158e-07,6.031939e-07,6.194940e-07,8.838212e-07,1.106210e-06,1.124450e-06,1.337563e-06,1.506671e-06,1.524201e-06,1.686475e-06,1.810910e-06,1.826634e-06,1.946819e-06,2.035719e-06,2.049013e-06,2.135029e-06,2.195996e-06,2.206524e-06,2.265007e-06,2.304220e-06,2.311850e-06,2.348300e-06,2.370739e-06,2.375485e-06,2.394432e-06,2.404092e-06,2.406068e-06,2.411226e-06,2.411282e-06,2.410662e-06,2.405056e-06,2.398025e-06,2.395023e-06,2.381114e-06,2.368980e-06,2.363826e-06,2.343603e-06,2.327919e-06,2.320848e-06,2.295920e-06,2.277892e-06,2.269139e-06,2.240796e-06,2.221359e-06,2.211147e-06,2.180424e-06,2.160293e-06,2.148832e-06,2.116554e-06,2.096270e-06,2.083754e-06,2.050576e-06,2.030542e-06,2.017150e-06,1.983588e-06,1.964101e-06,1.949993e-06,1.916453e-06,1.897723e-06,1.883045e-06,1.849838e-06,1.832011e-06,1.816892e-06,1.784258e-06,1.767427e-06,1.751982e-06,1.720103e-06,1.704322e-06,1.688652e-06,1.657660e-06,1.642952e-06,1.627148e-06,1.597136e-06,1.583503e-06,1.567641e-06,1.538675e-06,1.526100e-06,1.510248e-06,1.482367e-06,1.470822e-06,1.455038e-06,1.428264e-06,1.417710e-06,1.402046e-06,1.376384e-06,1.366777e-06,1.351276e-06,1.326720e-06,1.318014e-06,1.302711e-06,1.279246e-06,1.271391e-06,1.256319e-06,1.233923e-06,1.226868e-06,1.212052e-06,1.190699e-06,1.184393e-06,1.169855e-06,1.149513e-06,1.143907e-06,1.129665e-06,1.110302e-06,1.105345e-06,1.091414e-06,1.072994e-06,1.068642e-06,1.055033e-06,1.037520e-06,1.033727e-06,1.020447e-06,1.003806e-06,1.000529e-06,9.875863e-07,9.717796e-07,9.689775e-07,9.563766e-07,9.413685e-07,9.390033e-07,9.267465e-07,9.125018e-07,9.105371e-07,8.986256e-07,8.851095e-07,8.835114e-07,8.719451e-07,8.591240e-07,8.578605e-07,8.466381e-07,8.344793e-07,8.335205e-07,8.226398e-07,8.111119e-07,8.104299e-07,7.998879e-07,7.889604e-07,7.885293e-07,7.783221e-07,7.679658e-07,7.677615e-07,7.578846e-07,7.480717e-07,7.294072e-07,7.117177e-07,6.949550e-07,6.790733e-07,6.640285e-07,6.497789e-07,6.362846e-07,6.235076e-07,6.114117e-07,5.999624e-07,5.891272e-07,5.788746e-07,5.691752e-07,5.600008e-07,5.513246e-07,5.431211e-07,5.353662e-07,5.280369e-07,5.211113e-07,5.145687e-07,5.083894e-07,5.025546e-07,4.970467e-07,4.918488e-07,4.869447e-07,4.823194e-07,4.779582e-07,4.738476e-07,4.699745e-07,4.663265e-07,4.628918e-07,4.596594e-07,4.566186e-07,4.537594e-07,4.510722e-07,4.485480e-07,4.461782e-07,4.439547e-07,4.418696e-07,4.399157e-07,4.380859e-07,4.363736e-07,4.347725e-07,4.332768e-07,4.318806e-07,4.305787e-07,4.293660e-07,4.282376e-07,4.271889e-07
0.000000e+00,2.813563e-09,4.959267e-08,5.199044e-08,3.626497e-07,1.265431e-06,1.319061e-06,2.975395e-06,4.778745e-06,4.894658e-06,6.793647e-06,8.461814e-06,8.602850e-06,1.031058e-05,1.176097e-05,1.191716e-05,1.342559e-05,1.467471e-05,1.483952e-05,1.616274e-05,1.723110e-05,1.739910e-05,1.855241e-05,1.945975e-05,1.962641e-05,2.062477e-05,2.138948e-05,2.155104e-05,2.240866e-05,2.304755e-05,2.320093e-05,2.393106e-05,2.445941e-05,2.460213e-05,2.521709e-05,2.564866e-05,2.577875e-05,2.628983e-05,2.663699e-05,2.675292e-05,2.717054e-05,2.744442e-05,2.754509e-05,2.787885e-05,2.808937e-05,2.817398e-05,2.843258e-05,2.858856e-05,2.865661e-05,2.884799e-05,2.895728e-05,2.900850e-05,2.913989e-05,2.920945e-05,2.924379e-05,2.932178e-05,2.935778e-05,2.937535e-05,2.940593e-05,2.941381e-05,2.941489e-05,2.940351e-05,2.938809e-05,2.937304e-05,2.932465e-05,2.929015e-05,2.925947e-05,2.917856e-05,2.912869e-05,2.908293e-05,2.897357e-05,2.891157e-05,2.885137e-05,2.871723e-05,2.864594e-05,2.857197e-05,2.841639e-05,2.833827e-05,2.825124e-05,2.807723e-05,2.799440e-05,2.789504e-05,2.770533e-05,2.761963e-05,2.750869e-05,2.730572e-05,2.721872e-05,2.709696e-05,2.688294e-05,2.679598e-05,2.666416e-05,2.644108e-05,2.635528e-05,2.621415e-05,2.598380e-05,2.590011e-05,2.575042e-05,2.551439e-05,2.543360e-05,2.527607e-05,2.503580e-05,2.495856e-05,2.479390e-05,2.455067e-05,2.447748e-05,2.430639e-05,2.406133e-05,2.399261e-05,2.381576e-05,2.356989e-05,2.350595e-05,2.332397e-05,2.307819e-05,2.301925e-05,2.283277e-05,2.258789e-05,2.253410e-05,2.234371e-05,2.210042e-05,2.205188e-05,2.185815e-05,2.161706e-05,2.157380e-05,2.137728e-05,2.113893e-05,2.110093e-05,2.090213e-05,2.066699e-05,2.063421e-05,2.043361e-05,2.020209e-05,2.017444e-05,1.997251e-05,1.974495e-05,1.972231e-05,1.951948e-05,1.929618e-05,1.927841e-05,1.907510e-05,1.885631e-05,1.884325e-05,1.863984e-05,1.842576e-05,1.841725e-05,1.821410e-05,1.800490e-05,1.800074e-05,1.779820e-05,1.759401e-05,1.719728e-05,1.681070e-05,1.643439e-05,1.606842e-05,1.571283e-05,1.536761e-05,1.503273e-05,1.470815e-05,1.439376e-05,1.408948e-05,1.379518e-05,1.351073e-05,1.323597e-05,1.297075e-05,1.271489e-05,1.246821e-05,1.223053e-05,1.200166e-05,1.178139e-05,1.156953e-05,1.136587e-05,1.117022e-05,1.098236e-05,1.080208e-05,1.062919e-05,1.046348e-05,1.030475e-05,1.015278e-05,1.000739e-05,9.868376e-06,9.735539e-06,9.608691e-06,9.487641e-06,9.372204e-06,9.262196e-06,9.157439e-06,9.057757e-06,8.962978e-06,8.872932e-06,8.787455e-06,8.706386e-06,8.629568e-06,8.556846e-06,8.488072e-06,8.423098e-06,8.361784e-06,8.303990e-06,8.249582e-06,8.198428e-06
0.000000e+00,1.912408e-08,3.415212e-07,3.576124e-07,2.382426e-06,8.224141e-06,8.576673e-06,2.003948e-05,3.371901e-05,3.462503e-05,4.964463e-05,6.290401e-05,6.402290e-05,7.752065e-05,8.889395e-05,9.011299e-05,1.018245e-04,1.114313e-04,1.126921e-04,1.227555e-04,1.307968e-04,1.320540e-04,1.406250e-04,1.472889e-04,1.485047e-04,1.557299e-04,1.611908e-04,1.623357e-04,1.683563e-04,1.727733e-04,1.738242e-04,1.787707e-04,1.822861e-04,1.832255e-04,1.872171e-04,1.899577e-04,1.907727e-04,1.939179e-04,1.959958e-04,1.966775e-04,1.990747e-04,2.005888e-04,2.011317e-04,2.028695e-04,2.039068e-04,2.043082e-04,2.054667e-04,2.061037e-04,2.063631e-04,2.070143e-04,2.073177e-04,2.074366e-04,2.076452e-04,2.076733e-04,2.076547e-04,2.074787e-04,2.072823e-04,2.071304e-04,2.066219e-04,2.062448e-04,2.059649e-04,2.051704e-04,2.046507e-04,2.042487e-04,2.032097e-04,2.025801e-04,2.020627e-04,2.008163e-04,2.001049e-04,1.994788e-04,1.980581e-04,1.972889e-04,1.965614e-04,1.949957e-04,1.941890e-04,1.933675e-04,1.916828e-04,1.908559e-04,1.899476e-04,1.881672e-04,1.873345e-04,1.863467e-04,1.844910e-04,1.836645e-04,1.826045e-04,1.806915e-04,1.798810e-04,1.787559e-04,1.768014e-04,1.760152e-04,1.748316e-04,1.728497e-04,1.720941e-04,1.708588e-04,1.688616e-04,1.681416e-04,1.668609e-04,1.648592e-04,1.641787e-04,1.628587e-04,1.608616e-04,1.602235e-04,1.588699e-04,1.568854e-04,1.562918e-04,1.549100e-04,1.529451e-04,1.523970e-04,1.509923e-04,1.490528e-04,1.485509e-04,1.471280e-04,1.452191e-04,1.447634e-04,1.433270e-04,1.414527e-04,1.410428e-04,1.395971e-04,1.377610e-04,1.373962e-04,1.359451e-04,1.341501e-04,1.338292e-04,1.323765e-04,1.306249e-04,1.303467e-04,1.288957e-04,1.271894e-04,1.269524e-04,1.255062e-04,1.238466e-04,1.236490e-04,1.222107e-04,1.205987e-04,1.204388e-04,1.190109e-04,1.174473e-04,1.173233e-04,1.159082e-04,1.143934e-04,1.143033e-04,1.129032e-04,1.114374e-04,1.113793e-04,1.099961e-04,1.085792e-04,1.085511e-04,1.071867e-04,1.058184e-04,1.031804e-04,1.006361e-04,9.818407e-05,9.582292e-05,9.355094e-05,9.136633e-05,8.926714e-05,8.725136e-05,8.531686e-05,8.346150e-05,8.168307e-05,7.997935e-05,7.834808e-05,7.678702e-05,7.529394e-05,7.386660e-05,7.250281e-05,7.120037e-05,6.995714e-05,6.877102e-05,6.763993e-05,6.656183e-05,6.553475e-05,6.455675e-05,6.362593e-05,6.274047e-05,6.189856e-05,6.109848e-05,6.033853e-05,5.961707e-05,5.893253e-05,5.828337e-05,5.766810e-05,5.708528e-05,5.653352e-05,5.601150e-05,5.551791e-05,5.505150e-05,5.461107e-05,5.419547e-05,5.380357e-05,5.343430e-05,5.308663e-05,5.275955e-05,5.245212e-05,5.216341e-05,5.189253e-05,5.163864e-05,5.140091e-05
0.000000e+00,4.640721e-10,5.914060e-09,6.167681e-09,3.610482e-08,1.198101e-07,1.248679e-07,2.912452e-07,4.934952e-07,5.069383e-07,7.288347e-07,9.215409e-07,9.376190e-07,1.129013e-06,1.286300e-06,1.302927e-06,1.460236e-06,1.585777e-06,1.602004e-06,1.729297e-06,1.827986e-06,1.843154e-06,1.944563e-06,2.020813e-06,2.034459e-06,2.113723e-06,2.171366e-06,2.183180e-06,2.243602e-06,2.285920e-06,2.295710e-06,2.340173e-06,2.369952e-06,2.377617e-06,2.408621e-06,2.428210e-06,2.433723e-06,2.453421e-06,2.464793e-06,2.468178e-06,2.478422e-06,2.483227e-06,2.484550e-06,2.486927e-06,2.486542e-06,2.485893e-06,2.481761e-06,2.477331e-06,2.474822e-06,2.465342e-06,2.457814e-06,2.453569e-06,2.439731e-06,2.429888e-06,2.424038e-06,2.406684e-06,2.395169e-06,2.387848e-06,2.367694e-06,2.355033e-06,2.346374e-06,2.324028e-06,2.310649e-06,2.300784e-06,2.276760e-06,2.263007e-06,2.252065e-06,2.226796e-06,2.212946e-06,2.201047e-06,2.174900e-06,2.161173e-06,2.148433e-06,2.121714e-06,2.108281e-06,2.094808e-06,2.067775e-06,2.054769e-06,2.040666e-06,2.013530e-06,2.001051e-06,1.986412e-06,1.959352e-06,1.947473e-06,1.932386e-06,1.905546e-06,1.894319e-06,1.878864e-06,1.852364e-06,1.841821e-06,1.826072e-06,1.800009e-06,1.790169e-06,1.774193e-06,1.748643e-06,1.739513e-06,1.723373e-06,1.698397e-06,1.689974e-06,1.673726e-06,1.649370e-06,1.641645e-06,1.625339e-06,1.601639e-06,1.594595e-06,1.578277e-06,1.555258e-06,1.548875e-06,1.532587e-06,1.510266e-06,1.504521e-06,1.488299e-06,1.466687e-06,1.461553e-06,1.445430e-06,1.424531e-06,1.419980e-06,1.403987e-06,1.383799e-06,1.379804e-06,1.363965e-06,1.344485e-06,1.341016e-06,1.325355e-06,1.306574e-06,1.303602e-06,1.288140e-06,1.270048e-06,1.267542e-06,1.252296e-06,1.234881e-06,1.232814e-06,1.217800e-06,1.201048e-06,1.199390e-06,1.184621e-06,1.168516e-06,1.167241e-06,1.152728e-06,1.137253e-06,1.136334e-06,1.122087e-06,1.107226e-06,1.106638e-06,1.092664e-06,1.078399e-06,1.078116e-06,1.064424e-06,1.050735e-06,1.024460e-06,9.992539e-07,9.750823e-07,9.519100e-07,9.297022e-07,9.084250e-07,8.880447e-07,8.685285e-07,8.498445e-07,8.319615e-07,8.148489e-07,7.984773e-07,7.828180e-07,7.678433e-07,7.535264e-07,7.398411e-07,7.267625e-07,7.142662e-07,7.023288e-07,6.909279e-07,6.800415e-07,6.696488e-07,6.597296e-07,6.502643e-07,6.412344e-07,6.326218e-07,6.244092e-07,6.165799e-07,6.091180e-07,6.020080e-07,5.952353e-07,5.887855e-07,5.826450e-07,5.768008e-07,5.712402e-07,5.659511e-07,5.609221e-07,5.561419e-07,5.515998e-07,5.472855e-07,5.431894e-07,5.393018e-07,5.356137e-07,5.321165e-07,5.288018e-07,5.256615e-07,5.226881e-07,5.198741e-07,5.172125e-07
0.000000e+00,8.816330e-10,5.576508e-08,5.943862e-08,8.548609e-07,5.602592e-06,5.992538e-06,2.538420e-05,6.951584e-05,7.344361e-05,1.609581e-04,2.782262e-04,2.899764e-04,4.547007e-04,6.250507e-04,6.448859e-04,8.490513e-04,1.031829e-03,1.056609e-03,1.258933e-03,1.423843e-03,1.449671e-03,1.624615e-03,1.757560e-03,1.781362e-03,1.918913e-03,2.017376e-03,2.037295e-03,2.137233e-03,2.204675e-03,2.219889e-03,2.286676e-03,2.328728e-03,2.339110e-03,2.378720e-03,2.401158e-03,2.406982e-03,2.425281e-03,2.433164e-03,2.434894e-03,2.436979e-03,2.434405e-03,2.432573e-03,2.422598e-03,2.412744e-03,2.407871e-03,2.389108e-03,2.374369e-03,2.366939e-03,2.341913e-03,2.324068e-03,2.314512e-03,2.285153e-03,2.265507e-03,2.254201e-03,2.221970e-03,2.201466e-03,2.188734e-03,2.154730e-03,2.134046e-03,2.120164e-03,2.085211e-03,2.064823e-03,2.050025e-03,2.014737e-03,1.994974e-03,1.979461e-03,1.944293e-03,1.925377e-03,1.909317e-03,1.874606e-03,1.856680e-03,1.840218e-03,1.806207e-03,1.789356e-03,1.772614e-03,1.739477e-03,1.723742e-03,1.706825e-03,1.674684e-03,1.660075e-03,1.643072e-03,1.612007e-03,1.598515e-03,1.581502e-03,1.551565e-03,1.539163e-03,1.522204e-03,1.493422e-03,1.482073e-03,1.465223e-03,1.437608e-03,1.427266e-03,1.410574e-03,1.384120e-03,1.374738e-03,1.358243e-03,1.332939e-03,1.324465e-03,1.308201e-03,1.284025e-03,1.276406e-03,1.260404e-03,1.237330e-03,1.230514e-03,1.214797e-03,1.192796e-03,1.186730e-03,1.171319e-03,1.150358e-03,1.144992e-03,1.129905e-03,1.109950e-03,1.105234e-03,1.090484e-03,1.071500e-03,1.067387e-03,1.052987e-03,1.034937e-03,1.031382e-03,1.017341e-03,1.000190e-03,9.971491e-04,9.834747e-04,9.671868e-04,9.646198e-04,9.513173e-04,9.358574e-04,9.337252e-04,9.207985e-04,9.061320e-04,9.043980e-04,8.918497e-04,8.779430e-04,8.765727e-04,8.644040e-04,8.512244e-04,8.501853e-04,8.383963e-04,8.259119e-04,8.251736e-04,8.137635e-04,8.019436e-04,8.014775e-04,7.904446e-04,7.792593e-04,7.790388e-04,7.683806e-04,7.578013e-04,7.377108e-04,7.187154e-04,7.007647e-04,6.838108e-04,6.678074e-04,6.527100e-04,6.384762e-04,6.250652e-04,6.124380e-04,6.005571e-04,5.893868e-04,5.788927e-04,5.690422e-04,5.598038e-04,5.511475e-04,5.430447e-04,5.354679e-04,5.283910e-04,5.217889e-04,5.156377e-04,5.099145e-04,5.045975e-04,4.996657e-04,4.950994e-04,4.908793e-04,4.869875e-04,4.834064e-04,4.801196e-04,4.771112e-04,4.743662e-04,4.718701e-04,4.696091e-04,4.675702e-04,4.657409e-04,4.641091e-04,4.626636e-04,4.613935e-04,4.602884e-04,4.593385e-04,4.585343e-04,4.578670e-04,4.573280e-04,4.569091e-04,4.566027e-04,4.564014e-04,4.562981e-04,4.562863e-04,4.563596e-04,4.565120e-04
0.000000e+00,1.998906e-09,1.038930e-07,1.102537e-07,1.287178e-06,7.231613e-06,7.694842e-06,2.955123e-05,7.738968e-05,8.161746e-05,1.753440e-04,2.993330e-04,3.116335e-04,4.814932e-04,6.522265e-04,6.718071e-04,8.702567e-04,1.044121e-03,1.067494e-03,1.257364e-03,1.411973e-03,1.436280e-03,1.602454e-03,1.731699e-03,1.755241e-03,1.894676e-03,1.999330e-03,2.021170e-03,2.135332e-03,2.218247e-03,2.237855e-03,2.329462e-03,2.393796e-03,2.410865e-03,2.482756e-03,2.531438e-03,2.545794e-03,2.600604e-03,2.636213e-03,2.647774e-03,2.687858e-03,2.712623e-03,2.721375e-03,2.748812e-03,2.764646e-03,2.770626e-03,2.787243e-03,2.795779e-03,2.799063e-03,2.806460e-03,2.809090e-03,2.809784e-03,2.809362e-03,2.807267e-03,2.805499e-03,2.798482e-03,2.792665e-03,2.788577e-03,2.776034e-03,2.767339e-03,2.761085e-03,2.743948e-03,2.733086e-03,2.724824e-03,2.703904e-03,2.691470e-03,2.681364e-03,2.657366e-03,2.643856e-03,2.632065e-03,2.605603e-03,2.591428e-03,2.578111e-03,2.549713e-03,2.535211e-03,2.520524e-03,2.490649e-03,2.476095e-03,2.460188e-03,2.429231e-03,2.414848e-03,2.397864e-03,2.366164e-03,2.352130e-03,2.334205e-03,2.302054e-03,2.288508e-03,2.269772e-03,2.237417e-03,2.224466e-03,2.205041e-03,2.172693e-03,2.160418e-03,2.140418e-03,2.108255e-03,2.096712e-03,2.076243e-03,2.044416e-03,2.033643e-03,2.012805e-03,1.981438e-03,1.971456e-03,1.950340e-03,1.919537e-03,1.910356e-03,1.889047e-03,1.858891e-03,1.850509e-03,1.829085e-03,1.799644e-03,1.792051e-03,1.770583e-03,1.741912e-03,1.735090e-03,1.713641e-03,1.685781e-03,1.679708e-03,1.658339e-03,1.631321e-03,1.625968e-03,1.604732e-03,1.578577e-03,1.573916e-03,1.552860e-03,1.527583e-03,1.523580e-03,1.502748e-03,1.478356e-03,1.474977e-03,1.454407e-03,1.430902e-03,1.428111e-03,1.407838e-03,1.385216e-03,1.382978e-03,1.363032e-03,1.341286e-03,1.339565e-03,1.319973e-03,1.299092e-03,1.297853e-03,1.278638e-03,1.258609e-03,1.257816e-03,1.238999e-03,1.219805e-03,1.219425e-03,1.201022e-03,1.182646e-03,1.147442e-03,1.113775e-03,1.081602e-03,1.050882e-03,1.021572e-03,9.936282e-04,9.670054e-04,9.416602e-04,9.175484e-04,8.946264e-04,8.728513e-04,8.521806e-04,8.325727e-04,8.139869e-04,7.963832e-04,7.797229e-04,7.639681e-04,7.490820e-04,7.350288e-04,7.217739e-04,7.092836e-04,6.975255e-04,6.864682e-04,6.760811e-04,6.663350e-04,6.572016e-04,6.486534e-04,6.406643e-04,6.332088e-04,6.262624e-04,6.198017e-04,6.138039e-04,6.082474e-04,6.031111e-04,5.983749e-04,5.940194e-04,5.900260e-04,5.863769e-04,5.830548e-04,5.800433e-04,5.773265e-04,5.748893e-04,5.727169e-04,5.707956e-04,5.691117e-04,5.676525e-04,5.664056e-04,5.653591e-04,5.645017e-04
0.000000e+00,9.354672e-10,5.222128e-08,5.549447e-08,7.008355e-07,4.351912e-06,4.651844e-06,2.007284e-05,5.825361e-05,6.181140e-05,1.457304e-04,2.677594e-04,2.804285e-04,4.645059e-04,6.652362e-04,6.891976e-04,9.423919e-04,1.178965e-03,1.211769e-03,1.486575e-03,1.720718e-03,1.758325e-03,2.020831e-03,2.231084e-03,2.269912e-03,2.502992e-03,2.681184e-03,2.718696e-03,2.916511e-03,3.061924e-03,3.096519e-03,3.259187e-03,3.374483e-03,3.405226e-03,3.535484e-03,3.624489e-03,3.650879e-03,3.752351e-03,3.819027e-03,3.840834e-03,3.917235e-03,3.965252e-03,3.982422e-03,4.037223e-03,4.069822e-03,4.082416e-03,4.118735e-03,4.138716e-03,4.146868e-03,4.167458e-03,4.177209e-03,4.181106e-03,4.188375e-03,4.189923e-03,4.189789e-03,4.185836e-03,4.180892e-03,4.176973e-03,4.163625e-03,4.153630e-03,4.146188e-03,4.125029e-03,4.111188e-03,4.100492e-03,4.072894e-03,4.056213e-03,4.042531e-03,4.009678e-03,3.990992e-03,3.974589e-03,3.937503e-03,3.917502e-03,3.898638e-03,3.858200e-03,3.837450e-03,3.816377e-03,3.773346e-03,3.752310e-03,3.729268e-03,3.684294e-03,3.663344e-03,3.638563e-03,3.592205e-03,3.571640e-03,3.545338e-03,3.498074e-03,3.478128e-03,3.450512e-03,3.402747e-03,3.383604e-03,3.354865e-03,3.306944e-03,3.288740e-03,3.259059e-03,3.211274e-03,3.194108e-03,3.163652e-03,3.116248e-03,3.100190e-03,3.069113e-03,3.022294e-03,3.007385e-03,2.975832e-03,2.929767e-03,2.916030e-03,2.884132e-03,2.838958e-03,2.826396e-03,2.794274e-03,2.750105e-03,2.738708e-03,2.706473e-03,2.663397e-03,2.653143e-03,2.620895e-03,2.578982e-03,2.569842e-03,2.537672e-03,2.496975e-03,2.488910e-03,2.456901e-03,2.417458e-03,2.410425e-03,2.378652e-03,2.340488e-03,2.334442e-03,2.302971e-03,2.266102e-03,2.260993e-03,2.229884e-03,2.194316e-03,2.190091e-03,2.159398e-03,2.125129e-03,2.121738e-03,2.091507e-03,2.058529e-03,2.055918e-03,2.026191e-03,1.994491e-03,1.992609e-03,1.963422e-03,1.932980e-03,1.931776e-03,1.903161e-03,1.873957e-03,1.873379e-03,1.845363e-03,1.817372e-03,1.763704e-03,1.712318e-03,1.663157e-03,1.616159e-03,1.571263e-03,1.528405e-03,1.487522e-03,1.448549e-03,1.411423e-03,1.376079e-03,1.342456e-03,1.310492e-03,1.280125e-03,1.251297e-03,1.223948e-03,1.198022e-03,1.173463e-03,1.150218e-03,1.128233e-03,1.107458e-03,1.087843e-03,1.069341e-03,1.051905e-03,1.035490e-03,1.020053e-03,1.005552e-03,9.919462e-04,9.791968e-04,9.672663e-04,9.561181e-04,9.457174e-04,9.360304e-04,9.270246e-04,9.186687e-04,9.109327e-04,9.037874e-04,8.972052e-04,8.911589e-04,8.856230e-04,8.805725e-04,8.759836e-04,8.718333e-04,8.680995e-04,8.647611e-04,8.617976e-04,8.591896e-04,8.569181e-04,8.549652e-04,8.533134e-04
0.000000e+00,2.038636e-10,2.458218e-09,2.561322e-09,1.464798e-08,4.921207e-08,5.134615e-08,1.246696e-07,2.223532e-07,2.291508e-07,3.449903e-07,4.484021e-07,4.570619e-07,5.600004e-07,6.439914e-07,6.528224e-07,7.358069e-07,8.011663e-07,8.095490e-07,8.747060e-07,9.243687e-07,9.319249e-07,9.818261e-07,1.018519e-06,1.024997e-06,1.061990e-06,1.088076e-06,1.093320e-06,1.119470e-06,1.136964e-06,1.140890e-06,1.157997e-06,1.168597e-06,1.171179e-06,1.180793e-06,1.185920e-06,1.187173e-06,1.190625e-06,1.191461e-06,1.191431e-06,1.189854e-06,1.187378e-06,1.186133e-06,1.180491e-06,1.175507e-06,1.173130e-06,1.164240e-06,1.157408e-06,1.153990e-06,1.142541e-06,1.134398e-06,1.130036e-06,1.116609e-06,1.107589e-06,1.102382e-06,1.087465e-06,1.077916e-06,1.071962e-06,1.055963e-06,1.046163e-06,1.039556e-06,1.022817e-06,1.012984e-06,1.005816e-06,9.886167e-07,9.789208e-07,9.712781e-07,9.538524e-07,9.444233e-07,9.363872e-07,9.189253e-07,9.098594e-07,9.015054e-07,8.841622e-07,8.755293e-07,8.669269e-07,8.498273e-07,8.416750e-07,8.328880e-07,8.161311e-07,8.084896e-07,7.995760e-07,7.832395e-07,7.761247e-07,7.671366e-07,7.512802e-07,7.446967e-07,7.356813e-07,7.203493e-07,7.142931e-07,7.052921e-07,6.905162e-07,6.849762e-07,6.760268e-07,6.618281e-07,6.567883e-07,6.479230e-07,6.343138e-07,6.297543e-07,6.210016e-07,6.079870e-07,6.038851e-07,5.952697e-07,5.828489e-07,5.791803e-07,5.707231e-07,5.588905e-07,5.556296e-07,5.473487e-07,5.360948e-07,5.332156e-07,5.251258e-07,5.144382e-07,5.119146e-07,5.040282e-07,4.938920e-07,4.916983e-07,4.840252e-07,4.744237e-07,4.725348e-07,4.650827e-07,4.559978e-07,4.543893e-07,4.471641e-07,4.385769e-07,4.372255e-07,4.302312e-07,4.221221e-07,4.210054e-07,4.142445e-07,4.065937e-07,4.056906e-07,3.991644e-07,3.919517e-07,3.912422e-07,3.849507e-07,3.781563e-07,3.776216e-07,3.715637e-07,3.651679e-07,3.647903e-07,3.589641e-07,3.529476e-07,3.527107e-07,3.471135e-07,3.414574e-07,3.413460e-07,3.359744e-07,3.306602e-07,3.206184e-07,3.111869e-07,3.023334e-07,2.940265e-07,2.862362e-07,2.789340e-07,2.720924e-07,2.656854e-07,2.596880e-07,2.540766e-07,2.488288e-07,2.439231e-07,2.393393e-07,2.350582e-07,2.310618e-07,2.273329e-07,2.238552e-07,2.206134e-07,2.175932e-07,2.147809e-07,2.121635e-07,2.097290e-07,2.074660e-07,2.053637e-07,2.034120e-07,2.016013e-07,1.999227e-07,1.983679e-07,1.969288e-07,1.955980e-07,1.943685e-07,1.932337e-07,1.921876e-07,1.912242e-07,1.903382e-07,1.895245e-07,1.887781e-07,1.880948e-07,1.874702e-07,1.869004e-07,1.863817e-07,1.859106e-07,1.854839e-07,1.850985e-07,1.847515e-07,1.844404e-07,1.841625e-07,1.839156e-07,1.836975e-07
0.000000e+00,2.732791e-09,3.328669e-08,3.468024e-08,1.975695e-07,6.612257e-07,6.897808e-07,1.667528e-06,2.962437e-06,3.052252e-06,4.578111e-06,5.937054e-06,6.050915e-06,7.407015e-06,8.519184e-06,8.636521e-06,9.743788e-06,1.062312e-05,1.073646e-05,1.162269e-05,1.230580e-05,1.241044e-05,1.310726e-05,1.362751e-05,1.372023e-05,1.425602e-05,1.464215e-05,1.472085e-05,1.512049e-05,1.539691e-05,1.546034e-05,1.574542e-05,1.593274e-05,1.598035e-05,1.616943e-05,1.628492e-05,1.631663e-05,1.642564e-05,1.648373e-05,1.649987e-05,1.654247e-05,1.655519e-05,1.655634e-05,1.654416e-05,1.652148e-05,1.650842e-05,1.645138e-05,1.640152e-05,1.637516e-05,1.628170e-05,1.621143e-05,1.617277e-05,1.605002e-05,1.596492e-05,1.591497e-05,1.576900e-05,1.567358e-05,1.561339e-05,1.544931e-05,1.534725e-05,1.527785e-05,1.509998e-05,1.499424e-05,1.491661e-05,1.472858e-05,1.462154e-05,1.453665e-05,1.434150e-05,1.423501e-05,1.414377e-05,1.394405e-05,1.383958e-05,1.374285e-05,1.354066e-05,1.343934e-05,1.333792e-05,1.313503e-05,1.303769e-05,1.293233e-05,1.273017e-05,1.263743e-05,1.252882e-05,1.232857e-05,1.224087e-05,1.212964e-05,1.193226e-05,1.184986e-05,1.173660e-05,1.154285e-05,1.146592e-05,1.135115e-05,1.116164e-05,1.109022e-05,1.097443e-05,1.078963e-05,1.072371e-05,1.060732e-05,1.042759e-05,1.036708e-05,1.025050e-05,1.007610e-05,1.002087e-05,9.904434e-06,9.735545e-06,9.685423e-06,9.569457e-06,9.406193e-06,9.360987e-06,9.245767e-06,9.088187e-06,9.047683e-06,8.933456e-06,8.781573e-06,8.745543e-06,8.632529e-06,8.486316e-06,8.454528e-06,8.342919e-06,8.202319e-06,8.174533e-06,8.064497e-06,7.929429e-06,7.905407e-06,7.797090e-06,7.667452e-06,7.646959e-06,7.540485e-06,7.416159e-06,7.398962e-06,7.294441e-06,7.175296e-06,7.161170e-06,7.058690e-06,6.944588e-06,6.933314e-06,6.832951e-06,6.723744e-06,6.715112e-06,6.616929e-06,6.512467e-06,6.506273e-06,6.410319e-06,6.310448e-06,6.306500e-06,6.212814e-06,6.117378e-06,6.115491e-06,6.024102e-06,5.932946e-06,5.758563e-06,5.592044e-06,5.433097e-06,5.281431e-06,5.136765e-06,4.998822e-06,4.867334e-06,4.742040e-06,4.622686e-06,4.509026e-06,4.400823e-06,4.297847e-06,4.199879e-06,4.106703e-06,4.018115e-06,3.933917e-06,3.853918e-06,3.777936e-06,3.705795e-06,3.637326e-06,3.572368e-06,3.510766e-06,3.452369e-06,3.397036e-06,3.344630e-06,3.295019e-06,3.248077e-06,3.203685e-06,3.161727e-06,3.122092e-06,3.084675e-06,3.049374e-06,3.016092e-06,2.984737e-06,2.955220e-06,2.927456e-06,2.901363e-06,2.876863e-06,2.853883e-06,2.832350e-06,2.812196e-06,2.793357e-06,2.775770e-06,2.759375e-06,2.744114e-06,2.729934e-06,2.716782e-06,2.704608e-06,2.693363e-06
0.000000e+00,8.454705e-09,1.011701e-07,1.052068e-07,5.269175e-07,1.547979e-06,1.607067e-06,3.531851e-06,6.034518e-06,6.212168e-06,9.383098e-06,1.248611e-05,1.275770e-05,1.610821e-05,1.898157e-05,1.928968e-05,2.223435e-05,2.461475e-05,2.492409e-05,2.736313e-05,2.926943e-05,2.956368e-05,3.154035e-05,3.303866e-05,3.330806e-05,3.488137e-05,3.603622e-05,3.627421e-05,3.749972e-05,3.836798e-05,3.857026e-05,3.949744e-05,4.012811e-05,4.029209e-05,4.096438e-05,4.139938e-05,4.152385e-05,4.197939e-05,4.225448e-05,4.233930e-05,4.261131e-05,4.275680e-05,4.280264e-05,4.292001e-05,4.296154e-05,4.296968e-05,4.295747e-05,4.291661e-05,4.288880e-05,4.276871e-05,4.266357e-05,4.260188e-05,4.239267e-05,4.223841e-05,4.214511e-05,4.186295e-05,4.167218e-05,4.154968e-05,4.120851e-05,4.099168e-05,4.084244e-05,4.045423e-05,4.021995e-05,4.004645e-05,3.962147e-05,3.937678e-05,3.918147e-05,3.872848e-05,3.847912e-05,3.826436e-05,3.779085e-05,3.754144e-05,3.730953e-05,3.682185e-05,3.657606e-05,3.632917e-05,3.583272e-05,3.559342e-05,3.533363e-05,3.483293e-05,3.460234e-05,3.433159e-05,3.383047e-05,3.361026e-05,3.333037e-05,3.283199e-05,3.262335e-05,3.233601e-05,3.184302e-05,3.164678e-05,3.135355e-05,3.086810e-05,3.068477e-05,3.038709e-05,2.991093e-05,2.974077e-05,2.943997e-05,2.897451e-05,2.881756e-05,2.851484e-05,2.806119e-05,2.791734e-05,2.761379e-05,2.717281e-05,2.704179e-05,2.673841e-05,2.631072e-05,2.619219e-05,2.588987e-05,2.547594e-05,2.536946e-05,2.506900e-05,2.466911e-05,2.457419e-05,2.427630e-05,2.389061e-05,2.380672e-05,2.351205e-05,2.314061e-05,2.306717e-05,2.277628e-05,2.241904e-05,2.235549e-05,2.206887e-05,2.172571e-05,2.167146e-05,2.138953e-05,2.106027e-05,2.101472e-05,2.073787e-05,2.042226e-05,2.038484e-05,2.011338e-05,1.981114e-05,1.978128e-05,1.951548e-05,1.922630e-05,1.920344e-05,1.894353e-05,1.866707e-05,1.865068e-05,1.839683e-05,1.813273e-05,1.812229e-05,1.787467e-05,1.762255e-05,1.761757e-05,1.737628e-05,1.713576e-05,1.667610e-05,1.623785e-05,1.582023e-05,1.542249e-05,1.504387e-05,1.468363e-05,1.434105e-05,1.401540e-05,1.370600e-05,1.341217e-05,1.313324e-05,1.286858e-05,1.261756e-05,1.237959e-05,1.215409e-05,1.194050e-05,1.173827e-05,1.154690e-05,1.136588e-05,1.119473e-05,1.103299e-05,1.088022e-05,1.073600e-05,1.059992e-05,1.047158e-05,1.035062e-05,1.023669e-05,1.012942e-05,1.002851e-05,9.933631e-06,9.844489e-06,9.760798e-06,9.682283e-06,9.608683e-06,9.539749e-06,9.475242e-06,9.414934e-06,9.358608e-06,9.306056e-06,9.257081e-06,9.211494e-06,9.169115e-06,9.129771e-06,9.093299e-06,9.059543e-06,9.028354e-06,8.999590e-06,8.973115e-06,8.948803e-06
0.000000e+00,1.327237e-08,2.039901e-07,2.130684e-07,1.301079e-06,4.370720e-06,4.557179e-06,1.082598e-05,1.902531e-05,1.959709e-05,2.944376e-05,3.841773e-05,3.917698e-05,4.829680e-05,5.588094e-05,5.668683e-05,6.435084e-05,7.052162e-05,7.132311e-05,7.764480e-05,8.259291e-05,8.335757e-05,8.850189e-05,9.241217e-05,9.311643e-05,9.723778e-05,1.002737e-04,1.009006e-04,1.041375e-04,1.064411e-04,1.069793e-04,1.094545e-04,1.111482e-04,1.115902e-04,1.134117e-04,1.146005e-04,1.149426e-04,1.162049e-04,1.169783e-04,1.172194e-04,1.180052e-04,1.184397e-04,1.185806e-04,1.189622e-04,1.191225e-04,1.191657e-04,1.192059e-04,1.191469e-04,1.190964e-04,1.188498e-04,1.186178e-04,1.184781e-04,1.179923e-04,1.176263e-04,1.174027e-04,1.167189e-04,1.162515e-04,1.159497e-04,1.151035e-04,1.145620e-04,1.141880e-04,1.132102e-04,1.126173e-04,1.121769e-04,1.110942e-04,1.104685e-04,1.099679e-04,1.088032e-04,1.081600e-04,1.076050e-04,1.063780e-04,1.057299e-04,1.051262e-04,1.038537e-04,1.032108e-04,1.025639e-04,1.012603e-04,1.006306e-04,9.994591e-05,9.862350e-05,9.801323e-05,9.729569e-05,9.596487e-05,9.537894e-05,9.463325e-05,9.330283e-05,9.274486e-05,9.197545e-05,9.065279e-05,9.012541e-05,8.933641e-05,8.802769e-05,8.753265e-05,8.672790e-05,8.543821e-05,8.497660e-05,8.415966e-05,8.289318e-05,8.246549e-05,8.163964e-05,8.039977e-05,8.000602e-05,7.917427e-05,7.796373e-05,7.760357e-05,7.676868e-05,7.558958e-05,7.526235e-05,7.442684e-05,7.328080e-05,7.298560e-05,7.215176e-05,7.103997e-05,7.077573e-05,6.994562e-05,6.886889e-05,6.863438e-05,6.780988e-05,6.676870e-05,6.656261e-05,6.574540e-05,6.474001e-05,6.456094e-05,6.375252e-05,6.278292e-05,6.262944e-05,6.183115e-05,6.089715e-05,6.076780e-05,5.998083e-05,5.908209e-05,5.897541e-05,5.820080e-05,5.733684e-05,5.725139e-05,5.649006e-05,5.566029e-05,5.559464e-05,5.484738e-05,5.405114e-05,5.400389e-05,5.327138e-05,5.250792e-05,5.247772e-05,5.176055e-05,5.102907e-05,5.101460e-05,5.031326e-05,4.961292e-05,4.827100e-05,4.698710e-05,4.575946e-05,4.458632e-05,4.346589e-05,4.239640e-05,4.137608e-05,4.040319e-05,3.947602e-05,3.859287e-05,3.775210e-05,3.695208e-05,3.619124e-05,3.546804e-05,3.478098e-05,3.412861e-05,3.350954e-05,3.292238e-05,3.236582e-05,3.183859e-05,3.133945e-05,3.086720e-05,3.042069e-05,2.999882e-05,2.960052e-05,2.922475e-05,2.887053e-05,2.853689e-05,2.822293e-05,2.792775e-05,2.765051e-05,2.739038e-05,2.714659e-05,2.691837e-05,2.670501e-05,2.650580e-05,2.632008e-05,2.614721e-05,2.598656e-05,2.583756e-05,2.569963e-05,2.557223e-05,2.545484e-05,2.534696e-05,2.524810e-05,2.515782e-05,2.507566e-05,2.500121e-05,2.493407e-05
0.000000e+00,1.687468e-08,3.061097e-07,3.208878e-07,2.202297e-06,7.332183e-06,7.621554e-06,1.592324e-05,2.425412e-05,2.477978e-05,3.331898e-05,4.075420e-05,4.138088e-05,4.894725e-05,5.534073e-05,5.602724e-05,6.263551e-05,6.807357e-05,6.878849e-05,7.450434e-05,7.908435e-05,7.980128e-05,8.469506e-05,8.850697e-05,8.920308e-05,9.334342e-05,9.647671e-05,9.713399e-05,1.005924e-04,1.031314e-04,1.037357e-04,1.065806e-04,1.086029e-04,1.091432e-04,1.114389e-04,1.130143e-04,1.134826e-04,1.152885e-04,1.164798e-04,1.168702e-04,1.182408e-04,1.191038e-04,1.194126e-04,1.203975e-04,1.209818e-04,1.212068e-04,1.218514e-04,1.222007e-04,1.223413e-04,1.226863e-04,1.228393e-04,1.228958e-04,1.229786e-04,1.229689e-04,1.229430e-04,1.227969e-04,1.226542e-04,1.225480e-04,1.222033e-04,1.219535e-04,1.217698e-04,1.212538e-04,1.209192e-04,1.206615e-04,1.199986e-04,1.195986e-04,1.192706e-04,1.184828e-04,1.180342e-04,1.176400e-04,1.167469e-04,1.162641e-04,1.158079e-04,1.148271e-04,1.143223e-04,1.138085e-04,1.127558e-04,1.122393e-04,1.116724e-04,1.105616e-04,1.100424e-04,1.094266e-04,1.082703e-04,1.077555e-04,1.070955e-04,1.059047e-04,1.054004e-04,1.047004e-04,1.034848e-04,1.029959e-04,1.022601e-04,1.010284e-04,1.005589e-04,9.979148e-05,9.855116e-05,9.810413e-05,9.730909e-05,9.606681e-05,9.564464e-05,9.482576e-05,9.358730e-05,9.319175e-05,9.235269e-05,9.112308e-05,9.075533e-05,8.989956e-05,8.868314e-05,8.834394e-05,8.747475e-05,8.627524e-05,8.596493e-05,8.508542e-05,8.390600e-05,8.362457e-05,8.273767e-05,8.158103e-05,8.132819e-05,8.043664e-05,7.930501e-05,7.908025e-05,7.818660e-05,7.708183e-05,7.688445e-05,7.599107e-05,7.491465e-05,7.474378e-05,7.385287e-05,7.280600e-05,7.266064e-05,7.177425e-05,7.075781e-05,7.063688e-05,6.975687e-05,6.877154e-05,6.867388e-05,6.780195e-05,6.684818e-05,6.677257e-05,6.591029e-05,6.498833e-05,6.493352e-05,6.408231e-05,6.319224e-05,6.315697e-05,6.231811e-05,6.145988e-05,6.144287e-05,6.061750e-05,5.979092e-05,5.820059e-05,5.667116e-05,5.520177e-05,5.379139e-05,5.243891e-05,5.114308e-05,4.990261e-05,4.871611e-05,4.758217e-05,4.649933e-05,4.546608e-05,4.448092e-05,4.354234e-05,4.264880e-05,4.179878e-05,4.099078e-05,4.022329e-05,3.949483e-05,3.880395e-05,3.814921e-05,3.752920e-05,3.694255e-05,3.638790e-05,3.586394e-05,3.536939e-05,3.490301e-05,3.446357e-05,3.404990e-05,3.366086e-05,3.329535e-05,3.295228e-05,3.263062e-05,3.232938e-05,3.204758e-05,3.178430e-05,3.153862e-05,3.130969e-05,3.109667e-05,3.089875e-05,3.071517e-05,3.054518e-05,3.038806e-05,3.024313e-05,3.010973e-05,2.998724e-05,2.987504e-05,2.977256e-05,2.967925e-05,2.959456e-05
0.000000e+00,7.776239e-10,9.491368e-09,9.895937e-09,5.958221e-08,2.101132e-07,2.195214e-07,5.365786e-07,9.261578e-07,9.520562e-07,1.381052e-06,1.757836e-06,1.789507e-06,2.169744e-06,2.487228e-06,2.521086e-06,2.844545e-06,3.107247e-06,3.141538e-06,3.413561e-06,3.628662e-06,3.662098e-06,3.888594e-06,4.062836e-06,4.094439e-06,4.280965e-06,4.420392e-06,4.449440e-06,4.601063e-06,4.710993e-06,4.736970e-06,4.858227e-06,4.943288e-06,4.965841e-06,5.060756e-06,5.124947e-06,5.143860e-06,5.215986e-06,5.262752e-06,5.277913e-06,5.330374e-06,5.362670e-06,5.374052e-06,5.409588e-06,5.429940e-06,5.437580e-06,5.458590e-06,5.469157e-06,5.473142e-06,5.481724e-06,5.484343e-06,5.484796e-06,5.482785e-06,5.479016e-06,5.476090e-06,5.465085e-06,5.456251e-06,5.450118e-06,5.431514e-06,5.418733e-06,5.409577e-06,5.384589e-06,5.368803e-06,5.356815e-06,5.326501e-06,5.308501e-06,5.293876e-06,5.259155e-06,5.239604e-06,5.222536e-06,5.184205e-06,5.163655e-06,5.144336e-06,5.103088e-06,5.081994e-06,5.060612e-06,5.017046e-06,4.995786e-06,4.972521e-06,4.927156e-06,4.906037e-06,4.881063e-06,4.834346e-06,4.813618e-06,4.787101e-06,4.739417e-06,4.719279e-06,4.691376e-06,4.643057e-06,4.623666e-06,4.594528e-06,4.545856e-06,4.527336e-06,4.497102e-06,4.448321e-06,4.430764e-06,4.399565e-06,4.350882e-06,4.334354e-06,4.302315e-06,4.253905e-06,4.238453e-06,4.205688e-06,4.157699e-06,4.143352e-06,4.109969e-06,4.062525e-06,4.049296e-06,4.015394e-06,3.968600e-06,3.956491e-06,3.922163e-06,3.876104e-06,3.865108e-06,3.830439e-06,3.785185e-06,3.775285e-06,3.740355e-06,3.695962e-06,3.687137e-06,3.652018e-06,3.608532e-06,3.600754e-06,3.565513e-06,3.522968e-06,3.516206e-06,3.480905e-06,3.439328e-06,3.433546e-06,3.398242e-06,3.357651e-06,3.352814e-06,3.317558e-06,3.277966e-06,3.274034e-06,3.238875e-06,3.200287e-06,3.197222e-06,3.162203e-06,3.124621e-06,3.122382e-06,3.087542e-06,3.050965e-06,3.049513e-06,3.014888e-06,2.979310e-06,2.978603e-06,2.944228e-06,2.909639e-06,2.842599e-06,2.777460e-06,2.714193e-06,2.652768e-06,2.593152e-06,2.535310e-06,2.479206e-06,2.424804e-06,2.372064e-06,2.320949e-06,2.271419e-06,2.223436e-06,2.176960e-06,2.131953e-06,2.088377e-06,2.046192e-06,2.005362e-06,1.965849e-06,1.927617e-06,1.890629e-06,1.854851e-06,1.820247e-06,1.786784e-06,1.754429e-06,1.723149e-06,1.692913e-06,1.663690e-06,1.635449e-06,1.608162e-06,1.581799e-06,1.556333e-06,1.531737e-06,1.507985e-06,1.485049e-06,1.462907e-06,1.441533e-06,1.420903e-06,1.400995e-06,1.381787e-06,1.363257e-06,1.345383e-06,1.328145e-06,1.311525e-06,1.295501e-06,1.280056e-06,1.265171e-06,1.250829e-06,1.237012e-06,1.223705e-06
0.000000e+00,9.741205e-09,2.741654e-07,2.893680e-07,2.518298e-06,8.873434e-06,9.217459e-06,1.851236e-05,2.732514e-05,2.787439e-05,3.673288e-05,4.437064e-05,4.501161e-05,5.271793e-05,5.918339e-05,5.987515e-05,6.650953e-05,7.193562e-05,7.264663e-05,7.831089e-05,8.282228e-05,8.352630e-05,8.831634e-05,9.202792e-05,9.270377e-05,9.671064e-05,9.972722e-05,1.003582e-04,1.036669e-04,1.060830e-04,1.066563e-04,1.093451e-04,1.112453e-04,1.117513e-04,1.138918e-04,1.153509e-04,1.157828e-04,1.174397e-04,1.185236e-04,1.188770e-04,1.201085e-04,1.208751e-04,1.211472e-04,1.220057e-04,1.225056e-04,1.226955e-04,1.232278e-04,1.235051e-04,1.236129e-04,1.238609e-04,1.239539e-04,1.239810e-04,1.239821e-04,1.239241e-04,1.238724e-04,1.236599e-04,1.234798e-04,1.233520e-04,1.229557e-04,1.226782e-04,1.224775e-04,1.219238e-04,1.215703e-04,1.213003e-04,1.206127e-04,1.202015e-04,1.198660e-04,1.190652e-04,1.186120e-04,1.182150e-04,1.173196e-04,1.168375e-04,1.163832e-04,1.154095e-04,1.149098e-04,1.144022e-04,1.133647e-04,1.128570e-04,1.123002e-04,1.112117e-04,1.107037e-04,1.101019e-04,1.089735e-04,1.084718e-04,1.078290e-04,1.066706e-04,1.061805e-04,1.055006e-04,1.043209e-04,1.038468e-04,1.031335e-04,1.019401e-04,1.014854e-04,1.007424e-04,9.954183e-05,9.910924e-05,9.833995e-05,9.713805e-05,9.672962e-05,9.593737e-05,9.473907e-05,9.435630e-05,9.354423e-05,9.235385e-05,9.199774e-05,9.116883e-05,8.999004e-05,8.966121e-05,8.881827e-05,8.765423e-05,8.735294e-05,8.649861e-05,8.535200e-05,8.507823e-05,8.421498e-05,8.308806e-05,8.284154e-05,8.197170e-05,8.086634e-05,8.064662e-05,7.977235e-05,7.869008e-05,7.849654e-05,7.761985e-05,7.656193e-05,7.639382e-05,7.551657e-05,7.448400e-05,7.434047e-05,7.346439e-05,7.245793e-05,7.233804e-05,7.146474e-05,7.048494e-05,7.038770e-05,6.951864e-05,6.856591e-05,6.849028e-05,6.762681e-05,6.670137e-05,6.664628e-05,6.578963e-05,6.489160e-05,6.485596e-05,6.400727e-05,6.313662e-05,6.311935e-05,6.227963e-05,6.143626e-05,5.980635e-05,5.822913e-05,5.670397e-05,5.523014e-05,5.380683e-05,5.243312e-05,5.110807e-05,4.983067e-05,4.859986e-05,4.741457e-05,4.627368e-05,4.517608e-05,4.412063e-05,4.310621e-05,4.213166e-05,4.119587e-05,4.029770e-05,3.943603e-05,3.860978e-05,3.781784e-05,3.705916e-05,3.633267e-05,3.563735e-05,3.497218e-05,3.433617e-05,3.372836e-05,3.314780e-05,3.259357e-05,3.206476e-05,3.156050e-05,3.107993e-05,3.062223e-05,3.018658e-05,2.977220e-05,2.937832e-05,2.900421e-05,2.864914e-05,2.831242e-05,2.799336e-05,2.769130e-05,2.740562e-05,2.713569e-05,2.688091e-05,2.664070e-05,2.641450e-05,2.620176e-05,2.600196e-05,2.581458e-05,2.563912e-05
0.000000e+00,3.661828e-10,5.139082e-09,5.371775e-09,3.507226e-08,1.264046e-07,1.321049e-07,3.229189e-07,5.551894e-07,5.706325e-07,8.281528e-07,1.058565e-06,1.078160e-06,1.316582e-06,1.520621e-06,1.542675e-06,1.756525e-06,1.934831e-06,1.958444e-06,2.148806e-06,2.303578e-06,2.328009e-06,2.496452e-06,2.629923e-06,2.654538e-06,2.802665e-06,2.916977e-06,2.941231e-06,3.070624e-06,3.167791e-06,3.191226e-06,3.303412e-06,3.385306e-06,3.407541e-06,3.503962e-06,3.572295e-06,3.593012e-06,3.675018e-06,3.731355e-06,3.750298e-06,3.819170e-06,3.864959e-06,3.881933e-06,3.938870e-06,3.975407e-06,3.990256e-06,4.036356e-06,4.064814e-06,4.077422e-06,4.113699e-06,4.135132e-06,4.145421e-06,4.172812e-06,4.188171e-06,4.196090e-06,4.215462e-06,4.225599e-06,4.231128e-06,4.243277e-06,4.248956e-06,4.252095e-06,4.257755e-06,4.259659e-06,4.260428e-06,4.260275e-06,4.259013e-06,4.257451e-06,4.252105e-06,4.248219e-06,4.244378e-06,4.234407e-06,4.228379e-06,4.222323e-06,4.208250e-06,4.200505e-06,4.192308e-06,4.174611e-06,4.165526e-06,4.155269e-06,4.134387e-06,4.124291e-06,4.112064e-06,4.088397e-06,4.077581e-06,4.063476e-06,4.037389e-06,4.026105e-06,4.010220e-06,3.982049e-06,3.970516e-06,3.952950e-06,3.922998e-06,3.911407e-06,3.892261e-06,3.860806e-06,3.849318e-06,3.828695e-06,3.795989e-06,3.784743e-06,3.762744e-06,3.729015e-06,3.718128e-06,3.694854e-06,3.660311e-06,3.649880e-06,3.625432e-06,3.590262e-06,3.580368e-06,3.554843e-06,3.519215e-06,3.509923e-06,3.483418e-06,3.447486e-06,3.438847e-06,3.411456e-06,3.375358e-06,3.367410e-06,3.339224e-06,3.303083e-06,3.295857e-06,3.266963e-06,3.230891e-06,3.224404e-06,3.194890e-06,3.158983e-06,3.153249e-06,3.123194e-06,3.087542e-06,3.082563e-06,3.052047e-06,3.016728e-06,3.012502e-06,2.981601e-06,2.946682e-06,2.943203e-06,2.911988e-06,2.877530e-06,2.874784e-06,2.843324e-06,2.809381e-06,2.807353e-06,2.775712e-06,2.742329e-06,2.741000e-06,2.709240e-06,2.676456e-06,2.675803e-06,2.643984e-06,2.611832e-06,2.549143e-06,2.487783e-06,2.427792e-06,2.369202e-06,2.312035e-06,2.256312e-06,2.202042e-06,2.149234e-06,2.097889e-06,2.048005e-06,1.999578e-06,1.952596e-06,1.907049e-06,1.862922e-06,1.820197e-06,1.778856e-06,1.738878e-06,1.700240e-06,1.662919e-06,1.626889e-06,1.592126e-06,1.558602e-06,1.526291e-06,1.495165e-06,1.465196e-06,1.436355e-06,1.408615e-06,1.381947e-06,1.356323e-06,1.331715e-06,1.308093e-06,1.285431e-06,1.263701e-06,1.242875e-06,1.222927e-06,1.203829e-06,1.185556e-06,1.168082e-06,1.151381e-06,1.135429e-06,1.120202e-06,1.105676e-06,1.091826e-06,1.078632e-06,1.066069e-06,1.054118e-06,1.042755e-06,1.031962e-06,1.021716e-06
0.000000e+00,1.572705e-08,4.270021e-07,4.485524e-07,3.531200e-06,1.535170e-05,1.617880e-05,4.903071e-05,1.011436e-04,1.049909e-04,1.734004e-04,2.378762e-04,2.433970e-04,3.104476e-04,3.672638e-04,3.733607e-04,4.319579e-04,4.800157e-04,4.863202e-04,5.365954e-04,5.766905e-04,5.829507e-04,6.255602e-04,6.585867e-04,6.646007e-04,7.002498e-04,7.270752e-04,7.326839e-04,7.620763e-04,7.835141e-04,7.885963e-04,8.124082e-04,8.292037e-04,8.336704e-04,8.525350e-04,8.653583e-04,8.691475e-04,8.836470e-04,8.930944e-04,8.961659e-04,9.068301e-04,9.134273e-04,9.157592e-04,9.230668e-04,9.272751e-04,9.288604e-04,9.332422e-04,9.354647e-04,9.363084e-04,9.381507e-04,9.387381e-04,9.388552e-04,9.385037e-04,9.377604e-04,9.371735e-04,9.349372e-04,9.331262e-04,9.318639e-04,9.280184e-04,9.253661e-04,9.234620e-04,9.182525e-04,9.149533e-04,9.124443e-04,9.060887e-04,9.023086e-04,8.992341e-04,8.919258e-04,8.878059e-04,8.842066e-04,8.761169e-04,8.717763e-04,8.676942e-04,8.589742e-04,8.545132e-04,8.499902e-04,8.407735e-04,8.362754e-04,8.313532e-04,8.217570e-04,8.172908e-04,8.120105e-04,8.021377e-04,7.977596e-04,7.921612e-04,7.821020e-04,7.778571e-04,7.719795e-04,7.618122e-04,7.577365e-04,7.516169e-04,7.414096e-04,7.375308e-04,7.312049e-04,7.210166e-04,7.173552e-04,7.108571e-04,7.007383e-04,6.973091e-04,6.906709e-04,6.806649e-04,6.774775e-04,6.707295e-04,6.608731e-04,6.579328e-04,6.511035e-04,6.414276e-04,6.387360e-04,6.318519e-04,6.223824e-04,6.199383e-04,6.130242e-04,6.037821e-04,6.015818e-04,5.946605e-04,5.856632e-04,5.837008e-04,5.767935e-04,5.680545e-04,5.663226e-04,5.594487e-04,5.509785e-04,5.494684e-04,5.426458e-04,5.344521e-04,5.331541e-04,5.263988e-04,5.184869e-04,5.173906e-04,5.107174e-04,5.030906e-04,5.021850e-04,4.956070e-04,4.882667e-04,4.875406e-04,4.810697e-04,4.740157e-04,4.734575e-04,4.671043e-04,4.603350e-04,4.599333e-04,4.537071e-04,4.472198e-04,4.469633e-04,4.408722e-04,4.346632e-04,4.345405e-04,4.285917e-04,4.226565e-04,4.113014e-04,4.004642e-04,3.901329e-04,3.802946e-04,3.709360e-04,3.620430e-04,3.536016e-04,3.455973e-04,3.380155e-04,3.308415e-04,3.240607e-04,3.176586e-04,3.116207e-04,3.059330e-04,3.005813e-04,2.955520e-04,2.908316e-04,2.864069e-04,2.822651e-04,2.783938e-04,2.747808e-04,2.714142e-04,2.682828e-04,2.653753e-04,2.626810e-04,2.601897e-04,2.578912e-04,2.557760e-04,2.538348e-04,2.520586e-04,2.504388e-04,2.489670e-04,2.476355e-04,2.464364e-04,2.453625e-04,2.444066e-04,2.435622e-04,2.428226e-04,2.421818e-04,2.416337e-04,2.411727e-04,2.407935e-04,2.404907e-04,2.402595e-04,2.400952e-04,2.399932e-04,2.399492e-04,2.399593e-04,2.400194e-04
0.000000e+00,9.995609e-09,2.498557e-07,2.628700e-07,2.205384e-06,9.269317e-06,9.735711e-06,2.606148e-05,4.652791e-05,4.788795e-05,7.038055e-05,9.011550e-05,9.177505e-05,1.117211e-04,1.284178e-04,1.302013e-04,1.472696e-04,1.611754e-04,1.629936e-04,1.774433e-04,1.889030e-04,1.906870e-04,2.027917e-04,2.121265e-04,2.138217e-04,2.238395e-04,2.313412e-04,2.329054e-04,2.410773e-04,2.470085e-04,2.484107e-04,2.549586e-04,2.595531e-04,2.607714e-04,2.658970e-04,2.693610e-04,2.703810e-04,2.742663e-04,2.767799e-04,2.775935e-04,2.804009e-04,2.821207e-04,2.827245e-04,2.845985e-04,2.856599e-04,2.860548e-04,2.871234e-04,2.876431e-04,2.878327e-04,2.882092e-04,2.882875e-04,2.882778e-04,2.880620e-04,2.877848e-04,2.875837e-04,2.868635e-04,2.863040e-04,2.859208e-04,2.847735e-04,2.839941e-04,2.834388e-04,2.819324e-04,2.809859e-04,2.802692e-04,2.784632e-04,2.773943e-04,2.765273e-04,2.744737e-04,2.733198e-04,2.723138e-04,2.700582e-04,2.688508e-04,2.677168e-04,2.652989e-04,2.640640e-04,2.628132e-04,2.602676e-04,2.590268e-04,2.576698e-04,2.550267e-04,2.537975e-04,2.523449e-04,2.496303e-04,2.484270e-04,2.468887e-04,2.441253e-04,2.429593e-04,2.413449e-04,2.385520e-04,2.374323e-04,2.357509e-04,2.329454e-04,2.318789e-04,2.301391e-04,2.273353e-04,2.263272e-04,2.245371e-04,2.217473e-04,2.208011e-04,2.189684e-04,2.162029e-04,2.153211e-04,2.134530e-04,2.107206e-04,2.099046e-04,2.080076e-04,2.053157e-04,2.045660e-04,2.026464e-04,2.000011e-04,1.993174e-04,1.973810e-04,1.947872e-04,1.941687e-04,1.922208e-04,1.896827e-04,1.891282e-04,1.871736e-04,1.846944e-04,1.842022e-04,1.822456e-04,1.798278e-04,1.793959e-04,1.774414e-04,1.750868e-04,1.747131e-04,1.727644e-04,1.704745e-04,1.701565e-04,1.682173e-04,1.659929e-04,1.657281e-04,1.638014e-04,1.616430e-04,1.614290e-04,1.595176e-04,1.574253e-04,1.572593e-04,1.553660e-04,1.533396e-04,1.532191e-04,1.513460e-04,1.493852e-04,1.493074e-04,1.474568e-04,1.455609e-04,1.455233e-04,1.436970e-04,1.418651e-04,1.383311e-04,1.349193e-04,1.316272e-04,1.284526e-04,1.253928e-04,1.224452e-04,1.196071e-04,1.168755e-04,1.142477e-04,1.117208e-04,1.092919e-04,1.069582e-04,1.047168e-04,1.025650e-04,1.004998e-04,9.851866e-05,9.661876e-05,9.479748e-05,9.305222e-05,9.138044e-05,8.977965e-05,8.824742e-05,8.678139e-05,8.537926e-05,8.403879e-05,8.275778e-05,8.153412e-05,8.036575e-05,7.925068e-05,7.818695e-05,7.717270e-05,7.620610e-05,7.528537e-05,7.440882e-05,7.357479e-05,7.278166e-05,7.202789e-05,7.131199e-05,7.063248e-05,6.998798e-05,6.937712e-05,6.879859e-05,6.825112e-05,6.773349e-05,6.724451e-05,6.678304e-05,6.634797e-05,6.593823e-05,6.555280e-05
0.000000e+00,1.153022e-09,8.573944e-08,9.170032e-08,1.561965e-06,1.190695e-05,1.281132e-05,6.231262e-05,1.926480e-04,2.051144e-04,5.125049e-04,1.003118e-03,1.056969e-03,1.901398e-03,2.957433e-03,3.093240e-03,4.662289e-03,6.365252e-03,6.620866e-03,8.965425e-03,1.127776e-02,1.167892e-02,1.473346e-02,1.753663e-02,1.809299e-02,2.171578e-02,2.485131e-02,2.555669e-02,2.956903e-02,3.287098e-02,3.370620e-02,3.792290e-02,4.123939e-02,4.217615e-02,4.642598e-02,4.963097e-02,5.063589e-02,5.477320e-02,5.777097e-02,5.880909e-02,6.271872e-02,6.544352e-02,6.648105e-02,7.007871e-02,7.249150e-02,7.349777e-02,7.672750e-02,7.881148e-02,7.976010e-02,8.259036e-02,8.434602e-02,8.521543e-02,8.763451e-02,8.907499e-02,8.984857e-02,9.186014e-02,9.300725e-02,9.367304e-02,9.529212e-02,9.617291e-02,9.672315e-02,9.797257e-02,9.861676e-02,9.904738e-02,9.995499e-02,1.003931e-01,1.007031e-01,1.012994e-01,1.015612e-01,1.017520e-01,1.020687e-01,1.021823e-01,1.022574e-01,1.023257e-01,1.023172e-01,1.022814e-01,1.021317e-01,1.020246e-01,1.018839e-01,1.015447e-01,1.013599e-01,1.011210e-01,1.006190e-01,1.003749e-01,1.000449e-01,9.940448e-02,9.911708e-02,9.870332e-02,9.794668e-02,9.762962e-02,9.713958e-02,9.628678e-02,9.595167e-02,9.539276e-02,9.446177e-02,9.411834e-02,9.349780e-02,9.250463e-02,9.216093e-02,9.148579e-02,9.044464e-02,9.010727e-02,8.938429e-02,8.830769e-02,8.798196e-02,8.721760e-02,8.611659e-02,8.580668e-02,8.500708e-02,8.389131e-02,8.360046e-02,8.277141e-02,8.164932e-02,8.137990e-02,8.052688e-02,7.940578e-02,7.915948e-02,7.828762e-02,7.717385e-02,7.695175e-02,7.606584e-02,7.496484e-02,7.476749e-02,7.387201e-02,7.278844e-02,7.261599e-02,7.171510e-02,7.065289e-02,7.050512e-02,6.960266e-02,6.856515e-02,6.844154e-02,6.754106e-02,6.653102e-02,6.643081e-02,6.553558e-02,6.455527e-02,6.447751e-02,6.359054e-02,6.264179e-02,6.258538e-02,6.170939e-02,6.079366e-02,6.075738e-02,5.989486e-02,5.901323e-02,5.899577e-02,5.814897e-02,5.730224e-02,5.567793e-02,5.412353e-02,5.263928e-02,5.122509e-02,4.988054e-02,4.860494e-02,4.739733e-02,4.625656e-02,4.518129e-02,4.417003e-02,4.322115e-02,4.233291e-02,4.150347e-02,4.073090e-02,4.001322e-02,3.934839e-02,3.873433e-02,3.816893e-02,3.765007e-02,3.717563e-02,3.674345e-02,3.635141e-02,3.599740e-02,3.567931e-02,3.539508e-02,3.514267e-02,3.492008e-02,3.472535e-02,3.455656e-02,3.441185e-02,3.428940e-02,3.418748e-02,3.410438e-02,3.403846e-02,3.398816e-02,3.395198e-02,3.392849e-02,3.391630e-02,3.391413e-02,3.392074e-02,3.393497e-02,3.395574e-02,3.398202e-02,3.401286e-02,3.404736e-02,3.408471e-02,3.412415e-02,3.416498e-02,3.420657e-02
0.000000e+00,8.537451e-09,1.962632e-07,2.059725e-07,1.543698e-06,6.124566e-06,6.426702e-06,1.762176e-05,3.432891e-05,3.555339e-05,5.737510e-05,7.793257e-05,7.968538e-05,1.008198e-04,1.184614e-04,1.203383e-04,1.382057e-04,1.526171e-04,1.544907e-04,1.692851e-04,1.808885e-04,1.826838e-04,1.947792e-04,2.039970e-04,2.056598e-04,2.154092e-04,2.226155e-04,2.241068e-04,2.318272e-04,2.373473e-04,2.386406e-04,2.446129e-04,2.487271e-04,2.498057e-04,2.542768e-04,2.572256e-04,2.580803e-04,2.612666e-04,2.632551e-04,2.638830e-04,2.659735e-04,2.671761e-04,2.675791e-04,2.687382e-04,2.693032e-04,2.694867e-04,2.698577e-04,2.699103e-04,2.698823e-04,2.695895e-04,2.692355e-04,2.690061e-04,2.681572e-04,2.674855e-04,2.670664e-04,2.657553e-04,2.648407e-04,2.642440e-04,2.625514e-04,2.614562e-04,2.606950e-04,2.586909e-04,2.574668e-04,2.565541e-04,2.542987e-04,2.529886e-04,2.519375e-04,2.494826e-04,2.481219e-04,2.469451e-04,2.443353e-04,2.429528e-04,2.416628e-04,2.389364e-04,2.375555e-04,2.361642e-04,2.333538e-04,2.319933e-04,2.305122e-04,2.276457e-04,2.263204e-04,2.247603e-04,2.218615e-04,2.205830e-04,2.189541e-04,2.160429e-04,2.148201e-04,2.131321e-04,2.102255e-04,2.090649e-04,2.073267e-04,2.044390e-04,2.033452e-04,2.015653e-04,1.987082e-04,1.976842e-04,1.958703e-04,1.930537e-04,1.921013e-04,1.902605e-04,1.874925e-04,1.866123e-04,1.847512e-04,1.820382e-04,1.812301e-04,1.793548e-04,1.767020e-04,1.759649e-04,1.740810e-04,1.714927e-04,1.708251e-04,1.689377e-04,1.664168e-04,1.658169e-04,1.639305e-04,1.614793e-04,1.609448e-04,1.590637e-04,1.566838e-04,1.562122e-04,1.543401e-04,1.520325e-04,1.516210e-04,1.497613e-04,1.475265e-04,1.471723e-04,1.453281e-04,1.431661e-04,1.428663e-04,1.410404e-04,1.389509e-04,1.387025e-04,1.368973e-04,1.348796e-04,1.346798e-04,1.328975e-04,1.309507e-04,1.307964e-04,1.290389e-04,1.271620e-04,1.270504e-04,1.253194e-04,1.235110e-04,1.234394e-04,1.217364e-04,1.199952e-04,1.199607e-04,1.182870e-04,1.166114e-04,1.133884e-04,1.102886e-04,1.073087e-04,1.044454e-04,1.016952e-04,9.905476e-05,9.652071e-05,9.408965e-05,9.175824e-05,8.952318e-05,8.738122e-05,8.532916e-05,8.336389e-05,8.148234e-05,7.968152e-05,7.795854e-05,7.631055e-05,7.473480e-05,7.322863e-05,7.178943e-05,7.041470e-05,6.910199e-05,6.784894e-05,6.665328e-05,6.551280e-05,6.442537e-05,6.338892e-05,6.240147e-05,6.146110e-05,6.056595e-05,5.971423e-05,5.890423e-05,5.813428e-05,5.740277e-05,5.670816e-05,5.604897e-05,5.542375e-05,5.483113e-05,5.426978e-05,5.373841e-05,5.323579e-05,5.276073e-05,5.231208e-05,5.188875e-05,5.148966e-05,5.111381e-05,5.076021e-05,5.042791e-05,5.011600e-05
0.000000e+00,2.302090e-08,6.541095e-07,6.888289e-07,6.133991e-06,2.798295e-05,2.949025e-05,8.500463e-05,1.594538e-04,1.645303e-04,2.499637e-04,3.264992e-04,3.329858e-04,4.115053e-04,4.780189e-04,4.851666e-04,5.540157e-04,6.107343e-04,6.181946e-04,6.778707e-04,7.257257e-04,7.332211e-04,7.844276e-04,8.243738e-04,8.316749e-04,8.751476e-04,9.081078e-04,9.150297e-04,9.515024e-04,9.783452e-04,9.847431e-04,1.014924e-03,1.036449e-03,1.042213e-03,1.066770e-03,1.083702e-03,1.088750e-03,1.108301e-03,1.121290e-03,1.125566e-03,1.140680e-03,1.150303e-03,1.153772e-03,1.164966e-03,1.171735e-03,1.174378e-03,1.182121e-03,1.186487e-03,1.188300e-03,1.193016e-03,1.195374e-03,1.196365e-03,1.198438e-03,1.199134e-03,1.199320e-03,1.199093e-03,1.198430e-03,1.197835e-03,1.195620e-03,1.193860e-03,1.192516e-03,1.188589e-03,1.185960e-03,1.183902e-03,1.178514e-03,1.175211e-03,1.172480e-03,1.165853e-03,1.162045e-03,1.158682e-03,1.151015e-03,1.146847e-03,1.142896e-03,1.134366e-03,1.129960e-03,1.125465e-03,1.116231e-03,1.111690e-03,1.106698e-03,1.096899e-03,1.092311e-03,1.086865e-03,1.076625e-03,1.072062e-03,1.066208e-03,1.055638e-03,1.051158e-03,1.044939e-03,1.034135e-03,1.029788e-03,1.023246e-03,1.012293e-03,1.008117e-03,1.001293e-03,9.902653e-04,9.862914e-04,9.792249e-04,9.681873e-04,9.644377e-04,9.571666e-04,9.461758e-04,9.426671e-04,9.352272e-04,9.243321e-04,9.210756e-04,9.135010e-04,9.027434e-04,8.997458e-04,8.920685e-04,8.814844e-04,8.787483e-04,8.709986e-04,8.606183e-04,8.581434e-04,8.503496e-04,8.401985e-04,8.379815e-04,8.301701e-04,8.202693e-04,8.183048e-04,8.105003e-04,8.008670e-04,7.991476e-04,7.913727e-04,7.820207e-04,7.805377e-04,7.728134e-04,7.637533e-04,7.624967e-04,7.548423e-04,7.460821e-04,7.450411e-04,7.374741e-04,7.290194e-04,7.281824e-04,7.207190e-04,7.125733e-04,7.119284e-04,7.045829e-04,6.967479e-04,6.962827e-04,6.890683e-04,6.815439e-04,6.812462e-04,6.741745e-04,6.669594e-04,6.668167e-04,6.598981e-04,6.529897e-04,6.397586e-04,6.271149e-04,6.150486e-04,6.035486e-04,5.926022e-04,5.821963e-04,5.723168e-04,5.629490e-04,5.540779e-04,5.456879e-04,5.377633e-04,5.302885e-04,5.232474e-04,5.166241e-04,5.104029e-04,5.045679e-04,4.991036e-04,4.939946e-04,4.892259e-04,4.847825e-04,4.806501e-04,4.768144e-04,4.732615e-04,4.699779e-04,4.669505e-04,4.641665e-04,4.616135e-04,4.592796e-04,4.571531e-04,4.552227e-04,4.534777e-04,4.519076e-04,4.505024e-04,4.492523e-04,4.481481e-04,4.471808e-04,4.463418e-04,4.456230e-04,4.450164e-04,4.445147e-04,4.441104e-04,4.437969e-04,4.435676e-04,4.434162e-04,4.433369e-04,4.433239e-04,4.433720e-04,4.434760e-04,4.436312e-04
0.000000e+00,1.811144e-08,3.629905e-07,3.806489e-07,2.763701e-06,1.049759e-05,1.099016e-05,2.795442e-05,4.951245e-05,5.096605e-05,7.533176e-05,9.715292e-05,9.900550e-05,1.214874e-04,1.406272e-04,1.426899e-04,1.626246e-04,1.791473e-04,1.813281e-04,1.988432e-04,2.129901e-04,2.152151e-04,2.304897e-04,2.425067e-04,2.447139e-04,2.579343e-04,2.680572e-04,2.701954e-04,2.815416e-04,2.899893e-04,2.920167e-04,3.016629e-04,3.086380e-04,3.105213e-04,3.186314e-04,3.243181e-04,3.260313e-04,3.327576e-04,3.373222e-04,3.388455e-04,3.443285e-04,3.479198e-04,3.492388e-04,3.536072e-04,3.563585e-04,3.574631e-04,3.608347e-04,3.628645e-04,3.637488e-04,3.662309e-04,3.676444e-04,3.683055e-04,3.699959e-04,3.708864e-04,3.713242e-04,3.723116e-04,3.727615e-04,3.729782e-04,3.733433e-04,3.734252e-04,3.734250e-04,3.732408e-04,3.730186e-04,3.728071e-04,3.721398e-04,3.716696e-04,3.712537e-04,3.701631e-04,3.694939e-04,3.688814e-04,3.674216e-04,3.665962e-04,3.657959e-04,3.640157e-04,3.630712e-04,3.620921e-04,3.600356e-04,3.590042e-04,3.578561e-04,3.555629e-04,3.544723e-04,3.531649e-04,3.506707e-04,3.495448e-04,3.480882e-04,3.454250e-04,3.442841e-04,3.426882e-04,3.398848e-04,3.387462e-04,3.370211e-04,3.341032e-04,3.329815e-04,3.311370e-04,3.281277e-04,3.270349e-04,3.250806e-04,3.220006e-04,3.209467e-04,3.188922e-04,3.157598e-04,3.147530e-04,3.126074e-04,3.094389e-04,3.084858e-04,3.062580e-04,3.030679e-04,3.021735e-04,2.998721e-04,2.966734e-04,2.958416e-04,2.934747e-04,2.902787e-04,2.895123e-04,2.870878e-04,2.839045e-04,2.832054e-04,2.807310e-04,2.775692e-04,2.769384e-04,2.744210e-04,2.712884e-04,2.707263e-04,2.681730e-04,2.650762e-04,2.645826e-04,2.619996e-04,2.589446e-04,2.585186e-04,2.559123e-04,2.529039e-04,2.525445e-04,2.499204e-04,2.469630e-04,2.466687e-04,2.440324e-04,2.411295e-04,2.408984e-04,2.382550e-04,2.354096e-04,2.352399e-04,2.325941e-04,2.298088e-04,2.296980e-04,2.270544e-04,2.243312e-04,2.242771e-04,2.216398e-04,2.189804e-04,2.138105e-04,2.087693e-04,2.038582e-04,1.990779e-04,1.944289e-04,1.899111e-04,1.855240e-04,1.812669e-04,1.771389e-04,1.731386e-04,1.692645e-04,1.655150e-04,1.618884e-04,1.583825e-04,1.549955e-04,1.517251e-04,1.485690e-04,1.455251e-04,1.425909e-04,1.397640e-04,1.370421e-04,1.344227e-04,1.319034e-04,1.294816e-04,1.271551e-04,1.249212e-04,1.227777e-04,1.207221e-04,1.187520e-04,1.168650e-04,1.150589e-04,1.133314e-04,1.116801e-04,1.101028e-04,1.085974e-04,1.071617e-04,1.057936e-04,1.044909e-04,1.032516e-04,1.020737e-04,1.009553e-04,9.989431e-05,9.888897e-05,9.793739e-05,9.703773e-05,9.618823e-05,9.538715e-05,9.463277e-05,9.392343e-05
0.000000e+00,7.204086e-10,4.336226e-08,4.614911e-08,6.271636e-07,4.183790e-06,4.485973e-06,2.097854e-05,6.590249e-05,7.028347e-05,1.801470e-04,3.563447e-04,3.755420e-04,6.707831e-04,1.023686e-03,1.067796e-03,1.558282e-03,2.055388e-03,2.127206e-03,2.756132e-03,3.330320e-03,3.425834e-03,4.118075e-03,4.705050e-03,4.816653e-03,5.507899e-03,6.061436e-03,6.180789e-03,6.826818e-03,7.320037e-03,7.439742e-03,8.015257e-03,8.436411e-03,8.550673e-03,9.044600e-03,9.391979e-03,9.496669e-03,9.907293e-03,1.018504e-02,1.027747e-02,1.060859e-02,1.082377e-02,1.090237e-02,1.116068e-02,1.132144e-02,1.138549e-02,1.157882e-02,1.169334e-02,1.174269e-02,1.187909e-02,1.195500e-02,1.198994e-02,1.207708e-02,1.212124e-02,1.214229e-02,1.218724e-02,1.220564e-02,1.221353e-02,1.222264e-02,1.222045e-02,1.221598e-02,1.219488e-02,1.217651e-02,1.216056e-02,1.211417e-02,1.208333e-02,1.205680e-02,1.198944e-02,1.194925e-02,1.191303e-02,1.182845e-02,1.178150e-02,1.173649e-02,1.163792e-02,1.158638e-02,1.153343e-02,1.142367e-02,1.136930e-02,1.130925e-02,1.119071e-02,1.113495e-02,1.106858e-02,1.094335e-02,1.088737e-02,1.081544e-02,1.068528e-02,1.063003e-02,1.055325e-02,1.041969e-02,1.036591e-02,1.028493e-02,1.014928e-02,1.009755e-02,1.001300e-02,9.876356e-03,9.827121e-03,9.739580e-03,9.602886e-03,9.556465e-03,9.466472e-03,9.330520e-03,9.287140e-03,9.195194e-03,9.060647e-03,9.020456e-03,8.927017e-03,8.794429e-03,8.757508e-03,8.662998e-03,8.532827e-03,8.499201e-03,8.404009e-03,8.276628e-03,8.246278e-03,8.150758e-03,8.026469e-03,7.999343e-03,7.903817e-03,7.782858e-03,7.758873e-03,7.663636e-03,7.546191e-03,7.525243e-03,7.430558e-03,7.316767e-03,7.298733e-03,7.204841e-03,7.094801e-03,7.079547e-03,6.986663e-03,6.880438e-03,6.867820e-03,6.776135e-03,6.673759e-03,6.663628e-03,6.573313e-03,6.474797e-03,6.466999e-03,6.378206e-03,6.283537e-03,6.277917e-03,6.190781e-03,6.099928e-03,6.096333e-03,6.010969e-03,5.923889e-03,5.922167e-03,5.838675e-03,5.755312e-03,5.595643e-03,5.443018e-03,5.297278e-03,5.158257e-03,5.025776e-03,4.899654e-03,4.779702e-03,4.665730e-03,4.557545e-03,4.454955e-03,4.357766e-03,4.265787e-03,4.178828e-03,4.096702e-03,4.019223e-03,3.946212e-03,3.877489e-03,3.812880e-03,3.752217e-03,3.695331e-03,3.642063e-03,3.592255e-03,3.545753e-03,3.502409e-03,3.462079e-03,3.424622e-03,3.389904e-03,3.357792e-03,3.328160e-03,3.300885e-03,3.275849e-03,3.252935e-03,3.232034e-03,3.213039e-03,3.195846e-03,3.180356e-03,3.166474e-03,3.154106e-03,3.143165e-03,3.133565e-03,3.125224e-03,3.118064e-03,3.112008e-03,3.106985e-03,3.102924e-03,3.099759e-03,3.097427e-03,3.095867e-03,3.095019e-03
0.000000e+00,3.457659e-09,5.683164e-08,5.938781e-08,3.435448e-07,1.020482e-06,1.058142e-06,2.195623e-06,3.448920e-06,3.529369e-06,4.803489e-06,5.808105e-06,5.886968e-06,6.763325e-06,7.394788e-06,7.456771e-06,7.997358e-06,8.368357e-06,8.412318e-06,8.724641e-06,8.925744e-06,8.953343e-06,9.113992e-06,9.205742e-06,9.219335e-06,9.279808e-06,9.301975e-06,9.303979e-06,9.298845e-06,9.277517e-06,9.270124e-06,9.222482e-06,9.174665e-06,9.159731e-06,9.084971e-06,9.021703e-06,9.000742e-06,8.909112e-06,8.837544e-06,8.811765e-06,8.710074e-06,8.634803e-06,8.605156e-06,8.497925e-06,8.421889e-06,8.389121e-06,8.279347e-06,8.204398e-06,8.169088e-06,8.058739e-06,7.986019e-06,7.948621e-06,7.838992e-06,7.769183e-06,7.730059e-06,7.621987e-06,7.555476e-06,7.514911e-06,7.408933e-06,7.345909e-06,7.304137e-06,7.200586e-06,7.141118e-06,7.098330e-06,6.997404e-06,6.941477e-06,6.897835e-06,6.799642e-06,6.747194e-06,6.702835e-06,6.607421e-06,6.558357e-06,6.513401e-06,6.420774e-06,6.374980e-06,6.329533e-06,6.239672e-06,6.197026e-06,6.151181e-06,6.064048e-06,6.024421e-06,5.978263e-06,5.893811e-06,5.857071e-06,5.810678e-06,5.728849e-06,5.694867e-06,5.648310e-06,5.569044e-06,5.537691e-06,5.491036e-06,5.414270e-06,5.385420e-06,5.338728e-06,5.264396e-06,5.237929e-06,5.191255e-06,5.119291e-06,5.095089e-06,5.048487e-06,4.978827e-06,4.956774e-06,4.910293e-06,4.842871e-06,4.822859e-06,4.776544e-06,4.711296e-06,4.693218e-06,4.647113e-06,4.583977e-06,4.567731e-06,4.521874e-06,4.460788e-06,4.446277e-06,4.400705e-06,4.341609e-06,4.328738e-06,4.283485e-06,4.226320e-06,4.215001e-06,4.170098e-06,4.114806e-06,4.104951e-06,4.060430e-06,4.006954e-06,3.998481e-06,3.954367e-06,3.902654e-06,3.895483e-06,3.851801e-06,3.801797e-06,3.795853e-06,3.752627e-06,3.704279e-06,3.699489e-06,3.656740e-06,3.609999e-06,3.606293e-06,3.564041e-06,3.518856e-06,3.516170e-06,3.474432e-06,3.430756e-06,3.429024e-06,3.387817e-06,3.345604e-06,3.344767e-06,3.304105e-06,3.263309e-06,3.184564e-06,3.108449e-06,3.034883e-06,2.963788e-06,2.895087e-06,2.828706e-06,2.764572e-06,2.702616e-06,2.642771e-06,2.584970e-06,2.529149e-06,2.475247e-06,2.423204e-06,2.372960e-06,2.324461e-06,2.277650e-06,2.232474e-06,2.188883e-06,2.146826e-06,2.106254e-06,2.067121e-06,2.029381e-06,1.992990e-06,1.957905e-06,1.924084e-06,1.891487e-06,1.860076e-06,1.829811e-06,1.800658e-06,1.772579e-06,1.745541e-06,1.719510e-06,1.694454e-06,1.670341e-06,1.647141e-06,1.624825e-06,1.603363e-06,1.582729e-06,1.562894e-06,1.543835e-06,1.525524e-06,1.507937e-06,1.491052e-06,1.474844e-06,1.459291e-06,1.444373e-06,1.430067e-06,1.416355e-06,1.403215e-06
0.000000e+00,2.554452e-09,1.325091e-07,1.408844e-07,1.836065e-06,1.064541e-05,1.130974e-05,3.869089e-05,8.275421e-05,8.603490e-05,1.455006e-04,2.034070e-04,2.084215e-04,2.695399e-04,3.210464e-04,3.265313e-04,3.786551e-04,4.204486e-04,4.258589e-04,4.683492e-04,5.013423e-04,5.064171e-04,5.403728e-04,5.659427e-04,5.705234e-04,5.971640e-04,6.165871e-04,6.205747e-04,6.410186e-04,6.554037e-04,6.587420e-04,6.739744e-04,6.842641e-04,6.869290e-04,6.978032e-04,7.047890e-04,7.067795e-04,7.140260e-04,7.183662e-04,7.196975e-04,7.239368e-04,7.261765e-04,7.268753e-04,7.286339e-04,7.292226e-04,7.293234e-04,7.290457e-04,7.283526e-04,7.278946e-04,7.259562e-04,7.242841e-04,7.233092e-04,7.200259e-04,7.176215e-04,7.161725e-04,7.118100e-04,7.088742e-04,7.069941e-04,7.017757e-04,6.984710e-04,6.962014e-04,6.903140e-04,6.867714e-04,6.841526e-04,6.777530e-04,6.740774e-04,6.711477e-04,6.643666e-04,6.606413e-04,6.574368e-04,6.503831e-04,6.466738e-04,6.432280e-04,6.359923e-04,6.323500e-04,6.286945e-04,6.213516e-04,6.178157e-04,6.139792e-04,6.065912e-04,6.031911e-04,5.992003e-04,5.918180e-04,5.885752e-04,5.844546e-04,5.771194e-04,5.740492e-04,5.698210e-04,5.625668e-04,5.596790e-04,5.553636e-04,5.482175e-04,5.455180e-04,5.411338e-04,5.341173e-04,5.316087e-04,5.271723e-04,5.203026e-04,5.179846e-04,5.135113e-04,5.068013e-04,5.046717e-04,5.001750e-04,4.936347e-04,4.916896e-04,4.871820e-04,4.808184e-04,4.790528e-04,4.745452e-04,4.683634e-04,4.667712e-04,4.622736e-04,4.562765e-04,4.548510e-04,4.503724e-04,4.445615e-04,4.432956e-04,4.388439e-04,4.332194e-04,4.321057e-04,4.276879e-04,4.222490e-04,4.212798e-04,4.169023e-04,4.116473e-04,4.108150e-04,4.064835e-04,4.014100e-04,4.007069e-04,3.964262e-04,3.915313e-04,3.909499e-04,3.867245e-04,3.820048e-04,3.815376e-04,3.773714e-04,3.728232e-04,3.724630e-04,3.683593e-04,3.639787e-04,3.637184e-04,3.596802e-04,3.554629e-04,3.552958e-04,3.513256e-04,3.472673e-04,3.471869e-04,3.432869e-04,3.393832e-04,3.318761e-04,3.246568e-04,3.177167e-04,3.110472e-04,3.046397e-04,2.984858e-04,2.925772e-04,2.869057e-04,2.814633e-04,2.762422e-04,2.712348e-04,2.664335e-04,2.618313e-04,2.574210e-04,2.531958e-04,2.491490e-04,2.452742e-04,2.415652e-04,2.380158e-04,2.346201e-04,2.313726e-04,2.282676e-04,2.252999e-04,2.224644e-04,2.197559e-04,2.171697e-04,2.147012e-04,2.123459e-04,2.100993e-04,2.079574e-04,2.059161e-04,2.039714e-04,2.021196e-04,2.003570e-04,1.986801e-04,1.970856e-04,1.955702e-04,1.941306e-04,1.927639e-04,1.914671e-04,1.902374e-04,1.890721e-04,1.879684e-04,1.869240e-04,1.859363e-04,1.850030e-04,1.841218e-04,1.832905e-04,1.825070e-04
0.000000e+00,9.002291e-09,4.951774e-07,5.273755e-07,6.894954e-06,3.531913e-05,3.726504e-05,1.050549e-04,1.883763e-04,1.938731e-04,2.838304e-04,3.606267e-04,3.669721e-04,4.417347e-04,5.020730e-04,5.083915e-04,5.675764e-04,6.139956e-04,6.199393e-04,6.660822e-04,7.012102e-04,7.065540e-04,7.418572e-04,7.678563e-04,7.724533e-04,7.987671e-04,8.174252e-04,8.211909e-04,8.400865e-04,8.528873e-04,8.557869e-04,8.685983e-04,8.767674e-04,8.788019e-04,8.866552e-04,8.911974e-04,8.923935e-04,8.962317e-04,8.979646e-04,8.983658e-04,8.989741e-04,8.985590e-04,8.982188e-04,8.962475e-04,8.942162e-04,8.931939e-04,8.891796e-04,8.859577e-04,8.843147e-04,8.786991e-04,8.746258e-04,8.724231e-04,8.655688e-04,8.609129e-04,8.582100e-04,8.504139e-04,8.453874e-04,8.422409e-04,8.337457e-04,8.285147e-04,8.249777e-04,8.159813e-04,8.106748e-04,8.067968e-04,7.974602e-04,7.921775e-04,7.880039e-04,7.784574e-04,7.732740e-04,7.688467e-04,7.591954e-04,7.541677e-04,7.495246e-04,7.398531e-04,7.350224e-04,7.301978e-04,7.205737e-04,7.159692e-04,7.109941e-04,7.014709e-04,6.971121e-04,6.920146e-04,6.826343e-04,6.785333e-04,6.733384e-04,6.641338e-04,6.602967e-04,6.550269e-04,6.460230e-04,6.424514e-04,6.371268e-04,6.283423e-04,6.250342e-04,6.196729e-04,6.111213e-04,6.080720e-04,6.026899e-04,5.943806e-04,5.915836e-04,5.861949e-04,5.781339e-04,5.755809e-04,5.701984e-04,5.623890e-04,5.600708e-04,5.547058e-04,5.471489e-04,5.450556e-04,5.397182e-04,5.324131e-04,5.305344e-04,5.252333e-04,5.181779e-04,5.165031e-04,5.112462e-04,5.044373e-04,5.029557e-04,4.977500e-04,4.911833e-04,4.898844e-04,4.847360e-04,4.784068e-04,4.772800e-04,4.721943e-04,4.660972e-04,4.651323e-04,4.601140e-04,4.542433e-04,4.534303e-04,4.484836e-04,4.428333e-04,4.421626e-04,4.372910e-04,4.318550e-04,4.313171e-04,4.265237e-04,4.212958e-04,4.208819e-04,4.161694e-04,4.111431e-04,4.108447e-04,4.062153e-04,4.013844e-04,4.011932e-04,3.966489e-04,3.920070e-04,3.919151e-04,3.874574e-04,3.829985e-04,3.744312e-04,3.662016e-04,3.582981e-04,3.507094e-04,3.434246e-04,3.364328e-04,3.297237e-04,3.232869e-04,3.171128e-04,3.111915e-04,3.055139e-04,3.000709e-04,2.948538e-04,2.898540e-04,2.850635e-04,2.804743e-04,2.760787e-04,2.718693e-04,2.678390e-04,2.639808e-04,2.602881e-04,2.567544e-04,2.533734e-04,2.501391e-04,2.470458e-04,2.440878e-04,2.412597e-04,2.385563e-04,2.359725e-04,2.335034e-04,2.311445e-04,2.288911e-04,2.267389e-04,2.246837e-04,2.227215e-04,2.208483e-04,2.190604e-04,2.173541e-04,2.157259e-04,2.141726e-04,2.126908e-04,2.112774e-04,2.099294e-04,2.086440e-04,2.074183e-04,2.062497e-04,2.051356e-04,2.040734e-04,2.030609e-04
0.000000e+00,3.187455e-09,5.909735e-08,6.203024e-08,4.579591e-07,1.627390e-06,1.695251e-06,3.668606e-06,5.670689e-06,5.797655e-06,7.872888e-06,9.702175e-06,9.857426e-06,1.174644e-05,1.336579e-05,1.354107e-05,1.524365e-05,1.666782e-05,1.685675e-05,1.838295e-05,1.962799e-05,1.982488e-05,2.118520e-05,2.226677e-05,2.246661e-05,2.367185e-05,2.460524e-05,2.480368e-05,2.586486e-05,2.666478e-05,2.685813e-05,2.778621e-05,2.846655e-05,2.865174e-05,2.945732e-05,3.003103e-05,3.020549e-05,3.089872e-05,3.137773e-05,3.153938e-05,3.212979e-05,3.252502e-05,3.267218e-05,3.316871e-05,3.349012e-05,3.362147e-05,3.403245e-05,3.428905e-05,3.440359e-05,3.473675e-05,3.493671e-05,3.503373e-05,3.529624e-05,3.544692e-05,3.552594e-05,3.572442e-05,3.583248e-05,3.589322e-05,3.603381e-05,3.610521e-05,3.614760e-05,3.623594e-05,3.627604e-05,3.630014e-05,3.634145e-05,3.635503e-05,3.636106e-05,3.636013e-05,3.635147e-05,3.633975e-05,3.630098e-05,3.627389e-05,3.624484e-05,3.617229e-05,3.613016e-05,3.608427e-05,3.598166e-05,3.592747e-05,3.586531e-05,3.573605e-05,3.567247e-05,3.559466e-05,3.544188e-05,3.537123e-05,3.527842e-05,3.510498e-05,3.502931e-05,3.492220e-05,3.473071e-05,3.465181e-05,3.453111e-05,3.432398e-05,3.424340e-05,3.410985e-05,3.388925e-05,3.380835e-05,3.366268e-05,3.343061e-05,3.335053e-05,3.319349e-05,3.295176e-05,3.287351e-05,3.270584e-05,3.245610e-05,3.238050e-05,3.220294e-05,3.194670e-05,3.187445e-05,3.168773e-05,3.142634e-05,3.135803e-05,3.116286e-05,3.089756e-05,3.083365e-05,3.063073e-05,3.036264e-05,3.030351e-05,3.009353e-05,2.982364e-05,2.976959e-05,2.955320e-05,2.928243e-05,2.923367e-05,2.901152e-05,2.874067e-05,2.869735e-05,2.847007e-05,2.819988e-05,2.816209e-05,2.793026e-05,2.766138e-05,2.762917e-05,2.739338e-05,2.712639e-05,2.709975e-05,2.686054e-05,2.659596e-05,2.657485e-05,2.633275e-05,2.607104e-05,2.605538e-05,2.581090e-05,2.555245e-05,2.554215e-05,2.529576e-05,2.504093e-05,2.503585e-05,2.478802e-05,2.453711e-05,2.404646e-05,2.356435e-05,2.309118e-05,2.262728e-05,2.217291e-05,2.172830e-05,2.129361e-05,2.086899e-05,2.045452e-05,2.005027e-05,1.965625e-05,1.927247e-05,1.889890e-05,1.853549e-05,1.818217e-05,1.783887e-05,1.750546e-05,1.718184e-05,1.686788e-05,1.656343e-05,1.626836e-05,1.598249e-05,1.570567e-05,1.543772e-05,1.517848e-05,1.492776e-05,1.468538e-05,1.445115e-05,1.422490e-05,1.400644e-05,1.379557e-05,1.359212e-05,1.339589e-05,1.320670e-05,1.302436e-05,1.284870e-05,1.267953e-05,1.251666e-05,1.235994e-05,1.220917e-05,1.206419e-05,1.192483e-05,1.179092e-05,1.166229e-05,1.153880e-05,1.142028e-05,1.130657e-05,1.119753e-05,1.109301e-05
0.000000e+00,1.014563e-09,6.209189e-08,6.614260e-08,9.156540e-07,5.705107e-06,6.088779e-06,2.449287e-05,6.439155e-05,6.786343e-05,1.428459e-04,2.377106e-04,2.469184e-04,3.710987e-04,4.910569e-04,5.045234e-04,6.375909e-04,7.487371e-04,7.632586e-04,8.771319e-04,9.638925e-04,9.769920e-04,1.062190e-03,1.122676e-03,1.133095e-03,1.190671e-03,1.228815e-03,1.236176e-03,1.270975e-03,1.292012e-03,1.296413e-03,1.313762e-03,1.322426e-03,1.324177e-03,1.328694e-03,1.328747e-03,1.328223e-03,1.323561e-03,1.317821e-03,1.315396e-03,1.304325e-03,1.294843e-03,1.290858e-03,1.275433e-03,1.263674e-03,1.258426e-03,1.240157e-03,1.227153e-03,1.220898e-03,1.200881e-03,1.187351e-03,1.180303e-03,1.159331e-03,1.145768e-03,1.138107e-03,1.116749e-03,1.103485e-03,1.095358e-03,1.074018e-03,1.061268e-03,1.052799e-03,1.031760e-03,1.019659e-03,1.010949e-03,9.904053e-04,9.790302e-04,9.701619e-04,9.502448e-04,9.396327e-04,9.306747e-04,9.114678e-04,9.016280e-04,8.926364e-04,8.741896e-04,8.651125e-04,8.561337e-04,8.384723e-04,8.301356e-04,8.212074e-04,8.043391e-04,7.967125e-04,7.878661e-04,7.717861e-04,7.648345e-04,7.560955e-04,7.407904e-04,7.344759e-04,7.258656e-04,7.113156e-04,7.055993e-04,6.971346e-04,6.833161e-04,6.781588e-04,6.698536e-04,6.567404e-04,6.521037e-04,6.439694e-04,6.315337e-04,6.273806e-04,6.194261e-04,6.076395e-04,6.039344e-04,5.961667e-04,5.850007e-04,5.817096e-04,5.741343e-04,5.635604e-04,5.606512e-04,5.532722e-04,5.432627e-04,5.407051e-04,5.335252e-04,5.240531e-04,5.218185e-04,5.148397e-04,5.058786e-04,5.039403e-04,4.971634e-04,4.886880e-04,4.870212e-04,4.804463e-04,4.724324e-04,4.710136e-04,4.646403e-04,4.570643e-04,4.558719e-04,4.496990e-04,4.425388e-04,4.415525e-04,4.355784e-04,4.288127e-04,4.280136e-04,4.222364e-04,4.158446e-04,4.152154e-04,4.096326e-04,4.035955e-04,4.031200e-04,3.977288e-04,3.920279e-04,3.916910e-04,3.864884e-04,3.811062e-04,3.808941e-04,3.758769e-04,3.707965e-04,3.706964e-04,3.658611e-04,3.610667e-04,3.519755e-04,3.433944e-04,3.352968e-04,3.276573e-04,3.204516e-04,3.136569e-04,3.072514e-04,3.012145e-04,2.955267e-04,2.901692e-04,2.851246e-04,2.803761e-04,2.759078e-04,2.717048e-04,2.677527e-04,2.640381e-04,2.605481e-04,2.572707e-04,2.541942e-04,2.513078e-04,2.486011e-04,2.460644e-04,2.436883e-04,2.414640e-04,2.393832e-04,2.374380e-04,2.356210e-04,2.339249e-04,2.323431e-04,2.308692e-04,2.294971e-04,2.282213e-04,2.270362e-04,2.259367e-04,2.249180e-04,2.239754e-04,2.231046e-04,2.223016e-04,2.215623e-04,2.208831e-04,2.202604e-04,2.196911e-04,2.191719e-04,2.186998e-04,2.182722e-04,2.178862e-04,2.175395e-04,2.172295e-04,2.169541e-04
0.000000e+00,2.939502e-10,1.880467e-08,2.003346e-08,2.808785e-07,1.877920e-06,2.013206e-06,9.389916e-06,2.983439e-05,3.186180e-05,8.448623e-05,1.746848e-04,1.848702e-04,3.487754e-04,5.596565e-04,5.870057e-04,9.042122e-04,1.247783e-03,1.299105e-03,1.765440e-03,2.216147e-03,2.293314e-03,2.870482e-03,3.383597e-03,3.483532e-03,4.118848e-03,4.647218e-03,4.763352e-03,5.405029e-03,5.909143e-03,6.033254e-03,6.638978e-03,7.090993e-03,7.214782e-03,7.754851e-03,8.138703e-03,8.254879e-03,8.711933e-03,9.021431e-03,9.124290e-03,9.491276e-03,9.727497e-03,9.813095e-03,1.009067e-02,1.025943e-02,1.032550e-02,1.051950e-02,1.062924e-02,1.067492e-02,1.079423e-02,1.085445e-02,1.088002e-02,1.093493e-02,1.095510e-02,1.096162e-02,1.096270e-02,1.095162e-02,1.094069e-02,1.089802e-02,1.086345e-02,1.083697e-02,1.075971e-02,1.070827e-02,1.066825e-02,1.056445e-02,1.050158e-02,1.045003e-02,1.032654e-02,1.025660e-02,1.019542e-02,1.005795e-02,9.984349e-03,9.915298e-03,9.768505e-03,9.693850e-03,9.618502e-03,9.466116e-03,9.392344e-03,9.312082e-03,9.157042e-03,9.085546e-03,9.001564e-03,8.846143e-03,8.777890e-03,8.691213e-03,8.537151e-03,8.472782e-03,8.384279e-03,8.232877e-03,8.172782e-03,8.083180e-03,7.935389e-03,7.879764e-03,7.789670e-03,7.646161e-03,7.595062e-03,7.504980e-03,7.366211e-03,7.319594e-03,7.229934e-03,7.096207e-03,7.053958e-03,6.965065e-03,6.836548e-03,6.798506e-03,6.710664e-03,6.587427e-03,6.553396e-03,6.466838e-03,6.348884e-03,6.318647e-03,6.233555e-03,6.120829e-03,6.094160e-03,6.010684e-03,5.903092e-03,5.879761e-03,5.798021e-03,5.695440e-03,5.675220e-03,5.595313e-03,5.497602e-03,5.480268e-03,5.402272e-03,5.309282e-03,5.294618e-03,5.218590e-03,5.130157e-03,5.117954e-03,5.043938e-03,4.959893e-03,4.949952e-03,4.877979e-03,4.798154e-03,4.790285e-03,4.720376e-03,4.644603e-03,4.638626e-03,4.570793e-03,4.498905e-03,4.494651e-03,4.428897e-03,4.360729e-03,4.358040e-03,4.294361e-03,4.229752e-03,4.228477e-03,4.166864e-03,4.105657e-03,3.989281e-03,3.879060e-03,3.774714e-03,3.675972e-03,3.582574e-03,3.494268e-03,3.410813e-03,3.331976e-03,3.257533e-03,3.187272e-03,3.120986e-03,3.058479e-03,2.999563e-03,2.944056e-03,2.891788e-03,2.842592e-03,2.796311e-03,2.752795e-03,2.711900e-03,2.673487e-03,2.637427e-03,2.603594e-03,2.571868e-03,2.542137e-03,2.514291e-03,2.488227e-03,2.463847e-03,2.441057e-03,2.419767e-03,2.399893e-03,2.381354e-03,2.364073e-03,2.347976e-03,2.332994e-03,2.319062e-03,2.306115e-03,2.294095e-03,2.282945e-03,2.272611e-03,2.263042e-03,2.254190e-03,2.246009e-03,2.238455e-03,2.231488e-03,2.225068e-03,2.219159e-03,2.213725e-03,2.208735e-03,2.204156e-03
0.000000e+00,1.312880e-09,2.530920e-08,2.653173e-08,1.763925e-07,5.729658e-07,5.955810e-07,1.267786e-06,1.967751e-06,2.012103e-06,2.731320e-06,3.353654e-06,3.405905e-06,4.034173e-06,4.561287e-06,4.617683e-06,5.158568e-06,5.601023e-06,5.659013e-06,6.121165e-06,6.489578e-06,6.547105e-06,6.938841e-06,7.242881e-06,7.298304e-06,7.627350e-06,7.875716e-06,7.927752e-06,8.201201e-06,8.401639e-06,8.449307e-06,8.673599e-06,8.832950e-06,8.875525e-06,9.056459e-06,9.180731e-06,9.217699e-06,9.360473e-06,9.454921e-06,9.485940e-06,9.595198e-06,9.664409e-06,9.689280e-06,9.769164e-06,9.817129e-06,9.835769e-06,9.889966e-06,9.920152e-06,9.932573e-06,9.964362e-06,9.979772e-06,9.986061e-06,9.998357e-06,1.000159e-05,1.000190e-05,9.997286e-06,9.990591e-06,9.985104e-06,9.965889e-06,9.951196e-06,9.940148e-06,9.908360e-06,9.887332e-06,9.870977e-06,9.828420e-06,9.802479e-06,9.781090e-06,9.729360e-06,9.699722e-06,9.673583e-06,9.614090e-06,9.581790e-06,9.551193e-06,9.485183e-06,9.451097e-06,9.416334e-06,9.344906e-06,9.309775e-06,9.271138e-06,9.195259e-06,9.159705e-06,9.117482e-06,9.038005e-06,9.002546e-06,8.957016e-06,8.874692e-06,8.839756e-06,8.791194e-06,8.706679e-06,8.672620e-06,8.621289e-06,8.535159e-06,8.502262e-06,8.448415e-06,8.361175e-06,8.329668e-06,8.273548e-06,8.185638e-06,8.155700e-06,8.097538e-06,8.009340e-06,7.981109e-06,7.921125e-06,7.832971e-06,7.806548e-06,7.744950e-06,7.657128e-06,7.632582e-06,7.569568e-06,7.482326e-06,7.459702e-06,7.395456e-06,7.309007e-06,7.288327e-06,7.223024e-06,7.137550e-06,7.118818e-06,7.052622e-06,6.968277e-06,6.951480e-06,6.884546e-06,6.801459e-06,6.786574e-06,6.719044e-06,6.637325e-06,6.624316e-06,6.556325e-06,6.476064e-06,6.464887e-06,6.396560e-06,6.317829e-06,6.308434e-06,6.239887e-06,6.162747e-06,6.155077e-06,6.086419e-06,6.010914e-06,6.004910e-06,5.936241e-06,5.862406e-06,5.858003e-06,5.789416e-06,5.717277e-06,5.714409e-06,5.645991e-06,5.575563e-06,5.574163e-06,5.505994e-06,5.437286e-06,5.303784e-06,5.173654e-06,5.046883e-06,4.923447e-06,4.803319e-06,4.686463e-06,4.572837e-06,4.462398e-06,4.355096e-06,4.250880e-06,4.149696e-06,4.051487e-06,3.956195e-06,3.863762e-06,3.774128e-06,3.687233e-06,3.603015e-06,3.521415e-06,3.442371e-06,3.365824e-06,3.291713e-06,3.219979e-06,3.150565e-06,3.083410e-06,3.018460e-06,2.955657e-06,2.894946e-06,2.836273e-06,2.779584e-06,2.724828e-06,2.671953e-06,2.620909e-06,2.571647e-06,2.524118e-06,2.478277e-06,2.434076e-06,2.391471e-06,2.350419e-06,2.310876e-06,2.272801e-06,2.236153e-06,2.200892e-06,2.166980e-06,2.134378e-06,2.103049e-06,2.072959e-06,2.044071e-06,2.016351e-06,1.989767e-06
0.000000e+00,2.965537e-09,4.102143e-08,4.285558e-08,2.683032e-07,8.999690e-07,9.370735e-07,2.068440e-06,3.286261e-06,3.364606e-06,4.654701e-06,5.802132e-06,5.899861e-06,7.093031e-06,8.121749e-06,8.233427e-06,9.321664e-06,1.023697e-05,1.035876e-05,1.134592e-05,1.215591e-05,1.228442e-05,1.317562e-05,1.388872e-05,1.402094e-05,1.482180e-05,1.544633e-05,1.557963e-05,1.629586e-05,1.683985e-05,1.697192e-05,1.760920e-05,1.808025e-05,1.820908e-05,1.877290e-05,1.917810e-05,1.930198e-05,1.979759e-05,2.014354e-05,2.026100e-05,2.069341e-05,2.098623e-05,2.109603e-05,2.147000e-05,2.171532e-05,2.181643e-05,2.213642e-05,2.233944e-05,2.243101e-05,2.270124e-05,2.286671e-05,2.294808e-05,2.317249e-05,2.330478e-05,2.337541e-05,2.355772e-05,2.366079e-05,2.372030e-05,2.386400e-05,2.394149e-05,2.398962e-05,2.409794e-05,2.415315e-05,2.418974e-05,2.426574e-05,2.430167e-05,2.432665e-05,2.437317e-05,2.439253e-05,2.440594e-05,2.442562e-05,2.443088e-05,2.443281e-05,2.442812e-05,2.442149e-05,2.441211e-05,2.438535e-05,2.436884e-05,2.434836e-05,2.430167e-05,2.427706e-05,2.424576e-05,2.418112e-05,2.415004e-05,2.410822e-05,2.402749e-05,2.399135e-05,2.393937e-05,2.384426e-05,2.380435e-05,2.374257e-05,2.363467e-05,2.359212e-05,2.352095e-05,2.340174e-05,2.335755e-05,2.327739e-05,2.314824e-05,2.310329e-05,2.301459e-05,2.287675e-05,2.283180e-05,2.273501e-05,2.258965e-05,2.254537e-05,2.244093e-05,2.228913e-05,2.224610e-05,2.213448e-05,2.197722e-05,2.193594e-05,2.181759e-05,2.165579e-05,2.161666e-05,2.149205e-05,2.132655e-05,2.128993e-05,2.115951e-05,2.099108e-05,2.095725e-05,2.082147e-05,2.065083e-05,2.062002e-05,2.047933e-05,2.030712e-05,2.027951e-05,2.013434e-05,1.996115e-05,1.993688e-05,1.978768e-05,1.961405e-05,1.959321e-05,1.944038e-05,1.926681e-05,1.924946e-05,1.909342e-05,1.892034e-05,1.890651e-05,1.874767e-05,1.857549e-05,1.856518e-05,1.840391e-05,1.823300e-05,1.822618e-05,1.806286e-05,1.789355e-05,1.789018e-05,1.772516e-05,1.755775e-05,1.722944e-05,1.690570e-05,1.658697e-05,1.627361e-05,1.596595e-05,1.566427e-05,1.536882e-05,1.507980e-05,1.479740e-05,1.452175e-05,1.425299e-05,1.399119e-05,1.373643e-05,1.348876e-05,1.324820e-05,1.301476e-05,1.278844e-05,1.256920e-05,1.235702e-05,1.215184e-05,1.195360e-05,1.176223e-05,1.157766e-05,1.139978e-05,1.122851e-05,1.106374e-05,1.090537e-05,1.075327e-05,1.060734e-05,1.046744e-05,1.033345e-05,1.020525e-05,1.008270e-05,9.965661e-06,9.854009e-06,9.747606e-06,9.646313e-06,9.549993e-06,9.458509e-06,9.371724e-06,9.289499e-06,9.211699e-06,9.138188e-06,9.068829e-06,9.003491e-06,8.942039e-06,8.884344e-06,8.830274e-06,8.779702e-06
0.000000e+00,2.211076e-09,4.626703e-08,4.857973e-08,3.442008e-07,1.131266e-06,1.174841e-06,2.390993e-06,3.559434e-06,3.631797e-06,4.787466e-06,5.764689e-06,5.845840e-06,6.810590e-06,7.603717e-06,7.687650e-06,8.483021e-06,9.119918e-06,9.202415e-06,9.851239e-06,1.035668e-05,1.043459e-05,1.095729e-05,1.135282e-05,1.142388e-05,1.183862e-05,1.214282e-05,1.220550e-05,1.252824e-05,1.275701e-05,1.281033e-05,1.305501e-05,1.322184e-05,1.326529e-05,1.344393e-05,1.356012e-05,1.359350e-05,1.371637e-05,1.379142e-05,1.381476e-05,1.389069e-05,1.393253e-05,1.394607e-05,1.398269e-05,1.399804e-05,1.400217e-05,1.400601e-05,1.400038e-05,1.399557e-05,1.397213e-05,1.395011e-05,1.393686e-05,1.389083e-05,1.385620e-05,1.383506e-05,1.377046e-05,1.372635e-05,1.369788e-05,1.361809e-05,1.356707e-05,1.353182e-05,1.343974e-05,1.338390e-05,1.334244e-05,1.324051e-05,1.318159e-05,1.313445e-05,1.302474e-05,1.296414e-05,1.291183e-05,1.279611e-05,1.273496e-05,1.267797e-05,1.255772e-05,1.249692e-05,1.243571e-05,1.231220e-05,1.225246e-05,1.218747e-05,1.206175e-05,1.200365e-05,1.193527e-05,1.180823e-05,1.175221e-05,1.168082e-05,1.155321e-05,1.149959e-05,1.142555e-05,1.129798e-05,1.124701e-05,1.117064e-05,1.104365e-05,1.099550e-05,1.091710e-05,1.079110e-05,1.074589e-05,1.066573e-05,1.054108e-05,1.049887e-05,1.041721e-05,1.029420e-05,1.025502e-05,1.017209e-05,1.005095e-05,1.001481e-05,9.930825e-06,9.811749e-06,9.778601e-06,9.693761e-06,9.576895e-06,9.546698e-06,9.461181e-06,9.346642e-06,9.319330e-06,9.233301e-06,9.121176e-06,9.096673e-06,9.010283e-06,8.900635e-06,8.878856e-06,8.792244e-06,8.685117e-06,8.665969e-06,8.579262e-06,8.474682e-06,8.458068e-06,8.371381e-06,8.269361e-06,8.255180e-06,8.168620e-06,8.069159e-06,8.057309e-06,7.970974e-06,7.874063e-06,7.864441e-06,7.778419e-06,7.684039e-06,7.676543e-06,7.590916e-06,7.499043e-06,7.493570e-06,7.408412e-06,7.319015e-06,7.315464e-06,7.230843e-06,7.143888e-06,7.142161e-06,7.058139e-06,6.973586e-06,6.809660e-06,6.650300e-06,6.495417e-06,6.344922e-06,6.198722e-06,6.056724e-06,5.918833e-06,5.784955e-06,5.654996e-06,5.528862e-06,5.406459e-06,5.287696e-06,5.172482e-06,5.060726e-06,4.952341e-06,4.847239e-06,4.745336e-06,4.646547e-06,4.550791e-06,4.457987e-06,4.368058e-06,4.280926e-06,4.196516e-06,4.114755e-06,4.035571e-06,3.958896e-06,3.884659e-06,3.812797e-06,3.743242e-06,3.675933e-06,3.610808e-06,3.547806e-06,3.486869e-06,3.427940e-06,3.370964e-06,3.315886e-06,3.262654e-06,3.211217e-06,3.161524e-06,3.113527e-06,3.067178e-06,3.022432e-06,2.979243e-06,2.937568e-06,2.897365e-06,2.858590e-06,2.821205e-06,2.785171e-06,2.750447e-06
0.000000e+00,8.100604e-09,3.573883e-07,3.786026e-07,4.164606e-06,2.182264e-05,2.312884e-05,7.750708e-05,1.678776e-04,1.746894e-04,2.988581e-04,4.200376e-04,4.305286e-04,5.584799e-04,6.667543e-04,6.783284e-04,7.889277e-04,8.786199e-04,8.903107e-04,9.828627e-04,1.055747e-03,1.067047e-03,1.143325e-03,1.201613e-03,1.212139e-03,1.273917e-03,1.319611e-03,1.329067e-03,1.377985e-03,1.412893e-03,1.421058e-03,1.458656e-03,1.484415e-03,1.491140e-03,1.518856e-03,1.536936e-03,1.542136e-03,1.561299e-03,1.573006e-03,1.576646e-03,1.588466e-03,1.594946e-03,1.597031e-03,1.602599e-03,1.604842e-03,1.605410e-03,1.605693e-03,1.604551e-03,1.603662e-03,1.599516e-03,1.595714e-03,1.593444e-03,1.585619e-03,1.579768e-03,1.576207e-03,1.565359e-03,1.557975e-03,1.553218e-03,1.539916e-03,1.531430e-03,1.525578e-03,1.510317e-03,1.501085e-03,1.494240e-03,1.477447e-03,1.467764e-03,1.460029e-03,1.442070e-03,1.432175e-03,1.423648e-03,1.404837e-03,1.394923e-03,1.385702e-03,1.366305e-03,1.356527e-03,1.346704e-03,1.326951e-03,1.317430e-03,1.307093e-03,1.287176e-03,1.278004e-03,1.267238e-03,1.247318e-03,1.238567e-03,1.227449e-03,1.207662e-03,1.199383e-03,1.187985e-03,1.168443e-03,1.160669e-03,1.149059e-03,1.129854e-03,1.122607e-03,1.110847e-03,1.092055e-03,1.085344e-03,1.073491e-03,1.055170e-03,1.048998e-03,1.037103e-03,1.019300e-03,1.013661e-03,1.001771e-03,9.845220e-04,9.794031e-04,9.675606e-04,9.508920e-04,9.462779e-04,9.345206e-04,9.184501e-04,9.143214e-04,9.026831e-04,8.872217e-04,8.835566e-04,8.720671e-04,8.572201e-04,8.539950e-04,8.426806e-04,8.284483e-04,8.256386e-04,8.145221e-04,8.009006e-04,7.984810e-04,7.875821e-04,7.745644e-04,7.725093e-04,7.618449e-04,7.494209e-04,7.477050e-04,7.372893e-04,7.254468e-04,7.240450e-04,7.138899e-04,7.026148e-04,7.015027e-04,6.916178e-04,6.808946e-04,6.800485e-04,6.704413e-04,6.602535e-04,6.596506e-04,6.503270e-04,6.406572e-04,6.402756e-04,6.312396e-04,6.220699e-04,6.218890e-04,6.131433e-04,6.044553e-04,5.879390e-04,5.723041e-04,5.575150e-04,5.435362e-04,5.303329e-04,5.178708e-04,5.061165e-04,4.950373e-04,4.846016e-04,4.747787e-04,4.655388e-04,4.568533e-04,4.486945e-04,4.410358e-04,4.338516e-04,4.271176e-04,4.208101e-04,4.149068e-04,4.093861e-04,4.042274e-04,3.994112e-04,3.949188e-04,3.907323e-04,3.868348e-04,3.832101e-04,3.798428e-04,3.767183e-04,3.738226e-04,3.711426e-04,3.686657e-04,3.663801e-04,3.642743e-04,3.623377e-04,3.605600e-04,3.589317e-04,3.574436e-04,3.560871e-04,3.548539e-04,3.537362e-04,3.527268e-04,3.518186e-04,3.510051e-04,3.502800e-04,3.496375e-04,3.490719e-04,3.485781e-04,3.481510e-04,3.477859e-04,3.474784e-04
0.000000e+00,1.438308e-08,2.728555e-07,2.853170e-07,1.849973e-06,6.835971e-06,7.160325e-06,1.921204e-05,3.791578e-05,3.933602e-05,6.602030e-05,9.347558e-05,9.590113e-05,1.258181e-04,1.513079e-04,1.540296e-04,1.799379e-04,2.007572e-04,2.034550e-04,2.246637e-04,2.411579e-04,2.436970e-04,2.606986e-04,2.735140e-04,2.758107e-04,2.891697e-04,2.989068e-04,3.009048e-04,3.111378e-04,3.183199e-04,3.199833e-04,3.275483e-04,3.326250e-04,3.339333e-04,3.392321e-04,3.425869e-04,3.435324e-04,3.469157e-04,3.488741e-04,3.494583e-04,3.512311e-04,3.520680e-04,3.523000e-04,3.527265e-04,3.526735e-04,3.525676e-04,3.518765e-04,3.511278e-04,3.507024e-04,3.490911e-04,3.478088e-04,3.470849e-04,3.447232e-04,3.430422e-04,3.420426e-04,3.390767e-04,3.371084e-04,3.358569e-04,3.324119e-04,3.302482e-04,3.287687e-04,3.249518e-04,3.226674e-04,3.209840e-04,3.168863e-04,3.145421e-04,3.126781e-04,3.083772e-04,3.060220e-04,3.039999e-04,2.995614e-04,2.972338e-04,2.950754e-04,2.905545e-04,2.882847e-04,2.860104e-04,2.814537e-04,2.792648e-04,2.768939e-04,2.723398e-04,2.702491e-04,2.677995e-04,2.632802e-04,2.613001e-04,2.587885e-04,2.543302e-04,2.524691e-04,2.499108e-04,2.455349e-04,2.437977e-04,2.412069e-04,2.369305e-04,2.353197e-04,2.327091e-04,2.285457e-04,2.270616e-04,2.244429e-04,2.204029e-04,2.190440e-04,2.164277e-04,2.125189e-04,2.112823e-04,2.086779e-04,2.049058e-04,2.037877e-04,2.012035e-04,1.975718e-04,1.965676e-04,1.940111e-04,1.905218e-04,1.896263e-04,1.871040e-04,1.837578e-04,1.829654e-04,1.804832e-04,1.772797e-04,1.765845e-04,1.741473e-04,1.710853e-04,1.704813e-04,1.680933e-04,1.651708e-04,1.646520e-04,1.623170e-04,1.595312e-04,1.590917e-04,1.568126e-04,1.541603e-04,1.537943e-04,1.515736e-04,1.490515e-04,1.487531e-04,1.465929e-04,1.441970e-04,1.439608e-04,1.418627e-04,1.395890e-04,1.394097e-04,1.373749e-04,1.352192e-04,1.350917e-04,1.331209e-04,1.310790e-04,1.309985e-04,1.290923e-04,1.271597e-04,1.271216e-04,1.252803e-04,1.234527e-04,1.199834e-04,1.167052e-04,1.136099e-04,1.106895e-04,1.079360e-04,1.053417e-04,1.028992e-04,1.006011e-04,9.844053e-05,9.641063e-05,9.450489e-05,9.271704e-05,9.104104e-05,8.947112e-05,8.800174e-05,8.662760e-05,8.534362e-05,8.414499e-05,8.302707e-05,8.198546e-05,8.101598e-05,8.011461e-05,7.927756e-05,7.850122e-05,7.778213e-05,7.711703e-05,7.650282e-05,7.593655e-05,7.541542e-05,7.493677e-05,7.449808e-05,7.409697e-05,7.373118e-05,7.339855e-05,7.309706e-05,7.282479e-05,7.257991e-05,7.236071e-05,7.216554e-05,7.199288e-05,7.184126e-05,7.170930e-05,7.159571e-05,7.149924e-05,7.141876e-05,7.135314e-05,7.130136e-05,7.126245e-05,7.123547e-05
0.000000e+00,8.765072e-09,1.522085e-07,1.592293e-07,1.025507e-06,3.557526e-06,3.713897e-06,9.077924e-06,1.621474e-05,1.671060e-05,2.512041e-05,3.254998e-05,3.316891e-05,4.049241e-05,4.642588e-05,4.704767e-05,5.287151e-05,5.743357e-05,5.801701e-05,6.253814e-05,6.596633e-05,6.648645e-05,6.991032e-05,7.241419e-05,7.285487e-05,7.536209e-05,7.711908e-05,7.747093e-05,7.921749e-05,8.037641e-05,8.063514e-05,8.175466e-05,8.243925e-05,8.260441e-05,8.321048e-05,8.352293e-05,8.359682e-05,8.378541e-05,8.380957e-05,8.379640e-05,8.364824e-05,8.345256e-05,8.335782e-05,8.294057e-05,8.258064e-05,8.241060e-05,8.178080e-05,8.130154e-05,8.106291e-05,8.026766e-05,7.970518e-05,7.940479e-05,7.848319e-05,7.786631e-05,7.751096e-05,7.649549e-05,7.584712e-05,7.544341e-05,7.436078e-05,7.369883e-05,7.325308e-05,7.212534e-05,7.146387e-05,7.098207e-05,6.982731e-05,6.917701e-05,6.866473e-05,6.749764e-05,6.686660e-05,6.632901e-05,6.516151e-05,6.455565e-05,6.399751e-05,6.283913e-05,6.226266e-05,6.168828e-05,6.054661e-05,6.000232e-05,5.941563e-05,5.829662e-05,5.778622e-05,5.719074e-05,5.609898e-05,5.562331e-05,5.502222e-05,5.396120e-05,5.352042e-05,5.291655e-05,5.188882e-05,5.148256e-05,5.087843e-05,4.988576e-05,4.951325e-05,4.891109e-05,4.795463e-05,4.761480e-05,4.701656e-05,4.609696e-05,4.578852e-05,4.519591e-05,4.431340e-05,4.403491e-05,4.344941e-05,4.260388e-05,4.235381e-05,4.177671e-05,4.096778e-05,4.074452e-05,4.017693e-05,3.940399e-05,3.920594e-05,3.864878e-05,3.791109e-05,3.773662e-05,3.719069e-05,3.648734e-05,3.633487e-05,3.580082e-05,3.513085e-05,3.499882e-05,3.447717e-05,3.383952e-05,3.372642e-05,3.321761e-05,3.261117e-05,3.251555e-05,3.201991e-05,3.144355e-05,3.136404e-05,3.088181e-05,3.033438e-05,3.026964e-05,2.980100e-05,2.928136e-05,2.923015e-05,2.877519e-05,2.828221e-05,2.824333e-05,2.780211e-05,2.733464e-05,2.730699e-05,2.687951e-05,2.643645e-05,2.641897e-05,2.600518e-05,2.558544e-05,2.557716e-05,2.517696e-05,2.477949e-05,2.402397e-05,2.330865e-05,2.263166e-05,2.199119e-05,2.138549e-05,2.081291e-05,2.027182e-05,1.976069e-05,1.927805e-05,1.882249e-05,1.839265e-05,1.798726e-05,1.760507e-05,1.724493e-05,1.690571e-05,1.658635e-05,1.628582e-05,1.600318e-05,1.573748e-05,1.548787e-05,1.525350e-05,1.503358e-05,1.482736e-05,1.463412e-05,1.445319e-05,1.428390e-05,1.412565e-05,1.397785e-05,1.383994e-05,1.371140e-05,1.359172e-05,1.348042e-05,1.337706e-05,1.328121e-05,1.319244e-05,1.311039e-05,1.303467e-05,1.296494e-05,1.290086e-05,1.284213e-05,1.278843e-05,1.273950e-05,1.269505e-05,1.265483e-05,1.261861e-05,1.258614e-05,1.255721e-05,1.253161e-05,1.250915e-05
0.000000e+00,4.870700e-10,7.463221e-09,7.800668e-09,4.761117e-08,1.532958e-07,1.594699e-07,3.536981e-07,5.758254e-07,5.903491e-07,8.302233e-07,1.042693e-06,1.060709e-06,1.279463e-06,1.466142e-06,1.486294e-06,1.681451e-06,1.843851e-06,1.865336e-06,2.038391e-06,2.178837e-06,2.200980e-06,2.353424e-06,2.473936e-06,2.496132e-06,2.629509e-06,2.732195e-06,2.753954e-06,2.869857e-06,2.956685e-06,2.977598e-06,3.077544e-06,3.150319e-06,3.170049e-06,3.255457e-06,3.315822e-06,3.334096e-06,3.406285e-06,3.455732e-06,3.472329e-06,3.532524e-06,3.572401e-06,3.587151e-06,3.636482e-06,3.668002e-06,3.680777e-06,3.720286e-06,3.744541e-06,3.755249e-06,3.785897e-06,3.803867e-06,3.812449e-06,3.835117e-06,3.847679e-06,3.854103e-06,3.869601e-06,3.877540e-06,3.881797e-06,3.890869e-06,3.894883e-06,3.896986e-06,3.900313e-06,3.901024e-06,3.901003e-06,3.899207e-06,3.897168e-06,3.895066e-06,3.888718e-06,3.884417e-06,3.880291e-06,3.869911e-06,3.863781e-06,3.857697e-06,3.843761e-06,3.836182e-06,3.828213e-06,3.811155e-06,3.802461e-06,3.792687e-06,3.772903e-06,3.763386e-06,3.751893e-06,3.729742e-06,3.719655e-06,3.706532e-06,3.682342e-06,3.671907e-06,3.657245e-06,3.631311e-06,3.620719e-06,3.604610e-06,3.577204e-06,3.566618e-06,3.549155e-06,3.520520e-06,3.510079e-06,3.491355e-06,3.461713e-06,3.451535e-06,3.431643e-06,3.401193e-06,3.391376e-06,3.370407e-06,3.339329e-06,3.329954e-06,3.307998e-06,3.276454e-06,3.267588e-06,3.244732e-06,3.212868e-06,3.204564e-06,3.180893e-06,3.148840e-06,3.141138e-06,3.116735e-06,3.084609e-06,3.077541e-06,3.052486e-06,3.020391e-06,3.013977e-06,2.988347e-06,2.956376e-06,2.950630e-06,2.924499e-06,2.892734e-06,2.887664e-06,2.861101e-06,2.829616e-06,2.825221e-06,2.798295e-06,2.767153e-06,2.763429e-06,2.736204e-06,2.705462e-06,2.702399e-06,2.674937e-06,2.644642e-06,2.642228e-06,2.614587e-06,2.584782e-06,2.583001e-06,2.555235e-06,2.525956e-06,2.524791e-06,2.496952e-06,2.468229e-06,2.467658e-06,2.439795e-06,2.411655e-06,2.356825e-06,2.303205e-06,2.250822e-06,2.199698e-06,2.149849e-06,2.101285e-06,2.054013e-06,2.008035e-06,1.963348e-06,1.919947e-06,1.877824e-06,1.836967e-06,1.797364e-06,1.758998e-06,1.721854e-06,1.685912e-06,1.651153e-06,1.617554e-06,1.585095e-06,1.553753e-06,1.523503e-06,1.494322e-06,1.466186e-06,1.439070e-06,1.412949e-06,1.387799e-06,1.363593e-06,1.340308e-06,1.317919e-06,1.296400e-06,1.275728e-06,1.255878e-06,1.236827e-06,1.218551e-06,1.201026e-06,1.184229e-06,1.168139e-06,1.152733e-06,1.137990e-06,1.123888e-06,1.110407e-06,1.097526e-06,1.085225e-06,1.073485e-06,1.062288e-06,1.051614e-06,1.041445e-06,1.031765e-06,1.022556e-06
0.000000e+00,4.508904e-09,6.386364e-08,6.663852e-08,3.873900e-07,1.260426e-06,1.313079e-06,3.087003e-06,5.435341e-06,5.600062e-06,8.442043e-06,1.102662e-05,1.124477e-05,1.385783e-05,1.601998e-05,1.624910e-05,1.842131e-05,2.016058e-05,2.038577e-05,2.215547e-05,2.353156e-05,2.374340e-05,2.516208e-05,2.623175e-05,2.642348e-05,2.753889e-05,2.835212e-05,2.851902e-05,2.937393e-05,2.997408e-05,3.011308e-05,3.074534e-05,3.116966e-05,3.127901e-05,3.172185e-05,3.200214e-05,3.208111e-05,3.236353e-05,3.252677e-05,3.257541e-05,3.272263e-05,3.279165e-05,3.281062e-05,3.284447e-05,3.283849e-05,3.282889e-05,3.276827e-05,3.270341e-05,3.266667e-05,3.252788e-05,3.241761e-05,3.235540e-05,3.215247e-05,3.200802e-05,3.192211e-05,3.166712e-05,3.149780e-05,3.139009e-05,3.109339e-05,3.090687e-05,3.077925e-05,3.044971e-05,3.025228e-05,3.010667e-05,2.975188e-05,2.954867e-05,2.938694e-05,2.901335e-05,2.880850e-05,2.863247e-05,2.824557e-05,2.804239e-05,2.785380e-05,2.745823e-05,2.725932e-05,2.705983e-05,2.665950e-05,2.646690e-05,2.625806e-05,2.585625e-05,2.567148e-05,2.545476e-05,2.505421e-05,2.487841e-05,2.465517e-05,2.425815e-05,2.409211e-05,2.386361e-05,2.347199e-05,2.331624e-05,2.308365e-05,2.269894e-05,2.255377e-05,2.231817e-05,2.194160e-05,2.180712e-05,2.156949e-05,2.120203e-05,2.107819e-05,2.083943e-05,2.048184e-05,2.036849e-05,2.012940e-05,1.978224e-05,1.967914e-05,1.944046e-05,1.910413e-05,1.901095e-05,1.877334e-05,1.844814e-05,1.836450e-05,1.812856e-05,1.781463e-05,1.774013e-05,1.750638e-05,1.720380e-05,1.713799e-05,1.690689e-05,1.661565e-05,1.655808e-05,1.633005e-05,1.605007e-05,1.600026e-05,1.577567e-05,1.550681e-05,1.546431e-05,1.524345e-05,1.498555e-05,1.494988e-05,1.473304e-05,1.448588e-05,1.445657e-05,1.424399e-05,1.400733e-05,1.398394e-05,1.377581e-05,1.354938e-05,1.353148e-05,1.332796e-05,1.311148e-05,1.309865e-05,1.289987e-05,1.269306e-05,1.268488e-05,1.249096e-05,1.229351e-05,1.228960e-05,1.210061e-05,1.191221e-05,1.155211e-05,1.120869e-05,1.088136e-05,1.056952e-05,1.027258e-05,9.989957e-06,9.721092e-06,9.465427e-06,9.222422e-06,8.991551e-06,8.772303e-06,8.564185e-06,8.366716e-06,8.179437e-06,8.001898e-06,7.833670e-06,7.674339e-06,7.523504e-06,7.380782e-06,7.245805e-06,7.118217e-06,6.997679e-06,6.883865e-06,6.776462e-06,6.675171e-06,6.579704e-06,6.489786e-06,6.405155e-06,6.325558e-06,6.250754e-06,6.180513e-06,6.114615e-06,6.052848e-06,5.995011e-06,5.940912e-06,5.890366e-06,5.843198e-06,5.799240e-06,5.758331e-06,5.720319e-06,5.685056e-06,5.652405e-06,5.622230e-06,5.594405e-06,5.568810e-06,5.545327e-06,5.523846e-06,5.504263e-06,5.486475e-06
0.000000e+00,3.331438e-09,1.532799e-07,1.623348e-07,1.750967e-06,9.368894e-06,9.951577e-06,3.662561e-05,9.165109e-05,9.634315e-05,1.946727e-04,3.112940e-04,3.221729e-04,4.618989e-04,5.858503e-04,5.991703e-04,7.251774e-04,8.236430e-04,8.361164e-04,9.312301e-04,1.000920e-03,1.011264e-03,1.077568e-03,1.123756e-03,1.131649e-03,1.174971e-03,1.203421e-03,1.208888e-03,1.234617e-03,1.250037e-03,1.253241e-03,1.265720e-03,1.271733e-03,1.272896e-03,1.275514e-03,1.274858e-03,1.274224e-03,1.269597e-03,1.264321e-03,1.262133e-03,1.252268e-03,1.243894e-03,1.240383e-03,1.226811e-03,1.216464e-03,1.211842e-03,1.195727e-03,1.184227e-03,1.178685e-03,1.160907e-03,1.148851e-03,1.142557e-03,1.123779e-03,1.111593e-03,1.104695e-03,1.085412e-03,1.073397e-03,1.066021e-03,1.046603e-03,1.034966e-03,1.027222e-03,1.007938e-03,9.968169e-04,9.887989e-04,9.698458e-04,9.593266e-04,9.511137e-04,9.326315e-04,9.227637e-04,9.144232e-04,8.965086e-04,8.873144e-04,8.789034e-04,8.616205e-04,8.531030e-04,8.446696e-04,8.280581e-04,8.202067e-04,8.117911e-04,7.958721e-04,7.886668e-04,7.803029e-04,7.650841e-04,7.584986e-04,7.502148e-04,7.356934e-04,7.296975e-04,7.215173e-04,7.076834e-04,7.022448e-04,6.941878e-04,6.810260e-04,6.761111e-04,6.681934e-04,6.556849e-04,6.512601e-04,6.434950e-04,6.316181e-04,6.276503e-04,6.200485e-04,6.087802e-04,6.052370e-04,5.978073e-04,5.871236e-04,5.839740e-04,5.767231e-04,5.665997e-04,5.638139e-04,5.567472e-04,5.471595e-04,5.447094e-04,5.378307e-04,5.287548e-04,5.266136e-04,5.199258e-04,5.113380e-04,5.094804e-04,5.029854e-04,4.948625e-04,4.932650e-04,4.869636e-04,4.792833e-04,4.779237e-04,4.718162e-04,4.645569e-04,4.634144e-04,4.575003e-04,4.506413e-04,4.496966e-04,4.439750e-04,4.374963e-04,4.367313e-04,4.312006e-04,4.250832e-04,4.244811e-04,4.191395e-04,4.133651e-04,4.129103e-04,4.077555e-04,4.023066e-04,4.019847e-04,3.970141e-04,3.918741e-04,3.916716e-04,3.868825e-04,3.820355e-04,3.819400e-04,3.773292e-04,3.727600e-04,3.641035e-04,3.559436e-04,3.482544e-04,3.410118e-04,3.341925e-04,3.277743e-04,3.217364e-04,3.160588e-04,3.107225e-04,3.057096e-04,3.010028e-04,2.965860e-04,2.924437e-04,2.885612e-04,2.849245e-04,2.815205e-04,2.783365e-04,2.753607e-04,2.725816e-04,2.699885e-04,2.675712e-04,2.653199e-04,2.632255e-04,2.612793e-04,2.594728e-04,2.577983e-04,2.562482e-04,2.548155e-04,2.534934e-04,2.522756e-04,2.511560e-04,2.501288e-04,2.491886e-04,2.483303e-04,2.475489e-04,2.468398e-04,2.461986e-04,2.456211e-04,2.451034e-04,2.446418e-04,2.442326e-04,2.438726e-04,2.435586e-04,2.432876e-04,2.430566e-04,2.428631e-04,2.427045e-04,2.425784e-04,2.424825e-04
0.000000e+00,4.606970e-10,2.854104e-08,3.038218e-08,4.134576e-07,2.760675e-06,2.960941e-06,1.408811e-05,4.592117e-05,4.912447e-05,1.339216e-04,2.837089e-04,3.008691e-04,5.820233e-04,9.544747e-04,1.003504e-03,1.582503e-03,2.228460e-03,2.326469e-03,3.233701e-03,4.137442e-03,4.294715e-03,5.493949e-03,6.593663e-03,6.811516e-03,8.224832e-03,9.438473e-03,9.710036e-03,1.124316e-02,1.248857e-02,1.280107e-02,1.436208e-02,1.556909e-02,1.590652e-02,1.741693e-02,1.853274e-02,1.887828e-02,2.027795e-02,2.126789e-02,2.160570e-02,2.285353e-02,2.369908e-02,2.401551e-02,2.508762e-02,2.578329e-02,2.606748e-02,2.695420e-02,2.750411e-02,2.774814e-02,2.845072e-02,2.886544e-02,2.906420e-02,2.959155e-02,2.988545e-02,3.003628e-02,3.040233e-02,3.059160e-02,3.069390e-02,3.091539e-02,3.101650e-02,3.107128e-02,3.116608e-02,3.119484e-02,3.120428e-02,3.119026e-02,3.116120e-02,3.112830e-02,3.102250e-02,3.094854e-02,3.087682e-02,3.069499e-02,3.058734e-02,3.048056e-02,3.023686e-02,3.010503e-02,2.996704e-02,2.967401e-02,2.952593e-02,2.936051e-02,2.902904e-02,2.887119e-02,2.868196e-02,2.832141e-02,2.815902e-02,2.794938e-02,2.756770e-02,2.740492e-02,2.717803e-02,2.678190e-02,2.662195e-02,2.638070e-02,2.597569e-02,2.582104e-02,2.556804e-02,2.515877e-02,2.501123e-02,2.474885e-02,2.433912e-02,2.419999e-02,2.393035e-02,2.352324e-02,2.339342e-02,2.311840e-02,2.271641e-02,2.259643e-02,2.231774e-02,2.192285e-02,2.181301e-02,2.153213e-02,2.114592e-02,2.104629e-02,2.076454e-02,2.038824e-02,2.029872e-02,2.001727e-02,1.965183e-02,1.957219e-02,1.929209e-02,1.893820e-02,1.886813e-02,1.859028e-02,1.824844e-02,1.818756e-02,1.791276e-02,1.758330e-02,1.753116e-02,1.726011e-02,1.694323e-02,1.689937e-02,1.663268e-02,1.632847e-02,1.629239e-02,1.603060e-02,1.573906e-02,1.571025e-02,1.545382e-02,1.517487e-02,1.515282e-02,1.490216e-02,1.463566e-02,1.461986e-02,1.437531e-02,1.412108e-02,1.411103e-02,1.387289e-02,1.363069e-02,1.362591e-02,1.339442e-02,1.316401e-02,1.272481e-02,1.230774e-02,1.191221e-02,1.153760e-02,1.118329e-02,1.084864e-02,1.053300e-02,1.023573e-02,9.956202e-03,9.693767e-03,9.447801e-03,9.217680e-03,9.002792e-03,8.802534e-03,8.616310e-03,8.443538e-03,8.283645e-03,8.136072e-03,8.000269e-03,7.875697e-03,7.761830e-03,7.658153e-03,7.564164e-03,7.479369e-03,7.403288e-03,7.335454e-03,7.275410e-03,7.222708e-03,7.176918e-03,7.137615e-03,7.104391e-03,7.076848e-03,7.054599e-03,7.037271e-03,7.024503e-03,7.015945e-03,7.011260e-03,7.010124e-03,7.012226e-03,7.017266e-03,7.024958e-03,7.035029e-03,7.047218e-03,7.061276e-03,7.076968e-03,7.094071e-03,7.112374e-03,7.131679e-03,7.151801e-03
0.000000e+00,8.796838e-10,1.075156e-08,1.120644e-08,6.510995e-08,2.193187e-07,2.287541e-07,5.424344e-07,9.244629e-07,9.497335e-07,1.364181e-06,1.719941e-06,1.749441e-06,2.098302e-06,2.381525e-06,2.411264e-06,2.690530e-06,2.910378e-06,2.938576e-06,3.157839e-06,3.325156e-06,3.350637e-06,3.519153e-06,3.643441e-06,3.665432e-06,3.791382e-06,3.880740e-06,3.898778e-06,3.989266e-06,4.050510e-06,4.064369e-06,4.125494e-06,4.164304e-06,4.173934e-06,4.210883e-06,4.231955e-06,4.237434e-06,4.254593e-06,4.261789e-06,4.263282e-06,4.264346e-06,4.260826e-06,4.258557e-06,4.246625e-06,4.234966e-06,4.229197e-06,4.206866e-06,4.189158e-06,4.180172e-06,4.149611e-06,4.127542e-06,4.115633e-06,4.078649e-06,4.053578e-06,4.039036e-06,3.997135e-06,3.970145e-06,3.953257e-06,3.907685e-06,3.879638e-06,3.860679e-06,3.812471e-06,3.784044e-06,3.763274e-06,3.713282e-06,3.685004e-06,3.662668e-06,3.611590e-06,3.583867e-06,3.560192e-06,3.508603e-06,3.481740e-06,3.456938e-06,3.405302e-06,3.379525e-06,3.353789e-06,3.302483e-06,3.277953e-06,3.251460e-06,3.200786e-06,3.177610e-06,3.150521e-06,3.100719e-06,3.078965e-06,3.051426e-06,3.002683e-06,2.982383e-06,2.954525e-06,2.906986e-06,2.888149e-06,2.860091e-06,2.813864e-06,2.796476e-06,2.768324e-06,2.723488e-06,2.707522e-06,2.679370e-06,2.635980e-06,2.621395e-06,2.593327e-06,2.551417e-06,2.538164e-06,2.510256e-06,2.469845e-06,2.457868e-06,2.430186e-06,2.391277e-06,2.380518e-06,2.353119e-06,2.315707e-06,2.306102e-06,2.279039e-06,2.243108e-06,2.234594e-06,2.207910e-06,2.173439e-06,2.165952e-06,2.139687e-06,2.106646e-06,2.100123e-06,2.074310e-06,2.042669e-06,2.037046e-06,2.011714e-06,1.981436e-06,1.976654e-06,1.951827e-06,1.922876e-06,1.918874e-06,1.894573e-06,1.866908e-06,1.863631e-06,1.839871e-06,1.813453e-06,1.810845e-06,1.787642e-06,1.762428e-06,1.760437e-06,1.737802e-06,1.713752e-06,1.712327e-06,1.690268e-06,1.667340e-06,1.666435e-06,1.644958e-06,1.623112e-06,1.622680e-06,1.601791e-06,1.580985e-06,1.541271e-06,1.503462e-06,1.467483e-06,1.433263e-06,1.400730e-06,1.369815e-06,1.340453e-06,1.312579e-06,1.286131e-06,1.261048e-06,1.237272e-06,1.214747e-06,1.193421e-06,1.173239e-06,1.154153e-06,1.136115e-06,1.119077e-06,1.102996e-06,1.087829e-06,1.073535e-06,1.060074e-06,1.047408e-06,1.035502e-06,1.024319e-06,1.013827e-06,1.003993e-06,9.947874e-07,9.861793e-07,9.781408e-07,9.706447e-07,9.636647e-07,9.571760e-07,9.511545e-07,9.455772e-07,9.404221e-07,9.356680e-07,9.312947e-07,9.272829e-07,9.236139e-07,9.202700e-07,9.172342e-07,9.144901e-07,9.120221e-07,9.098153e-07,9.078555e-07,9.061289e-07,9.046225e-07,9.033238e-07,9.022208e-07
0.000000e+00,3.865234e-10,2.588196e-08,2.761330e-08,4.078580e-07,2.684229e-06,2.871744e-06,1.239009e-05,3.542508e-05,3.755507e-05,8.763679e-05,1.607475e-04,1.683744e-04,2.799614e-04,4.029726e-04,4.177229e-04,5.740334e-04,7.200695e-04,7.402590e-04,9.081966e-04,1.048670e-03,1.070923e-03,1.223152e-03,1.340215e-03,1.361260e-03,1.483114e-03,1.570238e-03,1.587807e-03,1.675373e-03,1.733553e-03,1.746519e-03,1.802390e-03,1.836266e-03,1.844394e-03,1.874053e-03,1.889282e-03,1.892900e-03,1.902415e-03,1.904266e-03,1.903981e-03,1.898858e-03,1.891663e-03,1.888168e-03,1.872898e-03,1.859949e-03,1.853907e-03,1.831934e-03,1.815614e-03,1.807607e-03,1.781457e-03,1.763418e-03,1.753928e-03,1.725391e-03,1.706742e-03,1.696152e-03,1.666465e-03,1.647927e-03,1.636538e-03,1.606538e-03,1.588561e-03,1.576602e-03,1.546842e-03,1.529696e-03,1.517344e-03,1.488179e-03,1.472012e-03,1.459401e-03,1.431053e-03,1.415936e-03,1.403169e-03,1.375771e-03,1.361724e-03,1.348879e-03,1.322505e-03,1.309514e-03,1.296655e-03,1.271334e-03,1.259368e-03,1.246543e-03,1.222281e-03,1.211298e-03,1.198546e-03,1.175334e-03,1.165284e-03,1.152638e-03,1.130452e-03,1.121285e-03,1.108770e-03,1.087583e-03,1.079245e-03,1.066884e-03,1.046663e-03,1.039103e-03,1.026913e-03,1.007624e-03,1.000791e-03,9.887879e-04,9.703955e-04,9.642415e-04,9.524378e-04,9.349059e-04,9.293842e-04,9.177910e-04,9.010843e-04,8.961506e-04,8.847771e-04,8.688607e-04,8.644731e-04,8.533268e-04,8.381668e-04,8.342854e-04,8.233726e-04,8.089360e-04,8.055235e-04,7.948491e-04,7.811040e-04,7.781252e-04,7.676931e-04,7.546087e-04,7.520304e-04,7.418435e-04,7.293902e-04,7.271811e-04,7.172416e-04,7.053908e-04,7.035218e-04,6.938309e-04,6.825552e-04,6.809989e-04,6.715572e-04,6.608303e-04,6.595610e-04,6.503684e-04,6.401651e-04,6.391588e-04,6.302146e-04,6.205108e-04,6.197450e-04,6.110480e-04,6.018206e-04,6.012743e-04,5.928230e-04,5.840497e-04,5.837034e-04,5.754956e-04,5.671554e-04,5.669908e-04,5.590241e-04,5.510967e-04,5.359833e-04,5.216142e-04,5.079547e-04,4.949717e-04,4.826335e-04,4.709099e-04,4.597720e-04,4.491922e-04,4.391442e-04,4.296029e-04,4.205443e-04,4.119456e-04,4.037849e-04,3.960415e-04,3.886954e-04,3.817278e-04,3.751205e-04,3.688564e-04,3.629191e-04,3.572928e-04,3.519627e-04,3.469145e-04,3.421347e-04,3.376103e-04,3.333291e-04,3.292791e-04,3.254494e-04,3.218291e-04,3.184081e-04,3.151767e-04,3.121256e-04,3.092462e-04,3.065298e-04,3.039687e-04,3.015550e-04,2.992817e-04,2.971416e-04,2.951284e-04,2.932356e-04,2.914573e-04,2.897877e-04,2.882215e-04,2.867534e-04,2.853786e-04,2.840922e-04,2.828899e-04,2.817674e-04,2.807205e-04,2.797455e-04
0.000000e+00,1.381938e-09,6.709057e-08,7.107152e-08,7.568728e-07,3.969510e-06,4.214572e-06,1.559842e-05,4.051519e-05,4.273633e-05,9.295271e-05,1.620138e-04,1.690011e-04,2.672396e-04,3.677130e-04,3.792518e-04,4.953229e-04,5.942704e-04,6.072815e-04,7.096673e-04,7.878262e-04,7.996210e-04,8.762272e-04,9.304724e-04,9.398052e-04,9.913470e-04,1.025529e-03,1.032140e-03,1.063537e-03,1.082765e-03,1.086837e-03,1.103226e-03,1.111895e-03,1.113759e-03,1.119351e-03,1.120791e-03,1.120798e-03,1.118777e-03,1.115393e-03,1.113868e-03,1.106567e-03,1.100066e-03,1.097292e-03,1.086401e-03,1.077978e-03,1.074194e-03,1.060929e-03,1.051415e-03,1.046821e-03,1.032055e-03,1.022026e-03,1.016787e-03,1.001149e-03,9.909979e-04,9.852512e-04,9.691882e-04,9.591808e-04,9.530379e-04,9.368663e-04,9.271766e-04,9.207288e-04,9.046715e-04,8.954103e-04,8.887325e-04,8.729434e-04,8.641768e-04,8.573300e-04,8.419137e-04,8.336772e-04,8.267120e-04,8.117386e-04,8.040464e-04,7.970044e-04,7.825179e-04,7.753697e-04,7.682856e-04,7.543120e-04,7.476976e-04,7.406005e-04,7.271530e-04,7.210561e-04,7.139704e-04,7.010524e-04,6.954522e-04,6.883983e-04,6.760064e-04,6.708795e-04,6.638748e-04,6.520010e-04,6.473231e-04,6.403824e-04,6.290157e-04,6.247617e-04,6.178976e-04,6.070246e-04,6.031696e-04,5.963930e-04,5.859988e-04,5.825182e-04,5.758383e-04,5.659074e-04,5.627773e-04,5.562020e-04,5.467182e-04,5.439157e-04,5.374519e-04,5.283989e-04,5.259017e-04,5.195552e-04,5.109167e-04,5.087038e-04,5.024794e-04,4.942394e-04,4.922906e-04,4.861926e-04,4.783351e-04,4.766315e-04,4.706632e-04,4.631729e-04,4.616964e-04,4.558606e-04,4.487225e-04,4.474559e-04,4.417550e-04,4.349545e-04,4.338817e-04,4.283174e-04,4.218403e-04,4.209461e-04,4.155198e-04,4.093525e-04,4.086226e-04,4.033352e-04,3.974645e-04,3.968854e-04,3.917374e-04,3.861507e-04,3.857097e-04,3.807013e-04,3.753863e-04,3.750717e-04,3.702028e-04,3.651478e-04,3.649482e-04,3.602185e-04,3.554123e-04,3.553174e-04,3.507262e-04,3.461577e-04,3.374490e-04,3.291715e-04,3.213064e-04,3.138356e-04,3.067418e-04,3.000084e-04,2.936194e-04,2.875596e-04,2.818142e-04,2.763692e-04,2.712112e-04,2.663273e-04,2.617050e-04,2.573325e-04,2.531985e-04,2.492921e-04,2.456028e-04,2.421208e-04,2.388364e-04,2.357406e-04,2.328244e-04,2.300796e-04,2.274982e-04,2.250724e-04,2.227948e-04,2.206585e-04,2.186567e-04,2.167829e-04,2.150310e-04,2.133950e-04,2.118693e-04,2.104484e-04,2.091273e-04,2.079009e-04,2.067645e-04,2.057135e-04,2.047437e-04,2.038509e-04,2.030311e-04,2.022806e-04,2.015957e-04,2.009729e-04,2.004090e-04,1.999007e-04,1.994451e-04,1.990394e-04,1.986806e-04,1.983662e-04,1.980937e-04
0.000000e+00,3.023212e-10,5.656672e-09,5.930205e-09,3.923456e-08,1.202944e-07,1.245535e-07,2.365165e-07,3.332773e-07,3.389289e-07,4.236502e-07,4.869857e-07,4.918968e-07,5.461242e-07,5.848604e-07,5.886447e-07,6.214397e-07,6.435841e-07,6.461751e-07,6.642440e-07,6.753444e-07,6.768107e-07,6.848474e-07,6.886946e-07,6.891646e-07,6.904349e-07,6.896014e-07,6.892220e-07,6.859949e-07,6.822267e-07,6.811426e-07,6.749881e-07,6.694571e-07,6.677984e-07,6.597947e-07,6.532811e-07,6.511597e-07,6.420442e-07,6.350632e-07,6.325723e-07,6.228462e-07,6.157337e-07,6.129497e-07,6.029517e-07,5.959231e-07,5.929081e-07,5.828648e-07,5.760548e-07,5.728589e-07,5.629204e-07,5.564099e-07,5.530734e-07,5.433372e-07,5.371714e-07,5.337270e-07,5.242546e-07,5.184550e-07,5.149291e-07,5.057574e-07,5.003303e-07,4.967445e-07,4.878938e-07,4.828358e-07,4.792077e-07,4.706873e-07,4.659884e-07,4.623330e-07,4.541444e-07,4.497911e-07,4.461206e-07,4.382604e-07,4.342372e-07,4.305621e-07,4.230238e-07,4.193139e-07,4.156433e-07,4.084182e-07,4.050046e-07,4.013460e-07,3.944242e-07,3.912899e-07,3.876501e-07,3.810211e-07,3.781495e-07,3.745343e-07,3.681871e-07,3.655623e-07,3.619767e-07,3.559005e-07,3.535069e-07,3.499556e-07,3.441394e-07,3.419625e-07,3.384493e-07,3.328826e-07,3.309083e-07,3.274368e-07,3.221092e-07,3.203243e-07,3.168974e-07,3.117989e-07,3.101909e-07,3.068113e-07,3.019323e-07,3.004894e-07,2.971595e-07,2.924905e-07,2.912015e-07,2.879233e-07,2.834555e-07,2.823099e-07,2.790850e-07,2.748098e-07,2.737977e-07,2.706277e-07,2.665367e-07,2.656487e-07,2.625349e-07,2.586203e-07,2.578477e-07,2.547910e-07,2.510452e-07,2.503796e-07,2.473810e-07,2.437966e-07,2.432304e-07,2.402904e-07,2.368607e-07,2.363865e-07,2.335056e-07,2.302237e-07,2.298347e-07,2.270133e-07,2.238729e-07,2.235627e-07,2.208009e-07,2.177959e-07,2.175584e-07,2.148564e-07,2.119809e-07,2.118104e-07,2.091680e-07,2.064165e-07,2.063077e-07,2.037249e-07,2.010919e-07,2.010398e-07,1.985163e-07,1.959968e-07,1.911689e-07,1.865470e-07,1.821222e-07,1.778862e-07,1.738307e-07,1.699482e-07,1.662311e-07,1.626725e-07,1.592654e-07,1.560036e-07,1.528806e-07,1.498907e-07,1.470280e-07,1.442872e-07,1.416631e-07,1.391506e-07,1.367450e-07,1.344417e-07,1.322364e-07,1.301249e-07,1.281031e-07,1.261673e-07,1.243137e-07,1.225389e-07,1.208395e-07,1.192124e-07,1.176543e-07,1.161625e-07,1.147340e-07,1.133661e-07,1.120564e-07,1.108023e-07,1.096015e-07,1.084516e-07,1.073507e-07,1.062964e-07,1.052870e-07,1.043205e-07,1.033951e-07,1.025090e-07,1.016605e-07,1.008482e-07,1.000705e-07,9.932582e-08,9.861289e-08,9.793034e-08,9.727689e-08,9.665132e-08,9.605245e-08
0.000000e+00,2.488980e-09,1.378601e-07,1.465747e-07,1.884563e-06,1.140791e-05,1.216995e-05,4.915233e-05,1.315366e-04,1.387990e-04,2.975586e-04,5.011430e-04,5.210020e-04,7.904481e-04,1.054574e-03,1.084556e-03,1.385980e-03,1.647840e-03,1.682978e-03,1.968545e-03,2.202102e-03,2.238972e-03,2.492590e-03,2.692252e-03,2.728899e-03,2.948028e-03,3.115211e-03,3.150437e-03,3.336744e-03,3.474663e-03,3.507646e-03,3.663870e-03,3.776006e-03,3.806148e-03,3.935201e-03,4.024872e-03,4.051736e-03,4.156439e-03,4.226691e-03,4.249971e-03,4.332969e-03,4.386549e-03,4.406043e-03,4.469779e-03,4.509137e-03,4.524733e-03,4.571441e-03,4.598750e-03,4.610408e-03,4.642119e-03,4.659297e-03,4.667033e-03,4.685588e-03,4.694318e-03,4.698199e-03,4.705260e-03,4.707016e-03,4.707145e-03,4.704210e-03,4.700276e-03,4.696791e-03,4.685206e-03,4.676699e-03,4.669759e-03,4.650734e-03,4.638619e-03,4.628402e-03,4.603021e-03,4.588132e-03,4.574831e-03,4.544061e-03,4.527114e-03,4.510929e-03,4.475639e-03,4.457244e-03,4.438382e-03,4.399341e-03,4.380019e-03,4.358689e-03,4.316585e-03,4.296773e-03,4.273183e-03,4.228627e-03,4.208691e-03,4.183051e-03,4.136581e-03,4.116827e-03,4.089338e-03,4.041434e-03,4.022110e-03,3.992972e-03,3.944053e-03,3.925363e-03,3.894768e-03,3.845204e-03,3.827308e-03,3.795442e-03,3.745556e-03,3.728580e-03,3.695619e-03,3.645695e-03,3.629732e-03,3.595845e-03,3.546127e-03,3.531246e-03,3.496594e-03,3.447294e-03,3.433539e-03,3.398274e-03,3.349574e-03,3.336970e-03,3.301234e-03,3.253290e-03,3.241846e-03,3.205774e-03,3.158717e-03,3.148429e-03,3.112145e-03,3.066084e-03,3.056935e-03,3.020557e-03,2.975583e-03,2.967548e-03,2.931182e-03,2.887370e-03,2.880416e-03,2.844162e-03,2.801571e-03,2.795658e-03,2.759607e-03,2.718282e-03,2.713366e-03,2.677603e-03,2.637578e-03,2.633612e-03,2.598213e-03,2.559512e-03,2.556444e-03,2.521478e-03,2.484116e-03,2.481895e-03,2.447425e-03,2.411407e-03,2.409980e-03,2.376062e-03,2.341389e-03,2.340703e-03,2.307386e-03,2.274052e-03,2.210008e-03,2.148543e-03,2.089619e-03,2.033194e-03,1.979218e-03,1.927640e-03,1.878403e-03,1.831446e-03,1.786708e-03,1.744124e-03,1.703630e-03,1.665160e-03,1.628647e-03,1.594024e-03,1.561226e-03,1.530185e-03,1.500837e-03,1.473118e-03,1.446964e-03,1.422312e-03,1.399101e-03,1.377273e-03,1.356767e-03,1.337528e-03,1.319501e-03,1.302630e-03,1.286865e-03,1.272155e-03,1.258450e-03,1.245702e-03,1.233868e-03,1.222901e-03,1.212759e-03,1.203401e-03,1.194787e-03,1.186880e-03,1.179642e-03,1.173037e-03,1.167033e-03,1.161595e-03,1.156694e-03,1.152298e-03,1.148380e-03,1.144911e-03,1.141864e-03,1.139216e-03,1.136941e-03,1.135016e-03,1.133420e-03
0.000000e+00,6.117051e-10,9.477322e-09,9.909488e-09,6.178664e-08,2.030470e-07,2.113829e-07,4.756982e-07,7.800158e-07,7.999188e-07,1.127505e-06,1.414486e-06,1.438639e-06,1.729366e-06,1.973441e-06,1.999555e-06,2.249949e-06,2.454663e-06,2.481483e-06,2.695120e-06,2.865261e-06,2.891812e-06,3.072493e-06,3.212552e-06,3.238064e-06,3.389397e-06,3.503451e-06,3.527325e-06,3.652644e-06,3.744333e-06,3.766114e-06,3.868455e-06,3.940996e-06,3.960351e-06,4.042449e-06,4.098669e-06,4.115362e-06,4.179672e-06,4.222044e-06,4.235924e-06,4.284637e-06,4.315317e-06,4.326299e-06,4.361372e-06,4.382235e-06,4.390289e-06,4.413462e-06,4.426137e-06,4.431278e-06,4.444100e-06,4.449995e-06,4.452272e-06,4.456119e-06,4.456452e-06,4.455944e-06,4.452036e-06,4.447857e-06,4.444664e-06,4.434082e-06,4.426293e-06,4.420530e-06,4.404234e-06,4.393608e-06,4.385404e-06,4.364241e-06,4.351440e-06,4.340931e-06,4.315650e-06,4.301238e-06,4.288564e-06,4.259828e-06,4.244281e-06,4.229587e-06,4.197979e-06,4.181702e-06,4.165131e-06,4.131165e-06,4.114497e-06,4.096193e-06,4.060321e-06,4.043545e-06,4.023649e-06,3.986268e-06,3.969619e-06,3.948266e-06,3.909725e-06,3.893396e-06,3.870721e-06,3.831324e-06,3.815470e-06,3.791601e-06,3.751614e-06,3.736363e-06,3.711422e-06,3.671077e-06,3.656526e-06,3.630631e-06,3.590130e-06,3.576354e-06,3.549617e-06,3.509133e-06,3.496191e-06,3.468717e-06,3.428401e-06,3.416331e-06,3.388220e-06,3.348202e-06,3.337030e-06,3.308376e-06,3.268766e-06,3.258506e-06,3.229397e-06,3.190290e-06,3.180945e-06,3.151465e-06,3.112939e-06,3.104506e-06,3.074731e-06,3.036854e-06,3.029319e-06,2.999322e-06,2.962149e-06,2.955496e-06,2.925345e-06,2.888920e-06,2.883128e-06,2.852883e-06,2.817244e-06,2.812286e-06,2.782008e-06,2.747182e-06,2.743031e-06,2.712771e-06,2.678781e-06,2.675405e-06,2.645215e-06,2.612076e-06,2.609443e-06,2.579367e-06,2.547090e-06,2.545168e-06,2.515248e-06,2.483840e-06,2.482592e-06,2.452867e-06,2.422330e-06,2.421724e-06,2.392228e-06,2.362561e-06,2.305098e-06,2.249323e-06,2.195221e-06,2.142772e-06,2.091954e-06,2.042742e-06,1.995109e-06,1.949025e-06,1.904461e-06,1.861384e-06,1.819763e-06,1.779563e-06,1.740752e-06,1.703294e-06,1.667157e-06,1.632306e-06,1.598708e-06,1.566327e-06,1.535132e-06,1.505089e-06,1.476164e-06,1.448327e-06,1.421545e-06,1.395787e-06,1.371022e-06,1.347222e-06,1.324355e-06,1.302394e-06,1.281311e-06,1.261077e-06,1.241667e-06,1.223055e-06,1.205214e-06,1.188120e-06,1.171749e-06,1.156077e-06,1.141082e-06,1.126741e-06,1.113032e-06,1.099934e-06,1.087428e-06,1.075492e-06,1.064107e-06,1.053255e-06,1.042917e-06,1.033076e-06,1.023715e-06,1.014815e-06,1.006362e-06
0.000000e+00,4.221501e-10,5.614246e-09,5.859321e-09,3.512517e-08,1.170271e-07,1.219487e-07,2.812872e-07,4.684781e-07,4.807314e-07,6.810065e-07,8.530080e-07,8.673018e-07,1.036858e-06,1.175364e-06,1.189959e-06,1.327555e-06,1.436660e-06,1.450712e-06,1.560484e-06,1.644954e-06,1.657881e-06,1.743856e-06,1.807908e-06,1.819308e-06,1.885078e-06,1.932337e-06,1.941950e-06,1.990654e-06,2.024196e-06,2.031872e-06,2.066238e-06,2.088666e-06,2.094340e-06,2.116721e-06,2.130215e-06,2.133884e-06,2.146296e-06,2.152675e-06,2.154383e-06,2.158532e-06,2.159287e-06,2.159110e-06,2.156465e-06,2.152862e-06,2.150906e-06,2.142722e-06,2.135790e-06,2.132173e-06,2.119501e-06,2.110085e-06,2.104931e-06,2.088666e-06,2.077454e-06,2.070894e-06,2.051789e-06,2.039343e-06,2.031508e-06,2.010198e-06,1.996973e-06,1.987991e-06,1.965011e-06,1.951373e-06,1.941369e-06,1.917167e-06,1.903405e-06,1.892499e-06,1.867450e-06,1.853794e-06,1.842099e-06,1.816517e-06,1.803145e-06,1.790769e-06,1.764913e-06,1.751961e-06,1.739003e-06,1.713087e-06,1.700659e-06,1.687210e-06,1.661411e-06,1.649580e-06,1.635727e-06,1.610189e-06,1.599006e-06,1.584826e-06,1.559665e-06,1.549163e-06,1.534728e-06,1.510037e-06,1.500233e-06,1.485609e-06,1.461461e-06,1.452361e-06,1.437606e-06,1.414058e-06,1.405658e-06,1.390827e-06,1.367921e-06,1.360209e-06,1.345350e-06,1.323118e-06,1.316077e-06,1.301233e-06,1.279697e-06,1.273305e-06,1.258514e-06,1.237687e-06,1.231919e-06,1.217217e-06,1.197105e-06,1.191935e-06,1.177352e-06,1.157957e-06,1.153355e-06,1.138918e-06,1.120236e-06,1.116173e-06,1.101907e-06,1.083930e-06,1.080376e-06,1.066301e-06,1.049019e-06,1.045945e-06,1.032080e-06,1.015480e-06,1.012855e-06,9.992154e-07,9.832829e-07,9.810787e-07,9.676783e-07,9.523973e-07,9.505851e-07,9.374356e-07,9.227887e-07,9.213411e-07,9.084521e-07,8.944213e-07,8.933119e-07,8.806915e-07,8.672580e-07,8.664613e-07,8.541162e-07,8.412612e-07,8.407529e-07,8.286882e-07,8.163924e-07,8.161493e-07,8.043691e-07,7.926135e-07,7.701083e-07,7.485970e-07,7.280433e-07,7.084117e-07,6.896671e-07,6.717754e-07,6.547035e-07,6.384188e-07,6.228900e-07,6.080866e-07,5.939791e-07,5.805390e-07,5.677386e-07,5.555514e-07,5.439517e-07,5.329147e-07,5.224167e-07,5.124346e-07,5.029465e-07,4.939310e-07,4.853679e-07,4.772375e-07,4.695210e-07,4.622003e-07,4.552581e-07,4.486777e-07,4.424432e-07,4.365392e-07,4.309511e-07,4.256646e-07,4.206665e-07,4.159436e-07,4.114836e-07,4.072745e-07,4.033050e-07,3.995642e-07,3.960415e-07,3.927270e-07,3.896110e-07,3.866844e-07,3.839383e-07,3.813643e-07,3.789544e-07,3.767008e-07,3.745960e-07,3.726331e-07,3.708053e-07,3.691060e-07,3.675290e-07
0.000000e+00,6.993181e-10,1.580051e-08,1.658832e-08,1.093070e-07,3.032811e-07,3.125589e-07,5.475838e-07,7.598926e-07,7.730029e-07,9.833772e-07,1.163547e-06,1.178623e-06,1.359330e-06,1.510099e-06,1.526180e-06,1.679872e-06,1.804789e-06,1.821101e-06,1.950556e-06,2.052979e-06,2.068904e-06,2.176795e-06,2.259799e-06,2.274851e-06,2.363666e-06,2.429997e-06,2.443807e-06,2.515814e-06,2.567909e-06,2.580200e-06,2.637452e-06,2.677449e-06,2.688024e-06,2.732352e-06,2.762117e-06,2.770844e-06,2.803887e-06,2.825047e-06,2.831847e-06,2.855066e-06,2.869031e-06,2.873869e-06,2.888561e-06,2.896555e-06,2.899431e-06,2.906749e-06,2.909828e-06,2.910772e-06,2.911738e-06,2.910811e-06,2.909873e-06,2.905390e-06,2.901239e-06,2.898488e-06,2.889356e-06,2.882651e-06,2.878169e-06,2.865094e-06,2.856407e-06,2.850285e-06,2.833889e-06,2.823706e-06,2.816043e-06,2.796875e-06,2.785608e-06,2.776505e-06,2.755047e-06,2.743044e-06,2.732606e-06,2.709281e-06,2.696834e-06,2.685165e-06,2.660344e-06,2.647695e-06,2.634900e-06,2.608908e-06,2.596258e-06,2.582439e-06,2.555558e-06,2.543073e-06,2.528329e-06,2.500806e-06,2.488618e-06,2.473046e-06,2.445096e-06,2.433312e-06,2.417004e-06,2.388812e-06,2.377516e-06,2.360561e-06,2.332286e-06,2.321544e-06,2.304024e-06,2.275805e-06,2.265663e-06,2.247659e-06,2.219613e-06,2.210104e-06,2.191692e-06,2.163918e-06,2.155066e-06,2.136314e-06,2.108898e-06,2.100713e-06,2.081689e-06,2.054702e-06,2.047187e-06,2.027951e-06,2.001452e-06,1.994604e-06,1.975214e-06,1.949251e-06,1.943061e-06,1.923570e-06,1.898182e-06,1.892637e-06,1.873094e-06,1.848312e-06,1.843393e-06,1.823843e-06,1.799692e-06,1.795379e-06,1.775864e-06,1.752362e-06,1.748633e-06,1.729190e-06,1.706350e-06,1.703179e-06,1.683844e-06,1.661673e-06,1.659035e-06,1.639839e-06,1.618342e-06,1.616211e-06,1.597182e-06,1.576359e-06,1.574708e-06,1.555873e-06,1.535722e-06,1.534524e-06,1.515906e-06,1.496422e-06,1.495650e-06,1.477269e-06,1.458446e-06,1.458072e-06,1.439949e-06,1.421776e-06,1.386741e-06,1.352945e-06,1.320364e-06,1.288972e-06,1.258742e-06,1.229646e-06,1.201655e-06,1.174740e-06,1.148870e-06,1.124016e-06,1.100146e-06,1.077233e-06,1.055244e-06,1.034152e-06,1.013926e-06,9.945385e-07,9.759607e-07,9.581652e-07,9.411247e-07,9.248127e-07,9.092036e-07,8.942720e-07,8.799933e-07,8.663438e-07,8.533002e-07,8.408399e-07,8.289411e-07,8.175825e-07,8.067437e-07,7.964047e-07,7.865463e-07,7.771498e-07,7.681971e-07,7.596710e-07,7.515544e-07,7.438313e-07,7.364858e-07,7.295029e-07,7.228679e-07,7.165667e-07,7.105857e-07,7.049118e-07,6.995324e-07,6.944353e-07,6.896087e-07,6.850413e-07,6.807223e-07,6.766411e-07,6.727877e-07
0.000000e+00,5.276547e-10,3.755936e-08,4.012110e-08,6.318317e-07,4.411958e-06,4.730612e-06,2.135048e-05,6.268630e-05,6.654891e-05,1.589406e-04,2.991776e-04,3.141800e-04,5.419266e-04,8.114918e-04,8.451698e-04,1.220934e-03,1.605631e-03,1.661604e-03,2.156405e-03,2.615672e-03,2.692774e-03,3.257514e-03,3.744329e-03,3.837682e-03,4.421229e-03,4.894670e-03,4.997404e-03,5.556993e-03,5.987565e-03,6.092403e-03,6.597645e-03,6.967864e-03,7.068247e-03,7.501112e-03,7.803653e-03,7.894359e-03,8.247150e-03,8.482157e-03,8.559512e-03,8.832178e-03,9.004621e-03,9.066432e-03,9.263979e-03,9.381484e-03,9.426821e-03,9.557164e-03,9.628414e-03,9.657327e-03,9.729678e-03,9.763343e-03,9.776578e-03,9.800339e-03,9.804436e-03,9.803189e-03,9.787254e-03,9.768825e-03,9.754539e-03,9.706916e-03,9.671916e-03,9.646125e-03,9.573770e-03,9.527089e-03,9.491320e-03,9.400115e-03,9.345675e-03,9.301372e-03,9.196191e-03,9.137069e-03,9.085562e-03,8.970375e-03,8.908943e-03,8.851425e-03,8.729424e-03,8.667480e-03,8.605004e-03,8.478728e-03,8.417605e-03,8.351094e-03,8.222544e-03,8.163212e-03,8.093466e-03,7.964203e-03,7.907348e-03,7.835058e-03,7.706296e-03,7.652386e-03,7.578148e-03,7.450816e-03,7.400154e-03,7.324480e-03,7.199292e-03,7.152051e-03,7.075387e-03,6.952879e-03,6.909138e-03,6.831868e-03,6.712439e-03,6.672206e-03,6.594663e-03,6.478601e-03,6.441831e-03,6.364303e-03,6.251812e-03,6.218423e-03,6.141162e-03,6.032379e-03,6.002258e-03,5.925485e-03,5.820493e-03,5.793509e-03,5.717415e-03,5.616255e-03,5.592262e-03,5.517016e-03,5.419695e-03,5.398541e-03,5.324288e-03,5.230786e-03,5.212314e-03,5.139181e-03,5.049459e-03,5.033508e-03,4.961606e-03,4.875607e-03,4.862018e-03,4.791443e-03,4.709095e-03,4.697710e-03,4.628545e-03,4.549769e-03,4.540435e-03,4.472748e-03,4.397457e-03,4.390023e-03,4.323874e-03,4.251975e-03,4.246295e-03,4.181735e-03,4.113129e-03,4.109064e-03,4.046132e-03,3.980720e-03,3.978136e-03,3.916865e-03,3.854544e-03,3.853313e-03,3.793729e-03,3.734396e-03,3.621185e-03,3.513482e-03,3.411088e-03,3.313809e-03,3.221453e-03,3.133833e-03,3.050765e-03,2.972069e-03,2.897571e-03,2.827101e-03,2.760494e-03,2.697591e-03,2.638235e-03,2.582278e-03,2.529574e-03,2.479984e-03,2.433371e-03,2.389606e-03,2.348562e-03,2.310118e-03,2.274157e-03,2.240565e-03,2.209234e-03,2.180059e-03,2.152939e-03,2.127777e-03,2.104479e-03,2.082954e-03,2.063117e-03,2.044883e-03,2.028171e-03,2.012905e-03,1.999010e-03,1.986413e-03,1.975047e-03,1.964843e-03,1.955740e-03,1.947674e-03,1.940586e-03,1.934421e-03,1.929122e-03,1.924639e-03,1.920919e-03,1.917915e-03,1.915580e-03,1.913869e-03,1.912739e-03,1.912150e-03,1.912062e-03
0.000000e+00,1.035182e-08,2.329755e-07,2.446817e-07,1.855572e-06,7.100379e-06,7.434051e-06,1.899463e-05,3.401735e-05,3.504032e-05,5.220604e-05,6.743322e-05,6.871517e-05,8.411410e-05,9.697448e-05,9.834588e-05,1.114455e-04,1.220814e-04,1.234695e-04,1.344782e-04,1.431793e-04,1.445314e-04,1.536869e-04,1.607241e-04,1.619996e-04,1.695206e-04,1.751322e-04,1.763000e-04,1.823860e-04,1.867862e-04,1.878241e-04,1.926576e-04,1.960343e-04,1.969272e-04,2.006713e-04,2.031876e-04,2.039260e-04,2.067254e-04,2.085226e-04,2.091013e-04,2.110838e-04,2.122836e-04,2.127012e-04,2.139798e-04,2.146866e-04,2.149444e-04,2.156184e-04,2.159219e-04,2.160235e-04,2.161803e-04,2.161570e-04,2.161077e-04,2.158238e-04,2.155390e-04,2.153454e-04,2.146881e-04,2.141973e-04,2.138667e-04,2.128950e-04,2.122451e-04,2.117857e-04,2.105509e-04,2.097817e-04,2.092019e-04,2.077491e-04,2.068938e-04,2.062023e-04,2.045707e-04,2.036574e-04,2.028628e-04,2.010865e-04,2.001383e-04,1.992493e-04,1.973581e-04,1.963943e-04,1.954193e-04,1.934390e-04,1.924753e-04,1.914226e-04,1.893754e-04,1.884247e-04,1.873022e-04,1.852075e-04,1.842800e-04,1.830953e-04,1.809697e-04,1.800737e-04,1.788340e-04,1.766917e-04,1.758336e-04,1.745457e-04,1.723990e-04,1.715836e-04,1.702540e-04,1.681133e-04,1.673441e-04,1.659789e-04,1.638530e-04,1.631325e-04,1.617374e-04,1.596338e-04,1.589635e-04,1.575438e-04,1.554688e-04,1.548494e-04,1.534100e-04,1.513688e-04,1.508005e-04,1.493461e-04,1.473429e-04,1.468254e-04,1.453601e-04,1.433984e-04,1.429309e-04,1.414587e-04,1.395413e-04,1.391226e-04,1.376470e-04,1.357762e-04,1.354049e-04,1.339294e-04,1.321067e-04,1.317813e-04,1.303087e-04,1.285354e-04,1.282540e-04,1.267872e-04,1.250642e-04,1.248250e-04,1.233664e-04,1.216940e-04,1.214951e-04,1.200471e-04,1.184256e-04,1.182648e-04,1.168295e-04,1.152588e-04,1.151342e-04,1.137133e-04,1.121932e-04,1.121028e-04,1.106981e-04,1.092280e-04,1.091697e-04,1.077827e-04,1.063621e-04,1.063340e-04,1.049660e-04,1.035942e-04,1.009489e-04,9.839625e-05,9.593446e-05,9.356156e-05,9.127547e-05,8.907409e-05,8.695524e-05,8.491674e-05,8.295636e-05,8.107189e-05,7.926111e-05,7.752181e-05,7.585181e-05,7.424896e-05,7.271112e-05,7.123621e-05,6.982216e-05,6.846697e-05,6.716867e-05,6.592533e-05,6.473508e-05,6.359608e-05,6.250655e-05,6.146475e-05,6.046900e-05,5.951766e-05,5.860914e-05,5.774188e-05,5.691439e-05,5.612523e-05,5.537297e-05,5.465625e-05,5.397376e-05,5.332422e-05,5.270638e-05,5.211904e-05,5.156106e-05,5.103131e-05,5.052870e-05,5.005219e-05,4.960076e-05,4.917343e-05,4.876927e-05,4.838735e-05,4.802680e-05,4.768676e-05,4.736640e-05,4.706493e-05,4.678159e-05
0.000000e+00,3.166291e-09,5.059964e-08,5.295717e-08,3.503298e-07,1.208689e-06,1.260105e-06,2.882695e-06,4.697571e-06,4.814565e-06,6.721487e-06,8.371001e-06,8.509099e-06,1.016278e-05,1.153877e-05,1.168529e-05,1.308310e-05,1.421580e-05,1.436348e-05,1.553361e-05,1.645687e-05,1.660019e-05,1.756958e-05,1.831338e-05,1.844808e-05,1.924167e-05,1.983305e-05,1.995604e-05,2.059655e-05,2.105920e-05,2.116827e-05,2.167595e-05,2.203038e-05,2.212407e-05,2.251682e-05,2.278071e-05,2.285813e-05,2.315169e-05,2.334021e-05,2.340094e-05,2.360911e-05,2.373526e-05,2.377923e-05,2.391410e-05,2.398896e-05,2.401637e-05,2.408850e-05,2.412152e-05,2.413281e-05,2.415143e-05,2.415063e-05,2.414637e-05,2.411952e-05,2.409170e-05,2.407261e-05,2.400729e-05,2.395821e-05,2.392507e-05,2.382738e-05,2.376189e-05,2.371554e-05,2.359079e-05,2.351297e-05,2.345427e-05,2.330706e-05,2.322032e-05,2.315015e-05,2.298448e-05,2.289168e-05,2.281090e-05,2.263024e-05,2.253374e-05,2.244323e-05,2.225056e-05,2.215232e-05,2.205290e-05,2.185083e-05,2.175245e-05,2.164493e-05,2.143570e-05,2.133847e-05,2.122362e-05,2.100915e-05,2.091413e-05,2.079270e-05,2.057465e-05,2.048267e-05,2.035535e-05,2.013513e-05,2.004685e-05,1.991429e-05,1.969313e-05,1.960905e-05,1.947188e-05,1.925080e-05,1.917129e-05,1.903009e-05,1.880997e-05,1.873530e-05,1.859062e-05,1.837220e-05,1.830253e-05,1.815488e-05,1.793879e-05,1.787422e-05,1.772407e-05,1.751083e-05,1.745140e-05,1.729918e-05,1.708922e-05,1.703492e-05,1.688104e-05,1.667472e-05,1.662549e-05,1.647033e-05,1.626793e-05,1.622368e-05,1.606759e-05,1.586934e-05,1.582995e-05,1.567324e-05,1.547933e-05,1.544466e-05,1.528764e-05,1.509820e-05,1.506810e-05,1.491103e-05,1.472615e-05,1.470045e-05,1.454358e-05,1.436334e-05,1.434187e-05,1.418543e-05,1.400986e-05,1.399243e-05,1.383663e-05,1.366575e-05,1.365218e-05,1.349721e-05,1.333101e-05,1.332111e-05,1.316715e-05,1.300561e-05,1.299920e-05,1.284639e-05,1.268948e-05,1.268637e-05,1.253487e-05,1.238253e-05,1.208759e-05,1.180142e-05,1.152387e-05,1.125480e-05,1.099405e-05,1.074144e-05,1.049682e-05,1.025999e-05,1.003079e-05,9.809033e-06,9.594533e-06,9.387111e-06,9.186585e-06,8.992776e-06,8.805504e-06,8.624593e-06,8.449869e-06,8.281160e-06,8.118298e-06,7.961116e-06,7.809452e-06,7.663147e-06,7.522044e-06,7.385993e-06,7.254842e-06,7.128448e-06,7.006668e-06,6.889363e-06,6.776400e-06,6.667645e-06,6.562972e-06,6.462255e-06,6.365372e-06,6.272206e-06,6.182642e-06,6.096566e-06,6.013871e-06,5.934451e-06,5.858203e-06,5.785027e-06,5.714825e-06,5.647503e-06,5.582970e-06,5.521136e-06,5.461914e-06,5.405220e-06,5.350972e-06,5.299091e-06,5.249500e-06
0.000000e+00,6.262365e-10,9.823378e-09,1.028103e-08,6.745387e-08,2.243567e-07,2.333484e-07,4.977181e-07,7.698401e-07,7.870898e-07,1.067565e-06,1.311560e-06,1.332102e-06,1.579785e-06,1.788574e-06,1.810967e-06,2.026286e-06,2.203190e-06,2.226428e-06,2.412095e-06,2.560723e-06,2.583984e-06,2.742781e-06,2.866547e-06,2.889160e-06,3.023778e-06,3.125833e-06,3.147268e-06,3.260244e-06,3.343450e-06,3.363293e-06,3.456978e-06,3.523899e-06,3.541837e-06,3.618383e-06,3.671298e-06,3.687102e-06,3.748457e-06,3.789379e-06,3.802889e-06,3.850815e-06,3.881516e-06,3.892630e-06,3.928710e-06,3.950744e-06,3.959409e-06,3.985065e-06,3.999793e-06,4.005995e-06,4.022500e-06,4.031109e-06,4.034866e-06,4.043362e-06,4.046887e-06,4.048243e-06,4.049750e-06,4.049089e-06,4.048109e-06,4.043537e-06,4.039471e-06,4.036236e-06,4.026397e-06,4.019600e-06,4.014203e-06,3.999823e-06,3.990876e-06,3.983419e-06,3.965144e-06,3.954547e-06,3.945139e-06,3.923541e-06,3.911723e-06,3.900478e-06,3.876068e-06,3.863394e-06,3.850426e-06,3.823657e-06,3.810438e-06,3.795863e-06,3.767138e-06,3.753636e-06,3.737570e-06,3.707243e-06,3.693680e-06,3.676237e-06,3.644623e-06,3.631182e-06,3.612473e-06,3.579850e-06,3.566683e-06,3.546817e-06,3.513431e-06,3.500663e-06,3.479745e-06,3.445810e-06,3.433542e-06,3.411673e-06,3.377378e-06,3.365690e-06,3.342968e-06,3.308479e-06,3.297432e-06,3.273949e-06,3.239411e-06,3.229053e-06,3.204897e-06,3.170436e-06,3.160800e-06,3.136055e-06,3.101780e-06,3.092889e-06,3.067634e-06,3.033640e-06,3.025506e-06,2.999816e-06,2.966183e-06,2.958811e-06,2.932757e-06,2.899555e-06,2.892943e-06,2.866591e-06,2.833879e-06,2.828018e-06,2.801431e-06,2.769258e-06,2.764137e-06,2.737371e-06,2.705780e-06,2.701381e-06,2.674492e-06,2.643516e-06,2.639820e-06,2.612858e-06,2.582524e-06,2.579508e-06,2.552520e-06,2.522851e-06,2.520492e-06,2.493521e-06,2.464533e-06,2.462805e-06,2.435891e-06,2.407598e-06,2.406473e-06,2.379655e-06,2.352064e-06,2.351516e-06,2.324827e-06,2.297944e-06,2.245763e-06,2.194973e-06,2.145570e-06,2.097547e-06,2.050892e-06,2.005589e-06,1.961624e-06,1.918975e-06,1.877624e-06,1.837547e-06,1.798720e-06,1.761120e-06,1.724721e-06,1.689496e-06,1.655420e-06,1.622466e-06,1.590607e-06,1.559816e-06,1.530066e-06,1.501329e-06,1.473580e-06,1.446792e-06,1.420939e-06,1.395994e-06,1.371933e-06,1.348729e-06,1.326359e-06,1.304799e-06,1.284024e-06,1.264010e-06,1.244737e-06,1.226180e-06,1.208319e-06,1.191132e-06,1.174597e-06,1.158696e-06,1.143408e-06,1.128714e-06,1.114596e-06,1.101034e-06,1.088011e-06,1.075510e-06,1.063514e-06,1.052006e-06,1.040971e-06,1.030393e-06,1.020258e-06,1.010550e-06,1.001255e-06
0.000000e+00,1.311537e-09,1.564666e-08,1.630378e-08,9.488114e-08,3.233952e-07,3.374016e-07,7.965501e-07,1.336191e-06,1.371397e-06,1.945598e-06,2.437482e-06,2.478312e-06,2.962037e-06,3.356214e-06,3.397693e-06,3.788130e-06,4.096893e-06,4.136600e-06,4.446305e-06,4.683973e-06,4.720289e-06,4.961351e-06,5.140284e-06,5.172065e-06,5.354956e-06,5.485826e-06,5.512384e-06,5.646543e-06,5.738491e-06,5.759470e-06,5.853047e-06,5.913729e-06,5.929014e-06,5.988971e-06,6.024744e-06,6.034394e-06,6.066638e-06,6.082750e-06,6.086949e-06,6.096468e-06,6.097232e-06,6.096244e-06,6.087238e-06,6.076183e-06,6.070330e-06,6.046326e-06,6.026329e-06,6.015964e-06,5.979920e-06,5.953320e-06,5.938811e-06,5.893203e-06,5.861892e-06,5.843611e-06,5.790508e-06,5.756011e-06,5.734324e-06,5.675453e-06,5.638992e-06,5.614254e-06,5.551055e-06,5.513601e-06,5.486153e-06,5.419821e-06,5.382144e-06,5.352307e-06,5.283835e-06,5.246534e-06,5.214610e-06,5.144818e-06,5.108359e-06,5.074628e-06,5.004193e-06,4.968928e-06,4.933652e-06,4.863129e-06,4.829319e-06,4.792739e-06,4.722582e-06,4.690414e-06,4.652750e-06,4.583327e-06,4.552929e-06,4.514386e-06,4.445992e-06,4.417444e-06,4.378205e-06,4.311077e-06,4.284421e-06,4.244655e-06,4.178978e-06,4.154224e-06,4.114084e-06,4.050002e-06,4.027136e-06,3.986759e-06,3.924380e-06,3.903371e-06,3.862883e-06,3.802284e-06,3.783085e-06,3.742598e-06,3.683834e-06,3.666386e-06,3.626002e-06,3.569106e-06,3.553344e-06,3.513152e-06,3.458142e-06,3.443994e-06,3.404076e-06,3.350953e-06,3.338344e-06,3.298772e-06,3.247528e-06,3.236380e-06,3.197217e-06,3.147834e-06,3.138068e-06,3.099373e-06,3.051825e-06,3.043363e-06,3.005183e-06,2.959438e-06,2.952202e-06,2.914582e-06,2.870605e-06,2.864517e-06,2.827496e-06,2.785245e-06,2.780232e-06,2.743841e-06,2.703274e-06,2.699263e-06,2.663531e-06,2.624602e-06,2.621522e-06,2.586474e-06,2.549136e-06,2.546921e-06,2.512576e-06,2.476782e-06,2.475366e-06,2.441742e-06,2.407444e-06,2.406765e-06,2.373875e-06,2.341023e-06,2.278047e-06,2.217743e-06,2.160020e-06,2.104787e-06,2.051954e-06,2.001435e-06,1.953142e-06,1.906994e-06,1.862909e-06,1.820807e-06,1.780613e-06,1.742253e-06,1.705653e-06,1.670745e-06,1.637460e-06,1.605735e-06,1.575505e-06,1.546711e-06,1.519293e-06,1.493196e-06,1.468364e-06,1.444746e-06,1.422291e-06,1.400951e-06,1.380678e-06,1.361428e-06,1.343157e-06,1.325825e-06,1.309390e-06,1.293815e-06,1.279063e-06,1.265098e-06,1.251885e-06,1.239394e-06,1.227591e-06,1.216446e-06,1.205932e-06,1.196019e-06,1.186682e-06,1.177894e-06,1.169631e-06,1.161869e-06,1.154586e-06,1.147760e-06,1.141370e-06,1.135396e-06,1.129819e-06,1.124621e-06,1.119783e-06
0.000000e+00,7.862342e-09,1.116816e-07,1.164177e-07,6.740174e-07,2.325613e-06,2.430180e-06,6.196138e-06,1.178531e-05,1.220161e-05,1.988418e-05,2.762206e-05,2.830232e-05,3.670989e-05,4.397320e-05,4.475772e-05,5.233860e-05,5.860847e-05,5.943458e-05,6.605508e-05,7.138165e-05,7.221755e-05,7.794185e-05,8.242656e-05,8.324837e-05,8.815736e-05,9.190000e-05,9.268862e-05,9.686131e-05,9.995376e-05,1.006939e-04,1.042043e-04,1.067296e-04,1.074094e-04,1.103256e-04,1.123583e-04,1.129684e-04,1.153528e-04,1.169592e-04,1.174929e-04,1.194024e-04,1.206416e-04,1.210940e-04,1.225802e-04,1.235046e-04,1.238727e-04,1.249826e-04,1.256385e-04,1.259206e-04,1.266968e-04,1.271251e-04,1.273208e-04,1.278018e-04,1.280387e-04,1.281486e-04,1.283693e-04,1.284463e-04,1.284719e-04,1.284638e-04,1.284087e-04,1.283521e-04,1.281435e-04,1.279807e-04,1.278445e-04,1.274612e-04,1.272118e-04,1.269992e-04,1.264639e-04,1.261463e-04,1.258607e-04,1.251945e-04,1.248247e-04,1.244699e-04,1.236913e-04,1.232830e-04,1.228629e-04,1.219887e-04,1.215539e-04,1.210724e-04,1.201175e-04,1.196663e-04,1.191275e-04,1.181055e-04,1.176464e-04,1.170544e-04,1.159771e-04,1.155175e-04,1.148764e-04,1.137546e-04,1.133006e-04,1.126143e-04,1.114576e-04,1.110142e-04,1.102866e-04,1.091035e-04,1.086749e-04,1.079100e-04,1.067078e-04,1.062975e-04,1.054988e-04,1.042844e-04,1.038949e-04,1.030661e-04,1.018453e-04,1.014788e-04,1.006233e-04,9.940128e-05,9.905928e-05,9.818040e-05,9.696170e-05,9.664533e-05,9.574619e-05,9.453479e-05,9.424477e-05,9.332837e-05,9.212772e-05,9.186443e-05,9.093359e-05,8.974668e-05,8.951023e-05,8.856764e-05,8.739705e-05,8.718729e-05,8.623548e-05,8.508342e-05,8.490000e-05,8.394134e-05,8.280967e-05,8.265209e-05,8.168881e-05,8.057911e-05,8.044671e-05,7.948089e-05,7.839445e-05,7.828647e-05,7.732006e-05,7.625795e-05,7.617352e-05,7.520834e-05,7.417140e-05,7.410959e-05,7.314731e-05,7.213621e-05,7.209604e-05,7.113822e-05,7.015344e-05,7.013388e-05,6.918196e-05,6.822385e-05,6.636642e-05,6.456182e-05,6.281008e-05,6.111105e-05,5.946443e-05,5.786977e-05,5.632651e-05,5.483399e-05,5.339147e-05,5.199813e-05,5.065306e-05,4.935534e-05,4.810399e-05,4.689798e-05,4.573629e-05,4.461785e-05,4.354157e-05,4.250639e-05,4.151120e-05,4.055493e-05,3.963647e-05,3.875476e-05,3.790872e-05,3.709730e-05,3.631944e-05,3.557412e-05,3.486032e-05,3.417704e-05,3.352331e-05,3.289817e-05,3.230067e-05,3.172991e-05,3.118499e-05,3.066503e-05,3.016918e-05,2.969661e-05,2.924650e-05,2.881808e-05,2.841057e-05,2.802322e-05,2.765532e-05,2.730616e-05,2.697506e-05,2.666135e-05,2.636439e-05,2.608356e-05,2.581824e-05,2.556787e-05,2.533186e-05
0.000000e+00,1.413435e-09,1.850913e-08,1.929499e-08,1.062587e-07,3.194372e-07,3.314676e-07,6.962088e-07,1.096054e-06,1.121907e-06,1.546041e-06,1.917909e-06,1.949279e-06,2.328017e-06,2.647863e-06,2.682194e-06,3.012571e-06,3.284383e-06,3.320117e-06,3.605858e-06,3.834942e-06,3.870823e-06,4.115959e-06,4.307271e-06,4.342253e-06,4.550685e-06,4.708939e-06,4.742207e-06,4.917731e-06,5.047222e-06,5.078133e-06,5.224254e-06,5.328829e-06,5.356892e-06,5.476810e-06,5.559890e-06,5.584736e-06,5.681363e-06,5.745980e-06,5.767347e-06,5.843316e-06,5.892146e-06,5.909862e-06,5.967552e-06,6.002953e-06,6.016920e-06,6.058476e-06,6.082518e-06,6.092700e-06,6.120051e-06,6.134549e-06,6.140961e-06,6.155842e-06,6.162382e-06,6.165082e-06,6.169049e-06,6.169014e-06,6.168092e-06,6.162541e-06,6.157136e-06,6.152709e-06,6.138889e-06,6.129159e-06,6.121363e-06,6.100394e-06,6.087241e-06,6.076232e-06,6.049112e-06,6.033317e-06,6.019258e-06,5.986879e-06,5.969111e-06,5.952175e-06,5.915333e-06,5.896166e-06,5.876530e-06,5.835933e-06,5.815855e-06,5.793699e-06,5.749977e-06,5.729404e-06,5.704907e-06,5.658620e-06,5.637901e-06,5.611240e-06,5.562885e-06,5.542312e-06,5.513664e-06,5.463681e-06,5.443496e-06,5.413031e-06,5.361808e-06,5.342211e-06,5.310097e-06,5.257977e-06,5.239129e-06,5.205525e-06,5.152812e-06,5.134842e-06,5.099903e-06,5.046861e-06,5.029869e-06,4.993745e-06,4.940607e-06,4.924670e-06,4.887500e-06,4.834470e-06,4.819642e-06,4.781563e-06,4.728818e-06,4.715136e-06,4.676276e-06,4.623970e-06,4.611456e-06,4.571934e-06,4.520200e-06,4.508862e-06,4.468795e-06,4.417746e-06,4.407581e-06,4.367077e-06,4.316811e-06,4.307807e-06,4.266968e-06,4.217566e-06,4.209704e-06,4.168625e-06,4.120158e-06,4.113411e-06,4.072181e-06,4.024706e-06,4.019044e-06,3.977746e-06,3.931310e-06,3.926696e-06,3.885409e-06,3.840051e-06,3.836446e-06,3.795243e-06,3.750991e-06,3.748354e-06,3.707302e-06,3.664179e-06,3.662466e-06,3.621628e-06,3.579652e-06,3.578818e-06,3.538252e-06,3.497431e-06,3.418319e-06,3.341486e-06,3.266930e-06,3.194641e-06,3.124603e-06,3.056798e-06,2.991199e-06,2.927780e-06,2.866508e-06,2.807350e-06,2.750269e-06,2.695228e-06,2.642187e-06,2.591105e-06,2.541940e-06,2.494650e-06,2.449191e-06,2.405521e-06,2.363597e-06,2.323373e-06,2.284807e-06,2.247856e-06,2.212475e-06,2.178623e-06,2.146258e-06,2.115336e-06,2.085817e-06,2.057661e-06,2.030825e-06,2.005272e-06,1.980962e-06,1.957856e-06,1.935917e-06,1.915109e-06,1.895393e-06,1.876736e-06,1.859101e-06,1.842455e-06,1.826764e-06,1.811995e-06,1.798117e-06,1.785096e-06,1.772904e-06,1.761509e-06,1.750883e-06,1.740995e-06,1.731819e-06,1.723327e-06,1.715491e-06
0.000000e+00,7.622586e-09,2.059609e-07,2.162202e-07,1.650342e-06,7.194134e-06,7.590073e-06,2.430556e-05,5.520375e-05,5.770955e-05,1.070882e-04,1.601317e-04,1.648677e-04,2.237706e-04,2.747400e-04,2.802325e-04,3.330854e-04,3.764115e-04,3.820894e-04,4.273024e-04,4.632647e-04,4.688714e-04,5.069697e-04,5.364204e-04,5.417754e-04,5.734650e-04,5.972465e-04,6.022112e-04,6.281809e-04,6.470662e-04,6.515355e-04,6.724298e-04,6.871153e-04,6.910124e-04,7.074252e-04,7.185311e-04,7.218033e-04,7.342756e-04,7.423503e-04,7.449644e-04,7.539860e-04,7.595112e-04,7.614504e-04,7.674619e-04,7.708587e-04,7.721195e-04,7.755165e-04,7.771517e-04,7.777413e-04,7.788774e-04,7.790694e-04,7.790037e-04,7.781947e-04,7.772188e-04,7.765207e-04,7.740479e-04,7.721412e-04,7.708388e-04,7.669524e-04,7.643186e-04,7.624440e-04,7.573660e-04,7.541792e-04,7.517675e-04,7.456946e-04,7.421030e-04,7.391910e-04,7.322974e-04,7.284263e-04,7.250522e-04,7.174914e-04,7.134463e-04,7.096488e-04,7.015560e-04,6.974252e-04,6.932428e-04,6.847369e-04,6.805933e-04,6.760642e-04,6.672492e-04,6.631528e-04,6.583145e-04,6.492812e-04,6.452806e-04,6.401693e-04,6.309969e-04,6.271307e-04,6.217814e-04,6.125386e-04,6.088372e-04,6.032833e-04,5.940292e-04,5.905157e-04,5.847891e-04,5.755747e-04,5.722659e-04,5.663968e-04,5.572654e-04,5.541730e-04,5.481898e-04,5.391784e-04,5.363096e-04,5.302390e-04,5.213785e-04,5.187368e-04,5.126036e-04,5.039200e-04,5.015057e-04,4.953330e-04,4.868475e-04,4.846584e-04,4.784677e-04,4.701975e-04,4.682293e-04,4.620403e-04,4.539991e-04,4.522458e-04,4.460765e-04,4.382748e-04,4.367292e-04,4.305960e-04,4.230418e-04,4.216953e-04,4.156134e-04,4.083120e-04,4.071556e-04,4.011383e-04,3.940932e-04,3.931171e-04,3.871768e-04,3.803894e-04,3.795836e-04,3.737310e-04,3.672015e-04,3.665557e-04,3.608006e-04,3.545276e-04,3.540313e-04,3.483822e-04,3.423634e-04,3.420062e-04,3.364704e-04,3.307023e-04,3.304742e-04,3.250581e-04,3.195366e-04,3.194274e-04,3.141365e-04,3.088567e-04,2.987518e-04,2.891016e-04,2.798941e-04,2.711170e-04,2.627574e-04,2.548021e-04,2.472376e-04,2.400505e-04,2.332274e-04,2.267548e-04,2.206194e-04,2.148080e-04,2.093079e-04,2.041062e-04,1.991905e-04,1.945486e-04,1.901688e-04,1.860394e-04,1.821494e-04,1.784879e-04,1.750445e-04,1.718090e-04,1.687717e-04,1.659232e-04,1.632544e-04,1.607565e-04,1.584212e-04,1.562403e-04,1.542063e-04,1.523117e-04,1.505494e-04,1.489125e-04,1.473947e-04,1.459896e-04,1.446914e-04,1.434942e-04,1.423928e-04,1.413819e-04,1.404566e-04,1.396121e-04,1.388440e-04,1.381480e-04,1.375200e-04,1.369561e-04,1.364527e-04,1.360061e-04,1.356130e-04,1.352703e-04,1.349749e-04
0.000000e+00,2.653695e-09,3.408091e-08,3.551865e-08,1.976877e-07,6.229881e-07,6.480650e-07,1.455736e-06,2.420373e-06,2.484445e-06,3.547243e-06,4.482302e-06,4.560932e-06,5.505089e-06,6.293238e-06,6.377259e-06,7.179492e-06,7.830134e-06,7.914982e-06,8.587172e-06,9.117252e-06,9.199492e-06,9.755127e-06,1.018046e-05,1.025736e-05,1.070945e-05,1.104495e-05,1.111453e-05,1.147561e-05,1.173473e-05,1.179557e-05,1.207713e-05,1.227177e-05,1.232290e-05,1.253531e-05,1.267587e-05,1.271669e-05,1.286923e-05,1.296474e-05,1.299497e-05,1.309585e-05,1.315412e-05,1.317370e-05,1.323022e-05,1.325796e-05,1.326703e-05,1.328562e-05,1.328858e-05,1.328741e-05,1.327372e-05,1.325682e-05,1.324581e-05,1.320483e-05,1.317224e-05,1.315186e-05,1.308794e-05,1.304323e-05,1.301401e-05,1.293097e-05,1.287712e-05,1.283964e-05,1.274082e-05,1.268035e-05,1.263521e-05,1.252351e-05,1.245853e-05,1.240634e-05,1.228429e-05,1.221656e-05,1.215792e-05,1.202774e-05,1.195870e-05,1.189422e-05,1.175780e-05,1.168863e-05,1.161890e-05,1.147789e-05,1.140957e-05,1.133515e-05,1.119098e-05,1.112427e-05,1.104570e-05,1.089959e-05,1.083511e-05,1.075292e-05,1.060591e-05,1.054413e-05,1.045880e-05,1.031179e-05,1.025306e-05,1.016507e-05,1.001881e-05,9.963384e-06,9.873168e-06,9.728294e-06,9.676353e-06,9.584320e-06,9.441367e-06,9.393016e-06,9.299546e-06,9.158956e-06,9.114243e-06,9.019690e-06,8.881830e-06,8.840756e-06,8.745448e-06,8.610611e-06,8.573141e-06,8.477377e-06,8.345800e-06,8.311867e-06,8.215925e-06,8.087792e-06,8.057304e-06,7.961436e-06,7.836887e-06,7.809731e-06,7.714169e-06,7.593303e-06,7.569354e-06,7.474308e-06,7.357194e-06,7.336315e-06,7.241973e-06,7.128650e-06,7.110695e-06,7.017230e-06,6.907712e-06,6.892532e-06,6.800096e-06,6.694377e-06,6.681818e-06,6.590550e-06,6.488606e-06,6.478515e-06,6.388536e-06,6.290329e-06,6.282552e-06,6.193971e-06,6.099450e-06,6.093836e-06,6.006749e-06,5.915852e-06,5.912254e-06,5.826742e-06,5.739401e-06,5.737672e-06,5.653809e-06,5.569946e-06,5.408920e-06,5.254429e-06,5.106301e-06,4.964360e-06,4.828427e-06,4.698322e-06,4.573863e-06,4.454868e-06,4.341157e-06,4.232550e-06,4.128873e-06,4.029950e-06,3.935613e-06,3.845693e-06,3.760028e-06,3.678458e-06,3.600829e-06,3.526990e-06,3.456794e-06,3.390098e-06,3.326765e-06,3.266661e-06,3.209656e-06,3.155626e-06,3.104450e-06,3.056010e-06,3.010194e-06,2.966893e-06,2.926002e-06,2.887419e-06,2.851048e-06,2.816793e-06,2.784565e-06,2.754277e-06,2.725843e-06,2.699184e-06,2.674222e-06,2.650881e-06,2.629090e-06,2.608780e-06,2.589884e-06,2.572337e-06,2.556080e-06,2.541051e-06,2.527195e-06,2.514456e-06,2.502783e-06,2.492124e-06,2.482432e-06
0.000000e+00,8.669097e-10,4.802578e-08,5.104124e-08,6.526702e-07,4.119116e-06,4.405893e-06,1.928294e-05,5.628590e-05,5.972521e-05,1.400525e-04,2.540946e-04,2.657622e-04,4.321259e-04,6.077613e-04,6.283790e-04,8.423097e-04,1.036529e-03,1.063082e-03,1.282346e-03,1.465215e-03,1.494289e-03,1.695223e-03,1.853930e-03,1.883050e-03,2.056783e-03,2.188530e-03,2.216164e-03,2.361397e-03,2.467712e-03,2.492960e-03,2.611487e-03,2.695346e-03,2.717691e-03,2.812313e-03,2.876938e-03,2.896097e-03,2.969770e-03,3.018192e-03,3.034033e-03,3.089558e-03,3.124483e-03,3.136980e-03,3.176898e-03,3.200681e-03,3.209880e-03,3.236454e-03,3.251120e-03,3.257119e-03,3.272340e-03,3.279616e-03,3.282552e-03,3.288160e-03,3.289510e-03,3.289544e-03,3.287056e-03,3.283714e-03,3.281025e-03,3.271756e-03,3.264761e-03,3.259536e-03,3.244628e-03,3.234847e-03,3.227279e-03,3.207718e-03,3.195877e-03,3.186158e-03,3.162796e-03,3.149497e-03,3.137816e-03,3.111388e-03,3.097126e-03,3.083670e-03,3.054808e-03,3.039991e-03,3.024938e-03,2.994186e-03,2.979146e-03,2.962668e-03,2.930491e-03,2.915496e-03,2.897755e-03,2.864552e-03,2.849816e-03,2.830966e-03,2.797076e-03,2.782769e-03,2.762954e-03,2.728667e-03,2.714919e-03,2.694275e-03,2.659834e-03,2.646745e-03,2.625397e-03,2.591011e-03,2.578653e-03,2.556718e-03,2.522559e-03,2.510981e-03,2.488568e-03,2.454780e-03,2.444016e-03,2.421225e-03,2.387928e-03,2.377993e-03,2.354915e-03,2.322208e-03,2.313108e-03,2.289827e-03,2.257789e-03,2.249518e-03,2.226111e-03,2.194806e-03,2.187350e-03,2.163887e-03,2.133366e-03,2.126705e-03,2.103250e-03,2.073550e-03,2.067660e-03,2.044271e-03,2.015419e-03,2.010272e-03,1.987000e-03,1.959017e-03,1.954581e-03,1.931473e-03,1.904371e-03,1.900612e-03,1.877712e-03,1.851496e-03,1.848380e-03,1.825724e-03,1.800395e-03,1.797886e-03,1.775508e-03,1.751062e-03,1.749125e-03,1.727054e-03,1.703483e-03,1.702083e-03,1.680346e-03,1.657639e-03,1.656740e-03,1.635360e-03,1.613504e-03,1.613071e-03,1.592068e-03,1.571047e-03,1.530636e-03,1.491802e-03,1.454507e-03,1.418712e-03,1.384378e-03,1.351462e-03,1.319924e-03,1.289721e-03,1.260811e-03,1.233153e-03,1.206705e-03,1.181427e-03,1.157277e-03,1.134218e-03,1.112209e-03,1.091213e-03,1.071192e-03,1.052112e-03,1.033935e-03,1.016629e-03,1.000160e-03,9.844957e-04,9.696043e-04,9.554558e-04,9.420208e-04,9.292706e-04,9.171780e-04,9.057160e-04,8.948591e-04,8.845823e-04,8.748616e-04,8.656737e-04,8.569965e-04,8.488081e-04,8.410879e-04,8.338157e-04,8.269722e-04,8.205388e-04,8.144974e-04,8.088308e-04,8.035222e-04,7.985556e-04,7.939156e-04,7.895872e-04,7.855562e-04,7.818087e-04,7.783315e-04,7.751117e-04,7.721373e-04
0.000000e+00,2.814729e-09,1.793754e-07,1.913036e-07,2.765456e-06,1.723972e-05,1.838421e-05,7.110249e-05,1.758718e-04,1.845665e-04,3.618528e-04,5.674074e-04,5.865942e-04,8.360479e-04,1.065210e-03,1.090430e-03,1.336037e-03,1.538427e-03,1.564838e-03,1.772938e-03,1.934334e-03,1.959067e-03,2.123456e-03,2.245476e-03,2.267125e-03,2.391457e-03,2.480043e-03,2.497968e-03,2.588181e-03,2.649604e-03,2.663561e-03,2.725496e-03,2.765303e-03,2.775273e-03,2.814087e-03,2.836933e-03,2.843036e-03,2.863129e-03,2.872842e-03,2.875288e-03,2.880358e-03,2.880053e-03,2.879107e-03,2.872236e-03,2.864427e-03,2.860384e-03,2.844129e-03,2.830831e-03,2.823998e-03,2.800468e-03,2.783289e-03,2.773973e-03,2.744905e-03,2.725116e-03,2.713618e-03,2.680433e-03,2.659033e-03,2.645639e-03,2.609499e-03,2.587268e-03,2.572248e-03,2.534098e-03,2.511635e-03,2.495240e-03,2.455845e-03,2.433608e-03,2.416068e-03,2.376046e-03,2.354377e-03,2.335903e-03,2.295747e-03,2.274894e-03,2.255677e-03,2.215779e-03,2.195919e-03,2.176131e-03,2.136800e-03,2.118051e-03,2.097845e-03,2.059319e-03,2.041754e-03,2.021268e-03,1.983731e-03,1.967386e-03,1.946741e-03,1.910327e-03,1.895211e-03,1.874515e-03,1.839324e-03,1.825425e-03,1.804770e-03,1.770868e-03,1.758159e-03,1.737628e-03,1.705058e-03,1.693498e-03,1.673162e-03,1.641945e-03,1.631486e-03,1.611407e-03,1.581548e-03,1.572137e-03,1.552367e-03,1.523859e-03,1.515438e-03,1.496021e-03,1.468847e-03,1.461357e-03,1.442331e-03,1.416465e-03,1.409846e-03,1.391242e-03,1.366653e-03,1.360845e-03,1.342689e-03,1.319340e-03,1.314285e-03,1.296597e-03,1.274449e-03,1.270090e-03,1.252886e-03,1.231897e-03,1.228179e-03,1.211472e-03,1.191599e-03,1.188470e-03,1.172267e-03,1.153466e-03,1.150876e-03,1.135184e-03,1.117411e-03,1.115312e-03,1.100134e-03,1.083344e-03,1.081692e-03,1.067029e-03,1.051179e-03,1.049931e-03,1.035782e-03,1.020829e-03,1.019946e-03,1.006308e-03,9.922096e-04,9.916543e-04,9.785232e-04,9.652390e-04,9.649773e-04,9.523469e-04,9.398374e-04,9.161597e-04,8.938721e-04,8.729051e-04,8.531922e-04,8.346690e-04,8.172744e-04,8.009496e-04,7.856385e-04,7.712874e-04,7.578453e-04,7.452634e-04,7.334954e-04,7.224971e-04,7.122265e-04,7.026434e-04,6.937100e-04,6.853900e-04,6.776492e-04,6.704548e-04,6.637760e-04,6.575833e-04,6.518489e-04,6.465462e-04,6.416502e-04,6.371370e-04,6.329839e-04,6.291697e-04,6.256739e-04,6.224773e-04,6.195617e-04,6.169098e-04,6.145053e-04,6.123325e-04,6.103769e-04,6.086244e-04,6.070621e-04,6.056774e-04,6.044584e-04,6.033942e-04,6.024742e-04,6.016883e-04,6.010273e-04,6.004822e-04,6.000445e-04,5.997065e-04,5.994606e-04,5.992997e-04,5.992172e-04,5.992069e-04
0.000000e+00,5.126591e-10,5.816906e-09,6.054544e-09,3.348904e-08,1.111775e-07,1.159549e-07,2.784817e-07,4.895909e-07,5.040834e-07,7.493424e-07,9.691573e-07,9.877239e-07,1.211252e-06,1.398485e-06,1.418476e-06,1.609643e-06,1.765122e-06,1.785429e-06,1.946613e-06,2.074160e-06,2.093992e-06,2.228350e-06,2.331709e-06,2.350453e-06,2.461037e-06,2.543618e-06,2.560810e-06,2.650445e-06,2.715286e-06,2.730583e-06,2.801834e-06,2.851612e-06,2.864774e-06,2.919949e-06,2.957008e-06,2.967876e-06,3.009042e-06,3.035423e-06,3.043906e-06,3.072899e-06,3.090364e-06,3.096422e-06,3.114859e-06,3.124933e-06,3.128571e-06,3.137900e-06,3.141904e-06,3.143166e-06,3.144674e-06,3.143750e-06,3.142712e-06,3.137565e-06,3.132718e-06,3.129487e-06,3.118712e-06,3.110774e-06,3.105459e-06,3.089935e-06,3.079612e-06,3.072334e-06,3.052836e-06,3.040726e-06,3.031612e-06,3.008821e-06,2.995428e-06,2.984610e-06,2.959121e-06,2.944870e-06,2.932482e-06,2.904816e-06,2.890062e-06,2.876237e-06,2.846850e-06,2.831885e-06,2.816754e-06,2.786043e-06,2.771108e-06,2.754802e-06,2.723111e-06,2.708403e-06,2.691046e-06,2.658675e-06,2.644352e-06,2.626063e-06,2.593271e-06,2.579458e-06,2.560353e-06,2.527361e-06,2.514155e-06,2.494343e-06,2.461343e-06,2.448816e-06,2.428402e-06,2.395556e-06,2.383761e-06,2.362840e-06,2.330287e-06,2.319261e-06,2.297925e-06,2.265781e-06,2.255545e-06,2.233879e-06,2.202241e-06,2.192804e-06,2.170888e-06,2.139837e-06,2.131200e-06,2.109106e-06,2.078709e-06,2.070862e-06,2.048659e-06,2.018969e-06,2.011898e-06,1.989648e-06,1.960706e-06,1.954391e-06,1.932152e-06,1.903991e-06,1.898407e-06,1.876231e-06,1.848875e-06,1.843995e-06,1.821929e-06,1.795396e-06,1.791189e-06,1.769277e-06,1.743576e-06,1.740011e-06,1.718292e-06,1.693427e-06,1.690472e-06,1.668981e-06,1.644954e-06,1.642574e-06,1.621343e-06,1.598148e-06,1.596311e-06,1.575367e-06,1.552998e-06,1.551669e-06,1.531039e-06,1.509485e-06,1.508632e-06,1.488335e-06,1.467585e-06,1.467174e-06,1.447231e-06,1.427270e-06,1.388888e-06,1.351995e-06,1.316556e-06,1.282535e-06,1.249891e-06,1.218588e-06,1.188584e-06,1.159840e-06,1.132316e-06,1.105971e-06,1.080767e-06,1.056664e-06,1.033622e-06,1.011605e-06,9.905745e-07,9.704940e-07,9.513280e-07,9.330415e-07,9.156006e-07,8.989724e-07,8.831248e-07,8.680269e-07,8.536484e-07,8.399602e-07,8.269342e-07,8.145432e-07,8.027607e-07,7.915615e-07,7.809211e-07,7.708159e-07,7.612231e-07,7.521210e-07,7.434884e-07,7.353051e-07,7.275516e-07,7.202092e-07,7.132599e-07,7.066864e-07,7.004720e-07,6.946009e-07,6.890577e-07,6.838277e-07,6.788969e-07,6.742517e-07,6.698791e-07,6.657667e-07,6.619025e-07,6.582752e-07,6.548738e-07
0.000000e+00,4.375721e-09,1.546756e-07,1.629685e-07,1.413850e-06,6.759096e-06,7.159638e-06,2.552363e-05,6.470177e-05,6.811960e-05,1.416533e-04,2.315498e-04,2.400113e-04,3.493779e-04,4.475960e-04,4.582501e-04,5.605424e-04,6.432486e-04,6.539667e-04,7.380735e-04,8.031606e-04,8.131453e-04,8.797106e-04,9.294836e-04,9.383601e-04,9.896825e-04,1.026696e-03,1.034242e-03,1.072571e-03,1.099087e-03,1.105172e-03,1.132515e-03,1.150476e-03,1.155040e-03,1.173159e-03,1.184221e-03,1.187257e-03,1.197692e-03,1.203251e-03,1.204795e-03,1.208876e-03,1.210106e-03,1.210223e-03,1.209100e-03,1.206977e-03,1.205753e-03,1.200408e-03,1.195740e-03,1.193275e-03,1.184547e-03,1.178000e-03,1.174401e-03,1.163001e-03,1.155116e-03,1.150496e-03,1.137025e-03,1.128244e-03,1.122714e-03,1.107678e-03,1.098354e-03,1.092024e-03,1.075849e-03,1.066264e-03,1.059241e-03,1.042281e-03,1.032657e-03,1.025042e-03,1.007592e-03,9.981020e-04,9.899902e-04,9.722929e-04,9.630691e-04,9.545495e-04,9.368051e-04,9.279454e-04,9.191002e-04,9.014712e-04,8.930461e-04,8.839509e-04,8.665684e-04,8.586260e-04,8.493497e-04,8.323179e-04,8.248884e-04,8.154933e-04,7.988938e-04,7.919929e-04,7.825350e-04,7.664305e-04,7.600625e-04,7.505918e-04,7.350289e-04,7.291891e-04,7.197500e-04,7.047620e-04,6.994386e-04,6.900703e-04,6.756792e-04,6.708553e-04,6.615920e-04,6.478107e-04,6.434656e-04,6.343369e-04,6.211708e-04,6.172810e-04,6.083123e-04,5.957605e-04,5.923008e-04,5.835139e-04,5.715703e-04,5.685143e-04,5.599273e-04,5.485820e-04,5.459031e-04,5.375311e-04,5.267709e-04,5.244422e-04,5.162974e-04,5.061065e-04,5.041018e-04,4.961938e-04,4.865547e-04,4.848483e-04,4.771844e-04,4.680782e-04,4.666453e-04,4.592308e-04,4.506374e-04,4.494543e-04,4.422928e-04,4.341918e-04,4.332358e-04,4.263292e-04,4.186997e-04,4.179494e-04,4.112982e-04,4.041193e-04,4.035544e-04,3.971579e-04,3.904088e-04,3.900105e-04,3.838668e-04,3.775268e-04,3.772774e-04,3.713839e-04,3.654329e-04,3.653158e-04,3.596689e-04,3.540872e-04,3.435542e-04,3.336806e-04,3.244313e-04,3.157724e-04,3.076718e-04,3.000982e-04,2.930220e-04,2.864148e-04,2.802498e-04,2.745010e-04,2.691442e-04,2.641562e-04,2.595149e-04,2.551996e-04,2.511905e-04,2.474690e-04,2.440176e-04,2.408194e-04,2.378589e-04,2.351213e-04,2.325925e-04,2.302594e-04,2.281096e-04,2.261315e-04,2.243139e-04,2.226467e-04,2.211200e-04,2.197247e-04,2.184522e-04,2.172943e-04,2.162436e-04,2.152928e-04,2.144352e-04,2.136646e-04,2.129750e-04,2.123609e-04,2.118170e-04,2.113384e-04,2.109206e-04,2.105593e-04,2.102503e-04,2.099900e-04,2.097748e-04,2.096013e-04,2.094664e-04,2.093672e-04,2.093010e-04,2.092652e-04,2.092573e-04
0.000000e+00,3.030100e-09,1.200585e-07,1.267690e-07,1.196279e-06,5.878927e-06,6.228339e-06,2.194581e-05,5.444828e-05,5.725513e-05,1.176723e-04,1.932322e-04,2.004858e-04,2.966914e-04,3.870780e-04,3.971120e-04,4.957789e-04,5.787849e-04,5.897692e-04,6.779677e-04,7.489765e-04,7.601139e-04,8.362982e-04,8.958447e-04,9.067401e-04,9.717029e-04,1.021076e-03,1.031460e-03,1.086282e-03,1.126764e-03,1.136433e-03,1.182167e-03,1.214933e-03,1.223731e-03,1.261357e-03,1.287460e-03,1.295273e-03,1.325691e-03,1.346070e-03,1.352817e-03,1.376846e-03,1.392333e-03,1.397963e-03,1.416344e-03,1.427673e-03,1.432156e-03,1.445559e-03,1.453373e-03,1.456702e-03,1.465729e-03,1.470593e-03,1.472774e-03,1.477968e-03,1.480377e-03,1.481432e-03,1.483282e-03,1.483666e-03,1.483626e-03,1.482569e-03,1.481302e-03,1.480207e-03,1.476633e-03,1.474039e-03,1.471935e-03,1.466195e-03,1.462556e-03,1.459492e-03,1.451900e-03,1.447455e-03,1.443488e-03,1.434321e-03,1.429278e-03,1.424463e-03,1.413972e-03,1.408507e-03,1.402903e-03,1.391308e-03,1.385570e-03,1.379236e-03,1.366733e-03,1.360849e-03,1.353843e-03,1.340607e-03,1.334684e-03,1.327063e-03,1.313249e-03,1.307374e-03,1.299196e-03,1.284939e-03,1.279185e-03,1.270505e-03,1.255925e-03,1.250351e-03,1.241223e-03,1.226424e-03,1.221078e-03,1.211553e-03,1.196629e-03,1.191547e-03,1.181674e-03,1.166706e-03,1.161917e-03,1.151743e-03,1.136800e-03,1.132324e-03,1.121894e-03,1.107038e-03,1.102889e-03,1.092245e-03,1.077528e-03,1.073715e-03,1.062897e-03,1.048363e-03,1.044890e-03,1.033936e-03,1.019623e-03,1.016491e-03,1.005435e-03,9.913766e-04,9.885813e-04,9.774560e-04,9.636789e-04,9.612147e-04,9.500510e-04,9.365772e-04,9.344360e-04,9.232621e-04,9.101097e-04,9.082815e-04,8.971235e-04,8.843069e-04,8.827804e-04,8.716624e-04,8.591926e-04,8.579553e-04,8.468994e-04,8.347847e-04,8.338233e-04,8.228498e-04,8.110958e-04,8.103963e-04,7.995236e-04,7.881339e-04,7.876821e-04,7.769270e-04,7.659031e-04,7.656845e-04,7.550622e-04,7.444040e-04,7.238380e-04,7.039817e-04,6.848278e-04,6.663673e-04,6.485896e-04,6.314828e-04,6.150337e-04,5.992284e-04,5.840522e-04,5.694897e-04,5.555252e-04,5.421426e-04,5.293254e-04,5.170574e-04,5.053218e-04,4.941023e-04,4.833824e-04,4.731458e-04,4.633764e-04,4.540583e-04,4.451759e-04,4.367137e-04,4.286568e-04,4.209903e-04,4.137000e-04,4.067716e-04,4.001915e-04,3.939463e-04,3.880231e-04,3.824093e-04,3.770925e-04,3.720609e-04,3.673030e-04,3.628076e-04,3.585640e-04,3.545616e-04,3.507905e-04,3.472407e-04,3.439029e-04,3.407680e-04,3.378272e-04,3.350721e-04,3.324943e-04,3.300861e-04,3.278399e-04,3.257484e-04,3.238044e-04,3.220013e-04,3.203325e-04
0.000000e+00,9.310072e-10,7.730912e-08,8.282040e-08,1.444675e-06,1.052549e-05,1.129973e-05,5.249679e-05,1.589556e-04,1.691117e-04,4.195015e-04,8.195665e-04,8.635003e-04,1.552485e-03,2.413376e-03,2.523984e-03,3.799767e-03,5.179553e-03,5.386199e-03,7.275906e-03,9.129547e-03,9.450110e-03,1.188119e-02,1.409709e-02,1.453518e-02,1.737409e-02,1.981192e-02,2.035788e-02,2.344615e-02,2.596544e-02,2.659947e-02,2.978040e-02,3.225825e-02,3.295422e-02,3.608947e-02,3.842914e-02,3.915821e-02,4.213616e-02,4.426913e-02,4.500270e-02,4.774075e-02,4.962476e-02,5.033660e-02,5.277971e-02,5.439477e-02,5.506237e-02,5.717948e-02,5.852305e-02,5.912825e-02,6.090789e-02,6.199019e-02,6.251933e-02,6.396500e-02,6.480486e-02,6.524853e-02,6.637458e-02,6.699600e-02,6.734858e-02,6.817662e-02,6.860608e-02,6.886523e-02,6.942124e-02,6.968576e-02,6.985174e-02,7.016385e-02,7.028960e-02,7.036476e-02,7.046156e-02,7.047302e-02,7.046125e-02,7.037064e-02,7.029004e-02,7.019634e-02,6.994473e-02,6.979187e-02,6.962195e-02,6.923385e-02,6.902602e-02,6.878603e-02,6.828378e-02,6.803586e-02,6.773212e-02,6.713580e-02,6.686043e-02,6.649928e-02,6.582678e-02,6.553454e-02,6.512221e-02,6.438929e-02,6.408895e-02,6.363144e-02,6.285191e-02,6.255063e-02,6.205368e-02,6.123955e-02,6.094308e-02,6.041211e-02,5.957378e-02,5.928666e-02,5.872678e-02,5.787318e-02,5.759895e-02,5.701491e-02,5.615371e-02,5.589503e-02,5.529124e-02,5.442897e-02,5.418776e-02,5.356830e-02,5.271048e-02,5.248806e-02,5.185668e-02,5.100796e-02,5.080514e-02,5.016530e-02,4.932956e-02,4.914671e-02,4.850157e-02,4.768205e-02,4.751922e-02,4.687165e-02,4.607099e-02,4.592794e-02,4.528058e-02,4.450091e-02,4.437719e-02,4.373241e-02,4.297545e-02,4.287042e-02,4.223037e-02,4.149746e-02,4.141035e-02,4.077698e-02,4.006914e-02,3.999905e-02,3.937412e-02,3.869207e-02,3.863807e-02,3.802313e-02,3.736739e-02,3.732846e-02,3.672492e-02,3.609577e-02,3.607088e-02,3.547997e-02,3.487753e-02,3.486562e-02,3.428845e-02,3.371270e-02,3.261188e-02,3.156271e-02,3.056454e-02,2.961659e-02,2.871795e-02,2.786760e-02,2.706442e-02,2.630724e-02,2.559483e-02,2.492589e-02,2.429911e-02,2.371313e-02,2.316659e-02,2.265808e-02,2.218621e-02,2.174958e-02,2.134677e-02,2.097639e-02,2.063702e-02,2.032727e-02,2.004576e-02,1.979110e-02,1.956195e-02,1.935695e-02,1.917478e-02,1.901414e-02,1.887373e-02,1.875231e-02,1.864863e-02,1.856150e-02,1.848973e-02,1.843219e-02,1.838776e-02,1.835537e-02,1.833397e-02,1.832256e-02,1.832018e-02,1.832589e-02,1.833882e-02,1.835812e-02,1.838298e-02,1.841265e-02,1.844640e-02,1.848356e-02,1.852350e-02,1.856561e-02,1.860936e-02,1.865423e-02,1.869974e-02
0.000000e+00,1.096477e-09,5.924337e-08,6.291533e-08,7.630316e-07,4.497180e-06,4.796080e-06,1.956361e-05,5.416815e-05,5.731619e-05,1.293008e-04,2.285758e-04,2.385954e-04,3.791520e-04,5.232285e-04,5.398604e-04,7.089217e-04,8.566851e-04,8.764456e-04,1.035336e-03,1.161640e-03,1.181166e-03,1.311635e-03,1.408750e-03,1.425955e-03,1.524321e-03,1.593615e-03,1.607517e-03,1.676644e-03,1.722645e-03,1.732938e-03,1.777665e-03,1.805314e-03,1.812052e-03,1.837258e-03,1.850938e-03,1.854356e-03,1.864323e-03,1.867634e-03,1.868048e-03,1.866330e-03,1.862129e-03,1.859887e-03,1.849360e-03,1.839869e-03,1.835320e-03,1.818277e-03,1.805205e-03,1.798682e-03,1.776936e-03,1.761579e-03,1.753393e-03,1.728366e-03,1.711699e-03,1.702132e-03,1.674933e-03,1.657680e-03,1.646984e-03,1.618473e-03,1.601165e-03,1.589564e-03,1.560401e-03,1.543421e-03,1.531110e-03,1.501801e-03,1.485415e-03,1.472567e-03,1.443491e-03,1.427881e-03,1.414643e-03,1.386084e-03,1.371365e-03,1.357865e-03,1.330029e-03,1.316267e-03,1.302614e-03,1.275649e-03,1.262873e-03,1.249160e-03,1.223165e-03,1.211379e-03,1.197683e-03,1.172723e-03,1.161909e-03,1.148296e-03,1.124406e-03,1.114534e-03,1.101059e-03,1.078254e-03,1.069284e-03,1.055991e-03,1.034269e-03,1.026155e-03,1.013083e-03,9.924290e-04,9.851225e-04,9.723006e-04,9.526914e-04,9.461412e-04,9.335939e-04,9.150000e-04,9.091550e-04,8.969013e-04,8.792885e-04,8.740981e-04,8.621525e-04,8.454835e-04,8.408985e-04,8.292717e-04,8.135073e-04,8.094806e-04,7.981802e-04,7.832803e-04,7.797667e-04,7.687974e-04,7.547217e-04,7.516786e-04,7.410429e-04,7.277513e-04,7.251386e-04,7.148369e-04,7.022900e-04,7.000699e-04,6.901010e-04,6.782604e-04,6.763976e-04,6.667589e-04,6.555874e-04,6.540492e-04,6.447368e-04,6.341984e-04,6.329543e-04,6.239635e-04,6.140237e-04,6.130457e-04,6.043708e-04,5.949966e-04,5.942585e-04,5.858933e-04,5.770531e-04,5.765309e-04,5.684687e-04,5.601325e-04,5.598041e-04,5.520376e-04,5.441769e-04,5.440220e-04,5.365437e-04,5.291313e-04,5.150815e-04,5.018246e-04,4.893153e-04,4.775107e-04,4.663703e-04,4.558558e-04,4.459311e-04,4.365619e-04,4.277163e-04,4.193638e-04,4.114758e-04,4.040254e-04,3.969872e-04,3.903373e-04,3.840531e-04,3.781134e-04,3.724984e-04,3.671891e-04,3.621679e-04,3.574180e-04,3.529239e-04,3.486708e-04,3.446447e-04,3.408325e-04,3.372221e-04,3.338017e-04,3.305605e-04,3.274882e-04,3.245752e-04,3.218124e-04,3.191912e-04,3.167035e-04,3.143418e-04,3.120990e-04,3.099682e-04,3.079433e-04,3.060183e-04,3.041875e-04,3.024456e-04,3.007878e-04,2.992093e-04,2.977057e-04,2.962728e-04,2.949068e-04,2.936040e-04,2.923609e-04,2.911742e-04,2.900408e-04,2.889579e-04
0.000000e+00,7.288015e-09,2.799348e-07,2.955609e-07,2.761238e-06,1.292597e-05,1.365472e-05,4.408276e-05,9.926545e-05,1.037241e-04,1.922962e-04,2.902209e-04,2.991205e-04,4.116000e-04,5.108585e-04,5.216224e-04,6.256088e-04,7.112013e-04,7.224329e-04,8.119585e-04,8.832661e-04,8.943907e-04,9.700397e-04,1.028591e-03,1.039244e-03,1.102347e-03,1.149775e-03,1.159685e-03,1.211587e-03,1.249408e-03,1.258369e-03,1.300336e-03,1.329916e-03,1.337779e-03,1.370976e-03,1.393530e-03,1.400192e-03,1.425678e-03,1.442278e-03,1.447674e-03,1.466405e-03,1.477990e-03,1.482085e-03,1.494919e-03,1.502312e-03,1.505098e-03,1.512806e-03,1.516724e-03,1.518215e-03,1.521488e-03,1.522554e-03,1.522780e-03,1.522234e-03,1.520984e-03,1.519987e-03,1.516169e-03,1.513067e-03,1.510902e-03,1.504299e-03,1.499742e-03,1.496469e-03,1.487515e-03,1.481843e-03,1.477530e-03,1.466607e-03,1.460111e-03,1.454828e-03,1.442274e-03,1.435200e-03,1.429020e-03,1.415136e-03,1.407689e-03,1.400687e-03,1.385736e-03,1.378090e-03,1.370340e-03,1.354553e-03,1.346851e-03,1.338426e-03,1.322007e-03,1.314368e-03,1.305340e-03,1.288466e-03,1.280986e-03,1.271424e-03,1.254250e-03,1.247006e-03,1.236978e-03,1.219638e-03,1.212690e-03,1.202260e-03,1.184871e-03,1.178265e-03,1.167495e-03,1.150156e-03,1.143927e-03,1.132874e-03,1.115671e-03,1.109842e-03,1.098563e-03,1.081567e-03,1.076155e-03,1.064700e-03,1.047974e-03,1.042986e-03,1.031403e-03,1.014998e-03,1.010435e-03,9.987694e-04,9.827276e-04,9.785883e-04,9.668807e-04,9.512365e-04,9.475129e-04,9.358020e-04,9.205831e-04,9.172644e-04,9.055853e-04,8.908132e-04,8.878862e-04,8.762708e-04,8.619617e-04,8.594110e-04,8.478886e-04,8.340540e-04,8.318627e-04,8.204597e-04,8.071071e-04,8.052571e-04,7.939972e-04,7.811307e-04,7.796030e-04,7.685076e-04,7.561280e-04,7.549034e-04,7.439913e-04,7.320969e-04,7.311558e-04,7.204439e-04,7.090309e-04,7.083537e-04,6.978565e-04,6.869190e-04,6.864864e-04,6.762166e-04,6.657473e-04,6.655403e-04,6.555089e-04,6.454990e-04,6.263438e-04,6.080542e-04,5.906084e-04,5.739833e-04,5.581549e-04,5.430985e-04,5.287892e-04,5.152016e-04,5.023104e-04,4.900902e-04,4.785159e-04,4.675625e-04,4.572054e-04,4.474205e-04,4.381842e-04,4.294732e-04,4.212650e-04,4.135377e-04,4.062697e-04,3.994405e-04,3.930298e-04,3.870183e-04,3.813872e-04,3.761183e-04,3.711942e-04,3.665980e-04,3.623136e-04,3.583253e-04,3.546184e-04,3.511782e-04,3.479913e-04,3.450442e-04,3.423245e-04,3.398200e-04,3.375192e-04,3.354109e-04,3.334846e-04,3.317302e-04,3.301381e-04,3.286990e-04,3.274041e-04,3.262452e-04,3.252141e-04,3.243033e-04,3.235056e-04,3.228141e-04,3.222221e-04,3.217235e-04,3.213123e-04
0.000000e+00,1.414769e-09,1.101490e-07,1.178883e-07,2.032806e-06,1.532672e-05,1.648394e-05,8.008343e-05,2.510880e-04,2.676593e-04,6.841843e-04,1.369969e-03,1.446392e-03,2.666980e-03,4.239009e-03,4.444169e-03,6.855799e-03,9.546997e-03,9.956770e-03,1.377879e-02,1.765043e-02,1.833164e-02,2.360540e-02,2.857320e-02,2.957313e-02,3.619383e-02,4.207373e-02,4.341533e-02,5.117711e-02,5.773110e-02,5.941285e-02,6.805268e-02,7.502633e-02,7.702518e-02,8.625904e-02,9.340854e-02,9.568447e-02,1.052343e-01,1.123435e-01,1.148447e-01,1.244561e-01,1.313457e-01,1.340133e-01,1.434660e-01,1.499963e-01,1.527689e-01,1.618815e-01,1.679511e-01,1.707684e-01,1.793986e-01,1.849411e-01,1.877460e-01,1.957886e-01,2.007674e-01,2.035084e-01,2.108912e-01,2.152944e-01,2.179262e-01,2.246057e-01,2.284406e-01,2.309248e-01,2.368811e-01,2.401695e-01,2.424747e-01,2.477072e-01,2.504811e-01,2.525824e-01,2.571054e-01,2.594036e-01,2.612826e-01,2.651214e-01,2.669867e-01,2.686303e-01,2.718185e-01,2.732953e-01,2.746956e-01,2.772720e-01,2.784049e-01,2.795581e-01,2.815648e-01,2.823970e-01,2.833030e-01,2.847837e-01,2.853566e-01,2.860181e-01,2.870172e-01,2.873692e-01,2.877917e-01,2.883525e-01,2.885193e-01,2.887101e-01,2.888748e-01,2.888890e-01,2.888568e-01,2.886658e-01,2.885565e-01,2.883114e-01,2.878029e-01,2.875965e-01,2.871492e-01,2.863589e-01,2.860786e-01,2.854405e-01,2.844020e-01,2.840682e-01,2.832511e-01,2.819952e-01,2.816258e-01,2.806415e-01,2.791968e-01,2.788071e-01,2.776676e-01,2.760602e-01,2.756634e-01,2.743805e-01,2.726343e-01,2.722417e-01,2.708270e-01,2.689637e-01,2.685848e-01,2.670495e-01,2.650889e-01,2.647315e-01,2.630866e-01,2.610467e-01,2.607171e-01,2.589732e-01,2.568700e-01,2.565734e-01,2.547408e-01,2.525889e-01,2.523293e-01,2.504176e-01,2.482300e-01,2.480104e-01,2.460290e-01,2.438173e-01,2.436400e-01,2.415977e-01,2.393724e-01,2.392388e-01,2.371440e-01,2.349144e-01,2.348252e-01,2.326858e-01,2.304602e-01,2.304157e-01,2.282393e-01,2.260248e-01,2.216654e-01,2.173488e-01,2.130848e-01,2.088822e-01,2.047484e-01,2.006898e-01,1.967120e-01,1.928196e-01,1.890165e-01,1.853058e-01,1.816901e-01,1.781714e-01,1.747511e-01,1.714304e-01,1.682098e-01,1.650896e-01,1.620697e-01,1.591497e-01,1.563290e-01,1.536068e-01,1.509819e-01,1.484531e-01,1.460189e-01,1.436778e-01,1.414282e-01,1.392681e-01,1.371957e-01,1.352089e-01,1.333059e-01,1.314843e-01,1.297421e-01,1.280771e-01,1.264870e-01,1.249696e-01,1.235225e-01,1.221436e-01,1.208306e-01,1.195811e-01,1.183930e-01,1.172639e-01,1.161916e-01,1.151740e-01,1.142088e-01,1.132940e-01,1.124273e-01,1.116067e-01,1.108302e-01,1.100957e-01,1.094014e-01
0.000000e+00,1.042248e-08,2.585226e-07,2.720320e-07,2.290778e-06,9.540718e-06,1.001587e-05,2.660690e-05,4.746339e-05,4.884692e-05,7.157862e-05,9.124131e-05,9.288208e-05,1.124449e-04,1.285880e-04,1.302991e-04,1.465372e-04,1.595702e-04,1.612603e-04,1.745672e-04,1.849512e-04,1.865532e-04,1.973088e-04,2.054557e-04,2.069200e-04,2.154680e-04,2.217379e-04,2.230295e-04,2.296762e-04,2.343805e-04,2.354757e-04,2.404913e-04,2.438973e-04,2.447820e-04,2.484032e-04,2.507394e-04,2.514065e-04,2.538401e-04,2.553007e-04,2.557489e-04,2.571750e-04,2.579249e-04,2.581574e-04,2.587326e-04,2.589111e-04,2.589343e-04,2.587943e-04,2.585189e-04,2.583418e-04,2.576042e-04,2.569737e-04,2.566070e-04,2.553737e-04,2.544707e-04,2.539263e-04,2.522852e-04,2.511788e-04,2.504693e-04,2.484963e-04,2.472439e-04,2.463825e-04,2.441428e-04,2.427918e-04,2.417915e-04,2.393413e-04,2.379307e-04,2.368045e-04,2.341920e-04,2.327534e-04,2.315141e-04,2.287804e-04,2.273397e-04,2.259996e-04,2.231797e-04,2.217575e-04,2.203283e-04,2.174523e-04,2.160648e-04,2.145578e-04,2.116508e-04,2.103108e-04,2.087365e-04,2.058199e-04,2.045370e-04,2.029054e-04,1.999971e-04,1.987784e-04,1.970988e-04,1.942138e-04,1.930642e-04,1.913452e-04,1.884960e-04,1.874189e-04,1.856685e-04,1.828652e-04,1.818623e-04,1.800880e-04,1.773389e-04,1.764109e-04,1.746195e-04,1.719313e-04,1.710779e-04,1.692756e-04,1.666535e-04,1.658736e-04,1.640661e-04,1.615142e-04,1.608061e-04,1.589986e-04,1.565199e-04,1.558816e-04,1.540788e-04,1.516755e-04,1.511044e-04,1.493104e-04,1.469839e-04,1.464772e-04,1.446960e-04,1.424470e-04,1.420018e-04,1.402368e-04,1.380655e-04,1.376788e-04,1.359330e-04,1.338391e-04,1.335077e-04,1.317839e-04,1.297669e-04,1.294876e-04,1.277881e-04,1.258471e-04,1.256167e-04,1.239437e-04,1.220775e-04,1.218930e-04,1.202482e-04,1.184555e-04,1.183136e-04,1.166988e-04,1.149779e-04,1.148758e-04,1.132923e-04,1.116416e-04,1.115763e-04,1.100253e-04,1.084429e-04,1.084116e-04,1.068940e-04,1.053782e-04,1.024724e-04,9.969042e-05,9.702841e-05,9.448255e-05,9.204901e-05,8.972398e-05,8.750367e-05,8.538438e-05,8.336243e-05,8.143425e-05,7.959630e-05,7.784517e-05,7.617751e-05,7.459006e-05,7.307969e-05,7.164330e-05,7.027794e-05,6.898073e-05,6.774888e-05,6.657969e-05,6.547058e-05,6.441904e-05,6.342263e-05,6.247903e-05,6.158600e-05,6.074135e-05,5.994301e-05,5.918897e-05,5.847729e-05,5.780612e-05,5.717367e-05,5.657822e-05,5.601812e-05,5.549178e-05,5.499768e-05,5.453436e-05,5.410040e-05,5.369445e-05,5.331523e-05,5.296149e-05,5.263202e-05,5.232570e-05,5.204141e-05,5.177810e-05,5.153477e-05,5.131044e-05,5.110418e-05,5.091510e-05,5.074235e-05
0.000000e+00,1.512946e-09,9.423742e-08,1.002874e-07,1.313248e-06,8.192516e-06,8.759559e-06,3.861476e-05,1.185059e-04,1.263569e-04,3.296442e-04,6.817369e-04,7.219169e-04,1.380664e-03,2.260132e-03,2.376660e-03,3.766852e-03,5.348114e-03,5.590749e-03,7.869451e-03,1.019597e-02,1.060642e-02,1.378935e-02,1.678920e-02,1.739257e-02,2.137975e-02,2.490481e-02,2.570651e-02,3.032295e-02,3.418898e-02,3.517587e-02,4.021070e-02,4.422919e-02,4.537316e-02,5.061056e-02,5.461013e-02,5.587276e-02,6.111312e-02,6.495163e-02,6.628890e-02,7.136160e-02,7.493083e-02,7.629718e-02,8.106609e-02,8.429153e-02,8.564321e-02,9.000767e-02,9.284527e-02,9.414261e-02,9.803493e-02,1.004661e-01,1.016750e-01,1.050563e-01,1.070829e-01,1.081754e-01,1.110310e-01,1.126696e-01,1.136243e-01,1.159584e-01,1.172362e-01,1.180378e-01,1.198688e-01,1.208198e-01,1.214586e-01,1.228151e-01,1.234763e-01,1.239475e-01,1.248650e-01,1.252746e-01,1.255776e-01,1.260953e-01,1.262909e-01,1.264284e-01,1.265872e-01,1.266045e-01,1.265820e-01,1.264229e-01,1.262947e-01,1.261198e-01,1.256825e-01,1.254389e-01,1.251204e-01,1.244428e-01,1.241104e-01,1.236585e-01,1.227760e-01,1.223781e-01,1.218035e-01,1.207487e-01,1.203055e-01,1.196192e-01,1.184219e-01,1.179506e-01,1.171636e-01,1.158507e-01,1.153659e-01,1.144893e-01,1.130849e-01,1.125986e-01,1.116430e-01,1.101687e-01,1.096908e-01,1.086666e-01,1.071412e-01,1.066797e-01,1.055967e-01,1.040371e-01,1.035981e-01,1.024659e-01,1.008865e-01,1.004750e-01,9.930224e-02,9.771597e-02,9.733528e-02,9.613045e-02,9.454825e-02,9.420084e-02,9.297171e-02,9.140303e-02,9.109042e-02,8.984423e-02,8.829716e-02,8.802007e-02,8.676353e-02,8.524490e-02,8.500341e-02,8.374271e-02,8.225827e-02,8.205194e-02,8.079277e-02,7.934728e-02,7.917521e-02,7.792278e-02,7.652014e-02,7.638111e-02,7.514016e-02,7.378352e-02,7.367601e-02,7.245084e-02,7.114266e-02,7.106496e-02,6.985945e-02,6.860161e-02,6.855183e-02,6.736948e-02,6.616334e-02,6.613948e-02,6.498341e-02,6.382987e-02,6.162419e-02,5.952291e-02,5.752595e-02,5.563269e-02,5.384207e-02,5.215265e-02,5.056266e-02,4.907006e-02,4.767257e-02,4.636770e-02,4.515281e-02,4.402511e-02,4.298169e-02,4.201957e-02,4.113569e-02,4.032691e-02,3.959008e-02,3.892201e-02,3.831950e-02,3.777934e-02,3.729833e-02,3.687329e-02,3.650105e-02,3.617848e-02,3.590251e-02,3.567008e-02,3.547820e-02,3.532396e-02,3.520447e-02,3.511696e-02,3.505870e-02,3.502708e-02,3.501954e-02,3.503364e-02,3.506702e-02,3.511742e-02,3.518269e-02,3.526078e-02,3.534975e-02,3.544776e-02,3.555308e-02,3.566410e-02,3.577932e-02,3.589732e-02,3.601683e-02,3.613666e-02,3.625573e-02,3.637306e-02,3.648777e-02
0.000000e+00,2.460933e-10,2.494222e-08,2.682155e-08,5.300550e-07,3.902014e-06,4.182844e-06,1.807936e-05,4.947068e-05,5.227473e-05,1.158752e-04,2.052924e-04,2.145380e-04,3.498462e-04,5.013403e-04,5.197728e-04,7.195998e-04,9.151188e-04,9.429234e-04,1.182553e-03,1.396128e-03,1.431225e-03,1.682125e-03,1.890160e-03,1.929217e-03,2.167427e-03,2.353265e-03,2.392714e-03,2.602045e-03,2.756587e-03,2.793329e-03,2.965302e-03,3.085658e-03,3.117411e-03,3.249681e-03,3.337224e-03,3.362599e-03,3.456995e-03,3.515552e-03,3.533950e-03,3.594706e-03,3.629171e-03,3.640603e-03,3.673017e-03,3.688418e-03,3.693317e-03,3.702834e-03,3.703798e-03,3.702838e-03,3.694518e-03,3.685004e-03,3.678973e-03,3.657212e-03,3.640447e-03,3.630145e-03,3.598592e-03,3.577099e-03,3.563282e-03,3.524859e-03,3.500550e-03,3.483891e-03,3.440873e-03,3.415155e-03,3.396235e-03,3.350349e-03,3.324230e-03,3.303536e-03,3.256068e-03,3.230247e-03,3.208180e-03,3.160069e-03,3.135020e-03,3.111902e-03,3.063821e-03,3.039850e-03,3.015943e-03,2.968366e-03,2.945661e-03,2.921172e-03,2.874427e-03,2.853090e-03,2.828185e-03,2.782492e-03,2.762570e-03,2.737383e-03,2.692887e-03,2.674387e-03,2.649026e-03,2.605818e-03,2.588720e-03,2.563275e-03,2.521406e-03,2.505674e-03,2.480217e-03,2.439713e-03,2.425299e-03,2.399894e-03,2.360759e-03,2.347609e-03,2.322309e-03,2.284538e-03,2.272595e-03,2.247444e-03,2.211022e-03,2.200226e-03,2.175267e-03,2.140171e-03,2.130462e-03,2.105729e-03,2.071934e-03,2.063252e-03,2.038778e-03,2.006254e-03,1.998542e-03,1.974354e-03,1.943070e-03,1.936270e-03,1.912394e-03,1.882318e-03,1.876374e-03,1.852833e-03,1.823932e-03,1.818790e-03,1.795604e-03,1.767843e-03,1.763453e-03,1.740640e-03,1.713985e-03,1.710297e-03,1.687871e-03,1.662290e-03,1.659255e-03,1.637232e-03,1.612690e-03,1.610263e-03,1.588654e-03,1.565118e-03,1.563256e-03,1.542071e-03,1.519507e-03,1.518169e-03,1.497418e-03,1.475794e-03,1.474939e-03,1.454629e-03,1.433913e-03,1.433504e-03,1.413641e-03,1.393803e-03,1.355776e-03,1.319367e-03,1.284516e-03,1.251170e-03,1.219275e-03,1.188777e-03,1.159626e-03,1.131774e-03,1.105171e-03,1.079772e-03,1.055531e-03,1.032405e-03,1.010352e-03,9.893310e-04,9.693026e-04,9.502288e-04,9.320727e-04,9.147986e-04,8.983722e-04,8.827603e-04,8.679308e-04,8.538528e-04,8.404962e-04,8.278324e-04,8.158334e-04,8.044723e-04,7.937233e-04,7.835613e-04,7.739621e-04,7.649025e-04,7.563599e-04,7.483128e-04,7.407402e-04,7.336219e-04,7.269386e-04,7.206714e-04,7.148022e-04,7.093137e-04,7.041891e-04,6.994120e-04,6.949670e-04,6.908389e-04,6.870132e-04,6.834760e-04,6.802137e-04,6.772135e-04,6.744627e-04,6.719494e-04,6.696620e-04
0.000000e+00,1.384119e-09,2.259265e-08,2.365731e-08,1.584127e-07,5.444521e-07,5.674045e-07,1.281724e-06,2.063363e-06,2.113359e-06,2.923889e-06,3.619353e-06,3.677351e-06,4.369029e-06,4.940352e-06,5.000950e-06,5.576553e-06,6.039389e-06,6.099477e-06,6.573255e-06,6.943977e-06,7.001265e-06,7.386709e-06,7.679803e-06,7.732608e-06,8.041793e-06,8.269791e-06,8.316910e-06,8.560438e-06,8.734091e-06,8.774713e-06,8.961911e-06,9.090442e-06,9.124067e-06,9.263083e-06,9.354356e-06,9.380733e-06,9.478667e-06,9.539352e-06,9.558422e-06,9.621430e-06,9.657179e-06,9.669026e-06,9.702448e-06,9.718031e-06,9.722850e-06,9.731306e-06,9.730744e-06,9.728813e-06,9.716298e-06,9.702968e-06,9.694621e-06,9.664584e-06,9.641317e-06,9.626927e-06,9.582343e-06,9.551503e-06,9.531469e-06,9.474899e-06,9.438454e-06,9.413184e-06,9.346834e-06,9.306415e-06,9.276322e-06,9.202087e-06,9.159041e-06,9.124533e-06,9.044036e-06,8.999468e-06,8.960944e-06,8.875578e-06,8.830388e-06,8.788234e-06,8.699187e-06,8.654105e-06,8.608690e-06,8.516976e-06,8.472586e-06,8.424262e-06,8.330744e-06,8.287508e-06,8.236607e-06,8.142017e-06,8.100295e-06,8.047130e-06,7.952087e-06,7.912154e-06,7.857018e-06,7.762043e-06,7.724104e-06,7.667270e-06,7.572798e-06,7.536998e-06,7.478720e-06,7.385116e-06,7.351550e-06,7.292064e-06,7.199630e-06,7.168355e-06,7.107877e-06,7.016860e-06,6.987898e-06,6.926629e-06,6.837231e-06,6.810579e-06,6.748704e-06,6.661084e-06,6.636718e-06,6.574405e-06,6.488692e-06,6.466569e-06,6.403972e-06,6.320265e-06,6.300328e-06,6.237589e-06,6.155960e-06,6.138144e-06,6.075391e-06,5.995893e-06,5.980122e-06,5.917474e-06,5.840140e-06,5.826335e-06,5.763896e-06,5.688746e-06,5.676823e-06,5.614690e-06,5.541728e-06,5.531601e-06,5.469860e-06,5.399083e-06,5.390663e-06,5.329393e-06,5.260786e-06,5.253984e-06,5.193256e-06,5.126797e-06,5.121526e-06,5.061402e-06,4.997063e-06,4.993236e-06,4.933773e-06,4.871522e-06,4.869053e-06,4.810300e-06,4.750099e-06,4.748906e-06,4.690908e-06,4.632717e-06,4.520404e-06,4.411879e-06,4.307054e-06,4.205836e-06,4.108133e-06,4.013848e-06,3.922890e-06,3.835162e-06,3.750571e-06,3.669025e-06,3.590431e-06,3.514699e-06,3.441740e-06,3.371467e-06,3.303794e-06,3.238638e-06,3.175919e-06,3.115555e-06,3.057470e-06,3.001588e-06,2.947836e-06,2.896142e-06,2.846437e-06,2.798654e-06,2.752728e-06,2.708594e-06,2.666193e-06,2.625463e-06,2.586348e-06,2.548791e-06,2.512739e-06,2.478138e-06,2.444939e-06,2.413092e-06,2.382550e-06,2.353266e-06,2.325196e-06,2.298298e-06,2.272529e-06,2.247849e-06,2.224220e-06,2.201604e-06,2.179963e-06,2.159265e-06,2.139473e-06,2.120556e-06,2.102482e-06,2.085220e-06,2.068741e-06
0.000000e+00,5.264780e-10,3.249907e-08,3.461604e-08,4.811677e-07,3.113121e-06,3.330473e-06,1.451952e-05,4.242109e-05,4.504153e-05,1.078719e-04,2.021135e-04,2.120557e-04,3.591284e-04,5.239087e-04,5.438256e-04,7.569135e-04,9.596205e-04,9.879580e-04,1.227189e-03,1.433201e-03,1.466444e-03,1.699460e-03,1.887061e-03,1.921776e-03,2.130465e-03,2.290188e-03,2.323812e-03,2.501012e-03,2.631023e-03,2.661906e-03,2.806785e-03,2.909037e-03,2.936225e-03,3.050982e-03,3.128901e-03,3.151909e-03,3.239903e-03,3.297221e-03,3.315863e-03,3.380673e-03,3.420911e-03,3.435183e-03,3.480202e-03,3.506478e-03,3.516493e-03,3.544772e-03,3.559769e-03,3.565708e-03,3.579925e-03,3.585909e-03,3.588000e-03,3.590473e-03,3.589347e-03,3.587842e-03,3.580567e-03,3.573914e-03,3.569077e-03,3.553767e-03,3.542901e-03,3.535003e-03,3.513122e-03,3.499127e-03,3.488437e-03,3.461236e-03,3.445005e-03,3.431786e-03,3.400332e-03,3.382594e-03,3.367100e-03,3.332300e-03,3.313649e-03,3.296125e-03,3.258751e-03,3.239666e-03,3.220342e-03,3.181048e-03,3.161914e-03,3.141008e-03,3.100347e-03,3.081467e-03,3.059183e-03,3.017622e-03,2.999235e-03,2.975762e-03,2.933692e-03,2.915981e-03,2.891496e-03,2.849247e-03,2.832348e-03,2.807014e-03,2.764858e-03,2.748872e-03,2.722838e-03,2.681003e-03,2.665997e-03,2.639401e-03,2.598074e-03,2.584092e-03,2.557059e-03,2.516391e-03,2.503456e-03,2.476101e-03,2.436216e-03,2.424333e-03,2.396759e-03,2.357754e-03,2.346916e-03,2.319218e-03,2.281169e-03,2.271358e-03,2.243622e-03,2.206587e-03,2.197777e-03,2.170077e-03,2.134101e-03,2.126258e-03,2.098665e-03,2.063775e-03,2.056864e-03,2.029437e-03,1.995654e-03,1.989632e-03,1.962428e-03,1.929761e-03,1.924586e-03,1.897653e-03,1.866103e-03,1.861731e-03,1.835111e-03,1.804675e-03,1.801059e-03,1.774791e-03,1.745458e-03,1.742555e-03,1.716671e-03,1.688426e-03,1.686190e-03,1.660719e-03,1.633545e-03,1.631932e-03,1.606899e-03,1.580775e-03,1.579741e-03,1.555168e-03,1.530071e-03,1.529574e-03,1.505478e-03,1.481383e-03,1.435118e-03,1.390727e-03,1.348156e-03,1.307351e-03,1.268256e-03,1.230816e-03,1.194978e-03,1.160685e-03,1.127884e-03,1.096523e-03,1.066550e-03,1.037913e-03,1.010564e-03,9.844531e-04,9.595341e-04,9.357609e-04,9.130893e-04,8.914762e-04,8.708800e-04,8.512603e-04,8.325781e-04,8.147959e-04,7.978773e-04,7.817873e-04,7.664919e-04,7.519587e-04,7.381562e-04,7.250543e-04,7.126237e-04,7.008364e-04,6.896655e-04,6.790851e-04,6.690701e-04,6.595966e-04,6.506414e-04,6.421824e-04,6.341983e-04,6.266685e-04,6.195733e-04,6.128938e-04,6.066117e-04,6.007096e-04,5.951707e-04,5.899788e-04,5.851184e-04,5.805746e-04,5.763330e-04,5.723800e-04,5.687022e-04
0.000000e+00,2.158099e-09,9.778704e-08,1.034800e-07,1.074227e-06,5.740826e-06,6.103407e-06,2.344939e-05,6.264849e-05,6.616422e-05,1.450286e-04,2.496736e-04,2.599903e-04,4.004089e-04,5.370099e-04,5.523672e-04,7.044598e-04,8.325864e-04,8.494637e-04,9.836583e-04,1.089278e-03,1.105596e-03,1.215096e-03,1.297783e-03,1.312607e-03,1.398847e-03,1.461721e-03,1.474626e-03,1.540762e-03,1.587263e-03,1.598049e-03,1.647236e-03,1.680432e-03,1.689025e-03,1.724069e-03,1.746564e-03,1.752970e-03,1.776284e-03,1.790242e-03,1.794523e-03,1.808158e-03,1.815370e-03,1.817624e-03,1.823318e-03,1.825256e-03,1.825605e-03,1.824820e-03,1.822690e-03,1.821272e-03,1.815241e-03,1.810027e-03,1.806986e-03,1.796744e-03,1.789247e-03,1.784731e-03,1.771146e-03,1.762013e-03,1.756168e-03,1.739965e-03,1.729719e-03,1.722688e-03,1.704475e-03,1.693532e-03,1.685451e-03,1.665733e-03,1.654427e-03,1.645425e-03,1.624623e-03,1.613216e-03,1.603414e-03,1.581877e-03,1.570572e-03,1.560084e-03,1.538099e-03,1.527054e-03,1.515983e-03,1.493788e-03,1.483121e-03,1.471563e-03,1.449351e-03,1.439149e-03,1.427193e-03,1.405122e-03,1.395448e-03,1.383172e-03,1.361370e-03,1.352264e-03,1.339742e-03,1.318311e-03,1.309798e-03,1.297095e-03,1.276114e-03,1.268206e-03,1.255383e-03,1.234914e-03,1.227612e-03,1.214721e-03,1.194813e-03,1.188111e-03,1.175199e-03,1.155886e-03,1.149771e-03,1.136881e-03,1.118189e-03,1.112643e-03,1.099813e-03,1.081757e-03,1.076759e-03,1.064023e-03,1.046612e-03,1.042138e-03,1.029525e-03,1.012763e-03,1.008788e-03,9.963239e-04,9.802082e-04,9.767060e-04,9.644141e-04,9.489398e-04,9.458831e-04,9.337832e-04,9.189417e-04,9.163035e-04,9.044127e-04,8.901931e-04,8.879464e-04,8.762796e-04,8.626688e-04,8.607873e-04,8.493571e-04,8.363407e-04,8.347984e-04,8.236156e-04,8.111779e-04,8.099498e-04,7.990234e-04,7.871480e-04,7.862099e-04,7.755473e-04,7.642170e-04,7.635457e-04,7.531528e-04,7.423503e-04,7.419236e-04,7.318051e-04,7.215127e-04,7.213094e-04,7.114688e-04,7.016690e-04,6.829681e-04,6.651727e-04,6.482494e-04,6.321652e-04,6.168877e-04,6.023855e-04,5.886277e-04,5.755843e-04,5.632262e-04,5.515249e-04,5.404532e-04,5.299844e-04,5.200928e-04,5.107538e-04,5.019434e-04,4.936384e-04,4.858167e-04,4.784567e-04,4.715378e-04,4.650402e-04,4.589447e-04,4.532328e-04,4.478869e-04,4.428900e-04,4.382257e-04,4.338782e-04,4.298326e-04,4.260742e-04,4.225891e-04,4.193640e-04,4.163861e-04,4.136429e-04,4.111228e-04,4.088143e-04,4.067066e-04,4.047893e-04,4.030523e-04,4.014861e-04,4.000815e-04,3.988297e-04,3.977223e-04,3.967511e-04,3.959086e-04,3.951872e-04,3.945800e-04,3.940801e-04,3.936811e-04,3.933767e-04,3.931612e-04
0.000000e+00,1.788710e-09,1.659407e-07,1.782963e-07,3.594526e-06,2.870509e-05,3.088825e-05,1.469080e-04,4.386935e-04,4.661067e-04,1.130449e-03,2.171399e-03,2.285028e-03,4.060887e-03,6.279150e-03,6.564740e-03,9.873887e-03,1.348969e-02,1.403479e-02,1.906411e-02,2.407653e-02,2.495134e-02,3.166234e-02,3.789727e-02,3.914325e-02,4.732460e-02,5.449932e-02,5.612522e-02,6.545584e-02,7.323883e-02,7.522242e-02,8.532894e-02,9.338648e-02,9.567986e-02,1.061821e-01,1.142101e-01,1.167467e-01,1.272900e-01,1.350323e-01,1.377343e-01,1.480091e-01,1.552660e-01,1.580508e-01,1.678032e-01,1.744314e-01,1.772176e-01,1.862523e-01,1.921610e-01,1.948725e-01,2.030501e-01,2.081939e-01,2.107630e-01,2.179948e-01,2.223655e-01,2.247346e-01,2.309758e-01,2.345939e-01,2.367164e-01,2.419581e-01,2.448655e-01,2.467058e-01,2.509674e-01,2.532203e-01,2.547532e-01,2.580757e-01,2.597391e-01,2.609490e-01,2.633887e-01,2.645317e-01,2.654115e-01,2.670348e-01,2.677271e-01,2.682769e-01,2.691562e-01,2.694656e-01,2.696914e-01,2.699015e-01,2.698923e-01,2.698050e-01,2.694205e-01,2.691520e-01,2.687663e-01,2.678601e-01,2.673860e-01,2.667192e-01,2.653607e-01,2.647290e-01,2.638006e-01,2.620548e-01,2.613078e-01,2.601383e-01,2.580656e-01,2.572399e-01,2.558505e-01,2.535062e-01,2.526330e-01,2.510452e-01,2.484796e-01,2.475854e-01,2.458205e-01,2.430786e-01,2.421854e-01,2.402641e-01,2.373865e-01,2.365122e-01,2.344547e-01,2.314770e-01,2.306362e-01,2.284616e-01,2.254156e-01,2.246195e-01,2.223461e-01,2.192595e-01,2.185168e-01,2.161618e-01,2.130587e-01,2.123758e-01,2.099554e-01,2.068567e-01,2.062379e-01,2.037671e-01,2.006909e-01,2.001388e-01,1.976317e-01,1.945932e-01,1.941092e-01,1.915787e-01,1.885911e-01,1.881751e-01,1.856331e-01,1.827072e-01,1.823584e-01,1.798158e-01,1.769608e-01,1.766774e-01,1.741443e-01,1.713677e-01,1.711473e-01,1.686327e-01,1.659406e-01,1.657804e-01,1.632925e-01,1.606896e-01,1.605864e-01,1.581328e-01,1.556227e-01,1.555730e-01,1.531603e-01,1.507458e-01,1.461089e-01,1.416648e-01,1.374146e-01,1.333587e-01,1.294961e-01,1.258253e-01,1.223438e-01,1.190487e-01,1.159364e-01,1.130031e-01,1.102442e-01,1.076551e-01,1.052309e-01,1.029664e-01,1.008562e-01,9.889471e-02,9.707638e-02,9.539548e-02,9.384622e-02,9.242280e-02,9.111939e-02,8.993018e-02,8.884940e-02,8.787131e-02,8.699023e-02,8.620059e-02,8.549687e-02,8.487370e-02,8.432581e-02,8.384805e-02,8.343541e-02,8.308305e-02,8.278627e-02,8.254054e-02,8.234148e-02,8.218491e-02,8.206683e-02,8.198341e-02,8.193101e-02,8.190617e-02,8.190563e-02,8.192631e-02,8.196532e-02,8.201995e-02,8.208768e-02,8.216617e-02,8.225325e-02,8.234691e-02,8.244534e-02
0.000000e+00,7.850135e-10,4.871869e-08,5.191740e-08,7.500543e-07,5.055646e-06,5.415881e-06,2.398284e-05,6.860709e-05,7.267307e-05,1.655681e-04,2.943073e-04,3.073909e-04,4.934572e-04,6.902181e-04,7.133861e-04,9.549091e-04,1.176060e-03,1.206429e-03,1.458299e-03,1.669548e-03,1.703202e-03,1.936023e-03,2.119820e-03,2.153494e-03,2.353784e-03,2.504636e-03,2.536123e-03,2.700477e-03,2.819311e-03,2.847309e-03,2.977394e-03,3.067845e-03,3.091687e-03,3.191235e-03,3.257691e-03,3.277113e-03,3.350387e-03,3.397105e-03,3.412091e-03,3.463205e-03,3.493971e-03,3.504654e-03,3.537302e-03,3.555351e-03,3.561952e-03,3.579345e-03,3.587380e-03,3.590168e-03,3.595051e-03,3.595303e-03,3.594573e-03,3.589268e-03,3.583565e-03,3.579622e-03,3.566083e-03,3.555915e-03,3.549061e-03,3.528930e-03,3.515503e-03,3.506032e-03,3.480681e-03,3.464967e-03,3.453163e-03,3.423739e-03,3.406520e-03,3.392649e-03,3.360108e-03,3.342004e-03,3.326316e-03,3.291453e-03,3.272957e-03,3.255685e-03,3.219160e-03,3.200657e-03,3.182015e-03,3.144373e-03,3.126162e-03,3.106347e-03,3.068038e-03,3.050346e-03,3.029538e-03,2.990931e-03,2.973929e-03,2.952291e-03,2.913687e-03,2.897498e-03,2.875179e-03,2.836823e-03,2.821534e-03,2.798667e-03,2.760755e-03,2.746421e-03,2.723128e-03,2.685819e-03,2.672472e-03,2.648861e-03,2.612279e-03,2.599932e-03,2.576099e-03,2.540342e-03,2.528992e-03,2.505026e-03,2.470166e-03,2.459800e-03,2.435778e-03,2.401871e-03,2.392465e-03,2.368456e-03,2.335541e-03,2.327065e-03,2.303131e-03,2.271233e-03,2.263654e-03,2.239849e-03,2.208982e-03,2.202261e-03,2.178634e-03,2.148805e-03,2.142901e-03,2.119494e-03,2.090701e-03,2.085573e-03,2.062423e-03,2.034658e-03,2.030263e-03,2.007403e-03,1.980654e-03,1.976950e-03,1.954408e-03,1.928660e-03,1.925603e-03,1.903404e-03,1.878637e-03,1.876187e-03,1.854353e-03,1.830545e-03,1.828661e-03,1.807209e-03,1.784338e-03,1.782980e-03,1.761926e-03,1.739967e-03,1.739098e-03,1.718455e-03,1.697383e-03,1.696966e-03,1.676744e-03,1.656531e-03,1.617745e-03,1.580554e-03,1.544907e-03,1.510753e-03,1.478042e-03,1.446722e-03,1.416745e-03,1.388062e-03,1.360626e-03,1.334391e-03,1.309313e-03,1.285347e-03,1.262451e-03,1.240584e-03,1.219706e-03,1.199779e-03,1.180766e-03,1.162629e-03,1.145335e-03,1.128850e-03,1.113140e-03,1.098175e-03,1.083925e-03,1.070359e-03,1.057451e-03,1.045173e-03,1.033498e-03,1.022402e-03,1.011861e-03,1.001850e-03,9.923483e-04,9.833333e-04,9.747844e-04,9.666815e-04,9.590055e-04,9.517378e-04,9.448605e-04,9.383566e-04,9.322095e-04,9.264034e-04,9.209231e-04,9.157539e-04,9.108818e-04,9.062932e-04,9.019752e-04,8.979152e-04,8.941014e-04,8.905222e-04,8.871666e-04
0.000000e+00,1.111643e-09,2.205259e-08,2.313591e-08,1.559705e-07,4.690725e-07,4.850790e-07,9.094779e-07,1.312434e-06,1.337759e-06,1.750695e-06,2.114429e-06,2.145312e-06,2.521292e-06,2.843901e-06,2.878835e-06,3.218282e-06,3.502344e-06,3.540035e-06,3.844526e-06,4.092930e-06,4.132213e-06,4.403607e-06,4.619377e-06,4.659242e-06,4.899669e-06,5.085854e-06,5.125435e-06,5.337089e-06,5.496613e-06,5.535169e-06,5.720202e-06,5.855805e-06,5.892707e-06,6.053186e-06,6.167410e-06,6.202130e-06,6.340014e-06,6.435199e-06,6.467299e-06,6.584432e-06,6.662726e-06,6.691847e-06,6.789961e-06,6.853325e-06,6.879180e-06,6.959895e-06,7.010117e-06,7.032484e-06,7.097311e-06,7.136017e-06,7.154729e-06,7.205077e-06,7.233742e-06,7.248684e-06,7.285864e-06,7.305822e-06,7.316922e-06,7.342151e-06,7.354608e-06,7.361834e-06,7.376242e-06,7.382286e-06,7.385638e-06,7.390272e-06,7.390879e-06,7.390389e-06,7.386220e-06,7.382266e-06,7.377990e-06,7.365915e-06,7.358185e-06,7.350201e-06,7.331048e-06,7.320242e-06,7.308647e-06,7.283183e-06,7.269923e-06,7.254830e-06,7.223759e-06,7.208598e-06,7.190132e-06,7.154105e-06,7.137532e-06,7.115828e-06,7.075444e-06,7.057887e-06,7.033090e-06,6.988900e-06,6.970738e-06,6.942998e-06,6.895507e-06,6.877067e-06,6.846541e-06,6.796212e-06,6.777780e-06,6.744625e-06,6.691884e-06,6.673705e-06,6.638083e-06,6.583318e-06,6.565603e-06,6.527675e-06,6.471241e-06,6.454169e-06,6.414097e-06,6.356319e-06,6.340038e-06,6.297981e-06,6.239155e-06,6.223788e-06,6.179906e-06,6.120299e-06,6.105947e-06,6.060396e-06,6.000253e-06,5.986995e-06,5.939927e-06,5.879469e-06,5.867366e-06,5.818930e-06,5.758357e-06,5.747454e-06,5.697795e-06,5.637287e-06,5.627614e-06,5.576874e-06,5.516593e-06,5.508166e-06,5.456481e-06,5.396573e-06,5.389399e-06,5.336900e-06,5.277495e-06,5.271570e-06,5.218385e-06,5.159597e-06,5.154909e-06,5.101158e-06,5.043092e-06,5.039620e-06,4.985421e-06,4.928167e-06,4.925886e-06,4.871349e-06,4.814986e-06,4.813863e-06,4.759095e-06,4.703693e-06,4.595497e-06,4.489378e-06,4.385425e-06,4.283714e-06,4.184306e-06,4.087251e-06,3.992590e-06,3.900352e-06,3.810557e-06,3.723218e-06,3.638342e-06,3.555926e-06,3.475964e-06,3.398444e-06,3.323348e-06,3.250655e-06,3.180339e-06,3.112372e-06,3.046722e-06,2.983355e-06,2.922234e-06,2.863321e-06,2.806575e-06,2.751955e-06,2.699417e-06,2.648917e-06,2.600412e-06,2.553855e-06,2.509200e-06,2.466401e-06,2.425412e-06,2.386186e-06,2.348677e-06,2.312838e-06,2.278624e-06,2.245987e-06,2.214883e-06,2.185267e-06,2.157094e-06,2.130320e-06,2.104902e-06,2.080796e-06,2.057960e-06,2.036353e-06,2.015934e-06,1.996663e-06,1.978500e-06,1.961406e-06,1.945344e-06
0.000000e+00,1.020488e-09,1.789754e-08,1.876562e-08,1.318592e-07,4.541710e-07,4.727500e-07,1.013599e-06,1.559963e-06,1.594405e-06,2.152933e-06,2.637720e-06,2.678518e-06,3.170396e-06,3.585084e-06,3.629566e-06,4.057344e-06,4.408896e-06,4.455083e-06,4.824126e-06,5.119562e-06,5.165797e-06,5.481406e-06,5.727318e-06,5.772239e-06,6.039558e-06,6.242077e-06,6.284592e-06,6.508535e-06,6.673280e-06,6.712539e-06,6.897709e-06,7.029750e-06,7.065104e-06,7.215740e-06,7.319610e-06,7.350582e-06,7.470552e-06,7.550274e-06,7.576529e-06,7.669346e-06,7.728472e-06,7.749795e-06,7.818629e-06,7.860286e-06,7.876562e-06,7.924271e-06,7.951201e-06,7.962397e-06,7.991549e-06,8.006155e-06,8.012304e-06,8.025206e-06,8.029583e-06,8.030773e-06,8.029494e-06,8.025466e-06,8.021831e-06,8.008222e-06,7.997376e-06,7.989081e-06,7.964799e-06,7.948507e-06,7.935746e-06,7.902272e-06,7.881719e-06,7.864707e-06,7.823362e-06,7.799568e-06,7.778531e-06,7.730494e-06,7.704334e-06,7.679511e-06,7.625830e-06,7.598051e-06,7.569684e-06,7.511292e-06,7.482528e-06,7.450863e-06,7.388589e-06,7.359376e-06,7.324656e-06,7.259236e-06,7.230023e-06,7.192492e-06,7.124576e-06,7.095737e-06,7.055632e-06,6.985795e-06,6.957638e-06,6.915191e-06,6.843940e-06,6.816718e-06,6.772153e-06,6.699935e-06,6.673849e-06,6.627382e-06,6.554588e-06,6.529798e-06,6.481637e-06,6.408610e-06,6.385238e-06,6.335582e-06,6.262621e-06,6.240756e-06,6.189794e-06,6.117161e-06,6.096866e-06,6.044778e-06,5.972696e-06,5.954011e-06,5.900966e-06,5.829632e-06,5.812575e-06,5.758735e-06,5.688313e-06,5.672888e-06,5.618403e-06,5.549037e-06,5.535231e-06,5.480244e-06,5.412052e-06,5.399843e-06,5.344485e-06,5.277568e-06,5.266922e-06,5.211319e-06,5.145759e-06,5.136636e-06,5.080903e-06,5.016766e-06,5.009119e-06,4.953363e-06,4.890705e-06,4.884480e-06,4.828801e-06,4.767662e-06,4.762804e-06,4.707295e-06,4.647706e-06,4.644155e-06,4.588900e-06,4.530883e-06,4.528578e-06,4.473656e-06,4.417223e-06,4.416102e-06,4.361585e-06,4.306742e-06,4.200500e-06,4.097367e-06,3.997324e-06,3.900346e-06,3.806398e-06,3.715442e-06,3.627431e-06,3.542318e-06,3.460049e-06,3.380568e-06,3.303818e-06,3.229738e-06,3.158267e-06,3.089341e-06,3.022899e-06,2.958876e-06,2.897208e-06,2.837831e-06,2.780681e-06,2.725697e-06,2.672814e-06,2.621972e-06,2.573109e-06,2.526165e-06,2.481082e-06,2.437801e-06,2.396266e-06,2.356421e-06,2.318211e-06,2.281584e-06,2.246488e-06,2.212871e-06,2.180686e-06,2.149882e-06,2.120414e-06,2.092236e-06,2.065304e-06,2.039574e-06,2.015004e-06,1.991555e-06,1.969185e-06,1.947858e-06,1.927535e-06,1.908180e-06,1.889759e-06,1.872238e-06,1.855582e-06,1.839761e-06,1.824744e-06
0.000000e+00,3.863476e-10,7.843480e-09,8.223612e-09,5.331468e-08,1.611862e-07,1.669251e-07,3.250081e-07,4.792746e-07,4.889935e-07,6.473362e-07,7.863761e-07,7.981581e-07,9.412916e-07,1.063652e-06,1.076876e-06,1.205121e-06,1.312089e-06,1.326258e-06,1.440529e-06,1.533498e-06,1.548180e-06,1.649461e-06,1.729794e-06,1.744617e-06,1.833893e-06,1.902878e-06,1.917526e-06,1.995748e-06,2.054583e-06,2.068786e-06,2.136859e-06,2.186645e-06,2.200178e-06,2.258949e-06,2.300694e-06,2.313369e-06,2.363629e-06,2.398252e-06,2.409913e-06,2.452399e-06,2.480734e-06,2.491258e-06,2.526654e-06,2.549455e-06,2.558745e-06,2.587683e-06,2.605635e-06,2.613615e-06,2.636683e-06,2.650405e-06,2.657022e-06,2.674764e-06,2.684813e-06,2.690033e-06,2.702950e-06,2.709828e-06,2.713630e-06,2.722185e-06,2.726342e-06,2.728721e-06,2.733340e-06,2.735180e-06,2.736142e-06,2.737219e-06,2.737103e-06,2.736663e-06,2.734560e-06,2.732811e-06,2.730993e-06,2.726042e-06,2.722947e-06,2.719784e-06,2.712292e-06,2.708104e-06,2.703635e-06,2.693881e-06,2.688829e-06,2.683095e-06,2.671338e-06,2.665620e-06,2.658669e-06,2.645146e-06,2.638938e-06,2.630821e-06,2.615747e-06,2.609204e-06,2.599973e-06,2.583547e-06,2.576804e-06,2.566513e-06,2.548916e-06,2.542090e-06,2.530796e-06,2.512194e-06,2.505386e-06,2.493146e-06,2.473690e-06,2.466988e-06,2.453859e-06,2.433686e-06,2.427164e-06,2.413203e-06,2.392440e-06,2.386160e-06,2.371424e-06,2.350184e-06,2.344200e-06,2.328744e-06,2.307130e-06,2.301485e-06,2.285366e-06,2.263473e-06,2.258201e-06,2.241472e-06,2.219384e-06,2.214515e-06,2.197228e-06,2.175022e-06,2.170577e-06,2.152784e-06,2.130530e-06,2.126523e-06,2.108274e-06,2.086033e-06,2.082477e-06,2.063820e-06,2.041648e-06,2.038548e-06,2.019529e-06,1.997476e-06,1.994835e-06,1.975500e-06,1.953610e-06,1.951426e-06,1.931818e-06,1.910131e-06,1.908401e-06,1.888559e-06,1.867111e-06,1.865828e-06,1.845793e-06,1.824613e-06,1.823769e-06,1.803578e-06,1.782694e-06,1.782278e-06,1.761967e-06,1.741403e-06,1.701183e-06,1.661656e-06,1.622849e-06,1.584790e-06,1.547498e-06,1.510990e-06,1.475280e-06,1.440379e-06,1.406292e-06,1.373025e-06,1.340580e-06,1.308956e-06,1.278152e-06,1.248164e-06,1.218986e-06,1.190612e-06,1.163034e-06,1.136242e-06,1.110228e-06,1.084979e-06,1.060484e-06,1.036732e-06,1.013709e-06,9.914028e-07,9.697991e-07,9.488843e-07,9.286445e-07,9.090653e-07,8.901323e-07,8.718311e-07,8.541472e-07,8.370660e-07,8.205730e-07,8.046538e-07,7.892942e-07,7.744799e-07,7.601968e-07,7.464309e-07,7.331686e-07,7.203962e-07,7.081004e-07,6.962679e-07,6.848859e-07,6.739415e-07,6.634223e-07,6.533160e-07,6.436105e-07,6.342942e-07,6.253554e-07
0.000000e+00,1.182703e-09,6.042109e-08,6.409551e-08,7.443146e-07,4.308304e-06,4.593008e-06,1.868500e-05,5.190980e-05,5.494113e-05,1.242963e-04,2.190885e-04,2.285600e-04,3.590297e-04,4.873961e-04,5.018287e-04,6.436430e-04,7.597705e-04,7.747071e-04,8.893276e-04,9.728972e-04,9.851635e-04,1.062167e-03,1.113223e-03,1.121636e-03,1.165524e-03,1.191401e-03,1.195991e-03,1.215148e-03,1.223637e-03,1.224928e-03,1.227033e-03,1.224298e-03,1.222928e-03,1.213851e-03,1.204273e-03,1.200840e-03,1.184757e-03,1.171299e-03,1.166310e-03,1.146082e-03,1.130687e-03,1.124550e-03,1.102100e-03,1.086010e-03,1.079046e-03,1.055640e-03,1.039628e-03,1.032084e-03,1.008542e-03,9.930744e-04,9.851405e-04,9.619810e-04,9.473232e-04,9.391424e-04,9.166854e-04,9.029744e-04,8.946559e-04,8.730882e-04,8.603797e-04,8.520067e-04,8.314287e-04,8.197286e-04,8.113649e-04,7.918212e-04,7.811047e-04,7.727992e-04,7.542975e-04,7.445217e-04,7.363122e-04,7.188374e-04,7.099498e-04,7.018657e-04,6.853887e-04,6.773328e-04,6.693970e-04,6.538805e-04,6.465982e-04,6.388285e-04,6.242303e-04,6.176645e-04,6.100748e-04,5.963507e-04,5.904459e-04,5.830469e-04,5.701522e-04,5.648557e-04,5.576554e-04,5.455457e-04,5.408078e-04,5.338122e-04,5.224442e-04,5.182181e-04,5.114313e-04,5.007633e-04,4.970053e-04,4.904301e-04,4.804218e-04,4.770913e-04,4.707290e-04,4.613422e-04,4.584016e-04,4.522524e-04,4.434507e-04,4.408651e-04,4.349284e-04,4.266771e-04,4.244142e-04,4.186886e-04,4.109550e-04,4.089850e-04,4.034684e-04,3.962214e-04,3.945170e-04,3.892067e-04,3.824170e-04,3.809528e-04,3.758455e-04,3.694856e-04,3.682384e-04,3.633306e-04,3.573743e-04,3.563228e-04,3.516106e-04,3.460333e-04,3.451579e-04,3.406369e-04,3.354156e-04,3.346983e-04,3.303640e-04,3.254769e-04,3.249013e-04,3.207491e-04,3.161756e-04,3.157265e-04,3.117516e-04,3.074725e-04,3.071363e-04,3.033337e-04,2.993308e-04,2.990948e-04,2.954595e-04,2.917157e-04,2.915686e-04,2.880955e-04,2.845949e-04,2.845261e-04,2.812102e-04,2.779376e-04,2.717753e-04,2.660129e-04,2.606258e-04,2.555908e-04,2.508861e-04,2.464914e-04,2.423874e-04,2.385560e-04,2.349804e-04,2.316446e-04,2.285336e-04,2.256335e-04,2.229310e-04,2.204138e-04,2.180703e-04,2.158896e-04,2.138614e-04,2.119762e-04,2.102248e-04,2.085990e-04,2.070906e-04,2.056923e-04,2.043970e-04,2.031982e-04,2.020898e-04,2.010659e-04,2.001211e-04,1.992504e-04,1.984489e-04,1.977122e-04,1.970360e-04,1.964165e-04,1.958499e-04,1.953328e-04,1.948619e-04,1.944341e-04,1.940465e-04,1.936966e-04,1.933818e-04,1.930996e-04,1.928480e-04,1.926247e-04,1.924280e-04,1.922559e-04,1.921067e-04,1.919789e-04,1.918708e-04,1.917812e-04,1.917087e-04
0.000000e+00,1.122758e-09,1.041966e-07,1.119167e-07,2.191174e-06,1.699813e-05,1.827482e-05,8.574225e-05,2.547839e-04,2.706422e-04,6.539693e-04,1.251431e-03,1.316451e-03,2.328468e-03,3.583647e-03,3.744640e-03,5.601679e-03,7.615897e-03,7.918390e-03,1.069699e-02,1.344694e-02,1.392515e-02,1.757843e-02,2.095098e-02,2.162271e-02,2.601663e-02,2.984811e-02,3.071378e-02,3.566466e-02,3.977384e-02,4.081835e-02,4.612396e-02,5.033574e-02,5.153175e-02,5.699406e-02,6.115413e-02,6.246598e-02,6.790589e-02,7.188831e-02,7.327576e-02,7.854135e-02,8.225082e-02,8.367231e-02,8.864215e-02,9.201287e-02,9.342818e-02,9.801131e-02,1.010038e-01,1.023759e-01,1.065096e-01,1.091067e-01,1.104030e-01,1.140494e-01,1.162515e-01,1.174447e-01,1.205868e-01,1.224078e-01,1.234759e-01,1.261137e-01,1.275771e-01,1.285036e-01,1.306501e-01,1.317859e-01,1.325591e-01,1.342372e-01,1.350789e-01,1.356919e-01,1.369311e-01,1.375137e-01,1.379635e-01,1.387979e-01,1.391565e-01,1.394433e-01,1.399092e-01,1.400777e-01,1.402048e-01,1.403394e-01,1.403496e-01,1.403223e-01,1.401626e-01,1.400437e-01,1.398693e-01,1.394510e-01,1.392296e-01,1.389163e-01,1.382734e-01,1.379730e-01,1.375302e-01,1.366945e-01,1.363360e-01,1.357736e-01,1.347745e-01,1.343758e-01,1.337040e-01,1.325684e-01,1.321449e-01,1.313739e-01,1.301263e-01,1.296910e-01,1.288310e-01,1.274933e-01,1.270571e-01,1.261180e-01,1.247098e-01,1.242816e-01,1.232731e-01,1.218118e-01,1.213988e-01,1.203300e-01,1.188311e-01,1.184390e-01,1.173186e-01,1.157956e-01,1.154288e-01,1.142650e-01,1.127296e-01,1.123914e-01,1.111920e-01,1.096544e-01,1.093471e-01,1.081192e-01,1.065883e-01,1.063133e-01,1.050636e-01,1.035469e-01,1.033051e-01,1.020398e-01,1.005438e-01,1.003353e-01,9.906011e-02,9.759008e-02,9.741465e-02,9.613483e-02,9.469537e-02,9.455233e-02,9.327265e-02,9.186750e-02,9.175587e-02,9.048069e-02,8.911291e-02,8.903146e-02,8.776476e-02,8.643678e-02,8.638409e-02,8.512945e-02,8.384318e-02,8.381767e-02,8.257833e-02,8.133521e-02,7.893891e-02,7.663024e-02,7.441007e-02,7.227874e-02,7.023612e-02,6.828166e-02,6.641450e-02,6.463347e-02,6.293715e-02,6.132390e-02,5.979191e-02,5.833921e-02,5.696369e-02,5.566315e-02,5.443531e-02,5.327782e-02,5.218827e-02,5.116424e-02,5.020327e-02,4.930288e-02,4.846062e-02,4.767400e-02,4.694058e-02,4.625794e-02,4.562367e-02,4.503541e-02,4.449083e-02,4.398764e-02,4.352361e-02,4.309656e-02,4.270435e-02,4.234491e-02,4.201624e-02,4.171638e-02,4.144345e-02,4.119563e-02,4.097118e-02,4.076840e-02,4.058568e-02,4.042148e-02,4.027432e-02,4.014280e-02,4.002557e-02,3.992138e-02,3.982901e-02,3.974733e-02,3.967527e-02,3.961182e-02,3.955604e-02
0.000000e+00,9.801714e-09,1.514442e-07,1.584094e-07,1.072823e-06,4.040960e-06,4.232021e-06,1.099639e-05,2.006566e-05,2.068828e-05,3.108616e-05,4.006904e-05,4.081014e-05,4.949584e-05,5.641295e-05,5.713105e-05,6.378855e-05,6.890852e-05,6.955663e-05,7.452172e-05,7.821101e-05,7.876429e-05,8.235796e-05,8.492451e-05,8.536992e-05,8.786116e-05,8.955437e-05,8.988698e-05,9.149751e-05,9.251751e-05,9.273804e-05,9.364964e-05,9.415614e-05,9.426910e-05,9.462966e-05,9.474906e-05,9.476125e-05,9.469088e-05,9.452313e-05,9.444279e-05,9.403878e-05,9.366240e-05,9.349840e-05,9.283924e-05,9.231565e-05,9.207705e-05,9.122595e-05,9.060293e-05,9.029860e-05,8.930631e-05,8.862080e-05,8.825922e-05,8.716637e-05,8.644670e-05,8.603584e-05,8.487482e-05,8.414253e-05,8.368974e-05,8.248629e-05,8.175754e-05,8.126955e-05,8.004400e-05,7.933074e-05,7.881363e-05,7.758194e-05,7.689280e-05,7.635204e-05,7.512666e-05,7.446768e-05,7.390818e-05,7.269868e-05,7.207391e-05,7.149999e-05,7.031368e-05,6.972561e-05,6.914112e-05,6.798345e-05,6.743337e-05,6.684169e-05,6.571666e-05,6.520497e-05,6.460907e-05,6.351949e-05,6.304590e-05,6.244838e-05,6.139611e-05,6.095985e-05,6.036296e-05,5.934913e-05,5.894903e-05,5.835474e-05,5.737988e-05,5.701456e-05,5.642456e-05,5.548875e-05,5.515662e-05,5.457238e-05,5.367534e-05,5.337473e-05,5.279750e-05,5.193869e-05,5.166785e-05,5.109870e-05,5.027734e-05,5.003453e-05,4.947438e-05,4.868956e-05,4.847303e-05,4.792264e-05,4.717334e-05,4.698137e-05,4.644138e-05,4.572649e-05,4.555742e-05,4.502837e-05,4.434672e-05,4.419894e-05,4.368126e-05,4.303167e-05,4.290364e-05,4.239767e-05,4.177895e-05,4.166918e-05,4.117521e-05,4.058615e-05,4.049324e-05,4.001148e-05,3.945089e-05,3.937351e-05,3.890409e-05,3.837081e-05,3.830770e-05,3.785073e-05,3.734360e-05,3.729359e-05,3.684912e-05,3.636701e-05,3.632897e-05,3.589702e-05,3.543886e-05,3.541174e-05,3.499228e-05,3.455702e-05,3.453984e-05,3.413281e-05,3.371942e-05,3.371127e-05,3.331660e-05,3.292410e-05,3.217650e-05,3.146667e-05,3.079290e-05,3.015354e-05,2.954702e-05,2.897181e-05,2.842647e-05,2.790961e-05,2.741989e-05,2.695605e-05,2.651685e-05,2.610115e-05,2.570782e-05,2.533579e-05,2.498406e-05,2.465164e-05,2.433761e-05,2.404108e-05,2.376119e-05,2.349714e-05,2.324816e-05,2.301350e-05,2.279246e-05,2.258437e-05,2.238857e-05,2.220447e-05,2.203146e-05,2.186900e-05,2.171655e-05,2.157359e-05,2.143965e-05,2.131426e-05,2.119698e-05,2.108738e-05,2.098507e-05,2.088966e-05,2.080078e-05,2.071809e-05,2.064126e-05,2.056997e-05,2.050391e-05,2.044281e-05,2.038639e-05,2.033439e-05,2.028655e-05,2.024266e-05,2.020247e-05,2.016579e-05,2.013239e-05
0.000000e+00,4.526358e-10,5.565337e-09,5.803133e-09,3.475232e-08,1.215245e-07,1.269523e-07,3.125034e-07,5.481278e-07,5.639825e-07,8.271742e-07,1.056498e-06,1.075621e-06,1.302873e-06,1.488849e-06,1.508456e-06,1.693366e-06,1.840035e-06,1.858926e-06,2.006496e-06,2.120027e-06,2.137397e-06,2.252886e-06,2.338860e-06,2.354154e-06,2.442324e-06,2.505591e-06,2.518450e-06,2.583516e-06,2.628227e-06,2.638443e-06,2.684088e-06,2.713761e-06,2.721246e-06,2.750657e-06,2.768251e-06,2.773005e-06,2.788924e-06,2.796910e-06,2.798998e-06,2.803771e-06,2.804207e-06,2.803742e-06,2.799372e-06,2.793960e-06,2.791087e-06,2.779280e-06,2.769425e-06,2.764311e-06,2.746514e-06,2.733367e-06,2.726193e-06,2.703629e-06,2.688132e-06,2.679082e-06,2.652790e-06,2.635708e-06,2.624970e-06,2.595823e-06,2.577774e-06,2.565530e-06,2.534261e-06,2.515738e-06,2.502168e-06,2.469391e-06,2.450785e-06,2.436058e-06,2.402286e-06,2.383905e-06,2.368183e-06,2.333844e-06,2.315924e-06,2.299357e-06,2.264801e-06,2.247521e-06,2.230250e-06,2.195767e-06,2.179257e-06,2.161412e-06,2.127237e-06,2.111590e-06,2.093290e-06,2.059612e-06,2.044889e-06,2.026241e-06,1.993210e-06,1.979446e-06,1.960550e-06,1.928286e-06,1.915497e-06,1.896442e-06,1.865037e-06,1.853222e-06,1.834088e-06,1.803611e-06,1.792757e-06,1.773617e-06,1.744117e-06,1.734201e-06,1.715119e-06,1.686630e-06,1.677622e-06,1.658655e-06,1.631198e-06,1.623062e-06,1.604260e-06,1.577843e-06,1.570540e-06,1.551948e-06,1.526573e-06,1.520060e-06,1.501716e-06,1.477375e-06,1.471609e-06,1.453546e-06,1.430227e-06,1.425164e-06,1.407411e-06,1.385094e-06,1.380691e-06,1.363272e-06,1.341937e-06,1.338148e-06,1.321084e-06,1.300707e-06,1.297490e-06,1.280798e-06,1.261351e-06,1.258664e-06,1.242358e-06,1.223813e-06,1.221617e-06,1.205707e-06,1.188034e-06,1.186290e-06,1.170786e-06,1.153955e-06,1.152626e-06,1.137533e-06,1.121513e-06,1.120565e-06,1.105887e-06,1.090648e-06,1.090046e-06,1.075787e-06,1.061297e-06,1.061011e-06,1.047171e-06,1.033400e-06,1.007155e-06,9.822194e-07,9.585367e-07,9.360527e-07,9.147146e-07,8.944712e-07,8.752728e-07,8.570718e-07,8.398220e-07,8.234790e-07,8.080001e-07,7.933446e-07,7.794730e-07,7.663478e-07,7.539329e-07,7.421938e-07,7.310976e-07,7.206127e-07,7.107091e-07,7.013580e-07,6.925320e-07,6.842049e-07,6.763517e-07,6.689487e-07,6.619732e-07,6.554035e-07,6.492191e-07,6.434003e-07,6.379285e-07,6.327859e-07,6.279555e-07,6.234213e-07,6.191679e-07,6.151808e-07,6.114460e-07,6.079503e-07,6.046812e-07,6.016268e-07,5.987756e-07,5.961170e-07,5.936405e-07,5.913365e-07,5.891957e-07,5.872093e-07,5.853688e-07,5.836663e-07,5.820943e-07,5.806456e-07,5.793132e-07
0.000000e+00,2.377527e-09,9.834088e-08,1.040447e-07,1.084235e-06,5.571546e-06,5.906148e-06,2.059146e-05,4.902203e-05,5.137845e-05,9.924301e-05,1.535236e-04,1.584979e-04,2.217330e-04,2.779145e-04,2.840218e-04,3.431439e-04,3.919655e-04,3.983830e-04,4.496426e-04,4.906319e-04,4.970421e-04,5.407658e-04,5.747990e-04,5.810131e-04,6.179826e-04,6.459868e-04,6.518665e-04,6.828499e-04,7.056669e-04,7.111089e-04,7.368114e-04,7.551872e-04,7.601164e-04,7.811743e-04,7.957632e-04,8.001272e-04,8.171094e-04,8.284822e-04,8.322475e-04,8.456607e-04,8.543135e-04,8.574614e-04,8.677555e-04,8.741185e-04,8.766426e-04,8.842162e-04,8.886613e-04,8.905646e-04,8.957705e-04,8.986185e-04,8.999117e-04,9.030615e-04,9.045889e-04,9.052886e-04,9.066576e-04,9.071022e-04,9.072292e-04,9.070604e-04,9.066262e-04,9.062049e-04,9.047127e-04,9.035743e-04,9.026311e-04,9.000045e-04,8.983111e-04,8.968743e-04,8.932796e-04,8.911583e-04,8.892569e-04,8.848406e-04,8.823993e-04,8.800628e-04,8.749537e-04,8.722839e-04,8.695416e-04,8.638530e-04,8.610316e-04,8.579127e-04,8.517440e-04,8.488357e-04,8.453685e-04,8.388068e-04,8.358656e-04,8.320778e-04,8.251995e-04,8.222701e-04,8.181884e-04,8.110603e-04,8.081795e-04,8.038296e-04,7.965100e-04,7.937080e-04,7.891143e-04,7.816542e-04,7.789550e-04,7.741409e-04,7.665846e-04,7.640075e-04,7.589951e-04,7.513812e-04,7.489410e-04,7.437513e-04,7.361132e-04,7.338213e-04,7.284741e-04,7.208406e-04,7.187051e-04,7.132190e-04,7.056151e-04,7.036416e-04,6.980341e-04,6.904811e-04,6.886731e-04,6.829606e-04,6.754767e-04,6.738356e-04,6.680335e-04,6.606344e-04,6.591601e-04,6.532827e-04,6.459815e-04,6.446729e-04,6.387336e-04,6.315414e-04,6.303959e-04,6.244072e-04,6.173332e-04,6.163478e-04,6.103212e-04,6.033730e-04,6.025436e-04,5.964901e-04,5.896738e-04,5.889959e-04,5.829254e-04,5.762460e-04,5.757147e-04,5.696365e-04,5.630978e-04,5.627077e-04,5.566305e-04,5.502354e-04,5.499811e-04,5.439128e-04,5.376633e-04,5.375390e-04,5.314871e-04,5.253845e-04,5.135191e-04,5.019434e-04,4.906571e-04,4.796590e-04,4.689473e-04,4.585193e-04,4.483723e-04,4.385027e-04,4.289069e-04,4.195807e-04,4.105199e-04,4.017200e-04,3.931762e-04,3.848839e-04,3.768380e-04,3.690337e-04,3.614658e-04,3.541294e-04,3.470194e-04,3.401308e-04,3.334585e-04,3.269975e-04,3.207430e-04,3.146901e-04,3.088338e-04,3.031694e-04,2.976923e-04,2.923977e-04,2.872811e-04,2.823380e-04,2.775641e-04,2.729549e-04,2.685063e-04,2.642141e-04,2.600742e-04,2.560827e-04,2.522355e-04,2.485289e-04,2.449591e-04,2.415224e-04,2.382154e-04,2.350343e-04,2.319759e-04,2.290366e-04,2.262134e-04,2.235029e-04,2.209019e-04,2.184075e-04,2.160166e-04
0.000000e+00,6.131655e-10,4.518174e-08,4.829539e-08,7.618062e-07,5.106717e-06,5.464497e-06,2.351576e-05,6.669515e-05,7.066586e-05,1.634398e-04,2.978555e-04,3.118473e-04,5.165208e-04,7.431129e-04,7.704109e-04,1.062124e-03,1.339999e-03,1.378929e-03,1.708777e-03,1.994977e-03,2.041380e-03,2.368594e-03,2.634818e-03,2.684385e-03,2.984575e-03,3.217187e-03,3.266509e-03,3.528716e-03,3.723861e-03,3.770610e-03,3.992235e-03,4.151333e-03,4.194076e-03,4.376896e-03,4.503691e-03,4.541633e-03,4.689321e-03,4.788263e-03,4.821031e-03,4.937830e-03,5.013281e-03,5.040764e-03,5.130841e-03,5.186759e-03,5.209017e-03,5.276193e-03,5.316023e-03,5.333215e-03,5.380873e-03,5.407559e-03,5.419906e-03,5.450997e-03,5.467023e-03,5.474782e-03,5.491853e-03,5.499306e-03,5.502755e-03,5.507997e-03,5.508623e-03,5.508050e-03,5.503348e-03,5.498603e-03,5.494295e-03,5.481263e-03,5.472358e-03,5.464599e-03,5.444622e-03,5.432562e-03,5.421628e-03,5.395892e-03,5.381510e-03,5.367666e-03,5.337186e-03,5.321170e-03,5.304669e-03,5.270315e-03,5.253227e-03,5.234309e-03,5.196824e-03,5.179128e-03,5.158018e-03,5.118037e-03,5.100109e-03,5.077017e-03,5.035083e-03,5.017226e-03,4.992350e-03,4.948925e-03,4.931384e-03,4.904907e-03,4.860385e-03,4.843352e-03,4.815444e-03,4.770160e-03,4.753787e-03,4.724604e-03,4.678842e-03,4.663247e-03,4.632934e-03,4.586935e-03,4.572204e-03,4.540895e-03,4.494862e-03,4.481060e-03,4.448878e-03,4.402982e-03,4.390152e-03,4.357210e-03,4.311595e-03,4.299764e-03,4.266166e-03,4.220952e-03,4.210136e-03,4.175977e-03,4.131264e-03,4.121465e-03,4.086834e-03,4.042704e-03,4.033916e-03,3.998893e-03,3.955414e-03,3.947625e-03,3.912283e-03,3.869512e-03,3.862702e-03,3.827110e-03,3.785089e-03,3.779237e-03,3.743457e-03,3.702221e-03,3.697300e-03,3.661389e-03,3.620966e-03,3.616946e-03,3.580957e-03,3.541366e-03,3.538217e-03,3.502198e-03,3.463455e-03,3.461144e-03,3.425140e-03,3.387254e-03,3.385748e-03,3.349800e-03,3.312777e-03,3.312041e-03,3.276186e-03,3.240028e-03,3.169709e-03,3.101080e-03,3.034129e-03,2.968845e-03,2.905211e-03,2.843208e-03,2.782816e-03,2.724013e-03,2.666776e-03,2.611081e-03,2.556901e-03,2.504211e-03,2.452985e-03,2.403196e-03,2.354817e-03,2.307822e-03,2.262184e-03,2.217876e-03,2.174871e-03,2.133142e-03,2.092664e-03,2.053410e-03,2.015355e-03,1.978473e-03,1.942739e-03,1.908129e-03,1.874617e-03,1.842181e-03,1.810796e-03,1.780438e-03,1.751086e-03,1.722715e-03,1.695305e-03,1.668833e-03,1.643277e-03,1.618616e-03,1.594829e-03,1.571896e-03,1.549796e-03,1.528509e-03,1.508016e-03,1.488297e-03,1.469333e-03,1.451106e-03,1.433596e-03,1.416786e-03,1.400657e-03,1.385192e-03,1.370374e-03
0.000000e+00,1.315227e-08,5.356495e-07,5.679833e-07,5.903728e-06,2.426000e-05,2.536997e-05,5.856659e-05,9.302332e-05,9.521914e-05,1.312636e-04,1.633014e-04,1.660331e-04,1.994423e-04,2.283525e-04,2.314978e-04,2.622232e-04,2.881835e-04,2.916466e-04,3.197983e-04,3.430157e-04,3.467099e-04,3.724141e-04,3.930971e-04,3.969445e-04,4.203347e-04,4.386877e-04,4.426187e-04,4.638298e-04,4.800487e-04,4.840014e-04,5.031662e-04,5.174365e-04,5.213563e-04,5.386029e-04,5.510982e-04,5.549367e-04,5.703877e-04,5.812702e-04,5.849850e-04,5.987572e-04,6.081779e-04,6.117321e-04,6.239367e-04,6.320357e-04,6.353973e-04,6.461397e-04,6.530470e-04,6.561887e-04,6.655685e-04,6.714041e-04,6.743027e-04,6.824142e-04,6.872890e-04,6.899252e-04,6.968573e-04,7.008737e-04,7.032315e-04,7.090683e-04,7.123205e-04,7.143872e-04,7.192077e-04,7.217825e-04,7.235483e-04,7.274270e-04,7.294040e-04,7.308615e-04,7.338688e-04,7.353209e-04,7.364653e-04,7.386671e-04,7.396613e-04,7.404898e-04,7.419482e-04,7.425455e-04,7.430572e-04,7.438307e-04,7.440869e-04,7.442825e-04,7.444259e-04,7.443918e-04,7.442737e-04,7.438385e-04,7.435604e-04,7.431322e-04,7.421666e-04,7.416864e-04,7.409529e-04,7.395022e-04,7.388580e-04,7.378251e-04,7.359318e-04,7.351578e-04,7.338323e-04,7.315362e-04,7.306632e-04,7.290527e-04,7.263910e-04,7.254469e-04,7.235596e-04,7.205670e-04,7.195767e-04,7.174214e-04,7.141306e-04,7.131162e-04,7.107022e-04,7.071436e-04,7.061249e-04,7.034619e-04,6.996639e-04,6.986582e-04,6.957563e-04,6.917454e-04,6.907681e-04,6.876375e-04,6.834385e-04,6.825031e-04,6.791541e-04,6.747900e-04,6.739081e-04,6.703515e-04,6.658437e-04,6.650253e-04,6.612717e-04,6.566402e-04,6.558940e-04,6.519539e-04,6.472173e-04,6.465504e-04,6.424347e-04,6.376101e-04,6.370286e-04,6.327477e-04,6.278512e-04,6.273599e-04,6.229244e-04,6.179708e-04,6.175735e-04,6.129939e-04,6.079969e-04,6.076965e-04,6.029830e-04,5.979552e-04,5.977539e-04,5.929165e-04,5.878698e-04,5.877688e-04,5.828176e-04,5.777626e-04,5.677549e-04,5.577640e-04,5.478064e-04,5.378974e-04,5.280511e-04,5.182802e-04,5.085963e-04,4.990100e-04,4.895310e-04,4.801678e-04,4.709283e-04,4.618195e-04,4.528475e-04,4.440180e-04,4.353357e-04,4.268049e-04,4.184293e-04,4.102120e-04,4.021558e-04,3.942627e-04,3.865345e-04,3.789726e-04,3.715781e-04,3.643515e-04,3.572933e-04,3.504034e-04,3.436817e-04,3.371278e-04,3.307409e-04,3.245202e-04,3.184646e-04,3.125728e-04,3.068434e-04,3.012750e-04,2.958657e-04,2.906139e-04,2.855175e-04,2.805745e-04,2.757830e-04,2.711407e-04,2.666453e-04,2.622946e-04,2.580861e-04,2.540176e-04,2.500865e-04,2.462904e-04,2.426267e-04,2.390929e-04,2.356865e-04
0.000000e+00,1.263074e-09,6.279150e-08,6.661736e-08,7.774797e-07,4.372841e-06,4.652245e-06,1.769841e-05,4.549581e-05,4.790922e-05,9.983918e-05,1.644377e-04,1.706170e-04,2.521791e-04,3.278618e-04,3.361810e-04,4.167313e-04,4.821702e-04,4.906318e-04,5.566017e-04,6.068415e-04,6.144645e-04,6.645868e-04,7.011384e-04,7.075609e-04,7.440454e-04,7.695771e-04,7.746902e-04,8.001067e-04,8.170549e-04,8.208569e-04,8.374516e-04,8.478095e-04,8.503527e-04,8.599762e-04,8.653296e-04,8.666962e-04,8.708494e-04,8.724493e-04,8.727382e-04,8.726340e-04,8.714622e-04,8.707796e-04,8.673924e-04,8.642144e-04,8.626670e-04,8.567776e-04,8.521881e-04,8.498800e-04,8.421132e-04,8.365719e-04,8.336014e-04,8.244555e-04,8.183154e-04,8.147741e-04,8.046452e-04,7.981753e-04,7.941472e-04,7.833497e-04,7.767535e-04,7.723145e-04,7.610965e-04,7.545255e-04,7.497439e-04,7.382999e-04,7.318655e-04,7.268022e-04,7.152845e-04,7.090671e-04,7.037762e-04,6.923029e-04,6.863582e-04,6.808872e-04,6.695489e-04,6.639141e-04,6.583049e-04,6.471702e-04,6.418682e-04,6.361575e-04,6.252776e-04,6.203201e-04,6.145399e-04,6.039522e-04,5.993428e-04,5.935209e-04,5.832515e-04,5.789877e-04,5.731483e-04,5.632147e-04,5.592894e-04,5.534533e-04,5.438661e-04,5.402689e-04,5.344542e-04,5.252185e-04,5.219368e-04,5.161591e-04,5.072759e-04,5.042957e-04,4.985683e-04,4.900353e-04,4.873415e-04,4.816758e-04,4.734882e-04,4.710652e-04,4.654709e-04,4.576221e-04,4.554543e-04,4.499396e-04,4.424214e-04,4.404933e-04,4.350651e-04,4.278684e-04,4.261646e-04,4.208288e-04,4.139438e-04,4.124496e-04,4.072109e-04,4.006275e-04,3.993285e-04,3.941908e-04,3.878983e-04,3.867808e-04,3.817474e-04,3.757352e-04,3.747860e-04,3.698593e-04,3.641169e-04,3.633235e-04,3.585055e-04,3.530223e-04,3.523728e-04,3.476648e-04,3.424305e-04,3.419137e-04,3.373168e-04,3.323211e-04,3.319265e-04,3.274411e-04,3.226743e-04,3.223918e-04,3.180182e-04,3.134705e-04,3.132908e-04,3.090289e-04,3.046910e-04,3.046053e-04,3.004547e-04,2.963176e-04,2.884108e-04,2.808684e-04,2.736745e-04,2.668141e-04,2.602724e-04,2.540354e-04,2.480898e-04,2.424226e-04,2.370214e-04,2.318745e-04,2.269704e-04,2.222984e-04,2.178480e-04,2.136094e-04,2.095729e-04,2.057296e-04,2.020708e-04,1.985881e-04,1.952736e-04,1.921196e-04,1.891191e-04,1.862649e-04,1.835505e-04,1.809695e-04,1.785159e-04,1.761839e-04,1.739680e-04,1.718628e-04,1.698633e-04,1.679648e-04,1.661625e-04,1.644521e-04,1.628294e-04,1.612903e-04,1.598310e-04,1.584479e-04,1.571373e-04,1.558961e-04,1.547209e-04,1.536087e-04,1.525565e-04,1.515617e-04,1.506215e-04,1.497334e-04,1.488949e-04,1.481037e-04,1.473577e-04,1.466545e-04,1.459924e-04
0.000000e+00,3.148064e-09,5.428061e-08,5.685886e-08,3.768272e-07,1.219015e-06,1.265667e-06,2.575679e-06,3.848408e-06,3.927484e-06,5.191453e-06,6.259329e-06,6.347894e-06,7.398896e-06,8.259698e-06,8.350588e-06,9.209597e-06,9.893942e-06,9.982314e-06,1.067476e-05,1.121040e-05,1.129261e-05,1.184123e-05,1.225228e-05,1.232568e-05,1.275075e-05,1.305819e-05,1.312098e-05,1.344063e-05,1.366262e-05,1.371369e-05,1.394394e-05,1.409607e-05,1.413487e-05,1.428977e-05,1.438527e-05,1.441168e-05,1.450345e-05,1.455349e-05,1.456768e-05,1.460680e-05,1.462069e-05,1.462306e-05,1.461857e-05,1.460414e-05,1.459530e-05,1.455504e-05,1.451880e-05,1.449943e-05,1.443000e-05,1.437729e-05,1.434815e-05,1.425515e-05,1.419035e-05,1.415221e-05,1.404041e-05,1.396710e-05,1.392077e-05,1.379419e-05,1.371527e-05,1.366152e-05,1.352355e-05,1.344138e-05,1.338098e-05,1.323449e-05,1.315097e-05,1.308467e-05,1.293207e-05,1.284868e-05,1.277718e-05,1.262048e-05,1.253841e-05,1.246237e-05,1.230323e-05,1.222339e-05,1.214343e-05,1.198326e-05,1.190634e-05,1.182302e-05,1.166297e-05,1.158948e-05,1.150334e-05,1.134435e-05,1.127465e-05,1.118619e-05,1.102902e-05,1.096335e-05,1.087301e-05,1.071829e-05,1.065679e-05,1.056499e-05,1.041322e-05,1.035597e-05,1.026307e-05,1.011463e-05,1.006163e-05,9.967979e-06,9.823173e-06,9.774371e-06,9.680273e-06,9.539325e-06,9.494642e-06,9.400371e-06,9.263443e-06,9.222764e-06,9.128569e-06,8.995770e-06,8.958960e-06,8.865062e-06,8.736456e-06,8.703364e-06,8.609959e-06,8.485575e-06,8.456037e-06,8.363302e-06,8.243137e-06,8.216983e-06,8.125074e-06,8.009102e-06,7.986158e-06,7.895210e-06,7.783385e-06,7.763475e-06,7.673610e-06,7.565867e-06,7.548816e-06,7.460138e-06,7.356402e-06,7.342037e-06,7.254637e-06,7.154822e-06,7.142974e-06,7.056931e-06,6.960941e-06,6.951445e-06,6.866826e-06,6.774561e-06,6.767259e-06,6.684119e-06,6.595475e-06,6.590213e-06,6.508600e-06,6.423468e-06,6.420099e-06,6.340052e-06,6.258323e-06,6.256705e-06,6.178255e-06,6.099819e-06,5.949225e-06,5.804711e-06,5.666065e-06,5.533080e-06,5.405549e-06,5.283273e-06,5.166055e-06,5.053704e-06,4.946034e-06,4.842865e-06,4.744020e-06,4.649330e-06,4.558630e-06,4.471762e-06,4.388573e-06,4.308913e-06,4.232640e-06,4.159617e-06,4.089710e-06,4.022793e-06,3.958742e-06,3.897440e-06,3.838772e-06,3.782630e-06,3.728908e-06,3.677506e-06,3.628328e-06,3.581279e-06,3.536271e-06,3.493219e-06,3.452039e-06,3.412653e-06,3.374986e-06,3.338965e-06,3.304519e-06,3.271583e-06,3.240092e-06,3.209984e-06,3.181202e-06,3.153687e-06,3.127386e-06,3.102248e-06,3.078221e-06,3.055259e-06,3.033316e-06,3.012347e-06,2.992311e-06,2.973167e-06,2.954877e-06
0.000000e+00,2.554382e-09,1.672838e-07,1.782854e-07,2.555239e-06,1.757573e-05,1.886617e-05,9.084367e-05,2.960576e-04,3.166279e-04,8.582036e-04,1.811222e-03,1.920521e-03,3.721352e-03,6.144144e-03,6.466476e-03,1.033301e-02,1.477438e-02,1.545971e-02,2.194261e-02,2.864393e-02,2.983446e-02,3.914675e-02,4.804877e-02,4.985350e-02,6.189602e-02,7.270796e-02,7.518818e-02,8.962172e-02,1.019067e-01,1.050716e-01,1.214007e-01,1.346549e-01,1.384644e-01,1.561147e-01,1.698298e-01,1.742031e-01,1.925842e-01,2.062917e-01,2.111174e-01,2.296692e-01,2.429675e-01,2.481145e-01,2.663377e-01,2.789049e-01,2.842334e-01,3.017066e-01,3.133038e-01,3.186733e-01,3.350600e-01,3.455265e-01,3.508037e-01,3.658515e-01,3.750964e-01,3.801599e-01,3.936946e-01,4.016859e-01,4.064297e-01,4.183471e-01,4.251000e-01,4.294355e-01,4.396902e-01,4.452562e-01,4.491123e-01,4.577080e-01,4.621645e-01,4.654880e-01,4.724668e-01,4.759084e-01,4.786624e-01,4.840955e-01,4.866271e-01,4.887894e-01,4.927692e-01,4.944996e-01,4.960616e-01,4.986944e-01,4.997322e-01,5.006963e-01,5.020966e-01,5.025468e-01,5.029249e-01,5.032109e-01,5.031726e-01,5.029843e-01,5.022743e-01,5.018389e-01,5.011098e-01,4.995193e-01,4.987700e-01,4.975304e-01,4.951702e-01,4.941815e-01,4.924649e-01,4.894398e-01,4.882772e-01,4.861194e-01,4.825271e-01,4.812479e-01,4.786856e-01,4.746165e-01,4.732698e-01,4.703405e-01,4.658773e-01,4.645047e-01,4.612458e-01,4.564637e-01,4.551000e-01,4.515479e-01,4.465147e-01,4.451886e-01,4.413790e-01,4.361553e-01,4.348900e-01,4.308569e-01,4.254967e-01,4.243104e-01,4.200866e-01,4.146377e-01,4.135442e-01,4.091606e-01,4.036652e-01,4.026748e-01,3.981605e-01,3.926552e-01,3.917749e-01,3.871573e-01,3.816741e-01,3.809081e-01,3.762126e-01,3.707792e-01,3.701293e-01,3.653797e-01,3.600196e-01,3.594860e-01,3.547040e-01,3.494375e-01,3.490184e-01,3.442242e-01,3.390682e-01,3.387607e-01,3.339728e-01,3.289414e-01,3.287415e-01,3.239769e-01,3.190818e-01,3.189847e-01,3.142586e-01,3.095094e-01,3.003312e-01,2.914621e-01,2.829114e-01,2.746853e-01,2.667881e-01,2.592219e-01,2.519871e-01,2.450825e-01,2.385058e-01,2.322533e-01,2.263203e-01,2.207015e-01,2.153906e-01,2.103808e-01,2.056648e-01,2.012346e-01,1.970821e-01,1.931986e-01,1.895755e-01,1.862036e-01,1.830738e-01,1.801768e-01,1.775030e-01,1.750430e-01,1.727873e-01,1.707264e-01,1.688508e-01,1.671511e-01,1.656180e-01,1.642421e-01,1.630144e-01,1.619260e-01,1.609679e-01,1.601316e-01,1.594087e-01,1.587910e-01,1.582704e-01,1.578394e-01,1.574903e-01,1.572160e-01,1.570097e-01,1.568646e-01,1.567745e-01,1.567332e-01,1.567351e-01,1.567747e-01,1.568469e-01,1.569467e-01,1.570698e-01
0.000000e+00,1.058696e-08,3.577196e-07,3.775793e-07,3.451626e-06,1.463266e-05,1.536556e-05,4.101362e-05,7.378947e-05,7.598935e-05,1.124147e-04,1.440650e-04,1.467038e-04,1.780949e-04,2.038678e-04,2.065912e-04,2.323441e-04,2.528750e-04,2.555270e-04,2.763123e-04,2.923974e-04,2.948668e-04,3.113509e-04,3.237097e-04,3.259176e-04,3.387124e-04,3.479784e-04,3.498725e-04,3.595271e-04,3.662484e-04,3.677971e-04,3.747956e-04,3.794397e-04,3.806279e-04,3.853918e-04,3.883540e-04,3.891782e-04,3.920716e-04,3.936838e-04,3.941500e-04,3.954858e-04,3.960256e-04,3.961460e-04,3.961925e-04,3.958908e-04,3.956827e-04,3.946692e-04,3.937175e-04,3.932010e-04,3.913232e-04,3.898797e-04,3.890771e-04,3.865013e-04,3.846960e-04,3.836308e-04,3.804982e-04,3.784375e-04,3.771333e-04,3.735637e-04,3.713343e-04,3.698146e-04,3.659092e-04,3.635809e-04,3.618688e-04,3.577129e-04,3.553419e-04,3.534594e-04,3.491248e-04,3.467557e-04,3.447240e-04,3.402707e-04,3.379384e-04,3.357774e-04,3.312555e-04,3.289872e-04,3.267155e-04,3.221667e-04,3.199827e-04,3.176177e-04,3.130764e-04,3.109919e-04,3.085497e-04,3.040441e-04,3.020698e-04,2.995652e-04,2.951182e-04,2.932611e-04,2.907077e-04,2.863378e-04,2.846021e-04,2.820123e-04,2.777343e-04,2.761217e-04,2.735067e-04,2.693321e-04,2.678426e-04,2.652126e-04,2.611502e-04,2.597823e-04,2.571465e-04,2.532029e-04,2.519538e-04,2.493205e-04,2.455002e-04,2.443664e-04,2.417429e-04,2.380491e-04,2.370263e-04,2.344192e-04,2.308535e-04,2.299369e-04,2.273521e-04,2.239151e-04,2.230998e-04,2.205424e-04,2.172337e-04,2.165144e-04,2.139889e-04,2.108075e-04,2.101788e-04,2.076892e-04,2.046334e-04,2.040900e-04,2.016397e-04,1.987073e-04,1.982438e-04,1.958357e-04,1.930242e-04,1.926353e-04,1.902720e-04,1.875784e-04,1.872591e-04,1.849427e-04,1.823639e-04,1.821091e-04,1.798414e-04,1.773742e-04,1.771792e-04,1.749615e-04,1.726025e-04,1.724626e-04,1.702962e-04,1.680418e-04,1.679527e-04,1.658384e-04,1.636852e-04,1.636426e-04,1.615812e-04,1.595255e-04,1.555945e-04,1.518428e-04,1.482636e-04,1.448503e-04,1.415965e-04,1.384958e-04,1.355420e-04,1.327291e-04,1.300513e-04,1.275029e-04,1.250784e-04,1.227726e-04,1.205803e-04,1.184966e-04,1.165168e-04,1.146363e-04,1.128508e-04,1.111560e-04,1.095478e-04,1.080224e-04,1.065760e-04,1.052052e-04,1.039063e-04,1.026762e-04,1.015117e-04,1.004098e-04,9.936761e-05,9.838231e-05,9.745130e-05,9.657203e-05,9.574208e-05,9.495913e-05,9.422096e-05,9.352546e-05,9.287059e-05,9.225441e-05,9.167507e-05,9.113079e-05,9.061989e-05,9.014075e-05,8.969181e-05,8.927160e-05,8.887871e-05,8.851178e-05,8.816954e-05,8.785074e-05,8.755422e-05,8.727885e-05,8.702356e-05
0.000000e+00,8.697143e-10,5.043176e-08,5.357563e-08,6.437935e-07,3.790087e-06,4.045628e-06,1.740374e-05,5.342372e-05,5.699285e-05,1.507467e-04,3.168140e-04,3.359471e-04,6.524160e-04,1.078454e-03,1.134982e-03,1.808328e-03,2.568794e-03,2.684808e-03,3.764529e-03,4.847743e-03,5.036812e-03,6.482349e-03,7.811912e-03,8.075565e-03,9.786906e-03,1.125627e-02,1.158486e-02,1.343768e-02,1.493877e-02,1.531470e-02,1.718733e-02,1.862824e-02,1.902979e-02,2.081950e-02,2.213247e-02,2.253728e-02,2.416741e-02,2.530987e-02,2.569750e-02,2.711831e-02,2.806995e-02,2.842347e-02,2.960920e-02,3.036724e-02,3.067395e-02,3.161814e-02,3.219230e-02,3.244378e-02,3.315420e-02,3.356205e-02,3.375378e-02,3.424768e-02,3.451096e-02,3.464166e-02,3.494185e-02,3.508364e-02,3.515459e-02,3.528632e-02,3.532914e-02,3.534344e-02,3.533225e-02,3.529687e-02,3.525884e-02,3.512905e-02,3.503383e-02,3.494845e-02,3.472230e-02,3.458300e-02,3.445554e-02,3.415276e-02,3.398251e-02,3.381823e-02,3.345590e-02,3.326545e-02,3.306939e-02,3.266204e-02,3.246001e-02,3.223688e-02,3.179667e-02,3.158982e-02,3.134393e-02,3.088095e-02,3.067452e-02,3.040977e-02,2.993226e-02,2.973022e-02,2.945009e-02,2.896477e-02,2.877006e-02,2.847765e-02,2.798993e-02,2.780468e-02,2.750271e-02,2.701696e-02,2.684261e-02,2.653353e-02,2.605320e-02,2.589071e-02,2.557665e-02,2.510448e-02,2.495441e-02,2.463724e-02,2.417541e-02,2.403797e-02,2.371938e-02,2.326954e-02,2.314474e-02,2.282620e-02,2.238964e-02,2.227728e-02,2.196010e-02,2.153778e-02,2.143752e-02,2.112287e-02,2.071550e-02,2.062690e-02,2.031580e-02,1.992386e-02,1.984642e-02,1.953977e-02,1.916357e-02,1.909670e-02,1.879531e-02,1.843501e-02,1.837810e-02,1.808269e-02,1.773833e-02,1.769075e-02,1.740193e-02,1.707346e-02,1.703458e-02,1.675289e-02,1.644017e-02,1.640933e-02,1.613526e-02,1.583809e-02,1.581465e-02,1.554861e-02,1.526674e-02,1.525007e-02,1.499241e-02,1.472554e-02,1.471502e-02,1.446604e-02,1.421384e-02,1.420887e-02,1.396884e-02,1.373094e-02,1.328050e-02,1.285679e-02,1.245903e-02,1.208640e-02,1.173811e-02,1.141332e-02,1.111120e-02,1.083094e-02,1.057169e-02,1.033265e-02,1.011298e-02,9.911890e-03,9.728557e-03,9.562185e-03,9.411983e-03,9.277168e-03,9.156965e-03,9.050609e-03,8.957346e-03,8.876430e-03,8.807128e-03,8.748719e-03,8.700493e-03,8.661755e-03,8.631823e-03,8.610032e-03,8.595730e-03,8.588285e-03,8.587083e-03,8.591528e-03,8.601045e-03,8.615079e-03,8.633098e-03,8.654591e-03,8.679073e-03,8.706080e-03,8.735175e-03,8.765945e-03,8.798002e-03,8.830984e-03,8.864552e-03,8.898397e-03,8.932230e-03,8.965791e-03,8.998842e-03,9.031169e-03,9.062582e-03,9.092912e-03,9.122015e-03
0.000000e+00,4.670707e-09,6.696743e-08,6.992257e-08,4.189771e-07,1.369787e-06,1.426182e-06,3.228901e-06,5.323934e-06,5.461064e-06,7.710961e-06,9.662671e-06,9.825866e-06,1.177510e-05,1.338775e-05,1.355887e-05,1.518450e-05,1.649136e-05,1.666096e-05,1.799736e-05,1.904141e-05,1.920257e-05,2.028514e-05,2.110569e-05,2.125319e-05,2.211420e-05,2.274557e-05,2.287558e-05,2.354443e-05,2.401739e-05,2.412743e-05,2.463091e-05,2.497225e-05,2.506080e-05,2.542265e-05,2.565537e-05,2.572168e-05,2.596276e-05,2.610655e-05,2.615046e-05,2.628902e-05,2.636061e-05,2.638244e-05,2.643441e-05,2.644799e-05,2.644840e-05,2.642763e-05,2.639519e-05,2.637510e-05,2.629362e-05,2.622525e-05,2.618578e-05,2.605400e-05,2.595814e-05,2.590053e-05,2.572746e-05,2.561118e-05,2.553675e-05,2.533018e-05,2.519933e-05,2.510943e-05,2.487605e-05,2.473548e-05,2.463149e-05,2.437706e-05,2.423074e-05,2.411401e-05,2.384347e-05,2.369465e-05,2.356650e-05,2.328408e-05,2.313536e-05,2.299709e-05,2.270636e-05,2.255984e-05,2.241267e-05,2.211671e-05,2.197403e-05,2.181912e-05,2.152051e-05,2.138295e-05,2.122141e-05,2.092232e-05,2.079084e-05,2.062369e-05,2.032595e-05,2.020125e-05,2.002946e-05,1.973458e-05,1.961715e-05,1.944162e-05,1.915085e-05,1.904099e-05,1.886254e-05,1.857692e-05,1.847479e-05,1.829418e-05,1.801453e-05,1.792017e-05,1.773811e-05,1.746507e-05,1.737843e-05,1.719555e-05,1.692965e-05,1.685060e-05,1.666747e-05,1.640909e-05,1.633743e-05,1.615459e-05,1.590401e-05,1.583952e-05,1.565742e-05,1.541485e-05,1.535723e-05,1.517632e-05,1.494186e-05,1.489082e-05,1.471147e-05,1.448517e-05,1.444039e-05,1.426294e-05,1.404479e-05,1.400596e-05,1.383070e-05,1.362066e-05,1.358743e-05,1.341463e-05,1.321260e-05,1.318464e-05,1.301454e-05,1.282041e-05,1.279737e-05,1.263017e-05,1.244379e-05,1.242536e-05,1.226122e-05,1.208242e-05,1.206828e-05,1.190735e-05,1.173596e-05,1.172579e-05,1.156820e-05,1.140402e-05,1.139752e-05,1.124336e-05,1.108619e-05,1.108308e-05,1.093244e-05,1.078206e-05,1.049405e-05,1.021863e-05,9.955376e-06,9.703865e-06,9.463678e-06,9.234403e-06,9.015630e-06,8.806956e-06,8.607990e-06,8.418345e-06,8.237649e-06,8.065536e-06,7.901654e-06,7.745660e-06,7.597222e-06,7.456020e-06,7.321745e-06,7.194097e-06,7.072790e-06,6.957545e-06,6.848097e-06,6.744188e-06,6.645573e-06,6.552015e-06,6.463287e-06,6.379171e-06,6.299457e-06,6.223945e-06,6.152444e-06,6.084768e-06,6.020742e-06,5.960198e-06,5.902972e-06,5.848912e-06,5.797867e-06,5.749698e-06,5.704269e-06,5.661450e-06,5.621118e-06,5.583154e-06,5.547444e-06,5.513882e-06,5.482363e-06,5.452789e-06,5.425066e-06,5.399102e-06,5.374813e-06,5.352116e-06,5.330933e-06
0.000000e+00,6.135751e-09,1.171312e-07,1.227286e-07,7.951727e-07,2.515900e-06,2.612368e-06,5.425345e-06,8.263802e-06,8.440509e-06,1.124746e-05,1.357967e-05,1.377112e-05,1.601711e-05,1.781755e-05,1.800540e-05,1.975748e-05,2.112026e-05,2.129388e-05,2.263380e-05,2.364259e-05,2.379504e-05,2.479409e-05,2.551913e-05,2.564618e-05,2.636530e-05,2.686480e-05,2.696430e-05,2.745493e-05,2.777667e-05,2.784794e-05,2.815313e-05,2.833597e-05,2.837941e-05,2.853491e-05,2.861032e-05,2.862702e-05,2.866243e-05,2.865574e-05,2.864724e-05,2.858698e-05,2.851852e-05,2.848666e-05,2.835083e-05,2.823684e-05,2.818360e-05,2.798871e-05,2.784212e-05,2.776953e-05,2.752912e-05,2.736017e-05,2.727023e-05,2.699536e-05,2.681211e-05,2.670676e-05,2.640648e-05,2.621526e-05,2.609636e-05,2.577806e-05,2.558377e-05,2.545306e-05,2.512269e-05,2.492910e-05,2.478817e-05,2.445059e-05,2.426057e-05,2.411091e-05,2.377002e-05,2.358570e-05,2.342868e-05,2.308758e-05,2.291051e-05,2.274734e-05,2.240853e-05,2.223981e-05,2.207162e-05,2.173705e-05,2.157741e-05,2.140521e-05,2.107641e-05,2.092627e-05,2.075096e-05,2.042911e-05,2.028869e-05,2.011108e-05,1.979706e-05,1.966640e-05,1.948721e-05,1.918166e-05,1.906068e-05,1.888054e-05,1.858394e-05,1.847244e-05,1.829193e-05,1.800458e-05,1.790228e-05,1.772192e-05,1.744399e-05,1.735057e-05,1.717080e-05,1.690237e-05,1.681748e-05,1.663870e-05,1.637977e-05,1.630302e-05,1.612558e-05,1.587608e-05,1.580706e-05,1.563127e-05,1.539109e-05,1.532940e-05,1.515552e-05,1.492450e-05,1.486973e-05,1.469800e-05,1.447596e-05,1.442770e-05,1.425832e-05,1.404505e-05,1.400291e-05,1.383606e-05,1.363132e-05,1.359491e-05,1.343075e-05,1.323430e-05,1.320325e-05,1.304191e-05,1.285351e-05,1.282745e-05,1.266904e-05,1.248843e-05,1.246702e-05,1.231163e-05,1.213856e-05,1.212146e-05,1.196917e-05,1.180340e-05,1.179029e-05,1.164117e-05,1.148243e-05,1.147301e-05,1.132711e-05,1.117515e-05,1.116914e-05,1.102649e-05,1.088107e-05,1.087819e-05,1.073883e-05,1.059971e-05,1.033323e-05,1.007830e-05,9.834493e-06,9.601378e-06,9.378548e-06,9.165604e-06,8.962161e-06,8.767847e-06,8.582302e-06,8.405179e-06,8.236144e-06,8.074872e-06,7.921052e-06,7.774385e-06,7.634581e-06,7.501362e-06,7.374460e-06,7.253618e-06,7.138587e-06,7.029128e-06,6.925012e-06,6.826018e-06,6.731934e-06,6.642556e-06,6.557686e-06,6.477137e-06,6.400727e-06,6.328282e-06,6.259633e-06,6.194621e-06,6.133089e-06,6.074889e-06,6.019878e-06,5.967919e-06,5.918879e-06,5.872631e-06,5.829055e-06,5.788032e-06,5.749450e-06,5.713202e-06,5.679182e-06,5.647293e-06,5.617437e-06,5.589523e-06,5.563463e-06,5.539171e-06,5.516567e-06,5.495572e-06,5.476112e-06
0.000000e+00,5.756359e-09,7.525141e-08,7.845869e-08,4.558490e-07,1.525973e-06,1.591502e-06,3.807228e-06,6.657783e-06,6.852523e-06,1.013618e-05,1.307416e-05,1.332263e-05,1.632203e-05,1.884947e-05,1.912029e-05,2.172086e-05,2.385173e-05,2.413121e-05,2.635978e-05,2.813755e-05,2.841521e-05,3.030605e-05,3.177334e-05,3.204074e-05,3.362752e-05,3.482391e-05,3.507437e-05,3.638899e-05,3.735047e-05,3.757879e-05,3.865088e-05,3.940978e-05,3.961206e-05,4.046880e-05,4.105390e-05,4.122729e-05,4.189343e-05,4.233022e-05,4.247282e-05,4.297081e-05,4.328180e-05,4.339244e-05,4.374247e-05,4.394732e-05,4.402542e-05,4.424556e-05,4.436147e-05,4.440698e-05,4.451357e-05,4.455566e-05,4.456898e-05,4.457670e-05,4.455815e-05,4.454004e-05,4.446221e-05,4.439463e-05,4.434626e-05,4.419498e-05,4.408834e-05,4.401098e-05,4.379676e-05,4.365959e-05,4.355466e-05,4.328688e-05,4.312649e-05,4.299552e-05,4.268255e-05,4.250522e-05,4.234983e-05,4.199908e-05,4.181013e-05,4.163197e-05,4.125004e-05,4.105398e-05,4.085475e-05,4.044749e-05,4.024812e-05,4.002953e-05,3.960210e-05,3.940262e-05,3.916634e-05,3.872331e-05,3.852634e-05,3.827403e-05,3.781942e-05,3.762711e-05,3.736038e-05,3.689772e-05,3.671182e-05,3.643222e-05,3.596461e-05,3.578650e-05,3.549555e-05,3.502568e-05,3.485644e-05,3.455558e-05,3.408579e-05,3.392623e-05,3.361683e-05,3.314917e-05,3.299986e-05,3.268324e-05,3.221945e-05,3.208078e-05,3.175816e-05,3.129974e-05,3.117194e-05,3.084449e-05,3.039271e-05,3.027585e-05,2.994468e-05,2.950062e-05,2.939467e-05,2.906078e-05,2.862535e-05,2.853017e-05,2.819452e-05,2.776846e-05,2.768383e-05,2.734732e-05,2.693123e-05,2.685688e-05,2.652031e-05,2.611468e-05,2.605028e-05,2.571442e-05,2.531962e-05,2.526478e-05,2.493033e-05,2.454663e-05,2.450097e-05,2.416856e-05,2.379616e-05,2.375923e-05,2.342946e-05,2.306848e-05,2.303985e-05,2.271323e-05,2.236373e-05,2.234294e-05,2.201997e-05,2.168194e-05,2.166854e-05,2.134964e-05,2.102304e-05,2.101657e-05,2.070213e-05,2.038687e-05,1.977922e-05,1.919334e-05,1.862888e-05,1.808547e-05,1.756268e-05,1.706007e-05,1.657717e-05,1.611349e-05,1.566853e-05,1.524177e-05,1.483269e-05,1.444077e-05,1.406548e-05,1.370630e-05,1.336271e-05,1.303419e-05,1.272023e-05,1.242033e-05,1.213400e-05,1.186074e-05,1.160010e-05,1.135160e-05,1.111479e-05,1.088923e-05,1.067449e-05,1.047016e-05,1.027583e-05,1.009111e-05,9.915621e-06,9.748988e-06,9.590857e-06,9.440883e-06,9.298734e-06,9.164087e-06,9.036632e-06,8.916068e-06,8.802106e-06,8.694467e-06,8.592883e-06,8.497096e-06,8.406855e-06,8.321923e-06,8.242066e-06,8.167065e-06,8.096704e-06,8.030780e-06,7.969094e-06,7.911458e-06,7.857688e-06
0.000000e+00,1.378680e-08,3.618553e-07,3.811770e-07,3.110522e-06,1.134015e-05,1.182475e-05,2.626685e-05,4.070674e-05,4.158977e-05,5.532248e-05,6.628849e-05,6.716982e-05,7.728273e-05,8.506698e-05,8.586130e-05,9.309381e-05,9.847920e-05,9.914871e-05,1.041749e-04,1.077753e-04,1.083038e-04,1.116508e-04,1.139327e-04,1.143175e-04,1.163928e-04,1.177083e-04,1.179548e-04,1.190719e-04,1.196857e-04,1.198038e-04,1.202028e-04,1.203124e-04,1.203145e-04,1.201788e-04,1.199318e-04,1.198305e-04,1.193001e-04,1.188059e-04,1.186139e-04,1.177952e-04,1.171351e-04,1.168641e-04,1.158383e-04,1.150722e-04,1.147332e-04,1.135622e-04,1.127342e-04,1.123369e-04,1.110675e-04,1.102098e-04,1.097628e-04,1.084305e-04,1.075665e-04,1.070773e-04,1.057089e-04,1.048550e-04,1.043303e-04,1.029458e-04,1.021140e-04,1.015593e-04,1.001740e-04,9.937215e-05,9.879262e-05,9.741759e-05,9.665113e-05,9.605098e-05,9.469455e-05,9.396685e-05,9.334981e-05,9.201803e-05,9.133099e-05,9.070029e-05,8.939750e-05,8.875194e-05,8.811039e-05,8.683959e-05,8.623555e-05,8.558560e-05,8.434883e-05,8.378578e-05,8.312958e-05,8.192811e-05,8.140513e-05,8.074457e-05,7.957909e-05,7.909499e-05,7.843173e-05,7.730250e-05,7.685589e-05,7.619140e-05,7.509838e-05,7.468775e-05,7.402335e-05,7.296622e-05,7.259002e-05,7.192688e-05,7.090517e-05,7.056178e-05,6.990095e-05,6.891404e-05,6.860186e-05,6.794427e-05,6.699144e-05,6.670887e-05,6.605537e-05,6.513585e-05,6.488132e-05,6.423266e-05,6.334561e-05,6.311759e-05,6.247448e-05,6.161904e-05,6.141605e-05,6.077909e-05,5.995440e-05,5.977500e-05,5.914476e-05,5.834993e-05,5.819273e-05,5.756971e-05,5.680387e-05,5.666753e-05,5.605219e-05,5.531446e-05,5.519771e-05,5.459046e-05,5.387998e-05,5.378158e-05,5.318280e-05,5.249871e-05,5.241749e-05,5.182751e-05,5.116899e-05,5.110383e-05,5.052294e-05,4.988916e-05,4.983898e-05,4.926746e-05,4.865763e-05,4.862141e-05,4.805948e-05,4.747282e-05,4.744959e-05,4.689746e-05,4.633321e-05,4.632203e-05,4.577988e-05,4.523730e-05,4.419399e-05,4.319073e-05,4.222620e-05,4.129912e-05,4.040822e-05,3.955229e-05,3.873016e-05,3.794069e-05,3.718277e-05,3.645532e-05,3.575730e-05,3.508771e-05,3.444556e-05,3.382992e-05,3.323986e-05,3.267450e-05,3.213298e-05,3.161446e-05,3.111813e-05,3.064322e-05,3.018897e-05,2.975465e-05,2.933954e-05,2.894297e-05,2.856426e-05,2.820277e-05,2.785788e-05,2.752899e-05,2.721551e-05,2.691688e-05,2.663255e-05,2.636199e-05,2.610470e-05,2.586016e-05,2.562792e-05,2.540749e-05,2.519843e-05,2.500031e-05,2.481270e-05,2.463521e-05,2.446743e-05,2.430898e-05,2.415950e-05,2.401863e-05,2.388602e-05,2.376135e-05,2.364429e-05,2.353452e-05,2.343176e-05
0.000000e+00,8.135037e-10,4.823740e-08,5.132293e-08,6.795539e-07,4.303443e-06,4.602127e-06,2.003102e-05,5.879644e-05,6.244815e-05,1.502549e-04,2.825448e-04,2.965372e-04,5.043203e-04,7.388055e-04,7.672593e-04,1.073004e-03,1.365715e-03,1.406746e-03,1.753863e-03,2.053223e-03,2.101511e-03,2.439327e-03,2.709755e-03,2.759565e-03,3.056888e-03,3.281227e-03,3.327999e-03,3.571235e-03,3.745434e-03,3.786168e-03,3.973275e-03,4.100588e-03,4.133648e-03,4.268781e-03,4.355662e-03,4.380405e-03,4.470361e-03,4.524079e-03,4.540519e-03,4.592715e-03,4.620167e-03,4.628711e-03,4.650176e-03,4.657393e-03,4.658665e-03,4.655619e-03,4.647639e-03,4.642363e-03,4.620108e-03,4.601031e-03,4.589958e-03,4.552913e-03,4.526008e-03,4.509880e-03,4.461676e-03,4.429519e-03,4.409039e-03,4.352632e-03,4.317229e-03,4.293050e-03,4.230829e-03,4.193721e-03,4.166445e-03,4.100327e-03,4.062687e-03,4.032857e-03,3.964375e-03,3.927083e-03,3.895186e-03,3.825558e-03,3.789259e-03,3.755730e-03,3.685913e-03,3.651068e-03,3.616294e-03,3.547037e-03,3.513965e-03,3.478286e-03,3.410166e-03,3.379073e-03,3.342787e-03,3.276244e-03,3.247251e-03,3.210618e-03,3.145978e-03,3.119139e-03,3.082385e-03,3.019887e-03,2.995204e-03,2.958525e-03,2.898332e-03,2.875771e-03,2.839334e-03,2.781553e-03,2.761052e-03,2.725001e-03,2.669690e-03,2.651168e-03,2.615625e-03,2.562806e-03,2.546168e-03,2.511234e-03,2.460902e-03,2.446043e-03,2.411803e-03,2.363928e-03,2.350741e-03,2.317265e-03,2.271800e-03,2.260173e-03,2.227518e-03,2.184403e-03,2.174227e-03,2.142437e-03,2.101603e-03,2.092769e-03,2.061879e-03,2.023248e-03,2.015651e-03,1.985688e-03,1.949178e-03,1.942716e-03,1.913698e-03,1.879225e-03,1.873801e-03,1.845739e-03,1.813217e-03,1.808740e-03,1.781639e-03,1.750982e-03,1.747364e-03,1.721225e-03,1.692347e-03,1.689507e-03,1.664327e-03,1.637143e-03,1.635003e-03,1.610774e-03,1.585201e-03,1.583692e-03,1.560404e-03,1.536361e-03,1.535415e-03,1.513055e-03,1.490464e-03,1.490020e-03,1.468571e-03,1.447358e-03,1.407287e-03,1.369670e-03,1.334375e-03,1.301278e-03,1.270258e-03,1.241199e-03,1.213994e-03,1.188539e-03,1.164734e-03,1.142487e-03,1.121708e-03,1.102312e-03,1.084221e-03,1.067359e-03,1.051653e-03,1.037037e-03,1.023446e-03,1.010819e-03,9.990987e-04,9.882316e-04,9.781663e-04,9.688542e-04,9.602499e-04,9.523103e-04,9.449946e-04,9.382644e-04,9.320835e-04,9.264175e-04,9.212341e-04,9.165030e-04,9.121953e-04,9.082839e-04,9.047434e-04,9.015497e-04,8.986800e-04,8.961130e-04,8.938284e-04,8.918075e-04,8.900321e-04,8.884853e-04,8.871512e-04,8.860150e-04,8.850624e-04,8.842803e-04,8.836564e-04,8.831788e-04,8.828367e-04,8.826196e-04,8.825178e-04
0.000000e+00,2.390465e-09,2.972814e-08,3.099313e-08,1.837538e-07,6.377094e-07,6.660761e-07,1.644264e-06,2.926034e-06,3.013767e-06,4.482900e-06,5.764723e-06,5.871192e-06,7.128803e-06,8.145331e-06,8.251742e-06,9.247310e-06,1.002573e-05,1.012519e-05,1.089513e-05,1.147804e-05,1.156641e-05,1.214765e-05,1.257223e-05,1.264692e-05,1.307163e-05,1.336910e-05,1.342866e-05,1.372430e-05,1.392055e-05,1.396438e-05,1.415421e-05,1.427056e-05,1.429868e-05,1.440226e-05,1.445617e-05,1.446905e-05,1.450278e-05,1.450848e-05,1.450688e-05,1.448446e-05,1.445351e-05,1.443838e-05,1.437123e-05,1.431297e-05,1.428538e-05,1.418300e-05,1.410494e-05,1.406604e-05,1.393629e-05,1.384444e-05,1.379537e-05,1.364477e-05,1.354393e-05,1.348583e-05,1.331975e-05,1.321369e-05,1.314765e-05,1.297051e-05,1.286220e-05,1.278925e-05,1.260468e-05,1.249640e-05,1.241753e-05,1.222847e-05,1.212199e-05,1.203810e-05,1.184695e-05,1.174358e-05,1.165550e-05,1.146420e-05,1.136490e-05,1.127341e-05,1.108349e-05,1.098895e-05,1.089474e-05,1.070743e-05,1.061811e-05,1.052180e-05,1.033807e-05,1.025423e-05,1.015640e-05,9.976977e-06,9.898773e-06,9.799923e-06,9.625362e-06,9.552814e-06,9.453395e-06,9.284107e-06,9.217159e-06,9.117570e-06,8.953841e-06,8.892369e-06,8.792965e-06,8.634978e-06,8.578815e-06,8.479904e-06,8.327762e-06,8.276703e-06,8.178558e-06,8.032296e-06,7.986113e-06,7.888971e-06,7.748573e-06,7.707022e-06,7.611086e-06,7.476493e-06,7.439322e-06,7.344768e-06,7.215886e-06,7.182839e-06,7.089817e-06,6.966528e-06,6.937349e-06,6.845985e-06,6.728151e-06,6.702587e-06,6.612988e-06,6.500455e-06,6.478260e-06,6.390512e-06,6.283116e-06,6.264052e-06,6.178225e-06,6.075796e-06,6.059633e-06,5.975784e-06,5.878145e-06,5.864662e-06,5.782834e-06,5.689808e-06,5.678796e-06,5.599021e-06,5.510429e-06,5.501688e-06,5.423987e-06,5.339653e-06,5.332996e-06,5.257381e-06,5.177129e-06,5.172377e-06,5.098853e-06,5.022512e-06,5.019498e-06,4.948063e-06,4.875465e-06,4.874031e-06,4.804676e-06,4.735657e-06,4.604065e-06,4.478954e-06,4.360035e-06,4.247025e-06,4.139656e-06,4.037667e-06,3.940808e-06,3.848840e-06,3.761534e-06,3.678669e-06,3.600036e-06,3.525433e-06,3.454668e-06,3.387557e-06,3.323924e-06,3.263603e-06,3.206434e-06,3.152264e-06,3.100948e-06,3.052347e-06,3.006329e-06,2.962769e-06,2.921546e-06,2.882547e-06,2.845662e-06,2.810787e-06,2.777825e-06,2.746681e-06,2.717265e-06,2.689492e-06,2.663281e-06,2.638554e-06,2.615239e-06,2.593264e-06,2.572564e-06,2.553075e-06,2.534735e-06,2.517489e-06,2.501280e-06,2.486058e-06,2.471771e-06,2.458374e-06,2.445821e-06,2.434069e-06,2.423077e-06,2.412808e-06,2.403223e-06,2.394289e-06,2.385971e-06
0.000000e+00,4.017897e-09,1.620757e-07,1.712184e-07,1.670889e-06,8.550609e-06,9.073193e-06,3.293605e-05,8.177888e-05,8.590632e-05,1.708339e-04,2.682812e-04,2.772421e-04,3.914062e-04,4.929188e-04,5.039393e-04,6.102770e-04,6.973701e-04,7.087547e-04,7.990464e-04,8.702984e-04,8.813543e-04,9.560623e-04,1.013262e-03,1.023606e-03,1.084424e-03,1.129580e-03,1.138949e-03,1.187593e-03,1.222541e-03,1.230752e-03,1.268805e-03,1.295170e-03,1.302106e-03,1.330996e-03,1.350199e-03,1.355793e-03,1.376797e-03,1.390065e-03,1.394291e-03,1.408539e-03,1.416928e-03,1.419790e-03,1.428277e-03,1.432690e-03,1.434217e-03,1.437815e-03,1.439022e-03,1.439261e-03,1.438733e-03,1.437384e-03,1.436397e-03,1.432408e-03,1.429055e-03,1.426911e-03,1.420041e-03,1.415148e-03,1.411924e-03,1.402676e-03,1.396631e-03,1.392407e-03,1.381219e-03,1.374346e-03,1.369205e-03,1.356454e-03,1.349022e-03,1.343047e-03,1.329060e-03,1.321290e-03,1.314563e-03,1.299621e-03,1.291695e-03,1.284294e-03,1.268640e-03,1.260705e-03,1.252708e-03,1.236548e-03,1.228722e-03,1.220202e-03,1.203713e-03,1.196090e-03,1.187117e-03,1.170449e-03,1.163101e-03,1.153741e-03,1.137022e-03,1.130004e-03,1.120319e-03,1.103656e-03,1.097008e-03,1.087056e-03,1.070539e-03,1.064289e-03,1.054124e-03,1.037827e-03,1.031993e-03,1.021665e-03,1.005650e-03,1.000241e-03,9.897956e-04,9.741126e-04,9.691319e-04,9.586111e-04,9.433001e-04,9.387451e-04,9.281873e-04,9.132797e-04,9.091432e-04,8.985834e-04,8.841035e-04,8.803748e-04,8.698447e-04,8.558105e-04,8.524761e-04,8.420043e-04,8.284284e-04,8.254728e-04,8.150849e-04,8.019752e-04,7.993814e-04,7.891003e-04,7.764608e-04,7.742107e-04,7.640569e-04,7.518883e-04,7.499632e-04,7.399546e-04,7.282550e-04,7.266357e-04,7.167883e-04,7.055532e-04,7.042205e-04,6.945481e-04,6.837713e-04,6.827060e-04,6.732206e-04,6.628940e-04,6.620775e-04,6.527892e-04,6.429038e-04,6.423176e-04,6.332350e-04,6.237804e-04,6.234066e-04,6.145371e-04,6.055023e-04,6.053237e-04,5.966730e-04,5.880463e-04,5.715512e-04,5.558142e-04,5.408111e-04,5.265171e-04,5.129074e-04,4.999574e-04,4.876427e-04,4.759391e-04,4.648227e-04,4.542704e-04,4.442593e-04,4.347672e-04,4.257723e-04,4.172538e-04,4.091910e-04,4.015643e-04,3.943546e-04,3.875432e-04,3.811125e-04,3.750452e-04,3.693246e-04,3.639350e-04,3.588609e-04,3.540876e-04,3.496010e-04,3.453875e-04,3.414340e-04,3.377281e-04,3.342576e-04,3.310113e-04,3.279780e-04,3.251472e-04,3.225089e-04,3.200534e-04,3.177714e-04,3.156542e-04,3.136933e-04,3.118806e-04,3.102084e-04,3.086694e-04,3.072565e-04,3.059631e-04,3.047826e-04,3.037089e-04,3.027362e-04,3.018590e-04,3.010718e-04,3.003697e-04,2.997476e-04
0.000000e+00,5.996740e-09,2.318958e-07,2.449551e-07,2.364589e-06,1.140404e-05,1.205824e-05,3.942084e-05,8.803216e-05,9.187950e-05,1.657460e-04,2.424886e-04,2.492538e-04,3.323878e-04,4.027763e-04,4.102689e-04,4.813688e-04,5.382126e-04,5.455599e-04,6.031707e-04,6.477919e-04,6.546464e-04,7.004453e-04,7.348535e-04,7.410096e-04,7.767578e-04,8.027533e-04,8.080819e-04,8.353482e-04,8.544688e-04,8.588965e-04,8.790421e-04,8.925819e-04,8.960766e-04,9.102693e-04,9.193090e-04,9.218692e-04,9.311064e-04,9.365460e-04,9.381927e-04,9.433230e-04,9.459071e-04,9.466770e-04,9.484200e-04,9.487634e-04,9.487039e-04,9.476684e-04,9.462766e-04,9.454419e-04,9.421425e-04,9.394301e-04,9.378785e-04,9.327492e-04,9.290550e-04,9.268461e-04,9.202528e-04,9.158523e-04,9.130462e-04,9.052965e-04,9.004131e-04,8.970683e-04,8.884205e-04,8.832340e-04,8.794072e-04,8.700778e-04,8.647323e-04,8.604775e-04,8.506474e-04,8.452571e-04,8.406254e-04,8.304456e-04,8.251004e-04,8.201395e-04,8.097357e-04,8.045052e-04,7.992599e-04,7.887358e-04,7.836735e-04,7.781848e-04,7.676263e-04,7.627718e-04,7.570778e-04,7.465552e-04,7.419373e-04,7.360729e-04,7.256437e-04,7.212821e-04,7.152792e-04,7.049898e-04,7.008971e-04,6.947847e-04,6.846724e-04,6.808555e-04,6.746600e-04,6.647542e-04,6.612153e-04,6.549606e-04,6.452843e-04,6.420218e-04,6.357296e-04,6.263003e-04,6.233099e-04,6.169995e-04,6.078302e-04,6.051053e-04,5.987944e-04,5.898940e-04,5.874264e-04,5.811306e-04,5.725053e-04,5.702854e-04,5.640189e-04,5.556718e-04,5.536893e-04,5.474645e-04,5.393969e-04,5.376408e-04,5.314688e-04,5.236800e-04,5.221389e-04,5.160298e-04,5.085176e-04,5.071800e-04,5.011426e-04,4.939037e-04,4.927580e-04,4.867999e-04,4.798301e-04,4.788650e-04,4.729930e-04,4.662872e-04,4.654912e-04,4.597113e-04,4.532639e-04,4.526262e-04,4.469434e-04,4.407484e-04,4.402581e-04,4.346770e-04,4.287278e-04,4.283747e-04,4.228991e-04,4.171891e-04,4.169631e-04,4.115961e-04,4.061185e-04,4.060101e-04,4.007545e-04,3.955023e-04,3.854262e-04,3.757682e-04,3.665149e-04,3.576529e-04,3.491690e-04,3.410503e-04,3.332841e-04,3.258578e-04,3.187593e-04,3.119769e-04,3.054988e-04,2.993139e-04,2.934113e-04,2.877804e-04,2.824108e-04,2.772928e-04,2.724165e-04,2.677728e-04,2.633526e-04,2.591471e-04,2.551480e-04,2.513471e-04,2.477366e-04,2.443089e-04,2.410566e-04,2.379727e-04,2.350504e-04,2.322830e-04,2.296643e-04,2.271881e-04,2.248485e-04,2.226399e-04,2.205566e-04,2.185935e-04,2.167455e-04,2.150075e-04,2.133749e-04,2.118432e-04,2.104078e-04,2.090647e-04,2.078096e-04,2.066387e-04,2.055482e-04,2.045343e-04,2.035937e-04,2.027230e-04,2.019187e-04,2.011779e-04,2.004975e-04
0.000000e+00,1.713486e-10,1.058057e-08,1.126869e-08,1.581021e-07,1.065225e-06,1.142085e-06,5.282704e-06,1.627119e-05,1.732906e-05,4.341299e-05,8.418172e-05,8.856898e-05,1.550420e-04,2.325302e-04,2.420874e-04,3.466559e-04,4.496796e-04,4.643301e-04,5.901710e-04,7.012311e-04,7.193486e-04,8.475455e-04,9.518215e-04,9.711693e-04,1.087428e-03,1.175829e-03,1.194308e-03,1.290506e-03,1.359283e-03,1.375319e-03,1.448536e-03,1.497697e-03,1.510332e-03,1.561165e-03,1.592866e-03,1.601693e-03,1.632701e-03,1.650021e-03,1.655047e-03,1.669612e-03,1.675773e-03,1.677270e-03,1.678866e-03,1.676804e-03,1.675194e-03,1.666990e-03,1.659168e-03,1.654926e-03,1.639608e-03,1.627980e-03,1.621576e-03,1.601309e-03,1.587361e-03,1.579226e-03,1.555692e-03,1.540512e-03,1.531022e-03,1.505487e-03,1.489848e-03,1.479318e-03,1.452713e-03,1.437148e-03,1.425836e-03,1.398829e-03,1.383692e-03,1.371807e-03,1.344868e-03,1.330385e-03,1.318093e-03,1.291548e-03,1.277853e-03,1.265286e-03,1.239353e-03,1.226521e-03,1.213784e-03,1.188607e-03,1.176667e-03,1.163843e-03,1.139511e-03,1.128466e-03,1.115622e-03,1.092188e-03,1.082022e-03,1.069213e-03,1.046703e-03,1.037388e-03,1.024659e-03,1.003082e-03,9.945814e-04,9.819703e-04,9.613225e-04,9.535972e-04,9.411351e-04,9.214044e-04,9.144122e-04,9.021256e-04,8.832938e-04,8.769918e-04,8.649033e-04,8.469482e-04,8.412936e-04,8.294223e-04,8.123189e-04,8.072693e-04,7.956314e-04,7.793530e-04,7.748673e-04,7.634765e-04,7.479950e-04,7.440336e-04,7.329012e-04,7.181881e-04,7.147127e-04,7.038482e-04,6.898745e-04,6.868487e-04,6.762596e-04,6.629962e-04,6.603851e-04,6.500773e-04,6.374956e-04,6.352661e-04,6.252440e-04,6.133155e-04,6.114365e-04,6.017032e-04,5.904001e-04,5.888419e-04,5.793994e-04,5.686944e-04,5.674293e-04,5.582784e-04,5.481450e-04,5.471469e-04,5.382875e-04,5.286998e-04,5.279442e-04,5.193755e-04,5.103085e-04,5.097725e-04,5.014927e-04,4.929222e-04,4.925844e-04,4.845912e-04,4.764939e-04,4.763343e-04,4.686247e-04,4.609782e-04,4.464737e-04,4.327802e-04,4.198586e-04,4.076714e-04,3.961828e-04,3.853584e-04,3.751654e-04,3.655724e-04,3.565493e-04,3.480676e-04,3.401000e-04,3.326203e-04,3.256038e-04,3.190267e-04,3.128665e-04,3.071016e-04,3.017115e-04,2.966768e-04,2.919789e-04,2.876000e-04,2.835233e-04,2.797329e-04,2.762133e-04,2.729502e-04,2.699297e-04,2.671386e-04,2.645644e-04,2.621953e-04,2.600199e-04,2.580274e-04,2.562076e-04,2.545508e-04,2.530476e-04,2.516892e-04,2.504673e-04,2.493739e-04,2.484014e-04,2.475425e-04,2.467904e-04,2.461387e-04,2.455810e-04,2.451115e-04,2.447246e-04,2.444150e-04,2.441776e-04,2.440076e-04,2.439005e-04,2.438519e-04,2.438576e-04
0.000000e+00,1.856846e-08,4.540058e-07,4.772020e-07,3.818565e-06,1.549497e-05,1.625691e-05,4.300947e-05,7.749267e-05,7.981623e-05,1.184704e-04,1.524082e-04,1.552549e-04,1.893423e-04,2.176624e-04,2.206743e-04,2.493588e-04,2.725239e-04,2.755381e-04,2.993595e-04,3.180714e-04,3.209688e-04,3.405070e-04,3.554185e-04,3.581105e-04,3.739089e-04,3.856038e-04,3.880261e-04,4.005789e-04,4.095692e-04,4.116777e-04,4.214265e-04,4.281564e-04,4.299230e-04,4.372592e-04,4.421114e-04,4.435203e-04,4.487871e-04,4.520887e-04,4.531347e-04,4.566340e-04,4.586651e-04,4.593504e-04,4.613449e-04,4.623424e-04,4.626748e-04,4.633933e-04,4.635582e-04,4.635502e-04,4.631917e-04,4.626938e-04,4.623609e-04,4.610982e-04,4.600806e-04,4.594408e-04,4.574235e-04,4.560065e-04,4.550789e-04,4.524370e-04,4.507209e-04,4.495258e-04,4.463714e-04,4.444400e-04,4.429979e-04,4.394279e-04,4.373507e-04,4.356822e-04,4.317802e-04,4.296144e-04,4.277397e-04,4.235775e-04,4.213702e-04,4.193089e-04,4.149482e-04,4.127375e-04,4.105087e-04,4.060026e-04,4.038193e-04,4.014411e-04,3.968347e-04,3.947033e-04,3.921930e-04,3.875249e-04,3.854647e-04,3.828386e-04,3.781416e-04,3.761673e-04,3.734408e-04,3.687426e-04,3.668653e-04,3.640528e-04,3.593768e-04,3.576045e-04,3.547194e-04,3.500851e-04,3.484232e-04,3.454780e-04,3.409018e-04,3.393535e-04,3.363598e-04,3.318551e-04,3.304219e-04,3.273905e-04,3.229683e-04,3.216503e-04,3.185909e-04,3.142601e-04,3.130561e-04,3.099779e-04,3.057457e-04,3.046537e-04,3.015649e-04,2.974367e-04,2.964539e-04,2.933621e-04,2.893422e-04,2.884652e-04,2.853775e-04,2.814687e-04,2.806937e-04,2.776163e-04,2.738208e-04,2.731436e-04,2.700824e-04,2.664012e-04,2.658176e-04,2.627776e-04,2.592114e-04,2.587167e-04,2.557026e-04,2.522512e-04,2.518409e-04,2.488569e-04,2.455197e-04,2.451891e-04,2.422391e-04,2.390149e-04,2.387594e-04,2.358468e-04,2.327343e-04,2.325493e-04,2.296770e-04,2.266745e-04,2.265555e-04,2.237262e-04,2.208317e-04,2.207743e-04,2.179904e-04,2.152018e-04,2.098334e-04,2.046646e-04,1.996906e-04,1.949064e-04,1.903070e-04,1.858873e-04,1.816421e-04,1.775663e-04,1.736548e-04,1.699025e-04,1.663045e-04,1.628557e-04,1.595513e-04,1.563864e-04,1.533565e-04,1.504569e-04,1.476831e-04,1.450308e-04,1.424956e-04,1.400734e-04,1.377601e-04,1.355519e-04,1.334448e-04,1.314351e-04,1.295192e-04,1.276937e-04,1.259550e-04,1.243000e-04,1.227253e-04,1.212279e-04,1.198048e-04,1.184530e-04,1.171699e-04,1.159525e-04,1.147983e-04,1.137048e-04,1.126694e-04,1.116898e-04,1.107636e-04,1.098887e-04,1.090628e-04,1.082838e-04,1.075499e-04,1.068589e-04,1.062091e-04,1.055985e-04,1.050256e-04,1.044884e-04,1.039855e-04
0.000000e+00,3.893589e-09,4.901668e-08,5.109679e-08,2.988356e-07,1.020012e-06,1.064743e-06,2.599873e-06,4.606595e-06,4.743707e-06,7.025619e-06,8.984698e-06,9.145827e-06,1.102897e-05,1.252207e-05,1.267675e-05,1.410781e-05,1.520450e-05,1.534306e-05,1.640249e-05,1.718702e-05,1.730445e-05,1.806562e-05,1.860731e-05,1.870112e-05,1.922460e-05,1.957894e-05,1.964837e-05,1.998353e-05,2.019459e-05,2.024004e-05,2.042687e-05,2.052940e-05,2.055202e-05,2.062271e-05,2.064402e-05,2.064542e-05,2.062593e-05,2.058741e-05,2.056943e-05,2.048057e-05,2.039891e-05,2.036350e-05,2.022188e-05,2.010992e-05,2.005902e-05,1.987787e-05,1.974559e-05,1.968105e-05,1.947093e-05,1.932598e-05,1.924958e-05,1.901886e-05,1.886704e-05,1.878041e-05,1.853570e-05,1.838142e-05,1.828605e-05,1.803260e-05,1.787914e-05,1.777638e-05,1.751829e-05,1.736806e-05,1.725913e-05,1.699960e-05,1.685433e-05,1.674032e-05,1.648183e-05,1.634275e-05,1.622462e-05,1.596910e-05,1.583701e-05,1.571562e-05,1.546452e-05,1.533993e-05,1.521604e-05,1.497044e-05,1.485363e-05,1.472790e-05,1.448860e-05,1.437965e-05,1.425268e-05,1.402024e-05,1.391911e-05,1.379140e-05,1.356623e-05,1.347276e-05,1.334478e-05,1.312710e-05,1.304109e-05,1.291322e-05,1.270316e-05,1.262435e-05,1.249694e-05,1.229455e-05,1.222262e-05,1.209598e-05,1.190122e-05,1.183586e-05,1.171024e-05,1.152303e-05,1.146391e-05,1.133955e-05,1.115976e-05,1.110654e-05,1.098363e-05,1.081112e-05,1.076346e-05,1.064217e-05,1.047675e-05,1.043432e-05,1.031481e-05,1.015629e-05,1.011875e-05,1.000115e-05,9.849327e-06,9.816368e-06,9.700779e-06,9.555447e-06,9.526763e-06,9.413280e-06,9.274224e-06,9.249520e-06,9.138224e-06,9.005226e-06,8.984222e-06,8.875178e-06,8.748024e-06,8.730451e-06,8.623713e-06,8.502192e-06,8.487794e-06,8.383408e-06,8.267308e-06,8.255844e-06,8.153843e-06,8.042961e-06,8.034200e-06,7.934611e-06,7.828745e-06,7.822471e-06,7.725314e-06,7.624268e-06,7.620276e-06,7.525562e-06,7.429148e-06,7.427242e-06,7.334980e-06,7.243012e-06,7.067235e-06,6.899574e-06,6.739702e-06,6.587304e-06,6.442076e-06,6.303724e-06,6.171966e-06,6.046529e-06,5.927152e-06,5.813582e-06,5.705577e-06,5.602903e-06,5.505336e-06,5.412659e-06,5.324666e-06,5.241157e-06,5.161940e-06,5.086832e-06,5.015655e-06,4.948240e-06,4.884423e-06,4.824048e-06,4.766964e-06,4.713027e-06,4.662097e-06,4.614042e-06,4.568734e-06,4.526049e-06,4.485871e-06,4.448085e-06,4.412584e-06,4.379262e-06,4.348021e-06,4.318764e-06,4.291399e-06,4.265838e-06,4.241995e-06,4.219791e-06,4.199147e-06,4.179988e-06,4.162244e-06,4.145844e-06,4.130723e-06,4.116819e-06,4.104071e-06,4.092420e-06,4.081811e-06,4.072192e-06,4.063511e-06
0.000000e+00,4.854048e-09,1.858336e-07,1.960411e-07,1.755438e-06,8.166141e-06,8.631671e-06,2.872660e-05,6.765060e-05,7.090964e-05,1.386174e-04,2.190584e-04,2.266116e-04,3.247629e-04,4.142616e-04,4.240617e-04,5.191241e-04,5.973303e-04,6.075592e-04,6.886435e-04,7.525076e-04,7.624033e-04,8.291543e-04,8.801072e-04,8.893055e-04,9.432853e-04,9.832389e-04,9.915139e-04,1.034393e-03,1.065102e-03,1.072304e-03,1.105607e-03,1.128601e-03,1.134638e-03,1.159715e-03,1.176313e-03,1.181135e-03,1.199174e-03,1.210500e-03,1.214092e-03,1.226132e-03,1.233146e-03,1.235520e-03,1.242465e-03,1.245981e-03,1.247167e-03,1.249807e-03,1.250513e-03,1.250557e-03,1.249577e-03,1.248055e-03,1.247015e-03,1.243010e-03,1.239748e-03,1.237689e-03,1.231174e-03,1.226583e-03,1.223574e-03,1.214996e-03,1.209418e-03,1.205533e-03,1.195276e-03,1.188997e-03,1.184309e-03,1.172708e-03,1.165961e-03,1.160545e-03,1.147886e-03,1.140865e-03,1.134792e-03,1.121322e-03,1.114185e-03,1.107526e-03,1.093456e-03,1.086331e-03,1.079154e-03,1.064663e-03,1.057652e-03,1.050022e-03,1.035265e-03,1.028447e-03,1.020425e-03,1.005532e-03,9.989700e-04,9.906144e-04,9.756963e-04,9.694363e-04,9.608013e-04,9.459503e-04,9.400267e-04,9.311628e-04,9.164562e-04,9.108923e-04,9.018466e-04,8.873484e-04,8.821589e-04,8.729748e-04,8.587376e-04,8.539299e-04,8.446474e-04,8.307137e-04,8.262895e-04,8.169451e-04,8.033491e-04,7.993049e-04,7.899323e-04,7.767005e-04,7.730295e-04,7.636588e-04,7.508116e-04,7.475037e-04,7.381627e-04,7.257150e-04,7.227578e-04,7.134711e-04,7.014332e-04,6.988126e-04,6.896027e-04,6.779807e-04,6.756814e-04,6.665681e-04,6.553651e-04,6.533708e-04,6.443718e-04,6.335879e-04,6.318818e-04,6.230127e-04,6.126456e-04,6.112107e-04,6.024854e-04,5.925307e-04,5.913499e-04,5.827803e-04,5.732323e-04,5.722885e-04,5.638850e-04,5.547363e-04,5.540130e-04,5.457843e-04,5.370268e-04,5.365075e-04,5.284613e-04,5.200856e-04,5.197545e-04,5.118971e-04,5.038934e-04,5.037352e-04,4.960717e-04,4.884296e-04,4.738169e-04,4.598760e-04,4.465851e-04,4.339225e-04,4.218663e-04,4.103950e-04,3.994868e-04,3.891207e-04,3.792756e-04,3.699313e-04,3.610675e-04,3.526649e-04,3.447043e-04,3.371674e-04,3.300362e-04,3.232933e-04,3.169221e-04,3.109061e-04,3.052299e-04,2.998782e-04,2.948365e-04,2.900909e-04,2.856277e-04,2.814341e-04,2.774976e-04,2.738062e-04,2.703484e-04,2.671132e-04,2.640900e-04,2.612687e-04,2.586394e-04,2.561930e-04,2.539204e-04,2.518132e-04,2.498630e-04,2.480620e-04,2.464028e-04,2.448782e-04,2.434812e-04,2.422053e-04,2.410442e-04,2.399918e-04,2.390424e-04,2.381905e-04,2.374308e-04,2.367583e-04,2.361682e-04,2.356558e-04,2.352168e-04
0.000000e+00,1.154359e-09,7.969517e-08,8.507732e-08,1.331298e-06,9.718671e-06,1.044832e-05,5.089127e-05,1.610229e-04,1.717329e-04,4.409334e-04,8.810788e-04,9.298302e-04,1.700582e-03,2.673661e-03,2.799205e-03,4.253027e-03,5.833746e-03,6.071029e-03,8.245842e-03,1.038592e-02,1.075657e-02,1.357186e-02,1.614384e-02,1.665291e-02,1.995620e-02,2.279854e-02,2.343579e-02,2.704532e-02,2.999599e-02,3.073950e-02,3.447530e-02,3.739230e-02,3.821278e-02,4.191566e-02,4.468668e-02,4.555164e-02,4.909252e-02,5.163724e-02,5.251424e-02,5.579670e-02,5.806456e-02,5.892362e-02,6.188221e-02,6.384783e-02,6.466292e-02,6.725913e-02,6.891702e-02,6.966683e-02,7.188425e-02,7.324353e-02,7.391157e-02,7.575066e-02,7.683037e-02,7.740482e-02,7.887849e-02,7.970385e-02,8.017706e-02,8.130666e-02,8.190609e-02,8.227400e-02,8.308617e-02,8.348904e-02,8.375057e-02,8.427476e-02,8.450991e-02,8.466636e-02,8.493297e-02,8.502762e-02,8.508211e-02,8.512117e-02,8.510038e-02,8.505738e-02,8.489774e-02,8.478412e-02,8.464906e-02,8.431785e-02,8.413140e-02,8.391037e-02,8.343263e-02,8.319086e-02,8.289033e-02,8.228891e-02,8.200689e-02,8.163353e-02,8.092908e-02,8.061971e-02,8.018020e-02,7.939126e-02,7.906540e-02,7.856639e-02,7.770947e-02,7.737620e-02,7.682416e-02,7.591390e-02,7.558072e-02,7.498192e-02,7.403124e-02,7.370426e-02,7.306470e-02,7.208496e-02,7.176907e-02,7.109450e-02,7.009564e-02,6.979467e-02,6.909054e-02,6.808122e-02,6.779811e-02,6.706956e-02,6.605730e-02,6.579422e-02,6.504607e-02,6.403737e-02,6.379581e-02,6.303259e-02,6.203303e-02,6.181395e-02,6.103987e-02,6.005422e-02,5.985808e-02,5.907708e-02,5.810937e-02,5.793625e-02,5.715195e-02,5.620560e-02,5.605525e-02,5.527101e-02,5.434883e-02,5.422075e-02,5.343963e-02,5.254395e-02,5.243740e-02,5.166225e-02,5.079494e-02,5.070902e-02,4.994240e-02,4.910495e-02,4.903862e-02,4.828287e-02,4.747642e-02,4.742853e-02,4.668578e-02,4.591114e-02,4.588049e-02,4.515264e-02,4.441039e-02,4.439571e-02,4.368447e-02,4.297493e-02,4.161850e-02,4.032639e-02,3.909829e-02,3.793362e-02,3.683156e-02,3.579112e-02,3.481111e-02,3.389021e-02,3.302699e-02,3.221989e-02,3.146729e-02,3.076749e-02,3.011873e-02,2.951919e-02,2.896704e-02,2.846040e-02,2.799738e-02,2.757607e-02,2.719456e-02,2.685093e-02,2.654327e-02,2.626968e-02,2.602827e-02,2.581718e-02,2.563455e-02,2.547858e-02,2.534746e-02,2.523945e-02,2.515282e-02,2.508591e-02,2.503707e-02,2.500474e-02,2.498737e-02,2.498348e-02,2.499166e-02,2.501053e-02,2.503879e-02,2.507519e-02,2.511855e-02,2.516774e-02,2.522171e-02,2.527947e-02,2.534009e-02,2.540271e-02,2.546653e-02,2.553080e-02,2.559487e-02,2.565811e-02,2.571997e-02
0.000000e+00,2.493394e-09,1.196941e-07,1.269882e-07,1.512064e-06,8.749231e-06,9.318038e-06,3.612834e-05,9.288387e-05,9.774572e-05,1.995056e-04,3.197875e-04,3.310204e-04,4.764963e-04,6.093447e-04,6.239576e-04,7.668517e-04,8.864932e-04,9.023137e-04,1.029379e-03,1.131832e-03,1.147920e-03,1.258145e-03,1.344545e-03,1.360381e-03,1.454989e-03,1.527135e-03,1.542339e-03,1.622795e-03,1.682436e-03,1.696713e-03,1.764434e-03,1.813168e-03,1.826289e-03,1.882597e-03,1.921868e-03,1.933661e-03,1.979772e-03,2.010870e-03,2.021209e-03,2.058237e-03,2.082310e-03,2.091109e-03,2.120065e-03,2.138128e-03,2.145335e-03,2.167137e-03,2.180088e-03,2.185678e-03,2.201156e-03,2.209784e-03,2.213757e-03,2.223658e-03,2.228657e-03,2.231029e-03,2.236030e-03,2.238006e-03,2.238811e-03,2.239518e-03,2.239003e-03,2.238286e-03,2.235245e-03,2.232701e-03,2.230517e-03,2.224219e-03,2.220047e-03,2.216460e-03,2.207344e-03,2.201893e-03,2.196971e-03,2.185433e-03,2.179002e-03,2.172818e-03,2.159211e-03,2.152059e-03,2.144689e-03,2.129329e-03,2.121678e-03,2.113199e-03,2.096367e-03,2.088406e-03,2.078896e-03,2.060845e-03,2.052733e-03,2.042269e-03,2.023223e-03,2.015095e-03,2.003755e-03,1.983912e-03,1.975881e-03,1.963740e-03,1.943278e-03,1.935435e-03,1.922567e-03,1.901643e-03,1.894066e-03,1.880542e-03,1.859294e-03,1.852042e-03,1.837932e-03,1.816482e-03,1.809605e-03,1.794974e-03,1.773430e-03,1.766964e-03,1.751876e-03,1.730332e-03,1.724305e-03,1.708820e-03,1.687359e-03,1.681790e-03,1.665966e-03,1.644659e-03,1.639559e-03,1.623452e-03,1.602359e-03,1.597736e-03,1.581396e-03,1.560573e-03,1.556426e-03,1.539901e-03,1.519393e-03,1.515719e-03,1.499056e-03,1.478901e-03,1.475694e-03,1.458935e-03,1.439165e-03,1.436414e-03,1.419599e-03,1.400243e-03,1.397934e-03,1.381102e-03,1.362180e-03,1.360300e-03,1.343484e-03,1.325015e-03,1.323548e-03,1.306779e-03,1.288778e-03,1.287705e-03,1.271015e-03,1.253491e-03,1.252795e-03,1.236209e-03,1.219171e-03,1.218833e-03,1.202378e-03,1.185829e-03,1.153791e-03,1.122719e-03,1.092611e-03,1.063464e-03,1.035270e-03,1.008018e-03,9.816970e-04,9.562929e-04,9.317908e-04,9.081741e-04,8.854255e-04,8.635267e-04,8.424586e-04,8.222019e-04,8.027366e-04,7.840425e-04,7.660993e-04,7.488866e-04,7.323839e-04,7.165707e-04,7.014268e-04,6.869321e-04,6.730666e-04,6.598106e-04,6.471448e-04,6.350502e-04,6.235079e-04,6.124997e-04,6.020074e-04,5.920134e-04,5.825005e-04,5.734519e-04,5.648511e-04,5.566820e-04,5.489291e-04,5.415770e-04,5.346110e-04,5.280167e-04,5.217799e-04,5.158872e-04,5.103252e-04,5.050810e-04,5.001422e-04,4.954967e-04,4.911327e-04,4.870388e-04,4.832040e-04,4.796175e-04,4.762689e-04
0.000000e+00,1.005503e-08,3.142326e-07,3.316670e-07,3.124896e-06,1.387642e-05,1.459815e-05,4.045077e-05,7.409576e-05,7.635502e-05,1.135799e-04,1.454992e-04,1.481379e-04,1.792188e-04,2.042592e-04,2.068773e-04,2.313438e-04,2.504370e-04,2.528738e-04,2.717143e-04,2.859426e-04,2.880963e-04,3.022356e-04,3.125264e-04,3.143324e-04,3.245719e-04,3.317029e-04,3.331253e-04,3.401504e-04,3.447681e-04,3.457925e-04,3.501848e-04,3.528224e-04,3.534499e-04,3.556998e-04,3.567943e-04,3.570372e-04,3.575559e-04,3.574634e-04,3.573417e-04,3.564729e-04,3.554825e-04,3.550211e-04,3.530513e-04,3.513962e-04,3.506229e-04,3.477900e-04,3.456579e-04,3.446018e-04,3.411032e-04,3.386439e-04,3.373348e-04,3.333334e-04,3.306660e-04,3.291328e-04,3.247631e-04,3.219813e-04,3.202521e-04,3.156246e-04,3.128017e-04,3.109031e-04,3.061080e-04,3.033004e-04,3.012575e-04,2.963683e-04,2.936189e-04,2.914550e-04,2.865311e-04,2.838719e-04,2.816084e-04,2.766975e-04,2.741518e-04,2.718081e-04,2.669486e-04,2.645323e-04,2.621263e-04,2.573480e-04,2.550717e-04,2.526194e-04,2.479457e-04,2.458155e-04,2.433313e-04,2.387799e-04,2.367982e-04,2.342950e-04,2.298793e-04,2.280460e-04,2.255352e-04,2.212647e-04,2.195774e-04,2.170693e-04,2.129503e-04,2.114053e-04,2.089087e-04,2.049451e-04,2.035375e-04,2.010601e-04,1.972539e-04,1.959778e-04,1.935266e-04,1.898779e-04,1.887269e-04,1.863077e-04,1.828155e-04,1.817830e-04,1.794008e-04,1.760630e-04,1.751421e-04,1.728013e-04,1.696148e-04,1.687986e-04,1.665028e-04,1.634641e-04,1.627457e-04,1.604979e-04,1.576031e-04,1.569757e-04,1.547785e-04,1.520230e-04,1.514801e-04,1.493355e-04,1.467148e-04,1.462501e-04,1.441597e-04,1.416689e-04,1.412763e-04,1.392413e-04,1.368755e-04,1.365492e-04,1.345705e-04,1.323250e-04,1.320594e-04,1.301376e-04,1.280073e-04,1.277974e-04,1.259328e-04,1.239129e-04,1.237536e-04,1.219464e-04,1.200321e-04,1.199189e-04,1.181689e-04,1.163556e-04,1.162840e-04,1.145910e-04,1.128741e-04,1.128403e-04,1.112038e-04,1.095789e-04,1.064915e-04,1.035701e-04,1.008068e-04,9.819410e-05,9.572478e-05,9.339190e-05,9.118881e-05,8.910913e-05,8.714678e-05,8.529593e-05,8.355100e-05,8.190669e-05,8.035792e-05,7.889987e-05,7.752791e-05,7.623766e-05,7.502494e-05,7.388575e-05,7.281631e-05,7.181301e-05,7.087241e-05,6.999123e-05,6.916638e-05,6.839489e-05,6.767396e-05,6.700089e-05,6.637316e-05,6.578835e-05,6.524416e-05,6.473840e-05,6.426900e-05,6.383398e-05,6.343148e-05,6.305970e-05,6.271697e-05,6.240166e-05,6.211225e-05,6.184729e-05,6.160541e-05,6.138530e-05,6.118571e-05,6.100546e-05,6.084343e-05,6.069856e-05,6.056985e-05,6.045632e-05,6.035708e-05,6.027126e-05,6.019804e-05
0.000000e+00,1.430592e-09,2.333208e-08,2.441450e-08,1.550777e-07,5.010508e-07,5.208726e-07,1.114644e-06,1.738681e-06,1.778273e-06,2.419686e-06,2.972774e-06,3.019103e-06,3.574642e-06,4.038308e-06,4.087770e-06,4.560558e-06,4.944950e-06,4.995157e-06,5.393691e-06,5.709165e-06,5.758230e-06,6.090776e-06,6.346803e-06,6.393256e-06,6.667517e-06,6.872593e-06,6.915321e-06,7.138341e-06,7.299983e-06,7.338165e-06,7.516299e-06,7.641101e-06,7.674161e-06,7.813093e-06,7.906802e-06,7.934360e-06,8.039151e-06,8.106753e-06,8.128590e-06,8.203731e-06,8.249540e-06,8.265569e-06,8.315036e-06,8.342774e-06,8.353010e-06,8.380316e-06,8.393187e-06,8.397727e-06,8.405971e-06,8.406724e-06,8.405731e-06,8.397650e-06,8.388642e-06,8.382328e-06,8.360328e-06,8.343569e-06,8.332181e-06,8.298381e-06,8.275584e-06,8.259396e-06,8.215658e-06,8.188276e-06,8.167578e-06,8.115537e-06,8.084797e-06,8.059891e-06,8.000975e-06,7.967911e-06,7.939101e-06,7.874563e-06,7.840041e-06,7.807633e-06,7.738566e-06,7.703306e-06,7.667600e-06,7.594957e-06,7.559555e-06,7.520845e-06,7.445457e-06,7.410400e-06,7.368973e-06,7.291560e-06,7.257245e-06,7.213375e-06,7.134562e-06,7.101306e-06,7.055257e-06,6.975584e-06,6.943639e-06,6.895661e-06,6.815594e-06,6.785153e-06,6.735484e-06,6.655423e-06,6.626630e-06,6.575496e-06,6.495782e-06,6.468740e-06,6.416353e-06,6.337277e-06,6.312057e-06,6.258615e-06,6.180423e-06,6.157065e-06,6.102753e-06,6.025652e-06,6.004172e-06,5.949163e-06,5.873326e-06,5.853720e-06,5.798176e-06,5.723745e-06,5.705992e-06,5.650063e-06,5.577155e-06,5.561221e-06,5.505044e-06,5.433752e-06,5.419593e-06,5.363296e-06,5.293693e-06,5.281257e-06,5.224957e-06,5.157099e-06,5.146323e-06,5.090129e-06,5.024056e-06,5.014877e-06,4.958887e-06,4.894626e-06,4.886976e-06,4.831279e-06,4.768848e-06,4.762656e-06,4.707335e-06,4.646739e-06,4.641931e-06,4.587061e-06,4.528298e-06,4.524802e-06,4.470450e-06,4.413512e-06,4.411253e-06,4.357480e-06,4.302351e-06,4.301258e-06,4.248119e-06,4.194779e-06,4.091770e-06,3.992178e-06,3.895944e-06,3.803003e-06,3.713287e-06,3.626725e-06,3.543244e-06,3.462767e-06,3.385218e-06,3.310519e-06,3.238592e-06,3.169360e-06,3.102746e-06,3.038671e-06,2.977060e-06,2.917837e-06,2.860929e-06,2.806263e-06,2.753766e-06,2.703369e-06,2.655003e-06,2.608602e-06,2.564099e-06,2.521431e-06,2.480536e-06,2.441352e-06,2.403822e-06,2.367887e-06,2.333492e-06,2.300584e-06,2.269108e-06,2.239016e-06,2.210256e-06,2.182782e-06,2.156546e-06,2.131504e-06,2.107613e-06,2.084830e-06,2.063114e-06,2.042425e-06,2.022727e-06,2.003980e-06,1.986151e-06,1.969203e-06,1.953104e-06,1.937822e-06,1.923324e-06,1.909581e-06,1.896563e-06
0.000000e+00,1.083838e-09,6.351347e-08,6.750990e-08,8.407730e-07,5.107600e-06,5.457212e-06,2.376699e-05,7.230792e-05,7.704674e-05,1.979532e-04,4.004746e-04,4.231169e-04,7.833539e-04,1.238825e-03,1.297398e-03,1.970242e-03,2.688137e-03,2.794571e-03,3.753618e-03,4.668699e-03,4.824364e-03,5.980463e-03,6.997566e-03,7.194624e-03,8.440409e-03,9.468374e-03,9.693451e-03,1.093221e-02,1.190049e-02,1.213834e-02,1.329679e-02,1.415954e-02,1.439570e-02,1.542615e-02,1.615958e-02,1.638190e-02,1.725899e-02,1.785618e-02,1.805545e-02,1.877091e-02,1.923639e-02,1.940634e-02,1.996374e-02,2.030896e-02,2.044589e-02,2.085617e-02,2.109601e-02,2.119833e-02,2.147642e-02,2.162688e-02,2.169459e-02,2.185705e-02,2.193370e-02,2.196795e-02,2.203136e-02,2.204855e-02,2.205121e-02,2.203129e-02,2.200174e-02,2.197517e-02,2.188625e-02,2.182090e-02,2.176770e-02,2.162250e-02,2.153060e-02,2.145344e-02,2.126310e-02,2.115232e-02,2.105387e-02,2.082796e-02,2.070458e-02,2.058742e-02,2.033412e-02,2.020324e-02,2.006980e-02,1.979605e-02,1.966173e-02,1.951432e-02,1.922595e-02,1.909140e-02,1.893215e-02,1.863406e-02,1.850180e-02,1.833268e-02,1.802895e-02,1.790089e-02,1.772372e-02,1.741775e-02,1.729532e-02,1.711175e-02,1.680635e-02,1.669057e-02,1.650212e-02,1.619958e-02,1.609118e-02,1.589921e-02,1.560142e-02,1.550083e-02,1.530659e-02,1.501506e-02,1.492252e-02,1.472713e-02,1.444307e-02,1.435864e-02,1.416311e-02,1.388745e-02,1.381107e-02,1.361629e-02,1.334977e-02,1.328125e-02,1.308803e-02,1.283118e-02,1.277027e-02,1.257932e-02,1.233252e-02,1.227890e-02,1.209084e-02,1.185433e-02,1.180765e-02,1.162302e-02,1.139694e-02,1.135680e-02,1.117609e-02,1.096047e-02,1.092645e-02,1.075007e-02,1.054488e-02,1.051656e-02,1.034486e-02,1.014999e-02,1.012695e-02,9.960226e-03,9.775524e-03,9.757331e-03,9.595835e-03,9.421104e-03,9.407338e-03,9.251274e-03,9.086284e-03,9.076537e-03,8.926068e-03,8.770560e-03,8.764437e-03,8.619690e-03,8.473387e-03,8.470507e-03,8.331577e-03,8.194185e-03,7.934886e-03,7.692010e-03,7.464946e-03,7.253082e-03,7.055805e-03,6.872505e-03,6.702582e-03,6.545440e-03,6.400498e-03,6.267184e-03,6.144943e-03,6.033230e-03,5.931517e-03,5.839291e-03,5.756052e-03,5.681318e-03,5.614620e-03,5.555504e-03,5.503533e-03,5.458284e-03,5.419346e-03,5.386325e-03,5.358839e-03,5.336522e-03,5.319020e-03,5.305990e-03,5.297106e-03,5.292052e-03,5.290525e-03,5.292234e-03,5.296901e-03,5.304258e-03,5.314050e-03,5.326033e-03,5.339974e-03,5.355652e-03,5.372856e-03,5.391386e-03,5.411053e-03,5.431677e-03,5.453091e-03,5.475135e-03,5.497661e-03,5.520529e-03,5.543610e-03,5.566783e-03,5.589937e-03,5.612969e-03,5.635784e-03
0.000000e+00,9.773713e-09,2.523266e-07,2.659040e-07,2.350470e-06,9.763393e-06,1.023720e-05,2.569529e-05,4.306953e-05,4.418303e-05,6.226345e-05,7.785827e-05,7.916368e-05,9.480273e-05,1.078327e-04,1.092213e-04,1.224808e-04,1.332410e-04,1.346450e-04,1.457764e-04,1.545697e-04,1.559356e-04,1.651799e-04,1.722784e-04,1.735643e-04,1.811417e-04,1.867889e-04,1.879632e-04,1.940770e-04,1.984897e-04,1.995293e-04,2.043637e-04,2.077321e-04,2.086214e-04,2.123413e-04,2.148314e-04,2.155602e-04,2.183126e-04,2.200683e-04,2.206312e-04,2.225465e-04,2.236921e-04,2.240874e-04,2.252809e-04,2.259233e-04,2.261524e-04,2.267258e-04,2.269569e-04,2.270235e-04,2.270664e-04,2.269649e-04,2.268744e-04,2.264657e-04,2.260986e-04,2.258578e-04,2.250669e-04,2.244913e-04,2.241081e-04,2.229956e-04,2.222600e-04,2.217428e-04,2.203621e-04,2.195073e-04,2.188651e-04,2.172627e-04,2.163231e-04,2.155650e-04,2.137816e-04,2.127861e-04,2.119214e-04,2.099925e-04,2.089649e-04,2.080027e-04,2.059592e-04,2.049194e-04,2.038686e-04,2.017373e-04,2.007015e-04,1.995711e-04,1.973752e-04,1.963566e-04,1.951548e-04,1.929145e-04,1.919236e-04,1.906586e-04,1.883911e-04,1.874363e-04,1.861158e-04,1.838361e-04,1.829237e-04,1.815551e-04,1.792758e-04,1.784107e-04,1.770009e-04,1.747329e-04,1.739186e-04,1.724741e-04,1.702266e-04,1.694653e-04,1.679922e-04,1.657728e-04,1.650661e-04,1.635701e-04,1.613853e-04,1.607336e-04,1.592200e-04,1.570752e-04,1.564785e-04,1.549521e-04,1.528517e-04,1.523094e-04,1.507748e-04,1.487222e-04,1.482333e-04,1.466947e-04,1.446928e-04,1.442558e-04,1.427170e-04,1.407679e-04,1.403813e-04,1.388458e-04,1.369510e-04,1.366129e-04,1.350839e-04,1.332447e-04,1.329530e-04,1.314334e-04,1.296503e-04,1.294030e-04,1.278955e-04,1.261689e-04,1.259636e-04,1.244707e-04,1.228006e-04,1.226352e-04,1.211588e-04,1.195451e-04,1.194172e-04,1.179594e-04,1.164016e-04,1.163090e-04,1.148715e-04,1.133690e-04,1.133094e-04,1.118937e-04,1.104456e-04,1.104169e-04,1.090243e-04,1.076297e-04,1.049460e-04,1.023635e-04,9.988014e-05,9.749339e-05,9.520086e-05,9.300002e-05,9.088831e-05,8.886315e-05,8.692195e-05,8.506212e-05,8.328108e-05,8.157628e-05,7.994519e-05,7.838532e-05,7.689424e-05,7.546953e-05,7.410886e-05,7.280991e-05,7.157046e-05,7.038831e-05,6.926133e-05,6.818746e-05,6.716467e-05,6.619102e-05,6.526461e-05,6.438360e-05,6.354621e-05,6.275073e-05,6.199548e-05,6.127885e-05,6.059928e-05,5.995526e-05,5.934535e-05,5.876812e-05,5.822224e-05,5.770639e-05,5.721931e-05,5.675979e-05,5.632665e-05,5.591875e-05,5.553503e-05,5.517442e-05,5.483591e-05,5.451854e-05,5.422136e-05,5.394349e-05,5.368404e-05,5.344219e-05,5.321713e-05
0.000000e+00,2.169020e-09,1.148135e-07,1.220023e-07,1.546804e-06,9.304753e-06,9.921739e-06,3.920561e-05,1.008132e-04,1.060570e-04,2.153312e-04,3.448399e-04,3.569968e-04,5.154908e-04,6.614575e-04,6.775411e-04,8.345210e-04,9.647138e-04,9.817886e-04,1.117316e-03,1.224037e-03,1.240553e-03,1.351702e-03,1.436118e-03,1.451306e-03,1.540049e-03,1.605218e-03,1.618650e-03,1.687827e-03,1.736850e-03,1.748273e-03,1.800644e-03,1.836292e-03,1.845566e-03,1.883622e-03,1.908293e-03,1.915363e-03,1.941302e-03,1.957045e-03,1.961919e-03,1.977662e-03,1.986214e-03,1.988947e-03,1.996162e-03,1.998984e-03,1.999666e-03,1.999795e-03,1.998113e-03,1.996857e-03,1.991141e-03,1.985977e-03,1.982913e-03,1.972420e-03,1.964621e-03,1.959888e-03,1.945530e-03,1.935797e-03,1.929540e-03,1.912099e-03,1.901006e-03,1.893371e-03,1.873511e-03,1.861529e-03,1.852659e-03,1.830945e-03,1.818454e-03,1.808490e-03,1.785402e-03,1.772708e-03,1.761783e-03,1.737726e-03,1.725072e-03,1.713316e-03,1.688629e-03,1.676205e-03,1.663738e-03,1.638708e-03,1.626662e-03,1.613597e-03,1.588460e-03,1.576902e-03,1.563346e-03,1.538299e-03,1.527310e-03,1.513360e-03,1.488565e-03,1.478202e-03,1.463946e-03,1.439534e-03,1.429833e-03,1.415355e-03,1.391432e-03,1.382413e-03,1.367787e-03,1.344438e-03,1.336108e-03,1.321401e-03,1.298690e-03,1.291045e-03,1.276318e-03,1.254296e-03,1.247324e-03,1.232632e-03,1.211335e-03,1.205018e-03,1.190410e-03,1.169862e-03,1.164176e-03,1.149695e-03,1.129912e-03,1.124832e-03,1.110515e-03,1.091505e-03,1.087000e-03,1.072882e-03,1.054645e-03,1.050685e-03,1.036794e-03,1.019326e-03,1.015878e-03,1.002239e-03,9.855317e-04,9.825643e-04,9.691994e-04,9.532389e-04,9.507195e-04,9.376465e-04,9.224178e-04,9.203146e-04,9.075485e-04,8.930338e-04,8.913156e-04,8.788687e-04,8.650483e-04,8.636850e-04,8.515672e-04,8.384201e-04,8.373826e-04,8.256014e-04,8.131056e-04,8.123660e-04,8.009270e-04,7.890599e-04,7.885916e-04,7.774986e-04,7.662373e-04,7.660150e-04,7.552701e-04,7.445915e-04,7.242760e-04,7.050239e-04,6.867913e-04,6.695346e-04,6.532113e-04,6.377801e-04,6.232004e-04,6.094332e-04,5.964404e-04,5.841854e-04,5.726328e-04,5.617485e-04,5.514997e-04,5.418551e-04,5.327844e-04,5.242588e-04,5.162504e-04,5.087330e-04,5.016811e-04,4.950706e-04,4.888784e-04,4.830825e-04,4.776620e-04,4.725968e-04,4.678680e-04,4.634573e-04,4.593476e-04,4.555225e-04,4.519663e-04,4.486642e-04,4.456022e-04,4.427667e-04,4.401451e-04,4.377254e-04,4.354959e-04,4.334459e-04,4.315650e-04,4.298434e-04,4.282718e-04,4.268413e-04,4.255435e-04,4.243707e-04,4.233151e-04,4.223697e-04,4.215278e-04,4.207828e-04,4.201288e-04,4.195601e-04,4.190711e-04
0.000000e+00,1.542134e-08,6.253113e-07,6.630474e-07,6.863229e-06,2.684790e-05,2.798349e-05,5.958927e-05,9.009536e-05,9.200022e-05,1.227676e-04,1.493859e-04,1.516246e-04,1.786099e-04,2.013613e-04,2.038022e-04,2.272813e-04,2.465865e-04,2.491235e-04,2.694016e-04,2.856433e-04,2.881858e-04,3.055454e-04,3.190766e-04,3.215488e-04,3.362630e-04,3.474128e-04,3.497537e-04,3.620851e-04,3.711573e-04,3.733193e-04,3.835165e-04,3.907876e-04,3.927343e-04,4.010283e-04,4.067466e-04,4.084515e-04,4.150546e-04,4.194413e-04,4.208858e-04,4.259910e-04,4.292420e-04,4.304141e-04,4.341965e-04,4.364842e-04,4.373777e-04,4.399950e-04,4.414708e-04,4.420839e-04,4.436780e-04,4.444747e-04,4.448093e-04,4.455078e-04,4.457410e-04,4.458022e-04,4.457194e-04,4.454900e-04,4.452851e-04,4.445235e-04,4.439190e-04,4.434575e-04,4.421086e-04,4.412048e-04,4.404974e-04,4.386431e-04,4.375054e-04,4.365640e-04,4.342773e-04,4.329620e-04,4.317994e-04,4.291454e-04,4.277007e-04,4.263300e-04,4.233668e-04,4.218338e-04,4.202685e-04,4.170475e-04,4.154611e-04,4.137150e-04,4.102819e-04,4.086717e-04,4.067582e-04,4.031536e-04,4.015442e-04,3.994769e-04,3.957367e-04,3.941487e-04,3.919407e-04,3.880965e-04,3.865469e-04,3.842111e-04,3.802909e-04,3.787934e-04,3.763422e-04,3.723706e-04,3.709363e-04,3.683817e-04,3.643803e-04,3.630179e-04,3.603713e-04,3.563591e-04,3.550751e-04,3.523477e-04,3.483410e-04,3.471405e-04,3.443426e-04,3.403559e-04,3.392421e-04,3.363838e-04,3.324294e-04,3.314044e-04,3.284952e-04,3.245838e-04,3.236487e-04,3.206973e-04,3.168381e-04,3.159929e-04,3.130079e-04,3.092086e-04,3.084525e-04,3.054418e-04,3.017090e-04,3.010408e-04,2.980117e-04,2.943510e-04,2.937688e-04,2.907281e-04,2.871441e-04,2.866454e-04,2.835998e-04,2.800960e-04,2.796784e-04,2.766336e-04,2.732132e-04,2.728735e-04,2.698353e-04,2.665005e-04,2.662356e-04,2.632092e-04,2.599616e-04,2.597682e-04,2.567583e-04,2.535992e-04,2.534738e-04,2.504848e-04,2.474150e-04,2.473541e-04,2.443900e-04,2.414098e-04,2.356413e-04,2.300479e-04,2.246289e-04,2.193827e-04,2.143075e-04,2.094013e-04,2.046615e-04,2.000856e-04,1.956706e-04,1.914135e-04,1.873111e-04,1.833602e-04,1.795574e-04,1.758992e-04,1.723822e-04,1.690028e-04,1.657576e-04,1.626429e-04,1.596553e-04,1.567913e-04,1.540473e-04,1.514200e-04,1.489059e-04,1.465016e-04,1.442039e-04,1.420095e-04,1.399151e-04,1.379176e-04,1.360140e-04,1.342011e-04,1.324761e-04,1.308359e-04,1.292778e-04,1.277990e-04,1.263967e-04,1.250684e-04,1.238114e-04,1.226231e-04,1.215011e-04,1.204431e-04,1.194466e-04,1.185094e-04,1.176293e-04,1.168040e-04,1.160315e-04,1.153097e-04,1.146366e-04,1.140102e-04,1.134288e-04
0.000000e+00,6.380045e-09,1.122542e-07,1.176009e-07,7.898581e-07,2.676828e-06,2.787633e-06,6.170081e-06,9.740751e-06,9.965074e-06,1.353876e-05,1.651086e-05,1.675465e-05,1.961121e-05,2.189491e-05,2.213279e-05,2.434731e-05,2.606355e-05,2.628174e-05,2.796113e-05,2.921910e-05,2.940860e-05,3.064548e-05,3.153617e-05,3.169146e-05,3.256468e-05,3.316358e-05,3.328186e-05,3.385838e-05,3.422784e-05,3.430835e-05,3.464467e-05,3.483575e-05,3.487917e-05,3.502261e-05,3.507681e-05,3.508482e-05,3.507471e-05,3.502548e-05,3.500041e-05,3.486928e-05,3.474344e-05,3.468799e-05,3.446260e-05,3.428153e-05,3.419857e-05,3.390084e-05,3.368141e-05,3.357385e-05,3.322171e-05,3.297730e-05,3.284805e-05,3.245614e-05,3.219712e-05,3.204894e-05,3.162912e-05,3.136354e-05,3.119905e-05,3.076087e-05,3.049488e-05,3.031650e-05,2.986765e-05,2.960588e-05,2.941586e-05,2.896250e-05,2.870838e-05,2.850877e-05,2.805577e-05,2.781178e-05,2.760444e-05,2.715562e-05,2.692348e-05,2.671006e-05,2.626841e-05,2.604924e-05,2.583125e-05,2.539907e-05,2.519352e-05,2.497229e-05,2.455130e-05,2.435966e-05,2.413639e-05,2.372783e-05,2.355013e-05,2.332584e-05,2.293061e-05,2.276665e-05,2.254227e-05,2.216094e-05,2.201039e-05,2.178670e-05,2.141962e-05,2.128201e-05,2.105973e-05,2.070705e-05,2.058185e-05,2.036157e-05,2.002328e-05,1.990989e-05,1.969213e-05,1.936810e-05,1.926590e-05,1.905112e-05,1.874112e-05,1.864947e-05,1.843803e-05,1.814177e-05,1.806003e-05,1.785226e-05,1.756940e-05,1.749693e-05,1.729309e-05,1.702324e-05,1.695942e-05,1.675974e-05,1.650247e-05,1.644670e-05,1.625135e-05,1.600624e-05,1.595793e-05,1.576705e-05,1.553365e-05,1.549225e-05,1.530595e-05,1.508382e-05,1.504879e-05,1.486715e-05,1.465584e-05,1.462667e-05,1.444976e-05,1.424881e-05,1.422503e-05,1.405288e-05,1.386186e-05,1.384302e-05,1.367564e-05,1.349411e-05,1.347979e-05,1.331718e-05,1.314474e-05,1.313453e-05,1.297668e-05,1.281290e-05,1.280644e-05,1.265332e-05,1.249782e-05,1.249476e-05,1.234632e-05,1.219873e-05,1.191764e-05,1.165079e-05,1.139753e-05,1.115721e-05,1.092922e-05,1.071297e-05,1.050791e-05,1.031350e-05,1.012921e-05,9.954576e-06,9.789115e-06,9.632384e-06,9.483958e-06,9.343430e-06,9.210414e-06,9.084541e-06,8.965458e-06,8.852832e-06,8.746343e-06,8.645686e-06,8.550573e-06,8.460727e-06,8.375886e-06,8.295798e-06,8.220228e-06,8.148945e-06,8.081737e-06,8.018398e-06,7.958731e-06,7.902554e-06,7.849686e-06,7.799962e-06,7.753218e-06,7.709303e-06,7.668072e-06,7.629385e-06,7.593113e-06,7.559128e-06,7.527313e-06,7.497554e-06,7.469742e-06,7.443777e-06,7.419559e-06,7.396997e-06,7.376000e-06,7.356488e-06,7.338379e-06,7.321597e-06,7.306070e-06
0.000000e+00,2.156560e-09,1.510717e-07,1.612946e-07,2.526712e-06,1.848514e-05,1.987966e-05,9.869391e-05,3.236803e-04,3.461403e-04,9.325486e-04,1.950508e-03,2.066531e-03,3.965031e-03,6.494945e-03,6.830141e-03,1.083394e-02,1.540624e-02,1.610995e-02,2.274948e-02,2.958847e-02,3.080153e-02,4.027504e-02,4.931227e-02,5.114271e-02,6.334568e-02,7.428939e-02,7.679865e-02,9.139505e-02,1.038133e-01,1.070121e-01,1.235153e-01,1.369119e-01,1.407629e-01,1.586097e-01,1.724844e-01,1.769101e-01,1.955208e-01,2.094110e-01,2.143036e-01,2.331265e-01,2.466338e-01,2.518655e-01,2.704057e-01,2.832089e-01,2.886419e-01,3.064788e-01,3.183361e-01,3.238316e-01,3.406255e-01,3.513716e-01,3.567960e-01,3.722883e-01,3.818260e-01,3.870568e-01,4.010647e-01,4.093549e-01,4.142836e-01,4.266925e-01,4.337431e-01,4.382777e-01,4.490315e-01,4.548869e-01,4.589523e-01,4.680436e-01,4.727752e-01,4.763134e-01,4.837737e-01,4.874711e-01,4.904402e-01,4.963312e-01,4.990951e-01,5.014681e-01,5.058738e-01,5.078102e-01,5.095734e-01,5.125931e-01,5.138090e-01,5.149602e-01,5.167029e-01,5.173028e-01,5.178498e-01,5.184296e-01,5.185125e-01,5.184712e-01,5.180035e-01,5.176621e-01,5.170550e-01,5.156539e-01,5.149729e-01,5.138277e-01,5.116036e-01,5.106596e-01,5.090079e-01,5.060663e-01,5.049274e-01,5.028035e-01,4.992437e-01,4.979698e-01,4.954098e-01,4.913243e-01,4.899673e-01,4.870084e-01,4.824827e-01,4.810870e-01,4.777667e-01,4.728791e-01,4.714822e-01,4.678377e-01,4.626594e-01,4.612926e-01,4.573604e-01,4.519558e-01,4.506446e-01,4.464602e-01,4.408872e-01,4.396520e-01,4.352497e-01,4.295598e-01,4.284166e-01,4.238291e-01,4.180682e-01,4.170288e-01,4.122873e-01,4.064959e-01,4.055689e-01,4.007028e-01,3.949164e-01,3.941073e-01,3.891444e-01,3.833939e-01,3.827057e-01,3.776718e-01,3.719842e-01,3.714176e-01,3.663370e-01,3.607354e-01,3.602894e-01,3.551844e-01,3.496886e-01,3.493607e-01,3.442520e-01,3.388787e-01,3.386651e-01,3.335720e-01,3.283351e-01,3.282311e-01,3.231710e-01,3.180822e-01,3.082375e-01,2.987125e-01,2.895192e-01,2.806667e-01,2.721612e-01,2.640069e-01,2.562056e-01,2.487575e-01,2.416611e-01,2.349137e-01,2.285110e-01,2.224481e-01,2.167188e-01,2.113164e-01,2.062334e-01,2.014616e-01,1.969925e-01,1.928171e-01,1.889260e-01,1.853096e-01,1.819580e-01,1.788612e-01,1.760088e-01,1.733908e-01,1.709966e-01,1.688159e-01,1.668384e-01,1.650538e-01,1.634517e-01,1.620222e-01,1.607551e-01,1.596406e-01,1.586691e-01,1.578309e-01,1.571169e-01,1.565179e-01,1.560252e-01,1.556301e-01,1.553246e-01,1.551005e-01,1.549503e-01,1.548666e-01,1.548423e-01,1.548707e-01,1.549454e-01,1.550605e-01,1.552102e-01,1.553891e-01,1.555922e-01
0.000000e+00,3.888245e-09,7.084817e-08,7.415318e-08,4.547348e-07,1.366674e-06,1.416012e-06,2.804863e-06,4.188244e-06,4.275699e-06,5.701558e-06,6.952787e-06,7.058716e-06,8.343967e-06,9.439798e-06,9.558046e-06,1.070258e-05,1.165377e-05,1.177950e-05,1.279092e-05,1.361006e-05,1.373909e-05,1.462634e-05,1.532631e-05,1.545507e-05,1.622771e-05,1.682109e-05,1.694664e-05,1.761424e-05,1.811291e-05,1.823281e-05,1.880463e-05,1.921959e-05,1.933186e-05,1.981664e-05,2.015793e-05,2.026100e-05,2.066692e-05,2.094365e-05,2.103627e-05,2.137088e-05,2.159127e-05,2.167249e-05,2.194276e-05,2.211418e-05,2.218331e-05,2.239566e-05,2.252471e-05,2.258129e-05,2.274161e-05,2.283420e-05,2.287795e-05,2.299161e-05,2.305301e-05,2.308381e-05,2.315574e-05,2.319065e-05,2.320852e-05,2.324321e-05,2.325578e-05,2.326086e-05,2.326243e-05,2.325635e-05,2.324886e-05,2.322104e-05,2.319956e-05,2.317983e-05,2.312603e-05,2.309202e-05,2.306042e-05,2.298374e-05,2.293972e-05,2.289668e-05,2.279992e-05,2.274811e-05,2.269410e-05,2.257983e-05,2.252214e-05,2.245768e-05,2.232820e-05,2.226632e-05,2.219192e-05,2.204933e-05,2.198472e-05,2.190092e-05,2.174713e-05,2.168103e-05,2.158838e-05,2.142510e-05,2.135860e-05,2.125765e-05,2.108642e-05,2.102044e-05,2.091175e-05,2.073397e-05,2.066927e-05,2.055339e-05,2.037032e-05,2.030756e-05,2.018503e-05,1.999779e-05,1.993751e-05,1.980886e-05,1.961847e-05,1.956110e-05,1.942685e-05,1.923422e-05,1.918013e-05,1.904077e-05,1.884671e-05,1.879617e-05,1.865221e-05,1.845743e-05,1.841067e-05,1.826255e-05,1.806772e-05,1.802487e-05,1.787307e-05,1.767874e-05,1.763992e-05,1.748486e-05,1.729154e-05,1.725681e-05,1.709891e-05,1.690705e-05,1.687643e-05,1.671607e-05,1.652607e-05,1.649955e-05,1.633712e-05,1.614931e-05,1.612686e-05,1.596272e-05,1.577740e-05,1.575894e-05,1.559343e-05,1.541086e-05,1.539632e-05,1.522975e-05,1.505016e-05,1.503943e-05,1.487212e-05,1.469568e-05,1.468866e-05,1.452089e-05,1.434777e-05,1.434433e-05,1.417636e-05,1.400670e-05,1.367599e-05,1.335239e-05,1.303604e-05,1.272703e-05,1.242544e-05,1.213132e-05,1.184469e-05,1.156555e-05,1.129387e-05,1.102963e-05,1.077277e-05,1.052322e-05,1.028091e-05,1.004575e-05,9.817647e-06,9.596493e-06,9.382177e-06,9.174586e-06,8.973596e-06,8.779084e-06,8.590924e-06,8.408987e-06,8.233142e-06,8.063258e-06,7.899201e-06,7.740838e-06,7.588036e-06,7.440661e-06,7.298581e-06,7.161665e-06,7.029781e-06,6.902803e-06,6.780602e-06,6.663052e-06,6.550030e-06,6.441413e-06,6.337083e-06,6.236919e-06,6.140807e-06,6.048632e-06,5.960284e-06,5.875652e-06,5.794629e-06,5.717110e-06,5.642994e-06,5.572178e-06,5.504564e-06,5.440057e-06,5.378563e-06
0.000000e+00,3.057811e-09,2.148672e-07,2.294081e-07,3.565877e-06,2.554890e-05,2.744792e-05,1.327793e-04,4.269968e-04,4.561562e-04,1.212173e-03,2.513943e-03,2.661854e-03,5.074247e-03,8.273883e-03,8.696884e-03,1.373678e-02,1.946948e-02,2.035000e-02,2.863755e-02,3.714073e-02,3.864581e-02,5.036992e-02,6.150830e-02,6.375920e-02,7.872360e-02,9.208469e-02,9.514062e-02,1.128623e-01,1.278673e-01,1.317218e-01,1.515397e-01,1.675431e-01,1.721295e-01,1.933025e-01,2.096689e-01,2.148718e-01,2.366561e-01,2.528126e-01,2.584821e-01,2.801870e-01,2.956543e-01,3.016199e-01,3.226431e-01,3.370486e-01,3.431326e-01,3.629788e-01,3.760573e-01,3.820859e-01,4.003723e-01,4.119580e-01,4.177697e-01,4.342227e-01,4.442365e-01,4.496880e-01,4.641337e-01,4.725682e-01,4.775383e-01,4.898897e-01,4.967932e-01,5.011845e-01,5.114269e-01,5.168895e-01,5.206282e-01,5.288053e-01,5.329453e-01,5.359806e-01,5.421805e-01,5.451335e-01,5.474355e-01,5.517788e-01,5.536888e-01,5.552461e-01,5.578751e-01,5.588874e-01,5.597047e-01,5.607749e-01,5.610306e-01,5.611259e-01,5.607986e-01,5.604313e-01,5.598332e-01,5.582700e-01,5.574029e-01,5.561483e-01,5.535069e-01,5.522516e-01,5.503834e-01,5.468146e-01,5.452704e-01,5.428359e-01,5.384813e-01,5.367350e-01,5.337839e-01,5.287749e-01,5.269013e-01,5.234845e-01,5.179413e-01,5.160039e-01,5.121725e-01,5.062040e-01,5.042559e-01,5.000600e-01,4.937638e-01,4.918485e-01,4.873370e-01,4.807999e-01,4.789524e-01,4.741718e-01,4.674706e-01,4.657184e-01,4.607131e-01,4.539148e-01,4.522788e-01,4.470904e-01,4.402534e-01,4.387489e-01,4.334164e-01,4.265910e-01,4.252283e-01,4.197880e-01,4.130172e-01,4.118026e-01,4.062877e-01,3.996080e-01,3.985443e-01,3.929856e-01,3.864275e-01,3.855148e-01,3.799400e-01,3.735290e-01,3.727651e-01,3.671996e-01,3.609566e-01,3.603372e-01,3.548040e-01,3.487457e-01,3.482653e-01,3.427850e-01,3.369248e-01,3.365765e-01,3.311677e-01,3.255158e-01,3.252920e-01,3.199711e-01,3.145352e-01,3.144276e-01,3.092093e-01,3.039945e-01,2.940000e-01,2.844480e-01,2.753394e-01,2.666727e-01,2.584442e-01,2.506483e-01,2.432779e-01,2.363248e-01,2.297796e-01,2.236320e-01,2.178708e-01,2.124844e-01,2.074605e-01,2.027867e-01,1.984499e-01,1.944371e-01,1.907351e-01,1.873304e-01,1.842098e-01,1.813598e-01,1.787670e-01,1.764183e-01,1.743006e-01,1.724008e-01,1.707063e-01,1.692046e-01,1.678834e-01,1.667307e-01,1.657348e-01,1.648845e-01,1.641687e-01,1.635767e-01,1.630983e-01,1.627237e-01,1.624433e-01,1.622481e-01,1.621294e-01,1.620790e-01,1.620891e-01,1.621524e-01,1.622619e-01,1.624111e-01,1.625940e-01,1.628047e-01,1.630382e-01,1.632894e-01,1.635540e-01,1.638279e-01,1.641072e-01
0.000000e+00,7.743220e-10,5.705128e-08,6.103954e-08,1.029704e-06,7.251504e-06,7.766087e-06,3.274081e-05,8.577935e-05,9.032088e-05,1.868048e-04,3.070801e-04,3.187415e-04,4.768908e-04,6.326730e-04,6.504241e-04,8.295295e-04,9.855869e-04,1.006514e-03,1.175961e-03,1.312989e-03,1.334428e-03,1.480008e-03,1.591717e-03,1.611888e-03,1.729997e-03,1.816842e-03,1.834736e-03,1.926783e-03,1.991835e-03,2.006964e-03,2.076171e-03,2.123113e-03,2.135303e-03,2.185240e-03,2.217559e-03,2.226818e-03,2.260822e-03,2.281540e-03,2.287982e-03,2.308970e-03,2.320609e-03,2.324404e-03,2.334850e-03,2.339471e-03,2.340822e-03,2.342789e-03,2.342058e-03,2.341177e-03,2.336371e-03,2.331622e-03,2.328724e-03,2.318550e-03,2.310848e-03,2.306139e-03,2.291750e-03,2.281940e-03,2.275618e-03,2.257956e-03,2.246705e-03,2.238956e-03,2.218791e-03,2.206625e-03,2.197619e-03,2.175581e-03,2.162909e-03,2.152804e-03,2.129404e-03,2.116546e-03,2.105485e-03,2.081141e-03,2.068342e-03,2.056455e-03,2.031503e-03,2.018949e-03,2.006354e-03,1.981068e-03,1.968899e-03,1.955700e-03,1.930301e-03,1.918618e-03,1.904913e-03,1.879576e-03,1.868454e-03,1.854326e-03,1.829194e-03,1.818680e-03,1.804207e-03,1.779390e-03,1.769517e-03,1.754766e-03,1.730354e-03,1.721137e-03,1.706171e-03,1.682231e-03,1.673675e-03,1.658548e-03,1.635133e-03,1.627235e-03,1.611995e-03,1.589143e-03,1.581892e-03,1.566584e-03,1.544324e-03,1.537705e-03,1.522367e-03,1.500718e-03,1.494712e-03,1.479380e-03,1.458354e-03,1.452939e-03,1.437642e-03,1.417246e-03,1.412398e-03,1.397166e-03,1.377401e-03,1.373096e-03,1.357952e-03,1.338816e-03,1.335027e-03,1.319994e-03,1.301483e-03,1.298183e-03,1.283280e-03,1.265385e-03,1.262551e-03,1.247795e-03,1.230507e-03,1.228111e-03,1.213518e-03,1.196826e-03,1.194843e-03,1.180427e-03,1.164318e-03,1.162723e-03,1.148496e-03,1.132958e-03,1.131727e-03,1.117700e-03,1.102718e-03,1.101828e-03,1.088010e-03,1.073571e-03,1.072999e-03,1.059398e-03,1.045487e-03,1.045211e-03,1.031834e-03,1.018437e-03,9.926479e-04,9.678153e-04,9.439110e-04,9.209070e-04,8.987757e-04,8.774898e-04,8.570227e-04,8.373481e-04,8.184407e-04,8.002752e-04,7.828273e-04,7.660733e-04,7.499900e-04,7.345549e-04,7.197462e-04,7.055424e-04,6.919231e-04,6.788681e-04,6.663580e-04,6.543740e-04,6.428977e-04,6.319115e-04,6.213981e-04,6.113410e-04,6.017240e-04,5.925315e-04,5.837483e-04,5.753600e-04,5.673522e-04,5.597113e-04,5.524241e-04,5.454776e-04,5.388594e-04,5.325575e-04,5.265603e-04,5.208564e-04,5.154351e-04,5.102856e-04,5.053979e-04,5.007621e-04,4.963686e-04,4.922081e-04,4.882717e-04,4.845509e-04,4.810371e-04,4.777223e-04,4.745987e-04,4.716587e-04,4.688949e-04
0.000000e+00,2.658137e-09,1.912231e-07,2.044106e-07,3.238229e-06,2.110059e-05,2.252465e-05,8.817365e-05,2.191567e-04,2.301123e-04,4.578186e-04,7.340752e-04,7.605999e-04,1.117817e-03,1.467682e-03,1.507551e-03,1.911112e-03,2.266404e-03,2.314433e-03,2.707810e-03,3.033361e-03,3.085044e-03,3.442494e-03,3.726051e-03,3.778280e-03,4.091682e-03,4.331962e-03,4.382713e-03,4.651838e-03,4.851849e-03,4.899784e-03,5.127424e-03,5.291494e-03,5.335703e-03,5.525592e-03,5.658204e-03,5.698057e-03,5.854046e-03,5.959410e-03,5.994475e-03,6.120230e-03,6.202164e-03,6.232158e-03,6.331067e-03,6.392971e-03,6.417728e-03,6.492876e-03,6.537757e-03,6.557208e-03,6.611387e-03,6.641890e-03,6.656043e-03,6.691772e-03,6.710218e-03,6.719142e-03,6.738691e-03,6.747107e-03,6.750926e-03,6.756333e-03,6.756489e-03,6.755366e-03,6.748461e-03,6.741897e-03,6.736026e-03,6.718451e-03,6.706501e-03,6.696102e-03,6.669327e-03,6.653145e-03,6.638455e-03,6.603797e-03,6.584376e-03,6.565646e-03,6.524280e-03,6.502473e-03,6.479960e-03,6.432935e-03,6.409471e-03,6.383438e-03,6.331688e-03,6.307185e-03,6.277894e-03,6.222252e-03,6.197232e-03,6.164947e-03,6.106151e-03,6.081052e-03,6.046028e-03,5.984733e-03,5.959920e-03,5.922410e-03,5.859196e-03,5.834967e-03,5.795217e-03,5.730595e-03,5.707195e-03,5.665441e-03,5.599861e-03,5.577485e-03,5.533954e-03,5.467813e-03,5.446612e-03,5.401523e-03,5.335167e-03,5.315259e-03,5.268819e-03,5.202550e-03,5.184018e-03,5.136426e-03,5.070508e-03,5.053410e-03,5.004853e-03,4.939512e-03,4.923883e-03,4.874537e-03,4.809971e-03,4.795826e-03,4.745857e-03,4.682233e-03,4.669570e-03,4.619135e-03,4.556596e-03,4.545401e-03,4.494646e-03,4.433311e-03,4.423557e-03,4.372618e-03,4.312589e-03,4.304239e-03,4.253244e-03,4.194602e-03,4.187613e-03,4.136679e-03,4.079491e-03,4.073814e-03,4.023051e-03,3.967370e-03,3.962949e-03,3.912459e-03,3.858325e-03,3.855102e-03,3.804977e-03,3.752420e-03,3.750335e-03,3.700660e-03,3.649701e-03,3.648690e-03,3.599545e-03,3.550194e-03,3.454859e-03,3.362683e-03,3.273654e-03,3.187752e-03,3.104945e-03,3.025196e-03,2.948463e-03,2.874696e-03,2.803843e-03,2.735846e-03,2.670648e-03,2.608184e-03,2.548393e-03,2.491207e-03,2.436563e-03,2.384391e-03,2.334625e-03,2.287196e-03,2.242039e-03,2.199084e-03,2.158264e-03,2.119515e-03,2.082769e-03,2.047962e-03,2.015030e-03,1.983910e-03,1.954540e-03,1.926859e-03,1.900807e-03,1.876325e-03,1.853357e-03,1.831845e-03,1.811734e-03,1.792970e-03,1.775502e-03,1.759275e-03,1.744242e-03,1.730351e-03,1.717556e-03,1.705808e-03,1.695063e-03,1.685276e-03,1.676403e-03,1.668402e-03,1.661231e-03,1.654850e-03,1.649220e-03,1.644304e-03,1.640064e-03
0.000000e+00,1.752005e-09,1.079157e-07,1.148365e-07,1.516305e-06,9.719114e-06,1.040665e-05,4.773842e-05,1.523503e-04,1.628324e-04,4.403701e-04,9.340358e-04,9.908950e-04,1.930057e-03,3.192055e-03,3.359449e-03,5.354960e-03,7.616239e-03,7.962186e-03,1.119675e-02,1.447235e-02,1.504752e-02,1.948123e-02,2.361965e-02,2.444760e-02,2.988424e-02,3.464424e-02,3.572113e-02,4.188442e-02,4.699991e-02,4.829954e-02,5.489362e-02,6.011649e-02,6.159735e-02,6.834624e-02,7.346916e-02,7.508144e-02,8.175026e-02,8.661492e-02,8.830629e-02,9.470940e-02,9.920558e-02,1.009255e-01,1.069262e-01,1.109860e-01,1.126884e-01,1.181939e-01,1.217838e-01,1.234288e-01,1.283832e-01,1.314961e-01,1.330505e-01,1.374273e-01,1.400754e-01,1.415126e-01,1.453076e-01,1.475161e-01,1.488156e-01,1.520411e-01,1.538433e-01,1.549901e-01,1.576696e-01,1.591033e-01,1.600874e-01,1.622518e-01,1.633566e-01,1.641719e-01,1.658566e-01,1.666718e-01,1.673155e-01,1.685581e-01,1.691219e-01,1.695939e-01,1.704325e-01,1.707808e-01,1.710834e-01,1.715557e-01,1.717218e-01,1.718588e-01,1.720014e-01,1.720155e-01,1.719923e-01,1.718399e-01,1.717297e-01,1.715526e-01,1.711381e-01,1.709280e-01,1.706042e-01,1.699584e-01,1.696703e-01,1.692077e-01,1.683590e-01,1.680122e-01,1.674190e-01,1.663939e-01,1.660053e-01,1.652899e-01,1.641128e-01,1.636969e-01,1.628681e-01,1.615613e-01,1.611308e-01,1.601973e-01,1.587811e-01,1.583468e-01,1.573174e-01,1.558105e-01,1.553814e-01,1.542647e-01,1.526841e-01,1.522679e-01,1.510724e-01,1.494332e-01,1.490362e-01,1.477702e-01,1.460865e-01,1.457136e-01,1.443853e-01,1.426695e-01,1.423249e-01,1.409420e-01,1.392053e-01,1.388920e-01,1.374621e-01,1.357147e-01,1.354349e-01,1.339653e-01,1.322161e-01,1.319713e-01,1.304690e-01,1.287259e-01,1.285170e-01,1.269886e-01,1.252587e-01,1.250862e-01,1.235379e-01,1.218275e-01,1.216912e-01,1.201290e-01,1.184435e-01,1.183429e-01,1.167725e-01,1.151168e-01,1.150509e-01,1.134776e-01,1.118558e-01,1.118235e-01,1.102523e-01,1.086680e-01,1.055903e-01,1.025959e-01,9.968885e-02,9.687286e-02,9.415075e-02,9.152470e-02,8.899638e-02,8.656689e-02,8.423691e-02,8.200665e-02,7.987594e-02,7.784427e-02,7.591081e-02,7.407446e-02,7.233388e-02,7.068748e-02,6.913349e-02,6.766996e-02,6.629478e-02,6.500569e-02,6.380033e-02,6.267620e-02,6.163074e-02,6.066129e-02,5.976514e-02,5.893952e-02,5.818161e-02,5.748856e-02,5.685752e-02,5.628559e-02,5.576991e-02,5.530759e-02,5.489578e-02,5.453165e-02,5.421238e-02,5.393522e-02,5.369744e-02,5.349638e-02,5.332942e-02,5.319401e-02,5.308769e-02,5.300803e-02,5.295273e-02,5.291952e-02,5.290627e-02,5.291088e-02,5.293138e-02,5.296589e-02,5.301261e-02
0.000000e+00,1.471882e-09,8.057001e-08,8.559186e-08,1.060841e-06,6.396964e-06,6.827465e-06,2.817403e-05,7.776195e-05,8.223695e-05,1.834777e-04,3.214644e-04,3.353598e-04,5.307200e-04,7.332692e-04,7.568769e-04,1.000320e-03,1.219509e-03,1.249370e-03,1.495120e-03,1.699056e-03,1.731398e-03,1.954295e-03,2.129537e-03,2.161606e-03,2.352323e-03,2.496164e-03,2.526236e-03,2.683647e-03,2.798093e-03,2.825160e-03,2.951552e-03,3.040196e-03,3.063688e-03,3.162457e-03,3.229129e-03,3.248747e-03,3.323420e-03,3.371686e-03,3.387302e-03,3.441180e-03,3.474195e-03,3.485795e-03,3.521848e-03,3.542342e-03,3.549993e-03,3.570847e-03,3.581158e-03,3.584985e-03,3.592946e-03,3.595063e-03,3.595234e-03,3.592319e-03,3.587928e-03,3.584642e-03,3.572613e-03,3.563138e-03,3.556614e-03,3.537005e-03,3.523645e-03,3.514117e-03,3.488263e-03,3.472023e-03,3.459732e-03,3.428793e-03,3.410511e-03,3.395699e-03,3.360682e-03,3.341051e-03,3.323960e-03,3.285735e-03,3.265328e-03,3.246196e-03,3.205515e-03,3.184798e-03,3.163855e-03,3.121366e-03,3.100718e-03,3.078186e-03,3.034443e-03,3.014165e-03,2.990255e-03,2.945732e-03,2.926062e-03,2.900975e-03,2.856077e-03,2.837198e-03,2.811123e-03,2.766191e-03,2.748241e-03,2.721354e-03,2.676677e-03,2.659755e-03,2.632221e-03,2.588041e-03,2.572214e-03,2.544187e-03,2.500703e-03,2.486010e-03,2.457631e-03,2.415007e-03,2.401468e-03,2.372865e-03,2.331234e-03,2.318849e-03,2.290141e-03,2.249610e-03,2.238365e-03,2.209662e-03,2.170314e-03,2.160184e-03,2.131583e-03,2.093481e-03,2.084432e-03,2.056020e-03,2.019210e-03,2.011200e-03,1.983058e-03,1.947570e-03,1.940552e-03,1.912750e-03,1.878602e-03,1.872527e-03,1.845127e-03,1.812327e-03,1.807141e-03,1.780200e-03,1.748746e-03,1.744396e-03,1.717961e-03,1.687842e-03,1.684273e-03,1.658387e-03,1.629589e-03,1.626745e-03,1.601443e-03,1.573945e-03,1.571772e-03,1.547086e-03,1.520861e-03,1.519308e-03,1.495262e-03,1.470282e-03,1.469295e-03,1.445912e-03,1.422145e-03,1.421675e-03,1.398971e-03,1.376383e-03,1.333348e-03,1.292502e-03,1.253772e-03,1.217083e-03,1.182362e-03,1.149535e-03,1.118529e-03,1.089271e-03,1.061689e-03,1.035713e-03,1.011275e-03,9.883065e-04,9.667427e-04,9.465201e-04,9.275769e-04,9.098535e-04,8.932921e-04,8.778370e-04,8.634344e-04,8.500327e-04,8.375819e-04,8.260342e-04,8.153436e-04,8.054660e-04,7.963591e-04,7.879822e-04,7.802965e-04,7.732648e-04,7.668516e-04,7.610228e-04,7.557459e-04,7.509899e-04,7.467250e-04,7.429231e-04,7.395570e-04,7.366011e-04,7.340307e-04,7.318225e-04,7.299541e-04,7.284045e-04,7.271532e-04,7.261812e-04,7.254701e-04,7.250026e-04,7.247622e-04,7.247332e-04,7.249006e-04,7.252504e-04,7.257689e-04
0.000000e+00,1.040942e-09,6.846999e-08,7.299070e-08,1.060149e-06,7.336994e-06,7.875990e-06,3.779225e-05,1.222526e-04,1.306791e-04,3.510171e-04,7.340374e-04,7.776696e-04,1.489719e-03,2.431484e-03,2.555616e-03,4.026954e-03,5.683139e-03,5.935917e-03,8.295256e-03,1.068102e-02,1.109984e-02,1.432912e-02,1.734600e-02,1.794998e-02,2.191970e-02,2.540058e-02,2.618873e-02,3.070333e-02,3.445434e-02,3.540771e-02,4.024600e-02,4.407770e-02,4.516373e-02,5.010902e-02,5.385597e-02,5.503352e-02,5.989299e-02,6.342362e-02,6.464775e-02,6.926284e-02,7.248210e-02,7.370810e-02,7.795807e-02,8.080549e-02,8.199185e-02,8.579285e-02,8.823797e-02,8.934845e-02,9.264973e-02,9.468641e-02,9.569108e-02,9.846988e-02,1.001104e-01,1.009861e-01,1.032421e-01,1.045119e-01,1.052421e-01,1.069920e-01,1.079249e-01,1.084991e-01,1.097718e-01,1.104063e-01,1.108195e-01,1.116521e-01,1.120282e-01,1.122800e-01,1.127141e-01,1.128718e-01,1.129654e-01,1.130448e-01,1.130218e-01,1.129634e-01,1.127320e-01,1.125633e-01,1.123612e-01,1.118615e-01,1.115787e-01,1.112428e-01,1.105149e-01,1.101460e-01,1.096872e-01,1.087684e-01,1.083375e-01,1.077672e-01,1.066916e-01,1.062195e-01,1.055492e-01,1.043474e-01,1.038516e-01,1.030930e-01,1.017922e-01,1.012871e-01,1.004513e-01,9.907583e-02,9.857321e-02,9.767103e-02,9.624185e-02,9.575120e-02,9.479286e-02,9.332830e-02,9.285701e-02,9.185212e-02,9.036798e-02,8.992170e-02,8.887925e-02,8.738904e-02,8.697191e-02,8.590022e-02,8.441543e-02,8.403035e-02,8.293708e-02,8.146737e-02,8.111616e-02,8.000834e-02,7.856181e-02,7.824542e-02,7.712946e-02,7.571279e-02,7.543146e-02,7.431318e-02,7.293186e-02,7.268525e-02,7.156991e-02,7.022834e-02,7.001564e-02,6.890801e-02,6.760968e-02,6.742971e-02,6.633403e-02,6.508165e-02,6.493296e-02,6.385304e-02,6.264863e-02,6.252953e-02,6.146876e-02,6.031373e-02,6.022241e-02,5.918378e-02,5.807906e-02,5.801359e-02,5.699972e-02,5.594581e-02,5.590418e-02,5.491736e-02,5.391438e-02,5.389458e-02,5.293681e-02,5.198456e-02,5.017336e-02,4.845977e-02,4.684222e-02,4.531878e-02,4.388732e-02,4.254547e-02,4.129067e-02,4.012024e-02,3.903137e-02,3.802116e-02,3.708665e-02,3.622484e-02,3.543269e-02,3.470716e-02,3.404518e-02,3.344371e-02,3.289972e-02,3.241020e-02,3.197218e-02,3.158273e-02,3.123898e-02,3.093809e-02,3.067730e-02,3.045389e-02,3.026524e-02,3.010879e-02,2.998204e-02,2.988259e-02,2.980813e-02,2.975643e-02,2.972533e-02,2.971279e-02,2.971685e-02,2.973565e-02,2.976741e-02,2.981047e-02,2.986325e-02,2.992428e-02,2.999216e-02,3.006561e-02,3.014343e-02,3.022452e-02,3.030786e-02,3.039252e-02,3.047766e-02,3.056250e-02,3.064638e-02,3.072867e-02,3.080884e-02
0.000000e+00,7.753398e-09,2.963897e-07,3.133844e-07,3.216163e-06,1.604210e-05,1.696959e-05,5.449243e-05,1.143366e-04,1.187462e-04,1.967920e-04,2.691029e-04,2.752061e-04,3.478752e-04,4.070191e-04,4.132194e-04,4.712634e-04,5.166584e-04,5.224574e-04,5.673310e-04,6.012659e-04,6.064061e-04,6.401770e-04,6.647852e-04,6.691068e-04,6.936271e-04,7.107260e-04,7.141394e-04,7.310160e-04,7.421315e-04,7.446007e-04,7.552110e-04,7.616110e-04,7.631391e-04,7.686532e-04,7.713817e-04,7.719994e-04,7.734033e-04,7.733135e-04,7.730709e-04,7.711909e-04,7.689762e-04,7.679354e-04,7.634613e-04,7.596816e-04,7.579118e-04,7.514172e-04,7.465219e-04,7.440959e-04,7.360557e-04,7.304033e-04,7.273946e-04,7.182014e-04,7.120758e-04,7.085561e-04,6.985318e-04,6.921558e-04,6.881949e-04,6.776051e-04,6.711524e-04,6.668160e-04,6.558759e-04,6.494790e-04,6.448289e-04,6.337140e-04,6.274733e-04,6.225663e-04,6.114171e-04,6.054058e-04,6.002943e-04,5.892227e-04,5.834931e-04,5.782244e-04,5.673187e-04,5.619059e-04,5.565226e-04,5.458510e-04,5.407768e-04,5.353171e-04,5.249320e-04,5.202075e-04,5.147053e-04,5.046454e-04,5.002736e-04,4.947590e-04,4.850521e-04,4.810298e-04,4.755292e-04,4.661942e-04,4.625135e-04,4.570499e-04,4.480984e-04,4.447476e-04,4.393410e-04,4.307786e-04,4.277439e-04,4.224113e-04,4.142389e-04,4.115046e-04,4.062606e-04,3.984753e-04,3.960245e-04,3.908815e-04,3.834774e-04,3.812928e-04,3.762610e-04,3.692299e-04,3.672941e-04,3.623818e-04,3.557138e-04,3.540093e-04,3.492232e-04,3.429070e-04,3.414168e-04,3.367622e-04,3.307856e-04,3.294930e-04,3.249740e-04,3.193241e-04,3.182133e-04,3.138327e-04,3.084963e-04,3.075519e-04,3.033116e-04,2.982753e-04,2.974830e-04,2.933840e-04,2.886343e-04,2.879805e-04,2.840230e-04,2.795466e-04,2.790183e-04,2.752019e-04,2.709857e-04,2.705710e-04,2.668948e-04,2.629259e-04,2.626135e-04,2.590759e-04,2.553419e-04,2.551215e-04,2.517207e-04,2.482093e-04,2.480711e-04,2.448049e-04,2.415046e-04,2.414396e-04,2.383055e-04,2.352050e-04,2.293459e-04,2.238423e-04,2.186746e-04,2.138243e-04,2.092738e-04,2.050062e-04,2.010057e-04,1.972569e-04,1.937456e-04,1.904581e-04,1.873814e-04,1.845033e-04,1.818123e-04,1.792974e-04,1.769482e-04,1.747550e-04,1.727086e-04,1.708002e-04,1.690215e-04,1.673650e-04,1.658232e-04,1.643892e-04,1.630565e-04,1.618190e-04,1.606709e-04,1.596068e-04,1.586215e-04,1.577101e-04,1.568682e-04,1.560914e-04,1.553757e-04,1.547172e-04,1.541125e-04,1.535580e-04,1.530507e-04,1.525876e-04,1.521657e-04,1.517826e-04,1.514356e-04,1.511225e-04,1.508410e-04,1.505890e-04,1.503646e-04,1.501660e-04,1.499915e-04,1.498393e-04,1.497080e-04,1.495961e-04,1.495024e-04
0.000000e+00,2.052179e-08,3.626693e-07,3.797588e-07,2.699955e-06,1.056150e-05,1.107209e-05,2.872268e-05,5.044918e-05,5.188197e-05,7.547205e-05,9.607871e-05,9.780922e-05,1.185839e-04,1.359380e-04,1.377894e-04,1.554819e-04,1.698545e-04,1.717305e-04,1.866063e-04,1.983554e-04,2.001800e-04,2.125216e-04,2.219867e-04,2.236998e-04,2.337816e-04,2.412765e-04,2.428324e-04,2.509152e-04,2.567254e-04,2.580907e-04,2.644170e-04,2.687978e-04,2.699496e-04,2.747411e-04,2.779181e-04,2.788418e-04,2.822989e-04,2.844694e-04,2.851575e-04,2.874597e-04,2.887954e-04,2.892456e-04,2.905527e-04,2.912020e-04,2.914167e-04,2.918709e-04,2.919618e-04,2.919468e-04,2.916738e-04,2.913162e-04,2.910799e-04,2.901913e-04,2.894793e-04,2.890324e-04,2.876262e-04,2.866396e-04,2.859941e-04,2.841562e-04,2.829627e-04,2.821315e-04,2.799375e-04,2.785941e-04,2.775909e-04,2.751070e-04,2.736615e-04,2.725003e-04,2.697842e-04,2.682765e-04,2.669713e-04,2.640734e-04,2.625365e-04,2.611013e-04,2.580652e-04,2.565262e-04,2.549747e-04,2.518385e-04,2.503193e-04,2.486648e-04,2.454611e-04,2.439794e-04,2.422346e-04,2.389918e-04,2.375613e-04,2.357386e-04,2.324807e-04,2.311122e-04,2.292232e-04,2.259708e-04,2.246723e-04,2.227280e-04,2.194987e-04,2.182758e-04,2.162866e-04,2.130950e-04,2.119517e-04,2.099271e-04,2.067857e-04,2.057241e-04,2.036733e-04,2.005921e-04,1.996131e-04,1.975444e-04,1.945320e-04,1.936353e-04,1.915564e-04,1.886194e-04,1.878041e-04,1.857221e-04,1.828657e-04,1.821299e-04,1.800514e-04,1.772799e-04,1.766212e-04,1.745519e-04,1.718683e-04,1.712839e-04,1.692294e-04,1.666358e-04,1.661225e-04,1.640876e-04,1.615853e-04,1.611397e-04,1.591289e-04,1.567185e-04,1.563371e-04,1.543542e-04,1.520358e-04,1.517149e-04,1.497633e-04,1.475366e-04,1.472724e-04,1.453553e-04,1.432193e-04,1.430082e-04,1.411283e-04,1.390818e-04,1.389200e-04,1.370796e-04,1.351213e-04,1.350052e-04,1.332064e-04,1.313344e-04,1.312604e-04,1.295048e-04,1.277173e-04,1.276819e-04,1.259711e-04,1.242659e-04,1.210081e-04,1.179040e-04,1.149491e-04,1.121388e-04,1.094683e-04,1.069329e-04,1.045278e-04,1.022484e-04,1.000899e-04,9.804763e-05,9.611715e-05,9.429395e-05,9.257366e-05,9.095200e-05,8.942480e-05,8.798802e-05,8.663770e-05,8.537002e-05,8.418128e-05,8.306789e-05,8.202638e-05,8.105339e-05,8.014570e-05,7.930017e-05,7.851381e-05,7.778372e-05,7.710710e-05,7.648129e-05,7.590369e-05,7.537184e-05,7.488336e-05,7.443596e-05,7.402745e-05,7.365575e-05,7.331882e-05,7.301475e-05,7.274170e-05,7.249788e-05,7.228161e-05,7.209127e-05,7.192531e-05,7.178226e-05,7.166069e-05,7.155926e-05,7.147669e-05,7.141172e-05,7.136320e-05,7.133003e-05,7.131109e-05
0.000000e+00,1.098366e-09,1.273467e-08,1.326498e-08,7.728450e-08,2.730540e-07,2.855261e-07,7.265094e-07,1.320254e-06,1.361163e-06,2.049171e-06,2.654247e-06,2.704729e-06,3.303816e-06,3.792104e-06,3.843445e-06,4.326059e-06,4.706545e-06,4.755380e-06,5.135314e-06,5.425455e-06,5.469655e-06,5.762001e-06,5.977608e-06,6.015747e-06,6.234068e-06,6.388754e-06,6.419944e-06,6.576142e-06,6.681470e-06,6.705238e-06,6.809626e-06,6.875327e-06,6.891521e-06,6.952979e-06,6.987190e-06,6.995895e-06,7.022024e-06,7.031514e-06,7.032992e-06,7.030265e-06,7.020604e-06,7.015230e-06,6.989154e-06,6.964957e-06,6.953198e-06,6.908425e-06,6.873448e-06,6.855817e-06,6.796270e-06,6.753569e-06,6.730604e-06,6.659573e-06,6.611619e-06,6.583866e-06,6.504113e-06,6.452887e-06,6.420887e-06,6.334715e-06,6.281798e-06,6.246074e-06,6.155402e-06,6.102038e-06,6.063094e-06,5.969511e-06,5.916671e-06,5.874981e-06,5.779798e-06,5.728224e-06,5.684232e-06,5.588524e-06,5.538773e-06,5.492893e-06,5.397534e-06,5.350013e-06,5.302625e-06,5.208322e-06,5.163314e-06,5.114767e-06,5.022083e-06,4.979772e-06,4.930382e-06,4.839761e-06,4.800252e-06,4.750305e-06,4.662090e-06,4.625426e-06,4.575180e-06,4.489630e-06,4.455802e-06,4.405488e-06,4.322793e-06,4.291755e-06,4.241577e-06,4.161867e-06,4.133544e-06,4.083683e-06,4.007040e-06,3.981335e-06,3.931950e-06,3.858417e-06,3.835216e-06,3.786445e-06,3.716032e-06,3.695212e-06,3.647175e-06,3.579865e-06,3.561295e-06,3.514094e-06,3.449850e-06,3.433395e-06,3.387119e-06,3.325885e-06,3.311410e-06,3.266131e-06,3.207839e-06,3.195209e-06,3.150989e-06,3.095560e-06,3.084642e-06,3.041530e-06,2.988877e-06,2.979544e-06,2.937579e-06,2.887610e-06,2.879737e-06,2.838948e-06,2.791568e-06,2.785036e-06,2.745446e-06,2.700556e-06,2.695251e-06,2.656874e-06,2.614374e-06,2.610188e-06,2.573032e-06,2.532824e-06,2.529655e-06,2.493723e-06,2.455706e-06,2.453459e-06,2.418749e-06,2.382827e-06,2.381411e-06,2.347915e-06,2.313991e-06,2.313323e-06,2.281031e-06,2.249012e-06,2.188301e-06,2.131017e-06,2.076992e-06,2.026065e-06,1.978082e-06,1.932892e-06,1.890352e-06,1.850325e-06,1.812680e-06,1.777291e-06,1.744039e-06,1.712809e-06,1.683494e-06,1.655988e-06,1.630194e-06,1.606018e-06,1.583372e-06,1.562171e-06,1.542334e-06,1.523787e-06,1.506456e-06,1.490273e-06,1.475174e-06,1.461097e-06,1.447985e-06,1.435781e-06,1.424435e-06,1.413896e-06,1.404119e-06,1.395058e-06,1.386672e-06,1.378922e-06,1.371769e-06,1.365180e-06,1.359120e-06,1.353558e-06,1.348463e-06,1.343809e-06,1.339567e-06,1.335713e-06,1.332223e-06,1.329075e-06,1.326247e-06,1.323719e-06,1.321472e-06,1.319488e-06,1.317751e-06,1.316245e-06,1.314953e-06
0.000000e+00,3.055642e-09,1.267283e-07,1.338787e-07,1.281591e-06,6.368455e-06,6.750861e-06,2.419776e-05,6.122522e-05,6.446969e-05,1.359426e-04,2.296402e-04,2.388793e-04,3.650402e-04,4.884678e-04,5.023742e-04,6.402700e-04,7.565580e-04,7.718810e-04,8.937890e-04,9.899078e-04,1.004779e-03,1.104793e-03,1.180651e-03,1.194289e-03,1.273924e-03,1.332365e-03,1.344409e-03,1.406443e-03,1.450437e-03,1.460696e-03,1.507796e-03,1.539947e-03,1.548329e-03,1.582841e-03,1.605355e-03,1.611837e-03,1.635787e-03,1.650517e-03,1.655124e-03,1.670249e-03,1.678742e-03,1.681535e-03,1.689323e-03,1.692864e-03,1.693930e-03,1.695648e-03,1.695305e-03,1.694747e-03,1.691475e-03,1.688130e-03,1.686062e-03,1.678719e-03,1.673096e-03,1.669639e-03,1.659003e-03,1.651699e-03,1.646974e-03,1.633704e-03,1.625205e-03,1.619333e-03,1.603988e-03,1.594689e-03,1.587787e-03,1.570839e-03,1.561058e-03,1.553241e-03,1.535085e-03,1.525078e-03,1.516454e-03,1.497424e-03,1.487394e-03,1.478065e-03,1.458440e-03,1.448546e-03,1.438607e-03,1.418620e-03,1.408986e-03,1.398527e-03,1.378372e-03,1.369092e-03,1.358196e-03,1.338033e-03,1.329174e-03,1.317917e-03,1.297879e-03,1.289492e-03,1.277944e-03,1.258138e-03,1.250256e-03,1.238481e-03,1.218994e-03,1.211637e-03,1.199694e-03,1.180596e-03,1.173773e-03,1.161714e-03,1.143060e-03,1.136772e-03,1.124645e-03,1.106479e-03,1.100720e-03,1.088569e-03,1.070922e-03,1.065680e-03,1.053544e-03,1.036440e-03,1.031701e-03,1.019614e-03,1.003069e-03,9.988136e-04,9.868075e-04,9.708314e-04,9.670397e-04,9.551418e-04,9.397393e-04,9.363892e-04,9.246239e-04,9.097953e-04,9.068640e-04,8.952528e-04,8.809951e-04,8.784588e-04,8.670207e-04,8.533279e-04,8.511630e-04,8.399144e-04,8.267780e-04,8.249609e-04,8.139161e-04,8.013258e-04,7.998331e-04,7.890042e-04,7.769483e-04,7.757572e-04,7.651548e-04,7.536202e-04,7.527086e-04,7.423413e-04,7.313143e-04,7.306606e-04,7.205357e-04,7.100017e-04,7.095854e-04,6.997087e-04,6.896528e-04,6.894541e-04,6.798303e-04,6.702373e-04,6.519049e-04,6.344270e-04,6.177736e-04,6.019151e-04,5.868221e-04,5.724657e-04,5.588177e-04,5.458503e-04,5.335364e-04,5.218495e-04,5.107640e-04,5.002551e-04,4.902985e-04,4.808711e-04,4.719502e-04,4.635140e-04,4.555414e-04,4.480120e-04,4.409061e-04,4.342050e-04,4.278904e-04,4.219449e-04,4.163516e-04,4.110945e-04,4.061579e-04,4.015269e-04,3.971871e-04,3.931248e-04,3.893268e-04,3.857804e-04,3.824734e-04,3.793942e-04,3.765316e-04,3.738748e-04,3.714137e-04,3.691383e-04,3.670392e-04,3.651073e-04,3.633341e-04,3.617112e-04,3.602308e-04,3.588851e-04,3.576670e-04,3.565695e-04,3.555859e-04,3.547100e-04,3.539356e-04,3.532570e-04,3.526686e-04
0.000000e+00,4.431596e-10,3.417141e-08,3.655359e-08,6.024592e-07,4.278185e-06,4.590134e-06,2.120500e-05,6.459783e-05,6.876476e-05,1.723158e-04,3.392358e-04,3.576105e-04,6.459469e-04,1.005413e-03,1.051481e-03,1.580541e-03,2.147697e-03,2.232183e-03,2.999371e-03,3.742748e-03,3.870415e-03,4.830399e-03,5.693229e-03,5.862483e-03,6.949007e-03,7.868216e-03,8.072372e-03,9.215717e-03,1.013422e-02,1.036340e-02,1.150130e-02,1.237404e-02,1.261703e-02,1.369997e-02,1.449558e-02,1.474129e-02,1.573385e-02,1.643364e-02,1.667211e-02,1.755197e-02,1.814771e-02,1.837066e-02,1.912652e-02,1.961786e-02,1.981890e-02,2.044796e-02,2.083997e-02,2.101457e-02,2.152018e-02,2.182136e-02,2.196666e-02,2.235624e-02,2.257686e-02,2.269142e-02,2.297486e-02,2.312584e-02,2.320937e-02,2.339777e-02,2.348988e-02,2.354295e-02,2.364774e-02,2.369111e-02,2.371492e-02,2.374722e-02,2.375106e-02,2.374726e-02,2.371755e-02,2.368999e-02,2.366050e-02,2.357838e-02,2.352649e-02,2.347334e-02,2.334744e-02,2.327727e-02,2.320259e-02,2.304057e-02,2.295720e-02,2.286306e-02,2.267164e-02,2.257931e-02,2.246775e-02,2.225275e-02,2.215496e-02,2.202791e-02,2.179438e-02,2.169397e-02,2.155325e-02,2.130551e-02,2.120478e-02,2.105209e-02,2.079385e-02,2.069461e-02,2.053156e-02,2.026595e-02,2.016964e-02,1.999768e-02,1.972737e-02,1.963511e-02,1.945559e-02,1.918284e-02,1.909543e-02,1.890959e-02,1.863629e-02,1.855435e-02,1.836333e-02,1.809107e-02,1.801501e-02,1.781984e-02,1.754994e-02,1.748002e-02,1.728164e-02,1.701519e-02,1.695154e-02,1.675082e-02,1.648872e-02,1.643139e-02,1.622909e-02,1.597208e-02,1.592100e-02,1.571784e-02,1.546650e-02,1.542158e-02,1.521819e-02,1.497299e-02,1.493406e-02,1.473101e-02,1.449232e-02,1.445917e-02,1.425698e-02,1.402507e-02,1.399747e-02,1.379662e-02,1.357168e-02,1.354938e-02,1.335028e-02,1.313245e-02,1.311518e-02,1.291820e-02,1.270756e-02,1.269504e-02,1.250053e-02,1.229711e-02,1.228905e-02,1.209730e-02,1.190110e-02,1.189721e-02,1.170849e-02,1.151948e-02,1.115573e-02,1.080583e-02,1.046957e-02,1.014674e-02,9.837097e-03,9.540377e-03,9.256303e-03,8.984586e-03,8.724932e-03,8.477041e-03,8.240608e-03,8.015327e-03,7.800892e-03,7.596999e-03,7.403344e-03,7.219627e-03,7.045552e-03,6.880825e-03,6.725158e-03,6.578266e-03,6.439869e-03,6.309693e-03,6.187466e-03,6.072922e-03,5.965801e-03,5.865846e-03,5.772803e-03,5.686426e-03,5.606469e-03,5.532693e-03,5.464862e-03,5.402744e-03,5.346110e-03,5.294736e-03,5.248399e-03,5.206882e-03,5.169970e-03,5.137453e-03,5.109122e-03,5.084773e-03,5.064204e-03,5.047218e-03,5.033621e-03,5.023221e-03,5.015831e-03,5.011268e-03,5.009351e-03,5.009905e-03,5.012756e-03
0.000000e+00,4.512170e-09,2.919860e-07,3.110360e-07,4.294757e-06,2.807989e-05,3.007516e-05,1.375190e-04,4.330350e-04,4.624051e-04,1.235005e-03,2.609793e-03,2.768898e-03,5.426120e-03,9.083163e-03,9.575246e-03,1.555592e-02,2.256304e-02,2.365465e-02,3.409112e-02,4.505044e-02,4.701259e-02,6.249418e-02,7.748424e-02,8.054302e-02,1.011050e-01,1.197674e-01,1.240729e-01,1.492951e-01,1.709713e-01,1.765846e-01,2.057270e-01,2.295947e-01,2.364890e-01,2.686248e-01,2.938123e-01,3.018832e-01,3.360120e-01,3.616818e-01,3.707635e-01,4.058976e-01,4.313018e-01,4.411850e-01,4.764094e-01,5.009206e-01,5.113695e-01,5.458797e-01,5.690029e-01,5.797713e-01,6.128924e-01,6.342640e-01,6.451081e-01,6.763003e-01,6.956784e-01,7.063669e-01,7.352212e-01,7.524701e-01,7.627916e-01,7.890201e-01,8.040938e-01,8.138616e-01,8.372830e-01,8.502077e-01,8.592623e-01,8.797873e-01,8.906445e-01,8.988548e-01,9.164699e-01,9.253821e-01,9.326446e-01,9.473975e-01,9.545149e-01,9.607527e-01,9.727389e-01,9.782288e-01,9.833891e-01,9.927398e-01,9.967780e-01,1.000830e+00,1.007702e+00,1.010466e+00,1.013398e+00,1.017964e+00,1.019627e+00,1.021446e+00,1.023889e+00,1.024617e+00,1.025341e+00,1.025849e+00,1.025798e+00,1.025459e+00,1.024218e+00,1.023532e+00,1.022170e+00,1.019362e+00,1.018173e+00,1.015836e+00,1.011637e+00,1.010063e+00,1.006806e+00,1.001384e+00,9.995305e-01,9.954102e-01,9.889232e-01,9.868825e-01,9.819599e-01,9.745561e-01,9.724089e-01,9.667462e-01,9.585632e-01,9.563784e-01,9.500386e-01,9.412031e-01,9.390395e-01,9.320854e-01,9.227136e-01,9.206203e-01,9.131139e-01,9.033117e-01,9.013291e-01,8.933311e-01,8.831948e-01,8.813554e-01,8.729247e-01,8.625413e-01,8.608708e-01,8.520642e-01,8.415119e-01,8.400296e-01,8.309019e-01,8.202507e-01,8.189705e-01,8.095738e-01,7.988859e-01,7.978171e-01,7.882010e-01,7.775318e-01,7.766793e-01,7.668907e-01,7.562891e-01,7.556545e-01,7.457376e-01,7.352463e-01,7.348281e-01,7.248246e-01,7.144810e-01,7.142750e-01,7.042238e-01,6.940604e-01,6.742406e-01,6.548635e-01,6.359702e-01,6.175946e-01,5.997652e-01,5.825046e-01,5.658309e-01,5.497576e-01,5.342945e-01,5.194477e-01,5.052203e-01,4.916123e-01,4.786216e-01,4.662436e-01,4.544720e-01,4.432985e-01,4.327134e-01,4.227056e-01,4.132628e-01,4.043717e-01,3.960182e-01,3.881871e-01,3.808631e-01,3.740297e-01,3.676706e-01,3.617687e-01,3.563066e-01,3.512672e-01,3.466326e-01,3.423853e-01,3.385077e-01,3.349822e-01,3.317913e-01,3.289176e-01,3.263441e-01,3.240539e-01,3.220304e-01,3.202573e-01,3.187188e-01,3.173992e-01,3.162834e-01,3.153568e-01,3.146052e-01,3.140148e-01,3.135723e-01,3.132650e-01,3.130807e-01,3.130078e-01,3.130349e-01
0.000000e+00,9.824398e-09,1.801919e-07,1.884698e-07,1.239483e-06,4.558048e-06,4.771001e-06,1.242415e-05,2.334603e-05,2.413027e-05,3.783026e-05,5.034954e-05,5.140171e-05,6.390011e-05,7.405299e-05,7.511710e-05,8.508094e-05,9.288109e-05,9.387841e-05,1.016064e-04,1.074691e-04,1.083591e-04,1.142252e-04,1.185276e-04,1.192865e-04,1.236189e-04,1.266763e-04,1.272917e-04,1.303685e-04,1.324402e-04,1.329076e-04,1.349622e-04,1.362598e-04,1.365808e-04,1.378073e-04,1.385021e-04,1.386820e-04,1.392413e-04,1.394718e-04,1.395185e-04,1.395436e-04,1.394210e-04,1.393439e-04,1.389444e-04,1.385578e-04,1.383673e-04,1.376330e-04,1.370534e-04,1.367601e-04,1.357654e-04,1.350495e-04,1.346639e-04,1.334696e-04,1.326621e-04,1.321946e-04,1.308500e-04,1.299860e-04,1.294461e-04,1.279919e-04,1.270987e-04,1.264956e-04,1.249646e-04,1.240634e-04,1.234055e-04,1.218243e-04,1.209312e-04,1.202264e-04,1.186165e-04,1.177438e-04,1.169991e-04,1.153779e-04,1.145346e-04,1.137564e-04,1.121377e-04,1.113303e-04,1.105245e-04,1.089192e-04,1.081521e-04,1.073240e-04,1.057408e-04,1.050169e-04,1.041711e-04,1.026166e-04,1.019378e-04,1.010785e-04,9.955794e-05,9.892473e-05,9.805578e-05,9.657289e-05,9.598529e-05,9.510996e-05,9.366758e-05,9.312497e-05,9.224623e-05,9.084630e-05,9.034764e-05,8.946811e-05,8.811189e-05,8.765581e-05,8.677781e-05,8.546599e-05,8.505092e-05,8.417648e-05,8.290930e-05,8.253350e-05,8.166442e-05,8.044178e-05,8.010341e-05,7.924127e-05,7.806277e-05,7.775995e-05,7.690612e-05,7.577115e-05,7.550196e-05,7.465765e-05,7.356541e-05,7.332795e-05,7.249420e-05,7.144378e-05,7.123617e-05,7.041389e-05,6.940426e-05,6.922466e-05,6.841462e-05,6.744470e-05,6.729132e-05,6.649420e-05,6.556284e-05,6.543396e-05,6.465032e-05,6.375635e-05,6.365030e-05,6.288062e-05,6.202284e-05,6.193804e-05,6.118272e-05,6.035994e-05,6.029486e-05,5.955422e-05,5.876525e-05,5.871844e-05,5.799274e-05,5.723640e-05,5.720647e-05,5.649593e-05,5.577104e-05,5.575670e-05,5.506145e-05,5.436688e-05,5.303484e-05,5.175843e-05,5.053557e-05,4.936424e-05,4.824249e-05,4.716840e-05,4.614012e-05,4.515589e-05,4.421398e-05,4.331272e-05,4.245052e-05,4.162582e-05,4.083713e-05,4.008303e-05,3.936213e-05,3.867310e-05,3.801465e-05,3.738556e-05,3.678464e-05,3.621076e-05,3.566280e-05,3.513974e-05,3.464054e-05,3.416424e-05,3.370990e-05,3.327662e-05,3.286354e-05,3.246983e-05,3.209469e-05,3.173735e-05,3.139708e-05,3.107317e-05,3.076494e-05,3.047173e-05,3.019293e-05,2.992793e-05,2.967614e-05,2.943702e-05,2.921003e-05,2.899466e-05,2.879041e-05,2.859682e-05,2.841343e-05,2.823980e-05,2.807551e-05,2.792017e-05,2.777338e-05,2.763478e-05,2.750401e-05
0.000000e+00,1.804465e-09,9.093933e-08,9.637729e-08,1.048451e-06,5.723856e-06,6.090891e-06,2.411303e-05,6.733583e-05,7.135382e-05,1.667137e-04,3.071171e-04,3.217610e-04,5.348138e-04,7.660440e-04,7.934922e-04,1.080907e-03,1.344524e-03,1.380673e-03,1.679465e-03,1.928229e-03,1.967676e-03,2.239063e-03,2.451331e-03,2.490024e-03,2.718854e-03,2.889655e-03,2.925130e-03,3.109244e-03,3.241160e-03,3.272078e-03,3.414788e-03,3.512960e-03,3.538664e-03,3.645040e-03,3.714996e-03,3.735238e-03,3.810543e-03,3.857402e-03,3.872177e-03,3.921296e-03,3.949525e-03,3.958985e-03,3.986257e-03,3.999656e-03,4.004052e-03,4.013246e-03,4.014999e-03,4.014646e-03,4.009000e-03,4.001751e-03,3.996997e-03,3.979274e-03,3.965203e-03,3.956419e-03,3.928974e-03,3.909873e-03,3.897438e-03,3.862272e-03,3.839608e-03,3.823901e-03,3.782720e-03,3.757691e-03,3.739090e-03,3.693347e-03,3.666921e-03,3.645794e-03,3.596711e-03,3.569660e-03,3.546351e-03,3.494946e-03,3.467873e-03,3.442707e-03,3.389825e-03,3.363198e-03,3.336475e-03,3.282815e-03,3.256990e-03,3.228988e-03,3.175125e-03,3.150369e-03,3.121344e-03,3.067750e-03,3.044254e-03,3.014441e-03,2.961501e-03,2.939395e-03,2.909008e-03,2.857029e-03,2.836396e-03,2.805627e-03,2.754856e-03,2.735738e-03,2.704762e-03,2.655387e-03,2.637796e-03,2.606769e-03,2.558939e-03,2.542861e-03,2.511923e-03,2.465743e-03,2.451146e-03,2.420419e-03,2.375966e-03,2.362802e-03,2.332395e-03,2.289715e-03,2.277926e-03,2.247933e-03,2.207053e-03,2.196572e-03,2.167076e-03,2.128002e-03,2.118758e-03,2.089829e-03,2.052554e-03,2.044474e-03,2.016171e-03,1.980674e-03,1.973680e-03,1.946055e-03,1.912305e-03,1.906322e-03,1.879415e-03,1.847374e-03,1.842326e-03,1.816171e-03,1.785795e-03,1.781607e-03,1.756232e-03,1.727470e-03,1.724072e-03,1.699496e-03,1.672295e-03,1.669617e-03,1.645855e-03,1.620161e-03,1.618137e-03,1.595198e-03,1.570953e-03,1.569521e-03,1.547410e-03,1.524555e-03,1.523655e-03,1.502374e-03,1.480852e-03,1.480428e-03,1.459974e-03,1.439726e-03,1.401437e-03,1.365450e-03,1.331658e-03,1.299953e-03,1.270234e-03,1.242402e-03,1.216358e-03,1.192011e-03,1.169271e-03,1.148053e-03,1.128272e-03,1.109852e-03,1.092715e-03,1.076791e-03,1.062011e-03,1.048309e-03,1.035623e-03,1.023894e-03,1.013065e-03,1.003083e-03,9.938971e-04,9.854595e-04,9.777244e-04,9.706486e-04,9.641911e-04,9.583133e-04,9.529784e-04,9.481518e-04,9.438006e-04,9.398941e-04,9.364027e-04,9.332990e-04,9.305569e-04,9.281517e-04,9.260602e-04,9.242605e-04,9.227319e-04,9.214551e-04,9.204117e-04,9.195843e-04,9.189569e-04,9.185141e-04,9.182415e-04,9.181256e-04,9.181538e-04,9.183140e-04,9.185951e-04,9.189866e-04,9.194786e-04
0.000000e+00,2.354132e-09,9.620075e-08,1.016176e-07,9.780860e-07,4.947146e-06,5.248294e-06,1.908791e-05,4.808831e-05,5.057990e-05,1.030275e-04,1.650336e-04,1.707802e-04,2.437744e-04,3.070263e-04,3.137289e-04,3.761394e-04,4.235312e-04,4.294384e-04,4.736725e-04,5.050234e-04,5.095855e-04,5.381370e-04,5.571353e-04,5.602865e-04,5.769167e-04,5.869913e-04,5.888165e-04,5.966805e-04,6.004769e-04,6.011162e-04,6.026518e-04,6.021335e-04,6.017458e-04,5.987947e-04,5.953966e-04,5.941409e-04,5.880796e-04,5.828387e-04,5.808645e-04,5.727136e-04,5.663715e-04,5.638137e-04,5.543245e-04,5.474055e-04,5.443826e-04,5.341043e-04,5.269739e-04,5.235883e-04,5.129186e-04,5.058273e-04,5.021660e-04,4.913904e-04,4.845054e-04,4.806419e-04,4.699624e-04,4.633913e-04,4.593867e-04,4.489437e-04,4.427516e-04,4.386570e-04,4.285455e-04,4.227674e-04,4.186247e-04,4.089065e-04,4.035562e-04,3.994000e-04,3.901121e-04,3.851893e-04,3.810476e-04,3.722096e-04,3.677040e-04,3.635998e-04,3.552186e-04,3.511135e-04,3.470653e-04,3.391385e-04,3.354134e-04,3.314359e-04,3.239549e-04,3.205871e-04,3.166921e-04,3.096439e-04,3.066096e-04,3.028062e-04,2.961750e-04,2.934503e-04,2.897456e-04,2.835136e-04,2.810750e-04,2.774743e-04,2.716230e-04,2.694478e-04,2.659549e-04,2.604651e-04,2.585316e-04,2.551491e-04,2.500019e-04,2.482895e-04,2.450190e-04,2.401956e-04,2.386850e-04,2.355272e-04,2.310092e-04,2.296825e-04,2.266374e-04,2.224073e-04,2.212477e-04,2.183147e-04,2.143554e-04,2.133473e-04,2.105254e-04,2.068207e-04,2.059498e-04,2.032376e-04,1.997721e-04,1.990252e-04,1.964208e-04,1.931799e-04,1.925447e-04,1.900460e-04,1.870159e-04,1.864812e-04,1.840861e-04,1.812536e-04,1.808092e-04,1.785151e-04,1.758679e-04,1.755043e-04,1.733088e-04,1.708351e-04,1.705439e-04,1.684442e-04,1.661332e-04,1.659064e-04,1.638996e-04,1.617410e-04,1.615715e-04,1.596549e-04,1.576390e-04,1.575203e-04,1.556910e-04,1.538087e-04,1.537348e-04,1.519900e-04,1.502328e-04,1.501982e-04,1.485350e-04,1.468948e-04,1.438098e-04,1.409293e-04,1.382401e-04,1.357302e-04,1.333879e-04,1.312026e-04,1.291642e-04,1.272632e-04,1.254907e-04,1.238386e-04,1.222989e-04,1.208644e-04,1.195282e-04,1.182841e-04,1.171260e-04,1.160482e-04,1.150456e-04,1.141132e-04,1.132464e-04,1.124409e-04,1.116926e-04,1.109979e-04,1.103531e-04,1.097550e-04,1.092004e-04,1.086865e-04,1.082105e-04,1.077700e-04,1.073625e-04,1.069858e-04,1.066378e-04,1.063167e-04,1.060205e-04,1.057476e-04,1.054965e-04,1.052655e-04,1.050534e-04,1.048588e-04,1.046806e-04,1.045175e-04,1.043686e-04,1.042329e-04,1.041093e-04,1.039972e-04,1.038955e-04,1.038037e-04,1.037211e-04,1.036468e-04,1.035804e-04
0.000000e+00,1.332227e-09,1.092971e-07,1.170992e-07,2.086157e-06,1.566545e-05,1.683707e-05,8.009460e-05,2.464448e-04,2.624394e-04,6.615012e-04,1.313363e-03,1.385826e-03,2.541083e-03,4.026864e-03,4.220741e-03,6.500527e-03,9.047573e-03,9.435727e-03,1.306051e-02,1.674038e-02,1.738867e-02,2.241527e-02,2.716207e-02,2.811881e-02,3.446379e-02,4.011264e-02,4.140319e-02,4.888104e-02,5.520913e-02,5.683478e-02,6.519742e-02,7.195951e-02,7.389951e-02,8.287075e-02,8.982598e-02,9.204148e-02,1.013438e-01,1.082739e-01,1.107128e-01,1.200866e-01,1.268064e-01,1.294079e-01,1.386236e-01,1.449857e-01,1.476854e-01,1.565497e-01,1.624447e-01,1.651779e-01,1.735363e-01,1.788906e-01,1.815956e-01,1.893312e-01,1.941026e-01,1.967228e-01,2.037540e-01,2.079266e-01,2.104121e-01,2.166881e-01,2.202676e-01,2.225758e-01,2.280723e-01,2.310807e-01,2.331770e-01,2.378916e-01,2.403628e-01,2.422200e-01,2.461678e-01,2.481439e-01,2.497422e-01,2.529516e-01,2.544795e-01,2.558058e-01,2.583151e-01,2.594440e-01,2.604910e-01,2.623453e-01,2.631248e-01,2.638904e-01,2.651391e-01,2.656174e-01,2.661041e-01,2.667986e-01,2.670219e-01,2.672356e-01,2.674280e-01,2.674390e-01,2.673887e-01,2.671304e-01,2.669686e-01,2.666656e-01,2.660064e-01,2.657074e-01,2.651647e-01,2.641520e-01,2.637478e-01,2.629797e-01,2.616584e-01,2.611771e-01,2.601986e-01,2.586105e-01,2.580768e-01,2.569036e-01,2.550872e-01,2.545223e-01,2.531702e-01,2.511610e-01,2.505830e-01,2.490677e-01,2.468980e-01,2.463223e-01,2.446593e-01,2.423584e-01,2.417977e-01,2.400020e-01,2.375964e-01,2.370612e-01,2.351475e-01,2.326608e-01,2.321594e-01,2.301416e-01,2.275950e-01,2.271340e-01,2.250256e-01,2.224378e-01,2.220224e-01,2.198359e-01,2.172236e-01,2.168573e-01,2.146047e-01,2.119826e-01,2.116679e-01,2.093605e-01,2.067414e-01,2.064797e-01,2.041280e-01,2.015231e-01,2.013151e-01,1.989290e-01,1.963480e-01,1.961936e-01,1.937822e-01,1.912335e-01,1.911319e-01,1.887038e-01,1.861946e-01,1.861446e-01,1.837075e-01,1.812440e-01,1.764405e-01,1.717429e-01,1.671584e-01,1.626930e-01,1.583514e-01,1.541372e-01,1.500531e-01,1.461010e-01,1.422821e-01,1.385968e-01,1.350451e-01,1.316263e-01,1.283396e-01,1.251834e-01,1.221562e-01,1.192558e-01,1.164800e-01,1.138264e-01,1.112924e-01,1.088750e-01,1.065715e-01,1.043787e-01,1.022935e-01,1.003128e-01,9.843329e-02,9.665174e-02,9.496485e-02,9.336929e-02,9.186178e-02,9.043900e-02,8.909767e-02,8.783455e-02,8.664641e-02,8.553007e-02,8.448239e-02,8.350029e-02,8.258073e-02,8.172076e-02,8.091745e-02,8.016799e-02,7.946959e-02,7.881957e-02,7.821531e-02,7.765426e-02,7.713396e-02,7.665203e-02,7.620617e-02,7.579415e-02,7.541386e-02
0.000000e+00,2.191199e-09,4.411884e-08,4.633938e-08,3.418400e-07,1.173975e-06,1.220787e-06,2.536267e-06,3.813725e-06,3.893258e-06,5.169286e-06,6.256171e-06,6.346740e-06,7.427217e-06,8.321000e-06,8.415899e-06,9.318454e-06,1.004580e-05,1.014035e-05,1.088671e-05,1.147184e-05,1.156235e-05,1.217178e-05,1.263567e-05,1.271928e-05,1.320888e-05,1.356985e-05,1.364442e-05,1.402953e-05,1.430363e-05,1.436766e-05,1.466208e-05,1.486339e-05,1.491589e-05,1.513200e-05,1.527273e-05,1.531317e-05,1.546199e-05,1.555272e-05,1.558089e-05,1.567217e-05,1.572199e-05,1.573796e-05,1.578027e-05,1.579692e-05,1.580098e-05,1.580184e-05,1.579194e-05,1.578451e-05,1.575050e-05,1.571961e-05,1.570123e-05,1.563805e-05,1.559088e-05,1.556219e-05,1.547482e-05,1.541534e-05,1.537701e-05,1.526976e-05,1.520127e-05,1.515401e-05,1.503063e-05,1.495589e-05,1.490041e-05,1.476413e-05,1.468541e-05,1.462245e-05,1.447603e-05,1.439519e-05,1.432545e-05,1.417127e-05,1.408984e-05,1.401400e-05,1.385411e-05,1.377332e-05,1.369204e-05,1.352820e-05,1.344903e-05,1.336294e-05,1.319662e-05,1.311985e-05,1.302956e-05,1.286204e-05,1.278825e-05,1.269433e-05,1.252667e-05,1.245633e-05,1.235930e-05,1.219242e-05,1.212584e-05,1.202621e-05,1.186085e-05,1.179827e-05,1.169649e-05,1.153328e-05,1.147483e-05,1.137135e-05,1.121080e-05,1.115655e-05,1.105176e-05,1.089430e-05,1.084426e-05,1.073852e-05,1.058449e-05,1.053863e-05,1.043228e-05,1.028194e-05,1.024019e-05,1.013353e-05,9.987094e-06,9.949348e-06,9.842668e-06,9.700286e-06,9.666422e-06,9.559975e-06,9.421757e-06,9.391632e-06,9.285650e-06,9.151667e-06,9.125126e-06,9.019818e-06,8.890108e-06,8.866988e-06,8.762541e-06,8.637117e-06,8.617247e-06,8.513831e-06,8.392679e-06,8.375887e-06,8.273651e-06,8.156740e-06,8.142852e-06,8.041931e-06,7.929212e-06,7.918054e-06,7.818567e-06,7.709980e-06,7.701381e-06,7.603431e-06,7.498903e-06,7.492695e-06,7.396374e-06,7.295823e-06,7.291842e-06,7.197230e-06,7.100569e-06,7.098655e-06,7.005818e-06,6.912953e-06,6.734547e-06,6.563243e-06,6.398841e-06,6.241138e-06,6.089932e-06,5.945019e-06,5.806195e-06,5.673261e-06,5.546015e-06,5.424264e-06,5.307814e-06,5.196477e-06,5.090068e-06,4.988407e-06,4.891319e-06,4.798632e-06,4.710181e-06,4.625803e-06,4.545344e-06,4.468650e-06,4.395575e-06,4.325977e-06,4.259718e-06,4.196665e-06,4.136690e-06,4.079669e-06,4.025483e-06,3.974015e-06,3.925155e-06,3.878795e-06,3.834832e-06,3.793166e-06,3.753702e-06,3.716346e-06,3.681010e-06,3.647607e-06,3.616057e-06,3.586278e-06,3.558195e-06,3.531734e-06,3.506824e-06,3.483398e-06,3.461390e-06,3.440737e-06,3.421378e-06,3.403257e-06,3.386315e-06,3.370501e-06,3.355761e-06
0.000000e+00,5.445707e-10,4.097775e-08,4.385352e-08,7.525918e-07,5.458722e-06,5.855089e-06,2.587144e-05,7.167157e-05,7.575236e-05,1.671244e-04,2.914990e-04,3.041040e-04,4.837978e-04,6.758879e-04,6.986932e-04,9.391198e-04,1.163879e-03,1.195105e-03,1.457525e-03,1.682442e-03,1.718685e-03,1.972504e-03,2.176690e-03,2.214461e-03,2.441416e-03,2.614897e-03,2.651377e-03,2.843268e-03,2.983500e-03,3.016715e-03,3.171863e-03,3.280496e-03,3.309226e-03,3.429567e-03,3.510204e-03,3.533807e-03,3.622959e-03,3.679836e-03,3.698075e-03,3.760212e-03,3.797496e-03,3.810404e-03,3.849650e-03,3.871120e-03,3.878900e-03,3.899051e-03,3.907988e-03,3.910943e-03,3.915359e-03,3.914533e-03,3.913025e-03,3.904611e-03,3.896324e-03,3.890737e-03,3.871970e-03,3.858110e-03,3.848835e-03,3.821810e-03,3.803912e-03,3.791335e-03,3.757811e-03,3.737116e-03,3.721605e-03,3.683054e-03,3.660555e-03,3.642461e-03,3.600107e-03,3.576594e-03,3.556246e-03,3.511108e-03,3.487203e-03,3.464905e-03,3.417828e-03,3.394017e-03,3.370050e-03,3.321730e-03,3.298385e-03,3.273009e-03,3.224018e-03,3.201424e-03,3.174874e-03,3.125682e-03,3.104048e-03,3.076539e-03,3.027530e-03,3.007005e-03,2.978733e-03,2.930216e-03,2.910903e-03,2.882043e-03,2.834268e-03,2.816228e-03,2.786941e-03,2.740105e-03,2.723372e-03,2.693800e-03,2.648058e-03,2.632640e-03,2.602911e-03,2.558384e-03,2.544270e-03,2.514500e-03,2.471276e-03,2.458441e-03,2.428730e-03,2.386875e-03,2.375281e-03,2.345722e-03,2.305280e-03,2.294882e-03,2.265554e-03,2.226551e-03,2.217298e-03,2.188272e-03,2.150721e-03,2.142557e-03,2.113896e-03,2.077796e-03,2.070663e-03,2.042420e-03,2.007765e-03,2.001603e-03,1.973825e-03,1.940597e-03,1.935346e-03,1.908073e-03,1.876249e-03,1.871849e-03,1.845116e-03,1.814668e-03,1.811060e-03,1.784896e-03,1.755792e-03,1.752918e-03,1.727347e-03,1.699552e-03,1.697357e-03,1.672398e-03,1.645875e-03,1.644304e-03,1.619974e-03,1.594684e-03,1.593685e-03,1.569996e-03,1.545899e-03,1.545423e-03,1.522384e-03,1.499439e-03,1.455653e-03,1.413986e-03,1.374359e-03,1.336693e-03,1.300911e-03,1.266938e-03,1.234698e-03,1.204120e-03,1.175133e-03,1.147669e-03,1.121662e-03,1.097047e-03,1.073762e-03,1.051748e-03,1.030947e-03,1.011304e-03,9.927638e-04,9.752767e-04,9.587929e-04,9.432652e-04,9.286481e-04,9.148981e-04,9.019736e-04,8.898346e-04,8.784428e-04,8.677617e-04,8.577563e-04,8.483931e-04,8.396401e-04,8.314668e-04,8.238440e-04,8.167436e-04,8.101391e-04,8.040050e-04,7.983169e-04,7.930518e-04,7.881874e-04,7.837026e-04,7.795773e-04,7.757923e-04,7.723291e-04,7.691705e-04,7.662996e-04,7.637005e-04,7.613582e-04,7.592583e-04,7.573868e-04,7.557308e-04,7.542778e-04
0.000000e+00,2.138155e-09,1.139517e-07,1.211470e-07,1.570376e-06,9.413515e-06,1.002911e-05,3.805226e-05,9.195761e-05,9.633172e-05,1.827387e-04,2.776877e-04,2.863275e-04,3.960795e-04,4.939238e-04,5.045834e-04,6.078714e-04,6.930369e-04,7.042047e-04,7.930384e-04,8.634472e-04,8.743958e-04,9.485487e-04,1.005538e-03,1.015865e-03,1.076744e-03,1.122143e-03,1.131587e-03,1.180781e-03,1.216323e-03,1.224703e-03,1.263709e-03,1.290939e-03,1.298137e-03,1.328307e-03,1.348575e-03,1.354522e-03,1.377064e-03,1.391539e-03,1.396201e-03,1.412184e-03,1.421870e-03,1.425246e-03,1.435609e-03,1.441367e-03,1.443477e-03,1.449045e-03,1.451608e-03,1.452490e-03,1.453983e-03,1.453975e-03,1.453680e-03,1.451727e-03,1.449676e-03,1.448263e-03,1.443415e-03,1.439766e-03,1.437301e-03,1.430035e-03,1.425164e-03,1.421718e-03,1.412448e-03,1.406670e-03,1.402315e-03,1.391402e-03,1.384979e-03,1.379787e-03,1.367543e-03,1.360694e-03,1.354738e-03,1.341434e-03,1.334338e-03,1.327688e-03,1.313556e-03,1.306361e-03,1.299087e-03,1.284328e-03,1.277154e-03,1.269322e-03,1.254109e-03,1.247051e-03,1.238725e-03,1.223205e-03,1.216341e-03,1.207580e-03,1.191879e-03,1.185269e-03,1.176130e-03,1.160356e-03,1.154045e-03,1.144581e-03,1.128826e-03,1.122848e-03,1.113109e-03,1.097448e-03,1.091828e-03,1.081860e-03,1.066359e-03,1.061111e-03,1.050958e-03,1.035670e-03,1.030803e-03,1.020505e-03,1.005474e-03,1.000992e-03,9.905851e-04,9.758471e-04,9.717484e-04,9.612670e-04,9.468513e-04,9.431309e-04,9.326058e-04,9.185355e-04,9.151853e-04,9.046449e-04,8.909378e-04,8.879472e-04,8.774175e-04,8.640868e-04,8.614437e-04,8.509482e-04,8.380034e-04,8.356940e-04,8.252540e-04,8.127013e-04,8.107112e-04,8.003460e-04,7.881886e-04,7.865024e-04,7.762293e-04,7.644682e-04,7.630702e-04,7.529049e-04,7.415390e-04,7.404132e-04,7.303696e-04,7.193959e-04,7.185265e-04,7.086169e-04,6.980313e-04,6.974023e-04,6.876377e-04,6.774347e-04,6.770305e-04,6.674206e-04,6.575937e-04,6.573991e-04,6.479523e-04,6.384944e-04,6.203014e-04,6.028042e-04,5.859859e-04,5.698292e-04,5.543163e-04,5.394290e-04,5.251492e-04,5.114586e-04,4.983388e-04,4.857719e-04,4.737398e-04,4.622249e-04,4.512098e-04,4.406774e-04,4.306110e-04,4.209941e-04,4.118108e-04,4.030456e-04,3.946832e-04,3.867089e-04,3.791085e-04,3.718678e-04,3.649736e-04,3.584126e-04,3.521722e-04,3.462402e-04,3.406046e-04,3.352541e-04,3.301774e-04,3.253640e-04,3.208033e-04,3.164855e-04,3.124008e-04,3.085399e-04,3.048939e-04,3.014540e-04,2.982118e-04,2.951594e-04,2.922888e-04,2.895925e-04,2.870634e-04,2.846943e-04,2.824787e-04,2.804099e-04,2.784817e-04,2.766881e-04,2.750233e-04,2.734815e-04,2.720576e-04
0.000000e+00,7.909810e-09,1.114992e-07,1.164386e-07,7.307629e-07,2.580046e-06,2.695006e-06,6.561728e-06,1.132598e-05,1.164275e-05,1.687233e-05,2.142160e-05,2.180167e-05,2.633328e-05,3.006815e-05,3.046358e-05,3.421079e-05,3.720958e-05,3.759777e-05,4.064790e-05,4.301896e-05,4.338392e-05,4.582768e-05,4.766984e-05,4.800000e-05,4.992062e-05,5.132083e-05,5.160820e-05,5.308031e-05,5.411399e-05,5.435345e-05,5.544308e-05,5.617492e-05,5.636364e-05,5.712861e-05,5.761369e-05,5.775055e-05,5.824118e-05,5.852612e-05,5.861136e-05,5.887125e-05,5.899537e-05,5.903023e-05,5.909704e-05,5.909335e-05,5.907981e-05,5.898603e-05,5.888212e-05,5.882268e-05,5.859623e-05,5.841515e-05,5.831269e-05,5.797762e-05,5.773850e-05,5.759613e-05,5.717298e-05,5.689166e-05,5.671258e-05,5.621899e-05,5.590848e-05,5.569596e-05,5.514695e-05,5.481789e-05,5.457515e-05,5.398348e-05,5.364449e-05,5.337468e-05,5.275126e-05,5.240936e-05,5.211554e-05,5.146964e-05,5.113039e-05,5.081548e-05,5.015485e-05,4.982263e-05,4.948939e-05,4.882057e-05,4.849876e-05,4.814978e-05,4.747825e-05,4.716942e-05,4.680712e-05,4.613743e-05,4.584347e-05,4.547012e-05,4.480603e-05,4.452826e-05,4.414594e-05,4.349055e-05,4.322985e-05,4.284049e-05,4.219632e-05,4.195319e-05,4.155854e-05,4.092762e-05,4.070224e-05,4.030394e-05,3.968787e-05,3.948019e-05,3.907971e-05,3.847973e-05,3.828951e-05,3.788817e-05,3.730523e-05,3.713206e-05,3.673108e-05,3.616585e-05,3.600920e-05,3.560966e-05,3.506261e-05,3.492188e-05,3.452476e-05,3.399616e-05,3.387068e-05,3.347684e-05,3.296682e-05,3.285587e-05,3.246610e-05,3.197465e-05,3.187747e-05,3.149245e-05,3.101945e-05,3.093529e-05,3.055562e-05,3.010089e-05,3.002897e-05,2.965518e-05,2.921843e-05,2.915799e-05,2.879055e-05,2.837145e-05,2.832174e-05,2.796103e-05,2.755920e-05,2.751949e-05,2.716586e-05,2.678088e-05,2.675044e-05,2.640417e-05,2.603561e-05,2.601376e-05,2.567509e-05,2.532248e-05,2.530854e-05,2.497767e-05,2.464053e-05,2.463386e-05,2.431094e-05,2.398878e-05,2.337235e-05,2.278361e-05,2.222159e-05,2.168534e-05,2.117394e-05,2.068645e-05,2.022197e-05,1.977960e-05,1.935849e-05,1.895778e-05,1.857665e-05,1.821431e-05,1.786998e-05,1.754291e-05,1.723237e-05,1.693768e-05,1.665815e-05,1.639313e-05,1.614199e-05,1.590413e-05,1.567897e-05,1.546595e-05,1.526453e-05,1.507418e-05,1.489442e-05,1.472477e-05,1.456477e-05,1.441397e-05,1.427196e-05,1.413833e-05,1.401270e-05,1.389468e-05,1.378393e-05,1.368009e-05,1.358285e-05,1.349189e-05,1.340690e-05,1.332760e-05,1.325372e-05,1.318498e-05,1.312113e-05,1.306194e-05,1.300716e-05,1.295658e-05,1.290998e-05,1.286717e-05,1.282794e-05,1.279211e-05,1.275950e-05
0.000000e+00,9.605438e-09,2.769985e-07,2.920123e-07,2.687700e-06,1.205730e-05,1.268858e-05,3.496202e-05,6.264097e-05,6.445637e-05,9.385143e-05,1.184842e-04,1.205010e-04,1.440406e-04,1.627030e-04,1.646375e-04,1.825507e-04,1.963008e-04,1.980397e-04,2.113468e-04,2.212157e-04,2.226942e-04,2.322848e-04,2.391190e-04,2.403035e-04,2.469183e-04,2.514021e-04,2.522814e-04,2.565302e-04,2.592108e-04,2.597889e-04,2.621691e-04,2.634809e-04,2.637714e-04,2.646860e-04,2.649715e-04,2.649941e-04,2.647687e-04,2.642969e-04,2.640748e-04,2.629705e-04,2.619508e-04,2.615081e-04,2.597350e-04,2.583313e-04,2.576926e-04,2.554186e-04,2.537570e-04,2.529460e-04,2.503048e-04,2.484822e-04,2.475214e-04,2.446193e-04,2.427096e-04,2.416196e-04,2.385410e-04,2.365999e-04,2.353999e-04,2.322111e-04,2.302804e-04,2.289876e-04,2.257410e-04,2.238514e-04,2.224813e-04,2.192176e-04,2.173911e-04,2.159577e-04,2.127085e-04,2.109606e-04,2.094761e-04,2.062658e-04,2.046067e-04,2.030822e-04,1.999292e-04,1.983652e-04,1.968102e-04,1.937282e-04,1.922628e-04,1.906858e-04,1.876849e-04,1.863190e-04,1.847274e-04,1.818148e-04,1.805477e-04,1.789481e-04,1.761284e-04,1.749583e-04,1.733563e-04,1.706324e-04,1.695565e-04,1.679571e-04,1.653305e-04,1.643452e-04,1.627527e-04,1.602237e-04,1.593252e-04,1.577434e-04,1.553114e-04,1.544955e-04,1.529276e-04,1.505915e-04,1.498539e-04,1.483027e-04,1.460607e-04,1.453971e-04,1.438649e-04,1.417149e-04,1.411210e-04,1.396100e-04,1.375496e-04,1.370211e-04,1.355330e-04,1.335596e-04,1.330923e-04,1.316287e-04,1.297396e-04,1.293295e-04,1.278916e-04,1.260840e-04,1.257273e-04,1.243161e-04,1.225872e-04,1.222801e-04,1.208966e-04,1.192436e-04,1.189826e-04,1.176275e-04,1.160475e-04,1.158292e-04,1.145030e-04,1.129933e-04,1.128145e-04,1.115177e-04,1.100756e-04,1.099332e-04,1.086662e-04,1.072890e-04,1.071801e-04,1.059432e-04,1.046282e-04,1.045502e-04,1.033434e-04,1.020882e-04,1.020386e-04,1.008619e-04,9.966401e-05,9.964033e-05,9.849387e-05,9.735092e-05,9.516586e-05,9.308083e-05,9.109167e-05,8.919436e-05,8.738506e-05,8.566004e-05,8.401573e-05,8.244871e-05,8.095569e-05,7.953349e-05,7.817908e-05,7.688955e-05,7.566209e-05,7.449404e-05,7.338280e-05,7.232592e-05,7.132103e-05,7.036586e-05,6.945823e-05,6.859606e-05,6.777735e-05,6.700018e-05,6.626271e-05,6.556319e-05,6.489993e-05,6.427131e-05,6.367578e-05,6.311185e-05,6.257811e-05,6.207320e-05,6.159580e-05,6.114467e-05,6.071860e-05,6.031646e-05,5.993714e-05,5.957959e-05,5.924280e-05,5.892580e-05,5.862768e-05,5.834754e-05,5.808454e-05,5.783787e-05,5.760675e-05,5.739044e-05,5.718823e-05,5.699942e-05,5.682338e-05,5.665949e-05,5.650713e-05
0.000000e+00,7.110816e-10,7.948449e-08,8.565933e-08,1.863234e-06,1.441010e-05,1.546309e-05,6.756066e-05,1.853367e-04,1.958922e-04,4.375305e-04,7.849523e-04,8.213882e-04,1.365326e-03,1.997534e-03,2.076103e-03,2.950808e-03,3.847910e-03,3.978887e-03,5.144290e-03,6.241493e-03,6.427431e-03,7.806861e-03,9.023908e-03,9.260604e-03,1.076717e-02,1.202768e-02,1.230626e-02,1.385927e-02,1.510043e-02,1.540954e-02,1.694250e-02,1.811809e-02,1.844568e-02,1.990861e-02,2.098821e-02,2.132276e-02,2.268131e-02,2.364770e-02,2.397901e-02,2.521202e-02,2.605821e-02,2.637770e-02,2.747443e-02,2.820070e-02,2.850150e-02,2.945890e-02,3.007045e-02,3.034727e-02,3.116772e-02,3.167272e-02,3.192175e-02,3.261118e-02,3.301945e-02,3.323806e-02,3.380462e-02,3.412661e-02,3.431318e-02,3.476618e-02,3.501232e-02,3.516605e-02,3.551527e-02,3.569557e-02,3.581628e-02,3.607152e-02,3.619535e-02,3.628336e-02,3.645412e-02,3.653004e-02,3.658605e-02,3.668133e-02,3.671709e-02,3.674207e-02,3.677029e-02,3.677282e-02,3.676794e-02,3.673689e-02,3.671232e-02,3.667893e-02,3.659576e-02,3.654950e-02,3.648903e-02,3.636028e-02,3.629705e-02,3.621101e-02,3.604263e-02,3.596653e-02,3.585648e-02,3.565385e-02,3.556847e-02,3.543597e-02,3.520398e-02,3.511236e-02,3.495900e-02,3.470206e-02,3.460683e-02,3.443416e-02,3.415625e-02,3.405964e-02,3.386922e-02,3.357391e-02,3.347780e-02,3.327114e-02,3.296166e-02,3.286762e-02,3.264620e-02,3.232545e-02,3.223477e-02,3.200004e-02,3.167059e-02,3.158435e-02,3.133768e-02,3.100187e-02,3.092089e-02,3.066365e-02,3.032353e-02,3.024850e-02,2.998197e-02,2.963939e-02,2.957079e-02,2.929622e-02,2.895282e-02,2.889102e-02,2.860958e-02,2.826682e-02,2.821205e-02,2.792487e-02,2.758403e-02,2.753642e-02,2.724459e-02,2.690680e-02,2.686639e-02,2.657091e-02,2.623716e-02,2.620391e-02,2.590575e-02,2.557690e-02,2.555071e-02,2.525079e-02,2.492759e-02,2.490829e-02,2.460746e-02,2.429055e-02,2.427794e-02,2.397700e-02,2.366694e-02,2.366078e-02,2.336048e-02,2.305773e-02,2.246960e-02,2.189705e-02,2.134060e-02,2.080068e-02,2.027762e-02,1.977164e-02,1.928291e-02,1.881151e-02,1.835746e-02,1.792071e-02,1.750120e-02,1.709877e-02,1.671327e-02,1.634448e-02,1.599217e-02,1.565606e-02,1.533588e-02,1.503130e-02,1.474202e-02,1.446767e-02,1.420791e-02,1.396237e-02,1.373068e-02,1.351244e-02,1.330728e-02,1.311479e-02,1.293459e-02,1.276626e-02,1.260941e-02,1.246364e-02,1.232855e-02,1.220374e-02,1.208881e-02,1.198337e-02,1.188702e-02,1.179939e-02,1.172008e-02,1.164872e-02,1.158493e-02,1.152835e-02,1.147862e-02,1.143539e-02,1.139830e-02,1.136701e-02,1.134120e-02,1.132054e-02,1.130471e-02,1.129340e-02,1.128631e-02
0.000000e+00,8.085605e-09,1.464188e-07,1.535231e-07,1.070198e-06,3.628277e-06,3.774280e-06,8.002640e-06,1.226346e-05,1.253173e-05,1.687249e-05,2.062080e-05,2.093527e-05,2.471324e-05,2.787761e-05,2.821583e-05,3.145577e-05,3.410017e-05,3.444630e-05,3.720051e-05,3.938983e-05,3.973112e-05,4.205025e-05,4.384336e-05,4.416949e-05,4.610040e-05,4.755106e-05,4.785414e-05,4.944138e-05,5.059819e-05,5.087235e-05,5.215676e-05,5.306282e-05,5.330386e-05,5.432239e-05,5.501562e-05,5.522066e-05,5.600650e-05,5.652001e-05,5.668731e-05,5.727007e-05,5.763267e-05,5.776138e-05,5.816743e-05,5.840408e-05,5.849407e-05,5.874681e-05,5.887911e-05,5.893082e-05,5.905099e-05,5.909756e-05,5.911189e-05,5.911782e-05,5.909466e-05,5.907285e-05,5.898078e-05,5.890161e-05,5.884517e-05,5.866939e-05,5.854596e-05,5.845659e-05,5.820972e-05,5.805203e-05,5.793156e-05,5.762472e-05,5.744127e-05,5.729162e-05,5.693456e-05,5.673255e-05,5.655568e-05,5.615700e-05,5.594248e-05,5.574038e-05,5.530758e-05,5.508564e-05,5.486027e-05,5.439997e-05,5.417484e-05,5.392812e-05,5.344608e-05,5.322126e-05,5.295509e-05,5.245634e-05,5.223471e-05,5.195091e-05,5.143984e-05,5.122373e-05,5.092406e-05,5.040448e-05,5.019576e-05,4.988191e-05,4.935712e-05,4.915727e-05,4.883083e-05,4.830371e-05,4.811386e-05,4.777636e-05,4.724936e-05,4.707035e-05,4.672323e-05,4.619848e-05,4.603092e-05,4.567554e-05,4.515484e-05,4.499912e-05,4.463675e-05,4.412165e-05,4.397800e-05,4.360985e-05,4.310164e-05,4.297013e-05,4.259731e-05,4.209710e-05,4.197769e-05,4.160124e-05,4.110994e-05,4.100248e-05,4.062338e-05,4.014173e-05,4.004601e-05,3.966515e-05,3.919378e-05,3.910949e-05,3.872772e-05,3.826710e-05,3.819391e-05,3.781200e-05,3.736250e-05,3.730002e-05,3.691868e-05,3.648060e-05,3.642842e-05,3.604831e-05,3.562185e-05,3.557952e-05,3.520124e-05,3.478653e-05,3.475361e-05,3.437772e-05,3.397482e-05,3.395084e-05,3.357784e-05,3.318678e-05,3.317126e-05,3.280163e-05,3.242237e-05,3.241484e-05,3.204899e-05,3.168146e-05,3.097094e-05,3.028303e-05,2.961746e-05,2.897387e-05,2.835193e-05,2.775122e-05,2.717135e-05,2.661186e-05,2.607233e-05,2.555228e-05,2.505126e-05,2.456879e-05,2.410441e-05,2.365763e-05,2.322798e-05,2.281500e-05,2.241821e-05,2.203715e-05,2.167137e-05,2.132041e-05,2.098383e-05,2.066118e-05,2.035206e-05,2.005602e-05,1.977267e-05,1.950159e-05,1.924240e-05,1.899470e-05,1.875811e-05,1.853228e-05,1.831685e-05,1.811145e-05,1.791575e-05,1.772942e-05,1.755214e-05,1.738358e-05,1.722344e-05,1.707143e-05,1.692724e-05,1.679060e-05,1.666124e-05,1.653888e-05,1.642326e-05,1.631414e-05,1.621126e-05,1.611439e-05,1.602330e-05,1.593776e-05,1.585756e-05
0.000000e+00,7.032629e-10,5.079932e-08,5.428951e-08,8.991700e-07,6.919578e-06,7.455475e-06,3.851567e-05,1.297479e-04,1.389467e-04,3.814882e-04,8.067699e-04,8.553804e-04,1.652023e-03,2.713495e-03,2.853979e-03,4.528110e-03,6.430271e-03,6.722092e-03,9.463369e-03,1.226508e-02,1.275980e-02,1.660138e-02,2.023134e-02,2.096261e-02,2.580512e-02,3.010139e-02,3.108047e-02,3.673273e-02,4.148509e-02,4.270098e-02,4.892153e-02,5.390714e-02,5.532979e-02,6.186190e-02,6.687104e-02,6.845611e-02,7.505379e-02,7.990597e-02,8.160024e-02,8.804528e-02,9.259730e-02,9.434364e-02,1.004552e-01,1.046031e-01,1.063448e-01,1.119828e-01,1.156600e-01,1.173442e-01,1.224090e-01,1.255814e-01,1.271614e-01,1.315901e-01,1.342509e-01,1.356875e-01,1.394494e-01,1.416128e-01,1.428749e-01,1.459658e-01,1.476614e-01,1.487264e-01,1.511629e-01,1.524307e-01,1.532835e-01,1.550979e-01,1.559841e-01,1.566168e-01,1.578522e-01,1.584058e-01,1.588166e-01,1.595231e-01,1.597931e-01,1.599854e-01,1.602170e-01,1.602506e-01,1.602317e-01,1.600433e-01,1.598847e-01,1.596654e-01,1.591112e-01,1.588007e-01,1.583938e-01,1.575258e-01,1.570993e-01,1.565194e-01,1.553865e-01,1.548756e-01,1.541381e-01,1.527852e-01,1.522170e-01,1.513379e-01,1.498059e-01,1.492035e-01,1.481985e-01,1.465243e-01,1.459068e-01,1.447915e-01,1.430077e-01,1.423909e-01,1.411801e-01,1.393154e-01,1.387120e-01,1.374200e-01,1.354994e-01,1.349192e-01,1.335593e-01,1.316046e-01,1.310553e-01,1.296398e-01,1.276694e-01,1.271566e-01,1.256971e-01,1.237266e-01,1.232543e-01,1.217613e-01,1.198040e-01,1.193748e-01,1.178577e-01,1.159249e-01,1.155401e-01,1.140077e-01,1.121082e-01,1.117684e-01,1.102285e-01,1.083700e-01,1.080747e-01,1.065343e-01,1.047228e-01,1.044712e-01,1.029367e-01,1.011769e-01,1.009676e-01,9.944451e-02,9.774025e-02,9.757140e-02,9.606483e-02,9.441885e-02,9.428845e-02,9.280280e-02,9.121711e-02,9.112294e-02,8.966211e-02,8.813807e-02,8.807776e-02,8.664519e-02,8.518360e-02,8.515469e-02,8.375338e-02,8.235457e-02,7.967745e-02,7.712270e-02,7.468914e-02,7.237512e-02,7.017858e-02,6.809718e-02,6.612829e-02,6.426905e-02,6.251646e-02,6.086734e-02,5.931843e-02,5.786636e-02,5.650772e-02,5.523903e-02,5.405682e-02,5.295757e-02,5.193777e-02,5.099394e-02,5.012260e-02,4.932030e-02,4.858364e-02,4.790927e-02,4.729387e-02,4.673421e-02,4.622712e-02,4.576950e-02,4.535832e-02,4.499064e-02,4.466362e-02,4.437447e-02,4.412054e-02,4.389925e-02,4.370811e-02,4.354476e-02,4.340692e-02,4.329240e-02,4.319914e-02,4.312518e-02,4.306864e-02,4.302776e-02,4.300088e-02,4.298643e-02,4.298295e-02,4.298906e-02,4.300349e-02,4.302506e-02,4.305266e-02,4.308527e-02,4.312198e-02
0.000000e+00,3.552600e-09,1.922323e-07,2.043465e-07,2.595620e-06,1.510029e-05,1.606793e-05,5.936442e-05,1.414417e-04,1.480883e-04,2.796255e-04,4.250724e-04,4.383562e-04,6.076713e-04,7.591790e-04,7.756958e-04,9.356210e-04,1.067021e-03,1.084200e-03,1.220257e-03,1.327161e-03,1.343694e-03,1.454921e-03,1.539374e-03,1.554568e-03,1.643349e-03,1.708555e-03,1.721996e-03,1.791231e-03,1.840311e-03,1.851750e-03,1.904218e-03,1.939959e-03,1.949263e-03,1.987479e-03,2.012298e-03,2.019420e-03,2.045606e-03,2.061566e-03,2.066523e-03,2.082621e-03,2.091463e-03,2.094318e-03,2.102005e-03,2.105194e-03,2.106042e-03,2.106763e-03,2.105517e-03,2.104476e-03,2.099467e-03,2.094799e-03,2.092001e-03,2.082320e-03,2.075068e-03,2.070651e-03,2.057200e-03,2.048050e-03,2.042159e-03,2.025704e-03,2.015220e-03,2.007997e-03,1.989187e-03,1.977827e-03,1.969412e-03,1.948797e-03,1.936930e-03,1.927458e-03,1.905502e-03,1.893423e-03,1.883025e-03,1.860116e-03,1.848061e-03,1.836858e-03,1.813323e-03,1.801474e-03,1.789581e-03,1.765693e-03,1.754192e-03,1.741716e-03,1.717701e-03,1.706654e-03,1.693694e-03,1.669737e-03,1.659222e-03,1.645869e-03,1.622124e-03,1.612196e-03,1.598533e-03,1.575124e-03,1.565817e-03,1.551921e-03,1.528947e-03,1.520281e-03,1.506222e-03,1.483762e-03,1.475744e-03,1.461583e-03,1.439700e-03,1.432328e-03,1.418122e-03,1.396861e-03,1.390126e-03,1.375925e-03,1.355320e-03,1.349205e-03,1.335054e-03,1.315131e-03,1.309614e-03,1.295554e-03,1.276326e-03,1.271384e-03,1.257450e-03,1.238926e-03,1.234532e-03,1.220755e-03,1.202936e-03,1.199063e-03,1.185470e-03,1.168353e-03,1.164972e-03,1.151586e-03,1.135165e-03,1.132245e-03,1.119087e-03,1.103350e-03,1.100864e-03,1.087951e-03,1.072886e-03,1.070803e-03,1.058150e-03,1.043741e-03,1.042033e-03,1.029653e-03,1.015882e-03,1.014523e-03,1.002425e-03,9.892750e-04,9.882362e-04,9.764288e-04,9.638811e-04,9.631376e-04,9.516270e-04,9.396615e-04,9.391888e-04,9.279797e-04,9.165766e-04,9.163513e-04,9.054470e-04,8.945860e-04,8.738536e-04,8.541151e-04,8.353320e-04,8.174662e-04,8.004804e-04,7.843379e-04,7.690032e-04,7.544416e-04,7.406196e-04,7.275045e-04,7.150648e-04,7.032702e-04,6.920912e-04,6.814998e-04,6.714688e-04,6.619719e-04,6.529843e-04,6.444818e-04,6.364415e-04,6.288411e-04,6.216596e-04,6.148767e-04,6.084731e-04,6.024301e-04,5.967302e-04,5.913563e-04,5.862923e-04,5.815228e-04,5.770330e-04,5.728089e-04,5.688370e-04,5.651045e-04,5.615992e-04,5.583093e-04,5.552239e-04,5.523323e-04,5.496245e-04,5.470907e-04,5.447218e-04,5.425091e-04,5.404443e-04,5.385194e-04,5.367269e-04,5.350596e-04,5.335106e-04,5.320735e-04,5.307421e-04,5.295104e-04,5.283729e-04
0.000000e+00,1.273401e-08,3.638758e-07,3.835517e-07,3.517026e-06,1.584139e-05,1.667555e-05,4.628159e-05,8.366900e-05,8.615786e-05,1.273662e-04,1.635476e-04,1.665898e-04,2.031388e-04,2.337030e-04,2.369654e-04,2.681638e-04,2.935428e-04,2.968581e-04,3.231758e-04,3.440039e-04,3.472423e-04,3.691797e-04,3.860488e-04,3.891068e-04,4.071394e-04,4.205908e-04,4.233890e-04,4.379639e-04,4.484879e-04,4.509678e-04,4.625005e-04,4.705360e-04,4.726571e-04,4.815283e-04,4.874638e-04,4.892001e-04,4.957539e-04,4.999292e-04,5.012665e-04,5.058115e-04,5.085233e-04,5.094573e-04,5.122689e-04,5.137734e-04,5.143071e-04,5.156292e-04,5.161468e-04,5.162891e-04,5.163374e-04,5.160575e-04,5.158216e-04,5.147861e-04,5.138701e-04,5.132728e-04,5.113208e-04,5.099065e-04,5.089670e-04,5.062456e-04,5.044498e-04,5.031889e-04,4.998270e-04,4.977485e-04,4.961882e-04,4.922989e-04,4.900206e-04,4.881836e-04,4.838654e-04,4.814568e-04,4.793658e-04,4.747049e-04,4.722238e-04,4.699014e-04,4.649728e-04,4.624667e-04,4.599352e-04,4.548040e-04,4.523118e-04,4.495930e-04,4.443154e-04,4.418688e-04,4.389835e-04,4.336084e-04,4.312324e-04,4.282007e-04,4.227700e-04,4.204845e-04,4.173254e-04,4.118751e-04,4.096952e-04,4.064269e-04,4.009877e-04,3.989245e-04,3.955641e-04,3.901621e-04,3.882237e-04,3.847872e-04,3.794444e-04,3.776360e-04,3.741384e-04,3.688733e-04,3.671977e-04,3.636530e-04,3.584810e-04,3.569393e-04,3.533604e-04,3.482940e-04,3.468856e-04,3.432845e-04,3.383341e-04,3.370570e-04,3.334449e-04,3.286186e-04,3.274699e-04,3.238569e-04,3.191611e-04,3.181370e-04,3.145324e-04,3.099718e-04,3.090680e-04,3.054803e-04,3.010584e-04,3.002699e-04,2.967068e-04,2.924259e-04,2.917475e-04,2.882160e-04,2.840773e-04,2.835035e-04,2.800099e-04,2.760137e-04,2.755390e-04,2.720888e-04,2.682349e-04,2.678534e-04,2.644518e-04,2.607391e-04,2.604451e-04,2.570965e-04,2.535236e-04,2.533114e-04,2.500198e-04,2.465846e-04,2.464486e-04,2.432174e-04,2.399176e-04,2.398523e-04,2.366846e-04,2.335176e-04,2.274389e-04,2.216105e-04,2.160260e-04,2.106790e-04,2.055630e-04,2.006711e-04,1.959966e-04,1.915325e-04,1.872722e-04,1.832086e-04,1.793352e-04,1.756452e-04,1.721321e-04,1.687894e-04,1.656108e-04,1.625901e-04,1.597213e-04,1.569985e-04,1.544160e-04,1.519681e-04,1.496495e-04,1.474550e-04,1.453793e-04,1.434177e-04,1.415653e-04,1.398175e-04,1.381698e-04,1.366180e-04,1.351579e-04,1.337855e-04,1.324969e-04,1.312883e-04,1.301562e-04,1.290972e-04,1.281078e-04,1.271849e-04,1.263254e-04,1.255263e-04,1.247848e-04,1.240980e-04,1.234635e-04,1.228786e-04,1.223409e-04,1.218480e-04,1.213977e-04,1.209879e-04,1.206164e-04,1.202813e-04,1.199807e-04
0.000000e+00,3.244731e-09,6.464729e-08,6.782536e-08,4.557968e-07,1.370136e-06,1.416889e-06,2.634254e-06,3.732290e-06,3.799262e-06,4.857397e-06,5.736774e-06,5.809165e-06,6.661885e-06,7.351132e-06,7.423395e-06,8.101172e-06,8.633922e-06,8.702216e-06,9.233046e-06,9.638030e-06,9.699715e-06,1.010782e-05,1.040918e-05,1.046255e-05,1.076865e-05,1.098645e-05,1.103051e-05,1.125215e-05,1.140300e-05,1.143726e-05,1.158921e-05,1.168671e-05,1.171109e-05,1.180572e-05,1.186103e-05,1.187571e-05,1.192343e-05,1.194568e-05,1.195104e-05,1.196052e-05,1.195715e-05,1.195369e-05,1.193219e-05,1.190924e-05,1.189754e-05,1.185112e-05,1.181347e-05,1.179418e-05,1.172786e-05,1.167946e-05,1.165321e-05,1.157118e-05,1.151522e-05,1.148265e-05,1.138839e-05,1.132740e-05,1.128913e-05,1.118553e-05,1.112152e-05,1.107817e-05,1.096759e-05,1.090218e-05,1.085430e-05,1.073872e-05,1.067316e-05,1.062128e-05,1.050233e-05,1.043758e-05,1.038220e-05,1.026120e-05,1.019802e-05,1.013959e-05,1.001763e-05,9.956581e-06,9.895525e-06,9.773483e-06,9.714977e-06,9.651680e-06,9.530276e-06,9.474605e-06,9.409417e-06,9.289230e-06,9.236590e-06,9.169829e-06,9.051318e-06,9.001830e-06,8.933786e-06,8.817314e-06,8.771038e-06,8.701973e-06,8.587823e-06,8.544770e-06,8.474919e-06,8.363309e-06,8.323453e-06,8.253031e-06,8.144120e-06,8.107407e-06,8.036605e-06,7.930510e-06,7.896862e-06,7.825854e-06,7.722653e-06,7.691978e-06,7.620919e-06,7.520659e-06,7.492852e-06,7.421881e-06,7.324585e-06,7.299532e-06,7.228774e-06,7.134445e-06,7.112026e-06,7.041594e-06,6.950216e-06,6.930310e-06,6.860304e-06,6.771849e-06,6.754332e-06,6.684842e-06,6.599271e-06,6.584020e-06,6.515125e-06,6.432392e-06,6.419285e-06,6.351057e-06,6.271106e-06,6.260023e-06,6.192525e-06,6.115299e-06,6.106122e-06,6.039411e-06,5.964846e-06,5.957461e-06,5.891587e-06,5.819617e-06,5.813915e-06,5.748920e-06,5.679479e-06,5.675352e-06,5.611276e-06,5.544295e-06,5.541641e-06,5.478517e-06,5.413926e-06,5.412646e-06,5.350504e-06,5.288235e-06,5.168272e-06,5.052624e-06,4.941161e-06,4.833753e-06,4.730272e-06,4.630593e-06,4.534594e-06,4.442157e-06,4.353163e-06,4.267501e-06,4.185059e-06,4.105730e-06,4.029410e-06,3.955997e-06,3.885393e-06,3.817502e-06,3.752232e-06,3.689494e-06,3.629199e-06,3.571265e-06,3.515609e-06,3.462153e-06,3.410820e-06,3.361536e-06,3.314229e-06,3.268831e-06,3.225273e-06,3.183492e-06,3.143425e-06,3.105011e-06,3.068190e-06,3.032908e-06,2.999108e-06,2.966738e-06,2.935746e-06,2.906082e-06,2.877700e-06,2.850551e-06,2.824593e-06,2.799780e-06,2.776072e-06,2.753428e-06,2.731808e-06,2.711176e-06,2.691494e-06,2.672726e-06,2.654840e-06,2.637802e-06,2.621580e-06
0.000000e+00,5.421907e-10,7.747018e-09,8.090750e-09,4.853557e-08,1.560530e-07,1.623018e-07,3.545751e-07,5.651745e-07,5.787221e-07,7.998896e-07,9.921490e-07,1.008294e-06,1.202249e-06,1.364562e-06,1.381898e-06,1.547796e-06,1.682926e-06,1.700592e-06,1.840947e-06,1.952207e-06,1.969522e-06,2.086969e-06,2.177490e-06,2.193924e-06,2.291004e-06,2.363658e-06,2.378802e-06,2.457889e-06,2.515254e-06,2.528810e-06,2.592084e-06,2.636448e-06,2.648205e-06,2.697640e-06,2.731012e-06,2.740831e-06,2.778197e-06,2.802329e-06,2.810130e-06,2.837003e-06,2.853414e-06,2.859164e-06,2.876943e-06,2.886947e-06,2.890649e-06,2.900575e-06,2.905304e-06,2.906993e-06,2.910160e-06,2.910588e-06,2.910319e-06,2.907696e-06,2.904657e-06,2.902505e-06,2.894944e-06,2.889149e-06,2.885201e-06,2.873453e-06,2.865510e-06,2.859863e-06,2.844587e-06,2.835011e-06,2.827768e-06,2.809542e-06,2.798769e-06,2.790036e-06,2.769369e-06,2.757766e-06,2.747652e-06,2.724988e-06,2.712860e-06,2.701474e-06,2.677201e-06,2.664806e-06,2.652253e-06,2.626711e-06,2.614261e-06,2.600646e-06,2.574129e-06,2.561796e-06,2.547222e-06,2.519986e-06,2.507913e-06,2.492477e-06,2.464745e-06,2.453043e-06,2.436839e-06,2.408803e-06,2.397562e-06,2.380679e-06,2.352506e-06,2.341794e-06,2.324317e-06,2.296148e-06,2.286017e-06,2.268027e-06,2.239983e-06,2.230471e-06,2.212042e-06,2.184228e-06,2.175358e-06,2.156562e-06,2.129065e-06,2.120852e-06,2.101755e-06,2.074649e-06,2.067098e-06,2.047763e-06,2.021109e-06,2.014219e-06,1.994702e-06,1.968551e-06,1.962315e-06,1.942669e-06,1.917064e-06,1.911469e-06,1.891744e-06,1.866717e-06,1.861747e-06,1.841989e-06,1.817566e-06,1.813203e-06,1.793453e-06,1.769655e-06,1.765876e-06,1.746174e-06,1.723014e-06,1.719797e-06,1.700177e-06,1.677666e-06,1.674986e-06,1.655481e-06,1.633624e-06,1.631456e-06,1.612095e-06,1.590894e-06,1.589212e-06,1.570022e-06,1.549477e-06,1.548255e-06,1.529260e-06,1.509368e-06,1.508579e-06,1.489801e-06,1.470556e-06,1.470175e-06,1.451633e-06,1.433029e-06,1.397125e-06,1.362444e-06,1.328966e-06,1.296667e-06,1.265522e-06,1.235508e-06,1.206596e-06,1.178761e-06,1.151975e-06,1.126210e-06,1.101438e-06,1.077632e-06,1.054764e-06,1.032807e-06,1.011733e-06,9.915150e-07,9.721270e-07,9.535426e-07,9.357362e-07,9.186829e-07,9.023578e-07,8.867370e-07,8.717969e-07,8.575148e-07,8.438681e-07,8.308352e-07,8.183947e-07,8.065261e-07,7.952093e-07,7.844247e-07,7.741534e-07,7.643770e-07,7.550776e-07,7.462379e-07,7.378410e-07,7.298707e-07,7.223111e-07,7.151468e-07,7.083632e-07,7.019456e-07,6.958802e-07,6.901535e-07,6.847523e-07,6.796641e-07,6.748764e-07,6.703775e-07,6.661559e-07,6.622004e-07,6.585003e-07
0.000000e+00,3.432665e-09,1.563121e-07,1.655265e-07,1.756174e-06,9.022250e-06,9.563389e-06,3.329029e-05,7.938533e-05,8.322623e-05,1.622386e-04,2.544312e-04,2.630125e-04,3.735817e-04,4.730422e-04,4.838547e-04,5.878433e-04,6.719875e-04,6.828842e-04,7.682471e-04,8.340567e-04,8.441288e-04,9.111023e-04,9.609815e-04,9.698598e-04,1.021105e-03,1.057992e-03,1.065509e-03,1.103699e-03,1.130168e-03,1.136255e-03,1.163706e-03,1.181890e-03,1.186541e-03,1.205203e-03,1.216846e-03,1.220098e-03,1.231596e-03,1.238117e-03,1.240035e-03,1.245722e-03,1.248271e-03,1.248937e-03,1.249934e-03,1.249438e-03,1.248946e-03,1.246184e-03,1.243390e-03,1.241839e-03,1.236084e-03,1.231593e-03,1.229080e-03,1.220969e-03,1.215258e-03,1.211882e-03,1.201938e-03,1.195389e-03,1.191244e-03,1.179897e-03,1.172813e-03,1.167987e-03,1.155592e-03,1.148211e-03,1.142787e-03,1.129635e-03,1.122141e-03,1.116197e-03,1.102525e-03,1.095063e-03,1.088669e-03,1.074672e-03,1.067351e-03,1.060573e-03,1.046408e-03,1.039310e-03,1.032207e-03,1.018001e-03,1.011187e-03,1.003814e-03,9.896688e-04,9.831820e-04,9.755865e-04,9.615849e-04,9.554540e-04,9.476802e-04,9.338867e-04,9.281297e-04,9.202171e-04,9.066825e-04,9.013087e-04,8.932927e-04,8.800562e-04,8.750681e-04,8.669803e-04,8.540714e-04,8.494662e-04,8.413349e-04,8.287754e-04,8.245462e-04,8.163967e-04,8.042020e-04,8.003389e-04,7.921936e-04,7.803737e-04,7.768646e-04,7.687435e-04,7.573041e-04,7.541354e-04,7.460561e-04,7.349997e-04,7.321563e-04,7.241346e-04,7.134606e-04,7.109272e-04,7.029768e-04,6.926824e-04,6.904429e-04,6.825762e-04,6.726569e-04,6.706953e-04,6.629229e-04,6.533726e-04,6.516729e-04,6.440043e-04,6.348160e-04,6.333624e-04,6.258057e-04,6.169715e-04,6.157486e-04,6.083111e-04,5.998223e-04,5.988150e-04,5.915028e-04,5.833504e-04,5.825443e-04,5.753627e-04,5.675373e-04,5.669182e-04,5.598719e-04,5.523640e-04,5.519185e-04,5.450112e-04,5.378110e-04,5.375262e-04,5.307612e-04,5.238591e-04,5.237226e-04,5.171025e-04,5.104888e-04,4.978063e-04,4.856565e-04,4.740214e-04,4.628831e-04,4.522242e-04,4.420276e-04,4.322768e-04,4.229555e-04,4.140480e-04,4.055390e-04,3.974138e-04,3.896579e-04,3.822574e-04,3.751989e-04,3.684693e-04,3.620560e-04,3.559468e-04,3.501299e-04,3.445939e-04,3.393278e-04,3.343211e-04,3.295634e-04,3.250449e-04,3.207561e-04,3.166876e-04,3.128306e-04,3.091766e-04,3.057173e-04,3.024446e-04,2.993509e-04,2.964288e-04,2.936712e-04,2.910710e-04,2.886217e-04,2.863169e-04,2.841503e-04,2.821161e-04,2.802084e-04,2.784218e-04,2.767509e-04,2.751906e-04,2.737359e-04,2.723821e-04,2.711245e-04,2.699588e-04,2.688807e-04,2.678861e-04,2.669710e-04,2.661317e-04
0.000000e+00,1.516275e-09,8.096296e-08,8.598514e-08,1.062090e-06,6.456672e-06,6.893942e-06,2.866530e-05,7.893838e-05,8.343436e-05,1.831226e-04,3.130431e-04,3.257727e-04,4.984645e-04,6.660276e-04,6.848413e-04,8.705056e-04,1.025025e-03,1.045165e-03,1.202664e-03,1.322133e-03,1.340131e-03,1.456951e-03,1.539664e-03,1.553897e-03,1.632502e-03,1.684577e-03,1.694632e-03,1.742236e-03,1.771131e-03,1.777198e-03,1.801264e-03,1.813490e-03,1.816008e-03,1.822827e-03,1.823469e-03,1.822947e-03,1.817435e-03,1.810279e-03,1.807216e-03,1.793088e-03,1.780883e-03,1.775735e-03,1.755746e-03,1.740458e-03,1.733624e-03,1.709800e-03,1.692817e-03,1.684640e-03,1.658457e-03,1.640746e-03,1.631516e-03,1.604041e-03,1.586267e-03,1.576224e-03,1.548224e-03,1.530833e-03,1.520178e-03,1.492197e-03,1.475480e-03,1.464376e-03,1.436796e-03,1.420936e-03,1.409521e-03,1.382603e-03,1.367702e-03,1.356087e-03,1.330007e-03,1.316116e-03,1.304392e-03,1.279262e-03,1.266392e-03,1.254634e-03,1.230519e-03,1.218658e-03,1.206927e-03,1.183860e-03,1.172976e-03,1.161322e-03,1.139313e-03,1.129365e-03,1.117829e-03,1.096868e-03,1.087810e-03,1.076425e-03,1.056493e-03,1.048272e-03,1.037065e-03,1.018135e-03,1.010700e-03,9.996925e-04,9.817302e-04,9.750284e-04,9.642386e-04,9.472086e-04,9.411889e-04,9.306306e-04,9.144949e-04,9.091079e-04,8.987921e-04,8.835123e-04,8.787106e-04,8.686460e-04,8.541834e-04,8.499219e-04,8.401150e-04,8.264314e-04,8.226677e-04,8.131232e-04,8.001812e-04,7.968751e-04,7.875963e-04,7.753595e-04,7.724735e-04,7.634622e-04,7.518957e-04,7.493946e-04,7.406515e-04,7.297215e-04,7.275725e-04,7.190975e-04,7.087716e-04,7.069440e-04,6.987360e-04,6.889833e-04,6.874486e-04,6.795059e-04,6.702967e-04,6.690284e-04,6.613486e-04,6.526548e-04,6.516283e-04,6.442084e-04,6.360030e-04,6.351955e-04,6.280322e-04,6.202896e-04,6.196799e-04,6.127693e-04,6.054654e-04,6.050339e-04,5.983719e-04,5.914833e-04,5.912119e-04,5.847941e-04,5.782989e-04,5.781709e-04,5.719925e-04,5.658699e-04,5.542699e-04,5.433338e-04,5.330266e-04,5.233149e-04,5.141671e-04,5.055530e-04,4.974442e-04,4.898137e-04,4.826357e-04,4.758860e-04,4.695414e-04,4.635801e-04,4.579813e-04,4.527253e-04,4.477933e-04,4.431678e-04,4.388320e-04,4.347698e-04,4.309662e-04,4.274070e-04,4.240785e-04,4.209680e-04,4.180632e-04,4.153526e-04,4.128253e-04,4.104709e-04,4.082796e-04,4.062421e-04,4.043497e-04,4.025939e-04,4.009668e-04,3.994611e-04,3.980695e-04,3.967855e-04,3.956026e-04,3.945148e-04,3.935165e-04,3.926023e-04,3.917671e-04,3.910060e-04,3.903146e-04,3.896885e-04,3.891236e-04,3.886161e-04,3.881624e-04,3.877590e-04,3.874027e-04,3.870903e-04,3.868191e-04
0.000000e+00,1.160824e-09,5.630716e-08,5.966088e-08,6.534103e-07,3.603970e-06,3.835181e-06,1.497130e-05,4.023714e-05,4.250404e-05,9.335347e-05,1.607967e-04,1.674396e-04,2.575369e-04,3.440271e-04,3.536357e-04,4.469448e-04,5.220028e-04,5.315778e-04,6.045222e-04,6.571960e-04,6.648991e-04,7.131544e-04,7.451428e-04,7.504247e-04,7.781191e-04,7.946938e-04,7.976751e-04,8.104339e-04,8.165529e-04,8.175865e-04,8.201597e-04,8.195521e-04,8.190227e-04,8.149028e-04,8.101524e-04,8.084040e-04,8.000250e-04,7.928585e-04,7.901764e-04,7.791952e-04,7.707444e-04,7.673573e-04,7.548876e-04,7.458823e-04,7.419690e-04,7.287495e-04,7.196507e-04,7.153492e-04,7.018649e-04,6.929579e-04,6.883747e-04,6.749415e-04,6.663978e-04,6.616156e-04,6.484373e-04,6.403552e-04,6.354386e-04,6.226454e-04,6.150769e-04,6.100783e-04,5.977526e-04,5.907186e-04,5.856789e-04,5.738644e-04,5.673632e-04,5.623133e-04,5.510272e-04,5.450432e-04,5.400067e-04,5.292505e-04,5.237611e-04,5.187566e-04,5.085219e-04,5.035006e-04,4.985427e-04,4.888150e-04,4.842338e-04,4.793344e-04,4.700964e-04,4.659271e-04,4.610962e-04,4.523289e-04,4.485437e-04,4.437894e-04,4.354726e-04,4.320447e-04,4.273734e-04,4.194869e-04,4.163907e-04,4.118080e-04,4.043317e-04,4.015428e-04,3.970530e-04,3.899672e-04,3.874626e-04,3.830694e-04,3.763548e-04,3.741128e-04,3.698190e-04,3.634574e-04,3.614578e-04,3.572656e-04,3.512392e-04,3.494629e-04,3.453740e-04,3.396660e-04,3.380953e-04,3.341109e-04,3.287049e-04,3.273233e-04,3.234441e-04,3.183248e-04,3.171168e-04,3.133432e-04,3.084959e-04,3.074471e-04,3.037792e-04,2.991898e-04,2.982869e-04,2.947244e-04,2.903797e-04,2.896102e-04,2.861525e-04,2.820399e-04,2.813923e-04,2.780387e-04,2.741460e-04,2.736095e-04,2.703591e-04,2.666750e-04,2.662397e-04,2.630912e-04,2.596050e-04,2.592616e-04,2.562137e-04,2.529150e-04,2.526550e-04,2.497063e-04,2.465853e-04,2.464008e-04,2.435497e-04,2.405971e-04,2.404807e-04,2.377255e-04,2.349326e-04,2.348776e-04,2.322165e-04,2.295749e-04,2.245573e-04,2.198098e-04,2.153185e-04,2.110700e-04,2.070518e-04,2.032519e-04,1.996589e-04,1.962621e-04,1.930511e-04,1.900163e-04,1.871485e-04,1.844389e-04,1.818793e-04,1.794619e-04,1.771790e-04,1.750238e-04,1.729895e-04,1.710697e-04,1.692583e-04,1.675498e-04,1.659386e-04,1.644196e-04,1.629880e-04,1.616391e-04,1.603685e-04,1.591721e-04,1.580459e-04,1.569862e-04,1.559894e-04,1.550522e-04,1.541715e-04,1.533441e-04,1.525672e-04,1.518381e-04,1.511543e-04,1.505132e-04,1.499126e-04,1.493503e-04,1.488242e-04,1.483324e-04,1.478729e-04,1.474440e-04,1.470441e-04,1.466714e-04,1.463247e-04,1.460023e-04,1.457029e-04,1.454254e-04,1.451683e-04
0.000000e+00,6.862825e-10,1.035076e-08,1.081678e-08,6.562259e-08,2.087761e-07,2.169884e-07,4.654114e-07,7.340584e-07,7.514063e-07,1.037655e-06,1.292651e-06,1.314373e-06,1.579516e-06,1.807952e-06,1.832738e-06,2.074097e-06,2.276822e-06,2.303774e-06,2.522004e-06,2.700731e-06,2.729056e-06,2.925226e-06,3.081830e-06,3.110830e-06,3.286192e-06,3.422581e-06,3.451647e-06,3.607531e-06,3.725572e-06,3.754179e-06,3.891925e-06,3.993397e-06,4.021095e-06,4.142012e-06,4.228583e-06,4.254990e-06,4.360335e-06,4.433553e-06,4.458346e-06,4.549315e-06,4.610611e-06,4.633523e-06,4.711245e-06,4.761934e-06,4.782747e-06,4.848285e-06,4.889572e-06,4.908109e-06,4.962461e-06,4.995449e-06,5.011574e-06,5.055673e-06,5.081367e-06,5.094978e-06,5.129698e-06,5.149012e-06,5.160038e-06,5.186194e-06,5.199959e-06,5.208357e-06,5.226708e-06,5.235675e-06,5.241425e-06,5.252678e-06,5.257528e-06,5.260632e-06,5.265444e-06,5.266791e-06,5.267268e-06,5.266250e-06,5.264645e-06,5.262533e-06,5.256252e-06,5.252191e-06,5.247539e-06,5.236520e-06,5.230448e-06,5.223317e-06,5.208047e-06,5.200360e-06,5.190823e-06,5.171752e-06,5.162803e-06,5.150939e-06,5.128484e-06,5.118587e-06,5.104483e-06,5.079029e-06,5.068460e-06,5.052209e-06,5.024110e-06,5.013114e-06,4.994814e-06,4.964398e-06,4.953188e-06,4.932938e-06,4.900506e-06,4.889270e-06,4.867172e-06,4.833002e-06,4.821902e-06,4.798060e-06,4.762407e-06,4.751581e-06,4.726101e-06,4.689199e-06,4.678766e-06,4.651753e-06,4.613816e-06,4.603878e-06,4.575436e-06,4.536661e-06,4.527301e-06,4.497535e-06,4.458102e-06,4.449389e-06,4.418401e-06,4.378473e-06,4.370463e-06,4.338354e-06,4.298081e-06,4.290818e-06,4.257687e-06,4.217205e-06,4.210722e-06,4.176665e-06,4.136098e-06,4.130418e-06,4.095531e-06,4.054990e-06,4.050128e-06,4.014501e-06,3.974089e-06,3.970052e-06,3.933775e-06,3.893582e-06,3.890372e-06,3.853529e-06,3.813638e-06,3.811250e-06,3.773925e-06,3.734409e-06,3.732832e-06,3.695105e-06,3.656029e-06,3.655250e-06,3.617197e-06,3.578621e-06,3.503049e-06,3.428625e-06,3.355430e-06,3.283535e-06,3.213001e-06,3.143881e-06,3.076218e-06,3.010050e-06,2.945407e-06,2.882314e-06,2.820790e-06,2.760847e-06,2.702496e-06,2.645740e-06,2.590581e-06,2.537016e-06,2.485039e-06,2.434641e-06,2.385811e-06,2.338536e-06,2.292799e-06,2.248584e-06,2.205871e-06,2.164640e-06,2.124867e-06,2.086532e-06,2.049608e-06,2.014072e-06,1.979898e-06,1.947059e-06,1.915528e-06,1.885279e-06,1.856284e-06,1.828514e-06,1.801943e-06,1.776541e-06,1.752280e-06,1.729133e-06,1.707070e-06,1.686065e-06,1.666088e-06,1.647111e-06,1.629108e-06,1.612050e-06,1.595911e-06,1.580663e-06,1.566279e-06,1.552733e-06,1.539999e-06
0.000000e+00,1.118262e-08,2.017696e-07,2.116921e-07,1.605898e-06,6.238501e-06,6.529974e-06,1.595823e-05,2.642857e-05,2.709456e-05,3.780622e-05,4.686516e-05,4.761490e-05,5.648393e-05,6.370027e-05,6.445928e-05,7.160114e-05,7.724424e-05,7.796953e-05,8.362159e-05,8.795070e-05,8.861132e-05,9.298955e-05,9.622978e-05,9.680412e-05,1.001000e-04,1.024451e-04,1.029192e-04,1.053011e-04,1.069166e-04,1.072825e-04,1.088975e-04,1.099234e-04,1.101780e-04,1.111534e-04,1.117076e-04,1.118511e-04,1.122964e-04,1.124774e-04,1.125129e-04,1.125220e-04,1.124115e-04,1.123438e-04,1.119968e-04,1.116626e-04,1.114979e-04,1.108630e-04,1.103608e-04,1.101063e-04,1.092413e-04,1.086170e-04,1.082801e-04,1.072340e-04,1.065247e-04,1.061133e-04,1.049275e-04,1.041635e-04,1.036853e-04,1.023947e-04,1.016001e-04,1.010629e-04,9.969661e-05,9.889078e-05,9.830192e-05,9.688439e-05,9.608250e-05,9.544908e-05,9.400060e-05,9.321444e-05,9.254315e-05,9.108053e-05,9.031908e-05,8.961618e-05,8.815323e-05,8.742317e-05,8.669448e-05,8.524248e-05,8.454859e-05,8.379950e-05,8.236756e-05,8.171309e-05,8.094850e-05,7.954392e-05,7.893087e-05,7.815527e-05,7.678380e-05,7.621318e-05,7.543062e-05,7.409669e-05,7.356871e-05,7.278286e-05,7.148983e-05,7.100406e-05,7.021821e-05,6.896849e-05,6.852404e-05,6.774110e-05,6.653636e-05,6.613196e-05,6.535452e-05,6.419577e-05,6.382987e-05,6.306023e-05,6.194796e-05,6.161881e-05,6.085896e-05,5.979322e-05,5.949896e-05,5.875064e-05,5.773111e-05,5.746979e-05,5.673449e-05,5.576059e-05,5.553022e-05,5.480921e-05,5.388012e-05,5.367868e-05,5.297305e-05,5.208775e-05,5.191328e-05,5.122393e-05,5.038127e-05,5.023182e-05,4.955948e-05,4.875821e-05,4.863189e-05,4.797714e-05,4.721594e-05,4.711094e-05,4.647424e-05,4.575171e-05,4.566628e-05,4.504798e-05,4.436269e-05,4.429517e-05,4.369549e-05,4.304602e-05,4.299481e-05,4.241390e-05,4.179879e-05,4.176242e-05,4.120033e-05,4.061815e-05,4.059520e-05,4.005190e-05,3.950124e-05,3.949038e-05,3.896581e-05,3.844527e-05,3.745719e-05,3.652354e-05,3.564181e-05,3.480955e-05,3.402438e-05,3.328403e-05,3.258628e-05,3.192903e-05,3.131023e-05,3.072795e-05,3.018031e-05,2.966553e-05,2.918191e-05,2.872781e-05,2.830168e-05,2.790205e-05,2.752748e-05,2.717665e-05,2.684827e-05,2.654112e-05,2.625405e-05,2.598596e-05,2.573579e-05,2.550257e-05,2.528533e-05,2.508320e-05,2.489531e-05,2.472087e-05,2.455910e-05,2.440928e-05,2.427073e-05,2.414278e-05,2.402483e-05,2.391629e-05,2.381659e-05,2.372522e-05,2.364169e-05,2.356551e-05,2.349625e-05,2.343348e-05,2.337681e-05,2.332585e-05,2.328025e-05,2.323967e-05,2.320378e-05,2.317230e-05,2.314492e-05,2.312138e-05,2.310143e-05
0.000000e+00,5.115131e-09,7.695744e-08,8.050916e-08,5.372602e-07,1.909573e-06,1.993164e-06,4.664294e-06,7.689897e-06,7.886107e-06,1.110779e-05,1.393510e-05,1.417368e-05,1.705502e-05,1.948950e-05,1.975087e-05,2.226658e-05,2.433687e-05,2.460907e-05,2.678567e-05,2.853054e-05,2.880382e-05,3.067093e-05,3.212790e-05,3.239427e-05,3.398095e-05,3.518492e-05,3.543790e-05,3.677178e-05,3.775463e-05,3.798906e-05,3.909591e-05,3.988644e-05,4.009829e-05,4.100189e-05,4.162590e-05,4.181213e-05,4.253423e-05,4.301476e-05,4.317314e-05,4.373360e-05,4.409110e-05,4.422013e-05,4.463703e-05,4.488963e-05,4.498840e-05,4.527814e-05,4.544188e-05,4.550998e-05,4.568745e-05,4.577644e-05,4.581392e-05,4.589259e-05,4.591927e-05,4.592650e-05,4.591855e-05,4.589381e-05,4.587148e-05,4.578790e-05,4.572127e-05,4.567030e-05,4.552102e-05,4.542081e-05,4.534230e-05,4.513625e-05,4.500968e-05,4.490489e-05,4.465011e-05,4.450344e-05,4.437373e-05,4.407744e-05,4.391605e-05,4.376288e-05,4.343156e-05,4.326008e-05,4.308495e-05,4.272440e-05,4.254678e-05,4.235123e-05,4.196664e-05,4.178622e-05,4.157180e-05,4.116781e-05,4.098742e-05,4.075568e-05,4.033640e-05,4.015839e-05,3.991088e-05,3.947998e-05,3.930630e-05,3.904452e-05,3.860526e-05,3.843749e-05,3.816291e-05,3.771816e-05,3.755759e-05,3.727164e-05,3.682394e-05,3.667156e-05,3.637563e-05,3.592721e-05,3.578378e-05,3.547919e-05,3.503201e-05,3.489809e-05,3.458610e-05,3.414187e-05,3.401783e-05,3.369967e-05,3.325986e-05,3.314594e-05,3.282275e-05,3.238863e-05,3.228492e-05,3.195779e-05,3.153048e-05,3.143696e-05,3.110692e-05,3.068733e-05,3.060391e-05,3.027191e-05,2.986084e-05,2.978732e-05,2.945427e-05,2.905237e-05,2.898851e-05,2.865526e-05,2.826306e-05,2.820855e-05,2.787589e-05,2.749383e-05,2.744833e-05,2.711698e-05,2.674540e-05,2.670854e-05,2.637917e-05,2.601833e-05,2.598969e-05,2.566293e-05,2.531301e-05,2.529219e-05,2.496860e-05,2.462972e-05,2.461628e-05,2.429638e-05,2.396860e-05,2.396210e-05,2.364637e-05,2.332970e-05,2.271903e-05,2.212998e-05,2.156234e-05,2.101587e-05,2.049029e-05,1.998523e-05,1.950034e-05,1.903520e-05,1.858939e-05,1.816244e-05,1.775389e-05,1.736326e-05,1.699005e-05,1.663377e-05,1.629392e-05,1.596999e-05,1.566148e-05,1.536788e-05,1.508871e-05,1.482347e-05,1.457167e-05,1.433283e-05,1.410648e-05,1.389217e-05,1.368943e-05,1.349782e-05,1.331691e-05,1.314628e-05,1.298552e-05,1.283422e-05,1.269199e-05,1.255846e-05,1.243325e-05,1.231602e-05,1.220641e-05,1.210410e-05,1.200874e-05,1.192005e-05,1.183770e-05,1.176141e-05,1.169089e-05,1.162588e-05,1.156611e-05,1.151133e-05,1.146129e-05,1.141576e-05,1.137452e-05,1.133734e-05,1.130401e-05
0.000000e+00,4.530042e-10,7.375968e-09,7.727332e-09,5.337371e-08,1.845175e-07,1.921203e-07,4.155066e-07,6.441859e-07,6.586547e-07,8.936293e-07,1.097665e-06,1.114827e-06,1.321533e-06,1.495421e-06,1.514048e-06,1.692898e-06,1.839437e-06,1.858656e-06,2.011907e-06,2.134144e-06,2.153234e-06,2.283218e-06,2.384056e-06,2.402429e-06,2.511431e-06,2.593576e-06,2.610768e-06,2.700970e-06,2.766897e-06,2.782546e-06,2.855988e-06,2.907930e-06,2.921768e-06,2.980337e-06,3.020294e-06,3.032128e-06,3.077545e-06,3.107273e-06,3.116967e-06,3.150761e-06,3.171803e-06,3.179274e-06,3.202845e-06,3.216587e-06,3.221812e-06,3.236476e-06,3.244136e-06,3.247121e-06,3.254016e-06,3.256637e-06,3.257415e-06,3.257559e-06,3.256048e-06,3.254674e-06,3.248978e-06,3.244124e-06,3.240673e-06,3.229952e-06,3.222436e-06,3.216997e-06,3.201978e-06,3.192385e-06,3.185057e-06,3.166388e-06,3.155224e-06,3.146114e-06,3.124371e-06,3.112065e-06,3.101287e-06,3.076983e-06,3.063900e-06,3.051570e-06,3.025158e-06,3.011608e-06,2.997845e-06,2.969726e-06,2.955969e-06,2.940890e-06,2.911420e-06,2.897673e-06,2.881394e-06,2.850886e-06,2.837327e-06,2.819963e-06,2.788692e-06,2.775468e-06,2.757131e-06,2.725337e-06,2.712566e-06,2.693363e-06,2.661258e-06,2.649033e-06,2.629067e-06,2.596835e-06,2.585229e-06,2.564600e-06,2.532399e-06,2.521465e-06,2.500268e-06,2.468237e-06,2.458014e-06,2.436337e-06,2.404595e-06,2.395107e-06,2.373037e-06,2.341684e-06,2.332946e-06,2.310560e-06,2.279684e-06,2.271699e-06,2.249073e-06,2.218745e-06,2.211510e-06,2.188714e-06,2.158995e-06,2.152499e-06,2.129599e-06,2.100537e-06,2.094766e-06,2.071820e-06,2.043457e-06,2.038389e-06,2.015455e-06,1.987821e-06,1.983434e-06,1.960562e-06,1.933683e-06,1.929950e-06,1.907188e-06,1.881080e-06,1.877974e-06,1.855364e-06,1.830041e-06,1.827531e-06,1.805114e-06,1.780582e-06,1.778637e-06,1.756448e-06,1.732711e-06,1.731299e-06,1.709371e-06,1.686427e-06,1.685518e-06,1.663879e-06,1.641725e-06,1.641286e-06,1.619963e-06,1.598591e-06,1.557416e-06,1.517741e-06,1.479540e-06,1.442787e-06,1.407451e-06,1.373500e-06,1.340903e-06,1.309623e-06,1.279626e-06,1.250875e-06,1.223334e-06,1.196967e-06,1.171736e-06,1.147606e-06,1.124539e-06,1.102500e-06,1.081454e-06,1.061365e-06,1.042199e-06,1.023923e-06,1.006503e-06,9.899082e-07,9.741059e-07,9.590662e-07,9.447592e-07,9.311560e-07,9.182287e-07,9.059500e-07,8.942935e-07,8.832338e-07,8.727461e-07,8.628067e-07,8.533923e-07,8.444809e-07,8.360508e-07,8.280814e-07,8.205527e-07,8.134455e-07,8.067413e-07,8.004221e-07,7.944709e-07,7.888711e-07,7.836069e-07,7.786630e-07,7.740247e-07,7.696779e-07,7.656092e-07,7.618055e-07,7.582543e-07
0.000000e+00,2.167140e-09,1.099838e-07,1.167127e-07,1.347311e-06,7.261357e-06,7.709001e-06,2.775908e-05,6.792153e-05,7.131334e-05,1.421184e-04,2.266604e-04,2.346209e-04,3.384891e-04,4.338818e-04,4.443585e-04,5.461244e-04,6.297305e-04,6.406354e-04,7.266546e-04,7.936688e-04,8.039784e-04,8.728960e-04,9.246496e-04,9.339017e-04,9.875574e-04,1.026470e-03,1.034431e-03,1.075073e-03,1.103448e-03,1.110001e-03,1.139702e-03,1.159534e-03,1.164631e-03,1.185207e-03,1.198175e-03,1.201821e-03,1.214832e-03,1.222337e-03,1.224573e-03,1.231350e-03,1.234553e-03,1.235445e-03,1.237116e-03,1.236973e-03,1.236602e-03,1.234122e-03,1.231414e-03,1.229874e-03,1.224044e-03,1.219412e-03,1.216801e-03,1.208298e-03,1.202261e-03,1.198678e-03,1.188071e-03,1.181052e-03,1.176596e-03,1.164362e-03,1.156698e-03,1.151467e-03,1.138001e-03,1.129963e-03,1.124048e-03,1.109683e-03,1.101483e-03,1.094973e-03,1.079981e-03,1.071788e-03,1.064763e-03,1.049372e-03,1.041315e-03,1.033852e-03,1.018247e-03,1.010425e-03,1.002595e-03,9.869301e-04,9.794154e-04,9.712829e-04,9.556816e-04,9.485275e-04,9.401513e-04,9.247145e-04,9.179572e-04,9.093912e-04,8.941991e-04,8.878615e-04,8.791541e-04,8.642702e-04,8.583645e-04,8.495596e-04,8.350330e-04,8.295632e-04,8.206999e-04,8.065683e-04,8.015316e-04,7.926450e-04,7.789359e-04,7.743245e-04,7.654458e-04,7.521787e-04,7.479808e-04,7.391376e-04,7.263251e-04,7.225262e-04,7.137430e-04,7.013922e-04,6.979756e-04,6.892736e-04,6.773873e-04,6.743349e-04,6.657329e-04,6.543097e-04,6.516024e-04,6.431167e-04,6.321524e-04,6.297708e-04,6.214153e-04,6.109033e-04,6.088277e-04,6.006143e-04,5.905459e-04,5.887568e-04,5.806957e-04,5.710609e-04,5.695392e-04,5.616388e-04,5.524264e-04,5.511532e-04,5.434206e-04,5.346185e-04,5.335758e-04,5.260167e-04,5.176121e-04,5.167824e-04,5.094014e-04,5.013813e-04,5.007478e-04,4.935484e-04,4.858993e-04,4.854461e-04,4.784307e-04,4.711393e-04,4.708513e-04,4.640217e-04,4.570744e-04,4.569372e-04,4.502943e-04,4.436779e-04,4.310476e-04,4.190213e-04,4.075742e-04,3.966820e-04,3.863215e-04,3.764696e-04,3.671044e-04,3.582045e-04,3.497493e-04,3.417188e-04,3.340940e-04,3.268564e-04,3.199883e-04,3.134728e-04,3.072936e-04,3.014351e-04,2.958824e-04,2.906210e-04,2.856374e-04,2.809184e-04,2.764516e-04,2.722248e-04,2.682268e-04,2.644466e-04,2.608737e-04,2.574982e-04,2.543105e-04,2.513017e-04,2.484629e-04,2.457861e-04,2.432632e-04,2.408867e-04,2.386495e-04,2.365448e-04,2.345659e-04,2.327068e-04,2.309614e-04,2.293241e-04,2.277895e-04,2.263525e-04,2.250082e-04,2.237519e-04,2.225791e-04,2.214855e-04,2.204672e-04,2.195203e-04,2.186412e-04,2.178262e-04,2.170722e-04
0.000000e+00,2.125969e-10,1.606497e-08,1.718855e-08,2.931937e-07,2.181179e-06,2.344294e-06,1.118110e-05,3.430183e-05,3.650594e-05,9.033051e-05,1.740887e-04,1.831307e-04,3.214753e-04,4.867023e-04,5.074070e-04,7.388916e-04,9.762205e-04,1.010748e-03,1.315695e-03,1.598016e-03,1.645322e-03,1.990886e-03,2.287262e-03,2.343919e-03,2.696650e-03,2.980854e-03,3.042269e-03,3.375053e-03,3.628913e-03,3.690406e-03,3.984825e-03,4.198300e-03,4.255813e-03,4.501775e-03,4.671440e-03,4.721893e-03,4.916004e-03,5.043099e-03,5.084471e-03,5.228080e-03,5.316693e-03,5.347929e-03,5.445347e-03,5.500982e-03,5.521815e-03,5.578905e-03,5.607477e-03,5.618225e-03,5.641383e-03,5.648579e-03,5.649951e-03,5.645446e-03,5.636371e-03,5.629309e-03,5.602893e-03,5.581911e-03,5.567461e-03,5.524179e-03,5.494890e-03,5.474114e-03,5.418242e-03,5.383526e-03,5.357443e-03,5.292513e-03,5.254615e-03,5.224162e-03,5.153027e-03,5.113658e-03,5.079672e-03,5.004596e-03,4.965024e-03,4.928238e-03,4.850985e-03,4.812130e-03,4.773173e-03,4.695098e-03,4.657603e-03,4.617012e-03,4.539136e-03,4.503436e-03,4.461658e-03,4.384741e-03,4.351111e-03,4.308520e-03,4.233113e-03,4.201709e-03,4.158617e-03,4.085112e-03,4.056002e-03,4.012664e-03,3.941330e-03,3.914523e-03,3.871151e-03,3.802161e-03,3.777621e-03,3.734387e-03,3.667846e-03,3.645506e-03,3.602553e-03,3.538514e-03,3.518286e-03,3.475731e-03,3.414205e-03,3.395992e-03,3.353932e-03,3.294903e-03,3.278597e-03,3.237111e-03,3.180544e-03,3.166036e-03,3.125190e-03,3.071034e-03,3.058213e-03,3.018061e-03,2.966254e-03,2.955011e-03,2.915596e-03,2.866069e-03,2.856298e-03,2.817656e-03,2.770337e-03,2.761934e-03,2.724094e-03,2.678908e-03,2.671775e-03,2.634760e-03,2.591631e-03,2.585673e-03,2.549501e-03,2.508352e-03,2.503479e-03,2.468164e-03,2.428919e-03,2.425046e-03,2.390598e-03,2.353183e-03,2.350228e-03,2.316654e-03,2.280995e-03,2.278883e-03,2.246187e-03,2.212213e-03,2.210871e-03,2.179055e-03,2.146695e-03,2.146056e-03,2.115118e-03,2.084307e-03,2.025495e-03,1.969496e-03,1.916191e-03,1.865466e-03,1.817208e-03,1.771310e-03,1.727670e-03,1.686189e-03,1.646770e-03,1.609324e-03,1.573762e-03,1.540000e-03,1.507956e-03,1.477554e-03,1.448719e-03,1.421380e-03,1.395469e-03,1.370920e-03,1.347670e-03,1.325661e-03,1.304833e-03,1.285132e-03,1.266506e-03,1.248904e-03,1.232278e-03,1.216581e-03,1.201771e-03,1.187804e-03,1.174640e-03,1.162240e-03,1.150569e-03,1.139589e-03,1.129268e-03,1.119574e-03,1.110475e-03,1.101942e-03,1.093948e-03,1.086464e-03,1.079466e-03,1.072928e-03,1.066828e-03,1.061142e-03,1.055850e-03,1.050931e-03,1.046366e-03,1.042136e-03,1.038223e-03,1.034610e-03,1.031281e-03
0.000000e+00,2.336166e-09,3.975176e-08,4.161538e-08,2.617399e-07,7.800556e-07,8.070893e-07,1.534106e-06,2.223252e-06,2.266206e-06,2.959051e-06,3.556522e-06,3.606664e-06,4.209418e-06,4.714788e-06,4.768828e-06,5.286671e-06,5.709475e-06,5.764819e-06,6.205182e-06,6.555128e-06,6.609668e-06,6.980163e-06,7.266461e-06,7.318511e-06,7.626489e-06,7.857575e-06,7.905814e-06,8.158137e-06,8.341618e-06,8.385038e-06,8.588022e-06,8.730674e-06,8.768528e-06,8.927927e-06,9.035748e-06,9.067507e-06,9.188498e-06,9.266753e-06,9.292069e-06,9.379329e-06,9.432649e-06,9.451329e-06,9.509065e-06,9.541498e-06,9.553477e-06,9.585458e-06,9.600537e-06,9.605851e-06,9.615455e-06,9.616251e-06,9.615023e-06,9.605267e-06,9.594444e-06,9.586862e-06,9.560441e-06,9.540300e-06,9.526606e-06,9.485923e-06,9.458449e-06,9.438925e-06,9.386117e-06,9.353015e-06,9.327974e-06,9.264941e-06,9.227666e-06,9.197441e-06,9.125871e-06,9.085662e-06,9.050603e-06,8.971988e-06,8.929896e-06,8.890356e-06,8.806018e-06,8.762926e-06,8.719265e-06,8.630370e-06,8.587016e-06,8.539590e-06,8.447165e-06,8.404160e-06,8.353320e-06,8.258268e-06,8.216113e-06,8.162205e-06,8.065315e-06,8.024418e-06,7.967773e-06,7.869738e-06,7.830421e-06,7.771362e-06,7.672785e-06,7.635300e-06,7.574137e-06,7.475539e-06,7.440078e-06,7.377104e-06,7.278937e-06,7.245639e-06,7.181135e-06,7.083788e-06,7.052746e-06,6.986978e-06,6.890782e-06,6.862053e-06,6.795270e-06,6.700507e-06,6.674116e-06,6.606553e-06,6.513461e-06,6.489405e-06,6.421282e-06,6.330059e-06,6.308313e-06,6.239835e-06,6.150644e-06,6.131165e-06,6.062522e-06,5.975496e-06,5.958225e-06,5.889594e-06,5.804839e-06,5.789706e-06,5.721250e-06,5.638846e-06,5.625773e-06,5.557642e-06,5.477649e-06,5.466548e-06,5.398879e-06,5.321340e-06,5.312119e-06,5.245039e-06,5.169979e-06,5.162541e-06,5.096163e-06,5.023594e-06,5.017843e-06,4.952271e-06,4.882192e-06,4.878027e-06,4.813355e-06,4.745756e-06,4.743078e-06,4.679389e-06,4.614249e-06,4.612959e-06,4.550329e-06,4.487621e-06,4.366999e-06,4.251019e-06,4.139597e-06,4.032642e-06,3.930054e-06,3.831731e-06,3.737566e-06,3.647448e-06,3.561264e-06,3.478902e-06,3.400247e-06,3.325183e-06,3.253597e-06,3.185375e-06,3.120403e-06,3.058570e-06,2.999767e-06,2.943885e-06,2.890818e-06,2.840463e-06,2.792719e-06,2.747485e-06,2.704665e-06,2.664166e-06,2.625895e-06,2.589764e-06,2.555686e-06,2.523576e-06,2.493354e-06,2.464941e-06,2.438261e-06,2.413239e-06,2.389804e-06,2.367887e-06,2.347422e-06,2.328344e-06,2.310590e-06,2.294101e-06,2.278819e-06,2.264688e-06,2.251655e-06,2.239667e-06,2.228674e-06,2.218629e-06,2.209485e-06,2.201198e-06,2.193724e-06,2.187024e-06,2.181056e-06
0.000000e+00,1.071239e-09,9.014432e-08,9.666397e-08,1.685243e-06,1.073849e-05,1.142875e-05,4.022093e-05,8.880494e-05,9.255548e-05,1.638919e-04,2.392774e-04,2.460608e-04,3.315986e-04,4.070817e-04,4.152607e-04,4.939420e-04,5.578074e-04,5.660962e-04,6.311614e-04,6.814403e-04,6.891397e-04,7.403303e-04,7.784038e-04,7.851718e-04,8.241558e-04,8.521019e-04,8.577807e-04,8.865280e-04,9.063199e-04,9.108514e-04,9.311727e-04,9.444964e-04,9.478807e-04,9.613316e-04,9.695773e-04,9.718508e-04,9.797349e-04,9.840322e-04,9.852536e-04,9.886523e-04,9.899125e-04,9.901537e-04,9.899599e-04,9.889146e-04,9.882544e-04,9.852036e-04,9.824380e-04,9.809581e-04,9.756548e-04,9.716356e-04,9.694172e-04,9.623572e-04,9.574545e-04,9.545763e-04,9.461660e-04,9.406721e-04,9.372090e-04,9.277802e-04,9.219247e-04,9.179470e-04,9.077703e-04,9.017324e-04,8.973052e-04,8.866012e-04,8.805194e-04,8.757028e-04,8.646502e-04,8.586305e-04,8.534794e-04,8.422227e-04,8.363450e-04,8.309092e-04,8.195649e-04,8.138886e-04,8.082131e-04,7.968745e-04,7.914421e-04,7.855676e-04,7.743090e-04,7.691503e-04,7.631132e-04,7.519932e-04,7.471274e-04,7.409604e-04,7.300248e-04,7.254631e-04,7.191954e-04,7.084797e-04,7.042267e-04,6.978844e-04,6.874152e-04,6.834711e-04,6.770772e-04,6.668744e-04,6.632352e-04,6.568104e-04,6.468880e-04,6.435472e-04,6.371098e-04,6.274773e-04,6.244260e-04,6.179921e-04,6.086552e-04,6.058831e-04,5.994671e-04,5.904282e-04,5.879241e-04,5.815386e-04,5.727980e-04,5.705498e-04,5.642060e-04,5.557619e-04,5.537573e-04,5.474649e-04,5.393140e-04,5.375403e-04,5.313081e-04,5.234458e-04,5.218905e-04,5.157258e-04,5.081468e-04,5.067974e-04,5.007070e-04,4.934049e-04,4.922492e-04,4.862388e-04,4.792069e-04,4.782331e-04,4.723076e-04,4.655389e-04,4.647353e-04,4.588990e-04,4.523862e-04,4.517418e-04,4.459984e-04,4.397337e-04,4.392378e-04,4.335904e-04,4.275664e-04,4.272087e-04,4.216598e-04,4.158688e-04,4.156396e-04,4.101915e-04,4.046259e-04,4.045157e-04,3.991701e-04,3.938224e-04,3.835452e-04,3.736698e-04,3.641824e-04,3.550692e-04,3.463170e-04,3.379128e-04,3.298440e-04,3.220984e-04,3.146640e-04,3.075294e-04,3.006835e-04,2.941155e-04,2.878149e-04,2.817718e-04,2.759764e-04,2.704194e-04,2.650916e-04,2.599845e-04,2.550895e-04,2.503985e-04,2.459039e-04,2.415979e-04,2.374734e-04,2.335233e-04,2.297411e-04,2.261200e-04,2.226540e-04,2.193370e-04,2.161631e-04,2.131270e-04,2.102231e-04,2.074463e-04,2.047917e-04,2.022545e-04,1.998300e-04,1.975138e-04,1.953018e-04,1.931897e-04,1.911737e-04,1.892498e-04,1.874146e-04,1.856645e-04,1.839961e-04,1.824061e-04,1.808914e-04,1.794490e-04,1.780761e-04,1.767697e-04,1.755272e-04
0.000000e+00,1.744193e-08,5.259706e-07,5.535699e-07,4.604566e-06,1.979647e-05,2.083861e-05,6.129981e-05,1.251533e-04,1.299235e-04,2.163970e-04,3.003648e-04,3.076441e-04,3.970245e-04,4.741171e-04,4.824651e-04,5.634900e-04,6.311016e-04,6.400560e-04,7.122359e-04,7.708865e-04,7.801404e-04,8.438977e-04,8.943501e-04,9.036463e-04,9.595306e-04,1.002576e-03,1.011698e-03,1.060297e-03,1.096706e-03,1.105475e-03,1.147376e-03,1.177877e-03,1.186145e-03,1.221918e-03,1.247186e-03,1.254831e-03,1.285015e-03,1.305668e-03,1.312595e-03,1.337695e-03,1.354296e-03,1.360430e-03,1.380916e-03,1.393975e-03,1.399260e-03,1.415569e-03,1.425548e-03,1.429944e-03,1.442481e-03,1.449794e-03,1.453273e-03,1.462412e-03,1.467433e-03,1.469983e-03,1.476069e-03,1.479131e-03,1.480748e-03,1.484098e-03,1.485499e-03,1.486190e-03,1.487096e-03,1.487104e-03,1.486882e-03,1.485613e-03,1.484464e-03,1.483349e-03,1.480150e-03,1.478054e-03,1.476072e-03,1.471169e-03,1.468310e-03,1.465492e-03,1.459091e-03,1.455633e-03,1.452012e-03,1.444302e-03,1.440388e-03,1.436001e-03,1.427153e-03,1.422909e-03,1.417795e-03,1.407965e-03,1.403499e-03,1.397699e-03,1.387030e-03,1.382437e-03,1.375992e-03,1.364615e-03,1.359975e-03,1.352928e-03,1.340959e-03,1.336343e-03,1.328736e-03,1.316283e-03,1.311748e-03,1.303625e-03,1.290784e-03,1.286380e-03,1.277782e-03,1.264641e-03,1.260409e-03,1.251378e-03,1.238014e-03,1.233988e-03,1.224566e-03,1.211050e-03,1.207256e-03,1.197483e-03,1.183879e-03,1.180338e-03,1.170253e-03,1.156617e-03,1.153345e-03,1.142985e-03,1.129369e-03,1.126376e-03,1.115779e-03,1.102226e-03,1.099521e-03,1.088721e-03,1.075273e-03,1.072858e-03,1.061889e-03,1.048580e-03,1.046458e-03,1.035352e-03,1.022213e-03,1.020381e-03,1.009169e-03,9.962274e-04,9.946815e-04,9.833931e-04,9.706719e-04,9.694062e-04,9.580689e-04,9.455887e-04,9.445957e-04,9.332357e-04,9.210139e-04,9.202848e-04,9.089269e-04,8.969781e-04,8.965031e-04,8.851706e-04,8.735071e-04,8.732753e-04,8.619901e-04,8.506219e-04,8.285596e-04,8.071013e-04,7.862570e-04,7.660336e-04,7.464356e-04,7.274651e-04,7.091222e-04,6.914050e-04,6.743102e-04,6.578329e-04,6.419668e-04,6.267046e-04,6.120379e-04,5.979576e-04,5.844537e-04,5.715156e-04,5.591323e-04,5.472921e-04,5.359831e-04,5.251929e-04,5.149091e-04,5.051189e-04,4.958095e-04,4.869678e-04,4.785810e-04,4.706359e-04,4.631195e-04,4.560190e-04,4.493214e-04,4.430140e-04,4.370840e-04,4.315189e-04,4.263064e-04,4.214341e-04,4.168901e-04,4.126625e-04,4.087396e-04,4.051098e-04,4.017620e-04,3.986851e-04,3.958682e-04,3.933006e-04,3.909720e-04,3.888722e-04,3.869912e-04,3.853192e-04,3.838468e-04,3.825647e-04,3.814637e-04
0.000000e+00,8.058713e-09,1.173119e-07,1.225684e-07,7.809673e-07,2.762586e-06,2.885417e-06,6.985540e-06,1.194758e-05,1.227487e-05,1.766442e-05,2.236982e-05,2.276481e-05,2.750462e-05,3.146130e-05,3.188327e-05,3.591449e-05,3.918776e-05,3.961492e-05,4.300164e-05,4.567626e-05,4.609162e-05,4.890148e-05,5.105715e-05,5.144742e-05,5.374512e-05,5.545461e-05,5.580968e-05,5.765557e-05,5.898417e-05,5.929664e-05,6.074605e-05,6.175162e-05,6.201632e-05,6.311934e-05,6.385271e-05,6.406634e-05,6.486797e-05,6.537351e-05,6.553427e-05,6.607473e-05,6.639099e-05,6.649831e-05,6.681343e-05,6.697376e-05,6.702805e-05,6.714966e-05,6.718284e-05,6.718530e-05,6.714159e-05,6.707233e-05,6.702477e-05,6.684069e-05,6.669012e-05,6.659483e-05,6.629237e-05,6.607856e-05,6.593816e-05,6.553674e-05,6.527500e-05,6.509236e-05,6.460902e-05,6.431230e-05,6.409044e-05,6.354013e-05,6.321932e-05,6.296136e-05,6.235719e-05,6.202139e-05,6.173047e-05,6.108387e-05,6.074061e-05,6.041987e-05,5.974080e-05,5.939629e-05,5.904880e-05,5.834590e-05,5.800519e-05,5.763396e-05,5.691472e-05,5.658187e-05,5.618979e-05,5.546065e-05,5.513887e-05,5.472871e-05,5.399522e-05,5.368699e-05,5.326139e-05,5.252829e-05,5.223549e-05,5.179694e-05,5.106825e-05,5.079223e-05,5.034308e-05,4.962221e-05,4.936388e-05,4.890634e-05,4.819612e-05,4.795604e-05,4.749214e-05,4.679494e-05,4.657335e-05,4.610501e-05,4.542278e-05,4.521967e-05,4.474864e-05,4.408294e-05,4.389810e-05,4.342599e-05,4.277806e-05,4.261111e-05,4.213940e-05,4.151021e-05,4.136063e-05,4.089067e-05,4.028093e-05,4.014812e-05,3.968112e-05,3.909134e-05,3.897459e-05,3.851166e-05,3.794216e-05,3.784073e-05,3.738286e-05,3.683379e-05,3.674689e-05,3.629495e-05,3.576635e-05,3.569316e-05,3.524795e-05,3.473971e-05,3.467941e-05,3.424161e-05,3.375356e-05,3.370531e-05,3.327552e-05,3.280740e-05,3.277038e-05,3.234912e-05,3.190058e-05,3.187398e-05,3.146169e-05,3.103235e-05,3.101537e-05,3.061244e-05,3.020185e-05,3.019373e-05,2.980046e-05,2.940815e-05,2.865767e-05,2.794127e-05,2.725792e-05,2.660656e-05,2.598611e-05,2.539548e-05,2.483359e-05,2.429936e-05,2.379174e-05,2.330967e-05,2.285211e-05,2.241806e-05,2.200653e-05,2.161656e-05,2.124721e-05,2.089757e-05,2.056677e-05,2.025394e-05,1.995826e-05,1.967895e-05,1.941523e-05,1.916636e-05,1.893164e-05,1.871039e-05,1.850195e-05,1.830570e-05,1.812103e-05,1.794737e-05,1.778416e-05,1.763088e-05,1.748703e-05,1.735212e-05,1.722569e-05,1.710730e-05,1.699654e-05,1.689300e-05,1.679630e-05,1.670608e-05,1.662200e-05,1.654372e-05,1.647093e-05,1.640333e-05,1.634064e-05,1.628259e-05,1.622891e-05,1.617937e-05,1.613374e-05,1.609178e-05,1.605330e-05
0.000000e+00,2.350202e-09,3.566907e-08,3.727697e-08,2.285497e-07,7.515552e-07,7.827247e-07,1.795502e-06,3.015049e-06,3.095858e-06,4.419977e-06,5.546615e-06,5.639353e-06,6.726150e-06,7.593045e-06,7.683168e-06,8.520181e-06,9.166077e-06,9.248000e-06,9.877021e-06,1.034634e-05,1.041689e-05,1.087644e-05,1.120633e-05,1.126376e-05,1.158622e-05,1.180694e-05,1.185050e-05,1.206270e-05,1.219867e-05,1.222832e-05,1.235236e-05,1.242318e-05,1.243935e-05,1.249336e-05,1.251463e-05,1.251807e-05,1.251682e-05,1.250095e-05,1.249260e-05,1.244811e-05,1.240491e-05,1.238580e-05,1.230784e-05,1.224502e-05,1.221620e-05,1.211267e-05,1.203628e-05,1.199882e-05,1.187609e-05,1.179085e-05,1.174576e-05,1.160899e-05,1.151855e-05,1.146679e-05,1.132010e-05,1.122726e-05,1.116974e-05,1.101645e-05,1.092335e-05,1.086089e-05,1.070364e-05,1.061187e-05,1.054523e-05,1.038613e-05,1.029688e-05,1.022674e-05,1.006744e-05,9.981572e-06,9.908552e-06,9.750355e-06,9.668452e-06,9.593105e-06,9.437022e-06,9.359479e-06,9.282299e-06,9.129105e-06,9.056159e-06,8.977586e-06,8.827866e-06,8.759629e-06,8.680054e-06,8.534240e-06,8.470736e-06,8.390503e-06,8.248905e-06,8.190085e-06,8.109500e-06,7.972330e-06,7.918095e-06,7.837426e-06,7.704814e-06,7.655026e-06,7.574510e-06,7.446525e-06,7.401019e-06,7.320862e-06,7.197522e-06,7.156114e-06,7.076498e-06,6.957782e-06,6.920279e-06,6.841361e-06,6.727219e-06,6.693418e-06,6.615337e-06,6.505694e-06,6.475392e-06,6.398267e-06,6.293030e-06,6.266024e-06,6.189957e-06,6.089021e-06,6.065111e-06,5.990192e-06,5.893440e-06,5.872430e-06,5.798735e-06,5.706045e-06,5.687747e-06,5.615340e-06,5.526585e-06,5.510814e-06,5.439750e-06,5.354802e-06,5.341383e-06,5.271708e-06,5.190435e-06,5.179200e-06,5.110951e-06,5.033223e-06,5.024012e-06,4.957219e-06,4.882907e-06,4.875568e-06,4.810256e-06,4.739233e-06,4.733620e-06,4.669807e-06,4.601948e-06,4.597925e-06,4.535624e-06,4.470806e-06,4.468244e-06,4.407464e-06,4.345569e-06,4.344346e-06,4.285091e-06,4.226002e-06,4.112995e-06,4.005111e-06,3.902144e-06,3.803895e-06,3.710172e-06,3.620789e-06,3.535569e-06,3.454339e-06,3.376933e-06,3.303192e-06,3.232964e-06,3.166100e-06,3.102460e-06,3.041907e-06,2.984311e-06,2.929547e-06,2.877493e-06,2.828035e-06,2.781062e-06,2.736466e-06,2.694147e-06,2.654004e-06,2.615946e-06,2.579880e-06,2.545721e-06,2.513385e-06,2.482793e-06,2.453867e-06,2.426535e-06,2.400726e-06,2.376372e-06,2.353408e-06,2.331773e-06,2.311406e-06,2.292251e-06,2.274252e-06,2.257357e-06,2.241516e-06,2.226679e-06,2.212802e-06,2.199838e-06,2.187746e-06,2.176485e-06,2.166014e-06,2.156298e-06,2.147298e-06,2.138981e-06,2.131314e-06,2.124265e-06
0.000000e+00,9.581303e-09,1.344140e-07,1.399623e-07,7.693981e-07,2.557943e-06,2.669227e-06,6.575246e-06,1.209120e-05,1.249066e-05,1.960795e-05,2.629091e-05,2.685326e-05,3.341700e-05,3.844469e-05,3.894935e-05,4.342809e-05,4.658206e-05,4.696039e-05,4.967996e-05,5.146577e-05,5.171350e-05,5.317255e-05,5.402469e-05,5.415289e-05,5.473593e-05,5.496623e-05,5.499056e-05,5.497481e-05,5.480068e-05,5.473760e-05,5.432002e-05,5.389149e-05,5.375656e-05,5.307612e-05,5.249578e-05,5.230288e-05,5.145706e-05,5.079446e-05,5.055554e-05,4.961239e-05,4.891419e-05,4.863930e-05,4.764600e-05,4.694303e-05,4.664053e-05,4.562956e-05,4.494178e-05,4.461854e-05,4.361196e-05,4.295188e-05,4.261351e-05,4.162615e-05,4.100119e-05,4.065228e-05,3.969381e-05,3.910796e-05,3.875223e-05,3.782871e-05,3.728363e-05,3.692411e-05,3.603910e-05,3.553494e-05,3.517411e-05,3.432942e-05,3.386532e-05,3.350518e-05,3.270143e-05,3.227591e-05,3.191811e-05,3.115508e-05,3.076627e-05,3.041216e-05,2.968909e-05,2.933491e-05,2.898559e-05,2.830134e-05,2.797964e-05,2.763601e-05,2.698921e-05,2.669781e-05,2.636059e-05,2.574975e-05,2.548651e-05,2.515629e-05,2.457982e-05,2.434267e-05,2.401993e-05,2.347623e-05,2.326319e-05,2.294831e-05,2.243578e-05,2.224497e-05,2.193823e-05,2.145529e-05,2.128494e-05,2.098657e-05,2.053170e-05,2.038012e-05,2.009029e-05,1.966199e-05,1.952764e-05,1.924644e-05,1.884328e-05,1.872471e-05,1.845219e-05,1.807283e-05,1.796866e-05,1.770486e-05,1.734797e-05,1.725695e-05,1.700184e-05,1.666618e-05,1.658715e-05,1.634069e-05,1.602508e-05,1.595694e-05,1.571906e-05,1.542237e-05,1.536412e-05,1.513473e-05,1.485589e-05,1.480661e-05,1.458559e-05,1.432358e-05,1.428242e-05,1.406964e-05,1.382351e-05,1.378967e-05,1.358498e-05,1.335383e-05,1.332658e-05,1.312984e-05,1.291280e-05,1.289147e-05,1.270250e-05,1.249876e-05,1.248274e-05,1.230138e-05,1.211016e-05,1.209888e-05,1.192494e-05,1.174553e-05,1.173848e-05,1.157177e-05,1.140348e-05,1.140017e-05,1.124051e-05,1.108270e-05,1.078484e-05,1.050548e-05,1.024353e-05,9.997982e-06,9.767882e-06,9.552326e-06,9.350463e-06,9.161490e-06,8.984648e-06,8.819222e-06,8.664539e-06,8.519963e-06,8.384895e-06,8.258768e-06,8.141049e-06,8.031238e-06,7.928860e-06,7.833468e-06,7.744643e-06,7.661988e-06,7.585129e-06,7.513715e-06,7.447414e-06,7.385914e-06,7.328921e-06,7.276158e-06,7.227364e-06,7.182294e-06,7.140716e-06,7.102413e-06,7.067180e-06,7.034824e-06,7.005163e-06,6.978027e-06,6.953254e-06,6.930694e-06,6.910204e-06,6.891650e-06,6.874908e-06,6.859857e-06,6.846388e-06,6.834395e-06,6.823781e-06,6.814452e-06,6.806323e-06,6.799311e-06,6.793340e-06,6.788338e-06,6.784238e-06
0.000000e+00,1.642396e-09,3.652881e-08,3.841208e-08,2.895015e-07,9.524413e-07,9.877675e-07,1.942109e-06,2.858729e-06,2.916414e-06,3.857265e-06,4.685977e-06,4.756333e-06,5.612908e-06,6.348124e-06,6.427761e-06,7.201938e-06,7.850429e-06,7.936525e-06,8.632613e-06,9.201300e-06,9.291308e-06,9.913741e-06,1.040940e-05,1.050106e-05,1.105445e-05,1.148374e-05,1.157509e-05,1.206415e-05,1.243347e-05,1.252283e-05,1.295229e-05,1.326771e-05,1.335367e-05,1.372809e-05,1.399530e-05,1.407666e-05,1.440043e-05,1.462466e-05,1.470044e-05,1.497769e-05,1.516376e-05,1.523315e-05,1.546776e-05,1.562007e-05,1.568243e-05,1.587803e-05,1.600057e-05,1.605540e-05,1.621536e-05,1.631179e-05,1.635871e-05,1.648618e-05,1.655977e-05,1.659851e-05,1.669641e-05,1.675016e-05,1.678055e-05,1.685158e-05,1.688817e-05,1.691013e-05,1.695679e-05,1.697864e-05,1.699215e-05,1.701677e-05,1.702607e-05,1.703118e-05,1.703590e-05,1.703459e-05,1.703142e-05,1.701821e-05,1.700805e-05,1.699674e-05,1.696744e-05,1.694998e-05,1.693073e-05,1.688702e-05,1.686366e-05,1.683669e-05,1.678012e-05,1.675210e-05,1.671766e-05,1.664967e-05,1.661808e-05,1.657646e-05,1.649835e-05,1.646415e-05,1.641564e-05,1.632863e-05,1.629268e-05,1.623759e-05,1.614279e-05,1.610583e-05,1.604447e-05,1.594290e-05,1.590557e-05,1.583829e-05,1.573087e-05,1.569375e-05,1.562086e-05,1.550846e-05,1.547201e-05,1.539386e-05,1.527725e-05,1.524191e-05,1.515882e-05,1.503873e-05,1.500483e-05,1.491714e-05,1.479422e-05,1.476205e-05,1.467010e-05,1.454493e-05,1.451475e-05,1.441885e-05,1.429198e-05,1.426397e-05,1.416444e-05,1.403636e-05,1.401069e-05,1.390785e-05,1.377900e-05,1.375578e-05,1.364993e-05,1.352072e-05,1.350004e-05,1.339147e-05,1.326227e-05,1.324419e-05,1.313319e-05,1.300431e-05,1.298887e-05,1.287572e-05,1.274747e-05,1.273466e-05,1.261963e-05,1.249226e-05,1.248210e-05,1.236544e-05,1.223920e-05,1.223164e-05,1.211360e-05,1.198870e-05,1.198372e-05,1.186454e-05,1.174115e-05,1.173869e-05,1.161859e-05,1.149690e-05,1.125862e-05,1.102411e-05,1.079359e-05,1.056724e-05,1.034524e-05,1.012771e-05,9.914770e-06,9.706506e-06,9.502992e-06,9.304281e-06,9.110410e-06,8.921402e-06,8.737266e-06,8.558001e-06,8.383593e-06,8.214020e-06,8.049248e-06,7.889240e-06,7.733948e-06,7.583321e-06,7.437299e-06,7.295819e-06,7.158815e-06,7.026216e-06,6.897947e-06,6.773931e-06,6.654090e-06,6.538342e-06,6.426605e-06,6.318794e-06,6.214826e-06,6.114614e-06,6.018073e-06,5.925116e-06,5.835657e-06,5.749611e-06,5.666891e-06,5.587413e-06,5.511092e-06,5.437843e-06,5.367584e-06,5.300232e-06,5.235706e-06,5.173926e-06,5.114813e-06,5.058289e-06,5.004276e-06,4.952700e-06,4.903487e-06
0.000000e+00,2.232579e-09,1.014760e-07,1.075923e-07,1.239020e-06,6.813175e-06,7.237928e-06,2.618293e-05,6.262003e-05,6.558921e-05,1.240696e-04,1.870189e-04,1.926568e-04,2.629989e-04,3.240009e-04,3.305694e-04,3.936246e-04,4.450222e-04,4.517342e-04,5.049650e-04,5.470128e-04,5.535436e-04,5.977381e-04,6.316719e-04,6.378195e-04,6.740507e-04,7.010635e-04,7.066824e-04,7.359531e-04,7.571017e-04,7.620883e-04,7.853011e-04,8.015082e-04,8.057926e-04,8.237523e-04,8.358185e-04,8.393585e-04,8.527791e-04,8.613961e-04,8.641714e-04,8.736828e-04,8.794445e-04,8.814518e-04,8.876081e-04,8.910232e-04,8.922730e-04,8.955602e-04,8.970631e-04,8.975761e-04,8.984201e-04,8.983807e-04,8.981853e-04,8.969586e-04,8.956907e-04,8.948212e-04,8.918492e-04,8.896186e-04,8.881132e-04,8.836796e-04,8.807104e-04,8.786100e-04,8.729620e-04,8.694425e-04,8.667894e-04,8.601421e-04,8.562298e-04,8.530668e-04,8.456070e-04,8.414331e-04,8.378030e-04,8.296926e-04,8.253657e-04,8.213106e-04,8.126896e-04,8.082991e-04,8.038599e-04,7.948495e-04,7.904680e-04,7.856844e-04,7.763888e-04,7.720752e-04,7.669850e-04,7.574937e-04,7.532948e-04,7.479341e-04,7.383240e-04,7.342766e-04,7.286796e-04,7.190160e-04,7.151484e-04,7.093472e-04,6.996860e-04,6.960192e-04,6.900441e-04,6.804323e-04,6.769814e-04,6.708605e-04,6.613378e-04,6.581128e-04,6.518724e-04,6.424720e-04,6.394786e-04,6.331432e-04,6.238924e-04,6.211332e-04,6.147251e-04,6.056465e-04,6.031210e-04,5.966611e-04,5.877730e-04,5.854785e-04,5.789858e-04,5.703027e-04,5.682346e-04,5.617266e-04,5.532599e-04,5.514121e-04,5.449048e-04,5.366631e-04,5.350285e-04,5.285364e-04,5.205259e-04,5.190964e-04,5.126327e-04,5.048575e-04,5.036245e-04,4.972010e-04,4.896636e-04,4.886178e-04,4.822454e-04,4.749466e-04,4.740788e-04,4.677671e-04,4.607066e-04,4.600071e-04,4.537647e-04,4.469411e-04,4.464003e-04,4.402350e-04,4.336459e-04,4.332542e-04,4.271729e-04,4.208152e-04,4.205632e-04,4.145718e-04,4.084418e-04,4.083203e-04,4.024241e-04,3.965176e-04,3.851461e-04,3.741966e-04,3.636589e-04,3.535226e-04,3.437772e-04,3.344116e-04,3.254150e-04,3.167762e-04,3.084842e-04,3.005281e-04,2.928970e-04,2.855801e-04,2.785668e-04,2.718468e-04,2.654098e-04,2.592460e-04,2.533455e-04,2.476988e-04,2.422968e-04,2.371304e-04,2.321910e-04,2.274699e-04,2.229591e-04,2.186506e-04,2.145365e-04,2.106096e-04,2.068625e-04,2.032883e-04,1.998803e-04,1.966319e-04,1.935369e-04,1.905892e-04,1.877830e-04,1.851126e-04,1.825727e-04,1.801579e-04,1.778632e-04,1.756838e-04,1.736150e-04,1.716523e-04,1.697913e-04,1.680278e-04,1.663579e-04,1.647776e-04,1.632833e-04,1.618713e-04,1.605383e-04,1.592807e-04,1.580956e-04
0.000000e+00,6.799561e-10,1.055921e-08,1.104358e-08,6.948173e-08,2.225766e-07,2.311853e-07,4.800173e-07,7.313211e-07,7.471487e-07,1.003013e-06,1.223302e-06,1.241745e-06,1.462761e-06,1.646934e-06,1.666559e-06,1.853863e-06,2.005651e-06,2.025434e-06,2.182037e-06,2.305321e-06,2.324428e-06,2.453358e-06,2.551800e-06,2.569570e-06,2.673796e-06,2.750812e-06,2.766740e-06,2.849093e-06,2.907796e-06,2.921518e-06,2.984656e-06,3.027851e-06,3.039118e-06,3.085486e-06,3.115655e-06,3.124315e-06,3.156130e-06,3.175451e-06,3.181429e-06,3.200683e-06,3.211053e-06,3.214337e-06,3.222809e-06,3.225870e-06,3.226497e-06,3.225771e-06,3.222937e-06,3.220983e-06,3.212462e-06,3.204945e-06,3.200518e-06,3.185442e-06,3.174276e-06,3.167506e-06,3.146967e-06,3.133032e-06,3.124066e-06,3.099026e-06,3.083064e-06,3.072058e-06,3.043360e-06,3.025995e-06,3.013115e-06,2.981496e-06,2.963248e-06,2.948662e-06,2.914763e-06,2.896065e-06,2.879940e-06,2.844321e-06,2.825526e-06,2.808028e-06,2.771173e-06,2.752568e-06,2.733861e-06,2.696187e-06,2.678002e-06,2.658242e-06,2.620108e-06,2.602524e-06,2.581861e-06,2.543574e-06,2.526731e-06,2.505310e-06,2.467129e-06,2.451131e-06,2.429086e-06,2.391232e-06,2.376154e-06,2.353613e-06,2.316270e-06,2.302161e-06,2.279242e-06,2.242564e-06,2.229451e-06,2.206266e-06,2.170376e-06,2.158271e-06,2.134921e-06,2.099922e-06,2.088822e-06,2.065399e-06,2.031371e-06,2.021261e-06,1.997852e-06,1.964857e-06,1.955713e-06,1.932395e-06,1.900478e-06,1.892270e-06,1.869113e-06,1.838307e-06,1.830997e-06,1.808065e-06,1.778390e-06,1.771937e-06,1.749285e-06,1.720751e-06,1.715113e-06,1.692790e-06,1.665399e-06,1.660530e-06,1.638579e-06,1.612327e-06,1.608179e-06,1.586639e-06,1.561512e-06,1.558039e-06,1.536942e-06,1.512924e-06,1.510078e-06,1.489452e-06,1.466521e-06,1.464258e-06,1.444125e-06,1.422257e-06,1.420531e-06,1.400911e-06,1.380078e-06,1.378844e-06,1.359752e-06,1.339925e-06,1.339142e-06,1.320589e-06,1.301736e-06,1.301363e-06,1.283358e-06,1.265446e-06,1.231326e-06,1.198936e-06,1.168211e-06,1.139085e-06,1.111492e-06,1.085367e-06,1.060645e-06,1.037264e-06,1.015161e-06,9.942782e-07,9.745561e-07,9.559386e-07,9.383712e-07,9.218014e-07,9.061783e-07,8.914533e-07,8.775796e-07,8.645124e-07,8.522087e-07,8.406276e-07,8.297298e-07,8.194781e-07,8.098369e-07,8.007722e-07,7.922518e-07,7.842452e-07,7.767230e-07,7.696579e-07,7.630235e-07,7.567951e-07,7.509491e-07,7.454633e-07,7.403166e-07,7.354891e-07,7.309620e-07,7.267175e-07,7.227387e-07,7.190098e-07,7.155159e-07,7.122428e-07,7.091772e-07,7.063065e-07,7.036189e-07,7.011033e-07,6.987491e-07,6.965465e-07,6.944861e-07,6.925592e-07,6.907575e-07
0.000000e+00,5.606823e-10,3.367999e-08,3.586718e-08,5.005985e-07,3.267579e-06,3.496060e-06,1.506599e-05,4.223502e-05,4.468241e-05,9.957885e-05,1.728365e-04,1.801145e-04,2.805465e-04,3.809148e-04,3.923583e-04,5.071295e-04,6.051437e-04,6.180825e-04,7.205452e-04,7.997511e-04,8.117927e-04,8.906334e-04,9.471680e-04,9.569563e-04,1.011340e-03,1.047699e-03,1.054755e-03,1.088354e-03,1.108971e-03,1.113335e-03,1.130859e-03,1.140048e-03,1.142004e-03,1.147740e-03,1.149017e-03,1.148929e-03,1.146322e-03,1.142333e-03,1.140567e-03,1.132221e-03,1.124878e-03,1.121760e-03,1.109586e-03,1.100230e-03,1.096041e-03,1.081413e-03,1.070972e-03,1.065944e-03,1.049838e-03,1.038942e-03,1.033265e-03,1.016367e-03,1.005438e-03,9.992640e-04,9.820536e-04,9.713659e-04,9.648179e-04,9.476245e-04,9.373523e-04,9.305290e-04,9.135768e-04,9.038251e-04,8.968049e-04,8.802435e-04,8.710701e-04,8.639165e-04,8.478430e-04,8.392741e-04,8.320379e-04,8.165122e-04,8.085521e-04,8.012742e-04,7.863298e-04,7.789690e-04,7.716828e-04,7.573352e-04,7.505549e-04,7.432877e-04,7.295399e-04,7.233161e-04,7.160902e-04,7.029364e-04,6.972417e-04,6.900755e-04,6.775042e-04,6.723096e-04,6.652184e-04,6.532140e-04,6.484901e-04,6.414866e-04,6.300313e-04,6.257486e-04,6.188433e-04,6.079178e-04,6.040478e-04,5.972495e-04,5.868335e-04,5.833486e-04,5.766646e-04,5.667377e-04,5.636114e-04,5.570477e-04,5.475895e-04,5.447965e-04,5.383581e-04,5.293485e-04,5.268649e-04,5.205558e-04,5.119751e-04,5.097783e-04,5.036017e-04,4.954309e-04,4.934995e-04,4.874580e-04,4.796784e-04,4.779924e-04,4.720878e-04,4.646816e-04,4.632222e-04,4.574558e-04,4.504059e-04,4.491553e-04,4.435280e-04,4.368179e-04,4.357596e-04,4.302717e-04,4.238856e-04,4.230041e-04,4.176557e-04,4.115783e-04,4.108591e-04,4.056499e-04,3.998668e-04,3.992964e-04,3.942256e-04,3.887230e-04,3.882886e-04,3.833555e-04,3.781200e-04,3.778100e-04,3.730133e-04,3.680323e-04,3.678356e-04,3.631739e-04,3.584353e-04,3.583417e-04,3.538136e-04,3.493058e-04,3.407062e-04,3.325223e-04,3.247344e-04,3.173238e-04,3.102725e-04,3.035635e-04,2.971805e-04,2.911081e-04,2.853313e-04,2.798361e-04,2.746091e-04,2.696374e-04,2.649090e-04,2.604120e-04,2.561356e-04,2.520691e-04,2.482024e-04,2.445261e-04,2.410309e-04,2.377082e-04,2.345498e-04,2.315477e-04,2.286945e-04,2.259830e-04,2.234063e-04,2.209581e-04,2.186322e-04,2.164226e-04,2.143238e-04,2.123304e-04,2.104374e-04,2.086400e-04,2.069335e-04,2.053136e-04,2.037761e-04,2.023171e-04,2.009326e-04,1.996193e-04,1.983735e-04,1.971922e-04,1.960720e-04,1.950102e-04,1.940039e-04,1.930503e-04,1.921470e-04,1.912915e-04,1.904815e-04,1.897148e-04,1.889893e-04
0.000000e+00,7.339820e-09,2.927208e-07,3.094335e-07,3.152844e-06,1.645703e-05,1.746380e-05,6.243876e-05,1.498975e-04,1.570782e-04,2.999560e-04,4.565226e-04,4.706792e-04,6.492181e-04,8.071545e-04,8.243494e-04,9.914737e-04,1.130742e-03,1.149151e-03,1.297153e-03,1.416838e-03,1.435670e-03,1.565027e-03,1.666872e-03,1.685585e-03,1.797718e-03,1.883641e-03,1.901797e-03,1.998190e-03,2.070012e-03,2.087256e-03,2.169347e-03,2.228754e-03,2.244802e-03,2.313953e-03,2.362487e-03,2.377118e-03,2.434603e-03,2.473659e-03,2.486703e-03,2.533702e-03,2.564535e-03,2.575870e-03,2.613468e-03,2.637200e-03,2.646744e-03,2.675935e-03,2.693568e-03,2.701269e-03,2.722962e-03,2.735386e-03,2.741221e-03,2.756244e-03,2.764248e-03,2.768220e-03,2.777327e-03,2.781608e-03,2.783737e-03,2.787612e-03,2.788787e-03,2.789110e-03,2.788377e-03,2.786985e-03,2.785554e-03,2.780775e-03,2.777293e-03,2.774168e-03,2.765855e-03,2.760697e-03,2.755950e-03,2.744563e-03,2.738091e-03,2.731799e-03,2.717756e-03,2.710285e-03,2.702529e-03,2.686207e-03,2.678008e-03,2.668874e-03,2.650612e-03,2.641920e-03,2.631495e-03,2.611597e-03,2.602612e-03,2.590986e-03,2.569727e-03,2.560620e-03,2.547882e-03,2.525508e-03,2.516423e-03,2.502661e-03,2.479392e-03,2.470450e-03,2.455751e-03,2.431785e-03,2.423086e-03,2.407537e-03,2.383049e-03,2.374675e-03,2.358359e-03,2.333505e-03,2.325523e-03,2.308522e-03,2.283441e-03,2.275902e-03,2.258294e-03,2.233109e-03,2.226055e-03,2.207914e-03,2.182734e-03,2.176193e-03,2.157593e-03,2.132513e-03,2.126505e-03,2.107514e-03,2.082618e-03,2.077156e-03,2.057841e-03,2.033200e-03,2.028290e-03,2.008712e-03,1.984391e-03,1.980032e-03,1.960251e-03,1.936303e-03,1.932490e-03,1.912561e-03,1.889034e-03,1.885758e-03,1.865732e-03,1.842665e-03,1.839913e-03,1.819840e-03,1.797265e-03,1.795022e-03,1.774948e-03,1.752893e-03,1.751140e-03,1.731107e-03,1.709594e-03,1.708312e-03,1.688360e-03,1.667407e-03,1.666575e-03,1.646739e-03,1.626359e-03,1.625955e-03,1.606270e-03,1.586473e-03,1.548144e-03,1.510975e-03,1.474971e-03,1.440129e-03,1.406445e-03,1.373910e-03,1.342512e-03,1.312236e-03,1.283067e-03,1.254986e-03,1.227971e-03,1.202002e-03,1.177056e-03,1.153108e-03,1.130135e-03,1.108111e-03,1.087010e-03,1.066806e-03,1.047474e-03,1.028988e-03,1.011320e-03,9.944452e-04,9.783376e-04,9.629715e-04,9.483214e-04,9.343625e-04,9.210700e-04,9.084199e-04,8.963884e-04,8.849523e-04,8.740887e-04,8.637755e-04,8.539911e-04,8.447142e-04,8.359242e-04,8.276012e-04,8.197256e-04,8.122785e-04,8.052416e-04,7.985970e-04,7.923275e-04,7.864164e-04,7.808475e-04,7.756052e-04,7.706744e-04,7.660404e-04,7.616892e-04,7.576072e-04,7.537813e-04
0.000000e+00,1.061796e-09,6.977803e-08,7.442005e-08,1.099375e-06,7.407318e-06,7.933328e-06,3.492759e-05,1.001521e-04,1.061499e-04,2.461386e-04,4.494403e-04,4.706819e-04,7.837217e-04,1.135917e-03,1.178760e-03,1.642058e-03,2.092260e-03,2.155981e-03,2.701749e-03,3.182831e-03,3.261395e-03,3.818971e-03,4.275906e-03,4.361154e-03,4.877435e-03,5.275909e-03,5.360019e-03,5.803565e-03,6.128061e-03,6.204841e-03,6.562360e-03,6.810736e-03,6.876010e-03,7.146738e-03,7.324823e-03,7.376266e-03,7.566850e-03,7.684330e-03,7.721089e-03,7.841768e-03,7.909480e-03,7.931743e-03,7.993851e-03,8.022225e-03,8.030846e-03,8.045357e-03,8.043650e-03,8.039855e-03,8.016640e-03,7.992653e-03,7.977835e-03,7.925384e-03,7.885478e-03,7.861057e-03,7.786456e-03,7.735683e-03,7.703025e-03,7.612062e-03,7.554357e-03,7.514729e-03,7.412066e-03,7.350448e-03,7.304997e-03,7.194346e-03,7.131093e-03,7.080845e-03,6.965140e-03,6.901949e-03,6.847807e-03,6.729351e-03,6.667461e-03,6.610219e-03,6.490807e-03,6.431105e-03,6.371460e-03,6.252481e-03,6.195582e-03,6.134138e-03,6.016662e-03,5.962971e-03,5.900256e-03,5.785094e-03,5.734858e-03,5.671329e-03,5.559090e-03,5.512433e-03,5.448489e-03,5.339620e-03,5.296575e-03,5.232562e-03,5.127382e-03,5.087917e-03,5.024132e-03,4.922855e-03,4.886886e-03,4.823585e-03,4.726346e-03,4.693751e-03,4.631155e-03,4.538023e-03,4.508656e-03,4.446953e-03,4.357946e-03,4.331645e-03,4.270995e-03,4.186091e-03,4.162683e-03,4.103221e-03,4.022367e-03,4.001673e-03,3.943511e-03,3.866630e-03,3.848470e-03,3.791700e-03,3.718696e-03,3.702891e-03,3.647591e-03,3.578354e-03,3.564728e-03,3.510957e-03,3.445368e-03,3.433752e-03,3.381556e-03,3.319489e-03,3.309718e-03,3.259133e-03,3.200456e-03,3.192373e-03,3.143424e-03,3.088004e-03,3.081460e-03,3.034162e-03,2.981865e-03,2.976719e-03,2.931078e-03,2.881770e-03,2.877888e-03,2.833906e-03,2.787454e-03,2.784711e-03,2.742381e-03,2.698655e-03,2.696933e-03,2.656244e-03,2.615118e-03,2.614308e-03,2.575244e-03,2.536593e-03,2.463552e-03,2.394959e-03,2.330593e-03,2.270242e-03,2.213701e-03,2.160775e-03,2.111276e-03,2.065024e-03,2.021847e-03,1.981579e-03,1.944064e-03,1.909152e-03,1.876699e-03,1.846569e-03,1.818633e-03,1.792765e-03,1.768848e-03,1.746770e-03,1.726425e-03,1.707710e-03,1.690530e-03,1.674791e-03,1.660408e-03,1.647298e-03,1.635380e-03,1.624582e-03,1.614831e-03,1.606061e-03,1.598207e-03,1.591208e-03,1.585008e-03,1.579551e-03,1.574786e-03,1.570663e-03,1.567137e-03,1.564162e-03,1.561698e-03,1.559705e-03,1.558145e-03,1.556984e-03,1.556188e-03,1.555725e-03,1.555567e-03,1.555684e-03,1.556051e-03,1.556642e-03,1.557435e-03,1.558407e-03,1.559538e-03
0.000000e+00,3.782599e-09,6.635807e-08,6.944907e-08,4.327052e-07,1.357776e-06,1.410193e-06,2.981709e-06,4.641819e-06,4.746820e-06,6.431756e-06,7.851550e-06,7.968827e-06,9.353179e-06,1.047504e-05,1.059277e-05,1.169773e-05,1.256683e-05,1.267825e-05,1.354406e-05,1.420391e-05,1.430432e-05,1.496766e-05,1.545588e-05,1.554213e-05,1.603524e-05,1.638379e-05,1.645397e-05,1.680480e-05,1.704062e-05,1.709372e-05,1.732629e-05,1.747188e-05,1.750762e-05,1.764245e-05,1.771650e-05,1.773512e-05,1.778966e-05,1.780764e-05,1.780974e-05,1.779876e-05,1.777338e-05,1.775984e-05,1.769584e-05,1.763754e-05,1.760940e-05,1.750292e-05,1.742021e-05,1.737862e-05,1.723852e-05,1.713831e-05,1.708449e-05,1.691821e-05,1.680610e-05,1.674125e-05,1.655502e-05,1.643548e-05,1.636082e-05,1.615984e-05,1.603644e-05,1.595314e-05,1.574171e-05,1.561727e-05,1.552645e-05,1.530815e-05,1.518486e-05,1.508756e-05,1.486534e-05,1.474487e-05,1.464209e-05,1.441835e-05,1.430198e-05,1.419462e-05,1.397134e-05,1.386000e-05,1.374891e-05,1.352767e-05,1.342199e-05,1.330795e-05,1.309002e-05,1.299045e-05,1.287414e-05,1.266053e-05,1.256731e-05,1.244938e-05,1.224087e-05,1.215411e-05,1.203514e-05,1.183232e-05,1.175203e-05,1.163252e-05,1.143583e-05,1.136192e-05,1.124233e-05,1.105208e-05,1.098440e-05,1.086514e-05,1.068154e-05,1.061988e-05,1.050131e-05,1.032446e-05,1.026859e-05,1.015102e-05,9.980980e-06,9.930631e-06,9.814339e-06,9.651086e-06,9.605981e-06,9.491206e-06,9.334678e-06,9.294527e-06,9.181476e-06,9.031572e-06,8.996081e-06,8.884931e-06,8.741520e-06,8.710398e-06,8.601298e-06,8.464225e-06,8.437185e-06,8.330258e-06,8.199353e-06,8.176112e-06,8.071463e-06,7.946540e-06,7.926824e-06,7.824536e-06,7.705402e-06,7.688950e-06,7.589088e-06,7.475543e-06,7.462102e-06,7.364717e-06,7.256558e-06,7.245887e-06,7.151015e-06,7.048038e-06,7.039909e-06,6.947574e-06,6.849574e-06,6.843771e-06,6.753987e-06,6.660762e-06,6.657081e-06,6.569850e-06,6.481202e-06,6.479452e-06,6.394768e-06,6.310502e-06,6.149860e-06,5.997164e-06,5.852063e-06,5.714215e-06,5.583293e-06,5.458978e-06,5.340965e-06,5.228959e-06,5.122679e-06,5.021853e-06,4.926223e-06,4.835539e-06,4.749564e-06,4.668071e-06,4.590843e-06,4.517671e-06,4.448359e-06,4.382716e-06,4.320564e-06,4.261730e-06,4.206051e-06,4.153370e-06,4.103539e-06,4.056417e-06,4.011868e-06,3.969764e-06,3.929984e-06,3.892410e-06,3.856932e-06,3.823444e-06,3.791848e-06,3.762046e-06,3.733948e-06,3.707469e-06,3.682525e-06,3.659040e-06,3.636937e-06,3.616148e-06,3.596604e-06,3.578242e-06,3.561001e-06,3.544823e-06,3.529654e-06,3.515441e-06,3.502134e-06,3.489687e-06,3.478053e-06,3.467192e-06,3.457061e-06
0.000000e+00,8.750508e-10,5.765239e-08,6.145175e-08,8.868270e-07,6.151838e-06,6.606234e-06,3.219951e-05,1.064987e-04,1.140151e-04,3.145010e-04,6.741459e-04,7.157463e-04,1.407810e-03,2.351910e-03,2.478309e-03,4.005075e-03,5.776902e-03,6.051650e-03,8.664994e-03,1.138887e-02,1.187481e-02,1.569400e-02,1.937151e-02,2.011989e-02,2.513593e-02,2.966979e-02,3.071362e-02,3.681455e-02,4.204116e-02,4.339247e-02,5.039515e-02,5.611597e-02,5.776625e-02,6.544687e-02,7.145424e-02,7.337701e-02,8.149676e-02,8.759283e-02,8.974737e-02,9.807208e-02,1.040812e-01,1.064168e-01,1.147305e-01,1.205063e-01,1.229660e-01,1.310798e-01,1.365073e-01,1.390323e-01,1.467881e-01,1.517837e-01,1.543158e-01,1.615880e-01,1.660971e-01,1.685812e-01,1.752756e-01,1.792688e-01,1.816549e-01,1.877062e-01,1.911753e-01,1.934195e-01,1.987878e-01,2.017415e-01,2.038067e-01,2.084741e-01,2.109343e-01,2.127901e-01,2.167568e-01,2.187549e-01,2.203779e-01,2.236587e-01,2.252322e-01,2.266055e-01,2.292262e-01,2.304169e-01,2.315293e-01,2.335243e-01,2.343753e-01,2.352211e-01,2.366304e-01,2.371852e-01,2.377632e-01,2.386306e-01,2.389312e-01,2.392442e-01,2.396156e-01,2.397021e-01,2.397563e-01,2.396780e-01,2.395879e-01,2.393921e-01,2.389100e-01,2.386776e-01,2.382428e-01,2.374015e-01,2.370581e-01,2.363967e-01,2.352390e-01,2.348123e-01,2.339384e-01,2.325047e-01,2.320193e-01,2.309474e-01,2.292757e-01,2.287532e-01,2.274983e-01,2.256238e-01,2.250827e-01,2.236603e-01,2.216156e-01,2.210716e-01,2.194971e-01,2.173119e-01,2.167783e-01,2.150668e-01,2.127684e-01,2.122561e-01,2.104226e-01,2.080355e-01,2.075536e-01,2.056126e-01,2.031590e-01,2.027145e-01,2.006799e-01,1.981798e-01,1.977782e-01,1.956633e-01,1.931346e-01,1.927798e-01,1.905975e-01,1.880559e-01,1.877508e-01,1.855133e-01,1.829729e-01,1.827191e-01,1.804378e-01,1.779109e-01,1.777092e-01,1.753949e-01,1.728924e-01,1.727427e-01,1.704056e-01,1.679368e-01,1.678385e-01,1.654881e-01,1.630612e-01,1.630129e-01,1.606580e-01,1.582800e-01,1.536519e-01,1.491386e-01,1.447488e-01,1.404892e-01,1.363656e-01,1.323823e-01,1.285426e-01,1.248486e-01,1.213019e-01,1.179029e-01,1.146517e-01,1.115474e-01,1.085889e-01,1.057743e-01,1.031015e-01,1.005679e-01,9.817064e-02,9.590659e-02,9.377234e-02,9.176431e-02,8.987871e-02,8.811164e-02,8.645910e-02,8.491696e-02,8.348105e-02,8.214717e-02,8.091107e-02,7.976849e-02,7.871520e-02,7.774697e-02,7.685962e-02,7.604901e-02,7.531105e-02,7.464172e-02,7.403709e-02,7.349329e-02,7.300656e-02,7.257324e-02,7.218975e-02,7.185264e-02,7.155856e-02,7.130428e-02,7.108669e-02,7.090279e-02,7.074973e-02,7.062476e-02,7.052525e-02,7.044872e-02,7.039280e-02
0.000000e+00,8.383976e-10,1.507513e-08,1.578953e-08,9.958855e-08,2.928642e-07,3.028219e-07,5.662081e-07,8.091571e-07,8.241196e-07,1.062817e-06,1.264800e-06,1.281590e-06,1.481466e-06,1.646208e-06,1.663668e-06,1.829409e-06,1.962572e-06,1.979855e-06,2.116114e-06,2.222754e-06,2.239238e-06,2.350214e-06,2.434723e-06,2.449965e-06,2.539354e-06,2.605487e-06,2.619185e-06,2.690202e-06,2.741136e-06,2.753097e-06,2.808511e-06,2.846923e-06,2.857037e-06,2.899224e-06,2.927361e-06,2.935581e-06,2.966576e-06,2.986318e-06,2.992645e-06,3.014189e-06,3.027108e-06,3.031578e-06,3.045156e-06,3.052562e-06,3.055238e-06,3.062117e-06,3.065103e-06,3.066062e-06,3.067324e-06,3.066799e-06,3.066131e-06,3.062697e-06,3.059414e-06,3.057217e-06,3.049871e-06,3.044454e-06,3.040827e-06,3.030238e-06,3.023203e-06,3.018247e-06,3.004984e-06,2.996757e-06,2.990570e-06,2.975116e-06,2.966046e-06,2.958725e-06,2.941491e-06,2.931865e-06,2.923502e-06,2.904837e-06,2.894890e-06,2.885571e-06,2.865773e-06,2.855693e-06,2.845503e-06,2.824821e-06,2.814763e-06,2.803780e-06,2.782427e-06,2.772513e-06,2.760808e-06,2.738966e-06,2.729294e-06,2.716937e-06,2.694756e-06,2.685403e-06,2.672457e-06,2.650067e-06,2.641092e-06,2.627615e-06,2.605124e-06,2.596573e-06,2.582619e-06,2.560118e-06,2.552023e-06,2.537642e-06,2.515208e-06,2.507593e-06,2.492831e-06,2.470527e-06,2.463407e-06,2.448309e-06,2.426188e-06,2.419572e-06,2.404175e-06,2.382282e-06,2.376174e-06,2.360516e-06,2.338885e-06,2.333284e-06,2.317398e-06,2.296060e-06,2.290962e-06,2.274879e-06,2.253858e-06,2.249255e-06,2.233003e-06,2.212318e-06,2.208202e-06,2.191807e-06,2.171474e-06,2.167833e-06,2.151320e-06,2.131350e-06,2.128172e-06,2.111564e-06,2.091965e-06,2.089236e-06,2.072555e-06,2.053334e-06,2.051040e-06,2.034303e-06,2.015465e-06,2.013591e-06,1.996818e-06,1.978364e-06,1.976896e-06,1.960102e-06,1.942034e-06,1.940956e-06,1.924158e-06,1.906474e-06,1.905771e-06,1.888983e-06,1.871684e-06,1.871339e-06,1.854575e-06,1.837657e-06,1.804717e-06,1.772515e-06,1.741041e-06,1.710287e-06,1.680243e-06,1.650901e-06,1.622248e-06,1.594275e-06,1.566970e-06,1.540323e-06,1.514321e-06,1.488953e-06,1.464208e-06,1.440074e-06,1.416540e-06,1.393594e-06,1.371225e-06,1.349421e-06,1.328171e-06,1.307464e-06,1.287289e-06,1.267636e-06,1.248493e-06,1.229850e-06,1.211696e-06,1.194022e-06,1.176817e-06,1.160072e-06,1.143776e-06,1.127920e-06,1.112494e-06,1.097490e-06,1.082898e-06,1.068710e-06,1.054915e-06,1.041507e-06,1.028477e-06,1.015815e-06,1.003514e-06,9.915667e-07,9.799643e-07,9.686993e-07,9.577642e-07,9.471517e-07,9.368544e-07,9.268653e-07,9.171772e-07,9.077835e-07,8.986774e-07
0.000000e+00,1.216247e-08,2.333130e-07,2.447495e-07,1.748833e-06,6.095805e-06,6.349491e-06,1.386706e-05,2.151825e-05,2.199754e-05,2.969231e-05,3.623801e-05,3.678280e-05,4.327245e-05,4.862515e-05,4.919252e-05,5.457794e-05,5.890214e-05,5.946304e-05,6.388085e-05,6.733052e-05,6.786292e-05,7.143933e-05,7.415096e-05,7.463864e-05,7.748788e-05,7.958096e-05,8.001254e-05,8.223659e-05,8.381454e-05,8.418250e-05,8.587133e-05,8.702284e-05,8.732274e-05,8.855509e-05,8.935576e-05,8.958553e-05,9.043000e-05,9.094393e-05,9.110331e-05,9.161925e-05,9.190055e-05,9.199069e-05,9.222957e-05,9.232387e-05,9.234697e-05,9.235321e-05,9.229888e-05,9.225788e-05,9.206986e-05,9.189902e-05,9.179740e-05,9.144816e-05,9.118765e-05,9.102923e-05,9.054722e-05,9.021939e-05,9.000823e-05,8.941789e-05,8.904122e-05,8.878140e-05,8.810361e-05,8.769333e-05,8.738896e-05,8.664158e-05,8.621018e-05,8.586528e-05,8.506359e-05,8.462127e-05,8.423975e-05,8.339677e-05,8.295178e-05,8.253741e-05,8.166421e-05,8.122317e-05,8.077954e-05,7.988555e-05,7.945371e-05,7.898422e-05,7.807738e-05,7.765884e-05,7.716670e-05,7.625372e-05,7.585165e-05,7.533985e-05,7.442637e-05,7.404311e-05,7.351446e-05,7.260520e-05,7.224246e-05,7.169956e-05,7.079843e-05,7.045735e-05,6.990262e-05,6.901286e-05,6.869416e-05,6.812981e-05,6.725408e-05,6.695809e-05,6.638618e-05,6.552661e-05,6.525338e-05,6.467580e-05,6.383411e-05,6.358344e-05,6.300190e-05,6.217945e-05,6.195096e-05,6.136704e-05,6.056487e-05,6.035801e-05,5.977314e-05,5.899201e-05,5.880614e-05,5.822163e-05,5.746210e-05,5.729646e-05,5.671350e-05,5.597591e-05,5.582971e-05,5.524936e-05,5.453390e-05,5.440629e-05,5.382953e-05,5.313624e-05,5.302635e-05,5.245403e-05,5.178287e-05,5.168978e-05,5.112271e-05,5.047350e-05,5.039633e-05,4.983519e-05,4.920771e-05,4.914556e-05,4.859098e-05,4.798492e-05,4.793689e-05,4.738943e-05,4.680443e-05,4.676967e-05,4.622982e-05,4.566548e-05,4.564312e-05,4.511132e-05,4.456722e-05,4.455644e-05,4.403306e-05,4.350872e-05,4.249907e-05,4.152651e-05,4.059009e-05,3.968881e-05,3.882167e-05,3.798769e-05,3.718588e-05,3.641524e-05,3.567482e-05,3.496364e-05,3.428077e-05,3.362527e-05,3.299625e-05,3.239281e-05,3.181409e-05,3.125924e-05,3.072744e-05,3.021788e-05,2.972979e-05,2.926241e-05,2.881501e-05,2.838686e-05,2.797727e-05,2.758559e-05,2.721114e-05,2.685332e-05,2.651149e-05,2.618508e-05,2.587352e-05,2.557624e-05,2.529272e-05,2.502243e-05,2.476488e-05,2.451959e-05,2.428609e-05,2.406393e-05,2.385266e-05,2.365188e-05,2.346117e-05,2.328014e-05,2.310842e-05,2.294563e-05,2.279142e-05,2.264545e-05,2.250739e-05,2.237692e-05,2.225374e-05,2.213755e-05,2.202807e-05
0.000000e+00,9.294771e-10,5.689998e-08,6.060020e-08,8.509867e-07,5.688732e-06,6.095180e-06,2.744044e-05,8.090937e-05,8.589139e-05,2.031475e-04,3.733592e-04,3.910407e-04,6.485344e-04,9.308733e-04,9.646875e-04,1.323290e-03,1.660045e-03,1.706828e-03,2.099088e-03,2.432985e-03,2.486509e-03,2.858639e-03,3.153881e-03,3.208028e-03,3.529847e-03,3.771218e-03,3.821397e-03,4.081623e-03,4.267318e-03,4.310671e-03,4.509532e-03,4.644665e-03,4.679746e-03,4.823190e-03,4.915560e-03,4.941911e-03,5.038012e-03,5.095791e-03,5.113576e-03,5.170607e-03,5.201264e-03,5.211003e-03,5.236534e-03,5.246443e-03,5.248836e-03,5.249407e-03,5.243797e-03,5.239613e-03,5.220693e-03,5.203754e-03,5.193765e-03,5.159838e-03,5.134873e-03,5.119817e-03,5.074515e-03,5.044099e-03,5.024661e-03,4.970906e-03,4.937026e-03,4.913834e-03,4.853963e-03,4.818141e-03,4.791759e-03,4.727635e-03,4.691027e-03,4.661962e-03,4.595067e-03,4.558541e-03,4.527244e-03,4.458752e-03,4.422950e-03,4.389822e-03,4.320659e-03,4.286047e-03,4.251443e-03,4.182335e-03,4.149244e-03,4.113478e-03,4.044995e-03,4.013649e-03,3.976996e-03,3.909578e-03,3.880120e-03,3.842824e-03,3.776807e-03,3.749315e-03,3.711590e-03,3.647227e-03,3.621732e-03,3.583766e-03,3.521246e-03,3.497741e-03,3.459699e-03,3.399153e-03,3.377606e-03,3.339630e-03,3.281148e-03,3.261504e-03,3.223722e-03,3.167360e-03,3.149550e-03,3.112070e-03,3.057855e-03,3.041801e-03,3.004717e-03,2.952656e-03,2.938271e-03,2.901667e-03,2.851746e-03,2.838941e-03,2.802887e-03,2.755082e-03,2.743765e-03,2.708322e-03,2.662596e-03,2.652674e-03,2.617894e-03,2.574203e-03,2.565585e-03,2.531511e-03,2.489806e-03,2.482402e-03,2.449072e-03,2.409295e-03,2.403019e-03,2.370462e-03,2.332557e-03,2.327324e-03,2.295566e-03,2.259472e-03,2.255201e-03,2.224261e-03,2.189917e-03,2.186530e-03,2.156424e-03,2.123767e-03,2.121190e-03,2.091931e-03,2.060899e-03,2.059062e-03,2.030656e-03,2.001188e-03,2.000025e-03,1.972478e-03,1.944511e-03,1.943960e-03,1.917273e-03,1.890749e-03,1.840279e-03,1.792437e-03,1.747113e-03,1.704202e-03,1.663601e-03,1.625210e-03,1.588932e-03,1.554674e-03,1.522347e-03,1.491862e-03,1.463138e-03,1.436092e-03,1.410649e-03,1.386733e-03,1.364273e-03,1.343201e-03,1.323450e-03,1.304956e-03,1.287660e-03,1.271503e-03,1.256428e-03,1.242383e-03,1.229315e-03,1.217176e-03,1.205917e-03,1.195494e-03,1.185863e-03,1.176983e-03,1.168813e-03,1.161316e-03,1.154454e-03,1.148193e-03,1.142500e-03,1.137342e-03,1.132688e-03,1.128510e-03,1.124778e-03,1.121467e-03,1.118550e-03,1.116004e-03,1.113804e-03,1.111929e-03,1.110357e-03,1.109067e-03,1.108041e-03,1.107260e-03,1.106706e-03,1.106363e-03,1.106214e-03
0.000000e+00,1.897136e-09,1.099409e-07,1.169535e-07,1.519235e-06,9.107439e-06,9.709748e-06,3.854879e-05,1.019091e-04,1.074840e-04,2.299120e-04,3.893446e-04,4.050520e-04,6.205641e-04,8.351367e-04,8.596283e-04,1.106409e-03,1.320075e-03,1.348581e-03,1.577781e-03,1.760658e-03,1.789042e-03,1.979932e-03,2.123983e-03,2.149742e-03,2.298842e-03,2.406340e-03,2.428233e-03,2.539244e-03,2.615804e-03,2.633344e-03,2.712027e-03,2.763636e-03,2.776747e-03,2.828879e-03,2.860870e-03,2.869701e-03,2.900391e-03,2.917217e-03,2.922028e-03,2.935592e-03,2.940864e-03,2.941976e-03,2.941985e-03,2.938591e-03,2.936348e-03,2.925724e-03,2.915958e-03,2.910708e-03,2.891835e-03,2.877503e-03,2.869589e-03,2.844404e-03,2.826925e-03,2.816671e-03,2.786744e-03,2.767227e-03,2.754939e-03,2.721540e-03,2.700844e-03,2.686804e-03,2.650958e-03,2.629741e-03,2.614209e-03,2.576742e-03,2.555508e-03,2.538720e-03,2.500290e-03,2.479416e-03,2.461586e-03,2.422722e-03,2.402486e-03,2.383805e-03,2.344925e-03,2.325526e-03,2.306166e-03,2.267600e-03,2.249176e-03,2.229291e-03,2.191295e-03,2.173936e-03,2.153662e-03,2.116433e-03,2.100191e-03,2.079648e-03,2.043338e-03,2.028236e-03,2.007530e-03,1.972248e-03,1.958287e-03,1.937512e-03,1.903339e-03,1.890503e-03,1.869741e-03,1.836730e-03,1.824991e-03,1.804313e-03,1.772497e-03,1.761818e-03,1.741287e-03,1.710684e-03,1.701020e-03,1.680690e-03,1.651304e-03,1.642607e-03,1.622525e-03,1.594349e-03,1.586568e-03,1.566774e-03,1.539795e-03,1.532877e-03,1.513406e-03,1.487602e-03,1.481495e-03,1.462376e-03,1.437721e-03,1.432373e-03,1.413631e-03,1.390097e-03,1.385456e-03,1.367111e-03,1.344666e-03,1.340682e-03,1.322752e-03,1.301361e-03,1.297986e-03,1.280484e-03,1.260113e-03,1.257301e-03,1.240238e-03,1.220851e-03,1.218557e-03,1.201942e-03,1.183502e-03,1.181684e-03,1.165523e-03,1.147996e-03,1.146613e-03,1.130911e-03,1.114259e-03,1.113274e-03,1.098033e-03,1.082223e-03,1.081599e-03,1.066820e-03,1.051816e-03,1.051520e-03,1.037203e-03,1.022973e-03,9.958915e-04,9.702147e-04,9.458818e-04,9.228341e-04,9.010152e-04,8.803705e-04,8.608473e-04,8.423950e-04,8.249649e-04,8.085101e-04,7.929858e-04,7.783487e-04,7.645576e-04,7.515725e-04,7.393556e-04,7.278703e-04,7.170817e-04,7.069563e-04,6.974621e-04,6.885684e-04,6.802458e-04,6.724664e-04,6.652031e-04,6.584303e-04,6.521234e-04,6.462588e-04,6.408141e-04,6.357676e-04,6.310989e-04,6.267883e-04,6.228169e-04,6.191668e-04,6.158208e-04,6.127625e-04,6.099762e-04,6.074469e-04,6.051602e-04,6.031026e-04,6.012609e-04,5.996228e-04,5.981762e-04,5.969098e-04,5.958128e-04,5.948749e-04,5.940861e-04,5.934372e-04,5.929191e-04,5.925233e-04,5.922417e-04
0.000000e+00,3.238883e-09,5.709071e-08,5.977887e-08,3.752072e-07,1.102169e-06,1.139409e-06,2.122644e-06,3.038384e-06,3.095235e-06,4.010103e-06,4.796668e-06,4.862597e-06,5.654189e-06,6.316531e-06,6.387280e-06,7.064427e-06,7.616107e-06,7.688235e-06,8.261331e-06,8.715642e-06,8.786348e-06,9.265899e-06,9.635463e-06,9.702547e-06,1.009879e-05,1.039525e-05,1.045704e-05,1.077960e-05,1.101346e-05,1.106870e-05,1.132644e-05,1.150701e-05,1.155483e-05,1.175577e-05,1.189123e-05,1.193105e-05,1.208239e-05,1.217991e-05,1.221139e-05,1.231956e-05,1.238537e-05,1.240835e-05,1.247911e-05,1.251858e-05,1.253309e-05,1.257152e-05,1.258933e-05,1.259550e-05,1.260612e-05,1.260628e-05,1.260436e-05,1.259116e-05,1.257712e-05,1.256741e-05,1.253393e-05,1.250864e-05,1.249151e-05,1.244087e-05,1.240684e-05,1.238271e-05,1.231765e-05,1.227700e-05,1.224631e-05,1.216925e-05,1.212380e-05,1.208700e-05,1.200005e-05,1.195131e-05,1.190887e-05,1.181388e-05,1.176312e-05,1.171550e-05,1.161410e-05,1.156238e-05,1.151004e-05,1.140364e-05,1.135183e-05,1.129522e-05,1.118505e-05,1.113387e-05,1.107341e-05,1.096055e-05,1.091056e-05,1.084669e-05,1.073205e-05,1.068372e-05,1.061684e-05,1.050123e-05,1.045491e-05,1.038539e-05,1.026950e-05,1.022547e-05,1.015369e-05,1.003809e-05,9.996556e-06,9.922843e-06,9.808055e-06,9.769151e-06,9.693833e-06,9.580274e-06,9.544090e-06,9.467469e-06,9.355498e-06,9.322081e-06,9.244437e-06,9.134353e-06,9.103713e-06,9.025308e-06,8.917358e-06,8.889476e-06,8.810552e-06,8.704937e-06,8.679771e-06,8.600552e-06,8.497434e-06,8.474921e-06,8.395614e-06,8.295120e-06,8.275182e-06,8.195975e-06,8.098202e-06,8.080750e-06,8.001817e-06,7.906835e-06,7.891769e-06,7.813269e-06,7.721127e-06,7.708341e-06,7.630416e-06,7.541142e-06,7.530526e-06,7.453307e-06,7.366912e-06,7.358352e-06,7.281956e-06,7.198437e-06,7.191818e-06,7.116352e-06,7.035693e-06,7.030899e-06,6.956456e-06,6.878633e-06,6.875549e-06,6.802213e-06,6.727189e-06,6.725703e-06,6.653549e-06,6.581282e-06,6.442194e-06,6.308338e-06,6.179603e-06,6.055872e-06,5.937022e-06,5.822927e-06,5.713458e-06,5.608484e-06,5.507872e-06,5.411490e-06,5.319205e-06,5.230885e-06,5.146399e-06,5.065620e-06,4.988418e-06,4.914671e-06,4.844254e-06,4.777047e-06,4.712935e-06,4.651800e-06,4.593533e-06,4.538024e-06,4.485168e-06,4.434860e-06,4.387003e-06,4.341498e-06,4.298252e-06,4.257174e-06,4.218176e-06,4.181172e-06,4.146081e-06,4.112822e-06,4.081320e-06,4.051499e-06,4.023288e-06,3.996618e-06,3.971422e-06,3.947636e-06,3.925198e-06,3.904048e-06,3.884130e-06,3.865386e-06,3.847765e-06,3.831215e-06,3.815687e-06,3.801133e-06,3.787508e-06,3.774767e-06,3.762870e-06
0.000000e+00,3.559269e-10,5.764740e-09,6.038532e-09,4.131210e-08,1.410941e-07,1.468299e-07,3.132560e-07,4.791586e-07,4.894923e-07,6.544168e-07,7.929551e-07,8.043994e-07,9.395744e-07,1.049289e-06,1.060814e-06,1.169107e-06,1.254466e-06,1.265422e-06,1.350678e-06,1.415814e-06,1.425739e-06,1.491419e-06,1.539899e-06,1.548479e-06,1.597634e-06,1.632511e-06,1.639549e-06,1.674845e-06,1.698703e-06,1.704097e-06,1.727841e-06,1.742858e-06,1.746573e-06,1.760752e-06,1.768743e-06,1.770799e-06,1.777106e-06,1.779578e-06,1.780033e-06,1.779911e-06,1.778107e-06,1.777044e-06,1.771713e-06,1.766654e-06,1.764175e-06,1.754666e-06,1.747184e-06,1.743401e-06,1.730579e-06,1.721353e-06,1.716382e-06,1.700976e-06,1.690552e-06,1.684512e-06,1.667130e-06,1.655947e-06,1.648955e-06,1.630104e-06,1.618512e-06,1.610681e-06,1.590782e-06,1.579057e-06,1.570494e-06,1.549897e-06,1.538254e-06,1.529062e-06,1.508053e-06,1.496657e-06,1.486930e-06,1.465745e-06,1.454721e-06,1.444547e-06,1.423378e-06,1.412816e-06,1.402276e-06,1.381276e-06,1.371242e-06,1.360410e-06,1.339703e-06,1.330239e-06,1.319181e-06,1.298866e-06,1.289997e-06,1.278775e-06,1.258925e-06,1.250664e-06,1.239331e-06,1.220005e-06,1.212352e-06,1.200958e-06,1.182198e-06,1.175146e-06,1.163733e-06,1.145569e-06,1.139105e-06,1.127711e-06,1.110162e-06,1.104267e-06,1.092926e-06,1.076005e-06,1.070656e-06,1.059398e-06,1.043107e-06,1.038281e-06,1.027131e-06,1.011469e-06,1.007140e-06,9.961202e-07,9.810818e-07,9.772223e-07,9.663515e-07,9.519268e-07,9.485100e-07,9.378044e-07,9.239810e-07,9.209796e-07,9.104528e-07,8.972161e-07,8.946034e-07,8.842668e-07,8.716006e-07,8.693504e-07,8.592132e-07,8.471001e-07,8.451871e-07,8.352567e-07,8.236784e-07,8.220783e-07,8.123605e-07,8.012982e-07,7.999877e-07,7.904869e-07,7.799216e-07,7.788784e-07,7.695976e-07,7.595102e-07,7.587133e-07,7.496545e-07,7.400259e-07,7.394553e-07,7.306196e-07,7.214309e-07,7.210678e-07,7.124552e-07,7.036880e-07,7.035147e-07,6.951247e-07,6.867608e-07,6.707714e-07,6.555132e-07,6.409536e-07,6.270612e-07,6.138058e-07,6.011581e-07,5.890903e-07,5.775752e-07,5.665872e-07,5.561015e-07,5.460945e-07,5.365436e-07,5.274271e-07,5.187245e-07,5.104162e-07,5.024832e-07,4.949078e-07,4.876728e-07,4.807622e-07,4.741603e-07,4.678524e-07,4.618247e-07,4.560636e-07,4.505565e-07,4.452913e-07,4.402565e-07,4.354412e-07,4.308350e-07,4.264279e-07,4.222105e-07,4.181740e-07,4.143097e-07,4.106096e-07,4.070659e-07,4.036713e-07,4.004189e-07,3.973020e-07,3.943143e-07,3.914497e-07,3.887026e-07,3.860676e-07,3.835395e-07,3.811132e-07,3.787843e-07,3.765481e-07,3.744006e-07,3.723375e-07,3.703552e-07,3.684499e-07
0.000000e+00,1.078806e-09,1.904806e-08,1.995162e-08,1.284911e-07,3.928032e-07,4.068328e-07,7.884965e-07,1.152455e-06,1.175113e-06,1.539550e-06,1.851847e-06,1.877962e-06,2.190644e-06,2.450924e-06,2.478647e-06,2.743149e-06,2.957418e-06,2.985343e-06,3.206407e-06,3.380505e-06,3.407498e-06,3.589751e-06,3.729090e-06,3.754264e-06,3.902100e-06,4.011597e-06,4.034279e-06,4.151784e-06,4.235854e-06,4.255552e-06,4.346474e-06,4.409022e-06,4.425397e-06,4.493122e-06,4.537572e-06,4.550408e-06,4.597973e-06,4.627313e-06,4.636495e-06,4.666614e-06,4.683436e-06,4.688932e-06,4.704018e-06,4.710563e-06,4.712407e-06,4.714603e-06,4.712802e-06,4.711080e-06,4.702283e-06,4.693792e-06,4.688631e-06,4.670519e-06,4.656758e-06,4.648316e-06,4.622368e-06,4.604544e-06,4.593002e-06,4.560523e-06,4.539661e-06,4.525217e-06,4.487351e-06,4.464316e-06,4.447178e-06,4.404931e-06,4.380450e-06,4.360831e-06,4.315083e-06,4.289762e-06,4.267878e-06,4.219397e-06,4.193737e-06,4.169805e-06,4.119259e-06,4.093674e-06,4.067903e-06,4.015874e-06,3.990697e-06,3.963295e-06,3.910285e-06,3.885785e-06,3.856951e-06,3.803394e-06,3.779782e-06,3.749706e-06,3.695974e-06,3.673413e-06,3.642277e-06,3.588690e-06,3.567300e-06,3.535278e-06,3.482104e-06,3.461973e-06,3.429226e-06,3.376696e-06,3.357879e-06,3.324560e-06,3.272864e-06,3.255394e-06,3.221646e-06,3.170942e-06,3.154831e-06,3.120785e-06,3.071204e-06,3.056447e-06,3.022226e-06,2.973873e-06,2.960449e-06,2.926167e-06,2.879125e-06,2.867005e-06,2.832764e-06,2.787097e-06,2.776241e-06,2.742136e-06,2.697892e-06,2.688255e-06,2.654371e-06,2.611582e-06,2.603113e-06,2.569529e-06,2.528216e-06,2.520858e-06,2.487645e-06,2.447817e-06,2.441514e-06,2.408733e-06,2.370392e-06,2.365083e-06,2.332791e-06,2.295929e-06,2.291555e-06,2.259802e-06,2.224405e-06,2.220905e-06,2.189734e-06,2.155782e-06,2.153097e-06,2.122545e-06,2.090016e-06,2.088087e-06,2.058187e-06,2.027052e-06,2.025821e-06,1.996601e-06,1.966828e-06,1.966240e-06,1.937724e-06,1.909281e-06,1.854874e-06,1.802950e-06,1.753434e-06,1.706251e-06,1.661326e-06,1.618580e-06,1.577939e-06,1.539325e-06,1.502662e-06,1.467878e-06,1.434897e-06,1.403649e-06,1.374063e-06,1.346069e-06,1.319602e-06,1.294595e-06,1.270987e-06,1.248714e-06,1.227719e-06,1.207944e-06,1.189333e-06,1.171832e-06,1.155392e-06,1.139960e-06,1.125491e-06,1.111938e-06,1.099257e-06,1.087406e-06,1.076344e-06,1.066031e-06,1.056431e-06,1.047508e-06,1.039227e-06,1.031556e-06,1.024463e-06,1.017918e-06,1.011892e-06,1.006358e-06,1.001289e-06,9.966606e-07,9.924484e-07,9.886295e-07,9.851821e-07,9.820854e-07,9.793193e-07,9.768649e-07,9.747041e-07,9.728195e-07,9.711949e-07
0.000000e+00,2.730318e-10,3.628380e-09,3.785012e-09,2.180288e-08,6.911223e-08,7.187909e-08,1.597836e-07,2.627606e-07,2.695405e-07,3.809168e-07,4.772739e-07,4.853108e-07,5.810407e-07,6.598550e-07,6.681966e-07,7.472261e-07,8.104535e-07,8.186375e-07,8.829365e-07,9.329173e-07,9.406105e-07,9.921242e-07,1.030958e-06,1.037918e-06,1.078409e-06,1.107929e-06,1.113987e-06,1.145021e-06,1.166809e-06,1.171855e-06,1.194812e-06,1.210220e-06,1.214192e-06,1.230276e-06,1.240459e-06,1.243328e-06,1.253592e-06,1.259526e-06,1.261295e-06,1.266649e-06,1.269161e-06,1.269852e-06,1.271086e-06,1.270871e-06,1.270523e-06,1.268322e-06,1.265966e-06,1.264631e-06,1.259586e-06,1.255578e-06,1.253316e-06,1.245938e-06,1.240686e-06,1.237562e-06,1.228288e-06,1.222128e-06,1.218210e-06,1.207415e-06,1.200629e-06,1.195985e-06,1.183994e-06,1.176808e-06,1.171509e-06,1.158594e-06,1.151196e-06,1.145308e-06,1.131705e-06,1.124245e-06,1.117835e-06,1.103742e-06,1.096340e-06,1.089470e-06,1.075055e-06,1.067806e-06,1.060535e-06,1.045940e-06,1.038918e-06,1.031302e-06,1.016647e-06,1.009907e-06,1.002000e-06,9.873829e-07,9.809666e-07,9.728174e-07,9.583215e-07,9.522582e-07,9.439124e-07,9.296052e-07,9.239140e-07,9.154137e-07,9.013503e-07,8.960422e-07,8.874262e-07,8.736512e-07,8.687304e-07,8.600340e-07,8.465825e-07,8.420479e-07,8.333033e-07,8.202025e-07,8.160488e-07,8.072851e-07,7.945556e-07,7.907739e-07,7.820176e-07,7.696742e-07,7.662533e-07,7.575279e-07,7.455807e-07,7.425072e-07,7.338340e-07,7.222889e-07,7.195481e-07,7.109459e-07,6.998054e-07,6.973817e-07,6.888672e-07,6.781309e-07,6.760079e-07,6.675959e-07,6.572611e-07,6.554220e-07,6.471254e-07,6.371873e-07,6.356155e-07,6.274454e-07,6.178979e-07,6.165766e-07,6.085428e-07,5.993781e-07,5.982910e-07,5.904016e-07,5.816111e-07,5.807422e-07,5.730042e-07,5.645785e-07,5.639122e-07,5.563314e-07,5.482604e-07,5.477817e-07,5.403629e-07,5.326361e-07,5.323305e-07,5.250773e-07,5.176839e-07,5.175377e-07,5.104531e-07,5.033821e-07,4.898420e-07,4.768961e-07,4.645227e-07,4.527007e-07,4.414090e-07,4.306269e-07,4.203344e-07,4.105116e-07,4.011393e-07,3.921988e-07,3.836721e-07,3.755415e-07,3.677902e-07,3.604017e-07,3.533603e-07,3.466507e-07,3.402583e-07,3.341690e-07,3.283694e-07,3.228463e-07,3.175875e-07,3.125809e-07,3.078151e-07,3.032792e-07,2.989626e-07,2.948554e-07,2.909479e-07,2.872309e-07,2.836956e-07,2.803337e-07,2.771372e-07,2.740983e-07,2.712098e-07,2.684646e-07,2.658561e-07,2.633779e-07,2.610240e-07,2.587885e-07,2.566658e-07,2.546508e-07,2.527383e-07,2.509236e-07,2.492020e-07,2.475692e-07,2.460210e-07,2.445534e-07,2.431627e-07,2.418450e-07,2.405971e-07
0.000000e+00,5.322701e-10,8.116055e-09,8.487285e-09,5.337249e-08,1.730833e-07,1.799473e-07,3.845888e-07,5.968496e-07,6.101975e-07,8.240172e-07,1.004202e-06,1.019099e-06,1.195193e-06,1.338300e-06,1.353343e-06,1.494814e-06,1.606510e-06,1.620861e-06,1.732684e-06,1.818340e-06,1.831415e-06,1.918119e-06,1.982384e-06,1.993789e-06,2.059348e-06,2.106166e-06,2.115655e-06,2.163505e-06,2.196192e-06,2.203632e-06,2.236715e-06,2.258036e-06,2.263383e-06,2.284211e-06,2.296461e-06,2.299728e-06,2.310433e-06,2.315523e-06,2.316777e-06,2.319178e-06,2.318679e-06,2.318015e-06,2.313637e-06,2.308835e-06,2.306368e-06,2.296503e-06,2.288450e-06,2.284312e-06,2.270043e-06,2.259600e-06,2.253926e-06,2.236167e-06,2.224028e-06,2.216957e-06,2.196472e-06,2.183201e-06,2.174871e-06,2.152300e-06,2.138347e-06,2.128892e-06,2.104770e-06,2.090496e-06,2.080044e-06,2.054815e-06,2.040502e-06,2.029176e-06,2.003210e-06,1.989080e-06,1.976994e-06,1.950597e-06,1.936820e-06,1.924082e-06,1.897505e-06,1.884209e-06,1.870917e-06,1.844366e-06,1.831647e-06,1.817893e-06,1.791535e-06,1.779459e-06,1.765327e-06,1.739298e-06,1.727909e-06,1.713475e-06,1.687883e-06,1.677208e-06,1.662542e-06,1.637472e-06,1.627524e-06,1.612689e-06,1.588207e-06,1.578986e-06,1.564039e-06,1.540196e-06,1.531694e-06,1.516687e-06,1.493519e-06,1.485721e-06,1.470700e-06,1.448234e-06,1.441120e-06,1.426126e-06,1.404378e-06,1.397925e-06,1.382994e-06,1.361974e-06,1.356154e-06,1.341319e-06,1.321030e-06,1.315815e-06,1.301105e-06,1.281545e-06,1.276904e-06,1.262346e-06,1.243507e-06,1.239411e-06,1.225026e-06,1.206900e-06,1.203318e-06,1.189126e-06,1.171701e-06,1.168601e-06,1.154620e-06,1.137880e-06,1.135233e-06,1.121478e-06,1.105408e-06,1.103185e-06,1.089667e-06,1.074251e-06,1.072422e-06,1.059154e-06,1.044372e-06,1.042911e-06,1.029900e-06,1.015734e-06,1.014614e-06,1.001870e-06,9.883007e-07,9.874959e-07,9.750231e-07,9.620320e-07,9.615182e-07,9.493224e-07,9.368897e-07,9.366438e-07,9.247289e-07,9.128352e-07,8.900554e-07,8.682676e-07,8.474360e-07,8.275250e-07,8.085003e-07,7.903281e-07,7.729757e-07,7.564111e-07,7.406036e-07,7.255230e-07,7.111405e-07,6.974279e-07,6.843583e-07,6.719055e-07,6.600442e-07,6.487501e-07,6.379998e-07,6.277708e-07,6.180413e-07,6.087903e-07,5.999978e-07,5.916444e-07,5.837115e-07,5.761812e-07,5.690363e-07,5.622602e-07,5.558371e-07,5.497516e-07,5.439892e-07,5.385357e-07,5.333777e-07,5.285020e-07,5.238963e-07,5.195486e-07,5.154473e-07,5.115815e-07,5.079405e-07,5.045142e-07,5.012927e-07,4.982668e-07,4.954275e-07,4.927660e-07,4.902742e-07,4.879441e-07,4.857681e-07,4.837389e-07,4.818495e-07,4.800931e-07,4.784634e-07
0.000000e+00,8.737940e-09,1.333124e-07,1.393158e-07,8.698862e-07,2.923330e-06,3.045914e-06,6.933831e-06,1.127599e-05,1.155182e-05,1.591949e-05,1.945824e-05,1.974324e-05,2.301289e-05,2.552379e-05,2.577949e-05,2.810153e-05,2.982107e-05,3.003410e-05,3.162654e-05,3.275748e-05,3.292257e-05,3.396074e-05,3.465831e-05,3.477471e-05,3.539371e-05,3.577436e-05,3.584405e-05,3.614881e-05,3.630149e-05,3.632824e-05,3.640001e-05,3.639124e-05,3.637953e-05,3.628028e-05,3.615941e-05,3.611394e-05,3.589072e-05,3.569415e-05,3.561944e-05,3.530782e-05,3.506224e-05,3.496251e-05,3.458930e-05,3.431417e-05,3.419321e-05,3.377858e-05,3.348798e-05,3.334917e-05,3.290822e-05,3.261225e-05,3.245854e-05,3.200254e-05,3.170837e-05,3.154232e-05,3.107966e-05,3.079227e-05,3.061611e-05,3.015297e-05,2.987576e-05,2.969138e-05,2.923228e-05,2.896748e-05,2.877651e-05,2.832474e-05,2.807372e-05,2.787755e-05,2.743544e-05,2.719895e-05,2.699880e-05,2.656796e-05,2.634631e-05,2.614320e-05,2.572473e-05,2.551791e-05,2.531273e-05,2.490731e-05,2.471509e-05,2.450859e-05,2.411662e-05,2.393859e-05,2.373145e-05,2.335309e-05,2.318877e-05,2.298154e-05,2.261679e-05,2.246562e-05,2.225881e-05,2.190756e-05,2.176892e-05,2.156297e-05,2.122500e-05,2.109828e-05,2.089356e-05,2.056860e-05,2.045318e-05,2.025002e-05,1.993775e-05,1.983300e-05,1.963170e-05,1.933178e-05,1.923708e-05,1.903789e-05,1.874995e-05,1.866471e-05,1.846786e-05,1.819152e-05,1.811517e-05,1.792085e-05,1.765573e-05,1.758770e-05,1.739609e-05,1.714182e-05,1.708158e-05,1.689283e-05,1.664902e-05,1.659606e-05,1.641030e-05,1.617657e-05,1.613042e-05,1.594776e-05,1.572376e-05,1.568394e-05,1.550448e-05,1.528984e-05,1.525592e-05,1.507974e-05,1.487411e-05,1.484567e-05,1.467286e-05,1.447590e-05,1.445254e-05,1.428315e-05,1.409452e-05,1.407589e-05,1.390995e-05,1.372935e-05,1.371507e-05,1.355265e-05,1.337976e-05,1.336950e-05,1.321061e-05,1.304513e-05,1.303859e-05,1.288325e-05,1.272490e-05,1.272176e-05,1.257000e-05,1.241849e-05,1.212823e-05,1.185048e-05,1.158475e-05,1.133058e-05,1.108750e-05,1.085508e-05,1.063289e-05,1.042053e-05,1.021761e-05,1.002376e-05,9.838602e-06,9.661799e-06,9.493013e-06,9.331923e-06,9.178217e-06,9.031598e-06,8.891778e-06,8.758482e-06,8.631444e-06,8.510410e-06,8.395133e-06,8.285379e-06,8.180920e-06,8.081538e-06,7.987023e-06,7.897175e-06,7.811800e-06,7.730710e-06,7.653728e-06,7.580681e-06,7.511404e-06,7.445737e-06,7.383529e-06,7.324632e-06,7.268906e-06,7.216214e-06,7.166426e-06,7.119418e-06,7.075069e-06,7.033263e-06,6.993889e-06,6.956841e-06,6.922016e-06,6.889315e-06,6.858645e-06,6.829913e-06,6.803033e-06,6.777922e-06,6.754498e-06
0.000000e+00,1.252106e-09,2.186159e-08,2.290073e-08,1.500432e-07,4.791972e-07,4.975074e-07,1.021544e-06,1.545259e-06,1.578152e-06,2.109240e-06,2.566241e-06,2.604516e-06,3.063531e-06,3.446774e-06,3.487668e-06,3.878708e-06,4.196885e-06,4.238462e-06,4.568672e-06,4.830222e-06,4.870913e-06,5.146799e-06,5.359331e-06,5.397905e-06,5.625734e-06,5.796191e-06,5.831718e-06,6.017216e-06,6.151733e-06,6.183517e-06,6.331841e-06,6.435798e-06,6.463341e-06,6.579108e-06,6.657203e-06,6.680170e-06,6.767498e-06,6.823819e-06,6.842007e-06,6.904561e-06,6.942655e-06,6.955972e-06,6.997006e-06,7.019944e-06,7.028385e-06,7.050786e-06,7.061220e-06,7.064850e-06,7.071176e-06,7.071389e-06,7.070330e-06,7.062844e-06,7.054799e-06,7.049215e-06,7.029915e-06,7.015295e-06,7.005383e-06,6.976034e-06,6.956275e-06,6.942256e-06,6.904415e-06,6.880740e-06,6.862851e-06,6.817888e-06,6.791335e-06,6.769824e-06,6.718944e-06,6.690391e-06,6.665510e-06,6.609771e-06,6.579954e-06,6.551959e-06,6.492290e-06,6.461823e-06,6.430968e-06,6.368181e-06,6.337576e-06,6.304108e-06,6.238914e-06,6.208592e-06,6.172754e-06,6.105772e-06,6.076075e-06,6.038102e-06,5.969871e-06,5.941074e-06,5.901193e-06,5.832179e-06,5.804502e-06,5.762929e-06,5.693536e-06,5.667148e-06,5.624088e-06,5.554666e-06,5.529695e-06,5.485344e-06,5.416191e-06,5.392729e-06,5.347271e-06,5.278643e-06,5.256752e-06,5.210361e-06,5.142475e-06,5.122194e-06,5.075032e-06,5.008072e-06,4.989416e-06,4.941635e-06,4.875756e-06,4.858722e-06,4.810465e-06,4.745793e-06,4.730367e-06,4.681765e-06,4.618405e-06,4.604558e-06,4.555734e-06,4.493771e-06,4.481465e-06,4.432532e-06,4.372033e-06,4.361222e-06,4.312285e-06,4.253301e-06,4.243935e-06,4.195090e-06,4.137659e-06,4.129682e-06,4.081016e-06,4.025166e-06,4.018517e-06,3.970112e-06,3.915858e-06,3.910477e-06,3.862406e-06,3.809756e-06,3.805579e-06,3.757909e-06,3.706864e-06,3.703826e-06,3.656619e-06,3.607171e-06,3.605210e-06,3.558519e-06,3.510658e-06,3.509709e-06,3.463584e-06,3.417292e-06,3.327922e-06,3.241554e-06,3.158137e-06,3.077617e-06,2.999934e-06,2.925027e-06,2.852831e-06,2.783281e-06,2.716309e-06,2.651848e-06,2.589829e-06,2.530183e-06,2.472842e-06,2.417738e-06,2.364804e-06,2.313972e-06,2.265178e-06,2.218357e-06,2.173444e-06,2.130378e-06,2.089099e-06,2.049545e-06,2.011660e-06,1.975386e-06,1.940667e-06,1.907451e-06,1.875684e-06,1.845316e-06,1.816297e-06,1.788579e-06,1.762115e-06,1.736860e-06,1.712770e-06,1.689802e-06,1.667916e-06,1.647070e-06,1.627227e-06,1.608349e-06,1.590400e-06,1.573345e-06,1.557149e-06,1.541780e-06,1.527206e-06,1.513397e-06,1.500323e-06,1.487955e-06,1.476266e-06,1.465229e-06,1.454818e-06
0.000000e+00,1.006234e-08,2.448665e-07,2.575970e-07,2.162726e-06,9.108046e-06,9.566672e-06,2.558210e-05,4.548666e-05,4.680334e-05,6.853439e-05,8.760875e-05,8.921535e-05,1.085718e-04,1.248536e-04,1.265975e-04,1.433383e-04,1.570513e-04,1.588495e-04,1.731871e-04,1.846212e-04,1.864067e-04,1.985630e-04,2.079920e-04,2.097099e-04,2.199004e-04,2.275793e-04,2.291862e-04,2.376176e-04,2.437800e-04,2.452429e-04,2.521091e-04,2.569666e-04,2.582609e-04,2.637413e-04,2.674826e-04,2.685911e-04,2.728495e-04,2.756416e-04,2.765532e-04,2.797374e-04,2.817271e-04,2.824354e-04,2.846788e-04,2.859947e-04,2.864974e-04,2.879196e-04,2.886739e-04,2.889721e-04,2.896804e-04,2.899711e-04,2.900686e-04,2.901591e-04,2.900706e-04,2.899731e-04,2.895309e-04,2.891363e-04,2.888513e-04,2.879522e-04,2.873145e-04,2.868505e-04,2.855620e-04,2.847350e-04,2.841017e-04,2.824836e-04,2.815135e-04,2.807210e-04,2.788262e-04,2.777523e-04,2.768111e-04,2.746866e-04,2.735421e-04,2.724631e-04,2.701501e-04,2.689630e-04,2.677570e-04,2.652921e-04,2.640858e-04,2.627635e-04,2.601787e-04,2.589728e-04,2.575447e-04,2.548681e-04,2.536786e-04,2.521551e-04,2.494114e-04,2.482512e-04,2.466423e-04,2.438529e-04,2.427326e-04,2.410479e-04,2.382316e-04,2.371593e-04,2.354080e-04,2.325810e-04,2.315631e-04,2.297540e-04,2.269302e-04,2.259714e-04,2.241128e-04,2.213044e-04,2.204081e-04,2.185077e-04,2.157250e-04,2.148933e-04,2.129586e-04,2.102104e-04,2.094444e-04,2.074823e-04,2.047760e-04,2.040761e-04,2.020930e-04,1.994348e-04,1.988006e-04,1.968025e-04,1.941975e-04,1.936282e-04,1.916207e-04,1.890731e-04,1.885672e-04,1.865555e-04,1.840686e-04,1.836243e-04,1.816132e-04,1.791897e-04,1.788050e-04,1.767987e-04,1.744406e-04,1.741132e-04,1.721158e-04,1.698246e-04,1.695519e-04,1.675671e-04,1.653436e-04,1.651231e-04,1.631542e-04,1.609990e-04,1.608281e-04,1.588781e-04,1.567913e-04,1.566672e-04,1.547387e-04,1.527203e-04,1.526402e-04,1.507358e-04,1.487852e-04,1.487465e-04,1.468683e-04,1.449849e-04,1.413536e-04,1.378509e-04,1.344746e-04,1.312221e-04,1.280909e-04,1.250783e-04,1.221812e-04,1.193967e-04,1.167218e-04,1.141533e-04,1.116882e-04,1.093232e-04,1.070554e-04,1.048814e-04,1.027983e-04,1.008031e-04,9.889260e-05,9.706399e-05,9.531434e-05,9.364080e-05,9.204061e-05,9.051107e-05,8.904954e-05,8.765345e-05,8.632032e-05,8.504771e-05,8.383328e-05,8.267476e-05,8.156993e-05,8.051667e-05,7.951290e-05,7.855664e-05,7.764595e-05,7.677898e-05,7.595393e-05,7.516908e-05,7.442274e-05,7.371332e-05,7.303926e-05,7.239907e-05,7.179132e-05,7.121462e-05,7.066765e-05,7.014912e-05,6.965781e-05,6.919254e-05,6.875216e-05,6.833559e-05,6.794178e-05
0.000000e+00,3.969028e-09,2.550222e-07,2.722722e-07,4.062548e-06,2.431467e-05,2.584190e-05,8.864572e-05,1.896118e-04,1.971363e-04,3.339306e-04,4.682747e-04,4.799791e-04,6.237674e-04,7.468914e-04,7.601261e-04,8.872652e-04,9.912416e-04,1.004852e-03,1.113107e-03,1.199047e-03,1.212431e-03,1.303284e-03,1.373393e-03,1.386129e-03,1.461422e-03,1.517837e-03,1.529605e-03,1.591103e-03,1.635764e-03,1.646325e-03,1.695660e-03,1.730293e-03,1.739478e-03,1.778132e-03,1.804262e-03,1.811956e-03,1.841267e-03,1.860229e-03,1.866365e-03,1.887531e-03,1.900487e-03,1.905033e-03,1.919124e-03,1.927085e-03,1.930040e-03,1.938008e-03,1.941849e-03,1.943237e-03,1.945929e-03,1.946407e-03,1.946271e-03,1.944440e-03,1.942206e-03,1.940604e-03,1.934919e-03,1.930531e-03,1.927533e-03,1.918584e-03,1.912519e-03,1.908202e-03,1.896510e-03,1.889173e-03,1.883622e-03,1.869645e-03,1.861381e-03,1.854682e-03,1.838826e-03,1.829923e-03,1.822165e-03,1.804783e-03,1.795486e-03,1.786758e-03,1.768163e-03,1.758672e-03,1.749064e-03,1.729527e-03,1.720011e-03,1.709611e-03,1.689370e-03,1.679964e-03,1.668856e-03,1.648119e-03,1.638935e-03,1.627201e-03,1.606146e-03,1.597271e-03,1.584992e-03,1.563774e-03,1.555277e-03,1.542527e-03,1.521280e-03,1.513213e-03,1.500064e-03,1.478904e-03,1.471304e-03,1.457824e-03,1.436847e-03,1.429742e-03,1.415994e-03,1.395284e-03,1.388689e-03,1.374733e-03,1.354358e-03,1.348282e-03,1.334174e-03,1.314193e-03,1.308636e-03,1.294427e-03,1.274887e-03,1.269844e-03,1.255582e-03,1.236522e-03,1.231984e-03,1.217713e-03,1.199163e-03,1.195118e-03,1.180878e-03,1.162862e-03,1.159292e-03,1.145121e-03,1.127657e-03,1.124544e-03,1.110475e-03,1.093576e-03,1.090898e-03,1.076962e-03,1.060635e-03,1.058372e-03,1.044597e-03,1.028846e-03,1.026976e-03,1.013385e-03,9.982115e-04,9.967100e-04,9.833262e-04,9.687277e-04,9.675722e-04,9.544151e-04,9.403867e-04,9.395540e-04,9.266408e-04,9.131756e-04,9.126428e-04,8.999887e-04,8.870779e-04,8.868225e-04,8.744406e-04,8.620741e-04,8.383760e-04,8.157048e-04,7.940352e-04,7.733410e-04,7.535947e-04,7.347682e-04,7.168331e-04,6.997604e-04,6.835213e-04,6.680868e-04,6.534282e-04,6.395171e-04,6.263253e-04,6.138254e-04,6.019902e-04,5.907930e-04,5.802080e-04,5.702099e-04,5.607740e-04,5.518764e-04,5.434938e-04,5.356037e-04,5.281842e-04,5.212142e-04,5.146733e-04,5.085417e-04,5.028005e-04,4.974314e-04,4.924166e-04,4.877392e-04,4.833827e-04,4.793316e-04,4.755707e-04,4.720854e-04,4.688619e-04,4.658868e-04,4.631473e-04,4.606311e-04,4.583264e-04,4.562219e-04,4.543070e-04,4.525712e-04,4.510047e-04,4.495981e-04,4.483423e-04,4.472287e-04,4.462491e-04,4.453957e-04,4.446608e-04
0.000000e+00,8.334637e-10,1.281071e-08,1.340107e-08,8.674179e-08,2.972865e-07,3.100198e-07,7.271889e-07,1.230846e-06,1.264200e-06,1.812414e-06,2.285413e-06,2.324773e-06,2.792341e-06,3.175387e-06,3.215821e-06,3.597819e-06,3.901958e-06,3.941223e-06,4.248851e-06,4.486842e-06,4.523379e-06,4.767320e-06,4.950322e-06,4.983032e-06,5.172711e-06,5.310266e-06,5.338409e-06,5.482034e-06,5.582242e-06,5.605365e-06,5.710039e-06,5.779720e-06,5.797585e-06,5.869424e-06,5.914331e-06,5.926873e-06,5.971151e-06,5.996103e-06,6.003384e-06,6.024619e-06,6.033645e-06,6.035825e-06,6.037898e-06,6.034361e-06,6.031666e-06,6.017893e-06,6.004584e-06,5.997288e-06,5.970505e-06,5.949738e-06,5.938146e-06,5.900770e-06,5.874454e-06,5.858889e-06,5.812979e-06,5.782685e-06,5.763478e-06,5.710787e-06,5.677798e-06,5.655279e-06,5.597295e-06,5.562655e-06,5.537150e-06,5.475132e-06,5.439684e-06,5.411508e-06,5.346520e-06,5.310940e-06,5.280394e-06,5.213334e-06,5.178157e-06,5.145528e-06,5.077149e-06,5.042793e-06,5.008352e-06,4.939283e-06,4.906071e-06,4.870071e-06,4.800836e-06,4.769011e-06,4.731688e-06,4.662723e-06,4.632461e-06,4.594033e-06,4.525697e-06,4.497119e-06,4.457788e-06,4.390372e-06,4.363557e-06,4.323507e-06,4.257248e-06,4.232238e-06,4.191640e-06,4.126727e-06,4.103535e-06,4.062544e-06,3.999124e-06,3.977740e-06,3.936496e-06,3.874685e-06,3.855081e-06,3.813711e-06,3.753594e-06,3.735728e-06,3.694347e-06,3.635984e-06,3.619803e-06,3.578515e-06,3.521948e-06,3.507389e-06,3.466288e-06,3.411539e-06,3.398535e-06,3.357703e-06,3.304782e-06,3.293262e-06,3.252774e-06,3.201676e-06,3.191566e-06,3.151487e-06,3.102202e-06,3.093426e-06,3.053815e-06,3.006320e-06,2.998803e-06,2.959711e-06,2.913979e-06,2.907646e-06,2.869117e-06,2.825116e-06,2.819893e-06,2.781967e-06,2.739659e-06,2.735474e-06,2.698183e-06,2.657529e-06,2.654312e-06,2.617686e-06,2.578643e-06,2.576326e-06,2.540389e-06,2.502912e-06,2.501429e-06,2.466201e-06,2.430245e-06,2.429534e-06,2.395032e-06,2.360551e-06,2.294389e-06,2.230958e-06,2.170167e-06,2.111927e-06,2.056147e-06,2.002742e-06,1.951625e-06,1.902713e-06,1.855924e-06,1.811178e-06,1.768397e-06,1.727506e-06,1.688433e-06,1.651106e-06,1.615456e-06,1.581417e-06,1.548926e-06,1.517921e-06,1.488341e-06,1.460129e-06,1.433230e-06,1.407589e-06,1.383157e-06,1.359883e-06,1.337719e-06,1.316619e-06,1.296540e-06,1.277439e-06,1.259274e-06,1.242007e-06,1.225601e-06,1.210018e-06,1.195223e-06,1.181185e-06,1.167869e-06,1.155246e-06,1.143285e-06,1.131959e-06,1.121240e-06,1.111101e-06,1.101518e-06,1.092465e-06,1.083921e-06,1.075863e-06,1.068269e-06,1.061119e-06,1.054392e-06,1.048071e-06,1.042137e-06
0.000000e+00,1.791645e-08,5.203822e-07,5.494302e-07,5.083987e-06,2.063013e-05,2.158213e-05,5.041856e-05,8.050850e-05,8.242091e-05,1.136564e-04,1.411243e-04,1.434521e-04,1.717310e-04,1.959031e-04,1.985154e-04,2.238444e-04,2.449626e-04,2.477590e-04,2.703005e-04,2.886195e-04,2.915104e-04,3.114314e-04,3.272009e-04,3.301071e-04,3.475823e-04,3.610476e-04,3.639019e-04,3.791112e-04,3.905095e-04,3.932553e-04,4.063786e-04,4.159345e-04,4.185250e-04,4.297373e-04,4.376595e-04,4.400570e-04,4.495246e-04,4.560052e-04,4.581793e-04,4.660591e-04,4.712732e-04,4.732004e-04,4.796385e-04,4.837451e-04,4.854075e-04,4.905401e-04,4.936828e-04,4.950677e-04,4.990208e-04,5.013293e-04,5.024285e-04,5.053186e-04,5.069092e-04,5.077181e-04,5.096527e-04,5.106296e-04,5.111472e-04,5.122253e-04,5.126817e-04,5.129096e-04,5.132220e-04,5.132410e-04,5.131833e-04,5.128133e-04,5.124686e-04,5.121313e-04,5.111554e-04,5.105125e-04,5.099032e-04,5.083915e-04,5.075082e-04,5.066362e-04,5.046526e-04,5.035798e-04,5.024554e-04,5.000585e-04,4.988410e-04,4.974753e-04,4.947185e-04,4.933954e-04,4.918003e-04,4.887322e-04,4.873377e-04,4.855255e-04,4.821905e-04,4.807541e-04,4.787375e-04,4.751759e-04,4.737230e-04,4.715150e-04,4.677635e-04,4.663159e-04,4.639296e-04,4.600212e-04,4.585974e-04,4.560459e-04,4.520107e-04,4.506263e-04,4.479224e-04,4.437875e-04,4.424555e-04,4.396121e-04,4.354020e-04,4.341331e-04,4.311627e-04,4.268994e-04,4.257021e-04,4.226171e-04,4.183203e-04,4.172014e-04,4.140136e-04,4.097012e-04,4.086658e-04,4.053869e-04,4.010745e-04,4.001264e-04,3.967676e-04,3.924694e-04,3.916111e-04,3.881831e-04,3.839116e-04,3.831445e-04,3.796576e-04,3.754239e-04,3.747485e-04,3.712127e-04,3.670264e-04,3.664425e-04,3.628672e-04,3.587369e-04,3.582433e-04,3.546374e-04,3.505706e-04,3.501657e-04,3.465379e-04,3.425409e-04,3.422227e-04,3.385809e-04,3.346592e-04,3.344252e-04,3.307770e-04,3.269354e-04,3.267826e-04,3.231353e-04,3.193776e-04,3.193028e-04,3.156631e-04,3.119925e-04,3.048570e-04,2.979006e-04,2.911265e-04,2.845371e-04,2.781340e-04,2.719180e-04,2.658893e-04,2.600475e-04,2.543917e-04,2.489205e-04,2.436321e-04,2.385245e-04,2.335951e-04,2.288413e-04,2.242600e-04,2.198482e-04,2.156024e-04,2.115193e-04,2.075951e-04,2.038263e-04,2.002091e-04,1.967396e-04,1.934140e-04,1.902284e-04,1.871788e-04,1.842614e-04,1.814723e-04,1.788077e-04,1.762635e-04,1.738362e-04,1.715218e-04,1.693167e-04,1.672173e-04,1.652199e-04,1.633210e-04,1.615171e-04,1.598048e-04,1.581808e-04,1.566419e-04,1.551848e-04,1.538064e-04,1.525036e-04,1.512736e-04,1.501134e-04,1.490203e-04,1.479915e-04,1.470243e-04,1.461162e-04,1.452646e-04
0.000000e+00,2.600894e-09,1.602710e-07,1.705296e-07,2.241614e-06,1.446061e-05,1.549190e-05,7.238896e-05,2.360969e-04,2.526992e-04,6.995349e-04,1.514816e-03,1.609894e-03,3.205944e-03,5.408885e-03,5.705170e-03,9.298379e-03,1.348621e-02,1.413641e-02,2.032390e-02,2.676935e-02,2.791814e-02,3.693134e-02,4.557930e-02,4.733512e-02,5.906610e-02,6.961199e-02,7.203214e-02,8.611850e-02,9.810636e-02,1.011938e-01,1.171155e-01,1.300262e-01,1.337346e-01,1.509000e-01,1.642189e-01,1.684620e-01,1.862752e-01,1.995367e-01,2.042006e-01,2.221077e-01,2.349210e-01,2.398753e-01,2.573929e-01,2.694527e-01,2.745609e-01,2.912907e-01,3.023766e-01,3.075047e-01,3.231363e-01,3.331063e-01,3.381291e-01,3.524366e-01,3.612163e-01,3.660218e-01,3.788559e-01,3.864265e-01,3.909183e-01,4.021955e-01,4.085817e-01,4.126804e-01,4.223718e-01,4.276306e-01,4.312737e-01,4.393943e-01,4.436051e-01,4.467461e-01,4.533446e-01,4.566010e-01,4.592084e-01,4.643584e-01,4.667617e-01,4.688173e-01,4.726093e-01,4.742633e-01,4.757602e-01,4.782960e-01,4.793027e-01,4.802440e-01,4.816313e-01,4.820887e-01,4.824854e-01,4.828339e-01,4.828341e-01,4.827039e-01,4.821224e-01,4.817498e-01,4.811157e-01,4.797097e-01,4.790412e-01,4.779297e-01,4.758003e-01,4.749044e-01,4.733452e-01,4.705875e-01,4.695250e-01,4.675494e-01,4.642523e-01,4.630760e-01,4.607168e-01,4.569625e-01,4.557180e-01,4.530082e-01,4.488720e-01,4.475983e-01,4.445711e-01,4.401219e-01,4.388516e-01,4.355397e-01,4.308396e-01,4.295999e-01,4.260354e-01,4.211404e-01,4.199535e-01,4.161672e-01,4.111276e-01,4.100111e-01,4.060328e-01,4.008935e-01,3.998611e-01,3.957194e-01,3.905200e-01,3.895821e-01,3.853040e-01,3.800796e-01,3.792434e-01,3.748545e-01,3.696359e-01,3.689062e-01,3.644305e-01,3.592447e-01,3.586240e-01,3.540842e-01,3.489544e-01,3.484433e-01,3.438605e-01,3.388070e-01,3.384046e-01,3.337983e-01,3.288383e-01,3.285424e-01,3.239308e-01,3.190791e-01,3.188862e-01,3.142862e-01,3.095549e-01,3.094610e-01,3.048879e-01,3.002875e-01,2.913828e-01,2.827608e-01,2.744323e-01,2.664055e-01,2.586863e-01,2.512786e-01,2.441845e-01,2.374043e-01,2.309371e-01,2.247806e-01,2.189315e-01,2.133854e-01,2.081374e-01,2.031814e-01,1.985110e-01,1.941192e-01,1.899983e-01,1.861405e-01,1.825374e-01,1.791807e-01,1.760614e-01,1.731707e-01,1.704995e-01,1.680385e-01,1.657786e-01,1.637104e-01,1.618248e-01,1.601125e-01,1.585643e-01,1.571711e-01,1.559242e-01,1.548145e-01,1.538336e-01,1.529728e-01,1.522240e-01,1.515791e-01,1.510302e-01,1.505698e-01,1.501906e-01,1.498855e-01,1.496477e-01,1.494708e-01,1.493484e-01,1.492748e-01,1.492443e-01,1.492515e-01,1.492916e-01,1.493597e-01,1.494515e-01
0.000000e+00,1.500597e-09,8.583597e-08,9.133925e-08,1.237840e-06,7.898502e-06,8.441878e-06,3.520270e-05,9.454372e-05,9.972188e-05,2.111321e-04,3.504865e-04,3.639270e-04,5.441876e-04,7.175535e-04,7.370337e-04,9.305280e-04,1.094833e-03,1.116583e-03,1.290424e-03,1.428293e-03,1.449664e-03,1.593463e-03,1.702361e-03,1.721899e-03,1.835568e-03,1.918350e-03,1.935321e-03,2.022121e-03,2.082899e-03,2.096957e-03,2.160799e-03,2.203564e-03,2.214577e-03,2.259164e-03,2.287410e-03,2.295380e-03,2.323985e-03,2.340668e-03,2.345681e-03,2.361119e-03,2.368696e-03,2.370895e-03,2.375561e-03,2.376058e-03,2.375621e-03,2.371541e-03,2.366620e-03,2.363746e-03,2.352628e-03,2.343644e-03,2.338543e-03,2.321822e-03,2.309876e-03,2.302764e-03,2.281643e-03,2.267623e-03,2.258710e-03,2.234195e-03,2.218813e-03,2.208306e-03,2.181234e-03,2.165060e-03,2.153154e-03,2.124223e-03,2.107704e-03,2.094586e-03,2.064373e-03,2.047861e-03,2.033703e-03,2.002685e-03,1.986450e-03,1.971415e-03,1.939983e-03,1.924231e-03,1.908467e-03,1.876941e-03,1.861823e-03,1.845468e-03,1.814107e-03,1.799733e-03,1.782910e-03,1.751923e-03,1.738366e-03,1.721187e-03,1.690741e-03,1.678047e-03,1.660615e-03,1.630840e-03,1.619033e-03,1.601439e-03,1.572436e-03,1.561522e-03,1.543848e-03,1.515692e-03,1.505664e-03,1.487982e-03,1.460729e-03,1.451568e-03,1.433942e-03,1.407630e-03,1.399311e-03,1.381798e-03,1.356451e-03,1.348942e-03,1.331592e-03,1.307222e-03,1.300486e-03,1.283342e-03,1.259951e-03,1.253950e-03,1.237049e-03,1.214634e-03,1.209326e-03,1.192701e-03,1.171249e-03,1.166593e-03,1.150272e-03,1.129767e-03,1.125722e-03,1.109728e-03,1.090150e-03,1.086674e-03,1.071026e-03,1.052352e-03,1.049405e-03,1.034120e-03,1.016323e-03,1.013866e-03,9.989558e-04,9.820105e-04,9.800051e-04,9.654801e-04,9.493574e-04,9.477673e-04,9.336352e-04,9.183062e-04,9.170966e-04,9.033630e-04,8.887981e-04,8.879361e-04,8.746043e-04,8.607742e-04,8.602285e-04,8.473004e-04,8.341756e-04,8.339166e-04,8.213925e-04,8.089439e-04,7.852546e-04,7.627941e-04,7.415092e-04,7.213477e-04,7.022593e-04,6.841952e-04,6.671082e-04,6.509528e-04,6.356851e-04,6.212630e-04,6.076460e-04,5.947954e-04,5.826738e-04,5.712457e-04,5.604769e-04,5.503348e-04,5.407883e-04,5.318075e-04,5.233641e-04,5.154310e-04,5.079822e-04,5.009931e-04,4.944401e-04,4.883009e-04,4.825541e-04,4.771792e-04,4.721570e-04,4.674690e-04,4.630976e-04,4.590261e-04,4.552385e-04,4.517198e-04,4.484554e-04,4.454316e-04,4.426355e-04,4.400546e-04,4.376770e-04,4.354915e-04,4.334876e-04,4.316549e-04,4.299839e-04,4.284654e-04,4.270906e-04,4.258512e-04,4.247394e-04,4.237477e-04,4.228690e-04,4.220964e-04,4.214237e-04
0.000000e+00,1.001837e-09,7.237235e-08,7.737447e-08,1.254487e-06,8.593341e-06,9.197053e-06,3.876706e-05,1.038989e-04,1.096074e-04,2.348518e-04,3.997907e-04,4.162360e-04,6.464435e-04,8.855153e-04,9.135052e-04,1.204412e-03,1.470657e-03,1.507289e-03,1.812379e-03,2.070802e-03,2.112251e-03,2.401610e-03,2.633922e-03,2.676927e-03,2.936052e-03,3.135632e-03,3.177852e-03,3.401921e-03,3.568461e-03,3.608353e-03,3.797574e-03,3.933620e-03,3.970217e-03,4.127039e-03,4.236148e-03,4.268863e-03,4.396533e-03,4.482395e-03,4.510895e-03,4.612773e-03,4.678845e-03,4.702966e-03,4.782235e-03,4.831613e-03,4.851305e-03,4.910864e-03,4.946264e-03,4.961560e-03,5.004003e-03,5.027774e-03,5.038767e-03,5.066393e-03,5.080563e-03,5.087388e-03,5.102227e-03,5.108534e-03,5.111359e-03,5.115200e-03,5.115131e-03,5.114145e-03,5.108562e-03,5.103385e-03,5.098795e-03,5.085168e-03,5.075965e-03,5.067985e-03,5.047528e-03,5.035215e-03,5.024065e-03,4.997843e-03,4.983196e-03,4.969097e-03,4.938044e-03,4.921717e-03,4.904889e-03,4.869823e-03,4.852365e-03,4.833024e-03,4.794660e-03,4.776530e-03,4.754887e-03,4.713850e-03,4.695430e-03,4.671687e-03,4.628525e-03,4.610127e-03,4.584482e-03,4.539669e-03,4.521552e-03,4.494191e-03,4.448143e-03,4.430514e-03,4.401615e-03,4.354692e-03,4.337718e-03,4.307450e-03,4.259963e-03,4.243774e-03,4.212298e-03,4.164517e-03,4.149212e-03,4.116678e-03,4.068835e-03,4.054489e-03,4.021039e-03,3.973335e-03,3.960000e-03,3.925765e-03,3.878370e-03,3.866080e-03,3.831186e-03,3.784245e-03,3.773019e-03,3.737579e-03,3.691217e-03,3.681060e-03,3.645183e-03,3.599502e-03,3.590410e-03,3.554195e-03,3.509281e-03,3.501240e-03,3.464780e-03,3.420707e-03,3.413696e-03,3.377076e-03,3.333901e-03,3.327893e-03,3.291193e-03,3.248962e-03,3.243927e-03,3.207219e-03,3.165970e-03,3.161872e-03,3.125223e-03,3.084984e-03,3.081787e-03,3.045257e-03,3.006048e-03,3.003712e-03,2.967359e-03,2.929194e-03,2.927678e-03,2.891554e-03,2.854440e-03,2.853704e-03,2.817854e-03,2.781796e-03,2.711955e-03,2.644173e-03,2.578436e-03,2.514725e-03,2.453016e-03,2.393281e-03,2.335491e-03,2.279610e-03,2.225605e-03,2.173436e-03,2.123066e-03,2.074456e-03,2.027563e-03,1.982347e-03,1.938768e-03,1.896782e-03,1.856350e-03,1.817429e-03,1.779978e-03,1.743957e-03,1.709325e-03,1.676044e-03,1.644072e-03,1.613373e-03,1.583909e-03,1.555641e-03,1.528534e-03,1.502552e-03,1.477661e-03,1.453825e-03,1.431013e-03,1.409190e-03,1.388325e-03,1.368388e-03,1.349347e-03,1.331174e-03,1.313839e-03,1.297314e-03,1.281572e-03,1.266587e-03,1.252331e-03,1.238781e-03,1.225911e-03,1.213697e-03,1.202117e-03,1.191146e-03,1.180764e-03,1.170949e-03,1.161679e-03
0.000000e+00,1.285106e-09,7.607872e-08,8.097513e-08,1.092603e-06,6.899520e-06,7.372633e-06,3.087650e-05,8.462646e-05,8.941279e-05,1.953594e-04,3.339351e-04,3.475691e-04,5.336141e-04,7.158621e-04,7.364085e-04,9.397024e-04,1.108946e-03,1.130953e-03,1.302066e-03,1.429893e-03,1.448927e-03,1.570445e-03,1.653579e-03,1.667555e-03,1.742372e-03,1.788956e-03,1.797570e-03,1.835955e-03,1.856379e-03,1.860225e-03,1.872823e-03,1.875934e-03,1.875888e-03,1.871248e-03,1.863521e-03,1.860435e-03,1.844719e-03,1.830556e-03,1.825147e-03,1.802572e-03,1.784855e-03,1.777690e-03,1.751065e-03,1.731639e-03,1.723154e-03,1.694330e-03,1.674363e-03,1.664891e-03,1.635082e-03,1.615301e-03,1.605097e-03,1.575094e-03,1.555942e-03,1.545199e-03,1.515514e-03,1.497252e-03,1.486121e-03,1.457083e-03,1.439853e-03,1.428452e-03,1.400266e-03,1.384134e-03,1.372556e-03,1.345345e-03,1.330331e-03,1.318650e-03,1.292484e-03,1.278577e-03,1.266854e-03,1.241766e-03,1.228935e-03,1.217221e-03,1.193219e-03,1.181421e-03,1.169757e-03,1.146833e-03,1.136019e-03,1.124441e-03,1.102576e-03,1.092693e-03,1.081231e-03,1.060399e-03,1.051394e-03,1.040073e-03,1.020244e-03,1.012062e-03,1.000903e-03,9.820429e-04,9.746312e-04,9.636537e-04,9.457268e-04,9.390338e-04,9.282529e-04,9.112230e-04,9.051991e-04,8.946279e-04,8.784584e-04,8.730561e-04,8.627055e-04,8.473600e-04,8.425341e-04,8.324130e-04,8.178556e-04,8.135630e-04,8.036790e-04,7.898744e-04,7.860746e-04,7.764333e-04,7.633472e-04,7.600019e-04,7.506077e-04,7.382067e-04,7.352799e-04,7.261361e-04,7.143879e-04,7.118458e-04,7.029544e-04,6.918280e-04,6.896388e-04,6.810010e-04,6.704661e-04,6.686003e-04,6.602162e-04,6.502442e-04,6.486740e-04,6.405431e-04,6.311062e-04,6.298058e-04,6.219269e-04,6.129985e-04,6.119437e-04,6.043149e-04,5.958698e-04,5.950381e-04,5.876570e-04,5.796708e-04,5.790415e-04,5.719052e-04,5.643546e-04,5.639082e-04,5.570134e-04,5.498763e-04,5.495950e-04,5.429379e-04,5.361932e-04,5.360602e-04,5.296369e-04,5.232644e-04,5.111697e-04,4.997402e-04,4.889417e-04,4.787416e-04,4.691087e-04,4.600136e-04,4.514280e-04,4.433253e-04,4.356800e-04,4.284680e-04,4.216663e-04,4.152530e-04,4.092074e-04,4.035099e-04,3.981417e-04,3.930851e-04,3.883231e-04,3.838398e-04,3.796200e-04,3.756492e-04,3.719138e-04,3.684008e-04,3.650978e-04,3.619931e-04,3.590758e-04,3.563351e-04,3.537613e-04,3.513447e-04,3.490765e-04,3.469482e-04,3.449516e-04,3.430792e-04,3.413237e-04,3.396783e-04,3.381364e-04,3.366919e-04,3.353390e-04,3.340721e-04,3.328861e-04,3.317759e-04,3.307370e-04,3.297649e-04,3.288553e-04,3.280044e-04,3.272084e-04,3.264636e-04,3.257669e-04,3.251151e-04,3.245051e-04
0.000000e+00,1.806285e-09,1.995677e-08,2.076187e-08,1.155903e-07,4.028597e-07,4.211903e-07,1.073617e-06,1.969091e-06,2.031598e-06,3.097101e-06,4.053130e-06,4.133597e-06,5.096552e-06,5.892681e-06,5.977016e-06,6.776181e-06,7.415310e-06,7.497994e-06,8.147073e-06,8.650686e-06,8.728106e-06,9.245659e-06,9.634559e-06,9.704115e-06,1.010765e-05,1.040036e-05,1.046024e-05,1.076563e-05,1.097834e-05,1.102736e-05,1.124878e-05,1.139553e-05,1.143303e-05,1.158304e-05,1.167586e-05,1.170157e-05,1.179121e-05,1.184035e-05,1.185435e-05,1.189325e-05,1.190744e-05,1.191002e-05,1.190659e-05,1.189316e-05,1.188479e-05,1.184633e-05,1.181145e-05,1.179276e-05,1.172556e-05,1.167440e-05,1.164609e-05,1.155559e-05,1.149244e-05,1.145526e-05,1.134616e-05,1.127456e-05,1.122930e-05,1.110561e-05,1.102848e-05,1.097595e-05,1.084111e-05,1.076081e-05,1.070181e-05,1.055874e-05,1.047720e-05,1.041251e-05,1.026369e-05,1.018243e-05,1.011280e-05,9.960339e-06,9.880579e-06,9.806731e-06,9.652384e-06,9.575049e-06,9.497664e-06,9.342908e-06,9.268703e-06,9.188421e-06,9.034479e-06,8.963919e-06,8.881334e-06,8.729213e-06,8.662657e-06,8.578319e-06,8.428836e-06,8.366514e-06,8.280928e-06,8.134742e-06,8.076779e-06,7.990406e-06,7.848037e-06,7.794473e-06,7.707732e-06,7.569580e-06,7.520387e-06,7.433656e-06,7.300023e-06,7.255119e-06,7.168735e-06,7.039836e-06,6.999099e-06,6.913362e-06,6.789340e-06,6.752615e-06,6.667792e-06,6.548730e-06,6.515839e-06,6.432162e-06,6.318091e-06,6.288841e-06,6.206513e-06,6.097421e-06,6.071607e-06,5.990802e-06,5.886642e-06,5.864055e-06,5.784922e-06,5.685619e-06,5.666046e-06,5.588709e-06,5.494164e-06,5.477395e-06,5.401956e-06,5.312054e-06,5.297881e-06,5.224424e-06,5.139032e-06,5.127253e-06,5.055842e-06,4.974818e-06,4.965239e-06,4.895923e-06,4.819117e-06,4.811550e-06,4.744363e-06,4.671620e-06,4.665886e-06,4.600849e-06,4.532009e-06,4.527939e-06,4.465061e-06,4.399964e-06,4.397398e-06,4.336678e-06,4.275163e-06,4.273950e-06,4.215379e-06,4.157286e-06,4.047098e-06,3.943086e-06,3.844953e-06,3.752411e-06,3.665182e-06,3.582995e-06,3.505588e-06,3.432712e-06,3.364123e-06,3.299592e-06,3.238896e-06,3.181823e-06,3.128173e-06,3.077753e-06,3.030379e-06,2.985878e-06,2.944085e-06,2.904843e-06,2.868003e-06,2.833425e-06,2.800976e-06,2.770530e-06,2.741968e-06,2.715178e-06,2.690054e-06,2.666495e-06,2.644408e-06,2.623703e-06,2.604296e-06,2.586110e-06,2.569069e-06,2.553103e-06,2.538147e-06,2.524139e-06,2.511021e-06,2.498737e-06,2.487236e-06,2.476471e-06,2.466395e-06,2.456966e-06,2.448144e-06,2.439891e-06,2.432172e-06,2.424953e-06,2.418204e-06,2.411895e-06,2.406000e-06,2.400491e-06,2.395345e-06
0.000000e+00,8.734970e-09,2.738899e-07,2.885038e-07,2.498960e-06,1.107738e-05,1.167302e-05,3.512962e-05,7.291666e-05,7.576410e-05,1.275953e-04,1.775742e-04,1.818618e-04,2.336757e-04,2.769259e-04,2.815214e-04,3.251836e-04,3.602558e-04,3.648041e-04,4.006064e-04,4.285238e-04,4.328280e-04,4.617028e-04,4.835362e-04,4.874560e-04,5.103032e-04,5.270136e-04,5.304494e-04,5.480887e-04,5.605188e-04,5.634045e-04,5.765695e-04,5.854498e-04,5.877459e-04,5.970859e-04,6.030442e-04,6.047321e-04,6.108177e-04,6.143902e-04,6.154676e-04,6.187981e-04,6.204403e-04,6.209177e-04,6.219279e-04,6.220256e-04,6.219229e-04,6.209911e-04,6.198701e-04,6.192144e-04,6.166693e-04,6.146033e-04,6.134269e-04,6.095533e-04,6.067716e-04,6.051101e-04,6.001543e-04,5.968478e-04,5.947392e-04,5.889138e-04,5.852409e-04,5.827240e-04,5.762122e-04,5.723035e-04,5.694177e-04,5.623766e-04,5.583384e-04,5.551223e-04,5.476858e-04,5.436045e-04,5.400957e-04,5.323783e-04,5.283230e-04,5.245578e-04,5.166565e-04,5.126820e-04,5.086949e-04,5.006921e-04,4.968412e-04,4.926652e-04,4.846301e-04,4.809352e-04,4.766012e-04,4.685918e-04,4.650770e-04,4.606139e-04,4.526784e-04,4.493606e-04,4.447954e-04,4.369736e-04,4.338640e-04,4.292214e-04,4.215458e-04,4.186506e-04,4.139536e-04,4.064504e-04,4.037721e-04,3.990415e-04,3.917314e-04,3.892693e-04,3.845242e-04,3.774233e-04,3.751740e-04,3.704318e-04,3.635521e-04,3.615104e-04,3.567866e-04,3.501370e-04,3.482960e-04,3.436046e-04,3.371908e-04,3.355427e-04,3.308962e-04,3.247214e-04,3.232573e-04,3.186668e-04,3.127325e-04,3.114430e-04,3.069183e-04,3.012239e-04,3.000993e-04,2.956488e-04,2.901925e-04,2.892229e-04,2.848541e-04,2.796328e-04,2.788082e-04,2.745275e-04,2.695371e-04,2.688475e-04,2.646604e-04,2.598961e-04,2.593318e-04,2.552427e-04,2.506990e-04,2.502506e-04,2.462634e-04,2.419343e-04,2.415925e-04,2.377101e-04,2.335893e-04,2.333453e-04,2.295702e-04,2.256511e-04,2.254964e-04,2.218303e-04,2.181061e-04,2.180326e-04,2.144768e-04,2.109407e-04,2.042070e-04,1.978182e-04,1.917608e-04,1.860214e-04,1.805871e-04,1.754450e-04,1.705825e-04,1.659874e-04,1.616477e-04,1.575518e-04,1.536887e-04,1.500475e-04,1.466177e-04,1.433892e-04,1.403525e-04,1.374982e-04,1.348174e-04,1.323015e-04,1.299422e-04,1.277319e-04,1.256629e-04,1.237280e-04,1.219204e-04,1.202335e-04,1.186610e-04,1.171970e-04,1.158358e-04,1.145719e-04,1.134002e-04,1.123157e-04,1.113137e-04,1.103897e-04,1.095395e-04,1.087591e-04,1.080445e-04,1.073921e-04,1.067984e-04,1.062601e-04,1.057740e-04,1.053371e-04,1.049466e-04,1.045997e-04,1.042940e-04,1.040269e-04,1.037961e-04,1.035994e-04,1.034348e-04,1.033001e-04,1.031937e-04
0.000000e+00,8.019686e-10,4.728040e-08,5.031331e-08,6.836449e-07,4.525397e-06,4.848770e-06,2.200560e-05,6.593226e-05,7.007078e-05,1.687805e-04,3.146672e-04,3.299337e-04,5.538498e-04,8.018442e-04,8.316794e-04,1.149578e-03,1.450389e-03,1.492349e-03,1.845837e-03,2.149270e-03,2.198150e-03,2.540061e-03,2.814284e-03,2.864905e-03,3.168237e-03,3.399012e-03,3.447408e-03,3.701145e-03,3.885620e-03,3.929186e-03,4.131980e-03,4.273218e-03,4.310455e-03,4.465839e-03,4.569345e-03,4.599533e-03,4.713020e-03,4.784876e-03,4.807804e-03,4.885361e-03,4.931340e-03,4.947119e-03,4.994438e-03,5.019659e-03,5.028599e-03,5.050804e-03,5.059648e-03,5.062172e-03,5.063741e-03,5.059878e-03,5.056471e-03,5.041249e-03,5.027714e-03,5.018892e-03,4.990152e-03,4.969431e-03,4.955717e-03,4.916222e-03,4.890340e-03,4.872248e-03,4.824328e-03,4.794919e-03,4.772948e-03,4.718556e-03,4.686934e-03,4.661559e-03,4.602329e-03,4.569538e-03,4.541208e-03,4.478505e-03,4.445369e-03,4.414503e-03,4.349460e-03,4.316623e-03,4.283611e-03,4.217167e-03,4.185120e-03,4.150322e-03,4.083251e-03,4.052367e-03,4.016112e-03,3.949049e-03,3.919599e-03,3.882191e-03,3.815652e-03,3.787827e-03,3.749538e-03,3.683940e-03,3.657865e-03,3.618943e-03,3.554619e-03,3.530366e-03,3.491034e-03,3.428246e-03,3.405847e-03,3.366305e-03,3.305254e-03,3.284707e-03,3.245133e-03,3.185973e-03,3.167250e-03,3.127802e-03,3.070643e-03,3.053696e-03,3.014515e-03,2.959432e-03,2.944198e-03,2.905407e-03,2.852447e-03,2.838853e-03,2.800559e-03,2.749745e-03,2.737709e-03,2.700005e-03,2.651340e-03,2.640777e-03,2.603744e-03,2.557214e-03,2.548035e-03,2.511742e-03,2.467320e-03,2.459435e-03,2.423939e-03,2.381589e-03,2.374908e-03,2.340258e-03,2.299935e-03,2.294369e-03,2.260606e-03,2.222257e-03,2.217720e-03,2.184875e-03,2.148444e-03,2.144853e-03,2.112951e-03,2.078378e-03,2.075652e-03,2.044712e-03,2.011934e-03,2.009996e-03,1.980031e-03,1.948984e-03,1.947760e-03,1.918779e-03,1.889398e-03,1.888819e-03,1.860825e-03,1.833044e-03,1.780310e-03,1.730490e-03,1.683460e-03,1.639100e-03,1.597288e-03,1.557911e-03,1.520855e-03,1.486010e-03,1.453272e-03,1.422539e-03,1.393712e-03,1.366697e-03,1.341403e-03,1.317744e-03,1.295635e-03,1.274998e-03,1.255755e-03,1.237833e-03,1.221164e-03,1.205679e-03,1.191315e-03,1.178012e-03,1.165711e-03,1.154357e-03,1.143898e-03,1.134284e-03,1.125466e-03,1.117400e-03,1.110042e-03,1.103351e-03,1.097288e-03,1.091816e-03,1.086899e-03,1.082504e-03,1.078599e-03,1.075153e-03,1.072138e-03,1.069527e-03,1.067292e-03,1.065411e-03,1.063859e-03,1.062614e-03,1.061656e-03,1.060964e-03,1.060519e-03,1.060304e-03,1.060302e-03,1.060496e-03,1.060872e-03
0.000000e+00,5.829045e-09,1.165678e-07,1.222216e-07,8.007654e-07,2.435566e-06,2.521929e-06,4.860011e-06,7.070725e-06,7.207775e-06,9.403051e-06,1.127058e-05,1.142616e-05,1.328165e-05,1.481529e-05,1.497803e-05,1.652435e-05,1.776805e-05,1.792950e-05,1.920213e-05,2.019694e-05,2.035054e-05,2.138283e-05,2.216589e-05,2.230675e-05,2.312971e-05,2.373415e-05,2.385875e-05,2.450054e-05,2.495537e-05,2.506134e-05,2.554708e-05,2.587741e-05,2.596328e-05,2.631515e-05,2.654254e-05,2.660754e-05,2.684501e-05,2.698789e-05,2.703181e-05,2.717191e-05,2.724594e-05,2.726900e-05,2.732655e-05,2.734504e-05,2.734778e-05,2.733569e-05,2.730988e-05,2.729308e-05,2.722256e-05,2.716192e-05,2.712656e-05,2.700732e-05,2.691980e-05,2.686696e-05,2.670743e-05,2.659970e-05,2.653054e-05,2.633799e-05,2.621559e-05,2.613133e-05,2.591203e-05,2.577958e-05,2.568143e-05,2.544080e-05,2.530209e-05,2.519128e-05,2.493396e-05,2.479212e-05,2.466984e-05,2.439983e-05,2.425739e-05,2.412480e-05,2.384552e-05,2.370452e-05,2.356273e-05,2.327710e-05,2.313918e-05,2.298926e-05,2.269977e-05,2.256619e-05,2.240915e-05,2.211790e-05,2.198967e-05,2.182646e-05,2.153524e-05,2.141308e-05,2.124460e-05,2.095490e-05,2.083935e-05,2.066644e-05,2.037951e-05,2.027094e-05,2.009437e-05,1.981126e-05,1.970987e-05,1.953038e-05,1.925193e-05,1.915785e-05,1.897609e-05,1.870301e-05,1.861623e-05,1.843283e-05,1.816568e-05,1.808614e-05,1.790166e-05,1.764088e-05,1.756845e-05,1.738341e-05,1.712934e-05,1.706384e-05,1.687872e-05,1.663162e-05,1.657284e-05,1.638807e-05,1.614811e-05,1.609581e-05,1.591178e-05,1.567909e-05,1.563299e-05,1.545006e-05,1.522471e-05,1.518453e-05,1.500303e-05,1.478502e-05,1.475048e-05,1.457069e-05,1.436001e-05,1.433081e-05,1.415299e-05,1.394960e-05,1.392543e-05,1.374982e-05,1.355363e-05,1.353421e-05,1.336101e-05,1.317192e-05,1.315695e-05,1.298635e-05,1.280425e-05,1.279343e-05,1.262559e-05,1.245034e-05,1.244340e-05,1.227847e-05,1.210993e-05,1.210659e-05,1.194469e-05,1.178270e-05,1.147142e-05,1.117243e-05,1.088540e-05,1.060999e-05,1.034589e-05,1.009274e-05,9.850206e-06,9.617964e-06,9.395680e-06,9.183030e-06,8.979691e-06,8.785350e-06,8.599700e-06,8.422437e-06,8.253268e-06,8.091906e-06,7.938070e-06,7.791488e-06,7.651895e-06,7.519034e-06,7.392655e-06,7.272516e-06,7.158381e-06,7.050022e-06,6.947219e-06,6.849757e-06,6.757431e-06,6.670039e-06,6.587387e-06,6.509289e-06,6.435564e-06,6.366035e-06,6.300534e-06,6.238896e-06,6.180965e-06,6.126587e-06,6.075614e-06,6.027904e-06,5.983319e-06,5.941726e-06,5.902998e-06,5.867009e-06,5.833641e-06,5.802778e-06,5.774308e-06,5.748124e-06,5.724123e-06,5.702203e-06,5.682268e-06
0.000000e+00,1.596381e-08,4.165470e-07,4.386290e-07,3.528519e-06,1.288861e-05,1.344498e-05,3.034701e-05,4.798544e-05,4.909306e-05,6.683794e-05,8.183762e-05,8.308109e-05,9.782749e-05,1.098877e-04,1.111599e-04,1.231705e-04,1.327183e-04,1.339497e-04,1.435845e-04,1.510182e-04,1.521575e-04,1.597469e-04,1.654160e-04,1.664264e-04,1.722652e-04,1.764718e-04,1.773288e-04,1.816781e-04,1.846820e-04,1.853705e-04,1.884590e-04,1.904807e-04,1.909931e-04,1.930189e-04,1.942451e-04,1.945794e-04,1.957141e-04,1.963015e-04,1.964599e-04,1.968511e-04,1.969311e-04,1.969194e-04,1.966940e-04,1.963761e-04,1.962022e-04,1.954691e-04,1.948447e-04,1.945180e-04,1.933704e-04,1.925152e-04,1.920463e-04,1.905640e-04,1.895402e-04,1.889405e-04,1.871915e-04,1.860504e-04,1.853314e-04,1.833735e-04,1.821569e-04,1.813301e-04,1.792125e-04,1.779544e-04,1.770311e-04,1.747954e-04,1.735231e-04,1.725143e-04,1.701958e-04,1.689308e-04,1.678472e-04,1.654753e-04,1.642349e-04,1.630864e-04,1.606860e-04,1.594832e-04,1.582794e-04,1.558712e-04,1.547160e-04,1.534658e-04,1.510669e-04,1.499666e-04,1.486782e-04,1.463027e-04,1.452625e-04,1.439435e-04,1.416030e-04,1.406261e-04,1.392836e-04,1.369874e-04,1.360758e-04,1.347162e-04,1.324717e-04,1.316261e-04,1.302553e-04,1.280683e-04,1.272884e-04,1.259118e-04,1.237868e-04,1.230716e-04,1.216940e-04,1.196343e-04,1.189822e-04,1.176081e-04,1.156159e-04,1.150249e-04,1.136581e-04,1.117350e-04,1.112028e-04,1.098468e-04,1.079936e-04,1.075175e-04,1.061754e-04,1.043923e-04,1.039696e-04,1.026442e-04,1.009310e-04,1.005587e-04,9.925246e-05,9.760846e-05,9.728378e-05,9.599873e-05,9.442299e-05,9.414295e-05,9.288095e-05,9.137226e-05,9.113394e-05,8.989656e-05,8.845348e-05,8.825403e-05,8.704261e-05,8.566355e-05,8.550017e-05,8.431585e-05,8.299908e-05,8.286908e-05,8.171278e-05,8.045649e-05,8.035727e-05,7.922974e-05,7.803204e-05,7.796110e-05,7.686293e-05,7.572192e-05,7.567686e-05,7.460851e-05,7.352223e-05,7.350077e-05,7.246257e-05,7.142905e-05,6.945791e-05,6.758357e-05,6.580232e-05,6.411050e-05,6.250451e-05,6.098086e-05,5.953610e-05,5.816692e-05,5.687007e-05,5.564243e-05,5.448096e-05,5.338274e-05,5.234492e-05,5.136480e-05,5.043974e-05,4.956721e-05,4.874478e-05,4.797013e-05,4.724101e-05,4.655527e-05,4.591084e-05,4.530575e-05,4.473810e-05,4.420609e-05,4.370796e-05,4.324206e-05,4.280679e-05,4.240063e-05,4.202213e-05,4.166988e-05,4.134257e-05,4.103892e-05,4.075770e-05,4.049777e-05,4.025801e-05,4.003735e-05,3.983480e-05,3.964938e-05,3.948018e-05,3.932630e-05,3.918692e-05,3.906124e-05,3.894849e-05,3.884794e-05,3.875889e-05,3.868070e-05,3.861271e-05,3.855435e-05,3.850503e-05
0.000000e+00,1.547670e-09,1.004965e-07,1.070703e-07,1.493193e-06,9.870437e-06,1.057680e-05,4.894886e-05,1.557860e-04,1.664531e-04,4.481424e-04,9.500056e-04,1.008005e-03,1.972973e-03,3.289910e-03,3.466227e-03,5.594811e-03,8.060386e-03,8.442134e-03,1.206444e-02,1.582185e-02,1.649016e-02,2.172126e-02,2.672238e-02,2.773583e-02,3.449140e-02,4.054269e-02,4.192859e-02,4.997483e-02,5.679534e-02,5.854792e-02,6.755933e-02,7.483341e-02,7.691711e-02,8.652852e-02,9.394650e-02,9.630218e-02,1.061498e-01,1.134352e-01,1.159877e-01,1.257377e-01,1.326628e-01,1.353282e-01,1.446944e-01,1.510862e-01,1.537788e-01,1.625310e-01,1.682706e-01,1.709082e-01,1.788741e-01,1.838919e-01,1.863997e-01,1.934619e-01,1.977305e-01,2.000438e-01,2.061339e-01,2.096597e-01,2.117256e-01,2.168168e-01,2.196320e-01,2.214095e-01,2.255090e-01,2.276640e-01,2.291239e-01,2.322653e-01,2.338225e-01,2.349464e-01,2.371824e-01,2.382107e-01,2.389901e-01,2.403871e-01,2.409574e-01,2.413921e-01,2.420245e-01,2.422071e-01,2.423039e-01,2.422503e-01,2.421121e-01,2.418835e-01,2.412234e-01,2.408267e-01,2.402896e-01,2.391010e-01,2.385022e-01,2.376766e-01,2.360344e-01,2.352839e-01,2.341920e-01,2.321664e-01,2.313085e-01,2.299739e-01,2.276301e-01,2.267028e-01,2.251498e-01,2.225472e-01,2.215830e-01,2.198359e-01,2.170284e-01,2.160541e-01,2.141368e-01,2.111726e-01,2.102104e-01,2.081463e-01,2.050680e-01,2.041358e-01,2.019470e-01,1.987922e-01,1.979039e-01,1.956117e-01,1.924131e-01,1.915794e-01,1.892036e-01,1.859897e-01,1.852183e-01,1.827774e-01,1.795724e-01,1.788688e-01,1.763798e-01,1.732045e-01,1.725719e-01,1.700507e-01,1.669225e-01,1.663625e-01,1.638236e-01,1.607571e-01,1.602697e-01,1.577262e-01,1.547335e-01,1.543177e-01,1.517815e-01,1.488725e-01,1.485264e-01,1.460082e-01,1.431906e-01,1.429115e-01,1.404211e-01,1.377010e-01,1.374856e-01,1.350316e-01,1.324138e-01,1.322584e-01,1.298485e-01,1.273363e-01,1.272370e-01,1.248779e-01,1.224737e-01,1.224262e-01,1.201240e-01,1.178290e-01,1.134471e-01,1.092803e-01,1.053278e-01,1.015874e-01,9.805635e-02,9.473112e-02,9.160762e-02,8.868133e-02,8.594729e-02,8.340026e-02,8.103472e-02,7.884496e-02,7.682507e-02,7.496903e-02,7.327069e-02,7.172384e-02,7.032218e-02,6.905940e-02,6.792914e-02,6.692503e-02,6.604071e-02,6.526984e-02,6.460609e-02,6.404318e-02,6.357491e-02,6.319511e-02,6.289771e-02,6.267674e-02,6.252634e-02,6.244074e-02,6.241435e-02,6.244170e-02,6.251747e-02,6.263655e-02,6.279398e-02,6.298501e-02,6.320507e-02,6.344983e-02,6.371515e-02,6.399715e-02,6.429214e-02,6.459669e-02,6.490759e-02,6.522187e-02,6.553679e-02,6.584985e-02,6.615878e-02,6.646152e-02,6.675626e-02
0.000000e+00,2.634825e-09,1.978006e-07,2.115685e-07,3.591217e-06,2.708250e-05,2.912796e-05,1.410865e-04,4.387934e-04,4.674757e-04,1.183183e-03,2.349909e-03,2.479397e-03,4.538869e-03,7.176375e-03,7.519764e-03,1.154649e-02,1.602480e-02,1.670564e-02,2.304556e-02,2.945236e-02,3.057831e-02,3.928319e-02,4.746594e-02,4.911114e-02,5.998948e-02,6.962988e-02,7.182680e-02,8.451757e-02,9.520740e-02,9.794646e-02,1.119922e-01,1.232964e-01,1.265310e-01,1.414392e-01,1.529422e-01,1.565963e-01,1.718861e-01,1.832211e-01,1.871987e-01,2.024316e-01,2.132965e-01,2.174903e-01,2.322892e-01,2.424523e-01,2.467514e-01,2.608090e-01,2.701065e-01,2.744029e-01,2.874826e-01,2.958127e-01,3.000060e-01,3.119384e-01,3.192523e-01,3.232528e-01,3.339287e-01,3.402207e-01,3.439519e-01,3.533138e-01,3.586119e-01,3.620108e-01,3.700440e-01,3.744009e-01,3.774184e-01,3.841424e-01,3.876280e-01,3.902277e-01,3.956885e-01,3.983833e-01,4.005411e-01,4.048037e-01,4.067935e-01,4.084959e-01,4.116386e-01,4.130107e-01,4.142536e-01,4.163631e-01,4.172028e-01,4.179899e-01,4.191571e-01,4.195460e-01,4.198877e-01,4.202045e-01,4.202188e-01,4.201304e-01,4.196878e-01,4.193972e-01,4.188985e-01,4.177841e-01,4.172519e-01,4.163654e-01,4.146626e-01,4.139452e-01,4.126955e-01,4.104828e-01,4.096297e-01,4.080430e-01,4.053934e-01,4.044478e-01,4.025510e-01,3.995316e-01,3.985306e-01,3.963508e-01,3.930231e-01,3.919982e-01,3.895624e-01,3.859819e-01,3.849597e-01,3.822943e-01,3.785113e-01,3.775136e-01,3.746444e-01,3.707040e-01,3.697485e-01,3.667002e-01,3.626426e-01,3.617436e-01,3.585400e-01,3.544008e-01,3.535692e-01,3.502328e-01,3.460436e-01,3.452878e-01,3.418398e-01,3.376282e-01,3.369540e-01,3.334147e-01,3.292049e-01,3.286161e-01,3.250042e-01,3.208173e-01,3.203161e-01,3.166490e-01,3.125034e-01,3.120903e-01,3.083845e-01,3.042959e-01,3.039702e-01,3.002408e-01,2.962225e-01,2.959826e-01,2.922438e-01,2.883072e-01,2.881506e-01,2.844151e-01,2.805698e-01,2.804934e-01,2.767732e-01,2.730271e-01,2.657649e-01,2.587177e-01,2.518938e-01,2.452999e-01,2.389406e-01,2.328192e-01,2.269374e-01,2.212961e-01,2.158946e-01,2.107318e-01,2.058055e-01,2.011127e-01,1.966500e-01,1.924134e-01,1.883984e-01,1.846001e-01,1.810132e-01,1.776322e-01,1.744512e-01,1.714643e-01,1.686653e-01,1.660477e-01,1.636051e-01,1.613311e-01,1.592189e-01,1.572620e-01,1.554537e-01,1.537873e-01,1.522564e-01,1.508543e-01,1.495745e-01,1.484107e-01,1.473564e-01,1.464056e-01,1.455521e-01,1.447899e-01,1.441133e-01,1.435166e-01,1.429943e-01,1.425411e-01,1.421519e-01,1.418217e-01,1.415456e-01,1.413192e-01,1.411381e-01,1.409980e-01,1.408951e-01,1.408254e-01,1.407854e-01
0.000000e+00,1.530202e-08,3.253852e-07,3.416130e-07,2.547369e-06,9.297458e-06,9.705400e-06,2.251905e-05,3.660236e-05,3.750079e-05,5.199476e-05,6.431589e-05,6.533842e-05,7.746994e-05,8.739347e-05,8.844020e-05,9.831928e-05,1.061676e-04,1.071794e-04,1.150910e-04,1.211883e-04,1.221221e-04,1.283371e-04,1.329721e-04,1.337974e-04,1.385605e-04,1.419840e-04,1.426804e-04,1.462078e-04,1.486351e-04,1.491901e-04,1.516713e-04,1.532853e-04,1.536925e-04,1.552921e-04,1.562477e-04,1.565055e-04,1.573660e-04,1.577937e-04,1.579043e-04,1.581489e-04,1.581582e-04,1.581264e-04,1.578613e-04,1.575435e-04,1.573762e-04,1.566923e-04,1.561238e-04,1.558292e-04,1.548049e-04,1.540487e-04,1.536361e-04,1.523382e-04,1.514465e-04,1.509257e-04,1.494116e-04,1.484272e-04,1.478081e-04,1.461264e-04,1.450841e-04,1.443767e-04,1.425687e-04,1.414967e-04,1.407110e-04,1.388117e-04,1.377328e-04,1.368783e-04,1.349173e-04,1.338492e-04,1.329351e-04,1.309372e-04,1.298938e-04,1.289288e-04,1.269146e-04,1.259067e-04,1.248989e-04,1.228857e-04,1.219212e-04,1.208783e-04,1.188801e-04,1.179648e-04,1.168939e-04,1.149223e-04,1.140600e-04,1.129677e-04,1.110321e-04,1.102253e-04,1.091174e-04,1.072253e-04,1.064751e-04,1.053573e-04,1.035145e-04,1.028212e-04,1.016982e-04,9.990936e-05,9.927225e-05,9.814874e-05,9.641708e-05,9.583502e-05,9.471496e-05,9.304286e-05,9.251420e-05,9.140117e-05,8.979018e-05,8.931291e-05,8.821010e-05,8.666106e-05,8.623291e-05,8.514313e-05,8.365632e-05,8.327483e-05,8.220056e-05,8.077575e-05,8.043839e-05,7.938175e-05,7.801835e-05,7.772249e-05,7.668533e-05,7.538242e-05,7.512542e-05,7.410932e-05,7.286572e-05,7.264498e-05,7.165126e-05,7.046557e-05,7.027851e-05,6.930828e-05,6.817897e-05,6.802308e-05,6.707723e-05,6.600263e-05,6.587548e-05,6.495473e-05,6.393308e-05,6.383234e-05,6.293723e-05,6.196672e-05,6.189016e-05,6.102108e-05,6.009985e-05,6.004535e-05,5.920256e-05,5.832874e-05,5.829427e-05,5.747792e-05,5.664962e-05,5.663328e-05,5.584339e-05,5.505876e-05,5.356712e-05,5.215481e-05,5.081838e-05,4.955444e-05,4.835968e-05,4.723090e-05,4.616500e-05,4.515897e-05,4.420992e-05,4.331507e-05,4.247174e-05,4.167735e-05,4.092944e-05,4.022564e-05,3.956370e-05,3.894145e-05,3.835683e-05,3.780787e-05,3.729269e-05,3.680949e-05,3.635658e-05,3.593232e-05,3.553516e-05,3.516365e-05,3.481638e-05,3.449201e-05,3.418929e-05,3.390702e-05,3.364406e-05,3.339933e-05,3.317180e-05,3.296050e-05,3.276450e-05,3.258293e-05,3.241497e-05,3.225983e-05,3.211675e-05,3.198504e-05,3.186403e-05,3.175309e-05,3.165161e-05,3.155904e-05,3.147483e-05,3.139847e-05,3.132949e-05,3.126743e-05,3.121187e-05,3.116240e-05,3.111863e-05
0.000000e+00,3.466000e-10,2.889720e-08,3.099970e-08,5.865621e-07,4.426957e-06,4.750782e-06,2.074838e-05,5.540844e-05,5.840304e-05,1.227221e-04,2.042020e-04,2.121536e-04,3.204768e-04,4.273332e-04,4.394743e-04,5.610327e-04,6.646975e-04,6.783745e-04,7.865517e-04,8.698390e-04,8.824547e-04,9.645562e-04,1.022606e-03,1.032552e-03,1.087000e-03,1.122296e-03,1.128996e-03,1.159931e-03,1.177720e-03,1.181301e-03,1.194581e-03,1.200215e-03,1.201150e-03,1.202245e-03,1.200086e-03,1.198945e-03,1.192169e-03,1.185373e-03,1.182684e-03,1.171123e-03,1.161806e-03,1.158000e-03,1.143726e-03,1.133228e-03,1.128630e-03,1.112969e-03,1.102101e-03,1.096944e-03,1.080711e-03,1.069943e-03,1.064391e-03,1.048074e-03,1.037666e-03,1.031830e-03,1.015710e-03,1.005797e-03,9.997547e-04,9.839910e-04,9.746338e-04,9.684400e-04,9.531165e-04,9.443373e-04,9.380307e-04,9.231896e-04,9.149872e-04,9.085974e-04,8.942565e-04,8.866172e-04,8.801676e-04,8.663308e-04,8.592348e-04,8.527447e-04,8.394079e-04,8.328322e-04,8.263180e-04,8.134726e-04,8.073928e-04,8.008688e-04,7.885038e-04,7.828952e-04,7.763745e-04,7.644776e-04,7.593158e-04,7.528100e-04,7.413682e-04,7.366292e-04,7.301489e-04,7.191487e-04,7.148091e-04,7.083640e-04,6.977915e-04,6.938289e-04,6.874277e-04,6.772692e-04,6.736618e-04,6.673127e-04,6.575546e-04,6.542815e-04,6.479917e-04,6.386207e-04,6.356619e-04,6.294381e-04,6.204407e-04,6.177771e-04,6.116252e-04,6.029885e-04,6.006017e-04,5.945272e-04,5.862384e-04,5.841111e-04,5.781188e-04,5.701654e-04,5.682809e-04,5.623751e-04,5.547450e-04,5.530876e-04,5.472721e-04,5.399535e-04,5.385080e-04,5.327862e-04,5.257676e-04,5.245198e-04,5.188948e-04,5.121650e-04,5.111013e-04,5.055755e-04,4.991237e-04,4.982313e-04,4.928070e-04,4.866228e-04,4.858894e-04,4.805685e-04,4.746417e-04,4.740559e-04,4.688398e-04,4.631606e-04,4.627115e-04,4.576015e-04,4.521604e-04,4.518376e-04,4.468348e-04,4.416226e-04,4.414164e-04,4.365215e-04,4.315293e-04,4.314306e-04,4.266440e-04,4.218634e-04,4.126986e-04,4.039207e-04,3.955146e-04,3.874659e-04,3.797605e-04,3.723850e-04,3.653263e-04,3.585720e-04,3.521100e-04,3.459286e-04,3.400167e-04,3.343635e-04,3.289586e-04,3.237921e-04,3.188543e-04,3.141360e-04,3.096283e-04,3.053226e-04,3.012107e-04,2.972846e-04,2.935368e-04,2.899598e-04,2.865468e-04,2.832907e-04,2.801853e-04,2.772241e-04,2.744012e-04,2.717107e-04,2.691471e-04,2.667051e-04,2.643794e-04,2.621652e-04,2.600577e-04,2.580524e-04,2.561448e-04,2.543307e-04,2.526061e-04,2.509671e-04,2.494100e-04,2.479312e-04,2.465272e-04,2.451948e-04,2.439307e-04,2.427320e-04,2.415956e-04,2.405189e-04,2.394990e-04,2.385335e-04,2.376198e-04
0.000000e+00,1.340354e-09,1.017068e-07,1.088228e-07,1.898607e-06,1.493908e-05,1.609896e-05,8.193208e-05,2.657009e-04,2.837595e-04,7.450958e-04,1.522661e-03,1.610252e-03,3.027430e-03,4.890651e-03,5.136329e-03,8.059838e-03,1.138716e-02,1.189897e-02,1.673027e-02,2.171850e-02,2.260504e-02,2.954992e-02,3.621377e-02,3.756838e-02,4.664283e-02,5.484698e-02,5.673706e-02,6.779894e-02,7.730163e-02,7.976314e-02,9.255367e-02,1.030501e-01,1.060865e-01,1.202719e-01,1.314317e-01,1.350162e-01,1.502243e-01,1.617208e-01,1.658008e-01,1.816516e-01,1.931823e-01,1.976849e-01,2.138126e-01,2.251130e-01,2.299507e-01,2.460200e-01,2.568699e-01,2.619466e-01,2.776623e-01,2.878886e-01,2.931047e-01,3.082171e-01,3.176921e-01,3.229487e-01,3.372547e-01,3.458932e-01,3.510958e-01,3.644380e-01,3.721917e-01,3.772527e-01,3.895162e-01,3.963689e-01,4.012095e-01,4.123179e-01,4.182790e-01,4.228307e-01,4.327409e-01,4.378406e-01,4.420452e-01,4.507430e-01,4.550270e-01,4.588370e-01,4.663319e-01,4.698569e-01,4.732350e-01,4.795556e-01,4.823857e-01,4.853046e-01,4.904944e-01,4.926978e-01,4.951389e-01,4.992529e-01,5.008990e-01,5.028522e-01,5.059532e-01,5.071112e-01,5.085732e-01,5.107295e-01,5.114662e-01,5.124400e-01,5.137229e-01,5.141020e-01,5.145961e-01,5.150779e-01,5.151590e-01,5.151863e-01,5.149392e-01,5.147774e-01,5.143543e-01,5.134491e-01,5.130946e-01,5.122406e-01,5.107455e-01,5.102436e-01,5.089803e-01,5.069608e-01,5.063519e-01,5.047026e-01,5.022207e-01,5.015405e-01,4.995296e-01,4.966434e-01,4.959232e-01,4.935758e-01,4.903398e-01,4.896065e-01,4.869481e-01,4.834127e-01,4.826895e-01,4.797454e-01,4.759574e-01,4.752635e-01,4.720592e-01,4.680611e-01,4.674128e-01,4.639730e-01,4.598041e-01,4.592145e-01,4.555634e-01,4.512592e-01,4.507389e-01,4.468998e-01,4.424928e-01,4.420497e-01,4.380454e-01,4.335646e-01,4.332049e-01,4.290569e-01,4.245285e-01,4.242563e-01,4.199854e-01,4.154331e-01,4.152509e-01,4.108768e-01,4.063214e-01,4.062304e-01,4.017717e-01,3.972320e-01,3.882889e-01,3.794303e-01,3.706819e-01,3.620660e-01,3.536021e-01,3.453072e-01,3.371955e-01,3.292792e-01,3.215685e-01,3.140717e-01,3.067956e-01,2.997452e-01,2.929246e-01,2.863364e-01,2.799822e-01,2.738627e-01,2.679776e-01,2.623261e-01,2.569063e-01,2.517161e-01,2.467524e-01,2.420121e-01,2.374913e-01,2.331859e-01,2.290915e-01,2.252032e-01,2.215160e-01,2.180248e-01,2.147241e-01,2.116084e-01,2.086720e-01,2.059091e-01,2.033138e-01,2.008803e-01,1.986027e-01,1.964749e-01,1.944911e-01,1.926454e-01,1.909318e-01,1.893446e-01,1.878779e-01,1.865262e-01,1.852836e-01,1.841449e-01,1.831044e-01,1.821570e-01,1.812974e-01,1.805206e-01,1.798217e-01
0.000000e+00,4.799551e-10,3.514705e-08,3.758257e-08,6.370964e-07,4.868941e-06,5.239837e-06,2.564957e-05,7.960694e-05,8.476483e-05,2.113803e-04,4.110607e-04,4.328105e-04,7.701153e-04,1.183516e-03,1.236092e-03,1.835114e-03,2.469954e-03,2.564022e-03,3.413519e-03,4.230030e-03,4.369709e-03,5.415587e-03,6.349719e-03,6.532368e-03,7.700597e-03,8.683418e-03,8.901037e-03,1.011535e-02,1.108532e-02,1.132656e-02,1.251942e-02,1.342844e-02,1.368055e-02,1.479855e-02,1.561348e-02,1.586395e-02,1.686920e-02,1.757089e-02,1.780851e-02,1.867771e-02,1.925857e-02,1.947413e-02,2.019637e-02,2.065761e-02,2.084416e-02,2.141820e-02,2.176716e-02,2.192000e-02,2.235170e-02,2.259951e-02,2.271599e-02,2.301595e-02,2.317571e-02,2.325495e-02,2.343657e-02,2.352197e-02,2.356449e-02,2.364248e-02,2.366686e-02,2.367427e-02,2.366354e-02,2.363926e-02,2.361390e-02,2.352882e-02,2.346694e-02,2.341163e-02,2.326552e-02,2.317565e-02,2.309347e-02,2.289833e-02,2.278861e-02,2.268273e-02,2.244915e-02,2.232633e-02,2.219987e-02,2.193701e-02,2.180660e-02,2.166253e-02,2.137820e-02,2.124456e-02,2.108567e-02,2.078643e-02,2.065299e-02,2.048184e-02,2.017312e-02,2.004251e-02,1.986141e-02,1.954769e-02,1.942185e-02,1.923288e-02,1.891778e-02,1.879813e-02,1.860313e-02,1.828958e-02,1.817709e-02,1.797771e-02,1.766802e-02,1.756330e-02,1.736097e-02,1.705697e-02,1.696039e-02,1.675636e-02,1.645946e-02,1.637116e-02,1.616654e-02,1.587783e-02,1.579777e-02,1.559352e-02,1.531381e-02,1.524185e-02,1.503881e-02,1.476867e-02,1.470457e-02,1.450349e-02,1.424333e-02,1.418678e-02,1.398828e-02,1.373837e-02,1.368901e-02,1.349365e-02,1.325414e-02,1.321158e-02,1.301984e-02,1.279076e-02,1.275459e-02,1.256690e-02,1.234823e-02,1.231803e-02,1.213474e-02,1.192640e-02,1.190174e-02,1.172316e-02,1.152500e-02,1.150546e-02,1.133187e-02,1.114371e-02,1.112887e-02,1.096047e-02,1.078210e-02,1.077155e-02,1.060854e-02,1.043973e-02,1.043308e-02,1.027560e-02,1.011609e-02,1.011295e-02,9.961127e-03,9.810641e-03,9.525615e-03,9.257304e-03,9.005131e-03,8.768511e-03,8.546853e-03,8.339565e-03,8.146054e-03,7.965732e-03,7.798014e-03,7.642323e-03,7.498090e-03,7.364754e-03,7.241765e-03,7.128585e-03,7.024687e-03,6.929559e-03,6.842700e-03,6.763624e-03,6.691859e-03,6.626948e-03,6.568447e-03,6.515929e-03,6.468982e-03,6.427209e-03,6.390229e-03,6.357676e-03,6.329201e-03,6.304468e-03,6.283159e-03,6.264970e-03,6.249612e-03,6.236812e-03,6.226311e-03,6.217867e-03,6.211249e-03,6.206241e-03,6.202644e-03,6.200267e-03,6.198936e-03,6.198490e-03,6.198776e-03,6.199658e-03,6.201007e-03,6.202709e-03,6.204657e-03,6.206756e-03,6.208920e-03,6.211072e-03,6.213143e-03
0.000000e+00,3.939874e-10,4.905024e-09,5.116576e-09,3.123400e-08,1.101632e-07,1.150846e-07,2.803716e-07,4.807004e-07,4.938378e-07,7.071262e-07,8.868108e-07,9.015583e-07,1.074004e-06,1.211050e-06,1.225268e-06,1.356978e-06,1.458078e-06,1.470858e-06,1.568560e-06,1.640818e-06,1.651620e-06,1.721457e-06,1.770861e-06,1.779378e-06,1.826582e-06,1.858065e-06,1.864167e-06,1.893138e-06,1.910732e-06,1.914412e-06,1.928822e-06,1.935787e-06,1.937126e-06,1.940012e-06,1.938969e-06,1.938106e-06,1.931971e-06,1.925011e-06,1.922119e-06,1.909013e-06,1.897796e-06,1.893068e-06,1.874661e-06,1.860496e-06,1.854134e-06,1.831791e-06,1.815703e-06,1.807909e-06,1.782733e-06,1.765516e-06,1.756483e-06,1.729359e-06,1.711623e-06,1.701538e-06,1.673177e-06,1.655385e-06,1.644418e-06,1.615388e-06,1.597885e-06,1.586196e-06,1.556942e-06,1.539981e-06,1.527714e-06,1.498588e-06,1.482348e-06,1.469632e-06,1.440906e-06,1.425508e-06,1.412461e-06,1.384341e-06,1.369860e-06,1.356585e-06,1.329227e-06,1.315705e-06,1.302293e-06,1.275808e-06,1.263261e-06,1.249791e-06,1.224259e-06,1.212679e-06,1.199222e-06,1.174692e-06,1.164061e-06,1.150676e-06,1.127178e-06,1.117464e-06,1.104201e-06,1.081747e-06,1.072912e-06,1.059816e-06,1.038404e-06,1.030403e-06,1.017510e-06,9.971286e-07,9.899160e-07,9.772555e-07,9.578845e-07,9.514117e-07,9.390092e-07,9.206224e-07,9.148405e-07,9.027164e-07,8.852831e-07,8.801441e-07,8.683141e-07,8.518008e-07,8.472575e-07,8.357341e-07,8.201049e-07,8.161118e-07,8.049040e-07,7.901221e-07,7.866357e-07,7.757497e-07,7.617775e-07,7.587564e-07,7.481961e-07,7.349960e-07,7.324010e-07,7.221681e-07,7.097030e-07,7.074972e-07,6.975917e-07,6.858251e-07,6.839738e-07,6.743943e-07,6.632905e-07,6.617615e-07,6.525050e-07,6.420294e-07,6.407928e-07,6.318554e-07,6.219747e-07,6.210025e-07,6.123793e-07,6.030614e-07,6.023278e-07,5.940133e-07,5.852274e-07,5.847085e-07,5.766965e-07,5.684132e-07,5.680870e-07,5.603707e-07,5.525621e-07,5.524082e-07,5.449806e-07,5.376198e-07,5.236719e-07,5.105172e-07,4.981106e-07,4.864098e-07,4.753743e-07,4.649661e-07,4.551492e-07,4.458896e-07,4.371551e-07,4.289155e-07,4.211421e-07,4.138080e-07,4.068879e-07,4.003577e-07,3.941949e-07,3.883782e-07,3.828876e-07,3.777043e-07,3.728105e-07,3.681895e-07,3.638255e-07,3.597038e-07,3.558103e-07,3.521320e-07,3.486564e-07,3.453720e-07,3.422677e-07,3.393333e-07,3.365591e-07,3.339358e-07,3.314549e-07,3.291084e-07,3.268885e-07,3.247880e-07,3.228003e-07,3.209190e-07,3.191380e-07,3.174517e-07,3.158548e-07,3.143422e-07,3.129093e-07,3.115517e-07,3.102650e-07,3.090454e-07,3.078891e-07,3.067928e-07,3.057529e-07,3.047666e-07,3.038307e-07
0.000000e+00,1.504348e-08,2.968024e-07,3.113320e-07,2.346159e-06,9.323179e-06,9.775724e-06,2.543169e-05,4.497357e-05,4.627429e-05,6.784331e-05,8.685721e-05,8.845969e-05,1.077602e-04,1.239699e-04,1.257039e-04,1.423252e-04,1.558995e-04,1.576764e-04,1.718150e-04,1.830490e-04,1.847996e-04,1.966886e-04,2.058708e-04,2.075395e-04,2.174087e-04,2.248073e-04,2.263509e-04,2.344190e-04,2.402783e-04,2.416637e-04,2.481343e-04,2.526740e-04,2.538773e-04,2.589371e-04,2.623512e-04,2.633552e-04,2.671713e-04,2.696303e-04,2.704238e-04,2.731488e-04,2.748038e-04,2.753811e-04,2.771557e-04,2.781431e-04,2.785051e-04,2.794589e-04,2.798957e-04,2.800448e-04,2.802889e-04,2.802748e-04,2.802159e-04,2.798492e-04,2.794707e-04,2.792110e-04,2.783219e-04,2.776534e-04,2.772017e-04,2.758688e-04,2.749742e-04,2.743406e-04,2.726337e-04,2.715678e-04,2.707633e-04,2.687442e-04,2.675535e-04,2.665898e-04,2.643132e-04,2.630372e-04,2.619262e-04,2.594404e-04,2.581123e-04,2.568663e-04,2.542139e-04,2.528613e-04,2.514925e-04,2.487109e-04,2.473568e-04,2.458772e-04,2.429992e-04,2.416624e-04,2.400839e-04,2.371380e-04,2.358338e-04,2.341678e-04,2.311791e-04,2.299196e-04,2.281772e-04,2.251672e-04,2.239620e-04,2.221538e-04,2.191413e-04,2.179976e-04,2.161336e-04,2.131345e-04,2.120577e-04,2.101475e-04,2.071756e-04,2.061692e-04,2.042219e-04,2.012889e-04,2.003551e-04,1.983791e-04,1.954947e-04,1.946347e-04,1.926378e-04,1.898103e-04,1.890241e-04,1.870138e-04,1.842499e-04,1.835367e-04,1.815198e-04,1.788249e-04,1.781835e-04,1.761662e-04,1.735447e-04,1.729731e-04,1.709612e-04,1.684165e-04,1.679122e-04,1.659111e-04,1.634456e-04,1.630061e-04,1.610205e-04,1.586360e-04,1.582583e-04,1.562926e-04,1.539902e-04,1.536712e-04,1.517292e-04,1.495096e-04,1.492460e-04,1.473313e-04,1.451944e-04,1.449830e-04,1.430987e-04,1.410441e-04,1.408815e-04,1.390305e-04,1.370575e-04,1.369404e-04,1.351250e-04,1.332326e-04,1.331577e-04,1.313800e-04,1.295669e-04,1.295310e-04,1.277928e-04,1.260575e-04,1.227339e-04,1.195568e-04,1.165224e-04,1.136269e-04,1.108662e-04,1.082361e-04,1.057324e-04,1.033509e-04,1.010873e-04,9.893735e-05,9.689683e-05,9.496155e-05,9.312740e-05,9.139032e-05,8.974635e-05,8.819160e-05,8.672228e-05,8.533472e-05,8.402532e-05,8.279061e-05,8.162721e-05,8.053187e-05,7.950143e-05,7.853285e-05,7.762319e-05,7.676964e-05,7.596947e-05,7.522007e-05,7.451892e-05,7.386361e-05,7.325184e-05,7.268138e-05,7.215010e-05,7.165598e-05,7.119707e-05,7.077150e-05,7.037749e-05,7.001335e-05,6.967745e-05,6.936824e-05,6.908424e-05,6.882405e-05,6.858631e-05,6.836975e-05,6.817316e-05,6.799536e-05,6.783525e-05,6.769178e-05,6.756396e-05
0.000000e+00,1.260997e-08,1.678050e-07,1.750068e-07,1.067562e-06,3.896080e-06,4.078982e-06,1.068185e-05,1.993595e-05,2.058737e-05,3.174366e-05,4.177892e-05,4.262321e-05,5.271634e-05,6.104341e-05,6.192451e-05,7.026404e-05,7.692064e-05,7.778097e-05,8.452796e-05,8.975477e-05,9.055767e-05,9.592087e-05,9.994636e-05,1.006659e-04,1.048387e-04,1.078636e-04,1.084823e-04,1.116373e-04,1.138351e-04,1.143417e-04,1.166312e-04,1.181505e-04,1.185391e-04,1.200963e-04,1.210631e-04,1.213318e-04,1.222726e-04,1.227939e-04,1.229438e-04,1.233688e-04,1.235345e-04,1.235692e-04,1.235651e-04,1.234506e-04,1.233752e-04,1.230168e-04,1.226851e-04,1.225060e-04,1.218575e-04,1.213608e-04,1.210851e-04,1.202016e-04,1.195832e-04,1.192186e-04,1.181471e-04,1.174427e-04,1.169970e-04,1.157777e-04,1.150164e-04,1.144976e-04,1.131646e-04,1.123701e-04,1.117859e-04,1.103683e-04,1.095597e-04,1.089178e-04,1.074401e-04,1.066326e-04,1.059403e-04,1.044231e-04,1.036288e-04,1.028930e-04,1.013537e-04,1.005819e-04,9.980906e-05,9.826223e-05,9.751988e-05,9.671626e-05,9.517386e-05,9.446625e-05,9.363751e-05,9.210945e-05,9.144025e-05,9.059169e-05,8.908606e-05,8.845770e-05,8.759418e-05,8.611751e-05,8.553140e-05,8.465736e-05,8.321488e-05,8.267159e-05,8.179109e-05,8.038688e-05,7.988631e-05,7.900303e-05,7.764022e-05,7.718176e-05,7.629901e-05,7.497990e-05,7.456252e-05,7.368329e-05,7.240951e-05,7.203187e-05,7.115881e-05,6.993140e-05,6.959191e-05,6.872740e-05,6.754691e-05,6.724383e-05,6.638995e-05,6.525653e-05,6.498800e-05,6.414658e-05,6.306004e-05,6.282413e-05,6.199677e-05,6.095664e-05,6.075137e-05,5.993947e-05,5.894506e-05,5.876847e-05,5.797320e-05,5.702364e-05,5.687377e-05,5.609614e-05,5.519042e-05,5.506534e-05,5.430619e-05,5.344317e-05,5.334101e-05,5.260104e-05,5.177949e-05,5.169846e-05,5.097821e-05,5.019685e-05,5.013520e-05,4.943510e-05,4.869261e-05,4.864867e-05,4.796905e-05,4.726408e-05,4.723626e-05,4.657734e-05,4.590850e-05,4.589530e-05,4.525721e-05,4.462314e-05,4.341710e-05,4.227456e-05,4.119292e-05,4.016961e-05,3.920214e-05,3.828807e-05,3.742502e-05,3.661070e-05,3.584286e-05,3.511935e-05,3.443808e-05,3.379704e-05,3.319431e-05,3.262801e-05,3.209636e-05,3.159765e-05,3.113023e-05,3.069252e-05,3.028302e-05,2.990027e-05,2.954290e-05,2.920958e-05,2.889906e-05,2.861013e-05,2.834163e-05,2.809247e-05,2.786160e-05,2.764802e-05,2.745078e-05,2.726897e-05,2.710173e-05,2.694823e-05,2.680768e-05,2.667935e-05,2.656252e-05,2.645652e-05,2.636070e-05,2.627445e-05,2.619718e-05,2.612836e-05,2.606744e-05,2.601395e-05,2.596739e-05,2.592732e-05,2.589332e-05,2.586498e-05,2.584192e-05,2.582378e-05,2.581020e-05
0.000000e+00,1.062434e-08,2.074583e-07,2.175086e-07,1.549533e-06,5.739768e-06,6.003569e-06,1.505102e-05,2.667097e-05,2.746093e-05,4.077614e-05,5.276533e-05,5.378469e-05,6.616820e-05,7.672748e-05,7.786632e-05,8.888138e-05,9.802395e-05,9.923160e-05,1.089397e-04,1.167937e-04,1.180301e-04,1.265288e-04,1.332285e-04,1.344604e-04,1.418490e-04,1.475196e-04,1.487190e-04,1.550943e-04,1.598539e-04,1.609981e-04,1.664529e-04,1.704099e-04,1.714803e-04,1.761014e-04,1.793541e-04,1.803363e-04,1.842042e-04,1.868411e-04,1.877236e-04,1.909124e-04,1.930131e-04,1.937875e-04,1.963653e-04,1.980011e-04,1.986612e-04,2.006903e-04,2.019250e-04,2.024668e-04,2.040043e-04,2.048944e-04,2.053157e-04,2.064136e-04,2.070096e-04,2.073097e-04,2.080154e-04,2.083620e-04,2.085414e-04,2.088982e-04,2.090350e-04,2.090954e-04,2.091425e-04,2.091046e-04,2.090484e-04,2.088217e-04,2.086398e-04,2.084703e-04,2.080021e-04,2.077033e-04,2.074244e-04,2.067442e-04,2.063523e-04,2.059682e-04,2.051027e-04,2.046383e-04,2.041538e-04,2.031272e-04,2.026084e-04,2.020284e-04,2.008625e-04,2.003050e-04,1.996345e-04,1.983491e-04,1.977666e-04,1.970108e-04,1.956238e-04,1.950277e-04,1.941921e-04,1.927194e-04,1.921198e-04,1.912096e-04,1.896659e-04,1.890711e-04,1.880916e-04,1.864898e-04,1.859070e-04,1.848635e-04,1.832153e-04,1.826505e-04,1.815480e-04,1.798640e-04,1.793220e-04,1.781656e-04,1.764551e-04,1.759399e-04,1.747345e-04,1.730059e-04,1.725207e-04,1.712711e-04,1.695319e-04,1.690791e-04,1.677898e-04,1.660466e-04,1.656282e-04,1.643036e-04,1.625622e-04,1.621795e-04,1.608238e-04,1.590896e-04,1.587434e-04,1.573607e-04,1.556382e-04,1.553289e-04,1.539231e-04,1.522163e-04,1.519440e-04,1.505188e-04,1.488313e-04,1.485959e-04,1.471546e-04,1.454894e-04,1.452904e-04,1.438365e-04,1.421963e-04,1.420331e-04,1.405696e-04,1.389567e-04,1.388283e-04,1.373582e-04,1.357745e-04,1.356800e-04,1.342061e-04,1.326532e-04,1.325915e-04,1.311164e-04,1.295957e-04,1.295655e-04,1.280916e-04,1.266043e-04,1.237098e-04,1.208834e-04,1.181262e-04,1.154390e-04,1.128221e-04,1.102760e-04,1.078006e-04,1.053957e-04,1.030610e-04,1.007959e-04,9.859988e-05,9.647212e-05,9.441176e-05,9.241786e-05,9.048936e-05,8.862519e-05,8.682417e-05,8.508511e-05,8.340678e-05,8.178791e-05,8.022721e-05,7.872338e-05,7.727510e-05,7.588104e-05,7.453989e-05,7.325030e-05,7.201096e-05,7.082054e-05,6.967774e-05,6.858127e-05,6.752983e-05,6.652217e-05,6.555703e-05,6.463318e-05,6.374941e-05,6.290452e-05,6.209736e-05,6.132675e-05,6.059157e-05,5.989073e-05,5.922313e-05,5.858771e-05,5.798343e-05,5.740929e-05,5.686427e-05,5.634743e-05,5.585780e-05,5.539447e-05,5.495653e-05
0.000000e+00,4.955449e-09,6.115708e-08,6.371392e-08,3.675674e-07,1.265496e-06,1.321630e-06,3.250997e-06,5.731715e-06,5.899429e-06,8.690146e-06,1.112963e-05,1.133344e-05,1.376124e-05,1.575775e-05,1.596884e-05,1.796598e-05,1.955944e-05,1.976535e-05,2.137995e-05,2.263037e-05,2.282241e-05,2.410486e-05,2.506694e-05,2.523886e-05,2.623538e-05,2.695724e-05,2.710481e-05,2.785691e-05,2.838031e-05,2.850087e-05,2.904531e-05,2.940606e-05,2.949825e-05,2.986721e-05,3.009577e-05,3.015918e-05,3.038064e-05,3.050270e-05,3.053764e-05,3.063579e-05,3.067295e-05,3.068029e-05,3.067596e-05,3.064628e-05,3.062726e-05,3.053831e-05,3.045682e-05,3.041297e-05,3.025476e-05,3.013394e-05,3.006697e-05,2.985265e-05,2.970285e-05,2.961457e-05,2.935532e-05,2.918500e-05,2.907727e-05,2.878263e-05,2.859872e-05,2.847340e-05,2.815144e-05,2.795956e-05,2.781847e-05,2.747606e-05,2.728073e-05,2.712566e-05,2.676859e-05,2.657343e-05,2.640606e-05,2.603920e-05,2.584706e-05,2.566903e-05,2.529646e-05,2.510955e-05,2.492236e-05,2.454751e-05,2.436751e-05,2.417260e-05,2.379828e-05,2.362645e-05,2.342513e-05,2.305369e-05,2.289092e-05,2.268442e-05,2.231776e-05,2.216463e-05,2.195409e-05,2.159376e-05,2.145063e-05,2.123707e-05,2.088431e-05,2.075134e-05,2.053572e-05,2.019150e-05,2.006869e-05,1.985185e-05,1.951693e-05,1.940417e-05,1.918689e-05,1.886183e-05,1.875889e-05,1.854187e-05,1.822708e-05,1.813366e-05,1.791753e-05,1.761328e-05,1.752905e-05,1.731436e-05,1.702081e-05,1.694536e-05,1.673262e-05,1.644982e-05,1.638275e-05,1.617240e-05,1.590035e-05,1.584121e-05,1.563364e-05,1.537224e-05,1.532060e-05,1.511614e-05,1.486527e-05,1.482067e-05,1.461961e-05,1.437911e-05,1.434110e-05,1.414371e-05,1.391335e-05,1.388150e-05,1.368798e-05,1.346753e-05,1.344141e-05,1.325195e-05,1.304115e-05,1.302033e-05,1.283508e-05,1.263367e-05,1.261776e-05,1.243684e-05,1.224453e-05,1.223313e-05,1.205665e-05,1.187314e-05,1.186589e-05,1.169392e-05,1.151892e-05,1.151546e-05,1.134806e-05,1.118126e-05,1.086272e-05,1.055925e-05,1.027029e-05,9.995281e-06,9.733664e-06,9.484901e-06,9.248468e-06,9.023851e-06,8.810553e-06,8.608091e-06,8.415999e-06,8.233823e-06,8.061128e-06,7.897493e-06,7.742513e-06,7.595798e-06,7.456972e-06,7.325676e-06,7.201563e-06,7.084301e-06,6.973571e-06,6.869068e-06,6.770499e-06,6.677583e-06,6.590051e-06,6.507647e-06,6.430124e-06,6.357247e-06,6.288791e-06,6.224540e-06,6.164288e-06,6.107839e-06,6.055005e-06,6.005605e-06,5.959469e-06,5.916433e-06,5.876340e-06,5.839040e-06,5.804392e-06,5.772258e-06,5.742510e-06,5.715023e-06,5.689679e-06,5.666365e-06,5.644974e-06,5.625404e-06,5.607556e-06,5.591337e-06,5.576659e-06
0.000000e+00,2.741019e-09,1.305271e-07,1.383272e-07,1.560000e-06,8.966645e-06,9.557228e-06,3.848979e-05,1.041073e-04,1.099237e-04,2.369257e-04,3.973927e-04,4.128495e-04,6.188337e-04,8.139957e-04,8.357359e-04,1.049780e-03,1.229274e-03,1.252916e-03,1.441231e-03,1.590205e-03,1.613305e-03,1.769051e-03,1.887658e-03,1.909027e-03,2.034073e-03,2.126127e-03,2.145128e-03,2.243149e-03,2.312810e-03,2.329070e-03,2.403786e-03,2.454834e-03,2.468146e-03,2.522953e-03,2.558684e-03,2.568962e-03,2.606882e-03,2.630128e-03,2.637378e-03,2.661069e-03,2.674240e-03,2.678535e-03,2.690316e-03,2.695451e-03,2.696915e-03,2.698799e-03,2.697611e-03,2.696404e-03,2.690131e-03,2.684050e-03,2.680355e-03,2.667421e-03,2.657634e-03,2.651648e-03,2.633332e-03,2.620820e-03,2.612747e-03,2.590143e-03,2.575709e-03,2.565753e-03,2.539792e-03,2.524093e-03,2.512457e-03,2.483929e-03,2.467495e-03,2.454376e-03,2.423950e-03,2.407208e-03,2.392793e-03,2.361033e-03,2.344320e-03,2.328789e-03,2.296168e-03,2.279748e-03,2.263270e-03,2.230183e-03,2.214260e-03,2.196991e-03,2.163767e-03,2.148493e-03,2.130580e-03,2.097489e-03,2.082975e-03,2.064551e-03,2.031816e-03,2.018138e-03,1.999327e-03,1.967126e-03,1.954334e-03,1.935248e-03,1.903725e-03,1.891845e-03,1.872585e-03,1.841853e-03,1.830894e-03,1.811551e-03,1.781698e-03,1.771653e-03,1.752309e-03,1.723400e-03,1.714252e-03,1.694981e-03,1.667062e-03,1.658785e-03,1.639651e-03,1.612754e-03,1.605316e-03,1.586376e-03,1.560519e-03,1.553882e-03,1.535187e-03,1.510378e-03,1.504502e-03,1.486093e-03,1.462331e-03,1.457173e-03,1.439089e-03,1.416365e-03,1.411882e-03,1.394154e-03,1.372452e-03,1.368600e-03,1.351255e-03,1.330557e-03,1.327291e-03,1.310352e-03,1.290634e-03,1.287911e-03,1.271396e-03,1.252631e-03,1.250411e-03,1.234333e-03,1.216493e-03,1.214735e-03,1.199105e-03,1.182161e-03,1.180824e-03,1.165652e-03,1.149572e-03,1.148620e-03,1.133910e-03,1.118661e-03,1.118060e-03,1.103815e-03,1.089365e-03,1.089080e-03,1.075302e-03,1.061619e-03,1.035613e-03,1.011000e-03,9.877189e-04,9.657101e-04,9.449149e-04,9.252764e-04,9.067395e-04,8.892507e-04,8.727585e-04,8.572133e-04,8.425673e-04,8.287747e-04,8.157916e-04,8.035758e-04,7.920872e-04,7.812873e-04,7.711394e-04,7.616086e-04,7.526614e-04,7.442662e-04,7.363927e-04,7.290122e-04,7.220973e-04,7.156222e-04,7.095621e-04,7.038938e-04,6.985949e-04,6.936445e-04,6.890225e-04,6.847101e-04,6.806894e-04,6.769433e-04,6.734557e-04,6.702115e-04,6.671963e-04,6.643963e-04,6.617988e-04,6.593915e-04,6.571629e-04,6.551020e-04,6.531986e-04,6.514430e-04,6.498258e-04,6.483386e-04,6.469729e-04,6.457212e-04,6.445760e-04,6.435306e-04,6.425783e-04
0.000000e+00,1.628846e-08,2.345931e-07,2.449682e-07,1.559350e-06,5.654911e-06,5.911752e-06,1.444687e-05,2.452604e-05,2.518473e-05,3.600977e-05,4.548688e-05,4.628486e-05,5.589710e-05,6.397895e-05,6.484424e-05,7.314633e-05,7.993858e-05,8.082861e-05,8.791786e-05,9.356118e-05,9.444146e-05,1.004270e-04,1.050592e-04,1.059020e-04,1.108936e-04,1.146446e-04,1.154283e-04,1.195320e-04,1.225213e-04,1.232295e-04,1.265447e-04,1.288801e-04,1.295007e-04,1.321191e-04,1.338963e-04,1.344209e-04,1.364259e-04,1.377296e-04,1.381529e-04,1.396198e-04,1.405245e-04,1.408436e-04,1.418402e-04,1.424107e-04,1.426247e-04,1.432117e-04,1.435049e-04,1.436146e-04,1.438464e-04,1.439116e-04,1.439192e-04,1.438445e-04,1.437243e-04,1.436331e-04,1.432953e-04,1.430267e-04,1.428408e-04,1.422786e-04,1.418933e-04,1.416174e-04,1.408654e-04,1.403907e-04,1.400302e-04,1.391189e-04,1.385778e-04,1.381382e-04,1.370945e-04,1.365068e-04,1.359937e-04,1.348414e-04,1.342237e-04,1.336429e-04,1.324031e-04,1.317691e-04,1.311265e-04,1.298176e-04,1.291790e-04,1.284803e-04,1.271185e-04,1.264849e-04,1.257358e-04,1.243354e-04,1.237144e-04,1.229204e-04,1.214938e-04,1.208918e-04,1.200582e-04,1.186162e-04,1.180381e-04,1.171701e-04,1.157220e-04,1.151717e-04,1.142741e-04,1.128281e-04,1.123084e-04,1.113859e-04,1.099490e-04,1.094619e-04,1.085189e-04,1.070969e-04,1.066439e-04,1.056845e-04,1.042826e-04,1.038642e-04,1.028924e-04,1.015148e-04,1.011315e-04,1.001507e-04,9.880100e-05,9.845252e-05,9.746634e-05,9.614739e-05,9.583325e-05,9.484477e-05,9.355898e-05,9.327842e-05,9.229052e-05,9.103980e-05,9.079181e-05,8.980717e-05,8.859297e-05,8.837639e-05,8.739745e-05,8.622086e-05,8.603437e-05,8.506337e-05,8.392515e-05,8.376734e-05,8.280631e-05,8.170694e-05,8.157632e-05,8.062709e-05,7.956681e-05,7.946185e-05,7.852608e-05,7.750490e-05,7.742404e-05,7.650321e-05,7.552096e-05,7.546264e-05,7.455806e-05,7.361442e-05,7.357707e-05,7.268991e-05,7.178441e-05,7.176650e-05,7.089778e-05,7.002984e-05,6.836585e-05,6.677309e-05,6.525001e-05,6.379494e-05,6.240613e-05,6.108176e-05,5.981997e-05,5.861885e-05,5.747647e-05,5.639090e-05,5.536021e-05,5.438246e-05,5.345574e-05,5.257816e-05,5.174786e-05,5.096299e-05,5.022175e-05,4.952239e-05,4.886318e-05,4.824244e-05,4.765853e-05,4.710986e-05,4.659489e-05,4.611211e-05,4.566008e-05,4.523738e-05,4.484266e-05,4.447460e-05,4.413194e-05,4.381345e-05,4.351794e-05,4.324429e-05,4.299140e-05,4.275822e-05,4.254373e-05,4.234697e-05,4.216700e-05,4.200294e-05,4.185391e-05,4.171910e-05,4.159772e-05,4.148902e-05,4.139226e-05,4.130677e-05,4.123188e-05,4.116696e-05,4.111141e-05,4.106465e-05,4.102612e-05
0.000000e+00,1.008937e-09,5.318668e-08,5.646835e-08,6.902775e-07,4.231267e-06,4.521407e-06,1.935971e-05,5.536779e-05,5.866998e-05,1.342886e-04,2.380703e-04,2.485054e-04,3.943648e-04,5.434606e-04,5.606834e-04,7.363741e-04,8.916269e-04,9.125683e-04,1.083078e-03,1.222183e-03,1.244051e-03,1.393374e-03,1.509098e-03,1.530117e-03,1.654098e-03,1.746414e-03,1.765579e-03,1.865073e-03,1.936467e-03,1.953222e-03,2.030723e-03,2.084240e-03,2.098288e-03,2.156616e-03,2.195187e-03,2.206387e-03,2.248249e-03,2.274499e-03,2.282818e-03,2.310675e-03,2.326885e-03,2.332367e-03,2.348408e-03,2.356532e-03,2.359277e-03,2.365424e-03,2.367122e-03,2.367268e-03,2.365199e-03,2.361868e-03,2.359581e-03,2.350751e-03,2.343560e-03,2.339023e-03,2.324687e-03,2.314608e-03,2.308013e-03,2.289250e-03,2.277087e-03,2.268631e-03,2.246367e-03,2.232778e-03,2.222655e-03,2.197679e-03,2.183203e-03,2.171605e-03,2.144587e-03,2.129656e-03,2.116768e-03,2.088278e-03,2.073238e-03,2.059236e-03,2.029753e-03,2.014878e-03,1.999929e-03,1.969855e-03,1.955357e-03,1.939616e-03,1.909288e-03,1.895327e-03,1.878941e-03,1.848636e-03,1.835331e-03,1.818432e-03,1.788381e-03,1.775816e-03,1.758528e-03,1.728916e-03,1.717147e-03,1.699581e-03,1.670558e-03,1.659618e-03,1.641877e-03,1.613562e-03,1.603463e-03,1.585638e-03,1.558124e-03,1.548866e-03,1.531038e-03,1.504394e-03,1.495964e-03,1.478207e-03,1.452485e-03,1.444861e-03,1.427238e-03,1.402472e-03,1.395625e-03,1.378193e-03,1.354405e-03,1.348301e-03,1.331110e-03,1.308309e-03,1.302911e-03,1.286003e-03,1.264190e-03,1.259457e-03,1.242868e-03,1.222036e-03,1.217928e-03,1.201689e-03,1.181824e-03,1.178299e-03,1.162436e-03,1.143519e-03,1.140536e-03,1.125069e-03,1.107079e-03,1.104596e-03,1.089542e-03,1.072452e-03,1.070430e-03,1.055801e-03,1.039583e-03,1.037985e-03,1.023791e-03,1.008415e-03,1.007203e-03,9.934497e-04,9.788857e-04,9.780245e-04,9.647157e-04,9.509314e-04,9.503879e-04,9.375248e-04,9.244879e-04,9.242308e-04,9.118125e-04,8.994907e-04,8.761052e-04,8.540127e-04,8.331527e-04,8.134659e-04,7.948946e-04,7.773827e-04,7.608762e-04,7.453226e-04,7.306718e-04,7.168756e-04,7.038876e-04,6.916637e-04,6.801616e-04,6.693412e-04,6.591641e-04,6.495939e-04,6.405961e-04,6.321378e-04,6.241879e-04,6.167170e-04,6.096972e-04,6.031021e-04,5.969068e-04,5.910877e-04,5.856227e-04,5.804908e-04,5.756722e-04,5.711482e-04,5.669014e-04,5.629150e-04,5.591737e-04,5.556626e-04,5.523680e-04,5.492769e-04,5.463771e-04,5.436570e-04,5.411060e-04,5.387137e-04,5.364707e-04,5.343680e-04,5.323972e-04,5.305502e-04,5.288197e-04,5.271987e-04,5.256806e-04,5.242592e-04,5.229286e-04,5.216836e-04,5.205188e-04
0.000000e+00,4.674992e-10,5.414162e-09,5.638626e-09,3.206972e-08,1.083304e-07,1.130346e-07,2.720331e-07,4.723770e-07,4.858141e-07,7.067285e-07,8.939658e-07,9.092938e-07,1.087553e-06,1.227458e-06,1.241860e-06,1.374068e-06,1.473792e-06,1.486268e-06,1.580483e-06,1.648562e-06,1.658594e-06,1.722324e-06,1.765898e-06,1.773245e-06,1.812785e-06,1.837629e-06,1.842241e-06,1.862785e-06,1.873518e-06,1.875475e-06,1.881265e-06,1.881546e-06,1.881012e-06,1.875487e-06,1.868189e-06,1.865380e-06,1.851309e-06,1.838674e-06,1.833830e-06,1.813436e-06,1.797197e-06,1.790568e-06,1.765618e-06,1.747102e-06,1.738935e-06,1.710831e-06,1.691050e-06,1.681582e-06,1.651433e-06,1.631149e-06,1.620602e-06,1.589280e-06,1.569055e-06,1.557637e-06,1.525821e-06,1.506066e-06,1.493963e-06,1.462177e-06,1.443183e-06,1.430564e-06,1.399215e-06,1.381182e-06,1.368201e-06,1.337586e-06,1.320635e-06,1.307421e-06,1.277753e-06,1.261953e-06,1.248620e-06,1.220051e-06,1.205427e-06,1.192072e-06,1.164703e-06,1.151252e-06,1.137959e-06,1.111851e-06,1.099548e-06,1.086387e-06,1.061572e-06,1.050375e-06,1.037407e-06,1.013892e-06,1.003751e-06,9.910248e-07,9.688002e-07,9.596563e-07,9.472125e-07,9.262540e-07,9.180449e-07,9.059162e-07,8.861895e-07,8.788514e-07,8.670635e-07,8.485273e-07,8.419965e-07,8.305694e-07,8.131776e-07,8.073912e-07,7.963396e-07,7.800426e-07,7.749398e-07,7.642738e-07,7.490201e-07,7.445425e-07,7.342684e-07,7.200057e-07,7.160979e-07,7.062189e-07,6.928948e-07,6.895048e-07,6.800209e-07,6.675844e-07,6.646633e-07,6.555725e-07,6.439730e-07,6.414753e-07,6.327739e-07,6.219628e-07,6.198462e-07,6.115283e-07,6.014586e-07,5.996839e-07,5.917425e-07,5.823690e-07,5.809003e-07,5.733272e-07,5.646065e-07,5.634107e-07,5.561969e-07,5.480881e-07,5.471348e-07,5.402705e-07,5.327347e-07,5.319963e-07,5.254714e-07,5.184716e-07,5.179227e-07,5.117266e-07,5.052280e-07,5.048458e-07,4.989676e-07,4.929373e-07,4.927008e-07,4.871295e-07,4.815365e-07,4.814268e-07,4.761512e-07,4.709665e-07,4.612660e-07,4.522746e-07,4.439448e-07,4.362321e-07,4.290948e-07,4.224937e-07,4.163923e-07,4.107562e-07,4.055536e-07,4.007545e-07,3.963309e-07,3.922567e-07,3.885075e-07,3.850605e-07,3.818945e-07,3.789896e-07,3.763273e-07,3.738903e-07,3.716626e-07,3.696290e-07,3.677757e-07,3.660895e-07,3.645583e-07,3.631708e-07,3.619163e-07,3.607851e-07,3.597680e-07,3.588564e-07,3.580424e-07,3.573187e-07,3.566784e-07,3.561149e-07,3.556225e-07,3.551956e-07,3.548289e-07,3.545178e-07,3.542577e-07,3.540446e-07,3.538746e-07,3.537441e-07,3.536498e-07,3.535887e-07,3.535579e-07,3.535548e-07,3.535769e-07,3.536219e-07,3.536878e-07,3.537726e-07,3.538745e-07
0.000000e+00,1.489997e-08,8.535476e-07,9.095551e-07,1.196988e-05,6.021620e-05,6.347484e-05,1.759087e-04,3.156229e-04,3.250062e-04,4.829174e-04,6.259533e-04,6.381806e-04,7.877330e-04,9.169328e-04,9.309700e-04,1.067867e-03,1.183171e-03,1.198525e-03,1.323070e-03,1.425399e-03,1.441645e-03,1.554401e-03,1.644732e-03,1.661492e-03,1.763085e-03,1.842404e-03,1.859344e-03,1.950441e-03,2.019714e-03,2.036543e-03,2.117820e-03,2.177974e-03,2.194439e-03,2.266564e-03,2.318472e-03,2.334356e-03,2.397972e-03,2.442451e-03,2.457567e-03,2.513291e-03,2.551097e-03,2.565289e-03,2.613704e-03,2.645536e-03,2.658674e-03,2.700332e-03,2.726835e-03,2.738809e-03,2.774231e-03,2.795996e-03,2.806720e-03,2.836395e-03,2.853963e-03,2.863370e-03,2.887756e-03,2.901622e-03,2.909660e-03,2.929188e-03,2.939805e-03,2.946439e-03,2.961510e-03,2.969290e-03,2.974496e-03,2.985488e-03,2.990805e-03,2.994573e-03,3.001837e-03,3.005031e-03,3.007361e-03,3.011225e-03,3.012604e-03,3.013505e-03,3.014275e-03,3.014116e-03,3.013606e-03,3.011567e-03,3.010122e-03,3.008225e-03,3.003642e-03,3.001135e-03,2.997882e-03,2.991003e-03,2.987637e-03,2.983063e-03,2.974116e-03,2.970072e-03,2.964218e-03,2.953418e-03,2.948856e-03,2.941766e-03,2.929310e-03,2.924375e-03,2.916095e-03,2.902166e-03,2.896985e-03,2.887565e-03,2.872333e-03,2.867018e-03,2.856510e-03,2.840133e-03,2.834781e-03,2.823238e-03,2.805861e-03,2.800559e-03,2.788035e-03,2.769792e-03,2.764614e-03,2.751164e-03,2.732180e-03,2.727189e-03,2.712868e-03,2.693257e-03,2.688508e-03,2.673372e-03,2.653239e-03,2.648779e-03,2.632882e-03,2.612324e-03,2.608190e-03,2.591587e-03,2.570693e-03,2.566917e-03,2.549662e-03,2.528514e-03,2.525121e-03,2.507267e-03,2.485939e-03,2.482948e-03,2.464548e-03,2.443109e-03,2.440534e-03,2.421639e-03,2.400151e-03,2.398002e-03,2.378661e-03,2.357182e-03,2.355465e-03,2.335727e-03,2.314308e-03,2.313024e-03,2.292937e-03,2.271625e-03,2.270774e-03,2.250383e-03,2.229221e-03,2.228798e-03,2.208148e-03,2.187173e-03,2.145966e-03,2.105240e-03,2.065049e-03,2.025444e-03,1.986467e-03,1.948157e-03,1.910548e-03,1.873668e-03,1.837543e-03,1.802193e-03,1.767637e-03,1.733889e-03,1.700960e-03,1.668859e-03,1.637593e-03,1.607165e-03,1.577577e-03,1.548828e-03,1.520918e-03,1.493842e-03,1.467595e-03,1.442172e-03,1.417563e-03,1.393762e-03,1.370757e-03,1.348539e-03,1.327096e-03,1.306416e-03,1.286487e-03,1.267294e-03,1.248824e-03,1.231064e-03,1.213998e-03,1.197611e-03,1.181889e-03,1.166816e-03,1.152377e-03,1.138555e-03,1.125336e-03,1.112703e-03,1.100640e-03,1.089132e-03,1.078163e-03,1.067717e-03,1.057778e-03,1.048331e-03,1.039360e-03,1.030851e-03,1.022787e-03
0.000000e+00,8.546134e-10,7.482497e-08,8.030223e-08,1.545003e-06,1.207792e-05,1.299051e-05,6.138542e-05,1.823067e-04,1.936086e-04,4.648541e-04,8.817530e-04,9.267712e-04,1.620285e-03,2.465065e-03,2.572376e-03,3.795513e-03,5.095569e-03,5.288687e-03,7.039338e-03,8.734400e-03,9.025661e-03,1.121899e-02,1.319708e-02,1.358602e-02,1.609086e-02,1.822183e-02,1.869669e-02,2.136715e-02,2.352662e-02,2.406748e-02,2.676526e-02,2.884868e-02,2.943101e-02,3.203853e-02,3.396718e-02,3.456508e-02,3.699140e-02,3.871289e-02,3.930162e-02,4.148316e-02,4.296870e-02,4.352644e-02,4.542468e-02,4.666476e-02,4.717360e-02,4.877113e-02,4.977085e-02,5.021715e-02,5.151318e-02,5.228776e-02,5.266213e-02,5.366807e-02,5.423908e-02,5.453598e-02,5.527157e-02,5.566391e-02,5.588109e-02,5.637117e-02,5.661074e-02,5.674868e-02,5.702062e-02,5.713273e-02,5.719399e-02,5.727577e-02,5.728411e-02,5.727278e-02,5.719166e-02,5.711764e-02,5.703883e-02,5.682046e-02,5.668296e-02,5.654242e-02,5.621030e-02,5.602562e-02,5.582938e-02,5.540461e-02,5.518652e-02,5.494065e-02,5.444186e-02,5.420184e-02,5.391228e-02,5.335568e-02,5.310312e-02,5.277554e-02,5.217508e-02,5.191755e-02,5.155727e-02,5.092486e-02,5.066837e-02,5.028035e-02,4.962604e-02,4.937528e-02,4.896404e-02,4.829626e-02,4.805479e-02,4.762446e-02,4.695023e-02,4.672070e-02,4.627501e-02,4.560013e-02,4.538443e-02,4.492676e-02,4.425597e-02,4.405539e-02,4.358875e-02,4.292595e-02,4.274127e-02,4.226836e-02,4.161667e-02,4.144828e-02,4.097151e-02,4.033345e-02,4.018142e-02,3.970296e-02,3.908049e-02,3.894466e-02,3.846642e-02,3.786109e-02,3.774110e-02,3.726479e-02,3.667776e-02,3.657310e-02,3.610024e-02,3.553239e-02,3.544245e-02,3.497438e-02,3.442632e-02,3.435039e-02,3.388831e-02,3.336044e-02,3.329777e-02,3.284274e-02,3.233527e-02,3.228508e-02,3.183803e-02,3.135103e-02,3.131251e-02,3.087425e-02,3.040767e-02,3.038000e-02,2.995125e-02,2.950494e-02,2.948730e-02,2.906868e-02,2.864240e-02,2.863398e-02,2.822603e-02,2.781947e-02,2.704308e-02,2.630404e-02,2.560149e-02,2.493450e-02,2.430209e-02,2.370325e-02,2.313693e-02,2.260206e-02,2.209756e-02,2.162231e-02,2.117523e-02,2.075519e-02,2.036110e-02,1.999187e-02,1.964640e-02,1.932362e-02,1.902247e-02,1.874190e-02,1.848090e-02,1.823846e-02,1.801359e-02,1.780535e-02,1.761279e-02,1.743502e-02,1.727116e-02,1.712035e-02,1.698178e-02,1.685464e-02,1.673819e-02,1.663168e-02,1.653441e-02,1.644572e-02,1.636495e-02,1.629151e-02,1.622479e-02,1.616427e-02,1.610940e-02,1.605970e-02,1.601470e-02,1.597397e-02,1.593709e-02,1.590367e-02,1.587337e-02,1.584583e-02,1.582076e-02,1.579786e-02,1.577687e-02,1.575753e-02,1.573964e-02
0.000000e+00,1.356355e-09,8.953896e-08,9.546276e-08,1.388918e-06,9.482205e-06,1.016933e-05,4.729436e-05,1.471001e-04,1.568193e-04,4.027009e-04,8.095873e-04,8.549167e-04,1.576175e-03,2.495140e-03,2.614187e-03,3.998752e-03,5.513786e-03,5.741903e-03,7.839760e-03,9.914830e-03,1.027517e-02,1.302061e-02,1.554084e-02,1.604096e-02,1.929605e-02,2.211026e-02,2.274287e-02,2.633738e-02,2.928998e-02,3.003598e-02,3.379665e-02,3.674747e-02,3.757977e-02,4.134874e-02,4.418314e-02,4.507038e-02,4.871509e-02,5.134728e-02,5.225697e-02,5.567380e-02,5.804585e-02,5.894688e-02,6.206087e-02,6.413939e-02,6.500363e-02,6.776589e-02,6.953768e-02,7.034108e-02,7.272500e-02,7.419253e-02,7.491559e-02,7.691266e-02,7.808984e-02,7.871766e-02,8.033345e-02,8.124195e-02,8.176407e-02,8.301454e-02,8.368076e-02,8.409072e-02,8.499908e-02,8.545177e-02,8.574662e-02,8.634069e-02,8.660916e-02,8.678891e-02,8.709904e-02,8.721185e-02,8.727892e-02,8.733638e-02,8.732045e-02,8.727918e-02,8.711496e-02,8.699506e-02,8.685120e-02,8.649518e-02,8.629359e-02,8.605393e-02,8.553427e-02,8.527070e-02,8.494272e-02,8.428554e-02,8.397714e-02,8.356870e-02,8.279788e-02,8.245934e-02,8.197847e-02,8.111559e-02,8.075936e-02,8.021406e-02,7.927842e-02,7.891484e-02,7.831296e-02,7.732168e-02,7.695924e-02,7.630836e-02,7.527650e-02,7.492204e-02,7.422939e-02,7.317010e-02,7.282902e-02,7.210146e-02,7.102612e-02,7.070258e-02,6.994652e-02,6.886494e-02,6.856203e-02,6.778347e-02,6.670403e-02,6.642393e-02,6.562840e-02,6.455821e-02,6.430235e-02,6.349496e-02,6.244000e-02,6.220915e-02,6.139458e-02,6.035983e-02,6.015425e-02,5.933677e-02,5.832632e-02,5.814584e-02,5.732932e-02,5.634650e-02,5.619062e-02,5.537855e-02,5.442604e-02,5.429395e-02,5.348949e-02,5.256935e-02,5.246006e-02,5.166602e-02,5.077984e-02,5.069217e-02,4.991108e-02,4.905998e-02,4.899266e-02,4.822673e-02,4.741148e-02,4.736314e-02,4.661433e-02,4.583536e-02,4.580458e-02,4.507460e-02,4.433207e-02,4.431741e-02,4.360775e-02,4.290158e-02,4.155665e-02,4.028182e-02,3.907601e-02,3.793792e-02,3.686601e-02,3.585860e-02,3.491383e-02,3.402978e-02,3.320439e-02,3.243558e-02,3.172116e-02,3.105896e-02,3.044675e-02,2.988229e-02,2.936335e-02,2.888770e-02,2.845313e-02,2.805745e-02,2.769850e-02,2.737415e-02,2.708233e-02,2.682100e-02,2.658817e-02,2.638190e-02,2.620034e-02,2.604165e-02,2.590410e-02,2.578599e-02,2.568572e-02,2.560173e-02,2.553255e-02,2.547677e-02,2.543305e-02,2.540013e-02,2.537682e-02,2.536199e-02,2.535460e-02,2.535366e-02,2.535825e-02,2.536752e-02,2.538069e-02,2.539703e-02,2.541589e-02,2.543665e-02,2.545876e-02,2.548174e-02,2.550513e-02,2.552854e-02,2.555163e-02
0.000000e+00,1.679142e-10,9.848228e-09,1.047172e-08,1.345277e-07,8.486465e-07,9.080640e-07,4.077803e-06,1.262597e-05,1.346387e-05,3.485570e-05,7.044609e-05,7.439843e-05,1.364978e-04,2.129482e-04,2.226192e-04,3.312547e-04,4.424984e-04,4.586054e-04,5.994975e-04,7.271543e-04,7.482389e-04,8.992864e-04,1.024306e-03,1.047694e-03,1.189363e-03,1.298263e-03,1.321142e-03,1.440806e-03,1.526866e-03,1.546982e-03,1.639020e-03,1.700944e-03,1.716866e-03,1.780920e-03,1.820817e-03,1.831912e-03,1.870801e-03,1.892425e-03,1.898677e-03,1.916693e-03,1.924211e-03,1.926009e-03,1.927749e-03,1.925034e-03,1.922979e-03,1.912684e-03,1.902987e-03,1.897758e-03,1.879003e-03,1.864875e-03,1.857128e-03,1.832751e-03,1.816088e-03,1.806408e-03,1.778560e-03,1.760710e-03,1.749594e-03,1.719841e-03,1.701726e-03,1.689573e-03,1.659020e-03,1.641244e-03,1.628369e-03,1.597772e-03,1.580708e-03,1.567353e-03,1.537211e-03,1.521078e-03,1.507424e-03,1.478054e-03,1.462962e-03,1.449148e-03,1.420741e-03,1.406733e-03,1.392860e-03,1.365522e-03,1.352597e-03,1.338741e-03,1.312523e-03,1.300653e-03,1.286872e-03,1.261788e-03,1.250930e-03,1.237268e-03,1.213307e-03,1.203410e-03,1.189901e-03,1.167042e-03,1.158050e-03,1.144722e-03,1.122933e-03,1.114790e-03,1.101665e-03,1.080909e-03,1.073560e-03,1.060656e-03,1.040896e-03,1.034288e-03,1.021618e-03,1.002815e-03,9.968958e-04,9.844744e-04,9.665880e-04,9.613091e-04,9.491457e-04,9.321381e-04,9.274525e-04,9.155557e-04,8.993893e-04,8.952530e-04,8.836297e-04,8.682679e-04,8.646393e-04,8.532950e-04,8.387023e-04,8.355420e-04,8.244810e-04,8.106229e-04,8.078942e-04,7.971197e-04,7.839631e-04,7.816311e-04,7.711453e-04,7.586584e-04,7.566906e-04,7.464946e-04,7.346465e-04,7.330125e-04,7.231066e-04,7.118678e-04,7.105390e-04,7.009228e-04,6.902648e-04,6.892145e-04,6.798870e-04,6.697825e-04,6.689858e-04,6.599450e-04,6.503680e-04,6.498015e-04,6.410452e-04,6.319706e-04,6.316127e-04,6.231380e-04,6.145417e-04,6.143722e-04,6.061759e-04,5.980349e-04,5.825579e-04,5.678997e-04,5.540211e-04,5.408841e-04,5.284529e-04,5.166930e-04,5.055716e-04,4.950573e-04,4.851203e-04,4.757319e-04,4.668650e-04,4.584937e-04,4.505932e-04,4.431399e-04,4.361114e-04,4.294863e-04,4.232442e-04,4.173657e-04,4.118323e-04,4.066263e-04,4.017311e-04,3.971307e-04,3.928098e-04,3.887541e-04,3.849497e-04,3.813836e-04,3.780432e-04,3.749169e-04,3.719932e-04,3.692615e-04,3.667115e-04,3.643336e-04,3.621186e-04,3.600576e-04,3.581424e-04,3.563650e-04,3.547179e-04,3.531939e-04,3.517862e-04,3.504884e-04,3.492944e-04,3.481982e-04,3.471944e-04,3.462778e-04,3.454432e-04,3.446860e-04,3.440017e-04,3.433860e-04,3.428348e-04
0.000000e+00,1.759179e-09,7.814692e-08,8.277493e-08,9.165432e-07,5.031005e-06,5.347618e-06,1.979064e-05,4.869594e-05,5.109883e-05,9.945951e-05,1.529298e-04,1.577548e-04,2.179724e-04,2.695853e-04,2.750767e-04,3.268836e-04,3.676250e-04,3.728308e-04,4.130697e-04,4.434168e-04,4.480061e-04,4.781085e-04,4.999975e-04,5.038388e-04,5.256304e-04,5.408411e-04,5.438819e-04,5.589579e-04,5.689568e-04,5.711909e-04,5.808831e-04,5.868565e-04,5.883087e-04,5.937163e-04,5.966155e-04,5.973306e-04,5.993548e-04,5.999374e-04,5.999721e-04,5.993475e-04,5.982130e-04,5.976299e-04,5.949530e-04,5.925734e-04,5.914372e-04,5.871903e-04,5.839348e-04,5.823095e-04,5.768816e-04,5.730376e-04,5.709845e-04,5.646880e-04,5.604778e-04,5.580546e-04,5.511399e-04,5.467336e-04,5.439937e-04,5.366606e-04,5.321876e-04,5.291800e-04,5.215871e-04,5.171443e-04,5.139132e-04,5.061861e-04,5.018449e-04,4.984302e-04,4.906672e-04,4.864791e-04,4.829163e-04,4.751942e-04,4.711951e-04,4.675157e-04,4.598937e-04,4.561074e-04,4.523394e-04,4.448624e-04,4.413034e-04,4.374712e-04,4.301729e-04,4.268486e-04,4.229736e-04,4.158785e-04,4.127908e-04,4.088919e-04,4.020172e-04,3.991640e-04,3.952574e-04,3.886146e-04,3.859907e-04,3.820906e-04,3.756865e-04,3.732846e-04,3.694032e-04,3.632410e-04,3.610523e-04,3.572001e-04,3.512803e-04,3.492950e-04,3.454810e-04,3.398017e-04,3.380094e-04,3.342413e-04,3.287989e-04,3.271890e-04,3.234732e-04,3.182629e-04,3.168245e-04,3.131666e-04,3.081827e-04,3.069051e-04,3.033096e-04,2.985456e-04,2.974183e-04,2.938890e-04,2.893380e-04,2.883508e-04,2.848908e-04,2.805456e-04,2.796887e-04,2.763005e-04,2.721537e-04,2.714175e-04,2.681032e-04,2.641472e-04,2.635229e-04,2.602838e-04,2.565112e-04,2.559902e-04,2.528275e-04,2.492309e-04,2.488051e-04,2.457195e-04,2.422916e-04,2.419533e-04,2.389453e-04,2.356789e-04,2.354210e-04,2.324907e-04,2.293789e-04,2.291946e-04,2.263419e-04,2.233780e-04,2.232609e-04,2.204855e-04,2.176629e-04,2.176072e-04,2.149087e-04,2.122211e-04,2.070907e-04,2.022047e-04,1.975519e-04,1.931217e-04,1.889042e-04,1.848894e-04,1.810682e-04,1.774316e-04,1.739711e-04,1.706786e-04,1.675462e-04,1.645665e-04,1.617324e-04,1.590371e-04,1.564742e-04,1.540374e-04,1.517209e-04,1.495190e-04,1.474263e-04,1.454377e-04,1.435483e-04,1.417535e-04,1.400488e-04,1.384299e-04,1.368928e-04,1.354336e-04,1.340487e-04,1.327345e-04,1.314877e-04,1.303050e-04,1.291835e-04,1.281202e-04,1.271124e-04,1.261574e-04,1.252527e-04,1.243958e-04,1.235846e-04,1.228168e-04,1.220903e-04,1.214032e-04,1.207535e-04,1.201395e-04,1.195594e-04,1.190116e-04,1.184946e-04,1.180067e-04,1.175467e-04,1.171132e-04,1.167048e-04
0.000000e+00,5.296640e-10,2.961367e-08,3.148202e-08,4.038687e-07,2.487339e-06,2.656581e-06,1.115824e-05,3.147658e-05,3.333989e-05,7.631392e-05,1.360677e-04,1.421023e-04,2.264175e-04,3.115619e-04,3.212737e-04,4.182570e-04,4.999061e-04,5.105660e-04,5.936993e-04,6.560119e-04,6.653014e-04,7.246586e-04,7.653099e-04,7.721469e-04,8.087703e-04,8.316009e-04,8.358266e-04,8.546878e-04,8.647656e-04,8.666717e-04,8.729748e-04,8.746273e-04,8.746452e-04,8.725784e-04,8.689765e-04,8.675276e-04,8.601186e-04,8.534243e-04,8.508663e-04,8.401918e-04,8.318203e-04,8.284374e-04,8.158805e-04,8.067350e-04,8.027450e-04,7.892108e-04,7.798546e-04,7.754222e-04,7.614948e-04,7.522721e-04,7.475204e-04,7.335717e-04,7.246850e-04,7.197060e-04,7.059684e-04,6.975310e-04,6.923937e-04,6.790088e-04,6.710777e-04,6.658342e-04,6.528850e-04,6.454822e-04,6.401722e-04,6.277037e-04,6.208300e-04,6.154845e-04,6.035178e-04,5.971612e-04,5.918048e-04,5.803454e-04,5.744863e-04,5.691384e-04,5.581818e-04,5.527966e-04,5.474729e-04,5.370085e-04,5.320714e-04,5.267848e-04,5.167978e-04,5.122821e-04,5.070432e-04,4.975168e-04,4.933963e-04,4.882140e-04,4.791304e-04,4.753795e-04,4.702613e-04,4.616024e-04,4.581967e-04,4.531491e-04,4.448970e-04,4.418130e-04,4.368416e-04,4.289785e-04,4.261940e-04,4.213034e-04,4.138122e-04,4.113063e-04,4.065006e-04,3.993645e-04,3.971174e-04,3.923999e-04,3.856028e-04,3.835958e-04,3.789694e-04,3.724959e-04,3.707114e-04,3.661785e-04,3.600136e-04,3.584353e-04,3.539977e-04,3.481272e-04,3.467396e-04,3.423988e-04,3.368092e-04,3.355977e-04,3.313550e-04,3.260331e-04,3.249843e-04,3.208403e-04,3.157737e-04,3.148749e-04,3.108302e-04,3.060070e-04,3.052462e-04,3.013011e-04,2.967099e-04,2.960761e-04,2.922306e-04,2.878605e-04,2.873433e-04,2.835970e-04,2.794377e-04,2.790274e-04,2.753800e-04,2.714216e-04,2.711091e-04,2.675600e-04,2.637930e-04,2.635699e-04,2.601183e-04,2.565337e-04,2.563921e-04,2.530370e-04,2.496263e-04,2.495589e-04,2.462993e-04,2.430542e-04,2.368626e-04,2.309694e-04,2.253608e-04,2.200234e-04,2.149444e-04,2.101117e-04,2.055138e-04,2.011397e-04,1.969788e-04,1.930211e-04,1.892570e-04,1.856774e-04,1.822736e-04,1.790374e-04,1.759608e-04,1.730363e-04,1.702567e-04,1.676152e-04,1.651052e-04,1.627205e-04,1.604552e-04,1.583036e-04,1.562604e-04,1.543204e-04,1.524787e-04,1.507306e-04,1.490718e-04,1.474979e-04,1.460049e-04,1.445890e-04,1.432465e-04,1.419739e-04,1.407678e-04,1.396251e-04,1.385428e-04,1.375180e-04,1.365479e-04,1.356298e-04,1.347614e-04,1.339402e-04,1.331640e-04,1.324305e-04,1.317378e-04,1.310838e-04,1.304667e-04,1.298846e-04,1.293360e-04,1.288192e-04,1.283326e-04
0.000000e+00,4.865509e-10,6.749568e-09,7.045970e-09,4.168536e-08,1.339146e-07,1.393173e-07,3.092940e-07,5.020960e-07,5.145830e-07,7.175533e-07,8.909944e-07,9.053919e-07,1.076107e-06,1.215559e-06,1.230258e-06,1.368918e-06,1.479029e-06,1.493225e-06,1.604285e-06,1.690001e-06,1.703145e-06,1.790788e-06,1.856416e-06,1.868135e-06,1.936042e-06,1.985240e-06,1.995302e-06,2.046652e-06,2.082495e-06,2.090771e-06,2.128284e-06,2.153332e-06,2.159769e-06,2.185758e-06,2.202134e-06,2.206737e-06,2.223157e-06,2.232616e-06,2.235429e-06,2.243933e-06,2.247919e-06,2.249016e-06,2.250997e-06,2.250694e-06,2.250166e-06,2.246793e-06,2.243174e-06,2.241125e-06,2.233389e-06,2.227253e-06,2.223793e-06,2.212526e-06,2.204519e-06,2.199761e-06,2.185659e-06,2.176308e-06,2.170365e-06,2.154012e-06,2.143744e-06,2.136724e-06,2.118612e-06,2.107771e-06,2.099780e-06,2.080318e-06,2.069178e-06,2.060314e-06,2.039845e-06,2.028623e-06,2.018981e-06,1.997788e-06,1.986657e-06,1.976324e-06,1.954644e-06,1.943737e-06,1.932795e-06,1.910823e-06,1.900245e-06,1.888768e-06,1.866667e-06,1.856494e-06,1.844553e-06,1.822456e-06,1.812746e-06,1.800404e-06,1.778422e-06,1.769215e-06,1.756530e-06,1.734750e-06,1.726074e-06,1.713100e-06,1.691596e-06,1.683465e-06,1.670251e-06,1.649080e-06,1.641504e-06,1.628094e-06,1.607303e-06,1.600280e-06,1.586715e-06,1.566339e-06,1.559865e-06,1.546182e-06,1.526249e-06,1.520313e-06,1.506545e-06,1.487076e-06,1.481667e-06,1.467844e-06,1.448853e-06,1.443955e-06,1.430105e-06,1.411603e-06,1.407199e-06,1.393346e-06,1.375338e-06,1.371409e-06,1.357577e-06,1.340065e-06,1.336592e-06,1.322801e-06,1.305784e-06,1.302748e-06,1.289015e-06,1.272493e-06,1.269872e-06,1.256215e-06,1.240181e-06,1.237956e-06,1.224390e-06,1.208840e-06,1.206990e-06,1.193528e-06,1.178453e-06,1.176959e-06,1.163614e-06,1.149007e-06,1.147848e-06,1.134631e-06,1.120483e-06,1.119641e-06,1.106561e-06,1.092862e-06,1.092319e-06,1.079385e-06,1.066126e-06,1.065863e-06,1.053083e-06,1.040253e-06,1.015470e-06,9.914923e-07,9.682998e-07,9.458717e-07,9.241875e-07,9.032269e-07,8.829696e-07,8.633956e-07,8.444854e-07,8.262196e-07,8.085793e-07,7.915460e-07,7.751014e-07,7.592280e-07,7.439084e-07,7.291256e-07,7.148633e-07,7.011054e-07,6.878363e-07,6.750409e-07,6.627043e-07,6.508122e-07,6.393507e-07,6.283062e-07,6.176654e-07,6.074157e-07,5.975446e-07,5.880400e-07,5.788902e-07,5.700840e-07,5.616101e-07,5.534581e-07,5.456174e-07,5.380781e-07,5.308303e-07,5.238646e-07,5.171718e-07,5.107431e-07,5.045697e-07,4.986433e-07,4.929558e-07,4.874994e-07,4.822663e-07,4.772493e-07,4.724410e-07,4.678346e-07,4.634234e-07,4.592007e-07,4.551604e-07
0.000000e+00,7.796909e-10,1.097680e-08,1.144798e-08,6.268038e-08,1.846751e-07,1.914908e-07,3.967033e-07,6.181148e-07,6.322287e-07,8.590606e-07,1.049632e-06,1.065323e-06,1.249785e-06,1.398050e-06,1.413535e-06,1.558077e-06,1.670599e-06,1.684938e-06,1.795587e-06,1.878840e-06,1.891412e-06,1.973717e-06,2.033297e-06,2.043718e-06,2.102542e-06,2.143171e-06,2.151231e-06,2.190745e-06,2.216345e-06,2.221965e-06,2.245706e-06,2.259513e-06,2.262712e-06,2.273664e-06,2.278324e-06,2.279185e-06,2.279847e-06,2.277510e-06,2.276161e-06,2.268595e-06,2.260989e-06,2.257580e-06,2.243505e-06,2.232025e-06,2.226729e-06,2.207591e-06,2.193387e-06,2.186398e-06,2.163415e-06,2.147386e-06,2.138887e-06,2.113032e-06,2.095883e-06,2.086053e-06,2.058129e-06,2.040415e-06,2.029424e-06,2.000085e-06,1.982234e-06,1.970246e-06,1.940025e-06,1.922366e-06,1.909533e-06,1.878865e-06,1.861647e-06,1.848108e-06,1.817340e-06,1.800745e-06,1.786629e-06,1.756039e-06,1.740198e-06,1.725623e-06,1.695432e-06,1.680433e-06,1.665506e-06,1.635885e-06,1.621785e-06,1.606602e-06,1.577684e-06,1.564512e-06,1.549158e-06,1.521043e-06,1.508809e-06,1.493360e-06,1.466122e-06,1.454818e-06,1.439343e-06,1.413033e-06,1.402642e-06,1.387200e-06,1.361850e-06,1.352345e-06,1.336988e-06,1.312617e-06,1.303964e-06,1.288738e-06,1.265352e-06,1.257513e-06,1.242458e-06,1.220054e-06,1.212988e-06,1.198138e-06,1.176707e-06,1.170371e-06,1.155755e-06,1.135279e-06,1.129630e-06,1.115273e-06,1.095732e-06,1.090726e-06,1.076649e-06,1.058018e-06,1.053613e-06,1.039832e-06,1.022085e-06,1.018239e-06,1.004769e-06,9.878760e-07,9.845477e-07,9.713997e-07,9.553319e-07,9.524825e-07,9.396652e-07,9.243916e-07,9.219838e-07,9.095035e-07,8.949930e-07,8.929913e-07,8.808525e-07,8.670742e-07,8.654448e-07,8.536504e-07,8.405734e-07,8.392844e-07,8.278356e-07,8.154296e-07,8.144512e-07,8.033478e-07,7.915830e-07,7.908871e-07,7.801279e-07,7.689754e-07,7.685355e-07,7.581183e-07,7.475497e-07,7.473412e-07,7.372629e-07,7.272510e-07,7.082131e-07,6.901776e-07,6.730967e-07,6.569242e-07,6.416159e-07,6.271292e-07,6.134237e-07,6.004604e-07,5.882023e-07,5.766140e-07,5.656617e-07,5.553132e-07,5.455379e-07,5.363064e-07,5.275910e-07,5.193651e-07,5.116037e-07,5.042827e-07,4.973793e-07,4.908720e-07,4.847401e-07,4.789641e-07,4.735253e-07,4.684062e-07,4.635900e-07,4.590608e-07,4.548034e-07,4.508035e-07,4.470475e-07,4.435224e-07,4.402160e-07,4.371167e-07,4.342133e-07,4.314954e-07,4.289529e-07,4.265766e-07,4.243574e-07,4.222867e-07,4.203566e-07,4.185594e-07,4.168877e-07,4.153348e-07,4.138941e-07,4.125593e-07,4.113247e-07,4.101847e-07,4.091339e-07,4.081674e-07,4.072804e-07
0.000000e+00,7.797132e-10,9.690850e-09,1.009842e-08,5.656253e-08,1.800272e-07,1.873282e-07,4.228390e-07,7.047649e-07,7.234600e-07,1.030944e-06,1.295080e-06,1.316954e-06,1.575061e-06,1.783635e-06,1.805475e-06,2.009908e-06,2.169890e-06,2.190340e-06,2.348730e-06,2.468740e-06,2.486941e-06,2.606723e-06,2.694293e-06,2.709705e-06,2.797401e-06,2.858887e-06,2.871206e-06,2.932411e-06,2.973102e-06,2.982200e-06,3.021659e-06,3.045912e-06,3.051787e-06,3.073494e-06,3.084877e-06,3.087616e-06,3.094917e-06,3.096341e-06,3.096095e-06,3.091787e-06,3.085618e-06,3.082577e-06,3.068995e-06,3.057148e-06,3.051527e-06,3.030612e-06,3.014629e-06,3.006654e-06,2.980019e-06,2.961137e-06,2.951040e-06,2.920020e-06,2.899223e-06,2.887233e-06,2.852930e-06,2.831002e-06,2.817338e-06,2.780663e-06,2.758216e-06,2.743090e-06,2.704788e-06,2.682300e-06,2.665909e-06,2.626592e-06,2.604429e-06,2.586959e-06,2.547123e-06,2.525563e-06,2.507185e-06,2.467233e-06,2.446480e-06,2.427349e-06,2.387605e-06,2.367807e-06,2.348066e-06,2.308789e-06,2.290044e-06,2.269824e-06,2.231217e-06,2.213589e-06,2.193007e-06,2.155228e-06,2.138750e-06,2.117911e-06,2.081082e-06,2.065765e-06,2.044764e-06,2.008975e-06,1.994812e-06,1.973733e-06,1.939049e-06,1.926019e-06,1.904936e-06,1.871402e-06,1.859473e-06,1.838453e-06,1.806095e-06,1.795228e-06,1.774330e-06,1.743161e-06,1.733313e-06,1.712588e-06,1.682609e-06,1.673731e-06,1.653224e-06,1.624429e-06,1.616472e-06,1.596221e-06,1.568596e-06,1.561508e-06,1.541547e-06,1.515071e-06,1.508801e-06,1.489159e-06,1.463807e-06,1.458304e-06,1.439007e-06,1.414751e-06,1.409965e-06,1.391033e-06,1.367843e-06,1.363725e-06,1.345175e-06,1.323019e-06,1.319521e-06,1.301368e-06,1.280213e-06,1.277290e-06,1.259545e-06,1.239356e-06,1.236966e-06,1.219638e-06,1.200381e-06,1.198480e-06,1.181577e-06,1.163217e-06,1.161767e-06,1.145293e-06,1.127797e-06,1.126760e-06,1.110719e-06,1.094051e-06,1.093393e-06,1.077786e-06,1.061914e-06,1.061601e-06,1.046428e-06,1.031320e-06,1.002488e-06,9.750460e-07,9.489340e-07,9.240956e-07,9.004759e-07,8.780218e-07,8.566822e-07,8.364078e-07,8.171513e-07,7.988671e-07,7.815116e-07,7.650427e-07,7.494201e-07,7.346054e-07,7.205614e-07,7.072528e-07,6.946457e-07,6.827077e-07,6.714076e-07,6.607158e-07,6.506039e-07,6.410447e-07,6.320122e-07,6.234816e-07,6.154292e-07,6.078322e-07,6.006692e-07,5.939192e-07,5.875627e-07,5.815807e-07,5.759552e-07,5.706689e-07,5.657055e-07,5.610491e-07,5.566849e-07,5.525984e-07,5.487760e-07,5.452047e-07,5.418719e-07,5.387660e-07,5.358754e-07,5.331894e-07,5.306977e-07,5.283904e-07,5.262581e-07,5.242918e-07,5.224829e-07,5.208232e-07,5.193050e-07
0.000000e+00,5.861311e-09,6.471479e-08,6.728342e-08,3.511675e-07,1.115706e-06,1.161997e-06,2.726983e-06,4.787918e-06,4.931518e-06,7.398259e-06,9.650670e-06,9.842166e-06,1.216007e-05,1.411815e-05,1.432809e-05,1.634458e-05,1.799712e-05,1.821384e-05,1.994182e-05,2.131974e-05,2.153489e-05,2.299942e-05,2.413506e-05,2.434193e-05,2.556880e-05,2.649292e-05,2.668626e-05,2.770035e-05,2.844110e-05,2.861687e-05,2.944139e-05,3.002410e-05,3.017926e-05,3.083558e-05,3.128285e-05,3.141522e-05,3.192284e-05,3.225471e-05,3.236284e-05,3.273944e-05,3.297358e-05,3.305663e-05,3.331820e-05,3.347014e-05,3.352776e-05,3.368872e-05,3.377208e-05,3.380433e-05,3.387767e-05,3.390432e-05,3.391163e-05,3.390897e-05,3.388927e-05,3.387231e-05,3.380411e-05,3.374701e-05,3.370669e-05,3.358227e-05,3.349553e-05,3.343293e-05,3.326063e-05,3.315092e-05,3.306724e-05,3.285450e-05,3.272753e-05,3.262406e-05,3.237748e-05,3.223814e-05,3.211624e-05,3.184170e-05,3.169413e-05,3.155518e-05,3.125788e-05,3.110556e-05,3.095097e-05,3.063552e-05,3.048138e-05,3.031255e-05,2.998301e-05,2.982946e-05,2.964779e-05,2.930772e-05,2.915676e-05,2.896360e-05,2.861614e-05,2.846939e-05,2.826605e-05,2.791395e-05,2.777268e-05,2.756044e-05,2.720608e-05,2.707131e-05,2.685139e-05,2.649684e-05,2.636933e-05,2.614289e-05,2.578995e-05,2.567025e-05,2.543840e-05,2.508861e-05,2.497709e-05,2.474088e-05,2.439554e-05,2.429245e-05,2.405286e-05,2.371308e-05,2.361850e-05,2.337645e-05,2.304318e-05,2.295711e-05,2.271346e-05,2.238747e-05,2.230981e-05,2.206537e-05,2.174729e-05,2.167786e-05,2.143337e-05,2.112371e-05,2.106230e-05,2.081843e-05,2.051760e-05,2.046393e-05,2.022131e-05,1.992961e-05,1.988337e-05,1.964257e-05,1.936023e-05,1.932108e-05,1.908262e-05,1.880977e-05,1.877735e-05,1.854171e-05,1.827844e-05,1.825238e-05,1.801998e-05,1.776631e-05,1.774622e-05,1.751744e-05,1.727335e-05,1.725886e-05,1.703403e-05,1.679946e-05,1.679017e-05,1.656960e-05,1.634443e-05,1.633998e-05,1.612392e-05,1.590803e-05,1.549404e-05,1.509766e-05,1.471852e-05,1.435620e-05,1.401029e-05,1.368033e-05,1.336585e-05,1.306639e-05,1.278146e-05,1.251058e-05,1.225327e-05,1.200904e-05,1.177742e-05,1.155792e-05,1.135009e-05,1.115346e-05,1.096757e-05,1.079198e-05,1.062627e-05,1.047001e-05,1.032279e-05,1.018421e-05,1.005388e-05,9.931428e-06,9.816492e-06,9.708719e-06,9.607769e-06,9.513315e-06,9.425041e-06,9.342643e-06,9.265827e-06,9.194312e-06,9.127828e-06,9.066114e-06,9.008921e-06,8.956009e-06,8.907148e-06,8.862120e-06,8.820714e-06,8.782727e-06,8.747968e-06,8.716252e-06,8.687404e-06,8.661254e-06,8.637644e-06,8.616420e-06,8.597436e-06,8.580552e-06,8.565637e-06
0.000000e+00,3.621882e-10,2.562389e-08,2.737642e-08,4.438628e-07,3.284714e-06,3.532071e-06,1.723955e-05,5.454596e-05,5.816810e-05,1.486228e-04,2.938364e-04,3.097232e-04,5.562307e-04,8.566041e-04,8.945847e-04,1.323204e-03,1.768723e-03,1.833960e-03,2.414060e-03,2.956556e-03,3.047909e-03,3.718722e-03,4.298531e-03,4.409802e-03,5.105463e-03,5.669407e-03,5.791654e-03,6.456314e-03,6.965798e-03,7.089519e-03,7.683480e-03,8.115754e-03,8.232437e-03,8.732470e-03,9.078310e-03,9.181285e-03,9.577981e-03,9.838092e-03,9.922809e-03,1.021695e-02,1.039839e-02,1.046231e-02,1.066133e-02,1.077457e-02,1.081683e-02,1.093188e-02,1.098864e-02,1.100968e-02,1.105345e-02,1.106525e-02,1.106639e-02,1.105162e-02,1.102900e-02,1.101211e-02,1.095070e-02,1.090279e-02,1.087003e-02,1.077254e-02,1.070694e-02,1.066052e-02,1.053602e-02,1.045884e-02,1.040093e-02,1.025695e-02,1.017301e-02,1.010561e-02,9.948274e-03,9.861257e-03,9.786167e-03,9.620370e-03,9.533019e-03,9.451838e-03,9.281413e-03,9.195725e-03,9.109832e-03,8.937740e-03,8.855122e-03,8.765698e-03,8.594193e-03,8.515599e-03,8.423644e-03,8.254412e-03,8.180448e-03,8.086804e-03,7.921084e-03,7.852099e-03,7.757472e-03,7.596157e-03,7.532309e-03,7.437291e-03,7.281005e-03,7.222314e-03,7.127400e-03,6.976560e-03,6.922947e-03,6.828548e-03,6.683413e-03,6.634729e-03,6.541188e-03,6.401896e-03,6.357944e-03,6.265548e-03,6.132147e-03,6.092701e-03,6.001688e-03,5.874159e-03,5.838974e-03,5.749543e-03,5.627817e-03,5.596638e-03,5.508954e-03,5.392923e-03,5.365494e-03,5.279692e-03,5.169223e-03,5.145286e-03,5.061478e-03,4.956416e-03,4.935723e-03,4.853997e-03,4.754176e-03,4.736481e-03,4.656911e-03,4.562155e-03,4.547224e-03,4.469864e-03,4.379992e-03,4.367601e-03,4.292493e-03,4.207321e-03,4.197255e-03,4.124430e-03,4.043774e-03,4.035829e-03,3.965306e-03,3.888982e-03,3.882967e-03,3.814756e-03,3.742583e-03,3.738317e-03,3.672419e-03,3.604220e-03,3.601532e-03,3.537942e-03,3.473543e-03,3.472273e-03,3.410979e-03,3.350210e-03,3.235022e-03,3.126396e-03,3.024032e-03,2.927639e-03,2.836936e-03,2.751652e-03,2.671528e-03,2.596315e-03,2.525772e-03,2.459671e-03,2.397790e-03,2.339919e-03,2.285855e-03,2.235405e-03,2.188384e-03,2.144614e-03,2.103927e-03,2.066159e-03,2.031157e-03,1.998773e-03,1.968863e-03,1.941294e-03,1.915937e-03,1.892666e-03,1.871365e-03,1.851920e-03,1.834224e-03,1.818174e-03,1.803672e-03,1.790624e-03,1.778940e-03,1.768534e-03,1.759325e-03,1.751236e-03,1.744192e-03,1.738122e-03,1.732958e-03,1.728637e-03,1.725098e-03,1.722281e-03,1.720133e-03,1.718599e-03,1.717631e-03,1.717181e-03,1.717203e-03,1.717655e-03,1.718498e-03,1.719692e-03,1.721201e-03
0.000000e+00,5.391824e-10,3.302150e-08,3.513355e-08,4.597236e-07,2.917593e-06,3.122568e-06,1.414066e-05,4.446433e-05,4.747562e-05,1.262077e-04,2.636458e-04,2.793442e-04,5.362672e-04,8.771718e-04,9.221466e-04,1.455406e-03,2.055367e-03,2.146877e-03,3.000039e-03,3.860918e-03,4.011860e-03,5.173917e-03,6.257007e-03,6.473584e-03,7.895186e-03,9.139513e-03,9.421023e-03,1.103229e-02,1.236991e-02,1.270979e-02,1.443456e-02,1.580090e-02,1.618832e-02,1.795385e-02,1.929365e-02,1.971518e-02,2.145781e-02,2.272763e-02,2.316876e-02,2.483662e-02,2.600520e-02,2.645152e-02,2.800513e-02,2.905243e-02,2.949053e-02,3.090214e-02,3.181765e-02,3.223566e-02,3.348790e-02,3.426877e-02,3.465671e-02,3.574086e-02,3.639005e-02,3.673992e-02,3.765418e-02,3.817881e-02,3.848455e-02,3.923243e-02,3.964233e-02,3.989970e-02,4.048856e-02,4.079515e-02,4.100153e-02,4.144135e-02,4.165678e-02,4.181094e-02,4.211335e-02,4.224981e-02,4.235170e-02,4.252918e-02,4.259847e-02,4.264898e-02,4.271429e-02,4.272750e-02,4.272827e-02,4.269402e-02,4.266134e-02,4.261458e-02,4.249292e-02,4.242357e-02,4.233190e-02,4.213431e-02,4.203648e-02,4.190283e-02,4.164003e-02,4.152091e-02,4.134837e-02,4.103021e-02,4.089604e-02,4.068781e-02,4.032331e-02,4.017943e-02,3.993874e-02,3.953603e-02,3.938697e-02,3.911702e-02,3.868344e-02,3.853299e-02,3.823691e-02,3.777898e-02,3.763028e-02,3.731111e-02,3.683466e-02,3.669024e-02,3.635090e-02,3.586105e-02,3.572295e-02,3.536623e-02,3.486749e-02,3.473730e-02,3.436582e-02,3.386214e-02,3.374105e-02,3.335730e-02,3.285211e-02,3.274099e-02,3.234730e-02,3.184355e-02,3.174299e-02,3.134152e-02,3.084178e-02,3.075212e-02,3.034488e-02,2.985133e-02,2.977270e-02,2.936157e-02,2.887604e-02,2.880842e-02,2.839512e-02,2.791916e-02,2.786240e-02,2.744850e-02,2.698340e-02,2.693721e-02,2.652416e-02,2.607099e-02,2.603501e-02,2.562412e-02,2.518373e-02,2.515752e-02,2.475000e-02,2.432307e-02,2.430613e-02,2.390307e-02,2.349012e-02,2.348193e-02,2.308431e-02,2.268572e-02,2.191808e-02,2.117938e-02,2.046983e-02,1.978947e-02,1.913822e-02,1.851590e-02,1.792223e-02,1.735684e-02,1.681931e-02,1.630916e-02,1.582586e-02,1.536883e-02,1.493750e-02,1.453122e-02,1.414936e-02,1.379126e-02,1.345624e-02,1.314361e-02,1.285269e-02,1.258276e-02,1.233313e-02,1.210308e-02,1.189189e-02,1.169886e-02,1.152325e-02,1.136437e-02,1.122148e-02,1.109387e-02,1.098083e-02,1.088164e-02,1.079560e-02,1.072200e-02,1.066014e-02,1.060933e-02,1.056889e-02,1.053814e-02,1.051640e-02,1.050304e-02,1.049739e-02,1.049884e-02,1.050676e-02,1.052056e-02,1.053964e-02,1.056346e-02,1.059145e-02,1.062310e-02,1.065789e-02,1.069535e-02,1.073501e-02
0.000000e+00,1.780681e-08,3.864270e-07,4.057098e-07,3.180526e-06,1.313412e-05,1.379496e-05,3.752187e-05,6.884156e-05,7.096842e-05,1.066979e-04,1.387737e-04,1.415007e-04,1.746546e-04,2.029859e-04,2.060459e-04,2.356913e-04,2.603717e-04,2.636373e-04,2.899386e-04,3.112862e-04,3.146528e-04,3.378386e-04,3.561770e-04,3.595554e-04,3.798622e-04,3.955030e-04,3.988179e-04,4.164800e-04,4.297164e-04,4.329051e-04,4.481483e-04,4.592520e-04,4.622631e-04,4.753013e-04,4.845211e-04,4.873129e-04,4.983462e-04,5.059084e-04,5.084477e-04,5.176622e-04,5.237716e-04,5.260327e-04,5.336005e-04,5.384419e-04,5.404056e-04,5.464859e-04,5.502252e-04,5.518780e-04,5.566171e-04,5.594037e-04,5.607370e-04,5.642699e-04,5.662372e-04,5.672467e-04,5.696971e-04,5.709644e-04,5.716494e-04,5.731308e-04,5.738045e-04,5.741673e-04,5.747836e-04,5.749579e-04,5.750035e-04,5.748497e-04,5.746085e-04,5.743440e-04,5.735070e-04,5.729243e-04,5.723586e-04,5.709177e-04,5.700588e-04,5.692023e-04,5.672298e-04,5.661523e-04,5.650166e-04,5.625785e-04,5.613327e-04,5.599304e-04,5.570866e-04,5.557165e-04,5.540608e-04,5.508660e-04,5.494100e-04,5.475146e-04,5.440184e-04,5.425095e-04,5.403886e-04,5.366359e-04,5.351027e-04,5.327706e-04,5.288023e-04,5.272693e-04,5.247403e-04,5.205932e-04,5.190811e-04,5.163696e-04,5.120772e-04,5.106035e-04,5.077236e-04,5.033160e-04,5.018952e-04,4.988610e-04,4.943652e-04,4.930094e-04,4.898346e-04,4.852751e-04,4.839939e-04,4.806920e-04,4.760905e-04,4.748917e-04,4.714756e-04,4.668518e-04,4.657413e-04,4.622236e-04,4.575951e-04,4.565771e-04,4.529701e-04,4.483523e-04,4.474299e-04,4.437452e-04,4.391521e-04,4.383270e-04,4.345759e-04,4.300197e-04,4.292927e-04,4.254860e-04,4.209774e-04,4.203483e-04,4.164962e-04,4.120447e-04,4.115127e-04,4.076250e-04,4.032389e-04,4.028023e-04,3.988883e-04,3.945749e-04,3.942314e-04,3.903000e-04,3.860653e-04,3.858126e-04,3.818720e-04,3.777213e-04,3.775562e-04,3.736144e-04,3.695522e-04,3.694714e-04,3.655357e-04,3.615657e-04,3.538452e-04,3.463151e-04,3.389792e-04,3.318404e-04,3.249010e-04,3.181621e-04,3.116244e-04,3.052878e-04,2.991517e-04,2.932151e-04,2.874763e-04,2.819334e-04,2.765841e-04,2.714258e-04,2.664557e-04,2.616705e-04,2.570671e-04,2.526419e-04,2.483913e-04,2.443116e-04,2.403990e-04,2.366496e-04,2.330593e-04,2.296242e-04,2.263402e-04,2.232033e-04,2.202093e-04,2.173543e-04,2.146342e-04,2.120450e-04,2.095826e-04,2.072431e-04,2.050226e-04,2.029173e-04,2.009232e-04,1.990367e-04,1.972541e-04,1.955717e-04,1.939859e-04,1.924932e-04,1.910903e-04,1.897736e-04,1.885400e-04,1.873862e-04,1.863090e-04,1.853054e-04,1.843724e-04,1.835070e-04,1.827064e-04
0.000000e+00,1.712799e-08,5.648699e-07,5.957483e-07,5.445557e-06,2.473706e-05,2.607576e-05,7.744923e-05,1.535985e-04,1.590538e-04,2.541877e-04,3.425798e-04,3.501449e-04,4.422914e-04,5.209892e-04,5.294766e-04,6.115281e-04,6.795400e-04,6.885151e-04,7.605701e-04,8.187102e-04,8.278475e-04,8.905138e-04,9.397170e-04,9.487428e-04,1.002713e-03,1.043919e-03,1.052607e-03,1.098604e-03,1.132718e-03,1.140886e-03,1.179629e-03,1.207502e-03,1.215005e-03,1.247183e-03,1.269599e-03,1.276325e-03,1.302588e-03,1.320258e-03,1.326123e-03,1.347075e-03,1.360639e-03,1.365583e-03,1.381781e-03,1.391814e-03,1.395797e-03,1.407753e-03,1.414767e-03,1.417767e-03,1.425950e-03,1.430400e-03,1.432409e-03,1.437247e-03,1.439537e-03,1.440561e-03,1.442444e-03,1.442931e-03,1.442984e-03,1.442267e-03,1.441266e-03,1.440372e-03,1.437377e-03,1.435164e-03,1.433354e-03,1.428372e-03,1.425189e-03,1.422498e-03,1.415795e-03,1.411851e-03,1.408322e-03,1.400136e-03,1.395615e-03,1.391290e-03,1.381837e-03,1.376897e-03,1.371824e-03,1.361297e-03,1.356075e-03,1.350301e-03,1.338875e-03,1.333487e-03,1.327061e-03,1.314894e-03,1.309438e-03,1.302410e-03,1.289643e-03,1.284203e-03,1.276622e-03,1.263379e-03,1.258026e-03,1.249942e-03,1.236335e-03,1.231126e-03,1.222586e-03,1.208717e-03,1.203699e-03,1.194750e-03,1.180706e-03,1.175917e-03,1.166605e-03,1.152466e-03,1.147936e-03,1.138305e-03,1.124139e-03,1.119891e-03,1.109984e-03,1.095852e-03,1.091902e-03,1.081759e-03,1.067716e-03,1.064074e-03,1.053734e-03,1.039826e-03,1.036500e-03,1.026000e-03,1.012267e-03,1.009259e-03,9.986342e-04,9.851107e-04,9.824198e-04,9.717037e-04,9.584200e-04,9.560425e-04,9.452659e-04,9.322473e-04,9.301773e-04,9.193695e-04,9.066372e-04,9.048666e-04,8.940549e-04,8.816265e-04,8.801457e-04,8.693557e-04,8.572456e-04,8.560435e-04,8.452990e-04,8.335185e-04,8.325834e-04,8.219063e-04,8.104643e-04,8.097832e-04,7.991940e-04,7.880968e-04,7.876565e-04,7.771739e-04,7.664260e-04,7.662128e-04,7.558538e-04,7.454578e-04,7.253941e-04,7.060215e-04,6.873373e-04,6.693366e-04,6.520126e-04,6.353569e-04,6.193597e-04,6.040100e-04,5.892955e-04,5.752034e-04,5.617201e-04,5.488311e-04,5.365219e-04,5.247773e-04,5.135819e-04,5.029202e-04,4.927766e-04,4.831353e-04,4.739806e-04,4.652968e-04,4.570685e-04,4.492802e-04,4.419167e-04,4.349630e-04,4.284042e-04,4.222258e-04,4.164136e-04,4.109534e-04,4.058317e-04,4.010348e-04,3.965498e-04,3.923639e-04,3.884645e-04,3.848394e-04,3.814769e-04,3.783654e-04,3.754936e-04,3.728507e-04,3.704261e-04,3.682096e-04,3.661911e-04,3.643611e-04,3.627101e-04,3.612291e-04,3.599094e-04,3.587425e-04,3.577202e-04,3.568345e-04,3.560779e-04
0.000000e+00,3.268922e-09,1.543040e-07,1.635793e-07,1.802605e-06,9.239117e-06,9.786693e-06,3.326884e-05,7.722942e-05,8.082584e-05,1.531258e-04,2.341298e-04,2.415077e-04,3.343151e-04,4.144492e-04,4.229794e-04,5.032531e-04,5.658764e-04,5.738313e-04,6.348669e-04,6.802691e-04,6.870803e-04,7.313493e-04,7.630345e-04,7.685446e-04,7.994740e-04,8.206756e-04,8.248683e-04,8.453818e-04,8.586728e-04,8.615980e-04,8.740359e-04,8.814127e-04,8.831560e-04,8.893669e-04,8.923663e-04,8.930314e-04,8.944710e-04,8.942724e-04,8.939700e-04,8.917808e-04,8.892854e-04,8.881262e-04,8.832033e-04,8.790968e-04,8.771864e-04,8.702297e-04,8.650324e-04,8.624693e-04,8.540253e-04,8.481298e-04,8.450037e-04,8.354982e-04,8.291992e-04,8.255912e-04,8.153554e-04,8.088725e-04,8.048548e-04,7.941457e-04,7.876411e-04,7.832777e-04,7.722941e-04,7.658859e-04,7.612331e-04,7.501283e-04,7.439014e-04,7.390087e-04,7.279000e-04,7.219138e-04,7.168244e-04,7.058011e-04,7.000953e-04,6.948469e-04,6.839764e-04,6.785764e-04,6.732019e-04,6.625344e-04,6.574546e-04,6.519827e-04,6.415549e-04,6.368014e-04,6.312572e-04,6.210953e-04,6.166682e-04,6.110735e-04,6.011956e-04,5.970905e-04,5.914644e-04,5.818822e-04,5.780915e-04,5.724507e-04,5.631710e-04,5.596846e-04,5.540438e-04,5.450695e-04,5.418762e-04,5.362481e-04,5.275793e-04,5.246666e-04,5.190625e-04,5.106969e-04,5.080517e-04,5.024815e-04,4.944152e-04,4.920241e-04,4.864966e-04,4.787244e-04,4.765741e-04,4.710969e-04,4.636126e-04,4.616899e-04,4.562697e-04,4.490665e-04,4.473583e-04,4.420011e-04,4.350717e-04,4.335653e-04,4.282763e-04,4.216131e-04,4.202962e-04,4.150801e-04,4.086752e-04,4.075358e-04,4.023966e-04,3.962423e-04,3.952690e-04,3.902102e-04,3.842985e-04,3.834803e-04,3.785051e-04,3.728281e-04,3.721546e-04,3.672655e-04,3.618155e-04,3.612766e-04,3.564760e-04,3.512453e-04,3.508315e-04,3.461214e-04,3.411025e-04,3.408047e-04,3.361868e-04,3.313723e-04,3.311818e-04,3.266575e-04,3.220403e-04,3.219490e-04,3.175193e-04,3.130925e-04,3.045992e-04,2.964562e-04,2.886510e-04,2.811716e-04,2.740061e-04,2.671432e-04,2.605720e-04,2.542818e-04,2.482624e-04,2.425038e-04,2.369965e-04,2.317311e-04,2.266988e-04,2.218908e-04,2.172989e-04,2.129149e-04,2.087311e-04,2.047401e-04,2.009344e-04,1.973072e-04,1.938517e-04,1.905613e-04,1.874298e-04,1.844512e-04,1.816194e-04,1.789289e-04,1.763742e-04,1.739501e-04,1.716514e-04,1.694733e-04,1.674110e-04,1.654599e-04,1.636155e-04,1.618738e-04,1.602304e-04,1.586815e-04,1.572232e-04,1.558518e-04,1.545637e-04,1.533555e-04,1.522238e-04,1.511655e-04,1.501773e-04,1.492564e-04,1.483997e-04,1.476046e-04,1.468682e-04,1.461881e-04,1.455617e-04
0.000000e+00,5.258308e-10,2.958394e-08,3.141453e-08,3.704825e-07,2.128709e-06,2.269244e-06,9.361260e-06,2.722453e-05,2.893133e-05,7.133146e-05,1.395559e-04,1.470386e-04,2.633138e-04,4.046868e-04,4.224993e-04,6.221166e-04,8.263757e-04,8.559811e-04,1.115625e-03,1.352345e-03,1.391612e-03,1.674581e-03,1.911368e-03,1.955963e-03,2.228409e-03,2.440948e-03,2.485998e-03,2.724265e-03,2.898848e-03,2.940120e-03,3.131701e-03,3.263724e-03,3.298189e-03,3.439614e-03,3.530742e-03,3.556670e-03,3.650543e-03,3.705972e-03,3.722760e-03,3.775067e-03,3.801440e-03,3.809321e-03,3.827414e-03,3.831463e-03,3.831208e-03,3.822490e-03,3.810278e-03,3.802941e-03,3.774117e-03,3.750710e-03,3.737442e-03,3.694196e-03,3.663605e-03,3.645525e-03,3.592439e-03,3.557704e-03,3.535827e-03,3.476460e-03,3.439800e-03,3.415006e-03,3.352037e-03,3.315016e-03,3.288041e-03,3.223433e-03,3.187118e-03,3.158562e-03,3.093722e-03,3.058808e-03,3.029155e-03,2.965065e-03,2.931983e-03,2.901618e-03,2.838952e-03,2.807946e-03,2.777175e-03,2.716378e-03,2.687565e-03,2.656631e-03,2.597990e-03,2.571399e-03,2.540497e-03,2.484186e-03,2.459789e-03,2.429078e-03,2.375190e-03,2.352923e-03,2.322531e-03,2.271106e-03,2.250882e-03,2.220916e-03,2.171957e-03,2.153674e-03,2.124223e-03,2.077705e-03,2.061254e-03,2.032392e-03,1.988271e-03,1.973539e-03,1.945328e-03,1.903548e-03,1.890422e-03,1.862914e-03,1.823409e-03,1.811774e-03,1.785013e-03,1.747709e-03,1.737457e-03,1.711477e-03,1.676297e-03,1.667320e-03,1.642149e-03,1.609012e-03,1.601207e-03,1.576865e-03,1.545689e-03,1.538958e-03,1.515462e-03,1.486162e-03,1.480411e-03,1.457769e-03,1.430262e-03,1.425404e-03,1.403621e-03,1.377823e-03,1.373772e-03,1.352849e-03,1.328679e-03,1.325358e-03,1.305292e-03,1.282668e-03,1.280003e-03,1.260787e-03,1.239630e-03,1.237553e-03,1.219178e-03,1.199411e-03,1.197859e-03,1.180312e-03,1.161862e-03,1.160775e-03,1.144043e-03,1.126837e-03,1.126161e-03,1.110227e-03,1.094196e-03,1.093881e-03,1.078728e-03,1.063806e-03,1.035812e-03,1.009778e-03,9.855913e-04,9.631437e-04,9.423319e-04,9.230578e-04,9.052285e-04,8.887556e-04,8.735556e-04,8.595494e-04,8.466620e-04,8.348227e-04,8.239646e-04,8.140245e-04,8.049429e-04,7.966634e-04,7.891330e-04,7.823017e-04,7.761223e-04,7.705505e-04,7.655443e-04,7.610643e-04,7.570735e-04,7.535369e-04,7.504217e-04,7.476970e-04,7.453337e-04,7.433045e-04,7.415837e-04,7.401472e-04,7.389723e-04,7.380379e-04,7.373238e-04,7.368115e-04,7.364833e-04,7.363228e-04,7.363147e-04,7.364444e-04,7.366986e-04,7.370647e-04,7.375308e-04,7.380859e-04,7.387199e-04,7.394233e-04,7.401870e-04,7.410030e-04,7.418635e-04,7.427614e-04,7.436902e-04
0.000000e+00,1.153841e-09,6.722607e-08,7.154435e-08,9.796294e-07,6.457736e-06,6.915148e-06,3.064110e-05,8.872844e-05,9.407094e-05,2.172138e-04,3.891262e-04,4.066100e-04,6.548618e-04,9.161078e-04,9.467734e-04,1.265376e-03,1.555734e-03,1.595540e-03,1.925410e-03,2.202329e-03,2.246523e-03,2.553310e-03,2.797446e-03,2.842431e-03,3.112146e-03,3.318348e-03,3.361801e-03,3.591455e-03,3.761105e-03,3.801609e-03,3.993025e-03,4.129900e-03,4.166606e-03,4.323321e-03,4.431748e-03,4.464151e-03,4.590072e-03,4.674212e-03,4.702029e-03,4.800928e-03,4.864536e-03,4.887633e-03,4.962960e-03,5.009336e-03,5.027684e-03,5.082533e-03,5.114543e-03,5.128195e-03,5.165317e-03,5.185436e-03,5.194506e-03,5.216334e-03,5.226690e-03,5.231337e-03,5.240019e-03,5.242435e-03,5.242852e-03,5.240281e-03,5.236318e-03,5.232721e-03,5.220563e-03,5.211549e-03,5.204172e-03,5.183891e-03,5.170956e-03,5.160042e-03,5.132925e-03,5.117023e-03,5.102822e-03,5.069997e-03,5.051935e-03,5.034697e-03,4.997151e-03,4.977605e-03,4.957578e-03,4.916177e-03,4.895712e-03,4.873138e-03,4.828637e-03,4.807722e-03,4.782839e-03,4.735896e-03,4.714917e-03,4.687953e-03,4.639142e-03,4.618413e-03,4.589589e-03,4.539408e-03,4.519184e-03,4.488707e-03,4.437588e-03,4.418072e-03,4.386142e-03,4.334456e-03,4.315806e-03,4.282611e-03,4.230681e-03,4.213018e-03,4.178735e-03,4.126837e-03,4.110249e-03,4.075044e-03,4.023413e-03,4.007962e-03,3.971992e-03,3.920827e-03,3.906553e-03,3.869962e-03,3.819435e-03,3.806358e-03,3.769281e-03,3.719533e-03,3.707658e-03,3.670221e-03,3.621371e-03,3.610688e-03,3.573007e-03,3.525152e-03,3.515644e-03,3.477826e-03,3.431045e-03,3.422684e-03,3.384827e-03,3.339184e-03,3.331936e-03,3.294130e-03,3.249675e-03,3.243499e-03,3.205827e-03,3.162596e-03,3.157451e-03,3.119988e-03,3.078009e-03,3.073845e-03,3.036661e-03,2.995950e-03,2.992721e-03,2.955877e-03,2.916445e-03,2.914099e-03,2.877653e-03,2.839501e-03,2.837988e-03,2.801989e-03,2.765116e-03,2.764385e-03,2.728879e-03,2.693276e-03,2.624640e-03,2.558448e-03,2.494665e-03,2.433250e-03,2.374161e-03,2.317348e-03,2.262763e-03,2.210351e-03,2.160060e-03,2.111833e-03,2.065614e-03,2.021347e-03,1.978975e-03,1.938441e-03,1.899687e-03,1.862659e-03,1.827300e-03,1.793554e-03,1.761370e-03,1.730692e-03,1.701468e-03,1.673649e-03,1.647183e-03,1.622021e-03,1.598116e-03,1.575421e-03,1.553891e-03,1.533481e-03,1.514148e-03,1.495851e-03,1.478548e-03,1.462201e-03,1.446770e-03,1.432220e-03,1.418512e-03,1.405614e-03,1.393490e-03,1.382107e-03,1.371435e-03,1.361442e-03,1.352099e-03,1.343376e-03,1.335246e-03,1.327682e-03,1.320658e-03,1.314149e-03,1.308131e-03,1.302580e-03,1.297473e-03
0.000000e+00,3.095223e-09,2.023240e-07,2.158204e-07,2.885064e-06,1.441757e-05,1.519717e-05,4.260056e-05,7.791851e-05,8.031480e-05,1.203319e-04,1.549727e-04,1.578249e-04,1.910489e-04,2.170952e-04,2.197719e-04,2.443020e-04,2.627727e-04,2.650836e-04,2.825622e-04,2.952649e-04,2.971467e-04,3.092029e-04,3.176149e-04,3.190555e-04,3.269904e-04,3.322435e-04,3.332592e-04,3.380828e-04,3.410316e-04,3.416541e-04,3.441420e-04,3.454258e-04,3.456937e-04,3.464378e-04,3.465326e-04,3.464863e-04,3.459367e-04,3.451954e-04,3.448740e-04,3.433722e-04,3.420555e-04,3.414956e-04,3.393003e-04,3.376002e-04,3.368349e-04,3.341418e-04,3.321995e-04,3.312579e-04,3.282151e-04,3.261336e-04,3.250414e-04,3.217609e-04,3.196151e-04,3.183946e-04,3.149606e-04,3.128047e-04,3.114749e-04,3.079510e-04,3.058234e-04,3.044009e-04,3.008348e-04,2.987627e-04,2.972617e-04,2.936891e-04,2.916912e-04,2.901237e-04,2.865712e-04,2.846600e-04,2.830366e-04,2.795240e-04,2.777073e-04,2.760369e-04,2.725786e-04,2.708610e-04,2.691515e-04,2.657578e-04,2.641413e-04,2.623995e-04,2.590781e-04,2.575630e-04,2.557948e-04,2.525506e-04,2.511358e-04,2.493465e-04,2.461830e-04,2.448666e-04,2.430608e-04,2.399801e-04,2.387595e-04,2.369412e-04,2.339442e-04,2.328164e-04,2.309893e-04,2.280764e-04,2.270381e-04,2.252055e-04,2.223764e-04,2.214240e-04,2.195889e-04,2.168428e-04,2.159727e-04,2.141378e-04,2.114736e-04,2.106823e-04,2.088500e-04,2.062665e-04,2.055502e-04,2.037227e-04,2.012184e-04,2.005736e-04,1.987530e-04,1.963262e-04,1.957494e-04,1.939375e-04,1.915865e-04,1.910743e-04,1.892728e-04,1.869959e-04,1.865449e-04,1.847554e-04,1.825508e-04,1.821577e-04,1.803816e-04,1.782475e-04,1.779092e-04,1.761478e-04,1.740823e-04,1.737958e-04,1.720504e-04,1.700517e-04,1.698140e-04,1.680857e-04,1.661520e-04,1.659603e-04,1.642501e-04,1.623795e-04,1.622312e-04,1.605400e-04,1.587309e-04,1.586233e-04,1.569519e-04,1.552025e-04,1.551331e-04,1.534823e-04,1.517909e-04,1.517574e-04,1.501279e-04,1.484928e-04,1.453363e-04,1.422846e-04,1.393347e-04,1.364836e-04,1.337284e-04,1.310662e-04,1.284942e-04,1.260098e-04,1.236103e-04,1.212931e-04,1.190557e-04,1.168957e-04,1.148108e-04,1.127986e-04,1.108568e-04,1.089833e-04,1.071761e-04,1.054329e-04,1.037519e-04,1.021311e-04,1.005685e-04,9.906243e-05,9.761104e-05,9.621260e-05,9.486544e-05,9.356792e-05,9.231848e-05,9.111557e-05,8.995771e-05,8.884344e-05,8.777138e-05,8.674015e-05,8.574844e-05,8.479496e-05,8.387848e-05,8.299778e-05,8.215170e-05,8.133911e-05,8.055890e-05,7.981001e-05,7.909140e-05,7.840207e-05,7.774104e-05,7.710738e-05,7.650016e-05,7.591851e-05,7.536155e-05,7.482846e-05,7.431842e-05
0.000000e+00,4.542493e-09,9.944925e-08,1.044125e-07,7.565178e-07,2.682599e-06,2.799295e-06,6.628493e-06,1.131873e-05,1.163243e-05,1.680038e-05,2.120749e-05,2.156998e-05,2.581433e-05,2.919656e-05,2.954813e-05,3.281392e-05,3.533647e-05,3.565670e-05,3.811889e-05,3.996175e-05,4.023941e-05,4.205363e-05,4.336440e-05,4.359359e-05,4.488821e-05,4.578509e-05,4.596355e-05,4.684311e-05,4.742006e-05,4.754801e-05,4.809727e-05,4.842868e-05,4.850795e-05,4.879541e-05,4.894001e-05,4.897344e-05,4.905440e-05,4.905841e-05,4.904943e-05,4.896848e-05,4.886821e-05,4.882050e-05,4.861352e-05,4.843741e-05,4.835474e-05,4.805060e-05,4.782086e-05,4.770690e-05,4.732880e-05,4.706268e-05,4.692093e-05,4.648745e-05,4.619831e-05,4.603207e-05,4.555812e-05,4.525626e-05,4.506857e-05,4.456608e-05,4.425936e-05,4.405301e-05,4.353146e-05,4.322583e-05,4.300332e-05,4.247027e-05,4.217018e-05,4.193380e-05,4.139523e-05,4.110394e-05,4.085573e-05,4.031634e-05,4.003622e-05,3.977800e-05,3.924150e-05,3.897416e-05,3.870755e-05,3.817680e-05,3.792333e-05,3.764977e-05,3.712697e-05,3.688801e-05,3.660880e-05,3.609563e-05,3.587151e-05,3.558778e-05,3.508550e-05,3.487626e-05,3.458903e-05,3.409855e-05,3.390408e-05,3.361424e-05,3.313622e-05,3.295624e-05,3.266459e-05,3.219944e-05,3.203359e-05,3.174084e-05,3.128882e-05,3.113664e-05,3.084341e-05,3.040464e-05,3.026564e-05,2.997250e-05,2.954699e-05,2.942062e-05,2.912807e-05,2.871574e-05,2.860146e-05,2.830994e-05,2.791065e-05,2.780789e-05,2.751780e-05,2.713136e-05,2.703955e-05,2.675125e-05,2.637742e-05,2.629601e-05,2.600980e-05,2.564833e-05,2.557677e-05,2.529293e-05,2.494354e-05,2.488128e-05,2.460007e-05,2.426245e-05,2.420897e-05,2.393061e-05,2.360447e-05,2.355926e-05,2.328394e-05,2.296896e-05,2.293153e-05,2.265945e-05,2.235531e-05,2.232519e-05,2.205648e-05,2.176288e-05,2.173961e-05,2.147442e-05,2.119103e-05,2.117419e-05,2.091264e-05,2.063916e-05,2.062832e-05,2.037052e-05,2.010664e-05,2.010141e-05,1.984745e-05,1.959287e-05,1.910212e-05,1.862860e-05,1.817176e-05,1.773106e-05,1.730599e-05,1.689602e-05,1.650068e-05,1.611947e-05,1.575193e-05,1.539760e-05,1.505605e-05,1.472685e-05,1.440959e-05,1.410386e-05,1.380928e-05,1.352548e-05,1.325208e-05,1.298875e-05,1.273513e-05,1.249090e-05,1.225573e-05,1.202933e-05,1.181138e-05,1.160161e-05,1.139972e-05,1.120546e-05,1.101856e-05,1.083876e-05,1.066583e-05,1.049952e-05,1.033960e-05,1.018586e-05,1.003808e-05,9.896057e-06,9.759584e-06,9.628471e-06,9.502530e-06,9.381582e-06,9.265450e-06,9.153967e-06,9.046969e-06,8.944297e-06,8.845800e-06,8.751330e-06,8.660745e-06,8.573906e-06,8.490681e-06,8.410941e-06,8.334561e-06
0.000000e+00,3.675184e-09,2.019935e-07,2.148503e-07,2.638285e-06,1.338092e-05,1.413664e-05,4.280447e-05,8.403476e-05,8.695139e-05,1.371483e-04,1.822208e-04,1.859816e-04,2.302719e-04,2.656123e-04,2.692771e-04,3.031852e-04,3.291628e-04,3.324446e-04,3.575378e-04,3.761332e-04,3.789189e-04,3.970005e-04,4.099122e-04,4.121543e-04,4.247147e-04,4.332904e-04,4.349816e-04,4.432236e-04,4.485214e-04,4.496806e-04,4.545669e-04,4.574116e-04,4.580736e-04,4.603701e-04,4.613991e-04,4.616066e-04,4.619163e-04,4.616188e-04,4.614173e-04,4.602142e-04,4.589643e-04,4.583995e-04,4.560548e-04,4.541372e-04,4.532523e-04,4.500558e-04,4.476862e-04,4.465217e-04,4.426996e-04,4.400407e-04,4.386333e-04,4.343615e-04,4.315356e-04,4.299183e-04,4.253337e-04,4.224319e-04,4.206341e-04,4.158428e-04,4.129327e-04,4.109804e-04,4.060647e-04,4.031956e-04,4.011116e-04,3.961349e-04,3.933423e-04,3.911468e-04,3.861580e-04,3.834670e-04,3.811776e-04,3.762139e-04,3.736417e-04,3.712738e-04,3.663636e-04,3.639214e-04,3.614886e-04,3.566533e-04,3.543476e-04,3.518617e-04,3.471172e-04,3.449514e-04,3.424228e-04,3.377808e-04,3.357555e-04,3.331933e-04,3.286621e-04,3.267761e-04,3.241885e-04,3.197737e-04,3.180245e-04,3.154187e-04,3.111240e-04,3.095080e-04,3.068903e-04,3.027179e-04,3.012309e-04,2.986070e-04,2.945577e-04,2.931950e-04,2.905700e-04,2.866436e-04,2.854002e-04,2.827785e-04,2.789744e-04,2.778449e-04,2.752308e-04,2.715474e-04,2.705268e-04,2.679237e-04,2.643593e-04,2.634422e-04,2.608536e-04,2.574060e-04,2.565871e-04,2.540159e-04,2.506828e-04,2.499571e-04,2.474060e-04,2.441848e-04,2.435471e-04,2.410185e-04,2.379066e-04,2.373522e-04,2.348483e-04,2.318429e-04,2.313669e-04,2.288897e-04,2.259880e-04,2.255859e-04,2.231372e-04,2.203365e-04,2.200038e-04,2.175852e-04,2.148827e-04,2.146150e-04,2.122281e-04,2.096209e-04,2.094143e-04,2.070603e-04,2.045457e-04,2.043962e-04,2.020763e-04,1.996515e-04,1.995555e-04,1.972707e-04,1.949331e-04,1.948868e-04,1.926381e-04,1.903850e-04,1.860451e-04,1.818622e-04,1.778314e-04,1.739480e-04,1.702075e-04,1.666053e-04,1.631370e-04,1.597985e-04,1.565856e-04,1.534942e-04,1.505205e-04,1.476606e-04,1.449109e-04,1.422677e-04,1.397277e-04,1.372873e-04,1.349434e-04,1.326928e-04,1.305323e-04,1.284589e-04,1.264699e-04,1.245623e-04,1.227333e-04,1.209805e-04,1.193011e-04,1.176928e-04,1.161530e-04,1.146795e-04,1.132700e-04,1.119222e-04,1.106341e-04,1.094035e-04,1.082286e-04,1.071073e-04,1.060377e-04,1.050181e-04,1.040467e-04,1.031217e-04,1.022415e-04,1.014045e-04,1.006092e-04,9.985398e-05,9.913747e-05,9.845822e-05,9.781487e-05,9.720609e-05,9.663059e-05,9.608712e-05,9.557448e-05
0.000000e+00,1.086540e-08,3.424433e-07,3.604045e-07,3.032086e-06,1.387013e-05,1.465095e-05,4.745783e-05,1.059985e-04,1.106182e-04,1.985470e-04,2.887273e-04,2.966574e-04,3.944577e-04,4.785396e-04,4.875951e-04,5.748082e-04,6.464981e-04,6.559110e-04,7.310376e-04,7.910395e-04,8.004157e-04,8.642997e-04,9.139084e-04,9.229520e-04,9.766341e-04,1.017126e-03,1.025604e-03,1.070114e-03,1.102675e-03,1.110408e-03,1.146723e-03,1.172434e-03,1.179288e-03,1.208322e-03,1.228157e-03,1.234036e-03,1.256629e-03,1.271452e-03,1.276292e-03,1.293209e-03,1.303785e-03,1.307552e-03,1.319488e-03,1.326494e-03,1.329172e-03,1.336754e-03,1.340781e-03,1.342374e-03,1.346165e-03,1.347727e-03,1.348254e-03,1.348760e-03,1.348306e-03,1.347797e-03,1.345472e-03,1.343391e-03,1.341886e-03,1.337134e-03,1.333761e-03,1.331307e-03,1.324491e-03,1.320116e-03,1.316765e-03,1.308207e-03,1.303077e-03,1.298887e-03,1.288872e-03,1.283199e-03,1.278228e-03,1.267013e-03,1.260974e-03,1.255284e-03,1.243093e-03,1.236840e-03,1.230491e-03,1.217523e-03,1.211183e-03,1.204235e-03,1.190667e-03,1.184343e-03,1.176858e-03,1.162844e-03,1.156621e-03,1.148658e-03,1.134332e-03,1.128281e-03,1.119896e-03,1.105378e-03,1.099553e-03,1.090802e-03,1.076193e-03,1.070638e-03,1.061574e-03,1.046964e-03,1.041710e-03,1.032383e-03,1.017849e-03,1.012921e-03,1.003378e-03,9.889858e-04,9.843991e-04,9.746858e-04,9.604912e-04,9.562552e-04,9.464137e-04,9.324643e-04,9.285827e-04,9.186527e-04,9.049881e-04,9.014604e-04,8.914786e-04,8.781315e-04,8.749532e-04,8.649537e-04,8.519510e-04,8.491145e-04,8.391288e-04,8.264918e-04,8.239870e-04,8.140441e-04,8.017894e-04,7.996043e-04,7.897307e-04,7.778706e-04,7.759916e-04,7.662114e-04,7.547548e-04,7.531672e-04,7.435023e-04,7.324548e-04,7.311429e-04,7.216130e-04,7.109773e-04,7.099251e-04,7.005478e-04,6.903243e-04,6.895153e-04,6.803064e-04,6.704935e-04,6.699112e-04,6.608845e-04,6.514786e-04,6.511065e-04,6.422743e-04,6.332703e-04,6.330922e-04,6.244649e-04,6.158566e-04,5.993856e-04,5.836636e-04,5.686734e-04,5.543965e-04,5.408134e-04,5.279041e-04,5.156477e-04,5.040231e-04,4.930090e-04,4.825839e-04,4.727266e-04,4.634155e-04,4.546297e-04,4.463483e-04,4.385507e-04,4.312167e-04,4.243265e-04,4.178609e-04,4.118011e-04,4.061287e-04,4.008259e-04,3.958755e-04,3.912607e-04,3.869653e-04,3.829738e-04,3.792710e-04,3.758424e-04,3.726738e-04,3.697520e-04,3.670638e-04,3.645968e-04,3.623391e-04,3.602791e-04,3.584060e-04,3.567091e-04,3.551783e-04,3.538042e-04,3.525773e-04,3.514890e-04,3.505308e-04,3.496947e-04,3.489731e-04,3.483587e-04,3.478445e-04,3.474239e-04,3.470907e-04,3.468390e-04,3.466629e-04,3.465572e-04
0.000000e+00,2.783255e-09,1.564288e-07,1.662698e-07,2.004831e-06,1.069703e-05,1.134476e-05,3.956191e-05,9.390710e-05,9.842897e-05,1.917998e-04,3.025558e-04,3.130009e-04,4.500549e-04,5.776662e-04,5.918030e-04,7.305105e-04,8.464962e-04,8.617692e-04,9.834974e-04,1.080001e-03,1.094989e-03,1.196272e-03,1.273732e-03,1.287725e-03,1.369884e-03,1.430733e-03,1.443339e-03,1.508682e-03,1.555505e-03,1.566491e-03,1.617316e-03,1.652446e-03,1.661676e-03,1.700060e-03,1.725518e-03,1.732925e-03,1.760698e-03,1.778207e-03,1.783777e-03,1.802534e-03,1.813558e-03,1.817315e-03,1.828443e-03,1.834219e-03,1.836216e-03,1.840915e-03,1.842487e-03,1.842798e-03,1.842107e-03,1.840351e-03,1.839066e-03,1.833883e-03,1.829531e-03,1.826751e-03,1.817849e-03,1.811515e-03,1.807345e-03,1.795392e-03,1.787585e-03,1.782134e-03,1.767703e-03,1.758844e-03,1.752222e-03,1.735806e-03,1.726243e-03,1.718559e-03,1.700579e-03,1.690597e-03,1.681957e-03,1.662774e-03,1.652604e-03,1.643110e-03,1.623033e-03,1.612861e-03,1.602610e-03,1.581902e-03,1.571877e-03,1.560963e-03,1.539844e-03,1.530083e-03,1.518594e-03,1.497253e-03,1.487846e-03,1.475864e-03,1.454460e-03,1.445474e-03,1.433076e-03,1.411741e-03,1.403228e-03,1.390484e-03,1.369329e-03,1.361322e-03,1.348300e-03,1.327415e-03,1.319937e-03,1.306696e-03,1.286157e-03,1.279218e-03,1.265815e-03,1.245683e-03,1.239287e-03,1.225772e-03,1.206095e-03,1.200238e-03,1.186659e-03,1.167474e-03,1.162149e-03,1.148547e-03,1.129884e-03,1.125076e-03,1.111491e-03,1.093371e-03,1.089063e-03,1.075529e-03,1.057968e-03,1.054142e-03,1.040690e-03,1.023697e-03,1.020332e-03,1.006990e-03,9.905697e-04,9.876446e-04,9.744367e-04,9.585906e-04,9.560818e-04,9.430309e-04,9.277566e-04,9.256409e-04,9.127665e-04,8.980590e-04,8.963131e-04,8.836324e-04,8.694847e-04,8.680851e-04,8.556134e-04,8.420163e-04,8.409403e-04,8.286905e-04,8.156334e-04,8.148585e-04,8.028421e-04,7.903134e-04,7.898177e-04,7.780442e-04,7.660312e-04,7.657936e-04,7.542711e-04,7.427604e-04,7.206915e-04,6.995592e-04,6.793356e-04,6.599926e-04,6.415017e-04,6.238347e-04,6.069635e-04,5.908602e-04,5.754974e-04,5.608483e-04,5.468866e-04,5.335865e-04,5.209231e-04,5.088720e-04,4.974095e-04,4.865123e-04,4.761580e-04,4.663249e-04,4.569921e-04,4.481392e-04,4.397468e-04,4.317959e-04,4.242682e-04,4.171461e-04,4.104126e-04,4.040513e-04,3.980464e-04,3.923828e-04,3.870458e-04,3.820214e-04,3.772960e-04,3.728566e-04,3.686905e-04,3.647859e-04,3.611311e-04,3.577149e-04,3.545266e-04,3.515559e-04,3.487930e-04,3.462282e-04,3.438525e-04,3.416571e-04,3.396334e-04,3.377735e-04,3.360694e-04,3.345138e-04,3.330993e-04,3.318192e-04,3.306667e-04
0.000000e+00,1.591693e-09,9.468393e-08,1.007571e-07,1.355734e-06,8.780962e-06,9.398375e-06,4.143863e-05,1.209060e-04,1.283001e-04,3.027013e-04,5.580523e-04,5.847439e-04,9.770332e-04,1.414819e-03,1.467785e-03,2.036588e-03,2.582847e-03,2.659697e-03,3.313785e-03,3.885194e-03,3.978144e-03,4.635676e-03,5.172899e-03,5.273093e-03,5.880645e-03,6.351774e-03,6.451638e-03,6.981882e-03,7.375185e-03,7.469146e-03,7.912696e-03,8.228515e-03,8.312884e-03,8.670843e-03,8.915652e-03,8.988226e-03,9.267024e-03,9.449774e-03,9.509423e-03,9.717700e-03,9.847822e-03,9.894153e-03,1.004105e-02,1.012746e-02,1.016058e-02,1.025485e-02,1.030556e-02,1.032587e-02,1.037554e-02,1.039750e-02,1.040564e-02,1.041784e-02,1.041698e-02,1.041370e-02,1.039468e-02,1.037602e-02,1.036214e-02,1.031734e-02,1.028507e-02,1.026146e-02,1.019557e-02,1.015318e-02,1.012069e-02,1.003776e-02,9.988123e-03,9.947636e-03,9.851123e-03,9.796613e-03,9.748963e-03,9.641842e-03,9.584390e-03,9.530392e-03,9.415199e-03,9.356369e-03,9.296803e-03,9.175700e-03,9.116746e-03,9.052351e-03,8.927176e-03,8.869091e-03,8.800565e-03,8.672874e-03,8.616434e-03,8.544432e-03,8.415538e-03,8.361334e-03,8.286467e-03,8.157471e-03,8.105946e-03,8.028779e-03,7.900601e-03,7.852068e-03,7.773127e-03,7.646529e-03,7.601198e-03,7.520963e-03,7.396570e-03,7.354567e-03,7.273478e-03,7.151800e-03,7.113178e-03,7.031637e-03,6.913080e-03,6.877838e-03,6.796209e-03,6.681094e-03,6.649185e-03,6.567796e-03,6.456369e-03,6.427710e-03,6.346858e-03,6.239300e-03,6.213780e-03,6.133728e-03,6.030167e-03,6.007655e-03,5.928637e-03,5.829154e-03,5.809503e-03,5.731727e-03,5.636363e-03,5.619417e-03,5.543064e-03,5.451829e-03,5.437423e-03,5.362652e-03,5.275527e-03,5.263492e-03,5.190441e-03,5.107383e-03,5.097551e-03,5.026336e-03,4.947284e-03,4.939488e-03,4.870207e-03,4.795084e-03,4.789157e-03,4.721892e-03,4.650608e-03,4.646391e-03,4.581208e-03,4.513664e-03,4.511001e-03,4.447951e-03,4.384041e-03,4.382780e-03,4.321905e-03,4.261514e-03,4.146975e-03,4.038932e-03,3.937149e-03,3.841389e-03,3.751413e-03,3.666987e-03,3.587875e-03,3.513848e-03,3.444678e-03,3.380146e-03,3.320034e-03,3.264133e-03,3.212237e-03,3.164149e-03,3.119677e-03,3.078636e-03,3.040846e-03,3.006135e-03,2.974337e-03,2.945293e-03,2.918848e-03,2.894856e-03,2.873175e-03,2.853670e-03,2.836210e-03,2.820673e-03,2.806938e-03,2.794892e-03,2.784426e-03,2.775438e-03,2.767828e-03,2.761502e-03,2.756370e-03,2.752346e-03,2.749350e-03,2.747304e-03,2.746133e-03,2.745770e-03,2.746146e-03,2.747200e-03,2.748871e-03,2.751104e-03,2.753846e-03,2.757045e-03,2.760655e-03,2.764632e-03,2.768931e-03,2.773515e-03,2.778346e-03
0.000000e+00,1.418134e-08,3.113933e-07,3.270311e-07,2.304599e-06,7.396890e-06,7.674071e-06,1.536323e-05,2.280708e-05,2.327164e-05,3.075331e-05,3.717648e-05,3.771410e-05,4.415843e-05,4.953472e-05,5.010814e-05,5.558803e-05,6.004135e-05,6.062282e-05,6.523658e-05,6.888560e-05,6.945279e-05,7.329426e-05,7.624761e-05,7.678299e-05,7.994021e-05,8.229603e-05,8.278623e-05,8.534048e-05,8.718628e-05,8.762147e-05,8.964678e-05,9.105977e-05,9.143305e-05,9.299607e-05,9.404385e-05,9.435073e-05,9.551112e-05,9.625255e-05,9.649049e-05,9.730137e-05,9.778751e-05,9.795553e-05,9.846408e-05,9.873904e-05,9.883746e-05,9.908548e-05,9.918726e-05,9.921737e-05,9.924182e-05,9.920308e-05,9.916698e-05,9.900049e-05,9.884917e-05,9.874953e-05,9.842086e-05,9.818085e-05,9.802080e-05,9.755526e-05,9.724684e-05,9.702982e-05,9.644967e-05,9.609005e-05,9.581969e-05,9.514445e-05,9.474815e-05,9.442823e-05,9.367501e-05,9.325421e-05,9.288853e-05,9.207229e-05,9.163717e-05,9.122954e-05,9.036334e-05,8.992233e-05,8.947652e-05,8.857173e-05,8.813179e-05,8.765145e-05,8.671797e-05,8.628474e-05,8.577344e-05,8.481985e-05,8.439788e-05,8.385904e-05,8.289274e-05,8.248564e-05,8.192254e-05,8.094992e-05,8.056050e-05,7.997624e-05,7.900278e-05,7.863317e-05,7.803070e-05,7.706109e-05,7.671283e-05,7.609493e-05,7.513315e-05,7.480729e-05,7.417657e-05,7.322598e-05,7.292317e-05,7.228208e-05,7.134550e-05,7.106605e-05,7.041685e-05,6.949665e-05,6.924057e-05,6.858538e-05,6.768347e-05,6.745056e-05,6.679133e-05,6.590930e-05,6.569915e-05,6.503769e-05,6.417678e-05,6.398884e-05,6.332681e-05,6.248800e-05,6.232159e-05,6.166052e-05,6.084453e-05,6.069888e-05,6.004017e-05,5.924753e-05,5.912180e-05,5.846671e-05,5.769777e-05,5.759107e-05,5.694075e-05,5.619569e-05,5.610709e-05,5.546260e-05,5.474148e-05,5.467002e-05,5.403230e-05,5.333505e-05,5.327978e-05,5.264968e-05,5.197613e-05,5.193610e-05,5.131436e-05,5.066429e-05,5.063853e-05,5.002584e-05,4.939892e-05,4.938650e-05,4.878344e-05,4.817931e-05,4.701617e-05,4.589622e-05,4.481851e-05,4.378206e-05,4.278584e-05,4.182880e-05,4.090986e-05,4.002793e-05,3.918191e-05,3.837071e-05,3.759323e-05,3.684840e-05,3.613512e-05,3.545235e-05,3.479904e-05,3.417418e-05,3.357674e-05,3.300577e-05,3.246028e-05,3.193936e-05,3.144209e-05,3.096758e-05,3.051498e-05,3.008344e-05,2.967215e-05,2.928034e-05,2.890723e-05,2.855209e-05,2.821421e-05,2.789289e-05,2.758747e-05,2.729731e-05,2.702177e-05,2.676027e-05,2.651221e-05,2.627705e-05,2.605423e-05,2.584325e-05,2.564359e-05,2.545479e-05,2.527636e-05,2.510787e-05,2.494887e-05,2.479897e-05,2.465775e-05,2.452483e-05,2.439984e-05,2.428243e-05,2.417226e-05
0.000000e+00,8.058639e-10,5.102843e-08,5.433599e-08,7.450649e-07,4.981971e-06,5.343777e-06,2.553051e-05,8.391763e-05,8.983161e-05,2.481438e-04,5.336259e-04,5.667050e-04,1.117354e-03,1.867407e-03,1.967638e-03,3.174154e-03,4.564307e-03,4.778918e-03,6.808027e-03,8.900769e-03,9.271869e-03,1.216635e-02,1.491855e-02,1.547468e-02,1.916949e-02,2.246275e-02,2.321501e-02,2.756915e-02,3.124358e-02,3.218550e-02,3.701507e-02,4.089799e-02,4.200787e-02,4.711417e-02,5.104102e-02,5.228559e-02,5.747595e-02,6.130342e-02,6.264195e-02,6.774359e-02,7.135640e-02,7.274458e-02,7.761243e-02,8.092528e-02,8.231862e-02,8.683851e-02,8.979485e-02,9.115129e-02,9.523986e-02,9.780872e-02,9.909056e-02,1.026930e-01,1.048648e-01,1.060398e-01,1.091264e-01,1.109083e-01,1.119506e-01,1.145125e-01,1.159246e-01,1.168143e-01,1.188596e-01,1.199305e-01,1.206539e-01,1.222035e-01,1.229673e-01,1.235163e-01,1.246005e-01,1.250942e-01,1.254655e-01,1.261208e-01,1.263820e-01,1.265765e-01,1.268430e-01,1.269086e-01,1.269308e-01,1.268503e-01,1.267551e-01,1.266122e-01,1.262266e-01,1.260026e-01,1.257039e-01,1.250540e-01,1.247302e-01,1.242866e-01,1.234111e-01,1.230134e-01,1.224366e-01,1.213718e-01,1.209225e-01,1.202251e-01,1.190043e-01,1.185226e-01,1.177172e-01,1.163708e-01,1.158730e-01,1.149721e-01,1.135275e-01,1.130270e-01,1.120431e-01,1.105245e-01,1.100323e-01,1.089772e-01,1.074062e-01,1.069310e-01,1.058162e-01,1.042115e-01,1.037601e-01,1.025962e-01,1.009743e-01,1.005519e-01,9.934902e-02,9.772380e-02,9.733409e-02,9.610160e-02,9.448520e-02,9.413062e-02,9.287714e-02,9.127977e-02,9.096177e-02,8.969523e-02,8.812547e-02,8.784462e-02,8.657228e-02,8.503727e-02,8.479345e-02,8.352191e-02,8.202751e-02,8.182004e-02,8.055526e-02,7.910622e-02,7.893394e-02,7.768133e-02,7.628140e-02,7.614281e-02,7.490718e-02,7.355928e-02,7.345261e-02,7.223825e-02,7.094455e-02,7.086781e-02,6.967856e-02,6.844059e-02,6.839166e-02,6.723088e-02,6.604961e-02,6.602627e-02,6.489691e-02,6.377285e-02,6.163174e-02,5.960263e-02,5.768460e-02,5.587622e-02,5.417563e-02,5.258062e-02,5.108868e-02,4.969703e-02,4.840270e-02,4.720253e-02,4.609326e-02,4.507150e-02,4.413380e-02,4.327663e-02,4.249644e-02,4.178963e-02,4.115262e-02,4.058183e-02,4.007371e-02,3.962474e-02,3.923143e-02,3.889037e-02,3.859818e-02,3.835157e-02,3.814732e-02,3.798228e-02,3.785342e-02,3.775777e-02,3.769248e-02,3.765480e-02,3.764208e-02,3.765179e-02,3.768150e-02,3.772891e-02,3.779182e-02,3.786817e-02,3.795600e-02,3.805347e-02,3.815888e-02,3.827061e-02,3.838718e-02,3.850722e-02,3.862948e-02,3.875278e-02,3.887610e-02,3.899848e-02,3.911908e-02,3.923714e-02,3.935200e-02
0.000000e+00,9.143453e-09,2.759288e-07,2.910309e-07,2.282729e-06,6.689572e-06,6.899291e-06,1.218633e-05,1.694028e-05,1.723325e-05,2.192390e-05,2.592403e-05,2.625799e-05,3.025157e-05,3.356947e-05,3.392256e-05,3.728853e-05,4.001173e-05,4.036641e-05,4.317254e-05,4.538049e-05,4.572267e-05,4.803215e-05,4.979698e-05,5.011578e-05,5.198779e-05,5.337451e-05,5.366181e-05,5.515080e-05,5.621708e-05,5.646709e-05,5.762235e-05,5.841877e-05,5.862759e-05,5.949322e-05,6.006377e-05,6.022902e-05,6.084422e-05,6.122694e-05,6.134748e-05,6.174694e-05,6.197458e-05,6.205023e-05,6.226454e-05,6.236522e-05,6.239657e-05,6.245264e-05,6.245041e-05,6.243866e-05,6.236015e-05,6.227552e-05,6.222231e-05,6.202997e-05,6.188038e-05,6.178767e-05,6.149966e-05,6.129989e-05,6.116991e-05,6.080211e-05,6.056463e-05,6.039974e-05,5.996603e-05,5.970132e-05,5.950400e-05,5.901646e-05,5.873328e-05,5.850603e-05,5.797518e-05,5.768082e-05,5.742616e-05,5.686112e-05,5.656162e-05,5.628202e-05,5.569070e-05,5.539100e-05,5.508888e-05,5.447813e-05,5.418223e-05,5.385992e-05,5.323564e-05,5.294677e-05,5.260653e-05,5.197377e-05,5.169449e-05,5.133845e-05,5.070157e-05,5.043384e-05,5.006405e-05,4.942675e-05,4.917207e-05,4.879045e-05,4.815587e-05,4.791532e-05,4.752368e-05,4.689449e-05,4.666882e-05,4.626885e-05,4.564727e-05,4.543694e-05,4.503022e-05,4.441812e-05,4.422335e-05,4.381134e-05,4.321024e-05,4.303107e-05,4.261513e-05,4.202629e-05,4.186258e-05,4.144397e-05,4.086839e-05,4.071987e-05,4.029975e-05,3.973821e-05,3.960452e-05,3.918395e-05,3.863707e-05,3.851776e-05,3.809770e-05,3.756592e-05,3.746048e-05,3.704182e-05,3.652545e-05,3.643333e-05,3.601686e-05,3.551609e-05,3.543669e-05,3.502315e-05,3.453806e-05,3.447078e-05,3.406082e-05,3.359142e-05,3.353562e-05,3.312983e-05,3.267604e-05,3.263109e-05,3.223001e-05,3.179170e-05,3.175697e-05,3.136106e-05,3.093804e-05,3.091290e-05,3.052258e-05,3.011462e-05,3.009846e-05,2.971410e-05,2.932094e-05,2.931315e-05,2.893506e-05,2.855641e-05,2.782763e-05,2.712617e-05,2.645135e-05,2.580249e-05,2.517887e-05,2.457977e-05,2.400446e-05,2.345223e-05,2.292234e-05,2.241408e-05,2.192673e-05,2.145961e-05,2.101201e-05,2.058325e-05,2.017269e-05,1.977966e-05,1.940355e-05,1.904372e-05,1.869959e-05,1.837057e-05,1.805609e-05,1.775561e-05,1.746858e-05,1.719450e-05,1.693287e-05,1.668319e-05,1.644502e-05,1.621788e-05,1.600136e-05,1.579503e-05,1.559847e-05,1.541131e-05,1.523316e-05,1.506365e-05,1.490245e-05,1.474920e-05,1.460359e-05,1.446530e-05,1.433402e-05,1.420947e-05,1.409137e-05,1.397945e-05,1.387345e-05,1.377312e-05,1.367821e-05,1.358851e-05,1.350378e-05,1.342382e-05,1.334841e-05
0.000000e+00,3.637222e-09,6.987084e-08,7.331371e-08,5.226075e-07,1.803211e-06,1.877175e-06,4.042525e-06,6.249670e-06,6.389126e-06,8.651568e-06,1.061326e-05,1.077817e-05,1.276378e-05,1.443388e-05,1.461281e-05,1.633158e-05,1.774149e-05,1.792656e-05,1.940401e-05,2.058523e-05,2.076997e-05,2.203020e-05,2.301119e-05,2.319030e-05,2.425562e-05,2.506215e-05,2.523142e-05,2.612279e-05,2.677838e-05,2.693461e-05,2.767158e-05,2.819736e-05,2.833819e-05,2.893869e-05,2.935340e-05,2.947720e-05,2.995762e-05,3.027790e-05,3.038363e-05,3.075866e-05,3.099898e-05,3.108602e-05,3.136879e-05,3.154178e-05,3.160991e-05,3.181212e-05,3.192873e-05,3.197803e-05,3.211007e-05,3.217979e-05,3.221054e-05,3.228162e-05,3.231263e-05,3.232533e-05,3.234359e-05,3.234292e-05,3.233820e-05,3.231083e-05,3.228454e-05,3.226309e-05,3.219646e-05,3.214972e-05,3.211234e-05,3.201204e-05,3.194927e-05,3.189679e-05,3.176776e-05,3.169273e-05,3.162602e-05,3.147259e-05,3.138850e-05,3.130842e-05,3.113442e-05,3.104399e-05,3.095141e-05,3.076018e-05,3.066569e-05,3.056147e-05,3.035596e-05,3.025933e-05,3.014431e-05,2.992710e-05,2.982992e-05,2.970492e-05,2.947828e-05,2.938188e-05,2.924768e-05,2.901358e-05,2.891906e-05,2.877641e-05,2.853658e-05,2.844483e-05,2.829446e-05,2.805041e-05,2.796214e-05,2.780475e-05,2.755778e-05,2.747357e-05,2.730980e-05,2.706106e-05,2.698135e-05,2.681182e-05,2.656231e-05,2.648743e-05,2.631274e-05,2.606330e-05,2.599351e-05,2.581418e-05,2.556557e-05,2.550103e-05,2.531760e-05,2.507043e-05,2.501125e-05,2.482421e-05,2.457904e-05,2.452526e-05,2.433505e-05,2.409235e-05,2.404398e-05,2.385104e-05,2.361120e-05,2.356819e-05,2.337292e-05,2.313627e-05,2.309857e-05,2.290133e-05,2.266817e-05,2.263567e-05,2.243682e-05,2.220736e-05,2.217995e-05,2.197982e-05,2.175426e-05,2.173181e-05,2.153070e-05,2.130919e-05,2.129156e-05,2.108975e-05,2.087241e-05,2.085944e-05,2.065720e-05,2.044412e-05,2.043565e-05,2.023322e-05,2.002448e-05,2.002033e-05,1.981794e-05,1.961359e-05,1.921550e-05,1.882609e-05,1.844537e-05,1.807332e-05,1.770990e-05,1.735506e-05,1.700874e-05,1.667083e-05,1.634126e-05,1.601992e-05,1.570669e-05,1.540146e-05,1.510410e-05,1.481449e-05,1.453248e-05,1.425796e-05,1.399078e-05,1.373080e-05,1.347789e-05,1.323191e-05,1.299272e-05,1.276017e-05,1.253414e-05,1.231449e-05,1.210108e-05,1.189377e-05,1.169244e-05,1.149695e-05,1.130718e-05,1.112299e-05,1.094426e-05,1.077087e-05,1.060269e-05,1.043960e-05,1.028150e-05,1.012825e-05,9.979757e-06,9.835899e-06,9.696568e-06,9.561657e-06,9.431062e-06,9.304680e-06,9.182408e-06,9.064148e-06,8.949803e-06,8.839277e-06,8.732478e-06,8.629312e-06,8.529692e-06
0.000000e+00,2.159141e-07,1.459102e-05,1.556240e-05,2.290277e-04,1.567957e-03,1.681819e-03,7.886260e-03,2.498369e-02,2.667459e-02,7.052495e-02,1.461416e-01,1.547372e-01,2.948627e-01,4.802386e-01,5.046940e-01,7.950812e-01,1.123212e+00,1.173416e+00,1.643566e+00,2.121845e+00,2.206102e+00,2.858678e+00,3.472979e+00,3.596501e+00,4.412816e+00,5.135021e+00,5.299383e+00,6.246912e+00,7.042161e+00,7.245462e+00,8.284775e+00,9.117114e+00,9.354564e+00,1.044474e+01,1.128093e+01,1.154562e+01,1.264803e+01,1.345976e+01,1.374344e+01,1.482405e+01,1.558893e+01,1.588279e+01,1.691336e+01,1.761502e+01,1.791025e+01,1.886871e+01,1.949643e+01,1.978471e+01,2.065495e+01,2.120291e+01,2.147675e+01,2.224810e+01,2.271457e+01,2.296750e+01,2.363400e+01,2.402044e+01,2.424712e+01,2.480679e+01,2.511705e+01,2.531331e+01,2.576732e+01,2.600693e+01,2.616972e+01,2.652169e+01,2.669726e+01,2.682459e+01,2.707994e+01,2.719866e+01,2.728945e+01,2.745489e+01,2.752413e+01,2.757815e+01,2.766116e+01,2.768820e+01,2.770592e+01,2.771442e+01,2.770621e+01,2.768868e+01,2.763071e+01,2.759378e+01,2.754251e+01,2.742602e+01,2.736631e+01,2.728318e+01,2.711587e+01,2.703874e+01,2.692590e+01,2.671506e+01,2.662526e+01,2.648506e+01,2.623753e+01,2.613921e+01,2.597408e+01,2.569622e+01,2.559294e+01,2.540539e+01,2.510298e+01,2.499777e+01,2.479032e+01,2.446864e+01,2.436400e+01,2.413914e+01,2.380292e+01,2.370091e+01,2.346106e+01,2.311454e+01,2.301681e+01,2.276431e+01,2.241123e+01,2.231907e+01,2.205614e+01,2.169980e+01,2.161417e+01,2.134292e+01,2.098618e+01,2.090778e+01,2.063020e+01,2.027555e+01,2.020483e+01,1.992276e+01,1.957233e+01,1.950954e+01,1.922470e+01,1.888030e+01,1.882552e+01,1.853950e+01,1.820265e+01,1.815582e+01,1.787006e+01,1.754201e+01,1.750297e+01,1.721878e+01,1.690058e+01,1.686904e+01,1.658762e+01,1.628009e+01,1.625572e+01,1.597814e+01,1.568192e+01,1.566433e+01,1.539155e+01,1.510712e+01,1.509587e+01,1.482873e+01,1.455645e+01,1.455107e+01,1.429033e+01,1.403041e+01,1.353417e+01,1.306244e+01,1.261517e+01,1.219214e+01,1.179305e+01,1.141749e+01,1.106496e+01,1.073489e+01,1.042667e+01,1.013964e+01,9.873091e+00,9.626292e+00,9.398488e+00,9.188910e+00,8.996776e+00,8.821297e+00,8.661683e+00,8.517144e+00,8.386897e+00,8.270163e+00,8.166174e+00,8.074172e+00,7.993413e+00,7.923172e+00,7.862735e+00,7.811410e+00,7.768525e+00,7.733426e+00,7.705482e+00,7.684085e+00,7.668649e+00,7.658614e+00,7.653443e+00,7.652623e+00,7.655668e+00,7.662115e+00,7.671530e+00,7.683500e+00,7.697642e+00,7.713593e+00,7.731019e+00,7.749608e+00,7.769073e+00,7.789149e+00,7.809595e+00,7.830192e+00,7.850741e+00,7.871064e+00,7.891003e+00
0.000000e+00,1.707041e-09,9.023518e-08,9.582103e-08,1.168223e-06,6.909950e-06,7.368506e-06,2.979014e-05,8.115248e-05,8.576814e-05,1.895599e-04,3.287376e-04,3.425884e-04,5.340064e-04,7.261009e-04,7.480909e-04,9.703880e-04,1.164246e-03,1.190244e-03,1.400888e-03,1.571743e-03,1.598553e-03,1.781495e-03,1.923387e-03,1.949198e-03,2.101853e-03,2.216191e-03,2.240024e-03,2.364454e-03,2.454651e-03,2.475958e-03,2.575365e-03,2.645029e-03,2.663489e-03,2.741110e-03,2.793537e-03,2.808972e-03,2.867776e-03,2.905851e-03,2.918184e-03,2.960815e-03,2.987022e-03,2.996250e-03,3.025035e-03,3.041501e-03,3.047678e-03,3.064657e-03,3.073194e-03,3.076415e-03,3.083370e-03,3.085518e-03,3.085909e-03,3.084396e-03,3.081458e-03,3.079169e-03,3.070543e-03,3.063618e-03,3.058813e-03,3.044253e-03,3.034266e-03,3.027120e-03,3.007651e-03,2.995378e-03,2.986070e-03,2.962581e-03,2.948667e-03,2.937378e-03,2.910640e-03,2.895621e-03,2.882531e-03,2.853208e-03,2.837528e-03,2.822813e-03,2.791479e-03,2.775499e-03,2.759330e-03,2.726480e-03,2.710495e-03,2.693036e-03,2.659094e-03,2.643340e-03,2.624747e-03,2.590077e-03,2.574741e-03,2.555162e-03,2.520074e-03,2.505301e-03,2.484878e-03,2.449635e-03,2.435537e-03,2.414400e-03,2.379224e-03,2.365883e-03,2.344155e-03,2.309234e-03,2.296707e-03,2.274502e-03,2.239993e-03,2.228317e-03,2.205740e-03,2.171773e-03,2.160968e-03,2.138118e-03,2.104799e-03,2.094872e-03,2.071837e-03,2.039253e-03,2.030199e-03,2.007062e-03,1.975282e-03,1.967087e-03,1.943924e-03,1.913001e-03,1.905646e-03,1.882523e-03,1.852500e-03,1.845956e-03,1.822937e-03,1.793842e-03,1.788080e-03,1.765220e-03,1.737075e-03,1.732059e-03,1.709409e-03,1.682225e-03,1.677920e-03,1.655524e-03,1.629306e-03,1.625675e-03,1.603573e-03,1.578322e-03,1.575324e-03,1.553552e-03,1.529261e-03,1.526859e-03,1.505448e-03,1.482108e-03,1.480262e-03,1.459240e-03,1.436838e-03,1.435509e-03,1.414899e-03,1.393419e-03,1.392570e-03,1.372393e-03,1.351817e-03,1.351410e-03,1.331684e-03,1.311991e-03,1.274272e-03,1.238208e-03,1.203755e-03,1.170865e-03,1.139490e-03,1.109583e-03,1.081096e-03,1.053980e-03,1.028187e-03,1.003670e-03,9.803828e-04,9.582786e-04,9.373128e-04,9.174414e-04,8.986214e-04,8.808108e-04,8.639689e-04,8.480558e-04,8.330332e-04,8.188636e-04,8.055110e-04,7.929403e-04,7.811176e-04,7.700104e-04,7.595869e-04,7.498167e-04,7.406704e-04,7.321197e-04,7.241372e-04,7.166966e-04,7.097726e-04,7.033409e-04,6.973779e-04,6.918611e-04,6.867688e-04,6.820802e-04,6.777752e-04,6.738345e-04,6.702398e-04,6.669731e-04,6.640175e-04,6.613566e-04,6.589748e-04,6.568569e-04,6.549886e-04,6.533559e-04,6.519457e-04,6.507452e-04,6.497422e-04
0.000000e+00,8.551874e-10,5.370351e-08,5.718092e-08,7.836909e-07,5.223915e-06,5.601551e-06,2.639822e-05,8.481855e-05,9.064054e-05,2.426542e-04,5.060832e-04,5.360339e-04,1.023373e-03,1.664431e-03,1.748671e-03,2.743254e-03,3.855297e-03,4.024408e-03,5.595800e-03,7.173157e-03,7.448964e-03,9.565330e-03,1.152732e-02,1.191847e-02,1.447625e-02,1.670134e-02,1.720294e-02,2.006093e-02,2.241635e-02,2.301228e-02,2.601991e-02,2.838215e-02,2.904854e-02,3.206541e-02,3.433192e-02,3.504074e-02,3.794807e-02,4.004200e-02,4.076431e-02,4.346985e-02,4.534003e-02,4.604843e-02,4.848699e-02,5.010517e-02,5.077548e-02,5.290661e-02,5.426335e-02,5.487558e-02,5.667984e-02,5.778006e-02,5.831878e-02,5.979349e-02,6.065223e-02,6.110649e-02,6.226154e-02,6.290038e-02,6.326335e-02,6.411747e-02,6.456157e-02,6.483002e-02,6.540761e-02,6.568348e-02,6.585714e-02,6.618572e-02,6.631959e-02,6.640057e-02,6.650889e-02,6.652560e-02,6.651781e-02,6.643436e-02,6.635674e-02,6.626538e-02,6.601749e-02,6.586596e-02,6.569708e-02,6.531026e-02,6.510272e-02,6.486287e-02,6.436047e-02,6.411235e-02,6.380831e-02,6.321136e-02,6.293573e-02,6.257429e-02,6.190150e-02,6.160928e-02,6.119710e-02,6.046494e-02,6.016511e-02,5.970860e-02,5.893142e-02,5.863128e-02,5.813650e-02,5.732672e-02,5.703209e-02,5.650475e-02,5.567305e-02,5.538847e-02,5.483390e-02,5.398938e-02,5.371833e-02,5.314144e-02,5.229183e-02,5.203687e-02,5.144219e-02,5.059399e-02,5.035695e-02,4.974861e-02,4.890729e-02,4.868935e-02,4.807115e-02,4.724121e-02,4.704306e-02,4.641842e-02,4.560362e-02,4.542551e-02,4.479756e-02,4.400092e-02,4.384278e-02,4.321432e-02,4.243831e-02,4.229979e-02,4.167336e-02,4.091991e-02,4.080045e-02,4.017833e-02,3.944895e-02,3.934783e-02,3.873206e-02,3.802790e-02,3.794427e-02,3.733667e-02,3.665855e-02,3.659146e-02,3.599367e-02,3.534214e-02,3.529060e-02,3.470405e-02,3.407945e-02,3.404240e-02,3.346837e-02,3.287083e-02,3.284721e-02,3.228683e-02,3.171633e-02,3.170506e-02,3.115930e-02,3.061569e-02,2.957864e-02,2.859324e-02,2.765867e-02,2.677399e-02,2.593814e-02,2.514998e-02,2.440830e-02,2.371185e-02,2.305931e-02,2.244934e-02,2.188058e-02,2.135165e-02,2.086115e-02,2.040767e-02,1.998980e-02,1.960613e-02,1.925526e-02,1.893577e-02,1.864627e-02,1.838537e-02,1.815169e-02,1.794386e-02,1.776053e-02,1.760035e-02,1.746201e-02,1.734420e-02,1.724564e-02,1.716507e-02,1.710125e-02,1.705298e-02,1.701906e-02,1.699836e-02,1.698974e-02,1.699213e-02,1.700447e-02,1.702575e-02,1.705499e-02,1.709126e-02,1.713365e-02,1.718133e-02,1.723347e-02,1.728931e-02,1.734813e-02,1.740925e-02,1.747203e-02,1.753589e-02,1.760028e-02,1.766469e-02,1.772868e-02
0.000000e+00,4.663838e-09,8.222862e-08,8.612768e-08,5.757469e-07,1.982717e-06,2.067462e-06,4.799296e-06,7.970469e-06,8.177055e-06,1.154865e-05,1.444753e-05,1.468886e-05,1.755817e-05,1.991290e-05,2.016168e-05,2.251412e-05,2.438960e-05,2.463188e-05,2.653109e-05,2.800143e-05,2.822722e-05,2.973498e-05,3.086617e-05,3.106833e-05,3.224043e-05,3.308995e-05,3.326369e-05,3.414974e-05,3.476714e-05,3.490949e-05,3.555312e-05,3.598067e-05,3.609012e-05,3.652932e-05,3.680278e-05,3.687894e-05,3.714658e-05,3.729604e-05,3.733932e-05,3.746371e-05,3.751437e-05,3.752581e-05,3.753123e-05,3.750410e-05,3.748517e-05,3.739242e-05,3.730496e-05,3.725742e-05,3.708427e-05,3.695094e-05,3.687675e-05,3.663834e-05,3.647105e-05,3.637227e-05,3.608152e-05,3.589006e-05,3.576882e-05,3.543669e-05,3.522906e-05,3.508745e-05,3.472324e-05,3.450592e-05,3.434602e-05,3.395761e-05,3.373582e-05,3.355964e-05,3.315364e-05,3.293156e-05,3.274100e-05,3.232300e-05,3.210392e-05,3.190081e-05,3.147548e-05,3.126196e-05,3.104800e-05,3.061925e-05,3.041324e-05,3.019004e-05,2.976110e-05,2.956407e-05,2.933310e-05,2.890665e-05,2.871964e-05,2.848229e-05,2.806051e-05,2.788424e-05,2.764176e-05,2.722643e-05,2.706135e-05,2.681489e-05,2.640746e-05,2.625376e-05,2.600440e-05,2.560599e-05,2.546373e-05,2.521242e-05,2.482391e-05,2.469300e-05,2.444062e-05,2.406268e-05,2.394289e-05,2.369023e-05,2.332336e-05,2.321440e-05,2.296216e-05,2.260669e-05,2.250820e-05,2.225702e-05,2.191318e-05,2.182474e-05,2.157519e-05,2.124308e-05,2.116424e-05,2.091684e-05,2.059647e-05,2.052677e-05,2.028196e-05,1.997328e-05,1.991225e-05,1.967042e-05,1.937332e-05,1.932045e-05,1.908196e-05,1.879628e-05,1.875110e-05,1.851625e-05,1.824179e-05,1.820381e-05,1.797286e-05,1.770938e-05,1.767813e-05,1.745131e-05,1.719857e-05,1.717358e-05,1.695109e-05,1.670879e-05,1.668963e-05,1.647162e-05,1.623950e-05,1.622573e-05,1.601234e-05,1.579007e-05,1.578128e-05,1.557263e-05,1.535992e-05,1.535572e-05,1.515188e-05,1.494842e-05,1.455880e-05,1.418625e-05,1.383018e-05,1.348999e-05,1.316510e-05,1.285494e-05,1.255895e-05,1.227659e-05,1.200732e-05,1.175062e-05,1.150600e-05,1.127297e-05,1.105105e-05,1.083978e-05,1.063874e-05,1.044748e-05,1.026561e-05,1.009272e-05,9.928430e-06,9.772376e-06,9.624204e-06,9.483573e-06,9.350156e-06,9.223639e-06,9.103719e-06,8.990106e-06,8.882522e-06,8.780698e-06,8.684379e-06,8.593317e-06,8.507277e-06,8.426031e-06,8.349361e-06,8.277060e-06,8.208928e-06,8.144772e-06,8.084409e-06,8.027663e-06,7.974365e-06,7.924354e-06,7.877475e-06,7.833580e-06,7.792527e-06,7.754180e-06,7.718408e-06,7.685088e-06,7.654100e-06,7.625330e-06,7.598669e-06
0.000000e+00,9.187723e-10,1.073078e-08,1.117052e-08,6.080168e-08,1.953182e-07,2.034391e-07,4.757087e-07,8.265740e-07,8.506322e-07,1.253600e-06,1.600907e-06,1.629402e-06,1.960574e-06,2.219605e-06,2.246204e-06,2.489686e-06,2.672380e-06,2.695168e-06,2.866695e-06,2.989911e-06,3.008005e-06,3.122502e-06,3.200221e-06,3.213266e-06,3.283076e-06,3.326447e-06,3.334433e-06,3.369583e-06,3.387392e-06,3.390536e-06,3.399092e-06,3.398199e-06,3.396857e-06,3.385264e-06,3.370985e-06,3.365588e-06,3.338965e-06,3.315387e-06,3.306401e-06,3.268792e-06,3.239037e-06,3.226929e-06,3.181515e-06,3.147947e-06,3.133170e-06,3.082442e-06,3.046834e-06,3.029813e-06,2.975709e-06,2.939376e-06,2.920504e-06,2.864524e-06,2.828425e-06,2.808058e-06,2.751354e-06,2.716176e-06,2.694632e-06,2.638080e-06,2.604299e-06,2.581861e-06,2.526116e-06,2.494050e-06,2.470966e-06,2.416514e-06,2.386358e-06,2.362845e-06,2.310033e-06,2.281893e-06,2.258139e-06,2.207210e-06,2.181123e-06,2.157288e-06,2.108403e-06,2.084357e-06,2.060579e-06,2.013833e-06,1.991781e-06,1.968176e-06,1.923615e-06,1.903486e-06,1.880152e-06,1.837784e-06,1.819488e-06,1.796507e-06,1.756313e-06,1.739751e-06,1.717190e-06,1.679128e-06,1.664196e-06,1.642110e-06,1.606122e-06,1.592713e-06,1.571147e-06,1.537166e-06,1.525173e-06,1.504161e-06,1.472112e-06,1.461430e-06,1.440999e-06,1.410802e-06,1.401329e-06,1.381500e-06,1.353072e-06,1.344711e-06,1.325498e-06,1.298756e-06,1.291415e-06,1.272826e-06,1.247687e-06,1.241278e-06,1.223319e-06,1.199700e-06,1.194141e-06,1.176812e-06,1.154634e-06,1.149848e-06,1.133147e-06,1.112332e-06,1.108248e-06,1.092170e-06,1.072643e-06,1.069194e-06,1.053732e-06,1.035421e-06,1.032545e-06,1.017691e-06,1.000526e-06,9.981674e-07,9.839101e-07,9.678263e-07,9.659313e-07,9.522593e-07,9.371938e-07,9.357143e-07,9.226150e-07,9.085082e-07,9.073996e-07,8.948595e-07,8.816550e-07,8.808766e-07,8.688814e-07,8.565257e-07,8.560400e-07,8.445753e-07,8.330178e-07,8.327906e-07,8.218413e-07,8.110342e-07,7.906821e-07,7.716503e-07,7.538596e-07,7.372355e-07,7.217075e-07,7.072094e-07,6.936786e-07,6.810563e-07,6.692873e-07,6.583192e-07,6.481031e-07,6.385928e-07,6.297449e-07,6.215186e-07,6.138754e-07,6.067792e-07,6.001960e-07,5.940939e-07,5.884429e-07,5.832146e-07,5.783826e-07,5.739219e-07,5.698090e-07,5.660219e-07,5.625399e-07,5.593434e-07,5.564143e-07,5.537352e-07,5.512900e-07,5.490636e-07,5.470416e-07,5.452107e-07,5.435583e-07,5.420726e-07,5.407424e-07,5.395573e-07,5.385076e-07,5.375840e-07,5.367779e-07,5.360812e-07,5.354863e-07,5.349861e-07,5.345739e-07,5.342433e-07,5.339885e-07,5.338040e-07,5.336845e-07,5.336253e-07,5.336217e-07
0.000000e+00,4.958577e-10,6.224594e-09,6.490615e-09,3.781163e-08,1.243474e-07,1.295250e-07,2.968645e-07,4.943265e-07,5.073042e-07,7.203071e-07,9.046611e-07,9.200481e-07,1.103468e-06,1.254692e-06,1.270710e-06,1.422602e-06,1.544328e-06,1.560099e-06,1.684159e-06,1.780807e-06,1.795703e-06,1.895609e-06,1.971146e-06,1.984709e-06,2.063789e-06,2.121676e-06,2.133586e-06,2.194792e-06,2.238008e-06,2.248054e-06,2.293976e-06,2.325065e-06,2.333124e-06,2.366022e-06,2.387150e-06,2.393163e-06,2.415004e-06,2.428005e-06,2.431970e-06,2.444456e-06,2.450880e-06,2.452831e-06,2.457435e-06,2.458586e-06,2.458588e-06,2.456584e-06,2.453560e-06,2.451699e-06,2.444188e-06,2.437908e-06,2.434288e-06,2.422220e-06,2.413453e-06,2.408187e-06,2.392380e-06,2.381767e-06,2.374976e-06,2.356140e-06,2.344213e-06,2.336021e-06,2.314759e-06,2.301954e-06,2.292482e-06,2.269310e-06,2.255984e-06,2.245352e-06,2.220710e-06,2.207152e-06,2.195478e-06,2.169742e-06,2.156187e-06,2.143582e-06,2.117071e-06,2.103706e-06,2.090278e-06,2.063264e-06,2.050235e-06,2.036086e-06,2.008798e-06,1.996221e-06,1.981447e-06,1.954077e-06,1.942039e-06,1.926729e-06,1.899439e-06,1.888003e-06,1.872241e-06,1.845166e-06,1.834376e-06,1.818241e-06,1.791492e-06,1.781378e-06,1.764942e-06,1.738610e-06,1.729189e-06,1.712517e-06,1.686678e-06,1.677954e-06,1.661108e-06,1.635821e-06,1.627791e-06,1.610828e-06,1.586140e-06,1.578794e-06,1.561765e-06,1.537711e-06,1.531035e-06,1.513986e-06,1.490595e-06,1.484569e-06,1.467543e-06,1.444833e-06,1.439435e-06,1.422470e-06,1.400455e-06,1.395658e-06,1.378789e-06,1.357475e-06,1.353255e-06,1.336513e-06,1.315902e-06,1.312230e-06,1.295643e-06,1.275734e-06,1.272581e-06,1.256175e-06,1.236963e-06,1.234301e-06,1.218096e-06,1.199574e-06,1.197374e-06,1.181392e-06,1.163549e-06,1.161783e-06,1.146040e-06,1.128864e-06,1.127505e-06,1.112017e-06,1.095495e-06,1.094514e-06,1.079295e-06,1.063413e-06,1.062784e-06,1.047845e-06,1.032588e-06,1.032286e-06,1.017636e-06,1.002987e-06,9.748571e-07,9.478629e-07,9.219718e-07,8.971506e-07,8.733661e-07,8.505854e-07,8.287758e-07,8.079050e-07,7.879413e-07,7.688534e-07,7.506108e-07,7.331835e-07,7.165423e-07,7.006589e-07,6.855054e-07,6.710551e-07,6.572816e-07,6.441597e-07,6.316648e-07,6.197729e-07,6.084610e-07,5.977068e-07,5.874886e-07,5.777857e-07,5.685776e-07,5.598451e-07,5.515692e-07,5.437317e-07,5.363152e-07,5.293026e-07,5.226776e-07,5.164244e-07,5.105279e-07,5.049734e-07,4.997467e-07,4.948341e-07,4.902226e-07,4.858995e-07,4.818525e-07,4.780699e-07,4.745403e-07,4.712528e-07,4.681968e-07,4.653623e-07,4.627393e-07,4.603186e-07,4.580910e-07,4.560478e-07,4.541805e-07
0.000000e+00,7.713510e-08,4.709850e-06,5.009727e-06,6.432050e-05,4.018211e-04,4.298778e-04,1.944097e-03,6.200471e-03,6.629506e-03,1.815588e-02,3.929756e-02,4.177512e-02,8.367213e-02,1.421864e-01,1.501004e-01,2.466638e-01,3.601736e-01,3.778647e-01,5.468890e-01,7.239290e-01,7.555633e-01,1.004422e+00,1.244091e+00,1.292841e+00,1.619206e+00,1.913458e+00,1.981088e+00,2.375421e+00,2.711887e+00,2.798668e+00,3.246966e+00,3.611427e+00,3.716264e+00,4.202428e+00,4.580657e+00,4.701341e+00,5.208976e+00,5.587957e+00,5.721461e+00,6.235124e+00,6.603752e+00,6.746530e+00,7.252501e+00,7.601885e+00,7.750142e+00,8.236836e+00,8.560336e+00,8.710255e+00,9.168355e+00,9.461438e+00,9.609364e+00,1.003178e+01,1.029178e+01,1.043435e+01,1.081605e+01,1.104187e+01,1.117610e+01,1.151391e+01,1.170574e+01,1.182907e+01,1.212138e+01,1.228040e+01,1.239074e+01,1.263725e+01,1.276537e+01,1.286108e+01,1.306256e+01,1.316219e+01,1.324207e+01,1.340011e+01,1.347398e+01,1.353723e+01,1.365404e+01,1.370504e+01,1.375122e+01,1.382948e+01,1.386053e+01,1.388954e+01,1.393218e+01,1.394616e+01,1.395817e+01,1.396830e+01,1.396794e+01,1.396337e+01,1.394417e+01,1.393205e+01,1.391150e+01,1.386614e+01,1.384462e+01,1.380886e+01,1.374041e+01,1.371163e+01,1.366155e+01,1.357299e+01,1.353887e+01,1.347544e+01,1.336957e+01,1.333181e+01,1.325606e+01,1.313553e+01,1.309557e+01,1.300859e+01,1.287584e+01,1.283496e+01,1.273783e+01,1.259511e+01,1.255437e+01,1.244819e+01,1.229756e+01,1.225784e+01,1.214368e+01,1.198701e+01,1.194903e+01,1.182795e+01,1.166691e+01,1.163125e+01,1.150426e+01,1.134036e+01,1.130746e+01,1.117554e+01,1.101011e+01,1.098029e+01,1.084437e+01,1.067860e+01,1.065209e+01,1.051304e+01,1.034795e+01,1.032489e+01,1.018354e+01,1.002003e+01,1.000048e+01,9.857610e+00,9.696454e+00,9.680415e+00,9.536730e+00,9.378590e+00,9.366012e+00,9.222174e+00,9.067609e+00,9.058396e+00,8.915011e+00,8.764487e+00,8.758511e+00,8.616132e+00,8.470032e+00,8.467133e+00,8.326264e+00,8.184897e+00,7.912303e+00,7.649735e+00,7.397472e+00,7.155705e+00,6.924541e+00,6.704017e+00,6.494109e+00,6.294740e+00,6.105786e+00,5.927082e+00,5.758432e+00,5.599610e+00,5.450365e+00,5.310428e+00,5.179512e+00,5.057319e+00,4.943539e+00,4.837855e+00,4.739944e+00,4.649483e+00,4.566142e+00,4.489594e+00,4.419514e+00,4.355577e+00,4.297463e+00,4.244855e+00,4.197444e+00,4.154924e+00,4.116996e+00,4.083371e+00,4.053764e+00,4.027901e+00,4.005514e+00,3.986346e+00,3.970148e+00,3.956679e+00,3.945711e+00,3.937023e+00,3.930405e+00,3.925654e+00,3.922581e+00,3.921005e+00,3.920754e+00,3.921666e+00,3.923589e+00,3.926381e+00,3.929909e+00,3.934048e+00,3.938683e+00
0.000000e+00,6.124597e-09,2.144197e-07,2.266067e-07,2.268587e-06,1.077939e-05,1.137493e-05,3.416996e-05,6.709778e-05,6.940593e-05,1.085445e-04,1.431312e-04,1.460164e-04,1.802427e-04,2.081385e-04,2.110730e-04,2.386860e-04,2.605110e-04,2.633171e-04,2.851998e-04,3.019889e-04,3.045541e-04,3.215859e-04,3.342386e-04,3.364871e-04,3.494361e-04,3.587143e-04,3.605988e-04,3.701290e-04,3.766739e-04,3.781692e-04,3.848508e-04,3.891980e-04,3.902955e-04,3.946152e-04,3.972096e-04,3.979132e-04,4.002842e-04,4.014935e-04,4.018154e-04,4.025871e-04,4.027140e-04,4.026728e-04,4.021400e-04,4.014324e-04,4.010506e-04,3.994613e-04,3.981219e-04,3.974243e-04,3.949871e-04,3.931808e-04,3.921935e-04,3.890833e-04,3.869436e-04,3.856930e-04,3.820562e-04,3.796910e-04,3.782033e-04,3.741621e-04,3.716576e-04,3.699580e-04,3.656144e-04,3.630396e-04,3.611524e-04,3.565911e-04,3.540000e-04,3.519481e-04,3.472393e-04,3.446744e-04,3.424793e-04,3.376811e-04,3.351750e-04,3.328566e-04,3.280167e-04,3.255940e-04,3.231710e-04,3.183283e-04,3.160073e-04,3.134966e-04,3.086830e-04,3.064766e-04,3.038939e-04,2.991350e-04,2.970520e-04,2.944114e-04,2.897277e-04,2.877734e-04,2.850879e-04,2.804957e-04,2.786728e-04,2.759541e-04,2.714658e-04,2.697748e-04,2.670334e-04,2.626588e-04,2.610985e-04,2.583439e-04,2.540901e-04,2.526579e-04,2.498987e-04,2.457707e-04,2.444632e-04,2.417069e-04,2.377080e-04,2.365211e-04,2.337745e-04,2.299067e-04,2.288354e-04,2.261046e-04,2.223685e-04,2.214079e-04,2.186983e-04,2.150937e-04,2.142384e-04,2.115546e-04,2.080805e-04,2.073249e-04,2.046712e-04,2.013261e-04,2.006647e-04,1.980447e-04,1.948264e-04,1.942537e-04,1.916705e-04,1.885765e-04,1.880871e-04,1.855435e-04,1.825710e-04,1.821596e-04,1.796580e-04,1.768039e-04,1.764653e-04,1.740077e-04,1.712688e-04,1.709980e-04,1.685862e-04,1.659591e-04,1.657513e-04,1.633867e-04,1.608680e-04,1.607186e-04,1.584023e-04,1.559887e-04,1.558932e-04,1.536263e-04,1.513142e-04,1.512685e-04,1.490516e-04,1.468377e-04,1.425941e-04,1.385311e-04,1.346424e-04,1.309215e-04,1.273623e-04,1.239587e-04,1.207048e-04,1.175949e-04,1.146233e-04,1.117849e-04,1.090742e-04,1.064863e-04,1.040163e-04,1.016595e-04,9.941133e-05,9.726747e-05,9.522368e-05,9.327589e-05,9.142020e-05,8.965284e-05,8.797019e-05,8.636877e-05,8.484522e-05,8.339633e-05,8.201900e-05,8.071025e-05,7.946721e-05,7.828715e-05,7.716742e-05,7.610547e-05,7.509888e-05,7.414531e-05,7.324249e-05,7.238827e-05,7.158058e-05,7.081742e-05,7.009688e-05,6.941712e-05,6.877638e-05,6.817295e-05,6.760522e-05,6.707161e-05,6.657064e-05,6.610085e-05,6.566086e-05,6.524935e-05,6.486503e-05,6.450668e-05,6.417313e-05
0.000000e+00,8.677779e-10,6.484230e-08,6.940011e-08,1.199907e-06,8.733012e-06,9.367065e-06,4.117284e-05,1.124872e-04,1.187582e-04,2.564465e-04,4.374899e-04,4.555119e-04,7.071866e-04,9.673435e-04,9.977210e-04,1.312421e-03,1.598761e-03,1.638028e-03,1.963766e-03,2.237755e-03,2.281526e-03,2.585625e-03,2.827760e-03,2.872369e-03,3.139603e-03,3.343433e-03,3.386307e-03,3.612259e-03,3.778286e-03,3.817786e-03,4.003564e-03,4.135335e-03,4.170492e-03,4.319586e-03,4.421629e-03,4.451919e-03,4.568577e-03,4.645442e-03,4.670629e-03,4.759109e-03,4.814969e-03,4.835007e-03,4.899261e-03,4.937787e-03,4.952756e-03,4.996322e-03,5.020675e-03,5.030738e-03,5.056730e-03,5.069601e-03,5.074976e-03,5.086110e-03,5.089777e-03,5.090720e-03,5.089353e-03,5.085730e-03,5.082520e-03,5.070696e-03,5.061389e-03,5.054320e-03,5.033801e-03,5.020153e-03,5.009520e-03,4.981829e-03,4.964955e-03,4.951054e-03,4.917499e-03,4.898323e-03,4.881444e-03,4.843150e-03,4.822432e-03,4.802856e-03,4.760787e-03,4.739151e-03,4.717148e-03,4.672131e-03,4.650086e-03,4.625912e-03,4.578656e-03,4.556611e-03,4.530511e-03,4.481619e-03,4.459903e-03,4.432107e-03,4.382093e-03,4.360965e-03,4.331688e-03,4.280991e-03,4.260651e-03,4.230095e-03,4.179085e-03,4.159687e-03,4.128039e-03,4.077028e-03,4.058686e-03,4.026119e-03,3.975371e-03,3.958164e-03,3.924839e-03,3.874573e-03,3.858551e-03,3.824617e-03,3.775014e-03,3.760207e-03,3.725801e-03,3.677011e-03,3.663430e-03,3.628676e-03,3.580821e-03,3.568461e-03,3.533473e-03,3.486653e-03,3.475497e-03,3.440380e-03,3.394671e-03,3.384693e-03,3.349542e-03,3.305005e-03,3.296170e-03,3.261072e-03,3.217753e-03,3.210021e-03,3.175054e-03,3.132984e-03,3.126312e-03,3.091548e-03,3.050749e-03,3.045088e-03,3.010591e-03,2.971075e-03,2.966376e-03,2.932203e-03,2.893975e-03,2.890187e-03,2.856390e-03,2.819446e-03,2.816519e-03,2.783143e-03,2.747477e-03,2.745357e-03,2.712444e-03,2.678042e-03,2.676679e-03,2.644266e-03,2.611111e-03,2.610454e-03,2.578573e-03,2.546646e-03,2.485211e-03,2.426104e-03,2.369274e-03,2.314668e-03,2.262232e-03,2.211909e-03,2.163642e-03,2.117374e-03,2.073046e-03,2.030600e-03,1.989979e-03,1.951124e-03,1.913979e-03,1.878489e-03,1.844597e-03,1.812250e-03,1.781395e-03,1.751980e-03,1.723954e-03,1.697267e-03,1.671871e-03,1.647718e-03,1.624764e-03,1.602963e-03,1.582271e-03,1.562647e-03,1.544049e-03,1.526438e-03,1.509774e-03,1.494021e-03,1.479142e-03,1.465102e-03,1.451867e-03,1.439403e-03,1.427679e-03,1.416663e-03,1.406326e-03,1.396639e-03,1.387573e-03,1.379101e-03,1.371198e-03,1.363838e-03,1.356996e-03,1.350648e-03,1.344772e-03,1.339346e-03,1.334349e-03,1.329759e-03,1.325557e-03
0.000000e+00,1.679798e-09,9.688022e-08,1.029741e-07,1.298809e-06,8.072230e-06,8.631974e-06,3.800769e-05,1.141232e-04,1.214027e-04,3.001507e-04,5.794049e-04,6.095226e-04,1.068191e-03,1.609277e-03,1.676529e-03,2.420210e-03,3.167863e-03,3.275469e-03,4.214015e-03,5.065602e-03,5.206813e-03,6.226618e-03,7.086468e-03,7.249449e-03,8.255250e-03,9.055935e-03,9.227996e-03,1.015547e-02,1.085884e-02,1.102887e-02,1.184227e-02,1.243274e-02,1.259216e-02,1.327696e-02,1.375377e-02,1.389658e-02,1.445208e-02,1.482297e-02,1.494537e-02,1.537892e-02,1.565570e-02,1.575563e-02,1.607862e-02,1.627450e-02,1.635115e-02,1.657650e-02,1.670445e-02,1.675792e-02,1.689859e-02,1.697060e-02,1.700157e-02,1.706979e-02,1.709651e-02,1.710605e-02,1.711299e-02,1.710365e-02,1.709307e-02,1.704865e-02,1.701113e-02,1.698188e-02,1.689483e-02,1.683580e-02,1.678939e-02,1.666734e-02,1.659236e-02,1.653033e-02,1.637989e-02,1.629358e-02,1.621746e-02,1.604436e-02,1.595054e-02,1.586181e-02,1.567097e-02,1.557277e-02,1.547288e-02,1.526854e-02,1.516850e-02,1.505884e-02,1.484462e-02,1.474478e-02,1.462667e-02,1.440569e-02,1.430768e-02,1.418236e-02,1.395728e-02,1.386236e-02,1.373101e-02,1.350407e-02,1.341321e-02,1.327693e-02,1.305004e-02,1.296396e-02,1.282378e-02,1.259852e-02,1.251774e-02,1.237460e-02,1.215232e-02,1.207716e-02,1.193195e-02,1.171373e-02,1.164440e-02,1.149791e-02,1.128467e-02,1.122123e-02,1.107420e-02,1.086665e-02,1.080909e-02,1.066218e-02,1.046091e-02,1.040912e-02,1.026295e-02,1.006838e-02,1.002221e-02,9.877311e-03,9.689792e-03,9.649021e-03,9.505887e-03,9.325643e-03,9.290036e-03,9.149096e-03,8.976274e-03,8.945564e-03,8.807197e-03,8.641877e-03,8.615775e-03,8.480317e-03,8.322516e-03,8.300723e-03,8.168464e-03,8.018149e-03,8.000361e-03,7.871551e-03,7.728646e-03,7.714558e-03,7.589407e-03,7.453803e-03,7.443110e-03,7.321797e-03,7.193353e-03,7.185759e-03,7.068429e-03,6.946982e-03,6.942196e-03,6.828967e-03,6.714335e-03,6.712076e-03,6.603037e-03,6.495024e-03,6.290639e-03,6.098507e-03,5.918200e-03,5.749281e-03,5.591312e-03,5.443851e-03,5.306462e-03,5.178708e-03,5.060162e-03,4.950402e-03,4.849017e-03,4.755602e-03,4.669765e-03,4.591124e-03,4.519308e-03,4.453957e-03,4.394722e-03,4.341268e-03,4.293270e-03,4.250414e-03,4.212398e-03,4.178933e-03,4.149738e-03,4.124544e-03,4.103094e-03,4.085141e-03,4.070446e-03,4.058782e-03,4.049932e-03,4.043686e-03,4.039845e-03,4.038219e-03,4.038626e-03,4.040893e-03,4.044853e-03,4.050350e-03,4.057235e-03,4.065364e-03,4.074604e-03,4.084827e-03,4.095912e-03,4.107745e-03,4.120220e-03,4.133233e-03,4.146692e-03,4.160506e-03,4.174593e-03,4.188876e-03,4.203281e-03
0.000000e+00,1.363968e-09,1.044080e-07,1.118275e-07,2.008914e-06,1.506416e-05,1.617260e-05,7.203910e-05,1.971991e-04,2.081871e-04,4.490215e-04,7.653064e-04,7.968026e-04,1.237410e-03,1.695297e-03,1.748978e-03,2.308431e-03,2.823890e-03,2.895143e-03,3.492397e-03,4.004715e-03,4.087534e-03,4.671470e-03,5.148709e-03,5.237995e-03,5.783088e-03,6.212327e-03,6.304317e-03,6.800379e-03,7.178737e-03,7.270750e-03,7.715427e-03,8.044653e-03,8.134757e-03,8.529308e-03,8.813027e-03,8.899789e-03,9.246987e-03,9.489414e-03,9.571737e-03,9.874890e-03,1.008027e-02,1.015730e-02,1.041981e-02,1.059218e-02,1.066326e-02,1.088844e-02,1.103154e-02,1.109616e-02,1.128716e-02,1.140442e-02,1.146218e-02,1.162195e-02,1.171650e-02,1.176713e-02,1.189841e-02,1.197309e-02,1.201640e-02,1.212174e-02,1.217911e-02,1.221500e-02,1.229676e-02,1.233913e-02,1.236757e-02,1.242795e-02,1.245740e-02,1.247841e-02,1.251944e-02,1.253783e-02,1.255150e-02,1.257504e-02,1.258406e-02,1.259049e-02,1.259828e-02,1.259943e-02,1.259880e-02,1.259243e-02,1.258703e-02,1.257954e-02,1.256048e-02,1.254973e-02,1.253559e-02,1.250519e-02,1.249015e-02,1.246960e-02,1.242912e-02,1.241073e-02,1.238403e-02,1.233460e-02,1.231368e-02,1.228111e-02,1.222379e-02,1.220106e-02,1.216290e-02,1.209866e-02,1.207476e-02,1.203130e-02,1.196103e-02,1.193651e-02,1.188804e-02,1.181255e-02,1.178789e-02,1.173472e-02,1.165474e-02,1.163036e-02,1.157278e-02,1.148901e-02,1.146525e-02,1.140357e-02,1.131661e-02,1.129377e-02,1.122828e-02,1.113871e-02,1.111704e-02,1.104803e-02,1.095636e-02,1.093608e-02,1.086383e-02,1.077053e-02,1.075179e-02,1.067659e-02,1.058209e-02,1.056503e-02,1.048715e-02,1.039184e-02,1.037656e-02,1.029626e-02,1.020048e-02,1.018706e-02,1.010460e-02,1.000868e-02,9.997167e-03,9.912790e-03,9.817006e-03,9.807436e-03,9.721389e-03,9.625999e-03,9.618380e-03,9.530895e-03,9.436129e-03,9.430455e-03,9.341754e-03,9.247818e-03,9.244071e-03,9.154368e-03,9.061446e-03,9.059593e-03,8.969093e-03,8.877348e-03,8.697624e-03,8.520676e-03,8.346727e-03,8.175974e-03,8.008584e-03,7.844702e-03,7.684451e-03,7.527935e-03,7.375237e-03,7.226426e-03,7.081554e-03,6.940660e-03,6.803770e-03,6.670896e-03,6.542045e-03,6.417208e-03,6.296371e-03,6.179513e-03,6.066603e-03,5.957607e-03,5.852482e-03,5.751182e-03,5.653655e-03,5.559847e-03,5.469698e-03,5.383146e-03,5.300125e-03,5.220569e-03,5.144407e-03,5.071568e-03,5.001977e-03,4.935562e-03,4.872244e-03,4.811949e-03,4.754598e-03,4.700113e-03,4.648415e-03,4.599427e-03,4.553069e-03,4.509263e-03,4.467929e-03,4.428990e-03,4.392368e-03,4.357985e-03,4.325765e-03,4.295631e-03,4.267508e-03,4.241321e-03,4.216997e-03
0.000000e+00,8.712895e-09,1.226287e-07,1.278420e-07,7.588471e-07,2.722678e-06,2.849378e-06,7.458910e-06,1.413975e-05,1.462100e-05,2.302787e-05,3.073218e-05,3.138264e-05,3.916700e-05,4.559176e-05,4.627146e-05,5.270304e-05,5.783385e-05,5.849676e-05,6.369349e-05,6.771649e-05,6.833422e-05,7.245854e-05,7.555157e-05,7.610421e-05,7.930695e-05,8.162642e-05,8.210051e-05,8.451653e-05,8.619751e-05,8.658467e-05,8.833264e-05,8.949046e-05,8.978625e-05,9.096966e-05,9.170229e-05,9.190544e-05,9.261456e-05,9.300488e-05,9.311648e-05,9.342936e-05,9.354706e-05,9.357000e-05,9.355402e-05,9.345744e-05,9.339589e-05,9.310904e-05,9.284683e-05,9.270589e-05,9.219795e-05,9.181050e-05,9.159586e-05,9.090946e-05,9.043014e-05,9.014784e-05,8.931941e-05,8.877564e-05,8.843190e-05,8.749247e-05,8.690665e-05,8.650769e-05,8.548363e-05,8.487389e-05,8.442586e-05,8.333949e-05,8.272041e-05,8.222924e-05,8.109942e-05,8.048258e-05,7.995397e-05,7.879652e-05,7.819101e-05,7.763037e-05,7.645854e-05,7.587136e-05,7.528377e-05,7.410856e-05,7.354498e-05,7.293519e-05,7.176570e-05,7.122956e-05,7.060196e-05,6.944564e-05,6.893960e-05,6.829825e-05,6.716114e-05,6.668692e-05,6.603552e-05,6.492247e-05,6.448099e-05,6.382294e-05,6.273776e-05,6.232931e-05,6.166767e-05,6.061331e-05,6.023770e-05,5.957523e-05,5.855389e-05,5.821053e-05,5.754970e-05,5.656298e-05,5.625097e-05,5.559399e-05,5.464294e-05,5.436115e-05,5.370998e-05,5.279522e-05,5.254236e-05,5.189872e-05,5.102049e-05,5.079515e-05,5.016054e-05,4.931880e-05,4.911948e-05,4.849520e-05,4.768965e-05,4.751483e-05,4.690200e-05,4.613212e-05,4.598026e-05,4.537983e-05,4.464495e-05,4.451451e-05,4.392728e-05,4.322660e-05,4.311605e-05,4.254268e-05,4.187529e-05,4.178316e-05,4.122418e-05,4.058910e-05,4.051395e-05,3.996978e-05,3.936597e-05,3.930643e-05,3.877738e-05,3.820375e-05,3.815850e-05,3.764480e-05,3.710026e-05,3.706804e-05,3.656983e-05,3.605324e-05,3.603286e-05,3.555022e-05,3.506047e-05,3.505081e-05,3.458372e-05,3.411970e-05,3.323739e-05,3.240177e-05,3.161075e-05,3.086231e-05,3.015449e-05,2.948536e-05,2.885308e-05,2.825585e-05,2.769195e-05,2.715973e-05,2.665758e-05,2.618399e-05,2.573748e-05,2.531666e-05,2.492020e-05,2.454681e-05,2.419527e-05,2.386443e-05,2.355318e-05,2.326047e-05,2.298528e-05,2.272669e-05,2.248377e-05,2.225567e-05,2.204157e-05,2.184070e-05,2.165233e-05,2.147576e-05,2.131033e-05,2.115541e-05,2.101042e-05,2.087478e-05,2.074798e-05,2.062950e-05,2.051887e-05,2.041564e-05,2.031938e-05,2.022970e-05,2.014620e-05,2.006854e-05,1.999636e-05,1.992935e-05,1.986720e-05,1.980962e-05,1.975635e-05,1.970712e-05,1.966170e-05,1.961985e-05,1.958135e-05
0.000000e+00,6.399288e-10,4.227104e-08,4.508770e-08,6.689306e-07,4.541404e-06,4.866469e-06,2.188203e-05,6.467999e-05,6.869425e-05,1.645320e-04,3.076883e-04,3.227962e-04,5.471032e-04,8.009475e-04,8.318295e-04,1.164836e-03,1.485512e-03,1.530587e-03,1.912793e-03,2.243025e-03,2.296279e-03,2.668108e-03,2.963897e-03,3.018089e-03,3.338859e-03,3.576692e-03,3.625675e-03,3.876057e-03,4.049652e-03,4.089369e-03,4.266388e-03,4.380401e-03,4.408917e-03,4.519445e-03,4.583817e-03,4.600867e-03,4.656264e-03,4.682328e-03,4.688736e-03,4.701288e-03,4.699583e-03,4.696740e-03,4.677687e-03,4.656984e-03,4.646471e-03,4.605174e-03,4.572275e-03,4.555621e-03,4.499397e-03,4.459304e-03,4.437862e-03,4.372174e-03,4.328414e-03,4.303313e-03,4.232101e-03,4.187074e-03,4.159223e-03,4.085247e-03,4.040534e-03,4.010643e-03,3.935797e-03,3.892402e-03,3.861024e-03,3.786580e-03,3.745115e-03,3.712674e-03,3.639474e-03,3.600289e-03,3.567116e-03,3.495707e-03,3.458979e-03,3.425334e-03,3.356063e-03,3.321859e-03,3.287949e-03,3.221030e-03,3.189343e-03,3.155338e-03,3.090894e-03,3.061673e-03,3.027713e-03,2.965804e-03,2.938969e-03,2.905172e-03,2.845816e-03,2.821267e-03,2.787735e-03,2.730921e-03,2.708549e-03,2.675368e-03,2.621065e-03,2.600755e-03,2.568001e-03,2.516162e-03,2.497798e-03,2.465536e-03,2.416106e-03,2.399570e-03,2.367857e-03,2.320773e-03,2.305949e-03,2.274835e-03,2.230027e-03,2.216802e-03,2.186330e-03,2.143725e-03,2.131989e-03,2.102195e-03,2.061721e-03,2.051368e-03,2.022282e-03,1.983861e-03,1.974790e-03,1.946439e-03,1.909995e-03,1.902107e-03,1.874512e-03,1.839970e-03,1.833173e-03,1.806351e-03,1.773635e-03,1.767841e-03,1.741805e-03,1.710842e-03,1.705967e-03,1.680727e-03,1.651443e-03,1.647409e-03,1.622972e-03,1.595297e-03,1.592028e-03,1.568400e-03,1.542264e-03,1.539691e-03,1.516872e-03,1.492209e-03,1.490267e-03,1.468257e-03,1.445000e-03,1.443627e-03,1.422424e-03,1.400512e-03,1.399649e-03,1.379250e-03,1.358622e-03,1.358216e-03,1.338614e-03,1.319211e-03,1.282525e-03,1.248051e-03,1.215687e-03,1.185336e-03,1.156901e-03,1.130293e-03,1.105424e-03,1.082212e-03,1.060575e-03,1.040437e-03,1.021723e-03,1.004364e-03,9.882915e-04,9.734399e-04,9.597470e-04,9.471530e-04,9.356005e-04,9.250344e-04,9.154021e-04,9.066528e-04,8.987381e-04,8.916114e-04,8.852281e-04,8.795455e-04,8.745226e-04,8.701202e-04,8.663005e-04,8.630276e-04,8.602669e-04,8.579854e-04,8.561514e-04,8.547346e-04,8.537061e-04,8.530382e-04,8.527044e-04,8.526796e-04,8.529396e-04,8.534614e-04,8.542231e-04,8.552040e-04,8.563842e-04,8.577448e-04,8.592681e-04,8.609369e-04,8.627353e-04,8.646480e-04,8.666608e-04,8.687601e-04,8.709331e-04
0.000000e+00,1.162802e-09,9.185205e-08,9.832197e-08,1.588999e-06,1.002093e-05,1.067883e-05,3.995342e-05,9.477964e-05,9.920604e-05,1.869363e-04,2.846852e-04,2.936568e-04,4.085210e-04,5.117192e-04,5.229656e-04,6.314981e-04,7.197343e-04,7.311763e-04,8.207930e-04,8.896730e-04,9.001830e-04,9.697472e-04,1.021076e-03,1.030158e-03,1.082192e-03,1.119165e-03,1.126640e-03,1.164262e-03,1.189924e-03,1.195767e-03,1.221807e-03,1.238707e-03,1.242973e-03,1.259800e-03,1.269984e-03,1.272769e-03,1.282312e-03,1.287398e-03,1.288817e-03,1.292631e-03,1.293886e-03,1.294064e-03,1.293396e-03,1.291811e-03,1.290874e-03,1.286721e-03,1.283068e-03,1.281136e-03,1.274296e-03,1.269172e-03,1.266360e-03,1.257469e-03,1.251338e-03,1.247751e-03,1.237317e-03,1.230534e-03,1.226269e-03,1.214695e-03,1.207533e-03,1.202678e-03,1.190286e-03,1.182954e-03,1.177585e-03,1.164631e-03,1.157286e-03,1.151475e-03,1.138160e-03,1.130919e-03,1.124728e-03,1.111213e-03,1.104163e-03,1.097646e-03,1.084057e-03,1.077261e-03,1.070469e-03,1.056903e-03,1.050406e-03,1.043381e-03,1.029917e-03,1.023748e-03,1.016528e-03,1.003227e-03,9.974048e-04,9.900241e-04,9.769305e-04,9.714658e-04,9.639545e-04,9.511037e-04,9.459999e-04,9.383845e-04,9.258026e-04,9.210584e-04,9.133626e-04,9.010685e-04,8.966790e-04,8.889237e-04,8.769309e-04,8.728884e-04,8.650923e-04,8.534097e-04,8.497044e-04,8.418842e-04,8.305169e-04,8.271377e-04,8.193084e-04,8.082589e-04,8.051935e-04,7.973684e-04,7.866369e-04,7.838727e-04,7.760638e-04,7.656487e-04,7.631724e-04,7.553906e-04,7.452888e-04,7.430873e-04,7.353422e-04,7.255497e-04,7.236096e-04,7.159101e-04,7.064220e-04,7.047301e-04,6.970840e-04,6.878948e-04,6.864382e-04,6.788527e-04,6.699563e-04,6.687224e-04,6.612040e-04,6.525941e-04,6.515704e-04,6.441249e-04,6.357949e-04,6.349695e-04,6.276023e-04,6.195453e-04,6.189066e-04,6.116224e-04,6.038318e-04,6.033685e-04,5.961717e-04,5.886404e-04,5.883418e-04,5.812362e-04,5.739574e-04,5.738131e-04,5.668023e-04,5.597692e-04,5.461967e-04,5.330827e-04,5.204143e-04,5.081789e-04,4.963639e-04,4.849573e-04,4.739471e-04,4.633217e-04,4.530697e-04,4.431800e-04,4.336417e-04,4.244444e-04,4.155776e-04,4.070315e-04,3.987962e-04,3.908623e-04,3.832204e-04,3.758618e-04,3.687775e-04,3.619592e-04,3.553985e-04,3.490875e-04,3.430183e-04,3.371835e-04,3.315755e-04,3.261874e-04,3.210121e-04,3.160429e-04,3.112733e-04,3.066968e-04,3.023073e-04,2.980988e-04,2.940655e-04,2.902017e-04,2.865018e-04,2.829607e-04,2.795729e-04,2.763336e-04,2.732379e-04,2.702809e-04,2.674581e-04,2.647649e-04,2.621970e-04,2.597503e-04,2.574205e-04,2.552037e-04,2.530960e-04,2.510937e-04,2.491930e-04
0.000000e+00,4.169326e-10,7.209831e-09,7.545884e-09,4.702962e-08,1.460620e-07,1.515893e-07,3.126369e-07,4.728642e-07,4.826589e-07,6.341678e-07,7.531651e-07,7.626205e-07,8.696662e-07,9.498577e-07,9.579097e-07,1.029870e-06,1.081516e-06,1.087793e-06,1.133649e-06,1.164745e-06,1.169149e-06,1.195780e-06,1.212245e-06,1.214832e-06,1.227420e-06,1.233597e-06,1.234505e-06,1.236923e-06,1.235985e-06,1.235395e-06,1.230544e-06,1.224801e-06,1.222906e-06,1.212943e-06,1.204062e-06,1.201051e-06,1.187573e-06,1.176752e-06,1.172802e-06,1.156987e-06,1.145078e-06,1.140346e-06,1.123061e-06,1.110664e-06,1.105290e-06,1.087168e-06,1.074702e-06,1.068807e-06,1.050307e-06,1.038060e-06,1.031748e-06,1.013200e-06,1.001363e-06,9.947224e-07,9.763637e-07,9.650594e-07,9.581651e-07,9.401605e-07,9.294628e-07,9.223780e-07,9.048407e-07,8.947888e-07,8.875670e-07,8.705718e-07,8.611805e-07,8.538666e-07,8.374602e-07,8.287273e-07,8.213590e-07,8.055676e-07,7.974794e-07,7.900887e-07,7.749235e-07,7.674587e-07,7.600722e-07,7.455339e-07,7.386662e-07,7.313068e-07,7.173883e-07,7.110887e-07,7.037755e-07,6.904646e-07,6.847025e-07,6.774517e-07,6.647324e-07,6.594767e-07,6.523020e-07,6.401557e-07,6.353757e-07,6.282886e-07,6.166956e-07,6.123610e-07,6.053714e-07,5.943109e-07,5.903926e-07,5.835087e-07,5.729597e-07,5.694297e-07,5.626584e-07,5.525997e-07,5.494313e-07,5.427784e-07,5.331893e-07,5.303571e-07,5.238273e-07,5.146875e-07,5.121674e-07,5.057647e-07,4.970543e-07,4.948237e-07,4.885512e-07,4.802509e-07,4.782885e-07,4.721487e-07,4.642400e-07,4.625256e-07,4.565204e-07,4.489855e-07,4.475003e-07,4.416310e-07,4.344526e-07,4.331789e-07,4.274464e-07,4.206083e-07,4.195295e-07,4.139343e-07,4.074205e-07,4.065212e-07,4.010633e-07,3.948589e-07,3.941244e-07,3.888037e-07,3.828942e-07,3.823111e-07,3.771269e-07,3.714985e-07,3.710542e-07,3.660058e-07,3.606454e-07,3.603279e-07,3.554143e-07,3.503093e-07,3.501077e-07,3.453275e-07,3.404660e-07,3.403700e-07,3.357219e-07,3.310924e-07,3.222535e-07,3.138329e-07,3.058110e-07,2.981693e-07,2.908899e-07,2.839561e-07,2.773516e-07,2.710611e-07,2.650698e-07,2.593638e-07,2.539298e-07,2.487549e-07,2.438270e-07,2.391347e-07,2.346668e-07,2.304128e-07,2.263628e-07,2.225070e-07,2.188365e-07,2.153425e-07,2.120167e-07,2.088512e-07,2.058386e-07,2.029716e-07,2.002433e-07,1.976473e-07,1.951774e-07,1.928275e-07,1.905921e-07,1.884658e-07,1.864434e-07,1.845200e-07,1.826910e-07,1.809520e-07,1.792985e-07,1.777268e-07,1.762328e-07,1.748129e-07,1.734636e-07,1.721816e-07,1.709637e-07,1.698069e-07,1.687082e-07,1.676650e-07,1.666745e-07,1.657344e-07,1.648421e-07,1.639955e-07,1.631924e-07
0.000000e+00,1.781493e-08,3.305827e-07,3.461903e-07,2.342950e-06,8.353449e-06,8.725397e-06,2.132960e-05,3.756564e-05,3.867710e-05,5.744269e-05,7.419329e-05,7.560540e-05,9.257665e-05,1.067532e-04,1.082647e-04,1.226993e-04,1.344105e-04,1.359381e-04,1.480451e-04,1.576007e-04,1.590843e-04,1.691180e-04,1.768134e-04,1.782065e-04,1.864076e-04,1.925089e-04,1.937763e-04,2.003650e-04,2.051079e-04,2.062234e-04,2.113989e-04,2.149905e-04,2.159361e-04,2.198775e-04,2.224991e-04,2.232630e-04,2.261306e-04,2.279402e-04,2.285159e-04,2.304525e-04,2.315869e-04,2.319721e-04,2.331048e-04,2.336826e-04,2.338786e-04,2.343201e-04,2.344432e-04,2.344542e-04,2.343043e-04,2.340607e-04,2.338926e-04,2.332398e-04,2.327046e-04,2.323654e-04,2.312877e-04,2.305250e-04,2.300239e-04,2.285900e-04,2.276544e-04,2.270013e-04,2.252719e-04,2.242096e-04,2.234150e-04,2.214432e-04,2.202931e-04,2.193680e-04,2.172004e-04,2.159951e-04,2.149506e-04,2.126280e-04,2.113946e-04,2.102417e-04,2.077998e-04,2.065604e-04,2.053100e-04,2.027798e-04,2.015528e-04,2.002156e-04,1.976238e-04,1.964240e-04,1.950103e-04,1.923803e-04,1.912192e-04,1.897389e-04,1.870907e-04,1.859775e-04,1.844401e-04,1.817909e-04,1.807325e-04,1.791469e-04,1.765114e-04,1.755128e-04,1.738875e-04,1.712781e-04,1.703428e-04,1.686858e-04,1.661130e-04,1.652431e-04,1.635618e-04,1.610344e-04,1.602309e-04,1.585323e-04,1.560574e-04,1.553204e-04,1.536110e-04,1.511945e-04,1.505234e-04,1.488091e-04,1.464558e-04,1.458493e-04,1.441354e-04,1.418490e-04,1.413053e-04,1.395970e-04,1.373802e-04,1.368973e-04,1.351991e-04,1.330540e-04,1.326293e-04,1.309453e-04,1.288732e-04,1.285042e-04,1.268380e-04,1.248398e-04,1.245235e-04,1.228787e-04,1.209546e-04,1.206882e-04,1.190675e-04,1.172174e-04,1.169979e-04,1.154042e-04,1.136275e-04,1.134519e-04,1.118873e-04,1.101833e-04,1.100486e-04,1.085153e-04,1.068828e-04,1.067860e-04,1.052857e-04,1.037235e-04,1.036618e-04,1.021960e-04,1.007026e-04,1.006731e-04,9.924305e-05,9.781687e-05,9.508981e-05,9.248841e-05,9.000905e-05,8.764798e-05,8.540142e-05,8.326551e-05,8.123642e-05,7.931029e-05,7.748329e-05,7.575165e-05,7.411163e-05,7.255957e-05,7.109188e-05,6.970505e-05,6.839564e-05,6.716032e-05,6.599586e-05,6.489910e-05,6.386700e-05,6.289661e-05,6.198508e-05,6.112967e-05,6.032771e-05,5.957667e-05,5.887408e-05,5.821757e-05,5.760488e-05,5.703383e-05,5.650231e-05,5.600834e-05,5.554997e-05,5.512538e-05,5.473279e-05,5.437053e-05,5.403697e-05,5.373058e-05,5.344989e-05,5.319347e-05,5.296000e-05,5.274819e-05,5.255681e-05,5.238469e-05,5.223074e-05,5.209388e-05,5.197310e-05,5.186746e-05,5.177602e-05,5.169792e-05,5.163234e-05
0.000000e+00,5.178617e-10,3.466980e-08,3.699814e-08,5.689921e-07,4.038804e-06,4.335867e-06,2.033057e-05,6.191800e-05,6.586664e-05,1.614142e-04,3.069922e-04,3.225038e-04,5.555434e-04,8.247916e-04,8.579226e-04,1.220240e-03,1.578015e-03,1.629026e-03,2.069151e-03,2.461264e-03,2.525625e-03,2.984790e-03,3.363961e-03,3.434971e-03,3.866749e-03,4.201981e-03,4.272959e-03,4.648520e-03,4.924660e-03,4.990176e-03,5.296200e-03,5.509812e-03,5.566102e-03,5.800350e-03,5.955241e-03,6.000128e-03,6.167127e-03,6.270789e-03,6.303379e-03,6.411117e-03,6.472337e-03,6.492667e-03,6.550371e-03,6.577807e-03,6.586523e-03,6.603331e-03,6.604783e-03,6.602885e-03,6.587145e-03,6.569265e-03,6.557925e-03,6.516895e-03,6.485148e-03,6.465579e-03,6.405365e-03,6.364118e-03,6.337505e-03,6.263131e-03,6.215805e-03,6.183255e-03,6.098785e-03,6.048009e-03,6.010528e-03,5.919204e-03,5.866965e-03,5.825452e-03,5.729837e-03,5.677608e-03,5.632858e-03,5.534955e-03,5.483811e-03,5.436516e-03,5.337879e-03,5.288581e-03,5.239342e-03,5.141164e-03,5.094234e-03,5.043571e-03,4.946756e-03,4.902531e-03,4.850890e-03,4.756117e-03,4.714795e-03,4.662560e-03,4.570324e-03,4.532001e-03,4.479498e-03,4.390155e-03,4.354847e-03,4.302355e-03,4.216147e-03,4.183814e-03,4.131570e-03,4.048654e-03,4.019215e-03,3.967420e-03,3.887883e-03,3.861229e-03,3.810052e-03,3.733929e-03,3.709931e-03,3.659515e-03,3.586801e-03,3.565318e-03,3.515780e-03,3.446439e-03,3.427322e-03,3.378761e-03,3.312731e-03,3.295830e-03,3.248328e-03,3.185530e-03,3.170695e-03,3.124316e-03,3.064660e-03,3.051743e-03,3.006539e-03,2.949925e-03,2.938781e-03,2.894794e-03,2.841117e-03,2.831607e-03,2.788866e-03,2.738016e-03,2.730008e-03,2.688537e-03,2.640401e-03,2.633768e-03,2.593581e-03,2.548048e-03,2.542669e-03,2.503775e-03,2.460734e-03,2.456497e-03,2.418898e-03,2.378238e-03,2.375036e-03,2.338730e-03,2.300345e-03,2.298077e-03,2.263057e-03,2.226842e-03,2.225415e-03,2.191673e-03,2.157525e-03,2.156852e-03,2.124373e-03,2.092194e-03,2.031255e-03,1.973854e-03,1.919819e-03,1.868983e-03,1.821187e-03,1.776277e-03,1.734109e-03,1.694540e-03,1.657439e-03,1.622677e-03,1.590132e-03,1.559689e-03,1.531236e-03,1.504668e-03,1.479884e-03,1.456789e-03,1.435290e-03,1.415303e-03,1.396742e-03,1.379531e-03,1.363594e-03,1.348859e-03,1.335260e-03,1.322731e-03,1.311212e-03,1.300645e-03,1.290973e-03,1.282144e-03,1.274109e-03,1.266820e-03,1.260231e-03,1.254300e-03,1.248987e-03,1.244252e-03,1.240059e-03,1.236373e-03,1.233162e-03,1.230393e-03,1.228038e-03,1.226068e-03,1.224456e-03,1.223178e-03,1.222209e-03,1.221526e-03,1.221109e-03,1.220937e-03,1.220991e-03,1.221253e-03,1.221706e-03
0.000000e+00,3.311012e-09,1.719949e-07,1.827345e-07,2.242231e-06,1.246357e-05,1.323816e-05,4.729256e-05,1.116291e-04,1.168543e-04,2.200501e-04,3.318813e-04,3.419076e-04,4.663607e-04,5.719963e-04,5.831694e-04,6.877888e-04,7.688250e-04,7.790837e-04,8.575043e-04,9.154390e-04,9.240934e-04,9.800394e-04,1.019662e-03,1.026505e-03,1.064565e-03,1.090190e-03,1.095195e-03,1.119270e-03,1.134341e-03,1.137575e-03,1.150808e-03,1.158014e-03,1.159595e-03,1.164490e-03,1.165913e-03,1.165987e-03,1.164527e-03,1.161773e-03,1.160499e-03,1.154249e-03,1.148546e-03,1.146083e-03,1.136274e-03,1.128560e-03,1.125062e-03,1.112661e-03,1.103645e-03,1.099258e-03,1.085021e-03,1.075241e-03,1.070098e-03,1.054617e-03,1.044471e-03,1.038694e-03,1.022429e-03,1.012211e-03,1.005909e-03,9.892135e-04,9.791402e-04,9.724095e-04,9.555564e-04,9.457798e-04,9.387059e-04,9.219030e-04,9.125291e-04,9.051869e-04,8.885914e-04,8.796904e-04,8.721455e-04,8.558741e-04,8.474890e-04,8.397983e-04,8.239360e-04,8.160899e-04,8.083025e-04,7.929102e-04,7.856107e-04,7.777694e-04,7.628885e-04,7.561323e-04,7.482738e-04,7.339305e-04,7.277063e-04,7.198621e-04,7.060713e-04,7.003623e-04,6.925594e-04,6.793269e-04,6.741122e-04,6.663737e-04,6.536987e-04,6.489549e-04,6.413004e-04,6.291768e-04,6.248791e-04,6.173253e-04,6.057432e-04,6.018660e-04,5.944271e-04,5.833735e-04,5.798913e-04,5.725789e-04,5.620393e-04,5.589265e-04,5.517506e-04,5.417086e-04,5.389405e-04,5.319091e-04,5.223478e-04,5.199003e-04,5.130202e-04,5.039219e-04,5.017719e-04,4.950484e-04,4.863953e-04,4.845207e-04,4.779580e-04,4.697323e-04,4.681121e-04,4.617135e-04,4.538974e-04,4.525116e-04,4.462795e-04,4.388556e-04,4.376855e-04,4.316214e-04,4.245728e-04,4.236006e-04,4.177056e-04,4.110156e-04,4.102246e-04,4.044990e-04,3.981517e-04,3.975262e-04,3.919699e-04,3.859498e-04,3.854750e-04,3.800875e-04,3.743796e-04,3.740419e-04,3.688222e-04,3.634120e-04,3.631986e-04,3.581455e-04,3.530192e-04,3.529181e-04,3.480298e-04,3.431742e-04,3.339420e-04,3.251976e-04,3.169181e-04,3.090814e-04,3.016668e-04,2.946540e-04,2.880239e-04,2.817582e-04,2.758394e-04,2.702508e-04,2.649765e-04,2.600012e-04,2.553105e-04,2.508903e-04,2.467276e-04,2.428097e-04,2.391246e-04,2.356607e-04,2.324071e-04,2.293533e-04,2.264894e-04,2.238059e-04,2.212936e-04,2.189440e-04,2.167487e-04,2.146999e-04,2.127901e-04,2.110122e-04,2.093593e-04,2.078249e-04,2.064027e-04,2.050870e-04,2.038720e-04,2.027524e-04,2.017230e-04,2.007790e-04,1.999156e-04,1.991286e-04,1.984136e-04,1.977666e-04,1.971838e-04,1.966615e-04,1.961963e-04,1.957849e-04,1.954240e-04,1.951107e-04,1.948421e-04,1.946155e-04,1.944283e-04
0.000000e+00,7.992080e-09,1.600226e-07,1.680169e-07,1.226234e-06,4.220495e-06,4.391221e-06,9.287555e-06,1.410963e-05,1.440959e-05,1.920576e-05,2.326051e-05,2.359694e-05,2.759122e-05,3.086540e-05,3.121126e-05,3.448137e-05,3.708838e-05,3.742516e-05,4.006519e-05,4.210907e-05,4.242293e-05,4.451879e-05,4.609111e-05,4.637211e-05,4.800117e-05,4.918176e-05,4.942318e-05,5.065427e-05,5.151187e-05,5.170956e-05,5.260321e-05,5.319653e-05,5.334836e-05,5.395723e-05,5.433582e-05,5.444114e-05,5.481064e-05,5.501620e-05,5.507551e-05,5.524481e-05,5.531227e-05,5.532694e-05,5.532967e-05,5.528822e-05,5.526020e-05,5.512516e-05,5.499904e-05,5.493070e-05,5.468251e-05,5.449183e-05,5.438583e-05,5.404550e-05,5.380686e-05,5.366599e-05,5.325141e-05,5.297845e-05,5.280558e-05,5.233198e-05,5.203586e-05,5.183386e-05,5.131416e-05,5.100394e-05,5.077563e-05,5.022078e-05,4.990381e-05,4.965192e-05,4.907117e-05,4.875331e-05,4.848047e-05,4.788160e-05,4.756751e-05,4.727620e-05,4.666577e-05,4.635910e-05,4.605167e-05,4.543515e-05,4.513870e-05,4.481735e-05,4.419932e-05,4.391520e-05,4.358198e-05,4.296621e-05,4.269596e-05,4.235277e-05,4.174238e-05,4.148708e-05,4.113568e-05,4.053322e-05,4.029355e-05,3.993554e-05,3.934309e-05,3.911941e-05,3.875628e-05,3.817549e-05,3.796794e-05,3.760103e-05,3.703320e-05,3.684169e-05,3.647224e-05,3.591838e-05,3.574268e-05,3.537181e-05,3.483267e-05,3.467241e-05,3.430112e-05,3.377727e-05,3.363198e-05,3.326120e-05,3.275298e-05,3.262214e-05,3.225268e-05,3.176032e-05,3.164335e-05,3.127594e-05,3.079954e-05,3.069581e-05,3.033112e-05,2.987067e-05,2.977953e-05,2.941816e-05,2.897355e-05,2.889436e-05,2.853681e-05,2.810788e-05,2.803997e-05,2.768671e-05,2.727324e-05,2.721597e-05,2.686740e-05,2.646912e-05,2.642183e-05,2.607832e-05,2.569491e-05,2.565697e-05,2.531882e-05,2.494995e-05,2.492075e-05,2.458822e-05,2.423354e-05,2.421248e-05,2.388581e-05,2.354493e-05,2.353144e-05,2.321082e-05,2.288336e-05,2.287688e-05,2.256247e-05,2.224804e-05,2.164415e-05,2.106443e-05,2.050811e-05,1.997442e-05,1.946261e-05,1.897191e-05,1.850160e-05,1.805096e-05,1.761927e-05,1.720585e-05,1.681003e-05,1.643116e-05,1.606860e-05,1.572174e-05,1.538999e-05,1.507275e-05,1.476949e-05,1.447966e-05,1.420273e-05,1.393820e-05,1.368560e-05,1.344444e-05,1.321428e-05,1.299468e-05,1.278522e-05,1.258550e-05,1.239513e-05,1.221372e-05,1.204093e-05,1.187640e-05,1.171979e-05,1.157080e-05,1.142909e-05,1.129439e-05,1.116640e-05,1.104484e-05,1.092945e-05,1.081997e-05,1.071616e-05,1.061778e-05,1.052461e-05,1.043643e-05,1.035302e-05,1.027419e-05,1.019974e-05,1.012949e-05,1.006326e-05,1.000086e-05,9.942152e-06
0.000000e+00,5.060158e-09,1.916505e-07,2.024983e-07,1.973172e-06,9.363230e-06,9.889404e-06,3.128400e-05,6.752248e-05,7.032237e-05,1.226708e-04,1.750495e-04,1.796024e-04,2.350594e-04,2.816864e-04,2.866483e-04,3.338243e-04,3.717511e-04,3.766722e-04,4.154442e-04,4.457447e-04,4.504241e-04,4.818897e-04,5.057980e-04,5.101042e-04,5.353151e-04,5.539093e-04,5.577535e-04,5.776351e-04,5.918351e-04,5.951609e-04,6.105179e-04,6.211027e-04,6.238795e-04,6.354068e-04,6.430331e-04,6.452492e-04,6.535450e-04,6.587638e-04,6.604221e-04,6.659990e-04,6.692709e-04,6.703850e-04,6.736812e-04,6.753904e-04,6.759811e-04,6.773708e-04,6.778369e-04,6.779301e-04,6.777325e-04,6.772206e-04,6.768457e-04,6.753324e-04,6.740620e-04,6.732504e-04,6.706528e-04,6.688050e-04,6.675887e-04,6.641035e-04,6.618276e-04,6.602388e-04,6.560330e-04,6.534515e-04,6.515217e-04,6.467373e-04,6.439501e-04,6.417100e-04,6.364672e-04,6.335557e-04,6.310346e-04,6.254354e-04,6.224652e-04,6.196912e-04,6.138216e-04,6.108456e-04,6.078449e-04,6.017777e-04,5.988378e-04,5.956353e-04,5.894317e-04,5.865611e-04,5.831798e-04,5.768914e-04,5.741157e-04,5.705772e-04,5.642471e-04,5.615860e-04,5.579102e-04,5.515745e-04,5.490423e-04,5.452476e-04,5.389364e-04,5.365435e-04,5.326470e-04,5.263851e-04,5.241386e-04,5.201558e-04,5.139638e-04,5.118678e-04,5.078132e-04,5.017078e-04,4.997642e-04,4.956511e-04,4.896459e-04,4.878549e-04,4.836952e-04,4.778013e-04,4.761615e-04,4.719663e-04,4.661922e-04,4.647012e-04,4.604807e-04,4.548332e-04,4.534874e-04,4.492509e-04,4.437350e-04,4.425305e-04,4.382863e-04,4.329057e-04,4.318378e-04,4.275938e-04,4.223510e-04,4.214147e-04,4.171778e-04,4.120744e-04,4.112644e-04,4.070410e-04,4.020777e-04,4.013884e-04,3.971845e-04,3.923613e-04,3.917872e-04,3.876079e-04,3.829243e-04,3.824598e-04,3.783101e-04,3.737650e-04,3.734043e-04,3.692886e-04,3.648806e-04,3.646183e-04,3.605405e-04,3.562678e-04,3.560983e-04,3.520621e-04,3.479228e-04,3.478407e-04,3.438493e-04,3.398411e-04,3.320951e-04,3.245978e-04,3.173442e-04,3.103290e-04,3.035469e-04,2.969926e-04,2.906607e-04,2.845457e-04,2.786422e-04,2.729448e-04,2.674482e-04,2.621470e-04,2.570361e-04,2.521103e-04,2.473645e-04,2.427937e-04,2.383931e-04,2.341578e-04,2.300832e-04,2.261646e-04,2.223976e-04,2.187777e-04,2.153007e-04,2.119623e-04,2.087585e-04,2.056852e-04,2.027385e-04,1.999147e-04,1.972099e-04,1.946206e-04,1.921432e-04,1.897743e-04,1.875105e-04,1.853485e-04,1.832851e-04,1.813173e-04,1.794419e-04,1.776560e-04,1.759567e-04,1.743413e-04,1.728069e-04,1.713509e-04,1.699707e-04,1.686637e-04,1.674275e-04,1.662597e-04,1.651579e-04,1.641198e-04,1.631433e-04
0.000000e+00,2.214167e-09,2.385868e-08,2.478727e-08,1.236841e-07,3.771418e-07,3.922348e-07,8.988611e-07,1.580397e-06,1.629195e-06,2.500858e-06,3.345237e-06,3.418486e-06,4.313884e-06,5.073573e-06,5.154845e-06,5.931833e-06,6.562222e-06,6.644398e-06,7.294984e-06,7.807397e-06,7.886851e-06,8.423411e-06,8.833850e-06,8.908037e-06,9.344001e-06,9.667376e-06,9.734427e-06,1.008230e-05,1.033185e-05,1.039043e-05,1.066152e-05,1.084887e-05,1.089807e-05,1.110249e-05,1.123774e-05,1.127701e-05,1.142377e-05,1.151567e-05,1.154475e-05,1.164183e-05,1.169792e-05,1.171678e-05,1.177125e-05,1.179803e-05,1.180680e-05,1.182489e-05,1.182792e-05,1.182690e-05,1.181410e-05,1.179814e-05,1.178771e-05,1.174885e-05,1.171793e-05,1.169859e-05,1.163790e-05,1.159546e-05,1.156773e-05,1.148893e-05,1.143786e-05,1.140232e-05,1.130866e-05,1.125138e-05,1.120864e-05,1.110294e-05,1.104149e-05,1.099216e-05,1.087688e-05,1.081295e-05,1.075764e-05,1.063493e-05,1.056990e-05,1.050921e-05,1.038092e-05,1.031593e-05,1.025045e-05,1.011819e-05,1.005416e-05,9.984458e-06,9.849589e-06,9.787249e-06,9.713875e-06,9.577586e-06,9.517503e-06,9.440976e-06,9.304276e-06,9.246887e-06,9.167699e-06,9.031442e-06,8.977070e-06,8.895685e-06,8.760594e-06,8.709465e-06,8.626317e-06,8.492993e-06,8.445254e-06,8.360747e-06,8.229692e-06,8.185423e-06,8.099931e-06,7.971557e-06,7.930783e-06,7.844652e-06,7.719291e-06,7.681994e-06,7.595540e-06,7.473457e-06,7.439580e-06,7.353095e-06,7.234497e-06,7.203955e-06,7.117701e-06,7.002742e-06,6.975428e-06,6.889644e-06,6.778432e-06,6.754220e-06,6.669122e-06,6.561728e-06,6.540480e-06,6.456260e-06,6.352724e-06,6.334292e-06,6.251122e-06,6.151455e-06,6.135688e-06,6.053720e-06,5.957910e-06,5.944650e-06,5.864018e-06,5.772032e-06,5.761122e-06,5.681942e-06,5.593731e-06,5.585013e-06,5.507385e-06,5.422885e-06,5.416204e-06,5.340213e-06,5.259350e-06,5.254555e-06,5.180274e-06,5.102962e-06,5.099905e-06,5.027391e-06,4.953539e-06,4.952080e-06,4.881384e-06,4.810898e-06,4.676165e-06,4.547678e-06,4.425231e-06,4.308613e-06,4.197616e-06,4.092031e-06,3.991652e-06,3.896272e-06,3.805691e-06,3.719710e-06,3.638134e-06,3.560775e-06,3.487448e-06,3.417974e-06,3.352181e-06,3.289900e-06,3.230970e-06,3.175233e-06,3.122541e-06,3.072747e-06,3.025712e-06,2.981304e-06,2.939393e-06,2.899857e-06,2.862577e-06,2.827443e-06,2.794345e-06,2.763181e-06,2.733853e-06,2.706266e-06,2.680332e-06,2.655965e-06,2.633084e-06,2.611610e-06,2.591471e-06,2.572597e-06,2.554919e-06,2.538375e-06,2.522904e-06,2.508448e-06,2.494953e-06,2.482367e-06,2.470640e-06,2.459726e-06,2.449580e-06,2.440159e-06,2.431424e-06,2.423337e-06,2.415860e-06
0.000000e+00,4.705311e-10,4.574014e-08,4.915965e-08,9.600784e-07,7.083988e-06,7.594659e-06,3.282185e-05,8.938785e-05,9.441701e-05,2.077473e-04,3.654067e-04,3.816265e-04,6.177061e-04,8.798952e-04,9.116810e-04,1.255097e-03,1.589635e-03,1.637132e-03,2.046064e-03,2.410450e-03,2.470370e-03,2.899450e-03,3.256754e-03,3.324053e-03,3.736476e-03,4.061228e-03,4.130592e-03,4.501772e-03,4.779964e-03,4.846746e-03,5.163419e-03,5.390039e-03,5.450690e-03,5.708266e-03,5.884359e-03,5.936495e-03,6.136214e-03,6.266344e-03,6.308619e-03,6.455159e-03,6.545549e-03,6.577439e-03,6.677159e-03,6.734464e-03,6.756045e-03,6.815816e-03,6.846398e-03,6.858145e-03,6.884637e-03,6.894193e-03,6.896821e-03,6.896130e-03,6.889553e-03,6.883902e-03,6.861376e-03,6.842743e-03,6.829694e-03,6.789902e-03,6.762537e-03,6.742959e-03,6.689733e-03,6.656299e-03,6.631017e-03,6.567526e-03,6.530130e-03,6.499908e-03,6.428746e-03,6.389033e-03,6.354567e-03,6.277845e-03,6.237086e-03,6.199003e-03,6.118425e-03,6.077593e-03,6.036452e-03,5.953390e-03,5.913216e-03,5.869515e-03,5.785071e-03,5.746097e-03,5.700278e-03,5.615330e-03,5.577950e-03,5.530402e-03,5.445649e-03,5.410138e-03,5.361208e-03,5.277202e-03,5.243745e-03,5.193738e-03,5.110911e-03,5.079622e-03,5.028807e-03,4.947498e-03,4.918435e-03,4.867050e-03,4.787519e-03,4.760696e-03,4.708953e-03,4.631395e-03,4.606795e-03,4.554880e-03,4.479439e-03,4.457020e-03,4.405098e-03,4.331877e-03,4.311578e-03,4.259793e-03,4.188860e-03,4.170607e-03,4.119088e-03,4.050484e-03,4.034193e-03,3.983053e-03,3.916797e-03,3.902378e-03,3.851716e-03,3.787808e-03,3.775167e-03,3.725070e-03,3.663497e-03,3.652537e-03,3.603082e-03,3.543818e-03,3.534442e-03,3.485696e-03,3.428707e-03,3.420819e-03,3.372840e-03,3.318084e-03,3.311588e-03,3.264427e-03,3.211857e-03,3.206659e-03,3.160361e-03,3.109926e-03,3.105936e-03,3.060537e-03,3.012182e-03,3.009313e-03,2.964846e-03,2.918514e-03,2.916681e-03,2.873172e-03,2.828805e-03,2.827928e-03,2.785399e-03,2.742938e-03,2.661597e-03,2.583790e-03,2.509402e-03,2.438318e-03,2.370428e-03,2.305620e-03,2.243787e-03,2.184823e-03,2.128625e-03,2.075091e-03,2.024124e-03,1.975628e-03,1.929512e-03,1.885684e-03,1.844059e-03,1.804551e-03,1.767079e-03,1.731564e-03,1.697930e-03,1.666102e-03,1.636009e-03,1.607581e-03,1.580753e-03,1.555459e-03,1.531637e-03,1.509227e-03,1.488171e-03,1.468411e-03,1.449895e-03,1.432570e-03,1.416385e-03,1.401291e-03,1.387240e-03,1.374188e-03,1.362090e-03,1.350904e-03,1.340588e-03,1.331102e-03,1.322410e-03,1.314472e-03,1.307255e-03,1.300722e-03,1.294841e-03,1.289580e-03,1.284906e-03,1.280792e-03,1.277206e-03,1.274122e-03,1.271513e-03
0.000000e+00,1.598219e-08,3.010525e-07,3.153614e-07,2.076910e-06,6.957707e-06,7.247471e-06,1.653647e-05,2.744170e-05,2.815925e-05,3.997593e-05,5.028250e-05,5.114663e-05,6.149883e-05,7.011131e-05,7.102804e-05,7.976747e-05,8.683751e-05,8.775829e-05,9.504282e-05,1.007744e-04,1.016628e-04,1.076588e-04,1.122423e-04,1.130704e-04,1.179352e-04,1.215415e-04,1.222890e-04,1.261661e-04,1.289463e-04,1.295987e-04,1.326174e-04,1.347030e-04,1.352507e-04,1.375259e-04,1.390312e-04,1.394684e-04,1.411020e-04,1.421253e-04,1.424492e-04,1.435311e-04,1.441569e-04,1.443674e-04,1.449765e-04,1.452771e-04,1.453759e-04,1.455817e-04,1.456190e-04,1.456092e-04,1.454726e-04,1.452990e-04,1.451851e-04,1.447593e-04,1.444195e-04,1.442067e-04,1.435381e-04,1.430699e-04,1.427639e-04,1.418933e-04,1.413284e-04,1.409352e-04,1.398980e-04,1.392632e-04,1.387892e-04,1.376161e-04,1.369336e-04,1.363854e-04,1.351032e-04,1.343914e-04,1.337753e-04,1.324071e-04,1.316814e-04,1.310037e-04,1.295696e-04,1.288425e-04,1.281093e-04,1.266266e-04,1.259081e-04,1.251254e-04,1.236090e-04,1.229073e-04,1.220807e-04,1.205434e-04,1.198649e-04,1.189998e-04,1.174525e-04,1.168021e-04,1.159038e-04,1.143557e-04,1.137372e-04,1.128104e-04,1.112695e-04,1.106854e-04,1.097347e-04,1.082076e-04,1.076600e-04,1.066895e-04,1.051818e-04,1.046717e-04,1.036855e-04,1.022017e-04,1.017297e-04,1.007314e-04,9.927534e-05,9.884143e-05,9.783438e-05,9.640920e-05,9.601306e-05,9.500039e-05,9.360851e-05,9.324946e-05,9.223404e-05,9.087740e-05,9.055450e-05,8.953896e-05,8.821902e-05,8.793115e-05,8.691786e-05,8.563569e-05,8.538155e-05,8.437270e-05,8.312903e-05,8.290723e-05,8.190478e-05,8.070003e-05,8.050908e-05,7.951482e-05,7.834917e-05,7.818754e-05,7.720307e-05,7.607649e-05,7.594261e-05,7.496937e-05,7.388164e-05,7.377393e-05,7.281320e-05,7.176395e-05,7.168084e-05,7.073376e-05,6.972250e-05,6.966242e-05,6.873001e-05,6.775614e-05,6.771757e-05,6.680070e-05,6.586352e-05,6.584496e-05,6.494440e-05,6.404316e-05,6.231061e-05,6.064566e-05,5.904660e-05,5.751166e-05,5.603904e-05,5.462691e-05,5.327346e-05,5.197684e-05,5.073522e-05,4.954681e-05,4.840981e-05,4.732246e-05,4.628303e-05,4.528982e-05,4.434117e-05,4.343545e-05,4.257108e-05,4.174652e-05,4.096027e-05,4.021085e-05,3.949686e-05,3.881693e-05,3.816971e-05,3.755391e-05,3.696829e-05,3.641164e-05,3.588278e-05,3.538059e-05,3.490397e-05,3.445187e-05,3.402327e-05,3.361719e-05,3.323268e-05,3.286883e-05,3.252476e-05,3.219961e-05,3.189257e-05,3.160285e-05,3.132970e-05,3.107237e-05,3.083017e-05,3.060242e-05,3.038846e-05,3.018767e-05,2.999944e-05,2.982319e-05,2.965836e-05,2.950442e-05,2.936085e-05
0.000000e+00,5.188841e-10,3.816632e-08,4.079837e-08,6.602707e-07,4.667180e-06,5.005929e-06,2.272739e-05,6.688818e-05,7.101386e-05,1.695296e-04,3.183762e-04,3.342524e-04,5.742430e-04,8.560645e-04,8.911176e-04,1.280046e-03,1.674334e-03,1.731389e-03,2.232437e-03,2.692267e-03,2.768976e-03,3.326554e-03,3.801088e-03,3.891427e-03,4.451194e-03,4.898845e-03,4.995179e-03,5.514604e-03,5.907786e-03,6.002606e-03,6.454146e-03,6.778808e-03,6.865845e-03,7.235782e-03,7.488543e-03,7.563272e-03,7.848647e-03,8.033352e-03,8.093040e-03,8.298200e-03,8.422838e-03,8.466315e-03,8.599870e-03,8.674215e-03,8.701524e-03,8.774008e-03,8.808029e-03,8.820050e-03,8.842313e-03,8.845225e-03,8.843347e-03,8.825564e-03,8.805354e-03,8.791214e-03,8.742372e-03,8.705654e-03,8.680940e-03,8.608644e-03,8.560706e-03,8.527041e-03,8.437525e-03,8.382477e-03,8.341342e-03,8.239595e-03,8.180555e-03,8.133260e-03,8.023197e-03,7.962483e-03,7.910162e-03,7.794814e-03,7.734114e-03,7.677731e-03,7.559417e-03,7.499937e-03,7.440308e-03,7.320786e-03,7.263366e-03,7.201179e-03,7.081774e-03,7.026984e-03,6.962816e-03,6.844521e-03,6.792728e-03,6.727070e-03,6.610624e-03,6.562050e-03,6.495318e-03,6.381269e-03,6.336024e-03,6.268577e-03,6.157327e-03,6.115445e-03,6.047592e-03,5.939433e-03,5.900892e-03,5.832903e-03,5.728043e-03,5.692778e-03,5.624890e-03,5.523469e-03,5.491385e-03,5.423805e-03,5.325912e-03,5.296892e-03,5.229804e-03,5.135487e-03,5.109400e-03,5.042967e-03,4.952244e-03,4.928950e-03,4.863316e-03,4.776178e-03,4.755531e-03,4.690824e-03,4.607244e-03,4.589094e-03,4.525428e-03,4.445361e-03,4.429557e-03,4.367031e-03,4.290421e-03,4.276812e-03,4.215515e-03,4.142295e-03,4.130735e-03,4.070743e-03,4.000839e-03,3.991182e-03,3.932563e-03,3.865895e-03,3.858001e-03,3.800813e-03,3.737296e-03,3.731029e-03,3.675322e-03,3.614869e-03,3.610097e-03,3.555914e-03,3.498435e-03,3.495033e-03,3.442409e-03,3.387814e-03,3.385659e-03,3.334626e-03,3.282823e-03,3.281801e-03,3.232383e-03,3.183281e-03,3.089924e-03,3.001556e-03,2.918004e-03,2.839100e-03,2.764678e-03,2.694575e-03,2.628632e-03,2.566693e-03,2.508607e-03,2.454226e-03,2.403404e-03,2.356001e-03,2.311880e-03,2.270907e-03,2.232951e-03,2.197886e-03,2.165588e-03,2.135935e-03,2.108810e-03,2.084100e-03,2.061690e-03,2.041474e-03,2.023343e-03,2.007195e-03,1.992928e-03,1.980443e-03,1.969645e-03,1.960439e-03,1.952734e-03,1.946442e-03,1.941474e-03,1.937748e-03,1.935181e-03,1.933694e-03,1.933208e-03,1.933650e-03,1.934947e-03,1.937029e-03,1.939828e-03,1.943278e-03,1.947318e-03,1.951885e-03,1.956923e-03,1.962376e-03,1.968190e-03,1.974316e-03,1.980705e-03,1.987311e-03,1.994091e-03
0.000000e+00,1.015421e-08,3.401640e-07,3.580706e-07,2.916765e-06,1.252829e-05,1.320032e-05,4.074408e-05,9.019030e-05,9.418928e-05,1.739567e-04,2.626051e-04,2.706637e-04,3.722277e-04,4.610742e-04,4.706512e-04,5.625027e-04,6.371059e-04,6.468222e-04,7.236095e-04,7.838569e-04,7.931760e-04,8.559191e-04,9.036536e-04,9.122534e-04,9.625891e-04,9.996677e-04,1.007324e-03,1.046841e-03,1.074942e-03,1.081504e-03,1.111661e-03,1.132267e-03,1.137639e-03,1.159749e-03,1.174145e-03,1.178282e-03,1.193509e-03,1.202802e-03,1.205689e-03,1.215060e-03,1.220196e-03,1.221849e-03,1.226266e-03,1.228050e-03,1.228504e-03,1.228749e-03,1.227867e-03,1.227175e-03,1.223941e-03,1.220970e-03,1.219197e-03,1.213081e-03,1.208508e-03,1.205723e-03,1.197243e-03,1.191470e-03,1.187751e-03,1.177353e-03,1.170719e-03,1.166145e-03,1.154214e-03,1.146997e-03,1.141645e-03,1.128515e-03,1.120944e-03,1.114895e-03,1.100851e-03,1.093112e-03,1.086443e-03,1.071728e-03,1.063973e-03,1.056758e-03,1.041581e-03,1.033929e-03,1.026241e-03,1.010779e-03,1.003324e-03,9.952306e-04,9.796315e-04,9.724476e-04,9.640128e-04,9.484030e-04,9.415444e-04,9.328284e-04,9.173127e-04,9.108190e-04,9.018777e-04,8.865430e-04,8.804414e-04,8.713266e-04,8.562445e-04,8.505515e-04,8.413111e-04,8.265395e-04,8.212636e-04,8.119412e-04,7.975266e-04,7.926691e-04,7.833047e-04,7.692835e-04,7.648403e-04,7.554700e-04,7.418702e-04,7.378327e-04,7.284893e-04,7.153315e-04,7.116879e-04,7.024005e-04,6.896993e-04,6.864349e-04,6.772300e-04,6.649943e-04,6.620926e-04,6.529934e-04,6.412279e-04,6.386711e-04,6.296980e-04,6.184036e-04,6.161729e-04,6.073439e-04,5.965182e-04,5.945943e-04,5.859251e-04,5.755631e-04,5.739265e-04,5.654305e-04,5.555252e-04,5.541565e-04,5.458450e-04,5.363876e-04,5.352676e-04,5.271503e-04,5.181305e-04,5.172404e-04,5.093253e-04,5.007318e-04,5.000533e-04,4.923468e-04,4.841672e-04,4.836829e-04,4.761899e-04,4.684115e-04,4.681045e-04,4.608288e-04,4.534383e-04,4.532924e-04,4.462366e-04,4.392204e-04,4.258618e-04,4.131899e-04,4.011779e-04,3.897993e-04,3.790280e-04,3.688382e-04,3.592047e-04,3.501030e-04,3.415090e-04,3.333995e-04,3.257521e-04,3.185448e-04,3.117567e-04,3.053676e-04,2.993579e-04,2.937089e-04,2.884026e-04,2.834217e-04,2.787497e-04,2.743708e-04,2.702699e-04,2.664324e-04,2.628447e-04,2.594933e-04,2.563659e-04,2.534503e-04,2.507352e-04,2.482096e-04,2.458631e-04,2.436859e-04,2.416685e-04,2.398020e-04,2.380779e-04,2.364880e-04,2.350247e-04,2.336806e-04,2.324489e-04,2.313228e-04,2.302962e-04,2.293630e-04,2.285176e-04,2.277547e-04,2.270691e-04,2.264560e-04,2.259109e-04,2.254293e-04,2.250072e-04,2.246407e-04,2.243260e-04
0.000000e+00,1.054384e-08,1.403616e-07,1.463024e-07,8.424851e-07,2.832757e-06,2.955386e-06,7.125140e-06,1.249381e-05,1.285968e-05,1.900722e-05,2.446127e-05,2.491988e-05,3.041628e-05,3.498252e-05,3.546784e-05,4.008513e-05,4.380526e-05,4.428856e-05,4.810080e-05,5.108389e-05,5.154471e-05,5.464280e-05,5.699398e-05,5.741696e-05,5.988830e-05,6.170311e-05,6.207713e-05,6.400282e-05,6.536635e-05,6.568383e-05,6.713762e-05,6.812452e-05,6.838074e-05,6.942874e-05,7.010378e-05,7.029628e-05,7.099711e-05,7.141602e-05,7.154414e-05,7.194946e-05,7.215993e-05,7.222440e-05,7.237951e-05,7.242208e-05,7.242463e-05,7.236895e-05,7.227793e-05,7.222109e-05,7.198912e-05,7.179362e-05,7.168056e-05,7.130238e-05,7.102683e-05,7.086109e-05,7.036277e-05,7.002766e-05,6.981307e-05,6.921727e-05,6.883972e-05,6.858027e-05,6.790656e-05,6.750065e-05,6.720032e-05,6.646544e-05,6.604275e-05,6.570552e-05,6.492389e-05,6.449389e-05,6.412365e-05,6.330763e-05,6.287795e-05,6.247846e-05,6.163858e-05,6.121533e-05,6.079022e-05,5.993543e-05,5.952342e-05,5.907612e-05,5.821403e-05,5.781698e-05,5.735075e-05,5.648774e-05,5.610846e-05,5.562636e-05,5.476781e-05,5.440834e-05,5.391322e-05,5.306359e-05,5.272534e-05,5.221985e-05,5.138283e-05,5.106668e-05,5.055328e-05,4.973187e-05,4.943828e-05,4.891922e-05,4.811586e-05,4.784492e-05,4.732227e-05,4.653888e-05,4.629042e-05,4.576607e-05,4.500415e-05,4.477774e-05,4.425341e-05,4.351409e-05,4.330915e-05,4.278638e-05,4.207046e-05,4.188627e-05,4.136645e-05,4.067447e-05,4.051019e-05,3.999458e-05,3.932685e-05,3.918158e-05,3.867129e-05,3.802791e-05,3.790070e-05,3.739671e-05,3.677765e-05,3.666751e-05,3.617069e-05,3.557576e-05,3.548168e-05,3.499279e-05,3.442170e-05,3.434269e-05,3.386238e-05,3.331473e-05,3.324979e-05,3.277863e-05,3.225396e-05,3.220211e-05,3.174058e-05,3.123836e-05,3.119866e-05,3.074716e-05,3.026682e-05,3.023834e-05,2.979720e-05,2.933813e-05,2.931999e-05,2.888946e-05,2.845103e-05,2.844237e-05,2.802268e-05,2.760423e-05,2.680427e-05,2.604120e-05,2.531371e-05,2.462048e-05,2.396024e-05,2.333170e-05,2.273360e-05,2.216472e-05,2.162385e-05,2.110983e-05,2.062150e-05,2.015777e-05,1.971757e-05,1.929985e-05,1.890362e-05,1.852791e-05,1.817179e-05,1.783437e-05,1.751478e-05,1.721220e-05,1.692584e-05,1.665494e-05,1.639876e-05,1.615660e-05,1.592781e-05,1.571173e-05,1.550776e-05,1.531531e-05,1.513382e-05,1.496276e-05,1.480161e-05,1.464989e-05,1.450713e-05,1.437289e-05,1.424674e-05,1.412829e-05,1.401713e-05,1.391292e-05,1.381529e-05,1.372391e-05,1.363847e-05,1.355865e-05,1.348418e-05,1.341477e-05,1.335017e-05,1.329011e-05,1.323437e-05,1.318272e-05,1.313494e-05
0.000000e+00,5.847507e-09,6.782572e-08,7.057298e-08,3.832359e-07,1.263447e-06,1.317748e-06,3.186310e-06,5.680139e-06,5.853928e-06,8.834742e-06,1.155463e-05,1.178598e-05,1.458850e-05,1.695923e-05,1.721360e-05,1.965867e-05,2.166509e-05,2.192842e-05,2.402968e-05,2.570768e-05,2.596990e-05,2.775668e-05,2.914454e-05,2.939760e-05,3.090008e-05,3.203392e-05,3.227139e-05,3.351857e-05,3.443153e-05,3.464844e-05,3.566755e-05,3.638963e-05,3.658220e-05,3.739840e-05,3.795642e-05,3.812191e-05,3.875823e-05,3.917606e-05,3.931259e-05,3.978997e-05,4.008870e-05,4.019513e-05,4.053259e-05,4.073085e-05,4.080666e-05,4.102139e-05,4.113549e-05,4.118064e-05,4.128809e-05,4.133232e-05,4.134720e-05,4.136128e-05,4.134809e-05,4.133342e-05,4.126660e-05,4.120683e-05,4.116360e-05,4.102706e-05,4.093009e-05,4.085949e-05,4.066325e-05,4.053717e-05,4.044056e-05,4.019354e-05,4.004532e-05,3.992417e-05,3.963434e-05,3.946995e-05,3.932582e-05,3.900027e-05,3.882478e-05,3.865927e-05,3.830430e-05,3.812202e-05,3.793677e-05,3.755797e-05,3.737252e-05,3.716915e-05,3.677147e-05,3.658586e-05,3.636601e-05,3.595381e-05,3.577055e-05,3.553581e-05,3.511292e-05,3.493405e-05,3.468598e-05,3.425579e-05,3.408297e-05,3.382307e-05,3.338853e-05,3.322305e-05,3.295279e-05,3.251646e-05,3.235935e-05,3.208011e-05,3.164424e-05,3.149624e-05,3.120934e-05,3.077587e-05,3.063753e-05,3.034423e-05,2.991481e-05,2.978648e-05,2.948797e-05,2.906403e-05,2.894589e-05,2.864330e-05,2.822604e-05,2.811815e-05,2.781251e-05,2.740295e-05,2.730527e-05,2.699757e-05,2.659655e-05,2.650893e-05,2.620006e-05,2.580827e-05,2.573049e-05,2.542131e-05,2.503931e-05,2.497108e-05,2.466237e-05,2.429058e-05,2.423158e-05,2.392405e-05,2.356282e-05,2.351268e-05,2.320697e-05,2.285655e-05,2.281486e-05,2.251158e-05,2.217211e-05,2.213847e-05,2.183816e-05,2.150974e-05,2.148371e-05,2.118686e-05,2.086951e-05,2.085064e-05,2.055769e-05,2.025140e-05,2.023926e-05,1.995060e-05,1.965528e-05,1.964943e-05,1.936541e-05,1.908095e-05,1.853357e-05,1.800695e-05,1.750072e-05,1.701448e-05,1.654778e-05,1.610014e-05,1.567107e-05,1.526006e-05,1.486660e-05,1.449015e-05,1.413019e-05,1.378616e-05,1.345755e-05,1.314382e-05,1.284445e-05,1.255892e-05,1.228671e-05,1.202732e-05,1.178027e-05,1.154506e-05,1.132125e-05,1.110835e-05,1.090595e-05,1.071359e-05,1.053086e-05,1.035736e-05,1.019270e-05,1.003649e-05,9.888362e-06,9.747972e-06,9.614975e-06,9.489041e-06,9.369855e-06,9.257111e-06,9.150517e-06,9.049792e-06,8.954665e-06,8.864877e-06,8.780178e-06,8.700330e-06,8.625104e-06,8.554280e-06,8.487648e-06,8.425006e-06,8.366163e-06,8.310932e-06,8.259139e-06,8.210613e-06,8.165193e-06
0.000000e+00,7.248138e-09,4.361737e-07,4.638682e-07,5.191109e-06,2.254089e-05,2.365923e-05,6.175476e-05,1.086121e-04,1.116946e-04,1.611659e-04,2.008879e-04,2.040313e-04,2.392221e-04,2.649161e-04,2.674564e-04,2.897824e-04,3.053240e-04,3.071807e-04,3.204917e-04,3.292092e-04,3.304178e-04,3.375393e-04,3.417119e-04,3.423423e-04,3.452357e-04,3.464252e-04,3.465616e-04,3.466044e-04,3.458754e-04,3.456010e-04,3.437480e-04,3.418188e-04,3.412084e-04,3.381172e-04,3.354687e-04,3.345865e-04,3.307087e-04,3.276613e-04,3.265605e-04,3.222052e-04,3.189709e-04,3.176951e-04,3.130733e-04,3.097908e-04,3.083752e-04,3.036302e-04,3.003891e-04,2.988621e-04,2.940906e-04,2.909474e-04,2.893317e-04,2.845985e-04,2.815877e-04,2.799015e-04,2.752494e-04,2.723907e-04,2.706490e-04,2.661056e-04,2.634088e-04,2.616236e-04,2.572063e-04,2.546750e-04,2.528563e-04,2.485753e-04,2.462086e-04,2.443647e-04,2.402254e-04,2.380200e-04,2.361579e-04,2.321623e-04,2.301131e-04,2.282387e-04,2.243867e-04,2.224874e-04,2.206059e-04,2.168957e-04,2.151397e-04,2.132555e-04,2.096846e-04,2.080649e-04,2.061820e-04,2.027468e-04,2.012565e-04,1.993782e-04,1.960752e-04,1.947073e-04,1.928368e-04,1.896619e-04,1.884095e-04,1.865495e-04,1.834986e-04,1.823552e-04,1.805082e-04,1.775772e-04,1.765364e-04,1.747046e-04,1.718893e-04,1.709450e-04,1.691303e-04,1.664267e-04,1.655731e-04,1.637774e-04,1.611814e-04,1.604129e-04,1.586377e-04,1.561454e-04,1.554567e-04,1.537035e-04,1.513111e-04,1.506970e-04,1.489672e-04,1.466709e-04,1.461268e-04,1.444213e-04,1.422175e-04,1.417388e-04,1.400587e-04,1.379440e-04,1.375263e-04,1.358726e-04,1.338435e-04,1.334827e-04,1.318560e-04,1.299094e-04,1.296016e-04,1.280027e-04,1.261353e-04,1.258769e-04,1.243063e-04,1.225151e-04,1.223026e-04,1.207608e-04,1.190428e-04,1.188730e-04,1.173604e-04,1.157128e-04,1.155824e-04,1.140993e-04,1.125194e-04,1.124257e-04,1.109723e-04,1.094574e-04,1.093975e-04,1.079741e-04,1.065217e-04,1.064930e-04,1.050997e-04,1.037073e-04,1.010359e-04,9.847434e-05,9.601827e-05,9.366362e-05,9.140640e-05,8.924282e-05,8.716920e-05,8.518200e-05,8.327782e-05,8.145338e-05,7.970555e-05,7.803129e-05,7.642769e-05,7.489195e-05,7.342137e-05,7.201335e-05,7.066542e-05,6.937516e-05,6.814028e-05,6.695856e-05,6.582787e-05,6.474616e-05,6.371145e-05,6.272187e-05,6.177558e-05,6.087083e-05,6.000595e-05,5.917931e-05,5.838936e-05,5.763461e-05,5.691362e-05,5.622501e-05,5.556745e-05,5.493967e-05,5.434044e-05,5.376858e-05,5.322296e-05,5.270250e-05,5.220613e-05,5.173287e-05,5.128174e-05,5.085182e-05,5.044221e-05,5.005206e-05,4.968054e-05,4.932686e-05,4.899026e-05,4.867002e-05,4.836542e-05
0.000000e+00,1.528570e-08,4.631048e-07,4.868869e-07,3.831576e-06,1.613488e-05,1.698211e-05,5.048356e-05,1.060391e-04,1.103255e-04,1.907805e-04,2.714874e-04,2.784742e-04,3.626715e-04,4.315734e-04,4.387776e-04,5.058482e-04,5.576705e-04,5.642415e-04,6.146466e-04,6.521630e-04,6.577930e-04,6.943764e-04,7.205089e-04,7.250430e-04,7.503870e-04,7.675804e-04,7.709523e-04,7.872353e-04,7.974838e-04,7.996883e-04,8.087222e-04,8.136366e-04,8.147105e-04,8.179920e-04,8.188655e-04,8.188736e-04,8.176333e-04,8.154982e-04,8.145226e-04,8.097691e-04,8.054454e-04,8.035781e-04,7.961351e-04,7.902704e-04,7.876075e-04,7.781459e-04,7.712484e-04,7.678861e-04,7.569502e-04,7.494160e-04,7.454480e-04,7.334779e-04,7.256126e-04,7.211281e-04,7.084777e-04,7.005147e-04,6.955971e-04,6.825495e-04,6.746644e-04,6.693910e-04,6.561717e-04,6.484943e-04,6.429358e-04,6.297224e-04,6.223457e-04,6.165660e-04,6.034970e-04,5.964855e-04,5.905419e-04,5.777238e-04,5.711194e-04,5.650631e-04,5.525774e-04,5.464050e-04,5.402817e-04,5.281883e-04,5.224584e-04,5.163076e-04,5.046486e-04,4.993620e-04,4.932187e-04,4.820237e-04,4.771735e-04,4.710679e-04,4.603542e-04,4.559272e-04,4.498849e-04,4.396616e-04,4.356412e-04,4.296845e-04,4.199534e-04,4.163198e-04,4.104671e-04,4.012244e-04,3.979563e-04,3.922234e-04,3.834617e-04,3.805367e-04,3.749365e-04,3.666446e-04,3.640400e-04,3.585829e-04,3.507476e-04,3.484406e-04,3.431351e-04,3.357414e-04,3.337097e-04,3.285623e-04,3.215937e-04,3.198158e-04,3.148313e-04,3.082708e-04,3.067259e-04,3.019078e-04,2.957379e-04,2.944060e-04,2.897566e-04,2.839595e-04,2.828218e-04,2.783423e-04,2.729004e-04,2.719392e-04,2.676296e-04,2.625256e-04,2.617241e-04,2.575840e-04,2.528006e-04,2.521433e-04,2.481714e-04,2.436921e-04,2.431645e-04,2.393588e-04,2.351674e-04,2.347559e-04,2.311142e-04,2.271952e-04,2.268874e-04,2.234068e-04,2.197452e-04,2.195295e-04,2.162069e-04,2.127884e-04,2.126541e-04,2.094862e-04,2.062971e-04,2.062344e-04,2.032176e-04,2.002447e-04,1.946605e-04,1.894584e-04,1.846163e-04,1.801132e-04,1.759291e-04,1.720451e-04,1.684433e-04,1.651068e-04,1.620196e-04,1.591666e-04,1.565334e-04,1.541067e-04,1.518736e-04,1.498223e-04,1.479413e-04,1.462199e-04,1.446481e-04,1.432164e-04,1.419159e-04,1.407381e-04,1.396750e-04,1.387192e-04,1.378636e-04,1.371016e-04,1.364269e-04,1.358336e-04,1.353161e-04,1.348693e-04,1.344882e-04,1.341681e-04,1.339048e-04,1.336941e-04,1.335321e-04,1.334152e-04,1.333400e-04,1.333034e-04,1.333021e-04,1.333335e-04,1.333949e-04,1.334837e-04,1.335976e-04,1.337344e-04,1.338920e-04,1.340686e-04,1.342621e-04,1.344710e-04,1.346937e-04,1.349287e-04,1.351745e-04
0.000000e+00,4.241816e-10,5.690872e-09,5.945534e-09,3.865483e-08,1.411815e-07,1.476270e-07,3.635510e-07,6.242891e-07,6.415508e-07,9.286077e-07,1.184574e-06,1.206313e-06,1.470450e-06,1.695950e-06,1.720292e-06,1.955966e-06,2.151924e-06,2.177833e-06,2.386325e-06,2.555280e-06,2.581901e-06,2.765037e-06,2.909608e-06,2.936212e-06,3.095909e-06,3.218630e-06,3.244604e-06,3.382766e-06,3.486021e-06,3.510854e-06,3.629318e-06,3.715319e-06,3.738592e-06,3.839098e-06,3.909872e-06,3.931246e-06,4.015432e-06,4.072823e-06,4.092029e-06,4.161407e-06,4.207090e-06,4.223922e-06,4.279912e-06,4.315399e-06,4.329705e-06,4.373612e-06,4.400260e-06,4.411934e-06,4.444960e-06,4.463993e-06,4.472969e-06,4.496225e-06,4.508732e-06,4.514982e-06,4.529482e-06,4.536438e-06,4.539960e-06,4.546641e-06,4.548915e-06,4.549737e-06,4.549455e-06,4.547821e-06,4.545990e-06,4.539530e-06,4.534672e-06,4.530255e-06,4.518337e-06,4.510860e-06,4.503939e-06,4.487218e-06,4.477656e-06,4.468325e-06,4.447401e-06,4.436221e-06,4.424585e-06,4.400004e-06,4.387616e-06,4.373785e-06,4.346046e-06,4.332807e-06,4.316900e-06,4.286454e-06,4.272672e-06,4.254811e-06,4.222069e-06,4.208012e-06,4.188320e-06,4.153654e-06,4.139550e-06,4.118155e-06,4.081903e-06,4.067945e-06,4.044973e-06,4.007439e-06,3.993792e-06,3.969368e-06,3.930827e-06,3.917627e-06,3.891877e-06,3.852575e-06,3.839934e-06,3.812979e-06,3.773141e-06,3.761150e-06,3.733110e-06,3.692933e-06,3.681663e-06,3.652655e-06,3.612318e-06,3.601826e-06,3.571961e-06,3.531623e-06,3.521948e-06,3.491337e-06,3.451138e-06,3.442309e-06,3.411056e-06,3.371120e-06,3.363153e-06,3.331359e-06,3.291797e-06,3.284699e-06,3.252460e-06,3.213369e-06,3.207138e-06,3.174545e-06,3.136008e-06,3.130637e-06,3.097776e-06,3.059866e-06,3.055339e-06,3.022294e-06,2.985074e-06,2.981372e-06,2.948220e-06,2.911743e-06,2.908842e-06,2.875655e-06,2.839967e-06,2.837838e-06,2.804687e-06,2.769824e-06,2.768438e-06,2.735385e-06,2.701379e-06,2.700703e-06,2.667809e-06,2.634682e-06,2.570416e-06,2.507931e-06,2.447250e-06,2.388382e-06,2.331333e-06,2.276102e-06,2.222680e-06,2.171056e-06,2.121212e-06,2.073127e-06,2.026779e-06,1.982138e-06,1.939176e-06,1.897861e-06,1.858158e-06,1.820033e-06,1.783449e-06,1.748368e-06,1.714752e-06,1.682562e-06,1.651758e-06,1.622302e-06,1.594153e-06,1.567273e-06,1.541620e-06,1.517157e-06,1.493845e-06,1.471645e-06,1.450519e-06,1.430430e-06,1.411341e-06,1.393217e-06,1.376022e-06,1.359721e-06,1.344281e-06,1.329669e-06,1.315853e-06,1.302801e-06,1.290482e-06,1.278868e-06,1.267929e-06,1.257636e-06,1.247964e-06,1.238885e-06,1.230373e-06,1.222405e-06,1.214956e-06,1.208002e-06,1.201522e-06
0.000000e+00,2.966709e-09,4.523898e-08,4.733383e-08,3.135921e-07,1.088033e-06,1.134138e-06,2.548377e-06,4.063531e-06,4.160405e-06,5.743692e-06,7.131896e-06,7.249222e-06,8.669687e-06,9.875960e-06,1.000585e-05,1.126015e-05,1.229845e-05,1.243540e-05,1.353452e-05,1.442114e-05,1.456048e-05,1.551623e-05,1.626699e-05,1.640476e-05,1.722899e-05,1.785893e-05,1.799184e-05,1.869614e-05,1.921929e-05,1.934466e-05,1.994013e-05,2.036944e-05,2.048514e-05,2.098220e-05,2.132940e-05,2.143375e-05,2.184211e-05,2.211782e-05,2.220953e-05,2.253815e-05,2.275190e-05,2.283004e-05,2.308716e-05,2.324746e-05,2.331139e-05,2.350454e-05,2.361902e-05,2.366834e-05,2.380443e-05,2.387983e-05,2.391438e-05,2.399969e-05,2.404202e-05,2.406179e-05,2.410206e-05,2.411664e-05,2.412180e-05,2.412225e-05,2.411375e-05,2.410459e-05,2.406994e-05,2.404250e-05,2.401940e-05,2.395397e-05,2.391119e-05,2.387463e-05,2.378232e-05,2.372738e-05,2.367790e-05,2.356223e-05,2.349789e-05,2.343609e-05,2.330025e-05,2.322891e-05,2.315542e-05,2.300229e-05,2.292603e-05,2.284151e-05,2.267370e-05,2.259430e-05,2.249943e-05,2.231928e-05,2.223828e-05,2.213375e-05,2.194335e-05,2.186205e-05,2.174856e-05,2.154981e-05,2.146930e-05,2.134754e-05,2.114214e-05,2.106335e-05,2.093399e-05,2.072346e-05,2.064715e-05,2.051087e-05,2.029655e-05,2.022334e-05,2.008080e-05,1.986391e-05,1.979431e-05,1.964614e-05,1.942774e-05,1.936213e-05,1.920895e-05,1.899000e-05,1.892870e-05,1.877110e-05,1.855243e-05,1.849564e-05,1.833419e-05,1.811655e-05,1.806443e-05,1.789967e-05,1.768371e-05,1.763633e-05,1.746880e-05,1.725507e-05,1.721248e-05,1.704266e-05,1.683167e-05,1.679385e-05,1.662221e-05,1.641437e-05,1.638128e-05,1.620826e-05,1.600394e-05,1.597549e-05,1.580151e-05,1.560103e-05,1.557711e-05,1.540257e-05,1.520618e-05,1.518665e-05,1.501192e-05,1.481983e-05,1.480456e-05,1.462997e-05,1.444238e-05,1.443119e-05,1.425708e-05,1.407410e-05,1.406683e-05,1.389349e-05,1.371525e-05,1.371171e-05,1.353941e-05,1.336599e-05,1.302979e-05,1.270319e-05,1.238622e-05,1.207888e-05,1.178114e-05,1.149295e-05,1.121421e-05,1.094484e-05,1.068470e-05,1.043366e-05,1.019157e-05,9.958272e-06,9.733592e-06,9.517352e-06,9.309367e-06,9.109448e-06,8.917400e-06,8.733027e-06,8.556130e-06,8.386510e-06,8.223966e-06,8.068300e-06,7.919311e-06,7.776803e-06,7.640580e-06,7.510448e-06,7.386217e-06,7.267699e-06,7.154708e-06,7.047063e-06,6.944585e-06,6.847099e-06,6.754435e-06,6.666425e-06,6.582905e-06,6.503716e-06,6.428701e-06,6.357710e-06,6.290593e-06,6.227207e-06,6.167411e-06,6.111070e-06,6.058050e-06,6.008222e-06,5.961462e-06,5.917647e-06,5.876661e-06,5.838387e-06,5.802717e-06
0.000000e+00,3.500954e-08,8.138758e-07,8.548644e-07,6.673185e-06,2.682857e-05,2.814419e-05,7.458502e-05,1.351064e-04,1.392067e-04,2.078792e-04,2.690684e-04,2.742467e-04,3.368821e-04,3.899028e-04,3.955997e-04,4.504749e-04,4.956916e-04,5.016403e-04,5.492421e-04,5.874435e-04,5.934299e-04,6.343540e-04,6.663175e-04,6.721639e-04,7.070073e-04,7.334666e-04,7.390286e-04,7.683689e-04,7.900027e-04,7.951647e-04,8.195484e-04,8.369751e-04,8.416471e-04,8.615835e-04,8.753618e-04,8.794755e-04,8.954353e-04,9.060649e-04,9.095703e-04,9.219838e-04,9.299116e-04,9.327751e-04,9.420382e-04,9.476614e-04,9.498630e-04,9.563345e-04,9.600039e-04,9.615343e-04,9.655400e-04,9.675655e-04,9.684252e-04,9.702603e-04,9.709147e-04,9.711121e-04,9.710440e-04,9.705664e-04,9.701164e-04,9.683867e-04,9.669867e-04,9.659094e-04,9.627362e-04,9.605963e-04,9.589162e-04,9.544959e-04,9.517750e-04,9.495197e-04,9.440293e-04,9.408648e-04,9.380645e-04,9.316629e-04,9.281734e-04,9.248602e-04,9.176901e-04,9.139773e-04,9.101844e-04,9.023734e-04,8.985241e-04,8.942857e-04,8.859481e-04,8.820361e-04,8.773863e-04,8.686242e-04,8.647114e-04,8.596847e-04,8.505890e-04,8.467271e-04,8.413573e-04,8.320088e-04,8.282407e-04,8.225613e-04,8.130316e-04,8.093921e-04,8.034356e-04,7.937882e-04,7.903053e-04,7.841033e-04,7.743941e-04,7.710897e-04,7.646729e-04,7.549511e-04,7.518418e-04,7.452396e-04,7.355483e-04,7.326463e-04,7.258868e-04,7.162637e-04,7.135773e-04,7.066873e-04,6.971650e-04,6.946990e-04,6.877041e-04,6.783109e-04,6.760673e-04,6.689916e-04,6.597517e-04,6.577301e-04,6.505964e-04,6.415305e-04,6.397284e-04,6.325583e-04,6.236838e-04,6.220970e-04,6.149105e-04,6.062419e-04,6.048649e-04,5.976809e-04,5.892303e-04,5.880561e-04,5.808923e-04,5.726692e-04,5.716902e-04,5.645629e-04,5.565750e-04,5.557828e-04,5.487070e-04,5.409602e-04,5.403458e-04,5.333356e-04,5.258340e-04,5.253879e-04,5.184562e-04,5.112027e-04,5.109151e-04,5.040738e-04,4.970698e-04,4.969310e-04,4.901908e-04,4.834368e-04,4.704317e-04,4.579135e-04,4.458782e-04,4.343208e-04,4.232351e-04,4.126137e-04,4.024486e-04,3.927311e-04,3.834519e-04,3.746012e-04,3.661688e-04,3.581440e-04,3.505162e-04,3.432744e-04,3.364075e-04,3.299043e-04,3.237535e-04,3.179439e-04,3.124644e-04,3.073038e-04,3.024509e-04,2.978949e-04,2.936249e-04,2.896301e-04,2.859001e-04,2.824245e-04,2.791929e-04,2.761955e-04,2.734224e-04,2.708640e-04,2.685107e-04,2.663534e-04,2.643830e-04,2.625908e-04,2.609681e-04,2.595066e-04,2.581981e-04,2.570346e-04,2.560085e-04,2.551122e-04,2.543385e-04,2.536802e-04,2.531306e-04,2.526830e-04,2.523310e-04,2.520684e-04,2.518892e-04,2.517876e-04,2.517581e-04
0.000000e+00,6.404403e-09,9.881490e-08,1.033046e-07,6.588456e-07,2.275070e-06,2.373844e-06,5.661030e-06,9.717015e-06,9.987039e-06,1.441379e-05,1.818269e-05,1.849331e-05,2.214242e-05,2.506994e-05,2.537542e-05,2.822493e-05,3.044252e-05,3.072521e-05,3.290865e-05,3.455601e-05,3.480533e-05,3.644288e-05,3.763675e-05,3.784661e-05,3.903962e-05,3.987550e-05,4.004300e-05,4.087590e-05,4.143124e-05,4.155574e-05,4.209830e-05,4.243544e-05,4.251788e-05,4.282742e-05,4.299633e-05,4.303863e-05,4.316211e-05,4.320266e-05,4.320742e-05,4.318320e-05,4.312712e-05,4.309725e-05,4.295662e-05,4.282907e-05,4.276766e-05,4.253609e-05,4.235695e-05,4.226709e-05,4.196531e-05,4.175022e-05,4.163493e-05,4.127974e-05,4.104098e-05,4.090313e-05,4.050816e-05,4.025528e-05,4.009758e-05,3.967384e-05,3.941422e-05,3.923918e-05,3.879556e-05,3.853488e-05,3.834479e-05,3.788844e-05,3.763099e-05,3.742796e-05,3.696461e-05,3.671361e-05,3.649953e-05,3.603374e-05,3.579156e-05,3.556815e-05,3.510355e-05,3.487186e-05,3.464067e-05,3.418012e-05,3.396005e-05,3.372247e-05,3.326820e-05,3.306050e-05,3.281776e-05,3.237150e-05,3.217656e-05,3.192977e-05,3.149284e-05,3.131082e-05,3.106096e-05,3.063434e-05,3.046520e-05,3.021315e-05,2.979755e-05,2.964111e-05,2.938765e-05,2.898356e-05,2.883953e-05,2.858536e-05,2.819310e-05,2.806109e-05,2.780683e-05,2.742657e-05,2.730617e-05,2.705236e-05,2.668418e-05,2.657490e-05,2.632203e-05,2.596590e-05,2.586726e-05,2.561577e-05,2.527159e-05,2.518308e-05,2.493334e-05,2.460097e-05,2.452208e-05,2.427444e-05,2.395368e-05,2.388389e-05,2.363865e-05,2.332928e-05,2.326808e-05,2.302551e-05,2.272727e-05,2.267418e-05,2.243451e-05,2.214715e-05,2.210166e-05,2.186511e-05,2.158834e-05,2.155000e-05,2.131675e-05,2.105027e-05,2.101863e-05,2.078883e-05,2.053236e-05,2.050698e-05,2.028078e-05,2.003401e-05,2.001447e-05,1.979199e-05,1.955463e-05,1.954054e-05,1.932188e-05,1.909364e-05,1.908461e-05,1.886986e-05,1.865045e-05,1.864610e-05,1.843534e-05,1.822448e-05,1.781917e-05,1.742966e-05,1.705541e-05,1.669590e-05,1.635064e-05,1.601914e-05,1.570093e-05,1.539554e-05,1.510252e-05,1.482145e-05,1.455190e-05,1.429347e-05,1.404575e-05,1.380837e-05,1.358096e-05,1.336316e-05,1.315461e-05,1.295499e-05,1.276398e-05,1.258125e-05,1.240650e-05,1.223944e-05,1.207979e-05,1.192728e-05,1.178163e-05,1.164259e-05,1.150991e-05,1.138336e-05,1.126270e-05,1.114771e-05,1.103818e-05,1.093389e-05,1.083465e-05,1.074026e-05,1.065053e-05,1.056528e-05,1.048434e-05,1.040754e-05,1.033471e-05,1.026569e-05,1.020034e-05,1.013851e-05,1.008005e-05,1.002484e-05,9.972727e-06,9.923596e-06,9.877322e-06,9.833786e-06,9.792873e-06
0.000000e+00,6.519169e-10,3.741672e-08,3.974581e-08,4.755513e-07,2.762902e-06,2.946720e-06,1.233387e-05,3.663599e-05,3.899828e-05,9.953534e-05,2.031716e-04,2.149454e-04,4.068855e-04,6.602907e-04,6.936289e-04,1.087043e-03,1.524842e-03,1.591113e-03,2.201930e-03,2.804574e-03,2.908761e-03,3.695737e-03,4.404794e-03,4.543730e-03,5.432124e-03,6.176266e-03,6.340305e-03,7.248808e-03,7.963989e-03,8.140113e-03,8.999128e-03,9.638645e-03,9.813411e-03,1.057320e-02,1.110968e-02,1.127131e-02,1.190288e-02,1.232573e-02,1.246518e-02,1.295723e-02,1.326826e-02,1.337957e-02,1.373394e-02,1.394295e-02,1.402301e-02,1.425015e-02,1.437119e-02,1.441923e-02,1.453444e-02,1.458307e-02,1.460012e-02,1.462066e-02,1.461214e-02,1.460042e-02,1.454363e-02,1.449184e-02,1.445432e-02,1.433634e-02,1.425329e-02,1.419328e-02,1.402847e-02,1.392414e-02,1.384500e-02,1.364568e-02,1.352811e-02,1.343308e-02,1.320952e-02,1.308498e-02,1.297708e-02,1.273764e-02,1.261092e-02,1.249286e-02,1.224422e-02,1.211886e-02,1.199302e-02,1.174043e-02,1.161899e-02,1.148744e-02,1.123494e-02,1.111917e-02,1.098370e-02,1.073437e-02,1.062542e-02,1.048752e-02,1.024364e-02,1.014219e-02,1.000313e-02,9.766349e-03,9.672746e-03,9.533582e-03,9.305067e-03,9.219387e-03,9.080997e-03,8.861527e-03,8.783668e-03,8.646777e-03,8.436837e-03,8.366565e-03,8.231769e-03,8.031615e-03,7.968607e-03,7.836394e-03,7.646109e-03,7.589985e-03,7.460748e-03,7.280285e-03,7.230629e-03,7.104686e-03,6.933902e-03,6.890281e-03,6.767883e-03,6.606566e-03,6.568542e-03,6.449885e-03,6.297767e-03,6.264906e-03,6.150137e-03,6.006916e-03,5.978793e-03,5.868020e-03,5.733367e-03,5.709573e-03,5.602871e-03,5.476444e-03,5.456588e-03,5.354000e-03,5.235451e-03,5.219160e-03,5.120708e-03,5.009684e-03,4.996607e-03,4.902291e-03,4.798442e-03,4.788248e-03,4.698050e-03,4.601029e-03,4.593411e-03,4.507296e-03,4.416766e-03,4.411434e-03,4.329357e-03,4.244988e-03,4.241675e-03,4.163579e-03,4.085051e-03,4.083509e-03,4.009328e-03,3.936333e-03,3.799564e-03,3.672643e-03,3.555033e-03,3.446219e-03,3.345712e-03,3.253041e-03,3.167759e-03,3.089440e-03,3.017678e-03,2.952085e-03,2.892295e-03,2.837957e-03,2.788740e-03,2.744328e-03,2.704420e-03,2.668732e-03,2.636992e-03,2.608943e-03,2.584342e-03,2.562955e-03,2.544564e-03,2.528959e-03,2.515941e-03,2.505322e-03,2.496923e-03,2.490576e-03,2.486118e-03,2.483399e-03,2.482273e-03,2.482604e-03,2.484262e-03,2.487126e-03,2.491079e-03,2.496012e-03,2.501823e-03,2.508414e-03,2.515695e-03,2.523578e-03,2.531985e-03,2.540838e-03,2.550069e-03,2.559610e-03,2.569400e-03,2.579382e-03,2.589503e-03,2.599714e-03,2.609970e-03,2.620228e-03,2.630452e-03
0.000000e+00,1.035406e-08,2.677795e-07,2.821157e-07,2.310749e-06,8.408006e-06,8.763837e-06,1.922138e-05,2.980655e-05,3.047025e-05,4.114378e-05,5.025020e-05,5.100920e-05,6.006405e-05,6.755307e-05,6.834812e-05,7.590824e-05,8.199917e-05,8.279079e-05,8.904025e-05,9.394070e-05,9.469885e-05,9.980653e-05,1.036990e-04,1.044012e-04,1.085186e-04,1.115624e-04,1.121925e-04,1.154545e-04,1.177876e-04,1.183343e-04,1.208600e-04,1.226009e-04,1.230574e-04,1.249511e-04,1.262011e-04,1.265637e-04,1.279166e-04,1.287622e-04,1.290295e-04,1.299210e-04,1.304354e-04,1.306082e-04,1.311074e-04,1.313529e-04,1.314334e-04,1.316001e-04,1.316292e-04,1.316206e-04,1.315068e-04,1.313637e-04,1.312701e-04,1.309209e-04,1.306429e-04,1.304689e-04,1.299232e-04,1.295414e-04,1.292920e-04,1.285833e-04,1.281239e-04,1.278043e-04,1.269616e-04,1.264462e-04,1.260616e-04,1.251100e-04,1.245566e-04,1.241122e-04,1.230732e-04,1.224967e-04,1.219976e-04,1.208897e-04,1.203022e-04,1.197534e-04,1.185925e-04,1.180038e-04,1.174102e-04,1.162098e-04,1.156280e-04,1.149940e-04,1.137658e-04,1.131972e-04,1.125273e-04,1.112811e-04,1.107308e-04,1.100291e-04,1.087732e-04,1.082451e-04,1.075154e-04,1.062571e-04,1.057541e-04,1.050000e-04,1.037453e-04,1.032694e-04,1.024943e-04,1.012482e-04,1.008010e-04,1.000081e-04,9.877479e-05,9.835721e-05,9.754928e-05,9.633232e-05,9.594481e-05,9.512461e-05,9.392683e-05,9.356951e-05,9.273953e-05,9.156325e-05,9.123593e-05,9.039846e-05,8.924557e-05,8.894781e-05,8.810495e-05,8.697692e-05,8.670811e-05,8.586178e-05,8.475977e-05,8.451911e-05,8.367110e-05,8.259595e-05,8.238255e-05,8.153446e-05,8.048677e-05,8.029966e-05,7.945296e-05,7.843312e-05,7.827124e-05,7.742728e-05,7.643550e-05,7.629777e-05,7.545777e-05,7.449410e-05,7.437940e-05,7.354447e-05,7.260884e-05,7.251605e-05,7.168718e-05,7.077942e-05,7.070740e-05,6.988550e-05,6.900534e-05,6.895297e-05,6.813886e-05,6.728595e-05,6.725211e-05,6.644652e-05,6.562046e-05,6.560407e-05,6.480766e-05,6.400799e-05,6.246291e-05,6.096781e-05,5.952163e-05,5.812326e-05,5.677156e-05,5.546540e-05,5.420361e-05,5.298502e-05,5.180846e-05,5.067278e-05,4.957680e-05,4.851940e-05,4.749944e-05,4.651582e-05,4.556744e-05,4.465323e-05,4.377215e-05,4.292317e-05,4.210528e-05,4.131751e-05,4.055890e-05,3.982852e-05,3.912547e-05,3.844885e-05,3.779782e-05,3.717153e-05,3.656918e-05,3.598998e-05,3.543315e-05,3.489796e-05,3.438369e-05,3.388963e-05,3.341510e-05,3.295945e-05,3.252203e-05,3.210222e-05,3.169943e-05,3.131307e-05,3.094257e-05,3.058739e-05,3.024699e-05,2.992087e-05,2.960852e-05,2.930946e-05,2.902323e-05,2.874936e-05,2.848743e-05,2.823700e-05,2.799767e-05
0.000000e+00,2.552297e-09,1.124530e-07,1.192195e-07,1.376152e-06,7.496991e-06,7.956997e-06,2.764919e-05,6.205767e-05,6.471000e-05,1.138382e-04,1.623816e-04,1.665861e-04,2.177096e-04,2.606066e-04,2.651671e-04,3.084720e-04,3.431953e-04,3.476934e-04,3.830638e-04,4.106058e-04,4.148500e-04,4.433159e-04,4.648454e-04,4.687125e-04,4.912757e-04,5.078186e-04,5.112263e-04,5.287705e-04,5.412028e-04,5.441004e-04,5.573947e-04,5.664584e-04,5.688194e-04,5.785287e-04,5.848486e-04,5.866651e-04,5.933610e-04,5.974608e-04,5.987387e-04,6.029113e-04,6.052286e-04,6.059837e-04,6.080523e-04,6.089514e-04,6.092068e-04,6.095294e-04,6.093127e-04,6.090964e-04,6.079780e-04,6.068961e-04,6.062390e-04,6.039392e-04,6.021987e-04,6.011337e-04,5.978732e-04,5.956438e-04,5.942044e-04,5.901703e-04,5.875910e-04,5.858104e-04,5.811613e-04,5.783455e-04,5.762562e-04,5.711260e-04,5.681654e-04,5.657989e-04,5.603008e-04,5.572691e-04,5.546553e-04,5.488844e-04,5.458406e-04,5.430079e-04,5.370441e-04,5.340347e-04,5.310097e-04,5.249198e-04,5.219812e-04,5.187885e-04,5.126284e-04,5.097883e-04,5.064511e-04,5.002670e-04,4.975464e-04,4.940858e-04,4.879160e-04,4.853301e-04,4.817656e-04,4.756415e-04,4.732008e-04,4.695503e-04,4.634976e-04,4.612088e-04,4.574886e-04,4.515280e-04,4.493948e-04,4.456198e-04,4.397678e-04,4.377914e-04,4.339751e-04,4.282447e-04,4.264245e-04,4.225790e-04,4.169803e-04,4.153140e-04,4.114504e-04,4.059909e-04,4.044750e-04,4.006032e-04,3.952884e-04,3.939186e-04,3.900474e-04,3.848810e-04,3.836523e-04,3.797898e-04,3.747740e-04,3.736807e-04,3.698341e-04,3.649700e-04,3.640063e-04,3.601818e-04,3.554694e-04,3.546292e-04,3.508326e-04,3.462710e-04,3.455481e-04,3.417844e-04,3.373722e-04,3.367604e-04,3.330339e-04,3.287690e-04,3.282621e-04,3.245768e-04,3.204567e-04,3.200486e-04,3.164079e-04,3.124298e-04,3.121145e-04,3.085214e-04,3.046821e-04,3.044539e-04,3.009110e-04,2.972072e-04,2.970604e-04,2.935698e-04,2.899981e-04,2.899273e-04,2.864910e-04,2.830477e-04,2.764145e-04,2.700206e-04,2.638588e-04,2.579220e-04,2.522029e-04,2.466947e-04,2.413903e-04,2.362831e-04,2.313663e-04,2.266334e-04,2.220780e-04,2.176940e-04,2.134753e-04,2.094159e-04,2.055103e-04,2.017528e-04,1.981383e-04,1.946614e-04,1.913173e-04,1.881010e-04,1.850078e-04,1.820333e-04,1.791730e-04,1.764229e-04,1.737787e-04,1.712366e-04,1.687928e-04,1.664436e-04,1.641855e-04,1.620151e-04,1.599292e-04,1.579246e-04,1.559983e-04,1.541472e-04,1.523687e-04,1.506600e-04,1.490184e-04,1.474415e-04,1.459268e-04,1.444720e-04,1.430748e-04,1.417330e-04,1.404446e-04,1.392076e-04,1.380199e-04,1.368798e-04,1.357855e-04,1.347351e-04,1.337271e-04
0.000000e+00,2.534513e-09,1.303710e-07,1.385459e-07,1.775490e-06,1.058820e-05,1.127860e-05,4.267267e-05,1.028688e-04,1.077300e-04,2.026484e-04,3.040739e-04,3.131429e-04,4.259888e-04,5.229093e-04,5.332595e-04,6.314210e-04,7.094214e-04,7.194484e-04,7.974912e-04,8.570862e-04,8.661643e-04,9.262264e-04,9.705878e-04,9.784468e-04,1.023557e-03,1.055719e-03,1.062235e-03,1.095106e-03,1.117606e-03,1.122740e-03,1.145659e-03,1.160570e-03,1.164338e-03,1.179208e-03,1.188204e-03,1.190661e-03,1.199053e-03,1.203483e-03,1.204707e-03,1.207913e-03,1.208856e-03,1.208937e-03,1.208019e-03,1.206336e-03,1.205373e-03,1.201198e-03,1.197575e-03,1.195668e-03,1.188945e-03,1.183924e-03,1.181172e-03,1.172481e-03,1.166490e-03,1.162987e-03,1.152799e-03,1.146175e-03,1.142011e-03,1.130709e-03,1.123714e-03,1.118971e-03,1.106866e-03,1.099702e-03,1.094457e-03,1.081801e-03,1.074624e-03,1.068947e-03,1.055942e-03,1.048871e-03,1.042826e-03,1.029634e-03,1.022755e-03,1.016400e-03,1.003151e-03,9.965302e-04,9.899150e-04,9.767134e-04,9.703950e-04,9.635669e-04,9.504933e-04,9.445084e-04,9.375085e-04,9.246265e-04,9.189942e-04,9.118594e-04,8.992179e-04,8.939482e-04,8.867112e-04,8.743473e-04,8.694434e-04,8.621332e-04,8.500746e-04,8.455342e-04,8.381765e-04,8.264430e-04,8.222600e-04,8.148775e-04,8.034826e-04,7.996477e-04,7.922605e-04,7.812127e-04,7.777144e-04,7.703403e-04,7.596438e-04,7.564693e-04,7.491238e-04,7.387800e-04,7.359153e-04,7.286122e-04,7.186197e-04,7.160503e-04,7.088016e-04,6.991570e-04,6.968679e-04,6.896843e-04,6.803824e-04,6.783587e-04,6.712495e-04,6.622840e-04,6.605108e-04,6.534840e-04,6.448477e-04,6.433104e-04,6.363731e-04,6.280582e-04,6.267424e-04,6.199008e-04,6.118988e-04,6.107908e-04,6.040500e-04,5.963523e-04,5.954386e-04,5.888033e-04,5.814009e-04,5.806686e-04,5.741427e-04,5.670265e-04,5.664632e-04,5.600500e-04,5.532109e-04,5.528049e-04,5.465071e-04,5.399362e-04,5.396761e-04,5.334960e-04,5.271842e-04,5.270593e-04,5.209987e-04,5.149373e-04,5.032933e-04,4.921107e-04,4.813732e-04,4.710652e-04,4.611711e-04,4.516761e-04,4.425655e-04,4.338255e-04,4.254422e-04,4.174026e-04,4.096938e-04,4.023034e-04,3.952196e-04,3.884308e-04,3.819259e-04,3.756941e-04,3.697250e-04,3.640086e-04,3.585353e-04,3.532958e-04,3.482810e-04,3.434824e-04,3.388915e-04,3.345003e-04,3.303010e-04,3.262862e-04,3.224487e-04,3.187815e-04,3.152778e-04,3.119314e-04,3.087359e-04,3.056854e-04,3.027740e-04,2.999963e-04,2.973469e-04,2.948207e-04,2.924126e-04,2.901179e-04,2.879319e-04,2.858504e-04,2.838689e-04,2.819834e-04,2.801899e-04,2.784847e-04,2.768640e-04,2.753242e-04,2.738621e-04,2.724744e-04,2.711578e-04
0.000000e+00,1.464085e-08,2.805779e-07,2.944221e-07,2.219077e-06,8.443954e-06,8.828530e-06,2.097977e-05,3.437947e-05,3.524198e-05,4.937499e-05,6.177878e-05,6.282648e-05,7.549604e-05,8.622774e-05,8.738153e-05,9.850351e-05,1.076801e-04,1.088882e-04,1.185634e-04,1.263382e-04,1.275574e-04,1.358990e-04,1.424228e-04,1.436170e-04,1.507403e-04,1.561576e-04,1.572973e-04,1.633163e-04,1.677624e-04,1.688245e-04,1.738488e-04,1.774483e-04,1.784148e-04,1.825473e-04,1.854129e-04,1.862703e-04,1.896066e-04,1.918393e-04,1.925780e-04,1.952054e-04,1.968953e-04,1.975087e-04,1.995068e-04,2.007338e-04,2.012180e-04,2.026593e-04,2.034937e-04,2.038472e-04,2.047971e-04,2.053009e-04,2.055239e-04,2.060416e-04,2.062693e-04,2.063634e-04,2.065022e-04,2.065015e-04,2.064697e-04,2.062775e-04,2.060900e-04,2.059363e-04,2.054564e-04,2.051182e-04,2.048473e-04,2.041184e-04,2.036610e-04,2.032782e-04,2.023350e-04,2.017856e-04,2.012965e-04,2.001702e-04,1.995521e-04,1.989630e-04,1.976814e-04,1.970147e-04,1.963318e-04,1.949198e-04,1.942216e-04,1.934512e-04,1.919310e-04,1.912158e-04,1.903643e-04,1.887558e-04,1.880358e-04,1.871097e-04,1.854302e-04,1.847158e-04,1.837212e-04,1.819865e-04,1.812861e-04,1.802293e-04,1.784531e-04,1.777737e-04,1.766607e-04,1.748551e-04,1.742024e-04,1.730390e-04,1.712148e-04,1.705932e-04,1.693850e-04,1.675517e-04,1.669647e-04,1.657170e-04,1.638829e-04,1.633330e-04,1.620511e-04,1.602233e-04,1.597125e-04,1.584011e-04,1.565860e-04,1.561154e-04,1.547793e-04,1.529822e-04,1.525525e-04,1.511960e-04,1.494217e-04,1.490331e-04,1.476604e-04,1.459128e-04,1.455651e-04,1.441800e-04,1.424626e-04,1.421552e-04,1.407614e-04,1.390770e-04,1.388091e-04,1.374101e-04,1.357611e-04,1.355317e-04,1.341305e-04,1.325188e-04,1.323267e-04,1.309264e-04,1.293536e-04,1.291974e-04,1.278007e-04,1.262679e-04,1.261462e-04,1.247556e-04,1.232639e-04,1.231751e-04,1.217930e-04,1.203430e-04,1.202854e-04,1.189139e-04,1.175060e-04,1.174781e-04,1.161192e-04,1.147536e-04,1.121121e-04,1.095535e-04,1.070772e-04,1.046828e-04,1.023691e-04,1.001353e-04,9.798004e-05,9.590205e-05,9.389989e-05,9.197201e-05,9.011682e-05,8.833266e-05,8.661779e-05,8.497050e-05,8.338900e-05,8.187153e-05,8.041628e-05,7.902147e-05,7.768532e-05,7.640606e-05,7.518192e-05,7.401118e-05,7.289211e-05,7.182303e-05,7.080228e-05,6.982823e-05,6.889927e-05,6.801384e-05,6.717042e-05,6.636749e-05,6.560362e-05,6.487736e-05,6.418733e-05,6.353218e-05,6.291059e-05,6.232129e-05,6.176303e-05,6.123460e-05,6.073484e-05,6.026259e-05,5.981677e-05,5.939630e-05,5.900014e-05,5.862730e-05,5.827679e-05,5.794769e-05,5.763908e-05,5.735007e-05,5.707983e-05
0.000000e+00,7.085094e-09,3.248533e-07,3.443116e-07,3.943921e-06,2.217545e-05,2.358051e-05,8.585312e-05,1.995531e-04,2.085101e-04,3.794494e-04,5.581262e-04,5.740681e-04,7.738430e-04,9.499447e-04,9.691280e-04,1.155889e-03,1.312060e-03,1.332744e-03,1.499383e-03,1.634584e-03,1.655894e-03,1.802506e-03,1.918222e-03,1.939510e-03,2.067223e-03,2.165255e-03,2.185987e-03,2.296154e-03,2.378340e-03,2.398085e-03,2.492143e-03,2.560278e-03,2.578693e-03,2.658093e-03,2.713871e-03,2.730694e-03,2.796839e-03,2.841826e-03,2.856860e-03,2.911078e-03,2.946695e-03,2.959801e-03,3.003325e-03,3.030851e-03,3.041934e-03,3.075902e-03,3.096481e-03,3.105487e-03,3.130938e-03,3.145588e-03,3.152494e-03,3.170380e-03,3.180002e-03,3.184813e-03,3.195999e-03,3.201390e-03,3.204134e-03,3.209404e-03,3.211266e-03,3.211989e-03,3.212057e-03,3.211006e-03,3.209768e-03,3.205278e-03,3.201855e-03,3.198730e-03,3.190263e-03,3.184940e-03,3.180009e-03,3.168092e-03,3.161278e-03,3.154630e-03,3.139736e-03,3.131786e-03,3.123517e-03,3.106072e-03,3.097292e-03,3.087499e-03,3.067887e-03,3.058541e-03,3.047323e-03,3.025888e-03,3.016200e-03,3.003659e-03,2.980709e-03,2.970872e-03,2.957108e-03,2.932920e-03,2.923094e-03,2.908207e-03,2.883027e-03,2.873348e-03,2.857436e-03,2.831485e-03,2.822064e-03,2.805223e-03,2.778696e-03,2.769624e-03,2.751948e-03,2.725020e-03,2.716371e-03,2.697950e-03,2.670774e-03,2.662606e-03,2.643527e-03,2.616241e-03,2.608598e-03,2.588946e-03,2.561669e-03,2.554583e-03,2.534437e-03,2.507275e-03,2.500770e-03,2.480206e-03,2.453252e-03,2.447339e-03,2.426432e-03,2.399765e-03,2.394451e-03,2.373268e-03,2.346959e-03,2.342244e-03,2.320851e-03,2.294958e-03,2.290836e-03,2.269294e-03,2.243870e-03,2.240331e-03,2.218698e-03,2.193786e-03,2.190815e-03,2.169144e-03,2.144781e-03,2.142360e-03,2.120704e-03,2.096920e-03,2.095030e-03,2.073434e-03,2.050254e-03,2.048872e-03,2.027382e-03,2.004824e-03,2.003929e-03,1.982584e-03,1.960665e-03,1.960230e-03,1.939069e-03,1.917799e-03,1.876652e-03,1.836800e-03,1.798247e-03,1.760992e-03,1.725032e-03,1.690357e-03,1.656957e-03,1.624816e-03,1.593917e-03,1.564241e-03,1.535767e-03,1.508472e-03,1.482332e-03,1.457322e-03,1.433415e-03,1.410586e-03,1.388805e-03,1.368047e-03,1.348281e-03,1.329481e-03,1.311617e-03,1.294661e-03,1.278585e-03,1.263360e-03,1.248958e-03,1.235352e-03,1.222514e-03,1.210417e-03,1.199035e-03,1.188340e-03,1.178306e-03,1.168910e-03,1.160124e-03,1.151926e-03,1.144290e-03,1.137194e-03,1.130614e-03,1.124529e-03,1.118915e-03,1.113753e-03,1.109021e-03,1.104699e-03,1.100767e-03,1.097206e-03,1.093998e-03,1.091124e-03,1.088568e-03,1.086311e-03,1.084339e-03
0.000000e+00,7.052075e-09,2.772344e-07,2.928324e-07,2.715408e-06,1.207561e-05,1.272302e-05,3.839396e-05,8.177072e-05,8.518218e-05,1.515654e-04,2.235792e-04,2.300980e-04,3.123607e-04,3.848474e-04,3.927021e-04,4.684971e-04,5.307321e-04,5.388862e-04,6.037631e-04,6.552724e-04,6.632939e-04,7.177294e-04,7.597169e-04,7.673423e-04,8.124074e-04,8.461573e-04,8.531955e-04,8.899707e-04,9.166693e-04,9.229815e-04,9.524594e-04,9.731428e-04,9.786266e-04,1.001696e-03,1.017282e-03,1.021871e-03,1.039341e-03,1.050636e-03,1.054290e-03,1.066886e-03,1.074591e-03,1.077293e-03,1.085662e-03,1.090386e-03,1.092137e-03,1.096854e-03,1.099121e-03,1.099938e-03,1.101511e-03,1.101777e-03,1.101686e-03,1.100568e-03,1.099220e-03,1.098257e-03,1.094847e-03,1.092220e-03,1.090427e-03,1.085079e-03,1.081458e-03,1.078882e-03,1.071907e-03,1.067533e-03,1.064224e-03,1.055897e-03,1.050974e-03,1.046985e-03,1.037546e-03,1.032249e-03,1.027633e-03,1.017294e-03,1.011765e-03,1.006576e-03,9.955228e-04,9.898828e-04,9.841738e-04,9.725673e-04,9.669150e-04,9.607383e-04,9.487197e-04,9.431360e-04,9.365421e-04,9.242341e-04,9.187841e-04,9.118220e-04,8.993306e-04,8.940661e-04,8.867827e-04,8.741994e-04,8.691607e-04,8.616006e-04,8.490043e-04,8.442219e-04,8.364273e-04,8.238852e-04,8.193814e-04,8.113923e-04,7.989617e-04,7.947516e-04,7.866054e-04,7.743346e-04,7.704277e-04,7.621594e-04,7.500890e-04,7.464896e-04,7.381318e-04,7.262954e-04,7.230038e-04,7.145867e-04,7.030118e-04,7.000250e-04,6.915765e-04,6.802855e-04,6.775977e-04,6.691434e-04,6.581539e-04,6.557570e-04,6.473204e-04,6.366460e-04,6.345304e-04,6.261331e-04,6.157837e-04,6.139383e-04,6.055997e-04,5.955824e-04,5.939952e-04,5.857330e-04,5.760521e-04,5.747102e-04,5.665403e-04,5.571978e-04,5.560880e-04,5.480246e-04,5.390205e-04,5.381294e-04,5.301851e-04,5.215178e-04,5.208317e-04,5.130179e-04,5.046843e-04,5.041895e-04,4.965160e-04,4.885119e-04,4.881951e-04,4.806705e-04,4.729905e-04,4.728386e-04,4.654704e-04,4.581084e-04,4.439918e-04,4.304745e-04,4.175418e-04,4.051779e-04,3.933669e-04,3.820920e-04,3.713367e-04,3.610840e-04,3.513171e-04,3.420192e-04,3.331735e-04,3.247635e-04,3.167731e-04,3.091862e-04,3.019872e-04,2.951607e-04,2.886919e-04,2.825662e-04,2.767695e-04,2.712880e-04,2.661085e-04,2.612180e-04,2.566041e-04,2.522548e-04,2.481583e-04,2.443034e-04,2.406794e-04,2.372758e-04,2.340825e-04,2.310899e-04,2.282886e-04,2.256699e-04,2.232250e-04,2.209458e-04,2.188242e-04,2.168528e-04,2.150243e-04,2.133316e-04,2.117681e-04,2.103273e-04,2.090032e-04,2.077897e-04,2.066814e-04,2.056727e-04,2.047585e-04,2.039338e-04,2.031940e-04,2.025344e-04,2.019508e-04
0.000000e+00,3.934877e-09,1.872795e-07,1.986382e-07,2.307003e-06,1.277247e-05,1.357318e-05,4.953170e-05,1.196904e-04,1.254613e-04,2.405850e-04,3.667101e-04,3.780618e-04,5.195107e-04,6.405048e-04,6.533658e-04,7.745537e-04,8.696266e-04,8.817564e-04,9.753447e-04,1.045689e-03,1.056305e-03,1.125781e-03,1.176091e-03,1.184899e-03,1.234713e-03,1.269300e-03,1.276192e-03,1.310217e-03,1.332611e-03,1.337588e-03,1.359029e-03,1.372059e-03,1.375193e-03,1.386670e-03,1.392588e-03,1.393993e-03,1.397640e-03,1.398226e-03,1.398040e-03,1.395583e-03,1.392240e-03,1.390615e-03,1.383448e-03,1.377274e-03,1.374362e-03,1.363609e-03,1.355459e-03,1.351412e-03,1.337975e-03,1.328514e-03,1.323476e-03,1.308077e-03,1.297817e-03,1.291922e-03,1.275139e-03,1.264469e-03,1.257843e-03,1.240136e-03,1.229352e-03,1.222109e-03,1.203842e-03,1.193167e-03,1.185409e-03,1.166872e-03,1.156467e-03,1.148287e-03,1.129705e-03,1.119687e-03,1.111169e-03,1.092718e-03,1.083167e-03,1.074384e-03,1.056198e-03,1.047169e-03,1.038186e-03,1.020369e-03,1.011892e-03,1.002766e-03,9.853940e-04,9.774843e-04,9.682668e-04,9.513959e-04,9.440564e-04,9.347910e-04,9.184602e-04,9.116846e-04,9.024099e-04,8.866453e-04,8.804203e-04,8.711700e-04,8.559868e-04,8.502942e-04,8.410974e-04,8.265028e-04,8.213209e-04,8.122030e-04,7.981977e-04,7.935027e-04,7.844855e-04,7.710649e-04,7.668315e-04,7.579337e-04,7.450894e-04,7.412916e-04,7.325292e-04,7.202499e-04,7.168616e-04,7.082482e-04,6.965204e-04,6.935156e-04,6.850628e-04,6.738712e-04,6.712244e-04,6.629418e-04,6.522702e-04,6.499567e-04,6.418523e-04,6.316837e-04,6.296795e-04,6.217600e-04,6.120768e-04,6.103590e-04,6.026297e-04,5.934142e-04,5.919610e-04,5.844260e-04,5.756605e-04,5.744509e-04,5.671134e-04,5.587803e-04,5.577945e-04,5.506568e-04,5.427387e-04,5.419580e-04,5.350217e-04,5.275016e-04,5.269084e-04,5.201742e-04,5.130354e-04,5.126130e-04,5.060813e-04,4.993076e-04,4.990404e-04,4.927107e-04,4.862865e-04,4.861598e-04,4.800313e-04,4.739413e-04,4.623563e-04,4.513768e-04,4.409761e-04,4.311284e-04,4.218087e-04,4.129931e-04,4.046587e-04,3.967835e-04,3.893462e-04,3.823266e-04,3.757051e-04,3.694632e-04,3.635830e-04,3.580472e-04,3.528396e-04,3.479443e-04,3.433464e-04,3.390314e-04,3.349855e-04,3.311956e-04,3.276489e-04,3.243335e-04,3.212378e-04,3.183506e-04,3.156615e-04,3.131604e-04,3.108374e-04,3.086835e-04,3.066898e-04,3.048478e-04,3.031495e-04,3.015871e-04,3.001533e-04,2.988411e-04,2.976437e-04,2.965548e-04,2.955681e-04,2.946780e-04,2.938788e-04,2.931651e-04,2.925320e-04,2.919746e-04,2.914883e-04,2.910688e-04,2.907117e-04,2.904133e-04,2.901697e-04,2.899772e-04,2.898325e-04
0.000000e+00,6.519307e-10,4.156861e-08,4.429030e-08,6.101185e-07,3.797273e-06,4.054779e-06,1.686541e-05,4.741209e-05,5.023189e-05,1.166845e-04,2.143978e-04,2.246370e-04,3.753273e-04,5.432828e-04,5.635542e-04,7.802694e-04,9.863364e-04,1.015144e-03,1.258358e-03,1.467777e-03,1.501562e-03,1.738227e-03,1.928457e-03,1.963613e-03,2.174546e-03,2.335356e-03,2.369119e-03,2.546405e-03,2.675627e-03,2.706193e-03,2.848774e-03,2.948438e-03,2.974777e-03,3.085044e-03,3.158913e-03,3.180538e-03,3.262276e-03,3.314510e-03,3.331285e-03,3.388578e-03,3.423121e-03,3.435126e-03,3.471852e-03,3.492186e-03,3.499628e-03,3.519263e-03,3.528352e-03,3.531512e-03,3.537074e-03,3.537397e-03,3.536593e-03,3.530663e-03,3.524261e-03,3.519829e-03,3.504594e-03,3.493141e-03,3.485417e-03,3.462720e-03,3.447575e-03,3.436891e-03,3.408282e-03,3.390544e-03,3.377218e-03,3.343996e-03,3.324550e-03,3.308885e-03,3.272134e-03,3.251687e-03,3.233969e-03,3.194596e-03,3.173708e-03,3.154204e-03,3.112963e-03,3.092075e-03,3.071031e-03,3.028550e-03,3.008002e-03,2.985648e-03,2.942443e-03,2.922497e-03,2.899042e-03,2.855542e-03,2.836393e-03,2.812029e-03,2.768583e-03,2.750373e-03,2.725275e-03,2.682169e-03,2.664996e-03,2.639322e-03,2.596787e-03,2.580714e-03,2.554608e-03,2.512828e-03,2.497891e-03,2.471482e-03,2.430603e-03,2.416815e-03,2.390218e-03,2.350354e-03,2.337710e-03,2.311030e-03,2.272267e-03,2.260749e-03,2.234079e-03,2.196480e-03,2.186059e-03,2.159481e-03,2.123091e-03,2.113730e-03,2.087317e-03,2.052165e-03,2.043821e-03,2.017638e-03,1.983739e-03,1.976365e-03,1.950469e-03,1.917827e-03,1.911374e-03,1.885814e-03,1.854426e-03,1.848843e-03,1.823662e-03,1.793517e-03,1.788751e-03,1.763987e-03,1.735067e-03,1.731066e-03,1.706751e-03,1.679034e-03,1.675748e-03,1.651910e-03,1.625370e-03,1.622748e-03,1.599409e-03,1.574019e-03,1.572012e-03,1.549192e-03,1.524919e-03,1.523481e-03,1.501194e-03,1.478008e-03,1.477092e-03,1.455352e-03,1.433218e-03,1.432781e-03,1.411598e-03,1.390483e-03,1.350130e-03,1.311655e-03,1.274992e-03,1.240074e-03,1.206835e-03,1.175212e-03,1.145141e-03,1.116560e-03,1.089409e-03,1.063630e-03,1.039166e-03,1.015961e-03,9.939637e-04,9.731212e-04,9.533842e-04,9.347046e-04,9.170363e-04,9.003347e-04,8.845571e-04,8.696621e-04,8.556102e-04,8.423634e-04,8.298850e-04,8.181400e-04,8.070946e-04,7.967166e-04,7.869749e-04,7.778398e-04,7.692827e-04,7.612764e-04,7.537947e-04,7.468124e-04,7.403055e-04,7.342510e-04,7.286268e-04,7.234117e-04,7.185856e-04,7.141290e-04,7.100234e-04,7.062510e-04,7.027950e-04,6.996389e-04,6.967672e-04,6.941650e-04,6.918182e-04,6.897130e-04,6.878365e-04,6.861761e-04,6.847201e-04
0.000000e+00,2.684717e-10,3.255108e-09,3.392205e-09,1.955385e-08,6.602900e-08,6.890292e-08,1.676745e-07,2.987185e-07,3.077967e-07,4.615957e-07,5.976439e-07,6.089928e-07,7.434580e-07,8.526351e-07,8.640887e-07,9.714964e-07,1.055831e-06,1.066633e-06,1.150490e-06,1.214314e-06,1.224020e-06,1.288120e-06,1.335286e-06,1.343621e-06,1.391295e-06,1.425050e-06,1.431856e-06,1.465958e-06,1.488997e-06,1.494206e-06,1.517154e-06,1.531702e-06,1.535310e-06,1.549140e-06,1.557021e-06,1.559070e-06,1.565489e-06,1.568191e-06,1.568755e-06,1.569191e-06,1.567921e-06,1.567094e-06,1.562736e-06,1.558472e-06,1.556362e-06,1.548198e-06,1.541729e-06,1.538448e-06,1.527298e-06,1.519255e-06,1.514917e-06,1.501460e-06,1.492348e-06,1.487066e-06,1.471863e-06,1.462081e-06,1.455965e-06,1.439477e-06,1.429340e-06,1.422493e-06,1.405099e-06,1.394853e-06,1.387372e-06,1.369382e-06,1.359217e-06,1.351193e-06,1.332860e-06,1.322918e-06,1.314434e-06,1.295962e-06,1.286353e-06,1.277486e-06,1.259040e-06,1.249839e-06,1.240659e-06,1.222371e-06,1.213634e-06,1.204203e-06,1.186178e-06,1.177940e-06,1.168316e-06,1.150635e-06,1.142917e-06,1.133151e-06,1.115877e-06,1.108687e-06,1.098825e-06,1.082005e-06,1.075344e-06,1.065426e-06,1.049096e-06,1.042956e-06,1.033019e-06,1.017202e-06,1.011572e-06,1.001648e-06,9.863598e-07,9.812229e-07,9.713400e-07,9.565898e-07,9.519268e-07,9.421101e-07,9.279010e-07,9.236910e-07,9.139621e-07,9.002928e-07,8.965135e-07,8.868916e-07,8.737570e-07,8.703855e-07,8.608870e-07,8.482794e-07,8.452924e-07,8.359316e-07,8.238409e-07,8.212152e-07,8.120044e-07,8.004188e-07,7.981315e-07,7.890810e-07,7.779876e-07,7.760164e-07,7.671350e-07,7.565196e-07,7.548429e-07,7.461379e-07,7.359860e-07,7.345829e-07,7.260602e-07,7.163567e-07,7.152070e-07,7.068717e-07,6.976013e-07,6.966859e-07,6.885416e-07,6.796889e-07,6.789895e-07,6.710393e-07,6.625889e-07,6.620882e-07,6.543341e-07,6.462709e-07,6.459523e-07,6.383957e-07,6.307048e-07,6.305528e-07,6.231944e-07,6.158610e-07,6.018489e-07,5.884893e-07,5.757554e-07,5.636217e-07,5.520629e-07,5.410551e-07,5.305748e-07,5.205995e-07,5.111076e-07,5.020780e-07,4.934908e-07,4.853266e-07,4.775667e-07,4.701935e-07,4.631896e-07,4.565388e-07,4.502252e-07,4.442338e-07,4.385500e-07,4.331599e-07,4.280503e-07,4.232084e-07,4.186220e-07,4.142793e-07,4.101693e-07,4.062812e-07,4.026047e-07,3.991299e-07,3.958476e-07,3.927487e-07,3.898246e-07,3.870670e-07,3.844682e-07,3.820204e-07,3.797167e-07,3.775500e-07,3.755138e-07,3.736017e-07,3.718078e-07,3.701263e-07,3.685517e-07,3.670787e-07,3.657024e-07,3.644178e-07,3.632204e-07,3.621059e-07,3.610701e-07,3.601089e-07,3.592185e-07
0.000000e+00,2.307932e-10,3.386253e-09,3.542984e-09,2.410933e-08,8.925585e-08,9.335201e-08,2.294885e-07,3.893755e-07,3.997607e-07,5.686202e-07,7.127560e-07,7.247039e-07,8.660598e-07,9.809570e-07,9.930304e-07,1.106494e-06,1.195943e-06,1.207425e-06,1.296774e-06,1.365040e-06,1.375442e-06,1.444274e-06,1.495071e-06,1.504060e-06,1.555538e-06,1.592035e-06,1.599396e-06,1.636280e-06,1.661168e-06,1.666787e-06,1.691477e-06,1.707031e-06,1.710867e-06,1.725438e-06,1.733565e-06,1.735636e-06,1.741869e-06,1.744156e-06,1.744520e-06,1.743937e-06,1.741698e-06,1.740444e-06,1.734336e-06,1.728653e-06,1.725888e-06,1.715350e-06,1.707109e-06,1.702953e-06,1.688908e-06,1.678830e-06,1.673408e-06,1.656632e-06,1.645301e-06,1.638741e-06,1.619885e-06,1.607769e-06,1.600198e-06,1.579805e-06,1.567277e-06,1.558818e-06,1.537341e-06,1.524696e-06,1.515466e-06,1.493279e-06,1.480747e-06,1.470857e-06,1.448269e-06,1.436026e-06,1.425580e-06,1.402845e-06,1.391022e-06,1.380116e-06,1.357440e-06,1.346135e-06,1.334857e-06,1.312406e-06,1.301686e-06,1.290119e-06,1.268025e-06,1.257934e-06,1.246151e-06,1.224519e-06,1.215083e-06,1.203149e-06,1.182060e-06,1.173290e-06,1.161267e-06,1.140782e-06,1.132677e-06,1.120616e-06,1.100780e-06,1.093330e-06,1.081280e-06,1.062123e-06,1.055311e-06,1.043313e-06,1.024856e-06,1.018660e-06,1.006752e-06,9.890034e-07,9.833991e-07,9.716113e-07,9.545754e-07,9.495339e-07,9.378947e-07,9.215678e-07,9.170594e-07,9.055926e-07,8.899664e-07,8.859604e-07,8.746862e-07,8.597485e-07,8.562140e-07,8.451494e-07,8.308849e-07,8.277912e-07,8.169504e-07,8.033414e-07,8.006582e-07,7.900529e-07,7.770799e-07,7.747779e-07,7.644172e-07,7.520595e-07,7.501102e-07,7.400014e-07,7.282374e-07,7.266136e-07,7.167620e-07,7.055695e-07,7.042452e-07,6.946545e-07,6.840113e-07,6.829617e-07,6.736343e-07,6.635178e-07,6.627196e-07,6.536564e-07,6.440445e-07,6.434756e-07,6.346766e-07,6.255473e-07,6.251871e-07,6.166512e-07,6.079830e-07,6.078119e-07,5.995374e-07,5.913092e-07,5.756390e-07,5.607625e-07,5.466422e-07,5.332421e-07,5.205271e-07,5.084639e-07,4.970204e-07,4.861658e-07,4.758706e-07,4.661068e-07,4.568476e-07,4.480673e-07,4.397415e-07,4.318471e-07,4.243618e-07,4.172648e-07,4.105359e-07,4.041562e-07,3.981077e-07,3.923732e-07,3.869364e-07,3.817820e-07,3.768952e-07,3.722622e-07,3.678698e-07,3.637055e-07,3.597575e-07,3.560145e-07,3.524658e-07,3.491015e-07,3.459119e-07,3.428880e-07,3.400212e-07,3.373033e-07,3.347266e-07,3.322838e-07,3.299681e-07,3.277728e-07,3.256917e-07,3.237190e-07,3.218490e-07,3.200764e-07,3.183963e-07,3.168040e-07,3.152948e-07,3.138645e-07,3.125092e-07,3.112250e-07,3.100081e-07
0.000000e+00,3.496887e-10,5.621510e-09,5.880184e-09,3.674842e-08,1.185863e-07,1.233366e-07,2.709474e-07,4.349719e-07,4.454658e-07,6.136034e-07,7.535118e-07,7.649646e-07,8.987924e-07,1.005256e-06,1.016318e-06,1.119042e-06,1.198348e-06,1.208413e-06,1.285764e-06,1.343605e-06,1.352314e-06,1.409168e-06,1.450171e-06,1.457332e-06,1.497713e-06,1.525597e-06,1.531133e-06,1.558333e-06,1.576067e-06,1.579982e-06,1.596684e-06,1.606627e-06,1.608980e-06,1.617359e-06,1.621380e-06,1.622261e-06,1.624079e-06,1.623650e-06,1.623169e-06,1.619849e-06,1.616129e-06,1.614406e-06,1.607096e-06,1.600993e-06,1.598150e-06,1.587773e-06,1.579995e-06,1.576152e-06,1.563451e-06,1.554551e-06,1.549820e-06,1.535392e-06,1.525794e-06,1.520284e-06,1.504604e-06,1.494637e-06,1.488447e-06,1.471899e-06,1.461814e-06,1.455035e-06,1.437923e-06,1.427908e-06,1.420623e-06,1.403188e-06,1.393383e-06,1.385665e-06,1.368097e-06,1.358604e-06,1.350520e-06,1.332967e-06,1.323858e-06,1.315466e-06,1.298045e-06,1.289370e-06,1.280724e-06,1.263523e-06,1.255315e-06,1.246460e-06,1.229550e-06,1.221825e-06,1.212804e-06,1.196234e-06,1.189002e-06,1.179850e-06,1.163659e-06,1.156918e-06,1.147668e-06,1.131883e-06,1.125627e-06,1.116308e-06,1.100947e-06,1.095166e-06,1.085802e-06,1.070876e-06,1.065557e-06,1.056170e-06,1.041686e-06,1.036811e-06,1.027422e-06,1.013381e-06,1.008934e-06,9.995595e-07,9.859585e-07,9.819210e-07,9.725766e-07,9.594123e-07,9.557651e-07,9.464641e-07,9.337301e-07,9.304541e-07,9.212083e-07,9.088967e-07,9.059729e-07,8.967930e-07,8.848948e-07,8.823045e-07,8.731996e-07,8.617050e-07,8.594299e-07,8.504082e-07,8.393068e-07,8.373290e-07,8.283978e-07,8.176788e-07,8.159812e-07,8.071468e-07,7.967992e-07,7.953651e-07,7.866331e-07,7.766458e-07,7.754592e-07,7.668345e-07,7.571965e-07,7.562421e-07,7.477290e-07,7.384292e-07,7.376924e-07,7.292945e-07,7.203221e-07,7.197889e-07,7.115095e-07,7.028538e-07,7.025108e-07,6.943526e-07,6.860031e-07,6.858377e-07,6.778030e-07,6.697495e-07,6.542269e-07,6.392507e-07,6.248026e-07,6.108645e-07,5.974190e-07,5.844493e-07,5.719390e-07,5.598722e-07,5.482337e-07,5.370086e-07,5.261826e-07,5.157418e-07,5.056729e-07,4.959628e-07,4.865992e-07,4.775699e-07,4.688632e-07,4.604680e-07,4.523734e-07,4.445687e-07,4.370440e-07,4.297895e-07,4.227956e-07,4.160532e-07,4.095536e-07,4.032883e-07,3.972490e-07,3.914278e-07,3.858171e-07,3.804094e-07,3.751978e-07,3.701752e-07,3.653351e-07,3.606709e-07,3.561767e-07,3.518463e-07,3.476740e-07,3.436542e-07,3.397816e-07,3.360509e-07,3.324573e-07,3.289957e-07,3.256617e-07,3.224506e-07,3.193581e-07,3.163800e-07,3.135123e-07,3.107511e-07,3.080925e-07
0.000000e+00,1.282526e-08,3.804081e-07,4.004542e-07,3.248207e-06,1.288667e-05,1.351251e-05,3.608334e-05,6.825240e-05,7.056098e-05,1.110741e-04,1.488146e-04,1.520339e-04,1.909891e-04,2.237875e-04,2.272950e-04,2.608806e-04,2.882471e-04,2.918246e-04,3.202433e-04,3.427594e-04,3.462623e-04,3.700083e-04,3.882900e-04,3.916065e-04,4.111793e-04,4.258009e-04,4.288452e-04,4.447186e-04,4.562005e-04,4.589090e-04,4.715211e-04,4.803273e-04,4.826547e-04,4.924050e-04,4.989459e-04,5.008624e-04,5.081125e-04,5.127483e-04,5.142367e-04,5.193118e-04,5.223569e-04,5.234099e-04,5.265996e-04,5.283266e-04,5.289454e-04,5.305082e-04,5.311533e-04,5.313457e-04,5.315121e-04,5.312791e-04,5.310582e-04,5.300319e-04,5.290957e-04,5.284785e-04,5.264403e-04,5.249509e-04,5.239574e-04,5.210674e-04,5.191526e-04,5.178053e-04,5.142041e-04,5.119724e-04,5.102950e-04,5.061068e-04,5.036498e-04,5.016670e-04,4.970009e-04,4.943957e-04,4.921326e-04,4.870843e-04,4.843950e-04,4.818769e-04,4.765299e-04,4.738099e-04,4.710616e-04,4.654890e-04,4.627818e-04,4.598279e-04,4.540931e-04,4.514341e-04,4.482983e-04,4.424562e-04,4.398739e-04,4.365788e-04,4.306771e-04,4.281935e-04,4.247612e-04,4.188405e-04,4.164729e-04,4.129239e-04,4.070194e-04,4.047804e-04,4.011343e-04,3.952756e-04,3.931742e-04,3.894495e-04,3.836618e-04,3.817036e-04,3.779176e-04,3.722218e-04,3.704101e-04,3.665788e-04,3.609925e-04,3.593282e-04,3.554665e-04,3.500040e-04,3.484863e-04,3.446079e-04,3.392808e-04,3.379073e-04,3.340249e-04,3.288423e-04,3.276095e-04,3.237346e-04,3.187035e-04,3.176071e-04,3.137503e-04,3.088759e-04,3.079106e-04,3.040813e-04,2.993673e-04,2.985273e-04,2.947343e-04,2.901827e-04,2.894621e-04,2.857129e-04,2.813250e-04,2.807172e-04,2.770188e-04,2.727944e-04,2.722929e-04,2.686514e-04,2.645896e-04,2.641879e-04,2.606086e-04,2.567079e-04,2.563993e-04,2.528869e-04,2.491449e-04,2.489229e-04,2.454814e-04,2.418955e-04,2.417537e-04,2.383865e-04,2.349535e-04,2.348856e-04,2.315956e-04,2.283119e-04,2.220253e-04,2.160181e-04,2.102822e-04,2.048094e-04,1.995910e-04,1.946185e-04,1.898832e-04,1.853766e-04,1.810900e-04,1.770150e-04,1.731432e-04,1.694664e-04,1.659765e-04,1.626657e-04,1.595263e-04,1.565507e-04,1.537319e-04,1.510628e-04,1.485365e-04,1.461465e-04,1.438866e-04,1.417506e-04,1.397326e-04,1.378270e-04,1.360284e-04,1.343316e-04,1.327316e-04,1.312237e-04,1.298032e-04,1.284658e-04,1.272073e-04,1.260237e-04,1.249111e-04,1.238660e-04,1.228849e-04,1.219644e-04,1.211014e-04,1.202929e-04,1.195360e-04,1.188279e-04,1.181661e-04,1.175480e-04,1.169714e-04,1.164340e-04,1.159337e-04,1.154684e-04,1.150361e-04,1.146352e-04,1.142639e-04
0.000000e+00,1.769317e-09,2.806353e-08,2.937059e-08,1.906118e-07,6.163225e-07,6.400519e-07,1.315390e-06,1.989781e-06,2.032334e-06,2.724115e-06,3.327604e-06,3.378527e-06,3.994147e-06,4.515556e-06,4.571617e-06,5.112113e-06,5.558205e-06,5.616938e-06,6.087282e-06,6.465241e-06,6.524512e-06,6.930026e-06,7.247182e-06,7.305237e-06,7.651548e-06,7.914929e-06,7.970342e-06,8.262971e-06,8.479120e-06,8.530749e-06,8.774947e-06,8.949843e-06,8.996792e-06,9.197461e-06,9.336507e-06,9.378088e-06,9.539756e-06,9.647798e-06,9.683505e-06,9.810329e-06,9.891696e-06,9.921175e-06,1.001695e-05,1.007550e-05,1.009853e-05,1.016672e-05,1.020586e-05,1.022233e-05,1.026610e-05,1.028884e-05,1.029874e-05,1.032094e-05,1.032996e-05,1.033334e-05,1.033657e-05,1.033422e-05,1.033120e-05,1.031781e-05,1.030614e-05,1.029691e-05,1.026902e-05,1.024983e-05,1.023461e-05,1.019414e-05,1.016899e-05,1.014804e-05,1.009672e-05,1.006697e-05,1.004057e-05,9.979958e-06,9.946794e-06,9.915236e-06,9.846736e-06,9.811168e-06,9.774772e-06,9.699640e-06,9.662535e-06,9.621623e-06,9.540988e-06,9.503086e-06,9.457986e-06,9.372856e-06,9.334783e-06,9.285823e-06,9.197100e-06,9.159381e-06,9.106888e-06,9.015375e-06,8.978447e-06,8.922742e-06,8.829155e-06,8.793375e-06,8.734774e-06,8.639747e-06,8.605407e-06,8.544215e-06,8.448310e-06,8.415640e-06,8.352156e-06,8.255868e-06,8.225046e-06,8.159555e-06,8.063320e-06,8.034479e-06,7.967257e-06,7.871457e-06,7.844691e-06,7.776001e-06,7.680968e-06,7.656337e-06,7.586429e-06,7.492453e-06,7.469989e-06,7.399100e-06,7.306430e-06,7.286139e-06,7.214494e-06,7.123344e-06,7.105212e-06,7.033023e-06,6.943574e-06,6.927568e-06,6.855034e-06,6.767439e-06,6.753514e-06,6.680821e-06,6.595208e-06,6.583304e-06,6.510626e-06,6.427099e-06,6.417147e-06,6.344647e-06,6.263289e-06,6.255214e-06,6.183041e-06,6.103917e-06,6.097636e-06,6.025929e-06,5.949089e-06,5.944515e-06,5.873403e-06,5.798879e-06,5.795923e-06,5.725523e-06,5.653338e-06,5.651906e-06,5.582326e-06,5.512490e-06,5.377677e-06,5.247457e-06,5.121799e-06,5.000663e-06,4.883995e-06,4.771733e-06,4.663803e-06,4.560128e-06,4.460623e-06,4.365196e-06,4.273754e-06,4.186199e-06,4.102430e-06,4.022346e-06,3.945844e-06,3.872817e-06,3.803163e-06,3.736776e-06,3.673552e-06,3.613387e-06,3.556179e-06,3.501826e-06,3.450229e-06,3.401288e-06,3.354908e-06,3.310992e-06,3.269450e-06,3.230188e-06,3.193119e-06,3.158157e-06,3.125216e-06,3.094214e-06,3.065071e-06,3.037710e-06,3.012055e-06,2.988033e-06,2.965572e-06,2.944604e-06,2.925062e-06,2.906882e-06,2.890000e-06,2.874356e-06,2.859893e-06,2.846553e-06,2.834282e-06,2.823029e-06,2.812741e-06,2.803371e-06,2.794871e-06
0.000000e+00,3.111016e-09,2.353662e-07,2.516172e-07,3.625316e-06,1.899296e-05,2.005846e-05,5.879074e-05,1.107375e-04,1.143030e-04,1.740440e-04,2.253964e-04,2.295847e-04,2.776868e-04,3.142473e-04,3.179334e-04,3.509748e-04,3.748199e-04,3.777291e-04,3.990972e-04,4.137815e-04,4.158827e-04,4.287820e-04,4.370543e-04,4.383931e-04,4.452277e-04,4.490692e-04,4.497233e-04,4.522533e-04,4.530778e-04,4.531362e-04,4.526432e-04,4.514532e-04,4.510050e-04,4.484177e-04,4.459199e-04,4.450476e-04,4.410360e-04,4.377254e-04,4.365024e-04,4.315479e-04,4.277687e-04,4.262582e-04,4.207056e-04,4.166954e-04,4.149510e-04,4.090461e-04,4.049671e-04,4.030339e-04,3.969509e-04,3.929124e-04,3.908277e-04,3.846897e-04,3.807636e-04,3.785582e-04,3.724511e-04,3.686835e-04,3.663830e-04,3.603660e-04,3.567847e-04,3.544103e-04,3.485238e-04,3.451441e-04,3.427133e-04,3.369839e-04,3.338125e-04,3.313399e-04,3.257843e-04,3.228219e-04,3.203196e-04,3.149475e-04,3.121911e-04,3.096693e-04,3.044857e-04,3.019294e-04,2.993969e-04,2.944030e-04,2.920395e-04,2.895036e-04,2.846982e-04,2.825192e-04,2.799862e-04,2.753667e-04,2.733631e-04,2.708385e-04,2.664008e-04,2.645636e-04,2.620522e-04,2.577916e-04,2.561116e-04,2.536175e-04,2.495287e-04,2.479970e-04,2.455238e-04,2.416013e-04,2.402092e-04,2.377599e-04,2.339982e-04,2.327371e-04,2.303147e-04,2.267080e-04,2.255698e-04,2.231767e-04,2.197193e-04,2.186964e-04,2.163346e-04,2.130210e-04,2.121058e-04,2.097773e-04,2.066021e-04,2.057875e-04,2.034939e-04,2.004517e-04,1.997312e-04,1.974739e-04,1.945595e-04,1.939266e-04,1.917070e-04,1.889152e-04,1.883641e-04,1.861831e-04,1.835093e-04,1.830341e-04,1.808926e-04,1.783320e-04,1.779274e-04,1.758263e-04,1.733743e-04,1.730353e-04,1.709751e-04,1.686274e-04,1.683491e-04,1.663304e-04,1.640828e-04,1.638607e-04,1.618838e-04,1.597323e-04,1.595622e-04,1.576274e-04,1.555680e-04,1.554459e-04,1.535533e-04,1.515824e-04,1.515044e-04,1.496543e-04,1.477682e-04,1.477309e-04,1.459231e-04,1.441183e-04,1.406603e-04,1.373506e-04,1.341832e-04,1.311521e-04,1.282520e-04,1.254775e-04,1.228234e-04,1.202848e-04,1.178570e-04,1.155355e-04,1.133158e-04,1.111938e-04,1.091655e-04,1.072270e-04,1.053746e-04,1.036048e-04,1.019141e-04,1.002992e-04,9.875715e-05,9.728477e-05,9.587919e-05,9.453765e-05,9.325749e-05,9.203613e-05,9.087113e-05,8.976013e-05,8.870087e-05,8.769118e-05,8.672898e-05,8.581228e-05,8.493915e-05,8.410776e-05,8.331636e-05,8.256323e-05,8.184677e-05,8.116542e-05,8.051768e-05,7.990212e-05,7.931736e-05,7.876210e-05,7.823505e-05,7.773501e-05,7.726082e-05,7.681136e-05,7.638556e-05,7.598239e-05,7.560087e-05,7.524005e-05,7.489902e-05
0.000000e+00,1.686043e-09,3.089697e-08,3.241751e-08,2.343159e-07,8.280095e-07,8.629369e-07,1.908258e-06,2.993531e-06,3.062228e-06,4.176054e-06,5.139520e-06,5.220384e-06,6.192139e-06,7.006314e-06,7.093344e-06,7.927057e-06,8.607465e-06,8.696514e-06,9.404944e-06,9.967807e-06,1.005552e-05,1.065135e-05,1.111176e-05,1.119546e-05,1.169078e-05,1.206250e-05,1.214010e-05,1.254614e-05,1.284155e-05,1.291148e-05,1.323856e-05,1.346865e-05,1.352975e-05,1.378725e-05,1.396173e-05,1.401318e-05,1.420953e-05,1.433691e-05,1.437820e-05,1.452099e-05,1.460873e-05,1.463959e-05,1.473561e-05,1.479019e-05,1.481055e-05,1.486586e-05,1.489294e-05,1.490287e-05,1.492288e-05,1.492735e-05,1.492708e-05,1.491660e-05,1.490270e-05,1.489253e-05,1.485586e-05,1.482723e-05,1.480756e-05,1.474851e-05,1.470827e-05,1.467956e-05,1.460150e-05,1.455235e-05,1.451508e-05,1.442101e-05,1.436523e-05,1.431994e-05,1.421250e-05,1.415204e-05,1.409927e-05,1.398080e-05,1.391729e-05,1.385760e-05,1.373015e-05,1.366498e-05,1.359892e-05,1.346431e-05,1.339863e-05,1.332674e-05,1.318658e-05,1.312132e-05,1.304416e-05,1.289982e-05,1.283579e-05,1.275387e-05,1.260658e-05,1.254439e-05,1.245823e-05,1.230905e-05,1.224920e-05,1.215928e-05,1.200914e-05,1.195203e-05,1.185883e-05,1.170852e-05,1.165445e-05,1.155840e-05,1.140861e-05,1.135779e-05,1.125932e-05,1.111065e-05,1.106323e-05,1.096273e-05,1.081568e-05,1.077175e-05,1.066961e-05,1.052460e-05,1.048420e-05,1.038076e-05,1.023815e-05,1.020129e-05,1.009687e-05,9.956972e-06,9.923610e-06,9.818521e-06,9.681571e-06,9.651649e-06,9.546173e-06,9.412371e-06,9.385805e-06,9.280204e-06,9.149707e-06,9.126397e-06,9.020910e-06,8.893840e-06,8.873670e-06,8.768518e-06,8.644965e-06,8.627809e-06,8.523195e-06,8.403221e-06,8.388945e-06,8.285051e-06,8.168695e-06,8.157159e-06,8.054154e-06,7.941432e-06,7.932493e-06,7.830528e-06,7.721441e-06,7.714953e-06,7.614165e-06,7.508696e-06,7.504514e-06,7.405025e-06,7.303144e-06,7.301124e-06,7.203043e-06,7.104710e-06,6.915176e-06,6.732415e-06,6.556302e-06,6.386703e-06,6.223475e-06,6.066467e-06,5.915522e-06,5.770482e-06,5.631181e-06,5.497455e-06,5.369137e-06,5.246062e-06,5.128064e-06,5.014978e-06,4.906642e-06,4.802895e-06,4.703578e-06,4.608538e-06,4.517621e-06,4.430680e-06,4.347568e-06,4.268144e-06,4.192270e-06,4.119812e-06,4.050639e-06,3.984625e-06,3.921647e-06,3.861585e-06,3.804326e-06,3.749756e-06,3.697769e-06,3.648260e-06,3.601129e-06,3.556279e-06,3.513615e-06,3.473048e-06,3.434491e-06,3.397859e-06,3.363073e-06,3.330053e-06,3.298725e-06,3.269018e-06,3.240862e-06,3.214190e-06,3.188938e-06,3.165045e-06,3.142452e-06,3.121101e-06,3.100938e-06
0.000000e+00,9.171494e-09,1.776320e-07,1.861796e-07,1.387259e-06,5.744937e-06,6.039516e-06,1.705092e-05,3.271409e-05,3.381251e-05,5.263526e-05,6.983016e-05,7.129686e-05,8.914410e-05,1.043862e-04,1.060308e-04,1.219424e-04,1.351541e-04,1.368995e-04,1.509320e-04,1.622862e-04,1.640737e-04,1.763593e-04,1.860433e-04,1.878239e-04,1.985024e-04,2.066966e-04,2.084296e-04,2.176395e-04,2.245135e-04,2.261656e-04,2.340402e-04,2.397505e-04,2.412949e-04,2.479600e-04,2.526492e-04,2.540648e-04,2.596376e-04,2.634349e-04,2.647055e-04,2.692943e-04,2.723157e-04,2.734291e-04,2.771336e-04,2.794830e-04,2.804306e-04,2.833421e-04,2.851123e-04,2.858888e-04,2.880906e-04,2.893642e-04,2.899667e-04,2.915351e-04,2.923854e-04,2.928132e-04,2.938175e-04,2.943097e-04,2.945639e-04,2.950674e-04,2.952589e-04,2.953423e-04,2.954023e-04,2.953438e-04,2.952604e-04,2.949291e-04,2.946652e-04,2.944201e-04,2.937447e-04,2.933146e-04,2.929136e-04,2.919370e-04,2.913749e-04,2.908247e-04,2.895857e-04,2.889215e-04,2.882289e-04,2.867626e-04,2.860222e-04,2.851947e-04,2.835328e-04,2.827387e-04,2.817840e-04,2.799550e-04,2.791266e-04,2.780523e-04,2.760821e-04,2.752358e-04,2.740500e-04,2.719617e-04,2.711117e-04,2.698222e-04,2.676366e-04,2.667949e-04,2.654094e-04,2.631452e-04,2.623218e-04,2.608480e-04,2.585219e-04,2.577251e-04,2.561707e-04,2.537977e-04,2.530343e-04,2.514064e-04,2.489999e-04,2.482755e-04,2.465813e-04,2.441532e-04,2.434720e-04,2.417183e-04,2.392792e-04,2.386446e-04,2.368381e-04,2.343973e-04,2.338118e-04,2.319588e-04,2.295246e-04,2.289898e-04,2.270964e-04,2.246760e-04,2.241930e-04,2.222650e-04,2.198649e-04,2.194341e-04,2.174770e-04,2.151027e-04,2.147241e-04,2.127431e-04,2.103994e-04,2.100726e-04,2.080726e-04,2.057638e-04,2.054880e-04,2.034737e-04,2.012032e-04,2.009773e-04,1.989531e-04,1.967240e-04,1.965466e-04,1.945166e-04,1.923315e-04,1.922012e-04,1.901693e-04,1.880303e-04,1.879452e-04,1.859150e-04,1.838238e-04,1.837822e-04,1.817570e-04,1.797150e-04,1.757458e-04,1.718763e-04,1.681076e-04,1.644405e-04,1.608751e-04,1.574115e-04,1.540494e-04,1.507882e-04,1.476269e-04,1.445646e-04,1.415999e-04,1.387316e-04,1.359581e-04,1.332777e-04,1.306887e-04,1.281893e-04,1.257776e-04,1.234516e-04,1.212095e-04,1.190491e-04,1.169685e-04,1.149656e-04,1.130384e-04,1.111848e-04,1.094029e-04,1.076905e-04,1.060456e-04,1.044664e-04,1.029508e-04,1.014969e-04,1.001028e-04,9.876655e-05,9.748642e-05,9.626055e-05,9.508720e-05,9.396461e-05,9.289111e-05,9.186504e-05,9.088478e-05,8.994876e-05,8.905543e-05,8.820331e-05,8.739094e-05,8.661689e-05,8.587979e-05,8.517828e-05,8.451108e-05,8.387690e-05,8.327453e-05
0.000000e+00,2.417045e-09,3.041970e-08,3.171973e-08,1.874830e-07,6.390049e-07,6.667229e-07,1.584231e-06,2.679800e-06,2.751413e-06,3.912941e-06,4.890794e-06,4.971028e-06,5.908925e-06,6.653900e-06,6.731172e-06,7.446979e-06,7.996575e-06,8.066072e-06,8.597687e-06,8.991428e-06,9.050346e-06,9.431856e-06,9.702588e-06,9.749366e-06,1.000942e-05,1.018399e-05,1.021798e-05,1.038052e-05,1.048076e-05,1.050200e-05,1.058694e-05,1.063048e-05,1.063944e-05,1.066322e-05,1.066417e-05,1.066165e-05,1.063774e-05,1.060729e-05,1.059423e-05,1.053359e-05,1.048057e-05,1.045802e-05,1.036953e-05,1.030086e-05,1.026990e-05,1.016071e-05,1.008174e-05,1.004339e-05,9.919233e-06,9.834096e-06,9.789368e-06,9.654814e-06,9.566662e-06,9.516478e-06,9.375165e-06,9.286375e-06,9.231593e-06,9.086395e-06,8.998733e-06,8.940135e-06,8.793309e-06,8.708065e-06,8.646355e-06,8.499657e-06,8.417747e-06,8.353555e-06,8.208343e-06,8.130391e-06,8.064279e-06,7.921588e-06,7.847996e-06,7.780462e-06,7.641068e-06,7.572065e-06,7.503546e-06,7.368017e-06,7.303701e-06,7.234581e-06,7.103322e-06,7.043693e-06,6.974308e-06,6.847592e-06,6.792576e-06,6.723216e-06,6.601211e-06,6.550681e-06,6.481599e-06,6.364392e-06,6.318185e-06,6.249597e-06,6.137212e-06,6.095136e-06,6.027229e-06,5.919638e-06,5.881487e-06,5.814421e-06,5.711558e-06,5.677117e-06,5.611026e-06,5.512797e-06,5.481846e-06,5.416843e-06,5.323134e-06,5.295454e-06,5.231635e-06,5.142313e-06,5.117688e-06,5.055132e-06,4.970056e-06,4.948276e-06,4.887046e-06,4.806065e-06,4.786928e-06,4.727075e-06,4.650037e-06,4.633347e-06,4.574912e-06,4.501661e-06,4.487233e-06,4.430246e-06,4.360627e-06,4.348284e-06,4.292767e-06,4.226627e-06,4.216202e-06,4.162169e-06,4.099357e-06,4.090692e-06,4.038152e-06,3.978518e-06,3.971466e-06,3.920421e-06,3.863823e-06,3.858244e-06,3.808690e-06,3.754988e-06,3.750753e-06,3.702684e-06,3.651743e-06,3.648729e-06,3.602134e-06,3.553824e-06,3.551918e-06,3.506783e-06,3.460979e-06,3.460075e-06,3.416382e-06,3.372964e-06,3.290360e-06,3.212046e-06,3.137814e-06,3.067467e-06,3.000815e-06,2.937677e-06,2.877880e-06,2.821260e-06,2.767659e-06,2.716929e-06,2.668926e-06,2.623515e-06,2.580566e-06,2.539956e-06,2.501568e-06,2.465291e-06,2.431018e-06,2.398647e-06,2.368084e-06,2.339237e-06,2.312018e-06,2.286345e-06,2.262139e-06,2.239326e-06,2.217834e-06,2.197595e-06,2.178545e-06,2.160624e-06,2.143772e-06,2.127934e-06,2.113059e-06,2.099095e-06,2.085995e-06,2.073715e-06,2.062211e-06,2.051442e-06,2.041369e-06,2.031956e-06,2.023167e-06,2.014970e-06,2.007332e-06,2.000223e-06,1.993615e-06,1.987480e-06,1.981793e-06,1.976530e-06,1.971666e-06,1.967179e-06,1.963050e-06
0.000000e+00,5.661913e-10,7.306553e-09,7.626380e-09,4.723388e-08,1.657021e-07,1.730355e-07,4.171247e-07,7.123623e-07,7.319163e-07,1.056184e-06,1.343049e-06,1.367292e-06,1.660239e-06,1.907837e-06,1.934420e-06,2.190283e-06,2.400854e-06,2.428541e-06,2.649972e-06,2.827544e-06,2.855362e-06,3.045487e-06,3.193950e-06,3.221104e-06,3.382951e-06,3.505889e-06,3.531738e-06,3.668154e-06,3.768824e-06,3.792859e-06,3.906487e-06,3.987817e-06,4.009643e-06,4.102910e-06,4.167519e-06,4.186840e-06,4.261962e-06,4.312180e-06,4.328781e-06,4.387777e-06,4.425668e-06,4.439408e-06,4.484108e-06,4.511495e-06,4.522289e-06,4.554344e-06,4.572835e-06,4.580649e-06,4.601561e-06,4.612573e-06,4.617417e-06,4.628539e-06,4.633313e-06,4.635231e-06,4.637783e-06,4.637407e-06,4.636469e-06,4.631550e-06,4.626971e-06,4.623272e-06,4.611868e-06,4.603909e-06,4.597560e-06,4.580557e-06,4.569932e-06,4.561057e-06,4.539248e-06,4.526573e-06,4.515306e-06,4.489401e-06,4.475207e-06,4.461690e-06,4.432323e-06,4.417064e-06,4.401443e-06,4.369182e-06,4.353244e-06,4.335667e-06,4.301018e-06,4.284729e-06,4.265346e-06,4.228758e-06,4.212394e-06,4.191352e-06,4.153224e-06,4.137017e-06,4.114462e-06,4.075149e-06,4.059287e-06,4.035363e-06,3.995178e-06,3.979818e-06,3.954663e-06,3.913882e-06,3.899147e-06,3.872896e-06,3.831763e-06,3.817753e-06,3.790535e-06,3.749262e-06,3.736053e-06,3.707991e-06,3.666766e-06,3.654413e-06,3.625627e-06,3.584611e-06,3.573154e-06,3.543754e-06,3.503089e-06,3.492551e-06,3.462645e-06,3.422452e-06,3.412845e-06,3.382534e-06,3.342916e-06,3.334243e-06,3.303620e-06,3.264666e-06,3.256918e-06,3.226073e-06,3.187857e-06,3.181020e-06,3.150035e-06,3.112620e-06,3.106672e-06,3.075625e-06,3.039062e-06,3.033978e-06,3.002941e-06,2.967271e-06,2.963021e-06,2.932060e-06,2.897316e-06,2.893867e-06,2.863044e-06,2.829250e-06,2.826567e-06,2.795938e-06,2.763112e-06,2.761158e-06,2.730775e-06,2.698930e-06,2.697666e-06,2.667577e-06,2.636719e-06,2.636107e-06,2.606355e-06,2.576485e-06,2.518800e-06,2.463041e-06,2.409194e-06,2.357237e-06,2.307147e-06,2.258892e-06,2.212442e-06,2.167761e-06,2.124812e-06,2.083555e-06,2.043950e-06,2.005954e-06,1.969525e-06,1.934620e-06,1.901194e-06,1.869204e-06,1.838606e-06,1.809355e-06,1.781410e-06,1.754726e-06,1.729260e-06,1.704972e-06,1.681820e-06,1.659763e-06,1.638762e-06,1.618777e-06,1.599771e-06,1.581707e-06,1.564549e-06,1.548260e-06,1.532808e-06,1.518158e-06,1.504279e-06,1.491139e-06,1.478707e-06,1.466953e-06,1.455850e-06,1.445369e-06,1.435484e-06,1.426169e-06,1.417399e-06,1.409149e-06,1.401396e-06,1.394118e-06,1.387293e-06,1.380900e-06,1.374919e-06,1.369330e-06,1.364115e-06
0.000000e+00,7.059609e-09,1.631683e-07,1.710356e-07,1.167542e-06,4.160533e-06,4.347110e-06,1.083855e-05,1.986987e-05,2.052095e-05,3.212978e-05,4.320104e-05,4.414965e-05,5.557922e-05,6.503192e-05,6.602969e-05,7.543293e-05,8.287243e-05,8.382895e-05,9.128640e-05,9.700531e-05,9.787890e-05,1.036779e-04,1.079854e-04,1.087510e-04,1.131607e-04,1.163225e-04,1.169651e-04,1.202183e-04,1.224573e-04,1.229697e-04,1.252650e-04,1.267659e-04,1.271462e-04,1.286518e-04,1.295666e-04,1.298170e-04,1.306743e-04,1.311278e-04,1.312531e-04,1.315806e-04,1.316748e-04,1.316816e-04,1.315789e-04,1.313969e-04,1.312931e-04,1.308433e-04,1.304526e-04,1.302467e-04,1.295191e-04,1.289743e-04,1.286751e-04,1.277278e-04,1.270728e-04,1.266891e-04,1.255701e-04,1.248404e-04,1.243808e-04,1.231302e-04,1.223539e-04,1.218266e-04,1.204775e-04,1.196770e-04,1.190899e-04,1.176698e-04,1.168625e-04,1.162229e-04,1.147544e-04,1.139541e-04,1.132689e-04,1.117706e-04,1.109877e-04,1.102633e-04,1.087504e-04,1.079928e-04,1.072350e-04,1.057198e-04,1.049934e-04,1.042075e-04,1.027002e-04,1.020091e-04,1.011999e-04,9.970854e-05,9.905555e-05,9.822759e-05,9.675852e-05,9.614536e-05,9.530259e-05,9.386091e-05,9.328845e-05,9.243447e-05,9.102411e-05,9.049255e-05,8.963059e-05,8.825454e-05,8.776354e-05,8.689651e-05,8.555697e-05,8.510581e-05,8.423631e-05,8.293484e-05,8.252247e-05,8.165283e-05,8.039047e-05,8.001562e-05,7.914791e-05,7.792524e-05,7.758646e-05,7.672252e-05,7.553978e-05,7.523553e-05,7.437699e-05,7.323411e-05,7.296277e-05,7.211106e-05,7.100776e-05,7.076766e-05,6.992406e-05,6.885985e-05,6.864933e-05,6.781495e-05,6.678919e-05,6.660657e-05,6.578239e-05,6.479434e-05,6.463798e-05,6.382484e-05,6.287366e-05,6.274195e-05,6.194058e-05,6.102537e-05,6.091673e-05,6.012777e-05,5.924756e-05,5.916049e-05,5.838448e-05,5.753827e-05,5.747130e-05,5.670869e-05,5.589548e-05,5.584721e-05,5.509839e-05,5.431714e-05,5.428622e-05,5.355149e-05,5.280119e-05,5.278633e-05,5.206596e-05,5.134556e-05,4.996190e-05,4.863342e-05,4.735818e-05,4.613430e-05,4.495992e-05,4.383325e-05,4.275252e-05,4.171604e-05,4.072213e-05,3.976919e-05,3.885566e-05,3.798004e-05,3.714087e-05,3.633673e-05,3.556628e-05,3.482819e-05,3.412121e-05,3.344412e-05,3.279573e-05,3.217492e-05,3.158060e-05,3.101171e-05,3.046726e-05,2.994626e-05,2.944778e-05,2.897093e-05,2.851483e-05,2.807866e-05,2.766162e-05,2.726294e-05,2.688187e-05,2.651772e-05,2.616979e-05,2.583743e-05,2.552001e-05,2.521693e-05,2.492760e-05,2.465147e-05,2.438799e-05,2.413665e-05,2.389696e-05,2.366844e-05,2.345063e-05,2.324310e-05,2.304541e-05,2.285718e-05,2.267800e-05,2.250750e-05,2.234532e-05
0.000000e+00,1.045865e-08,1.962188e-07,2.055695e-07,1.408404e-06,5.048080e-06,5.273996e-06,1.295124e-05,2.278669e-05,2.345380e-05,3.455921e-05,4.421044e-05,4.501262e-05,5.450978e-05,6.222955e-05,6.304052e-05,7.065923e-05,7.666122e-05,7.743135e-05,8.342182e-05,8.799567e-05,8.869243e-05,9.330129e-05,9.670129e-05,9.730287e-05,1.007480e-04,1.031911e-04,1.036840e-04,1.061550e-04,1.078245e-04,1.082018e-04,1.098621e-04,1.109114e-04,1.111709e-04,1.121604e-04,1.127174e-04,1.128605e-04,1.132985e-04,1.134688e-04,1.134996e-04,1.134870e-04,1.133577e-04,1.132821e-04,1.129045e-04,1.125471e-04,1.123721e-04,1.117014e-04,1.111742e-04,1.109077e-04,1.100046e-04,1.093549e-04,1.090050e-04,1.079204e-04,1.071866e-04,1.067615e-04,1.055380e-04,1.047509e-04,1.042588e-04,1.029320e-04,1.021162e-04,1.015650e-04,1.001646e-04,9.933943e-05,9.873680e-05,9.728725e-05,9.646790e-05,9.582098e-05,9.434258e-05,9.354068e-05,9.285620e-05,9.136560e-05,9.058996e-05,8.987416e-05,8.838493e-05,8.764200e-05,8.690064e-05,8.542375e-05,8.471813e-05,8.395647e-05,8.250075e-05,8.183550e-05,8.105836e-05,7.963082e-05,7.900777e-05,7.821951e-05,7.682562e-05,7.624564e-05,7.545020e-05,7.409415e-05,7.355733e-05,7.275825e-05,7.144316e-05,7.094901e-05,7.014945e-05,6.887756e-05,6.842509e-05,6.762786e-05,6.640066e-05,6.598857e-05,6.519616e-05,6.401453e-05,6.364125e-05,6.285585e-05,6.172017e-05,6.138395e-05,6.060748e-05,5.951772e-05,5.921669e-05,5.845081e-05,5.740662e-05,5.713883e-05,5.638499e-05,5.538574e-05,5.514923e-05,5.440865e-05,5.345350e-05,5.324629e-05,5.252004e-05,5.160799e-05,5.142812e-05,5.071707e-05,4.984699e-05,4.969257e-05,4.899745e-05,4.816812e-05,4.803728e-05,4.735868e-05,4.656881e-05,4.645977e-05,4.579816e-05,4.504640e-05,4.495744e-05,4.431318e-05,4.359817e-05,4.352766e-05,4.290101e-05,4.222136e-05,4.216774e-05,4.155888e-05,4.091322e-05,4.087501e-05,4.028404e-05,3.967100e-05,3.964680e-05,3.907375e-05,3.849198e-05,3.848050e-05,3.792533e-05,3.737349e-05,3.632326e-05,3.532733e-05,3.438330e-05,3.348883e-05,3.264167e-05,3.183964e-05,3.108064e-05,3.036265e-05,2.968372e-05,2.904199e-05,2.843567e-05,2.786304e-05,2.732246e-05,2.681237e-05,2.633126e-05,2.587769e-05,2.545030e-05,2.504778e-05,2.466887e-05,2.431240e-05,2.397721e-05,2.366224e-05,2.336644e-05,2.308884e-05,2.282850e-05,2.258452e-05,2.235607e-05,2.214233e-05,2.194254e-05,2.175595e-05,2.158188e-05,2.141967e-05,2.126868e-05,2.112831e-05,2.099800e-05,2.087720e-05,2.076540e-05,2.066211e-05,2.056686e-05,2.047921e-05,2.039874e-05,2.032504e-05,2.025775e-05,2.019650e-05,2.014095e-05,2.009076e-05,2.004564e-05,2.000529e-05,1.996942e-05
0.000000e+00,2.979538e-09,4.448934e-08,4.653290e-08,3.095595e-07,1.111899e-06,1.161290e-06,2.754859e-06,4.540361e-06,4.653723e-06,6.455091e-06,7.930173e-06,8.049800e-06,9.433084e-06,1.051172e-05,1.062253e-05,1.163894e-05,1.240595e-05,1.250204e-05,1.322970e-05,1.375939e-05,1.383790e-05,1.434089e-05,1.469143e-05,1.475137e-05,1.508064e-05,1.529710e-05,1.533871e-05,1.553448e-05,1.565156e-05,1.567583e-05,1.576972e-05,1.581399e-05,1.582230e-05,1.583901e-05,1.583070e-05,1.582466e-05,1.578341e-05,1.573779e-05,1.571900e-05,1.563471e-05,1.556332e-05,1.553339e-05,1.541755e-05,1.532902e-05,1.528940e-05,1.515087e-05,1.505160e-05,1.500364e-05,1.484919e-05,1.474395e-05,1.468883e-05,1.452369e-05,1.441594e-05,1.435474e-05,1.418287e-05,1.407517e-05,1.400882e-05,1.383325e-05,1.372742e-05,1.365673e-05,1.347975e-05,1.337707e-05,1.330275e-05,1.312610e-05,1.302745e-05,1.295012e-05,1.277509e-05,1.268106e-05,1.260125e-05,1.242880e-05,1.233974e-05,1.225792e-05,1.208875e-05,1.200485e-05,1.192142e-05,1.175603e-05,1.167737e-05,1.159268e-05,1.143142e-05,1.135797e-05,1.127232e-05,1.111543e-05,1.104711e-05,1.096078e-05,1.080840e-05,1.074508e-05,1.065830e-05,1.051049e-05,1.045202e-05,1.036500e-05,1.022180e-05,1.016799e-05,1.008090e-05,9.942296e-06,9.892956e-06,9.805969e-06,9.671909e-06,9.626842e-06,9.540097e-06,9.410516e-06,9.369518e-06,9.283144e-06,9.157960e-06,9.120828e-06,9.034940e-06,8.914058e-06,8.880591e-06,8.795290e-06,8.678608e-06,8.648610e-06,8.563987e-06,8.451398e-06,8.424677e-06,8.340815e-06,8.232208e-06,8.208577e-06,8.125551e-06,8.020814e-06,8.000094e-06,7.917969e-06,7.816988e-06,7.799007e-06,7.717843e-06,7.620505e-06,7.605097e-06,7.524947e-06,7.431141e-06,7.418147e-06,7.339059e-06,7.248674e-06,7.237941e-06,7.159959e-06,7.072886e-06,7.064268e-06,6.987430e-06,6.903563e-06,6.896922e-06,6.821261e-06,6.740497e-06,6.735699e-06,6.661246e-06,6.583482e-06,6.580403e-06,6.507182e-06,6.432321e-06,6.430838e-06,6.358874e-06,6.286819e-06,6.148161e-06,6.014687e-06,5.886225e-06,5.762607e-06,5.643670e-06,5.529257e-06,5.419214e-06,5.313394e-06,5.211653e-06,5.113852e-06,5.019856e-06,4.929535e-06,4.842762e-06,4.759416e-06,4.679377e-06,4.602531e-06,4.528767e-06,4.457978e-06,4.390060e-06,4.324912e-06,4.262437e-06,4.202542e-06,4.145135e-06,4.090127e-06,4.037435e-06,3.986975e-06,3.938668e-06,3.892437e-06,3.848207e-06,3.805907e-06,3.765466e-06,3.726817e-06,3.689895e-06,3.654636e-06,3.620981e-06,3.588870e-06,3.558247e-06,3.529055e-06,3.501242e-06,3.474757e-06,3.449550e-06,3.425572e-06,3.402777e-06,3.381121e-06,3.360560e-06,3.341052e-06,3.322557e-06,3.305035e-06,3.288448e-06
0.000000e+00,9.772710e-09,6.829602e-07,7.291613e-07,1.130988e-05,8.028512e-05,8.620089e-05,4.083124e-04,1.275596e-03,1.359923e-03,3.488197e-03,7.003197e-03,7.394826e-03,1.363512e-02,2.161833e-02,2.265537e-02,3.476362e-02,4.810657e-02,5.012355e-02,6.876281e-02,8.734824e-02,9.058971e-02,1.154137e-01,1.383880e-01,1.429671e-01,1.729257e-01,1.990339e-01,2.049282e-01,2.385926e-01,2.664595e-01,2.735303e-01,3.093580e-01,3.376831e-01,3.457062e-01,3.822265e-01,4.098974e-01,4.185962e-01,4.545218e-01,4.806652e-01,4.897407e-01,5.240220e-01,5.480106e-01,5.571659e-01,5.890036e-01,6.104366e-01,6.193949e-01,6.482276e-01,6.668982e-01,6.754147e-01,7.008925e-01,7.167501e-01,7.246186e-01,7.465694e-01,7.596823e-01,7.667378e-01,7.851317e-01,7.956532e-01,8.017714e-01,8.166882e-01,8.248276e-01,8.299222e-01,8.415214e-01,8.475208e-01,8.515395e-01,8.600353e-01,8.641513e-01,8.670714e-01,8.727130e-01,8.752032e-01,8.770271e-01,8.800820e-01,8.811956e-01,8.819462e-01,8.826880e-01,8.826593e-01,8.823753e-01,8.810751e-01,8.801194e-01,8.788525e-01,8.757715e-01,8.740830e-01,8.718936e-01,8.672787e-01,8.650296e-01,8.619843e-01,8.560657e-01,8.534066e-01,8.495758e-01,8.425652e-01,8.396260e-01,8.350819e-01,8.271717e-01,8.240629e-01,8.188777e-01,8.102411e-01,8.070555e-01,8.013004e-01,7.920921e-01,7.889064e-01,7.826503e-01,7.730072e-01,7.698839e-01,7.631929e-01,7.532354e-01,7.502243e-01,7.431611e-01,7.329944e-01,7.301343e-01,7.227581e-01,7.124733e-01,7.097937e-01,7.021595e-01,6.918349e-01,6.893573e-01,6.815163e-01,6.712191e-01,6.689580e-01,6.609574e-01,6.507443e-01,6.487086e-01,6.405918e-01,6.305108e-01,6.287046e-01,6.205113e-01,6.106023e-01,6.090258e-01,6.007920e-01,5.910880e-01,5.897383e-01,5.814969e-01,5.720248e-01,5.708964e-01,5.626770e-01,5.534584e-01,5.525439e-01,5.443733e-01,5.354254e-01,5.347156e-01,5.266181e-01,5.179541e-01,5.174388e-01,5.094359e-01,5.010656e-01,5.007339e-01,4.928450e-01,4.847755e-01,4.846157e-01,4.768582e-01,4.690940e-01,4.541749e-01,4.398607e-01,4.261508e-01,4.130423e-01,4.005299e-01,3.886070e-01,3.772652e-01,3.664951e-01,3.562863e-01,3.466276e-01,3.375068e-01,3.289116e-01,3.208288e-01,3.132449e-01,3.061462e-01,2.995185e-01,2.933475e-01,2.876184e-01,2.823164e-01,2.774266e-01,2.729338e-01,2.688226e-01,2.650777e-01,2.616836e-01,2.586246e-01,2.558853e-01,2.534500e-01,2.513031e-01,2.494290e-01,2.478122e-01,2.464375e-01,2.452895e-01,2.443533e-01,2.436139e-01,2.430567e-01,2.426675e-01,2.424322e-01,2.423373e-01,2.423693e-01,2.425155e-01,2.427634e-01,2.431012e-01,2.435173e-01,2.440008e-01,2.445413e-01,2.451291e-01,2.457547e-01,2.464096e-01,2.470855e-01
0.000000e+00,1.103302e-09,8.595804e-08,9.197994e-08,1.556902e-06,1.149623e-05,1.235628e-05,5.973177e-05,1.900158e-04,2.028324e-04,5.321111e-04,1.092100e-03,1.155394e-03,2.181764e-03,3.531731e-03,3.709516e-03,5.818792e-03,8.202844e-03,8.567905e-03,1.199232e-02,1.548817e-02,1.610540e-02,2.090031e-02,2.543747e-02,2.635253e-02,3.242272e-02,3.782577e-02,3.905964e-02,4.620294e-02,5.223745e-02,5.378584e-02,6.173745e-02,6.814880e-02,6.998488e-02,7.845502e-02,8.499698e-02,8.707602e-02,9.577848e-02,1.022318e-01,1.044965e-01,1.131682e-01,1.193510e-01,1.217366e-01,1.301496e-01,1.359208e-01,1.383602e-01,1.463271e-01,1.515866e-01,1.540139e-01,1.613895e-01,1.660740e-01,1.684277e-01,1.751070e-01,1.791855e-01,1.814105e-01,1.873253e-01,1.907931e-01,1.928423e-01,1.979560e-01,2.008295e-01,2.026639e-01,2.069667e-01,2.092778e-01,2.108674e-01,2.143711e-01,2.161624e-01,2.174851e-01,2.202183e-01,2.215395e-01,2.225810e-01,2.245848e-01,2.254890e-01,2.262421e-01,2.275663e-01,2.281078e-01,2.285712e-01,2.292711e-01,2.295030e-01,2.296807e-01,2.298148e-01,2.297880e-01,2.296881e-01,2.293156e-01,2.290775e-01,2.287118e-01,2.278912e-01,2.274853e-01,2.268680e-01,2.256560e-01,2.251215e-01,2.242689e-01,2.227196e-01,2.220910e-01,2.210209e-01,2.191848e-01,2.184925e-01,2.172233e-01,2.151475e-01,2.144176e-01,2.129682e-01,2.106957e-01,2.099504e-01,2.083397e-01,2.059097e-01,2.051676e-01,2.034144e-01,2.008621e-01,2.001383e-01,1.982608e-01,1.956179e-01,1.949249e-01,1.929405e-01,1.902351e-01,1.895824e-01,1.875080e-01,1.847649e-01,1.841599e-01,1.820113e-01,1.792522e-01,1.787001e-01,1.764923e-01,1.737361e-01,1.732407e-01,1.709876e-01,1.682506e-01,1.678140e-01,1.655286e-01,1.628247e-01,1.624478e-01,1.601420e-01,1.574832e-01,1.571659e-01,1.548508e-01,1.522470e-01,1.519883e-01,1.496740e-01,1.471335e-01,1.469318e-01,1.446274e-01,1.421571e-01,1.420100e-01,1.397239e-01,1.373292e-01,1.372342e-01,1.349739e-01,1.326590e-01,1.326131e-01,1.303853e-01,1.281536e-01,1.238607e-01,1.197377e-01,1.157869e-01,1.120090e-01,1.084039e-01,1.049707e-01,1.017076e-01,9.861214e-02,9.568140e-02,9.291195e-02,9.029999e-02,8.784140e-02,8.553182e-02,8.336666e-02,8.134115e-02,7.945045e-02,7.768955e-02,7.605345e-02,7.453705e-02,7.313526e-02,7.184300e-02,7.065524e-02,6.956697e-02,6.857325e-02,6.766918e-02,6.684996e-02,6.611088e-02,6.544729e-02,6.485470e-02,6.432870e-02,6.386499e-02,6.345944e-02,6.310801e-02,6.280680e-02,6.255205e-02,6.234015e-02,6.216762e-02,6.203113e-02,6.192749e-02,6.185366e-02,6.180676e-02,6.178403e-02,6.178287e-02,6.180084e-02,6.183560e-02,6.188499e-02,6.194697e-02,6.201965e-02,6.210125e-02
0.000000e+00,9.508153e-09,1.385961e-07,1.445211e-07,8.398299e-07,2.846090e-06,2.970765e-06,7.309147e-06,1.325286e-05,1.367259e-05,2.088275e-05,2.727657e-05,2.780510e-05,3.396792e-05,3.879951e-05,3.929575e-05,4.383765e-05,4.724545e-05,4.767060e-05,5.087299e-05,5.317853e-05,5.351778e-05,5.567105e-05,5.714354e-05,5.739213e-05,5.873400e-05,5.958466e-05,5.974389e-05,6.046379e-05,6.085613e-05,6.093101e-05,6.117859e-05,6.123820e-05,6.123582e-05,6.112860e-05,6.095130e-05,6.087979e-05,6.050959e-05,6.016802e-05,6.003576e-05,5.947399e-05,5.902287e-05,5.883806e-05,5.814009e-05,5.762034e-05,5.739070e-05,5.659925e-05,5.604124e-05,5.577389e-05,5.492177e-05,5.434778e-05,5.404914e-05,5.316145e-05,5.258764e-05,5.226344e-05,5.135919e-05,5.079702e-05,5.045229e-05,4.954586e-05,4.900336e-05,4.864257e-05,4.774468e-05,4.722714e-05,4.685411e-05,4.597256e-05,4.548337e-05,4.510145e-05,4.424199e-05,4.378307e-05,4.339515e-05,4.256173e-05,4.213388e-05,4.174240e-05,4.093769e-05,4.054095e-05,4.014801e-05,3.937367e-05,3.900750e-05,3.861488e-05,3.787177e-05,3.753524e-05,3.714444e-05,3.643289e-05,3.612481e-05,3.573711e-05,3.505701e-05,3.477602e-05,3.439248e-05,3.374340e-05,3.348805e-05,3.310959e-05,3.249086e-05,3.225965e-05,3.188700e-05,3.129779e-05,3.108921e-05,3.072299e-05,3.016236e-05,2.997493e-05,2.961564e-05,2.908257e-05,2.891483e-05,2.856288e-05,2.805631e-05,2.790685e-05,2.756257e-05,2.708141e-05,2.694890e-05,2.661255e-05,2.615571e-05,2.603887e-05,2.571062e-05,2.527703e-05,2.517464e-05,2.485465e-05,2.444323e-05,2.435417e-05,2.404252e-05,2.365224e-05,2.357542e-05,2.327216e-05,2.290203e-05,2.283644e-05,2.254159e-05,2.219062e-05,2.213533e-05,2.184888e-05,2.151613e-05,2.147025e-05,2.119216e-05,2.087675e-05,2.083946e-05,2.056967e-05,2.027071e-05,2.024126e-05,1.997968e-05,1.969636e-05,1.967403e-05,1.942057e-05,1.915210e-05,1.913622e-05,1.889078e-05,1.863641e-05,1.862638e-05,1.838882e-05,1.814783e-05,1.814308e-05,1.791328e-05,1.768498e-05,1.725082e-05,1.683937e-05,1.644947e-05,1.608003e-05,1.573000e-05,1.539839e-05,1.508426e-05,1.478671e-05,1.450488e-05,1.423798e-05,1.398523e-05,1.374590e-05,1.351931e-05,1.330480e-05,1.310175e-05,1.290956e-05,1.272768e-05,1.255558e-05,1.239274e-05,1.223870e-05,1.209300e-05,1.195520e-05,1.182490e-05,1.170171e-05,1.158526e-05,1.147521e-05,1.137123e-05,1.127299e-05,1.118021e-05,1.109259e-05,1.100988e-05,1.093181e-05,1.085816e-05,1.078868e-05,1.072316e-05,1.066139e-05,1.060319e-05,1.054836e-05,1.049673e-05,1.044814e-05,1.040242e-05,1.035942e-05,1.031901e-05,1.028104e-05,1.024539e-05,1.021195e-05,1.018058e-05,1.015119e-05,1.012367e-05
0.000000e+00,3.960480e-09,4.723351e-08,4.917594e-08,2.713802e-07,8.875525e-07,9.250301e-07,2.180600e-06,3.765224e-06,3.872341e-06,5.660130e-06,7.233102e-06,7.365014e-06,8.943166e-06,1.025149e-05,1.039044e-05,1.171153e-05,1.277491e-05,1.291300e-05,1.400188e-05,1.485353e-05,1.498507e-05,1.586926e-05,1.654028e-05,1.666101e-05,1.736662e-05,1.788516e-05,1.799209e-05,1.854313e-05,1.893399e-05,1.902511e-05,1.944312e-05,1.972782e-05,1.980190e-05,2.010594e-05,2.030297e-05,2.035941e-05,2.056621e-05,2.069137e-05,2.073002e-05,2.085423e-05,2.092094e-05,2.094203e-05,2.099638e-05,2.101602e-05,2.102006e-05,2.101564e-05,2.099780e-05,2.098551e-05,2.093190e-05,2.088468e-05,2.085691e-05,2.076245e-05,2.069261e-05,2.065032e-05,2.052219e-05,2.043540e-05,2.037961e-05,2.022401e-05,2.012497e-05,2.005674e-05,1.987903e-05,1.977163e-05,1.969203e-05,1.949680e-05,1.938424e-05,1.929432e-05,1.908551e-05,1.897042e-05,1.887121e-05,1.865220e-05,1.853670e-05,1.842920e-05,1.820287e-05,1.808865e-05,1.797382e-05,1.774263e-05,1.763104e-05,1.750980e-05,1.727582e-05,1.716792e-05,1.704112e-05,1.680611e-05,1.670270e-05,1.657115e-05,1.633659e-05,1.623826e-05,1.610273e-05,1.586985e-05,1.577703e-05,1.563821e-05,1.540805e-05,1.532101e-05,1.517956e-05,1.495295e-05,1.487187e-05,1.472839e-05,1.450603e-05,1.443095e-05,1.428600e-05,1.406844e-05,1.399936e-05,1.385345e-05,1.364113e-05,1.357797e-05,1.343156e-05,1.322482e-05,1.316745e-05,1.302098e-05,1.282008e-05,1.276833e-05,1.262217e-05,1.242729e-05,1.238098e-05,1.223547e-05,1.204674e-05,1.200564e-05,1.186111e-05,1.167859e-05,1.164246e-05,1.149919e-05,1.132291e-05,1.129151e-05,1.114975e-05,1.097970e-05,1.095278e-05,1.081275e-05,1.064889e-05,1.062620e-05,1.048810e-05,1.033036e-05,1.031163e-05,1.017564e-05,1.002393e-05,1.000892e-05,9.875193e-06,9.729404e-06,9.717867e-06,9.586531e-06,9.446544e-06,9.438236e-06,9.309408e-06,9.175091e-06,9.169777e-06,9.043557e-06,8.914769e-06,8.912221e-06,8.788691e-06,8.665286e-06,8.428679e-06,8.202100e-06,7.985245e-06,7.777809e-06,7.579486e-06,7.389972e-06,7.208963e-06,7.036163e-06,6.871277e-06,6.714019e-06,6.564105e-06,6.421261e-06,6.285217e-06,6.155713e-06,6.032492e-06,5.915309e-06,5.803924e-06,5.698104e-06,5.597625e-06,5.502270e-06,5.411828e-06,5.326095e-06,5.244877e-06,5.167984e-06,5.095234e-06,5.026450e-06,4.961464e-06,4.900112e-06,4.842238e-06,4.787690e-06,4.736322e-06,4.687995e-06,4.642575e-06,4.599931e-06,4.559940e-06,4.522482e-06,4.487441e-06,4.454709e-06,4.424177e-06,4.395746e-06,4.369316e-06,4.344794e-06,4.322090e-06,4.301117e-06,4.281793e-06,4.264037e-06,4.247773e-06,4.232927e-06,4.219430e-06
0.000000e+00,1.360344e-09,2.042956e-08,2.134973e-08,1.293750e-07,4.100064e-07,4.261305e-07,9.197626e-07,1.457068e-06,1.491350e-06,2.043930e-06,2.512374e-06,2.551183e-06,3.010791e-06,3.385628e-06,3.425109e-06,3.797234e-06,4.092269e-06,4.130269e-06,4.427184e-06,4.655781e-06,4.690778e-06,4.923675e-06,5.097385e-06,5.128328e-06,5.307019e-06,5.435665e-06,5.461869e-06,5.594850e-06,5.686718e-06,5.707784e-06,5.802363e-06,5.864402e-06,5.880149e-06,5.942588e-06,5.980602e-06,5.991014e-06,6.026661e-06,6.045485e-06,6.050667e-06,6.064084e-06,6.067733e-06,6.067880e-06,6.062949e-06,6.054748e-06,6.050114e-06,6.030134e-06,6.012824e-06,6.003706e-06,5.971476e-06,5.947316e-06,5.934038e-06,5.891937e-06,5.862778e-06,5.845674e-06,5.795709e-06,5.763060e-06,5.742467e-06,5.686338e-06,5.651424e-06,5.627678e-06,5.566816e-06,5.530626e-06,5.504052e-06,5.439659e-06,5.402984e-06,5.373892e-06,5.306981e-06,5.270447e-06,5.239135e-06,5.170547e-06,5.134648e-06,5.101394e-06,5.031834e-06,4.996947e-06,4.962013e-06,4.892064e-06,4.858479e-06,4.822108e-06,4.752252e-06,4.720180e-06,4.682597e-06,4.613231e-06,4.582822e-06,4.544234e-06,4.475680e-06,4.447035e-06,4.407632e-06,4.340150e-06,4.313328e-06,4.273286e-06,4.207084e-06,4.182110e-06,4.141587e-06,4.076830e-06,4.053705e-06,4.012845e-06,3.949659e-06,3.928362e-06,3.887296e-06,3.825775e-06,3.806270e-06,3.765115e-06,3.705330e-06,3.687566e-06,3.646430e-06,3.588426e-06,3.572346e-06,3.531324e-06,3.475129e-06,3.460667e-06,3.419844e-06,3.365471e-06,3.352557e-06,3.312010e-06,3.259459e-06,3.248020e-06,3.207816e-06,3.157077e-06,3.147037e-06,3.107237e-06,3.058291e-06,3.049575e-06,3.010232e-06,2.963052e-06,2.955585e-06,2.916745e-06,2.871302e-06,2.865008e-06,2.826713e-06,2.782970e-06,2.777777e-06,2.740062e-06,2.697980e-06,2.693817e-06,2.656712e-06,2.616249e-06,2.613047e-06,2.576579e-06,2.537692e-06,2.535383e-06,2.499576e-06,2.462219e-06,2.460740e-06,2.425611e-06,2.389739e-06,2.389029e-06,2.354593e-06,2.320160e-06,2.254044e-06,2.190592e-06,2.129714e-06,2.071323e-06,2.015333e-06,1.961659e-06,1.910218e-06,1.860930e-06,1.813715e-06,1.768496e-06,1.725199e-06,1.683752e-06,1.644084e-06,1.606128e-06,1.569817e-06,1.535089e-06,1.501881e-06,1.470135e-06,1.439794e-06,1.410802e-06,1.383106e-06,1.356654e-06,1.331399e-06,1.307291e-06,1.284286e-06,1.262339e-06,1.241407e-06,1.221451e-06,1.202430e-06,1.184307e-06,1.167046e-06,1.150612e-06,1.134971e-06,1.120090e-06,1.105940e-06,1.092489e-06,1.079709e-06,1.067573e-06,1.056054e-06,1.045126e-06,1.034766e-06,1.024949e-06,1.015653e-06,1.006856e-06,9.985376e-07,9.906772e-07,9.832555e-07,9.762541e-07,9.696551e-07
0.000000e+00,9.707028e-10,5.567346e-08,5.923352e-08,7.809343e-07,4.740334e-06,5.055486e-06,2.013137e-05,5.295990e-05,5.582814e-05,1.180780e-04,1.973660e-04,2.050866e-04,3.096969e-04,4.119638e-04,4.235490e-04,5.396380e-04,6.397195e-04,6.530792e-04,7.609021e-04,8.479186e-04,8.615452e-04,9.543666e-04,1.026216e-03,1.039277e-03,1.116493e-03,1.174330e-03,1.186392e-03,1.249416e-03,1.295199e-03,1.306032e-03,1.356699e-03,1.392375e-03,1.401860e-03,1.441935e-03,1.469232e-03,1.477315e-03,1.508369e-03,1.528764e-03,1.535436e-03,1.558833e-03,1.573572e-03,1.578853e-03,1.595767e-03,1.605894e-03,1.609827e-03,1.621264e-03,1.627653e-03,1.630293e-03,1.637113e-03,1.640494e-03,1.641908e-03,1.644848e-03,1.645828e-03,1.646089e-03,1.645776e-03,1.644861e-03,1.644044e-03,1.641016e-03,1.638625e-03,1.636806e-03,1.631522e-03,1.628002e-03,1.625259e-03,1.618109e-03,1.613748e-03,1.610154e-03,1.601471e-03,1.596505e-03,1.592132e-03,1.582202e-03,1.576825e-03,1.571741e-03,1.560806e-03,1.555176e-03,1.549447e-03,1.537712e-03,1.531959e-03,1.525645e-03,1.513286e-03,1.507514e-03,1.500673e-03,1.487839e-03,1.482131e-03,1.474816e-03,1.461634e-03,1.456056e-03,1.448318e-03,1.434893e-03,1.429498e-03,1.421383e-03,1.407807e-03,1.402635e-03,1.394184e-03,1.380533e-03,1.375615e-03,1.366869e-03,1.353207e-03,1.348565e-03,1.339560e-03,1.325941e-03,1.321591e-03,1.312361e-03,1.298830e-03,1.294781e-03,1.285357e-03,1.271951e-03,1.268211e-03,1.258620e-03,1.245370e-03,1.241940e-03,1.232209e-03,1.219141e-03,1.216020e-03,1.206173e-03,1.193308e-03,1.190492e-03,1.180550e-03,1.167905e-03,1.165389e-03,1.155374e-03,1.142961e-03,1.140740e-03,1.130669e-03,1.118500e-03,1.116564e-03,1.106455e-03,1.094536e-03,1.092878e-03,1.082746e-03,1.071085e-03,1.069694e-03,1.059553e-03,1.048153e-03,1.047020e-03,1.036885e-03,1.025748e-03,1.024863e-03,1.014744e-03,1.003872e-03,1.003224e-03,9.931330e-04,9.825264e-04,9.821049e-04,9.720521e-04,9.617099e-04,9.615044e-04,9.514993e-04,9.414199e-04,9.218477e-04,9.027826e-04,8.842191e-04,8.661504e-04,8.485695e-04,8.314687e-04,8.148401e-04,7.986754e-04,7.829660e-04,7.677032e-04,7.528783e-04,7.384822e-04,7.245062e-04,7.109412e-04,6.977784e-04,6.850088e-04,6.726237e-04,6.606145e-04,6.489724e-04,6.376890e-04,6.267559e-04,6.161648e-04,6.059076e-04,5.959762e-04,5.863629e-04,5.770598e-04,5.680593e-04,5.593541e-04,5.509367e-04,5.428001e-04,5.349371e-04,5.273409e-04,5.200047e-04,5.129220e-04,5.060861e-04,4.994909e-04,4.931299e-04,4.869972e-04,4.810869e-04,4.753929e-04,4.699097e-04,4.646316e-04,4.595532e-04,4.546691e-04,4.499740e-04,4.454629e-04,4.411306e-04,4.369723e-04,4.329832e-04
0.000000e+00,3.159709e-09,1.316724e-07,1.392905e-07,1.469543e-06,7.931046e-06,8.427170e-06,3.091563e-05,7.483180e-05,7.842013e-05,1.492045e-04,2.257618e-04,2.326453e-04,3.189818e-04,3.945995e-04,4.027854e-04,4.818118e-04,5.468456e-04,5.553812e-04,6.234446e-04,6.777058e-04,6.861759e-04,7.438153e-04,7.884836e-04,7.966176e-04,8.448412e-04,8.811472e-04,8.887414e-04,9.285675e-04,9.576569e-04,9.645599e-04,9.969503e-04,1.019857e-03,1.025960e-03,1.051800e-03,1.069443e-03,1.074672e-03,1.094766e-03,1.107954e-03,1.112263e-03,1.127334e-03,1.136774e-03,1.140140e-03,1.150835e-03,1.157143e-03,1.159563e-03,1.166460e-03,1.170169e-03,1.171653e-03,1.175264e-03,1.176836e-03,1.177406e-03,1.178187e-03,1.178020e-03,1.177708e-03,1.176063e-03,1.174497e-03,1.173342e-03,1.169628e-03,1.166956e-03,1.165000e-03,1.159533e-03,1.156005e-03,1.153296e-03,1.146354e-03,1.142182e-03,1.138769e-03,1.130597e-03,1.125960e-03,1.121894e-03,1.112709e-03,1.107759e-03,1.103090e-03,1.093081e-03,1.087944e-03,1.082724e-03,1.072057e-03,1.066838e-03,1.061117e-03,1.049937e-03,1.044723e-03,1.038550e-03,1.026985e-03,1.021847e-03,1.015269e-03,1.003428e-03,9.984236e-04,9.914865e-04,9.794662e-04,9.746408e-04,9.673881e-04,9.552712e-04,9.506604e-04,9.431335e-04,9.309916e-04,9.266225e-04,9.188608e-04,9.067552e-04,9.026475e-04,8.946880e-04,8.826713e-04,8.788384e-04,8.707161e-04,8.588328e-04,8.552832e-04,8.470306e-04,8.353183e-04,8.320560e-04,8.237036e-04,8.121938e-04,8.092192e-04,8.007953e-04,7.895141e-04,7.868246e-04,7.783554e-04,7.673241e-04,7.649147e-04,7.564244e-04,7.456602e-04,7.435239e-04,7.350348e-04,7.245512e-04,7.226795e-04,7.142121e-04,7.040195e-04,7.024024e-04,6.939754e-04,6.840814e-04,6.827083e-04,6.743388e-04,6.647487e-04,6.636082e-04,6.553117e-04,6.460284e-04,6.451086e-04,6.368992e-04,6.279241e-04,6.272127e-04,6.191031e-04,6.104359e-04,6.099207e-04,6.019221e-04,5.935612e-04,5.932299e-04,5.853525e-04,5.772951e-04,5.771355e-04,5.693882e-04,5.616307e-04,5.467071e-04,5.323551e-04,5.185636e-04,5.053210e-04,4.926147e-04,4.804316e-04,4.687581e-04,4.575804e-04,4.468842e-04,4.366554e-04,4.268796e-04,4.175425e-04,4.086300e-04,4.001279e-04,3.920223e-04,3.842994e-04,3.769457e-04,3.699479e-04,3.632931e-04,3.569685e-04,3.509617e-04,3.452606e-04,3.398535e-04,3.347288e-04,3.298755e-04,3.252827e-04,3.209399e-04,3.168370e-04,3.129640e-04,3.093116e-04,3.058704e-04,3.026315e-04,2.995863e-04,2.967265e-04,2.940440e-04,2.915311e-04,2.891804e-04,2.869845e-04,2.849366e-04,2.830299e-04,2.812581e-04,2.796148e-04,2.780941e-04,2.766903e-04,2.753977e-04,2.742112e-04,2.731255e-04,2.721357e-04,2.712371e-04
0.000000e+00,2.786572e-08,4.123006e-07,4.300516e-07,2.600079e-06,9.379536e-06,9.814328e-06,2.517125e-05,4.556376e-05,4.696106e-05,7.058486e-05,9.191734e-05,9.373310e-05,1.158161e-04,1.346806e-04,1.367170e-04,1.564271e-04,1.728019e-04,1.749655e-04,1.923606e-04,2.064313e-04,2.086457e-04,2.238574e-04,2.358340e-04,2.380344e-04,2.512170e-04,2.613133e-04,2.634459e-04,2.747621e-04,2.831852e-04,2.852062e-04,2.948180e-04,3.017626e-04,3.036365e-04,3.116995e-04,3.173448e-04,3.190437e-04,3.257046e-04,3.302139e-04,3.317164e-04,3.371121e-04,3.406333e-04,3.419232e-04,3.461803e-04,3.488464e-04,3.499128e-04,3.531487e-04,3.550793e-04,3.559151e-04,3.582377e-04,3.595396e-04,3.601413e-04,3.616495e-04,3.624177e-04,3.627849e-04,3.635692e-04,3.638882e-04,3.640231e-04,3.641662e-04,3.641109e-04,3.640177e-04,3.635953e-04,3.632318e-04,3.629165e-04,3.619976e-04,3.613840e-04,3.608543e-04,3.595016e-04,3.586890e-04,3.579536e-04,3.562241e-04,3.552572e-04,3.543258e-04,3.522712e-04,3.511889e-04,3.500719e-04,3.477391e-04,3.465751e-04,3.452835e-04,3.427150e-04,3.414983e-04,3.400433e-04,3.372775e-04,3.360330e-04,3.344262e-04,3.314976e-04,3.302465e-04,3.284996e-04,3.254394e-04,3.241995e-04,3.223241e-04,3.191603e-04,3.179466e-04,3.159542e-04,3.127119e-04,3.115368e-04,3.094388e-04,3.061403e-04,3.050140e-04,3.028215e-04,2.994869e-04,2.984173e-04,2.961411e-04,2.927883e-04,2.917816e-04,2.894323e-04,2.860770e-04,2.851381e-04,2.827258e-04,2.793819e-04,2.785141e-04,2.760485e-04,2.727284e-04,2.719338e-04,2.694243e-04,2.661387e-04,2.654186e-04,2.628740e-04,2.596323e-04,2.589869e-04,2.564157e-04,2.532261e-04,2.526550e-04,2.500652e-04,2.469346e-04,2.464366e-04,2.438358e-04,2.407702e-04,2.403438e-04,2.377391e-04,2.347435e-04,2.343865e-04,2.317846e-04,2.288633e-04,2.285733e-04,2.259805e-04,2.231368e-04,2.229111e-04,2.203331e-04,2.175699e-04,2.174054e-04,2.148478e-04,2.121672e-04,2.120608e-04,2.095285e-04,2.069321e-04,2.068806e-04,2.043782e-04,2.018671e-04,1.970217e-04,1.923454e-04,1.878380e-04,1.834991e-04,1.793275e-04,1.753217e-04,1.714797e-04,1.677992e-04,1.642774e-04,1.609115e-04,1.576983e-04,1.546345e-04,1.517165e-04,1.489408e-04,1.463036e-04,1.438010e-04,1.414292e-04,1.391842e-04,1.370622e-04,1.350591e-04,1.331710e-04,1.313940e-04,1.297241e-04,1.281575e-04,1.266903e-04,1.253187e-04,1.240391e-04,1.228478e-04,1.217411e-04,1.207156e-04,1.197677e-04,1.188942e-04,1.180917e-04,1.173571e-04,1.166871e-04,1.160788e-04,1.155292e-04,1.150353e-04,1.145945e-04,1.142039e-04,1.138610e-04,1.135632e-04,1.133081e-04,1.130933e-04,1.129165e-04,1.127754e-04,1.126680e-04,1.125922e-04,1.125460e-04
0.000000e+00,1.386769e-08,2.698234e-07,2.822957e-07,1.906263e-06,7.399195e-06,7.764116e-06,2.138610e-05,4.140421e-05,4.284096e-05,6.781438e-05,9.067425e-05,9.260961e-05,1.158755e-04,1.352515e-04,1.373118e-04,1.569152e-04,1.727078e-04,1.747592e-04,1.909367e-04,2.035898e-04,2.055439e-04,2.186764e-04,2.286361e-04,2.304271e-04,2.408859e-04,2.485586e-04,2.501388e-04,2.582683e-04,2.640156e-04,2.653525e-04,2.714657e-04,2.756052e-04,2.766780e-04,2.810559e-04,2.838638e-04,2.846621e-04,2.875555e-04,2.892702e-04,2.897910e-04,2.914196e-04,2.922434e-04,2.924892e-04,2.930449e-04,2.931510e-04,2.931292e-04,2.927816e-04,2.923178e-04,2.920397e-04,2.909398e-04,2.900344e-04,2.895159e-04,2.877981e-04,2.865576e-04,2.858146e-04,2.835915e-04,2.821035e-04,2.811530e-04,2.785219e-04,2.768595e-04,2.757190e-04,2.727639e-04,2.709875e-04,2.696749e-04,2.664686e-04,2.646277e-04,2.631606e-04,2.597655e-04,2.579005e-04,2.562964e-04,2.527659e-04,2.509096e-04,2.491853e-04,2.455651e-04,2.437432e-04,2.419150e-04,2.382439e-04,2.364768e-04,2.345600e-04,2.308708e-04,2.291740e-04,2.271832e-04,2.235036e-04,2.218885e-04,2.198375e-04,2.161904e-04,2.146654e-04,2.125669e-04,2.089714e-04,2.075419e-04,2.054077e-04,2.018795e-04,2.005486e-04,1.983897e-04,1.949413e-04,1.937105e-04,1.915367e-04,1.881783e-04,1.870473e-04,1.848679e-04,1.816072e-04,1.805746e-04,1.783978e-04,1.752409e-04,1.743043e-04,1.721376e-04,1.690887e-04,1.682449e-04,1.660951e-04,1.631572e-04,1.624025e-04,1.602754e-04,1.574502e-04,1.567805e-04,1.546816e-04,1.519697e-04,1.513807e-04,1.493145e-04,1.467158e-04,1.462029e-04,1.441735e-04,1.416872e-04,1.412456e-04,1.392567e-04,1.368813e-04,1.365064e-04,1.345607e-04,1.322944e-04,1.319814e-04,1.300818e-04,1.279221e-04,1.276665e-04,1.258149e-04,1.237593e-04,1.235566e-04,1.217547e-04,1.198004e-04,1.196462e-04,1.178955e-04,1.160393e-04,1.159294e-04,1.142309e-04,1.124696e-04,1.124001e-04,1.107546e-04,1.090849e-04,1.090520e-04,1.074599e-04,1.058785e-04,1.028731e-04,1.000292e-04,9.734033e-05,9.479994e-05,9.240169e-05,9.013930e-05,8.800666e-05,8.599779e-05,8.410691e-05,8.232837e-05,8.065675e-05,7.908678e-05,7.761340e-05,7.623175e-05,7.493713e-05,7.372505e-05,7.259121e-05,7.153149e-05,7.054193e-05,6.961877e-05,6.875841e-05,6.795742e-05,6.721253e-05,6.652063e-05,6.587873e-05,6.528403e-05,6.473383e-05,6.422558e-05,6.375687e-05,6.332539e-05,6.292895e-05,6.256549e-05,6.223304e-05,6.192973e-05,6.165381e-05,6.140359e-05,6.117750e-05,6.097404e-05,6.079178e-05,6.062940e-05,6.048561e-05,6.035922e-05,6.024909e-05,6.015417e-05,6.007342e-05,6.000590e-05,5.995071e-05,5.990699e-05,5.987395e-05
0.000000e+00,1.143672e-09,1.355069e-08,1.411668e-08,8.162289e-08,2.832529e-07,2.960031e-07,7.500094e-07,1.395106e-06,1.441476e-06,2.254524e-06,3.007225e-06,3.071151e-06,3.841100e-06,4.484096e-06,4.552566e-06,5.205206e-06,5.732841e-06,5.801529e-06,6.344692e-06,6.771760e-06,6.837925e-06,7.284385e-06,7.625481e-06,7.687094e-06,8.048926e-06,8.317038e-06,8.372600e-06,8.660689e-06,8.867170e-06,8.915614e-06,9.139665e-06,9.294389e-06,9.335007e-06,9.503660e-06,9.615144e-06,9.647496e-06,9.768267e-06,9.843776e-06,9.867646e-06,9.947199e-06,9.993035e-06,1.000841e-05,1.005268e-05,1.007435e-05,1.008142e-05,1.009585e-05,1.009807e-05,1.009711e-05,1.008626e-05,1.007295e-05,1.006430e-05,1.003215e-05,1.000663e-05,9.990675e-06,9.940692e-06,9.905762e-06,9.882954e-06,9.818168e-06,9.776190e-06,9.746994e-06,9.670044e-06,9.622994e-06,9.587891e-06,9.501071e-06,9.450600e-06,9.410081e-06,9.315383e-06,9.262857e-06,9.217408e-06,9.116556e-06,9.063101e-06,9.013200e-06,8.907685e-06,8.854218e-06,8.800331e-06,8.691435e-06,8.638699e-06,8.581273e-06,8.470099e-06,8.418685e-06,8.358149e-06,8.245641e-06,8.196013e-06,8.132776e-06,8.019738e-06,7.972252e-06,7.906698e-06,7.793813e-06,7.748735e-06,7.681227e-06,7.569071e-06,7.526591e-06,7.457467e-06,7.346525e-06,7.306767e-06,7.236345e-06,7.127018e-06,7.090056e-06,7.018627e-06,6.911248e-06,6.877111e-06,6.804947e-06,6.699784e-06,6.668466e-06,6.595815e-06,6.493088e-06,6.464552e-06,6.391644e-06,6.291522e-06,6.265711e-06,6.192754e-06,6.095368e-06,6.072204e-06,5.999389e-06,5.904837e-06,5.884228e-06,5.811727e-06,5.720075e-06,5.701920e-06,5.629889e-06,5.541179e-06,5.525368e-06,5.453947e-06,5.368198e-06,5.354616e-06,5.283931e-06,5.201145e-06,5.189673e-06,5.119837e-06,5.040000e-06,5.030518e-06,4.961629e-06,4.884714e-06,4.877103e-06,4.809247e-06,4.735217e-06,4.729356e-06,4.662612e-06,4.591418e-06,4.587191e-06,4.521624e-06,4.453213e-06,4.450505e-06,4.386172e-06,4.320483e-06,4.319183e-06,4.256132e-06,4.193101e-06,4.072125e-06,3.956120e-06,3.844942e-06,3.738447e-06,3.636489e-06,3.538921e-06,3.445595e-06,3.356366e-06,3.271089e-06,3.189621e-06,3.111824e-06,3.037558e-06,2.966690e-06,2.899089e-06,2.834626e-06,2.773177e-06,2.714622e-06,2.658844e-06,2.605728e-06,2.555166e-06,2.507052e-06,2.461282e-06,2.417757e-06,2.376384e-06,2.337069e-06,2.299725e-06,2.264266e-06,2.230610e-06,2.198679e-06,2.168398e-06,2.139693e-06,2.112494e-06,2.086735e-06,2.062352e-06,2.039282e-06,2.017467e-06,1.996850e-06,1.977377e-06,1.958994e-06,1.941654e-06,1.925307e-06,1.909908e-06,1.895413e-06,1.881780e-06,1.868969e-06,1.856941e-06,1.845659e-06,1.835089e-06,1.825196e-06
0.000000e+00,1.291712e-08,8.579367e-07,9.148180e-07,1.353938e-05,9.625388e-05,1.034470e-04,5.096625e-04,1.671929e-03,1.788062e-03,4.819481e-03,1.006595e-02,1.066241e-02,2.038041e-02,3.322194e-02,3.491514e-02,5.501113e-02,7.770886e-02,8.118125e-02,1.137007e-01,1.467893e-01,1.526196e-01,1.977872e-01,2.403258e-01,2.488816e-01,3.054419e-01,3.555042e-01,3.669000e-01,4.326111e-01,4.877762e-01,5.018803e-01,5.739872e-01,6.317333e-01,6.482060e-01,7.238229e-01,7.818022e-01,8.001498e-01,8.765352e-01,9.327393e-01,9.523721e-01,1.027104e+00,1.079942e+00,1.100228e+00,1.171298e+00,1.219613e+00,1.239923e+00,1.305768e+00,1.348809e+00,1.368551e+00,1.428044e+00,1.465416e+00,1.484063e+00,1.536473e+00,1.568076e+00,1.585179e+00,1.630122e+00,1.656086e+00,1.671280e+00,1.708659e+00,1.729286e+00,1.742293e+00,1.772239e+00,1.787947e+00,1.798573e+00,1.821390e+00,1.832670e+00,1.840796e+00,1.856913e+00,1.864294e+00,1.869869e+00,1.879800e+00,1.883816e+00,1.886848e+00,1.891156e+00,1.892329e+00,1.892873e+00,1.892145e+00,1.890971e+00,1.889120e+00,1.883943e+00,1.880879e+00,1.876758e+00,1.867705e+00,1.863166e+00,1.856923e+00,1.844543e+00,1.838899e+00,1.830696e+00,1.815505e+00,1.809079e+00,1.799089e+00,1.781563e+00,1.774635e+00,1.763037e+00,1.743614e+00,1.736422e+00,1.723395e+00,1.702472e+00,1.695214e+00,1.680935e+00,1.658868e+00,1.651707e+00,1.636350e+00,1.613456e+00,1.606525e+00,1.590256e+00,1.566816e+00,1.560218e+00,1.543197e+00,1.519456e+00,1.513270e+00,1.495647e+00,1.471819e+00,1.466103e+00,1.448019e+00,1.424289e+00,1.419082e+00,1.400669e+00,1.377195e+00,1.372520e+00,1.353900e+00,1.330815e+00,1.326684e+00,1.307968e+00,1.285385e+00,1.281798e+00,1.263088e+00,1.241100e+00,1.238047e+00,1.219437e+00,1.198119e+00,1.195584e+00,1.177159e+00,1.156571e+00,1.154533e+00,1.136367e+00,1.116557e+00,1.114989e+00,1.097149e+00,1.078152e+00,1.077026e+00,1.059572e+00,1.041413e+00,1.040696e+00,1.023680e+00,1.006376e+00,1.006034e+00,9.895024e-01,9.730608e-01,9.417815e-01,9.121912e-01,8.842746e-01,8.580081e-01,8.333609e-01,8.102961e-01,7.887716e-01,7.687414e-01,7.501559e-01,7.329630e-01,7.171080e-01,7.025349e-01,6.891864e-01,6.770046e-01,6.659311e-01,6.559073e-01,6.468751e-01,6.387767e-01,6.315548e-01,6.251535e-01,6.195175e-01,6.145929e-01,6.103273e-01,6.066697e-01,6.035707e-01,6.009829e-01,5.988603e-01,5.971591e-01,5.958374e-01,5.948551e-01,5.941744e-01,5.937592e-01,5.935759e-01,5.935925e-01,5.937794e-01,5.941088e-01,5.945552e-01,5.950948e-01,5.957058e-01,5.963684e-01,5.970643e-01,5.977773e-01,5.984928e-01,5.991976e-01,5.998804e-01,6.005310e-01,6.011409e-01,6.017026e-01,6.022100e-01
0.000000e+00,4.423317e-09,3.043352e-07,3.247319e-07,4.864071e-06,3.358980e-05,3.603687e-05,1.695514e-04,5.379993e-04,5.744675e-04,1.521671e-03,3.159818e-03,3.346307e-03,6.391796e-03,1.043071e-02,1.096409e-02,1.730385e-02,2.447603e-02,2.557380e-02,3.585675e-02,4.631788e-02,4.816052e-02,6.242680e-02,7.584533e-02,7.854196e-02,9.634842e-02,1.120790e-01,1.156558e-01,1.362512e-01,1.535031e-01,1.579083e-01,1.803952e-01,1.983625e-01,2.034812e-01,2.269419e-01,2.448905e-01,2.505633e-01,2.741453e-01,2.914614e-01,2.975033e-01,3.204702e-01,3.366798e-01,3.428969e-01,3.646525e-01,3.794209e-01,3.856240e-01,4.057162e-01,4.188358e-01,4.248504e-01,4.429636e-01,4.543350e-01,4.600076e-01,4.759473e-01,4.855583e-01,4.907601e-01,5.044341e-01,5.123389e-01,5.169674e-01,5.283663e-01,5.346668e-01,5.386450e-01,5.478238e-01,5.526536e-01,5.559287e-01,5.629899e-01,5.665010e-01,5.690417e-01,5.741212e-01,5.764735e-01,5.782677e-01,5.815223e-01,5.828763e-01,5.839275e-01,5.855260e-01,5.860364e-01,5.863614e-01,5.864768e-01,5.862891e-01,5.859152e-01,5.847188e-01,5.839667e-01,5.829291e-01,5.805867e-01,5.793911e-01,5.777309e-01,5.743999e-01,5.728681e-01,5.706304e-01,5.664578e-01,5.646835e-01,5.619159e-01,5.570374e-01,5.551017e-01,5.518530e-01,5.463923e-01,5.443643e-01,5.406834e-01,5.347528e-01,5.326904e-01,5.286256e-01,5.223255e-01,5.202766e-01,5.158748e-01,5.092947e-01,5.072984e-01,5.026048e-01,4.958237e-01,4.939110e-01,4.889687e-01,4.820560e-01,4.802512e-01,4.751009e-01,4.681172e-01,4.664384e-01,4.611183e-01,4.541161e-01,4.525764e-01,4.471221e-01,4.401466e-01,4.387545e-01,4.331992e-01,4.262889e-01,4.250496e-01,4.194238e-01,4.126114e-01,4.115267e-01,4.058585e-01,3.991713e-01,3.982407e-01,3.925557e-01,3.860167e-01,3.852374e-01,3.795589e-01,3.731868e-01,3.725544e-01,3.669039e-01,3.607136e-01,3.602225e-01,3.546191e-01,3.486227e-01,3.482661e-01,3.427270e-01,3.369339e-01,3.367043e-01,3.312450e-01,3.256618e-01,3.255512e-01,3.201855e-01,3.148171e-01,3.045085e-01,2.946290e-01,2.851795e-01,2.761586e-01,2.675630e-01,2.593878e-01,2.516267e-01,2.442720e-01,2.373155e-01,2.307477e-01,2.245586e-01,2.187378e-01,2.132741e-01,2.081563e-01,2.033727e-01,1.989114e-01,1.947604e-01,1.909076e-01,1.873408e-01,1.840479e-01,1.810167e-01,1.782351e-01,1.756910e-01,1.733727e-01,1.712682e-01,1.693662e-01,1.676550e-01,1.661237e-01,1.647612e-01,1.635568e-01,1.625001e-01,1.615809e-01,1.607893e-01,1.601159e-01,1.595514e-01,1.590869e-01,1.587138e-01,1.584239e-01,1.582095e-01,1.580629e-01,1.579771e-01,1.579454e-01,1.579612e-01,1.580187e-01,1.581121e-01,1.582361e-01,1.583858e-01,1.585566e-01,1.587442e-01
0.000000e+00,1.681030e-09,1.220605e-07,1.304794e-07,2.077840e-06,1.389038e-05,1.485204e-05,6.133259e-05,1.621128e-04,1.708923e-04,3.622908e-04,6.121105e-04,6.369231e-04,9.829474e-04,1.340386e-03,1.382140e-03,1.815257e-03,2.210730e-03,2.265102e-03,2.717789e-03,3.101339e-03,3.162894e-03,3.593066e-03,3.939256e-03,4.003446e-03,4.391069e-03,4.690797e-03,4.754355e-03,5.092701e-03,5.345444e-03,5.406165e-03,5.695248e-03,5.904301e-03,5.960728e-03,6.203553e-03,6.373584e-03,6.424759e-03,6.625426e-03,6.761336e-03,6.806641e-03,6.969478e-03,7.075930e-03,7.114984e-03,7.244166e-03,7.325402e-03,7.357994e-03,7.457394e-03,7.517198e-03,7.543250e-03,7.616399e-03,7.658105e-03,7.677638e-03,7.727725e-03,7.754260e-03,7.767375e-03,7.797266e-03,7.811181e-03,7.818041e-03,7.830308e-03,7.833825e-03,7.834643e-03,7.831588e-03,7.826635e-03,7.821660e-03,7.805343e-03,7.793588e-03,7.783098e-03,7.755358e-03,7.738239e-03,7.722534e-03,7.685012e-03,7.663767e-03,7.643160e-03,7.597320e-03,7.573008e-03,7.547820e-03,7.494966e-03,7.468490e-03,7.439048e-03,7.380338e-03,7.352465e-03,7.319093e-03,7.255557e-03,7.226934e-03,7.189957e-03,7.122506e-03,7.093675e-03,7.053408e-03,6.982853e-03,6.954262e-03,6.911017e-03,6.838070e-03,6.810091e-03,6.764167e-03,6.689458e-03,6.662392e-03,6.614079e-03,6.538162e-03,6.512248e-03,6.461826e-03,6.385185e-03,6.360614e-03,6.308346e-03,6.231408e-03,6.208322e-03,6.154464e-03,6.077598e-03,6.056101e-03,6.000893e-03,5.924422e-03,5.904587e-03,5.848255e-03,5.772457e-03,5.754327e-03,5.697086e-03,5.622199e-03,5.605794e-03,5.547847e-03,5.474076e-03,5.459395e-03,5.400930e-03,5.328448e-03,5.315475e-03,5.256667e-03,5.185621e-03,5.174324e-03,5.115339e-03,5.045849e-03,5.036185e-03,4.977176e-03,4.909342e-03,4.901260e-03,4.842368e-03,4.776271e-03,4.769710e-03,4.711067e-03,4.646770e-03,4.641666e-03,4.583392e-03,4.520943e-03,4.517226e-03,4.459432e-03,4.398867e-03,4.396464e-03,4.339252e-03,4.280594e-03,4.279430e-03,4.222894e-03,4.166155e-03,4.056650e-03,3.950913e-03,3.848926e-03,3.750662e-03,3.656083e-03,3.565140e-03,3.477780e-03,3.393942e-03,3.313560e-03,3.236564e-03,3.162879e-03,3.092431e-03,3.025138e-03,2.960921e-03,2.899698e-03,2.841387e-03,2.785904e-03,2.733166e-03,2.683090e-03,2.635594e-03,2.590595e-03,2.548012e-03,2.507765e-03,2.469775e-03,2.433964e-03,2.400254e-03,2.368571e-03,2.338839e-03,2.310988e-03,2.284944e-03,2.260639e-03,2.238005e-03,2.216974e-03,2.197481e-03,2.179463e-03,2.162857e-03,2.147604e-03,2.133643e-03,2.120918e-03,2.109372e-03,2.098952e-03,2.089602e-03,2.081273e-03,2.073914e-03,2.067476e-03,2.061912e-03,2.057175e-03,2.053222e-03,2.050008e-03
0.000000e+00,2.232477e-08,4.539603e-07,4.764825e-07,3.720290e-06,1.525801e-05,1.601638e-05,4.252321e-05,7.570284e-05,7.790267e-05,1.141494e-04,1.457024e-04,1.483433e-04,1.799135e-04,2.060688e-04,2.088462e-04,2.352501e-04,2.565012e-04,2.592608e-04,2.810167e-04,2.980273e-04,3.006539e-04,3.183040e-04,3.316871e-04,3.340934e-04,3.481435e-04,3.584481e-04,3.605700e-04,3.714834e-04,3.791950e-04,3.809881e-04,3.891835e-04,3.947273e-04,3.961631e-04,4.020153e-04,4.057605e-04,4.068235e-04,4.106659e-04,4.129310e-04,4.136162e-04,4.157436e-04,4.168024e-04,4.171130e-04,4.177851e-04,4.178712e-04,4.178167e-04,4.172611e-04,4.165736e-04,4.161685e-04,4.145858e-04,4.132942e-04,4.125568e-04,4.101225e-04,4.083695e-04,4.073210e-04,4.041883e-04,4.020943e-04,4.007575e-04,3.970597e-04,3.947250e-04,3.931238e-04,3.889769e-04,3.864848e-04,3.846439e-04,3.801482e-04,3.775676e-04,3.755114e-04,3.707534e-04,3.681403e-04,3.658928e-04,3.609468e-04,3.583465e-04,3.559313e-04,3.508609e-04,3.483094e-04,3.457491e-04,3.406086e-04,3.381343e-04,3.354507e-04,3.302860e-04,3.279107e-04,3.251244e-04,3.199745e-04,3.177145e-04,3.148447e-04,3.097423e-04,3.076092e-04,3.046742e-04,2.996463e-04,2.976477e-04,2.946643e-04,2.897333e-04,2.878738e-04,2.848577e-04,2.800416e-04,2.783231e-04,2.752886e-04,2.706020e-04,2.690242e-04,2.659846e-04,2.614387e-04,2.599996e-04,2.569667e-04,2.525704e-04,2.512664e-04,2.482512e-04,2.440106e-04,2.428375e-04,2.398496e-04,2.357691e-04,2.347214e-04,2.317696e-04,2.278517e-04,2.269235e-04,2.240156e-04,2.202614e-04,2.194465e-04,2.165892e-04,2.129986e-04,2.122903e-04,2.094896e-04,2.060615e-04,2.054531e-04,2.027141e-04,1.994465e-04,1.989311e-04,1.962582e-04,1.931484e-04,1.927193e-04,1.901163e-04,1.871609e-04,1.868114e-04,1.842813e-04,1.814766e-04,1.812002e-04,1.787456e-04,1.760873e-04,1.758777e-04,1.735006e-04,1.709843e-04,1.708355e-04,1.685372e-04,1.661583e-04,1.660645e-04,1.638462e-04,1.615997e-04,1.615555e-04,1.594177e-04,1.572989e-04,1.532851e-04,1.495044e-04,1.459472e-04,1.426039e-04,1.394651e-04,1.365214e-04,1.337637e-04,1.311832e-04,1.287713e-04,1.265196e-04,1.244199e-04,1.224644e-04,1.206455e-04,1.189560e-04,1.173888e-04,1.159372e-04,1.145948e-04,1.133555e-04,1.122132e-04,1.111625e-04,1.101978e-04,1.093141e-04,1.085065e-04,1.077703e-04,1.071011e-04,1.064948e-04,1.059472e-04,1.054547e-04,1.050137e-04,1.046207e-04,1.042726e-04,1.039662e-04,1.036988e-04,1.034675e-04,1.032698e-04,1.031033e-04,1.029657e-04,1.028548e-04,1.027686e-04,1.027052e-04,1.026627e-04,1.026396e-04,1.026341e-04,1.026448e-04,1.026703e-04,1.027092e-04,1.027604e-04,1.028227e-04,1.028949e-04
0.000000e+00,3.441813e-09,2.187607e-07,2.329737e-07,3.222347e-06,2.170214e-05,2.328313e-05,1.114530e-04,3.645590e-04,3.900478e-04,1.065520e-03,2.264047e-03,2.401898e-03,4.677771e-03,7.742799e-03,8.150403e-03,1.303283e-02,1.862169e-02,1.948210e-02,2.759560e-02,3.593576e-02,3.741273e-02,4.891994e-02,5.984965e-02,6.205761e-02,7.672778e-02,8.981154e-02,9.280198e-02,1.101288e-01,1.247800e-01,1.285409e-01,1.478609e-01,1.634440e-01,1.679072e-01,1.884983e-01,2.044023e-01,2.094565e-01,2.306110e-01,2.462962e-01,2.518000e-01,2.728730e-01,2.878954e-01,2.936913e-01,3.141291e-01,3.281484e-01,3.340739e-01,3.534264e-01,3.662034e-01,3.721005e-01,3.900228e-01,4.014093e-01,4.071317e-01,4.233776e-01,4.333034e-01,4.387211e-01,4.531330e-01,4.615914e-01,4.665933e-01,4.790899e-01,4.861232e-01,4.906184e-01,5.011811e-01,5.068679e-01,5.107860e-01,5.194462e-01,5.238898e-01,5.271794e-01,5.340071e-01,5.373260e-01,5.399537e-01,5.450467e-01,5.473674e-01,5.493154e-01,5.527911e-01,5.542416e-01,5.555061e-01,5.574938e-01,5.581996e-01,5.587883e-01,5.594237e-01,5.595042e-01,5.594346e-01,5.588550e-01,5.584218e-01,5.577190e-01,5.560600e-01,5.552151e-01,5.539106e-01,5.513030e-01,5.501387e-01,5.482684e-01,5.448371e-01,5.434353e-01,5.410384e-01,5.369007e-01,5.353334e-01,5.324512e-01,5.277161e-01,5.260457e-01,5.227207e-01,5.174888e-01,5.157685e-01,5.120436e-01,5.064069e-01,5.046817e-01,5.005995e-01,4.946414e-01,4.929486e-01,4.885512e-01,4.823469e-01,4.807171e-01,4.760452e-01,4.696620e-01,4.681197e-01,4.632124e-01,4.567105e-01,4.552744e-01,4.501694e-01,4.436018e-01,4.422861e-01,4.370192e-01,4.304326e-01,4.292474e-01,4.238522e-01,4.172875e-01,4.162392e-01,4.107474e-01,4.042402e-01,4.033322e-01,3.977733e-01,3.913541e-01,3.905873e-01,3.849889e-01,3.786838e-01,3.780568e-01,3.724443e-01,3.662756e-01,3.657853e-01,3.601822e-01,3.541683e-01,3.538101e-01,3.482379e-01,3.423944e-01,3.421625e-01,3.366409e-01,3.309801e-01,3.308679e-01,3.254146e-01,3.199466e-01,3.094145e-01,2.992838e-01,2.895626e-01,2.802565e-01,2.713681e-01,2.628977e-01,2.548435e-01,2.472018e-01,2.399677e-01,2.331347e-01,2.266951e-01,2.206405e-01,2.149613e-01,2.096476e-01,2.046887e-01,2.000734e-01,1.957902e-01,1.918273e-01,1.881726e-01,1.848139e-01,1.817388e-01,1.789348e-01,1.763896e-01,1.740906e-01,1.720255e-01,1.701820e-01,1.685479e-01,1.671111e-01,1.658599e-01,1.647824e-01,1.638674e-01,1.631036e-01,1.624801e-01,1.619863e-01,1.616117e-01,1.613465e-01,1.611809e-01,1.611056e-01,1.611116e-01,1.611903e-01,1.613335e-01,1.615334e-01,1.617825e-01,1.620738e-01,1.624006e-01,1.627566e-01,1.631361e-01,1.635335e-01,1.639438e-01
0.000000e+00,7.276876e-10,4.618626e-08,4.919369e-08,6.867182e-07,4.645494e-06,4.983942e-06,2.377108e-05,7.721018e-05,8.256787e-05,2.236081e-04,4.707936e-04,4.990248e-04,9.603412e-04,1.570079e-03,1.650327e-03,2.598698e-03,3.659573e-03,3.820867e-03,5.318643e-03,6.819790e-03,7.082005e-03,9.091364e-03,1.094989e-02,1.131993e-02,1.373593e-02,1.583262e-02,1.630466e-02,1.899011e-02,2.119835e-02,2.175639e-02,2.456880e-02,2.677341e-02,2.739467e-02,3.020390e-02,3.231095e-02,3.296932e-02,3.566696e-02,3.760724e-02,3.827605e-02,4.077904e-02,4.250726e-02,4.316147e-02,4.541180e-02,4.690360e-02,4.752120e-02,4.948334e-02,5.073130e-02,5.129411e-02,5.295139e-02,5.396087e-02,5.445481e-02,5.580551e-02,5.659087e-02,5.700589e-02,5.805944e-02,5.864079e-02,5.897054e-02,5.974425e-02,6.014486e-02,6.038621e-02,6.090246e-02,6.114676e-02,6.129932e-02,6.158331e-02,6.169550e-02,6.176103e-02,6.183911e-02,6.184216e-02,6.182412e-02,6.172253e-02,6.163758e-02,6.154065e-02,6.128464e-02,6.113069e-02,6.096041e-02,6.057367e-02,6.036744e-02,6.012987e-02,5.963421e-02,5.939017e-02,5.909164e-02,5.850682e-02,5.823727e-02,5.788419e-02,5.722790e-02,5.694317e-02,5.654186e-02,5.582974e-02,5.553836e-02,5.509495e-02,5.434071e-02,5.404962e-02,5.356999e-02,5.278555e-02,5.250030e-02,5.198998e-02,5.118565e-02,5.091058e-02,5.037477e-02,4.955936e-02,4.929779e-02,4.874132e-02,4.792235e-02,4.767672e-02,4.710404e-02,4.628784e-02,4.605987e-02,4.547508e-02,4.466697e-02,4.445776e-02,4.386462e-02,4.306901e-02,4.287917e-02,4.228107e-02,4.150161e-02,4.133134e-02,4.073136e-02,3.997099e-02,3.982016e-02,3.922110e-02,3.848220e-02,3.835040e-02,3.775477e-02,3.703920e-02,3.692584e-02,3.633587e-02,3.564507e-02,3.554938e-02,3.496708e-02,3.430211e-02,3.422320e-02,3.365035e-02,3.301196e-02,3.294886e-02,3.238704e-02,3.177570e-02,3.172738e-02,3.117799e-02,3.059395e-02,3.055934e-02,3.002359e-02,2.946690e-02,2.944492e-02,2.892387e-02,2.839445e-02,2.838400e-02,2.787856e-02,2.737615e-02,2.642075e-02,2.551696e-02,2.466381e-02,2.386018e-02,2.310486e-02,2.239655e-02,2.173386e-02,2.111537e-02,2.053961e-02,2.000508e-02,1.951024e-02,1.905354e-02,1.863343e-02,1.824835e-02,1.789673e-02,1.757701e-02,1.728763e-02,1.702706e-02,1.679377e-02,1.658624e-02,1.640298e-02,1.624254e-02,1.610346e-02,1.598433e-02,1.588377e-02,1.580044e-02,1.573302e-02,1.568024e-02,1.564087e-02,1.561372e-02,1.559763e-02,1.559152e-02,1.559432e-02,1.560503e-02,1.562270e-02,1.564642e-02,1.567533e-02,1.570864e-02,1.574558e-02,1.578546e-02,1.582762e-02,1.587146e-02,1.591642e-02,1.596200e-02,1.600773e-02,1.605320e-02,1.609803e-02,1.614190e-02,1.618450e-02
0.000000e+00,8.246102e-09,2.013356e-07,2.111203e-07,1.510046e-06,5.915404e-06,6.208056e-06,1.727685e-05,3.470093e-05,3.602702e-05,6.095929e-05,8.665035e-05,8.892173e-05,1.169029e-04,1.405611e-04,1.430699e-04,1.667306e-04,1.854021e-04,1.877964e-04,2.063943e-04,2.205548e-04,2.227084e-04,2.369300e-04,2.473931e-04,2.492419e-04,2.598153e-04,2.672997e-04,2.688085e-04,2.763676e-04,2.814727e-04,2.826266e-04,2.877086e-04,2.909284e-04,2.917265e-04,2.947835e-04,2.965228e-04,2.969743e-04,2.983853e-04,2.989740e-04,2.990954e-04,2.991771e-04,2.988840e-04,2.986963e-04,2.977131e-04,2.967557e-04,2.962826e-04,2.944546e-04,2.930078e-04,2.922744e-04,2.897836e-04,2.879881e-04,2.870201e-04,2.840183e-04,2.819867e-04,2.808095e-04,2.774222e-04,2.752440e-04,2.738825e-04,2.702137e-04,2.679594e-04,2.664372e-04,2.625725e-04,2.602975e-04,2.586371e-04,2.546474e-04,2.523949e-04,2.506179e-04,2.465611e-04,2.443631e-04,2.424883e-04,2.384099e-04,2.362901e-04,2.343352e-04,2.302724e-04,2.282477e-04,2.262286e-04,2.222106e-04,2.202929e-04,2.182242e-04,2.142743e-04,2.124709e-04,2.103656e-04,2.065019e-04,2.048171e-04,2.026868e-04,1.989231e-04,1.973583e-04,1.952135e-04,1.915601e-04,1.901150e-04,1.879649e-04,1.844293e-04,1.831016e-04,1.809545e-04,1.775416e-04,1.763282e-04,1.741913e-04,1.709041e-04,1.698009e-04,1.676805e-04,1.645205e-04,1.635228e-04,1.614244e-04,1.583919e-04,1.574945e-04,1.554229e-04,1.525170e-04,1.517147e-04,1.496739e-04,1.468930e-04,1.461801e-04,1.441738e-04,1.415156e-04,1.408866e-04,1.389177e-04,1.363793e-04,1.358288e-04,1.338997e-04,1.314780e-04,1.310006e-04,1.291135e-04,1.268050e-04,1.263954e-04,1.245519e-04,1.223531e-04,1.220063e-04,1.202077e-04,1.181147e-04,1.178258e-04,1.160732e-04,1.140822e-04,1.138466e-04,1.121407e-04,1.102478e-04,1.100611e-04,1.084024e-04,1.066037e-04,1.064617e-04,1.048506e-04,1.031422e-04,1.030411e-04,1.014775e-04,9.985566e-05,9.979167e-05,9.827569e-05,9.673669e-05,9.670632e-05,9.523773e-05,9.377794e-05,9.099962e-05,8.836468e-05,8.586662e-05,8.349918e-05,8.125632e-05,7.913223e-05,7.712130e-05,7.521819e-05,7.341772e-05,7.171498e-05,7.010524e-05,6.858397e-05,6.714687e-05,6.578980e-05,6.450883e-05,6.330018e-05,6.216028e-05,6.108569e-05,6.007316e-05,5.911956e-05,5.822194e-05,5.737747e-05,5.658345e-05,5.583733e-05,5.513666e-05,5.447911e-05,5.386248e-05,5.328466e-05,5.274364e-05,5.223752e-05,5.176448e-05,5.132279e-05,5.091081e-05,5.052698e-05,5.016981e-05,4.983788e-05,4.952986e-05,4.924447e-05,4.898048e-05,4.873674e-05,4.851216e-05,4.830568e-05,4.811632e-05,4.794313e-05,4.778522e-05,4.764172e-05,4.751184e-05,4.739480e-05,4.728988e-05
0.000000e+00,1.129994e-09,7.488374e-08,7.985520e-08,1.178005e-06,8.160479e-06,8.757049e-06,4.131168e-05,1.299751e-04,1.386524e-04,3.593319e-04,7.267328e-04,7.677497e-04,1.421573e-03,2.256351e-03,2.364576e-03,3.624182e-03,5.004002e-03,5.211882e-03,7.125121e-03,9.020363e-03,9.349782e-03,1.186277e-02,1.417496e-02,1.463445e-02,1.763077e-02,2.022974e-02,2.081511e-02,2.414975e-02,2.690040e-02,2.759712e-02,3.112067e-02,3.389948e-02,3.468563e-02,3.825948e-02,4.096305e-02,4.181231e-02,4.531702e-02,4.786520e-02,4.874944e-02,5.208830e-02,5.442394e-02,5.531525e-02,5.841470e-02,6.050141e-02,6.137369e-02,6.418176e-02,6.600079e-02,6.683074e-02,6.931457e-02,7.086133e-02,7.162909e-02,7.377189e-02,7.505269e-02,7.574208e-02,7.754012e-02,7.856913e-02,7.916767e-02,8.062739e-02,8.142411e-02,8.192284e-02,8.305828e-02,8.364543e-02,8.403861e-02,8.486920e-02,8.527106e-02,8.555581e-02,8.610451e-02,8.634565e-02,8.652155e-02,8.681335e-02,8.691774e-02,8.698640e-02,8.704720e-02,8.703754e-02,8.700225e-02,8.685795e-02,8.675525e-02,8.662061e-02,8.629641e-02,8.611978e-02,8.589139e-02,8.541138e-02,8.517788e-02,8.486205e-02,8.424886e-02,8.397355e-02,8.357707e-02,8.285170e-02,8.254765e-02,8.207759e-02,8.125933e-02,8.093773e-02,8.040129e-02,7.950764e-02,7.917798e-02,7.858233e-02,7.762908e-02,7.729924e-02,7.665142e-02,7.565268e-02,7.532914e-02,7.463599e-02,7.360430e-02,7.329228e-02,7.256037e-02,7.150679e-02,7.121039e-02,7.044598e-02,6.938021e-02,6.910256e-02,6.831157e-02,6.724203e-02,6.698541e-02,6.617341e-02,6.510739e-02,6.487337e-02,6.404553e-02,6.298928e-02,6.277882e-02,6.193996e-02,6.089880e-02,6.071234e-02,5.986690e-02,5.884531e-02,5.868287e-02,5.783494e-02,5.683664e-02,5.669789e-02,5.585119e-02,5.487927e-02,5.476358e-02,5.392152e-02,5.297847e-02,5.288500e-02,5.205063e-02,5.113843e-02,5.106615e-02,5.024226e-02,4.936243e-02,4.931017e-02,4.849924e-02,4.765291e-02,4.761941e-02,4.682365e-02,4.601161e-02,4.599555e-02,4.521692e-02,4.443965e-02,4.295227e-02,4.153353e-02,4.018315e-02,3.890054e-02,3.768481e-02,3.653486e-02,3.544936e-02,3.442683e-02,3.346564e-02,3.256405e-02,3.172022e-02,3.093226e-02,3.019819e-02,2.951600e-02,2.888365e-02,2.829909e-02,2.776025e-02,2.726505e-02,2.681143e-02,2.639735e-02,2.602076e-02,2.567968e-02,2.537211e-02,2.509612e-02,2.484981e-02,2.463132e-02,2.443882e-02,2.427056e-02,2.412482e-02,2.399993e-02,2.389429e-02,2.380635e-02,2.373462e-02,2.367767e-02,2.363414e-02,2.360272e-02,2.358217e-02,2.357131e-02,2.356903e-02,2.357426e-02,2.358603e-02,2.360341e-02,2.362552e-02,2.365157e-02,2.368080e-02,2.371253e-02,2.374611e-02,2.378098e-02,2.381659e-02
0.000000e+00,4.190951e-09,1.111224e-07,1.167157e-07,9.266485e-07,4.143104e-06,4.373091e-06,1.395280e-05,3.088985e-05,3.222055e-05,5.727180e-05,8.216073e-05,8.430351e-05,1.101079e-04,1.313838e-04,1.336254e-04,1.547127e-04,1.713480e-04,1.734838e-04,1.901093e-04,2.028251e-04,2.047645e-04,2.176165e-04,2.271333e-04,2.288215e-04,2.385246e-04,2.454548e-04,2.468598e-04,2.539508e-04,2.588047e-04,2.599116e-04,2.648467e-04,2.680463e-04,2.688523e-04,2.720163e-04,2.739081e-04,2.744196e-04,2.761365e-04,2.770051e-04,2.772347e-04,2.777765e-04,2.778535e-04,2.778174e-04,2.774074e-04,2.768776e-04,2.765937e-04,2.754185e-04,2.744330e-04,2.739210e-04,2.721389e-04,2.708241e-04,2.701073e-04,2.678565e-04,2.663134e-04,2.654133e-04,2.628023e-04,2.611089e-04,2.600454e-04,2.571628e-04,2.553806e-04,2.541729e-04,2.510922e-04,2.492699e-04,2.479359e-04,2.447174e-04,2.428925e-04,2.414491e-04,2.381421e-04,2.363439e-04,2.348066e-04,2.314515e-04,2.297019e-04,2.280850e-04,2.247145e-04,2.230298e-04,2.213465e-04,2.179869e-04,2.163789e-04,2.146411e-04,2.113137e-04,2.097905e-04,2.080090e-04,2.047306e-04,2.032973e-04,2.014819e-04,1.982656e-04,1.969252e-04,1.950845e-04,1.919406e-04,1.906940e-04,1.888360e-04,1.857722e-04,1.846190e-04,1.827508e-04,1.797728e-04,1.787115e-04,1.768393e-04,1.739511e-04,1.729796e-04,1.711089e-04,1.683131e-04,1.674283e-04,1.655641e-04,1.628622e-04,1.620608e-04,1.602074e-04,1.575999e-04,1.568783e-04,1.550396e-04,1.525264e-04,1.518807e-04,1.500601e-04,1.476403e-04,1.470665e-04,1.452669e-04,1.429394e-04,1.424335e-04,1.406575e-04,1.384207e-04,1.379787e-04,1.362285e-04,1.340804e-04,1.336983e-04,1.319758e-04,1.299143e-04,1.295884e-04,1.278953e-04,1.259181e-04,1.256446e-04,1.239821e-04,1.220868e-04,1.218621e-04,1.202315e-04,1.184156e-04,1.182362e-04,1.166385e-04,1.148995e-04,1.147620e-04,1.131979e-04,1.115332e-04,1.114345e-04,1.099047e-04,1.083117e-04,1.082487e-04,1.067537e-04,1.052299e-04,1.051998e-04,1.037398e-04,1.022827e-04,9.949282e-05,9.682525e-05,9.427542e-05,9.183882e-05,8.951105e-05,8.728784e-05,8.516505e-05,8.313867e-05,8.120483e-05,7.935977e-05,7.759988e-05,7.592166e-05,7.432176e-05,7.279693e-05,7.134404e-05,6.996010e-05,6.864222e-05,6.738761e-05,6.619360e-05,6.505764e-05,6.397724e-05,6.295006e-05,6.197380e-05,6.104628e-05,6.016542e-05,5.932918e-05,5.853566e-05,5.778298e-05,5.706937e-05,5.639312e-05,5.575261e-05,5.514625e-05,5.457254e-05,5.403004e-05,5.351736e-05,5.303317e-05,5.257620e-05,5.214524e-05,5.173909e-05,5.135666e-05,5.099685e-05,5.065864e-05,5.034104e-05,5.004310e-05,4.976392e-05,4.950263e-05,4.925839e-05,4.903040e-05,4.881791e-05
0.000000e+00,1.431334e-08,2.575275e-07,2.697151e-07,1.873374e-06,6.953403e-06,7.274707e-06,1.832446e-05,3.241232e-05,3.335921e-05,4.900190e-05,6.246923e-05,6.358428e-05,7.673353e-05,8.734434e-05,8.845454e-05,9.883804e-05,1.069533e-04,1.079900e-04,1.160144e-04,1.220887e-04,1.230095e-04,1.290665e-04,1.334915e-04,1.342700e-04,1.386979e-04,1.418009e-04,1.424224e-04,1.455096e-04,1.475614e-04,1.480201e-04,1.500097e-04,1.512328e-04,1.515292e-04,1.526253e-04,1.532016e-04,1.533407e-04,1.537142e-04,1.537917e-04,1.537816e-04,1.535749e-04,1.532728e-04,1.531233e-04,1.524537e-04,1.518684e-04,1.515904e-04,1.505555e-04,1.497643e-04,1.493695e-04,1.480505e-04,1.471154e-04,1.466155e-04,1.450797e-04,1.440505e-04,1.434574e-04,1.417618e-04,1.406785e-04,1.400038e-04,1.381937e-04,1.370865e-04,1.363406e-04,1.344529e-04,1.333451e-04,1.325380e-04,1.306028e-04,1.295124e-04,1.286531e-04,1.266945e-04,1.256349e-04,1.247318e-04,1.227695e-04,1.217505e-04,1.208114e-04,1.188610e-04,1.178897e-04,1.169215e-04,1.149955e-04,1.140766e-04,1.130855e-04,1.111937e-04,1.103301e-04,1.093220e-04,1.074719e-04,1.066652e-04,1.056450e-04,1.038424e-04,1.030928e-04,1.020652e-04,1.003143e-04,9.962153e-05,9.859051e-05,9.689433e-05,9.625714e-05,9.522631e-05,9.358683e-05,9.300367e-05,9.197619e-05,9.039459e-05,8.986349e-05,8.884216e-05,8.731896e-05,8.683771e-05,8.582498e-05,8.436017e-05,8.392639e-05,8.292439e-05,8.151752e-05,8.112874e-05,8.013933e-05,7.878961e-05,7.844331e-05,7.746809e-05,7.617449e-05,7.586814e-05,7.490848e-05,7.366974e-05,7.340084e-05,7.245792e-05,7.127264e-05,7.103874e-05,7.011353e-05,6.898020e-05,6.877891e-05,6.787225e-05,6.678927e-05,6.661828e-05,6.573085e-05,6.469658e-05,6.455368e-05,6.368602e-05,6.269878e-05,6.258185e-05,6.173441e-05,6.079250e-05,6.069952e-05,5.987262e-05,5.897436e-05,5.890342e-05,5.809730e-05,5.724102e-05,5.719029e-05,5.640511e-05,5.558916e-05,5.555693e-05,5.479277e-05,5.401554e-05,5.400019e-05,5.325707e-05,5.251697e-05,5.110428e-05,4.975918e-05,4.847885e-05,4.726052e-05,4.610154e-05,4.499935e-05,4.395147e-05,4.295553e-05,4.200923e-05,4.111037e-05,4.025684e-05,3.944660e-05,3.867771e-05,3.794831e-05,3.725659e-05,3.660084e-05,3.597942e-05,3.539076e-05,3.483335e-05,3.430574e-05,3.380656e-05,3.333448e-05,3.288824e-05,3.246663e-05,3.206850e-05,3.169274e-05,3.133828e-05,3.100412e-05,3.068930e-05,3.039288e-05,3.011399e-05,2.985177e-05,2.960542e-05,2.937417e-05,2.915728e-05,2.895404e-05,2.876379e-05,2.858587e-05,2.841967e-05,2.826460e-05,2.812011e-05,2.798565e-05,2.786071e-05,2.774480e-05,2.763746e-05,2.753823e-05,2.744670e-05,2.736245e-05,2.728509e-05
0.000000e+00,2.728444e-09,1.885386e-07,2.012377e-07,3.112181e-06,2.258075e-05,2.427749e-05,1.198315e-04,3.914078e-04,4.184684e-04,1.122999e-03,2.339617e-03,2.477878e-03,4.730982e-03,7.711806e-03,8.105209e-03,1.278124e-02,1.807751e-02,1.888910e-02,2.650599e-02,3.428483e-02,3.565830e-02,4.632626e-02,5.641587e-02,5.845001e-02,7.193645e-02,8.392900e-02,8.666606e-02,1.024996e-01,1.158588e-01,1.192842e-01,1.368586e-01,1.510093e-01,1.550586e-01,1.737200e-01,1.881126e-01,1.926829e-01,2.117939e-01,2.259459e-01,2.309082e-01,2.498912e-01,2.634079e-01,2.686195e-01,2.869815e-01,2.995631e-01,3.048777e-01,3.222208e-01,3.336593e-01,3.389356e-01,3.549581e-01,3.651277e-01,3.702356e-01,3.847258e-01,3.935709e-01,3.983960e-01,4.112225e-01,4.187441e-01,4.231898e-01,4.342898e-01,4.405326e-01,4.445210e-01,4.538879e-01,4.589282e-01,4.624000e-01,4.700715e-01,4.740069e-01,4.769203e-01,4.829676e-01,4.859083e-01,4.882375e-01,4.927560e-01,4.948179e-01,4.965511e-01,4.996522e-01,5.009518e-01,5.020894e-01,5.038936e-01,5.045440e-01,5.050962e-01,5.057286e-01,5.058367e-01,5.058221e-01,5.054078e-01,5.050725e-01,5.045161e-01,5.031771e-01,5.024884e-01,5.014201e-01,4.992734e-01,4.983118e-01,4.967647e-01,4.939206e-01,4.927573e-01,4.907669e-01,4.873282e-01,4.860251e-01,4.836282e-01,4.796895e-01,4.782999e-01,4.755338e-01,4.711815e-01,4.697505e-01,4.666523e-01,4.619647e-01,4.605301e-01,4.571362e-01,4.521835e-01,4.507766e-01,4.471223e-01,4.419673e-01,4.406134e-01,4.367325e-01,4.314310e-01,4.301500e-01,4.260749e-01,4.206759e-01,4.194835e-01,4.152448e-01,4.097914e-01,4.086989e-01,4.043253e-01,3.988552e-01,3.978708e-01,3.933892e-01,3.879349e-01,3.870637e-01,3.824992e-01,3.770886e-01,3.763335e-01,3.717092e-01,3.663665e-01,3.657281e-01,3.610655e-01,3.558108e-01,3.552881e-01,3.506069e-01,3.454575e-01,3.450480e-01,3.403662e-01,3.353362e-01,3.350365e-01,3.303705e-01,3.254717e-01,3.252772e-01,3.206422e-01,3.158840e-01,3.157895e-01,3.111990e-01,3.065888e-01,2.976871e-01,2.890931e-01,2.808132e-01,2.728514e-01,2.652096e-01,2.578881e-01,2.508855e-01,2.441993e-01,2.378256e-01,2.317600e-01,2.259967e-01,2.205296e-01,2.153519e-01,2.104564e-01,2.058352e-01,2.014804e-01,1.973835e-01,1.935360e-01,1.899292e-01,1.865542e-01,1.834022e-01,1.804641e-01,1.777311e-01,1.751942e-01,1.728444e-01,1.706732e-01,1.686716e-01,1.668312e-01,1.651434e-01,1.636001e-01,1.621930e-01,1.609144e-01,1.597563e-01,1.587113e-01,1.577722e-01,1.569317e-01,1.561832e-01,1.555199e-01,1.549355e-01,1.544239e-01,1.539794e-01,1.535961e-01,1.532690e-01,1.529928e-01,1.527627e-01,1.525742e-01,1.524229e-01,1.523048e-01,1.522161e-01
0.000000e+00,1.296353e-09,7.992193e-08,8.503933e-08,1.122646e-06,7.320600e-06,7.846976e-06,3.720185e-05,1.229675e-04,1.317230e-04,3.694539e-04,8.086756e-04,8.601685e-04,1.729285e-03,2.936862e-03,3.099668e-03,5.077925e-03,7.387586e-03,7.746289e-03,1.115905e-02,1.470995e-02,1.534222e-02,2.029531e-02,2.503398e-02,2.599436e-02,3.239562e-02,3.812721e-02,3.943945e-02,4.705420e-02,5.350345e-02,5.515979e-02,6.367092e-02,7.053476e-02,7.249994e-02,8.155922e-02,8.854546e-02,9.076313e-02,1.000296e-01,1.068814e-01,1.092814e-01,1.184468e-01,1.249555e-01,1.274605e-01,1.362639e-01,1.422730e-01,1.448050e-01,1.530386e-01,1.584419e-01,1.609262e-01,1.684357e-01,1.731720e-01,1.755411e-01,1.822219e-01,1.862676e-01,1.884630e-01,1.942543e-01,1.976161e-01,1.995897e-01,2.044673e-01,2.071747e-01,2.088887e-01,2.128584e-01,2.149566e-01,2.163837e-01,2.194741e-01,2.210190e-01,2.221411e-01,2.243979e-01,2.254510e-01,2.262588e-01,2.277392e-01,2.283641e-01,2.288555e-01,2.296245e-01,2.298841e-01,2.300634e-01,2.301896e-01,2.301443e-01,2.300207e-01,2.295741e-01,2.292802e-01,2.288671e-01,2.279167e-01,2.274258e-01,2.267396e-01,2.253521e-01,2.247104e-01,2.237699e-01,2.220084e-01,2.212569e-01,2.200823e-01,2.180059e-01,2.171802e-01,2.157926e-01,2.134556e-01,2.125864e-01,2.110073e-01,2.084595e-01,2.075726e-01,2.058234e-01,2.031098e-01,2.022266e-01,2.003285e-01,1.974893e-01,1.966275e-01,1.946009e-01,1.916720e-01,1.908456e-01,1.887102e-01,1.857232e-01,1.849432e-01,1.827177e-01,1.797003e-01,1.789750e-01,1.766769e-01,1.736532e-01,1.729885e-01,1.706345e-01,1.676254e-01,1.670251e-01,1.646304e-01,1.616537e-01,1.611201e-01,1.586990e-01,1.557698e-01,1.553037e-01,1.528692e-01,1.500002e-01,1.496012e-01,1.471654e-01,1.443671e-01,1.440339e-01,1.416075e-01,1.388886e-01,1.386190e-01,1.362121e-01,1.335795e-01,1.333708e-01,1.309922e-01,1.284514e-01,1.283004e-01,1.259581e-01,1.235132e-01,1.234164e-01,1.211175e-01,1.187717e-01,1.187253e-01,1.164761e-01,1.142314e-01,1.099376e-01,1.058452e-01,1.019544e-01,9.826427e-02,9.477295e-02,9.147789e-02,8.837588e-02,8.546320e-02,8.273567e-02,8.018874e-02,7.781757e-02,7.561706e-02,7.358191e-02,7.170666e-02,6.998572e-02,6.841338e-02,6.698386e-02,6.569134e-02,6.452992e-02,6.349371e-02,6.257680e-02,6.177326e-02,6.107720e-02,6.048274e-02,5.998404e-02,5.957531e-02,5.925081e-02,5.900490e-02,5.883199e-02,5.872662e-02,5.868341e-02,5.869711e-02,5.876261e-02,5.887493e-02,5.902924e-02,5.922088e-02,5.944536e-02,5.969837e-02,5.997580e-02,6.027373e-02,6.058842e-02,6.091636e-02,6.125426e-02,6.159901e-02,6.194774e-02,6.229778e-02,6.264669e-02,6.299222e-02,6.333235e-02
0.000000e+00,1.414717e-09,1.905994e-08,1.989001e-08,1.166535e-07,3.697046e-07,3.842098e-07,8.192483e-07,1.276879e-06,1.305871e-06,1.773543e-06,2.172368e-06,2.205540e-06,2.600058e-06,2.924173e-06,2.958441e-06,3.282682e-06,3.541446e-06,3.574888e-06,3.837112e-06,4.040150e-06,4.071326e-06,4.279448e-06,4.435462e-06,4.463327e-06,4.624720e-06,4.741456e-06,4.765296e-06,4.886633e-06,4.970854e-06,4.990220e-06,5.077450e-06,5.134978e-06,5.149629e-06,5.207979e-06,5.243780e-06,5.253639e-06,5.287670e-06,5.305950e-06,5.311061e-06,5.324729e-06,5.329033e-06,5.329530e-06,5.326256e-06,5.319556e-06,5.315643e-06,5.298374e-06,5.283153e-06,5.275081e-06,5.246351e-06,5.224676e-06,5.212726e-06,5.174709e-06,5.148288e-06,5.132763e-06,5.087319e-06,5.057562e-06,5.038772e-06,4.987489e-06,4.955547e-06,4.933807e-06,4.878037e-06,4.844847e-06,4.820465e-06,4.761357e-06,4.727675e-06,4.700953e-06,4.639477e-06,4.605907e-06,4.577134e-06,4.514110e-06,4.481126e-06,4.450577e-06,4.386693e-06,4.354665e-06,4.322601e-06,4.258432e-06,4.227639e-06,4.194304e-06,4.130327e-06,4.100975e-06,4.066597e-06,4.003205e-06,3.975440e-06,3.940230e-06,3.877745e-06,3.851663e-06,3.815815e-06,3.754497e-06,3.730153e-06,3.693844e-06,3.633902e-06,3.611319e-06,3.574711e-06,3.516307e-06,3.495481e-06,3.458722e-06,3.401981e-06,3.382886e-06,3.346109e-06,3.291124e-06,3.273719e-06,3.237043e-06,3.183879e-06,3.168110e-06,3.131642e-06,3.080341e-06,3.066146e-06,3.029982e-06,2.980566e-06,2.967873e-06,2.932098e-06,2.884575e-06,2.873310e-06,2.837996e-06,2.792358e-06,2.782444e-06,2.747657e-06,2.703887e-06,2.695244e-06,2.661040e-06,2.619110e-06,2.611659e-06,2.578087e-06,2.537963e-06,2.531625e-06,2.498726e-06,2.460367e-06,2.455067e-06,2.422875e-06,2.386237e-06,2.381897e-06,2.350441e-06,2.315476e-06,2.312024e-06,2.281327e-06,2.247984e-06,2.245350e-06,2.215431e-06,2.183656e-06,2.181774e-06,2.152645e-06,2.122385e-06,2.121190e-06,2.092863e-06,2.064064e-06,2.063495e-06,2.035974e-06,2.008581e-06,1.956344e-06,1.906677e-06,1.859479e-06,1.814646e-06,1.772080e-06,1.731684e-06,1.693364e-06,1.657026e-06,1.622584e-06,1.589950e-06,1.559043e-06,1.529781e-06,1.502088e-06,1.475891e-06,1.451117e-06,1.427700e-06,1.405573e-06,1.384674e-06,1.364944e-06,1.346324e-06,1.328761e-06,1.312201e-06,1.296596e-06,1.281896e-06,1.268058e-06,1.255036e-06,1.242791e-06,1.231281e-06,1.220471e-06,1.210324e-06,1.200805e-06,1.191883e-06,1.183527e-06,1.175706e-06,1.168393e-06,1.161562e-06,1.155186e-06,1.149243e-06,1.143708e-06,1.138560e-06,1.133779e-06,1.129344e-06,1.125237e-06,1.121440e-06,1.117936e-06,1.114708e-06,1.111743e-06,1.109025e-06,1.106540e-06
0.000000e+00,2.124205e-09,1.389257e-07,1.481460e-07,2.016741e-06,1.122616e-05,1.191230e-05,4.109400e-05,9.347983e-05,9.764738e-05,1.788955e-04,2.670396e-04,2.750341e-04,3.764788e-04,4.670379e-04,4.769250e-04,5.730673e-04,6.529498e-04,6.634752e-04,7.476939e-04,8.151656e-04,8.257232e-04,8.977571e-04,9.538284e-04,9.640649e-04,1.024940e-03,1.071011e-03,1.080678e-03,1.131570e-03,1.168982e-03,1.177895e-03,1.219921e-03,1.249882e-03,1.257904e-03,1.292087e-03,1.315667e-03,1.322701e-03,1.349965e-03,1.368107e-03,1.374088e-03,1.395266e-03,1.408795e-03,1.413685e-03,1.429520e-03,1.439157e-03,1.442939e-03,1.454098e-03,1.460471e-03,1.463146e-03,1.470224e-03,1.473881e-03,1.475464e-03,1.478992e-03,1.480405e-03,1.480924e-03,1.481373e-03,1.480953e-03,1.480443e-03,1.478234e-03,1.476333e-03,1.474838e-03,1.470343e-03,1.467267e-03,1.464834e-03,1.458388e-03,1.454396e-03,1.451078e-03,1.442973e-03,1.438290e-03,1.434139e-03,1.424637e-03,1.419451e-03,1.414524e-03,1.403854e-03,1.398326e-03,1.392678e-03,1.381044e-03,1.375310e-03,1.368996e-03,1.356576e-03,1.350749e-03,1.343824e-03,1.330778e-03,1.324953e-03,1.317470e-03,1.303935e-03,1.298190e-03,1.290202e-03,1.276300e-03,1.270698e-03,1.262256e-03,1.248094e-03,1.242686e-03,1.233837e-03,1.219508e-03,1.214336e-03,1.205127e-03,1.190712e-03,1.185806e-03,1.176281e-03,1.161850e-03,1.157235e-03,1.147435e-03,1.133049e-03,1.128741e-03,1.118707e-03,1.104418e-03,1.100429e-03,1.090196e-03,1.076051e-03,1.072387e-03,1.061991e-03,1.048026e-03,1.044689e-03,1.034163e-03,1.020411e-03,1.017401e-03,1.006775e-03,9.932630e-04,9.905758e-04,9.798792e-04,9.666290e-04,9.642586e-04,9.535172e-04,9.405478e-04,9.384861e-04,9.277245e-04,9.150506e-04,9.132884e-04,9.025291e-04,8.901624e-04,8.886889e-04,8.779528e-04,8.659022e-04,8.647060e-04,8.540122e-04,8.422841e-04,8.413529e-04,8.307190e-04,8.193178e-04,8.186389e-04,8.080810e-04,7.970091e-04,7.965696e-04,7.861022e-04,7.753605e-04,7.751474e-04,7.647838e-04,7.543717e-04,7.342399e-04,7.147471e-04,6.958867e-04,6.776504e-04,6.600290e-04,6.430119e-04,6.265879e-04,6.107447e-04,5.954699e-04,5.807503e-04,5.665723e-04,5.529225e-04,5.397868e-04,5.271513e-04,5.150020e-04,5.033251e-04,4.921066e-04,4.813327e-04,4.709898e-04,4.610646e-04,4.515438e-04,4.424144e-04,4.336636e-04,4.252791e-04,4.172485e-04,4.095600e-04,4.022018e-04,3.951628e-04,3.884316e-04,3.819977e-04,3.758505e-04,3.699799e-04,3.643759e-04,3.590289e-04,3.539297e-04,3.490691e-04,3.444385e-04,3.400293e-04,3.358334e-04,3.318427e-04,3.280495e-04,3.244463e-04,3.210261e-04,3.177817e-04,3.147064e-04,3.117937e-04,3.090372e-04,3.064309e-04,3.039689e-04
0.000000e+00,6.314142e-10,4.049396e-08,4.313960e-08,6.127130e-07,4.281442e-06,4.600737e-06,2.288843e-05,7.712742e-05,8.265368e-05,2.308205e-04,4.968696e-04,5.275750e-04,1.035528e-03,1.719821e-03,1.810729e-03,2.897083e-03,4.133928e-03,4.323678e-03,6.104224e-03,7.918297e-03,8.237878e-03,1.071092e-02,1.303291e-02,1.349887e-02,1.656879e-02,1.926920e-02,1.988151e-02,2.339378e-02,2.631677e-02,2.706016e-02,3.083462e-02,3.382458e-02,3.467194e-02,3.852876e-02,4.144787e-02,4.236445e-02,4.614175e-02,4.887947e-02,4.982710e-02,5.339095e-02,5.586723e-02,5.680784e-02,6.005636e-02,6.222064e-02,6.311905e-02,6.598221e-02,6.780985e-02,6.863565e-02,7.107240e-02,7.255990e-02,7.328846e-02,7.528241e-02,7.644233e-02,7.705520e-02,7.860973e-02,7.946591e-02,7.995066e-02,8.108405e-02,8.166745e-02,8.201718e-02,8.275823e-02,8.310352e-02,8.331613e-02,8.370035e-02,8.384329e-02,8.392068e-02,8.398716e-02,8.396264e-02,8.390988e-02,8.369892e-02,8.353970e-02,8.336423e-02,8.291555e-02,8.265143e-02,8.236235e-02,8.171382e-02,8.137125e-02,8.097874e-02,8.016554e-02,7.976746e-02,7.928225e-02,7.833646e-02,7.790238e-02,7.733536e-02,7.628571e-02,7.583192e-02,7.519384e-02,7.406568e-02,7.360551e-02,7.290676e-02,7.172222e-02,7.126637e-02,7.051681e-02,6.929494e-02,6.885183e-02,6.806068e-02,6.681776e-02,6.639381e-02,6.556961e-02,6.431938e-02,6.391934e-02,6.306993e-02,6.182387e-02,6.145107e-02,6.058357e-02,5.935118e-02,5.900780e-02,5.812865e-02,5.691771e-02,5.660497e-02,5.571994e-02,5.453674e-02,5.425507e-02,5.336934e-02,5.221884e-02,5.196810e-02,5.108623e-02,4.997233e-02,4.975187e-02,4.887791e-02,4.780358e-02,4.761237e-02,4.674988e-02,4.571728e-02,4.555405e-02,4.470615e-02,4.371678e-02,4.358002e-02,4.274942e-02,4.180425e-02,4.169233e-02,4.088139e-02,3.998091e-02,3.989209e-02,3.910284e-02,3.824717e-02,3.817968e-02,3.741385e-02,3.660280e-02,3.655484e-02,3.581391e-02,3.504704e-02,3.501682e-02,3.430203e-02,3.357869e-02,3.356444e-02,3.287682e-02,3.219621e-02,3.091036e-02,2.970492e-02,2.857778e-02,2.752668e-02,2.654928e-02,2.564320e-02,2.480598e-02,2.403515e-02,2.332822e-02,2.268270e-02,2.209610e-02,2.156592e-02,2.108969e-02,2.066493e-02,2.028921e-02,1.996008e-02,1.967513e-02,1.943195e-02,1.922818e-02,1.906146e-02,1.892945e-02,1.882987e-02,1.876045e-02,1.871894e-02,1.870315e-02,1.871093e-02,1.874017e-02,1.878882e-02,1.885486e-02,1.893636e-02,1.903145e-02,1.913830e-02,1.925520e-02,1.938047e-02,1.951255e-02,1.964993e-02,1.979121e-02,1.993507e-02,2.008027e-02,2.022568e-02,2.037025e-02,2.051302e-02,2.065313e-02,2.078979e-02,2.092232e-02,2.105012e-02,2.117265e-02,2.128948e-02,2.140024e-02
0.000000e+00,5.318148e-10,3.533343e-08,3.767908e-08,5.456174e-07,3.603575e-06,3.858011e-06,1.714612e-05,5.122950e-05,5.448216e-05,1.345335e-04,2.607467e-04,2.744400e-04,4.845612e-04,7.353624e-04,7.667030e-04,1.115079e-03,1.467637e-03,1.518500e-03,1.962743e-03,2.365823e-03,2.432579e-03,2.913278e-03,3.315712e-03,3.391593e-03,3.856298e-03,4.220824e-03,4.298403e-03,4.711132e-03,5.016921e-03,5.089751e-03,5.431319e-03,5.671055e-03,5.734405e-03,5.998800e-03,6.174293e-03,6.225247e-03,6.415203e-03,6.533415e-03,6.570628e-03,6.693818e-03,6.763949e-03,6.787264e-03,6.853540e-03,6.885146e-03,6.895218e-03,6.914813e-03,6.916755e-03,6.914728e-03,6.897234e-03,6.877185e-03,6.864446e-03,6.818316e-03,6.782621e-03,6.760628e-03,6.693005e-03,6.646738e-03,6.616913e-03,6.533668e-03,6.480783e-03,6.444448e-03,6.350299e-03,6.293805e-03,6.252151e-03,6.150825e-03,6.092968e-03,6.047046e-03,5.941448e-03,5.883869e-03,5.834590e-03,5.726958e-03,5.670826e-03,5.618975e-03,5.511012e-03,5.457139e-03,5.403386e-03,5.296376e-03,5.245299e-03,5.190216e-03,5.085111e-03,5.037166e-03,4.981235e-03,4.878732e-03,4.834099e-03,4.777727e-03,4.678323e-03,4.637071e-03,4.580604e-03,4.484641e-03,4.446760e-03,4.390489e-03,4.298191e-03,4.263611e-03,4.207780e-03,4.119280e-03,4.087891e-03,4.032706e-03,3.948066e-03,3.919730e-03,3.865363e-03,3.784593e-03,3.759153e-03,3.705748e-03,3.628816e-03,3.606108e-03,3.553782e-03,3.480628e-03,3.460479e-03,3.409331e-03,3.339870e-03,3.322107e-03,3.272218e-03,3.206348e-03,3.190801e-03,3.142233e-03,3.079843e-03,3.066346e-03,3.019149e-03,2.960119e-03,2.948510e-03,2.902722e-03,2.846926e-03,2.837050e-03,2.792699e-03,2.740010e-03,2.731720e-03,2.688825e-03,2.639113e-03,2.632269e-03,2.590842e-03,2.543979e-03,2.538449e-03,2.498493e-03,2.454353e-03,2.450012e-03,2.411527e-03,2.369985e-03,2.366716e-03,2.329696e-03,2.290629e-03,2.288324e-03,2.252756e-03,2.216048e-03,2.214603e-03,2.180475e-03,2.146009e-03,2.145331e-03,2.112624e-03,2.080291e-03,2.019274e-03,1.962078e-03,1.908511e-03,1.858387e-03,1.811528e-03,1.767765e-03,1.726936e-03,1.688885e-03,1.653464e-03,1.620531e-03,1.589953e-03,1.561600e-03,1.535351e-03,1.511089e-03,1.488703e-03,1.468088e-03,1.449143e-03,1.431772e-03,1.415886e-03,1.401397e-03,1.388223e-03,1.376286e-03,1.365513e-03,1.355832e-03,1.347177e-03,1.339483e-03,1.332691e-03,1.326742e-03,1.321583e-03,1.317161e-03,1.313427e-03,1.310335e-03,1.307841e-03,1.305902e-03,1.304478e-03,1.303532e-03,1.303028e-03,1.302933e-03,1.303214e-03,1.303841e-03,1.304785e-03,1.306019e-03,1.307518e-03,1.309257e-03,1.311213e-03,1.313365e-03,1.315693e-03,1.318178e-03,1.320802e-03
0.000000e+00,7.907800e-09,1.277217e-07,1.333789e-07,8.572426e-07,3.308032e-06,3.471622e-06,9.589417e-06,1.841423e-05,1.903650e-05,2.965651e-05,3.914569e-05,3.994146e-05,4.942383e-05,5.720192e-05,5.802235e-05,6.576078e-05,7.189903e-05,7.268957e-05,7.886436e-05,8.361355e-05,8.434006e-05,8.916929e-05,9.276292e-05,9.340206e-05,9.708553e-05,9.972730e-05,1.002641e-04,1.029793e-04,1.048442e-04,1.052702e-04,1.071732e-04,1.084100e-04,1.087220e-04,1.099482e-04,1.106824e-04,1.108809e-04,1.115472e-04,1.118834e-04,1.119719e-04,1.121778e-04,1.122022e-04,1.121855e-04,1.120146e-04,1.117982e-04,1.116827e-04,1.112064e-04,1.108077e-04,1.106007e-04,1.098800e-04,1.093483e-04,1.090583e-04,1.081476e-04,1.075230e-04,1.071585e-04,1.061007e-04,1.054142e-04,1.049830e-04,1.038136e-04,1.030903e-04,1.025999e-04,1.013486e-04,1.006081e-04,1.000659e-04,9.875734e-05,9.801516e-05,9.742799e-05,9.608249e-05,9.535069e-05,9.472502e-05,9.335938e-05,9.264718e-05,9.198900e-05,9.061699e-05,8.993124e-05,8.924611e-05,8.787889e-05,8.722458e-05,8.651756e-05,8.516416e-05,8.454477e-05,8.382050e-05,8.248817e-05,8.190591e-05,8.116860e-05,7.986306e-05,7.931918e-05,7.857264e-05,7.729830e-05,7.679327e-05,7.604090e-05,7.480115e-05,7.433481e-05,7.357968e-05,7.237701e-05,7.194874e-05,7.119357e-05,7.002973e-05,6.963855e-05,6.888578e-05,6.776194e-05,6.740658e-05,6.665835e-05,6.557514e-05,6.525415e-05,6.451235e-05,6.346999e-05,6.318179e-05,6.244805e-05,6.144645e-05,6.118935e-05,6.046510e-05,5.950388e-05,5.927617e-05,5.856264e-05,5.764122e-05,5.744115e-05,5.673942e-05,5.585703e-05,5.568286e-05,5.499382e-05,5.414956e-05,5.399959e-05,5.332401e-05,5.251689e-05,5.238944e-05,5.172794e-05,5.095688e-05,5.085034e-05,5.020343e-05,4.946731e-05,4.938012e-05,4.874821e-05,4.804586e-05,4.797653e-05,4.735994e-05,4.669017e-05,4.663728e-05,4.603624e-05,4.539786e-05,4.536004e-05,4.477472e-05,4.416653e-05,4.414251e-05,4.357300e-05,4.299382e-05,4.298238e-05,4.242871e-05,4.187738e-05,4.082528e-05,3.982388e-05,3.887106e-05,3.796473e-05,3.710288e-05,3.628356e-05,3.550488e-05,3.476502e-05,3.406224e-05,3.339483e-05,3.276118e-05,3.215974e-05,3.158901e-05,3.104755e-05,3.053400e-05,3.004704e-05,2.958541e-05,2.914791e-05,2.873340e-05,2.834077e-05,2.796897e-05,2.761700e-05,2.728391e-05,2.696877e-05,2.667073e-05,2.638895e-05,2.612263e-05,2.587101e-05,2.563339e-05,2.540906e-05,2.519737e-05,2.499770e-05,2.480946e-05,2.463206e-05,2.446498e-05,2.430770e-05,2.415972e-05,2.402059e-05,2.388984e-05,2.376707e-05,2.365186e-05,2.354383e-05,2.344262e-05,2.334787e-05,2.325925e-05,2.317645e-05,2.309916e-05,2.302710e-05,2.296000e-05
0.000000e+00,5.220374e-10,1.138937e-08,1.196095e-08,8.183526e-08,2.360523e-07,2.435722e-07,4.365177e-07,6.136399e-07,6.246458e-07,8.022687e-07,9.559473e-07,9.688754e-07,1.124734e-06,1.256141e-06,1.270237e-06,1.405787e-06,1.517160e-06,1.531789e-06,1.648645e-06,1.742132e-06,1.756756e-06,1.856525e-06,1.934177e-06,1.948351e-06,2.032627e-06,2.096368e-06,2.109736e-06,2.180053e-06,2.231660e-06,2.243940e-06,2.301747e-06,2.342831e-06,2.353808e-06,2.400445e-06,2.432452e-06,2.441966e-06,2.478665e-06,2.502883e-06,2.510822e-06,2.538704e-06,2.556274e-06,2.562564e-06,2.582647e-06,2.594581e-06,2.599182e-06,2.612389e-06,2.619576e-06,2.622477e-06,2.629644e-06,2.632866e-06,2.634079e-06,2.635958e-06,2.635898e-06,2.635451e-06,2.632720e-06,2.629976e-06,2.627915e-06,2.621182e-06,2.616274e-06,2.612658e-06,2.602471e-06,2.595849e-06,2.590744e-06,2.577592e-06,2.569646e-06,2.563125e-06,2.547448e-06,2.538513e-06,2.530657e-06,2.512845e-06,2.503209e-06,2.494100e-06,2.474504e-06,2.464412e-06,2.454135e-06,2.433067e-06,2.422726e-06,2.411368e-06,2.389104e-06,2.378691e-06,2.366338e-06,2.343125e-06,2.332785e-06,2.319522e-06,2.295579e-06,2.285434e-06,2.271345e-06,2.246864e-06,2.237013e-06,2.222180e-06,2.197332e-06,2.187855e-06,2.172358e-06,2.147292e-06,2.138253e-06,2.122168e-06,2.097016e-06,2.088463e-06,2.071865e-06,2.046740e-06,2.038711e-06,2.021669e-06,1.996672e-06,1.989191e-06,1.971773e-06,1.946991e-06,1.940075e-06,1.922344e-06,1.897850e-06,1.891509e-06,1.873525e-06,1.849383e-06,1.843618e-06,1.825438e-06,1.801702e-06,1.796509e-06,1.778187e-06,1.754902e-06,1.750274e-06,1.731858e-06,1.709063e-06,1.704987e-06,1.686525e-06,1.664250e-06,1.660711e-06,1.642245e-06,1.620516e-06,1.617496e-06,1.599067e-06,1.577903e-06,1.575382e-06,1.557027e-06,1.536442e-06,1.534400e-06,1.516152e-06,1.496158e-06,1.494571e-06,1.476462e-06,1.457066e-06,1.455912e-06,1.437970e-06,1.419175e-06,1.418430e-06,1.400682e-06,1.382489e-06,1.382128e-06,1.364597e-06,1.347006e-06,1.313055e-06,1.280267e-06,1.248629e-06,1.218124e-06,1.188735e-06,1.160441e-06,1.133220e-06,1.107050e-06,1.081906e-06,1.057763e-06,1.034595e-06,1.012376e-06,9.910790e-07,9.706781e-07,9.511461e-07,9.324563e-07,9.145819e-07,8.974968e-07,8.811747e-07,8.655900e-07,8.507173e-07,8.365317e-07,8.230089e-07,8.101249e-07,7.978564e-07,7.861806e-07,7.750753e-07,7.645188e-07,7.544900e-07,7.449684e-07,7.359343e-07,7.273682e-07,7.192515e-07,7.115660e-07,7.042942e-07,6.974190e-07,6.909241e-07,6.847936e-07,6.790120e-07,6.735646e-07,6.684371e-07,6.636156e-07,6.590868e-07,6.548380e-07,6.508566e-07,6.471309e-07,6.436493e-07,6.404007e-07,6.373746e-07
0.000000e+00,4.911748e-10,1.047694e-08,1.100744e-08,7.889327e-08,2.440772e-07,2.525003e-07,4.722816e-07,6.743359e-07,6.868205e-07,8.868019e-07,1.057292e-06,1.071519e-06,1.241562e-06,1.382702e-06,1.397715e-06,1.540767e-06,1.656417e-06,1.671475e-06,1.790568e-06,1.884232e-06,1.898745e-06,1.996679e-06,2.071501e-06,2.085015e-06,2.164371e-06,2.223156e-06,2.235336e-06,2.298467e-06,2.343690e-06,2.354296e-06,2.403322e-06,2.437145e-06,2.446018e-06,2.482829e-06,2.507126e-06,2.514171e-06,2.540441e-06,2.556835e-06,2.562010e-06,2.579222e-06,2.589101e-06,2.592403e-06,2.601858e-06,2.606412e-06,2.607870e-06,2.610708e-06,2.610952e-06,2.610620e-06,2.607841e-06,2.604638e-06,2.602587e-06,2.595063e-06,2.589145e-06,2.585459e-06,2.573954e-06,2.565939e-06,2.560714e-06,2.545892e-06,2.536302e-06,2.529635e-06,2.512077e-06,2.501347e-06,2.493343e-06,2.473551e-06,2.462046e-06,2.452810e-06,2.431221e-06,2.419244e-06,2.408878e-06,2.385870e-06,2.373671e-06,2.362279e-06,2.338179e-06,2.325961e-06,2.313642e-06,2.288732e-06,2.276661e-06,2.263511e-06,2.238034e-06,2.226244e-06,2.212354e-06,2.186518e-06,2.175113e-06,2.160571e-06,2.134554e-06,2.123615e-06,2.108505e-06,2.082458e-06,2.072048e-06,2.056446e-06,2.030498e-06,2.020661e-06,2.004642e-06,1.978901e-06,1.969667e-06,1.953299e-06,1.927857e-06,1.919246e-06,1.902592e-06,1.877523e-06,1.869545e-06,1.852665e-06,1.828032e-06,1.820688e-06,1.803637e-06,1.779491e-06,1.772776e-06,1.755604e-06,1.731986e-06,1.725890e-06,1.708643e-06,1.685585e-06,1.680093e-06,1.662815e-06,1.640341e-06,1.635436e-06,1.618166e-06,1.596294e-06,1.591956e-06,1.574728e-06,1.553472e-06,1.549679e-06,1.532526e-06,1.511893e-06,1.508621e-06,1.491573e-06,1.471567e-06,1.468791e-06,1.451874e-06,1.432496e-06,1.430191e-06,1.413430e-06,1.394676e-06,1.392818e-06,1.376233e-06,1.358099e-06,1.356662e-06,1.340272e-06,1.322751e-06,1.321710e-06,1.305534e-06,1.288617e-06,1.287946e-06,1.271998e-06,1.255675e-06,1.255351e-06,1.239644e-06,1.223903e-06,1.193579e-06,1.164354e-06,1.136200e-06,1.109092e-06,1.083002e-06,1.057901e-06,1.033762e-06,1.010556e-06,9.882538e-07,9.668286e-07,9.462520e-07,9.264967e-07,9.075356e-07,8.893423e-07,8.718906e-07,8.551552e-07,8.391112e-07,8.237342e-07,8.090007e-07,7.948876e-07,7.813725e-07,7.684339e-07,7.560505e-07,7.442020e-07,7.328687e-07,7.220313e-07,7.116712e-07,7.017704e-07,6.923115e-07,6.832778e-07,6.746529e-07,6.664213e-07,6.585677e-07,6.510776e-07,6.439368e-07,6.371318e-07,6.306494e-07,6.244768e-07,6.186020e-07,6.130131e-07,6.076987e-07,6.026480e-07,5.978502e-07,5.932954e-07,5.889736e-07,5.848755e-07,5.809919e-07,5.773141e-07,5.738337e-07
0.000000e+00,4.295585e-09,4.849911e-08,5.043010e-08,2.607921e-07,8.106424e-07,8.435232e-07,1.947384e-06,3.419350e-06,3.523761e-06,5.358675e-06,7.078051e-06,7.224764e-06,8.993752e-06,1.046714e-05,1.062357e-05,1.210832e-05,1.329890e-05,1.345315e-05,1.466612e-05,1.561041e-05,1.575588e-05,1.673092e-05,1.746733e-05,1.759947e-05,1.836940e-05,1.893238e-05,1.904812e-05,1.964235e-05,2.006122e-05,2.015849e-05,2.060256e-05,2.090253e-05,2.098018e-05,2.129662e-05,2.149921e-05,2.155675e-05,2.176514e-05,2.188853e-05,2.192601e-05,2.204332e-05,2.210287e-05,2.212072e-05,2.216161e-05,2.217021e-05,2.216916e-05,2.214629e-05,2.211477e-05,2.209574e-05,2.202003e-05,2.195741e-05,2.192149e-05,2.180229e-05,2.171611e-05,2.166446e-05,2.150984e-05,2.140630e-05,2.134015e-05,2.115700e-05,2.104126e-05,2.096185e-05,2.075606e-05,2.063233e-05,2.054090e-05,2.031752e-05,2.018924e-05,2.008699e-05,1.985029e-05,1.972024e-05,1.960835e-05,1.936199e-05,1.923239e-05,1.911198e-05,1.885903e-05,1.873166e-05,1.860379e-05,1.834685e-05,1.822308e-05,1.808877e-05,1.783003e-05,1.771092e-05,1.757110e-05,1.731238e-05,1.719872e-05,1.705427e-05,1.679709e-05,1.668944e-05,1.654118e-05,1.628680e-05,1.618554e-05,1.603422e-05,1.578367e-05,1.568903e-05,1.553534e-05,1.528944e-05,1.520154e-05,1.504613e-05,1.480554e-05,1.472439e-05,1.456782e-05,1.433308e-05,1.425861e-05,1.410142e-05,1.387292e-05,1.380500e-05,1.364766e-05,1.342570e-05,1.336415e-05,1.320709e-05,1.299188e-05,1.293649e-05,1.278011e-05,1.257179e-05,1.252231e-05,1.236694e-05,1.216559e-05,1.212176e-05,1.196772e-05,1.177335e-05,1.173489e-05,1.158246e-05,1.139505e-05,1.136169e-05,1.121111e-05,1.103060e-05,1.100204e-05,1.085352e-05,1.067984e-05,1.065579e-05,1.050953e-05,1.034255e-05,1.032274e-05,1.017888e-05,1.001848e-05,1.000262e-05,9.861321e-06,9.707354e-06,9.695173e-06,9.556543e-06,9.408848e-06,9.400084e-06,9.264227e-06,9.122636e-06,9.117035e-06,8.984034e-06,8.848374e-06,8.845691e-06,8.715614e-06,8.585706e-06,8.336731e-06,8.098410e-06,7.870390e-06,7.652314e-06,7.443831e-06,7.244597e-06,7.054271e-06,6.872518e-06,6.699014e-06,6.533440e-06,6.375484e-06,6.224846e-06,6.081231e-06,5.944356e-06,5.813947e-06,5.689737e-06,5.571470e-06,5.458898e-06,5.351783e-06,5.249893e-06,5.153007e-06,5.060911e-06,4.973399e-06,4.890274e-06,4.811346e-06,4.736432e-06,4.665356e-06,4.597950e-06,4.534052e-06,4.473507e-06,4.416165e-06,4.361884e-06,4.310525e-06,4.261958e-06,4.216056e-06,4.172697e-06,4.131766e-06,4.093151e-06,4.056746e-06,4.022448e-06,3.990158e-06,3.959784e-06,3.931234e-06,3.904423e-06,3.879268e-06,3.855689e-06,3.833611e-06,3.812960e-06,3.793669e-06
0.000000e+00,1.386693e-09,1.042197e-07,1.114964e-07,1.935150e-06,1.520084e-05,1.638188e-05,8.380645e-05,2.739461e-04,2.926950e-04,7.721873e-04,1.577099e-03,1.667388e-03,3.117246e-03,4.994776e-03,5.240165e-03,8.126260e-03,1.134482e-02,1.183440e-02,1.639248e-02,2.099233e-02,2.179975e-02,2.803034e-02,3.386651e-02,3.503735e-02,4.275709e-02,4.956588e-02,5.111323e-02,6.002062e-02,6.748266e-02,6.938868e-02,7.912443e-02,8.691373e-02,8.913495e-02,9.932942e-02,1.071465e-01,1.096208e-01,1.199270e-01,1.275181e-01,1.301719e-01,1.402858e-01,1.474512e-01,1.502060e-01,1.598767e-01,1.664714e-01,1.692492e-01,1.782815e-01,1.842110e-01,1.869385e-01,1.951911e-01,2.004049e-01,2.030162e-01,2.103961e-01,2.148795e-01,2.173181e-01,2.237740e-01,2.275407e-01,2.297599e-01,2.352753e-01,2.383597e-01,2.403230e-01,2.449086e-01,2.473596e-01,2.490401e-01,2.527278e-01,2.546033e-01,2.559833e-01,2.588200e-01,2.601827e-01,2.612523e-01,2.632955e-01,2.642095e-01,2.649656e-01,2.662793e-01,2.668077e-01,2.672532e-01,2.679045e-01,2.681074e-01,2.682500e-01,2.683067e-01,2.682405e-01,2.680914e-01,2.676205e-01,2.673365e-01,2.669102e-01,2.659761e-01,2.655208e-01,2.648336e-01,2.634975e-01,2.629121e-01,2.619821e-01,2.603011e-01,2.596216e-01,2.584677e-01,2.564947e-01,2.557526e-01,2.543942e-01,2.521778e-01,2.513997e-01,2.498564e-01,2.474406e-01,2.466492e-01,2.449403e-01,2.423649e-01,2.415791e-01,2.397235e-01,2.370244e-01,2.362594e-01,2.342756e-01,2.314847e-01,2.307530e-01,2.286586e-01,2.258040e-01,2.251154e-01,2.229272e-01,2.200340e-01,2.193958e-01,2.171299e-01,2.142199e-01,2.136377e-01,2.113090e-01,2.084015e-01,2.078788e-01,2.055015e-01,2.026130e-01,2.021521e-01,1.997395e-01,1.968842e-01,1.964861e-01,1.940504e-01,1.912407e-01,1.909052e-01,1.884577e-01,1.857039e-01,1.854302e-01,1.829814e-01,1.802922e-01,1.800786e-01,1.776382e-01,1.750208e-01,1.748650e-01,1.724417e-01,1.699021e-01,1.698013e-01,1.674032e-01,1.649460e-01,1.648973e-01,1.625315e-01,1.601605e-01,1.555966e-01,1.512097e-01,1.470025e-01,1.429763e-01,1.391315e-01,1.354671e-01,1.319818e-01,1.286730e-01,1.255379e-01,1.225729e-01,1.197739e-01,1.171367e-01,1.146563e-01,1.123279e-01,1.101462e-01,1.081058e-01,1.062012e-01,1.044268e-01,1.027770e-01,1.012461e-01,9.982842e-02,9.851842e-02,9.731055e-02,9.619934e-02,9.517943e-02,9.424559e-02,9.339270e-02,9.261578e-02,9.191001e-02,9.127073e-02,9.069343e-02,9.017378e-02,8.970763e-02,8.929098e-02,8.892005e-02,8.859119e-02,8.830097e-02,8.804611e-02,8.782352e-02,8.763027e-02,8.746362e-02,8.732097e-02,8.719991e-02,8.709815e-02,8.701360e-02,8.694428e-02,8.688837e-02,8.684419e-02,8.681017e-02
0.000000e+00,1.307136e-09,1.017498e-07,1.089529e-07,1.970486e-06,1.587137e-05,1.711745e-05,8.871709e-05,2.912561e-04,3.112200e-04,8.207506e-04,1.672197e-03,1.767455e-03,3.291733e-03,5.253848e-03,5.509493e-03,8.504863e-03,1.182473e-02,1.232810e-02,1.699688e-02,2.168014e-02,2.249960e-02,2.879975e-02,3.466719e-02,3.584071e-02,4.355043e-02,5.031350e-02,5.184597e-02,6.063744e-02,6.796496e-02,6.983144e-02,7.933405e-02,8.690091e-02,8.905310e-02,9.890012e-02,1.064179e-01,1.087917e-01,1.186504e-01,1.258830e-01,1.284058e-01,1.379943e-01,1.447629e-01,1.473598e-01,1.564534e-01,1.626343e-01,1.652330e-01,1.736637e-01,1.791822e-01,1.817165e-01,1.893687e-01,1.941910e-01,1.966029e-01,2.034065e-01,2.075311e-01,2.097718e-01,2.156947e-01,2.191444e-01,2.211748e-01,2.262148e-01,2.290298e-01,2.308202e-01,2.349984e-01,2.372298e-01,2.387591e-01,2.421135e-01,2.438191e-01,2.450740e-01,2.476542e-01,2.488943e-01,2.498682e-01,2.517311e-01,2.525661e-01,2.532582e-01,2.544649e-01,2.549530e-01,2.553669e-01,2.559798e-01,2.561758e-01,2.563191e-01,2.564000e-01,2.563547e-01,2.562376e-01,2.558466e-01,2.556057e-01,2.552411e-01,2.544350e-01,2.540399e-01,2.534418e-01,2.522743e-01,2.517614e-01,2.509451e-01,2.494660e-01,2.488670e-01,2.478484e-01,2.461035e-01,2.454461e-01,2.442415e-01,2.422725e-01,2.415803e-01,2.402059e-01,2.380508e-01,2.373439e-01,2.358158e-01,2.335090e-01,2.328041e-01,2.311380e-01,2.287102e-01,2.280212e-01,2.262325e-01,2.237114e-01,2.230495e-01,2.211530e-01,2.185630e-01,2.179374e-01,2.159471e-01,2.133102e-01,2.127278e-01,2.106573e-01,2.079928e-01,2.074589e-01,2.053210e-01,2.026459e-01,2.021643e-01,1.999712e-01,1.973004e-01,1.968737e-01,1.946368e-01,1.919834e-01,1.916129e-01,1.893431e-01,1.867184e-01,1.864047e-01,1.841119e-01,1.815258e-01,1.812684e-01,1.789622e-01,1.764231e-01,1.762211e-01,1.739102e-01,1.714252e-01,1.712770e-01,1.689696e-01,1.665448e-01,1.664485e-01,1.641521e-01,1.617925e-01,1.617457e-01,1.594671e-01,1.571769e-01,1.527492e-01,1.484678e-01,1.443368e-01,1.403593e-01,1.365370e-01,1.328711e-01,1.293616e-01,1.260081e-01,1.228094e-01,1.197637e-01,1.168688e-01,1.141221e-01,1.115204e-01,1.090604e-01,1.067385e-01,1.045509e-01,1.024933e-01,1.005617e-01,9.875160e-02,9.705865e-02,9.547831e-02,9.400603e-02,9.263723e-02,9.136734e-02,9.019180e-02,8.910611e-02,8.810579e-02,8.718643e-02,8.634372e-02,8.557341e-02,8.487135e-02,8.423350e-02,8.365594e-02,8.313485e-02,8.266655e-02,8.224748e-02,8.187419e-02,8.154341e-02,8.125196e-02,8.099682e-02,8.077509e-02,8.058403e-02,8.042102e-02,8.028357e-02,8.016933e-02,8.007609e-02,8.000176e-02,7.994436e-02,7.990206e-02
0.000000e+00,3.003482e-10,1.864182e-08,1.985449e-08,2.798043e-07,1.916553e-06,2.056701e-06,9.751009e-06,3.069261e-05,3.272919e-05,8.358148e-05,1.646951e-04,1.735163e-04,3.089843e-04,4.706405e-04,4.908307e-04,7.150956e-04,9.417822e-04,9.744668e-04,1.259777e-03,1.518438e-03,1.561259e-03,1.869474e-03,2.127317e-03,2.175913e-03,2.473339e-03,2.706368e-03,2.755922e-03,3.019239e-03,3.213884e-03,3.260170e-03,3.476755e-03,3.628135e-03,3.668022e-03,3.833809e-03,3.943041e-03,3.974594e-03,4.091344e-03,4.163032e-03,4.185379e-03,4.258257e-03,4.298580e-03,4.311678e-03,4.347410e-03,4.362849e-03,4.367227e-03,4.372863e-03,4.369448e-03,4.365981e-03,4.348154e-03,4.331105e-03,4.320838e-03,4.285375e-03,4.258971e-03,4.242984e-03,4.194769e-03,4.162387e-03,4.141715e-03,4.084700e-03,4.048915e-03,4.024496e-03,3.961779e-03,3.924489e-03,3.897143e-03,3.831101e-03,3.793671e-03,3.764096e-03,3.696508e-03,3.659885e-03,3.628663e-03,3.560836e-03,3.525651e-03,3.493259e-03,3.426128e-03,3.392783e-03,3.359608e-03,3.293832e-03,3.262558e-03,3.228913e-03,3.164941e-03,3.135853e-03,3.101991e-03,3.040119e-03,3.013249e-03,2.979372e-03,2.919784e-03,2.895109e-03,2.861381e-03,2.804181e-03,2.781641e-03,2.748196e-03,2.693431e-03,2.672941e-03,2.639889e-03,2.587566e-03,2.569028e-03,2.536458e-03,2.486556e-03,2.469862e-03,2.437849e-03,2.390326e-03,2.375367e-03,2.343973e-03,2.298775e-03,2.285438e-03,2.254716e-03,2.211779e-03,2.199955e-03,2.169946e-03,2.129201e-03,2.118782e-03,2.089523e-03,2.050894e-03,2.041777e-03,2.013296e-03,1.976709e-03,1.968794e-03,1.941113e-03,1.906490e-03,1.899681e-03,1.872820e-03,1.840084e-03,1.834289e-03,1.808261e-03,1.777334e-03,1.772467e-03,1.747282e-03,1.718088e-03,1.714068e-03,1.689731e-03,1.662194e-03,1.658944e-03,1.635458e-03,1.609504e-03,1.606951e-03,1.584316e-03,1.559874e-03,1.557950e-03,1.536162e-03,1.513162e-03,1.511804e-03,1.490857e-03,1.469230e-03,1.468379e-03,1.448265e-03,1.427946e-03,1.427546e-03,1.408256e-03,1.389180e-03,1.353160e-03,1.319371e-03,1.287700e-03,1.258039e-03,1.230284e-03,1.204337e-03,1.180102e-03,1.157487e-03,1.136406e-03,1.116775e-03,1.098514e-03,1.081548e-03,1.065802e-03,1.051208e-03,1.037700e-03,1.025215e-03,1.013691e-03,1.003074e-03,9.933065e-04,9.843384e-04,9.761198e-04,9.686039e-04,9.617461e-04,9.555042e-04,9.498378e-04,9.447090e-04,9.400814e-04,9.359208e-04,9.321946e-04,9.288721e-04,9.259240e-04,9.233229e-04,9.210425e-04,9.190583e-04,9.173471e-04,9.158868e-04,9.146567e-04,9.136375e-04,9.128107e-04,9.121591e-04,9.116664e-04,9.113176e-04,9.110984e-04,9.109953e-04,9.109961e-04,9.110889e-04,9.112631e-04,9.115084e-04,9.118154e-04
0.000000e+00,8.143070e-10,5.545405e-08,5.917368e-08,9.075484e-07,6.570461e-06,7.063483e-06,3.464865e-05,1.114943e-04,1.190570e-04,3.121896e-04,6.353988e-04,6.715751e-04,1.250350e-03,1.994233e-03,2.091022e-03,3.222518e-03,4.470789e-03,4.659516e-03,6.403243e-03,8.140369e-03,8.443108e-03,1.075876e-02,1.289677e-02,1.332226e-02,1.610021e-02,1.851235e-02,1.905573e-02,2.215010e-02,2.469932e-02,2.534428e-02,2.860006e-02,3.115879e-02,3.188098e-02,3.515303e-02,3.761464e-02,3.838516e-02,4.154956e-02,4.383312e-02,4.462182e-02,4.758098e-02,4.963157e-02,5.040951e-02,5.309309e-02,5.487923e-02,5.562051e-02,5.798341e-02,5.949317e-02,6.017603e-02,6.219496e-02,6.343159e-02,6.403888e-02,6.570828e-02,6.668600e-02,6.720522e-02,6.853309e-02,6.927341e-02,6.969642e-02,7.070060e-02,7.122925e-02,7.155178e-02,7.225663e-02,7.260118e-02,7.282224e-02,7.325597e-02,7.344405e-02,7.356533e-02,7.375790e-02,7.381599e-02,7.384123e-02,7.382277e-02,7.377538e-02,7.370983e-02,7.350953e-02,7.337877e-02,7.322872e-02,7.287404e-02,7.267942e-02,7.245181e-02,7.196807e-02,7.172648e-02,7.142855e-02,7.083866e-02,7.056449e-02,7.020354e-02,6.952799e-02,6.923329e-02,6.881651e-02,6.807333e-02,6.776808e-02,6.730239e-02,6.650736e-02,6.619964e-02,6.569164e-02,6.485839e-02,6.455470e-02,6.401054e-02,6.315080e-02,6.285623e-02,6.228167e-02,6.140543e-02,6.112389e-02,6.052421e-02,5.963995e-02,5.937434e-02,5.875442e-02,5.786925e-02,5.762167e-02,5.698593e-02,5.610582e-02,5.587767e-02,5.523014e-02,5.436003e-02,5.415214e-02,5.349649e-02,5.264045e-02,5.245321e-02,5.179273e-02,5.095408e-02,5.078750e-02,5.012518e-02,4.930661e-02,4.916041e-02,4.849891e-02,4.770254e-02,4.757621e-02,4.691794e-02,4.614545e-02,4.603828e-02,4.538539e-02,4.463803e-02,4.454922e-02,4.390362e-02,4.318232e-02,4.311092e-02,4.247432e-02,4.177973e-02,4.172474e-02,4.109865e-02,4.043115e-02,4.039153e-02,3.977728e-02,3.913706e-02,3.911173e-02,3.851048e-02,3.789755e-02,3.788543e-02,3.729821e-02,3.671243e-02,3.559228e-02,3.452431e-02,3.350768e-02,3.254140e-02,3.162436e-02,3.075534e-02,2.993304e-02,2.915610e-02,2.842310e-02,2.773259e-02,2.708308e-02,2.647307e-02,2.590104e-02,2.536546e-02,2.486481e-02,2.439758e-02,2.396225e-02,2.355735e-02,2.318140e-02,2.283295e-02,2.251057e-02,2.221288e-02,2.193851e-02,2.168613e-02,2.145444e-02,2.124217e-02,2.104811e-02,2.087108e-02,2.070992e-02,2.056353e-02,2.043085e-02,2.031086e-02,2.020257e-02,2.010507e-02,2.001744e-02,1.993884e-02,1.986846e-02,1.980554e-02,1.974934e-02,1.969920e-02,1.965446e-02,1.961452e-02,1.957881e-02,1.954682e-02,1.951804e-02,1.949202e-02,1.946835e-02,1.944663e-02,1.942651e-02
0.000000e+00,2.717432e-10,4.098211e-09,4.286237e-09,2.767619e-08,9.521132e-08,9.929634e-08,2.314688e-07,3.862842e-07,3.964630e-07,5.650386e-07,7.145669e-07,7.272393e-07,8.809239e-07,1.011733e-06,1.025833e-06,1.162149e-06,1.275229e-06,1.290163e-06,1.410193e-06,1.507283e-06,1.522566e-06,1.627607e-06,1.710410e-06,1.725636e-06,1.816968e-06,1.887077e-06,1.901908e-06,1.980755e-06,2.039638e-06,2.053795e-06,2.121306e-06,2.170299e-06,2.183556e-06,2.240802e-06,2.281114e-06,2.293291e-06,2.341259e-06,2.373979e-06,2.384934e-06,2.424534e-06,2.450639e-06,2.460266e-06,2.492330e-06,2.512695e-06,2.520916e-06,2.546208e-06,2.561614e-06,2.568379e-06,2.587596e-06,2.598738e-06,2.604017e-06,2.617795e-06,2.625293e-06,2.629074e-06,2.637995e-06,2.642400e-06,2.644689e-06,2.649283e-06,2.651081e-06,2.651896e-06,2.652643e-06,2.652266e-06,2.651635e-06,2.648976e-06,2.646803e-06,2.644766e-06,2.639099e-06,2.635464e-06,2.632065e-06,2.623751e-06,2.618949e-06,2.614239e-06,2.603606e-06,2.597894e-06,2.591928e-06,2.579275e-06,2.572875e-06,2.565714e-06,2.551308e-06,2.544416e-06,2.536120e-06,2.520207e-06,2.512989e-06,2.503623e-06,2.486421e-06,2.479024e-06,2.468651e-06,2.450359e-06,2.442907e-06,2.431591e-06,2.412389e-06,2.404987e-06,2.392793e-06,2.372841e-06,2.365579e-06,2.352571e-06,2.332015e-06,2.324966e-06,2.311206e-06,2.290176e-06,2.283404e-06,2.268953e-06,2.247565e-06,2.241120e-06,2.226038e-06,2.204396e-06,2.198319e-06,2.182664e-06,2.160862e-06,2.155185e-06,2.139012e-06,2.117133e-06,2.111880e-06,2.095244e-06,2.073361e-06,2.068550e-06,2.051502e-06,2.029681e-06,2.025323e-06,2.007913e-06,1.986212e-06,1.982314e-06,1.964590e-06,1.943059e-06,1.939623e-06,1.921630e-06,1.900313e-06,1.897338e-06,1.879119e-06,1.858056e-06,1.855538e-06,1.837133e-06,1.816357e-06,1.814288e-06,1.795736e-06,1.775276e-06,1.773646e-06,1.754984e-06,1.734865e-06,1.733664e-06,1.714925e-06,1.695168e-06,1.694382e-06,1.675599e-06,1.656221e-06,1.655836e-06,1.637039e-06,1.618056e-06,1.581066e-06,1.544885e-06,1.509528e-06,1.475005e-06,1.441324e-06,1.408488e-06,1.376500e-06,1.345358e-06,1.315058e-06,1.285595e-06,1.256961e-06,1.229150e-06,1.202149e-06,1.175949e-06,1.150537e-06,1.125901e-06,1.102027e-06,1.078900e-06,1.056506e-06,1.034830e-06,1.013857e-06,9.935704e-07,9.739556e-07,9.549962e-07,9.366765e-07,9.189805e-07,9.018925e-07,8.853966e-07,8.694773e-07,8.541190e-07,8.393065e-07,8.250246e-07,8.112585e-07,7.979934e-07,7.852149e-07,7.729089e-07,7.610613e-07,7.496587e-07,7.386877e-07,7.281350e-07,7.179880e-07,7.082342e-07,6.988613e-07,6.898574e-07,6.812109e-07,6.729105e-07,6.649450e-07,6.573037e-07,6.499762e-07
0.000000e+00,3.830182e-10,2.325436e-08,2.473906e-08,3.224998e-07,2.036799e-06,2.179256e-06,9.767771e-06,3.025563e-05,3.226835e-05,8.399546e-05,1.716518e-04,1.815126e-04,3.397576e-04,5.429845e-04,5.693453e-04,8.754749e-04,1.208192e-03,1.258012e-03,1.712242e-03,2.154009e-03,2.229927e-03,2.800413e-03,3.311640e-03,3.411663e-03,4.051132e-03,4.587871e-03,4.706469e-03,5.366041e-03,5.889613e-03,6.019294e-03,6.656974e-03,7.138460e-03,7.271242e-03,7.855695e-03,8.276807e-03,8.405322e-03,8.916413e-03,9.268284e-03,9.386442e-03,9.813932e-03,1.009503e-02,1.019831e-02,1.053977e-02,1.075367e-02,1.083912e-02,1.109769e-02,1.125107e-02,1.131717e-02,1.149956e-02,1.160067e-02,1.164703e-02,1.176190e-02,1.181939e-02,1.184652e-02,1.190326e-02,1.192547e-02,1.193446e-02,1.194239e-02,1.193688e-02,1.192922e-02,1.189703e-02,1.187042e-02,1.184777e-02,1.178328e-02,1.174115e-02,1.170525e-02,1.161525e-02,1.156218e-02,1.151472e-02,1.140501e-02,1.134472e-02,1.128730e-02,1.116270e-02,1.109813e-02,1.103220e-02,1.089671e-02,1.083013e-02,1.075702e-02,1.061388e-02,1.054706e-02,1.046794e-02,1.031977e-02,1.025402e-02,1.016992e-02,1.001883e-02,9.955110e-03,9.866935e-03,9.714604e-03,9.653624e-03,9.562166e-03,9.409917e-03,9.352167e-03,9.258117e-03,9.106998e-03,9.052802e-03,8.956765e-03,8.807597e-03,8.757151e-03,8.659654e-03,8.513077e-03,8.466481e-03,8.367988e-03,8.224495e-03,8.181773e-03,8.082692e-03,7.942660e-03,7.903778e-03,7.804469e-03,7.668180e-03,7.633062e-03,7.533842e-03,7.401501e-03,7.370040e-03,7.271191e-03,7.142941e-03,7.115005e-03,7.016774e-03,6.892710e-03,6.868150e-03,6.770759e-03,6.650931e-03,6.629588e-03,6.533230e-03,6.417659e-03,6.399364e-03,6.304213e-03,6.192888e-03,6.177472e-03,6.083678e-03,5.976570e-03,5.963858e-03,5.871554e-03,5.768614e-03,5.758434e-03,5.667737e-03,5.568903e-03,5.561084e-03,5.472094e-03,5.377291e-03,5.371666e-03,5.284472e-03,5.193616e-03,5.190023e-03,5.104700e-03,5.017701e-03,5.015980e-03,4.932593e-03,4.849354e-03,4.689952e-03,4.537577e-03,4.392026e-03,4.253097e-03,4.120584e-03,3.994285e-03,3.873997e-03,3.759521e-03,3.650661e-03,3.547222e-03,3.449015e-03,3.355856e-03,3.267564e-03,3.183961e-03,3.104878e-03,3.030146e-03,2.959604e-03,2.893093e-03,2.830461e-03,2.771560e-03,2.716244e-03,2.664374e-03,2.615815e-03,2.570434e-03,2.528105e-03,2.488703e-03,2.452108e-03,2.418204e-03,2.386876e-03,2.358016e-03,2.331517e-03,2.307274e-03,2.285187e-03,2.265158e-03,2.247092e-03,2.230895e-03,2.216478e-03,2.203754e-03,2.192636e-03,2.183042e-03,2.174891e-03,2.168104e-03,2.162606e-03,2.158321e-03,2.155178e-03,2.153106e-03,2.152037e-03,2.151904e-03,2.152644e-03
0.000000e+00,1.385155e-09,1.538951e-08,1.600939e-08,8.703755e-08,2.901671e-07,3.027818e-07,7.379775e-07,1.312821e-06,1.352465e-06,2.024676e-06,2.627353e-06,2.678204e-06,3.289171e-06,3.798547e-06,3.852772e-06,4.369469e-06,4.786852e-06,4.841150e-06,5.270075e-06,5.606539e-06,5.658584e-06,6.009004e-06,6.275592e-06,6.323616e-06,6.604642e-06,6.811534e-06,6.854235e-06,7.074459e-06,7.230823e-06,7.267289e-06,7.434609e-06,7.548563e-06,7.578207e-06,7.699780e-06,7.778436e-06,7.800932e-06,7.883178e-06,7.932710e-06,7.947944e-06,7.996572e-06,8.022303e-06,8.030323e-06,8.050379e-06,8.056867e-06,8.057851e-06,8.053777e-06,8.044911e-06,8.039131e-06,8.014825e-06,7.993907e-06,7.981710e-06,7.940583e-06,7.910402e-06,7.892186e-06,7.837215e-06,7.800116e-06,7.776315e-06,7.710091e-06,7.668037e-06,7.639105e-06,7.563879e-06,7.518498e-06,7.484899e-06,7.402619e-06,7.355259e-06,7.317458e-06,7.229806e-06,7.181567e-06,7.140024e-06,7.048447e-06,7.000221e-06,6.955384e-06,6.861122e-06,6.813624e-06,6.765924e-06,6.670035e-06,6.623829e-06,6.573678e-06,6.477060e-06,6.432582e-06,6.380371e-06,6.283784e-06,6.241360e-06,6.187458e-06,6.091539e-06,6.051406e-06,5.996157e-06,5.901435e-06,5.863755e-06,5.807480e-06,5.714391e-06,5.679263e-06,5.622257e-06,5.531158e-06,5.498630e-06,5.441165e-06,5.352342e-06,5.322418e-06,5.264744e-06,5.178420e-06,5.151073e-06,5.093414e-06,5.009763e-06,4.984937e-06,4.927499e-06,4.846647e-06,4.824265e-06,4.767231e-06,4.689267e-06,4.669236e-06,4.612770e-06,4.537751e-06,4.519966e-06,4.464214e-06,4.392165e-06,4.376514e-06,4.321604e-06,4.252528e-06,4.238891e-06,4.184935e-06,4.118817e-06,4.107072e-06,4.054166e-06,3.990972e-06,3.980996e-06,3.929224e-06,3.868907e-06,3.860576e-06,3.810008e-06,3.752510e-06,3.745704e-06,3.696397e-06,3.641651e-06,3.636251e-06,3.588253e-06,3.536184e-06,3.532076e-06,3.485424e-06,3.435952e-06,3.433024e-06,3.387747e-06,3.340788e-06,3.338935e-06,3.295053e-06,3.250519e-06,3.249641e-06,3.207166e-06,3.164969e-06,3.084746e-06,3.008796e-06,2.936944e-06,2.869018e-06,2.804847e-06,2.744262e-06,2.687100e-06,2.633200e-06,2.582407e-06,2.534570e-06,2.489542e-06,2.447183e-06,2.407357e-06,2.369933e-06,2.334787e-06,2.301798e-06,2.270852e-06,2.241837e-06,2.214650e-06,2.189189e-06,2.165361e-06,2.143072e-06,2.122238e-06,2.102776e-06,2.084607e-06,2.067658e-06,2.051858e-06,2.037140e-06,2.023442e-06,2.010702e-06,1.998864e-06,1.987876e-06,1.977685e-06,1.968243e-06,1.959506e-06,1.951431e-06,1.943977e-06,1.937105e-06,1.930781e-06,1.924969e-06,1.919638e-06,1.914757e-06,1.910298e-06,1.906234e-06,1.902540e-06,1.899192e-06,1.896166e-06,1.893443e-06,1.891003e-06
0.000000e+00,6.470133e-10,7.424357e-09,7.730511e-09,4.384212e-08,1.500665e-07,1.567113e-07,3.859022e-07,6.832636e-07,7.034907e-07,1.042316e-06,1.341488e-06,1.366588e-06,1.666720e-06,1.915080e-06,1.941424e-06,2.191564e-06,2.392485e-06,2.418552e-06,2.623917e-06,2.784372e-06,2.809145e-06,2.975570e-06,3.101773e-06,3.124472e-06,3.257111e-06,3.354571e-06,3.374670e-06,3.478268e-06,3.551802e-06,3.568955e-06,3.647714e-06,3.701460e-06,3.715466e-06,3.773072e-06,3.810562e-06,3.821334e-06,3.860999e-06,3.885228e-06,3.892764e-06,3.917275e-06,3.930770e-06,3.935133e-06,3.946897e-06,3.951784e-06,3.953084e-06,3.954175e-06,3.952235e-06,3.950616e-06,3.942820e-06,3.935539e-06,3.931168e-06,3.916015e-06,3.904632e-06,3.897689e-06,3.876493e-06,3.862035e-06,3.852708e-06,3.826593e-06,3.809906e-06,3.798388e-06,3.768314e-06,3.750096e-06,3.736576e-06,3.703363e-06,3.684185e-06,3.668848e-06,3.633194e-06,3.613518e-06,3.596546e-06,3.559043e-06,3.539245e-06,3.520809e-06,3.481960e-06,3.462339e-06,3.442602e-06,3.402833e-06,3.383625e-06,3.362743e-06,3.322412e-06,3.303801e-06,3.281917e-06,3.241327e-06,3.223453e-06,3.200704e-06,3.160106e-06,3.143075e-06,3.119585e-06,3.079190e-06,3.063077e-06,3.038964e-06,2.998946e-06,2.983801e-06,2.959172e-06,2.919674e-06,2.905528e-06,2.880481e-06,2.841620e-06,2.828487e-06,2.803113e-06,2.764983e-06,2.752864e-06,2.727248e-06,2.689923e-06,2.678808e-06,2.653025e-06,2.616565e-06,2.606436e-06,2.580554e-06,2.545003e-06,2.535836e-06,2.509919e-06,2.475309e-06,2.467074e-06,2.441179e-06,2.407534e-06,2.400197e-06,2.374376e-06,2.341709e-06,2.335234e-06,2.309533e-06,2.277851e-06,2.272201e-06,2.246663e-06,2.215967e-06,2.211102e-06,2.185764e-06,2.156050e-06,2.151930e-06,2.126826e-06,2.098087e-06,2.094671e-06,2.069831e-06,2.042056e-06,2.039304e-06,2.014756e-06,1.987929e-06,1.985803e-06,1.961570e-06,1.935676e-06,1.934137e-06,1.910240e-06,1.885259e-06,1.884269e-06,1.860728e-06,1.836641e-06,1.836164e-06,1.812994e-06,1.789781e-06,1.745078e-06,1.702012e-06,1.660541e-06,1.620619e-06,1.582202e-06,1.545247e-06,1.509709e-06,1.475544e-06,1.442710e-06,1.411165e-06,1.380865e-06,1.351771e-06,1.323843e-06,1.297041e-06,1.271328e-06,1.246666e-06,1.223019e-06,1.200352e-06,1.178631e-06,1.157822e-06,1.137894e-06,1.118815e-06,1.100554e-06,1.083083e-06,1.066373e-06,1.050397e-06,1.035127e-06,1.020539e-06,1.006606e-06,9.933057e-07,9.806139e-07,9.685082e-07,9.569668e-07,9.459686e-07,9.354933e-07,9.255212e-07,9.160332e-07,9.070110e-07,8.984368e-07,8.902936e-07,8.825648e-07,8.752343e-07,8.682868e-07,8.617074e-07,8.554817e-07,8.495957e-07,8.440360e-07,8.387898e-07,8.338444e-07
0.000000e+00,6.103356e-10,4.481643e-08,4.791130e-08,8.028665e-07,6.183622e-06,6.661323e-06,3.408729e-05,1.130957e-04,1.209859e-04,3.265257e-04,6.813579e-04,7.216740e-04,1.378679e-03,2.248364e-03,2.363202e-03,3.729330e-03,5.279183e-03,5.516900e-03,7.750534e-03,1.003597e-02,1.043989e-02,1.358072e-02,1.655608e-02,1.715640e-02,2.113979e-02,2.468558e-02,2.549517e-02,3.018017e-02,3.413389e-02,3.514759e-02,4.034714e-02,4.453058e-02,4.572694e-02,5.123482e-02,5.547484e-02,5.681947e-02,6.243137e-02,6.657399e-02,6.802355e-02,7.355213e-02,7.747055e-02,7.897679e-02,8.426100e-02,8.785881e-02,8.937226e-02,9.428209e-02,9.749310e-02,9.896609e-02,1.034038e-01,1.061895e-01,1.075785e-01,1.114773e-01,1.138230e-01,1.150904e-01,1.184113e-01,1.203220e-01,1.214366e-01,1.241652e-01,1.256605e-01,1.265985e-01,1.287401e-01,1.298505e-01,1.305952e-01,1.321708e-01,1.329341e-01,1.334752e-01,1.345177e-01,1.349753e-01,1.353086e-01,1.358592e-01,1.360543e-01,1.361809e-01,1.362858e-01,1.362608e-01,1.361862e-01,1.358945e-01,1.356899e-01,1.354231e-01,1.347844e-01,1.344377e-01,1.339905e-01,1.330535e-01,1.325989e-01,1.319850e-01,1.307963e-01,1.302638e-01,1.294983e-01,1.281016e-01,1.275175e-01,1.266162e-01,1.250518e-01,1.244385e-01,1.234175e-01,1.217219e-01,1.210981e-01,1.199733e-01,1.181794e-01,1.175604e-01,1.163474e-01,1.144841e-01,1.138823e-01,1.125959e-01,1.106886e-01,1.101136e-01,1.087678e-01,1.068386e-01,1.062975e-01,1.049055e-01,1.029730e-01,1.024712e-01,1.010451e-01,9.912524e-02,9.866607e-02,9.721691e-02,9.532310e-02,9.490868e-02,9.344654e-02,9.158972e-02,9.122093e-02,8.975487e-02,8.794398e-02,8.762071e-02,8.615883e-02,8.440100e-02,8.412238e-02,8.267188e-02,8.097269e-02,8.073725e-02,7.930447e-02,7.766814e-02,7.747396e-02,7.606445e-02,7.449405e-02,7.433886e-02,7.295745e-02,7.145507e-02,7.133637e-02,6.998721e-02,6.855411e-02,6.846923e-02,6.715589e-02,6.579262e-02,6.573882e-02,6.446430e-02,6.317084e-02,6.314533e-02,6.191213e-02,6.068799e-02,5.836523e-02,5.617484e-02,5.411406e-02,5.217973e-02,5.036835e-02,4.867616e-02,4.709920e-02,4.563340e-02,4.427455e-02,4.301841e-02,4.186070e-02,4.079713e-02,3.982343e-02,3.893537e-02,3.812875e-02,3.739942e-02,3.674332e-02,3.615644e-02,3.563487e-02,3.517476e-02,3.477237e-02,3.442404e-02,3.412621e-02,3.387544e-02,3.366835e-02,3.350170e-02,3.337234e-02,3.327725e-02,3.321349e-02,3.317826e-02,3.316886e-02,3.318271e-02,3.321735e-02,3.327044e-02,3.333974e-02,3.342315e-02,3.351868e-02,3.362446e-02,3.373872e-02,3.385982e-02,3.398624e-02,3.411657e-02,3.424948e-02,3.438379e-02,3.451840e-02,3.465231e-02,3.478463e-02,3.491454e-02,3.504135e-02
0.000000e+00,2.232780e-09,1.587128e-07,1.694660e-07,2.616720e-06,1.842405e-05,1.977822e-05,9.404380e-05,2.994176e-04,3.197332e-04,8.467201e-04,1.757851e-03,1.861687e-03,3.562853e-03,5.837252e-03,6.139224e-03,9.756441e-03,1.390768e-02,1.454830e-02,2.061263e-02,2.689306e-02,2.801031e-02,3.676653e-02,4.516683e-02,4.687352e-02,5.829416e-02,6.859632e-02,7.096614e-02,8.480626e-02,9.665277e-02,9.971467e-02,1.155789e-01,1.285387e-01,1.322776e-01,1.496840e-01,1.633067e-01,1.676688e-01,1.861027e-01,1.999581e-01,2.048587e-01,2.238137e-01,2.375182e-01,2.428500e-01,2.618568e-01,2.750880e-01,2.807302e-01,2.993746e-01,3.118771e-01,3.177027e-01,3.356355e-01,3.472201e-01,3.531026e-01,3.700422e-01,3.805814e-01,3.864003e-01,4.021309e-01,4.115517e-01,4.171956e-01,4.315629e-01,4.398379e-01,4.452079e-01,4.581118e-01,4.652512e-01,4.702617e-01,4.816495e-01,4.876925e-01,4.922721e-01,5.021306e-01,5.071379e-01,5.112296e-01,5.195774e-01,5.236250e-01,5.271852e-01,5.340665e-01,5.372396e-01,5.402373e-01,5.457154e-01,5.481045e-01,5.505202e-01,5.546725e-01,5.563694e-01,5.581940e-01,5.611072e-01,5.622023e-01,5.634354e-01,5.652023e-01,5.657827e-01,5.664317e-01,5.671476e-01,5.672956e-01,5.673741e-01,5.671350e-01,5.669270e-01,5.664540e-01,5.653544e-01,5.648605e-01,5.638591e-01,5.619906e-01,5.612742e-01,5.597708e-01,5.572213e-01,5.563392e-01,5.543628e-01,5.512156e-01,5.502180e-01,5.477992e-01,5.441326e-01,5.430637e-01,5.402342e-01,5.361214e-01,5.350191e-01,5.318113e-01,5.273201e-01,5.262171e-01,5.226636e-01,5.178565e-01,5.167802e-01,5.129134e-01,5.078478e-01,5.068211e-01,5.026728e-01,4.974010e-01,4.964427e-01,4.920441e-01,4.866136e-01,4.857385e-01,4.811200e-01,4.755737e-01,4.747936e-01,4.699843e-01,4.643609e-01,4.636843e-01,4.587123e-01,4.530467e-01,4.524795e-01,4.473717e-01,4.416947e-01,4.412406e-01,4.360225e-01,4.303617e-01,4.300225e-01,4.247182e-01,4.190979e-01,4.188737e-01,4.135061e-01,4.079477e-01,4.078369e-01,4.024275e-01,3.969499e-01,3.862453e-01,3.757515e-01,3.654930e-01,3.554903e-01,3.457607e-01,3.363187e-01,3.271755e-01,3.183407e-01,3.098209e-01,3.016214e-01,2.937453e-01,2.861940e-01,2.789677e-01,2.720652e-01,2.654840e-01,2.592209e-01,2.532715e-01,2.476308e-01,2.422929e-01,2.372515e-01,2.324996e-01,2.280297e-01,2.238341e-01,2.199045e-01,2.162326e-01,2.128096e-01,2.096267e-01,2.066748e-01,2.039449e-01,2.014277e-01,1.991141e-01,1.969949e-01,1.950608e-01,1.933028e-01,1.917119e-01,1.902790e-01,1.889955e-01,1.878526e-01,1.868420e-01,1.859552e-01,1.851843e-01,1.845213e-01,1.839586e-01,1.834888e-01,1.831047e-01,1.827995e-01,1.825663e-01,1.823990e-01,1.822913e-01
0.000000e+00,4.735488e-10,3.370650e-08,3.601831e-08,5.942745e-07,4.515262e-06,4.860486e-06,2.422005e-05,7.723658e-05,8.238601e-05,2.110811e-04,4.186078e-04,4.414005e-04,7.975020e-04,1.237649e-03,1.293783e-03,1.934552e-03,2.614412e-03,2.715125e-03,3.623613e-03,4.494262e-03,4.642891e-03,5.752488e-03,6.738146e-03,6.930234e-03,8.153623e-03,9.175529e-03,9.400857e-03,1.065161e-02,1.164235e-02,1.188755e-02,1.309262e-02,1.400229e-02,1.425319e-02,1.535809e-02,1.615504e-02,1.639845e-02,1.736762e-02,1.803616e-02,1.826094e-02,1.907552e-02,1.961246e-02,1.981003e-02,2.046445e-02,2.087543e-02,2.103987e-02,2.153828e-02,2.183457e-02,2.196239e-02,2.231545e-02,2.251132e-02,2.260113e-02,2.282338e-02,2.293422e-02,2.298630e-02,2.309410e-02,2.313510e-02,2.315098e-02,2.316108e-02,2.314638e-02,2.312846e-02,2.305703e-02,2.299929e-02,2.295052e-02,2.281250e-02,2.272269e-02,2.264630e-02,2.245510e-02,2.234249e-02,2.224182e-02,2.200920e-02,2.188145e-02,2.175978e-02,2.149588e-02,2.135918e-02,2.121965e-02,2.093303e-02,2.079230e-02,2.063783e-02,2.033565e-02,2.019471e-02,2.002797e-02,1.971612e-02,1.957790e-02,1.940131e-02,1.908460e-02,1.895126e-02,1.876697e-02,1.844927e-02,1.832234e-02,1.813227e-02,1.781666e-02,1.769722e-02,1.750304e-02,1.719194e-02,1.708065e-02,1.688382e-02,1.657911e-02,1.647635e-02,1.627815e-02,1.598125e-02,1.588715e-02,1.568868e-02,1.540066e-02,1.531517e-02,1.511738e-02,1.483900e-02,1.476195e-02,1.456565e-02,1.429744e-02,1.422855e-02,1.403444e-02,1.377671e-02,1.371565e-02,1.352431e-02,1.327726e-02,1.322362e-02,1.303556e-02,1.279923e-02,1.275261e-02,1.256825e-02,1.234259e-02,1.230253e-02,1.212223e-02,1.190713e-02,1.187320e-02,1.169724e-02,1.149252e-02,1.146426e-02,1.129290e-02,1.109832e-02,1.107531e-02,1.090873e-02,1.072404e-02,1.070584e-02,1.054420e-02,1.036912e-02,1.035531e-02,1.019873e-02,1.003295e-02,1.002315e-02,9.871706e-03,9.714913e-03,9.708733e-03,9.562493e-03,9.414362e-03,9.411443e-03,9.270439e-03,9.130643e-03,8.865695e-03,8.615963e-03,8.380816e-03,8.159631e-03,7.951796e-03,7.756714e-03,7.573798e-03,7.402480e-03,7.242206e-03,7.092441e-03,6.952663e-03,6.822371e-03,6.701080e-03,6.588320e-03,6.483642e-03,6.386611e-03,6.296810e-03,6.213836e-03,6.137306e-03,6.066849e-03,6.002111e-03,5.942753e-03,5.888450e-03,5.838891e-03,5.793779e-03,5.752831e-03,5.715775e-03,5.682354e-03,5.652321e-03,5.625443e-03,5.601497e-03,5.580271e-03,5.561565e-03,5.545187e-03,5.530958e-03,5.518707e-03,5.508271e-03,5.499498e-03,5.492244e-03,5.486375e-03,5.481761e-03,5.478284e-03,5.475830e-03,5.474296e-03,5.473581e-03,5.473594e-03,5.474249e-03,5.475466e-03,5.477172e-03
0.000000e+00,8.439501e-09,1.048813e-07,1.092242e-07,6.176139e-07,2.111863e-06,2.205805e-06,5.509106e-06,1.002721e-05,1.034358e-05,1.574984e-05,2.060274e-05,2.101075e-05,2.588571e-05,2.990416e-05,3.032917e-05,3.434970e-05,3.755555e-05,3.796961e-05,4.121408e-05,4.372331e-05,4.410835e-05,4.667678e-05,4.859957e-05,4.894272e-05,5.092836e-05,5.236219e-05,5.265470e-05,5.414155e-05,5.517119e-05,5.540759e-05,5.647031e-05,5.716869e-05,5.734614e-05,5.805039e-05,5.847971e-05,5.859738e-05,5.900045e-05,5.921339e-05,5.927201e-05,5.942359e-05,5.946450e-05,5.946594e-05,5.940898e-05,5.931500e-05,5.926196e-05,5.903344e-05,5.883555e-05,5.873133e-05,5.836298e-05,5.808690e-05,5.793517e-05,5.745418e-05,5.712113e-05,5.692581e-05,5.635540e-05,5.598281e-05,5.574789e-05,5.510784e-05,5.470995e-05,5.443944e-05,5.374656e-05,5.333489e-05,5.303275e-05,5.230127e-05,5.188505e-05,5.155511e-05,5.079703e-05,5.038361e-05,5.002954e-05,4.925495e-05,4.885006e-05,4.847535e-05,4.769267e-05,4.730073e-05,4.690866e-05,4.612490e-05,4.574922e-05,4.534285e-05,4.456380e-05,4.420678e-05,4.378894e-05,4.301934e-05,4.268263e-05,4.225596e-05,4.149964e-05,4.118429e-05,4.075117e-05,4.001122e-05,3.971776e-05,3.928040e-05,3.855923e-05,3.828782e-05,3.784819e-05,3.714768e-05,3.689814e-05,3.645804e-05,3.577957e-05,3.555148e-05,3.511253e-05,3.445711e-05,3.424985e-05,3.381348e-05,3.318176e-05,3.299459e-05,3.256207e-05,3.195445e-05,3.178648e-05,3.135894e-05,3.077556e-05,3.062587e-05,3.020429e-05,2.964510e-05,2.951269e-05,2.909794e-05,2.856273e-05,2.844659e-05,2.803940e-05,2.752785e-05,2.742694e-05,2.702795e-05,2.653960e-05,2.645291e-05,2.606266e-05,2.559698e-05,2.552351e-05,2.514243e-05,2.469885e-05,2.463761e-05,2.426607e-05,2.384393e-05,2.379398e-05,2.343226e-05,2.303089e-05,2.299131e-05,2.263964e-05,2.225833e-05,2.222825e-05,2.188678e-05,2.152482e-05,2.150340e-05,2.117225e-05,2.082890e-05,2.081536e-05,2.049458e-05,2.016912e-05,2.016270e-05,1.985232e-05,1.954401e-05,1.895789e-05,1.840297e-05,1.787789e-05,1.738132e-05,1.691198e-05,1.646862e-05,1.605002e-05,1.565500e-05,1.528245e-05,1.493126e-05,1.460040e-05,1.428885e-05,1.399566e-05,1.371989e-05,1.346066e-05,1.321714e-05,1.298850e-05,1.277398e-05,1.257285e-05,1.238440e-05,1.220796e-05,1.204290e-05,1.188861e-05,1.174452e-05,1.161008e-05,1.148476e-05,1.136807e-05,1.125954e-05,1.115872e-05,1.106519e-05,1.097853e-05,1.089838e-05,1.082437e-05,1.075614e-05,1.069338e-05,1.063577e-05,1.058301e-05,1.053483e-05,1.049097e-05,1.045117e-05,1.041519e-05,1.038280e-05,1.035380e-05,1.032798e-05,1.030514e-05,1.028512e-05,1.026772e-05,1.025279e-05,1.024018e-05
0.000000e+00,1.328559e-08,4.160271e-07,4.393028e-07,3.990319e-06,1.601237e-05,1.676175e-05,4.067468e-05,6.710574e-05,6.879605e-05,9.624224e-05,1.199493e-04,1.219361e-04,1.457739e-04,1.656919e-04,1.678181e-04,1.881576e-04,2.047186e-04,2.068835e-04,2.240846e-04,2.377237e-04,2.398470e-04,2.542542e-04,2.653679e-04,2.673866e-04,2.793215e-04,2.882665e-04,2.901328e-04,2.998911e-04,3.069849e-04,3.086636e-04,3.165137e-04,3.220352e-04,3.235015e-04,3.296839e-04,3.338771e-04,3.351147e-04,3.398444e-04,3.429210e-04,3.439204e-04,3.473876e-04,3.495305e-04,3.502878e-04,3.526606e-04,3.540277e-04,3.545431e-04,3.559701e-04,3.566971e-04,3.569743e-04,3.575865e-04,3.577898e-04,3.578354e-04,3.577481e-04,3.575275e-04,3.573498e-04,3.566644e-04,3.561050e-04,3.557140e-04,3.545196e-04,3.536940e-04,3.531008e-04,3.514757e-04,3.504455e-04,3.496616e-04,3.476745e-04,3.464917e-04,3.455294e-04,3.432403e-04,3.419491e-04,3.408205e-04,3.382822e-04,3.369193e-04,3.356368e-04,3.328952e-04,3.314915e-04,3.300674e-04,3.271626e-04,3.257436e-04,3.241896e-04,3.211567e-04,3.197435e-04,3.180714e-04,3.149407e-04,3.135505e-04,3.117713e-04,3.085693e-04,3.072161e-04,3.053404e-04,3.020900e-04,3.007850e-04,2.988231e-04,2.955441e-04,2.942958e-04,2.922573e-04,2.889668e-04,2.877820e-04,2.856761e-04,2.823887e-04,2.812723e-04,2.791077e-04,2.758359e-04,2.747914e-04,2.725761e-04,2.693308e-04,2.683603e-04,2.661021e-04,2.628921e-04,2.619970e-04,2.597029e-04,2.565361e-04,2.557166e-04,2.533932e-04,2.502759e-04,2.495317e-04,2.471853e-04,2.441228e-04,2.434529e-04,2.410893e-04,2.380859e-04,2.374889e-04,2.351135e-04,2.321727e-04,2.316468e-04,2.292644e-04,2.263891e-04,2.259322e-04,2.235474e-04,2.207397e-04,2.203494e-04,2.179665e-04,2.152280e-04,2.149017e-04,2.125246e-04,2.098564e-04,2.095915e-04,2.072237e-04,2.046266e-04,2.044204e-04,2.020652e-04,1.995395e-04,1.993891e-04,1.970496e-04,1.945954e-04,1.944979e-04,1.921768e-04,1.897938e-04,1.897465e-04,1.874463e-04,1.851341e-04,1.806596e-04,1.763215e-04,1.721181e-04,1.680474e-04,1.641073e-04,1.602954e-04,1.566093e-04,1.530466e-04,1.496044e-04,1.462803e-04,1.430714e-04,1.399751e-04,1.369885e-04,1.341089e-04,1.313336e-04,1.286597e-04,1.260847e-04,1.236058e-04,1.212204e-04,1.189258e-04,1.167194e-04,1.145988e-04,1.125614e-04,1.106048e-04,1.087266e-04,1.069245e-04,1.051961e-04,1.035392e-04,1.019516e-04,1.004312e-04,9.897581e-05,9.758345e-05,9.625210e-05,9.497981e-05,9.376467e-05,9.260483e-05,9.149849e-05,9.044386e-05,8.943925e-05,8.848296e-05,8.757338e-05,8.670890e-05,8.588798e-05,8.510911e-05,8.437082e-05,8.367168e-05,8.301028e-05,8.238529e-05,8.179537e-05
0.000000e+00,1.440794e-08,5.889531e-07,6.247732e-07,6.632555e-06,2.664449e-05,2.780042e-05,6.043322e-05,9.249281e-05,9.450959e-05,1.273243e-04,1.560917e-04,1.585279e-04,1.881120e-04,2.133867e-04,2.161176e-04,2.425926e-04,2.646630e-04,2.675855e-04,2.911449e-04,3.102970e-04,3.133200e-04,3.341605e-04,3.506718e-04,3.537165e-04,3.720384e-04,3.861765e-04,3.891761e-04,4.051787e-04,4.171960e-04,4.200946e-04,4.339709e-04,4.441023e-04,4.468534e-04,4.587867e-04,4.672476e-04,4.698137e-04,4.799759e-04,4.869627e-04,4.893133e-04,4.978644e-04,5.035551e-04,5.056662e-04,5.127545e-04,5.173100e-04,5.191634e-04,5.249258e-04,5.284911e-04,5.300733e-04,5.346362e-04,5.373417e-04,5.386436e-04,5.421234e-04,5.440859e-04,5.451022e-04,5.476057e-04,5.489301e-04,5.496586e-04,5.512842e-04,5.520639e-04,5.525051e-04,5.533429e-04,5.536615e-04,5.538183e-04,5.539511e-04,5.538828e-04,5.537600e-04,5.532634e-04,5.528742e-04,5.524784e-04,5.514217e-04,5.507701e-04,5.501091e-04,5.485557e-04,5.476933e-04,5.467760e-04,5.447838e-04,5.437560e-04,5.425924e-04,5.402144e-04,5.390612e-04,5.376618e-04,5.349460e-04,5.337023e-04,5.320782e-04,5.290688e-04,5.277651e-04,5.259278e-04,5.226647e-04,5.213273e-04,5.192886e-04,5.158081e-04,5.144599e-04,5.122316e-04,5.085670e-04,5.072275e-04,5.048216e-04,5.010027e-04,4.996887e-04,4.971170e-04,4.931710e-04,4.918965e-04,4.891708e-04,4.851224e-04,4.838993e-04,4.810312e-04,4.769026e-04,4.757405e-04,4.727415e-04,4.685527e-04,4.674596e-04,4.643407e-04,4.601098e-04,4.590921e-04,4.558641e-04,4.516075e-04,4.506699e-04,4.473434e-04,4.430755e-04,4.422217e-04,4.388069e-04,4.345408e-04,4.337734e-04,4.302801e-04,4.260274e-04,4.253479e-04,4.217855e-04,4.175566e-04,4.169658e-04,4.133433e-04,4.091475e-04,4.086453e-04,4.049713e-04,4.008167e-04,4.004025e-04,3.966854e-04,3.925791e-04,3.922517e-04,3.884993e-04,3.844476e-04,3.842054e-04,3.804253e-04,3.764336e-04,3.762746e-04,3.724737e-04,3.685468e-04,3.684687e-04,3.646539e-04,3.607958e-04,3.532630e-04,3.458762e-04,3.386401e-04,3.315588e-04,3.246356e-04,3.178727e-04,3.112721e-04,3.048348e-04,2.985616e-04,2.924526e-04,2.865076e-04,2.807258e-04,2.751064e-04,2.696479e-04,2.643488e-04,2.592074e-04,2.542215e-04,2.493890e-04,2.447075e-04,2.401745e-04,2.357874e-04,2.315434e-04,2.274398e-04,2.234737e-04,2.196422e-04,2.159423e-04,2.123711e-04,2.089254e-04,2.056024e-04,2.023989e-04,1.993119e-04,1.963385e-04,1.934757e-04,1.907204e-04,1.880698e-04,1.855208e-04,1.830707e-04,1.807167e-04,1.784558e-04,1.762853e-04,1.742026e-04,1.722049e-04,1.702896e-04,1.684542e-04,1.666961e-04,1.650128e-04,1.634020e-04,1.618612e-04,1.603882e-04
0.000000e+00,8.916096e-10,5.409455e-08,5.754245e-08,7.474097e-07,4.748998e-06,5.083676e-06,2.317620e-05,7.319827e-05,7.816344e-05,2.073698e-04,4.301704e-04,4.554301e-04,8.645563e-04,1.397741e-03,1.467415e-03,2.283725e-03,3.183889e-03,3.319708e-03,4.569293e-03,5.802614e-03,6.016241e-03,7.636612e-03,9.110494e-03,9.401219e-03,1.127785e-02,1.287690e-02,1.323318e-02,1.523430e-02,1.684705e-02,1.724990e-02,1.925112e-02,2.078536e-02,2.121214e-02,2.311046e-02,2.449943e-02,2.492708e-02,2.664646e-02,2.784890e-02,2.825639e-02,2.974774e-02,3.074449e-02,3.111428e-02,3.235228e-02,3.314154e-02,3.346028e-02,3.443871e-02,3.503104e-02,3.528966e-02,3.601651e-02,3.643039e-02,3.662375e-02,3.711668e-02,3.737488e-02,3.750123e-02,3.778377e-02,3.791063e-02,3.797095e-02,3.806952e-02,3.808898e-02,3.808631e-02,3.802804e-02,3.796245e-02,3.790129e-02,3.771241e-02,3.758180e-02,3.746754e-02,3.717247e-02,3.699422e-02,3.683272e-02,3.645346e-02,3.624224e-02,3.603951e-02,3.559538e-02,3.536332e-02,3.512525e-02,3.463294e-02,3.438981e-02,3.412200e-02,3.359564e-02,3.334917e-02,3.305683e-02,3.250824e-02,3.226439e-02,3.195229e-02,3.139118e-02,3.115446e-02,3.082690e-02,3.026122e-02,3.003492e-02,2.969573e-02,2.913186e-02,2.891828e-02,2.857087e-02,2.801388e-02,2.781454e-02,2.746189e-02,2.691577e-02,2.673156e-02,2.637629e-02,2.584411e-02,2.567546e-02,2.531983e-02,2.480394e-02,2.465087e-02,2.429687e-02,2.379899e-02,2.366127e-02,2.331059e-02,2.283195e-02,2.270912e-02,2.236325e-02,2.190467e-02,2.179614e-02,2.145634e-02,2.101833e-02,2.092336e-02,2.059071e-02,2.017351e-02,2.009132e-02,1.976674e-02,1.937039e-02,1.930015e-02,1.898442e-02,1.860877e-02,1.854962e-02,1.824338e-02,1.788816e-02,1.783924e-02,1.754303e-02,1.720787e-02,1.716831e-02,1.688257e-02,1.656700e-02,1.653597e-02,1.626103e-02,1.596452e-02,1.594121e-02,1.567734e-02,1.539932e-02,1.538292e-02,1.513031e-02,1.487017e-02,1.485994e-02,1.461872e-02,1.437580e-02,1.437103e-02,1.414126e-02,1.391492e-02,1.349031e-02,1.309590e-02,1.273039e-02,1.239245e-02,1.208081e-02,1.179420e-02,1.153136e-02,1.129107e-02,1.107214e-02,1.087339e-02,1.069371e-02,1.053198e-02,1.038714e-02,1.025816e-02,1.014405e-02,1.004385e-02,9.956622e-03,9.881487e-03,9.817585e-03,9.764093e-03,9.720224e-03,9.685221e-03,9.658362e-03,9.638958e-03,9.626348e-03,9.619905e-03,9.619033e-03,9.623164e-03,9.631761e-03,9.644316e-03,9.660349e-03,9.679406e-03,9.701064e-03,9.724923e-03,9.750612e-03,9.777781e-03,9.806109e-03,9.835297e-03,9.865068e-03,9.895170e-03,9.925370e-03,9.955458e-03,9.985242e-03,1.001455e-02,1.004323e-02,1.007114e-02,1.009817e-02,1.012422e-02,1.014918e-02
0.000000e+00,1.266537e-09,6.486147e-08,6.878989e-08,7.761195e-07,4.268419e-06,4.539622e-06,1.737479e-05,4.579977e-05,4.832827e-05,1.047562e-04,1.797832e-04,1.872194e-04,2.892925e-04,3.899180e-04,4.012839e-04,5.138961e-04,6.078742e-04,6.201159e-04,7.155922e-04,7.874641e-04,7.982290e-04,8.675425e-04,9.158374e-04,9.240608e-04,9.688648e-04,9.977869e-04,1.003276e-03,1.028663e-03,1.043359e-03,1.046336e-03,1.057487e-03,1.062342e-03,1.063172e-03,1.064310e-03,1.062621e-03,1.061687e-03,1.055973e-03,1.050091e-03,1.047734e-03,1.037449e-03,1.029005e-03,1.025518e-03,1.012277e-03,1.002380e-03,9.980044e-04,9.829353e-04,9.723340e-04,9.672643e-04,9.511538e-04,9.403467e-04,9.347390e-04,9.181325e-04,9.074477e-04,9.014280e-04,8.847035e-04,8.743533e-04,8.680241e-04,8.514442e-04,8.415631e-04,8.350088e-04,8.187542e-04,8.094211e-04,8.027097e-04,7.868988e-04,7.781538e-04,7.713399e-04,7.560469e-04,7.479031e-04,7.410304e-04,7.262983e-04,7.187518e-04,7.118560e-04,6.977074e-04,6.907440e-04,6.838546e-04,6.702981e-04,6.638962e-04,6.570377e-04,6.440719e-04,6.382061e-04,6.313989e-04,6.190162e-04,6.136590e-04,6.069207e-04,5.951088e-04,5.902315e-04,5.835766e-04,5.723199e-04,5.678933e-04,5.613342e-04,5.506149e-04,5.466105e-04,5.401575e-04,5.299570e-04,5.263469e-04,5.200087e-04,5.103076e-04,5.070647e-04,5.008487e-04,4.916270e-04,4.887254e-04,4.826376e-04,4.738755e-04,4.712904e-04,4.653358e-04,4.570137e-04,4.547218e-04,4.489044e-04,4.410032e-04,4.389824e-04,4.333054e-04,4.258063e-04,4.240356e-04,4.185015e-04,4.113863e-04,4.098460e-04,4.044565e-04,3.977076e-04,3.963792e-04,3.911355e-04,3.847359e-04,3.836020e-04,3.785048e-04,3.724382e-04,3.714825e-04,3.665321e-04,3.607826e-04,3.599900e-04,3.551860e-04,3.497386e-04,3.490947e-04,3.444367e-04,3.392768e-04,3.387685e-04,3.342554e-04,3.293692e-04,3.289840e-04,3.246148e-04,3.199889e-04,3.197154e-04,3.154885e-04,3.111103e-04,3.109377e-04,3.068513e-04,3.027087e-04,3.026270e-04,2.986794e-04,2.947606e-04,2.873169e-04,2.802750e-04,2.736152e-04,2.673186e-04,2.613671e-04,2.557437e-04,2.504320e-04,2.454164e-04,2.406820e-04,2.362147e-04,2.320011e-04,2.280283e-04,2.242840e-04,2.207568e-04,2.174355e-04,2.143097e-04,2.113693e-04,2.086047e-04,2.060070e-04,2.035675e-04,2.012781e-04,1.991308e-04,1.971184e-04,1.952338e-04,1.934702e-04,1.918213e-04,1.902810e-04,1.888436e-04,1.875036e-04,1.862558e-04,1.850953e-04,1.840173e-04,1.830174e-04,1.820914e-04,1.812351e-04,1.804448e-04,1.797169e-04,1.790478e-04,1.784343e-04,1.778733e-04,1.773618e-04,1.768970e-04,1.764761e-04,1.760968e-04,1.757565e-04,1.754531e-04,1.751842e-04,1.749479e-04,1.747422e-04
0.000000e+00,1.757662e-08,5.907736e-07,6.247806e-07,5.893028e-06,2.199396e-05,2.289284e-05,4.762398e-05,7.130814e-05,7.278613e-05,9.666457e-05,1.173406e-04,1.190804e-04,1.400623e-04,1.577652e-04,1.596650e-04,1.779446e-04,1.929793e-04,1.949553e-04,2.107507e-04,2.234029e-04,2.253835e-04,2.389067e-04,2.494473e-04,2.513730e-04,2.628345e-04,2.715191e-04,2.733423e-04,2.829467e-04,2.900123e-04,2.916960e-04,2.996373e-04,3.052999e-04,3.068161e-04,3.132758e-04,3.177301e-04,3.190582e-04,3.242028e-04,3.276216e-04,3.287477e-04,3.327289e-04,3.352657e-04,3.361808e-04,3.391359e-04,3.409257e-04,3.416254e-04,3.436784e-04,3.448395e-04,3.453230e-04,3.465855e-04,3.472216e-04,3.474909e-04,3.480630e-04,3.482646e-04,3.483242e-04,3.482956e-04,3.481413e-04,3.479975e-04,3.474487e-04,3.470066e-04,3.466671e-04,3.456699e-04,3.449989e-04,3.444729e-04,3.430912e-04,3.422422e-04,3.415391e-04,3.398302e-04,3.388466e-04,3.379770e-04,3.359915e-04,3.349105e-04,3.338849e-04,3.316680e-04,3.305213e-04,3.293507e-04,3.269424e-04,3.257567e-04,3.244519e-04,3.218876e-04,3.206854e-04,3.192573e-04,3.165683e-04,3.153684e-04,3.138275e-04,3.110415e-04,3.098593e-04,3.082162e-04,3.053574e-04,3.042057e-04,3.024703e-04,2.995601e-04,2.984491e-04,2.966312e-04,2.936882e-04,2.926260e-04,2.907351e-04,2.877756e-04,2.867686e-04,2.848133e-04,2.818516e-04,2.809044e-04,2.788934e-04,2.759417e-04,2.750578e-04,2.729991e-04,2.700680e-04,2.692497e-04,2.671507e-04,2.642494e-04,2.634979e-04,2.613659e-04,2.585021e-04,2.578179e-04,2.556596e-04,2.528398e-04,2.522227e-04,2.500443e-04,2.472741e-04,2.467233e-04,2.445306e-04,2.418147e-04,2.413288e-04,2.391274e-04,2.364694e-04,2.360469e-04,2.338416e-04,2.312447e-04,2.308836e-04,2.286792e-04,2.261456e-04,2.258438e-04,2.236445e-04,2.211761e-04,2.209311e-04,2.187409e-04,2.163391e-04,2.161484e-04,2.139709e-04,2.116365e-04,2.114975e-04,2.093359e-04,2.070694e-04,2.069795e-04,2.048369e-04,2.026385e-04,2.025948e-04,2.004740e-04,1.983435e-04,1.942248e-04,1.902377e-04,1.863808e-04,1.826524e-04,1.790504e-04,1.755727e-04,1.722169e-04,1.689804e-04,1.658604e-04,1.628544e-04,1.599593e-04,1.571723e-04,1.544905e-04,1.519109e-04,1.494306e-04,1.470465e-04,1.447557e-04,1.425554e-04,1.404426e-04,1.384146e-04,1.364684e-04,1.346015e-04,1.328110e-04,1.310943e-04,1.294489e-04,1.278722e-04,1.263618e-04,1.249153e-04,1.235303e-04,1.222046e-04,1.209359e-04,1.197222e-04,1.185614e-04,1.174514e-04,1.163902e-04,1.153761e-04,1.144072e-04,1.134816e-04,1.125978e-04,1.117540e-04,1.109486e-04,1.101801e-04,1.094470e-04,1.087479e-04,1.080813e-04,1.074460e-04,1.068406e-04,1.062639e-04,1.057147e-04
0.000000e+00,2.238617e-09,3.161561e-08,3.303090e-08,2.083698e-07,7.259039e-07,7.578535e-07,1.840740e-06,3.234104e-06,3.329219e-06,4.924897e-06,6.326483e-06,6.443436e-06,7.832465e-06,8.967268e-06,9.086788e-06,1.021274e-05,1.110430e-05,1.121903e-05,1.211458e-05,1.280272e-05,1.290795e-05,1.360721e-05,1.412740e-05,1.421991e-05,1.475310e-05,1.513559e-05,1.521332e-05,1.560666e-05,1.587697e-05,1.593874e-05,1.621477e-05,1.639428e-05,1.643958e-05,1.661761e-05,1.672419e-05,1.675300e-05,1.684954e-05,1.689805e-05,1.691075e-05,1.693988e-05,1.694269e-05,1.693993e-05,1.691365e-05,1.688096e-05,1.686358e-05,1.679208e-05,1.673231e-05,1.670129e-05,1.659320e-05,1.651329e-05,1.646965e-05,1.633232e-05,1.623791e-05,1.618275e-05,1.602236e-05,1.591806e-05,1.585246e-05,1.567425e-05,1.556379e-05,1.548882e-05,1.529719e-05,1.518356e-05,1.510027e-05,1.489891e-05,1.478450e-05,1.469388e-05,1.448588e-05,1.437256e-05,1.427557e-05,1.406352e-05,1.395275e-05,1.385027e-05,1.363630e-05,1.352919e-05,1.342206e-05,1.320795e-05,1.310532e-05,1.299432e-05,1.278151e-05,1.268397e-05,1.256981e-05,1.235948e-05,1.226743e-05,1.215076e-05,1.194387e-05,1.185756e-05,1.173899e-05,1.153629e-05,1.145586e-05,1.133593e-05,1.113802e-05,1.106349e-05,1.094269e-05,1.075003e-05,1.068135e-05,1.056014e-05,1.037307e-05,1.031013e-05,1.018890e-05,1.000767e-05,9.950310e-06,9.829431e-06,9.654205e-06,9.602228e-06,9.482018e-06,9.312887e-06,9.266080e-06,9.146823e-06,8.983828e-06,8.941952e-06,8.823902e-06,8.667036e-06,8.629843e-06,8.513221e-06,8.362440e-06,8.329673e-06,8.214674e-06,8.069901e-06,8.041303e-06,7.928096e-06,7.789230e-06,7.764544e-06,7.653274e-06,7.520196e-06,7.499169e-06,7.389961e-06,7.262534e-06,7.244916e-06,7.137878e-06,7.015954e-06,7.001505e-06,6.896724e-06,6.780146e-06,6.768633e-06,6.666182e-06,6.554788e-06,6.545986e-06,6.445923e-06,6.339545e-06,6.333241e-06,6.235611e-06,6.134080e-06,6.130068e-06,6.034907e-06,5.938052e-06,5.936138e-06,5.843470e-06,5.751120e-06,5.574687e-06,5.406514e-06,5.246281e-06,5.093676e-06,4.948392e-06,4.810132e-06,4.678606e-06,4.553531e-06,4.434635e-06,4.321653e-06,4.214332e-06,4.112425e-06,4.015694e-06,3.923911e-06,3.836857e-06,3.754319e-06,3.676097e-06,3.601993e-06,3.531822e-06,3.465404e-06,3.402567e-06,3.343147e-06,3.286986e-06,3.233932e-06,3.183841e-06,3.136575e-06,3.092001e-06,3.049993e-06,3.010429e-06,2.973194e-06,2.938177e-06,2.905271e-06,2.874377e-06,2.845398e-06,2.818241e-06,2.792819e-06,2.769047e-06,2.746844e-06,2.726135e-06,2.706846e-06,2.688906e-06,2.672250e-06,2.656813e-06,2.642535e-06,2.629357e-06,2.617224e-06,2.606084e-06,2.595885e-06,2.586579e-06
0.000000e+00,1.275268e-09,7.303639e-08,7.767788e-08,1.016423e-06,6.369105e-06,6.807155e-06,2.904275e-05,8.278460e-05,8.772963e-05,2.022245e-04,3.632268e-04,3.796411e-04,6.128619e-04,8.576472e-04,8.862899e-04,1.182290e-03,1.448938e-03,1.485222e-03,1.783070e-03,2.028750e-03,2.067553e-03,2.333549e-03,2.540642e-03,2.578320e-03,2.800798e-03,2.966593e-03,3.001015e-03,3.179679e-03,3.307827e-03,3.337895e-03,3.476964e-03,3.573034e-03,3.598268e-03,3.703193e-03,3.772811e-03,3.793083e-03,3.869222e-03,3.917421e-03,3.932811e-03,3.984974e-03,4.016044e-03,4.026751e-03,4.059101e-03,4.076611e-03,4.082905e-03,4.098974e-03,4.105864e-03,4.108050e-03,4.110815e-03,4.109487e-03,4.107891e-03,4.099854e-03,4.092270e-03,4.087227e-03,4.070493e-03,4.058249e-03,4.050090e-03,4.026418e-03,4.010800e-03,3.999843e-03,3.970698e-03,3.952736e-03,3.939285e-03,3.905880e-03,3.886399e-03,3.870736e-03,3.834082e-03,3.813735e-03,3.796127e-03,3.757059e-03,3.736363e-03,3.717052e-03,3.676262e-03,3.655619e-03,3.634832e-03,3.592890e-03,3.572611e-03,3.550554e-03,3.507931e-03,3.488255e-03,3.465118e-03,3.422200e-03,3.403304e-03,3.379257e-03,3.336359e-03,3.318371e-03,3.293570e-03,3.250948e-03,3.233957e-03,3.208543e-03,3.166402e-03,3.150467e-03,3.124567e-03,3.083074e-03,3.068227e-03,3.041956e-03,3.001241e-03,2.987495e-03,2.960956e-03,2.921123e-03,2.908475e-03,2.881761e-03,2.842887e-03,2.831322e-03,2.804515e-03,2.766660e-03,2.756154e-03,2.729330e-03,2.692534e-03,2.683056e-03,2.656281e-03,2.620575e-03,2.612087e-03,2.585420e-03,2.550820e-03,2.543283e-03,2.516777e-03,2.483291e-03,2.476661e-03,2.450364e-03,2.417993e-03,2.412226e-03,2.386178e-03,2.354917e-03,2.349966e-03,2.324207e-03,2.294044e-03,2.289864e-03,2.264425e-03,2.235346e-03,2.231892e-03,2.206802e-03,2.178789e-03,2.176016e-03,2.151301e-03,2.124333e-03,2.122197e-03,2.097879e-03,2.071933e-03,2.070392e-03,2.046490e-03,2.021543e-03,2.020555e-03,1.997086e-03,1.973112e-03,1.972638e-03,1.949616e-03,1.926590e-03,1.882360e-03,1.839897e-03,1.799148e-03,1.760062e-03,1.722586e-03,1.686671e-03,1.652264e-03,1.619316e-03,1.587779e-03,1.557604e-03,1.528744e-03,1.501154e-03,1.474788e-03,1.449603e-03,1.425557e-03,1.402608e-03,1.380716e-03,1.359842e-03,1.339948e-03,1.320996e-03,1.302952e-03,1.285780e-03,1.269448e-03,1.253921e-03,1.239169e-03,1.225162e-03,1.211869e-03,1.199261e-03,1.187312e-03,1.175994e-03,1.165281e-03,1.155148e-03,1.145570e-03,1.136525e-03,1.127989e-03,1.119941e-03,1.112358e-03,1.105222e-03,1.098511e-03,1.092207e-03,1.086292e-03,1.080746e-03,1.075554e-03,1.070699e-03,1.066165e-03,1.061936e-03,1.057997e-03,1.054334e-03,1.050934e-03
0.000000e+00,1.070952e-09,6.403226e-08,6.810642e-08,8.675640e-07,5.187592e-06,5.534484e-06,2.287912e-05,6.525685e-05,6.923294e-05,1.653926e-04,3.135341e-04,3.294468e-04,5.709438e-04,8.543837e-04,8.895199e-04,1.276764e-03,1.663713e-03,1.719209e-03,2.201152e-03,2.635138e-03,2.706793e-03,3.221622e-03,3.651987e-03,3.733168e-03,4.231293e-03,4.624182e-03,4.708170e-03,5.158093e-03,5.495967e-03,5.577188e-03,5.963108e-03,6.240333e-03,6.314724e-03,6.631857e-03,6.850122e-03,6.915038e-03,7.165316e-03,7.330152e-03,7.384091e-03,7.573000e-03,7.691511e-03,7.733810e-03,7.868347e-03,7.947876e-03,7.978449e-03,8.065921e-03,8.113372e-03,8.132513e-03,8.179902e-03,8.201434e-03,8.209676e-03,8.223335e-03,8.224275e-03,8.222289e-03,8.207855e-03,8.192724e-03,8.181260e-03,8.143646e-03,8.116234e-03,8.096076e-03,8.039532e-03,8.002987e-03,7.974927e-03,7.903104e-03,7.860025e-03,7.824845e-03,7.740871e-03,7.693386e-03,7.651849e-03,7.558396e-03,7.508240e-03,7.461081e-03,7.360428e-03,7.309002e-03,7.256920e-03,7.151003e-03,7.099429e-03,7.043087e-03,6.933547e-03,6.882710e-03,6.822731e-03,6.710954e-03,6.661545e-03,6.598509e-03,6.485660e-03,6.438203e-03,6.372651e-03,6.259704e-03,6.214588e-03,6.147019e-03,6.034780e-03,5.992282e-03,5.923155e-03,5.812292e-03,5.772595e-03,5.702329e-03,5.593388e-03,5.556600e-03,5.485577e-03,5.378996e-03,5.345165e-03,5.273731e-03,5.169860e-03,5.138980e-03,5.067448e-03,4.966557e-03,4.938586e-03,4.867236e-03,4.769530e-03,4.744396e-03,4.673477e-03,4.579106e-03,4.556711e-03,4.486445e-03,4.395512e-03,4.375741e-03,4.306324e-03,4.218891e-03,4.201615e-03,4.133220e-03,4.049315e-03,4.034399e-03,3.967175e-03,3.886798e-03,3.874100e-03,3.808177e-03,3.731304e-03,3.720681e-03,3.656170e-03,3.582760e-03,3.574066e-03,3.511061e-03,3.441057e-03,3.434149e-03,3.372729e-03,3.306060e-03,3.300797e-03,3.241028e-03,3.177614e-03,3.173860e-03,3.115794e-03,3.055547e-03,3.053170e-03,2.996849e-03,2.939675e-03,2.938547e-03,2.884002e-03,2.829805e-03,2.726751e-03,2.629187e-03,2.536914e-03,2.449735e-03,2.367450e-03,2.289866e-03,2.216789e-03,2.148032e-03,2.083410e-03,2.022744e-03,1.965860e-03,1.912590e-03,1.862769e-03,1.816241e-03,1.772853e-03,1.732458e-03,1.694915e-03,1.660088e-03,1.627848e-03,1.598068e-03,1.570628e-03,1.545414e-03,1.522314e-03,1.501223e-03,1.482038e-03,1.464662e-03,1.449002e-03,1.434967e-03,1.422473e-03,1.411436e-03,1.401779e-03,1.393424e-03,1.386300e-03,1.380337e-03,1.375468e-03,1.371629e-03,1.368758e-03,1.366797e-03,1.365689e-03,1.365379e-03,1.365816e-03,1.366949e-03,1.368731e-03,1.371115e-03,1.374056e-03,1.377513e-03,1.381444e-03,1.385811e-03,1.390576e-03
0.000000e+00,3.912127e-09,2.072048e-07,2.202344e-07,2.838073e-06,1.711878e-05,1.824547e-05,7.001079e-05,1.708224e-04,1.790320e-04,3.410818e-04,5.171293e-04,5.329684e-04,7.305208e-04,8.993842e-04,9.172814e-04,1.084787e-03,1.213796e-03,1.230033e-03,1.353044e-03,1.442140e-03,1.455273e-03,1.538716e-03,1.595831e-03,1.605477e-03,1.657573e-03,1.690655e-03,1.696858e-03,1.725004e-03,1.740509e-03,1.743503e-03,1.753676e-03,1.756587e-03,1.756691e-03,1.753577e-03,1.747673e-03,1.745240e-03,1.732472e-03,1.720585e-03,1.715971e-03,1.696345e-03,1.680582e-03,1.674128e-03,1.649783e-03,1.631695e-03,1.623716e-03,1.596280e-03,1.576999e-03,1.567780e-03,1.538482e-03,1.518822e-03,1.508616e-03,1.478380e-03,1.458914e-03,1.447944e-03,1.417455e-03,1.398580e-03,1.387037e-03,1.356799e-03,1.338779e-03,1.326828e-03,1.297203e-03,1.280204e-03,1.267986e-03,1.239231e-03,1.223346e-03,1.210980e-03,1.183270e-03,1.168540e-03,1.156127e-03,1.129574e-03,1.116005e-03,1.103627e-03,1.078297e-03,1.065866e-03,1.053593e-03,1.029518e-03,1.018186e-03,1.006074e-03,9.832588e-04,9.729743e-04,9.610696e-04,9.395008e-04,9.302053e-04,9.185454e-04,8.981953e-04,8.898265e-04,8.784410e-04,8.592725e-04,8.517667e-04,8.406789e-04,8.226485e-04,8.159422e-04,8.051696e-04,7.882297e-04,7.822609e-04,7.718164e-04,7.559170e-04,7.506261e-04,7.405188e-04,7.256089e-04,7.209388e-04,7.111745e-04,6.972030e-04,6.930999e-04,6.836816e-04,6.705980e-04,6.670114e-04,6.579398e-04,6.456949e-04,6.425775e-04,6.338514e-04,6.223975e-04,6.197052e-04,6.113217e-04,6.006129e-04,5.983051e-04,5.902601e-04,5.802524e-04,5.782914e-04,5.705794e-04,5.612309e-04,5.595819e-04,5.521969e-04,5.434677e-04,5.420987e-04,5.350338e-04,5.268860e-04,5.257677e-04,5.190154e-04,5.114133e-04,5.105187e-04,5.040711e-04,4.969807e-04,4.962852e-04,4.901342e-04,4.835236e-04,4.830047e-04,4.771416e-04,4.709808e-04,4.706180e-04,4.650341e-04,4.592947e-04,4.590694e-04,4.537560e-04,4.484113e-04,4.483063e-04,4.432545e-04,4.382795e-04,4.289425e-04,4.202517e-04,4.121661e-04,4.046471e-04,3.976587e-04,3.911668e-04,3.851397e-04,3.795474e-04,3.743620e-04,3.695570e-04,3.651078e-04,3.609912e-04,3.571857e-04,3.536707e-04,3.504273e-04,3.474375e-04,3.446846e-04,3.421528e-04,3.398274e-04,3.376947e-04,3.357415e-04,3.339559e-04,3.323264e-04,3.308425e-04,3.294940e-04,3.282718e-04,3.271669e-04,3.261713e-04,3.252772e-04,3.244774e-04,3.237653e-04,3.231345e-04,3.225791e-04,3.220936e-04,3.216728e-04,3.213120e-04,3.210065e-04,3.207522e-04,3.205452e-04,3.203817e-04,3.202583e-04,3.201717e-04,3.201191e-04,3.200974e-04,3.201043e-04,3.201371e-04,3.201935e-04,3.202716e-04,3.203693e-04
0.000000e+00,6.303565e-10,4.197557e-08,4.476590e-08,6.463010e-07,4.182055e-06,4.471953e-06,1.915777e-05,5.489805e-05,5.822215e-05,1.372838e-04,2.555061e-04,2.680154e-04,4.545756e-04,6.675551e-04,6.935955e-04,9.761412e-04,1.251246e-03,1.290158e-03,1.622610e-03,1.913725e-03,1.961037e-03,2.294530e-03,2.564293e-03,2.614211e-03,2.913361e-03,3.140015e-03,3.187318e-03,3.433238e-03,3.608853e-03,3.649794e-03,3.836868e-03,3.962802e-03,3.995249e-03,4.126379e-03,4.208950e-03,4.232125e-03,4.314610e-03,4.361988e-03,4.376072e-03,4.418752e-03,4.439082e-03,4.444833e-03,4.456377e-03,4.456841e-03,4.455301e-03,4.443357e-03,4.429841e-03,4.422126e-03,4.393023e-03,4.370116e-03,4.357298e-03,4.316051e-03,4.287203e-03,4.270241e-03,4.220701e-03,4.188433e-03,4.168150e-03,4.113208e-03,4.079317e-03,4.056402e-03,3.998187e-03,3.963931e-03,3.938948e-03,3.879011e-03,3.845247e-03,3.818655e-03,3.758112e-03,3.725413e-03,3.697581e-03,3.637226e-03,3.605959e-03,3.577188e-03,3.517580e-03,3.487969e-03,3.458501e-03,3.400031e-03,3.372202e-03,3.342237e-03,3.285171e-03,3.259179e-03,3.228880e-03,3.173398e-03,3.149250e-03,3.118754e-03,3.064971e-03,3.042643e-03,3.012066e-03,2.960051e-03,2.939496e-03,2.908935e-03,2.858723e-03,2.839881e-03,2.809419e-03,2.761023e-03,2.743823e-03,2.713533e-03,2.666947e-03,2.651312e-03,2.621258e-03,2.576462e-03,2.562314e-03,2.532551e-03,2.489516e-03,2.476776e-03,2.447350e-03,2.406042e-03,2.394628e-03,2.365582e-03,2.325960e-03,2.315794e-03,2.287164e-03,2.249185e-03,2.240189e-03,2.212009e-03,2.175625e-03,2.167726e-03,2.140022e-03,2.105188e-03,2.098312e-03,2.071110e-03,2.037776e-03,2.031853e-03,2.005173e-03,1.973291e-03,1.968256e-03,1.942117e-03,1.911638e-03,1.907425e-03,1.881842e-03,1.852718e-03,1.849268e-03,1.824253e-03,1.796437e-03,1.793690e-03,1.769256e-03,1.742699e-03,1.740602e-03,1.716756e-03,1.691414e-03,1.689912e-03,1.666662e-03,1.642490e-03,1.641535e-03,1.618885e-03,1.595838e-03,1.595383e-03,1.573338e-03,1.551374e-03,1.509427e-03,1.469462e-03,1.431404e-03,1.395177e-03,1.360711e-03,1.327936e-03,1.296784e-03,1.267190e-03,1.239093e-03,1.212431e-03,1.187146e-03,1.163182e-03,1.140483e-03,1.118998e-03,1.098676e-03,1.079469e-03,1.061328e-03,1.044210e-03,1.028070e-03,1.012866e-03,9.985572e-04,9.851054e-04,9.724727e-04,9.606227e-04,9.495206e-04,9.391328e-04,9.294268e-04,9.203715e-04,9.119369e-04,9.040940e-04,8.968149e-04,8.900730e-04,8.838422e-04,8.780979e-04,8.728160e-04,8.679735e-04,8.635483e-04,8.595190e-04,8.558651e-04,8.525669e-04,8.496054e-04,8.469623e-04,8.446201e-04,8.425620e-04,8.407716e-04,8.392336e-04,8.379329e-04,8.368551e-04,8.359866e-04
0.000000e+00,7.401820e-09,1.991054e-07,2.090044e-07,1.582675e-06,6.706200e-06,7.062009e-06,2.112611e-05,4.343204e-05,4.507492e-05,7.369458e-05,9.865702e-05,1.006692e-04,1.233139e-04,1.398147e-04,1.414382e-04,1.556130e-04,1.653475e-04,1.665009e-04,1.746923e-04,1.799604e-04,1.806827e-04,1.848819e-04,1.872737e-04,1.876274e-04,1.891964e-04,1.897661e-04,1.898166e-04,1.896746e-04,1.891159e-04,1.889232e-04,1.876875e-04,1.864537e-04,1.860694e-04,1.841523e-04,1.825375e-04,1.820039e-04,1.796793e-04,1.778723e-04,1.772233e-04,1.746721e-04,1.727931e-04,1.720552e-04,1.693963e-04,1.675204e-04,1.667145e-04,1.640251e-04,1.621985e-04,1.613406e-04,1.586707e-04,1.569204e-04,1.560232e-04,1.534041e-04,1.517451e-04,1.508184e-04,1.482698e-04,1.467095e-04,1.457609e-04,1.432938e-04,1.418345e-04,1.408705e-04,1.384920e-04,1.371332e-04,1.361589e-04,1.338715e-04,1.326108e-04,1.316303e-04,1.294352e-04,1.282688e-04,1.272857e-04,1.251816e-04,1.241053e-04,1.231225e-04,1.211078e-04,1.201169e-04,1.191369e-04,1.172090e-04,1.162988e-04,1.153236e-04,1.134797e-04,1.126454e-04,1.116768e-04,1.099141e-04,1.091510e-04,1.081907e-04,1.065060e-04,1.058097e-04,1.048591e-04,1.032494e-04,1.026158e-04,1.016761e-04,1.001384e-04,9.956325e-05,9.863559e-05,9.716698e-05,9.664651e-05,9.573184e-05,9.432947e-05,9.386000e-05,9.295917e-05,9.162028e-05,9.119836e-05,9.031212e-05,8.903404e-05,8.865638e-05,8.778539e-05,8.656554e-05,8.622906e-05,8.537388e-05,8.420979e-05,8.391157e-05,8.307268e-05,8.196197e-05,8.169926e-05,8.087707e-05,7.981744e-05,7.958766e-05,7.878252e-05,7.777176e-05,7.757247e-05,7.678465e-05,7.582067e-05,7.564957e-05,7.487930e-05,7.396005e-05,7.381499e-05,7.306244e-05,7.218599e-05,7.206495e-05,7.133023e-05,7.049470e-05,7.039578e-05,6.967896e-05,6.888258e-05,6.880399e-05,6.810511e-05,6.734615e-05,6.728622e-05,6.660528e-05,6.588210e-05,6.583926e-05,6.517621e-05,6.448724e-05,6.446003e-05,6.381480e-05,6.315852e-05,6.314555e-05,6.251804e-05,6.189302e-05,6.069969e-05,5.956299e-05,5.848040e-05,5.744956e-05,5.646815e-05,5.553401e-05,5.464502e-05,5.379918e-05,5.299457e-05,5.222934e-05,5.150174e-05,5.081006e-05,5.015270e-05,4.952811e-05,4.893481e-05,4.837138e-05,4.783646e-05,4.732876e-05,4.684704e-05,4.639011e-05,4.595683e-05,4.554611e-05,4.515692e-05,4.478825e-05,4.443917e-05,4.410875e-05,4.379613e-05,4.350047e-05,4.322098e-05,4.295690e-05,4.270750e-05,4.247209e-05,4.224999e-05,4.204058e-05,4.184325e-05,4.165741e-05,4.148252e-05,4.131803e-05,4.116346e-05,4.101830e-05,4.088211e-05,4.075443e-05,4.063485e-05,4.052297e-05,4.041840e-05,4.032077e-05,4.022974e-05,4.014496e-05,4.006613e-05
0.000000e+00,5.702215e-09,2.767059e-07,2.940415e-07,3.597876e-06,1.869341e-05,1.976785e-05,6.073820e-05,1.189469e-04,1.230179e-04,1.924616e-04,2.547152e-04,2.599457e-04,3.223874e-04,3.738001e-04,3.792362e-04,4.306676e-04,4.717150e-04,4.770214e-04,5.186583e-04,5.509595e-04,5.559266e-04,5.891554e-04,6.141716e-04,6.186525e-04,6.447073e-04,6.636940e-04,6.675903e-04,6.875539e-04,7.015813e-04,7.048331e-04,7.196463e-04,7.296200e-04,7.321967e-04,7.426723e-04,7.493538e-04,7.512474e-04,7.580835e-04,7.621111e-04,7.633302e-04,7.671255e-04,7.690316e-04,7.695973e-04,7.708636e-04,7.710915e-04,7.710335e-04,7.702077e-04,7.691251e-04,7.684792e-04,7.659336e-04,7.638447e-04,7.626502e-04,7.587019e-04,7.558572e-04,7.541558e-04,7.490739e-04,7.456792e-04,7.435132e-04,7.375262e-04,7.337496e-04,7.311611e-04,7.244624e-04,7.204405e-04,7.174709e-04,7.102240e-04,7.060672e-04,7.027562e-04,6.950990e-04,6.908957e-04,6.872815e-04,6.793300e-04,6.751505e-04,6.712690e-04,6.631206e-04,6.590201e-04,6.549052e-04,6.466412e-04,6.426623e-04,6.383456e-04,6.300338e-04,6.262088e-04,6.217197e-04,6.134162e-04,6.097690e-04,6.051347e-04,5.968857e-04,5.934331e-04,5.886786e-04,5.805220e-04,5.772753e-04,5.724236e-04,5.643902e-04,5.613559e-04,5.564280e-04,5.485424e-04,5.457233e-04,5.407384e-04,5.330203e-04,5.304163e-04,5.253918e-04,5.178563e-04,5.154650e-04,5.104166e-04,5.030753e-04,5.008924e-04,4.958344e-04,4.886958e-04,4.867155e-04,4.816608e-04,4.747308e-04,4.729462e-04,4.679065e-04,4.611887e-04,4.595923e-04,4.545778e-04,4.480742e-04,4.466578e-04,4.416780e-04,4.353889e-04,4.341440e-04,4.292070e-04,4.231317e-04,4.220494e-04,4.171626e-04,4.112992e-04,4.103708e-04,4.055408e-04,3.998866e-04,3.991032e-04,3.943357e-04,3.888873e-04,3.882403e-04,3.835403e-04,3.782937e-04,3.777746e-04,3.731465e-04,3.680975e-04,3.676978e-04,3.631456e-04,3.582894e-04,3.580011e-04,3.535279e-04,3.488597e-04,3.486749e-04,3.442836e-04,3.397984e-04,3.397096e-04,3.354025e-04,3.310949e-04,3.228208e-04,3.148769e-04,3.072529e-04,2.999385e-04,2.929237e-04,2.861984e-04,2.797527e-04,2.735769e-04,2.676615e-04,2.619974e-04,2.565753e-04,2.513866e-04,2.464227e-04,2.416753e-04,2.371362e-04,2.327976e-04,2.286521e-04,2.246922e-04,2.209108e-04,2.173011e-04,2.138564e-04,2.105703e-04,2.074367e-04,2.044495e-04,2.016029e-04,1.988915e-04,1.963098e-04,1.938527e-04,1.915151e-04,1.892923e-04,1.871796e-04,1.851725e-04,1.832667e-04,1.814581e-04,1.797426e-04,1.781165e-04,1.765760e-04,1.751175e-04,1.737376e-04,1.724330e-04,1.712004e-04,1.700368e-04,1.689393e-04,1.679050e-04,1.669312e-04,1.660152e-04,1.651545e-04,1.643466e-04,1.635892e-04
0.000000e+00,2.551370e-09,4.852345e-08,5.092890e-08,3.727495e-07,1.332451e-06,1.389561e-06,3.127269e-06,4.938592e-06,5.051943e-06,6.855251e-06,8.354069e-06,8.477042e-06,9.918594e-06,1.107236e-05,1.119264e-05,1.231341e-05,1.318381e-05,1.329462e-05,1.414903e-05,1.479141e-05,1.488842e-05,1.552363e-05,1.598402e-05,1.606464e-05,1.652055e-05,1.683678e-05,1.689972e-05,1.720975e-05,1.741267e-05,1.745757e-05,1.764952e-05,1.776414e-05,1.779131e-05,1.788819e-05,1.793471e-05,1.794489e-05,1.796574e-05,1.796037e-05,1.795459e-05,1.791495e-05,1.787054e-05,1.784996e-05,1.776255e-05,1.768943e-05,1.765532e-05,1.753066e-05,1.743704e-05,1.739072e-05,1.723749e-05,1.713002e-05,1.707289e-05,1.689850e-05,1.678243e-05,1.671576e-05,1.652594e-05,1.640520e-05,1.633018e-05,1.612953e-05,1.600718e-05,1.592491e-05,1.571715e-05,1.559551e-05,1.550700e-05,1.529514e-05,1.517597e-05,1.508215e-05,1.486859e-05,1.475319e-05,1.465491e-05,1.444156e-05,1.433086e-05,1.422889e-05,1.401726e-05,1.391192e-05,1.380695e-05,1.359822e-05,1.349866e-05,1.339130e-05,1.318639e-05,1.309286e-05,1.298367e-05,1.278329e-05,1.269589e-05,1.258537e-05,1.239002e-05,1.230877e-05,1.219734e-05,1.200741e-05,1.193222e-05,1.182028e-05,1.163602e-05,1.156676e-05,1.145465e-05,1.127622e-05,1.121271e-05,1.110074e-05,1.092822e-05,1.087024e-05,1.075867e-05,1.059209e-05,1.053941e-05,1.042847e-05,1.026781e-05,1.022019e-05,1.011008e-05,9.955277e-06,9.912451e-06,9.803364e-06,9.654320e-06,9.616035e-06,9.508117e-06,9.364723e-06,9.330722e-06,9.224105e-06,9.086230e-06,9.056262e-06,8.951061e-06,8.818561e-06,8.792378e-06,8.688691e-06,8.561414e-06,8.538776e-06,8.436688e-06,8.314474e-06,8.295150e-06,8.194731e-06,8.077419e-06,8.061187e-06,7.962496e-06,7.849921e-06,7.836568e-06,7.739654e-06,7.631653e-06,7.620976e-06,7.525877e-06,7.422287e-06,7.414093e-06,7.320842e-06,7.221502e-06,7.215607e-06,7.124227e-06,7.028978e-06,7.025210e-06,6.935718e-06,6.844406e-06,6.842600e-06,6.755006e-06,6.667481e-06,6.499568e-06,6.338580e-06,6.184248e-06,6.036310e-06,5.894512e-06,5.758610e-06,5.628367e-06,5.503558e-06,5.383961e-06,5.269367e-06,5.159573e-06,5.054383e-06,4.953611e-06,4.857075e-06,4.764603e-06,4.676028e-06,4.591191e-06,4.509938e-06,4.432122e-06,4.357603e-06,4.286244e-06,4.217915e-06,4.152492e-06,4.089855e-06,4.029889e-06,3.972484e-06,3.917533e-06,3.864937e-06,3.814598e-06,3.766421e-06,3.720319e-06,3.676205e-06,3.633996e-06,3.593615e-06,3.554985e-06,3.518034e-06,3.482692e-06,3.448893e-06,3.416572e-06,3.385668e-06,3.356123e-06,3.327880e-06,3.300884e-06,3.275085e-06,3.250432e-06,3.226877e-06,3.204375e-06,3.182883e-06,3.162357e-06
0.000000e+00,5.238624e-09,6.777959e-08,7.062329e-08,3.870652e-07,1.208666e-06,1.257304e-06,2.867533e-06,4.973771e-06,5.122150e-06,7.717261e-06,1.012993e-05,1.033470e-05,1.278405e-05,1.478876e-05,1.499931e-05,1.697286e-05,1.851853e-05,1.871608e-05,2.024529e-05,2.140227e-05,2.157756e-05,2.272939e-05,2.356889e-05,2.371633e-05,2.455291e-05,2.513619e-05,2.525260e-05,2.582786e-05,2.620623e-05,2.629019e-05,2.665021e-05,2.686630e-05,2.691767e-05,2.710154e-05,2.719047e-05,2.721006e-05,2.725080e-05,2.724143e-05,2.723072e-05,2.715618e-05,2.707211e-05,2.703305e-05,2.686665e-05,2.672707e-05,2.666189e-05,2.642324e-05,2.624370e-05,2.615479e-05,2.586027e-05,2.565328e-05,2.554310e-05,2.520636e-05,2.498191e-05,2.485291e-05,2.448530e-05,2.425131e-05,2.410587e-05,2.371676e-05,2.347944e-05,2.331987e-05,2.291696e-05,2.268115e-05,2.250961e-05,2.209923e-05,2.186857e-05,2.168710e-05,2.127438e-05,2.105164e-05,2.086211e-05,2.045120e-05,2.023834e-05,2.004249e-05,1.963670e-05,1.943512e-05,1.923450e-05,1.883646e-05,1.864703e-05,1.844309e-05,1.805483e-05,1.787805e-05,1.767206e-05,1.729513e-05,1.713120e-05,1.692431e-05,1.655985e-05,1.640872e-05,1.620195e-05,1.585077e-05,1.571221e-05,1.550645e-05,1.516909e-05,1.504274e-05,1.483877e-05,1.451555e-05,1.440093e-05,1.419944e-05,1.389047e-05,1.378704e-05,1.358862e-05,1.329388e-05,1.320106e-05,1.300621e-05,1.272556e-05,1.264272e-05,1.245187e-05,1.218507e-05,1.211159e-05,1.192508e-05,1.167182e-05,1.160706e-05,1.142519e-05,1.118509e-05,1.112843e-05,1.095144e-05,1.072410e-05,1.067493e-05,1.050298e-05,1.028797e-05,1.024569e-05,1.007894e-05,9.875774e-06,9.839819e-06,9.678362e-06,9.486579e-06,9.456408e-06,9.300305e-06,9.119420e-06,9.094519e-06,8.943803e-06,8.773334e-06,8.753218e-06,8.607894e-06,8.447362e-06,8.431575e-06,8.291622e-06,8.140558e-06,8.128671e-06,7.994053e-06,7.851993e-06,7.843609e-06,7.714267e-06,7.580764e-06,7.575510e-06,7.451374e-06,7.325990e-06,7.323523e-06,7.204507e-06,7.086822e-06,6.864610e-06,6.656122e-06,6.460624e-06,6.277411e-06,6.105810e-06,5.945180e-06,5.794909e-06,5.654413e-06,5.523139e-06,5.400561e-06,5.286180e-06,5.179523e-06,5.080140e-06,4.987607e-06,4.901522e-06,4.821505e-06,4.747196e-06,4.678255e-06,4.614362e-06,4.555213e-06,4.500522e-06,4.450018e-06,4.403448e-06,4.360569e-06,4.321156e-06,4.284995e-06,4.251883e-06,4.221631e-06,4.194059e-06,4.168999e-06,4.146291e-06,4.125785e-06,4.107341e-06,4.090824e-06,4.076111e-06,4.063082e-06,4.051627e-06,4.041641e-06,4.033025e-06,4.025688e-06,4.019541e-06,4.014503e-06,4.010496e-06,4.007449e-06,4.005291e-06,4.003960e-06,4.003395e-06,4.003539e-06,4.004338e-06
0.000000e+00,5.473191e-10,3.679943e-08,3.925222e-08,5.869788e-07,4.145279e-06,4.452648e-06,2.161970e-05,7.035214e-05,7.522084e-05,2.026110e-04,4.238803e-04,4.490590e-04,8.590944e-04,1.399059e-03,1.470046e-03,2.308555e-03,3.246687e-03,3.389391e-03,4.715800e-03,6.047803e-03,6.280756e-03,8.068675e-03,9.726709e-03,1.005731e-02,1.221960e-02,1.410118e-02,1.452540e-02,1.694299e-02,1.893598e-02,1.944031e-02,2.198602e-02,2.398603e-02,2.455032e-02,2.710547e-02,2.902565e-02,2.962626e-02,3.209024e-02,3.386538e-02,3.447783e-02,3.677232e-02,3.835883e-02,3.895988e-02,4.102932e-02,4.240295e-02,4.297204e-02,4.478173e-02,4.593412e-02,4.645422e-02,4.798721e-02,4.892220e-02,4.938008e-02,5.063365e-02,5.136374e-02,5.174998e-02,5.273215e-02,5.327542e-02,5.358411e-02,5.431048e-02,5.468815e-02,5.491643e-02,5.540754e-02,5.564205e-02,5.578964e-02,5.606877e-02,5.618238e-02,5.625105e-02,5.634263e-02,5.635651e-02,5.634959e-02,5.627792e-02,5.621153e-02,5.613347e-02,5.592189e-02,5.579265e-02,5.564866e-02,5.531902e-02,5.514224e-02,5.493798e-02,5.451029e-02,5.429915e-02,5.404048e-02,5.353278e-02,5.329844e-02,5.299122e-02,5.241955e-02,5.217132e-02,5.182129e-02,5.119973e-02,5.094527e-02,5.055793e-02,4.989875e-02,4.964425e-02,4.922481e-02,4.853858e-02,4.828896e-02,4.784230e-02,4.713806e-02,4.689715e-02,4.642779e-02,4.571324e-02,4.548396e-02,4.499605e-02,4.427768e-02,4.406215e-02,4.355950e-02,4.284274e-02,4.264246e-02,4.212853e-02,4.141790e-02,4.123384e-02,4.071178e-02,4.001100e-02,3.984370e-02,3.931633e-02,3.862844e-02,3.847808e-02,3.794796e-02,3.727542e-02,3.714191e-02,3.661132e-02,3.595609e-02,3.583912e-02,3.531010e-02,3.467370e-02,3.457279e-02,3.404717e-02,3.343077e-02,3.334530e-02,3.282471e-02,3.222917e-02,3.215842e-02,3.164430e-02,3.107023e-02,3.101342e-02,3.050704e-02,2.995481e-02,2.991110e-02,2.941359e-02,2.888340e-02,2.885195e-02,2.836427e-02,2.785619e-02,2.783609e-02,2.735912e-02,2.687305e-02,2.686344e-02,2.639792e-02,2.593368e-02,2.504630e-02,2.420068e-02,2.339606e-02,2.263158e-02,2.190631e-02,2.121926e-02,2.056939e-02,1.995561e-02,1.937683e-02,1.883193e-02,1.831977e-02,1.783921e-02,1.738912e-02,1.696835e-02,1.657578e-02,1.621028e-02,1.587074e-02,1.555607e-02,1.526518e-02,1.499700e-02,1.475049e-02,1.452460e-02,1.431834e-02,1.413070e-02,1.396071e-02,1.380742e-02,1.366989e-02,1.354723e-02,1.343854e-02,1.334296e-02,1.325966e-02,1.318781e-02,1.312664e-02,1.307537e-02,1.303328e-02,1.299964e-02,1.297378e-02,1.295503e-02,1.294276e-02,1.293638e-02,1.293529e-02,1.293896e-02,1.294686e-02,1.295849e-02,1.297339e-02,1.299111e-02,1.301125e-02,1.303340e-02,1.305721e-02
0.000000e+00,9.713880e-09,2.755860e-07,2.898015e-07,2.361559e-06,1.020158e-05,1.074262e-05,3.183614e-05,6.485010e-05,6.728774e-05,1.106132e-04,1.509865e-04,1.544036e-04,1.952341e-04,2.287146e-04,2.322404e-04,2.654231e-04,2.916385e-04,2.950076e-04,3.212643e-04,3.413879e-04,3.444608e-04,3.648505e-04,3.799826e-04,3.826703e-04,3.981398e-04,4.092147e-04,4.114632e-04,4.228295e-04,4.306315e-04,4.324137e-04,4.403772e-04,4.455597e-04,4.468686e-04,4.520249e-04,4.551284e-04,4.559717e-04,4.588244e-04,4.602936e-04,4.606888e-04,4.616619e-04,4.618607e-04,4.618324e-04,4.612815e-04,4.605067e-04,4.600834e-04,4.583061e-04,4.567984e-04,4.560113e-04,4.532557e-04,4.512099e-04,4.500910e-04,4.465642e-04,4.441370e-04,4.427182e-04,4.385921e-04,4.359091e-04,4.342217e-04,4.296392e-04,4.268003e-04,4.248741e-04,4.199534e-04,4.170378e-04,4.149014e-04,4.097401e-04,4.068096e-04,4.044896e-04,3.991682e-04,3.962710e-04,3.937922e-04,3.883766e-04,3.855494e-04,3.829349e-04,3.774791e-04,3.747494e-04,3.720202e-04,3.665680e-04,3.639559e-04,3.611314e-04,3.557182e-04,3.532381e-04,3.503357e-04,3.449900e-04,3.426511e-04,3.396869e-04,3.344313e-04,3.322391e-04,3.292275e-04,3.240796e-04,3.220369e-04,3.189909e-04,3.139644e-04,3.120712e-04,3.090026e-04,3.041077e-04,3.023623e-04,2.992817e-04,2.945260e-04,2.929253e-04,2.898420e-04,2.852307e-04,2.837706e-04,2.806929e-04,2.762294e-04,2.749048e-04,2.718404e-04,2.675264e-04,2.663319e-04,2.632874e-04,2.591234e-04,2.580531e-04,2.550344e-04,2.510199e-04,2.500675e-04,2.470798e-04,2.432136e-04,2.423729e-04,2.394208e-04,2.357008e-04,2.349655e-04,2.320531e-04,2.284768e-04,2.278406e-04,2.249713e-04,2.215359e-04,2.209926e-04,2.181696e-04,2.148716e-04,2.144153e-04,2.116412e-04,2.084773e-04,2.081021e-04,2.053791e-04,2.023457e-04,2.020459e-04,1.993760e-04,1.964692e-04,1.962394e-04,1.936243e-04,1.908403e-04,1.906752e-04,1.881163e-04,1.854512e-04,1.853458e-04,1.828442e-04,1.802942e-04,1.802438e-04,1.778003e-04,1.753615e-04,1.706916e-04,1.662268e-04,1.619598e-04,1.578835e-04,1.539910e-04,1.502756e-04,1.467307e-04,1.433500e-04,1.401271e-04,1.370560e-04,1.341311e-04,1.313465e-04,1.286968e-04,1.261768e-04,1.237813e-04,1.215053e-04,1.193443e-04,1.172935e-04,1.153485e-04,1.135050e-04,1.117590e-04,1.101065e-04,1.085435e-04,1.070665e-04,1.056719e-04,1.043563e-04,1.031163e-04,1.019487e-04,1.008507e-04,9.981904e-05,9.885107e-05,9.794399e-05,9.709518e-05,9.630210e-05,9.556231e-05,9.487345e-05,9.423327e-05,9.363958e-05,9.309028e-05,9.258335e-05,9.211685e-05,9.168890e-05,9.129770e-05,9.094151e-05,9.061866e-05,9.032755e-05,9.006663e-05,8.983440e-05,8.962943e-05
0.000000e+00,1.628078e-09,8.082347e-08,8.573575e-08,9.970971e-07,5.643500e-06,6.006422e-06,2.307414e-05,5.965613e-05,6.283288e-05,1.310289e-04,2.154793e-04,2.235450e-04,3.300080e-04,4.290921e-04,4.400159e-04,5.462442e-04,6.333011e-04,6.446169e-04,7.333723e-04,8.016825e-04,8.121090e-04,8.811243e-04,9.320270e-04,9.410288e-04,9.925485e-04,1.029059e-03,1.036425e-03,1.073374e-03,1.098396e-03,1.104064e-03,1.129116e-03,1.145108e-03,1.149096e-03,1.164524e-03,1.173499e-03,1.175875e-03,1.183578e-03,1.187163e-03,1.188027e-03,1.189576e-03,1.189078e-03,1.188548e-03,1.185236e-03,1.181701e-03,1.179904e-03,1.172793e-03,1.167052e-03,1.164119e-03,1.154080e-03,1.146793e-03,1.142853e-03,1.130600e-03,1.122287e-03,1.117466e-03,1.103580e-03,1.094645e-03,1.089060e-03,1.074012e-03,1.064769e-03,1.058531e-03,1.042702e-03,1.033392e-03,1.026601e-03,1.010298e-03,1.001102e-03,9.938528e-04,9.773206e-04,9.683745e-04,9.607504e-04,9.441854e-04,9.355867e-04,9.276642e-04,9.112204e-04,9.030370e-04,8.948840e-04,8.786814e-04,8.709586e-04,8.626358e-04,8.467672e-04,8.395321e-04,8.310932e-04,8.156288e-04,8.088942e-04,8.003867e-04,7.853779e-04,7.791460e-04,7.706115e-04,7.560951e-04,7.503599e-04,7.418348e-04,7.278354e-04,7.225849e-04,7.141007e-04,7.006332e-04,6.958507e-04,6.874348e-04,6.745063e-04,6.701722e-04,6.618480e-04,6.494594e-04,6.455519e-04,6.373396e-04,6.254869e-04,6.219830e-04,6.138996e-04,6.025752e-04,5.994511e-04,5.915110e-04,5.807040e-04,5.779359e-04,5.701509e-04,5.598483e-04,5.574125e-04,5.497925e-04,5.399796e-04,5.378530e-04,5.304058e-04,5.210669e-04,5.192270e-04,5.119588e-04,5.030774e-04,5.015025e-04,4.944183e-04,4.859772e-04,4.846465e-04,4.777498e-04,4.697318e-04,4.686257e-04,4.619188e-04,4.543066e-04,4.534064e-04,4.468908e-04,4.396672e-04,4.389552e-04,4.326315e-04,4.257795e-04,4.252392e-04,4.191071e-04,4.126102e-04,4.122259e-04,4.062848e-04,4.001268e-04,3.998839e-04,3.941323e-04,3.882975e-04,3.881824e-04,3.826186e-04,3.770917e-04,3.665830e-04,3.566286e-04,3.472019e-04,3.382772e-04,3.298299e-04,3.218366e-04,3.142748e-04,3.071230e-04,3.003606e-04,2.939682e-04,2.879269e-04,2.822191e-04,2.768278e-04,2.717368e-04,2.669308e-04,2.623953e-04,2.581162e-04,2.540804e-04,2.502753e-04,2.466890e-04,2.433101e-04,2.401279e-04,2.371322e-04,2.343131e-04,2.316614e-04,2.291684e-04,2.268258e-04,2.246256e-04,2.225602e-04,2.206227e-04,2.188061e-04,2.171041e-04,2.155105e-04,2.140196e-04,2.126259e-04,2.113241e-04,2.101093e-04,2.089768e-04,2.079221e-04,2.069410e-04,2.060295e-04,2.051838e-04,2.044001e-04,2.036753e-04,2.030058e-04,2.023888e-04,2.018211e-04,2.013002e-04,2.008233e-04
0.000000e+00,4.736210e-09,2.932952e-07,3.125997e-07,4.444023e-06,2.805694e-05,2.994976e-05,1.198366e-04,3.085326e-04,3.246296e-04,6.637148e-04,1.077669e-03,1.117284e-03,1.646170e-03,2.153785e-03,2.210912e-03,2.780671e-03,3.269551e-03,3.334739e-03,3.860766e-03,4.285679e-03,4.352283e-03,4.806576e-03,5.159028e-03,5.223173e-03,5.602864e-03,5.887687e-03,5.947114e-03,6.257715e-03,6.483261e-03,6.536592e-03,6.785695e-03,6.960564e-03,7.006944e-03,7.202195e-03,7.334292e-03,7.373221e-03,7.521708e-03,7.618021e-03,7.649254e-03,7.757363e-03,7.823964e-03,7.847451e-03,7.920850e-03,7.962969e-03,7.978805e-03,8.022488e-03,8.044601e-03,8.052993e-03,8.071343e-03,8.077265e-03,8.078499e-03,8.075356e-03,8.068328e-03,8.062750e-03,8.041466e-03,8.024234e-03,8.012234e-03,7.975737e-03,7.950619e-03,7.932613e-03,7.883456e-03,7.852401e-03,7.828822e-03,7.769230e-03,7.733875e-03,7.705163e-03,7.637072e-03,7.598778e-03,7.565376e-03,7.490469e-03,7.450369e-03,7.412713e-03,7.332448e-03,7.291475e-03,7.249991e-03,7.165635e-03,7.124551e-03,7.079653e-03,6.992298e-03,6.951719e-03,6.903806e-03,6.814395e-03,6.774815e-03,6.724267e-03,6.633610e-03,6.595418e-03,6.542596e-03,6.451387e-03,6.414881e-03,6.360129e-03,6.268958e-03,6.234363e-03,6.178002e-03,6.087373e-03,6.054848e-03,5.997180e-03,5.907517e-03,5.877169e-03,5.818475e-03,5.730135e-03,5.702026e-03,5.642569e-03,5.555844e-03,5.530001e-03,5.470023e-03,5.385158e-03,5.361574e-03,5.301300e-03,5.218492e-03,5.197139e-03,5.136774e-03,5.056180e-03,5.037008e-03,4.976741e-03,4.898484e-03,4.881428e-03,4.821431e-03,4.745603e-03,4.730586e-03,4.671016e-03,4.597685e-03,4.584619e-03,4.525619e-03,4.454828e-03,4.443620e-03,4.385317e-03,4.317091e-03,4.307642e-03,4.250151e-03,4.184499e-03,4.176707e-03,4.120132e-03,4.057047e-03,4.050809e-03,3.995240e-03,3.934705e-03,3.929917e-03,3.875436e-03,3.817423e-03,3.813982e-03,3.760658e-03,3.705131e-03,3.702936e-03,3.650831e-03,3.597747e-03,3.596697e-03,3.545865e-03,3.495173e-03,3.398260e-03,3.305849e-03,3.217821e-03,3.134056e-03,3.054429e-03,2.978812e-03,2.907077e-03,2.839092e-03,2.774729e-03,2.713857e-03,2.656348e-03,2.602075e-03,2.550911e-03,2.502733e-03,2.457420e-03,2.414852e-03,2.374912e-03,2.337487e-03,2.302464e-03,2.269736e-03,2.239196e-03,2.210742e-03,2.184274e-03,2.159694e-03,2.136909e-03,2.115828e-03,2.096361e-03,2.078424e-03,2.061935e-03,2.046812e-03,2.032980e-03,2.020364e-03,2.008892e-03,1.998496e-03,1.989108e-03,1.980666e-03,1.973108e-03,1.966375e-03,1.960411e-03,1.955162e-03,1.950576e-03,1.946604e-03,1.943199e-03,1.940315e-03,1.937911e-03,1.935944e-03,1.934377e-03,1.933173e-03,1.932297e-03
0.000000e+00,8.817481e-09,1.102318e-07,1.147840e-07,6.248347e-07,1.985550e-06,2.067202e-06,4.810446e-06,8.475851e-06,8.736745e-06,1.335839e-05,1.776396e-05,1.814298e-05,2.274071e-05,2.659676e-05,2.700707e-05,3.090839e-05,3.404415e-05,3.445084e-05,3.765238e-05,4.014900e-05,4.053395e-05,4.311671e-05,4.507036e-05,4.542120e-05,4.746699e-05,4.896455e-05,4.927264e-05,5.085560e-05,5.197273e-05,5.223233e-05,5.341822e-05,5.422008e-05,5.442774e-05,5.527441e-05,5.581678e-05,5.597088e-05,5.652899e-05,5.685944e-05,5.695979e-05,5.727362e-05,5.743257e-05,5.748010e-05,5.758824e-05,5.760994e-05,5.760643e-05,5.754247e-05,5.745580e-05,5.740365e-05,5.719672e-05,5.702592e-05,5.692799e-05,5.660333e-05,5.636871e-05,5.622816e-05,5.580753e-05,5.552597e-05,5.534610e-05,5.484827e-05,5.453382e-05,5.431813e-05,5.375938e-05,5.342358e-05,5.317549e-05,5.256968e-05,5.222196e-05,5.194491e-05,5.130391e-05,5.095193e-05,5.064921e-05,4.998313e-05,4.963299e-05,4.930781e-05,4.862525e-05,4.828183e-05,4.793726e-05,4.724552e-05,4.691260e-05,4.655154e-05,4.585672e-05,4.553718e-05,4.516234e-05,4.446957e-05,4.416553e-05,4.377945e-05,4.309297e-05,4.280594e-05,4.241099e-05,4.173430e-05,4.146527e-05,4.106363e-05,4.039961e-05,4.014915e-05,3.974282e-05,3.909377e-05,3.886210e-05,3.845292e-05,3.782065e-05,3.760770e-05,3.719732e-05,3.658324e-05,3.638873e-05,3.597867e-05,3.538383e-05,3.520731e-05,3.479892e-05,3.422408e-05,3.406495e-05,3.365945e-05,3.310511e-05,3.296268e-05,3.256114e-05,3.202759e-05,3.190109e-05,3.150448e-05,3.099181e-05,3.088042e-05,3.048958e-05,2.999775e-05,2.990063e-05,2.951628e-05,2.904511e-05,2.896139e-05,2.858418e-05,2.813339e-05,2.806221e-05,2.769267e-05,2.726190e-05,2.720238e-05,2.684099e-05,2.642980e-05,2.638111e-05,2.602823e-05,2.563615e-05,2.559745e-05,2.525341e-05,2.487989e-05,2.485040e-05,2.451544e-05,2.415992e-05,2.413887e-05,2.381319e-05,2.347509e-05,2.346175e-05,2.314548e-05,2.282420e-05,2.281786e-05,2.251110e-05,2.220603e-05,2.162507e-05,2.107380e-05,2.055103e-05,2.005559e-05,1.958633e-05,1.914213e-05,1.872188e-05,1.832451e-05,1.794898e-05,1.759428e-05,1.725942e-05,1.694348e-05,1.664552e-05,1.636469e-05,1.610014e-05,1.585106e-05,1.561667e-05,1.539624e-05,1.518905e-05,1.499442e-05,1.481171e-05,1.464029e-05,1.447957e-05,1.432899e-05,1.418801e-05,1.405612e-05,1.393283e-05,1.381767e-05,1.371021e-05,1.361001e-05,1.351669e-05,1.342987e-05,1.334917e-05,1.327426e-05,1.320482e-05,1.314053e-05,1.308111e-05,1.302626e-05,1.297574e-05,1.292928e-05,1.288665e-05,1.284763e-05,1.281201e-05,1.277957e-05,1.275014e-05,1.272352e-05,1.269955e-05,1.267806e-05,1.265891e-05
0.000000e+00,1.587182e-09,8.725584e-08,9.264541e-08,1.101910e-06,6.443119e-06,6.872882e-06,2.863898e-05,8.309793e-05,8.826215e-05,2.145552e-04,4.112086e-04,4.323680e-04,7.527854e-04,1.125330e-03,1.171182e-03,1.671395e-03,2.161900e-03,2.231508e-03,2.828595e-03,3.355620e-03,3.441733e-03,4.053459e-03,4.556163e-03,4.650179e-03,5.221956e-03,5.667351e-03,5.761997e-03,6.266058e-03,6.641814e-03,6.731855e-03,7.158564e-03,7.464375e-03,7.546404e-03,7.896317e-03,8.137744e-03,8.209718e-03,8.488319e-03,8.673178e-03,8.733994e-03,8.948691e-03,9.085191e-03,9.134367e-03,9.292946e-03,9.388831e-03,9.426294e-03,9.536199e-03,9.598418e-03,9.624367e-03,9.692412e-03,9.727043e-03,9.741859e-03,9.774142e-03,9.786422e-03,9.790610e-03,9.792528e-03,9.786934e-03,9.781082e-03,9.757381e-03,9.737714e-03,9.722465e-03,9.677307e-03,9.646782e-03,9.622814e-03,9.559836e-03,9.521160e-03,9.489167e-03,9.411547e-03,9.366987e-03,9.327668e-03,9.238174e-03,9.189621e-03,9.143669e-03,9.044711e-03,8.993727e-03,8.941823e-03,8.835491e-03,8.783363e-03,8.726167e-03,8.614272e-03,8.562045e-03,8.500194e-03,8.384297e-03,8.332813e-03,8.266915e-03,8.148360e-03,8.098287e-03,8.028920e-03,7.908861e-03,7.860720e-03,7.788430e-03,7.667853e-03,7.622040e-03,7.547340e-03,7.427081e-03,7.383885e-03,7.307254e-03,7.188019e-03,7.147640e-03,7.069524e-03,6.951906e-03,6.914473e-03,6.835287e-03,6.719779e-03,6.685359e-03,6.605485e-03,6.492495e-03,6.461103e-03,6.380892e-03,6.270750e-03,6.242360e-03,6.162133e-03,6.055100e-03,6.029653e-03,5.949702e-03,5.845985e-03,5.823397e-03,5.743987e-03,5.643741e-03,5.623905e-03,5.545276e-03,5.448614e-03,5.431408e-03,5.353775e-03,5.260772e-03,5.246063e-03,5.169617e-03,5.080316e-03,5.067963e-03,4.992875e-03,4.907292e-03,4.897147e-03,4.823568e-03,4.741697e-03,4.733611e-03,4.661672e-03,4.583484e-03,4.577308e-03,4.507124e-03,4.432577e-03,4.428161e-03,4.359829e-03,4.288865e-03,4.286063e-03,4.219668e-03,4.152218e-03,4.150887e-03,4.086497e-03,4.022483e-03,3.900691e-03,3.785336e-03,3.676233e-03,3.573192e-03,3.476017e-03,3.384508e-03,3.298465e-03,3.217687e-03,3.141971e-03,3.071120e-03,3.004934e-03,2.943221e-03,2.885789e-03,2.832450e-03,2.783022e-03,2.737326e-03,2.695188e-03,2.656437e-03,2.620909e-03,2.588445e-03,2.558889e-03,2.532092e-03,2.507907e-03,2.486196e-03,2.466823e-03,2.449657e-03,2.434572e-03,2.421447e-03,2.410165e-03,2.400614e-03,2.392685e-03,2.386275e-03,2.381283e-03,2.377616e-03,2.375179e-03,2.373887e-03,2.373654e-03,2.374400e-03,2.376048e-03,2.378525e-03,2.381760e-03,2.385687e-03,2.390243e-03,2.395366e-03,2.400999e-03,2.407088e-03,2.413580e-03,2.420428e-03,2.427584e-03
0.000000e+00,9.738059e-09,1.935093e-07,2.028770e-07,1.366842e-06,4.561496e-06,4.749122e-06,1.066989e-05,1.744537e-05,1.788452e-05,2.496726e-05,3.088062e-05,3.136422e-05,3.700294e-05,4.146652e-05,4.192888e-05,4.620708e-05,4.948743e-05,4.990206e-05,5.307384e-05,5.542505e-05,5.577725e-05,5.806206e-05,5.969086e-05,5.997327e-05,6.155148e-05,6.262285e-05,6.283319e-05,6.385121e-05,6.449566e-05,6.463499e-05,6.521092e-05,6.553116e-05,6.560265e-05,6.583139e-05,6.590797e-05,6.591611e-05,6.587381e-05,6.576973e-05,6.571968e-05,6.546727e-05,6.523150e-05,6.512865e-05,6.471465e-05,6.438529e-05,6.423508e-05,6.369887e-05,6.330597e-05,6.311390e-05,6.248703e-05,6.205340e-05,6.182448e-05,6.113181e-05,6.067498e-05,6.041392e-05,5.967515e-05,5.920834e-05,5.891937e-05,5.815007e-05,5.768330e-05,5.737034e-05,5.658290e-05,5.612362e-05,5.579017e-05,5.499430e-05,5.454796e-05,5.419719e-05,5.340052e-05,5.297103e-05,5.260577e-05,5.181426e-05,5.140433e-05,5.102712e-05,5.024535e-05,4.985675e-05,4.946981e-05,4.870128e-05,4.833506e-05,4.794040e-05,4.718774e-05,4.684441e-05,4.644378e-05,4.570894e-05,4.538858e-05,4.498355e-05,4.426792e-05,4.397032e-05,4.356227e-05,4.286679e-05,4.259149e-05,4.218165e-05,4.150695e-05,4.125332e-05,4.084278e-05,4.018918e-05,3.995649e-05,3.954620e-05,3.891383e-05,3.870124e-05,3.829206e-05,3.768086e-05,3.748750e-05,3.708018e-05,3.648996e-05,3.631493e-05,3.591014e-05,3.534062e-05,3.518299e-05,3.478131e-05,3.423213e-05,3.409099e-05,3.369296e-05,3.316369e-05,3.303812e-05,3.264420e-05,3.213438e-05,3.202350e-05,3.163410e-05,3.114323e-05,3.104618e-05,3.066165e-05,3.018923e-05,3.010515e-05,2.972582e-05,2.927131e-05,2.919941e-05,2.882556e-05,2.838843e-05,2.832791e-05,2.795979e-05,2.753950e-05,2.748962e-05,2.712744e-05,2.672347e-05,2.668351e-05,2.632746e-05,2.593927e-05,2.590855e-05,2.555878e-05,2.518587e-05,2.516373e-05,2.482039e-05,2.446223e-05,2.444805e-05,2.411126e-05,2.376735e-05,2.376054e-05,2.343039e-05,2.310026e-05,2.246626e-05,2.185764e-05,2.127353e-05,2.071307e-05,2.017544e-05,1.965981e-05,1.916543e-05,1.869153e-05,1.823738e-05,1.780228e-05,1.738554e-05,1.698651e-05,1.660453e-05,1.623901e-05,1.588933e-05,1.555492e-05,1.523523e-05,1.492972e-05,1.463786e-05,1.435917e-05,1.409314e-05,1.383932e-05,1.359724e-05,1.336649e-05,1.314663e-05,1.293725e-05,1.273797e-05,1.254840e-05,1.236817e-05,1.219694e-05,1.203437e-05,1.188011e-05,1.173386e-05,1.159530e-05,1.146414e-05,1.134009e-05,1.122287e-05,1.111222e-05,1.100787e-05,1.090958e-05,1.081711e-05,1.073022e-05,1.064868e-05,1.057229e-05,1.050083e-05,1.043409e-05,1.037189e-05,1.031403e-05,1.026034e-05
0.000000e+00,5.260147e-09,6.290689e-08,6.554654e-08,3.850758e-07,1.352039e-06,1.412860e-06,3.494378e-06,6.127652e-06,6.305141e-06,9.281908e-06,1.194944e-05,1.217588e-05,1.492232e-05,1.725697e-05,1.750832e-05,1.993440e-05,2.194025e-05,2.220462e-05,2.432425e-05,2.603105e-05,2.629901e-05,2.813481e-05,2.957388e-05,2.983765e-05,3.141352e-05,3.261518e-05,3.286839e-05,3.420809e-05,3.520076e-05,3.543832e-05,3.656462e-05,3.737444e-05,3.759234e-05,3.852664e-05,3.917728e-05,3.937247e-05,4.013459e-05,4.064735e-05,4.081755e-05,4.142572e-05,4.181964e-05,4.196327e-05,4.243416e-05,4.272618e-05,4.284222e-05,4.319105e-05,4.339620e-05,4.348412e-05,4.372473e-05,4.385632e-05,4.391601e-05,4.406096e-05,4.413072e-05,4.416241e-05,4.422308e-05,4.424135e-05,4.424554e-05,4.423224e-05,4.420807e-05,4.418551e-05,4.410756e-05,4.404888e-05,4.400049e-05,4.386632e-05,4.378004e-05,4.370691e-05,4.352409e-05,4.341623e-05,4.331955e-05,4.309490e-05,4.297066e-05,4.285170e-05,4.259139e-05,4.245525e-05,4.231534e-05,4.202487e-05,4.188068e-05,4.172120e-05,4.140551e-05,4.125657e-05,4.107891e-05,4.074242e-05,4.059150e-05,4.039706e-05,4.004374e-05,3.989319e-05,3.968335e-05,3.931671e-05,3.916849e-05,3.894462e-05,3.856782e-05,3.842354e-05,3.818699e-05,3.780280e-05,3.766378e-05,3.741586e-05,3.702675e-05,3.689405e-05,3.663602e-05,3.624417e-05,3.611863e-05,3.585170e-05,3.545904e-05,3.534128e-05,3.506663e-05,3.467485e-05,3.456532e-05,3.428408e-05,3.389465e-05,3.379366e-05,3.350689e-05,3.312109e-05,3.302883e-05,3.273754e-05,3.235650e-05,3.227302e-05,3.197819e-05,3.160284e-05,3.152814e-05,3.123066e-05,3.086183e-05,3.079581e-05,3.049653e-05,3.013492e-05,3.007741e-05,2.977714e-05,2.942331e-05,2.937410e-05,2.907357e-05,2.872802e-05,2.868684e-05,2.838676e-05,2.804987e-05,2.801643e-05,2.771743e-05,2.738952e-05,2.736348e-05,2.706618e-05,2.674747e-05,2.672849e-05,2.643343e-05,2.612411e-05,2.611184e-05,2.581953e-05,2.551970e-05,2.551376e-05,2.522466e-05,2.493441e-05,2.437387e-05,2.383213e-05,2.330910e-05,2.280465e-05,2.231861e-05,2.185072e-05,2.140074e-05,2.096835e-05,2.055322e-05,2.015500e-05,1.977331e-05,1.940777e-05,1.905798e-05,1.872352e-05,1.840397e-05,1.809891e-05,1.780791e-05,1.753055e-05,1.726639e-05,1.701502e-05,1.677600e-05,1.654892e-05,1.633335e-05,1.612891e-05,1.593517e-05,1.575175e-05,1.557826e-05,1.541432e-05,1.525955e-05,1.511360e-05,1.497610e-05,1.484671e-05,1.472509e-05,1.461092e-05,1.450387e-05,1.440365e-05,1.430993e-05,1.422244e-05,1.414089e-05,1.406500e-05,1.399452e-05,1.392917e-05,1.386872e-05,1.381293e-05,1.376157e-05,1.371440e-05,1.367122e-05,1.363181e-05,1.359599e-05
0.000000e+00,2.582608e-09,1.216947e-07,1.290861e-07,1.513057e-06,8.359645e-06,8.877673e-06,3.117399e-05,7.036067e-05,7.339789e-05,1.302978e-04,1.878067e-04,1.928430e-04,2.546283e-04,3.070100e-04,3.125954e-04,3.657016e-04,4.082961e-04,4.138106e-04,4.571269e-04,4.907818e-04,4.959612e-04,5.306454e-04,5.568109e-04,5.615041e-04,5.888458e-04,6.088454e-04,6.129601e-04,6.341171e-04,6.490823e-04,6.525672e-04,6.685425e-04,6.794237e-04,6.822573e-04,6.939094e-04,7.014982e-04,7.036811e-04,7.117396e-04,7.166909e-04,7.182388e-04,7.233198e-04,7.261730e-04,7.271120e-04,7.297341e-04,7.309321e-04,7.312951e-04,7.318945e-04,7.317999e-04,7.316238e-04,7.305667e-04,7.294757e-04,7.287998e-04,7.263932e-04,7.245473e-04,7.234113e-04,7.199128e-04,7.175081e-04,7.159515e-04,7.115766e-04,7.087721e-04,7.068333e-04,7.017626e-04,6.986865e-04,6.964021e-04,6.907863e-04,6.875417e-04,6.849466e-04,6.789116e-04,6.755808e-04,6.727076e-04,6.663584e-04,6.630068e-04,6.598860e-04,6.533101e-04,6.499890e-04,6.466488e-04,6.399188e-04,6.366684e-04,6.331349e-04,6.263109e-04,6.231619e-04,6.194592e-04,6.125911e-04,6.095665e-04,6.057167e-04,5.988454e-04,5.959625e-04,5.919857e-04,5.851449e-04,5.824155e-04,5.783301e-04,5.715475e-04,5.689796e-04,5.648025e-04,5.581001e-04,5.556986e-04,5.514450e-04,5.448410e-04,5.426080e-04,5.382918e-04,5.318006e-04,5.297360e-04,5.253700e-04,5.190027e-04,5.171052e-04,5.127008e-04,5.064663e-04,5.047329e-04,5.003006e-04,4.942054e-04,4.926323e-04,4.881818e-04,4.822308e-04,4.808134e-04,4.763532e-04,4.705497e-04,4.692829e-04,4.648208e-04,4.591669e-04,4.580452e-04,4.535884e-04,4.480853e-04,4.471027e-04,4.426577e-04,4.373055e-04,4.364562e-04,4.320288e-04,4.268272e-04,4.261050e-04,4.217005e-04,4.166484e-04,4.160472e-04,4.116706e-04,4.067665e-04,4.062801e-04,4.019358e-04,3.971778e-04,3.968003e-04,3.924921e-04,3.878781e-04,3.876036e-04,3.833352e-04,3.788627e-04,3.786853e-04,3.744600e-04,3.701264e-04,3.700405e-04,3.658613e-04,3.616639e-04,3.535499e-04,3.456929e-04,3.380871e-04,3.307264e-04,3.236051e-04,3.167171e-04,3.100565e-04,3.036176e-04,2.973943e-04,2.913810e-04,2.855720e-04,2.799618e-04,2.745447e-04,2.693154e-04,2.642687e-04,2.593993e-04,2.547022e-04,2.501724e-04,2.458051e-04,2.415956e-04,2.375392e-04,2.336314e-04,2.298679e-04,2.262443e-04,2.227565e-04,2.194004e-04,2.161720e-04,2.130675e-04,2.100832e-04,2.072153e-04,2.044604e-04,2.018149e-04,1.992754e-04,1.968387e-04,1.945017e-04,1.922610e-04,1.901139e-04,1.880572e-04,1.860882e-04,1.842040e-04,1.824020e-04,1.806795e-04,1.790340e-04,1.774629e-04,1.759639e-04,1.745345e-04,1.731725e-04,1.718757e-04,1.706418e-04
0.000000e+00,2.242704e-09,9.342999e-08,9.880750e-08,1.007768e-06,5.137371e-06,5.444855e-06,1.880732e-05,4.352445e-05,4.549487e-05,8.290611e-05,1.196064e-04,1.226787e-04,1.575862e-04,1.822599e-04,1.845912e-04,2.037495e-04,2.151871e-04,2.164177e-04,2.241651e-04,2.279298e-04,2.283415e-04,2.299843e-04,2.299673e-04,2.298511e-04,2.284825e-04,2.267103e-04,2.262607e-04,2.234555e-04,2.209212e-04,2.202573e-04,2.168014e-04,2.139905e-04,2.131850e-04,2.094768e-04,2.066285e-04,2.057268e-04,2.019705e-04,1.992018e-04,1.982329e-04,1.945316e-04,1.918962e-04,1.908790e-04,1.872837e-04,1.848045e-04,1.837518e-04,1.802871e-04,1.779706e-04,1.768917e-04,1.735672e-04,1.714120e-04,1.703139e-04,1.671320e-04,1.651328e-04,1.640209e-04,1.609798e-04,1.591291e-04,1.580078e-04,1.551039e-04,1.533938e-04,1.522669e-04,1.494955e-04,1.479177e-04,1.467884e-04,1.441444e-04,1.426908e-04,1.415621e-04,1.390403e-04,1.377031e-04,1.365775e-04,1.341725e-04,1.329443e-04,1.318240e-04,1.295307e-04,1.284044e-04,1.272914e-04,1.251049e-04,1.240737e-04,1.229698e-04,1.208851e-04,1.199427e-04,1.188495e-04,1.168620e-04,1.160024e-04,1.149214e-04,1.130266e-04,1.122442e-04,1.111765e-04,1.093702e-04,1.086596e-04,1.076064e-04,1.058844e-04,1.052407e-04,1.042030e-04,1.025613e-04,1.019798e-04,1.009584e-04,9.939332e-05,9.886966e-05,9.786520e-05,9.637317e-05,9.590319e-05,9.491634e-05,9.349390e-05,9.307375e-05,9.210502e-05,9.074890e-05,9.037495e-05,8.942477e-05,8.813185e-05,8.780071e-05,8.686940e-05,8.563670e-05,8.534520e-05,8.443303e-05,8.325770e-05,8.300287e-05,8.211004e-05,8.098938e-05,8.076843e-05,7.989507e-05,7.882649e-05,7.863683e-05,7.778302e-05,7.676406e-05,7.660326e-05,7.576902e-05,7.479732e-05,7.466311e-05,7.384841e-05,7.292175e-05,7.281202e-05,7.201680e-05,7.113303e-05,7.104580e-05,7.026995e-05,6.942705e-05,6.936048e-05,6.860386e-05,6.779989e-05,6.775226e-05,6.701470e-05,6.624782e-05,6.621752e-05,6.549882e-05,6.476728e-05,6.475282e-05,6.405277e-05,6.335488e-05,6.202057e-05,6.074690e-05,5.953103e-05,5.837026e-05,5.726201e-05,5.620381e-05,5.519334e-05,5.422834e-05,5.330671e-05,5.242642e-05,5.158553e-05,5.078222e-05,5.001474e-05,4.928141e-05,4.858065e-05,4.791094e-05,4.727084e-05,4.665898e-05,4.607406e-05,4.551482e-05,4.498008e-05,4.446871e-05,4.397963e-05,4.351182e-05,4.306429e-05,4.263612e-05,4.222642e-05,4.183434e-05,4.145909e-05,4.109988e-05,4.075599e-05,4.042672e-05,4.011141e-05,3.980943e-05,3.952016e-05,3.924305e-05,3.897753e-05,3.872310e-05,3.847924e-05,3.824549e-05,3.802139e-05,3.780651e-05,3.760045e-05,3.740280e-05,3.721320e-05,3.703130e-05,3.685674e-05,3.668921e-05,3.652839e-05
0.000000e+00,6.048336e-09,2.120063e-07,2.236092e-07,2.008539e-06,8.988493e-06,9.473698e-06,2.862566e-05,5.983203e-05,6.220863e-05,1.061621e-04,1.495658e-04,1.533176e-04,1.987439e-04,2.364967e-04,2.404870e-04,2.781222e-04,3.079220e-04,3.117543e-04,3.416331e-04,3.645390e-04,3.680365e-04,3.912378e-04,4.084415e-04,4.114949e-04,4.290472e-04,4.415813e-04,4.441215e-04,4.569306e-04,4.656809e-04,4.676731e-04,4.765326e-04,4.822457e-04,4.836791e-04,4.892698e-04,4.925677e-04,4.934494e-04,4.963511e-04,4.977482e-04,4.980977e-04,4.988020e-04,4.987223e-04,4.985678e-04,4.974902e-04,4.962813e-04,4.956568e-04,4.931478e-04,4.910934e-04,4.900365e-04,4.863905e-04,4.837213e-04,4.822713e-04,4.777355e-04,4.746378e-04,4.728345e-04,4.676155e-04,4.642390e-04,4.621214e-04,4.563916e-04,4.528555e-04,4.504617e-04,4.443643e-04,4.407628e-04,4.381289e-04,4.317825e-04,4.281892e-04,4.253495e-04,4.188518e-04,4.153234e-04,4.123096e-04,4.057408e-04,4.023201e-04,3.991618e-04,3.925872e-04,3.893057e-04,3.860301e-04,3.795024e-04,3.763827e-04,3.730146e-04,3.665760e-04,3.636332e-04,3.601951e-04,3.538791e-04,3.511224e-04,3.476346e-04,3.414672e-04,3.389012e-04,3.353820e-04,3.293831e-04,3.270086e-04,3.234743e-04,3.176586e-04,3.154736e-04,3.119387e-04,3.063167e-04,3.043171e-04,3.007944e-04,2.953731e-04,2.935530e-04,2.900537e-04,2.848370e-04,2.831895e-04,2.797235e-04,2.747132e-04,2.732302e-04,2.698061e-04,2.650019e-04,2.636751e-04,2.603002e-04,2.557003e-04,2.545209e-04,2.512014e-04,2.468028e-04,2.457619e-04,2.425032e-04,2.383018e-04,2.373905e-04,2.341971e-04,2.301881e-04,2.293976e-04,2.262732e-04,2.224512e-04,2.217729e-04,2.187205e-04,2.150796e-04,2.145053e-04,2.115271e-04,2.080614e-04,2.075831e-04,2.046809e-04,2.013841e-04,2.009940e-04,1.981692e-04,1.950348e-04,1.947257e-04,1.919792e-04,1.890008e-04,1.887658e-04,1.860979e-04,1.832691e-04,1.831017e-04,1.805127e-04,1.778271e-04,1.777211e-04,1.752107e-04,1.726622e-04,1.726119e-04,1.701798e-04,1.677621e-04,1.631601e-04,1.587947e-04,1.546547e-04,1.507297e-04,1.470093e-04,1.434837e-04,1.401436e-04,1.369797e-04,1.339834e-04,1.311463e-04,1.284606e-04,1.259185e-04,1.235129e-04,1.212368e-04,1.190836e-04,1.170471e-04,1.151212e-04,1.133003e-04,1.115790e-04,1.099520e-04,1.084147e-04,1.069622e-04,1.055901e-04,1.042944e-04,1.030709e-04,1.019160e-04,1.008261e-04,9.979763e-05,9.882751e-05,9.791265e-05,9.705012e-05,9.623719e-05,9.547123e-05,9.474977e-05,9.407046e-05,9.343106e-05,9.282947e-05,9.226368e-05,9.173179e-05,9.123201e-05,9.076261e-05,9.032199e-05,8.990860e-05,8.952100e-05,8.915780e-05,8.881770e-05,8.849946e-05,8.820190e-05,8.792392e-05
0.000000e+00,4.636697e-09,6.110515e-08,6.372285e-08,3.882340e-07,1.413401e-06,1.479387e-06,3.821750e-06,6.929401e-06,7.139876e-06,1.059763e-05,1.350682e-05,1.374384e-05,1.648728e-05,1.862421e-05,1.884342e-05,2.084964e-05,2.235675e-05,2.254501e-05,2.396576e-05,2.499295e-05,2.514453e-05,2.611046e-05,2.677645e-05,2.688953e-05,2.750488e-05,2.790179e-05,2.797706e-05,2.832435e-05,2.852320e-05,2.856292e-05,2.870708e-05,2.876216e-05,2.876946e-05,2.876120e-05,2.871377e-05,2.869212e-05,2.857085e-05,2.845200e-05,2.840497e-05,2.820113e-05,2.803418e-05,2.796519e-05,2.770224e-05,2.750453e-05,2.741675e-05,2.711259e-05,2.689685e-05,2.679315e-05,2.646135e-05,2.623686e-05,2.611977e-05,2.577067e-05,2.554423e-05,2.541604e-05,2.505758e-05,2.483408e-05,2.469679e-05,2.433498e-05,2.411790e-05,2.397334e-05,2.361304e-05,2.340501e-05,2.325488e-05,2.289950e-05,2.270194e-05,2.254751e-05,2.219935e-05,2.201309e-05,2.185544e-05,2.151611e-05,2.134155e-05,2.118162e-05,2.085220e-05,2.068945e-05,2.052803e-05,2.020925e-05,2.005819e-05,1.989597e-05,1.958826e-05,1.944860e-05,1.928617e-05,1.898973e-05,1.886109e-05,1.869895e-05,1.841383e-05,1.829575e-05,1.813433e-05,1.786043e-05,1.775243e-05,1.759210e-05,1.732926e-05,1.723082e-05,1.707188e-05,1.681988e-05,1.673046e-05,1.657318e-05,1.633173e-05,1.625081e-05,1.609543e-05,1.586420e-05,1.579127e-05,1.563797e-05,1.541665e-05,1.535120e-05,1.520015e-05,1.498839e-05,1.492993e-05,1.478128e-05,1.457874e-05,1.452681e-05,1.438067e-05,1.418699e-05,1.414115e-05,1.399762e-05,1.381246e-05,1.377228e-05,1.363143e-05,1.345446e-05,1.341954e-05,1.328145e-05,1.311232e-05,1.308229e-05,1.294700e-05,1.278540e-05,1.275989e-05,1.262745e-05,1.247307e-05,1.245174e-05,1.232218e-05,1.217471e-05,1.215724e-05,1.203058e-05,1.188973e-05,1.187582e-05,1.175208e-05,1.161756e-05,1.160694e-05,1.148611e-05,1.135766e-05,1.135005e-05,1.123215e-05,1.110951e-05,1.110466e-05,1.098967e-05,1.087258e-05,1.087026e-05,1.075818e-05,1.064640e-05,1.043261e-05,1.022847e-05,1.003355e-05,9.847466e-06,9.669826e-06,9.500266e-06,9.338435e-06,9.183998e-06,9.036633e-06,8.896031e-06,8.761897e-06,8.633948e-06,8.511914e-06,8.395536e-06,8.284565e-06,8.178764e-06,8.077905e-06,7.981771e-06,7.890153e-06,7.802853e-06,7.719678e-06,7.640446e-06,7.564982e-06,7.493120e-06,7.424698e-06,7.359564e-06,7.297570e-06,7.238577e-06,7.182449e-06,7.129060e-06,7.078284e-06,7.030006e-06,6.984112e-06,6.940495e-06,6.899051e-06,6.859682e-06,6.822295e-06,6.786798e-06,6.753105e-06,6.721134e-06,6.690807e-06,6.662047e-06,6.634782e-06,6.608945e-06,6.584467e-06,6.561288e-06,6.539345e-06,6.518583e-06,6.498945e-06
0.000000e+00,1.339186e-09,1.232475e-07,1.323146e-07,2.492625e-06,1.833377e-05,1.966392e-05,8.704759e-05,2.469092e-04,2.615862e-04,6.079743e-04,1.130195e-03,1.186209e-03,2.044259e-03,3.083101e-03,3.214823e-03,4.714785e-03,6.309261e-03,6.546306e-03,8.698820e-03,1.079100e-02,1.115142e-02,1.387532e-02,1.634806e-02,1.683619e-02,1.999625e-02,2.270847e-02,2.331605e-02,2.675595e-02,2.956834e-02,3.027734e-02,3.384347e-02,3.663402e-02,3.742015e-02,4.097615e-02,4.364753e-02,4.448347e-02,4.791744e-02,5.039870e-02,5.125675e-02,5.448333e-02,5.672815e-02,5.758221e-02,6.054130e-02,6.252436e-02,6.335121e-02,6.600495e-02,6.771777e-02,6.849773e-02,7.082669e-02,7.227342e-02,7.299063e-02,7.498986e-02,7.618358e-02,7.682589e-02,7.850133e-02,7.946094e-02,8.001964e-02,8.138501e-02,8.213277e-02,8.260217e-02,8.367633e-02,8.423599e-02,8.461301e-02,8.541797e-02,8.581342e-02,8.609712e-02,8.665645e-02,8.691079e-02,8.710197e-02,8.743966e-02,8.757461e-02,8.767542e-02,8.781506e-02,8.785062e-02,8.786425e-02,8.782851e-02,8.778275e-02,8.771317e-02,8.752340e-02,8.741249e-02,8.726418e-02,8.694029e-02,8.677847e-02,8.655630e-02,8.611659e-02,8.591632e-02,8.562536e-02,8.508658e-02,8.485861e-02,8.450405e-02,8.388137e-02,8.363495e-02,8.322198e-02,8.252912e-02,8.227209e-02,8.180586e-02,8.105512e-02,8.079410e-02,8.027965e-02,7.948205e-02,7.922255e-02,7.866477e-02,7.783012e-02,7.757667e-02,7.698029e-02,7.611733e-02,7.587362e-02,7.524317e-02,7.435962e-02,7.412857e-02,7.346838e-02,7.257107e-02,7.235497e-02,7.166917e-02,7.076408e-02,7.056467e-02,6.985714e-02,6.894955e-02,6.876806e-02,6.804248e-02,6.713700e-02,6.697426e-02,6.623409e-02,6.533470e-02,6.519118e-02,6.443969e-02,6.354985e-02,6.342573e-02,6.266594e-02,6.178864e-02,6.168384e-02,6.091860e-02,6.005639e-02,5.997062e-02,5.920257e-02,5.835762e-02,5.829042e-02,5.752201e-02,5.669614e-02,5.664691e-02,5.588041e-02,5.507516e-02,5.504317e-02,5.428070e-02,5.349731e-02,5.348176e-02,5.272524e-02,5.196473e-02,5.049375e-02,4.907009e-02,4.769471e-02,4.636826e-02,4.509114e-02,4.386355e-02,4.268544e-02,4.155662e-02,4.047675e-02,3.944533e-02,3.846177e-02,3.752535e-02,3.663529e-02,3.579071e-02,3.499067e-02,3.423416e-02,3.352013e-02,3.284747e-02,3.221506e-02,3.162172e-02,3.106625e-02,3.054745e-02,3.006408e-02,2.961487e-02,2.919858e-02,2.881393e-02,2.845966e-02,2.813447e-02,2.783711e-02,2.756630e-02,2.732077e-02,2.709929e-02,2.690060e-02,2.672348e-02,2.656671e-02,2.642911e-02,2.630951e-02,2.620676e-02,2.611973e-02,2.604733e-02,2.598849e-02,2.594218e-02,2.590738e-02,2.588314e-02,2.586850e-02,2.586257e-02,2.586448e-02,2.587339e-02,2.588853e-02
0.000000e+00,1.148992e-08,2.758121e-07,2.892080e-07,2.108153e-06,8.650601e-06,9.098756e-06,2.675303e-05,5.592269e-05,5.817004e-05,1.003173e-04,1.427422e-04,1.464356e-04,1.914281e-04,2.292132e-04,2.332301e-04,2.713649e-04,3.019242e-04,3.058809e-04,3.369687e-04,3.611318e-04,3.648507e-04,3.897500e-04,4.085182e-04,4.118819e-04,4.314511e-04,4.457216e-04,4.486509e-04,4.636628e-04,4.742119e-04,4.766572e-04,4.877930e-04,4.952846e-04,4.972186e-04,5.050723e-04,5.100692e-04,5.114826e-04,5.165690e-04,5.195463e-04,5.204427e-04,5.232071e-04,5.245649e-04,5.249584e-04,5.257853e-04,5.258586e-04,5.257705e-04,5.249907e-04,5.240597e-04,5.235166e-04,5.214139e-04,5.197115e-04,5.187435e-04,5.155614e-04,5.132806e-04,5.119198e-04,5.078666e-04,5.051666e-04,5.034463e-04,4.986997e-04,4.957110e-04,4.936647e-04,4.883762e-04,4.852055e-04,4.828663e-04,4.771646e-04,4.738980e-04,4.712982e-04,4.652922e-04,4.619992e-04,4.591697e-04,4.529517e-04,4.496871e-04,4.466576e-04,4.403051e-04,4.371121e-04,4.339104e-04,4.274884e-04,4.244001e-04,4.210525e-04,4.146152e-04,4.116566e-04,4.081875e-04,4.017797e-04,3.989690e-04,3.954010e-04,3.890598e-04,3.864095e-04,3.827636e-04,3.765191e-04,3.740372e-04,3.703325e-04,3.642091e-04,3.618998e-04,3.581538e-04,3.521709e-04,3.500355e-04,3.462641e-04,3.404368e-04,3.384742e-04,3.346919e-04,3.290318e-04,3.272389e-04,3.234587e-04,3.179743e-04,3.163465e-04,3.125801e-04,3.072774e-04,3.058092e-04,3.020670e-04,2.969497e-04,2.956345e-04,2.919259e-04,2.869960e-04,2.858268e-04,2.821600e-04,2.774178e-04,2.763871e-04,2.727694e-04,2.682142e-04,2.673143e-04,2.637519e-04,2.593819e-04,2.586051e-04,2.551036e-04,2.509160e-04,2.502544e-04,2.468185e-04,2.428100e-04,2.422559e-04,2.388896e-04,2.350563e-04,2.346021e-04,2.313089e-04,2.276463e-04,2.272847e-04,2.240675e-04,2.205710e-04,2.202948e-04,2.171558e-04,2.138206e-04,2.136230e-04,2.105640e-04,2.073849e-04,2.072593e-04,2.042818e-04,2.012536e-04,2.011938e-04,1.982988e-04,1.954163e-04,1.899165e-04,1.846843e-04,1.797095e-04,1.749821e-04,1.704923e-04,1.662305e-04,1.621872e-04,1.583533e-04,1.547198e-04,1.512781e-04,1.480199e-04,1.449369e-04,1.420215e-04,1.392659e-04,1.366630e-04,1.342058e-04,1.318874e-04,1.297015e-04,1.276419e-04,1.257025e-04,1.238776e-04,1.221618e-04,1.205498e-04,1.190365e-04,1.176173e-04,1.162873e-04,1.150423e-04,1.138780e-04,1.127903e-04,1.117755e-04,1.108298e-04,1.099497e-04,1.091319e-04,1.083730e-04,1.076702e-04,1.070203e-04,1.064207e-04,1.058686e-04,1.053616e-04,1.048971e-04,1.044729e-04,1.040867e-04,1.037365e-04,1.034202e-04,1.031359e-04,1.028817e-04,1.026560e-04,1.024571e-04,1.022834e-04
0.000000e+00,1.819834e-09,3.037585e-08,3.176793e-08,1.938485e-07,6.103421e-07,6.342410e-07,1.367913e-06,2.176694e-06,2.228827e-06,3.078947e-06,3.814453e-06,3.876017e-06,4.612926e-06,5.225509e-06,5.290701e-06,5.912160e-06,6.414969e-06,6.480464e-06,6.998770e-06,7.406863e-06,7.470141e-06,7.897528e-06,8.224608e-06,8.283750e-06,8.631509e-06,8.889765e-06,8.943358e-06,9.221724e-06,9.421854e-06,9.468899e-06,9.687046e-06,9.838362e-06,9.878199e-06,1.004427e-05,1.015483e-05,1.018707e-05,1.030827e-05,1.038499e-05,1.040945e-05,1.049211e-05,1.054093e-05,1.055763e-05,1.060729e-05,1.063328e-05,1.064232e-05,1.066387e-05,1.067136e-05,1.067298e-05,1.067067e-05,1.066333e-05,1.065784e-05,1.063537e-05,1.061630e-05,1.060406e-05,1.056466e-05,1.053647e-05,1.051786e-05,1.046433e-05,1.042924e-05,1.040468e-05,1.033946e-05,1.029929e-05,1.026921e-05,1.019442e-05,1.015072e-05,1.011554e-05,1.003300e-05,9.987054e-06,9.947205e-06,9.858509e-06,9.811357e-06,9.767258e-06,9.673769e-06,9.626278e-06,9.578335e-06,9.481230e-06,9.434101e-06,9.382706e-06,9.282997e-06,9.236793e-06,9.182319e-06,9.080872e-06,9.036041e-06,8.978842e-06,8.876400e-06,8.833289e-06,8.773701e-06,8.670893e-06,8.629769e-06,8.568109e-06,8.465471e-06,8.426530e-06,8.363092e-06,8.261075e-06,8.224457e-06,8.159516e-06,8.058501e-06,8.024294e-06,7.958109e-06,7.858411e-06,7.826665e-06,7.759473e-06,7.661355e-06,7.632087e-06,7.564109e-06,7.467783e-06,7.440983e-06,7.372422e-06,7.278064e-06,7.253699e-06,7.184742e-06,7.092488e-06,7.070509e-06,7.001328e-06,6.911285e-06,6.891628e-06,6.822380e-06,6.734629e-06,6.717219e-06,6.648048e-06,6.562648e-06,6.547402e-06,6.478438e-06,6.395427e-06,6.382257e-06,6.313620e-06,6.233020e-06,6.221832e-06,6.153629e-06,6.075448e-06,6.066148e-06,5.998476e-06,5.922710e-06,5.915200e-06,5.848147e-06,5.774782e-06,5.768964e-06,5.702609e-06,5.631622e-06,5.627401e-06,5.561814e-06,5.493176e-06,5.490454e-06,5.425698e-06,5.359373e-06,5.358058e-06,5.294188e-06,5.230135e-06,5.106602e-06,4.987366e-06,4.872334e-06,4.761405e-06,4.654477e-06,4.551445e-06,4.452204e-06,4.356648e-06,4.264671e-06,4.176166e-06,4.091030e-06,4.009158e-06,3.930447e-06,3.854798e-06,3.782110e-06,3.712288e-06,3.645235e-06,3.580860e-06,3.519071e-06,3.459780e-06,3.402902e-06,3.348352e-06,3.296048e-06,3.245913e-06,3.197868e-06,3.151840e-06,3.107756e-06,3.065546e-06,3.025142e-06,2.986478e-06,2.949491e-06,2.914118e-06,2.880301e-06,2.847981e-06,2.817102e-06,2.787610e-06,2.759454e-06,2.732582e-06,2.706947e-06,2.682499e-06,2.659195e-06,2.636990e-06,2.615842e-06,2.595709e-06,2.576551e-06,2.558332e-06,2.541012e-06,2.524558e-06,2.508934e-06
0.000000e+00,2.272359e-09,1.011944e-07,1.072210e-07,1.202846e-06,6.598683e-06,7.012013e-06,2.565111e-05,6.203453e-05,6.501562e-05,1.240138e-04,1.878941e-04,1.936259e-04,2.651720e-04,3.271166e-04,3.337731e-04,3.974725e-04,4.490550e-04,4.557641e-04,5.087178e-04,5.501876e-04,5.565968e-04,5.997158e-04,6.324912e-04,6.383942e-04,6.729406e-04,6.983924e-04,7.036495e-04,7.308004e-04,7.501371e-04,7.546571e-04,7.754687e-04,7.897390e-04,7.934693e-04,8.088785e-04,8.189832e-04,8.219017e-04,8.327308e-04,8.394375e-04,8.415448e-04,8.485101e-04,8.524678e-04,8.537817e-04,8.575033e-04,8.592582e-04,8.598086e-04,8.608214e-04,8.608308e-04,8.606565e-04,8.594200e-04,8.580651e-04,8.572104e-04,8.541187e-04,8.517161e-04,8.502288e-04,8.456186e-04,8.424304e-04,8.403601e-04,8.345197e-04,8.307618e-04,8.281585e-04,8.213329e-04,8.171822e-04,8.140955e-04,8.064944e-04,8.020956e-04,7.985740e-04,7.903750e-04,7.858450e-04,7.819350e-04,7.732887e-04,7.687218e-04,7.644678e-04,7.555013e-04,7.509718e-04,7.464158e-04,7.372358e-04,7.328025e-04,7.279838e-04,7.186802e-04,7.143883e-04,7.093436e-04,6.999910e-04,6.958749e-04,6.906381e-04,6.812991e-04,6.773839e-04,6.719868e-04,6.627128e-04,6.590164e-04,6.534879e-04,6.443214e-04,6.408553e-04,6.352220e-04,6.261973e-04,6.229680e-04,6.172543e-04,6.083992e-04,6.054094e-04,5.996374e-04,5.909739e-04,5.882231e-04,5.824129e-04,5.739583e-04,5.714431e-04,5.656131e-04,5.573803e-04,5.550955e-04,5.492622e-04,5.412608e-04,5.391998e-04,5.333778e-04,5.256145e-04,5.237692e-04,5.179720e-04,5.104509e-04,5.088127e-04,5.030520e-04,4.957753e-04,4.943347e-04,4.886211e-04,4.815893e-04,4.803365e-04,4.746795e-04,4.678913e-04,4.668165e-04,4.612243e-04,4.546777e-04,4.537708e-04,4.482508e-04,4.419425e-04,4.411934e-04,4.357520e-04,4.296781e-04,4.290771e-04,4.237197e-04,4.178756e-04,4.174129e-04,4.121445e-04,4.065251e-04,4.061914e-04,4.010160e-04,3.956158e-04,3.954020e-04,3.903231e-04,3.851364e-04,3.850337e-04,3.800542e-04,3.750750e-04,3.655141e-04,3.563391e-04,3.475380e-04,3.390986e-04,3.310090e-04,3.232573e-04,3.158319e-04,3.087211e-04,3.019138e-04,2.953988e-04,2.891653e-04,2.832029e-04,2.775012e-04,2.720505e-04,2.668409e-04,2.618632e-04,2.571083e-04,2.525675e-04,2.482323e-04,2.440946e-04,2.401464e-04,2.363802e-04,2.327886e-04,2.293645e-04,2.261012e-04,2.229920e-04,2.200307e-04,2.172112e-04,2.145276e-04,2.119743e-04,2.095458e-04,2.072370e-04,2.050428e-04,2.029585e-04,2.009794e-04,1.991011e-04,1.973192e-04,1.956297e-04,1.940286e-04,1.925122e-04,1.910767e-04,1.897187e-04,1.884349e-04,1.872220e-04,1.860768e-04,1.849965e-04,1.839782e-04,1.830191e-04,1.821166e-04
0.000000e+00,5.072962e-09,6.159437e-08,6.416533e-08,3.728108e-07,1.312838e-06,1.372813e-06,3.523103e-06,6.574740e-06,6.792886e-06,1.059614e-05,1.410746e-05,1.440627e-05,1.801928e-05,2.106149e-05,2.138699e-05,2.450597e-05,2.705131e-05,2.738437e-05,3.003331e-05,3.213682e-05,3.246452e-05,3.468970e-05,3.640800e-05,3.672028e-05,3.856733e-05,3.995245e-05,4.024150e-05,4.175300e-05,4.285162e-05,4.311154e-05,4.432642e-05,4.517998e-05,4.540645e-05,4.636003e-05,4.700510e-05,4.719513e-05,4.791932e-05,4.838805e-05,4.853977e-05,4.906328e-05,4.938380e-05,4.949627e-05,4.984483e-05,5.004168e-05,5.011471e-05,5.031134e-05,5.040585e-05,5.043986e-05,5.050512e-05,5.051577e-05,5.051169e-05,5.046390e-05,5.040667e-05,5.036581e-05,5.022126e-05,5.010991e-05,5.003388e-05,4.980707e-05,4.965341e-05,4.954405e-05,4.924783e-05,4.906194e-05,4.892126e-05,4.856701e-05,4.835748e-05,4.818759e-05,4.778537e-05,4.755947e-05,4.736255e-05,4.692124e-05,4.668509e-05,4.646336e-05,4.599076e-05,4.574948e-05,4.550515e-05,4.500814e-05,4.476596e-05,4.450122e-05,4.398580e-05,4.374622e-05,4.346320e-05,4.293463e-05,4.270047e-05,4.240125e-05,4.186411e-05,4.163764e-05,4.132422e-05,4.078249e-05,4.056547e-05,4.023977e-05,3.969688e-05,3.949068e-05,3.915453e-05,3.861343e-05,3.841906e-05,3.807419e-05,3.753740e-05,3.735555e-05,3.700360e-05,3.647328e-05,3.630439e-05,3.594690e-05,3.542486e-05,3.526916e-05,3.490755e-05,3.439532e-05,3.425285e-05,3.388847e-05,3.338729e-05,3.325795e-05,3.289204e-05,3.240294e-05,3.228650e-05,3.192020e-05,3.144400e-05,3.134013e-05,3.097451e-05,3.051185e-05,3.042015e-05,3.005615e-05,2.960751e-05,2.952752e-05,2.916603e-05,2.873176e-05,2.866295e-05,2.830478e-05,2.788511e-05,2.782694e-05,2.747279e-05,2.706784e-05,2.701975e-05,2.667027e-05,2.628008e-05,2.624147e-05,2.589725e-05,2.552177e-05,2.549205e-05,2.515360e-05,2.479272e-05,2.477129e-05,2.443907e-05,2.409262e-05,2.407891e-05,2.375331e-05,2.342107e-05,2.341450e-05,2.309585e-05,2.277758e-05,2.216762e-05,2.158401e-05,2.102611e-05,2.049324e-05,1.998471e-05,1.949977e-05,1.903771e-05,1.859776e-05,1.817918e-05,1.778121e-05,1.740312e-05,1.704415e-05,1.670358e-05,1.638069e-05,1.607477e-05,1.578513e-05,1.551109e-05,1.525200e-05,1.500721e-05,1.477610e-05,1.455807e-05,1.435252e-05,1.415890e-05,1.397666e-05,1.380526e-05,1.364420e-05,1.349298e-05,1.335114e-05,1.321822e-05,1.309378e-05,1.297740e-05,1.286868e-05,1.276723e-05,1.267269e-05,1.258469e-05,1.250291e-05,1.242701e-05,1.235668e-05,1.229163e-05,1.223158e-05,1.217625e-05,1.212539e-05,1.207874e-05,1.203608e-05,1.199718e-05,1.196183e-05,1.192982e-05,1.190096e-05,1.187506e-05
0.000000e+00,2.207816e-09,2.694497e-08,2.808412e-08,1.653427e-07,5.758753e-07,6.016767e-07,1.500672e-06,2.704698e-06,2.788200e-06,4.206814e-06,5.474852e-06,5.581438e-06,6.855747e-06,7.908131e-06,8.019574e-06,9.075395e-06,9.919659e-06,1.002888e-05,1.088640e-05,1.155196e-05,1.165431e-05,1.233876e-05,1.285352e-05,1.294565e-05,1.348056e-05,1.386919e-05,1.394877e-05,1.435528e-05,1.463923e-05,1.470478e-05,1.500165e-05,1.519933e-05,1.525000e-05,1.545370e-05,1.558085e-05,1.561631e-05,1.574120e-05,1.581119e-05,1.583150e-05,1.589012e-05,1.591424e-05,1.591978e-05,1.592301e-05,1.591081e-05,1.590216e-05,1.585940e-05,1.581886e-05,1.579677e-05,1.571615e-05,1.565394e-05,1.561928e-05,1.550779e-05,1.542946e-05,1.538317e-05,1.524683e-05,1.515697e-05,1.510004e-05,1.494399e-05,1.484639e-05,1.477980e-05,1.460848e-05,1.450622e-05,1.443096e-05,1.424812e-05,1.414370e-05,1.406075e-05,1.386959e-05,1.376503e-05,1.367532e-05,1.347855e-05,1.337544e-05,1.327987e-05,1.307979e-05,1.297938e-05,1.287879e-05,1.267732e-05,1.258056e-05,1.247577e-05,1.227450e-05,1.218211e-05,1.207385e-05,1.187412e-05,1.178661e-05,1.167559e-05,1.147849e-05,1.139620e-05,1.128306e-05,1.108949e-05,1.101262e-05,1.089795e-05,1.070861e-05,1.063727e-05,1.052162e-05,1.033708e-05,1.027127e-05,1.015512e-05,9.975827e-06,9.915490e-06,9.799282e-06,9.625556e-06,9.570569e-06,9.454708e-06,9.286786e-06,9.236986e-06,9.121828e-06,8.959866e-06,8.915057e-06,8.800922e-06,8.645011e-06,8.604972e-06,8.492142e-06,8.342316e-06,8.306811e-06,8.195532e-06,8.051781e-06,8.020561e-06,7.911050e-06,7.773323e-06,7.746136e-06,7.638579e-06,7.506794e-06,7.483385e-06,7.377942e-06,7.251992e-06,7.232107e-06,7.128913e-06,7.008670e-06,6.992061e-06,6.891228e-06,6.776548e-06,6.762970e-06,6.664591e-06,6.555317e-06,6.544536e-06,6.448684e-06,6.344649e-06,6.336438e-06,6.243170e-06,6.144202e-06,6.138343e-06,6.047701e-06,5.953622e-06,5.949908e-06,5.861920e-06,5.772550e-06,5.770786e-06,5.685466e-06,5.600625e-06,5.439075e-06,5.285788e-06,5.140421e-06,5.002635e-06,4.872101e-06,4.748494e-06,4.631503e-06,4.520821e-06,4.416155e-06,4.317218e-06,4.223737e-06,4.135447e-06,4.052094e-06,3.973434e-06,3.899232e-06,3.829266e-06,3.763319e-06,3.701188e-06,3.642677e-06,3.587597e-06,3.535773e-06,3.487032e-06,3.441214e-06,3.398165e-06,3.357737e-06,3.319791e-06,3.284194e-06,3.250821e-06,3.219550e-06,3.190269e-06,3.162869e-06,3.137248e-06,3.113308e-06,3.090956e-06,3.070106e-06,3.050673e-06,3.032579e-06,3.015749e-06,3.000112e-06,2.985601e-06,2.972152e-06,2.959706e-06,2.948204e-06,2.937594e-06,2.927822e-06,2.918842e-06,2.910606e-06,2.903072e-06,2.896197e-06
0.000000e+00,6.985982e-10,6.895364e-09,7.153126e-09,3.376896e-08,9.996395e-08,1.038634e-07,2.330611e-07,4.030118e-07,4.150396e-07,6.270021e-07,8.269390e-07,8.439957e-07,1.047723e-06,1.211789e-06,1.228763e-06,1.384639e-06,1.501796e-06,1.516405e-06,1.626312e-06,1.705230e-06,1.716823e-06,1.790274e-06,1.840352e-06,1.848792e-06,1.894278e-06,1.923038e-06,1.928414e-06,1.952687e-06,1.965889e-06,1.968405e-06,1.976719e-06,1.978717e-06,1.978638e-06,1.975052e-06,1.969130e-06,1.966744e-06,1.954399e-06,1.943022e-06,1.938619e-06,1.919931e-06,1.904937e-06,1.898796e-06,1.875605e-06,1.858334e-06,1.850703e-06,1.824393e-06,1.805835e-06,1.796942e-06,1.768606e-06,1.749532e-06,1.739611e-06,1.710133e-06,1.691084e-06,1.680324e-06,1.650317e-06,1.631664e-06,1.620226e-06,1.590149e-06,1.572146e-06,1.560172e-06,1.530366e-06,1.513182e-06,1.500794e-06,1.471510e-06,1.455252e-06,1.442556e-06,1.413972e-06,1.398701e-06,1.385788e-06,1.358030e-06,1.343771e-06,1.330719e-06,1.303872e-06,1.290627e-06,1.277503e-06,1.251621e-06,1.239374e-06,1.226234e-06,1.201346e-06,1.190067e-06,1.176961e-06,1.153079e-06,1.142731e-06,1.129700e-06,1.106823e-06,1.097363e-06,1.084444e-06,1.062559e-06,1.053943e-06,1.041164e-06,1.020253e-06,1.012432e-06,9.998197e-07,9.798578e-07,9.727856e-07,9.603604e-07,9.413201e-07,9.349492e-07,9.227293e-07,9.045801e-07,8.988644e-07,8.868647e-07,8.695750e-07,8.644698e-07,8.527027e-07,8.362397e-07,8.317023e-07,8.201778e-07,8.045088e-07,8.004982e-07,7.892244e-07,7.743166e-07,7.707939e-07,7.597772e-07,7.455983e-07,7.425266e-07,7.317720e-07,7.182904e-07,7.156348e-07,7.051458e-07,6.923307e-07,6.900584e-07,6.798375e-07,6.676589e-07,6.657391e-07,6.557877e-07,6.442167e-07,6.426204e-07,6.329390e-07,6.219478e-07,6.206478e-07,6.112363e-07,6.007979e-07,5.997688e-07,5.906261e-07,5.807148e-07,5.799330e-07,5.710577e-07,5.616486e-07,5.610919e-07,5.524818e-07,5.435514e-07,5.431990e-07,5.348518e-07,5.263773e-07,5.262101e-07,5.181226e-07,5.100824e-07,4.947752e-07,4.802498e-07,4.664689e-07,4.533972e-07,4.410006e-07,4.292471e-07,4.181056e-07,4.075470e-07,3.975430e-07,3.880671e-07,3.790938e-07,3.705988e-07,3.625589e-07,3.549521e-07,3.477575e-07,3.409550e-07,3.345255e-07,3.284508e-07,3.227137e-07,3.172977e-07,3.121869e-07,3.073666e-07,3.028224e-07,2.985407e-07,2.945086e-07,2.907138e-07,2.871445e-07,2.837896e-07,2.806383e-07,2.776806e-07,2.749067e-07,2.723075e-07,2.698741e-07,2.675983e-07,2.654720e-07,2.634877e-07,2.616382e-07,2.599165e-07,2.583161e-07,2.568307e-07,2.554545e-07,2.541817e-07,2.530069e-07,2.519250e-07,2.509311e-07,2.500205e-07,2.491888e-07,2.484317e-07,2.477452e-07
0.000000e+00,1.074044e-08,3.303876e-07,3.485203e-07,2.972047e-06,1.124574e-05,1.174967e-05,2.775560e-05,4.560842e-05,4.675273e-05,6.529324e-05,8.119980e-05,8.252735e-05,9.838195e-05,1.115180e-04,1.129138e-04,1.261986e-04,1.369190e-04,1.383136e-04,1.493337e-04,1.579905e-04,1.593312e-04,1.683748e-04,1.752822e-04,1.765299e-04,1.838579e-04,1.892904e-04,1.904168e-04,1.962614e-04,2.004572e-04,2.014428e-04,2.060094e-04,2.091734e-04,2.100059e-04,2.134737e-04,2.157796e-04,2.164516e-04,2.189757e-04,2.205722e-04,2.210812e-04,2.228006e-04,2.238162e-04,2.241636e-04,2.251978e-04,2.257401e-04,2.259292e-04,2.263817e-04,2.265415e-04,2.265776e-04,2.265378e-04,2.263919e-04,2.262817e-04,2.258273e-04,2.254402e-04,2.251914e-04,2.243898e-04,2.238159e-04,2.234368e-04,2.223461e-04,2.216307e-04,2.211301e-04,2.198005e-04,2.189816e-04,2.183681e-04,2.168431e-04,2.159521e-04,2.152348e-04,2.135517e-04,2.126147e-04,2.118021e-04,2.099932e-04,2.090315e-04,2.081320e-04,2.062250e-04,2.052562e-04,2.042780e-04,2.022966e-04,2.013347e-04,2.002857e-04,1.982501e-04,1.973067e-04,1.961942e-04,1.941218e-04,1.932058e-04,1.920368e-04,1.899425e-04,1.890609e-04,1.878421e-04,1.857384e-04,1.848966e-04,1.836341e-04,1.815316e-04,1.807336e-04,1.794332e-04,1.773408e-04,1.765895e-04,1.752565e-04,1.731819e-04,1.724790e-04,1.711185e-04,1.690678e-04,1.684145e-04,1.670311e-04,1.650096e-04,1.644062e-04,1.630042e-04,1.610161e-04,1.604626e-04,1.590459e-04,1.570945e-04,1.565904e-04,1.551627e-04,1.532509e-04,1.527951e-04,1.513597e-04,1.494897e-04,1.490811e-04,1.476411e-04,1.458145e-04,1.454518e-04,1.440100e-04,1.422279e-04,1.419095e-04,1.404685e-04,1.387318e-04,1.384561e-04,1.370181e-04,1.353274e-04,1.350926e-04,1.336598e-04,1.320153e-04,1.318195e-04,1.303939e-04,1.287957e-04,1.286371e-04,1.272205e-04,1.256682e-04,1.255450e-04,1.241389e-04,1.226324e-04,1.225427e-04,1.211486e-04,1.196873e-04,1.196293e-04,1.182484e-04,1.168318e-04,1.168037e-04,1.154372e-04,1.140645e-04,1.114104e-04,1.088399e-04,1.063512e-04,1.039426e-04,1.016124e-04,9.935870e-05,9.717963e-05,9.507334e-05,9.303793e-05,9.107152e-05,8.917224e-05,8.733822e-05,8.556761e-05,8.385862e-05,8.220945e-05,8.061835e-05,7.908360e-05,7.760350e-05,7.617641e-05,7.480069e-05,7.347477e-05,7.219711e-05,7.096619e-05,6.978055e-05,6.863877e-05,6.753945e-05,6.648124e-05,6.546282e-05,6.448292e-05,6.354028e-05,6.263369e-05,6.176199e-05,6.092402e-05,6.011869e-05,5.934492e-05,5.860166e-05,5.788791e-05,5.720267e-05,5.654500e-05,5.591396e-05,5.530867e-05,5.472826e-05,5.417187e-05,5.363869e-05,5.312794e-05,5.263883e-05,5.217063e-05,5.172261e-05,5.129407e-05
0.000000e+00,7.264833e-09,1.321098e-07,1.384291e-07,9.250032e-07,3.020279e-06,3.138470e-06,6.529794e-06,9.775115e-06,9.970719e-06,1.297762e-05,1.533129e-05,1.551852e-05,1.764447e-05,1.924993e-05,1.941207e-05,2.087220e-05,2.193810e-05,2.206915e-05,2.304123e-05,2.372266e-05,2.382144e-05,2.443821e-05,2.484793e-05,2.491592e-05,2.527548e-05,2.549480e-05,2.553479e-05,2.570914e-05,2.579627e-05,2.581156e-05,2.585318e-05,2.584959e-05,2.584348e-05,2.579053e-05,2.572563e-05,2.570120e-05,2.558136e-05,2.547600e-05,2.543600e-05,2.526936e-05,2.513825e-05,2.508506e-05,2.488618e-05,2.473971e-05,2.467534e-05,2.445477e-05,2.430021e-05,2.422637e-05,2.399175e-05,2.383417e-05,2.375228e-05,2.350914e-05,2.335207e-05,2.326332e-05,2.301565e-05,2.286150e-05,2.276687e-05,2.251758e-05,2.236798e-05,2.226830e-05,2.201946e-05,2.187548e-05,2.177144e-05,2.152454e-05,2.138687e-05,2.127904e-05,2.103516e-05,2.090420e-05,2.079308e-05,2.055297e-05,2.042893e-05,2.031494e-05,2.007912e-05,1.996206e-05,1.984558e-05,1.961441e-05,1.950431e-05,1.938566e-05,1.915938e-05,1.905613e-05,1.893560e-05,1.871435e-05,1.861781e-05,1.849566e-05,1.827953e-05,1.818953e-05,1.806598e-05,1.785500e-05,1.777134e-05,1.764661e-05,1.744078e-05,1.736324e-05,1.723752e-05,1.703682e-05,1.696519e-05,1.683865e-05,1.664302e-05,1.657708e-05,1.644990e-05,1.625928e-05,1.619880e-05,1.607113e-05,1.588545e-05,1.583022e-05,1.570220e-05,1.552136e-05,1.547116e-05,1.534293e-05,1.516686e-05,1.512147e-05,1.499315e-05,1.482177e-05,1.478098e-05,1.465269e-05,1.448589e-05,1.444950e-05,1.432135e-05,1.415904e-05,1.412685e-05,1.399894e-05,1.384103e-05,1.381284e-05,1.368529e-05,1.353168e-05,1.350730e-05,1.338019e-05,1.323078e-05,1.321003e-05,1.308345e-05,1.293816e-05,1.292086e-05,1.279489e-05,1.265361e-05,1.263959e-05,1.251431e-05,1.237696e-05,1.236606e-05,1.224154e-05,1.210802e-05,1.210007e-05,1.197639e-05,1.184661e-05,1.184146e-05,1.171867e-05,1.159254e-05,1.159004e-05,1.146821e-05,1.134565e-05,1.110812e-05,1.087728e-05,1.065298e-05,1.043504e-05,1.022332e-05,1.001766e-05,9.817907e-06,9.623921e-06,9.435555e-06,9.252668e-06,9.075122e-06,8.902784e-06,8.735519e-06,8.573201e-06,8.415703e-06,8.262903e-06,8.114679e-06,7.970915e-06,7.831497e-06,7.696311e-06,7.565250e-06,7.438205e-06,7.315074e-06,7.195755e-06,7.080147e-06,6.968156e-06,6.859685e-06,6.754642e-06,6.652939e-06,6.554486e-06,6.459199e-06,6.366993e-06,6.277787e-06,6.191502e-06,6.108059e-06,6.027384e-06,5.949402e-06,5.874041e-06,5.801231e-06,5.730903e-06,5.662990e-06,5.597427e-06,5.534150e-06,5.473098e-06,5.414208e-06,5.357423e-06,5.302684e-06,5.249935e-06,5.199122e-06
0.000000e+00,1.596863e-09,8.724162e-08,9.266303e-08,1.115035e-06,6.356687e-06,6.767758e-06,2.646607e-05,7.114758e-05,7.518178e-05,1.674559e-04,2.960173e-04,3.090891e-04,4.940673e-04,6.862102e-04,7.085260e-04,9.367222e-04,1.138021e-03,1.165067e-03,1.383665e-03,1.559011e-03,1.586260e-03,1.769507e-03,1.907492e-03,1.932111e-03,2.074110e-03,2.175736e-03,2.196329e-03,2.300024e-03,2.370614e-03,2.386645e-03,2.457698e-03,2.503264e-03,2.514660e-03,2.558938e-03,2.584920e-03,2.591848e-03,2.614604e-03,2.625564e-03,2.628319e-03,2.634009e-03,2.633659e-03,2.632598e-03,2.624921e-03,2.616228e-03,2.611736e-03,2.593727e-03,2.579043e-03,2.571512e-03,2.545646e-03,2.526821e-03,2.516632e-03,2.484921e-03,2.463400e-03,2.450919e-03,2.414988e-03,2.391888e-03,2.377457e-03,2.338618e-03,2.314797e-03,2.298733e-03,2.258035e-03,2.234142e-03,2.216735e-03,2.175017e-03,2.151537e-03,2.133050e-03,2.090978e-03,2.068263e-03,2.048933e-03,2.007030e-03,1.985330e-03,1.965368e-03,1.924039e-03,1.903522e-03,1.883117e-03,1.842672e-03,1.823445e-03,1.802761e-03,1.763434e-03,1.745552e-03,1.724734e-03,1.686697e-03,1.670178e-03,1.649352e-03,1.612725e-03,1.597560e-03,1.576835e-03,1.541697e-03,1.527856e-03,1.507324e-03,1.473723e-03,1.461158e-03,1.440899e-03,1.408855e-03,1.397510e-03,1.377591e-03,1.347106e-03,1.336917e-03,1.317394e-03,1.288451e-03,1.279350e-03,1.260269e-03,1.232840e-03,1.224757e-03,1.206155e-03,1.180204e-03,1.173068e-03,1.154976e-03,1.130458e-03,1.124198e-03,1.106639e-03,1.083505e-03,1.078054e-03,1.061044e-03,1.039242e-03,1.034532e-03,1.018085e-03,9.975593e-04,9.935287e-04,9.776512e-04,9.583465e-04,9.549346e-04,9.396311e-04,9.214909e-04,9.186409e-04,9.039120e-04,8.868805e-04,8.845390e-04,8.703826e-04,8.544046e-04,8.525216e-04,8.389331e-04,8.239548e-04,8.224836e-04,8.094565e-04,7.954253e-04,7.943226e-04,7.818485e-04,7.687137e-04,7.679394e-04,7.560085e-04,7.437212e-04,7.432382e-04,7.318398e-04,7.203528e-04,7.201270e-04,7.092491e-04,6.985175e-04,6.783251e-04,6.594691e-04,6.418726e-04,6.254626e-04,6.101696e-04,5.959278e-04,5.826748e-04,5.703513e-04,5.589017e-04,5.482729e-04,5.384150e-04,5.292810e-04,5.208263e-04,5.130090e-04,5.057896e-04,4.991306e-04,4.929970e-04,4.873556e-04,4.821753e-04,4.774268e-04,4.730823e-04,4.691159e-04,4.655031e-04,4.622209e-04,4.592476e-04,4.565627e-04,4.541472e-04,4.519831e-04,4.500533e-04,4.483419e-04,4.468340e-04,4.455155e-04,4.443731e-04,4.433944e-04,4.425678e-04,4.418823e-04,4.413276e-04,4.408941e-04,4.405726e-04,4.403546e-04,4.402322e-04,4.401979e-04,4.402446e-04,4.403658e-04,4.405552e-04,4.408071e-04,4.411161e-04,4.414770e-04,4.418852e-04
0.000000e+00,4.803459e-09,2.444367e-07,2.596270e-07,3.196669e-06,1.815477e-05,1.929853e-05,6.929704e-05,1.593149e-04,1.663715e-04,2.999606e-04,4.362913e-04,4.482290e-04,5.937921e-04,7.147318e-04,7.274310e-04,8.457520e-04,9.368726e-04,9.483838e-04,1.036225e-03,1.100936e-03,1.110587e-03,1.172842e-03,1.216734e-03,1.224291e-03,1.266127e-03,1.294027e-03,1.299439e-03,1.325208e-03,1.340991e-03,1.344321e-03,1.357579e-03,1.364320e-03,1.365700e-03,1.369330e-03,1.369442e-03,1.369046e-03,1.365365e-03,1.360726e-03,1.358746e-03,1.349599e-03,1.341654e-03,1.338288e-03,1.325134e-03,1.314983e-03,1.310422e-03,1.294405e-03,1.282882e-03,1.277305e-03,1.259317e-03,1.247044e-03,1.240616e-03,1.221351e-03,1.208789e-03,1.201657e-03,1.181650e-03,1.169134e-03,1.161432e-03,1.141092e-03,1.128862e-03,1.120707e-03,1.100345e-03,1.088569e-03,1.080065e-03,1.059915e-03,1.048706e-03,1.039941e-03,1.020177e-03,1.009604e-03,1.000657e-03,9.814058e-04,9.715092e-04,9.624464e-04,9.437970e-04,9.345935e-04,9.254729e-04,9.074860e-04,8.989750e-04,8.898460e-04,8.725601e-04,8.647291e-04,8.556337e-04,8.390703e-04,8.318980e-04,8.228719e-04,8.070393e-04,8.004986e-04,7.915720e-04,7.764685e-04,7.705285e-04,7.617266e-04,7.473432e-04,7.419708e-04,7.333147e-04,7.196368e-04,7.147977e-04,7.063049e-04,6.933139e-04,6.889736e-04,6.806583e-04,6.683327e-04,6.644572e-04,6.563310e-04,6.446474e-04,6.412034e-04,6.332756e-04,6.222093e-04,6.191647e-04,6.114424e-04,6.009684e-04,5.982924e-04,5.907810e-04,5.808738e-04,5.785370e-04,5.712404e-04,5.618746e-04,5.598494e-04,5.527700e-04,5.439206e-04,5.421808e-04,5.353202e-04,5.269627e-04,5.254836e-04,5.188421e-04,5.109527e-04,5.097114e-04,5.032885e-04,4.958440e-04,4.948190e-04,4.886136e-04,4.815918e-04,4.807629e-04,4.747731e-04,4.681525e-04,4.675011e-04,4.617247e-04,4.554846e-04,4.549934e-04,4.494274e-04,4.435482e-04,4.432010e-04,4.378424e-04,4.323052e-04,4.320871e-04,4.269322e-04,4.217190e-04,4.216163e-04,4.166613e-04,4.117549e-04,4.024707e-04,3.937331e-04,3.855131e-04,3.777828e-04,3.705160e-04,3.636876e-04,3.572738e-04,3.512521e-04,3.456011e-04,3.403005e-04,3.353309e-04,3.306741e-04,3.263127e-04,3.222304e-04,3.184115e-04,3.148413e-04,3.115057e-04,3.083916e-04,3.054864e-04,3.027781e-04,3.002554e-04,2.979078e-04,2.957251e-04,2.936978e-04,2.918167e-04,2.900732e-04,2.884594e-04,2.869674e-04,2.855900e-04,2.843203e-04,2.831519e-04,2.820784e-04,2.810942e-04,2.801937e-04,2.793716e-04,2.786231e-04,2.779435e-04,2.773283e-04,2.767735e-04,2.762751e-04,2.758294e-04,2.754328e-04,2.750821e-04,2.747742e-04,2.745060e-04,2.742749e-04,2.740781e-04,2.739132e-04,2.737780e-04
0.000000e+00,1.633625e-08,3.850102e-07,4.047614e-07,3.186837e-06,1.222693e-05,1.279112e-05,3.114541e-05,5.197254e-05,5.330907e-05,7.492706e-05,9.337146e-05,9.490511e-05,1.131438e-04,1.281361e-04,1.297222e-04,1.447454e-04,1.567630e-04,1.583186e-04,1.705424e-04,1.800486e-04,1.815123e-04,1.913189e-04,1.987201e-04,2.000477e-04,2.077796e-04,2.134293e-04,2.145906e-04,2.205520e-04,2.247543e-04,2.257305e-04,2.301883e-04,2.332026e-04,2.339835e-04,2.371702e-04,2.392160e-04,2.397983e-04,2.419140e-04,2.431753e-04,2.435605e-04,2.447778e-04,2.454092e-04,2.456027e-04,2.460693e-04,2.461999e-04,2.462094e-04,2.460521e-04,2.457892e-04,2.456245e-04,2.449515e-04,2.443842e-04,2.440562e-04,2.429597e-04,2.421616e-04,2.416818e-04,2.402405e-04,2.392722e-04,2.386525e-04,2.369332e-04,2.358444e-04,2.350966e-04,2.331560e-04,2.319874e-04,2.311232e-04,2.290093e-04,2.277939e-04,2.268245e-04,2.245781e-04,2.233424e-04,2.222787e-04,2.199341e-04,2.186996e-04,2.175517e-04,2.151380e-04,2.139213e-04,2.126991e-04,2.102406e-04,2.090550e-04,2.077675e-04,2.052846e-04,2.041403e-04,2.027960e-04,2.003056e-04,1.992103e-04,1.978171e-04,1.953335e-04,1.942926e-04,1.928578e-04,1.903927e-04,1.894102e-04,1.879405e-04,1.855035e-04,1.845818e-04,1.830835e-04,1.806824e-04,1.798229e-04,1.783017e-04,1.759428e-04,1.751460e-04,1.736070e-04,1.712955e-04,1.705610e-04,1.690091e-04,1.667488e-04,1.660759e-04,1.645153e-04,1.623093e-04,1.616966e-04,1.601314e-04,1.579820e-04,1.574279e-04,1.558615e-04,1.537703e-04,1.532728e-04,1.517086e-04,1.496766e-04,1.492336e-04,1.476746e-04,1.457025e-04,1.453116e-04,1.437604e-04,1.418484e-04,1.415074e-04,1.399663e-04,1.381143e-04,1.378207e-04,1.362920e-04,1.344996e-04,1.342510e-04,1.327366e-04,1.310031e-04,1.307971e-04,1.292988e-04,1.276235e-04,1.274576e-04,1.259770e-04,1.243590e-04,1.242308e-04,1.227693e-04,1.212075e-04,1.211147e-04,1.196734e-04,1.181668e-04,1.181071e-04,1.166872e-04,1.152345e-04,1.152057e-04,1.138082e-04,1.124081e-04,1.097119e-04,1.071143e-04,1.046129e-04,1.022051e-04,9.988810e-05,9.765943e-05,9.551646e-05,9.345664e-05,9.147742e-05,8.957631e-05,8.775086e-05,8.599868e-05,8.431740e-05,8.270474e-05,8.115844e-05,7.967632e-05,7.825623e-05,7.689609e-05,7.559389e-05,7.434764e-05,7.315543e-05,7.201540e-05,7.092574e-05,6.988469e-05,6.889054e-05,6.794164e-05,6.703638e-05,6.617320e-05,6.535059e-05,6.456708e-05,6.382125e-05,6.311172e-05,6.243714e-05,6.179624e-05,6.118774e-05,6.061044e-05,6.006315e-05,5.954473e-05,5.905406e-05,5.859009e-05,5.815176e-05,5.773808e-05,5.734806e-05,5.698076e-05,5.663527e-05,5.631070e-05,5.600619e-05,5.572091e-05,5.545406e-05
0.000000e+00,1.242168e-09,8.187965e-08,8.733972e-08,1.262084e-06,7.897957e-06,8.426710e-06,3.344980e-05,8.654603e-05,9.112877e-05,1.896664e-04,3.147788e-04,3.270071e-04,4.941210e-04,6.605852e-04,6.796514e-04,8.730464e-04,1.043036e-03,1.065939e-03,1.252389e-03,1.404620e-03,1.428571e-03,1.592292e-03,1.719409e-03,1.742522e-03,1.879009e-03,1.980836e-03,2.001999e-03,2.112037e-03,2.191214e-03,2.209830e-03,2.296163e-03,2.356068e-03,2.371846e-03,2.437682e-03,2.481606e-03,2.494440e-03,2.542855e-03,2.573719e-03,2.583618e-03,2.617372e-03,2.637673e-03,2.644716e-03,2.666205e-03,2.678040e-03,2.682353e-03,2.693634e-03,2.698750e-03,2.700485e-03,2.703311e-03,2.703152e-03,2.702482e-03,2.698340e-03,2.694098e-03,2.691202e-03,2.681356e-03,2.674010e-03,2.669070e-03,2.654589e-03,2.644941e-03,2.638138e-03,2.619926e-03,2.608631e-03,2.600142e-03,2.578961e-03,2.566550e-03,2.556545e-03,2.533040e-03,2.519943e-03,2.508583e-03,2.483297e-03,2.469859e-03,2.457296e-03,2.430685e-03,2.417181e-03,2.403559e-03,2.376005e-03,2.362651e-03,2.348103e-03,2.319927e-03,2.306892e-03,2.291543e-03,2.263011e-03,2.250425e-03,2.234388e-03,2.205724e-03,2.193684e-03,2.177064e-03,2.148451e-03,2.137028e-03,2.119922e-03,2.091512e-03,2.080754e-03,2.063251e-03,2.035167e-03,2.025106e-03,2.007286e-03,1.979630e-03,1.970281e-03,1.952219e-03,1.925071e-03,1.916442e-03,1.898202e-03,1.871626e-03,1.863713e-03,1.845357e-03,1.819404e-03,1.812196e-03,1.793778e-03,1.768486e-03,1.761966e-03,1.743536e-03,1.718933e-03,1.713081e-03,1.694683e-03,1.670789e-03,1.665580e-03,1.647254e-03,1.624082e-03,1.619491e-03,1.601273e-03,1.578829e-03,1.574828e-03,1.556750e-03,1.535036e-03,1.531595e-03,1.513686e-03,1.492700e-03,1.489791e-03,1.472076e-03,1.451812e-03,1.449405e-03,1.431906e-03,1.412357e-03,1.410421e-03,1.393160e-03,1.374314e-03,1.372821e-03,1.355814e-03,1.337659e-03,1.336581e-03,1.319844e-03,1.302366e-03,1.301674e-03,1.285221e-03,1.268405e-03,1.268072e-03,1.251915e-03,1.235746e-03,1.204662e-03,1.174790e-03,1.146095e-03,1.118545e-03,1.092105e-03,1.066742e-03,1.042423e-03,1.019114e-03,9.967837e-04,9.753993e-04,9.549293e-04,9.353428e-04,9.166097e-04,8.987003e-04,8.815861e-04,8.652387e-04,8.496311e-04,8.347366e-04,8.205295e-04,8.069846e-04,7.940777e-04,7.817853e-04,7.700844e-04,7.589529e-04,7.483694e-04,7.383132e-04,7.287641e-04,7.197027e-04,7.111101e-04,7.029682e-04,6.952593e-04,6.879664e-04,6.810732e-04,6.745635e-04,6.684221e-04,6.626341e-04,6.571852e-04,6.520615e-04,6.472495e-04,6.427363e-04,6.385094e-04,6.345567e-04,6.308666e-04,6.274278e-04,6.242294e-04,6.212608e-04,6.185120e-04,6.159733e-04,6.136350e-04
0.000000e+00,2.446916e-09,3.889830e-08,4.071134e-08,2.668866e-07,8.891033e-07,9.250243e-07,1.994047e-06,3.088279e-06,3.156464e-06,4.238160e-06,5.133595e-06,5.206932e-06,6.065165e-06,6.749999e-06,6.821276e-06,7.484348e-06,7.997748e-06,8.062999e-06,8.565219e-06,8.941626e-06,8.998366e-06,9.369180e-06,9.637021e-06,9.683828e-06,9.947933e-06,1.013039e-05,1.016661e-05,1.034452e-05,1.046033e-05,1.048586e-05,1.059448e-05,1.065872e-05,1.067383e-05,1.072705e-05,1.075178e-05,1.075697e-05,1.076616e-05,1.076098e-05,1.075692e-05,1.073136e-05,1.070391e-05,1.069135e-05,1.063860e-05,1.059492e-05,1.057464e-05,1.050086e-05,1.044571e-05,1.041850e-05,1.032868e-05,1.026582e-05,1.023243e-05,1.013063e-05,1.006296e-05,1.002412e-05,9.913622e-06,9.843404e-06,9.799797e-06,9.683236e-06,9.612208e-06,9.564468e-06,9.443966e-06,9.373450e-06,9.322155e-06,9.199412e-06,9.130397e-06,9.076076e-06,8.952448e-06,8.885662e-06,8.828794e-06,8.705352e-06,8.641316e-06,8.582332e-06,8.459920e-06,8.398995e-06,8.338281e-06,8.217558e-06,8.159974e-06,8.097877e-06,7.979348e-06,7.925239e-06,7.862067e-06,7.746117e-06,7.695538e-06,7.631567e-06,7.518478e-06,7.471430e-06,7.406902e-06,7.296880e-06,7.253314e-06,7.188446e-06,7.081629e-06,7.041467e-06,6.976450e-06,6.872926e-06,6.836064e-06,6.771067e-06,6.670882e-06,6.637201e-06,6.572373e-06,6.475541e-06,6.444908e-06,6.380381e-06,6.286888e-06,6.259164e-06,6.195054e-06,6.104867e-06,6.079909e-06,6.016316e-06,5.929386e-06,5.907047e-06,5.844061e-06,5.760326e-06,5.740464e-06,5.678162e-06,5.597550e-06,5.580022e-06,5.518472e-06,5.440907e-06,5.425574e-06,5.364835e-06,5.290234e-06,5.276961e-06,5.217084e-06,5.145362e-06,5.134017e-06,5.075046e-06,5.006115e-06,4.996574e-06,4.938546e-06,4.872317e-06,4.864458e-06,4.807406e-06,4.743791e-06,4.737500e-06,4.681449e-06,4.620360e-06,4.615526e-06,4.560500e-06,4.501849e-06,4.498368e-06,4.444385e-06,4.388086e-06,4.385858e-06,4.332932e-06,4.278902e-06,4.277833e-06,4.225975e-06,4.174131e-06,4.074596e-06,3.979075e-06,3.887421e-06,3.799490e-06,3.715142e-06,3.634242e-06,3.556659e-06,3.482269e-06,3.410948e-06,3.342578e-06,3.277048e-06,3.214246e-06,3.154068e-06,3.096412e-06,3.041179e-06,2.988276e-06,2.937612e-06,2.889099e-06,2.842652e-06,2.798191e-06,2.755638e-06,2.714917e-06,2.675956e-06,2.638686e-06,2.603040e-06,2.568952e-06,2.536362e-06,2.505210e-06,2.475438e-06,2.446991e-06,2.419816e-06,2.393863e-06,2.369081e-06,2.345425e-06,2.322848e-06,2.301307e-06,2.280760e-06,2.261166e-06,2.242488e-06,2.224687e-06,2.207728e-06,2.191576e-06,2.176198e-06,2.161563e-06,2.147640e-06,2.134399e-06,2.121812e-06,2.109852e-06,2.098493e-06
0.000000e+00,2.486770e-08,1.921026e-06,2.054298e-06,3.320619e-05,2.334732e-04,2.504833e-04,1.168059e-03,3.658300e-03,3.903355e-03,1.024461e-02,2.122533e-02,2.247983e-02,4.312441e-02,7.096260e-02,7.467635e-02,1.194352e-01,1.713289e-01,1.793806e-01,2.560999e-01,3.363898e-01,3.507523e-01,4.640622e-01,5.738940e-01,5.963319e-01,7.474693e-01,8.851762e-01,9.170252e-01,1.104236e+00,1.266031e+00,1.308070e+00,1.527273e+00,1.708004e+00,1.760413e+00,2.005925e+00,2.199769e+00,2.262149e+00,2.527367e+00,2.728394e+00,2.799836e+00,3.077817e+00,3.280413e+00,3.359597e+00,3.643514e+00,3.842669e+00,3.927970e+00,4.211447e+00,4.402921e+00,4.492519e+00,4.769858e+00,4.950258e+00,5.042240e+00,5.308549e+00,5.475331e+00,5.567779e+00,5.819034e+00,5.970456e+00,6.061524e+00,6.294566e+00,6.429610e+00,6.517577e+00,6.730073e+00,6.848344e+00,6.931660e+00,7.122035e+00,7.223661e+00,7.300973e+00,7.468327e+00,7.553851e+00,7.624018e+00,7.768034e+00,7.838320e+00,7.900418e+00,8.021268e+00,8.077411e+00,8.130728e+00,8.228985e+00,8.272233e+00,8.316261e+00,8.392811e+00,8.424500e+00,8.458919e+00,8.514891e+00,8.536392e+00,8.561054e+00,8.597750e+00,8.610424e+00,8.625333e+00,8.644168e+00,8.649336e+00,8.654627e+00,8.657085e+00,8.656000e+00,8.651920e+00,8.639511e+00,8.633342e+00,8.620233e+00,8.594459e+00,8.584282e+00,8.562558e+00,8.524892e+00,8.511680e+00,8.481816e+00,8.433677e+00,8.418299e+00,8.380814e+00,8.323556e+00,8.306780e+00,8.262223e+00,8.197124e+00,8.179618e+00,8.128556e+00,8.056809e+00,8.039148e+00,7.982160e+00,7.904873e+00,7.887542e+00,7.825205e+00,7.743399e+00,7.726802e+00,7.659688e+00,7.574295e+00,7.558763e+00,7.487433e+00,7.399301e+00,7.385095e+00,7.310092e+00,7.219987e+00,7.207311e+00,7.129158e+00,7.037768e+00,7.026770e+00,6.945969e+00,6.853906e+00,6.844691e+00,6.761716e+00,6.669526e+00,6.662154e+00,6.577456e+00,6.485619e+00,6.480118e+00,6.394119e+00,6.303056e+00,6.299424e+00,6.212520e+00,6.122597e+00,6.120805e+00,6.033365e+00,5.944898e+00,5.772250e+00,5.603326e+00,5.438518e+00,5.278152e+00,5.122492e+00,4.971752e+00,4.826095e+00,4.685643e+00,4.550480e+00,4.420657e+00,4.296193e+00,4.177083e+00,4.063300e+00,3.954794e+00,3.851499e+00,3.753334e+00,3.660205e+00,3.572007e+00,3.488625e+00,3.409935e+00,3.335808e+00,3.266109e+00,3.200697e+00,3.139429e+00,3.082159e+00,3.028738e+00,2.979017e+00,2.932847e+00,2.890075e+00,2.850554e+00,2.814133e+00,2.780666e+00,2.750005e+00,2.722007e+00,2.696531e+00,2.673436e+00,2.652587e+00,2.633850e+00,2.617096e+00,2.602198e+00,2.589033e+00,2.577482e+00,2.567430e+00,2.558765e+00,2.551381e+00,2.545175e+00,2.540048e+00,2.535905e+00,2.532657e+00
0.000000e+00,6.493087e-10,8.783854e-09,9.172603e-09,5.703523e-08,1.979038e-07,2.065606e-07,4.926369e-07,8.356341e-07,8.582593e-07,1.231394e-06,1.557477e-06,1.584832e-06,1.912611e-06,2.185294e-06,2.214314e-06,2.490878e-06,2.714460e-06,2.743566e-06,2.973695e-06,3.154559e-06,3.182570e-06,3.371450e-06,3.515552e-06,3.541557e-06,3.694071e-06,3.806800e-06,3.830124e-06,3.950796e-06,4.036952e-06,4.057115e-06,4.150062e-06,4.213872e-06,4.230558e-06,4.299472e-06,4.344606e-06,4.357624e-06,4.405793e-06,4.435445e-06,4.444713e-06,4.475069e-06,4.491986e-06,4.497505e-06,4.512625e-06,4.519161e-06,4.520996e-06,4.523150e-06,4.521318e-06,4.519584e-06,4.510766e-06,4.502282e-06,4.497131e-06,4.479089e-06,4.465405e-06,4.457020e-06,4.431282e-06,4.413629e-06,4.402208e-06,4.370110e-06,4.349521e-06,4.335279e-06,4.297984e-06,4.275326e-06,4.258480e-06,4.217002e-06,4.192994e-06,4.173769e-06,4.128985e-06,4.104225e-06,4.082841e-06,4.035512e-06,4.010488e-06,3.987164e-06,3.937947e-06,3.913058e-06,3.888003e-06,3.837464e-06,3.813029e-06,3.786450e-06,3.735072e-06,3.711346e-06,3.683436e-06,3.631636e-06,3.608814e-06,3.579759e-06,3.527888e-06,3.506122e-06,3.476097e-06,3.424455e-06,3.403853e-06,3.373023e-06,3.321859e-06,3.302499e-06,3.271017e-06,3.220542e-06,3.202470e-06,3.170480e-06,3.120868e-06,3.104109e-06,3.071742e-06,3.023135e-06,3.007695e-06,2.975075e-06,2.927588e-06,2.913457e-06,2.880696e-06,2.834419e-06,2.821574e-06,2.788775e-06,2.743779e-06,2.732188e-06,2.699444e-06,2.655782e-06,2.645404e-06,2.612801e-06,2.570510e-06,2.561299e-06,2.528915e-06,2.488019e-06,2.479924e-06,2.447827e-06,2.408339e-06,2.401307e-06,2.369558e-06,2.331483e-06,2.325457e-06,2.294113e-06,2.257445e-06,2.252368e-06,2.221477e-06,2.186205e-06,2.182019e-06,2.151626e-06,2.117733e-06,2.114381e-06,2.084522e-06,2.051986e-06,2.049412e-06,2.020119e-06,1.988914e-06,1.987063e-06,1.958365e-06,1.928463e-06,1.927280e-06,1.899200e-06,1.870569e-06,1.870003e-06,1.842561e-06,1.815167e-06,1.762706e-06,1.712551e-06,1.664631e-06,1.618874e-06,1.575209e-06,1.533562e-06,1.493862e-06,1.456039e-06,1.420022e-06,1.385743e-06,1.353133e-06,1.322127e-06,1.292660e-06,1.264670e-06,1.238096e-06,1.212878e-06,1.188959e-06,1.166284e-06,1.144799e-06,1.124452e-06,1.105193e-06,1.086975e-06,1.069749e-06,1.053473e-06,1.038102e-06,1.023596e-06,1.009915e-06,9.970213e-07,9.848775e-07,9.734489e-07,9.627019e-07,9.526043e-07,9.431251e-07,9.342348e-07,9.259051e-07,9.181087e-07,9.108197e-07,9.040133e-07,8.976656e-07,8.917538e-07,8.862564e-07,8.811523e-07,8.764218e-07,8.720458e-07,8.680061e-07,8.642855e-07,8.608672e-07,8.577355e-07,8.548753e-07
0.000000e+00,2.796893e-09,1.796165e-07,1.913809e-07,2.715591e-06,1.842403e-05,1.976158e-05,9.289602e-05,2.943240e-04,3.141783e-04,8.244278e-04,1.687240e-03,1.784216e-03,3.340839e-03,5.346161e-03,5.607041e-03,8.652227e-03,1.199786e-02,1.250226e-02,1.714419e-02,2.173623e-02,2.253334e-02,2.860107e-02,3.416038e-02,3.526219e-02,4.242158e-02,4.859432e-02,4.997974e-02,5.783717e-02,6.427384e-02,6.589779e-02,7.407128e-02,8.047136e-02,8.227477e-02,9.043375e-02,9.656408e-02,9.848256e-02,1.063644e-01,1.120607e-01,1.140310e-01,1.214423e-01,1.266020e-01,1.285660e-01,1.353764e-01,1.399467e-01,1.418542e-01,1.479855e-01,1.519522e-01,1.537614e-01,1.591769e-01,1.625530e-01,1.642308e-01,1.689247e-01,1.717418e-01,1.732629e-01,1.772516e-01,1.795525e-01,1.808988e-01,1.842138e-01,1.860476e-01,1.872069e-01,1.898891e-01,1.913070e-01,1.922722e-01,1.943680e-01,1.954207e-01,1.961888e-01,1.977470e-01,1.984836e-01,1.990549e-01,2.001246e-01,2.005906e-01,2.009681e-01,2.015972e-01,2.018350e-01,2.020235e-01,2.022580e-01,2.023058e-01,2.023119e-01,2.021954e-01,2.020875e-01,2.019190e-01,2.014922e-01,2.012593e-01,2.009246e-01,2.002253e-01,1.998944e-01,1.994029e-01,1.984659e-01,1.980607e-01,1.974220e-01,1.962792e-01,1.958204e-01,1.950445e-01,1.937250e-01,1.932305e-01,1.923273e-01,1.908579e-01,1.903430e-01,1.893226e-01,1.877273e-01,1.872051e-01,1.860775e-01,1.843784e-01,1.838597e-01,1.826348e-01,1.808516e-01,1.803457e-01,1.790331e-01,1.771836e-01,1.766981e-01,1.753070e-01,1.734073e-01,1.729484e-01,1.714880e-01,1.695525e-01,1.691248e-01,1.676039e-01,1.656454e-01,1.652528e-01,1.636798e-01,1.617098e-01,1.613550e-01,1.597380e-01,1.577667e-01,1.574514e-01,1.557981e-01,1.538345e-01,1.535601e-01,1.518778e-01,1.499298e-01,1.496967e-01,1.479923e-01,1.460669e-01,1.458751e-01,1.441552e-01,1.422585e-01,1.421075e-01,1.403782e-01,1.385155e-01,1.384043e-01,1.366715e-01,1.348473e-01,1.347747e-01,1.330438e-01,1.312619e-01,1.312265e-01,1.295024e-01,1.277662e-01,1.243993e-01,1.211305e-01,1.179632e-01,1.149004e-01,1.119442e-01,1.090960e-01,1.063567e-01,1.037267e-01,1.012057e-01,9.879332e-02,9.648853e-02,9.429008e-02,9.219640e-02,9.020565e-02,8.831577e-02,8.652449e-02,8.482937e-02,8.322784e-02,8.171717e-02,8.029456e-02,7.895710e-02,7.770183e-02,7.652575e-02,7.542578e-02,7.439888e-02,7.344194e-02,7.255190e-02,7.172567e-02,7.096024e-02,7.025260e-02,6.959980e-02,6.899894e-02,6.844717e-02,6.794171e-02,6.747984e-02,6.705891e-02,6.667636e-02,6.632969e-02,6.601652e-02,6.573451e-02,6.548146e-02,6.525522e-02,6.505374e-02,6.487508e-02,6.471738e-02,6.457885e-02,6.445781e-02,6.435269e-02,6.426196e-02
0.000000e+00,7.740226e-09,1.666324e-07,1.751340e-07,1.311420e-06,4.487559e-06,4.665399e-06,9.672152e-06,1.459181e-05,1.490046e-05,1.989288e-05,2.420906e-05,2.457156e-05,2.893242e-05,3.259448e-05,3.298647e-05,3.674757e-05,3.982601e-05,4.022957e-05,4.344593e-05,4.600950e-05,4.640969e-05,4.913332e-05,5.124438e-05,5.162882e-05,5.390795e-05,5.562346e-05,5.598222e-05,5.786280e-05,5.923509e-05,5.956052e-05,6.108583e-05,6.216238e-05,6.244881e-05,6.365909e-05,6.448247e-05,6.472590e-05,6.565807e-05,6.626613e-05,6.646397e-05,6.715159e-05,6.757771e-05,6.772851e-05,6.820192e-05,6.847538e-05,6.857862e-05,6.886507e-05,6.901143e-05,6.906737e-05,6.919128e-05,6.923279e-05,6.924226e-05,6.922546e-05,6.918140e-05,6.914575e-05,6.900770e-05,6.889472e-05,6.881565e-05,6.857368e-05,6.840615e-05,6.828564e-05,6.795515e-05,6.774537e-05,6.758563e-05,6.718029e-05,6.693880e-05,6.674217e-05,6.627409e-05,6.600983e-05,6.577875e-05,6.525866e-05,6.497922e-05,6.471618e-05,6.415353e-05,6.386530e-05,6.357280e-05,6.297594e-05,6.268426e-05,6.236478e-05,6.174105e-05,6.145035e-05,6.110635e-05,6.046218e-05,6.017612e-05,5.980997e-05,5.915102e-05,5.887256e-05,5.848657e-05,5.781777e-05,5.754928e-05,5.714569e-05,5.647132e-05,5.621466e-05,5.579561e-05,5.511941e-05,5.487601e-05,5.444352e-05,5.376870e-05,5.353963e-05,5.309564e-05,5.242497e-05,5.221096e-05,5.175729e-05,5.109315e-05,5.089468e-05,5.043305e-05,4.977745e-05,4.959475e-05,4.912679e-05,4.848144e-05,4.831456e-05,4.784177e-05,4.720809e-05,4.705694e-05,4.658071e-05,4.595990e-05,4.582422e-05,4.534588e-05,4.473889e-05,4.461835e-05,4.413911e-05,4.354671e-05,4.344087e-05,4.296184e-05,4.238464e-05,4.229301e-05,4.181523e-05,4.125369e-05,4.117571e-05,4.070011e-05,4.015456e-05,4.008964e-05,3.961710e-05,3.908776e-05,3.903527e-05,3.856657e-05,3.805355e-05,3.801286e-05,3.754871e-05,3.705205e-05,3.702251e-05,3.656356e-05,3.608322e-05,3.606418e-05,3.561100e-05,3.514688e-05,3.513768e-05,3.469080e-05,3.424274e-05,3.337897e-05,3.254594e-05,3.174311e-05,3.096992e-05,3.022574e-05,2.950992e-05,2.882178e-05,2.816060e-05,2.752566e-05,2.691624e-05,2.633159e-05,2.577096e-05,2.523360e-05,2.471878e-05,2.422576e-05,2.375381e-05,2.330221e-05,2.287026e-05,2.245726e-05,2.206253e-05,2.168540e-05,2.132523e-05,2.098137e-05,2.065320e-05,2.034013e-05,2.004157e-05,1.975694e-05,1.948569e-05,1.922729e-05,1.898121e-05,1.874696e-05,1.852403e-05,1.831197e-05,1.811030e-05,1.791861e-05,1.773645e-05,1.756341e-05,1.739911e-05,1.724315e-05,1.709516e-05,1.695480e-05,1.682172e-05,1.669559e-05,1.657610e-05,1.646292e-05,1.635579e-05,1.625440e-05,1.615849e-05,1.606779e-05
0.000000e+00,6.812076e-10,5.101750e-08,5.459478e-08,9.402521e-07,6.925193e-06,7.434472e-06,3.369617e-05,9.575425e-05,1.013630e-04,2.289884e-04,4.067527e-04,4.249520e-04,6.871167e-04,9.717542e-04,1.005790e-03,1.367238e-03,1.708845e-03,1.756551e-03,2.159572e-03,2.507676e-03,2.563976e-03,2.959731e-03,3.279786e-03,3.339141e-03,3.696661e-03,3.970853e-03,4.028598e-03,4.332776e-03,4.555439e-03,4.608212e-03,4.854830e-03,5.027545e-03,5.073215e-03,5.264416e-03,5.392375e-03,5.429790e-03,5.570880e-03,5.660616e-03,5.689328e-03,5.786806e-03,5.844937e-03,5.864970e-03,5.925430e-03,5.958047e-03,5.969727e-03,5.999317e-03,6.011741e-03,6.015571e-03,6.019767e-03,6.016510e-03,6.013091e-03,5.996642e-03,5.981457e-03,5.971432e-03,5.938394e-03,5.914358e-03,5.898383e-03,5.852183e-03,5.821794e-03,5.800512e-03,5.744027e-03,5.709299e-03,5.683328e-03,5.618961e-03,5.581502e-03,5.551427e-03,5.481180e-03,5.442266e-03,5.408634e-03,5.334166e-03,5.294798e-03,5.258119e-03,5.180802e-03,5.141757e-03,5.102498e-03,5.023463e-03,4.985335e-03,4.943927e-03,4.864099e-03,4.827333e-03,4.784168e-03,4.704303e-03,4.669224e-03,4.624658e-03,4.545368e-03,4.512203e-03,4.466557e-03,4.388335e-03,4.357233e-03,4.310798e-03,4.234033e-03,4.205081e-03,4.158117e-03,4.083117e-03,4.056353e-03,4.009092e-03,3.936093e-03,3.911515e-03,3.864163e-03,3.793342e-03,3.770919e-03,3.723661e-03,3.655147e-03,3.634824e-03,3.587822e-03,3.521702e-03,3.503407e-03,3.456803e-03,3.393133e-03,3.376781e-03,3.330699e-03,3.269506e-03,3.255004e-03,3.209553e-03,3.150840e-03,3.138090e-03,3.093364e-03,3.037117e-03,3.026015e-03,2.982094e-03,2.928286e-03,2.918728e-03,2.875681e-03,2.824270e-03,2.816154e-03,2.774038e-03,2.724973e-03,2.718197e-03,2.677061e-03,2.630285e-03,2.624748e-03,2.584631e-03,2.540082e-03,2.535687e-03,2.496621e-03,2.454232e-03,2.450886e-03,2.412896e-03,2.372596e-03,2.370210e-03,2.333314e-03,2.295032e-03,2.293521e-03,2.257731e-03,2.221395e-03,2.220678e-03,2.186003e-03,2.151538e-03,2.085962e-03,2.023809e-03,1.964940e-03,1.909220e-03,1.856515e-03,1.806695e-03,1.759635e-03,1.715212e-03,1.673308e-03,1.633807e-03,1.596600e-03,1.561578e-03,1.528640e-03,1.497688e-03,1.468625e-03,1.441360e-03,1.415807e-03,1.391881e-03,1.369503e-03,1.348594e-03,1.329082e-03,1.310895e-03,1.293967e-03,1.278232e-03,1.263630e-03,1.250100e-03,1.237588e-03,1.226038e-03,1.215400e-03,1.205624e-03,1.196663e-03,1.188473e-03,1.181011e-03,1.174235e-03,1.168108e-03,1.162592e-03,1.157652e-03,1.153253e-03,1.149364e-03,1.145954e-03,1.142994e-03,1.140455e-03,1.138312e-03,1.136538e-03,1.135111e-03,1.134006e-03,1.133203e-03,1.132680e-03,1.132418e-03
0.000000e+00,1.730494e-09,3.030899e-08,3.177091e-08,2.215011e-07,7.767471e-07,8.097470e-07,1.819310e-06,2.895131e-06,2.963567e-06,4.073041e-06,5.028572e-06,5.108487e-06,6.064755e-06,6.859579e-06,6.944171e-06,7.750710e-06,8.403525e-06,8.488581e-06,9.161877e-06,9.692250e-06,9.774508e-06,1.033020e-05,1.075559e-05,1.083252e-05,1.128485e-05,1.162074e-05,1.169043e-05,1.205235e-05,1.231243e-05,1.237355e-05,1.265680e-05,1.285309e-05,1.290473e-05,1.311979e-05,1.326269e-05,1.330430e-05,1.346052e-05,1.355915e-05,1.359055e-05,1.369632e-05,1.375848e-05,1.377966e-05,1.384227e-05,1.387463e-05,1.388575e-05,1.391160e-05,1.391982e-05,1.392121e-05,1.391588e-05,1.390477e-05,1.389683e-05,1.386520e-05,1.383884e-05,1.382204e-05,1.376834e-05,1.373017e-05,1.370504e-05,1.363297e-05,1.358587e-05,1.355296e-05,1.346573e-05,1.341211e-05,1.337198e-05,1.327236e-05,1.321424e-05,1.316747e-05,1.305786e-05,1.299690e-05,1.294406e-05,1.282654e-05,1.276411e-05,1.270574e-05,1.258209e-05,1.251932e-05,1.245597e-05,1.232773e-05,1.226552e-05,1.219771e-05,1.206620e-05,1.200528e-05,1.193349e-05,1.179983e-05,1.174079e-05,1.166548e-05,1.153065e-05,1.147393e-05,1.139554e-05,1.126035e-05,1.120628e-05,1.112524e-05,1.099037e-05,1.093922e-05,1.085589e-05,1.072194e-05,1.067387e-05,1.058863e-05,1.045607e-05,1.041119e-05,1.032437e-05,1.019362e-05,1.015199e-05,1.006390e-05,9.935281e-06,9.896922e-06,9.807838e-06,9.681629e-06,9.646520e-06,9.556709e-06,9.433127e-06,9.401220e-06,9.310924e-06,9.190139e-06,9.161365e-06,9.070804e-06,8.952949e-06,8.927222e-06,8.836597e-06,8.721770e-06,8.698989e-06,8.608483e-06,8.496752e-06,8.476807e-06,8.386588e-06,8.277997e-06,8.260769e-06,8.170986e-06,8.065558e-06,8.050925e-06,7.961715e-06,7.859454e-06,7.847289e-06,7.758774e-06,7.659669e-06,7.649845e-06,7.562135e-06,7.466163e-06,7.458553e-06,7.371745e-06,7.278871e-06,7.273348e-06,7.187531e-06,7.097712e-06,7.094150e-06,7.009401e-06,6.922585e-06,6.920864e-06,6.837251e-06,6.753383e-06,6.591588e-06,6.435357e-06,6.284557e-06,6.139053e-06,5.998708e-06,5.863380e-06,5.732929e-06,5.607212e-06,5.486089e-06,5.369419e-06,5.257063e-06,5.148885e-06,5.044749e-06,4.944523e-06,4.848076e-06,4.755282e-06,4.666017e-06,4.580159e-06,4.497591e-06,4.418198e-06,4.341869e-06,4.268494e-06,4.197970e-06,4.130194e-06,4.065066e-06,4.002493e-06,3.942380e-06,3.884638e-06,3.829180e-06,3.775922e-06,3.724784e-06,3.675687e-06,3.628555e-06,3.583315e-06,3.539896e-06,3.498231e-06,3.458253e-06,3.419899e-06,3.383109e-06,3.347821e-06,3.313981e-06,3.281532e-06,3.250423e-06,3.220601e-06,3.192017e-06,3.164625e-06,3.138378e-06,3.113232e-06,3.089144e-06
0.000000e+00,4.202063e-09,1.808872e-07,1.915348e-07,2.073755e-06,1.077524e-05,1.141661e-05,3.810436e-05,8.295572e-05,8.636601e-05,1.490884e-04,2.109646e-04,2.163382e-04,2.819570e-04,3.374697e-04,3.433973e-04,3.999404e-04,4.456279e-04,4.515701e-04,4.984970e-04,5.353009e-04,5.409945e-04,5.793457e-04,6.085596e-04,6.138278e-04,6.447067e-04,6.675164e-04,6.722351e-04,6.966525e-04,7.140983e-04,7.181842e-04,7.370422e-04,7.500237e-04,7.534253e-04,7.675195e-04,7.768080e-04,7.794991e-04,7.895266e-04,7.957799e-04,7.977539e-04,8.043227e-04,8.080999e-04,8.093652e-04,8.130044e-04,8.147788e-04,8.153552e-04,8.165242e-04,8.166952e-04,8.166109e-04,8.157078e-04,8.146116e-04,8.139010e-04,8.112704e-04,8.091890e-04,8.078903e-04,8.038297e-04,8.009988e-04,7.991530e-04,7.939196e-04,7.905356e-04,7.881848e-04,7.819997e-04,7.782250e-04,7.754119e-04,7.684655e-04,7.644341e-04,7.612010e-04,7.536563e-04,7.494780e-04,7.458662e-04,7.378631e-04,7.336273e-04,7.296767e-04,7.213344e-04,7.171128e-04,7.128616e-04,7.042817e-04,7.001316e-04,6.956162e-04,6.868850e-04,6.828517e-04,6.781063e-04,6.692967e-04,6.654147e-04,6.604715e-04,6.516446e-04,6.479401e-04,6.428292e-04,6.340367e-04,6.305287e-04,6.252781e-04,6.165629e-04,6.132644e-04,6.079000e-04,5.992975e-04,5.962168e-04,5.907626e-04,5.823018e-04,5.794431e-04,5.739210e-04,5.656256e-04,5.629898e-04,5.574201e-04,5.493089e-04,5.468945e-04,5.412956e-04,5.333833e-04,5.311864e-04,5.255750e-04,5.178731e-04,5.158883e-04,5.102796e-04,5.027963e-04,5.010169e-04,4.954246e-04,4.881658e-04,4.865841e-04,4.810207e-04,4.739900e-04,4.725977e-04,4.670742e-04,4.602736e-04,4.590617e-04,4.535882e-04,4.470180e-04,4.459774e-04,4.405626e-04,4.342218e-04,4.333432e-04,4.279950e-04,4.218816e-04,4.211556e-04,4.158809e-04,4.099921e-04,4.094093e-04,4.042142e-04,3.985463e-04,3.980976e-04,3.929874e-04,3.875362e-04,3.872125e-04,3.821917e-04,3.769526e-04,3.767452e-04,3.718177e-04,3.667856e-04,3.666860e-04,3.618551e-04,3.570247e-04,3.477507e-04,3.388530e-04,3.303204e-04,3.221418e-04,3.143057e-04,3.068010e-04,2.996164e-04,2.927407e-04,2.861632e-04,2.798731e-04,2.738599e-04,2.681133e-04,2.626233e-04,2.573801e-04,2.523742e-04,2.475965e-04,2.430378e-04,2.386897e-04,2.345437e-04,2.305917e-04,2.268259e-04,2.232387e-04,2.198227e-04,2.165711e-04,2.134769e-04,2.105336e-04,2.077349e-04,2.050748e-04,2.025475e-04,2.001473e-04,1.978688e-04,1.957069e-04,1.936565e-04,1.917129e-04,1.898715e-04,1.881278e-04,1.864776e-04,1.849168e-04,1.834415e-04,1.820480e-04,1.807326e-04,1.794918e-04,1.783224e-04,1.772212e-04,1.761851e-04,1.752111e-04,1.742964e-04,1.734384e-04,1.726345e-04
0.000000e+00,8.320059e-08,6.023550e-06,6.435358e-06,1.027851e-04,7.484180e-04,8.044817e-04,3.938516e-03,1.279089e-02,1.367256e-02,3.668188e-02,7.670197e-02,8.127106e-02,1.562348e-01,2.566081e-01,2.699410e-01,4.297060e-01,6.131131e-01,6.414182e-01,9.093502e-01,1.186769e+00,1.236111e+00,1.622696e+00,1.993335e+00,2.068607e+00,2.572006e+00,3.025627e+00,3.129906e+00,3.738360e+00,4.258376e+00,4.392655e+00,5.087496e+00,5.653961e+00,5.817181e+00,6.575757e+00,7.167864e+00,7.357157e+00,8.155326e+00,8.753266e+00,8.964322e+00,9.778402e+00,1.036460e+01,1.059209e+01,1.140024e+01,1.196006e+01,1.219805e+01,1.298114e+01,1.350318e+01,1.374552e+01,1.448762e+01,1.496366e+01,1.520430e+01,1.589282e+01,1.631762e+01,1.655087e+01,1.717650e+01,1.754740e+01,1.776813e+01,1.832456e+01,1.864112e+01,1.884487e+01,1.932848e+01,1.959201e+01,1.977505e+01,2.018453e+01,2.039768e+01,2.055707e+01,2.089303e+01,2.105942e+01,2.119294e+01,2.145751e+01,2.158140e+01,2.168758e+01,2.188408e+01,2.197007e+01,2.204808e+01,2.218070e+01,2.223356e+01,2.228314e+01,2.235665e+01,2.238110e+01,2.240251e+01,2.242204e+01,2.242263e+01,2.241655e+01,2.238739e+01,2.236841e+01,2.233589e+01,2.226337e+01,2.222877e+01,2.217113e+01,2.206046e+01,2.201384e+01,2.193262e+01,2.178883e+01,2.173339e+01,2.163028e+01,2.145814e+01,2.139671e+01,2.127352e+01,2.107750e+01,2.101254e+01,2.087112e+01,2.065536e+01,2.058895e+01,2.043119e+01,2.019951e+01,2.013341e+01,1.996119e+01,1.971705e+01,1.965271e+01,1.946786e+01,1.921438e+01,1.915299e+01,1.895730e+01,1.869729e+01,1.863975e+01,1.843496e+01,1.817089e+01,1.811792e+01,1.790565e+01,1.763974e+01,1.759184e+01,1.737364e+01,1.710781e+01,1.706533e+01,1.684265e+01,1.657857e+01,1.654170e+01,1.631591e+01,1.605502e+01,1.602384e+01,1.579619e+01,1.553972e+01,1.551421e+01,1.528586e+01,1.503485e+01,1.501489e+01,1.478690e+01,1.454222e+01,1.452765e+01,1.430098e+01,1.406335e+01,1.405392e+01,1.382946e+01,1.359945e+01,1.359489e+01,1.337342e+01,1.315148e+01,1.272442e+01,1.231425e+01,1.192132e+01,1.154585e+01,1.118792e+01,1.084753e+01,1.052454e+01,1.021876e+01,9.929905e+00,9.657647e+00,9.401596e+00,9.161324e+00,8.936363e+00,8.726221e+00,8.530377e+00,8.348297e+00,8.179430e+00,8.023216e+00,7.879092e+00,7.746488e+00,7.624839e+00,7.513578e+00,7.412146e+00,7.319992e+00,7.236572e+00,7.161354e+00,7.093817e+00,7.033454e+00,6.979772e+00,6.932293e+00,6.890555e+00,6.854113e+00,6.822540e+00,6.795425e+00,6.772377e+00,6.753023e+00,6.737007e+00,6.723993e+00,6.713663e+00,6.705718e+00,6.699874e+00,6.695870e+00,6.693459e+00,6.692412e+00,6.692517e+00,6.693578e+00,6.695414e+00,6.697862e+00,6.700771e+00
0.000000e+00,5.132453e-09,1.393509e-07,1.466055e-07,1.248818e-06,5.619092e-06,5.925143e-06,1.800526e-05,3.698810e-05,3.838142e-05,6.280569e-05,8.491654e-05,8.675883e-05,1.084217e-04,1.256878e-04,1.274786e-04,1.440559e-04,1.567685e-04,1.583752e-04,1.706649e-04,1.797742e-04,1.811387e-04,1.899918e-04,1.963057e-04,1.974009e-04,2.035252e-04,2.076894e-04,2.085080e-04,2.124783e-04,2.150037e-04,2.155518e-04,2.178322e-04,2.191206e-04,2.194126e-04,2.203762e-04,2.207421e-04,2.207974e-04,2.207428e-04,2.204312e-04,2.202717e-04,2.194371e-04,2.186379e-04,2.182864e-04,2.168615e-04,2.157213e-04,2.152001e-04,2.133354e-04,2.119667e-04,2.112973e-04,2.091120e-04,2.076006e-04,2.068030e-04,2.043910e-04,2.028020e-04,2.018946e-04,1.993300e-04,1.977121e-04,1.967117e-04,1.940523e-04,1.924418e-04,1.913633e-04,1.886544e-04,1.870777e-04,1.859345e-04,1.832110e-04,1.816870e-04,1.804909e-04,1.777798e-04,1.763214e-04,1.750829e-04,1.724047e-04,1.710207e-04,1.697489e-04,1.671189e-04,1.658144e-04,1.645174e-04,1.619469e-04,1.607247e-04,1.594095e-04,1.569067e-04,1.557675e-04,1.544401e-04,1.520107e-04,1.509538e-04,1.496195e-04,1.472672e-04,1.462910e-04,1.449544e-04,1.426813e-04,1.417833e-04,1.404484e-04,1.382556e-04,1.374328e-04,1.361030e-04,1.339905e-04,1.332398e-04,1.319179e-04,1.298851e-04,1.292030e-04,1.278917e-04,1.259374e-04,1.253202e-04,1.240218e-04,1.221444e-04,1.215886e-04,1.203048e-04,1.185024e-04,1.180044e-04,1.167369e-04,1.150076e-04,1.145638e-04,1.133139e-04,1.116554e-04,1.112625e-04,1.100315e-04,1.084415e-04,1.080962e-04,1.068848e-04,1.053610e-04,1.050601e-04,1.038694e-04,1.024094e-04,1.021499e-04,1.009804e-04,9.958193e-05,9.936095e-05,9.821329e-05,9.687394e-05,9.668874e-05,9.556332e-05,9.428086e-05,9.412884e-05,9.302602e-05,9.179822e-05,9.167691e-05,9.059694e-05,8.942164e-05,8.932872e-05,8.827179e-05,8.714687e-05,8.708016e-05,8.604637e-05,8.496980e-05,8.492722e-05,8.391664e-05,8.288643e-05,8.286606e-05,8.187869e-05,8.089294e-05,7.900427e-05,7.719657e-05,7.546652e-05,7.381091e-05,7.222664e-05,7.071077e-05,6.926044e-05,6.787292e-05,6.654560e-05,6.527595e-05,6.406157e-05,6.290014e-05,6.178945e-05,6.072736e-05,5.971184e-05,5.874094e-05,5.781277e-05,5.692555e-05,5.607755e-05,5.526712e-05,5.449268e-05,5.375271e-05,5.304576e-05,5.237045e-05,5.172542e-05,5.110941e-05,5.052119e-05,4.995957e-05,4.942345e-05,4.891173e-05,4.842339e-05,4.795743e-05,4.751290e-05,4.708890e-05,4.668454e-05,4.629899e-05,4.593146e-05,4.558116e-05,4.524738e-05,4.492939e-05,4.462653e-05,4.433815e-05,4.406363e-05,4.380236e-05,4.355379e-05,4.331736e-05,4.309255e-05,4.287886e-05,4.267580e-05
0.000000e+00,2.195662e-09,1.596029e-07,1.704414e-07,2.417377e-06,1.348998e-05,1.430833e-05,4.828253e-05,1.062199e-04,1.107023e-04,1.952318e-04,2.815253e-04,2.890809e-04,3.807966e-04,4.555411e-04,4.632557e-04,5.333183e-04,5.842701e-04,5.904674e-04,6.355824e-04,6.658668e-04,6.701265e-04,6.956947e-04,7.113432e-04,7.137946e-04,7.257613e-04,7.318034e-04,7.327354e-04,7.356730e-04,7.356538e-04,7.353660e-04,7.324658e-04,7.287503e-04,7.275059e-04,7.209222e-04,7.150533e-04,7.130693e-04,7.042356e-04,6.972065e-04,6.946550e-04,6.845168e-04,6.769594e-04,6.739746e-04,6.631528e-04,6.554658e-04,6.521519e-04,6.410526e-04,6.334825e-04,6.299197e-04,6.188053e-04,6.115003e-04,6.077506e-04,5.967881e-04,5.898328e-04,5.859439e-04,5.752386e-04,5.686783e-04,5.646883e-04,5.543050e-04,5.481589e-04,5.440975e-04,5.340724e-04,5.283433e-04,5.242343e-04,5.145863e-04,5.092670e-04,5.051297e-04,4.958647e-04,4.909412e-04,4.867911e-04,4.779078e-04,4.733634e-04,4.692136e-04,4.607064e-04,4.565222e-04,4.523838e-04,4.442434e-04,4.404000e-04,4.362825e-04,4.284983e-04,4.249761e-04,4.208878e-04,4.134481e-04,4.102278e-04,4.061759e-04,3.990681e-04,3.961310e-04,3.921215e-04,3.853328e-04,3.826609e-04,3.786991e-04,3.722171e-04,3.697931e-04,3.658838e-04,3.596959e-04,3.575034e-04,3.536506e-04,3.477447e-04,3.457679e-04,3.419753e-04,3.363394e-04,3.345636e-04,3.308342e-04,3.254568e-04,3.238681e-04,3.202045e-04,3.150745e-04,3.136597e-04,3.100641e-04,3.051707e-04,3.039173e-04,3.003917e-04,2.957246e-04,2.946208e-04,2.911668e-04,2.867159e-04,2.857508e-04,2.823696e-04,2.781254e-04,2.772887e-04,2.739812e-04,2.699346e-04,2.692164e-04,2.659834e-04,2.621256e-04,2.615168e-04,2.583589e-04,2.546813e-04,2.541734e-04,2.510908e-04,2.475854e-04,2.471704e-04,2.441632e-04,2.408222e-04,2.404925e-04,2.375607e-04,2.343768e-04,2.341254e-04,2.312687e-04,2.282347e-04,2.280549e-04,2.252731e-04,2.223822e-04,2.222680e-04,2.195604e-04,2.168061e-04,2.167517e-04,2.141179e-04,2.114940e-04,2.064831e-04,2.017079e-04,1.971578e-04,1.928224e-04,1.886921e-04,1.847576e-04,1.810099e-04,1.774405e-04,1.740412e-04,1.708044e-04,1.677225e-04,1.647886e-04,1.619957e-04,1.593374e-04,1.568075e-04,1.544002e-04,1.521098e-04,1.499308e-04,1.478582e-04,1.458871e-04,1.440126e-04,1.422305e-04,1.405363e-04,1.389261e-04,1.373958e-04,1.359419e-04,1.345607e-04,1.332488e-04,1.320030e-04,1.308203e-04,1.296976e-04,1.286322e-04,1.276213e-04,1.266625e-04,1.257532e-04,1.248911e-04,1.240740e-04,1.232998e-04,1.225664e-04,1.218719e-04,1.212144e-04,1.205923e-04,1.200037e-04,1.194471e-04,1.189209e-04,1.184237e-04,1.179542e-04,1.175109e-04,1.170925e-04
0.000000e+00,6.250516e-09,1.317171e-07,1.384448e-07,1.074252e-06,3.997954e-06,4.175232e-06,9.675452e-06,1.558769e-05,1.596387e-05,2.206125e-05,2.731411e-05,2.775364e-05,3.301670e-05,3.739732e-05,3.786391e-05,4.231632e-05,4.592541e-05,4.639602e-05,5.012464e-05,5.306639e-05,5.352304e-05,5.661129e-05,5.897982e-05,5.940860e-05,6.193331e-05,6.381245e-05,6.420291e-05,6.623401e-05,6.769780e-05,6.804238e-05,6.964292e-05,7.075615e-05,7.104971e-05,7.227610e-05,7.309525e-05,7.333463e-05,7.423704e-05,7.481080e-05,7.499432e-05,7.561678e-05,7.598696e-05,7.611415e-05,7.649555e-05,7.669815e-05,7.676958e-05,7.694445e-05,7.701077e-05,7.702801e-05,7.702730e-05,7.698391e-05,7.694896e-05,7.679919e-05,7.666854e-05,7.658378e-05,7.630817e-05,7.610930e-05,7.597743e-05,7.559630e-05,7.534528e-05,7.516919e-05,7.470025e-05,7.441063e-05,7.419333e-05,7.365206e-05,7.333520e-05,7.307979e-05,7.247967e-05,7.214506e-05,7.185462e-05,7.120737e-05,7.086287e-05,7.054044e-05,6.985621e-05,6.950830e-05,6.915687e-05,6.844446e-05,6.809843e-05,6.772088e-05,6.698790e-05,6.664802e-05,6.624715e-05,6.550014e-05,6.516984e-05,6.474827e-05,6.399286e-05,6.367481e-05,6.323509e-05,6.247607e-05,6.217235e-05,6.171684e-05,6.095833e-05,6.067047e-05,6.020142e-05,5.944689e-05,5.917599e-05,5.869549e-05,5.794789e-05,5.769468e-05,5.720469e-05,5.646647e-05,5.623137e-05,5.573372e-05,5.500692e-05,5.479011e-05,5.428649e-05,5.357280e-05,5.337422e-05,5.286620e-05,5.216699e-05,5.198644e-05,5.147545e-05,5.079182e-05,5.062895e-05,5.011632e-05,4.944913e-05,4.930348e-05,4.879042e-05,4.814032e-05,4.801135e-05,4.749896e-05,4.686644e-05,4.675353e-05,4.624284e-05,4.562821e-05,4.553071e-05,4.502262e-05,4.442609e-05,4.434330e-05,4.383865e-05,4.326030e-05,4.319151e-05,4.269104e-05,4.213085e-05,4.207533e-05,4.157972e-05,4.103761e-05,4.099463e-05,4.050448e-05,3.998027e-05,3.994910e-05,3.946495e-05,3.895844e-05,3.893836e-05,3.846068e-05,3.797159e-05,3.796190e-05,3.749111e-05,3.701914e-05,3.610945e-05,3.523212e-05,3.438643e-05,3.357161e-05,3.278687e-05,3.203140e-05,3.130438e-05,3.060500e-05,2.993242e-05,2.928583e-05,2.866440e-05,2.806734e-05,2.749385e-05,2.694315e-05,2.641446e-05,2.590704e-05,2.542015e-05,2.495307e-05,2.450510e-05,2.407555e-05,2.366378e-05,2.326912e-05,2.289096e-05,2.252868e-05,2.218170e-05,2.184945e-05,2.153138e-05,2.122695e-05,2.093565e-05,2.065697e-05,2.039044e-05,2.013559e-05,1.989197e-05,1.965914e-05,1.943669e-05,1.922422e-05,1.902132e-05,1.882764e-05,1.864280e-05,1.846646e-05,1.829827e-05,1.813793e-05,1.798511e-05,1.783951e-05,1.770085e-05,1.756884e-05,1.744322e-05,1.732372e-05,1.721011e-05
0.000000e+00,1.318406e-08,2.328718e-07,2.438197e-07,1.582668e-06,5.240956e-06,5.456066e-06,1.224659e-05,2.004508e-05,2.055551e-05,2.897345e-05,3.638395e-05,3.700953e-05,4.456485e-05,5.094738e-05,5.163254e-05,5.822620e-05,6.365121e-05,6.436439e-05,7.006697e-05,7.463796e-05,7.535384e-05,8.024482e-05,8.406151e-05,8.475931e-05,8.891617e-05,9.207079e-05,9.273370e-05,9.622955e-05,9.880609e-05,9.942074e-05,1.023235e-04,1.043973e-04,1.049531e-04,1.073245e-04,1.089628e-04,1.094518e-04,1.113488e-04,1.126122e-04,1.130289e-04,1.145044e-04,1.154468e-04,1.157872e-04,1.168886e-04,1.175573e-04,1.178192e-04,1.185894e-04,1.190263e-04,1.192087e-04,1.196865e-04,1.199286e-04,1.200315e-04,1.202521e-04,1.203316e-04,1.203561e-04,1.203511e-04,1.202965e-04,1.202443e-04,1.200425e-04,1.198785e-04,1.197521e-04,1.193792e-04,1.191275e-04,1.189296e-04,1.184089e-04,1.180881e-04,1.178221e-04,1.171743e-04,1.168008e-04,1.164701e-04,1.157140e-04,1.153017e-04,1.149102e-04,1.140625e-04,1.136234e-04,1.131748e-04,1.122506e-04,1.117950e-04,1.112932e-04,1.103059e-04,1.098424e-04,1.092915e-04,1.082529e-04,1.077890e-04,1.071929e-04,1.061138e-04,1.056555e-04,1.050180e-04,1.039078e-04,1.034602e-04,1.027852e-04,1.016523e-04,1.012195e-04,1.005108e-04,9.936256e-05,9.894783e-05,9.820912e-05,9.705204e-05,9.665806e-05,9.589275e-05,9.473259e-05,9.436136e-05,9.357282e-05,9.241460e-05,9.206761e-05,9.125904e-05,9.010715e-05,8.978541e-05,8.895987e-05,8.781810e-05,8.752224e-05,8.668265e-05,8.555428e-05,8.528460e-05,8.443369e-05,8.332153e-05,8.307805e-05,8.221840e-05,8.112485e-05,8.090734e-05,8.004139e-05,7.896847e-05,7.877650e-05,7.790653e-05,7.685593e-05,7.668891e-05,7.581703e-05,7.479014e-05,7.464735e-05,7.377554e-05,7.277348e-05,7.265408e-05,7.178418e-05,7.080783e-05,7.071091e-05,6.984460e-05,6.889465e-05,6.881923e-05,6.795808e-05,6.703499e-05,6.698004e-05,6.612548e-05,6.522960e-05,6.519405e-05,6.434739e-05,6.347889e-05,6.346166e-05,6.262410e-05,6.178303e-05,6.015809e-05,5.858658e-05,5.706807e-05,5.560198e-05,5.418762e-05,5.282418e-05,5.151076e-05,5.024640e-05,4.903003e-05,4.786059e-05,4.673692e-05,4.565788e-05,4.462227e-05,4.362891e-05,4.267658e-05,4.176406e-05,4.089015e-05,4.005363e-05,3.925330e-05,3.848797e-05,3.775647e-05,3.705765e-05,3.639036e-05,3.575350e-05,3.514597e-05,3.456670e-05,3.401465e-05,3.348880e-05,3.298815e-05,3.251175e-05,3.205865e-05,3.162794e-05,3.121874e-05,3.083018e-05,3.046143e-05,3.011168e-05,2.978016e-05,2.946610e-05,2.916879e-05,2.888750e-05,2.862156e-05,2.837032e-05,2.813313e-05,2.790939e-05,2.769850e-05,2.749989e-05,2.731302e-05,2.713736e-05,2.697240e-05
0.000000e+00,2.923508e-10,2.468327e-08,2.647958e-08,5.054842e-07,3.929369e-06,4.224176e-06,1.955504e-05,5.633578e-05,5.969787e-05,1.378629e-04,2.516659e-04,2.636187e-04,4.415960e-04,6.464173e-04,6.716833e-04,9.499183e-04,1.229315e-03,1.269598e-03,1.622347e-03,1.945198e-03,1.999028e-03,2.390454e-03,2.724246e-03,2.787906e-03,3.183479e-03,3.501580e-03,3.570284e-03,3.942545e-03,4.226718e-03,4.295608e-03,4.625896e-03,4.866018e-03,4.930828e-03,5.208714e-03,5.401227e-03,5.458634e-03,5.680324e-03,5.826347e-03,5.874063e-03,6.040562e-03,6.144153e-03,6.180871e-03,6.296289e-03,6.363059e-03,6.388295e-03,6.458483e-03,6.494590e-03,6.508505e-03,6.540035e-03,6.551521e-03,6.554729e-03,6.554204e-03,6.546600e-03,6.540011e-03,6.513629e-03,6.491764e-03,6.476448e-03,6.429764e-03,6.397696e-03,6.374779e-03,6.312599e-03,6.273642e-03,6.244238e-03,6.170613e-03,6.127399e-03,6.092560e-03,6.010826e-03,5.965398e-03,5.926083e-03,5.838933e-03,5.792843e-03,5.749910e-03,5.659488e-03,5.613885e-03,5.568085e-03,5.476069e-03,5.431779e-03,5.383761e-03,5.291444e-03,5.249043e-03,5.199361e-03,5.107725e-03,5.067594e-03,5.016718e-03,4.926498e-03,4.888873e-03,4.837199e-03,4.748935e-03,4.713941e-03,4.661802e-03,4.575880e-03,4.543563e-03,4.491238e-03,4.407930e-03,4.378275e-03,4.326001e-03,4.245486e-03,4.218439e-03,4.166413e-03,4.088803e-03,4.064279e-03,4.012670e-03,3.938023e-03,3.915920e-03,3.864868e-03,3.793206e-03,3.773408e-03,3.723034e-03,3.654348e-03,3.636731e-03,3.587138e-03,3.521396e-03,3.505835e-03,3.457110e-03,3.394265e-03,3.380632e-03,3.332848e-03,3.272843e-03,3.261010e-03,3.214232e-03,3.156998e-03,3.146841e-03,3.101123e-03,3.046586e-03,3.037984e-03,2.993370e-03,2.941453e-03,2.934288e-03,2.890816e-03,2.841439e-03,2.835597e-03,2.793299e-03,2.746377e-03,2.741751e-03,2.700652e-03,2.656103e-03,2.652589e-03,2.612708e-03,2.570447e-03,2.567947e-03,2.529299e-03,2.489242e-03,2.487662e-03,2.450257e-03,2.412323e-03,2.411575e-03,2.375419e-03,2.339525e-03,2.271355e-03,2.206911e-03,2.146042e-03,2.088602e-03,2.034445e-03,1.983431e-03,1.935425e-03,1.890295e-03,1.847911e-03,1.808151e-03,1.770892e-03,1.736020e-03,1.703422e-03,1.672990e-03,1.644618e-03,1.618207e-03,1.593657e-03,1.570877e-03,1.549776e-03,1.530266e-03,1.512265e-03,1.495691e-03,1.480468e-03,1.466522e-03,1.453780e-03,1.442176e-03,1.431642e-03,1.422116e-03,1.413537e-03,1.405848e-03,1.398993e-03,1.392918e-03,1.387574e-03,1.382911e-03,1.378883e-03,1.375445e-03,1.372556e-03,1.370175e-03,1.368263e-03,1.366784e-03,1.365703e-03,1.364987e-03,1.364605e-03,1.364526e-03,1.364723e-03,1.365170e-03,1.365840e-03,1.366710e-03,1.367758e-03
0.000000e+00,1.137122e-09,5.037490e-08,5.331146e-08,5.602415e-07,2.990547e-06,3.177493e-06,1.187181e-05,3.044787e-05,3.206559e-05,6.700870e-05,1.107122e-04,1.149042e-04,1.704843e-04,2.227127e-04,2.285110e-04,2.854944e-04,3.333110e-04,3.396246e-04,3.901553e-04,4.305752e-04,4.368900e-04,4.798808e-04,5.132104e-04,5.192807e-04,5.552783e-04,5.823954e-04,5.880701e-04,6.178506e-04,6.396329e-04,6.448069e-04,6.691181e-04,6.863542e-04,6.909541e-04,7.104757e-04,7.238583e-04,7.278351e-04,7.431756e-04,7.533076e-04,7.566324e-04,7.683330e-04,7.757378e-04,7.783976e-04,7.869389e-04,7.920685e-04,7.940629e-04,7.998686e-04,8.031111e-04,8.044490e-04,8.078918e-04,8.095811e-04,8.102794e-04,8.116896e-04,8.121130e-04,8.121952e-04,8.118652e-04,8.112699e-04,8.107653e-04,8.089576e-04,8.075574e-04,8.064998e-04,8.034455e-04,8.014205e-04,7.998445e-04,7.957431e-04,7.932441e-04,7.911847e-04,7.862100e-04,7.833639e-04,7.808567e-04,7.751602e-04,7.720735e-04,7.691536e-04,7.628678e-04,7.596293e-04,7.563317e-04,7.495723e-04,7.462559e-04,7.426147e-04,7.354824e-04,7.321489e-04,7.281971e-04,7.207790e-04,7.174779e-04,7.132471e-04,7.056191e-04,7.023906e-04,6.979112e-04,6.901388e-04,6.870149e-04,6.823159e-04,6.744557e-04,6.714615e-04,6.665702e-04,6.586706e-04,6.558254e-04,6.507674e-04,6.428699e-04,6.401877e-04,6.349871e-04,6.271271e-04,6.246180e-04,6.192974e-04,6.115048e-04,6.091753e-04,6.037557e-04,5.960559e-04,5.939095e-04,5.884106e-04,5.808246e-04,5.788624e-04,5.733022e-04,5.658474e-04,5.640687e-04,5.584638e-04,5.511546e-04,5.495569e-04,5.439227e-04,5.367706e-04,5.353500e-04,5.297007e-04,5.227149e-04,5.214665e-04,5.158149e-04,5.090024e-04,5.079206e-04,5.022787e-04,4.956447e-04,4.947232e-04,4.891015e-04,4.826497e-04,4.818817e-04,4.762900e-04,4.700228e-04,4.694012e-04,4.638483e-04,4.577668e-04,4.572843e-04,4.517782e-04,4.458825e-04,4.455317e-04,4.400795e-04,4.343689e-04,4.341424e-04,4.287504e-04,4.232236e-04,4.231140e-04,4.177879e-04,4.124427e-04,4.021240e-04,3.921522e-04,3.825212e-04,3.732241e-04,3.642537e-04,3.556022e-04,3.472619e-04,3.392246e-04,3.314821e-04,3.240260e-04,3.168479e-04,3.099397e-04,3.032928e-04,2.968991e-04,2.907504e-04,2.848388e-04,2.791564e-04,2.736954e-04,2.684482e-04,2.634075e-04,2.585660e-04,2.539168e-04,2.494529e-04,2.451677e-04,2.410547e-04,2.371077e-04,2.333205e-04,2.296873e-04,2.262024e-04,2.228602e-04,2.196554e-04,2.165828e-04,2.136374e-04,2.108143e-04,2.081091e-04,2.055170e-04,2.030339e-04,2.006555e-04,1.983778e-04,1.961968e-04,1.941089e-04,1.921104e-04,1.901979e-04,1.883679e-04,1.866174e-04,1.849431e-04,1.833420e-04,1.818113e-04,1.803483e-04
0.000000e+00,1.492949e-09,1.680695e-08,1.748931e-08,9.599767e-08,3.200689e-07,3.339584e-07,8.129064e-07,1.448183e-06,1.492176e-06,2.242284e-06,2.922073e-06,2.979772e-06,3.677576e-06,4.266425e-06,4.329528e-06,4.935299e-06,5.431194e-06,5.496188e-06,6.013971e-06,6.426253e-06,6.490571e-06,6.927950e-06,7.266475e-06,7.328069e-06,7.692850e-06,7.966923e-06,8.024175e-06,8.323870e-06,8.542041e-06,8.593701e-06,8.835368e-06,9.005372e-06,9.050507e-06,9.240674e-06,9.369419e-06,9.407362e-06,9.552023e-06,9.645695e-06,9.676020e-06,9.780656e-06,9.844697e-06,9.867158e-06,9.936698e-06,9.975883e-06,9.990390e-06,1.002929e-05,1.004781e-05,1.005440e-05,1.006668e-05,1.006819e-05,1.006702e-05,1.005628e-05,1.004396e-05,1.003525e-05,1.000472e-05,9.981329e-06,9.965394e-06,9.917961e-06,9.885880e-06,9.863067e-06,9.801319e-06,9.762593e-06,9.733293e-06,9.659530e-06,9.615910e-06,9.580543e-06,9.496812e-06,9.449787e-06,9.408793e-06,9.316911e-06,9.267741e-06,9.221569e-06,9.123145e-06,9.072889e-06,9.021994e-06,8.918449e-06,8.867989e-06,8.812821e-06,8.705406e-06,8.655471e-06,8.596477e-06,8.486290e-06,8.437473e-06,8.375088e-06,8.263093e-06,8.215870e-06,8.150516e-06,8.037552e-06,7.992299e-06,7.924383e-06,7.811178e-06,7.768184e-06,7.698095e-06,7.585280e-06,7.544758e-06,7.472867e-06,7.360982e-06,7.323082e-06,7.249740e-06,7.139247e-06,7.104063e-06,7.029601e-06,6.920892e-06,6.888474e-06,6.813202e-06,6.706606e-06,6.676964e-06,6.601172e-06,6.496961e-06,6.470074e-06,6.394030e-06,6.292429e-06,6.268248e-06,6.192202e-06,6.093389e-06,6.071844e-06,5.996026e-06,5.900143e-06,5.881147e-06,5.805767e-06,5.712920e-06,5.696372e-06,5.621622e-06,5.531889e-06,5.517678e-06,5.443733e-06,5.357163e-06,5.345170e-06,5.272187e-06,5.188809e-06,5.178911e-06,5.107030e-06,5.026852e-06,5.018922e-06,4.948270e-06,4.871281e-06,4.865191e-06,4.795879e-06,4.722056e-06,4.717677e-06,4.649803e-06,4.579109e-06,4.576314e-06,4.509963e-06,4.442351e-06,4.441014e-06,4.376259e-06,4.311671e-06,4.188165e-06,4.070362e-06,3.958119e-06,3.851284e-06,3.749699e-06,3.653203e-06,3.561628e-06,3.474809e-06,3.392575e-06,3.314760e-06,3.241195e-06,3.171713e-06,3.106152e-06,3.044349e-06,2.986146e-06,2.931388e-06,2.879924e-06,2.831606e-06,2.786291e-06,2.743839e-06,2.704115e-06,2.666990e-06,2.632337e-06,2.600034e-06,2.569963e-06,2.542013e-06,2.516074e-06,2.492041e-06,2.469815e-06,2.449300e-06,2.430403e-06,2.413036e-06,2.397115e-06,2.382559e-06,2.369291e-06,2.357237e-06,2.346326e-06,2.336493e-06,2.327673e-06,2.319805e-06,2.312831e-06,2.306696e-06,2.301348e-06,2.296737e-06,2.292816e-06,2.289538e-06,2.286863e-06,2.284749e-06,2.283159e-06
0.000000e+00,1.069960e-08,1.201282e-07,1.249176e-07,6.753144e-07,2.312627e-06,2.417265e-06,6.218484e-06,1.177633e-05,1.218016e-05,1.934075e-05,2.612209e-05,2.670553e-05,3.383016e-05,3.992389e-05,4.058091e-05,4.692732e-05,5.217796e-05,5.287008e-05,5.841957e-05,6.288791e-05,6.358937e-05,6.839423e-05,7.215941e-05,7.284936e-05,7.697006e-05,8.011014e-05,8.077152e-05,8.426876e-05,8.685731e-05,8.747634e-05,9.040850e-05,9.251326e-05,9.307901e-05,9.550126e-05,9.718404e-05,9.768807e-05,9.965183e-05,1.009684e-04,1.014044e-04,1.029573e-04,1.039578e-04,1.043214e-04,1.055071e-04,1.062364e-04,1.065245e-04,1.073832e-04,1.078811e-04,1.080923e-04,1.086607e-04,1.089628e-04,1.090966e-04,1.094080e-04,1.095456e-04,1.096026e-04,1.096876e-04,1.096884e-04,1.096700e-04,1.095562e-04,1.094445e-04,1.093527e-04,1.090653e-04,1.088625e-04,1.086998e-04,1.082616e-04,1.079864e-04,1.077559e-04,1.071874e-04,1.068561e-04,1.065610e-04,1.058810e-04,1.055076e-04,1.051516e-04,1.043768e-04,1.039736e-04,1.035604e-04,1.027059e-04,1.022833e-04,1.018169e-04,1.008964e-04,1.004633e-04,9.994753e-05,9.897321e-05,9.853715e-05,9.797615e-05,9.695893e-05,9.652628e-05,9.592400e-05,9.487366e-05,9.444970e-05,9.381009e-05,9.273533e-05,9.232440e-05,9.165133e-05,9.055990e-05,9.016550e-05,8.946277e-05,8.836153e-05,8.798645e-05,8.725771e-05,8.615273e-05,8.579911e-05,8.504793e-05,8.394454e-05,8.361398e-05,8.284375e-05,8.174664e-05,8.144025e-05,8.065423e-05,7.956748e-05,7.928596e-05,7.848726e-05,7.741441e-05,7.715811e-05,7.634968e-05,7.529379e-05,7.506274e-05,7.424737e-05,7.321104e-05,7.300504e-05,7.218535e-05,7.117081e-05,7.098941e-05,7.016788e-05,6.917699e-05,6.901959e-05,6.819851e-05,6.723280e-05,6.709864e-05,6.628018e-05,6.534091e-05,6.522910e-05,6.441524e-05,6.350340e-05,6.341299e-05,6.260557e-05,6.172192e-05,6.165185e-05,6.085259e-05,5.999768e-05,5.994685e-05,5.915730e-05,5.833152e-05,5.829879e-05,5.752038e-05,5.672393e-05,5.670815e-05,5.594217e-05,5.517512e-05,5.369965e-05,5.228146e-05,5.092009e-05,4.961490e-05,4.836511e-05,4.716981e-05,4.602799e-05,4.493855e-05,4.390030e-05,4.291201e-05,4.197238e-05,4.108008e-05,4.023374e-05,3.943198e-05,3.867339e-05,3.795658e-05,3.728013e-05,3.664263e-05,3.604269e-05,3.547892e-05,3.494994e-05,3.445442e-05,3.399100e-05,3.355840e-05,3.315533e-05,3.278053e-05,3.243277e-05,3.211085e-05,3.181362e-05,3.153993e-05,3.128868e-05,3.105878e-05,3.084921e-05,3.065895e-05,3.048702e-05,3.033247e-05,3.019439e-05,3.007190e-05,2.996413e-05,2.987028e-05,2.978954e-05,2.972114e-05,2.966436e-05,2.961849e-05,2.958285e-05,2.955679e-05,2.953967e-05,2.953091e-05,2.952993e-05
0.000000e+00,7.214772e-09,2.966467e-07,3.142134e-07,3.237872e-06,1.436167e-05,1.509782e-05,4.110635e-05,7.494865e-05,7.724077e-05,1.154368e-04,1.488237e-04,1.516103e-04,1.847723e-04,2.120060e-04,2.148842e-04,2.421105e-04,2.638397e-04,2.666489e-04,2.886948e-04,3.058025e-04,3.084338e-04,3.260392e-04,3.392962e-04,3.416711e-04,3.554813e-04,3.655469e-04,3.676127e-04,3.781983e-04,3.856373e-04,3.873619e-04,3.952183e-04,4.005077e-04,4.018741e-04,4.074282e-04,4.109691e-04,4.119721e-04,4.155905e-04,4.177186e-04,4.183618e-04,4.203586e-04,4.213544e-04,4.216478e-04,4.222915e-04,4.223889e-04,4.223470e-04,4.218673e-04,4.212605e-04,4.209013e-04,4.194942e-04,4.183443e-04,4.176877e-04,4.155203e-04,4.139602e-04,4.130274e-04,4.102420e-04,4.083814e-04,4.071941e-04,4.039116e-04,4.018402e-04,4.004201e-04,3.967434e-04,3.945346e-04,3.929030e-04,3.889191e-04,3.866323e-04,3.848100e-04,3.805927e-04,3.782759e-04,3.762826e-04,3.718941e-04,3.695855e-04,3.674403e-04,3.629330e-04,3.606629e-04,3.583834e-04,3.538015e-04,3.515934e-04,3.491964e-04,3.445767e-04,3.424488e-04,3.399499e-04,3.353231e-04,3.332890e-04,3.307026e-04,3.260943e-04,3.241637e-04,3.215033e-04,3.169345e-04,3.151142e-04,3.123922e-04,3.078801e-04,3.061742e-04,3.034019e-04,2.989606e-04,2.973714e-04,2.945592e-04,2.902000e-04,2.887279e-04,2.858853e-04,2.816171e-04,2.802614e-04,2.773972e-04,2.732269e-04,2.719858e-04,2.691077e-04,2.650407e-04,2.639115e-04,2.610269e-04,2.570670e-04,2.560463e-04,2.531617e-04,2.493116e-04,2.483958e-04,2.455170e-04,2.417783e-04,2.409633e-04,2.380957e-04,2.344693e-04,2.337508e-04,2.308991e-04,2.273851e-04,2.267585e-04,2.239271e-04,2.205251e-04,2.199859e-04,2.171786e-04,2.138876e-04,2.134313e-04,2.106516e-04,2.074702e-04,2.070921e-04,2.043432e-04,2.012699e-04,2.009655e-04,1.982500e-04,1.952829e-04,1.950478e-04,1.923681e-04,1.895050e-04,1.893349e-04,1.866932e-04,1.839319e-04,1.838225e-04,1.812207e-04,1.785589e-04,1.785062e-04,1.759459e-04,1.733810e-04,1.684422e-04,1.636847e-04,1.591035e-04,1.546937e-04,1.504501e-04,1.463678e-04,1.424419e-04,1.386674e-04,1.350397e-04,1.315540e-04,1.282056e-04,1.249902e-04,1.219032e-04,1.189405e-04,1.160978e-04,1.133711e-04,1.107565e-04,1.082500e-04,1.058480e-04,1.035469e-04,1.013431e-04,9.923332e-05,9.721420e-05,9.528257e-05,9.343535e-05,9.166955e-05,8.998228e-05,8.837074e-05,8.683224e-05,8.536416e-05,8.396396e-05,8.262919e-05,8.135750e-05,8.014659e-05,7.899426e-05,7.789835e-05,7.685682e-05,7.586765e-05,7.492891e-05,7.403875e-05,7.319534e-05,7.239696e-05,7.164190e-05,7.092854e-05,7.025530e-05,6.962065e-05,6.902313e-05,6.846131e-05,6.793380e-05
0.000000e+00,5.779024e-10,5.003495e-08,5.368497e-08,1.012292e-06,7.702416e-06,8.275657e-06,3.821709e-05,1.112300e-04,1.179633e-04,2.762096e-04,5.102547e-04,5.350086e-04,9.063665e-04,1.338610e-03,1.392219e-03,1.986092e-03,2.588132e-03,2.675359e-03,3.443493e-03,4.153094e-03,4.272014e-03,5.142040e-03,5.891615e-03,6.035416e-03,6.935477e-03,7.668123e-03,7.827504e-03,8.698948e-03,9.374261e-03,9.539467e-03,1.034085e-02,1.093470e-02,1.109688e-02,1.180308e-02,1.230463e-02,1.245655e-02,1.305570e-02,1.346377e-02,1.360003e-02,1.408995e-02,1.440961e-02,1.452658e-02,1.491161e-02,1.515152e-02,1.524710e-02,1.553546e-02,1.570593e-02,1.577926e-02,1.598118e-02,1.609285e-02,1.614398e-02,1.627039e-02,1.633344e-02,1.636310e-02,1.642476e-02,1.644849e-02,1.645787e-02,1.646487e-02,1.645749e-02,1.644804e-02,1.640956e-02,1.637812e-02,1.635145e-02,1.627562e-02,1.622609e-02,1.618385e-02,1.607779e-02,1.601512e-02,1.595897e-02,1.582881e-02,1.575707e-02,1.568860e-02,1.553955e-02,1.546205e-02,1.538276e-02,1.521925e-02,1.513866e-02,1.504995e-02,1.487571e-02,1.479412e-02,1.469731e-02,1.451545e-02,1.443451e-02,1.433078e-02,1.414390e-02,1.406487e-02,1.395533e-02,1.376556e-02,1.368942e-02,1.357505e-02,1.338417e-02,1.331162e-02,1.319330e-02,1.300277e-02,1.293432e-02,1.281287e-02,1.262385e-02,1.255984e-02,1.243597e-02,1.224944e-02,1.219006e-02,1.206444e-02,1.188115e-02,1.182652e-02,1.169971e-02,1.152027e-02,1.147040e-02,1.134293e-02,1.116781e-02,1.112265e-02,1.099498e-02,1.082454e-02,1.078399e-02,1.065653e-02,1.049104e-02,1.045497e-02,1.032809e-02,1.016772e-02,1.013596e-02,1.000998e-02,9.854877e-03,9.827240e-03,9.702435e-03,9.552667e-03,9.528952e-03,9.405577e-03,9.261168e-03,9.241164e-03,9.119437e-03,8.980379e-03,8.963871e-03,8.843982e-03,8.710235e-03,8.697006e-03,8.579121e-03,8.450622e-03,8.440454e-03,8.324716e-03,8.201382e-03,8.194063e-03,8.080593e-03,7.962325e-03,7.957646e-03,7.846548e-03,7.733234e-03,7.730992e-03,7.622352e-03,7.513871e-03,7.306038e-03,7.107235e-03,6.917198e-03,6.735657e-03,6.562340e-03,6.396973e-03,6.239283e-03,6.088998e-03,5.945852e-03,5.809579e-03,5.679920e-03,5.556620e-03,5.439429e-03,5.328106e-03,5.222412e-03,5.122117e-03,5.026996e-03,4.936832e-03,4.851413e-03,4.770534e-03,4.693996e-03,4.621609e-03,4.553186e-03,4.488548e-03,4.427521e-03,4.369939e-03,4.315640e-03,4.264469e-03,4.216277e-03,4.170918e-03,4.128254e-03,4.088151e-03,4.050482e-03,4.015122e-03,3.981952e-03,3.950859e-03,3.921734e-03,3.894471e-03,3.868969e-03,3.845134e-03,3.822871e-03,3.802093e-03,3.782714e-03,3.764655e-03,3.747838e-03,3.732189e-03,3.717637e-03,3.704115e-03,3.691559e-03
0.000000e+00,9.039511e-09,2.322000e-07,2.441095e-07,2.042607e-06,9.155973e-06,9.650751e-06,2.848407e-05,5.509655e-05,5.693130e-05,8.746356e-05,1.135786e-04,1.157198e-04,1.406445e-04,1.602413e-04,1.622612e-04,1.808383e-04,1.949138e-04,1.966803e-04,2.100776e-04,2.198477e-04,2.212964e-04,2.305780e-04,2.370375e-04,2.381402e-04,2.441795e-04,2.481200e-04,2.488728e-04,2.523790e-04,2.544257e-04,2.548409e-04,2.563861e-04,2.570290e-04,2.571289e-04,2.571714e-04,2.567916e-04,2.566045e-04,2.555091e-04,2.544013e-04,2.539578e-04,2.520147e-04,2.504050e-04,2.497362e-04,2.471722e-04,2.452312e-04,2.443666e-04,2.413587e-04,2.392156e-04,2.381831e-04,2.348704e-04,2.326222e-04,2.314478e-04,2.279403e-04,2.256619e-04,2.243712e-04,2.207586e-04,2.185043e-04,2.171189e-04,2.134658e-04,2.112726e-04,2.098114e-04,2.061663e-04,2.040599e-04,2.025394e-04,1.989388e-04,1.969365e-04,1.953712e-04,1.918422e-04,1.899544e-04,1.883568e-04,1.849190e-04,1.831514e-04,1.815324e-04,1.781998e-04,1.765545e-04,1.749235e-04,1.717053e-04,1.701817e-04,1.685468e-04,1.654490e-04,1.640446e-04,1.624126e-04,1.594381e-04,1.581490e-04,1.565258e-04,1.536758e-04,1.524973e-04,1.508879e-04,1.481619e-04,1.470887e-04,1.454973e-04,1.428935e-04,1.419199e-04,1.403499e-04,1.378658e-04,1.369860e-04,1.354404e-04,1.330729e-04,1.322809e-04,1.307622e-04,1.285075e-04,1.277977e-04,1.263078e-04,1.241620e-04,1.235287e-04,1.220692e-04,1.200283e-04,1.194660e-04,1.180382e-04,1.160980e-04,1.156015e-04,1.142064e-04,1.123626e-04,1.119270e-04,1.105654e-04,1.088137e-04,1.084344e-04,1.071067e-04,1.054432e-04,1.051156e-04,1.038222e-04,1.022427e-04,1.019627e-04,1.007037e-04,9.920439e-05,9.896810e-05,9.774365e-05,9.632060e-05,9.612433e-05,9.493432e-05,9.358391e-05,9.342423e-05,9.226849e-05,9.098718e-05,9.086090e-05,8.973915e-05,8.852356e-05,8.842769e-05,8.733961e-05,8.618649e-05,8.611826e-05,8.506343e-05,8.396967e-05,8.392652e-05,8.290448e-05,8.186712e-05,8.184665e-05,8.085689e-05,7.987311e-05,7.800059e-05,7.622405e-05,7.453868e-05,7.293992e-05,7.142340e-05,6.998498e-05,6.862073e-05,6.732690e-05,6.609994e-05,6.493646e-05,6.383325e-05,6.278727e-05,6.179561e-05,6.085551e-05,5.996438e-05,5.911971e-05,5.831917e-05,5.756049e-05,5.684157e-05,5.616038e-05,5.551501e-05,5.490363e-05,5.432452e-05,5.377604e-05,5.325663e-05,5.276481e-05,5.229918e-05,5.185840e-05,5.144121e-05,5.104641e-05,5.067286e-05,5.031947e-05,4.998522e-05,4.966913e-05,4.937026e-05,4.908775e-05,4.882076e-05,4.856849e-05,4.833018e-05,4.810513e-05,4.789266e-05,4.769211e-05,4.750288e-05,4.732439e-05,4.715607e-05,4.699742e-05,4.684793e-05,4.670713e-05,4.657456e-05
0.000000e+00,5.852823e-10,9.309161e-09,9.743122e-09,6.398042e-08,2.171182e-07,2.261569e-07,5.047549e-07,8.078988e-07,8.273714e-07,1.145910e-06,1.424715e-06,1.448234e-06,1.732266e-06,1.972310e-06,1.998088e-06,2.246261e-06,2.450592e-06,2.477464e-06,2.692401e-06,2.864779e-06,2.891783e-06,3.076321e-06,3.220376e-06,3.246718e-06,3.403668e-06,3.522807e-06,3.547846e-06,3.679910e-06,3.777266e-06,3.800495e-06,3.910214e-06,3.988631e-06,4.009656e-06,4.099386e-06,4.161419e-06,4.179944e-06,4.251843e-06,4.299766e-06,4.315580e-06,4.371628e-06,4.407475e-06,4.420436e-06,4.462433e-06,4.487996e-06,4.498024e-06,4.527597e-06,4.544459e-06,4.551521e-06,4.570147e-06,4.579699e-06,4.583806e-06,4.592815e-06,4.596279e-06,4.597473e-06,4.598066e-06,4.596511e-06,4.594863e-06,4.588121e-06,4.582478e-06,4.578082e-06,4.564978e-06,4.556059e-06,4.549026e-06,4.530433e-06,4.518940e-06,4.509395e-06,4.486097e-06,4.472638e-06,4.460715e-06,4.433414e-06,4.418512e-06,4.404352e-06,4.373677e-06,4.357779e-06,4.341529e-06,4.308041e-06,4.291527e-06,4.273336e-06,4.237533e-06,4.220726e-06,4.200744e-06,4.163073e-06,4.146244e-06,4.124618e-06,4.085473e-06,4.068848e-06,4.045726e-06,4.005458e-06,3.989222e-06,3.964747e-06,3.923666e-06,3.907972e-06,3.882282e-06,3.840661e-06,3.825630e-06,3.798861e-06,3.756939e-06,3.742668e-06,3.714949e-06,3.672938e-06,3.659498e-06,3.630953e-06,3.589036e-06,3.576481e-06,3.547229e-06,3.505567e-06,3.493932e-06,3.464085e-06,3.422816e-06,3.412124e-06,3.381789e-06,3.341031e-06,3.331292e-06,3.300569e-06,3.260425e-06,3.251638e-06,3.220621e-06,3.181177e-06,3.173333e-06,3.142110e-06,3.103438e-06,3.096520e-06,3.065175e-06,3.027336e-06,3.021321e-06,2.989931e-06,2.952973e-06,2.947834e-06,2.916470e-06,2.880432e-06,2.876139e-06,2.844867e-06,2.809780e-06,2.806298e-06,2.775178e-06,2.741066e-06,2.738358e-06,2.707447e-06,2.674326e-06,2.672354e-06,2.641703e-06,2.609582e-06,2.608307e-06,2.577963e-06,2.546847e-06,2.546230e-06,2.516235e-06,2.486125e-06,2.427987e-06,2.371803e-06,2.317555e-06,2.265220e-06,2.214770e-06,2.166173e-06,2.119394e-06,2.074396e-06,2.031139e-06,1.989581e-06,1.949680e-06,1.911392e-06,1.874672e-06,1.839475e-06,1.805755e-06,1.773468e-06,1.742568e-06,1.713010e-06,1.684749e-06,1.657741e-06,1.631944e-06,1.607313e-06,1.583808e-06,1.561386e-06,1.540008e-06,1.519634e-06,1.500227e-06,1.481748e-06,1.464161e-06,1.447432e-06,1.431525e-06,1.416407e-06,1.402046e-06,1.388411e-06,1.375471e-06,1.363196e-06,1.351560e-06,1.340533e-06,1.330089e-06,1.320204e-06,1.310852e-06,1.302010e-06,1.293655e-06,1.285764e-06,1.278317e-06,1.271293e-06,1.264672e-06,1.258436e-06,1.252566e-06
0.000000e+00,3.996588e-09,5.885059e-08,6.156699e-08,4.149699e-07,1.475752e-06,1.539116e-06,3.460059e-06,5.476507e-06,5.604309e-06,7.673210e-06,9.452683e-06,9.601442e-06,1.138058e-05,1.285752e-05,1.301457e-05,1.451012e-05,1.571733e-05,1.587434e-05,1.711428e-05,1.808646e-05,1.823680e-05,1.924858e-05,2.001765e-05,2.015612e-05,2.096577e-05,2.156094e-05,2.168366e-05,2.231574e-05,2.276346e-05,2.286771e-05,2.334504e-05,2.366890e-05,2.375294e-05,2.409636e-05,2.431715e-05,2.438001e-05,2.460833e-05,2.474413e-05,2.478550e-05,2.491545e-05,2.498189e-05,2.500192e-05,2.504842e-05,2.505893e-05,2.505819e-05,2.503431e-05,2.500033e-05,2.497965e-05,2.489690e-05,2.482811e-05,2.478856e-05,2.465697e-05,2.456157e-05,2.450433e-05,2.433267e-05,2.421754e-05,2.414390e-05,2.393979e-05,2.381065e-05,2.372198e-05,2.349202e-05,2.335363e-05,2.325132e-05,2.300120e-05,2.285749e-05,2.274290e-05,2.247755e-05,2.233171e-05,2.220621e-05,2.192985e-05,2.178446e-05,2.164938e-05,2.136561e-05,2.122274e-05,2.107933e-05,2.079123e-05,2.065249e-05,2.050197e-05,2.021214e-05,2.007878e-05,1.992229e-05,1.963291e-05,1.950586e-05,1.934447e-05,1.905738e-05,1.893730e-05,1.877202e-05,1.848873e-05,1.837607e-05,1.820783e-05,1.792959e-05,1.782461e-05,1.765427e-05,1.738208e-05,1.728490e-05,1.711324e-05,1.684791e-05,1.675853e-05,1.658627e-05,1.632843e-05,1.624675e-05,1.607453e-05,1.582465e-05,1.575049e-05,1.557890e-05,1.533734e-05,1.527046e-05,1.510003e-05,1.486701e-05,1.480714e-05,1.463833e-05,1.441400e-05,1.436081e-05,1.419404e-05,1.397845e-05,1.393161e-05,1.376724e-05,1.356040e-05,1.351955e-05,1.335790e-05,1.315972e-05,1.312451e-05,1.296585e-05,1.277623e-05,1.274629e-05,1.259085e-05,1.240965e-05,1.238462e-05,1.223260e-05,1.205963e-05,1.203915e-05,1.189071e-05,1.172577e-05,1.170949e-05,1.156476e-05,1.140763e-05,1.139522e-05,1.125430e-05,1.110473e-05,1.109588e-05,1.095885e-05,1.081659e-05,1.081098e-05,1.067789e-05,1.054269e-05,1.054002e-05,1.041091e-05,1.028250e-05,1.003791e-05,9.805737e-06,9.585464e-06,9.376590e-06,9.178619e-06,8.991063e-06,8.813446e-06,8.645307e-06,8.486195e-06,8.335677e-06,8.193331e-06,8.058754e-06,7.931555e-06,7.811361e-06,7.697812e-06,7.590566e-06,7.489294e-06,7.393681e-06,7.303428e-06,7.218248e-06,7.137871e-06,7.062037e-06,6.990499e-06,6.923024e-06,6.859389e-06,6.799382e-06,6.742804e-06,6.689464e-06,6.639182e-06,6.591788e-06,6.547119e-06,6.505024e-06,6.465358e-06,6.427983e-06,6.392770e-06,6.359598e-06,6.328349e-06,6.298915e-06,6.271193e-06,6.245085e-06,6.220499e-06,6.197348e-06,6.175550e-06,6.155028e-06,6.135707e-06,6.117520e-06,6.100401e-06,6.084289e-06,6.069126e-06
0.000000e+00,3.177125e-10,4.023253e-09,4.197340e-09,2.543253e-08,8.803654e-08,9.190495e-08,2.219150e-07,3.827256e-07,3.933953e-07,5.674552e-07,7.139778e-07,7.259644e-07,8.655151e-07,9.754902e-07,9.868474e-07,1.091555e-06,1.171272e-06,1.181305e-06,1.257669e-06,1.313733e-06,1.322082e-06,1.375844e-06,1.413638e-06,1.420133e-06,1.456006e-06,1.479813e-06,1.484416e-06,1.506218e-06,1.519421e-06,1.522180e-06,1.532988e-06,1.538239e-06,1.539257e-06,1.541537e-06,1.540904e-06,1.540317e-06,1.536036e-06,1.531130e-06,1.529086e-06,1.519814e-06,1.511877e-06,1.508532e-06,1.495514e-06,1.485503e-06,1.481009e-06,1.465233e-06,1.453881e-06,1.448383e-06,1.430632e-06,1.418497e-06,1.412133e-06,1.393022e-06,1.380527e-06,1.373421e-06,1.353437e-06,1.340897e-06,1.333165e-06,1.312690e-06,1.300339e-06,1.292086e-06,1.271418e-06,1.259423e-06,1.250741e-06,1.230105e-06,1.218583e-06,1.209554e-06,1.189125e-06,1.178156e-06,1.168851e-06,1.148761e-06,1.138394e-06,1.128878e-06,1.109224e-06,1.099489e-06,1.089817e-06,1.070672e-06,1.061579e-06,1.051801e-06,1.033214e-06,1.024762e-06,1.014920e-06,9.969261e-07,9.891050e-07,9.792369e-07,9.618564e-07,9.546494e-07,9.447874e-07,9.280317e-07,9.214172e-07,9.115897e-07,8.954616e-07,8.894151e-07,8.796465e-07,8.641430e-07,8.586377e-07,8.489492e-07,8.340628e-07,8.290710e-07,8.194810e-07,8.052006e-07,8.006940e-07,7.912183e-07,7.775303e-07,7.734807e-07,7.641327e-07,7.510214e-07,7.474010e-07,7.381923e-07,7.256409e-07,7.224224e-07,7.133627e-07,7.013533e-07,6.985106e-07,6.896082e-07,6.781226e-07,6.756301e-07,6.668919e-07,6.559116e-07,6.537451e-07,6.451769e-07,6.346833e-07,6.328196e-07,6.244260e-07,6.144006e-07,6.128178e-07,6.046025e-07,5.950272e-07,5.937042e-07,5.856702e-07,5.765271e-07,5.754441e-07,5.675935e-07,5.588652e-07,5.580035e-07,5.503379e-07,5.420075e-07,5.413494e-07,5.338698e-07,5.259207e-07,5.254497e-07,5.181564e-07,5.105728e-07,5.102732e-07,5.031662e-07,4.959327e-07,4.957897e-07,4.888686e-07,4.819703e-07,4.687868e-07,4.562123e-07,4.442208e-07,4.327872e-07,4.218877e-07,4.114991e-07,4.015993e-07,3.921671e-07,3.831821e-07,3.746249e-07,3.664766e-07,3.587194e-07,3.513361e-07,3.443101e-07,3.376259e-07,3.312682e-07,3.252225e-07,3.194751e-07,3.140127e-07,3.088226e-07,3.038926e-07,2.992112e-07,2.947671e-07,2.905497e-07,2.865488e-07,2.827548e-07,2.791581e-07,2.757499e-07,2.725217e-07,2.694652e-07,2.665727e-07,2.638366e-07,2.612498e-07,2.588054e-07,2.564968e-07,2.543179e-07,2.522625e-07,2.503250e-07,2.484999e-07,2.467819e-07,2.451660e-07,2.436474e-07,2.422215e-07,2.408839e-07,2.396305e-07,2.384572e-07,2.373602e-07,2.363357e-07,2.353804e-07
0.000000e+00,2.891316e-10,1.827079e-08,1.946622e-08,2.775826e-07,1.892404e-06,2.029666e-06,9.425533e-06,2.893007e-05,3.080072e-05,7.679181e-05,1.487735e-04,1.565468e-04,2.751764e-04,4.156629e-04,4.331582e-04,6.269795e-04,8.221948e-04,8.502956e-04,1.095150e-03,1.316456e-03,1.353028e-03,1.615663e-03,1.834454e-03,1.875582e-03,2.126432e-03,2.321748e-03,2.363118e-03,2.581819e-03,2.742027e-03,2.779907e-03,2.955819e-03,3.077186e-03,3.108898e-03,3.239224e-03,3.323442e-03,3.347455e-03,3.434676e-03,3.486502e-03,3.502276e-03,3.551828e-03,3.577270e-03,3.585009e-03,3.603523e-03,3.608656e-03,3.609046e-03,3.603190e-03,3.593487e-03,3.587472e-03,3.563297e-03,3.543339e-03,3.531952e-03,3.494597e-03,3.468020e-03,3.452270e-03,3.405891e-03,3.375459e-03,3.356266e-03,3.304097e-03,3.271832e-03,3.249993e-03,3.194473e-03,3.161802e-03,3.137983e-03,3.080898e-03,3.048791e-03,3.023536e-03,2.966161e-03,2.935252e-03,2.908994e-03,2.852213e-03,2.822890e-03,2.795965e-03,2.740370e-03,2.712848e-03,2.685524e-03,2.631505e-03,2.605887e-03,2.578372e-03,2.526172e-03,2.502483e-03,2.474938e-03,2.424694e-03,2.402905e-03,2.375457e-03,2.327236e-03,2.307288e-03,2.280036e-03,2.233859e-03,2.215673e-03,2.188700e-03,2.144554e-03,2.128042e-03,2.101412e-03,2.059264e-03,2.044332e-03,2.018099e-03,1.977904e-03,1.964456e-03,1.938665e-03,1.900368e-03,1.888310e-03,1.862998e-03,1.826539e-03,1.815777e-03,1.790976e-03,1.756293e-03,1.746738e-03,1.722474e-03,1.689502e-03,1.681067e-03,1.657362e-03,1.626037e-03,1.618639e-03,1.595511e-03,1.565768e-03,1.559329e-03,1.536793e-03,1.508568e-03,1.503012e-03,1.481079e-03,1.454310e-03,1.449567e-03,1.428245e-03,1.402869e-03,1.398872e-03,1.378167e-03,1.354124e-03,1.350810e-03,1.330725e-03,1.307957e-03,1.305266e-03,1.285804e-03,1.264252e-03,1.262130e-03,1.243289e-03,1.222899e-03,1.221292e-03,1.203070e-03,1.183789e-03,1.182649e-03,1.165042e-03,1.146818e-03,1.146100e-03,1.129103e-03,1.111885e-03,1.111546e-03,1.095153e-03,1.078894e-03,1.048053e-03,1.018938e-03,9.914636e-04,9.655511e-04,9.411238e-04,9.181084e-04,8.964348e-04,8.760362e-04,8.568486e-04,8.388108e-04,8.218646e-04,8.059544e-04,7.910271e-04,7.770322e-04,7.639214e-04,7.516488e-04,7.401707e-04,7.294455e-04,7.194334e-04,7.100966e-04,7.013993e-04,6.933072e-04,6.857877e-04,6.788098e-04,6.723442e-04,6.663626e-04,6.608385e-04,6.557466e-04,6.510626e-04,6.467637e-04,6.428281e-04,6.392350e-04,6.359648e-04,6.329986e-04,6.303188e-04,6.279084e-04,6.257513e-04,6.238323e-04,6.221369e-04,6.206514e-04,6.193626e-04,6.182582e-04,6.173265e-04,6.165561e-04,6.159366e-04,6.154579e-04,6.151104e-04,6.148851e-04,6.147735e-04
0.000000e+00,4.249891e-09,5.811050e-08,6.071719e-08,3.920906e-07,1.377281e-06,1.436481e-06,3.266380e-06,5.252130e-06,5.379792e-06,7.473978e-06,9.317877e-06,9.473926e-06,1.136499e-05,1.297278e-05,1.314598e-05,1.481902e-05,1.620446e-05,1.638722e-05,1.785404e-05,1.903722e-05,1.922315e-05,2.049835e-05,2.149978e-05,2.168351e-05,2.278252e-05,2.362213e-05,2.379925e-05,2.473750e-05,2.543411e-05,2.560100e-05,2.639336e-05,2.696430e-05,2.711812e-05,2.777865e-05,2.823972e-05,2.837823e-05,2.892001e-05,2.928550e-05,2.940701e-05,2.984215e-05,3.012490e-05,3.022820e-05,3.056784e-05,3.077935e-05,3.086363e-05,3.111799e-05,3.126850e-05,3.133328e-05,3.151172e-05,3.161035e-05,3.165546e-05,3.176652e-05,3.182135e-05,3.184685e-05,3.189831e-05,3.191650e-05,3.192267e-05,3.192161e-05,3.190944e-05,3.189673e-05,3.184958e-05,3.181260e-05,3.178161e-05,3.169420e-05,3.163726e-05,3.158868e-05,3.146630e-05,3.139362e-05,3.132825e-05,3.117567e-05,3.109095e-05,3.100964e-05,3.083119e-05,3.073761e-05,3.064128e-05,3.044083e-05,3.034113e-05,3.023073e-05,3.001180e-05,2.990834e-05,2.978482e-05,2.955055e-05,2.944534e-05,2.930968e-05,2.906289e-05,2.895763e-05,2.881081e-05,2.855403e-05,2.845013e-05,2.829312e-05,2.802860e-05,2.792725e-05,2.776099e-05,2.749076e-05,2.739292e-05,2.721835e-05,2.694418e-05,2.685064e-05,2.666866e-05,2.639214e-05,2.630351e-05,2.611499e-05,2.583754e-05,2.575428e-05,2.556008e-05,2.528290e-05,2.520539e-05,2.500629e-05,2.473049e-05,2.465895e-05,2.445574e-05,2.418225e-05,2.411683e-05,2.391024e-05,2.363989e-05,2.358065e-05,2.337138e-05,2.310487e-05,2.305183e-05,2.284052e-05,2.257847e-05,2.253156e-05,2.231884e-05,2.206176e-05,2.202087e-05,2.180732e-05,2.155564e-05,2.152063e-05,2.130679e-05,2.106087e-05,2.103156e-05,2.081795e-05,2.057809e-05,2.055427e-05,2.034134e-05,2.010777e-05,2.008922e-05,1.987742e-05,1.965032e-05,1.963680e-05,1.942651e-05,1.920603e-05,1.919728e-05,1.898888e-05,1.877510e-05,1.877086e-05,1.856469e-05,1.835766e-05,1.795775e-05,1.757114e-05,1.719776e-05,1.683754e-05,1.649033e-05,1.615598e-05,1.583429e-05,1.552504e-05,1.522799e-05,1.494289e-05,1.466946e-05,1.440742e-05,1.415649e-05,1.391635e-05,1.368671e-05,1.346725e-05,1.325766e-05,1.305764e-05,1.286687e-05,1.268504e-05,1.251184e-05,1.234698e-05,1.219016e-05,1.204108e-05,1.189944e-05,1.176498e-05,1.163740e-05,1.151644e-05,1.140183e-05,1.129331e-05,1.119064e-05,1.109356e-05,1.100185e-05,1.091526e-05,1.083358e-05,1.075660e-05,1.068409e-05,1.061587e-05,1.055172e-05,1.049147e-05,1.043494e-05,1.038194e-05,1.033231e-05,1.028588e-05,1.024251e-05,1.020203e-05,1.016430e-05,1.012919e-05,1.009656e-05
0.000000e+00,6.831364e-09,5.568050e-07,5.966055e-07,1.083602e-05,8.454814e-05,9.103675e-05,4.535571e-04,1.450623e-03,1.548159e-03,4.026445e-03,8.165021e-03,8.628860e-03,1.608022e-02,2.575195e-02,2.701830e-02,4.195220e-02,5.868972e-02,6.124297e-02,8.510000e-02,1.093220e-01,1.135878e-01,1.466399e-01,1.778016e-01,1.840756e-01,2.256196e-01,2.625072e-01,2.709212e-01,3.195725e-01,3.606058e-01,3.711264e-01,4.251112e-01,4.685966e-01,4.810445e-01,5.384451e-01,5.827603e-01,5.968417e-01,6.557814e-01,6.994931e-01,7.148352e-01,7.736029e-01,8.155302e-01,8.317159e-01,8.888398e-01,9.280759e-01,9.446746e-01,9.989557e-01,1.034861e+00,1.051453e+00,1.101970e+00,1.134145e+00,1.150342e+00,1.196435e+00,1.224690e+00,1.240145e+00,1.281392e+00,1.305703e+00,1.320121e+00,1.356299e+00,1.376777e+00,1.389915e+00,1.420973e+00,1.437822e+00,1.449494e+00,1.475511e+00,1.489005e+00,1.499072e+00,1.520233e+00,1.530685e+00,1.539059e+00,1.555620e+00,1.563364e+00,1.569996e+00,1.582269e+00,1.587643e+00,1.592523e+00,1.600846e+00,1.604182e+00,1.607329e+00,1.612060e+00,1.613674e+00,1.615131e+00,1.616630e+00,1.616815e+00,1.616647e+00,1.615267e+00,1.614292e+00,1.612577e+00,1.608659e+00,1.606766e+00,1.603594e+00,1.597461e+00,1.594866e+00,1.590334e+00,1.582287e+00,1.579178e+00,1.573389e+00,1.563706e+00,1.560247e+00,1.553304e+00,1.542241e+00,1.538571e+00,1.530577e+00,1.518367e+00,1.514605e+00,1.505662e+00,1.492512e+00,1.488756e+00,1.478963e+00,1.465061e+00,1.461393e+00,1.450845e+00,1.436357e+00,1.432843e+00,1.421631e+00,1.406703e+00,1.403395e+00,1.391605e+00,1.376367e+00,1.373305e+00,1.361018e+00,1.345583e+00,1.342798e+00,1.330088e+00,1.314556e+00,1.312069e+00,1.299007e+00,1.283462e+00,1.281287e+00,1.267939e+00,1.252455e+00,1.250601e+00,1.237026e+00,1.221666e+00,1.220135e+00,1.206389e+00,1.191207e+00,1.189996e+00,1.176130e+00,1.161171e+00,1.160277e+00,1.146338e+00,1.131639e+00,1.131054e+00,1.117083e+00,1.102677e+00,1.102391e+00,1.088428e+00,1.074340e+00,1.046944e+00,1.020238e+00,9.942479e-01,9.689946e-01,9.444924e-01,9.207511e-01,8.977760e-01,8.755688e-01,8.541282e-01,8.334499e-01,8.135274e-01,7.943521e-01,7.759139e-01,7.582010e-01,7.412006e-01,7.248987e-01,7.092804e-01,6.943302e-01,6.800319e-01,6.663689e-01,6.533243e-01,6.408808e-01,6.290207e-01,6.177265e-01,6.069805e-01,5.967649e-01,5.870619e-01,5.778538e-01,5.691230e-01,5.608522e-01,5.530240e-01,5.456213e-01,5.386274e-01,5.320254e-01,5.257993e-01,5.199328e-01,5.144102e-01,5.092162e-01,5.043357e-01,4.997539e-01,4.954565e-01,4.914295e-01,4.876593e-01,4.841327e-01,4.808370e-01,4.777596e-01,4.748887e-01,4.722126e-01,4.697201e-01
0.000000e+00,2.631440e-08,1.795192e-06,1.915253e-06,2.870373e-05,2.007062e-04,2.154750e-04,1.033269e-03,3.341147e-03,3.571862e-03,9.643383e-03,2.035200e-02,2.158227e-02,4.189647e-02,6.930612e-02,7.295675e-02,1.167849e-01,1.671608e-01,1.749340e-01,2.484378e-01,3.243374e-01,3.378109e-01,4.430801e-01,5.435036e-01,5.638374e-01,6.993025e-01,8.206064e-01,8.483912e-01,1.009782e+00,1.146753e+00,1.181981e+00,1.363379e+00,1.510179e+00,1.552302e+00,1.747060e+00,1.897948e+00,1.945981e+00,2.147444e+00,2.297249e+00,2.349900e+00,2.551897e+00,2.696290e+00,2.752088e+00,2.949241e+00,3.084841e+00,3.142246e+00,3.330118e+00,3.454493e+00,3.511992e+00,3.687126e+00,3.798711e+00,3.854890e+00,4.014768e+00,4.112755e+00,4.166344e+00,4.309302e+00,4.393504e+00,4.443412e+00,4.568526e+00,4.639241e+00,4.684568e+00,4.791528e+00,4.849422e+00,4.889457e+00,4.978454e+00,5.024443e+00,5.058664e+00,5.130270e+00,5.165435e+00,5.193488e+00,5.248563e+00,5.274070e+00,5.295758e+00,5.335358e+00,5.352403e+00,5.367661e+00,5.392973e+00,5.402733e+00,5.411610e+00,5.423891e+00,5.427494e+00,5.430136e+00,5.430667e+00,5.429171e+00,5.425799e+00,5.415848e+00,5.410227e+00,5.401122e+00,5.381923e+00,5.373057e+00,5.358544e+00,5.331274e+00,5.319948e+00,5.300388e+00,5.266155e+00,5.253061e+00,5.228832e+00,5.188668e+00,5.174408e+00,5.145901e+00,5.100757e+00,5.085846e+00,5.053456e+00,5.004204e+00,4.989078e+00,4.953199e+00,4.900629e+00,4.885654e+00,4.846672e+00,4.791496e+00,4.776970e+00,4.735261e+00,4.678117e+00,4.664283e+00,4.620207e+00,4.561664e+00,4.548712e+00,4.502614e+00,4.443175e+00,4.431250e+00,4.383457e+00,4.323566e+00,4.312774e+00,4.263596e+00,4.203639e+00,4.194053e+00,4.143780e+00,4.084096e+00,4.075759e+00,4.024661e+00,3.965542e+00,3.958472e+00,3.906802e+00,3.848500e+00,3.842695e+00,3.790687e+00,3.733413e+00,3.728856e+00,3.676724e+00,3.620661e+00,3.617318e+00,3.565261e+00,3.510558e+00,3.508385e+00,3.456584e+00,3.403367e+00,3.402310e+00,3.350931e+00,3.299300e+00,3.199519e+00,3.103096e+00,3.010127e+00,2.920680e+00,2.834798e+00,2.752502e+00,2.673795e+00,2.598661e+00,2.527071e+00,2.458982e+00,2.394342e+00,2.333088e+00,2.275150e+00,2.220449e+00,2.168902e+00,2.120421e+00,2.074912e+00,2.032279e+00,1.992425e+00,1.955248e+00,1.920645e+00,1.888514e+00,1.858750e+00,1.831249e+00,1.805908e+00,1.782623e+00,1.761291e+00,1.741812e+00,1.724086e+00,1.708014e+00,1.693499e+00,1.680449e+00,1.668771e+00,1.658375e+00,1.649175e+00,1.641086e+00,1.634028e+00,1.627922e+00,1.622692e+00,1.618267e+00,1.614578e+00,1.611558e+00,1.609145e+00,1.607279e+00,1.605904e+00,1.604967e+00,1.604417e+00,1.604208e+00,1.604296e+00
0.000000e+00,1.372735e-08,2.498651e-07,2.617128e-07,1.779903e-06,6.400206e-06,6.689168e-06,1.666297e-05,2.986747e-05,3.078164e-05,4.640817e-05,6.071155e-05,6.193482e-05,7.687202e-05,8.971572e-05,9.110683e-05,1.046231e-04,1.159299e-04,1.174298e-04,1.295436e-04,1.394222e-04,1.409841e-04,1.517718e-04,1.603449e-04,1.619284e-04,1.714757e-04,1.788653e-04,1.804358e-04,1.888307e-04,1.951543e-04,1.966822e-04,2.040118e-04,2.093802e-04,2.108406e-04,2.171890e-04,2.217049e-04,2.230771e-04,2.285244e-04,2.322826e-04,2.335495e-04,2.381709e-04,2.412581e-04,2.424060e-04,2.462721e-04,2.487676e-04,2.497855e-04,2.529623e-04,2.549379e-04,2.558176e-04,2.583664e-04,2.598876e-04,2.606228e-04,2.626007e-04,2.637265e-04,2.643133e-04,2.657733e-04,2.665570e-04,2.669930e-04,2.679842e-04,2.684740e-04,2.687582e-04,2.693261e-04,2.695652e-04,2.696984e-04,2.698851e-04,2.699122e-04,2.698959e-04,2.697403e-04,2.695902e-04,2.694272e-04,2.689651e-04,2.686687e-04,2.683624e-04,2.676270e-04,2.672119e-04,2.667665e-04,2.657881e-04,2.652788e-04,2.646990e-04,2.635059e-04,2.629238e-04,2.622150e-04,2.608327e-04,2.601971e-04,2.593649e-04,2.578171e-04,2.571446e-04,2.561949e-04,2.545034e-04,2.538086e-04,2.527476e-04,2.509322e-04,2.502277e-04,2.490618e-04,2.471408e-04,2.464376e-04,2.451732e-04,2.431631e-04,2.424706e-04,2.411142e-04,2.390302e-04,2.383564e-04,2.369145e-04,2.347704e-04,2.341221e-04,2.326011e-04,2.304095e-04,2.297922e-04,2.281985e-04,2.259708e-04,2.253892e-04,2.237291e-04,2.214757e-04,2.209334e-04,2.192130e-04,2.169432e-04,2.164431e-04,2.146685e-04,2.123908e-04,2.119351e-04,2.101121e-04,2.078341e-04,2.074243e-04,2.055586e-04,2.032871e-04,2.029241e-04,2.010212e-04,1.987624e-04,1.984468e-04,1.965120e-04,1.942713e-04,1.940031e-04,1.920415e-04,1.898237e-04,1.896026e-04,1.876190e-04,1.854285e-04,1.852539e-04,1.832530e-04,1.810934e-04,1.809644e-04,1.789507e-04,1.768254e-04,1.767408e-04,1.747184e-04,1.726304e-04,1.725888e-04,1.705619e-04,1.685135e-04,1.645191e-04,1.606092e-04,1.567868e-04,1.530545e-04,1.494141e-04,1.458674e-04,1.424154e-04,1.390588e-04,1.357982e-04,1.326336e-04,1.295650e-04,1.265918e-04,1.237135e-04,1.209294e-04,1.182384e-04,1.156394e-04,1.131311e-04,1.107122e-04,1.083812e-04,1.061365e-04,1.039764e-04,1.018993e-04,9.990339e-05,9.798683e-05,9.614778e-05,9.438439e-05,9.269476e-05,9.107698e-05,8.952915e-05,8.804936e-05,8.663570e-05,8.528626e-05,8.399917e-05,8.277255e-05,8.160454e-05,8.049333e-05,7.943709e-05,7.843405e-05,7.748245e-05,7.658057e-05,7.572672e-05,7.491922e-05,7.415646e-05,7.343684e-05,7.275880e-05,7.212080e-05,7.152136e-05,7.095902e-05,7.043236e-05
0.000000e+00,6.884590e-09,9.968396e-08,1.041423e-07,6.412690e-07,2.092836e-06,2.176713e-06,4.684753e-06,7.254701e-06,7.414252e-06,9.929825e-06,1.198449e-05,1.215145e-05,1.408832e-05,1.560826e-05,1.576495e-05,1.720703e-05,1.830157e-05,1.843906e-05,1.948256e-05,2.024428e-05,2.035728e-05,2.108145e-05,2.158557e-05,2.167163e-05,2.214282e-05,2.244995e-05,2.250857e-05,2.278112e-05,2.293950e-05,2.297148e-05,2.308953e-05,2.313715e-05,2.314414e-05,2.314322e-05,2.310979e-05,2.309388e-05,2.300243e-05,2.291099e-05,2.287452e-05,2.271516e-05,2.258349e-05,2.252884e-05,2.231953e-05,2.216123e-05,2.209074e-05,2.184562e-05,2.167103e-05,2.158692e-05,2.131711e-05,2.113401e-05,2.103836e-05,2.075256e-05,2.056675e-05,2.046141e-05,2.016640e-05,1.998212e-05,1.986882e-05,1.956980e-05,1.939013e-05,1.927036e-05,1.897135e-05,1.879843e-05,1.867353e-05,1.837756e-05,1.821283e-05,1.808399e-05,1.779331e-05,1.763769e-05,1.750593e-05,1.722220e-05,1.707621e-05,1.694242e-05,1.666683e-05,1.653067e-05,1.639563e-05,1.612898e-05,1.600265e-05,1.586702e-05,1.560983e-05,1.549315e-05,1.535750e-05,1.511008e-05,1.500277e-05,1.486759e-05,1.463004e-05,1.453175e-05,1.439744e-05,1.416976e-05,1.408007e-05,1.394698e-05,1.372907e-05,1.364752e-05,1.351596e-05,1.330761e-05,1.323376e-05,1.310397e-05,1.290496e-05,1.283834e-05,1.271051e-05,1.252055e-05,1.246071e-05,1.233502e-05,1.215381e-05,1.210029e-05,1.197687e-05,1.180410e-05,1.175646e-05,1.163542e-05,1.147076e-05,1.142860e-05,1.131003e-05,1.115314e-05,1.111604e-05,1.100001e-05,1.085056e-05,1.081817e-05,1.070471e-05,1.056237e-05,1.053432e-05,1.042348e-05,1.028794e-05,1.026390e-05,1.015569e-05,1.002663e-05,1.000628e-05,9.900708e-06,9.777838e-06,9.760875e-06,9.657949e-06,9.540970e-06,9.527124e-06,9.426830e-06,9.315462e-06,9.304475e-06,9.206797e-06,9.100771e-06,9.092401e-06,8.997317e-06,8.896375e-06,8.890397e-06,8.797881e-06,8.701775e-06,8.697980e-06,8.607999e-06,8.516495e-06,8.514688e-06,8.427207e-06,8.340080e-06,8.173735e-06,8.015252e-06,7.864250e-06,7.720363e-06,7.583247e-06,7.452571e-06,7.328023e-06,7.209304e-06,7.096131e-06,6.988234e-06,6.885358e-06,6.787259e-06,6.693705e-06,6.604478e-06,6.519367e-06,6.438174e-06,6.360711e-06,6.286797e-06,6.216262e-06,6.148945e-06,6.084690e-06,6.023352e-06,5.964790e-06,5.908873e-06,5.855475e-06,5.804476e-06,5.755761e-06,5.709224e-06,5.664760e-06,5.622272e-06,5.581667e-06,5.542857e-06,5.505756e-06,5.470286e-06,5.436369e-06,5.403933e-06,5.372910e-06,5.343233e-06,5.314840e-06,5.287671e-06,5.261671e-06,5.236785e-06,5.212961e-06,5.190152e-06,5.168311e-06,5.147393e-06,5.127356e-06,5.108161e-06,5.089768e-06
0.000000e+00,1.330679e-08,5.528714e-07,5.845516e-07,5.180962e-06,1.951915e-05,2.039264e-05,4.852903e-05,8.109283e-05,8.321744e-05,1.180363e-04,1.482830e-04,1.508178e-04,1.811921e-04,2.064917e-04,2.091868e-04,2.349022e-04,2.557358e-04,2.584510e-04,2.799478e-04,2.968804e-04,2.995061e-04,3.172379e-04,3.308011e-04,3.332525e-04,3.476562e-04,3.583370e-04,3.605512e-04,3.720357e-04,3.802706e-04,3.822031e-04,3.911420e-04,3.973157e-04,3.989365e-04,4.056659e-04,4.101142e-04,4.114051e-04,4.162246e-04,4.192380e-04,4.201906e-04,4.233654e-04,4.251943e-04,4.258074e-04,4.275718e-04,4.284314e-04,4.287100e-04,4.292706e-04,4.293449e-04,4.292986e-04,4.288367e-04,4.282827e-04,4.279244e-04,4.265991e-04,4.255503e-04,4.248955e-04,4.228463e-04,4.214157e-04,4.204820e-04,4.178310e-04,4.161140e-04,4.149199e-04,4.117735e-04,4.098499e-04,4.084149e-04,4.048655e-04,4.028022e-04,4.011456e-04,3.972739e-04,3.951262e-04,3.932677e-04,3.891433e-04,3.869569e-04,3.849157e-04,3.805990e-04,3.784113e-04,3.762061e-04,3.717493e-04,3.695906e-04,3.672397e-04,3.626876e-04,3.605821e-04,3.581027e-04,3.534939e-04,3.514606e-04,3.488694e-04,3.442366e-04,3.422902e-04,3.396027e-04,3.349741e-04,3.331255e-04,3.303567e-04,3.257558e-04,3.240129e-04,3.211766e-04,3.166236e-04,3.149917e-04,3.121009e-04,3.076122e-04,3.060945e-04,3.031611e-04,2.987506e-04,2.973483e-04,2.943836e-04,2.900626e-04,2.887756e-04,2.857898e-04,2.815673e-04,2.803943e-04,2.773970e-04,2.732803e-04,2.722189e-04,2.692187e-04,2.652134e-04,2.642607e-04,2.612655e-04,2.573758e-04,2.565280e-04,2.535451e-04,2.497739e-04,2.490269e-04,2.460628e-04,2.424121e-04,2.417614e-04,2.388221e-04,2.352928e-04,2.347338e-04,2.318244e-04,2.284169e-04,2.279447e-04,2.250701e-04,2.217839e-04,2.213936e-04,2.185580e-04,2.153922e-04,2.150789e-04,2.122861e-04,2.092392e-04,2.089980e-04,2.062512e-04,2.033216e-04,2.031476e-04,2.004498e-04,1.976352e-04,1.975238e-04,1.948773e-04,1.921755e-04,1.921221e-04,1.895291e-04,1.869375e-04,1.819649e-04,1.771988e-04,1.726336e-04,1.682633e-04,1.640823e-04,1.600844e-04,1.562638e-04,1.526146e-04,1.491308e-04,1.458067e-04,1.426365e-04,1.396146e-04,1.367355e-04,1.339938e-04,1.313843e-04,1.289017e-04,1.265411e-04,1.242976e-04,1.221666e-04,1.201435e-04,1.182238e-04,1.164032e-04,1.146778e-04,1.130433e-04,1.114961e-04,1.100323e-04,1.086484e-04,1.073409e-04,1.061066e-04,1.049421e-04,1.038445e-04,1.028107e-04,1.018379e-04,1.009233e-04,1.000644e-04,9.925855e-05,9.850337e-05,9.779650e-05,9.713571e-05,9.651885e-05,9.594384e-05,9.540871e-05,9.491156e-05,9.445055e-05,9.402395e-05,9.363006e-05,9.326730e-05,9.293411e-05,9.262902e-05
0.000000e+00,1.254957e-08,3.436440e-07,3.612776e-07,2.574324e-06,8.500812e-06,8.842801e-06,1.935535e-05,3.091889e-05,3.166284e-05,4.379276e-05,5.432459e-05,5.520908e-05,6.584145e-05,7.475374e-05,7.570663e-05,8.483702e-05,9.229156e-05,9.326740e-05,1.010326e-04,1.072052e-04,1.081674e-04,1.147057e-04,1.197612e-04,1.206806e-04,1.261243e-04,1.302135e-04,1.310677e-04,1.355405e-04,1.387989e-04,1.395709e-04,1.431861e-04,1.457342e-04,1.464117e-04,1.492720e-04,1.512157e-04,1.517900e-04,1.539877e-04,1.554199e-04,1.558857e-04,1.575034e-04,1.585051e-04,1.588594e-04,1.599710e-04,1.606125e-04,1.608546e-04,1.615259e-04,1.618684e-04,1.619992e-04,1.622886e-04,1.623851e-04,1.624068e-04,1.623663e-04,1.622623e-04,1.621784e-04,1.618541e-04,1.615890e-04,1.614035e-04,1.608363e-04,1.604438e-04,1.601615e-04,1.593876e-04,1.588964e-04,1.585225e-04,1.575739e-04,1.570088e-04,1.565487e-04,1.554536e-04,1.548354e-04,1.542948e-04,1.530781e-04,1.524244e-04,1.518090e-04,1.504927e-04,1.498184e-04,1.491340e-04,1.477373e-04,1.470547e-04,1.463070e-04,1.448468e-04,1.441662e-04,1.433607e-04,1.418520e-04,1.411819e-04,1.403240e-04,1.387796e-04,1.381268e-04,1.372218e-04,1.356531e-04,1.350231e-04,1.340760e-04,1.324927e-04,1.318899e-04,1.309055e-04,1.293163e-04,1.287440e-04,1.277269e-04,1.261390e-04,1.255998e-04,1.245543e-04,1.229741e-04,1.224696e-04,1.213999e-04,1.198328e-04,1.193643e-04,1.182741e-04,1.167248e-04,1.162928e-04,1.151858e-04,1.136582e-04,1.132629e-04,1.121426e-04,1.106398e-04,1.102812e-04,1.091506e-04,1.076755e-04,1.073529e-04,1.062151e-04,1.047699e-04,1.044828e-04,1.033404e-04,1.019269e-04,1.016742e-04,1.005298e-04,9.914950e-05,9.893022e-05,9.778617e-05,9.644008e-05,9.625302e-05,9.511145e-05,9.380043e-05,9.364430e-05,9.250718e-05,9.123181e-05,9.110526e-05,8.997440e-05,8.873501e-05,8.863664e-05,8.751369e-05,8.631045e-05,8.623883e-05,8.512529e-05,8.395819e-05,8.391188e-05,8.280911e-05,8.167801e-05,8.165557e-05,8.056481e-05,7.946943e-05,7.735279e-05,7.530480e-05,7.332446e-05,7.141066e-05,6.956217e-05,6.777767e-05,6.605581e-05,6.439514e-05,6.279420e-05,6.125150e-05,5.976551e-05,5.833470e-05,5.695756e-05,5.563254e-05,5.435812e-05,5.313281e-05,5.195510e-05,5.082352e-05,4.973663e-05,4.869300e-05,4.769124e-05,4.672998e-05,4.580787e-05,4.492362e-05,4.407596e-05,4.326362e-05,4.248542e-05,4.174016e-05,4.102671e-05,4.034395e-05,3.969079e-05,3.906620e-05,3.846915e-05,3.789866e-05,3.735377e-05,3.683355e-05,3.633712e-05,3.586359e-05,3.541213e-05,3.498192e-05,3.457218e-05,3.418214e-05,3.381107e-05,3.345827e-05,3.312304e-05,3.280471e-05,3.250265e-05,3.221624e-05,3.194487e-05
0.000000e+00,8.951525e-10,5.805010e-08,6.186474e-08,8.839619e-07,6.006231e-06,6.442442e-06,3.034660e-05,9.677876e-05,1.033677e-04,2.744559e-04,5.686231e-04,6.019444e-04,1.141508e-03,1.845388e-03,1.937474e-03,3.018698e-03,4.216545e-03,4.397821e-03,6.072606e-03,7.738433e-03,8.028318e-03,1.024052e-02,1.227420e-02,1.267787e-02,1.530462e-02,1.757330e-02,1.808284e-02,2.097418e-02,2.334354e-02,2.394129e-02,2.694879e-02,2.930159e-02,2.996406e-02,3.295767e-02,3.520217e-02,3.590358e-02,3.877927e-02,4.085073e-02,4.156566e-02,4.424697e-02,4.610520e-02,4.681049e-02,4.924636e-02,5.087150e-02,5.154727e-02,5.370819e-02,5.509603e-02,5.572609e-02,5.759967e-02,5.875721e-02,5.932911e-02,6.091584e-02,6.185754e-02,6.236230e-02,6.367180e-02,6.441663e-02,6.484831e-02,6.589630e-02,6.646544e-02,6.682068e-02,6.762658e-02,6.804183e-02,6.831937e-02,6.890449e-02,6.918717e-02,6.938743e-02,6.977365e-02,6.994391e-02,7.006857e-02,7.027749e-02,7.035387e-02,7.040560e-02,7.045791e-02,7.045717e-02,7.043930e-02,7.035445e-02,7.029153e-02,7.020787e-02,7.000386e-02,6.989188e-02,6.974656e-02,6.943988e-02,6.929027e-02,6.908757e-02,6.869318e-02,6.851581e-02,6.826010e-02,6.779150e-02,6.759481e-02,6.729044e-02,6.675975e-02,6.655089e-02,6.620215e-02,6.562020e-02,6.540520e-02,6.501629e-02,6.439271e-02,6.417659e-02,6.375158e-02,6.309492e-02,6.288182e-02,6.242462e-02,6.174246e-02,6.153575e-02,6.105011e-02,6.034913e-02,6.015151e-02,5.964099e-02,5.892708e-02,5.874068e-02,5.820868e-02,5.748699e-02,5.731342e-02,5.676315e-02,5.603821e-02,5.587868e-02,5.531316e-02,5.458891e-02,5.444424e-02,5.386632e-02,5.314619e-02,5.301688e-02,5.242925e-02,5.171619e-02,5.160250e-02,5.100765e-02,5.030422e-02,5.020618e-02,4.960645e-02,4.891485e-02,4.883229e-02,4.822986e-02,4.755193e-02,4.748454e-02,4.688145e-02,4.621876e-02,4.616609e-02,4.556421e-02,4.491807e-02,4.487958e-02,4.428064e-02,4.365214e-02,4.362719e-02,4.303281e-02,4.242283e-02,4.241072e-02,4.182237e-02,4.123160e-02,4.009096e-02,3.898962e-02,3.792818e-02,3.690701e-02,3.592630e-02,3.498606e-02,3.408615e-02,3.322630e-02,3.240612e-02,3.162512e-02,3.088273e-02,3.017829e-02,2.951108e-02,2.888030e-02,2.828514e-02,2.772469e-02,2.719805e-02,2.670425e-02,2.624232e-02,2.581126e-02,2.541002e-02,2.503758e-02,2.469288e-02,2.437486e-02,2.408245e-02,2.381457e-02,2.357017e-02,2.334818e-02,2.314752e-02,2.296714e-02,2.280601e-02,2.266308e-02,2.253733e-02,2.242777e-02,2.233341e-02,2.225328e-02,2.218645e-02,2.213199e-02,2.208900e-02,2.205663e-02,2.203402e-02,2.202036e-02,2.201487e-02,2.201680e-02,2.202542e-02,2.204005e-02,2.206002e-02,2.208470e-02,2.211351e-02
0.000000e+00,2.842561e-09,1.010821e-07,1.065004e-07,9.045739e-07,4.038253e-06,4.261336e-06,1.359328e-05,3.072209e-05,3.211720e-05,6.009794e-05,9.126151e-05,9.407982e-05,1.289854e-04,1.578949e-04,1.608829e-04,1.879742e-04,2.076120e-04,2.099989e-04,2.274003e-04,2.391604e-04,2.408250e-04,2.509129e-04,2.572259e-04,2.582317e-04,2.632650e-04,2.659740e-04,2.664190e-04,2.680327e-04,2.684060e-04,2.683884e-04,2.677205e-04,2.666154e-04,2.662236e-04,2.640592e-04,2.620509e-04,2.613609e-04,2.582395e-04,2.557116e-04,2.547864e-04,2.510772e-04,2.482836e-04,2.471745e-04,2.431296e-04,2.402366e-04,2.389849e-04,2.347752e-04,2.318901e-04,2.305288e-04,2.262691e-04,2.234597e-04,2.220150e-04,2.177822e-04,2.150903e-04,2.135832e-04,2.094284e-04,2.068782e-04,2.053258e-04,2.012816e-04,1.988852e-04,1.973008e-04,1.933870e-04,1.911489e-04,1.895431e-04,1.857711e-04,1.836907e-04,1.820724e-04,1.784481e-04,1.765222e-04,1.748987e-04,1.714242e-04,1.696471e-04,1.680245e-04,1.646992e-04,1.630642e-04,1.614475e-04,1.582684e-04,1.567681e-04,1.551613e-04,1.521249e-04,1.507517e-04,1.491582e-04,1.462599e-04,1.450061e-04,1.434290e-04,1.406640e-04,1.395221e-04,1.379638e-04,1.353270e-04,1.342898e-04,1.327524e-04,1.302387e-04,1.292992e-04,1.277846e-04,1.253889e-04,1.245405e-04,1.230503e-04,1.207674e-04,1.200038e-04,1.185392e-04,1.163644e-04,1.156796e-04,1.142418e-04,1.121702e-04,1.115585e-04,1.101485e-04,1.081755e-04,1.076316e-04,1.062501e-04,1.043712e-04,1.038902e-04,1.025378e-04,1.007487e-04,1.003259e-04,9.900306e-05,9.729973e-05,9.693058e-05,9.563777e-05,9.401620e-05,9.369665e-05,9.243408e-05,9.089048e-05,9.061665e-05,8.938450e-05,8.791525e-05,8.768352e-05,8.648186e-05,8.508349e-05,8.489046e-05,8.371929e-05,8.238848e-05,8.223099e-05,8.109024e-05,7.982382e-05,7.969890e-05,7.858845e-05,7.738338e-05,7.728827e-05,7.620791e-05,7.506132e-05,7.499343e-05,7.394292e-05,7.285205e-05,7.280898e-05,7.178803e-05,7.075023e-05,7.072974e-05,6.973803e-05,6.875079e-05,6.686743e-05,6.507515e-05,6.336967e-05,6.174691e-05,6.020296e-05,5.873411e-05,5.733681e-05,5.600767e-05,5.474347e-05,5.354114e-05,5.239774e-05,5.131048e-05,5.027670e-05,4.929385e-05,4.835953e-05,4.747142e-05,4.662733e-05,4.582516e-05,4.506292e-05,4.433871e-05,4.365072e-05,4.299721e-05,4.237656e-05,4.178719e-05,4.122760e-05,4.069639e-05,4.019218e-05,3.971370e-05,3.925972e-05,3.882906e-05,3.842060e-05,3.803329e-05,3.766612e-05,3.731811e-05,3.698835e-05,3.667597e-05,3.638013e-05,3.610005e-05,3.583495e-05,3.558412e-05,3.534689e-05,3.512258e-05,3.491058e-05,3.471030e-05,3.452117e-05,3.434266e-05,3.417425e-05,3.401544e-05,3.386579e-05
0.000000e+00,2.997900e-09,1.190606e-07,1.256523e-07,1.149609e-06,5.594632e-06,5.928645e-06,2.128617e-05,5.433645e-05,5.724427e-05,1.211024e-04,2.030447e-04,2.109825e-04,3.167600e-04,4.159055e-04,4.268365e-04,5.329143e-04,6.194216e-04,6.306349e-04,7.183570e-04,7.856352e-04,7.958897e-04,8.636917e-04,9.136352e-04,9.224630e-04,9.729625e-04,1.008724e-03,1.015935e-03,1.052083e-03,1.076528e-03,1.082058e-03,1.106460e-03,1.121980e-03,1.125838e-03,1.140699e-03,1.149256e-03,1.151502e-03,1.158668e-03,1.161857e-03,1.162581e-03,1.163590e-03,1.162697e-03,1.162011e-03,1.158136e-03,1.154199e-03,1.152227e-03,1.144524e-03,1.138371e-03,1.135242e-03,1.124579e-03,1.116872e-03,1.112713e-03,1.099805e-03,1.091066e-03,1.086003e-03,1.071437e-03,1.062076e-03,1.056227e-03,1.040482e-03,1.030819e-03,1.024298e-03,1.007763e-03,9.980429e-04,9.909551e-04,9.739453e-04,9.643556e-04,9.567971e-04,9.395670e-04,9.302467e-04,9.223057e-04,9.050583e-04,8.961087e-04,8.878651e-04,8.707616e-04,8.622535e-04,8.537793e-04,8.369459e-04,8.289261e-04,8.202858e-04,8.038202e-04,7.963165e-04,7.875675e-04,7.715438e-04,7.645694e-04,7.557625e-04,7.402355e-04,7.337923e-04,7.249722e-04,7.099807e-04,7.040618e-04,6.952676e-04,6.808378e-04,6.754296e-04,6.666953e-04,6.528429e-04,6.479275e-04,6.392824e-04,6.260147e-04,6.215705e-04,6.130400e-04,6.003575e-04,5.963607e-04,5.879662e-04,5.758643e-04,5.722898e-04,5.640494e-04,5.525191e-04,5.493411e-04,5.412701e-04,5.302991e-04,5.274917e-04,5.196024e-04,5.091761e-04,5.067136e-04,4.990162e-04,4.891182e-04,4.869754e-04,4.794778e-04,4.700904e-04,4.682428e-04,4.609513e-04,4.520557e-04,4.504801e-04,4.433990e-04,4.349762e-04,4.336500e-04,4.267826e-04,4.188131e-04,4.177150e-04,4.110631e-04,4.035275e-04,4.026374e-04,3.962016e-04,3.890807e-04,3.883797e-04,3.821599e-04,3.754347e-04,3.749049e-04,3.689002e-04,3.625519e-04,3.621768e-04,3.563854e-04,3.503960e-04,3.501601e-04,3.445795e-04,3.389315e-04,3.388203e-04,3.334478e-04,3.281241e-04,3.180396e-04,3.085358e-04,2.995830e-04,2.911528e-04,2.832181e-04,2.757528e-04,2.687321e-04,2.621323e-04,2.559310e-04,2.501067e-04,2.446390e-04,2.395085e-04,2.346969e-04,2.301868e-04,2.259614e-04,2.220051e-04,2.183031e-04,2.148412e-04,2.116059e-04,2.085847e-04,2.057656e-04,2.031371e-04,2.006885e-04,1.984095e-04,1.962907e-04,1.943228e-04,1.924972e-04,1.908057e-04,1.892405e-04,1.877945e-04,1.864605e-04,1.852322e-04,1.841033e-04,1.830679e-04,1.821205e-04,1.812559e-04,1.804691e-04,1.797555e-04,1.791106e-04,1.785302e-04,1.780104e-04,1.775474e-04,1.771377e-04,1.767779e-04,1.764649e-04,1.761958e-04,1.759676e-04,1.757778e-04,1.756237e-04
0.000000e+00,8.839097e-10,5.332164e-08,5.672674e-08,7.499926e-07,4.913312e-06,5.266655e-06,2.477927e-05,8.003610e-05,8.556237e-05,2.301584e-04,4.799428e-04,5.082157e-04,9.641500e-04,1.552592e-03,1.629035e-03,2.517716e-03,3.484652e-03,3.629495e-03,4.950678e-03,6.236712e-03,6.457847e-03,8.121136e-03,9.614567e-03,9.907154e-03,1.178138e-02,1.336031e-02,1.371002e-02,1.566134e-02,1.721926e-02,1.760654e-02,1.952028e-02,2.097709e-02,2.138090e-02,2.317042e-02,2.447391e-02,2.487442e-02,2.648178e-02,2.760412e-02,2.798436e-02,2.937668e-02,3.030901e-02,3.065556e-02,3.181977e-02,3.256666e-02,3.286973e-02,3.380721e-02,3.438185e-02,3.463503e-02,3.535688e-02,3.577731e-02,3.597705e-02,3.650032e-02,3.678669e-02,3.693176e-02,3.727661e-02,3.744928e-02,3.754022e-02,3.772791e-02,3.780628e-02,3.784495e-02,3.789647e-02,3.789832e-02,3.788748e-02,3.782275e-02,3.776388e-02,3.770688e-02,3.754423e-02,3.743841e-02,3.733893e-02,3.709489e-02,3.695392e-02,3.681580e-02,3.650511e-02,3.633893e-02,3.616605e-02,3.580164e-02,3.561856e-02,3.541470e-02,3.500785e-02,3.481470e-02,3.458353e-02,3.414400e-02,3.394634e-02,3.369136e-02,3.322755e-02,3.302986e-02,3.275437e-02,3.227347e-02,3.207929e-02,3.178638e-02,3.129451e-02,3.110662e-02,3.079917e-02,3.030153e-02,3.012204e-02,2.980271e-02,2.930370e-02,2.913416e-02,2.880542e-02,2.830872e-02,2.815024e-02,2.781436e-02,2.732304e-02,2.717633e-02,2.683539e-02,2.635199e-02,2.621748e-02,2.587337e-02,2.539999e-02,2.527783e-02,2.493228e-02,2.447061e-02,2.436075e-02,2.401533e-02,2.356672e-02,2.346895e-02,2.312507e-02,2.269059e-02,2.260458e-02,2.226350e-02,2.184396e-02,2.176926e-02,2.143213e-02,2.102812e-02,2.096421e-02,2.063204e-02,2.024397e-02,2.019029e-02,1.986398e-02,1.949211e-02,1.944803e-02,1.912838e-02,1.877282e-02,1.873771e-02,1.842542e-02,1.808617e-02,1.805938e-02,1.775505e-02,1.743202e-02,1.741289e-02,1.711704e-02,1.681007e-02,1.679795e-02,1.651103e-02,1.621986e-02,1.621412e-02,1.593650e-02,1.566085e-02,1.513751e-02,1.464339e-02,1.417772e-02,1.373968e-02,1.332844e-02,1.294311e-02,1.258279e-02,1.224660e-02,1.193361e-02,1.164291e-02,1.137360e-02,1.112478e-02,1.089555e-02,1.068503e-02,1.049235e-02,1.031666e-02,1.015712e-02,1.001291e-02,9.883235e-03,9.767299e-03,9.664342e-03,9.573616e-03,9.494395e-03,9.425974e-03,9.367665e-03,9.318805e-03,9.278747e-03,9.246869e-03,9.222567e-03,9.205259e-03,9.194385e-03,9.189407e-03,9.189805e-03,9.195085e-03,9.204770e-03,9.218407e-03,9.235565e-03,9.255832e-03,9.278818e-03,9.304155e-03,9.331495e-03,9.360509e-03,9.390892e-03,9.422354e-03,9.454630e-03,9.487469e-03,9.520642e-03,9.553937e-03,9.587159e-03
0.000000e+00,8.463098e-10,5.023050e-08,5.339334e-08,6.661975e-07,4.119240e-06,4.406691e-06,2.003925e-05,6.447532e-05,6.896790e-05,1.895459e-04,4.086051e-04,4.340868e-04,8.600056e-04,1.442738e-03,1.520700e-03,2.459233e-03,3.538695e-03,3.705042e-03,5.272987e-03,6.880094e-03,7.163970e-03,9.366500e-03,1.144168e-02,1.185877e-02,1.461088e-02,1.703657e-02,1.758709e-02,2.074782e-02,2.338137e-02,2.405153e-02,2.745624e-02,3.015549e-02,3.092079e-02,3.440589e-02,3.704563e-02,3.787486e-02,4.129415e-02,4.377463e-02,4.463371e-02,4.786716e-02,5.011671e-02,5.097189e-02,5.392895e-02,5.590263e-02,5.672292e-02,5.934178e-02,6.101792e-02,6.177662e-02,6.402135e-02,6.539695e-02,6.607251e-02,6.792888e-02,6.901505e-02,6.959130e-02,7.106229e-02,7.187988e-02,7.234587e-02,7.344730e-02,7.402328e-02,7.437281e-02,7.512945e-02,7.549392e-02,7.572488e-02,7.616720e-02,7.635115e-02,7.646482e-02,7.662632e-02,7.665996e-02,7.666032e-02,7.657545e-02,7.648717e-02,7.638021e-02,7.608292e-02,7.589856e-02,7.569171e-02,7.521439e-02,7.495693e-02,7.465852e-02,7.403133e-02,7.372077e-02,7.333968e-02,7.259012e-02,7.224358e-02,7.178884e-02,7.094166e-02,7.057349e-02,7.005408e-02,6.913122e-02,6.875329e-02,6.817790e-02,6.719860e-02,6.682053e-02,6.619749e-02,6.517843e-02,6.480788e-02,6.414503e-02,6.310059e-02,6.274352e-02,6.204818e-02,6.099061e-02,6.065153e-02,5.993047e-02,5.887014e-02,5.855233e-02,5.781179e-02,5.675739e-02,5.646312e-02,5.570875e-02,5.466752e-02,5.439820e-02,5.363518e-02,5.261307e-02,5.236942e-02,5.160240e-02,5.060426e-02,5.038645e-02,4.961963e-02,4.864937e-02,4.845711e-02,4.769425e-02,4.675494e-02,4.658759e-02,4.583203e-02,4.492606e-02,4.478270e-02,4.403744e-02,4.316657e-02,4.304609e-02,4.231377e-02,4.147928e-02,4.138038e-02,4.066332e-02,3.986605e-02,3.978736e-02,3.908760e-02,3.832804e-02,3.826810e-02,3.758741e-02,3.686573e-02,3.682303e-02,3.616296e-02,3.547906e-02,3.545209e-02,3.481394e-02,3.416752e-02,3.415478e-02,3.353966e-02,3.293023e-02,3.177728e-02,3.069454e-02,2.968039e-02,2.873307e-02,2.785068e-02,2.703121e-02,2.627259e-02,2.557267e-02,2.492927e-02,2.434018e-02,2.380315e-02,2.331595e-02,2.287633e-02,2.248207e-02,2.213094e-02,2.182075e-02,2.154930e-02,2.131445e-02,2.111407e-02,2.094607e-02,2.080840e-02,2.069905e-02,2.061604e-02,2.055744e-02,2.052137e-02,2.050600e-02,2.050955e-02,2.053029e-02,2.056656e-02,2.061675e-02,2.067930e-02,2.075273e-02,2.083563e-02,2.092664e-02,2.102447e-02,2.112790e-02,2.123579e-02,2.134706e-02,2.146071e-02,2.157579e-02,2.169144e-02,2.180686e-02,2.192132e-02,2.203416e-02,2.214478e-02,2.225265e-02,2.235730e-02,2.245831e-02,2.255534e-02
0.000000e+00,1.088831e-08,2.559046e-07,2.686093e-07,1.896508e-06,6.632659e-06,6.920223e-06,1.643050e-05,2.811908e-05,2.889697e-05,4.160882e-05,5.228384e-05,5.315424e-05,6.324332e-05,7.112497e-05,7.193480e-05,7.935888e-05,8.495153e-05,8.565113e-05,9.093805e-05,9.476866e-05,9.533455e-05,9.894423e-05,1.014366e-04,1.018601e-04,1.041655e-04,1.056528e-04,1.059348e-04,1.072343e-04,1.079756e-04,1.081231e-04,1.086536e-04,1.088486e-04,1.088721e-04,1.088196e-04,1.086211e-04,1.085326e-04,1.080431e-04,1.075672e-04,1.073794e-04,1.065664e-04,1.059010e-04,1.056261e-04,1.045778e-04,1.037890e-04,1.034387e-04,1.022236e-04,1.013607e-04,1.009457e-04,9.961650e-05,9.871617e-05,9.824624e-05,9.684373e-05,9.593279e-05,9.541668e-05,9.397192e-05,9.306994e-05,9.251544e-05,9.105237e-05,9.017325e-05,8.958719e-05,8.812380e-05,8.727721e-05,8.666559e-05,8.521548e-05,8.440789e-05,8.377594e-05,8.234912e-05,8.158459e-05,8.093686e-05,7.954070e-05,7.882151e-05,7.816195e-05,7.680171e-05,7.612881e-05,7.546087e-05,7.414017e-05,7.351358e-05,7.284022e-05,7.156148e-05,7.098048e-05,7.030430e-05,6.906894e-05,6.853234e-05,6.785558e-05,6.666430e-05,6.617056e-05,6.549515e-05,6.434810e-05,6.389546e-05,6.322309e-05,6.211998e-05,6.170652e-05,6.103864e-05,5.997888e-05,5.960261e-05,5.894049e-05,5.792324e-05,5.758215e-05,5.692688e-05,5.595114e-05,5.564321e-05,5.499574e-05,5.406038e-05,5.378364e-05,5.314478e-05,5.224861e-05,5.200112e-05,5.137157e-05,5.051333e-05,5.029323e-05,4.967358e-05,4.885199e-05,4.865748e-05,4.804824e-05,4.726201e-05,4.709135e-05,4.649297e-05,4.574079e-05,4.559235e-05,4.500517e-05,4.428578e-05,4.415799e-05,4.358231e-05,4.289445e-05,4.278583e-05,4.222190e-05,4.156434e-05,4.147346e-05,4.092147e-05,4.029301e-05,4.021855e-05,3.967865e-05,3.907812e-05,3.901881e-05,3.849112e-05,3.791738e-05,3.787205e-05,3.735663e-05,3.680859e-05,3.677611e-05,3.627300e-05,3.574961e-05,3.572892e-05,3.523815e-05,3.473837e-05,3.472849e-05,3.425003e-05,3.377288e-05,3.286024e-05,3.198877e-05,3.115675e-05,3.036253e-05,2.960452e-05,2.888118e-05,2.819105e-05,2.753272e-05,2.690483e-05,2.630609e-05,2.573526e-05,2.519114e-05,2.467258e-05,2.417849e-05,2.370781e-05,2.325954e-05,2.283270e-05,2.242638e-05,2.203968e-05,2.167176e-05,2.132180e-05,2.098901e-05,2.067265e-05,2.037200e-05,2.008638e-05,1.981513e-05,1.955761e-05,1.931323e-05,1.908141e-05,1.886159e-05,1.865324e-05,1.845585e-05,1.826895e-05,1.809205e-05,1.792473e-05,1.776654e-05,1.761708e-05,1.747596e-05,1.734281e-05,1.721725e-05,1.709896e-05,1.698760e-05,1.688285e-05,1.678441e-05,1.669200e-05,1.660534e-05,1.652415e-05,1.644820e-05,1.637723e-05
0.000000e+00,1.984346e-09,2.620106e-08,2.734742e-08,1.675447e-07,5.796329e-07,6.050307e-07,1.454868e-06,2.504836e-06,2.575133e-06,3.750526e-06,4.803657e-06,4.893230e-06,5.983187e-06,6.916211e-06,7.017078e-06,7.995312e-06,8.811171e-06,8.919224e-06,9.790438e-06,1.049886e-05,1.061070e-05,1.138180e-05,1.199287e-05,1.210557e-05,1.278384e-05,1.330735e-05,1.341843e-05,1.401114e-05,1.445632e-05,1.456371e-05,1.507785e-05,1.545328e-05,1.555523e-05,1.599745e-05,1.631099e-05,1.640608e-05,1.678261e-05,1.704144e-05,1.712850e-05,1.744515e-05,1.765580e-05,1.773392e-05,1.799609e-05,1.816447e-05,1.823293e-05,1.844563e-05,1.857707e-05,1.863535e-05,1.880322e-05,1.890255e-05,1.895028e-05,1.907758e-05,1.914913e-05,1.918609e-05,1.927678e-05,1.932444e-05,1.935053e-05,1.940824e-05,1.943551e-05,1.945073e-05,1.947881e-05,1.948879e-05,1.949324e-05,1.949477e-05,1.949025e-05,1.948410e-05,1.946191e-05,1.944537e-05,1.942885e-05,1.938554e-05,1.935916e-05,1.933257e-05,1.927052e-05,1.923627e-05,1.919994e-05,1.912134e-05,1.908091e-05,1.903522e-05,1.894206e-05,1.889697e-05,1.884232e-05,1.873643e-05,1.868800e-05,1.862482e-05,1.850787e-05,1.845726e-05,1.838598e-05,1.825950e-05,1.820770e-05,1.812878e-05,1.799416e-05,1.794204e-05,1.785594e-05,1.771444e-05,1.766275e-05,1.756993e-05,1.742269e-05,1.737206e-05,1.727299e-05,1.712106e-05,1.707202e-05,1.696715e-05,1.681149e-05,1.676448e-05,1.665428e-05,1.649572e-05,1.645112e-05,1.633603e-05,1.617536e-05,1.613345e-05,1.601391e-05,1.585183e-05,1.581286e-05,1.568929e-05,1.552642e-05,1.549057e-05,1.536338e-05,1.520030e-05,1.516768e-05,1.503729e-05,1.487449e-05,1.484521e-05,1.471199e-05,1.454992e-05,1.452404e-05,1.438837e-05,1.422743e-05,1.420495e-05,1.406719e-05,1.390774e-05,1.388866e-05,1.374915e-05,1.359150e-05,1.357578e-05,1.343485e-05,1.327928e-05,1.326688e-05,1.312483e-05,1.297157e-05,1.296242e-05,1.281955e-05,1.266882e-05,1.266282e-05,1.251942e-05,1.237140e-05,1.236845e-05,1.222478e-05,1.207962e-05,1.179658e-05,1.151956e-05,1.124875e-05,1.098427e-05,1.072625e-05,1.047476e-05,1.022988e-05,9.991619e-06,9.760004e-06,9.535025e-06,9.316657e-06,9.104862e-06,8.899588e-06,8.700768e-06,8.508329e-06,8.322186e-06,8.142246e-06,7.968410e-06,7.800572e-06,7.638621e-06,7.482443e-06,7.331918e-06,7.186926e-06,7.047342e-06,6.913040e-06,6.783894e-06,6.659777e-06,6.540559e-06,6.426114e-06,6.316314e-06,6.211030e-06,6.110138e-06,6.013511e-06,5.921026e-06,5.832561e-06,5.747993e-06,5.667205e-06,5.590078e-06,5.516498e-06,5.446350e-06,5.379525e-06,5.315913e-06,5.255407e-06,5.197902e-06,5.143297e-06,5.091490e-06,5.042385e-06,4.995886e-06,4.951899e-06
0.000000e+00,5.408842e-09,2.201692e-07,2.327320e-07,2.257425e-06,1.050770e-05,1.109020e-05,3.470576e-05,7.558687e-05,7.882621e-05,1.421515e-04,2.110127e-04,2.172409e-04,2.956621e-04,3.644282e-04,3.718584e-04,4.433305e-04,5.016951e-04,5.093198e-04,5.697944e-04,6.175559e-04,6.249725e-04,6.751450e-04,7.136428e-04,7.206141e-04,7.616754e-04,7.922564e-04,7.986132e-04,8.316985e-04,8.555661e-04,8.611883e-04,8.873257e-04,9.055337e-04,9.103401e-04,9.304478e-04,9.439115e-04,9.478525e-04,9.627456e-04,9.722559e-04,9.753072e-04,9.857064e-04,9.919444e-04,9.941020e-04,1.000643e-03,1.004193e-03,1.005469e-03,1.008711e-03,1.010073e-03,1.010491e-03,1.010926e-03,1.010528e-03,1.010122e-03,1.008179e-03,1.006383e-03,1.005194e-03,1.001252e-03,9.983652e-04,9.964378e-04,9.908272e-04,9.871087e-04,9.844923e-04,9.775002e-04,9.731686e-04,9.699137e-04,9.617911e-04,9.570288e-04,9.531869e-04,9.441519e-04,9.391106e-04,9.347333e-04,9.249751e-04,9.197803e-04,9.149183e-04,9.046008e-04,8.993555e-04,8.940581e-04,8.833228e-04,8.781106e-04,8.724256e-04,8.613945e-04,8.562825e-04,8.502557e-04,8.390333e-04,8.340748e-04,8.277497e-04,8.164255e-04,8.116619e-04,8.050798e-04,7.937300e-04,7.891926e-04,7.823922e-04,7.710813e-04,7.667931e-04,7.598108e-04,7.485933e-04,7.445701e-04,7.374399e-04,7.263611e-04,7.226129e-04,7.153662e-04,7.044638e-04,7.009959e-04,6.936617e-04,6.829668e-04,6.797801e-04,6.723853e-04,6.619229e-04,6.590154e-04,6.515845e-04,6.413745e-04,6.387415e-04,6.312970e-04,6.213551e-04,6.189896e-04,6.115519e-04,6.018900e-04,5.997835e-04,5.923712e-04,5.829974e-04,5.811402e-04,5.737700e-04,5.646900e-04,5.630714e-04,5.557583e-04,5.469753e-04,5.455839e-04,5.383414e-04,5.298566e-04,5.286806e-04,5.215207e-04,5.133335e-04,5.123610e-04,5.052945e-04,4.974028e-04,4.966217e-04,4.896577e-04,4.820581e-04,4.814564e-04,4.746031e-04,4.672913e-04,4.668572e-04,4.601216e-04,4.530924e-04,4.528141e-04,4.462023e-04,4.394498e-04,4.393161e-04,4.328332e-04,4.263509e-04,4.139053e-04,4.019653e-04,3.905167e-04,3.795448e-04,3.690344e-04,3.589707e-04,3.493385e-04,3.401228e-04,3.313086e-04,3.228814e-04,3.148266e-04,3.071300e-04,2.997778e-04,2.927563e-04,2.860524e-04,2.796533e-04,2.735464e-04,2.677196e-04,2.621613e-04,2.568602e-04,2.518053e-04,2.469860e-04,2.423923e-04,2.380143e-04,2.338425e-04,2.298681e-04,2.260821e-04,2.224763e-04,2.190426e-04,2.157733e-04,2.126610e-04,2.096986e-04,2.068793e-04,2.041966e-04,2.016443e-04,1.992164e-04,1.969073e-04,1.947113e-04,1.926234e-04,1.906385e-04,1.887518e-04,1.869588e-04,1.852550e-04,1.836362e-04,1.820986e-04,1.806381e-04,1.792513e-04,1.779346e-04,1.766846e-04
0.000000e+00,5.593603e-10,3.648584e-08,3.889196e-08,5.617919e-07,3.835833e-06,4.114607e-06,1.933467e-05,6.121481e-05,6.534446e-05,1.716075e-04,3.516066e-04,3.718467e-04,6.966605e-04,1.114418e-03,1.168689e-03,1.800731e-03,2.491974e-03,2.595902e-03,3.548923e-03,4.485837e-03,4.647898e-03,5.876175e-03,6.993508e-03,7.214074e-03,8.640369e-03,9.860741e-03,1.013348e-02,1.167238e-02,1.292310e-02,1.323726e-02,1.480997e-02,1.603160e-02,1.637427e-02,1.791596e-02,1.906496e-02,1.942288e-02,2.088486e-02,2.193286e-02,2.229362e-02,2.364257e-02,2.457391e-02,2.492670e-02,2.614238e-02,2.695128e-02,2.728718e-02,2.835972e-02,2.904749e-02,2.935951e-02,3.028678e-02,3.085946e-02,3.114241e-02,3.192773e-02,3.239425e-02,3.264452e-02,3.329482e-02,3.366562e-02,3.388094e-02,3.440534e-02,3.469142e-02,3.487060e-02,3.527936e-02,3.549161e-02,3.563430e-02,3.593810e-02,3.608688e-02,3.619342e-02,3.640286e-02,3.649779e-02,3.656899e-02,3.669428e-02,3.674409e-02,3.678114e-02,3.683188e-02,3.684441e-02,3.684874e-02,3.683386e-02,3.681604e-02,3.678927e-02,3.671695e-02,3.667489e-02,3.661876e-02,3.649647e-02,3.643547e-02,3.635179e-02,3.618630e-02,3.611097e-02,3.600155e-02,3.579897e-02,3.571325e-02,3.557993e-02,3.534575e-02,3.525304e-02,3.509763e-02,3.483676e-02,3.473993e-02,3.456422e-02,3.428107e-02,3.418255e-02,3.398828e-02,3.368678e-02,3.358860e-02,3.337745e-02,3.306111e-02,3.296496e-02,3.273855e-02,3.241050e-02,3.231776e-02,3.207765e-02,3.174067e-02,3.165245e-02,3.140016e-02,3.105670e-02,3.097390e-02,3.071084e-02,3.036310e-02,3.028639e-02,3.001394e-02,2.966383e-02,2.959373e-02,2.931318e-02,2.896240e-02,2.889927e-02,2.861185e-02,2.826190e-02,2.820598e-02,2.791285e-02,2.756502e-02,2.751644e-02,2.721869e-02,2.687413e-02,2.683291e-02,2.653157e-02,2.619127e-02,2.615737e-02,2.585341e-02,2.551821e-02,2.549152e-02,2.518585e-02,2.485650e-02,2.483683e-02,2.453030e-02,2.420741e-02,2.419457e-02,2.388797e-02,2.357207e-02,2.356579e-02,2.325985e-02,2.295140e-02,2.235213e-02,2.176859e-02,2.120126e-02,2.065052e-02,2.011664e-02,1.959982e-02,1.910018e-02,1.861775e-02,1.815254e-02,1.770447e-02,1.727343e-02,1.685927e-02,1.646181e-02,1.608082e-02,1.571606e-02,1.536727e-02,1.503415e-02,1.471639e-02,1.441368e-02,1.412569e-02,1.385206e-02,1.359244e-02,1.334648e-02,1.311381e-02,1.289405e-02,1.268685e-02,1.249181e-02,1.230856e-02,1.213673e-02,1.197593e-02,1.182579e-02,1.168593e-02,1.155598e-02,1.143558e-02,1.132433e-02,1.122190e-02,1.112790e-02,1.104199e-02,1.096381e-02,1.089301e-02,1.082926e-02,1.077220e-02,1.072151e-02,1.067687e-02,1.063795e-02,1.060443e-02,1.057602e-02,1.055242e-02,1.053332e-02
0.000000e+00,5.975469e-09,4.080886e-07,4.353216e-07,6.423094e-06,4.379686e-05,4.696653e-05,2.189965e-04,6.913873e-04,7.380844e-04,1.950470e-03,4.050510e-03,4.289997e-03,8.214224e-03,1.345615e-02,1.415145e-02,2.246605e-02,3.197505e-02,3.343940e-02,4.726240e-02,6.150853e-02,6.403592e-02,8.377663e-02,1.026110e-01,1.064260e-01,1.318610e-01,1.546741e-01,1.599053e-01,1.903411e-01,2.162448e-01,2.229189e-01,2.573682e-01,2.853556e-01,2.934053e-01,3.307415e-01,3.598086e-01,3.690890e-01,4.081665e-01,4.373940e-01,4.477030e-01,4.874415e-01,5.160423e-01,5.271410e-01,5.665785e-01,5.939188e-01,6.055499e-01,6.438708e-01,6.694724e-01,6.813761e-01,7.179204e-01,7.414508e-01,7.533768e-01,7.876368e-01,8.088924e-01,8.206089e-01,8.522176e-01,8.711032e-01,8.824024e-01,9.111169e-01,9.276253e-01,9.383272e-01,9.640110e-01,9.782031e-01,9.881564e-01,1.010761e+00,1.022748e+00,1.031830e+00,1.051377e+00,1.061305e+00,1.069420e+00,1.085986e+00,1.094026e+00,1.101104e+00,1.114807e+00,1.121139e+00,1.127132e+00,1.138118e+00,1.142929e+00,1.147809e+00,1.156247e+00,1.159720e+00,1.163477e+00,1.169545e+00,1.171858e+00,1.174497e+00,1.178379e+00,1.179702e+00,1.181239e+00,1.183122e+00,1.183612e+00,1.184074e+00,1.184140e+00,1.183942e+00,1.183364e+00,1.181791e+00,1.181037e+00,1.179462e+00,1.176419e+00,1.175229e+00,1.172703e+00,1.168353e+00,1.166833e+00,1.163406e+00,1.157901e+00,1.156145e+00,1.151871e+00,1.145353e+00,1.143444e+00,1.138378e+00,1.130979e+00,1.128990e+00,1.123187e+00,1.115031e+00,1.113023e+00,1.106540e+00,1.097740e+00,1.095766e+00,1.088658e+00,1.079319e+00,1.077423e+00,1.069747e+00,1.059963e+00,1.058182e+00,1.049991e+00,1.039851e+00,1.038214e+00,1.029562e+00,1.019144e+00,1.017677e+00,1.008615e+00,9.979916e-01,9.967112e-01,9.872901e-01,9.765261e-01,9.754469e-01,9.657142e-01,9.548684e-01,9.539997e-01,9.440019e-01,9.331270e-01,9.324745e-01,9.222557e-01,9.113991e-01,9.109653e-01,9.005678e-01,8.897716e-01,8.895561e-01,8.790200e-01,8.683218e-01,8.473287e-01,8.266353e-01,8.062929e-01,7.863464e-01,7.668342e-01,7.477896e-01,7.292404e-01,7.112101e-01,6.937176e-01,6.767782e-01,6.604035e-01,6.446020e-01,6.293791e-01,6.147377e-01,6.006783e-01,5.871993e-01,5.742970e-01,5.619661e-01,5.501997e-01,5.389894e-01,5.283256e-01,5.181978e-01,5.085942e-01,4.995025e-01,4.909094e-01,4.828011e-01,4.751635e-01,4.679816e-01,4.612405e-01,4.549248e-01,4.490189e-01,4.435072e-01,4.383738e-01,4.336030e-01,4.291792e-01,4.250866e-01,4.213097e-01,4.178332e-01,4.146420e-01,4.117212e-01,4.090562e-01,4.066326e-01,4.044365e-01,4.024543e-01,4.006727e-01,3.990788e-01,3.976601e-01,3.964046e-01,3.953006e-01
0.000000e+00,8.546028e-09,5.541930e-07,5.906655e-07,8.577520e-06,6.039996e-05,6.490102e-05,3.201098e-04,1.061858e-03,1.136687e-03,3.116498e-03,6.605237e-03,7.004623e-03,1.355309e-02,2.226716e-02,2.341873e-02,3.710714e-02,5.258418e-02,5.495193e-02,7.711661e-02,9.964343e-02,1.036096e-01,1.343060e-01,1.631705e-01,1.689713e-01,2.072859e-01,2.411601e-01,2.488671e-01,2.932892e-01,3.305696e-01,3.401010e-01,3.888404e-01,4.278983e-01,4.390463e-01,4.902684e-01,5.296105e-01,5.420752e-01,5.940587e-01,6.324161e-01,6.458396e-01,6.970691e-01,7.334340e-01,7.474310e-01,7.966423e-01,8.302706e-01,8.444533e-01,8.906466e-01,9.210378e-01,9.350361e-01,9.774657e-01,1.004332e+00,1.017808e+00,1.055960e+00,1.079192e+00,1.091846e+00,1.125411e+00,1.145039e+00,1.156620e+00,1.185457e+00,1.201620e+00,1.211922e+00,1.236031e+00,1.248944e+00,1.257810e+00,1.277300e+00,1.287232e+00,1.294549e+00,1.309612e+00,1.316861e+00,1.322555e+00,1.333447e+00,1.338324e+00,1.342360e+00,1.349374e+00,1.352194e+00,1.354569e+00,1.358025e+00,1.359092e+00,1.359828e+00,1.360060e+00,1.359662e+00,1.358805e+00,1.356148e+00,1.354555e+00,1.352170e+00,1.346952e+00,1.344410e+00,1.340575e+00,1.333115e+00,1.329845e+00,1.324649e+00,1.315251e+00,1.311449e+00,1.304990e+00,1.293937e+00,1.289776e+00,1.282157e+00,1.269713e+00,1.265342e+00,1.256667e+00,1.243077e+00,1.238622e+00,1.228998e+00,1.214484e+00,1.210052e+00,1.199585e+00,1.184348e+00,1.180028e+00,1.168820e+00,1.153043e+00,1.148905e+00,1.137058e+00,1.120902e+00,1.117003e+00,1.104612e+00,1.088223e+00,1.084607e+00,1.071765e+00,1.055268e+00,1.051966e+00,1.038760e+00,1.022267e+00,1.019302e+00,1.005813e+00,9.894213e-01,9.868057e-01,9.731119e-01,9.569044e-01,9.546445e-01,9.408166e-01,9.248650e-01,9.229606e-01,9.090646e-01,8.934294e-01,8.918755e-01,8.779720e-01,8.627039e-01,8.614909e-01,8.476355e-01,8.327764e-01,8.318917e-01,8.181349e-01,8.037188e-01,8.031469e-01,7.895346e-01,7.755885e-01,7.753121e-01,7.618856e-01,7.484303e-01,7.225342e-01,6.976465e-01,6.737820e-01,6.509479e-01,6.291454e-01,6.083701e-01,5.886130e-01,5.698608e-01,5.520973e-01,5.353028e-01,5.194556e-01,5.045318e-01,4.905059e-01,4.773512e-01,4.650398e-01,4.535428e-01,4.428311e-01,4.328746e-01,4.236435e-01,4.151073e-01,4.072358e-01,3.999990e-01,3.933667e-01,3.873095e-01,3.817979e-01,3.768030e-01,3.722964e-01,3.682502e-01,3.646370e-01,3.614301e-01,3.586035e-01,3.561319e-01,3.539906e-01,3.521558e-01,3.506045e-01,3.493143e-01,3.482640e-01,3.474328e-01,3.468012e-01,3.463502e-01,3.460619e-01,3.459192e-01,3.459058e-01,3.460066e-01,3.462068e-01,3.464931e-01,3.468526e-01,3.472734e-01,3.477444e-01
0.000000e+00,2.259307e-09,1.271134e-07,1.353439e-07,1.877346e-06,1.166773e-05,1.244116e-05,4.738416e-05,1.122317e-04,1.173661e-04,2.155994e-04,3.177782e-04,3.268205e-04,4.384006e-04,5.331373e-04,5.432040e-04,6.382291e-04,7.131583e-04,7.227516e-04,7.970869e-04,8.534045e-04,8.619440e-04,9.181353e-04,9.592277e-04,9.664635e-04,1.007680e-03,1.036658e-03,1.042476e-03,1.071487e-03,1.090920e-03,1.095291e-03,1.114418e-03,1.126404e-03,1.129353e-03,1.140538e-03,1.146779e-03,1.148374e-03,1.153229e-03,1.155098e-03,1.155433e-03,1.155289e-03,1.153886e-03,1.153069e-03,1.149020e-03,1.145216e-03,1.143362e-03,1.136296e-03,1.130780e-03,1.128002e-03,1.118642e-03,1.111952e-03,1.108361e-03,1.097290e-03,1.089843e-03,1.085544e-03,1.073228e-03,1.065348e-03,1.060436e-03,1.047253e-03,1.039185e-03,1.033751e-03,1.019998e-03,1.011930e-03,1.006054e-03,9.919702e-04,9.840402e-04,9.777942e-04,9.635676e-04,9.558773e-04,9.493272e-04,9.351055e-04,9.277272e-04,9.209311e-04,9.068295e-04,8.998129e-04,8.928226e-04,8.789299e-04,8.723070e-04,8.651681e-04,8.515518e-04,8.453407e-04,8.380936e-04,8.248043e-04,8.190129e-04,8.116930e-04,7.987675e-04,7.933958e-04,7.860342e-04,7.734983e-04,7.685403e-04,7.611643e-04,7.490354e-04,7.444807e-04,7.371142e-04,7.254025e-04,7.212378e-04,7.139014e-04,7.026116e-04,6.988212e-04,6.915331e-04,6.806656e-04,6.772325e-04,6.700083e-04,6.595601e-04,6.564662e-04,6.493195e-04,6.392850e-04,6.365120e-04,6.294546e-04,6.198261e-04,6.173555e-04,6.103973e-04,6.011658e-04,5.989793e-04,5.921289e-04,5.832840e-04,5.813636e-04,5.746284e-04,5.661592e-04,5.644874e-04,5.578734e-04,5.497683e-04,5.483283e-04,5.418407e-04,5.340876e-04,5.328632e-04,5.265062e-04,5.190932e-04,5.180687e-04,5.118457e-04,5.047607e-04,5.039212e-04,4.978351e-04,4.910659e-04,4.903975e-04,4.844502e-04,4.779850e-04,4.774742e-04,4.716674e-04,4.654944e-04,4.651285e-04,4.594632e-04,4.535709e-04,4.533381e-04,4.478148e-04,4.421921e-04,4.420810e-04,4.367000e-04,4.313359e-04,4.210821e-04,4.112996e-04,4.019688e-04,3.930712e-04,3.845884e-04,3.765031e-04,3.687985e-04,3.614583e-04,3.544669e-04,3.478094e-04,3.414714e-04,3.354391e-04,3.296991e-04,3.242388e-04,3.190459e-04,3.141087e-04,3.094160e-04,3.049569e-04,3.007211e-04,2.966988e-04,2.928803e-04,2.892567e-04,2.858192e-04,2.825594e-04,2.794693e-04,2.765413e-04,2.737680e-04,2.711424e-04,2.686577e-04,2.663076e-04,2.640857e-04,2.619863e-04,2.600036e-04,2.581322e-04,2.563669e-04,2.547028e-04,2.531351e-04,2.516593e-04,2.502710e-04,2.489660e-04,2.477403e-04,2.465902e-04,2.455119e-04,2.445021e-04,2.435573e-04,2.426743e-04,2.418501e-04,2.410818e-04,2.403666e-04
0.000000e+00,2.102076e-09,2.888671e-08,3.015708e-08,1.842308e-07,6.355908e-07,6.636143e-07,1.629311e-06,2.912684e-06,3.001689e-06,4.518491e-06,5.887777e-06,6.003680e-06,7.401265e-06,8.574647e-06,8.700068e-06,9.900893e-06,1.087963e-05,1.100762e-05,1.202483e-05,1.283154e-05,1.295712e-05,1.380907e-05,1.446594e-05,1.458522e-05,1.528992e-05,1.581743e-05,1.592740e-05,1.650170e-05,1.691823e-05,1.701666e-05,1.747596e-05,1.779783e-05,1.788309e-05,1.824137e-05,1.848292e-05,1.855393e-05,1.882375e-05,1.899755e-05,1.905363e-05,1.924625e-05,1.936327e-05,1.940411e-05,1.952957e-05,1.959932e-05,1.962488e-05,1.969214e-05,1.972288e-05,1.973334e-05,1.975037e-05,1.974922e-05,1.974497e-05,1.971882e-05,1.969192e-05,1.967349e-05,1.961044e-05,1.956306e-05,1.953106e-05,1.943666e-05,1.937332e-05,1.932845e-05,1.920761e-05,1.913215e-05,1.907519e-05,1.893223e-05,1.884792e-05,1.877967e-05,1.861842e-05,1.852802e-05,1.844930e-05,1.827310e-05,1.817893e-05,1.809057e-05,1.790238e-05,1.780638e-05,1.770920e-05,1.751162e-05,1.741538e-05,1.731020e-05,1.710548e-05,1.701033e-05,1.689794e-05,1.668805e-05,1.659506e-05,1.647623e-05,1.626289e-05,1.617292e-05,1.604839e-05,1.583308e-05,1.574680e-05,1.561728e-05,1.540129e-05,1.531922e-05,1.518538e-05,1.496981e-05,1.489234e-05,1.475482e-05,1.454062e-05,1.446801e-05,1.432742e-05,1.411540e-05,1.404783e-05,1.390473e-05,1.369557e-05,1.363313e-05,1.348805e-05,1.328232e-05,1.322505e-05,1.307848e-05,1.287665e-05,1.282451e-05,1.267692e-05,1.247937e-05,1.243230e-05,1.228410e-05,1.209117e-05,1.204904e-05,1.190064e-05,1.171256e-05,1.167524e-05,1.152698e-05,1.134395e-05,1.131128e-05,1.116350e-05,1.098566e-05,1.095745e-05,1.081046e-05,1.063790e-05,1.061396e-05,1.046802e-05,1.030081e-05,1.028093e-05,1.013629e-05,9.974458e-06,9.958423e-06,9.815315e-06,9.658857e-06,9.646456e-06,9.505079e-06,9.353971e-06,9.344989e-06,9.205521e-06,9.059717e-06,9.053940e-06,8.916542e-06,8.775979e-06,8.773194e-06,8.638007e-06,8.502606e-06,8.242007e-06,7.991206e-06,7.749996e-06,7.518159e-06,7.295463e-06,7.081670e-06,6.876534e-06,6.679807e-06,6.491238e-06,6.310574e-06,6.137565e-06,5.971960e-06,5.813510e-06,5.661972e-06,5.517104e-06,5.378668e-06,5.246433e-06,5.120171e-06,4.999661e-06,4.884686e-06,4.775035e-06,4.670504e-06,4.570894e-06,4.476012e-06,4.385670e-06,4.299688e-06,4.217890e-06,4.140108e-06,4.066178e-06,3.995941e-06,3.929245e-06,3.865945e-06,3.805896e-06,3.748964e-06,3.695017e-06,3.643928e-06,3.595576e-06,3.549843e-06,3.506616e-06,3.465788e-06,3.427253e-06,3.390914e-06,3.356672e-06,3.324436e-06,3.294117e-06,3.265629e-06,3.238893e-06,3.213827e-06,3.190359e-06
0.000000e+00,1.483285e-09,8.977348e-08,9.546653e-08,1.202399e-06,7.262957e-06,7.756982e-06,3.346808e-05,1.017252e-04,1.084309e-04,2.826653e-04,5.873107e-04,6.222688e-04,1.199341e-03,1.977207e-03,2.080681e-03,3.319423e-03,4.733481e-03,4.950653e-03,6.990256e-03,9.069643e-03,9.435964e-03,1.226965e-02,1.492738e-02,1.546028e-02,1.896700e-02,2.204509e-02,2.274214e-02,2.673396e-02,3.004749e-02,3.088898e-02,3.515395e-02,3.852377e-02,3.947743e-02,4.381094e-02,4.708349e-02,4.810983e-02,5.233387e-02,5.539039e-02,5.644752e-02,6.042008e-02,6.317825e-02,6.422568e-02,6.784306e-02,7.025404e-02,7.125537e-02,7.444985e-02,7.649291e-02,7.741745e-02,8.015250e-02,8.182883e-02,8.265232e-02,8.491680e-02,8.624348e-02,8.694810e-02,8.875027e-02,8.975496e-02,9.032895e-02,9.169107e-02,9.240767e-02,9.284459e-02,9.379827e-02,9.426349e-02,9.456143e-02,9.514381e-02,9.539469e-02,9.555538e-02,9.580624e-02,9.587842e-02,9.590645e-02,9.586599e-02,9.579261e-02,9.569465e-02,9.540199e-02,9.521307e-02,9.499727e-02,9.448943e-02,9.421157e-02,9.388704e-02,9.319831e-02,9.285466e-02,9.243105e-02,9.159268e-02,9.120310e-02,9.069025e-02,8.973037e-02,8.931161e-02,8.871931e-02,8.766296e-02,8.722898e-02,8.656682e-02,8.543606e-02,8.499831e-02,8.427551e-02,8.308967e-02,8.265739e-02,8.188273e-02,8.065860e-02,8.023913e-02,7.942090e-02,7.817299e-02,7.777202e-02,7.691799e-02,7.565876e-02,7.528057e-02,7.439796e-02,7.313803e-02,7.278572e-02,7.188123e-02,7.062962e-02,7.030529e-02,6.938509e-02,6.814937e-02,6.785428e-02,6.692404e-02,6.571054e-02,6.544529e-02,6.451018e-02,6.332413e-02,6.308874e-02,6.215348e-02,6.099917e-02,6.079320e-02,5.986207e-02,5.874295e-02,5.856561e-02,5.764249e-02,5.656128e-02,5.641148e-02,5.549986e-02,5.445868e-02,5.433512e-02,5.343813e-02,5.243854e-02,5.233975e-02,5.146019e-02,5.050331e-02,5.042769e-02,4.956806e-02,4.865458e-02,4.860046e-02,4.776296e-02,4.689326e-02,4.685893e-02,4.604549e-02,4.521964e-02,4.520335e-02,4.441567e-02,4.363351e-02,4.214878e-02,4.074817e-02,3.943039e-02,3.819388e-02,3.703690e-02,3.595749e-02,3.495357e-02,3.402295e-02,3.316330e-02,3.237226e-02,3.164735e-02,3.098607e-02,3.038588e-02,2.984418e-02,2.935838e-02,2.892585e-02,2.854397e-02,2.821012e-02,2.792167e-02,2.767602e-02,2.747057e-02,2.730275e-02,2.717004e-02,2.706993e-02,2.699997e-02,2.695773e-02,2.694087e-02,2.694708e-02,2.697413e-02,2.701985e-02,2.708216e-02,2.715903e-02,2.724854e-02,2.734885e-02,2.745820e-02,2.757494e-02,2.769749e-02,2.782440e-02,2.795429e-02,2.808589e-02,2.821803e-02,2.834964e-02,2.847974e-02,2.860744e-02,2.873196e-02,2.885260e-02,2.896876e-02,2.907990e-02,2.918558e-02
0.000000e+00,1.850169e-08,1.215518e-06,1.296108e-06,1.920261e-05,1.352773e-04,1.452889e-04,7.001073e-04,2.238776e-03,2.390274e-03,6.264644e-03,1.275539e-02,1.348174e-02,2.508950e-02,3.996957e-02,4.190268e-02,6.446052e-02,8.928321e-02,9.303235e-02,1.276473e-01,1.621229e-01,1.681336e-01,2.141598e-01,2.567750e-01,2.652738e-01,3.209372e-01,3.695602e-01,3.805556e-01,4.435028e-01,4.958294e-01,5.091421e-01,5.768421e-01,6.306831e-01,6.459894e-01,7.159989e-01,7.694425e-01,7.863200e-01,8.564425e-01,9.079287e-01,9.258989e-01,9.942665e-01,1.042603e+00,1.061168e+00,1.126271e+00,1.170616e+00,1.189285e+00,1.249965e+00,1.289786e+00,1.308102e+00,1.363526e+00,1.398553e+00,1.416102e+00,1.465727e+00,1.495902e+00,1.512325e+00,1.555851e+00,1.581283e+00,1.596281e+00,1.633612e+00,1.654530e+00,1.667862e+00,1.699065e+00,1.715785e+00,1.727269e+00,1.752535e+00,1.765427e+00,1.774935e+00,1.794549e+00,1.804012e+00,1.811465e+00,1.825777e+00,1.832224e+00,1.837585e+00,1.846990e+00,1.850824e+00,1.854097e+00,1.859013e+00,1.860625e+00,1.861844e+00,1.862698e+00,1.862456e+00,1.861681e+00,1.858899e+00,1.857143e+00,1.854457e+00,1.848455e+00,1.845493e+00,1.840994e+00,1.832171e+00,1.828282e+00,1.822080e+00,1.810813e+00,1.806242e+00,1.798458e+00,1.785100e+00,1.780061e+00,1.770821e+00,1.755699e+00,1.750379e+00,1.739810e+00,1.723225e+00,1.717783e+00,1.706014e+00,1.688241e+00,1.682808e+00,1.669968e+00,1.651255e+00,1.645944e+00,1.632157e+00,1.612727e+00,1.607627e+00,1.593015e+00,1.573069e+00,1.568252e+00,1.552932e+00,1.532646e+00,1.528167e+00,1.512251e+00,1.491783e+00,1.487684e+00,1.471277e+00,1.450765e+00,1.447075e+00,1.430277e+00,1.409841e+00,1.406578e+00,1.389483e+00,1.369228e+00,1.366401e+00,1.349097e+00,1.329111e+00,1.326723e+00,1.309290e+00,1.289650e+00,1.287697e+00,1.270209e+00,1.250981e+00,1.249452e+00,1.231978e+00,1.213215e+00,1.212097e+00,1.194701e+00,1.176447e+00,1.175723e+00,1.158462e+00,1.140753e+00,1.140402e+00,1.123329e+00,1.106194e+00,1.073144e+00,1.041285e+00,1.010642e+00,9.812287e-01,9.530521e-01,9.261122e-01,9.004029e-01,8.759131e-01,8.526271e-01,8.305255e-01,8.095853e-01,7.897812e-01,7.710850e-01,7.534672e-01,7.368961e-01,7.213393e-01,7.067629e-01,6.931324e-01,6.804127e-01,6.685684e-01,6.575637e-01,6.473630e-01,6.379304e-01,6.292306e-01,6.212283e-01,6.138887e-01,6.071776e-01,6.010610e-01,5.955060e-01,5.904801e-01,5.859516e-01,5.818897e-01,5.782644e-01,5.750465e-01,5.722080e-01,5.697215e-01,5.675608e-01,5.657008e-01,5.641171e-01,5.627867e-01,5.616874e-01,5.607981e-01,5.600987e-01,5.595703e-01,5.591949e-01,5.589555e-01,5.588361e-01,5.588219e-01,5.588988e-01
0.000000e+00,3.487050e-09,1.522398e-07,1.610671e-07,1.665025e-06,8.693225e-06,9.226271e-06,3.328252e-05,8.148215e-05,8.552406e-05,1.685556e-04,2.647221e-04,2.736465e-04,3.887306e-04,4.932697e-04,5.047423e-04,6.166486e-04,7.099013e-04,7.221974e-04,8.206125e-04,8.994604e-04,9.117960e-04,9.959331e-04,1.061377e-03,1.073318e-03,1.144284e-03,1.197925e-03,1.209171e-03,1.268315e-03,1.311717e-03,1.322045e-03,1.370675e-03,1.405261e-03,1.414507e-03,1.453830e-03,1.480870e-03,1.488919e-03,1.520034e-03,1.540647e-03,1.547423e-03,1.571322e-03,1.586492e-03,1.591951e-03,1.609523e-03,1.620111e-03,1.624236e-03,1.636279e-03,1.643034e-03,1.645830e-03,1.653056e-03,1.656631e-03,1.658119e-03,1.661166e-03,1.662125e-03,1.662341e-03,1.661776e-03,1.660609e-03,1.659599e-03,1.655928e-03,1.653055e-03,1.650875e-03,1.644546e-03,1.640330e-03,1.637040e-03,1.628452e-03,1.623203e-03,1.618870e-03,1.608377e-03,1.602359e-03,1.597050e-03,1.584964e-03,1.578402e-03,1.572188e-03,1.558786e-03,1.551870e-03,1.544820e-03,1.530346e-03,1.523235e-03,1.515419e-03,1.500089e-03,1.492915e-03,1.484403e-03,1.468406e-03,1.461279e-03,1.452138e-03,1.435638e-03,1.428648e-03,1.418944e-03,1.402088e-03,1.395307e-03,1.385102e-03,1.368015e-03,1.361502e-03,1.350856e-03,1.333650e-03,1.327448e-03,1.316420e-03,1.299189e-03,1.293333e-03,1.281977e-03,1.264803e-03,1.259319e-03,1.247686e-03,1.230641e-03,1.225544e-03,1.213683e-03,1.196827e-03,1.192127e-03,1.180085e-03,1.163469e-03,1.159170e-03,1.146989e-03,1.130656e-03,1.126759e-03,1.114479e-03,1.098466e-03,1.094966e-03,1.082624e-03,1.066959e-03,1.063848e-03,1.051479e-03,1.036188e-03,1.033456e-03,1.021091e-03,1.006193e-03,1.003828e-03,9.914966e-04,9.770057e-04,9.749936e-04,9.627231e-04,9.486509e-04,9.469765e-04,9.347912e-04,9.211456e-04,9.197929e-04,9.077154e-04,8.945013e-04,8.934536e-04,8.815041e-04,8.687242e-04,8.679643e-04,8.561615e-04,8.438159e-04,8.433266e-04,8.316870e-04,8.197743e-04,8.195383e-04,8.080770e-04,7.965939e-04,7.744854e-04,7.532021e-04,7.327316e-04,7.130596e-04,6.941707e-04,6.760482e-04,6.586746e-04,6.420315e-04,6.261001e-04,6.108613e-04,5.962954e-04,5.823828e-04,5.691038e-04,5.564388e-04,5.443680e-04,5.328722e-04,5.219320e-04,5.115286e-04,5.016433e-04,4.922577e-04,4.833539e-04,4.749143e-04,4.669218e-04,4.593594e-04,4.522110e-04,4.454604e-04,4.390923e-04,4.330914e-04,4.274433e-04,4.221336e-04,4.171485e-04,4.124747e-04,4.080993e-04,4.040096e-04,4.001934e-04,3.966392e-04,3.933354e-04,3.902711e-04,3.874356e-04,3.848187e-04,3.824106e-04,3.802016e-04,3.781825e-04,3.763444e-04,3.746787e-04,3.731772e-04,3.718319e-04,3.706351e-04,3.695794e-04
0.000000e+00,2.401845e-09,1.100159e-07,1.164324e-07,1.198766e-06,6.205790e-06,6.586740e-06,2.420464e-05,6.227611e-05,6.563780e-05,1.402814e-04,2.389223e-04,2.486608e-04,3.813732e-04,5.100272e-04,5.244069e-04,6.651855e-04,7.804527e-04,7.953366e-04,9.106046e-04,9.967545e-04,1.009644e-03,1.092810e-03,1.151259e-03,1.161290e-03,1.216596e-03,1.253213e-03,1.260289e-03,1.293851e-03,1.314321e-03,1.318636e-03,1.335850e-03,1.344713e-03,1.346561e-03,1.351703e-03,1.352394e-03,1.352095e-03,1.348450e-03,1.343521e-03,1.341388e-03,1.331448e-03,1.322775e-03,1.319099e-03,1.304746e-03,1.293698e-03,1.288743e-03,1.271393e-03,1.258964e-03,1.252963e-03,1.233678e-03,1.220579e-03,1.213736e-03,1.193305e-03,1.180041e-03,1.172531e-03,1.151537e-03,1.138457e-03,1.130428e-03,1.109297e-03,1.096639e-03,1.088219e-03,1.067261e-03,1.055182e-03,1.046477e-03,1.025913e-03,1.014507e-03,1.005607e-03,9.855911e-04,9.749125e-04,9.658913e-04,9.465281e-04,9.365982e-04,9.275186e-04,9.088754e-04,8.996946e-04,8.906087e-04,8.727253e-04,8.642787e-04,8.552295e-04,8.381240e-04,8.303868e-04,8.214096e-04,8.050856e-04,7.980263e-04,7.891502e-04,7.736006e-04,7.671838e-04,7.584329e-04,7.436427e-04,7.378311e-04,7.292248e-04,7.151737e-04,7.099292e-04,7.014832e-04,6.881471e-04,6.834316e-04,6.751587e-04,6.625113e-04,6.582876e-04,6.501979e-04,6.382114e-04,6.344436e-04,6.265448e-04,6.151909e-04,6.118447e-04,6.041427e-04,5.933930e-04,5.904356e-04,5.829348e-04,5.727610e-04,5.701616e-04,5.628649e-04,5.532395e-04,5.509690e-04,5.438782e-04,5.347743e-04,5.328054e-04,5.259213e-04,5.173129e-04,5.156200e-04,5.089427e-04,5.008047e-04,4.993640e-04,4.928927e-04,4.852010e-04,4.839904e-04,4.777238e-04,4.704554e-04,4.694542e-04,4.633903e-04,4.565232e-04,4.557122e-04,4.498488e-04,4.433620e-04,4.427235e-04,4.370578e-04,4.309313e-04,4.304488e-04,4.249778e-04,4.191926e-04,4.188508e-04,4.135712e-04,4.081092e-04,4.078940e-04,4.028023e-04,3.976464e-04,3.975448e-04,3.926372e-04,3.877710e-04,3.785423e-04,3.698297e-04,3.616059e-04,3.538449e-04,3.465220e-04,3.396138e-04,3.330983e-04,3.269543e-04,3.211619e-04,3.157024e-04,3.105578e-04,3.057111e-04,3.011463e-04,2.968482e-04,2.928024e-04,2.889951e-04,2.854136e-04,2.820454e-04,2.788790e-04,2.759035e-04,2.731083e-04,2.704836e-04,2.680200e-04,2.657088e-04,2.635415e-04,2.615101e-04,2.596072e-04,2.578256e-04,2.561586e-04,2.545998e-04,2.531431e-04,2.517828e-04,2.505134e-04,2.493299e-04,2.482274e-04,2.472012e-04,2.462471e-04,2.453608e-04,2.445386e-04,2.437766e-04,2.430714e-04,2.424196e-04,2.418182e-04,2.412642e-04,2.407548e-04,2.402873e-04,2.398592e-04,2.394681e-04,2.391118e-04
0.000000e+00,3.083505e-10,2.327141e-08,2.489402e-08,4.114332e-07,2.875829e-06,3.081438e-06,1.350259e-05,3.795627e-05,4.016836e-05,9.059914e-05,1.608853e-04,1.680707e-04,2.711426e-04,3.817662e-04,3.948851e-04,5.325345e-04,6.594647e-04,6.769193e-04,8.214452e-04,9.416491e-04,9.606489e-04,1.090410e-03,1.190037e-03,1.207941e-03,1.311635e-03,1.385870e-03,1.400860e-03,1.475731e-03,1.525719e-03,1.536901e-03,1.585375e-03,1.615144e-03,1.622361e-03,1.649157e-03,1.663513e-03,1.667069e-03,1.677349e-03,1.680729e-03,1.681158e-03,1.679549e-03,1.675566e-03,1.673457e-03,1.663697e-03,1.655062e-03,1.650970e-03,1.635871e-03,1.624509e-03,1.618902e-03,1.600480e-03,1.587696e-03,1.580951e-03,1.560598e-03,1.547248e-03,1.539652e-03,1.518299e-03,1.504924e-03,1.496691e-03,1.474949e-03,1.461880e-03,1.453168e-03,1.431426e-03,1.418857e-03,1.409782e-03,1.388285e-03,1.376325e-03,1.366972e-03,1.345872e-03,1.334575e-03,1.325008e-03,1.304397e-03,1.293785e-03,1.284054e-03,1.263987e-03,1.254060e-03,1.244205e-03,1.224714e-03,1.215462e-03,1.205515e-03,1.186614e-03,1.178019e-03,1.168010e-03,1.149704e-03,1.141744e-03,1.131697e-03,1.113988e-03,1.106638e-03,1.096575e-03,1.079457e-03,1.072692e-03,1.062632e-03,1.046098e-03,1.039891e-03,1.029853e-03,1.013895e-03,1.008219e-03,9.982193e-04,9.828244e-04,9.776536e-04,9.677071e-04,9.528643e-04,9.481720e-04,9.382927e-04,9.239891e-04,9.197498e-04,9.099501e-04,8.961724e-04,8.923610e-04,8.826524e-04,8.693868e-04,8.659789e-04,8.563719e-04,8.436043e-04,8.405764e-04,8.310804e-04,8.187966e-04,8.161261e-04,8.067495e-04,7.949353e-04,7.926002e-04,7.833507e-04,7.719920e-04,7.699711e-04,7.608557e-04,7.499383e-04,7.482116e-04,7.392362e-04,7.287461e-04,7.272942e-04,7.184645e-04,7.083878e-04,7.071923e-04,6.985129e-04,6.888362e-04,6.878793e-04,6.793544e-04,6.700644e-04,6.693293e-04,6.609627e-04,6.520462e-04,6.515170e-04,6.433117e-04,6.347560e-04,6.344175e-04,6.263761e-04,6.181688e-04,6.180064e-04,6.101311e-04,6.022600e-04,5.871554e-04,5.726700e-04,5.587820e-04,5.454701e-04,5.327139e-04,5.204932e-04,5.087888e-04,4.975818e-04,4.868541e-04,4.765880e-04,4.667666e-04,4.573732e-04,4.483921e-04,4.398076e-04,4.316050e-04,4.237699e-04,4.162882e-04,4.091465e-04,4.023318e-04,3.958316e-04,3.896338e-04,3.837266e-04,3.780987e-04,3.727392e-04,3.676375e-04,3.627836e-04,3.581675e-04,3.537798e-04,3.496113e-04,3.456533e-04,3.418972e-04,3.383348e-04,3.349582e-04,3.317597e-04,3.287320e-04,3.258679e-04,3.231606e-04,3.206035e-04,3.181901e-04,3.159144e-04,3.137704e-04,3.117524e-04,3.098548e-04,3.080724e-04,3.064000e-04,3.048328e-04,3.033659e-04,3.019947e-04,3.007149e-04
0.000000e+00,1.104453e-08,2.734452e-07,2.875843e-07,2.399260e-06,1.020598e-05,1.072786e-05,2.954949e-05,5.455946e-05,5.626067e-05,8.472698e-05,1.098936e-04,1.120101e-04,1.374130e-04,1.586004e-04,1.608582e-04,1.824084e-04,1.998789e-04,2.021568e-04,2.202026e-04,2.344354e-04,2.366443e-04,2.515777e-04,2.630238e-04,2.650951e-04,2.772852e-04,2.863501e-04,2.882326e-04,2.980178e-04,3.050605e-04,3.067170e-04,3.144028e-04,3.197386e-04,3.211440e-04,3.270054e-04,3.309091e-04,3.320477e-04,3.363282e-04,3.390372e-04,3.399009e-04,3.428166e-04,3.445361e-04,3.451231e-04,3.468651e-04,3.477712e-04,3.480845e-04,3.488209e-04,3.490648e-04,3.491113e-04,3.489902e-04,3.487008e-04,3.484902e-04,3.476417e-04,3.469291e-04,3.464733e-04,3.450115e-04,3.439689e-04,3.432813e-04,3.413062e-04,3.400126e-04,3.391079e-04,3.367068e-04,3.352289e-04,3.341221e-04,3.313716e-04,3.297651e-04,3.284718e-04,3.254383e-04,3.237498e-04,3.222856e-04,3.190271e-04,3.172951e-04,3.156755e-04,3.122424e-04,3.104987e-04,3.087387e-04,3.051745e-04,3.034451e-04,3.015593e-04,2.979018e-04,2.962074e-04,2.942101e-04,2.904918e-04,2.888491e-04,2.867537e-04,2.830024e-04,2.814243e-04,2.792438e-04,2.754834e-04,2.739798e-04,2.717262e-04,2.679770e-04,2.665553e-04,2.642401e-04,2.605194e-04,2.591846e-04,2.568184e-04,2.531407e-04,2.518960e-04,2.494890e-04,2.458664e-04,2.447136e-04,2.422751e-04,2.387175e-04,2.376572e-04,2.351957e-04,2.317115e-04,2.307429e-04,2.282666e-04,2.248624e-04,2.239841e-04,2.215002e-04,2.181813e-04,2.173913e-04,2.149066e-04,2.116770e-04,2.109727e-04,2.084933e-04,2.053561e-04,2.047343e-04,2.022659e-04,1.992233e-04,1.986807e-04,1.962284e-04,1.932816e-04,1.928146e-04,1.903831e-04,1.875329e-04,1.871377e-04,1.847311e-04,1.819777e-04,1.816505e-04,1.792725e-04,1.766155e-04,1.763524e-04,1.740064e-04,1.714450e-04,1.712421e-04,1.689311e-04,1.664643e-04,1.663178e-04,1.640443e-04,1.616706e-04,1.615767e-04,1.593430e-04,1.570610e-04,1.570158e-04,1.548241e-04,1.526318e-04,1.484209e-04,1.443790e-04,1.405021e-04,1.367856e-04,1.332252e-04,1.298163e-04,1.265544e-04,1.234348e-04,1.204530e-04,1.176044e-04,1.148846e-04,1.122891e-04,1.098135e-04,1.074535e-04,1.052049e-04,1.030636e-04,1.010255e-04,9.908681e-05,9.724365e-05,9.549231e-05,9.382921e-05,9.225084e-05,9.075382e-05,8.933487e-05,8.799082e-05,8.671861e-05,8.551525e-05,8.437790e-05,8.330377e-05,8.229021e-05,8.133463e-05,8.043455e-05,7.958757e-05,7.879140e-05,7.804380e-05,7.734263e-05,7.668584e-05,7.607145e-05,7.549753e-05,7.496226e-05,7.446388e-05,7.400067e-05,7.357100e-05,7.317332e-05,7.280610e-05,7.246790e-05,7.215732e-05,7.187303e-05,7.161373e-05
0.000000e+00,9.907303e-09,1.795967e-07,1.880632e-07,1.227064e-06,4.097267e-06,4.267138e-06,9.664197e-06,1.590544e-05,1.631528e-05,2.310482e-05,2.913673e-05,2.964852e-05,3.586389e-05,4.116692e-05,4.173924e-05,4.727920e-05,5.188400e-05,5.249272e-05,5.739027e-05,6.135789e-05,6.198294e-05,6.628225e-05,6.967552e-05,7.029990e-05,7.404757e-05,7.692727e-05,7.753677e-05,8.077890e-05,8.320219e-05,8.378506e-05,8.656598e-05,8.858548e-05,8.913212e-05,9.149355e-05,9.315734e-05,9.366002e-05,9.564089e-05,9.699257e-05,9.744519e-05,9.908158e-05,1.001605e-04,1.005584e-04,1.018836e-04,1.027252e-04,1.030649e-04,1.041097e-04,1.047458e-04,1.050250e-04,1.058175e-04,1.062764e-04,1.064937e-04,1.070598e-04,1.073671e-04,1.075217e-04,1.078852e-04,1.080634e-04,1.081555e-04,1.083380e-04,1.084074e-04,1.084376e-04,1.084590e-04,1.084373e-04,1.084067e-04,1.082851e-04,1.081882e-04,1.080983e-04,1.078502e-04,1.076921e-04,1.075446e-04,1.071852e-04,1.069781e-04,1.067753e-04,1.063181e-04,1.060729e-04,1.058169e-04,1.052746e-04,1.050005e-04,1.046940e-04,1.040779e-04,1.037832e-04,1.034287e-04,1.027489e-04,1.024408e-04,1.020410e-04,1.013070e-04,1.009915e-04,1.005491e-04,9.976928e-05,9.945166e-05,9.896949e-05,9.815151e-05,9.783627e-05,9.731707e-05,9.646780e-05,9.615873e-05,9.560525e-05,9.473089e-05,9.443117e-05,9.384612e-05,9.295226e-05,9.266452e-05,9.205057e-05,9.114223e-05,9.086860e-05,9.022836e-05,8.931003e-05,8.905224e-05,8.838825e-05,8.746395e-05,8.722333e-05,8.653804e-05,8.561137e-05,8.538894e-05,8.468473e-05,8.375887e-05,8.355536e-05,8.283450e-05,8.191229e-05,8.172816e-05,8.099286e-05,8.007680e-05,7.991231e-05,7.916466e-05,7.825695e-05,7.811216e-05,7.735416e-05,7.645675e-05,7.633156e-05,7.556512e-05,7.467967e-05,7.457385e-05,7.380077e-05,7.292876e-05,7.284195e-05,7.206395e-05,7.120663e-05,7.113838e-05,7.035707e-05,6.951552e-05,6.946529e-05,6.868220e-05,6.785732e-05,6.782451e-05,6.704107e-05,6.623363e-05,6.621757e-05,6.543514e-05,6.464574e-05,6.311004e-05,6.161128e-05,6.015006e-05,5.872683e-05,5.734185e-05,5.599528e-05,5.468711e-05,5.341724e-05,5.218549e-05,5.099155e-05,4.983507e-05,4.871562e-05,4.763270e-05,4.658579e-05,4.557428e-05,4.459757e-05,4.365499e-05,4.274587e-05,4.186951e-05,4.102519e-05,4.021218e-05,3.942974e-05,3.867712e-05,3.795357e-05,3.725834e-05,3.659068e-05,3.594983e-05,3.533506e-05,3.474562e-05,3.418079e-05,3.363984e-05,3.312207e-05,3.262675e-05,3.215322e-05,3.170078e-05,3.126877e-05,3.085654e-05,3.046345e-05,3.008886e-05,2.973216e-05,2.939277e-05,2.907007e-05,2.876352e-05,2.847254e-05,2.819660e-05,2.793516e-05,2.768770e-05,2.745373e-05,2.723274e-05
0.000000e+00,1.384334e-08,2.174594e-07,2.266332e-07,1.274935e-06,4.325857e-06,4.519360e-06,1.157686e-05,2.238742e-05,2.320769e-05,3.866636e-05,5.469627e-05,5.611796e-05,7.369004e-05,8.864787e-05,9.024059e-05,1.053303e-04,1.173313e-04,1.188764e-04,1.309280e-04,1.401662e-04,1.415762e-04,1.509219e-04,1.578397e-04,1.590660e-04,1.661050e-04,1.711163e-04,1.721298e-04,1.772260e-04,1.806880e-04,1.814731e-04,1.849456e-04,1.871607e-04,1.877120e-04,1.898362e-04,1.910575e-04,1.913771e-04,1.923892e-04,1.928276e-04,1.929230e-04,1.930242e-04,1.928532e-04,1.927353e-04,1.920960e-04,1.914593e-04,1.911422e-04,1.899075e-04,1.889232e-04,1.884227e-04,1.867161e-04,1.854811e-04,1.848139e-04,1.827401e-04,1.813333e-04,1.805173e-04,1.781664e-04,1.766526e-04,1.757056e-04,1.731515e-04,1.715805e-04,1.705191e-04,1.678224e-04,1.662337e-04,1.650737e-04,1.622847e-04,1.607091e-04,1.594657e-04,1.566260e-04,1.550871e-04,1.537743e-04,1.509180e-04,1.494334e-04,1.480643e-04,1.452193e-04,1.438019e-04,1.423887e-04,1.395774e-04,1.382361e-04,1.367898e-04,1.340301e-04,1.327709e-04,1.313016e-04,1.286074e-04,1.274336e-04,1.259504e-04,1.233326e-04,1.222455e-04,1.207564e-04,1.182232e-04,1.172224e-04,1.157347e-04,1.132920e-04,1.123760e-04,1.108961e-04,1.085479e-04,1.077143e-04,1.062479e-04,1.039965e-04,1.032422e-04,1.017941e-04,9.964072e-05,9.896202e-05,9.753647e-05,9.548121e-05,9.487416e-05,9.347477e-05,9.151687e-05,9.097730e-05,8.960713e-05,8.774514e-05,8.726878e-05,8.593039e-05,8.416233e-05,8.374487e-05,8.244035e-05,8.076381e-05,8.040100e-05,7.913201e-05,7.754424e-05,7.723191e-05,7.599976e-05,7.449779e-05,7.423189e-05,7.303754e-05,7.161823e-05,7.139489e-05,7.023904e-05,6.889913e-05,6.871463e-05,6.759770e-05,6.633389e-05,6.618472e-05,6.510689e-05,6.391585e-05,6.379869e-05,6.275994e-05,6.163835e-05,6.155008e-05,6.055023e-05,5.949479e-05,5.943249e-05,5.847121e-05,5.747870e-05,5.743963e-05,5.651646e-05,5.558372e-05,5.556536e-05,5.467971e-05,5.380367e-05,5.214877e-05,5.059503e-05,4.913705e-05,4.776963e-05,4.648778e-05,4.528675e-05,4.416199e-05,4.310915e-05,4.212412e-05,4.120298e-05,4.034200e-05,3.953764e-05,3.878657e-05,3.808563e-05,3.743180e-05,3.682227e-05,3.625437e-05,3.572556e-05,3.523346e-05,3.477584e-05,3.435058e-05,3.395567e-05,3.358925e-05,3.324954e-05,3.293489e-05,3.264372e-05,3.237456e-05,3.212603e-05,3.189682e-05,3.168571e-05,3.149155e-05,3.131326e-05,3.114982e-05,3.100027e-05,3.086373e-05,3.073934e-05,3.062631e-05,3.052391e-05,3.043144e-05,3.034823e-05,3.027369e-05,3.020723e-05,3.014830e-05,3.009641e-05,3.005107e-05,3.001184e-05,2.997831e-05,2.995006e-05,2.992675e-05
0.000000e+00,7.485795e-09,3.457178e-07,3.659061e-07,3.783048e-06,1.977785e-05,2.100255e-05,7.812814e-05,2.023620e-04,2.133259e-04,4.556820e-04,7.736116e-04,8.049680e-04,1.234676e-03,1.661217e-03,1.709860e-03,2.200690e-03,2.629162e-03,2.686781e-03,3.156121e-03,3.541501e-03,3.602479e-03,4.023116e-03,4.355953e-03,4.417229e-03,4.785029e-03,5.067479e-03,5.127226e-03,5.444762e-03,5.681736e-03,5.738682e-03,6.010057e-03,6.206768e-03,6.259958e-03,6.489429e-03,6.650792e-03,6.699490e-03,6.891122e-03,7.021623e-03,7.065272e-03,7.222852e-03,7.326541e-03,7.364735e-03,7.491758e-03,7.572265e-03,7.604726e-03,7.704406e-03,7.764975e-03,7.791533e-03,7.866811e-03,7.910331e-03,7.930911e-03,7.984476e-03,8.013512e-03,8.028118e-03,8.062422e-03,8.079248e-03,8.087947e-03,8.105226e-03,8.111847e-03,8.114765e-03,8.117050e-03,8.115234e-03,8.112542e-03,8.101680e-03,8.092978e-03,8.084882e-03,8.062548e-03,8.048319e-03,8.035055e-03,8.002766e-03,7.984194e-03,7.966023e-03,7.925152e-03,7.903265e-03,7.880462e-03,7.832250e-03,7.807939e-03,7.780793e-03,7.726358e-03,7.700387e-03,7.669196e-03,7.609546e-03,7.582571e-03,7.547635e-03,7.483677e-03,7.456254e-03,7.417876e-03,7.350423e-03,7.323021e-03,7.281502e-03,7.211284e-03,7.184296e-03,7.139933e-03,7.067602e-03,7.041351e-03,6.994436e-03,6.920572e-03,6.895322e-03,6.846140e-03,6.771260e-03,6.747224e-03,6.696049e-03,6.620613e-03,6.597954e-03,6.545054e-03,6.469468e-03,6.448311e-03,6.393942e-03,6.318562e-03,6.298997e-03,6.243405e-03,6.168545e-03,6.150630e-03,6.094049e-03,6.019983e-03,6.003752e-03,5.946405e-03,5.873371e-03,5.858834e-03,5.800931e-03,5.729134e-03,5.716283e-03,5.658024e-03,5.587640e-03,5.576449e-03,5.518021e-03,5.449200e-03,5.439630e-03,5.381209e-03,5.314076e-03,5.306079e-03,5.247827e-03,5.182487e-03,5.176003e-03,5.118075e-03,5.054611e-03,5.049575e-03,4.992111e-03,4.930591e-03,4.926932e-03,4.870064e-03,4.810539e-03,4.808179e-03,4.752028e-03,4.694537e-03,4.693397e-03,4.638072e-03,4.582639e-03,4.475938e-03,4.373306e-03,4.274740e-03,4.180219e-03,4.089711e-03,4.003172e-03,3.920545e-03,3.841767e-03,3.766766e-03,3.695463e-03,3.627774e-03,3.563611e-03,3.502880e-03,3.445486e-03,3.391330e-03,3.340312e-03,3.292329e-03,3.247280e-03,3.205061e-03,3.165568e-03,3.128699e-03,3.094351e-03,3.062422e-03,3.032812e-03,3.005422e-03,2.980153e-03,2.956910e-03,2.935597e-03,2.916123e-03,2.898398e-03,2.882331e-03,2.867839e-03,2.854836e-03,2.843241e-03,2.832974e-03,2.823959e-03,2.816122e-03,2.809390e-03,2.803694e-03,2.798967e-03,2.795144e-03,2.792163e-03,2.789964e-03,2.788490e-03,2.787686e-03,2.787499e-03,2.787880e-03,2.788779e-03,2.790151e-03
0.000000e+00,8.253414e-10,9.400359e-09,9.782842e-09,5.316642e-08,1.721716e-07,1.793832e-07,4.207324e-07,7.279491e-07,7.489026e-07,1.102032e-06,1.416734e-06,1.443244e-06,1.761459e-06,2.026550e-06,2.054768e-06,2.323691e-06,2.541071e-06,2.569367e-06,2.793082e-06,2.968903e-06,2.996135e-06,3.179795e-06,3.319986e-06,3.345295e-06,3.493817e-06,3.603733e-06,3.626494e-06,3.744398e-06,3.828772e-06,3.848548e-06,3.939905e-06,4.002867e-06,4.019374e-06,4.087809e-06,4.132934e-06,4.146010e-06,4.194729e-06,4.225095e-06,4.234674e-06,4.266505e-06,4.284749e-06,4.290842e-06,4.308266e-06,4.316642e-06,4.319320e-06,4.324511e-06,4.324935e-06,4.324314e-06,4.319174e-06,4.313275e-06,4.309504e-06,4.295692e-06,4.284846e-06,4.278099e-06,4.257061e-06,4.242427e-06,4.232893e-06,4.205888e-06,4.188438e-06,4.176319e-06,4.144438e-06,4.124983e-06,4.110483e-06,4.074674e-06,4.053887e-06,4.037214e-06,3.998293e-06,3.976731e-06,3.958088e-06,3.916763e-06,3.894882e-06,3.874469e-06,3.831346e-06,3.809515e-06,3.787525e-06,3.743127e-06,3.721643e-06,3.698261e-06,3.653032e-06,3.632131e-06,3.607535e-06,3.561856e-06,3.541720e-06,3.516075e-06,3.470268e-06,3.451038e-06,3.424502e-06,3.378840e-06,3.360616e-06,3.333337e-06,3.288047e-06,3.270903e-06,3.243018e-06,3.198291e-06,3.182271e-06,3.153907e-06,3.109901e-06,3.095031e-06,3.066305e-06,3.023148e-06,3.009435e-06,2.980456e-06,2.938253e-06,2.925690e-06,2.896558e-06,2.855390e-06,2.843960e-06,2.814765e-06,2.774697e-06,2.764372e-06,2.735197e-06,2.696276e-06,2.687023e-06,2.657943e-06,2.620204e-06,2.611982e-06,2.583065e-06,2.546531e-06,2.539297e-06,2.510604e-06,2.475286e-06,2.468994e-06,2.440579e-06,2.406483e-06,2.401085e-06,2.372997e-06,2.340119e-06,2.335565e-06,2.307848e-06,2.276179e-06,2.272419e-06,2.245110e-06,2.214637e-06,2.211622e-06,2.184755e-06,2.155459e-06,2.153140e-06,2.126743e-06,2.098603e-06,2.096932e-06,2.071031e-06,2.044021e-06,2.042953e-06,2.017568e-06,1.991663e-06,1.991150e-06,1.966300e-06,1.941472e-06,1.893861e-06,1.848258e-06,1.804603e-06,1.762836e-06,1.722894e-06,1.684718e-06,1.648245e-06,1.613415e-06,1.580170e-06,1.548449e-06,1.518197e-06,1.489355e-06,1.461870e-06,1.435687e-06,1.410755e-06,1.387024e-06,1.364443e-06,1.342966e-06,1.322546e-06,1.303140e-06,1.284703e-06,1.267195e-06,1.250576e-06,1.234807e-06,1.219852e-06,1.205674e-06,1.192239e-06,1.179515e-06,1.167469e-06,1.156072e-06,1.145293e-06,1.135106e-06,1.125482e-06,1.116397e-06,1.107825e-06,1.099743e-06,1.092128e-06,1.084958e-06,1.078212e-06,1.071870e-06,1.065914e-06,1.060324e-06,1.055083e-06,1.050174e-06,1.045581e-06,1.041290e-06,1.037284e-06,1.033550e-06,1.030074e-06
0.000000e+00,1.023567e-09,6.778056e-08,7.233387e-08,1.077839e-06,6.957290e-06,7.431924e-06,3.026626e-05,7.936231e-05,8.359944e-05,1.738792e-04,2.852832e-04,2.959529e-04,4.376629e-04,5.710023e-04,5.857647e-04,7.294335e-04,8.463209e-04,8.613748e-04,9.775564e-04,1.063636e-03,1.076426e-03,1.158084e-03,1.214149e-03,1.223610e-03,1.274576e-03,1.306731e-03,1.312733e-03,1.339826e-03,1.354639e-03,1.357490e-03,1.367201e-03,1.370098e-03,1.370260e-03,1.367801e-03,1.362843e-03,1.360794e-03,1.350069e-03,1.340158e-03,1.336331e-03,1.320173e-03,1.307325e-03,1.302095e-03,1.282518e-03,1.268112e-03,1.261792e-03,1.240211e-03,1.225174e-03,1.218020e-03,1.195420e-03,1.180364e-03,1.172581e-03,1.149642e-03,1.134963e-03,1.126718e-03,1.103902e-03,1.089844e-03,1.081270e-03,1.058886e-03,1.045596e-03,1.036799e-03,1.015049e-03,1.002601e-03,9.936675e-04,9.726782e-04,9.611026e-04,9.520997e-04,9.319453e-04,9.212418e-04,9.122245e-04,8.929429e-04,8.830913e-04,8.741038e-04,8.557077e-04,8.466755e-04,8.377535e-04,8.202383e-04,8.119858e-04,8.031581e-04,7.865079e-04,7.789916e-04,7.702817e-04,7.544729e-04,7.476474e-04,7.390744e-04,7.240785e-04,7.178984e-04,7.094774e-04,6.952631e-04,6.896838e-04,6.814272e-04,6.679615e-04,6.629398e-04,6.548576e-04,6.421072e-04,6.376020e-04,6.297019e-04,6.176334e-04,6.136054e-04,6.058936e-04,5.944743e-04,5.908866e-04,5.833676e-04,5.725655e-04,5.693831e-04,5.620604e-04,5.518446e-04,5.490350e-04,5.419106e-04,5.322513e-04,5.297839e-04,5.228594e-04,5.137279e-04,5.115743e-04,5.048499e-04,4.962189e-04,4.943526e-04,4.878282e-04,4.796716e-04,4.780677e-04,4.717426e-04,4.640353e-04,4.626711e-04,4.565437e-04,4.492621e-04,4.481162e-04,4.421848e-04,4.353063e-04,4.343589e-04,4.286212e-04,4.221243e-04,4.213571e-04,4.158106e-04,4.096750e-04,4.090711e-04,4.037128e-04,3.979191e-04,3.974628e-04,3.922895e-04,3.868195e-04,3.864962e-04,3.815047e-04,3.763408e-04,3.761374e-04,3.713239e-04,3.664498e-04,3.663537e-04,3.617146e-04,3.571146e-04,3.483908e-04,3.401548e-04,3.323805e-04,3.250429e-04,3.181187e-04,3.115855e-04,3.054223e-04,2.996091e-04,2.941270e-04,2.889581e-04,2.840854e-04,2.794929e-04,2.751653e-04,2.710884e-04,2.672484e-04,2.636325e-04,2.602284e-04,2.570247e-04,2.540103e-04,2.511749e-04,2.485088e-04,2.460026e-04,2.436475e-04,2.414354e-04,2.393582e-04,2.374086e-04,2.355796e-04,2.338644e-04,2.322568e-04,2.307508e-04,2.293408e-04,2.280214e-04,2.267876e-04,2.256346e-04,2.245579e-04,2.235532e-04,2.226164e-04,2.217437e-04,2.209315e-04,2.201764e-04,2.194752e-04,2.188247e-04,2.182220e-04,2.176644e-04,2.171494e-04,2.166744e-04,2.162372e-04,2.158355e-04,2.154673e-04
0.000000e+00,1.566502e-09,6.278409e-08,6.635445e-08,6.707512e-07,3.540378e-06,3.760202e-06,1.382916e-05,3.426920e-05,3.598061e-05,7.052959e-05,1.083384e-04,1.117045e-04,1.527942e-04,1.863230e-04,1.897819e-04,2.212460e-04,2.443321e-04,2.471645e-04,2.680565e-04,2.825015e-04,2.845750e-04,2.973517e-04,3.056080e-04,3.069517e-04,3.138665e-04,3.178321e-04,3.185197e-04,3.212741e-04,3.223206e-04,3.224400e-04,3.222825e-04,3.213875e-04,3.210276e-04,3.188676e-04,3.167223e-04,3.159661e-04,3.124620e-04,3.095510e-04,3.084730e-04,3.040987e-04,3.007583e-04,2.994231e-04,2.945174e-04,2.909788e-04,2.894413e-04,2.842448e-04,2.806643e-04,2.789702e-04,2.736524e-04,2.701335e-04,2.683208e-04,2.629996e-04,2.596089e-04,2.577089e-04,2.524651e-04,2.492436e-04,2.472817e-04,2.421695e-04,2.391401e-04,2.371372e-04,2.321916e-04,2.293651e-04,2.273381e-04,2.225806e-04,2.199595e-04,2.179221e-04,2.133646e-04,2.109460e-04,2.089093e-04,2.045568e-04,2.023342e-04,2.003073e-04,1.961602e-04,1.941249e-04,1.921149e-04,1.881704e-04,1.863125e-04,1.843254e-04,1.805785e-04,1.788874e-04,1.769280e-04,1.733722e-04,1.718372e-04,1.699093e-04,1.665375e-04,1.651479e-04,1.632546e-04,1.600589e-04,1.588045e-04,1.569482e-04,1.539207e-04,1.527916e-04,1.509743e-04,1.481069e-04,1.470937e-04,1.453168e-04,1.426018e-04,1.416955e-04,1.399601e-04,1.373898e-04,1.365821e-04,1.348891e-04,1.324561e-04,1.317391e-04,1.300890e-04,1.277860e-04,1.271525e-04,1.255456e-04,1.233660e-04,1.228090e-04,1.212455e-04,1.191826e-04,1.186959e-04,1.171757e-04,1.152234e-04,1.148010e-04,1.133240e-04,1.114763e-04,1.111128e-04,1.096787e-04,1.079299e-04,1.076202e-04,1.062287e-04,1.045736e-04,1.043129e-04,1.029634e-04,1.013969e-04,1.011810e-04,9.987296e-05,9.839033e-05,9.821514e-05,9.694791e-05,9.554461e-05,9.540639e-05,9.417934e-05,9.285107e-05,9.274638e-05,9.155879e-05,9.030150e-05,9.022715e-05,8.907825e-05,8.788812e-05,8.784119e-05,8.673019e-05,8.560357e-05,8.558135e-05,8.450743e-05,8.344091e-05,8.141348e-05,7.949302e-05,7.767383e-05,7.595048e-05,7.431788e-05,7.277117e-05,7.130579e-05,6.991740e-05,6.860190e-05,6.735543e-05,6.617429e-05,6.505504e-05,6.399437e-05,6.298919e-05,6.203655e-05,6.113367e-05,6.027792e-05,5.946680e-05,5.869796e-05,5.796916e-05,5.727830e-05,5.662338e-05,5.600250e-05,5.541387e-05,5.485580e-05,5.432669e-05,5.382502e-05,5.334935e-05,5.289833e-05,5.247066e-05,5.206512e-05,5.168057e-05,5.131590e-05,5.097009e-05,5.064216e-05,5.033117e-05,5.003626e-05,4.975658e-05,4.949136e-05,4.923984e-05,4.900132e-05,4.877513e-05,4.856065e-05,4.835725e-05,4.816439e-05,4.798152e-05,4.780813e-05,4.764373e-05,4.748787e-05
0.000000e+00,5.520275e-10,2.968567e-08,3.151696e-08,3.786764e-07,2.254257e-06,2.406104e-06,1.010953e-05,2.913266e-05,3.091429e-05,7.340337e-05,1.361741e-04,1.427223e-04,2.378498e-04,3.404906e-04,3.526133e-04,4.784925e-04,5.917650e-04,6.070964e-04,7.315728e-04,8.315797e-04,8.470839e-04,9.507057e-04,1.027520e-03,1.041066e-03,1.117924e-03,1.171211e-03,1.181785e-03,1.233603e-03,1.267174e-03,1.274555e-03,1.305894e-03,1.324460e-03,1.328853e-03,1.344588e-03,1.352368e-03,1.354153e-03,1.358486e-03,1.358814e-03,1.358413e-03,1.354648e-03,1.350002e-03,1.347809e-03,1.338422e-03,1.330579e-03,1.326938e-03,1.313739e-03,1.303952e-03,1.299150e-03,1.283446e-03,1.272585e-03,1.266859e-03,1.249587e-03,1.238249e-03,1.231793e-03,1.213618e-03,1.202209e-03,1.195177e-03,1.176570e-03,1.165360e-03,1.157878e-03,1.139171e-03,1.128336e-03,1.120505e-03,1.101930e-03,1.091582e-03,1.083484e-03,1.065201e-03,1.055406e-03,1.047108e-03,1.029226e-03,1.020018e-03,1.011574e-03,9.941667e-04,9.855581e-04,9.770147e-04,9.601273e-04,9.521174e-04,9.435113e-04,9.271717e-04,9.197493e-04,9.111120e-04,8.953344e-04,8.884819e-04,8.798400e-04,8.646289e-04,8.583247e-04,8.497007e-04,8.350540e-04,8.292738e-04,8.206872e-04,8.065979e-04,8.013163e-04,7.927836e-04,7.792415e-04,7.744323e-04,7.659683e-04,7.529606e-04,7.485979e-04,7.402149e-04,7.277275e-04,7.237854e-04,7.154945e-04,7.035122e-04,6.999657e-04,6.917765e-04,6.802835e-04,6.771084e-04,6.690292e-04,6.580095e-04,6.551824e-04,6.472206e-04,6.366583e-04,6.341566e-04,6.263186e-04,6.161976e-04,6.139999e-04,6.062913e-04,5.965958e-04,5.946817e-04,5.871072e-04,5.778218e-04,5.761717e-04,5.687357e-04,5.598451e-04,5.584405e-04,5.511464e-04,5.426359e-04,5.414593e-04,5.343101e-04,5.261653e-04,5.251999e-04,5.181981e-04,5.104051e-04,5.096352e-04,5.027828e-04,4.953280e-04,4.947388e-04,4.880374e-04,4.809076e-04,4.804849e-04,4.739357e-04,4.671184e-04,4.668489e-04,4.604527e-04,4.539356e-04,4.538068e-04,4.475641e-04,4.413354e-04,4.294124e-04,4.180163e-04,4.071263e-04,3.967224e-04,3.867852e-04,3.772961e-04,3.682373e-04,3.595915e-04,3.513420e-04,3.434730e-04,3.359690e-04,3.288153e-04,3.219975e-04,3.155021e-04,3.093159e-04,3.034262e-04,2.978207e-04,2.924880e-04,2.874166e-04,2.825957e-04,2.780150e-04,2.736645e-04,2.695346e-04,2.656159e-04,2.618998e-04,2.583775e-04,2.550410e-04,2.518823e-04,2.488939e-04,2.460685e-04,2.433991e-04,2.408791e-04,2.385019e-04,2.362613e-04,2.341515e-04,2.321666e-04,2.303013e-04,2.285501e-04,2.269081e-04,2.253703e-04,2.239321e-04,2.225890e-04,2.213366e-04,2.201709e-04,2.190878e-04,2.180836e-04,2.171545e-04,2.162970e-04,2.155077e-04
0.000000e+00,3.671049e-10,2.911933e-08,3.118056e-08,5.397435e-07,3.915829e-06,4.201696e-06,1.902406e-05,5.512472e-05,5.845612e-05,1.367320e-04,2.520878e-04,2.642480e-04,4.456294e-04,6.541848e-04,6.798571e-04,9.614103e-04,1.241570e-03,1.281725e-03,1.630588e-03,1.945278e-03,1.997298e-03,2.371530e-03,2.684813e-03,2.743924e-03,3.106435e-03,3.391660e-03,3.452489e-03,3.777001e-03,4.018592e-03,4.076303e-03,4.348001e-03,4.539900e-03,4.590807e-03,4.804358e-03,4.947302e-03,4.989034e-03,5.145793e-03,5.244623e-03,5.276019e-03,5.381394e-03,5.442920e-03,5.463785e-03,5.525154e-03,5.556671e-03,5.567491e-03,5.592753e-03,5.601144e-03,5.602827e-03,5.599500e-03,5.590779e-03,5.584441e-03,5.559184e-03,5.538321e-03,5.525131e-03,5.483548e-03,5.454489e-03,5.435572e-03,5.382213e-03,5.347991e-03,5.324366e-03,5.262815e-03,5.225693e-03,5.198248e-03,5.131259e-03,5.092884e-03,5.062367e-03,4.992018e-03,4.953561e-03,4.920595e-03,4.848426e-03,4.810698e-03,4.775791e-03,4.702929e-03,4.666478e-03,4.630043e-03,4.557305e-03,4.522486e-03,4.484859e-03,4.412831e-03,4.379866e-03,4.341322e-03,4.270420e-03,4.239434e-03,4.200198e-03,4.130719e-03,4.101771e-03,4.062033e-03,3.994187e-03,3.967291e-03,3.927214e-03,3.861145e-03,3.836281e-03,3.796005e-03,3.731814e-03,3.708940e-03,3.668587e-03,3.606339e-03,3.585399e-03,3.545078e-03,3.484813e-03,3.465740e-03,3.425550e-03,3.367292e-03,3.350011e-03,3.310041e-03,3.253798e-03,3.238230e-03,3.198561e-03,3.144328e-03,3.130391e-03,3.091096e-03,3.038860e-03,3.026472e-03,2.987617e-03,2.937358e-03,2.926433e-03,2.888079e-03,2.839771e-03,2.830225e-03,2.792426e-03,2.746036e-03,2.737787e-03,2.700593e-03,2.656086e-03,2.649051e-03,2.612505e-03,2.569841e-03,2.563940e-03,2.528083e-03,2.487219e-03,2.482375e-03,2.447240e-03,2.408134e-03,2.404271e-03,2.369889e-03,2.332493e-03,2.329538e-03,2.295936e-03,2.260205e-03,2.258087e-03,2.225288e-03,2.191173e-03,2.189825e-03,2.157849e-03,2.125303e-03,2.124660e-03,2.093523e-03,2.062498e-03,2.003245e-03,1.946810e-03,1.893101e-03,1.842027e-03,1.793498e-03,1.747428e-03,1.703731e-03,1.662322e-03,1.623119e-03,1.586043e-03,1.551015e-03,1.517959e-03,1.486800e-03,1.457467e-03,1.429889e-03,1.403998e-03,1.379728e-03,1.357013e-03,1.335791e-03,1.316002e-03,1.297585e-03,1.280483e-03,1.264641e-03,1.250003e-03,1.236517e-03,1.224132e-03,1.212797e-03,1.202464e-03,1.193086e-03,1.184616e-03,1.177012e-03,1.170229e-03,1.164225e-03,1.158959e-03,1.154393e-03,1.150487e-03,1.147205e-03,1.144510e-03,1.142367e-03,1.140743e-03,1.139605e-03,1.138921e-03,1.138660e-03,1.138792e-03,1.139290e-03,1.140125e-03,1.141272e-03,1.142704e-03,1.144397e-03
0.000000e+00,3.231300e-09,1.450429e-07,1.535637e-07,1.649040e-06,8.855778e-06,9.406637e-06,3.429950e-05,8.344861e-05,8.751849e-05,1.696620e-04,2.621633e-04,2.706373e-04,3.785524e-04,4.746610e-04,4.851058e-04,5.859354e-04,6.684659e-04,6.792423e-04,7.645547e-04,8.316171e-04,8.419977e-04,9.119365e-04,9.652126e-04,9.748188e-04,1.031109e-03,1.072668e-03,1.081262e-03,1.125711e-03,1.157443e-03,1.164871e-03,1.199131e-03,1.222691e-03,1.228860e-03,1.254402e-03,1.271212e-03,1.276079e-03,1.294194e-03,1.305471e-03,1.309027e-03,1.320841e-03,1.327616e-03,1.329880e-03,1.336372e-03,1.339514e-03,1.340528e-03,1.342544e-03,1.342787e-03,1.342605e-03,1.340879e-03,1.338839e-03,1.337525e-03,1.332690e-03,1.328882e-03,1.326510e-03,1.319111e-03,1.313964e-03,1.310611e-03,1.301118e-03,1.294988e-03,1.290733e-03,1.279550e-03,1.272732e-03,1.267654e-03,1.255126e-03,1.247862e-03,1.242040e-03,1.228464e-03,1.220952e-03,1.214462e-03,1.200091e-03,1.192491e-03,1.185406e-03,1.170456e-03,1.162897e-03,1.155288e-03,1.139942e-03,1.132524e-03,1.124458e-03,1.108871e-03,1.101676e-03,1.093214e-03,1.077517e-03,1.070605e-03,1.061807e-03,1.046109e-03,1.039526e-03,1.030447e-03,1.014840e-03,1.008618e-03,9.993085e-04,9.838688e-04,9.780292e-04,9.685368e-04,9.533264e-04,9.478830e-04,9.382505e-04,9.233204e-04,9.182792e-04,9.085462e-04,8.939371e-04,8.892984e-04,8.795012e-04,8.652456e-04,8.610050e-04,8.511764e-04,8.372992e-04,8.334487e-04,8.236187e-04,8.101387e-04,8.066672e-04,7.968628e-04,7.837936e-04,7.806880e-04,7.709334e-04,7.582839e-04,7.555295e-04,7.458465e-04,7.336220e-04,7.312027e-04,7.216109e-04,7.098134e-04,7.077125e-04,6.982291e-04,6.868577e-04,6.850580e-04,6.756984e-04,6.647503e-04,6.632343e-04,6.540120e-04,6.434822e-04,6.422326e-04,6.331593e-04,6.230416e-04,6.220411e-04,6.131271e-04,6.034139e-04,6.026454e-04,5.938997e-04,5.845823e-04,5.840294e-04,5.754594e-04,5.665285e-04,5.661752e-04,5.577872e-04,5.492329e-04,5.490637e-04,5.408630e-04,5.326748e-04,5.169878e-04,5.019817e-04,4.876350e-04,4.739261e-04,4.608338e-04,4.483366e-04,4.364134e-04,4.250434e-04,4.142061e-04,4.038815e-04,3.940500e-04,3.846926e-04,3.757906e-04,3.673259e-04,3.592811e-04,3.516391e-04,3.443835e-04,3.374983e-04,3.309683e-04,3.247785e-04,3.189146e-04,3.133628e-04,3.081099e-04,3.031429e-04,2.984496e-04,2.940180e-04,2.898368e-04,2.858950e-04,2.821820e-04,2.786877e-04,2.754023e-04,2.723164e-04,2.694212e-04,2.667078e-04,2.641681e-04,2.617941e-04,2.595782e-04,2.575130e-04,2.555914e-04,2.538068e-04,2.521527e-04,2.506229e-04,2.492113e-04,2.479124e-04,2.467205e-04,2.456306e-04,2.446374e-04,2.437363e-04,2.429225e-04
0.000000e+00,9.773007e-09,1.497809e-07,1.562223e-07,9.212055e-07,3.183905e-06,3.325934e-06,8.310066e-06,1.520010e-05,1.568848e-05,2.409608e-05,3.149737e-05,3.210241e-05,3.903505e-05,4.426535e-05,4.478999e-05,4.946242e-05,5.278714e-05,5.318889e-05,5.610270e-05,5.805023e-05,5.832348e-05,5.995593e-05,6.093913e-05,6.109058e-05,6.180558e-05,6.212621e-05,6.216817e-05,6.223608e-05,6.211172e-05,6.205875e-05,6.167827e-05,6.126379e-05,6.113059e-05,6.044630e-05,5.985100e-05,5.965137e-05,5.876793e-05,5.806839e-05,5.781482e-05,5.680793e-05,5.605732e-05,5.576073e-05,5.468459e-05,5.391927e-05,5.358909e-05,5.248226e-05,5.172662e-05,5.137082e-05,5.026036e-05,4.953030e-05,4.915555e-05,4.806023e-05,4.736569e-05,4.697756e-05,4.591008e-05,4.525682e-05,4.485990e-05,4.382865e-05,4.321954e-05,4.281764e-05,4.182786e-05,4.126381e-05,4.086004e-05,3.991469e-05,3.939526e-05,3.899217e-05,3.809265e-05,3.761650e-05,3.721619e-05,3.636275e-05,3.592801e-05,3.553218e-05,3.472428e-05,3.432875e-05,3.393878e-05,3.317535e-05,3.281664e-05,3.243364e-05,3.171326e-05,3.138893e-05,3.101379e-05,3.033481e-05,3.004243e-05,2.967585e-05,2.903648e-05,2.877366e-05,2.841621e-05,2.781458e-05,2.757905e-05,2.723113e-05,2.666539e-05,2.645496e-05,2.611690e-05,2.558519e-05,2.539780e-05,2.506982e-05,2.457032e-05,2.440403e-05,2.408627e-05,2.361722e-05,2.347022e-05,2.316275e-05,2.272244e-05,2.259305e-05,2.229589e-05,2.188270e-05,2.176934e-05,2.148247e-05,2.109483e-05,2.099606e-05,2.071940e-05,2.035583e-05,2.027030e-05,2.000376e-05,1.966284e-05,1.958930e-05,1.933275e-05,1.901315e-05,1.895046e-05,1.870373e-05,1.840418e-05,1.835129e-05,1.811421e-05,1.783352e-05,1.778945e-05,1.756182e-05,1.729885e-05,1.726271e-05,1.704433e-05,1.679801e-05,1.676899e-05,1.655964e-05,1.632896e-05,1.630631e-05,1.610575e-05,1.588977e-05,1.587280e-05,1.568079e-05,1.547861e-05,1.546669e-05,1.528301e-05,1.509378e-05,1.508634e-05,1.491072e-05,1.473365e-05,1.473017e-05,1.456238e-05,1.439672e-05,1.408460e-05,1.379250e-05,1.351920e-05,1.326354e-05,1.302443e-05,1.280084e-05,1.259183e-05,1.239647e-05,1.221392e-05,1.204339e-05,1.188411e-05,1.173539e-05,1.159656e-05,1.146699e-05,1.134610e-05,1.123335e-05,1.112821e-05,1.103019e-05,1.093886e-05,1.085376e-05,1.077452e-05,1.070074e-05,1.063208e-05,1.056821e-05,1.050881e-05,1.045359e-05,1.040228e-05,1.035463e-05,1.031039e-05,1.026934e-05,1.023126e-05,1.019597e-05,1.016327e-05,1.013300e-05,1.010498e-05,1.007908e-05,1.005513e-05,1.003302e-05,1.001262e-05,9.993811e-06,9.976482e-06,9.960532e-06,9.945867e-06,9.932398e-06,9.920040e-06,9.908717e-06,9.898355e-06,9.888886e-06,9.880247e-06
0.000000e+00,7.593050e-09,1.486528e-07,1.556791e-07,1.110774e-06,4.481010e-06,4.707853e-06,1.330661e-05,2.627951e-05,2.722119e-05,4.360534e-05,5.830031e-05,5.952116e-05,7.385692e-05,8.527361e-05,8.645780e-05,9.742300e-05,1.058366e-04,1.069003e-04,1.150376e-04,1.210694e-04,1.219728e-04,1.278322e-04,1.320067e-04,1.327302e-04,1.367709e-04,1.395107e-04,1.400482e-04,1.426468e-04,1.442885e-04,1.446430e-04,1.461056e-04,1.469159e-04,1.470962e-04,1.476704e-04,1.478591e-04,1.478779e-04,1.477630e-04,1.474942e-04,1.473659e-04,1.467220e-04,1.461238e-04,1.458635e-04,1.448186e-04,1.439902e-04,1.436131e-04,1.422695e-04,1.412875e-04,1.408081e-04,1.392471e-04,1.381700e-04,1.376024e-04,1.358883e-04,1.347609e-04,1.341177e-04,1.323017e-04,1.311574e-04,1.304503e-04,1.285725e-04,1.274364e-04,1.266760e-04,1.247678e-04,1.236581e-04,1.228540e-04,1.209399e-04,1.198696e-04,1.190302e-04,1.171291e-04,1.161073e-04,1.152401e-04,1.133663e-04,1.123988e-04,1.115104e-04,1.096748e-04,1.087651e-04,1.078613e-04,1.060717e-04,1.052216e-04,1.043074e-04,1.025695e-04,1.017793e-04,1.008591e-04,9.917692e-05,9.844586e-05,9.752357e-05,9.589954e-05,9.522627e-05,9.430517e-05,9.274070e-05,9.212332e-05,9.120627e-05,8.970193e-05,8.913816e-05,8.822764e-05,8.678330e-05,8.627064e-05,8.536875e-05,8.398379e-05,8.351960e-05,8.262816e-05,8.130156e-05,8.088313e-05,8.000368e-05,7.873415e-05,7.835877e-05,7.749261e-05,7.627865e-05,7.594362e-05,7.509185e-05,7.393179e-05,7.363450e-05,7.279803e-05,7.169012e-05,7.142802e-05,7.060761e-05,6.955004e-05,6.932068e-05,6.851695e-05,6.750788e-05,6.730891e-05,6.652236e-05,6.555993e-05,6.538911e-05,6.462013e-05,6.370250e-05,6.355770e-05,6.280659e-05,6.193194e-05,6.181116e-05,6.107812e-05,6.024468e-05,6.014602e-05,5.943119e-05,5.863722e-05,5.855888e-05,5.786235e-05,5.710615e-05,5.704645e-05,5.636823e-05,5.564818e-05,5.560554e-05,5.494560e-05,5.426011e-05,5.423304e-05,5.359132e-05,5.293886e-05,5.292597e-05,5.230236e-05,5.168145e-05,5.049671e-05,4.936909e-05,4.829602e-05,4.727505e-05,4.630383e-05,4.538010e-05,4.450172e-05,4.366660e-05,4.287277e-05,4.211834e-05,4.140151e-05,4.072053e-05,4.007376e-05,3.945962e-05,3.887659e-05,3.832323e-05,3.779816e-05,3.730006e-05,3.682767e-05,3.637980e-05,3.595529e-05,3.555304e-05,3.517201e-05,3.481119e-05,3.446963e-05,3.414642e-05,3.384068e-05,3.355158e-05,3.327834e-05,3.302018e-05,3.277639e-05,3.254627e-05,3.232916e-05,3.212444e-05,3.193151e-05,3.174978e-05,3.157872e-05,3.141779e-05,3.126651e-05,3.112439e-05,3.099098e-05,3.086586e-05,3.074860e-05,3.063881e-05,3.053612e-05,3.044016e-05,3.035061e-05,3.026712e-05,3.018939e-05
0.000000e+00,7.195667e-10,3.527349e-08,3.738522e-08,4.133825e-07,2.269388e-06,2.413948e-06,9.308745e-06,2.484409e-05,2.624097e-05,5.795995e-05,1.014724e-04,1.058534e-04,1.669774e-04,2.286945e-04,2.357426e-04,3.063682e-04,3.664711e-04,3.743892e-04,4.370185e-04,4.854874e-04,4.928767e-04,5.415477e-04,5.769831e-04,5.831903e-04,6.182632e-04,6.425316e-04,6.473544e-04,6.710855e-04,6.866182e-04,6.900602e-04,7.048392e-04,7.137838e-04,7.159321e-04,7.237971e-04,7.278690e-04,7.288432e-04,7.314336e-04,7.319604e-04,7.318904e-04,7.304981e-04,7.284932e-04,7.275084e-04,7.231436e-04,7.193758e-04,7.175995e-04,7.110487e-04,7.060976e-04,7.036435e-04,6.955178e-04,6.898181e-04,6.867895e-04,6.775625e-04,6.714380e-04,6.679278e-04,6.579653e-04,6.516550e-04,6.477450e-04,6.373283e-04,6.310069e-04,6.267694e-04,6.161152e-04,6.099086e-04,6.054069e-04,5.946800e-04,5.886765e-04,5.839655e-04,5.732903e-04,5.675503e-04,5.626776e-04,5.521475e-04,5.467102e-04,5.417170e-04,5.314011e-04,5.262899e-04,5.212119e-04,5.111601e-04,5.063867e-04,5.012544e-04,4.915018e-04,4.870687e-04,4.819082e-04,4.724784e-04,4.683821e-04,4.632159e-04,4.541236e-04,4.503560e-04,4.452034e-04,4.364566e-04,4.330066e-04,4.278839e-04,4.194854e-04,4.163396e-04,4.112607e-04,4.032092e-04,4.003529e-04,3.953298e-04,3.876210e-04,3.850387e-04,3.800814e-04,3.727089e-04,3.703847e-04,3.655017e-04,3.584575e-04,3.563756e-04,3.515740e-04,3.448487e-04,3.429937e-04,3.382793e-04,3.318630e-04,3.302195e-04,3.255972e-04,3.194794e-04,3.180328e-04,3.135066e-04,3.076763e-04,3.064125e-04,3.019857e-04,2.964320e-04,2.953374e-04,2.910125e-04,2.857244e-04,2.847863e-04,2.805652e-04,2.755320e-04,2.747382e-04,2.706222e-04,2.658331e-04,2.651721e-04,2.611622e-04,2.566069e-04,2.560679e-04,2.521646e-04,2.478329e-04,2.474057e-04,2.436092e-04,2.394912e-04,2.391663e-04,2.354765e-04,2.315627e-04,2.313310e-04,2.277475e-04,2.240287e-04,2.238819e-04,2.204040e-04,2.168713e-04,2.168015e-04,2.134284e-04,2.100733e-04,2.036810e-04,1.976094e-04,1.918435e-04,1.863693e-04,1.811731e-04,1.762419e-04,1.715632e-04,1.671253e-04,1.629166e-04,1.589264e-04,1.551442e-04,1.515602e-04,1.481648e-04,1.449490e-04,1.419041e-04,1.390220e-04,1.362948e-04,1.337149e-04,1.312752e-04,1.289690e-04,1.267896e-04,1.247309e-04,1.227869e-04,1.209521e-04,1.192210e-04,1.175885e-04,1.160497e-04,1.146000e-04,1.132349e-04,1.119503e-04,1.107420e-04,1.096062e-04,1.085394e-04,1.075379e-04,1.065985e-04,1.057180e-04,1.048935e-04,1.041220e-04,1.034008e-04,1.027273e-04,1.020991e-04,1.015139e-04,1.009692e-04,1.004631e-04,9.999355e-05,9.955855e-05,9.915629e-05,9.878503e-05,9.844311e-05
0.000000e+00,2.474446e-09,4.444641e-08,4.662101e-08,3.344136e-07,1.180738e-06,1.230551e-06,2.712010e-06,4.213610e-06,4.307206e-06,5.800292e-06,7.054311e-06,7.157951e-06,8.383294e-06,9.380320e-06,9.485232e-06,1.047320e-05,1.125548e-05,1.135618e-05,1.214259e-05,1.274764e-05,1.284025e-05,1.345645e-05,1.391609e-05,1.399798e-05,1.447111e-05,1.481213e-05,1.488166e-05,1.523504e-05,1.547992e-05,1.553620e-05,1.578973e-05,1.595714e-05,1.599985e-05,1.617047e-05,1.627591e-05,1.630513e-05,1.640711e-05,1.646332e-05,1.647942e-05,1.652480e-05,1.654224e-05,1.654579e-05,1.654469e-05,1.653193e-05,1.652364e-05,1.648458e-05,1.644866e-05,1.642931e-05,1.635946e-05,1.630611e-05,1.627654e-05,1.618194e-05,1.611587e-05,1.607695e-05,1.596270e-05,1.588768e-05,1.584024e-05,1.571053e-05,1.562959e-05,1.557444e-05,1.543277e-05,1.534834e-05,1.528625e-05,1.513555e-05,1.504956e-05,1.498127e-05,1.482397e-05,1.473795e-05,1.466416e-05,1.450228e-05,1.441743e-05,1.433876e-05,1.417397e-05,1.409121e-05,1.400826e-05,1.384194e-05,1.376197e-05,1.367529e-05,1.350858e-05,1.343194e-05,1.334204e-05,1.317586e-05,1.310291e-05,1.301025e-05,1.284537e-05,1.277638e-05,1.268138e-05,1.251842e-05,1.245354e-05,1.235660e-05,1.219604e-05,1.213537e-05,1.203683e-05,1.187907e-05,1.182264e-05,1.172282e-05,1.156816e-05,1.151595e-05,1.141514e-05,1.126382e-05,1.121576e-05,1.111424e-05,1.096643e-05,1.092244e-05,1.082043e-05,1.067627e-05,1.063624e-05,1.053397e-05,1.039354e-05,1.035734e-05,1.025500e-05,1.011835e-05,1.008584e-05,9.983614e-06,9.850780e-06,9.821813e-06,9.719854e-06,9.590834e-06,9.565259e-06,9.463716e-06,9.338493e-06,9.316153e-06,9.215158e-06,9.093700e-06,9.074441e-06,8.974110e-06,8.856374e-06,8.840039e-06,8.740480e-06,8.626412e-06,8.612846e-06,8.514155e-06,8.403692e-06,8.392744e-06,8.295007e-06,8.188083e-06,8.179604e-06,8.082899e-06,7.979439e-06,7.973286e-06,7.877683e-06,7.777611e-06,7.773643e-06,7.679203e-06,7.582440e-06,7.580522e-06,7.487302e-06,7.393767e-06,7.213221e-06,7.038723e-06,6.870114e-06,6.707234e-06,6.549925e-06,6.398030e-06,6.251396e-06,6.109870e-06,5.973303e-06,5.841548e-06,5.714462e-06,5.591905e-06,5.473739e-06,5.359832e-06,5.250052e-06,5.144273e-06,5.042371e-06,4.944225e-06,4.849718e-06,4.758737e-06,4.671169e-06,4.586909e-06,4.505850e-06,4.427892e-06,4.352936e-06,4.280885e-06,4.211647e-06,4.145131e-06,4.081249e-06,4.019918e-06,3.961053e-06,3.904574e-06,3.850405e-06,3.798468e-06,3.748692e-06,3.701005e-06,3.655338e-06,3.611625e-06,3.569799e-06,3.529800e-06,3.491564e-06,3.455034e-06,3.420151e-06,3.386861e-06,3.355108e-06,3.324841e-06,3.296008e-06,3.268561e-06,3.242451e-06
0.000000e+00,3.577684e-10,2.226358e-08,2.371259e-08,3.300397e-07,2.160633e-06,2.312833e-06,1.021665e-05,3.008695e-05,3.195784e-05,7.700458e-05,1.453574e-04,1.526289e-04,2.615857e-04,3.866718e-04,4.019958e-04,5.684962e-04,7.307790e-04,7.537314e-04,9.496893e-04,1.120912e-03,1.148693e-03,1.344027e-03,1.501257e-03,1.530259e-03,1.703334e-03,1.833472e-03,1.860504e-03,2.000179e-03,2.098875e-03,2.121733e-03,2.225294e-03,2.294010e-03,2.311553e-03,2.381589e-03,2.424774e-03,2.436725e-03,2.478412e-03,2.501480e-03,2.508143e-03,2.527383e-03,2.535526e-03,2.537527e-03,2.539869e-03,2.537503e-03,2.535588e-03,2.525740e-03,2.516344e-03,2.511257e-03,2.492953e-03,2.479126e-03,2.471534e-03,2.447601e-03,2.431207e-03,2.421670e-03,2.394173e-03,2.376499e-03,2.365471e-03,2.335869e-03,2.317781e-03,2.305615e-03,2.274919e-03,2.256980e-03,2.243949e-03,2.212845e-03,2.195411e-03,2.181720e-03,2.150664e-03,2.133950e-03,2.119752e-03,2.089043e-03,2.073171e-03,2.058584e-03,2.028415e-03,2.013449e-03,1.998566e-03,1.969061e-03,1.955025e-03,1.939917e-03,1.911149e-03,1.898045e-03,1.882767e-03,1.854781e-03,1.842593e-03,1.827195e-03,1.800013e-03,1.788719e-03,1.773239e-03,1.746874e-03,1.736442e-03,1.720916e-03,1.695367e-03,1.685766e-03,1.670225e-03,1.645488e-03,1.636682e-03,1.621154e-03,1.597221e-03,1.589174e-03,1.573684e-03,1.550542e-03,1.543219e-03,1.527790e-03,1.505426e-03,1.498791e-03,1.483444e-03,1.461841e-03,1.455860e-03,1.440614e-03,1.419757e-03,1.414395e-03,1.399267e-03,1.379139e-03,1.374361e-03,1.359368e-03,1.339951e-03,1.335726e-03,1.320882e-03,1.302158e-03,1.298454e-03,1.283773e-03,1.265723e-03,1.262510e-03,1.248004e-03,1.230611e-03,1.227857e-03,1.213538e-03,1.196783e-03,1.194462e-03,1.180339e-03,1.164203e-03,1.162288e-03,1.148371e-03,1.132837e-03,1.131299e-03,1.117597e-03,1.102646e-03,1.101463e-03,1.087981e-03,1.073597e-03,1.072743e-03,1.059490e-03,1.045655e-03,1.045107e-03,1.032088e-03,1.018785e-03,1.018521e-03,1.005741e-03,9.929533e-04,9.683716e-04,9.447449e-04,9.220430e-04,9.002361e-04,8.792954e-04,8.591927e-04,8.399006e-04,8.213925e-04,8.036423e-04,7.866248e-04,7.703155e-04,7.546905e-04,7.397267e-04,7.254017e-04,7.116936e-04,6.985811e-04,6.860439e-04,6.740618e-04,6.626156e-04,6.516865e-04,6.412563e-04,6.313073e-04,6.218224e-04,6.127850e-04,6.041790e-04,5.959888e-04,5.881992e-04,5.807957e-04,5.737639e-04,5.670902e-04,5.607610e-04,5.547635e-04,5.490852e-04,5.437138e-04,5.386376e-04,5.338452e-04,5.293254e-04,5.250676e-04,5.210613e-04,5.172965e-04,5.137635e-04,5.104527e-04,5.073551e-04,5.044617e-04,5.017639e-04,4.992536e-04,4.969225e-04,4.947629e-04,4.927673e-04
0.000000e+00,4.374352e-09,1.509001e-07,1.590018e-07,1.387931e-06,6.464691e-06,6.833397e-06,2.254393e-05,5.124942e-05,5.353896e-05,9.741847e-05,1.421871e-04,1.460732e-04,1.928494e-04,2.308331e-04,2.347780e-04,2.711765e-04,2.988063e-04,3.022736e-04,3.285625e-04,3.477291e-04,3.505718e-04,3.687986e-04,3.815163e-04,3.836924e-04,3.956556e-04,4.035314e-04,4.050468e-04,4.121852e-04,4.164658e-04,4.173548e-04,4.208080e-04,4.224549e-04,4.227686e-04,4.234349e-04,4.231847e-04,4.229829e-04,4.215683e-04,4.199827e-04,4.193275e-04,4.163797e-04,4.138787e-04,4.128295e-04,4.087689e-04,4.056667e-04,4.042791e-04,3.994316e-04,3.959647e-04,3.942919e-04,3.889180e-04,3.852671e-04,3.833590e-04,3.776567e-04,3.739489e-04,3.718472e-04,3.659616e-04,3.622863e-04,3.600269e-04,3.540666e-04,3.504866e-04,3.481009e-04,3.421472e-04,3.387056e-04,3.362206e-04,3.303339e-04,3.270588e-04,3.244979e-04,3.187221e-04,3.156309e-04,3.130141e-04,3.073807e-04,3.044826e-04,3.018273e-04,2.963583e-04,2.936567e-04,2.909775e-04,2.856876e-04,2.831814e-04,2.804908e-04,2.753890e-04,2.730744e-04,2.703832e-04,2.654743e-04,2.633452e-04,2.606627e-04,2.559485e-04,2.539975e-04,2.513315e-04,2.468112e-04,2.450300e-04,2.423870e-04,2.380581e-04,2.364379e-04,2.338235e-04,2.296823e-04,2.282141e-04,2.256332e-04,2.216749e-04,2.203495e-04,2.178061e-04,2.140253e-04,2.128339e-04,2.103313e-04,2.067224e-04,2.056561e-04,2.031971e-04,1.997540e-04,1.988044e-04,1.963914e-04,1.931079e-04,1.922669e-04,1.899019e-04,1.867717e-04,1.860316e-04,1.837160e-04,1.807330e-04,1.800864e-04,1.778214e-04,1.749795e-04,1.744194e-04,1.722060e-04,1.694993e-04,1.690190e-04,1.668579e-04,1.642804e-04,1.638739e-04,1.617655e-04,1.593116e-04,1.589729e-04,1.569175e-04,1.545818e-04,1.543054e-04,1.523031e-04,1.500802e-04,1.498609e-04,1.479118e-04,1.457966e-04,1.456296e-04,1.437334e-04,1.417210e-04,1.416019e-04,1.397582e-04,1.378439e-04,1.377684e-04,1.359770e-04,1.341562e-04,1.341203e-04,1.323806e-04,1.306491e-04,1.273467e-04,1.242053e-04,1.212174e-04,1.183759e-04,1.156739e-04,1.131050e-04,1.106628e-04,1.083416e-04,1.061354e-04,1.040391e-04,1.020473e-04,1.001551e-04,9.835790e-05,9.665110e-05,9.503043e-05,9.349181e-05,9.203134e-05,9.064529e-05,8.933013e-05,8.808246e-05,8.689907e-05,8.577688e-05,8.471296e-05,8.370452e-05,8.274889e-05,8.184354e-05,8.098605e-05,8.017412e-05,7.940553e-05,7.867821e-05,7.799016e-05,7.733947e-05,7.672434e-05,7.614303e-05,7.559391e-05,7.507539e-05,7.458600e-05,7.412430e-05,7.368893e-05,7.327862e-05,7.289212e-05,7.252825e-05,7.218592e-05,7.186404e-05,7.156160e-05,7.127764e-05,7.101123e-05,7.076150e-05,7.052761e-05
0.000000e+00,6.390236e-10,4.282544e-08,4.568973e-08,6.859334e-07,4.730275e-06,5.072829e-06,2.333704e-05,7.077813e-05,7.530002e-05,1.856542e-04,3.564725e-04,3.748228e-04,6.531633e-04,9.795805e-04,1.020033e-03,1.465731e-03,1.910715e-03,1.974484e-03,2.527386e-03,3.023224e-03,3.104832e-03,3.688273e-03,4.170941e-03,4.261338e-03,4.810434e-03,5.235268e-03,5.324946e-03,5.797155e-03,6.140978e-03,6.221993e-03,6.596689e-03,6.853533e-03,6.920383e-03,7.193741e-03,7.368919e-03,7.418591e-03,7.597606e-03,7.702458e-03,7.734025e-03,7.831424e-03,7.879484e-03,7.893536e-03,7.924109e-03,7.928710e-03,7.926801e-03,7.905101e-03,7.878090e-03,7.862277e-03,7.801348e-03,7.752566e-03,7.725068e-03,7.635920e-03,7.573148e-03,7.536125e-03,7.427649e-03,7.356804e-03,7.312225e-03,7.191363e-03,7.116789e-03,7.066376e-03,6.938396e-03,6.863186e-03,6.808395e-03,6.677202e-03,6.603479e-03,6.545518e-03,6.413938e-03,6.343106e-03,6.282958e-03,6.152992e-03,6.085928e-03,6.024384e-03,5.897415e-03,5.834618e-03,5.772313e-03,5.649263e-03,5.590973e-03,5.528412e-03,5.409873e-03,5.356146e-03,5.293733e-03,5.180055e-03,5.130829e-03,5.068883e-03,4.960247e-03,4.915379e-03,4.854160e-03,4.750625e-03,4.709925e-03,4.649638e-03,4.551183e-03,4.514431e-03,4.455242e-03,4.361788e-03,4.328747e-03,4.270791e-03,4.182218e-03,4.152649e-03,4.096034e-03,4.012199e-03,3.985861e-03,3.930673e-03,3.851416e-03,3.828074e-03,3.774383e-03,3.699532e-03,3.678959e-03,3.626819e-03,3.556198e-03,3.538174e-03,3.487625e-03,3.421055e-03,3.405371e-03,3.356444e-03,3.293747e-03,3.280206e-03,3.232920e-03,3.173919e-03,3.162334e-03,3.116702e-03,3.061224e-03,3.051420e-03,3.007445e-03,2.955322e-03,2.947133e-03,2.904813e-03,2.855879e-03,2.849152e-03,2.808480e-03,2.762576e-03,2.757166e-03,2.718129e-03,2.675101e-03,2.670875e-03,2.633455e-03,2.593155e-03,2.589989e-03,2.554165e-03,2.516451e-03,2.514228e-03,2.479977e-03,2.444710e-03,2.443324e-03,2.410618e-03,2.377669e-03,2.377021e-03,2.345830e-03,2.315072e-03,2.257243e-03,2.203308e-03,2.153053e-03,2.106273e-03,2.062772e-03,2.022366e-03,1.984878e-03,1.950139e-03,1.917989e-03,1.888276e-03,1.860856e-03,1.835592e-03,1.812354e-03,1.791017e-03,1.771466e-03,1.753587e-03,1.737277e-03,1.722435e-03,1.708966e-03,1.696780e-03,1.685793e-03,1.675924e-03,1.667097e-03,1.659239e-03,1.652283e-03,1.646165e-03,1.640822e-03,1.636199e-03,1.632240e-03,1.628894e-03,1.626114e-03,1.623853e-03,1.622069e-03,1.620722e-03,1.619773e-03,1.619188e-03,1.618931e-03,1.618974e-03,1.619285e-03,1.619837e-03,1.620605e-03,1.621565e-03,1.622694e-03,1.623972e-03,1.625379e-03,1.626897e-03,1.628509e-03,1.630200e-03,1.631956e-03
0.000000e+00,1.390407e-09,2.517630e-08,2.637995e-08,1.732139e-07,5.487514e-07,5.694173e-07,1.147506e-06,1.700866e-06,1.734927e-06,2.274641e-06,2.724072e-06,2.761082e-06,3.197122e-06,3.549722e-06,3.586701e-06,3.933688e-06,4.206695e-06,4.241715e-06,4.514160e-06,4.722397e-06,4.754153e-06,4.964590e-06,5.120475e-06,5.148139e-06,5.307253e-06,5.421074e-06,5.444178e-06,5.560975e-06,5.641198e-06,5.659537e-06,5.741579e-06,5.795117e-06,5.808669e-06,5.862236e-06,5.894711e-06,5.903586e-06,5.933905e-06,5.949881e-06,5.954278e-06,5.965690e-06,5.968865e-06,5.969038e-06,5.965136e-06,5.958491e-06,5.954727e-06,5.938484e-06,5.924422e-06,5.917021e-06,5.890895e-06,5.871344e-06,5.860610e-06,5.826629e-06,5.803135e-06,5.789368e-06,5.749207e-06,5.723003e-06,5.706489e-06,5.661529e-06,5.633594e-06,5.614608e-06,5.565985e-06,5.537096e-06,5.515892e-06,5.464542e-06,5.435309e-06,5.412125e-06,5.358815e-06,5.329712e-06,5.304769e-06,5.250128e-06,5.221524e-06,5.195022e-06,5.139566e-06,5.111739e-06,5.083864e-06,5.028011e-06,5.001174e-06,4.972093e-06,4.916185e-06,4.890490e-06,4.860357e-06,4.804671e-06,4.780228e-06,4.749181e-06,4.693938e-06,4.670821e-06,4.638987e-06,4.584366e-06,4.562618e-06,4.530111e-06,4.476254e-06,4.455898e-06,4.422822e-06,4.369839e-06,4.350879e-06,4.317327e-06,4.265305e-06,4.247733e-06,4.213790e-06,4.162794e-06,4.146588e-06,4.112331e-06,4.062411e-06,4.047542e-06,4.013042e-06,3.964232e-06,3.950666e-06,3.915986e-06,3.868308e-06,3.856006e-06,3.821203e-06,3.774672e-06,3.763591e-06,3.728718e-06,3.683340e-06,3.673435e-06,3.638540e-06,3.594315e-06,3.585539e-06,3.550665e-06,3.507588e-06,3.499895e-06,3.465082e-06,3.423143e-06,3.416486e-06,3.381769e-06,3.340957e-06,3.335287e-06,3.300701e-06,3.260999e-06,3.256271e-06,3.221845e-06,3.183236e-06,3.179405e-06,3.145167e-06,3.107632e-06,3.104652e-06,3.070626e-06,3.034145e-06,3.031973e-06,2.998184e-06,2.962736e-06,2.961328e-06,2.927796e-06,2.893359e-06,2.892676e-06,2.859420e-06,2.825972e-06,2.761173e-06,2.698236e-06,2.637116e-06,2.577770e-06,2.520153e-06,2.464223e-06,2.409937e-06,2.357253e-06,2.306129e-06,2.256525e-06,2.208400e-06,2.161715e-06,2.116432e-06,2.072513e-06,2.029922e-06,1.988622e-06,1.948578e-06,1.909756e-06,1.872123e-06,1.835645e-06,1.800291e-06,1.766030e-06,1.732831e-06,1.700665e-06,1.669503e-06,1.639318e-06,1.610081e-06,1.581766e-06,1.554348e-06,1.527801e-06,1.502101e-06,1.477223e-06,1.453145e-06,1.429844e-06,1.407298e-06,1.385485e-06,1.364384e-06,1.343976e-06,1.324241e-06,1.305159e-06,1.286712e-06,1.268881e-06,1.251649e-06,1.234999e-06,1.218914e-06,1.203377e-06,1.188374e-06,1.173888e-06,1.159904e-06
0.000000e+00,4.202071e-09,2.657062e-07,2.829357e-07,3.901365e-06,2.638971e-05,2.832114e-05,1.369177e-04,4.526785e-04,4.846577e-04,1.338285e-03,2.868055e-03,3.044742e-03,5.974965e-03,9.945551e-03,1.047497e-02,1.683342e-02,2.413787e-02,2.526410e-02,3.589945e-02,4.685110e-02,4.879184e-02,6.391987e-02,7.829383e-02,8.119751e-02,1.004847e-01,1.176726e-01,1.215986e-01,1.443241e-01,1.635059e-01,1.684239e-01,1.936478e-01,2.139383e-01,2.197401e-01,2.464465e-01,2.670014e-01,2.735195e-01,3.007227e-01,3.208058e-01,3.278342e-01,3.546491e-01,3.736666e-01,3.809808e-01,4.066622e-01,4.241726e-01,4.315460e-01,4.555049e-01,4.712124e-01,4.784303e-01,5.002328e-01,5.139714e-01,5.208399e-01,5.401959e-01,5.519078e-01,5.582602e-01,5.750059e-01,5.847193e-01,5.904188e-01,6.044959e-01,6.123035e-01,6.172441e-01,6.286792e-01,6.347188e-01,6.388244e-01,6.477093e-01,6.521473e-01,6.553691e-01,6.618435e-01,6.648619e-01,6.671757e-01,6.714119e-01,6.731976e-01,6.746005e-01,6.767912e-01,6.775282e-01,6.780349e-01,6.783830e-01,6.782471e-01,6.778869e-01,6.765977e-01,6.757523e-01,6.745660e-01,6.718415e-01,6.704358e-01,6.684728e-01,6.645073e-01,6.626749e-01,6.599908e-01,6.549679e-01,6.528265e-01,6.494811e-01,6.435717e-01,6.412236e-01,6.372790e-01,6.306409e-01,6.281735e-01,6.236931e-01,6.164700e-01,6.139572e-01,6.090040e-01,6.013259e-01,5.988289e-01,5.934647e-01,5.854480e-01,5.830166e-01,5.773016e-01,5.690498e-01,5.667236e-01,5.607155e-01,5.523202e-01,5.501299e-01,5.438838e-01,5.354251e-01,5.333936e-01,5.269615e-01,5.185093e-01,5.166528e-01,5.100835e-01,5.016981e-01,5.000270e-01,4.933661e-01,4.850992e-01,4.836190e-01,4.769086e-01,4.688043e-01,4.675162e-01,4.607955e-01,4.528905e-01,4.517926e-01,4.450972e-01,4.374223e-01,4.365096e-01,4.298721e-01,4.224523e-01,4.217177e-01,4.151678e-01,4.080231e-01,4.074577e-01,4.010220e-01,3.941680e-01,3.937615e-01,3.874639e-01,3.809123e-01,3.806534e-01,3.745151e-01,3.682741e-01,3.681509e-01,3.621905e-01,3.562653e-01,3.450029e-01,3.343650e-01,3.243492e-01,3.149493e-01,3.061564e-01,2.979586e-01,2.903419e-01,2.832903e-01,2.767863e-01,2.708111e-01,2.653445e-01,2.603658e-01,2.558533e-01,2.517849e-01,2.481380e-01,2.448902e-01,2.420185e-01,2.395005e-01,2.373136e-01,2.354355e-01,2.338445e-01,2.325192e-01,2.314387e-01,2.305827e-01,2.299316e-01,2.294665e-01,2.291692e-01,2.290223e-01,2.290093e-01,2.291144e-01,2.293227e-01,2.296203e-01,2.299939e-01,2.304314e-01,2.309213e-01,2.314530e-01,2.320169e-01,2.326040e-01,2.332063e-01,2.338165e-01,2.344279e-01,2.350348e-01,2.356320e-01,2.362149e-01,2.367798e-01,2.373232e-01,2.378424e-01,2.383352e-01,2.387996e-01
0.000000e+00,1.408653e-08,2.303841e-07,2.410260e-07,1.583497e-06,5.590654e-06,5.837811e-06,1.406633e-05,2.405845e-05,2.472057e-05,3.568944e-05,4.537581e-05,4.619389e-05,5.607542e-05,6.442281e-05,6.531879e-05,7.393967e-05,8.102900e-05,8.196063e-05,8.940589e-05,9.536708e-05,9.629999e-05,1.026675e-04,1.076270e-04,1.085326e-04,1.139193e-04,1.179960e-04,1.188512e-04,1.233514e-04,1.266560e-04,1.274425e-04,1.311467e-04,1.337809e-04,1.344850e-04,1.374781e-04,1.395341e-04,1.401456e-04,1.425063e-04,1.440663e-04,1.445782e-04,1.463786e-04,1.475160e-04,1.479239e-04,1.492297e-04,1.500093e-04,1.503110e-04,1.511819e-04,1.516608e-04,1.518559e-04,1.523458e-04,1.525743e-04,1.526638e-04,1.528215e-04,1.528433e-04,1.528297e-04,1.526989e-04,1.525523e-04,1.524389e-04,1.520591e-04,1.517773e-04,1.515682e-04,1.509746e-04,1.505864e-04,1.502863e-04,1.495106e-04,1.490407e-04,1.486546e-04,1.477250e-04,1.471947e-04,1.467281e-04,1.456698e-04,1.450972e-04,1.445558e-04,1.433912e-04,1.427915e-04,1.421811e-04,1.409301e-04,1.403164e-04,1.396426e-04,1.383229e-04,1.377060e-04,1.369746e-04,1.356016e-04,1.349905e-04,1.342072e-04,1.327947e-04,1.321967e-04,1.313670e-04,1.299270e-04,1.293481e-04,1.284772e-04,1.270203e-04,1.264652e-04,1.255584e-04,1.240937e-04,1.235661e-04,1.226282e-04,1.211637e-04,1.206664e-04,1.197020e-04,1.182447e-04,1.177796e-04,1.167933e-04,1.153491e-04,1.149175e-04,1.139134e-04,1.124874e-04,1.120899e-04,1.110720e-04,1.096685e-04,1.093056e-04,1.082775e-04,1.068999e-04,1.065714e-04,1.055366e-04,1.041881e-04,1.038935e-04,1.028551e-04,1.015381e-04,1.012767e-04,1.002377e-04,9.895414e-05,9.872494e-05,9.768796e-05,9.643945e-05,9.624135e-05,9.520890e-05,9.399657e-05,9.382831e-05,9.280265e-05,9.162732e-05,9.148754e-05,9.047072e-05,8.933295e-05,8.922021e-05,8.821409e-05,8.711418e-05,8.702700e-05,8.603323e-05,8.497125e-05,8.490813e-05,8.392820e-05,8.290404e-05,8.286347e-05,8.189869e-05,8.091207e-05,8.089253e-05,7.994407e-05,7.899457e-05,7.716859e-05,7.541341e-05,7.372766e-05,7.210986e-05,7.055837e-05,6.907150e-05,6.764748e-05,6.628447e-05,6.498060e-05,6.373399e-05,6.254273e-05,6.140492e-05,6.031866e-05,5.928207e-05,5.829329e-05,5.735049e-05,5.645187e-05,5.559567e-05,5.478016e-05,5.400367e-05,5.326456e-05,5.256123e-05,5.189215e-05,5.125582e-05,5.065080e-05,5.007569e-05,4.952913e-05,4.900984e-05,4.851655e-05,4.804806e-05,4.760322e-05,4.718091e-05,4.678006e-05,4.639965e-05,4.603869e-05,4.569625e-05,4.537142e-05,4.506335e-05,4.477120e-05,4.449420e-05,4.423158e-05,4.398263e-05,4.374667e-05,4.352304e-05,4.331112e-05,4.311030e-05,4.292004e-05,4.273977e-05,4.256900e-05
0.000000e+00,1.937486e-09,1.058175e-07,1.124941e-07,1.477989e-06,9.504609e-06,1.016874e-05,4.401480e-05,1.236938e-04,1.308459e-04,2.895769e-04,4.966733e-04,5.170015e-04,7.942311e-04,1.067598e-03,1.098682e-03,1.411340e-03,1.682564e-03,1.718889e-03,2.013140e-03,2.252096e-03,2.289644e-03,2.546378e-03,2.746312e-03,2.782772e-03,2.999074e-03,3.161922e-03,3.195969e-03,3.374358e-03,3.504410e-03,3.535232e-03,3.679609e-03,3.781419e-03,3.808496e-03,3.922874e-03,4.000679e-03,4.023686e-03,4.111831e-03,4.169410e-03,4.188167e-03,4.253507e-03,4.294175e-03,4.308617e-03,4.354226e-03,4.380866e-03,4.391016e-03,4.419634e-03,4.434738e-03,4.440687e-03,4.454746e-03,4.460456e-03,4.462348e-03,4.463996e-03,4.462146e-03,4.460163e-03,4.451295e-03,4.443451e-03,4.437806e-03,4.420088e-03,4.407579e-03,4.398505e-03,4.373399e-03,4.357350e-03,4.345091e-03,4.313879e-03,4.295238e-03,4.280045e-03,4.243849e-03,4.223407e-03,4.205535e-03,4.165331e-03,4.143749e-03,4.123449e-03,4.080088e-03,4.057911e-03,4.035432e-03,3.989652e-03,3.967326e-03,3.942908e-03,3.895348e-03,3.873235e-03,3.847111e-03,3.798322e-03,3.776712e-03,3.749102e-03,3.699559e-03,3.678680e-03,3.649795e-03,3.599903e-03,3.579930e-03,3.549970e-03,3.500074e-03,3.481140e-03,3.450290e-03,3.400684e-03,3.382881e-03,3.351317e-03,3.302246e-03,3.285638e-03,3.253522e-03,3.205192e-03,3.189817e-03,3.157299e-03,3.109880e-03,3.095753e-03,3.062971e-03,3.016603e-03,3.003720e-03,2.970803e-03,2.925597e-03,2.913943e-03,2.881006e-03,2.837049e-03,2.826596e-03,2.793745e-03,2.751107e-03,2.741817e-03,2.709148e-03,2.667878e-03,2.659707e-03,2.627305e-03,2.587438e-03,2.580337e-03,2.548281e-03,2.509838e-03,2.503754e-03,2.472112e-03,2.435103e-03,2.429980e-03,2.398813e-03,2.363240e-03,2.359019e-03,2.328382e-03,2.294237e-03,2.290861e-03,2.260800e-03,2.228068e-03,2.225480e-03,2.196035e-03,2.164697e-03,2.162838e-03,2.134045e-03,2.104075e-03,2.102890e-03,2.074778e-03,2.046146e-03,2.045581e-03,2.018173e-03,1.990850e-03,1.938631e-03,1.888855e-03,1.841450e-03,1.796339e-03,1.753447e-03,1.712697e-03,1.674010e-03,1.637311e-03,1.602521e-03,1.569565e-03,1.538369e-03,1.508858e-03,1.480962e-03,1.454610e-03,1.429734e-03,1.406267e-03,1.384146e-03,1.363308e-03,1.343692e-03,1.325241e-03,1.307898e-03,1.291610e-03,1.276324e-03,1.261990e-03,1.248561e-03,1.235990e-03,1.224233e-03,1.213247e-03,1.202993e-03,1.193432e-03,1.184525e-03,1.176239e-03,1.168538e-03,1.161392e-03,1.154768e-03,1.148638e-03,1.142974e-03,1.137749e-03,1.132937e-03,1.128514e-03,1.124458e-03,1.120746e-03,1.117358e-03,1.114273e-03,1.111474e-03,1.108943e-03,1.106662e-03,1.104615e-03,1.102787e-03
0.000000e+00,2.032441e-10,1.356915e-08,1.448029e-08,2.231756e-07,1.592376e-06,1.709909e-06,8.063158e-06,2.463502e-05,2.620840e-05,6.417594e-05,1.215273e-04,1.276011e-04,2.180117e-04,3.205773e-04,3.330619e-04,4.676893e-04,5.972361e-04,6.154322e-04,7.695391e-04,9.023641e-04,9.237500e-04,1.072761e-03,1.190846e-03,1.212430e-03,1.339800e-03,1.433729e-03,1.453010e-03,1.551135e-03,1.618642e-03,1.634010e-03,1.702044e-03,1.745327e-03,1.756060e-03,1.797150e-03,1.820498e-03,1.826561e-03,1.845601e-03,1.853783e-03,1.855576e-03,1.857739e-03,1.855121e-03,1.853262e-03,1.843212e-03,1.833378e-03,1.828546e-03,1.810109e-03,1.795798e-03,1.788637e-03,1.764763e-03,1.747956e-03,1.739026e-03,1.711881e-03,1.693947e-03,1.683708e-03,1.654822e-03,1.636671e-03,1.625483e-03,1.595903e-03,1.578111e-03,1.566253e-03,1.536671e-03,1.519589e-03,1.507268e-03,1.478130e-03,1.461954e-03,1.449325e-03,1.420906e-03,1.405734e-03,1.392912e-03,1.365375e-03,1.351244e-03,1.338316e-03,1.311750e-03,1.298655e-03,1.285687e-03,1.260134e-03,1.248051e-03,1.235094e-03,1.210567e-03,1.199457e-03,1.186551e-03,1.163044e-03,1.152861e-03,1.140041e-03,1.117536e-03,1.108232e-03,1.095525e-03,1.073999e-03,1.065523e-03,1.052952e-03,1.032377e-03,1.024681e-03,1.012267e-03,9.926126e-04,9.856474e-04,9.734074e-04,9.546431e-04,9.483622e-04,9.363118e-04,9.184055e-04,9.127640e-04,9.009164e-04,8.838364e-04,8.787911e-04,8.671578e-04,8.508727e-04,8.463823e-04,8.349733e-04,8.194519e-04,8.154774e-04,8.043010e-04,7.895130e-04,7.860170e-04,7.750803e-04,7.609958e-04,7.579431e-04,7.472519e-04,7.338417e-04,7.311991e-04,7.207580e-04,7.079938e-04,7.057296e-04,6.955422e-04,6.833965e-04,6.814811e-04,6.715500e-04,6.599961e-04,6.584016e-04,6.487285e-04,6.377408e-04,6.364408e-04,6.270267e-04,6.165802e-04,6.155501e-04,6.063953e-04,5.964661e-04,5.956826e-04,5.867867e-04,5.773516e-04,5.767931e-04,5.681551e-04,5.591919e-04,5.588382e-04,5.504566e-04,5.419439e-04,5.417759e-04,5.336487e-04,5.255660e-04,5.101701e-04,4.955509e-04,4.816731e-04,4.685025e-04,4.560066e-04,4.441542e-04,4.329153e-04,4.222614e-04,4.121651e-04,4.026004e-04,3.935421e-04,3.849665e-04,3.768507e-04,3.691729e-04,3.619122e-04,3.550489e-04,3.485639e-04,3.424391e-04,3.366572e-04,3.312017e-04,3.260567e-04,3.212074e-04,3.166392e-04,3.123386e-04,3.082924e-04,3.044882e-04,3.009141e-04,2.975587e-04,2.944112e-04,2.914613e-04,2.886992e-04,2.861154e-04,2.837009e-04,2.814474e-04,2.793465e-04,2.773905e-04,2.755721e-04,2.738841e-04,2.723198e-04,2.708729e-04,2.695371e-04,2.683066e-04,2.671758e-04,2.661396e-04,2.651927e-04,2.643304e-04,2.635481e-04,2.628414e-04,2.622061e-04
0.000000e+00,3.114318e-09,6.344093e-08,6.653000e-08,4.289580e-07,1.225026e-06,1.264519e-06,2.280328e-06,3.192256e-06,3.247897e-06,4.127324e-06,4.858385e-06,4.918562e-06,5.627211e-06,6.199492e-06,6.259451e-06,6.821253e-06,7.261866e-06,7.318265e-06,7.755792e-06,8.088287e-06,8.138804e-06,8.471937e-06,8.716388e-06,8.759505e-06,9.005504e-06,9.178807e-06,9.213631e-06,9.387296e-06,9.503534e-06,9.529639e-06,9.643547e-06,9.714370e-06,9.731673e-06,9.796452e-06,9.831452e-06,9.840120e-06,9.864724e-06,9.871768e-06,9.872142e-06,9.864096e-06,9.849616e-06,9.842159e-06,9.807773e-06,9.777007e-06,9.762257e-06,9.706814e-06,9.664008e-06,9.642546e-06,9.570458e-06,9.519046e-06,9.491469e-06,9.406417e-06,9.349157e-06,9.316064e-06,9.221108e-06,9.160204e-06,9.122182e-06,9.019864e-06,8.957066e-06,8.914679e-06,8.807103e-06,8.743787e-06,8.697570e-06,8.586473e-06,8.523709e-06,8.474167e-06,8.360976e-06,8.299587e-06,8.247189e-06,8.133072e-06,8.073680e-06,8.018861e-06,7.904769e-06,7.847829e-06,7.790989e-06,7.677693e-06,7.623529e-06,7.565035e-06,7.453152e-06,7.401980e-06,7.342166e-06,7.232187e-06,7.184140e-06,7.123309e-06,7.015619e-06,6.970760e-06,6.909188e-06,6.804083e-06,6.762424e-06,6.700358e-06,6.598061e-06,6.559572e-06,6.497234e-06,6.397911e-06,6.362528e-06,6.300118e-06,6.203880e-06,6.171516e-06,6.109213e-06,6.016131e-06,5.986681e-06,5.924643e-06,5.834754e-06,5.808100e-06,5.746468e-06,5.659784e-06,5.635799e-06,5.574698e-06,5.491205e-06,5.469757e-06,5.409297e-06,5.328964e-06,5.309918e-06,5.250196e-06,5.172978e-06,5.156197e-06,5.097298e-06,5.023139e-06,5.008488e-06,4.950485e-06,4.879319e-06,4.866666e-06,4.809623e-06,4.741377e-06,4.730591e-06,4.674563e-06,4.609160e-06,4.600115e-06,4.545149e-06,4.482508e-06,4.475082e-06,4.421217e-06,4.361254e-06,4.355330e-06,4.302599e-06,4.245229e-06,4.240695e-06,4.189124e-06,4.134263e-06,4.131010e-06,4.080622e-06,4.028182e-06,4.026110e-06,3.976922e-06,3.926818e-06,3.925828e-06,3.877852e-06,3.830002e-06,3.738469e-06,3.651072e-06,3.567655e-06,3.488066e-06,3.412159e-06,3.339790e-06,3.270819e-06,3.205112e-06,3.142537e-06,3.082969e-06,3.026285e-06,2.972366e-06,2.921100e-06,2.872375e-06,2.826087e-06,2.782134e-06,2.740416e-06,2.700840e-06,2.663314e-06,2.627751e-06,2.594067e-06,2.562181e-06,2.532015e-06,2.503493e-06,2.476545e-06,2.451100e-06,2.427093e-06,2.404460e-06,2.383139e-06,2.363072e-06,2.344202e-06,2.326474e-06,2.309838e-06,2.294242e-06,2.279639e-06,2.265982e-06,2.253228e-06,2.241333e-06,2.230258e-06,2.219963e-06,2.210410e-06,2.201565e-06,2.193391e-06,2.185857e-06,2.178931e-06,2.172581e-06,2.166780e-06,2.161499e-06,2.156711e-06
0.000000e+00,2.514339e-09,3.198193e-08,3.336228e-08,2.003302e-07,6.768483e-07,7.055135e-07,1.619246e-06,2.657878e-06,2.725198e-06,3.825560e-06,4.779849e-06,4.859791e-06,5.817289e-06,6.613912e-06,6.698713e-06,7.507189e-06,8.161237e-06,8.246413e-06,8.920197e-06,9.450203e-06,9.532330e-06,1.008652e-05,1.050989e-05,1.058635e-05,1.103529e-05,1.136774e-05,1.143660e-05,1.179342e-05,1.204884e-05,1.210872e-05,1.238528e-05,1.257583e-05,1.262577e-05,1.283269e-05,1.296895e-05,1.300839e-05,1.315511e-05,1.324625e-05,1.327491e-05,1.336972e-05,1.342353e-05,1.344136e-05,1.349156e-05,1.351481e-05,1.352193e-05,1.353401e-05,1.353250e-05,1.352923e-05,1.350905e-05,1.348792e-05,1.347474e-05,1.342747e-05,1.339094e-05,1.336836e-05,1.329842e-05,1.325005e-05,1.321863e-05,1.312988e-05,1.307269e-05,1.303302e-05,1.292883e-05,1.286534e-05,1.281805e-05,1.270137e-05,1.263368e-05,1.257942e-05,1.245279e-05,1.238267e-05,1.232206e-05,1.218772e-05,1.211660e-05,1.205027e-05,1.191014e-05,1.183921e-05,1.176776e-05,1.162351e-05,1.155372e-05,1.147775e-05,1.133081e-05,1.126291e-05,1.118300e-05,1.103460e-05,1.096918e-05,1.088587e-05,1.073705e-05,1.067458e-05,1.058837e-05,1.044003e-05,1.038084e-05,1.029222e-05,1.014511e-05,1.008943e-05,9.998866e-06,9.853620e-06,9.801603e-06,9.709510e-06,9.566654e-06,9.518388e-06,9.425160e-06,9.285127e-06,9.240639e-06,9.146642e-06,9.009784e-06,8.969055e-06,8.874625e-06,8.741226e-06,8.704197e-06,8.609643e-06,8.479924e-06,8.446507e-06,8.352110e-06,8.226239e-06,8.196322e-06,8.102340e-06,7.980438e-06,7.953890e-06,7.860556e-06,7.742707e-06,7.719383e-06,7.626906e-06,7.513160e-06,7.492904e-06,7.401474e-06,7.291850e-06,7.274501e-06,7.184286e-06,7.078779e-06,7.064172e-06,6.975323e-06,6.873907e-06,6.861874e-06,6.774522e-06,6.677154e-06,6.667528e-06,6.581789e-06,6.488411e-06,6.481026e-06,6.397002e-06,6.307543e-06,6.302237e-06,6.220014e-06,6.134394e-06,6.131008e-06,6.050660e-06,5.968790e-06,5.967171e-06,5.888759e-06,5.810544e-06,5.660935e-06,5.518144e-06,5.381966e-06,5.252193e-06,5.128612e-06,5.011014e-06,4.899187e-06,4.792921e-06,4.692008e-06,4.596245e-06,4.505430e-06,4.419365e-06,4.337858e-06,4.260721e-06,4.187770e-06,4.118828e-06,4.053722e-06,3.992284e-06,3.934353e-06,3.879770e-06,3.828386e-06,3.780054e-06,3.734632e-06,3.691985e-06,3.651983e-06,3.614500e-06,3.579415e-06,3.546611e-06,3.515978e-06,3.487409e-06,3.460800e-06,3.436054e-06,3.413076e-06,3.391776e-06,3.372067e-06,3.353868e-06,3.337098e-06,3.321682e-06,3.307548e-06,3.294627e-06,3.282852e-06,3.272161e-06,3.262493e-06,3.253791e-06,3.246000e-06,3.239067e-06,3.232944e-06,3.227581e-06,3.222935e-06
0.000000e+00,2.713186e-10,3.455291e-09,3.604652e-09,2.183080e-08,7.671149e-08,8.017077e-08,2.016268e-07,3.672871e-07,3.788951e-07,5.781098e-07,7.590559e-07,7.743850e-07,9.591670e-07,1.114068e-06,1.130607e-06,1.288740e-06,1.417309e-06,1.434098e-06,1.567330e-06,1.672727e-06,1.689112e-06,1.800117e-06,1.885536e-06,1.901032e-06,1.992502e-06,2.060828e-06,2.075053e-06,2.149235e-06,2.202917e-06,2.215586e-06,2.274616e-06,2.315889e-06,2.326808e-06,2.372619e-06,2.403433e-06,2.412478e-06,2.446791e-06,2.468838e-06,2.475940e-06,2.500285e-06,2.515028e-06,2.520162e-06,2.535890e-06,2.544591e-06,2.547767e-06,2.556074e-06,2.559820e-06,2.561075e-06,2.563018e-06,2.562737e-06,2.562133e-06,2.558639e-06,2.555129e-06,2.552741e-06,2.544630e-06,2.538569e-06,2.534485e-06,2.522476e-06,2.514441e-06,2.508759e-06,2.493483e-06,2.483963e-06,2.476785e-06,2.458796e-06,2.448203e-06,2.439635e-06,2.419417e-06,2.408097e-06,2.398247e-06,2.376223e-06,2.364464e-06,2.353438e-06,2.329979e-06,2.318021e-06,2.305925e-06,2.281351e-06,2.269392e-06,2.256328e-06,2.230920e-06,2.219120e-06,2.205188e-06,2.179188e-06,2.167676e-06,2.152972e-06,2.126589e-06,2.115469e-06,2.100084e-06,2.073499e-06,2.062851e-06,2.046872e-06,2.020239e-06,2.010124e-06,1.993634e-06,1.967086e-06,1.957548e-06,1.940624e-06,1.914274e-06,1.905345e-06,1.888060e-06,1.862003e-06,1.853702e-06,1.836124e-06,1.810440e-06,1.802776e-06,1.784969e-06,1.759725e-06,1.752699e-06,1.734722e-06,1.709973e-06,1.703581e-06,1.685489e-06,1.661279e-06,1.655511e-06,1.637354e-06,1.613720e-06,1.608560e-06,1.590385e-06,1.567354e-06,1.562785e-06,1.544634e-06,1.522229e-06,1.518229e-06,1.500142e-06,1.478377e-06,1.474924e-06,1.456936e-06,1.435822e-06,1.432892e-06,1.415035e-06,1.394578e-06,1.392145e-06,1.374450e-06,1.354651e-06,1.352689e-06,1.335182e-06,1.316041e-06,1.314524e-06,1.297228e-06,1.278742e-06,1.277643e-06,1.260580e-06,1.242742e-06,1.242035e-06,1.225225e-06,1.208026e-06,1.207685e-06,1.191144e-06,1.174576e-06,1.142686e-06,1.111993e-06,1.082470e-06,1.054093e-06,1.026832e-06,1.000661e-06,9.755485e-07,9.514667e-07,9.283852e-07,9.062743e-07,8.851042e-07,8.648455e-07,8.454686e-07,8.269448e-07,8.092455e-07,7.923426e-07,7.762086e-07,7.608167e-07,7.461403e-07,7.321539e-07,7.188323e-07,7.061510e-07,6.940863e-07,6.826148e-07,6.717143e-07,6.613627e-07,6.515390e-07,6.422226e-07,6.333936e-07,6.250327e-07,6.171213e-07,6.096413e-07,6.025753e-07,5.959062e-07,5.896180e-07,5.836946e-07,5.781210e-07,5.728825e-07,5.679647e-07,5.633540e-07,5.590373e-07,5.550017e-07,5.512348e-07,5.477250e-07,5.444607e-07,5.414308e-07,5.386249e-07,5.360325e-07,5.336439e-07
0.000000e+00,1.797543e-09,8.865559e-08,9.397251e-08,1.042286e-06,5.718848e-06,6.082601e-06,2.336629e-05,6.194951e-05,6.539773e-05,1.428936e-04,2.470985e-04,2.574765e-04,4.004891e-04,5.420797e-04,5.580955e-04,7.169970e-04,8.500228e-04,8.673943e-04,1.003431e-03,1.106820e-03,1.122412e-03,1.223766e-03,1.295752e-03,1.308166e-03,1.376919e-03,1.422718e-03,1.431593e-03,1.473799e-03,1.499623e-03,1.505074e-03,1.526834e-03,1.538029e-03,1.540358e-03,1.546784e-03,1.547546e-03,1.547121e-03,1.542255e-03,1.535766e-03,1.532965e-03,1.519934e-03,1.508573e-03,1.503758e-03,1.484959e-03,1.470483e-03,1.463989e-03,1.441245e-03,1.424943e-03,1.417070e-03,1.391764e-03,1.374569e-03,1.365585e-03,1.338758e-03,1.321338e-03,1.311475e-03,1.283905e-03,1.266731e-03,1.256191e-03,1.228457e-03,1.211851e-03,1.200807e-03,1.173331e-03,1.157506e-03,1.146106e-03,1.119195e-03,1.104283e-03,1.092652e-03,1.066522e-03,1.052596e-03,1.040841e-03,1.015638e-03,1.002730e-03,9.909380e-04,9.667585e-04,9.548684e-04,9.431134e-04,9.200129e-04,9.091200e-04,8.974633e-04,8.754683e-04,8.655372e-04,8.540290e-04,8.331444e-04,8.241302e-04,8.128115e-04,7.930260e-04,7.848779e-04,7.737820e-04,7.550726e-04,7.477368e-04,7.368900e-04,7.192257e-04,7.126473e-04,7.020705e-04,6.854145e-04,6.795387e-04,6.692479e-04,6.535600e-04,6.483333e-04,6.383403e-04,6.235780e-04,6.189490e-04,6.092623e-04,5.953822e-04,5.913015e-04,5.819268e-04,5.688851e-04,5.653062e-04,5.562465e-04,5.440002e-04,5.408791e-04,5.321356e-04,5.206423e-04,5.179381e-04,5.095101e-04,4.987287e-04,4.964029e-04,4.882883e-04,4.781792e-04,4.761963e-04,4.683918e-04,4.589169e-04,4.572439e-04,4.497452e-04,4.408680e-04,4.394744e-04,4.322765e-04,4.239622e-04,4.228198e-04,4.159169e-04,4.081325e-04,4.072155e-04,4.006012e-04,3.933153e-04,3.925999e-04,3.862675e-04,3.794504e-04,3.789148e-04,3.728571e-04,3.664807e-04,3.661049e-04,3.603147e-04,3.543524e-04,3.541181e-04,3.485877e-04,3.430146e-04,3.429050e-04,3.376269e-04,3.324192e-04,3.226166e-04,3.134560e-04,3.048984e-04,2.969070e-04,2.894473e-04,2.824869e-04,2.759951e-04,2.699431e-04,2.643039e-04,2.590521e-04,2.541637e-04,2.496163e-04,2.453887e-04,2.414611e-04,2.378148e-04,2.344323e-04,2.312971e-04,2.283938e-04,2.257078e-04,2.232254e-04,2.209339e-04,2.188211e-04,2.168757e-04,2.150871e-04,2.134453e-04,2.119409e-04,2.105650e-04,2.093095e-04,2.081665e-04,2.071287e-04,2.061893e-04,2.053418e-04,2.045801e-04,2.038986e-04,2.032919e-04,2.027550e-04,2.022832e-04,2.018721e-04,2.015175e-04,2.012155e-04,2.009625e-04,2.007551e-04,2.005899e-04,2.004640e-04,2.003746e-04,2.003189e-04,2.002945e-04,2.002990e-04,2.003302e-04
0.000000e+00,3.607447e-09,2.043177e-07,2.176344e-07,2.937929e-06,1.663516e-05,1.765716e-05,5.975705e-05,1.274826e-04,1.325003e-04,2.226370e-04,3.093128e-04,3.167976e-04,4.082084e-04,4.861096e-04,4.944827e-04,5.750496e-04,6.412440e-04,6.499364e-04,7.193380e-04,7.748162e-04,7.834906e-04,8.426354e-04,8.886216e-04,8.970109e-04,9.468521e-04,9.845000e-04,9.923892e-04,1.033848e-03,1.064225e-03,1.071447e-03,1.105400e-03,1.129485e-03,1.135913e-03,1.163183e-03,1.181858e-03,1.187402e-03,1.208752e-03,1.222806e-03,1.227406e-03,1.243531e-03,1.253664e-03,1.257284e-03,1.268815e-03,1.275641e-03,1.278266e-03,1.285773e-03,1.289832e-03,1.291463e-03,1.295459e-03,1.297223e-03,1.297874e-03,1.298817e-03,1.298697e-03,1.298393e-03,1.296697e-03,1.295047e-03,1.293822e-03,1.289854e-03,1.286984e-03,1.284876e-03,1.278966e-03,1.275139e-03,1.272195e-03,1.264634e-03,1.260079e-03,1.256348e-03,1.247397e-03,1.242307e-03,1.237839e-03,1.227729e-03,1.222270e-03,1.217118e-03,1.206054e-03,1.200366e-03,1.194582e-03,1.182745e-03,1.176945e-03,1.170583e-03,1.158133e-03,1.152319e-03,1.145431e-03,1.132510e-03,1.126763e-03,1.119400e-03,1.106130e-03,1.100516e-03,1.092728e-03,1.079220e-03,1.073791e-03,1.065627e-03,1.051974e-03,1.046774e-03,1.038280e-03,1.024564e-03,1.019625e-03,1.010845e-03,9.971394e-04,9.924851e-04,9.834619e-04,9.698271e-04,9.654752e-04,9.562484e-04,9.427379e-04,9.386997e-04,9.293069e-04,9.159659e-04,9.122478e-04,9.027244e-04,8.895911e-04,8.861952e-04,8.765742e-04,8.636810e-04,8.606057e-04,8.509180e-04,8.382914e-04,8.355324e-04,8.258067e-04,8.134686e-04,8.110190e-04,8.012817e-04,7.892498e-04,7.871008e-04,7.773765e-04,7.656646e-04,7.638059e-04,7.541169e-04,7.427356e-04,7.411556e-04,7.315226e-04,7.204794e-04,7.191657e-04,7.096074e-04,6.989076e-04,6.978471e-04,6.883805e-04,6.780268e-04,6.772060e-04,6.678466e-04,6.578399e-04,6.572450e-04,6.480065e-04,6.383462e-04,6.379633e-04,6.288582e-04,6.195420e-04,6.193574e-04,6.103966e-04,6.014211e-04,5.841462e-04,5.675228e-04,5.515394e-04,5.361832e-04,5.214406e-04,5.072968e-04,4.937368e-04,4.807448e-04,4.683046e-04,4.564000e-04,4.450144e-04,4.341313e-04,4.237343e-04,4.138067e-04,4.043325e-04,3.952956e-04,3.866801e-04,3.784705e-04,3.706515e-04,3.632084e-04,3.561264e-04,3.493913e-04,3.429895e-04,3.369074e-04,3.311319e-04,3.256505e-04,3.204508e-04,3.155210e-04,3.108497e-04,3.064258e-04,3.022385e-04,2.982776e-04,2.945330e-04,2.909953e-04,2.876551e-04,2.845036e-04,2.815322e-04,2.787327e-04,2.760972e-04,2.736182e-04,2.712883e-04,2.691005e-04,2.670481e-04,2.651247e-04,2.633241e-04,2.616404e-04,2.600679e-04,2.586012e-04,2.572350e-04
0.000000e+00,1.378390e-09,7.092491e-08,7.527472e-08,9.051088e-07,5.430761e-06,5.797152e-06,2.416709e-05,6.761815e-05,7.156255e-05,1.607351e-04,2.803397e-04,2.922148e-04,4.557286e-04,6.187910e-04,6.374011e-04,8.250010e-04,9.879747e-04,1.009797e-03,1.186395e-03,1.329446e-03,1.351886e-03,1.504980e-03,1.623745e-03,1.645354e-03,1.773227e-03,1.869097e-03,1.889095e-03,1.993587e-03,2.069447e-03,2.087384e-03,2.171175e-03,2.230018e-03,2.245631e-03,2.311398e-03,2.355950e-03,2.369092e-03,2.419293e-03,2.451941e-03,2.462549e-03,2.499374e-03,2.522177e-03,2.530249e-03,2.555625e-03,2.570345e-03,2.575926e-03,2.591544e-03,2.599679e-03,2.602849e-03,2.610184e-03,2.613007e-03,2.613870e-03,2.614207e-03,2.612794e-03,2.611473e-03,2.605928e-03,2.601186e-03,2.597815e-03,2.587360e-03,2.580050e-03,2.574771e-03,2.560244e-03,2.551003e-03,2.543962e-03,2.526093e-03,2.515452e-03,2.506794e-03,2.486211e-03,2.474610e-03,2.464479e-03,2.441725e-03,2.429527e-03,2.418064e-03,2.393606e-03,2.381110e-03,2.368450e-03,2.342690e-03,2.330136e-03,2.316411e-03,2.289692e-03,2.277275e-03,2.262608e-03,2.235226e-03,2.223100e-03,2.207609e-03,2.179814e-03,2.168100e-03,2.151895e-03,2.123901e-03,2.112692e-03,2.095876e-03,2.067863e-03,2.057229e-03,2.039899e-03,2.012018e-03,2.002008e-03,1.984253e-03,1.956632e-03,1.947278e-03,1.929181e-03,1.901926e-03,1.893249e-03,1.874886e-03,1.848083e-03,1.840091e-03,1.821533e-03,1.795253e-03,1.787945e-03,1.769257e-03,1.743557e-03,1.736925e-03,1.718165e-03,1.693091e-03,1.687122e-03,1.668343e-03,1.643930e-03,1.638604e-03,1.619857e-03,1.596130e-03,1.591426e-03,1.572753e-03,1.549731e-03,1.545625e-03,1.527066e-03,1.504761e-03,1.501226e-03,1.482818e-03,1.461236e-03,1.458244e-03,1.440018e-03,1.419162e-03,1.416683e-03,1.398668e-03,1.378536e-03,1.376542e-03,1.358763e-03,1.339349e-03,1.337811e-03,1.320291e-03,1.301587e-03,1.300476e-03,1.283234e-03,1.265229e-03,1.264516e-03,1.247570e-03,1.230253e-03,1.229910e-03,1.213275e-03,1.196632e-03,1.164652e-03,1.133941e-03,1.104466e-03,1.076195e-03,1.049094e-03,1.023128e-03,9.982628e-04,9.744640e-04,9.516971e-04,9.299278e-04,9.091222e-04,8.892471e-04,8.702696e-04,8.521576e-04,8.348797e-04,8.184050e-04,8.027037e-04,7.877464e-04,7.735049e-04,7.599515e-04,7.470594e-04,7.348026e-04,7.231561e-04,7.120953e-04,7.015968e-04,6.916377e-04,6.821960e-04,6.732504e-04,6.647804e-04,6.567660e-04,6.491883e-04,6.420287e-04,6.352694e-04,6.288932e-04,6.228836e-04,6.172246e-04,6.119010e-04,6.068979e-04,6.022011e-04,5.977969e-04,5.936721e-04,5.898139e-04,5.862104e-04,5.828495e-04,5.797202e-04,5.768114e-04,5.741128e-04,5.716143e-04,5.693063e-04
0.000000e+00,6.225662e-09,1.326315e-07,1.392249e-07,9.520409e-07,2.912122e-06,3.013880e-06,5.697678e-06,8.134740e-06,8.282997e-06,1.061296e-05,1.252638e-05,1.268280e-05,1.451134e-05,1.596836e-05,1.611991e-05,1.752883e-05,1.861843e-05,1.875682e-05,1.982109e-05,2.061741e-05,2.073733e-05,2.151998e-05,2.208393e-05,2.218234e-05,2.273653e-05,2.311804e-05,2.319361e-05,2.356364e-05,2.380316e-05,2.385576e-05,2.407822e-05,2.420823e-05,2.423851e-05,2.434341e-05,2.438986e-05,2.439902e-05,2.441085e-05,2.439436e-05,2.438387e-05,2.432255e-05,2.425943e-05,2.423094e-05,2.411266e-05,2.401575e-05,2.397097e-05,2.380881e-05,2.368820e-05,2.362881e-05,2.343336e-05,2.329693e-05,2.322457e-05,2.300435e-05,2.285821e-05,2.277441e-05,2.253629e-05,2.238515e-05,2.229136e-05,2.204085e-05,2.188832e-05,2.178585e-05,2.152735e-05,2.137616e-05,2.126622e-05,2.100323e-05,2.085542e-05,2.073909e-05,2.047441e-05,2.033145e-05,2.020973e-05,1.994555e-05,1.980851e-05,1.968228e-05,1.942030e-05,1.928991e-05,1.915996e-05,1.890153e-05,1.877824e-05,1.864527e-05,1.839141e-05,1.827549e-05,1.814013e-05,1.789161e-05,1.778317e-05,1.764598e-05,1.740336e-05,1.730238e-05,1.716385e-05,1.692754e-05,1.683393e-05,1.669450e-05,1.646478e-05,1.637837e-05,1.623843e-05,1.601547e-05,1.593604e-05,1.579593e-05,1.557983e-05,1.550713e-05,1.536716e-05,1.515793e-05,1.509170e-05,1.495213e-05,1.474974e-05,1.468969e-05,1.455076e-05,1.435516e-05,1.430100e-05,1.416292e-05,1.397400e-05,1.392542e-05,1.378838e-05,1.360602e-05,1.356274e-05,1.342690e-05,1.325096e-05,1.321268e-05,1.307818e-05,1.290851e-05,1.287495e-05,1.274191e-05,1.257835e-05,1.254923e-05,1.241778e-05,1.226015e-05,1.223520e-05,1.210542e-05,1.195356e-05,1.193252e-05,1.180451e-05,1.165824e-05,1.164087e-05,1.151469e-05,1.137383e-05,1.135989e-05,1.123561e-05,1.109998e-05,1.108924e-05,1.096692e-05,1.083636e-05,1.082861e-05,1.070828e-05,1.058262e-05,1.057764e-05,1.045935e-05,1.033843e-05,1.033603e-05,1.021981e-05,1.010345e-05,9.879593e-06,9.664154e-06,9.456839e-06,9.257364e-06,9.065451e-06,8.880829e-06,8.703238e-06,8.532426e-06,8.368148e-06,8.210167e-06,8.058255e-06,7.912192e-06,7.771764e-06,7.636764e-06,7.506995e-06,7.382265e-06,7.262387e-06,7.147184e-06,7.036483e-06,6.930118e-06,6.827928e-06,6.729759e-06,6.635461e-06,6.544891e-06,6.457909e-06,6.374383e-06,6.294183e-06,6.217185e-06,6.143269e-06,6.072320e-06,6.004225e-06,5.938879e-06,5.876178e-06,5.816021e-06,5.758313e-06,5.702961e-06,5.649876e-06,5.598972e-06,5.550165e-06,5.503378e-06,5.458531e-06,5.415551e-06,5.374367e-06,5.334910e-06,5.297113e-06,5.260913e-06,5.226248e-06,5.193058e-06,5.161287e-06
0.000000e+00,3.280897e-09,2.037110e-07,2.173016e-07,3.159119e-06,1.921844e-05,2.045760e-05,7.419533e-05,1.688712e-04,1.762373e-04,3.158119e-04,4.609678e-04,4.739086e-04,6.359409e-04,7.783720e-04,7.938508e-04,9.440304e-04,1.068743e-03,1.085192e-03,1.217089e-03,1.323231e-03,1.339886e-03,1.453899e-03,1.543157e-03,1.559505e-03,1.657093e-03,1.731408e-03,1.747057e-03,1.829784e-03,1.891011e-03,1.905654e-03,1.975031e-03,2.024867e-03,2.038271e-03,2.095712e-03,2.135691e-03,2.147681e-03,2.194489e-03,2.225980e-03,2.236433e-03,2.273798e-03,2.298016e-03,2.306851e-03,2.335851e-03,2.353870e-03,2.361041e-03,2.382652e-03,2.395416e-03,2.400904e-03,2.416005e-03,2.424342e-03,2.428153e-03,2.437536e-03,2.442172e-03,2.444331e-03,2.448705e-03,2.450273e-03,2.450819e-03,2.450824e-03,2.449873e-03,2.448861e-03,2.445065e-03,2.442075e-03,2.439566e-03,2.432482e-03,2.427866e-03,2.423929e-03,2.414014e-03,2.408130e-03,2.402839e-03,2.390501e-03,2.383655e-03,2.377090e-03,2.362692e-03,2.355148e-03,2.347388e-03,2.331254e-03,2.323236e-03,2.314363e-03,2.296782e-03,2.288481e-03,2.278575e-03,2.259803e-03,2.251379e-03,2.240522e-03,2.220786e-03,2.212373e-03,2.200644e-03,2.180145e-03,2.171855e-03,2.159332e-03,2.138247e-03,2.130171e-03,2.116929e-03,2.095415e-03,2.087629e-03,2.073740e-03,2.051935e-03,2.044498e-03,2.030032e-03,2.008058e-03,2.001015e-03,1.986039e-03,1.964001e-03,1.957389e-03,1.941966e-03,1.919956e-03,1.913800e-03,1.897991e-03,1.876090e-03,1.870408e-03,1.854270e-03,1.832547e-03,1.827349e-03,1.810936e-03,1.789451e-03,1.784742e-03,1.768104e-03,1.746908e-03,1.742688e-03,1.725874e-03,1.705010e-03,1.701274e-03,1.684327e-03,1.663833e-03,1.660572e-03,1.643535e-03,1.623441e-03,1.620644e-03,1.603556e-03,1.583886e-03,1.581541e-03,1.564437e-03,1.545213e-03,1.543303e-03,1.526218e-03,1.507455e-03,1.505964e-03,1.488928e-03,1.470639e-03,1.469549e-03,1.452590e-03,1.434784e-03,1.434077e-03,1.417222e-03,1.399904e-03,1.399561e-03,1.382833e-03,1.366008e-03,1.333424e-03,1.301806e-03,1.271153e-03,1.241456e-03,1.212707e-03,1.184895e-03,1.158007e-03,1.132026e-03,1.106938e-03,1.082725e-03,1.059369e-03,1.036851e-03,1.015152e-03,9.942512e-04,9.741288e-04,9.547642e-04,9.361371e-04,9.182268e-04,9.010127e-04,8.844744e-04,8.685918e-04,8.533446e-04,8.387132e-04,8.246779e-04,8.112196e-04,7.983194e-04,7.859588e-04,7.741197e-04,7.627843e-04,7.519352e-04,7.415555e-04,7.316288e-04,7.221387e-04,7.130697e-04,7.044065e-04,6.961342e-04,6.882382e-04,6.807047e-04,6.735198e-04,6.666705e-04,6.601437e-04,6.539271e-04,6.480085e-04,6.423763e-04,6.370190e-04,6.319258e-04,6.270859e-04,6.224890e-04,6.181253e-04
0.000000e+00,5.318939e-09,9.396037e-08,9.838482e-08,6.615179e-07,2.355795e-06,2.461081e-06,6.059822e-06,1.073536e-05,1.105515e-05,1.642773e-05,2.117115e-05,2.156858e-05,2.631315e-05,3.022827e-05,3.064294e-05,3.457371e-05,3.772103e-05,3.812857e-05,4.133169e-05,4.382319e-05,4.420683e-05,4.677676e-05,4.871560e-05,4.906326e-05,5.108696e-05,5.256400e-05,5.286735e-05,5.442277e-05,5.551674e-05,5.577044e-05,5.692646e-05,5.770484e-05,5.790590e-05,5.872277e-05,5.924297e-05,5.939018e-05,5.992030e-05,6.023089e-05,6.032446e-05,6.061319e-05,6.075512e-05,6.079628e-05,6.088282e-05,6.089049e-05,6.088125e-05,6.079940e-05,6.070160e-05,6.064452e-05,6.042335e-05,6.024412e-05,6.014213e-05,5.980662e-05,5.956590e-05,5.942219e-05,5.899376e-05,5.870807e-05,5.852592e-05,5.802290e-05,5.770584e-05,5.748861e-05,5.692665e-05,5.658936e-05,5.634035e-05,5.573278e-05,5.538432e-05,5.510678e-05,5.446494e-05,5.411261e-05,5.380966e-05,5.314316e-05,5.279282e-05,5.246745e-05,5.178439e-05,5.144065e-05,5.109569e-05,5.040292e-05,5.006936e-05,4.970749e-05,4.901071e-05,4.869007e-05,4.831378e-05,4.761777e-05,4.731208e-05,4.692369e-05,4.623241e-05,4.594311e-05,4.554475e-05,4.486145e-05,4.458950e-05,4.418316e-05,4.351049e-05,4.325646e-05,4.284396e-05,4.218405e-05,4.194819e-05,4.153118e-05,4.088574e-05,4.066804e-05,4.024804e-05,3.961838e-05,3.941863e-05,3.899701e-05,3.838414e-05,3.820196e-05,3.777996e-05,3.718461e-05,3.701952e-05,3.659824e-05,3.602094e-05,3.587233e-05,3.545278e-05,3.489383e-05,3.476106e-05,3.434412e-05,3.380368e-05,3.368602e-05,3.327250e-05,3.275059e-05,3.264731e-05,3.223791e-05,3.173443e-05,3.164478e-05,3.124011e-05,3.075489e-05,3.067809e-05,3.027870e-05,2.981147e-05,2.974677e-05,2.935313e-05,2.890358e-05,2.885022e-05,2.846273e-05,2.803049e-05,2.798773e-05,2.760675e-05,2.719141e-05,2.715854e-05,2.678436e-05,2.638548e-05,2.636181e-05,2.599467e-05,2.561181e-05,2.559666e-05,2.523677e-05,2.486944e-05,2.486217e-05,2.450970e-05,2.415743e-05,2.348147e-05,2.283334e-05,2.221211e-05,2.161681e-05,2.104654e-05,2.050035e-05,1.997736e-05,1.947669e-05,1.899746e-05,1.853885e-05,1.810003e-05,1.768023e-05,1.727867e-05,1.689462e-05,1.652736e-05,1.617619e-05,1.584045e-05,1.551951e-05,1.521273e-05,1.491953e-05,1.463933e-05,1.437159e-05,1.411577e-05,1.387137e-05,1.363790e-05,1.341489e-05,1.320189e-05,1.299848e-05,1.280424e-05,1.261878e-05,1.244171e-05,1.227268e-05,1.211133e-05,1.195734e-05,1.181038e-05,1.167016e-05,1.153637e-05,1.140873e-05,1.128698e-05,1.117087e-05,1.106014e-05,1.095457e-05,1.085392e-05,1.075798e-05,1.066655e-05,1.057942e-05,1.049641e-05,1.041735e-05,1.034205e-05
0.000000e+00,5.030086e-08,3.809821e-06,4.076062e-06,7.042209e-05,5.467401e-04,5.889283e-04,2.981737e-03,9.692027e-03,1.035278e-02,2.723157e-02,5.552255e-02,5.869367e-02,1.095637e-01,1.753202e-01,1.839061e-01,2.847644e-01,3.970178e-01,4.140754e-01,5.726976e-01,7.324849e-01,7.605071e-01,9.765311e-01,1.178588e+00,1.219096e+00,1.485975e+00,1.721121e+00,1.774534e+00,2.081856e+00,2.339155e+00,2.404859e+00,2.740389e+00,3.008777e+00,3.085306e+00,3.436546e+00,3.705907e+00,3.791176e+00,4.146430e+00,4.408204e+00,4.499744e+00,4.848766e+00,5.096205e+00,5.191376e+00,5.525683e+00,5.753861e+00,5.850030e+00,6.162985e+00,6.368661e+00,6.463337e+00,6.750079e+00,6.931472e+00,7.022401e+00,7.279673e+00,7.436209e+00,7.521434e+00,7.747371e+00,7.879426e+00,7.957314e+00,8.151211e+00,8.259868e+00,8.329122e+00,8.491202e+00,8.578046e+00,8.637691e+00,8.768902e+00,8.835842e+00,8.885205e+00,8.987025e+00,9.036148e+00,9.074826e+00,9.149108e+00,9.182564e+00,9.210393e+00,9.259228e+00,9.279150e+00,9.296170e+00,9.321788e+00,9.330231e+00,9.336655e+00,9.341340e+00,9.340231e+00,9.336408e+00,9.322416e+00,9.313532e+00,9.299915e+00,9.269441e+00,9.254392e+00,9.231521e+00,9.186663e+00,9.166890e+00,9.135364e+00,9.078100e+00,9.054872e+00,9.015332e+00,8.947500e+00,8.921923e+00,8.875029e+00,8.798323e+00,8.771347e+00,8.717770e+00,8.633738e+00,8.606171e+00,8.546578e+00,8.456623e+00,8.429140e+00,8.364189e+00,8.269574e+00,8.242730e+00,8.173060e+00,8.074914e+00,8.049159e+00,7.975384e+00,7.874709e+00,7.850401e+00,7.773108e+00,7.670789e+00,7.648202e+00,7.567947e+00,7.464763e+00,7.444100e+00,7.361406e+00,7.258035e+00,7.239438e+00,7.154796e+00,7.051827e+00,7.035385e+00,6.949252e+00,6.847190e+00,6.832949e+00,6.745749e+00,6.645029e+00,6.632995e+00,6.545120e+00,6.446109e+00,6.436260e+00,6.348070e+00,6.251076e+00,6.243364e+00,6.155190e+00,6.060470e+00,6.054825e+00,5.966968e+00,5.874732e+00,5.871070e+00,5.783804e+00,5.694223e+00,5.692445e+00,5.606020e+00,5.519225e+00,5.351624e+00,5.189799e+00,5.033860e+00,4.883875e+00,4.739878e+00,4.601869e+00,4.469822e+00,4.343688e+00,4.223397e+00,4.108864e+00,3.999986e+00,3.896652e+00,3.798737e+00,3.706109e+00,3.618628e+00,3.536149e+00,3.458521e+00,3.385590e+00,3.317199e+00,3.253188e+00,3.193397e+00,3.137664e+00,3.085827e+00,3.037723e+00,2.993192e+00,2.952072e+00,2.914205e+00,2.879433e+00,2.847600e+00,2.818554e+00,2.792144e+00,2.768221e+00,2.746643e+00,2.727267e+00,2.709955e+00,2.694574e+00,2.680992e+00,2.669085e+00,2.658730e+00,2.649809e+00,2.642209e+00,2.635820e+00,2.630540e+00,2.626267e+00,2.622907e+00,2.620369e+00,2.618567e+00,2.617421e+00,2.616852e+00
0.000000e+00,9.772724e-10,1.208629e-08,1.259576e-08,7.140091e-08,2.304689e-07,2.399036e-07,5.400128e-07,8.833813e-07,9.056778e-07,1.269230e-06,1.581667e-06,1.607675e-06,1.916876e-06,2.170527e-06,2.197318e-06,2.450521e-06,2.652175e-06,2.678207e-06,2.882092e-06,3.039669e-06,3.063842e-06,3.225057e-06,3.345727e-06,3.367263e-06,3.491906e-06,3.581968e-06,3.600351e-06,3.693885e-06,3.758786e-06,3.773709e-06,3.840944e-06,3.885330e-06,3.896646e-06,3.941793e-06,3.969607e-06,3.977294e-06,4.003994e-06,4.018550e-06,4.022678e-06,4.034057e-06,4.038096e-06,4.038785e-06,4.037468e-06,4.033254e-06,4.030672e-06,4.018949e-06,4.008427e-06,4.002811e-06,3.982704e-06,3.967461e-06,3.959040e-06,3.932197e-06,3.913511e-06,3.902524e-06,3.870341e-06,3.849256e-06,3.835941e-06,3.799594e-06,3.776956e-06,3.761549e-06,3.722033e-06,3.698522e-06,3.681253e-06,3.639400e-06,3.615559e-06,3.596648e-06,3.553158e-06,3.529417e-06,3.509073e-06,3.464526e-06,3.441220e-06,3.419639e-06,3.374522e-06,3.351908e-06,3.329273e-06,3.283984e-06,3.262256e-06,3.238738e-06,3.193606e-06,3.172904e-06,3.148658e-06,3.103951e-06,3.084371e-06,3.059541e-06,3.015476e-06,2.997082e-06,2.971800e-06,2.928550e-06,2.911378e-06,2.885761e-06,2.843464e-06,2.827525e-06,2.801683e-06,2.760443e-06,2.745732e-06,2.719762e-06,2.679659e-06,2.666157e-06,2.640146e-06,2.601237e-06,2.588915e-06,2.562941e-06,2.525266e-06,2.514086e-06,2.488218e-06,2.451801e-06,2.441718e-06,2.416019e-06,2.380873e-06,2.371839e-06,2.346362e-06,2.312487e-06,2.304451e-06,2.279246e-06,2.246635e-06,2.239545e-06,2.214652e-06,2.183291e-06,2.177094e-06,2.152549e-06,2.122420e-06,2.117061e-06,2.092897e-06,2.063974e-06,2.059401e-06,2.035644e-06,2.007900e-06,2.004062e-06,1.980735e-06,1.954140e-06,1.950987e-06,1.928108e-06,1.902630e-06,1.900112e-06,1.877698e-06,1.853303e-06,1.851374e-06,1.829437e-06,1.806091e-06,1.804707e-06,1.783256e-06,1.760924e-06,1.760041e-06,1.739085e-06,1.717731e-06,1.717308e-06,1.696852e-06,1.676441e-06,1.637371e-06,1.600031e-06,1.564354e-06,1.530276e-06,1.497733e-06,1.466663e-06,1.437006e-06,1.408703e-06,1.381699e-06,1.355938e-06,1.331368e-06,1.307937e-06,1.285596e-06,1.264299e-06,1.244000e-06,1.224654e-06,1.206221e-06,1.188660e-06,1.171932e-06,1.156000e-06,1.140828e-06,1.126383e-06,1.112633e-06,1.099545e-06,1.087090e-06,1.075240e-06,1.063966e-06,1.053244e-06,1.043047e-06,1.033352e-06,1.024136e-06,1.015378e-06,1.007055e-06,9.991489e-07,9.916398e-07,9.845095e-07,9.777406e-07,9.713164e-07,9.652211e-07,9.594392e-07,9.539564e-07,9.487588e-07,9.438330e-07,9.391664e-07,9.347469e-07,9.305628e-07,9.266033e-07,9.228576e-07,9.193159e-07
0.000000e+00,9.534568e-09,2.106507e-07,2.211304e-07,1.737193e-06,7.243439e-06,7.609077e-06,2.054396e-05,3.704714e-05,3.815092e-05,5.645904e-05,7.254254e-05,7.389419e-05,9.011892e-05,1.036597e-04,1.051032e-04,1.188865e-04,1.300660e-04,1.315239e-04,1.430745e-04,1.521838e-04,1.535973e-04,1.631509e-04,1.704686e-04,1.717922e-04,1.795765e-04,1.853572e-04,1.865566e-04,1.927836e-04,1.972555e-04,1.983059e-04,2.031694e-04,2.065341e-04,2.074182e-04,2.110940e-04,2.135284e-04,2.142357e-04,2.168796e-04,2.185360e-04,2.190603e-04,2.208104e-04,2.218211e-04,2.221606e-04,2.231402e-04,2.236206e-04,2.237777e-04,2.241005e-04,2.241528e-04,2.241330e-04,2.238979e-04,2.236067e-04,2.234167e-04,2.227093e-04,2.221466e-04,2.217946e-04,2.206901e-04,2.199173e-04,2.194124e-04,2.179769e-04,2.170459e-04,2.163980e-04,2.146895e-04,2.136440e-04,2.128638e-04,2.109329e-04,2.098097e-04,2.089078e-04,2.067988e-04,2.056285e-04,2.046156e-04,2.023672e-04,2.011751e-04,2.000620e-04,1.977078e-04,1.965145e-04,1.953117e-04,1.928807e-04,1.917032e-04,1.904209e-04,1.879382e-04,1.867900e-04,1.854380e-04,1.829252e-04,1.818168e-04,1.804045e-04,1.778803e-04,1.768199e-04,1.753563e-04,1.728363e-04,1.718302e-04,1.703237e-04,1.678214e-04,1.668739e-04,1.653324e-04,1.628591e-04,1.619731e-04,1.604040e-04,1.579692e-04,1.571464e-04,1.555567e-04,1.531682e-04,1.524092e-04,1.508053e-04,1.484694e-04,1.477742e-04,1.461619e-04,1.438839e-04,1.432515e-04,1.416364e-04,1.394204e-04,1.388494e-04,1.372364e-04,1.350854e-04,1.345741e-04,1.329678e-04,1.308840e-04,1.304302e-04,1.288346e-04,1.268199e-04,1.264211e-04,1.248400e-04,1.228952e-04,1.225488e-04,1.209855e-04,1.191111e-04,1.188144e-04,1.172719e-04,1.154679e-04,1.152181e-04,1.136990e-04,1.119650e-04,1.117593e-04,1.102659e-04,1.086013e-04,1.084368e-04,1.069711e-04,1.053750e-04,1.052487e-04,1.038126e-04,1.022837e-04,1.021930e-04,1.007879e-04,9.932481e-05,9.926697e-05,9.789414e-05,9.649544e-05,9.646779e-05,9.512831e-05,9.379232e-05,9.123724e-05,8.879907e-05,8.647424e-05,8.425912e-05,8.215000e-05,8.014319e-05,7.823498e-05,7.642169e-05,7.469968e-05,7.306533e-05,7.151513e-05,7.004560e-05,6.865337e-05,6.733513e-05,6.608768e-05,6.490789e-05,6.379274e-05,6.273930e-05,6.174475e-05,6.080634e-05,5.992145e-05,5.908753e-05,5.830214e-05,5.756293e-05,5.686765e-05,5.621413e-05,5.560030e-05,5.502415e-05,5.448380e-05,5.397741e-05,5.350324e-05,5.305963e-05,5.264497e-05,5.225775e-05,5.189651e-05,5.155987e-05,5.124651e-05,5.095518e-05,5.068466e-05,5.043382e-05,5.020158e-05,4.998689e-05,4.978877e-05,4.960629e-05,4.943856e-05,4.928473e-05,4.914399e-05,4.901560e-05,4.889881e-05
0.000000e+00,2.810224e-10,6.920404e-09,7.276300e-09,4.993988e-08,1.337587e-07,1.375822e-07,2.313463e-07,3.119853e-07,3.168437e-07,3.927992e-07,4.547226e-07,4.597676e-07,5.185274e-07,5.650213e-07,5.698376e-07,6.143979e-07,6.485359e-07,6.528468e-07,6.857644e-07,7.100585e-07,7.136854e-07,7.371005e-07,7.536174e-07,7.564598e-07,7.721753e-07,7.826083e-07,7.846237e-07,7.941485e-07,7.998744e-07,8.010624e-07,8.056495e-07,8.077789e-07,8.081676e-07,8.088505e-07,8.082728e-07,8.079093e-07,8.055353e-07,8.029580e-07,8.019008e-07,7.971614e-07,7.931443e-07,7.914575e-07,7.849152e-07,7.798981e-07,7.776482e-07,7.697586e-07,7.640853e-07,7.613381e-07,7.524690e-07,7.464058e-07,7.432250e-07,7.336721e-07,7.274236e-07,7.238692e-07,7.138691e-07,7.075908e-07,7.037187e-07,6.934598e-07,6.872681e-07,6.831296e-07,6.727610e-07,6.667413e-07,6.623832e-07,6.520219e-07,6.462353e-07,6.416998e-07,6.314367e-07,6.259254e-07,6.212501e-07,6.111551e-07,6.059463e-07,6.011648e-07,5.912906e-07,5.864001e-07,5.815422e-07,5.719277e-07,5.673624e-07,5.624542e-07,5.531273e-07,5.488876e-07,5.439519e-07,5.349317e-07,5.310127e-07,5.260696e-07,5.173680e-07,5.137615e-07,5.088283e-07,5.004516e-07,4.971466e-07,4.922383e-07,4.841884e-07,4.811722e-07,4.763015e-07,4.685769e-07,4.658356e-07,4.610136e-07,4.536102e-07,4.511292e-07,4.463651e-07,4.392767e-07,4.370411e-07,4.323429e-07,4.255617e-07,4.235568e-07,4.189309e-07,4.124482e-07,4.106592e-07,4.061111e-07,3.999172e-07,3.983300e-07,3.938641e-07,3.879491e-07,3.865497e-07,3.821695e-07,3.765229e-07,3.752983e-07,3.710066e-07,3.656179e-07,3.645553e-07,3.603543e-07,3.552130e-07,3.543004e-07,3.501916e-07,3.452873e-07,3.445134e-07,3.404977e-07,3.358202e-07,3.351742e-07,3.312524e-07,3.267916e-07,3.262634e-07,3.224356e-07,3.181818e-07,3.177620e-07,3.140280e-07,3.099718e-07,3.096515e-07,3.060110e-07,3.021432e-07,3.019141e-07,2.983664e-07,2.946784e-07,2.945327e-07,2.910770e-07,2.875601e-07,2.874906e-07,2.841259e-07,2.807722e-07,2.743621e-07,2.682458e-07,2.624094e-07,2.568396e-07,2.515237e-07,2.464496e-07,2.416058e-07,2.369813e-07,2.325657e-07,2.283489e-07,2.243215e-07,2.204745e-07,2.167992e-07,2.132875e-07,2.099317e-07,2.067242e-07,2.036582e-07,2.007269e-07,1.979239e-07,1.952432e-07,1.926790e-07,1.902259e-07,1.878787e-07,1.856323e-07,1.834822e-07,1.814238e-07,1.794528e-07,1.775652e-07,1.757572e-07,1.740251e-07,1.723653e-07,1.707746e-07,1.692499e-07,1.677880e-07,1.663861e-07,1.650416e-07,1.637518e-07,1.625142e-07,1.613265e-07,1.601865e-07,1.590920e-07,1.580410e-07,1.570316e-07,1.560619e-07,1.551302e-07,1.542347e-07,1.533740e-07,1.525464e-07,1.517506e-07
0.000000e+00,3.600570e-10,2.424046e-08,2.587981e-08,4.040215e-07,2.837041e-06,3.042802e-06,1.379283e-05,4.014532e-05,4.256753e-05,9.840221e-05,1.764659e-04,1.844116e-04,2.972102e-04,4.154305e-04,4.292437e-04,5.715092e-04,6.984007e-04,7.155302e-04,8.544136e-04,9.659114e-04,9.831993e-04,1.098775e-03,1.184468e-03,1.199576e-03,1.285217e-03,1.344424e-03,1.356143e-03,1.413329e-03,1.450035e-03,1.458048e-03,1.491703e-03,1.511187e-03,1.515712e-03,1.531427e-03,1.538597e-03,1.540098e-03,1.542848e-03,1.541657e-03,1.540665e-03,1.534409e-03,1.527799e-03,1.524815e-03,1.512509e-03,1.502569e-03,1.498021e-03,1.481792e-03,1.469954e-03,1.464193e-03,1.445530e-03,1.432755e-03,1.426058e-03,1.405987e-03,1.392908e-03,1.385490e-03,1.364709e-03,1.351735e-03,1.343762e-03,1.322744e-03,1.310131e-03,1.301732e-03,1.280790e-03,1.268697e-03,1.259970e-03,1.239314e-03,1.227831e-03,1.218855e-03,1.198621e-03,1.187795e-03,1.178632e-03,1.158906e-03,1.148758e-03,1.139457e-03,1.120295e-03,1.110823e-03,1.101426e-03,1.082857e-03,1.074051e-03,1.064591e-03,1.046631e-03,1.038472e-03,1.028977e-03,1.011631e-03,1.004095e-03,9.945898e-04,9.778540e-04,9.709154e-04,9.614211e-04,9.452886e-04,9.389192e-04,9.294540e-04,9.139142e-04,9.080857e-04,8.986658e-04,8.837055e-04,8.783896e-04,8.690295e-04,8.546341e-04,8.498029e-04,8.405154e-04,8.266695e-04,8.222957e-04,8.130923e-04,7.997798e-04,7.958370e-04,7.867279e-04,7.739325e-04,7.703952e-04,7.613896e-04,7.490950e-04,7.459386e-04,7.370447e-04,7.252346e-04,7.224355e-04,7.136608e-04,7.023192e-04,6.998548e-04,6.912058e-04,6.803168e-04,6.781655e-04,6.696482e-04,6.591962e-04,6.573375e-04,6.489570e-04,6.389269e-04,6.373412e-04,6.291020e-04,6.194789e-04,6.181476e-04,6.100538e-04,6.008233e-04,5.997285e-04,5.917837e-04,5.829317e-04,5.820566e-04,5.742638e-04,5.657766e-04,5.651053e-04,5.574669e-04,5.493314e-04,5.488487e-04,5.413669e-04,5.335702e-04,5.332618e-04,5.259383e-04,5.184680e-04,5.183202e-04,5.111563e-04,5.040004e-04,4.902797e-04,4.771360e-04,4.645481e-04,4.524953e-04,4.409577e-04,4.299162e-04,4.193522e-04,4.092477e-04,3.995855e-04,3.903489e-04,3.815218e-04,3.730885e-04,3.650343e-04,3.573445e-04,3.500052e-04,3.430030e-04,3.363250e-04,3.299586e-04,3.238918e-04,3.181129e-04,3.126108e-04,3.073746e-04,3.023939e-04,2.976588e-04,2.931594e-04,2.888866e-04,2.848313e-04,2.809848e-04,2.773388e-04,2.738853e-04,2.706165e-04,2.675249e-04,2.646033e-04,2.618449e-04,2.592428e-04,2.567906e-04,2.544822e-04,2.523115e-04,2.502728e-04,2.483604e-04,2.465691e-04,2.448937e-04,2.433292e-04,2.418708e-04,2.405139e-04,2.392541e-04,2.380870e-04,2.370085e-04,2.360147e-04
0.000000e+00,7.647698e-10,5.390214e-08,5.757779e-08,9.135251e-07,6.509722e-06,6.987514e-06,3.253695e-05,9.832117e-05,1.045460e-04,2.548684e-04,4.840841e-04,5.085562e-04,8.776501e-04,1.307644e-03,1.360820e-03,1.946101e-03,2.530681e-03,2.614562e-03,3.343774e-03,4.001784e-03,4.110553e-03,4.892914e-03,5.547734e-03,5.671286e-03,6.429144e-03,7.025863e-03,7.153208e-03,7.833360e-03,8.340930e-03,8.462387e-03,9.035615e-03,9.442308e-03,9.550520e-03,1.000633e-02,1.031357e-02,1.040368e-02,1.074425e-02,1.096115e-02,1.103051e-02,1.126549e-02,1.140480e-02,1.145255e-02,1.159525e-02,1.167069e-02,1.169722e-02,1.176207e-02,1.178678e-02,1.179334e-02,1.179438e-02,1.178009e-02,1.176842e-02,1.171845e-02,1.167517e-02,1.164727e-02,1.155746e-02,1.149349e-02,1.145142e-02,1.133130e-02,1.125330e-02,1.119908e-02,1.105656e-02,1.096982e-02,1.090535e-02,1.074691e-02,1.065552e-02,1.058255e-02,1.041344e-02,1.032052e-02,1.024062e-02,1.006503e-02,9.972907e-03,9.887496e-03,9.708752e-03,9.619134e-03,9.529450e-03,9.350163e-03,9.264261e-03,9.171396e-03,8.993590e-03,8.912232e-03,8.817135e-03,8.642366e-03,8.566079e-03,8.469577e-03,8.299019e-03,8.228104e-03,8.130910e-03,7.965433e-03,7.900016e-03,7.802745e-03,7.642976e-03,7.583051e-03,7.486232e-03,7.332600e-03,7.278068e-03,7.182150e-03,7.034932e-03,6.985622e-03,6.890986e-03,6.750337e-03,6.706028e-03,6.612998e-03,6.478973e-03,6.439411e-03,6.348257e-03,6.220838e-03,6.185748e-03,6.096694e-03,5.975801e-03,5.944897e-03,5.858127e-03,5.743636e-03,5.716628e-03,5.632290e-03,5.524043e-03,5.500640e-03,5.418851e-03,5.316665e-03,5.296584e-03,5.217433e-03,5.121104e-03,5.104069e-03,5.027624e-03,4.936938e-03,4.922683e-03,4.848989e-03,4.763721e-03,4.751995e-03,4.681078e-03,4.601002e-03,4.591563e-03,4.523436e-03,4.448322e-03,4.440943e-03,4.375604e-03,4.305224e-03,4.299693e-03,4.237127e-03,4.171257e-03,4.167375e-03,4.107558e-03,4.045976e-03,4.043556e-03,3.986457e-03,3.928947e-03,3.927817e-03,3.873394e-03,3.819746e-03,3.718948e-03,3.625038e-03,3.537646e-03,3.456417e-03,3.381010e-03,3.311098e-03,3.246367e-03,3.186521e-03,3.131275e-03,3.080356e-03,3.033507e-03,2.990482e-03,2.951047e-03,2.914980e-03,2.882071e-03,2.852120e-03,2.824936e-03,2.800340e-03,2.778162e-03,2.758240e-03,2.740421e-03,2.724560e-03,2.710521e-03,2.698173e-03,2.687396e-03,2.678073e-03,2.670095e-03,2.663359e-03,2.657769e-03,2.653232e-03,2.649662e-03,2.646979e-03,2.645106e-03,2.643971e-03,2.643506e-03,2.643650e-03,2.644342e-03,2.645526e-03,2.647152e-03,2.649169e-03,2.651534e-03,2.654204e-03,2.657138e-03,2.660302e-03,2.663660e-03,2.667182e-03,2.670838e-03,2.674601e-03,2.678447e-03
0.000000e+00,2.529563e-10,1.896655e-08,2.029907e-08,3.504661e-07,2.587072e-06,2.778288e-06,1.281293e-05,3.722045e-05,3.944910e-05,9.042356e-05,1.611650e-04,1.683601e-04,2.708019e-04,3.793671e-04,3.921651e-04,5.257438e-04,6.482571e-04,6.650917e-04,8.047528e-04,9.218671e-04,9.405153e-04,1.069384e-03,1.170858e-03,1.189414e-03,1.299498e-03,1.381993e-03,1.399156e-03,1.488361e-03,1.552378e-03,1.567390e-03,1.636718e-03,1.684434e-03,1.696932e-03,1.748680e-03,1.782755e-03,1.792626e-03,1.829430e-03,1.852440e-03,1.859724e-03,1.884111e-03,1.898328e-03,1.903151e-03,1.917366e-03,1.924704e-03,1.927236e-03,1.933201e-03,1.935233e-03,1.935664e-03,1.934991e-03,1.932994e-03,1.931519e-03,1.925550e-03,1.920548e-03,1.917361e-03,1.907204e-03,1.900019e-03,1.895307e-03,1.881876e-03,1.873159e-03,1.867098e-03,1.851142e-03,1.841408e-03,1.834160e-03,1.816292e-03,1.805945e-03,1.797661e-03,1.778379e-03,1.767733e-03,1.758549e-03,1.738261e-03,1.727558e-03,1.717598e-03,1.696633e-03,1.686059e-03,1.675434e-03,1.654060e-03,1.643754e-03,1.632565e-03,1.610997e-03,1.601063e-03,1.589399e-03,1.567810e-03,1.558323e-03,1.546264e-03,1.524793e-03,1.515804e-03,1.503424e-03,1.482180e-03,1.473723e-03,1.461084e-03,1.440155e-03,1.432249e-03,1.419410e-03,1.398863e-03,1.391517e-03,1.378527e-03,1.358413e-03,1.351627e-03,1.338532e-03,1.318891e-03,1.312658e-03,1.299497e-03,1.280356e-03,1.274664e-03,1.261474e-03,1.242853e-03,1.237687e-03,1.224498e-03,1.206410e-03,1.201751e-03,1.188592e-03,1.171044e-03,1.166873e-03,1.153767e-03,1.136761e-03,1.133056e-03,1.120026e-03,1.103561e-03,1.100301e-03,1.087366e-03,1.071437e-03,1.068599e-03,1.055775e-03,1.040377e-03,1.037938e-03,1.025241e-03,1.010365e-03,1.008303e-03,9.957456e-04,9.813812e-04,9.796744e-04,9.672687e-04,9.534052e-04,9.520325e-04,9.397880e-04,9.264139e-04,9.253544e-04,9.132799e-04,9.003828e-04,8.996164e-04,8.877195e-04,8.752867e-04,8.747941e-04,8.630813e-04,8.510999e-04,8.508625e-04,8.393393e-04,8.277962e-04,8.055698e-04,7.841581e-04,7.635358e-04,7.436780e-04,7.245605e-04,7.061590e-04,6.884501e-04,6.714107e-04,6.550185e-04,6.392515e-04,6.240885e-04,6.095087e-04,5.954920e-04,5.820190e-04,5.690707e-04,5.566288e-04,5.446755e-04,5.331936e-04,5.221665e-04,5.115780e-04,5.014126e-04,4.916551e-04,4.822911e-04,4.733063e-04,4.646873e-04,4.564209e-04,4.484943e-04,4.408953e-04,4.336120e-04,4.266330e-04,4.199472e-04,4.135439e-04,4.074129e-04,4.015441e-04,3.959279e-04,3.905551e-04,3.854167e-04,3.805041e-04,3.758088e-04,3.713228e-04,3.670384e-04,3.629481e-04,3.590446e-04,3.553209e-04,3.517705e-04,3.483866e-04,3.451630e-04,3.420936e-04,3.391727e-04
0.000000e+00,9.340835e-10,4.869403e-08,5.170775e-08,6.328073e-07,3.740569e-06,3.987868e-06,1.594531e-05,4.265069e-05,4.501419e-05,9.691860e-05,1.634334e-04,1.698839e-04,2.562089e-04,3.379274e-04,3.469846e-04,4.352238e-04,5.073160e-04,5.166415e-04,5.891878e-04,6.440180e-04,6.522871e-04,7.061985e-04,7.448664e-04,7.515897e-04,7.892857e-04,8.150520e-04,8.201372e-04,8.449561e-04,8.609708e-04,8.644874e-04,8.794020e-04,8.882170e-04,8.902968e-04,8.976996e-04,9.012789e-04,9.020760e-04,9.038351e-04,9.036646e-04,9.033359e-04,9.008935e-04,8.980881e-04,8.967840e-04,8.912490e-04,8.866409e-04,8.845003e-04,8.767229e-04,8.709302e-04,8.680788e-04,8.587094e-04,8.521889e-04,8.487383e-04,8.382733e-04,8.313606e-04,8.274087e-04,8.162263e-04,8.091654e-04,8.047975e-04,7.931845e-04,7.861509e-04,7.814411e-04,7.696142e-04,7.627326e-04,7.577444e-04,7.458667e-04,7.392232e-04,7.340114e-04,7.222045e-04,7.158569e-04,7.104683e-04,6.988220e-04,6.928069e-04,6.872818e-04,6.758615e-04,6.702001e-04,6.645728e-04,6.534253e-04,6.481271e-04,6.424271e-04,6.315848e-04,6.266512e-04,6.209038e-04,6.103884e-04,6.058149e-04,6.000417e-04,5.898663e-04,5.856442e-04,5.798639e-04,5.700355e-04,5.661530e-04,5.603816e-04,5.509025e-04,5.473461e-04,5.415976e-04,5.324663e-04,5.292213e-04,5.235076e-04,5.147201e-04,5.117711e-04,5.061025e-04,4.976530e-04,4.949843e-04,4.893697e-04,4.812508e-04,4.788469e-04,4.732941e-04,4.654973e-04,4.633426e-04,4.578584e-04,4.503748e-04,4.484543e-04,4.430444e-04,4.358646e-04,4.341636e-04,4.288330e-04,4.219472e-04,4.204517e-04,4.152048e-04,4.086032e-04,4.072995e-04,4.021400e-04,3.958128e-04,3.946882e-04,3.896192e-04,3.835567e-04,3.825987e-04,3.776229e-04,3.718154e-04,3.710123e-04,3.661320e-04,3.605702e-04,3.599109e-04,3.551278e-04,3.498025e-04,3.492764e-04,3.445921e-04,3.394943e-04,3.390913e-04,3.345070e-04,3.296281e-04,3.293387e-04,3.248553e-04,3.201868e-04,3.200022e-04,3.156203e-04,3.111540e-04,3.110656e-04,3.067857e-04,3.025137e-04,2.943313e-04,2.865041e-04,2.790182e-04,2.718601e-04,2.650169e-04,2.584760e-04,2.522255e-04,2.462537e-04,2.405496e-04,2.351024e-04,2.299017e-04,2.249377e-04,2.202007e-04,2.156817e-04,2.113717e-04,2.072623e-04,2.033452e-04,1.996126e-04,1.960570e-04,1.926712e-04,1.894480e-04,1.863808e-04,1.834632e-04,1.806890e-04,1.780521e-04,1.755470e-04,1.731680e-04,1.709099e-04,1.687676e-04,1.667362e-04,1.648111e-04,1.629877e-04,1.612616e-04,1.596289e-04,1.580853e-04,1.566272e-04,1.552508e-04,1.539525e-04,1.527291e-04,1.515771e-04,1.504935e-04,1.494753e-04,1.485195e-04,1.476234e-04,1.467843e-04,1.459996e-04,1.452670e-04,1.445839e-04,1.439483e-04
0.000000e+00,3.194198e-09,1.474175e-07,1.563031e-07,1.786417e-06,9.661633e-06,1.025449e-05,3.596481e-05,8.267201e-05,8.636784e-05,1.571316e-04,2.308274e-04,2.373598e-04,3.183429e-04,3.881089e-04,3.956056e-04,4.674563e-04,5.258803e-04,5.335003e-04,5.938454e-04,6.413914e-04,6.487653e-04,6.985787e-04,7.367122e-04,7.436085e-04,7.841682e-04,8.143022e-04,8.205575e-04,8.530615e-04,8.764494e-04,8.819505e-04,9.074798e-04,9.252156e-04,9.298899e-04,9.494073e-04,9.624369e-04,9.662441e-04,9.805992e-04,9.897343e-04,9.926589e-04,1.002597e-03,1.008531e-03,1.010577e-03,1.016751e-03,1.020073e-03,1.021259e-03,1.024236e-03,1.025448e-03,1.025804e-03,1.026078e-03,1.025603e-03,1.025166e-03,1.023168e-03,1.021363e-03,1.020177e-03,1.016279e-03,1.013443e-03,1.011556e-03,1.006082e-03,1.002466e-03,9.999262e-04,9.931548e-04,9.889690e-04,9.858275e-04,9.780005e-04,9.734185e-04,9.697256e-04,9.610511e-04,9.562167e-04,9.520219e-04,9.426793e-04,9.377103e-04,9.330620e-04,9.232055e-04,9.181979e-04,9.131428e-04,9.029044e-04,8.979359e-04,8.925185e-04,8.820112e-04,8.771437e-04,8.714065e-04,8.607267e-04,8.560090e-04,8.499921e-04,8.392215e-04,8.346914e-04,8.284324e-04,8.176406e-04,8.133264e-04,8.068606e-04,7.961059e-04,7.920282e-04,7.853886e-04,7.747199e-04,7.708931e-04,7.641101e-04,7.535683e-04,7.500011e-04,7.431030e-04,7.327219e-04,7.294188e-04,7.224317e-04,7.122387e-04,7.092006e-04,7.021485e-04,6.921660e-04,6.893908e-04,6.822957e-04,6.725414e-04,6.700248e-04,6.629067e-04,6.533945e-04,6.511302e-04,6.440075e-04,6.347479e-04,6.327281e-04,6.256176e-04,6.166181e-04,6.148340e-04,6.077507e-04,5.990165e-04,5.974586e-04,5.904162e-04,5.819503e-04,5.806082e-04,5.736191e-04,5.654228e-04,5.642860e-04,5.573612e-04,5.494342e-04,5.484919e-04,5.416413e-04,5.339820e-04,5.332234e-04,5.264558e-04,5.190617e-04,5.184759e-04,5.117990e-04,5.046667e-04,5.042428e-04,4.976637e-04,4.907889e-04,4.905166e-04,4.840412e-04,4.774193e-04,4.772881e-04,4.709218e-04,4.645474e-04,4.522838e-04,4.404859e-04,4.291420e-04,4.182399e-04,4.077674e-04,3.977119e-04,3.880610e-04,3.788023e-04,3.699234e-04,3.614119e-04,3.532558e-04,3.454431e-04,3.379620e-04,3.308011e-04,3.239491e-04,3.173951e-04,3.111285e-04,3.051388e-04,2.994159e-04,2.939499e-04,2.887313e-04,2.837507e-04,2.789992e-04,2.744682e-04,2.701491e-04,2.660338e-04,2.621146e-04,2.583837e-04,2.548337e-04,2.514577e-04,2.482487e-04,2.452001e-04,2.423055e-04,2.395588e-04,2.369540e-04,2.344853e-04,2.321473e-04,2.299346e-04,2.278421e-04,2.258648e-04,2.239979e-04,2.222370e-04,2.205774e-04,2.190151e-04,2.175457e-04,2.161655e-04,2.148705e-04,2.136572e-04,2.125219e-04
0.000000e+00,5.516177e-10,6.662385e-09,6.947386e-09,4.267645e-08,1.557783e-07,1.630021e-07,4.119205e-07,7.248874e-07,7.458675e-07,1.096458e-06,1.409283e-06,1.435791e-06,1.756723e-06,2.028631e-06,2.057851e-06,2.339301e-06,2.571139e-06,2.601632e-06,2.845538e-06,3.041119e-06,3.071752e-06,3.281024e-06,3.444267e-06,3.474103e-06,3.651739e-06,3.786402e-06,3.814680e-06,3.963658e-06,4.073270e-06,4.099391e-06,4.222575e-06,4.310374e-06,4.333871e-06,4.433913e-06,4.502798e-06,4.523318e-06,4.602713e-06,4.655367e-06,4.672684e-06,4.733780e-06,4.772568e-06,4.786524e-06,4.831417e-06,4.858427e-06,4.868935e-06,4.899531e-06,4.916603e-06,4.923636e-06,4.941663e-06,4.950422e-06,4.954003e-06,4.961025e-06,4.962892e-06,4.963083e-06,4.960513e-06,4.956735e-06,4.953633e-06,4.942743e-06,4.934406e-06,4.928132e-06,4.910070e-06,4.898114e-06,4.888814e-06,4.864608e-06,4.849850e-06,4.837683e-06,4.808256e-06,4.791399e-06,4.776535e-06,4.742715e-06,4.724360e-06,4.706979e-06,4.669503e-06,4.650163e-06,4.630450e-06,4.589976e-06,4.570088e-06,4.548228e-06,4.505343e-06,4.485270e-06,4.461451e-06,4.416675e-06,4.396723e-06,4.371129e-06,4.324923e-06,4.305343e-06,4.278156e-06,4.230926e-06,4.211924e-06,4.183321e-06,4.135425e-06,4.117165e-06,4.087317e-06,4.039070e-06,4.021681e-06,3.990753e-06,3.942430e-06,3.926009e-06,3.894161e-06,3.846000e-06,3.830621e-06,3.798001e-06,3.750211e-06,3.735921e-06,3.702674e-06,3.655433e-06,3.642263e-06,3.608524e-06,3.561984e-06,3.549947e-06,3.515843e-06,3.470133e-06,3.459230e-06,3.424880e-06,3.380110e-06,3.370327e-06,3.335843e-06,3.292102e-06,3.283419e-06,3.248904e-06,3.206267e-06,3.198653e-06,3.164204e-06,3.122729e-06,3.116148e-06,3.081853e-06,3.041587e-06,3.035999e-06,3.001940e-06,2.962917e-06,2.958277e-06,2.924527e-06,2.886773e-06,2.883033e-06,2.849660e-06,2.813190e-06,2.810300e-06,2.777365e-06,2.742187e-06,2.740097e-06,2.707656e-06,2.673771e-06,2.672429e-06,2.640530e-06,2.607933e-06,2.607287e-06,2.575976e-06,2.544656e-06,2.484508e-06,2.426809e-06,2.371519e-06,2.318592e-06,2.267977e-06,2.219620e-06,2.173464e-06,2.129448e-06,2.087511e-06,2.047590e-06,2.009621e-06,1.973539e-06,1.939281e-06,1.906780e-06,1.875973e-06,1.846797e-06,1.819188e-06,1.793085e-06,1.768427e-06,1.745155e-06,1.723210e-06,1.702536e-06,1.683077e-06,1.664779e-06,1.647591e-06,1.631461e-06,1.616340e-06,1.602182e-06,1.588939e-06,1.576569e-06,1.565028e-06,1.554274e-06,1.544269e-06,1.534974e-06,1.526353e-06,1.518371e-06,1.510993e-06,1.504188e-06,1.497924e-06,1.492173e-06,1.486904e-06,1.482093e-06,1.477712e-06,1.473736e-06,1.470143e-06,1.466910e-06,1.464014e-06,1.461436e-06,1.459157e-06
0.000000e+00,1.763874e-08,7.676332e-07,8.138920e-07,8.861789e-06,3.988270e-05,4.187936e-05,1.070969e-04,1.823781e-04,1.872828e-04,2.676309e-04,3.372898e-04,3.431167e-04,4.127757e-04,4.705248e-04,4.766602e-04,5.350251e-04,5.820508e-04,5.881607e-04,6.363550e-04,6.740603e-04,6.798837e-04,7.190236e-04,7.487118e-04,7.540510e-04,7.852362e-04,8.081243e-04,8.128400e-04,8.371127e-04,8.542930e-04,8.582925e-04,8.766052e-04,8.890363e-04,8.922640e-04,9.054693e-04,9.139809e-04,9.164097e-04,9.252614e-04,9.305646e-04,9.321897e-04,9.373488e-04,9.400492e-04,9.408828e-04,9.429262e-04,9.435370e-04,9.436042e-04,9.430335e-04,9.419879e-04,9.413228e-04,9.385732e-04,9.362354e-04,9.348788e-04,9.303270e-04,9.270016e-04,9.249989e-04,9.189701e-04,9.149111e-04,9.123103e-04,9.050846e-04,9.005028e-04,8.973531e-04,8.891716e-04,8.842406e-04,8.805917e-04,8.716612e-04,8.665235e-04,8.624242e-04,8.529216e-04,8.476931e-04,8.431910e-04,8.332674e-04,8.280416e-04,8.231828e-04,8.129668e-04,8.078180e-04,8.026465e-04,7.922470e-04,7.872339e-04,7.817913e-04,7.713005e-04,7.664683e-04,7.607939e-04,7.502892e-04,7.456719e-04,7.398026e-04,7.293488e-04,7.249712e-04,7.189412e-04,7.085920e-04,7.044712e-04,6.983124e-04,6.881122e-04,6.842589e-04,6.780006e-04,6.679857e-04,6.644054e-04,6.580747e-04,6.482742e-04,6.449683e-04,6.385900e-04,6.290271e-04,6.259933e-04,6.195900e-04,6.102828e-04,6.075164e-04,6.011087e-04,5.920707e-04,5.895648e-04,5.831712e-04,5.744124e-04,5.721583e-04,5.657958e-04,5.573227e-04,5.553107e-04,5.489943e-04,5.408110e-04,5.390303e-04,5.327735e-04,5.248818e-04,5.233209e-04,5.171358e-04,5.095353e-04,5.081827e-04,5.020799e-04,4.947689e-04,4.936125e-04,4.876015e-04,4.805768e-04,4.796047e-04,4.736937e-04,4.669510e-04,4.661513e-04,4.603475e-04,4.538817e-04,4.532427e-04,4.475522e-04,4.413575e-04,4.408677e-04,4.352960e-04,4.293659e-04,4.290142e-04,4.235656e-04,4.178933e-04,4.176690e-04,4.123472e-04,4.069254e-04,4.068183e-04,4.016262e-04,3.964477e-04,3.865426e-04,3.770881e-04,3.680693e-04,3.594712e-04,3.512791e-04,3.434781e-04,3.360537e-04,3.289917e-04,3.222780e-04,3.158991e-04,3.098415e-04,3.040922e-04,2.986387e-04,2.934686e-04,2.885701e-04,2.839317e-04,2.795421e-04,2.753907e-04,2.714670e-04,2.677611e-04,2.642632e-04,2.609640e-04,2.578547e-04,2.549264e-04,2.521710e-04,2.495805e-04,2.471471e-04,2.448634e-04,2.427225e-04,2.407175e-04,2.388418e-04,2.370892e-04,2.354536e-04,2.339294e-04,2.325109e-04,2.311928e-04,2.299701e-04,2.288379e-04,2.277914e-04,2.268263e-04,2.259382e-04,2.251230e-04,2.243767e-04,2.236957e-04,2.230763e-04,2.225151e-04,2.220088e-04,2.215541e-04,2.211482e-04
0.000000e+00,1.129139e-08,3.274326e-07,3.448230e-07,2.536728e-06,7.370549e-06,7.601217e-06,1.322697e-05,1.781767e-05,1.808410e-05,2.208332e-05,2.509869e-05,2.533411e-05,2.795639e-05,2.986580e-05,3.005466e-05,3.171617e-05,3.287457e-05,3.301301e-05,3.400482e-05,3.465179e-05,3.474111e-05,3.526321e-05,3.556191e-05,3.560597e-05,3.579877e-05,3.586251e-05,3.586645e-05,3.583006e-05,3.573809e-05,3.570743e-05,3.551372e-05,3.532154e-05,3.526165e-05,3.496195e-05,3.470795e-05,3.462368e-05,3.425450e-05,3.396523e-05,3.386084e-05,3.344802e-05,3.314149e-05,3.302054e-05,3.258216e-05,3.227050e-05,3.213600e-05,3.168467e-05,3.137592e-05,3.123031e-05,3.077472e-05,3.047409e-05,3.031939e-05,2.986554e-05,2.957633e-05,2.941419e-05,2.896616e-05,2.869035e-05,2.852213e-05,2.808266e-05,2.782135e-05,2.764818e-05,2.721908e-05,2.697277e-05,2.679562e-05,2.637803e-05,2.614681e-05,2.596648e-05,2.556111e-05,2.534480e-05,2.516199e-05,2.476921e-05,2.456747e-05,2.438279e-05,2.400275e-05,2.381512e-05,2.362908e-05,2.326178e-05,2.308773e-05,2.290081e-05,2.254614e-05,2.238509e-05,2.219771e-05,2.185548e-05,2.170684e-05,2.151937e-05,2.118934e-05,2.105252e-05,2.086530e-05,2.054718e-05,2.042158e-05,2.023492e-05,1.992843e-05,1.981345e-05,1.962762e-05,1.933243e-05,1.922752e-05,1.904278e-05,1.875856e-05,1.866316e-05,1.847972e-05,1.820616e-05,1.811972e-05,1.793780e-05,1.767455e-05,1.759656e-05,1.741634e-05,1.716308e-05,1.709305e-05,1.691470e-05,1.667110e-05,1.660854e-05,1.643221e-05,1.619795e-05,1.614241e-05,1.596825e-05,1.574301e-05,1.569405e-05,1.552216e-05,1.530563e-05,1.526284e-05,1.509335e-05,1.488523e-05,1.484820e-05,1.468119e-05,1.448118e-05,1.444955e-05,1.428512e-05,1.409292e-05,1.406632e-05,1.390454e-05,1.371988e-05,1.369797e-05,1.353890e-05,1.336151e-05,1.334397e-05,1.318766e-05,1.301727e-05,1.300379e-05,1.285029e-05,1.268664e-05,1.267693e-05,1.252628e-05,1.236913e-05,1.236291e-05,1.221513e-05,1.206423e-05,1.206125e-05,1.191637e-05,1.177149e-05,1.149319e-05,1.122593e-05,1.096929e-05,1.072287e-05,1.048628e-05,1.025915e-05,1.004111e-05,9.831835e-06,9.630971e-06,9.438201e-06,9.253213e-06,9.075705e-06,8.905390e-06,8.741987e-06,8.585229e-06,8.434856e-06,8.290620e-06,8.152280e-06,8.019605e-06,7.892374e-06,7.770371e-06,7.653393e-06,7.541239e-06,7.433720e-06,7.330653e-06,7.231861e-06,7.137175e-06,7.046431e-06,6.959473e-06,6.876148e-06,6.796314e-06,6.719829e-06,6.646559e-06,6.576377e-06,6.509157e-06,6.444781e-06,6.383133e-06,6.324105e-06,6.267590e-06,6.213486e-06,6.161695e-06,6.112124e-06,6.064683e-06,6.019283e-06,5.975843e-06,5.934281e-06,5.894521e-06,5.856489e-06,5.820114e-06
0.000000e+00,7.219746e-09,1.929468e-07,2.023713e-07,1.432858e-06,5.680168e-06,5.969658e-06,1.755217e-05,3.787807e-05,3.951408e-05,7.218460e-05,1.088436e-04,1.121983e-04,1.547416e-04,1.922407e-04,1.962928e-04,2.352152e-04,2.668762e-04,2.710014e-04,3.036091e-04,3.291992e-04,3.331579e-04,3.598163e-04,3.801067e-04,3.837635e-04,4.051769e-04,4.209655e-04,4.242277e-04,4.410784e-04,4.530781e-04,4.558823e-04,4.687860e-04,4.776213e-04,4.799282e-04,4.894397e-04,4.956535e-04,4.974431e-04,5.040534e-04,5.081121e-04,5.093788e-04,5.135203e-04,5.158224e-04,5.165724e-04,5.186232e-04,5.195075e-04,5.197554e-04,5.200457e-04,5.197990e-04,5.195658e-04,5.183828e-04,5.172473e-04,5.165589e-04,5.141521e-04,5.123310e-04,5.112165e-04,5.078023e-04,5.054657e-04,5.039561e-04,4.997215e-04,4.970112e-04,4.951388e-04,4.902453e-04,4.872785e-04,4.850759e-04,4.796626e-04,4.765358e-04,4.740353e-04,4.682217e-04,4.650139e-04,4.622472e-04,4.561356e-04,4.529106e-04,4.499085e-04,4.435861e-04,4.403951e-04,4.371871e-04,4.307284e-04,4.276117e-04,4.242258e-04,4.176937e-04,4.146827e-04,4.111453e-04,4.045929e-04,4.017115e-04,3.980475e-04,3.915193e-04,3.887848e-04,3.850174e-04,3.785504e-04,3.759751e-04,3.721258e-04,3.657506e-04,3.633422e-04,3.594309e-04,3.531725e-04,3.509355e-04,3.469804e-04,3.408590e-04,3.387945e-04,3.348123e-04,3.288440e-04,3.269511e-04,3.229570e-04,3.171542e-04,3.154301e-04,3.114378e-04,3.058099e-04,3.042501e-04,3.002721e-04,2.948259e-04,2.934250e-04,2.894724e-04,2.842125e-04,2.829641e-04,2.790469e-04,2.739759e-04,2.728731e-04,2.690000e-04,2.641191e-04,2.631543e-04,2.593332e-04,2.546422e-04,2.538078e-04,2.500456e-04,2.455430e-04,2.448312e-04,2.411337e-04,2.368172e-04,2.362203e-04,2.325927e-04,2.284592e-04,2.279693e-04,2.244160e-04,2.204619e-04,2.200714e-04,2.165960e-04,2.128171e-04,2.125185e-04,2.091241e-04,2.055159e-04,2.053021e-04,2.019912e-04,1.985487e-04,1.984127e-04,1.951872e-04,1.919054e-04,1.918406e-04,1.887020e-04,1.855757e-04,1.796078e-04,1.739263e-04,1.685209e-04,1.633812e-04,1.584968e-04,1.538576e-04,1.494536e-04,1.452749e-04,1.413122e-04,1.375560e-04,1.339972e-04,1.306273e-04,1.274375e-04,1.244199e-04,1.215664e-04,1.188694e-04,1.163217e-04,1.139162e-04,1.116461e-04,1.095050e-04,1.074866e-04,1.055850e-04,1.037945e-04,1.021097e-04,1.005253e-04,9.903629e-05,9.763802e-05,9.632591e-05,9.509562e-05,9.394301e-05,9.286415e-05,9.185527e-05,9.091278e-05,9.003328e-05,8.921351e-05,8.845036e-05,8.774089e-05,8.708228e-05,8.647186e-05,8.590707e-05,8.538550e-05,8.490483e-05,8.446287e-05,8.405754e-05,8.368683e-05,8.334886e-05,8.304184e-05,8.276405e-05,8.251387e-05
0.000000e+00,2.161946e-10,2.720214e-09,2.836590e-09,1.671178e-08,5.672714e-08,5.918982e-08,1.421951e-07,2.467013e-07,2.537477e-07,3.714461e-07,4.754956e-07,4.842478e-07,5.892815e-07,6.768219e-07,6.861451e-07,7.750637e-07,8.470416e-07,8.564184e-07,9.306236e-07,9.890384e-07,9.980940e-07,1.059233e-06,1.105983e-06,1.114431e-06,1.164066e-06,1.200870e-06,1.208500e-06,1.248076e-06,1.276458e-06,1.283119e-06,1.313941e-06,1.335240e-06,1.340834e-06,1.364075e-06,1.379457e-06,1.383925e-06,1.400628e-06,1.411098e-06,1.414415e-06,1.425499e-06,1.431922e-06,1.434086e-06,1.440363e-06,1.443479e-06,1.444509e-06,1.446689e-06,1.447129e-06,1.447060e-06,1.445766e-06,1.444067e-06,1.442945e-06,1.438722e-06,1.435339e-06,1.433217e-06,1.426540e-06,1.421858e-06,1.418795e-06,1.410079e-06,1.404421e-06,1.400481e-06,1.390086e-06,1.383722e-06,1.378971e-06,1.367209e-06,1.360366e-06,1.354869e-06,1.342012e-06,1.334876e-06,1.328699e-06,1.314983e-06,1.307709e-06,1.300915e-06,1.286542e-06,1.279255e-06,1.271908e-06,1.257052e-06,1.249854e-06,1.242013e-06,1.226826e-06,1.219798e-06,1.211521e-06,1.196130e-06,1.189337e-06,1.180679e-06,1.165193e-06,1.158684e-06,1.149696e-06,1.134209e-06,1.128021e-06,1.118751e-06,1.103342e-06,1.097502e-06,1.087997e-06,1.072731e-06,1.067257e-06,1.057558e-06,1.042491e-06,1.037395e-06,1.027542e-06,1.012719e-06,1.008004e-06,9.980334e-07,9.834929e-07,9.791602e-07,9.691052e-07,9.548769e-07,9.509224e-07,9.408141e-07,9.269220e-07,9.233386e-07,9.132054e-07,8.996683e-07,8.964465e-07,8.863141e-07,8.731459e-07,8.702741e-07,8.601662e-07,8.473771e-07,8.448423e-07,8.347801e-07,8.223766e-07,8.201646e-07,8.101675e-07,7.981534e-07,7.962493e-07,7.863347e-07,7.747112e-07,7.730995e-07,7.632829e-07,7.520492e-07,7.507142e-07,7.410095e-07,7.301630e-07,7.290889e-07,7.195085e-07,7.090449e-07,7.082161e-07,6.987709e-07,6.886850e-07,6.880858e-07,6.787855e-07,6.690708e-07,6.686860e-07,6.595390e-07,6.501882e-07,6.500030e-07,6.410165e-07,6.320218e-07,6.147263e-07,5.980994e-07,5.821236e-07,5.667809e-07,5.520528e-07,5.379209e-07,5.243667e-07,5.113716e-07,4.989172e-07,4.869854e-07,4.755583e-07,4.646182e-07,4.541478e-07,4.441302e-07,4.345488e-07,4.253875e-07,4.166306e-07,4.082629e-07,4.002694e-07,3.926359e-07,3.853483e-07,3.783932e-07,3.717574e-07,3.654284e-07,3.593940e-07,3.536424e-07,3.481621e-07,3.429423e-07,3.379723e-07,3.332419e-07,3.287414e-07,3.244613e-07,3.203924e-07,3.165261e-07,3.128538e-07,3.093674e-07,3.060592e-07,3.029217e-07,2.999476e-07,2.971300e-07,2.944622e-07,2.919378e-07,2.895507e-07,2.872950e-07,2.851650e-07,2.831552e-07,2.812604e-07,2.794756e-07,2.777958e-07
0.000000e+00,4.512918e-10,2.694546e-08,2.868088e-08,3.877494e-07,2.472054e-06,2.643384e-06,1.138211e-05,3.266966e-05,3.463768e-05,8.054557e-05,1.458446e-04,1.525308e-04,2.476974e-04,3.471202e-04,3.586741e-04,4.764798e-04,5.791358e-04,5.927773e-04,7.010966e-04,7.845761e-04,7.971922e-04,8.788709e-04,9.358889e-04,9.455668e-04,9.978585e-04,1.030878e-03,1.037032e-03,1.064731e-03,1.079809e-03,1.082710e-03,1.092666e-03,1.095867e-03,1.096150e-03,1.094512e-03,1.090553e-03,1.088897e-03,1.080247e-03,1.072346e-03,1.069324e-03,1.056732e-03,1.046903e-03,1.042945e-03,1.028328e-03,1.017755e-03,1.013161e-03,9.976561e-04,9.870019e-04,9.819710e-04,9.662237e-04,9.558398e-04,9.505013e-04,9.348675e-04,9.249304e-04,9.193688e-04,9.040390e-04,8.946301e-04,8.889020e-04,8.739750e-04,8.651248e-04,8.592700e-04,8.447952e-04,8.365075e-04,8.305560e-04,8.165558e-04,8.088208e-04,8.027965e-04,7.892786e-04,7.820793e-04,7.760019e-04,7.629652e-04,7.562805e-04,7.501670e-04,7.376052e-04,7.314123e-04,7.252776e-04,7.131816e-04,7.074570e-04,7.013145e-04,6.896734e-04,6.843936e-04,6.782554e-04,6.670575e-04,6.621994e-04,6.560767e-04,6.453100e-04,6.408510e-04,6.347540e-04,6.244059e-04,6.203240e-04,6.142622e-04,6.043199e-04,6.005940e-04,5.945758e-04,5.850266e-04,5.816361e-04,5.756693e-04,5.665007e-04,5.634259e-04,5.575177e-04,5.487171e-04,5.459389e-04,5.400958e-04,5.316508e-04,5.291512e-04,5.233789e-04,5.152771e-04,5.130386e-04,5.073424e-04,4.995719e-04,4.975781e-04,4.919626e-04,4.845117e-04,4.827467e-04,4.772162e-04,4.700733e-04,4.685220e-04,4.630802e-04,4.562341e-04,4.548823e-04,4.495324e-04,4.429723e-04,4.418063e-04,4.365512e-04,4.302664e-04,4.292734e-04,4.241155e-04,4.180959e-04,4.172635e-04,4.122050e-04,4.064405e-04,4.057572e-04,4.007999e-04,3.952809e-04,3.947356e-04,3.898810e-04,3.845981e-04,3.841804e-04,3.794298e-04,3.743739e-04,3.740741e-04,3.694283e-04,3.645907e-04,3.643994e-04,3.598591e-04,3.552315e-04,3.551400e-04,3.507057e-04,3.462798e-04,3.378034e-04,3.296959e-04,3.219430e-04,3.145309e-04,3.074461e-04,3.006759e-04,2.942078e-04,2.880298e-04,2.821304e-04,2.764985e-04,2.711236e-04,2.659951e-04,2.611033e-04,2.564387e-04,2.519919e-04,2.477543e-04,2.437172e-04,2.398725e-04,2.362124e-04,2.327292e-04,2.294157e-04,2.262649e-04,2.232699e-04,2.204244e-04,2.177221e-04,2.151569e-04,2.127231e-04,2.104152e-04,2.082278e-04,2.061557e-04,2.041941e-04,2.023382e-04,2.005834e-04,1.989254e-04,1.973599e-04,1.958828e-04,1.944903e-04,1.931787e-04,1.919442e-04,1.907835e-04,1.896933e-04,1.886703e-04,1.877115e-04,1.868138e-04,1.859746e-04,1.851911e-04,1.844605e-04,1.837806e-04,1.831487e-04
0.000000e+00,6.897859e-09,5.672208e-07,6.080725e-07,1.143077e-05,9.123141e-05,9.825187e-05,4.811401e-04,1.478483e-03,1.573472e-03,3.909175e-03,7.637944e-03,8.048034e-03,1.450647e-02,2.266075e-02,2.371557e-02,3.599998e-02,4.952476e-02,5.157118e-02,7.053040e-02,8.954747e-02,9.287757e-02,1.185237e-01,1.424977e-01,1.473047e-01,1.789960e-01,2.069652e-01,2.133261e-01,2.499896e-01,2.807808e-01,2.886589e-01,3.289944e-01,3.613921e-01,3.706532e-01,4.132964e-01,4.461606e-01,4.565950e-01,5.002346e-01,5.325727e-01,5.439193e-01,5.873738e-01,6.183757e-01,6.303454e-01,6.726051e-01,7.016525e-01,7.139477e-01,7.541920e-01,7.808493e-01,7.931802e-01,8.307769e-01,8.547723e-01,8.668683e-01,9.013609e-01,9.225619e-01,9.341802e-01,9.652690e-01,9.836564e-01,9.945864e-01,1.022106e+00,1.037749e+00,1.047815e+00,1.071711e+00,1.084743e+00,1.093804e+00,1.114112e+00,1.124715e+00,1.132662e+00,1.149486e+00,1.157868e+00,1.164625e+00,1.178122e+00,1.184508e+00,1.190027e+00,1.200389e+00,1.205009e+00,1.209265e+00,1.216710e+00,1.219792e+00,1.222782e+00,1.227541e+00,1.229304e+00,1.231044e+00,1.233353e+00,1.234005e+00,1.234525e+00,1.234620e+00,1.234352e+00,1.233695e+00,1.231807e+00,1.230795e+00,1.229013e+00,1.225365e+00,1.223767e+00,1.220918e+00,1.215723e+00,1.213679e+00,1.209829e+00,1.203285e+00,1.200920e+00,1.196137e+00,1.188429e+00,1.185851e+00,1.180204e+00,1.171503e+00,1.168806e+00,1.162366e+00,1.152831e+00,1.150094e+00,1.142932e+00,1.132705e+00,1.129996e+00,1.122181e+00,1.111392e+00,1.108766e+00,1.100367e+00,1.089133e+00,1.086636e+00,1.077717e+00,1.066144e+00,1.063813e+00,1.054438e+00,1.042620e+00,1.040483e+00,1.030712e+00,1.018732e+00,1.016810e+00,1.006700e+00,9.946336e-01,9.929424e-01,9.825480e-01,9.704588e-01,9.690086e-01,9.583804e-01,9.463260e-01,9.451224e-01,9.343081e-01,9.223383e-01,9.213831e-01,9.104273e-01,8.985852e-01,8.978770e-01,8.868212e-01,8.751440e-01,8.746788e-01,8.635615e-01,8.520810e-01,8.518525e-01,8.407094e-01,8.294527e-01,8.075255e-01,7.861097e-01,7.652370e-01,7.449335e-01,7.252200e-01,7.061126e-01,6.876232e-01,6.697604e-01,6.525294e-01,6.359328e-01,6.199706e-01,6.046409e-01,5.899398e-01,5.758620e-01,5.624005e-01,5.495473e-01,5.372933e-01,5.256284e-01,5.145417e-01,5.040218e-01,4.940563e-01,4.846327e-01,4.757377e-01,4.673577e-01,4.594789e-01,4.520870e-01,4.451673e-01,4.387053e-01,4.326859e-01,4.270940e-01,4.219145e-01,4.171320e-01,4.127312e-01,4.086967e-01,4.050129e-01,4.016646e-01,3.986364e-01,3.959129e-01,3.934790e-01,3.913197e-01,3.894199e-01,3.877651e-01,3.863407e-01,3.851325e-01,3.841263e-01,3.833084e-01,3.826655e-01,3.821845e-01,3.818524e-01
0.000000e+00,3.325924e-10,4.894844e-09,5.116601e-09,3.218789e-08,1.083814e-07,1.129461e-07,2.599901e-07,4.321260e-07,4.434030e-07,6.281635e-07,7.877548e-07,8.010644e-07,9.596023e-07,1.090156e-06,1.103978e-06,1.234982e-06,1.339919e-06,1.353514e-06,1.460460e-06,1.543815e-06,1.556668e-06,1.642937e-06,1.708275e-06,1.720020e-06,1.788622e-06,1.839008e-06,1.849399e-06,1.902960e-06,1.940998e-06,1.949875e-06,1.990671e-06,2.018561e-06,2.025839e-06,2.055831e-06,2.075425e-06,2.081070e-06,2.101944e-06,2.114795e-06,2.118815e-06,2.132015e-06,2.139421e-06,2.141854e-06,2.148616e-06,2.151660e-06,2.152565e-06,2.153944e-06,2.153530e-06,2.152980e-06,2.149880e-06,2.146757e-06,2.144835e-06,2.138025e-06,2.132815e-06,2.129612e-06,2.119747e-06,2.112964e-06,2.108570e-06,2.096211e-06,2.088277e-06,2.082786e-06,2.068407e-06,2.059670e-06,2.053174e-06,2.037179e-06,2.027922e-06,2.020509e-06,2.003242e-06,1.993696e-06,1.985451e-06,1.967203e-06,1.957554e-06,1.948559e-06,1.929575e-06,1.919972e-06,1.910304e-06,1.890793e-06,1.881356e-06,1.871086e-06,1.851223e-06,1.842044e-06,1.831240e-06,1.811172e-06,1.802323e-06,1.791049e-06,1.770900e-06,1.762435e-06,1.750749e-06,1.730622e-06,1.722582e-06,1.710538e-06,1.690517e-06,1.682930e-06,1.670578e-06,1.650736e-06,1.643620e-06,1.631006e-06,1.611401e-06,1.604765e-06,1.591932e-06,1.572611e-06,1.566461e-06,1.553447e-06,1.534449e-06,1.528783e-06,1.515624e-06,1.496979e-06,1.491792e-06,1.478520e-06,1.460253e-06,1.455535e-06,1.442182e-06,1.424310e-06,1.420051e-06,1.406642e-06,1.389180e-06,1.385367e-06,1.371927e-06,1.354885e-06,1.351502e-06,1.338056e-06,1.321439e-06,1.318471e-06,1.305038e-06,1.288851e-06,1.286281e-06,1.272880e-06,1.257124e-06,1.254935e-06,1.241583e-06,1.226257e-06,1.224432e-06,1.211145e-06,1.196246e-06,1.194768e-06,1.181560e-06,1.167085e-06,1.165936e-06,1.152820e-06,1.138763e-06,1.137926e-06,1.124914e-06,1.111270e-06,1.110729e-06,1.097830e-06,1.084593e-06,1.084330e-06,1.071556e-06,1.058717e-06,1.033875e-06,1.009788e-06,9.864412e-07,9.638172e-07,9.418996e-07,9.206718e-07,9.001168e-07,8.802178e-07,8.609580e-07,8.423208e-07,8.242897e-07,8.068485e-07,7.899811e-07,7.736718e-07,7.579051e-07,7.426658e-07,7.279391e-07,7.137103e-07,6.999653e-07,6.866900e-07,6.738710e-07,6.614950e-07,6.495491e-07,6.380206e-07,6.268973e-07,6.161671e-07,6.058184e-07,5.958400e-07,5.862206e-07,5.769496e-07,5.680165e-07,5.594111e-07,5.511235e-07,5.431441e-07,5.354635e-07,5.280725e-07,5.209624e-07,5.141246e-07,5.075506e-07,5.012322e-07,4.951617e-07,4.893313e-07,4.837335e-07,4.783611e-07,4.732070e-07,4.682643e-07,4.635263e-07,4.589866e-07,4.546389e-07
0.000000e+00,2.383014e-09,1.145765e-07,1.214935e-07,1.407675e-06,8.078524e-06,8.603790e-06,3.349807e-05,8.670158e-05,9.128419e-05,1.880215e-04,3.040132e-04,3.149081e-04,4.563276e-04,5.848047e-04,5.988264e-04,7.340687e-04,8.438056e-04,8.580214e-04,9.693028e-04,1.054846e-03,1.067906e-03,1.154447e-03,1.218441e-03,1.229779e-03,1.294813e-03,1.341087e-03,1.350446e-03,1.397525e-03,1.429563e-03,1.436842e-03,1.469128e-03,1.489866e-03,1.495057e-03,1.515252e-03,1.527116e-03,1.530280e-03,1.540663e-03,1.545638e-03,1.546877e-03,1.549359e-03,1.549060e-03,1.548507e-03,1.544682e-03,1.540415e-03,1.538216e-03,1.529411e-03,1.522228e-03,1.518541e-03,1.505855e-03,1.496599e-03,1.491580e-03,1.475923e-03,1.465263e-03,1.459069e-03,1.441190e-03,1.429658e-03,1.422438e-03,1.402953e-03,1.390962e-03,1.382859e-03,1.362272e-03,1.350145e-03,1.341292e-03,1.320012e-03,1.307996e-03,1.298516e-03,1.276877e-03,1.265156e-03,1.255162e-03,1.233431e-03,1.222143e-03,1.211738e-03,1.190129e-03,1.179370e-03,1.168647e-03,1.147329e-03,1.137164e-03,1.126208e-03,1.105312e-03,1.095783e-03,1.084668e-03,1.064296e-03,1.055424e-03,1.044216e-03,1.024443e-03,1.016234e-03,1.004992e-03,9.858747e-04,9.783230e-04,9.670994e-04,9.486743e-04,9.417659e-04,9.306054e-04,9.128972e-04,9.066113e-04,8.955531e-04,8.785750e-04,8.728860e-04,8.619638e-04,8.457197e-04,8.405990e-04,8.298418e-04,8.143284e-04,8.097452e-04,7.991775e-04,7.843860e-04,7.803083e-04,7.699506e-04,7.558675e-04,7.522631e-04,7.421325e-04,7.287409e-04,7.255775e-04,7.156879e-04,7.029684e-04,7.002144e-04,6.905770e-04,6.785082e-04,6.761327e-04,6.667563e-04,6.553154e-04,6.532887e-04,6.441798e-04,6.333433e-04,6.316369e-04,6.228001e-04,6.125441e-04,6.111308e-04,6.025691e-04,5.928692e-04,5.917234e-04,5.834383e-04,5.742704e-04,5.733679e-04,5.653596e-04,5.566998e-04,5.560177e-04,5.482853e-04,5.401102e-04,5.396271e-04,5.321687e-04,5.244553e-04,5.241515e-04,5.169644e-04,5.096904e-04,5.095471e-04,5.026279e-04,4.957717e-04,4.827845e-04,4.705459e-04,4.590180e-04,4.481645e-04,4.379503e-04,4.283421e-04,4.193079e-04,4.108173e-04,4.028412e-04,3.953520e-04,3.883233e-04,3.817300e-04,3.755483e-04,3.697556e-04,3.643305e-04,3.592525e-04,3.545023e-04,3.500616e-04,3.459129e-04,3.420398e-04,3.384266e-04,3.350587e-04,3.319219e-04,3.290030e-04,3.262894e-04,3.237693e-04,3.214315e-04,3.192651e-04,3.172603e-04,3.154074e-04,3.136975e-04,3.121221e-04,3.106730e-04,3.093428e-04,3.081241e-04,3.070102e-04,3.059947e-04,3.050715e-04,3.042348e-04,3.034793e-04,3.027998e-04,3.021915e-04,3.016498e-04,3.011705e-04,3.007495e-04,3.003829e-04,3.000671e-04,2.997987e-04,2.995746e-04
0.000000e+00,3.936957e-09,1.414258e-07,1.494608e-07,1.508529e-06,7.402118e-06,7.824862e-06,2.478275e-05,5.140309e-05,5.333648e-05,8.663239e-05,1.156401e-04,1.180003e-04,1.450014e-04,1.654149e-04,1.674695e-04,1.858670e-04,1.991241e-04,2.007401e-04,2.125923e-04,2.207070e-04,2.218646e-04,2.289385e-04,2.334238e-04,2.341431e-04,2.377619e-04,2.397185e-04,2.400392e-04,2.411851e-04,2.414096e-04,2.413803e-04,2.407796e-04,2.398448e-04,2.395159e-04,2.377029e-04,2.360179e-04,2.354377e-04,2.328033e-04,2.306582e-04,2.298704e-04,2.266992e-04,2.242975e-04,2.233409e-04,2.198389e-04,2.173220e-04,2.162301e-04,2.125455e-04,2.100102e-04,2.088113e-04,2.050498e-04,2.025614e-04,2.012795e-04,1.975158e-04,1.951166e-04,1.937717e-04,1.900579e-04,1.877745e-04,1.863832e-04,1.827547e-04,1.806023e-04,1.791784e-04,1.756591e-04,1.736454e-04,1.722003e-04,1.688050e-04,1.669321e-04,1.654752e-04,1.622126e-04,1.604791e-04,1.590182e-04,1.558926e-04,1.542946e-04,1.528361e-04,1.498487e-04,1.483807e-04,1.469299e-04,1.440795e-04,1.427353e-04,1.412966e-04,1.385806e-04,1.373533e-04,1.359303e-04,1.333450e-04,1.322277e-04,1.308233e-04,1.283643e-04,1.273499e-04,1.259667e-04,1.236293e-04,1.227109e-04,1.213509e-04,1.191302e-04,1.183012e-04,1.169659e-04,1.148569e-04,1.141109e-04,1.128018e-04,1.107993e-04,1.101303e-04,1.088484e-04,1.069477e-04,1.063498e-04,1.050960e-04,1.032921e-04,1.027602e-04,1.015350e-04,9.982336e-05,9.935212e-05,9.815615e-05,9.653224e-05,9.611698e-05,9.495055e-05,9.341003e-05,9.304631e-05,9.190964e-05,9.044836e-05,9.013203e-05,8.902522e-05,8.763923e-05,8.736641e-05,8.628947e-05,8.497500e-05,8.474207e-05,8.369492e-05,8.244836e-05,8.225197e-05,8.123447e-05,8.005239e-05,7.988939e-05,7.890133e-05,7.778048e-05,7.764797e-05,7.668906e-05,7.562633e-05,7.552161e-05,7.459155e-05,7.358399e-05,7.350455e-05,7.260297e-05,7.164778e-05,7.159128e-05,7.071778e-05,6.981230e-05,6.977658e-05,6.893072e-05,6.807243e-05,6.805550e-05,6.723682e-05,6.642330e-05,6.487552e-05,6.340789e-05,6.201636e-05,6.069711e-05,5.944647e-05,5.826098e-05,5.713734e-05,5.607244e-05,5.506330e-05,5.410710e-05,5.320116e-05,5.234294e-05,5.153002e-05,5.076010e-05,5.003100e-05,4.934066e-05,4.868711e-05,4.806848e-05,4.748300e-05,4.692898e-05,4.640482e-05,4.590901e-05,4.544010e-05,4.499672e-05,4.457757e-05,4.418141e-05,4.380708e-05,4.345345e-05,4.311946e-05,4.280412e-05,4.250646e-05,4.222559e-05,4.196063e-05,4.171077e-05,4.147524e-05,4.125329e-05,4.104423e-05,4.084740e-05,4.066215e-05,4.048789e-05,4.032404e-05,4.017008e-05,4.002549e-05,3.988977e-05,3.976246e-05,3.964313e-05,3.953136e-05,3.942675e-05,3.932892e-05
0.000000e+00,3.225007e-09,1.552069e-07,1.645315e-07,1.892135e-06,1.111822e-05,1.186088e-05,4.867120e-05,1.331511e-04,1.406665e-04,3.052564e-04,5.139875e-04,5.341263e-04,8.030154e-04,1.058698e-03,1.087241e-03,1.369004e-03,1.606465e-03,1.637834e-03,1.888558e-03,2.088125e-03,2.119179e-03,2.329404e-03,2.490615e-03,2.519776e-03,2.691211e-03,2.818404e-03,2.844776e-03,2.981574e-03,3.079677e-03,3.102700e-03,3.209211e-03,3.282801e-03,3.302125e-03,3.382408e-03,3.435543e-03,3.450979e-03,3.508706e-03,3.544925e-03,3.556407e-03,3.594853e-03,3.617212e-03,3.624769e-03,3.646835e-03,3.657953e-03,3.661687e-03,3.669923e-03,3.672029e-03,3.672099e-03,3.668737e-03,3.663722e-03,3.660323e-03,3.647311e-03,3.636768e-03,3.630126e-03,3.609160e-03,3.594425e-03,3.584781e-03,3.557331e-03,3.539520e-03,3.527127e-03,3.494465e-03,3.474504e-03,3.459619e-03,3.422842e-03,3.401493e-03,3.384371e-03,3.344424e-03,3.322310e-03,3.303203e-03,3.260895e-03,3.238523e-03,3.217672e-03,3.173695e-03,3.151469e-03,3.129109e-03,3.084050e-03,3.062291e-03,3.038643e-03,2.993002e-03,2.971957e-03,2.947231e-03,2.901426e-03,2.881284e-03,2.855675e-03,2.810058e-03,2.790956e-03,2.764647e-03,2.719510e-03,2.701545e-03,2.674705e-03,2.630287e-03,2.613519e-03,2.586304e-03,2.542800e-03,2.527264e-03,2.499815e-03,2.457383e-03,2.443088e-03,2.415535e-03,2.374297e-03,2.361234e-03,2.333694e-03,2.293746e-03,2.281893e-03,2.254471e-03,2.215883e-03,2.205203e-03,2.177994e-03,2.140815e-03,2.131266e-03,2.104354e-03,2.068615e-03,2.060146e-03,2.033604e-03,1.999322e-03,1.991878e-03,1.965771e-03,1.932950e-03,1.926473e-03,1.900857e-03,1.869490e-03,1.863920e-03,1.838844e-03,1.808914e-03,1.804192e-03,1.779696e-03,1.751181e-03,1.747245e-03,1.723364e-03,1.696235e-03,1.693026e-03,1.669788e-03,1.644012e-03,1.641471e-03,1.618898e-03,1.594437e-03,1.592509e-03,1.570619e-03,1.547433e-03,1.546062e-03,1.524869e-03,1.502916e-03,1.502050e-03,1.481562e-03,1.460798e-03,1.460388e-03,1.440610e-03,1.420990e-03,1.383767e-03,1.348632e-03,1.315497e-03,1.284274e-03,1.254879e-03,1.227227e-03,1.201236e-03,1.176826e-03,1.153918e-03,1.132438e-03,1.112312e-03,1.093470e-03,1.075845e-03,1.059372e-03,1.043989e-03,1.029634e-03,1.016253e-03,1.003790e-03,9.921920e-04,9.814109e-04,9.713988e-04,9.621108e-04,9.535041e-04,9.455380e-04,9.381741e-04,9.313757e-04,9.251080e-04,9.193383e-04,9.140354e-04,9.091699e-04,9.047138e-04,9.006409e-04,8.969262e-04,8.935463e-04,8.904790e-04,8.877033e-04,8.851995e-04,8.829489e-04,8.809342e-04,8.791387e-04,8.775470e-04,8.761443e-04,8.749170e-04,8.738522e-04,8.729376e-04,8.721619e-04,8.715145e-04,8.709851e-04,8.705646e-04
0.000000e+00,6.185376e-09,1.532524e-07,1.609916e-07,1.290981e-06,5.569453e-06,5.862953e-06,1.699232e-05,3.299918e-05,3.411867e-05,5.301857e-05,6.957997e-05,7.095543e-05,8.719421e-05,1.003115e-04,1.016844e-04,1.145318e-04,1.245841e-04,1.258693e-04,1.358282e-04,1.433842e-04,1.445314e-04,1.520934e-04,1.576410e-04,1.586197e-04,1.642079e-04,1.681533e-04,1.689477e-04,1.729216e-04,1.756001e-04,1.762049e-04,1.788666e-04,1.805518e-04,1.809695e-04,1.825709e-04,1.834849e-04,1.837230e-04,1.844730e-04,1.847943e-04,1.848635e-04,1.849335e-04,1.848052e-04,1.847179e-04,1.842488e-04,1.837850e-04,1.835548e-04,1.826621e-04,1.819537e-04,1.815944e-04,1.803729e-04,1.794919e-04,1.790169e-04,1.775434e-04,1.765461e-04,1.759683e-04,1.743055e-04,1.732361e-04,1.725677e-04,1.707662e-04,1.696591e-04,1.689114e-04,1.670122e-04,1.658938e-04,1.650771e-04,1.631135e-04,1.620039e-04,1.611280e-04,1.591265e-04,1.580409e-04,1.571144e-04,1.550964e-04,1.540462e-04,1.530768e-04,1.510594e-04,1.500526e-04,1.490475e-04,1.470441e-04,1.460863e-04,1.450519e-04,1.430732e-04,1.421681e-04,1.411100e-04,1.391642e-04,1.383139e-04,1.372372e-04,1.353306e-04,1.345362e-04,1.334454e-04,1.315828e-04,1.308442e-04,1.297434e-04,1.279282e-04,1.272449e-04,1.261377e-04,1.243724e-04,1.237432e-04,1.226327e-04,1.209190e-04,1.203423e-04,1.192314e-04,1.175702e-04,1.170442e-04,1.159355e-04,1.143272e-04,1.138499e-04,1.127455e-04,1.111902e-04,1.107595e-04,1.096613e-04,1.081587e-04,1.077723e-04,1.066821e-04,1.052315e-04,1.048872e-04,1.038066e-04,1.024073e-04,1.021028e-04,1.010331e-04,9.968400e-05,9.941714e-05,9.835958e-05,9.705961e-05,9.682818e-05,9.578377e-05,9.453177e-05,9.433364e-05,9.330329e-05,9.209802e-05,9.193111e-05,9.091563e-05,8.975580e-05,8.961812e-05,8.861820e-05,8.750249e-05,8.739211e-05,8.640834e-05,8.533543e-05,8.525050e-05,8.428340e-05,8.325194e-05,8.319070e-05,8.224071e-05,8.124938e-05,8.121014e-05,8.027762e-05,7.932511e-05,7.930625e-05,7.839151e-05,7.747652e-05,7.571847e-05,7.402965e-05,7.240771e-05,7.085030e-05,6.935518e-05,6.792013e-05,6.654303e-05,6.522178e-05,6.395439e-05,6.273889e-05,6.157340e-05,6.045608e-05,5.938517e-05,5.835896e-05,5.737578e-05,5.643404e-05,5.553220e-05,5.466876e-05,5.384228e-05,5.305137e-05,5.229470e-05,5.157095e-05,5.087889e-05,5.021730e-05,4.958502e-05,4.898094e-05,4.840396e-05,4.785304e-05,4.732718e-05,4.682540e-05,4.634677e-05,4.589039e-05,4.545539e-05,4.504092e-05,4.464618e-05,4.427040e-05,4.391281e-05,4.357269e-05,4.324936e-05,4.294213e-05,4.265036e-05,4.237342e-05,4.211072e-05,4.186167e-05,4.162573e-05,4.140234e-05,4.119099e-05,4.099119e-05,4.080245e-05
0.000000e+00,1.383351e-09,9.072679e-08,9.672783e-08,1.382154e-06,8.943183e-06,9.564373e-06,4.111318e-05,1.177062e-04,1.248027e-04,2.924239e-04,5.403975e-04,5.665223e-04,9.548522e-04,1.397295e-03,1.451432e-03,2.040560e-03,2.618904e-03,2.701206e-03,3.410643e-03,4.043028e-03,4.146973e-03,4.890657e-03,5.508913e-03,5.625258e-03,6.337642e-03,6.898132e-03,7.017838e-03,7.658705e-03,8.139838e-03,8.255519e-03,8.805538e-03,9.201272e-03,9.307596e-03,9.761744e-03,1.007542e-02,1.016894e-02,1.053077e-02,1.077052e-02,1.084930e-02,1.112684e-02,1.130268e-02,1.136588e-02,1.156896e-02,1.169108e-02,1.173862e-02,1.187735e-02,1.195525e-02,1.198755e-02,1.207150e-02,1.211359e-02,1.213137e-02,1.216920e-02,1.218273e-02,1.218690e-02,1.218625e-02,1.217736e-02,1.216890e-02,1.213639e-02,1.211021e-02,1.209016e-02,1.203150e-02,1.199228e-02,1.196166e-02,1.188174e-02,1.183298e-02,1.179279e-02,1.169578e-02,1.164034e-02,1.159157e-02,1.148100e-02,1.142123e-02,1.136480e-02,1.124367e-02,1.118146e-02,1.111825e-02,1.098913e-02,1.092599e-02,1.085683e-02,1.072187e-02,1.065901e-02,1.058468e-02,1.044569e-02,1.038406e-02,1.030528e-02,1.016380e-02,1.010414e-02,1.002158e-02,9.878898e-03,9.821760e-03,9.736034e-03,9.593230e-03,9.539027e-03,9.450708e-03,9.308672e-03,9.257694e-03,9.167307e-03,9.026779e-03,8.979218e-03,8.887240e-03,8.748827e-03,8.704793e-03,8.611663e-03,8.475858e-03,8.435397e-03,8.341513e-03,8.208714e-03,8.171818e-03,8.077540e-03,7.948061e-03,7.914682e-03,7.820337e-03,7.694421e-03,7.664476e-03,7.570359e-03,7.448190e-03,7.421570e-03,7.327946e-03,7.209657e-03,7.186236e-03,7.093344e-03,6.979026e-03,6.958662e-03,6.866716e-03,6.756424e-03,6.738965e-03,6.648155e-03,6.541913e-03,6.527201e-03,6.437698e-03,6.335506e-03,6.323378e-03,6.235331e-03,6.137167e-03,6.127461e-03,6.041004e-03,5.946829e-03,5.939381e-03,5.854630e-03,5.764392e-03,5.759040e-03,5.676099e-03,5.589733e-03,5.586318e-03,5.505275e-03,5.422707e-03,5.421075e-03,5.342008e-03,5.263157e-03,5.112398e-03,4.968623e-03,4.831650e-03,4.701293e-03,4.577362e-03,4.459665e-03,4.348012e-03,4.242209e-03,4.142067e-03,4.047396e-03,3.958009e-03,3.873722e-03,3.794354e-03,3.719725e-03,3.649662e-03,3.583991e-03,3.522545e-03,3.465160e-03,3.411673e-03,3.361927e-03,3.315768e-03,3.273045e-03,3.233610e-03,3.197321e-03,3.164037e-03,3.133620e-03,3.105937e-03,3.080856e-03,3.058251e-03,3.037997e-03,3.019974e-03,3.004062e-03,2.990146e-03,2.978116e-03,2.967861e-03,2.959275e-03,2.952256e-03,2.946704e-03,2.942520e-03,2.939612e-03,2.937887e-03,2.937258e-03,2.937640e-03,2.938950e-03,2.941109e-03,2.944040e-03,2.947671e-03,2.951931e-03,2.956753e-03
0.000000e+00,2.503121e-09,3.288829e-08,3.429080e-08,2.046415e-07,7.195418e-07,7.519877e-07,1.883975e-06,3.399473e-06,3.504190e-06,5.261067e-06,6.776641e-06,6.901108e-06,8.350328e-06,9.489152e-06,9.606458e-06,1.068435e-05,1.149939e-05,1.160154e-05,1.237497e-05,1.293707e-05,1.302024e-05,1.355155e-05,1.391922e-05,1.398175e-05,1.432241e-05,1.454229e-05,1.458396e-05,1.477573e-05,1.488458e-05,1.490611e-05,1.498261e-05,1.500921e-05,1.501192e-05,1.500005e-05,1.496679e-05,1.495233e-05,1.487354e-05,1.479775e-05,1.476793e-05,1.463927e-05,1.453428e-05,1.449094e-05,1.432592e-05,1.420190e-05,1.414686e-05,1.395611e-05,1.382080e-05,1.375576e-05,1.354766e-05,1.340685e-05,1.333341e-05,1.311447e-05,1.297248e-05,1.289210e-05,1.266739e-05,1.252734e-05,1.244133e-05,1.221478e-05,1.207891e-05,1.198846e-05,1.176303e-05,1.163291e-05,1.153904e-05,1.131698e-05,1.119363e-05,1.109727e-05,1.088025e-05,1.076429e-05,1.066622e-05,1.045544e-05,1.034719e-05,1.024812e-05,1.004442e-05,9.943974e-06,9.844486e-06,9.648426e-06,9.555719e-06,9.456324e-06,9.268239e-06,9.183081e-06,9.084212e-06,8.904268e-06,8.826388e-06,8.728413e-06,8.556643e-06,8.485714e-06,8.388942e-06,8.225281e-06,8.160941e-06,8.065627e-06,7.909935e-06,7.851802e-06,7.758158e-06,7.610241e-06,7.557924e-06,7.466124e-06,7.325746e-06,7.278857e-06,7.189040e-06,7.055939e-06,7.014096e-06,6.926372e-06,6.800268e-06,6.763101e-06,6.677554e-06,6.558157e-06,6.525310e-06,6.442003e-06,6.329019e-06,6.300153e-06,6.219130e-06,6.112262e-06,6.087056e-06,6.008344e-06,5.907302e-06,5.885452e-06,5.809066e-06,5.713564e-06,5.694785e-06,5.620726e-06,5.530485e-06,5.514512e-06,5.442773e-06,5.357522e-06,5.344106e-06,5.274669e-06,5.194149e-06,5.183059e-06,5.115900e-06,5.039861e-06,5.030882e-06,4.965972e-06,4.894174e-06,4.887107e-06,4.824411e-06,4.756625e-06,4.751286e-06,4.690763e-06,4.626772e-06,4.622991e-06,4.564599e-06,4.504193e-06,4.501813e-06,4.445506e-06,4.388489e-06,4.387366e-06,4.333095e-06,4.279279e-06,4.177204e-06,4.080807e-06,3.989775e-06,3.903810e-06,3.822628e-06,3.745962e-06,3.673560e-06,3.605184e-06,3.540605e-06,3.479612e-06,3.422003e-06,3.367585e-06,3.316180e-06,3.267617e-06,3.221735e-06,3.178383e-06,3.137416e-06,3.098701e-06,3.062108e-06,3.027518e-06,2.994817e-06,2.963897e-06,2.934656e-06,2.907000e-06,2.880838e-06,2.856084e-06,2.832659e-06,2.810486e-06,2.789494e-06,2.769616e-06,2.750787e-06,2.732949e-06,2.716043e-06,2.700017e-06,2.684821e-06,2.670407e-06,2.656730e-06,2.643747e-06,2.631421e-06,2.619711e-06,2.608584e-06,2.598007e-06,2.587946e-06,2.578374e-06,2.569261e-06,2.560583e-06,2.552312e-06,2.544428e-06,2.536907e-06
0.000000e+00,4.522671e-09,2.120396e-07,2.248313e-07,2.551165e-06,1.359816e-05,1.442340e-05,4.979949e-05,1.128621e-04,1.178025e-04,2.111369e-04,3.056464e-04,3.138754e-04,4.135790e-04,4.955697e-04,5.041394e-04,5.836796e-04,6.446264e-04,6.523112e-04,7.108775e-04,7.539776e-04,7.604059e-04,8.019069e-04,8.312484e-04,8.363122e-04,8.644629e-04,8.834101e-04,8.871121e-04,9.049316e-04,9.161138e-04,9.185191e-04,9.284059e-04,9.338533e-04,9.350627e-04,9.389066e-04,9.401752e-04,9.403064e-04,9.395883e-04,9.378635e-04,9.370391e-04,9.329112e-04,9.290875e-04,9.274270e-04,9.207821e-04,9.155333e-04,9.131489e-04,9.046785e-04,8.985090e-04,8.955040e-04,8.857418e-04,8.790272e-04,8.754944e-04,8.648511e-04,8.578682e-04,8.538902e-04,8.426806e-04,8.356323e-04,8.312820e-04,8.197468e-04,8.127793e-04,8.081205e-04,7.964427e-04,7.896598e-04,7.847479e-04,7.730661e-04,7.665397e-04,7.614231e-04,7.498413e-04,7.436195e-04,7.383399e-04,7.269353e-04,7.210479e-04,7.156416e-04,7.044707e-04,6.989346e-04,6.934328e-04,6.825364e-04,6.773585e-04,6.717885e-04,6.611948e-04,6.563748e-04,6.507600e-04,6.404880e-04,6.360206e-04,6.303814e-04,6.204426e-04,6.163187e-04,6.106729e-04,6.010734e-04,5.972813e-04,5.916443e-04,5.823859e-04,5.789123e-04,5.732975e-04,5.643787e-04,5.612093e-04,5.556284e-04,5.470455e-04,5.441652e-04,5.386286e-04,5.303760e-04,5.277696e-04,5.222861e-04,5.143569e-04,5.120092e-04,5.065866e-04,4.989730e-04,4.968690e-04,4.915140e-04,4.842074e-04,4.823324e-04,4.770510e-04,4.700425e-04,4.683822e-04,4.631796e-04,4.564600e-04,4.550007e-04,4.498813e-04,4.434413e-04,4.421697e-04,4.371375e-04,4.309677e-04,4.298712e-04,4.249294e-04,4.190205e-04,4.180869e-04,4.132385e-04,4.075813e-04,4.067991e-04,4.020464e-04,3.966318e-04,3.959900e-04,3.913352e-04,3.861544e-04,3.856426e-04,3.810871e-04,3.761314e-04,3.757397e-04,3.712851e-04,3.665461e-04,3.662651e-04,3.619123e-04,3.573818e-04,3.572027e-04,3.529525e-04,3.486224e-04,3.485368e-04,3.443898e-04,3.402526e-04,3.323353e-04,3.247707e-04,3.175453e-04,3.106459e-04,3.040595e-04,2.977740e-04,2.917775e-04,2.860584e-04,2.806058e-04,2.754089e-04,2.704576e-04,2.657418e-04,2.612521e-04,2.569793e-04,2.529145e-04,2.490493e-04,2.453753e-04,2.418848e-04,2.385701e-04,2.354239e-04,2.324391e-04,2.296090e-04,2.269271e-04,2.243870e-04,2.219827e-04,2.197085e-04,2.175586e-04,2.155278e-04,2.136108e-04,2.118027e-04,2.100986e-04,2.084940e-04,2.069844e-04,2.055656e-04,2.042335e-04,2.029840e-04,2.018135e-04,2.007183e-04,1.996948e-04,1.987398e-04,1.978499e-04,1.970221e-04,1.962533e-04,1.955408e-04,1.948817e-04,1.942734e-04,1.937134e-04,1.931992e-04,1.927285e-04
0.000000e+00,3.599471e-09,2.449806e-07,2.614036e-07,3.988175e-06,2.859684e-05,3.073046e-05,1.498021e-04,4.836203e-04,5.166738e-04,1.369631e-03,2.821536e-03,2.985362e-03,5.631085e-03,9.080158e-03,9.531960e-03,1.485384e-02,2.079393e-02,2.169726e-02,3.009887e-02,3.855562e-02,4.003736e-02,5.144186e-02,6.207433e-02,6.420138e-02,7.817430e-02,9.042349e-02,9.319734e-02,1.090937e-01,1.223165e-01,1.256801e-01,1.427725e-01,1.563402e-01,1.601914e-01,1.777650e-01,1.911251e-01,1.953326e-01,2.127460e-01,2.254536e-01,2.298717e-01,2.465905e-01,2.583172e-01,2.627986e-01,2.784070e-01,2.889356e-01,2.933412e-01,3.075403e-01,3.167509e-01,3.209565e-01,3.335536e-01,3.414063e-01,3.453063e-01,3.561994e-01,3.627163e-01,3.662260e-01,3.753870e-01,3.806353e-01,3.836903e-01,3.911491e-01,3.952265e-01,3.977818e-01,4.036107e-01,4.066332e-01,4.086616e-01,4.129628e-01,4.150553e-01,4.165448e-01,4.194395e-01,4.207285e-01,4.216800e-01,4.232999e-01,4.239083e-01,4.243333e-01,4.248139e-01,4.248574e-01,4.247754e-01,4.242511e-01,4.238364e-01,4.232734e-01,4.218739e-01,4.210970e-01,4.200833e-01,4.179313e-01,4.168774e-01,4.154465e-01,4.126561e-01,4.113993e-01,4.095863e-01,4.062621e-01,4.048666e-01,4.027073e-01,3.989442e-01,3.974642e-01,3.949943e-01,3.908777e-01,3.893585e-01,3.866132e-01,3.822188e-01,3.806981e-01,3.777112e-01,3.731061e-01,3.716143e-01,3.684182e-01,3.636611e-01,3.622224e-01,3.588476e-01,3.539897e-01,3.526230e-01,3.490983e-01,3.441839e-01,3.429035e-01,3.392557e-01,3.343227e-01,3.331390e-01,3.293930e-01,3.244739e-01,3.233938e-01,3.195724e-01,3.146947e-01,3.137226e-01,3.098467e-01,3.050336e-01,3.041713e-01,3.002601e-01,2.955307e-01,2.947783e-01,2.908493e-01,2.862194e-01,2.855756e-01,2.816444e-01,2.771271e-01,2.765890e-01,2.726700e-01,2.682755e-01,2.678396e-01,2.639457e-01,2.596822e-01,2.593440e-01,2.554866e-01,2.513603e-01,2.511149e-01,2.473044e-01,2.433199e-01,2.431620e-01,2.394076e-01,2.355681e-01,2.354921e-01,2.318019e-01,2.281094e-01,2.210165e-01,2.142138e-01,2.077007e-01,2.014749e-01,1.955333e-01,1.898720e-01,1.844863e-01,1.793706e-01,1.745192e-01,1.699259e-01,1.655838e-01,1.614861e-01,1.576258e-01,1.539953e-01,1.505873e-01,1.473941e-01,1.444081e-01,1.416216e-01,1.390267e-01,1.366159e-01,1.343813e-01,1.323152e-01,1.304100e-01,1.286581e-01,1.270519e-01,1.255840e-01,1.242471e-01,1.230340e-01,1.219376e-01,1.209510e-01,1.200674e-01,1.192802e-01,1.185830e-01,1.179694e-01,1.174335e-01,1.169694e-01,1.165714e-01,1.162341e-01,1.159522e-01,1.157207e-01,1.155350e-01,1.153903e-01,1.152825e-01,1.152074e-01,1.151612e-01,1.151402e-01,1.151411e-01,1.151606e-01,1.151958e-01
0.000000e+00,3.483347e-09,2.255750e-07,2.403633e-07,3.433054e-06,2.382500e-05,2.558885e-05,1.253768e-04,4.166344e-04,4.461480e-04,1.233911e-03,2.644624e-03,2.807480e-03,5.506581e-03,9.160484e-03,9.647470e-03,1.549386e-02,2.220649e-02,2.324126e-02,3.301135e-02,4.307051e-02,4.485305e-02,5.874823e-02,7.195230e-02,7.461992e-02,9.234191e-02,1.081396e-01,1.117488e-01,1.326455e-01,1.502914e-01,1.548168e-01,1.780351e-01,1.967226e-01,2.020679e-01,2.266835e-01,2.456421e-01,2.516565e-01,2.767713e-01,2.953280e-01,3.018256e-01,3.266323e-01,3.442436e-01,3.510213e-01,3.748401e-01,3.911013e-01,3.979544e-01,4.202478e-01,4.348874e-01,4.416217e-01,4.619943e-01,4.748592e-01,4.812998e-01,4.994874e-01,5.105232e-01,5.165201e-01,5.323735e-01,5.416043e-01,5.470348e-01,5.605012e-01,5.680097e-01,5.727789e-01,5.838823e-01,5.897921e-01,5.938322e-01,6.026555e-01,6.071161e-01,6.103838e-01,6.170527e-01,6.202271e-01,6.227012e-01,6.273704e-01,6.294256e-01,6.311035e-01,6.339451e-01,6.350457e-01,6.359403e-01,6.371348e-01,6.374371e-01,6.375740e-01,6.373030e-01,6.369522e-01,6.363665e-01,6.348080e-01,6.339362e-01,6.326700e-01,6.299940e-01,6.287192e-01,6.268198e-01,6.231860e-01,6.216121e-01,6.191296e-01,6.146862e-01,6.129033e-01,6.098895e-01,6.047718e-01,6.028568e-01,5.993639e-01,5.936947e-01,5.917126e-01,5.877918e-01,5.816811e-01,5.796859e-01,5.753872e-01,5.689330e-01,5.669688e-01,5.623402e-01,5.556291e-01,5.537314e-01,5.488186e-01,5.419264e-01,5.401231e-01,5.349692e-01,5.279623e-01,5.262748e-01,5.209200e-01,5.138557e-01,5.122998e-01,5.067816e-01,4.997092e-01,4.982959e-01,4.926491e-01,4.856108e-01,4.843469e-01,4.786034e-01,4.716351e-01,4.705243e-01,4.647134e-01,4.578452e-01,4.568882e-01,4.510367e-01,4.442938e-01,4.434894e-01,4.376217e-01,4.310249e-01,4.303696e-01,4.245078e-01,4.180742e-01,4.175633e-01,4.117276e-01,4.054708e-01,4.050984e-01,3.993068e-01,3.932377e-01,3.929970e-01,3.872658e-01,3.813927e-01,3.812763e-01,3.756201e-01,3.699492e-01,3.590250e-01,3.485096e-01,3.384063e-01,3.287162e-01,3.194382e-01,3.105696e-01,3.021061e-01,2.940422e-01,2.863716e-01,2.790867e-01,2.721794e-01,2.656410e-01,2.594621e-01,2.536331e-01,2.481438e-01,2.429838e-01,2.381426e-01,2.336092e-01,2.293728e-01,2.254223e-01,2.217467e-01,2.183347e-01,2.151753e-01,2.122573e-01,2.095698e-01,2.071018e-01,2.048425e-01,2.027812e-01,2.009073e-01,1.992105e-01,1.976807e-01,1.963078e-01,1.950821e-01,1.939942e-01,1.930347e-01,1.921949e-01,1.914660e-01,1.908395e-01,1.903076e-01,1.898623e-01,1.894963e-01,1.892025e-01,1.889739e-01,1.888043e-01,1.886874e-01,1.886175e-01,1.885891e-01,1.885970e-01,1.886365e-01
0.000000e+00,3.500212e-09,5.389872e-08,5.641596e-08,3.893351e-07,1.451860e-06,1.518892e-06,3.765342e-06,6.461371e-06,6.638944e-06,9.575043e-06,1.216632e-05,1.238522e-05,1.502978e-05,1.726466e-05,1.750460e-05,1.981402e-05,2.171457e-05,2.196445e-05,2.396279e-05,2.556502e-05,2.581599e-05,2.753091e-05,2.886955e-05,2.911434e-05,3.057287e-05,3.168020e-05,3.191295e-05,3.314082e-05,3.404636e-05,3.426247e-05,3.528371e-05,3.601413e-05,3.621006e-05,3.704684e-05,3.762602e-05,3.779912e-05,3.847172e-05,3.892086e-05,3.906925e-05,3.959608e-05,3.993396e-05,4.005637e-05,4.045408e-05,4.069727e-05,4.079298e-05,4.107665e-05,4.123974e-05,4.130849e-05,4.149170e-05,4.158747e-05,4.162934e-05,4.172430e-05,4.176395e-05,4.177932e-05,4.179701e-05,4.179031e-05,4.177983e-05,4.173011e-05,4.168558e-05,4.165006e-05,4.154176e-05,4.146678e-05,4.140719e-05,4.124822e-05,4.114920e-05,4.106662e-05,4.086407e-05,4.074654e-05,4.064214e-05,4.040234e-05,4.027105e-05,4.014607e-05,3.987466e-05,3.973367e-05,3.958937e-05,3.929139e-05,3.914419e-05,3.898185e-05,3.866180e-05,3.851132e-05,3.833224e-05,3.799410e-05,3.784284e-05,3.764829e-05,3.729562e-05,3.714564e-05,3.693688e-05,3.657282e-05,3.642586e-05,3.620413e-05,3.583146e-05,3.568893e-05,3.545542e-05,3.507660e-05,3.493965e-05,3.469553e-05,3.431272e-05,3.418226e-05,3.392865e-05,3.354376e-05,3.342049e-05,3.315846e-05,3.277315e-05,3.265761e-05,3.238820e-05,3.200393e-05,3.189650e-05,3.162066e-05,3.123870e-05,3.113964e-05,3.085831e-05,3.047976e-05,3.038920e-05,3.010327e-05,2.972906e-05,2.964707e-05,2.935735e-05,2.898831e-05,2.891484e-05,2.862212e-05,2.825893e-05,2.819389e-05,2.789890e-05,2.754215e-05,2.748539e-05,2.718882e-05,2.683900e-05,2.679031e-05,2.649279e-05,2.615030e-05,2.610946e-05,2.581160e-05,2.547676e-05,2.544349e-05,2.514585e-05,2.481893e-05,2.479295e-05,2.449604e-05,2.417723e-05,2.415823e-05,2.386253e-05,2.355198e-05,2.353965e-05,2.324560e-05,2.294341e-05,2.293741e-05,2.264542e-05,2.235165e-05,2.178243e-05,2.122976e-05,2.069358e-05,2.017379e-05,1.967025e-05,1.918278e-05,1.871116e-05,1.825517e-05,1.781454e-05,1.738901e-05,1.697827e-05,1.658204e-05,1.619999e-05,1.583181e-05,1.547717e-05,1.513574e-05,1.480718e-05,1.449118e-05,1.418738e-05,1.389546e-05,1.361510e-05,1.334595e-05,1.308771e-05,1.284005e-05,1.260265e-05,1.237521e-05,1.215741e-05,1.194897e-05,1.174959e-05,1.155898e-05,1.137685e-05,1.120295e-05,1.103698e-05,1.087870e-05,1.072785e-05,1.058417e-05,1.044743e-05,1.031738e-05,1.019379e-05,1.007645e-05,9.965124e-06,9.859607e-06,9.759689e-06,9.665170e-06,9.575853e-06,9.491548e-06,9.412071e-06,9.337241e-06,9.266884e-06
0.000000e+00,8.709008e-10,1.284833e-08,1.343624e-08,8.714893e-08,3.006708e-07,3.134976e-07,7.176886e-07,1.162821e-06,1.191171e-06,1.647069e-06,2.031719e-06,2.063495e-06,2.438566e-06,2.742485e-06,2.774378e-06,3.073719e-06,3.309200e-06,3.339392e-06,3.574057e-06,3.752981e-06,3.780217e-06,3.960216e-06,4.092807e-06,4.116247e-06,4.250347e-06,4.345277e-06,4.364410e-06,4.460193e-06,4.524753e-06,4.539320e-06,4.603292e-06,4.643565e-06,4.653494e-06,4.691202e-06,4.712230e-06,4.717590e-06,4.733738e-06,4.739681e-06,4.740638e-06,4.739202e-06,4.733480e-06,4.730268e-06,4.714602e-06,4.700011e-06,4.692909e-06,4.665833e-06,4.644651e-06,4.633965e-06,4.597846e-06,4.571920e-06,4.557970e-06,4.514788e-06,4.485610e-06,4.468715e-06,4.420127e-06,4.388892e-06,4.369369e-06,4.316753e-06,4.284412e-06,4.262566e-06,4.207067e-06,4.174371e-06,4.150493e-06,4.093059e-06,4.060594e-06,4.034959e-06,3.976371e-06,3.944586e-06,3.917453e-06,3.858350e-06,3.827587e-06,3.799192e-06,3.740097e-06,3.710606e-06,3.681170e-06,3.622505e-06,3.594464e-06,3.564187e-06,3.506292e-06,3.479821e-06,3.448887e-06,3.392030e-06,3.367201e-06,3.335776e-06,3.280169e-06,3.257017e-06,3.225250e-06,3.171054e-06,3.149585e-06,3.117611e-06,3.064947e-06,3.045144e-06,3.013084e-06,2.962039e-06,2.943866e-06,2.911828e-06,2.862462e-06,2.845872e-06,2.813950e-06,2.766299e-06,2.751233e-06,2.719513e-06,2.673593e-06,2.659986e-06,2.628541e-06,2.584355e-06,2.572137e-06,2.541032e-06,2.498569e-06,2.487669e-06,2.456960e-06,2.416200e-06,2.406542e-06,2.376280e-06,2.337193e-06,2.328705e-06,2.298930e-06,2.261481e-06,2.254088e-06,2.224837e-06,2.188987e-06,2.182618e-06,2.153920e-06,2.119625e-06,2.114209e-06,2.086090e-06,2.053304e-06,2.048773e-06,2.021254e-06,1.989929e-06,1.986218e-06,1.959315e-06,1.929401e-06,1.926448e-06,1.900175e-06,1.871623e-06,1.869367e-06,1.843733e-06,1.816492e-06,1.814878e-06,1.789890e-06,1.763912e-06,1.762885e-06,1.738547e-06,1.713782e-06,1.713293e-06,1.689606e-06,1.666006e-06,1.620933e-06,1.577983e-06,1.537069e-06,1.498105e-06,1.461008e-06,1.425698e-06,1.392098e-06,1.360132e-06,1.329729e-06,1.300820e-06,1.273337e-06,1.247216e-06,1.222397e-06,1.198819e-06,1.176428e-06,1.155167e-06,1.134987e-06,1.115836e-06,1.097668e-06,1.080436e-06,1.064099e-06,1.048613e-06,1.033939e-06,1.020039e-06,1.006877e-06,9.944185e-07,9.826299e-07,9.714797e-07,9.609377e-07,9.509752e-07,9.415644e-07,9.326791e-07,9.242942e-07,9.163857e-07,9.089309e-07,9.019077e-07,8.952955e-07,8.890744e-07,8.832253e-07,8.777301e-07,8.725717e-07,8.677334e-07,8.631996e-07,8.589552e-07,8.549860e-07,8.512783e-07,8.478190e-07,8.445958e-07,8.415968e-07
0.000000e+00,6.267475e-10,1.115393e-08,1.169197e-08,7.955239e-08,2.624193e-07,2.727175e-07,5.671222e-07,8.575235e-07,8.756378e-07,1.166424e-06,1.414318e-06,1.434985e-06,1.681665e-06,1.885874e-06,1.907562e-06,2.113871e-06,2.280153e-06,2.301766e-06,2.472382e-06,2.606124e-06,2.626809e-06,2.766091e-06,2.872113e-06,2.891223e-06,3.003152e-06,3.085713e-06,3.102776e-06,3.190943e-06,3.253766e-06,3.268452e-06,3.336057e-06,3.382370e-06,3.394465e-06,3.444340e-06,3.476924e-06,3.486306e-06,3.520947e-06,3.542190e-06,3.548812e-06,3.570412e-06,3.582356e-06,3.586228e-06,3.596708e-06,3.601097e-06,3.602274e-06,3.603317e-06,3.601630e-06,3.600203e-06,3.593277e-06,3.586773e-06,3.582857e-06,3.569245e-06,3.558986e-06,3.552717e-06,3.533534e-06,3.520414e-06,3.511938e-06,3.488157e-06,3.472927e-06,3.462400e-06,3.434864e-06,3.418151e-06,3.405732e-06,3.375173e-06,3.357495e-06,3.343344e-06,3.310395e-06,3.292184e-06,3.276459e-06,3.241665e-06,3.223272e-06,3.206130e-06,3.169962e-06,3.151673e-06,3.133264e-06,3.096127e-06,3.078171e-06,3.058638e-06,3.020879e-06,3.003439e-06,2.982921e-06,2.944834e-06,2.928050e-06,2.906679e-06,2.868516e-06,2.852497e-06,2.830396e-06,2.792368e-06,2.777193e-06,2.754478e-06,2.716766e-06,2.702490e-06,2.679270e-06,2.642022e-06,2.628680e-06,2.605056e-06,2.568398e-06,2.556009e-06,2.532074e-06,2.496107e-06,2.484676e-06,2.460517e-06,2.425323e-06,2.414845e-06,2.390542e-06,2.356187e-06,2.346646e-06,2.322273e-06,2.288809e-06,2.280184e-06,2.255807e-06,2.223274e-06,2.215537e-06,2.191217e-06,2.159643e-06,2.152762e-06,2.128556e-06,2.097961e-06,2.091901e-06,2.067859e-06,2.038253e-06,2.032976e-06,2.009144e-06,1.980532e-06,1.976000e-06,1.952418e-06,1.924800e-06,1.920973e-06,1.897677e-06,1.871047e-06,1.867885e-06,1.844908e-06,1.819257e-06,1.816718e-06,1.794090e-06,1.769404e-06,1.767450e-06,1.745195e-06,1.721458e-06,1.720049e-06,1.698190e-06,1.675385e-06,1.674482e-06,1.653038e-06,1.631144e-06,1.630711e-06,1.609699e-06,1.588695e-06,1.548391e-06,1.509754e-06,1.472737e-06,1.437294e-06,1.403377e-06,1.370937e-06,1.339928e-06,1.310301e-06,1.282010e-06,1.255007e-06,1.229247e-06,1.204685e-06,1.181277e-06,1.158979e-06,1.137749e-06,1.117546e-06,1.098330e-06,1.080063e-06,1.062705e-06,1.046221e-06,1.030575e-06,1.015733e-06,1.001661e-06,9.883260e-07,9.756980e-07,9.637464e-07,9.524422e-07,9.417571e-07,9.316641e-07,9.221370e-07,9.131506e-07,9.046807e-07,8.967038e-07,8.891974e-07,8.821398e-07,8.755102e-07,8.692885e-07,8.634553e-07,8.579922e-07,8.528812e-07,8.481053e-07,8.436479e-07,8.394934e-07,8.356264e-07,8.320324e-07,8.286975e-07,8.256083e-07,8.227518e-07,8.201158e-07
0.000000e+00,4.353003e-09,5.608366e-08,5.850532e-08,3.545098e-07,1.238420e-06,1.293441e-06,3.155173e-06,5.473963e-06,5.628895e-06,8.201790e-06,1.047006e-05,1.066113e-05,1.296101e-05,1.489065e-05,1.509698e-05,1.707365e-05,1.868667e-05,1.889773e-05,2.057638e-05,2.190924e-05,2.211685e-05,2.352633e-05,2.461421e-05,2.481185e-05,2.598029e-05,2.685571e-05,2.703828e-05,2.799215e-05,2.868443e-05,2.884807e-05,2.961195e-05,3.014751e-05,3.028942e-05,3.088585e-05,3.128811e-05,3.140637e-05,3.185581e-05,3.214536e-05,3.223878e-05,3.255966e-05,3.275456e-05,3.282256e-05,3.303141e-05,3.314743e-05,3.318990e-05,3.330154e-05,3.335238e-05,3.336962e-05,3.339728e-05,3.339482e-05,3.338745e-05,3.334293e-05,3.329744e-05,3.326632e-05,3.316011e-05,3.308042e-05,3.302663e-05,3.286806e-05,3.276175e-05,3.268648e-05,3.248383e-05,3.235736e-05,3.226193e-05,3.202252e-05,3.188140e-05,3.176720e-05,3.149749e-05,3.134637e-05,3.121481e-05,3.092051e-05,3.076330e-05,3.061583e-05,3.030195e-05,3.014191e-05,2.997997e-05,2.965092e-05,2.949075e-05,2.931576e-05,2.897539e-05,2.881730e-05,2.863065e-05,2.828232e-05,2.812811e-05,2.793114e-05,2.757778e-05,2.742887e-05,2.722287e-05,2.686701e-05,2.672453e-05,2.651075e-05,2.615458e-05,2.601936e-05,2.579898e-05,2.544437e-05,2.531704e-05,2.509117e-05,2.473974e-05,2.462072e-05,2.439042e-05,2.404352e-05,2.393307e-05,2.369933e-05,2.335810e-05,2.325635e-05,2.302008e-05,2.268548e-05,2.259244e-05,2.235451e-05,2.202732e-05,2.194290e-05,2.170409e-05,2.138496e-05,2.130899e-05,2.107005e-05,2.075948e-05,2.069174e-05,2.045334e-05,2.015171e-05,2.009194e-05,1.985468e-05,1.956229e-05,1.951016e-05,1.927461e-05,1.899167e-05,1.894685e-05,1.871351e-05,1.844015e-05,1.840226e-05,1.817160e-05,1.790788e-05,1.787655e-05,1.764898e-05,1.739489e-05,1.736975e-05,1.714562e-05,1.690114e-05,1.688179e-05,1.666143e-05,1.642647e-05,1.641252e-05,1.619622e-05,1.597065e-05,1.596172e-05,1.574972e-05,1.553340e-05,1.552912e-05,1.532164e-05,1.511439e-05,1.471716e-05,1.433703e-05,1.397357e-05,1.362632e-05,1.329482e-05,1.297860e-05,1.267716e-05,1.239002e-05,1.211668e-05,1.185665e-05,1.160946e-05,1.137460e-05,1.115162e-05,1.094004e-05,1.073941e-05,1.054928e-05,1.036920e-05,1.019877e-05,1.003756e-05,9.885164e-06,9.741205e-06,9.605302e-06,9.477092e-06,9.356221e-06,9.242353e-06,9.135159e-06,9.034326e-06,8.939551e-06,8.850542e-06,8.767021e-06,8.688719e-06,8.615379e-06,8.546755e-06,8.482610e-06,8.422719e-06,8.366864e-06,8.314839e-06,8.266446e-06,8.221494e-06,8.179804e-06,8.141201e-06,8.105522e-06,8.072609e-06,8.042312e-06,8.014488e-06,7.989000e-06,7.965718e-06,7.944519e-06,7.925284e-06
0.000000e+00,1.521891e-10,1.996204e-09,2.083370e-09,1.273635e-08,4.462503e-08,4.662792e-08,1.166471e-07,2.114447e-07,2.180593e-07,3.310709e-07,4.330035e-07,4.416106e-07,5.450183e-07,6.311935e-07,6.403653e-07,7.277599e-07,7.983859e-07,8.075786e-07,8.802601e-07,9.373937e-07,9.462445e-07,1.005961e-06,1.051581e-06,1.059821e-06,1.108216e-06,1.144083e-06,1.151517e-06,1.190073e-06,1.217727e-06,1.224218e-06,1.254262e-06,1.275040e-06,1.280500e-06,1.303206e-06,1.318261e-06,1.322640e-06,1.339042e-06,1.349362e-06,1.352640e-06,1.363644e-06,1.370074e-06,1.372255e-06,1.378656e-06,1.381915e-06,1.383020e-06,1.385509e-06,1.386208e-06,1.386273e-06,1.385454e-06,1.384109e-06,1.383181e-06,1.379578e-06,1.376627e-06,1.374759e-06,1.368828e-06,1.364637e-06,1.361886e-06,1.354024e-06,1.348901e-06,1.345328e-06,1.335878e-06,1.330080e-06,1.325747e-06,1.315005e-06,1.308746e-06,1.303715e-06,1.291938e-06,1.285395e-06,1.279728e-06,1.267136e-06,1.260453e-06,1.254210e-06,1.240993e-06,1.234289e-06,1.227527e-06,1.213850e-06,1.207220e-06,1.199996e-06,1.185997e-06,1.179517e-06,1.171883e-06,1.157681e-06,1.151412e-06,1.143418e-06,1.129116e-06,1.123103e-06,1.114796e-06,1.100479e-06,1.094757e-06,1.086183e-06,1.071923e-06,1.066517e-06,1.057716e-06,1.043574e-06,1.038502e-06,1.029512e-06,1.015539e-06,1.010811e-06,1.001667e-06,9.879056e-07,9.835264e-07,9.742624e-07,9.607455e-07,9.567161e-07,9.473618e-07,9.341174e-07,9.304348e-07,9.210179e-07,9.080681e-07,9.047263e-07,8.952723e-07,8.826342e-07,8.796248e-07,8.701569e-07,8.578434e-07,8.551566e-07,8.456958e-07,8.337161e-07,8.313405e-07,8.219059e-07,8.102663e-07,8.081894e-07,7.987984e-07,7.875026e-07,7.857113e-07,7.763793e-07,7.654287e-07,7.639094e-07,7.546506e-07,7.440446e-07,7.427834e-07,7.336103e-07,7.233470e-07,7.223300e-07,7.132538e-07,7.033297e-07,7.025431e-07,6.935736e-07,6.839843e-07,6.834142e-07,6.745604e-07,6.653003e-07,6.649333e-07,6.562028e-07,6.472661e-07,6.470890e-07,6.384884e-07,6.298682e-07,6.132575e-07,5.972424e-07,5.818078e-07,5.669383e-07,5.526182e-07,5.388316e-07,5.255626e-07,5.127955e-07,5.005144e-07,4.887037e-07,4.773481e-07,4.664323e-07,4.559415e-07,4.458612e-07,4.361770e-07,4.268751e-07,4.179419e-07,4.093643e-07,4.011293e-07,3.932246e-07,3.856380e-07,3.783579e-07,3.713728e-07,3.646719e-07,3.582444e-07,3.520801e-07,3.461690e-07,3.405016e-07,3.350685e-07,3.298610e-07,3.248702e-07,3.200879e-07,3.155060e-07,3.111169e-07,3.069130e-07,3.028872e-07,2.990325e-07,2.953423e-07,2.918102e-07,2.884299e-07,2.851955e-07,2.821013e-07,2.791417e-07,2.763114e-07,2.736054e-07,2.710186e-07,2.685464e-07,2.661842e-07,2.639277e-07
0.000000e+00,1.648911e-09,1.166941e-07,1.247846e-07,2.025154e-06,1.335186e-05,1.425155e-05,5.459779e-05,1.295145e-04,1.355163e-04,2.535867e-04,3.844517e-04,3.964839e-04,5.516726e-04,6.941938e-04,7.099803e-04,8.657580e-04,9.982540e-04,1.015916e-03,1.158939e-03,1.275736e-03,1.294194e-03,1.421517e-03,1.522384e-03,1.540976e-03,1.652760e-03,1.738868e-03,1.757115e-03,1.854316e-03,1.927118e-03,1.944649e-03,2.028404e-03,2.089355e-03,2.105873e-03,2.177341e-03,2.227816e-03,2.243088e-03,2.303386e-03,2.344654e-03,2.358499e-03,2.408683e-03,2.441901e-03,2.454183e-03,2.495235e-03,2.521448e-03,2.532067e-03,2.564897e-03,2.585043e-03,2.593935e-03,2.619381e-03,2.634301e-03,2.641427e-03,2.660256e-03,2.670701e-03,2.676046e-03,2.688964e-03,2.695602e-03,2.699171e-03,2.706822e-03,2.710246e-03,2.712062e-03,2.715033e-03,2.715770e-03,2.715869e-03,2.714698e-03,2.713211e-03,2.711642e-03,2.706816e-03,2.703514e-03,2.700333e-03,2.692297e-03,2.687538e-03,2.682809e-03,2.671966e-03,2.666065e-03,2.659859e-03,2.646574e-03,2.639804e-03,2.632195e-03,2.616801e-03,2.609399e-03,2.600466e-03,2.583262e-03,2.575434e-03,2.565256e-03,2.546514e-03,2.538437e-03,2.527096e-03,2.507060e-03,2.498886e-03,2.486462e-03,2.465354e-03,2.457210e-03,2.443786e-03,2.421805e-03,2.413799e-03,2.399455e-03,2.376778e-03,2.369001e-03,2.353816e-03,2.330605e-03,2.323131e-03,2.307182e-03,2.283580e-03,2.276470e-03,2.259832e-03,2.235968e-03,2.229269e-03,2.212015e-03,2.188002e-03,2.181752e-03,2.163953e-03,2.139892e-03,2.134118e-03,2.115842e-03,2.091824e-03,2.086546e-03,2.067858e-03,2.043961e-03,2.039192e-03,2.020153e-03,1.996448e-03,1.992193e-03,1.972862e-03,1.949410e-03,1.945671e-03,1.926104e-03,1.902958e-03,1.899731e-03,1.879982e-03,1.857186e-03,1.854464e-03,1.834582e-03,1.812178e-03,1.809949e-03,1.789983e-03,1.768004e-03,1.766255e-03,1.746247e-03,1.724721e-03,1.723437e-03,1.703430e-03,1.682381e-03,1.681544e-03,1.661577e-03,1.641023e-03,1.640615e-03,1.620723e-03,1.600681e-03,1.561767e-03,1.523893e-03,1.487071e-03,1.451310e-03,1.416613e-03,1.382980e-03,1.350409e-03,1.318893e-03,1.288422e-03,1.258985e-03,1.230569e-03,1.203158e-03,1.176737e-03,1.151286e-03,1.126787e-03,1.103219e-03,1.080563e-03,1.058796e-03,1.037897e-03,1.017844e-03,9.986137e-04,9.801847e-04,9.625340e-04,9.456391e-04,9.294777e-04,9.140274e-04,8.992662e-04,8.851723e-04,8.717241e-04,8.589004e-04,8.466804e-04,8.350435e-04,8.239696e-04,8.134390e-04,8.034325e-04,7.939312e-04,7.849168e-04,7.763712e-04,7.682770e-04,7.606171e-04,7.533749e-04,7.465343e-04,7.400797e-04,7.339957e-04,7.282676e-04,7.228811e-04,7.178222e-04,7.130775e-04,7.086339e-04
0.000000e+00,6.398799e-10,4.164475e-08,4.438007e-08,6.280666e-07,4.166386e-06,4.463403e-06,2.030464e-05,6.259729e-05,6.672255e-05,1.718485e-04,3.484703e-04,3.683017e-04,6.866668e-04,1.097255e-03,1.150706e-03,1.775033e-03,2.461254e-03,2.564694e-03,3.515954e-03,4.454988e-03,4.617720e-03,5.853233e-03,6.979340e-03,7.201766e-03,8.640200e-03,9.869861e-03,1.014438e-02,1.169024e-02,1.294135e-02,1.325466e-02,1.481616e-02,1.601951e-02,1.635529e-02,1.785492e-02,1.895911e-02,1.930039e-02,2.067949e-02,2.165146e-02,2.198244e-02,2.320170e-02,2.402462e-02,2.433183e-02,2.536930e-02,2.603933e-02,2.631224e-02,2.716023e-02,2.768301e-02,2.791410e-02,2.857574e-02,2.896317e-02,2.914784e-02,2.963381e-02,2.990142e-02,3.003755e-02,3.036334e-02,3.052816e-02,3.061570e-02,3.079932e-02,3.087847e-02,3.091895e-02,3.097932e-02,3.098902e-02,3.098508e-02,3.094080e-02,3.089577e-02,3.085084e-02,3.071940e-02,3.063260e-02,3.055050e-02,3.034790e-02,3.023042e-02,3.011516e-02,2.985561e-02,2.971675e-02,2.957233e-02,2.926820e-02,2.911560e-02,2.894588e-02,2.860781e-02,2.844764e-02,2.825624e-02,2.789324e-02,2.773039e-02,2.752068e-02,2.714028e-02,2.697855e-02,2.675358e-02,2.636201e-02,2.620431e-02,2.596684e-02,2.556922e-02,2.541770e-02,2.517019e-02,2.477068e-02,2.462691e-02,2.437154e-02,2.397349e-02,2.383853e-02,2.357723e-02,2.318333e-02,2.305788e-02,2.279234e-02,2.240471e-02,2.228915e-02,2.202087e-02,2.164117e-02,2.153565e-02,2.126594e-02,2.089545e-02,2.079993e-02,2.052995e-02,2.016964e-02,2.008396e-02,1.981471e-02,1.946530e-02,1.938918e-02,1.912154e-02,1.878354e-02,1.871664e-02,1.845138e-02,1.812514e-02,1.806705e-02,1.780486e-02,1.749057e-02,1.744085e-02,1.718232e-02,1.688010e-02,1.683827e-02,1.658391e-02,1.629377e-02,1.625935e-02,1.600964e-02,1.573150e-02,1.570402e-02,1.545933e-02,1.519309e-02,1.517205e-02,1.493274e-02,1.467823e-02,1.466314e-02,1.442951e-02,1.418653e-02,1.417693e-02,1.394924e-02,1.371756e-02,1.371299e-02,1.349145e-02,1.327083e-02,1.284994e-02,1.244979e-02,1.206983e-02,1.170947e-02,1.136815e-02,1.104528e-02,1.074026e-02,1.045252e-02,1.018146e-02,9.926515e-03,9.687098e-03,9.462643e-03,9.252587e-03,9.056374e-03,8.873457e-03,8.703297e-03,8.545364e-03,8.399136e-03,8.264100e-03,8.139754e-03,8.025604e-03,7.921164e-03,7.825960e-03,7.739527e-03,7.661409e-03,7.591162e-03,7.528350e-03,7.472549e-03,7.423344e-03,7.380333e-03,7.343123e-03,7.311333e-03,7.284594e-03,7.262547e-03,7.244846e-03,7.231158e-03,7.221159e-03,7.214539e-03,7.211002e-03,7.210261e-03,7.212045e-03,7.216093e-03,7.222158e-03,7.230005e-03,7.239411e-03,7.250166e-03,7.262073e-03,7.274946e-03,7.288612e-03
0.000000e+00,3.016054e-10,1.842593e-08,1.961814e-08,2.707882e-07,1.796912e-06,1.925315e-06,8.754099e-06,2.651676e-05,2.821173e-05,6.957423e-05,1.333239e-04,1.401436e-04,2.428171e-04,3.613392e-04,3.758860e-04,5.341321e-04,6.884773e-04,7.103013e-04,8.964435e-04,1.058654e-03,1.084919e-03,1.269044e-03,1.416356e-03,1.443419e-03,1.604032e-03,1.723545e-03,1.748199e-03,1.874406e-03,1.962052e-03,1.982117e-03,2.071561e-03,2.129144e-03,2.143536e-03,2.199227e-03,2.231538e-03,2.240067e-03,2.267606e-03,2.280355e-03,2.283431e-03,2.289090e-03,2.287700e-03,2.286054e-03,2.275679e-03,2.264713e-03,2.259194e-03,2.237695e-03,2.220709e-03,2.212146e-03,2.183381e-03,2.162988e-03,2.152117e-03,2.118961e-03,2.096987e-03,2.084423e-03,2.048930e-03,2.026601e-03,2.012833e-03,1.976418e-03,1.954515e-03,1.939919e-03,1.903522e-03,1.882519e-03,1.867377e-03,1.831599e-03,1.811760e-03,1.796281e-03,1.761491e-03,1.742942e-03,1.727280e-03,1.693687e-03,1.676472e-03,1.660738e-03,1.628451e-03,1.612559e-03,1.596835e-03,1.565897e-03,1.551288e-03,1.535637e-03,1.506051e-03,1.492667e-03,1.477135e-03,1.448881e-03,1.436657e-03,1.421281e-03,1.394326e-03,1.383194e-03,1.368003e-03,1.342304e-03,1.332196e-03,1.317216e-03,1.292727e-03,1.283576e-03,1.268827e-03,1.245503e-03,1.237246e-03,1.222745e-03,1.200541e-03,1.193115e-03,1.178878e-03,1.157747e-03,1.151095e-03,1.137136e-03,1.117033e-03,1.111100e-03,1.097429e-03,1.078312e-03,1.073045e-03,1.059672e-03,1.041499e-03,1.036849e-03,1.023782e-03,1.006512e-03,1.002433e-03,9.896785e-04,9.732719e-04,9.697187e-04,9.572826e-04,9.417014e-04,9.386333e-04,9.265190e-04,9.117263e-04,9.091043e-04,8.973145e-04,8.832749e-04,8.810625e-04,8.695989e-04,8.562781e-04,8.544411e-04,8.433043e-04,8.306693e-04,8.291755e-04,8.183652e-04,8.063842e-04,8.052036e-04,7.947188e-04,7.833613e-04,7.824658e-04,7.723046e-04,7.615414e-04,7.609048e-04,7.510646e-04,7.408675e-04,7.404653e-04,7.309432e-04,7.212852e-04,7.210947e-04,7.118870e-04,7.027423e-04,6.853595e-04,6.689000e-04,6.533193e-04,6.385749e-04,6.246262e-04,6.114344e-04,5.989625e-04,5.871752e-04,5.760385e-04,5.655204e-04,5.555901e-04,5.462184e-04,5.373773e-04,5.290401e-04,5.211816e-04,5.137775e-04,5.068048e-04,5.002417e-04,4.940671e-04,4.882613e-04,4.828052e-04,4.776810e-04,4.728713e-04,4.683599e-04,4.641312e-04,4.601705e-04,4.564636e-04,4.529973e-04,4.497586e-04,4.467357e-04,4.439168e-04,4.412911e-04,4.388481e-04,4.365780e-04,4.344712e-04,4.325190e-04,4.307127e-04,4.290442e-04,4.275059e-04,4.260905e-04,4.247909e-04,4.236007e-04,4.225136e-04,4.215236e-04,4.206250e-04,4.198126e-04,4.190812e-04,4.184259e-04,4.178423e-04
0.000000e+00,5.972116e-09,7.339825e-08,7.648953e-08,4.409205e-07,1.463809e-06,1.525235e-06,3.482942e-06,5.697398e-06,5.840107e-06,8.151703e-06,1.011680e-05,1.027948e-05,1.220224e-05,1.376285e-05,1.392673e-05,1.546581e-05,1.667771e-05,1.683318e-05,1.804220e-05,1.896498e-05,1.910553e-05,2.003513e-05,2.072087e-05,2.084221e-05,2.153726e-05,2.203049e-05,2.213006e-05,2.262971e-05,2.296805e-05,2.304463e-05,2.338255e-05,2.359733e-05,2.365067e-05,2.385559e-05,2.397282e-05,2.400339e-05,2.409963e-05,2.414068e-05,2.414943e-05,2.415746e-05,2.413981e-05,2.412802e-05,2.406500e-05,2.400285e-05,2.397200e-05,2.385227e-05,2.375713e-05,2.370881e-05,2.354433e-05,2.342548e-05,2.336131e-05,2.316202e-05,2.302689e-05,2.294850e-05,2.272264e-05,2.257716e-05,2.248613e-05,2.224052e-05,2.208937e-05,2.198721e-05,2.172748e-05,2.157435e-05,2.146248e-05,2.119325e-05,2.104100e-05,2.092075e-05,2.064583e-05,2.049664e-05,2.036926e-05,2.009172e-05,1.994724e-05,1.981386e-05,1.953622e-05,1.939765e-05,1.925932e-05,1.898359e-05,1.885179e-05,1.870946e-05,1.843726e-05,1.831279e-05,1.816732e-05,1.789993e-05,1.778314e-05,1.763532e-05,1.737372e-05,1.726479e-05,1.711532e-05,1.686027e-05,1.675923e-05,1.660873e-05,1.636080e-05,1.626757e-05,1.611661e-05,1.587622e-05,1.579063e-05,1.563971e-05,1.540713e-05,1.532896e-05,1.517853e-05,1.495394e-05,1.488292e-05,1.473338e-05,1.451686e-05,1.445269e-05,1.430438e-05,1.409594e-05,1.403830e-05,1.389153e-05,1.369113e-05,1.363968e-05,1.349471e-05,1.330226e-05,1.325666e-05,1.311373e-05,1.292910e-05,1.288900e-05,1.274832e-05,1.257136e-05,1.253642e-05,1.239816e-05,1.222869e-05,1.219857e-05,1.206288e-05,1.190071e-05,1.187509e-05,1.174210e-05,1.158701e-05,1.156558e-05,1.143539e-05,1.128717e-05,1.126962e-05,1.114232e-05,1.100076e-05,1.098679e-05,1.086245e-05,1.072733e-05,1.071666e-05,1.059534e-05,1.046643e-05,1.045879e-05,1.034054e-05,1.021761e-05,1.021276e-05,1.009760e-05,9.980442e-06,9.978128e-06,9.866086e-06,9.754477e-06,9.541390e-06,9.338456e-06,9.145277e-06,8.961465e-06,8.786642e-06,8.620441e-06,8.462505e-06,8.312492e-06,8.170068e-06,8.034912e-06,7.906714e-06,7.785176e-06,7.670009e-06,7.560937e-06,7.457692e-06,7.360018e-06,7.267668e-06,7.180405e-06,7.098000e-06,7.020235e-06,6.946899e-06,6.877790e-06,6.812715e-06,6.751487e-06,6.693928e-06,6.639867e-06,6.589138e-06,6.541585e-06,6.497057e-06,6.455408e-06,6.416500e-06,6.380199e-06,6.346378e-06,6.314914e-06,6.285691e-06,6.258595e-06,6.233521e-06,6.210363e-06,6.189025e-06,6.169412e-06,6.151433e-06,6.135001e-06,6.120035e-06,6.106455e-06,6.094186e-06,6.083154e-06,6.073291e-06,6.064531e-06,6.056811e-06
0.000000e+00,1.849154e-09,2.837034e-08,2.967058e-08,1.877220e-07,6.151528e-07,6.399177e-07,1.391781e-06,2.195885e-06,2.247131e-06,3.078156e-06,3.793732e-06,3.853569e-06,4.569477e-06,5.164359e-06,5.227661e-06,5.831060e-06,6.319214e-06,6.382798e-06,6.885960e-06,7.282114e-06,7.343540e-06,7.758405e-06,8.075893e-06,8.133299e-06,8.470829e-06,8.721463e-06,8.773470e-06,9.043562e-06,9.237690e-06,9.283315e-06,9.494810e-06,9.641423e-06,9.680005e-06,9.840741e-06,9.947611e-06,9.978748e-06,1.009565e-05,1.016947e-05,1.019297e-05,1.027213e-05,1.031863e-05,1.033447e-05,1.038124e-05,1.040536e-05,1.041363e-05,1.043273e-05,1.043865e-05,1.043956e-05,1.043509e-05,1.042639e-05,1.042022e-05,1.039580e-05,1.037551e-05,1.036260e-05,1.032136e-05,1.029207e-05,1.027278e-05,1.021749e-05,1.018134e-05,1.015609e-05,1.008914e-05,1.004797e-05,1.001716e-05,9.940633e-06,9.895966e-06,9.860020e-06,9.775739e-06,9.728842e-06,9.688183e-06,9.597719e-06,9.549642e-06,9.504687e-06,9.409404e-06,9.361011e-06,9.312164e-06,9.213241e-06,9.165235e-06,9.112888e-06,9.011341e-06,8.964289e-06,8.908819e-06,8.805524e-06,8.759877e-06,8.701642e-06,8.597348e-06,8.553461e-06,8.492802e-06,8.388150e-06,8.346291e-06,8.283530e-06,8.179066e-06,8.139436e-06,8.074875e-06,7.971062e-06,7.933801e-06,7.867724e-06,7.764951e-06,7.730152e-06,7.662824e-06,7.561417e-06,7.529130e-06,7.460797e-06,7.361026e-06,7.331269e-06,7.262160e-06,7.164248e-06,7.137011e-06,7.067337e-06,6.971465e-06,6.946713e-06,6.876669e-06,6.782981e-06,6.760664e-06,6.690430e-06,6.599039e-06,6.579091e-06,6.508830e-06,6.419822e-06,6.402166e-06,6.332029e-06,6.245466e-06,6.230016e-06,6.160142e-06,6.076065e-06,6.062729e-06,5.993243e-06,5.911677e-06,5.900359e-06,5.831373e-06,5.752329e-06,5.742928e-06,5.674545e-06,5.598019e-06,5.590436e-06,5.522748e-06,5.448726e-06,5.442859e-06,5.375949e-06,5.304410e-06,5.300156e-06,5.234100e-06,5.165012e-06,5.162274e-06,5.097136e-06,5.030464e-06,5.029143e-06,4.964983e-06,4.900684e-06,4.776811e-06,4.657429e-06,4.542439e-06,4.431737e-06,4.325214e-06,4.222762e-06,4.124269e-06,4.029625e-06,3.938717e-06,3.851434e-06,3.767666e-06,3.687302e-06,3.610235e-06,3.536357e-06,3.465563e-06,3.397752e-06,3.332821e-06,3.270673e-06,3.211212e-06,3.154343e-06,3.099975e-06,3.048020e-06,2.998390e-06,2.951002e-06,2.905774e-06,2.862627e-06,2.821484e-06,2.782271e-06,2.744914e-06,2.709345e-06,2.675495e-06,2.643300e-06,2.612695e-06,2.583619e-06,2.556012e-06,2.529819e-06,2.504982e-06,2.481448e-06,2.459165e-06,2.438084e-06,2.418156e-06,2.399335e-06,2.381574e-06,2.364831e-06,2.349063e-06,2.334230e-06,2.320294e-06,2.307214e-06,2.294957e-06
0.000000e+00,1.330620e-09,7.798787e-08,8.294731e-08,1.073883e-06,6.624447e-06,7.076326e-06,2.996304e-05,8.579588e-05,9.098528e-05,2.137068e-04,3.941530e-04,4.130318e-04,6.901264e-04,9.973804e-04,1.034354e-03,1.428112e-03,1.799762e-03,1.851481e-03,2.285511e-03,2.654904e-03,2.714062e-03,3.124534e-03,3.448642e-03,3.507877e-03,3.858198e-03,4.118450e-03,4.172215e-03,4.448676e-03,4.642929e-03,4.687824e-03,4.890959e-03,5.025666e-03,5.060069e-03,5.197555e-03,5.282498e-03,5.306029e-03,5.388171e-03,5.433553e-03,5.446609e-03,5.483864e-03,5.498913e-03,5.502314e-03,5.504168e-03,5.496683e-03,5.491451e-03,5.466009e-03,5.442300e-03,5.429514e-03,5.383472e-03,5.348516e-03,5.329233e-03,5.268004e-03,5.225651e-03,5.200861e-03,5.128762e-03,5.081949e-03,5.052558e-03,4.973006e-03,4.923948e-03,4.890772e-03,4.806447e-03,4.756788e-03,4.720552e-03,4.633544e-03,4.584487e-03,4.545829e-03,4.457759e-03,4.410165e-03,4.369645e-03,4.281758e-03,4.236225e-03,4.194333e-03,4.107575e-03,4.064503e-03,4.021662e-03,3.936746e-03,3.896379e-03,3.852957e-03,3.770406e-03,3.732875e-03,3.689187e-03,3.609377e-03,3.574725e-03,3.531042e-03,3.454233e-03,3.422439e-03,3.378992e-03,3.305350e-03,3.276347e-03,3.233332e-03,3.162952e-03,3.136640e-03,3.094221e-03,3.027141e-03,3.003397e-03,2.961712e-03,2.897927e-03,2.876613e-03,2.835776e-03,2.775246e-03,2.756216e-03,2.716321e-03,2.658982e-03,2.642086e-03,2.603207e-03,2.548975e-03,2.534063e-03,2.496260e-03,2.445037e-03,2.431960e-03,2.395280e-03,2.346959e-03,2.335573e-03,2.300048e-03,2.254517e-03,2.244683e-03,2.210338e-03,2.167480e-03,2.159064e-03,2.125914e-03,2.085610e-03,2.078487e-03,2.046538e-03,2.008669e-03,2.002720e-03,1.971973e-03,1.936421e-03,1.931534e-03,1.901985e-03,1.868635e-03,1.864705e-03,1.836343e-03,1.805082e-03,1.802012e-03,1.774824e-03,1.745543e-03,1.743242e-03,1.717212e-03,1.689804e-03,1.688188e-03,1.663295e-03,1.637659e-03,1.636651e-03,1.612872e-03,1.588910e-03,1.588439e-03,1.565750e-03,1.543369e-03,1.501265e-03,1.461960e-03,1.425294e-03,1.391115e-03,1.359278e-03,1.329648e-03,1.302094e-03,1.276492e-03,1.252726e-03,1.230686e-03,1.210268e-03,1.191372e-03,1.173905e-03,1.157780e-03,1.142912e-03,1.129224e-03,1.116641e-03,1.105092e-03,1.094513e-03,1.084840e-03,1.076015e-03,1.067983e-03,1.060690e-03,1.054089e-03,1.048132e-03,1.042776e-03,1.037979e-03,1.033703e-03,1.029912e-03,1.026570e-03,1.023646e-03,1.021108e-03,1.018929e-03,1.017082e-03,1.015540e-03,1.014281e-03,1.013282e-03,1.012521e-03,1.011979e-03,1.011638e-03,1.011481e-03,1.011490e-03,1.011651e-03,1.011949e-03,1.012371e-03,1.012905e-03,1.013538e-03,1.014261e-03,1.015062e-03
0.000000e+00,6.888707e-09,1.520156e-07,1.597141e-07,1.152092e-06,3.760567e-06,3.902509e-06,7.813012e-06,1.158151e-05,1.181683e-05,1.561194e-05,1.887963e-05,1.915358e-05,2.244308e-05,2.519604e-05,2.549016e-05,2.830591e-05,3.060123e-05,3.090142e-05,3.328763e-05,3.518056e-05,3.547528e-05,3.747495e-05,3.901696e-05,3.929696e-05,4.095139e-05,4.218981e-05,4.244797e-05,4.379611e-05,4.477381e-05,4.500481e-05,4.608269e-05,4.683792e-05,4.703796e-05,4.787842e-05,4.844493e-05,4.861144e-05,4.924408e-05,4.965155e-05,4.978301e-05,5.023450e-05,5.050877e-05,5.060447e-05,5.089850e-05,5.106197e-05,5.112186e-05,5.127950e-05,5.135157e-05,5.137612e-05,5.141611e-05,5.141351e-05,5.140362e-05,5.134255e-05,5.127968e-05,5.123658e-05,5.108914e-05,5.097835e-05,5.090350e-05,5.068269e-05,5.053453e-05,5.042959e-05,5.014687e-05,4.997033e-05,4.983707e-05,4.950255e-05,4.930526e-05,4.914555e-05,4.876813e-05,4.855653e-05,4.837225e-05,4.795975e-05,4.773924e-05,4.753232e-05,4.709159e-05,4.686670e-05,4.663904e-05,4.617609e-05,4.595056e-05,4.570403e-05,4.522409e-05,4.500099e-05,4.473742e-05,4.424508e-05,4.402691e-05,4.374806e-05,4.324729e-05,4.303606e-05,4.274363e-05,4.223789e-05,4.203517e-05,4.173080e-05,4.122306e-05,4.103008e-05,4.071530e-05,4.020812e-05,4.002579e-05,3.970207e-05,3.919766e-05,3.902661e-05,3.869535e-05,3.819558e-05,3.803625e-05,3.769873e-05,3.720519e-05,3.705782e-05,3.671527e-05,3.622929e-05,3.609396e-05,3.574753e-05,3.527023e-05,3.514689e-05,3.479763e-05,3.432994e-05,3.421844e-05,3.386733e-05,3.340999e-05,3.331010e-05,3.295806e-05,3.251167e-05,3.242307e-05,3.207094e-05,3.163597e-05,3.155829e-05,3.120685e-05,3.078366e-05,3.071650e-05,3.036645e-05,2.995529e-05,2.989821e-05,2.955021e-05,2.915124e-05,2.910378e-05,2.875841e-05,2.837174e-05,2.833341e-05,2.799122e-05,2.761686e-05,2.758718e-05,2.724866e-05,2.688659e-05,2.686506e-05,2.653064e-05,2.618079e-05,2.616692e-05,2.583700e-05,2.549924e-05,2.549255e-05,2.516748e-05,2.484167e-05,2.421395e-05,2.360901e-05,2.302640e-05,2.246569e-05,2.192638e-05,2.140798e-05,2.090994e-05,2.043176e-05,1.997287e-05,1.953274e-05,1.911082e-05,1.870657e-05,1.831943e-05,1.794887e-05,1.759435e-05,1.725536e-05,1.693136e-05,1.662185e-05,1.632632e-05,1.604430e-05,1.577531e-05,1.551886e-05,1.527452e-05,1.504184e-05,1.482038e-05,1.460972e-05,1.440946e-05,1.421920e-05,1.403856e-05,1.386716e-05,1.370464e-05,1.355064e-05,1.340484e-05,1.326690e-05,1.313650e-05,1.301334e-05,1.289712e-05,1.278755e-05,1.268435e-05,1.258726e-05,1.249601e-05,1.241035e-05,1.233005e-05,1.225487e-05,1.218458e-05,1.211898e-05,1.205783e-05,1.200096e-05,1.194816e-05
0.000000e+00,1.395636e-08,3.994941e-07,4.207028e-07,3.703401e-06,1.653446e-05,1.741186e-05,4.976632e-05,9.376790e-05,9.678342e-05,1.474359e-04,1.922721e-04,1.960382e-04,2.411470e-04,2.786107e-04,2.825931e-04,3.204965e-04,3.510648e-04,3.550388e-04,3.864124e-04,4.110055e-04,4.148088e-04,4.404149e-04,4.599004e-04,4.634118e-04,4.839731e-04,4.991327e-04,5.022649e-04,5.184449e-04,5.299689e-04,5.326623e-04,5.450580e-04,5.535479e-04,5.557650e-04,5.649082e-04,5.708828e-04,5.726036e-04,5.789598e-04,5.828613e-04,5.840787e-04,5.880563e-04,5.902640e-04,5.909821e-04,5.929400e-04,5.937771e-04,5.940088e-04,5.942620e-04,5.940034e-04,5.937681e-04,5.925915e-04,5.914704e-04,5.907926e-04,5.884291e-04,5.866440e-04,5.855524e-04,5.822104e-04,5.799244e-04,5.784477e-04,5.743053e-04,5.716538e-04,5.698220e-04,5.650333e-04,5.621290e-04,5.599722e-04,5.546694e-04,5.516050e-04,5.491534e-04,5.434506e-04,5.403022e-04,5.375856e-04,5.315809e-04,5.284102e-04,5.254574e-04,5.192345e-04,5.160914e-04,5.129300e-04,5.065603e-04,5.034842e-04,5.001406e-04,4.936850e-04,4.907070e-04,4.872063e-04,4.807163e-04,4.778599e-04,4.742258e-04,4.677447e-04,4.650277e-04,4.612822e-04,4.548463e-04,4.522812e-04,4.484448e-04,4.420844e-04,4.396796e-04,4.357714e-04,4.295113e-04,4.272717e-04,4.233094e-04,4.171700e-04,4.150976e-04,4.110974e-04,4.050952e-04,4.031899e-04,3.991666e-04,3.933144e-04,3.915741e-04,3.875413e-04,3.818493e-04,3.802704e-04,3.762404e-04,3.707162e-04,3.692939e-04,3.652779e-04,3.599268e-04,3.586556e-04,3.546637e-04,3.494894e-04,3.483629e-04,3.444042e-04,3.394085e-04,3.384202e-04,3.345026e-04,3.296864e-04,3.288290e-04,3.249599e-04,3.203227e-04,3.195891e-04,3.157747e-04,3.113152e-04,3.106980e-04,3.069439e-04,3.026601e-04,3.021519e-04,2.984631e-04,2.943522e-04,2.939458e-04,2.903265e-04,2.863852e-04,2.860735e-04,2.825274e-04,2.787520e-04,2.785281e-04,2.750581e-04,2.714447e-04,2.713018e-04,2.679106e-04,2.644549e-04,2.643865e-04,2.610763e-04,2.577737e-04,2.514544e-04,2.454197e-04,2.396603e-04,2.341671e-04,2.289307e-04,2.239421e-04,2.191922e-04,2.146720e-04,2.103728e-04,2.062859e-04,2.024030e-04,1.987157e-04,1.952162e-04,1.918967e-04,1.887495e-04,1.857675e-04,1.829434e-04,1.802706e-04,1.777424e-04,1.753523e-04,1.730944e-04,1.709625e-04,1.689511e-04,1.670547e-04,1.652679e-04,1.635858e-04,1.620033e-04,1.605159e-04,1.591191e-04,1.578084e-04,1.565800e-04,1.554296e-04,1.543536e-04,1.533483e-04,1.524101e-04,1.515359e-04,1.507222e-04,1.499662e-04,1.492648e-04,1.486152e-04,1.480148e-04,1.474610e-04,1.469513e-04,1.464834e-04,1.460550e-04,1.456640e-04,1.453084e-04,1.449861e-04,1.446954e-04
0.000000e+00,4.401279e-09,1.463241e-07,1.544083e-07,1.495155e-06,7.411160e-06,7.842254e-06,2.558263e-05,5.453081e-05,5.667548e-05,9.455077e-05,1.292373e-04,1.321417e-04,1.664269e-04,1.939080e-04,1.967656e-04,2.232882e-04,2.437201e-04,2.463089e-04,2.661641e-04,2.809520e-04,2.831732e-04,2.976288e-04,3.079943e-04,3.097980e-04,3.199235e-04,3.268561e-04,3.282250e-04,3.349013e-04,3.391933e-04,3.401318e-04,3.440782e-04,3.463592e-04,3.468862e-04,3.486865e-04,3.494536e-04,3.495968e-04,3.497225e-04,3.493665e-04,3.491583e-04,3.479890e-04,3.468153e-04,3.462905e-04,3.441306e-04,3.423770e-04,3.415702e-04,3.386636e-04,3.365143e-04,3.354593e-04,3.320005e-04,3.295973e-04,3.283259e-04,3.244699e-04,3.219212e-04,3.204632e-04,3.163329e-04,3.137209e-04,3.121035e-04,3.077963e-04,3.051827e-04,3.034305e-04,2.990229e-04,2.964534e-04,2.945886e-04,2.901407e-04,2.876483e-04,2.856908e-04,2.812491e-04,2.788573e-04,2.768247e-04,2.724254e-04,2.701500e-04,2.680580e-04,2.637284e-04,2.615795e-04,2.594419e-04,2.552027e-04,2.531859e-04,2.510147e-04,2.468812e-04,2.449988e-04,2.428047e-04,2.387877e-04,2.370395e-04,2.348319e-04,2.309388e-04,2.293227e-04,2.271096e-04,2.233452e-04,2.218577e-04,2.196462e-04,2.160131e-04,2.146499e-04,2.124462e-04,2.089454e-04,2.077012e-04,2.055106e-04,2.021417e-04,2.010112e-04,1.988383e-04,1.956000e-04,1.945774e-04,1.924262e-04,1.893163e-04,1.883957e-04,1.862697e-04,1.832856e-04,1.824612e-04,1.803633e-04,1.775018e-04,1.767677e-04,1.747005e-04,1.719583e-04,1.713089e-04,1.692744e-04,1.666479e-04,1.660777e-04,1.640778e-04,1.615632e-04,1.610669e-04,1.591031e-04,1.566966e-04,1.562691e-04,1.543428e-04,1.520405e-04,1.516769e-04,1.497890e-04,1.475872e-04,1.472829e-04,1.454343e-04,1.433292e-04,1.430797e-04,1.412710e-04,1.392589e-04,1.390602e-04,1.372919e-04,1.353691e-04,1.352171e-04,1.334896e-04,1.316526e-04,1.315437e-04,1.298571e-04,1.281024e-04,1.280330e-04,1.263876e-04,1.247118e-04,1.246787e-04,1.230743e-04,1.214743e-04,1.184138e-04,1.154912e-04,1.127007e-04,1.100370e-04,1.074946e-04,1.050686e-04,1.027540e-04,1.005461e-04,9.844032e-05,9.643241e-05,9.451817e-05,9.269361e-05,9.095487e-05,8.929829e-05,8.772034e-05,8.621762e-05,8.478690e-05,8.342506e-05,8.212913e-05,8.089623e-05,7.972364e-05,7.860872e-05,7.754896e-05,7.654194e-05,7.558537e-05,7.467701e-05,7.381476e-05,7.299657e-05,7.222050e-05,7.148469e-05,7.078734e-05,7.012674e-05,6.950126e-05,6.890932e-05,6.834942e-05,6.782011e-05,6.732001e-05,6.684780e-05,6.640222e-05,6.598204e-05,6.558612e-05,6.521333e-05,6.486260e-05,6.453293e-05,6.422333e-05,6.393286e-05,6.366064e-05,6.340579e-05,6.316751e-05
0.000000e+00,8.338302e-10,5.365450e-08,5.721129e-08,8.515056e-07,5.955336e-06,6.391436e-06,2.996214e-05,9.224372e-05,9.821829e-05,2.448736e-04,4.729402e-04,4.974513e-04,8.688664e-04,1.303170e-03,1.356902e-03,1.948002e-03,2.537511e-03,2.622029e-03,3.356344e-03,4.019055e-03,4.128694e-03,4.918968e-03,5.584041e-03,5.710061e-03,6.488128e-03,7.108815e-03,7.242452e-03,7.965114e-03,8.516656e-03,8.650575e-03,9.295240e-03,9.768396e-03,9.897062e-03,1.045519e-02,1.085014e-02,1.096966e-02,1.144118e-02,1.176314e-02,1.187093e-02,1.226040e-02,1.251682e-02,1.261128e-02,1.292539e-02,1.312440e-02,1.320461e-02,1.345084e-02,1.360038e-02,1.366593e-02,1.385173e-02,1.395918e-02,1.401001e-02,1.414247e-02,1.421445e-02,1.425074e-02,1.433638e-02,1.437877e-02,1.440089e-02,1.444566e-02,1.446362e-02,1.447205e-02,1.448131e-02,1.447931e-02,1.447464e-02,1.445319e-02,1.443511e-02,1.441801e-02,1.437012e-02,1.433932e-02,1.431049e-02,1.424001e-02,1.419935e-02,1.415953e-02,1.406985e-02,1.402180e-02,1.397174e-02,1.386590e-02,1.381255e-02,1.375301e-02,1.363370e-02,1.357683e-02,1.350857e-02,1.337818e-02,1.331928e-02,1.324306e-02,1.310370e-02,1.304402e-02,1.296058e-02,1.281412e-02,1.275470e-02,1.266474e-02,1.251283e-02,1.245452e-02,1.235875e-02,1.220284e-02,1.214632e-02,1.204541e-02,1.188677e-02,1.183261e-02,1.172719e-02,1.156694e-02,1.151555e-02,1.140625e-02,1.124535e-02,1.119708e-02,1.108446e-02,1.092377e-02,1.087883e-02,1.076345e-02,1.060370e-02,1.056227e-02,1.044465e-02,1.028645e-02,1.024863e-02,1.012924e-02,9.973151e-03,9.938971e-03,9.818286e-03,9.664754e-03,9.634216e-03,9.512652e-03,9.362068e-03,9.335130e-03,9.213082e-03,9.065767e-03,9.042356e-03,8.920191e-03,8.776412e-03,8.756430e-03,8.634485e-03,8.494458e-03,8.477785e-03,8.356374e-03,8.220270e-03,8.206769e-03,8.086179e-03,7.954130e-03,7.943655e-03,7.824148e-03,7.696253e-03,7.688646e-03,7.570461e-03,7.446787e-03,7.441884e-03,7.325241e-03,7.205829e-03,7.203462e-03,7.088556e-03,6.973425e-03,6.751777e-03,6.538491e-03,6.333507e-03,6.136740e-03,5.948083e-03,5.767410e-03,5.594579e-03,5.429436e-03,5.271815e-03,5.121541e-03,4.978433e-03,4.842302e-03,4.712958e-03,4.590206e-03,4.473851e-03,4.363695e-03,4.259540e-03,4.161191e-03,4.068451e-03,3.981127e-03,3.899027e-03,3.821962e-03,3.749744e-03,3.682192e-03,3.619124e-03,3.560364e-03,3.505738e-03,3.455076e-03,3.408213e-03,3.364985e-03,3.325236e-03,3.288810e-03,3.255556e-03,3.225328e-03,3.197982e-03,3.173380e-03,3.151386e-03,3.131868e-03,3.114699e-03,3.099754e-03,3.086914e-03,3.076060e-03,3.067081e-03,3.059866e-03,3.054309e-03,3.050307e-03,3.047762e-03,3.046577e-03,3.046660e-03
0.000000e+00,5.369275e-09,2.208586e-07,2.336183e-07,2.417641e-06,1.239665e-05,1.313875e-05,4.524211e-05,1.043272e-04,1.090424e-04,1.996847e-04,2.934542e-04,3.016898e-04,4.024338e-04,4.869731e-04,4.959243e-04,5.803357e-04,6.470269e-04,6.555877e-04,7.221751e-04,7.729957e-04,7.807351e-04,8.319124e-04,8.696474e-04,8.763226e-04,9.145431e-04,9.416448e-04,9.471134e-04,9.745356e-04,9.930813e-04,9.972760e-04,1.015767e-03,1.027498e-03,1.030408e-03,1.041568e-03,1.047932e-03,1.049587e-03,1.054777e-03,1.056966e-03,1.057425e-03,1.057793e-03,1.056782e-03,1.056122e-03,1.052633e-03,1.049217e-03,1.047526e-03,1.040986e-03,1.035806e-03,1.033180e-03,1.024261e-03,1.017832e-03,1.014367e-03,1.003626e-03,9.963606e-04,9.921525e-04,9.800514e-04,9.722756e-04,9.674177e-04,9.543376e-04,9.463080e-04,9.408891e-04,9.271425e-04,9.190584e-04,9.131617e-04,8.990040e-04,8.910179e-04,8.847212e-04,8.703598e-04,8.625870e-04,8.559618e-04,8.415643e-04,8.340891e-04,8.272008e-04,8.129011e-04,8.057836e-04,7.986917e-04,7.845960e-04,7.778766e-04,7.706346e-04,7.568255e-04,7.505290e-04,7.431848e-04,7.297260e-04,7.238649e-04,7.164611e-04,7.034003e-04,6.979777e-04,6.905521e-04,6.779239e-04,6.729355e-04,6.655214e-04,6.533495e-04,6.487855e-04,6.414121e-04,6.297118e-04,6.255582e-04,6.182507e-04,6.070301e-04,6.032699e-04,5.960503e-04,5.853115e-04,5.819259e-04,5.748129e-04,5.645535e-04,5.615221e-04,5.545318e-04,5.447458e-04,5.420477e-04,5.351933e-04,5.258718e-04,5.234857e-04,5.167785e-04,5.079103e-04,5.058151e-04,4.992642e-04,4.908366e-04,4.890115e-04,4.826241e-04,4.746230e-04,4.730478e-04,4.668297e-04,4.592403e-04,4.578955e-04,4.518509e-04,4.446577e-04,4.435247e-04,4.376566e-04,4.308439e-04,4.299049e-04,4.242153e-04,4.177671e-04,4.170053e-04,4.114952e-04,4.053957e-04,4.047951e-04,3.994647e-04,3.936983e-04,3.932440e-04,3.880926e-04,3.826439e-04,3.823219e-04,3.773484e-04,3.722024e-04,3.719996e-04,3.672022e-04,3.623442e-04,3.622485e-04,3.576250e-04,3.530409e-04,3.443499e-04,3.361497e-04,3.284155e-04,3.211233e-04,3.142503e-04,3.077747e-04,3.016754e-04,2.959326e-04,2.905272e-04,2.854412e-04,2.806573e-04,2.761591e-04,2.719311e-04,2.679585e-04,2.642272e-04,2.607240e-04,2.574362e-04,2.543520e-04,2.514598e-04,2.487491e-04,2.462097e-04,2.438318e-04,2.416065e-04,2.395250e-04,2.375792e-04,2.357614e-04,2.340643e-04,2.324810e-04,2.310049e-04,2.296298e-04,2.283500e-04,2.271598e-04,2.260541e-04,2.250278e-04,2.240765e-04,2.231955e-04,2.223808e-04,2.216285e-04,2.209347e-04,2.202960e-04,2.197091e-04,2.191708e-04,2.186782e-04,2.182284e-04,2.178188e-04,2.174470e-04,2.171105e-04,2.168072e-04,2.165349e-04
0.000000e+00,2.889879e-10,2.122186e-08,2.269745e-08,3.840974e-07,2.862633e-06,3.076840e-06,1.461957e-05,4.424161e-05,4.702971e-05,1.137351e-04,2.138122e-04,2.244092e-04,3.826769e-04,5.641313e-04,5.863895e-04,8.290986e-04,1.067814e-03,1.101791e-03,1.394415e-03,1.654417e-03,1.697035e-03,2.000601e-03,2.250625e-03,2.297378e-03,2.581131e-03,2.800729e-03,2.847134e-03,3.092061e-03,3.271385e-03,3.313819e-03,3.511351e-03,3.648444e-03,3.684439e-03,3.833514e-03,3.931301e-03,3.959492e-03,4.063629e-03,4.127494e-03,4.147405e-03,4.212425e-03,4.248556e-03,4.260347e-03,4.292826e-03,4.307237e-03,4.311471e-03,4.317817e-03,4.315848e-03,4.313307e-03,4.299279e-03,4.285408e-03,4.276963e-03,4.247478e-03,4.225317e-03,4.211836e-03,4.170946e-03,4.143319e-03,4.125621e-03,4.076584e-03,4.045650e-03,4.024475e-03,3.969859e-03,3.937231e-03,3.913231e-03,3.855027e-03,3.821888e-03,3.795626e-03,3.735360e-03,3.702559e-03,3.674516e-03,3.613343e-03,3.581475e-03,3.552055e-03,3.490839e-03,3.460308e-03,3.429853e-03,3.369233e-03,3.340300e-03,3.309094e-03,3.249536e-03,3.222357e-03,3.190640e-03,3.132476e-03,3.107131e-03,3.075101e-03,3.018564e-03,2.995077e-03,2.962902e-03,2.908147e-03,2.886504e-03,2.854322e-03,2.801447e-03,2.781607e-03,2.749535e-03,2.698595e-03,2.680495e-03,2.648631e-03,2.599648e-03,2.583217e-03,2.551643e-03,2.504614e-03,2.489771e-03,2.458557e-03,2.413463e-03,2.400121e-03,2.369325e-03,2.326133e-03,2.314207e-03,2.283876e-03,2.242544e-03,2.231947e-03,2.202123e-03,2.162602e-03,2.153249e-03,2.123965e-03,2.086201e-03,2.078008e-03,2.049294e-03,2.013230e-03,2.006118e-03,1.977996e-03,1.943575e-03,1.937464e-03,1.909953e-03,1.877116e-03,1.871934e-03,1.845050e-03,1.813738e-03,1.809414e-03,1.783167e-03,1.753322e-03,1.749789e-03,1.724188e-03,1.695753e-03,1.692947e-03,1.668000e-03,1.640917e-03,1.638778e-03,1.614489e-03,1.588703e-03,1.587176e-03,1.563546e-03,1.539004e-03,1.538035e-03,1.515064e-03,1.491714e-03,1.491253e-03,1.468941e-03,1.446732e-03,1.404377e-03,1.364095e-03,1.325797e-03,1.289399e-03,1.254817e-03,1.221972e-03,1.190788e-03,1.161192e-03,1.133114e-03,1.106486e-03,1.081243e-03,1.057323e-03,1.034668e-03,1.013218e-03,9.929212e-04,9.737235e-04,9.555750e-04,9.384277e-04,9.222355e-04,9.069542e-04,8.925416e-04,8.789573e-04,8.661624e-04,8.541199e-04,8.427944e-04,8.321518e-04,8.221595e-04,8.127866e-04,8.040032e-04,7.957809e-04,7.880922e-04,7.809113e-04,7.742130e-04,7.679736e-04,7.621702e-04,7.567809e-04,7.517848e-04,7.471621e-04,7.428935e-04,7.389608e-04,7.353466e-04,7.320340e-04,7.290072e-04,7.262509e-04,7.237505e-04,7.214921e-04,7.194624e-04,7.176486e-04,7.160387e-04
0.000000e+00,7.691813e-09,2.124265e-07,2.236553e-07,1.967576e-06,8.869371e-06,9.345818e-06,2.728576e-05,5.254110e-05,5.429260e-05,8.382042e-05,1.098632e-04,1.120396e-04,1.379318e-04,1.591544e-04,1.613938e-04,1.825356e-04,1.993433e-04,2.015113e-04,2.184796e-04,2.315816e-04,2.335906e-04,2.469842e-04,2.570062e-04,2.587948e-04,2.691485e-04,2.766344e-04,2.781633e-04,2.859493e-04,2.913623e-04,2.926087e-04,2.982365e-04,3.019670e-04,3.029208e-04,3.067430e-04,3.091179e-04,3.097785e-04,3.120971e-04,3.133892e-04,3.137630e-04,3.148356e-04,3.152715e-04,3.153697e-04,3.154159e-04,3.151829e-04,3.150206e-04,3.142267e-04,3.134794e-04,3.130737e-04,3.115978e-04,3.104632e-04,3.098324e-04,3.078084e-04,3.063903e-04,3.055537e-04,3.030944e-04,3.014773e-04,3.004541e-04,2.976547e-04,2.959071e-04,2.947162e-04,2.916568e-04,2.898336e-04,2.884933e-04,2.852410e-04,2.833862e-04,2.819139e-04,2.785248e-04,2.766731e-04,2.750854e-04,2.716063e-04,2.697847e-04,2.680971e-04,2.645667e-04,2.627961e-04,2.610231e-04,2.574735e-04,2.557695e-04,2.539244e-04,2.503818e-04,2.487559e-04,2.468511e-04,2.433371e-04,2.417973e-04,2.398441e-04,2.363759e-04,2.349275e-04,2.329361e-04,2.295277e-04,2.281737e-04,2.261534e-04,2.228157e-04,2.215575e-04,2.195168e-04,2.162584e-04,2.150956e-04,2.130421e-04,2.098694e-04,2.088009e-04,2.067415e-04,2.036592e-04,2.026827e-04,2.006236e-04,1.976351e-04,1.967478e-04,1.946943e-04,1.918016e-04,1.910004e-04,1.889574e-04,1.861617e-04,1.854428e-04,1.834146e-04,1.807161e-04,1.800757e-04,1.780662e-04,1.754645e-04,1.748987e-04,1.729110e-04,1.704054e-04,1.699099e-04,1.679472e-04,1.655361e-04,1.651070e-04,1.631716e-04,1.608534e-04,1.604867e-04,1.585808e-04,1.563534e-04,1.560452e-04,1.541706e-04,1.520319e-04,1.517782e-04,1.499366e-04,1.478842e-04,1.476813e-04,1.458740e-04,1.439054e-04,1.437497e-04,1.419777e-04,1.400904e-04,1.399784e-04,1.382427e-04,1.364340e-04,1.363624e-04,1.346636e-04,1.329309e-04,1.328967e-04,1.312353e-04,1.295760e-04,1.263954e-04,1.233498e-04,1.204342e-04,1.176438e-04,1.149738e-04,1.124195e-04,1.099763e-04,1.076400e-04,1.054062e-04,1.032708e-04,1.012297e-04,9.927914e-05,9.741534e-05,9.563471e-05,9.393379e-05,9.230923e-05,9.075782e-05,8.927649e-05,8.786226e-05,8.651227e-05,8.522381e-05,8.399423e-05,8.282102e-05,8.170175e-05,8.063412e-05,7.961589e-05,7.864493e-05,7.771921e-05,7.683675e-05,7.599568e-05,7.519420e-05,7.443059e-05,7.370320e-05,7.301045e-05,7.235082e-05,7.172286e-05,7.112517e-05,7.055644e-05,7.001538e-05,6.950078e-05,6.901147e-05,6.854633e-05,6.810428e-05,6.768430e-05,6.728542e-05,6.690669e-05,6.654721e-05,6.620612e-05,6.588259e-05
0.000000e+00,1.439033e-08,3.660162e-07,3.854532e-07,3.062058e-06,1.046304e-05,1.086918e-05,2.208062e-05,3.293961e-05,3.362063e-05,4.466587e-05,5.428480e-05,5.509629e-05,6.490720e-05,7.322023e-05,7.411432e-05,8.273777e-05,8.986067e-05,9.079908e-05,9.832048e-05,1.043743e-04,1.053246e-04,1.118342e-04,1.169367e-04,1.178720e-04,1.234600e-04,1.277220e-04,1.286201e-04,1.333734e-04,1.368970e-04,1.377404e-04,1.417408e-04,1.446188e-04,1.453935e-04,1.487165e-04,1.510324e-04,1.517274e-04,1.544429e-04,1.562715e-04,1.568787e-04,1.590502e-04,1.604582e-04,1.609719e-04,1.626577e-04,1.637045e-04,1.641208e-04,1.653737e-04,1.661119e-04,1.664287e-04,1.672970e-04,1.677732e-04,1.679896e-04,1.685170e-04,1.687724e-04,1.688890e-04,1.691150e-04,1.691858e-04,1.692041e-04,1.691647e-04,1.690827e-04,1.690049e-04,1.687325e-04,1.685257e-04,1.683547e-04,1.678786e-04,1.675714e-04,1.673107e-04,1.666573e-04,1.662710e-04,1.659244e-04,1.651176e-04,1.646707e-04,1.642423e-04,1.633037e-04,1.628120e-04,1.623064e-04,1.612551e-04,1.607326e-04,1.601541e-04,1.590076e-04,1.584660e-04,1.578194e-04,1.565932e-04,1.560426e-04,1.553326e-04,1.540407e-04,1.534895e-04,1.527207e-04,1.513755e-04,1.508311e-04,1.500080e-04,1.486208e-04,1.480890e-04,1.472164e-04,1.457970e-04,1.452828e-04,1.443649e-04,1.429222e-04,1.424297e-04,1.414709e-04,1.400128e-04,1.395450e-04,1.385496e-04,1.370829e-04,1.366425e-04,1.356144e-04,1.341454e-04,1.337341e-04,1.326772e-04,1.312113e-04,1.308306e-04,1.297486e-04,1.282904e-04,1.279412e-04,1.268377e-04,1.253915e-04,1.250742e-04,1.239525e-04,1.225218e-04,1.222367e-04,1.211000e-04,1.196880e-04,1.194349e-04,1.182862e-04,1.168955e-04,1.166741e-04,1.155163e-04,1.141492e-04,1.139588e-04,1.127947e-04,1.114532e-04,1.112931e-04,1.101251e-04,1.088107e-04,1.086801e-04,1.075105e-04,1.062247e-04,1.061225e-04,1.049536e-04,1.036974e-04,1.036226e-04,1.024564e-04,1.012307e-04,1.011820e-04,1.000206e-04,9.882602e-05,9.880229e-05,9.764724e-05,9.648433e-05,9.422885e-05,9.203627e-05,8.990675e-05,8.784025e-05,8.583652e-05,8.389513e-05,8.201553e-05,8.019704e-05,7.843884e-05,7.674005e-05,7.509969e-05,7.351672e-05,7.199002e-05,7.051846e-05,6.910084e-05,6.773594e-05,6.642253e-05,6.515935e-05,6.394511e-05,6.277855e-05,6.165839e-05,6.058335e-05,5.955217e-05,5.856359e-05,5.761637e-05,5.670927e-05,5.584108e-05,5.501060e-05,5.421664e-05,5.345806e-05,5.273369e-05,5.204244e-05,5.138319e-05,5.075490e-05,5.015651e-05,4.958699e-05,4.904536e-05,4.853064e-05,4.804187e-05,4.757814e-05,4.713853e-05,4.672217e-05,4.632820e-05,4.595579e-05,4.560414e-05,4.527245e-05,4.495996e-05,4.466594e-05,4.438967e-05
0.000000e+00,6.382210e-10,4.487037e-08,4.792234e-08,7.533860e-07,5.314520e-06,5.701891e-06,2.621790e-05,7.844529e-05,8.337319e-05,2.024460e-04,3.853716e-04,4.050244e-04,7.044257e-04,1.060173e-03,1.104673e-03,1.601563e-03,2.110571e-03,2.184635e-03,2.839300e-03,3.446805e-03,3.548781e-03,4.295674e-03,4.939610e-03,5.063124e-03,5.835628e-03,6.463202e-03,6.599520e-03,7.343212e-03,7.917205e-03,8.057260e-03,8.734284e-03,9.233085e-03,9.368823e-03,9.957122e-03,1.037186e-02,1.049691e-02,1.098716e-02,1.131802e-02,1.142788e-02,1.181991e-02,1.207283e-02,1.216472e-02,1.246426e-02,1.264821e-02,1.272081e-02,1.293689e-02,1.306205e-02,1.311515e-02,1.325828e-02,1.333482e-02,1.336899e-02,1.344992e-02,1.348726e-02,1.350361e-02,1.353253e-02,1.353904e-02,1.353899e-02,1.352517e-02,1.350801e-02,1.349312e-02,1.344472e-02,1.340986e-02,1.338174e-02,1.330578e-02,1.325813e-02,1.321833e-02,1.312074e-02,1.306426e-02,1.301425e-02,1.289998e-02,1.283782e-02,1.277895e-02,1.265209e-02,1.258674e-02,1.252023e-02,1.238414e-02,1.231752e-02,1.224450e-02,1.210193e-02,1.203552e-02,1.195699e-02,1.181016e-02,1.174509e-02,1.166192e-02,1.151265e-02,1.144974e-02,1.136272e-02,1.121246e-02,1.115233e-02,1.106216e-02,1.091207e-02,1.085514e-02,1.076244e-02,1.061346e-02,1.056003e-02,1.046533e-02,1.031820e-02,1.026843e-02,1.017223e-02,1.002754e-02,9.981529e-03,9.884246e-03,9.742449e-03,9.700216e-03,9.602236e-03,9.463685e-03,9.425197e-03,9.326861e-03,9.191822e-03,9.157010e-03,9.058617e-03,8.927289e-03,8.896053e-03,8.797871e-03,8.670393e-03,8.642611e-03,8.544879e-03,8.421346e-03,8.396879e-03,8.299808e-03,8.180276e-03,8.158974e-03,8.062754e-03,7.947245e-03,7.928950e-03,7.833748e-03,7.722261e-03,7.706813e-03,7.612778e-03,7.505291e-03,7.492526e-03,7.399791e-03,7.296267e-03,7.286023e-03,7.194705e-03,7.095091e-03,7.087206e-03,6.997409e-03,6.901642e-03,6.895957e-03,6.807772e-03,6.715780e-03,6.712139e-03,6.625647e-03,6.537351e-03,6.535604e-03,6.450873e-03,6.366190e-03,6.203731e-03,6.048050e-03,5.898971e-03,5.756311e-03,5.619887e-03,5.489517e-03,5.365018e-03,5.246207e-03,5.132903e-03,5.024929e-03,4.922107e-03,4.824266e-03,4.731232e-03,4.642841e-03,4.558925e-03,4.479326e-03,4.403884e-03,4.332445e-03,4.264860e-03,4.200979e-03,4.140660e-03,4.083761e-03,4.030146e-03,3.979681e-03,3.932237e-03,3.887685e-03,3.845902e-03,3.806769e-03,3.770169e-03,3.735987e-03,3.704113e-03,3.674439e-03,3.646862e-03,3.621279e-03,3.597593e-03,3.575709e-03,3.555534e-03,3.536978e-03,3.519956e-03,3.504384e-03,3.490180e-03,3.477267e-03,3.465569e-03,3.455014e-03,3.445532e-03,3.437055e-03,3.429519e-03,3.422862e-03,3.417023e-03
0.000000e+00,4.154654e-10,2.808350e-08,2.995761e-08,4.380990e-07,2.878009e-06,3.079601e-06,1.342911e-05,3.916960e-05,4.158984e-05,1.000827e-04,1.901314e-04,1.998130e-04,3.472444e-04,5.218577e-04,5.436359e-04,7.856477e-04,1.031064e-03,1.066546e-03,1.377518e-03,1.661598e-03,1.708841e-03,2.050808e-03,2.339645e-03,2.394382e-03,2.731617e-03,2.998723e-03,3.055879e-03,3.361910e-03,3.590937e-03,3.645799e-03,3.904870e-03,4.088662e-03,4.137537e-03,4.343135e-03,4.481318e-03,4.521754e-03,4.674081e-03,4.770529e-03,4.801249e-03,4.904711e-03,4.965456e-03,4.986135e-03,5.047305e-03,5.079056e-03,5.090057e-03,5.116215e-03,5.125435e-03,5.127559e-03,5.125784e-03,5.118206e-03,5.112486e-03,5.089142e-03,5.069563e-03,5.057112e-03,5.017630e-03,4.989902e-03,4.971810e-03,4.920648e-03,4.887761e-03,4.865033e-03,4.805747e-03,4.769955e-03,4.743480e-03,4.678837e-03,4.641797e-03,4.612342e-03,4.544453e-03,4.507353e-03,4.475562e-03,4.406010e-03,4.369679e-03,4.336086e-03,4.266041e-03,4.231039e-03,4.196084e-03,4.126396e-03,4.093087e-03,4.057129e-03,3.988409e-03,3.957012e-03,3.920343e-03,3.853021e-03,3.823654e-03,3.786516e-03,3.720888e-03,3.693598e-03,3.656187e-03,3.592454e-03,3.567238e-03,3.529719e-03,3.468006e-03,3.444828e-03,3.407336e-03,3.347720e-03,3.326518e-03,3.289168e-03,3.231685e-03,3.212385e-03,3.175275e-03,3.119936e-03,3.102454e-03,3.065667e-03,3.012462e-03,2.996708e-03,2.960316e-03,2.909221e-03,2.895101e-03,2.859167e-03,2.810146e-03,2.797568e-03,2.762146e-03,2.715156e-03,2.704027e-03,2.669164e-03,2.624157e-03,2.614386e-03,2.580122e-03,2.537046e-03,2.528545e-03,2.494915e-03,2.453716e-03,2.446398e-03,2.413433e-03,2.374053e-03,2.367835e-03,2.335561e-03,2.297943e-03,2.292745e-03,2.261184e-03,2.225270e-03,2.221016e-03,2.190185e-03,2.155916e-03,2.152534e-03,2.122448e-03,2.089767e-03,2.087186e-03,2.057858e-03,2.026707e-03,2.024861e-03,1.996300e-03,1.966623e-03,1.965450e-03,1.937662e-03,1.909403e-03,1.908845e-03,1.881833e-03,1.854938e-03,1.803628e-03,1.754813e-03,1.708394e-03,1.664276e-03,1.622366e-03,1.582575e-03,1.544815e-03,1.509003e-03,1.475056e-03,1.442896e-03,1.412448e-03,1.383638e-03,1.356396e-03,1.330654e-03,1.306346e-03,1.283410e-03,1.261785e-03,1.241413e-03,1.222238e-03,1.204206e-03,1.187265e-03,1.171366e-03,1.156460e-03,1.142502e-03,1.129447e-03,1.117254e-03,1.105881e-03,1.095290e-03,1.085442e-03,1.076302e-03,1.067836e-03,1.060009e-03,1.052791e-03,1.046150e-03,1.040058e-03,1.034485e-03,1.029406e-03,1.024793e-03,1.020623e-03,1.016871e-03,1.013515e-03,1.010533e-03,1.007903e-03,1.005606e-03,1.003622e-03,1.001933e-03,1.000521e-03,9.993690e-04,9.984613e-04
0.000000e+00,1.617173e-08,4.764587e-07,5.026975e-07,4.461792e-06,1.790069e-05,1.874745e-05,4.668471e-05,7.948640e-05,8.163002e-05,1.168576e-04,1.476907e-04,1.502868e-04,1.815609e-04,2.078672e-04,2.106849e-04,2.377373e-04,2.599052e-04,2.628131e-04,2.860057e-04,3.045149e-04,3.074066e-04,3.271072e-04,3.424068e-04,3.451964e-04,3.617601e-04,3.742620e-04,3.768808e-04,3.906379e-04,4.007128e-04,4.031072e-04,4.143613e-04,4.223406e-04,4.244695e-04,4.334979e-04,4.396763e-04,4.415096e-04,4.485645e-04,4.532029e-04,4.547199e-04,4.600299e-04,4.633589e-04,4.645464e-04,4.683185e-04,4.705410e-04,4.713927e-04,4.738135e-04,4.751080e-04,4.756230e-04,4.768609e-04,4.773834e-04,4.775653e-04,4.777721e-04,4.776590e-04,4.775152e-04,4.768269e-04,4.761970e-04,4.757378e-04,4.742768e-04,4.732331e-04,4.724713e-04,4.703471e-04,4.689788e-04,4.679289e-04,4.652396e-04,4.636235e-04,4.623013e-04,4.591346e-04,4.573365e-04,4.557590e-04,4.521929e-04,4.502690e-04,4.484537e-04,4.445577e-04,4.425558e-04,4.405205e-04,4.363565e-04,4.343168e-04,4.320794e-04,4.277021e-04,4.256582e-04,4.232367e-04,4.186945e-04,4.166745e-04,4.140864e-04,4.094221e-04,4.074487e-04,4.047113e-04,3.999626e-04,3.980544e-04,3.951843e-04,3.903841e-04,3.885558e-04,3.855692e-04,3.807464e-04,3.790095e-04,3.759219e-04,3.711015e-04,3.694645e-04,3.662907e-04,3.614945e-04,3.599636e-04,3.567176e-04,3.519644e-04,3.505436e-04,3.472388e-04,3.425445e-04,3.412363e-04,3.378851e-04,3.332636e-04,3.320685e-04,3.286828e-04,3.241454e-04,3.230632e-04,3.196539e-04,3.152104e-04,3.142395e-04,3.108168e-04,3.064750e-04,3.056130e-04,3.021866e-04,2.979530e-04,2.971969e-04,2.937754e-04,2.896550e-04,2.890011e-04,2.855928e-04,2.815895e-04,2.810338e-04,2.776460e-04,2.737627e-04,2.733008e-04,2.699402e-04,2.661789e-04,2.658061e-04,2.624790e-04,2.588407e-04,2.585523e-04,2.552642e-04,2.517494e-04,2.515405e-04,2.482964e-04,2.449050e-04,2.447706e-04,2.415750e-04,2.383062e-04,2.382415e-04,2.350984e-04,2.319511e-04,2.258966e-04,2.200746e-04,2.144810e-04,2.091113e-04,2.039606e-04,1.990236e-04,1.942950e-04,1.897690e-04,1.854399e-04,1.813017e-04,1.773485e-04,1.735742e-04,1.699728e-04,1.665385e-04,1.632651e-04,1.601470e-04,1.571783e-04,1.543533e-04,1.516664e-04,1.491123e-04,1.466856e-04,1.443810e-04,1.421936e-04,1.401185e-04,1.381507e-04,1.362859e-04,1.345194e-04,1.328469e-04,1.312643e-04,1.297675e-04,1.283526e-04,1.270159e-04,1.257537e-04,1.245627e-04,1.234393e-04,1.223805e-04,1.213831e-04,1.204441e-04,1.195608e-04,1.187304e-04,1.179503e-04,1.172179e-04,1.165310e-04,1.158872e-04,1.152842e-04,1.147201e-04,1.141928e-04,1.137004e-04,1.132411e-04
0.000000e+00,5.793512e-09,1.903008e-07,2.005020e-07,1.766517e-06,8.104995e-06,8.553565e-06,2.649952e-05,5.530683e-05,5.744581e-05,9.532783e-05,1.296850e-04,1.325208e-04,1.652403e-04,1.901882e-04,1.927046e-04,2.152633e-04,2.315407e-04,2.335260e-04,2.480977e-04,2.580920e-04,2.595199e-04,2.682641e-04,2.738390e-04,2.747371e-04,2.792891e-04,2.818002e-04,2.822203e-04,2.837881e-04,2.842097e-04,2.842126e-04,2.836818e-04,2.827088e-04,2.823563e-04,2.803729e-04,2.784978e-04,2.778480e-04,2.748806e-04,2.724500e-04,2.715552e-04,2.679430e-04,2.651992e-04,2.641049e-04,2.600923e-04,2.572031e-04,2.559485e-04,2.517104e-04,2.487905e-04,2.474087e-04,2.430696e-04,2.401960e-04,2.387148e-04,2.343628e-04,2.315861e-04,2.300287e-04,2.257253e-04,2.230773e-04,2.214631e-04,2.172508e-04,2.147504e-04,2.130955e-04,2.090031e-04,2.066602e-04,2.049781e-04,2.010238e-04,1.988413e-04,1.971430e-04,1.933376e-04,1.913146e-04,1.896092e-04,1.859587e-04,1.840914e-04,1.823867e-04,1.788933e-04,1.771759e-04,1.754781e-04,1.721409e-04,1.705666e-04,1.688812e-04,1.656979e-04,1.642591e-04,1.625903e-04,1.595573e-04,1.582462e-04,1.565978e-04,1.537106e-04,1.525193e-04,1.508945e-04,1.481481e-04,1.470688e-04,1.454702e-04,1.428594e-04,1.418846e-04,1.403144e-04,1.378337e-04,1.369561e-04,1.354160e-04,1.330600e-04,1.322728e-04,1.307644e-04,1.285276e-04,1.278241e-04,1.263485e-04,1.242258e-04,1.235997e-04,1.221580e-04,1.201440e-04,1.195895e-04,1.181824e-04,1.162721e-04,1.157837e-04,1.144119e-04,1.126004e-04,1.121728e-04,1.108366e-04,1.091193e-04,1.087477e-04,1.074474e-04,1.058198e-04,1.054995e-04,1.042354e-04,1.026931e-04,1.024199e-04,1.011920e-04,9.973088e-05,9.950076e-05,9.830891e-05,9.692507e-05,9.673432e-05,9.557842e-05,9.426803e-05,9.411318e-05,9.299301e-05,9.175246e-05,9.163027e-05,9.054553e-05,8.937137e-05,8.927883e-05,8.822916e-05,8.711810e-05,8.705241e-05,8.603740e-05,8.498629e-05,8.494485e-05,8.396403e-05,8.296988e-05,8.295028e-05,8.200314e-05,8.106310e-05,7.927797e-05,7.758979e-05,7.599373e-05,7.448515e-05,7.305966e-05,7.171306e-05,7.044138e-05,6.924080e-05,6.810771e-05,6.703866e-05,6.603038e-05,6.507975e-05,6.418380e-05,6.333971e-05,6.254479e-05,6.179649e-05,6.109238e-05,6.043015e-05,5.980759e-05,5.922264e-05,5.867328e-05,5.815765e-05,5.767395e-05,5.722047e-05,5.679559e-05,5.639779e-05,5.602558e-05,5.567760e-05,5.535251e-05,5.504908e-05,5.476610e-05,5.450246e-05,5.425709e-05,5.402896e-05,5.381711e-05,5.362064e-05,5.343867e-05,5.327038e-05,5.311500e-05,5.297178e-05,5.284001e-05,5.271905e-05,5.260826e-05,5.250703e-05,5.241482e-05,5.233107e-05,5.225529e-05,5.218700e-05,5.212574e-05
0.000000e+00,1.363567e-09,7.970624e-08,8.479135e-08,1.124951e-06,7.242335e-06,7.751718e-06,3.453265e-05,1.034163e-04,1.099602e-04,2.683480e-04,5.078071e-04,5.331103e-04,9.075666e-04,1.326737e-03,1.377348e-03,1.917831e-03,2.429865e-03,2.501246e-03,3.101511e-03,3.614415e-03,3.696769e-03,4.270235e-03,4.726293e-03,4.810040e-03,5.308551e-03,5.683462e-03,5.761538e-03,6.167341e-03,6.458096e-03,6.526156e-03,6.839446e-03,7.053655e-03,7.109490e-03,7.339047e-03,7.488274e-03,7.531116e-03,7.688765e-03,7.785049e-03,7.815020e-03,7.912795e-03,7.967117e-03,7.984853e-03,8.033772e-03,8.055535e-03,8.061942e-03,8.071564e-03,8.068549e-03,8.064655e-03,8.043057e-03,8.021577e-03,8.008448e-03,7.962351e-03,7.927464e-03,7.906149e-03,7.841095e-03,7.796817e-03,7.768321e-03,7.688850e-03,7.638341e-03,7.603606e-03,7.513425e-03,7.459156e-03,7.419056e-03,7.321179e-03,7.265065e-03,7.220403e-03,7.117277e-03,7.060787e-03,7.012292e-03,6.905892e-03,6.850138e-03,6.798472e-03,6.690388e-03,6.636197e-03,6.581957e-03,6.473462e-03,6.421437e-03,6.365156e-03,6.257263e-03,6.207826e-03,6.149981e-03,6.043488e-03,5.996921e-03,5.937938e-03,5.833468e-03,5.789941e-03,5.730196e-03,5.628228e-03,5.587826e-03,5.527652e-03,5.428546e-03,5.391285e-03,5.330976e-03,5.234998e-03,5.200845e-03,5.140658e-03,5.047995e-03,5.016877e-03,4.957039e-03,4.867815e-03,4.839631e-03,4.780339e-03,4.694624e-03,4.669254e-03,4.610677e-03,4.528502e-03,4.505810e-03,4.448097e-03,4.369457e-03,4.349300e-03,4.292576e-03,4.217443e-03,4.199670e-03,4.144045e-03,4.072368e-03,4.056828e-03,4.002394e-03,3.934104e-03,3.920647e-03,3.867480e-03,3.802499e-03,3.790976e-03,3.739140e-03,3.677379e-03,3.667644e-03,3.617192e-03,3.558555e-03,3.550468e-03,3.501442e-03,3.445827e-03,3.439253e-03,3.391685e-03,3.338990e-03,3.333799e-03,3.287714e-03,3.237831e-03,3.233900e-03,3.189316e-03,3.142140e-03,3.139352e-03,3.096278e-03,3.051703e-03,3.049947e-03,3.008389e-03,2.966310e-03,2.965480e-03,2.925439e-03,2.885751e-03,2.810560e-03,2.739713e-03,2.673020e-03,2.610296e-03,2.551361e-03,2.496041e-03,2.444169e-03,2.395580e-03,2.350118e-03,2.307631e-03,2.267973e-03,2.231003e-03,2.196585e-03,2.164589e-03,2.134889e-03,2.107366e-03,2.081904e-03,2.058392e-03,2.036723e-03,2.016795e-03,1.998512e-03,1.981778e-03,1.966504e-03,1.952605e-03,1.939998e-03,1.928605e-03,1.918350e-03,1.909161e-03,1.900971e-03,1.893714e-03,1.887327e-03,1.881751e-03,1.876929e-03,1.872808e-03,1.869337e-03,1.866466e-03,1.864149e-03,1.862343e-03,1.861006e-03,1.860099e-03,1.859585e-03,1.859428e-03,1.859595e-03,1.860055e-03,1.860780e-03,1.861740e-03,1.862910e-03,1.864266e-03,1.865786e-03
0.000000e+00,8.067505e-10,7.467420e-09,7.733621e-09,3.390569e-08,9.683843e-08,1.005446e-07,2.251598e-07,3.958237e-07,4.081999e-07,6.323972e-07,8.538680e-07,8.732102e-07,1.110439e-06,1.311798e-06,1.333294e-06,1.538008e-06,1.702669e-06,1.724016e-06,1.891900e-06,2.022508e-06,2.042614e-06,2.177212e-06,2.278600e-06,2.296760e-06,2.402295e-06,2.479078e-06,2.494813e-06,2.575263e-06,2.631540e-06,2.644544e-06,2.703501e-06,2.742836e-06,2.752933e-06,2.793586e-06,2.819043e-06,2.826160e-06,2.851312e-06,2.865507e-06,2.869653e-06,2.881755e-06,2.886906e-06,2.888152e-06,2.889339e-06,2.887320e-06,2.885781e-06,2.877908e-06,2.870295e-06,2.866120e-06,2.850791e-06,2.838902e-06,2.832266e-06,2.810866e-06,2.795800e-06,2.786890e-06,2.760613e-06,2.743279e-06,2.732291e-06,2.702162e-06,2.683308e-06,2.670444e-06,2.637339e-06,2.617578e-06,2.603035e-06,2.567704e-06,2.547530e-06,2.531505e-06,2.494584e-06,2.474395e-06,2.457076e-06,2.419105e-06,2.399214e-06,2.380783e-06,2.342215e-06,2.322868e-06,2.303495e-06,2.264712e-06,2.246096e-06,2.225943e-06,2.187260e-06,2.169514e-06,2.148730e-06,2.110411e-06,2.093632e-06,2.072357e-06,2.034617e-06,2.018869e-06,1.997232e-06,1.960243e-06,1.945566e-06,1.923683e-06,1.887584e-06,1.873993e-06,1.851972e-06,1.816871e-06,1.804363e-06,1.782301e-06,1.748281e-06,1.736842e-06,1.714825e-06,1.681946e-06,1.671548e-06,1.649654e-06,1.617958e-06,1.608567e-06,1.586865e-06,1.556378e-06,1.547951e-06,1.526502e-06,1.497239e-06,1.489730e-06,1.468587e-06,1.440548e-06,1.433910e-06,1.413119e-06,1.386297e-06,1.380477e-06,1.360079e-06,1.334459e-06,1.329407e-06,1.309434e-06,1.284996e-06,1.280659e-06,1.261140e-06,1.237858e-06,1.234186e-06,1.215143e-06,1.192988e-06,1.189930e-06,1.171383e-06,1.150321e-06,1.147829e-06,1.129792e-06,1.109788e-06,1.107816e-06,1.090300e-06,1.071318e-06,1.069821e-06,1.052833e-06,1.034834e-06,1.033770e-06,1.017314e-06,1.000262e-06,9.995891e-07,9.836676e-07,9.675222e-07,9.672038e-07,9.518159e-07,9.365391e-07,9.075208e-07,8.800754e-07,8.541311e-07,8.296176e-07,8.064664e-07,7.846110e-07,7.639871e-07,7.445324e-07,7.261871e-07,7.088937e-07,6.925970e-07,6.772442e-07,6.627848e-07,6.491705e-07,6.363554e-07,6.242954e-07,6.129490e-07,6.022763e-07,5.922398e-07,5.828037e-07,5.739339e-07,5.655984e-07,5.577667e-07,5.504098e-07,5.435006e-07,5.370132e-07,5.309231e-07,5.252074e-07,5.198442e-07,5.148129e-07,5.100942e-07,5.056697e-07,5.015221e-07,4.976352e-07,4.939935e-07,4.905825e-07,4.873887e-07,4.843992e-07,4.816018e-07,4.789850e-07,4.765382e-07,4.742513e-07,4.721146e-07,4.701192e-07,4.682567e-07,4.665191e-07,4.648990e-07,4.633892e-07,4.619832e-07
0.000000e+00,1.452619e-09,9.794205e-08,1.046574e-07,1.669093e-06,1.117914e-05,1.194898e-05,4.807564e-05,1.200028e-04,1.259280e-04,2.451857e-04,3.806188e-04,3.931573e-04,5.554649e-04,7.048482e-04,7.213900e-04,8.844465e-04,1.022810e-03,1.041229e-03,1.190182e-03,1.311573e-03,1.330740e-03,1.462832e-03,1.567359e-03,1.586616e-03,1.702354e-03,1.791471e-03,1.810354e-03,1.910935e-03,1.986277e-03,2.004422e-03,2.091134e-03,2.154268e-03,2.171384e-03,2.245474e-03,2.297843e-03,2.313697e-03,2.376335e-03,2.419253e-03,2.433661e-03,2.485936e-03,2.520587e-03,2.533409e-03,2.576323e-03,2.603774e-03,2.614908e-03,2.649384e-03,2.670590e-03,2.679964e-03,2.706849e-03,2.722664e-03,2.730233e-03,2.750303e-03,2.761491e-03,2.767236e-03,2.781200e-03,2.788440e-03,2.792360e-03,2.800868e-03,2.804763e-03,2.806874e-03,2.810519e-03,2.811605e-03,2.811939e-03,2.811262e-03,2.810013e-03,2.808611e-03,2.804105e-03,2.800940e-03,2.797856e-03,2.789971e-03,2.785258e-03,2.780551e-03,2.769695e-03,2.763758e-03,2.757496e-03,2.744042e-03,2.737163e-03,2.729417e-03,2.713702e-03,2.706128e-03,2.696973e-03,2.679305e-03,2.671251e-03,2.660765e-03,2.641420e-03,2.633071e-03,2.621334e-03,2.600565e-03,2.592079e-03,2.579171e-03,2.557206e-03,2.548720e-03,2.534721e-03,2.511765e-03,2.503394e-03,2.488384e-03,2.464623e-03,2.456464e-03,2.440522e-03,2.416122e-03,2.408257e-03,2.391460e-03,2.366572e-03,2.359067e-03,2.341491e-03,2.316249e-03,2.309157e-03,2.290876e-03,2.265401e-03,2.258764e-03,2.239850e-03,2.214249e-03,2.208100e-03,2.188622e-03,2.162991e-03,2.157354e-03,2.137379e-03,2.111803e-03,2.106694e-03,2.086285e-03,2.060840e-03,2.056270e-03,2.035487e-03,2.010240e-03,2.006211e-03,1.985114e-03,1.960123e-03,1.956636e-03,1.935280e-03,1.910596e-03,1.907645e-03,1.886083e-03,1.861750e-03,1.859327e-03,1.837608e-03,1.813665e-03,1.811759e-03,1.789931e-03,1.766411e-03,1.765007e-03,1.743113e-03,1.720044e-03,1.719126e-03,1.697210e-03,1.674615e-03,1.674166e-03,1.652265e-03,1.630164e-03,1.587154e-03,1.545161e-03,1.504205e-03,1.464301e-03,1.425460e-03,1.387686e-03,1.350983e-03,1.315348e-03,1.280778e-03,1.247266e-03,1.214802e-03,1.183376e-03,1.152975e-03,1.123584e-03,1.095187e-03,1.067768e-03,1.041308e-03,1.015789e-03,9.911921e-04,9.674968e-04,9.446829e-04,9.227300e-04,9.016171e-04,8.813234e-04,8.618277e-04,8.431092e-04,8.251467e-04,8.079195e-04,7.914069e-04,7.755884e-04,7.604435e-04,7.459526e-04,7.320956e-04,7.188534e-04,7.062067e-04,6.941367e-04,6.826251e-04,6.716539e-04,6.612053e-04,6.512620e-04,6.418071e-04,6.328242e-04,6.242970e-04,6.162099e-04,6.085474e-04,6.012947e-04,5.944370e-04,5.879603e-04,5.818505e-04
0.000000e+00,2.273458e-10,2.751371e-09,2.867877e-09,1.680402e-08,5.752266e-08,6.004820e-08,1.464032e-07,2.578906e-07,2.654445e-07,3.899791e-07,4.949978e-07,5.035477e-07,6.023412e-07,6.789892e-07,6.868327e-07,7.584148e-07,8.118999e-07,8.185600e-07,8.686362e-07,9.045900e-07,9.098733e-07,9.433662e-07,9.662294e-07,9.700861e-07,9.908928e-07,1.004078e-06,1.006546e-06,1.017716e-06,1.023823e-06,1.024994e-06,1.028899e-06,1.029901e-06,1.029891e-06,1.028370e-06,1.025754e-06,1.024691e-06,1.019164e-06,1.014045e-06,1.012060e-06,1.003617e-06,9.968281e-07,9.940451e-07,9.835260e-07,9.756857e-07,9.722199e-07,9.602661e-07,9.518306e-07,9.477868e-07,9.348881e-07,9.261907e-07,9.216625e-07,9.081908e-07,8.994724e-07,8.945429e-07,8.807795e-07,8.722114e-07,8.669529e-07,8.531085e-07,8.448102e-07,8.392862e-07,8.255196e-07,8.175720e-07,8.118375e-07,7.982640e-07,7.907183e-07,7.848203e-07,7.715246e-07,7.644118e-07,7.583920e-07,7.454348e-07,7.387699e-07,7.326633e-07,7.200856e-07,7.138716e-07,7.077086e-07,6.955376e-07,6.897699e-07,6.835765e-07,6.718281e-07,6.664958e-07,6.602942e-07,6.489760e-07,6.440644e-07,6.378738e-07,6.269876e-07,6.224796e-07,6.163165e-07,6.058594e-07,6.017361e-07,5.956147e-07,5.855806e-07,5.818224e-07,5.757549e-07,5.661351e-07,5.627220e-07,5.567188e-07,5.475031e-07,5.444150e-07,5.384851e-07,5.296619e-07,5.268791e-07,5.210303e-07,5.125873e-07,5.100907e-07,5.043296e-07,4.962539e-07,4.940249e-07,4.883571e-07,4.806358e-07,4.786566e-07,4.730868e-07,4.657069e-07,4.639605e-07,4.584927e-07,4.514411e-07,4.499113e-07,4.445489e-07,4.378129e-07,4.364842e-07,4.312300e-07,4.247970e-07,4.236547e-07,4.185109e-07,4.123687e-07,4.113991e-07,4.063674e-07,4.005042e-07,3.996942e-07,3.947760e-07,3.891801e-07,3.885174e-07,3.837137e-07,3.783741e-07,3.778470e-07,3.731585e-07,3.680643e-07,3.676619e-07,3.630889e-07,3.582299e-07,3.579420e-07,3.534846e-07,3.488506e-07,3.486675e-07,3.443255e-07,3.399071e-07,3.398198e-07,3.355928e-07,3.313806e-07,3.233326e-07,3.156592e-07,3.083441e-07,3.013721e-07,2.947283e-07,2.883985e-07,2.823692e-07,2.766272e-07,2.711601e-07,2.659560e-07,2.610031e-07,2.562907e-07,2.518081e-07,2.475451e-07,2.434922e-07,2.396400e-07,2.359796e-07,2.325024e-07,2.292004e-07,2.260657e-07,2.230908e-07,2.202686e-07,2.175921e-07,2.150548e-07,2.126505e-07,2.103730e-07,2.082166e-07,2.061758e-07,2.042453e-07,2.024200e-07,2.006951e-07,1.990660e-07,1.975282e-07,1.960774e-07,1.947097e-07,1.934211e-07,1.922079e-07,1.910666e-07,1.899937e-07,1.889861e-07,1.880405e-07,1.871540e-07,1.863239e-07,1.855473e-07,1.848216e-07,1.841445e-07,1.835134e-07,1.829261e-07,1.823805e-07
0.000000e+00,2.337129e-08,5.863485e-07,6.147920e-07,4.362503e-06,1.725458e-05,1.812327e-05,5.174877e-05,1.060033e-04,1.101349e-04,1.865901e-04,2.624367e-04,2.690352e-04,3.499385e-04,4.192249e-04,4.266888e-04,4.986777e-04,5.580551e-04,5.658677e-04,6.283739e-04,6.785049e-04,6.863567e-04,7.399948e-04,7.818302e-04,7.894757e-04,8.349906e-04,8.694879e-04,8.767312e-04,9.148873e-04,9.429563e-04,9.496447e-04,9.811843e-04,1.003664e-03,1.009681e-03,1.035304e-03,1.052954e-03,1.058214e-03,1.078567e-03,1.092070e-03,1.096512e-03,1.112190e-03,1.122151e-03,1.125737e-03,1.137282e-03,1.144238e-03,1.146947e-03,1.154850e-03,1.159274e-03,1.161102e-03,1.165808e-03,1.168117e-03,1.169070e-03,1.170982e-03,1.171540e-03,1.171636e-03,1.171116e-03,1.170241e-03,1.169505e-03,1.166880e-03,1.164849e-03,1.163314e-03,1.158877e-03,1.155930e-03,1.153634e-03,1.147647e-03,1.143992e-03,1.140976e-03,1.133675e-03,1.129490e-03,1.125798e-03,1.117393e-03,1.112830e-03,1.108508e-03,1.099188e-03,1.094377e-03,1.089472e-03,1.079402e-03,1.074453e-03,1.069014e-03,1.058342e-03,1.053347e-03,1.047420e-03,1.036279e-03,1.031315e-03,1.024948e-03,1.013453e-03,1.008583e-03,1.001820e-03,9.900746e-04,9.853495e-04,9.782377e-04,9.663308e-04,9.617920e-04,9.543737e-04,9.423848e-04,9.380643e-04,9.303812e-04,9.183792e-04,9.143015e-04,9.063935e-04,8.944382e-04,8.906211e-04,8.825262e-04,8.706695e-04,8.671250e-04,8.588793e-04,8.471657e-04,8.439010e-04,8.355384e-04,8.240062e-04,8.210244e-04,8.125770e-04,8.012583e-04,7.985590e-04,7.900569e-04,7.789789e-04,7.765589e-04,7.680300e-04,7.572153e-04,7.550688e-04,7.465393e-04,7.360062e-04,7.341257e-04,7.256196e-04,7.153829e-04,7.137591e-04,7.052989e-04,6.953701e-04,6.939926e-04,6.855988e-04,6.759866e-04,6.748439e-04,6.665353e-04,6.572459e-04,6.563259e-04,6.481196e-04,6.391570e-04,6.384471e-04,6.303587e-04,6.217249e-04,6.212121e-04,6.132557e-04,6.049510e-04,6.046222e-04,5.968105e-04,5.888337e-04,5.886758e-04,5.810200e-04,5.733688e-04,5.586947e-04,5.446454e-04,5.312109e-04,5.183800e-04,5.061403e-04,4.944785e-04,4.833807e-04,4.728319e-04,4.628171e-04,4.533206e-04,4.443265e-04,4.358190e-04,4.277818e-04,4.201988e-04,4.130541e-04,4.063316e-04,4.000157e-04,3.940907e-04,3.885411e-04,3.833520e-04,3.785085e-04,3.739960e-04,3.698003e-04,3.659075e-04,3.623041e-04,3.589770e-04,3.559131e-04,3.531002e-04,3.505260e-04,3.481788e-04,3.460473e-04,3.441203e-04,3.423872e-04,3.408377e-04,3.394617e-04,3.382498e-04,3.371926e-04,3.362812e-04,3.355069e-04,3.348614e-04,3.343369e-04,3.339256e-04,3.336201e-04,3.334135e-04,3.332989e-04,3.332698e-04,3.333202e-04,3.334439e-04,3.336354e-04
0.000000e+00,1.650416e-09,7.707497e-08,8.161508e-08,8.740587e-07,4.793234e-06,5.101202e-06,2.012843e-05,5.541052e-05,5.864513e-05,1.336691e-04,2.391816e-04,2.498904e-04,4.000932e-04,5.525902e-04,5.700435e-04,7.454490e-04,8.958108e-04,9.157283e-04,1.074534e-03,1.199532e-03,1.218803e-03,1.347570e-03,1.443890e-03,1.461048e-03,1.560040e-03,1.631136e-03,1.645594e-03,1.718832e-03,1.769300e-03,1.780860e-03,1.832727e-03,1.866761e-03,1.875411e-03,1.909814e-03,1.930934e-03,1.936764e-03,1.957018e-03,1.968104e-03,1.971267e-03,1.980139e-03,1.983522e-03,1.984208e-03,1.983993e-03,1.981549e-03,1.979968e-03,1.972562e-03,1.965795e-03,1.962164e-03,1.949128e-03,1.939235e-03,1.933772e-03,1.916388e-03,1.904318e-03,1.897236e-03,1.876553e-03,1.863056e-03,1.854555e-03,1.831434e-03,1.817095e-03,1.807364e-03,1.782504e-03,1.767780e-03,1.756995e-03,1.730965e-03,1.716204e-03,1.704529e-03,1.677789e-03,1.663256e-03,1.650837e-03,1.623758e-03,1.609650e-03,1.596623e-03,1.569501e-03,1.555962e-03,1.542448e-03,1.515518e-03,1.502649e-03,1.488757e-03,1.462205e-03,1.450072e-03,1.435899e-03,1.409869e-03,1.398511e-03,1.384144e-03,1.358746e-03,1.348183e-03,1.333698e-03,1.309016e-03,1.299249e-03,1.284716e-03,1.260809e-03,1.251830e-03,1.237306e-03,1.214216e-03,1.206005e-03,1.191544e-03,1.169297e-03,1.161830e-03,1.147477e-03,1.126086e-03,1.119332e-03,1.105127e-03,1.084598e-03,1.078523e-03,1.064499e-03,1.044829e-03,1.039397e-03,1.025584e-03,1.006763e-03,1.001938e-03,9.883603e-04,9.703733e-04,9.661177e-04,9.527970e-04,9.356266e-04,9.319030e-04,9.188567e-04,9.024819e-04,8.992539e-04,8.864965e-04,8.708945e-04,8.681264e-04,8.556698e-04,8.408161e-04,8.384736e-04,8.263271e-04,8.121963e-04,8.102462e-04,7.984172e-04,7.849832e-04,7.833940e-04,7.718878e-04,7.591243e-04,7.578659e-04,7.466862e-04,7.345669e-04,7.336109e-04,7.227599e-04,7.112587e-04,7.105782e-04,7.000568e-04,6.891480e-04,6.887176e-04,6.785258e-04,6.681839e-04,6.679799e-04,6.581164e-04,6.483169e-04,6.296816e-04,6.120285e-04,5.953132e-04,5.794933e-04,5.645273e-04,5.503757e-04,5.370002e-04,5.243641e-04,5.124324e-04,5.011711e-04,4.905480e-04,4.805321e-04,4.710938e-04,4.622048e-04,4.538380e-04,4.459675e-04,4.385687e-04,4.316180e-04,4.250928e-04,4.189718e-04,4.132344e-04,4.078610e-04,4.028331e-04,3.981329e-04,3.937434e-04,3.896485e-04,3.858328e-04,3.822817e-04,3.789812e-04,3.759179e-04,3.730793e-04,3.704532e-04,3.680282e-04,3.657932e-04,3.637379e-04,3.618524e-04,3.601271e-04,3.585531e-04,3.571219e-04,3.558252e-04,3.546554e-04,3.536051e-04,3.526671e-04,3.518350e-04,3.511023e-04,3.504630e-04,3.499114e-04,3.494421e-04,3.490497e-04
0.000000e+00,8.294029e-10,4.732908e-08,5.027107e-08,6.052013e-07,3.628038e-06,3.876432e-06,1.710982e-05,5.354009e-05,5.716589e-05,1.520591e-04,3.166442e-04,3.353082e-04,6.364518e-04,1.024013e-03,1.074195e-03,1.654129e-03,2.277160e-03,2.369740e-03,3.205075e-03,4.002346e-03,4.137867e-03,5.142483e-03,6.022418e-03,6.192363e-03,7.261866e-03,8.136963e-03,8.327542e-03,9.368910e-03,1.017288e-02,1.036884e-02,1.131363e-02,1.200551e-02,1.219292e-02,1.299936e-02,1.356060e-02,1.372833e-02,1.437755e-02,1.480637e-02,1.494668e-02,1.543697e-02,1.574250e-02,1.585088e-02,1.619184e-02,1.638927e-02,1.646393e-02,1.667168e-02,1.677863e-02,1.681987e-02,1.691340e-02,1.694757e-02,1.695716e-02,1.695590e-02,1.693361e-02,1.691424e-02,1.683654e-02,1.677208e-02,1.672691e-02,1.658921e-02,1.649459e-02,1.642697e-02,1.624348e-02,1.612850e-02,1.604171e-02,1.582438e-02,1.569682e-02,1.559397e-02,1.535268e-02,1.521857e-02,1.510251e-02,1.484525e-02,1.470921e-02,1.458250e-02,1.431567e-02,1.418113e-02,1.404603e-02,1.377469e-02,1.364414e-02,1.350264e-02,1.323076e-02,1.310596e-02,1.295979e-02,1.269042e-02,1.257256e-02,1.242323e-02,1.215871e-02,1.204853e-02,1.189732e-02,1.163943e-02,1.153733e-02,1.138537e-02,1.113541e-02,1.104155e-02,1.088978e-02,1.064869e-02,1.056304e-02,1.041229e-02,1.018071e-02,1.010310e-02,9.954065e-03,9.732426e-03,9.662571e-03,9.515856e-03,9.304394e-03,9.241956e-03,9.098063e-03,8.896873e-03,8.841461e-03,8.700818e-03,8.509880e-03,8.461071e-03,8.324032e-03,8.143239e-03,8.100596e-03,7.967455e-03,7.796629e-03,7.759707e-03,7.630704e-03,7.469618e-03,7.437975e-03,7.313302e-03,7.161686e-03,7.134889e-03,7.014695e-03,6.872251e-03,6.849877e-03,6.734275e-03,6.600685e-03,6.582328e-03,6.471398e-03,6.346328e-03,6.331599e-03,6.225391e-03,6.108501e-03,6.097031e-03,5.995572e-03,5.886516e-03,5.877957e-03,5.781249e-03,5.679683e-03,5.673704e-03,5.581732e-03,5.487313e-03,5.483609e-03,5.396340e-03,5.308730e-03,5.307012e-03,5.224400e-03,5.143268e-03,4.991747e-03,4.851833e-03,4.722932e-03,4.604465e-03,4.495876e-03,4.396628e-03,4.306204e-03,4.224107e-03,4.149859e-03,4.083003e-03,4.023099e-03,3.969727e-03,3.922483e-03,3.880981e-03,3.844852e-03,3.813743e-03,3.787316e-03,3.765247e-03,3.747227e-03,3.732961e-03,3.722168e-03,3.714577e-03,3.709932e-03,3.707989e-03,3.708512e-03,3.711281e-03,3.716083e-03,3.722718e-03,3.730995e-03,3.740732e-03,3.751760e-03,3.763915e-03,3.777046e-03,3.791008e-03,3.805667e-03,3.820895e-03,3.836575e-03,3.852596e-03,3.868855e-03,3.885257e-03,3.901713e-03,3.918144e-03,3.934475e-03,3.950638e-03,3.966572e-03,3.982222e-03,3.997539e-03,4.012479e-03,4.027002e-03
0.000000e+00,8.985243e-09,1.415522e-07,1.481571e-07,9.923470e-07,3.451088e-06,3.597053e-06,8.053698e-06,1.281973e-05,1.312475e-05,1.811379e-05,2.249027e-05,2.286011e-05,2.733597e-05,3.113339e-05,3.154204e-05,3.548541e-05,3.874509e-05,3.917468e-05,4.261882e-05,4.539164e-05,4.582690e-05,4.880812e-05,5.114383e-05,5.157178e-05,5.412719e-05,5.607373e-05,5.648362e-05,5.865023e-05,6.025292e-05,6.063605e-05,6.244995e-05,6.375099e-05,6.410053e-05,6.559615e-05,6.663412e-05,6.694483e-05,6.815441e-05,6.896435e-05,6.923236e-05,7.018587e-05,7.079921e-05,7.102181e-05,7.174675e-05,7.219157e-05,7.236702e-05,7.288863e-05,7.318992e-05,7.331734e-05,7.365862e-05,7.383853e-05,7.391772e-05,7.409962e-05,7.417773e-05,7.420908e-05,7.425064e-05,7.424420e-05,7.422861e-05,7.414709e-05,7.407126e-05,7.400999e-05,7.382104e-05,7.368908e-05,7.358375e-05,7.330150e-05,7.312499e-05,7.297746e-05,7.261468e-05,7.240368e-05,7.221602e-05,7.178422e-05,7.154745e-05,7.132186e-05,7.083141e-05,7.057638e-05,7.031519e-05,6.977540e-05,6.950855e-05,6.921414e-05,6.863338e-05,6.836020e-05,6.803500e-05,6.742076e-05,6.714590e-05,6.679234e-05,6.615131e-05,6.587869e-05,6.549918e-05,6.483735e-05,6.457021e-05,6.416715e-05,6.348984e-05,6.323084e-05,6.280659e-05,6.211852e-05,6.186983e-05,6.142666e-05,6.073202e-05,6.049536e-05,6.003550e-05,5.933797e-05,5.911469e-05,5.864026e-05,5.794311e-05,5.773418e-05,5.724724e-05,5.655332e-05,5.635946e-05,5.586197e-05,5.517377e-05,5.499542e-05,5.448926e-05,5.380894e-05,5.364634e-05,5.313327e-05,5.246270e-05,5.231590e-05,5.179761e-05,5.113839e-05,5.100728e-05,5.048536e-05,4.983884e-05,4.972319e-05,4.919913e-05,4.856646e-05,4.846591e-05,4.794110e-05,4.732325e-05,4.723736e-05,4.671311e-05,4.611084e-05,4.603911e-05,4.551662e-05,4.493057e-05,4.487242e-05,4.435283e-05,4.378348e-05,4.373830e-05,4.322264e-05,4.267036e-05,4.263750e-05,4.212672e-05,4.159177e-05,4.157055e-05,4.106554e-05,4.054807e-05,4.053781e-05,4.003938e-05,3.953946e-05,3.857553e-05,3.764591e-05,3.675038e-05,3.588864e-05,3.506026e-05,3.426478e-05,3.350164e-05,3.277023e-05,3.206993e-05,3.140002e-05,3.075981e-05,3.014853e-05,2.956543e-05,2.900972e-05,2.848061e-05,2.797731e-05,2.749902e-05,2.704493e-05,2.661425e-05,2.620618e-05,2.581994e-05,2.545476e-05,2.510985e-05,2.478448e-05,2.447790e-05,2.418938e-05,2.391820e-05,2.366367e-05,2.342510e-05,2.320183e-05,2.299320e-05,2.279860e-05,2.261739e-05,2.244898e-05,2.229280e-05,2.214826e-05,2.201484e-05,2.189199e-05,2.177920e-05,2.167598e-05,2.158184e-05,2.149631e-05,2.141896e-05,2.134935e-05,2.128705e-05,2.123167e-05,2.118283e-05,2.114013e-05,2.110324e-05
0.000000e+00,4.065474e-09,7.448740e-08,7.809530e-08,5.342982e-07,1.773013e-06,1.843416e-06,3.894909e-06,5.982299e-06,6.114239e-06,8.258797e-06,1.012802e-05,1.028567e-05,1.219102e-05,1.380434e-05,1.397780e-05,1.565034e-05,1.703132e-05,1.721323e-05,1.867115e-05,1.984457e-05,2.002877e-05,2.129070e-05,2.228011e-05,2.246149e-05,2.354557e-05,2.437282e-05,2.454723e-05,2.547062e-05,2.615566e-05,2.631973e-05,2.709839e-05,2.765922e-05,2.781029e-05,2.845893e-05,2.891167e-05,2.904768e-05,2.957975e-05,2.993879e-05,3.005819e-05,3.048597e-05,3.076417e-05,3.086588e-05,3.120057e-05,3.140931e-05,3.149258e-05,3.174434e-05,3.189372e-05,3.195814e-05,3.213616e-05,3.223509e-05,3.228051e-05,3.239316e-05,3.244950e-05,3.247600e-05,3.253083e-05,3.255150e-05,3.255934e-05,3.256317e-05,3.255427e-05,3.254386e-05,3.250287e-05,3.246972e-05,3.244160e-05,3.236136e-05,3.230861e-05,3.226341e-05,3.214895e-05,3.208067e-05,3.201910e-05,3.187493e-05,3.179465e-05,3.171747e-05,3.154768e-05,3.145844e-05,3.136647e-05,3.117471e-05,3.107916e-05,3.097323e-05,3.076279e-05,3.066319e-05,3.054415e-05,3.031799e-05,3.021627e-05,3.008498e-05,2.984574e-05,2.974354e-05,2.960086e-05,2.935090e-05,2.924962e-05,2.909639e-05,2.883783e-05,2.873862e-05,2.857569e-05,2.831041e-05,2.821423e-05,2.804242e-05,2.777210e-05,2.767973e-05,2.749983e-05,2.722596e-05,2.713804e-05,2.695083e-05,2.667473e-05,2.659176e-05,2.639797e-05,2.612082e-05,2.604318e-05,2.584353e-05,2.556636e-05,2.549434e-05,2.528951e-05,2.501322e-05,2.494701e-05,2.473767e-05,2.446305e-05,2.440278e-05,2.418954e-05,2.391729e-05,2.386301e-05,2.364646e-05,2.337719e-05,2.332889e-05,2.310960e-05,2.284382e-05,2.280147e-05,2.257996e-05,2.231813e-05,2.228163e-05,2.205841e-05,2.180089e-05,2.177014e-05,2.154566e-05,2.129279e-05,2.126764e-05,2.104235e-05,2.079439e-05,2.077466e-05,2.054897e-05,2.030615e-05,2.029166e-05,2.006596e-05,1.982845e-05,1.981901e-05,1.959365e-05,1.936159e-05,1.935697e-05,1.913229e-05,1.890579e-05,1.846562e-05,1.803657e-05,1.761871e-05,1.721204e-05,1.681657e-05,1.643223e-05,1.605896e-05,1.569665e-05,1.534518e-05,1.500441e-05,1.467419e-05,1.435434e-05,1.404468e-05,1.374502e-05,1.345517e-05,1.317491e-05,1.290404e-05,1.264235e-05,1.238961e-05,1.214562e-05,1.191015e-05,1.168298e-05,1.146390e-05,1.125268e-05,1.104912e-05,1.085300e-05,1.066411e-05,1.048225e-05,1.030719e-05,1.013876e-05,9.976734e-06,9.820935e-06,9.671168e-06,9.527247e-06,9.388990e-06,9.256217e-06,9.128755e-06,9.006434e-06,8.889087e-06,8.776554e-06,8.668675e-06,8.565297e-06,8.466271e-06,8.371451e-06,8.280696e-06,8.193867e-06,8.110832e-06,8.031460e-06,7.955624e-06
0.000000e+00,1.058999e-08,2.554433e-07,2.689088e-07,2.145705e-06,7.585387e-06,7.892997e-06,1.659664e-05,2.523599e-05,2.578250e-05,3.472142e-05,4.262802e-05,4.330063e-05,5.150680e-05,5.857632e-05,5.934355e-05,6.681774e-05,7.310130e-05,7.393717e-05,8.071028e-05,8.626499e-05,8.714604e-05,9.325392e-05,9.813836e-05,9.904379e-05,1.045257e-04,1.087984e-04,1.097100e-04,1.146069e-04,1.183243e-04,1.192266e-04,1.235790e-04,1.267948e-04,1.276742e-04,1.315217e-04,1.342859e-04,1.351309e-04,1.385111e-04,1.408702e-04,1.416711e-04,1.446197e-04,1.466164e-04,1.473651e-04,1.499156e-04,1.515892e-04,1.522791e-04,1.544630e-04,1.558494e-04,1.564749e-04,1.583218e-04,1.594537e-04,1.600106e-04,1.615479e-04,1.624554e-04,1.629403e-04,1.641939e-04,1.649040e-04,1.653146e-04,1.663083e-04,1.668459e-04,1.671805e-04,1.679366e-04,1.683240e-04,1.685818e-04,1.691211e-04,1.693786e-04,1.695592e-04,1.699009e-04,1.700469e-04,1.701506e-04,1.703126e-04,1.703636e-04,1.703910e-04,1.703899e-04,1.703608e-04,1.703131e-04,1.701643e-04,1.700684e-04,1.699471e-04,1.696648e-04,1.695141e-04,1.693209e-04,1.689184e-04,1.687235e-04,1.684604e-04,1.679499e-04,1.677205e-04,1.673897e-04,1.667825e-04,1.665270e-04,1.661308e-04,1.654374e-04,1.651633e-04,1.647044e-04,1.639343e-04,1.636483e-04,1.631292e-04,1.622913e-04,1.619994e-04,1.614227e-04,1.605253e-04,1.602324e-04,1.596011e-04,1.586517e-04,1.583623e-04,1.576790e-04,1.566847e-04,1.564026e-04,1.556702e-04,1.546372e-04,1.543658e-04,1.535872e-04,1.525215e-04,1.522635e-04,1.514415e-04,1.503484e-04,1.501063e-04,1.492436e-04,1.481281e-04,1.479039e-04,1.470032e-04,1.458699e-04,1.456651e-04,1.447293e-04,1.435823e-04,1.433982e-04,1.424298e-04,1.412729e-04,1.411106e-04,1.401123e-04,1.389489e-04,1.388091e-04,1.377834e-04,1.366166e-04,1.364999e-04,1.354493e-04,1.342820e-04,1.341887e-04,1.331156e-04,1.319504e-04,1.318806e-04,1.307872e-04,1.296266e-04,1.295802e-04,1.284689e-04,1.273148e-04,1.272918e-04,1.261648e-04,1.250191e-04,1.227657e-04,1.205344e-04,1.183282e-04,1.161493e-04,1.140001e-04,1.118823e-04,1.097977e-04,1.077477e-04,1.057335e-04,1.037563e-04,1.018169e-04,9.991605e-05,9.805439e-05,9.623238e-05,9.445035e-05,9.270857e-05,9.100717e-05,8.934621e-05,8.772565e-05,8.614538e-05,8.460523e-05,8.310497e-05,8.164431e-05,8.022291e-05,7.884038e-05,7.749630e-05,7.619022e-05,7.492164e-05,7.369005e-05,7.249489e-05,7.133563e-05,7.021167e-05,6.912240e-05,6.806724e-05,6.704555e-05,6.605669e-05,6.510004e-05,6.417495e-05,6.328077e-05,6.241686e-05,6.158258e-05,6.077726e-05,6.000029e-05,5.925100e-05,5.852876e-05,5.783293e-05,5.716289e-05,5.651800e-05,5.589765e-05
0.000000e+00,1.307706e-08,2.928586e-07,3.076722e-07,2.110087e-06,5.848829e-06,6.025166e-06,1.049864e-05,1.459252e-05,1.484740e-05,1.897278e-05,2.256243e-05,2.286532e-05,2.652838e-05,2.963304e-05,2.996694e-05,3.318623e-05,3.584224e-05,3.619184e-05,3.899005e-05,4.123602e-05,4.158795e-05,4.399313e-05,4.587036e-05,4.621356e-05,4.825760e-05,4.980804e-05,5.013373e-05,5.185037e-05,5.311444e-05,5.341582e-05,5.483819e-05,5.585336e-05,5.612531e-05,5.728475e-05,5.808502e-05,5.832378e-05,5.924935e-05,5.986515e-05,6.006812e-05,6.078641e-05,6.124478e-05,6.141029e-05,6.194548e-05,6.227030e-05,6.239747e-05,6.277144e-05,6.298371e-05,6.307233e-05,6.330480e-05,6.342292e-05,6.347330e-05,6.358202e-05,6.362209e-05,6.363496e-05,6.363586e-05,6.361187e-05,6.358831e-05,6.349568e-05,6.341980e-05,6.336116e-05,6.318776e-05,6.307051e-05,6.297834e-05,6.273558e-05,6.258603e-05,6.246203e-05,6.216010e-05,6.198605e-05,6.183203e-05,6.147998e-05,6.128810e-05,6.110594e-05,6.071182e-05,6.050780e-05,6.029941e-05,5.987038e-05,5.965902e-05,5.942633e-05,5.896873e-05,5.875408e-05,5.849900e-05,5.801844e-05,5.780389e-05,5.752830e-05,5.702974e-05,5.681810e-05,5.652385e-05,5.601164e-05,5.580521e-05,5.549408e-05,5.497207e-05,5.477272e-05,5.444645e-05,5.391799e-05,5.372720e-05,5.338745e-05,5.285549e-05,5.267442e-05,5.232277e-05,5.178988e-05,5.161941e-05,5.125738e-05,5.072578e-05,5.056655e-05,5.019557e-05,4.966719e-05,4.951963e-05,4.914105e-05,4.861755e-05,4.848191e-05,4.809703e-05,4.757982e-05,4.745621e-05,4.706622e-05,4.655651e-05,4.644493e-05,4.605095e-05,4.554976e-05,4.545007e-05,4.505316e-05,4.456133e-05,4.447332e-05,4.407446e-05,4.359270e-05,4.351610e-05,4.311619e-05,4.264507e-05,4.257955e-05,4.217944e-05,4.171941e-05,4.166458e-05,4.126505e-05,4.081646e-05,4.077192e-05,4.037369e-05,3.993680e-05,3.990210e-05,3.950583e-05,3.908082e-05,3.905551e-05,3.866180e-05,3.824878e-05,3.823239e-05,3.784179e-05,3.744082e-05,3.743286e-05,3.704588e-05,3.665696e-05,3.590461e-05,3.517565e-05,3.446988e-05,3.378702e-05,3.312675e-05,3.248870e-05,3.187246e-05,3.127761e-05,3.070370e-05,3.015024e-05,2.961676e-05,2.910275e-05,2.860771e-05,2.813113e-05,2.767248e-05,2.723127e-05,2.680697e-05,2.639908e-05,2.600709e-05,2.563050e-05,2.526882e-05,2.492156e-05,2.458826e-05,2.426844e-05,2.396164e-05,2.366742e-05,2.338535e-05,2.311499e-05,2.285593e-05,2.260777e-05,2.237011e-05,2.214256e-05,2.192476e-05,2.171635e-05,2.151697e-05,2.132628e-05,2.114395e-05,2.096966e-05,2.080311e-05,2.064399e-05,2.049201e-05,2.034690e-05,2.020837e-05,2.007617e-05,1.995005e-05,1.982976e-05,1.971506e-05,1.960572e-05,1.950153e-05
0.000000e+00,1.058027e-09,7.511987e-08,8.023968e-08,1.280263e-06,9.307045e-06,9.999583e-06,4.761076e-05,1.469124e-04,1.564499e-04,3.931490e-04,7.747152e-04,8.167859e-04,1.479768e-03,2.314897e-03,2.422650e-03,3.671994e-03,5.035116e-03,5.240235e-03,7.126808e-03,8.995139e-03,9.319935e-03,1.179872e-02,1.408144e-02,1.453532e-02,1.749690e-02,2.006817e-02,2.064758e-02,2.394992e-02,2.667567e-02,2.736628e-02,3.085988e-02,3.361586e-02,3.439563e-02,3.794071e-02,4.062258e-02,4.146502e-02,4.494141e-02,4.746883e-02,4.834583e-02,5.165736e-02,5.397399e-02,5.485812e-02,5.793315e-02,6.000425e-02,6.087029e-02,6.365993e-02,6.546884e-02,6.629481e-02,6.876981e-02,7.031409e-02,7.108170e-02,7.322892e-02,7.451662e-02,7.521137e-02,7.703025e-02,7.807674e-02,7.868778e-02,8.018711e-02,8.101236e-02,8.153213e-02,8.272734e-02,8.335386e-02,8.377770e-02,8.468856e-02,8.513978e-02,8.546551e-02,8.611434e-02,8.641350e-02,8.664094e-02,8.705127e-02,8.722067e-02,8.735128e-02,8.754688e-02,8.760734e-02,8.764388e-02,8.764801e-02,8.761864e-02,8.756483e-02,8.739979e-02,8.729783e-02,8.715813e-02,8.684495e-02,8.668576e-02,8.646515e-02,8.602343e-02,8.582054e-02,8.552432e-02,8.497216e-02,8.473737e-02,8.437107e-02,8.372501e-02,8.346850e-02,8.303774e-02,8.231286e-02,8.204335e-02,8.155376e-02,8.076369e-02,8.048856e-02,7.994570e-02,7.910272e-02,7.882814e-02,7.823748e-02,7.735260e-02,7.708367e-02,7.645052e-02,7.553358e-02,7.527447e-02,7.460395e-02,7.366369e-02,7.341773e-02,7.271475e-02,7.175895e-02,7.152873e-02,7.079800e-02,6.983350e-02,6.962099e-02,6.886697e-02,6.789981e-02,6.770642e-02,6.693334e-02,6.596879e-02,6.579547e-02,6.500732e-02,6.404999e-02,6.389727e-02,6.309780e-02,6.215168e-02,6.201976e-02,6.121250e-02,6.028103e-02,6.016981e-02,5.935804e-02,5.844418e-02,5.835333e-02,5.754010e-02,5.664637e-02,5.657533e-02,5.576351e-02,5.489201e-02,5.484009e-02,5.403232e-02,5.318482e-02,5.315118e-02,5.234989e-02,5.152786e-02,5.151155e-02,5.071902e-02,4.992362e-02,4.838930e-02,4.691009e-02,4.548711e-02,4.412113e-02,4.281266e-02,4.156191e-02,4.036890e-02,3.923344e-02,3.815514e-02,3.713349e-02,3.616782e-02,3.525736e-02,3.440124e-02,3.359849e-02,3.284805e-02,3.214880e-02,3.149954e-02,3.089902e-02,3.034594e-02,2.983896e-02,2.937667e-02,2.895764e-02,2.858040e-02,2.824345e-02,2.794526e-02,2.768425e-02,2.745885e-02,2.726746e-02,2.710845e-02,2.698018e-02,2.688102e-02,2.680930e-02,2.676337e-02,2.674157e-02,2.674227e-02,2.676381e-02,2.680457e-02,2.686296e-02,2.693738e-02,2.702628e-02,2.712814e-02,2.724147e-02,2.736483e-02,2.749683e-02,2.763609e-02,2.778134e-02,2.793133e-02,2.808486e-02,2.824081e-02
0.000000e+00,4.282167e-10,7.542399e-09,7.897316e-09,4.950947e-08,1.474033e-07,1.525309e-07,2.893758e-07,4.134823e-07,4.209688e-07,5.373052e-07,6.306732e-07,6.382074e-07,7.250316e-07,7.923612e-07,7.992571e-07,8.622624e-07,9.094248e-07,9.153020e-07,9.595099e-07,9.912472e-07,9.959081e-07,1.025414e-06,1.045478e-06,1.048851e-06,1.066952e-06,1.078276e-06,1.080373e-06,1.089696e-06,1.094553e-06,1.095438e-06,1.098059e-06,1.098201e-06,1.097967e-06,1.095521e-06,1.092287e-06,1.091042e-06,1.084811e-06,1.079220e-06,1.077078e-06,1.068063e-06,1.060889e-06,1.057961e-06,1.046942e-06,1.038766e-06,1.035159e-06,1.022743e-06,1.014000e-06,1.009813e-06,9.964693e-07,9.874808e-07,9.828033e-07,9.688937e-07,9.598959e-07,9.548094e-07,9.406106e-07,9.317732e-07,9.263498e-07,9.120726e-07,9.035151e-07,8.978186e-07,8.836220e-07,8.754260e-07,8.695122e-07,8.555146e-07,8.477331e-07,8.416508e-07,8.279393e-07,8.206039e-07,8.143955e-07,8.010325e-07,7.941589e-07,7.878611e-07,7.748902e-07,7.684821e-07,7.621268e-07,7.495767e-07,7.436297e-07,7.372442e-07,7.251324e-07,7.196358e-07,7.132437e-07,7.015792e-07,6.965180e-07,6.901395e-07,6.789246e-07,6.742812e-07,6.679337e-07,6.571658e-07,6.529206e-07,6.466191e-07,6.362917e-07,6.324243e-07,6.261814e-07,6.162856e-07,6.127751e-07,6.066015e-07,5.971263e-07,5.939518e-07,5.878569e-07,5.787900e-07,5.759308e-07,5.699223e-07,5.612505e-07,5.586866e-07,5.527711e-07,5.444806e-07,5.421927e-07,5.363756e-07,5.284525e-07,5.264219e-07,5.207078e-07,5.131380e-07,5.113468e-07,5.057395e-07,4.985089e-07,4.969404e-07,4.914429e-07,4.845378e-07,4.831758e-07,4.777904e-07,4.711974e-07,4.700268e-07,4.647554e-07,4.584612e-07,4.574676e-07,4.523116e-07,4.463035e-07,4.454734e-07,4.404337e-07,4.346993e-07,4.340202e-07,4.290973e-07,4.236247e-07,4.230845e-07,4.182787e-07,4.130564e-07,4.126439e-07,4.079552e-07,4.029722e-07,4.026769e-07,3.981048e-07,3.933505e-07,3.931626e-07,3.887067e-07,3.841709e-07,3.840812e-07,3.797406e-07,3.754135e-07,3.671412e-07,3.592467e-07,3.517133e-07,3.445248e-07,3.376658e-07,3.311217e-07,3.248784e-07,3.189225e-07,3.132409e-07,3.078216e-07,3.026527e-07,2.977229e-07,2.930216e-07,2.885386e-07,2.842639e-07,2.801883e-07,2.763028e-07,2.725989e-07,2.690684e-07,2.657035e-07,2.624967e-07,2.594410e-07,2.565296e-07,2.537558e-07,2.511136e-07,2.485971e-07,2.462004e-07,2.439183e-07,2.417456e-07,2.396772e-07,2.377086e-07,2.358352e-07,2.340526e-07,2.323569e-07,2.307440e-07,2.292101e-07,2.277518e-07,2.263655e-07,2.250481e-07,2.237963e-07,2.226072e-07,2.214779e-07,2.204057e-07,2.193880e-07,2.184224e-07,2.175063e-07,2.166376e-07,2.158141e-07,2.150337e-07
0.000000e+00,4.187184e-09,1.556844e-07,1.643634e-07,1.552682e-06,7.336322e-06,7.749873e-06,2.468027e-05,5.352936e-05,5.575763e-05,9.713186e-05,1.373425e-04,1.407493e-04,1.807019e-04,2.116146e-04,2.147387e-04,2.426998e-04,2.627377e-04,2.651683e-04,2.828807e-04,2.948456e-04,2.965375e-04,3.067586e-04,3.130843e-04,3.140809e-04,3.189655e-04,3.214310e-04,3.218076e-04,3.229448e-04,3.228220e-04,3.226650e-04,3.212133e-04,3.194026e-04,3.187981e-04,3.155963e-04,3.127300e-04,3.117578e-04,3.074094e-04,3.039269e-04,3.026582e-04,2.975946e-04,2.937985e-04,2.922946e-04,2.868222e-04,2.829180e-04,2.812310e-04,2.755658e-04,2.716905e-04,2.698639e-04,2.641565e-04,2.603992e-04,2.584692e-04,2.528232e-04,2.492395e-04,2.472357e-04,2.417209e-04,2.383432e-04,2.362900e-04,2.309520e-04,2.277969e-04,2.257141e-04,2.205816e-04,2.176547e-04,2.155585e-04,2.106476e-04,2.079473e-04,2.058509e-04,2.011693e-04,1.986893e-04,1.966033e-04,1.921527e-04,1.898838e-04,1.878168e-04,1.835947e-04,1.815258e-04,1.794849e-04,1.754859e-04,1.736052e-04,1.715959e-04,1.678130e-04,1.661082e-04,1.641350e-04,1.605599e-04,1.590188e-04,1.570853e-04,1.537090e-04,1.523198e-04,1.504288e-04,1.472422e-04,1.459933e-04,1.441470e-04,1.411409e-04,1.400214e-04,1.382215e-04,1.353866e-04,1.343863e-04,1.326340e-04,1.299614e-04,1.290705e-04,1.273667e-04,1.248477e-04,1.240573e-04,1.224024e-04,1.200287e-04,1.193303e-04,1.177246e-04,1.154882e-04,1.148739e-04,1.133175e-04,1.112108e-04,1.106732e-04,1.091661e-04,1.071817e-04,1.067142e-04,1.052558e-04,1.033869e-04,1.029832e-04,1.015732e-04,9.981326e-05,9.946757e-05,9.810541e-05,9.644818e-05,9.615514e-05,9.484011e-05,9.327977e-05,9.303445e-05,9.176578e-05,9.029681e-05,9.009466e-05,8.887152e-05,8.748867e-05,8.732552e-05,8.614701e-05,8.484535e-05,8.471734e-05,8.358251e-05,8.235738e-05,8.226096e-05,8.116883e-05,8.001582e-05,7.994774e-05,7.889730e-05,7.781225e-05,7.776954e-05,7.675972e-05,7.573874e-05,7.571863e-05,7.474838e-05,7.378777e-05,7.197008e-05,7.025911e-05,6.864875e-05,6.713324e-05,6.570715e-05,6.436536e-05,6.310304e-05,6.191564e-05,6.079885e-05,5.974863e-05,5.876115e-05,5.783282e-05,5.696023e-05,5.614018e-05,5.536965e-05,5.464580e-05,5.396593e-05,5.332751e-05,5.272816e-05,5.216562e-05,5.163778e-05,5.114263e-05,5.067828e-05,5.024296e-05,4.983498e-05,4.945277e-05,4.909483e-05,4.875976e-05,4.844624e-05,4.815301e-05,4.787889e-05,4.762278e-05,4.738362e-05,4.716043e-05,4.695228e-05,4.675829e-05,4.657763e-05,4.640952e-05,4.625323e-05,4.610806e-05,4.597336e-05,4.584851e-05,4.573293e-05,4.562607e-05,4.552742e-05,4.543648e-05,4.535281e-05,4.527596e-05,4.520552e-05
0.000000e+00,1.766476e-09,1.233511e-07,1.317761e-07,2.107863e-06,1.491902e-05,1.599982e-05,7.163397e-05,2.045143e-04,2.166273e-04,4.960261e-04,8.949419e-04,9.363301e-04,1.542528e-03,2.220202e-03,2.302530e-03,3.193562e-03,4.064077e-03,4.187900e-03,5.257040e-03,6.215937e-03,6.374349e-03,7.516469e-03,8.480617e-03,8.663862e-03,9.800801e-03,1.071662e-02,1.091506e-02,1.199747e-02,1.283592e-02,1.304137e-02,1.404222e-02,1.479104e-02,1.499705e-02,1.590423e-02,1.656134e-02,1.676303e-02,1.757349e-02,1.814242e-02,1.833616e-02,1.905198e-02,1.953902e-02,1.972214e-02,2.034804e-02,2.076061e-02,2.093115e-02,2.147303e-02,2.181878e-02,2.197529e-02,2.243950e-02,2.272582e-02,2.286726e-02,2.326012e-02,2.349393e-02,2.361959e-02,2.394717e-02,2.413488e-02,2.424429e-02,2.451235e-02,2.465979e-02,2.475268e-02,2.496660e-02,2.507906e-02,2.515535e-02,2.532013e-02,2.540238e-02,2.546211e-02,2.558241e-02,2.563873e-02,2.568209e-02,2.576220e-02,2.579644e-02,2.582371e-02,2.586760e-02,2.588322e-02,2.589477e-02,2.590610e-02,2.590616e-02,2.590243e-02,2.588459e-02,2.587183e-02,2.585334e-02,2.580943e-02,2.578629e-02,2.575358e-02,2.568649e-02,2.565511e-02,2.560880e-02,2.552115e-02,2.548344e-02,2.542415e-02,2.531838e-02,2.527600e-02,2.520439e-02,2.508272e-02,2.503714e-02,2.495388e-02,2.481835e-02,2.477084e-02,2.467662e-02,2.452911e-02,2.448076e-02,2.437627e-02,2.421850e-02,2.417027e-02,2.405619e-02,2.388973e-02,2.384242e-02,2.371946e-02,2.354573e-02,2.350003e-02,2.336886e-02,2.318917e-02,2.314566e-02,2.300696e-02,2.282250e-02,2.278165e-02,2.263608e-02,2.244794e-02,2.241012e-02,2.225833e-02,2.206748e-02,2.203302e-02,2.187563e-02,2.168298e-02,2.165209e-02,2.148972e-02,2.129606e-02,2.126893e-02,2.110218e-02,2.090824e-02,2.088497e-02,2.071441e-02,2.052085e-02,2.050151e-02,2.032770e-02,2.013511e-02,2.011973e-02,1.994320e-02,1.975210e-02,1.974066e-02,1.956192e-02,1.937278e-02,1.936524e-02,1.918479e-02,1.899803e-02,1.899431e-02,1.881261e-02,1.862860e-02,1.826878e-02,1.791542e-02,1.756902e-02,1.723001e-02,1.689878e-02,1.657563e-02,1.626084e-02,1.595462e-02,1.565716e-02,1.536858e-02,1.508898e-02,1.481843e-02,1.455697e-02,1.430461e-02,1.406133e-02,1.382709e-02,1.360182e-02,1.338546e-02,1.317790e-02,1.297904e-02,1.278874e-02,1.260687e-02,1.243328e-02,1.226782e-02,1.211030e-02,1.196057e-02,1.181843e-02,1.168370e-02,1.155618e-02,1.143567e-02,1.132198e-02,1.121490e-02,1.111422e-02,1.101974e-02,1.093125e-02,1.084853e-02,1.077138e-02,1.069958e-02,1.063294e-02,1.057124e-02,1.051428e-02,1.046186e-02,1.041376e-02,1.036981e-02,1.032979e-02,1.029352e-02,1.026082e-02,1.023148e-02,1.020534e-02
0.000000e+00,1.369884e-09,1.405044e-08,1.458564e-08,7.170972e-08,2.225715e-07,2.317120e-07,5.436131e-07,9.646506e-07,9.944033e-07,1.509420e-06,1.974017e-06,2.012754e-06,2.467889e-06,2.829019e-06,2.866325e-06,3.209765e-06,3.469998e-06,3.502634e-06,3.749819e-06,3.929468e-06,3.956040e-06,4.125685e-06,4.242872e-06,4.262774e-06,4.370968e-06,4.440466e-06,4.453588e-06,4.513631e-06,4.547236e-06,4.553800e-06,4.576522e-06,4.583540e-06,4.583971e-06,4.578098e-06,4.565801e-06,4.560641e-06,4.533157e-06,4.507189e-06,4.497039e-06,4.453526e-06,4.418241e-06,4.403719e-06,4.348597e-06,4.307318e-06,4.289028e-06,4.225785e-06,4.181031e-06,4.159548e-06,4.090921e-06,4.044578e-06,4.020435e-06,3.948559e-06,3.902021e-06,3.875705e-06,3.802234e-06,3.756513e-06,3.728462e-06,3.654666e-06,3.610477e-06,3.581084e-06,3.507925e-06,3.465758e-06,3.435367e-06,3.363565e-06,3.323736e-06,3.292650e-06,3.222732e-06,3.185424e-06,3.153905e-06,3.086247e-06,3.051548e-06,3.019821e-06,2.954678e-06,2.922601e-06,2.890859e-06,2.828396e-06,2.798901e-06,2.767309e-06,2.707615e-06,2.680626e-06,2.649322e-06,2.592433e-06,2.567846e-06,2.536945e-06,2.482853e-06,2.460548e-06,2.430146e-06,2.378811e-06,2.358658e-06,2.328832e-06,2.280191e-06,2.262054e-06,2.232867e-06,2.186840e-06,2.170583e-06,2.142085e-06,2.098578e-06,2.084066e-06,2.056295e-06,2.015210e-06,2.002311e-06,1.975295e-06,1.936526e-06,1.925114e-06,1.898874e-06,1.862313e-06,1.852268e-06,1.826816e-06,1.792356e-06,1.783563e-06,1.758906e-06,1.726440e-06,1.718792e-06,1.694932e-06,1.664356e-06,1.657752e-06,1.634686e-06,1.605897e-06,1.600243e-06,1.577966e-06,1.550866e-06,1.546075e-06,1.524576e-06,1.499071e-06,1.495062e-06,1.474329e-06,1.450328e-06,1.447026e-06,1.427046e-06,1.404462e-06,1.401798e-06,1.382556e-06,1.361306e-06,1.359217e-06,1.340695e-06,1.320702e-06,1.319129e-06,1.301309e-06,1.282498e-06,1.281388e-06,1.264252e-06,1.246552e-06,1.245856e-06,1.229384e-06,1.212730e-06,1.212402e-06,1.196575e-06,1.180904e-06,1.151245e-06,1.123315e-06,1.097010e-06,1.072234e-06,1.048895e-06,1.026906e-06,1.006186e-06,9.866593e-07,9.682541e-07,9.509029e-07,9.345426e-07,9.191137e-07,9.045604e-07,8.908303e-07,8.778741e-07,8.656456e-07,8.541014e-07,8.432008e-07,8.329055e-07,8.231798e-07,8.139897e-07,8.053037e-07,7.970920e-07,7.893266e-07,7.819813e-07,7.750315e-07,7.684541e-07,7.622274e-07,7.563311e-07,7.507460e-07,7.454539e-07,7.404382e-07,7.356828e-07,7.311728e-07,7.268942e-07,7.228338e-07,7.189793e-07,7.153190e-07,7.118421e-07,7.085382e-07,7.053977e-07,7.024114e-07,6.995709e-07,6.968680e-07,6.942953e-07,6.918455e-07,6.895121e-07,6.872886e-07,6.851692e-07
0.000000e+00,7.561892e-10,4.525191e-08,4.812364e-08,6.184300e-07,3.911795e-06,4.187264e-06,1.913906e-05,6.101961e-05,6.521178e-05,1.758197e-04,3.707737e-04,3.930968e-04,7.585618e-04,1.241790e-03,1.305318e-03,2.054054e-03,2.886248e-03,3.012238e-03,4.175307e-03,5.328633e-03,5.528846e-03,7.051119e-03,8.440855e-03,8.715523e-03,1.049278e-02,1.201318e-02,1.235273e-02,1.426577e-02,1.581552e-02,1.620388e-02,1.814136e-02,1.963729e-02,2.005526e-02,2.192564e-02,2.330750e-02,2.373557e-02,2.547113e-02,2.670091e-02,2.712118e-02,2.867722e-02,2.973581e-02,3.013308e-02,3.148467e-02,3.236747e-02,3.272974e-02,3.386756e-02,3.458028e-02,3.489874e-02,3.582496e-02,3.637999e-02,3.664879e-02,3.737346e-02,3.778696e-02,3.800278e-02,3.854092e-02,3.883071e-02,3.899231e-02,3.936159e-02,3.954570e-02,3.965346e-02,3.987263e-02,3.996829e-02,4.002379e-02,4.011154e-02,4.013465e-02,4.014035e-02,4.011456e-02,4.007940e-02,4.003833e-02,3.991564e-02,3.983475e-02,3.975029e-02,3.954590e-02,3.943013e-02,3.930586e-02,3.903341e-02,3.889201e-02,3.873156e-02,3.840316e-02,3.824392e-02,3.805088e-02,3.767721e-02,3.750663e-02,3.728449e-02,3.687489e-02,3.669833e-02,3.645045e-02,3.601306e-02,3.583487e-02,3.556446e-02,3.510629e-02,3.492999e-02,3.464006e-02,3.416717e-02,3.399555e-02,3.368892e-02,3.320651e-02,3.304175e-02,3.272106e-02,3.223359e-02,3.207732e-02,3.174504e-02,3.125628e-02,3.110974e-02,3.076812e-02,3.028129e-02,3.014531e-02,2.979647e-02,2.931428e-02,2.918941e-02,2.883528e-02,2.835999e-02,2.824652e-02,2.788888e-02,2.742237e-02,2.732040e-02,2.696086e-02,2.650469e-02,2.641413e-02,2.605418e-02,2.560961e-02,2.553024e-02,2.517124e-02,2.473928e-02,2.467077e-02,2.431394e-02,2.389538e-02,2.383733e-02,2.348377e-02,2.307923e-02,2.303116e-02,2.268186e-02,2.229178e-02,2.225317e-02,2.190903e-02,2.153369e-02,2.150399e-02,2.116581e-02,2.080540e-02,2.078401e-02,2.045249e-02,2.010709e-02,2.009343e-02,1.976920e-02,1.943879e-02,1.943226e-02,1.911585e-02,1.880035e-02,1.819745e-02,1.762317e-02,1.707706e-02,1.655858e-02,1.606711e-02,1.560202e-02,1.516260e-02,1.474814e-02,1.435788e-02,1.399106e-02,1.364690e-02,1.332461e-02,1.302340e-02,1.274248e-02,1.248106e-02,1.223835e-02,1.201359e-02,1.180599e-02,1.161481e-02,1.143929e-02,1.127871e-02,1.113233e-02,1.099947e-02,1.087941e-02,1.077149e-02,1.067505e-02,1.058943e-02,1.051402e-02,1.044819e-02,1.039135e-02,1.034293e-02,1.030236e-02,1.026909e-02,1.024261e-02,1.022240e-02,1.020798e-02,1.019886e-02,1.019461e-02,1.019477e-02,1.019894e-02,1.020671e-02,1.021771e-02,1.023156e-02,1.024793e-02,1.026649e-02,1.028692e-02,1.030894e-02,1.033227e-02,1.035666e-02
0.000000e+00,1.632821e-08,3.211439e-07,3.369479e-07,2.484200e-06,9.220053e-06,9.635176e-06,2.303570e-05,3.825168e-05,3.923192e-05,5.516748e-05,6.889756e-05,7.004528e-05,8.377079e-05,9.516589e-05,9.637782e-05,1.079224e-04,1.172499e-04,1.184638e-04,1.280607e-04,1.356023e-04,1.367703e-04,1.446478e-04,1.506608e-04,1.517463e-04,1.581164e-04,1.628304e-04,1.638065e-04,1.688621e-04,1.724789e-04,1.733265e-04,1.772405e-04,1.799361e-04,1.806425e-04,1.835685e-04,1.854950e-04,1.860527e-04,1.881268e-04,1.894154e-04,1.898209e-04,1.911630e-04,1.919263e-04,1.921795e-04,1.928951e-04,1.932295e-04,1.933330e-04,1.935147e-04,1.935025e-04,1.934607e-04,1.931899e-04,1.929011e-04,1.927201e-04,1.920677e-04,1.915617e-04,1.912485e-04,1.902770e-04,1.896040e-04,1.891666e-04,1.879300e-04,1.871324e-04,1.865791e-04,1.851248e-04,1.842381e-04,1.835775e-04,1.819467e-04,1.810003e-04,1.802413e-04,1.784697e-04,1.774882e-04,1.766396e-04,1.747581e-04,1.737617e-04,1.728320e-04,1.708674e-04,1.698725e-04,1.688702e-04,1.668456e-04,1.658655e-04,1.647986e-04,1.627338e-04,1.617792e-04,1.606554e-04,1.585674e-04,1.576465e-04,1.564733e-04,1.543766e-04,1.534959e-04,1.522802e-04,1.501870e-04,1.493513e-04,1.480997e-04,1.460205e-04,1.452331e-04,1.439517e-04,1.418953e-04,1.411584e-04,1.398531e-04,1.378267e-04,1.371416e-04,1.358176e-04,1.338273e-04,1.331945e-04,1.318569e-04,1.299075e-04,1.293269e-04,1.279801e-04,1.260756e-04,1.255466e-04,1.241948e-04,1.223384e-04,1.218598e-04,1.205069e-04,1.187010e-04,1.182714e-04,1.169209e-04,1.151672e-04,1.147849e-04,1.134400e-04,1.117398e-04,1.114030e-04,1.100666e-04,1.084206e-04,1.081273e-04,1.068020e-04,1.052107e-04,1.049586e-04,1.036468e-04,1.021102e-04,1.018973e-04,1.006010e-04,9.911898e-05,9.894296e-05,9.766406e-05,9.623611e-05,9.609480e-05,9.483496e-05,9.346042e-05,9.335160e-05,9.211228e-05,9.079033e-05,9.071184e-05,8.949431e-05,8.822398e-05,8.817369e-05,8.697906e-05,8.575927e-05,8.573513e-05,8.456433e-05,8.339393e-05,8.114774e-05,7.899409e-05,7.693042e-05,7.495413e-05,7.306257e-05,7.125309e-05,6.952303e-05,6.786973e-05,6.629056e-05,6.478293e-05,6.334428e-05,6.197209e-05,6.066390e-05,5.941730e-05,5.822994e-05,5.709953e-05,5.602383e-05,5.500070e-05,5.402801e-05,5.310374e-05,5.222591e-05,5.139262e-05,5.060201e-05,4.985230e-05,4.914178e-05,4.846878e-05,4.783169e-05,4.722899e-05,4.665916e-05,4.612079e-05,4.561250e-05,4.513296e-05,4.468088e-05,4.425505e-05,4.385429e-05,4.347745e-05,4.312345e-05,4.279124e-05,4.247982e-05,4.218822e-05,4.191550e-05,4.166079e-05,4.142322e-05,4.120198e-05,4.099628e-05,4.080536e-05,4.062851e-05,4.046504e-05,4.031426e-05
0.000000e+00,1.486693e-08,1.923129e-07,2.003571e-07,1.119894e-06,3.634600e-06,3.786599e-06,8.898711e-06,1.562386e-05,1.609457e-05,2.422654e-05,3.167878e-05,3.231153e-05,3.994835e-05,4.636131e-05,4.704661e-05,5.360532e-05,5.894675e-05,5.964492e-05,6.519085e-05,6.958564e-05,7.026950e-05,7.490694e-05,7.848000e-05,7.912853e-05,8.295871e-05,8.582385e-05,8.642090e-05,8.953748e-05,9.179624e-05,9.232972e-05,9.481780e-05,9.655971e-05,9.702087e-05,9.895714e-05,1.002608e-04,1.006437e-04,1.020969e-04,1.030311e-04,1.033321e-04,1.043638e-04,1.049885e-04,1.052059e-04,1.058713e-04,1.062385e-04,1.063722e-04,1.067204e-04,1.068754e-04,1.069265e-04,1.070011e-04,1.069829e-04,1.069536e-04,1.067933e-04,1.066355e-04,1.065288e-04,1.061682e-04,1.058997e-04,1.057191e-04,1.051886e-04,1.048341e-04,1.045835e-04,1.039101e-04,1.034907e-04,1.031745e-04,1.023821e-04,1.019155e-04,1.015382e-04,1.006478e-04,1.001493e-04,9.971550e-05,9.874558e-05,9.822772e-05,9.774213e-05,9.670894e-05,9.618231e-05,9.564957e-05,9.456735e-05,9.404069e-05,9.346538e-05,9.234658e-05,9.182702e-05,9.121364e-05,9.006910e-05,8.956244e-05,8.891531e-05,8.775447e-05,8.726531e-05,8.658861e-05,8.541964e-05,8.495158e-05,8.424931e-05,8.307926e-05,8.263503e-05,8.191100e-05,8.074592e-05,8.032752e-05,7.958531e-05,7.843038e-05,7.803919e-05,7.728221e-05,7.614181e-05,7.577868e-05,7.501011e-05,7.388794e-05,7.355327e-05,7.277609e-05,7.167526e-05,7.136909e-05,7.058607e-05,6.950912e-05,6.923118e-05,6.844491e-05,6.739391e-05,6.714369e-05,6.635654e-05,6.533317e-05,6.510994e-05,6.432412e-05,6.332966e-05,6.313255e-05,6.235006e-05,6.138551e-05,6.121351e-05,6.043619e-05,5.950225e-05,5.935425e-05,5.858380e-05,5.768092e-05,5.755576e-05,5.679368e-05,5.592212e-05,5.581858e-05,5.506625e-05,5.422607e-05,5.414292e-05,5.340156e-05,5.259268e-05,5.252865e-05,5.179938e-05,5.102158e-05,5.097540e-05,5.025920e-05,4.951214e-05,4.948257e-05,4.878030e-05,4.806355e-05,4.804937e-05,4.736178e-05,4.667484e-05,4.535788e-05,4.409730e-05,4.289181e-05,4.174004e-05,4.064057e-05,3.959194e-05,3.859266e-05,3.764123e-05,3.673611e-05,3.587579e-05,3.505875e-05,3.428349e-05,3.354852e-05,3.285236e-05,3.219357e-05,3.157074e-05,3.098245e-05,3.042737e-05,2.990416e-05,2.941152e-05,2.894820e-05,2.851297e-05,2.810463e-05,2.772204e-05,2.736408e-05,2.702965e-05,2.671772e-05,2.642727e-05,2.615731e-05,2.590691e-05,2.567513e-05,2.546111e-05,2.526399e-05,2.508296e-05,2.491721e-05,2.476599e-05,2.462858e-05,2.450426e-05,2.439236e-05,2.429222e-05,2.420323e-05,2.412477e-05,2.405627e-05,2.399718e-05,2.394696e-05,2.390510e-05,2.387111e-05,2.384452e-05,2.382489e-05
0.000000e+00,3.633932e-10,2.450663e-08,2.614047e-08,3.835379e-07,2.567736e-06,2.750657e-06,1.241157e-05,3.763207e-05,4.005930e-05,1.005158e-04,1.978206e-04,2.084928e-04,3.745712e-04,5.776286e-04,6.033278e-04,8.933619e-04,1.194376e-03,1.238385e-03,1.628704e-03,1.991769e-03,2.052697e-03,2.498080e-03,2.879947e-03,2.952881e-03,3.406121e-03,3.769863e-03,3.848249e-03,4.271344e-03,4.591878e-03,4.669181e-03,5.037161e-03,5.301413e-03,5.372180e-03,5.672450e-03,5.876966e-03,5.937299e-03,6.166967e-03,6.314816e-03,6.362417e-03,6.525159e-03,6.623136e-03,6.657093e-03,6.760381e-03,6.816870e-03,6.837329e-03,6.890307e-03,6.913844e-03,6.921670e-03,6.933714e-03,6.932146e-03,6.928625e-03,6.908462e-03,6.888536e-03,6.875137e-03,6.830410e-03,6.797661e-03,6.775881e-03,6.712995e-03,6.671796e-03,6.643046e-03,6.567189e-03,6.520892e-03,6.486444e-03,6.401710e-03,6.352815e-03,6.313776e-03,6.223329e-03,6.173656e-03,6.130966e-03,6.037207e-03,5.988050e-03,5.942496e-03,5.847220e-03,5.799474e-03,5.751707e-03,5.656238e-03,5.610502e-03,5.561056e-03,5.466363e-03,5.423017e-03,5.372333e-03,5.279112e-03,5.238384e-03,5.186825e-03,5.095573e-03,5.057577e-03,5.005443e-03,4.916508e-03,4.881281e-03,4.828825e-03,4.742442e-03,4.709967e-03,4.657400e-03,4.573728e-03,4.543947e-03,4.491451e-03,4.410587e-03,4.383417e-03,4.331148e-03,4.253144e-03,4.228487e-03,4.176579e-03,4.101455e-03,4.079199e-03,4.027770e-03,3.955521e-03,3.935548e-03,3.884702e-03,3.815304e-03,3.797492e-03,3.747318e-03,3.680734e-03,3.664960e-03,3.615538e-03,3.551717e-03,3.537860e-03,3.489258e-03,3.428145e-03,3.416083e-03,3.368363e-03,3.309894e-03,3.299508e-03,3.252723e-03,3.196831e-03,3.188005e-03,3.142200e-03,3.088814e-03,3.081438e-03,3.036653e-03,2.985699e-03,2.979665e-03,2.935933e-03,2.887338e-03,2.882542e-03,2.839892e-03,2.793579e-03,2.789922e-03,2.748379e-03,2.704273e-03,2.701661e-03,2.661242e-03,2.619269e-03,2.617611e-03,2.578333e-03,2.538416e-03,2.537628e-03,2.499501e-03,2.461569e-03,2.389293e-03,2.320662e-03,2.255540e-03,2.193795e-03,2.135299e-03,2.079926e-03,2.027554e-03,1.978065e-03,1.931343e-03,1.887278e-03,1.845762e-03,1.806690e-03,1.769961e-03,1.735478e-03,1.703145e-03,1.672873e-03,1.644571e-03,1.618156e-03,1.593544e-03,1.570656e-03,1.549414e-03,1.529745e-03,1.511576e-03,1.494838e-03,1.479464e-03,1.465389e-03,1.452550e-03,1.440886e-03,1.430340e-03,1.420853e-03,1.412373e-03,1.404845e-03,1.398220e-03,1.392447e-03,1.387479e-03,1.383271e-03,1.379777e-03,1.376955e-03,1.374764e-03,1.373165e-03,1.372118e-03,1.371586e-03,1.371536e-03,1.371931e-03,1.372740e-03,1.373931e-03,1.375473e-03,1.377337e-03,1.379496e-03
0.000000e+00,4.736448e-09,6.887337e-08,7.195901e-08,4.558313e-07,1.572365e-06,1.639611e-06,3.763283e-06,6.113449e-06,6.263536e-06,8.682578e-06,1.073038e-05,1.089979e-05,1.290204e-05,1.452765e-05,1.469838e-05,1.630202e-05,1.756467e-05,1.772661e-05,1.898545e-05,1.994519e-05,2.009125e-05,2.105609e-05,2.176599e-05,2.189138e-05,2.260782e-05,2.311367e-05,2.321544e-05,2.372356e-05,2.406426e-05,2.414085e-05,2.447534e-05,2.468358e-05,2.473448e-05,2.492518e-05,2.502827e-05,2.505380e-05,2.512618e-05,2.514669e-05,2.514767e-05,2.512321e-05,2.507973e-05,2.505738e-05,2.495437e-05,2.486224e-05,2.481807e-05,2.465204e-05,2.452389e-05,2.445966e-05,2.424400e-05,2.409023e-05,2.400777e-05,2.375352e-05,2.358240e-05,2.348352e-05,2.319988e-05,2.301803e-05,2.290453e-05,2.259922e-05,2.241192e-05,2.228554e-05,2.196495e-05,2.177636e-05,2.163877e-05,2.130822e-05,2.112161e-05,2.097439e-05,2.063828e-05,2.045615e-05,2.030079e-05,1.996274e-05,1.978697e-05,1.962485e-05,1.928779e-05,1.911976e-05,1.895216e-05,1.861848e-05,1.845916e-05,1.828724e-05,1.795886e-05,1.780886e-05,1.763370e-05,1.731212e-05,1.717182e-05,1.699439e-05,1.668077e-05,1.655034e-05,1.637150e-05,1.606676e-05,1.594616e-05,1.576671e-05,1.547149e-05,1.536060e-05,1.518122e-05,1.489599e-05,1.479456e-05,1.461588e-05,1.434095e-05,1.424865e-05,1.407123e-05,1.380675e-05,1.372323e-05,1.354753e-05,1.329356e-05,1.321840e-05,1.304485e-05,1.280137e-05,1.273413e-05,1.256310e-05,1.232999e-05,1.227023e-05,1.210202e-05,1.187913e-05,1.182638e-05,1.166126e-05,1.144837e-05,1.140220e-05,1.124039e-05,1.103726e-05,1.099721e-05,1.083891e-05,1.064526e-05,1.061089e-05,1.045624e-05,1.027178e-05,1.024268e-05,1.009180e-05,9.916222e-06,9.891988e-06,9.744968e-06,9.577956e-06,9.558196e-06,9.415107e-06,9.256339e-06,9.240684e-06,9.101572e-06,8.950726e-06,8.938825e-06,8.803718e-06,8.660470e-06,8.651993e-06,8.520901e-06,8.384932e-06,8.379567e-06,8.252483e-06,8.123478e-06,8.120933e-06,7.997839e-06,7.875491e-06,7.642653e-06,7.421849e-06,7.212525e-06,7.014143e-06,6.826187e-06,6.648156e-06,6.479570e-06,6.319969e-06,6.168909e-06,6.025968e-06,5.890739e-06,5.762834e-06,5.641884e-06,5.527534e-06,5.419448e-06,5.317304e-06,5.220796e-06,5.129633e-06,5.043536e-06,4.962241e-06,4.885499e-06,4.813070e-06,4.744727e-06,4.680255e-06,4.619448e-06,4.562114e-06,4.508066e-06,4.457131e-06,4.409141e-06,4.363940e-06,4.321376e-06,4.281309e-06,4.243604e-06,4.208133e-06,4.174776e-06,4.143416e-06,4.113946e-06,4.086263e-06,4.060268e-06,4.035870e-06,4.012981e-06,3.991516e-06,3.971399e-06,3.952555e-06,3.934911e-06,3.918402e-06,3.902965e-06,3.888540e-06,3.875068e-06
0.000000e+00,1.652555e-09,2.576097e-08,2.696233e-08,1.785515e-07,5.998982e-07,6.241037e-07,1.330802e-06,2.036979e-06,2.080794e-06,2.775656e-06,3.351736e-06,3.398976e-06,3.952511e-06,4.395188e-06,4.441310e-06,4.870787e-06,5.203782e-06,5.246129e-06,5.572185e-06,5.816615e-06,5.853456e-06,6.094103e-06,6.267673e-06,6.297969e-06,6.468589e-06,6.585973e-06,6.609206e-06,6.722776e-06,6.795990e-06,6.812014e-06,6.879405e-06,6.918261e-06,6.927204e-06,6.957466e-06,6.969893e-06,6.972061e-06,6.972690e-06,6.965075e-06,6.960892e-06,6.938063e-06,6.915511e-06,6.905469e-06,6.864255e-06,6.830838e-06,6.815461e-06,6.760023e-06,6.718968e-06,6.698791e-06,6.632532e-06,6.586386e-06,6.561938e-06,6.487633e-06,6.438392e-06,6.410180e-06,6.330087e-06,6.279306e-06,6.247811e-06,6.163763e-06,6.112637e-06,6.078310e-06,5.991784e-06,5.941226e-06,5.904482e-06,5.816669e-06,5.767360e-06,5.728582e-06,5.640432e-06,5.592873e-06,5.552408e-06,5.464677e-06,5.419222e-06,5.377386e-06,5.290668e-06,5.247559e-06,5.204636e-06,5.119393e-06,5.078782e-06,5.035026e-06,4.951614e-06,4.913583e-06,4.869222e-06,4.787908e-06,4.752484e-06,4.707721e-06,4.628700e-06,4.595868e-06,4.550881e-06,4.474292e-06,4.444006e-06,4.398955e-06,4.324888e-06,4.297078e-06,4.252103e-06,4.180610e-06,4.155190e-06,4.110414e-06,4.041517e-06,4.018389e-06,3.973920e-06,3.907618e-06,3.886674e-06,3.842606e-06,3.778878e-06,3.760008e-06,3.716423e-06,3.655231e-06,3.638322e-06,3.595291e-06,3.536588e-06,3.521527e-06,3.479110e-06,3.422840e-06,3.409513e-06,3.367763e-06,3.313862e-06,3.302160e-06,3.261120e-06,3.209520e-06,3.199335e-06,3.159044e-06,3.109673e-06,3.100903e-06,3.061390e-06,3.014176e-06,3.006720e-06,2.968012e-06,2.922879e-06,2.916642e-06,2.878759e-06,2.835633e-06,2.830524e-06,2.793483e-06,2.752289e-06,2.748222e-06,2.712034e-06,2.672699e-06,2.669592e-06,2.634267e-06,2.596718e-06,2.594493e-06,2.560035e-06,2.524202e-06,2.522786e-06,2.489199e-06,2.455011e-06,2.454336e-06,2.421621e-06,2.389011e-06,2.326684e-06,2.267229e-06,2.210528e-06,2.156464e-06,2.104925e-06,2.055803e-06,2.008995e-06,1.964400e-06,1.921923e-06,1.881471e-06,1.842957e-06,1.806294e-06,1.771401e-06,1.738201e-06,1.706619e-06,1.676582e-06,1.648022e-06,1.620874e-06,1.595074e-06,1.570561e-06,1.547279e-06,1.525171e-06,1.504185e-06,1.484270e-06,1.465378e-06,1.447462e-06,1.430477e-06,1.414383e-06,1.399137e-06,1.384701e-06,1.371038e-06,1.358113e-06,1.345891e-06,1.334340e-06,1.323428e-06,1.313127e-06,1.303407e-06,1.294242e-06,1.285606e-06,1.277473e-06,1.269820e-06,1.262624e-06,1.255865e-06,1.249520e-06,1.243570e-06,1.237996e-06,1.232781e-06,1.227906e-06,1.223355e-06
0.000000e+00,1.429298e-10,3.062960e-09,3.219169e-09,2.392638e-08,8.042369e-08,8.352887e-08,1.685497e-07,2.484726e-07,2.533892e-07,3.314559e-07,3.967858e-07,4.021811e-07,4.659502e-07,5.178247e-07,5.232832e-07,5.746914e-07,6.154094e-07,6.206520e-07,6.616065e-07,6.931359e-07,6.979636e-07,7.301017e-07,7.540951e-07,7.583721e-07,7.830999e-07,8.009454e-07,8.045866e-07,8.231116e-07,8.359733e-07,8.389330e-07,8.522892e-07,8.611382e-07,8.634006e-07,8.724676e-07,8.781063e-07,8.796762e-07,8.851961e-07,8.882862e-07,8.891838e-07,8.917827e-07,8.928685e-07,8.931248e-07,8.933310e-07,8.928589e-07,8.925114e-07,8.907668e-07,8.890997e-07,8.881899e-07,8.848650e-07,8.822987e-07,8.808695e-07,8.762741e-07,8.730482e-07,8.711434e-07,8.655365e-07,8.618449e-07,8.595073e-07,8.531049e-07,8.491032e-07,8.463742e-07,8.393561e-07,8.351688e-07,8.320880e-07,8.246038e-07,8.203300e-07,8.169346e-07,8.091086e-07,8.048265e-07,8.011514e-07,7.930863e-07,7.888569e-07,7.849345e-07,7.767153e-07,7.725859e-07,7.684461e-07,7.601427e-07,7.561492e-07,7.518195e-07,7.434894e-07,7.396584e-07,7.351640e-07,7.268539e-07,7.232048e-07,7.185687e-07,7.103167e-07,7.068627e-07,7.021057e-07,6.939426e-07,6.906921e-07,6.858334e-07,6.777837e-07,6.747414e-07,6.697982e-07,6.618813e-07,6.590488e-07,6.540368e-07,6.462680e-07,6.436443e-07,6.385777e-07,6.309685e-07,6.285511e-07,6.234426e-07,6.160018e-07,6.137865e-07,6.086477e-07,6.013816e-07,5.993630e-07,5.942045e-07,5.871173e-07,5.852894e-07,5.801205e-07,5.732148e-07,5.715709e-07,5.664002e-07,5.596772e-07,5.582103e-07,5.530455e-07,5.465052e-07,5.452081e-07,5.400560e-07,5.336976e-07,5.325627e-07,5.274297e-07,5.212517e-07,5.202715e-07,5.151632e-07,5.091634e-07,5.083305e-07,5.032518e-07,4.974277e-07,4.967346e-07,4.916902e-07,4.860387e-07,4.854782e-07,4.804722e-07,4.749900e-07,4.745550e-07,4.695911e-07,4.642747e-07,4.639583e-07,4.590398e-07,4.538855e-07,4.536810e-07,4.488108e-07,4.438148e-07,4.437157e-07,4.388965e-07,4.340550e-07,4.246914e-07,4.156172e-07,4.068249e-07,3.983068e-07,3.900554e-07,3.820634e-07,3.743235e-07,3.668284e-07,3.595711e-07,3.525447e-07,3.457425e-07,3.391579e-07,3.327844e-07,3.266157e-07,3.206457e-07,3.148685e-07,3.092783e-07,3.038693e-07,2.986362e-07,2.935736e-07,2.886762e-07,2.839391e-07,2.793574e-07,2.749263e-07,2.706411e-07,2.664975e-07,2.624910e-07,2.586175e-07,2.548728e-07,2.512529e-07,2.477541e-07,2.443725e-07,2.411046e-07,2.379468e-07,2.348956e-07,2.319479e-07,2.291003e-07,2.263497e-07,2.236931e-07,2.211277e-07,2.186505e-07,2.162587e-07,2.139498e-07,2.117210e-07,2.095700e-07,2.074942e-07,2.054913e-07,2.035590e-07,2.016950e-07
0.000000e+00,5.139265e-09,2.458967e-07,2.605232e-07,2.851544e-06,1.563809e-05,1.663352e-05,6.375584e-05,1.665633e-04,1.755759e-04,3.715408e-04,6.204600e-04,6.446106e-04,9.701720e-04,1.285905e-03,1.321561e-03,1.678285e-03,1.986103e-03,2.027294e-03,2.361335e-03,2.633886e-03,2.676882e-03,2.972562e-03,3.205406e-03,3.248163e-03,3.504063e-03,3.699658e-03,3.740923e-03,3.959537e-03,4.121856e-03,4.160747e-03,4.345407e-03,4.478495e-03,4.514359e-03,4.668426e-03,4.776053e-03,4.808404e-03,4.935062e-03,5.020647e-03,5.049136e-03,5.151334e-03,5.217944e-03,5.242333e-03,5.322778e-03,5.373141e-03,5.393286e-03,5.454443e-03,5.490975e-03,5.506809e-03,5.550915e-03,5.575746e-03,5.587266e-03,5.616346e-03,5.631351e-03,5.638609e-03,5.654490e-03,5.661314e-03,5.664402e-03,5.668736e-03,5.668814e-03,5.667862e-03,5.662133e-03,5.656718e-03,5.651882e-03,5.637426e-03,5.627606e-03,5.619065e-03,5.597081e-03,5.583800e-03,5.571745e-03,5.543310e-03,5.527380e-03,5.512017e-03,5.478094e-03,5.460214e-03,5.441756e-03,5.403205e-03,5.383973e-03,5.362636e-03,5.320227e-03,5.300150e-03,5.276152e-03,5.230572e-03,5.210079e-03,5.183639e-03,5.135496e-03,5.114948e-03,5.086280e-03,5.036116e-03,5.015813e-03,4.985127e-03,4.933423e-03,4.913611e-03,4.881112e-03,4.828292e-03,4.809171e-03,4.775058e-03,4.721496e-03,4.703226e-03,4.667690e-03,4.613717e-03,4.596421e-03,4.559647e-03,4.505549e-03,4.489324e-03,4.451486e-03,4.397516e-03,4.382429e-03,4.343694e-03,4.290071e-03,4.276168e-03,4.236695e-03,4.183608e-03,4.170915e-03,4.130853e-03,4.078466e-03,4.066994e-03,4.026482e-03,3.974935e-03,3.964680e-03,3.923852e-03,3.873262e-03,3.864209e-03,3.823188e-03,3.773654e-03,3.765780e-03,3.724681e-03,3.676286e-03,3.669558e-03,3.628487e-03,3.581298e-03,3.575678e-03,3.534734e-03,3.488806e-03,3.484249e-03,3.443525e-03,3.398900e-03,3.395358e-03,3.354938e-03,3.311647e-03,3.309071e-03,3.269032e-03,3.227097e-03,3.225434e-03,3.185846e-03,3.145282e-03,3.144478e-03,3.105406e-03,3.066219e-03,2.990662e-03,2.917800e-03,2.847615e-03,2.780084e-03,2.715173e-03,2.652844e-03,2.593054e-03,2.535754e-03,2.480894e-03,2.428417e-03,2.378266e-03,2.330383e-03,2.284705e-03,2.241171e-03,2.199718e-03,2.160282e-03,2.122799e-03,2.087207e-03,2.053441e-03,2.021438e-03,1.991136e-03,1.962474e-03,1.935389e-03,1.909823e-03,1.885717e-03,1.863013e-03,1.841654e-03,1.821585e-03,1.802752e-03,1.785102e-03,1.768583e-03,1.753145e-03,1.738739e-03,1.725318e-03,1.712836e-03,1.701247e-03,1.690509e-03,1.680578e-03,1.671415e-03,1.662980e-03,1.655235e-03,1.648142e-03,1.641667e-03,1.635775e-03,1.630432e-03,1.625608e-03,1.621271e-03,1.617391e-03,1.613940e-03
0.000000e+00,1.163374e-08,2.705041e-07,2.843481e-07,2.136167e-06,7.565270e-06,7.886800e-06,1.773578e-05,2.822457e-05,2.888868e-05,3.957874e-05,4.865845e-05,4.941214e-05,5.835824e-05,6.568372e-05,6.645693e-05,7.376049e-05,7.957203e-05,8.032193e-05,8.619232e-05,9.072522e-05,9.142018e-05,9.605160e-05,9.951334e-05,1.001306e-04,1.036987e-04,1.062710e-04,1.067952e-04,1.094569e-04,1.112966e-04,1.117184e-04,1.136120e-04,1.148530e-04,1.151677e-04,1.164138e-04,1.171698e-04,1.173762e-04,1.180793e-04,1.184458e-04,1.185455e-04,1.187957e-04,1.188530e-04,1.188493e-04,1.187242e-04,1.185392e-04,1.184370e-04,1.180031e-04,1.176315e-04,1.174366e-04,1.167507e-04,1.162385e-04,1.159575e-04,1.150682e-04,1.144535e-04,1.140932e-04,1.130419e-04,1.123556e-04,1.119231e-04,1.107450e-04,1.100127e-04,1.095149e-04,1.082397e-04,1.074820e-04,1.069258e-04,1.055789e-04,1.048122e-04,1.042043e-04,1.028069e-04,1.020444e-04,1.013911e-04,9.996112e-05,9.921312e-05,9.852056e-05,9.707286e-05,9.634733e-05,9.562115e-05,9.416824e-05,9.347118e-05,9.271670e-05,9.126888e-05,9.060472e-05,8.982688e-05,8.839262e-05,8.776444e-05,8.696781e-05,8.555402e-05,8.496384e-05,8.415261e-05,8.276485e-05,8.221382e-05,8.139183e-05,8.003454e-05,7.952307e-05,7.869383e-05,7.737047e-05,7.689843e-05,7.606511e-05,7.477834e-05,7.434515e-05,7.351063e-05,7.226239e-05,7.186712e-05,7.103397e-05,6.982564e-05,6.946710e-05,6.863763e-05,6.747010e-05,6.714688e-05,6.632317e-05,6.519691e-05,6.490747e-05,6.409135e-05,6.300649e-05,6.274920e-05,6.194228e-05,6.089867e-05,6.067183e-05,5.987555e-05,5.887279e-05,5.867468e-05,5.789027e-05,5.692781e-05,5.675668e-05,5.598523e-05,5.506234e-05,5.491649e-05,5.415891e-05,5.327474e-05,5.315248e-05,5.240957e-05,5.156317e-05,5.146285e-05,5.073528e-05,4.992564e-05,4.984567e-05,4.913398e-05,4.836003e-05,4.829888e-05,4.760352e-05,4.686416e-05,4.682033e-05,4.614166e-05,4.543575e-05,4.540786e-05,4.474614e-05,4.407255e-05,4.405924e-05,4.341467e-05,4.277224e-05,4.154465e-05,4.037426e-05,3.925889e-05,3.819641e-05,3.718471e-05,3.622175e-05,3.530553e-05,3.443410e-05,3.360559e-05,3.281817e-05,3.207008e-05,3.135960e-05,3.068510e-05,3.004499e-05,2.943775e-05,2.886190e-05,2.831605e-05,2.779883e-05,2.730895e-05,2.684516e-05,2.640626e-05,2.599111e-05,2.559861e-05,2.522771e-05,2.487740e-05,2.454672e-05,2.423475e-05,2.394060e-05,2.366343e-05,2.340244e-05,2.315685e-05,2.292593e-05,2.270897e-05,2.250530e-05,2.231427e-05,2.213528e-05,2.196772e-05,2.181105e-05,2.166473e-05,2.152825e-05,2.140111e-05,2.128285e-05,2.117302e-05,2.107121e-05,2.097700e-05,2.089001e-05,2.080986e-05,2.073621e-05,2.066871e-05
0.000000e+00,1.800724e-10,2.096487e-09,2.180221e-09,1.095398e-08,3.210405e-08,3.332108e-08,7.249175e-08,1.218811e-07,1.253127e-07,1.846885e-07,2.391913e-07,2.437994e-07,2.988190e-07,3.438157e-07,3.485443e-07,3.929233e-07,4.277887e-07,4.322543e-07,4.669194e-07,4.932956e-07,4.973063e-07,5.237860e-07,5.432644e-07,5.467059e-07,5.663885e-07,5.803221e-07,5.831315e-07,5.972088e-07,6.067212e-07,6.088720e-07,6.183515e-07,6.243660e-07,6.258583e-07,6.315852e-07,6.348562e-07,6.357084e-07,6.383888e-07,6.395302e-07,6.397731e-07,6.399952e-07,6.395042e-07,6.391768e-07,6.374290e-07,6.357070e-07,6.348529e-07,6.315405e-07,6.289105e-07,6.275755e-07,6.230338e-07,6.197543e-07,6.179847e-07,6.124910e-07,6.087681e-07,6.066094e-07,6.003918e-07,5.963889e-07,5.938850e-07,5.871314e-07,5.829769e-07,5.801694e-07,5.730338e-07,5.688281e-07,5.657559e-07,5.583641e-07,5.541845e-07,5.508838e-07,5.433380e-07,5.392435e-07,5.357475e-07,5.281307e-07,5.241653e-07,5.205044e-07,5.128834e-07,5.090792e-07,5.052811e-07,4.977094e-07,4.940890e-07,4.901789e-07,4.826989e-07,4.792774e-07,4.752778e-07,4.679228e-07,4.647092e-07,4.606404e-07,4.534362e-07,4.504349e-07,4.463150e-07,4.392811e-07,4.364927e-07,4.323380e-07,4.254888e-07,4.229113e-07,4.187361e-07,4.120820e-07,4.097110e-07,4.055282e-07,3.990759e-07,3.969055e-07,3.927264e-07,3.864802e-07,3.845033e-07,3.803378e-07,3.742995e-07,3.725083e-07,3.683652e-07,3.625348e-07,3.609208e-07,3.568079e-07,3.511839e-07,3.497385e-07,3.456624e-07,3.402424e-07,3.389566e-07,3.349232e-07,3.297037e-07,3.285687e-07,3.245830e-07,3.195598e-07,3.185668e-07,3.146331e-07,3.098016e-07,3.089420e-07,3.050641e-07,3.004192e-07,2.996845e-07,2.958656e-07,2.914019e-07,2.907841e-07,2.870268e-07,2.827388e-07,2.822300e-07,2.785366e-07,2.744186e-07,2.740114e-07,2.703835e-07,2.664299e-07,2.661171e-07,2.625564e-07,2.587614e-07,2.585362e-07,2.550436e-07,2.514017e-07,2.512575e-07,2.478341e-07,2.443395e-07,2.442703e-07,2.409165e-07,2.375638e-07,2.311275e-07,2.249512e-07,2.190249e-07,2.133388e-07,2.078835e-07,2.026500e-07,1.976293e-07,1.928129e-07,1.881926e-07,1.837604e-07,1.795088e-07,1.754303e-07,1.715178e-07,1.677647e-07,1.641642e-07,1.607102e-07,1.573965e-07,1.542175e-07,1.511675e-07,1.482411e-07,1.454334e-07,1.427393e-07,1.401541e-07,1.376734e-07,1.352928e-07,1.330081e-07,1.308154e-07,1.287109e-07,1.266908e-07,1.247518e-07,1.228904e-07,1.211034e-07,1.193878e-07,1.177405e-07,1.161588e-07,1.146400e-07,1.131814e-07,1.117806e-07,1.104351e-07,1.091428e-07,1.079013e-07,1.067087e-07,1.055629e-07,1.044620e-07,1.034041e-07,1.023874e-07,1.014104e-07,1.004713e-07,9.956863e-08
0.000000e+00,1.687240e-09,1.903320e-08,1.981054e-08,1.104561e-07,3.725234e-07,3.887807e-07,9.441610e-07,1.656507e-06,1.704715e-06,2.507055e-06,3.206845e-06,3.265180e-06,3.958100e-06,4.524709e-06,4.584423e-06,5.147344e-06,5.593569e-06,5.651023e-06,6.099686e-06,6.444644e-06,6.497404e-06,6.848044e-06,7.108876e-06,7.155255e-06,7.422469e-06,7.614003e-06,7.652904e-06,7.849566e-06,7.984470e-06,8.015260e-06,8.152597e-06,8.241601e-06,8.264003e-06,8.351728e-06,8.403851e-06,8.417859e-06,8.464327e-06,8.487110e-06,8.492918e-06,8.505283e-06,8.504999e-06,8.502946e-06,8.487317e-06,8.469166e-06,8.459693e-06,8.421272e-06,8.389546e-06,8.373158e-06,8.316368e-06,8.274591e-06,8.251837e-06,8.180426e-06,8.131481e-06,8.102927e-06,8.020068e-06,7.966298e-06,7.932516e-06,7.840885e-06,7.784184e-06,7.745736e-06,7.647585e-06,7.589469e-06,7.546903e-06,7.444120e-06,7.385793e-06,7.339632e-06,7.233797e-06,7.176203e-06,7.126944e-06,7.019372e-06,6.963241e-06,6.911351e-06,6.803129e-06,6.749013e-06,6.694928e-06,6.586952e-06,6.535258e-06,6.479383e-06,6.372386e-06,6.323400e-06,6.266108e-06,6.160682e-06,6.114596e-06,6.056228e-06,5.952851e-06,5.909777e-06,5.850645e-06,5.749692e-06,5.709678e-06,5.650065e-06,5.551828e-06,5.514874e-06,5.455036e-06,5.359736e-06,5.325801e-06,5.265968e-06,5.173765e-06,5.142778e-06,5.083156e-06,4.994163e-06,4.966030e-06,4.906803e-06,4.821088e-06,4.795696e-06,4.737028e-06,4.654627e-06,4.631853e-06,4.573887e-06,4.494806e-06,4.474516e-06,4.417380e-06,4.341601e-06,4.323659e-06,4.267462e-06,4.194950e-06,4.179214e-06,4.124052e-06,4.054755e-06,4.041086e-06,3.987041e-06,3.920894e-06,3.909153e-06,3.856295e-06,3.793225e-06,3.783274e-06,3.731662e-06,3.671587e-06,3.663294e-06,3.612977e-06,3.555810e-06,3.549045e-06,3.500063e-06,3.445713e-06,3.440354e-06,3.392736e-06,3.341110e-06,3.337037e-06,3.290810e-06,3.241812e-06,3.238913e-06,3.194092e-06,3.147626e-06,3.145793e-06,3.102391e-06,3.058362e-06,3.057493e-06,3.015515e-06,2.973828e-06,2.894613e-06,2.819669e-06,2.748818e-06,2.681888e-06,2.618711e-06,2.559121e-06,2.502961e-06,2.450077e-06,2.400318e-06,2.353542e-06,2.309610e-06,2.268388e-06,2.229748e-06,2.193566e-06,2.159723e-06,2.128104e-06,2.098602e-06,2.071109e-06,2.045527e-06,2.021758e-06,1.999710e-06,1.979294e-06,1.960426e-06,1.943024e-06,1.927012e-06,1.912314e-06,1.898860e-06,1.886583e-06,1.875417e-06,1.865301e-06,1.856175e-06,1.847982e-06,1.840670e-06,1.834186e-06,1.828482e-06,1.823510e-06,1.819227e-06,1.815588e-06,1.812554e-06,1.810086e-06,1.808147e-06,1.806702e-06,1.805717e-06,1.805161e-06,1.805004e-06,1.805216e-06,1.805771e-06,1.806642e-06,1.807804e-06
0.000000e+00,5.358807e-09,1.907956e-07,2.013448e-07,1.869279e-06,8.672782e-06,9.154638e-06,2.865178e-05,6.138793e-05,6.390205e-05,1.104764e-04,1.562751e-04,1.602205e-04,2.078559e-04,2.473248e-04,2.514936e-04,2.908120e-04,3.219673e-04,3.259768e-04,3.572708e-04,3.813140e-04,3.849904e-04,4.094213e-04,4.275994e-04,4.308330e-04,4.494782e-04,4.628686e-04,4.655923e-04,4.793940e-04,4.889073e-04,4.910862e-04,5.008565e-04,5.072551e-04,5.088781e-04,5.153104e-04,5.192269e-04,5.203004e-04,5.239833e-04,5.259407e-04,5.264835e-04,5.279144e-04,5.283410e-04,5.283795e-04,5.279741e-04,5.272196e-04,5.267857e-04,5.248942e-04,5.232443e-04,5.223735e-04,5.192910e-04,5.169789e-04,5.157083e-04,5.116824e-04,5.088978e-04,5.072661e-04,5.025078e-04,4.994050e-04,4.974506e-04,4.921336e-04,4.888336e-04,4.865923e-04,4.808588e-04,4.774571e-04,4.749628e-04,4.689312e-04,4.655033e-04,4.627881e-04,4.565556e-04,4.531599e-04,4.502536e-04,4.439003e-04,4.405820e-04,4.375124e-04,4.311045e-04,4.278973e-04,4.246900e-04,4.182810e-04,4.152098e-04,4.118883e-04,4.055218e-04,4.026043e-04,3.991900e-04,3.929009e-04,3.901490e-04,3.866614e-04,3.804776e-04,3.778984e-04,3.743550e-04,3.682985e-04,3.658953e-04,3.623122e-04,3.563999e-04,3.541732e-04,3.505647e-04,3.448093e-04,3.427575e-04,3.391363e-04,3.335474e-04,3.316666e-04,3.280443e-04,3.226283e-04,3.209138e-04,3.173005e-04,3.120616e-04,3.105074e-04,3.069122e-04,3.018527e-04,3.004522e-04,2.968832e-04,2.920037e-04,2.907498e-04,2.872140e-04,2.825139e-04,2.813992e-04,2.779029e-04,2.733805e-04,2.723974e-04,2.689461e-04,2.645989e-04,2.637399e-04,2.603382e-04,2.561630e-04,2.554205e-04,2.520726e-04,2.480658e-04,2.474324e-04,2.441417e-04,2.402993e-04,2.397678e-04,2.365374e-04,2.328548e-04,2.324182e-04,2.292506e-04,2.257234e-04,2.253748e-04,2.222721e-04,2.188955e-04,2.186286e-04,2.155925e-04,2.123617e-04,2.121701e-04,2.092021e-04,2.061123e-04,2.059901e-04,2.030911e-04,2.001375e-04,2.000791e-04,1.972500e-04,1.944276e-04,1.890265e-04,1.838666e-04,1.789388e-04,1.742343e-04,1.697447e-04,1.654615e-04,1.613766e-04,1.574821e-04,1.537704e-04,1.502340e-04,1.468659e-04,1.436590e-04,1.406069e-04,1.377030e-04,1.349411e-04,1.323153e-04,1.298199e-04,1.274494e-04,1.251983e-04,1.230618e-04,1.210348e-04,1.191126e-04,1.172907e-04,1.155648e-04,1.139307e-04,1.123844e-04,1.109221e-04,1.095401e-04,1.082348e-04,1.070028e-04,1.058410e-04,1.047461e-04,1.037152e-04,1.027453e-04,1.018338e-04,1.009780e-04,1.001754e-04,9.942348e-05,9.871997e-05,9.806262e-05,9.744929e-05,9.687793e-05,9.634656e-05,9.585330e-05,9.539633e-05,9.497393e-05,9.458442e-05,9.422623e-05,9.389781e-05
0.000000e+00,1.319678e-09,8.399223e-08,8.945574e-08,1.223940e-06,7.863571e-06,8.414088e-06,3.733866e-05,1.135269e-04,1.209379e-04,3.098985e-04,6.292985e-04,6.653272e-04,1.247695e-03,2.007771e-03,2.107337e-03,3.279004e-03,4.582467e-03,4.780185e-03,6.611991e-03,8.442199e-03,8.761445e-03,1.120440e-02,1.345985e-02,1.390856e-02,1.683627e-02,1.937538e-02,1.994695e-02,2.319914e-02,2.587533e-02,2.655207e-02,2.996688e-02,3.265000e-02,3.340739e-02,3.684073e-02,3.942710e-02,4.023759e-02,4.357235e-02,4.598705e-02,4.682306e-02,4.997129e-02,5.216595e-02,5.300193e-02,5.590296e-02,5.785148e-02,5.866509e-02,6.128154e-02,6.297510e-02,6.374774e-02,6.606102e-02,6.750345e-02,6.822036e-02,7.022614e-02,7.142994e-02,7.207993e-02,7.378426e-02,7.476731e-02,7.534245e-02,7.675845e-02,7.754164e-02,7.803672e-02,7.918208e-02,7.978748e-02,8.019960e-02,8.109456e-02,8.154420e-02,8.187232e-02,8.253832e-02,8.285338e-02,8.309794e-02,8.355657e-02,8.375689e-02,8.391946e-02,8.419181e-02,8.429560e-02,8.437864e-02,8.448485e-02,8.450860e-02,8.451519e-02,8.447423e-02,8.443266e-02,8.436637e-02,8.419585e-02,8.410202e-02,8.396673e-02,8.368289e-02,8.354827e-02,8.334806e-02,8.296579e-02,8.280036e-02,8.253946e-02,8.207230e-02,8.188471e-02,8.156738e-02,8.102762e-02,8.082532e-02,8.045580e-02,7.985457e-02,7.964390e-02,7.922642e-02,7.857373e-02,7.836006e-02,7.789876e-02,7.720363e-02,7.699146e-02,7.649037e-02,7.576089e-02,7.555398e-02,7.501700e-02,7.426041e-02,7.406181e-02,7.349273e-02,7.271549e-02,7.252770e-02,7.193014e-02,7.113802e-02,7.096297e-02,7.034041e-02,6.953853e-02,6.937774e-02,6.873351e-02,6.792641e-02,6.778099e-02,6.711824e-02,6.630993e-02,6.618065e-02,6.550238e-02,6.469641e-02,6.458375e-02,6.389280e-02,6.309228e-02,6.299646e-02,6.229552e-02,6.150316e-02,6.142419e-02,6.071579e-02,5.993396e-02,5.987167e-02,5.915818e-02,5.838893e-02,5.834299e-02,5.762664e-02,5.687173e-02,5.684169e-02,5.612458e-02,5.538552e-02,5.537082e-02,5.465489e-02,5.393297e-02,5.253031e-02,5.116464e-02,4.983746e-02,4.854995e-02,4.730303e-02,4.609739e-02,4.493350e-02,4.381163e-02,4.273189e-02,4.169422e-02,4.069847e-02,3.974433e-02,3.883142e-02,3.795923e-02,3.712718e-02,3.633462e-02,3.558080e-02,3.486495e-02,3.418623e-02,3.354376e-02,3.293662e-02,3.236387e-02,3.182451e-02,3.131755e-02,3.084196e-02,3.039669e-02,2.998070e-02,2.959292e-02,2.923229e-02,2.889773e-02,2.858818e-02,2.830257e-02,2.803983e-02,2.779892e-02,2.757879e-02,2.737841e-02,2.719676e-02,2.703285e-02,2.688569e-02,2.675432e-02,2.663780e-02,2.653521e-02,2.644566e-02,2.636827e-02,2.630221e-02,2.624666e-02,2.620084e-02,2.616397e-02,2.613533e-02
0.000000e+00,1.708739e-10,1.912515e-09,1.990437e-09,1.100319e-08,3.649688e-08,3.805550e-08,8.978578e-08,1.519965e-07,1.560538e-07,2.210179e-07,2.737874e-07,2.780178e-07,3.261796e-07,3.625395e-07,3.662036e-07,3.990757e-07,4.228461e-07,4.257488e-07,4.470774e-07,4.617197e-07,4.638113e-07,4.766047e-07,4.847246e-07,4.860269e-07,4.925726e-07,4.960968e-07,4.966713e-07,4.986950e-07,4.990377e-07,4.989655e-07,4.977605e-07,4.959518e-07,4.953197e-07,4.918493e-07,4.886330e-07,4.875262e-07,4.825025e-07,4.784112e-07,4.769084e-07,4.708552e-07,4.662666e-07,4.644380e-07,4.577380e-07,4.529170e-07,4.508241e-07,4.437552e-07,4.388854e-07,4.365808e-07,4.293433e-07,4.245492e-07,4.220778e-07,4.148144e-07,4.101787e-07,4.075782e-07,4.003900e-07,3.959652e-07,3.932671e-07,3.862239e-07,3.820410e-07,3.792718e-07,3.724205e-07,3.684960e-07,3.656777e-07,3.590493e-07,3.553892e-07,3.525400e-07,3.461532e-07,3.427562e-07,3.398915e-07,3.337563e-07,3.306164e-07,3.277487e-07,3.218689e-07,3.189768e-07,3.161166e-07,3.104914e-07,3.078361e-07,3.049922e-07,2.996178e-07,2.971870e-07,2.943666e-07,2.892370e-07,2.870180e-07,2.842271e-07,2.793350e-07,2.773149e-07,2.745585e-07,2.698957e-07,2.680618e-07,2.653442e-07,2.609018e-07,2.592419e-07,2.565664e-07,2.523356e-07,2.508377e-07,2.482072e-07,2.441789e-07,2.428317e-07,2.402485e-07,2.364138e-07,2.352065e-07,2.326725e-07,2.290225e-07,2.279450e-07,2.254617e-07,2.219880e-07,2.210306e-07,2.185992e-07,2.152933e-07,2.144472e-07,2.120685e-07,2.089226e-07,2.081791e-07,2.058538e-07,2.028602e-07,2.022115e-07,1.999399e-07,1.970912e-07,1.965299e-07,1.943124e-07,1.916016e-07,1.911208e-07,1.889573e-07,1.863778e-07,1.859710e-07,1.838614e-07,1.814067e-07,1.810679e-07,1.790120e-07,1.766760e-07,1.763996e-07,1.743972e-07,1.721740e-07,1.719547e-07,1.700053e-07,1.678895e-07,1.677225e-07,1.658254e-07,1.638118e-07,1.636925e-07,1.618473e-07,1.599307e-07,1.598550e-07,1.580608e-07,1.562366e-07,1.562006e-07,1.544568e-07,1.527203e-07,1.494058e-07,1.462490e-07,1.432422e-07,1.403781e-07,1.376498e-07,1.350508e-07,1.325747e-07,1.302155e-07,1.279677e-07,1.258258e-07,1.237847e-07,1.218395e-07,1.199857e-07,1.182187e-07,1.165344e-07,1.149288e-07,1.133982e-07,1.119388e-07,1.105474e-07,1.092206e-07,1.079554e-07,1.067487e-07,1.055978e-07,1.045001e-07,1.034529e-07,1.024539e-07,1.015008e-07,1.005914e-07,9.972367e-08,9.889556e-08,9.810521e-08,9.735086e-08,9.663081e-08,9.594343e-08,9.528719e-08,9.466062e-08,9.406234e-08,9.349102e-08,9.294540e-08,9.242428e-08,9.192652e-08,9.145104e-08,9.099679e-08,9.056281e-08,9.014814e-08,8.975190e-08,8.937325e-08,8.901136e-08,8.866549e-08
0.000000e+00,7.217425e-09,1.568165e-07,1.644147e-07,1.241541e-06,5.336829e-06,5.621564e-06,1.676668e-05,3.382802e-05,3.505798e-05,5.630038e-05,7.536666e-05,7.696067e-05,9.585207e-05,1.111744e-04,1.127802e-04,1.278171e-04,1.395912e-04,1.410967e-04,1.527614e-04,1.616064e-04,1.629486e-04,1.717873e-04,1.782578e-04,1.793976e-04,1.858908e-04,1.904541e-04,1.913698e-04,1.959295e-04,1.989744e-04,1.996574e-04,2.026337e-04,2.044811e-04,2.049322e-04,2.066201e-04,2.075329e-04,2.077594e-04,2.084063e-04,2.085984e-04,2.086122e-04,2.084242e-04,2.080691e-04,2.078850e-04,2.070335e-04,2.062706e-04,2.059050e-04,2.045319e-04,2.034734e-04,2.029433e-04,2.011658e-04,1.999010e-04,1.992235e-04,1.971384e-04,1.957381e-04,1.949301e-04,1.926166e-04,1.911367e-04,1.902142e-04,1.877375e-04,1.862214e-04,1.851998e-04,1.826130e-04,1.810944e-04,1.799878e-04,1.773339e-04,1.758385e-04,1.746601e-04,1.719740e-04,1.705210e-04,1.692828e-04,1.665927e-04,1.651962e-04,1.639093e-04,1.612375e-04,1.599073e-04,1.585817e-04,1.559458e-04,1.546887e-04,1.533334e-04,1.507473e-04,1.495673e-04,1.481903e-04,1.456646e-04,1.445637e-04,1.431722e-04,1.407148e-04,1.396935e-04,1.382939e-04,1.359108e-04,1.349683e-04,1.335663e-04,1.312614e-04,1.303960e-04,1.289966e-04,1.267725e-04,1.259818e-04,1.245894e-04,1.224477e-04,1.217289e-04,1.203473e-04,1.182884e-04,1.176383e-04,1.162709e-04,1.142946e-04,1.137097e-04,1.123593e-04,1.104648e-04,1.099417e-04,1.086108e-04,1.067969e-04,1.063318e-04,1.050226e-04,1.032876e-04,1.028769e-04,1.015912e-04,9.993313e-05,9.957342e-05,9.831271e-05,9.672943e-05,9.641719e-05,9.518272e-05,9.367197e-05,9.340382e-05,9.219661e-05,9.075602e-05,9.052872e-05,8.934960e-05,8.797672e-05,8.778716e-05,8.663677e-05,8.532912e-05,8.517435e-05,8.405316e-05,8.280826e-05,8.268546e-05,8.159381e-05,8.040919e-05,8.031569e-05,7.925379e-05,7.812701e-05,7.806030e-05,7.702824e-05,7.595690e-05,7.591461e-05,7.491240e-05,7.389415e-05,7.387405e-05,7.290159e-05,7.193416e-05,7.009060e-05,6.833916e-05,6.667577e-05,6.509650e-05,6.359754e-05,6.217527e-05,6.082615e-05,5.954681e-05,5.833402e-05,5.718468e-05,5.609580e-05,5.506453e-05,5.408816e-05,5.316407e-05,5.228977e-05,5.146287e-05,5.068109e-05,4.994226e-05,4.924430e-05,4.858523e-05,4.796314e-05,4.737623e-05,4.682278e-05,4.630114e-05,4.580974e-05,4.534708e-05,4.491173e-05,4.450234e-05,4.411759e-05,4.375626e-05,4.341717e-05,4.309918e-05,4.280123e-05,4.252230e-05,4.226141e-05,4.201764e-05,4.179010e-05,4.157795e-05,4.138039e-05,4.119665e-05,4.102601e-05,4.086778e-05,4.072129e-05,4.058593e-05,4.046108e-05,4.034620e-05,4.024072e-05,4.014415e-05,4.005598e-05
0.000000e+00,1.649920e-08,2.979171e-07,3.118246e-07,2.088729e-06,7.558922e-06,7.903046e-06,1.982791e-05,3.562037e-05,3.671236e-05,5.536235e-05,7.242298e-05,7.388200e-05,9.169838e-05,1.070186e-04,1.086779e-04,1.247997e-04,1.382845e-04,1.400731e-04,1.545167e-04,1.662918e-04,1.681532e-04,1.810070e-04,1.912181e-04,1.931039e-04,2.044705e-04,2.132650e-04,2.151337e-04,2.251202e-04,2.326400e-04,2.344565e-04,2.431690e-04,2.495480e-04,2.512830e-04,2.588234e-04,2.641856e-04,2.658147e-04,2.722805e-04,2.767404e-04,2.782437e-04,2.837264e-04,2.873886e-04,2.887502e-04,2.933355e-04,2.962951e-04,2.975024e-04,3.012702e-04,3.036138e-04,3.046574e-04,3.076818e-04,3.094876e-04,3.103607e-04,3.127106e-04,3.140493e-04,3.147475e-04,3.164867e-04,3.174220e-04,3.179430e-04,3.191305e-04,3.197197e-04,3.200628e-04,3.207531e-04,3.210475e-04,3.212139e-04,3.214572e-04,3.215028e-04,3.214946e-04,3.213373e-04,3.211752e-04,3.209959e-04,3.204807e-04,3.201473e-04,3.198014e-04,3.189674e-04,3.184952e-04,3.179877e-04,3.168711e-04,3.162888e-04,3.156256e-04,3.142594e-04,3.135924e-04,3.127798e-04,3.111943e-04,3.104649e-04,3.095097e-04,3.077327e-04,3.069604e-04,3.058697e-04,3.039266e-04,3.031283e-04,3.019094e-04,2.998235e-04,2.990140e-04,2.976743e-04,2.954668e-04,2.946587e-04,2.932058e-04,2.908960e-04,2.901004e-04,2.885418e-04,2.861473e-04,2.853732e-04,2.837165e-04,2.812533e-04,2.805086e-04,2.787613e-04,2.762439e-04,2.755349e-04,2.737044e-04,2.711459e-04,2.704780e-04,2.685714e-04,2.659838e-04,2.653611e-04,2.633857e-04,2.607796e-04,2.602054e-04,2.581679e-04,2.555531e-04,2.550299e-04,2.529371e-04,2.503221e-04,2.498517e-04,2.477100e-04,2.451027e-04,2.446861e-04,2.425018e-04,2.399090e-04,2.395468e-04,2.373259e-04,2.347539e-04,2.344461e-04,2.321944e-04,2.296486e-04,2.293948e-04,2.271178e-04,2.246030e-04,2.244026e-04,2.221054e-04,2.196260e-04,2.194778e-04,2.171656e-04,2.147252e-04,2.146280e-04,2.123054e-04,2.099072e-04,2.098594e-04,2.075311e-04,2.051778e-04,2.005877e-04,1.960932e-04,1.916977e-04,1.874038e-04,1.832137e-04,1.791291e-04,1.751512e-04,1.712808e-04,1.675184e-04,1.638640e-04,1.603173e-04,1.568779e-04,1.535451e-04,1.503180e-04,1.471953e-04,1.441759e-04,1.412584e-04,1.384411e-04,1.357224e-04,1.331005e-04,1.305736e-04,1.281397e-04,1.257968e-04,1.235431e-04,1.213763e-04,1.192944e-04,1.172953e-04,1.153770e-04,1.135372e-04,1.117739e-04,1.100850e-04,1.084683e-04,1.069217e-04,1.054433e-04,1.040310e-04,1.026827e-04,1.013965e-04,1.001703e-04,9.900234e-05,9.789062e-05,9.683330e-05,9.582855e-05,9.487457e-05,9.396962e-05,9.311198e-05,9.229996e-05,9.153194e-05,9.080630e-05,9.012148e-05
0.000000e+00,6.414440e-09,2.849790e-07,3.016295e-07,3.170716e-06,1.664626e-05,1.766858e-05,6.389781e-05,1.575550e-04,1.654793e-04,3.303430e-04,5.246412e-04,5.427707e-04,7.768033e-04,9.880884e-04,1.011114e-03,1.233307e-03,1.414327e-03,1.437866e-03,1.623151e-03,1.767202e-03,1.789353e-03,1.937409e-03,2.048627e-03,2.068518e-03,2.183929e-03,2.267712e-03,2.284864e-03,2.372485e-03,2.433731e-03,2.447882e-03,2.512078e-03,2.554987e-03,2.566020e-03,2.610592e-03,2.638704e-03,2.646610e-03,2.674831e-03,2.691108e-03,2.695954e-03,2.710625e-03,2.717531e-03,2.719442e-03,2.722953e-03,2.722528e-03,2.721667e-03,2.716051e-03,2.709981e-03,2.706537e-03,2.693521e-03,2.683190e-03,2.677367e-03,2.658413e-03,2.644956e-03,2.636966e-03,2.613311e-03,2.597651e-03,2.587707e-03,2.560395e-03,2.543280e-03,2.531594e-03,2.501504e-03,2.483534e-03,2.470309e-03,2.438179e-03,2.419835e-03,2.405267e-03,2.371713e-03,2.353374e-03,2.337648e-03,2.303186e-03,2.285146e-03,2.268436e-03,2.233493e-03,2.215978e-03,2.198446e-03,2.163375e-03,2.146554e-03,2.128352e-03,2.093442e-03,2.077438e-03,2.058704e-03,2.024191e-03,2.009089e-03,1.989950e-03,1.956023e-03,1.941877e-03,1.922448e-03,1.889259e-03,1.876098e-03,1.856485e-03,1.824153e-03,1.811987e-03,1.792285e-03,1.760900e-03,1.749723e-03,1.730016e-03,1.699647e-03,1.689442e-03,1.669806e-03,1.640502e-03,1.631240e-03,1.611743e-03,1.583536e-03,1.575183e-03,1.555886e-03,1.528795e-03,1.521310e-03,1.502266e-03,1.476299e-03,1.469640e-03,1.450895e-03,1.426050e-03,1.420171e-03,1.401765e-03,1.378034e-03,1.372888e-03,1.354855e-03,1.332223e-03,1.327762e-03,1.310134e-03,1.288581e-03,1.284758e-03,1.267558e-03,1.247060e-03,1.243829e-03,1.227079e-03,1.207609e-03,1.204924e-03,1.188642e-03,1.170171e-03,1.167987e-03,1.152187e-03,1.134684e-03,1.132960e-03,1.117652e-03,1.101085e-03,1.099779e-03,1.084972e-03,1.069308e-03,1.068382e-03,1.054082e-03,1.039287e-03,1.038704e-03,1.024914e-03,1.010955e-03,1.010680e-03,9.974014e-04,9.842453e-04,9.593359e-04,9.358883e-04,9.138401e-04,8.931301e-04,8.736988e-04,8.554880e-04,8.384413e-04,8.225039e-04,8.076228e-04,7.937466e-04,7.808260e-04,7.688131e-04,7.576621e-04,7.473287e-04,7.377703e-04,7.289462e-04,7.208170e-04,7.133452e-04,7.064946e-04,7.002308e-04,6.945206e-04,6.893323e-04,6.846356e-04,6.804015e-04,6.766023e-04,6.732115e-04,6.702038e-04,6.675552e-04,6.652425e-04,6.632440e-04,6.615387e-04,6.601066e-04,6.589289e-04,6.579875e-04,6.572654e-04,6.567462e-04,6.564146e-04,6.562558e-04,6.562561e-04,6.564022e-04,6.566818e-04,6.570830e-04,6.575948e-04,6.582066e-04,6.589087e-04,6.596916e-04,6.605467e-04,6.614657e-04,6.624408e-04
0.000000e+00,1.394609e-08,2.610572e-07,2.730800e-07,1.805927e-06,6.722912e-06,7.041815e-06,1.874237e-05,3.630091e-05,3.760557e-05,6.145776e-05,8.500569e-05,8.705634e-05,1.122195e-04,1.337709e-04,1.360913e-04,1.584513e-04,1.768637e-04,1.792843e-04,1.986341e-04,2.141349e-04,2.165616e-04,2.331325e-04,2.460525e-04,2.484135e-04,2.624698e-04,2.731267e-04,2.753649e-04,2.871606e-04,2.958456e-04,2.979164e-04,3.076891e-04,3.146647e-04,3.165335e-04,3.245019e-04,3.300028e-04,3.316441e-04,3.380076e-04,3.422420e-04,3.436378e-04,3.485777e-04,3.517302e-04,3.528684e-04,3.565491e-04,3.587825e-04,3.596568e-04,3.622269e-04,3.636846e-04,3.642928e-04,3.658866e-04,3.666946e-04,3.670384e-04,3.677770e-04,3.680455e-04,3.681297e-04,3.681222e-04,3.679475e-04,3.677791e-04,3.671236e-04,3.665896e-04,3.661778e-04,3.649626e-04,3.641420e-04,3.634975e-04,3.618015e-04,3.607574e-04,3.598921e-04,3.577861e-04,3.565727e-04,3.554993e-04,3.530467e-04,3.517106e-04,3.504424e-04,3.476998e-04,3.462806e-04,3.448315e-04,3.418493e-04,3.403807e-04,3.387645e-04,3.355876e-04,3.340980e-04,3.323286e-04,3.289969e-04,3.275102e-04,3.256012e-04,3.221500e-04,3.206858e-04,3.186510e-04,3.151116e-04,3.136860e-04,3.115385e-04,3.079383e-04,3.065644e-04,3.043171e-04,3.006804e-04,2.993685e-04,2.970337e-04,2.933818e-04,2.921398e-04,2.897293e-04,2.860807e-04,2.849146e-04,2.824398e-04,2.788105e-04,2.777245e-04,2.751963e-04,2.716003e-04,2.705971e-04,2.680256e-04,2.644749e-04,2.635559e-04,2.609507e-04,2.574555e-04,2.566212e-04,2.539914e-04,2.505603e-04,2.498101e-04,2.471642e-04,2.438046e-04,2.431372e-04,2.404831e-04,2.372009e-04,2.366144e-04,2.339594e-04,2.307597e-04,2.302516e-04,2.276026e-04,2.244892e-04,2.240568e-04,2.214200e-04,2.183960e-04,2.180361e-04,2.154175e-04,2.124850e-04,2.121943e-04,2.095990e-04,2.067598e-04,2.065347e-04,2.039677e-04,2.012227e-04,2.010595e-04,1.985251e-04,1.958748e-04,1.957698e-04,1.932720e-04,1.907164e-04,1.906658e-04,1.882081e-04,1.857468e-04,1.810117e-04,1.764585e-04,1.720847e-04,1.678876e-04,1.638639e-04,1.600101e-04,1.563224e-04,1.527967e-04,1.494289e-04,1.462147e-04,1.431496e-04,1.402293e-04,1.374491e-04,1.348045e-04,1.322911e-04,1.299042e-04,1.276395e-04,1.254924e-04,1.234586e-04,1.215338e-04,1.197138e-04,1.179945e-04,1.163717e-04,1.148416e-04,1.134003e-04,1.120440e-04,1.107691e-04,1.095720e-04,1.084494e-04,1.073978e-04,1.064141e-04,1.054951e-04,1.046378e-04,1.038393e-04,1.030968e-04,1.024076e-04,1.017691e-04,1.011787e-04,1.006341e-04,1.001329e-04,9.967295e-05,9.925203e-05,9.886811e-05,9.851923e-05,9.820348e-05,9.791907e-05,9.766425e-05,9.743736e-05,9.723681e-05
0.000000e+00,7.189879e-09,2.763577e-07,2.915932e-07,2.676812e-06,1.311130e-05,1.389321e-05,4.911679e-05,1.200667e-04,1.260219e-04,2.476231e-04,3.855547e-04,3.981733e-04,5.581863e-04,6.995131e-04,7.148111e-04,8.620214e-04,9.820760e-04,9.977351e-04,1.121634e-03,1.219004e-03,1.234077e-03,1.335646e-03,1.413033e-03,1.426987e-03,1.508746e-03,1.569082e-03,1.581554e-03,1.646016e-03,1.691968e-03,1.702712e-03,1.752194e-03,1.786119e-03,1.794985e-03,1.831577e-03,1.855530e-03,1.862438e-03,1.888006e-03,1.903762e-03,1.908693e-03,1.924884e-03,1.933962e-03,1.936942e-03,1.945204e-03,1.948899e-03,1.949986e-03,1.951584e-03,1.950992e-03,1.950272e-03,1.946308e-03,1.942357e-03,1.939933e-03,1.931369e-03,1.924836e-03,1.920825e-03,1.908492e-03,1.900027e-03,1.894550e-03,1.879167e-03,1.869310e-03,1.862497e-03,1.844684e-03,1.833881e-03,1.825860e-03,1.806149e-03,1.794766e-03,1.785665e-03,1.764513e-03,1.752848e-03,1.742791e-03,1.720588e-03,1.708880e-03,1.697988e-03,1.675066e-03,1.663507e-03,1.651893e-03,1.628534e-03,1.617273e-03,1.605048e-03,1.581489e-03,1.570641e-03,1.557907e-03,1.534346e-03,1.523998e-03,1.510849e-03,1.487453e-03,1.477666e-03,1.464193e-03,1.441098e-03,1.431913e-03,1.418197e-03,1.395515e-03,1.386958e-03,1.373075e-03,1.350897e-03,1.342980e-03,1.328998e-03,1.307395e-03,1.300120e-03,1.286102e-03,1.265130e-03,1.258488e-03,1.244490e-03,1.224192e-03,1.218170e-03,1.204242e-03,1.184647e-03,1.179225e-03,1.165413e-03,1.146544e-03,1.141698e-03,1.128042e-03,1.109909e-03,1.105613e-03,1.092148e-03,1.074758e-03,1.070982e-03,1.057740e-03,1.041092e-03,1.037807e-03,1.024813e-03,1.008902e-03,1.006076e-03,9.933550e-04,9.781703e-04,9.757741e-04,9.633444e-04,9.488735e-04,9.468757e-04,9.347538e-04,9.209811e-04,9.193515e-04,9.075510e-04,8.944588e-04,8.931680e-04,8.816996e-04,8.692684e-04,8.682879e-04,8.571600e-04,8.453691e-04,8.446716e-04,8.338903e-04,8.227182e-04,8.222776e-04,8.118472e-04,8.012716e-04,8.010630e-04,7.909858e-04,7.809843e-04,7.619973e-04,7.440580e-04,7.271226e-04,7.111479e-04,6.960911e-04,6.819107e-04,6.685658e-04,6.560168e-04,6.442251e-04,6.331536e-04,6.227663e-04,6.130285e-04,6.039067e-04,5.953689e-04,5.873844e-04,5.799236e-04,5.729583e-04,5.664615e-04,5.604074e-04,5.547715e-04,5.495304e-04,5.446616e-04,5.401439e-04,5.359572e-04,5.320821e-04,5.285004e-04,5.251948e-04,5.221489e-04,5.193469e-04,5.167741e-04,5.144165e-04,5.122608e-04,5.102944e-04,5.085054e-04,5.068825e-04,5.054151e-04,5.040931e-04,5.029070e-04,5.018477e-04,5.009069e-04,5.000764e-04,4.993487e-04,4.987167e-04,4.981737e-04,4.977132e-04,4.973294e-04,4.970167e-04,4.967697e-04,4.965833e-04
0.000000e+00,7.166721e-09,9.445547e-08,9.850003e-08,6.060058e-07,2.254803e-06,2.362191e-06,6.194912e-06,1.125014e-05,1.159210e-05,1.725921e-05,2.215572e-05,2.256147e-05,2.734590e-05,3.120129e-05,3.160415e-05,3.536524e-05,3.829353e-05,3.866671e-05,4.154655e-05,4.371367e-05,4.404097e-05,4.618378e-05,4.773507e-05,4.800640e-05,4.953797e-05,5.059567e-05,5.080548e-05,5.183392e-05,5.250009e-05,5.264633e-05,5.326403e-05,5.362329e-05,5.370656e-05,5.399189e-05,5.411381e-05,5.413652e-05,5.415554e-05,5.409692e-05,5.406277e-05,5.387080e-05,5.367766e-05,5.359113e-05,5.323425e-05,5.294363e-05,5.280967e-05,5.232603e-05,5.196745e-05,5.179117e-05,5.121218e-05,5.080903e-05,5.059551e-05,4.994695e-05,4.951758e-05,4.927174e-05,4.857461e-05,4.813327e-05,4.785982e-05,4.713117e-05,4.668878e-05,4.639211e-05,4.564569e-05,4.521050e-05,4.489467e-05,4.414149e-05,4.371959e-05,4.338833e-05,4.263711e-05,4.223288e-05,4.188956e-05,4.114716e-05,4.076361e-05,4.041126e-05,3.968300e-05,3.932205e-05,3.896338e-05,3.825328e-05,3.791604e-05,3.755345e-05,3.686451e-05,3.655140e-05,3.618700e-05,3.552137e-05,3.523234e-05,3.486797e-05,3.422709e-05,3.396172e-05,3.359897e-05,3.298376e-05,3.274132e-05,3.238158e-05,3.179249e-05,3.157207e-05,3.121652e-05,3.065364e-05,3.045421e-05,3.010383e-05,2.956699e-05,2.938741e-05,2.904304e-05,2.853184e-05,2.837092e-05,2.803325e-05,2.754711e-05,2.740368e-05,2.707326e-05,2.661149e-05,2.648434e-05,2.616163e-05,2.572345e-05,2.561141e-05,2.529675e-05,2.488130e-05,2.478325e-05,2.447689e-05,2.408329e-05,2.399812e-05,2.370026e-05,2.332758e-05,2.325427e-05,2.296502e-05,2.261234e-05,2.254989e-05,2.226931e-05,2.193570e-05,2.188318e-05,2.161128e-05,2.129583e-05,2.125237e-05,2.098911e-05,2.069092e-05,2.065570e-05,2.040103e-05,2.011923e-05,2.009148e-05,1.984529e-05,1.957903e-05,1.955805e-05,1.932022e-05,1.906867e-05,1.905381e-05,1.882419e-05,1.858658e-05,1.857721e-05,1.835565e-05,1.813121e-05,1.812679e-05,1.791310e-05,1.770112e-05,1.729886e-05,1.691871e-05,1.655946e-05,1.621993e-05,1.589902e-05,1.559569e-05,1.530894e-05,1.503784e-05,1.478149e-05,1.453907e-05,1.430979e-05,1.409289e-05,1.388767e-05,1.369346e-05,1.350965e-05,1.333564e-05,1.317088e-05,1.301484e-05,1.286703e-05,1.272698e-05,1.259425e-05,1.246845e-05,1.234917e-05,1.223604e-05,1.212874e-05,1.202693e-05,1.193030e-05,1.183858e-05,1.175148e-05,1.166876e-05,1.159017e-05,1.151549e-05,1.144451e-05,1.137702e-05,1.131284e-05,1.125178e-05,1.119368e-05,1.113839e-05,1.108575e-05,1.103562e-05,1.098787e-05,1.094238e-05,1.089902e-05,1.085768e-05,1.081827e-05,1.078067e-05,1.074480e-05,1.071058e-05,1.067791e-05
0.000000e+00,1.123433e-08,2.512160e-07,2.630629e-07,1.827813e-06,7.457968e-06,7.847628e-06,2.350029e-05,4.992537e-05,5.196526e-05,8.995213e-05,1.277259e-04,1.310086e-04,1.711651e-04,2.053647e-04,2.090357e-04,2.442882e-04,2.731356e-04,2.769146e-04,3.070024e-04,3.309346e-04,3.346661e-04,3.600272e-04,3.796402e-04,3.832074e-04,4.043259e-04,4.201862e-04,4.234988e-04,4.408386e-04,4.534634e-04,4.564534e-04,4.704474e-04,4.803016e-04,4.829199e-04,4.939659e-04,5.014621e-04,5.036750e-04,5.121327e-04,5.176337e-04,5.194202e-04,5.256143e-04,5.294384e-04,5.307884e-04,5.350115e-04,5.374371e-04,5.383493e-04,5.408649e-04,5.421363e-04,5.426174e-04,5.436616e-04,5.439883e-04,5.440498e-04,5.438303e-04,5.433923e-04,5.430491e-04,5.417494e-04,5.407012e-04,5.399719e-04,5.377549e-04,5.362287e-04,5.351342e-04,5.321438e-04,5.302527e-04,5.288156e-04,5.251794e-04,5.230190e-04,5.212631e-04,5.170931e-04,5.147446e-04,5.126940e-04,5.080890e-04,5.056202e-04,5.032996e-04,4.983461e-04,4.958138e-04,4.932475e-04,4.880216e-04,4.854728e-04,4.826848e-04,4.772527e-04,4.747260e-04,4.717397e-04,4.661593e-04,4.636858e-04,4.605240e-04,4.548454e-04,4.524502e-04,4.491345e-04,4.434013e-04,4.411039e-04,4.376552e-04,4.319048e-04,4.297202e-04,4.261582e-04,4.204228e-04,4.183622e-04,4.147055e-04,4.090127e-04,4.070837e-04,4.033500e-04,3.977229e-04,3.959306e-04,3.921363e-04,3.865947e-04,3.849416e-04,3.811022e-04,3.756624e-04,3.741492e-04,3.702788e-04,3.649545e-04,3.635802e-04,3.596920e-04,3.544941e-04,3.532564e-04,3.493627e-04,3.442999e-04,3.431955e-04,3.393075e-04,3.343868e-04,3.334114e-04,3.295393e-04,3.247659e-04,3.239146e-04,3.200677e-04,3.154453e-04,3.147128e-04,3.108995e-04,3.064306e-04,3.058111e-04,3.020390e-04,2.977249e-04,2.972124e-04,2.934884e-04,2.893294e-04,2.889178e-04,2.852480e-04,2.812438e-04,2.809268e-04,2.773166e-04,2.734660e-04,2.732374e-04,2.696915e-04,2.659928e-04,2.658464e-04,2.623692e-04,2.588201e-04,2.587498e-04,2.553448e-04,2.519426e-04,2.454191e-04,2.391731e-04,2.331978e-04,2.274862e-04,2.220310e-04,2.168246e-04,2.118594e-04,2.071274e-04,2.026210e-04,1.983323e-04,1.942537e-04,1.903773e-04,1.866956e-04,1.832011e-04,1.798865e-04,1.767447e-04,1.737685e-04,1.709512e-04,1.682861e-04,1.657667e-04,1.633868e-04,1.611402e-04,1.590211e-04,1.570238e-04,1.551428e-04,1.533728e-04,1.517086e-04,1.501453e-04,1.486783e-04,1.473028e-04,1.460146e-04,1.448094e-04,1.436832e-04,1.426321e-04,1.416523e-04,1.407403e-04,1.398927e-04,1.391062e-04,1.383776e-04,1.377040e-04,1.370824e-04,1.365102e-04,1.359847e-04,1.355034e-04,1.350639e-04,1.346639e-04,1.343012e-04,1.339737e-04,1.336795e-04
0.000000e+00,1.310091e-09,1.644721e-08,1.714641e-08,9.902636e-08,3.275950e-07,3.414455e-07,8.005596e-07,1.367460e-06,1.405394e-06,2.033280e-06,2.577843e-06,2.623140e-06,3.159914e-06,3.596804e-06,3.642721e-06,4.074195e-06,4.414133e-06,4.457744e-06,4.796844e-06,5.055488e-06,5.094857e-06,5.354969e-06,5.546381e-06,5.580191e-06,5.773355e-06,5.909695e-06,5.937114e-06,6.073949e-06,6.165590e-06,6.186170e-06,6.275931e-06,6.331643e-06,6.345229e-06,6.395920e-06,6.423060e-06,6.429718e-06,6.448212e-06,6.452912e-06,6.452869e-06,6.445042e-06,6.432383e-06,6.425982e-06,6.396838e-06,6.371009e-06,6.358671e-06,6.312455e-06,6.276892e-06,6.259088e-06,6.199394e-06,6.156900e-06,6.134129e-06,6.063986e-06,6.016831e-06,5.989602e-06,5.911559e-06,5.861570e-06,5.830389e-06,5.746581e-06,5.695215e-06,5.660577e-06,5.572783e-06,5.521189e-06,5.483568e-06,5.393269e-06,5.342342e-06,5.302188e-06,5.210604e-06,5.161028e-06,5.118766e-06,5.026900e-06,4.979186e-06,4.935209e-06,4.843876e-06,4.798397e-06,4.753067e-06,4.662926e-06,4.619936e-06,4.573587e-06,4.485164e-06,4.444826e-06,4.397760e-06,4.311467e-06,4.273871e-06,4.226363e-06,4.142516e-06,4.107690e-06,4.059986e-06,3.978824e-06,3.946751e-06,3.899071e-06,3.820763e-06,3.791391e-06,3.743929e-06,3.668592e-06,3.641840e-06,3.594768e-06,3.522471e-06,3.498238e-06,3.451707e-06,3.382480e-06,3.360652e-06,3.314791e-06,3.248636e-06,3.229088e-06,3.184009e-06,3.120901e-06,3.103501e-06,3.059300e-06,2.999194e-06,2.983809e-06,2.940567e-06,2.883401e-06,2.869897e-06,2.827679e-06,2.773380e-06,2.761623e-06,2.720484e-06,2.668969e-06,2.658829e-06,2.618812e-06,2.569990e-06,2.561342e-06,2.522479e-06,2.476255e-06,2.468977e-06,2.431293e-06,2.387567e-06,2.381543e-06,2.345054e-06,2.303727e-06,2.298846e-06,2.263561e-06,2.224531e-06,2.220690e-06,2.186611e-06,2.149777e-06,2.146876e-06,2.114003e-06,2.079264e-06,2.077212e-06,2.045536e-06,2.012794e-06,2.011505e-06,1.981015e-06,1.950174e-06,1.949566e-06,1.920248e-06,1.891214e-06,1.836269e-06,1.784560e-06,1.735921e-06,1.690191e-06,1.647216e-06,1.606850e-06,1.568952e-06,1.533386e-06,1.500026e-06,1.468748e-06,1.439436e-06,1.411980e-06,1.386275e-06,1.362220e-06,1.339722e-06,1.318691e-06,1.299042e-06,1.280694e-06,1.263573e-06,1.247606e-06,1.232725e-06,1.218866e-06,1.205969e-06,1.193976e-06,1.182833e-06,1.172490e-06,1.162898e-06,1.154013e-06,1.145790e-06,1.138190e-06,1.131176e-06,1.124710e-06,1.118760e-06,1.113293e-06,1.108280e-06,1.103692e-06,1.099503e-06,1.095687e-06,1.092221e-06,1.089083e-06,1.086252e-06,1.083708e-06,1.081432e-06,1.079408e-06,1.077618e-06,1.076047e-06,1.074681e-06,1.073506e-06,1.072509e-06
0.000000e+00,6.790477e-10,1.032729e-08,1.080311e-08,6.945213e-08,2.279083e-07,2.369503e-07,5.026427e-07,7.762826e-07,7.936299e-07,1.075684e-06,1.321066e-06,1.341726e-06,1.590830e-06,1.800788e-06,1.823303e-06,2.039747e-06,2.217487e-06,2.240828e-06,2.427221e-06,2.576243e-06,2.599545e-06,2.758455e-06,2.882054e-06,2.904608e-06,3.038647e-06,3.139958e-06,3.161197e-06,3.272859e-06,3.354739e-06,3.374213e-06,3.465815e-06,3.530841e-06,3.548201e-06,3.621882e-06,3.672358e-06,3.687345e-06,3.745059e-06,3.783040e-06,3.795468e-06,3.838999e-06,3.866310e-06,3.876057e-06,3.907028e-06,3.925284e-06,3.932280e-06,3.952165e-06,3.962791e-06,3.967016e-06,3.977149e-06,3.981401e-06,3.982868e-06,3.984459e-06,3.983437e-06,3.982195e-06,3.976334e-06,3.971003e-06,3.967123e-06,3.954796e-06,3.945996e-06,3.939573e-06,3.921666e-06,3.910128e-06,3.901272e-06,3.878582e-06,3.864939e-06,3.853774e-06,3.827017e-06,3.811815e-06,3.798472e-06,3.768292e-06,3.751999e-06,3.736618e-06,3.703587e-06,3.686604e-06,3.669328e-06,3.633961e-06,3.616625e-06,3.597601e-06,3.560356e-06,3.542954e-06,3.522327e-06,3.483610e-06,3.466380e-06,3.444295e-06,3.404469e-06,3.387608e-06,3.364209e-06,3.323592e-06,3.307261e-06,3.282689e-06,3.241564e-06,3.225892e-06,3.200281e-06,3.158897e-06,3.143985e-06,3.117468e-06,3.076043e-06,3.061968e-06,3.034670e-06,2.993394e-06,2.980213e-06,2.952256e-06,2.911294e-06,2.899045e-06,2.870544e-06,2.830039e-06,2.818746e-06,2.789810e-06,2.749884e-06,2.739557e-06,2.710289e-06,2.671048e-06,2.661685e-06,2.632183e-06,2.593714e-06,2.585306e-06,2.555661e-06,2.518038e-06,2.510567e-06,2.480863e-06,2.444148e-06,2.437589e-06,2.407905e-06,2.372146e-06,2.366470e-06,2.336881e-06,2.302117e-06,2.297291e-06,2.267863e-06,2.234125e-06,2.230111e-06,2.200907e-06,2.168216e-06,2.164975e-06,2.136053e-06,2.104422e-06,2.101915e-06,2.073326e-06,2.042765e-06,2.040948e-06,2.012740e-06,1.983251e-06,1.982082e-06,1.954297e-06,1.925878e-06,1.925315e-06,1.897992e-06,1.870636e-06,1.818026e-06,1.767462e-06,1.718914e-06,1.672347e-06,1.627724e-06,1.585003e-06,1.544140e-06,1.505088e-06,1.467800e-06,1.432227e-06,1.398317e-06,1.366021e-06,1.335287e-06,1.306064e-06,1.278300e-06,1.251946e-06,1.226950e-06,1.203262e-06,1.180834e-06,1.159618e-06,1.139566e-06,1.120631e-06,1.102770e-06,1.085937e-06,1.070090e-06,1.055186e-06,1.041185e-06,1.028049e-06,1.015737e-06,1.004214e-06,9.934442e-07,9.833920e-07,9.740245e-07,9.653092e-07,9.572152e-07,9.497123e-07,9.427718e-07,9.363657e-07,9.304675e-07,9.250514e-07,9.200927e-07,9.155678e-07,9.114539e-07,9.077292e-07,9.043728e-07,9.013647e-07,8.986857e-07,8.963175e-07,8.942425e-07
0.000000e+00,4.211456e-08,8.849419e-07,9.299951e-07,7.047824e-06,2.402288e-05,2.495524e-05,5.061463e-05,7.523748e-05,7.677165e-05,1.014559e-04,1.226142e-04,1.243835e-04,1.455675e-04,1.631987e-04,1.650765e-04,1.829884e-04,1.974925e-04,1.993822e-04,2.143364e-04,2.261047e-04,2.279285e-04,2.402345e-04,2.496322e-04,2.513289e-04,2.612839e-04,2.686460e-04,2.701695e-04,2.780529e-04,2.836814e-04,2.849984e-04,2.910675e-04,2.952307e-04,2.963186e-04,3.008072e-04,3.037407e-04,3.045853e-04,3.077019e-04,3.096099e-04,3.102037e-04,3.121350e-04,3.131956e-04,3.135373e-04,3.144502e-04,3.148188e-04,3.149124e-04,3.149597e-04,3.147718e-04,3.146250e-04,3.139387e-04,3.133074e-04,3.129300e-04,3.116257e-04,3.106478e-04,3.100514e-04,3.082308e-04,3.069881e-04,3.061861e-04,3.039385e-04,3.025006e-04,3.015074e-04,2.989110e-04,2.973362e-04,2.961666e-04,2.932900e-04,2.916269e-04,2.902961e-04,2.871990e-04,2.854883e-04,2.840117e-04,2.807461e-04,2.790209e-04,2.774137e-04,2.740249e-04,2.723124e-04,2.705894e-04,2.671164e-04,2.654384e-04,2.636141e-04,2.600904e-04,2.584643e-04,2.565525e-04,2.530070e-04,2.514463e-04,2.494602e-04,2.459176e-04,2.444323e-04,2.423845e-04,2.388657e-04,2.374632e-04,2.353656e-04,2.318882e-04,2.305735e-04,2.284372e-04,2.250160e-04,2.237922e-04,2.216276e-04,2.182747e-04,2.171433e-04,2.149600e-04,2.116856e-04,2.106466e-04,2.084535e-04,2.052655e-04,2.043180e-04,2.021233e-04,1.990282e-04,1.981702e-04,1.959815e-04,1.929842e-04,1.922131e-04,1.900372e-04,1.871413e-04,1.864540e-04,1.842971e-04,1.815052e-04,1.808980e-04,1.787658e-04,1.760793e-04,1.755484e-04,1.734459e-04,1.708656e-04,1.704068e-04,1.683385e-04,1.658646e-04,1.654736e-04,1.634436e-04,1.610753e-04,1.607479e-04,1.587595e-04,1.564959e-04,1.562278e-04,1.542841e-04,1.521237e-04,1.519105e-04,1.500142e-04,1.479551e-04,1.477925e-04,1.459459e-04,1.439859e-04,1.438699e-04,1.420747e-04,1.402116e-04,1.401381e-04,1.383960e-04,1.366271e-04,1.365922e-04,1.349044e-04,1.332271e-04,1.300372e-04,1.270169e-04,1.241606e-04,1.214624e-04,1.189164e-04,1.165169e-04,1.142580e-04,1.121340e-04,1.101392e-04,1.082679e-04,1.065148e-04,1.048744e-04,1.033415e-04,1.019110e-04,1.005779e-04,9.933747e-05,9.818498e-05,9.711594e-05,9.612597e-05,9.521086e-05,9.436656e-05,9.358914e-05,9.287485e-05,9.222008e-05,9.162135e-05,9.107534e-05,9.057886e-05,9.012886e-05,8.972241e-05,8.935674e-05,8.902917e-05,8.873717e-05,8.847831e-05,8.825030e-05,8.805094e-05,8.787815e-05,8.772994e-05,8.760445e-05,8.749988e-05,8.741457e-05,8.734692e-05,8.729542e-05,8.725865e-05,8.723528e-05,8.722405e-05,8.722376e-05,8.723332e-05,8.725167e-05,8.727785e-05
0.000000e+00,8.298176e-10,1.167352e-08,1.219188e-08,7.418842e-08,2.444375e-07,2.545017e-07,5.698332e-07,9.187318e-07,9.410560e-07,1.301706e-06,1.608481e-06,1.633932e-06,1.935690e-06,2.182202e-06,2.208185e-06,2.453209e-06,2.647570e-06,2.672604e-06,2.868154e-06,3.018546e-06,3.041548e-06,3.194390e-06,3.308007e-06,3.328198e-06,3.444407e-06,3.527519e-06,3.544373e-06,3.629372e-06,3.687403e-06,3.700603e-06,3.759191e-06,3.796792e-06,3.806188e-06,3.842574e-06,3.863696e-06,3.869265e-06,3.887113e-06,3.895094e-06,3.896909e-06,3.899389e-06,3.897029e-06,3.895235e-06,3.885078e-06,3.874712e-06,3.869503e-06,3.849053e-06,3.832618e-06,3.824227e-06,3.795487e-06,3.774584e-06,3.763261e-06,3.727941e-06,3.703881e-06,3.689890e-06,3.649442e-06,3.623297e-06,3.606905e-06,3.562560e-06,3.535195e-06,3.516667e-06,3.469464e-06,3.441572e-06,3.421168e-06,3.371980e-06,3.344113e-06,3.322081e-06,3.271638e-06,3.244226e-06,3.220802e-06,3.169713e-06,3.143088e-06,3.118495e-06,3.067263e-06,3.041674e-06,3.016120e-06,2.965158e-06,2.940786e-06,2.914462e-06,2.864108e-06,2.841078e-06,2.814162e-06,2.764685e-06,2.743078e-06,2.715732e-06,2.667348e-06,2.647208e-06,2.619577e-06,2.572455e-06,2.553795e-06,2.526014e-06,2.480281e-06,2.463093e-06,2.435279e-06,2.391029e-06,2.375286e-06,2.347547e-06,2.304845e-06,2.290507e-06,2.262935e-06,2.221825e-06,2.208839e-06,2.181518e-06,2.142020e-06,2.130328e-06,2.103331e-06,2.065451e-06,2.054990e-06,2.028379e-06,1.992110e-06,1.982811e-06,1.956640e-06,1.921964e-06,1.913759e-06,1.888074e-06,1.854962e-06,1.847781e-06,1.822621e-06,1.791039e-06,1.784813e-06,1.760209e-06,1.730118e-06,1.724779e-06,1.700756e-06,1.672112e-06,1.667595e-06,1.644173e-06,1.616929e-06,1.613169e-06,1.590365e-06,1.564470e-06,1.561407e-06,1.539231e-06,1.514636e-06,1.512211e-06,1.490670e-06,1.467323e-06,1.465481e-06,1.444580e-06,1.422428e-06,1.421118e-06,1.400856e-06,1.379849e-06,1.379021e-06,1.359396e-06,1.339484e-06,1.339091e-06,1.320100e-06,1.301231e-06,1.265347e-06,1.231343e-06,1.199132e-06,1.168624e-06,1.139735e-06,1.112385e-06,1.086494e-06,1.061988e-06,1.038795e-06,1.016847e-06,9.960765e-07,9.764225e-07,9.578250e-07,9.402272e-07,9.235753e-07,9.078180e-07,8.929067e-07,8.787953e-07,8.654401e-07,8.527996e-07,8.408346e-07,8.295080e-07,8.187846e-07,8.086312e-07,7.990164e-07,7.899104e-07,7.812851e-07,7.731142e-07,7.653724e-07,7.580362e-07,7.510831e-07,7.444922e-07,7.382435e-07,7.323182e-07,7.266985e-07,7.213677e-07,7.163102e-07,7.115108e-07,7.069557e-07,7.026316e-07,6.985259e-07,6.946269e-07,6.909234e-07,6.874049e-07,6.840615e-07,6.808837e-07,6.778629e-07,6.749906e-07,6.722590e-07
0.000000e+00,1.621390e-08,2.129658e-07,2.217634e-07,1.272053e-06,4.584077e-06,4.800141e-06,1.271443e-05,2.395309e-05,2.474436e-05,3.824256e-05,5.026914e-05,5.127510e-05,6.322061e-05,7.294982e-05,7.397174e-05,8.356385e-05,9.110300e-05,9.206880e-05,9.956558e-05,1.052661e-04,1.061322e-04,1.118434e-04,1.160314e-04,1.167696e-04,1.209773e-04,1.239350e-04,1.245285e-04,1.274812e-04,1.294488e-04,1.298894e-04,1.318032e-04,1.329826e-04,1.332689e-04,1.343296e-04,1.348894e-04,1.350250e-04,1.353915e-04,1.354703e-04,1.354619e-04,1.352668e-04,1.349777e-04,1.348342e-04,1.341898e-04,1.336255e-04,1.333574e-04,1.323593e-04,1.315971e-04,1.312170e-04,1.299483e-04,1.290499e-04,1.285698e-04,1.270965e-04,1.261101e-04,1.255418e-04,1.239183e-04,1.228820e-04,1.222370e-04,1.205082e-04,1.194520e-04,1.187412e-04,1.169442e-04,1.158912e-04,1.151247e-04,1.132897e-04,1.122575e-04,1.114451e-04,1.095965e-04,1.085983e-04,1.077488e-04,1.059063e-04,1.049516e-04,1.040729e-04,1.022522e-04,1.013476e-04,1.004473e-04,9.866073e-05,9.781045e-05,9.689500e-05,9.515216e-05,9.435865e-05,9.343401e-05,9.174209e-05,9.100631e-05,9.007773e-05,8.844205e-05,8.776384e-05,8.683597e-05,8.526026e-05,8.463863e-05,8.371553e-05,8.220224e-05,8.163551e-05,8.072073e-05,7.927123e-05,7.875728e-05,7.785387e-05,7.646867e-05,7.600503e-05,7.511560e-05,7.379452e-05,7.337851e-05,7.250527e-05,7.124759e-05,7.087641e-05,7.002121e-05,6.882578e-05,6.849656e-05,6.766093e-05,6.652625e-05,6.623612e-05,6.542130e-05,6.434563e-05,6.409177e-05,6.329874e-05,6.228013e-05,6.205978e-05,6.128928e-05,6.032568e-05,6.013618e-05,5.938877e-05,5.847801e-05,5.831680e-05,5.759285e-05,5.673273e-05,5.659740e-05,5.589711e-05,5.508542e-05,5.497366e-05,5.429712e-05,5.353164e-05,5.344129e-05,5.278844e-05,5.206697e-05,5.199600e-05,5.136671e-05,5.068711e-05,5.063362e-05,5.002765e-05,4.938781e-05,4.935004e-05,4.876709e-05,4.816497e-05,4.814126e-05,4.758096e-05,4.701459e-05,4.700344e-05,4.646537e-05,4.593283e-05,4.492585e-05,4.397907e-05,4.308917e-05,4.225302e-05,4.146761e-05,4.073008e-05,4.003772e-05,3.938794e-05,3.877830e-05,3.820647e-05,3.767025e-05,3.716757e-05,3.669646e-05,3.625507e-05,3.584163e-05,3.545449e-05,3.509209e-05,3.475295e-05,3.443568e-05,3.413898e-05,3.386160e-05,3.360238e-05,3.336024e-05,3.313412e-05,3.292308e-05,3.272619e-05,3.254258e-05,3.237146e-05,3.221206e-05,3.206365e-05,3.192556e-05,3.179717e-05,3.167786e-05,3.156709e-05,3.146432e-05,3.136906e-05,3.128083e-05,3.119921e-05,3.112377e-05,3.105414e-05,3.098993e-05,3.093082e-05,3.087647e-05,3.082658e-05,3.078088e-05,3.073909e-05,3.070096e-05,3.066625e-05,3.063474e-05
0.000000e+00,8.064327e-09,1.312600e-07,1.369908e-07,7.978806e-07,2.591507e-06,2.699090e-06,6.276102e-06,1.090233e-05,1.122404e-05,1.673984e-05,2.164008e-05,2.204358e-05,2.668864e-05,3.020428e-05,3.055680e-05,3.369225e-05,3.591650e-05,3.618478e-05,3.812680e-05,3.942077e-05,3.960204e-05,4.068353e-05,4.133387e-05,4.143401e-05,4.190717e-05,4.212051e-05,4.214872e-05,4.219753e-05,4.212015e-05,4.208658e-05,4.184381e-05,4.157829e-05,4.149288e-05,4.105382e-05,4.067172e-05,4.054357e-05,3.997640e-05,3.952721e-05,3.936436e-05,3.871758e-05,3.823524e-05,3.804461e-05,3.735260e-05,3.686012e-05,3.664755e-05,3.593448e-05,3.544719e-05,3.521760e-05,3.450037e-05,3.402824e-05,3.378569e-05,3.307594e-05,3.262521e-05,3.237308e-05,3.167868e-05,3.125299e-05,3.099405e-05,3.032022e-05,2.992144e-05,2.965799e-05,2.900799e-05,2.863679e-05,2.837071e-05,2.774648e-05,2.740271e-05,2.713555e-05,2.653806e-05,2.622103e-05,2.595408e-05,2.538362e-05,2.509230e-05,2.482662e-05,2.428301e-05,2.401619e-05,2.375266e-05,2.323542e-05,2.299174e-05,2.273110e-05,2.223950e-05,2.201758e-05,2.176042e-05,2.129363e-05,2.109208e-05,2.083890e-05,2.039599e-05,2.021343e-05,1.996465e-05,1.954463e-05,1.937974e-05,1.913569e-05,1.873758e-05,1.858908e-05,1.835004e-05,1.797284e-05,1.783953e-05,1.760572e-05,1.724845e-05,1.712917e-05,1.690078e-05,1.656247e-05,1.645615e-05,1.623330e-05,1.591304e-05,1.581866e-05,1.560146e-05,1.529834e-05,1.521495e-05,1.500346e-05,1.471662e-05,1.464334e-05,1.443761e-05,1.416623e-05,1.410221e-05,1.390227e-05,1.364555e-05,1.359002e-05,1.339587e-05,1.315306e-05,1.310530e-05,1.291692e-05,1.268730e-05,1.264664e-05,1.246400e-05,1.224688e-05,1.221270e-05,1.203576e-05,1.183048e-05,1.180220e-05,1.163089e-05,1.143684e-05,1.141392e-05,1.124818e-05,1.106477e-05,1.104671e-05,1.088646e-05,1.071312e-05,1.069947e-05,1.054463e-05,1.038083e-05,1.037115e-05,1.022162e-05,1.006687e-05,1.006077e-05,9.916458e-06,9.770266e-06,9.767384e-06,9.628181e-06,9.490094e-06,9.228052e-06,8.980455e-06,8.746539e-06,8.525578e-06,8.316885e-06,8.119809e-06,7.933730e-06,7.758064e-06,7.592254e-06,7.435773e-06,7.288122e-06,7.148828e-06,7.017442e-06,6.893538e-06,6.776714e-06,6.666589e-06,6.562800e-06,6.465004e-06,6.372878e-06,6.286112e-06,6.204417e-06,6.127516e-06,6.055148e-06,5.987064e-06,5.923032e-06,5.862828e-06,5.806242e-06,5.753075e-06,5.703140e-06,5.656257e-06,5.612257e-06,5.570980e-06,5.532276e-06,5.496001e-06,5.462019e-06,5.430202e-06,5.400429e-06,5.372584e-06,5.346560e-06,5.322252e-06,5.299564e-06,5.278404e-06,5.258685e-06,5.240324e-06,5.223244e-06,5.207371e-06,5.192635e-06,5.178970e-06,5.166315e-06
0.000000e+00,1.465367e-09,1.698927e-08,1.768852e-08,9.894385e-08,3.304181e-07,3.446874e-07,8.331134e-07,1.477963e-06,1.522584e-06,2.278748e-06,2.950257e-06,3.006487e-06,3.676277e-06,4.226087e-06,4.284135e-06,4.832399e-06,5.268501e-06,5.324762e-06,5.765099e-06,6.105061e-06,6.157185e-06,6.504613e-06,6.764432e-06,6.810780e-06,7.078876e-06,7.272410e-06,7.311891e-06,7.512617e-06,7.651712e-06,7.683667e-06,7.827465e-06,7.922156e-06,7.946254e-06,8.042141e-06,8.100901e-06,8.117072e-06,8.172857e-06,8.202803e-06,8.211173e-06,8.233572e-06,8.240657e-06,8.241495e-06,8.236274e-06,8.225464e-06,8.219144e-06,8.191244e-06,8.166660e-06,8.153626e-06,8.107264e-06,8.072315e-06,8.053057e-06,7.991833e-06,7.949322e-06,7.924355e-06,7.851330e-06,7.803554e-06,7.773404e-06,7.691176e-06,7.640005e-06,7.605195e-06,7.515965e-06,7.462908e-06,7.423950e-06,7.329575e-06,7.275841e-06,7.233230e-06,7.135272e-06,7.081820e-06,7.036027e-06,6.935794e-06,6.883374e-06,6.834845e-06,6.733429e-06,6.682617e-06,6.631771e-06,6.530076e-06,6.481305e-06,6.428531e-06,6.327305e-06,6.280890e-06,6.226549e-06,6.126401e-06,6.082561e-06,6.026985e-06,5.928410e-06,5.887284e-06,5.830776e-06,5.734170e-06,5.695834e-06,5.638671e-06,5.544347e-06,5.508824e-06,5.451257e-06,5.359456e-06,5.326731e-06,5.268987e-06,5.179889e-06,5.149914e-06,5.092195e-06,5.005931e-06,4.978633e-06,4.921121e-06,4.837781e-06,4.813067e-06,4.755924e-06,4.675560e-06,4.653326e-06,4.596694e-06,4.519329e-06,4.499460e-06,4.443465e-06,4.369098e-06,4.351472e-06,4.296224e-06,4.224834e-06,4.209327e-06,4.154921e-06,4.086471e-06,4.072956e-06,4.019473e-06,3.953912e-06,3.942263e-06,3.889774e-06,3.827041e-06,3.817133e-06,3.765696e-06,3.705722e-06,3.697434e-06,3.647098e-06,3.589807e-06,3.583020e-06,3.533827e-06,3.479137e-06,3.473738e-06,3.425718e-06,3.373547e-06,3.369427e-06,3.322603e-06,3.272865e-06,3.269919e-06,3.224311e-06,3.176918e-06,3.175046e-06,3.130666e-06,3.085532e-06,3.084640e-06,3.041494e-06,2.998530e-06,2.916549e-06,2.838531e-06,2.764313e-06,2.693734e-06,2.626640e-06,2.562879e-06,2.502305e-06,2.444775e-06,2.390152e-06,2.338303e-06,2.289101e-06,2.242422e-06,2.198149e-06,2.156168e-06,2.116371e-06,2.078654e-06,2.042918e-06,2.009066e-06,1.977007e-06,1.946655e-06,1.917927e-06,1.890741e-06,1.865024e-06,1.840703e-06,1.817708e-06,1.795974e-06,1.775438e-06,1.756041e-06,1.737726e-06,1.720438e-06,1.704126e-06,1.688741e-06,1.674236e-06,1.660567e-06,1.647691e-06,1.635568e-06,1.624160e-06,1.613430e-06,1.603343e-06,1.593867e-06,1.584971e-06,1.576623e-06,1.568797e-06,1.561464e-06,1.554600e-06,1.548180e-06,1.542180e-06,1.536580e-06,1.531357e-06
0.000000e+00,9.121665e-10,5.032539e-08,5.348721e-08,6.808734e-07,4.175761e-06,4.458515e-06,1.842001e-05,5.015777e-05,5.297651e-05,1.151325e-04,1.959837e-04,2.039254e-04,3.123795e-04,4.194215e-04,4.315825e-04,5.535128e-04,6.582593e-04,6.721809e-04,7.836991e-04,8.721911e-04,8.858907e-04,9.778037e-04,1.046941e-03,1.059286e-03,1.130670e-03,1.182083e-03,1.192552e-03,1.245656e-03,1.282334e-03,1.290749e-03,1.328587e-03,1.353533e-03,1.359895e-03,1.385348e-03,1.401161e-03,1.405568e-03,1.421121e-03,1.429930e-03,1.432522e-03,1.440236e-03,1.443743e-03,1.444680e-03,1.446233e-03,1.445781e-03,1.445231e-03,1.441977e-03,1.438618e-03,1.436744e-03,1.429774e-03,1.424329e-03,1.421285e-03,1.411471e-03,1.404577e-03,1.400509e-03,1.388552e-03,1.380702e-03,1.375742e-03,1.362202e-03,1.353774e-03,1.348044e-03,1.333367e-03,1.324653e-03,1.318261e-03,1.302804e-03,1.294022e-03,1.287067e-03,1.271112e-03,1.262426e-03,1.254995e-03,1.238765e-03,1.230296e-03,1.222466e-03,1.206137e-03,1.197972e-03,1.189812e-03,1.173521e-03,1.165722e-03,1.157292e-03,1.141147e-03,1.133754e-03,1.125107e-03,1.109190e-03,1.102230e-03,1.093413e-03,1.077788e-03,1.071274e-03,1.062327e-03,1.047042e-03,1.040979e-03,1.031940e-03,1.017029e-03,1.011414e-03,1.002315e-03,9.878036e-04,9.826298e-04,9.734986e-04,9.594035e-04,9.546594e-04,9.455209e-04,9.318528e-04,9.275245e-04,9.184005e-04,9.051650e-04,9.012367e-04,8.921465e-04,8.793451e-04,8.757995e-04,8.667602e-04,8.543912e-04,8.512105e-04,8.422370e-04,8.302963e-04,8.274621e-04,8.185676e-04,8.070492e-04,8.045432e-04,7.957392e-04,7.846355e-04,7.824394e-04,7.737361e-04,7.630386e-04,7.611343e-04,7.525406e-04,7.422398e-04,7.406098e-04,7.321336e-04,7.222193e-04,7.208465e-04,7.124946e-04,7.029565e-04,7.018244e-04,6.936026e-04,6.844300e-04,6.835226e-04,6.754361e-04,6.666182e-04,6.659203e-04,6.579735e-04,6.494993e-04,6.489962e-04,6.411928e-04,6.330514e-04,6.327292e-04,6.250724e-04,6.172531e-04,6.170983e-04,6.095907e-04,6.020828e-04,5.876623e-04,5.738168e-04,5.605266e-04,5.477726e-04,5.355362e-04,5.237990e-04,5.125435e-04,5.017524e-04,4.914090e-04,4.814972e-04,4.720012e-04,4.629060e-04,4.541967e-04,4.458591e-04,4.378795e-04,4.302446e-04,4.229415e-04,4.159578e-04,4.092814e-04,4.029009e-04,3.968049e-04,3.909828e-04,3.854240e-04,3.801185e-04,3.750566e-04,3.702288e-04,3.656262e-04,3.612401e-04,3.570620e-04,3.530837e-04,3.492976e-04,3.456959e-04,3.422715e-04,3.390173e-04,3.359266e-04,3.329928e-04,3.302096e-04,3.275710e-04,3.250711e-04,3.227044e-04,3.204653e-04,3.183487e-04,3.163494e-04,3.144627e-04,3.126839e-04,3.110084e-04,3.094319e-04,3.079502e-04,3.065593e-04
0.000000e+00,1.074632e-08,1.597877e-07,1.670802e-07,1.113939e-06,4.089749e-06,4.276376e-06,1.049177e-05,1.789994e-05,1.838639e-05,2.639859e-05,3.341354e-05,3.400342e-05,4.109397e-05,4.702989e-05,4.766387e-05,5.373036e-05,5.867102e-05,5.931687e-05,6.444801e-05,6.851443e-05,6.914716e-05,7.343733e-05,7.674187e-05,7.734153e-05,8.088206e-05,8.352903e-05,8.408042e-05,8.695724e-05,8.904048e-05,8.953225e-05,9.182430e-05,9.342721e-05,9.385128e-05,9.563022e-05,9.682628e-05,9.717724e-05,9.850762e-05,9.936115e-05,9.963580e-05,1.005754e-04,1.011425e-04,1.013394e-04,1.019400e-04,1.022693e-04,1.023886e-04,1.026960e-04,1.028296e-04,1.028725e-04,1.029277e-04,1.029020e-04,1.028706e-04,1.027098e-04,1.025562e-04,1.024533e-04,1.021086e-04,1.018538e-04,1.016829e-04,1.011827e-04,1.008495e-04,1.006144e-04,9.998384e-05,9.959177e-05,9.929653e-05,9.855764e-05,9.812315e-05,9.777203e-05,9.694424e-05,9.648121e-05,9.607854e-05,9.517892e-05,9.469895e-05,9.424910e-05,9.329258e-05,9.280533e-05,9.231262e-05,9.131226e-05,9.082569e-05,9.029436e-05,8.926156e-05,8.878216e-05,8.821634e-05,8.716099e-05,8.669399e-05,8.609766e-05,8.502835e-05,8.457790e-05,8.395489e-05,8.287902e-05,8.244835e-05,8.180231e-05,8.072625e-05,8.031780e-05,7.965218e-05,7.858138e-05,7.819691e-05,7.751499e-05,7.645408e-05,7.609479e-05,7.539963e-05,7.435254e-05,7.401916e-05,7.331363e-05,7.228364e-05,7.197649e-05,7.126327e-05,7.025312e-05,6.997219e-05,6.925376e-05,6.826570e-05,6.801071e-05,6.728938e-05,6.632521e-05,6.609565e-05,6.537354e-05,6.443469e-05,6.422990e-05,6.350895e-05,6.259654e-05,6.241568e-05,6.169767e-05,6.081252e-05,6.065466e-05,5.994122e-05,5.908389e-05,5.894802e-05,5.824062e-05,5.741147e-05,5.729652e-05,5.659649e-05,5.579569e-05,5.570054e-05,5.500907e-05,5.423663e-05,5.416017e-05,5.347833e-05,5.273411e-05,5.267518e-05,5.200393e-05,5.128769e-05,5.124516e-05,5.058533e-05,4.989673e-05,4.986947e-05,4.922179e-05,4.856039e-05,4.854730e-05,4.791242e-05,4.727773e-05,4.605970e-05,4.489206e-05,4.377359e-05,4.270301e-05,4.167901e-05,4.070021e-05,3.976525e-05,3.887273e-05,3.802126e-05,3.720945e-05,3.643591e-05,3.569929e-05,3.499821e-05,3.433137e-05,3.369745e-05,3.309518e-05,3.252331e-05,3.198063e-05,3.146594e-05,3.097810e-05,3.051598e-05,3.007850e-05,2.966462e-05,2.927330e-05,2.890357e-05,2.855447e-05,2.822509e-05,2.791454e-05,2.762197e-05,2.734655e-05,2.708750e-05,2.684404e-05,2.661546e-05,2.640103e-05,2.620009e-05,2.601199e-05,2.583610e-05,2.567183e-05,2.551859e-05,2.537584e-05,2.524304e-05,2.511971e-05,2.500533e-05,2.489947e-05,2.480166e-05,2.471149e-05,2.462854e-05,2.455244e-05,2.448280e-05
0.000000e+00,7.673322e-10,9.325827e-09,9.718393e-09,5.605187e-08,1.901388e-07,1.984680e-07,4.868811e-07,8.747015e-07,9.017623e-07,1.364237e-06,1.780353e-06,1.815392e-06,2.234713e-06,2.581368e-06,2.618090e-06,2.966105e-06,3.244533e-06,3.280565e-06,3.563552e-06,3.783349e-06,3.817163e-06,4.043428e-06,4.213782e-06,4.244290e-06,4.421589e-06,4.550615e-06,4.577064e-06,4.712351e-06,4.807080e-06,4.828986e-06,4.928406e-06,4.994872e-06,5.011958e-06,5.080898e-06,5.124248e-06,5.136405e-06,5.179577e-06,5.204187e-06,5.211436e-06,5.232928e-06,5.242484e-06,5.244940e-06,5.248294e-06,5.245901e-06,5.243754e-06,5.232028e-06,5.220289e-06,5.213777e-06,5.189611e-06,5.170699e-06,5.160098e-06,5.125763e-06,5.101485e-06,5.087093e-06,5.044541e-06,5.016392e-06,4.998522e-06,4.949424e-06,4.918636e-06,4.897603e-06,4.843389e-06,4.810970e-06,4.787088e-06,4.728979e-06,4.695745e-06,4.669321e-06,4.608354e-06,4.574964e-06,4.546296e-06,4.483349e-06,4.450328e-06,4.419699e-06,4.355516e-06,4.323274e-06,4.290955e-06,4.226160e-06,4.195014e-06,4.161261e-06,4.096375e-06,4.066563e-06,4.031613e-06,3.967072e-06,3.938768e-06,3.902842e-06,3.839004e-06,3.812326e-06,3.775630e-06,3.712788e-06,3.687813e-06,3.650535e-06,3.588926e-06,3.565693e-06,3.528006e-06,3.467819e-06,3.446338e-06,3.408401e-06,3.349784e-06,3.330042e-06,3.291997e-06,3.235064e-06,3.217030e-06,3.179007e-06,3.123841e-06,3.107468e-06,3.069583e-06,3.016244e-06,3.001475e-06,2.963833e-06,2.912357e-06,2.899126e-06,2.861820e-06,2.812226e-06,2.800464e-06,2.763575e-06,2.715868e-06,2.705498e-06,2.669101e-06,2.623271e-06,2.614217e-06,2.578374e-06,2.534404e-06,2.526587e-06,2.491353e-06,2.449215e-06,2.442557e-06,2.407981e-06,2.367641e-06,2.362065e-06,2.328186e-06,2.289605e-06,2.285034e-06,2.251888e-06,2.215022e-06,2.211382e-06,2.178996e-06,2.143798e-06,2.141018e-06,2.109416e-06,2.075837e-06,2.073847e-06,2.043047e-06,2.011035e-06,2.009770e-06,1.979786e-06,1.949289e-06,1.948686e-06,1.919528e-06,1.890492e-06,1.835085e-06,1.782361e-06,1.732219e-06,1.684557e-06,1.639275e-06,1.596276e-06,1.555465e-06,1.516749e-06,1.480038e-06,1.445244e-06,1.412282e-06,1.381071e-06,1.351530e-06,1.323585e-06,1.297161e-06,1.272187e-06,1.248597e-06,1.226323e-06,1.205305e-06,1.185482e-06,1.166796e-06,1.149192e-06,1.132618e-06,1.117023e-06,1.102359e-06,1.088580e-06,1.075642e-06,1.063503e-06,1.052123e-06,1.041463e-06,1.031487e-06,1.022160e-06,1.013448e-06,1.005320e-06,9.977460e-07,9.906967e-07,9.841446e-07,9.780637e-07,9.724291e-07,9.672169e-07,9.624046e-07,9.579706e-07,9.538946e-07,9.501568e-07,9.467388e-07,9.436229e-07,9.407924e-07,9.382312e-07,9.359240e-07
0.000000e+00,8.129097e-09,1.232611e-07,1.287817e-07,8.178953e-07,2.918700e-06,3.050915e-06,7.640029e-06,1.369322e-05,1.410877e-05,2.111773e-05,2.736301e-05,2.788919e-05,3.420959e-05,3.948403e-05,4.004610e-05,4.541028e-05,4.975751e-05,5.032421e-05,5.481216e-05,5.834968e-05,5.889848e-05,6.260696e-05,6.544694e-05,6.596060e-05,6.898152e-05,7.122528e-05,7.169090e-05,7.410891e-05,7.584648e-05,7.625476e-05,7.814664e-05,7.945710e-05,7.980175e-05,8.123638e-05,8.218869e-05,8.246584e-05,8.350459e-05,8.415852e-05,8.436624e-05,8.506357e-05,8.547069e-05,8.560862e-05,8.601267e-05,8.621731e-05,8.628632e-05,8.643954e-05,8.647972e-05,8.648165e-05,8.642139e-05,8.632956e-05,8.626698e-05,8.602609e-05,8.582986e-05,8.570589e-05,8.531313e-05,8.503596e-05,8.485411e-05,8.433471e-05,8.399639e-05,8.376043e-05,8.313642e-05,8.275362e-05,8.246748e-05,8.175809e-05,8.134474e-05,8.101244e-05,8.023442e-05,7.980213e-05,7.942768e-05,7.859559e-05,7.815394e-05,7.774131e-05,7.686777e-05,7.642463e-05,7.597769e-05,7.507360e-05,7.463536e-05,7.415786e-05,7.323263e-05,7.280441e-05,7.229994e-05,7.136166e-05,7.094749e-05,7.041951e-05,6.947508e-05,6.907810e-05,6.852985e-05,6.758517e-05,6.720774e-05,6.664231e-05,6.570239e-05,6.534622e-05,6.476648e-05,6.383555e-05,6.350180e-05,6.291046e-05,6.199203e-05,6.168141e-05,6.108099e-05,6.017800e-05,5.989085e-05,5.928367e-05,5.839853e-05,5.813485e-05,5.752307e-05,5.665772e-05,5.641729e-05,5.580288e-05,5.495889e-05,5.474127e-05,5.412605e-05,5.330462e-05,5.310920e-05,5.249483e-05,5.169688e-05,5.152293e-05,5.091092e-05,5.013709e-05,4.998378e-05,4.937549e-05,4.862622e-05,4.849266e-05,4.788933e-05,4.716485e-05,4.705009e-05,4.645281e-05,4.575322e-05,4.565627e-05,4.506605e-05,4.439127e-05,4.431113e-05,4.372884e-05,4.307870e-05,4.301436e-05,4.244079e-05,4.181502e-05,4.176548e-05,4.120130e-05,4.059954e-05,4.056381e-05,4.000963e-05,3.943146e-05,3.940858e-05,3.886490e-05,3.830984e-05,3.829886e-05,3.776614e-05,3.723365e-05,3.621190e-05,3.523247e-05,3.429419e-05,3.339586e-05,3.253627e-05,3.171420e-05,3.092840e-05,3.017766e-05,2.946075e-05,2.877647e-05,2.812363e-05,2.750106e-05,2.690763e-05,2.634222e-05,2.580373e-05,2.529110e-05,2.480330e-05,2.433932e-05,2.389820e-05,2.347898e-05,2.308076e-05,2.270266e-05,2.234382e-05,2.200342e-05,2.168068e-05,2.137482e-05,2.108511e-05,2.081084e-05,2.055134e-05,2.030595e-05,2.007404e-05,1.985500e-05,1.964826e-05,1.945325e-05,1.926945e-05,1.909634e-05,1.893342e-05,1.878023e-05,1.863631e-05,1.850123e-05,1.837458e-05,1.825595e-05,1.814496e-05,1.804126e-05,1.794448e-05,1.785431e-05,1.777040e-05,1.769247e-05,1.762021e-05
0.000000e+00,3.079614e-09,4.665058e-08,4.875512e-08,2.978066e-07,9.543806e-07,9.921343e-07,2.129144e-06,3.339093e-06,3.416531e-06,4.683961e-06,5.798049e-06,5.892328e-06,7.035199e-06,8.007711e-06,8.112528e-06,9.125647e-06,9.965429e-06,1.007626e-05,1.096628e-05,1.168478e-05,1.179774e-05,1.257278e-05,1.318185e-05,1.329363e-05,1.396253e-05,1.447386e-05,1.458175e-05,1.515353e-05,1.557828e-05,1.568007e-05,1.616354e-05,1.651210e-05,1.660604e-05,1.700957e-05,1.729141e-05,1.737610e-05,1.770752e-05,1.793123e-05,1.800563e-05,1.827219e-05,1.844551e-05,1.850886e-05,1.871725e-05,1.884711e-05,1.889889e-05,1.905524e-05,1.914785e-05,1.918773e-05,1.929768e-05,1.935854e-05,1.938639e-05,1.945508e-05,1.948908e-05,1.950492e-05,1.953703e-05,1.954850e-05,1.955247e-05,1.955227e-05,1.954504e-05,1.953738e-05,1.950875e-05,1.948618e-05,1.946724e-05,1.941369e-05,1.937875e-05,1.934891e-05,1.927365e-05,1.922891e-05,1.918864e-05,1.909457e-05,1.904228e-05,1.899208e-05,1.888180e-05,1.882393e-05,1.876433e-05,1.864022e-05,1.857844e-05,1.851000e-05,1.837419e-05,1.830996e-05,1.823325e-05,1.808766e-05,1.802223e-05,1.793783e-05,1.778417e-05,1.771859e-05,1.762708e-05,1.746693e-05,1.740208e-05,1.730404e-05,1.713877e-05,1.707540e-05,1.697140e-05,1.680225e-05,1.674097e-05,1.663158e-05,1.645966e-05,1.640096e-05,1.628672e-05,1.611301e-05,1.605730e-05,1.593875e-05,1.576413e-05,1.571170e-05,1.558935e-05,1.541459e-05,1.536569e-05,1.524003e-05,1.506581e-05,1.502059e-05,1.489210e-05,1.471903e-05,1.467760e-05,1.454673e-05,1.437533e-05,1.433775e-05,1.420493e-05,1.403565e-05,1.400193e-05,1.386758e-05,1.370081e-05,1.367094e-05,1.353543e-05,1.337152e-05,1.334543e-05,1.320914e-05,1.304837e-05,1.302599e-05,1.288926e-05,1.273188e-05,1.271311e-05,1.257626e-05,1.242246e-05,1.240718e-05,1.227052e-05,1.212047e-05,1.210855e-05,1.197235e-05,1.182619e-05,1.181748e-05,1.168201e-05,1.153983e-05,1.153418e-05,1.139968e-05,1.126157e-05,1.125883e-05,1.112551e-05,1.099152e-05,1.073234e-05,1.048132e-05,1.023847e-05,1.000375e-05,9.777129e-06,9.558525e-06,9.347850e-06,9.144995e-06,8.949838e-06,8.762243e-06,8.582066e-06,8.409152e-06,8.243339e-06,8.084459e-06,7.932340e-06,7.786807e-06,7.647680e-06,7.514778e-06,7.387921e-06,7.266925e-06,7.151610e-06,7.041795e-06,6.937299e-06,6.837946e-06,6.743559e-06,6.653965e-06,6.568992e-06,6.488474e-06,6.412245e-06,6.340143e-06,6.272011e-06,6.207694e-06,6.147039e-06,6.089901e-06,6.036135e-06,5.985601e-06,5.938162e-06,5.893686e-06,5.852044e-06,5.813112e-06,5.776766e-06,5.742891e-06,5.711372e-06,5.682099e-06,5.654964e-06,5.629865e-06,5.606701e-06,5.585376e-06,5.565796e-06
0.000000e+00,2.326097e-09,1.068898e-07,1.131351e-07,1.181878e-06,6.322542e-06,6.721425e-06,2.567111e-05,6.747264e-05,7.115553e-05,1.513319e-04,2.519302e-04,2.615513e-04,3.879128e-04,5.031828e-04,5.156797e-04,6.342385e-04,7.263236e-04,7.378817e-04,8.246401e-04,8.859383e-04,8.948099e-04,9.498207e-04,9.856696e-04,9.915281e-04,1.021829e-03,1.039406e-03,1.042486e-03,1.055070e-03,1.060249e-03,1.060946e-03,1.061284e-03,1.058350e-03,1.057080e-03,1.049177e-03,1.041139e-03,1.038287e-03,1.025007e-03,1.013939e-03,1.009838e-03,9.932017e-04,9.805135e-04,9.754476e-04,9.568681e-04,9.435031e-04,9.377060e-04,9.181626e-04,9.047413e-04,8.984041e-04,8.785674e-04,8.654876e-04,8.587646e-04,8.390872e-04,8.265944e-04,8.196094e-04,8.003911e-04,7.886273e-04,7.814797e-04,7.629126e-04,7.519500e-04,7.447188e-04,7.269202e-04,7.167846e-04,7.095329e-04,6.925681e-04,6.832552e-04,6.760331e-04,6.599316e-04,6.514175e-04,6.442647e-04,6.290314e-04,6.212805e-04,6.142287e-04,5.998521e-04,5.928219e-04,5.858961e-04,5.723540e-04,5.659987e-04,5.592185e-04,5.464816e-04,5.407541e-04,5.341348e-04,5.221694e-04,5.170231e-04,5.105764e-04,4.993468e-04,4.947365e-04,4.884713e-04,4.779406e-04,4.738229e-04,4.677457e-04,4.578773e-04,4.542111e-04,4.483264e-04,4.390840e-04,4.358306e-04,4.301413e-04,4.214897e-04,4.186129e-04,4.131206e-04,4.050258e-04,4.024920e-04,3.971970e-04,3.896263e-04,3.874043e-04,3.823060e-04,3.752284e-04,3.732891e-04,3.683861e-04,3.617720e-04,3.600888e-04,3.553789e-04,3.492002e-04,3.477485e-04,3.432291e-04,3.374592e-04,3.362162e-04,3.318843e-04,3.264981e-04,3.254430e-04,3.212948e-04,3.162686e-04,3.153823e-04,3.114140e-04,3.067255e-04,3.059905e-04,3.021979e-04,2.978261e-04,2.972262e-04,2.936050e-04,2.895299e-04,2.890505e-04,2.855962e-04,2.817993e-04,2.814269e-04,2.781348e-04,2.745985e-04,2.743210e-04,2.711862e-04,2.678940e-04,2.677002e-04,2.647180e-04,2.616544e-04,2.615341e-04,2.586996e-04,2.558501e-04,2.557941e-04,2.531024e-04,2.504533e-04,2.454862e-04,2.408693e-04,2.365800e-04,2.325975e-04,2.289022e-04,2.254754e-04,2.222999e-04,2.193593e-04,2.166385e-04,2.141230e-04,2.117995e-04,2.096553e-04,2.076785e-04,2.058582e-04,2.041838e-04,2.026457e-04,2.012346e-04,1.999421e-04,1.987601e-04,1.976810e-04,1.966979e-04,1.958040e-04,1.949933e-04,1.942599e-04,1.935983e-04,1.930037e-04,1.924710e-04,1.919960e-04,1.915745e-04,1.912025e-04,1.908764e-04,1.905929e-04,1.903487e-04,1.901408e-04,1.899666e-04,1.898233e-04,1.897085e-04,1.896201e-04,1.895559e-04,1.895139e-04,1.894923e-04,1.894893e-04,1.895034e-04,1.895331e-04,1.895770e-04,1.896338e-04,1.897023e-04,1.897813e-04,1.898700e-04
0.000000e+00,3.021535e-09,3.678874e-08,3.834846e-08,2.269763e-07,7.815211e-07,8.156066e-07,1.933508e-06,3.237584e-06,3.322054e-06,4.689407e-06,5.846871e-06,5.942415e-06,7.068049e-06,7.976094e-06,8.071112e-06,8.959823e-06,9.654096e-06,9.742738e-06,1.042813e-05,1.094555e-05,1.102383e-05,1.153724e-05,1.191000e-05,1.197530e-05,1.234452e-05,1.260019e-05,1.265098e-05,1.290033e-05,1.306225e-05,1.309784e-05,1.324837e-05,1.333607e-05,1.335641e-05,1.342613e-05,1.345584e-05,1.346133e-05,1.346554e-05,1.345061e-05,1.344199e-05,1.339363e-05,1.334499e-05,1.332318e-05,1.323314e-05,1.315968e-05,1.312578e-05,1.300317e-05,1.291207e-05,1.286723e-05,1.271969e-05,1.261673e-05,1.256212e-05,1.239598e-05,1.228576e-05,1.222257e-05,1.204308e-05,1.192922e-05,1.185859e-05,1.167008e-05,1.155542e-05,1.147844e-05,1.128446e-05,1.117117e-05,1.108887e-05,1.089232e-05,1.078205e-05,1.069539e-05,1.049860e-05,1.039257e-05,1.030243e-05,1.010729e-05,1.000635e-05,9.913547e-06,9.721535e-06,9.626269e-06,9.531542e-06,9.343821e-06,9.254588e-06,9.158594e-06,8.976054e-06,8.893035e-06,8.796367e-06,8.619672e-06,8.542906e-06,8.446090e-06,8.275718e-06,8.205140e-06,8.108638e-06,7.944913e-06,7.880374e-06,7.784593e-06,7.627712e-06,7.569004e-06,7.474294e-06,7.324352e-06,7.271224e-06,7.177887e-06,7.034895e-06,6.987067e-06,6.895361e-06,6.759264e-06,6.716435e-06,6.626577e-06,6.497268e-06,6.459129e-06,6.371299e-06,6.248628e-06,6.214865e-06,6.129209e-06,6.012995e-06,5.983297e-06,5.899933e-06,5.789970e-06,5.764034e-06,5.683051e-06,5.579119e-06,5.556649e-06,5.478115e-06,5.379979e-06,5.360691e-06,5.284652e-06,5.192073e-06,5.175696e-06,5.102181e-06,5.014915e-06,5.001191e-06,4.930212e-06,4.848013e-06,4.836702e-06,4.768257e-06,4.690884e-06,4.681756e-06,4.615833e-06,4.543046e-06,4.535889e-06,4.472464e-06,4.404029e-06,4.398646e-06,4.337685e-06,4.273376e-06,4.269581e-06,4.211047e-06,4.150643e-06,4.148266e-06,4.092111e-06,4.035400e-06,4.034284e-06,3.980458e-06,3.927235e-06,3.826736e-06,3.732419e-06,3.643933e-06,3.560944e-06,3.483133e-06,3.410198e-06,3.341853e-06,3.277825e-06,3.217858e-06,3.161709e-06,3.109147e-06,3.059955e-06,3.013930e-06,2.970878e-06,2.930618e-06,2.892979e-06,2.857799e-06,2.824926e-06,2.794220e-06,2.765545e-06,2.738775e-06,2.713793e-06,2.690487e-06,2.668753e-06,2.648491e-06,2.629612e-06,2.612027e-06,2.595655e-06,2.580422e-06,2.566255e-06,2.553087e-06,2.540856e-06,2.529502e-06,2.518969e-06,2.509207e-06,2.500166e-06,2.491800e-06,2.484067e-06,2.476926e-06,2.470340e-06,2.464273e-06,2.458692e-06,2.453566e-06,2.448866e-06,2.444565e-06,2.440636e-06,2.437057e-06,2.433803e-06,2.430855e-06
0.000000e+00,6.468208e-10,3.849963e-08,4.096098e-08,5.321930e-07,3.211868e-06,3.426506e-06,1.399336e-05,3.884275e-05,4.112327e-05,9.450526e-05,1.722033e-04,1.803036e-04,2.987121e-04,4.289621e-04,4.445579e-04,6.095233e-04,7.631868e-04,7.844020e-04,9.606861e-04,1.108057e-03,1.131413e-03,1.291442e-03,1.415072e-03,1.437381e-03,1.567327e-03,1.661404e-03,1.680545e-03,1.777158e-03,1.842956e-03,1.857876e-03,1.923775e-03,1.965713e-03,1.976142e-03,2.016341e-03,2.039594e-03,2.045735e-03,2.065637e-03,2.074977e-03,2.077270e-03,2.081756e-03,2.081129e-03,2.080100e-03,2.073205e-03,2.065690e-03,2.061864e-03,2.046775e-03,2.034687e-03,2.028545e-03,2.007702e-03,1.992738e-03,1.984702e-03,1.959941e-03,1.943328e-03,1.933757e-03,1.906443e-03,1.889052e-03,1.878249e-03,1.849389e-03,1.831831e-03,1.820047e-03,1.790380e-03,1.773078e-03,1.760522e-03,1.730587e-03,1.713826e-03,1.700671e-03,1.670858e-03,1.654826e-03,1.641215e-03,1.611803e-03,1.596616e-03,1.582670e-03,1.553857e-03,1.539582e-03,1.525399e-03,1.497324e-03,1.483991e-03,1.469655e-03,1.442411e-03,1.430026e-03,1.415606e-03,1.389252e-03,1.377802e-03,1.363358e-03,1.337929e-03,1.327389e-03,1.312970e-03,1.288483e-03,1.278821e-03,1.264470e-03,1.240929e-03,1.232107e-03,1.217859e-03,1.195257e-03,1.187235e-03,1.173120e-03,1.151444e-03,1.144178e-03,1.130224e-03,1.109455e-03,1.102903e-03,1.089130e-03,1.069245e-03,1.063365e-03,1.049793e-03,1.030768e-03,1.025516e-03,1.012162e-03,9.939688e-04,9.893054e-04,9.761820e-04,9.587943e-04,9.546799e-04,9.417987e-04,9.251882e-04,9.215849e-04,9.089557e-04,8.930941e-04,8.899656e-04,8.775963e-04,8.624554e-04,8.597674e-04,8.476645e-04,8.332166e-04,8.309363e-04,8.191049e-04,8.053227e-04,8.034191e-04,7.918633e-04,7.787201e-04,7.771639e-04,7.658867e-04,7.533565e-04,7.521200e-04,7.411234e-04,7.291811e-04,7.282381e-04,7.175234e-04,7.061444e-04,7.054704e-04,6.950382e-04,6.841988e-04,6.837707e-04,6.736207e-04,6.632981e-04,6.630942e-04,6.532256e-04,6.433978e-04,6.246398e-04,6.067802e-04,5.897804e-04,5.736032e-04,5.582131e-04,5.435758e-04,5.296584e-04,5.164293e-04,5.038584e-04,4.919166e-04,4.805760e-04,4.698100e-04,4.595931e-04,4.499007e-04,4.407094e-04,4.319967e-04,4.237412e-04,4.159221e-04,4.085199e-04,4.015156e-04,3.948911e-04,3.886293e-04,3.827134e-04,3.771278e-04,3.718571e-04,3.668870e-04,3.622035e-04,3.577934e-04,3.536440e-04,3.497431e-04,3.460790e-04,3.426408e-04,3.394176e-04,3.363994e-04,3.335764e-04,3.309393e-04,3.284791e-04,3.261874e-04,3.240560e-04,3.220771e-04,3.202432e-04,3.185472e-04,3.169822e-04,3.155418e-04,3.142197e-04,3.130099e-04,3.119067e-04,3.109046e-04,3.099985e-04
0.000000e+00,8.131369e-09,1.490924e-07,1.561050e-07,1.127974e-06,4.678099e-06,4.919942e-06,1.403873e-05,2.694520e-05,2.783753e-05,4.275029e-05,5.566807e-05,5.673666e-05,6.930497e-05,7.938462e-05,8.043522e-05,9.021769e-05,9.779985e-05,9.876381e-05,1.061837e-04,1.117427e-04,1.125802e-04,1.180487e-04,1.219893e-04,1.226767e-04,1.265449e-04,1.292021e-04,1.297275e-04,1.322927e-04,1.339425e-04,1.343030e-04,1.358158e-04,1.366842e-04,1.368834e-04,1.375537e-04,1.378244e-04,1.378703e-04,1.378727e-04,1.376937e-04,1.375972e-04,1.370762e-04,1.365659e-04,1.363395e-04,1.354137e-04,1.346663e-04,1.343231e-04,1.330895e-04,1.321792e-04,1.317327e-04,1.302703e-04,1.292551e-04,1.287183e-04,1.270910e-04,1.260161e-04,1.254014e-04,1.236610e-04,1.225609e-04,1.218800e-04,1.200678e-04,1.189690e-04,1.182326e-04,1.163817e-04,1.153036e-04,1.145216e-04,1.126582e-04,1.116152e-04,1.107966e-04,1.089412e-04,1.079433e-04,1.070961e-04,1.052647e-04,1.043189e-04,1.034502e-04,1.016551e-04,1.007656e-04,9.988179e-05,9.813217e-05,9.730127e-05,9.640793e-05,9.471050e-05,9.393902e-05,9.304106e-05,9.140058e-05,9.068815e-05,8.978984e-05,8.820947e-05,8.755488e-05,8.665992e-05,8.514154e-05,8.454297e-05,8.365454e-05,8.219902e-05,8.165419e-05,8.077501e-05,7.938245e-05,7.888880e-05,7.802119e-05,7.669104e-05,7.624583e-05,7.539174e-05,7.412298e-05,7.372337e-05,7.288441e-05,7.167565e-05,7.131878e-05,7.049629e-05,6.934589e-05,6.902890e-05,6.822397e-05,6.713007e-05,6.685018e-05,6.606368e-05,6.502429e-05,6.477880e-05,6.401140e-05,6.302446e-05,6.281077e-05,6.206296e-05,6.112636e-05,6.094199e-05,6.021414e-05,5.932575e-05,5.916833e-05,5.846067e-05,5.761836e-05,5.748567e-05,5.679831e-05,5.600000e-05,5.588994e-05,5.522291e-05,5.446654e-05,5.437714e-05,5.373038e-05,5.301394e-05,5.294337e-05,5.231675e-05,5.163831e-05,5.158483e-05,5.097817e-05,5.033586e-05,5.029787e-05,4.971092e-05,4.910292e-05,4.907895e-05,4.851143e-05,4.793601e-05,4.792466e-05,4.737625e-05,4.683174e-05,4.579707e-05,4.481766e-05,4.389067e-05,4.301337e-05,4.218318e-05,4.139764e-05,4.065440e-05,3.995125e-05,3.928606e-05,3.865685e-05,3.806169e-05,3.749879e-05,3.696644e-05,3.646301e-05,3.598697e-05,3.553687e-05,3.511131e-05,3.470901e-05,3.432871e-05,3.396925e-05,3.362951e-05,3.330845e-05,3.300507e-05,3.271842e-05,3.244762e-05,3.219183e-05,3.195023e-05,3.172207e-05,3.150664e-05,3.130326e-05,3.111128e-05,3.093010e-05,3.075915e-05,3.059786e-05,3.044574e-05,3.030229e-05,3.016704e-05,3.003957e-05,2.991945e-05,2.980629e-05,2.969973e-05,2.959940e-05,2.950498e-05,2.941614e-05,2.933260e-05,2.925406e-05,2.918026e-05,2.911095e-05,2.904588e-05
0.000000e+00,1.136979e-08,1.928675e-07,2.014124e-07,1.288644e-06,5.010137e-06,5.261399e-06,1.492176e-05,2.976756e-05,3.084991e-05,4.976370e-05,6.698752e-05,6.843506e-05,8.566717e-05,9.974531e-05,1.012261e-04,1.151455e-04,1.261163e-04,1.275240e-04,1.384728e-04,1.468282e-04,1.481004e-04,1.565107e-04,1.627072e-04,1.638026e-04,1.700693e-04,1.745044e-04,1.753981e-04,1.798709e-04,1.828841e-04,1.835637e-04,1.865475e-04,1.884249e-04,1.888878e-04,1.906452e-04,1.916258e-04,1.918760e-04,1.926316e-04,1.929130e-04,1.929596e-04,1.929038e-04,1.926484e-04,1.925041e-04,1.917973e-04,1.911381e-04,1.908173e-04,1.895948e-04,1.886395e-04,1.881580e-04,1.865328e-04,1.853684e-04,1.847427e-04,1.828091e-04,1.815055e-04,1.807517e-04,1.785882e-04,1.772008e-04,1.763349e-04,1.740064e-04,1.725789e-04,1.716162e-04,1.691763e-04,1.677428e-04,1.666977e-04,1.641902e-04,1.627768e-04,1.616628e-04,1.591235e-04,1.577499e-04,1.565795e-04,1.540373e-04,1.527179e-04,1.515026e-04,1.489806e-04,1.477259e-04,1.464759e-04,1.439926e-04,1.428093e-04,1.415343e-04,1.391040e-04,1.379963e-04,1.367045e-04,1.343383e-04,1.333082e-04,1.320074e-04,1.297135e-04,1.287615e-04,1.274581e-04,1.252425e-04,1.243677e-04,1.230677e-04,1.209345e-04,1.201350e-04,1.188436e-04,1.167953e-04,1.160684e-04,1.147900e-04,1.128280e-04,1.121707e-04,1.109092e-04,1.090336e-04,1.084425e-04,1.072011e-04,1.054114e-04,1.048828e-04,1.036643e-04,1.019593e-04,1.014894e-04,1.002960e-04,9.867403e-05,9.825900e-05,9.709275e-05,9.555162e-05,9.518765e-05,9.405003e-05,9.258737e-05,9.227074e-05,9.116296e-05,8.977614e-05,8.950322e-05,8.842620e-05,8.711245e-05,8.687976e-05,8.583416e-05,8.459062e-05,8.439483e-05,8.338109e-05,8.220484e-05,8.204278e-05,8.106114e-05,7.994926e-05,7.981794e-05,7.886847e-05,7.781805e-05,7.771465e-05,7.679727e-05,7.580543e-05,7.572731e-05,7.484181e-05,7.390573e-05,7.385042e-05,7.299649e-05,7.211343e-05,7.207864e-05,7.125586e-05,7.042314e-05,7.040674e-05,6.961462e-05,6.882967e-05,6.734256e-05,6.594071e-05,6.461963e-05,6.337500e-05,6.220270e-05,6.109880e-05,6.005956e-05,5.908140e-05,5.816094e-05,5.729495e-05,5.648037e-05,5.571432e-05,5.499404e-05,5.431693e-05,5.368054e-05,5.308254e-05,5.252073e-05,5.199303e-05,5.149748e-05,5.103221e-05,5.059549e-05,5.018566e-05,4.980116e-05,4.944051e-05,4.910233e-05,4.878531e-05,4.848821e-05,4.820987e-05,4.794919e-05,4.770513e-05,4.747672e-05,4.726304e-05,4.706323e-05,4.687646e-05,4.670197e-05,4.653902e-05,4.638695e-05,4.624510e-05,4.611286e-05,4.598966e-05,4.587498e-05,4.576829e-05,4.566912e-05,4.557702e-05,4.549156e-05,4.541235e-05,4.533901e-05,4.527119e-05,4.520854e-05
0.000000e+00,2.327690e-09,3.041379e-08,3.175379e-08,2.011927e-07,7.293312e-07,7.627158e-07,1.905207e-06,3.341277e-06,3.437555e-06,5.041812e-06,6.462211e-06,6.582014e-06,8.025038e-06,9.236407e-06,9.365941e-06,1.060690e-05,1.161945e-05,1.175194e-05,1.280553e-05,1.364197e-05,1.377225e-05,1.465658e-05,1.533897e-05,1.546293e-05,1.619557e-05,1.674425e-05,1.685865e-05,1.745619e-05,1.788959e-05,1.799200e-05,1.846976e-05,1.880438e-05,1.889298e-05,1.926500e-05,1.951548e-05,1.958903e-05,1.986810e-05,2.004737e-05,2.010509e-05,2.030274e-05,2.042215e-05,2.046364e-05,2.059025e-05,2.065972e-05,2.068489e-05,2.074977e-05,2.077796e-05,2.078698e-05,2.079848e-05,2.079289e-05,2.078613e-05,2.075169e-05,2.071883e-05,2.069683e-05,2.062311e-05,2.056859e-05,2.053202e-05,2.042495e-05,2.035358e-05,2.030321e-05,2.016805e-05,2.008396e-05,2.002063e-05,1.986205e-05,1.976876e-05,1.969335e-05,1.951550e-05,1.941599e-05,1.932942e-05,1.913596e-05,1.903272e-05,1.893594e-05,1.873010e-05,1.862522e-05,1.851916e-05,1.830378e-05,1.819901e-05,1.808459e-05,1.786217e-05,1.775892e-05,1.763706e-05,1.740978e-05,1.730921e-05,1.718079e-05,1.695055e-05,1.685357e-05,1.671946e-05,1.648791e-05,1.639524e-05,1.625625e-05,1.602483e-05,1.593701e-05,1.579393e-05,1.556386e-05,1.548128e-05,1.533486e-05,1.510719e-05,1.503013e-05,1.488107e-05,1.465670e-05,1.458530e-05,1.443427e-05,1.421395e-05,1.414829e-05,1.399590e-05,1.378026e-05,1.372033e-05,1.356717e-05,1.335673e-05,1.330247e-05,1.314906e-05,1.294425e-05,1.289552e-05,1.274237e-05,1.254351e-05,1.250017e-05,1.234773e-05,1.215509e-05,1.211694e-05,1.196562e-05,1.177938e-05,1.174621e-05,1.159640e-05,1.141670e-05,1.138825e-05,1.124030e-05,1.106722e-05,1.104325e-05,1.089747e-05,1.073105e-05,1.071130e-05,1.056796e-05,1.040819e-05,1.039240e-05,1.025175e-05,1.009861e-05,1.008650e-05,9.948763e-06,9.802187e-06,9.793496e-06,9.658862e-06,9.518762e-06,9.513224e-06,9.381861e-06,9.248130e-06,9.245487e-06,9.117538e-06,8.990052e-06,8.746656e-06,8.515014e-06,8.294821e-06,8.085757e-06,7.887491e-06,7.699682e-06,7.521985e-06,7.354051e-06,7.195529e-06,7.046070e-06,6.905325e-06,6.772948e-06,6.648600e-06,6.531945e-06,6.422654e-06,6.320403e-06,6.224878e-06,6.135772e-06,6.052786e-06,5.975629e-06,5.904019e-06,5.837682e-06,5.776354e-06,5.719780e-06,5.667712e-06,5.619912e-06,5.576152e-06,5.536211e-06,5.499877e-06,5.466945e-06,5.437220e-06,5.410515e-06,5.386651e-06,5.365454e-06,5.346761e-06,5.330414e-06,5.316263e-06,5.304165e-06,5.293982e-06,5.285586e-06,5.278851e-06,5.273660e-06,5.269901e-06,5.267467e-06,5.266256e-06,5.266174e-06,5.267128e-06,5.269034e-06,5.271809e-06
0.000000e+00,4.647208e-10,6.743045e-09,7.046590e-09,4.409426e-08,1.494469e-07,1.557814e-07,3.580885e-07,5.895378e-07,6.046277e-07,8.532491e-07,1.072194e-06,1.090686e-06,1.314119e-06,1.502998e-06,1.523280e-06,1.718536e-06,1.879268e-06,1.900403e-06,2.069420e-06,2.204913e-06,2.226132e-06,2.371071e-06,2.484108e-06,2.504765e-06,2.627735e-06,2.720926e-06,2.740491e-06,2.843539e-06,2.919318e-06,2.937370e-06,3.022466e-06,3.083077e-06,3.099293e-06,3.168302e-06,3.215790e-06,3.229930e-06,3.284595e-06,3.320802e-06,3.332700e-06,3.374627e-06,3.401197e-06,3.410745e-06,3.441405e-06,3.459798e-06,3.466939e-06,3.487667e-06,3.499171e-06,3.503890e-06,3.515895e-06,3.521641e-06,3.523956e-06,3.528330e-06,3.529310e-06,3.529265e-06,3.526992e-06,3.524069e-06,3.521732e-06,3.513694e-06,3.507621e-06,3.503076e-06,3.490066e-06,3.481494e-06,3.474840e-06,3.457567e-06,3.447058e-06,3.438404e-06,3.417500e-06,3.405539e-06,3.394999e-06,3.371032e-06,3.358033e-06,3.345727e-06,3.319201e-06,3.305516e-06,3.291567e-06,3.262930e-06,3.248858e-06,3.233391e-06,3.203042e-06,3.188834e-06,3.171972e-06,3.140264e-06,3.126131e-06,3.107996e-06,3.075241e-06,3.061356e-06,3.042068e-06,3.008542e-06,2.995046e-06,2.974722e-06,2.940667e-06,2.927675e-06,2.906428e-06,2.872056e-06,2.859658e-06,2.837597e-06,2.803094e-06,2.791361e-06,2.768589e-06,2.734118e-06,2.723100e-06,2.699716e-06,2.665418e-06,2.655153e-06,2.631252e-06,2.597247e-06,2.587758e-06,2.563429e-06,2.529822e-06,2.521122e-06,2.496448e-06,2.463329e-06,2.455420e-06,2.430481e-06,2.397924e-06,2.390802e-06,2.365672e-06,2.333740e-06,2.327393e-06,2.302141e-06,2.270887e-06,2.265299e-06,2.239988e-06,2.209455e-06,2.204604e-06,2.179295e-06,2.149516e-06,2.145378e-06,2.120125e-06,2.091128e-06,2.087675e-06,2.062529e-06,2.034333e-06,2.031536e-06,2.006543e-06,1.979163e-06,1.976990e-06,1.952193e-06,1.925637e-06,1.924057e-06,1.899495e-06,1.873768e-06,1.872747e-06,1.848456e-06,1.823558e-06,1.823064e-06,1.799074e-06,1.775003e-06,1.728554e-06,1.683701e-06,1.640426e-06,1.598706e-06,1.558513e-06,1.519819e-06,1.482594e-06,1.446803e-06,1.412413e-06,1.379388e-06,1.347692e-06,1.317288e-06,1.288139e-06,1.260209e-06,1.233458e-06,1.207851e-06,1.183350e-06,1.159919e-06,1.137522e-06,1.116123e-06,1.095688e-06,1.076182e-06,1.057572e-06,1.039824e-06,1.022908e-06,1.006792e-06,9.914453e-07,9.768388e-07,9.629437e-07,9.497322e-07,9.371773e-07,9.252529e-07,9.139336e-07,9.031949e-07,8.930130e-07,8.833651e-07,8.742290e-07,8.655833e-07,8.574073e-07,8.496811e-07,8.423855e-07,8.355021e-07,8.290128e-07,8.229006e-07,8.171488e-07,8.117415e-07,8.066634e-07,8.018997e-07,7.974362e-07
0.000000e+00,3.196839e-10,5.875302e-09,6.159774e-09,4.206472e-08,1.398951e-07,1.454601e-07,3.074868e-07,4.725866e-07,4.830323e-07,6.527898e-07,8.004743e-07,8.129114e-07,9.629302e-07,1.089496e-06,1.103076e-06,1.233728e-06,1.341166e-06,1.355287e-06,1.468158e-06,1.558584e-06,1.572741e-06,1.669431e-06,1.744833e-06,1.758613e-06,1.840670e-06,1.902899e-06,1.915971e-06,1.984877e-06,2.035631e-06,2.047735e-06,2.104881e-06,2.145695e-06,2.156634e-06,2.203299e-06,2.235543e-06,2.245170e-06,2.282526e-06,2.307418e-06,2.315631e-06,2.344737e-06,2.363353e-06,2.370084e-06,2.391900e-06,2.405186e-06,2.410400e-06,2.425788e-06,2.434573e-06,2.438258e-06,2.447994e-06,2.453006e-06,2.455169e-06,2.459949e-06,2.461824e-06,2.462490e-06,2.462939e-06,2.462228e-06,2.461435e-06,2.458112e-06,2.455297e-06,2.453094e-06,2.446499e-06,2.441995e-06,2.438439e-06,2.429019e-06,2.423187e-06,2.418339e-06,2.406493e-06,2.399644e-06,2.393571e-06,2.379656e-06,2.372054e-06,2.364828e-06,2.349160e-06,2.341034e-06,2.332724e-06,2.315587e-06,2.307130e-06,2.297810e-06,2.279453e-06,2.270829e-06,2.260571e-06,2.241217e-06,2.232565e-06,2.221441e-06,2.201288e-06,2.192722e-06,2.180802e-06,2.160024e-06,2.151639e-06,2.138992e-06,2.117743e-06,2.109619e-06,2.096311e-06,2.074728e-06,2.066927e-06,2.053023e-06,2.031224e-06,2.023796e-06,2.009358e-06,1.987449e-06,1.980433e-06,1.965520e-06,1.943592e-06,1.937017e-06,1.921686e-06,1.899819e-06,1.893706e-06,1.878010e-06,1.856274e-06,1.850637e-06,1.834627e-06,1.813082e-06,1.807928e-06,1.791652e-06,1.770350e-06,1.765681e-06,1.749186e-06,1.728170e-06,1.723986e-06,1.707312e-06,1.686621e-06,1.682915e-06,1.666105e-06,1.645770e-06,1.642533e-06,1.625623e-06,1.605670e-06,1.602893e-06,1.585918e-06,1.566370e-06,1.564038e-06,1.547031e-06,1.527905e-06,1.526004e-06,1.508995e-06,1.490305e-06,1.488819e-06,1.471837e-06,1.453593e-06,1.452506e-06,1.435576e-06,1.417787e-06,1.417080e-06,1.400228e-06,1.382899e-06,1.382554e-06,1.365801e-06,1.348934e-06,1.316224e-06,1.284423e-06,1.253528e-06,1.223533e-06,1.194432e-06,1.166213e-06,1.138865e-06,1.112377e-06,1.086732e-06,1.061918e-06,1.037917e-06,1.014714e-06,9.922921e-07,9.706331e-07,9.497199e-07,9.295345e-07,9.100592e-07,8.912758e-07,8.731663e-07,8.557127e-07,8.388975e-07,8.227031e-07,8.071120e-07,7.921071e-07,7.776714e-07,7.637882e-07,7.504411e-07,7.376140e-07,7.252911e-07,7.134569e-07,7.020964e-07,6.911946e-07,6.807372e-07,6.707102e-07,6.610997e-07,6.518924e-07,6.430753e-07,6.346354e-07,6.265606e-07,6.188386e-07,6.114577e-07,6.044065e-07,5.976740e-07,5.912492e-07,5.851218e-07,5.792814e-07,5.737183e-07,5.684229e-07,5.633857e-07
0.000000e+00,2.974618e-09,1.371304e-07,1.452841e-07,1.563682e-06,7.916893e-06,8.382136e-06,2.809963e-05,6.411116e-05,6.701684e-05,1.244426e-04,1.869438e-04,1.925495e-04,2.618132e-04,3.195854e-04,3.256102e-04,3.809516e-04,4.221622e-04,4.272542e-04,4.650833e-04,4.915752e-04,4.954075e-04,5.192531e-04,5.349770e-04,5.375728e-04,5.512072e-04,5.594031e-04,5.608813e-04,5.672157e-04,5.702379e-04,5.707410e-04,5.719104e-04,5.714380e-04,5.711106e-04,5.686708e-04,5.658935e-04,5.648709e-04,5.599491e-04,5.557048e-04,5.541076e-04,5.475177e-04,5.423921e-04,5.403248e-04,5.326526e-04,5.270535e-04,5.246056e-04,5.162723e-04,5.104806e-04,5.077273e-04,4.990336e-04,4.932405e-04,4.902445e-04,4.814048e-04,4.757385e-04,4.725521e-04,4.637180e-04,4.582618e-04,4.549285e-04,4.462054e-04,4.410111e-04,4.375667e-04,4.290273e-04,4.241247e-04,4.205991e-04,4.122920e-04,4.076960e-04,4.041139e-04,3.960709e-04,3.917855e-04,3.881677e-04,3.804077e-04,3.764301e-04,3.727937e-04,3.653271e-04,3.616494e-04,3.580090e-04,3.508396e-04,3.474511e-04,3.438188e-04,3.369460e-04,3.338339e-04,3.302201e-04,3.236400e-04,3.207905e-04,3.172040e-04,3.109105e-04,3.083093e-04,3.047576e-04,2.987432e-04,2.963757e-04,2.928652e-04,2.871214e-04,2.849734e-04,2.815095e-04,2.760272e-04,2.740848e-04,2.706721e-04,2.654419e-04,2.636916e-04,2.603341e-04,2.553464e-04,2.537753e-04,2.504764e-04,2.457216e-04,2.443173e-04,2.410798e-04,2.365486e-04,2.352993e-04,2.321256e-04,2.278087e-04,2.267034e-04,2.235955e-04,2.194838e-04,2.185118e-04,2.154713e-04,2.115561e-04,2.107076e-04,2.077358e-04,2.040085e-04,2.032741e-04,2.003721e-04,1.968246e-04,1.961953e-04,1.933639e-04,1.899882e-04,1.894559e-04,1.866956e-04,1.834841e-04,1.830409e-04,1.803520e-04,1.772974e-04,1.769360e-04,1.743187e-04,1.714140e-04,1.711276e-04,1.685818e-04,1.658203e-04,1.656024e-04,1.631280e-04,1.605032e-04,1.603479e-04,1.579445e-04,1.554502e-04,1.553518e-04,1.530190e-04,1.506494e-04,1.506026e-04,1.483399e-04,1.460892e-04,1.418009e-04,1.377276e-04,1.338594e-04,1.301872e-04,1.267018e-04,1.233949e-04,1.202582e-04,1.172840e-04,1.144648e-04,1.117935e-04,1.092633e-04,1.068676e-04,1.046002e-04,1.024552e-04,1.004269e-04,9.850991e-05,9.669898e-05,9.498919e-05,9.337578e-05,9.185425e-05,9.042026e-05,8.906968e-05,8.779857e-05,8.660315e-05,8.547984e-05,8.442518e-05,8.343589e-05,8.250882e-05,8.164099e-05,8.082952e-05,8.007168e-05,7.936485e-05,7.870654e-05,7.809435e-05,7.752601e-05,7.699934e-05,7.651227e-05,7.606280e-05,7.564904e-05,7.526918e-05,7.492149e-05,7.460432e-05,7.431608e-05,7.405527e-05,7.382046e-05,7.361027e-05,7.342338e-05,7.325855e-05,7.311458e-05
0.000000e+00,7.651661e-10,4.946703e-08,5.274914e-08,7.651660e-07,4.957487e-06,5.299366e-06,2.219859e-05,6.065453e-05,6.408097e-05,1.402909e-04,2.412162e-04,2.512227e-04,3.890615e-04,5.262445e-04,5.418327e-04,6.972620e-04,8.280768e-04,8.451613e-04,9.783826e-04,1.078001e-03,1.092806e-03,1.186834e-03,1.250201e-03,1.260718e-03,1.315909e-03,1.348693e-03,1.354526e-03,1.378954e-03,1.389888e-03,1.391578e-03,1.394623e-03,1.391626e-03,1.390060e-03,1.379580e-03,1.368534e-03,1.364591e-03,1.346241e-03,1.331047e-03,1.325450e-03,1.302943e-03,1.285997e-03,1.279283e-03,1.254903e-03,1.237590e-03,1.230135e-03,1.205224e-03,1.188300e-03,1.180356e-03,1.155667e-03,1.139519e-03,1.131255e-03,1.107191e-03,1.091997e-03,1.083527e-03,1.060295e-03,1.046120e-03,1.037521e-03,1.015218e-03,1.002066e-03,9.933953e-04,9.720571e-04,9.599032e-04,9.512039e-04,9.308341e-04,9.196369e-04,9.109442e-04,8.915291e-04,8.812403e-04,8.725829e-04,8.540986e-04,8.446668e-04,8.360687e-04,8.184855e-04,8.098588e-04,8.013407e-04,7.846259e-04,7.767530e-04,7.683325e-04,7.524521e-04,7.452834e-04,7.369760e-04,7.218956e-04,7.153834e-04,7.072025e-04,6.928883e-04,6.869873e-04,6.789447e-04,6.653632e-04,6.600303e-04,6.521359e-04,6.392545e-04,6.344487e-04,6.267112e-04,6.144980e-04,6.101807e-04,6.026074e-04,5.910317e-04,5.871664e-04,5.797635e-04,5.687954e-04,5.653478e-04,5.581203e-04,5.477312e-04,5.446691e-04,5.376210e-04,5.277830e-04,5.250762e-04,5.182105e-04,5.088970e-04,5.065172e-04,4.998362e-04,4.910218e-04,4.889423e-04,4.824476e-04,4.741078e-04,4.723038e-04,4.659963e-04,4.581075e-04,4.565560e-04,4.504359e-04,4.429758e-04,4.416551e-04,4.357220e-04,4.286693e-04,4.275592e-04,4.218125e-04,4.151466e-04,4.142283e-04,4.086668e-04,4.023683e-04,4.016244e-04,3.962464e-04,3.902967e-04,3.897110e-04,3.845146e-04,3.788959e-04,3.784533e-04,3.734363e-04,3.681317e-04,3.678183e-04,3.629781e-04,3.579717e-04,3.577744e-04,3.531084e-04,3.483847e-04,3.482916e-04,3.437969e-04,3.393414e-04,3.308964e-04,3.229308e-04,3.154199e-04,3.083403e-04,3.016697e-04,2.953869e-04,2.894718e-04,2.839051e-04,2.786687e-04,2.737452e-04,2.691183e-04,2.647723e-04,2.606923e-04,2.568643e-04,2.532749e-04,2.499113e-04,2.467614e-04,2.438138e-04,2.410577e-04,2.384825e-04,2.360786e-04,2.338365e-04,2.317475e-04,2.298031e-04,2.279953e-04,2.263166e-04,2.247597e-04,2.233178e-04,2.219845e-04,2.207536e-04,2.196192e-04,2.185759e-04,2.176184e-04,2.167416e-04,2.159409e-04,2.152118e-04,2.145500e-04,2.139515e-04,2.134125e-04,2.129293e-04,2.124985e-04,2.121169e-04,2.117813e-04,2.114889e-04,2.112369e-04,2.110226e-04,2.108435e-04,2.106974e-04,2.105820e-04
0.000000e+00,6.267794e-09,2.330953e-07,2.458119e-07,2.160838e-06,9.777596e-06,1.032125e-05,3.319352e-05,7.587622e-05,7.939199e-05,1.510901e-04,2.337154e-04,2.413543e-04,3.389811e-04,4.256389e-04,4.350051e-04,5.247050e-04,5.970165e-04,6.063784e-04,6.798012e-04,7.366116e-04,7.453298e-04,8.035055e-04,8.471135e-04,8.549057e-04,9.000935e-04,9.328860e-04,9.396007e-04,9.739239e-04,9.979603e-04,1.003523e-03,1.028823e-03,1.045826e-03,1.050216e-03,1.068060e-03,1.079452e-03,1.082685e-03,1.094393e-03,1.101344e-03,1.103462e-03,1.110143e-03,1.113606e-03,1.114668e-03,1.117249e-03,1.118001e-03,1.118077e-03,1.117329e-03,1.116003e-03,1.115166e-03,1.111734e-03,1.108840e-03,1.107167e-03,1.101587e-03,1.097536e-03,1.095105e-03,1.087821e-03,1.082944e-03,1.079829e-03,1.071211e-03,1.065773e-03,1.062045e-03,1.052400e-03,1.046611e-03,1.042339e-03,1.031920e-03,1.025948e-03,1.021194e-03,1.010210e-03,1.004187e-03,9.990104e-04,9.876340e-04,9.816603e-04,9.761162e-04,9.644888e-04,9.586432e-04,9.527809e-04,9.410187e-04,9.353606e-04,9.292259e-04,9.174236e-04,9.119967e-04,9.056309e-04,8.938652e-04,8.887009e-04,8.821419e-04,8.704751e-04,8.655949e-04,8.588771e-04,8.473588e-04,8.427761e-04,8.359303e-04,8.246003e-04,8.203224e-04,8.133767e-04,8.022661e-04,7.982952e-04,7.912747e-04,7.804077e-04,7.767420e-04,7.696695e-04,7.590643e-04,7.556992e-04,7.485952e-04,7.382652e-04,7.351937e-04,7.280766e-04,7.180312e-04,7.152445e-04,7.081307e-04,6.983762e-04,6.958641e-04,6.887686e-04,6.793083e-04,6.770598e-04,6.699958e-04,6.608310e-04,6.588346e-04,6.518139e-04,6.429440e-04,6.411877e-04,6.342210e-04,6.256441e-04,6.241157e-04,6.172124e-04,6.089252e-04,6.076126e-04,6.007813e-04,5.927795e-04,5.916705e-04,5.849187e-04,5.771976e-04,5.762804e-04,5.696148e-04,5.621688e-04,5.614317e-04,5.548582e-04,5.476814e-04,5.471130e-04,5.406369e-04,5.337231e-04,5.333124e-04,5.269383e-04,5.202809e-04,5.200172e-04,5.137491e-04,5.073414e-04,5.072145e-04,5.010560e-04,4.948912e-04,4.830341e-04,4.716298e-04,4.606651e-04,4.501268e-04,4.400021e-04,4.302779e-04,4.209417e-04,4.119812e-04,4.033841e-04,3.951386e-04,3.872331e-04,3.796563e-04,3.723971e-04,3.654447e-04,3.587888e-04,3.524190e-04,3.463255e-04,3.404987e-04,3.349292e-04,3.296079e-04,3.245261e-04,3.196751e-04,3.150466e-04,3.106327e-04,3.064254e-04,3.024172e-04,2.986008e-04,2.949690e-04,2.915150e-04,2.882319e-04,2.851134e-04,2.821532e-04,2.793451e-04,2.766833e-04,2.741620e-04,2.717758e-04,2.695191e-04,2.673869e-04,2.653741e-04,2.634758e-04,2.616874e-04,2.600041e-04,2.584217e-04,2.569358e-04,2.555423e-04,2.542372e-04,2.530166e-04,2.518767e-04,2.508140e-04
0.000000e+00,1.367897e-09,8.421940e-08,8.970828e-08,1.236575e-06,7.729805e-06,8.252835e-06,3.372579e-05,9.066824e-05,9.570459e-05,2.067002e-04,3.514096e-04,3.656389e-04,5.597381e-04,7.496863e-04,7.710796e-04,9.823425e-04,1.157303e-03,1.179960e-03,1.355057e-03,1.484050e-03,1.503066e-03,1.622763e-03,1.702167e-03,1.715219e-03,1.782875e-03,1.822020e-03,1.828840e-03,1.856411e-03,1.867369e-03,1.868766e-03,1.868794e-03,1.861897e-03,1.859022e-03,1.841596e-03,1.824343e-03,1.818299e-03,1.790588e-03,1.767940e-03,1.759637e-03,1.726384e-03,1.701437e-03,1.691567e-03,1.655765e-03,1.630362e-03,1.619427e-03,1.582901e-03,1.558094e-03,1.546452e-03,1.510282e-03,1.486639e-03,1.474544e-03,1.439352e-03,1.417155e-03,1.404789e-03,1.370917e-03,1.350281e-03,1.337776e-03,1.305395e-03,1.286340e-03,1.273793e-03,1.242978e-03,1.225468e-03,1.212954e-03,1.183720e-03,1.167691e-03,1.155268e-03,1.127592e-03,1.112966e-03,1.100681e-03,1.074523e-03,1.061214e-03,1.049104e-03,1.024411e-03,1.012331e-03,1.000427e-03,9.771389e-04,9.662027e-04,9.545297e-04,9.325841e-04,9.227075e-04,9.112861e-04,8.906199e-04,8.817228e-04,8.705695e-04,8.511194e-04,8.431257e-04,8.322540e-04,8.139580e-04,8.067957e-04,7.962163e-04,7.790140e-04,7.726156e-04,7.623366e-04,7.461697e-04,7.404719e-04,7.304994e-04,7.153117e-04,7.102555e-04,7.005934e-04,6.863312e-04,6.818615e-04,6.725122e-04,6.591240e-04,6.551896e-04,6.461542e-04,6.335908e-04,6.301443e-04,6.214223e-04,6.096371e-04,6.066344e-04,5.982243e-04,5.871730e-04,5.845733e-04,5.764726e-04,5.661129e-04,5.638785e-04,5.560840e-04,5.463760e-04,5.444721e-04,5.369796e-04,5.278855e-04,5.262800e-04,5.190848e-04,5.105687e-04,5.092320e-04,5.023289e-04,4.943570e-04,4.932618e-04,4.866451e-04,4.791853e-04,4.783067e-04,4.719702e-04,4.649923e-04,4.643073e-04,4.582446e-04,4.517200e-04,4.512075e-04,4.454119e-04,4.393137e-04,4.389543e-04,4.334190e-04,4.277217e-04,4.274978e-04,4.222157e-04,4.168953e-04,4.167907e-04,4.117547e-04,4.067885e-04,3.974492e-04,3.887332e-04,3.806031e-04,3.730236e-04,3.659615e-04,3.593857e-04,3.532664e-04,3.475761e-04,3.422884e-04,3.373788e-04,3.328240e-04,3.286021e-04,3.246924e-04,3.210757e-04,3.177335e-04,3.146488e-04,3.118053e-04,3.091877e-04,3.067817e-04,3.045738e-04,3.025513e-04,3.007021e-04,2.990151e-04,2.974796e-04,2.960855e-04,2.948236e-04,2.936850e-04,2.926615e-04,2.917451e-04,2.909286e-04,2.902051e-04,2.895680e-04,2.890112e-04,2.885291e-04,2.881162e-04,2.877674e-04,2.874781e-04,2.872437e-04,2.870600e-04,2.869232e-04,2.868295e-04,2.867755e-04,2.867579e-04,2.867738e-04,2.868202e-04,2.868945e-04,2.869942e-04,2.871170e-04,2.872606e-04
0.000000e+00,5.275848e-10,4.471935e-08,4.793598e-08,8.532356e-07,6.146523e-06,6.590456e-06,2.914141e-05,8.244165e-05,8.730131e-05,2.001228e-04,3.640527e-04,3.812482e-04,6.367226e-04,9.292691e-04,9.652403e-04,1.359585e-03,1.752147e-03,1.808452e-03,2.298215e-03,2.741092e-03,2.814415e-03,3.342901e-03,3.786744e-03,3.870640e-03,4.386217e-03,4.793167e-03,4.880100e-03,5.344712e-03,5.691454e-03,5.774380e-03,6.165182e-03,6.441459e-03,6.514757e-03,6.822081e-03,7.027404e-03,7.087234e-03,7.311186e-03,7.451337e-03,7.495590e-03,7.642601e-03,7.726688e-03,7.754717e-03,7.834653e-03,7.872968e-03,7.885226e-03,7.909272e-03,7.911896e-03,7.909576e-03,7.888822e-03,7.864832e-03,7.849556e-03,7.794163e-03,7.751276e-03,7.724853e-03,7.643650e-03,7.588146e-03,7.552395e-03,7.452748e-03,7.389556e-03,7.346195e-03,7.234060e-03,7.166932e-03,7.117515e-03,6.997591e-03,6.929298e-03,6.875188e-03,6.751090e-03,6.683615e-03,6.625975e-03,6.500428e-03,6.435141e-03,6.374948e-03,6.249963e-03,6.187770e-03,6.125832e-03,6.002861e-03,5.944323e-03,5.881303e-03,5.761367e-03,5.706791e-03,5.643228e-03,5.527024e-03,5.476537e-03,5.412869e-03,5.300849e-03,5.254454e-03,5.191034e-03,5.083472e-03,5.041087e-03,4.978201e-03,4.875242e-03,4.836727e-03,4.774608e-03,4.676301e-03,4.641479e-03,4.580315e-03,4.486638e-03,4.455311e-03,4.395253e-03,4.306139e-03,4.278098e-03,4.219270e-03,4.134619e-03,4.109651e-03,4.052153e-03,3.971842e-03,3.949736e-03,3.893649e-03,3.817539e-03,3.798087e-03,3.743475e-03,3.671419e-03,3.654420e-03,3.601332e-03,3.533177e-03,3.518438e-03,3.466914e-03,3.402505e-03,3.389842e-03,3.339909e-03,3.279089e-03,3.268327e-03,3.220005e-03,3.162620e-03,3.153593e-03,3.106894e-03,3.052790e-03,3.045343e-03,3.000271e-03,2.949299e-03,2.943285e-03,2.899839e-03,2.851854e-03,2.847135e-03,2.805308e-03,2.760167e-03,2.756615e-03,2.716396e-03,2.673962e-03,2.671458e-03,2.632831e-03,2.592971e-03,2.591402e-03,2.554349e-03,2.516935e-03,2.516198e-03,2.480696e-03,2.445604e-03,2.379387e-03,2.317324e-03,2.259201e-03,2.204812e-03,2.153963e-03,2.106464e-03,2.062138e-03,2.020811e-03,1.982323e-03,1.946516e-03,1.913243e-03,1.882362e-03,1.853739e-03,1.827246e-03,1.802762e-03,1.780170e-03,1.759360e-03,1.740229e-03,1.722676e-03,1.706607e-03,1.691934e-03,1.678570e-03,1.666436e-03,1.655454e-03,1.645553e-03,1.636662e-03,1.628716e-03,1.621655e-03,1.615418e-03,1.609951e-03,1.605200e-03,1.601116e-03,1.597651e-03,1.594762e-03,1.592404e-03,1.590540e-03,1.589130e-03,1.588140e-03,1.587535e-03,1.587285e-03,1.587358e-03,1.587727e-03,1.588366e-03,1.589248e-03,1.590352e-03,1.591654e-03,1.593135e-03,1.594774e-03,1.596553e-03
0.000000e+00,5.700262e-09,2.586324e-07,2.741361e-07,3.061737e-06,1.592779e-05,1.687217e-05,5.595536e-05,1.212479e-04,1.261983e-04,2.167834e-04,3.049336e-04,3.125151e-04,4.039323e-04,4.793321e-04,4.872652e-04,5.616880e-04,6.200416e-04,6.275056e-04,6.853623e-04,7.292898e-04,7.359628e-04,7.799865e-04,8.123484e-04,8.180663e-04,8.507840e-04,8.739864e-04,8.786723e-04,9.022167e-04,9.182231e-04,9.218593e-04,9.380012e-04,9.483970e-04,9.510062e-04,9.612031e-04,9.672590e-04,9.688896e-04,9.743341e-04,9.770631e-04,9.777790e-04,9.794429e-04,9.796495e-04,9.795228e-04,9.781962e-04,9.765170e-04,9.756230e-04,9.719471e-04,9.688844e-04,9.672982e-04,9.617928e-04,9.577415e-04,9.555359e-04,9.486218e-04,9.438913e-04,9.411352e-04,9.331526e-04,9.279844e-04,9.247421e-04,9.159654e-04,9.105467e-04,9.068776e-04,8.975284e-04,8.920038e-04,8.879623e-04,8.782191e-04,8.726989e-04,8.683344e-04,8.583404e-04,8.529083e-04,8.482655e-04,8.381353e-04,8.328534e-04,8.279725e-04,8.177973e-04,8.127109e-04,8.076281e-04,7.974809e-04,7.926223e-04,7.873699e-04,7.773077e-04,7.726987e-04,7.673056e-04,7.573736e-04,7.530279e-04,7.475201e-04,7.377528e-04,7.336780e-04,7.280785e-04,7.185029e-04,7.147014e-04,7.090310e-04,6.996671e-04,6.961380e-04,6.904151e-04,6.812780e-04,6.780173e-04,6.722583e-04,6.633584e-04,6.603600e-04,6.545799e-04,6.459242e-04,6.431805e-04,6.373925e-04,6.289855e-04,6.264878e-04,6.207037e-04,6.125473e-04,6.102860e-04,6.045165e-04,5.966112e-04,5.945763e-04,5.888310e-04,5.811755e-04,5.793567e-04,5.736441e-04,5.662362e-04,5.646230e-04,5.589510e-04,5.517876e-04,5.503694e-04,5.447450e-04,5.378222e-04,5.365887e-04,5.310180e-04,5.243315e-04,5.232724e-04,5.177612e-04,5.113061e-04,5.104115e-04,5.049648e-04,4.987361e-04,4.979962e-04,4.926186e-04,4.866110e-04,4.860162e-04,4.807119e-04,4.749199e-04,4.744612e-04,4.692338e-04,4.636520e-04,4.633204e-04,4.581732e-04,4.527960e-04,4.525830e-04,4.475190e-04,4.423408e-04,4.422382e-04,4.372600e-04,4.322753e-04,4.226836e-04,4.134524e-04,4.045714e-04,3.960301e-04,3.878187e-04,3.799270e-04,3.723454e-04,3.650644e-04,3.580747e-04,3.513673e-04,3.449333e-04,3.387641e-04,3.328513e-04,3.271866e-04,3.217622e-04,3.165702e-04,3.116030e-04,3.068534e-04,3.023140e-04,2.979780e-04,2.938386e-04,2.898892e-04,2.861233e-04,2.825347e-04,2.791173e-04,2.758653e-04,2.727728e-04,2.698343e-04,2.670444e-04,2.643978e-04,2.618893e-04,2.595139e-04,2.572669e-04,2.551434e-04,2.531390e-04,2.512490e-04,2.494693e-04,2.477955e-04,2.462237e-04,2.447497e-04,2.433698e-04,2.420802e-04,2.408773e-04,2.397574e-04,2.387173e-04,2.377534e-04,2.368626e-04,2.360418e-04,2.352879e-04
0.000000e+00,1.042732e-08,1.859247e-07,1.944638e-07,1.197683e-06,3.828269e-06,3.981602e-06,8.885046e-06,1.487327e-05,1.528034e-05,2.214959e-05,2.819884e-05,2.870077e-05,3.459701e-05,3.929884e-05,3.978691e-05,4.430924e-05,4.778186e-05,4.822095e-05,5.157954e-05,5.406691e-05,5.443913e-05,5.684966e-05,5.856101e-05,5.885682e-05,6.050229e-05,6.160837e-05,6.182396e-05,6.285617e-05,6.349458e-05,6.363009e-05,6.417392e-05,6.445488e-05,6.451318e-05,6.467090e-05,6.468225e-05,6.466791e-05,6.452302e-05,6.433453e-05,6.425326e-05,6.387400e-05,6.354096e-05,6.339907e-05,6.284076e-05,6.240642e-05,6.221034e-05,6.151783e-05,6.101609e-05,6.077224e-05,5.998171e-05,5.943894e-05,5.915358e-05,5.829436e-05,5.773086e-05,5.740988e-05,5.650535e-05,5.593654e-05,5.558543e-05,5.465427e-05,5.409173e-05,5.371556e-05,5.277259e-05,5.222487e-05,5.182825e-05,5.088511e-05,5.035833e-05,4.994543e-05,4.901119e-05,4.850959e-05,4.808414e-05,4.716580e-05,4.669216e-05,4.625749e-05,4.536035e-05,4.491627e-05,4.447534e-05,4.360331e-05,4.318955e-05,4.274496e-05,4.190087e-05,4.151751e-05,4.107153e-05,4.025732e-05,3.990394e-05,3.945855e-05,3.867545e-05,3.835126e-05,3.790818e-05,3.715685e-05,3.686079e-05,3.642151e-05,3.570216e-05,3.543300e-05,3.499877e-05,3.431127e-05,3.406765e-05,3.363956e-05,3.298351e-05,3.276399e-05,3.234296e-05,3.171774e-05,3.152087e-05,3.110765e-05,3.051249e-05,3.033682e-05,2.993203e-05,2.936605e-05,2.921013e-05,2.881429e-05,2.827652e-05,2.813896e-05,2.775248e-05,2.724190e-05,2.712134e-05,2.674453e-05,2.626010e-05,2.615523e-05,2.578833e-05,2.532897e-05,2.523857e-05,2.488175e-05,2.444640e-05,2.436928e-05,2.402265e-05,2.361024e-05,2.354529e-05,2.320892e-05,2.281841e-05,2.276459e-05,2.243847e-05,2.206885e-05,2.202517e-05,2.170929e-05,2.135954e-05,2.132510e-05,2.101938e-05,2.068856e-05,2.066250e-05,2.036685e-05,2.005403e-05,2.003553e-05,1.974985e-05,1.945412e-05,1.944246e-05,1.916661e-05,1.888711e-05,1.888160e-05,1.861541e-05,1.835132e-05,1.785007e-05,1.737638e-05,1.692882e-05,1.650604e-05,1.610677e-05,1.572976e-05,1.537386e-05,1.503796e-05,1.472099e-05,1.442195e-05,1.413991e-05,1.387394e-05,1.362319e-05,1.338686e-05,1.316416e-05,1.295436e-05,1.275678e-05,1.257074e-05,1.239564e-05,1.223087e-05,1.207588e-05,1.193014e-05,1.179314e-05,1.166441e-05,1.154349e-05,1.142996e-05,1.132341e-05,1.122347e-05,1.112976e-05,1.104194e-05,1.095969e-05,1.088269e-05,1.081067e-05,1.074333e-05,1.068043e-05,1.062170e-05,1.056692e-05,1.051587e-05,1.046833e-05,1.042411e-05,1.038301e-05,1.034487e-05,1.030950e-05,1.027677e-05,1.024650e-05,1.021856e-05,1.019282e-05,1.016914e-05,1.014741e-05
0.000000e+00,7.817643e-09,2.952095e-07,3.121251e-07,3.124158e-06,1.477585e-05,1.559500e-05,4.791131e-05,9.919869e-05,1.030168e-04,1.717579e-04,2.376305e-04,2.433004e-04,3.123782e-04,3.711430e-04,3.774603e-04,4.382995e-04,4.883944e-04,4.949819e-04,5.476691e-04,5.899203e-04,5.965390e-04,6.417710e-04,6.770844e-04,6.835425e-04,7.220268e-04,7.512493e-04,7.573923e-04,7.898020e-04,8.137073e-04,8.194128e-04,8.463757e-04,8.656617e-04,8.708351e-04,8.929294e-04,9.082207e-04,9.127906e-04,9.305448e-04,9.423973e-04,9.463122e-04,9.602075e-04,9.691141e-04,9.723395e-04,9.828121e-04,9.892086e-04,9.917240e-04,9.991690e-04,1.003440e-03,1.005236e-03,1.010011e-03,1.012493e-03,1.013573e-03,1.015999e-03,1.016990e-03,1.017362e-03,1.017731e-03,1.017490e-03,1.017172e-03,1.015745e-03,1.014498e-03,1.013511e-03,1.010525e-03,1.008469e-03,1.006839e-03,1.002505e-03,9.998115e-04,9.975683e-04,9.920753e-04,9.888927e-04,9.860681e-04,9.795867e-04,9.760418e-04,9.726694e-04,9.653520e-04,9.615540e-04,9.576685e-04,9.496511e-04,9.456932e-04,9.413302e-04,9.327343e-04,9.286953e-04,9.238904e-04,9.148241e-04,9.107708e-04,9.055595e-04,8.961191e-04,8.921069e-04,8.865243e-04,8.767953e-04,8.728703e-04,8.669508e-04,8.570088e-04,8.532087e-04,8.469858e-04,8.368975e-04,8.332526e-04,8.267587e-04,8.165832e-04,8.131175e-04,8.063838e-04,7.961728e-04,7.929046e-04,7.859613e-04,7.757600e-04,7.727031e-04,7.655788e-04,7.554268e-04,7.525907e-04,7.453126e-04,7.352442e-04,7.326349e-04,7.252291e-04,7.152740e-04,7.128944e-04,7.053853e-04,6.955690e-04,6.934196e-04,6.858303e-04,6.761744e-04,6.742535e-04,6.666057e-04,6.571286e-04,6.554327e-04,6.477468e-04,6.384637e-04,6.369878e-04,6.292827e-04,6.202064e-04,6.189443e-04,6.112376e-04,6.023785e-04,6.013228e-04,5.936311e-04,5.849972e-04,5.841401e-04,5.764784e-04,5.680761e-04,5.674090e-04,5.597915e-04,5.516254e-04,5.511392e-04,5.435786e-04,5.356519e-04,5.353374e-04,5.278457e-04,5.201602e-04,5.200077e-04,5.125956e-04,5.051521e-04,4.907706e-04,4.768613e-04,4.634210e-04,4.504450e-04,4.379277e-04,4.258623e-04,4.142415e-04,4.030571e-04,3.923003e-04,3.819619e-04,3.720323e-04,3.625017e-04,3.533598e-04,3.445965e-04,3.362013e-04,3.281639e-04,3.204738e-04,3.131206e-04,3.060939e-04,2.993836e-04,2.929794e-04,2.868713e-04,2.810496e-04,2.755045e-04,2.702265e-04,2.652063e-04,2.604347e-04,2.559030e-04,2.516024e-04,2.475244e-04,2.436607e-04,2.400033e-04,2.365444e-04,2.332763e-04,2.301917e-04,2.272834e-04,2.245444e-04,2.219680e-04,2.195476e-04,2.172768e-04,2.151496e-04,2.131599e-04,2.113021e-04,2.095704e-04,2.079596e-04,2.064645e-04,2.050798e-04,2.038009e-04,2.026230e-04
0.000000e+00,2.073137e-09,1.918688e-07,2.058493e-07,3.400099e-06,1.875718e-05,1.982203e-05,5.812717e-05,1.096497e-04,1.132361e-04,1.749612e-04,2.314047e-04,2.361871e-04,2.935563e-04,3.409209e-04,3.459240e-04,3.931365e-04,4.305896e-04,4.354128e-04,4.730878e-04,5.020797e-04,5.065174e-04,5.360476e-04,5.580790e-04,5.620049e-04,5.846944e-04,6.010609e-04,6.043996e-04,6.213832e-04,6.331743e-04,6.358880e-04,6.481377e-04,6.562600e-04,6.583381e-04,6.666783e-04,6.718798e-04,6.733314e-04,6.784564e-04,6.813511e-04,6.821987e-04,6.846912e-04,6.857808e-04,6.860558e-04,6.864041e-04,6.860980e-04,6.858378e-04,6.844500e-04,6.830806e-04,6.823254e-04,6.795417e-04,6.773779e-04,6.761695e-04,6.722732e-04,6.695320e-04,6.679118e-04,6.631386e-04,6.599940e-04,6.580025e-04,6.525479e-04,6.491393e-04,6.468153e-04,6.408414e-04,6.372793e-04,6.346597e-04,6.283004e-04,6.246721e-04,6.217912e-04,6.151570e-04,6.115307e-04,6.084206e-04,6.016025e-04,5.980310e-04,5.947212e-04,5.877936e-04,5.843171e-04,5.808347e-04,5.738585e-04,5.705073e-04,5.668771e-04,5.599018e-04,5.566979e-04,5.529424e-04,5.460080e-04,5.429669e-04,5.391066e-04,5.322452e-04,5.293770e-04,5.254303e-04,5.186675e-04,5.159782e-04,5.119619e-04,5.053179e-04,5.028101e-04,4.987393e-04,4.922295e-04,4.899035e-04,4.857916e-04,4.794281e-04,4.772818e-04,4.731410e-04,4.669324e-04,4.649625e-04,4.608038e-04,4.547563e-04,4.529581e-04,4.487911e-04,4.429090e-04,4.412770e-04,4.371105e-04,4.313961e-04,4.299242e-04,4.257660e-04,4.202203e-04,4.189019e-04,4.147590e-04,4.093819e-04,4.082102e-04,4.040888e-04,3.988793e-04,3.978473e-04,3.937529e-04,3.887091e-04,3.878099e-04,3.837473e-04,3.788669e-04,3.780936e-04,3.740672e-04,3.693473e-04,3.686929e-04,3.647066e-04,3.601440e-04,3.596018e-04,3.556589e-04,3.512502e-04,3.508135e-04,3.469172e-04,3.426587e-04,3.423212e-04,3.384739e-04,3.343618e-04,3.341174e-04,3.303214e-04,3.263518e-04,3.261944e-04,3.224519e-04,3.186207e-04,3.185448e-04,3.148573e-04,3.111606e-04,3.040343e-04,2.971580e-04,2.905241e-04,2.841251e-04,2.779537e-04,2.720024e-04,2.662643e-04,2.607322e-04,2.553996e-04,2.502597e-04,2.453061e-04,2.405325e-04,2.359329e-04,2.315014e-04,2.272323e-04,2.231200e-04,2.191591e-04,2.153444e-04,2.116709e-04,2.081337e-04,2.047281e-04,2.014495e-04,1.982936e-04,1.952559e-04,1.923325e-04,1.895192e-04,1.868123e-04,1.842081e-04,1.817028e-04,1.792931e-04,1.769756e-04,1.747470e-04,1.726042e-04,1.705441e-04,1.685638e-04,1.666606e-04,1.648316e-04,1.630742e-04,1.613859e-04,1.597642e-04,1.582067e-04,1.567111e-04,1.552753e-04,1.538970e-04,1.525743e-04,1.513051e-04,1.500874e-04,1.489195e-04,1.477995e-04
0.000000e+00,4.153967e-09,6.228380e-08,6.513065e-08,4.127541e-07,1.325847e-06,1.376643e-06,2.812148e-06,4.218052e-06,4.305729e-06,5.713355e-06,6.913139e-06,7.013131e-06,8.205955e-06,9.192024e-06,9.296654e-06,1.029071e-05,1.108990e-05,1.119362e-05,1.201080e-05,1.264904e-05,1.274754e-05,1.340898e-05,1.391004e-05,1.400009e-05,1.452564e-05,1.491087e-05,1.499018e-05,1.539804e-05,1.568627e-05,1.575331e-05,1.605983e-05,1.626742e-05,1.632123e-05,1.654092e-05,1.668195e-05,1.672208e-05,1.686768e-05,1.695419e-05,1.698052e-05,1.706322e-05,1.710547e-05,1.711820e-05,1.714775e-05,1.715443e-05,1.715397e-05,1.713884e-05,1.711731e-05,1.710421e-05,1.705179e-05,1.700823e-05,1.698317e-05,1.689984e-05,1.683942e-05,1.680317e-05,1.669445e-05,1.662151e-05,1.657486e-05,1.644553e-05,1.636367e-05,1.630746e-05,1.616162e-05,1.607382e-05,1.600889e-05,1.585008e-05,1.575878e-05,1.568595e-05,1.551721e-05,1.542440e-05,1.534449e-05,1.516841e-05,1.507570e-05,1.498951e-05,1.480830e-05,1.471698e-05,1.462525e-05,1.444080e-05,1.435189e-05,1.425535e-05,1.406925e-05,1.398352e-05,1.388285e-05,1.369645e-05,1.361451e-05,1.351034e-05,1.332477e-05,1.324705e-05,1.313998e-05,1.295618e-05,1.288298e-05,1.277357e-05,1.259232e-05,1.252383e-05,1.241259e-05,1.223452e-05,1.217085e-05,1.205826e-05,1.188390e-05,1.182507e-05,1.171155e-05,1.154131e-05,1.148729e-05,1.137326e-05,1.120746e-05,1.115817e-05,1.104398e-05,1.088287e-05,1.083820e-05,1.072418e-05,1.056795e-05,1.052773e-05,1.041420e-05,1.026297e-05,1.022704e-05,1.011426e-05,9.968100e-06,9.936288e-06,9.824495e-06,9.683450e-06,9.655549e-06,9.544966e-06,9.409040e-06,9.384844e-06,9.275665e-06,9.144833e-06,9.124135e-06,9.016531e-06,8.890745e-06,8.873335e-06,8.767457e-06,8.646649e-06,8.632318e-06,8.528299e-06,8.412385e-06,8.400927e-06,8.298882e-06,8.187765e-06,8.178978e-06,8.079006e-06,7.972578e-06,7.966266e-06,7.868452e-06,7.766597e-06,7.762569e-06,7.666983e-06,7.569579e-06,7.567653e-06,7.474353e-06,7.381274e-06,7.203180e-06,7.033117e-06,6.870827e-06,6.716050e-06,6.568530e-06,6.428010e-06,6.294238e-06,6.166965e-06,6.045946e-06,5.930941e-06,5.821716e-06,5.718043e-06,5.619698e-06,5.526465e-06,5.438135e-06,5.354503e-06,5.275372e-06,5.200552e-06,5.129857e-06,5.063109e-06,5.000135e-06,4.940770e-06,4.884854e-06,4.832231e-06,4.782753e-06,4.736278e-06,4.692666e-06,4.651786e-06,4.613510e-06,4.577715e-06,4.544283e-06,4.513102e-06,4.484062e-06,4.457060e-06,4.431994e-06,4.408769e-06,4.387293e-06,4.367477e-06,4.349236e-06,4.332488e-06,4.317156e-06,4.303165e-06,4.290444e-06,4.278923e-06,4.268537e-06,4.259223e-06,4.250920e-06,4.243572e-06,4.237123e-06
0.000000e+00,2.163018e-09,1.383363e-07,1.474816e-07,2.119580e-06,1.362756e-05,1.456181e-05,6.021792e-05,1.617892e-04,1.707429e-04,3.680550e-04,6.282668e-04,6.541628e-04,1.014998e-03,1.385656e-03,1.428747e-03,1.872583e-03,2.272045e-03,2.326482e-03,2.774702e-03,3.146862e-03,3.205883e-03,3.612464e-03,3.931579e-03,3.989892e-03,4.335854e-03,4.595514e-03,4.649620e-03,4.931528e-03,5.134795e-03,5.182611e-03,5.404321e-03,5.557944e-03,5.598343e-03,5.766467e-03,5.878037e-03,5.910506e-03,6.032241e-03,6.108979e-03,6.133391e-03,6.215594e-03,6.263920e-03,6.280397e-03,6.329250e-03,6.354689e-03,6.363513e-03,6.384450e-03,6.391680e-03,6.393239e-03,6.390973e-03,6.383918e-03,6.378668e-03,6.357264e-03,6.339196e-03,6.327634e-03,6.290586e-03,6.264220e-03,6.246866e-03,6.197166e-03,6.164744e-03,6.142126e-03,6.082335e-03,6.045698e-03,6.018342e-03,5.950648e-03,5.911298e-03,5.879719e-03,5.805984e-03,5.765141e-03,5.729838e-03,5.651645e-03,5.610288e-03,5.571739e-03,5.490428e-03,5.449335e-03,5.407995e-03,5.324698e-03,5.284479e-03,5.240775e-03,5.156444e-03,5.117570e-03,5.071903e-03,4.987333e-03,4.950156e-03,4.902898e-03,4.818750e-03,4.783526e-03,4.735023e-03,4.651841e-03,4.618746e-03,4.569315e-03,4.487545e-03,4.456690e-03,4.406621e-03,4.326623e-03,4.298065e-03,4.247623e-03,4.169684e-03,4.143437e-03,4.092862e-03,4.017206e-03,3.993249e-03,3.942757e-03,3.869554e-03,3.847841e-03,3.797626e-03,3.727001e-03,3.707462e-03,3.657699e-03,3.589737e-03,3.572288e-03,3.523129e-03,3.457886e-03,3.442431e-03,3.394012e-03,3.331512e-03,3.317946e-03,3.270386e-03,3.210634e-03,3.198848e-03,3.152250e-03,3.095228e-03,3.085109e-03,3.039562e-03,2.985241e-03,2.976674e-03,2.932254e-03,2.880589e-03,2.873460e-03,2.830231e-03,2.781167e-03,2.775366e-03,2.733380e-03,2.686855e-03,2.682271e-03,2.641573e-03,2.597516e-03,2.594044e-03,2.554666e-03,2.513004e-03,2.510542e-03,2.472511e-03,2.433166e-03,2.431616e-03,2.394950e-03,2.357842e-03,2.357111e-03,2.321822e-03,2.286870e-03,2.220731e-03,2.158535e-03,2.100121e-03,2.045332e-03,1.994012e-03,1.946006e-03,1.901165e-03,1.859343e-03,1.820397e-03,1.784188e-03,1.750584e-03,1.719453e-03,1.690672e-03,1.664119e-03,1.639679e-03,1.617239e-03,1.596691e-03,1.577934e-03,1.560867e-03,1.545396e-03,1.531430e-03,1.518882e-03,1.507669e-03,1.497710e-03,1.488930e-03,1.481255e-03,1.474617e-03,1.468949e-03,1.464187e-03,1.460272e-03,1.457145e-03,1.454752e-03,1.453041e-03,1.451962e-03,1.451468e-03,1.451514e-03,1.452057e-03,1.453057e-03,1.454475e-03,1.456275e-03,1.458422e-03,1.460884e-03,1.463630e-03,1.466631e-03,1.469859e-03,1.473288e-03,1.476894e-03,1.480654e-03,1.484546e-03
0.000000e+00,7.468212e-10,9.596235e-09,1.001349e-08,6.097933e-08,2.095298e-07,2.185940e-07,5.139080e-07,8.578438e-07,8.802042e-07,1.244738e-06,1.558416e-06,1.584570e-06,1.896248e-06,2.153255e-06,2.180485e-06,2.438793e-06,2.645953e-06,2.672805e-06,2.884129e-06,3.048903e-06,3.074312e-06,3.244833e-06,3.373907e-06,3.397098e-06,3.532436e-06,3.631663e-06,3.652099e-06,3.757267e-06,3.831707e-06,3.849041e-06,3.928452e-06,3.982431e-06,3.996462e-06,4.053968e-06,4.091165e-06,4.101807e-06,4.140756e-06,4.164282e-06,4.171537e-06,4.194821e-06,4.207292e-06,4.211227e-06,4.221336e-06,4.224955e-06,4.225686e-06,4.224776e-06,4.221392e-06,4.219071e-06,4.209002e-06,4.200162e-06,4.194971e-06,4.177355e-06,4.164357e-06,4.156493e-06,4.132704e-06,4.116616e-06,4.106283e-06,4.077497e-06,4.059195e-06,4.046597e-06,4.013813e-06,3.994020e-06,3.979359e-06,3.943430e-06,3.922734e-06,3.906208e-06,3.867861e-06,3.846741e-06,3.828543e-06,3.788395e-06,3.767235e-06,3.747549e-06,3.706124e-06,3.685229e-06,3.664230e-06,3.621969e-06,3.601581e-06,3.579434e-06,3.536709e-06,3.517014e-06,3.493872e-06,3.450994e-06,3.432132e-06,3.408140e-06,3.365370e-06,3.347444e-06,3.322736e-06,3.280289e-06,3.263373e-06,3.238073e-06,3.196128e-06,3.180267e-06,3.154490e-06,3.113191e-06,3.098412e-06,3.072261e-06,3.031726e-06,3.018038e-06,2.991610e-06,2.951932e-06,2.939331e-06,2.912713e-06,2.873966e-06,2.862437e-06,2.835708e-06,2.797948e-06,2.787467e-06,2.760699e-06,2.723969e-06,2.714505e-06,2.687764e-06,2.652091e-06,2.643609e-06,2.616954e-06,2.582357e-06,2.574819e-06,2.548303e-06,2.514792e-06,2.508155e-06,2.481826e-06,2.449404e-06,2.443626e-06,2.417525e-06,2.386189e-06,2.381225e-06,2.355391e-06,2.325130e-06,2.320937e-06,2.295403e-06,2.266205e-06,2.262737e-06,2.237533e-06,2.209382e-06,2.206596e-06,2.181748e-06,2.154624e-06,2.152477e-06,2.128007e-06,2.101890e-06,2.100339e-06,2.076267e-06,2.051133e-06,2.050138e-06,2.026481e-06,2.002306e-06,2.001827e-06,1.978600e-06,1.955358e-06,1.910681e-06,1.867743e-06,1.826493e-06,1.786880e-06,1.748852e-06,1.712356e-06,1.677343e-06,1.643762e-06,1.611564e-06,1.580701e-06,1.551125e-06,1.522790e-06,1.495651e-06,1.469665e-06,1.444788e-06,1.420980e-06,1.398201e-06,1.376411e-06,1.355573e-06,1.335650e-06,1.316608e-06,1.298412e-06,1.281029e-06,1.264427e-06,1.248577e-06,1.233447e-06,1.219011e-06,1.205240e-06,1.192107e-06,1.179588e-06,1.167657e-06,1.156290e-06,1.145466e-06,1.135161e-06,1.125356e-06,1.116028e-06,1.107159e-06,1.098730e-06,1.090722e-06,1.083119e-06,1.075903e-06,1.069057e-06,1.062567e-06,1.056418e-06,1.050595e-06,1.045083e-06,1.039871e-06,1.034945e-06,1.030292e-06
0.000000e+00,2.182809e-08,3.198923e-07,3.334947e-07,1.930876e-06,6.593252e-06,6.884293e-06,1.698927e-05,3.055077e-05,3.149495e-05,4.763292e-05,6.224960e-05,6.348817e-05,7.843592e-05,9.100109e-05,9.234479e-05,1.052134e-04,1.157026e-04,1.170740e-04,1.279687e-04,1.366006e-04,1.379434e-04,1.470451e-04,1.540502e-04,1.553207e-04,1.628169e-04,1.684138e-04,1.695788e-04,1.756504e-04,1.800391e-04,1.810739e-04,1.858897e-04,1.892490e-04,1.901363e-04,1.938505e-04,1.963388e-04,1.970672e-04,1.998194e-04,2.015754e-04,2.021384e-04,2.040539e-04,2.051990e-04,2.055939e-04,2.067849e-04,2.074244e-04,2.076519e-04,2.082184e-04,2.084435e-04,2.085068e-04,2.085379e-04,2.084272e-04,2.083315e-04,2.079061e-04,2.075270e-04,2.072791e-04,2.064671e-04,2.058775e-04,2.054854e-04,2.043485e-04,2.035975e-04,2.030699e-04,2.016626e-04,2.007921e-04,2.001385e-04,1.985088e-04,1.975541e-04,1.967841e-04,1.949742e-04,1.939646e-04,1.930881e-04,1.911347e-04,1.900949e-04,1.891219e-04,1.870571e-04,1.860075e-04,1.849475e-04,1.827996e-04,1.817567e-04,1.806193e-04,1.784124e-04,1.773898e-04,1.761841e-04,1.739394e-04,1.729476e-04,1.716826e-04,1.694181e-04,1.684656e-04,1.671496e-04,1.648809e-04,1.639741e-04,1.626151e-04,1.603554e-04,1.594989e-04,1.581046e-04,1.558652e-04,1.550622e-04,1.536395e-04,1.514299e-04,1.506826e-04,1.492382e-04,1.470662e-04,1.463756e-04,1.449156e-04,1.427878e-04,1.421541e-04,1.406842e-04,1.386059e-04,1.380287e-04,1.365540e-04,1.345295e-04,1.340078e-04,1.325332e-04,1.305659e-04,1.300981e-04,1.286280e-04,1.267203e-04,1.263047e-04,1.248431e-04,1.229969e-04,1.226313e-04,1.211818e-04,1.193983e-04,1.190806e-04,1.176464e-04,1.159263e-04,1.156540e-04,1.142379e-04,1.125815e-04,1.123521e-04,1.109568e-04,1.093639e-04,1.091749e-04,1.078026e-04,1.062727e-04,1.061215e-04,1.047742e-04,1.033067e-04,1.031906e-04,1.018700e-04,1.004639e-04,1.003805e-04,9.908813e-05,9.774229e-05,9.768908e-05,9.642609e-05,9.513919e-05,9.511374e-05,9.388122e-05,9.265181e-05,9.030035e-05,8.805626e-05,8.591633e-05,8.387727e-05,8.193572e-05,8.008830e-05,7.833163e-05,7.666231e-05,7.507702e-05,7.357243e-05,7.214529e-05,7.079242e-05,6.951068e-05,6.829703e-05,6.714849e-05,6.606220e-05,6.503534e-05,6.406522e-05,6.314922e-05,6.228482e-05,6.146957e-05,6.070113e-05,5.997726e-05,5.929577e-05,5.865459e-05,5.805173e-05,5.748526e-05,5.695336e-05,5.645428e-05,5.598632e-05,5.554790e-05,5.513747e-05,5.475358e-05,5.439482e-05,5.405987e-05,5.374745e-05,5.345636e-05,5.318542e-05,5.293356e-05,5.269971e-05,5.248289e-05,5.228214e-05,5.209657e-05,5.192533e-05,5.176758e-05,5.162258e-05,5.148956e-05,5.136785e-05,5.125676e-05
0.000000e+00,1.712902e-09,3.571444e-08,3.751169e-08,2.706874e-07,8.956437e-07,9.300709e-07,1.886525e-06,2.808999e-06,2.866402e-06,3.787648e-06,4.573089e-06,4.638576e-06,5.420229e-06,6.067265e-06,6.135981e-06,6.789561e-06,7.316204e-06,7.384643e-06,7.924751e-06,8.347850e-06,8.413256e-06,8.853379e-06,9.187946e-06,9.248194e-06,9.600634e-06,9.859975e-06,9.913487e-06,1.018940e-05,1.038523e-05,1.043089e-05,1.064033e-05,1.078289e-05,1.081996e-05,1.097190e-05,1.107008e-05,1.109813e-05,1.120054e-05,1.126202e-05,1.128088e-05,1.134080e-05,1.137217e-05,1.138185e-05,1.140549e-05,1.141241e-05,1.141308e-05,1.140590e-05,1.139320e-05,1.138515e-05,1.135196e-05,1.132374e-05,1.130737e-05,1.125236e-05,1.121211e-05,1.118785e-05,1.111471e-05,1.106538e-05,1.103374e-05,1.094568e-05,1.088974e-05,1.085124e-05,1.075106e-05,1.069057e-05,1.064575e-05,1.053587e-05,1.047254e-05,1.042195e-05,1.030447e-05,1.023972e-05,1.018390e-05,1.006065e-05,9.995631e-06,9.935112e-06,9.807655e-06,9.743312e-06,9.678614e-06,9.548301e-06,9.485384e-06,9.417005e-06,9.284992e-06,9.224095e-06,9.152511e-06,9.019786e-06,8.961365e-06,8.887028e-06,8.754430e-06,8.698828e-06,8.622166e-06,8.490400e-06,8.437866e-06,8.359280e-06,8.228940e-06,8.179642e-06,8.099506e-06,7.971088e-06,7.925126e-06,7.843788e-06,7.717699e-06,7.675119e-06,7.592902e-06,7.469473e-06,7.430275e-06,7.347477e-06,7.226974e-06,7.191122e-06,7.108015e-06,6.990647e-06,6.958075e-06,6.874910e-06,6.760837e-06,6.731454e-06,6.648457e-06,6.537797e-06,6.511496e-06,6.428874e-06,6.321706e-06,6.298366e-06,6.216304e-06,6.112678e-06,6.092166e-06,6.010833e-06,5.910771e-06,5.892949e-06,5.812492e-06,5.715993e-06,5.700719e-06,5.621271e-06,5.528317e-06,5.515444e-06,5.437122e-06,5.347677e-06,5.337060e-06,5.259968e-06,5.173982e-06,5.165477e-06,5.089704e-06,5.007117e-06,5.000582e-06,4.926204e-06,4.846947e-06,4.842243e-06,4.769326e-06,4.693321e-06,4.690314e-06,4.618912e-06,4.546078e-06,4.544637e-06,4.474797e-06,4.405046e-06,4.271366e-06,4.143420e-06,4.021025e-06,3.903999e-06,3.792158e-06,3.685319e-06,3.583300e-06,3.485920e-06,3.393005e-06,3.304380e-06,3.219876e-06,3.139327e-06,3.062572e-06,2.989454e-06,2.919821e-06,2.853525e-06,2.790425e-06,2.730381e-06,2.673263e-06,2.618940e-06,2.567289e-06,2.518193e-06,2.471536e-06,2.427209e-06,2.385106e-06,2.345127e-06,2.307174e-06,2.271154e-06,2.236978e-06,2.204561e-06,2.173822e-06,2.144681e-06,2.117065e-06,2.090902e-06,2.066123e-06,2.042664e-06,2.020461e-06,1.999456e-06,1.979590e-06,1.960811e-06,1.943066e-06,1.926305e-06,1.910481e-06,1.895550e-06,1.881468e-06,1.868193e-06,1.855688e-06,1.843914e-06,1.832836e-06
0.000000e+00,2.566953e-10,1.689670e-08,1.802377e-08,2.726676e-07,1.929915e-06,2.072120e-06,9.792527e-06,3.023183e-05,3.219157e-05,8.024587e-05,1.549332e-04,1.629631e-04,2.847733e-04,4.275142e-04,4.451918e-04,6.397796e-04,8.337488e-04,8.615238e-04,1.102155e-03,1.317733e-03,1.353201e-03,1.606726e-03,1.816487e-03,1.855785e-03,2.094659e-03,2.279782e-03,2.318909e-03,2.525332e-03,2.676197e-03,2.711838e-03,2.877294e-03,2.991496e-03,3.021363e-03,3.144332e-03,3.224134e-03,3.246966e-03,3.330376e-03,3.380503e-03,3.395900e-03,3.445014e-03,3.471078e-03,3.479257e-03,3.500173e-03,3.507694e-03,3.509268e-03,3.507977e-03,3.501857e-03,3.497646e-03,3.479522e-03,3.463847e-03,3.454740e-03,3.424326e-03,3.402335e-03,3.389200e-03,3.350178e-03,3.324347e-03,3.307979e-03,3.263234e-03,3.235396e-03,3.216490e-03,3.168221e-03,3.139690e-03,3.118835e-03,3.068678e-03,3.040367e-03,3.018048e-03,2.967195e-03,2.939716e-03,2.916328e-03,2.865624e-03,2.839371e-03,2.815228e-03,2.765261e-03,2.740470e-03,2.715822e-03,2.666989e-03,2.643785e-03,2.618829e-03,2.571392e-03,2.549825e-03,2.524718e-03,2.478838e-03,2.458908e-03,2.433774e-03,2.389543e-03,2.371216e-03,2.346154e-03,2.303614e-03,2.286837e-03,2.261926e-03,2.221088e-03,2.205793e-03,2.181099e-03,2.141952e-03,2.128064e-03,2.103641e-03,2.066158e-03,2.053600e-03,2.029493e-03,1.993637e-03,1.982332e-03,1.958579e-03,1.924307e-03,1.914178e-03,1.890811e-03,1.858077e-03,1.849047e-03,1.826094e-03,1.794849e-03,1.786845e-03,1.764330e-03,1.734525e-03,1.727476e-03,1.705420e-03,1.677003e-03,1.670843e-03,1.649262e-03,1.622184e-03,1.616847e-03,1.595757e-03,1.569968e-03,1.565393e-03,1.544805e-03,1.520257e-03,1.516385e-03,1.496311e-03,1.472955e-03,1.469731e-03,1.450178e-03,1.427967e-03,1.425340e-03,1.406313e-03,1.385203e-03,1.383121e-03,1.364626e-03,1.344571e-03,1.342989e-03,1.325028e-03,1.305986e-03,1.304859e-03,1.287434e-03,1.269362e-03,1.268649e-03,1.251760e-03,1.234618e-03,1.234280e-03,1.217926e-03,1.201674e-03,1.170757e-03,1.141458e-03,1.113705e-03,1.087433e-03,1.062577e-03,1.039073e-03,1.016862e-03,9.958862e-04,9.760891e-04,9.574173e-04,9.398191e-04,9.232449e-04,9.076470e-04,8.929795e-04,8.791984e-04,8.662614e-04,8.541279e-04,8.427589e-04,8.321170e-04,8.221663e-04,8.128725e-04,8.042024e-04,7.961244e-04,7.886082e-04,7.816247e-04,7.751461e-04,7.691456e-04,7.635978e-04,7.584781e-04,7.537631e-04,7.494304e-04,7.454586e-04,7.418272e-04,7.385166e-04,7.355081e-04,7.327837e-04,7.303265e-04,7.281201e-04,7.261490e-04,7.243984e-04,7.228541e-04,7.215027e-04,7.203313e-04,7.193278e-04,7.184806e-04,7.177787e-04,7.172115e-04,7.167692e-04,7.164423e-04
0.000000e+00,7.380568e-09,1.061658e-07,1.105887e-07,6.256351e-07,2.182628e-06,2.282816e-06,5.966318e-06,1.153147e-05,1.194499e-05,1.942927e-05,2.654582e-05,2.714820e-05,3.428124e-05,3.998511e-05,4.057589e-05,4.602867e-05,5.018227e-05,5.070502e-05,5.468295e-05,5.760311e-05,5.803798e-05,6.083953e-05,6.281134e-05,6.315055e-05,6.502769e-05,6.627901e-05,6.652178e-05,6.767832e-05,6.838799e-05,6.853796e-05,6.913695e-05,6.944414e-05,6.950760e-05,6.967866e-05,6.969099e-05,6.967566e-05,6.952131e-05,6.932158e-05,6.923574e-05,6.883682e-05,6.848836e-05,6.834036e-05,6.776039e-05,6.731141e-05,6.710929e-05,6.639804e-05,6.588501e-05,6.563630e-05,6.483264e-05,6.428296e-05,6.399459e-05,6.312878e-05,6.256283e-05,6.224107e-05,6.133657e-05,6.076936e-05,6.041981e-05,5.949471e-05,5.893711e-05,5.856474e-05,5.763291e-05,5.709265e-05,5.670186e-05,5.577385e-05,5.525625e-05,5.485087e-05,5.393462e-05,5.344317e-05,5.302656e-05,5.212795e-05,5.166476e-05,5.123984e-05,5.036314e-05,4.992932e-05,4.949861e-05,4.864686e-05,4.824272e-05,4.780841e-05,4.698367e-05,4.660898e-05,4.617295e-05,4.537651e-05,4.503065e-05,4.459453e-05,4.382711e-05,4.350916e-05,4.307433e-05,4.233620e-05,4.204505e-05,4.161271e-05,4.090380e-05,4.063822e-05,4.020939e-05,3.952937e-05,3.928806e-05,3.886362e-05,3.821197e-05,3.799360e-05,3.757427e-05,3.695034e-05,3.675356e-05,3.634000e-05,3.574303e-05,3.556651e-05,3.515923e-05,3.458840e-05,3.443086e-05,3.403031e-05,3.348474e-05,3.334492e-05,3.295147e-05,3.243028e-05,3.230696e-05,3.192093e-05,3.142320e-05,3.131523e-05,3.093686e-05,3.046169e-05,3.036798e-05,2.999747e-05,2.954396e-05,2.946345e-05,2.910096e-05,2.866824e-05,2.859994e-05,2.824558e-05,2.783278e-05,2.777576e-05,2.742962e-05,2.703590e-05,2.698928e-05,2.665141e-05,2.627596e-05,2.623890e-05,2.590933e-05,2.555135e-05,2.552308e-05,2.520182e-05,2.486055e-05,2.484034e-05,2.452737e-05,2.420208e-05,2.418923e-05,2.388451e-05,2.357450e-05,2.356838e-05,2.327187e-05,2.297645e-05,2.241217e-05,2.187431e-05,2.136170e-05,2.087321e-05,2.040776e-05,1.996432e-05,1.954190e-05,1.913956e-05,1.875638e-05,1.839150e-05,1.804410e-05,1.771338e-05,1.739859e-05,1.709900e-05,1.681392e-05,1.654269e-05,1.628467e-05,1.603928e-05,1.580592e-05,1.558405e-05,1.537314e-05,1.517270e-05,1.498223e-05,1.480128e-05,1.462941e-05,1.446621e-05,1.431127e-05,1.416422e-05,1.402468e-05,1.389231e-05,1.376677e-05,1.364776e-05,1.353496e-05,1.342808e-05,1.332686e-05,1.323102e-05,1.314031e-05,1.305449e-05,1.297334e-05,1.289662e-05,1.282414e-05,1.275569e-05,1.269108e-05,1.263013e-05,1.257267e-05,1.251852e-05,1.246753e-05,1.241955e-05,1.237442e-05
0.000000e+00,6.984909e-09,4.702621e-07,5.022259e-07,7.268007e-06,4.008145e-05,4.242747e-05,1.310761e-04,2.571764e-04,2.661027e-04,4.213905e-04,5.654212e-04,5.777087e-04,7.263141e-04,8.510473e-04,8.643531e-04,9.913556e-04,1.094239e-03,1.107645e-03,1.213765e-03,1.297336e-03,1.310294e-03,1.397800e-03,1.464730e-03,1.476826e-03,1.547898e-03,1.600595e-03,1.611518e-03,1.668169e-03,1.708782e-03,1.718311e-03,1.762384e-03,1.792817e-03,1.800806e-03,1.833971e-03,1.855893e-03,1.862256e-03,1.886011e-03,1.900871e-03,1.905570e-03,1.921246e-03,1.930292e-03,1.933331e-03,1.942101e-03,1.946406e-03,1.947814e-03,1.950711e-03,1.951190e-03,1.951020e-03,1.948950e-03,1.946379e-03,1.944701e-03,1.938456e-03,1.933492e-03,1.930388e-03,1.920658e-03,1.913857e-03,1.909416e-03,1.896803e-03,1.888631e-03,1.882948e-03,1.867975e-03,1.858822e-03,1.851995e-03,1.835114e-03,1.825304e-03,1.817431e-03,1.799036e-03,1.788838e-03,1.780015e-03,1.760446e-03,1.750078e-03,1.740402e-03,1.719951e-03,1.709592e-03,1.699155e-03,1.678073e-03,1.667868e-03,1.656759e-03,1.635262e-03,1.625325e-03,1.613628e-03,1.591900e-03,1.582319e-03,1.570116e-03,1.548313e-03,1.539158e-03,1.526523e-03,1.504777e-03,1.496098e-03,1.483103e-03,1.461526e-03,1.453358e-03,1.440070e-03,1.418755e-03,1.411120e-03,1.397601e-03,1.376626e-03,1.369538e-03,1.355845e-03,1.335272e-03,1.328735e-03,1.314921e-03,1.294802e-03,1.288814e-03,1.274927e-03,1.255304e-03,1.249856e-03,1.235941e-03,1.216845e-03,1.211925e-03,1.198023e-03,1.179479e-03,1.175071e-03,1.161219e-03,1.143245e-03,1.139329e-03,1.125560e-03,1.108168e-03,1.104724e-03,1.091069e-03,1.074266e-03,1.071272e-03,1.057758e-03,1.041546e-03,1.038980e-03,1.025630e-03,1.010010e-03,1.007847e-03,9.946844e-04,9.796520e-04,9.778677e-04,9.649114e-04,9.504610e-04,9.490318e-04,9.362986e-04,9.224220e-04,9.213242e-04,9.088289e-04,8.955165e-04,8.947266e-04,8.824820e-04,8.697226e-04,8.692179e-04,8.572351e-04,8.450164e-04,8.447747e-04,8.330631e-04,8.213719e-04,7.989830e-04,7.775802e-04,7.571352e-04,7.376190e-04,7.190025e-04,7.012564e-04,6.843513e-04,6.682583e-04,6.529486e-04,6.383937e-04,6.245659e-04,6.114376e-04,5.989821e-04,5.871731e-04,5.759852e-04,5.653934e-04,5.553735e-04,5.459020e-04,5.369562e-04,5.285139e-04,5.205537e-04,5.130549e-04,5.059974e-04,4.993619e-04,4.931297e-04,4.872827e-04,4.818035e-04,4.766753e-04,4.718819e-04,4.674077e-04,4.632377e-04,4.593573e-04,4.557527e-04,4.524103e-04,4.493174e-04,4.464615e-04,4.438306e-04,4.414133e-04,4.391985e-04,4.371757e-04,4.353346e-04,4.336655e-04,4.321591e-04,4.308062e-04,4.295983e-04,4.285271e-04,4.275846e-04,4.267632e-04,4.260557e-04
0.000000e+00,1.211344e-09,1.443918e-07,1.556447e-07,3.211799e-06,2.151502e-05,2.292572e-05,8.387375e-05,1.970813e-04,2.063726e-04,3.983266e-04,6.336059e-04,6.564837e-04,9.707127e-04,1.290692e-03,1.327970e-03,1.715017e-03,2.070752e-03,2.119938e-03,2.532788e-03,2.888135e-03,2.945708e-03,3.352751e-03,3.686925e-03,3.749598e-03,4.133239e-03,4.436546e-03,4.501681e-03,4.853699e-03,5.123031e-03,5.188634e-03,5.506236e-03,5.741950e-03,5.806543e-03,6.089795e-03,6.293887e-03,6.356367e-03,6.606720e-03,6.781844e-03,6.841374e-03,7.060876e-03,7.209852e-03,7.265790e-03,7.456685e-03,7.582271e-03,7.634123e-03,7.798658e-03,7.903450e-03,7.950833e-03,8.091174e-03,8.177566e-03,8.220193e-03,8.338385e-03,8.408567e-03,8.446227e-03,8.544183e-03,8.600146e-03,8.632697e-03,8.712197e-03,8.755743e-03,8.783097e-03,8.845796e-03,8.878554e-03,8.900674e-03,8.948102e-03,8.971540e-03,8.988433e-03,9.022008e-03,9.037445e-03,9.049154e-03,9.070187e-03,9.078809e-03,9.085409e-03,9.095112e-03,9.097981e-03,9.099574e-03,9.099063e-03,9.097128e-03,9.093839e-03,9.084148e-03,9.078256e-03,9.070228e-03,9.052307e-03,9.043211e-03,9.030604e-03,9.005329e-03,8.993697e-03,8.976683e-03,8.944861e-03,8.931284e-03,8.910046e-03,8.872417e-03,8.857416e-03,8.832144e-03,8.789390e-03,8.773422e-03,8.744312e-03,8.697058e-03,8.680522e-03,8.647773e-03,8.596593e-03,8.579837e-03,8.543651e-03,8.489071e-03,8.472396e-03,8.432974e-03,8.375476e-03,8.359140e-03,8.316685e-03,8.256707e-03,8.240931e-03,8.195643e-03,8.133588e-03,8.118557e-03,8.070634e-03,8.006868e-03,7.992739e-03,7.942375e-03,7.877233e-03,7.864133e-03,7.811518e-03,7.745304e-03,7.733338e-03,7.678659e-03,7.611648e-03,7.600897e-03,7.544335e-03,7.476779e-03,7.467305e-03,7.409037e-03,7.341162e-03,7.333011e-03,7.273207e-03,7.205219e-03,7.198420e-03,7.137244e-03,7.069328e-03,7.063898e-03,7.001510e-03,6.933832e-03,6.929776e-03,6.866329e-03,6.799038e-03,6.796352e-03,6.731993e-03,6.665223e-03,6.663891e-03,6.598761e-03,6.532633e-03,6.402790e-03,6.274551e-03,6.148082e-03,6.023532e-03,5.901028e-03,5.780682e-03,5.662591e-03,5.546836e-03,5.433488e-03,5.322605e-03,5.214232e-03,5.108408e-03,5.005161e-03,4.904512e-03,4.806473e-03,4.711051e-03,4.618246e-03,4.528054e-03,4.440465e-03,4.355465e-03,4.273034e-03,4.193153e-03,4.115796e-03,4.040935e-03,3.968540e-03,3.898578e-03,3.831016e-03,3.765818e-03,3.702945e-03,3.642359e-03,3.584021e-03,3.527888e-03,3.473920e-03,3.422074e-03,3.372307e-03,3.324575e-03,3.278836e-03,3.235044e-03,3.193157e-03,3.153130e-03,3.114918e-03,3.078477e-03,3.043764e-03,3.010734e-03,2.979344e-03,2.949550e-03,2.921308e-03,2.894577e-03,2.869313e-03
0.000000e+00,1.088088e-09,1.168060e-08,1.214216e-08,6.383187e-08,2.074730e-07,2.162854e-07,5.151690e-07,8.993723e-07,9.256372e-07,1.371324e-06,1.776728e-06,1.811345e-06,2.233491e-06,2.595592e-06,2.634755e-06,3.014606e-06,3.331292e-06,3.373216e-06,3.711001e-06,3.985241e-06,4.028489e-06,4.326278e-06,4.561669e-06,4.605014e-06,4.865374e-06,5.065646e-06,5.108055e-06,5.333764e-06,5.502586e-06,5.543206e-06,5.737079e-06,5.877933e-06,5.916069e-06,6.080847e-06,6.196977e-06,6.232067e-06,6.370361e-06,6.464738e-06,6.496342e-06,6.610603e-06,6.685934e-06,6.713713e-06,6.806223e-06,6.864957e-06,6.888662e-06,6.961539e-06,7.005883e-06,7.025341e-06,7.080539e-06,7.112476e-06,7.127583e-06,7.166904e-06,7.188207e-06,7.198914e-06,7.224012e-06,7.236268e-06,7.242576e-06,7.254970e-06,7.259588e-06,7.261539e-06,7.262619e-06,7.260857e-06,7.258530e-06,7.249576e-06,7.242546e-06,7.236049e-06,7.218228e-06,7.206913e-06,7.196379e-06,7.170758e-06,7.156024e-06,7.141606e-06,7.109154e-06,7.091761e-06,7.073625e-06,7.035228e-06,7.015839e-06,6.994165e-06,6.950626e-06,6.929817e-06,6.904794e-06,6.856842e-06,6.835114e-06,6.806935e-06,6.755232e-06,6.733017e-06,6.701881e-06,6.647025e-06,6.624692e-06,6.590800e-06,6.533333e-06,6.511196e-06,6.474747e-06,6.415159e-06,6.393483e-06,6.354679e-06,6.293410e-06,6.272417e-06,6.231453e-06,6.168901e-06,6.148773e-06,6.105843e-06,6.042363e-06,6.023249e-06,5.978542e-06,5.914454e-06,5.896471e-06,5.850170e-06,5.785759e-06,5.768999e-06,5.721283e-06,5.656802e-06,5.641332e-06,5.592373e-06,5.528048e-06,5.513916e-06,5.463878e-06,5.399910e-06,5.387144e-06,5.336187e-06,5.272750e-06,5.261365e-06,5.209639e-06,5.146890e-06,5.136886e-06,5.084536e-06,5.022609e-06,5.013975e-06,4.961138e-06,4.900151e-06,4.892866e-06,4.839672e-06,4.779725e-06,4.773761e-06,4.720333e-06,4.661514e-06,4.656833e-06,4.603287e-06,4.545668e-06,4.542231e-06,4.488674e-06,4.432318e-06,4.430078e-06,4.376613e-06,4.321570e-06,4.320476e-06,4.267199e-06,4.213509e-06,4.109244e-06,4.007730e-06,3.909005e-06,3.813092e-06,3.720003e-06,3.629741e-06,3.542301e-06,3.457667e-06,3.375819e-06,3.296729e-06,3.220364e-06,3.146688e-06,3.075657e-06,3.007228e-06,2.941353e-06,2.877980e-06,2.817058e-06,2.758532e-06,2.702346e-06,2.648445e-06,2.596770e-06,2.547263e-06,2.499867e-06,2.454524e-06,2.411174e-06,2.369760e-06,2.330225e-06,2.292510e-06,2.256561e-06,2.222321e-06,2.189735e-06,2.158748e-06,2.129308e-06,2.101363e-06,2.074860e-06,2.049750e-06,2.025984e-06,2.003512e-06,1.982289e-06,1.962268e-06,1.943405e-06,1.925654e-06,1.908975e-06,1.893325e-06,1.878664e-06,1.864952e-06,1.852151e-06,1.840224e-06,1.829135e-06
0.000000e+00,1.628726e-09,2.534037e-08,2.651034e-08,1.710867e-07,5.688160e-07,5.917833e-07,1.271019e-06,1.967268e-06,2.011151e-06,2.720262e-06,3.330517e-06,3.381613e-06,3.994131e-06,4.505036e-06,4.559514e-06,5.079905e-06,5.502352e-06,5.557469e-06,5.994331e-06,6.339075e-06,6.392583e-06,6.754287e-06,7.031359e-06,7.081472e-06,7.376128e-06,7.594836e-06,7.640196e-06,7.875552e-06,8.044385e-06,8.084008e-06,8.267297e-06,8.393858e-06,8.427074e-06,8.564923e-06,8.655944e-06,8.682336e-06,8.780723e-06,8.842066e-06,8.861415e-06,8.925668e-06,8.962420e-06,8.974669e-06,9.009537e-06,9.026101e-06,9.031324e-06,9.041030e-06,9.041217e-06,9.039605e-06,9.027929e-06,9.015005e-06,9.006816e-06,8.977038e-06,8.953768e-06,8.939316e-06,8.894326e-06,8.863061e-06,8.842700e-06,8.785032e-06,8.747763e-06,8.721877e-06,8.653752e-06,8.612156e-06,8.581144e-06,8.504502e-06,8.459980e-06,8.424250e-06,8.340783e-06,8.294505e-06,8.254470e-06,8.165654e-06,8.118588e-06,8.074655e-06,7.981770e-06,7.934707e-06,7.887276e-06,7.791430e-06,7.745014e-06,7.694471e-06,7.596620e-06,7.551367e-06,7.498084e-06,7.399052e-06,7.355367e-06,7.299701e-06,7.200193e-06,7.158389e-06,7.100678e-06,7.001295e-06,6.961607e-06,6.902170e-06,6.803421e-06,6.766018e-06,6.705156e-06,6.607471e-06,6.572465e-06,6.510458e-06,6.414197e-06,6.381653e-06,6.318764e-06,6.224225e-06,6.194171e-06,6.130641e-06,6.038069e-06,6.010501e-06,5.946555e-06,5.856146e-06,5.831035e-06,5.766879e-06,5.678789e-06,5.656082e-06,5.591905e-06,5.506254e-06,5.485884e-06,5.421858e-06,5.338737e-06,5.320623e-06,5.256905e-06,5.176377e-06,5.160429e-06,5.097162e-06,5.019267e-06,5.005387e-06,4.942699e-06,4.867459e-06,4.855543e-06,4.793548e-06,4.720966e-06,4.710910e-06,4.649710e-06,4.579776e-06,4.571472e-06,4.511158e-06,4.443848e-06,4.437189e-06,4.377840e-06,4.313123e-06,4.308001e-06,4.249688e-06,4.187522e-06,4.183833e-06,4.126615e-06,4.066953e-06,4.064592e-06,4.008522e-06,3.951309e-06,3.950177e-06,3.895299e-06,3.840477e-06,3.735372e-06,3.634739e-06,3.538450e-06,3.446372e-06,3.358373e-06,3.274319e-06,3.194075e-06,3.117509e-06,3.044488e-06,2.974882e-06,2.908562e-06,2.845402e-06,2.785279e-06,2.728072e-06,2.673664e-06,2.621940e-06,2.572791e-06,2.526107e-06,2.481785e-06,2.439725e-06,2.399828e-06,2.362001e-06,2.326153e-06,2.292196e-06,2.260048e-06,2.229626e-06,2.200852e-06,2.173653e-06,2.147955e-06,2.123691e-06,2.100793e-06,2.079199e-06,2.058847e-06,2.039679e-06,2.021639e-06,2.004674e-06,1.988731e-06,1.973764e-06,1.959723e-06,1.946564e-06,1.934245e-06,1.922724e-06,1.911961e-06,1.901919e-06,1.892563e-06,1.883857e-06,1.875768e-06,1.868267e-06,1.861321e-06
0.000000e+00,1.697109e-08,4.711264e-07,4.959976e-07,4.122628e-06,1.676200e-05,1.758770e-05,4.703928e-05,8.681656e-05,8.957064e-05,1.365366e-04,1.793430e-04,1.829968e-04,2.275338e-04,2.657186e-04,2.698483e-04,3.099091e-04,3.433252e-04,3.477507e-04,3.834273e-04,4.124250e-04,4.170013e-04,4.485399e-04,4.735106e-04,4.781132e-04,5.057934e-04,5.271296e-04,5.316533e-04,5.557657e-04,5.738463e-04,5.782032e-04,5.990361e-04,6.142164e-04,6.183335e-04,6.361627e-04,6.487715e-04,6.525893e-04,6.676763e-04,6.780144e-04,6.814851e-04,6.940747e-04,7.024163e-04,7.055021e-04,7.158224e-04,7.224162e-04,7.250884e-04,7.333511e-04,7.384217e-04,7.406595e-04,7.470608e-04,7.508108e-04,7.526002e-04,7.573213e-04,7.599327e-04,7.612658e-04,7.644738e-04,7.661099e-04,7.669840e-04,7.688331e-04,7.696401e-04,7.700567e-04,7.706887e-04,7.707971e-04,7.707617e-04,7.703069e-04,7.698328e-04,7.693542e-04,7.679322e-04,7.669789e-04,7.660684e-04,7.637891e-04,7.624480e-04,7.611193e-04,7.580831e-04,7.564349e-04,7.547035e-04,7.510025e-04,7.491180e-04,7.470011e-04,7.427193e-04,7.406609e-04,7.381764e-04,7.333907e-04,7.312126e-04,7.283797e-04,7.231601e-04,7.209095e-04,7.177478e-04,7.121580e-04,7.098757e-04,7.064053e-04,7.005034e-04,6.982243e-04,6.944655e-04,6.883041e-04,6.860581e-04,6.820313e-04,6.756582e-04,6.734705e-04,6.691958e-04,6.626543e-04,6.605460e-04,6.560435e-04,6.493727e-04,6.473611e-04,6.426506e-04,6.358857e-04,6.339849e-04,6.290858e-04,6.222585e-04,6.204798e-04,6.154108e-04,6.085496e-04,6.069016e-04,6.016812e-04,5.948117e-04,5.933008e-04,5.879466e-04,5.810915e-04,5.797221e-04,5.742513e-04,5.674309e-04,5.662056e-04,5.606347e-04,5.538670e-04,5.527871e-04,5.471318e-04,5.404327e-04,5.394979e-04,5.337733e-04,5.271569e-04,5.263660e-04,5.205865e-04,5.140650e-04,5.134156e-04,5.075950e-04,5.011790e-04,5.006681e-04,4.948193e-04,4.885181e-04,4.881419e-04,4.822772e-04,4.760986e-04,4.758528e-04,4.699838e-04,4.639345e-04,4.638142e-04,4.579519e-04,4.520374e-04,4.405319e-04,4.293051e-04,4.183632e-04,4.077106e-04,3.973505e-04,3.872851e-04,3.775153e-04,3.680412e-04,3.588620e-04,3.499762e-04,3.413816e-04,3.330754e-04,3.250542e-04,3.173143e-04,3.098516e-04,3.026614e-04,2.957390e-04,2.890794e-04,2.826772e-04,2.765270e-04,2.706232e-04,2.649602e-04,2.595321e-04,2.543330e-04,2.493571e-04,2.445986e-04,2.400513e-04,2.357096e-04,2.315674e-04,2.276190e-04,2.238586e-04,2.202804e-04,2.168788e-04,2.136482e-04,2.105832e-04,2.076782e-04,2.049280e-04,2.023273e-04,1.998710e-04,1.975541e-04,1.953716e-04,1.933187e-04,1.913906e-04,1.895828e-04,1.878907e-04,1.863100e-04,1.848362e-04,1.834653e-04,1.821930e-04
0.000000e+00,2.159542e-09,9.891346e-08,1.047161e-07,1.124425e-06,6.309376e-06,6.722257e-06,2.714814e-05,7.475302e-05,7.903790e-05,1.742477e-04,2.970531e-04,3.089571e-04,4.680540e-04,6.187046e-04,6.354423e-04,7.994697e-04,9.356383e-04,9.534611e-04,1.094352e-03,1.204300e-03,1.221217e-03,1.334243e-03,1.418994e-03,1.434129e-03,1.521773e-03,1.585172e-03,1.598125e-03,1.664117e-03,1.710051e-03,1.720639e-03,1.768525e-03,1.800382e-03,1.808551e-03,1.841438e-03,1.862071e-03,1.867854e-03,1.888412e-03,1.900189e-03,1.903679e-03,1.914173e-03,1.919045e-03,1.920374e-03,1.922716e-03,1.922276e-03,1.921601e-03,1.917394e-03,1.912939e-03,1.910429e-03,1.901010e-03,1.893586e-03,1.889416e-03,1.875900e-03,1.866348e-03,1.860692e-03,1.844002e-03,1.832995e-03,1.826022e-03,1.806923e-03,1.794993e-03,1.786863e-03,1.765986e-03,1.753554e-03,1.744420e-03,1.722283e-03,1.709676e-03,1.699679e-03,1.676706e-03,1.664178e-03,1.653450e-03,1.629987e-03,1.617729e-03,1.606389e-03,1.582718e-03,1.570873e-03,1.559030e-03,1.535377e-03,1.524049e-03,1.511803e-03,1.488349e-03,1.477611e-03,1.465051e-03,1.441939e-03,1.431837e-03,1.419043e-03,1.396386e-03,1.386948e-03,1.373991e-03,1.351876e-03,1.343113e-03,1.330058e-03,1.308550e-03,1.300461e-03,1.287364e-03,1.266511e-03,1.259087e-03,1.245998e-03,1.225832e-03,1.219056e-03,1.206019e-03,1.186563e-03,1.180413e-03,1.167467e-03,1.148732e-03,1.143182e-03,1.130359e-03,1.112350e-03,1.107372e-03,1.094702e-03,1.077416e-03,1.072981e-03,1.060489e-03,1.043919e-03,1.039995e-03,1.027703e-03,1.011837e-03,1.008394e-03,9.963193e-04,9.811447e-04,9.781507e-04,9.663095e-04,9.518091e-04,9.492343e-04,9.376391e-04,9.237946e-04,9.216094e-04,9.102707e-04,8.970624e-04,8.952381e-04,8.841645e-04,8.715717e-04,8.700808e-04,8.592788e-04,8.472805e-04,8.460967e-04,8.355714e-04,8.241461e-04,8.232442e-04,8.129993e-04,8.021256e-04,8.014817e-04,7.915196e-04,7.811759e-04,7.807676e-04,7.710894e-04,7.612547e-04,7.610606e-04,7.516667e-04,7.423201e-04,7.245063e-04,7.075802e-04,6.915040e-04,6.762409e-04,6.617552e-04,6.480124e-04,6.349791e-04,6.226234e-04,6.109142e-04,5.998219e-04,5.893179e-04,5.793747e-04,5.699662e-04,5.610670e-04,5.526531e-04,5.447013e-04,5.371894e-04,5.300964e-04,5.234019e-04,5.170866e-04,5.111320e-04,5.055205e-04,5.002350e-04,4.952595e-04,4.905787e-04,4.861777e-04,4.820425e-04,4.781598e-04,4.745167e-04,4.711011e-04,4.679013e-04,4.649063e-04,4.621054e-04,4.594885e-04,4.570461e-04,4.547689e-04,4.526482e-04,4.506757e-04,4.488434e-04,4.471438e-04,4.455696e-04,4.441140e-04,4.427705e-04,4.415328e-04,4.403950e-04,4.393515e-04,4.383968e-04,4.375260e-04,4.367341e-04
0.000000e+00,4.177582e-10,5.533441e-09,5.774071e-09,3.409334e-08,1.107830e-07,1.153118e-07,2.591461e-07,4.239988e-07,4.346818e-07,6.078516e-07,7.549051e-07,7.670720e-07,9.108702e-07,1.027683e-06,1.039960e-06,1.155421e-06,1.246624e-06,1.258349e-06,1.349785e-06,1.419973e-06,1.430703e-06,1.502007e-06,1.555087e-06,1.564534e-06,1.619057e-06,1.658293e-06,1.666286e-06,1.706876e-06,1.734972e-06,1.741426e-06,1.770485e-06,1.789666e-06,1.794558e-06,1.814105e-06,1.826194e-06,1.829547e-06,1.841271e-06,1.847762e-06,1.849629e-06,1.854944e-06,1.857052e-06,1.857509e-06,1.857592e-06,1.856305e-06,1.855438e-06,1.851272e-06,1.847395e-06,1.845299e-06,1.837705e-06,1.831888e-06,1.828660e-06,1.818322e-06,1.811093e-06,1.806832e-06,1.794323e-06,1.786108e-06,1.780912e-06,1.766706e-06,1.757842e-06,1.751803e-06,1.736292e-06,1.727050e-06,1.720255e-06,1.703766e-06,1.694359e-06,1.686891e-06,1.669691e-06,1.660287e-06,1.652221e-06,1.634532e-06,1.625262e-06,1.616668e-06,1.598672e-06,1.589635e-06,1.580579e-06,1.562425e-06,1.553698e-06,1.544240e-06,1.526050e-06,1.517689e-06,1.507882e-06,1.489757e-06,1.481800e-06,1.471695e-06,1.453715e-06,1.446192e-06,1.435833e-06,1.418063e-06,1.410990e-06,1.400419e-06,1.382911e-06,1.376296e-06,1.365551e-06,1.348346e-06,1.342192e-06,1.331306e-06,1.314437e-06,1.308741e-06,1.297745e-06,1.281235e-06,1.275991e-06,1.264912e-06,1.248781e-06,1.243979e-06,1.232843e-06,1.217102e-06,1.212730e-06,1.201561e-06,1.186219e-06,1.182264e-06,1.171080e-06,1.156144e-06,1.152590e-06,1.141412e-06,1.126883e-06,1.123714e-06,1.112559e-06,1.098438e-06,1.095638e-06,1.084520e-06,1.070804e-06,1.068357e-06,1.057290e-06,1.043977e-06,1.041866e-06,1.030863e-06,1.017947e-06,1.016155e-06,1.005228e-06,9.927043e-07,9.912144e-07,9.803737e-07,9.682350e-07,9.670316e-07,9.562862e-07,9.445255e-07,9.435927e-07,9.329511e-07,9.215610e-07,9.208834e-07,9.103532e-07,8.993257e-07,8.988883e-07,8.884764e-07,8.778033e-07,8.775916e-07,8.673042e-07,8.569771e-07,8.370284e-07,8.177290e-07,7.990623e-07,7.810118e-07,7.635612e-07,7.466943e-07,7.303950e-07,7.146476e-07,6.994368e-07,6.847471e-07,6.705639e-07,6.568725e-07,6.436586e-07,6.309083e-07,6.186081e-07,6.067447e-07,5.953051e-07,5.842767e-07,5.736473e-07,5.634049e-07,5.535377e-07,5.440346e-07,5.348845e-07,5.260765e-07,5.176004e-07,5.094458e-07,5.016030e-07,4.940623e-07,4.868145e-07,4.798503e-07,4.731611e-07,4.667382e-07,4.605732e-07,4.546581e-07,4.489850e-07,4.435463e-07,4.383345e-07,4.333423e-07,4.285628e-07,4.239891e-07,4.196146e-07,4.154328e-07,4.114375e-07,4.076226e-07,4.039822e-07,4.005106e-07,3.972021e-07,3.940513e-07,3.910529e-07
0.000000e+00,7.353173e-09,1.154876e-07,1.205287e-07,7.316464e-07,2.588262e-06,2.706187e-06,6.911328e-06,1.287760e-05,1.330570e-05,2.076133e-05,2.744119e-05,2.799189e-05,3.435775e-05,3.924331e-05,3.973836e-05,4.420016e-05,4.745228e-05,4.785125e-05,5.079954e-05,5.284780e-05,5.314276e-05,5.496674e-05,5.615269e-05,5.634637e-05,5.734687e-05,5.792418e-05,5.802464e-05,5.842844e-05,5.858270e-05,5.860035e-05,5.857659e-05,5.844245e-05,5.838836e-05,5.806243e-05,5.773693e-05,5.762184e-05,5.708631e-05,5.663895e-05,5.647277e-05,5.579570e-05,5.527591e-05,5.506750e-05,5.429874e-05,5.374138e-05,5.349847e-05,5.267438e-05,5.210378e-05,5.183303e-05,5.097998e-05,5.041288e-05,5.011995e-05,4.925692e-05,4.870458e-05,4.839425e-05,4.753479e-05,4.700457e-05,4.668088e-05,4.583450e-05,4.533098e-05,4.499728e-05,4.417057e-05,4.369633e-05,4.335546e-05,4.255284e-05,4.210909e-05,4.176339e-05,4.098769e-05,4.057466e-05,4.022613e-05,3.947902e-05,3.909630e-05,3.874657e-05,3.802891e-05,3.767564e-05,3.732609e-05,3.663812e-05,3.631316e-05,3.596495e-05,3.530649e-05,3.500851e-05,3.466262e-05,3.403319e-05,3.376077e-05,3.341803e-05,3.281694e-05,3.256863e-05,3.222972e-05,3.165615e-05,3.143049e-05,3.109599e-05,3.054902e-05,3.034457e-05,3.001498e-05,2.949363e-05,2.930900e-05,2.898472e-05,2.848800e-05,2.832185e-05,2.800323e-05,2.753015e-05,2.738119e-05,2.706851e-05,2.661806e-05,2.648507e-05,2.617857e-05,2.574979e-05,2.563161e-05,2.533148e-05,2.492340e-05,2.481895e-05,2.452534e-05,2.413705e-05,2.404529e-05,2.375831e-05,2.338891e-05,2.330888e-05,2.302863e-05,2.267726e-05,2.260803e-05,2.233458e-05,2.200040e-05,2.194113e-05,2.167452e-05,2.135673e-05,2.130663e-05,2.104686e-05,2.074472e-05,2.070302e-05,2.045011e-05,2.016287e-05,2.012889e-05,1.988281e-05,1.960977e-05,1.958285e-05,1.934358e-05,1.908408e-05,1.906360e-05,1.883110e-05,1.858449e-05,1.856989e-05,1.834410e-05,1.810977e-05,1.810052e-05,1.788137e-05,1.765874e-05,1.765435e-05,1.744176e-05,1.723028e-05,1.682728e-05,1.644435e-05,1.608053e-05,1.573493e-05,1.540668e-05,1.509495e-05,1.479896e-05,1.451796e-05,1.425122e-05,1.399808e-05,1.375788e-05,1.352999e-05,1.331383e-05,1.310883e-05,1.291446e-05,1.273020e-05,1.255556e-05,1.239008e-05,1.223331e-05,1.208484e-05,1.194425e-05,1.181116e-05,1.168521e-05,1.156605e-05,1.145334e-05,1.134677e-05,1.124604e-05,1.115085e-05,1.106094e-05,1.097604e-05,1.089591e-05,1.082030e-05,1.074899e-05,1.068177e-05,1.061844e-05,1.055879e-05,1.050264e-05,1.044982e-05,1.040015e-05,1.035348e-05,1.030966e-05,1.026853e-05,1.022996e-05,1.019383e-05,1.015999e-05,1.012835e-05,1.009877e-05,1.007116e-05,1.004540e-05
0.000000e+00,1.304123e-08,2.796564e-07,2.935924e-07,2.209505e-06,8.412347e-06,8.802673e-06,2.178178e-05,3.701208e-05,3.799665e-05,5.386698e-05,6.718029e-05,6.827373e-05,8.108836e-05,9.133090e-05,9.239757e-05,1.023254e-04,1.100173e-04,1.109952e-04,1.185223e-04,1.241627e-04,1.250127e-04,1.305641e-04,1.345674e-04,1.352662e-04,1.392013e-04,1.419092e-04,1.424454e-04,1.450678e-04,1.467612e-04,1.471323e-04,1.486970e-04,1.496048e-04,1.498149e-04,1.505342e-04,1.508414e-04,1.508987e-04,1.509482e-04,1.508032e-04,1.507186e-04,1.502424e-04,1.497635e-04,1.495490e-04,1.486650e-04,1.479457e-04,1.476143e-04,1.464183e-04,1.455321e-04,1.450966e-04,1.436665e-04,1.426710e-04,1.421437e-04,1.405424e-04,1.394822e-04,1.388751e-04,1.371532e-04,1.360627e-04,1.353868e-04,1.335851e-04,1.324904e-04,1.317559e-04,1.299066e-04,1.288274e-04,1.280436e-04,1.261725e-04,1.251231e-04,1.242984e-04,1.224258e-04,1.214166e-04,1.205587e-04,1.187005e-04,1.177387e-04,1.168542e-04,1.150227e-04,1.141132e-04,1.132082e-04,1.114127e-04,1.105582e-04,1.096380e-04,1.078856e-04,1.070874e-04,1.061569e-04,1.044527e-04,1.037110e-04,1.027742e-04,1.011220e-04,1.004360e-04,9.949668e-05,9.789878e-05,9.726737e-05,9.632862e-05,9.478647e-05,9.420784e-05,9.327249e-05,9.178677e-05,9.125883e-05,9.032931e-05,8.890006e-05,8.842053e-05,8.749893e-05,8.612575e-05,8.569221e-05,8.478034e-05,8.346244e-05,8.307240e-05,8.217181e-05,8.090813e-05,8.055909e-05,7.967109e-05,7.846035e-05,7.814982e-05,7.727555e-05,7.611631e-05,7.584185e-05,7.498225e-05,7.387297e-05,7.363221e-05,7.278806e-05,7.172712e-05,7.151777e-05,7.068972e-05,6.967546e-05,6.949531e-05,6.868390e-05,6.771463e-05,6.756159e-05,6.676722e-05,6.584126e-05,6.571331e-05,6.493632e-05,6.405199e-05,6.394723e-05,6.318785e-05,6.234350e-05,6.226014e-05,6.151853e-05,6.071254e-05,6.064887e-05,5.992514e-05,5.915592e-05,5.911034e-05,5.840452e-05,5.767054e-05,5.764154e-05,5.695361e-05,5.625337e-05,5.623953e-05,5.556945e-05,5.490150e-05,5.362471e-05,5.240650e-05,5.124434e-05,5.013577e-05,4.907844e-05,4.807008e-05,4.710852e-05,4.619168e-05,4.531756e-05,4.448425e-05,4.368992e-05,4.293280e-05,4.221123e-05,4.152360e-05,4.086837e-05,4.024407e-05,3.964930e-05,3.908272e-05,3.854304e-05,3.802903e-05,3.753953e-05,3.707342e-05,3.662961e-05,3.620711e-05,3.580491e-05,3.542210e-05,3.505778e-05,3.471111e-05,3.438126e-05,3.406746e-05,3.376897e-05,3.348508e-05,3.321512e-05,3.295844e-05,3.271442e-05,3.248248e-05,3.226204e-05,3.205258e-05,3.185359e-05,3.166456e-05,3.148504e-05,3.131458e-05,3.115275e-05,3.099914e-05,3.085337e-05,3.071507e-05,3.058388e-05,3.045946e-05,3.034150e-05
0.000000e+00,2.867820e-10,2.208999e-08,2.364769e-08,4.156662e-07,3.156295e-06,3.393755e-06,1.613815e-05,4.856659e-05,5.161367e-05,1.248138e-04,2.365258e-04,2.485072e-04,4.310119e-04,6.484195e-04,6.756829e-04,9.813710e-04,1.297140e-03,1.343320e-03,1.754184e-03,2.139831e-03,2.204987e-03,2.685951e-03,3.106004e-03,3.187155e-03,3.699036e-03,4.120502e-03,4.212734e-03,4.720320e-03,5.117333e-03,5.214922e-03,5.690769e-03,6.045860e-03,6.143178e-03,6.568506e-03,6.871958e-03,6.964066e-03,7.328034e-03,7.576379e-03,7.659344e-03,7.957581e-03,8.151891e-03,8.222881e-03,8.455833e-03,8.600150e-03,8.657389e-03,8.828784e-03,8.928835e-03,8.971464e-03,9.087029e-03,9.149268e-03,9.177173e-03,9.243646e-03,9.274581e-03,9.288212e-03,9.312622e-03,9.318389e-03,9.318591e-03,9.307777e-03,9.293897e-03,9.281769e-03,9.242075e-03,9.213347e-03,9.190119e-03,9.127235e-03,9.087714e-03,9.054666e-03,8.973564e-03,8.926598e-03,8.884991e-03,8.789924e-03,8.738223e-03,8.689257e-03,8.583805e-03,8.529519e-03,8.474310e-03,8.361442e-03,8.306249e-03,8.245811e-03,8.127962e-03,8.073145e-03,8.008388e-03,7.887530e-03,7.834048e-03,7.765782e-03,7.643498e-03,7.592055e-03,7.520991e-03,7.398543e-03,7.349636e-03,7.276401e-03,7.154784e-03,7.108748e-03,7.033887e-03,6.913883e-03,6.870929e-03,6.794920e-03,6.677131e-03,6.637370e-03,6.560627e-03,6.445511e-03,6.408981e-03,6.331867e-03,6.219771e-03,6.186453e-03,6.109286e-03,6.000467e-03,5.970304e-03,5.893362e-03,5.788007e-03,5.760906e-03,5.684434e-03,5.582668e-03,5.558515e-03,5.482727e-03,5.384627e-03,5.363293e-03,5.288376e-03,5.193982e-03,5.175326e-03,5.101447e-03,5.010770e-03,4.994645e-03,4.921949e-03,4.834977e-03,4.821233e-03,4.749847e-03,4.666549e-03,4.655032e-03,4.585070e-03,4.505397e-03,4.495957e-03,4.427516e-03,4.351410e-03,4.343896e-03,4.277062e-03,4.204453e-03,4.198719e-03,4.133566e-03,4.064380e-03,4.060282e-03,3.996874e-03,3.931027e-03,3.928427e-03,3.866818e-03,3.804225e-03,3.802990e-03,3.743225e-03,3.683796e-03,3.570671e-03,3.463432e-03,3.361899e-03,3.265889e-03,3.175219e-03,3.089708e-03,3.009175e-03,2.933443e-03,2.862335e-03,2.795680e-03,2.733307e-03,2.675048e-03,2.620742e-03,2.570227e-03,2.523347e-03,2.479948e-03,2.439880e-03,2.402998e-03,2.369158e-03,2.338220e-03,2.310048e-03,2.284511e-03,2.261477e-03,2.240821e-03,2.222419e-03,2.206153e-03,2.191905e-03,2.179561e-03,2.169012e-03,2.160151e-03,2.152872e-03,2.147074e-03,2.142661e-03,2.139536e-03,2.137609e-03,2.136789e-03,2.136992e-03,2.138134e-03,2.140135e-03,2.142921e-03,2.146415e-03,2.150549e-03,2.155255e-03,2.160469e-03,2.166128e-03,2.172175e-03,2.178554e-03,2.185214e-03,2.192103e-03
0.000000e+00,7.082485e-09,7.868350e-08,8.180531e-08,4.410120e-07,1.523736e-06,1.593523e-06,4.157935e-06,7.956356e-06,8.233174e-06,1.314645e-05,1.780599e-05,1.820726e-05,2.311313e-05,2.731827e-05,2.777219e-05,3.216225e-05,3.580211e-05,3.628246e-05,4.013881e-05,4.325056e-05,4.373963e-05,4.709417e-05,4.972867e-05,5.021203e-05,5.310295e-05,5.531107e-05,5.577677e-05,5.824321e-05,6.007351e-05,6.051188e-05,6.259219e-05,6.409000e-05,6.449333e-05,6.622420e-05,6.743109e-05,6.779341e-05,6.920930e-05,7.016306e-05,7.047987e-05,7.161281e-05,7.234748e-05,7.261553e-05,7.349511e-05,7.404120e-05,7.425835e-05,7.491173e-05,7.529647e-05,7.546148e-05,7.591355e-05,7.616117e-05,7.627361e-05,7.654708e-05,7.667906e-05,7.673914e-05,7.685472e-05,7.689006e-05,7.689854e-05,7.687509e-05,7.683052e-05,7.678864e-05,7.664328e-05,7.653351e-05,7.644287e-05,7.619112e-05,7.602903e-05,7.589154e-05,7.554748e-05,7.534432e-05,7.516211e-05,7.473846e-05,7.450399e-05,7.427940e-05,7.378765e-05,7.353034e-05,7.326581e-05,7.271633e-05,7.244345e-05,7.214154e-05,7.154365e-05,7.126144e-05,7.092475e-05,7.028684e-05,7.000062e-05,6.963178e-05,6.896136e-05,6.867561e-05,6.827725e-05,6.758105e-05,6.729952e-05,6.687425e-05,6.615828e-05,6.588408e-05,6.543447e-05,6.470408e-05,6.443977e-05,6.396831e-05,6.322827e-05,6.297587e-05,6.248502e-05,6.173954e-05,6.150067e-05,6.099277e-05,6.024557e-05,6.002146e-05,5.949878e-05,5.875315e-05,5.854468e-05,5.800940e-05,5.726821e-05,5.707599e-05,5.653019e-05,5.579593e-05,5.562033e-05,5.506598e-05,5.434083e-05,5.418199e-05,5.362096e-05,5.290679e-05,5.276468e-05,5.219873e-05,5.149715e-05,5.137158e-05,5.080238e-05,5.011474e-05,5.000540e-05,4.943450e-05,4.876194e-05,4.866841e-05,4.809728e-05,4.744074e-05,4.736251e-05,4.679250e-05,4.615274e-05,4.608923e-05,4.552160e-05,4.489923e-05,4.484982e-05,4.428573e-05,4.368120e-05,4.364522e-05,4.308574e-05,4.249940e-05,4.247613e-05,4.192224e-05,4.135432e-05,4.134306e-05,4.079565e-05,4.024627e-05,3.918589e-05,3.816189e-05,3.717408e-05,3.622218e-05,3.530579e-05,3.442444e-05,3.357757e-05,3.276455e-05,3.198471e-05,3.123731e-05,3.052161e-05,2.983681e-05,2.918210e-05,2.855664e-05,2.795958e-05,2.739007e-05,2.684727e-05,2.633029e-05,2.583831e-05,2.537045e-05,2.492589e-05,2.450379e-05,2.410333e-05,2.372371e-05,2.336414e-05,2.302385e-05,2.270207e-05,2.239807e-05,2.211113e-05,2.184055e-05,2.158564e-05,2.134573e-05,2.112020e-05,2.090840e-05,2.070975e-05,2.052364e-05,2.034951e-05,2.018682e-05,2.003504e-05,1.989366e-05,1.976218e-05,1.964012e-05,1.952705e-05,1.942250e-05,1.932607e-05,1.923734e-05,1.915592e-05,1.908143e-05,1.901352e-05
0.000000e+00,6.551902e-10,3.668233e-08,3.896188e-08,4.729369e-07,2.845622e-06,3.039730e-06,1.319053e-05,4.003819e-05,4.265576e-05,1.092507e-04,2.198299e-04,2.321069e-04,4.249096e-04,6.618377e-04,6.917663e-04,1.027271e-03,1.369669e-03,1.419168e-03,1.851635e-03,2.243317e-03,2.308061e-03,2.772945e-03,3.160170e-03,3.232976e-03,3.677471e-03,4.024643e-03,4.098386e-03,4.490086e-03,4.779946e-03,4.848991e-03,5.173198e-03,5.401566e-03,5.462103e-03,5.716081e-03,5.886391e-03,5.936213e-03,6.124060e-03,6.243371e-03,6.281488e-03,6.410540e-03,6.487075e-03,6.513333e-03,6.591990e-03,6.633803e-03,6.648586e-03,6.685118e-03,6.699473e-03,6.703484e-03,6.705468e-03,6.698616e-03,6.692734e-03,6.666831e-03,6.644006e-03,6.629188e-03,6.581124e-03,6.546625e-03,6.523847e-03,6.458466e-03,6.415772e-03,6.385993e-03,6.307354e-03,6.259253e-03,6.223391e-03,6.134870e-03,6.083571e-03,6.042490e-03,5.946882e-03,5.894117e-03,5.848622e-03,5.748230e-03,5.695340e-03,5.646174e-03,5.542881e-03,5.490891e-03,5.438732e-03,5.334073e-03,5.283747e-03,5.229213e-03,5.124430e-03,5.076325e-03,5.019973e-03,4.916062e-03,4.870567e-03,4.812897e-03,4.710651e-03,4.668020e-03,4.609479e-03,4.509518e-03,4.469900e-03,4.410886e-03,4.313688e-03,4.277147e-03,4.218011e-03,4.123934e-03,4.090471e-03,4.031521e-03,3.940827e-03,3.910390e-03,3.851896e-03,3.764764e-03,3.737267e-03,3.679460e-03,3.596004e-03,3.571330e-03,3.514411e-03,3.434690e-03,3.412704e-03,3.356844e-03,3.280871e-03,3.261425e-03,3.206767e-03,3.134522e-03,3.117458e-03,3.064123e-03,2.995554e-03,2.980713e-03,2.928798e-03,2.863834e-03,2.851054e-03,2.800639e-03,2.739188e-03,2.728310e-03,2.679456e-03,2.621416e-03,2.612284e-03,2.565038e-03,2.510294e-03,2.502759e-03,2.457154e-03,2.405586e-03,2.399502e-03,2.355560e-03,2.307044e-03,2.302274e-03,2.260005e-03,2.214412e-03,2.210826e-03,2.170233e-03,2.127436e-03,2.124911e-03,2.085988e-03,2.045857e-03,2.044279e-03,2.007012e-03,1.969422e-03,1.968683e-03,1.933056e-03,1.897881e-03,1.831636e-03,1.769715e-03,1.711894e-03,1.657957e-03,1.607695e-03,1.560906e-03,1.517399e-03,1.476989e-03,1.439500e-03,1.404764e-03,1.372621e-03,1.342920e-03,1.315515e-03,1.290270e-03,1.267054e-03,1.245744e-03,1.226223e-03,1.208380e-03,1.192111e-03,1.177316e-03,1.163903e-03,1.151782e-03,1.140870e-03,1.131088e-03,1.122362e-03,1.114621e-03,1.107799e-03,1.101834e-03,1.096667e-03,1.092241e-03,1.088505e-03,1.085409e-03,1.082907e-03,1.080955e-03,1.079512e-03,1.078538e-03,1.077998e-03,1.077857e-03,1.078082e-03,1.078644e-03,1.079514e-03,1.080664e-03,1.082071e-03,1.083709e-03,1.085558e-03,1.087596e-03,1.089803e-03,1.092163e-03,1.094656e-03
0.000000e+00,3.473138e-10,5.059729e-09,5.289400e-09,3.386873e-08,1.176065e-07,1.227215e-07,2.900915e-07,4.869190e-07,4.997773e-07,7.103404e-07,8.928695e-07,9.081430e-07,1.090824e-06,1.242431e-06,1.258548e-06,1.412005e-06,1.535863e-06,1.551973e-06,1.679227e-06,1.779072e-06,1.794520e-06,1.898576e-06,1.977808e-06,1.992090e-06,2.075729e-06,2.137395e-06,2.150133e-06,2.215912e-06,2.262715e-06,2.273645e-06,2.323883e-06,2.358204e-06,2.367149e-06,2.403936e-06,2.427849e-06,2.434710e-06,2.459909e-06,2.475211e-06,2.479946e-06,2.495209e-06,2.503449e-06,2.506064e-06,2.512852e-06,2.515357e-06,2.515894e-06,2.515493e-06,2.513397e-06,2.511930e-06,2.505469e-06,2.499738e-06,2.496357e-06,2.484826e-06,2.476277e-06,2.471092e-06,2.455357e-06,2.444679e-06,2.437808e-06,2.418621e-06,2.406392e-06,2.397961e-06,2.375982e-06,2.362686e-06,2.352826e-06,2.328625e-06,2.314664e-06,2.303505e-06,2.277579e-06,2.263282e-06,2.250954e-06,2.223728e-06,2.209364e-06,2.195993e-06,2.167835e-06,2.153621e-06,2.139331e-06,2.110554e-06,2.096665e-06,2.081573e-06,2.052447e-06,2.039017e-06,2.023235e-06,1.993989e-06,1.981122e-06,1.964756e-06,1.935582e-06,1.923357e-06,1.906507e-06,1.877568e-06,1.866038e-06,1.848798e-06,1.820229e-06,1.809431e-06,1.791888e-06,1.763801e-06,1.753756e-06,1.735990e-06,1.708476e-06,1.699192e-06,1.681277e-06,1.654410e-06,1.645885e-06,1.627889e-06,1.601727e-06,1.593950e-06,1.575935e-06,1.550523e-06,1.543477e-06,1.525499e-06,1.500869e-06,1.494531e-06,1.476641e-06,1.452819e-06,1.447162e-06,1.429406e-06,1.406405e-06,1.401400e-06,1.383818e-06,1.361646e-06,1.357261e-06,1.339890e-06,1.318549e-06,1.314751e-06,1.297622e-06,1.277109e-06,1.273865e-06,1.257006e-06,1.237312e-06,1.234587e-06,1.218024e-06,1.199138e-06,1.196898e-06,1.180650e-06,1.162558e-06,1.160770e-06,1.144856e-06,1.127540e-06,1.126171e-06,1.110605e-06,1.094047e-06,1.093066e-06,1.077861e-06,1.062040e-06,1.061415e-06,1.046581e-06,1.031476e-06,1.031178e-06,1.016722e-06,1.002311e-06,9.747707e-07,9.485116e-07,9.234885e-07,8.996559e-07,8.769687e-07,8.553820e-07,8.348514e-07,8.153337e-07,7.967861e-07,7.791673e-07,7.624367e-07,7.465553e-07,7.314848e-07,7.171886e-07,7.036310e-07,6.907777e-07,6.785957e-07,6.670533e-07,6.561199e-07,6.457662e-07,6.359642e-07,6.266870e-07,6.179087e-07,6.096048e-07,6.017517e-07,5.943269e-07,5.873090e-07,5.806775e-07,5.744128e-07,5.684963e-07,5.629103e-07,5.576378e-07,5.526628e-07,5.479699e-07,5.435447e-07,5.393731e-07,5.354421e-07,5.317391e-07,5.282522e-07,5.249700e-07,5.218820e-07,5.189777e-07,5.162475e-07,5.136823e-07,5.112733e-07,5.090121e-07,5.068910e-07,5.049024e-07,5.030392e-07
0.000000e+00,3.696840e-10,3.894719e-08,4.195099e-08,9.085517e-07,7.108760e-06,7.631369e-06,3.339711e-05,9.028020e-05,9.529033e-05,2.068299e-04,3.590681e-04,3.745899e-04,5.983080e-04,8.430485e-04,8.725083e-04,1.188447e-03,1.492834e-03,1.535827e-03,1.904097e-03,2.229915e-03,2.283325e-03,2.664711e-03,2.981273e-03,3.040836e-03,3.405713e-03,3.693239e-03,3.754724e-03,4.084486e-03,4.332852e-03,4.392687e-03,4.677905e-03,4.883953e-03,4.939446e-03,5.177191e-03,5.342146e-03,5.391460e-03,5.582902e-03,5.710386e-03,5.752402e-03,5.901005e-03,5.995700e-03,6.029856e-03,6.140156e-03,6.206980e-03,6.233122e-03,6.309966e-03,6.353616e-03,6.371871e-03,6.419982e-03,6.444711e-03,6.455392e-03,6.479141e-03,6.488677e-03,6.492212e-03,6.495526e-03,6.493062e-03,6.489947e-03,6.476281e-03,6.464514e-03,6.455277e-03,6.427631e-03,6.408809e-03,6.393988e-03,6.354945e-03,6.330929e-03,6.311052e-03,6.262820e-03,6.235137e-03,6.210717e-03,6.155177e-03,6.125071e-03,6.096597e-03,6.035344e-03,6.003822e-03,5.971756e-03,5.906140e-03,5.874010e-03,5.838783e-03,5.769944e-03,5.737847e-03,5.699862e-03,5.628757e-03,5.597199e-03,5.556830e-03,5.484263e-03,5.453635e-03,5.411225e-03,5.337868e-03,5.308467e-03,5.264332e-03,5.190744e-03,5.162791e-03,5.117220e-03,5.043866e-03,5.017519e-03,4.970777e-03,4.898039e-03,4.873402e-03,4.825731e-03,4.753923e-03,4.731060e-03,4.682678e-03,4.612053e-03,4.590995e-03,4.542100e-03,4.472863e-03,4.453610e-03,4.404382e-03,4.336694e-03,4.319229e-03,4.269829e-03,4.203816e-03,4.188102e-03,4.138677e-03,4.074432e-03,4.060421e-03,4.011100e-03,3.948695e-03,3.936326e-03,3.887228e-03,3.826709e-03,3.815917e-03,3.767145e-03,3.708542e-03,3.699255e-03,3.650902e-03,3.594229e-03,3.586371e-03,3.538521e-03,3.483778e-03,3.477274e-03,3.429998e-03,3.377177e-03,3.371948e-03,3.325311e-03,3.274394e-03,3.270361e-03,3.224420e-03,3.175381e-03,3.172468e-03,3.127271e-03,3.080080e-03,3.078211e-03,3.033800e-03,2.988421e-03,2.987523e-03,2.943934e-03,2.900328e-03,2.816547e-03,2.736094e-03,2.658882e-03,2.584819e-03,2.513814e-03,2.445774e-03,2.380605e-03,2.318217e-03,2.258515e-03,2.201411e-03,2.146815e-03,2.094638e-03,2.044795e-03,1.997202e-03,1.951777e-03,1.908439e-03,1.867112e-03,1.827718e-03,1.790186e-03,1.754443e-03,1.720420e-03,1.688051e-03,1.657271e-03,1.628016e-03,1.600228e-03,1.573846e-03,1.548815e-03,1.525079e-03,1.502587e-03,1.481287e-03,1.461130e-03,1.442069e-03,1.424058e-03,1.407053e-03,1.391011e-03,1.375893e-03,1.361657e-03,1.348267e-03,1.335686e-03,1.323878e-03,1.312810e-03,1.302448e-03,1.292762e-03,1.283721e-03,1.275295e-03,1.267457e-03,1.260180e-03,1.253437e-03,1.247203e-03
0.000000e+00,2.157346e-10,1.264287e-08,1.344337e-08,1.740090e-07,1.123671e-06,1.203846e-06,5.593483e-06,1.784257e-05,1.905775e-05,5.039038e-05,1.028905e-04,1.087250e-04,2.003147e-04,3.127742e-04,3.269784e-04,4.862671e-04,6.490064e-04,6.725478e-04,8.783331e-04,1.064700e-03,1.095485e-03,1.316128e-03,1.499008e-03,1.533258e-03,1.741076e-03,1.901358e-03,1.935108e-03,2.112187e-03,2.240275e-03,2.270329e-03,2.408565e-03,2.502455e-03,2.526754e-03,2.625396e-03,2.687874e-03,2.705460e-03,2.768235e-03,2.804425e-03,2.815204e-03,2.847945e-03,2.863605e-03,2.868053e-03,2.877085e-03,2.877612e-03,2.876518e-03,2.867725e-03,2.857690e-03,2.851957e-03,2.830341e-03,2.813363e-03,2.803878e-03,2.773446e-03,2.752244e-03,2.739809e-03,2.703625e-03,2.680164e-03,2.665459e-03,2.625789e-03,2.601436e-03,2.585019e-03,2.543487e-03,2.519163e-03,2.501475e-03,2.459217e-03,2.435517e-03,2.416904e-03,2.374694e-03,2.351989e-03,2.332714e-03,2.291068e-03,2.269572e-03,2.249839e-03,2.209093e-03,2.188918e-03,2.168883e-03,2.129249e-03,2.110439e-03,2.090223e-03,2.051827e-03,2.034382e-03,2.014079e-03,1.976991e-03,1.960883e-03,1.940571e-03,1.904823e-03,1.890010e-03,1.869749e-03,1.835350e-03,1.821779e-03,1.801622e-03,1.768563e-03,1.756174e-03,1.736166e-03,1.704428e-03,1.693161e-03,1.673340e-03,1.642896e-03,1.632691e-03,1.613088e-03,1.583909e-03,1.574703e-03,1.555349e-03,1.527400e-03,1.519133e-03,1.500053e-03,1.473299e-03,1.465913e-03,1.447129e-03,1.421533e-03,1.414971e-03,1.396503e-03,1.372028e-03,1.366236e-03,1.348100e-03,1.324709e-03,1.319634e-03,1.301845e-03,1.279500e-03,1.275093e-03,1.257664e-03,1.236327e-03,1.232539e-03,1.215481e-03,1.195117e-03,1.191902e-03,1.175224e-03,1.155795e-03,1.153111e-03,1.136820e-03,1.118291e-03,1.116097e-03,1.100199e-03,1.082536e-03,1.080793e-03,1.065292e-03,1.048460e-03,1.047131e-03,1.032031e-03,1.015998e-03,1.015048e-03,1.000352e-03,9.850847e-04,9.844818e-04,9.701893e-04,9.556580e-04,9.553710e-04,9.414831e-04,9.276572e-04,9.012833e-04,8.761944e-04,8.523373e-04,8.296607e-04,8.081152e-04,7.876530e-04,7.682283e-04,7.497969e-04,7.323161e-04,7.157452e-04,7.000448e-04,6.851770e-04,6.711056e-04,6.577956e-04,6.452134e-04,6.333270e-04,6.221053e-04,6.115187e-04,6.015387e-04,5.921380e-04,5.832903e-04,5.749704e-04,5.671541e-04,5.598183e-04,5.529408e-04,5.465001e-04,5.404759e-04,5.348484e-04,5.295989e-04,5.247093e-04,5.201622e-04,5.159411e-04,5.120299e-04,5.084135e-04,5.050772e-04,5.020069e-04,4.991892e-04,4.966111e-04,4.942603e-04,4.921250e-04,4.901937e-04,4.884557e-04,4.869004e-04,4.855178e-04,4.842985e-04,4.832332e-04,4.823132e-04,4.815300e-04,4.808757e-04
0.000000e+00,5.762558e-10,3.510922e-08,3.736013e-08,4.947336e-07,3.162125e-06,3.384398e-06,1.522658e-05,4.704100e-05,5.015464e-05,1.296242e-04,2.624586e-04,2.772840e-04,5.125555e-04,8.087296e-04,8.467313e-04,1.282135e-03,1.744789e-03,1.813241e-03,2.428646e-03,3.013814e-03,3.113186e-03,3.849822e-03,4.496107e-03,4.621148e-03,5.410487e-03,6.060454e-03,6.202621e-03,6.984217e-03,7.594272e-03,7.744020e-03,8.472878e-03,9.015239e-03,9.163641e-03,9.810997e-03,1.027164e-02,1.041127e-02,1.096218e-02,1.133741e-02,1.146266e-02,1.191259e-02,1.220560e-02,1.231265e-02,1.266413e-02,1.288219e-02,1.296879e-02,1.322871e-02,1.338108e-02,1.344622e-02,1.362379e-02,1.372035e-02,1.376398e-02,1.386933e-02,1.391967e-02,1.394241e-02,1.398570e-02,1.399863e-02,1.400159e-02,1.399239e-02,1.397575e-02,1.396030e-02,1.390740e-02,1.386795e-02,1.383564e-02,1.374687e-02,1.369037e-02,1.364280e-02,1.352503e-02,1.345627e-02,1.339506e-02,1.325425e-02,1.317718e-02,1.310389e-02,1.294515e-02,1.286298e-02,1.277912e-02,1.260682e-02,1.252215e-02,1.242914e-02,1.224695e-02,1.216184e-02,1.206102e-02,1.187205e-02,1.178812e-02,1.168071e-02,1.148759e-02,1.140607e-02,1.129322e-02,1.109811e-02,1.101996e-02,1.090270e-02,1.070742e-02,1.063331e-02,1.051261e-02,1.031864e-02,1.024907e-02,1.012579e-02,9.934350e-03,9.869624e-03,9.744558e-03,9.556638e-03,9.496932e-03,9.370787e-03,9.187182e-03,9.132562e-03,9.005977e-03,8.827311e-03,8.777756e-03,8.651304e-03,8.478061e-03,8.433482e-03,8.307672e-03,8.140214e-03,8.100468e-03,7.975753e-03,7.814342e-03,7.779245e-03,7.656023e-03,7.500831e-03,7.470170e-03,7.348791e-03,7.199920e-03,7.173461e-03,7.054228e-03,6.911719e-03,6.889212e-03,6.772389e-03,6.636232e-03,6.617423e-03,6.503234e-03,6.373378e-03,6.358005e-03,6.246641e-03,6.123000e-03,6.110805e-03,6.002425e-03,5.884885e-03,5.875612e-03,5.770347e-03,5.658773e-03,5.652172e-03,5.550125e-03,5.444364e-03,5.440193e-03,5.341447e-03,5.241332e-03,5.239358e-03,5.143973e-03,5.049326e-03,4.869744e-03,4.700248e-03,4.540466e-03,4.390024e-03,4.248551e-03,4.115674e-03,3.991028e-03,3.874254e-03,3.764998e-03,3.662918e-03,3.567678e-03,3.478953e-03,3.396427e-03,3.319796e-03,3.248767e-03,3.183055e-03,3.122388e-03,3.066505e-03,3.015153e-03,2.968091e-03,2.925086e-03,2.885918e-03,2.850373e-03,2.818248e-03,2.789348e-03,2.763487e-03,2.740488e-03,2.720179e-03,2.702399e-03,2.686993e-03,2.673812e-03,2.662716e-03,2.653568e-03,2.646241e-03,2.640611e-03,2.636563e-03,2.633983e-03,2.632766e-03,2.632811e-03,2.634021e-03,2.636304e-03,2.639574e-03,2.643747e-03,2.648745e-03,2.654491e-03,2.660917e-03,2.667953e-03,2.675536e-03,2.683607e-03
0.000000e+00,9.278086e-09,2.474077e-07,2.607530e-07,2.287794e-06,9.239081e-06,9.671904e-06,2.322820e-05,3.759435e-05,3.849142e-05,5.266936e-05,6.428114e-05,6.522573e-05,7.619533e-05,8.482074e-05,8.571095e-05,9.391365e-05,1.001515e-04,1.009360e-04,1.068993e-04,1.112656e-04,1.119145e-04,1.160826e-04,1.189965e-04,1.194953e-04,1.222359e-04,1.240349e-04,1.243800e-04,1.259955e-04,1.269490e-04,1.271441e-04,1.278807e-04,1.282014e-04,1.282550e-04,1.283112e-04,1.281659e-04,1.280891e-04,1.276242e-04,1.271426e-04,1.269481e-04,1.260892e-04,1.253718e-04,1.250726e-04,1.239209e-04,1.230451e-04,1.226540e-04,1.212896e-04,1.203143e-04,1.198436e-04,1.183298e-04,1.172998e-04,1.167608e-04,1.151475e-04,1.140962e-04,1.134996e-04,1.118256e-04,1.107780e-04,1.101331e-04,1.084287e-04,1.074029e-04,1.067183e-04,1.050070e-04,1.040157e-04,1.032991e-04,1.015987e-04,1.006509e-04,9.990898e-05,9.823297e-05,9.733450e-05,9.657314e-05,9.493164e-05,9.408592e-05,9.331030e-05,9.171066e-05,9.091938e-05,9.013400e-05,8.858140e-05,8.784496e-05,8.705372e-05,8.555165e-05,8.486946e-05,8.407574e-05,8.262640e-05,8.199718e-05,8.120390e-05,7.980842e-05,7.923040e-05,7.844005e-05,7.709878e-05,7.656986e-05,7.578456e-05,7.449725e-05,7.401510e-05,7.323668e-05,7.200261e-05,7.156478e-05,7.079478e-05,6.961289e-05,6.921690e-05,6.845661e-05,6.732560e-05,6.696894e-05,6.621946e-05,6.513782e-05,6.481805e-05,6.408028e-05,6.304641e-05,6.276111e-05,6.203580e-05,6.104801e-05,6.079487e-05,6.008263e-05,5.913920e-05,5.891600e-05,5.821730e-05,5.731649e-05,5.712110e-05,5.643634e-05,5.557642e-05,5.540682e-05,5.473629e-05,5.391553e-05,5.376982e-05,5.311372e-05,5.233045e-05,5.220682e-05,5.156531e-05,5.081789e-05,5.071464e-05,5.008779e-05,4.937463e-05,4.929017e-05,4.867801e-05,4.799756e-05,4.793039e-05,4.733291e-05,4.668370e-05,4.663241e-05,4.604956e-05,4.543014e-05,4.539344e-05,4.482511e-05,4.423413e-05,4.421077e-05,4.365686e-05,4.309299e-05,4.308184e-05,4.254219e-05,4.200417e-05,4.097539e-05,3.999324e-05,3.905555e-05,3.816026e-05,3.730538e-05,3.648905e-05,3.570945e-05,3.496488e-05,3.425370e-05,3.357436e-05,3.292536e-05,3.230530e-05,3.171282e-05,3.114664e-05,3.060554e-05,3.008835e-05,2.959396e-05,2.912130e-05,2.866938e-05,2.823722e-05,2.782392e-05,2.742860e-05,2.705043e-05,2.668863e-05,2.634243e-05,2.601112e-05,2.569401e-05,2.539045e-05,2.509983e-05,2.482154e-05,2.455502e-05,2.429974e-05,2.405518e-05,2.382086e-05,2.359631e-05,2.338108e-05,2.317476e-05,2.297694e-05,2.278724e-05,2.260529e-05,2.243074e-05,2.226326e-05,2.210254e-05,2.194827e-05,2.180016e-05,2.165794e-05,2.152135e-05,2.139013e-05,2.126405e-05
0.000000e+00,1.040445e-09,1.180992e-08,1.229038e-08,6.717466e-08,2.202079e-07,2.295612e-07,5.462001e-07,9.563246e-07,9.844609e-07,1.459013e-06,1.879771e-06,1.915052e-06,2.336244e-06,2.683491e-06,2.720239e-06,3.068200e-06,3.346158e-06,3.382097e-06,3.664047e-06,3.882581e-06,3.916157e-06,4.140471e-06,4.308852e-06,4.338951e-06,4.513463e-06,4.639923e-06,4.665778e-06,4.797563e-06,4.889269e-06,4.910389e-06,5.005728e-06,5.068843e-06,5.084959e-06,5.149369e-06,5.189154e-06,5.200164e-06,5.238465e-06,5.259383e-06,5.265320e-06,5.281703e-06,5.287526e-06,5.288521e-06,5.286619e-06,5.280522e-06,5.276782e-06,5.259739e-06,5.244381e-06,5.236168e-06,5.206696e-06,5.184298e-06,5.171908e-06,5.132345e-06,5.104751e-06,5.088506e-06,5.040857e-06,5.009591e-06,4.989827e-06,4.935813e-06,4.902127e-06,4.879183e-06,4.820275e-06,4.785189e-06,4.759402e-06,4.696852e-06,4.661192e-06,4.632892e-06,4.567766e-06,4.532193e-06,4.501698e-06,4.434896e-06,4.399931e-06,4.367547e-06,4.299826e-06,4.265876e-06,4.231892e-06,4.163888e-06,4.131261e-06,4.095947e-06,4.028190e-06,3.997113e-06,3.960725e-06,3.893651e-06,3.864285e-06,3.827057e-06,3.761025e-06,3.733476e-06,3.695626e-06,3.630926e-06,3.605255e-06,3.566982e-06,3.503846e-06,3.480076e-06,3.441563e-06,3.380173e-06,3.358298e-06,3.319710e-06,3.260205e-06,3.240197e-06,3.201684e-06,3.144168e-06,3.125978e-06,3.087675e-06,3.032220e-06,3.015787e-06,2.977813e-06,2.924465e-06,2.909718e-06,2.872180e-06,2.820963e-06,2.807821e-06,2.770814e-06,2.721733e-06,2.710113e-06,2.673718e-06,2.626765e-06,2.616577e-06,2.580867e-06,2.536019e-06,2.527174e-06,2.492211e-06,2.449435e-06,2.441844e-06,2.407680e-06,2.366935e-06,2.360509e-06,2.327189e-06,2.288427e-06,2.283079e-06,2.250638e-06,2.213808e-06,2.209452e-06,2.177921e-06,2.142964e-06,2.139519e-06,2.108922e-06,2.075778e-06,2.073165e-06,2.043519e-06,2.012127e-06,2.010271e-06,1.981587e-06,1.951884e-06,1.950713e-06,1.923000e-06,1.894921e-06,1.894368e-06,1.867630e-06,1.841111e-06,1.790818e-06,1.743365e-06,1.698631e-06,1.656497e-06,1.616846e-06,1.579564e-06,1.544541e-06,1.511668e-06,1.480842e-06,1.451963e-06,1.424933e-06,1.399660e-06,1.376053e-06,1.354026e-06,1.333497e-06,1.314387e-06,1.296619e-06,1.280122e-06,1.264826e-06,1.250665e-06,1.237575e-06,1.225498e-06,1.214375e-06,1.204151e-06,1.194775e-06,1.186198e-06,1.178372e-06,1.171252e-06,1.164797e-06,1.158966e-06,1.153720e-06,1.149024e-06,1.144842e-06,1.141143e-06,1.137896e-06,1.135070e-06,1.132639e-06,1.130576e-06,1.128856e-06,1.127456e-06,1.126353e-06,1.125527e-06,1.124958e-06,1.124627e-06,1.124516e-06,1.124609e-06,1.124891e-06,1.125345e-06,1.125959e-06
0.000000e+00,2.743811e-09,1.131124e-07,1.195368e-07,1.173038e-06,5.902929e-06,6.257790e-06,2.223158e-05,5.498693e-05,5.779572e-05,1.176222e-04,1.912246e-04,1.982417e-04,2.908045e-04,3.772302e-04,3.868049e-04,4.808139e-04,5.597416e-04,5.701765e-04,6.538814e-04,7.211624e-04,7.317059e-04,8.037567e-04,8.599841e-04,8.702635e-04,9.314955e-04,9.779643e-04,9.877300e-04,1.039239e-03,1.077222e-03,1.086287e-03,1.129127e-03,1.159777e-03,1.168000e-03,1.203139e-03,1.227482e-03,1.234762e-03,1.263079e-03,1.282023e-03,1.288289e-03,1.310581e-03,1.324924e-03,1.330132e-03,1.347114e-03,1.357558e-03,1.361685e-03,1.374000e-03,1.381158e-03,1.384201e-03,1.392425e-03,1.396833e-03,1.398801e-03,1.403451e-03,1.405575e-03,1.406491e-03,1.408029e-03,1.408274e-03,1.408168e-03,1.407007e-03,1.405724e-03,1.404637e-03,1.401145e-03,1.398638e-03,1.396612e-03,1.391118e-03,1.387648e-03,1.384734e-03,1.377529e-03,1.373320e-03,1.369568e-03,1.360913e-03,1.356158e-03,1.351622e-03,1.341749e-03,1.336611e-03,1.331345e-03,1.320459e-03,1.315076e-03,1.309136e-03,1.297419e-03,1.291908e-03,1.285348e-03,1.272961e-03,1.267419e-03,1.260293e-03,1.247377e-03,1.241886e-03,1.234246e-03,1.220927e-03,1.215553e-03,1.207449e-03,1.193837e-03,1.188634e-03,1.180115e-03,1.166307e-03,1.161318e-03,1.152432e-03,1.138511e-03,1.133770e-03,1.124562e-03,1.110602e-03,1.106135e-03,1.096647e-03,1.082712e-03,1.078537e-03,1.068810e-03,1.054955e-03,1.051086e-03,1.041159e-03,1.027431e-03,1.023875e-03,1.013784e-03,1.000225e-03,9.969853e-04,9.867641e-04,9.734086e-04,9.704853e-04,9.601660e-04,9.470429e-04,9.444331e-04,9.340455e-04,9.211792e-04,9.188777e-04,9.084493e-04,8.958601e-04,8.938592e-04,8.834158e-04,8.711200e-04,8.694106e-04,8.589760e-04,8.469867e-04,8.455585e-04,8.351546e-04,8.234819e-04,8.223235e-04,8.119704e-04,8.006219e-04,7.997210e-04,7.894374e-04,7.784182e-04,7.777623e-04,7.675650e-04,7.568785e-04,7.564545e-04,7.463589e-04,7.360065e-04,7.358012e-04,7.258213e-04,7.158030e-04,6.964582e-04,6.777625e-04,6.597096e-04,6.422919e-04,6.255001e-04,6.093236e-04,5.937511e-04,5.787703e-04,5.643682e-04,5.505314e-04,5.372460e-04,5.244977e-04,5.122723e-04,5.005549e-04,4.893311e-04,4.785863e-04,4.683057e-04,4.584749e-04,4.490797e-04,4.401058e-04,4.315394e-04,4.233666e-04,4.155740e-04,4.081484e-04,4.010769e-04,3.943468e-04,3.879457e-04,3.818618e-04,3.760832e-04,3.705985e-04,3.653966e-04,3.604669e-04,3.557986e-04,3.513819e-04,3.472066e-04,3.432634e-04,3.395430e-04,3.360363e-04,3.327348e-04,3.296300e-04,3.267138e-04,3.239784e-04,3.214162e-04,3.190198e-04,3.167822e-04,3.146965e-04,3.127562e-04,3.109549e-04,3.092864e-04
0.000000e+00,1.276824e-09,8.876467e-08,9.477791e-08,1.499652e-06,1.103840e-05,1.186971e-05,5.792895e-05,1.828090e-04,1.949188e-04,4.980383e-04,9.904611e-04,1.044841e-03,1.901719e-03,2.978225e-03,3.116799e-03,4.717626e-03,6.451959e-03,6.711859e-03,9.089620e-03,1.142305e-02,1.182664e-02,1.488760e-02,1.767771e-02,1.822932e-02,2.180369e-02,2.487283e-02,2.556014e-02,2.944770e-02,3.261865e-02,3.341664e-02,3.741972e-02,4.053747e-02,4.141309e-02,4.535695e-02,4.829918e-02,4.921584e-02,5.295888e-02,5.563851e-02,5.655977e-02,5.999663e-02,6.235954e-02,6.325182e-02,6.631167e-02,6.833184e-02,6.916617e-02,7.180860e-02,7.348229e-02,7.423521e-02,7.644484e-02,7.778481e-02,7.843863e-02,8.021961e-02,8.124987e-02,8.179248e-02,8.316325e-02,8.391471e-02,8.433904e-02,8.532782e-02,8.583488e-02,8.613819e-02,8.677924e-02,8.707714e-02,8.726032e-02,8.759097e-02,8.771398e-02,8.778073e-02,8.783913e-02,8.781934e-02,8.777551e-02,8.759902e-02,8.746560e-02,8.731854e-02,8.694263e-02,8.672147e-02,8.647950e-02,8.593701e-02,8.565064e-02,8.532264e-02,8.464348e-02,8.431116e-02,8.390622e-02,8.311715e-02,8.275509e-02,8.228220e-02,8.140691e-02,8.102851e-02,8.049643e-02,7.955559e-02,7.917177e-02,7.858887e-02,7.760041e-02,7.721990e-02,7.659405e-02,7.557335e-02,7.520302e-02,7.454157e-02,7.350171e-02,7.314682e-02,7.245654e-02,7.140859e-02,7.107304e-02,7.036016e-02,6.931338e-02,6.899996e-02,6.827016e-02,6.723226e-02,6.694282e-02,6.620125e-02,6.517857e-02,6.491420e-02,6.416552e-02,6.316324e-02,6.292442e-02,6.217278e-02,6.119507e-02,6.098177e-02,6.023094e-02,5.928110e-02,5.909290e-02,5.834620e-02,5.742680e-02,5.726299e-02,5.652338e-02,5.563636e-02,5.549599e-02,5.476609e-02,5.391286e-02,5.379478e-02,5.307689e-02,5.225840e-02,5.216136e-02,5.145750e-02,5.067430e-02,5.059696e-02,4.990887e-02,4.916123e-02,4.910219e-02,4.843136e-02,4.771924e-02,4.767707e-02,4.702479e-02,4.634792e-02,4.632121e-02,4.568852e-02,4.504645e-02,4.503379e-02,4.442157e-02,4.381369e-02,4.265952e-02,4.156966e-02,4.054231e-02,3.957553e-02,3.866724e-02,3.781530e-02,3.701749e-02,3.627153e-02,3.557514e-02,3.492600e-02,3.432181e-02,3.376028e-02,3.323913e-02,3.275615e-02,3.230912e-02,3.189593e-02,3.151447e-02,3.116273e-02,3.083875e-02,3.054063e-02,3.026657e-02,3.001482e-02,2.978372e-02,2.957167e-02,2.937716e-02,2.919876e-02,2.903512e-02,2.888495e-02,2.874705e-02,2.862030e-02,2.850363e-02,2.839606e-02,2.829667e-02,2.820460e-02,2.811908e-02,2.803936e-02,2.796479e-02,2.789475e-02,2.782867e-02,2.776607e-02,2.770646e-02,2.764944e-02,2.759463e-02,2.754169e-02,2.749031e-02,2.744024e-02,2.739124e-02,2.734310e-02,2.729565e-02
0.000000e+00,1.345632e-09,6.407028e-08,6.786676e-08,7.335233e-07,3.992398e-06,4.246155e-06,1.637272e-05,4.376875e-05,4.623241e-05,1.020224e-04,1.778102e-04,1.853871e-04,2.901197e-04,3.942488e-04,4.060541e-04,5.235838e-04,6.228119e-04,6.358515e-04,7.388973e-04,8.187481e-04,8.309483e-04,9.116146e-04,9.708401e-04,9.812744e-04,1.040677e-03,1.082355e-03,1.090711e-03,1.132282e-03,1.160034e-03,1.166262e-03,1.193466e-03,1.210461e-03,1.214637e-03,1.230453e-03,1.239269e-03,1.241524e-03,1.248401e-03,1.251082e-03,1.251577e-03,1.251496e-03,1.249645e-03,1.248554e-03,1.243107e-03,1.237975e-03,1.235473e-03,1.225938e-03,1.218499e-03,1.214755e-03,1.202153e-03,1.193158e-03,1.188335e-03,1.173483e-03,1.163511e-03,1.157759e-03,1.141307e-03,1.130799e-03,1.124257e-03,1.106723e-03,1.096013e-03,1.088807e-03,1.070600e-03,1.059939e-03,1.052182e-03,1.033625e-03,1.023196e-03,1.014992e-03,9.963371e-04,9.862725e-04,9.777108e-04,9.591556e-04,9.495477e-04,9.407092e-04,9.224046e-04,9.133145e-04,9.042703e-04,8.863313e-04,8.777963e-04,8.686088e-04,8.511212e-04,8.431602e-04,8.338840e-04,8.169103e-04,8.095283e-04,8.002110e-04,7.837951e-04,7.769867e-04,7.676698e-04,7.518407e-04,7.455930e-04,7.363121e-04,7.210870e-04,7.153815e-04,7.061675e-04,6.915545e-04,6.863689e-04,6.772481e-04,6.632479e-04,6.585573e-04,6.495524e-04,6.361601e-04,6.319382e-04,6.230685e-04,6.102749e-04,6.064945e-04,5.977761e-04,5.855686e-04,5.822022e-04,5.736487e-04,5.620123e-04,5.590328e-04,5.506553e-04,5.395732e-04,5.369540e-04,5.287617e-04,5.182160e-04,5.159311e-04,5.079315e-04,4.979033e-04,4.959280e-04,4.881268e-04,4.785970e-04,4.769074e-04,4.693090e-04,4.602581e-04,4.588316e-04,4.514392e-04,4.428477e-04,4.416628e-04,4.344787e-04,4.263274e-04,4.253636e-04,4.183891e-04,4.106591e-04,4.098974e-04,4.031328e-04,3.958056e-04,3.952279e-04,3.886730e-04,3.817305e-04,3.813199e-04,3.749739e-04,3.683987e-04,3.681394e-04,3.620008e-04,3.557760e-04,3.556532e-04,3.497202e-04,3.438293e-04,3.326370e-04,3.220465e-04,3.120294e-04,3.025582e-04,2.936070e-04,2.851505e-04,2.771647e-04,2.696268e-04,2.625147e-04,2.558076e-04,2.494854e-04,2.435292e-04,2.379206e-04,2.326424e-04,2.276781e-04,2.230119e-04,2.186287e-04,2.145144e-04,2.106551e-04,2.070381e-04,2.036509e-04,2.004817e-04,1.975194e-04,1.947533e-04,1.921732e-04,1.897695e-04,1.875330e-04,1.854549e-04,1.835269e-04,1.817410e-04,1.800897e-04,1.785659e-04,1.771627e-04,1.758736e-04,1.746923e-04,1.736131e-04,1.726304e-04,1.717387e-04,1.709331e-04,1.702087e-04,1.695609e-04,1.689855e-04,1.684781e-04,1.680350e-04,1.676524e-04,1.673266e-04,1.670544e-04,1.668324e-04,1.666578e-04
0.000000e+00,2.783511e-10,1.586641e-08,1.685627e-08,2.056014e-07,1.231793e-06,1.315436e-06,5.661466e-06,1.707374e-05,1.818490e-05,4.653202e-05,9.423425e-05,9.958638e-05,1.851001e-04,2.937054e-04,3.076807e-04,4.679678e-04,6.378945e-04,6.629557e-04,8.869491e-04,1.097257e-03,1.132675e-03,1.392280e-03,1.615441e-03,1.658089e-03,1.923128e-03,2.135655e-03,2.181416e-03,2.428102e-03,2.614559e-03,2.659463e-03,2.872839e-03,3.025653e-03,3.066513e-03,3.239569e-03,3.357125e-03,3.391751e-03,3.523324e-03,3.607797e-03,3.634949e-03,3.727575e-03,3.783139e-03,3.802347e-03,3.860531e-03,3.892100e-03,3.903456e-03,3.932466e-03,3.944922e-03,3.948885e-03,3.953994e-03,3.951763e-03,3.949008e-03,3.935071e-03,3.921948e-03,3.913245e-03,3.884511e-03,3.863623e-03,3.849765e-03,3.809823e-03,3.783673e-03,3.765421e-03,3.717226e-03,3.687773e-03,3.665834e-03,3.611780e-03,3.580526e-03,3.555538e-03,3.497533e-03,3.465611e-03,3.438140e-03,3.377690e-03,3.345938e-03,3.316477e-03,3.254760e-03,3.223784e-03,3.192764e-03,3.130690e-03,3.100918e-03,3.068711e-03,3.006980e-03,2.978704e-03,2.945629e-03,2.884772e-03,2.858178e-03,2.824510e-03,2.764926e-03,2.740122e-03,2.706095e-03,2.648078e-03,2.625111e-03,2.590928e-03,2.534689e-03,2.513565e-03,2.479397e-03,2.425082e-03,2.405772e-03,2.371767e-03,2.319471e-03,2.301925e-03,2.268207e-03,2.217985e-03,2.202136e-03,2.168811e-03,2.120687e-03,2.106455e-03,2.073614e-03,2.027588e-03,2.014887e-03,1.982604e-03,1.938656e-03,1.927398e-03,1.895736e-03,1.853832e-03,1.843926e-03,1.812935e-03,1.773032e-03,1.764385e-03,1.734109e-03,1.696153e-03,1.688676e-03,1.659148e-03,1.623080e-03,1.616686e-03,1.587933e-03,1.553691e-03,1.548295e-03,1.520338e-03,1.487856e-03,1.483377e-03,1.456229e-03,1.425440e-03,1.421801e-03,1.395472e-03,1.366308e-03,1.363436e-03,1.337932e-03,1.310327e-03,1.308151e-03,1.283475e-03,1.257360e-03,1.255816e-03,1.231966e-03,1.207276e-03,1.206303e-03,1.183274e-03,1.159945e-03,1.159485e-03,1.137273e-03,1.115241e-03,1.073451e-03,1.034000e-03,9.967751e-04,9.616704e-04,9.285819e-04,8.974106e-04,8.680613e-04,8.404428e-04,8.144679e-04,7.900534e-04,7.671196e-04,7.455907e-04,7.253943e-04,7.064615e-04,6.887266e-04,6.721270e-04,6.566032e-04,6.420985e-04,6.285591e-04,6.159338e-04,6.041737e-04,5.932328e-04,5.830668e-04,5.736341e-04,5.648950e-04,5.568116e-04,5.493482e-04,5.424708e-04,5.361469e-04,5.303459e-04,5.250387e-04,5.201975e-04,5.157961e-04,5.118096e-04,5.082142e-04,5.049875e-04,5.021081e-04,4.995558e-04,4.973112e-04,4.953562e-04,4.936734e-04,4.922464e-04,4.910595e-04,4.900980e-04,4.893478e-04,4.887955e-04,4.884285e-04,4.882349e-04,4.882031e-04
0.000000e+00,1.648832e-09,8.241907e-08,8.743144e-08,1.017819e-06,5.787465e-06,6.161367e-06,2.381396e-05,6.138132e-05,6.460813e-05,1.322748e-04,2.117866e-04,2.191324e-04,3.118945e-04,3.907159e-04,3.989246e-04,4.732824e-04,5.261322e-04,5.324176e-04,5.766695e-04,6.041748e-04,6.078341e-04,6.281924e-04,6.385820e-04,6.399753e-04,6.451284e-04,6.455367e-04,6.452470e-04,6.415937e-04,6.366219e-04,6.351484e-04,6.266613e-04,6.189971e-04,6.167044e-04,6.057121e-04,5.968713e-04,5.940139e-04,5.818601e-04,5.726860e-04,5.694397e-04,5.568935e-04,5.478433e-04,5.443283e-04,5.318267e-04,5.231478e-04,5.194516e-04,5.072495e-04,4.990685e-04,4.952541e-04,4.834894e-04,4.758595e-04,4.719722e-04,4.607133e-04,4.536463e-04,4.497192e-04,4.389938e-04,4.324797e-04,4.285384e-04,4.183525e-04,4.123696e-04,4.084342e-04,3.987807e-04,3.933015e-04,3.893882e-04,3.802525e-04,3.752471e-04,3.713691e-04,3.627329e-04,3.581703e-04,3.543386e-04,3.461810e-04,3.420307e-04,3.382544e-04,3.305536e-04,3.267861e-04,3.230730e-04,3.158071e-04,3.123942e-04,3.087506e-04,3.018979e-04,2.988127e-04,2.952439e-04,2.887832e-04,2.860004e-04,2.825108e-04,2.764215e-04,2.739175e-04,2.705105e-04,2.647729e-04,2.625253e-04,2.592038e-04,2.537987e-04,2.517869e-04,2.485531e-04,2.434624e-04,2.416668e-04,2.385223e-04,2.337286e-04,2.321314e-04,2.290772e-04,2.245640e-04,2.231483e-04,2.201851e-04,2.159366e-04,2.146869e-04,2.118149e-04,2.078162e-04,2.067182e-04,2.039371e-04,2.001742e-04,1.992144e-04,1.965239e-04,1.929832e-04,1.921494e-04,1.895488e-04,1.862177e-04,1.854983e-04,1.829867e-04,1.798530e-04,1.792377e-04,1.768139e-04,1.738664e-04,1.733453e-04,1.710079e-04,1.682358e-04,1.678001e-04,1.655476e-04,1.629408e-04,1.625822e-04,1.604129e-04,1.579618e-04,1.576727e-04,1.555851e-04,1.532806e-04,1.530540e-04,1.510461e-04,1.488797e-04,1.487093e-04,1.467793e-04,1.447429e-04,1.446227e-04,1.427686e-04,1.408547e-04,1.407793e-04,1.389992e-04,1.372005e-04,1.371651e-04,1.354569e-04,1.337668e-04,1.305717e-04,1.275682e-04,1.247450e-04,1.220916e-04,1.195982e-04,1.172554e-04,1.150544e-04,1.129869e-04,1.110452e-04,1.092218e-04,1.075098e-04,1.059027e-04,1.043944e-04,1.029790e-04,1.016511e-04,1.004056e-04,9.923754e-05,9.814247e-05,9.711607e-05,9.615429e-05,9.525332e-05,9.440958e-05,9.361968e-05,9.288046e-05,9.218891e-05,9.154222e-05,9.093773e-05,9.037294e-05,8.984549e-05,8.935318e-05,8.889390e-05,8.846569e-05,8.806670e-05,8.769519e-05,8.734951e-05,8.702813e-05,8.672957e-05,8.645247e-05,8.619554e-05,8.595756e-05,8.573738e-05,8.553394e-05,8.534620e-05,8.517321e-05,8.501408e-05,8.486795e-05,8.473402e-05,8.461154e-05,8.449981e-05
0.000000e+00,3.522548e-10,3.741409e-09,3.889617e-09,2.077472e-08,6.920027e-08,7.221917e-08,1.773270e-07,3.193859e-07,3.293050e-07,4.986781e-07,6.505215e-07,6.632728e-07,8.153644e-07,9.402943e-07,9.534808e-07,1.077952e-06,1.176825e-06,1.189570e-06,1.289226e-06,1.366036e-06,1.377801e-06,1.456139e-06,1.514617e-06,1.525038e-06,1.585245e-06,1.628622e-06,1.637461e-06,1.682340e-06,1.713369e-06,1.720488e-06,1.752472e-06,1.773479e-06,1.778817e-06,1.800010e-06,1.812952e-06,1.816505e-06,1.828719e-06,1.835227e-06,1.837035e-06,1.841812e-06,1.843244e-06,1.843377e-06,1.842036e-06,1.839519e-06,1.838069e-06,1.831734e-06,1.826195e-06,1.823268e-06,1.812891e-06,1.805094e-06,1.800805e-06,1.787195e-06,1.777765e-06,1.772233e-06,1.756073e-06,1.745516e-06,1.738860e-06,1.720726e-06,1.709454e-06,1.701792e-06,1.682168e-06,1.670511e-06,1.661957e-06,1.641250e-06,1.629470e-06,1.620133e-06,1.598683e-06,1.586986e-06,1.576970e-06,1.555059e-06,1.543606e-06,1.533008e-06,1.510870e-06,1.499784e-06,1.488693e-06,1.466522e-06,1.455893e-06,1.444395e-06,1.422348e-06,1.412242e-06,1.400412e-06,1.378617e-06,1.369079e-06,1.356989e-06,1.335549e-06,1.326606e-06,1.314319e-06,1.293317e-06,1.284983e-06,1.272558e-06,1.252056e-06,1.244336e-06,1.231825e-06,1.211873e-06,1.204761e-06,1.192210e-06,1.172844e-06,1.166328e-06,1.153781e-06,1.135027e-06,1.129091e-06,1.116584e-06,1.098457e-06,1.093081e-06,1.080649e-06,1.063159e-06,1.058319e-06,1.045990e-06,1.029141e-06,1.024812e-06,1.012612e-06,9.964013e-07,9.925582e-07,9.805086e-07,9.649315e-07,9.615467e-07,9.496677e-07,9.347147e-07,9.317611e-07,9.200695e-07,9.057289e-07,9.031797e-07,8.916895e-07,8.779477e-07,8.757764e-07,8.644997e-07,8.513414e-07,8.495221e-07,8.384688e-07,8.258777e-07,8.243854e-07,8.135636e-07,8.015223e-07,8.003329e-07,7.897491e-07,7.782397e-07,7.773302e-07,7.669893e-07,7.559936e-07,7.553418e-07,7.452477e-07,7.347472e-07,7.343322e-07,7.244875e-07,7.144638e-07,7.142657e-07,7.046717e-07,6.951066e-07,6.768197e-07,6.593704e-07,6.427246e-07,6.268492e-07,6.117118e-07,5.972811e-07,5.835266e-07,5.704189e-07,5.579294e-07,5.460309e-07,5.346969e-07,5.239020e-07,5.136218e-07,5.038329e-07,4.945129e-07,4.856402e-07,4.771942e-07,4.691552e-07,4.615042e-07,4.542234e-07,4.472953e-07,4.407035e-07,4.344323e-07,4.284666e-07,4.227920e-07,4.173950e-07,4.122623e-07,4.073815e-07,4.027408e-07,3.983287e-07,3.941345e-07,3.901478e-07,3.863588e-07,3.827581e-07,3.793368e-07,3.760863e-07,3.729986e-07,3.700659e-07,3.672809e-07,3.646364e-07,3.621259e-07,3.597429e-07,3.574813e-07,3.553354e-07,3.532997e-07,3.513688e-07,3.495379e-07,3.478020e-07,3.461568e-07
0.000000e+00,5.244497e-08,3.508891e-06,3.741847e-06,5.564221e-05,3.998631e-04,4.300322e-04,2.170442e-03,7.383886e-03,7.918025e-03,2.239257e-02,4.894067e-02,5.204163e-02,1.042182e-01,1.766104e-01,1.863802e-01,3.054809e-01,4.456656e-01,4.675565e-01,6.774759e-01,8.990349e-01,9.388162e-01,1.253834e+00,1.560677e+00,1.623501e+00,2.047594e+00,2.435079e+00,2.524809e+00,3.052894e+00,3.509962e+00,3.628799e+00,4.248813e+00,4.760341e+00,4.908710e+00,5.603882e+00,6.152812e+00,6.329456e+00,7.080410e+00,7.649471e+00,7.851670e+00,8.638192e+00,9.211160e+00,9.435039e+00,1.023744e+01,1.079996e+01,1.104082e+01,1.184089e+01,1.238098e+01,1.263362e+01,1.341528e+01,1.392345e+01,1.418247e+01,1.493211e+01,1.540138e+01,1.566144e+01,1.636802e+01,1.679374e+01,1.704974e+01,1.770479e+01,1.808437e+01,1.833165e+01,1.892908e+01,1.926171e+01,1.949610e+01,2.003198e+01,2.031828e+01,2.053622e+01,2.100850e+01,2.125021e+01,2.144874e+01,2.185699e+01,2.205670e+01,2.223346e+01,2.257853e+01,2.273943e+01,2.289267e+01,2.317649e+01,2.330215e+01,2.343067e+01,2.365597e+01,2.375014e+01,2.385322e+01,2.402330e+01,2.408977e+01,2.416715e+01,2.428573e+01,2.432824e+01,2.438004e+01,2.445109e+01,2.447323e+01,2.449991e+01,2.452752e+01,2.453267e+01,2.453496e+01,2.452323e+01,2.451451e+01,2.449335e+01,2.444632e+01,2.442660e+01,2.438312e+01,2.430469e+01,2.427653e+01,2.421198e+01,2.410590e+01,2.407160e+01,2.398732e+01,2.385710e+01,2.381866e+01,2.371606e+01,2.356500e+01,2.352418e+01,2.340469e+01,2.323586e+01,2.319415e+01,2.305921e+01,2.287542e+01,2.283409e+01,2.268512e+01,2.248895e+01,2.244906e+01,2.228747e+01,2.208126e+01,2.204368e+01,2.187083e+01,2.165668e+01,2.162211e+01,2.143931e+01,2.121914e+01,2.118812e+01,2.099661e+01,2.077212e+01,2.074507e+01,2.054605e+01,2.031876e+01,2.029597e+01,2.009057e+01,1.986180e+01,1.984349e+01,1.963276e+01,1.940370e+01,1.938996e+01,1.917490e+01,1.894660e+01,1.893748e+01,1.871901e+01,1.849236e+01,1.848783e+01,1.826683e+01,1.804261e+01,1.760315e+01,1.717065e+01,1.674608e+01,1.633029e+01,1.592399e+01,1.552776e+01,1.514208e+01,1.476731e+01,1.440376e+01,1.405164e+01,1.371109e+01,1.338223e+01,1.306508e+01,1.275963e+01,1.246586e+01,1.218368e+01,1.191298e+01,1.165363e+01,1.140547e+01,1.116832e+01,1.094200e+01,1.072628e+01,1.052095e+01,1.032577e+01,1.014049e+01,9.964866e+00,9.798633e+00,9.641526e+00,9.493274e+00,9.353604e+00,9.222239e+00,9.098898e+00,8.983302e+00,8.875168e+00,8.774216e+00,8.680165e+00,8.592736e+00,8.511650e+00,8.436634e+00,8.367414e+00,8.303721e+00,8.245289e+00,8.191858e+00,8.143171e+00,8.098975e+00,8.059025e+00,8.023078e+00,7.990901e+00,7.962264e+00
0.000000e+00,5.072301e-10,2.954083e-08,3.138950e-08,3.804557e-07,2.219867e-06,2.367544e-06,9.869893e-06,2.905357e-05,3.090501e-05,7.779613e-05,1.563209e-04,1.651340e-04,3.064441e-04,4.878145e-04,5.113299e-04,7.840888e-04,1.079556e-03,1.123690e-03,1.524588e-03,1.911679e-03,1.977904e-03,2.472650e-03,2.911490e-03,2.996836e-03,3.538375e-03,3.987283e-03,4.085759e-03,4.628533e-03,5.053256e-03,5.157578e-03,5.665252e-03,6.042406e-03,6.145424e-03,6.593412e-03,6.910261e-03,7.005883e-03,7.380710e-03,7.633175e-03,7.716810e-03,8.013986e-03,8.204122e-03,8.272765e-03,8.494259e-03,8.627938e-03,8.680022e-03,8.831936e-03,8.916973e-03,8.952110e-03,9.042793e-03,9.087612e-03,9.106300e-03,9.144959e-03,9.157722e-03,9.161063e-03,9.156834e-03,9.144938e-03,9.134398e-03,9.095770e-03,9.065611e-03,9.042836e-03,8.977352e-03,8.934265e-03,8.900938e-03,8.815081e-03,8.763387e-03,8.721137e-03,8.620335e-03,8.563446e-03,8.513785e-03,8.402486e-03,8.343034e-03,8.287330e-03,8.169114e-03,8.109083e-03,8.048544e-03,7.926246e-03,7.867094e-03,7.802773e-03,7.678608e-03,7.621379e-03,7.554176e-03,7.429847e-03,7.375258e-03,7.305940e-03,7.182736e-03,7.131259e-03,7.060474e-03,6.939360e-03,6.891276e-03,6.819570e-03,6.701252e-03,6.656704e-03,6.584533e-03,6.469514e-03,6.428542e-03,6.356284e-03,6.244911e-03,6.207478e-03,6.135453e-03,6.027954e-03,5.993974e-03,5.922450e-03,5.818964e-03,5.788315e-03,5.717514e-03,5.618107e-03,5.590640e-03,5.520747e-03,5.425431e-03,5.400983e-03,5.332152e-03,5.240899e-03,5.219299e-03,5.151659e-03,5.064413e-03,5.045485e-03,4.979145e-03,4.895830e-03,4.879399e-03,4.814446e-03,4.734970e-03,4.720865e-03,4.657373e-03,4.581628e-03,4.569679e-03,4.507709e-03,4.435583e-03,4.425627e-03,4.365222e-03,4.296596e-03,4.288475e-03,4.229672e-03,4.164421e-03,4.157987e-03,4.100812e-03,4.038814e-03,4.033922e-03,3.978395e-03,3.919525e-03,3.916042e-03,3.862173e-03,3.806309e-03,3.804105e-03,3.751902e-03,3.698922e-03,3.697877e-03,3.647339e-03,3.597122e-03,3.501612e-03,3.411122e-03,3.325433e-03,3.244334e-03,3.167618e-03,3.095086e-03,3.026545e-03,2.961808e-03,2.900697e-03,2.843039e-03,2.788666e-03,2.737420e-03,2.689148e-03,2.643701e-03,2.600940e-03,2.560729e-03,2.522938e-03,2.487444e-03,2.454128e-03,2.422878e-03,2.393585e-03,2.366145e-03,2.340461e-03,2.316438e-03,2.293985e-03,2.273019e-03,2.253456e-03,2.235219e-03,2.218233e-03,2.202429e-03,2.187739e-03,2.174098e-03,2.161446e-03,2.149725e-03,2.138879e-03,2.128856e-03,2.119606e-03,2.111082e-03,2.103239e-03,2.096033e-03,2.089425e-03,2.083376e-03,2.077849e-03,2.072810e-03,2.068225e-03,2.064064e-03,2.060298e-03,2.056897e-03,2.053837e-03
0.000000e+00,1.382353e-10,8.484353e-09,9.031887e-09,1.230224e-07,8.102617e-07,8.681782e-07,3.992330e-06,1.245890e-05,1.328798e-05,3.438177e-05,6.929878e-05,7.317078e-05,1.340360e-04,2.093245e-04,2.188902e-04,3.271250e-04,4.396395e-04,4.560845e-04,6.017310e-04,7.367068e-04,7.592983e-04,9.238373e-04,1.063967e-03,1.090621e-03,1.255414e-03,1.386517e-03,1.414624e-03,1.565368e-03,1.678380e-03,1.705465e-03,1.833394e-03,1.924110e-03,1.948218e-03,2.049501e-03,2.117392e-03,2.137219e-03,2.211674e-03,2.258547e-03,2.273414e-03,2.323165e-03,2.352034e-03,2.361773e-03,2.390152e-03,2.404436e-03,2.409246e-03,2.420000e-03,2.423019e-03,2.423333e-03,2.420122e-03,2.414822e-03,2.411194e-03,2.397314e-03,2.386158e-03,2.379183e-03,2.357437e-03,2.342393e-03,2.332649e-03,2.305332e-03,2.287917e-03,2.275937e-03,2.244865e-03,2.226214e-03,2.212464e-03,2.179039e-03,2.159972e-03,2.144851e-03,2.110127e-03,2.091223e-03,2.075062e-03,2.039819e-03,2.021470e-03,2.004539e-03,1.969341e-03,1.951803e-03,1.934322e-03,1.899566e-03,1.882996e-03,1.865140e-03,1.831101e-03,1.815586e-03,1.797495e-03,1.764358e-03,1.749935e-03,1.731720e-03,1.699604e-03,1.686276e-03,1.668028e-03,1.637004e-03,1.624752e-03,1.606543e-03,1.576650e-03,1.565440e-03,1.547329e-03,1.518581e-03,1.508372e-03,1.490405e-03,1.462801e-03,1.453545e-03,1.435765e-03,1.409291e-03,1.400938e-03,1.383376e-03,1.358014e-03,1.350512e-03,1.333197e-03,1.308920e-03,1.302218e-03,1.285174e-03,1.261953e-03,1.256001e-03,1.239249e-03,1.217054e-03,1.211802e-03,1.195360e-03,1.174159e-03,1.169560e-03,1.153442e-03,1.133201e-03,1.129209e-03,1.113429e-03,1.094116e-03,1.090688e-03,1.075255e-03,1.056837e-03,1.053931e-03,1.038855e-03,1.021299e-03,1.018875e-03,1.004163e-03,9.874370e-04,9.854572e-04,9.711146e-04,9.551874e-04,9.536161e-04,9.396477e-04,9.244878e-04,9.232912e-04,9.097001e-04,8.952771e-04,8.944231e-04,8.812114e-04,8.674957e-04,8.669543e-04,8.541229e-04,8.410858e-04,8.408285e-04,8.283775e-04,8.159910e-04,7.923890e-04,7.699709e-04,7.486872e-04,7.284897e-04,7.093320e-04,6.911693e-04,6.739586e-04,6.576580e-04,6.422276e-04,6.276289e-04,6.138248e-04,6.007796e-04,5.884592e-04,5.768307e-04,5.658626e-04,5.555246e-04,5.457875e-04,5.366236e-04,5.280060e-04,5.199093e-04,5.123088e-04,5.051810e-04,4.985034e-04,4.922544e-04,4.864133e-04,4.809602e-04,4.758763e-04,4.711432e-04,4.667437e-04,4.626611e-04,4.588795e-04,4.553836e-04,4.521588e-04,4.491911e-04,4.464673e-04,4.439745e-04,4.417006e-04,4.396338e-04,4.377630e-04,4.360775e-04,4.345672e-04,4.332222e-04,4.320332e-04,4.309914e-04,4.300883e-04,4.293157e-04,4.286658e-04,4.281314e-04,4.277053e-04
0.000000e+00,6.386344e-09,2.763593e-07,2.925255e-07,3.128530e-06,1.670646e-05,1.774021e-05,6.428458e-05,1.561689e-04,1.637832e-04,3.173208e-04,4.896613e-04,5.054364e-04,7.068367e-04,8.884013e-04,9.083448e-04,1.103897e-03,1.269204e-03,1.291218e-03,1.469631e-03,1.615880e-03,1.639064e-03,1.799656e-03,1.927882e-03,1.951628e-03,2.095232e-03,2.206931e-03,2.230736e-03,2.358414e-03,2.455108e-03,2.478543e-03,2.591399e-03,2.674554e-03,2.697255e-03,2.796379e-03,2.867373e-03,2.889033e-03,2.975474e-03,3.035586e-03,3.055950e-03,3.130704e-03,3.181115e-03,3.199969e-03,3.263975e-03,3.305767e-03,3.322941e-03,3.377080e-03,3.411243e-03,3.426599e-03,3.471697e-03,3.499134e-03,3.512567e-03,3.549394e-03,3.570926e-03,3.582360e-03,3.611636e-03,3.628008e-03,3.637390e-03,3.659784e-03,3.671673e-03,3.678974e-03,3.695110e-03,3.703127e-03,3.708337e-03,3.718794e-03,3.723490e-03,3.726615e-03,3.731930e-03,3.733802e-03,3.734864e-03,3.735536e-03,3.735030e-03,3.734062e-03,3.730552e-03,3.728068e-03,3.725114e-03,3.717850e-03,3.713744e-03,3.708859e-03,3.698237e-03,3.692827e-03,3.686073e-03,3.672456e-03,3.666027e-03,3.657471e-03,3.641198e-03,3.633997e-03,3.623714e-03,3.605095e-03,3.597345e-03,3.585411e-03,3.564733e-03,3.556628e-03,3.543125e-03,3.520650e-03,3.512359e-03,3.497370e-03,3.473342e-03,3.465012e-03,3.448622e-03,3.423264e-03,3.415022e-03,3.397317e-03,3.370832e-03,3.362789e-03,3.343855e-03,3.316430e-03,3.308677e-03,3.288601e-03,3.260408e-03,3.253023e-03,3.231890e-03,3.203084e-03,3.196132e-03,3.174027e-03,3.144753e-03,3.138286e-03,3.115293e-03,3.085678e-03,3.079739e-03,3.055939e-03,3.026102e-03,3.020724e-03,2.996196e-03,2.966245e-03,2.961450e-03,2.936273e-03,2.906304e-03,2.902110e-03,2.876360e-03,2.846461e-03,2.842877e-03,2.816626e-03,2.786875e-03,2.783905e-03,2.757225e-03,2.727693e-03,2.725336e-03,2.698294e-03,2.669044e-03,2.667294e-03,2.639957e-03,2.611046e-03,2.609893e-03,2.582323e-03,2.553801e-03,2.553233e-03,2.525490e-03,2.497401e-03,2.442476e-03,2.388525e-03,2.335609e-03,2.283778e-03,2.233076e-03,2.183539e-03,2.135197e-03,2.088076e-03,2.042195e-03,1.997567e-03,1.954202e-03,1.912107e-03,1.871284e-03,1.831731e-03,1.793445e-03,1.756419e-03,1.720643e-03,1.686106e-03,1.652796e-03,1.620695e-03,1.589789e-03,1.560058e-03,1.531484e-03,1.504046e-03,1.477723e-03,1.452493e-03,1.428333e-03,1.405219e-03,1.383129e-03,1.362037e-03,1.341920e-03,1.322753e-03,1.304510e-03,1.287166e-03,1.270698e-03,1.255080e-03,1.240286e-03,1.226293e-03,1.213075e-03,1.200608e-03,1.188867e-03,1.177830e-03,1.167471e-03,1.157768e-03,1.148697e-03,1.140236e-03,1.132361e-03,1.125052e-03,1.118286e-03
0.000000e+00,5.451999e-10,3.678340e-08,3.922179e-08,5.586928e-07,3.614897e-06,3.867397e-06,1.699726e-05,5.090523e-05,5.416859e-05,1.359711e-04,2.700376e-04,2.849142e-04,5.203084e-04,8.168304e-04,8.549712e-04,1.294077e-03,1.765366e-03,1.835519e-03,2.471109e-03,3.083391e-03,3.188109e-03,3.970807e-03,4.666432e-03,4.801938e-03,5.663867e-03,6.381623e-03,6.539525e-03,7.413083e-03,8.100855e-03,8.270408e-03,9.099328e-03,9.719591e-03,9.889736e-03,1.063359e-02,1.116399e-02,1.132483e-02,1.195919e-02,1.239039e-02,1.253404e-02,1.304817e-02,1.338069e-02,1.350156e-02,1.389522e-02,1.413615e-02,1.423091e-02,1.451105e-02,1.467126e-02,1.473850e-02,1.491644e-02,1.500840e-02,1.504825e-02,1.513742e-02,1.517373e-02,1.518745e-02,1.520177e-02,1.519419e-02,1.518373e-02,1.513655e-02,1.509552e-02,1.506326e-02,1.496674e-02,1.490117e-02,1.484965e-02,1.471447e-02,1.463173e-02,1.456349e-02,1.439878e-02,1.430481e-02,1.422226e-02,1.403567e-02,1.393518e-02,1.384055e-02,1.363834e-02,1.353497e-02,1.343030e-02,1.321757e-02,1.311410e-02,1.300118e-02,1.278203e-02,1.268052e-02,1.256094e-02,1.233863e-02,1.224060e-02,1.211575e-02,1.189287e-02,1.179938e-02,1.167049e-02,1.144905e-02,1.136083e-02,1.122895e-02,1.101053e-02,1.092804e-02,1.079410e-02,1.057992e-02,1.050341e-02,1.036823e-02,1.015922e-02,1.008879e-02,9.953062e-03,9.749916e-03,9.685566e-03,9.549904e-03,9.353134e-03,9.294749e-03,9.159696e-03,8.969665e-03,8.917075e-03,8.783099e-03,8.600047e-03,8.553034e-03,8.420545e-03,8.244618e-03,8.202929e-03,8.072283e-03,7.903547e-03,7.866909e-03,7.738412e-03,7.576873e-03,7.544995e-03,7.418916e-03,7.264525e-03,7.237112e-03,7.113679e-03,6.966352e-03,6.943104e-03,6.822514e-03,6.682132e-03,6.662752e-03,6.545170e-03,6.411591e-03,6.395786e-03,6.281353e-03,6.154416e-03,6.141902e-03,6.030734e-03,5.910262e-03,5.900762e-03,5.792955e-03,5.678765e-03,5.672011e-03,5.567643e-03,5.459542e-03,5.455280e-03,5.354412e-03,5.252204e-03,5.250189e-03,5.152868e-03,5.056354e-03,4.873391e-03,4.700916e-03,4.538552e-03,4.385924e-03,4.242667e-03,4.108424e-03,3.982847e-03,3.865596e-03,3.756343e-03,3.654768e-03,3.560562e-03,3.473425e-03,3.393067e-03,3.319208e-03,3.251573e-03,3.189901e-03,3.133935e-03,3.083427e-03,3.038136e-03,2.997828e-03,2.962274e-03,2.931254e-03,2.904550e-03,2.881951e-03,2.863252e-03,2.848249e-03,2.836747e-03,2.828550e-03,2.823471e-03,2.821322e-03,2.821922e-03,2.825092e-03,2.830656e-03,2.838443e-03,2.848284e-03,2.860015e-03,2.873474e-03,2.888502e-03,2.904947e-03,2.922657e-03,2.941487e-03,2.961295e-03,2.981943e-03,3.003298e-03,3.025232e-03,3.047621e-03,3.070349e-03,3.093300e-03,3.116369e-03
0.000000e+00,1.206188e-09,6.798192e-08,7.231606e-08,9.599892e-07,6.004006e-06,6.412891e-06,2.655028e-05,7.201470e-05,7.603711e-05,1.642371e-04,2.778504e-04,2.889590e-04,4.401049e-04,5.889985e-04,6.059438e-04,7.767737e-04,9.258409e-04,9.458884e-04,1.109195e-03,1.243255e-03,1.264459e-03,1.410632e-03,1.526117e-03,1.547356e-03,1.674662e-03,1.772185e-03,1.792784e-03,1.902062e-03,1.983377e-03,2.002884e-03,2.095659e-03,2.162700e-03,2.180795e-03,2.258693e-03,2.313296e-03,2.329744e-03,2.394322e-03,2.438155e-03,2.452788e-03,2.505484e-03,2.540039e-03,2.552740e-03,2.594867e-03,2.621465e-03,2.632163e-03,2.664910e-03,2.684718e-03,2.693378e-03,2.717821e-03,2.731867e-03,2.738482e-03,2.755590e-03,2.764777e-03,2.769365e-03,2.780014e-03,2.785132e-03,2.787732e-03,2.792707e-03,2.794448e-03,2.795114e-03,2.795121e-03,2.794089e-03,2.792888e-03,2.788563e-03,2.785281e-03,2.782289e-03,2.774202e-03,2.769126e-03,2.764428e-03,2.753089e-03,2.746611e-03,2.740298e-03,2.726163e-03,2.718624e-03,2.710787e-03,2.694267e-03,2.685957e-03,2.676693e-03,2.658152e-03,2.649321e-03,2.638725e-03,2.618489e-03,2.609348e-03,2.597518e-03,2.575878e-03,2.566607e-03,2.553636e-03,2.530852e-03,2.521599e-03,2.507583e-03,2.483884e-03,2.474776e-03,2.459805e-03,2.435394e-03,2.426534e-03,2.410697e-03,2.385757e-03,2.377228e-03,2.360612e-03,2.335300e-03,2.327171e-03,2.309857e-03,2.284315e-03,2.276638e-03,2.258706e-03,2.233058e-03,2.225873e-03,2.207398e-03,2.181752e-03,2.175089e-03,2.156144e-03,2.130595e-03,2.124474e-03,2.105125e-03,2.079756e-03,2.074189e-03,2.054503e-03,2.029384e-03,2.024378e-03,2.004414e-03,1.979607e-03,1.975161e-03,1.954977e-03,1.930536e-03,1.926643e-03,1.906294e-03,1.882262e-03,1.878915e-03,1.858450e-03,1.834866e-03,1.832052e-03,1.811518e-03,1.788414e-03,1.786117e-03,1.765559e-03,1.742959e-03,1.741162e-03,1.720620e-03,1.698547e-03,1.697231e-03,1.676743e-03,1.655212e-03,1.654357e-03,1.633958e-03,1.612982e-03,1.612566e-03,1.592288e-03,1.571877e-03,1.532304e-03,1.493854e-03,1.456531e-03,1.420334e-03,1.385257e-03,1.351294e-03,1.318433e-03,1.286662e-03,1.255966e-03,1.226328e-03,1.197730e-03,1.170153e-03,1.143577e-03,1.117980e-03,1.093340e-03,1.069637e-03,1.046845e-03,1.024944e-03,1.003910e-03,9.837192e-04,9.643491e-04,9.457768e-04,9.279792e-04,9.109338e-04,8.946181e-04,8.790101e-04,8.640880e-04,8.498303e-04,8.362160e-04,8.232245e-04,8.108353e-04,7.990288e-04,7.877854e-04,7.770861e-04,7.669124e-04,7.572461e-04,7.480696e-04,7.393655e-04,7.311171e-04,7.233080e-04,7.159223e-04,7.089445e-04,7.023594e-04,6.961524e-04,6.903093e-04,6.848161e-04,6.796595e-04,6.748262e-04,6.703037e-04
0.000000e+00,2.109898e-09,1.357710e-07,1.446359e-07,2.024673e-06,1.364543e-05,1.463667e-05,6.955577e-05,2.264829e-04,2.423063e-04,6.646064e-04,1.426523e-03,1.514995e-03,2.994189e-03,5.026818e-03,5.299814e-03,8.607684e-03,1.246165e-02,1.306017e-02,1.876032e-02,2.470866e-02,2.577010e-02,3.411168e-02,4.213818e-02,4.377054e-02,5.469978e-02,6.455832e-02,6.682507e-02,8.004979e-02,9.134505e-02,9.426001e-02,1.093293e-01,1.215932e-01,1.251230e-01,1.415021e-01,1.542556e-01,1.583267e-01,1.754588e-01,1.882556e-01,1.927645e-01,2.101161e-01,2.225699e-01,2.273935e-01,2.444850e-01,2.562834e-01,2.612885e-01,2.777118e-01,2.886200e-01,2.936724e-01,3.090982e-01,3.189555e-01,3.239268e-01,3.381051e-01,3.468175e-01,3.515895e-01,3.643449e-01,3.718749e-01,3.763442e-01,3.875677e-01,3.939239e-01,3.980027e-01,4.076427e-01,4.128691e-01,4.164868e-01,4.245390e-01,4.287055e-01,4.318081e-01,4.383063e-01,4.415003e-01,4.440495e-01,4.490565e-01,4.513761e-01,4.533484e-01,4.569483e-01,4.584965e-01,4.598810e-01,4.621726e-01,4.630528e-01,4.638501e-01,4.649412e-01,4.652540e-01,4.654741e-01,4.654771e-01,4.653178e-01,4.649785e-01,4.640066e-01,4.634640e-01,4.625893e-01,4.607539e-01,4.599088e-01,4.585275e-01,4.559362e-01,4.548613e-01,4.530058e-01,4.497609e-01,4.485205e-01,4.462257e-01,4.424232e-01,4.410734e-01,4.383757e-01,4.341046e-01,4.326940e-01,4.296303e-01,4.249725e-01,4.235422e-01,4.201498e-01,4.151800e-01,4.137644e-01,4.100800e-01,4.048657e-01,4.034932e-01,3.995524e-01,3.941544e-01,3.928478e-01,3.886852e-01,3.831576e-01,3.819349e-01,3.775836e-01,3.719744e-01,3.708493e-01,3.663408e-01,3.606924e-01,3.596749e-01,3.550387e-01,3.493882e-01,3.484850e-01,3.437490e-01,3.381286e-01,3.373437e-01,3.325339e-01,3.269714e-01,3.263063e-01,3.214470e-01,3.159662e-01,3.154207e-01,3.105340e-01,3.051552e-01,3.047273e-01,2.998339e-01,2.945740e-01,2.942604e-01,2.893791e-01,2.842523e-01,2.840487e-01,2.791966e-01,2.742145e-01,2.741156e-01,2.693083e-01,2.644802e-01,2.551577e-01,2.461596e-01,2.374944e-01,2.291680e-01,2.211838e-01,2.135433e-01,2.062462e-01,1.992906e-01,1.926734e-01,1.863901e-01,1.804355e-01,1.748035e-01,1.694874e-01,1.644796e-01,1.597724e-01,1.553574e-01,1.512260e-01,1.473693e-01,1.437783e-01,1.404435e-01,1.373556e-01,1.345051e-01,1.318824e-01,1.294779e-01,1.272821e-01,1.252853e-01,1.234780e-01,1.218507e-01,1.203941e-01,1.190989e-01,1.179560e-01,1.169563e-01,1.160909e-01,1.153513e-01,1.147288e-01,1.142153e-01,1.138026e-01,1.134828e-01,1.132484e-01,1.130920e-01,1.130065e-01,1.129851e-01,1.130211e-01,1.131084e-01,1.132408e-01,1.134129e-01,1.136191e-01,1.138543e-01,1.141138e-01
0.000000e+00,7.168069e-09,1.014493e-07,1.059067e-07,6.382485e-07,2.130482e-06,2.220496e-06,5.180006e-06,8.794046e-06,9.034867e-06,1.301154e-05,1.646253e-05,1.675034e-05,2.017619e-05,2.299241e-05,2.329022e-05,2.610916e-05,2.836111e-05,2.865239e-05,3.093920e-05,3.271493e-05,3.298813e-05,3.481675e-05,3.619472e-05,3.644168e-05,3.787853e-05,3.892670e-05,3.914193e-05,4.024554e-05,4.102195e-05,4.120207e-05,4.202338e-05,4.257727e-05,4.272051e-05,4.330364e-05,4.367638e-05,4.378218e-05,4.416494e-05,4.439131e-05,4.446003e-05,4.467495e-05,4.478397e-05,4.481665e-05,4.489159e-05,4.490753e-05,4.490572e-05,4.486454e-05,4.480755e-05,4.477313e-05,4.463617e-05,4.452294e-05,4.445799e-05,4.424261e-05,4.408694e-05,4.399369e-05,4.371463e-05,4.352787e-05,4.340858e-05,4.307842e-05,4.286987e-05,4.272681e-05,4.235621e-05,4.213345e-05,4.196886e-05,4.156685e-05,4.133603e-05,4.115207e-05,4.072628e-05,4.049235e-05,4.029110e-05,3.984799e-05,3.961489e-05,3.939831e-05,3.894330e-05,3.871416e-05,3.848410e-05,3.802175e-05,3.779898e-05,3.755720e-05,3.709131e-05,3.687677e-05,3.662488e-05,3.615862e-05,3.595370e-05,3.569320e-05,3.522921e-05,3.503489e-05,3.476718e-05,3.430761e-05,3.412458e-05,3.385095e-05,3.339757e-05,3.322623e-05,3.294786e-05,3.250211e-05,3.234267e-05,3.206063e-05,3.162367e-05,3.147617e-05,3.119145e-05,3.076417e-05,3.062851e-05,3.034200e-05,2.992511e-05,2.980109e-05,2.951361e-05,2.910763e-05,2.899495e-05,2.870725e-05,2.831256e-05,2.821088e-05,2.792362e-05,2.754049e-05,2.744940e-05,2.716319e-05,2.679176e-05,2.671083e-05,2.642621e-05,2.606655e-05,2.599533e-05,2.571279e-05,2.536490e-05,2.530291e-05,2.502288e-05,2.468670e-05,2.463345e-05,2.435634e-05,2.403175e-05,2.398677e-05,2.371291e-05,2.339976e-05,2.336257e-05,2.309227e-05,2.279038e-05,2.276050e-05,2.249404e-05,2.220320e-05,2.218017e-05,2.191779e-05,2.163776e-05,2.162112e-05,2.136304e-05,2.109357e-05,2.108290e-05,2.082928e-05,2.057011e-05,2.056498e-05,2.031600e-05,2.006686e-05,1.958801e-05,1.912788e-05,1.868593e-05,1.826162e-05,1.785442e-05,1.746377e-05,1.708915e-05,1.673005e-05,1.638593e-05,1.605631e-05,1.574068e-05,1.543856e-05,1.514949e-05,1.487300e-05,1.460865e-05,1.435600e-05,1.411464e-05,1.388415e-05,1.366413e-05,1.345419e-05,1.325398e-05,1.306312e-05,1.288125e-05,1.270806e-05,1.254319e-05,1.238635e-05,1.223721e-05,1.209548e-05,1.196088e-05,1.183313e-05,1.171196e-05,1.159710e-05,1.148832e-05,1.138536e-05,1.128800e-05,1.119601e-05,1.110916e-05,1.102726e-05,1.095010e-05,1.087748e-05,1.080921e-05,1.074511e-05,1.068500e-05,1.062872e-05,1.057611e-05,1.052699e-05,1.048123e-05,1.043867e-05,1.039917e-05
0.000000e+00,2.743832e-09,1.680637e-07,1.787813e-07,2.317770e-06,1.475169e-05,1.579605e-05,7.315638e-05,2.384444e-04,2.552802e-04,7.138253e-04,1.572316e-03,1.673893e-03,3.412609e-03,5.888112e-03,6.226156e-03,1.039934e-02,1.539694e-02,1.618329e-02,2.378140e-02,3.188134e-02,3.334195e-02,4.495571e-02,5.632487e-02,5.865728e-02,7.442886e-02,8.886205e-02,9.220562e-02,1.118821e-01,1.288983e-01,1.333188e-01,1.563492e-01,1.752994e-01,1.807861e-01,2.064278e-01,2.265918e-01,2.330636e-01,2.604790e-01,2.811421e-01,2.884597e-01,3.167956e-01,3.373030e-01,3.452837e-01,3.737307e-01,3.935212e-01,4.019547e-01,4.297870e-01,4.484098e-01,4.570730e-01,4.836727e-01,5.007912e-01,5.094611e-01,5.343285e-01,5.497156e-01,5.581796e-01,5.809339e-01,5.944609e-01,6.025245e-01,6.228979e-01,6.345200e-01,6.420128e-01,6.598395e-01,6.695809e-01,6.763592e-01,6.915625e-01,6.995011e-01,7.054494e-01,7.180274e-01,7.242803e-01,7.293115e-01,7.393229e-01,7.440344e-01,7.480881e-01,7.556387e-01,7.589694e-01,7.620100e-01,7.672409e-01,7.693587e-01,7.713728e-01,7.744496e-01,7.755230e-01,7.765166e-01,7.776204e-01,7.778132e-01,7.778085e-01,7.771287e-01,7.765959e-01,7.756289e-01,7.733567e-01,7.722422e-01,7.703594e-01,7.666834e-01,7.651181e-01,7.623743e-01,7.574767e-01,7.555779e-01,7.520340e-01,7.460881e-01,7.439592e-01,7.396799e-01,7.328484e-01,7.305791e-01,7.256314e-01,7.180650e-01,7.157322e-01,7.101840e-01,7.020212e-01,6.996895e-01,6.936082e-01,6.849749e-01,6.826976e-01,6.761495e-01,6.671591e-01,6.649796e-01,6.580288e-01,6.487827e-01,6.467353e-01,6.394433e-01,6.300316e-01,6.281424e-01,6.205676e-01,6.110698e-01,6.093580e-01,6.015555e-01,5.920409e-01,5.905196e-01,5.825410e-01,5.730698e-01,5.717469e-01,5.636402e-01,5.542643e-01,5.531433e-01,5.449529e-01,5.357163e-01,5.347971e-01,5.265639e-01,5.175040e-01,5.167835e-01,5.085447e-01,4.996929e-01,4.991653e-01,4.909550e-01,4.823368e-01,4.819947e-01,4.738436e-01,4.654799e-01,4.653140e-01,4.572499e-01,4.491573e-01,4.335511e-01,4.185153e-01,4.040639e-01,3.902063e-01,3.769471e-01,3.642874e-01,3.522251e-01,3.407552e-01,3.298704e-01,3.195614e-01,3.098173e-01,3.006257e-01,2.919730e-01,2.838447e-01,2.762254e-01,2.690993e-01,2.624499e-01,2.562604e-01,2.505137e-01,2.451925e-01,2.402795e-01,2.357571e-01,2.316080e-01,2.278149e-01,2.243605e-01,2.212278e-01,2.184000e-01,2.158604e-01,2.135928e-01,2.115811e-01,2.098097e-01,2.082631e-01,2.069267e-01,2.057856e-01,2.048260e-01,2.040341e-01,2.033967e-01,2.029011e-01,2.025350e-01,2.022868e-01,2.021451e-01,2.020993e-01,2.021392e-01,2.022549e-01,2.024375e-01,2.026782e-01,2.029688e-01,2.033018e-01,2.036701e-01
0.000000e+00,2.285497e-09,1.539956e-07,1.642209e-07,2.410484e-06,1.677300e-05,1.801082e-05,8.757015e-05,2.900364e-04,3.106047e-04,8.645945e-04,1.877072e-03,1.995329e-03,3.987059e-03,6.756907e-03,7.131220e-03,1.170203e-02,1.709627e-02,1.793974e-02,2.604042e-02,3.461011e-02,3.615062e-02,4.836593e-02,6.028855e-02,6.273219e-02,7.924857e-02,9.436730e-02,9.787182e-02,1.185214e-01,1.364252e-01,1.410846e-01,1.654225e-01,1.855356e-01,1.913749e-01,2.187657e-01,2.404296e-01,2.474073e-01,2.771054e-01,2.996459e-01,3.076623e-01,3.388805e-01,3.616578e-01,3.705657e-01,4.025290e-01,4.249712e-01,4.345888e-01,4.665730e-01,4.881958e-01,4.983194e-01,5.296773e-01,5.500927e-01,5.605077e-01,5.906840e-01,6.096002e-01,6.200918e-01,6.486294e-01,6.658458e-01,6.762070e-01,7.027468e-01,7.181444e-01,7.281824e-01,7.524584e-01,7.659890e-01,7.755297e-01,7.973611e-01,8.090350e-01,8.179265e-01,8.372082e-01,8.470828e-01,8.551964e-01,8.718884e-01,8.800570e-01,8.872881e-01,9.014050e-01,9.079870e-01,9.142543e-01,9.258554e-01,9.309874e-01,9.362321e-01,9.454117e-01,9.492406e-01,9.534247e-01,9.603038e-01,9.629805e-01,9.660844e-01,9.708034e-01,9.724780e-01,9.744992e-01,9.772114e-01,9.780299e-01,9.789802e-01,9.798466e-01,9.799477e-01,9.798515e-01,9.790361e-01,9.785496e-01,9.774414e-01,9.751081e-01,9.741537e-01,9.720765e-01,9.683860e-01,9.670723e-01,9.640757e-01,9.591835e-01,9.576080e-01,9.537467e-01,9.478014e-01,9.460504e-01,9.413828e-01,9.345251e-01,9.326742e-01,9.272612e-01,9.196230e-01,9.177376e-01,9.116413e-01,9.033456e-01,9.014813e-01,8.947644e-01,8.859250e-01,8.841284e-01,8.768535e-01,8.675748e-01,8.658845e-01,8.581130e-01,8.484907e-01,8.469377e-01,8.387297e-01,8.288505e-01,8.274591e-01,8.188728e-01,8.088153e-01,8.076039e-01,7.986955e-01,7.885302e-01,7.875118e-01,7.783353e-01,7.681255e-01,7.673085e-01,7.579151e-01,7.477172e-01,7.471060e-01,7.375443e-01,7.274081e-01,7.270035e-01,7.173195e-01,7.072888e-01,7.070888e-01,6.973255e-01,6.874386e-01,6.681198e-01,6.491902e-01,6.306992e-01,6.126887e-01,5.951936e-01,5.782426e-01,5.618586e-01,5.460594e-01,5.308583e-01,5.162644e-01,5.022830e-01,4.889162e-01,4.761630e-01,4.640199e-01,4.524809e-01,4.415381e-01,4.311817e-01,4.214003e-01,4.121811e-01,4.035103e-01,3.953729e-01,3.877531e-01,3.806344e-01,3.739997e-01,3.678316e-01,3.621120e-01,3.568230e-01,3.519462e-01,3.474632e-01,3.433558e-01,3.396056e-01,3.361945e-01,3.331046e-01,3.303182e-01,3.278179e-01,3.255866e-01,3.236076e-01,3.218647e-01,3.203420e-01,3.190242e-01,3.178963e-01,3.169441e-01,3.161535e-01,3.155114e-01,3.150049e-01,3.146218e-01,3.143504e-01,3.141797e-01,3.140992e-01
0.000000e+00,2.442346e-09,1.526412e-07,1.624832e-07,2.200240e-06,1.472291e-05,1.579751e-05,7.663751e-05,2.577859e-04,2.764098e-04,7.860316e-04,1.736725e-03,1.848637e-03,3.747380e-03,6.409281e-03,6.769925e-03,1.118087e-02,1.638952e-02,1.720352e-02,2.500948e-02,3.323846e-02,3.471423e-02,4.637709e-02,5.769298e-02,6.000408e-02,7.555287e-02,8.967873e-02,9.293881e-02,1.120417e-01,1.284607e-01,1.327123e-01,1.547794e-01,1.728412e-01,1.780558e-01,2.023439e-01,2.213548e-01,2.274410e-01,2.531437e-01,2.724357e-01,2.792518e-01,3.055713e-01,3.245478e-01,3.319170e-01,3.581144e-01,3.762772e-01,3.840017e-01,4.094301e-01,4.263901e-01,4.342651e-01,4.583866e-01,4.738639e-01,4.816887e-01,5.040801e-01,5.178961e-01,5.254830e-01,5.458330e-01,5.578981e-01,5.650785e-01,5.831793e-01,5.934780e-01,6.001067e-01,6.158419e-01,6.244180e-01,6.303755e-01,6.437064e-01,6.506486e-01,6.558413e-01,6.667933e-01,6.722221e-01,6.765816e-01,6.852306e-01,6.892872e-01,6.927690e-01,6.992292e-01,7.020659e-01,7.046467e-01,7.090596e-01,7.108327e-01,7.125080e-01,7.150333e-01,7.158967e-01,7.166781e-01,7.174858e-01,7.175871e-01,7.174998e-01,7.167639e-01,7.162416e-01,7.153213e-01,7.132149e-01,7.121959e-01,7.104868e-01,7.071783e-01,7.057774e-01,7.033298e-01,6.989803e-01,6.972992e-01,6.941678e-01,6.889289e-01,6.870569e-01,6.832989e-01,6.773117e-01,6.753257e-01,6.709997e-01,6.643939e-01,6.623593e-01,6.575239e-01,6.504179e-01,6.483896e-01,6.431026e-01,6.356033e-01,6.336264e-01,6.279441e-01,6.201474e-01,6.182581e-01,6.122346e-01,6.042259e-01,6.024529e-01,5.961399e-01,5.879945e-01,5.863598e-01,5.798062e-01,5.715903e-01,5.701096e-01,5.633613e-01,5.551326e-01,5.538169e-01,5.469167e-01,5.387251e-01,5.375808e-01,5.305685e-01,5.224569e-01,5.214869e-01,5.143993e-01,5.064041e-01,5.056084e-01,4.984792e-01,4.906313e-01,4.900070e-01,4.828671e-01,4.751923e-01,4.747348e-01,4.676123e-01,4.601317e-01,4.598346e-01,4.527549e-01,4.454858e-01,4.453415e-01,4.383277e-01,4.312837e-01,4.176831e-01,4.045563e-01,3.919152e-01,3.797678e-01,3.681181e-01,3.569675e-01,3.463144e-01,3.361553e-01,3.264842e-01,3.172941e-01,3.085760e-01,3.003200e-01,2.925152e-01,2.851498e-01,2.782114e-01,2.716870e-01,2.655631e-01,2.598260e-01,2.544617e-01,2.494559e-01,2.447945e-01,2.404631e-01,2.364473e-01,2.327329e-01,2.293058e-01,2.261520e-01,2.232576e-01,2.206091e-01,2.181931e-01,2.159964e-01,2.140064e-01,2.122104e-01,2.105965e-01,2.091526e-01,2.078675e-01,2.067301e-01,2.057295e-01,2.048557e-01,2.040987e-01,2.034490e-01,2.028977e-01,2.024360e-01,2.020557e-01,2.017490e-01,2.015086e-01,2.013275e-01,2.011990e-01,2.011171e-01,2.010758e-01
0.000000e+00,4.733706e-10,2.687290e-08,2.854620e-08,3.461542e-07,2.065611e-06,2.205607e-06,9.464850e-06,2.838631e-05,3.021725e-05,7.627779e-05,1.513923e-04,1.596626e-04,2.884050e-04,4.447602e-04,4.644150e-04,6.837143e-04,9.059845e-04,9.380055e-04,1.216595e-03,1.466927e-03,1.508100e-03,1.801726e-03,2.043084e-03,2.088076e-03,2.359564e-03,2.567070e-03,2.610537e-03,2.837179e-03,2.999459e-03,3.037307e-03,3.210102e-03,3.326042e-03,3.355822e-03,3.475534e-03,3.550110e-03,3.570869e-03,3.643815e-03,3.684661e-03,3.696555e-03,3.731334e-03,3.746500e-03,3.750366e-03,3.755761e-03,3.752484e-03,3.749486e-03,3.733338e-03,3.717547e-03,3.708928e-03,3.677684e-03,3.653935e-03,3.640858e-03,3.599531e-03,3.571155e-03,3.554632e-03,3.506950e-03,3.476286e-03,3.457151e-03,3.405796e-03,3.374434e-03,3.353352e-03,3.300203e-03,3.269181e-03,3.246666e-03,3.193002e-03,3.162975e-03,3.139422e-03,3.086097e-03,3.057458e-03,3.033166e-03,2.980738e-03,2.953705e-03,2.928902e-03,2.877727e-03,2.852406e-03,2.827268e-03,2.777567e-03,2.753989e-03,2.728656e-03,2.680558e-03,2.658712e-03,2.633292e-03,2.586870e-03,2.566714e-03,2.541299e-03,2.496585e-03,2.478060e-03,2.452727e-03,2.409727e-03,2.392766e-03,2.367580e-03,2.326284e-03,2.310813e-03,2.285831e-03,2.246216e-03,2.232158e-03,2.207430e-03,2.169467e-03,2.156745e-03,2.132316e-03,2.095968e-03,2.084505e-03,2.060414e-03,2.025643e-03,2.015363e-03,1.991645e-03,1.958409e-03,1.949237e-03,1.925923e-03,1.894177e-03,1.886043e-03,1.863159e-03,1.832859e-03,1.825692e-03,1.803263e-03,1.774361e-03,1.768095e-03,1.746142e-03,1.718592e-03,1.713162e-03,1.691702e-03,1.665459e-03,1.660803e-03,1.639851e-03,1.614868e-03,1.610927e-03,1.590497e-03,1.566727e-03,1.563447e-03,1.543548e-03,1.520947e-03,1.518273e-03,1.498914e-03,1.477437e-03,1.475320e-03,1.456507e-03,1.436111e-03,1.434502e-03,1.416239e-03,1.396882e-03,1.395737e-03,1.378028e-03,1.359667e-03,1.358943e-03,1.341790e-03,1.324386e-03,1.324042e-03,1.307445e-03,1.290958e-03,1.259615e-03,1.229942e-03,1.201868e-03,1.175326e-03,1.150251e-03,1.126579e-03,1.104250e-03,1.083203e-03,1.063384e-03,1.044736e-03,1.027206e-03,1.010745e-03,9.953031e-04,9.808327e-04,9.672885e-04,9.546268e-04,9.428055e-04,9.317842e-04,9.215237e-04,9.119868e-04,9.031373e-04,8.949406e-04,8.873634e-04,8.803737e-04,8.739409e-04,8.680354e-04,8.626288e-04,8.576940e-04,8.532050e-04,8.491365e-04,8.454648e-04,8.421666e-04,8.392201e-04,8.366040e-04,8.342982e-04,8.322833e-04,8.305408e-04,8.290530e-04,8.278030e-04,8.267746e-04,8.259526e-04,8.253221e-04,8.248692e-04,8.245805e-04,8.244434e-04,8.244459e-04,8.245763e-04,8.248240e-04,8.251785e-04
0.000000e+00,4.998865e-10,5.700463e-09,5.935925e-09,3.370429e-08,1.128280e-07,1.176191e-07,2.710732e-07,4.408781e-07,4.514777e-07,6.147916e-07,7.391588e-07,7.487994e-07,8.547216e-07,9.293376e-07,9.365565e-07,9.983725e-07,1.039053e-06,1.043731e-06,1.075624e-06,1.094190e-06,1.096538e-06,1.108526e-06,1.112951e-06,1.113288e-06,1.112227e-06,1.107832e-06,1.106503e-06,1.097074e-06,1.087400e-06,1.084731e-06,1.070122e-06,1.057498e-06,1.053776e-06,1.036133e-06,1.022078e-06,1.017548e-06,9.983140e-07,9.838026e-07,9.786654e-07,9.587922e-07,9.444323e-07,9.388486e-07,9.189575e-07,9.051179e-07,8.992160e-07,8.797007e-07,8.665906e-07,8.604714e-07,8.415741e-07,8.293009e-07,8.230434e-07,8.049047e-07,7.935105e-07,7.871764e-07,7.698705e-07,7.593565e-07,7.529945e-07,7.365515e-07,7.268938e-07,7.205419e-07,7.049635e-07,6.961240e-07,6.898121e-07,6.750822e-07,6.670150e-07,6.607669e-07,6.468584e-07,6.395140e-07,6.333483e-07,6.202278e-07,6.135560e-07,6.074876e-07,5.951183e-07,5.890698e-07,5.831105e-07,5.714545e-07,5.659818e-07,5.601408e-07,5.491600e-07,5.442179e-07,5.385025e-07,5.281593e-07,5.237055e-07,5.181212e-07,5.083795e-07,5.043742e-07,4.989254e-07,4.897504e-07,4.861568e-07,4.808464e-07,4.722052e-07,4.689888e-07,4.638190e-07,4.556803e-07,4.528095e-07,4.477815e-07,4.401155e-07,4.375609e-07,4.326754e-07,4.254542e-07,4.231886e-07,4.184455e-07,4.116428e-07,4.096412e-07,4.050399e-07,3.986308e-07,3.968702e-07,3.924098e-07,3.863710e-07,3.848301e-07,3.805091e-07,3.748186e-07,3.734779e-07,3.692945e-07,3.639317e-07,3.627731e-07,3.587255e-07,3.536710e-07,3.526779e-07,3.487637e-07,3.439992e-07,3.431564e-07,3.393732e-07,3.348815e-07,3.341750e-07,3.305202e-07,3.262852e-07,3.257022e-07,3.221729e-07,3.181796e-07,3.177082e-07,3.143016e-07,3.105356e-07,3.101650e-07,3.068782e-07,3.033261e-07,3.030464e-07,2.998762e-07,2.965254e-07,2.963275e-07,2.932709e-07,2.901096e-07,2.899851e-07,2.870389e-07,2.840561e-07,2.839973e-07,2.811585e-07,2.783435e-07,2.730044e-07,2.679617e-07,2.631982e-07,2.586979e-07,2.544455e-07,2.504268e-07,2.466282e-07,2.430373e-07,2.396420e-07,2.364311e-07,2.333942e-07,2.305212e-07,2.278028e-07,2.252303e-07,2.227954e-07,2.204902e-07,2.183075e-07,2.162402e-07,2.142820e-07,2.124266e-07,2.106684e-07,2.090018e-07,2.074218e-07,2.059235e-07,2.045024e-07,2.031543e-07,2.018750e-07,2.006608e-07,1.995081e-07,1.984135e-07,1.973739e-07,1.963863e-07,1.954478e-07,1.945557e-07,1.937076e-07,1.929011e-07,1.921340e-07,1.914041e-07,1.907094e-07,1.900482e-07,1.894186e-07,1.888189e-07,1.882476e-07,1.877032e-07,1.871843e-07,1.866895e-07,1.862177e-07,1.857676e-07,1.853381e-07
0.000000e+00,6.580463e-09,2.444404e-07,2.580191e-07,2.433634e-06,1.180287e-05,1.248962e-05,4.209187e-05,9.806355e-05,1.026529e-04,1.946903e-04,2.971266e-04,3.064474e-04,4.244828e-04,5.293332e-04,5.407634e-04,6.519853e-04,7.448485e-04,7.571370e-04,8.560553e-04,9.362212e-04,9.488509e-04,1.035718e-03,1.104265e-03,1.116876e-03,1.192553e-03,1.250679e-03,1.262978e-03,1.328376e-03,1.377227e-03,1.388973e-03,1.444985e-03,1.485630e-03,1.496627e-03,1.544104e-03,1.577524e-03,1.587616e-03,1.627357e-03,1.654447e-03,1.663513e-03,1.696262e-03,1.717828e-03,1.725776e-03,1.752220e-03,1.768990e-03,1.775754e-03,1.796528e-03,1.809153e-03,1.814688e-03,1.830375e-03,1.839437e-03,1.843720e-03,1.854853e-03,1.860873e-03,1.863895e-03,1.870963e-03,1.874403e-03,1.876169e-03,1.879621e-03,1.880892e-03,1.881419e-03,1.881662e-03,1.881126e-03,1.880442e-03,1.877849e-03,1.875829e-03,1.873967e-03,1.868878e-03,1.865656e-03,1.862659e-03,1.855383e-03,1.851205e-03,1.847120e-03,1.837938e-03,1.833022e-03,1.827899e-03,1.817066e-03,1.811600e-03,1.805495e-03,1.793241e-03,1.787390e-03,1.780358e-03,1.766894e-03,1.760798e-03,1.752897e-03,1.738411e-03,1.732192e-03,1.723481e-03,1.708145e-03,1.701906e-03,1.692443e-03,1.676412e-03,1.670240e-03,1.660085e-03,1.643495e-03,1.637465e-03,1.626675e-03,1.609653e-03,1.603824e-03,1.592456e-03,1.575113e-03,1.569536e-03,1.557646e-03,1.540081e-03,1.534795e-03,1.522439e-03,1.504740e-03,1.499778e-03,1.487006e-03,1.469255e-03,1.464638e-03,1.451503e-03,1.433768e-03,1.429516e-03,1.416065e-03,1.398409e-03,1.394532e-03,1.380812e-03,1.363289e-03,1.359794e-03,1.345851e-03,1.328508e-03,1.325398e-03,1.311272e-03,1.294153e-03,1.291425e-03,1.277158e-03,1.260296e-03,1.257947e-03,1.243576e-03,1.227004e-03,1.225026e-03,1.210587e-03,1.194331e-03,1.192714e-03,1.178241e-03,1.162323e-03,1.161057e-03,1.146582e-03,1.131020e-03,1.130092e-03,1.115643e-03,1.100453e-03,1.099849e-03,1.085454e-03,1.070647e-03,1.070353e-03,1.056037e-03,1.041624e-03,1.013675e-03,9.865177e-04,9.601577e-04,9.345981e-04,9.098388e-04,8.858769e-04,8.627072e-04,8.403223e-04,8.187131e-04,7.978689e-04,7.777774e-04,7.584253e-04,7.397984e-04,7.218815e-04,7.046588e-04,6.881138e-04,6.722298e-04,6.569894e-04,6.423754e-04,6.283700e-04,6.149558e-04,6.021149e-04,5.898298e-04,5.780829e-04,5.668569e-04,5.561346e-04,5.458990e-04,5.361333e-04,5.268212e-04,5.179466e-04,5.094935e-04,5.014466e-04,4.937906e-04,4.865109e-04,4.795930e-04,4.730228e-04,4.667868e-04,4.608716e-04,4.552644e-04,4.499525e-04,4.449240e-04,4.401669e-04,4.356699e-04,4.314219e-04,4.274122e-04,4.236307e-04,4.200671e-04,4.167120e-04,4.135560e-04
0.000000e+00,1.400717e-09,7.889435e-08,8.383234e-08,1.045545e-06,6.419562e-06,6.860772e-06,2.978914e-05,8.856957e-05,9.416990e-05,2.308099e-04,4.409418e-04,4.633662e-04,7.995789e-04,1.184897e-03,1.232035e-03,1.743671e-03,2.242733e-03,2.313472e-03,2.920547e-03,3.458269e-03,3.546421e-03,4.175974e-03,4.699006e-03,4.797531e-03,5.402516e-03,5.881963e-03,5.984932e-03,6.540821e-03,6.964775e-03,7.067777e-03,7.564538e-03,7.930746e-03,8.030667e-03,8.466306e-03,8.777320e-03,8.871993e-03,9.248534e-03,9.508979e-03,9.596903e-03,9.918177e-03,1.013335e-02,1.021349e-02,1.048398e-02,1.065919e-02,1.073082e-02,1.095514e-02,1.109538e-02,1.115805e-02,1.134063e-02,1.145051e-02,1.150393e-02,1.164895e-02,1.173262e-02,1.177666e-02,1.188799e-02,1.194918e-02,1.198383e-02,1.206504e-02,1.210708e-02,1.213243e-02,1.218678e-02,1.221262e-02,1.222883e-02,1.225931e-02,1.227157e-02,1.227888e-02,1.228820e-02,1.228919e-02,1.228789e-02,1.227853e-02,1.227027e-02,1.226069e-02,1.223490e-02,1.221919e-02,1.220168e-02,1.216152e-02,1.213991e-02,1.211487e-02,1.206218e-02,1.203604e-02,1.200388e-02,1.194035e-02,1.191084e-02,1.187198e-02,1.179914e-02,1.176730e-02,1.172217e-02,1.164139e-02,1.160808e-02,1.155712e-02,1.146965e-02,1.143563e-02,1.137926e-02,1.128622e-02,1.125212e-02,1.119078e-02,1.109318e-02,1.105955e-02,1.099365e-02,1.089241e-02,1.085968e-02,1.078965e-02,1.068557e-02,1.065412e-02,1.058035e-02,1.047417e-02,1.044429e-02,1.036719e-02,1.025956e-02,1.023149e-02,1.015143e-02,1.004294e-02,1.001686e-02,9.934208e-03,9.825365e-03,9.801416e-03,9.716524e-03,9.607792e-03,9.586068e-03,9.499271e-03,9.391056e-03,9.371617e-03,9.283236e-03,9.175894e-03,9.158769e-03,9.069108e-03,8.962952e-03,8.948144e-03,8.857493e-03,8.752796e-03,8.740286e-03,8.648918e-03,8.545915e-03,8.535665e-03,8.443838e-03,8.342733e-03,8.334688e-03,8.242643e-03,8.143609e-03,8.137701e-03,8.045667e-03,7.948850e-03,7.945001e-03,7.853189e-03,7.758711e-03,7.756834e-03,7.665442e-03,7.573404e-03,7.394876e-03,7.221379e-03,7.053012e-03,6.889845e-03,6.731923e-03,6.579267e-03,6.431880e-03,6.289746e-03,6.152832e-03,6.021095e-03,5.894475e-03,5.772905e-03,5.656305e-03,5.544591e-03,5.437670e-03,5.335441e-03,5.237803e-03,5.144647e-03,5.055861e-03,4.971332e-03,4.890945e-03,4.814581e-03,4.742122e-03,4.673449e-03,4.608443e-03,4.546985e-03,4.488957e-03,4.434241e-03,4.382720e-03,4.334280e-03,4.288805e-03,4.246184e-03,4.206305e-03,4.169061e-03,4.134345e-03,4.102051e-03,4.072077e-03,4.044323e-03,4.018691e-03,3.995086e-03,3.973413e-03,3.953581e-03,3.935503e-03,3.919092e-03,3.904264e-03,3.890937e-03,3.879034e-03,3.868478e-03,3.859193e-03
0.000000e+00,3.391103e-10,2.127801e-08,2.268414e-08,3.331504e-07,2.252766e-06,2.413164e-06,1.067269e-05,3.057929e-05,3.239477e-05,7.368129e-05,1.296597e-04,1.352454e-04,2.123588e-04,2.888792e-04,2.975361e-04,3.832340e-04,4.542664e-04,4.634549e-04,5.342902e-04,5.861723e-04,5.937912e-04,6.415360e-04,6.729799e-04,6.781305e-04,7.047715e-04,7.202087e-04,7.229148e-04,7.340515e-04,7.388554e-04,7.395714e-04,7.406955e-04,7.391895e-04,7.384528e-04,7.336827e-04,7.287832e-04,7.270523e-04,7.190818e-04,7.125591e-04,7.101696e-04,7.006167e-04,6.934703e-04,6.906474e-04,6.804272e-04,6.731899e-04,6.700769e-04,6.596839e-04,6.526253e-04,6.493113e-04,6.390034e-04,6.322513e-04,6.287915e-04,6.186972e-04,6.123057e-04,6.087355e-04,5.989163e-04,5.929029e-04,5.892461e-04,5.797290e-04,5.740932e-04,5.703673e-04,5.611618e-04,5.558944e-04,5.521128e-04,5.432198e-04,5.383074e-04,5.344817e-04,5.258974e-04,5.213252e-04,5.174652e-04,5.091836e-04,5.049361e-04,5.010507e-04,4.930646e-04,4.891260e-04,4.852234e-04,4.775251e-04,4.738800e-04,4.699675e-04,4.625488e-04,4.591822e-04,4.552668e-04,4.481194e-04,4.450167e-04,4.411046e-04,4.342203e-04,4.313674e-04,4.274645e-04,4.208352e-04,4.182183e-04,4.143302e-04,4.079475e-04,4.055538e-04,4.016853e-04,3.955415e-04,3.933583e-04,3.895141e-04,3.836012e-04,3.816165e-04,3.778008e-04,3.721112e-04,3.703135e-04,3.665303e-04,3.610564e-04,3.594348e-04,3.556875e-04,3.504220e-04,3.489659e-04,3.452580e-04,3.401937e-04,3.388932e-04,3.352275e-04,3.303576e-04,3.292029e-04,3.255822e-04,3.208999e-04,3.198821e-04,3.163088e-04,3.118074e-04,3.109178e-04,3.073942e-04,3.030675e-04,3.022977e-04,2.988258e-04,2.946675e-04,2.940099e-04,2.905913e-04,2.865955e-04,2.860425e-04,2.826789e-04,2.788399e-04,2.783843e-04,2.750771e-04,2.713891e-04,2.710244e-04,2.677747e-04,2.642325e-04,2.639522e-04,2.607611e-04,2.573592e-04,2.571573e-04,2.540257e-04,2.507592e-04,2.506299e-04,2.475586e-04,2.444225e-04,2.443604e-04,2.413499e-04,2.383395e-04,2.325583e-04,2.270080e-04,2.216802e-04,2.165670e-04,2.116604e-04,2.069529e-04,2.024372e-04,1.981063e-04,1.939534e-04,1.899719e-04,1.861554e-04,1.824979e-04,1.789935e-04,1.756365e-04,1.724213e-04,1.693427e-04,1.663955e-04,1.635748e-04,1.608759e-04,1.582942e-04,1.558251e-04,1.534645e-04,1.512083e-04,1.490524e-04,1.469930e-04,1.450264e-04,1.431490e-04,1.413575e-04,1.396484e-04,1.380186e-04,1.364651e-04,1.349847e-04,1.335747e-04,1.322323e-04,1.309549e-04,1.297397e-04,1.285845e-04,1.274868e-04,1.264442e-04,1.254546e-04,1.245158e-04,1.236258e-04,1.227826e-04,1.219843e-04,1.212289e-04,1.205149e-04,1.198403e-04,1.192036e-04,1.186033e-04
0.000000e+00,2.838590e-08,5.675598e-07,5.952297e-07,4.150257e-06,1.399326e-05,1.455579e-05,3.098978e-05,4.760545e-05,4.864622e-05,6.534977e-05,7.953770e-05,8.071713e-05,9.474458e-05,1.062752e-04,1.074948e-04,1.190430e-04,1.282718e-04,1.294655e-04,1.388356e-04,1.461072e-04,1.472254e-04,1.547049e-04,1.603333e-04,1.613410e-04,1.671970e-04,1.714587e-04,1.723325e-04,1.768035e-04,1.799371e-04,1.806623e-04,1.839578e-04,1.861664e-04,1.867352e-04,1.890370e-04,1.904924e-04,1.909022e-04,1.923674e-04,1.932139e-04,1.934662e-04,1.942299e-04,1.945888e-04,1.946877e-04,1.948662e-04,1.948384e-04,1.947903e-04,1.944830e-04,1.941529e-04,1.939657e-04,1.932579e-04,1.926952e-04,1.923777e-04,1.913421e-04,1.906048e-04,1.901664e-04,1.888650e-04,1.880008e-04,1.874510e-04,1.859367e-04,1.849846e-04,1.843332e-04,1.826509e-04,1.816428e-04,1.808993e-04,1.790872e-04,1.780490e-04,1.772226e-04,1.753129e-04,1.742654e-04,1.733650e-04,1.713851e-04,1.703448e-04,1.693789e-04,1.673518e-04,1.663319e-04,1.653085e-04,1.632534e-04,1.622640e-04,1.611906e-04,1.591238e-04,1.581726e-04,1.570563e-04,1.549911e-04,1.540840e-04,1.529312e-04,1.508789e-04,1.500198e-04,1.488367e-04,1.468065e-04,1.459983e-04,1.447903e-04,1.427897e-04,1.420340e-04,1.408064e-04,1.388415e-04,1.381389e-04,1.368964e-04,1.349721e-04,1.343228e-04,1.330697e-04,1.311899e-04,1.305932e-04,1.293334e-04,1.275010e-04,1.269560e-04,1.256932e-04,1.239104e-04,1.234157e-04,1.221530e-04,1.204215e-04,1.199756e-04,1.187160e-04,1.170368e-04,1.166377e-04,1.153840e-04,1.137577e-04,1.134035e-04,1.121580e-04,1.105849e-04,1.102735e-04,1.090384e-04,1.075184e-04,1.072477e-04,1.060250e-04,1.045579e-04,1.043256e-04,1.031170e-04,1.017022e-04,1.015062e-04,1.003133e-04,9.895011e-05,9.878825e-05,9.761244e-05,9.630003e-05,9.617018e-05,9.501267e-05,9.375010e-05,9.365015e-05,9.251205e-05,9.129826e-05,9.122620e-05,9.010845e-05,8.894233e-05,8.889618e-05,8.779963e-05,8.668003e-05,8.665787e-05,8.558323e-05,8.450895e-05,8.244707e-05,8.046982e-05,7.857478e-05,7.675952e-05,7.502162e-05,7.335868e-05,7.176833e-05,7.024823e-05,6.879609e-05,6.740963e-05,6.608664e-05,6.482496e-05,6.362247e-05,6.247710e-05,6.138684e-05,6.034972e-05,5.936384e-05,5.842734e-05,5.753842e-05,5.669531e-05,5.589631e-05,5.513978e-05,5.442410e-05,5.374771e-05,5.310911e-05,5.250684e-05,5.193946e-05,5.140561e-05,5.090394e-05,5.043317e-05,4.999203e-05,4.957932e-05,4.919386e-05,4.883451e-05,4.850016e-05,4.818974e-05,4.790222e-05,4.763659e-05,4.739189e-05,4.716717e-05,4.696152e-05,4.677406e-05,4.660395e-05,4.645034e-05,4.631246e-05,4.618952e-05,4.608079e-05,4.598553e-05,4.590306e-05
0.000000e+00,5.382011e-09,1.176863e-07,1.236312e-07,8.935769e-07,2.984800e-06,3.102141e-06,6.421466e-06,9.592487e-06,9.785743e-06,1.280325e-05,1.523942e-05,1.543652e-05,1.771496e-05,1.949363e-05,1.967660e-05,2.135763e-05,2.263077e-05,2.279063e-05,2.400462e-05,2.489323e-05,2.502539e-05,2.587576e-05,2.647329e-05,2.657601e-05,2.714423e-05,2.752297e-05,2.759647e-05,2.794693e-05,2.816254e-05,2.820822e-05,2.839146e-05,2.848657e-05,2.850648e-05,2.856197e-05,2.856906e-05,2.856556e-05,2.852402e-05,2.846774e-05,2.844328e-05,2.832858e-05,2.822758e-05,2.818453e-05,2.801519e-05,2.788353e-05,2.782412e-05,2.761446e-05,2.746271e-05,2.738899e-05,2.715011e-05,2.698617e-05,2.689998e-05,2.664046e-05,2.647021e-05,2.637320e-05,2.609965e-05,2.592746e-05,2.582109e-05,2.553861e-05,2.536766e-05,2.525320e-05,2.496572e-05,2.479833e-05,2.467691e-05,2.438743e-05,2.422524e-05,2.409784e-05,2.380866e-05,2.365282e-05,2.352030e-05,2.323316e-05,2.308443e-05,2.294755e-05,2.266377e-05,2.252264e-05,2.238205e-05,2.210262e-05,2.196935e-05,2.182564e-05,2.155128e-05,2.142599e-05,2.127967e-05,2.101091e-05,2.089359e-05,2.074511e-05,2.048233e-05,2.037288e-05,2.022263e-05,1.996608e-05,1.986435e-05,1.971270e-05,1.946253e-05,1.936832e-05,1.921559e-05,1.897189e-05,1.888496e-05,1.873144e-05,1.849424e-05,1.841434e-05,1.826029e-05,1.802958e-05,1.795643e-05,1.780209e-05,1.757782e-05,1.751116e-05,1.735674e-05,1.713883e-05,1.707838e-05,1.692407e-05,1.671244e-05,1.665793e-05,1.650391e-05,1.629845e-05,1.624959e-05,1.609603e-05,1.589663e-05,1.585316e-05,1.570021e-05,1.550674e-05,1.546840e-05,1.531619e-05,1.512852e-05,1.509504e-05,1.494370e-05,1.476171e-05,1.473285e-05,1.458250e-05,1.440604e-05,1.438155e-05,1.423230e-05,1.406124e-05,1.404089e-05,1.389284e-05,1.372705e-05,1.371061e-05,1.356384e-05,1.340318e-05,1.339044e-05,1.324504e-05,1.308938e-05,1.308012e-05,1.293618e-05,1.278538e-05,1.277940e-05,1.263698e-05,1.249092e-05,1.248802e-05,1.234719e-05,1.220574e-05,1.193230e-05,1.166747e-05,1.141102e-05,1.116270e-05,1.092230e-05,1.068959e-05,1.046436e-05,1.024639e-05,1.003549e-05,9.831454e-06,9.634081e-06,9.443184e-06,9.258576e-06,9.080078e-06,8.907512e-06,8.740708e-06,8.579498e-06,8.423721e-06,8.273216e-06,8.127832e-06,7.987417e-06,7.851826e-06,7.720917e-06,7.594553e-06,7.472599e-06,7.354924e-06,7.241402e-06,7.131910e-06,7.026326e-06,6.924536e-06,6.826424e-06,6.731882e-06,6.640801e-06,6.553079e-06,6.468612e-06,6.387302e-06,6.309055e-06,6.233776e-06,6.161375e-06,6.091765e-06,6.024859e-06,5.960575e-06,5.898831e-06,5.839550e-06,5.782654e-06,5.728070e-06,5.675725e-06,5.625549e-06,5.577475e-06
0.000000e+00,2.655164e-10,1.504897e-08,1.599047e-08,1.988189e-07,1.223021e-06,1.307425e-06,5.744929e-06,1.744902e-05,1.858420e-05,4.712546e-05,9.338049e-05,9.844628e-05,1.765919e-04,2.697438e-04,2.813222e-04,4.086004e-04,5.341516e-04,5.519598e-04,7.039676e-04,8.360731e-04,8.573897e-04,1.005942e-03,1.123296e-03,1.144671e-03,1.270049e-03,1.361326e-03,1.379892e-03,1.473166e-03,1.535758e-03,1.549762e-03,1.610259e-03,1.646937e-03,1.655712e-03,1.687474e-03,1.703382e-03,1.707053e-03,1.716000e-03,1.716670e-03,1.715831e-03,1.707978e-03,1.698306e-03,1.693750e-03,1.674323e-03,1.658189e-03,1.650729e-03,1.623862e-03,1.604118e-03,1.594487e-03,1.563248e-03,1.541875e-03,1.530684e-03,1.497238e-03,1.475541e-03,1.463274e-03,1.429085e-03,1.407880e-03,1.394907e-03,1.360927e-03,1.340697e-03,1.327293e-03,1.294117e-03,1.275121e-03,1.261487e-03,1.229467e-03,1.211822e-03,1.198107e-03,1.167439e-03,1.151175e-03,1.137487e-03,1.108264e-03,1.093359e-03,1.079778e-03,1.052030e-03,1.038432e-03,1.025018e-03,9.987367e-04,9.863788e-04,9.731778e-04,9.483314e-04,9.371383e-04,9.241862e-04,9.007298e-04,8.906239e-04,8.779492e-04,8.558305e-04,8.467347e-04,8.343598e-04,8.135228e-04,8.053623e-04,7.933051e-04,7.736921e-04,7.663948e-04,7.546694e-04,7.362226e-04,7.297199e-04,7.183373e-04,7.009994e-04,6.952267e-04,6.841948e-04,6.679098e-04,6.628062e-04,6.521308e-04,6.368442e-04,6.323523e-04,6.220369e-04,6.076960e-04,6.037623e-04,5.938086e-04,5.803623e-04,5.769370e-04,5.673448e-04,5.547443e-04,5.517809e-04,5.425489e-04,5.307472e-04,5.282025e-04,5.193279e-04,5.082803e-04,5.061144e-04,4.975934e-04,4.872570e-04,4.854329e-04,4.772608e-04,4.675949e-04,4.660783e-04,4.582495e-04,4.492153e-04,4.479748e-04,4.404831e-04,4.320438e-04,4.310504e-04,4.238889e-04,4.160097e-04,4.152366e-04,4.083980e-04,4.010458e-04,4.004686e-04,3.939452e-04,3.870887e-04,3.866849e-04,3.804688e-04,3.740783e-04,3.738274e-04,3.679103e-04,3.619579e-04,3.618410e-04,3.562146e-04,3.506739e-04,3.402768e-04,3.306035e-04,3.216102e-04,3.132555e-04,3.055006e-04,2.983087e-04,2.916453e-04,2.854778e-04,2.797754e-04,2.745092e-04,2.696519e-04,2.651780e-04,2.610632e-04,2.572848e-04,2.538214e-04,2.506529e-04,2.477603e-04,2.451258e-04,2.427326e-04,2.405650e-04,2.386080e-04,2.368476e-04,2.352709e-04,2.338654e-04,2.326195e-04,2.315223e-04,2.305635e-04,2.297335e-04,2.290232e-04,2.284242e-04,2.279283e-04,2.275282e-04,2.272167e-04,2.269872e-04,2.268334e-04,2.267497e-04,2.267304e-04,2.267705e-04,2.268651e-04,2.270098e-04,2.272002e-04,2.274324e-04,2.277027e-04,2.280076e-04,2.283440e-04,2.287086e-04,2.290988e-04,2.295119e-04,2.299453e-04
0.000000e+00,6.590439e-10,4.290946e-08,4.574941e-08,6.488863e-07,4.074039e-06,4.349877e-06,1.785372e-05,4.877147e-05,5.155584e-05,1.147934e-04,2.020876e-04,2.109478e-04,3.366160e-04,4.684633e-04,4.838928e-04,6.432272e-04,7.861735e-04,8.055442e-04,9.633919e-04,1.091364e-03,1.111328e-03,1.245842e-03,1.347042e-03,1.365047e-03,1.468304e-03,1.541227e-03,1.555859e-03,1.628539e-03,1.676751e-03,1.687511e-03,1.734113e-03,1.762764e-03,1.769725e-03,1.795698e-03,1.809775e-03,1.813300e-03,1.823694e-03,1.827364e-03,1.827924e-03,1.826915e-03,1.823404e-03,1.821479e-03,1.812322e-03,1.804030e-03,1.800057e-03,1.785207e-03,1.773865e-03,1.768223e-03,1.749491e-03,1.736332e-03,1.729340e-03,1.708051e-03,1.693941e-03,1.685862e-03,1.662976e-03,1.648511e-03,1.639562e-03,1.615767e-03,1.601360e-03,1.591715e-03,1.567509e-03,1.553434e-03,1.543237e-03,1.518975e-03,1.505415e-03,1.494783e-03,1.470716e-03,1.457787e-03,1.446817e-03,1.423123e-03,1.410893e-03,1.399664e-03,1.376467e-03,1.364973e-03,1.353551e-03,1.330935e-03,1.320189e-03,1.308631e-03,1.286651e-03,1.276651e-03,1.265003e-03,1.243695e-03,1.234427e-03,1.222730e-03,1.202112e-03,1.193556e-03,1.181843e-03,1.161923e-03,1.154054e-03,1.142354e-03,1.123134e-03,1.115922e-03,1.104262e-03,1.085735e-03,1.079149e-03,1.067551e-03,1.049707e-03,1.043717e-03,1.032200e-03,1.015026e-03,1.009600e-03,9.981818e-04,9.816625e-04,9.767695e-04,9.654643e-04,9.495828e-04,9.451921e-04,9.340135e-04,9.187519e-04,9.148337e-04,9.037933e-04,8.891332e-04,8.856586e-04,8.747668e-04,8.606894e-04,8.576307e-04,8.468963e-04,8.333827e-04,8.307131e-04,8.201440e-04,8.071754e-04,8.048694e-04,7.944724e-04,7.820303e-04,7.800634e-04,7.698444e-04,7.579102e-04,7.562593e-04,7.462233e-04,7.347790e-04,7.334218e-04,7.235731e-04,7.126012e-04,7.115167e-04,7.018588e-04,6.913419e-04,6.905101e-04,6.810461e-04,6.709674e-04,6.703694e-04,6.611016e-04,6.514447e-04,6.510627e-04,6.419928e-04,6.327420e-04,6.325590e-04,6.236883e-04,6.148281e-04,5.978409e-04,5.815693e-04,5.659858e-04,5.510641e-04,5.367786e-04,5.231047e-04,5.100186e-04,4.974973e-04,4.855188e-04,4.740616e-04,4.631051e-04,4.526297e-04,4.426161e-04,4.330459e-04,4.239015e-04,4.151659e-04,4.068225e-04,3.988557e-04,3.912501e-04,3.839913e-04,3.770651e-04,3.704580e-04,3.641570e-04,3.581496e-04,3.524238e-04,3.469680e-04,3.417710e-04,3.368223e-04,3.321114e-04,3.276285e-04,3.233642e-04,3.193092e-04,3.154549e-04,3.117927e-04,3.083146e-04,3.050127e-04,3.018797e-04,2.989082e-04,2.960914e-04,2.934226e-04,2.908955e-04,2.885038e-04,2.862418e-04,2.841037e-04,2.820841e-04,2.801778e-04,2.783797e-04,2.766851e-04,2.750892e-04
0.000000e+00,8.718370e-10,5.903128e-08,6.301680e-08,9.673092e-07,6.585627e-06,7.052927e-06,3.077560e-05,8.668813e-05,9.175197e-05,2.071272e-04,3.674170e-04,3.837708e-04,6.179226e-04,8.689707e-04,8.987692e-04,1.212405e-03,1.504331e-03,1.544771e-03,1.883367e-03,2.171720e-03,2.218022e-03,2.541032e-03,2.799325e-03,2.846961e-03,3.132279e-03,3.349412e-03,3.394977e-03,3.634191e-03,3.808615e-03,3.849896e-03,4.042646e-03,4.177650e-03,4.213380e-03,4.363274e-03,4.464058e-03,4.493635e-03,4.605827e-03,4.677954e-03,4.701212e-03,4.781125e-03,4.829801e-03,4.846843e-03,4.899579e-03,4.929382e-03,4.940470e-03,4.970578e-03,4.985398e-03,4.990889e-03,5.002317e-03,5.005405e-03,5.005704e-03,5.001827e-03,4.995864e-03,4.991398e-03,4.975073e-03,4.962257e-03,4.953455e-03,4.927094e-03,4.909213e-03,4.896497e-03,4.862125e-03,4.840629e-03,4.824404e-03,4.783721e-03,4.759778e-03,4.740430e-03,4.694857e-03,4.669404e-03,4.647297e-03,4.598022e-03,4.571804e-03,4.547278e-03,4.495291e-03,4.468896e-03,4.442266e-03,4.388390e-03,4.362279e-03,4.333835e-03,4.278755e-03,4.253281e-03,4.223290e-03,4.167569e-03,4.143002e-03,4.111709e-03,4.055813e-03,4.032349e-03,3.999977e-03,3.944287e-03,3.922069e-03,3.888820e-03,3.833647e-03,3.812771e-03,3.778829e-03,3.724422e-03,3.704947e-03,3.670478e-03,3.617039e-03,3.598992e-03,3.564146e-03,3.511835e-03,3.495223e-03,3.460135e-03,3.409073e-03,3.393883e-03,3.358674e-03,3.308957e-03,3.295161e-03,3.259940e-03,3.211636e-03,3.199196e-03,3.164059e-03,3.117219e-03,3.106088e-03,3.071122e-03,3.025776e-03,3.015901e-03,2.981184e-03,2.937350e-03,2.928674e-03,2.894275e-03,2.851958e-03,2.844422e-03,2.810400e-03,2.769597e-03,2.763139e-03,2.729547e-03,2.690246e-03,2.684804e-03,2.651690e-03,2.613873e-03,2.609384e-03,2.576789e-03,2.540432e-03,2.536836e-03,2.504795e-03,2.469871e-03,2.467107e-03,2.435651e-03,2.402129e-03,2.400140e-03,2.369295e-03,2.337142e-03,2.335870e-03,2.305659e-03,2.274839e-03,2.274230e-03,2.244672e-03,2.215149e-03,2.158557e-03,2.104379e-03,2.052541e-03,2.002969e-03,1.955589e-03,1.910329e-03,1.867115e-03,1.825876e-03,1.786543e-03,1.749047e-03,1.713320e-03,1.679298e-03,1.646917e-03,1.616114e-03,1.586830e-03,1.559005e-03,1.532583e-03,1.507509e-03,1.483729e-03,1.461191e-03,1.439846e-03,1.419644e-03,1.400540e-03,1.382487e-03,1.365443e-03,1.349364e-03,1.334209e-03,1.319940e-03,1.306519e-03,1.293907e-03,1.282071e-03,1.270975e-03,1.260587e-03,1.250875e-03,1.241808e-03,1.233357e-03,1.225493e-03,1.218189e-03,1.211417e-03,1.205153e-03,1.199373e-03,1.194051e-03,1.189167e-03,1.184697e-03,1.180621e-03,1.176918e-03,1.173570e-03,1.170556e-03,1.167860e-03
0.000000e+00,1.899537e-09,1.113149e-07,1.185692e-07,1.613566e-06,9.387537e-06,9.978946e-06,3.543159e-05,8.043789e-05,8.395480e-05,1.507718e-04,2.200260e-04,2.261619e-04,3.021204e-04,3.671210e-04,3.740629e-04,4.399844e-04,4.925451e-04,4.993170e-04,5.521646e-04,5.927102e-04,5.989027e-04,6.399941e-04,6.704945e-04,6.759130e-04,7.071153e-04,7.294818e-04,7.340275e-04,7.570449e-04,7.729002e-04,7.765315e-04,7.928211e-04,8.035054e-04,8.062196e-04,8.170068e-04,8.236164e-04,8.254378e-04,8.317458e-04,8.351725e-04,8.361432e-04,8.388234e-04,8.397895e-04,8.399627e-04,8.397215e-04,8.388099e-04,8.382456e-04,8.356678e-04,8.333475e-04,8.321087e-04,8.276778e-04,8.243246e-04,8.224747e-04,8.165896e-04,8.125034e-04,8.101045e-04,8.030940e-04,7.985134e-04,7.956254e-04,7.877597e-04,7.828730e-04,7.795524e-04,7.710536e-04,7.660087e-04,7.623086e-04,7.533583e-04,7.482704e-04,7.442398e-04,7.349864e-04,7.299441e-04,7.256281e-04,7.161922e-04,7.112630e-04,7.067030e-04,6.971824e-04,6.924165e-04,6.876500e-04,6.781235e-04,6.735576e-04,6.686187e-04,6.591495e-04,6.548092e-04,6.497286e-04,6.403670e-04,6.362693e-04,6.310747e-04,6.218603e-04,6.180154e-04,6.127316e-04,6.036952e-04,6.001078e-04,5.947570e-04,5.859222e-04,5.825929e-04,5.771950e-04,5.685793e-04,5.655056e-04,5.600783e-04,5.516945e-04,5.488711e-04,5.434302e-04,5.352871e-04,5.327072e-04,5.272666e-04,5.193697e-04,5.170249e-04,5.115972e-04,5.039493e-04,5.018303e-04,4.964265e-04,4.890285e-04,4.871254e-04,4.817551e-04,4.746059e-04,4.729086e-04,4.675804e-04,4.606777e-04,4.591756e-04,4.538971e-04,4.472375e-04,4.459200e-04,4.406979e-04,4.342770e-04,4.331338e-04,4.279738e-04,4.217868e-04,4.208076e-04,4.157148e-04,4.097562e-04,4.089310e-04,4.039098e-04,3.981739e-04,3.974929e-04,3.925470e-04,3.870277e-04,3.864816e-04,3.816143e-04,3.763053e-04,3.758850e-04,3.710990e-04,3.659940e-04,3.656909e-04,3.609886e-04,3.560813e-04,3.558870e-04,3.512703e-04,3.465542e-04,3.464608e-04,3.419314e-04,3.374002e-04,3.286930e-04,3.203272e-04,3.122910e-04,3.045729e-04,2.971617e-04,2.900464e-04,2.832163e-04,2.766611e-04,2.703708e-04,2.643354e-04,2.585457e-04,2.529925e-04,2.476668e-04,2.425602e-04,2.376645e-04,2.329715e-04,2.284737e-04,2.241637e-04,2.200342e-04,2.160783e-04,2.122895e-04,2.086612e-04,2.051873e-04,2.018619e-04,1.986793e-04,1.956338e-04,1.927202e-04,1.899333e-04,1.872683e-04,1.847203e-04,1.822848e-04,1.799574e-04,1.777338e-04,1.756101e-04,1.735821e-04,1.716463e-04,1.697989e-04,1.680364e-04,1.663555e-04,1.647529e-04,1.632255e-04,1.617703e-04,1.603844e-04,1.590650e-04,1.578095e-04,1.566153e-04,1.554799e-04,1.544010e-04,1.533762e-04
0.000000e+00,9.914952e-10,5.391932e-08,5.725050e-08,6.782265e-07,3.855096e-06,4.104953e-06,1.617237e-05,4.392483e-05,4.644721e-05,1.046344e-04,1.868089e-04,1.952173e-04,3.149077e-04,4.399090e-04,4.544242e-04,6.021776e-04,7.303996e-04,7.473896e-04,8.817917e-04,9.846226e-04,1.000094e-03,1.099699e-03,1.168498e-03,1.180095e-03,1.242188e-03,1.280659e-03,1.287728e-03,1.318865e-03,1.334913e-03,1.337840e-03,1.346795e-03,1.348076e-03,1.347663e-03,1.342123e-03,1.334509e-03,1.331593e-03,1.317246e-03,1.304736e-03,1.300030e-03,1.280707e-03,1.265834e-03,1.259879e-03,1.238017e-03,1.222298e-03,1.215487e-03,1.192569e-03,1.176876e-03,1.169480e-03,1.146385e-03,1.131199e-03,1.123406e-03,1.100636e-03,1.086206e-03,1.078145e-03,1.055982e-03,1.042423e-03,1.034186e-03,1.012781e-03,1.000134e-03,9.917860e-04,9.712123e-04,9.594754e-04,9.510666e-04,9.313523e-04,9.205010e-04,9.120700e-04,8.932184e-04,8.832166e-04,8.747945e-04,8.567939e-04,8.475993e-04,8.392117e-04,8.220419e-04,8.136098e-04,8.052784e-04,7.889144e-04,7.811995e-04,7.729429e-04,7.573567e-04,7.503145e-04,7.421486e-04,7.273112e-04,7.208983e-04,7.128370e-04,6.987187e-04,6.928932e-04,6.849486e-04,6.715196e-04,6.662418e-04,6.584241e-04,6.456549e-04,6.408867e-04,6.332048e-04,6.210667e-04,6.167720e-04,6.092335e-04,5.976983e-04,5.938430e-04,5.864543e-04,5.754946e-04,5.720465e-04,5.648128e-04,5.544024e-04,5.513312e-04,5.442568e-04,5.343699e-04,5.316471e-04,5.247356e-04,5.153477e-04,5.129465e-04,5.062003e-04,4.972878e-04,4.951830e-04,4.886043e-04,4.801443e-04,4.783126e-04,4.719024e-04,4.638733e-04,4.622925e-04,4.560516e-04,4.484324e-04,4.470821e-04,4.410106e-04,4.337813e-04,4.326422e-04,4.267398e-04,4.198814e-04,4.189356e-04,4.132015e-04,4.066957e-04,4.059265e-04,4.003596e-04,3.941890e-04,3.935809e-04,3.881796e-04,3.823275e-04,3.818660e-04,3.766287e-04,3.710793e-04,3.707510e-04,3.656755e-04,3.604136e-04,3.602060e-04,3.552900e-04,3.503013e-04,3.502028e-04,3.454439e-04,3.407145e-04,3.317154e-04,3.231810e-04,3.150880e-04,3.074142e-04,3.001386e-04,2.932410e-04,2.867023e-04,2.805045e-04,2.746301e-04,2.690627e-04,2.637867e-04,2.587873e-04,2.540503e-04,2.495622e-04,2.453105e-04,2.412828e-04,2.374677e-04,2.338543e-04,2.304321e-04,2.271913e-04,2.241225e-04,2.212167e-04,2.184656e-04,2.158610e-04,2.133954e-04,2.110615e-04,2.088523e-04,2.067614e-04,2.047826e-04,2.029100e-04,2.011379e-04,1.994611e-04,1.978745e-04,1.963733e-04,1.949530e-04,1.936092e-04,1.923380e-04,1.911353e-04,1.899975e-04,1.889211e-04,1.879028e-04,1.869395e-04,1.860280e-04,1.851657e-04,1.843497e-04,1.835777e-04,1.828470e-04,1.821555e-04,1.815009e-04
0.000000e+00,2.980282e-10,1.746729e-08,1.858054e-08,2.434606e-07,1.524827e-06,1.629836e-06,6.999464e-06,2.029420e-05,2.153894e-05,5.124245e-05,9.536113e-05,9.998627e-05,1.677268e-04,2.419916e-04,2.508415e-04,3.436575e-04,4.284756e-04,4.400380e-04,5.345034e-04,6.109361e-04,6.228062e-04,7.020865e-04,7.605197e-04,7.707624e-04,8.282940e-04,8.672955e-04,8.749085e-04,9.113438e-04,9.338526e-04,9.386342e-04,9.579474e-04,9.682376e-04,9.704681e-04,9.773226e-04,9.793770e-04,9.795349e-04,9.780050e-04,9.749222e-04,9.735045e-04,9.666807e-04,9.606329e-04,9.580677e-04,9.480992e-04,9.405046e-04,9.371241e-04,9.254192e-04,9.171563e-04,9.132025e-04,9.006435e-04,8.922324e-04,8.878739e-04,8.749944e-04,8.667302e-04,8.620820e-04,8.491950e-04,8.412376e-04,8.363774e-04,8.236619e-04,8.160921e-04,8.110730e-04,7.986284e-04,7.914820e-04,7.863412e-04,7.742206e-04,7.675084e-04,7.622731e-04,7.505032e-04,7.442223e-04,7.389135e-04,7.275058e-04,7.216460e-04,7.162808e-04,7.052385e-04,6.997857e-04,6.943784e-04,6.836997e-04,6.786380e-04,6.732011e-04,6.628811e-04,6.581935e-04,6.527382e-04,6.427707e-04,6.384400e-04,6.329766e-04,6.233541e-04,6.193633e-04,6.139010e-04,6.046154e-04,6.009476e-04,5.954951e-04,5.865380e-04,5.831766e-04,5.777418e-04,5.691044e-04,5.660334e-04,5.606237e-04,5.522973e-04,5.495011e-04,5.441231e-04,5.360988e-04,5.335623e-04,5.282222e-04,5.204912e-04,5.181999e-04,5.129034e-04,5.054567e-04,5.033967e-04,4.981490e-04,4.909780e-04,4.891357e-04,4.839416e-04,4.770377e-04,4.754003e-04,4.702642e-04,4.636189e-04,4.621740e-04,4.570998e-04,4.507049e-04,4.494406e-04,4.444320e-04,4.382792e-04,4.371843e-04,4.322445e-04,4.263259e-04,4.253896e-04,4.205215e-04,4.148294e-04,4.140414e-04,4.092477e-04,4.037745e-04,4.031249e-04,3.984079e-04,3.931462e-04,3.926257e-04,3.879875e-04,3.829301e-04,3.825298e-04,3.779723e-04,3.731122e-04,3.728237e-04,3.683483e-04,3.636788e-04,3.634939e-04,3.591021e-04,3.546166e-04,3.545278e-04,3.502207e-04,3.459127e-04,3.376366e-04,3.296877e-04,3.220547e-04,3.147264e-04,3.076921e-04,3.009416e-04,2.944647e-04,2.882518e-04,2.822935e-04,2.765806e-04,2.711044e-04,2.658563e-04,2.608282e-04,2.560121e-04,2.514002e-04,2.469852e-04,2.427599e-04,2.387173e-04,2.348507e-04,2.311536e-04,2.276198e-04,2.242432e-04,2.210179e-04,2.179384e-04,2.149991e-04,2.121948e-04,2.095204e-04,2.069709e-04,2.045417e-04,2.022282e-04,2.000259e-04,1.979305e-04,1.959380e-04,1.940443e-04,1.922457e-04,1.905383e-04,1.889186e-04,1.873832e-04,1.859287e-04,1.845520e-04,1.832498e-04,1.820192e-04,1.808573e-04,1.797613e-04,1.787285e-04,1.777564e-04,1.768423e-04,1.759840e-04,1.751790e-04
0.000000e+00,1.203824e-09,8.183208e-08,8.730545e-08,1.325421e-06,9.575649e-06,1.029648e-05,5.130017e-05,1.702892e-04,1.822741e-04,4.991520e-04,1.059607e-03,1.124024e-03,2.188262e-03,3.626585e-03,3.818399e-03,6.126271e-03,8.790675e-03,9.202912e-03,1.311538e-02,1.718133e-02,1.790574e-02,2.359169e-02,2.905687e-02,3.016812e-02,3.760949e-02,4.432697e-02,4.587253e-02,5.489917e-02,6.262357e-02,6.461942e-02,7.495421e-02,8.338711e-02,8.581802e-02,9.712131e-02,1.059495e-01,1.087727e-01,1.206806e-01,1.296047e-01,1.327553e-01,1.449097e-01,1.536636e-01,1.570611e-01,1.691313e-01,1.774931e-01,1.810478e-01,1.927440e-01,2.005405e-01,2.041596e-01,2.152405e-01,2.223472e-01,2.259393e-01,2.362146e-01,2.425522e-01,2.460315e-01,2.553609e-01,2.608897e-01,2.641791e-01,2.724681e-01,2.771818e-01,2.802146e-01,2.874100e-01,2.913289e-01,2.940498e-01,3.001334e-01,3.032982e-01,3.056636e-01,3.106462e-01,3.131121e-01,3.150899e-01,3.190056e-01,3.208373e-01,3.224063e-01,3.253066e-01,3.265741e-01,3.277227e-01,3.296721e-01,3.304472e-01,3.311728e-01,3.322440e-01,3.325978e-01,3.329051e-01,3.331761e-01,3.331769e-01,3.330769e-01,3.326278e-01,3.323396e-01,3.318486e-01,3.307592e-01,3.302409e-01,3.293790e-01,3.277274e-01,3.270324e-01,3.258228e-01,3.236836e-01,3.228595e-01,3.213275e-01,3.187714e-01,3.178598e-01,3.160319e-01,3.131249e-01,3.121618e-01,3.100655e-01,3.068683e-01,3.058844e-01,3.035473e-01,3.001156e-01,2.991366e-01,2.965858e-01,2.929700e-01,2.920172e-01,2.892795e-01,2.855249e-01,2.846154e-01,2.817164e-01,2.778636e-01,2.770109e-01,2.739754e-01,2.700602e-01,2.692746e-01,2.661259e-01,2.621800e-01,2.614691e-01,2.582294e-01,2.542804e-01,2.536491e-01,2.503391e-01,2.464111e-01,2.458625e-01,2.425015e-01,2.386151e-01,2.381505e-01,2.347564e-01,2.309294e-01,2.305486e-01,2.271379e-01,2.233853e-01,2.230868e-01,2.196747e-01,2.160090e-01,2.157906e-01,2.123908e-01,2.088225e-01,2.086809e-01,2.053062e-01,2.018437e-01,2.017750e-01,1.984368e-01,1.950870e-01,1.886277e-01,1.824054e-01,1.764262e-01,1.706939e-01,1.652109e-01,1.599778e-01,1.549940e-01,1.502575e-01,1.457656e-01,1.415147e-01,1.375003e-01,1.337173e-01,1.301602e-01,1.268231e-01,1.236996e-01,1.207829e-01,1.180663e-01,1.155425e-01,1.132044e-01,1.110446e-01,1.090557e-01,1.072303e-01,1.055608e-01,1.040398e-01,1.026600e-01,1.014139e-01,1.002944e-01,9.929427e-02,9.840647e-02,9.762410e-02,9.694040e-02,9.634879e-02,9.584281e-02,9.541624e-02,9.506303e-02,9.477730e-02,9.455343e-02,9.438596e-02,9.426971e-02,9.419965e-02,9.417105e-02,9.417936e-02,9.422027e-02,9.428973e-02,9.438387e-02,9.449910e-02,9.463203e-02,9.477951e-02,9.493858e-02
0.000000e+00,2.696889e-10,1.720395e-08,1.833099e-08,2.621073e-07,1.807487e-06,1.940242e-06,9.318758e-06,3.015545e-05,3.223155e-05,8.622864e-05,1.786813e-04,1.891053e-04,3.564981e-04,5.712543e-04,5.990776e-04,9.215977e-04,1.270971e-03,1.323191e-03,1.798315e-03,2.258922e-03,2.337950e-03,2.930792e-03,3.460755e-03,3.564323e-03,4.225692e-03,4.779993e-03,4.902395e-03,5.582767e-03,6.122603e-03,6.256303e-03,6.913852e-03,7.410622e-03,7.547690e-03,8.151519e-03,8.587279e-03,8.720411e-03,9.250703e-03,9.616747e-03,9.739875e-03,1.018641e-02,1.048112e-02,1.058966e-02,1.094970e-02,1.117637e-02,1.126723e-02,1.154340e-02,1.170835e-02,1.177976e-02,1.197815e-02,1.208927e-02,1.214060e-02,1.226928e-02,1.233494e-02,1.236643e-02,1.243432e-02,1.246271e-02,1.247521e-02,1.249133e-02,1.249001e-02,1.248482e-02,1.245777e-02,1.243344e-02,1.241213e-02,1.234978e-02,1.230822e-02,1.227247e-02,1.218185e-02,1.212793e-02,1.207946e-02,1.196669e-02,1.190440e-02,1.184488e-02,1.171521e-02,1.164778e-02,1.157880e-02,1.143665e-02,1.136665e-02,1.128968e-02,1.113873e-02,1.106817e-02,1.098456e-02,1.082784e-02,1.075825e-02,1.066921e-02,1.050920e-02,1.044172e-02,1.034833e-02,1.018703e-02,1.012249e-02,1.002571e-02,9.864721e-03,9.803697e-03,9.704374e-03,9.544948e-03,9.487830e-03,9.386692e-03,9.229819e-03,9.176832e-03,9.074519e-03,8.920957e-03,8.872209e-03,8.769276e-03,8.619598e-03,8.575102e-03,8.472029e-03,8.326658e-03,8.286358e-03,8.183558e-03,8.042792e-03,8.006582e-03,7.904410e-03,7.768452e-03,7.736186e-03,7.634948e-03,7.503920e-03,7.475427e-03,7.375382e-03,7.249344e-03,7.224436e-03,7.125806e-03,7.004767e-03,6.983245e-03,6.886218e-03,6.770148e-03,6.751806e-03,6.656542e-03,6.545380e-03,6.530011e-03,6.436642e-03,6.330304e-03,6.317703e-03,6.226339e-03,6.124721e-03,6.114687e-03,6.025420e-03,5.928405e-03,5.920741e-03,5.833644e-03,5.741104e-03,5.735622e-03,5.650753e-03,5.562555e-03,5.559071e-03,5.476475e-03,5.392480e-03,5.390821e-03,5.310532e-03,5.230596e-03,5.078119e-03,4.933111e-03,4.795296e-03,4.664399e-03,4.540149e-03,4.422282e-03,4.310539e-03,4.204666e-03,4.104417e-03,4.009554e-03,3.919844e-03,3.835063e-03,3.754993e-03,3.679426e-03,3.608159e-03,3.540996e-03,3.477750e-03,3.418240e-03,3.362292e-03,3.309738e-03,3.260417e-03,3.214175e-03,3.170863e-03,3.130339e-03,3.092465e-03,3.057111e-03,3.024150e-03,2.993462e-03,2.964930e-03,2.938445e-03,2.913899e-03,2.891191e-03,2.870223e-03,2.850901e-03,2.833138e-03,2.816846e-03,2.801944e-03,2.788354e-03,2.776002e-03,2.764815e-03,2.754726e-03,2.745669e-03,2.737582e-03,2.730405e-03,2.724083e-03,2.718559e-03,2.713784e-03,2.709709e-03,2.706285e-03
0.000000e+00,1.094001e-09,7.008725e-08,7.465667e-08,1.038895e-06,6.943888e-06,7.445458e-06,3.501709e-05,1.126902e-04,1.204617e-04,3.251894e-04,6.860047e-04,7.273881e-04,1.408080e-03,2.318517e-03,2.439111e-03,3.875734e-03,5.504017e-03,5.753284e-03,8.086749e-03,1.045563e-02,1.087220e-02,1.408932e-02,1.710093e-02,1.770437e-02,2.167336e-02,2.515629e-02,2.594508e-02,3.046380e-02,3.421779e-02,3.517171e-02,4.001093e-02,4.384035e-02,4.492513e-02,4.986079e-02,5.359551e-02,5.476821e-02,5.960207e-02,6.310779e-02,6.432192e-02,6.889232e-02,7.207322e-02,7.328291e-02,7.746831e-02,8.026478e-02,8.142790e-02,8.514556e-02,8.752910e-02,8.860931e-02,9.181098e-02,9.377809e-02,9.474584e-02,9.741219e-02,9.897809e-02,9.981101e-02,1.019456e-01,1.031386e-01,1.038212e-01,1.054447e-01,1.063012e-01,1.068243e-01,1.079695e-01,1.085302e-01,1.088903e-01,1.095975e-01,1.099044e-01,1.101023e-01,1.104163e-01,1.105105e-01,1.105509e-01,1.105179e-01,1.104382e-01,1.103286e-01,1.099942e-01,1.097761e-01,1.095259e-01,1.089341e-01,1.086093e-01,1.082294e-01,1.074214e-01,1.070178e-01,1.065198e-01,1.055334e-01,1.050748e-01,1.044710e-01,1.033404e-01,1.028472e-01,1.021495e-01,1.009054e-01,1.003944e-01,9.961487e-02,9.828420e-02,9.776927e-02,9.691933e-02,9.552576e-02,9.501805e-02,9.410862e-02,9.267266e-02,9.218095e-02,9.122231e-02,8.976163e-02,8.929266e-02,8.829439e-02,8.682406e-02,8.638285e-02,8.535383e-02,8.388661e-02,8.347670e-02,8.242510e-02,8.097172e-02,8.059546e-02,7.952873e-02,7.809813e-02,7.775684e-02,7.668178e-02,7.528133e-02,7.497552e-02,7.389828e-02,7.253396e-02,7.226345e-02,7.118958e-02,6.986621e-02,6.963031e-02,6.856478e-02,6.728614e-02,6.708372e-02,6.603100e-02,6.479999e-02,6.462961e-02,6.359365e-02,6.241242e-02,6.227238e-02,6.125669e-02,6.012675e-02,6.001518e-02,5.902284e-02,5.794513e-02,5.786005e-02,5.689374e-02,5.586874e-02,5.580808e-02,5.487015e-02,5.389794e-02,5.385960e-02,5.295204e-02,5.203236e-02,5.201423e-02,5.113875e-02,5.027105e-02,4.862862e-02,4.708514e-02,4.563844e-02,4.428609e-02,4.302542e-02,4.185358e-02,4.076758e-02,3.976428e-02,3.884048e-02,3.799291e-02,3.721824e-02,3.651314e-02,3.587425e-02,3.529823e-02,3.478173e-02,3.432146e-02,3.391415e-02,3.355658e-02,3.324559e-02,3.297809e-02,3.275105e-02,3.256154e-02,3.240669e-02,3.228374e-02,3.218999e-02,3.212289e-02,3.207994e-02,3.205878e-02,3.205714e-02,3.207287e-02,3.210393e-02,3.214837e-02,3.220438e-02,3.227025e-02,3.234438e-02,3.242528e-02,3.251158e-02,3.260198e-02,3.269534e-02,3.279057e-02,3.288671e-02,3.298288e-02,3.307829e-02,3.317225e-02,3.326414e-02,3.335342e-02,3.343963e-02,3.352238e-02,3.360134e-02
0.000000e+00,4.596611e-10,3.912395e-08,4.195606e-08,7.723470e-07,5.811520e-06,6.243302e-06,2.900689e-05,8.575980e-05,9.105316e-05,2.171891e-04,4.074520e-04,4.277482e-04,7.349716e-04,1.097244e-03,1.142440e-03,1.646167e-03,2.161413e-03,2.236379e-03,2.899413e-03,3.515818e-03,3.619433e-03,4.379851e-03,5.037889e-03,5.164394e-03,5.957869e-03,6.605570e-03,6.746650e-03,7.518945e-03,8.118219e-03,8.264893e-03,8.976543e-03,9.503809e-03,9.647752e-03,1.027402e-02,1.071801e-02,1.085231e-02,1.138085e-02,1.173949e-02,1.185894e-02,1.228675e-02,1.256412e-02,1.266518e-02,1.299567e-02,1.319948e-02,1.328009e-02,1.352064e-02,1.366037e-02,1.371970e-02,1.387981e-02,1.396539e-02,1.400354e-02,1.409350e-02,1.413455e-02,1.415227e-02,1.418235e-02,1.418765e-02,1.418614e-02,1.416598e-02,1.414330e-02,1.412406e-02,1.406245e-02,1.401847e-02,1.398311e-02,1.388785e-02,1.382820e-02,1.377838e-02,1.365628e-02,1.358560e-02,1.352298e-02,1.337985e-02,1.330195e-02,1.322811e-02,1.306891e-02,1.298684e-02,1.290328e-02,1.273217e-02,1.264835e-02,1.255646e-02,1.237693e-02,1.229327e-02,1.219431e-02,1.200926e-02,1.192722e-02,1.182236e-02,1.163417e-02,1.155486e-02,1.144516e-02,1.125578e-02,1.118002e-02,1.106644e-02,1.087748e-02,1.080584e-02,1.068922e-02,1.050197e-02,1.043486e-02,1.031598e-02,1.013148e-02,1.006912e-02,9.948670e-03,9.767740e-03,9.710266e-03,9.588848e-03,9.412138e-03,9.359569e-03,9.237732e-03,9.065739e-03,9.018027e-03,8.896253e-03,8.729353e-03,8.686391e-03,8.565107e-03,8.403571e-03,8.365211e-03,8.244793e-03,8.088808e-03,8.054870e-03,7.935647e-03,7.785330e-03,7.755609e-03,7.637871e-03,7.493279e-03,7.467558e-03,7.351557e-03,7.212701e-03,7.190749e-03,7.076704e-03,6.943554e-03,6.925140e-03,6.813238e-03,6.685735e-03,6.670623e-03,6.561026e-03,6.439085e-03,6.427042e-03,6.319886e-03,6.203401e-03,6.194198e-03,6.089599e-03,5.978448e-03,5.971862e-03,5.869913e-03,5.763962e-03,5.759777e-03,5.660556e-03,5.559661e-03,5.557669e-03,5.461239e-03,5.365250e-03,5.182224e-03,5.008288e-03,4.843135e-03,4.686457e-03,4.537951e-03,4.397312e-03,4.264242e-03,4.138446e-03,4.019637e-03,3.907534e-03,3.801862e-03,3.702357e-03,3.608758e-03,3.520815e-03,3.438284e-03,3.360929e-03,3.288523e-03,3.220844e-03,3.157680e-03,3.098827e-03,3.044085e-03,2.993264e-03,2.946179e-03,2.902653e-03,2.862515e-03,2.825599e-03,2.791747e-03,2.760805e-03,2.732626e-03,2.707068e-03,2.683994e-03,2.663272e-03,2.644776e-03,2.628384e-03,2.613977e-03,2.601444e-03,2.590674e-03,2.581564e-03,2.574013e-03,2.567923e-03,2.563203e-03,2.559763e-03,2.557517e-03,2.556383e-03,2.556282e-03,2.557139e-03,2.558880e-03,2.561437e-03,2.564743e-03
0.000000e+00,4.044423e-10,2.944045e-08,3.147501e-08,5.172806e-07,3.723941e-06,3.997008e-06,1.840619e-05,5.448642e-05,5.785195e-05,1.376342e-04,2.559541e-04,2.684269e-04,4.539596e-04,6.656674e-04,6.915973e-04,9.741468e-04,1.252202e-03,1.291824e-03,1.633901e-03,1.939579e-03,1.989886e-03,2.350281e-03,2.650435e-03,2.706965e-03,3.053344e-03,3.326065e-03,3.384320e-03,3.696168e-03,3.930139e-03,3.986358e-03,4.253359e-03,4.445036e-03,4.496453e-03,4.715559e-03,4.866269e-03,4.911078e-03,5.083771e-03,5.197453e-03,5.234645e-03,5.364874e-03,5.446566e-03,5.475728e-03,5.568524e-03,5.623448e-03,5.644588e-03,5.705225e-03,5.738292e-03,5.751698e-03,5.785219e-03,5.800808e-03,5.806936e-03,5.817931e-03,5.819811e-03,5.819216e-03,5.811735e-03,5.803081e-03,5.796363e-03,5.773911e-03,5.757354e-03,5.745125e-03,5.710691e-03,5.688383e-03,5.671241e-03,5.627351e-03,5.601032e-03,5.579549e-03,5.528317e-03,5.499383e-03,5.474097e-03,5.417288e-03,5.386848e-03,5.358257e-03,5.297336e-03,5.266262e-03,5.234826e-03,5.171003e-03,5.139975e-03,5.106114e-03,5.040385e-03,5.009924e-03,4.974019e-03,4.907202e-03,4.877702e-03,4.840099e-03,4.772861e-03,4.744614e-03,4.705623e-03,4.638507e-03,4.611720e-03,4.571622e-03,4.505066e-03,4.479880e-03,4.438927e-03,4.373282e-03,4.349785e-03,4.308201e-03,4.243746e-03,4.221983e-03,4.179969e-03,4.116920e-03,4.096904e-03,4.054639e-03,3.993162e-03,3.974881e-03,3.932521e-03,3.872742e-03,3.856161e-03,3.813847e-03,3.755856e-03,3.740928e-03,3.698784e-03,3.642642e-03,3.629308e-03,3.587441e-03,3.533188e-03,3.521380e-03,3.479887e-03,3.427540e-03,3.417185e-03,3.376149e-03,3.325712e-03,3.316734e-03,3.276227e-03,3.227690e-03,3.220012e-03,3.180096e-03,3.133439e-03,3.126981e-03,3.087711e-03,3.042906e-03,3.037590e-03,2.999013e-03,2.956023e-03,2.951774e-03,2.913928e-03,2.872715e-03,2.869455e-03,2.832373e-03,2.792893e-03,2.790551e-03,2.754261e-03,2.716465e-03,2.714971e-03,2.679494e-03,2.643335e-03,2.642621e-03,2.607976e-03,2.573403e-03,2.507219e-03,2.443970e-03,2.383554e-03,2.325872e-03,2.270826e-03,2.218319e-03,2.168255e-03,2.120541e-03,2.075085e-03,2.031800e-03,1.990597e-03,1.951395e-03,1.914110e-03,1.878665e-03,1.844982e-03,1.812989e-03,1.782614e-03,1.753789e-03,1.726448e-03,1.700526e-03,1.675962e-03,1.652697e-03,1.630675e-03,1.609840e-03,1.590141e-03,1.571525e-03,1.553946e-03,1.537355e-03,1.521709e-03,1.506963e-03,1.493078e-03,1.480013e-03,1.467729e-03,1.456191e-03,1.445364e-03,1.435213e-03,1.425707e-03,1.416814e-03,1.408505e-03,1.400751e-03,1.393526e-03,1.386803e-03,1.380557e-03,1.374763e-03,1.369400e-03,1.364445e-03,1.359878e-03,1.355677e-03,1.351824e-03
0.000000e+00,5.477525e-09,1.430850e-07,1.507227e-07,1.279679e-06,5.090139e-06,5.329674e-06,1.306936e-05,2.148641e-05,2.200742e-05,3.006095e-05,3.634049e-05,3.683713e-05,4.243551e-05,4.660244e-05,4.701974e-05,5.074263e-05,5.341170e-05,5.373634e-05,5.611352e-05,5.773826e-05,5.797000e-05,5.938731e-05,6.028950e-05,6.043479e-05,6.117140e-05,6.157883e-05,6.164723e-05,6.190475e-05,6.197795e-05,6.197994e-05,6.190326e-05,6.175473e-05,6.170046e-05,6.139326e-05,6.110136e-05,6.100001e-05,6.053617e-05,6.015523e-05,6.001478e-05,5.944680e-05,5.901427e-05,5.884149e-05,5.820660e-05,5.774813e-05,5.754868e-05,5.687320e-05,5.640622e-05,5.618477e-05,5.548724e-05,5.502349e-05,5.478386e-05,5.407733e-05,5.362455e-05,5.336990e-05,5.266347e-05,5.222668e-05,5.195961e-05,5.125962e-05,5.084194e-05,5.056457e-05,4.987535e-05,4.947856e-05,4.919268e-05,4.851716e-05,4.814218e-05,4.784927e-05,4.718937e-05,4.683646e-05,4.653777e-05,4.589471e-05,4.556374e-05,4.526034e-05,4.463482e-05,4.432539e-05,4.401820e-05,4.341055e-05,4.312207e-05,4.281189e-05,4.222221e-05,4.195397e-05,4.164149e-05,4.106971e-05,4.082093e-05,4.050679e-05,3.995269e-05,3.972258e-05,3.940733e-05,3.887062e-05,3.865835e-05,3.834249e-05,3.782284e-05,3.762758e-05,3.731157e-05,3.680859e-05,3.662953e-05,3.631379e-05,3.582707e-05,3.566341e-05,3.534832e-05,3.487744e-05,3.472840e-05,3.441431e-05,3.395883e-05,3.382366e-05,3.351089e-05,3.307039e-05,3.294836e-05,3.263721e-05,3.221124e-05,3.210166e-05,3.179239e-05,3.138054e-05,3.128273e-05,3.097559e-05,3.057744e-05,3.049075e-05,3.018599e-05,2.980112e-05,2.972493e-05,2.942274e-05,2.905075e-05,2.898446e-05,2.868505e-05,2.832554e-05,2.826858e-05,2.797212e-05,2.762471e-05,2.757655e-05,2.728321e-05,2.694751e-05,2.690762e-05,2.661754e-05,2.629320e-05,2.626107e-05,2.597440e-05,2.566106e-05,2.563622e-05,2.535308e-05,2.505038e-05,2.503238e-05,2.475288e-05,2.446049e-05,2.444890e-05,2.417314e-05,2.389073e-05,2.388513e-05,2.361320e-05,2.334046e-05,2.281427e-05,2.230598e-05,2.181502e-05,2.134083e-05,2.088289e-05,2.044066e-05,2.001365e-05,1.960136e-05,1.920332e-05,1.881907e-05,1.844816e-05,1.809017e-05,1.774466e-05,1.741124e-05,1.708951e-05,1.677910e-05,1.647962e-05,1.619073e-05,1.591207e-05,1.564332e-05,1.538414e-05,1.513423e-05,1.489327e-05,1.466098e-05,1.443706e-05,1.422124e-05,1.401325e-05,1.381284e-05,1.361975e-05,1.343374e-05,1.325457e-05,1.308202e-05,1.291586e-05,1.275589e-05,1.260189e-05,1.245366e-05,1.231102e-05,1.217378e-05,1.204174e-05,1.191475e-05,1.179263e-05,1.167520e-05,1.156233e-05,1.145384e-05,1.134960e-05,1.124946e-05,1.115328e-05,1.106092e-05,1.097226e-05
0.000000e+00,3.386832e-09,1.819117e-07,1.933626e-07,2.500616e-06,1.532323e-05,1.634736e-05,6.457834e-05,1.629723e-04,1.711993e-04,3.395666e-04,5.351384e-04,5.533993e-04,7.911808e-04,1.011054e-03,1.035397e-03,1.274701e-03,1.476139e-03,1.502798e-03,1.716674e-03,1.888346e-03,1.915205e-03,2.098259e-03,2.240322e-03,2.266200e-03,2.419621e-03,2.535077e-03,2.559216e-03,2.685713e-03,2.777972e-03,2.799843e-03,2.902328e-03,2.974634e-03,2.993868e-03,3.075139e-03,3.130438e-03,3.146791e-03,3.209446e-03,3.250366e-03,3.263693e-03,3.310094e-03,3.338942e-03,3.349177e-03,3.381444e-03,3.400231e-03,3.407370e-03,3.427405e-03,3.437883e-03,3.441977e-03,3.451491e-03,3.455186e-03,3.456330e-03,3.456851e-03,3.455074e-03,3.453389e-03,3.446259e-03,3.440127e-03,3.435757e-03,3.422158e-03,3.412621e-03,3.405722e-03,3.386693e-03,3.374558e-03,3.365299e-03,3.341753e-03,3.327703e-03,3.316257e-03,3.288998e-03,3.273608e-03,3.260153e-03,3.229884e-03,3.213633e-03,3.198346e-03,3.165683e-03,3.148971e-03,3.132028e-03,3.097507e-03,3.080664e-03,3.062236e-03,3.026325e-03,3.009618e-03,2.989873e-03,2.952976e-03,2.936623e-03,2.915721e-03,2.878189e-03,2.862361e-03,2.840455e-03,2.802589e-03,2.787421e-03,2.764657e-03,2.726717e-03,2.712310e-03,2.688825e-03,2.651032e-03,2.637460e-03,2.613384e-03,2.575926e-03,2.563240e-03,2.538695e-03,2.501728e-03,2.489960e-03,2.465059e-03,2.428717e-03,2.417882e-03,2.392729e-03,2.357121e-03,2.347222e-03,2.321914e-03,2.287130e-03,2.278157e-03,2.252784e-03,2.218895e-03,2.210831e-03,2.185475e-03,2.152537e-03,2.145356e-03,2.120092e-03,2.088149e-03,2.081821e-03,2.056716e-03,2.025799e-03,2.020290e-03,1.995405e-03,1.965537e-03,1.960807e-03,1.936198e-03,1.907391e-03,1.903400e-03,1.879117e-03,1.851376e-03,1.848083e-03,1.824169e-03,1.797494e-03,1.794855e-03,1.771349e-03,1.745734e-03,1.743707e-03,1.720644e-03,1.696076e-03,1.694619e-03,1.672027e-03,1.648493e-03,1.647563e-03,1.625469e-03,1.602950e-03,1.602505e-03,1.580931e-03,1.559407e-03,1.518224e-03,1.478911e-03,1.441416e-03,1.405688e-03,1.371673e-03,1.339317e-03,1.308564e-03,1.279360e-03,1.251647e-03,1.225371e-03,1.200478e-03,1.176913e-03,1.154624e-03,1.133558e-03,1.113664e-03,1.094893e-03,1.077197e-03,1.060528e-03,1.044840e-03,1.030090e-03,1.016235e-03,1.003232e-03,9.910430e-04,9.796281e-04,9.689504e-04,9.589741e-04,9.496647e-04,9.409890e-04,9.329153e-04,9.254128e-04,9.184524e-04,9.120057e-04,9.060460e-04,9.005472e-04,8.954847e-04,8.908348e-04,8.865748e-04,8.826831e-04,8.791390e-04,8.759228e-04,8.730154e-04,8.703990e-04,8.680563e-04,8.659710e-04,8.641272e-04,8.625103e-04,8.611060e-04,8.599007e-04,8.588816e-04
0.000000e+00,4.218398e-10,3.017028e-08,3.223319e-08,5.214327e-07,3.878026e-06,4.171723e-06,2.063274e-05,6.639339e-05,7.088964e-05,1.854645e-04,3.766135e-04,3.979788e-04,7.392362e-04,1.176700e-03,1.233545e-03,1.897011e-03,2.627004e-03,2.737217e-03,3.753771e-03,4.763633e-03,4.939360e-03,6.281022e-03,7.516099e-03,7.761495e-03,9.360494e-03,1.074462e-02,1.105588e-02,1.282469e-02,1.427713e-02,1.464393e-02,1.649134e-02,1.793825e-02,1.834582e-02,2.018791e-02,2.156870e-02,2.199999e-02,2.376643e-02,2.503619e-02,2.547373e-02,2.711042e-02,2.823975e-02,2.866708e-02,3.013624e-02,3.110946e-02,3.151218e-02,3.279089e-02,3.360351e-02,3.396981e-02,3.504775e-02,3.570380e-02,3.602466e-02,3.690154e-02,3.741106e-02,3.768021e-02,3.836322e-02,3.874001e-02,3.895372e-02,3.945529e-02,3.971519e-02,3.987191e-02,4.020777e-02,4.036729e-02,4.046727e-02,4.065490e-02,4.073027e-02,4.077519e-02,4.083264e-02,4.083911e-02,4.083171e-02,4.077674e-02,4.072821e-02,4.067195e-02,4.052141e-02,4.043021e-02,4.032903e-02,4.009852e-02,3.997539e-02,3.983344e-02,3.953712e-02,3.939120e-02,3.921273e-02,3.886321e-02,3.870218e-02,3.849133e-02,3.809969e-02,3.792989e-02,3.769068e-02,3.726654e-02,3.709312e-02,3.682934e-02,3.638098e-02,3.620805e-02,3.592323e-02,3.545771e-02,3.528851e-02,3.498591e-02,3.450921e-02,3.434624e-02,3.402885e-02,3.354598e-02,3.339111e-02,3.306165e-02,3.257681e-02,3.243139e-02,3.209233e-02,3.160899e-02,3.147396e-02,3.112752e-02,3.064856e-02,3.052451e-02,3.017269e-02,2.970045e-02,2.958771e-02,2.923232e-02,2.876871e-02,2.866737e-02,2.831002e-02,2.785659e-02,2.776656e-02,2.740872e-02,2.696668e-02,2.688776e-02,2.653072e-02,2.610105e-02,2.603290e-02,2.567784e-02,2.526126e-02,2.520348e-02,2.485145e-02,2.444853e-02,2.440065e-02,2.405259e-02,2.366371e-02,2.362521e-02,2.328196e-02,2.290739e-02,2.287774e-02,2.254004e-02,2.217993e-02,2.215856e-02,2.182708e-02,2.148150e-02,2.146782e-02,2.114316e-02,2.081207e-02,2.080553e-02,2.048820e-02,2.017152e-02,1.956555e-02,1.898726e-02,1.843623e-02,1.791195e-02,1.741387e-02,1.694138e-02,1.649385e-02,1.607060e-02,1.567094e-02,1.529414e-02,1.493947e-02,1.460618e-02,1.429352e-02,1.400073e-02,1.372705e-02,1.347171e-02,1.323396e-02,1.301303e-02,1.280819e-02,1.261868e-02,1.244378e-02,1.228276e-02,1.213491e-02,1.199954e-02,1.187596e-02,1.176349e-02,1.166150e-02,1.156934e-02,1.148639e-02,1.141205e-02,1.134575e-02,1.128690e-02,1.123498e-02,1.118946e-02,1.114984e-02,1.111562e-02,1.108636e-02,1.106161e-02,1.104095e-02,1.102398e-02,1.101033e-02,1.099963e-02,1.099155e-02,1.098578e-02,1.098201e-02,1.097996e-02,1.097939e-02,1.098004e-02,1.098170e-02
0.000000e+00,8.561394e-09,1.467411e-07,1.538192e-07,1.119155e-06,4.173394e-06,4.359902e-06,1.011583e-05,1.617375e-05,1.655484e-05,2.266491e-05,2.782818e-05,2.825589e-05,3.332305e-05,3.745935e-05,3.789526e-05,4.200634e-05,4.526901e-05,4.568944e-05,4.897598e-05,5.150792e-05,5.189565e-05,5.447645e-05,5.640180e-05,5.674478e-05,5.872551e-05,6.015149e-05,6.044194e-05,6.191591e-05,6.293422e-05,6.316775e-05,6.421641e-05,6.490467e-05,6.507946e-05,6.577318e-05,6.619646e-05,6.631262e-05,6.671169e-05,6.692421e-05,6.698321e-05,6.713901e-05,6.718569e-05,6.719000e-05,6.714618e-05,6.706407e-05,6.701678e-05,6.681028e-05,6.662982e-05,6.653447e-05,6.619650e-05,6.594261e-05,6.580294e-05,6.535982e-05,6.505278e-05,6.487266e-05,6.434651e-05,6.400278e-05,6.378602e-05,6.319543e-05,6.282826e-05,6.257863e-05,6.193916e-05,6.155917e-05,6.128027e-05,6.060491e-05,6.022054e-05,5.991580e-05,5.921539e-05,5.883327e-05,5.850592e-05,5.778945e-05,5.741474e-05,5.706782e-05,5.634272e-05,5.597935e-05,5.561567e-05,5.488806e-05,5.453897e-05,5.416113e-05,5.343602e-05,5.310336e-05,5.271373e-05,5.199519e-05,5.168044e-05,5.128122e-05,5.057253e-05,5.027663e-05,4.986980e-05,4.917360e-05,4.889706e-05,4.848444e-05,4.780278e-05,4.754580e-05,4.712902e-05,4.646350e-05,4.622599e-05,4.580652e-05,4.515835e-05,4.494002e-05,4.451920e-05,4.388925e-05,4.368964e-05,4.326866e-05,4.265755e-05,4.247608e-05,4.205602e-05,4.146413e-05,4.130013e-05,4.088193e-05,4.030946e-05,4.016221e-05,3.974672e-05,3.919371e-05,3.906243e-05,3.865041e-05,3.811678e-05,3.800067e-05,3.759278e-05,3.707834e-05,3.697660e-05,3.657341e-05,3.607791e-05,3.598971e-05,3.559175e-05,3.511485e-05,3.503940e-05,3.464711e-05,3.418842e-05,3.412492e-05,3.373869e-05,3.329780e-05,3.324548e-05,3.286564e-05,3.244210e-05,3.240021e-05,3.202705e-05,3.162037e-05,3.158820e-05,3.122195e-05,3.083165e-05,3.080849e-05,3.044936e-05,3.007495e-05,3.006013e-05,2.970829e-05,2.934925e-05,2.934215e-05,2.899772e-05,2.865356e-05,2.799338e-05,2.736066e-05,2.675443e-05,2.617376e-05,2.561772e-05,2.508541e-05,2.457596e-05,2.408850e-05,2.362221e-05,2.317626e-05,2.274989e-05,2.234233e-05,2.195284e-05,2.158072e-05,2.122527e-05,2.088584e-05,2.056179e-05,2.025249e-05,1.995735e-05,1.967581e-05,1.940730e-05,1.915130e-05,1.890730e-05,1.867480e-05,1.845333e-05,1.824243e-05,1.804167e-05,1.785062e-05,1.766888e-05,1.749605e-05,1.733177e-05,1.717568e-05,1.702742e-05,1.688666e-05,1.675309e-05,1.662640e-05,1.650629e-05,1.639249e-05,1.628470e-05,1.618269e-05,1.608619e-05,1.599496e-05,1.590878e-05,1.582741e-05,1.575065e-05,1.567830e-05,1.561014e-05,1.554601e-05,1.548570e-05
0.000000e+00,3.050209e-09,4.158130e-08,4.340552e-08,2.636361e-07,8.935776e-07,9.319647e-07,2.211655e-06,3.812487e-06,3.920323e-06,5.711228e-06,7.265982e-06,7.395199e-06,8.924829e-06,1.016786e-05,1.029843e-05,1.152499e-05,1.249146e-05,1.261550e-05,1.358092e-05,1.431906e-05,1.443162e-05,1.517731e-05,1.572917e-05,1.582703e-05,1.638915e-05,1.679018e-05,1.687142e-05,1.728096e-05,1.756065e-05,1.762432e-05,1.790745e-05,1.809008e-05,1.813592e-05,1.831479e-05,1.842047e-05,1.844876e-05,1.854208e-05,1.858728e-05,1.859867e-05,1.862214e-05,1.862039e-05,1.861578e-05,1.858259e-05,1.854488e-05,1.852533e-05,1.844652e-05,1.838180e-05,1.834846e-05,1.823327e-05,1.814879e-05,1.810286e-05,1.795900e-05,1.786061e-05,1.780328e-05,1.763717e-05,1.752955e-05,1.746200e-05,1.727899e-05,1.716588e-05,1.708924e-05,1.689376e-05,1.677812e-05,1.669346e-05,1.648918e-05,1.637332e-05,1.628166e-05,1.607160e-05,1.595734e-05,1.585962e-05,1.564627e-05,1.553497e-05,1.543207e-05,1.521747e-05,1.511015e-05,1.500288e-05,1.478867e-05,1.468609e-05,1.457519e-05,1.436272e-05,1.426540e-05,1.415153e-05,1.394187e-05,1.385016e-05,1.373394e-05,1.352794e-05,1.344203e-05,1.332402e-05,1.312234e-05,1.304232e-05,1.292302e-05,1.272617e-05,1.265204e-05,1.253190e-05,1.234027e-05,1.227194e-05,1.215136e-05,1.196522e-05,1.190258e-05,1.178191e-05,1.160147e-05,1.154434e-05,1.142391e-05,1.124927e-05,1.119745e-05,1.107756e-05,1.090879e-05,1.086206e-05,1.074295e-05,1.058005e-05,1.053818e-05,1.042008e-05,1.026303e-05,1.022577e-05,1.010888e-05,9.957614e-06,9.924721e-06,9.809214e-06,9.663653e-06,9.634879e-06,9.520906e-06,9.380944e-06,9.356044e-06,9.243737e-06,9.109253e-06,9.087986e-06,8.977460e-06,8.848322e-06,8.830453e-06,8.721805e-06,8.597873e-06,8.583173e-06,8.476488e-06,8.357614e-06,8.345863e-06,8.241212e-06,8.127244e-06,8.118231e-06,8.015672e-06,7.906457e-06,7.899978e-06,7.799560e-06,7.694943e-06,7.690805e-06,7.592567e-06,7.492393e-06,7.490412e-06,7.394383e-06,7.298499e-06,7.114771e-06,6.938935e-06,6.770706e-06,6.609804e-06,6.455955e-06,6.308892e-06,6.168356e-06,6.034095e-06,5.905864e-06,5.783427e-06,5.666555e-06,5.555026e-06,5.448627e-06,5.347150e-06,5.250398e-06,5.158177e-06,5.070302e-06,4.986596e-06,4.906887e-06,4.831008e-06,4.758802e-06,4.690115e-06,4.624799e-06,4.562714e-06,4.503722e-06,4.447694e-06,4.394503e-06,4.344028e-06,4.296153e-06,4.250767e-06,4.207762e-06,4.167036e-06,4.128489e-06,4.092026e-06,4.057557e-06,4.024993e-06,3.994251e-06,3.965250e-06,3.937912e-06,3.912164e-06,3.887933e-06,3.865152e-06,3.843755e-06,3.823678e-06,3.804862e-06,3.787248e-06,3.770781e-06,3.755408e-06,3.741078e-06
0.000000e+00,5.509663e-10,3.527219e-08,3.760364e-08,5.451689e-07,3.605812e-06,3.859001e-06,1.671392e-05,4.723624e-05,5.001130e-05,1.133560e-04,2.009271e-04,2.098032e-04,3.352961e-04,4.659394e-04,4.811468e-04,6.370024e-04,7.746242e-04,7.930818e-04,9.414345e-04,1.058464e-03,1.076404e-03,1.194565e-03,1.279663e-03,1.294383e-03,1.375773e-03,1.429385e-03,1.439656e-03,1.487578e-03,1.515675e-03,1.521409e-03,1.543125e-03,1.552894e-03,1.554648e-03,1.557763e-03,1.555495e-03,1.554063e-03,1.544930e-03,1.535372e-03,1.531538e-03,1.514862e-03,1.501278e-03,1.495703e-03,1.474706e-03,1.459197e-03,1.452389e-03,1.429159e-03,1.413008e-03,1.405337e-03,1.381170e-03,1.365126e-03,1.356850e-03,1.332524e-03,1.317004e-03,1.308302e-03,1.284268e-03,1.269490e-03,1.260486e-03,1.237001e-03,1.223067e-03,1.213847e-03,1.191051e-03,1.178000e-03,1.168630e-03,1.146597e-03,1.134431e-03,1.124959e-03,1.103723e-03,1.092423e-03,1.082890e-03,1.062461e-03,1.051998e-03,1.042436e-03,1.022814e-03,1.013154e-03,1.003592e-03,9.847676e-04,9.758716e-04,9.663360e-04,9.482935e-04,9.401235e-04,9.306357e-04,9.133578e-04,9.058746e-04,8.964548e-04,8.799214e-04,8.730863e-04,8.637522e-04,8.479417e-04,8.417167e-04,8.324843e-04,8.173743e-04,8.117223e-04,8.026058e-04,7.881732e-04,7.830585e-04,7.740705e-04,7.602919e-04,7.556800e-04,7.468315e-04,7.336836e-04,7.295413e-04,7.208423e-04,7.083017e-04,7.045974e-04,6.960562e-04,6.841000e-04,6.808034e-04,6.724275e-04,6.610330e-04,6.581153e-04,6.499111e-04,6.390562e-04,6.364901e-04,6.284629e-04,6.181258e-04,6.158855e-04,6.080398e-04,5.981995e-04,5.962605e-04,5.885999e-04,5.792359e-04,5.775751e-04,5.701026e-04,5.611950e-04,5.597905e-04,5.525084e-04,5.440380e-04,5.428692e-04,5.357792e-04,5.277274e-04,5.267748e-04,5.198781e-04,5.122268e-04,5.114725e-04,5.047694e-04,4.975015e-04,4.969282e-04,4.904190e-04,4.835178e-04,4.831094e-04,4.767938e-04,4.702431e-04,4.699846e-04,4.638619e-04,4.576464e-04,4.575238e-04,4.515929e-04,4.456977e-04,4.344785e-04,4.238394e-04,4.137544e-04,4.041990e-04,3.951494e-04,3.865828e-04,3.784773e-04,3.708121e-04,3.635670e-04,3.567228e-04,3.502612e-04,3.441644e-04,3.384155e-04,3.329983e-04,3.278974e-04,3.230978e-04,3.185853e-04,3.143464e-04,3.103680e-04,3.066375e-04,3.031431e-04,2.998734e-04,2.968173e-04,2.939645e-04,2.913048e-04,2.888288e-04,2.865271e-04,2.843912e-04,2.824125e-04,2.805830e-04,2.788950e-04,2.773413e-04,2.759147e-04,2.746085e-04,2.734164e-04,2.723322e-04,2.713499e-04,2.704641e-04,2.696693e-04,2.689604e-04,2.683325e-04,2.677810e-04,2.673013e-04,2.668893e-04,2.665409e-04,2.662521e-04,2.660193e-04,2.658389e-04,2.657076e-04
0.000000e+00,6.546873e-10,1.344540e-08,1.409036e-08,8.763462e-08,2.517122e-07,2.601399e-07,4.813891e-07,6.748663e-07,6.862841e-07,8.596851e-07,9.929823e-07,1.003492e-06,1.121716e-06,1.209392e-06,1.218154e-06,1.296108e-06,1.351673e-06,1.358406e-06,1.407460e-06,1.440630e-06,1.445325e-06,1.473752e-06,1.491431e-06,1.494227e-06,1.508011e-06,1.515079e-06,1.516177e-06,1.519632e-06,1.519526e-06,1.519146e-06,1.515371e-06,1.510502e-06,1.508859e-06,1.500077e-06,1.492130e-06,1.489420e-06,1.477222e-06,1.467372e-06,1.463767e-06,1.449292e-06,1.438354e-06,1.434001e-06,1.418062e-06,1.406599e-06,1.401621e-06,1.384798e-06,1.373194e-06,1.367697e-06,1.350402e-06,1.338917e-06,1.332986e-06,1.315510e-06,1.304318e-06,1.298025e-06,1.280574e-06,1.269787e-06,1.263192e-06,1.245909e-06,1.235597e-06,1.228749e-06,1.211733e-06,1.201937e-06,1.194878e-06,1.178197e-06,1.168935e-06,1.161700e-06,1.145398e-06,1.136678e-06,1.129297e-06,1.113403e-06,1.105220e-06,1.097719e-06,1.082248e-06,1.074594e-06,1.066993e-06,1.051955e-06,1.044813e-06,1.037134e-06,1.022530e-06,1.015885e-06,1.008144e-06,9.939733e-07,9.878065e-07,9.800179e-07,9.662760e-07,9.605677e-07,9.527459e-07,9.394259e-07,9.341562e-07,9.263137e-07,9.134074e-07,9.085564e-07,9.007045e-07,8.882029e-07,8.837511e-07,8.759000e-07,8.637933e-07,8.597213e-07,8.518805e-07,8.401589e-07,8.364480e-07,8.286261e-07,8.172794e-07,8.139113e-07,8.061163e-07,7.951343e-07,7.920915e-07,7.843309e-07,7.737033e-07,7.709687e-07,7.632492e-07,7.529661e-07,7.505233e-07,7.428513e-07,7.329025e-07,7.307358e-07,7.231172e-07,7.134930e-07,7.115873e-07,7.040275e-07,6.947182e-07,6.930590e-07,6.855629e-07,6.765593e-07,6.751326e-07,6.677050e-07,6.589977e-07,6.577903e-07,6.504353e-07,6.420155e-07,6.410146e-07,6.337361e-07,6.255950e-07,6.247884e-07,6.175901e-07,6.097191e-07,6.090952e-07,6.019802e-07,5.943712e-07,5.939188e-07,5.868902e-07,5.795350e-07,5.792434e-07,5.723039e-07,5.651948e-07,5.650539e-07,5.582059e-07,5.513353e-07,5.380731e-07,5.252534e-07,5.128625e-07,5.008872e-07,4.893145e-07,4.781320e-07,4.673275e-07,4.568893e-07,4.468059e-07,4.370664e-07,4.276598e-07,4.185757e-07,4.098042e-07,4.013352e-07,3.931593e-07,3.852672e-07,3.776501e-07,3.702991e-07,3.632059e-07,3.563622e-07,3.497603e-07,3.433923e-07,3.372508e-07,3.313287e-07,3.256188e-07,3.201145e-07,3.148091e-07,3.096962e-07,3.047697e-07,3.000236e-07,2.954521e-07,2.910495e-07,2.868105e-07,2.827296e-07,2.788018e-07,2.750222e-07,2.713858e-07,2.678881e-07,2.645246e-07,2.612907e-07,2.581824e-07,2.551954e-07,2.523258e-07,2.495698e-07,2.469235e-07,2.443834e-07,2.419460e-07,2.396077e-07,2.373654e-07
0.000000e+00,1.139359e-08,2.153898e-07,2.255602e-07,1.547333e-06,5.685074e-06,5.946534e-06,1.507289e-05,2.745993e-05,2.833009e-05,4.332024e-05,5.695165e-05,5.810405e-05,7.194739e-05,8.347167e-05,8.469730e-05,9.636571e-05,1.057800e-04,1.070043e-04,1.166732e-04,1.242594e-04,1.254334e-04,1.333438e-04,1.393733e-04,1.404610e-04,1.468386e-04,1.515521e-04,1.525274e-04,1.575753e-04,1.611825e-04,1.620272e-04,1.659256e-04,1.686077e-04,1.693101e-04,1.722180e-04,1.741308e-04,1.746842e-04,1.767414e-04,1.780186e-04,1.784203e-04,1.797496e-04,1.805054e-04,1.807562e-04,1.814650e-04,1.817967e-04,1.818996e-04,1.820817e-04,1.820718e-04,1.820318e-04,1.817692e-04,1.814880e-04,1.813116e-04,1.806757e-04,1.801825e-04,1.798771e-04,1.789302e-04,1.782747e-04,1.778485e-04,1.766445e-04,1.758683e-04,1.753299e-04,1.739157e-04,1.730538e-04,1.724120e-04,1.708282e-04,1.699096e-04,1.691731e-04,1.674549e-04,1.665034e-04,1.656810e-04,1.638585e-04,1.628938e-04,1.619940e-04,1.600934e-04,1.591313e-04,1.581623e-04,1.562060e-04,1.552594e-04,1.542292e-04,1.522363e-04,1.513154e-04,1.502315e-04,1.482184e-04,1.473309e-04,1.462005e-04,1.441811e-04,1.433332e-04,1.421630e-04,1.401490e-04,1.393451e-04,1.381415e-04,1.361427e-04,1.353859e-04,1.341548e-04,1.321796e-04,1.314720e-04,1.302188e-04,1.282739e-04,1.276165e-04,1.263464e-04,1.244375e-04,1.238308e-04,1.225484e-04,1.206800e-04,1.201237e-04,1.188333e-04,1.170091e-04,1.165024e-04,1.152081e-04,1.134308e-04,1.129727e-04,1.116779e-04,1.099499e-04,1.095389e-04,1.082470e-04,1.065696e-04,1.062040e-04,1.049180e-04,1.032925e-04,1.029705e-04,1.016930e-04,1.001199e-04,9.983948e-05,9.857301e-05,9.705253e-05,9.681169e-05,9.555838e-05,9.409053e-05,9.388713e-05,9.264891e-05,9.123340e-05,9.106529e-05,8.984388e-05,8.848019e-05,8.834524e-05,8.714216e-05,8.582958e-05,8.572567e-05,8.454225e-05,8.327994e-05,8.320499e-05,8.204239e-05,8.082936e-05,8.078135e-05,7.964058e-05,7.847576e-05,7.845270e-05,7.733461e-05,7.621685e-05,7.407147e-05,7.201413e-05,7.004236e-05,6.815363e-05,6.634539e-05,6.461506e-05,6.296011e-05,6.137798e-05,5.986618e-05,5.842221e-05,5.704364e-05,5.572810e-05,5.447323e-05,5.327676e-05,5.213646e-05,5.105017e-05,5.001579e-05,4.903126e-05,4.809461e-05,4.720393e-05,4.635734e-05,4.555307e-05,4.478937e-05,4.406457e-05,4.337705e-05,4.272526e-05,4.210769e-05,4.152288e-05,4.096946e-05,4.044606e-05,3.995141e-05,3.948426e-05,3.904340e-05,3.862770e-05,3.823604e-05,3.786736e-05,3.752064e-05,3.719490e-05,3.688920e-05,3.660263e-05,3.633432e-05,3.608343e-05,3.584917e-05,3.563076e-05,3.542748e-05,3.523860e-05,3.506345e-05,3.490138e-05,3.475176e-05
0.000000e+00,6.077434e-10,3.525614e-08,3.752078e-08,5.058459e-07,3.184015e-06,3.401454e-06,1.413091e-05,3.843734e-05,4.059205e-05,8.795323e-05,1.490503e-04,1.550158e-04,2.357438e-04,3.138964e-04,3.226684e-04,4.092762e-04,4.815054e-04,4.909368e-04,5.648953e-04,6.213332e-04,6.298707e-04,6.855910e-04,7.254841e-04,7.324001e-04,7.709740e-04,7.970338e-04,8.021338e-04,8.267331e-04,8.422447e-04,8.455960e-04,8.594845e-04,8.673094e-04,8.690861e-04,8.750113e-04,8.773883e-04,8.777966e-04,8.779104e-04,8.765160e-04,8.757595e-04,8.716961e-04,8.677590e-04,8.660249e-04,8.590084e-04,8.534190e-04,8.508730e-04,8.418135e-04,8.352115e-04,8.319971e-04,8.215678e-04,8.144095e-04,8.106491e-04,7.993468e-04,7.919545e-04,7.877515e-04,7.759407e-04,7.685393e-04,7.639806e-04,7.519278e-04,7.446719e-04,7.398303e-04,7.277292e-04,7.207228e-04,7.156591e-04,7.036493e-04,6.969596e-04,6.917247e-04,6.799059e-04,6.735740e-04,6.682102e-04,6.566522e-04,6.507004e-04,6.452436e-04,6.339942e-04,6.284316e-04,6.229117e-04,6.120025e-04,6.068290e-04,6.012712e-04,5.907215e-04,5.859303e-04,5.803559e-04,5.701763e-04,5.657564e-04,5.601835e-04,5.503780e-04,5.463155e-04,5.407595e-04,5.313274e-04,5.276065e-04,5.220807e-04,5.130178e-04,5.096219e-04,5.041373e-04,4.954371e-04,4.923488e-04,4.869153e-04,4.785695e-04,4.757716e-04,4.703973e-04,4.623963e-04,4.598717e-04,4.545639e-04,4.468975e-04,4.446295e-04,4.393943e-04,4.320516e-04,4.300240e-04,4.248666e-04,4.178367e-04,4.160340e-04,4.109590e-04,4.042307e-04,4.026378e-04,3.976491e-04,3.912113e-04,3.898141e-04,3.849148e-04,3.787567e-04,3.775415e-04,3.727344e-04,3.668452e-04,3.657990e-04,3.610864e-04,3.554556e-04,3.545663e-04,3.499501e-04,3.445673e-04,3.438234e-04,3.393049e-04,3.341604e-04,3.335509e-04,3.291313e-04,3.242153e-04,3.237298e-04,3.194100e-04,3.147132e-04,3.143421e-04,3.101226e-04,3.056360e-04,3.053701e-04,3.012512e-04,2.969661e-04,2.967967e-04,2.927785e-04,2.886865e-04,2.886056e-04,2.846880e-04,2.807810e-04,2.733076e-04,2.661708e-04,2.593565e-04,2.528512e-04,2.466419e-04,2.407160e-04,2.350616e-04,2.296671e-04,2.245215e-04,2.196141e-04,2.149349e-04,2.104740e-04,2.062220e-04,2.021700e-04,1.983093e-04,1.946317e-04,1.911294e-04,1.877946e-04,1.846201e-04,1.815991e-04,1.787247e-04,1.759905e-04,1.733906e-04,1.709189e-04,1.685699e-04,1.663382e-04,1.642185e-04,1.622061e-04,1.602960e-04,1.584839e-04,1.567653e-04,1.551361e-04,1.535923e-04,1.521302e-04,1.507459e-04,1.494361e-04,1.481974e-04,1.470267e-04,1.459207e-04,1.448766e-04,1.438916e-04,1.429630e-04,1.420882e-04,1.412648e-04,1.404903e-04,1.397626e-04,1.390794e-04,1.384387e-04,1.378384e-04
0.000000e+00,1.099469e-08,3.549785e-07,3.740371e-07,3.195562e-06,1.346685e-05,1.415677e-05,4.020275e-05,8.031473e-05,8.331182e-05,1.380876e-04,1.916744e-04,1.963037e-04,2.525186e-04,2.997112e-04,3.047367e-04,3.525886e-04,3.911786e-04,3.961946e-04,4.357908e-04,4.668315e-04,4.716328e-04,5.039720e-04,5.286064e-04,5.330491e-04,5.590928e-04,5.783371e-04,5.823191e-04,6.029313e-04,6.176672e-04,6.211197e-04,6.370634e-04,6.480489e-04,6.509292e-04,6.628734e-04,6.707559e-04,6.730418e-04,6.815703e-04,6.869007e-04,6.885860e-04,6.942070e-04,6.974528e-04,6.985436e-04,7.016985e-04,7.032552e-04,7.037672e-04,7.048387e-04,7.050402e-04,7.049959e-04,7.043158e-04,7.034433e-04,7.028701e-04,7.007254e-04,6.990148e-04,6.979437e-04,6.945825e-04,6.922312e-04,6.906954e-04,6.863319e-04,6.835044e-04,6.815381e-04,6.763569e-04,6.731900e-04,6.708279e-04,6.649878e-04,6.615944e-04,6.588709e-04,6.525086e-04,6.489814e-04,6.459303e-04,6.391630e-04,6.355777e-04,6.322318e-04,6.251597e-04,6.215776e-04,6.179682e-04,6.106771e-04,6.071473e-04,6.033045e-04,5.958673e-04,5.924287e-04,5.883808e-04,5.808595e-04,5.775424e-04,5.733162e-04,5.657632e-04,5.625906e-04,5.582113e-04,5.506707e-04,5.476598e-04,5.431507e-04,5.356597e-04,5.328223e-04,5.282053e-04,5.207947e-04,5.181388e-04,5.134342e-04,5.061295e-04,5.036596e-04,4.988859e-04,4.917082e-04,4.894259e-04,4.846005e-04,4.775666e-04,4.754714e-04,4.706100e-04,4.637337e-04,4.618230e-04,4.569402e-04,4.502320e-04,4.485021e-04,4.436111e-04,4.370793e-04,4.355251e-04,4.306380e-04,4.242885e-04,4.229040e-04,4.180319e-04,4.118689e-04,4.106476e-04,4.058003e-04,3.998266e-04,3.987614e-04,3.939480e-04,3.881648e-04,3.872484e-04,3.824770e-04,3.768845e-04,3.761092e-04,3.713872e-04,3.659847e-04,3.653428e-04,3.606767e-04,3.554627e-04,3.549465e-04,3.503422e-04,3.453146e-04,3.449163e-04,3.403791e-04,3.355351e-04,3.352473e-04,3.307817e-04,3.261182e-04,3.259335e-04,3.215436e-04,3.170570e-04,3.169682e-04,3.126576e-04,3.083443e-04,3.000540e-04,2.920894e-04,2.844423e-04,2.771041e-04,2.700663e-04,2.633203e-04,2.568574e-04,2.506691e-04,2.447469e-04,2.390823e-04,2.336671e-04,2.284930e-04,2.235521e-04,2.188364e-04,2.143383e-04,2.100502e-04,2.059648e-04,2.020748e-04,1.983734e-04,1.948537e-04,1.915091e-04,1.883333e-04,1.853199e-04,1.824629e-04,1.797566e-04,1.771950e-04,1.747729e-04,1.724847e-04,1.703253e-04,1.682898e-04,1.663731e-04,1.645707e-04,1.628779e-04,1.612903e-04,1.598037e-04,1.584139e-04,1.571169e-04,1.559089e-04,1.547861e-04,1.537448e-04,1.527816e-04,1.518930e-04,1.510759e-04,1.503269e-04,1.496431e-04,1.490215e-04,1.484592e-04,1.479534e-04,1.475015e-04
0.000000e+00,1.650549e-09,2.599166e-08,2.721484e-08,1.859687e-07,6.578444e-07,6.860573e-07,1.550498e-06,2.476056e-06,2.535245e-06,3.501679e-06,4.345872e-06,4.417025e-06,5.275611e-06,6.000103e-06,6.077838e-06,6.825557e-06,7.440186e-06,7.520942e-06,8.166213e-06,8.682745e-06,8.763573e-06,9.315190e-06,9.744767e-06,9.823206e-06,1.028972e-05,1.064272e-05,1.071677e-05,1.110639e-05,1.139244e-05,1.146051e-05,1.178105e-05,1.200892e-05,1.206982e-05,1.232859e-05,1.250625e-05,1.255908e-05,1.276289e-05,1.289745e-05,1.294158e-05,1.309661e-05,1.319437e-05,1.322938e-05,1.334125e-05,1.340781e-05,1.343349e-05,1.350735e-05,1.354766e-05,1.356398e-05,1.360456e-05,1.362309e-05,1.363018e-05,1.364183e-05,1.364239e-05,1.364045e-05,1.362693e-05,1.361284e-05,1.360214e-05,1.356686e-05,1.354098e-05,1.352186e-05,1.346786e-05,1.343269e-05,1.340554e-05,1.333554e-05,1.329322e-05,1.325848e-05,1.317492e-05,1.312729e-05,1.308541e-05,1.299046e-05,1.293909e-05,1.289055e-05,1.278613e-05,1.273237e-05,1.267765e-05,1.256549e-05,1.251047e-05,1.245005e-05,1.233168e-05,1.227634e-05,1.221072e-05,1.208748e-05,1.203261e-05,1.196226e-05,1.183533e-05,1.178158e-05,1.170697e-05,1.157742e-05,1.152531e-05,1.144689e-05,1.131562e-05,1.126559e-05,1.118380e-05,1.105162e-05,1.100398e-05,1.091925e-05,1.078686e-05,1.074187e-05,1.065460e-05,1.052261e-05,1.048045e-05,1.039102e-05,1.025995e-05,1.022075e-05,1.012951e-05,9.999822e-06,9.963654e-06,9.870965e-06,9.743033e-06,9.709933e-06,9.616107e-06,9.490262e-06,9.460228e-06,9.365566e-06,9.242080e-06,9.215082e-06,9.119863e-06,8.998964e-06,8.974947e-06,8.879430e-06,8.761303e-06,8.740193e-06,8.644620e-06,8.529413e-06,8.511118e-06,8.415711e-06,8.303539e-06,8.287959e-06,8.192920e-06,8.083871e-06,8.070892e-06,7.976408e-06,7.870544e-06,7.860046e-06,7.766288e-06,7.663648e-06,7.655507e-06,7.562629e-06,7.463234e-06,7.457322e-06,7.365463e-06,7.269316e-06,7.265503e-06,7.174789e-06,7.081879e-06,7.080037e-06,6.990579e-06,6.900882e-06,6.727974e-06,6.561234e-06,6.400563e-06,6.245854e-06,6.096986e-06,5.953828e-06,5.816243e-06,5.684089e-06,5.557218e-06,5.435481e-06,5.318724e-06,5.206795e-06,5.099538e-06,4.996800e-06,4.898429e-06,4.804271e-06,4.714178e-06,4.628004e-06,4.545603e-06,4.466833e-06,4.391558e-06,4.319640e-06,4.250949e-06,4.185355e-06,4.122733e-06,4.062963e-06,4.005927e-06,3.951512e-06,3.899607e-06,3.850105e-06,3.802905e-06,3.757907e-06,3.715015e-06,3.674137e-06,3.635184e-06,3.598071e-06,3.562717e-06,3.529041e-06,3.496967e-06,3.466424e-06,3.437341e-06,3.409651e-06,3.383290e-06,3.358195e-06,3.334308e-06,3.311573e-06,3.289934e-06,3.269340e-06,3.249740e-06
0.000000e+00,3.398603e-09,2.112967e-07,2.252459e-07,3.158436e-06,1.894201e-05,2.016657e-05,7.504651e-05,1.797510e-04,1.882712e-04,3.580839e-04,5.483622e-04,5.658682e-04,7.909021e-04,9.954037e-04,1.017889e-03,1.237725e-03,1.421525e-03,1.445791e-03,1.640144e-03,1.795901e-03,1.820263e-03,1.986320e-03,2.115295e-03,2.138804e-03,2.278335e-03,2.383553e-03,2.405581e-03,2.521223e-03,2.605831e-03,2.625929e-03,2.720349e-03,2.787258e-03,2.805107e-03,2.880802e-03,2.932620e-03,2.948004e-03,3.007255e-03,3.046286e-03,3.059070e-03,3.103935e-03,3.132194e-03,3.142311e-03,3.174634e-03,3.193879e-03,3.201315e-03,3.222742e-03,3.234498e-03,3.239280e-03,3.251276e-03,3.256862e-03,3.259053e-03,3.262917e-03,3.263470e-03,3.263157e-03,3.260043e-03,3.256540e-03,3.253830e-03,3.244759e-03,3.238038e-03,3.233054e-03,3.218927e-03,3.209702e-03,3.202577e-03,3.184190e-03,3.173070e-03,3.163943e-03,3.141998e-03,3.129498e-03,3.118512e-03,3.093627e-03,3.080179e-03,3.067479e-03,3.040196e-03,3.026166e-03,3.011895e-03,2.982689e-03,2.968379e-03,2.952681e-03,2.921968e-03,2.907629e-03,2.890641e-03,2.858785e-03,2.844621e-03,2.826479e-03,2.793796e-03,2.779973e-03,2.760805e-03,2.727570e-03,2.714221e-03,2.694150e-03,2.660601e-03,2.647830e-03,2.626974e-03,2.593317e-03,2.581202e-03,2.559674e-03,2.526085e-03,2.514684e-03,2.492589e-03,2.459219e-03,2.448573e-03,2.426009e-03,2.392987e-03,2.383122e-03,2.360182e-03,2.327617e-03,2.318545e-03,2.295315e-03,2.263297e-03,2.255022e-03,2.231583e-03,2.200189e-03,2.192704e-03,2.169130e-03,2.138421e-03,2.131714e-03,2.108075e-03,2.078101e-03,2.072152e-03,2.048511e-03,2.019313e-03,2.014100e-03,1.990515e-03,1.962123e-03,1.957618e-03,1.934143e-03,1.906580e-03,1.902754e-03,1.879437e-03,1.852718e-03,1.849541e-03,1.826426e-03,1.800562e-03,1.797999e-03,1.775127e-03,1.750122e-03,1.748141e-03,1.725547e-03,1.701402e-03,1.699967e-03,1.677684e-03,1.654394e-03,1.653472e-03,1.631530e-03,1.609088e-03,1.608644e-03,1.587068e-03,1.565466e-03,1.523914e-03,1.483964e-03,1.445586e-03,1.408746e-03,1.373412e-03,1.339546e-03,1.307111e-03,1.276069e-03,1.246380e-03,1.218006e-03,1.190905e-03,1.165038e-03,1.140366e-03,1.116849e-03,1.094448e-03,1.073124e-03,1.052840e-03,1.033557e-03,1.015240e-03,9.978526e-04,9.813597e-04,9.657273e-04,9.509218e-04,9.369109e-04,9.236629e-04,9.111470e-04,8.993335e-04,8.881933e-04,8.776983e-04,8.678213e-04,8.585358e-04,8.498163e-04,8.416381e-04,8.339772e-04,8.268105e-04,8.201156e-04,8.138710e-04,8.080557e-04,8.026497e-04,7.976335e-04,7.929884e-04,7.886963e-04,7.847398e-04,7.811021e-04,7.777671e-04,7.747192e-04,7.719435e-04,7.694255e-04,7.671513e-04
0.000000e+00,6.257487e-09,2.223528e-07,2.348220e-07,2.217972e-06,9.964981e-06,1.049722e-05,3.099457e-05,6.288653e-05,6.525640e-05,1.079819e-04,1.488668e-04,1.523721e-04,1.947758e-04,2.302876e-04,2.340694e-04,2.700984e-04,2.991936e-04,3.029787e-04,3.328894e-04,3.563810e-04,3.600186e-04,3.845504e-04,4.032788e-04,4.066608e-04,4.265168e-04,4.412274e-04,4.442760e-04,4.600865e-04,4.714256e-04,4.740875e-04,4.864095e-04,4.949341e-04,4.971749e-04,5.064980e-04,5.126848e-04,5.144854e-04,5.212374e-04,5.254936e-04,5.268473e-04,5.314026e-04,5.340752e-04,5.349845e-04,5.376690e-04,5.390524e-04,5.395270e-04,5.406244e-04,5.409677e-04,5.410226e-04,5.407791e-04,5.402928e-04,5.399471e-04,5.385763e-04,5.374377e-04,5.367129e-04,5.344000e-04,5.327580e-04,5.316777e-04,5.285831e-04,5.265622e-04,5.251510e-04,5.214134e-04,5.191175e-04,5.174003e-04,5.131394e-04,5.106547e-04,5.086565e-04,5.039755e-04,5.013733e-04,4.991187e-04,4.941066e-04,4.914453e-04,4.889582e-04,4.836912e-04,4.810184e-04,4.783220e-04,4.728656e-04,4.702198e-04,4.673361e-04,4.617465e-04,4.591583e-04,4.561085e-04,4.504333e-04,4.479270e-04,4.447309e-04,4.390108e-04,4.366051e-04,4.332815e-04,4.275508e-04,4.252599e-04,4.218262e-04,4.161141e-04,4.139481e-04,4.104207e-04,4.047515e-04,4.027175e-04,3.991116e-04,3.935057e-04,3.916082e-04,3.879379e-04,3.824121e-04,3.806533e-04,3.769317e-04,3.714998e-04,3.698801e-04,3.661192e-04,3.607924e-04,3.593108e-04,3.555216e-04,3.503089e-04,3.489633e-04,3.451559e-04,3.400643e-04,3.388516e-04,3.350353e-04,3.300702e-04,3.289865e-04,3.251698e-04,3.203350e-04,3.193760e-04,3.155665e-04,3.108649e-04,3.100257e-04,3.062305e-04,3.016637e-04,3.009392e-04,2.971646e-04,2.927333e-04,2.921184e-04,2.883700e-04,2.840744e-04,2.835635e-04,2.798465e-04,2.756860e-04,2.752737e-04,2.715927e-04,2.675663e-04,2.672470e-04,2.636062e-04,2.597122e-04,2.594806e-04,2.558837e-04,2.521201e-04,2.519710e-04,2.484211e-04,2.447859e-04,2.447139e-04,2.412140e-04,2.377047e-04,2.309385e-04,2.244098e-04,2.181132e-04,2.120427e-04,2.061926e-04,2.005570e-04,1.951297e-04,1.899049e-04,1.848765e-04,1.800387e-04,1.753855e-04,1.709111e-04,1.666100e-04,1.624764e-04,1.585049e-04,1.546901e-04,1.510269e-04,1.475101e-04,1.441347e-04,1.408959e-04,1.377890e-04,1.348094e-04,1.319526e-04,1.292144e-04,1.265905e-04,1.240769e-04,1.216698e-04,1.193652e-04,1.171595e-04,1.150491e-04,1.130306e-04,1.111006e-04,1.092560e-04,1.074935e-04,1.058102e-04,1.042032e-04,1.026697e-04,1.012068e-04,9.981205e-05,9.848286e-05,9.721676e-05,9.601140e-05,9.486448e-05,9.377379e-05,9.273719e-05,9.175263e-05,9.081811e-05,8.993172e-05,8.909158e-05
0.000000e+00,1.553741e-09,1.025789e-07,1.095155e-07,1.685986e-06,1.120906e-05,1.198376e-05,4.909064e-05,1.264812e-04,1.330242e-04,2.688341e-04,4.300496e-04,4.452392e-04,6.442664e-04,8.288126e-04,8.491811e-04,1.047744e-03,1.211140e-03,1.232410e-03,1.399316e-03,1.527551e-03,1.547079e-03,1.675829e-03,1.769970e-03,1.786520e-03,1.880510e-03,1.946173e-03,1.959302e-03,2.024406e-03,2.067608e-03,2.077266e-03,2.119226e-03,2.145184e-03,2.151517e-03,2.175256e-03,2.188201e-03,2.191450e-03,2.201004e-03,2.204279e-03,2.204729e-03,2.203353e-03,2.199569e-03,2.197522e-03,2.187816e-03,2.178994e-03,2.174750e-03,2.158782e-03,2.146476e-03,2.140320e-03,2.119727e-03,2.105126e-03,2.097325e-03,2.073399e-03,2.057405e-03,2.048202e-03,2.021959e-03,2.005251e-03,1.994868e-03,1.967103e-03,1.950187e-03,1.938820e-03,1.910156e-03,1.893403e-03,1.881230e-03,1.852147e-03,1.835828e-03,1.823001e-03,1.793873e-03,1.778176e-03,1.764833e-03,1.735942e-03,1.720996e-03,1.707254e-03,1.678816e-03,1.664703e-03,1.650667e-03,1.622841e-03,1.609608e-03,1.595368e-03,1.568271e-03,1.555938e-03,1.541571e-03,1.515285e-03,1.503854e-03,1.489427e-03,1.464009e-03,1.453466e-03,1.439038e-03,1.414521e-03,1.404842e-03,1.390463e-03,1.366867e-03,1.358021e-03,1.343733e-03,1.321063e-03,1.313015e-03,1.298856e-03,1.277108e-03,1.269818e-03,1.255818e-03,1.234981e-03,1.228409e-03,1.214594e-03,1.194652e-03,1.188756e-03,1.175150e-03,1.156082e-03,1.150819e-03,1.137441e-03,1.119223e-03,1.114554e-03,1.101419e-03,1.084025e-03,1.079910e-03,1.067032e-03,1.050434e-03,1.046835e-03,1.034224e-03,1.018395e-03,1.015275e-03,1.002940e-03,9.878517e-04,9.851742e-04,9.731228e-04,9.587464e-04,9.564784e-04,9.447155e-04,9.310231e-04,9.291327e-04,9.176622e-04,9.046260e-04,9.030832e-04,8.919078e-04,8.795007e-04,8.782768e-04,8.673981e-04,8.555936e-04,8.546619e-04,8.440806e-04,8.328529e-04,8.321882e-04,8.219042e-04,8.112284e-04,8.108069e-04,8.008193e-04,7.906711e-04,7.904708e-04,7.807780e-04,7.711343e-04,7.527534e-04,7.352858e-04,7.186907e-04,7.029291e-04,6.879633e-04,6.737574e-04,6.602767e-04,6.474881e-04,6.353600e-04,6.238618e-04,6.129645e-04,6.026402e-04,5.928623e-04,5.836053e-04,5.748448e-04,5.665574e-04,5.587208e-04,5.513136e-04,5.443156e-04,5.377072e-04,5.314696e-04,5.255852e-04,5.200369e-04,5.148084e-04,5.098841e-04,5.052492e-04,5.008896e-04,4.967916e-04,4.929422e-04,4.893292e-04,4.859407e-04,4.827654e-04,4.797926e-04,4.770118e-04,4.744134e-04,4.719880e-04,4.697266e-04,4.676206e-04,4.656619e-04,4.638428e-04,4.621559e-04,4.605939e-04,4.591503e-04,4.578186e-04,4.565926e-04,4.554664e-04,4.544346e-04,4.534919e-04,4.526330e-04
0.000000e+00,2.773882e-09,1.413844e-07,1.500161e-07,1.787178e-06,1.074220e-05,1.146946e-05,4.806373e-05,1.345326e-04,1.423617e-04,3.187704e-04,5.549276e-04,5.784021e-04,9.028802e-04,1.229815e-03,1.267396e-03,1.649864e-03,1.988345e-03,2.034169e-03,2.409944e-03,2.721602e-03,2.771153e-03,3.114629e-03,3.388382e-03,3.438965e-03,3.743770e-03,3.979250e-03,4.029222e-03,4.295799e-03,4.495894e-03,4.544135e-03,4.774939e-03,4.943267e-03,4.988945e-03,5.186892e-03,5.327041e-03,5.369510e-03,5.537512e-03,5.652830e-03,5.691588e-03,5.832408e-03,5.925954e-03,5.960617e-03,6.076837e-03,6.151377e-03,6.181663e-03,6.275671e-03,6.333698e-03,6.359410e-03,6.433410e-03,6.477162e-03,6.498177e-03,6.554197e-03,6.585676e-03,6.601937e-03,6.641841e-03,6.662835e-03,6.674337e-03,6.699834e-03,6.711937e-03,6.718724e-03,6.731381e-03,6.736007e-03,6.738163e-03,6.739412e-03,6.737818e-03,6.735457e-03,6.726611e-03,6.719906e-03,6.713172e-03,6.695426e-03,6.684587e-03,6.673646e-03,6.648093e-03,6.633979e-03,6.619015e-03,6.586649e-03,6.570013e-03,6.551222e-03,6.512949e-03,6.494445e-03,6.472036e-03,6.428679e-03,6.408876e-03,6.383065e-03,6.335371e-03,6.314760e-03,6.285766e-03,6.234412e-03,6.213414e-03,6.181461e-03,6.127059e-03,6.106035e-03,6.071345e-03,6.014449e-03,5.993702e-03,5.956498e-03,5.897608e-03,5.877392e-03,5.837893e-03,5.777459e-03,5.757984e-03,5.716406e-03,5.654831e-03,5.636271e-03,5.592824e-03,5.530471e-03,5.512961e-03,5.467852e-03,5.405045e-03,5.388693e-03,5.342120e-03,5.279147e-03,5.264033e-03,5.216189e-03,5.153307e-03,5.139489e-03,5.090557e-03,5.027994e-03,5.015508e-03,4.965667e-03,4.903624e-03,4.892490e-03,4.841908e-03,4.780562e-03,4.770783e-03,4.719623e-03,4.659127e-03,4.650695e-03,4.599109e-03,4.539599e-03,4.532493e-03,4.480626e-03,4.422219e-03,4.416410e-03,4.364400e-03,4.307193e-03,4.302644e-03,4.250619e-03,4.194698e-03,4.191364e-03,4.139447e-03,4.084882e-03,4.082714e-03,4.031018e-03,3.977867e-03,3.976812e-03,3.925443e-03,3.873755e-03,3.773620e-03,3.676467e-03,3.582338e-03,3.491262e-03,3.403256e-03,3.318324e-03,3.236461e-03,3.157650e-03,3.081870e-03,3.009088e-03,2.939270e-03,2.872372e-03,2.808347e-03,2.747145e-03,2.688712e-03,2.632989e-03,2.579917e-03,2.529434e-03,2.481475e-03,2.435974e-03,2.392865e-03,2.352081e-03,2.313552e-03,2.277213e-03,2.242994e-03,2.210828e-03,2.180646e-03,2.152382e-03,2.125967e-03,2.101336e-03,2.078422e-03,2.057161e-03,2.037490e-03,2.019344e-03,2.002662e-03,1.987384e-03,1.973449e-03,1.960800e-03,1.949378e-03,1.939129e-03,1.929996e-03,1.921928e-03,1.914870e-03,1.908773e-03,1.903586e-03,1.899262e-03,1.895754e-03,1.893015e-03,1.891001e-03
0.000000e+00,1.421632e-09,8.140957e-08,8.659453e-08,1.139375e-06,7.109495e-06,7.595296e-06,3.191343e-05,8.920251e-05,9.440623e-05,2.128774e-04,3.750425e-04,3.913571e-04,6.196824e-04,8.534075e-04,8.804063e-04,1.155471e-03,1.397399e-03,1.429902e-03,1.692948e-03,1.904778e-03,1.937795e-03,2.160731e-03,2.329914e-03,2.360248e-03,2.536284e-03,2.663673e-03,2.689665e-03,2.821715e-03,2.913046e-03,2.934000e-03,3.028169e-03,3.090098e-03,3.105857e-03,3.168638e-03,3.207293e-03,3.217987e-03,3.255278e-03,3.275856e-03,3.281773e-03,3.298627e-03,3.305389e-03,3.306896e-03,3.307537e-03,3.303917e-03,3.301421e-03,3.289335e-03,3.278074e-03,3.271993e-03,3.250040e-03,3.233310e-03,3.224059e-03,3.194574e-03,3.174087e-03,3.162061e-03,3.126946e-03,3.104038e-03,3.089613e-03,3.050407e-03,3.026116e-03,3.009641e-03,2.967591e-03,2.942713e-03,2.924507e-03,2.880614e-03,2.855755e-03,2.836110e-03,2.791175e-03,2.766787e-03,2.745967e-03,2.700628e-03,2.677042e-03,2.655283e-03,2.610043e-03,2.587493e-03,2.565006e-03,2.520258e-03,2.498905e-03,2.475876e-03,2.431925e-03,2.411869e-03,2.388464e-03,2.345542e-03,2.326838e-03,2.303202e-03,2.261480e-03,2.244149e-03,2.220408e-03,2.180011e-03,2.164046e-03,2.140310e-03,2.101322e-03,2.086697e-03,2.063062e-03,2.025539e-03,2.012213e-03,1.988761e-03,1.952733e-03,1.940655e-03,1.917458e-03,1.882934e-03,1.872045e-03,1.849162e-03,1.816137e-03,1.806375e-03,1.783855e-03,1.752311e-03,1.743610e-03,1.721498e-03,1.691407e-03,1.683701e-03,1.662031e-03,1.633360e-03,1.626582e-03,1.605383e-03,1.578091e-03,1.572178e-03,1.551472e-03,1.525516e-03,1.520403e-03,1.500211e-03,1.475544e-03,1.471171e-03,1.451504e-03,1.428080e-03,1.424388e-03,1.405258e-03,1.383026e-03,1.379960e-03,1.361373e-03,1.340286e-03,1.337793e-03,1.319752e-03,1.299761e-03,1.297791e-03,1.280299e-03,1.261356e-03,1.259862e-03,1.242918e-03,1.224975e-03,1.223914e-03,1.207515e-03,1.190526e-03,1.189856e-03,1.173998e-03,1.157919e-03,1.157602e-03,1.142278e-03,1.127066e-03,1.098167e-03,1.070827e-03,1.044968e-03,1.020518e-03,9.974069e-04,9.755681e-04,9.549373e-04,9.354532e-04,9.170574e-04,8.996943e-04,8.833106e-04,8.678557e-04,8.532814e-04,8.395418e-04,8.265932e-04,8.143942e-04,8.029051e-04,7.920885e-04,7.819086e-04,7.723316e-04,7.633252e-04,7.548589e-04,7.469035e-04,7.394316e-04,7.324168e-04,7.258344e-04,7.196607e-04,7.138734e-04,7.084511e-04,7.033737e-04,6.986220e-04,6.941780e-04,6.900243e-04,6.861448e-04,6.825238e-04,6.791467e-04,6.759996e-04,6.730693e-04,6.703434e-04,6.678098e-04,6.654575e-04,6.632757e-04,6.612544e-04,6.593840e-04,6.576555e-04,6.560604e-04,6.545905e-04,6.532381e-04,6.519961e-04
0.000000e+00,2.121973e-09,9.782928e-08,1.036325e-07,1.139194e-06,6.249167e-06,6.644923e-06,2.510193e-05,6.420323e-05,6.757645e-05,1.392219e-04,2.261687e-04,2.343858e-04,3.417438e-04,4.403858e-04,4.512199e-04,5.565175e-04,6.432280e-04,6.545612e-04,7.442328e-04,8.145433e-04,8.254046e-04,8.983866e-04,9.537124e-04,9.636597e-04,1.021753e-03,1.064404e-03,1.073196e-03,1.118496e-03,1.150637e-03,1.158133e-03,1.192560e-03,1.216066e-03,1.222195e-03,1.247431e-03,1.263894e-03,1.268633e-03,1.286139e-03,1.296898e-03,1.300262e-03,1.311291e-03,1.317470e-03,1.319497e-03,1.325128e-03,1.327662e-03,1.328414e-03,1.329568e-03,1.329236e-03,1.328786e-03,1.326248e-03,1.323693e-03,1.322121e-03,1.316560e-03,1.312313e-03,1.309705e-03,1.301688e-03,1.296186e-03,1.292628e-03,1.282637e-03,1.276239e-03,1.271817e-03,1.260261e-03,1.253256e-03,1.248056e-03,1.235280e-03,1.227904e-03,1.222007e-03,1.208303e-03,1.200746e-03,1.194230e-03,1.179844e-03,1.172257e-03,1.165197e-03,1.150335e-03,1.142837e-03,1.135302e-03,1.120137e-03,1.112821e-03,1.104876e-03,1.089551e-03,1.082489e-03,1.074194e-03,1.058830e-03,1.052075e-03,1.043485e-03,1.028181e-03,1.021770e-03,1.012938e-03,9.977743e-04,9.917348e-04,9.827065e-04,9.677496e-04,9.620978e-04,9.529167e-04,9.382198e-04,9.329644e-04,9.236696e-04,9.092753e-04,9.044183e-04,8.950453e-04,8.809868e-04,8.765254e-04,8.671064e-04,8.534093e-04,8.493367e-04,8.399005e-04,8.265839e-04,8.228902e-04,8.134629e-04,8.005403e-04,7.972132e-04,7.878184e-04,7.752987e-04,7.723242e-04,7.629826e-04,7.508709e-04,7.482338e-04,7.389641e-04,7.272623e-04,7.249465e-04,7.157652e-04,7.044725e-04,7.024614e-04,6.933833e-04,6.824966e-04,6.807735e-04,6.718113e-04,6.613260e-04,6.598740e-04,6.510391e-04,6.409489e-04,6.397513e-04,6.310536e-04,6.213512e-04,6.203915e-04,6.118396e-04,6.025166e-04,6.017788e-04,5.933800e-04,5.844274e-04,5.838961e-04,5.756566e-04,5.670650e-04,5.667250e-04,5.586501e-04,5.504095e-04,5.502465e-04,5.423406e-04,5.344408e-04,5.192879e-04,5.047676e-04,4.908596e-04,4.775437e-04,4.648000e-04,4.526085e-04,4.409500e-04,4.298052e-04,4.191554e-04,4.089825e-04,3.992687e-04,3.899965e-04,3.811493e-04,3.727107e-04,3.646649e-04,3.569965e-04,3.496908e-04,3.427334e-04,3.361105e-04,3.298086e-04,3.238150e-04,3.181170e-04,3.127029e-04,3.075609e-04,3.026799e-04,2.980492e-04,2.936585e-04,2.894977e-04,2.855573e-04,2.818282e-04,2.783013e-04,2.749681e-04,2.718205e-04,2.688505e-04,2.660506e-04,2.634133e-04,2.609316e-04,2.585989e-04,2.564085e-04,2.543543e-04,2.524301e-04,2.506304e-04,2.489494e-04,2.473818e-04,2.459225e-04,2.445666e-04,2.433092e-04,2.421460e-04,2.410724e-04
0.000000e+00,3.061497e-10,1.896992e-08,2.020077e-08,2.801190e-07,1.866297e-06,2.000195e-06,9.187147e-06,2.824359e-05,3.008143e-05,7.566654e-05,1.479732e-04,1.558273e-04,2.764015e-04,4.203415e-04,4.383278e-04,6.382513e-04,8.405686e-04,8.697565e-04,1.124692e-03,1.356005e-03,1.394313e-03,1.670142e-03,1.901018e-03,1.944546e-03,2.211063e-03,2.420066e-03,2.464541e-03,2.701130e-03,2.876431e-03,2.918191e-03,3.114151e-03,3.251886e-03,3.288328e-03,3.440765e-03,3.542428e-03,3.572057e-03,3.683207e-03,3.753237e-03,3.775497e-03,3.850379e-03,3.894376e-03,3.909390e-03,3.954092e-03,3.977691e-03,3.986015e-03,4.006620e-03,4.014870e-03,4.017278e-03,4.019259e-03,4.016379e-03,4.013720e-03,4.001704e-03,3.991051e-03,3.984145e-03,3.961867e-03,3.946007e-03,3.935597e-03,3.905974e-03,3.886825e-03,3.873553e-03,3.838814e-03,3.817769e-03,3.802171e-03,3.763979e-03,3.742031e-03,3.724545e-03,3.684130e-03,3.661977e-03,3.642956e-03,3.601215e-03,3.579341e-03,3.559069e-03,3.516654e-03,3.495384e-03,3.474089e-03,3.431473e-03,3.411024e-03,3.388890e-03,3.346414e-03,3.326928e-03,3.304105e-03,3.262016e-03,3.243578e-03,3.220191e-03,3.178669e-03,3.161328e-03,3.137482e-03,3.096658e-03,3.080435e-03,3.056220e-03,3.016188e-03,3.001086e-03,2.976580e-03,2.937409e-03,2.923417e-03,2.898687e-03,2.860425e-03,2.847522e-03,2.822631e-03,2.785312e-03,2.773471e-03,2.748473e-03,2.712118e-03,2.701307e-03,2.676252e-03,2.640876e-03,2.631059e-03,2.605993e-03,2.571603e-03,2.562742e-03,2.537706e-03,2.504302e-03,2.496358e-03,2.471390e-03,2.438969e-03,2.431902e-03,2.407038e-03,2.375593e-03,2.369362e-03,2.344633e-03,2.314155e-03,2.308720e-03,2.284155e-03,2.254632e-03,2.249952e-03,2.225580e-03,2.196997e-03,2.193032e-03,2.168878e-03,2.141220e-03,2.137932e-03,2.114019e-03,2.087270e-03,2.084620e-03,2.060969e-03,2.035111e-03,2.033061e-03,2.009692e-03,1.984707e-03,1.983222e-03,1.960152e-03,1.936023e-03,1.935066e-03,1.912313e-03,1.889019e-03,1.888558e-03,1.866136e-03,1.843659e-03,1.800333e-03,1.758543e-03,1.718251e-03,1.679421e-03,1.642015e-03,1.605997e-03,1.571331e-03,1.537982e-03,1.505914e-03,1.475093e-03,1.445486e-03,1.417058e-03,1.389778e-03,1.363613e-03,1.338532e-03,1.314504e-03,1.291499e-03,1.269487e-03,1.248440e-03,1.228328e-03,1.209125e-03,1.190803e-03,1.173335e-03,1.156696e-03,1.140861e-03,1.125803e-03,1.111499e-03,1.097925e-03,1.085057e-03,1.072873e-03,1.061350e-03,1.050466e-03,1.040200e-03,1.030532e-03,1.021439e-03,1.012903e-03,1.004903e-03,9.974203e-04,9.904362e-04,9.839319e-04,9.778896e-04,9.722914e-04,9.671202e-04,9.623590e-04,9.579913e-04,9.540009e-04,9.503721e-04,9.470894e-04,9.441376e-04
0.000000e+00,5.621884e-10,6.882310e-09,7.169459e-09,3.965429e-08,1.265490e-07,1.317563e-07,3.059709e-07,5.357718e-07,5.519638e-07,8.343150e-07,1.095125e-06,1.117210e-06,1.381411e-06,1.598485e-06,1.621366e-06,1.836903e-06,2.007412e-06,2.029338e-06,2.200310e-06,2.331442e-06,2.351472e-06,2.484408e-06,2.583078e-06,2.600602e-06,2.701446e-06,2.773590e-06,2.788228e-06,2.862149e-06,2.912773e-06,2.924316e-06,2.975754e-06,3.009039e-06,3.017409e-06,3.050152e-06,3.069573e-06,3.074787e-06,3.092062e-06,3.100511e-06,3.102661e-06,3.107216e-06,3.107081e-06,3.106308e-06,3.100473e-06,3.093722e-06,3.090203e-06,3.075950e-06,3.064196e-06,3.058130e-06,3.037124e-06,3.021688e-06,3.013285e-06,2.986932e-06,2.968884e-06,2.958361e-06,2.927842e-06,2.908051e-06,2.895622e-06,2.861928e-06,2.841090e-06,2.826966e-06,2.790926e-06,2.769598e-06,2.753981e-06,2.716287e-06,2.694906e-06,2.677989e-06,2.639216e-06,2.618123e-06,2.600087e-06,2.560711e-06,2.540170e-06,2.521184e-06,2.481595e-06,2.461803e-06,2.442025e-06,2.402544e-06,2.383645e-06,2.363219e-06,2.324106e-06,2.306200e-06,2.285259e-06,2.246723e-06,2.229877e-06,2.208541e-06,2.170748e-06,2.155000e-06,2.133379e-06,2.096460e-06,2.081824e-06,2.060017e-06,2.024071e-06,2.010546e-06,1.988641e-06,1.953744e-06,1.941313e-06,1.919391e-06,1.885595e-06,1.874232e-06,1.852363e-06,1.819704e-06,1.809375e-06,1.787622e-06,1.756121e-06,1.746785e-06,1.725204e-06,1.694870e-06,1.686482e-06,1.665121e-06,1.635955e-06,1.628467e-06,1.607370e-06,1.579362e-06,1.572726e-06,1.551929e-06,1.525065e-06,1.519230e-06,1.498765e-06,1.473024e-06,1.467942e-06,1.447836e-06,1.423194e-06,1.418816e-06,1.399091e-06,1.375521e-06,1.371799e-06,1.352475e-06,1.329947e-06,1.326833e-06,1.307927e-06,1.286409e-06,1.283860e-06,1.265384e-06,1.244843e-06,1.242815e-06,1.224778e-06,1.205182e-06,1.203634e-06,1.186045e-06,1.167359e-06,1.166252e-06,1.149115e-06,1.131305e-06,1.130602e-06,1.113921e-06,1.096955e-06,1.096620e-06,1.080397e-06,1.064240e-06,1.033398e-06,1.004033e-06,9.760824e-07,9.494870e-07,9.241888e-07,9.001317e-07,8.772611e-07,8.555248e-07,8.348721e-07,8.152541e-07,7.966242e-07,7.789371e-07,7.621496e-07,7.462203e-07,7.311094e-07,7.167787e-07,7.031919e-07,6.903139e-07,6.781115e-07,6.665527e-07,6.556070e-07,6.452452e-07,6.354395e-07,6.261634e-07,6.173915e-07,6.090995e-07,6.012643e-07,5.938638e-07,5.868770e-07,5.802839e-07,5.740653e-07,5.682028e-07,5.626792e-07,5.574777e-07,5.525826e-07,5.479788e-07,5.436518e-07,5.395880e-07,5.357743e-07,5.321982e-07,5.288479e-07,5.257119e-07,5.227797e-07,5.200407e-07,5.174853e-07,5.151041e-07,5.128883e-07,5.108293e-07,5.089191e-07
0.000000e+00,6.957865e-10,3.863385e-08,4.103502e-08,5.015400e-07,3.044219e-06,3.252614e-06,1.411186e-05,4.235770e-05,4.507906e-05,1.128467e-04,2.209011e-04,2.326370e-04,4.118696e-04,6.222427e-04,6.482045e-04,9.316146e-04,1.208726e-03,1.247912e-03,1.581920e-03,1.872605e-03,1.919648e-03,2.249452e-03,2.513781e-03,2.562445e-03,2.852421e-03,3.070258e-03,3.115524e-03,3.349808e-03,3.516127e-03,3.554796e-03,3.731072e-03,3.849463e-03,3.879950e-03,4.003202e-03,4.080978e-03,4.102857e-03,4.181048e-03,4.226350e-03,4.239912e-03,4.281513e-03,4.301878e-03,4.307804e-03,4.320600e-03,4.322425e-03,4.321564e-03,4.312206e-03,4.300647e-03,4.293887e-03,4.267827e-03,4.246920e-03,4.235113e-03,4.196713e-03,4.169552e-03,4.153482e-03,4.106177e-03,4.075099e-03,4.055466e-03,4.001937e-03,3.968684e-03,3.946105e-03,3.888426e-03,3.854284e-03,3.829297e-03,3.769065e-03,3.734969e-03,3.708035e-03,3.646474e-03,3.613092e-03,3.584612e-03,3.522651e-03,3.490452e-03,3.460767e-03,3.399112e-03,3.368412e-03,3.337817e-03,3.276996e-03,3.247998e-03,3.216744e-03,3.157144e-03,3.129968e-03,3.098268e-03,3.040175e-03,3.014875e-03,2.982915e-03,2.926529e-03,2.903116e-03,2.871051e-03,2.816509e-03,2.794959e-03,2.762924e-03,2.710312e-03,2.690578e-03,2.658686e-03,2.608055e-03,2.590072e-03,2.558422e-03,2.509789e-03,2.493482e-03,2.462156e-03,2.415520e-03,2.400806e-03,2.369875e-03,2.325215e-03,2.312007e-03,2.281531e-03,2.238814e-03,2.227025e-03,2.197054e-03,2.156238e-03,2.145780e-03,2.116355e-03,2.077392e-03,2.068176e-03,2.039335e-03,2.002170e-03,1.994112e-03,1.965883e-03,1.930459e-03,1.923476e-03,1.895884e-03,1.862142e-03,1.856156e-03,1.829220e-03,1.797100e-03,1.792035e-03,1.765770e-03,1.735212e-03,1.730995e-03,1.705413e-03,1.676357e-03,1.672920e-03,1.648030e-03,1.620417e-03,1.617694e-03,1.593502e-03,1.567273e-03,1.565203e-03,1.541714e-03,1.516811e-03,1.515337e-03,1.492551e-03,1.468920e-03,1.467987e-03,1.445904e-03,1.423490e-03,1.423047e-03,1.401665e-03,1.380416e-03,1.339993e-03,1.301684e-03,1.265396e-03,1.231041e-03,1.198532e-03,1.167787e-03,1.138728e-03,1.111278e-03,1.085363e-03,1.060915e-03,1.037866e-03,1.016151e-03,9.957081e-04,9.764786e-04,9.584054e-04,9.414340e-04,9.255122e-04,9.105901e-04,8.966197e-04,8.835551e-04,8.713524e-04,8.599693e-04,8.493657e-04,8.395027e-04,8.303435e-04,8.218526e-04,8.139960e-04,8.067412e-04,8.000572e-04,7.939141e-04,7.882835e-04,7.831379e-04,7.784514e-04,7.741988e-04,7.703564e-04,7.669011e-04,7.638111e-04,7.610655e-04,7.586442e-04,7.565280e-04,7.546988e-04,7.531390e-04,7.518320e-04,7.507618e-04,7.499131e-04,7.492715e-04,7.488232e-04,7.485548e-04,7.484538e-04
0.000000e+00,4.262604e-10,2.660277e-08,2.835816e-08,4.164338e-07,2.836534e-06,3.039619e-06,1.354339e-05,3.880759e-05,4.110254e-05,9.296740e-05,1.627088e-04,1.696494e-04,2.653739e-04,3.605222e-04,3.713134e-04,4.786073e-04,5.684304e-04,5.801278e-04,6.710927e-04,7.388835e-04,7.489497e-04,8.129174e-04,8.562213e-04,8.634460e-04,9.017325e-04,9.250854e-04,9.293420e-04,9.479432e-04,9.574219e-04,9.591417e-04,9.643876e-04,9.651604e-04,9.649339e-04,9.618293e-04,9.575623e-04,9.559315e-04,9.479271e-04,9.409707e-04,9.383573e-04,9.276434e-04,9.194063e-04,9.161099e-04,9.040049e-04,8.952943e-04,8.915169e-04,8.787884e-04,8.700518e-04,8.659271e-04,8.530140e-04,8.444936e-04,8.401108e-04,8.272647e-04,8.190901e-04,8.145114e-04,8.018771e-04,7.941125e-04,7.893815e-04,7.770384e-04,7.697099e-04,7.648576e-04,7.528457e-04,7.459581e-04,7.410072e-04,7.293449e-04,7.228916e-04,7.178605e-04,7.065549e-04,7.005244e-04,6.954284e-04,6.844806e-04,6.788581e-04,6.737108e-04,6.631182e-04,6.578880e-04,6.527018e-04,6.424602e-04,6.376061e-04,6.323923e-04,6.224962e-04,6.180013e-04,6.127703e-04,6.032129e-04,5.990606e-04,5.938222e-04,5.845962e-04,5.807700e-04,5.755332e-04,5.666310e-04,5.631148e-04,5.578878e-04,5.493015e-04,5.460794e-04,5.408699e-04,5.325910e-04,5.296476e-04,5.244628e-04,5.164830e-04,5.138033e-04,5.086495e-04,5.009604e-04,4.985300e-04,4.934134e-04,4.860064e-04,4.838113e-04,4.787374e-04,4.716041e-04,4.696308e-04,4.646046e-04,4.577367e-04,4.559724e-04,4.509984e-04,4.443877e-04,4.428198e-04,4.379024e-04,4.315407e-04,4.301575e-04,4.253005e-04,4.191798e-04,4.179698e-04,4.131766e-04,4.072892e-04,4.062416e-04,4.015154e-04,3.958535e-04,3.949579e-04,3.903016e-04,3.848579e-04,3.841043e-04,3.795204e-04,3.742875e-04,3.736665e-04,3.691573e-04,3.641282e-04,3.636308e-04,3.591983e-04,3.543660e-04,3.539836e-04,3.496296e-04,3.449874e-04,3.447119e-04,3.404379e-04,3.359794e-04,3.358029e-04,3.316103e-04,3.273290e-04,3.272443e-04,3.231341e-04,3.190241e-04,3.111305e-04,3.035524e-04,2.962788e-04,2.892990e-04,2.826028e-04,2.761802e-04,2.700215e-04,2.641175e-04,2.584591e-04,2.530376e-04,2.478444e-04,2.428716e-04,2.381110e-04,2.335551e-04,2.291965e-04,2.250280e-04,2.210427e-04,2.172340e-04,2.135954e-04,2.101206e-04,2.068036e-04,2.036386e-04,2.006199e-04,1.977422e-04,1.950000e-04,1.923885e-04,1.899026e-04,1.875376e-04,1.852889e-04,1.831521e-04,1.811229e-04,1.791972e-04,1.773709e-04,1.756403e-04,1.740015e-04,1.724510e-04,1.709853e-04,1.696011e-04,1.682950e-04,1.670640e-04,1.659050e-04,1.648151e-04,1.637914e-04,1.628313e-04,1.619320e-04,1.610912e-04,1.603062e-04,1.595747e-04,1.588944e-04
0.000000e+00,4.504644e-09,1.248470e-07,1.315269e-07,9.873737e-07,2.797920e-06,2.882398e-06,4.988297e-06,6.852554e-06,6.966603e-06,8.778961e-06,1.030351e-05,1.042988e-05,1.192985e-05,1.315964e-05,1.328960e-05,1.451922e-05,1.550106e-05,1.562803e-05,1.662473e-05,1.739843e-05,1.751744e-05,1.831381e-05,1.891360e-05,1.902105e-05,1.964594e-05,2.010137e-05,2.019484e-05,2.067372e-05,2.101016e-05,2.108815e-05,2.144335e-05,2.168240e-05,2.174415e-05,2.199504e-05,2.215493e-05,2.220021e-05,2.236350e-05,2.245950e-05,2.248851e-05,2.257853e-05,2.262339e-05,2.263660e-05,2.266554e-05,2.266988e-05,2.266797e-05,2.264627e-05,2.261889e-05,2.260268e-05,2.253923e-05,2.248741e-05,2.245782e-05,2.236019e-05,2.228994e-05,2.224794e-05,2.212253e-05,2.203877e-05,2.198531e-05,2.183751e-05,2.174424e-05,2.168029e-05,2.151468e-05,2.141518e-05,2.134166e-05,2.116211e-05,2.105902e-05,2.097685e-05,2.078661e-05,2.068205e-05,2.059208e-05,2.039390e-05,2.028959e-05,2.019263e-05,1.998881e-05,1.988609e-05,1.978291e-05,1.957538e-05,1.947531e-05,1.936662e-05,1.915700e-05,1.906038e-05,1.894685e-05,1.873648e-05,1.864393e-05,1.852618e-05,1.831618e-05,1.822814e-05,1.810673e-05,1.789804e-05,1.781481e-05,1.769028e-05,1.748364e-05,1.740544e-05,1.727827e-05,1.707431e-05,1.700125e-05,1.687187e-05,1.667109e-05,1.660321e-05,1.647204e-05,1.627484e-05,1.621213e-05,1.607954e-05,1.588623e-05,1.582863e-05,1.569496e-05,1.550580e-05,1.545321e-05,1.531877e-05,1.513393e-05,1.508623e-05,1.495131e-05,1.477093e-05,1.472798e-05,1.459283e-05,1.441701e-05,1.437864e-05,1.424349e-05,1.407228e-05,1.403832e-05,1.390340e-05,1.373683e-05,1.370710e-05,1.357259e-05,1.341067e-05,1.338498e-05,1.325107e-05,1.309378e-05,1.307194e-05,1.293878e-05,1.278608e-05,1.276791e-05,1.263566e-05,1.248750e-05,1.247280e-05,1.234158e-05,1.219791e-05,1.218651e-05,1.205644e-05,1.191718e-05,1.190889e-05,1.178009e-05,1.164516e-05,1.163981e-05,1.151237e-05,1.138169e-05,1.137910e-05,1.125311e-05,1.112659e-05,1.088213e-05,1.064551e-05,1.041657e-05,1.019511e-05,9.980958e-06,9.773919e-06,9.573809e-06,9.380446e-06,9.193646e-06,9.013229e-06,8.839019e-06,8.670840e-06,8.508522e-06,8.351895e-06,8.200796e-06,8.055063e-06,7.914538e-06,7.779067e-06,7.648500e-06,7.522690e-06,7.401493e-06,7.284771e-06,7.172386e-06,7.064207e-06,6.960104e-06,6.859952e-06,6.763628e-06,6.671013e-06,6.581992e-06,6.496451e-06,6.414281e-06,6.335376e-06,6.259631e-06,6.186947e-06,6.117225e-06,6.050369e-06,5.986288e-06,5.924891e-06,5.866091e-06,5.809803e-06,5.755943e-06,5.704433e-06,5.655194e-06,5.608150e-06,5.563227e-06,5.520354e-06,5.479462e-06,5.440482e-06,5.403350e-06
0.000000e+00,4.925806e-10,2.958525e-08,3.147977e-08,4.170607e-07,2.654329e-06,2.839682e-06,1.254654e-05,3.766259e-05,4.006878e-05,9.945196e-05,1.929849e-04,2.031013e-04,3.572698e-04,5.383524e-04,5.607458e-04,8.060962e-04,1.047675e-03,1.081965e-03,1.375383e-03,1.631998e-03,1.673593e-03,1.965270e-03,2.198412e-03,2.241187e-03,2.494445e-03,2.681894e-03,2.720413e-03,2.916478e-03,3.051133e-03,3.081719e-03,3.216539e-03,3.301448e-03,3.322326e-03,3.401139e-03,3.444507e-03,3.455447e-03,3.487929e-03,3.499516e-03,3.501306e-03,3.498234e-03,3.487248e-03,3.481214e-03,3.452551e-03,3.426683e-03,3.414325e-03,3.368376e-03,3.333551e-03,3.316316e-03,3.259531e-03,3.220048e-03,3.199206e-03,3.136336e-03,3.095154e-03,3.071752e-03,3.006143e-03,2.965202e-03,2.940071e-03,2.873990e-03,2.834493e-03,2.808267e-03,2.743189e-03,2.705831e-03,2.678983e-03,2.615823e-03,2.580961e-03,2.553841e-03,2.493133e-03,2.460906e-03,2.433768e-03,2.375794e-03,2.346207e-03,2.319239e-03,2.264117e-03,2.237096e-03,2.210434e-03,2.158183e-03,2.133608e-03,2.107354e-03,2.057930e-03,2.035661e-03,2.009891e-03,1.963213e-03,1.943100e-03,1.917872e-03,1.873841e-03,1.855732e-03,1.831092e-03,1.789597e-03,1.773344e-03,1.749327e-03,1.710253e-03,1.695713e-03,1.672347e-03,1.635579e-03,1.622616e-03,1.599922e-03,1.565347e-03,1.553833e-03,1.531826e-03,1.499333e-03,1.489147e-03,1.467839e-03,1.437320e-03,1.428350e-03,1.407748e-03,1.379098e-03,1.371238e-03,1.351346e-03,1.324467e-03,1.317618e-03,1.298436e-03,1.273231e-03,1.267302e-03,1.248828e-03,1.225205e-03,1.220111e-03,1.202340e-03,1.180212e-03,1.175873e-03,1.158799e-03,1.138081e-03,1.134424e-03,1.118038e-03,1.098651e-03,1.095609e-03,1.079901e-03,1.061768e-03,1.059278e-03,1.044236e-03,1.027286e-03,1.025290e-03,1.010901e-03,9.950652e-04,9.935111e-04,9.797614e-04,9.649739e-04,9.638128e-04,9.506875e-04,9.368871e-04,9.360742e-04,9.235581e-04,9.106862e-04,9.101807e-04,8.982577e-04,8.862591e-04,8.860234e-04,8.746773e-04,8.634996e-04,8.425121e-04,8.229687e-04,8.047825e-04,7.878715e-04,7.721582e-04,7.575693e-04,7.440357e-04,7.314925e-04,7.198780e-04,7.091344e-04,6.992070e-04,6.900444e-04,6.815981e-04,6.738224e-04,6.666741e-04,6.601128e-04,6.541003e-04,6.486007e-04,6.435800e-04,6.390064e-04,6.348499e-04,6.310824e-04,6.276773e-04,6.246096e-04,6.218559e-04,6.193941e-04,6.172034e-04,6.152645e-04,6.135589e-04,6.120695e-04,6.107802e-04,6.096758e-04,6.087421e-04,6.079658e-04,6.073343e-04,6.068361e-04,6.064600e-04,6.061958e-04,6.060340e-04,6.059655e-04,6.059819e-04,6.060754e-04,6.062387e-04,6.064649e-04,6.067476e-04,6.070809e-04,6.074594e-04,6.078777e-04,6.083313e-04
0.000000e+00,7.048744e-10,4.453477e-08,4.751036e-08,7.191040e-07,4.854052e-06,5.195049e-06,2.198591e-05,5.854762e-05,6.169736e-05,1.283058e-04,2.093035e-04,2.170075e-04,3.187862e-04,4.142556e-04,4.248466e-04,5.286108e-04,6.147039e-04,6.259613e-04,7.147402e-04,7.835774e-04,7.941173e-04,8.640673e-04,9.158378e-04,9.250072e-04,9.775681e-04,1.014915e-03,1.022463e-03,1.060412e-03,1.086239e-03,1.092110e-03,1.118202e-03,1.135047e-03,1.139284e-03,1.155899e-03,1.165843e-03,1.168538e-03,1.177645e-03,1.182347e-03,1.183620e-03,1.186821e-03,1.187592e-03,1.187572e-03,1.186163e-03,1.184031e-03,1.182852e-03,1.177873e-03,1.173642e-03,1.171434e-03,1.163722e-03,1.158015e-03,1.154902e-03,1.145124e-03,1.138426e-03,1.134522e-03,1.123214e-03,1.115895e-03,1.111306e-03,1.098894e-03,1.091240e-03,1.086062e-03,1.072885e-03,1.065111e-03,1.059430e-03,1.045756e-03,1.038024e-03,1.031918e-03,1.017961e-03,1.010389e-03,1.003927e-03,9.898533e-04,9.825303e-04,9.757727e-04,9.617137e-04,9.547004e-04,9.477018e-04,9.337592e-04,9.270972e-04,9.199054e-04,9.061575e-04,8.998732e-04,8.925303e-04,8.790368e-04,8.731449e-04,8.656880e-04,8.524935e-04,8.469999e-04,8.394616e-04,8.265991e-04,8.215028e-04,8.139118e-04,8.014044e-04,7.966996e-04,7.890808e-04,7.769441e-04,7.726211e-04,7.649967e-04,7.532402e-04,7.492867e-04,7.416758e-04,7.303043e-04,7.267062e-04,7.191259e-04,7.081405e-04,7.048824e-04,6.973475e-04,6.867463e-04,6.838122e-04,6.763357e-04,6.661145e-04,6.634878e-04,6.560812e-04,6.462341e-04,6.438983e-04,6.365714e-04,6.270912e-04,6.250298e-04,6.177914e-04,6.086698e-04,6.068667e-04,5.997242e-04,5.909524e-04,5.893917e-04,5.823519e-04,5.739203e-04,5.725868e-04,5.656552e-04,5.575541e-04,5.564329e-04,5.496145e-04,5.418339e-04,5.409108e-04,5.342098e-04,5.267397e-04,5.260011e-04,5.194210e-04,5.122513e-04,5.116841e-04,5.052280e-04,4.983487e-04,4.979405e-04,4.916109e-04,4.850121e-04,4.847511e-04,4.785500e-04,4.722221e-04,4.720969e-04,4.660260e-04,4.599593e-04,4.483203e-04,4.371621e-04,4.264673e-04,4.162192e-04,4.064015e-04,3.969983e-04,3.879942e-04,3.793745e-04,3.711246e-04,3.632308e-04,3.556795e-04,3.484577e-04,3.415529e-04,3.349530e-04,3.286462e-04,3.226213e-04,3.168673e-04,3.113739e-04,3.061307e-04,3.011282e-04,2.963567e-04,2.918073e-04,2.874713e-04,2.833401e-04,2.794056e-04,2.756600e-04,2.720958e-04,2.687057e-04,2.654827e-04,2.624200e-04,2.595111e-04,2.567498e-04,2.541301e-04,2.516461e-04,2.492922e-04,2.470631e-04,2.449537e-04,2.429588e-04,2.410737e-04,2.392939e-04,2.376148e-04,2.360321e-04,2.345418e-04,2.331399e-04,2.318226e-04,2.305861e-04,2.294271e-04,2.283420e-04,2.273277e-04
0.000000e+00,1.378199e-08,3.461179e-07,3.640662e-07,3.005296e-06,1.232333e-05,1.292874e-05,3.377189e-05,5.950205e-05,6.120291e-05,8.918627e-05,1.135355e-04,1.155754e-04,1.400019e-04,1.603173e-04,1.624797e-04,1.830971e-04,1.997809e-04,2.019538e-04,2.191422e-04,2.326629e-04,2.347580e-04,2.488964e-04,2.596982e-04,2.616492e-04,2.731048e-04,2.815895e-04,2.833473e-04,2.924571e-04,2.989807e-04,3.005103e-04,3.075787e-04,3.124522e-04,3.137302e-04,3.190291e-04,3.225232e-04,3.235356e-04,3.273064e-04,3.296548e-04,3.303950e-04,3.328516e-04,3.342555e-04,3.347231e-04,3.360540e-04,3.366861e-04,3.368855e-04,3.372567e-04,3.372649e-04,3.372040e-04,3.367615e-04,3.362716e-04,3.359612e-04,3.348331e-04,3.339521e-04,3.334052e-04,3.317037e-04,3.305222e-04,3.297531e-04,3.275762e-04,3.261705e-04,3.251945e-04,3.226279e-04,3.210620e-04,3.198951e-04,3.170133e-04,3.153405e-04,3.139988e-04,3.108667e-04,3.091314e-04,3.076309e-04,3.043046e-04,3.025433e-04,3.008999e-04,2.974281e-04,2.956703e-04,2.938997e-04,2.903242e-04,2.885940e-04,2.867109e-04,2.830679e-04,2.813843e-04,2.794030e-04,2.757234e-04,2.741014e-04,2.720355e-04,2.683455e-04,2.667964e-04,2.646589e-04,2.609809e-04,2.595132e-04,2.573162e-04,2.536690e-04,2.522886e-04,2.500434e-04,2.464429e-04,2.451535e-04,2.428708e-04,2.393300e-04,2.381338e-04,2.358233e-04,2.323531e-04,2.312507e-04,2.289216e-04,2.255307e-04,2.245216e-04,2.221822e-04,2.188776e-04,2.179603e-04,2.156183e-04,2.124054e-04,2.115778e-04,2.092401e-04,2.061232e-04,2.053824e-04,2.030553e-04,2.000373e-04,1.993801e-04,1.970695e-04,1.941524e-04,1.935750e-04,1.912862e-04,1.884711e-04,1.879698e-04,1.857072e-04,1.829947e-04,1.825654e-04,1.803333e-04,1.777230e-04,1.773617e-04,1.751637e-04,1.726550e-04,1.723574e-04,1.701968e-04,1.677886e-04,1.675505e-04,1.654301e-04,1.631209e-04,1.629383e-04,1.608606e-04,1.586485e-04,1.585174e-04,1.564844e-04,1.543675e-04,1.542838e-04,1.522974e-04,1.502734e-04,1.502334e-04,1.482950e-04,1.463616e-04,1.426634e-04,1.391339e-04,1.357680e-04,1.325604e-04,1.295058e-04,1.265990e-04,1.238346e-04,1.212075e-04,1.187124e-04,1.163442e-04,1.140980e-04,1.119688e-04,1.099519e-04,1.080425e-04,1.062362e-04,1.045285e-04,1.029151e-04,1.013919e-04,9.995491e-05,9.860016e-05,9.732397e-05,9.612270e-05,9.499289e-05,9.393118e-05,9.293435e-05,9.199929e-05,9.112303e-05,9.030270e-05,8.953557e-05,8.881901e-05,8.815049e-05,8.752759e-05,8.694801e-05,8.640953e-05,8.591002e-05,8.544746e-05,8.501990e-05,8.462551e-05,8.426250e-05,8.392919e-05,8.362396e-05,8.334527e-05,8.309165e-05,8.286171e-05,8.265409e-05,8.246753e-05,8.230082e-05,8.215279e-05,8.202235e-05
0.000000e+00,2.931084e-09,1.445296e-07,1.530586e-07,1.584357e-06,8.164374e-06,8.667721e-06,3.261299e-05,8.835136e-05,9.350367e-05,2.162895e-04,4.010194e-04,4.205883e-04,7.112403e-04,1.037606e-03,1.076997e-03,1.496518e-03,1.891072e-03,1.945806e-03,2.403326e-03,2.790424e-03,2.852269e-03,3.280848e-03,3.619555e-03,3.681604e-03,4.050407e-03,4.327694e-03,4.385498e-03,4.686703e-03,4.903808e-03,4.954857e-03,5.191402e-03,5.355094e-03,5.398105e-03,5.576891e-03,5.695306e-03,5.729724e-03,5.858541e-03,5.939510e-03,5.965217e-03,6.051539e-03,6.102038e-03,6.119193e-03,6.169761e-03,6.195790e-03,6.204725e-03,6.225465e-03,6.232104e-03,6.233267e-03,6.229322e-03,6.220826e-03,6.214740e-03,6.190546e-03,6.170460e-03,6.157692e-03,6.117057e-03,6.088316e-03,6.069457e-03,6.015644e-03,5.980665e-03,5.956313e-03,5.892107e-03,5.852870e-03,5.823619e-03,5.751393e-03,5.709504e-03,5.675934e-03,5.597705e-03,5.554460e-03,5.517130e-03,5.434603e-03,5.391038e-03,5.350482e-03,5.265097e-03,5.222026e-03,5.178749e-03,5.091714e-03,5.049767e-03,5.004243e-03,4.916566e-03,4.876223e-03,4.828891e-03,4.741409e-03,4.703022e-03,4.654290e-03,4.567689e-03,4.531506e-03,4.481747e-03,4.396589e-03,4.362771e-03,4.312327e-03,4.229061e-03,4.197700e-03,4.146881e-03,4.065864e-03,4.036997e-03,3.986080e-03,3.907590e-03,3.881207e-03,3.830445e-03,3.754689e-03,3.730747e-03,3.680361e-03,3.607491e-03,3.585919e-03,3.536106e-03,3.466225e-03,3.446931e-03,3.397864e-03,3.331034e-03,3.313910e-03,3.265741e-03,3.201988e-03,3.186917e-03,3.139775e-03,3.079099e-03,3.065956e-03,3.019953e-03,2.962328e-03,2.950985e-03,2.906214e-03,2.851597e-03,2.841924e-03,2.798463e-03,2.746794e-03,2.738662e-03,2.696574e-03,2.647782e-03,2.641064e-03,2.600399e-03,2.554402e-03,2.548975e-03,2.509770e-03,2.466480e-03,2.462224e-03,2.424509e-03,2.383831e-03,2.380632e-03,2.344423e-03,2.306260e-03,2.304009e-03,2.269316e-03,2.233567e-03,2.232161e-03,2.198986e-03,2.165550e-03,2.164892e-03,2.133231e-03,2.102005e-03,2.043301e-03,1.988588e-03,1.937672e-03,1.890367e-03,1.846489e-03,1.805859e-03,1.768305e-03,1.733661e-03,1.701765e-03,1.672462e-03,1.645605e-03,1.621051e-03,1.598663e-03,1.578312e-03,1.559872e-03,1.543225e-03,1.528259e-03,1.514865e-03,1.502942e-03,1.492392e-03,1.483123e-03,1.475048e-03,1.468083e-03,1.462151e-03,1.457177e-03,1.453090e-03,1.449824e-03,1.447316e-03,1.445506e-03,1.444339e-03,1.443762e-03,1.443725e-03,1.444181e-03,1.445085e-03,1.446397e-03,1.448077e-03,1.450088e-03,1.452397e-03,1.454970e-03,1.457778e-03,1.460793e-03,1.463988e-03,1.467338e-03,1.470822e-03,1.474416e-03,1.478102e-03,1.481862e-03,1.485677e-03,1.489533e-03
0.000000e+00,6.601492e-09,2.831340e-07,3.002436e-07,3.416592e-06,1.727067e-05,1.825046e-05,5.519863e-05,1.066272e-04,1.101975e-04,1.710867e-04,2.263460e-04,2.310425e-04,2.879615e-04,3.362268e-04,3.414151e-04,3.914080e-04,4.326221e-04,4.380456e-04,4.814531e-04,5.162982e-04,5.217591e-04,5.590903e-04,5.882413e-04,5.935721e-04,6.253315e-04,6.494325e-04,6.544965e-04,6.811940e-04,7.008595e-04,7.055491e-04,7.276836e-04,7.434836e-04,7.477164e-04,7.657619e-04,7.782155e-04,7.819307e-04,7.963288e-04,8.059035e-04,8.090580e-04,8.202155e-04,8.273280e-04,8.298941e-04,8.381823e-04,8.432021e-04,8.451645e-04,8.509209e-04,8.541741e-04,8.555277e-04,8.590577e-04,8.608312e-04,8.615796e-04,8.631590e-04,8.637039e-04,8.638579e-04,8.637352e-04,8.632711e-04,8.628467e-04,8.612454e-04,8.599634e-04,8.589814e-04,8.561022e-04,8.541681e-04,8.526527e-04,8.486755e-04,8.462329e-04,8.442109e-04,8.392968e-04,8.364690e-04,8.339692e-04,8.282621e-04,8.251552e-04,8.222076e-04,8.158360e-04,8.125402e-04,8.091758e-04,8.022540e-04,7.988461e-04,7.950960e-04,7.877257e-04,7.842704e-04,7.801657e-04,7.724373e-04,7.689885e-04,7.645602e-04,7.565535e-04,7.531562e-04,7.484346e-04,7.402201e-04,7.369111e-04,7.319256e-04,7.235657e-04,7.203746e-04,7.151539e-04,7.067031e-04,7.036536e-04,6.982253e-04,6.897316e-04,6.868420e-04,6.812324e-04,6.727376e-04,6.700216e-04,6.642561e-04,6.557963e-04,6.532639e-04,6.473663e-04,6.389731e-04,6.366306e-04,6.306236e-04,6.223241e-04,6.201751e-04,6.140802e-04,6.058974e-04,6.039431e-04,5.977804e-04,5.897339e-04,5.879735e-04,5.817619e-04,5.738681e-04,5.722991e-04,5.660560e-04,5.583287e-04,5.569471e-04,5.506890e-04,5.431394e-04,5.419400e-04,5.356822e-04,5.283193e-04,5.272962e-04,5.210526e-04,5.138835e-04,5.130298e-04,5.068134e-04,4.998435e-04,4.991520e-04,4.929746e-04,4.862077e-04,4.856708e-04,4.795433e-04,4.729818e-04,4.725914e-04,4.665237e-04,4.601692e-04,4.599172e-04,4.539183e-04,4.477709e-04,4.476490e-04,4.417270e-04,4.357863e-04,4.243267e-04,4.132667e-04,4.026016e-04,3.923256e-04,3.824324e-04,3.729148e-04,3.637648e-04,3.549744e-04,3.465349e-04,3.384374e-04,3.306727e-04,3.232317e-04,3.161048e-04,3.092828e-04,3.027560e-04,2.965152e-04,2.905510e-04,2.848541e-04,2.794155e-04,2.742260e-04,2.692769e-04,2.645594e-04,2.600652e-04,2.557859e-04,2.517133e-04,2.478396e-04,2.441571e-04,2.406583e-04,2.373360e-04,2.341830e-04,2.311926e-04,2.283581e-04,2.256731e-04,2.231314e-04,2.207270e-04,2.184541e-04,2.163071e-04,2.142805e-04,2.123692e-04,2.105681e-04,2.088725e-04,2.072775e-04,2.057788e-04,2.043719e-04,2.030528e-04,2.018174e-04,2.006618e-04,1.995824e-04,1.985756e-04
0.000000e+00,6.266005e-10,3.697886e-08,3.931715e-08,4.984391e-07,3.071154e-06,3.282709e-06,1.436927e-05,4.362845e-05,4.647572e-05,1.187822e-04,2.389900e-04,2.523780e-04,4.642863e-04,7.297681e-04,7.637365e-04,1.151477e-03,1.560721e-03,1.621039e-03,2.160784e-03,2.669930e-03,2.756010e-03,3.390756e-03,3.942869e-03,4.049183e-03,4.716527e-03,5.261151e-03,5.379684e-03,6.027505e-03,6.528532e-03,6.650882e-03,7.242682e-03,7.678895e-03,7.797602e-03,8.311957e-03,8.674282e-03,8.783456e-03,9.210977e-03,9.498900e-03,9.594353e-03,9.934171e-03,1.015251e-02,1.023160e-02,1.048826e-02,1.064468e-02,1.070606e-02,1.088713e-02,1.099042e-02,1.103372e-02,1.114814e-02,1.120716e-02,1.123270e-02,1.128970e-02,1.131273e-02,1.132133e-02,1.132975e-02,1.132420e-02,1.131698e-02,1.128495e-02,1.125725e-02,1.123549e-02,1.117029e-02,1.112590e-02,1.109095e-02,1.099895e-02,1.094242e-02,1.089566e-02,1.078236e-02,1.071743e-02,1.066023e-02,1.053034e-02,1.046007e-02,1.039371e-02,1.025124e-02,1.017809e-02,1.010379e-02,9.952130e-03,9.878049e-03,9.796969e-03,9.638958e-03,9.565481e-03,9.478691e-03,9.316709e-03,9.245024e-03,9.153510e-03,8.989542e-03,8.920546e-03,8.825215e-03,8.660903e-03,8.595258e-03,8.496942e-03,8.333636e-03,8.271810e-03,8.171263e-03,8.010070e-03,7.952374e-03,7.850282e-03,7.692096e-03,7.638710e-03,7.535691e-03,7.381227e-03,7.332231e-03,7.228841e-03,7.078659e-03,7.034050e-03,6.930786e-03,6.785317e-03,6.745028e-03,6.642332e-03,6.501898e-03,6.465811e-03,6.364074e-03,6.228905e-03,6.196864e-03,6.096430e-03,5.966678e-03,5.938500e-03,5.839670e-03,5.715419e-03,5.690901e-03,5.593935e-03,5.475217e-03,5.454141e-03,5.359263e-03,5.246064e-03,5.228207e-03,5.135606e-03,5.027874e-03,5.013008e-03,4.922846e-03,4.820498e-03,4.808395e-03,4.720803e-03,4.623733e-03,4.614169e-03,4.529255e-03,4.437336e-03,4.430092e-03,4.347941e-03,4.261032e-03,4.255896e-03,4.176571e-03,4.094519e-03,4.091286e-03,4.014835e-03,3.937477e-03,3.935954e-03,3.862405e-03,3.789575e-03,3.651821e-03,3.522355e-03,3.400843e-03,3.286948e-03,3.180340e-03,3.080692e-03,2.987684e-03,2.901005e-03,2.820350e-03,2.745424e-03,2.675942e-03,2.611628e-03,2.552216e-03,2.497450e-03,2.447084e-03,2.400883e-03,2.358619e-03,2.320077e-03,2.285048e-03,2.253334e-03,2.224746e-03,2.199104e-03,2.176233e-03,2.155969e-03,2.138156e-03,2.122643e-03,2.109287e-03,2.097952e-03,2.088510e-03,2.080836e-03,2.074812e-03,2.070328e-03,2.067277e-03,2.065558e-03,2.065074e-03,2.065734e-03,2.067450e-03,2.070141e-03,2.073728e-03,2.078137e-03,2.083297e-03,2.089140e-03,2.095604e-03,2.102628e-03,2.110155e-03,2.118131e-03,2.126505e-03,2.135229e-03,2.144258e-03
0.000000e+00,1.183448e-08,2.725853e-07,2.852866e-07,1.900815e-06,7.619832e-06,8.019044e-06,2.454591e-05,5.427767e-05,5.664995e-05,1.022231e-04,1.490119e-04,1.531015e-04,2.030202e-04,2.450186e-04,2.494844e-04,2.918656e-04,3.257764e-04,3.301615e-04,3.645558e-04,3.911913e-04,3.952809e-04,4.225771e-04,4.430284e-04,4.466797e-04,4.678150e-04,4.830840e-04,4.861995e-04,5.020395e-04,5.130114e-04,5.155308e-04,5.268589e-04,5.343061e-04,5.361988e-04,5.437155e-04,5.483042e-04,5.495635e-04,5.538879e-04,5.561869e-04,5.568239e-04,5.584978e-04,5.589878e-04,5.590271e-04,5.585208e-04,5.576048e-04,5.570802e-04,5.547991e-04,5.528123e-04,5.517642e-04,5.480557e-04,5.452753e-04,5.437477e-04,5.389085e-04,5.355620e-04,5.336011e-04,5.278834e-04,5.241559e-04,5.218086e-04,5.154257e-04,5.114669e-04,5.087795e-04,5.019111e-04,4.978405e-04,4.948580e-04,4.876547e-04,4.835670e-04,4.803325e-04,4.729199e-04,4.688887e-04,4.654429e-04,4.579250e-04,4.540068e-04,4.503877e-04,4.428502e-04,4.390870e-04,4.353301e-04,4.278429e-04,4.242649e-04,4.204027e-04,4.130222e-04,4.096503e-04,4.057125e-04,3.984836e-04,3.953308e-04,3.913443e-04,3.843022e-04,3.813752e-04,3.773642e-04,3.705360e-04,3.678366e-04,3.638226e-04,3.572283e-04,3.547545e-04,3.507567e-04,3.444106e-04,3.421573e-04,3.381925e-04,3.321041e-04,3.300638e-04,3.261468e-04,3.203214e-04,3.184852e-04,3.146285e-04,3.090682e-04,3.074260e-04,3.036405e-04,2.983447e-04,2.968854e-04,2.931801e-04,2.881460e-04,2.868583e-04,2.832410e-04,2.784638e-04,2.773361e-04,2.738129e-04,2.692867e-04,2.683075e-04,2.648834e-04,2.606011e-04,2.597590e-04,2.564379e-04,2.523915e-04,2.516754e-04,2.484599e-04,2.446410e-04,2.440403e-04,2.409325e-04,2.373320e-04,2.368365e-04,2.338374e-04,2.304463e-04,2.300462e-04,2.271563e-04,2.239652e-04,2.236515e-04,2.208706e-04,2.178702e-04,2.176342e-04,2.149616e-04,2.121426e-04,2.119763e-04,2.094109e-04,2.067642e-04,2.066600e-04,2.042002e-04,2.017169e-04,2.016680e-04,1.993119e-04,1.969832e-04,1.925892e-04,1.884699e-04,1.846101e-04,1.809949e-04,1.776103e-04,1.744428e-04,1.714796e-04,1.687083e-04,1.661174e-04,1.636958e-04,1.614331e-04,1.593196e-04,1.573458e-04,1.555029e-04,1.537828e-04,1.521775e-04,1.506798e-04,1.492827e-04,1.479798e-04,1.467650e-04,1.456325e-04,1.445771e-04,1.435937e-04,1.426775e-04,1.418243e-04,1.410297e-04,1.402901e-04,1.396017e-04,1.389612e-04,1.383655e-04,1.378115e-04,1.372965e-04,1.368179e-04,1.363734e-04,1.359606e-04,1.355774e-04,1.352219e-04,1.348922e-04,1.345867e-04,1.343036e-04,1.340416e-04,1.337992e-04,1.335751e-04,1.333681e-04,1.331771e-04,1.330009e-04,1.328386e-04,1.326893e-04,1.325522e-04
0.000000e+00,6.832803e-09,9.623009e-08,1.005669e-07,6.600655e-07,2.424617e-06,2.536090e-06,6.324128e-06,1.101057e-05,1.132235e-05,1.648492e-05,2.101538e-05,2.139604e-05,2.596456e-05,2.977641e-05,3.018275e-05,3.406247e-05,3.720968e-05,3.762017e-05,4.087323e-05,4.344037e-05,4.383890e-05,4.653403e-05,4.860079e-05,4.897490e-05,5.117718e-05,5.281551e-05,5.315579e-05,5.492496e-05,5.619865e-05,5.649828e-05,5.788863e-05,5.885397e-05,5.910822e-05,6.016863e-05,6.087476e-05,6.108067e-05,6.185459e-05,6.234407e-05,6.250005e-05,6.302616e-05,6.333590e-05,6.344150e-05,6.375411e-05,6.391589e-05,6.397157e-05,6.410101e-05,6.414219e-05,6.414913e-05,6.412221e-05,6.406621e-05,6.402614e-05,6.386646e-05,6.373330e-05,6.364837e-05,6.337673e-05,6.318344e-05,6.305611e-05,6.269079e-05,6.245182e-05,6.228477e-05,6.184180e-05,6.156934e-05,6.136539e-05,6.085882e-05,6.056312e-05,6.032515e-05,5.976725e-05,5.945686e-05,5.918779e-05,5.858926e-05,5.827127e-05,5.797399e-05,5.734415e-05,5.702441e-05,5.670176e-05,5.604869e-05,5.573195e-05,5.538670e-05,5.471740e-05,5.440749e-05,5.404230e-05,5.336280e-05,5.306277e-05,5.268020e-05,5.199569e-05,5.170789e-05,5.131038e-05,5.062529e-05,5.035153e-05,4.994137e-05,4.925948e-05,4.900106e-05,4.858042e-05,4.790493e-05,4.766276e-05,4.723367e-05,4.656727e-05,4.634189e-05,4.590627e-05,4.525118e-05,4.504288e-05,4.460247e-05,4.396056e-05,4.376937e-05,4.332581e-05,4.269857e-05,4.252433e-05,4.207914e-05,4.146779e-05,4.131019e-05,4.086474e-05,4.027021e-05,4.012881e-05,3.968437e-05,3.910739e-05,3.898165e-05,3.853938e-05,3.798046e-05,3.786977e-05,3.743071e-05,3.689021e-05,3.679391e-05,3.635900e-05,3.583712e-05,3.575449e-05,3.532460e-05,3.482142e-05,3.475172e-05,3.432759e-05,3.384309e-05,3.378558e-05,3.336789e-05,3.290195e-05,3.285587e-05,3.244522e-05,3.199764e-05,3.196223e-05,3.155915e-05,3.112967e-05,3.110418e-05,3.070912e-05,3.029743e-05,3.028115e-05,2.989450e-05,2.950023e-05,2.949243e-05,2.911453e-05,2.873730e-05,2.801494e-05,2.732449e-05,2.666506e-05,2.603574e-05,2.543560e-05,2.486369e-05,2.431906e-05,2.380078e-05,2.330788e-05,2.283945e-05,2.239457e-05,2.197232e-05,2.157182e-05,2.119219e-05,2.083259e-05,2.049219e-05,2.017019e-05,1.986579e-05,1.957824e-05,1.930680e-05,1.905076e-05,1.880942e-05,1.858213e-05,1.836823e-05,1.816711e-05,1.797817e-05,1.780083e-05,1.763454e-05,1.747877e-05,1.733301e-05,1.719676e-05,1.706955e-05,1.695093e-05,1.684046e-05,1.673774e-05,1.664236e-05,1.655393e-05,1.647210e-05,1.639651e-05,1.632683e-05,1.626274e-05,1.620394e-05,1.615012e-05,1.610101e-05,1.605635e-05,1.601589e-05,1.597937e-05,1.594657e-05,1.591726e-05
0.000000e+00,4.834818e-10,3.255077e-08,3.472425e-08,5.206980e-07,3.647140e-06,3.915267e-06,1.863703e-05,5.915006e-05,6.313540e-05,1.651861e-04,3.367028e-04,3.559234e-04,6.633211e-04,1.056973e-03,1.108025e-03,1.701612e-03,2.349284e-03,2.446548e-03,3.337168e-03,4.210378e-03,4.361164e-03,5.501260e-03,6.533644e-03,6.736840e-03,8.045432e-03,9.156768e-03,9.403963e-03,1.078978e-02,1.190360e-02,1.218143e-02,1.355921e-02,1.461288e-02,1.490557e-02,1.620531e-02,1.715397e-02,1.744563e-02,1.861617e-02,1.943262e-02,1.970886e-02,2.071778e-02,2.139004e-02,2.163897e-02,2.247025e-02,2.299824e-02,2.321095e-02,2.386173e-02,2.425376e-02,2.442435e-02,2.490145e-02,2.517112e-02,2.529643e-02,2.561321e-02,2.577689e-02,2.585610e-02,2.602973e-02,2.610467e-02,2.613884e-02,2.618826e-02,2.619126e-02,2.618279e-02,2.612718e-02,2.607376e-02,2.602601e-02,2.588370e-02,2.578763e-02,2.570449e-02,2.549238e-02,2.536548e-02,2.525111e-02,2.498423e-02,2.483642e-02,2.469500e-02,2.438644e-02,2.422580e-02,2.406136e-02,2.372231e-02,2.355529e-02,2.337162e-02,2.301143e-02,2.284308e-02,2.264365e-02,2.227004e-02,2.210421e-02,2.189216e-02,2.151142e-02,2.135097e-02,2.112908e-02,2.074626e-02,2.059322e-02,2.036395e-02,1.998305e-02,1.983884e-02,1.960433e-02,1.922847e-02,1.909398e-02,1.885609e-02,1.848769e-02,1.836343e-02,1.812375e-02,1.776465e-02,1.765081e-02,1.741072e-02,1.706227e-02,1.695883e-02,1.671952e-02,1.638269e-02,1.628946e-02,1.605193e-02,1.572739e-02,1.564405e-02,1.540918e-02,1.509737e-02,1.502349e-02,1.479202e-02,1.449318e-02,1.442831e-02,1.420087e-02,1.391509e-02,1.385872e-02,1.363584e-02,1.336311e-02,1.331470e-02,1.309685e-02,1.283704e-02,1.279607e-02,1.258363e-02,1.233655e-02,1.230247e-02,1.209576e-02,1.186119e-02,1.183346e-02,1.163277e-02,1.141041e-02,1.138851e-02,1.119405e-02,1.098360e-02,1.096702e-02,1.077898e-02,1.058010e-02,1.056835e-02,1.038687e-02,1.019921e-02,1.019182e-02,1.001702e-02,9.840209e-03,9.836727e-03,9.668688e-03,9.502362e-03,9.187997e-03,8.892907e-03,8.616369e-03,8.357661e-03,8.116073e-03,7.890903e-03,7.681461e-03,7.487071e-03,7.307071e-03,7.140814e-03,6.987668e-03,6.847017e-03,6.718262e-03,6.600817e-03,6.494114e-03,6.397602e-03,6.310741e-03,6.233012e-03,6.163907e-03,6.102936e-03,6.049621e-03,6.003501e-03,5.964127e-03,5.931068e-03,5.903904e-03,5.882229e-03,5.865652e-03,5.853795e-03,5.846296e-03,5.842802e-03,5.842978e-03,5.846500e-03,5.853057e-03,5.862354e-03,5.874106e-03,5.888043e-03,5.903908e-03,5.921457e-03,5.940458e-03,5.960693e-03,5.981955e-03,6.004051e-03,6.026801e-03,6.050033e-03,6.073592e-03,6.097330e-03,6.121114e-03,6.144820e-03,6.168334e-03
0.000000e+00,2.476431e-10,1.406715e-08,1.494332e-08,1.810315e-07,1.073958e-06,1.146358e-06,4.873631e-06,1.451313e-05,1.544459e-05,3.893570e-05,7.766050e-05,8.195729e-05,1.495925e-04,2.333057e-04,2.439307e-04,3.637591e-04,4.872305e-04,5.051620e-04,6.625077e-04,8.057303e-04,8.294385e-04,9.996706e-04,1.141050e-03,1.167544e-03,1.328340e-03,1.452317e-03,1.478408e-03,1.615164e-03,1.713873e-03,1.736999e-03,1.843137e-03,1.914947e-03,1.933483e-03,2.008464e-03,2.055658e-03,2.068884e-03,2.115803e-03,2.142539e-03,2.150431e-03,2.174045e-03,2.184949e-03,2.187929e-03,2.193326e-03,2.192685e-03,2.191408e-03,2.183256e-03,2.174658e-03,2.169853e-03,2.152075e-03,2.138325e-03,2.130695e-03,2.106389e-03,2.089570e-03,2.079739e-03,2.051245e-03,2.032842e-03,2.021332e-03,1.990358e-03,1.971391e-03,1.958622e-03,1.926376e-03,1.907522e-03,1.893826e-03,1.861143e-03,1.842836e-03,1.828467e-03,1.795912e-03,1.778415e-03,1.763568e-03,1.731509e-03,1.714970e-03,1.699793e-03,1.668467e-03,1.652963e-03,1.637570e-03,1.607128e-03,1.592685e-03,1.577165e-03,1.547696e-03,1.534309e-03,1.518731e-03,1.490280e-03,1.477926e-03,1.462348e-03,1.434936e-03,1.423579e-03,1.408047e-03,1.381681e-03,1.371280e-03,1.355835e-03,1.330506e-03,1.321016e-03,1.305690e-03,1.281384e-03,1.272757e-03,1.257581e-03,1.234276e-03,1.226465e-03,1.211463e-03,1.189137e-03,1.182094e-03,1.167290e-03,1.145916e-03,1.139595e-03,1.125008e-03,1.104560e-03,1.098916e-03,1.084564e-03,1.065012e-03,1.060001e-03,1.045899e-03,1.027216e-03,1.022796e-03,1.008957e-03,9.911136e-04,9.872432e-04,9.736790e-04,9.566460e-04,9.532870e-04,9.400073e-04,9.237558e-04,9.208710e-04,9.078841e-04,8.923853e-04,8.899396e-04,8.772522e-04,8.624779e-04,8.604378e-04,8.480555e-04,8.339780e-04,8.323116e-04,8.202387e-04,8.068310e-04,8.055082e-04,7.937482e-04,7.809837e-04,7.799761e-04,7.685311e-04,7.563842e-04,7.556649e-04,7.445365e-04,7.329819e-04,7.325258e-04,7.217145e-04,7.107281e-04,7.105112e-04,7.000169e-04,6.895752e-04,6.696732e-04,6.507622e-04,6.328007e-04,6.157484e-04,5.995668e-04,5.842186e-04,5.696679e-04,5.558803e-04,5.428226e-04,5.304628e-04,5.187703e-04,5.077157e-04,4.972706e-04,4.874080e-04,4.781018e-04,4.693269e-04,4.610593e-04,4.532761e-04,4.459551e-04,4.390751e-04,4.326159e-04,4.265579e-04,4.208825e-04,4.155718e-04,4.106085e-04,4.059763e-04,4.016593e-04,3.976425e-04,3.939112e-04,3.904516e-04,3.872505e-04,3.842949e-04,3.815728e-04,3.790723e-04,3.767823e-04,3.746919e-04,3.727909e-04,3.710694e-04,3.695180e-04,3.681276e-04,3.668894e-04,3.657951e-04,3.648369e-04,3.640071e-04,3.632983e-04,3.627035e-04,3.622163e-04,3.618300e-04,3.615386e-04
0.000000e+00,2.973379e-09,1.417053e-07,1.502853e-07,1.736873e-06,9.551537e-06,1.014532e-05,3.619052e-05,8.413046e-05,8.794614e-05,1.615648e-04,2.392031e-04,2.461210e-04,3.321450e-04,4.062826e-04,4.142307e-04,4.900497e-04,5.510253e-04,5.589210e-04,6.208966e-04,6.689335e-04,6.763124e-04,7.255973e-04,7.625857e-04,7.691981e-04,8.075525e-04,8.353815e-04,8.410775e-04,8.701657e-04,8.904897e-04,8.951849e-04,9.164793e-04,9.307097e-04,9.343687e-04,9.491503e-04,9.584758e-04,9.610990e-04,9.704686e-04,9.758802e-04,9.774935e-04,9.823897e-04,9.847092e-04,9.853561e-04,9.865758e-04,9.864811e-04,9.862172e-04,9.844351e-04,9.824832e-04,9.813717e-04,9.771575e-04,9.738045e-04,9.719126e-04,9.657468e-04,9.613643e-04,9.587609e-04,9.510475e-04,9.459371e-04,9.426910e-04,9.337691e-04,9.281742e-04,9.243525e-04,9.145062e-04,9.086219e-04,9.042893e-04,8.937558e-04,8.877374e-04,8.829552e-04,8.719324e-04,8.659023e-04,8.607284e-04,8.493804e-04,8.434339e-04,8.379224e-04,8.263851e-04,8.205955e-04,8.147964e-04,8.031816e-04,7.976040e-04,7.915635e-04,7.799627e-04,7.746374e-04,7.683979e-04,7.568856e-04,7.518408e-04,7.454410e-04,7.340774e-04,7.293318e-04,7.228068e-04,7.116399e-04,7.072043e-04,7.005860e-04,6.896536e-04,6.855326e-04,6.788498e-04,6.681811e-04,6.643745e-04,6.576530e-04,6.472703e-04,6.437741e-04,6.370370e-04,6.269565e-04,6.237635e-04,6.170316e-04,6.072646e-04,6.043656e-04,5.976573e-04,5.882109e-04,5.855949e-04,5.789265e-04,5.698046e-04,5.674595e-04,5.608454e-04,5.520489e-04,5.499619e-04,5.434148e-04,5.349424e-04,5.331001e-04,5.266310e-04,5.184797e-04,5.168685e-04,5.104871e-04,5.026521e-04,5.012584e-04,4.949732e-04,4.874487e-04,4.862590e-04,4.800770e-04,4.728563e-04,4.718574e-04,4.657848e-04,4.588605e-04,4.580393e-04,4.520813e-04,4.454453e-04,4.447895e-04,4.389503e-04,4.325943e-04,4.320917e-04,4.263750e-04,4.202902e-04,4.199294e-04,4.143378e-04,4.085155e-04,4.082853e-04,4.028212e-04,3.972526e-04,3.971425e-04,3.918074e-04,3.864835e-04,3.762912e-04,3.665487e-04,3.572392e-04,3.483462e-04,3.398536e-04,3.317457e-04,3.240072e-04,3.166233e-04,3.095795e-04,3.028619e-04,2.964570e-04,2.903517e-04,2.845335e-04,2.789903e-04,2.737102e-04,2.686822e-04,2.638954e-04,2.593394e-04,2.550042e-04,2.508802e-04,2.469582e-04,2.432294e-04,2.396853e-04,2.363178e-04,2.331190e-04,2.300815e-04,2.271981e-04,2.244619e-04,2.218665e-04,2.194054e-04,2.170726e-04,2.148624e-04,2.127692e-04,2.107878e-04,2.089129e-04,2.071399e-04,2.054640e-04,2.038808e-04,2.023859e-04,2.009755e-04,1.996455e-04,1.983922e-04,1.972120e-04,1.961015e-04,1.950575e-04,1.940769e-04,1.931565e-04,1.922936e-04,1.914854e-04
0.000000e+00,9.251902e-10,1.799993e-08,1.885225e-08,1.165278e-07,3.432296e-07,3.552308e-07,6.855793e-07,1.006257e-06,1.026361e-06,1.351911e-06,1.634382e-06,1.658161e-06,1.944979e-06,2.186993e-06,2.212965e-06,2.462873e-06,2.668461e-06,2.695488e-06,2.911564e-06,3.084721e-06,3.111837e-06,3.297064e-06,3.441574e-06,3.467992e-06,3.625343e-06,3.744732e-06,3.769817e-06,3.902088e-06,3.999554e-06,4.022803e-06,4.132582e-06,4.211001e-06,4.232019e-06,4.321680e-06,4.383619e-06,4.402108e-06,4.473818e-06,4.521562e-06,4.537304e-06,4.593035e-06,4.628611e-06,4.641457e-06,4.682998e-06,4.708199e-06,4.718062e-06,4.747034e-06,4.763444e-06,4.770282e-06,4.788153e-06,4.797165e-06,4.800980e-06,4.809077e-06,4.811915e-06,4.812742e-06,4.812261e-06,4.809998e-06,4.807902e-06,4.799921e-06,4.793496e-06,4.788561e-06,4.774053e-06,4.764282e-06,4.756614e-06,4.736452e-06,4.724045e-06,4.713762e-06,4.688731e-06,4.674303e-06,4.661535e-06,4.632340e-06,4.616421e-06,4.601304e-06,4.568576e-06,4.551622e-06,4.534298e-06,4.498602e-06,4.481003e-06,4.461616e-06,4.423458e-06,4.405543e-06,4.384241e-06,4.344072e-06,4.326121e-06,4.303050e-06,4.261270e-06,4.243518e-06,4.218821e-06,4.175788e-06,4.158429e-06,4.132250e-06,4.088280e-06,4.071474e-06,4.043950e-06,3.999325e-06,3.983200e-06,3.954467e-06,3.909434e-06,3.894093e-06,3.864281e-06,3.819058e-06,3.804580e-06,3.773814e-06,3.728594e-06,3.715038e-06,3.683438e-06,3.638388e-06,3.625797e-06,3.593478e-06,3.548743e-06,3.537145e-06,3.504215e-06,3.459923e-06,3.449331e-06,3.415895e-06,3.372155e-06,3.362573e-06,3.328727e-06,3.285633e-06,3.277057e-06,3.242893e-06,3.200526e-06,3.192940e-06,3.158547e-06,3.116972e-06,3.110358e-06,3.075815e-06,3.035090e-06,3.029423e-06,2.994807e-06,2.954976e-06,2.950228e-06,2.915608e-06,2.876711e-06,2.872847e-06,2.838291e-06,2.800355e-06,2.797341e-06,2.762909e-06,2.725958e-06,2.723756e-06,2.689505e-06,2.653553e-06,2.652126e-06,2.618106e-06,2.583166e-06,2.582472e-06,2.548733e-06,2.514809e-06,2.449141e-06,2.385465e-06,2.323772e-06,2.264048e-06,2.206272e-06,2.150420e-06,2.096466e-06,2.044378e-06,1.994122e-06,1.945663e-06,1.898964e-06,1.853986e-06,1.810689e-06,1.769032e-06,1.728973e-06,1.690471e-06,1.653485e-06,1.617971e-06,1.583887e-06,1.551193e-06,1.519847e-06,1.489806e-06,1.461032e-06,1.433484e-06,1.407124e-06,1.381911e-06,1.357809e-06,1.334780e-06,1.312789e-06,1.291799e-06,1.271777e-06,1.252688e-06,1.234499e-06,1.217178e-06,1.200695e-06,1.185018e-06,1.170119e-06,1.155968e-06,1.142538e-06,1.129801e-06,1.117732e-06,1.106305e-06,1.095495e-06,1.085278e-06,1.075632e-06,1.066533e-06,1.057960e-06,1.049892e-06,1.042309e-06
0.000000e+00,1.429944e-08,2.026853e-07,2.112280e-07,1.199957e-06,4.023053e-06,4.198067e-06,1.029153e-05,1.876166e-05,1.936968e-05,3.010448e-05,4.014728e-05,4.100095e-05,5.124267e-05,5.969459e-05,6.058742e-05,6.901641e-05,7.571033e-05,7.657292e-05,8.331483e-05,8.850687e-05,8.930179e-05,9.459168e-05,9.853679e-05,9.923946e-05,1.032968e-04,1.062174e-04,1.068122e-04,1.098305e-04,1.119156e-04,1.123937e-04,1.145406e-04,1.159493e-04,1.163071e-04,1.177265e-04,1.185921e-04,1.188295e-04,1.196446e-04,1.200778e-04,1.201978e-04,1.205134e-04,1.206061e-04,1.206137e-04,1.205190e-04,1.203470e-04,1.202484e-04,1.198193e-04,1.194451e-04,1.192476e-04,1.185481e-04,1.180231e-04,1.177344e-04,1.168188e-04,1.161847e-04,1.158128e-04,1.147269e-04,1.140178e-04,1.135708e-04,1.123532e-04,1.115965e-04,1.110822e-04,1.097652e-04,1.089830e-04,1.084090e-04,1.070198e-04,1.062295e-04,1.056032e-04,1.041644e-04,1.033798e-04,1.027080e-04,1.012385e-04,1.004704e-04,9.975958e-05,9.827487e-05,9.753136e-05,9.678757e-05,9.530056e-05,9.458768e-05,9.381647e-05,9.233767e-05,9.165979e-05,9.086629e-05,8.940425e-05,8.876436e-05,8.795326e-05,8.651486e-05,8.591483e-05,8.509042e-05,8.368114e-05,8.312192e-05,8.228809e-05,8.091220e-05,8.039403e-05,7.955428e-05,7.821506e-05,7.773763e-05,7.689513e-05,7.559503e-05,7.515759e-05,7.431519e-05,7.305597e-05,7.265743e-05,7.181767e-05,7.060050e-05,7.023950e-05,6.940464e-05,6.823019e-05,6.790519e-05,6.707723e-05,6.594578e-05,6.565513e-05,6.483583e-05,6.374733e-05,6.348927e-05,6.268020e-05,6.163432e-05,6.140707e-05,6.060957e-05,5.960580e-05,5.940754e-05,5.862281e-05,5.766041e-05,5.748935e-05,5.671839e-05,5.579652e-05,5.565087e-05,5.489455e-05,5.401224e-05,5.389027e-05,5.314932e-05,5.230552e-05,5.220554e-05,5.148057e-05,5.067418e-05,5.059455e-05,4.988606e-05,4.911593e-05,4.905508e-05,4.836348e-05,4.762844e-05,4.758488e-05,4.691048e-05,4.620933e-05,4.618163e-05,4.552467e-05,4.485622e-05,4.484301e-05,4.420366e-05,4.356671e-05,4.235043e-05,4.119190e-05,4.008889e-05,3.903922e-05,3.804073e-05,3.709137e-05,3.618909e-05,3.533194e-05,3.451802e-05,3.374548e-05,3.301256e-05,3.231753e-05,3.165874e-05,3.103460e-05,3.044359e-05,2.988422e-05,2.935508e-05,2.885481e-05,2.838211e-05,2.793573e-05,2.751446e-05,2.711715e-05,2.674269e-05,2.639004e-05,2.605816e-05,2.574610e-05,2.545293e-05,2.517774e-05,2.491969e-05,2.467795e-05,2.445176e-05,2.424036e-05,2.404303e-05,2.385909e-05,2.368789e-05,2.352879e-05,2.338119e-05,2.324453e-05,2.311826e-05,2.300184e-05,2.289478e-05,2.279660e-05,2.270684e-05,2.262506e-05,2.255084e-05,2.248379e-05,2.242351e-05,2.236965e-05,2.232184e-05
0.000000e+00,7.686945e-09,1.179054e-07,1.233461e-07,8.188487e-07,2.896365e-06,3.022872e-06,7.075087e-06,1.164675e-05,1.194044e-05,1.668693e-05,2.071239e-05,2.104542e-05,2.498000e-05,2.817171e-05,2.850676e-05,3.165249e-05,3.412784e-05,3.444524e-05,3.691205e-05,3.879239e-05,3.907854e-05,4.096883e-05,4.235982e-05,4.260554e-05,4.400987e-05,4.500191e-05,4.520156e-05,4.619900e-05,4.686860e-05,4.701926e-05,4.767816e-05,4.808955e-05,4.819035e-05,4.856933e-05,4.877598e-05,4.882758e-05,4.897660e-05,4.902281e-05,4.902698e-05,4.898844e-05,4.891070e-05,4.886996e-05,4.867976e-05,4.850801e-05,4.842539e-05,4.811380e-05,4.787250e-05,4.775135e-05,4.734386e-05,4.705286e-05,4.689667e-05,4.641468e-05,4.609002e-05,4.590235e-05,4.536378e-05,4.501832e-05,4.480268e-05,4.422246e-05,4.386646e-05,4.362624e-05,4.301682e-05,4.265835e-05,4.239680e-05,4.176849e-05,4.141382e-05,4.113402e-05,4.049531e-05,4.014926e-05,3.985410e-05,3.921195e-05,3.887814e-05,3.857028e-05,3.793037e-05,3.761143e-05,3.729335e-05,3.666026e-05,3.635804e-05,3.603199e-05,3.540938e-05,3.512507e-05,3.479313e-05,3.418388e-05,3.391818e-05,3.358219e-05,3.298856e-05,3.274174e-05,3.240340e-05,3.182708e-05,3.159910e-05,3.125991e-05,3.070216e-05,3.049272e-05,3.015403e-05,2.961571e-05,2.942435e-05,2.908734e-05,2.856902e-05,2.839509e-05,2.806083e-05,2.756281e-05,2.740560e-05,2.707499e-05,2.659737e-05,2.645607e-05,2.612993e-05,2.567263e-05,2.554640e-05,2.522542e-05,2.478822e-05,2.467619e-05,2.436097e-05,2.394355e-05,2.384483e-05,2.353588e-05,2.313783e-05,2.305154e-05,2.274928e-05,2.237012e-05,2.229540e-05,2.200020e-05,2.163938e-05,2.157539e-05,2.128753e-05,2.094449e-05,2.089042e-05,2.061012e-05,2.028427e-05,2.023932e-05,1.996678e-05,1.965749e-05,1.962092e-05,1.935625e-05,1.906291e-05,1.903400e-05,1.877730e-05,1.849928e-05,1.847736e-05,1.822867e-05,1.796534e-05,1.794977e-05,1.770912e-05,1.745986e-05,1.745003e-05,1.721741e-05,1.698162e-05,1.697697e-05,1.675233e-05,1.652941e-05,1.610622e-05,1.570629e-05,1.532856e-05,1.497198e-05,1.463555e-05,1.431830e-05,1.401931e-05,1.373767e-05,1.347253e-05,1.322307e-05,1.298849e-05,1.276805e-05,1.256101e-05,1.236670e-05,1.218445e-05,1.201365e-05,1.185367e-05,1.170397e-05,1.156399e-05,1.143322e-05,1.131116e-05,1.119734e-05,1.109132e-05,1.099267e-05,1.090100e-05,1.081591e-05,1.073704e-05,1.066404e-05,1.059658e-05,1.053436e-05,1.047707e-05,1.042443e-05,1.037617e-05,1.033205e-05,1.029181e-05,1.025523e-05,1.022208e-05,1.019218e-05,1.016531e-05,1.014130e-05,1.011996e-05,1.010114e-05,1.008467e-05,1.007041e-05,1.005820e-05,1.004793e-05,1.003946e-05,1.003267e-05,1.002745e-05
0.000000e+00,2.735314e-08,5.882857e-07,6.180518e-07,4.596800e-06,1.589725e-05,1.654178e-05,3.510852e-05,5.376287e-05,5.494142e-05,7.414626e-05,9.099612e-05,9.242291e-05,1.097404e-04,1.245166e-04,1.261118e-04,1.415589e-04,1.544080e-04,1.561073e-04,1.697846e-04,1.808727e-04,1.826202e-04,1.946446e-04,2.041410e-04,2.058890e-04,2.163848e-04,2.244546e-04,2.261631e-04,2.352543e-04,2.420529e-04,2.436886e-04,2.514952e-04,2.571668e-04,2.587024e-04,2.653381e-04,2.700151e-04,2.714285e-04,2.769992e-04,2.808014e-04,2.820748e-04,2.866794e-04,2.897158e-04,2.908357e-04,2.945656e-04,2.969343e-04,2.978904e-04,3.008302e-04,3.026195e-04,3.034047e-04,3.056325e-04,3.069217e-04,3.075316e-04,3.091190e-04,3.099791e-04,3.104114e-04,3.114244e-04,3.119189e-04,3.121732e-04,3.126724e-04,3.128578e-04,3.129357e-04,3.129765e-04,3.129032e-04,3.128074e-04,3.124405e-04,3.121531e-04,3.118876e-04,3.111597e-04,3.106976e-04,3.102674e-04,3.092209e-04,3.086190e-04,3.080299e-04,3.067035e-04,3.059924e-04,3.052507e-04,3.036799e-04,3.028863e-04,3.019991e-04,3.002159e-04,2.993634e-04,2.983378e-04,2.963717e-04,2.954805e-04,2.943242e-04,2.922018e-04,2.912894e-04,2.900103e-04,2.877556e-04,2.868372e-04,2.854431e-04,2.830781e-04,2.821666e-04,2.806654e-04,2.782099e-04,2.773163e-04,2.757159e-04,2.731878e-04,2.723211e-04,2.706295e-04,2.680449e-04,2.672128e-04,2.654376e-04,2.628111e-04,2.620199e-04,2.601686e-04,2.575132e-04,2.567678e-04,2.548479e-04,2.521755e-04,2.514798e-04,2.494985e-04,2.468194e-04,2.461763e-04,2.441405e-04,2.414642e-04,2.408759e-04,2.387924e-04,2.361271e-04,2.355950e-04,2.334702e-04,2.308234e-04,2.303481e-04,2.281883e-04,2.255664e-04,2.251483e-04,2.229593e-04,2.203682e-04,2.200068e-04,2.177944e-04,2.152390e-04,2.149337e-04,2.127033e-04,2.101881e-04,2.099377e-04,2.076944e-04,2.052232e-04,2.050265e-04,2.027752e-04,2.003511e-04,2.002064e-04,1.979517e-04,1.955776e-04,1.954832e-04,1.932294e-04,1.909076e-04,1.908615e-04,1.886127e-04,1.863452e-04,1.819375e-04,1.776410e-04,1.734577e-04,1.693891e-04,1.654360e-04,1.615992e-04,1.578788e-04,1.542746e-04,1.507862e-04,1.474129e-04,1.441537e-04,1.410075e-04,1.379729e-04,1.350483e-04,1.322322e-04,1.295227e-04,1.269181e-04,1.244162e-04,1.220150e-04,1.197125e-04,1.175065e-04,1.153947e-04,1.133750e-04,1.114450e-04,1.096025e-04,1.078452e-04,1.061709e-04,1.045771e-04,1.030617e-04,1.016224e-04,1.002569e-04,9.896293e-05,9.773835e-05,9.658093e-05,9.548852e-05,9.445897e-05,9.349017e-05,9.258003e-05,9.172652e-05,9.092762e-05,9.018134e-05,8.948574e-05,8.883891e-05,8.823897e-05,8.768410e-05,8.717249e-05,8.670238e-05,8.627205e-05,8.587981e-05
0.000000e+00,6.302104e-09,2.340166e-07,2.471368e-07,2.376350e-06,1.128100e-05,1.191415e-05,3.727823e-05,7.794096e-05,8.095144e-05,1.337606e-04,1.800861e-04,1.838060e-04,2.251434e-04,2.541685e-04,2.569479e-04,2.804045e-04,2.953794e-04,2.970693e-04,3.083469e-04,3.146245e-04,3.153930e-04,3.191336e-04,3.202641e-04,3.203044e-04,3.194885e-04,3.176640e-04,3.171476e-04,3.136468e-04,3.102072e-04,3.092747e-04,3.042588e-04,3.000161e-04,2.987782e-04,2.929735e-04,2.884138e-04,2.869548e-04,2.808082e-04,2.762173e-04,2.746006e-04,2.683838e-04,2.639249e-04,2.621979e-04,2.560733e-04,2.518352e-04,2.500331e-04,2.440946e-04,2.401210e-04,2.382702e-04,2.325690e-04,2.288768e-04,2.269972e-04,2.215589e-04,2.181497e-04,2.162566e-04,2.110911e-04,2.079573e-04,2.060625e-04,2.011702e-04,1.982998e-04,1.964130e-04,1.917890e-04,1.891673e-04,1.872960e-04,1.829312e-04,1.805419e-04,1.786920e-04,1.745756e-04,1.724028e-04,1.705792e-04,1.666996e-04,1.647275e-04,1.629340e-04,1.592794e-04,1.574927e-04,1.557326e-04,1.522908e-04,1.506752e-04,1.489511e-04,1.457108e-04,1.442527e-04,1.425668e-04,1.395167e-04,1.382036e-04,1.365575e-04,1.336869e-04,1.325070e-04,1.309023e-04,1.282011e-04,1.271435e-04,1.255810e-04,1.230396e-04,1.220941e-04,1.205747e-04,1.181840e-04,1.173411e-04,1.158653e-04,1.136166e-04,1.128676e-04,1.114358e-04,1.093209e-04,1.086578e-04,1.072701e-04,1.052813e-04,1.046965e-04,1.033528e-04,1.014829e-04,1.009695e-04,9.966972e-05,9.791168e-05,9.746342e-05,9.620714e-05,9.455452e-05,9.416544e-05,9.295228e-05,9.139895e-05,9.106363e-05,8.989306e-05,8.843323e-05,8.814666e-05,8.701807e-05,8.564628e-05,8.540387e-05,8.431657e-05,8.302768e-05,8.282517e-05,8.177841e-05,8.056758e-05,8.040107e-05,7.939405e-05,7.825670e-05,7.812260e-05,7.715448e-05,7.608631e-05,7.598133e-05,7.505121e-05,7.404817e-05,7.396929e-05,7.307625e-05,7.213452e-05,7.207895e-05,7.122207e-05,7.033804e-05,7.030326e-05,6.948157e-05,6.865185e-05,6.863552e-05,6.784807e-05,6.706947e-05,6.559915e-05,6.421900e-05,6.292373e-05,6.170840e-05,6.056832e-05,5.949910e-05,5.849658e-05,5.755684e-05,5.667622e-05,5.585123e-05,5.507860e-05,5.435526e-05,5.367830e-05,5.304498e-05,5.245274e-05,5.189914e-05,5.138190e-05,5.089886e-05,5.044800e-05,5.002741e-05,4.963529e-05,4.926994e-05,4.892976e-05,4.861325e-05,4.831900e-05,4.804566e-05,4.779199e-05,4.755680e-05,4.733897e-05,4.713745e-05,4.695125e-05,4.677945e-05,4.662116e-05,4.647556e-05,4.634186e-05,4.621934e-05,4.610731e-05,4.600512e-05,4.591214e-05,4.582782e-05,4.575160e-05,4.568297e-05,4.562145e-05,4.556659e-05,4.551797e-05,4.547517e-05,4.543783e-05,4.540558e-05,4.537810e-05
0.000000e+00,9.241626e-09,1.449426e-07,1.513220e-07,8.943589e-07,2.911852e-06,3.032515e-06,7.019715e-06,1.209408e-05,1.244303e-05,1.835743e-05,2.359195e-05,2.402783e-05,2.917345e-05,3.331746e-05,3.375006e-05,3.778389e-05,4.091818e-05,4.131722e-05,4.439404e-05,4.670718e-05,4.705648e-05,4.934377e-05,5.100179e-05,5.129216e-05,5.293495e-05,5.407545e-05,5.430259e-05,5.542288e-05,5.615813e-05,5.632116e-05,5.702046e-05,5.744130e-05,5.754169e-05,5.790383e-05,5.808330e-05,5.812407e-05,5.821800e-05,5.821452e-05,5.819970e-05,5.808192e-05,5.794204e-05,5.787619e-05,5.759291e-05,5.735355e-05,5.724148e-05,5.683038e-05,5.652068e-05,5.636725e-05,5.585898e-05,5.550184e-05,5.531178e-05,5.473123e-05,5.434451e-05,5.412234e-05,5.348963e-05,5.308718e-05,5.283714e-05,5.216851e-05,5.176095e-05,5.148698e-05,5.079547e-05,5.039085e-05,5.009657e-05,4.939260e-05,4.899694e-05,4.868562e-05,4.797749e-05,4.759519e-05,4.726982e-05,4.656406e-05,4.619826e-05,4.586150e-05,4.516324e-05,4.481604e-05,4.447028e-05,4.378348e-05,4.345622e-05,4.310359e-05,4.243126e-05,4.212469e-05,4.176707e-05,4.111147e-05,4.082585e-05,4.046490e-05,3.982767e-05,3.956290e-05,3.920009e-05,3.858238e-05,3.833810e-05,3.797472e-05,3.737726e-05,3.715292e-05,3.679010e-05,3.621331e-05,3.600821e-05,3.564693e-05,3.509098e-05,3.490433e-05,3.454544e-05,3.401029e-05,3.384123e-05,3.348548e-05,3.297094e-05,3.281857e-05,3.246660e-05,3.197235e-05,3.183576e-05,3.148811e-05,3.101375e-05,3.089202e-05,3.054916e-05,3.009421e-05,2.998645e-05,2.964878e-05,2.921271e-05,2.911802e-05,2.878587e-05,2.836812e-05,2.828564e-05,2.795930e-05,2.755927e-05,2.748819e-05,2.716788e-05,2.678498e-05,2.672449e-05,2.641041e-05,2.604401e-05,2.599336e-05,2.568565e-05,2.533516e-05,2.529362e-05,2.499239e-05,2.465720e-05,2.462409e-05,2.432943e-05,2.400894e-05,2.398361e-05,2.369559e-05,2.338921e-05,2.337105e-05,2.308969e-05,2.279686e-05,2.278528e-05,2.251060e-05,2.223076e-05,2.222523e-05,2.195722e-05,2.168984e-05,2.117808e-05,2.068897e-05,2.022155e-05,1.977490e-05,1.934814e-05,1.894042e-05,1.855091e-05,1.817883e-05,1.782343e-05,1.748397e-05,1.715978e-05,1.685017e-05,1.655451e-05,1.627220e-05,1.600265e-05,1.574529e-05,1.549960e-05,1.526505e-05,1.504117e-05,1.482748e-05,1.462353e-05,1.442889e-05,1.424315e-05,1.406593e-05,1.389683e-05,1.373552e-05,1.358163e-05,1.343484e-05,1.329485e-05,1.316134e-05,1.303404e-05,1.291266e-05,1.279694e-05,1.268664e-05,1.258152e-05,1.248133e-05,1.238588e-05,1.229494e-05,1.220831e-05,1.212581e-05,1.204724e-05,1.197245e-05,1.190124e-05,1.183348e-05,1.176900e-05,1.170766e-05,1.164932e-05,1.159384e-05,1.154110e-05
0.000000e+00,8.512086e-09,3.379913e-07,3.572131e-07,3.528658e-06,1.730254e-05,1.830596e-05,6.051878e-05,1.351382e-04,1.409816e-04,2.508192e-04,3.598652e-04,3.692218e-04,4.806433e-04,5.694988e-04,5.786388e-04,6.620932e-04,7.242299e-04,7.319409e-04,7.896578e-04,8.307329e-04,8.367360e-04,8.745403e-04,9.000195e-04,9.042820e-04,9.270286e-04,9.411229e-04,9.437184e-04,9.551763e-04,9.610656e-04,9.621268e-04,9.652060e-04,9.652817e-04,9.649717e-04,9.619118e-04,9.579611e-04,9.564531e-04,9.489688e-04,9.423193e-04,9.397843e-04,9.291826e-04,9.208118e-04,9.174106e-04,9.046822e-04,8.953037e-04,8.911830e-04,8.770739e-04,8.672030e-04,8.624939e-04,8.475631e-04,8.375676e-04,8.323851e-04,8.170488e-04,8.071862e-04,8.016305e-04,7.861956e-04,7.766425e-04,7.707999e-04,7.554907e-04,7.463637e-04,7.403082e-04,7.252861e-04,7.166581e-04,7.104527e-04,6.958314e-04,6.877435e-04,6.814416e-04,6.672992e-04,6.597697e-04,6.534168e-04,6.398043e-04,6.328350e-04,6.264692e-04,6.134171e-04,6.069985e-04,6.006519e-04,5.881759e-04,5.822905e-04,5.759901e-04,5.640946e-04,5.587198e-04,5.524882e-04,5.411693e-04,5.362795e-04,5.301355e-04,5.193835e-04,5.149509e-04,5.089100e-04,4.987111e-04,4.947075e-04,4.887825e-04,4.791197e-04,4.755166e-04,4.697181e-04,4.605727e-04,4.573421e-04,4.516785e-04,4.430305e-04,4.401453e-04,4.346235e-04,4.264522e-04,4.238864e-04,4.185115e-04,4.107962e-04,4.085247e-04,4.033010e-04,3.960207e-04,3.940201e-04,3.889503e-04,3.820847e-04,3.803325e-04,3.754188e-04,3.689477e-04,3.674231e-04,3.626667e-04,3.565707e-04,3.552540e-04,3.506552e-04,3.449156e-04,3.437883e-04,3.393472e-04,3.339456e-04,3.329907e-04,3.287066e-04,3.236257e-04,3.228272e-04,3.186989e-04,3.139220e-04,3.132649e-04,3.092910e-04,3.048021e-04,3.042728e-04,3.004515e-04,2.962354e-04,2.958210e-04,2.921501e-04,2.881922e-04,2.878809e-04,2.843581e-04,2.806445e-04,2.804255e-04,2.770481e-04,2.735657e-04,2.734288e-04,2.701942e-04,2.669304e-04,2.668662e-04,2.637714e-04,2.607143e-04,2.549510e-04,2.495550e-04,2.445062e-04,2.397857e-04,2.353752e-04,2.312578e-04,2.274169e-04,2.238372e-04,2.205041e-04,2.174035e-04,2.145224e-04,2.118482e-04,2.093691e-04,2.070738e-04,2.049517e-04,2.029927e-04,2.011872e-04,1.995261e-04,1.980008e-04,1.966033e-04,1.953257e-04,1.941608e-04,1.931017e-04,1.921418e-04,1.912748e-04,1.904950e-04,1.897967e-04,1.891747e-04,1.886240e-04,1.881399e-04,1.877179e-04,1.873538e-04,1.870437e-04,1.867837e-04,1.865703e-04,1.864002e-04,1.862701e-04,1.861771e-04,1.861183e-04,1.860911e-04,1.860930e-04,1.861215e-04,1.861745e-04,1.862499e-04,1.863456e-04,1.864599e-04,1.865910e-04,1.867372e-04,1.868971e-04
0.000000e+00,7.552297e-09,2.995742e-07,3.173586e-07,3.455207e-06,1.642763e-05,1.730253e-05,4.764943e-05,8.487267e-05,8.732927e-05,1.276942e-04,1.626169e-04,1.655295e-04,2.002192e-04,2.287808e-04,2.318042e-04,2.604536e-04,2.833864e-04,2.863559e-04,3.096971e-04,3.278592e-04,3.306567e-04,3.494059e-04,3.635665e-04,3.661076e-04,3.809157e-04,3.917470e-04,3.939747e-04,4.054200e-04,4.134999e-04,4.153784e-04,4.239683e-04,4.297893e-04,4.312995e-04,4.374744e-04,4.414528e-04,4.425881e-04,4.467287e-04,4.492144e-04,4.499777e-04,4.524108e-04,4.536969e-04,4.540980e-04,4.551039e-04,4.554351e-04,4.554886e-04,4.553075e-04,4.548874e-04,4.546117e-04,4.534486e-04,4.524463e-04,4.518619e-04,4.498920e-04,4.484474e-04,4.475761e-04,4.449486e-04,4.431771e-04,4.420413e-04,4.388834e-04,4.368796e-04,4.355018e-04,4.319215e-04,4.297629e-04,4.281652e-04,4.242540e-04,4.220035e-04,4.202074e-04,4.160432e-04,4.137514e-04,4.117776e-04,4.074258e-04,4.051335e-04,4.030016e-04,3.985176e-04,3.962569e-04,3.939855e-04,3.894159e-04,3.872120e-04,3.848185e-04,3.802022e-04,3.780746e-04,3.755752e-04,3.709449e-04,3.689082e-04,3.663180e-04,3.617006e-04,3.597656e-04,3.570985e-04,3.525165e-04,3.506905e-04,3.479594e-04,3.434313e-04,3.417189e-04,3.389358e-04,3.344764e-04,3.328805e-04,3.300561e-04,3.256776e-04,3.241988e-04,3.213432e-04,3.170551e-04,3.156931e-04,3.128153e-04,3.086252e-04,3.073782e-04,3.044865e-04,3.004002e-04,2.992656e-04,2.963675e-04,2.923893e-04,2.913640e-04,2.884663e-04,2.845992e-04,2.836794e-04,2.807883e-04,2.770342e-04,2.762159e-04,2.733370e-04,2.696969e-04,2.689757e-04,2.661140e-04,2.625882e-04,2.619597e-04,2.591196e-04,2.557079e-04,2.551673e-04,2.523530e-04,2.490545e-04,2.485973e-04,2.458123e-04,2.426258e-04,2.422472e-04,2.394948e-04,2.364187e-04,2.361141e-04,2.333971e-04,2.304296e-04,2.301945e-04,2.275155e-04,2.246544e-04,2.244844e-04,2.218457e-04,2.190887e-04,2.189795e-04,2.163830e-04,2.137278e-04,2.136752e-04,2.111225e-04,2.085666e-04,2.036488e-04,1.989167e-04,1.943652e-04,1.899891e-04,1.857834e-04,1.817427e-04,1.778621e-04,1.741366e-04,1.705611e-04,1.671308e-04,1.638410e-04,1.606870e-04,1.576642e-04,1.547681e-04,1.519944e-04,1.493389e-04,1.467974e-04,1.443660e-04,1.420407e-04,1.398177e-04,1.376935e-04,1.356644e-04,1.337270e-04,1.318779e-04,1.301139e-04,1.284319e-04,1.268288e-04,1.253016e-04,1.238477e-04,1.224641e-04,1.211482e-04,1.198974e-04,1.187093e-04,1.175814e-04,1.165115e-04,1.154972e-04,1.145363e-04,1.136269e-04,1.127668e-04,1.119541e-04,1.111868e-04,1.104633e-04,1.097816e-04,1.091400e-04,1.085370e-04,1.079709e-04,1.074403e-04,1.069435e-04,1.064792e-04
0.000000e+00,5.686773e-09,2.651033e-07,2.808796e-07,3.115322e-06,1.722956e-05,1.832521e-05,6.918891e-05,1.739392e-04,1.827825e-04,3.651420e-04,5.773572e-04,5.970990e-04,8.523395e-04,1.085014e-03,1.110576e-03,1.359954e-03,1.567460e-03,1.594777e-03,1.812861e-03,1.986665e-03,2.013765e-03,2.197833e-03,2.339927e-03,2.365738e-03,2.518278e-03,2.632481e-03,2.656288e-03,2.780606e-03,2.870754e-03,2.892052e-03,2.991425e-03,3.061049e-03,3.079492e-03,3.156990e-03,3.209254e-03,3.224623e-03,3.283059e-03,3.320756e-03,3.332934e-03,3.374851e-03,3.400424e-03,3.409378e-03,3.437052e-03,3.452617e-03,3.458376e-03,3.473826e-03,3.481206e-03,3.483849e-03,3.488863e-03,3.489620e-03,3.489261e-03,3.485413e-03,3.480882e-03,3.477664e-03,3.466339e-03,3.457656e-03,3.451742e-03,3.434156e-03,3.422282e-03,3.413848e-03,3.391066e-03,3.376811e-03,3.366043e-03,3.338995e-03,3.323041e-03,3.310126e-03,3.279625e-03,3.262538e-03,3.247668e-03,3.214419e-03,3.196671e-03,3.180033e-03,3.144651e-03,3.126628e-03,3.108406e-03,3.071421e-03,3.053440e-03,3.033812e-03,2.995685e-03,2.977999e-03,2.957137e-03,2.918261e-03,2.901073e-03,2.879140e-03,2.839854e-03,2.823321e-03,2.800473e-03,2.761066e-03,2.745309e-03,2.721692e-03,2.682409e-03,2.667517e-03,2.643269e-03,2.604318e-03,2.590350e-03,2.565600e-03,2.527155e-03,2.514152e-03,2.489018e-03,2.451224e-03,2.439207e-03,2.413801e-03,2.376777e-03,2.365751e-03,2.340176e-03,2.304019e-03,2.293977e-03,2.268325e-03,2.233113e-03,2.224038e-03,2.198396e-03,2.164189e-03,2.156057e-03,2.130503e-03,2.097348e-03,2.090126e-03,2.064733e-03,2.032663e-03,2.026315e-03,2.001145e-03,1.970184e-03,1.964670e-03,1.939782e-03,1.909943e-03,1.905221e-03,1.880667e-03,1.851955e-03,1.847980e-03,1.823806e-03,1.796220e-03,1.792947e-03,1.769194e-03,1.742727e-03,1.740111e-03,1.716816e-03,1.691456e-03,1.689451e-03,1.666644e-03,1.642376e-03,1.640937e-03,1.618646e-03,1.595449e-03,1.594533e-03,1.572781e-03,1.550635e-03,1.550197e-03,1.529005e-03,1.507884e-03,1.467545e-03,1.429126e-03,1.392572e-03,1.357829e-03,1.324838e-03,1.293542e-03,1.263883e-03,1.235802e-03,1.209242e-03,1.184146e-03,1.160458e-03,1.138121e-03,1.117082e-03,1.097287e-03,1.078683e-03,1.061220e-03,1.044849e-03,1.029520e-03,1.015188e-03,1.001806e-03,9.893304e-04,9.777188e-04,9.669297e-04,9.569231e-04,9.476604e-04,9.391043e-04,9.312190e-04,9.239696e-04,9.173229e-04,9.112467e-04,9.057101e-04,9.006833e-04,8.961376e-04,8.920457e-04,8.883810e-04,8.851183e-04,8.822332e-04,8.797024e-04,8.775037e-04,8.756155e-04,8.740175e-04,8.726901e-04,8.716147e-04,8.707732e-04,8.701488e-04,8.697252e-04,8.694869e-04,8.694191e-04,8.695079e-04
0.000000e+00,1.892126e-09,3.379163e-08,3.531415e-08,2.007668e-07,5.873720e-07,6.088087e-07,1.252348e-06,1.946351e-06,1.990525e-06,2.696925e-06,3.282516e-06,3.330322e-06,3.886936e-06,4.326355e-06,4.371797e-06,4.791451e-06,5.111926e-06,5.152330e-06,5.460407e-06,5.687296e-06,5.721138e-06,5.939487e-06,6.093451e-06,6.119953e-06,6.266618e-06,6.364255e-06,6.383164e-06,6.472915e-06,6.527446e-06,6.538866e-06,6.583708e-06,6.605603e-06,6.609871e-06,6.619543e-06,6.617077e-06,6.614682e-06,6.597048e-06,6.576712e-06,6.568222e-06,6.529613e-06,6.496462e-06,6.482468e-06,6.427909e-06,6.385850e-06,6.366943e-06,6.300468e-06,6.252536e-06,6.229296e-06,6.154182e-06,6.102782e-06,6.075802e-06,5.994717e-06,5.941645e-06,5.911443e-06,5.826428e-06,5.773023e-06,5.740075e-06,5.652742e-06,5.600004e-06,5.564743e-06,5.476356e-06,5.425011e-06,5.387826e-06,5.299371e-06,5.249941e-06,5.211182e-06,5.123426e-06,5.076271e-06,5.036251e-06,4.949784e-06,4.905138e-06,4.864135e-06,4.779400e-06,4.737401e-06,4.695660e-06,4.612988e-06,4.573701e-06,4.531441e-06,4.451070e-06,4.414505e-06,4.371915e-06,4.294012e-06,4.260138e-06,4.217387e-06,4.142059e-06,4.110813e-06,4.068047e-06,3.995359e-06,3.966656e-06,3.924003e-06,3.853982e-06,3.827724e-06,3.785295e-06,3.717940e-06,3.694017e-06,3.651910e-06,3.587198e-06,3.565494e-06,3.523794e-06,3.461686e-06,3.442084e-06,3.400862e-06,3.341307e-06,3.323686e-06,3.283006e-06,3.225943e-06,3.210185e-06,3.170100e-06,3.115461e-06,3.101450e-06,3.062007e-06,3.009719e-06,2.997341e-06,2.958579e-06,2.908566e-06,2.897713e-06,2.859663e-06,2.811850e-06,2.802416e-06,2.765106e-06,2.719413e-06,2.711298e-06,2.674750e-06,2.631099e-06,2.624208e-06,2.588440e-06,2.546754e-06,2.540994e-06,2.506021e-06,2.466224e-06,2.461510e-06,2.427342e-06,2.389358e-06,2.385608e-06,2.352253e-06,2.316009e-06,2.313147e-06,2.280609e-06,2.246035e-06,2.243987e-06,2.212270e-06,2.179296e-06,2.177993e-06,2.147097e-06,2.115657e-06,2.115036e-06,2.084959e-06,2.054988e-06,1.997727e-06,1.943136e-06,1.891101e-06,1.841513e-06,1.794266e-06,1.749260e-06,1.706399e-06,1.665588e-06,1.626738e-06,1.589765e-06,1.554585e-06,1.521120e-06,1.489295e-06,1.459037e-06,1.430278e-06,1.402950e-06,1.376990e-06,1.352338e-06,1.328934e-06,1.306725e-06,1.285655e-06,1.265674e-06,1.246733e-06,1.228786e-06,1.211786e-06,1.195693e-06,1.180464e-06,1.166060e-06,1.152444e-06,1.139579e-06,1.127432e-06,1.115970e-06,1.105160e-06,1.094973e-06,1.085381e-06,1.076355e-06,1.067869e-06,1.059897e-06,1.052417e-06,1.045405e-06,1.038838e-06,1.032695e-06,1.026957e-06,1.021604e-06,1.016618e-06,1.011981e-06,1.007675e-06,1.003685e-06,9.999963e-07
0.000000e+00,1.326911e-09,7.826061e-08,8.328731e-08,1.090889e-06,6.414540e-06,6.829944e-06,2.602523e-05,6.556493e-05,6.892996e-05,1.397702e-04,2.258837e-04,2.340826e-04,3.424281e-04,4.437610e-04,4.549607e-04,5.639457e-04,6.528850e-04,6.643800e-04,7.536285e-04,8.206936e-04,8.307599e-04,8.959249e-04,9.419617e-04,9.498835e-04,9.936876e-04,1.022835e-03,1.028485e-03,1.055408e-03,1.071991e-03,1.075514e-03,1.089761e-03,1.097357e-03,1.098999e-03,1.103975e-03,1.105308e-03,1.105337e-03,1.103646e-03,1.100716e-03,1.099386e-03,1.092972e-03,1.087223e-03,1.084761e-03,1.075059e-03,1.067522e-03,1.064128e-03,1.052190e-03,1.043597e-03,1.039439e-03,1.026036e-03,1.016902e-03,1.012121e-03,9.978138e-04,9.884985e-04,9.832152e-04,9.684117e-04,9.591634e-04,9.534768e-04,9.384729e-04,9.294597e-04,9.234527e-04,9.084611e-04,8.997942e-04,8.935359e-04,8.787087e-04,8.704584e-04,8.640062e-04,8.494507e-04,8.416585e-04,8.350608e-04,8.208516e-04,8.135385e-04,8.068356e-04,7.930226e-04,7.861948e-04,7.794207e-04,7.660359e-04,7.596897e-04,7.528728e-04,7.399349e-04,7.340597e-04,7.272243e-04,7.147425e-04,7.093232e-04,7.024901e-04,6.904669e-04,6.854854e-04,6.786723e-04,6.671049e-04,6.625413e-04,6.557633e-04,6.446455e-04,6.404789e-04,6.337492e-04,6.230720e-04,6.192813e-04,6.126113e-04,6.023642e-04,5.989284e-04,5.923279e-04,5.824991e-04,5.793973e-04,5.728748e-04,5.634517e-04,5.606635e-04,5.542265e-04,5.451959e-04,5.427018e-04,5.363567e-04,5.277054e-04,5.254864e-04,5.192387e-04,5.109533e-04,5.089915e-04,5.028460e-04,4.949133e-04,4.931912e-04,4.871519e-04,4.795587e-04,4.780600e-04,4.721305e-04,4.648640e-04,4.635729e-04,4.577560e-04,4.508036e-04,4.497054e-04,4.440036e-04,4.373530e-04,4.364337e-04,4.308488e-04,4.244881e-04,4.237344e-04,4.182680e-04,4.121857e-04,4.115850e-04,4.062383e-04,4.004232e-04,3.999636e-04,3.947375e-04,3.891787e-04,3.888492e-04,3.837442e-04,3.784313e-04,3.782213e-04,3.732376e-04,3.681605e-04,3.680601e-04,3.631977e-04,3.583468e-04,3.490629e-04,3.401908e-04,3.317136e-04,3.236148e-04,3.158788e-04,3.084905e-04,3.014353e-04,2.946993e-04,2.882691e-04,2.821318e-04,2.762751e-04,2.706870e-04,2.653563e-04,2.602720e-04,2.554236e-04,2.508010e-04,2.463947e-04,2.421954e-04,2.381941e-04,2.343825e-04,2.307523e-04,2.272957e-04,2.240052e-04,2.208737e-04,2.178943e-04,2.150603e-04,2.123654e-04,2.098036e-04,2.073691e-04,2.050562e-04,2.028597e-04,2.007744e-04,1.987955e-04,1.969182e-04,1.951380e-04,1.934507e-04,1.918521e-04,1.903383e-04,1.889055e-04,1.875501e-04,1.862685e-04,1.850575e-04,1.839139e-04,1.828345e-04,1.818166e-04,1.808571e-04,1.799536e-04,1.791034e-04,1.783040e-04
0.000000e+00,2.491040e-09,1.668391e-07,1.779197e-07,2.632264e-06,1.848691e-05,1.985358e-05,9.553295e-05,3.054167e-04,3.261156e-04,8.589392e-04,1.767490e-03,1.870332e-03,3.541958e-03,5.751043e-03,6.042784e-03,9.517131e-03,1.347017e-02,1.407770e-02,1.980240e-02,2.569017e-02,2.673391e-02,3.488125e-02,4.264947e-02,4.422259e-02,5.470888e-02,6.411201e-02,6.626795e-02,7.880868e-02,8.947733e-02,9.222524e-02,1.064010e-01,1.179055e-01,1.212120e-01,1.365309e-01,1.484336e-01,1.522289e-01,1.681791e-01,1.800719e-01,1.842582e-01,2.003483e-01,2.118773e-01,2.163382e-01,2.321245e-01,2.430027e-01,2.476124e-01,2.627161e-01,2.727276e-01,2.773589e-01,2.914735e-01,3.004713e-01,3.050020e-01,3.178951e-01,3.257941e-01,3.301123e-01,3.416213e-01,3.483901e-01,3.523975e-01,3.624234e-01,3.680740e-01,3.716880e-01,3.801865e-01,3.847646e-01,3.879194e-01,3.948920e-01,3.984681e-01,4.011142e-01,4.065992e-01,4.092604e-01,4.113638e-01,4.154276e-01,4.172710e-01,4.188124e-01,4.215418e-01,4.226687e-01,4.236414e-01,4.251374e-01,4.256492e-01,4.260574e-01,4.264292e-01,4.264240e-01,4.262813e-01,4.256422e-01,4.252126e-01,4.245402e-01,4.230035e-01,4.222351e-01,4.210599e-01,4.187368e-01,4.177073e-01,4.160608e-01,4.130580e-01,4.118365e-01,4.097536e-01,4.061721e-01,4.048194e-01,4.023369e-01,3.982709e-01,3.968397e-01,3.939957e-01,3.895322e-01,3.880674e-01,3.849002e-01,3.801188e-01,3.786580e-01,3.752060e-01,3.701788e-01,3.687529e-01,3.650535e-01,3.598456e-01,3.584798e-01,3.545694e-01,3.492386e-01,3.479526e-01,3.438661e-01,3.384640e-01,3.372727e-01,3.330435e-01,3.276151e-01,3.265294e-01,3.221889e-01,3.167741e-01,3.158012e-01,3.113791e-01,3.060119e-01,3.051563e-01,3.006800e-01,2.953902e-01,2.946533e-01,2.901487e-01,2.849613e-01,2.843427e-01,2.798334e-01,2.747698e-01,2.742671e-01,2.697749e-01,2.648528e-01,2.644623e-01,2.600071e-01,2.552411e-01,2.549577e-01,2.505577e-01,2.459595e-01,2.457774e-01,2.414490e-01,2.370279e-01,2.369404e-01,2.326983e-01,2.284614e-01,2.203512e-01,2.126172e-01,2.052639e-01,1.982929e-01,1.917040e-01,1.854945e-01,1.796604e-01,1.741960e-01,1.690945e-01,1.643478e-01,1.599470e-01,1.558825e-01,1.521438e-01,1.487202e-01,1.456002e-01,1.427722e-01,1.402241e-01,1.379437e-01,1.359185e-01,1.341361e-01,1.325838e-01,1.312489e-01,1.301190e-01,1.291814e-01,1.284236e-01,1.278333e-01,1.273983e-01,1.271066e-01,1.269464e-01,1.269063e-01,1.269749e-01,1.271414e-01,1.273952e-01,1.277260e-01,1.281240e-01,1.285798e-01,1.290843e-01,1.296290e-01,1.302057e-01,1.308068e-01,1.314252e-01,1.320541e-01,1.326872e-01,1.333190e-01,1.339441e-01,1.345578e-01,1.351557e-01,1.357340e-01,1.362895e-01
0.000000e+00,1.819695e-08,2.895152e-07,3.028964e-07,2.005678e-06,6.968125e-06,7.263926e-06,1.636226e-05,2.598785e-05,2.659294e-05,3.625922e-05,4.436108e-05,4.502904e-05,5.290067e-05,5.926119e-05,5.992761e-05,6.617054e-05,7.106308e-05,7.168894e-05,7.653957e-05,8.021816e-05,8.077627e-05,8.444991e-05,8.713568e-05,8.760827e-05,9.029608e-05,9.217829e-05,9.255502e-05,9.442378e-05,9.566204e-05,9.593821e-05,9.713139e-05,9.785878e-05,9.803384e-05,9.867365e-05,9.900021e-05,9.907663e-05,9.926650e-05,9.928267e-05,9.926502e-05,9.909211e-05,9.887179e-05,9.876605e-05,9.830355e-05,9.790685e-05,9.771988e-05,9.702903e-05,9.650458e-05,9.624374e-05,9.537565e-05,9.476253e-05,9.443535e-05,9.343253e-05,9.276201e-05,9.237598e-05,9.127368e-05,9.057049e-05,9.013290e-05,8.896022e-05,8.824382e-05,8.776163e-05,8.654252e-05,8.582799e-05,8.530779e-05,8.406184e-05,8.336071e-05,8.280866e-05,8.155181e-05,8.087273e-05,8.029450e-05,7.903960e-05,7.838888e-05,7.778970e-05,7.654705e-05,7.592910e-05,7.531371e-05,7.409146e-05,7.350919e-05,7.288188e-05,7.168638e-05,7.114151e-05,7.050616e-05,6.934227e-05,6.883557e-05,6.819562e-05,6.706698e-05,6.659848e-05,6.595700e-05,6.486624e-05,6.443542e-05,6.379513e-05,6.274403e-05,6.234992e-05,6.171322e-05,6.070289e-05,6.034421e-05,5.971317e-05,5.874414e-05,5.841939e-05,5.779583e-05,5.686819e-05,5.657571e-05,5.596117e-05,5.507465e-05,5.481268e-05,5.420850e-05,5.336254e-05,5.312927e-05,5.253658e-05,5.173039e-05,5.152399e-05,5.094372e-05,5.017633e-05,4.999499e-05,4.942793e-05,4.869825e-05,4.854020e-05,4.798697e-05,4.729379e-05,4.715730e-05,4.661839e-05,4.596046e-05,4.584386e-05,4.531966e-05,4.469567e-05,4.459737e-05,4.408815e-05,4.349677e-05,4.341524e-05,4.292119e-05,4.236108e-05,4.229489e-05,4.181611e-05,4.128594e-05,4.123372e-05,4.077024e-05,4.026869e-05,4.022916e-05,3.978096e-05,3.930672e-05,3.927869e-05,3.884568e-05,3.839749e-05,3.837983e-05,3.796187e-05,3.753851e-05,3.753016e-05,3.712710e-05,3.672735e-05,3.596912e-05,3.525329e-05,3.457775e-05,3.394047e-05,3.333951e-05,3.277300e-05,3.223917e-05,3.173632e-05,3.126281e-05,3.081711e-05,3.039773e-05,3.000327e-05,2.963239e-05,2.928383e-05,2.895637e-05,2.864887e-05,2.836024e-05,2.808944e-05,2.783549e-05,2.759746e-05,2.737447e-05,2.716568e-05,2.697029e-05,2.678756e-05,2.661677e-05,2.645724e-05,2.630834e-05,2.616947e-05,2.604004e-05,2.591951e-05,2.580738e-05,2.570315e-05,2.560636e-05,2.551658e-05,2.543340e-05,2.535643e-05,2.528529e-05,2.521965e-05,2.515916e-05,2.510352e-05,2.505244e-05,2.500563e-05,2.496283e-05,2.492380e-05,2.488829e-05,2.485609e-05,2.482699e-05,2.480079e-05,2.477730e-05
0.000000e+00,3.478288e-09,1.220561e-07,1.288649e-07,1.268745e-06,6.401492e-06,6.779649e-06,2.260806e-05,4.910653e-05,5.109481e-05,8.671330e-05,1.201001e-04,1.229262e-04,1.566239e-04,1.840871e-04,1.869672e-04,2.139387e-04,2.350482e-04,2.377464e-04,2.586435e-04,2.744784e-04,2.768803e-04,2.926921e-04,3.042603e-04,3.062974e-04,3.178979e-04,3.260455e-04,3.276800e-04,3.358152e-04,3.412444e-04,3.424618e-04,3.477647e-04,3.510541e-04,3.518570e-04,3.548612e-04,3.564859e-04,3.568892e-04,3.580433e-04,3.583900e-04,3.584170e-04,3.580953e-04,3.574766e-04,3.571552e-04,3.556670e-04,3.543336e-04,3.536945e-04,3.512954e-04,3.494475e-04,3.485224e-04,3.454229e-04,3.432194e-04,3.420399e-04,3.384122e-04,3.359785e-04,3.345751e-04,3.305602e-04,3.279943e-04,3.263961e-04,3.221085e-04,3.194863e-04,3.177205e-04,3.132530e-04,3.106329e-04,3.087247e-04,3.041523e-04,3.015782e-04,2.995508e-04,2.949335e-04,2.924379e-04,2.903124e-04,2.856981e-04,2.833045e-04,2.810999e-04,2.765263e-04,2.742511e-04,2.719846e-04,2.674813e-04,2.653350e-04,2.630219e-04,2.586115e-04,2.566003e-04,2.542543e-04,2.499539e-04,2.480806e-04,2.457136e-04,2.415359e-04,2.398006e-04,2.374232e-04,2.333772e-04,2.317779e-04,2.293995e-04,2.254911e-04,2.240244e-04,2.216531e-04,2.178859e-04,2.165472e-04,2.141901e-04,2.105658e-04,2.093499e-04,2.070131e-04,2.035317e-04,2.024327e-04,2.001215e-04,1.967820e-04,1.957938e-04,1.935127e-04,1.903129e-04,1.894294e-04,1.871821e-04,1.841194e-04,1.833341e-04,1.811239e-04,1.781948e-04,1.775016e-04,1.753312e-04,1.725320e-04,1.719248e-04,1.697963e-04,1.671230e-04,1.665957e-04,1.645110e-04,1.619594e-04,1.615064e-04,1.594669e-04,1.570324e-04,1.566482e-04,1.546550e-04,1.523334e-04,1.520128e-04,1.500666e-04,1.478534e-04,1.475914e-04,1.456928e-04,1.435837e-04,1.433756e-04,1.415249e-04,1.395155e-04,1.393568e-04,1.375542e-04,1.356402e-04,1.355268e-04,1.337723e-04,1.319496e-04,1.318776e-04,1.301709e-04,1.284354e-04,1.284011e-04,1.267420e-04,1.250898e-04,1.219363e-04,1.189334e-04,1.160742e-04,1.133522e-04,1.107609e-04,1.082943e-04,1.059465e-04,1.037119e-04,1.015853e-04,9.956139e-05,9.763542e-05,9.580270e-05,9.405878e-05,9.239941e-05,9.082057e-05,8.931839e-05,8.788920e-05,8.652949e-05,8.523594e-05,8.400537e-05,8.283475e-05,8.172120e-05,8.066198e-05,7.965447e-05,7.869619e-05,7.778478e-05,7.691798e-05,7.609364e-05,7.530973e-05,7.456430e-05,7.385550e-05,7.318157e-05,7.254084e-05,7.193172e-05,7.135268e-05,7.080229e-05,7.027917e-05,6.978200e-05,6.930955e-05,6.886063e-05,6.843411e-05,6.802892e-05,6.764404e-05,6.727850e-05,6.693136e-05,6.660175e-05,6.628883e-05,6.599181e-05,6.570992e-05
0.000000e+00,2.972288e-09,1.332246e-07,1.412455e-07,1.595170e-06,8.346843e-06,8.844647e-06,2.974019e-05,6.567375e-05,6.843375e-05,1.193759e-04,1.692741e-04,1.735693e-04,2.253764e-04,2.681489e-04,2.726533e-04,3.149650e-04,3.482242e-04,3.524843e-04,3.855554e-04,4.107214e-04,4.145485e-04,4.398181e-04,4.584053e-04,4.616887e-04,4.804586e-04,4.937317e-04,4.964057e-04,5.097880e-04,5.188078e-04,5.208436e-04,5.297923e-04,5.354403e-04,5.368363e-04,5.421612e-04,5.451641e-04,5.459379e-04,5.483229e-04,5.492765e-04,5.494594e-04,5.494786e-04,5.488682e-04,5.485002e-04,5.466335e-04,5.448520e-04,5.439781e-04,5.406246e-04,5.379879e-04,5.366556e-04,5.321461e-04,5.289070e-04,5.271640e-04,5.217714e-04,5.181307e-04,5.160241e-04,5.099729e-04,5.060889e-04,5.036638e-04,4.971382e-04,4.931347e-04,4.904337e-04,4.835840e-04,4.795568e-04,4.766196e-04,4.695681e-04,4.655904e-04,4.624539e-04,4.552994e-04,4.514261e-04,4.481242e-04,4.409460e-04,4.372176e-04,4.337808e-04,4.266424e-04,4.230873e-04,4.195435e-04,4.124951e-04,4.091327e-04,4.055070e-04,3.985876e-04,3.954299e-04,3.917445e-04,3.849842e-04,3.820374e-04,3.783123e-04,3.717337e-04,3.689996e-04,3.652526e-04,3.588723e-04,3.563490e-04,3.525957e-04,3.464253e-04,3.441088e-04,3.403629e-04,3.344099e-04,3.322938e-04,3.285673e-04,3.228360e-04,3.209127e-04,3.172162e-04,3.117080e-04,3.099690e-04,3.063114e-04,3.010259e-04,2.994619e-04,2.958510e-04,2.907860e-04,2.893874e-04,2.858300e-04,2.809820e-04,2.797391e-04,2.762408e-04,2.716052e-04,2.705082e-04,2.670738e-04,2.626452e-04,2.616846e-04,2.583181e-04,2.540907e-04,2.532571e-04,2.499616e-04,2.459291e-04,2.452133e-04,2.419915e-04,2.381473e-04,2.375408e-04,2.343947e-04,2.307320e-04,2.302263e-04,2.271575e-04,2.236695e-04,2.232567e-04,2.202663e-04,2.169462e-04,2.166187e-04,2.137074e-04,2.105483e-04,2.102990e-04,2.074672e-04,2.044625e-04,2.042846e-04,2.015324e-04,1.986754e-04,1.985626e-04,1.958899e-04,1.931743e-04,1.931206e-04,1.905269e-04,1.879464e-04,1.830280e-04,1.783540e-04,1.739133e-04,1.696952e-04,1.656895e-04,1.618861e-04,1.582756e-04,1.548490e-04,1.515974e-04,1.485126e-04,1.455866e-04,1.428116e-04,1.401805e-04,1.376863e-04,1.353223e-04,1.330821e-04,1.309599e-04,1.289497e-04,1.270461e-04,1.252439e-04,1.235381e-04,1.219239e-04,1.203968e-04,1.189525e-04,1.175869e-04,1.162961e-04,1.150763e-04,1.139241e-04,1.128361e-04,1.118091e-04,1.108399e-04,1.099258e-04,1.090639e-04,1.082517e-04,1.074866e-04,1.067662e-04,1.060883e-04,1.054507e-04,1.048515e-04,1.042885e-04,1.037601e-04,1.032643e-04,1.027996e-04,1.023644e-04,1.019571e-04,1.015762e-04,1.012205e-04,1.008887e-04,1.005793e-04
0.000000e+00,1.005539e-09,7.975278e-08,8.535821e-08,1.439278e-06,1.036951e-05,1.113057e-05,5.177537e-05,1.578212e-04,1.679929e-04,4.207589e-04,8.299447e-04,8.751744e-04,1.590210e-03,2.495416e-03,2.612490e-03,3.973412e-03,5.463897e-03,5.688574e-03,7.758693e-03,9.813763e-03,1.017140e-02,1.290347e-02,1.542220e-02,1.592319e-02,1.919269e-02,2.203078e-02,2.267010e-02,2.631140e-02,2.931253e-02,3.007210e-02,3.390851e-02,3.692650e-02,3.777885e-02,4.164399e-02,4.455583e-02,4.546808e-02,4.921889e-02,5.193047e-02,5.286802e-02,5.639096e-02,5.883759e-02,5.976704e-02,6.297933e-02,6.512314e-02,6.601439e-02,6.886208e-02,7.068773e-02,7.151526e-02,7.396948e-02,7.547922e-02,7.622274e-02,7.827512e-02,7.948404e-02,8.012855e-02,8.178653e-02,8.271838e-02,8.325385e-02,8.453637e-02,8.521994e-02,8.564081e-02,8.657454e-02,8.704097e-02,8.734543e-02,8.796168e-02,8.824236e-02,8.843169e-02,8.876396e-02,8.888910e-02,8.896698e-02,8.904915e-02,8.904687e-02,8.901873e-02,8.888375e-02,8.877949e-02,8.865200e-02,8.833100e-02,8.814735e-02,8.792797e-02,8.744978e-02,8.720639e-02,8.690298e-02,8.629380e-02,8.600752e-02,8.562811e-02,8.491144e-02,8.459651e-02,8.414902e-02,8.334573e-02,8.301400e-02,8.250615e-02,8.163456e-02,8.129580e-02,8.073496e-02,7.981105e-02,7.947317e-02,7.886630e-02,7.790391e-02,7.757321e-02,7.692685e-02,7.593788e-02,7.561931e-02,7.493954e-02,7.393419e-02,7.363154e-02,7.292398e-02,7.191093e-02,7.162701e-02,7.089685e-02,6.988344e-02,6.962025e-02,6.887223e-02,6.786465e-02,6.762351e-02,6.686198e-02,6.586541e-02,6.564709e-02,6.487601e-02,6.389476e-02,6.369957e-02,6.292255e-02,6.196018e-02,6.178806e-02,6.100838e-02,6.006780e-02,5.991839e-02,5.913904e-02,5.822260e-02,5.809532e-02,5.731898e-02,5.642857e-02,5.632262e-02,5.555174e-02,5.468882e-02,5.460331e-02,5.384009e-02,5.300578e-02,5.293967e-02,5.218610e-02,5.138122e-02,5.133340e-02,5.059127e-02,4.981638e-02,4.978570e-02,4.905663e-02,4.831208e-02,4.829734e-02,4.758276e-02,4.686870e-02,4.549986e-02,4.419062e-02,4.294057e-02,4.174907e-02,4.061534e-02,3.953845e-02,3.851736e-02,3.755091e-02,3.663786e-02,3.577691e-02,3.496667e-02,3.420572e-02,3.349259e-02,3.282576e-02,3.220371e-02,3.162486e-02,3.108763e-02,3.059043e-02,3.013165e-02,2.970968e-02,2.932289e-02,2.896969e-02,2.864845e-02,2.835759e-02,2.809551e-02,2.786065e-02,2.765146e-02,2.746640e-02,2.730399e-02,2.716275e-02,2.704123e-02,2.693804e-02,2.685179e-02,2.678117e-02,2.672489e-02,2.668169e-02,2.665038e-02,2.662981e-02,2.661888e-02,2.661654e-02,2.662180e-02,2.663369e-02,2.665133e-02,2.667387e-02,2.670052e-02,2.673054e-02,2.676323e-02,2.679796e-02,2.683414e-02
0.000000e+00,3.919102e-09,2.604180e-07,2.776559e-07,4.066609e-06,2.850398e-05,3.061851e-05,1.499568e-04,4.972893e-04,5.324854e-04,1.474475e-03,3.175131e-03,3.372505e-03,6.670030e-03,1.119875e-02,1.180706e-02,1.918325e-02,2.779476e-02,2.913410e-02,4.191763e-02,5.531288e-02,5.770908e-02,7.660118e-02,9.487956e-02,9.860855e-02,1.236746e-01,1.464294e-01,1.516803e-01,1.824532e-01,2.089201e-01,2.157774e-01,2.514025e-01,2.806108e-01,2.890529e-01,3.284355e-01,3.593387e-01,3.692476e-01,4.111828e-01,4.427590e-01,4.539371e-01,4.972133e-01,5.285340e-01,5.407249e-01,5.841996e-01,6.144721e-01,6.273814e-01,6.700323e-01,6.986194e-01,7.119339e-01,7.528879e-01,7.793114e-01,7.927168e-01,8.312631e-01,8.551956e-01,8.683898e-01,9.039793e-01,9.252287e-01,9.379328e-01,9.701695e-01,9.886601e-01,1.000625e+00,1.029252e+00,1.045004e+00,1.056017e+00,1.080899e+00,1.094007e+00,1.103890e+00,1.124995e+00,1.135611e+00,1.144226e+00,1.161605e+00,1.169921e+00,1.177164e+00,1.190937e+00,1.197168e+00,1.202970e+00,1.213309e+00,1.217685e+00,1.222007e+00,1.229119e+00,1.231875e+00,1.234705e+00,1.238824e+00,1.240188e+00,1.241539e+00,1.242914e+00,1.243107e+00,1.243012e+00,1.241898e+00,1.241127e+00,1.239635e+00,1.236288e+00,1.234745e+00,1.231919e+00,1.226591e+00,1.224449e+00,1.220362e+00,1.213294e+00,1.210710e+00,1.205444e+00,1.196868e+00,1.193979e+00,1.187620e+00,1.177753e+00,1.174680e+00,1.167317e+00,1.156362e+00,1.153208e+00,1.144934e+00,1.133079e+00,1.129931e+00,1.120838e+00,1.108254e+00,1.105187e+00,1.095365e+00,1.082208e+00,1.079281e+00,1.068819e+00,1.055232e+00,1.052493e+00,1.041478e+00,1.027587e+00,1.025075e+00,1.013589e+00,9.995083e-01,9.972496e-01,9.853718e-01,9.712029e-01,9.692180e-01,9.570238e-01,9.428554e-01,9.411568e-01,9.287171e-01,9.146272e-01,9.132215e-01,9.006027e-01,8.866594e-01,8.855479e-01,8.728120e-01,8.590742e-01,8.582537e-01,8.454585e-01,8.319766e-01,8.314403e-01,8.186392e-01,8.054561e-01,8.051940e-01,7.924362e-01,7.795879e-01,7.546826e-01,7.305282e-01,7.071646e-01,6.846236e-01,6.629288e-01,6.420973e-01,6.221399e-01,6.030622e-01,5.848649e-01,5.675448e-01,5.510951e-01,5.355056e-01,5.207636e-01,5.068542e-01,4.937599e-01,4.814620e-01,4.699401e-01,4.591724e-01,4.491363e-01,4.398081e-01,4.311635e-01,4.231775e-01,4.158248e-01,4.090799e-01,4.029166e-01,3.973092e-01,3.922315e-01,3.876576e-01,3.835616e-01,3.799181e-01,3.767016e-01,3.738871e-01,3.714502e-01,3.693666e-01,3.676127e-01,3.661655e-01,3.650025e-01,3.641018e-01,3.634423e-01,3.630036e-01,3.627659e-01,3.627102e-01,3.628184e-01,3.630731e-01,3.634578e-01,3.639565e-01,3.645545e-01,3.652377e-01,3.659926e-01
0.000000e+00,3.014011e-09,4.558942e-08,4.767945e-08,3.106869e-07,1.091850e-06,1.139859e-06,2.729220e-06,4.654984e-06,4.783016e-06,6.914414e-06,8.811515e-06,8.972308e-06,1.092109e-05,1.257682e-05,1.275508e-05,1.447589e-05,1.589938e-05,1.608706e-05,1.759264e-05,1.880621e-05,1.899686e-05,2.030398e-05,2.133005e-05,2.151827e-05,2.264391e-05,2.350371e-05,2.368506e-05,2.464573e-05,2.535896e-05,2.552984e-05,2.634119e-05,2.692587e-05,2.708341e-05,2.776003e-05,2.823247e-05,2.837442e-05,2.892984e-05,2.930471e-05,2.942938e-05,2.987602e-05,3.016644e-05,3.027260e-05,3.062185e-05,3.083956e-05,3.092637e-05,3.118863e-05,3.134406e-05,3.141102e-05,3.159580e-05,3.169820e-05,3.174512e-05,3.186105e-05,3.191863e-05,3.194555e-05,3.200050e-05,3.202051e-05,3.202767e-05,3.202878e-05,3.201760e-05,3.200543e-05,3.195917e-05,3.192243e-05,3.189148e-05,3.180373e-05,3.174634e-05,3.169728e-05,3.157336e-05,3.149962e-05,3.143320e-05,3.127793e-05,3.119158e-05,3.110863e-05,3.092634e-05,3.083063e-05,3.073203e-05,3.052663e-05,3.042437e-05,3.031103e-05,3.008606e-05,2.997965e-05,2.985252e-05,2.961115e-05,2.950265e-05,2.936266e-05,2.910774e-05,2.899891e-05,2.884702e-05,2.858110e-05,2.847340e-05,2.831056e-05,2.803593e-05,2.793061e-05,2.775773e-05,2.747644e-05,2.737451e-05,2.719251e-05,2.690638e-05,2.680867e-05,2.661845e-05,2.632909e-05,2.623626e-05,2.603868e-05,2.574754e-05,2.566010e-05,2.545599e-05,2.516434e-05,2.508270e-05,2.487286e-05,2.458182e-05,2.450625e-05,2.429146e-05,2.400200e-05,2.393269e-05,2.371368e-05,2.342668e-05,2.336374e-05,2.314119e-05,2.285740e-05,2.280085e-05,2.257545e-05,2.229550e-05,2.224534e-05,2.201770e-05,2.174216e-05,2.169829e-05,2.146901e-05,2.119836e-05,2.116067e-05,2.093030e-05,2.066493e-05,2.063327e-05,2.040234e-05,2.014259e-05,2.011677e-05,1.988576e-05,1.963191e-05,1.961173e-05,1.938109e-05,1.913336e-05,1.911859e-05,1.888876e-05,1.864732e-05,1.863773e-05,1.840908e-05,1.817407e-05,1.816940e-05,1.794231e-05,1.771382e-05,1.727112e-05,1.684136e-05,1.642456e-05,1.602071e-05,1.562974e-05,1.525153e-05,1.488597e-05,1.453288e-05,1.419209e-05,1.386339e-05,1.354656e-05,1.324137e-05,1.294756e-05,1.266488e-05,1.239307e-05,1.213186e-05,1.188097e-05,1.164012e-05,1.140904e-05,1.118745e-05,1.097507e-05,1.077162e-05,1.057683e-05,1.039042e-05,1.021213e-05,1.004169e-05,9.878838e-06,9.723317e-06,9.574877e-06,9.433270e-06,9.298257e-06,9.169601e-06,9.047071e-06,8.930445e-06,8.819502e-06,8.714030e-06,8.613823e-06,8.518678e-06,8.428401e-06,8.342802e-06,8.261696e-06,8.184906e-06,8.112259e-06,8.043587e-06,7.978728e-06,7.917526e-06,7.859830e-06,7.805491e-06,7.754370e-06
0.000000e+00,4.138226e-10,2.910483e-08,3.107621e-08,4.792350e-07,3.346821e-06,3.591065e-06,1.683027e-05,5.271389e-05,5.622616e-05,1.457119e-04,2.950149e-04,3.116832e-04,5.768461e-04,9.130735e-04,9.564355e-04,1.456961e-03,1.996230e-03,2.076652e-03,2.806812e-03,3.512605e-03,3.633539e-03,4.539471e-03,5.347614e-03,5.505371e-03,6.511455e-03,7.352862e-03,7.538431e-03,8.568270e-03,9.383219e-03,9.584730e-03,1.057366e-02,1.131818e-02,1.152316e-02,1.242356e-02,1.307034e-02,1.326737e-02,1.404913e-02,1.458548e-02,1.476520e-02,1.541352e-02,1.583797e-02,1.599347e-02,1.650555e-02,1.682438e-02,1.695124e-02,1.733277e-02,1.755697e-02,1.765294e-02,1.791501e-02,1.805786e-02,1.812251e-02,1.827915e-02,1.835446e-02,1.838872e-02,1.845502e-02,1.847604e-02,1.848179e-02,1.847266e-02,1.845141e-02,1.843111e-02,1.836045e-02,1.830736e-02,1.826379e-02,1.814406e-02,1.806796e-02,1.800398e-02,1.784603e-02,1.775414e-02,1.767254e-02,1.748560e-02,1.738372e-02,1.728714e-02,1.707889e-02,1.697160e-02,1.686244e-02,1.663921e-02,1.653002e-02,1.641046e-02,1.617734e-02,1.606892e-02,1.594086e-02,1.570195e-02,1.559626e-02,1.546140e-02,1.521993e-02,1.511839e-02,1.497817e-02,1.473669e-02,1.464028e-02,1.449596e-02,1.425643e-02,1.416581e-02,1.401847e-02,1.378242e-02,1.369796e-02,1.354854e-02,1.331711e-02,1.323901e-02,1.308832e-02,1.286236e-02,1.279068e-02,1.263940e-02,1.241956e-02,1.235424e-02,1.220296e-02,1.198969e-02,1.193058e-02,1.177983e-02,1.157343e-02,1.152034e-02,1.137056e-02,1.117124e-02,1.112394e-02,1.097551e-02,1.078337e-02,1.074159e-02,1.059486e-02,1.040995e-02,1.037340e-02,1.022866e-02,1.005097e-02,1.001937e-02,9.876868e-03,9.706338e-03,9.679383e-03,9.539356e-03,9.375897e-03,9.353293e-03,9.215933e-03,9.059431e-03,9.040881e-03,8.906357e-03,8.756675e-03,8.741892e-03,8.610349e-03,8.467338e-03,8.456039e-03,8.327601e-03,8.191098e-03,8.183010e-03,8.057786e-03,7.927620e-03,7.922479e-03,7.800558e-03,7.676553e-03,7.674104e-03,7.555562e-03,7.437537e-03,7.212422e-03,6.998401e-03,6.795116e-03,6.602209e-03,6.419325e-03,6.246114e-03,6.082229e-03,5.927327e-03,5.781075e-03,5.643142e-03,5.513206e-03,5.390952e-03,5.276071e-03,5.168262e-03,5.067229e-03,4.972687e-03,4.884355e-03,4.801961e-03,4.725238e-03,4.653927e-03,4.587777e-03,4.526543e-03,4.469987e-03,4.417876e-03,4.369986e-03,4.326098e-03,4.286000e-03,4.249486e-03,4.216358e-03,4.186421e-03,4.159489e-03,4.135381e-03,4.113923e-03,4.094946e-03,4.078287e-03,4.063789e-03,4.051302e-03,4.040681e-03,4.031788e-03,4.024488e-03,4.018654e-03,4.014164e-03,4.010902e-03,4.008756e-03,4.007622e-03,4.007400e-03,4.007993e-03,4.009313e-03,4.011275e-03
0.000000e+00,6.109605e-09,3.072795e-07,3.262487e-07,3.948278e-06,2.223747e-05,2.363410e-05,8.479296e-05,1.960902e-04,2.048973e-04,3.743461e-04,5.536184e-04,5.696757e-04,7.710359e-04,9.477102e-04,9.668556e-04,1.151778e-03,1.303895e-03,1.323843e-03,1.482665e-03,1.608858e-03,1.628513e-03,1.761905e-03,1.864771e-03,1.883447e-03,1.993772e-03,2.076312e-03,2.093512e-03,2.183292e-03,2.248352e-03,2.263718e-03,2.335377e-03,2.385550e-03,2.398835e-03,2.454631e-03,2.492229e-03,2.503279e-03,2.545269e-03,2.572327e-03,2.581062e-03,2.611096e-03,2.629386e-03,2.635781e-03,2.655506e-03,2.666558e-03,2.670635e-03,2.681511e-03,2.686642e-03,2.688456e-03,2.691771e-03,2.692110e-03,2.691742e-03,2.688634e-03,2.685145e-03,2.682696e-03,2.674165e-03,2.667670e-03,2.663259e-03,2.650184e-03,2.641379e-03,2.635132e-03,2.618283e-03,2.607752e-03,2.599802e-03,2.579847e-03,2.568083e-03,2.558563e-03,2.536086e-03,2.523498e-03,2.512544e-03,2.488054e-03,2.474981e-03,2.462726e-03,2.436663e-03,2.423385e-03,2.409959e-03,2.382704e-03,2.369450e-03,2.354980e-03,2.326864e-03,2.313818e-03,2.298426e-03,2.269732e-03,2.257042e-03,2.240844e-03,2.211816e-03,2.199596e-03,2.182702e-03,2.153550e-03,2.141888e-03,2.124403e-03,2.095302e-03,2.084264e-03,2.066285e-03,2.037387e-03,2.027019e-03,2.008638e-03,1.980069e-03,1.970400e-03,1.951704e-03,1.923568e-03,1.914617e-03,1.895683e-03,1.868069e-03,1.859840e-03,1.840742e-03,1.813721e-03,1.806211e-03,1.787017e-03,1.760645e-03,1.753844e-03,1.734616e-03,1.708939e-03,1.702830e-03,1.683624e-03,1.658677e-03,1.653239e-03,1.634106e-03,1.609916e-03,1.605124e-03,1.586112e-03,1.562696e-03,1.558523e-03,1.539672e-03,1.517042e-03,1.513458e-03,1.494808e-03,1.472970e-03,1.469944e-03,1.451528e-03,1.430483e-03,1.427984e-03,1.409832e-03,1.389576e-03,1.387572e-03,1.369712e-03,1.350238e-03,1.348697e-03,1.331152e-03,1.312450e-03,1.311341e-03,1.294131e-03,1.276190e-03,1.275480e-03,1.258624e-03,1.241429e-03,1.241089e-03,1.224602e-03,1.208137e-03,1.176592e-03,1.146417e-03,1.117578e-03,1.090035e-03,1.063750e-03,1.038685e-03,1.014798e-03,9.920520e-04,9.704059e-04,9.498211e-04,9.302589e-04,9.116812e-04,8.940504e-04,8.773299e-04,8.614837e-04,8.464767e-04,8.322748e-04,8.188445e-04,8.061536e-04,7.941707e-04,7.828651e-04,7.722075e-04,7.621692e-04,7.527227e-04,7.438411e-04,7.354988e-04,7.276709e-04,7.203332e-04,7.134627e-04,7.070371e-04,7.010349e-04,6.954355e-04,6.902189e-04,6.853660e-04,6.808586e-04,6.766788e-04,6.728098e-04,6.692352e-04,6.659394e-04,6.629074e-04,6.601247e-04,6.575776e-04,6.552529e-04,6.531378e-04,6.512203e-04,6.494886e-04,6.479318e-04,6.465391e-04,6.453005e-04
0.000000e+00,1.589522e-09,1.011798e-07,1.077862e-07,1.520380e-06,1.032554e-05,1.107605e-05,5.200923e-05,1.630217e-04,1.738425e-04,4.469063e-04,8.951644e-04,9.448445e-04,1.729498e-03,2.716120e-03,2.843019e-03,4.305760e-03,5.882247e-03,6.117685e-03,8.261600e-03,1.034796e-02,1.070707e-02,1.341435e-02,1.585763e-02,1.633798e-02,1.942980e-02,2.205663e-02,2.264144e-02,2.592616e-02,2.857702e-02,2.924019e-02,3.254371e-02,3.509019e-02,3.580128e-02,3.898219e-02,4.133221e-02,4.206038e-02,4.501439e-02,4.711012e-02,4.782699e-02,5.048495e-02,5.229735e-02,5.297857e-02,5.530136e-02,5.682356e-02,5.744956e-02,5.942183e-02,6.066274e-02,6.121882e-02,6.284288e-02,6.382179e-02,6.429774e-02,6.558823e-02,6.633049e-02,6.672005e-02,6.769953e-02,6.823328e-02,6.853350e-02,6.922909e-02,6.958307e-02,6.979362e-02,7.023449e-02,7.043644e-02,7.055907e-02,7.077467e-02,7.085047e-02,7.088843e-02,7.090731e-02,7.088043e-02,7.083804e-02,7.068711e-02,7.057843e-02,7.046075e-02,7.016491e-02,6.999272e-02,6.980526e-02,6.938717e-02,6.916725e-02,6.891575e-02,6.839582e-02,6.814162e-02,6.783192e-02,6.722833e-02,6.695123e-02,6.658909e-02,6.591799e-02,6.562749e-02,6.521857e-02,6.449416e-02,6.419811e-02,6.374788e-02,6.298263e-02,6.268743e-02,6.220113e-02,6.140593e-02,6.111676e-02,6.059938e-02,5.978369e-02,5.950465e-02,5.896092e-02,5.813296e-02,5.786721e-02,5.730158e-02,5.646843e-02,5.621837e-02,5.563504e-02,5.480279e-02,5.457015e-02,5.397301e-02,5.314689e-02,5.293283e-02,5.232552e-02,5.150994e-02,5.131517e-02,5.070107e-02,4.989977e-02,4.972458e-02,4.910683e-02,4.832295e-02,4.816732e-02,4.754878e-02,4.678491e-02,4.664855e-02,4.603188e-02,4.529015e-02,4.517255e-02,4.456015e-02,4.384227e-02,4.374276e-02,4.313684e-02,4.244415e-02,4.236190e-02,4.176446e-02,4.109799e-02,4.103207e-02,4.044491e-02,3.980539e-02,3.975482e-02,3.917955e-02,3.856748e-02,3.853120e-02,3.796926e-02,3.738493e-02,3.736184e-02,3.681451e-02,3.625800e-02,3.624701e-02,3.571539e-02,3.518665e-02,3.418041e-02,3.322773e-02,3.232780e-02,3.147968e-02,3.068223e-02,2.993423e-02,2.923431e-02,2.858106e-02,2.797294e-02,2.740841e-02,2.688585e-02,2.640361e-02,2.596004e-02,2.555344e-02,2.518215e-02,2.484447e-02,2.453872e-02,2.426325e-02,2.401640e-02,2.379656e-02,2.360214e-02,2.343156e-02,2.328330e-02,2.315587e-02,2.304782e-02,2.295773e-02,2.288423e-02,2.282601e-02,2.278180e-02,2.275037e-02,2.273055e-02,2.272122e-02,2.272130e-02,2.272978e-02,2.274569e-02,2.276811e-02,2.279619e-02,2.282911e-02,2.286611e-02,2.290649e-02,2.294959e-02,2.299479e-02,2.304153e-02,2.308929e-02,2.313760e-02,2.318603e-02,2.323418e-02,2.328172e-02,2.332833e-02
0.000000e+00,1.064927e-09,1.594525e-08,1.663101e-08,8.974026e-08,2.617727e-07,2.714517e-07,5.716762e-07,9.222496e-07,9.456184e-07,1.336628e-06,1.686507e-06,1.716199e-06,2.076267e-06,2.382331e-06,2.415283e-06,2.733372e-06,2.996430e-06,3.031106e-06,3.309191e-06,3.533209e-06,3.568389e-06,3.809484e-06,3.998592e-06,4.033266e-06,4.240516e-06,4.398664e-06,4.432002e-06,4.608473e-06,4.739327e-06,4.770654e-06,4.919250e-06,5.026159e-06,5.054937e-06,5.178368e-06,5.264364e-06,5.290169e-06,5.390941e-06,5.458753e-06,5.481263e-06,5.561685e-06,5.613757e-06,5.632737e-06,5.694925e-06,5.733443e-06,5.748734e-06,5.794626e-06,5.821537e-06,5.833044e-06,5.864411e-06,5.881447e-06,5.889130e-06,5.907586e-06,5.916283e-06,5.920148e-06,5.927167e-06,5.928882e-06,5.928976e-06,5.925896e-06,5.921828e-06,5.918230e-06,5.906268e-06,5.897471e-06,5.890286e-06,5.870548e-06,5.857947e-06,5.847303e-06,5.820790e-06,5.805194e-06,5.791235e-06,5.758855e-06,5.740969e-06,5.723854e-06,5.686427e-06,5.666862e-06,5.646759e-06,5.605026e-06,5.584310e-06,5.561396e-06,5.516026e-06,5.494614e-06,5.469068e-06,5.420663e-06,5.398942e-06,5.370948e-06,5.320050e-06,5.298350e-06,5.268091e-06,5.215186e-06,5.193783e-06,5.161443e-06,5.106966e-06,5.086092e-06,5.051851e-06,4.996191e-06,4.976036e-06,4.940072e-06,4.883576e-06,4.864296e-06,4.826781e-06,4.769759e-06,4.751476e-06,4.712579e-06,4.655305e-06,4.638114e-06,4.597998e-06,4.540715e-06,4.524687e-06,4.483509e-06,4.426430e-06,4.411616e-06,4.369526e-06,4.312839e-06,4.299272e-06,4.256412e-06,4.200283e-06,4.187978e-06,4.144487e-06,4.089057e-06,4.078018e-06,4.034025e-06,3.979418e-06,3.969636e-06,3.925264e-06,3.871587e-06,3.863045e-06,3.818410e-06,3.765752e-06,3.758423e-06,3.713634e-06,3.662073e-06,3.655924e-06,3.611084e-06,3.560682e-06,3.555675e-06,3.510880e-06,3.461689e-06,3.457780e-06,3.413120e-06,3.365181e-06,3.362325e-06,3.317882e-06,3.271229e-06,3.269377e-06,3.225228e-06,3.179884e-06,3.178984e-06,3.135202e-06,3.091184e-06,3.005999e-06,2.923439e-06,2.843507e-06,2.766194e-06,2.691485e-06,2.619357e-06,2.549781e-06,2.482725e-06,2.418148e-06,2.356009e-06,2.296263e-06,2.238861e-06,2.183753e-06,2.130885e-06,2.080204e-06,2.031655e-06,1.985183e-06,1.940731e-06,1.898243e-06,1.857662e-06,1.818931e-06,1.781995e-06,1.746798e-06,1.713283e-06,1.681397e-06,1.651086e-06,1.622296e-06,1.594977e-06,1.569076e-06,1.544543e-06,1.521330e-06,1.499388e-06,1.478671e-06,1.459133e-06,1.440729e-06,1.423415e-06,1.407150e-06,1.391892e-06,1.377600e-06,1.364236e-06,1.351763e-06,1.340142e-06,1.329340e-06,1.319320e-06,1.310050e-06,1.301496e-06,1.293628e-06,1.286415e-06,1.279827e-06
0.000000e+00,2.101677e-09,1.175403e-07,1.249462e-07,1.605682e-06,1.003919e-05,1.073080e-05,4.593155e-05,1.307709e-04,1.385439e-04,3.171453e-04,5.653764e-04,5.905672e-04,9.473896e-04,1.321586e-03,1.365450e-03,1.820805e-03,2.235800e-03,2.292738e-03,2.765459e-03,3.164124e-03,3.227957e-03,3.673099e-03,4.030422e-03,4.096620e-03,4.496236e-03,4.805371e-03,4.870974e-03,5.220701e-03,5.482723e-03,5.545804e-03,5.846975e-03,6.065833e-03,6.125088e-03,6.381102e-03,6.561511e-03,6.616022e-03,6.830856e-03,6.977491e-03,7.026604e-03,7.204241e-03,7.321457e-03,7.364711e-03,7.508926e-03,7.600675e-03,7.637761e-03,7.752054e-03,7.821880e-03,7.852610e-03,7.940196e-03,7.991255e-03,8.015544e-03,8.079356e-03,8.114450e-03,8.132298e-03,8.175008e-03,8.196617e-03,8.208092e-03,8.232129e-03,8.242439e-03,8.247670e-03,8.255239e-03,8.256175e-03,8.255336e-03,8.248437e-03,8.241687e-03,8.234994e-03,8.215438e-03,8.202480e-03,8.190177e-03,8.159601e-03,8.141725e-03,8.124081e-03,8.083966e-03,8.062292e-03,8.039593e-03,7.991277e-03,7.966774e-03,7.939319e-03,7.884006e-03,7.857510e-03,7.825608e-03,7.764382e-03,7.736610e-03,7.700572e-03,7.634409e-03,7.605972e-03,7.566111e-03,7.495885e-03,7.467299e-03,7.423928e-03,7.350423e-03,7.322123e-03,7.275548e-03,7.199466e-03,7.171812e-03,7.122335e-03,7.044301e-03,7.017589e-03,6.965505e-03,6.886077e-03,6.860547e-03,6.806141e-03,6.725813e-03,6.701655e-03,6.645203e-03,6.564414e-03,6.541774e-03,6.483542e-03,6.402678e-03,6.381666e-03,6.321908e-03,6.241310e-03,6.222001e-03,6.160960e-03,6.080927e-03,6.063368e-03,6.001275e-03,5.922067e-03,5.906284e-03,5.843358e-03,5.765200e-03,5.751195e-03,5.687643e-03,5.610732e-03,5.598489e-03,5.534508e-03,5.459009e-03,5.448499e-03,5.384272e-03,5.310328e-03,5.301509e-03,5.237207e-03,5.164938e-03,5.157758e-03,5.093543e-03,5.023046e-03,5.017446e-03,4.953467e-03,4.884824e-03,4.880735e-03,4.817132e-03,4.750407e-03,4.747758e-03,4.684660e-03,4.619903e-03,4.618618e-03,4.556144e-03,4.493391e-03,4.372131e-03,4.254873e-03,4.141634e-03,4.032412e-03,3.927196e-03,3.825958e-03,3.728662e-03,3.635261e-03,3.545701e-03,3.459920e-03,3.377850e-03,3.299419e-03,3.224551e-03,3.153164e-03,3.085175e-03,3.020499e-03,2.959048e-03,2.900734e-03,2.845467e-03,2.793156e-03,2.743711e-03,2.697042e-03,2.653058e-03,2.611671e-03,2.572790e-03,2.536329e-03,2.502199e-03,2.470316e-03,2.440594e-03,2.412951e-03,2.387303e-03,2.363572e-03,2.341678e-03,2.321544e-03,2.303093e-03,2.286253e-03,2.270950e-03,2.257115e-03,2.244678e-03,2.233571e-03,2.223730e-03,2.215091e-03,2.207591e-03,2.201170e-03,2.195770e-03,2.191334e-03,2.187805e-03,2.185132e-03,2.183261e-03
0.000000e+00,9.432598e-10,5.208295e-08,5.535335e-08,7.020493e-07,4.293321e-06,4.584002e-06,1.902837e-05,5.252772e-05,5.553987e-05,1.229597e-04,2.121693e-04,2.209670e-04,3.409025e-04,4.576598e-04,4.707551e-04,5.994162e-04,7.050873e-04,7.187192e-04,8.237617e-04,9.009739e-04,9.123633e-04,9.842738e-04,1.032448e-03,1.040436e-03,1.082428e-03,1.107566e-03,1.112075e-03,1.131218e-03,1.140134e-03,1.141581e-03,1.144707e-03,1.142993e-03,1.141940e-03,1.134425e-03,1.126138e-03,1.123127e-03,1.108851e-03,1.096765e-03,1.092262e-03,1.073907e-03,1.059854e-03,1.054236e-03,1.033614e-03,1.018774e-03,1.012338e-03,9.906503e-04,9.757683e-04,9.687452e-04,9.467794e-04,9.323109e-04,9.248786e-04,9.031431e-04,8.893563e-04,8.816518e-04,8.604669e-04,8.475078e-04,8.396366e-04,8.191978e-04,8.071343e-04,7.991782e-04,7.795981e-04,7.684486e-04,7.604713e-04,7.418071e-04,7.315592e-04,7.236105e-04,7.058833e-04,6.965056e-04,6.886247e-04,6.718318e-04,6.632821e-04,6.555001e-04,6.396238e-04,6.318543e-04,6.241960e-04,6.092088e-04,6.021690e-04,5.946538e-04,5.805222e-04,5.741614e-04,5.668049e-04,5.534923e-04,5.477606e-04,5.405750e-04,5.280433e-04,5.228927e-04,5.158876e-04,5.040981e-04,4.994828e-04,4.926655e-04,4.815800e-04,4.774567e-04,4.708326e-04,4.604138e-04,4.567417e-04,4.503146e-04,4.405262e-04,4.372674e-04,4.310398e-04,4.218469e-04,4.189658e-04,4.129392e-04,4.043084e-04,4.017720e-04,3.959466e-04,3.878461e-04,3.856237e-04,3.799991e-04,3.723984e-04,3.704616e-04,3.650366e-04,3.579068e-04,3.562294e-04,3.510021e-04,3.443159e-04,3.428736e-04,3.378417e-04,3.315731e-04,3.303436e-04,3.255041e-04,3.196287e-04,3.185912e-04,3.139411e-04,3.084356e-04,3.075712e-04,3.031068e-04,2.979493e-04,2.972407e-04,2.929581e-04,2.881280e-04,2.875590e-04,2.834542e-04,2.789320e-04,2.784879e-04,2.745567e-04,2.703239e-04,2.699913e-04,2.662293e-04,2.622686e-04,2.620351e-04,2.584378e-04,2.547328e-04,2.545872e-04,2.511499e-04,2.476853e-04,2.476172e-04,2.443354e-04,2.410967e-04,2.349986e-04,2.292976e-04,2.239699e-04,2.189929e-04,2.143455e-04,2.100077e-04,2.059608e-04,2.021871e-04,1.986699e-04,1.953936e-04,1.923435e-04,1.895058e-04,1.868673e-04,1.844158e-04,1.821398e-04,1.800285e-04,1.780715e-04,1.762594e-04,1.745831e-04,1.730340e-04,1.716043e-04,1.702864e-04,1.690732e-04,1.679582e-04,1.669350e-04,1.659977e-04,1.651410e-04,1.643596e-04,1.636485e-04,1.630034e-04,1.624197e-04,1.618936e-04,1.614212e-04,1.609989e-04,1.606233e-04,1.602914e-04,1.600002e-04,1.597468e-04,1.595288e-04,1.593435e-04,1.591888e-04,1.590625e-04,1.589625e-04,1.588869e-04,1.588341e-04,1.588022e-04,1.587897e-04,1.587951e-04,1.588171e-04
0.000000e+00,1.502027e-09,2.020612e-08,2.108984e-08,1.260917e-07,4.167348e-07,4.341572e-07,1.004152e-06,1.702949e-06,1.749931e-06,2.536869e-06,3.239617e-06,3.299160e-06,4.020169e-06,4.631662e-06,4.697433e-06,5.331730e-06,5.855586e-06,5.924600e-06,6.477771e-06,6.923092e-06,6.993007e-06,7.472058e-06,7.847753e-06,7.916639e-06,8.328416e-06,8.642727e-06,8.709000e-06,9.059946e-06,9.320369e-06,9.382747e-06,9.678838e-06,9.892132e-06,9.949591e-06,1.019632e-05,1.036855e-05,1.042029e-05,1.062270e-05,1.075928e-05,1.080470e-05,1.096738e-05,1.107315e-05,1.111181e-05,1.123897e-05,1.131822e-05,1.134982e-05,1.144527e-05,1.150183e-05,1.152620e-05,1.159342e-05,1.163067e-05,1.164773e-05,1.168989e-05,1.171082e-05,1.172060e-05,1.174055e-05,1.174780e-05,1.175039e-05,1.175074e-05,1.174664e-05,1.174219e-05,1.172529e-05,1.171187e-05,1.170058e-05,1.166857e-05,1.164763e-05,1.162973e-05,1.158453e-05,1.155763e-05,1.153340e-05,1.147675e-05,1.144524e-05,1.141498e-05,1.134845e-05,1.131352e-05,1.127753e-05,1.120254e-05,1.116520e-05,1.112381e-05,1.104164e-05,1.100276e-05,1.095631e-05,1.086809e-05,1.082843e-05,1.077725e-05,1.068402e-05,1.064421e-05,1.058864e-05,1.049132e-05,1.045189e-05,1.039226e-05,1.029168e-05,1.025309e-05,1.018974e-05,1.008662e-05,1.004924e-05,9.982489e-06,9.877500e-06,9.841635e-06,9.771800e-06,9.665526e-06,9.631418e-06,9.558808e-06,9.451768e-06,9.419610e-06,9.344521e-06,9.237175e-06,9.207115e-06,9.129832e-06,9.022588e-06,8.994732e-06,8.915531e-06,8.808746e-06,8.783167e-06,8.702311e-06,8.596298e-06,8.573039e-06,8.490778e-06,8.385813e-06,8.364892e-06,8.281462e-06,8.177783e-06,8.159195e-06,8.074825e-06,7.972636e-06,7.956360e-06,7.871261e-06,7.770740e-06,7.756737e-06,7.671111e-06,7.572407e-06,7.560627e-06,7.474662e-06,7.377904e-06,7.368283e-06,7.282159e-06,7.187451e-06,7.179920e-06,7.093801e-06,7.001230e-06,6.995710e-06,6.909754e-06,6.819389e-06,6.815798e-06,6.730149e-06,6.642044e-06,6.640294e-06,6.555086e-06,6.469283e-06,6.302827e-06,6.140965e-06,5.983718e-06,5.831089e-06,5.683070e-06,5.539635e-06,5.400750e-06,5.266370e-06,5.136442e-06,5.010903e-06,4.889687e-06,4.772720e-06,4.659925e-06,4.551221e-06,4.446522e-06,4.345742e-06,4.248791e-06,4.155579e-06,4.066014e-06,3.980004e-06,3.897456e-06,3.818278e-06,3.742376e-06,3.669659e-06,3.600037e-06,3.533418e-06,3.469714e-06,3.408836e-06,3.350698e-06,3.295213e-06,3.242299e-06,3.191873e-06,3.143853e-06,3.098161e-06,3.054718e-06,3.013450e-06,2.974282e-06,2.937141e-06,2.901957e-06,2.868660e-06,2.837184e-06,2.807463e-06,2.779433e-06,2.753031e-06,2.728198e-06,2.704873e-06,2.683000e-06,2.662524e-06,2.643388e-06
0.000000e+00,3.342131e-09,1.579456e-07,1.675105e-07,1.935048e-06,1.057679e-05,1.123110e-05,3.990626e-05,9.307635e-05,9.733037e-05,1.797574e-04,2.669691e-04,2.747423e-04,3.714057e-04,4.547867e-04,4.637361e-04,5.492856e-04,6.184219e-04,6.274030e-04,6.981795e-04,7.534446e-04,7.619707e-04,8.192101e-04,8.625540e-04,8.703430e-04,9.158026e-04,9.491372e-04,9.560030e-04,9.913358e-04,1.016346e-03,1.022170e-03,1.048852e-03,1.066991e-03,1.071707e-03,1.091036e-03,1.103543e-03,1.107123e-03,1.120230e-03,1.128157e-03,1.130604e-03,1.138471e-03,1.142703e-03,1.144044e-03,1.147519e-03,1.148802e-03,1.149079e-03,1.148893e-03,1.147851e-03,1.147120e-03,1.143903e-03,1.141056e-03,1.139379e-03,1.133673e-03,1.129454e-03,1.126900e-03,1.119167e-03,1.113935e-03,1.110575e-03,1.101213e-03,1.095263e-03,1.091168e-03,1.080517e-03,1.074090e-03,1.069332e-03,1.057681e-03,1.050975e-03,1.045623e-03,1.033216e-03,1.026390e-03,1.020512e-03,1.007559e-03,1.000739e-03,9.943997e-04,9.810755e-04,9.743631e-04,9.676230e-04,9.540761e-04,9.475493e-04,9.404658e-04,9.268204e-04,9.205390e-04,9.131658e-04,8.995255e-04,8.935338e-04,8.859208e-04,8.723713e-04,8.667012e-04,8.588945e-04,8.455064e-04,8.401792e-04,8.322213e-04,8.190521e-04,8.140806e-04,8.060104e-04,7.931064e-04,7.884965e-04,7.803495e-04,7.677476e-04,7.634996e-04,7.553080e-04,7.430370e-04,7.391467e-04,7.309398e-04,7.190212e-04,7.154811e-04,7.072852e-04,6.957350e-04,6.925347e-04,6.843735e-04,6.732027e-04,6.703297e-04,6.622243e-04,6.514397e-04,6.488803e-04,6.408496e-04,6.304544e-04,6.281936e-04,6.202541e-04,6.102487e-04,6.082709e-04,6.004374e-04,5.908195e-04,5.891087e-04,5.813939e-04,5.721595e-04,5.706996e-04,5.631147e-04,5.542580e-04,5.530330e-04,5.455876e-04,5.371015e-04,5.360954e-04,5.287977e-04,5.206741e-04,5.198716e-04,5.127285e-04,5.049584e-04,5.043443e-04,4.973615e-04,4.899353e-04,4.894951e-04,4.826774e-04,4.755851e-04,4.753048e-04,4.686558e-04,4.618869e-04,4.617532e-04,4.552758e-04,4.488198e-04,4.364839e-04,4.247246e-04,4.135212e-04,4.028529e-04,3.926993e-04,3.830406e-04,3.738568e-04,3.651289e-04,3.568381e-04,3.489661e-04,3.414952e-04,3.344083e-04,3.276888e-04,3.213206e-04,3.152883e-04,3.095769e-04,3.041720e-04,2.990598e-04,2.942269e-04,2.896606e-04,2.853485e-04,2.812790e-04,2.774405e-04,2.738224e-04,2.704142e-04,2.672060e-04,2.641881e-04,2.613516e-04,2.586875e-04,2.561877e-04,2.538440e-04,2.516488e-04,2.495948e-04,2.476750e-04,2.458827e-04,2.442116e-04,2.426555e-04,2.412085e-04,2.398653e-04,2.386203e-04,2.374686e-04,2.364052e-04,2.354257e-04,2.345255e-04,2.337004e-04,2.329465e-04,2.322599e-04,2.316369e-04,2.310741e-04
0.000000e+00,2.668020e-09,1.276846e-07,1.355796e-07,1.668930e-06,9.406784e-06,9.991288e-06,3.461146e-05,7.533549e-05,7.837570e-05,1.329115e-04,1.843248e-04,1.886830e-04,2.405285e-04,2.823499e-04,2.867004e-04,3.270216e-04,3.579534e-04,3.618613e-04,3.917268e-04,4.138214e-04,4.171266e-04,4.385317e-04,4.537387e-04,4.563693e-04,4.710245e-04,4.809117e-04,4.828445e-04,4.921424e-04,4.979559e-04,4.992011e-04,5.042759e-04,5.070060e-04,5.075971e-04,5.093721e-04,5.098027e-04,5.097878e-04,5.090120e-04,5.077601e-04,5.071954e-04,5.044730e-04,5.020204e-04,5.009657e-04,4.967814e-04,4.935015e-04,4.920163e-04,4.867565e-04,4.829365e-04,4.810782e-04,4.750495e-04,4.709081e-04,4.687305e-04,4.621749e-04,4.578772e-04,4.554299e-04,4.485374e-04,4.442063e-04,4.415343e-04,4.344532e-04,4.301791e-04,4.273226e-04,4.201678e-04,4.160157e-04,4.130107e-04,4.058705e-04,4.018858e-04,3.987640e-04,3.917057e-04,3.879187e-04,3.847081e-04,3.777820e-04,3.742118e-04,3.709366e-04,3.641798e-04,3.608367e-04,3.575182e-04,3.509572e-04,3.478450e-04,3.445014e-04,3.381545e-04,3.352724e-04,3.319195e-04,3.257986e-04,3.231419e-04,3.197934e-04,3.139052e-04,3.114672e-04,3.081346e-04,3.024819e-04,3.002538e-04,2.969470e-04,2.915297e-04,2.895018e-04,2.862293e-04,2.810449e-04,2.792067e-04,2.759755e-04,2.710198e-04,2.693605e-04,2.661765e-04,2.614441e-04,2.599529e-04,2.568210e-04,2.523055e-04,2.509715e-04,2.478958e-04,2.435902e-04,2.424030e-04,2.393868e-04,2.352836e-04,2.342330e-04,2.312788e-04,2.273705e-04,2.264466e-04,2.235566e-04,2.198352e-04,2.190288e-04,2.162045e-04,2.126624e-04,2.119645e-04,2.092071e-04,2.058365e-04,2.052387e-04,2.025489e-04,1.993423e-04,1.988366e-04,1.962149e-04,1.931648e-04,1.927439e-04,1.901903e-04,1.872896e-04,1.869464e-04,1.844609e-04,1.817026e-04,1.814305e-04,1.790129e-04,1.763902e-04,1.761832e-04,1.738328e-04,1.713393e-04,1.711917e-04,1.689080e-04,1.665374e-04,1.664438e-04,1.642260e-04,1.619724e-04,1.619279e-04,1.597751e-04,1.576328e-04,1.535477e-04,1.496624e-04,1.459673e-04,1.424528e-04,1.391102e-04,1.359310e-04,1.329070e-04,1.300308e-04,1.272948e-04,1.246923e-04,1.222165e-04,1.198611e-04,1.176203e-04,1.154883e-04,1.134598e-04,1.115295e-04,1.096926e-04,1.079445e-04,1.062808e-04,1.046973e-04,1.031899e-04,1.017551e-04,1.003891e-04,9.908849e-05,9.785013e-05,9.667092e-05,9.554792e-05,9.447838e-05,9.345965e-05,9.248923e-05,9.156476e-05,9.068396e-05,8.984470e-05,8.904494e-05,8.828274e-05,8.755628e-05,8.686380e-05,8.620364e-05,8.557423e-05,8.497408e-05,8.440177e-05,8.385593e-05,8.333530e-05,8.283864e-05,8.236481e-05,8.191269e-05,8.148126e-05,8.106950e-05,8.067648e-05
0.000000e+00,5.582144e-09,8.387171e-08,8.760981e-08,5.538088e-07,1.978703e-06,2.068435e-06,5.175249e-06,9.227899e-06,9.503423e-06,1.407586e-05,1.799751e-05,1.832015e-05,2.209126e-05,2.507943e-05,2.538876e-05,2.824715e-05,3.043176e-05,3.070728e-05,3.280879e-05,3.435718e-05,3.458815e-05,3.607838e-05,3.712918e-05,3.731005e-05,3.831098e-05,3.897732e-05,3.910638e-05,3.971912e-05,4.009171e-05,4.016980e-05,4.047702e-05,4.062789e-05,4.065752e-05,4.072634e-05,4.071232e-05,4.069699e-05,4.058160e-05,4.044723e-05,4.039100e-05,4.013494e-05,3.991495e-05,3.982210e-05,3.946026e-05,3.918156e-05,3.905636e-05,3.861659e-05,3.829990e-05,3.814647e-05,3.765093e-05,3.731208e-05,3.713433e-05,3.660058e-05,3.625158e-05,3.605311e-05,3.549500e-05,3.514483e-05,3.492896e-05,3.435738e-05,3.401266e-05,3.378238e-05,3.320583e-05,3.287136e-05,3.262935e-05,3.205439e-05,3.173355e-05,3.148221e-05,3.091388e-05,3.060893e-05,3.035037e-05,2.979249e-05,2.950486e-05,2.924095e-05,2.869634e-05,2.842680e-05,2.815919e-05,2.762991e-05,2.737876e-05,2.710886e-05,2.659634e-05,2.636352e-05,2.609259e-05,2.559778e-05,2.538293e-05,2.511205e-05,2.463551e-05,2.443811e-05,2.416821e-05,2.371020e-05,2.352959e-05,2.326147e-05,2.282201e-05,2.265744e-05,2.239179e-05,2.197073e-05,2.182139e-05,2.155878e-05,2.115584e-05,2.102088e-05,2.076182e-05,2.037661e-05,2.025518e-05,2.000009e-05,1.963213e-05,1.952339e-05,1.927261e-05,1.892139e-05,1.882452e-05,1.857833e-05,1.824329e-05,1.815747e-05,1.791612e-05,1.759668e-05,1.752115e-05,1.728482e-05,1.698039e-05,1.691439e-05,1.668324e-05,1.639322e-05,1.633606e-05,1.611018e-05,1.583399e-05,1.578499e-05,1.556448e-05,1.530151e-05,1.526004e-05,1.504495e-05,1.479465e-05,1.476010e-05,1.455046e-05,1.431226e-05,1.428407e-05,1.407990e-05,1.385325e-05,1.383089e-05,1.363218e-05,1.341656e-05,1.339954e-05,1.320626e-05,1.300116e-05,1.298901e-05,1.280113e-05,1.260606e-05,1.259836e-05,1.241582e-05,1.223030e-05,1.222664e-05,1.204940e-05,1.187299e-05,1.153654e-05,1.121649e-05,1.091206e-05,1.062250e-05,1.034710e-05,1.008518e-05,9.836099e-06,9.599232e-06,9.373992e-06,9.159816e-06,8.956169e-06,8.762542e-06,8.578449e-06,8.403427e-06,8.237037e-06,8.078858e-06,7.928492e-06,7.785559e-06,7.649698e-06,7.520565e-06,7.397833e-06,7.281189e-06,7.170339e-06,7.065000e-06,6.964905e-06,6.869797e-06,6.779434e-06,6.693586e-06,6.612033e-06,6.534566e-06,6.460987e-06,6.391105e-06,6.324743e-06,6.261728e-06,6.201898e-06,6.145097e-06,6.091180e-06,6.040006e-06,5.991442e-06,5.945360e-06,5.901641e-06,5.860170e-06,5.820838e-06,5.783541e-06,5.748180e-06,5.714662e-06,5.682897e-06,5.652800e-06,5.624291e-06
0.000000e+00,9.540383e-09,2.887913e-07,3.039635e-07,2.608336e-06,1.211540e-05,1.280175e-05,4.155449e-05,9.217730e-05,9.613236e-05,1.704796e-04,2.455086e-04,2.520759e-04,3.329628e-04,4.026159e-04,4.101340e-04,4.827617e-04,5.428176e-04,5.507301e-04,6.141381e-04,6.651455e-04,6.731490e-04,7.279453e-04,7.708534e-04,7.787133e-04,8.256390e-04,8.613793e-04,8.689053e-04,9.086913e-04,9.381317e-04,9.451715e-04,9.785154e-04,1.002452e-03,1.008887e-03,1.036443e-03,1.055597e-03,1.061337e-03,1.083714e-03,1.098735e-03,1.103713e-03,1.121469e-03,1.132936e-03,1.137110e-03,1.150756e-03,1.159184e-03,1.162524e-03,1.172526e-03,1.178372e-03,1.180867e-03,1.187646e-03,1.191313e-03,1.192961e-03,1.196901e-03,1.198742e-03,1.199553e-03,1.201000e-03,1.201326e-03,1.201319e-03,1.200584e-03,1.199667e-03,1.198866e-03,1.196232e-03,1.194308e-03,1.192744e-03,1.188462e-03,1.185740e-03,1.183445e-03,1.177744e-03,1.174401e-03,1.171413e-03,1.164498e-03,1.160687e-03,1.157046e-03,1.149100e-03,1.144955e-03,1.140701e-03,1.131888e-03,1.127521e-03,1.122697e-03,1.113162e-03,1.108671e-03,1.103318e-03,1.093194e-03,1.088658e-03,1.082819e-03,1.072221e-03,1.067710e-03,1.061426e-03,1.050458e-03,1.046028e-03,1.039341e-03,1.028094e-03,1.023791e-03,1.016740e-03,1.005297e-03,1.001159e-03,9.937821e-04,9.822132e-04,9.782703e-04,9.706058e-04,9.589745e-04,9.552497e-04,9.473331e-04,9.356947e-04,9.322055e-04,9.240711e-04,9.124737e-04,9.092325e-04,9.009128e-04,8.893984e-04,8.864134e-04,8.779395e-04,8.665444e-04,8.638200e-04,8.552211e-04,8.439766e-04,8.415141e-04,8.328178e-04,8.217508e-04,8.195489e-04,8.107812e-04,7.999142e-04,7.979694e-04,7.891546e-04,7.785066e-04,7.768135e-04,7.679741e-04,7.575607e-04,7.561125e-04,7.472696e-04,7.371036e-04,7.358922e-04,7.270653e-04,7.171571e-04,7.161735e-04,7.073808e-04,6.977382e-04,6.969726e-04,6.882308e-04,6.788599e-04,6.783020e-04,6.696265e-04,6.605315e-04,6.601706e-04,6.515754e-04,6.427587e-04,6.425837e-04,6.340816e-04,6.255444e-04,6.090528e-04,5.931073e-04,5.777042e-04,5.628385e-04,5.485035e-04,5.346916e-04,5.213938e-04,5.086006e-04,4.963017e-04,4.844860e-04,4.731422e-04,4.622585e-04,4.518229e-04,4.418232e-04,4.322468e-04,4.230815e-04,4.143146e-04,4.059338e-04,3.979267e-04,3.902810e-04,3.829845e-04,3.760254e-04,3.693917e-04,3.630721e-04,3.570550e-04,3.513294e-04,3.458844e-04,3.407094e-04,3.357940e-04,3.311282e-04,3.267021e-04,3.225061e-04,3.185311e-04,3.147678e-04,3.112078e-04,3.078423e-04,3.046633e-04,3.016628e-04,2.988332e-04,2.961668e-04,2.936567e-04,2.912957e-04,2.890773e-04,2.869950e-04,2.850424e-04,2.832137e-04,2.815029e-04,2.799045e-04,2.784131e-04
0.000000e+00,1.029410e-07,6.660694e-06,7.097193e-06,1.006251e-04,6.824904e-04,7.320766e-04,3.453162e-03,1.102290e-02,1.177394e-02,3.130608e-02,6.509025e-02,6.893482e-02,1.316841e-01,2.148468e-01,2.258276e-01,3.563541e-01,5.040963e-01,5.267203e-01,7.388072e-01,9.549040e-01,9.930047e-01,1.288376e+00,1.566826e+00,1.622859e+00,1.993483e+00,2.321812e+00,2.396586e+00,2.828012e+00,3.190543e+00,3.283284e+00,3.757774e+00,4.138218e+00,4.246822e+00,4.745854e+00,5.129079e+00,5.250469e+00,5.756503e+00,6.129590e+00,6.260079e+00,6.757640e+00,7.110342e+00,7.245974e+00,7.722222e+00,8.047048e+00,8.183878e+00,8.628779e+00,8.920797e+00,9.055101e+00,9.461338e+00,9.717855e+00,9.846286e+00,1.020902e+01,1.042919e+01,1.054886e+01,1.086539e+01,1.104982e+01,1.115838e+01,1.142778e+01,1.157815e+01,1.167373e+01,1.189652e+01,1.201527e+01,1.209653e+01,1.227428e+01,1.236432e+01,1.243038e+01,1.256550e+01,1.262999e+01,1.268037e+01,1.277578e+01,1.281798e+01,1.285256e+01,1.291155e+01,1.293464e+01,1.295361e+01,1.297963e+01,1.298667e+01,1.299046e+01,1.298699e+01,1.298083e+01,1.297008e+01,1.294056e+01,1.292379e+01,1.289927e+01,1.284702e+01,1.282199e+01,1.278459e+01,1.271274e+01,1.268153e+01,1.263220e+01,1.254369e+01,1.250811e+01,1.244787e+01,1.234540e+01,1.230700e+01,1.223689e+01,1.212292e+01,1.208304e+01,1.200407e+01,1.188086e+01,1.184059e+01,1.175379e+01,1.162334e+01,1.158361e+01,1.148995e+01,1.135406e+01,1.131561e+01,1.121605e+01,1.107630e+01,1.103972e+01,1.093516e+01,1.079296e+01,1.075871e+01,1.065000e+01,1.050658e+01,1.047499e+01,1.036294e+01,1.021935e+01,1.019066e+01,1.007604e+01,9.933203e+00,9.907560e+00,9.791052e+00,9.649765e+00,9.627251e+00,9.509509e+00,9.370438e+00,9.351071e+00,9.232694e+00,9.096405e+00,9.080154e+00,8.961689e+00,8.828654e+00,8.815447e+00,8.697397e+00,8.568005e+00,8.557737e+00,8.440558e+00,8.315124e+00,8.307664e+00,8.191769e+00,8.070545e+00,8.065741e+00,7.951503e+00,7.834684e+00,7.832370e+00,7.720124e+00,7.607854e+00,7.392408e+00,7.186175e+00,6.989229e+00,6.801590e+00,6.623225e+00,6.454062e+00,6.293988e+00,6.142861e+00,6.000511e+00,5.866742e+00,5.741343e+00,5.624082e+00,5.514714e+00,5.412985e+00,5.318626e+00,5.231367e+00,5.150928e+00,5.077025e+00,5.009375e+00,4.947689e+00,4.891680e+00,4.841062e+00,4.795549e+00,4.754860e+00,4.718716e+00,4.686842e+00,4.658970e+00,4.634837e+00,4.614185e+00,4.596766e+00,4.582336e+00,4.570660e+00,4.561513e+00,4.554675e+00,4.549939e+00,4.547103e+00,4.545977e+00,4.546379e+00,4.548138e+00,4.551090e+00,4.555082e+00,4.559970e+00,4.565621e+00,4.571907e+00,4.578713e+00,4.585931e+00,4.593462e+00,4.601215e+00,4.609107e+00
0.000000e+00,1.948642e-09,1.210423e-07,1.290080e-07,1.868321e-06,1.245029e-05,1.332757e-05,5.763120e-05,1.601291e-04,1.692824e-04,3.728806e-04,6.430781e-04,6.699633e-04,1.043543e-03,1.424439e-03,1.468506e-03,1.919689e-03,2.321588e-03,2.376058e-03,2.821965e-03,3.188891e-03,3.246825e-03,3.644156e-03,3.954053e-03,4.010514e-03,4.344571e-03,4.594408e-03,4.646390e-03,4.916912e-03,5.111761e-03,5.157589e-03,5.370152e-03,5.517622e-03,5.556449e-03,5.718354e-03,5.826221e-03,5.857704e-03,5.976266e-03,6.051609e-03,6.075718e-03,6.157640e-03,6.206603e-03,6.223510e-03,6.274707e-03,6.302504e-03,6.312511e-03,6.338110e-03,6.349110e-03,6.352603e-03,6.357007e-03,6.354846e-03,6.352261e-03,6.339232e-03,6.326917e-03,6.318718e-03,6.291457e-03,6.271468e-03,6.258129e-03,6.219359e-03,6.193726e-03,6.175722e-03,6.127749e-03,6.098132e-03,6.075927e-03,6.020704e-03,5.988448e-03,5.962492e-03,5.901668e-03,5.867861e-03,5.838581e-03,5.773548e-03,5.739059e-03,5.706861e-03,5.638788e-03,5.604309e-03,5.569574e-03,5.499442e-03,5.465514e-03,5.428598e-03,5.357227e-03,5.324268e-03,5.285502e-03,5.213576e-03,5.181902e-03,5.141590e-03,5.069674e-03,5.039519e-03,4.997944e-03,4.926504e-03,4.898031e-03,4.855451e-03,4.784869e-03,4.758188e-03,4.714836e-03,4.645422e-03,4.620596e-03,4.576688e-03,4.508689e-03,4.485746e-03,4.441475e-03,4.375090e-03,4.354027e-03,4.309570e-03,4.244949e-03,4.225743e-03,4.181257e-03,4.118518e-03,4.101125e-03,4.056753e-03,3.995979e-03,3.980342e-03,3.936212e-03,3.877462e-03,3.863515e-03,3.819739e-03,3.763050e-03,3.750717e-03,3.707398e-03,3.652787e-03,3.641990e-03,3.599216e-03,3.546686e-03,3.537340e-03,3.495192e-03,3.444732e-03,3.436754e-03,3.395299e-03,3.346889e-03,3.340192e-03,3.299492e-03,3.253102e-03,3.247603e-03,3.207709e-03,3.163304e-03,3.158917e-03,3.119876e-03,3.077413e-03,3.074058e-03,3.035906e-03,2.995341e-03,2.992936e-03,2.955706e-03,2.916989e-03,2.915459e-03,2.879177e-03,2.842256e-03,2.841527e-03,2.806214e-03,2.771036e-03,2.703881e-03,2.639955e-03,2.579150e-03,2.521359e-03,2.466473e-03,2.414386e-03,2.364993e-03,2.318190e-03,2.273876e-03,2.231951e-03,2.192317e-03,2.154882e-03,2.119551e-03,2.086235e-03,2.054848e-03,2.025303e-03,1.997521e-03,1.971420e-03,1.946925e-03,1.923961e-03,1.902457e-03,1.882342e-03,1.863551e-03,1.846018e-03,1.829682e-03,1.814482e-03,1.800362e-03,1.787265e-03,1.775138e-03,1.763929e-03,1.753590e-03,1.744073e-03,1.735332e-03,1.727324e-03,1.720006e-03,1.713339e-03,1.707284e-03,1.701804e-03,1.696864e-03,1.692430e-03,1.688470e-03,1.684953e-03,1.681850e-03,1.679132e-03,1.676774e-03,1.674748e-03,1.673032e-03,1.671603e-03,1.670437e-03
0.000000e+00,1.350814e-07,9.706019e-06,1.037112e-05,1.699205e-04,1.284253e-03,1.382292e-03,6.897208e-03,2.222970e-02,2.373592e-02,6.218530e-02,1.267854e-01,1.340441e-01,2.509796e-01,4.033857e-01,4.233788e-01,6.596538e-01,9.253075e-01,9.658943e-01,1.345772e+00,1.732435e+00,1.800617e+00,2.329607e+00,2.829319e+00,2.930026e+00,3.597557e+00,4.191107e+00,4.326586e+00,5.110501e+00,5.772244e+00,5.941974e+00,6.813213e+00,7.515226e+00,7.716194e+00,8.642857e+00,9.358071e+00,9.585272e+00,1.053577e+01,1.124005e+01,1.148708e+01,1.243235e+01,1.310565e+01,1.336529e+01,1.428016e+01,1.490702e+01,1.517178e+01,1.603561e+01,1.660509e+01,1.686768e+01,1.766458e+01,1.816989e+01,1.842350e+01,1.914214e+01,1.958008e+01,1.981870e+01,2.045185e+01,2.082220e+01,2.104070e+01,2.158474e+01,2.188958e+01,2.208382e+01,2.253811e+01,2.278124e+01,2.294805e+01,2.331435e+01,2.350075e+01,2.363792e+01,2.391985e+01,2.405521e+01,2.416139e+01,2.436392e+01,2.445430e+01,2.452891e+01,2.465792e+01,2.470943e+01,2.475257e+01,2.481451e+01,2.483312e+01,2.484543e+01,2.484702e+01,2.483837e+01,2.482098e+01,2.476898e+01,2.473831e+01,2.469269e+01,2.459372e+01,2.454578e+01,2.447367e+01,2.433408e+01,2.427312e+01,2.417646e+01,2.400225e+01,2.393199e+01,2.381285e+01,2.360960e+01,2.353328e+01,2.339377e+01,2.316660e+01,2.308699e+01,2.292926e+01,2.268284e+01,2.260225e+01,2.242841e+01,2.216696e+01,2.208730e+01,2.189943e+01,2.162670e+01,2.154952e+01,2.134962e+01,2.106895e+01,2.099548e+01,2.078544e+01,2.049978e+01,2.043097e+01,2.021260e+01,1.992450e+01,1.986105e+01,1.963603e+01,1.934772e+01,1.929012e+01,1.906003e+01,1.877342e+01,1.872198e+01,1.848829e+01,1.820501e+01,1.815988e+01,1.792393e+01,1.764537e+01,1.760659e+01,1.736961e+01,1.709691e+01,1.706440e+01,1.682751e+01,1.656163e+01,1.653525e+01,1.629947e+01,1.604119e+01,1.602070e+01,1.578694e+01,1.553688e+01,1.552201e+01,1.529111e+01,1.504974e+01,1.504018e+01,1.481286e+01,1.458056e+01,1.457596e+01,1.435288e+01,1.412989e+01,1.370235e+01,1.329353e+01,1.290352e+01,1.253226e+01,1.217962e+01,1.184537e+01,1.152920e+01,1.123076e+01,1.094963e+01,1.068534e+01,1.043743e+01,1.020535e+01,9.988565e+00,9.786521e+00,9.598642e+00,9.424346e+00,9.263047e+00,9.114156e+00,8.977084e+00,8.851248e+00,8.736067e+00,8.630969e+00,8.535391e+00,8.448778e+00,8.370590e+00,8.300298e+00,8.237389e+00,8.181365e+00,8.131746e+00,8.088064e+00,8.049871e+00,8.016738e+00,7.988250e+00,7.964012e+00,7.943649e+00,7.926802e+00,7.913134e+00,7.902322e+00,7.894064e+00,7.888077e+00,7.884093e+00,7.881864e+00,7.881155e+00,7.881754e+00,7.883458e+00,7.886085e+00,7.889466e+00,7.893446e+00,7.897883e+00
0.000000e+00,3.078860e-10,3.879651e-09,4.045105e-09,2.352418e-08,7.845565e-08,8.180720e-08,1.947561e-07,3.405775e-07,3.506026e-07,5.207113e-07,6.736235e-07,6.865479e-07,8.421890e-07,9.725787e-07,9.865001e-07,1.119624e-06,1.227886e-06,1.242026e-06,1.354246e-06,1.443036e-06,1.456840e-06,1.550353e-06,1.622275e-06,1.635315e-06,1.712236e-06,1.769655e-06,1.781605e-06,1.843889e-06,1.888916e-06,1.899534e-06,1.948963e-06,1.983461e-06,1.992576e-06,2.030753e-06,2.056353e-06,2.063852e-06,2.092214e-06,2.110341e-06,2.116158e-06,2.135987e-06,2.147877e-06,2.151986e-06,2.164426e-06,2.171153e-06,2.173560e-06,2.179627e-06,2.182115e-06,2.182851e-06,2.183444e-06,2.182491e-06,2.181605e-06,2.177523e-06,2.173814e-06,2.171372e-06,2.163319e-06,2.157439e-06,2.153518e-06,2.142116e-06,2.134563e-06,2.129249e-06,2.115046e-06,2.106244e-06,2.099628e-06,2.083107e-06,2.073414e-06,2.065590e-06,2.047174e-06,2.036889e-06,2.027953e-06,2.008014e-06,1.997389e-06,1.987437e-06,1.966299e-06,1.955541e-06,1.944669e-06,1.922614e-06,1.911895e-06,1.900195e-06,1.877469e-06,1.866927e-06,1.854490e-06,1.831307e-06,1.821054e-06,1.807967e-06,1.784512e-06,1.774636e-06,1.760981e-06,1.737412e-06,1.727981e-06,1.713838e-06,1.690291e-06,1.681357e-06,1.666800e-06,1.643392e-06,1.634990e-06,1.620090e-06,1.596918e-06,1.589073e-06,1.573897e-06,1.551044e-06,1.543770e-06,1.528379e-06,1.505915e-06,1.499217e-06,1.483667e-06,1.461649e-06,1.455526e-06,1.439871e-06,1.418345e-06,1.412790e-06,1.397079e-06,1.376082e-06,1.371083e-06,1.355360e-06,1.334921e-06,1.330463e-06,1.314770e-06,1.294911e-06,1.290975e-06,1.275348e-06,1.256085e-06,1.252650e-06,1.237125e-06,1.218469e-06,1.215512e-06,1.200118e-06,1.182075e-06,1.179573e-06,1.164338e-06,1.146910e-06,1.144839e-06,1.129788e-06,1.112972e-06,1.111308e-06,1.096462e-06,1.080256e-06,1.078973e-06,1.064352e-06,1.048748e-06,1.047822e-06,1.033443e-06,1.018433e-06,1.017839e-06,1.003717e-06,9.892907e-07,9.890051e-07,9.751521e-07,9.612978e-07,9.346926e-07,9.091630e-07,8.846812e-07,8.612184e-07,8.387448e-07,8.172301e-07,7.966437e-07,7.769550e-07,7.581333e-07,7.401481e-07,7.229692e-07,7.065670e-07,6.909121e-07,6.759759e-07,6.617303e-07,6.481480e-07,6.352023e-07,6.228672e-07,6.111176e-07,5.999291e-07,5.892780e-07,5.791414e-07,5.694974e-07,5.603246e-07,5.516024e-07,5.433111e-07,5.354316e-07,5.279457e-07,5.208356e-07,5.140845e-07,5.076762e-07,5.015950e-07,4.958260e-07,4.903549e-07,4.851679e-07,4.802520e-07,4.755945e-07,4.711833e-07,4.670070e-07,4.630544e-07,4.593151e-07,4.557789e-07,4.524362e-07,4.492779e-07,4.462950e-07,4.434792e-07,4.408224e-07,4.383171e-07,4.359558e-07
0.000000e+00,9.663596e-10,1.683338e-08,1.762191e-08,1.105404e-07,3.419328e-07,3.547477e-07,7.239725e-07,1.091089e-06,1.113850e-06,1.474817e-06,1.774552e-06,1.799168e-06,2.088191e-06,2.320312e-06,2.344559e-06,2.571032e-06,2.747675e-06,2.770219e-06,2.944545e-06,3.076292e-06,3.096246e-06,3.227383e-06,3.323033e-06,3.339846e-06,3.435369e-06,3.502176e-06,3.515541e-06,3.581815e-06,3.625725e-06,3.635520e-06,3.677870e-06,3.703736e-06,3.709972e-06,3.732838e-06,3.744610e-06,3.747391e-06,3.754471e-06,3.755353e-06,3.754846e-06,3.749213e-06,3.741796e-06,3.738207e-06,3.722409e-06,3.708784e-06,3.702347e-06,3.678500e-06,3.660346e-06,3.651304e-06,3.621155e-06,3.599817e-06,3.588416e-06,3.553412e-06,3.529960e-06,3.516442e-06,3.477774e-06,3.453056e-06,3.437653e-06,3.396300e-06,3.370981e-06,3.353915e-06,3.310679e-06,3.285278e-06,3.266757e-06,3.222296e-06,3.197213e-06,3.177429e-06,3.132278e-06,3.107816e-06,3.086949e-06,3.041542e-06,3.017927e-06,2.996141e-06,2.950827e-06,2.928225e-06,2.905669e-06,2.860730e-06,2.839253e-06,2.816064e-06,2.771722e-06,2.751445e-06,2.727747e-06,2.684177e-06,2.665144e-06,2.641047e-06,2.598387e-06,2.580615e-06,2.556221e-06,2.514572e-06,2.498062e-06,2.473459e-06,2.432899e-06,2.417634e-06,2.392904e-06,2.353487e-06,2.339440e-06,2.314656e-06,2.276418e-06,2.263553e-06,2.238779e-06,2.201743e-06,2.190019e-06,2.165311e-06,2.129486e-06,2.118856e-06,2.094267e-06,2.059652e-06,2.050069e-06,2.025642e-06,1.992231e-06,1.983643e-06,1.959418e-06,1.927198e-06,1.919553e-06,1.895565e-06,1.864516e-06,1.857763e-06,1.834044e-06,1.804144e-06,1.798232e-06,1.774808e-06,1.746031e-06,1.740909e-06,1.717804e-06,1.690122e-06,1.685743e-06,1.662977e-06,1.636361e-06,1.632677e-06,1.610267e-06,1.584687e-06,1.581652e-06,1.559613e-06,1.535038e-06,1.532608e-06,1.510953e-06,1.487351e-06,1.485484e-06,1.464224e-06,1.441564e-06,1.440219e-06,1.419362e-06,1.397612e-06,1.396752e-06,1.376306e-06,1.355435e-06,1.355022e-06,1.334992e-06,1.314970e-06,1.276537e-06,1.239665e-06,1.204299e-06,1.170382e-06,1.137863e-06,1.106688e-06,1.076807e-06,1.048173e-06,1.020736e-06,9.944526e-07,9.692776e-07,9.451684e-07,9.220841e-07,8.999847e-07,8.788322e-07,8.585896e-07,8.392213e-07,8.206931e-07,8.029721e-07,7.860264e-07,7.698257e-07,7.543404e-07,7.395423e-07,7.254042e-07,7.118999e-07,6.990042e-07,6.866930e-07,6.749429e-07,6.637316e-07,6.530375e-07,6.428399e-07,6.331190e-07,6.238556e-07,6.150313e-07,6.066284e-07,5.986300e-07,5.910197e-07,5.837817e-07,5.769011e-07,5.703632e-07,5.641541e-07,5.582605e-07,5.526693e-07,5.473682e-07,5.423454e-07,5.375893e-07,5.330889e-07,5.288337e-07,5.248134e-07
0.000000e+00,6.351722e-10,1.155274e-08,1.210996e-08,8.214990e-08,2.752706e-07,2.864646e-07,6.232846e-07,9.779595e-07,1.000472e-06,1.365225e-06,1.679587e-06,1.705905e-06,2.021285e-06,2.284175e-06,2.312201e-06,2.579897e-06,2.797299e-06,2.825679e-06,3.050826e-06,3.228897e-06,3.256580e-06,3.444132e-06,3.588445e-06,3.614622e-06,3.769133e-06,3.884630e-06,3.908691e-06,4.034271e-06,4.125290e-06,4.146791e-06,4.247118e-06,4.317435e-06,4.336067e-06,4.414407e-06,4.467293e-06,4.482856e-06,4.542096e-06,4.580382e-06,4.592766e-06,4.635460e-06,4.661581e-06,4.670744e-06,4.699143e-06,4.715191e-06,4.721151e-06,4.737233e-06,4.745006e-06,4.747823e-06,4.753329e-06,4.754365e-06,4.754133e-06,4.750592e-06,4.746200e-06,4.743039e-06,4.731790e-06,4.723088e-06,4.717137e-06,4.699354e-06,4.687289e-06,4.678698e-06,4.655409e-06,4.640785e-06,4.629713e-06,4.601818e-06,4.585310e-06,4.571921e-06,4.540206e-06,4.522384e-06,4.506843e-06,4.471994e-06,4.453334e-06,4.435806e-06,4.398420e-06,4.379319e-06,4.359966e-06,4.320564e-06,4.301349e-06,4.280328e-06,4.239363e-06,4.220302e-06,4.197767e-06,4.155631e-06,4.136943e-06,4.113040e-06,4.070074e-06,4.051933e-06,4.026804e-06,3.983300e-06,3.965846e-06,3.939624e-06,3.895834e-06,3.879176e-06,3.851986e-06,3.808130e-06,3.792348e-06,3.764311e-06,3.720572e-06,3.705726e-06,3.676954e-06,3.633492e-06,3.619623e-06,3.590220e-06,3.547169e-06,3.534301e-06,3.504367e-06,3.461841e-06,3.449986e-06,3.419613e-06,3.377706e-06,3.366865e-06,3.336138e-06,3.294929e-06,3.285094e-06,3.254094e-06,3.213647e-06,3.204803e-06,3.173603e-06,3.133972e-06,3.126096e-06,3.094765e-06,3.055991e-06,3.049059e-06,3.017659e-06,2.979776e-06,2.973756e-06,2.942347e-06,2.905378e-06,2.900239e-06,2.868873e-06,2.832836e-06,2.828543e-06,2.797270e-06,2.762178e-06,2.758694e-06,2.727559e-06,2.693417e-06,2.690706e-06,2.659751e-06,2.626560e-06,2.624584e-06,2.593846e-06,2.561606e-06,2.560326e-06,2.529840e-06,2.498545e-06,2.497924e-06,2.467721e-06,2.437364e-06,2.378627e-06,2.321690e-06,2.266527e-06,2.213110e-06,2.161407e-06,2.111385e-06,2.063010e-06,2.016247e-06,1.971060e-06,1.927411e-06,1.885264e-06,1.844580e-06,1.805324e-06,1.767456e-06,1.730940e-06,1.695740e-06,1.661818e-06,1.629140e-06,1.597668e-06,1.567370e-06,1.538209e-06,1.510154e-06,1.483170e-06,1.457226e-06,1.432290e-06,1.408331e-06,1.385320e-06,1.363226e-06,1.342020e-06,1.321676e-06,1.302166e-06,1.283463e-06,1.265541e-06,1.248375e-06,1.231941e-06,1.216214e-06,1.201172e-06,1.186792e-06,1.173051e-06,1.159929e-06,1.147405e-06,1.135458e-06,1.124069e-06,1.113220e-06,1.102890e-06,1.093063e-06,1.083721e-06,1.074847e-06,1.066425e-06
0.000000e+00,6.503735e-09,1.387089e-07,1.453247e-07,9.054409e-07,2.764641e-06,2.868645e-06,5.979717e-06,9.296899e-06,9.508522e-06,1.294467e-05,1.591404e-05,1.616295e-05,1.914988e-05,2.164602e-05,2.191248e-05,2.446143e-05,2.653668e-05,2.680795e-05,2.896318e-05,3.067202e-05,3.093804e-05,3.274310e-05,3.413558e-05,3.438853e-05,3.588408e-05,3.700515e-05,3.723907e-05,3.846233e-05,3.935173e-05,3.956223e-05,4.054673e-05,4.123937e-05,4.142333e-05,4.219905e-05,4.272526e-05,4.288057e-05,4.347416e-05,4.386028e-05,4.398572e-05,4.442082e-05,4.468970e-05,4.478470e-05,4.508226e-05,4.525358e-05,4.531812e-05,4.549663e-05,4.558734e-05,4.562186e-05,4.569764e-05,4.572232e-05,4.572756e-05,4.571499e-05,4.568612e-05,4.566310e-05,4.557485e-05,4.550311e-05,4.545304e-05,4.530027e-05,4.519478e-05,4.511900e-05,4.491151e-05,4.478000e-05,4.467995e-05,4.442635e-05,4.427541e-05,4.415258e-05,4.386042e-05,4.369559e-05,4.355151e-05,4.322740e-05,4.305335e-05,4.288955e-05,4.253929e-05,4.235991e-05,4.217790e-05,4.180655e-05,4.162510e-05,4.142636e-05,4.103835e-05,4.085750e-05,4.064347e-05,4.024264e-05,4.006460e-05,3.983668e-05,3.942637e-05,3.925292e-05,3.901244e-05,3.859557e-05,3.842814e-05,3.817638e-05,3.775545e-05,3.759516e-05,3.733334e-05,3.691053e-05,3.675824e-05,3.648750e-05,3.606469e-05,3.592105e-05,3.564249e-05,3.522126e-05,3.508674e-05,3.480136e-05,3.438310e-05,3.425799e-05,3.396677e-05,3.355264e-05,3.343711e-05,3.314095e-05,3.273193e-05,3.262604e-05,3.232578e-05,3.192269e-05,3.182642e-05,3.152283e-05,3.112636e-05,3.103961e-05,3.073342e-05,3.034414e-05,3.026673e-05,2.995863e-05,2.957699e-05,2.950871e-05,2.919931e-05,2.882568e-05,2.876628e-05,2.845617e-05,2.809083e-05,2.804002e-05,2.772972e-05,2.737289e-05,2.733036e-05,2.702038e-05,2.667221e-05,2.663763e-05,2.632841e-05,2.598900e-05,2.596204e-05,2.565400e-05,2.532340e-05,2.530371e-05,2.499722e-05,2.467546e-05,2.466268e-05,2.435810e-05,2.404515e-05,2.403894e-05,2.373658e-05,2.343239e-05,2.284292e-05,2.227034e-05,2.171445e-05,2.117500e-05,2.065175e-05,2.014440e-05,1.965265e-05,1.917619e-05,1.871470e-05,1.826784e-05,1.783528e-05,1.741668e-05,1.701170e-05,1.661999e-05,1.624121e-05,1.587502e-05,1.552109e-05,1.517908e-05,1.484867e-05,1.452952e-05,1.422133e-05,1.392378e-05,1.363656e-05,1.335937e-05,1.309192e-05,1.283391e-05,1.258508e-05,1.234514e-05,1.211382e-05,1.189086e-05,1.167601e-05,1.146903e-05,1.126966e-05,1.107767e-05,1.089284e-05,1.071494e-05,1.054375e-05,1.037907e-05,1.022068e-05,1.006840e-05,9.922029e-06,9.781376e-06,9.646262e-06,9.516509e-06,9.391946e-06,9.272406e-06,9.157727e-06,9.047752e-06,8.942330e-06
0.000000e+00,3.322029e-09,5.863943e-08,6.138081e-08,3.941591e-07,1.315733e-06,1.370896e-06,3.179311e-06,5.400315e-06,5.548924e-06,8.004884e-06,1.012781e-05,1.030418e-05,1.239338e-05,1.409475e-05,1.427373e-05,1.595792e-05,1.728928e-05,1.746047e-05,1.879556e-05,1.982006e-05,1.997661e-05,2.101616e-05,2.178863e-05,2.192593e-05,2.271679e-05,2.328369e-05,2.339886e-05,2.398152e-05,2.438190e-05,2.447342e-05,2.488257e-05,2.514904e-05,2.521636e-05,2.548157e-05,2.564113e-05,2.568446e-05,2.583080e-05,2.590579e-05,2.592586e-05,2.597450e-05,2.598330e-05,2.598119e-05,2.595001e-05,2.590768e-05,2.588472e-05,2.578874e-05,2.570759e-05,2.566527e-05,2.551718e-05,2.540726e-05,2.534712e-05,2.515751e-05,2.502694e-05,2.495058e-05,2.472835e-05,2.458370e-05,2.449267e-05,2.424524e-05,2.409179e-05,2.398761e-05,2.372120e-05,2.356316e-05,2.344728e-05,2.316704e-05,2.300773e-05,2.288153e-05,2.259173e-05,2.243376e-05,2.229852e-05,2.200270e-05,2.184809e-05,2.170500e-05,2.140608e-05,2.125636e-05,2.110654e-05,2.080691e-05,2.066320e-05,2.050768e-05,2.020929e-05,2.007243e-05,1.991214e-05,1.961657e-05,1.948711e-05,1.932291e-05,1.903143e-05,1.890972e-05,1.874239e-05,1.845602e-05,1.834225e-05,1.817250e-05,1.789201e-05,1.778625e-05,1.761471e-05,1.734072e-05,1.724292e-05,1.707017e-05,1.680314e-05,1.671317e-05,1.653972e-05,1.627998e-05,1.619765e-05,1.602398e-05,1.577175e-05,1.569683e-05,1.552334e-05,1.527877e-05,1.521098e-05,1.503806e-05,1.480121e-05,1.474027e-05,1.456823e-05,1.433912e-05,1.428471e-05,1.411386e-05,1.389244e-05,1.384424e-05,1.367484e-05,1.346104e-05,1.341873e-05,1.325101e-05,1.304472e-05,1.300798e-05,1.284213e-05,1.264322e-05,1.261173e-05,1.244794e-05,1.225625e-05,1.222970e-05,1.206811e-05,1.188349e-05,1.186156e-05,1.170232e-05,1.152458e-05,1.150699e-05,1.135020e-05,1.117915e-05,1.116561e-05,1.101138e-05,1.084683e-05,1.083706e-05,1.068546e-05,1.052723e-05,1.052096e-05,1.037207e-05,1.021995e-05,1.021694e-05,1.007081e-05,9.924603e-06,9.643581e-06,9.373495e-06,9.113973e-06,8.864651e-06,8.625170e-06,8.395181e-06,8.174342e-06,7.962321e-06,7.758794e-06,7.563447e-06,7.375976e-06,7.196086e-06,7.023491e-06,6.857915e-06,6.699092e-06,6.546764e-06,6.400681e-06,6.260604e-06,6.126302e-06,5.997551e-06,5.874137e-06,5.755852e-06,5.642496e-06,5.533879e-06,5.429814e-06,5.330124e-06,5.234638e-06,5.143191e-06,5.055623e-06,4.971784e-06,4.891525e-06,4.814706e-06,4.741191e-06,4.670851e-06,4.603558e-06,4.539193e-06,4.477639e-06,4.418786e-06,4.362525e-06,4.308755e-06,4.257375e-06,4.208291e-06,4.161411e-06,4.116647e-06,4.073915e-06,4.033133e-06,3.994223e-06,3.957111e-06,3.921723e-06
0.000000e+00,1.423862e-09,1.916267e-08,2.000307e-08,1.208478e-07,4.007095e-07,4.172495e-07,9.307922e-07,1.501287e-06,1.538424e-06,2.154710e-06,2.708122e-06,2.755428e-06,3.334811e-06,3.836822e-06,3.891450e-06,4.425044e-06,4.875572e-06,4.935634e-06,5.423411e-06,5.824877e-06,5.888671e-06,6.331792e-06,6.687231e-06,6.753222e-06,7.153467e-06,7.466241e-06,7.533073e-06,7.892616e-06,8.166207e-06,8.232695e-06,8.553917e-06,8.791774e-06,8.856895e-06,9.142242e-06,9.347690e-06,9.410567e-06,9.662468e-06,9.838646e-06,9.898531e-06,1.011933e-05,1.026918e-05,1.032544e-05,1.051739e-05,1.064363e-05,1.069574e-05,1.086098e-05,1.096614e-05,1.101365e-05,1.115423e-05,1.124062e-05,1.128320e-05,1.140103e-05,1.147080e-05,1.150817e-05,1.160505e-05,1.166015e-05,1.169210e-05,1.176973e-05,1.181195e-05,1.183834e-05,1.189831e-05,1.192929e-05,1.195002e-05,1.199383e-05,1.201504e-05,1.203008e-05,1.205911e-05,1.207190e-05,1.208125e-05,1.209680e-05,1.210239e-05,1.210609e-05,1.210939e-05,1.210888e-05,1.210699e-05,1.209917e-05,1.209357e-05,1.208619e-05,1.206830e-05,1.205849e-05,1.204575e-05,1.201878e-05,1.200557e-05,1.198761e-05,1.195247e-05,1.193657e-05,1.191356e-05,1.187110e-05,1.185316e-05,1.182527e-05,1.177627e-05,1.175685e-05,1.172427e-05,1.166946e-05,1.164908e-05,1.161201e-05,1.155207e-05,1.153115e-05,1.148981e-05,1.142536e-05,1.140431e-05,1.135889e-05,1.129052e-05,1.126966e-05,1.122039e-05,1.114863e-05,1.112827e-05,1.107537e-05,1.100071e-05,1.098109e-05,1.092478e-05,1.084768e-05,1.082901e-05,1.076951e-05,1.069039e-05,1.067286e-05,1.061039e-05,1.052963e-05,1.051339e-05,1.044817e-05,1.036612e-05,1.035129e-05,1.028354e-05,1.020052e-05,1.018720e-05,1.011713e-05,1.003344e-05,1.002171e-05,9.949524e-06,9.865438e-06,9.855339e-06,9.781247e-06,9.697010e-06,9.688586e-06,9.612783e-06,9.528619e-06,9.521890e-06,9.444570e-06,9.360685e-06,9.355658e-06,9.277008e-06,9.193585e-06,9.190254e-06,9.110457e-06,9.027663e-06,9.026011e-06,8.945241e-06,8.863228e-06,8.702175e-06,8.543093e-06,8.386198e-06,8.231682e-06,8.079715e-06,7.930444e-06,7.784001e-06,7.640498e-06,7.500030e-06,7.362679e-06,7.228513e-06,7.097585e-06,6.969939e-06,6.845607e-06,6.724611e-06,6.606964e-06,6.492672e-06,6.381733e-06,6.274136e-06,6.169868e-06,6.068906e-06,5.971221e-06,5.876784e-06,5.785558e-06,5.697504e-06,5.612581e-06,5.530742e-06,5.451939e-06,5.376122e-06,5.303237e-06,5.233231e-06,5.166046e-06,5.101625e-06,5.039910e-06,4.980841e-06,4.924358e-06,4.870398e-06,4.818902e-06,4.769807e-06,4.723052e-06,4.678574e-06,4.636311e-06,4.596203e-06,4.558186e-06,4.522200e-06,4.488185e-06,4.456079e-06,4.425823e-06,4.397357e-06
0.000000e+00,5.355030e-08,3.348795e-06,3.563996e-06,4.730987e-05,3.078315e-04,3.299186e-04,1.560926e-03,5.178085e-03,5.549277e-03,1.573850e-02,3.496875e-02,3.724964e-02,7.637107e-02,1.322072e-01,1.398403e-01,2.342042e-01,3.474954e-01,3.653472e-01,5.381816e-01,7.230668e-01,7.564719e-01,1.022763e+00,1.284547e+00,1.338381e+00,1.703496e+00,2.039229e+00,2.117214e+00,2.577693e+00,2.977985e+00,3.082280e+00,3.627645e+00,4.078860e+00,4.209913e+00,4.824798e+00,5.311115e+00,5.467721e+00,6.133923e+00,6.639052e+00,6.818560e+00,7.516794e+00,8.025265e+00,8.223866e+00,8.935160e+00,9.433199e+00,9.646252e+00,1.035296e+01,1.082900e+01,1.105136e+01,1.173783e+01,1.218274e+01,1.240905e+01,1.306203e+01,1.346911e+01,1.369408e+01,1.430285e+01,1.466768e+01,1.488628e+01,1.544264e+01,1.576285e+01,1.597049e+01,1.646865e+01,1.674361e+01,1.693622e+01,1.737256e+01,1.760309e+01,1.777723e+01,1.815001e+01,1.833805e+01,1.849090e+01,1.880004e+01,1.894834e+01,1.907775e+01,1.932448e+01,1.943641e+01,1.954083e+01,1.972748e+01,1.980674e+01,1.988521e+01,2.001490e+01,2.006539e+01,2.011748e+01,2.019394e+01,2.021958e+01,2.024532e+01,2.027269e+01,2.027728e+01,2.027714e+01,2.025978e+01,2.024699e+01,2.022175e+01,2.016415e+01,2.013737e+01,2.008811e+01,1.999474e+01,1.995709e+01,1.988512e+01,1.976035e+01,1.971466e+01,1.962147e+01,1.946952e+01,1.941829e+01,1.930548e+01,1.913035e+01,1.907578e+01,1.894505e+01,1.875050e+01,1.869449e+01,1.854757e+01,1.833710e+01,1.828125e+01,1.811990e+01,1.789674e+01,1.784237e+01,1.766834e+01,1.743543e+01,1.738364e+01,1.719865e+01,1.695864e+01,1.691031e+01,1.671601e+01,1.647131e+01,1.642708e+01,1.622508e+01,1.597782e+01,1.593820e+01,1.573002e+01,1.548210e+01,1.544740e+01,1.523448e+01,1.498757e+01,1.495800e+01,1.474170e+01,1.449723e+01,1.447288e+01,1.425447e+01,1.401370e+01,1.399453e+01,1.377519e+01,1.353919e+01,1.352512e+01,1.330593e+01,1.307560e+01,1.306645e+01,1.284840e+01,1.262451e+01,1.262006e+01,1.240407e+01,1.218722e+01,1.176893e+01,1.136601e+01,1.097908e+01,1.060857e+01,1.025478e+01,9.917868e+00,9.597876e+00,9.294746e+00,9.008329e+00,8.738401e+00,8.484674e+00,8.246799e+00,8.024384e+00,7.816993e+00,7.624159e+00,7.445388e+00,7.280164e+00,7.127955e+00,6.988218e+00,6.860399e+00,6.743942e+00,6.638289e+00,6.542880e+00,6.457161e+00,6.380584e+00,6.312607e+00,6.252697e+00,6.200334e+00,6.155009e+00,6.116225e+00,6.083501e+00,6.056371e+00,6.034384e+00,6.017108e+00,6.004126e+00,5.995039e+00,5.989468e+00,5.987050e+00,5.987441e+00,5.990316e+00,5.995368e+00,6.002309e+00,6.010867e+00,6.020791e+00,6.031845e+00,6.043812e+00,6.056489e+00,6.069693e+00,6.083255e+00
0.000000e+00,3.116316e-09,1.470133e-07,1.559302e-07,1.795809e-06,9.590002e-06,1.016923e-05,3.458673e-05,7.633846e-05,7.951839e-05,1.370830e-04,1.902013e-04,1.945605e-04,2.436844e-04,2.785475e-04,2.818808e-04,3.098337e-04,3.274020e-04,3.293664e-04,3.423840e-04,3.496099e-04,3.505024e-04,3.549894e-04,3.566617e-04,3.568047e-04,3.566647e-04,3.554684e-04,3.551010e-04,3.525068e-04,3.498875e-04,3.491727e-04,3.453132e-04,3.420415e-04,3.410868e-04,3.366108e-04,3.330962e-04,3.319716e-04,3.272322e-04,3.236883e-04,3.224389e-04,3.176251e-04,3.141606e-04,3.128155e-04,3.080284e-04,3.046981e-04,3.032773e-04,2.985734e-04,2.954067e-04,2.939261e-04,2.893413e-04,2.863514e-04,2.848227e-04,2.803732e-04,2.775624e-04,2.759940e-04,2.716854e-04,2.690497e-04,2.674479e-04,2.632817e-04,2.608161e-04,2.591865e-04,2.551620e-04,2.528601e-04,2.512079e-04,2.473238e-04,2.451789e-04,2.435088e-04,2.397624e-04,2.377676e-04,2.360837e-04,2.324721e-04,2.306202e-04,2.289266e-04,2.254466e-04,2.237308e-04,2.220311e-04,2.186792e-04,2.170926e-04,2.153900e-04,2.121626e-04,2.106986e-04,2.089962e-04,2.058897e-04,2.045417e-04,2.028424e-04,1.998532e-04,1.986149e-04,1.969214e-04,1.940459e-04,1.929113e-04,1.912259e-04,1.884605e-04,1.874238e-04,1.857488e-04,1.830899e-04,1.821454e-04,1.804829e-04,1.779270e-04,1.770695e-04,1.754213e-04,1.729649e-04,1.721892e-04,1.705571e-04,1.681969e-04,1.674980e-04,1.658835e-04,1.636162e-04,1.629895e-04,1.613942e-04,1.592165e-04,1.586575e-04,1.570825e-04,1.549914e-04,1.544959e-04,1.529425e-04,1.509349e-04,1.504987e-04,1.489679e-04,1.470408e-04,1.466601e-04,1.451528e-04,1.433034e-04,1.429745e-04,1.414917e-04,1.397171e-04,1.394366e-04,1.379789e-04,1.362764e-04,1.360409e-04,1.346090e-04,1.329761e-04,1.327824e-04,1.313769e-04,1.298110e-04,1.296562e-04,1.282775e-04,1.267761e-04,1.266573e-04,1.253060e-04,1.238666e-04,1.237812e-04,1.224575e-04,1.210780e-04,1.210234e-04,1.197275e-04,1.184056e-04,1.183795e-04,1.171117e-04,1.158452e-04,1.134166e-04,1.110897e-04,1.088607e-04,1.067259e-04,1.046818e-04,1.027250e-04,1.008522e-04,9.906010e-05,9.734574e-05,9.570613e-05,9.413840e-05,9.263979e-05,9.120765e-05,8.983940e-05,8.853257e-05,8.728477e-05,8.609371e-05,8.495716e-05,8.387298e-05,8.283912e-05,8.185359e-05,8.091448e-05,8.001994e-05,7.916818e-05,7.835751e-05,7.758627e-05,7.685287e-05,7.615578e-05,7.549351e-05,7.486466e-05,7.426786e-05,7.370177e-05,7.316514e-05,7.265675e-05,7.217540e-05,7.171998e-05,7.128939e-05,7.088258e-05,7.049853e-05,7.013627e-05,6.979487e-05,6.947342e-05,6.917106e-05,6.888695e-05,6.862029e-05,6.837030e-05,6.813624e-05,6.791740e-05,6.771308e-05
0.000000e+00,1.948082e-08,1.288206e-06,1.373139e-06,1.984069e-05,1.381941e-04,1.484425e-04,7.311426e-04,2.460554e-03,2.637813e-03,7.470038e-03,1.645952e-02,1.751794e-02,3.551458e-02,6.089804e-02,6.435116e-02,1.068404e-01,1.575671e-01,1.655442e-01,2.426588e-01,3.250586e-01,3.399468e-01,4.587046e-01,5.756703e-01,5.997575e-01,7.634749e-01,9.146073e-01,9.497988e-01,1.158282e+00,1.340503e+00,1.388134e+00,1.638265e+00,1.846591e+00,1.907335e+00,2.193804e+00,2.422114e+00,2.495969e+00,2.812015e+00,3.053712e+00,3.140044e+00,3.478119e+00,3.726656e+00,3.824286e+00,4.176609e+00,4.425877e+00,4.533185e+00,4.892172e+00,5.136751e+00,5.251796e+00,5.610374e+00,5.845685e+00,5.966315e+00,6.318134e+00,6.540494e+00,6.664454e+00,7.004010e+00,7.210629e+00,7.335652e+00,7.658345e+00,7.847275e+00,7.971162e+00,8.273290e+00,8.443344e+00,8.564022e+00,8.842752e+00,8.993406e+00,9.108974e+00,9.362275e+00,9.493568e+00,9.602330e+00,9.828896e+00,9.941322e+00,1.004181e+01,1.024097e+01,1.033538e+01,1.042635e+01,1.059798e+01,1.067551e+01,1.075595e+01,1.090039e+01,1.096234e+01,1.103148e+01,1.114944e+01,1.119725e+01,1.125452e+01,1.134701e+01,1.138217e+01,1.142722e+01,1.149547e+01,1.151951e+01,1.155213e+01,1.159756e+01,1.161196e+01,1.163215e+01,1.165628e+01,1.166248e+01,1.167035e+01,1.167478e+01,1.167416e+01,1.166996e+01,1.165632e+01,1.165015e+01,1.163424e+01,1.160415e+01,1.159362e+01,1.156644e+01,1.152152e+01,1.150770e+01,1.146977e+01,1.141158e+01,1.139545e+01,1.134734e+01,1.127740e+01,1.125981e+01,1.120213e+01,1.112188e+01,1.110359e+01,1.103700e+01,1.094782e+01,1.092949e+01,1.085465e+01,1.075781e+01,1.074002e+01,1.065761e+01,1.055432e+01,1.053753e+01,1.044824e+01,1.033962e+01,1.032423e+01,1.022874e+01,1.011583e+01,1.010215e+01,1.000113e+01,9.884876e+00,9.873173e+00,9.767280e+00,9.648549e+00,9.639008e+00,9.528883e+00,9.408469e+00,9.401224e+00,9.287487e+00,9.166108e+00,9.161247e+00,9.044493e+00,8.922796e+00,8.920362e+00,8.801162e+00,8.679728e+00,8.440380e+00,8.203240e+00,7.969124e+00,7.738749e+00,7.512744e+00,7.291650e+00,7.075936e+00,6.865996e+00,6.662160e+00,6.464700e+00,6.273835e+00,6.089734e+00,5.912522e+00,5.742284e+00,5.579070e+00,5.422898e+00,5.273754e+00,5.131601e+00,4.996378e+00,4.868002e+00,4.746374e+00,4.631376e+00,4.522879e+00,4.420739e+00,4.324802e+00,4.234905e+00,4.150876e+00,4.072537e+00,3.999705e+00,3.932190e+00,3.869803e+00,3.812346e+00,3.759625e+00,3.711440e+00,3.667595e+00,3.627890e+00,3.592129e+00,3.560115e+00,3.531655e+00,3.506556e+00,3.484630e+00,3.465690e+00,3.449554e+00,3.436044e+00,3.424984e+00,3.416205e+00,3.409540e+00,3.404831e+00,3.401921e+00
0.000000e+00,4.105941e-10,6.146573e-09,6.422659e-09,3.898541e-08,1.257521e-07,1.308128e-07,2.874082e-07,4.577369e-07,4.685246e-07,6.402902e-07,7.818848e-07,7.934188e-07,9.274613e-07,1.032990e-06,1.043891e-06,1.144471e-06,1.221207e-06,1.230880e-06,1.304655e-06,1.359052e-06,1.367176e-06,1.419686e-06,1.456880e-06,1.463304e-06,1.499032e-06,1.523077e-06,1.527772e-06,1.550331e-06,1.564417e-06,1.567432e-06,1.579723e-06,1.586343e-06,1.587779e-06,1.592116e-06,1.593209e-06,1.593192e-06,1.591415e-06,1.588477e-06,1.587146e-06,1.580708e-06,1.574891e-06,1.572386e-06,1.562433e-06,1.554617e-06,1.551074e-06,1.538507e-06,1.529362e-06,1.524909e-06,1.510434e-06,1.500469e-06,1.495222e-06,1.479393e-06,1.468990e-06,1.463056e-06,1.446305e-06,1.435749e-06,1.429224e-06,1.411887e-06,1.401390e-06,1.394359e-06,1.376697e-06,1.366412e-06,1.358952e-06,1.341167e-06,1.331204e-06,1.323381e-06,1.305628e-06,1.296065e-06,1.287937e-06,1.270334e-06,1.261223e-06,1.252842e-06,1.235480e-06,1.226853e-06,1.218265e-06,1.201210e-06,1.193084e-06,1.184328e-06,1.167630e-06,1.160013e-06,1.151124e-06,1.134819e-06,1.127709e-06,1.118719e-06,1.102830e-06,1.096220e-06,1.087156e-06,1.071700e-06,1.065579e-06,1.056464e-06,1.041451e-06,1.035804e-06,1.026660e-06,1.012093e-06,1.006904e-06,9.977499e-07,9.836302e-07,9.788802e-07,9.697332e-07,9.560579e-07,9.517284e-07,9.426031e-07,9.293673e-07,9.254390e-07,9.163488e-07,9.035457e-07,8.999991e-07,8.909559e-07,8.785773e-07,8.753931e-07,8.664076e-07,8.544444e-07,8.516037e-07,8.426854e-07,8.311279e-07,8.286121e-07,8.197695e-07,8.086076e-07,8.063985e-07,7.976394e-07,7.868624e-07,7.849426e-07,7.762738e-07,7.658711e-07,7.642237e-07,7.556514e-07,7.456121e-07,7.442208e-07,7.357505e-07,7.260639e-07,7.249131e-07,7.165497e-07,7.072052e-07,7.062800e-07,6.980278e-07,6.890148e-07,6.883008e-07,6.801637e-07,6.714719e-07,6.709554e-07,6.629369e-07,6.545561e-07,6.542240e-07,6.463270e-07,6.382472e-07,6.380871e-07,6.303142e-07,6.225257e-07,6.075213e-07,5.930558e-07,5.791116e-07,5.656716e-07,5.527191e-07,5.402379e-07,5.282124e-07,5.166273e-07,5.054678e-07,4.947197e-07,4.843691e-07,4.744025e-07,4.648069e-07,4.555697e-07,4.466786e-07,4.381219e-07,4.298881e-07,4.219662e-07,4.143454e-07,4.070153e-07,3.999660e-07,3.931877e-07,3.866710e-07,3.804070e-07,3.743867e-07,3.686017e-07,3.630438e-07,3.577051e-07,3.525778e-07,3.476546e-07,3.429283e-07,3.383919e-07,3.340388e-07,3.298624e-07,3.258565e-07,3.220150e-07,3.183320e-07,3.148020e-07,3.114194e-07,3.081789e-07,3.050754e-07,3.021040e-07,2.992599e-07,2.965385e-07,2.939352e-07,2.914459e-07,2.890663e-07,2.867923e-07,2.846202e-07
0.000000e+00,1.522921e-08,2.244151e-07,2.344290e-07,1.483537e-06,5.236646e-06,5.468876e-06,1.315158e-05,2.224689e-05,2.284069e-05,3.253812e-05,4.088833e-05,4.158420e-05,4.986852e-05,5.668291e-05,5.740376e-05,6.422887e-05,6.968215e-05,7.038733e-05,7.592001e-05,8.020846e-05,8.086734e-05,8.526871e-05,8.857161e-05,8.916187e-05,9.258288e-05,9.505991e-05,9.556604e-05,9.814384e-05,9.993488e-05,1.003469e-04,1.022042e-04,1.034304e-04,1.037428e-04,1.049881e-04,1.057531e-04,1.059639e-04,1.066924e-04,1.070846e-04,1.071944e-04,1.074890e-04,1.075829e-04,1.075943e-04,1.075271e-04,1.073857e-04,1.073028e-04,1.069359e-04,1.066119e-04,1.064399e-04,1.058271e-04,1.053644e-04,1.051091e-04,1.042967e-04,1.037317e-04,1.033996e-04,1.024271e-04,1.017901e-04,1.013877e-04,1.002892e-04,9.960478e-05,9.913885e-05,9.794331e-05,9.723165e-05,9.670876e-05,9.544089e-05,9.471830e-05,9.414493e-05,9.282568e-05,9.210517e-05,9.148757e-05,9.013465e-05,8.942654e-05,8.877066e-05,8.739899e-05,8.671127e-05,8.602277e-05,8.464484e-05,8.398359e-05,8.326779e-05,8.189399e-05,8.126372e-05,8.052557e-05,7.916449e-05,7.856840e-05,7.781250e-05,7.647120e-05,7.591138e-05,7.514200e-05,7.382618e-05,7.330387e-05,7.252490e-05,7.123915e-05,7.075484e-05,6.996985e-05,6.871777e-05,6.827138e-05,6.748362e-05,6.626798e-05,6.585898e-05,6.507138e-05,6.389424e-05,6.352173e-05,6.273694e-05,6.159978e-05,6.126259e-05,6.048298e-05,5.938674e-05,5.908349e-05,5.831118e-05,5.725640e-05,5.698556e-05,5.622242e-05,5.520927e-05,5.496920e-05,5.421689e-05,5.324524e-05,5.303425e-05,5.229422e-05,5.136371e-05,5.118006e-05,5.045357e-05,4.956363e-05,4.940557e-05,4.869371e-05,4.784360e-05,4.770941e-05,4.701310e-05,4.620197e-05,4.608995e-05,4.540997e-05,4.463685e-05,4.454533e-05,4.388234e-05,4.314618e-05,4.307357e-05,4.242809e-05,4.172779e-05,4.167252e-05,4.104498e-05,4.037938e-05,4.033999e-05,3.973071e-05,3.909865e-05,3.907370e-05,3.848291e-05,3.788320e-05,3.787137e-05,3.729921e-05,3.673065e-05,3.564926e-05,3.462487e-05,3.365522e-05,3.273807e-05,3.187123e-05,3.105256e-05,3.027997e-05,2.955144e-05,2.886500e-05,2.821874e-05,2.761083e-05,2.703949e-05,2.650301e-05,2.599973e-05,2.552808e-05,2.508652e-05,2.467360e-05,2.428792e-05,2.392812e-05,2.359292e-05,2.328107e-05,2.299141e-05,2.272280e-05,2.247415e-05,2.224443e-05,2.203264e-05,2.183786e-05,2.165916e-05,2.149569e-05,2.134663e-05,2.121118e-05,2.108860e-05,2.097817e-05,2.087920e-05,2.079104e-05,2.071308e-05,2.064471e-05,2.058537e-05,2.053453e-05,2.049166e-05,2.045627e-05,2.042791e-05,2.040612e-05,2.039049e-05,2.038060e-05,2.037608e-05,2.037655e-05,2.038168e-05,2.039113e-05
0.000000e+00,5.933030e-10,4.498646e-08,4.810041e-08,7.540460e-07,4.898587e-06,5.233293e-06,2.150806e-05,5.799470e-05,6.124026e-05,1.338009e-04,2.317482e-04,2.415987e-04,3.801926e-04,5.242130e-04,5.410139e-04,7.141986e-04,8.694817e-04,8.905423e-04,1.062510e-03,1.202619e-03,1.224552e-03,1.373003e-03,1.485641e-03,1.505787e-03,1.622060e-03,1.705099e-03,1.721874e-03,1.805884e-03,1.862398e-03,1.875122e-03,1.930827e-03,1.965734e-03,1.974324e-03,2.006940e-03,2.025241e-03,2.029953e-03,2.044559e-03,2.050604e-03,2.051855e-03,2.052833e-03,2.050129e-03,2.048383e-03,2.039292e-03,2.030544e-03,2.026258e-03,2.009890e-03,1.997131e-03,1.990722e-03,1.969221e-03,1.953950e-03,1.945790e-03,1.920780e-03,1.904088e-03,1.894497e-03,1.867201e-03,1.849871e-03,1.839121e-03,1.810453e-03,1.793040e-03,1.781364e-03,1.751999e-03,1.734891e-03,1.722483e-03,1.692923e-03,1.676384e-03,1.663409e-03,1.634018e-03,1.618223e-03,1.604817e-03,1.575862e-03,1.560918e-03,1.547199e-03,1.518868e-03,1.504837e-03,1.490901e-03,1.463327e-03,1.450237e-03,1.436167e-03,1.409438e-03,1.397292e-03,1.383156e-03,1.357331e-03,1.346115e-03,1.331971e-03,1.307082e-03,1.296770e-03,1.282668e-03,1.258731e-03,1.249290e-03,1.235271e-03,1.212288e-03,1.203679e-03,1.189779e-03,1.167741e-03,1.159922e-03,1.146171e-03,1.125064e-03,1.117993e-03,1.104416e-03,1.084219e-03,1.077851e-03,1.064469e-03,1.045160e-03,1.039452e-03,1.026284e-03,1.007834e-03,1.002744e-03,9.898046e-04,9.721876e-04,9.676739e-04,9.549760e-04,9.381626e-04,9.341858e-04,9.217400e-04,9.057008e-04,9.022229e-04,8.900378e-04,8.747435e-04,8.717282e-04,8.598107e-04,8.452321e-04,8.426450e-04,8.310006e-04,8.171089e-04,8.149174e-04,8.035502e-04,7.903174e-04,7.884904e-04,7.774037e-04,7.648022e-04,7.633107e-04,7.525064e-04,7.405096e-04,7.393261e-04,7.288054e-04,7.173874e-04,7.164862e-04,7.062494e-04,6.953852e-04,6.947420e-04,6.847888e-04,6.744542e-04,6.740462e-04,6.643757e-04,6.545474e-04,6.543534e-04,6.449639e-04,6.356197e-04,6.178028e-04,6.008622e-04,5.847589e-04,5.694555e-04,5.549161e-04,5.411063e-04,5.279932e-04,5.155452e-04,5.037321e-04,4.925248e-04,4.818957e-04,4.718183e-04,4.622671e-04,4.532180e-04,4.446478e-04,4.365341e-04,4.288559e-04,4.215928e-04,4.147255e-04,4.082354e-04,4.021049e-04,3.963169e-04,3.908554e-04,3.857048e-04,3.808505e-04,3.762783e-04,3.719748e-04,3.679270e-04,3.641227e-04,3.605501e-04,3.571981e-04,3.540559e-04,3.511133e-04,3.483604e-04,3.457881e-04,3.433873e-04,3.411496e-04,3.390668e-04,3.371312e-04,3.353353e-04,3.336721e-04,3.321349e-04,3.307171e-04,3.294127e-04,3.282157e-04,3.271206e-04,3.261220e-04,3.252148e-04,3.243941e-04
0.000000e+00,1.518512e-08,1.925346e-07,2.006717e-07,1.177278e-06,4.082069e-06,4.263604e-06,1.046048e-05,1.828453e-05,1.880971e-05,2.754500e-05,3.523817e-05,3.588502e-05,4.365032e-05,5.013048e-05,5.082121e-05,5.741504e-05,6.276091e-05,6.345787e-05,6.897762e-05,7.332757e-05,7.400225e-05,7.855935e-05,8.204575e-05,8.267589e-05,8.637809e-05,8.912251e-05,8.969128e-05,9.263983e-05,9.475185e-05,9.524708e-05,9.753530e-05,9.911233e-05,9.952570e-05,1.012384e-04,1.023661e-04,1.026924e-04,1.039059e-04,1.046589e-04,1.048957e-04,1.056782e-04,1.061218e-04,1.062686e-04,1.066810e-04,1.068710e-04,1.069289e-04,1.070250e-04,1.070097e-04,1.069812e-04,1.068086e-04,1.066293e-04,1.065177e-04,1.061185e-04,1.058103e-04,1.056200e-04,1.050310e-04,1.046239e-04,1.043595e-04,1.036132e-04,1.031324e-04,1.027991e-04,1.019239e-04,1.013908e-04,1.009939e-04,1.000147e-04,9.944701e-05,9.899194e-05,9.793055e-05,9.734302e-05,9.683527e-05,9.571051e-05,9.511535e-05,9.456036e-05,9.338862e-05,9.279577e-05,9.219883e-05,9.099428e-05,9.041176e-05,8.977802e-05,8.855287e-05,8.798705e-05,8.732146e-05,8.608621e-05,8.554206e-05,8.484935e-05,8.361294e-05,8.309424e-05,8.237888e-05,8.114892e-05,8.065844e-05,7.992466e-05,7.870756e-05,7.824722e-05,7.749897e-05,7.630012e-05,7.587113e-05,7.511211e-05,7.393595e-05,7.353893e-05,7.277257e-05,7.162278e-05,7.125783e-05,7.048731e-05,6.936684e-05,6.903370e-05,6.826193e-05,6.717312e-05,6.687120e-05,6.610085e-05,6.504552e-05,6.477395e-05,6.400745e-05,6.298695e-05,6.274467e-05,6.198424e-05,6.099952e-05,6.078531e-05,6.003293e-05,5.908460e-05,5.889714e-05,5.815460e-05,5.724298e-05,5.708084e-05,5.634974e-05,5.547487e-05,5.533660e-05,5.461834e-05,5.378009e-05,5.366418e-05,5.296001e-05,5.215802e-05,5.206300e-05,5.137399e-05,5.060778e-05,5.053214e-05,4.985924e-05,4.912818e-05,4.907045e-05,4.841445e-05,4.771783e-05,4.767658e-05,4.703814e-05,4.637516e-05,4.634898e-05,4.572866e-05,4.509843e-05,4.508599e-05,4.448424e-05,4.388583e-05,4.274664e-05,4.166648e-05,4.064341e-05,3.967543e-05,3.876053e-05,3.789673e-05,3.708204e-05,3.631448e-05,3.559212e-05,3.491305e-05,3.427541e-05,3.367736e-05,3.311714e-05,3.259300e-05,3.210327e-05,3.164631e-05,3.122055e-05,3.082446e-05,3.045656e-05,3.011544e-05,2.979973e-05,2.950810e-05,2.923930e-05,2.899211e-05,2.876535e-05,2.855791e-05,2.836872e-05,2.819674e-05,2.804100e-05,2.790055e-05,2.777449e-05,2.766196e-05,2.756214e-05,2.747425e-05,2.739754e-05,2.733129e-05,2.727484e-05,2.722753e-05,2.718874e-05,2.715790e-05,2.713445e-05,2.711785e-05,2.710761e-05,2.710324e-05,2.710431e-05,2.711038e-05,2.712104e-05,2.713592e-05,2.715464e-05
0.000000e+00,8.108092e-09,2.719138e-07,2.874028e-07,2.768462e-06,1.188574e-05,1.247774e-05,3.239787e-05,5.597586e-05,5.751463e-05,8.272903e-05,1.046555e-04,1.064946e-04,1.285602e-04,1.469854e-04,1.489513e-04,1.677474e-04,1.830386e-04,1.850367e-04,2.009057e-04,2.134810e-04,2.154380e-04,2.287136e-04,2.389503e-04,2.408094e-04,2.517991e-04,2.600348e-04,2.617531e-04,2.707387e-04,2.772729e-04,2.788197e-04,2.860566e-04,2.911522e-04,2.925064e-04,2.982231e-04,3.021086e-04,3.032571e-04,3.076562e-04,3.105290e-04,3.114648e-04,3.147250e-04,3.167548e-04,3.174759e-04,3.197542e-04,3.210864e-04,3.215943e-04,3.230284e-04,3.237870e-04,3.240864e-04,3.247965e-04,3.250874e-04,3.251850e-04,3.252764e-04,3.251896e-04,3.250935e-04,3.246579e-04,3.242697e-04,3.239895e-04,3.231070e-04,3.224819e-04,3.220277e-04,3.207679e-04,3.199605e-04,3.193427e-04,3.177663e-04,3.168224e-04,3.160518e-04,3.142115e-04,3.131695e-04,3.122569e-04,3.101986e-04,3.090906e-04,3.080465e-04,3.058099e-04,3.046626e-04,3.034973e-04,3.011169e-04,2.999523e-04,2.986760e-04,2.961815e-04,2.950178e-04,2.936399e-04,2.910573e-04,2.899093e-04,2.884390e-04,2.857904e-04,2.846701e-04,2.831162e-04,2.804208e-04,2.793377e-04,2.777084e-04,2.749828e-04,2.739443e-04,2.722474e-04,2.695057e-04,2.685177e-04,2.667606e-04,2.640149e-04,2.630817e-04,2.612712e-04,2.585318e-04,2.576565e-04,2.557990e-04,2.530749e-04,2.522596e-04,2.503611e-04,2.476596e-04,2.469055e-04,2.449718e-04,2.422991e-04,2.416069e-04,2.396429e-04,2.370044e-04,2.363739e-04,2.343847e-04,2.317847e-04,2.312155e-04,2.292055e-04,2.266477e-04,2.261387e-04,2.241121e-04,2.215994e-04,2.211496e-04,2.191102e-04,2.166449e-04,2.162528e-04,2.142042e-04,2.117883e-04,2.114521e-04,2.093976e-04,2.070325e-04,2.067505e-04,2.046933e-04,2.023800e-04,2.021501e-04,2.000930e-04,1.978323e-04,1.976526e-04,1.955982e-04,1.933906e-04,1.932590e-04,1.912096e-04,1.890553e-04,1.889697e-04,1.869277e-04,1.848268e-04,1.847850e-04,1.827525e-04,1.807047e-04,1.767282e-04,1.728548e-04,1.690836e-04,1.654135e-04,1.618430e-04,1.583710e-04,1.549957e-04,1.517157e-04,1.485293e-04,1.454348e-04,1.424304e-04,1.395144e-04,1.366851e-04,1.339404e-04,1.312788e-04,1.286984e-04,1.261974e-04,1.237740e-04,1.214264e-04,1.191529e-04,1.169518e-04,1.148213e-04,1.127598e-04,1.107656e-04,1.088371e-04,1.069727e-04,1.051707e-04,1.034298e-04,1.017482e-04,1.001247e-04,9.855756e-05,9.704551e-05,9.558711e-05,9.418097e-05,9.282577e-05,9.152018e-05,9.026289e-05,8.905265e-05,8.788823e-05,8.676841e-05,8.569199e-05,8.465782e-05,8.366476e-05,8.271169e-05,8.179753e-05,8.092120e-05,8.008165e-05,7.927787e-05,7.850885e-05
0.000000e+00,4.221235e-10,4.777300e-09,4.968257e-09,2.548810e-08,7.689141e-08,7.988921e-08,1.770469e-07,2.987123e-07,3.070679e-07,4.494922e-07,5.782881e-07,5.891874e-07,7.204499e-07,8.303354e-07,8.420607e-07,9.541116e-07,1.045145e-06,1.057030e-06,1.151323e-06,1.225914e-06,1.237511e-06,1.316099e-06,1.376598e-06,1.387575e-06,1.452404e-06,1.500915e-06,1.511028e-06,1.563866e-06,1.602234e-06,1.611309e-06,1.653728e-06,1.683549e-06,1.691468e-06,1.724854e-06,1.747505e-06,1.754193e-06,1.779770e-06,1.796434e-06,1.801854e-06,1.820695e-06,1.832385e-06,1.836529e-06,1.849574e-06,1.857157e-06,1.860036e-06,1.868106e-06,1.872320e-06,1.873965e-06,1.877779e-06,1.879253e-06,1.879705e-06,1.879888e-06,1.879154e-06,1.878465e-06,1.875564e-06,1.873074e-06,1.871302e-06,1.865790e-06,1.861927e-06,1.859133e-06,1.851425e-06,1.846509e-06,1.842757e-06,1.833213e-06,1.827514e-06,1.822870e-06,1.811800e-06,1.805545e-06,1.800073e-06,1.787749e-06,1.781126e-06,1.774889e-06,1.761547e-06,1.754710e-06,1.747772e-06,1.733614e-06,1.726694e-06,1.719114e-06,1.704315e-06,1.697417e-06,1.689253e-06,1.673965e-06,1.667175e-06,1.658482e-06,1.642836e-06,1.636222e-06,1.627053e-06,1.611160e-06,1.604777e-06,1.595181e-06,1.579138e-06,1.573029e-06,1.563052e-06,1.546942e-06,1.541140e-06,1.530826e-06,1.514719e-06,1.509248e-06,1.498637e-06,1.482593e-06,1.477469e-06,1.466600e-06,1.450670e-06,1.445905e-06,1.434814e-06,1.419040e-06,1.414640e-06,1.403359e-06,1.387778e-06,1.383744e-06,1.372304e-06,1.356945e-06,1.353277e-06,1.341707e-06,1.326595e-06,1.323287e-06,1.311614e-06,1.296768e-06,1.293816e-06,1.282063e-06,1.267500e-06,1.264895e-06,1.253084e-06,1.238818e-06,1.236549e-06,1.224703e-06,1.210742e-06,1.208800e-06,1.196937e-06,1.183289e-06,1.181662e-06,1.169800e-06,1.156470e-06,1.155146e-06,1.143301e-06,1.130292e-06,1.129259e-06,1.117446e-06,1.104760e-06,1.104004e-06,1.092237e-06,1.079875e-06,1.079384e-06,1.067674e-06,1.055635e-06,1.055396e-06,1.043756e-06,1.032037e-06,1.009303e-06,9.871880e-07,9.656835e-07,9.447814e-07,9.244725e-07,9.047468e-07,8.855938e-07,8.670026e-07,8.489619e-07,8.314604e-07,8.144863e-07,7.980279e-07,7.820735e-07,7.666111e-07,7.516289e-07,7.371153e-07,7.230586e-07,7.094472e-07,6.962699e-07,6.835155e-07,6.711728e-07,6.592310e-07,6.476795e-07,6.365079e-07,6.257057e-07,6.152630e-07,6.051700e-07,5.954170e-07,5.859945e-07,5.768934e-07,5.681047e-07,5.596196e-07,5.514296e-07,5.435262e-07,5.359012e-07,5.285468e-07,5.214552e-07,5.146187e-07,5.080300e-07,5.016820e-07,4.955675e-07,4.896799e-07,4.840123e-07,4.785584e-07,4.733118e-07,4.682664e-07,4.634162e-07,4.587553e-07,4.542781e-07
0.000000e+00,2.920045e-09,1.243253e-07,1.315218e-07,1.381088e-06,7.463339e-06,7.932213e-06,2.933735e-05,7.146058e-05,7.490923e-05,1.429108e-04,2.158604e-04,2.223601e-04,3.025831e-04,3.701879e-04,3.773210e-04,4.440178e-04,4.956231e-04,5.021557e-04,5.521039e-04,5.890236e-04,5.945403e-04,6.302089e-04,6.554663e-04,6.598266e-04,6.840578e-04,7.003335e-04,7.035066e-04,7.187205e-04,7.281763e-04,7.301938e-04,7.383716e-04,7.427218e-04,7.436546e-04,7.464024e-04,7.469946e-04,7.469371e-04,7.455469e-04,7.434314e-04,7.424892e-04,7.379931e-04,7.339808e-04,7.322627e-04,7.254790e-04,7.201905e-04,7.178027e-04,7.093761e-04,7.032822e-04,7.003250e-04,6.907605e-04,6.842147e-04,6.807805e-04,6.704713e-04,6.637361e-04,6.599087e-04,6.491591e-04,6.424263e-04,6.382808e-04,6.273245e-04,6.207320e-04,6.163346e-04,6.053495e-04,5.989938e-04,5.944027e-04,5.835227e-04,5.774685e-04,5.727344e-04,5.620588e-04,5.563474e-04,5.515140e-04,5.411151e-04,5.357695e-04,5.308746e-04,5.208032e-04,5.158337e-04,5.109094e-04,5.012000e-04,4.966067e-04,4.916805e-04,4.823548e-04,4.781309e-04,4.732259e-04,4.642958e-04,4.604299e-04,4.555656e-04,4.470354e-04,4.435124e-04,4.387050e-04,4.305734e-04,4.273762e-04,4.226393e-04,4.149006e-04,4.120108e-04,4.073554e-04,4.000010e-04,3.973996e-04,3.928348e-04,3.858536e-04,3.835217e-04,3.790545e-04,3.724342e-04,3.703528e-04,3.659891e-04,3.597159e-04,3.578669e-04,3.536109e-04,3.476706e-04,3.460364e-04,3.418915e-04,3.362698e-04,3.348335e-04,3.308019e-04,3.254841e-04,3.242298e-04,3.203130e-04,3.152850e-04,3.141976e-04,3.103963e-04,3.056437e-04,3.047092e-04,3.010236e-04,2.965326e-04,2.957377e-04,2.921675e-04,2.879248e-04,2.872572e-04,2.838015e-04,2.797943e-04,2.792423e-04,2.759001e-04,2.721159e-04,2.716691e-04,2.684388e-04,2.648658e-04,2.645141e-04,2.613942e-04,2.580211e-04,2.577554e-04,2.547438e-04,2.515597e-04,2.513716e-04,2.484663e-04,2.454611e-04,2.453426e-04,2.425415e-04,2.397052e-04,2.396493e-04,2.369499e-04,2.342733e-04,2.291974e-04,2.244051e-04,2.198809e-04,2.156101e-04,2.115786e-04,2.077733e-04,2.041817e-04,2.007920e-04,1.975929e-04,1.945740e-04,1.917252e-04,1.890372e-04,1.865009e-04,1.841080e-04,1.818506e-04,1.797210e-04,1.777123e-04,1.758177e-04,1.740309e-04,1.723458e-04,1.707569e-04,1.692589e-04,1.678465e-04,1.665152e-04,1.652605e-04,1.640780e-04,1.629637e-04,1.619140e-04,1.609252e-04,1.599938e-04,1.591169e-04,1.582912e-04,1.575141e-04,1.567827e-04,1.560947e-04,1.554474e-04,1.548388e-04,1.542666e-04,1.537289e-04,1.532237e-04,1.527492e-04,1.523038e-04,1.518857e-04,1.514936e-04,1.511259e-04,1.507813e-04,1.504585e-04,1.501563e-04,1.498736e-04
0.000000e+00,7.801506e-10,5.027772e-08,5.362646e-08,8.085774e-07,5.626534e-06,6.034102e-06,2.732730e-05,7.930693e-05,8.407274e-05,1.938088e-04,3.478785e-04,3.636424e-04,5.896542e-04,8.319942e-04,8.607373e-04,1.162854e-03,1.443303e-03,1.482095e-03,1.806378e-03,2.081908e-03,2.126106e-03,2.434190e-03,2.680362e-03,2.725758e-03,2.997733e-03,3.204909e-03,3.248420e-03,3.477141e-03,3.644311e-03,3.683935e-03,3.869334e-03,3.999628e-03,4.034182e-03,4.179520e-03,4.277629e-03,4.306490e-03,4.416278e-03,4.487160e-03,4.510074e-03,4.589040e-03,4.637345e-03,4.654299e-03,4.706919e-03,4.736778e-03,4.747913e-03,4.778233e-03,4.793212e-03,4.798772e-03,4.810364e-03,4.813494e-03,4.813787e-03,4.809765e-03,4.803597e-03,4.798971e-03,4.782029e-03,4.768694e-03,4.759520e-03,4.731981e-03,4.713251e-03,4.699909e-03,4.663765e-03,4.641106e-03,4.623977e-03,4.580938e-03,4.555554e-03,4.535014e-03,4.486541e-03,4.459416e-03,4.435829e-03,4.383167e-03,4.355101e-03,4.328819e-03,4.273028e-03,4.244663e-03,4.216019e-03,4.157999e-03,4.129847e-03,4.099158e-03,4.039669e-03,4.012131e-03,3.979692e-03,3.919375e-03,3.892763e-03,3.858852e-03,3.798244e-03,3.772791e-03,3.737664e-03,3.677213e-03,3.653090e-03,3.616985e-03,3.557063e-03,3.534389e-03,3.497524e-03,3.438436e-03,3.417287e-03,3.379861e-03,3.321855e-03,3.302271e-03,3.264467e-03,3.207743e-03,3.189738e-03,3.151722e-03,3.096438e-03,3.080002e-03,3.041922e-03,2.988201e-03,2.973305e-03,2.935297e-03,2.883230e-03,2.869832e-03,2.832017e-03,2.781670e-03,2.769717e-03,2.732201e-03,2.683619e-03,2.673050e-03,2.635929e-03,2.589137e-03,2.579886e-03,2.543244e-03,2.498251e-03,2.490248e-03,2.454158e-03,2.410963e-03,2.404134e-03,2.368661e-03,2.327249e-03,2.321522e-03,2.286720e-03,2.247068e-03,2.242368e-03,2.208285e-03,2.170364e-03,2.166619e-03,2.133295e-03,2.097068e-03,2.094206e-03,2.061673e-03,2.027101e-03,2.025052e-03,1.993339e-03,1.960376e-03,1.959074e-03,1.928201e-03,1.896802e-03,1.896182e-03,1.866166e-03,1.836281e-03,1.779275e-03,1.725064e-03,1.673550e-03,1.624631e-03,1.578210e-03,1.534187e-03,1.492466e-03,1.452950e-03,1.415548e-03,1.380168e-03,1.346723e-03,1.315125e-03,1.285291e-03,1.257142e-03,1.230600e-03,1.205589e-03,1.182037e-03,1.159875e-03,1.139036e-03,1.119456e-03,1.101074e-03,1.083831e-03,1.067669e-03,1.052536e-03,1.038379e-03,1.025149e-03,1.012799e-03,1.001283e-03,9.905584e-04,9.805837e-04,9.713197e-04,9.627289e-04,9.547755e-04,9.474252e-04,9.406456e-04,9.344056e-04,9.286756e-04,9.234275e-04,9.186344e-04,9.142707e-04,9.103121e-04,9.067354e-04,9.035185e-04,9.006404e-04,8.980812e-04,8.958218e-04,8.938442e-04,8.921311e-04,8.906662e-04
0.000000e+00,6.243214e-10,3.883300e-08,4.136463e-08,5.786512e-07,3.812360e-06,4.082534e-06,1.829750e-05,5.493205e-05,5.842260e-05,1.436064e-04,2.749221e-04,2.889650e-04,5.001789e-04,7.435345e-04,7.733795e-04,1.098008e-03,1.415223e-03,1.460181e-03,1.845393e-03,2.184848e-03,2.240264e-03,2.633456e-03,2.955800e-03,3.015988e-03,3.381179e-03,3.664386e-03,3.724391e-03,4.042693e-03,4.278303e-03,4.334508e-03,4.599297e-03,4.787192e-03,4.837280e-03,5.049218e-03,5.193554e-03,5.236234e-03,5.399672e-03,5.506300e-03,5.541005e-03,5.661758e-03,5.736816e-03,5.763459e-03,5.847600e-03,5.896820e-03,5.915614e-03,5.968865e-03,5.997300e-03,6.008635e-03,6.036124e-03,6.048085e-03,6.052448e-03,6.058643e-03,6.057737e-03,6.055665e-03,6.044397e-03,6.033605e-03,6.025649e-03,6.000170e-03,5.981938e-03,5.968644e-03,5.931702e-03,5.908024e-03,5.889921e-03,5.843830e-03,5.816319e-03,5.793915e-03,5.740618e-03,5.710576e-03,5.684346e-03,5.625472e-03,5.593943e-03,5.564336e-03,5.501247e-03,5.469061e-03,5.436492e-03,5.370328e-03,5.338140e-03,5.302994e-03,5.234704e-03,5.203025e-03,5.165656e-03,5.096030e-03,5.065254e-03,5.025989e-03,4.955680e-03,4.926104e-03,4.885239e-03,4.814789e-03,4.786631e-03,4.744439e-03,4.674291e-03,4.647706e-03,4.604434e-03,4.534950e-03,4.510041e-03,4.465912e-03,4.397387e-03,4.374216e-03,4.329433e-03,4.262103e-03,4.240697e-03,4.195443e-03,4.129496e-03,4.109856e-03,4.064296e-03,3.999878e-03,3.981984e-03,3.936267e-03,3.873490e-03,3.857306e-03,3.811565e-03,3.750511e-03,3.735989e-03,3.690342e-03,3.631071e-03,3.618153e-03,3.572707e-03,3.515258e-03,3.503878e-03,3.458729e-03,3.403122e-03,3.393211e-03,3.348441e-03,3.294686e-03,3.286171e-03,3.241855e-03,3.189947e-03,3.182753e-03,3.138958e-03,3.088883e-03,3.082936e-03,3.039718e-03,2.991457e-03,2.986680e-03,2.944092e-03,2.897616e-03,2.893936e-03,2.852021e-03,2.807298e-03,2.804642e-03,2.763439e-03,2.720433e-03,2.718730e-03,2.678271e-03,2.636944e-03,2.636125e-03,2.596439e-03,2.556747e-03,2.480513e-03,2.407337e-03,2.337132e-03,2.269809e-03,2.205280e-03,2.143457e-03,2.084252e-03,2.027579e-03,1.973352e-03,1.921487e-03,1.871903e-03,1.824518e-03,1.779255e-03,1.736037e-03,1.694789e-03,1.655440e-03,1.617917e-03,1.582155e-03,1.548085e-03,1.515645e-03,1.484771e-03,1.455404e-03,1.427485e-03,1.400959e-03,1.375770e-03,1.351865e-03,1.329195e-03,1.307709e-03,1.287361e-03,1.268103e-03,1.249893e-03,1.232686e-03,1.216443e-03,1.201121e-03,1.186684e-03,1.173093e-03,1.160313e-03,1.148310e-03,1.137048e-03,1.126497e-03,1.116625e-03,1.107401e-03,1.098796e-03,1.090783e-03,1.083335e-03,1.076424e-03,1.070026e-03,1.064117e-03,1.058673e-03
0.000000e+00,5.190789e-10,3.490441e-08,3.723267e-08,5.408175e-07,3.496029e-06,3.738022e-06,1.598797e-05,4.589670e-05,4.868789e-05,1.154998e-04,2.165314e-04,2.272795e-04,3.884783e-04,5.739400e-04,5.966901e-04,8.442922e-04,1.086392e-03,1.120700e-03,1.414376e-03,1.672300e-03,1.714284e-03,2.010765e-03,2.251359e-03,2.295965e-03,2.563924e-03,2.767806e-03,2.810468e-03,3.032983e-03,3.192773e-03,3.230152e-03,3.401678e-03,3.517954e-03,3.548041e-03,3.670275e-03,3.747895e-03,3.769792e-03,3.848236e-03,3.893753e-03,3.907371e-03,3.948999e-03,3.969130e-03,3.974896e-03,3.986773e-03,3.987617e-03,3.986250e-03,3.974837e-03,3.961571e-03,3.953926e-03,3.924786e-03,3.901611e-03,3.888570e-03,3.846319e-03,3.816544e-03,3.798962e-03,3.747331e-03,3.713502e-03,3.692166e-03,3.634121e-03,3.598154e-03,3.573773e-03,3.511633e-03,3.474949e-03,3.448146e-03,3.383705e-03,3.347329e-03,3.318649e-03,3.253277e-03,3.217937e-03,3.187847e-03,3.122582e-03,3.088774e-03,3.057674e-03,2.993289e-03,2.961337e-03,2.929567e-03,2.866629e-03,2.836726e-03,2.804573e-03,2.743486e-03,2.715730e-03,2.683436e-03,2.624480e-03,2.598898e-03,2.566663e-03,2.510022e-03,2.486591e-03,2.454584e-03,2.400368e-03,2.379026e-03,2.347386e-03,2.295647e-03,2.276313e-03,2.245153e-03,2.195901e-03,2.178474e-03,2.147888e-03,2.101102e-03,2.085473e-03,2.055535e-03,2.011171e-03,1.997227e-03,1.967996e-03,1.925991e-03,1.913615e-03,1.885138e-03,1.845417e-03,1.834495e-03,1.806807e-03,1.769287e-03,1.759708e-03,1.732835e-03,1.697428e-03,1.689083e-03,1.663043e-03,1.629657e-03,1.622445e-03,1.597249e-03,1.565793e-03,1.559614e-03,1.535267e-03,1.505649e-03,1.500413e-03,1.476916e-03,1.449045e-03,1.444664e-03,1.422013e-03,1.395800e-03,1.392194e-03,1.370383e-03,1.345741e-03,1.342835e-03,1.321854e-03,1.298700e-03,1.296424e-03,1.276259e-03,1.254513e-03,1.252803e-03,1.233441e-03,1.213025e-03,1.211821e-03,1.193247e-03,1.174087e-03,1.173334e-03,1.155530e-03,1.137556e-03,1.137203e-03,1.120151e-03,1.103296e-03,1.071489e-03,1.041662e-03,1.013703e-03,9.875025e-04,9.629608e-04,9.399812e-04,9.184730e-04,8.983500e-04,8.795310e-04,8.619393e-04,8.455026e-04,8.301523e-04,8.158242e-04,8.024572e-04,7.899940e-04,7.783805e-04,7.675656e-04,7.575014e-04,7.481425e-04,7.394461e-04,7.313721e-04,7.238825e-04,7.169416e-04,7.105159e-04,7.045735e-04,6.990847e-04,6.940214e-04,6.893571e-04,6.850670e-04,6.811274e-04,6.775165e-04,6.742133e-04,6.711983e-04,6.684531e-04,6.659604e-04,6.637039e-04,6.616681e-04,6.598387e-04,6.582021e-04,6.567455e-04,6.554568e-04,6.543248e-04,6.533389e-04,6.524889e-04,6.517656e-04,6.511601e-04,6.506640e-04,6.502697e-04,6.499696e-04
0.000000e+00,1.927999e-09,9.861333e-08,1.046111e-07,1.191572e-06,6.508997e-06,6.918382e-06,2.598894e-05,6.742768e-05,7.109709e-05,1.531649e-04,2.639171e-04,2.750204e-04,4.298162e-04,5.868320e-04,6.048532e-04,7.868423e-04,9.442504e-04,9.651980e-04,1.132940e-03,1.265712e-03,1.286222e-03,1.423427e-03,1.526075e-03,1.544344e-03,1.649557e-03,1.724796e-03,1.740049e-03,1.816976e-03,1.869549e-03,1.881525e-03,1.934858e-03,1.969379e-03,1.978070e-03,2.012180e-03,2.032596e-03,2.038126e-03,2.056765e-03,2.066317e-03,2.068881e-03,2.075185e-03,2.076491e-03,2.076325e-03,2.072888e-03,2.068045e-03,2.065406e-03,2.054360e-03,2.045039e-03,2.040188e-03,2.023284e-03,2.010805e-03,2.004003e-03,1.982670e-03,1.968076e-03,1.959576e-03,1.934981e-03,1.919084e-03,1.909123e-03,1.882214e-03,1.865644e-03,1.854443e-03,1.825982e-03,1.809219e-03,1.796983e-03,1.767583e-03,1.750990e-03,1.737905e-03,1.708057e-03,1.691903e-03,1.678136e-03,1.648228e-03,1.632707e-03,1.618410e-03,1.588749e-03,1.573995e-03,1.559303e-03,1.530123e-03,1.516226e-03,1.501257e-03,1.472741e-03,1.459752e-03,1.444611e-03,1.416896e-03,1.404840e-03,1.389621e-03,1.362805e-03,1.351684e-03,1.336466e-03,1.310619e-03,1.300420e-03,1.285273e-03,1.260439e-03,1.251136e-03,1.236120e-03,1.212324e-03,1.203885e-03,1.189051e-03,1.166303e-03,1.158688e-03,1.144080e-03,1.122378e-03,1.115544e-03,1.101197e-03,1.080530e-03,1.074430e-03,1.060375e-03,1.040724e-03,1.035312e-03,1.021573e-03,1.002913e-03,9.981416e-04,9.847387e-04,9.670411e-04,9.628638e-04,9.498129e-04,9.330455e-04,9.294177e-04,9.167306e-04,9.008596e-04,8.977378e-04,8.854235e-04,8.704136e-04,8.677563e-04,8.558207e-04,8.416359e-04,8.394036e-04,8.278502e-04,8.144545e-04,8.126097e-04,8.014398e-04,7.887972e-04,7.873047e-04,7.765179e-04,7.645931e-04,7.634198e-04,7.530141e-04,7.417724e-04,7.408874e-04,7.308595e-04,7.202672e-04,7.196416e-04,7.099871e-04,7.000113e-04,6.996185e-04,6.903318e-04,6.809408e-04,6.807559e-04,6.718308e-04,6.629943e-04,6.462762e-04,6.305467e-04,6.157531e-04,6.018452e-04,5.887748e-04,5.764963e-04,5.649662e-04,5.541431e-04,5.439877e-04,5.344628e-04,5.255330e-04,5.171646e-04,5.093261e-04,5.019872e-04,4.951195e-04,4.886961e-04,4.826914e-04,4.770812e-04,4.718429e-04,4.669548e-04,4.623965e-04,4.581489e-04,4.541938e-04,4.505139e-04,4.470930e-04,4.439158e-04,4.409678e-04,4.382353e-04,4.357055e-04,4.333660e-04,4.312054e-04,4.292130e-04,4.273784e-04,4.256920e-04,4.241447e-04,4.227278e-04,4.214332e-04,4.202534e-04,4.191810e-04,4.182092e-04,4.173317e-04,4.165424e-04,4.158356e-04,4.152059e-04,4.146483e-04,4.141581e-04,4.137306e-04,4.133617e-04,4.130473e-04
0.000000e+00,5.574000e-09,1.127046e-07,1.182372e-07,8.094900e-07,2.649885e-06,2.754405e-06,5.832318e-06,8.937918e-06,9.129473e-06,1.212766e-05,1.454150e-05,1.473607e-05,1.697313e-05,1.869892e-05,1.887510e-05,2.047857e-05,2.166964e-05,2.181736e-05,2.292203e-05,2.370581e-05,2.382004e-05,2.453600e-05,2.501288e-05,2.509191e-05,2.550738e-05,2.575555e-05,2.579984e-05,2.598488e-05,2.606493e-05,2.607635e-05,2.608655e-05,2.604516e-05,2.602639e-05,2.590553e-05,2.577840e-05,2.573255e-05,2.551499e-05,2.532917e-05,2.525939e-05,2.497167e-05,2.474766e-05,2.465717e-05,2.432048e-05,2.407378e-05,2.396564e-05,2.359616e-05,2.333816e-05,2.321516e-05,2.282536e-05,2.256443e-05,2.242912e-05,2.202852e-05,2.177070e-05,2.162539e-05,2.122132e-05,2.097092e-05,2.081766e-05,2.041559e-05,2.017554e-05,2.001612e-05,1.962014e-05,1.939236e-05,1.922837e-05,1.884145e-05,1.862708e-05,1.845989e-05,1.808414e-05,1.788378e-05,1.771456e-05,1.735146e-05,1.716528e-05,1.699506e-05,1.664556e-05,1.647344e-05,1.630309e-05,1.596774e-05,1.580932e-05,1.563958e-05,1.531864e-05,1.517343e-05,1.500492e-05,1.469842e-05,1.456583e-05,1.439909e-05,1.410688e-05,1.398626e-05,1.382172e-05,1.354353e-05,1.343419e-05,1.327223e-05,1.300770e-05,1.290894e-05,1.274986e-05,1.249857e-05,1.240970e-05,1.225374e-05,1.201523e-05,1.193556e-05,1.178293e-05,1.155670e-05,1.148557e-05,1.133642e-05,1.112197e-05,1.105875e-05,1.091321e-05,1.071002e-05,1.065410e-05,1.051226e-05,1.031981e-05,1.027063e-05,1.013255e-05,9.950352e-06,9.907364e-06,9.773089e-06,9.600640e-06,9.563336e-06,9.432888e-06,9.269713e-06,9.237617e-06,9.111000e-06,8.956636e-06,8.929304e-06,8.806509e-06,8.660510e-06,8.637526e-06,8.518531e-06,8.380468e-06,8.361446e-06,8.246219e-06,8.115683e-06,8.100264e-06,7.988763e-06,7.865362e-06,7.853212e-06,7.745388e-06,7.628749e-06,7.619559e-06,7.515356e-06,7.405122e-06,7.398606e-06,7.297962e-06,7.193795e-06,7.189689e-06,7.092539e-06,6.994116e-06,6.992176e-06,6.898450e-06,6.805466e-06,6.628987e-06,6.462198e-06,6.304584e-06,6.155657e-06,6.014955e-06,5.882039e-06,5.756493e-06,5.637923e-06,5.525956e-06,5.420238e-06,5.320434e-06,5.226226e-06,5.137314e-06,5.053413e-06,4.974254e-06,4.899582e-06,4.829153e-06,4.762741e-06,4.700127e-06,4.641107e-06,4.585486e-06,4.533081e-06,4.483717e-06,4.437229e-06,4.393462e-06,4.352266e-06,4.313504e-06,4.277041e-06,4.242754e-06,4.210522e-06,4.180235e-06,4.151784e-06,4.125071e-06,4.099999e-06,4.076478e-06,4.054423e-06,4.033753e-06,4.014391e-06,3.996266e-06,3.979309e-06,3.963455e-06,3.948643e-06,3.934814e-06,3.921914e-06,3.909891e-06,3.898695e-06,3.888281e-06,3.878603e-06,3.869621e-06
0.000000e+00,1.535278e-09,1.067562e-07,1.139708e-07,1.705058e-06,1.102047e-05,1.177665e-05,4.911562e-05,1.357803e-04,1.436500e-04,3.250870e-04,5.837384e-04,6.105107e-04,1.000515e-03,1.430754e-03,1.482564e-03,2.036639e-03,2.565908e-03,2.640214e-03,3.271653e-03,3.822499e-03,3.912091e-03,4.546206e-03,5.065294e-03,5.162264e-03,5.751781e-03,6.211281e-03,6.309018e-03,6.830438e-03,7.220503e-03,7.314200e-03,7.759723e-03,8.080872e-03,8.167334e-03,8.537989e-03,8.795804e-03,8.873060e-03,9.174177e-03,9.376185e-03,9.443116e-03,9.681716e-03,9.835758e-03,9.891820e-03,1.007524e-02,1.018869e-02,1.023372e-02,1.036897e-02,1.044848e-02,1.048257e-02,1.057606e-02,1.062745e-02,1.065088e-02,1.070837e-02,1.073666e-02,1.074981e-02,1.077640e-02,1.078592e-02,1.078926e-02,1.078944e-02,1.078388e-02,1.077794e-02,1.075566e-02,1.073816e-02,1.072349e-02,1.068223e-02,1.065544e-02,1.063263e-02,1.057542e-02,1.054159e-02,1.051125e-02,1.044074e-02,1.040176e-02,1.036447e-02,1.028299e-02,1.024045e-02,1.019680e-02,1.010637e-02,1.006160e-02,1.001215e-02,9.914554e-03,9.868628e-03,9.813955e-03,9.710715e-03,9.664539e-03,9.605168e-03,9.497624e-03,9.451930e-03,9.388372e-03,9.277680e-03,9.233057e-03,9.165799e-03,9.052959e-03,9.009874e-03,8.939376e-03,8.825250e-03,8.784067e-03,8.710764e-03,8.596090e-03,8.557087e-03,8.481387e-03,8.366799e-03,8.330178e-03,8.252462e-03,8.138500e-03,8.104402e-03,8.025028e-03,7.912149e-03,7.880663e-03,7.799961e-03,7.688551e-03,7.659722e-03,7.578001e-03,7.468383e-03,7.442221e-03,7.359765e-03,7.252207e-03,7.228692e-03,7.145764e-03,7.040486e-03,7.019575e-03,6.936418e-03,6.833599e-03,6.815227e-03,6.732065e-03,6.631847e-03,6.615936e-03,6.532973e-03,6.435467e-03,6.421927e-03,6.339351e-03,6.244640e-03,6.233370e-03,6.151352e-03,6.059497e-03,6.050390e-03,5.969085e-03,5.880126e-03,5.873072e-03,5.792623e-03,5.706580e-03,5.701464e-03,5.622000e-03,5.538882e-03,5.535587e-03,5.457225e-03,5.377026e-03,5.375436e-03,5.298281e-03,5.220984e-03,5.072185e-03,4.928978e-03,4.791288e-03,4.659031e-03,4.532113e-03,4.410432e-03,4.293881e-03,4.182347e-03,4.075715e-03,3.973866e-03,3.876680e-03,3.784035e-03,3.695808e-03,3.611876e-03,3.532117e-03,3.456409e-03,3.384629e-03,3.316658e-03,3.252377e-03,3.191667e-03,3.134412e-03,3.080497e-03,3.029809e-03,2.982237e-03,2.937670e-03,2.896002e-03,2.857124e-03,2.820934e-03,2.787329e-03,2.756208e-03,2.727472e-03,2.701025e-03,2.676770e-03,2.654616e-03,2.634470e-03,2.616243e-03,2.599846e-03,2.585195e-03,2.572204e-03,2.560792e-03,2.550877e-03,2.542382e-03,2.535230e-03,2.529345e-03,2.524654e-03,2.521087e-03,2.518575e-03,2.517049e-03,2.516445e-03
0.000000e+00,2.134648e-08,1.760770e-06,1.887018e-06,3.462431e-05,2.731118e-04,2.942043e-04,1.480029e-03,4.761736e-03,5.083482e-03,1.328525e-02,2.706532e-02,2.861507e-02,5.363215e-02,8.638642e-02,9.069533e-02,1.418162e-01,1.996986e-01,2.085771e-01,2.920963e-01,3.778372e-01,3.930284e-01,5.115875e-01,6.246726e-01,6.475858e-01,8.004812e-01,9.378806e-01,9.694301e-01,1.153340e+00,1.310380e+00,1.350924e+00,1.560744e+00,1.731912e+00,1.781263e+00,2.010882e+00,2.190477e+00,2.247974e+00,2.490917e+00,2.673525e+00,2.738120e+00,2.988042e+00,3.168838e+00,3.239208e+00,3.490229e+00,3.665156e+00,3.739802e+00,3.986725e+00,4.152552e+00,4.229896e+00,4.468319e+00,4.622639e+00,4.701100e+00,4.927449e+00,5.068614e+00,5.146675e+00,5.358184e+00,5.485220e+00,5.561473e+00,5.756125e+00,5.868628e+00,5.941805e+00,6.118254e+00,6.216287e+00,6.285282e+00,6.442763e+00,6.526756e+00,6.590632e+00,6.728872e+00,6.799529e+00,6.857519e+00,6.976648e+00,7.034870e+00,7.086372e+00,7.186839e+00,7.233654e+00,7.278222e+00,7.360723e+00,7.397232e+00,7.434561e+00,7.499977e+00,7.527308e+00,7.557222e+00,7.606563e+00,7.625839e+00,7.648272e+00,7.682632e+00,7.694940e+00,7.709928e+00,7.730447e+00,7.736823e+00,7.744480e+00,7.752317e+00,7.753729e+00,7.754243e+00,7.750546e+00,7.747892e+00,7.741505e+00,7.727398e+00,7.721496e+00,7.708496e+00,7.685065e+00,7.676653e+00,7.657364e+00,7.625645e+00,7.615382e+00,7.590153e+00,7.551127e+00,7.539598e+00,7.508796e+00,7.463385e+00,7.451099e+00,7.415106e+00,7.364168e+00,7.351570e+00,7.310770e+00,7.255104e+00,7.242571e+00,7.197353e+00,7.137693e+00,7.125547e+00,7.076295e+00,7.013318e+00,7.001827e+00,6.948918e+00,6.883243e+00,6.872626e+00,6.816432e+00,6.748619e+00,6.739053e+00,6.679933e+00,6.610495e+00,6.602117e+00,6.540419e+00,6.469815e+00,6.462729e+00,6.398787e+00,6.327432e+00,6.321713e+00,6.255845e+00,6.184113e+00,6.179807e+00,6.112320e+00,6.040542e+00,6.037673e+00,5.968855e+00,5.897329e+00,5.895900e+00,5.826028e+00,5.755014e+00,5.615477e+00,5.477696e+00,5.342029e+00,5.208784e+00,5.078231e+00,4.950598e+00,4.826079e+00,4.704836e+00,4.587004e+00,4.472690e+00,4.361979e+00,4.254934e+00,4.151600e+00,4.052003e+00,3.956154e+00,3.864052e+00,3.775681e+00,3.691015e+00,3.610019e+00,3.532648e+00,3.458850e+00,3.388564e+00,3.321726e+00,3.258264e+00,3.198102e+00,3.141160e+00,3.087354e+00,3.036598e+00,2.988802e+00,2.943875e+00,2.901723e+00,2.862253e+00,2.825368e+00,2.790973e+00,2.758970e+00,2.729263e+00,2.701757e+00,2.676354e+00,2.652960e+00,2.631480e+00,2.611821e+00,2.593891e+00,2.577599e+00,2.562857e+00,2.549578e+00,2.537677e+00,2.527070e+00,2.517676e+00,2.509418e+00
0.000000e+00,1.442083e-08,1.246941e-06,1.337677e-06,2.548284e-05,2.035608e-04,2.193079e-04,1.098238e-03,3.493617e-03,3.726766e-03,9.618809e-03,1.940630e-02,2.050203e-02,3.810858e-02,6.101978e-02,6.402612e-02,9.960241e-02,1.397437e-01,1.458914e-01,2.036305e-01,2.627726e-01,2.732401e-01,3.548390e-01,4.325398e-01,4.482700e-01,5.531316e-01,6.472255e-01,6.688139e-01,7.945342e-01,9.017237e-01,9.293731e-01,1.072308e+00,1.188717e+00,1.222246e+00,1.378050e+00,1.499672e+00,1.538563e+00,1.702634e+00,1.825671e+00,1.869133e+00,2.036966e+00,2.158045e+00,2.205091e+00,2.372522e+00,2.488816e+00,2.538341e+00,2.701700e+00,2.810983e+00,2.861829e+00,3.018029e+00,3.118666e+00,3.169682e+00,3.316244e+00,3.407150e+00,3.457242e+00,3.592276e+00,3.672854e+00,3.721014e+00,3.843187e+00,3.913251e+00,3.958587e+00,4.067059e+00,4.126757e+00,4.168503e+00,4.262864e+00,4.312607e+00,4.350131e+00,4.430331e+00,4.470721e+00,4.503525e+00,4.569807e+00,4.601581e+00,4.629296e+00,4.682135e+00,4.706111e+00,4.728488e+00,4.768535e+00,4.785574e+00,4.802471e+00,4.830503e+00,4.841475e+00,4.852848e+00,4.869729e+00,4.875484e+00,4.881374e+00,4.888016e+00,4.889369e+00,4.889888e+00,4.887226e+00,4.884944e+00,4.880263e+00,4.869230e+00,4.864019e+00,4.854358e+00,4.835870e+00,4.828372e+00,4.813988e+00,4.788928e+00,4.779721e+00,4.760900e+00,4.730109e+00,4.719704e+00,4.696752e+00,4.661022e+00,4.649868e+00,4.623103e+00,4.583174e+00,4.571658e+00,4.541407e+00,4.497964e+00,4.486414e+00,4.453005e+00,4.406678e+00,4.395373e+00,4.359129e+00,4.310494e+00,4.299662e+00,4.260903e+00,4.210481e+00,4.200307e+00,4.159344e+00,4.107604e+00,4.098235e+00,4.055367e+00,4.002732e+00,3.994280e+00,3.949793e+00,3.896638e+00,3.889184e+00,3.843352e+00,3.790012e+00,3.783611e+00,3.736691e+00,3.683459e+00,3.678143e+00,3.630380e+00,3.577514e+00,3.573295e+00,3.524917e+00,3.472640e+00,3.469515e+00,3.420734e+00,3.369242e+00,3.367191e+00,3.318206e+00,3.267665e+00,3.266659e+00,3.217653e+00,3.168204e+00,3.072066e+00,2.978449e+00,2.887518e+00,2.799406e+00,2.714220e+00,2.632039e+00,2.552921e+00,2.476904e+00,2.404007e+00,2.334235e+00,2.267580e+00,2.204019e+00,2.143522e+00,2.086048e+00,2.031548e+00,1.979966e+00,1.931241e+00,1.885307e+00,1.842092e+00,1.801522e+00,1.763519e+00,1.728003e+00,1.694891e+00,1.664098e+00,1.635540e+00,1.609131e+00,1.584782e+00,1.562407e+00,1.541919e+00,1.523230e+00,1.506254e+00,1.490905e+00,1.477098e+00,1.464749e+00,1.453775e+00,1.444095e+00,1.435630e+00,1.428301e+00,1.422032e+00,1.416750e+00,1.412383e+00,1.408860e+00,1.406115e+00,1.404082e+00,1.402700e+00,1.401908e+00,1.401649e+00,1.401867e+00,1.402512e+00
0.000000e+00,1.377322e-08,2.837694e-07,2.981567e-07,2.262957e-06,8.063738e-06,8.399655e-06,1.815158e-05,2.795083e-05,2.856701e-05,3.853115e-05,4.713090e-05,4.785230e-05,5.651877e-05,6.377757e-05,6.455343e-05,7.198554e-05,7.805092e-05,7.884473e-05,8.515986e-05,9.017709e-05,9.095891e-05,9.626902e-05,1.003709e-04,1.011165e-04,1.055268e-04,1.088344e-04,1.095247e-04,1.131341e-04,1.157573e-04,1.163780e-04,1.192785e-04,1.213162e-04,1.218568e-04,1.241326e-04,1.256714e-04,1.261246e-04,1.278511e-04,1.289677e-04,1.293289e-04,1.305747e-04,1.313371e-04,1.316046e-04,1.324335e-04,1.329015e-04,1.330751e-04,1.335425e-04,1.337670e-04,1.338478e-04,1.340026e-04,1.340276e-04,1.340178e-04,1.339035e-04,1.337670e-04,1.336695e-04,1.333248e-04,1.330593e-04,1.328780e-04,1.323370e-04,1.319704e-04,1.317095e-04,1.310025e-04,1.305587e-04,1.302228e-04,1.293764e-04,1.288757e-04,1.284695e-04,1.275074e-04,1.269668e-04,1.264953e-04,1.254381e-04,1.248721e-04,1.243404e-04,1.232064e-04,1.226270e-04,1.220400e-04,1.208451e-04,1.202624e-04,1.196251e-04,1.183833e-04,1.178056e-04,1.171227e-04,1.158462e-04,1.152802e-04,1.145565e-04,1.132560e-04,1.127071e-04,1.119470e-04,1.106317e-04,1.101042e-04,1.093120e-04,1.079900e-04,1.074873e-04,1.066672e-04,1.053452e-04,1.048698e-04,1.040257e-04,1.027098e-04,1.022635e-04,1.013990e-04,1.000943e-04,9.967833e-05,9.879693e-05,9.750778e-05,9.712278e-05,9.622779e-05,9.495779e-05,9.460409e-05,9.369856e-05,9.245078e-05,9.212832e-05,9.121510e-05,8.999209e-05,8.970051e-05,8.878226e-05,8.758609e-05,8.732481e-05,8.640399e-05,8.523635e-05,8.500458e-05,8.408348e-05,8.294568e-05,8.274250e-05,8.182320e-05,8.071627e-05,8.054062e-05,7.962506e-05,7.854974e-05,7.840047e-05,7.749043e-05,7.644723e-05,7.632313e-05,7.542022e-05,7.440945e-05,7.430927e-05,7.341496e-05,7.243675e-05,7.235920e-05,7.147483e-05,7.052917e-05,7.047295e-05,6.959973e-05,6.868646e-05,6.865027e-05,6.778930e-05,6.690815e-05,6.689069e-05,6.604294e-05,6.519356e-05,6.355804e-05,6.198318e-05,6.046792e-05,5.901107e-05,5.761140e-05,5.626762e-05,5.497836e-05,5.374224e-05,5.255785e-05,5.142375e-05,5.033852e-05,4.930070e-05,4.830886e-05,4.736157e-05,4.645742e-05,4.559500e-05,4.477293e-05,4.398985e-05,4.324442e-05,4.253534e-05,4.186132e-05,4.122110e-05,4.061346e-05,4.003719e-05,3.949114e-05,3.897415e-05,3.848512e-05,3.802298e-05,3.758667e-05,3.717518e-05,3.678752e-05,3.642272e-05,3.607985e-05,3.575801e-05,3.545633e-05,3.517394e-05,3.491004e-05,3.466382e-05,3.443451e-05,3.422137e-05,3.402367e-05,3.384071e-05,3.367182e-05,3.351634e-05,3.337365e-05,3.324313e-05,3.312420e-05,3.301629e-05,3.291884e-05
0.000000e+00,1.004260e-08,2.376669e-07,2.497182e-07,1.921743e-06,7.417869e-06,7.768348e-06,1.984759e-05,3.510754e-05,3.612407e-05,5.272859e-05,6.671088e-05,6.785426e-05,8.115616e-05,9.162201e-05,9.270173e-05,1.026442e-04,1.101960e-04,1.111451e-04,1.183554e-04,1.236294e-04,1.244129e-04,1.294428e-04,1.329578e-04,1.335595e-04,1.368642e-04,1.390326e-04,1.394485e-04,1.413957e-04,1.425454e-04,1.427808e-04,1.436713e-04,1.440617e-04,1.441278e-04,1.442045e-04,1.440389e-04,1.439500e-04,1.434076e-04,1.428438e-04,1.426159e-04,1.416093e-04,1.407688e-04,1.404183e-04,1.390702e-04,1.380459e-04,1.375889e-04,1.359959e-04,1.348585e-04,1.343100e-04,1.325479e-04,1.313505e-04,1.307244e-04,1.288524e-04,1.276343e-04,1.269434e-04,1.250074e-04,1.237975e-04,1.230533e-04,1.210886e-04,1.199077e-04,1.191203e-04,1.171541e-04,1.160167e-04,1.151951e-04,1.132477e-04,1.121637e-04,1.113158e-04,1.094026e-04,1.083782e-04,1.075108e-04,1.056429e-04,1.046817e-04,1.038008e-04,1.019861e-04,1.010895e-04,1.002003e-04,9.844435e-05,9.761240e-05,9.671924e-05,9.502560e-05,9.425724e-05,9.336394e-05,9.173460e-05,9.102799e-05,9.013780e-05,8.857363e-05,8.792642e-05,8.704209e-05,8.554307e-05,8.495253e-05,8.407640e-05,8.264185e-05,8.210508e-05,8.123911e-05,7.986785e-05,7.938182e-05,7.852767e-05,7.721815e-05,7.677982e-05,7.593884e-05,7.468927e-05,7.429560e-05,7.346894e-05,7.227734e-05,7.192538e-05,7.111395e-05,6.997824e-05,6.966513e-05,6.886967e-05,6.778770e-05,6.751068e-05,6.673179e-05,6.570139e-05,6.545782e-05,6.469595e-05,6.371494e-05,6.350235e-05,6.275783e-05,6.182408e-05,6.164008e-05,6.091316e-05,6.002455e-05,5.986694e-05,5.915775e-05,5.831225e-05,5.817891e-05,5.748754e-05,5.668315e-05,5.657212e-05,5.589858e-05,5.513337e-05,5.504282e-05,5.438705e-05,5.365918e-05,5.358739e-05,5.294929e-05,5.225697e-05,5.220233e-05,5.158178e-05,5.092330e-05,5.088431e-05,5.028112e-05,4.965485e-05,4.963012e-05,4.904409e-05,4.844847e-05,4.843671e-05,4.786760e-05,4.730113e-05,4.622059e-05,4.519242e-05,4.421407e-05,4.328312e-05,4.239727e-05,4.155430e-05,4.075212e-05,3.998875e-05,3.926228e-05,3.857091e-05,3.791293e-05,3.728670e-05,3.669067e-05,3.612337e-05,3.558339e-05,3.506940e-05,3.458013e-05,3.411438e-05,3.367099e-05,3.324889e-05,3.284702e-05,3.246442e-05,3.210013e-05,3.175328e-05,3.142301e-05,3.110852e-05,3.080905e-05,3.052386e-05,3.025227e-05,2.999362e-05,2.974728e-05,2.951267e-05,2.928920e-05,2.907635e-05,2.887361e-05,2.868049e-05,2.849652e-05,2.832127e-05,2.815432e-05,2.799527e-05,2.784375e-05,2.769938e-05,2.756184e-05,2.743080e-05,2.730594e-05,2.718697e-05,2.707362e-05,2.696560e-05,2.686268e-05
0.000000e+00,4.418417e-09,5.582916e-08,5.822154e-08,3.495986e-07,1.229362e-06,1.284838e-06,3.224724e-06,5.830192e-06,6.011098e-06,9.102358e-06,1.192192e-05,1.216242e-05,1.508983e-05,1.759229e-05,1.786248e-05,2.047854e-05,2.265382e-05,2.294143e-05,2.525593e-05,2.713179e-05,2.742739e-05,2.946134e-05,3.106766e-05,3.136334e-05,3.313894e-05,3.450444e-05,3.479359e-05,3.633265e-05,3.748417e-05,3.776132e-05,3.908466e-05,4.004689e-05,4.030755e-05,4.143471e-05,4.223014e-05,4.247069e-05,4.341988e-05,4.406888e-05,4.428648e-05,4.507454e-05,4.559550e-05,4.578794e-05,4.643041e-05,4.683985e-05,4.700552e-05,4.751670e-05,4.782947e-05,4.796724e-05,4.836028e-05,4.858966e-05,4.869883e-05,4.898579e-05,4.914364e-05,4.922390e-05,4.941582e-05,4.951273e-05,4.956407e-05,4.967108e-05,4.971644e-05,4.973914e-05,4.977047e-05,4.977266e-05,4.976719e-05,4.973131e-05,4.969770e-05,4.966476e-05,4.956938e-05,4.950650e-05,4.944692e-05,4.929907e-05,4.921268e-05,4.912742e-05,4.893351e-05,4.882866e-05,4.871879e-05,4.848464e-05,4.836575e-05,4.823240e-05,4.796333e-05,4.783424e-05,4.767863e-05,4.737944e-05,4.724349e-05,4.706686e-05,4.674192e-05,4.660200e-05,4.640561e-05,4.605888e-05,4.591747e-05,4.570262e-05,4.533768e-05,4.519690e-05,4.496487e-05,4.458495e-05,4.444658e-05,4.419865e-05,4.380668e-05,4.367223e-05,4.340967e-05,4.300827e-05,4.287898e-05,4.260305e-05,4.219458e-05,4.207148e-05,4.178338e-05,4.136997e-05,4.125388e-05,4.095481e-05,4.053835e-05,4.042992e-05,4.012103e-05,3.970323e-05,3.960293e-05,3.928533e-05,3.886770e-05,3.877589e-05,3.845067e-05,3.803454e-05,3.795146e-05,3.761964e-05,3.720622e-05,3.713198e-05,3.679455e-05,3.638488e-05,3.631954e-05,3.597745e-05,3.557245e-05,3.551596e-05,3.517011e-05,3.477060e-05,3.472286e-05,3.437410e-05,3.398077e-05,3.394162e-05,3.359078e-05,3.320424e-05,3.317347e-05,3.282130e-05,3.244208e-05,3.241945e-05,3.206669e-05,3.169521e-05,3.168044e-05,3.132775e-05,3.096440e-05,3.095717e-05,3.060521e-05,3.025027e-05,2.956023e-05,2.888746e-05,2.823226e-05,2.759488e-05,2.697546e-05,2.637408e-05,2.579075e-05,2.522546e-05,2.467811e-05,2.414857e-05,2.363670e-05,2.314229e-05,2.266512e-05,2.220494e-05,2.176148e-05,2.133445e-05,2.092355e-05,2.052845e-05,2.014882e-05,1.978432e-05,1.943461e-05,1.909932e-05,1.877811e-05,1.847061e-05,1.817646e-05,1.789529e-05,1.762675e-05,1.737046e-05,1.712607e-05,1.689323e-05,1.667157e-05,1.646075e-05,1.626043e-05,1.607025e-05,1.588989e-05,1.571901e-05,1.555729e-05,1.540441e-05,1.526005e-05,1.512391e-05,1.499569e-05,1.487508e-05,1.476181e-05,1.465560e-05,1.455615e-05,1.446322e-05,1.437653e-05,1.429583e-05,1.422087e-05
0.000000e+00,1.135444e-08,3.023054e-07,3.173305e-07,2.347029e-06,9.391728e-06,9.865574e-06,2.815629e-05,5.784999e-05,6.013450e-05,1.031997e-04,1.471570e-04,1.510136e-04,1.983249e-04,2.384715e-04,2.427595e-04,2.836573e-04,3.166853e-04,3.209791e-04,3.548661e-04,3.814055e-04,3.855073e-04,4.131007e-04,4.340673e-04,4.378422e-04,4.599213e-04,4.761674e-04,4.795200e-04,4.968116e-04,5.090946e-04,5.119605e-04,5.251223e-04,5.341033e-04,5.364431e-04,5.460607e-04,5.523108e-04,5.541043e-04,5.606952e-04,5.647041e-04,5.659467e-04,5.699647e-04,5.721498e-04,5.728484e-04,5.746908e-04,5.754075e-04,5.755785e-04,5.755919e-04,5.751404e-04,5.748066e-04,5.732927e-04,5.719263e-04,5.711155e-04,5.683359e-04,5.662671e-04,5.650105e-04,5.611919e-04,5.585984e-04,5.569292e-04,5.522677e-04,5.492971e-04,5.472497e-04,5.419142e-04,5.386887e-04,5.362977e-04,5.304337e-04,5.270535e-04,5.243534e-04,5.180857e-04,5.146326e-04,5.116571e-04,5.050924e-04,5.016325e-04,4.984141e-04,4.916433e-04,4.882294e-04,4.847994e-04,4.778999e-04,4.745733e-04,4.709613e-04,4.639986e-04,4.607915e-04,4.570255e-04,4.500545e-04,4.469910e-04,4.430972e-04,4.361640e-04,4.332616e-04,4.292646e-04,4.224074e-04,4.196782e-04,4.156004e-04,4.088508e-04,4.063023e-04,4.021648e-04,3.955482e-04,3.931842e-04,3.890062e-04,3.825433e-04,3.803647e-04,3.761636e-04,3.698707e-04,3.678758e-04,3.636677e-04,3.575573e-04,3.557426e-04,3.515418e-04,3.456232e-04,3.439836e-04,3.398032e-04,3.340831e-04,3.326124e-04,3.284641e-04,3.229468e-04,3.216378e-04,3.175319e-04,3.122198e-04,3.110649e-04,3.070106e-04,3.019044e-04,3.008955e-04,2.969009e-04,2.919998e-04,2.911285e-04,2.872008e-04,2.825031e-04,2.817608e-04,2.779061e-04,2.734090e-04,2.727873e-04,2.690109e-04,2.647108e-04,2.642013e-04,2.605077e-04,2.564004e-04,2.559949e-04,2.523878e-04,2.484686e-04,2.481591e-04,2.446417e-04,2.409055e-04,2.406842e-04,2.372589e-04,2.337005e-04,2.335599e-04,2.302287e-04,2.268423e-04,2.267755e-04,2.235398e-04,2.203197e-04,2.141815e-04,2.083493e-04,2.028118e-04,1.975577e-04,1.925758e-04,1.878550e-04,1.833845e-04,1.791537e-04,1.751522e-04,1.713700e-04,1.677972e-04,1.644244e-04,1.612425e-04,1.582426e-04,1.554161e-04,1.527549e-04,1.502510e-04,1.478967e-04,1.456850e-04,1.436086e-04,1.416609e-04,1.398355e-04,1.381262e-04,1.365272e-04,1.350327e-04,1.336375e-04,1.323364e-04,1.311245e-04,1.299970e-04,1.289497e-04,1.279780e-04,1.270782e-04,1.262461e-04,1.254782e-04,1.247710e-04,1.241210e-04,1.235252e-04,1.229805e-04,1.224840e-04,1.220329e-04,1.216247e-04,1.212568e-04,1.209269e-04,1.206328e-04,1.203724e-04,1.201435e-04,1.199443e-04,1.197730e-04,1.196278e-04
0.000000e+00,5.567519e-10,4.069558e-08,4.350581e-08,7.036008e-07,4.888769e-06,5.238199e-06,2.305814e-05,6.551585e-05,6.938936e-05,1.587028e-04,2.854817e-04,2.985610e-04,4.881953e-04,6.954509e-04,7.202668e-04,9.835825e-04,1.231158e-03,1.265570e-03,1.554086e-03,1.799288e-03,1.838522e-03,2.110343e-03,2.324225e-03,2.363211e-03,2.592860e-03,2.762065e-03,2.796821e-03,2.974094e-03,3.096761e-03,3.124819e-03,3.249966e-03,3.330802e-03,3.351076e-03,3.430042e-03,3.476523e-03,3.488943e-03,3.529915e-03,3.549929e-03,3.555058e-03,3.566377e-03,3.567021e-03,3.565740e-03,3.554854e-03,3.541968e-03,3.535261e-03,3.508333e-03,3.486458e-03,3.475283e-03,3.437170e-03,3.409695e-03,3.394915e-03,3.349314e-03,3.318693e-03,3.301050e-03,3.250707e-03,3.218672e-03,3.198783e-03,3.145703e-03,3.113450e-03,3.091822e-03,3.037445e-03,3.005781e-03,2.982825e-03,2.928176e-03,2.897627e-03,2.873676e-03,2.819475e-03,2.790375e-03,2.765696e-03,2.712443e-03,2.684988e-03,2.659800e-03,2.607837e-03,2.582128e-03,2.556610e-03,2.506165e-03,2.482240e-03,2.456538e-03,2.407757e-03,2.385608e-03,2.359844e-03,2.312816e-03,2.292406e-03,2.266683e-03,2.221454e-03,2.202728e-03,2.177131e-03,2.133715e-03,2.116603e-03,2.091206e-03,2.049597e-03,2.034022e-03,2.008886e-03,1.969063e-03,1.954943e-03,1.930121e-03,1.892050e-03,1.879303e-03,1.854841e-03,1.818481e-03,1.807023e-03,1.782959e-03,1.748263e-03,1.738014e-03,1.714381e-03,1.681299e-03,1.672177e-03,1.649004e-03,1.617482e-03,1.609412e-03,1.586721e-03,1.556706e-03,1.549612e-03,1.527424e-03,1.498861e-03,1.492672e-03,1.471003e-03,1.443838e-03,1.438486e-03,1.417350e-03,1.391528e-03,1.386949e-03,1.366357e-03,1.341824e-03,1.337957e-03,1.317917e-03,1.294622e-03,1.291409e-03,1.271927e-03,1.249818e-03,1.247204e-03,1.228285e-03,1.207313e-03,1.205246e-03,1.186892e-03,1.167009e-03,1.165442e-03,1.147654e-03,1.128813e-03,1.127699e-03,1.110477e-03,1.092633e-03,1.091929e-03,1.075272e-03,1.058382e-03,1.058049e-03,1.041953e-03,1.025974e-03,9.956265e-04,9.669298e-04,9.398107e-04,9.141987e-04,8.900260e-04,8.672275e-04,8.457410e-04,8.255064e-04,8.064664e-04,7.885658e-04,7.717518e-04,7.559738e-04,7.411832e-04,7.273335e-04,7.143802e-04,7.022805e-04,6.909937e-04,6.804804e-04,6.707031e-04,6.616259e-04,6.532143e-04,6.454354e-04,6.382576e-04,6.316506e-04,6.255854e-04,6.200342e-04,6.149706e-04,6.103690e-04,6.062050e-04,6.024554e-04,5.990978e-04,5.961108e-04,5.934739e-04,5.911675e-04,5.891729e-04,5.874721e-04,5.860480e-04,5.848840e-04,5.839646e-04,5.832746e-04,5.827996e-04,5.825260e-04,5.824407e-04,5.825310e-04,5.827851e-04,5.831914e-04,5.837391e-04,5.844177e-04,5.852174e-04
0.000000e+00,1.070598e-08,2.266864e-07,2.377235e-07,1.801190e-06,7.537242e-06,7.925938e-06,2.239166e-05,4.250893e-05,4.389574e-05,6.717766e-05,8.767786e-05,8.939338e-05,1.098517e-04,1.267025e-04,1.284855e-04,1.453678e-04,1.588567e-04,1.606012e-04,1.742918e-04,1.849110e-04,1.865433e-04,1.974551e-04,2.056553e-04,2.071222e-04,2.156351e-04,2.218145e-04,2.230793e-04,2.295358e-04,2.340411e-04,2.350807e-04,2.397852e-04,2.429147e-04,2.437165e-04,2.469372e-04,2.489457e-04,2.495056e-04,2.514760e-04,2.525786e-04,2.528984e-04,2.538193e-04,2.541967e-04,2.542827e-04,2.543292e-04,2.541340e-04,2.539965e-04,2.533201e-04,2.526806e-04,2.523327e-04,2.510648e-04,2.500880e-04,2.495445e-04,2.477982e-04,2.465734e-04,2.458508e-04,2.437257e-04,2.423276e-04,2.414428e-04,2.390212e-04,2.375087e-04,2.364778e-04,2.338284e-04,2.322490e-04,2.310877e-04,2.282690e-04,2.266612e-04,2.253847e-04,2.224460e-04,2.208402e-04,2.194633e-04,2.164461e-04,2.148663e-04,2.134029e-04,2.103419e-04,2.088069e-04,2.072701e-04,2.041941e-04,2.027180e-04,2.011201e-04,1.980533e-04,1.966464e-04,1.949987e-04,1.919608e-04,1.906305e-04,1.889436e-04,1.859506e-04,1.847015e-04,1.829850e-04,1.800498e-04,1.788848e-04,1.771475e-04,1.742805e-04,1.732006e-04,1.714506e-04,1.686597e-04,1.676648e-04,1.659092e-04,1.632005e-04,1.622893e-04,1.605347e-04,1.579127e-04,1.570830e-04,1.553352e-04,1.528029e-04,1.520521e-04,1.503163e-04,1.478757e-04,1.472006e-04,1.454814e-04,1.431334e-04,1.425305e-04,1.408319e-04,1.385767e-04,1.380423e-04,1.363678e-04,1.342049e-04,1.337352e-04,1.320878e-04,1.300162e-04,1.296073e-04,1.279897e-04,1.260079e-04,1.256559e-04,1.240703e-04,1.221764e-04,1.218774e-04,1.203257e-04,1.185176e-04,1.182679e-04,1.167516e-04,1.150270e-04,1.148228e-04,1.133433e-04,1.116997e-04,1.115375e-04,1.100956e-04,1.085304e-04,1.084069e-04,1.070034e-04,1.055140e-04,1.054258e-04,1.040613e-04,1.026448e-04,1.025889e-04,1.012637e-04,9.991743e-05,9.989085e-05,9.860521e-05,9.732638e-05,9.489014e-05,9.257689e-05,9.038145e-05,8.829878e-05,8.632393e-05,8.445210e-05,8.267863e-05,8.099900e-05,7.940885e-05,7.790396e-05,7.648029e-05,7.513393e-05,7.386114e-05,7.265833e-05,7.152206e-05,7.044904e-05,6.943611e-05,6.848026e-05,6.757861e-05,6.672842e-05,6.592707e-05,6.517206e-05,6.446100e-05,6.379164e-05,6.316180e-05,6.256944e-05,6.201259e-05,6.148939e-05,6.099808e-05,6.053697e-05,6.010446e-05,5.969902e-05,5.931922e-05,5.896368e-05,5.863109e-05,5.832022e-05,5.802990e-05,5.775900e-05,5.750647e-05,5.727130e-05,5.705253e-05,5.684926e-05,5.666063e-05,5.648582e-05,5.632407e-05,5.617463e-05,5.603682e-05,5.590997e-05,5.579346e-05
0.000000e+00,1.192672e-09,9.008161e-08,9.636477e-08,1.639060e-06,1.231019e-05,1.323723e-05,6.377152e-05,1.969371e-04,2.096918e-04,5.246484e-04,1.027806e-03,1.083024e-03,1.948100e-03,3.027331e-03,3.165896e-03,4.763105e-03,6.489220e-03,6.747671e-03,9.110865e-03,1.142914e-02,1.183012e-02,1.487212e-02,1.764696e-02,1.819583e-02,2.175525e-02,2.481581e-02,2.550180e-02,2.938638e-02,3.256107e-02,3.336095e-02,3.737978e-02,4.051771e-02,4.140036e-02,4.538401e-02,4.836553e-02,4.929628e-02,5.310706e-02,5.584641e-02,5.679063e-02,6.032553e-02,6.276870e-02,6.369438e-02,6.688356e-02,6.900352e-02,6.988293e-02,7.268550e-02,7.447658e-02,7.528706e-02,7.768586e-02,7.915809e-02,7.988226e-02,8.187845e-02,8.305258e-02,8.367811e-02,8.528617e-02,8.618953e-02,8.670860e-02,8.795211e-02,8.861538e-02,8.902405e-02,8.993219e-02,9.038701e-02,9.068457e-02,9.128940e-02,9.156674e-02,9.175496e-02,9.208949e-02,9.221852e-02,9.230112e-02,9.239783e-02,9.240528e-02,9.238738e-02,9.227730e-02,9.218718e-02,9.207485e-02,9.178700e-02,9.162045e-02,9.142039e-02,9.098139e-02,9.075681e-02,9.047602e-02,8.991003e-02,8.964319e-02,8.928882e-02,8.861751e-02,8.832179e-02,8.790092e-02,8.714358e-02,8.683019e-02,8.634974e-02,8.552340e-02,8.520165e-02,8.466829e-02,8.378792e-02,8.346543e-02,8.288554e-02,8.196421e-02,8.164715e-02,8.102677e-02,8.007586e-02,7.976913e-02,7.911394e-02,7.814329e-02,7.785072e-02,7.716604e-02,7.618416e-02,7.590865e-02,7.519945e-02,7.421361e-02,7.395730e-02,7.322820e-02,7.224466e-02,7.200903e-02,7.126430e-02,7.028836e-02,7.007436e-02,6.931796e-02,6.835412e-02,6.816222e-02,6.739779e-02,6.644983e-02,6.628016e-02,6.551105e-02,6.458215e-02,6.443449e-02,6.366379e-02,6.275657e-02,6.263048e-02,6.186102e-02,6.097764e-02,6.087247e-02,6.010685e-02,5.924903e-02,5.916398e-02,5.840454e-02,5.757367e-02,5.750780e-02,5.675670e-02,5.595386e-02,5.590615e-02,5.516536e-02,5.439137e-02,5.436071e-02,5.363204e-02,5.288747e-02,5.287274e-02,5.215779e-02,5.144304e-02,5.007210e-02,4.876010e-02,4.750693e-02,4.631229e-02,4.517567e-02,4.409640e-02,4.307364e-02,4.210645e-02,4.119375e-02,4.033436e-02,3.952701e-02,3.877036e-02,3.806299e-02,3.740345e-02,3.679022e-02,3.622173e-02,3.569640e-02,3.521260e-02,3.476868e-02,3.436297e-02,3.399378e-02,3.365944e-02,3.335825e-02,3.308852e-02,3.284857e-02,3.263673e-02,3.245136e-02,3.229080e-02,3.215347e-02,3.203779e-02,3.194220e-02,3.186521e-02,3.180535e-02,3.176120e-02,3.173137e-02,3.171455e-02,3.170946e-02,3.171487e-02,3.172962e-02,3.175260e-02,3.178276e-02,3.181909e-02,3.186066e-02,3.190660e-02,3.195608e-02,3.200834e-02,3.206267e-02,3.211844e-02,3.217503e-02
0.000000e+00,4.103879e-10,6.298018e-09,6.591912e-09,4.432434e-08,1.541690e-07,1.606530e-07,3.559718e-07,5.600211e-07,5.729314e-07,7.815534e-07,9.604234e-07,9.753525e-07,1.153612e-06,1.301184e-06,1.316854e-06,1.465865e-06,1.585871e-06,1.601461e-06,1.724442e-06,1.820702e-06,1.835576e-06,1.935600e-06,2.011556e-06,2.025226e-06,2.105134e-06,2.163867e-06,2.175978e-06,2.238376e-06,2.282615e-06,2.292923e-06,2.340178e-06,2.372317e-06,2.380671e-06,2.414903e-06,2.437021e-06,2.443342e-06,2.466430e-06,2.480314e-06,2.484581e-06,2.498180e-06,2.505359e-06,2.507592e-06,2.513154e-06,2.514927e-06,2.515183e-06,2.513974e-06,2.511443e-06,2.509801e-06,2.502922e-06,2.497016e-06,2.493576e-06,2.481985e-06,2.473485e-06,2.468357e-06,2.452884e-06,2.442443e-06,2.435745e-06,2.417108e-06,2.405271e-06,2.397127e-06,2.375945e-06,2.363162e-06,2.353696e-06,2.330503e-06,2.317146e-06,2.306481e-06,2.281736e-06,2.268108e-06,2.256366e-06,2.230462e-06,2.216809e-06,2.204108e-06,2.177381e-06,2.163901e-06,2.150353e-06,2.123089e-06,2.109937e-06,2.095650e-06,2.068092e-06,2.055390e-06,2.040467e-06,2.012820e-06,2.000660e-06,1.985195e-06,1.957632e-06,1.946082e-06,1.930166e-06,1.902830e-06,1.891939e-06,1.875654e-06,1.848665e-06,1.838464e-06,1.821888e-06,1.795345e-06,1.785850e-06,1.769055e-06,1.743037e-06,1.734256e-06,1.717306e-06,1.691877e-06,1.683806e-06,1.666763e-06,1.641973e-06,1.634602e-06,1.617519e-06,1.593408e-06,1.586720e-06,1.569648e-06,1.546245e-06,1.540219e-06,1.523203e-06,1.500526e-06,1.495139e-06,1.478219e-06,1.456283e-06,1.451507e-06,1.434720e-06,1.413531e-06,1.409338e-06,1.392717e-06,1.372277e-06,1.368637e-06,1.352210e-06,1.332515e-06,1.329399e-06,1.313191e-06,1.294236e-06,1.291612e-06,1.275647e-06,1.257422e-06,1.255259e-06,1.239557e-06,1.222049e-06,1.220318e-06,1.204895e-06,1.188091e-06,1.186761e-06,1.171633e-06,1.155517e-06,1.154561e-06,1.139739e-06,1.124294e-06,1.123683e-06,1.109178e-06,1.094387e-06,1.094094e-06,1.079915e-06,1.065758e-06,1.038638e-06,1.012696e-06,9.878950e-07,9.641959e-07,9.415612e-07,9.199529e-07,8.993339e-07,8.796674e-07,8.609174e-07,8.430487e-07,8.260267e-07,8.098177e-07,7.943891e-07,7.797090e-07,7.657465e-07,7.524719e-07,7.398561e-07,7.278714e-07,7.164907e-07,7.056879e-07,6.954381e-07,6.857168e-07,6.765010e-07,6.677682e-07,6.594968e-07,6.516661e-07,6.442563e-07,6.372481e-07,6.306233e-07,6.243642e-07,6.184539e-07,6.128762e-07,6.076155e-07,6.026569e-07,5.979861e-07,5.935895e-07,5.894538e-07,5.855665e-07,5.819156e-07,5.784896e-07,5.752774e-07,5.722684e-07,5.694525e-07,5.668201e-07,5.643620e-07,5.620691e-07,5.599332e-07,5.579460e-07,5.561000e-07
0.000000e+00,1.131032e-09,6.731611e-08,7.161139e-08,9.359294e-07,5.853038e-06,6.256821e-06,2.708802e-05,7.976036e-05,8.475293e-05,2.062527e-04,3.936052e-04,4.136730e-04,7.163212e-04,1.066604e-03,1.109649e-03,1.578619e-03,2.037347e-03,2.102332e-03,2.658111e-03,3.145235e-03,3.224417e-03,3.782580e-03,4.234043e-03,4.317579e-03,4.818181e-03,5.197493e-03,5.276667e-03,5.688358e-03,5.982481e-03,6.051069e-03,6.364557e-03,6.575644e-03,6.630029e-03,6.849712e-03,6.987815e-03,7.026506e-03,7.163709e-03,7.241798e-03,7.264807e-03,7.333317e-03,7.364400e-03,7.372675e-03,7.386165e-03,7.381877e-03,7.376870e-03,7.347645e-03,7.317733e-03,7.301106e-03,7.239631e-03,7.191927e-03,7.165365e-03,7.080230e-03,7.020841e-03,6.985945e-03,6.884038e-03,6.817630e-03,6.775865e-03,6.662619e-03,6.592682e-03,6.545356e-03,6.425001e-03,6.354103e-03,6.302366e-03,6.178162e-03,6.108157e-03,6.053009e-03,5.927445e-03,5.859638e-03,5.801940e-03,5.676898e-03,5.612178e-03,5.552670e-03,5.429556e-03,5.368499e-03,5.307814e-03,5.187661e-03,5.130608e-03,5.069283e-03,4.952835e-03,4.899954e-03,4.838446e-03,4.726220e-03,4.677549e-03,4.616244e-03,4.508584e-03,4.464070e-03,4.403291e-03,4.300404e-03,4.259929e-03,4.199948e-03,4.101938e-03,4.065337e-03,4.006379e-03,3.913269e-03,3.880347e-03,3.822598e-03,3.734350e-03,3.704894e-03,3.648504e-03,3.565036e-03,3.538823e-03,3.483915e-03,3.405110e-03,3.381915e-03,3.328584e-03,3.254301e-03,3.233898e-03,3.182219e-03,3.112299e-03,3.094469e-03,3.044498e-03,2.978773e-03,2.963303e-03,2.915079e-03,2.853371e-03,2.840058e-03,2.793606e-03,2.735737e-03,2.724387e-03,2.679720e-03,2.625510e-03,2.615940e-03,2.573062e-03,2.522332e-03,2.514371e-03,2.473276e-03,2.425851e-03,2.419339e-03,2.380014e-03,2.335722e-03,2.330509e-03,2.292935e-03,2.251610e-03,2.247557e-03,2.211709e-03,2.173191e-03,2.170168e-03,2.136018e-03,2.100152e-03,2.098041e-03,2.065556e-03,2.032193e-03,2.030884e-03,2.000029e-03,1.969028e-03,1.968420e-03,1.939157e-03,1.910382e-03,1.856518e-03,1.806584e-03,1.760352e-03,1.717603e-03,1.678129e-03,1.641735e-03,1.608232e-03,1.577446e-03,1.549209e-03,1.523361e-03,1.499755e-03,1.478248e-03,1.458706e-03,1.441003e-03,1.425019e-03,1.410642e-03,1.397763e-03,1.386284e-03,1.376108e-03,1.367145e-03,1.359310e-03,1.352525e-03,1.346712e-03,1.341800e-03,1.337723e-03,1.334416e-03,1.331821e-03,1.329880e-03,1.328540e-03,1.327753e-03,1.327470e-03,1.327647e-03,1.328244e-03,1.329220e-03,1.330539e-03,1.332167e-03,1.334072e-03,1.336224e-03,1.338593e-03,1.341155e-03,1.343883e-03,1.346756e-03,1.349752e-03,1.352852e-03,1.356035e-03,1.359287e-03,1.362590e-03,1.365930e-03,1.369294e-03
0.000000e+00,1.970192e-07,1.436117e-05,1.534748e-05,2.501501e-04,1.857346e-03,1.997714e-03,9.856658e-03,3.184624e-02,3.402063e-02,9.014899e-02,1.862070e-01,1.970970e-01,3.744165e-01,6.093713e-01,6.404405e-01,1.011006e+00,1.433663e+00,1.498703e+00,2.112514e+00,2.745405e+00,2.857753e+00,3.736203e+00,4.576057e+00,4.746393e+00,5.883960e+00,6.907080e+00,7.142058e+00,8.511788e+00,9.680911e+00,9.982614e+00,1.154277e+01,1.281362e+01,1.317965e+01,1.488010e+01,1.620676e+01,1.663079e+01,1.841840e+01,1.975733e+01,2.022991e+01,2.205272e+01,2.336539e+01,2.387485e+01,2.568501e+01,2.693937e+01,2.747274e+01,2.922842e+01,3.039948e+01,3.094331e+01,3.260961e+01,3.367936e+01,3.422042e+01,3.576974e+01,3.672664e+01,3.725245e+01,3.866426e+01,3.950241e+01,4.000168e+01,4.126199e+01,4.198029e+01,4.244316e+01,4.354380e+01,4.414495e+01,4.456314e+01,4.550095e+01,4.599059e+01,4.635748e+01,4.713344e+01,4.751932e+01,4.782990e+01,4.844832e+01,4.873962e+01,4.899042e+01,4.945819e+01,4.966488e+01,4.985384e+01,5.017976e+01,5.031217e+01,5.043848e+01,5.063265e+01,5.070105e+01,5.076502e+01,5.083838e+01,5.085269e+01,5.085557e+01,5.081946e+01,5.078909e+01,5.073290e+01,5.059875e+01,5.053239e+01,5.041981e+01,5.019886e+01,5.010445e+01,4.993863e+01,4.964177e+01,4.952644e+01,4.931089e+01,4.894851e+01,4.881855e+01,4.855705e+01,4.813889e+01,4.799981e+01,4.769630e+01,4.723146e+01,4.708799e+01,4.674647e+01,4.624335e+01,4.609948e+01,4.572400e+01,4.519026e+01,4.504934e+01,4.464386e+01,4.408646e+01,4.395123e+01,4.351964e+01,4.294486e+01,4.281749e+01,4.236354e+01,4.177700e+01,4.165918e+01,4.118649e+01,4.059317e+01,4.048616e+01,3.999815e+01,3.940246e+01,3.930715e+01,3.880706e+01,3.821285e+01,3.812980e+01,3.762067e+01,3.703131e+01,3.696081e+01,3.644548e+01,3.586386e+01,3.580595e+01,3.528706e+01,3.471566e+01,3.467020e+01,3.415018e+01,3.359111e+01,3.355778e+01,3.303888e+01,3.249390e+01,3.247225e+01,3.195652e+01,3.142708e+01,3.141657e+01,3.090587e+01,3.039315e+01,2.940393e+01,2.845040e+01,2.753370e+01,2.665462e+01,2.581363e+01,2.501098e+01,2.424668e+01,2.352052e+01,2.283215e+01,2.218105e+01,2.156658e+01,2.098799e+01,2.044443e+01,1.993498e+01,1.945865e+01,1.901440e+01,1.860113e+01,1.821773e+01,1.786303e+01,1.753587e+01,1.723507e+01,1.695943e+01,1.670775e+01,1.647884e+01,1.627152e+01,1.608462e+01,1.591696e+01,1.576741e+01,1.563484e+01,1.551816e+01,1.541628e+01,1.532818e+01,1.525282e+01,1.518922e+01,1.513644e+01,1.509356e+01,1.505970e+01,1.503401e+01,1.501569e+01,1.500398e+01,1.499814e+01,1.499748e+01,1.500135e+01,1.500915e+01,1.502029e+01,1.503423e+01,1.505049e+01,1.506859e+01,1.508811e+01
0.000000e+00,5.818889e-09,9.596352e-08,1.004003e-07,6.768541e-07,2.501916e-06,2.617869e-06,6.660208e-06,1.198571e-05,1.234944e-05,1.841418e-05,2.367519e-05,2.411156e-05,2.926533e-05,3.343685e-05,3.387412e-05,3.797311e-05,4.119093e-05,4.160310e-05,4.480384e-05,4.724169e-05,4.761265e-05,5.006420e-05,5.187095e-05,5.219056e-05,5.402121e-05,5.532076e-05,5.558324e-05,5.690152e-05,5.779597e-05,5.799876e-05,5.889575e-05,5.946877e-05,5.961164e-05,6.016395e-05,6.048415e-05,6.056859e-05,6.084008e-05,6.096310e-05,6.099168e-05,6.103553e-05,6.100663e-05,6.098268e-05,6.084323e-05,6.069902e-05,6.062634e-05,6.034038e-05,6.011039e-05,5.999297e-05,5.959102e-05,5.929896e-05,5.914086e-05,5.864822e-05,5.831307e-05,5.811832e-05,5.755588e-05,5.719273e-05,5.696521e-05,5.635022e-05,5.597104e-05,5.571445e-05,5.506112e-05,5.467529e-05,5.439312e-05,5.371310e-05,5.332794e-05,5.302344e-05,5.232629e-05,5.194740e-05,5.162359e-05,5.091710e-05,5.054875e-05,5.020838e-05,4.949888e-05,4.914423e-05,4.878985e-05,4.808244e-05,4.774376e-05,4.737767e-05,4.667647e-05,4.635533e-05,4.597963e-05,4.528789e-05,4.498531e-05,4.460189e-05,4.392218e-05,4.363871e-05,4.324928e-05,4.258361e-05,4.231946e-05,4.192556e-05,4.127545e-05,4.103055e-05,4.063356e-05,4.000014e-05,3.977422e-05,3.937539e-05,3.875947e-05,3.855210e-05,3.815252e-05,3.755465e-05,3.736526e-05,3.696593e-05,3.638643e-05,3.621438e-05,3.581618e-05,3.525521e-05,3.509980e-05,3.470351e-05,3.416108e-05,3.402156e-05,3.362787e-05,3.310387e-05,3.297947e-05,3.258901e-05,3.208324e-05,3.197318e-05,3.158649e-05,3.109868e-05,3.100219e-05,3.061974e-05,3.014957e-05,3.006586e-05,2.968808e-05,2.923517e-05,2.916349e-05,2.879074e-05,2.835469e-05,2.829431e-05,2.792691e-05,2.750729e-05,2.745748e-05,2.709572e-05,2.669207e-05,2.665214e-05,2.629625e-05,2.590813e-05,2.587741e-05,2.552759e-05,2.515453e-05,2.513238e-05,2.478881e-05,2.443033e-05,2.441614e-05,2.407897e-05,2.373462e-05,2.372780e-05,2.339715e-05,2.306645e-05,2.243119e-05,2.182115e-05,2.123547e-05,2.067330e-05,2.013382e-05,1.961622e-05,1.911972e-05,1.864356e-05,1.818700e-05,1.774932e-05,1.732983e-05,1.692785e-05,1.654273e-05,1.617385e-05,1.582059e-05,1.548237e-05,1.515862e-05,1.484879e-05,1.455235e-05,1.426880e-05,1.399763e-05,1.373839e-05,1.349060e-05,1.325383e-05,1.302765e-05,1.281165e-05,1.260544e-05,1.240865e-05,1.222089e-05,1.204182e-05,1.187109e-05,1.170839e-05,1.155339e-05,1.140580e-05,1.126531e-05,1.113165e-05,1.100454e-05,1.088373e-05,1.076895e-05,1.065998e-05,1.055658e-05,1.045852e-05,1.036558e-05,1.027756e-05,1.019426e-05,1.011549e-05,1.004105e-05,9.970779e-06,9.904492e-06
0.000000e+00,4.941849e-09,6.442797e-08,6.722139e-08,4.128132e-07,1.462964e-06,1.528700e-06,3.755772e-06,6.518620e-06,6.702802e-06,9.754554e-06,1.243026e-05,1.265482e-05,1.534590e-05,1.758489e-05,1.782319e-05,2.009482e-05,2.193239e-05,2.217172e-05,2.406538e-05,2.555603e-05,2.578714e-05,2.734796e-05,2.854237e-05,2.875835e-05,3.002832e-05,3.097161e-05,3.116740e-05,3.218457e-05,3.291627e-05,3.308834e-05,3.388670e-05,3.444109e-05,3.458716e-05,3.519676e-05,3.560338e-05,3.572213e-05,3.616944e-05,3.645362e-05,3.654449e-05,3.685270e-05,3.703609e-05,3.709915e-05,3.728855e-05,3.738957e-05,3.742533e-05,3.751363e-05,3.754795e-05,3.755729e-05,3.755992e-05,3.754081e-05,3.752486e-05,3.745524e-05,3.739390e-05,3.735398e-05,3.722379e-05,3.712967e-05,3.706721e-05,3.688658e-05,3.676757e-05,3.668409e-05,3.646180e-05,3.632455e-05,3.622160e-05,3.596525e-05,3.581526e-05,3.569440e-05,3.541056e-05,3.525239e-05,3.511516e-05,3.480950e-05,3.464692e-05,3.449481e-05,3.417222e-05,3.400829e-05,3.384277e-05,3.350743e-05,3.334464e-05,3.316710e-05,3.282262e-05,3.266298e-05,3.247475e-05,3.212420e-05,3.196927e-05,3.177162e-05,3.141761e-05,3.126864e-05,3.106274e-05,3.070751e-05,3.056542e-05,3.035239e-05,2.999782e-05,2.986331e-05,2.964419e-05,2.929187e-05,2.916542e-05,2.894119e-05,2.859244e-05,2.847436e-05,2.824591e-05,2.790185e-05,2.779231e-05,2.756048e-05,2.722202e-05,2.712107e-05,2.688664e-05,2.655451e-05,2.646211e-05,2.622578e-05,2.590059e-05,2.581663e-05,2.557905e-05,2.526128e-05,2.518558e-05,2.494735e-05,2.463735e-05,2.456969e-05,2.433136e-05,2.402942e-05,2.396952e-05,2.373158e-05,2.343789e-05,2.338547e-05,2.314838e-05,2.286307e-05,2.281781e-05,2.258198e-05,2.230512e-05,2.226670e-05,2.203250e-05,2.176411e-05,2.173219e-05,2.149996e-05,2.124002e-05,2.121426e-05,2.098429e-05,2.073275e-05,2.071281e-05,2.048538e-05,2.024215e-05,2.022769e-05,2.000304e-05,1.976802e-05,1.975870e-05,1.953705e-05,1.931010e-05,1.930560e-05,1.908714e-05,1.886812e-05,1.844595e-05,1.803877e-05,1.764624e-05,1.726801e-05,1.690373e-05,1.655301e-05,1.621550e-05,1.589081e-05,1.557858e-05,1.527844e-05,1.499001e-05,1.471293e-05,1.444685e-05,1.419142e-05,1.394627e-05,1.371109e-05,1.348553e-05,1.326927e-05,1.306199e-05,1.286338e-05,1.267316e-05,1.249101e-05,1.231666e-05,1.214983e-05,1.199025e-05,1.183766e-05,1.169181e-05,1.155246e-05,1.141936e-05,1.129228e-05,1.117101e-05,1.105532e-05,1.094501e-05,1.083988e-05,1.073972e-05,1.064436e-05,1.055360e-05,1.046727e-05,1.038521e-05,1.030723e-05,1.023319e-05,1.016293e-05,1.009630e-05,1.003315e-05,9.973355e-06,9.916770e-06,9.863268e-06,9.812723e-06,9.765015e-06
0.000000e+00,5.437815e-09,1.185851e-07,1.245252e-07,9.592425e-07,3.795719e-06,3.979863e-06,1.051700e-05,1.923449e-05,1.982882e-05,2.966799e-05,3.806284e-05,3.875237e-05,4.681015e-05,5.320542e-05,5.386860e-05,6.001223e-05,6.473309e-05,6.533057e-05,6.990788e-05,7.331073e-05,7.382133e-05,7.714083e-05,7.951638e-05,7.992923e-05,8.224305e-05,8.382224e-05,8.413337e-05,8.564646e-05,8.661344e-05,8.682393e-05,8.770319e-05,8.820376e-05,8.831787e-05,8.869811e-05,8.884707e-05,8.887100e-05,8.886081e-05,8.874829e-05,8.868931e-05,8.837598e-05,8.807243e-05,8.793827e-05,8.739184e-05,8.695219e-05,8.675065e-05,8.602722e-05,8.549406e-05,8.523272e-05,8.437714e-05,8.378339e-05,8.346942e-05,8.251751e-05,8.188842e-05,8.152852e-05,8.050879e-05,7.986362e-05,7.946396e-05,7.839904e-05,7.775233e-05,7.731851e-05,7.622634e-05,7.558894e-05,7.512603e-05,7.402072e-05,7.340060e-05,7.291316e-05,7.180578e-05,7.120865e-05,7.070075e-05,6.959994e-05,6.902975e-05,6.850502e-05,6.741744e-05,6.687681e-05,6.633847e-05,6.526921e-05,6.475971e-05,6.421062e-05,6.316351e-05,6.268590e-05,6.212860e-05,6.110647e-05,6.066091e-05,6.009762e-05,5.910249e-05,5.868870e-05,5.812140e-05,5.715465e-05,5.677201e-05,5.620244e-05,5.526494e-05,5.491257e-05,5.434226e-05,5.343449e-05,5.311135e-05,5.254166e-05,5.166378e-05,5.136871e-05,5.080083e-05,4.995275e-05,4.968449e-05,4.911947e-05,4.830091e-05,4.805820e-05,4.749696e-05,4.670750e-05,4.648902e-05,4.593238e-05,4.517147e-05,4.497594e-05,4.442460e-05,4.369162e-05,4.351775e-05,4.297235e-05,4.226661e-05,4.211314e-05,4.157422e-05,4.089500e-05,4.076072e-05,4.022876e-05,3.957530e-05,3.945902e-05,3.893443e-05,3.830595e-05,3.820654e-05,3.768968e-05,3.708541e-05,3.700176e-05,3.649295e-05,3.591210e-05,3.584317e-05,3.534267e-05,3.478447e-05,3.472926e-05,3.423730e-05,3.370097e-05,3.365853e-05,3.317530e-05,3.266009e-05,3.262950e-05,3.215516e-05,3.166032e-05,3.164074e-05,3.117540e-05,3.070022e-05,3.069081e-05,3.023460e-05,2.977836e-05,2.890203e-05,2.806051e-05,2.725254e-05,2.647690e-05,2.573238e-05,2.501784e-05,2.433216e-05,2.367427e-05,2.304313e-05,2.243774e-05,2.185713e-05,2.130036e-05,2.076653e-05,2.025478e-05,1.976428e-05,1.929421e-05,1.884379e-05,1.841229e-05,1.799897e-05,1.760315e-05,1.722415e-05,1.686134e-05,1.651409e-05,1.618180e-05,1.586391e-05,1.555985e-05,1.526910e-05,1.499114e-05,1.472548e-05,1.447164e-05,1.422917e-05,1.399763e-05,1.377659e-05,1.356565e-05,1.336441e-05,1.317249e-05,1.298953e-05,1.281519e-05,1.264912e-05,1.249100e-05,1.234052e-05,1.219738e-05,1.206129e-05,1.193197e-05,1.180915e-05,1.169258e-05,1.158201e-05,1.147720e-05,1.137791e-05
0.000000e+00,4.184845e-09,1.888667e-07,2.002013e-07,2.314711e-06,1.314989e-05,1.399363e-05,5.301986e-05,1.326398e-04,1.393205e-04,2.753383e-04,4.287864e-04,4.427888e-04,6.199674e-04,7.760563e-04,7.929395e-04,9.553615e-04,1.087862e-03,1.105153e-03,1.242094e-03,1.349933e-03,1.366650e-03,1.479508e-03,1.565803e-03,1.581398e-03,1.673040e-03,1.741023e-03,1.755122e-03,1.828297e-03,1.880842e-03,1.893184e-03,1.950364e-03,1.989968e-03,2.000385e-03,2.043761e-03,2.072580e-03,2.080974e-03,2.112478e-03,2.132366e-03,2.138697e-03,2.160027e-03,2.172569e-03,2.176843e-03,2.189490e-03,2.196039e-03,2.198295e-03,2.203563e-03,2.205269e-03,2.205577e-03,2.204604e-03,2.202448e-03,2.200894e-03,2.194678e-03,2.189485e-03,2.186172e-03,2.175578e-03,2.168045e-03,2.163085e-03,2.148867e-03,2.139577e-03,2.133088e-03,2.115901e-03,2.105343e-03,2.097447e-03,2.077858e-03,2.066438e-03,2.057257e-03,2.035757e-03,2.023812e-03,2.013466e-03,1.990481e-03,1.978285e-03,1.966893e-03,1.942788e-03,1.930565e-03,1.918242e-03,1.893330e-03,1.881261e-03,1.868118e-03,1.842667e-03,1.830896e-03,1.817037e-03,1.791279e-03,1.779917e-03,1.765441e-03,1.739570e-03,1.728704e-03,1.713706e-03,1.687886e-03,1.677579e-03,1.662147e-03,1.636518e-03,1.626815e-03,1.611030e-03,1.585708e-03,1.576638e-03,1.560578e-03,1.535659e-03,1.527239e-03,1.510973e-03,1.486537e-03,1.478773e-03,1.462367e-03,1.438478e-03,1.431367e-03,1.414881e-03,1.391588e-03,1.385122e-03,1.368610e-03,1.345955e-03,1.340118e-03,1.323630e-03,1.301642e-03,1.296416e-03,1.279997e-03,1.258698e-03,1.254059e-03,1.237750e-03,1.217156e-03,1.213080e-03,1.196917e-03,1.177036e-03,1.173495e-03,1.157513e-03,1.138348e-03,1.135315e-03,1.119541e-03,1.101092e-03,1.098538e-03,1.083000e-03,1.065262e-03,1.063157e-03,1.047878e-03,1.030844e-03,1.029160e-03,1.014158e-03,9.978181e-04,9.965257e-04,9.818203e-04,9.661617e-04,9.652328e-04,9.508385e-04,9.358474e-04,9.352546e-04,9.211842e-04,9.068452e-04,9.065617e-04,8.928261e-04,8.791228e-04,8.529049e-04,8.278735e-04,8.039932e-04,7.812282e-04,7.595423e-04,7.388991e-04,7.192623e-04,7.005962e-04,6.828650e-04,6.660339e-04,6.500684e-04,6.349347e-04,6.206000e-04,6.070318e-04,5.941990e-04,5.820710e-04,5.706181e-04,5.598117e-04,5.496239e-04,5.400276e-04,5.309969e-04,5.225066e-04,5.145323e-04,5.070504e-04,5.000385e-04,4.934746e-04,4.873378e-04,4.816077e-04,4.762650e-04,4.712908e-04,4.666673e-04,4.623769e-04,4.584032e-04,4.547300e-04,4.513422e-04,4.482249e-04,4.453640e-04,4.427460e-04,4.403578e-04,4.381871e-04,4.362218e-04,4.344506e-04,4.328624e-04,4.314468e-04,4.301939e-04,4.290938e-04,4.281376e-04,4.273164e-04,4.266219e-04
0.000000e+00,1.984796e-09,9.970109e-08,1.058319e-07,1.269929e-06,7.228244e-06,7.690133e-06,2.882661e-05,7.105911e-05,7.456560e-05,1.452297e-04,2.238628e-04,2.309861e-04,3.200778e-04,3.962112e-04,4.042649e-04,4.794413e-04,5.370862e-04,5.443282e-04,5.991441e-04,6.388786e-04,6.447473e-04,6.821916e-04,7.081075e-04,7.125236e-04,7.367049e-04,7.525470e-04,7.555903e-04,7.699283e-04,7.785646e-04,7.803693e-04,7.874770e-04,7.910229e-04,7.917386e-04,7.935751e-04,7.935745e-04,7.933500e-04,7.913771e-04,7.889520e-04,7.879261e-04,7.832292e-04,7.791893e-04,7.774862e-04,7.708692e-04,7.657976e-04,7.635265e-04,7.555852e-04,7.498997e-04,7.471546e-04,7.383284e-04,7.323261e-04,7.291874e-04,7.198008e-04,7.136922e-04,7.102278e-04,7.005192e-04,6.944509e-04,6.907182e-04,6.808620e-04,6.749353e-04,6.709825e-04,6.611065e-04,6.553895e-04,6.512574e-04,6.414545e-04,6.359913e-04,6.317143e-04,6.220507e-04,6.168684e-04,6.124754e-04,6.029982e-04,5.981116e-04,5.936272e-04,5.843692e-04,5.797843e-04,5.752297e-04,5.662132e-04,5.619300e-04,5.573231e-04,5.485623e-04,5.445763e-04,5.399328e-04,5.314361e-04,5.277399e-04,5.230732e-04,5.148448e-04,5.114290e-04,5.067509e-04,4.987916e-04,4.956455e-04,4.909665e-04,4.832749e-04,4.803869e-04,4.757160e-04,4.682889e-04,4.656472e-04,4.609924e-04,4.538254e-04,4.514179e-04,4.467865e-04,4.398742e-04,4.376888e-04,4.330872e-04,4.264238e-04,4.244487e-04,4.198825e-04,4.134616e-04,4.116851e-04,4.071594e-04,4.009744e-04,3.993853e-04,3.949048e-04,3.889488e-04,3.875361e-04,3.831049e-04,3.773712e-04,3.761244e-04,3.717461e-04,3.662279e-04,3.651369e-04,3.608147e-04,3.555051e-04,3.545602e-04,3.502972e-04,3.451894e-04,3.443814e-04,3.401801e-04,3.352676e-04,3.345875e-04,3.304503e-04,3.257265e-04,3.251659e-04,3.210948e-04,3.165534e-04,3.161042e-04,3.121010e-04,3.077358e-04,3.073904e-04,3.034566e-04,2.992616e-04,2.990126e-04,2.951496e-04,2.911189e-04,2.909594e-04,2.871683e-04,2.832962e-04,2.832196e-04,2.795014e-04,2.757824e-04,2.686372e-04,2.617738e-04,2.551823e-04,2.488531e-04,2.427770e-04,2.369449e-04,2.313482e-04,2.259784e-04,2.208273e-04,2.158871e-04,2.111503e-04,2.066093e-04,2.022572e-04,1.980871e-04,1.940923e-04,1.902664e-04,1.866033e-04,1.830969e-04,1.797416e-04,1.765316e-04,1.734617e-04,1.705267e-04,1.677215e-04,1.650413e-04,1.624815e-04,1.600375e-04,1.577050e-04,1.554798e-04,1.533578e-04,1.513351e-04,1.494079e-04,1.475727e-04,1.458259e-04,1.441640e-04,1.425839e-04,1.410823e-04,1.396563e-04,1.383028e-04,1.370191e-04,1.358023e-04,1.346499e-04,1.335592e-04,1.325279e-04,1.315535e-04,1.306338e-04,1.297665e-04,1.289496e-04,1.281808e-04,1.274583e-04
0.000000e+00,8.656882e-09,1.577106e-07,1.654971e-07,1.221415e-06,4.335515e-06,4.515003e-06,9.680095e-06,1.481111e-05,1.513208e-05,2.029191e-05,2.469324e-05,2.506002e-05,2.943408e-05,3.304772e-05,3.343102e-05,3.707127e-05,3.999587e-05,4.037525e-05,4.336283e-05,4.569357e-05,4.605299e-05,4.846427e-05,5.028739e-05,5.061464e-05,5.252141e-05,5.391488e-05,5.420122e-05,5.566996e-05,5.670315e-05,5.694273e-05,5.803385e-05,5.876755e-05,5.895684e-05,5.972441e-05,6.021120e-05,6.034852e-05,6.084038e-05,6.112543e-05,6.121050e-05,6.146870e-05,6.159047e-05,6.162414e-05,6.168541e-05,6.167656e-05,6.166048e-05,6.155682e-05,6.144491e-05,6.138136e-05,6.114057e-05,6.094880e-05,6.084046e-05,6.048664e-05,6.023442e-05,6.008430e-05,5.963828e-05,5.934179e-05,5.915306e-05,5.863281e-05,5.830546e-05,5.808139e-05,5.750239e-05,5.715525e-05,5.689912e-05,5.627465e-05,5.591675e-05,5.563182e-05,5.497325e-05,5.461195e-05,5.430138e-05,5.361843e-05,5.325961e-05,5.292647e-05,5.222740e-05,5.187575e-05,5.152297e-05,5.081477e-05,5.047394e-05,5.010429e-05,4.939287e-05,4.906565e-05,4.868175e-05,4.797206e-05,4.766052e-05,4.726483e-05,4.656099e-05,4.626660e-05,4.586141e-05,4.516684e-05,4.489058e-05,4.447799e-05,4.379549e-05,4.353792e-05,4.311990e-05,4.245173e-05,4.221309e-05,4.179142e-05,4.113939e-05,4.091964e-05,4.049597e-05,3.986149e-05,3.966039e-05,3.923620e-05,3.862035e-05,3.843746e-05,3.801412e-05,3.741768e-05,3.725245e-05,3.683116e-05,3.625468e-05,3.610645e-05,3.568832e-05,3.513214e-05,3.500017e-05,3.458617e-05,3.405043e-05,3.393395e-05,3.352494e-05,3.300967e-05,3.290784e-05,3.250460e-05,3.200969e-05,3.192168e-05,3.152487e-05,3.105009e-05,3.097506e-05,3.058527e-05,3.013033e-05,3.006742e-05,2.968517e-05,2.924969e-05,2.919807e-05,2.882378e-05,2.840734e-05,2.836621e-05,2.800024e-05,2.760237e-05,2.757094e-05,2.721360e-05,2.683379e-05,2.681128e-05,2.646282e-05,2.610055e-05,2.608624e-05,2.574684e-05,2.540156e-05,2.539474e-05,2.506457e-05,2.473572e-05,2.410806e-05,2.351068e-05,2.294247e-05,2.240233e-05,2.188918e-05,2.140196e-05,2.093961e-05,2.050112e-05,2.008547e-05,1.969171e-05,1.931889e-05,1.896607e-05,1.863239e-05,1.831698e-05,1.801902e-05,1.773769e-05,1.747224e-05,1.722193e-05,1.698603e-05,1.676387e-05,1.655479e-05,1.635817e-05,1.617339e-05,1.599987e-05,1.583707e-05,1.568445e-05,1.554150e-05,1.540775e-05,1.528271e-05,1.516595e-05,1.505705e-05,1.495560e-05,1.486121e-05,1.477351e-05,1.469215e-05,1.461680e-05,1.454713e-05,1.448283e-05,1.442362e-05,1.436921e-05,1.431935e-05,1.427377e-05,1.423224e-05,1.419453e-05,1.416041e-05,1.412969e-05,1.410217e-05,1.407764e-05,1.405595e-05
0.000000e+00,7.481478e-10,5.256339e-08,5.617603e-08,9.092120e-07,6.361536e-06,6.816194e-06,2.955238e-05,8.069134e-05,8.519561e-05,1.840583e-04,3.134086e-04,3.262287e-04,5.040669e-04,6.854674e-04,7.064856e-04,9.222229e-04,1.115361e-03,1.141613e-03,1.357212e-03,1.535539e-03,1.563768e-03,1.757888e-03,1.909875e-03,1.937617e-03,2.102056e-03,2.225348e-03,2.251031e-03,2.384852e-03,2.481401e-03,2.504129e-03,2.609646e-03,2.682956e-03,2.702274e-03,2.782917e-03,2.836743e-03,2.852473e-03,2.911813e-03,2.949638e-03,2.961768e-03,3.003119e-03,3.027978e-03,3.036600e-03,3.062891e-03,3.077357e-03,3.082624e-03,3.096386e-03,3.102610e-03,3.104715e-03,3.108112e-03,3.107875e-03,3.107034e-03,3.101904e-03,3.096676e-03,3.093112e-03,3.081015e-03,3.072000e-03,3.065942e-03,3.048196e-03,3.036382e-03,3.028055e-03,3.005774e-03,2.991964e-03,2.981588e-03,2.955711e-03,2.940556e-03,2.928342e-03,2.899661e-03,2.883687e-03,2.869835e-03,2.839017e-03,2.822645e-03,2.807345e-03,2.774947e-03,2.758513e-03,2.741940e-03,2.708431e-03,2.692198e-03,2.674518e-03,2.640289e-03,2.624461e-03,2.605826e-03,2.571204e-03,2.555937e-03,2.536488e-03,2.501742e-03,2.487153e-03,2.467020e-03,2.432373e-03,2.418546e-03,2.397847e-03,2.363483e-03,2.350475e-03,2.329318e-03,2.295386e-03,2.283233e-03,2.261717e-03,2.228338e-03,2.217059e-03,2.195273e-03,2.162543e-03,2.152144e-03,2.130168e-03,2.098165e-03,2.088638e-03,2.066547e-03,2.035328e-03,2.026660e-03,2.004519e-03,1.974130e-03,1.966298e-03,1.944168e-03,1.914640e-03,1.907618e-03,1.885551e-03,1.856907e-03,1.850665e-03,1.828710e-03,1.800962e-03,1.795467e-03,1.773666e-03,1.746822e-03,1.742038e-03,1.720430e-03,1.694490e-03,1.690381e-03,1.669000e-03,1.643959e-03,1.640489e-03,1.619365e-03,1.595214e-03,1.592346e-03,1.571506e-03,1.548235e-03,1.545932e-03,1.525398e-03,1.502992e-03,1.501218e-03,1.481013e-03,1.459455e-03,1.458175e-03,1.438316e-03,1.417589e-03,1.416768e-03,1.397270e-03,1.377354e-03,1.376959e-03,1.357836e-03,1.338711e-03,1.301981e-03,1.266730e-03,1.232914e-03,1.200492e-03,1.169422e-03,1.139661e-03,1.111167e-03,1.083899e-03,1.057816e-03,1.032880e-03,1.009049e-03,9.862864e-04,9.645544e-04,9.438165e-04,9.240371e-04,9.051816e-04,8.872165e-04,8.701090e-04,8.538274e-04,8.383409e-04,8.236198e-04,8.096351e-04,7.963589e-04,7.837640e-04,7.718242e-04,7.605142e-04,7.498093e-04,7.396857e-04,7.301206e-04,7.210918e-04,7.125776e-04,7.045574e-04,6.970112e-04,6.899195e-04,6.832636e-04,6.770254e-04,6.711874e-04,6.657328e-04,6.606452e-04,6.559089e-04,6.515087e-04,6.474298e-04,6.436581e-04,6.401799e-04,6.369820e-04,6.340516e-04,6.313764e-04,6.289444e-04,6.267443e-04
0.000000e+00,2.340932e-09,8.277534e-08,8.740107e-08,8.355616e-07,3.924449e-06,4.143386e-06,1.301427e-05,2.814080e-05,2.932164e-05,5.176488e-05,7.462349e-05,7.660785e-05,1.004432e-04,1.196851e-04,1.216767e-04,1.399956e-04,1.538412e-04,1.555756e-04,1.687096e-04,1.782739e-04,1.796923e-04,1.887936e-04,1.951612e-04,1.962536e-04,2.022841e-04,2.062936e-04,2.070710e-04,2.107769e-04,2.130584e-04,2.135424e-04,2.154912e-04,2.165150e-04,2.167325e-04,2.173622e-04,2.174837e-04,2.174642e-04,2.171119e-04,2.165968e-04,2.163696e-04,2.152931e-04,2.143389e-04,2.139315e-04,2.123276e-04,2.110808e-04,2.105186e-04,2.085371e-04,2.071058e-04,2.064115e-04,2.041664e-04,2.026298e-04,2.018234e-04,1.994012e-04,1.978170e-04,1.969161e-04,1.943822e-04,1.927922e-04,1.918119e-04,1.892158e-04,1.876497e-04,1.866031e-04,1.839819e-04,1.824604e-04,1.813589e-04,1.787402e-04,1.772775e-04,1.761308e-04,1.735351e-04,1.721405e-04,1.709569e-04,1.683993e-04,1.670784e-04,1.658650e-04,1.633564e-04,1.621123e-04,1.608752e-04,1.584232e-04,1.572569e-04,1.560015e-04,1.536113e-04,1.525227e-04,1.512535e-04,1.489286e-04,1.479162e-04,1.466372e-04,1.443796e-04,1.434416e-04,1.421561e-04,1.399669e-04,1.391008e-04,1.378119e-04,1.356912e-04,1.348942e-04,1.336046e-04,1.315520e-04,1.308213e-04,1.295332e-04,1.275479e-04,1.268805e-04,1.255959e-04,1.236768e-04,1.230696e-04,1.217904e-04,1.199361e-04,1.193861e-04,1.181138e-04,1.163229e-04,1.158270e-04,1.145631e-04,1.128339e-04,1.123893e-04,1.111350e-04,1.094659e-04,1.090697e-04,1.078261e-04,1.062153e-04,1.058647e-04,1.046330e-04,1.030787e-04,1.027712e-04,1.015521e-04,1.000527e-04,9.978565e-05,9.858004e-05,9.713373e-05,9.690474e-05,9.571334e-05,9.431845e-05,9.412517e-05,9.294863e-05,9.160348e-05,9.144370e-05,9.028259e-05,8.898555e-05,8.885714e-05,8.771196e-05,8.646144e-05,8.636238e-05,8.523358e-05,8.402802e-05,8.395639e-05,8.284437e-05,8.168225e-05,8.163621e-05,8.054131e-05,7.942117e-05,7.939898e-05,7.832149e-05,7.724191e-05,7.516230e-05,7.315753e-05,7.122505e-05,6.936242e-05,6.756724e-05,6.583721e-05,6.417010e-05,6.256376e-05,6.101610e-05,5.952510e-05,5.808881e-05,5.670535e-05,5.537290e-05,5.408968e-05,5.285401e-05,5.166423e-05,5.051876e-05,4.941607e-05,4.835466e-05,4.733310e-05,4.635001e-05,4.540405e-05,4.449393e-05,4.361840e-05,4.277626e-05,4.196633e-05,4.118750e-05,4.043867e-05,3.971880e-05,3.902687e-05,3.836190e-05,3.772295e-05,3.710910e-05,3.651947e-05,3.595321e-05,3.540950e-05,3.488753e-05,3.438655e-05,3.390581e-05,3.344459e-05,3.300221e-05,3.257798e-05,3.217128e-05,3.178148e-05,3.140796e-05,3.105017e-05,3.070752e-05,3.037948e-05,3.006553e-05
0.000000e+00,1.890791e-09,8.327405e-08,8.809495e-08,9.042726e-07,4.739422e-06,5.032768e-06,1.857149e-05,4.692897e-05,4.936168e-05,1.005774e-04,1.616733e-04,1.673916e-04,2.412447e-04,3.076629e-04,3.148689e-04,3.839044e-04,4.392490e-04,4.463710e-04,5.017105e-04,5.437048e-04,5.500699e-04,5.918950e-04,6.223767e-04,6.277311e-04,6.581345e-04,6.793855e-04,6.836369e-04,7.047336e-04,7.187461e-04,7.218798e-04,7.354920e-04,7.439013e-04,7.459492e-04,7.535960e-04,7.577211e-04,7.587445e-04,7.616775e-04,7.625725e-04,7.626501e-04,7.618928e-04,7.603939e-04,7.596134e-04,7.559988e-04,7.527648e-04,7.512170e-04,7.454190e-04,7.409657e-04,7.387404e-04,7.313028e-04,7.260320e-04,7.232158e-04,7.145770e-04,7.087995e-04,7.054740e-04,6.959853e-04,6.899397e-04,6.861811e-04,6.761240e-04,6.699918e-04,6.658697e-04,6.554676e-04,6.493842e-04,6.449615e-04,6.343903e-04,6.284550e-04,6.237884e-04,6.131861e-04,6.074702e-04,6.026101e-04,5.920842e-04,5.866373e-04,5.816286e-04,5.712613e-04,5.661157e-04,5.609978e-04,5.508516e-04,5.460264e-04,5.408341e-04,5.309553e-04,5.264599e-04,5.212234e-04,5.116454e-04,5.074814e-04,5.022271e-04,4.929730e-04,4.891361e-04,4.838868e-04,4.749716e-04,4.714539e-04,4.662294e-04,4.576617e-04,4.544519e-04,4.492693e-04,4.410523e-04,4.381372e-04,4.330107e-04,4.251437e-04,4.225086e-04,4.174506e-04,4.099299e-04,4.075595e-04,4.025802e-04,3.953997e-04,3.932782e-04,3.883863e-04,3.815379e-04,3.796495e-04,3.748521e-04,3.683265e-04,3.666557e-04,3.619585e-04,3.557455e-04,3.542772e-04,3.496848e-04,3.437736e-04,3.424930e-04,3.380091e-04,3.323884e-04,3.312813e-04,3.269087e-04,3.215670e-04,3.206200e-04,3.163606e-04,3.112865e-04,3.104868e-04,3.063419e-04,3.015240e-04,3.008594e-04,2.968298e-04,2.922567e-04,2.917160e-04,2.878019e-04,2.834626e-04,2.830349e-04,2.792361e-04,2.751198e-04,2.747951e-04,2.711110e-04,2.672072e-04,2.669763e-04,2.634059e-04,2.597045e-04,2.595585e-04,2.561007e-04,2.525919e-04,2.525227e-04,2.491760e-04,2.458505e-04,2.395242e-04,2.335269e-04,2.278422e-04,2.224547e-04,2.173495e-04,2.125124e-04,2.079299e-04,2.035892e-04,1.994779e-04,1.955843e-04,1.918974e-04,1.884066e-04,1.851019e-04,1.819736e-04,1.790127e-04,1.762105e-04,1.735590e-04,1.710503e-04,1.686770e-04,1.664321e-04,1.643089e-04,1.623013e-04,1.604030e-04,1.586086e-04,1.569125e-04,1.553097e-04,1.537953e-04,1.523648e-04,1.510136e-04,1.497378e-04,1.485333e-04,1.473964e-04,1.463237e-04,1.453117e-04,1.443573e-04,1.434574e-04,1.426093e-04,1.418101e-04,1.410574e-04,1.403486e-04,1.396815e-04,1.390539e-04,1.384637e-04,1.379089e-04,1.373877e-04,1.368983e-04,1.364390e-04,1.360081e-04,1.356043e-04
0.000000e+00,1.484213e-09,1.192198e-07,1.277837e-07,2.234870e-06,1.474188e-05,1.571620e-05,5.747538e-05,1.298165e-04,1.354371e-04,2.425610e-04,3.554935e-04,3.656219e-04,4.927269e-04,6.038453e-04,6.158232e-04,7.304152e-04,8.225777e-04,8.344828e-04,9.274867e-04,9.988011e-04,1.009678e-03,1.081689e-03,1.134881e-03,1.144301e-03,1.198334e-03,1.236802e-03,1.244587e-03,1.283814e-03,1.310609e-03,1.316714e-03,1.343930e-03,1.361593e-03,1.366049e-03,1.383606e-03,1.394197e-03,1.397084e-03,1.406922e-03,1.412094e-03,1.413517e-03,1.417227e-03,1.418293e-03,1.418373e-03,1.417247e-03,1.415247e-03,1.414109e-03,1.409194e-03,1.404947e-03,1.402715e-03,1.394861e-03,1.389007e-03,1.385802e-03,1.375692e-03,1.368734e-03,1.364668e-03,1.352853e-03,1.345180e-03,1.340359e-03,1.327283e-03,1.319195e-03,1.313714e-03,1.299733e-03,1.291463e-03,1.285410e-03,1.270809e-03,1.262533e-03,1.255987e-03,1.240994e-03,1.232843e-03,1.225876e-03,1.210673e-03,1.202746e-03,1.195420e-03,1.180151e-03,1.172518e-03,1.164892e-03,1.149670e-03,1.142382e-03,1.134506e-03,1.119420e-03,1.112511e-03,1.104429e-03,1.089549e-03,1.083041e-03,1.074793e-03,1.060172e-03,1.054074e-03,1.045697e-03,1.031376e-03,1.025693e-03,1.017217e-03,1.003226e-03,9.979543e-04,9.894081e-04,9.757687e-04,9.709028e-04,9.623110e-04,9.490382e-04,9.445680e-04,9.359527e-04,9.230563e-04,9.189696e-04,9.103503e-04,8.978356e-04,8.941186e-04,8.855127e-04,8.733818e-04,8.700195e-04,8.614425e-04,8.496944e-04,8.466712e-04,8.381369e-04,8.267688e-04,8.240686e-04,8.155892e-04,8.045966e-04,8.022031e-04,7.937896e-04,7.831665e-04,7.810638e-04,7.727258e-04,7.624654e-04,7.606376e-04,7.523836e-04,7.424784e-04,7.409098e-04,7.327477e-04,7.231894e-04,7.218648e-04,7.138013e-04,7.045813e-04,7.034861e-04,6.955272e-04,6.866367e-04,6.857566e-04,6.779077e-04,6.693377e-04,6.686590e-04,6.609247e-04,6.526663e-04,6.521756e-04,6.445602e-04,6.366041e-04,6.362890e-04,6.287959e-04,6.211333e-04,6.209816e-04,6.136141e-04,6.062359e-04,5.920349e-04,5.783617e-04,5.651996e-04,5.525324e-04,5.403443e-04,5.286197e-04,5.173434e-04,5.065007e-04,4.960773e-04,4.860591e-04,4.764327e-04,4.671848e-04,4.583027e-04,4.497739e-04,4.415864e-04,4.337285e-04,4.261889e-04,4.189567e-04,4.120211e-04,4.053720e-04,3.989992e-04,3.928933e-04,3.870447e-04,3.814445e-04,3.760838e-04,3.709542e-04,3.660475e-04,3.613557e-04,3.568711e-04,3.525862e-04,3.484938e-04,3.445871e-04,3.408591e-04,3.373034e-04,3.339136e-04,3.306837e-04,3.276076e-04,3.246798e-04,3.218945e-04,3.192466e-04,3.167307e-04,3.143419e-04,3.120754e-04,3.099264e-04,3.078904e-04,3.059630e-04,3.041399e-04,3.024172e-04,3.007907e-04
0.000000e+00,1.100827e-09,1.455700e-08,1.520060e-08,9.547754e-08,3.309337e-07,3.451166e-07,7.885714e-07,1.272477e-06,1.303373e-06,1.803858e-06,2.232902e-06,2.268665e-06,2.694892e-06,3.046382e-06,3.083620e-06,3.436784e-06,3.719801e-06,3.756463e-06,4.044716e-06,4.269005e-06,4.303541e-06,4.534868e-06,4.709292e-06,4.740552e-06,4.922365e-06,5.054832e-06,5.082003e-06,5.221069e-06,5.318533e-06,5.341081e-06,5.443471e-06,5.511971e-06,5.529585e-06,5.600686e-06,5.645414e-06,5.657959e-06,5.702513e-06,5.727907e-06,5.735385e-06,5.757542e-06,5.767367e-06,5.769882e-06,5.773239e-06,5.770662e-06,5.768389e-06,5.756062e-06,5.743756e-06,5.736935e-06,5.711638e-06,5.691849e-06,5.680758e-06,5.644844e-06,5.619458e-06,5.604417e-06,5.559973e-06,5.530589e-06,5.511940e-06,5.460723e-06,5.428620e-06,5.406692e-06,5.350189e-06,5.316411e-06,5.291532e-06,5.231014e-06,5.196412e-06,5.168905e-06,5.105452e-06,5.070710e-06,5.040884e-06,4.975414e-06,4.941078e-06,4.909234e-06,4.842523e-06,4.809020e-06,4.775444e-06,4.708144e-06,4.675802e-06,4.640760e-06,4.573416e-06,4.542482e-06,4.506225e-06,4.439290e-06,4.409945e-06,4.372706e-06,4.306555e-06,4.278920e-06,4.240916e-06,4.175855e-06,4.150007e-06,4.111435e-06,4.047711e-06,4.023689e-06,3.984731e-06,3.922539e-06,3.900350e-06,3.861172e-06,3.800663e-06,3.780291e-06,3.741042e-06,3.682334e-06,3.663743e-06,3.624559e-06,3.567735e-06,3.550875e-06,3.511876e-06,3.456994e-06,3.441803e-06,3.403097e-06,3.350192e-06,3.336599e-06,3.298282e-06,3.247370e-06,3.235299e-06,3.197455e-06,3.148536e-06,3.137907e-06,3.100610e-06,3.053671e-06,3.044402e-06,3.007715e-06,2.962733e-06,2.954739e-06,2.918718e-06,2.875661e-06,2.868860e-06,2.833551e-06,2.792379e-06,2.786689e-06,2.752132e-06,2.712799e-06,2.708140e-06,2.674367e-06,2.636823e-06,2.633117e-06,2.600155e-06,2.564348e-06,2.561521e-06,2.529389e-06,2.495264e-06,2.493243e-06,2.461958e-06,2.429457e-06,2.428173e-06,2.397746e-06,2.366811e-06,2.366201e-06,2.336638e-06,2.307211e-06,2.251090e-06,2.197726e-06,2.147007e-06,2.098823e-06,2.053065e-06,2.009630e-06,1.968413e-06,1.929316e-06,1.892241e-06,1.857096e-06,1.823789e-06,1.792235e-06,1.762350e-06,1.734052e-06,1.707266e-06,1.681918e-06,1.657935e-06,1.635251e-06,1.613802e-06,1.593524e-06,1.574359e-06,1.556251e-06,1.539146e-06,1.522993e-06,1.507742e-06,1.493348e-06,1.479766e-06,1.466953e-06,1.454871e-06,1.443481e-06,1.432746e-06,1.422633e-06,1.413108e-06,1.404140e-06,1.395701e-06,1.387761e-06,1.380295e-06,1.373277e-06,1.366683e-06,1.360491e-06,1.354678e-06,1.349224e-06,1.344111e-06,1.339318e-06,1.334830e-06,1.330629e-06,1.326700e-06,1.323027e-06,1.319597e-06
0.000000e+00,1.400385e-09,9.493437e-08,1.013095e-07,1.477364e-06,9.135587e-06,9.738498e-06,3.745308e-05,9.328477e-05,9.798889e-05,1.966657e-04,3.180670e-04,3.297954e-04,4.886562e-04,6.454504e-04,6.633709e-04,8.451573e-04,1.005499e-03,1.027176e-03,1.204569e-03,1.350960e-03,1.374148e-03,1.533990e-03,1.659965e-03,1.683073e-03,1.820990e-03,1.925735e-03,1.947732e-03,2.063545e-03,2.148592e-03,2.168829e-03,2.264071e-03,2.331731e-03,2.349805e-03,2.426581e-03,2.479278e-03,2.494949e-03,2.555450e-03,2.595464e-03,2.608606e-03,2.654915e-03,2.684286e-03,2.694853e-03,2.728872e-03,2.749390e-03,2.757394e-03,2.780822e-03,2.794035e-03,2.799530e-03,2.813871e-03,2.821106e-03,2.824177e-03,2.830756e-03,2.833146e-03,2.833898e-03,2.833875e-03,2.832382e-03,2.830939e-03,2.825326e-03,2.820767e-03,2.817259e-03,2.806942e-03,2.800005e-03,2.794570e-03,2.780320e-03,2.771583e-03,2.764361e-03,2.746849e-03,2.736799e-03,2.727930e-03,2.707738e-03,2.696778e-03,2.686401e-03,2.664037e-03,2.652503e-03,2.640753e-03,2.616653e-03,2.604823e-03,2.591832e-03,2.566376e-03,2.554476e-03,2.540367e-03,2.513883e-03,2.502097e-03,2.486992e-03,2.459760e-03,2.448236e-03,2.432248e-03,2.404512e-03,2.393367e-03,2.376604e-03,2.348571e-03,2.337895e-03,2.320457e-03,2.292304e-03,2.282167e-03,2.264150e-03,2.236028e-03,2.226480e-03,2.207972e-03,2.180009e-03,2.171085e-03,2.152168e-03,2.124472e-03,2.116195e-03,2.096944e-03,2.069606e-03,2.061987e-03,2.042474e-03,2.015568e-03,2.008611e-03,1.988901e-03,1.962487e-03,1.956188e-03,1.936341e-03,1.910471e-03,1.904818e-03,1.884890e-03,1.859605e-03,1.854584e-03,1.834624e-03,1.809954e-03,1.805547e-03,1.785602e-03,1.761572e-03,1.757758e-03,1.737870e-03,1.714497e-03,1.711252e-03,1.691459e-03,1.668757e-03,1.666055e-03,1.646392e-03,1.624367e-03,1.622183e-03,1.602682e-03,1.581338e-03,1.579645e-03,1.560334e-03,1.539670e-03,1.538441e-03,1.519345e-03,1.499358e-03,1.498566e-03,1.479709e-03,1.460394e-03,1.460011e-03,1.441413e-03,1.422762e-03,1.386802e-03,1.352110e-03,1.318665e-03,1.286440e-03,1.255410e-03,1.225549e-03,1.196827e-03,1.169215e-03,1.142685e-03,1.117206e-03,1.092749e-03,1.069285e-03,1.046783e-03,1.025215e-03,1.004551e-03,9.847632e-04,9.658230e-04,9.477031e-04,9.303762e-04,9.138159e-04,8.979963e-04,8.828922e-04,8.684787e-04,8.547319e-04,8.416284e-04,8.291454e-04,8.172606e-04,8.059526e-04,7.952004e-04,7.849838e-04,7.752830e-04,7.660789e-04,7.573531e-04,7.490874e-04,7.412646e-04,7.338676e-04,7.268803e-04,7.202868e-04,7.140718e-04,7.082203e-04,7.027182e-04,6.975514e-04,6.927066e-04,6.881707e-04,6.839311e-04,6.799757e-04,6.762927e-04,6.728707e-04,6.696988e-04
0.000000e+00,1.357170e-08,3.371749e-07,3.551065e-07,3.008217e-06,1.168257e-05,1.220774e-05,2.811905e-05,4.467806e-05,4.572281e-05,6.258464e-05,7.704166e-05,7.824925e-05,9.268625e-05,1.046694e-04,1.059439e-04,1.180845e-04,1.278947e-04,1.291716e-04,1.392670e-04,1.472016e-04,1.484306e-04,1.567205e-04,1.630497e-04,1.641925e-04,1.709000e-04,1.758656e-04,1.768942e-04,1.822237e-04,1.860399e-04,1.869347e-04,1.910707e-04,1.939241e-04,1.946727e-04,1.977793e-04,1.998314e-04,2.004268e-04,2.026492e-04,2.040390e-04,2.044784e-04,2.059442e-04,2.067904e-04,2.070746e-04,2.078955e-04,2.082992e-04,2.084315e-04,2.087051e-04,2.087523e-04,2.087378e-04,2.085492e-04,2.083126e-04,2.081580e-04,2.075812e-04,2.071223e-04,2.068351e-04,2.059345e-04,2.053048e-04,2.048935e-04,2.037249e-04,2.029676e-04,2.024408e-04,2.010525e-04,2.002037e-04,1.995704e-04,1.980043e-04,1.970939e-04,1.963630e-04,1.946550e-04,1.937077e-04,1.928881e-04,1.910694e-04,1.901055e-04,1.892056e-04,1.873029e-04,1.863388e-04,1.853671e-04,1.834033e-04,1.824522e-04,1.814165e-04,1.794113e-04,1.784838e-04,1.773917e-04,1.753617e-04,1.744661e-04,1.733247e-04,1.712841e-04,1.704267e-04,1.692428e-04,1.672036e-04,1.663891e-04,1.651690e-04,1.631414e-04,1.623731e-04,1.611227e-04,1.591150e-04,1.583952e-04,1.571200e-04,1.551393e-04,1.544694e-04,1.531743e-04,1.512264e-04,1.506069e-04,1.492967e-04,1.473863e-04,1.468171e-04,1.454961e-04,1.436270e-04,1.431075e-04,1.417797e-04,1.399549e-04,1.394842e-04,1.381531e-04,1.363748e-04,1.359516e-04,1.346206e-04,1.328907e-04,1.325134e-04,1.311854e-04,1.295050e-04,1.291719e-04,1.278497e-04,1.262196e-04,1.259289e-04,1.246149e-04,1.230356e-04,1.227853e-04,1.214817e-04,1.199532e-04,1.197413e-04,1.184501e-04,1.169724e-04,1.167967e-04,1.155198e-04,1.140924e-04,1.139510e-04,1.126899e-04,1.113122e-04,1.112030e-04,1.099591e-04,1.086305e-04,1.085515e-04,1.073261e-04,1.060457e-04,1.059950e-04,1.047890e-04,1.035559e-04,1.035315e-04,1.023460e-04,1.011592e-04,9.887597e-05,9.667970e-05,9.456813e-05,9.253894e-05,9.058980e-05,8.871837e-05,8.692230e-05,8.519922e-05,8.354682e-05,8.196279e-05,8.044484e-05,7.899074e-05,7.759830e-05,7.626537e-05,7.498984e-05,7.376966e-05,7.260283e-05,7.148741e-05,7.042149e-05,6.940325e-05,6.843089e-05,6.750267e-05,6.661693e-05,6.577203e-05,6.496640e-05,6.419851e-05,6.346690e-05,6.277014e-05,6.210686e-05,6.147572e-05,6.087544e-05,6.030479e-05,5.976257e-05,5.924763e-05,5.875886e-05,5.829518e-05,5.785556e-05,5.743900e-05,5.704456e-05,5.667129e-05,5.631831e-05,5.598476e-05,5.566981e-05,5.537268e-05,5.509258e-05,5.482879e-05,5.458059e-05,5.434730e-05,5.412826e-05
0.000000e+00,4.362313e-09,6.339230e-08,6.619709e-08,3.973876e-07,1.298401e-06,1.351904e-06,3.073363e-06,5.074378e-06,5.202668e-06,7.196337e-06,8.700902e-06,8.816071e-06,1.006273e-05,1.091698e-05,1.099844e-05,1.168681e-05,1.213059e-05,1.218117e-05,1.252414e-05,1.272377e-05,1.274923e-05,1.288272e-05,1.293924e-05,1.294517e-05,1.295266e-05,1.292672e-05,1.291779e-05,1.285039e-05,1.277828e-05,1.275816e-05,1.264710e-05,1.255046e-05,1.252191e-05,1.238625e-05,1.227791e-05,1.224296e-05,1.209427e-05,1.198180e-05,1.194191e-05,1.178723e-05,1.167502e-05,1.163127e-05,1.147484e-05,1.136541e-05,1.131858e-05,1.116295e-05,1.105767e-05,1.100832e-05,1.085500e-05,1.075464e-05,1.070323e-05,1.055315e-05,1.045804e-05,1.040488e-05,1.025852e-05,1.016878e-05,1.011415e-05,9.971788e-06,9.887355e-06,9.831479e-06,9.693239e-06,9.614010e-06,9.557073e-06,9.422979e-06,9.348790e-06,9.290952e-06,9.160984e-06,9.091652e-06,9.033059e-06,8.907163e-06,8.842491e-06,8.783273e-06,8.661370e-06,8.601156e-06,8.541431e-06,8.423432e-06,8.367476e-06,8.307351e-06,8.193164e-06,8.141267e-06,8.080845e-06,7.970370e-06,7.922338e-06,7.861713e-06,7.754849e-06,7.710495e-06,7.649753e-06,7.546400e-06,7.505542e-06,7.444765e-06,7.344823e-06,7.307284e-06,7.246549e-06,7.149918e-06,7.115529e-06,7.054907e-06,6.961490e-06,6.930087e-06,6.869644e-06,6.779346e-06,6.750773e-06,6.690570e-06,6.603296e-06,6.577402e-06,6.517498e-06,6.433155e-06,6.409797e-06,6.350244e-06,6.268743e-06,6.247781e-06,6.188630e-06,6.109883e-06,6.091185e-06,6.032481e-06,5.956402e-06,5.939841e-06,5.881626e-06,5.808133e-06,5.793586e-06,5.735901e-06,5.664911e-06,5.652264e-06,5.595144e-06,5.526579e-06,5.515718e-06,5.459197e-06,5.392979e-06,5.383801e-06,5.327908e-06,5.263963e-06,5.256365e-06,5.201128e-06,5.139384e-06,5.133269e-06,5.078714e-06,5.019100e-06,5.014376e-06,4.960524e-06,4.902971e-06,4.899550e-06,4.846424e-06,4.790866e-06,4.788664e-06,4.736281e-06,4.682653e-06,4.681590e-06,4.629966e-06,4.578206e-06,4.478393e-06,4.382036e-06,4.289023e-06,4.199246e-06,4.112600e-06,4.028983e-06,3.948296e-06,3.870443e-06,3.795332e-06,3.722873e-06,3.652978e-06,3.585564e-06,3.520548e-06,3.457852e-06,3.397399e-06,3.339114e-06,3.282926e-06,3.228766e-06,3.176565e-06,3.126259e-06,3.077784e-06,3.031080e-06,2.986086e-06,2.942747e-06,2.901005e-06,2.860809e-06,2.822105e-06,2.784843e-06,2.748975e-06,2.714454e-06,2.681233e-06,2.649270e-06,2.618521e-06,2.588944e-06,2.560501e-06,2.533152e-06,2.506860e-06,2.481588e-06,2.457302e-06,2.433967e-06,2.411551e-06,2.390022e-06,2.369350e-06,2.349504e-06,2.330456e-06,2.312179e-06,2.294644e-06,2.277827e-06,2.261701e-06
0.000000e+00,4.441811e-10,6.486470e-09,6.783646e-09,4.394762e-08,1.473767e-07,1.533549e-07,3.288626e-07,5.016317e-07,5.121608e-07,6.755587e-07,8.055101e-07,8.159297e-07,9.351829e-07,1.026524e-06,1.035819e-06,1.120187e-06,1.182643e-06,1.190381e-06,1.248247e-06,1.289393e-06,1.295406e-06,1.333282e-06,1.358841e-06,1.363122e-06,1.386016e-06,1.400279e-06,1.402917e-06,1.414655e-06,1.420818e-06,1.421954e-06,1.425443e-06,1.425874e-06,1.425670e-06,1.423110e-06,1.419558e-06,1.418178e-06,1.411230e-06,1.404974e-06,1.402576e-06,1.392485e-06,1.384463e-06,1.381191e-06,1.368896e-06,1.359788e-06,1.355775e-06,1.341979e-06,1.332280e-06,1.327639e-06,1.312870e-06,1.302934e-06,1.297768e-06,1.282418e-06,1.272498e-06,1.266894e-06,1.251258e-06,1.241532e-06,1.235564e-06,1.219856e-06,1.210441e-06,1.204173e-06,1.188549e-06,1.179525e-06,1.173011e-06,1.157583e-06,1.148999e-06,1.142285e-06,1.127135e-06,1.119019e-06,1.112145e-06,1.097327e-06,1.089694e-06,1.082692e-06,1.068246e-06,1.061097e-06,1.053996e-06,1.039947e-06,1.033276e-06,1.026102e-06,1.012465e-06,1.006261e-06,9.990354e-07,9.858159e-07,9.800659e-07,9.728066e-07,9.600073e-07,9.546941e-07,9.474175e-07,9.350361e-07,9.301417e-07,9.228619e-07,9.108933e-07,9.063988e-07,8.991284e-07,8.875653e-07,8.834515e-07,8.762017e-07,8.650353e-07,8.612833e-07,8.540638e-07,8.432845e-07,8.398753e-07,8.326948e-07,8.222922e-07,8.192075e-07,8.120740e-07,8.020374e-07,7.992594e-07,7.921798e-07,7.824983e-07,7.800096e-07,7.729902e-07,7.636528e-07,7.614370e-07,7.544834e-07,7.454793e-07,7.435203e-07,7.366377e-07,7.279560e-07,7.262386e-07,7.194315e-07,7.110617e-07,7.095713e-07,7.028439e-07,6.947755e-07,6.934983e-07,6.868541e-07,6.790772e-07,6.779998e-07,6.714422e-07,6.639467e-07,6.630565e-07,6.565884e-07,6.493649e-07,6.486499e-07,6.422739e-07,6.353130e-07,6.347617e-07,6.284801e-07,6.217729e-07,6.213744e-07,6.151892e-07,6.087268e-07,6.084708e-07,6.023838e-07,5.961579e-07,5.960345e-07,5.900471e-07,5.840494e-07,5.725001e-07,5.613715e-07,5.506492e-07,5.403191e-07,5.303676e-07,5.207817e-07,5.115488e-07,5.026564e-07,4.940929e-07,4.858468e-07,4.779071e-07,4.702630e-07,4.629043e-07,4.558210e-07,4.490034e-07,4.424423e-07,4.361286e-07,4.300538e-07,4.242093e-07,4.185872e-07,4.131795e-07,4.079788e-07,4.029776e-07,3.981690e-07,3.935461e-07,3.891024e-07,3.848315e-07,3.807273e-07,3.767838e-07,3.729953e-07,3.693563e-07,3.658614e-07,3.625055e-07,3.592836e-07,3.561909e-07,3.532227e-07,3.503745e-07,3.476421e-07,3.450212e-07,3.425078e-07,3.400980e-07,3.377879e-07,3.355741e-07,3.334529e-07,3.314210e-07,3.294751e-07,3.276121e-07,3.258288e-07,3.241224e-07
0.000000e+00,1.459988e-09,6.944605e-08,7.354776e-08,7.871763e-07,4.283721e-06,4.557306e-06,1.781820e-05,4.867074e-05,5.149015e-05,1.167945e-04,2.089586e-04,2.183523e-04,3.510007e-04,4.873438e-04,5.030464e-04,6.617953e-04,7.989169e-04,8.171274e-04,9.624831e-04,1.076791e-03,1.094379e-03,1.211488e-03,1.298400e-03,1.313798e-03,1.402017e-03,1.464569e-03,1.477189e-03,1.540480e-03,1.583344e-03,1.593057e-03,1.636032e-03,1.663554e-03,1.670436e-03,1.697212e-03,1.712988e-03,1.717212e-03,1.731209e-03,1.738112e-03,1.739895e-03,1.743892e-03,1.744182e-03,1.743758e-03,1.739992e-03,1.735438e-03,1.733044e-03,1.723313e-03,1.715292e-03,1.711159e-03,1.696902e-03,1.686481e-03,1.680828e-03,1.663194e-03,1.651196e-03,1.644229e-03,1.624136e-03,1.611193e-03,1.603099e-03,1.581280e-03,1.567874e-03,1.558824e-03,1.535859e-03,1.522353e-03,1.512501e-03,1.488849e-03,1.475510e-03,1.464995e-03,1.441017e-03,1.428042e-03,1.416985e-03,1.392963e-03,1.380492e-03,1.369003e-03,1.345153e-03,1.333283e-03,1.321456e-03,1.297949e-03,1.286743e-03,1.274663e-03,1.251626e-03,1.241119e-03,1.228862e-03,1.206390e-03,1.196599e-03,1.184228e-03,1.162390e-03,1.153319e-03,1.140890e-03,1.119735e-03,1.111372e-03,1.098935e-03,1.078496e-03,1.070825e-03,1.058423e-03,1.038718e-03,1.031715e-03,1.019384e-03,1.000422e-03,9.940593e-04,9.818319e-04,9.636137e-04,9.578622e-04,9.457659e-04,9.282861e-04,9.231136e-04,9.111720e-04,8.944204e-04,8.897945e-04,8.780278e-04,8.619903e-04,8.578782e-04,8.463037e-04,8.309635e-04,8.273329e-04,8.159651e-04,8.013036e-04,7.981227e-04,7.869739e-04,7.729708e-04,7.702090e-04,7.592892e-04,7.459236e-04,7.435510e-04,7.328687e-04,7.201190e-04,7.181070e-04,7.076689e-04,6.955131e-04,6.938345e-04,6.836460e-04,6.720622e-04,6.706910e-04,6.607563e-04,6.497227e-04,6.486341e-04,6.389562e-04,6.284514e-04,6.276221e-04,6.182030e-04,6.082059e-04,6.076139e-04,5.984548e-04,5.889447e-04,5.885692e-04,5.796706e-04,5.706275e-04,5.704489e-04,5.618105e-04,5.532148e-04,5.368299e-04,5.212585e-04,5.064660e-04,4.924190e-04,4.790853e-04,4.664341e-04,4.544354e-04,4.430607e-04,4.322825e-04,4.220743e-04,4.124109e-04,4.032678e-04,3.946217e-04,3.864503e-04,3.787320e-04,3.714465e-04,3.645738e-04,3.580952e-04,3.519926e-04,3.462487e-04,3.408468e-04,3.357710e-04,3.310061e-04,3.265376e-04,3.223515e-04,3.184343e-04,3.147733e-04,3.113562e-04,3.081713e-04,3.052073e-04,3.024534e-04,2.998994e-04,2.975354e-04,2.953519e-04,2.933398e-04,2.914906e-04,2.897959e-04,2.882478e-04,2.868386e-04,2.855612e-04,2.844086e-04,2.833740e-04,2.824512e-04,2.816341e-04,2.809168e-04,2.802938e-04,2.797597e-04,2.793095e-04,2.789382e-04
0.000000e+00,5.012024e-09,1.605259e-07,1.691541e-07,1.460320e-06,6.298101e-06,6.628856e-06,1.949622e-05,4.032859e-05,4.192070e-05,7.157777e-05,1.011172e-04,1.036729e-04,1.345401e-04,1.599877e-04,1.626625e-04,1.877255e-04,2.073305e-04,2.098345e-04,2.292071e-04,2.438582e-04,2.460782e-04,2.606741e-04,2.713306e-04,2.732049e-04,2.838659e-04,2.913394e-04,2.928372e-04,3.002845e-04,3.052473e-04,3.063593e-04,3.111999e-04,3.142003e-04,3.149325e-04,3.176717e-04,3.191537e-04,3.195219e-04,3.205780e-04,3.208990e-04,3.209258e-04,3.206435e-04,3.200898e-04,3.198015e-04,3.184640e-04,3.172641e-04,3.166888e-04,3.145283e-04,3.128635e-04,3.120300e-04,3.092366e-04,3.072502e-04,3.061867e-04,3.029154e-04,3.007201e-04,2.994539e-04,2.958308e-04,2.935146e-04,2.920715e-04,2.881990e-04,2.858299e-04,2.842340e-04,2.801951e-04,2.778252e-04,2.760987e-04,2.719599e-04,2.696287e-04,2.677921e-04,2.636070e-04,2.613437e-04,2.594154e-04,2.552266e-04,2.530524e-04,2.510492e-04,2.468904e-04,2.448202e-04,2.427570e-04,2.386548e-04,2.366982e-04,2.345887e-04,2.305633e-04,2.287263e-04,2.265824e-04,2.226494e-04,2.209348e-04,2.187672e-04,2.149382e-04,2.133464e-04,2.111646e-04,2.074480e-04,2.059776e-04,2.037899e-04,2.001914e-04,1.988398e-04,1.966535e-04,1.931768e-04,1.919403e-04,1.897619e-04,1.864089e-04,1.852831e-04,1.831181e-04,1.798895e-04,1.788695e-04,1.767229e-04,1.736181e-04,1.726987e-04,1.705748e-04,1.675925e-04,1.667683e-04,1.646707e-04,1.618089e-04,1.610746e-04,1.590064e-04,1.562626e-04,1.556128e-04,1.535768e-04,1.509481e-04,1.503774e-04,1.483758e-04,1.458591e-04,1.453623e-04,1.433971e-04,1.409890e-04,1.405612e-04,1.386339e-04,1.363309e-04,1.359672e-04,1.340791e-04,1.318776e-04,1.315734e-04,1.297256e-04,1.276221e-04,1.273729e-04,1.255662e-04,1.235570e-04,1.233586e-04,1.215936e-04,1.196752e-04,1.195236e-04,1.178008e-04,1.159696e-04,1.158611e-04,1.141807e-04,1.124333e-04,1.123642e-04,1.107264e-04,1.090594e-04,1.090264e-04,1.074313e-04,1.058413e-04,1.028026e-04,9.990410e-05,9.714008e-05,9.450480e-05,9.199278e-05,8.959875e-05,8.731761e-05,8.514448e-05,8.307465e-05,8.110361e-05,7.922701e-05,7.744071e-05,7.574072e-05,7.412322e-05,7.258455e-05,7.112120e-05,6.972982e-05,6.840719e-05,6.715023e-05,6.595601e-05,6.482169e-05,6.374458e-05,6.272211e-05,6.175181e-05,6.083132e-05,5.995838e-05,5.913082e-05,5.834660e-05,5.760372e-05,5.690031e-05,5.623456e-05,5.560475e-05,5.500922e-05,5.444639e-05,5.391476e-05,5.341289e-05,5.293939e-05,5.249296e-05,5.207232e-05,5.167628e-05,5.130369e-05,5.095343e-05,5.062447e-05,5.031580e-05,5.002645e-05,4.975551e-05,4.950210e-05,4.926538e-05,4.904455e-05
0.000000e+00,2.120985e-09,3.403701e-08,3.562607e-08,2.331530e-07,7.687213e-07,7.990818e-07,1.673696e-06,2.545648e-06,2.600184e-06,3.475853e-06,4.220862e-06,4.282862e-06,5.021308e-06,5.630179e-06,5.694706e-06,6.307056e-06,6.798507e-06,6.862233e-06,7.363907e-06,7.755205e-06,7.815548e-06,8.220452e-06,8.526757e-06,8.581762e-06,8.902482e-06,9.137195e-06,9.185473e-06,9.433456e-06,9.608376e-06,9.649012e-06,9.834580e-06,9.959988e-06,9.992456e-06,1.012480e-05,1.020955e-05,1.023362e-05,1.032083e-05,1.037247e-05,1.038816e-05,1.043728e-05,1.046223e-05,1.046971e-05,1.048685e-05,1.049047e-05,1.049003e-05,1.048048e-05,1.046728e-05,1.045932e-05,1.042760e-05,1.040137e-05,1.038631e-05,1.033634e-05,1.030020e-05,1.027853e-05,1.021366e-05,1.017020e-05,1.014242e-05,1.006550e-05,1.001687e-05,9.983498e-06,9.896982e-06,9.844942e-06,9.806474e-06,9.712452e-06,9.658429e-06,9.615355e-06,9.515589e-06,9.460739e-06,9.413530e-06,9.309522e-06,9.254774e-06,9.203883e-06,9.096906e-06,9.042999e-06,8.988857e-06,8.879980e-06,8.827493e-06,8.770502e-06,8.660628e-06,8.610006e-06,8.550548e-06,8.440434e-06,8.392014e-06,8.330443e-06,8.220719e-06,8.174746e-06,8.111391e-06,8.002579e-06,7.959222e-06,7.894389e-06,7.786920e-06,7.746289e-06,7.680258e-06,7.574485e-06,7.536637e-06,7.469669e-06,7.365876e-06,7.330829e-06,7.263162e-06,7.161577e-06,7.129315e-06,7.061165e-06,6.961966e-06,6.932448e-06,6.864014e-06,6.767339e-06,6.740502e-06,6.671964e-06,6.577913e-06,6.553679e-06,6.485203e-06,6.393848e-06,6.372126e-06,6.303861e-06,6.215248e-06,6.195939e-06,6.128018e-06,6.042173e-06,6.025170e-06,5.957715e-06,5.874645e-06,5.859840e-06,5.792960e-06,5.712656e-06,5.699935e-06,5.633729e-06,5.556172e-06,5.545422e-06,5.479977e-06,5.405135e-06,5.396245e-06,5.331638e-06,5.259473e-06,5.252330e-06,5.188631e-06,5.119098e-06,5.113591e-06,5.050861e-06,4.983908e-06,4.979931e-06,4.918224e-06,4.853796e-06,4.851245e-06,4.790608e-06,4.728646e-06,4.727419e-06,4.667893e-06,4.608335e-06,4.493873e-06,4.383907e-06,4.278313e-06,4.176962e-06,4.079728e-06,3.986487e-06,3.897112e-06,3.811480e-06,3.729469e-06,3.650960e-06,3.575836e-06,3.503982e-06,3.435284e-06,3.369634e-06,3.306926e-06,3.247053e-06,3.189916e-06,3.135416e-06,3.083457e-06,3.033947e-06,2.986794e-06,2.941913e-06,2.899217e-06,2.858625e-06,2.820057e-06,2.783436e-06,2.748688e-06,2.715740e-06,2.684523e-06,2.654968e-06,2.627011e-06,2.600587e-06,2.575636e-06,2.552099e-06,2.529919e-06,2.509039e-06,2.489407e-06,2.470970e-06,2.453680e-06,2.437487e-06,2.422344e-06,2.408208e-06,2.395033e-06,2.382779e-06,2.371404e-06,2.360869e-06,2.351136e-06,2.342169e-06,2.333932e-06
0.000000e+00,7.354132e-10,4.487817e-08,4.774462e-08,6.201006e-07,3.872904e-06,4.141378e-06,1.826005e-05,5.558460e-05,5.921520e-05,1.513240e-04,3.046365e-04,3.217573e-04,5.945716e-04,9.419929e-04,9.869254e-04,1.507641e-03,2.072744e-03,2.157368e-03,2.929662e-03,3.682792e-03,3.812472e-03,4.789730e-03,5.670061e-03,5.842849e-03,6.952040e-03,7.889432e-03,8.097389e-03,9.259700e-03,1.018971e-02,1.042112e-02,1.156553e-02,1.243723e-02,1.267885e-02,1.374911e-02,1.452757e-02,1.476646e-02,1.572313e-02,1.638849e-02,1.661328e-02,1.743282e-02,1.797772e-02,1.817926e-02,1.885150e-02,1.927790e-02,1.944959e-02,1.997460e-02,2.029080e-02,2.042842e-02,2.081356e-02,2.103160e-02,2.113306e-02,2.139031e-02,2.152396e-02,2.158896e-02,2.173280e-02,2.179615e-02,2.182570e-02,2.187155e-02,2.187806e-02,2.187415e-02,2.183724e-02,2.179914e-02,2.176439e-02,2.165905e-02,2.158709e-02,2.152448e-02,2.136374e-02,2.126708e-02,2.117971e-02,2.097507e-02,2.086136e-02,2.075233e-02,2.051379e-02,2.038926e-02,2.026157e-02,1.999763e-02,1.986730e-02,1.972374e-02,1.944153e-02,1.930934e-02,1.915249e-02,1.885797e-02,1.872695e-02,1.855917e-02,1.825720e-02,1.812967e-02,1.795306e-02,1.764764e-02,1.752530e-02,1.734174e-02,1.703609e-02,1.692015e-02,1.673133e-02,1.642803e-02,1.631931e-02,1.612672e-02,1.582784e-02,1.572685e-02,1.553180e-02,1.523896e-02,1.514597e-02,1.494963e-02,1.466409e-02,1.457920e-02,1.438258e-02,1.410532e-02,1.402848e-02,1.383249e-02,1.356423e-02,1.349525e-02,1.330069e-02,1.304197e-02,1.298060e-02,1.278816e-02,1.253934e-02,1.248528e-02,1.229556e-02,1.205688e-02,1.200975e-02,1.182331e-02,1.159487e-02,1.155430e-02,1.137158e-02,1.115343e-02,1.111901e-02,1.094042e-02,1.073252e-02,1.070382e-02,1.052970e-02,1.033195e-02,1.030855e-02,1.013920e-02,9.951439e-03,9.932934e-03,9.768600e-03,9.590637e-03,9.576609e-03,9.417494e-03,9.249112e-03,9.239159e-03,9.085429e-03,8.926382e-03,8.920116e-03,8.771904e-03,8.621927e-03,8.618973e-03,8.476381e-03,8.335195e-03,8.068225e-03,7.817492e-03,7.582414e-03,7.362410e-03,7.156894e-03,6.965286e-03,6.787012e-03,6.621506e-03,6.468211e-03,6.326583e-03,6.196089e-03,6.076210e-03,5.966441e-03,5.866290e-03,5.775280e-03,5.692949e-03,5.618849e-03,5.552544e-03,5.493615e-03,5.441655e-03,5.396271e-03,5.357083e-03,5.323724e-03,5.295840e-03,5.273087e-03,5.255136e-03,5.241667e-03,5.232372e-03,5.226956e-03,5.225132e-03,5.226626e-03,5.231172e-03,5.238516e-03,5.248414e-03,5.260630e-03,5.274939e-03,5.291126e-03,5.308985e-03,5.328318e-03,5.348938e-03,5.370667e-03,5.393334e-03,5.416779e-03,5.440849e-03,5.465401e-03,5.490300e-03,5.515418e-03,5.540638e-03,5.565849e-03
0.000000e+00,1.355653e-08,2.546166e-07,2.666069e-07,1.855825e-06,7.080796e-06,7.418793e-06,1.946147e-05,3.576685e-05,3.689123e-05,5.578138e-05,7.236532e-05,7.374913e-05,9.019567e-05,1.036572e-04,1.050767e-04,1.184668e-04,1.290930e-04,1.304620e-04,1.411599e-04,1.493943e-04,1.506545e-04,1.590359e-04,1.652784e-04,1.663892e-04,1.727948e-04,1.773934e-04,1.783283e-04,1.830604e-04,1.863136e-04,1.870572e-04,1.903805e-04,1.925421e-04,1.930875e-04,1.952317e-04,1.965153e-04,1.968624e-04,1.980255e-04,1.986104e-04,1.987636e-04,1.991159e-04,1.991511e-04,1.991187e-04,1.988057e-04,1.984154e-04,1.982079e-04,1.973538e-04,1.966402e-04,1.962699e-04,1.949805e-04,1.940280e-04,1.935081e-04,1.918732e-04,1.907504e-04,1.900948e-04,1.881904e-04,1.869535e-04,1.861760e-04,1.840662e-04,1.827602e-04,1.818745e-04,1.796133e-04,1.782744e-04,1.772938e-04,1.749263e-04,1.735832e-04,1.725204e-04,1.700844e-04,1.687593e-04,1.676263e-04,1.651530e-04,1.638632e-04,1.626712e-04,1.601865e-04,1.589448e-04,1.577043e-04,1.552293e-04,1.540451e-04,1.527658e-04,1.503176e-04,1.491975e-04,1.478882e-04,1.454807e-04,1.444290e-04,1.430977e-04,1.407418e-04,1.397609e-04,1.384150e-04,1.361192e-04,1.352099e-04,1.338560e-04,1.316268e-04,1.307889e-04,1.294329e-04,1.272751e-04,1.265074e-04,1.251545e-04,1.230715e-04,1.223721e-04,1.210269e-04,1.190210e-04,1.183873e-04,1.170541e-04,1.151264e-04,1.145557e-04,1.132379e-04,1.113888e-04,1.108780e-04,1.095788e-04,1.078079e-04,1.073539e-04,1.060759e-04,1.043825e-04,1.039817e-04,1.027273e-04,1.011101e-04,1.007593e-04,9.953035e-05,9.798770e-05,9.768358e-05,9.648166e-05,9.501171e-05,9.475091e-05,9.357733e-05,9.217799e-05,9.195731e-05,9.081312e-05,8.948214e-05,8.929848e-05,8.818448e-05,8.691953e-05,8.676990e-05,8.568669e-05,8.448535e-05,8.436692e-05,8.331490e-05,8.217472e-05,8.208479e-05,8.106419e-05,7.998271e-05,7.991873e-05,7.892965e-05,7.790441e-05,7.786397e-05,7.690637e-05,7.593493e-05,7.591577e-05,7.498950e-05,7.406948e-05,7.232054e-05,7.066447e-05,6.909696e-05,6.761379e-05,6.621091e-05,6.488438e-05,6.363045e-05,6.244549e-05,6.132602e-05,6.026871e-05,5.927037e-05,5.832796e-05,5.743859e-05,5.659947e-05,5.580796e-05,5.506156e-05,5.435788e-05,5.369464e-05,5.306967e-05,5.248093e-05,5.192647e-05,5.140444e-05,5.091308e-05,5.045073e-05,5.001580e-05,4.960681e-05,4.922233e-05,4.886102e-05,4.852162e-05,4.820290e-05,4.790373e-05,4.762304e-05,4.735979e-05,4.711302e-05,4.688181e-05,4.666529e-05,4.646264e-05,4.627309e-05,4.609590e-05,4.593037e-05,4.577585e-05,4.563172e-05,4.549738e-05,4.537229e-05,4.525591e-05,4.514774e-05,4.504733e-05,4.495421e-05,4.486798e-05
0.000000e+00,5.415418e-10,3.184933e-08,3.388016e-08,4.464508e-07,2.847916e-06,3.047239e-06,1.351700e-05,4.072763e-05,4.333964e-05,1.079198e-04,2.095915e-04,2.205634e-04,3.868443e-04,5.795627e-04,6.031884e-04,8.590321e-04,1.105612e-03,1.140191e-03,1.431856e-03,1.680819e-03,1.720639e-03,1.995665e-03,2.210123e-03,2.248939e-03,2.475237e-03,2.638626e-03,2.671735e-03,2.837537e-03,2.948412e-03,2.973196e-03,3.080271e-03,3.145354e-03,3.160973e-03,3.217864e-03,3.246843e-03,3.253653e-03,3.271033e-03,3.273562e-03,3.272578e-03,3.260680e-03,3.245018e-03,3.237512e-03,3.205018e-03,3.177648e-03,3.164909e-03,3.118675e-03,3.084401e-03,3.067601e-03,3.012786e-03,2.975017e-03,2.955161e-03,2.895512e-03,2.856583e-03,2.834496e-03,2.772662e-03,2.734116e-03,2.710462e-03,2.648269e-03,2.611086e-03,2.586387e-03,2.525062e-03,2.489829e-03,2.464493e-03,2.404838e-03,2.371877e-03,2.346220e-03,2.288736e-03,2.258192e-03,2.232457e-03,2.177437e-03,2.149337e-03,2.123713e-03,2.071307e-03,2.045604e-03,2.020234e-03,1.970498e-03,1.947099e-03,1.922095e-03,1.875017e-03,1.853802e-03,1.829250e-03,1.784776e-03,1.765613e-03,1.741576e-03,1.699628e-03,1.682377e-03,1.658907e-03,1.619388e-03,1.603911e-03,1.581045e-03,1.543850e-03,1.530011e-03,1.507775e-03,1.472794e-03,1.460463e-03,1.438879e-03,1.406001e-03,1.395055e-03,1.374135e-03,1.343251e-03,1.333572e-03,1.313325e-03,1.284329e-03,1.275807e-03,1.256237e-03,1.229024e-03,1.221559e-03,1.202666e-03,1.177137e-03,1.170632e-03,1.152414e-03,1.128474e-03,1.122842e-03,1.105293e-03,1.082850e-03,1.078009e-03,1.061123e-03,1.040091e-03,1.035966e-03,1.019734e-03,1.000031e-03,9.965521e-04,9.809626e-04,9.625108e-04,9.596144e-04,9.446566e-04,9.273822e-04,9.250091e-04,9.106703e-04,8.945038e-04,8.925997e-04,8.788665e-04,8.637422e-04,8.622574e-04,8.491155e-04,8.349713e-04,8.338602e-04,8.212950e-04,8.080724e-04,8.072931e-04,7.952896e-04,7.829332e-04,7.824476e-04,7.709902e-04,7.594480e-04,7.592212e-04,7.482944e-04,7.375173e-04,7.172448e-04,6.983178e-04,6.806555e-04,6.641816e-04,6.488242e-04,6.345157e-04,6.211923e-04,6.087941e-04,5.972645e-04,5.865502e-04,5.766013e-04,5.673705e-04,5.588134e-04,5.508883e-04,5.435557e-04,5.367787e-04,5.305225e-04,5.247541e-04,5.194429e-04,5.145597e-04,5.100773e-04,5.059699e-04,5.022133e-04,4.987849e-04,4.956633e-04,4.928282e-04,4.902609e-04,4.879435e-04,4.858594e-04,4.839926e-04,4.823286e-04,4.808534e-04,4.795540e-04,4.784181e-04,4.774341e-04,4.765913e-04,4.758794e-04,4.752890e-04,4.748111e-04,4.744373e-04,4.741597e-04,4.739708e-04,4.738638e-04,4.738322e-04,4.738699e-04,4.739711e-04,4.741305e-04,4.743431e-04,4.746042e-04
0.000000e+00,3.402130e-09,1.578112e-07,1.670560e-07,1.756679e-06,9.479976e-06,1.008277e-05,3.908310e-05,1.047460e-04,1.106213e-04,2.416732e-04,4.143102e-04,4.313121e-04,6.634190e-04,8.919048e-04,9.178320e-04,1.177915e-03,1.402574e-03,1.432608e-03,1.675586e-03,1.872735e-03,1.903720e-03,2.115776e-03,2.281318e-03,2.311560e-03,2.491410e-03,2.627412e-03,2.655923e-03,2.805804e-03,2.915675e-03,2.941800e-03,3.064670e-03,3.151877e-03,3.175159e-03,3.273995e-03,3.341750e-03,3.361880e-03,3.439487e-03,3.490679e-03,3.507460e-03,3.566412e-03,3.603602e-03,3.616928e-03,3.659562e-03,3.684998e-03,3.694839e-03,3.723258e-03,3.738906e-03,3.745288e-03,3.761377e-03,3.768945e-03,3.771944e-03,3.777387e-03,3.778356e-03,3.778082e-03,3.774382e-03,3.770029e-03,3.766623e-03,3.755117e-03,3.746540e-03,3.740162e-03,3.722038e-03,3.710177e-03,3.701006e-03,3.677314e-03,3.662972e-03,3.651195e-03,3.622867e-03,3.606725e-03,3.592536e-03,3.560394e-03,3.543025e-03,3.526622e-03,3.491391e-03,3.473278e-03,3.454858e-03,3.417174e-03,3.398717e-03,3.378477e-03,3.338898e-03,3.320429e-03,3.298559e-03,3.257575e-03,3.239364e-03,3.216051e-03,3.174086e-03,3.156353e-03,3.131775e-03,3.089201e-03,3.072117e-03,3.046446e-03,3.003584e-03,2.987282e-03,2.960683e-03,2.917808e-03,2.902391e-03,2.875017e-03,2.832367e-03,2.817906e-03,2.789905e-03,2.747680e-03,2.734225e-03,2.705734e-03,2.664106e-03,2.651685e-03,2.622831e-03,2.581943e-03,2.570567e-03,2.541470e-03,2.501441e-03,2.491109e-03,2.461879e-03,2.422806e-03,2.413503e-03,2.384242e-03,2.346204e-03,2.337908e-03,2.308708e-03,2.271767e-03,2.264446e-03,2.235393e-03,2.199596e-03,2.193215e-03,2.164385e-03,2.129768e-03,2.124285e-03,2.095749e-03,2.062334e-03,2.057705e-03,2.029527e-03,1.997329e-03,1.993506e-03,1.965742e-03,1.934766e-03,1.931702e-03,1.904401e-03,1.874646e-03,1.872292e-03,1.845499e-03,1.816957e-03,1.815264e-03,1.789017e-03,1.761676e-03,1.760594e-03,1.734928e-03,1.708768e-03,1.708251e-03,1.683193e-03,1.658196e-03,1.610382e-03,1.564759e-03,1.521273e-03,1.479866e-03,1.440477e-03,1.403044e-03,1.367503e-03,1.333790e-03,1.301840e-03,1.271589e-03,1.242971e-03,1.215923e-03,1.190383e-03,1.166288e-03,1.143577e-03,1.122191e-03,1.102073e-03,1.083165e-03,1.065412e-03,1.048762e-03,1.033163e-03,1.018564e-03,1.004919e-03,9.921795e-04,9.803016e-04,9.692418e-04,9.589588e-04,9.494126e-04,9.405649e-04,9.323790e-04,9.248196e-04,9.178531e-04,9.114470e-04,9.055706e-04,9.001942e-04,8.952897e-04,8.908301e-04,8.867895e-04,8.831436e-04,8.798689e-04,8.769430e-04,8.743446e-04,8.720537e-04,8.700508e-04,8.683177e-04,8.668370e-04,8.655920e-04,8.645670e-04,8.637471e-04
0.000000e+00,3.127567e-10,2.168292e-08,2.316083e-08,3.725535e-07,2.728168e-06,2.931849e-06,1.401605e-05,4.302136e-05,4.577466e-05,1.121721e-04,2.124762e-04,2.231077e-04,3.816940e-04,5.625740e-04,5.846737e-04,8.242733e-04,1.057333e-03,1.090288e-03,1.371833e-03,1.618477e-03,1.658582e-03,1.941525e-03,2.170835e-03,2.213324e-03,2.468402e-03,2.662295e-03,2.702845e-03,2.914207e-03,3.065824e-03,3.101269e-03,3.263790e-03,3.373826e-03,3.402277e-03,3.517777e-03,3.591046e-03,3.611707e-03,3.685707e-03,3.728668e-03,3.741535e-03,3.780982e-03,3.800232e-03,3.805809e-03,3.817708e-03,3.819200e-03,3.818266e-03,3.808957e-03,3.797682e-03,3.791126e-03,3.765993e-03,3.745942e-03,3.734653e-03,3.698080e-03,3.672330e-03,3.657138e-03,3.612588e-03,3.583450e-03,3.565096e-03,3.515244e-03,3.484413e-03,3.463537e-03,3.410414e-03,3.379105e-03,3.356253e-03,3.301380e-03,3.270445e-03,3.246073e-03,3.190571e-03,3.160592e-03,3.135078e-03,3.079766e-03,3.051124e-03,3.024780e-03,2.970243e-03,2.943176e-03,2.916258e-03,2.862909e-03,2.837549e-03,2.810267e-03,2.758389e-03,2.734795e-03,2.707321e-03,2.657100e-03,2.635279e-03,2.607756e-03,2.559310e-03,2.539235e-03,2.511779e-03,2.465173e-03,2.446792e-03,2.419500e-03,2.374763e-03,2.358008e-03,2.330960e-03,2.288090e-03,2.272885e-03,2.246148e-03,2.205126e-03,2.191387e-03,2.165017e-03,2.125810e-03,2.113452e-03,2.087494e-03,2.050059e-03,2.038998e-03,2.013491e-03,1.977777e-03,1.967928e-03,1.942903e-03,1.908856e-03,1.900138e-03,1.875621e-03,1.843185e-03,1.835517e-03,1.811531e-03,1.780646e-03,1.773953e-03,1.750514e-03,1.721122e-03,1.715331e-03,1.692454e-03,1.664495e-03,1.659537e-03,1.637232e-03,1.610649e-03,1.606458e-03,1.584732e-03,1.559469e-03,1.555983e-03,1.534843e-03,1.510842e-03,1.508003e-03,1.487452e-03,1.464660e-03,1.462413e-03,1.442453e-03,1.420817e-03,1.419111e-03,1.399740e-03,1.379210e-03,1.377995e-03,1.359214e-03,1.339740e-03,1.338971e-03,1.320776e-03,1.302310e-03,1.301946e-03,1.284332e-03,1.266830e-03,1.233538e-03,1.201987e-03,1.172096e-03,1.143792e-03,1.116999e-03,1.091648e-03,1.067672e-03,1.045006e-03,1.023590e-03,1.003363e-03,9.842699e-04,9.662562e-04,9.492704e-04,9.332630e-04,9.181868e-04,9.039967e-04,8.906495e-04,8.781039e-04,8.663205e-04,8.552617e-04,8.448916e-04,8.351756e-04,8.260811e-04,8.175766e-04,8.096322e-04,8.022194e-04,7.953108e-04,7.888805e-04,7.829035e-04,7.773562e-04,7.722158e-04,7.674609e-04,7.630707e-04,7.590257e-04,7.553071e-04,7.518970e-04,7.487784e-04,7.459350e-04,7.433513e-04,7.410126e-04,7.389049e-04,7.370147e-04,7.353292e-04,7.338364e-04,7.325247e-04,7.313831e-04,7.304011e-04,7.295688e-04,7.288768e-04
0.000000e+00,9.674283e-09,2.037708e-07,2.131852e-07,1.427096e-06,5.676091e-06,5.966938e-06,1.744047e-05,3.606670e-05,3.747072e-05,6.293337e-05,8.738087e-05,8.947940e-05,1.149173e-04,1.363074e-04,1.385900e-04,1.603784e-04,1.780211e-04,1.803189e-04,1.984916e-04,2.127758e-04,2.149878e-04,2.299018e-04,2.412767e-04,2.433291e-04,2.553631e-04,2.642511e-04,2.660891e-04,2.755918e-04,2.823686e-04,2.839534e-04,2.912525e-04,2.962562e-04,2.975636e-04,3.029574e-04,3.064845e-04,3.075008e-04,3.112568e-04,3.135643e-04,3.142847e-04,3.166401e-04,3.179491e-04,3.183753e-04,3.195395e-04,3.200393e-04,3.201785e-04,3.203352e-04,3.201871e-04,3.200501e-04,3.193605e-04,3.187010e-04,3.183016e-04,3.169063e-04,3.158509e-04,3.152050e-04,3.132264e-04,3.118721e-04,3.109970e-04,3.085415e-04,3.069694e-04,3.058830e-04,3.030430e-04,3.013205e-04,3.000414e-04,2.968967e-04,2.950796e-04,2.936261e-04,2.902455e-04,2.883796e-04,2.867698e-04,2.832126e-04,2.813349e-04,2.795867e-04,2.759036e-04,2.740441e-04,2.721743e-04,2.684088e-04,2.665912e-04,2.646162e-04,2.608051e-04,2.590479e-04,2.569831e-04,2.531575e-04,2.514748e-04,2.493348e-04,2.455210e-04,2.439233e-04,2.417217e-04,2.379417e-04,2.364361e-04,2.341856e-04,2.304576e-04,2.290491e-04,2.267614e-04,2.231003e-04,2.217915e-04,2.194773e-04,2.158953e-04,2.146871e-04,2.123565e-04,2.088631e-04,2.077551e-04,2.054171e-04,2.020199e-04,2.010106e-04,1.986732e-04,1.953781e-04,1.944649e-04,1.921357e-04,1.889468e-04,1.881266e-04,1.858122e-04,1.827323e-04,1.820014e-04,1.797078e-04,1.767387e-04,1.760930e-04,1.738254e-04,1.709679e-04,1.704031e-04,1.681662e-04,1.654202e-04,1.649318e-04,1.627297e-04,1.600944e-04,1.596779e-04,1.575141e-04,1.549883e-04,1.546390e-04,1.525166e-04,1.500985e-04,1.498119e-04,1.477335e-04,1.454209e-04,1.451926e-04,1.431603e-04,1.409509e-04,1.407763e-04,1.387920e-04,1.366830e-04,1.365580e-04,1.346231e-04,1.326116e-04,1.325321e-04,1.306477e-04,1.287308e-04,1.286929e-04,1.268599e-04,1.250343e-04,1.215502e-04,1.182344e-04,1.150806e-04,1.120827e-04,1.092343e-04,1.065295e-04,1.039622e-04,1.015266e-04,9.921684e-05,9.702746e-05,9.495298e-05,9.298817e-05,9.112793e-05,8.936737e-05,8.770174e-05,8.612651e-05,8.463730e-05,8.322990e-05,8.190030e-05,8.064463e-05,7.945920e-05,7.834048e-05,7.728509e-05,7.628981e-05,7.535157e-05,7.446743e-05,7.363459e-05,7.285040e-05,7.211231e-05,7.141790e-05,7.076489e-05,7.015108e-05,6.957440e-05,6.903288e-05,6.852462e-05,6.804786e-05,6.760091e-05,6.718214e-05,6.679005e-05,6.642317e-05,6.608014e-05,6.575965e-05,6.546046e-05,6.518142e-05,6.492141e-05,6.467937e-05,6.445431e-05,6.424527e-05,6.405137e-05
0.000000e+00,1.282091e-08,1.502568e-07,1.562717e-07,8.300182e-07,2.700234e-06,2.815066e-06,6.744490e-06,1.193707e-05,1.229689e-05,1.843477e-05,2.400256e-05,2.447570e-05,3.020994e-05,3.507210e-05,3.559469e-05,4.062869e-05,4.477558e-05,4.532100e-05,4.968381e-05,5.318246e-05,5.373047e-05,5.747488e-05,6.039688e-05,6.093108e-05,6.411308e-05,6.652738e-05,6.703465e-05,6.970925e-05,7.167986e-05,7.214988e-05,7.436913e-05,7.595425e-05,7.637907e-05,7.819129e-05,7.944317e-05,7.981687e-05,8.126639e-05,8.223165e-05,8.254997e-05,8.367723e-05,8.439725e-05,8.465737e-05,8.549912e-05,8.601048e-05,8.621081e-05,8.680032e-05,8.713525e-05,8.727517e-05,8.764254e-05,8.782943e-05,8.790920e-05,8.808158e-05,8.814526e-05,8.816580e-05,8.816767e-05,8.812991e-05,8.809271e-05,8.794615e-05,8.782590e-05,8.773292e-05,8.745774e-05,8.727150e-05,8.712504e-05,8.673903e-05,8.650108e-05,8.630371e-05,8.582285e-05,8.554551e-05,8.530000e-05,8.473855e-05,8.443240e-05,8.414167e-05,8.351239e-05,8.318650e-05,8.285355e-05,8.216784e-05,8.182990e-05,8.145779e-05,8.072579e-05,8.038232e-05,7.997410e-05,7.920484e-05,7.886133e-05,7.842003e-05,7.762153e-05,7.728252e-05,7.681114e-05,7.599052e-05,7.565976e-05,7.516123e-05,7.432475e-05,7.400529e-05,7.348246e-05,7.263566e-05,7.232995e-05,7.178557e-05,7.093331e-05,7.064325e-05,7.007997e-05,6.922652e-05,6.895355e-05,6.837391e-05,6.752300e-05,6.726818e-05,6.667459e-05,6.582944e-05,6.559348e-05,6.498825e-05,6.415166e-05,6.393498e-05,6.332028e-05,6.249466e-05,6.229742e-05,6.167531e-05,6.086272e-05,6.068490e-05,6.005731e-05,5.925948e-05,5.910086e-05,5.846960e-05,5.768801e-05,5.754822e-05,5.691499e-05,5.615084e-05,5.602941e-05,5.539579e-05,5.465006e-05,5.454642e-05,5.391386e-05,5.318736e-05,5.310084e-05,5.247072e-05,5.176406e-05,5.169395e-05,5.106750e-05,5.038115e-05,5.032668e-05,4.970508e-05,4.903935e-05,4.899974e-05,4.838403e-05,4.773913e-05,4.771356e-05,4.710470e-05,4.648074e-05,4.646837e-05,4.586725e-05,4.526423e-05,4.410103e-05,4.297852e-05,4.189632e-05,4.085396e-05,3.985088e-05,3.888643e-05,3.795991e-05,3.707056e-05,3.621758e-05,3.540011e-05,3.461730e-05,3.386826e-05,3.315207e-05,3.246783e-05,3.181461e-05,3.119148e-05,3.059754e-05,3.003185e-05,2.949351e-05,2.898162e-05,2.849529e-05,2.803364e-05,2.759582e-05,2.718097e-05,2.678828e-05,2.641692e-05,2.606611e-05,2.573508e-05,2.542306e-05,2.512931e-05,2.485314e-05,2.459382e-05,2.435070e-05,2.412310e-05,2.391039e-05,2.371195e-05,2.352717e-05,2.335547e-05,2.319628e-05,2.304907e-05,2.291328e-05,2.278842e-05,2.267398e-05,2.256949e-05,2.247448e-05,2.238850e-05,2.231112e-05,2.224192e-05,2.218050e-05
0.000000e+00,2.486771e-10,4.571232e-09,4.795320e-09,3.359177e-08,1.109584e-07,1.152441e-07,2.349767e-07,3.509985e-07,3.582313e-07,4.746114e-07,5.744144e-07,5.827645e-07,6.828243e-07,7.662654e-07,7.751635e-07,8.601891e-07,9.292835e-07,9.383059e-07,1.009908e-06,1.066566e-06,1.075376e-06,1.135076e-06,1.181024e-06,1.189359e-06,1.238561e-06,1.275338e-06,1.282998e-06,1.322973e-06,1.351933e-06,1.358772e-06,1.390666e-06,1.412996e-06,1.418908e-06,1.443737e-06,1.460463e-06,1.465377e-06,1.484043e-06,1.496059e-06,1.499934e-06,1.513244e-06,1.521331e-06,1.524154e-06,1.532834e-06,1.537667e-06,1.539440e-06,1.544122e-06,1.546277e-06,1.547017e-06,1.548255e-06,1.548226e-06,1.547961e-06,1.546248e-06,1.544457e-06,1.543225e-06,1.538993e-06,1.535804e-06,1.533648e-06,1.527278e-06,1.523000e-06,1.519968e-06,1.511796e-06,1.506690e-06,1.502835e-06,1.493154e-06,1.487442e-06,1.482818e-06,1.471886e-06,1.465756e-06,1.460416e-06,1.448461e-06,1.442068e-06,1.436069e-06,1.423287e-06,1.416764e-06,1.410158e-06,1.396723e-06,1.390176e-06,1.383019e-06,1.369081e-06,1.362600e-06,1.354942e-06,1.340632e-06,1.334289e-06,1.326180e-06,1.311613e-06,1.305466e-06,1.296954e-06,1.282227e-06,1.276322e-06,1.267453e-06,1.252652e-06,1.247025e-06,1.237842e-06,1.223040e-06,1.217716e-06,1.208261e-06,1.193521e-06,1.188520e-06,1.178831e-06,1.164206e-06,1.159541e-06,1.149655e-06,1.135190e-06,1.130868e-06,1.120819e-06,1.106552e-06,1.102577e-06,1.092397e-06,1.078361e-06,1.074732e-06,1.064450e-06,1.050671e-06,1.047384e-06,1.037029e-06,1.023528e-06,1.020577e-06,1.010174e-06,9.969692e-07,9.943466e-07,9.839182e-07,9.710237e-07,9.687195e-07,9.582883e-07,9.457143e-07,9.437176e-07,9.333036e-07,9.210579e-07,9.193567e-07,9.089784e-07,8.970663e-07,8.956482e-07,8.853224e-07,8.737472e-07,8.725990e-07,8.623411e-07,8.511043e-07,8.502127e-07,8.400367e-07,8.291382e-07,8.284897e-07,8.184084e-07,8.078467e-07,8.074277e-07,7.974526e-07,7.872252e-07,7.870223e-07,7.771637e-07,7.672671e-07,7.481539e-07,7.296733e-07,7.118148e-07,6.945667e-07,6.779170e-07,6.618525e-07,6.463600e-07,6.314258e-07,6.170358e-07,6.031759e-07,5.898319e-07,5.769894e-07,5.646343e-07,5.527524e-07,5.413298e-07,5.303524e-07,5.198067e-07,5.096791e-07,4.999565e-07,4.906258e-07,4.816744e-07,4.730899e-07,4.648600e-07,4.569729e-07,4.494170e-07,4.421812e-07,4.352542e-07,4.286256e-07,4.222849e-07,4.162221e-07,4.104273e-07,4.048910e-07,3.996039e-07,3.945572e-07,3.897422e-07,3.851503e-07,3.807735e-07,3.766038e-07,3.726336e-07,3.688555e-07,3.652622e-07,3.618470e-07,3.586030e-07,3.555237e-07,3.526029e-07,3.498345e-07,3.472125e-07,3.447314e-07,3.423857e-07
0.000000e+00,6.933844e-10,8.666421e-09,9.034123e-09,5.197240e-08,1.719758e-07,1.792824e-07,4.257657e-07,7.459662e-07,7.680589e-07,1.143506e-06,1.480393e-06,1.508792e-06,1.849535e-06,2.132930e-06,2.163062e-06,2.449870e-06,2.681174e-06,2.711243e-06,2.948640e-06,3.134746e-06,3.163530e-06,3.357343e-06,3.504868e-06,3.531457e-06,3.687182e-06,3.802033e-06,3.825767e-06,3.948389e-06,4.035745e-06,4.056163e-06,4.150134e-06,4.214486e-06,4.231288e-06,4.300553e-06,4.345780e-06,4.358799e-06,4.406846e-06,4.436285e-06,4.445457e-06,4.475352e-06,4.491857e-06,4.497201e-06,4.511634e-06,4.517641e-06,4.519239e-06,4.520567e-06,4.518148e-06,4.516132e-06,4.506414e-06,4.497326e-06,4.491863e-06,4.472898e-06,4.458626e-06,4.449910e-06,4.423265e-06,4.405057e-06,4.393301e-06,4.360338e-06,4.339244e-06,4.324670e-06,4.286572e-06,4.263464e-06,4.246301e-06,4.204095e-06,4.179697e-06,4.160175e-06,4.114747e-06,4.089657e-06,4.068002e-06,4.020117e-06,3.994822e-06,3.971258e-06,3.921575e-06,3.896470e-06,3.871211e-06,3.820295e-06,3.795696e-06,3.768949e-06,3.717282e-06,3.693437e-06,3.665399e-06,3.613393e-06,3.590494e-06,3.561352e-06,3.509355e-06,3.487547e-06,3.457475e-06,3.405781e-06,3.385169e-06,3.354332e-06,3.303186e-06,3.283841e-06,3.252393e-06,3.202000e-06,3.183964e-06,3.152048e-06,3.102576e-06,3.085870e-06,3.053617e-06,3.005202e-06,2.989829e-06,2.957359e-06,2.910113e-06,2.896058e-06,2.863483e-06,2.817490e-06,2.804729e-06,2.772150e-06,2.727477e-06,2.715973e-06,2.683483e-06,2.640178e-06,2.629889e-06,2.597571e-06,2.555669e-06,2.546545e-06,2.514475e-06,2.473995e-06,2.465985e-06,2.434231e-06,2.395183e-06,2.388231e-06,2.356853e-06,2.319238e-06,2.313287e-06,2.282338e-06,2.246150e-06,2.241140e-06,2.210669e-06,2.175893e-06,2.171767e-06,2.141816e-06,2.108432e-06,2.105132e-06,2.075737e-06,2.043722e-06,2.041190e-06,2.012382e-06,1.981710e-06,1.979891e-06,1.951697e-06,1.922336e-06,1.921175e-06,1.893618e-06,1.865536e-06,1.864981e-06,1.838081e-06,1.811243e-06,1.759891e-06,1.710855e-06,1.664063e-06,1.619441e-06,1.576917e-06,1.536418e-06,1.497871e-06,1.461204e-06,1.426348e-06,1.393231e-06,1.361788e-06,1.331950e-06,1.303654e-06,1.276835e-06,1.251434e-06,1.227390e-06,1.204646e-06,1.183145e-06,1.162835e-06,1.143662e-06,1.125576e-06,1.108529e-06,1.092474e-06,1.077366e-06,1.063162e-06,1.049819e-06,1.037297e-06,1.025558e-06,1.014566e-06,1.004283e-06,9.946768e-07,9.857136e-07,9.773622e-07,9.695925e-07,9.623753e-07,9.556832e-07,9.494894e-07,9.437685e-07,9.384961e-07,9.336489e-07,9.292045e-07,9.251416e-07,9.214396e-07,9.180790e-07,9.150411e-07,9.123079e-07,9.098624e-07,9.076883e-07,9.057698e-07
0.000000e+00,4.074741e-10,5.248842e-09,5.475183e-09,3.242972e-08,1.096720e-07,1.144277e-07,2.774477e-07,4.959368e-07,5.112693e-07,7.758833e-07,1.018024e-06,1.038583e-06,1.286773e-06,1.495268e-06,1.517552e-06,1.730837e-06,1.904562e-06,1.927271e-06,2.107678e-06,2.250660e-06,2.272911e-06,2.423814e-06,2.540102e-06,2.561211e-06,2.685894e-06,2.779178e-06,2.798619e-06,2.900107e-06,2.973669e-06,2.991044e-06,3.072083e-06,3.128823e-06,3.143845e-06,3.206919e-06,3.249388e-06,3.261862e-06,3.309202e-06,3.339634e-06,3.349439e-06,3.383046e-06,3.403388e-06,3.410468e-06,3.432127e-06,3.444073e-06,3.448421e-06,3.459726e-06,3.464745e-06,3.466396e-06,3.468766e-06,3.468128e-06,3.467151e-06,3.461848e-06,3.456649e-06,3.453138e-06,3.441284e-06,3.432464e-06,3.426533e-06,3.409121e-06,3.397488e-06,3.389267e-06,3.367177e-06,3.353418e-06,3.343046e-06,3.317057e-06,3.301755e-06,3.289380e-06,3.260177e-06,3.243827e-06,3.229600e-06,3.197788e-06,3.180804e-06,3.164877e-06,3.130988e-06,3.113715e-06,3.096240e-06,3.060742e-06,3.043466e-06,3.024594e-06,2.987892e-06,2.970848e-06,2.950725e-06,2.913176e-06,2.896554e-06,2.875322e-06,2.837236e-06,2.821186e-06,2.798983e-06,2.760627e-06,2.745269e-06,2.722226e-06,2.683832e-06,2.669254e-06,2.645495e-06,2.607262e-06,2.593532e-06,2.569175e-06,2.531273e-06,2.518434e-06,2.493591e-06,2.456164e-06,2.444246e-06,2.419022e-06,2.382192e-06,2.371207e-06,2.345699e-06,2.309568e-06,2.299518e-06,2.273817e-06,2.238468e-06,2.229345e-06,2.203536e-06,2.169038e-06,2.160824e-06,2.134986e-06,2.101392e-06,2.094064e-06,2.068268e-06,2.035622e-06,2.029151e-06,2.003463e-06,1.971797e-06,1.966150e-06,1.940631e-06,1.909968e-06,1.905109e-06,1.879812e-06,1.850167e-06,1.846057e-06,1.821034e-06,1.792414e-06,1.789014e-06,1.764308e-06,1.736715e-06,1.733984e-06,1.709636e-06,1.683068e-06,1.680964e-06,1.657009e-06,1.631458e-06,1.629941e-06,1.606410e-06,1.581864e-06,1.580893e-06,1.557815e-06,1.534260e-06,1.533794e-06,1.511193e-06,1.488611e-06,1.445308e-06,1.403845e-06,1.364177e-06,1.326260e-06,1.290046e-06,1.255485e-06,1.222529e-06,1.191126e-06,1.161226e-06,1.132778e-06,1.105732e-06,1.080038e-06,1.055645e-06,1.032506e-06,1.010572e-06,9.897965e-07,9.701329e-07,9.515365e-07,9.339634e-07,9.173709e-07,9.017177e-07,8.869634e-07,8.730690e-07,8.599967e-07,8.477099e-07,8.361732e-07,8.253525e-07,8.152146e-07,8.057279e-07,7.968616e-07,7.885862e-07,7.808733e-07,7.736955e-07,7.670267e-07,7.608413e-07,7.551153e-07,7.498253e-07,7.449490e-07,7.404648e-07,7.363522e-07,7.325915e-07,7.291639e-07,7.260512e-07,7.232360e-07,7.207020e-07,7.184331e-07,7.164143e-07,7.146310e-07,7.130694e-07
0.000000e+00,7.531720e-10,5.987589e-08,6.411939e-08,1.090098e-06,7.492934e-06,8.017052e-06,3.337823e-05,8.800483e-05,9.273750e-05,1.950228e-04,3.263458e-04,3.392682e-04,5.173555e-04,6.972751e-04,7.180256e-04,9.299134e-04,1.117831e-03,1.143234e-03,1.350427e-03,1.519598e-03,1.546168e-03,1.727070e-03,1.866169e-03,1.891280e-03,2.038082e-03,2.145508e-03,2.167556e-03,2.280309e-03,2.359090e-03,2.377271e-03,2.459552e-03,2.514302e-03,2.528338e-03,2.584829e-03,2.620258e-03,2.630190e-03,2.665530e-03,2.685842e-03,2.691885e-03,2.710212e-03,2.718931e-03,2.721387e-03,2.726211e-03,2.726200e-03,2.725408e-03,2.719633e-03,2.713169e-03,2.709475e-03,2.695468e-03,2.684348e-03,2.678087e-03,2.657764e-03,2.643391e-03,2.634881e-03,2.609784e-03,2.593249e-03,2.582782e-03,2.554151e-03,2.536294e-03,2.524138e-03,2.492964e-03,2.474430e-03,2.460828e-03,2.427905e-03,2.409185e-03,2.394354e-03,2.360315e-03,2.341775e-03,2.325913e-03,2.291259e-03,2.273173e-03,2.256452e-03,2.221582e-03,2.204147e-03,2.186724e-03,2.151950e-03,2.135305e-03,2.117318e-03,2.082884e-03,2.067124e-03,2.048694e-03,2.014790e-03,1.999972e-03,1.981207e-03,1.947978e-03,1.934134e-03,1.915129e-03,1.882684e-03,1.869824e-03,1.850663e-03,1.819082e-03,1.807200e-03,1.787956e-03,1.757296e-03,1.746374e-03,1.727112e-03,1.697411e-03,1.687425e-03,1.668200e-03,1.639483e-03,1.630398e-03,1.611262e-03,1.583539e-03,1.575319e-03,1.556314e-03,1.529587e-03,1.522193e-03,1.503357e-03,1.477620e-03,1.471009e-03,1.452375e-03,1.427618e-03,1.421748e-03,1.403344e-03,1.379550e-03,1.374379e-03,1.356230e-03,1.333380e-03,1.328866e-03,1.310993e-03,1.289064e-03,1.285165e-03,1.267587e-03,1.246555e-03,1.243231e-03,1.225963e-03,1.205804e-03,1.203015e-03,1.186070e-03,1.166757e-03,1.164467e-03,1.147856e-03,1.129361e-03,1.127533e-03,1.111265e-03,1.093562e-03,1.092163e-03,1.076245e-03,1.059306e-03,1.058302e-03,1.042740e-03,1.026539e-03,1.025899e-03,1.010697e-03,9.952077e-04,9.949015e-04,9.800637e-04,9.652588e-04,9.369209e-04,9.098386e-04,8.839641e-04,8.592511e-04,8.356543e-04,8.131298e-04,7.916354e-04,7.711299e-04,7.515737e-04,7.329285e-04,7.151574e-04,6.982247e-04,6.820961e-04,6.667385e-04,6.521201e-04,6.382103e-04,6.249797e-04,6.123998e-04,6.004435e-04,5.890845e-04,5.782976e-04,5.680588e-04,5.583446e-04,5.491329e-04,5.404021e-04,5.321317e-04,5.243019e-04,5.168937e-04,5.098889e-04,5.032699e-04,4.970199e-04,4.911228e-04,4.855630e-04,4.803257e-04,4.753966e-04,4.707620e-04,4.664086e-04,4.623239e-04,4.584958e-04,4.549125e-04,4.515628e-04,4.484361e-04,4.455221e-04,4.428108e-04,4.402927e-04,4.379588e-04,4.358002e-04,4.338087e-04,4.319760e-04
0.000000e+00,6.851015e-09,9.951558e-08,1.039357e-07,6.558514e-07,2.350818e-06,2.457959e-06,6.195615e-06,1.115142e-05,1.149216e-05,1.725278e-05,2.242011e-05,2.285747e-05,2.814050e-05,3.259722e-05,3.307508e-05,3.766725e-05,4.143587e-05,4.193062e-05,4.588060e-05,4.903891e-05,4.953290e-05,5.290302e-05,5.552699e-05,5.600617e-05,5.885706e-05,6.101655e-05,6.146992e-05,6.385838e-05,6.561639e-05,6.603551e-05,6.801376e-05,6.942637e-05,6.980497e-05,7.142040e-05,7.253715e-05,7.287072e-05,7.416604e-05,7.503044e-05,7.531594e-05,7.632948e-05,7.697961e-05,7.721521e-05,7.798124e-05,7.845034e-05,7.863520e-05,7.918432e-05,7.950132e-05,7.963540e-05,7.999488e-05,8.018491e-05,8.026882e-05,8.046294e-05,8.054779e-05,8.058264e-05,8.063303e-05,8.063156e-05,8.061888e-05,8.054471e-05,8.047319e-05,8.041480e-05,8.023315e-05,8.010558e-05,8.000353e-05,7.972950e-05,7.955790e-05,7.941440e-05,7.906139e-05,7.885606e-05,7.867344e-05,7.825331e-05,7.802301e-05,7.780364e-05,7.732690e-05,7.707909e-05,7.682538e-05,7.630127e-05,7.604229e-05,7.575662e-05,7.519335e-05,7.492848e-05,7.461324e-05,7.401801e-05,7.375173e-05,7.340923e-05,7.278839e-05,7.252438e-05,7.215688e-05,7.151602e-05,7.125733e-05,7.086702e-05,7.021103e-05,6.996014e-05,6.954912e-05,6.888230e-05,6.864122e-05,6.821150e-05,6.753760e-05,6.730792e-05,6.686142e-05,6.618373e-05,6.596666e-05,6.550522e-05,6.482657e-05,6.462304e-05,6.414839e-05,6.347126e-05,6.328193e-05,6.279571e-05,6.212223e-05,6.194752e-05,6.145128e-05,6.078329e-05,6.062346e-05,6.011865e-05,5.945772e-05,5.931285e-05,5.880084e-05,5.814832e-05,5.801837e-05,5.750045e-05,5.685748e-05,5.674229e-05,5.621965e-05,5.558719e-05,5.548651e-05,5.496028e-05,5.433911e-05,5.425262e-05,5.372385e-05,5.311463e-05,5.304193e-05,5.251158e-05,5.191484e-05,5.185552e-05,5.132450e-05,5.074065e-05,5.069422e-05,5.016337e-05,4.959274e-05,4.955872e-05,4.902881e-05,4.847163e-05,4.844948e-05,4.792124e-05,4.737767e-05,4.736687e-05,4.684096e-05,4.631110e-05,4.528228e-05,4.428041e-05,4.330542e-05,4.235717e-05,4.143544e-05,4.053996e-05,3.967042e-05,3.882647e-05,3.800772e-05,3.721376e-05,3.644415e-05,3.569844e-05,3.497616e-05,3.427683e-05,3.359996e-05,3.294505e-05,3.231161e-05,3.169913e-05,3.110712e-05,3.053508e-05,2.998251e-05,2.944892e-05,2.893383e-05,2.843674e-05,2.795719e-05,2.749471e-05,2.704883e-05,2.661910e-05,2.620507e-05,2.580632e-05,2.542240e-05,2.505289e-05,2.469740e-05,2.435550e-05,2.402681e-05,2.371095e-05,2.340752e-05,2.311617e-05,2.283654e-05,2.256827e-05,2.231102e-05,2.206446e-05,2.182825e-05,2.160208e-05,2.138564e-05,2.117863e-05,2.098074e-05,2.079170e-05,2.061121e-05
0.000000e+00,4.152509e-09,5.863550e-08,6.121367e-08,3.635714e-07,1.175295e-06,1.222976e-06,2.717052e-06,4.391997e-06,4.500380e-06,6.275399e-06,7.825742e-06,7.956247e-06,9.528340e-06,1.085054e-05,1.099214e-05,1.235121e-05,1.346401e-05,1.360991e-05,1.477272e-05,1.569947e-05,1.584413e-05,1.682853e-05,1.759145e-05,1.773039e-05,1.855409e-05,1.917423e-05,1.930394e-05,1.998407e-05,2.048068e-05,2.059850e-05,2.115106e-05,2.154149e-05,2.164544e-05,2.208515e-05,2.238483e-05,2.247353e-05,2.281376e-05,2.303630e-05,2.310885e-05,2.336167e-05,2.351905e-05,2.357493e-05,2.375119e-05,2.385387e-05,2.389289e-05,2.400233e-05,2.405943e-05,2.408167e-05,2.413297e-05,2.415241e-05,2.415817e-05,2.415909e-05,2.414775e-05,2.413747e-05,2.409494e-05,2.405874e-05,2.403302e-05,2.395317e-05,2.389723e-05,2.385676e-05,2.374506e-05,2.367376e-05,2.361930e-05,2.348061e-05,2.339769e-05,2.333005e-05,2.316865e-05,2.307732e-05,2.299735e-05,2.281705e-05,2.272001e-05,2.262857e-05,2.243270e-05,2.233224e-05,2.223020e-05,2.202174e-05,2.191975e-05,2.180797e-05,2.158952e-05,2.148761e-05,2.136694e-05,2.114077e-05,2.104025e-05,2.091152e-05,2.067965e-05,2.058158e-05,2.044559e-05,2.020976e-05,2.011502e-05,1.997254e-05,1.973427e-05,1.964353e-05,1.949530e-05,1.925594e-05,1.916972e-05,1.901646e-05,1.877713e-05,1.869584e-05,1.853821e-05,1.829992e-05,1.822384e-05,1.806247e-05,1.782607e-05,1.775537e-05,1.759088e-05,1.735708e-05,1.729189e-05,1.712483e-05,1.689425e-05,1.683460e-05,1.666549e-05,1.643866e-05,1.638452e-05,1.621387e-05,1.599121e-05,1.594252e-05,1.577078e-05,1.555266e-05,1.550932e-05,1.533691e-05,1.512360e-05,1.508547e-05,1.491280e-05,1.470454e-05,1.467146e-05,1.449888e-05,1.429585e-05,1.426764e-05,1.409549e-05,1.389782e-05,1.387428e-05,1.370287e-05,1.351065e-05,1.349158e-05,1.332118e-05,1.313448e-05,1.311966e-05,1.295054e-05,1.276938e-05,1.275859e-05,1.259098e-05,1.241536e-05,1.240839e-05,1.224250e-05,1.207240e-05,1.206903e-05,1.190505e-05,1.174043e-05,1.142250e-05,1.111510e-05,1.081809e-05,1.053130e-05,1.025453e-05,9.987575e-06,9.730230e-06,9.482269e-06,9.243465e-06,9.013582e-06,8.792384e-06,8.579633e-06,8.375088e-06,8.178512e-06,7.989665e-06,7.808311e-06,7.634219e-06,7.467156e-06,7.306896e-06,7.153218e-06,7.005901e-06,6.864733e-06,6.729505e-06,6.600011e-06,6.476053e-06,6.357438e-06,6.243975e-06,6.135481e-06,6.031778e-06,5.932692e-06,5.838055e-06,5.747703e-06,5.661478e-06,5.579228e-06,5.500802e-06,5.426058e-06,5.354857e-06,5.287063e-06,5.222546e-06,5.161181e-06,5.102846e-06,5.047423e-06,4.994799e-06,4.944864e-06,4.897512e-06,4.852641e-06,4.810152e-06,4.769949e-06,4.731942e-06
0.000000e+00,4.426144e-09,1.678330e-07,1.777487e-07,1.997187e-06,1.048833e-05,1.110608e-05,3.533862e-05,7.024921e-05,7.267801e-05,1.138258e-04,1.505930e-04,1.536921e-04,1.909387e-04,2.220718e-04,2.253934e-04,2.571423e-04,2.829504e-04,2.863208e-04,3.130699e-04,3.342368e-04,3.375281e-04,3.598289e-04,3.769880e-04,3.801001e-04,3.984635e-04,4.121808e-04,4.150370e-04,4.299329e-04,4.407142e-04,4.432587e-04,4.551161e-04,4.634079e-04,4.656017e-04,4.748067e-04,4.809993e-04,4.828174e-04,4.897151e-04,4.941481e-04,4.955765e-04,5.004737e-04,5.034409e-04,5.044746e-04,5.076432e-04,5.093982e-04,5.100394e-04,5.117197e-04,5.124805e-04,5.127371e-04,5.131413e-04,5.130949e-04,5.129790e-04,5.122940e-04,5.116004e-04,5.111274e-04,5.095178e-04,5.083133e-04,5.075013e-04,5.051116e-04,5.035120e-04,5.023805e-04,4.993377e-04,4.974411e-04,4.960109e-04,4.924262e-04,4.903151e-04,4.886077e-04,4.845783e-04,4.823222e-04,4.803591e-04,4.759701e-04,4.736268e-04,4.714296e-04,4.667551e-04,4.643725e-04,4.619625e-04,4.570668e-04,4.546845e-04,4.520822e-04,4.470216e-04,4.446716e-04,4.418971e-04,4.367199e-04,4.344281e-04,4.315006e-04,4.262489e-04,4.240356e-04,4.209737e-04,4.156833e-04,4.135647e-04,4.103856e-04,4.050876e-04,4.030757e-04,3.997960e-04,3.945168e-04,3.926204e-04,3.892556e-04,3.840175e-04,3.822427e-04,3.788074e-04,3.736295e-04,3.719801e-04,3.684879e-04,3.633860e-04,3.618637e-04,3.583272e-04,3.533146e-04,3.519197e-04,3.483508e-04,3.434383e-04,3.421697e-04,3.385792e-04,3.337755e-04,3.326311e-04,3.290290e-04,3.243413e-04,3.233180e-04,3.197137e-04,3.151473e-04,3.142415e-04,3.106432e-04,3.062024e-04,3.054098e-04,3.018254e-04,2.975129e-04,2.968289e-04,2.932655e-04,2.890834e-04,2.885031e-04,2.849669e-04,2.809162e-04,2.804346e-04,2.769315e-04,2.730125e-04,2.726242e-04,2.691594e-04,2.653718e-04,2.650716e-04,2.616496e-04,2.579926e-04,2.577752e-04,2.544003e-04,2.508724e-04,2.507326e-04,2.474085e-04,2.440080e-04,2.439407e-04,2.406705e-04,2.373955e-04,2.310926e-04,2.250274e-04,2.191945e-04,2.135885e-04,2.082038e-04,2.030344e-04,1.980745e-04,1.933180e-04,1.887588e-04,1.843909e-04,1.802082e-04,1.762048e-04,1.723746e-04,1.687119e-04,1.652109e-04,1.618659e-04,1.586714e-04,1.556220e-04,1.527123e-04,1.499373e-04,1.472918e-04,1.447710e-04,1.423702e-04,1.400847e-04,1.379101e-04,1.358420e-04,1.338762e-04,1.320087e-04,1.302355e-04,1.285528e-04,1.269569e-04,1.254444e-04,1.240117e-04,1.226555e-04,1.213727e-04,1.201602e-04,1.190150e-04,1.179342e-04,1.169152e-04,1.159552e-04,1.150517e-04,1.142022e-04,1.134044e-04,1.126560e-04,1.119547e-04,1.112985e-04,1.106854e-04,1.101134e-04,1.095806e-04
0.000000e+00,6.648522e-10,3.839215e-08,4.083813e-08,5.395640e-07,3.424461e-06,3.661984e-06,1.581601e-05,4.542018e-05,4.814971e-05,1.114375e-04,2.005514e-04,2.096388e-04,3.386882e-04,4.737397e-04,4.894976e-04,6.515317e-04,7.957688e-04,8.152321e-04,9.731370e-04,1.100317e-03,1.120098e-03,1.253021e-03,1.352704e-03,1.370420e-03,1.471970e-03,1.543710e-03,1.558117e-03,1.629781e-03,1.677470e-03,1.688138e-03,1.734470e-03,1.763096e-03,1.770073e-03,1.796194e-03,1.810425e-03,1.813999e-03,1.824558e-03,1.828279e-03,1.828838e-03,1.827705e-03,1.823973e-03,1.821928e-03,1.812187e-03,1.803332e-03,1.799078e-03,1.783128e-03,1.770895e-03,1.764795e-03,1.744480e-03,1.730159e-03,1.722534e-03,1.699260e-03,1.683792e-03,1.674923e-03,1.649752e-03,1.633816e-03,1.623946e-03,1.597676e-03,1.581755e-03,1.571092e-03,1.544320e-03,1.528750e-03,1.517470e-03,1.490637e-03,1.475648e-03,1.463901e-03,1.437330e-03,1.423071e-03,1.410982e-03,1.384906e-03,1.371468e-03,1.359143e-03,1.333728e-03,1.321160e-03,1.308689e-03,1.284048e-03,1.272367e-03,1.259824e-03,1.236032e-03,1.225236e-03,1.212683e-03,1.189785e-03,1.179855e-03,1.167344e-03,1.145364e-03,1.136270e-03,1.123846e-03,1.102790e-03,1.094497e-03,1.082195e-03,1.062058e-03,1.054525e-03,1.042376e-03,1.023144e-03,1.016330e-03,1.004358e-03,9.860120e-04,9.798735e-04,9.680995e-04,9.506139e-04,9.451076e-04,9.335484e-04,9.168956e-04,9.119792e-04,9.006484e-04,8.847990e-04,8.804315e-04,8.693399e-04,8.542633e-04,8.504051e-04,8.395615e-04,8.252267e-04,8.218401e-04,8.112511e-04,7.976269e-04,7.946760e-04,7.843465e-04,7.714022e-04,7.688530e-04,7.587865e-04,7.464920e-04,7.443125e-04,7.345112e-04,7.228369e-04,7.209970e-04,7.114621e-04,7.003795e-04,6.988509e-04,6.895824e-04,6.790640e-04,6.778202e-04,6.688175e-04,6.588366e-04,6.578528e-04,6.491146e-04,6.396455e-04,6.388987e-04,6.304230e-04,6.214412e-04,6.209098e-04,6.126940e-04,6.041759e-04,6.038398e-04,5.958811e-04,5.878041e-04,5.876447e-04,5.799396e-04,5.722822e-04,5.577118e-04,5.438949e-04,5.307948e-04,5.183763e-04,5.066058e-04,4.954515e-04,4.848829e-04,4.748711e-04,4.653884e-04,4.564086e-04,4.479066e-04,4.398586e-04,4.322420e-04,4.250352e-04,4.182176e-04,4.117698e-04,4.056731e-04,3.999100e-04,3.944636e-04,3.893179e-04,3.844577e-04,3.798686e-04,3.755368e-04,3.714493e-04,3.675937e-04,3.639581e-04,3.605313e-04,3.573026e-04,3.542618e-04,3.513994e-04,3.487062e-04,3.461734e-04,3.437927e-04,3.415563e-04,3.394567e-04,3.374867e-04,3.356396e-04,3.339090e-04,3.322887e-04,3.307730e-04,3.293563e-04,3.280334e-04,3.267994e-04,3.256494e-04,3.245789e-04,3.235838e-04,3.226600e-04,3.218035e-04,3.210108e-04
0.000000e+00,4.639081e-09,7.424516e-08,7.773452e-08,5.226826e-07,1.775343e-06,1.847629e-06,3.974838e-06,6.164358e-06,6.303286e-06,8.566261e-06,1.054245e-05,1.070919e-05,1.272416e-05,1.442954e-05,1.461283e-05,1.637905e-05,1.783555e-05,1.802726e-05,1.956214e-05,2.079515e-05,2.098848e-05,2.231107e-05,2.334535e-05,2.353468e-05,2.466401e-05,2.552297e-05,2.570370e-05,2.665822e-05,2.736345e-05,2.753192e-05,2.832893e-05,2.889989e-05,2.905319e-05,2.970876e-05,3.016338e-05,3.029940e-05,3.082869e-05,3.118285e-05,3.130000e-05,3.171661e-05,3.198444e-05,3.208160e-05,3.239794e-05,3.259194e-05,3.266843e-05,3.289577e-05,3.302702e-05,3.308251e-05,3.323108e-05,3.330936e-05,3.334380e-05,3.342287e-05,3.345678e-05,3.347038e-05,3.348833e-05,3.348545e-05,3.347861e-05,3.344302e-05,3.340996e-05,3.338326e-05,3.330095e-05,3.324349e-05,3.319764e-05,3.307477e-05,3.299795e-05,3.293375e-05,3.277587e-05,3.268405e-05,3.260239e-05,3.241448e-05,3.231144e-05,3.221327e-05,3.199980e-05,3.188879e-05,3.177509e-05,3.154008e-05,3.142388e-05,3.129566e-05,3.104269e-05,3.092368e-05,3.078197e-05,3.051425e-05,3.039443e-05,3.024025e-05,2.996065e-05,2.984170e-05,2.967608e-05,2.938715e-05,2.927048e-05,2.909441e-05,2.879841e-05,2.868518e-05,2.849965e-05,2.819860e-05,2.808975e-05,2.789570e-05,2.759137e-05,2.748765e-05,2.728601e-05,2.697998e-05,2.688197e-05,2.667363e-05,2.636728e-05,2.627543e-05,2.606124e-05,2.575578e-05,2.567040e-05,2.545118e-05,2.514767e-05,2.506896e-05,2.484549e-05,2.454485e-05,2.447295e-05,2.424595e-05,2.394898e-05,2.388392e-05,2.365410e-05,2.336147e-05,2.330323e-05,2.307125e-05,2.278355e-05,2.273205e-05,2.249852e-05,2.221625e-05,2.217135e-05,2.193686e-05,2.166043e-05,2.162197e-05,2.138706e-05,2.111681e-05,2.108460e-05,2.084976e-05,2.058598e-05,2.055978e-05,2.032550e-05,2.006839e-05,2.004797e-05,1.981469e-05,1.956443e-05,1.954952e-05,1.931763e-05,1.907434e-05,1.906468e-05,1.883457e-05,1.859833e-05,1.859364e-05,1.836564e-05,1.813650e-05,1.769331e-05,1.726406e-05,1.684870e-05,1.644713e-05,1.605922e-05,1.568480e-05,1.532368e-05,1.497565e-05,1.464048e-05,1.431791e-05,1.400767e-05,1.370951e-05,1.342312e-05,1.314823e-05,1.288453e-05,1.263172e-05,1.238951e-05,1.215760e-05,1.193568e-05,1.172345e-05,1.152061e-05,1.132688e-05,1.114196e-05,1.096556e-05,1.079740e-05,1.063720e-05,1.048468e-05,1.033959e-05,1.020166e-05,1.007063e-05,9.946254e-06,9.828286e-06,9.716488e-06,9.610630e-06,9.510486e-06,9.415837e-06,9.326468e-06,9.242174e-06,9.162753e-06,9.088010e-06,9.017755e-06,8.951806e-06,8.889985e-06,8.832118e-06,8.778041e-06,8.727591e-06,8.680613e-06,8.636955e-06,8.596473e-06
0.000000e+00,1.013556e-09,5.739078e-08,6.099967e-08,7.747761e-07,4.820187e-06,5.152690e-06,2.226799e-05,6.477722e-05,6.874758e-05,1.628329e-04,3.010054e-04,3.154353e-04,5.267265e-04,7.603132e-04,7.884024e-04,1.087730e-03,1.371352e-03,1.410969e-03,1.745516e-03,2.034240e-03,2.080923e-03,2.409153e-03,2.675029e-03,2.724421e-03,3.022845e-03,3.253278e-03,3.302047e-03,3.560787e-03,3.752743e-03,3.798645e-03,4.015774e-03,4.171085e-03,4.212718e-03,4.390261e-03,4.512791e-03,4.549339e-03,4.690961e-03,4.785137e-03,4.816170e-03,4.926002e-03,4.996130e-03,5.021472e-03,5.103559e-03,5.153560e-03,5.173199e-03,5.231280e-03,5.264604e-03,5.278643e-03,5.316078e-03,5.335710e-03,5.344329e-03,5.364096e-03,5.372597e-03,5.376032e-03,5.380750e-03,5.380304e-03,5.378824e-03,5.370791e-03,5.363250e-03,5.357153e-03,5.338378e-03,5.325309e-03,5.314905e-03,5.287144e-03,5.269869e-03,5.255477e-03,5.220262e-03,5.199889e-03,5.181831e-03,5.140496e-03,5.117951e-03,5.096547e-03,5.050252e-03,5.026306e-03,5.001866e-03,4.951621e-03,4.926908e-03,4.899736e-03,4.846413e-03,4.821455e-03,4.791843e-03,4.736198e-03,4.711418e-03,4.679644e-03,4.622331e-03,4.598067e-03,4.564398e-03,4.505976e-03,4.482498e-03,4.447185e-03,4.388137e-03,4.365653e-03,4.328933e-03,4.269670e-03,4.248337e-03,4.210434e-03,4.151306e-03,4.131240e-03,4.092360e-03,4.033665e-03,4.014945e-03,3.975282e-03,3.917269e-03,3.899945e-03,3.859678e-03,3.802556e-03,3.786651e-03,3.745946e-03,3.689888e-03,3.675408e-03,3.634417e-03,3.579565e-03,3.566496e-03,3.525360e-03,3.471828e-03,3.460144e-03,3.418991e-03,3.366870e-03,3.356533e-03,3.315481e-03,3.264841e-03,3.255806e-03,3.214962e-03,3.165855e-03,3.158070e-03,3.117529e-03,3.069993e-03,3.063401e-03,3.023251e-03,2.977309e-03,2.971850e-03,2.932169e-03,2.887834e-03,2.883444e-03,2.844303e-03,2.801577e-03,2.798193e-03,2.759653e-03,2.718531e-03,2.716089e-03,2.678205e-03,2.638674e-03,2.637109e-03,2.599931e-03,2.561972e-03,2.561221e-03,2.524791e-03,2.488382e-03,2.418539e-03,2.351635e-03,2.287606e-03,2.226384e-03,2.167898e-03,2.112072e-03,2.058832e-03,2.008100e-03,1.959798e-03,1.913848e-03,1.870172e-03,1.828692e-03,1.789332e-03,1.752015e-03,1.716666e-03,1.683213e-03,1.651583e-03,1.621707e-03,1.593514e-03,1.566939e-03,1.541916e-03,1.518382e-03,1.496275e-03,1.475534e-03,1.456102e-03,1.437923e-03,1.420941e-03,1.405105e-03,1.390363e-03,1.376666e-03,1.363966e-03,1.352217e-03,1.341375e-03,1.331396e-03,1.322240e-03,1.313866e-03,1.306237e-03,1.299314e-03,1.293062e-03,1.287448e-03,1.282437e-03,1.277998e-03,1.274101e-03,1.270715e-03,1.267814e-03,1.265368e-03,1.263353e-03,1.261743e-03,1.260514e-03
0.000000e+00,6.739025e-09,9.208405e-08,9.609251e-08,5.741872e-07,1.912157e-06,1.992631e-06,4.621300e-06,7.800759e-06,8.012253e-06,1.151414e-05,1.458396e-05,1.484178e-05,1.793571e-05,2.051789e-05,2.079323e-05,2.342312e-05,2.555797e-05,2.583654e-05,2.804503e-05,2.978920e-05,3.006009e-05,3.189292e-05,3.329963e-05,3.355438e-05,3.505489e-05,3.617220e-05,3.640440e-05,3.761243e-05,3.848305e-05,3.868799e-05,3.963962e-05,4.030110e-05,4.047543e-05,4.120308e-05,4.168821e-05,4.182979e-05,4.236241e-05,4.269977e-05,4.280737e-05,4.317070e-05,4.338498e-05,4.345813e-05,4.367503e-05,4.378765e-05,4.382652e-05,4.391738e-05,4.394690e-05,4.395223e-05,4.393537e-05,4.389786e-05,4.387078e-05,4.376221e-05,4.367128e-05,4.361319e-05,4.342701e-05,4.329428e-05,4.320677e-05,4.295540e-05,4.279077e-05,4.267561e-05,4.236998e-05,4.218181e-05,4.204089e-05,4.169060e-05,4.148596e-05,4.132120e-05,4.093466e-05,4.071946e-05,4.053283e-05,4.011742e-05,3.989658e-05,3.969004e-05,3.925219e-05,3.902977e-05,3.880526e-05,3.835056e-05,3.812990e-05,3.788929e-05,3.742260e-05,3.720639e-05,3.695153e-05,3.647705e-05,3.626744e-05,3.600008e-05,3.552144e-05,3.532011e-05,3.504192e-05,3.456224e-05,3.437047e-05,3.408306e-05,3.360499e-05,3.342373e-05,3.312859e-05,3.265439e-05,3.248431e-05,3.218287e-05,3.171445e-05,3.155597e-05,3.124954e-05,3.078850e-05,3.064184e-05,3.033166e-05,2.987932e-05,2.974453e-05,2.943175e-05,2.898920e-05,2.886621e-05,2.855188e-05,2.811999e-05,2.800861e-05,2.769370e-05,2.727317e-05,2.717311e-05,2.685852e-05,2.644988e-05,2.636079e-05,2.604734e-05,2.565098e-05,2.557245e-05,2.526087e-05,2.487706e-05,2.480865e-05,2.449961e-05,2.412853e-05,2.406975e-05,2.376386e-05,2.340559e-05,2.335594e-05,2.305373e-05,2.270827e-05,2.266725e-05,2.236920e-05,2.203649e-05,2.200357e-05,2.171012e-05,2.139004e-05,2.136470e-05,2.107621e-05,2.076860e-05,2.075034e-05,2.046715e-05,2.017180e-05,2.016011e-05,1.988249e-05,1.959917e-05,1.959356e-05,1.932176e-05,1.905019e-05,1.852947e-05,1.803081e-05,1.755362e-05,1.709727e-05,1.666113e-05,1.624455e-05,1.584688e-05,1.546749e-05,1.510572e-05,1.476092e-05,1.443248e-05,1.411977e-05,1.382218e-05,1.353911e-05,1.326998e-05,1.301421e-05,1.277127e-05,1.254060e-05,1.232168e-05,1.211402e-05,1.191713e-05,1.173053e-05,1.155376e-05,1.138640e-05,1.122801e-05,1.107819e-05,1.093654e-05,1.080270e-05,1.067630e-05,1.055698e-05,1.044443e-05,1.033832e-05,1.023834e-05,1.014420e-05,1.005562e-05,9.972333e-06,9.894079e-06,9.820612e-06,9.751697e-06,9.687109e-06,9.626633e-06,9.570064e-06,9.517206e-06,9.467871e-06,9.421880e-06,9.379062e-06,9.339255e-06,9.302302e-06,9.268057e-06
0.000000e+00,3.816287e-07,2.645764e-05,2.823842e-05,4.339837e-04,3.126283e-03,3.360518e-03,1.658473e-02,5.469977e-02,5.853435e-02,1.599453e-01,3.395748e-01,3.602381e-01,7.019127e-01,1.164133e+00,1.225791e+00,1.967723e+00,2.824110e+00,2.956577e+00,4.213231e+00,5.517968e+00,5.750289e+00,7.572321e+00,9.321154e+00,9.676453e+00,1.205318e+01,1.419500e+01,1.468730e+01,1.755891e+01,2.001142e+01,2.064438e+01,2.391729e+01,2.658211e+01,2.734933e+01,3.091105e+01,3.368632e+01,3.457261e+01,3.830434e+01,4.109394e+01,4.207729e+01,4.586362e+01,4.858318e+01,4.963694e+01,5.337259e+01,5.595286e+01,5.704781e+01,6.064185e+01,6.302984e+01,6.413609e+01,6.751401e+01,6.967266e+01,7.076125e+01,7.386549e+01,7.577233e+01,7.681644e+01,7.960571e+01,8.125092e+01,8.222674e+01,8.467465e+01,8.605885e+01,8.694612e+01,8.903929e+01,9.017136e+01,9.095360e+01,9.268968e+01,9.358461e+01,9.424918e+01,9.563472e+01,9.631174e+01,9.684970e+01,9.789825e+01,9.837926e+01,9.878507e+01,9.951539e+01,9.982360e+01,1.000948e+02,1.005293e+02,1.006882e+02,1.008251e+02,1.009885e+02,1.010210e+02,1.010260e+02,1.009443e+02,1.008722e+02,1.007499e+02,1.004493e+02,1.002930e+02,1.000492e+02,9.955581e+01,9.933378e+01,9.897553e+01,9.831450e+01,9.804337e+01,9.757867e+01,9.677388e+01,9.646835e+01,9.590572e+01,9.497961e+01,9.465246e+01,9.400075e+01,9.297414e+01,9.263632e+01,9.190454e+01,9.079652e+01,9.045727e+01,8.965441e+01,8.848233e+01,8.814932e+01,8.728420e+01,8.606371e+01,8.574316e+01,8.482437e+01,8.356946e+01,8.326632e+01,8.230209e+01,8.102518e+01,8.074325e+01,7.974145e+01,7.845346e+01,7.819557e+01,7.716361e+01,7.587410e+01,7.564219e+01,7.458703e+01,7.330430e+01,7.309959e+01,7.202771e+01,7.075890e+01,7.058197e+01,6.949939e+01,6.825057e+01,6.810149e+01,6.701374e+01,6.579006e+01,6.566845e+01,6.458060e+01,6.338635e+01,6.329149e+01,6.220818e+01,6.104688e+01,6.097775e+01,5.990317e+01,5.877770e+01,5.873307e+01,5.767101e+01,5.658362e+01,5.656208e+01,5.551596e+01,5.446841e+01,5.245477e+01,5.052308e+01,4.867457e+01,4.690987e+01,4.522910e+01,4.363193e+01,4.211765e+01,4.068524e+01,3.933340e+01,3.806060e+01,3.686511e+01,3.574505e+01,3.469841e+01,3.372307e+01,3.281681e+01,3.197737e+01,3.120240e+01,3.048954e+01,2.983638e+01,2.924051e+01,2.869948e+01,2.821086e+01,2.777222e+01,2.738113e+01,2.703518e+01,2.673197e+01,2.646913e+01,2.624433e+01,2.605525e+01,2.589962e+01,2.577520e+01,2.567982e+01,2.561132e+01,2.556762e+01,2.554668e+01,2.554654e+01,2.556526e+01,2.560102e+01,2.565202e+01,2.571656e+01,2.579298e+01,2.587974e+01,2.597534e+01,2.607837e+01,2.618749e+01,2.630144e+01,2.641905e+01,2.653923e+01,2.666095e+01
0.000000e+00,1.530932e-08,3.857544e-07,4.053709e-07,3.307963e-06,1.449458e-05,1.526768e-05,4.494814e-05,8.876899e-05,9.187936e-05,1.451782e-04,1.930696e-04,1.970997e-04,2.453573e-04,2.853656e-04,2.896132e-04,3.299818e-04,3.624550e-04,3.666708e-04,3.999020e-04,4.258816e-04,4.298933e-04,4.568549e-04,4.773086e-04,4.809878e-04,5.024839e-04,5.182713e-04,5.215255e-04,5.382854e-04,5.501606e-04,5.529269e-04,5.656039e-04,5.742214e-04,5.764608e-04,5.856340e-04,5.915586e-04,5.932514e-04,5.994330e-04,6.031494e-04,6.042913e-04,6.079314e-04,6.098529e-04,6.104508e-04,6.119415e-04,6.124186e-04,6.124886e-04,6.121723e-04,6.115023e-04,6.110672e-04,6.092422e-04,6.076750e-04,6.067621e-04,6.036869e-04,6.014326e-04,6.000727e-04,5.959716e-04,5.932058e-04,5.914320e-04,5.864987e-04,5.833672e-04,5.812135e-04,5.756151e-04,5.722388e-04,5.697394e-04,5.636199e-04,5.600980e-04,5.572872e-04,5.507701e-04,5.471834e-04,5.440947e-04,5.372856e-04,5.336996e-04,5.303653e-04,5.233545e-04,5.198213e-04,5.162725e-04,5.091368e-04,5.056974e-04,5.019637e-04,4.947679e-04,4.914541e-04,4.875633e-04,4.803622e-04,4.771978e-04,4.731761e-04,4.660154e-04,4.630178e-04,4.588896e-04,4.518073e-04,4.489884e-04,4.447765e-04,4.378041e-04,4.351713e-04,4.308965e-04,4.240596e-04,4.216166e-04,4.172983e-04,4.106174e-04,4.083649e-04,4.040209e-04,3.975123e-04,3.954487e-04,3.910949e-04,3.847713e-04,3.828929e-04,3.785439e-04,3.724147e-04,3.707164e-04,3.663855e-04,3.604575e-04,3.589329e-04,3.546319e-04,3.489095e-04,3.475516e-04,3.432910e-04,3.377768e-04,3.365777e-04,3.323670e-04,3.270617e-04,3.260132e-04,3.218608e-04,3.167640e-04,3.158575e-04,3.117707e-04,3.068806e-04,3.061077e-04,3.020929e-04,2.974068e-04,2.967588e-04,2.928215e-04,2.883360e-04,2.878044e-04,2.839494e-04,2.796604e-04,2.792369e-04,2.754681e-04,2.713710e-04,2.710474e-04,2.673681e-04,2.634580e-04,2.632264e-04,2.596394e-04,2.559110e-04,2.557637e-04,2.522713e-04,2.487189e-04,2.486487e-04,2.452524e-04,2.418704e-04,2.354177e-04,2.292792e-04,2.234436e-04,2.178996e-04,2.126359e-04,2.076417e-04,2.029059e-04,1.984179e-04,1.941673e-04,1.901439e-04,1.863380e-04,1.827398e-04,1.793402e-04,1.761301e-04,1.731009e-04,1.702442e-04,1.675520e-04,1.650164e-04,1.626300e-04,1.603857e-04,1.582765e-04,1.562959e-04,1.544375e-04,1.526952e-04,1.510633e-04,1.495361e-04,1.481083e-04,1.467749e-04,1.455309e-04,1.443717e-04,1.432929e-04,1.422903e-04,1.413597e-04,1.404972e-04,1.396993e-04,1.389624e-04,1.382832e-04,1.376583e-04,1.370849e-04,1.365599e-04,1.360806e-04,1.356445e-04,1.352489e-04,1.348915e-04,1.345700e-04,1.342823e-04,1.340262e-04,1.338000e-04,1.336016e-04
0.000000e+00,3.435470e-09,2.231039e-07,2.382165e-07,3.643205e-06,2.287073e-05,2.435925e-05,8.821016e-05,1.985323e-04,2.070603e-04,3.680267e-04,5.343915e-04,5.491509e-04,7.323027e-04,8.895949e-04,9.064111e-04,1.066087e-03,1.193117e-03,1.209447e-03,1.336462e-03,1.433251e-03,1.447971e-03,1.545153e-03,1.616642e-03,1.629276e-03,1.701582e-03,1.752875e-03,1.763236e-03,1.815314e-03,1.850744e-03,1.858798e-03,1.894580e-03,1.917666e-03,1.923468e-03,1.946194e-03,1.959752e-03,1.963416e-03,1.975729e-03,1.981998e-03,1.983669e-03,1.987720e-03,1.988473e-03,1.988314e-03,1.985845e-03,1.982484e-03,1.980664e-03,1.973088e-03,1.966715e-03,1.963402e-03,1.951861e-03,1.943342e-03,1.938698e-03,1.924118e-03,1.914131e-03,1.908308e-03,1.891435e-03,1.880507e-03,1.873649e-03,1.855085e-03,1.843623e-03,1.835862e-03,1.816090e-03,1.804409e-03,1.795864e-03,1.775273e-03,1.763610e-03,1.754392e-03,1.733292e-03,1.721828e-03,1.712033e-03,1.690672e-03,1.679541e-03,1.669258e-03,1.647834e-03,1.637131e-03,1.626440e-03,1.605109e-03,1.594903e-03,1.583874e-03,1.562759e-03,1.553094e-03,1.541791e-03,1.520988e-03,1.511893e-03,1.500371e-03,1.479954e-03,1.471443e-03,1.459753e-03,1.439778e-03,1.431854e-03,1.420041e-03,1.400551e-03,1.393210e-03,1.381314e-03,1.362337e-03,1.355571e-03,1.343626e-03,1.325185e-03,1.318977e-03,1.307017e-03,1.289124e-03,1.283457e-03,1.271509e-03,1.254173e-03,1.249027e-03,1.237116e-03,1.220339e-03,1.215691e-03,1.203841e-03,1.187621e-03,1.183450e-03,1.171679e-03,1.156014e-03,1.152295e-03,1.140623e-03,1.125504e-03,1.122215e-03,1.110657e-03,1.096077e-03,1.093193e-03,1.081764e-03,1.067713e-03,1.065212e-03,1.053924e-03,1.040392e-03,1.038250e-03,1.027114e-03,1.014089e-03,1.012285e-03,1.001312e-03,9.887815e-04,9.872942e-04,9.764930e-04,9.644438e-04,9.632519e-04,9.526306e-04,9.410501e-04,9.401337e-04,9.296992e-04,9.185745e-04,9.179142e-04,9.076729e-04,8.969909e-04,8.965681e-04,8.865254e-04,8.762731e-04,8.760702e-04,8.662307e-04,8.563951e-04,8.375181e-04,8.194145e-04,8.020601e-04,7.854312e-04,7.695046e-04,7.542574e-04,7.396673e-04,7.257126e-04,7.123721e-04,6.996250e-04,6.874512e-04,6.758310e-04,6.647454e-04,6.541757e-04,6.441037e-04,6.345120e-04,6.253833e-04,6.167010e-04,6.084490e-04,6.006114e-04,5.931732e-04,5.861193e-04,5.794354e-04,5.731076e-04,5.671221e-04,5.614659e-04,5.561260e-04,5.510901e-04,5.463460e-04,5.418822e-04,5.376871e-04,5.337498e-04,5.300595e-04,5.266060e-04,5.233791e-04,5.203691e-04,5.175666e-04,5.149623e-04,5.125475e-04,5.103135e-04,5.082521e-04,5.063551e-04,5.046148e-04,5.030237e-04,5.015745e-04,5.002602e-04,4.990740e-04,4.980092e-04,4.970596e-04
0.000000e+00,6.878715e-10,4.254901e-08,4.530401e-08,6.191054e-07,4.010716e-06,4.292559e-06,1.900922e-05,5.653613e-05,6.009780e-05,1.468886e-04,2.814565e-04,2.959416e-04,5.163551e-04,7.763763e-04,8.087058e-04,1.166332e-03,1.525834e-03,1.577545e-03,2.027894e-03,2.434820e-03,2.502078e-03,2.985367e-03,3.388628e-03,3.464529e-03,3.928362e-03,4.290904e-03,4.367897e-03,4.776387e-03,5.077616e-03,5.149148e-03,5.483317e-03,5.716275e-03,5.777563e-03,6.031807e-03,6.198805e-03,6.246951e-03,6.424622e-03,6.533222e-03,6.566968e-03,6.676475e-03,6.736482e-03,6.755815e-03,6.807739e-03,6.829238e-03,6.834978e-03,6.840195e-03,6.832462e-03,6.825923e-03,6.794534e-03,6.765516e-03,6.748227e-03,6.689023e-03,6.645221e-03,6.618761e-03,6.539100e-03,6.485650e-03,6.451526e-03,6.357367e-03,6.298202e-03,6.257794e-03,6.153850e-03,6.091926e-03,6.046453e-03,5.936409e-03,5.873894e-03,5.824422e-03,5.711107e-03,5.649555e-03,5.596997e-03,5.482554e-03,5.423047e-03,5.368178e-03,5.254216e-03,5.197484e-03,5.140964e-03,5.028677e-03,4.975188e-03,4.917574e-03,4.807837e-03,4.757860e-03,4.699622e-03,4.593061e-03,4.546727e-03,4.488262e-03,4.385315e-03,4.342647e-03,4.284292e-03,4.185252e-03,4.146202e-03,4.088240e-03,3.993288e-03,3.957752e-03,3.900421e-03,3.809655e-03,3.777495e-03,3.720997e-03,3.634447e-03,3.605500e-03,3.550002e-03,3.467652e-03,3.441740e-03,3.387382e-03,3.309175e-03,3.286112e-03,3.233010e-03,3.158863e-03,3.138460e-03,3.086708e-03,3.016516e-03,2.998584e-03,2.948257e-03,2.881901e-03,2.866255e-03,2.817414e-03,2.754763e-03,2.741223e-03,2.693914e-03,2.634832e-03,2.623225e-03,2.577482e-03,2.521828e-03,2.511988e-03,2.467835e-03,2.415466e-03,2.407235e-03,2.364686e-03,2.315459e-03,2.308690e-03,2.267751e-03,2.221525e-03,2.216076e-03,2.176748e-03,2.133384e-03,2.129124e-03,2.091399e-03,2.050761e-03,2.047567e-03,2.011435e-03,1.973390e-03,1.971147e-03,1.936593e-03,1.901012e-03,1.899614e-03,1.866618e-03,1.833378e-03,1.832725e-03,1.801264e-03,1.770246e-03,1.711952e-03,1.657629e-03,1.607068e-03,1.560073e-03,1.516454e-03,1.476030e-03,1.438630e-03,1.404090e-03,1.372253e-03,1.342970e-03,1.316099e-03,1.291506e-03,1.269061e-03,1.248644e-03,1.230138e-03,1.213431e-03,1.198420e-03,1.185004e-03,1.173087e-03,1.162580e-03,1.153397e-03,1.145455e-03,1.138677e-03,1.132988e-03,1.128318e-03,1.124600e-03,1.121769e-03,1.119766e-03,1.118532e-03,1.118012e-03,1.118154e-03,1.118908e-03,1.120227e-03,1.122065e-03,1.124381e-03,1.127132e-03,1.130281e-03,1.133791e-03,1.137628e-03,1.141757e-03,1.146148e-03,1.150771e-03,1.155599e-03,1.160604e-03,1.165762e-03,1.171050e-03,1.176444e-03,1.181925e-03,1.187473e-03
0.000000e+00,4.640239e-10,2.771063e-08,2.948307e-08,3.924700e-07,2.546745e-06,2.727339e-06,1.237404e-05,3.796189e-05,4.043447e-05,1.019371e-04,1.997473e-04,2.103738e-04,3.733495e-04,5.672985e-04,5.914816e-04,8.595179e-04,1.129441e-03,1.168284e-03,1.506617e-03,1.812382e-03,1.862928e-03,2.226287e-03,2.529879e-03,2.587086e-03,2.937363e-03,3.212308e-03,3.270877e-03,3.583032e-03,3.815236e-03,3.870708e-03,4.132043e-03,4.317037e-03,4.366212e-03,4.573205e-03,4.712705e-03,4.753637e-03,4.908576e-03,5.007620e-03,5.039401e-03,5.147692e-03,5.212652e-03,5.235134e-03,5.303453e-03,5.340815e-03,5.354358e-03,5.389509e-03,5.405224e-03,5.410489e-03,5.418789e-03,5.418000e-03,5.415797e-03,5.402793e-03,5.389764e-03,5.380953e-03,5.351348e-03,5.329524e-03,5.314951e-03,5.272640e-03,5.244748e-03,5.225207e-03,5.173360e-03,5.141521e-03,5.117738e-03,5.058910e-03,5.024757e-03,4.997383e-03,4.933610e-03,4.898384e-03,4.867996e-03,4.800898e-03,4.765527e-03,4.732634e-03,4.663488e-03,4.628663e-03,4.593709e-03,4.523520e-03,4.489742e-03,4.453116e-03,4.382671e-03,4.350295e-03,4.312337e-03,4.242249e-03,4.211519e-03,4.172525e-03,4.103269e-03,4.074343e-03,4.034572e-03,3.966512e-03,3.939483e-03,3.899160e-03,3.832573e-03,3.807483e-03,3.766805e-03,3.701899e-03,3.678751e-03,3.637891e-03,3.574815e-03,3.553586e-03,3.512696e-03,3.451555e-03,3.432199e-03,3.391410e-03,3.332274e-03,3.314732e-03,3.274158e-03,3.217069e-03,3.201269e-03,3.161012e-03,3.105988e-03,3.091851e-03,3.051998e-03,2.999040e-03,2.986483e-03,2.947109e-03,2.896202e-03,2.885139e-03,2.846312e-03,2.797431e-03,2.787776e-03,2.749552e-03,2.702664e-03,2.694329e-03,2.656758e-03,2.611822e-03,2.604722e-03,2.567846e-03,2.524817e-03,2.518868e-03,2.482722e-03,2.441550e-03,2.436670e-03,2.401286e-03,2.361918e-03,2.358030e-03,2.323432e-03,2.285814e-03,2.282841e-03,2.249051e-03,2.213128e-03,2.210999e-03,2.178032e-03,2.143749e-03,2.142395e-03,2.110265e-03,2.077566e-03,2.076920e-03,2.045638e-03,2.014468e-03,1.954930e-03,1.898202e-03,1.844180e-03,1.792764e-03,1.743853e-03,1.697351e-03,1.653165e-03,1.611203e-03,1.571377e-03,1.533601e-03,1.497793e-03,1.463871e-03,1.431760e-03,1.401383e-03,1.372668e-03,1.345547e-03,1.319951e-03,1.295816e-03,1.273080e-03,1.251683e-03,1.231567e-03,1.212675e-03,1.194955e-03,1.178355e-03,1.162825e-03,1.148317e-03,1.134786e-03,1.122186e-03,1.110476e-03,1.099614e-03,1.089560e-03,1.080278e-03,1.071730e-03,1.063881e-03,1.056698e-03,1.050147e-03,1.044198e-03,1.038820e-03,1.033984e-03,1.029663e-03,1.025830e-03,1.022459e-03,1.019525e-03,1.017004e-03,1.014874e-03,1.013112e-03,1.011698e-03,1.010611e-03,1.009831e-03
0.000000e+00,3.971196e-09,1.487058e-07,1.570107e-07,1.511532e-06,7.488407e-06,7.929693e-06,2.695826e-05,6.208435e-05,6.489821e-05,1.192621e-04,1.759688e-04,1.809725e-04,2.425675e-04,2.949785e-04,3.005772e-04,3.539417e-04,3.969645e-04,4.025518e-04,4.465965e-04,4.810253e-04,4.863411e-04,5.220627e-04,5.491590e-04,5.540330e-04,5.825127e-04,6.034362e-04,6.077505e-04,6.299822e-04,6.457533e-04,6.494306e-04,6.663057e-04,6.778090e-04,6.808044e-04,6.931114e-04,7.011056e-04,7.033994e-04,7.118296e-04,7.169607e-04,7.185523e-04,7.237078e-04,7.265229e-04,7.274265e-04,7.298297e-04,7.307900e-04,7.310302e-04,7.311331e-04,7.306260e-04,7.302356e-04,7.284281e-04,7.267777e-04,7.257946e-04,7.224127e-04,7.198891e-04,7.183547e-04,7.136872e-04,7.105146e-04,7.084721e-04,7.027667e-04,6.991302e-04,6.966238e-04,6.900925e-04,6.861442e-04,6.832178e-04,6.760415e-04,6.719056e-04,6.686022e-04,6.609353e-04,6.567121e-04,6.530735e-04,6.450469e-04,6.408172e-04,6.368832e-04,6.286078e-04,6.244356e-04,6.202442e-04,6.118136e-04,6.077490e-04,6.033358e-04,5.948287e-04,5.909101e-04,5.863086e-04,5.777906e-04,5.740469e-04,5.692883e-04,5.608140e-04,5.572659e-04,5.523790e-04,5.439935e-04,5.406552e-04,5.356666e-04,5.274067e-04,5.242871e-04,5.192212e-04,5.111168e-04,5.082202e-04,5.030993e-04,4.951740e-04,4.925013e-04,4.873457e-04,4.796183e-04,4.771675e-04,4.719955e-04,4.644804e-04,4.622472e-04,4.570755e-04,4.497831e-04,4.477616e-04,4.426050e-04,4.355428e-04,4.337257e-04,4.285976e-04,4.217703e-04,4.201493e-04,4.150615e-04,4.084717e-04,4.070379e-04,4.020010e-04,3.956493e-04,3.943932e-04,3.894164e-04,3.833020e-04,3.822139e-04,3.773054e-04,3.714260e-04,3.704961e-04,3.656629e-04,3.600153e-04,3.592338e-04,3.544822e-04,3.490623e-04,3.484194e-04,3.437545e-04,3.385575e-04,3.380438e-04,3.334700e-04,3.284906e-04,3.280969e-04,3.236179e-04,3.188504e-04,3.185676e-04,3.141865e-04,3.096248e-04,3.094444e-04,3.051636e-04,3.008014e-04,3.007151e-04,2.965365e-04,2.923674e-04,2.843886e-04,2.767661e-04,2.694873e-04,2.625394e-04,2.559101e-04,2.495871e-04,2.435585e-04,2.378124e-04,2.323373e-04,2.271221e-04,2.221561e-04,2.174285e-04,2.129294e-04,2.086487e-04,2.045772e-04,2.007056e-04,1.970250e-04,1.935271e-04,1.902037e-04,1.870469e-04,1.840493e-04,1.812036e-04,1.785028e-04,1.759404e-04,1.735101e-04,1.712056e-04,1.690213e-04,1.669515e-04,1.649908e-04,1.631343e-04,1.613769e-04,1.597142e-04,1.581415e-04,1.566546e-04,1.552494e-04,1.539222e-04,1.526691e-04,1.514866e-04,1.503713e-04,1.493200e-04,1.483296e-04,1.473971e-04,1.465198e-04,1.456949e-04,1.449199e-04,1.441923e-04,1.435098e-04,1.428702e-04,1.422714e-04
0.000000e+00,1.142721e-09,8.586326e-08,9.184582e-08,1.523713e-06,1.065200e-05,1.140904e-05,4.896571e-05,1.340930e-04,1.416961e-04,3.136597e-04,5.534822e-04,5.781491e-04,9.365619e-04,1.332703e-03,1.380569e-03,1.895330e-03,2.392380e-03,2.462586e-03,3.063142e-03,3.592207e-03,3.678637e-03,4.292656e-03,4.797060e-03,4.891324e-03,5.463510e-03,5.906940e-03,6.000773e-03,6.497142e-03,6.862172e-03,6.948810e-03,7.353791e-03,7.636895e-03,7.711577e-03,8.022823e-03,8.229161e-03,8.289061e-03,8.512450e-03,8.651684e-03,8.695581e-03,8.841299e-03,8.924718e-03,8.952579e-03,9.032423e-03,9.071193e-03,9.083782e-03,9.109501e-03,9.113733e-03,9.112288e-03,9.094681e-03,9.073042e-03,9.059040e-03,9.007540e-03,8.967186e-03,8.942175e-03,8.864761e-03,8.811440e-03,8.776941e-03,8.680198e-03,8.618431e-03,8.575867e-03,8.465142e-03,8.398418e-03,8.349093e-03,8.228671e-03,8.159647e-03,8.104728e-03,7.978018e-03,7.908682e-03,7.849208e-03,7.718891e-03,7.650707e-03,7.587590e-03,7.455765e-03,7.389786e-03,7.323824e-03,7.192125e-03,7.129088e-03,7.060979e-03,6.930663e-03,6.871063e-03,6.801415e-03,6.673443e-03,6.617588e-03,6.546929e-03,6.422027e-03,6.370082e-03,6.298872e-03,6.177577e-03,6.129602e-03,6.058239e-03,5.940938e-03,5.896913e-03,5.825742e-03,5.712705e-03,5.672548e-03,5.601870e-03,5.493271e-03,5.456862e-03,5.386933e-03,5.282872e-03,5.250055e-03,5.181098e-03,5.081613e-03,5.052214e-03,4.984417e-03,4.889501e-03,4.863332e-03,4.796856e-03,4.706465e-03,4.683330e-03,4.618310e-03,4.532371e-03,4.512073e-03,4.448624e-03,4.367041e-03,4.349381e-03,4.287596e-03,4.210259e-03,4.195041e-03,4.134997e-03,4.061780e-03,4.048816e-03,3.990574e-03,3.921344e-03,3.910448e-03,3.854056e-03,3.788675e-03,3.779671e-03,3.725164e-03,3.663488e-03,3.656208e-03,3.603611e-03,3.545495e-03,3.539779e-03,3.489106e-03,3.434407e-03,3.430103e-03,3.381361e-03,3.329933e-03,3.326898e-03,3.280088e-03,3.231789e-03,3.229889e-03,3.185003e-03,3.139693e-03,3.138802e-03,3.095827e-03,3.053370e-03,2.973334e-03,2.898439e-03,2.828440e-03,2.763099e-03,2.702188e-03,2.645484e-03,2.592774e-03,2.543854e-03,2.498528e-03,2.456605e-03,2.417905e-03,2.382254e-03,2.349487e-03,2.319443e-03,2.291971e-03,2.266925e-03,2.244166e-03,2.223561e-03,2.204982e-03,2.188309e-03,2.173425e-03,2.160219e-03,2.148587e-03,2.138427e-03,2.129643e-03,2.122145e-03,2.115843e-03,2.110656e-03,2.106505e-03,2.103313e-03,2.101010e-03,2.099527e-03,2.098800e-03,2.098767e-03,2.099370e-03,2.100554e-03,2.102267e-03,2.104459e-03,2.107083e-03,2.110095e-03,2.113453e-03,2.117118e-03,2.121053e-03,2.125223e-03,2.129596e-03,2.134141e-03,2.138829e-03,2.143634e-03,2.148530e-03
0.000000e+00,6.644999e-09,1.887295e-07,1.990812e-07,1.626886e-06,5.085972e-06,5.256984e-06,9.652303e-06,1.368113e-05,1.393099e-05,1.795365e-05,2.141698e-05,2.170754e-05,2.520013e-05,2.812909e-05,2.844238e-05,3.144560e-05,3.389959e-05,3.422096e-05,3.677941e-05,3.881438e-05,3.913169e-05,4.128834e-05,4.295630e-05,4.325968e-05,4.505572e-05,4.640450e-05,4.668619e-05,4.816043e-05,4.923340e-05,4.948745e-05,5.067583e-05,5.151183e-05,5.173380e-05,5.266919e-05,5.330271e-05,5.348946e-05,5.420172e-05,5.466322e-05,5.481270e-05,5.532879e-05,5.564503e-05,5.575604e-05,5.610021e-05,5.629462e-05,5.636673e-05,5.656075e-05,5.665377e-05,5.668714e-05,5.675052e-05,5.675995e-05,5.675524e-05,5.670542e-05,5.664672e-05,5.660495e-05,5.645752e-05,5.634406e-05,5.626659e-05,5.603545e-05,5.587875e-05,5.576718e-05,5.546470e-05,5.527468e-05,5.513076e-05,5.476796e-05,5.455309e-05,5.437873e-05,5.396537e-05,5.373289e-05,5.353005e-05,5.307481e-05,5.283085e-05,5.260156e-05,5.211210e-05,5.186183e-05,5.160813e-05,5.109124e-05,5.083898e-05,5.056290e-05,5.002454e-05,4.977389e-05,4.947745e-05,4.892287e-05,4.867678e-05,4.836195e-05,4.779576e-05,4.755664e-05,4.722531e-05,4.665155e-05,4.642132e-05,4.607536e-05,4.549754e-05,4.527771e-05,4.491887e-05,4.434006e-05,4.413178e-05,4.376176e-05,4.318460e-05,4.298872e-05,4.260914e-05,4.203591e-05,4.185303e-05,4.146539e-05,4.089805e-05,4.072853e-05,4.033429e-05,3.977450e-05,3.961852e-05,3.921903e-05,3.866821e-05,3.852579e-05,3.812231e-05,3.758163e-05,3.745266e-05,3.704639e-05,3.651682e-05,3.640110e-05,3.599312e-05,3.547547e-05,3.537268e-05,3.496403e-05,3.445894e-05,3.436870e-05,3.396032e-05,3.346828e-05,3.339017e-05,3.298293e-05,3.250433e-05,3.243787e-05,3.203256e-05,3.156766e-05,3.151234e-05,3.110970e-05,3.065869e-05,3.061398e-05,3.021467e-05,2.977764e-05,2.974298e-05,2.934762e-05,2.892459e-05,2.889943e-05,2.850856e-05,2.809950e-05,2.808328e-05,2.769739e-05,2.730220e-05,2.729437e-05,2.691391e-05,2.653246e-05,2.579721e-05,2.508825e-05,2.440513e-05,2.374735e-05,2.311439e-05,2.250568e-05,2.192065e-05,2.135869e-05,2.081917e-05,2.030148e-05,1.980498e-05,1.932904e-05,1.887303e-05,1.843630e-05,1.801825e-05,1.761823e-05,1.723566e-05,1.686992e-05,1.652042e-05,1.618660e-05,1.586788e-05,1.556371e-05,1.527356e-05,1.499689e-05,1.473321e-05,1.448200e-05,1.424280e-05,1.401512e-05,1.379853e-05,1.359259e-05,1.339686e-05,1.321094e-05,1.303443e-05,1.286695e-05,1.270813e-05,1.255760e-05,1.241503e-05,1.228009e-05,1.215244e-05,1.203178e-05,1.191782e-05,1.181026e-05,1.170884e-05,1.161329e-05,1.152335e-05,1.143877e-05,1.135932e-05,1.128477e-05,1.121491e-05
0.000000e+00,1.788534e-09,4.531296e-08,4.771564e-08,3.646690e-07,1.104989e-06,1.141232e-06,2.063803e-06,2.893835e-06,2.944796e-06,3.756490e-06,4.441370e-06,4.498207e-06,5.173426e-06,5.727626e-06,5.786210e-06,6.340549e-06,6.783044e-06,6.840244e-06,7.288911e-06,7.636578e-06,7.689987e-06,8.046744e-06,8.314449e-06,8.362291e-06,8.639573e-06,8.840352e-06,8.881379e-06,9.090337e-06,9.235520e-06,9.268920e-06,9.419451e-06,9.518796e-06,9.544106e-06,9.644923e-06,9.706778e-06,9.723807e-06,9.782535e-06,9.813997e-06,9.822766e-06,9.846049e-06,9.853131e-06,9.853823e-06,9.847429e-06,9.835194e-06,9.828114e-06,9.797042e-06,9.769752e-06,9.755293e-06,9.703868e-06,9.665082e-06,9.643698e-06,9.575649e-06,9.528336e-06,9.500523e-06,9.419063e-06,9.365682e-06,9.331958e-06,9.239845e-06,9.182421e-06,9.143314e-06,9.042910e-06,8.983101e-06,8.939137e-06,8.832460e-06,8.771614e-06,8.723308e-06,8.612077e-06,8.551276e-06,8.499130e-06,8.384803e-06,8.324910e-06,8.269403e-06,8.153214e-06,8.094905e-06,8.036493e-06,7.919480e-06,7.863273e-06,7.802389e-06,7.685420e-06,7.631705e-06,7.568753e-06,7.452551e-06,7.401609e-06,7.336964e-06,7.222127e-06,7.174149e-06,7.108162e-06,6.995179e-06,6.950283e-06,6.883275e-06,6.772540e-06,6.730784e-06,6.663052e-06,6.554880e-06,6.516272e-06,6.448086e-06,6.342723e-06,6.307235e-06,6.238839e-06,6.136474e-06,6.104044e-06,6.035662e-06,5.936432e-06,5.906975e-06,5.838807e-06,5.742807e-06,5.716220e-06,5.648446e-06,5.555735e-06,5.531901e-06,5.464681e-06,5.375289e-06,5.354083e-06,5.287559e-06,5.201490e-06,5.182777e-06,5.117076e-06,5.034312e-06,5.017956e-06,4.953188e-06,4.873694e-06,4.859557e-06,4.795818e-06,4.719546e-06,4.707490e-06,4.644862e-06,4.571750e-06,4.561639e-06,4.500193e-06,4.430172e-06,4.421872e-06,4.361668e-06,4.294660e-06,4.288041e-06,4.229129e-06,4.165052e-06,4.159988e-06,4.102408e-06,4.041174e-06,4.037545e-06,3.981329e-06,3.922849e-06,3.920538e-06,3.865712e-06,3.809894e-06,3.808791e-06,3.755372e-06,3.702123e-06,3.600353e-06,3.503301e-06,3.410789e-06,3.322640e-06,3.238680e-06,3.158739e-06,3.082650e-06,3.010253e-06,2.941388e-06,2.875905e-06,2.813654e-06,2.754493e-06,2.698284e-06,2.644894e-06,2.594195e-06,2.546065e-06,2.500384e-06,2.457040e-06,2.415923e-06,2.376929e-06,2.339959e-06,2.304916e-06,2.271709e-06,2.240250e-06,2.210456e-06,2.182247e-06,2.155546e-06,2.130280e-06,2.106379e-06,2.083778e-06,2.062412e-06,2.042221e-06,2.023148e-06,2.005137e-06,1.988136e-06,1.972095e-06,1.956966e-06,1.942705e-06,1.929267e-06,1.916612e-06,1.904700e-06,1.893494e-06,1.882959e-06,1.873060e-06,1.863766e-06,1.855045e-06,1.846869e-06,1.839209e-06,1.832040e-06
0.000000e+00,4.399295e-09,1.951351e-07,2.065101e-07,2.151552e-06,1.122287e-05,1.191072e-05,4.314168e-05,1.071587e-04,1.126119e-04,2.270218e-04,3.638100e-04,3.766751e-04,5.444005e-04,6.987646e-04,7.157780e-04,8.821586e-04,1.021079e-03,1.039398e-03,1.185922e-03,1.303097e-03,1.321404e-03,1.446053e-03,1.542694e-03,1.560293e-03,1.664625e-03,1.743152e-03,1.759574e-03,1.845659e-03,1.908490e-03,1.923393e-03,1.993269e-03,2.042626e-03,2.055766e-03,2.111340e-03,2.149216e-03,2.160428e-03,2.203447e-03,2.231608e-03,2.240793e-03,2.272840e-03,2.292833e-03,2.299943e-03,2.322439e-03,2.335615e-03,2.340644e-03,2.354858e-03,2.362390e-03,2.365366e-03,2.372434e-03,2.375338e-03,2.376316e-03,2.377253e-03,2.376410e-03,2.375468e-03,2.371172e-03,2.367334e-03,2.364562e-03,2.355826e-03,2.349637e-03,2.345138e-03,2.332662e-03,2.324668e-03,2.318553e-03,2.302954e-03,2.293620e-03,2.286003e-03,2.267825e-03,2.257542e-03,2.248541e-03,2.228261e-03,2.217358e-03,2.207091e-03,2.185129e-03,2.173879e-03,2.162465e-03,2.139185e-03,2.127815e-03,2.115369e-03,2.091091e-03,2.079788e-03,2.066421e-03,2.041424e-03,2.030337e-03,2.016159e-03,1.990682e-03,1.979931e-03,1.965046e-03,1.939299e-03,1.928979e-03,1.913485e-03,1.887646e-03,1.877829e-03,1.861821e-03,1.836044e-03,1.826782e-03,1.810348e-03,1.784764e-03,1.776096e-03,1.759319e-03,1.734038e-03,1.725987e-03,1.708945e-03,1.684061e-03,1.676639e-03,1.659404e-03,1.634993e-03,1.628205e-03,1.610844e-03,1.586971e-03,1.580810e-03,1.563386e-03,1.540101e-03,1.534559e-03,1.517127e-03,1.494473e-03,1.489532e-03,1.472146e-03,1.450153e-03,1.445795e-03,1.428500e-03,1.407193e-03,1.403395e-03,1.386236e-03,1.365631e-03,1.362367e-03,1.345382e-03,1.325490e-03,1.322734e-03,1.305958e-03,1.286785e-03,1.284509e-03,1.267972e-03,1.249519e-03,1.247694e-03,1.231426e-03,1.213690e-03,1.212286e-03,1.196310e-03,1.179285e-03,1.178275e-03,1.162612e-03,1.146289e-03,1.145643e-03,1.130313e-03,1.114681e-03,1.114372e-03,1.099389e-03,1.084435e-03,1.055806e-03,1.028453e-03,1.002345e-03,9.774478e-04,9.537255e-04,9.311423e-04,9.096614e-04,8.892458e-04,8.698584e-04,8.514622e-04,8.340204e-04,8.174967e-04,8.018554e-04,7.870611e-04,7.730795e-04,7.598768e-04,7.474201e-04,7.356774e-04,7.246176e-04,7.142104e-04,7.044266e-04,6.952377e-04,6.866165e-04,6.785363e-04,6.709716e-04,6.638979e-04,6.572913e-04,6.511292e-04,6.453894e-04,6.400510e-04,6.350936e-04,6.304978e-04,6.262450e-04,6.223172e-04,6.186974e-04,6.153691e-04,6.123166e-04,6.095249e-04,6.069796e-04,6.046669e-04,6.025738e-04,6.006876e-04,5.989964e-04,5.974888e-04,5.961538e-04,5.949810e-04,5.939606e-04,5.930830e-04,5.923392e-04
0.000000e+00,2.509828e-09,1.212477e-07,1.285697e-07,1.456192e-06,7.857158e-06,8.342542e-06,3.002525e-05,7.269136e-05,7.624100e-05,1.484498e-04,2.302641e-04,2.377391e-04,3.319270e-04,4.132422e-04,4.218812e-04,5.028346e-04,5.652928e-04,5.731642e-04,6.329401e-04,6.765128e-04,6.829681e-04,7.242899e-04,7.530451e-04,7.579596e-04,7.849588e-04,8.027416e-04,8.061682e-04,8.223669e-04,8.321804e-04,8.342384e-04,8.423802e-04,8.464795e-04,8.473137e-04,8.494929e-04,8.495523e-04,8.493133e-04,8.471189e-04,8.443754e-04,8.432089e-04,8.378432e-04,8.332068e-04,8.312480e-04,8.236190e-04,8.177549e-04,8.151250e-04,8.059126e-04,7.993032e-04,7.961085e-04,7.858227e-04,7.788175e-04,7.751515e-04,7.641797e-04,7.570341e-04,7.529802e-04,7.416156e-04,7.345106e-04,7.301398e-04,7.185988e-04,7.116594e-04,7.070316e-04,6.954716e-04,6.887816e-04,6.839476e-04,6.724845e-04,6.660999e-04,6.611036e-04,6.498224e-04,6.437775e-04,6.386561e-04,6.276172e-04,6.219309e-04,6.167161e-04,6.059616e-04,6.006416e-04,5.953607e-04,5.849191e-04,5.799652e-04,5.746415e-04,5.645313e-04,5.599376e-04,5.545912e-04,5.448230e-04,5.405798e-04,5.352279e-04,5.258066e-04,5.219014e-04,5.165590e-04,5.074849e-04,5.039037e-04,4.985836e-04,4.898541e-04,4.865817e-04,4.812952e-04,4.729054e-04,4.699262e-04,4.646830e-04,4.566263e-04,4.539244e-04,4.487331e-04,4.410015e-04,4.385611e-04,4.334291e-04,4.260138e-04,4.238195e-04,4.187532e-04,4.116450e-04,4.096817e-04,4.046868e-04,3.978760e-04,3.961291e-04,3.912104e-04,3.846875e-04,3.831430e-04,3.783048e-04,3.720598e-04,3.707042e-04,3.659502e-04,3.599735e-04,3.587939e-04,3.541272e-04,3.484091e-04,3.473933e-04,3.428167e-04,3.373477e-04,3.364840e-04,3.319998e-04,3.267707e-04,3.260480e-04,3.216581e-04,3.166599e-04,3.160677e-04,3.117737e-04,3.069975e-04,3.065258e-04,3.023291e-04,2.977663e-04,2.974058e-04,2.933073e-04,2.889498e-04,2.886915e-04,2.846919e-04,2.805317e-04,2.803673e-04,2.764671e-04,2.724963e-04,2.724179e-04,2.686175e-04,2.648287e-04,2.575857e-04,2.506752e-04,2.440839e-04,2.377993e-04,2.318092e-04,2.261016e-04,2.206654e-04,2.154895e-04,2.105635e-04,2.058772e-04,2.014210e-04,1.971853e-04,1.931613e-04,1.893402e-04,1.857137e-04,1.822738e-04,1.790127e-04,1.759231e-04,1.729977e-04,1.702297e-04,1.676126e-04,1.651398e-04,1.628055e-04,1.606035e-04,1.585284e-04,1.565747e-04,1.547371e-04,1.530106e-04,1.513904e-04,1.498719e-04,1.484505e-04,1.471220e-04,1.458822e-04,1.447272e-04,1.436531e-04,1.426562e-04,1.417331e-04,1.408804e-04,1.400947e-04,1.393729e-04,1.387120e-04,1.381091e-04,1.375614e-04,1.370663e-04,1.366211e-04,1.362234e-04,1.358708e-04,1.355611e-04,1.352919e-04
0.000000e+00,9.140153e-09,1.692957e-07,1.771991e-07,1.096551e-06,3.392584e-06,3.522274e-06,7.484379e-06,1.190008e-05,1.218502e-05,1.676477e-05,2.056118e-05,2.087047e-05,2.446349e-05,2.729015e-05,2.758204e-05,3.027475e-05,3.232918e-05,3.258821e-05,3.456487e-05,3.602465e-05,3.624291e-05,3.765647e-05,3.866186e-05,3.883602e-05,3.980868e-05,4.046892e-05,4.059862e-05,4.122729e-05,4.162700e-05,4.171376e-05,4.207495e-05,4.227944e-05,4.232589e-05,4.247992e-05,4.253950e-05,4.254887e-05,4.254325e-05,4.249659e-05,4.247235e-05,4.234444e-05,4.222117e-05,4.216680e-05,4.194588e-05,4.176861e-05,4.168746e-05,4.139669e-05,4.118283e-05,4.107809e-05,4.073563e-05,4.049831e-05,4.037292e-05,3.999307e-05,3.974226e-05,3.959884e-05,3.919270e-05,3.893586e-05,3.877679e-05,3.835303e-05,3.809572e-05,3.792311e-05,3.748851e-05,3.723483e-05,3.705055e-05,3.661039e-05,3.636331e-05,3.616903e-05,3.572738e-05,3.548905e-05,3.528622e-05,3.484623e-05,3.461811e-05,3.440803e-05,3.397213e-05,3.375518e-05,3.353898e-05,3.310899e-05,3.290381e-05,3.268249e-05,3.225978e-05,3.206668e-05,3.184112e-05,3.142673e-05,3.124580e-05,3.101679e-05,3.061145e-05,3.044262e-05,3.021085e-05,2.981509e-05,2.965817e-05,2.942426e-05,2.903842e-05,2.889312e-05,2.865763e-05,2.828192e-05,2.814792e-05,2.791132e-05,2.754585e-05,2.742276e-05,2.718551e-05,2.683030e-05,2.671771e-05,2.648020e-05,2.613521e-05,2.603270e-05,2.579529e-05,2.546041e-05,2.536755e-05,2.513056e-05,2.480568e-05,2.472203e-05,2.448575e-05,2.417071e-05,2.409583e-05,2.386053e-05,2.355515e-05,2.348861e-05,2.325453e-05,2.295862e-05,2.290000e-05,2.266737e-05,2.238071e-05,2.232960e-05,2.209861e-05,2.182100e-05,2.177700e-05,2.154784e-05,2.127906e-05,2.124178e-05,2.101461e-05,2.075444e-05,2.072351e-05,2.049849e-05,2.024670e-05,2.022175e-05,1.999903e-05,1.975540e-05,1.973609e-05,1.951578e-05,1.928010e-05,1.926608e-05,1.904831e-05,1.882036e-05,1.881132e-05,1.859619e-05,1.837574e-05,1.837137e-05,1.815898e-05,1.794584e-05,1.753431e-05,1.713639e-05,1.675169e-05,1.637983e-05,1.602044e-05,1.567316e-05,1.533764e-05,1.501352e-05,1.470048e-05,1.439818e-05,1.410631e-05,1.382456e-05,1.355262e-05,1.329021e-05,1.303702e-05,1.279280e-05,1.255726e-05,1.233014e-05,1.211119e-05,1.190015e-05,1.169680e-05,1.150089e-05,1.131219e-05,1.113048e-05,1.095555e-05,1.078718e-05,1.062518e-05,1.046934e-05,1.031948e-05,1.017540e-05,1.003694e-05,9.903895e-06,9.776114e-06,9.653424e-06,9.535667e-06,9.422684e-06,9.314322e-06,9.210437e-06,9.110881e-06,9.015518e-06,8.924210e-06,8.836828e-06,8.753242e-06,8.673329e-06,8.596968e-06,8.524043e-06,8.454439e-06,8.388047e-06,8.324759e-06
0.000000e+00,2.281740e-10,1.466265e-08,1.562421e-08,2.197726e-07,1.440649e-06,1.542453e-06,6.910780e-06,2.097937e-05,2.233815e-05,5.637590e-05,1.115815e-04,1.176514e-04,2.121805e-04,3.274690e-04,3.420159e-04,5.053048e-04,6.728322e-04,6.971468e-04,9.107141e-04,1.105895e-03,1.138311e-03,1.372229e-03,1.568371e-03,1.605350e-03,1.831530e-03,2.008282e-03,2.045782e-03,2.244319e-03,2.390026e-03,2.424504e-03,2.584727e-03,2.695352e-03,2.724265e-03,2.843113e-03,2.919929e-03,2.941832e-03,3.021403e-03,3.068697e-03,3.083096e-03,3.128370e-03,3.151671e-03,3.158778e-03,3.175901e-03,3.180816e-03,3.181292e-03,3.176443e-03,3.168015e-03,3.162753e-03,3.141517e-03,3.123944e-03,3.113911e-03,3.080995e-03,3.057580e-03,3.043708e-03,3.002881e-03,2.976113e-03,2.959240e-03,2.913414e-03,2.885098e-03,2.865943e-03,2.817288e-03,2.788682e-03,2.767840e-03,2.717927e-03,2.689878e-03,2.667826e-03,2.617765e-03,2.590817e-03,2.567933e-03,2.518483e-03,2.492962e-03,2.469540e-03,2.421205e-03,2.397290e-03,2.373556e-03,2.326657e-03,2.304425e-03,2.280554e-03,2.235283e-03,2.214746e-03,2.190871e-03,2.147334e-03,2.128458e-03,2.104684e-03,2.062926e-03,2.045654e-03,2.022061e-03,1.982087e-03,1.966346e-03,1.942999e-03,1.904789e-03,1.890497e-03,1.867447e-03,1.830964e-03,1.818038e-03,1.795328e-03,1.760525e-03,1.748880e-03,1.726543e-03,1.693368e-03,1.682920e-03,1.660985e-03,1.629381e-03,1.620049e-03,1.598540e-03,1.568448e-03,1.560155e-03,1.539091e-03,1.510454e-03,1.503124e-03,1.482522e-03,1.455281e-03,1.448845e-03,1.428717e-03,1.402816e-03,1.397206e-03,1.377564e-03,1.352946e-03,1.348098e-03,1.328950e-03,1.305562e-03,1.301415e-03,1.282767e-03,1.260555e-03,1.257054e-03,1.238911e-03,1.217822e-03,1.214913e-03,1.197277e-03,1.177263e-03,1.174896e-03,1.157768e-03,1.138780e-03,1.136909e-03,1.120288e-03,1.102280e-03,1.100860e-03,1.084745e-03,1.067671e-03,1.066661e-03,1.051049e-03,1.034867e-03,1.034229e-03,1.019115e-03,1.003783e-03,1.003481e-03,9.888616e-04,9.743400e-04,9.467305e-04,9.205806e-04,8.958213e-04,8.723864e-04,8.502126e-04,8.292393e-04,8.094086e-04,7.906650e-04,7.729556e-04,7.562299e-04,7.404395e-04,7.255383e-04,7.114825e-04,6.982299e-04,6.857406e-04,6.739764e-04,6.629009e-04,6.524794e-04,6.426788e-04,6.334677e-04,6.248159e-04,6.166949e-04,6.090774e-04,6.019374e-04,5.952503e-04,5.889925e-04,5.831415e-04,5.776760e-04,5.725756e-04,5.678211e-04,5.633941e-04,5.592769e-04,5.554530e-04,5.519064e-04,5.486221e-04,5.455856e-04,5.427833e-04,5.402023e-04,5.378300e-04,5.356548e-04,5.336655e-04,5.318514e-04,5.302025e-04,5.287090e-04,5.273619e-04,5.261525e-04,5.250726e-04,5.241142e-04,5.232700e-04
0.000000e+00,1.709671e-09,1.845943e-08,1.918880e-08,1.007601e-07,3.275976e-07,3.415720e-07,8.253014e-07,1.488833e-06,1.535990e-06,2.357962e-06,3.115377e-06,3.179635e-06,3.953043e-06,4.598266e-06,4.666938e-06,5.321098e-06,5.849297e-06,5.918004e-06,6.460765e-06,6.886689e-06,6.952600e-06,7.396686e-06,7.735073e-06,7.796101e-06,8.153795e-06,8.417951e-06,8.472582e-06,8.755133e-06,8.956783e-06,9.003970e-06,9.221475e-06,9.370825e-06,9.409890e-06,9.571323e-06,9.677188e-06,9.707752e-06,9.821037e-06,9.890996e-06,9.912919e-06,9.985031e-06,1.002557e-05,1.003890e-05,1.007596e-05,1.009262e-05,1.009755e-05,1.010492e-05,1.010241e-05,1.009924e-05,1.008160e-05,1.006391e-05,1.005303e-05,1.001448e-05,9.984983e-06,9.966838e-06,9.910935e-06,9.872468e-06,9.847544e-06,9.777388e-06,9.732328e-06,9.701138e-06,9.619418e-06,9.569745e-06,9.532810e-06,9.441855e-06,9.389210e-06,9.347054e-06,9.248874e-06,9.194605e-06,9.147747e-06,9.044074e-06,8.989282e-06,8.938226e-06,8.830548e-06,8.776124e-06,8.721358e-06,8.610949e-06,8.557601e-06,8.499593e-06,8.387541e-06,8.335827e-06,8.275023e-06,8.162251e-06,8.112602e-06,8.049422e-06,7.936713e-06,7.889451e-06,7.824289e-06,7.712300e-06,7.667658e-06,7.600884e-06,7.490164e-06,7.448298e-06,7.380255e-06,7.271260e-06,7.232264e-06,7.163271e-06,7.056373e-06,7.020290e-06,6.950640e-06,6.846140e-06,6.812971e-06,6.742933e-06,6.641071e-06,6.610782e-06,6.540602e-06,6.441566e-06,6.414098e-06,6.343999e-06,6.247931e-06,6.223202e-06,6.153387e-06,6.060389e-06,6.038301e-06,5.968954e-06,5.879094e-06,5.859538e-06,5.790821e-06,5.704140e-06,5.686996e-06,5.619057e-06,5.535571e-06,5.520713e-06,5.453682e-06,5.373387e-06,5.360687e-06,5.294679e-06,5.217551e-06,5.206879e-06,5.141995e-06,5.067999e-06,5.059224e-06,4.995551e-06,4.924638e-06,4.917631e-06,4.855246e-06,4.787358e-06,4.781991e-06,4.720958e-06,4.656030e-06,4.652180e-06,4.592554e-06,4.530511e-06,4.528059e-06,4.469883e-06,4.410650e-06,4.409479e-06,4.352791e-06,4.296285e-06,4.188315e-06,4.085403e-06,3.987382e-06,3.894084e-06,3.805338e-06,3.720977e-06,3.640835e-06,3.564748e-06,3.492554e-06,3.424095e-06,3.359217e-06,3.297769e-06,3.239605e-06,3.184583e-06,3.132564e-06,3.083415e-06,3.037007e-06,2.993214e-06,2.951918e-06,2.913001e-06,2.876353e-06,2.841865e-06,2.809436e-06,2.778965e-06,2.750357e-06,2.723522e-06,2.698373e-06,2.674824e-06,2.652796e-06,2.632213e-06,2.613000e-06,2.595088e-06,2.578409e-06,2.562899e-06,2.548497e-06,2.535144e-06,2.522785e-06,2.511366e-06,2.500836e-06,2.491147e-06,2.482253e-06,2.474110e-06,2.466675e-06,2.459909e-06,2.453773e-06,2.448232e-06,2.443251e-06,2.438797e-06,2.434839e-06
0.000000e+00,2.315239e-09,1.390020e-07,1.478004e-07,1.878428e-06,1.185058e-05,1.268820e-05,5.888770e-05,1.927568e-04,2.063941e-04,5.755208e-04,1.252942e-03,1.332045e-03,2.659724e-03,4.487440e-03,4.732710e-03,7.696615e-03,1.112776e-02,1.165839e-02,1.668287e-02,2.187299e-02,2.279378e-02,2.997753e-02,3.680842e-02,3.818853e-02,4.735512e-02,5.552092e-02,5.738555e-02,6.817371e-02,7.727243e-02,7.960418e-02,9.155676e-02,1.011642e-01,1.039102e-01,1.165455e-01,1.262660e-01,1.293480e-01,1.422094e-01,1.517054e-01,1.550293e-01,1.677158e-01,1.767207e-01,1.801863e-01,1.923673e-01,2.006871e-01,2.041948e-01,2.156140e-01,2.231218e-01,2.265785e-01,2.370504e-01,2.436769e-01,2.469993e-01,2.564019e-01,2.621248e-01,2.652414e-01,2.735066e-01,2.783399e-01,2.811918e-01,2.882955e-01,2.922797e-01,2.948206e-01,3.007731e-01,3.039667e-01,3.061623e-01,3.109997e-01,3.134727e-01,3.152992e-01,3.190764e-01,3.209047e-01,3.223480e-01,3.251322e-01,3.263935e-01,3.274476e-01,3.293137e-01,3.300845e-01,3.307503e-01,3.317774e-01,3.321307e-01,3.324149e-01,3.326829e-01,3.326875e-01,3.326011e-01,3.321891e-01,3.319081e-01,3.314659e-01,3.304503e-01,3.299409e-01,3.291605e-01,3.276143e-01,3.269279e-01,3.258288e-01,3.238207e-01,3.230026e-01,3.216060e-01,3.192002e-01,3.182902e-01,3.166182e-01,3.138741e-01,3.129066e-01,3.109816e-01,3.079539e-01,3.069585e-01,3.048033e-01,3.015419e-01,3.005436e-01,2.981810e-01,2.947314e-01,2.937510e-01,2.912034e-01,2.876067e-01,2.866615e-01,2.839507e-01,2.802441e-01,2.793479e-01,2.764952e-01,2.727119e-01,2.718757e-01,2.689016e-01,2.650713e-01,2.643034e-01,2.612276e-01,2.573767e-01,2.566832e-01,2.535244e-01,2.496763e-01,2.490613e-01,2.458375e-01,2.420127e-01,2.414786e-01,2.382065e-01,2.344231e-01,2.339708e-01,2.306664e-01,2.269400e-01,2.265692e-01,2.232473e-01,2.195915e-01,2.193007e-01,2.159753e-01,2.124016e-01,2.121886e-01,2.088727e-01,2.053909e-01,2.052526e-01,2.019583e-01,1.985767e-01,1.985096e-01,1.952478e-01,1.919731e-01,1.856546e-01,1.795631e-01,1.737053e-01,1.680865e-01,1.627099e-01,1.575776e-01,1.526902e-01,1.480470e-01,1.436466e-01,1.394862e-01,1.355627e-01,1.318720e-01,1.284093e-01,1.251694e-01,1.221465e-01,1.193346e-01,1.167271e-01,1.143172e-01,1.120979e-01,1.100619e-01,1.082017e-01,1.065098e-01,1.049785e-01,1.036002e-01,1.023671e-01,1.012714e-01,1.003054e-01,9.946147e-02,9.873205e-02,9.810965e-02,9.758691e-02,9.715663e-02,9.681175e-02,9.654543e-02,9.635099e-02,9.622197e-02,9.615214e-02,9.613549e-02,9.616628e-02,9.623900e-02,9.634841e-02,9.648954e-02,9.665769e-02,9.684842e-02,9.705758e-02,9.728129e-02,9.751594e-02,9.775818e-02,9.800495e-02
0.000000e+00,2.960274e-09,3.906221e-08,4.071339e-08,2.248116e-07,7.045598e-07,7.330140e-07,1.672105e-06,2.866618e-06,2.948655e-06,4.343879e-06,5.606924e-06,5.714162e-06,7.012091e-06,8.109373e-06,8.227098e-06,9.358735e-06,1.028739e-05,1.040927e-05,1.138177e-05,1.215823e-05,1.227955e-05,1.310604e-05,1.374770e-05,1.386467e-05,1.455887e-05,1.508242e-05,1.519204e-05,1.576745e-05,1.618836e-05,1.628832e-05,1.675775e-05,1.709010e-05,1.717869e-05,1.755401e-05,1.781041e-05,1.788642e-05,1.817855e-05,1.837022e-05,1.843282e-05,1.865160e-05,1.878840e-05,1.883711e-05,1.899148e-05,1.908209e-05,1.911672e-05,1.921474e-05,1.926676e-05,1.928734e-05,1.933623e-05,1.935631e-05,1.936304e-05,1.936930e-05,1.936319e-05,1.935646e-05,1.932587e-05,1.929858e-05,1.927885e-05,1.921661e-05,1.917244e-05,1.914031e-05,1.905102e-05,1.899370e-05,1.894980e-05,1.883759e-05,1.877030e-05,1.871531e-05,1.858384e-05,1.850930e-05,1.844396e-05,1.829645e-05,1.821697e-05,1.814203e-05,1.798137e-05,1.789890e-05,1.781510e-05,1.764383e-05,1.756000e-05,1.746810e-05,1.728845e-05,1.720463e-05,1.710537e-05,1.691932e-05,1.683663e-05,1.673073e-05,1.654000e-05,1.645936e-05,1.634753e-05,1.615365e-05,1.607578e-05,1.595870e-05,1.576299e-05,1.568848e-05,1.556681e-05,1.537041e-05,1.529971e-05,1.517406e-05,1.497799e-05,1.491142e-05,1.478239e-05,1.458749e-05,1.452529e-05,1.439345e-05,1.420046e-05,1.414278e-05,1.400866e-05,1.381820e-05,1.376512e-05,1.362921e-05,1.344181e-05,1.339337e-05,1.325612e-05,1.307224e-05,1.302839e-05,1.289025e-05,1.271025e-05,1.267092e-05,1.253230e-05,1.235647e-05,1.232156e-05,1.218283e-05,1.201142e-05,1.198081e-05,1.184229e-05,1.167549e-05,1.164902e-05,1.151105e-05,1.134900e-05,1.132651e-05,1.118937e-05,1.103217e-05,1.101347e-05,1.087743e-05,1.072515e-05,1.071006e-05,1.057534e-05,1.042801e-05,1.041634e-05,1.028317e-05,1.014080e-05,1.013234e-05,1.000091e-05,9.863496e-06,9.858050e-06,9.728539e-06,9.596032e-06,9.593407e-06,9.465963e-06,9.338316e-06,9.092656e-06,8.856279e-06,8.629017e-06,8.410685e-06,8.201084e-06,8.000004e-06,7.807223e-06,7.622517e-06,7.445653e-06,7.276398e-06,7.114513e-06,6.959762e-06,6.811909e-06,6.670718e-06,6.535955e-06,6.407391e-06,6.284799e-06,6.167956e-06,6.056644e-06,5.950648e-06,5.849760e-06,5.753776e-06,5.662498e-06,5.575734e-06,5.493296e-06,5.415003e-06,5.340678e-06,5.270151e-06,5.203258e-06,5.139838e-06,5.079738e-06,5.022809e-06,4.968908e-06,4.917898e-06,4.869645e-06,4.824020e-06,4.780902e-06,4.740171e-06,4.701713e-06,4.665420e-06,4.631185e-06,4.598909e-06,4.568494e-06,4.539847e-06,4.512879e-06,4.487506e-06,4.463645e-06,4.441218e-06,4.420151e-06
0.000000e+00,6.975651e-09,1.077093e-07,1.125693e-07,7.126239e-07,2.487389e-06,2.597603e-06,6.402186e-06,1.154549e-05,1.190760e-05,1.816974e-05,2.391420e-05,2.440266e-05,3.031272e-05,3.530247e-05,3.583741e-05,4.097649e-05,4.519128e-05,4.574441e-05,5.015897e-05,5.368685e-05,5.423849e-05,5.800102e-05,6.092941e-05,6.146407e-05,6.464448e-05,6.705288e-05,6.755841e-05,7.022127e-05,7.218069e-05,7.264775e-05,7.485177e-05,7.642500e-05,7.684655e-05,7.864461e-05,7.988687e-05,8.025778e-05,8.169731e-05,8.265707e-05,8.297387e-05,8.409754e-05,8.481728e-05,8.507784e-05,8.592378e-05,8.644058e-05,8.664388e-05,8.724617e-05,8.759234e-05,8.773826e-05,8.812730e-05,8.833094e-05,8.842009e-05,8.862300e-05,8.870851e-05,8.874208e-05,8.878302e-05,8.877152e-05,8.875118e-05,8.865163e-05,8.856140e-05,8.848915e-05,8.826824e-05,8.811501e-05,8.799313e-05,8.766784e-05,8.746517e-05,8.729612e-05,8.688153e-05,8.664101e-05,8.642741e-05,8.593689e-05,8.566844e-05,8.541296e-05,8.485838e-05,8.457043e-05,8.427579e-05,8.366764e-05,8.336734e-05,8.303626e-05,8.238382e-05,8.207719e-05,8.171237e-05,8.102383e-05,8.071593e-05,8.032001e-05,7.960260e-05,7.929762e-05,7.887319e-05,7.813326e-05,7.783467e-05,7.738423e-05,7.662739e-05,7.633800e-05,7.586397e-05,7.509512e-05,7.481722e-05,7.432191e-05,7.354535e-05,7.328072e-05,7.276636e-05,7.198584e-05,7.173587e-05,7.120458e-05,7.042335e-05,7.018910e-05,6.964287e-05,6.886378e-05,6.864598e-05,6.808671e-05,6.731222e-05,6.711135e-05,6.654085e-05,6.577307e-05,6.558939e-05,6.500934e-05,6.425008e-05,6.408368e-05,6.349568e-05,6.274649e-05,6.259730e-05,6.200283e-05,6.126502e-05,6.113285e-05,6.053331e-05,5.980796e-05,5.969252e-05,5.908921e-05,5.837725e-05,5.827813e-05,5.767227e-05,5.697444e-05,5.689119e-05,5.628391e-05,5.560081e-05,5.553292e-05,5.492527e-05,5.425739e-05,5.420429e-05,5.359725e-05,5.294494e-05,5.290605e-05,5.230052e-05,5.166405e-05,5.163875e-05,5.103556e-05,5.041511e-05,5.040278e-05,4.980270e-05,4.919836e-05,4.802561e-05,4.688450e-05,4.577493e-05,4.469669e-05,4.364953e-05,4.263310e-05,4.164701e-05,4.069084e-05,3.976411e-05,3.886631e-05,3.799691e-05,3.715535e-05,3.634109e-05,3.555352e-05,3.479206e-05,3.405612e-05,3.334510e-05,3.265838e-05,3.199537e-05,3.135546e-05,3.073806e-05,3.014259e-05,2.956845e-05,2.901508e-05,2.848190e-05,2.796835e-05,2.747389e-05,2.699796e-05,2.654005e-05,2.609962e-05,2.567618e-05,2.526922e-05,2.487825e-05,2.450279e-05,2.414239e-05,2.379657e-05,2.346491e-05,2.314696e-05,2.284230e-05,2.255052e-05,2.227121e-05,2.200399e-05,2.174846e-05,2.150426e-05,2.127102e-05,2.104840e-05,2.083604e-05,2.063361e-05,2.044079e-05
0.000000e+00,1.478214e-08,2.847016e-07,2.982502e-07,2.155072e-06,8.679505e-06,9.115199e-06,2.517825e-05,4.756507e-05,4.911817e-05,7.540713e-05,9.890442e-05,1.008862e-04,1.247144e-04,1.446325e-04,1.467569e-04,1.670488e-04,1.835177e-04,1.856661e-04,2.026934e-04,2.161295e-04,2.182150e-04,2.323135e-04,2.431154e-04,2.450694e-04,2.565609e-04,2.650935e-04,2.668635e-04,2.760504e-04,2.826440e-04,2.841920e-04,2.913556e-04,2.963059e-04,2.976057e-04,3.030036e-04,3.065722e-04,3.076078e-04,3.114736e-04,3.138897e-04,3.146531e-04,3.171960e-04,3.186589e-04,3.191488e-04,3.205555e-04,3.212374e-04,3.214574e-04,3.218933e-04,3.219424e-04,3.218999e-04,3.215114e-04,3.210543e-04,3.207601e-04,3.196761e-04,3.188210e-04,3.182879e-04,3.166218e-04,3.154603e-04,3.147028e-04,3.125541e-04,3.111638e-04,3.101975e-04,3.076532e-04,3.060991e-04,3.049403e-04,3.020764e-04,3.004129e-04,2.990781e-04,2.959607e-04,2.942330e-04,2.927387e-04,2.894254e-04,2.876705e-04,2.860332e-04,2.825737e-04,2.808221e-04,2.790576e-04,2.754948e-04,2.737709e-04,2.718947e-04,2.682656e-04,2.665888e-04,2.646156e-04,2.609519e-04,2.593373e-04,2.572813e-04,2.536100e-04,2.520692e-04,2.499436e-04,2.462875e-04,2.448290e-04,2.426464e-04,2.390248e-04,2.376545e-04,2.354266e-04,2.318556e-04,2.305773e-04,2.283150e-04,2.248080e-04,2.236237e-04,2.213371e-04,2.179049e-04,2.168151e-04,2.145136e-04,2.111651e-04,2.101691e-04,2.078611e-04,2.046033e-04,2.036996e-04,2.013930e-04,1.982312e-04,1.974173e-04,1.951191e-04,1.920574e-04,1.913302e-04,1.890469e-04,1.860882e-04,1.854442e-04,1.831816e-04,1.803275e-04,1.797630e-04,1.775262e-04,1.747777e-04,1.742886e-04,1.720822e-04,1.694396e-04,1.690217e-04,1.668497e-04,1.643125e-04,1.639614e-04,1.618275e-04,1.593946e-04,1.591061e-04,1.570133e-04,1.546833e-04,1.544531e-04,1.524041e-04,1.501752e-04,1.499991e-04,1.479961e-04,1.458662e-04,1.457400e-04,1.437850e-04,1.417517e-04,1.416714e-04,1.397659e-04,1.378267e-04,1.377884e-04,1.359336e-04,1.340859e-04,1.305584e-04,1.272004e-04,1.240063e-04,1.209702e-04,1.180864e-04,1.153493e-04,1.127530e-04,1.102919e-04,1.079606e-04,1.057535e-04,1.036654e-04,1.016911e-04,9.982548e-05,9.806373e-05,9.640106e-05,9.483290e-05,9.335481e-05,9.196251e-05,9.065189e-05,8.941897e-05,8.825994e-05,8.717116e-05,8.614911e-05,8.519042e-05,8.429188e-05,8.345039e-05,8.266302e-05,8.192694e-05,8.123947e-05,8.059802e-05,8.000015e-05,7.944352e-05,7.892590e-05,7.844516e-05,7.799928e-05,7.758633e-05,7.720448e-05,7.685198e-05,7.652717e-05,7.622848e-05,7.595440e-05,7.570351e-05,7.547446e-05,7.526596e-05,7.507678e-05,7.490577e-05,7.475184e-05,7.461393e-05,7.449107e-05
0.000000e+00,4.485108e-09,1.428515e-07,1.509063e-07,1.449975e-06,6.407777e-06,6.740056e-06,1.881041e-05,3.529273e-05,3.643169e-05,5.569335e-05,7.289031e-05,7.434016e-05,9.177458e-05,1.063650e-04,1.079229e-04,1.228294e-04,1.349740e-04,1.365624e-04,1.491932e-04,1.592271e-04,1.607912e-04,1.714227e-04,1.796521e-04,1.811503e-04,1.900333e-04,1.967263e-04,1.981274e-04,2.054850e-04,2.108739e-04,2.121552e-04,2.181841e-04,2.224694e-04,2.236149e-04,2.284883e-04,2.318426e-04,2.328420e-04,2.367117e-04,2.392833e-04,2.401306e-04,2.431298e-04,2.450458e-04,2.457384e-04,2.479838e-04,2.493531e-04,2.498913e-04,2.514849e-04,2.524007e-04,2.527869e-04,2.538181e-04,2.543599e-04,2.545980e-04,2.551449e-04,2.553806e-04,2.554758e-04,2.556067e-04,2.555939e-04,2.555524e-04,2.553268e-04,2.551148e-04,2.549431e-04,2.544132e-04,2.540435e-04,2.537486e-04,2.529599e-04,2.524678e-04,2.520570e-04,2.510492e-04,2.504643e-04,2.499450e-04,2.487525e-04,2.481001e-04,2.474793e-04,2.461324e-04,2.454334e-04,2.447183e-04,2.432432e-04,2.425151e-04,2.417127e-04,2.401322e-04,2.393897e-04,2.385066e-04,2.368406e-04,2.360959e-04,2.351385e-04,2.334042e-04,2.326671e-04,2.316415e-04,2.298540e-04,2.291327e-04,2.280447e-04,2.262168e-04,2.255179e-04,2.243731e-04,2.225161e-04,2.218448e-04,2.206483e-04,2.187719e-04,2.181323e-04,2.168890e-04,2.150016e-04,2.143969e-04,2.131114e-04,2.112202e-04,2.106528e-04,2.093294e-04,2.074405e-04,2.069121e-04,2.055548e-04,2.036735e-04,2.031853e-04,2.017979e-04,1.999288e-04,1.994813e-04,1.980673e-04,1.962142e-04,1.958077e-04,1.943704e-04,1.925366e-04,1.921711e-04,1.907134e-04,1.889016e-04,1.885767e-04,1.871016e-04,1.853141e-04,1.850293e-04,1.835394e-04,1.817780e-04,1.815325e-04,1.800303e-04,1.782966e-04,1.780896e-04,1.765773e-04,1.748727e-04,1.747030e-04,1.731829e-04,1.715082e-04,1.713749e-04,1.698488e-04,1.682049e-04,1.681067e-04,1.665765e-04,1.649639e-04,1.648998e-04,1.633672e-04,1.617864e-04,1.617549e-04,1.602215e-04,1.586727e-04,1.556535e-04,1.526974e-04,1.498044e-04,1.469742e-04,1.442065e-04,1.415009e-04,1.388566e-04,1.362732e-04,1.337498e-04,1.312858e-04,1.288801e-04,1.265321e-04,1.242407e-04,1.220051e-04,1.198243e-04,1.176973e-04,1.156232e-04,1.136010e-04,1.116298e-04,1.097084e-04,1.078361e-04,1.060117e-04,1.042344e-04,1.025032e-04,1.008170e-04,9.917513e-05,9.757647e-05,9.602017e-05,9.450533e-05,9.303104e-05,9.159645e-05,9.020069e-05,8.884291e-05,8.752228e-05,8.623798e-05,8.498920e-05,8.377517e-05,8.259509e-05,8.144821e-05,8.033379e-05,7.925108e-05,7.819937e-05,7.717795e-05,7.618613e-05,7.522322e-05,7.428857e-05,7.338152e-05,7.250143e-05,7.164767e-05
0.000000e+00,1.809251e-09,1.964943e-08,2.042570e-08,1.046166e-07,3.189983e-07,3.315200e-07,7.319985e-07,1.209012e-06,1.240587e-06,1.755197e-06,2.183607e-06,2.218291e-06,2.616646e-06,2.922000e-06,2.953020e-06,3.233681e-06,3.439767e-06,3.465152e-06,3.653486e-06,3.785125e-06,3.804135e-06,3.921955e-06,3.998717e-06,4.011250e-06,4.075821e-06,4.112683e-06,4.119018e-06,4.143786e-06,4.152081e-06,4.152711e-06,4.148061e-06,4.136296e-06,4.131822e-06,4.105730e-06,4.080253e-06,4.071305e-06,4.029873e-06,3.995388e-06,3.982591e-06,3.930468e-06,3.890440e-06,3.874383e-06,3.815099e-06,3.772057e-06,3.753281e-06,3.689499e-06,3.645267e-06,3.624260e-06,3.557998e-06,3.513887e-06,3.491085e-06,3.423842e-06,3.380761e-06,3.356542e-06,3.289422e-06,3.247988e-06,3.222684e-06,3.156498e-06,3.117111e-06,3.091005e-06,3.026328e-06,2.989230e-06,2.962568e-06,2.899807e-06,2.865123e-06,2.838114e-06,2.777543e-06,2.745317e-06,2.718137e-06,2.659929e-06,2.630142e-06,2.602943e-06,2.547197e-06,2.519792e-06,2.492701e-06,2.439459e-06,2.414349e-06,2.387472e-06,2.336736e-06,2.313815e-06,2.287243e-06,2.238983e-06,2.218136e-06,2.191943e-06,2.146108e-06,2.127212e-06,2.101461e-06,2.057984e-06,2.040916e-06,2.015657e-06,1.974461e-06,1.959098e-06,1.934373e-06,1.895372e-06,1.881594e-06,1.857437e-06,1.820544e-06,1.808234e-06,1.784671e-06,1.749795e-06,1.738842e-06,1.715895e-06,1.682946e-06,1.673244e-06,1.650927e-06,1.619815e-06,1.611263e-06,1.589589e-06,1.560226e-06,1.552730e-06,1.531705e-06,1.504005e-06,1.497477e-06,1.477105e-06,1.450985e-06,1.445341e-06,1.425625e-06,1.401004e-06,1.396167e-06,1.377104e-06,1.353906e-06,1.349803e-06,1.331391e-06,1.309541e-06,1.306106e-06,1.288339e-06,1.267767e-06,1.264936e-06,1.247808e-06,1.228447e-06,1.226163e-06,1.209666e-06,1.191450e-06,1.189659e-06,1.173784e-06,1.156653e-06,1.155306e-06,1.140043e-06,1.123938e-06,1.122988e-06,1.108326e-06,1.093193e-06,1.092597e-06,1.078525e-06,1.064310e-06,1.064030e-06,1.050536e-06,1.037190e-06,1.011981e-06,9.883176e-07,9.661143e-07,9.452920e-07,9.257754e-07,9.074929e-07,8.903768e-07,8.743629e-07,8.593902e-07,8.454012e-07,8.323411e-07,8.201582e-07,8.088034e-07,7.982302e-07,7.883946e-07,7.792549e-07,7.707715e-07,7.629070e-07,7.556261e-07,7.488951e-07,7.426821e-07,7.369572e-07,7.316918e-07,7.268589e-07,7.224328e-07,7.183895e-07,7.147059e-07,7.113605e-07,7.083325e-07,7.056027e-07,7.031526e-07,7.009647e-07,6.990227e-07,6.973109e-07,6.958146e-07,6.945198e-07,6.934133e-07,6.924827e-07,6.917162e-07,6.911027e-07,6.906315e-07,6.902928e-07,6.900772e-07,6.899757e-07,6.899801e-07,6.900823e-07,6.902751e-07,6.905512e-07,6.909042e-07
0.000000e+00,3.617893e-09,1.230885e-07,1.295762e-07,1.054849e-06,4.543662e-06,4.788677e-06,1.492786e-05,3.350172e-05,3.502281e-05,6.597078e-05,1.017726e-04,1.050989e-04,1.478974e-04,1.863328e-04,1.905114e-04,2.307684e-04,2.635439e-04,2.678093e-04,3.014493e-04,3.277239e-04,3.317766e-04,3.589724e-04,3.795472e-04,3.832423e-04,4.047922e-04,4.205732e-04,4.238209e-04,4.405176e-04,4.523164e-04,4.550611e-04,4.676193e-04,4.761381e-04,4.783496e-04,4.873988e-04,4.932366e-04,4.949040e-04,5.009932e-04,5.046576e-04,5.057850e-04,5.093898e-04,5.113083e-04,5.119104e-04,5.134420e-04,5.139731e-04,5.140727e-04,5.138845e-04,5.133278e-04,5.129533e-04,5.113492e-04,5.099536e-04,5.091371e-04,5.063772e-04,5.043492e-04,5.031250e-04,4.994318e-04,4.969415e-04,4.953450e-04,4.909083e-04,4.880952e-04,4.861619e-04,4.811430e-04,4.781208e-04,4.758858e-04,4.704217e-04,4.672824e-04,4.647797e-04,4.589863e-04,4.558036e-04,4.530660e-04,4.470410e-04,4.438735e-04,4.409318e-04,4.347572e-04,4.316508e-04,4.285343e-04,4.222788e-04,4.192687e-04,4.160048e-04,4.097253e-04,4.068382e-04,4.034521e-04,3.971958e-04,3.944510e-04,3.909662e-04,3.847719e-04,3.821827e-04,3.786207e-04,3.725197e-04,3.700948e-04,3.664753e-04,3.604929e-04,3.582370e-04,3.545777e-04,3.487339e-04,3.466484e-04,3.429656e-04,3.372760e-04,3.353600e-04,3.316681e-04,3.261444e-04,3.243950e-04,3.207070e-04,3.153578e-04,3.137704e-04,3.100981e-04,3.049291e-04,3.034982e-04,2.998518e-04,2.948667e-04,2.935857e-04,2.899743e-04,2.851748e-04,2.840367e-04,2.804682e-04,2.758544e-04,2.748518e-04,2.713332e-04,2.669040e-04,2.660292e-04,2.625663e-04,2.583195e-04,2.575647e-04,2.541628e-04,2.500954e-04,2.494528e-04,2.461162e-04,2.422244e-04,2.416864e-04,2.384187e-04,2.346982e-04,2.342573e-04,2.310615e-04,2.275076e-04,2.271567e-04,2.240351e-04,2.206428e-04,2.203748e-04,2.173293e-04,2.140934e-04,2.139017e-04,2.109337e-04,2.078489e-04,2.077270e-04,2.048375e-04,2.018983e-04,2.018402e-04,1.990297e-04,1.962306e-04,1.908876e-04,1.858007e-04,1.809595e-04,1.763536e-04,1.719731e-04,1.678082e-04,1.638493e-04,1.600872e-04,1.565131e-04,1.531182e-04,1.498943e-04,1.468332e-04,1.439274e-04,1.411693e-04,1.385520e-04,1.360686e-04,1.337126e-04,1.314777e-04,1.293582e-04,1.273482e-04,1.254423e-04,1.236354e-04,1.219226e-04,1.202991e-04,1.187604e-04,1.173024e-04,1.159208e-04,1.146120e-04,1.133722e-04,1.121979e-04,1.110857e-04,1.100327e-04,1.090356e-04,1.080918e-04,1.071984e-04,1.063529e-04,1.055529e-04,1.047960e-04,1.040801e-04,1.034029e-04,1.027626e-04,1.021573e-04,1.015851e-04,1.010444e-04,1.005335e-04,1.000510e-04,9.959526e-05,9.916504e-05,9.875897e-05
0.000000e+00,6.463905e-09,2.300398e-07,2.426151e-07,2.211111e-06,1.047707e-05,1.107610e-05,3.628635e-05,8.129622e-05,8.485247e-05,1.526985e-04,2.222694e-04,2.283625e-04,3.028003e-04,3.652867e-04,3.719118e-04,4.345308e-04,4.842482e-04,4.906497e-04,5.406235e-04,5.790227e-04,5.848941e-04,6.239089e-04,6.529331e-04,6.580955e-04,6.878569e-04,7.092240e-04,7.135696e-04,7.355838e-04,7.507517e-04,7.542249e-04,7.697935e-04,7.799837e-04,7.825676e-04,7.928040e-04,7.990332e-04,8.007400e-04,8.065934e-04,8.097024e-04,8.105643e-04,8.128369e-04,8.135171e-04,8.135803e-04,8.129493e-04,8.117662e-04,8.110856e-04,8.081189e-04,8.055326e-04,8.041681e-04,7.993417e-04,7.957252e-04,7.937390e-04,7.874504e-04,7.831044e-04,7.805588e-04,7.731394e-04,7.683048e-04,7.652610e-04,7.569862e-04,7.518548e-04,7.483717e-04,7.394696e-04,7.341932e-04,7.303267e-04,7.209857e-04,7.156827e-04,7.114852e-04,7.018604e-04,6.966225e-04,6.921428e-04,6.823610e-04,6.772578e-04,6.725408e-04,6.627055e-04,6.577888e-04,6.528759e-04,6.430707e-04,6.383779e-04,6.333066e-04,6.235987e-04,6.191556e-04,6.139601e-04,6.044027e-04,6.002259e-04,5.949369e-04,5.855719e-04,5.816707e-04,5.763158e-04,5.671756e-04,5.635533e-04,5.581572e-04,5.492660e-04,5.459217e-04,5.405064e-04,5.318820e-04,5.288110e-04,5.233960e-04,5.150509e-04,5.122459e-04,5.068485e-04,4.987904e-04,4.962425e-04,4.908777e-04,4.831109e-04,4.808095e-04,4.754905e-04,4.680165e-04,4.659499e-04,4.606884e-04,4.535058e-04,4.516621e-04,4.464680e-04,4.395739e-04,4.379406e-04,4.328225e-04,4.262123e-04,4.247769e-04,4.197420e-04,4.134101e-04,4.121601e-04,4.072147e-04,4.011542e-04,4.000775e-04,3.952267e-04,3.894304e-04,3.885150e-04,3.837631e-04,3.782230e-04,3.774574e-04,3.728079e-04,3.675157e-04,3.668888e-04,3.623444e-04,3.572918e-04,3.567930e-04,3.523558e-04,3.475342e-04,3.471534e-04,3.428249e-04,3.382257e-04,3.379532e-04,3.337344e-04,3.293490e-04,3.291758e-04,3.250674e-04,3.208873e-04,3.208048e-04,3.168069e-04,3.128238e-04,3.052171e-04,2.979689e-04,2.910642e-04,2.844883e-04,2.782268e-04,2.722660e-04,2.665927e-04,2.611938e-04,2.560572e-04,2.511709e-04,2.465236e-04,2.421043e-04,2.379025e-04,2.339081e-04,2.301117e-04,2.265038e-04,2.230758e-04,2.198192e-04,2.167259e-04,2.137882e-04,2.109988e-04,2.083507e-04,2.058372e-04,2.034518e-04,2.011884e-04,1.990413e-04,1.970048e-04,1.950736e-04,1.932427e-04,1.915073e-04,1.898627e-04,1.883045e-04,1.868285e-04,1.854308e-04,1.841075e-04,1.828550e-04,1.816699e-04,1.805487e-04,1.794885e-04,1.784861e-04,1.775388e-04,1.766438e-04,1.757984e-04,1.750003e-04,1.742471e-04,1.735364e-04,1.728662e-04,1.722345e-04,1.716392e-04
0.000000e+00,3.499035e-10,5.084935e-09,5.310453e-09,3.168089e-08,1.027424e-07,1.069608e-07,2.430876e-07,4.025040e-07,4.128286e-07,5.775422e-07,7.111892e-07,7.219241e-07,8.445981e-07,9.380751e-07,9.475535e-07,1.033235e-06,1.096167e-06,1.103928e-06,1.161656e-06,1.202282e-06,1.208181e-06,1.245036e-06,1.269502e-06,1.273555e-06,1.294898e-06,1.307757e-06,1.310074e-06,1.319963e-06,1.324583e-06,1.325327e-06,1.326830e-06,1.325695e-06,1.325048e-06,1.320478e-06,1.315407e-06,1.313550e-06,1.304639e-06,1.296957e-06,1.294065e-06,1.282107e-06,1.272776e-06,1.269004e-06,1.254963e-06,1.244674e-06,1.240163e-06,1.224756e-06,1.214000e-06,1.208873e-06,1.192625e-06,1.181750e-06,1.176110e-06,1.159410e-06,1.148658e-06,1.142595e-06,1.125726e-06,1.115263e-06,1.108854e-06,1.092023e-06,1.081958e-06,1.075268e-06,1.058622e-06,1.049027e-06,1.042110e-06,1.025755e-06,1.016671e-06,1.009574e-06,9.935821e-07,9.850300e-07,9.777925e-07,9.622148e-07,9.542008e-07,9.468569e-07,9.317251e-07,9.242455e-07,9.168241e-07,9.021576e-07,8.952017e-07,8.877278e-07,8.735364e-07,8.670885e-07,8.595839e-07,8.458703e-07,8.399120e-07,8.323952e-07,8.191573e-07,8.136679e-07,8.061553e-07,7.933873e-07,7.883452e-07,7.808513e-07,7.685448e-07,7.639280e-07,7.564653e-07,7.446100e-07,7.403964e-07,7.329760e-07,7.215604e-07,7.177283e-07,7.103600e-07,6.993717e-07,6.958998e-07,6.885924e-07,6.780187e-07,6.748862e-07,6.676475e-07,6.574754e-07,6.546624e-07,6.474991e-07,6.377155e-07,6.352029e-07,6.281212e-07,6.187131e-07,6.164824e-07,6.094878e-07,6.004422e-07,5.984759e-07,5.915731e-07,5.828774e-07,5.811588e-07,5.743520e-07,5.659938e-07,5.645068e-07,5.577998e-07,5.497671e-07,5.484966e-07,5.418926e-07,5.341735e-07,5.331050e-07,5.266069e-07,5.191900e-07,5.183099e-07,5.119201e-07,5.047943e-07,5.040896e-07,4.978101e-07,4.909647e-07,4.904230e-07,4.842557e-07,4.776803e-07,4.772900e-07,4.712361e-07,4.649207e-07,4.646707e-07,4.587316e-07,4.526664e-07,4.525464e-07,4.467228e-07,4.408985e-07,4.297093e-07,4.189618e-07,4.086394e-07,3.987262e-07,3.892068e-07,3.800665e-07,3.712908e-07,3.628662e-07,3.547792e-07,3.470171e-07,3.395676e-07,3.324189e-07,3.255594e-07,3.189782e-07,3.126646e-07,3.066086e-07,3.008001e-07,2.952298e-07,2.898886e-07,2.847676e-07,2.798585e-07,2.751530e-07,2.706433e-07,2.663221e-07,2.621818e-07,2.582157e-07,2.544169e-07,2.507791e-07,2.472959e-07,2.439614e-07,2.407698e-07,2.377156e-07,2.347934e-07,2.319982e-07,2.293248e-07,2.267687e-07,2.243252e-07,2.219899e-07,2.197586e-07,2.176271e-07,2.155917e-07,2.136485e-07,2.117939e-07,2.100244e-07,2.083366e-07,2.067272e-07,2.051933e-07,2.037317e-07,2.023395e-07
0.000000e+00,1.724079e-09,1.821201e-08,1.891687e-08,9.448444e-08,2.917589e-07,3.036049e-07,7.030999e-07,1.234315e-06,1.271707e-06,1.920843e-06,2.518879e-06,2.569688e-06,3.182002e-06,3.693495e-06,3.747946e-06,4.266574e-06,4.685069e-06,4.739475e-06,5.168934e-06,5.505401e-06,5.557414e-06,5.907397e-06,6.173414e-06,6.221316e-06,6.501523e-06,6.707727e-06,6.750280e-06,6.969742e-06,7.125599e-06,7.161956e-06,7.328862e-06,7.442660e-06,7.472288e-06,7.593960e-06,7.672883e-06,7.695499e-06,7.778429e-06,7.828660e-06,7.844178e-06,7.894087e-06,7.920922e-06,7.929412e-06,7.951326e-06,7.959279e-06,7.960929e-06,7.959249e-06,7.952153e-06,7.947244e-06,7.925811e-06,7.906909e-06,7.895786e-06,7.857948e-06,7.829970e-06,7.813025e-06,7.761693e-06,7.726927e-06,7.704582e-06,7.642279e-06,7.602633e-06,7.575329e-06,7.504237e-06,7.461294e-06,7.429476e-06,7.351480e-06,7.306542e-06,7.270655e-06,7.187375e-06,7.141506e-06,7.101987e-06,7.014813e-06,6.968875e-06,6.926148e-06,6.836267e-06,6.790950e-06,6.745422e-06,6.653845e-06,6.609692e-06,6.561750e-06,6.469335e-06,6.426766e-06,6.376778e-06,6.284245e-06,6.243577e-06,6.191887e-06,6.099842e-06,6.061307e-06,6.008235e-06,5.917181e-06,5.880937e-06,5.826782e-06,5.737134e-06,5.703282e-06,5.648319e-06,5.560414e-06,5.529004e-06,5.473486e-06,5.387597e-06,5.358640e-06,5.302798e-06,5.219139e-06,5.192615e-06,5.136658e-06,5.055394e-06,5.031256e-06,4.975375e-06,4.896629e-06,4.874812e-06,4.819177e-06,4.743037e-06,4.723457e-06,4.668223e-06,4.594745e-06,4.577310e-06,4.522611e-06,4.451826e-06,4.436435e-06,4.382392e-06,4.314308e-06,4.300853e-06,4.247572e-06,4.182180e-06,4.170552e-06,4.118125e-06,4.055399e-06,4.045485e-06,3.993992e-06,3.933894e-06,3.925585e-06,3.875093e-06,3.817575e-06,3.810759e-06,3.761326e-06,3.706332e-06,3.700901e-06,3.652575e-06,3.600040e-06,3.595890e-06,3.548710e-06,3.498566e-06,3.495595e-06,3.449592e-06,3.401767e-06,3.399878e-06,3.355074e-06,3.309493e-06,3.308593e-06,3.265006e-06,3.221592e-06,3.138723e-06,3.059835e-06,2.984775e-06,2.913392e-06,2.845537e-06,2.781062e-06,2.719824e-06,2.661681e-06,2.606497e-06,2.554138e-06,2.504475e-06,2.457384e-06,2.412743e-06,2.370437e-06,2.330355e-06,2.292388e-06,2.256433e-06,2.222392e-06,2.190171e-06,2.159677e-06,2.130826e-06,2.103535e-06,2.077723e-06,2.053317e-06,2.030244e-06,2.008436e-06,1.987828e-06,1.968358e-06,1.949967e-06,1.932598e-06,1.916199e-06,1.900718e-06,1.886109e-06,1.872324e-06,1.859320e-06,1.847056e-06,1.835494e-06,1.824595e-06,1.814325e-06,1.804650e-06,1.795538e-06,1.786960e-06,1.778886e-06,1.771291e-06,1.764148e-06,1.757432e-06,1.751122e-06,1.745195e-06,1.739631e-06
0.000000e+00,5.447684e-10,3.445019e-08,3.671694e-08,5.372673e-07,3.761731e-06,4.038514e-06,1.910470e-05,5.893447e-05,6.274030e-05,1.553804e-04,2.974280e-04,3.125950e-04,5.408663e-04,8.052720e-04,8.378494e-04,1.194753e-03,1.548526e-03,1.599096e-03,2.037043e-03,2.430197e-03,2.495051e-03,2.960893e-03,3.350589e-03,3.424170e-03,3.876476e-03,4.234576e-03,4.311328e-03,4.723983e-03,5.035896e-03,5.111189e-03,5.470928e-03,5.731765e-03,5.802170e-03,6.104649e-03,6.315473e-03,6.378680e-03,6.625002e-03,6.790041e-03,6.844649e-03,7.038853e-03,7.163684e-03,7.208971e-03,7.356419e-03,7.446916e-03,7.482637e-03,7.589051e-03,7.650814e-03,7.677055e-03,7.747991e-03,7.786088e-03,7.803147e-03,7.843742e-03,7.862617e-03,7.870930e-03,7.885796e-03,7.889274e-03,7.889358e-03,7.882567e-03,7.873895e-03,7.866312e-03,7.841422e-03,7.823336e-03,7.808670e-03,7.768772e-03,7.743559e-03,7.722396e-03,7.670161e-03,7.639723e-03,7.612643e-03,7.550375e-03,7.516283e-03,7.483850e-03,7.413528e-03,7.377076e-03,7.339832e-03,7.263155e-03,7.225399e-03,7.183861e-03,7.102285e-03,7.064081e-03,7.018739e-03,6.933510e-03,6.895545e-03,6.846863e-03,6.759044e-03,6.721865e-03,6.670278e-03,6.580773e-03,6.544808e-03,6.490722e-03,6.400299e-03,6.365875e-03,6.309668e-03,6.218976e-03,6.186339e-03,6.128361e-03,6.037947e-03,6.007273e-03,5.947849e-03,5.858171e-03,5.829578e-03,5.769008e-03,5.680446e-03,5.654007e-03,5.592565e-03,5.505434e-03,5.481181e-03,5.419119e-03,5.333676e-03,5.311610e-03,5.249158e-03,5.165611e-03,5.145709e-03,5.083076e-03,5.001589e-03,4.983806e-03,4.921183e-03,4.841885e-03,4.826161e-03,4.763719e-03,4.686707e-03,4.672968e-03,4.610865e-03,4.536207e-03,4.524373e-03,4.462746e-03,4.390490e-03,4.380471e-03,4.319446e-03,4.249619e-03,4.241322e-03,4.181012e-03,4.113624e-03,4.106953e-03,4.047456e-03,3.982505e-03,3.977361e-03,3.918766e-03,3.856236e-03,3.852522e-03,3.794907e-03,3.734772e-03,3.732391e-03,3.675822e-03,3.618049e-03,3.616906e-03,3.561443e-03,3.505992e-03,3.399564e-03,3.297526e-03,3.199778e-03,3.106211e-03,3.016716e-03,2.931177e-03,2.849479e-03,2.771505e-03,2.697137e-03,2.626259e-03,2.558754e-03,2.494507e-03,2.433405e-03,2.375336e-03,2.320191e-03,2.267862e-03,2.218245e-03,2.171238e-03,2.126741e-03,2.084657e-03,2.044891e-03,2.007353e-03,1.971952e-03,1.938604e-03,1.907224e-03,1.877732e-03,1.850049e-03,1.824099e-03,1.799809e-03,1.777109e-03,1.755928e-03,1.736202e-03,1.717866e-03,1.700857e-03,1.685117e-03,1.670587e-03,1.657212e-03,1.644938e-03,1.633712e-03,1.623486e-03,1.614209e-03,1.605836e-03,1.598322e-03,1.591622e-03,1.585696e-03,1.580503e-03,1.576003e-03,1.572159e-03,1.568935e-03
0.000000e+00,7.939075e-09,1.602474e-07,1.680113e-07,1.119487e-06,3.667202e-06,3.814643e-06,8.336837e-06,1.327895e-05,1.359652e-05,1.877528e-05,2.327075e-05,2.364807e-05,2.817974e-05,3.197089e-05,3.237577e-05,3.625034e-05,3.940663e-05,3.981930e-05,4.309855e-05,4.569891e-05,4.610370e-05,4.884997e-05,5.096756e-05,5.135208e-05,5.362423e-05,5.532538e-05,5.568006e-05,5.753263e-05,5.887672e-05,5.919438e-05,6.067717e-05,6.171675e-05,6.199223e-05,6.315024e-05,6.393153e-05,6.416130e-05,6.503494e-05,6.559831e-05,6.578021e-05,6.640562e-05,6.678624e-05,6.691922e-05,6.732860e-05,6.755701e-05,6.764092e-05,6.786293e-05,6.796557e-05,6.800098e-05,6.806107e-05,6.806077e-05,6.804883e-05,6.796956e-05,6.788598e-05,6.782828e-05,6.762967e-05,6.747969e-05,6.737815e-05,6.707789e-05,6.687596e-05,6.673278e-05,6.634650e-05,6.610495e-05,6.592248e-05,6.546397e-05,6.519328e-05,6.497401e-05,6.445543e-05,6.416445e-05,6.391092e-05,6.334297e-05,6.303917e-05,6.275394e-05,6.214602e-05,6.183563e-05,6.152128e-05,6.088163e-05,6.056984e-05,6.022888e-05,5.956471e-05,5.925579e-05,5.889069e-05,5.820830e-05,5.790575e-05,5.751890e-05,5.682377e-05,5.653040e-05,5.612411e-05,5.542102e-05,5.513905e-05,5.471552e-05,5.400859e-05,5.373976e-05,5.330111e-05,5.259390e-05,5.233952e-05,5.188773e-05,5.118331e-05,5.094432e-05,5.048129e-05,4.978227e-05,4.955931e-05,4.908682e-05,4.839544e-05,4.818889e-05,4.770861e-05,4.702675e-05,4.683678e-05,4.635026e-05,4.567950e-05,4.550609e-05,4.501480e-05,4.435645e-05,4.419943e-05,4.370473e-05,4.305987e-05,4.291894e-05,4.242208e-05,4.179158e-05,4.166636e-05,4.116851e-05,4.055305e-05,4.044308e-05,3.994532e-05,3.934543e-05,3.925018e-05,3.875348e-05,3.816955e-05,3.808845e-05,3.759372e-05,3.702603e-05,3.695846e-05,3.646653e-05,3.591524e-05,3.586056e-05,3.537218e-05,3.483736e-05,3.479494e-05,3.431079e-05,3.379245e-05,3.376161e-05,3.328232e-05,3.278038e-05,3.276048e-05,3.228660e-05,3.180094e-05,3.179131e-05,3.132335e-05,3.085379e-05,2.994751e-05,2.907201e-05,2.822675e-05,2.741116e-05,2.662462e-05,2.586648e-05,2.513608e-05,2.443273e-05,2.375572e-05,2.310434e-05,2.247789e-05,2.187565e-05,2.129692e-05,2.074097e-05,2.020712e-05,1.969467e-05,1.920294e-05,1.873126e-05,1.827899e-05,1.784546e-05,1.743007e-05,1.703218e-05,1.665121e-05,1.628656e-05,1.593768e-05,1.560400e-05,1.528499e-05,1.498014e-05,1.468892e-05,1.441086e-05,1.414547e-05,1.389229e-05,1.365089e-05,1.342081e-05,1.320166e-05,1.299301e-05,1.279449e-05,1.260571e-05,1.242630e-05,1.225592e-05,1.209422e-05,1.194087e-05,1.179555e-05,1.165795e-05,1.152778e-05,1.140475e-05,1.128859e-05,1.117902e-05,1.107578e-05
0.000000e+00,2.276562e-09,1.073553e-07,1.139759e-07,1.402797e-06,8.008313e-06,8.513385e-06,3.046357e-05,6.895209e-05,7.190287e-05,1.259522e-04,1.779942e-04,1.824263e-04,2.351899e-04,2.776310e-04,2.820331e-04,3.226826e-04,3.536573e-04,3.575564e-04,3.872473e-04,4.090893e-04,4.123480e-04,4.334028e-04,4.483197e-04,4.508982e-04,4.652655e-04,4.749826e-04,4.768877e-04,4.861036e-04,4.919466e-04,4.932131e-04,4.984813e-04,5.014636e-04,5.021420e-04,5.044019e-04,5.052954e-04,5.054431e-04,5.054259e-04,5.048155e-04,5.044916e-04,5.027646e-04,5.010921e-04,5.003541e-04,4.973562e-04,4.949539e-04,4.938554e-04,4.899259e-04,4.870424e-04,4.856326e-04,4.810329e-04,4.778537e-04,4.761766e-04,4.711078e-04,4.677701e-04,4.658648e-04,4.604814e-04,4.570863e-04,4.549870e-04,4.494074e-04,4.460282e-04,4.437651e-04,4.380796e-04,4.347691e-04,4.323681e-04,4.266454e-04,4.234407e-04,4.209244e-04,4.152165e-04,4.121430e-04,4.095312e-04,4.038769e-04,4.009514e-04,3.982609e-04,3.926893e-04,3.899219e-04,3.871675e-04,3.817000e-04,3.790960e-04,3.762905e-04,3.709423e-04,3.685035e-04,3.656580e-04,3.604399e-04,3.581653e-04,3.552896e-04,3.502087e-04,3.480957e-04,3.451983e-04,3.402592e-04,3.383036e-04,3.353919e-04,3.305969e-04,3.287938e-04,3.258744e-04,3.212244e-04,3.195682e-04,3.166469e-04,3.121415e-04,3.106261e-04,3.077080e-04,3.033460e-04,3.019652e-04,2.990550e-04,2.948343e-04,2.935818e-04,2.906835e-04,2.866018e-04,2.854712e-04,2.825885e-04,2.786429e-04,2.776280e-04,2.747642e-04,2.709516e-04,2.700463e-04,2.672043e-04,2.635214e-04,2.627198e-04,2.599022e-04,2.563457e-04,2.556419e-04,2.528511e-04,2.494176e-04,2.488060e-04,2.460442e-04,2.427301e-04,2.422053e-04,2.394745e-04,2.362764e-04,2.358332e-04,2.331350e-04,2.300494e-04,2.296829e-04,2.270189e-04,2.240425e-04,2.237478e-04,2.211194e-04,2.182487e-04,2.180213e-04,2.154298e-04,2.126616e-04,2.124972e-04,2.099436e-04,2.072747e-04,2.071690e-04,2.046543e-04,2.020816e-04,2.020306e-04,1.995557e-04,1.970761e-04,1.922995e-04,1.876952e-04,1.832577e-04,1.789815e-04,1.748615e-04,1.708924e-04,1.670695e-04,1.633878e-04,1.598428e-04,1.564300e-04,1.531449e-04,1.499833e-04,1.469412e-04,1.440146e-04,1.411995e-04,1.384923e-04,1.358893e-04,1.333871e-04,1.309823e-04,1.286715e-04,1.264517e-04,1.243196e-04,1.222724e-04,1.203071e-04,1.184209e-04,1.166112e-04,1.148754e-04,1.132108e-04,1.116151e-04,1.100858e-04,1.086207e-04,1.072175e-04,1.058742e-04,1.045885e-04,1.033585e-04,1.021822e-04,1.010578e-04,9.998340e-05,9.895722e-05,9.797757e-05,9.704279e-05,9.615127e-05,9.530146e-05,9.449184e-05,9.372098e-05,9.298746e-05,9.228991e-05,9.162703e-05,9.099752e-05
0.000000e+00,6.077900e-10,4.099787e-08,4.376365e-08,6.806432e-07,4.841899e-06,5.197721e-06,2.424657e-05,7.296440e-05,7.754008e-05,1.862671e-04,3.463883e-04,3.631328e-04,6.086959e-04,8.806016e-04,9.132959e-04,1.261078e-03,1.588435e-03,1.633898e-03,2.014217e-03,2.335641e-03,2.386867e-03,2.739870e-03,3.014800e-03,3.064592e-03,3.355484e-03,3.566653e-03,3.609625e-03,3.826182e-03,3.972822e-03,4.005891e-03,4.150587e-03,4.240772e-03,4.262826e-03,4.345568e-03,4.390650e-03,4.401945e-03,4.435095e-03,4.446460e-03,4.448047e-03,4.443637e-03,4.431185e-03,4.424472e-03,4.392905e-03,4.364562e-03,4.351032e-03,4.300700e-03,4.262473e-03,4.243519e-03,4.180881e-03,4.137141e-03,4.113985e-03,4.043849e-03,3.997667e-03,3.971339e-03,3.897184e-03,3.850655e-03,3.821996e-03,3.746285e-03,3.700785e-03,3.670472e-03,3.594907e-03,3.551308e-03,3.519875e-03,3.445606e-03,3.404421e-03,3.372288e-03,3.300070e-03,3.261572e-03,3.229069e-03,3.159375e-03,3.123675e-03,3.091058e-03,3.024169e-03,2.991271e-03,2.958741e-03,2.894799e-03,2.864639e-03,2.832355e-03,2.771413e-03,2.743883e-03,2.711969e-03,2.654015e-03,2.628984e-03,2.597538e-03,2.542522e-03,2.519845e-03,2.488944e-03,2.436785e-03,2.416312e-03,2.386018e-03,2.336620e-03,2.318201e-03,2.288562e-03,2.241817e-03,2.225305e-03,2.196358e-03,2.152156e-03,2.137408e-03,2.109182e-03,2.067408e-03,2.054289e-03,2.026805e-03,1.987346e-03,1.975726e-03,1.949000e-03,1.911742e-03,1.901500e-03,1.875542e-03,1.840375e-03,1.831398e-03,1.806214e-03,1.773032e-03,1.765211e-03,1.740803e-03,1.709503e-03,1.702739e-03,1.679106e-03,1.649589e-03,1.643789e-03,1.620928e-03,1.593099e-03,1.588176e-03,1.566080e-03,1.539848e-03,1.535723e-03,1.514383e-03,1.489662e-03,1.486260e-03,1.465666e-03,1.442374e-03,1.439626e-03,1.419767e-03,1.397825e-03,1.395666e-03,1.376529e-03,1.355863e-03,1.354236e-03,1.335807e-03,1.316345e-03,1.315195e-03,1.297459e-03,1.279134e-03,1.278412e-03,1.261353e-03,1.244101e-03,1.243762e-03,1.227363e-03,1.211124e-03,1.180388e-03,1.151445e-03,1.124195e-03,1.098542e-03,1.074394e-03,1.051667e-03,1.030279e-03,1.010154e-03,9.912175e-04,9.734024e-04,9.566433e-04,9.408790e-04,9.260516e-04,9.121062e-04,8.989912e-04,8.866577e-04,8.750597e-04,8.641536e-04,8.538984e-04,8.442552e-04,8.351875e-04,8.266607e-04,8.186422e-04,8.111014e-04,8.040092e-04,7.973383e-04,7.910629e-04,7.851587e-04,7.796029e-04,7.743737e-04,7.694510e-04,7.648154e-04,7.604491e-04,7.563349e-04,7.524568e-04,7.487999e-04,7.453498e-04,7.420933e-04,7.390177e-04,7.361114e-04,7.333631e-04,7.307624e-04,7.282994e-04,7.259651e-04,7.237507e-04,7.216480e-04,7.196495e-04,7.177479e-04,7.159365e-04
0.000000e+00,3.048062e-09,2.039064e-07,2.173931e-07,3.116074e-06,2.079032e-05,2.227986e-05,1.027910e-04,3.245854e-04,3.466100e-04,9.236140e-04,1.938578e-03,2.055152e-03,3.979819e-03,6.575104e-03,6.920530e-03,1.106196e-02,1.580764e-02,1.653847e-02,2.343002e-02,3.051038e-02,3.176356e-02,4.151774e-02,5.076413e-02,5.262963e-02,6.500224e-02,7.600264e-02,7.851218e-02,9.301694e-02,1.052332e-01,1.083616e-01,1.243845e-01,1.372483e-01,1.409227e-01,1.578154e-01,1.707954e-01,1.749078e-01,1.920535e-01,2.046951e-01,2.091162e-01,2.259712e-01,2.379146e-01,2.425060e-01,2.586206e-01,2.696036e-01,2.742278e-01,2.892525e-01,2.991040e-01,3.036318e-01,3.173139e-01,3.259418e-01,3.302577e-01,3.424317e-01,3.498082e-01,3.538133e-01,3.643881e-01,3.705358e-01,3.741489e-01,3.830951e-01,3.880736e-01,3.912316e-01,3.985681e-01,4.024621e-01,4.051186e-01,4.109007e-01,4.138105e-01,4.159349e-01,4.202443e-01,4.222789e-01,4.238541e-01,4.267907e-01,4.280609e-01,4.290819e-01,4.307562e-01,4.313712e-01,4.318429e-01,4.323713e-01,4.324353e-01,4.323709e-01,4.318710e-01,4.314813e-01,4.309006e-01,4.294883e-01,4.287341e-01,4.276620e-01,4.254492e-01,4.244109e-01,4.228764e-01,4.199694e-01,4.187187e-01,4.167532e-01,4.132520e-01,4.118516e-01,4.094888e-01,4.054860e-01,4.039905e-01,4.012649e-01,3.968460e-01,3.953019e-01,3.922486e-01,3.874914e-01,3.859383e-01,3.825921e-01,3.775674e-01,3.760379e-01,3.724332e-01,3.672047e-01,3.657258e-01,3.618962e-01,3.565210e-01,3.551141e-01,3.510918e-01,3.456207e-01,3.443027e-01,3.401189e-01,3.345969e-01,3.333804e-01,3.290647e-01,3.235314e-01,3.224254e-01,3.180057e-01,3.124958e-01,3.115063e-01,3.070091e-01,3.015527e-01,3.006829e-01,2.961330e-01,2.907560e-01,2.900069e-01,2.854273e-01,2.801520e-01,2.795228e-01,2.749348e-01,2.697801e-01,2.692682e-01,2.646918e-01,2.596734e-01,2.592751e-01,2.547284e-01,2.498596e-01,2.495699e-01,2.450697e-01,2.403611e-01,2.401745e-01,2.357360e-01,2.311961e-01,2.311062e-01,2.267433e-01,2.223787e-01,2.140023e-01,2.059842e-01,1.983292e-01,1.910398e-01,1.841161e-01,1.775570e-01,1.713593e-01,1.655188e-01,1.600299e-01,1.548862e-01,1.500803e-01,1.456041e-01,1.414486e-01,1.376045e-01,1.340620e-01,1.308107e-01,1.278402e-01,1.251394e-01,1.226973e-01,1.205025e-01,1.185437e-01,1.168092e-01,1.152876e-01,1.139672e-01,1.128364e-01,1.118837e-01,1.110977e-01,1.104671e-01,1.099806e-01,1.096274e-01,1.093968e-01,1.092781e-01,1.092611e-01,1.093360e-01,1.094930e-01,1.097230e-01,1.100170e-01,1.103666e-01,1.107635e-01,1.112001e-01,1.116691e-01,1.121636e-01,1.126773e-01,1.132042e-01,1.137387e-01,1.142758e-01,1.148108e-01,1.153395e-01,1.158581e-01
0.000000e+00,6.490410e-09,1.045458e-07,1.095160e-07,7.708931e-07,2.794179e-06,2.916064e-06,6.658676e-06,1.068598e-05,1.094499e-05,1.521070e-05,1.900486e-05,1.932797e-05,2.327179e-05,2.666997e-05,2.703874e-05,3.063038e-05,3.364842e-05,3.404976e-05,3.730055e-05,3.996449e-05,4.038683e-05,4.331301e-05,4.565069e-05,4.608376e-05,4.870392e-05,5.074355e-05,5.117844e-05,5.351229e-05,5.528144e-05,5.571046e-05,5.777788e-05,5.930282e-05,5.971939e-05,6.153977e-05,6.284510e-05,6.324365e-05,6.483558e-05,6.594412e-05,6.631996e-05,6.770107e-05,6.863387e-05,6.898308e-05,7.017001e-05,7.094638e-05,7.126576e-05,7.227411e-05,7.291174e-05,7.319872e-05,7.404311e-05,7.455814e-05,7.481071e-05,7.550481e-05,7.591194e-05,7.612860e-05,7.668514e-05,7.699775e-05,7.717743e-05,7.760830e-05,7.783851e-05,7.798054e-05,7.829680e-05,7.845561e-05,7.855966e-05,7.877159e-05,7.886892e-05,7.893497e-05,7.905211e-05,7.909693e-05,7.912523e-05,7.915645e-05,7.915681e-05,7.914783e-05,7.910135e-05,7.906451e-05,7.901891e-05,7.890234e-05,7.883479e-05,7.875341e-05,7.857382e-05,7.848135e-05,7.836518e-05,7.812908e-05,7.801688e-05,7.786701e-05,7.758043e-05,7.745310e-05,7.727074e-05,7.693926e-05,7.680086e-05,7.658728e-05,7.621604e-05,7.607017e-05,7.582673e-05,7.542048e-05,7.527030e-05,7.499838e-05,7.456149e-05,7.440975e-05,7.411079e-05,7.364726e-05,7.349638e-05,7.317183e-05,7.268537e-05,7.253742e-05,7.218875e-05,7.168277e-05,7.153952e-05,7.116821e-05,7.064582e-05,7.050880e-05,7.011631e-05,6.958037e-05,6.945086e-05,6.903865e-05,6.849177e-05,6.837083e-05,6.794034e-05,6.738492e-05,6.727341e-05,6.682606e-05,6.626428e-05,6.616289e-05,6.570008e-05,6.513393e-05,6.504320e-05,6.456629e-05,6.399758e-05,6.391790e-05,6.342823e-05,6.285861e-05,6.279026e-05,6.228911e-05,6.172008e-05,6.166321e-05,6.115185e-05,6.058475e-05,6.053944e-05,6.001908e-05,5.945513e-05,5.942135e-05,5.889317e-05,5.833346e-05,5.831112e-05,5.777625e-05,5.722176e-05,5.721070e-05,5.667023e-05,5.612185e-05,5.504613e-05,5.398493e-05,5.293947e-05,5.191085e-05,5.090000e-05,4.990776e-05,4.893481e-05,4.798176e-05,4.704910e-05,4.613726e-05,4.524656e-05,4.437725e-05,4.352952e-05,4.270350e-05,4.189924e-05,4.111677e-05,4.035605e-05,3.961700e-05,3.889951e-05,3.820344e-05,3.752859e-05,3.687477e-05,3.624172e-05,3.562921e-05,3.503695e-05,3.446464e-05,3.391197e-05,3.337862e-05,3.286425e-05,3.236852e-05,3.189107e-05,3.143153e-05,3.098953e-05,3.056471e-05,3.015668e-05,2.976507e-05,2.938948e-05,2.902954e-05,2.868486e-05,2.835506e-05,2.803976e-05,2.773857e-05,2.745112e-05,2.717702e-05,2.691590e-05,2.666740e-05,2.643115e-05,2.620678e-05,2.599393e-05
0.000000e+00,8.264111e-10,1.014965e-08,1.057922e-08,6.169072e-08,2.114725e-07,2.208194e-07,5.441950e-07,9.717561e-07,1.001256e-06,1.503534e-06,1.960283e-06,1.999209e-06,2.472618e-06,2.876586e-06,2.920155e-06,3.341462e-06,3.690929e-06,3.737071e-06,4.107774e-06,4.407325e-06,4.454446e-06,4.777995e-06,5.032576e-06,5.079336e-06,5.359390e-06,5.573795e-06,5.619076e-06,5.859300e-06,6.038065e-06,6.080952e-06,6.284906e-06,6.432251e-06,6.472011e-06,6.643090e-06,6.762885e-06,6.798943e-06,6.940338e-06,7.036100e-06,7.068017e-06,7.182693e-06,7.257593e-06,7.285049e-06,7.375740e-06,7.432625e-06,7.455402e-06,7.524635e-06,7.566051e-06,7.584015e-06,7.634095e-06,7.662311e-06,7.675403e-06,7.708440e-06,7.725468e-06,7.733690e-06,7.751610e-06,7.759234e-06,7.762641e-06,7.767198e-06,7.766992e-06,7.765681e-06,7.758470e-06,7.751821e-06,7.745925e-06,7.728392e-06,7.716517e-06,7.706197e-06,7.679654e-06,7.663617e-06,7.649059e-06,7.614694e-06,7.595424e-06,7.576827e-06,7.535714e-06,7.514017e-06,7.491598e-06,7.444708e-06,7.421280e-06,7.395263e-06,7.343470e-06,7.318912e-06,7.289527e-06,7.233619e-06,7.208444e-06,7.175925e-06,7.116610e-06,7.091254e-06,7.055835e-06,6.993750e-06,6.968580e-06,6.930495e-06,6.866207e-06,6.841533e-06,6.801012e-06,6.735030e-06,6.711106e-06,6.668375e-06,6.601153e-06,6.578186e-06,6.533464e-06,6.465406e-06,6.443563e-06,6.397066e-06,6.328528e-06,6.307941e-06,6.259873e-06,6.191174e-06,6.171940e-06,6.122501e-06,6.053920e-06,6.036111e-06,5.985491e-06,5.917271e-06,5.900936e-06,5.849316e-06,5.781673e-06,5.766839e-06,5.714391e-06,5.647512e-06,5.634188e-06,5.581077e-06,5.515123e-06,5.503305e-06,5.449684e-06,5.384793e-06,5.374464e-06,5.320479e-06,5.256770e-06,5.247900e-06,5.193689e-06,5.131260e-06,5.123814e-06,5.069504e-06,5.008439e-06,5.002371e-06,4.948082e-06,4.888449e-06,4.883710e-06,4.829553e-06,4.771406e-06,4.767942e-06,4.714020e-06,4.657402e-06,4.655154e-06,4.601562e-06,4.546506e-06,4.545413e-06,4.492240e-06,4.438767e-06,4.335248e-06,4.234872e-06,4.137642e-06,4.043549e-06,3.952576e-06,3.864695e-06,3.779871e-06,3.698062e-06,3.619221e-06,3.543294e-06,3.470226e-06,3.399955e-06,3.332420e-06,3.267555e-06,3.205292e-06,3.145564e-06,3.088300e-06,3.033432e-06,2.980888e-06,2.930598e-06,2.882492e-06,2.836501e-06,2.792555e-06,2.750587e-06,2.710529e-06,2.672314e-06,2.635878e-06,2.601157e-06,2.568088e-06,2.536611e-06,2.506665e-06,2.478192e-06,2.451135e-06,2.425440e-06,2.401052e-06,2.377919e-06,2.355991e-06,2.335218e-06,2.315552e-06,2.296949e-06,2.279362e-06,2.262749e-06,2.247067e-06,2.232278e-06,2.218340e-06,2.205218e-06,2.192874e-06,2.181274e-06,2.170384e-06
0.000000e+00,1.274732e-08,3.943194e-07,4.167620e-07,4.055841e-06,1.677617e-05,1.754927e-05,4.067085e-05,6.458987e-05,6.610770e-05,9.085059e-05,1.125125e-04,1.143432e-04,1.365147e-04,1.553558e-04,1.573853e-04,1.769936e-04,1.932383e-04,1.953819e-04,2.125936e-04,2.264881e-04,2.286727e-04,2.436639e-04,2.554488e-04,2.576124e-04,2.705631e-04,2.804701e-04,2.825615e-04,2.936520e-04,3.018999e-04,3.038779e-04,3.132814e-04,3.200718e-04,3.219037e-04,3.297842e-04,3.353007e-04,3.369609e-04,3.434703e-04,3.478785e-04,3.493478e-04,3.546267e-04,3.580750e-04,3.593393e-04,3.635162e-04,3.661372e-04,3.671869e-04,3.703793e-04,3.722906e-04,3.731202e-04,3.754349e-04,3.767412e-04,3.773480e-04,3.788824e-04,3.796760e-04,3.800603e-04,3.809027e-04,3.812654e-04,3.814297e-04,3.816602e-04,3.816638e-04,3.816124e-04,3.813035e-04,3.810113e-04,3.807501e-04,3.799676e-04,3.794349e-04,3.789709e-04,3.777741e-04,3.770494e-04,3.763906e-04,3.748331e-04,3.739586e-04,3.731138e-04,3.712441e-04,3.702563e-04,3.692349e-04,3.670965e-04,3.660271e-04,3.648387e-04,3.624710e-04,3.613473e-04,3.600019e-04,3.574400e-04,3.562854e-04,3.547932e-04,3.520689e-04,3.509033e-04,3.492743e-04,3.464160e-04,3.452564e-04,3.435005e-04,3.405338e-04,3.393942e-04,3.375216e-04,3.344691e-04,3.333614e-04,3.313816e-04,3.282638e-04,3.271977e-04,3.251203e-04,3.219552e-04,3.209385e-04,3.187727e-04,3.155766e-04,3.146156e-04,3.123703e-04,3.091573e-04,3.082569e-04,3.059407e-04,3.027235e-04,3.018873e-04,2.995085e-04,2.962983e-04,2.955288e-04,2.930953e-04,2.899019e-04,2.892009e-04,2.867202e-04,2.835522e-04,2.829204e-04,2.803998e-04,2.772647e-04,2.767023e-04,2.741486e-04,2.710529e-04,2.705596e-04,2.679792e-04,2.649286e-04,2.645034e-04,2.619024e-04,2.589018e-04,2.585434e-04,2.559276e-04,2.529810e-04,2.526879e-04,2.500627e-04,2.471735e-04,2.469436e-04,2.443141e-04,2.414853e-04,2.413165e-04,2.386875e-04,2.359213e-04,2.358113e-04,2.331873e-04,2.304857e-04,2.304320e-04,2.278170e-04,2.251815e-04,2.200622e-04,2.150758e-04,2.102232e-04,2.055052e-04,2.009217e-04,1.964725e-04,1.921570e-04,1.879741e-04,1.839226e-04,1.800010e-04,1.762076e-04,1.725406e-04,1.689978e-04,1.655772e-04,1.622764e-04,1.590932e-04,1.560251e-04,1.530697e-04,1.502244e-04,1.474866e-04,1.448538e-04,1.423233e-04,1.398926e-04,1.375591e-04,1.353202e-04,1.331732e-04,1.311157e-04,1.291452e-04,1.272591e-04,1.254551e-04,1.237307e-04,1.220834e-04,1.205110e-04,1.190110e-04,1.175813e-04,1.162196e-04,1.149236e-04,1.136914e-04,1.125207e-04,1.114096e-04,1.103560e-04,1.093580e-04,1.084137e-04,1.075212e-04,1.066786e-04,1.058842e-04,1.051363e-04,1.044332e-04,1.037731e-04
0.000000e+00,2.690550e-07,1.909232e-05,2.039036e-05,3.232797e-04,2.366348e-03,2.544217e-03,1.247789e-02,4.022886e-02,4.297217e-02,1.137842e-01,2.350331e-01,2.487858e-01,4.729234e-01,7.704915e-01,8.098867e-01,1.280523e+00,1.818884e+00,1.901864e+00,2.686614e+00,3.498582e+00,3.642996e+00,4.774846e+00,5.861108e+00,6.081883e+00,7.560103e+00,8.894969e+00,9.202232e+00,1.099823e+01,1.253759e+01,1.293577e+01,1.500075e+01,1.669003e+01,1.717776e+01,1.945048e+01,2.123140e+01,2.180207e+01,2.421554e+01,2.603142e+01,2.667403e+01,2.916104e+01,3.096039e+01,3.166067e+01,3.415777e+01,3.589655e+01,3.663807e+01,3.908832e+01,4.073104e+01,4.149629e+01,4.385088e+01,4.537076e+01,4.614209e+01,4.836106e+01,4.973965e+01,5.050002e+01,5.255230e+01,5.377867e+01,5.451227e+01,5.637527e+01,5.744495e+01,5.813760e+01,5.979646e+01,6.071035e+01,6.134982e+01,6.279647e+01,6.355974e+01,6.413584e+01,6.536801e+01,6.598901e+01,6.649363e+01,6.751386e+01,6.800324e+01,6.843030e+01,6.924496e+01,6.961485e+01,6.996018e+01,7.057861e+01,7.084190e+01,7.110311e+01,7.153680e+01,7.170669e+01,7.188292e+01,7.214487e+01,7.223436e+01,7.232614e+01,7.243028e+01,7.245189e+01,7.246090e+01,7.242161e+01,7.238713e+01,7.231603e+01,7.214775e+01,7.206811e+01,7.192034e+01,7.163729e+01,7.152244e+01,7.130205e+01,7.091798e+01,7.077686e+01,7.048837e+01,7.001641e+01,6.985694e+01,6.950519e+01,6.895771e+01,6.878683e+01,6.837687e+01,6.776543e+01,6.758912e+01,6.712609e+01,6.646140e+01,6.628473e+01,6.577381e+01,6.506568e+01,6.489292e+01,6.433923e+01,6.359661e+01,6.343126e+01,6.283983e+01,6.207081e+01,6.191570e+01,6.129138e+01,6.050325e+01,6.036060e+01,5.970807e+01,5.890735e+01,5.877882e+01,5.810255e+01,5.729502e+01,5.718182e+01,5.648604e+01,5.567681e+01,5.557974e+01,5.486844e+01,5.406199e+01,5.398149e+01,5.325843e+01,5.245866e+01,5.239487e+01,5.166353e+01,5.087383e+01,5.082664e+01,5.009028e+01,4.931355e+01,4.928263e+01,4.854426e+01,4.778297e+01,4.776783e+01,4.703021e+01,4.628645e+01,4.484201e+01,4.343745e+01,4.207513e+01,4.075692e+01,3.948429e+01,3.825830e+01,3.707968e+01,3.594888e+01,3.486607e+01,3.383122e+01,3.284409e+01,3.190428e+01,3.101122e+01,3.016425e+01,2.936257e+01,2.860531e+01,2.789151e+01,2.722013e+01,2.659009e+01,2.600026e+01,2.544947e+01,2.493651e+01,2.446015e+01,2.401912e+01,2.361217e+01,2.323800e+01,2.289533e+01,2.258284e+01,2.229925e+01,2.204324e+01,2.181353e+01,2.160883e+01,2.142785e+01,2.126932e+01,2.113199e+01,2.101462e+01,2.091600e+01,2.083491e+01,2.077018e+01,2.072067e+01,2.068525e+01,2.066281e+01,2.065230e+01,2.065269e+01,2.066296e+01,2.068216e+01,2.070935e+01,2.074365e+01,2.078420e+01
0.000000e+00,5.718173e-09,3.125597e-07,3.326618e-07,4.305484e-06,2.315987e-05,2.452147e-05,7.760418e-05,1.567493e-04,1.624557e-04,2.633225e-04,3.593964e-04,3.677121e-04,4.699936e-04,5.586478e-04,5.682770e-04,6.620654e-04,7.408269e-04,7.512953e-04,8.360273e-04,9.053743e-04,9.163603e-04,9.924090e-04,1.053070e-03,1.064298e-03,1.132156e-03,1.184888e-03,1.196120e-03,1.256324e-03,1.301874e-03,1.312907e-03,1.366004e-03,1.405086e-03,1.415749e-03,1.462274e-03,1.495558e-03,1.505707e-03,1.546172e-03,1.574278e-03,1.583792e-03,1.618684e-03,1.642181e-03,1.650962e-03,1.680737e-03,1.700148e-03,1.708116e-03,1.733202e-03,1.749001e-03,1.756094e-03,1.776889e-03,1.789510e-03,1.795679e-03,1.812555e-03,1.822391e-03,1.827603e-03,1.840906e-03,1.848312e-03,1.852544e-03,1.862594e-03,1.867894e-03,1.871132e-03,1.878228e-03,1.881711e-03,1.883952e-03,1.888371e-03,1.890299e-03,1.891548e-03,1.893544e-03,1.894153e-03,1.894420e-03,1.894231e-03,1.893730e-03,1.893033e-03,1.890878e-03,1.889457e-03,1.887816e-03,1.883897e-03,1.881725e-03,1.879166e-03,1.873669e-03,1.870895e-03,1.867449e-03,1.860547e-03,1.857304e-03,1.853002e-03,1.844853e-03,1.841259e-03,1.836136e-03,1.826886e-03,1.823044e-03,1.817136e-03,1.806920e-03,1.802921e-03,1.796267e-03,1.785207e-03,1.781131e-03,1.773769e-03,1.761979e-03,1.757895e-03,1.749864e-03,1.737449e-03,1.733416e-03,1.724756e-03,1.711810e-03,1.707880e-03,1.698631e-03,1.685241e-03,1.681457e-03,1.671660e-03,1.657905e-03,1.654303e-03,1.643996e-03,1.629951e-03,1.626561e-03,1.615784e-03,1.601513e-03,1.598361e-03,1.587152e-03,1.572715e-03,1.569820e-03,1.558217e-03,1.543670e-03,1.541047e-03,1.529086e-03,1.514478e-03,1.512139e-03,1.499856e-03,1.485232e-03,1.483185e-03,1.470615e-03,1.456014e-03,1.454264e-03,1.441440e-03,1.426901e-03,1.425449e-03,1.412404e-03,1.397958e-03,1.396805e-03,1.383570e-03,1.369246e-03,1.368389e-03,1.354994e-03,1.340819e-03,1.340254e-03,1.326727e-03,1.312725e-03,1.312445e-03,1.298816e-03,1.285005e-03,1.257969e-03,1.231369e-03,1.205232e-03,1.179583e-03,1.154442e-03,1.129826e-03,1.105750e-03,1.082226e-03,1.059262e-03,1.036867e-03,1.015045e-03,9.938000e-04,9.731336e-04,9.530460e-04,9.335362e-04,9.146019e-04,8.962395e-04,8.784448e-04,8.612125e-04,8.445364e-04,8.284098e-04,8.128254e-04,7.977752e-04,7.832509e-04,7.692435e-04,7.557443e-04,7.427434e-04,7.302313e-04,7.181981e-04,7.066336e-04,6.955276e-04,6.848697e-04,6.746496e-04,6.648567e-04,6.554807e-04,6.465110e-04,6.379371e-04,6.297488e-04,6.219357e-04,6.144874e-04,6.073938e-04,6.006448e-04,5.942303e-04,5.881406e-04,5.823659e-04,5.768965e-04,5.717230e-04,5.668360e-04,5.622264e-04
0.000000e+00,9.320858e-10,5.955667e-08,6.347161e-08,9.164508e-07,6.297966e-06,6.756870e-06,3.163706e-05,9.788305e-05,1.042632e-04,2.619545e-04,5.108851e-04,5.378881e-04,9.524989e-04,1.449091e-03,1.511340e-03,2.206963e-03,2.918956e-03,3.022422e-03,3.934970e-03,4.778095e-03,4.919249e-03,5.949726e-03,6.833391e-03,7.002389e-03,8.055790e-03,8.907155e-03,9.091579e-03,1.009467e-02,1.086551e-02,1.105317e-02,1.195812e-02,1.262265e-02,1.280318e-02,1.358427e-02,1.413369e-02,1.429918e-02,1.494726e-02,1.538411e-02,1.552908e-02,1.604615e-02,1.637960e-02,1.650073e-02,1.689554e-02,1.713800e-02,1.723369e-02,1.751848e-02,1.768339e-02,1.775332e-02,1.794166e-02,1.804215e-02,1.808691e-02,1.819237e-02,1.824047e-02,1.826125e-02,1.829661e-02,1.830298e-02,1.830135e-02,1.827821e-02,1.825202e-02,1.822976e-02,1.815841e-02,1.810742e-02,1.806639e-02,1.795579e-02,1.788646e-02,1.782854e-02,1.768642e-02,1.760409e-02,1.753109e-02,1.736408e-02,1.727308e-02,1.718677e-02,1.700045e-02,1.690430e-02,1.680632e-02,1.660546e-02,1.650695e-02,1.639886e-02,1.618743e-02,1.608878e-02,1.597201e-02,1.575336e-02,1.565632e-02,1.553218e-02,1.530912e-02,1.521500e-02,1.508473e-02,1.485957e-02,1.476940e-02,1.463411e-02,1.440878e-02,1.432328e-02,1.418399e-02,1.396009e-02,1.387978e-02,1.373742e-02,1.351627e-02,1.344147e-02,1.329689e-02,1.307954e-02,1.301045e-02,1.286443e-02,1.265174e-02,1.258843e-02,1.244164e-02,1.223429e-02,1.217674e-02,1.202981e-02,1.182833e-02,1.177645e-02,1.162994e-02,1.143473e-02,1.138837e-02,1.124278e-02,1.105415e-02,1.101310e-02,1.086888e-02,1.068702e-02,1.065106e-02,1.050860e-02,1.033365e-02,1.030253e-02,1.016219e-02,9.994213e-03,9.967662e-03,9.829735e-03,9.668749e-03,9.646489e-03,9.511247e-03,9.357218e-03,9.338967e-03,9.206643e-03,9.059503e-03,9.044976e-03,8.915771e-03,8.775419e-03,8.764336e-03,8.638418e-03,8.504733e-03,8.496817e-03,8.374329e-03,8.247168e-03,8.242148e-03,8.123209e-03,8.002412e-03,8.000028e-03,7.884733e-03,7.770129e-03,7.552106e-03,7.345598e-03,7.150234e-03,6.965638e-03,6.791429e-03,6.627225e-03,6.472647e-03,6.327316e-03,6.190860e-03,6.062910e-03,5.943104e-03,5.831089e-03,5.726516e-03,5.629049e-03,5.538355e-03,5.454114e-03,5.376013e-03,5.303749e-03,5.237026e-03,5.175560e-03,5.119074e-03,5.067300e-03,5.019980e-03,4.976864e-03,4.937712e-03,4.902290e-03,4.870375e-03,4.841751e-03,4.816212e-03,4.793557e-03,4.773595e-03,4.756142e-03,4.741024e-03,4.728070e-03,4.717120e-03,4.708021e-03,4.700624e-03,4.694791e-03,4.690387e-03,4.687286e-03,4.685367e-03,4.684517e-03,4.684628e-03,4.685597e-03,4.687329e-03,4.689732e-03,4.692722e-03,4.696218e-03,4.700148e-03
0.000000e+00,1.152362e-07,7.813110e-06,8.333581e-06,1.236765e-04,8.637916e-04,9.274066e-04,4.450261e-03,1.432625e-02,1.530818e-02,4.092263e-02,8.556144e-02,9.066791e-02,1.747458e-01,2.881243e-01,3.032471e-01,4.854696e-01,6.966883e-01,7.294590e-01,1.041729e+00,1.368630e+00,1.427122e+00,1.888768e+00,2.336599e+00,2.428134e+00,3.045118e+00,3.607928e+00,3.738185e+00,4.504529e+00,5.167770e+00,5.340243e+00,6.240501e+00,6.983942e+00,7.199725e+00,8.211760e+00,9.012189e+00,9.270025e+00,1.036766e+01,1.120114e+01,1.149766e+01,1.265298e+01,1.349657e+01,1.382665e+01,1.501186e+01,1.584482e+01,1.620200e+01,1.739079e+01,1.819533e+01,1.857226e+01,1.974080e+01,2.050243e+01,2.089124e+01,2.201879e+01,2.272638e+01,2.311911e+01,2.418828e+01,2.483399e+01,2.522283e+01,2.621969e+01,2.679860e+01,2.717622e+01,2.809015e+01,2.859996e+01,2.895962e+01,2.978312e+01,3.022375e+01,3.055948e+01,3.128785e+01,3.166101e+01,3.196768e+01,3.259868e+01,3.290749e+01,3.318084e+01,3.371434e+01,3.396297e+01,3.419961e+01,3.463724e+01,3.483059e+01,3.502799e+01,3.537277e+01,3.551622e+01,3.567264e+01,3.592874e+01,3.602788e+01,3.614233e+01,3.631473e+01,3.637520e+01,3.644735e+01,3.654163e+01,3.656895e+01,3.659908e+01,3.662121e+01,3.662068e+01,3.660958e+01,3.656574e+01,3.654237e+01,3.649126e+01,3.638770e+01,3.634614e+01,3.625660e+01,3.609951e+01,3.604400e+01,3.591795e+01,3.571339e+01,3.564776e+01,3.548730e+01,3.524111e+01,3.516877e+01,3.497621e+01,3.469396e+01,3.461790e+01,3.439568e+01,3.408263e+01,3.400544e+01,3.375606e+01,3.341715e+01,3.334105e+01,3.306706e+01,3.270688e+01,3.263372e+01,3.233767e+01,3.196045e+01,3.189178e+01,3.157620e+01,3.118584e+01,3.112287e+01,3.079025e+01,3.039029e+01,3.033399e+01,2.998674e+01,2.958039e+01,2.953147e+01,2.917195e+01,2.876210e+01,2.872107e+01,2.835150e+01,2.794076e+01,2.790791e+01,2.753045e+01,2.712112e+01,2.709660e+01,2.671328e+01,2.630740e+01,2.629121e+01,2.590394e+01,2.550332e+01,2.549533e+01,2.510592e+01,2.471211e+01,2.394426e+01,2.319414e+01,2.246374e+01,2.175476e+01,2.106858e+01,2.040635e+01,1.976895e+01,1.915709e+01,1.857126e+01,1.801178e+01,1.747885e+01,1.697250e+01,1.649265e+01,1.603913e+01,1.561167e+01,1.520990e+01,1.483339e+01,1.448165e+01,1.415414e+01,1.385025e+01,1.356935e+01,1.331077e+01,1.307378e+01,1.285767e+01,1.266167e+01,1.248502e+01,1.232692e+01,1.218657e+01,1.206317e+01,1.195589e+01,1.186393e+01,1.178646e+01,1.172266e+01,1.167173e+01,1.163285e+01,1.160523e+01,1.158808e+01,1.158062e+01,1.158209e+01,1.159175e+01,1.160887e+01,1.163274e+01,1.166267e+01,1.169800e+01,1.173808e+01,1.178231e+01,1.183008e+01,1.188084e+01,1.193404e+01
0.000000e+00,8.746668e-10,5.167298e-08,5.493458e-08,6.845155e-07,4.069778e-06,4.342655e-06,1.819777e-05,5.333148e-05,5.670314e-05,1.413764e-04,2.813374e-04,2.969536e-04,5.456953e-04,8.617930e-04,9.025797e-04,1.373042e-03,1.878105e-03,1.953194e-03,2.631577e-03,3.280913e-03,3.391496e-03,4.213325e-03,4.936434e-03,5.076474e-03,5.960890e-03,6.688953e-03,6.848096e-03,7.721834e-03,8.401822e-03,8.568388e-03,9.376661e-03,9.974942e-03,1.013808e-02,1.084642e-02,1.134661e-02,1.149749e-02,1.208893e-02,1.248763e-02,1.261984e-02,1.309053e-02,1.339283e-02,1.350229e-02,1.385713e-02,1.407302e-02,1.415763e-02,1.440670e-02,1.454830e-02,1.460751e-02,1.476335e-02,1.484319e-02,1.487756e-02,1.495346e-02,1.498341e-02,1.499426e-02,1.500307e-02,1.499376e-02,1.498284e-02,1.493637e-02,1.489699e-02,1.486630e-02,1.477509e-02,1.471342e-02,1.466504e-02,1.453826e-02,1.446069e-02,1.439671e-02,1.424216e-02,1.415389e-02,1.407627e-02,1.390055e-02,1.380576e-02,1.371638e-02,1.352500e-02,1.342697e-02,1.332756e-02,1.312510e-02,1.302642e-02,1.291856e-02,1.270880e-02,1.261144e-02,1.249659e-02,1.228263e-02,1.218810e-02,1.206755e-02,1.185193e-02,1.176133e-02,1.163627e-02,1.142104e-02,1.133517e-02,1.120666e-02,1.099348e-02,1.091287e-02,1.078186e-02,1.057207e-02,1.049704e-02,1.036438e-02,1.015902e-02,1.008977e-02,9.956205e-03,9.756102e-03,9.692668e-03,9.558870e-03,9.364644e-03,9.306981e-03,9.173542e-03,8.985660e-03,8.933642e-03,8.801082e-03,8.619876e-03,8.573322e-03,8.442098e-03,8.267790e-03,8.226477e-03,8.096987e-03,7.929710e-03,7.893384e-03,7.765973e-03,7.605783e-03,7.574171e-03,7.449139e-03,7.296033e-03,7.268849e-03,7.146452e-03,7.000376e-03,6.977328e-03,6.857783e-03,6.718644e-03,6.699438e-03,6.582928e-03,6.450602e-03,6.434949e-03,6.321627e-03,6.195965e-03,6.183579e-03,6.073572e-03,5.954405e-03,5.945010e-03,5.838418e-03,5.725564e-03,5.718892e-03,5.615796e-03,5.509063e-03,5.504856e-03,5.405316e-03,5.304505e-03,5.302518e-03,5.206577e-03,5.111483e-03,4.931350e-03,4.761720e-03,4.602195e-03,4.452381e-03,4.311888e-03,4.180336e-03,4.057350e-03,3.942566e-03,3.835629e-03,3.736196e-03,3.643931e-03,3.558515e-03,3.479633e-03,3.406983e-03,3.340271e-03,3.279214e-03,3.223538e-03,3.172981e-03,3.127289e-03,3.086214e-03,3.049521e-03,3.016980e-03,2.988368e-03,2.963472e-03,2.942086e-03,2.924009e-03,2.909048e-03,2.897018e-03,2.887736e-03,2.881030e-03,2.876730e-03,2.874674e-03,2.874704e-03,2.876669e-03,2.880422e-03,2.885821e-03,2.892732e-03,2.901022e-03,2.910565e-03,2.921240e-03,2.932931e-03,2.945526e-03,2.958918e-03,2.973005e-03,2.987690e-03,3.002879e-03,3.018485e-03,3.034423e-03,3.050616e-03
0.000000e+00,6.286260e-10,1.084158e-08,1.134321e-08,6.878276e-08,2.023878e-07,2.094129e-07,3.991514e-07,5.774894e-07,5.885162e-07,7.648108e-07,9.143872e-07,9.268334e-07,1.075099e-06,1.197381e-06,1.210340e-06,1.333305e-06,1.431938e-06,1.444722e-06,1.545300e-06,1.623653e-06,1.635726e-06,1.716667e-06,1.777793e-06,1.788759e-06,1.852615e-06,1.899239e-06,1.908815e-06,1.957911e-06,1.992423e-06,2.000423e-06,2.036842e-06,2.061314e-06,2.067625e-06,2.093206e-06,2.109418e-06,2.113988e-06,2.130351e-06,2.139823e-06,2.142647e-06,2.151208e-06,2.155232e-06,2.156340e-06,2.158334e-06,2.158005e-06,2.157455e-06,2.153954e-06,2.150194e-06,2.148063e-06,2.139999e-06,2.133584e-06,2.129963e-06,2.118142e-06,2.109720e-06,2.104709e-06,2.089827e-06,2.079938e-06,2.073644e-06,2.056299e-06,2.045389e-06,2.037921e-06,2.018630e-06,2.007066e-06,1.998534e-06,1.977737e-06,1.965819e-06,1.956332e-06,1.934407e-06,1.922380e-06,1.912042e-06,1.889310e-06,1.877368e-06,1.866280e-06,1.843016e-06,1.831313e-06,1.819573e-06,1.796006e-06,1.784664e-06,1.772363e-06,1.748688e-06,1.737799e-06,1.725023e-06,1.701403e-06,1.691034e-06,1.677864e-06,1.654435e-06,1.644634e-06,1.631144e-06,1.608018e-06,1.598818e-06,1.585078e-06,1.562345e-06,1.553765e-06,1.539838e-06,1.517572e-06,1.509619e-06,1.495564e-06,1.473825e-06,1.466498e-06,1.452368e-06,1.431202e-06,1.424491e-06,1.410335e-06,1.389776e-06,1.383669e-06,1.369531e-06,1.349604e-06,1.344082e-06,1.330001e-06,1.310724e-06,1.305766e-06,1.291777e-06,1.273161e-06,1.268742e-06,1.254877e-06,1.236927e-06,1.233022e-06,1.219309e-06,1.202024e-06,1.198607e-06,1.185071e-06,1.168448e-06,1.165491e-06,1.152153e-06,1.136184e-06,1.133659e-06,1.120539e-06,1.105215e-06,1.103095e-06,1.090209e-06,1.075517e-06,1.073775e-06,1.061136e-06,1.047063e-06,1.045673e-06,1.033294e-06,1.019824e-06,1.018759e-06,1.006649e-06,9.937660e-07,9.930022e-07,9.811699e-07,9.688564e-07,9.683697e-07,9.568212e-07,9.450597e-07,9.448273e-07,9.335674e-07,9.223398e-07,9.008719e-07,8.803880e-07,8.608526e-07,8.422303e-07,8.244863e-07,8.075864e-07,7.914968e-07,7.761847e-07,7.616180e-07,7.477655e-07,7.345969e-07,7.220828e-07,7.101947e-07,6.989053e-07,6.881880e-07,6.780173e-07,6.683685e-07,6.592180e-07,6.505430e-07,6.423217e-07,6.345330e-07,6.271570e-07,6.201742e-07,6.135662e-07,6.073153e-07,6.014045e-07,5.958176e-07,5.905390e-07,5.855541e-07,5.808485e-07,5.764086e-07,5.722217e-07,5.682752e-07,5.645574e-07,5.610569e-07,5.577630e-07,5.546655e-07,5.517545e-07,5.490206e-07,5.464550e-07,5.440490e-07,5.417947e-07,5.396842e-07,5.377102e-07,5.358656e-07,5.341437e-07,5.325382e-07,5.310429e-07,5.296521e-07
0.000000e+00,1.249008e-10,8.776175e-09,9.374339e-09,1.489404e-07,1.068932e-06,1.147894e-06,5.431283e-06,1.680359e-05,1.789742e-05,4.488090e-05,8.728291e-05,9.186802e-05,1.619148e-04,2.449635e-04,2.553107e-04,3.700151e-04,4.857097e-04,5.023810e-04,6.478835e-04,7.798601e-04,8.017227e-04,9.592672e-04,1.091397e-03,1.116342e-03,1.269392e-03,1.389853e-03,1.415544e-03,1.552607e-03,1.654647e-03,1.679023e-03,1.793799e-03,1.874899e-03,1.896421e-03,1.986769e-03,2.047334e-03,2.065036e-03,2.131652e-03,2.173796e-03,2.187220e-03,2.232458e-03,2.259078e-03,2.268160e-03,2.295149e-03,2.309304e-03,2.314258e-03,2.326299e-03,2.330852e-03,2.332056e-03,2.332267e-03,2.329704e-03,2.327620e-03,2.318749e-03,2.311124e-03,2.306232e-03,2.290593e-03,2.279537e-03,2.272300e-03,2.251772e-03,2.238538e-03,2.229379e-03,2.205448e-03,2.190977e-03,2.180264e-03,2.154077e-03,2.139057e-03,2.127105e-03,2.099533e-03,2.084454e-03,2.071525e-03,2.043216e-03,2.028418e-03,2.014727e-03,1.986157e-03,1.971869e-03,1.957591e-03,1.929102e-03,1.915472e-03,1.900749e-03,1.872583e-03,1.859701e-03,1.844646e-03,1.816972e-03,1.804887e-03,1.789591e-03,1.762525e-03,1.751256e-03,1.735794e-03,1.709413e-03,1.698961e-03,1.683393e-03,1.657745e-03,1.648097e-03,1.632475e-03,1.607588e-03,1.598723e-03,1.583087e-03,1.558975e-03,1.550866e-03,1.535253e-03,1.511920e-03,1.504535e-03,1.488976e-03,1.466419e-03,1.459727e-03,1.444248e-03,1.422460e-03,1.416427e-03,1.401052e-03,1.380021e-03,1.374614e-03,1.359363e-03,1.339076e-03,1.334261e-03,1.319154e-03,1.299594e-03,1.295339e-03,1.280393e-03,1.261544e-03,1.257817e-03,1.243045e-03,1.224891e-03,1.221660e-03,1.207078e-03,1.189600e-03,1.186834e-03,1.172453e-03,1.155633e-03,1.153304e-03,1.139135e-03,1.122955e-03,1.121034e-03,1.107087e-03,1.091528e-03,1.089989e-03,1.076272e-03,1.061316e-03,1.060132e-03,1.046654e-03,1.032282e-03,1.031429e-03,1.018196e-03,1.004391e-03,1.003844e-03,9.908621e-04,9.776055e-04,9.773431e-04,9.646167e-04,9.518913e-04,9.274553e-04,9.040020e-04,8.814991e-04,8.599150e-04,8.392188e-04,8.193803e-04,8.003700e-04,7.821593e-04,7.647203e-04,7.480259e-04,7.320496e-04,7.167660e-04,7.021500e-04,6.881776e-04,6.748254e-04,6.620707e-04,6.498915e-04,6.382665e-04,6.271751e-04,6.165974e-04,6.065140e-04,5.969061e-04,5.877558e-04,5.790454e-04,5.707581e-04,5.628774e-04,5.553877e-04,5.482734e-04,5.415198e-04,5.351127e-04,5.290382e-04,5.232830e-04,5.178340e-04,5.126790e-04,5.078057e-04,5.032026e-04,4.988585e-04,4.947625e-04,4.909040e-04,4.872731e-04,4.838599e-04,4.806550e-04,4.776492e-04,4.748339e-04,4.722005e-04,4.697409e-04,4.674472e-04,4.653117e-04,4.633272e-04
0.000000e+00,8.841527e-10,1.717067e-08,1.798795e-08,1.110163e-07,3.104379e-07,3.202584e-07,5.710752e-07,7.946122e-07,8.082320e-07,1.023418e-06,1.202323e-06,1.217055e-06,1.390606e-06,1.530872e-06,1.545574e-06,1.683385e-06,1.791529e-06,1.805375e-06,1.912798e-06,1.994431e-06,2.006832e-06,2.088579e-06,2.148510e-06,2.159073e-06,2.219274e-06,2.261588e-06,2.270077e-06,2.312311e-06,2.340446e-06,2.346744e-06,2.374084e-06,2.390909e-06,2.394986e-06,2.410053e-06,2.417944e-06,2.419839e-06,2.424852e-06,2.425767e-06,2.425562e-06,2.422397e-06,2.417941e-06,2.415750e-06,2.405985e-06,2.397472e-06,2.393432e-06,2.378397e-06,2.366898e-06,2.361158e-06,2.341968e-06,2.328349e-06,2.321061e-06,2.298650e-06,2.283608e-06,2.274929e-06,2.250074e-06,2.234167e-06,2.224248e-06,2.197598e-06,2.181268e-06,2.170257e-06,2.142347e-06,2.125944e-06,2.113980e-06,2.085255e-06,2.069048e-06,2.056264e-06,2.027089e-06,2.011284e-06,1.997804e-06,1.968477e-06,1.953230e-06,1.939168e-06,1.909931e-06,1.895355e-06,1.880816e-06,1.851865e-06,1.838039e-06,1.823119e-06,1.794612e-06,1.781587e-06,1.766374e-06,1.738433e-06,1.726239e-06,1.710813e-06,1.683535e-06,1.672184e-06,1.656616e-06,1.630074e-06,1.619565e-06,1.603920e-06,1.578167e-06,1.568488e-06,1.552824e-06,1.527898e-06,1.519029e-06,1.503397e-06,1.479325e-06,1.471239e-06,1.455685e-06,1.432480e-06,1.425147e-06,1.409712e-06,1.387380e-06,1.380765e-06,1.365484e-06,1.344023e-06,1.338092e-06,1.322995e-06,1.302398e-06,1.297113e-06,1.282229e-06,1.262483e-06,1.257807e-06,1.243158e-06,1.224248e-06,1.220144e-06,1.205750e-06,1.187657e-06,1.184087e-06,1.169966e-06,1.152670e-06,1.149598e-06,1.135763e-06,1.119241e-06,1.116632e-06,1.103096e-06,1.087324e-06,1.085145e-06,1.071918e-06,1.056871e-06,1.055090e-06,1.042178e-06,1.027832e-06,1.026417e-06,1.013828e-06,1.000157e-06,9.990779e-07,9.868154e-07,9.737957e-07,9.730246e-07,9.610918e-07,9.486976e-07,9.482082e-07,9.366069e-07,9.248137e-07,9.245808e-07,9.133117e-07,9.020951e-07,8.807050e-07,8.603653e-07,8.410320e-07,8.226623e-07,8.052150e-07,7.886499e-07,7.729282e-07,7.580128e-07,7.438675e-07,7.304578e-07,7.177503e-07,7.057132e-07,6.943155e-07,6.835280e-07,6.733222e-07,6.636711e-07,6.545488e-07,6.459304e-07,6.377921e-07,6.301110e-07,6.228655e-07,6.160347e-07,6.095986e-07,6.035382e-07,5.978352e-07,5.924722e-07,5.874327e-07,5.827006e-07,5.782609e-07,5.740989e-07,5.702008e-07,5.665535e-07,5.631442e-07,5.599609e-07,5.569920e-07,5.542266e-07,5.516542e-07,5.492648e-07,5.470487e-07,5.449970e-07,5.431009e-07,5.413520e-07,5.397425e-07,5.382649e-07,5.369119e-07,5.356766e-07,5.345526e-07,5.335336e-07,5.326137e-07
0.000000e+00,5.573446e-09,2.032827e-07,2.147139e-07,2.063999e-06,9.582382e-06,1.010837e-05,3.074196e-05,6.320534e-05,6.561098e-05,1.086074e-04,1.490261e-04,1.524582e-04,1.935589e-04,2.273618e-04,2.309264e-04,2.645249e-04,2.911382e-04,2.945632e-04,3.212960e-04,3.418361e-04,3.449768e-04,3.658468e-04,3.813718e-04,3.841329e-04,4.000477e-04,4.114679e-04,4.137895e-04,4.255430e-04,4.336301e-04,4.354799e-04,4.437592e-04,4.491612e-04,4.505278e-04,4.559218e-04,4.591794e-04,4.600665e-04,4.630778e-04,4.646394e-04,4.650621e-04,4.661177e-04,4.663535e-04,4.663346e-04,4.657959e-04,4.650101e-04,4.645775e-04,4.627492e-04,4.611907e-04,4.603755e-04,4.575151e-04,4.553872e-04,4.542222e-04,4.505462e-04,4.480138e-04,4.465328e-04,4.422238e-04,4.394207e-04,4.376575e-04,4.328683e-04,4.299012e-04,4.278881e-04,4.227459e-04,4.196996e-04,4.174678e-04,4.120776e-04,4.090185e-04,4.065973e-04,4.010465e-04,3.980260e-04,3.954429e-04,3.898028e-04,3.868605e-04,3.841410e-04,3.784707e-04,3.756361e-04,3.728037e-04,3.671510e-04,3.644455e-04,3.615220e-04,3.559254e-04,3.533641e-04,3.503690e-04,3.448596e-04,3.424519e-04,3.394032e-04,3.340053e-04,3.317567e-04,3.286705e-04,3.234029e-04,3.213156e-04,3.182063e-04,3.130836e-04,3.111570e-04,3.080376e-04,3.030704e-04,3.013019e-04,2.981839e-04,2.933797e-04,2.917652e-04,2.886588e-04,2.840223e-04,2.825565e-04,2.794707e-04,2.750047e-04,2.736815e-04,2.706243e-04,2.663295e-04,2.651424e-04,2.621205e-04,2.579967e-04,2.569384e-04,2.539578e-04,2.500033e-04,2.490668e-04,2.461326e-04,2.423447e-04,2.415225e-04,2.386391e-04,2.350146e-04,2.342993e-04,2.314704e-04,2.280053e-04,2.273900e-04,2.246184e-04,2.213085e-04,2.207860e-04,2.180745e-04,2.149151e-04,2.144787e-04,2.118292e-04,2.088154e-04,2.084585e-04,2.058726e-04,2.029995e-04,2.027160e-04,2.001948e-04,1.974572e-04,1.972410e-04,1.947855e-04,1.921783e-04,1.920239e-04,1.896344e-04,1.871525e-04,1.870545e-04,1.847314e-04,1.823698e-04,1.823232e-04,1.800665e-04,1.778201e-04,1.735358e-04,1.694609e-04,1.655863e-04,1.619033e-04,1.584033e-04,1.550780e-04,1.519195e-04,1.489200e-04,1.460723e-04,1.433692e-04,1.408038e-04,1.383698e-04,1.360607e-04,1.338707e-04,1.317941e-04,1.298252e-04,1.279590e-04,1.261904e-04,1.245147e-04,1.229273e-04,1.214239e-04,1.200004e-04,1.186528e-04,1.173774e-04,1.161706e-04,1.150289e-04,1.139493e-04,1.129284e-04,1.119636e-04,1.110518e-04,1.101905e-04,1.093771e-04,1.086093e-04,1.078847e-04,1.072011e-04,1.065565e-04,1.059488e-04,1.053763e-04,1.048372e-04,1.043296e-04,1.038521e-04,1.034030e-04,1.029809e-04,1.025845e-04,1.022123e-04,1.018632e-04,1.015359e-04,1.012293e-04,1.009424e-04
0.000000e+00,6.490952e-10,3.602962e-08,3.830861e-08,4.893770e-07,2.898872e-06,3.089128e-06,1.215009e-05,3.206706e-05,3.382615e-05,7.269489e-05,1.235295e-04,1.285242e-04,1.963522e-04,2.619430e-04,2.692754e-04,3.411361e-04,4.000986e-04,4.077193e-04,4.667616e-04,5.108654e-04,5.174575e-04,5.599117e-04,5.896296e-04,5.947162e-04,6.226729e-04,6.410854e-04,6.446331e-04,6.614139e-04,6.716122e-04,6.737593e-04,6.823294e-04,6.867663e-04,6.876996e-04,6.903666e-04,6.908505e-04,6.907571e-04,6.892361e-04,6.870653e-04,6.861157e-04,6.816617e-04,6.777580e-04,6.761013e-04,6.696275e-04,6.646416e-04,6.624049e-04,6.545735e-04,6.489618e-04,6.462522e-04,6.375425e-04,6.316236e-04,6.285303e-04,6.192888e-04,6.132829e-04,6.098799e-04,6.003564e-04,5.944140e-04,5.907627e-04,5.811365e-04,5.753586e-04,5.715096e-04,5.619087e-04,5.563611e-04,5.523562e-04,5.428708e-04,5.375942e-04,5.334681e-04,5.241610e-04,5.191789e-04,5.149604e-04,5.058748e-04,5.011982e-04,4.969113e-04,4.880754e-04,4.837067e-04,4.793715e-04,4.708029e-04,4.667388e-04,4.623721e-04,4.540807e-04,4.503138e-04,4.459298e-04,4.379201e-04,4.344405e-04,4.300515e-04,4.223239e-04,4.191202e-04,4.147366e-04,4.072888e-04,4.043485e-04,3.999794e-04,3.928071e-04,3.901173e-04,3.857704e-04,3.788679e-04,3.764155e-04,3.720978e-04,3.654583e-04,3.632304e-04,3.589478e-04,3.525643e-04,3.505481e-04,3.463059e-04,3.401707e-04,3.383539e-04,3.341567e-04,3.282619e-04,3.266324e-04,3.224843e-04,3.168219e-04,3.153684e-04,3.112728e-04,3.058351e-04,3.045463e-04,3.005066e-04,2.952855e-04,2.941511e-04,2.901699e-04,2.851579e-04,2.841677e-04,2.802475e-04,2.754369e-04,2.745814e-04,2.707242e-04,2.661077e-04,2.653779e-04,2.615855e-04,2.571559e-04,2.565431e-04,2.528172e-04,2.485675e-04,2.480634e-04,2.444053e-04,2.403288e-04,2.399258e-04,2.363365e-04,2.324267e-04,2.321174e-04,2.285979e-04,2.248484e-04,2.246259e-04,2.211768e-04,2.175816e-04,2.174394e-04,2.140613e-04,2.106144e-04,2.105462e-04,2.072395e-04,2.039352e-04,1.975958e-04,1.915176e-04,1.856904e-04,1.801048e-04,1.747515e-04,1.696214e-04,1.647061e-04,1.599971e-04,1.554866e-04,1.511668e-04,1.470303e-04,1.430700e-04,1.392791e-04,1.356510e-04,1.321793e-04,1.288579e-04,1.256809e-04,1.226428e-04,1.197380e-04,1.169614e-04,1.143079e-04,1.117727e-04,1.093511e-04,1.070387e-04,1.048311e-04,1.027243e-04,1.007142e-04,9.879698e-05,9.696903e-05,9.522678e-05,9.356683e-05,9.198590e-05,9.048085e-05,8.904865e-05,8.768639e-05,8.639127e-05,8.516060e-05,8.399179e-05,8.288236e-05,8.182990e-05,8.083213e-05,7.988681e-05,7.899183e-05,7.814514e-05,7.734477e-05,7.658882e-05,7.587547e-05,7.520298e-05,7.456966e-05
0.000000e+00,2.176183e-09,2.762427e-08,2.881941e-08,1.751411e-07,6.067641e-07,6.333008e-07,1.508586e-06,2.547875e-06,2.615751e-06,3.718823e-06,4.654433e-06,4.731627e-06,5.640109e-06,6.371397e-06,6.447832e-06,7.161961e-06,7.719018e-06,7.790101e-06,8.339572e-06,8.754449e-06,8.817245e-06,9.229522e-06,9.529654e-06,9.582340e-06,9.881187e-06,1.008953e-05,1.013113e-05,1.033681e-05,1.047239e-05,1.050252e-05,1.063218e-05,1.071060e-05,1.072936e-05,1.079736e-05,1.083137e-05,1.083916e-05,1.085750e-05,1.085744e-05,1.085486e-05,1.083352e-05,1.080775e-05,1.079555e-05,1.074281e-05,1.069804e-05,1.067703e-05,1.059975e-05,1.054136e-05,1.051239e-05,1.041623e-05,1.034851e-05,1.031242e-05,1.020203e-05,1.012836e-05,1.008599e-05,9.965184e-06,9.888229e-06,9.840379e-06,9.712280e-06,9.634106e-06,9.581521e-06,9.448675e-06,9.370873e-06,9.314256e-06,9.178725e-06,9.102499e-06,9.042498e-06,8.905945e-06,8.832189e-06,8.769398e-06,8.633154e-06,8.562515e-06,8.497474e-06,8.362594e-06,8.295519e-06,8.228720e-06,8.096034e-06,8.032814e-06,7.964696e-06,7.834847e-06,7.775650e-06,7.706608e-06,7.580084e-06,7.524981e-06,7.455367e-06,7.332531e-06,7.281518e-06,7.211643e-06,7.092755e-06,7.045770e-06,6.975911e-06,6.861145e-06,6.818085e-06,6.748484e-06,6.637946e-06,6.598675e-06,6.529545e-06,6.423288e-06,6.387649e-06,6.319175e-06,6.217205e-06,6.185026e-06,6.117369e-06,6.019657e-06,5.990756e-06,5.924055e-06,5.830545e-06,5.804735e-06,5.739108e-06,5.649722e-06,5.626814e-06,5.562362e-06,5.477004e-06,5.456812e-06,5.393620e-06,5.312182e-06,5.294524e-06,5.232662e-06,5.155028e-06,5.139725e-06,5.079251e-06,5.005298e-06,4.992178e-06,4.933138e-06,4.862739e-06,4.851636e-06,4.794067e-06,4.727092e-06,4.717849e-06,4.661779e-06,4.598097e-06,4.590563e-06,4.536013e-06,4.475494e-06,4.469527e-06,4.416509e-06,4.359025e-06,4.354490e-06,4.303011e-06,4.248435e-06,4.245206e-06,4.195267e-06,4.143475e-06,4.141431e-06,4.093029e-06,4.043901e-06,4.042931e-06,3.996059e-06,3.949475e-06,3.860840e-06,3.776811e-06,3.697178e-06,3.621740e-06,3.550304e-06,3.482683e-06,3.418699e-06,3.358179e-06,3.300960e-06,3.246883e-06,3.195797e-06,3.147558e-06,3.102029e-06,3.059075e-06,3.018573e-06,2.980400e-06,2.944441e-06,2.910587e-06,2.878733e-06,2.848779e-06,2.820628e-06,2.794190e-06,2.769378e-06,2.746109e-06,2.724304e-06,2.703887e-06,2.684787e-06,2.666935e-06,2.650265e-06,2.634717e-06,2.620230e-06,2.606748e-06,2.594218e-06,2.582587e-06,2.571808e-06,2.561835e-06,2.552622e-06,2.544128e-06,2.536314e-06,2.529140e-06,2.522571e-06,2.516572e-06,2.511111e-06,2.506157e-06,2.501679e-06,2.497651e-06,2.494044e-06,2.490834e-06,2.487997e-06
0.000000e+00,4.559670e-09,1.057627e-07,1.110955e-07,7.318970e-07,1.924164e-06,1.978668e-06,3.331808e-06,4.531013e-06,4.604563e-06,5.776962e-06,6.768773e-06,6.851217e-06,7.832390e-06,8.640286e-06,8.725835e-06,9.536846e-06,1.018646e-05,1.027059e-05,1.093207e-05,1.144684e-05,1.152612e-05,1.205737e-05,1.245832e-05,1.253022e-05,1.294886e-05,1.325445e-05,1.331721e-05,1.363898e-05,1.386519e-05,1.391763e-05,1.415640e-05,1.431693e-05,1.435835e-05,1.452630e-05,1.463284e-05,1.466290e-05,1.477063e-05,1.483313e-05,1.485180e-05,1.490855e-05,1.493542e-05,1.494289e-05,1.495667e-05,1.495503e-05,1.495165e-05,1.492942e-05,1.490525e-05,1.489149e-05,1.483927e-05,1.479760e-05,1.477404e-05,1.469701e-05,1.464204e-05,1.460930e-05,1.451196e-05,1.444719e-05,1.440593e-05,1.429213e-05,1.422046e-05,1.417138e-05,1.404444e-05,1.396826e-05,1.391202e-05,1.377479e-05,1.369607e-05,1.363336e-05,1.348828e-05,1.340860e-05,1.334007e-05,1.318922e-05,1.310988e-05,1.303617e-05,1.288132e-05,1.280334e-05,1.272505e-05,1.256771e-05,1.249190e-05,1.240961e-05,1.225105e-05,1.217803e-05,1.209229e-05,1.193358e-05,1.186383e-05,1.177515e-05,1.161719e-05,1.155103e-05,1.145989e-05,1.130342e-05,1.124111e-05,1.114795e-05,1.099360e-05,1.093527e-05,1.084050e-05,1.068877e-05,1.063450e-05,1.053851e-05,1.038981e-05,1.033962e-05,1.024275e-05,1.009741e-05,1.005127e-05,9.953845e-06,9.812116e-06,9.769962e-06,9.672270e-06,9.534350e-06,9.496083e-06,9.398392e-06,9.264426e-06,9.229924e-06,9.132476e-06,9.002563e-06,8.971688e-06,8.874701e-06,8.748904e-06,8.721506e-06,8.625177e-06,8.503526e-06,8.479445e-06,8.383951e-06,8.266450e-06,8.245520e-06,8.151019e-06,8.037651e-06,8.019703e-06,7.926335e-06,7.817062e-06,7.801926e-06,7.709817e-06,7.604586e-06,7.592093e-06,7.501352e-06,7.400099e-06,7.390082e-06,7.300807e-06,7.203456e-06,7.195751e-06,7.108025e-06,7.014493e-06,7.008941e-06,6.922836e-06,6.833032e-06,6.829478e-06,6.745057e-06,6.658886e-06,6.657181e-06,6.574495e-06,6.491860e-06,6.333320e-06,6.181364e-06,6.035788e-06,5.896393e-06,5.762976e-06,5.635338e-06,5.513281e-06,5.396612e-06,5.285139e-06,5.178673e-06,5.077033e-06,4.980037e-06,4.887511e-06,4.799286e-06,4.715195e-06,4.635077e-06,4.558778e-06,4.486147e-06,4.417036e-06,4.351306e-06,4.288820e-06,4.229445e-06,4.173054e-06,4.119525e-06,4.068738e-06,4.020579e-06,3.974938e-06,3.931709e-06,3.890789e-06,3.852080e-06,3.815488e-06,3.780920e-06,3.748288e-06,3.717510e-06,3.688502e-06,3.661187e-06,3.635489e-06,3.611337e-06,3.588660e-06,3.567393e-06,3.547470e-06,3.528831e-06,3.511415e-06,3.495167e-06,3.480031e-06,3.465954e-06,3.452887e-06,3.440782e-06,3.429591e-06
0.000000e+00,3.265033e-10,1.896880e-08,2.016490e-08,2.560779e-07,1.605894e-06,1.718186e-06,7.733670e-06,2.417111e-05,2.579613e-05,6.790467e-05,1.398784e-04,1.479843e-04,2.775797e-04,4.415913e-04,4.626252e-04,7.026700e-04,9.549302e-04,9.919624e-04,1.321280e-03,1.628215e-03,1.679733e-03,2.056201e-03,2.378729e-03,2.440307e-03,2.822985e-03,3.130404e-03,3.196735e-03,3.555664e-03,3.829139e-03,3.895381e-03,4.212824e-03,4.443691e-03,4.506062e-03,4.774080e-03,4.960707e-03,5.016590e-03,5.233864e-03,5.378787e-03,5.426581e-03,5.595716e-03,5.703542e-03,5.742438e-03,5.868037e-03,5.944110e-03,5.973864e-03,6.061293e-03,6.110929e-03,6.131681e-03,6.186351e-03,6.214443e-03,6.226575e-03,6.253565e-03,6.264424e-03,6.268465e-03,6.272352e-03,6.269675e-03,6.266230e-03,6.251037e-03,6.237930e-03,6.227640e-03,6.196847e-03,6.175894e-03,6.159402e-03,6.115992e-03,6.089316e-03,6.067252e-03,6.013765e-03,5.983099e-03,5.956068e-03,5.894655e-03,5.861403e-03,5.829979e-03,5.762458e-03,5.727751e-03,5.692473e-03,5.620375e-03,5.585112e-03,5.546484e-03,5.471093e-03,5.435985e-03,5.394472e-03,5.316866e-03,5.282466e-03,5.238500e-03,5.159577e-03,5.126309e-03,5.080285e-03,5.000793e-03,4.968976e-03,4.921256e-03,4.841813e-03,4.811677e-03,4.762592e-03,4.683708e-03,4.655413e-03,4.605265e-03,4.527355e-03,4.501003e-03,4.450064e-03,4.373466e-03,4.349112e-03,4.297629e-03,4.222612e-03,4.200275e-03,4.148470e-03,4.075248e-03,4.054916e-03,4.002988e-03,3.931726e-03,3.913365e-03,3.861492e-03,3.792314e-03,3.775871e-03,3.724213e-03,3.657209e-03,3.642617e-03,3.591316e-03,3.526547e-03,3.513729e-03,3.462911e-03,3.400415e-03,3.389287e-03,3.339062e-03,3.278855e-03,3.269329e-03,3.219794e-03,3.161878e-03,3.153861e-03,3.105102e-03,3.049462e-03,3.042861e-03,2.994951e-03,2.941563e-03,2.936285e-03,2.889288e-03,2.838117e-03,2.834071e-03,2.788040e-03,2.739046e-03,2.736140e-03,2.691122e-03,2.644257e-03,2.642404e-03,2.598437e-03,2.553648e-03,2.552763e-03,2.509878e-03,2.467112e-03,2.385338e-03,2.307328e-03,2.232964e-03,2.162125e-03,2.094694e-03,2.030551e-03,1.969578e-03,1.911658e-03,1.856677e-03,1.804521e-03,1.755080e-03,1.708247e-03,1.663916e-03,1.621986e-03,1.582357e-03,1.544934e-03,1.509623e-03,1.476335e-03,1.444983e-03,1.415484e-03,1.387755e-03,1.361719e-03,1.337301e-03,1.314428e-03,1.293031e-03,1.273042e-03,1.254398e-03,1.237035e-03,1.220895e-03,1.205919e-03,1.192053e-03,1.179244e-03,1.167440e-03,1.156594e-03,1.146657e-03,1.137586e-03,1.129337e-03,1.121867e-03,1.115138e-03,1.109112e-03,1.103751e-03,1.099020e-03,1.094886e-03,1.091316e-03,1.088280e-03,1.085747e-03,1.083689e-03,1.082078e-03,1.080889e-03
0.000000e+00,8.646973e-09,1.656360e-07,1.736075e-07,1.233001e-06,4.574943e-06,4.784558e-06,1.184437e-05,2.039676e-05,2.095376e-05,2.985574e-05,3.708847e-05,3.766958e-05,4.430994e-05,4.936579e-05,4.987799e-05,5.450094e-05,5.788297e-05,5.829882e-05,6.137899e-05,6.352645e-05,6.383617e-05,6.575361e-05,6.700091e-05,6.720442e-05,6.825271e-05,6.885156e-05,6.895463e-05,6.935927e-05,6.949796e-05,6.950953e-05,6.944279e-05,6.926122e-05,6.919165e-05,6.878442e-05,6.838580e-05,6.824571e-05,6.759689e-05,6.705686e-05,6.685648e-05,6.604052e-05,6.541412e-05,6.516289e-05,6.423558e-05,6.356251e-05,6.326895e-05,6.227191e-05,6.158052e-05,6.125214e-05,6.021622e-05,5.952645e-05,5.916982e-05,5.811781e-05,5.744354e-05,5.706436e-05,5.601298e-05,5.536350e-05,5.496668e-05,5.392799e-05,5.330935e-05,5.289907e-05,5.188171e-05,5.129752e-05,5.087738e-05,4.988732e-05,4.933950e-05,4.891254e-05,4.795383e-05,4.744305e-05,4.701185e-05,4.608710e-05,4.561316e-05,4.517994e-05,4.429063e-05,4.385272e-05,4.341933e-05,4.256611e-05,4.216300e-05,4.173100e-05,4.091394e-05,4.054414e-05,4.011486e-05,3.933362e-05,3.899548e-05,3.857004e-05,3.782395e-05,3.751575e-05,3.709511e-05,3.638329e-05,3.610327e-05,3.568824e-05,3.500969e-05,3.475610e-05,3.434735e-05,3.370095e-05,3.347209e-05,3.307018e-05,3.245476e-05,3.224896e-05,3.185438e-05,3.126874e-05,3.108440e-05,3.069753e-05,3.014047e-05,2.997606e-05,2.959725e-05,2.906756e-05,2.892164e-05,2.855113e-05,2.804764e-05,2.791882e-05,2.755683e-05,2.707839e-05,2.696537e-05,2.661205e-05,2.615753e-05,2.605910e-05,2.571457e-05,2.528289e-05,2.519788e-05,2.486223e-05,2.445233e-05,2.437967e-05,2.405294e-05,2.366382e-05,2.360250e-05,2.328472e-05,2.291539e-05,2.286446e-05,2.255562e-05,2.220517e-05,2.216373e-05,2.186381e-05,2.153134e-05,2.149857e-05,2.120753e-05,2.089217e-05,2.086730e-05,2.058506e-05,2.028601e-05,2.026832e-05,1.999481e-05,1.971127e-05,1.970009e-05,1.943522e-05,1.916645e-05,1.916115e-05,1.890481e-05,1.865010e-05,1.816561e-05,1.770639e-05,1.727123e-05,1.685896e-05,1.646849e-05,1.609874e-05,1.574872e-05,1.541745e-05,1.510404e-05,1.480759e-05,1.452728e-05,1.426232e-05,1.401195e-05,1.377544e-05,1.355212e-05,1.334132e-05,1.314243e-05,1.295485e-05,1.277802e-05,1.261140e-05,1.245447e-05,1.230675e-05,1.216777e-05,1.203709e-05,1.191428e-05,1.179895e-05,1.169072e-05,1.158922e-05,1.149410e-05,1.140504e-05,1.132172e-05,1.124384e-05,1.117112e-05,1.110329e-05,1.104009e-05,1.098128e-05,1.092662e-05,1.087590e-05,1.082889e-05,1.078541e-05,1.074527e-05,1.070827e-05,1.067426e-05,1.064306e-05,1.061452e-05,1.058849e-05,1.056483e-05,1.054341e-05,1.052411e-05
0.000000e+00,6.724837e-10,3.866663e-08,4.112123e-08,5.359035e-07,3.364319e-06,3.596711e-06,1.555638e-05,4.558412e-05,4.841876e-05,1.169345e-04,2.209357e-04,2.319566e-04,3.953898e-04,5.782958e-04,6.003346e-04,8.346640e-04,1.054437e-03,1.084875e-03,1.338696e-03,1.552331e-03,1.586338e-03,1.820759e-03,2.004067e-03,2.037413e-03,2.233775e-03,2.378897e-03,2.408824e-03,2.562603e-03,2.670788e-03,2.695844e-03,2.809707e-03,2.885954e-03,2.905577e-03,2.984939e-03,3.035132e-03,3.049284e-03,3.100062e-03,3.129712e-03,3.138643e-03,3.166304e-03,3.180125e-03,3.184225e-03,3.193482e-03,3.195337e-03,3.195057e-03,3.189838e-03,3.182823e-03,3.178630e-03,3.162156e-03,3.148718e-03,3.141069e-03,3.115957e-03,3.098019e-03,3.087348e-03,3.055715e-03,3.034773e-03,3.021484e-03,2.985038e-03,2.962249e-03,2.946716e-03,2.906827e-03,2.883083e-03,2.865645e-03,2.823413e-03,2.799388e-03,2.780351e-03,2.736655e-03,2.712858e-03,2.692499e-03,2.648036e-03,2.624841e-03,2.603406e-03,2.558728e-03,2.536406e-03,2.514112e-03,2.469653e-03,2.448392e-03,2.425433e-03,2.381527e-03,2.361454e-03,2.338000e-03,2.294906e-03,2.276095e-03,2.252295e-03,2.210210e-03,2.192699e-03,2.168685e-03,2.127752e-03,2.111551e-03,2.087438e-03,2.047763e-03,2.032858e-03,2.008745e-03,1.970398e-03,1.956760e-03,1.932735e-03,1.895762e-03,1.883350e-03,1.859487e-03,1.823913e-03,1.812678e-03,1.789043e-03,1.754875e-03,1.744762e-03,1.721409e-03,1.688643e-03,1.679593e-03,1.656571e-03,1.625190e-03,1.617144e-03,1.594494e-03,1.564475e-03,1.557371e-03,1.535127e-03,1.506441e-03,1.500218e-03,1.478409e-03,1.451023e-03,1.445622e-03,1.424272e-03,1.398148e-03,1.393511e-03,1.372639e-03,1.347738e-03,1.343809e-03,1.323432e-03,1.299712e-03,1.296438e-03,1.276568e-03,1.253989e-03,1.251316e-03,1.231963e-03,1.210482e-03,1.208364e-03,1.189535e-03,1.169110e-03,1.167498e-03,1.149198e-03,1.129788e-03,1.128639e-03,1.110870e-03,1.092434e-03,1.091707e-03,1.074470e-03,1.056968e-03,1.056623e-03,1.039919e-03,1.023311e-03,9.916972e-04,9.617083e-04,9.332747e-04,9.063284e-04,8.808041e-04,8.566386e-04,8.337710e-04,8.121430e-04,7.916982e-04,7.723827e-04,7.541447e-04,7.369344e-04,7.207042e-04,7.054082e-04,6.910028e-04,6.774460e-04,6.646975e-04,6.527190e-04,6.414735e-04,6.309259e-04,6.210425e-04,6.117909e-04,6.031404e-04,5.950613e-04,5.875255e-04,5.805060e-04,5.739769e-04,5.679136e-04,5.622924e-04,5.570908e-04,5.522872e-04,5.478611e-04,5.437926e-04,5.400631e-04,5.366545e-04,5.335496e-04,5.307320e-04,5.281861e-04,5.258969e-04,5.238500e-04,5.220319e-04,5.204296e-04,5.190305e-04,5.178228e-04,5.167952e-04,5.159369e-04,5.152376e-04,5.146876e-04,5.142773e-04
0.000000e+00,3.551366e-09,7.683712e-08,8.071410e-08,5.672546e-07,1.707478e-06,1.764897e-06,3.270132e-06,4.685553e-06,4.774291e-06,6.218383e-06,7.486326e-06,7.593811e-06,8.900293e-06,1.001823e-05,1.013912e-05,1.131190e-05,1.229071e-05,1.242039e-05,1.346642e-05,1.431753e-05,1.445193e-05,1.537890e-05,1.611385e-05,1.624942e-05,1.706557e-05,1.769572e-05,1.782945e-05,1.854315e-05,1.907935e-05,1.920871e-05,1.982816e-05,2.028058e-05,2.040345e-05,2.093650e-05,2.131451e-05,2.142916e-05,2.188323e-05,2.219542e-05,2.230044e-05,2.268248e-05,2.293667e-05,2.303095e-05,2.334742e-05,2.355072e-05,2.363339e-05,2.389031e-05,2.404914e-05,2.411957e-05,2.432251e-05,2.444266e-05,2.450042e-05,2.465453e-05,2.474122e-05,2.478603e-05,2.489606e-05,2.495399e-05,2.498573e-05,2.505608e-05,2.508944e-05,2.510812e-05,2.514282e-05,2.515537e-05,2.516111e-05,2.516389e-05,2.515898e-05,2.515199e-05,2.512625e-05,2.510686e-05,2.508744e-05,2.503631e-05,2.500510e-05,2.497359e-05,2.489997e-05,2.485927e-05,2.481609e-05,2.472259e-05,2.467447e-05,2.462008e-05,2.450912e-05,2.445540e-05,2.439028e-05,2.426407e-05,2.420634e-05,2.413100e-05,2.399156e-05,2.393120e-05,2.384619e-05,2.369534e-05,2.363356e-05,2.353943e-05,2.337885e-05,2.331669e-05,2.321399e-05,2.304521e-05,2.298356e-05,2.287286e-05,2.269726e-05,2.263687e-05,2.251873e-05,2.233756e-05,2.227908e-05,2.215405e-05,2.196847e-05,2.191242e-05,2.178106e-05,2.159208e-05,2.153891e-05,2.140176e-05,2.121031e-05,2.116038e-05,2.101795e-05,2.082488e-05,2.077846e-05,2.063129e-05,2.043735e-05,2.039465e-05,2.024323e-05,2.004909e-05,2.001027e-05,1.985509e-05,1.966136e-05,1.962653e-05,1.946804e-05,1.927527e-05,1.924448e-05,1.908314e-05,1.889179e-05,1.886507e-05,1.870132e-05,1.851182e-05,1.848916e-05,1.832340e-05,1.813613e-05,1.811747e-05,1.795010e-05,1.776539e-05,1.775067e-05,1.758207e-05,1.740020e-05,1.738933e-05,1.721985e-05,1.704107e-05,1.703396e-05,1.686393e-05,1.668846e-05,1.668497e-05,1.651472e-05,1.634274e-05,1.600758e-05,1.567974e-05,1.535943e-05,1.504682e-05,1.474205e-05,1.444521e-05,1.415636e-05,1.387554e-05,1.360277e-05,1.333802e-05,1.308126e-05,1.283244e-05,1.259149e-05,1.235833e-05,1.213287e-05,1.191499e-05,1.170458e-05,1.150152e-05,1.130567e-05,1.111690e-05,1.093507e-05,1.076001e-05,1.059160e-05,1.042966e-05,1.027405e-05,1.012461e-05,9.981185e-06,9.843609e-06,9.711728e-06,9.585384e-06,9.464420e-06,9.348680e-06,9.238010e-06,9.132257e-06,9.031269e-06,8.934899e-06,8.842998e-06,8.755423e-06,8.672033e-06,8.592686e-06,8.517247e-06,8.445582e-06,8.377560e-06,8.313052e-06,8.251933e-06,8.194080e-06,8.139374e-06,8.087698e-06,8.038938e-06
0.000000e+00,5.645342e-09,2.623931e-07,2.786213e-07,3.121711e-06,1.371853e-05,1.438543e-05,3.538426e-05,5.805019e-05,5.947991e-05,8.224989e-05,1.011278e-04,1.026734e-04,1.207531e-04,1.351726e-04,1.366732e-04,1.506325e-04,1.614436e-04,1.628180e-04,1.734010e-04,1.813410e-04,1.825387e-04,1.903746e-04,1.960468e-04,1.970396e-04,2.026530e-04,2.065476e-04,2.073232e-04,2.111486e-04,2.136609e-04,2.142184e-04,2.166131e-04,2.180593e-04,2.184054e-04,2.196608e-04,2.202925e-04,2.204385e-04,2.207918e-04,2.208084e-04,2.207686e-04,2.204121e-04,2.199710e-04,2.197611e-04,2.188506e-04,2.180757e-04,2.177119e-04,2.163732e-04,2.153616e-04,2.148598e-04,2.131945e-04,2.120221e-04,2.113976e-04,2.094873e-04,2.082130e-04,2.074802e-04,2.053908e-04,2.040599e-04,2.032323e-04,2.010164e-04,1.996638e-04,1.987537e-04,1.964534e-04,1.951054e-04,1.941240e-04,1.917729e-04,1.904494e-04,1.894069e-04,1.870316e-04,1.857471e-04,1.846526e-04,1.822743e-04,1.810392e-04,1.799009e-04,1.775360e-04,1.763578e-04,1.751829e-04,1.728444e-04,1.717278e-04,1.705229e-04,1.682206e-04,1.671686e-04,1.659395e-04,1.636810e-04,1.626949e-04,1.614467e-04,1.592378e-04,1.583178e-04,1.570552e-04,1.548999e-04,1.540455e-04,1.527725e-04,1.506736e-04,1.498836e-04,1.486038e-04,1.465633e-04,1.458360e-04,1.445525e-04,1.425716e-04,1.419049e-04,1.406206e-04,1.386997e-04,1.380913e-04,1.368088e-04,1.349478e-04,1.343954e-04,1.331168e-04,1.313155e-04,1.308165e-04,1.295438e-04,1.278015e-04,1.273533e-04,1.260883e-04,1.244040e-04,1.240041e-04,1.227484e-04,1.211210e-04,1.207668e-04,1.195217e-04,1.179501e-04,1.176391e-04,1.164059e-04,1.148887e-04,1.146184e-04,1.133982e-04,1.119340e-04,1.117021e-04,1.104958e-04,1.090832e-04,1.088875e-04,1.076959e-04,1.063334e-04,1.061716e-04,1.049955e-04,1.036817e-04,1.035516e-04,1.023917e-04,1.011251e-04,1.010248e-04,9.988155e-05,9.866069e-05,9.858815e-05,9.746216e-05,9.628560e-05,9.623899e-05,9.513065e-05,9.399696e-05,9.397450e-05,9.288418e-05,9.179197e-05,8.968873e-05,8.766218e-05,8.570977e-05,8.382902e-05,8.201754e-05,8.027297e-05,7.859303e-05,7.697554e-05,7.541833e-05,7.391935e-05,7.247657e-05,7.108807e-05,6.975194e-05,6.846637e-05,6.722961e-05,6.603994e-05,6.489571e-05,6.379534e-05,6.273728e-05,6.172004e-05,6.074219e-05,5.980233e-05,5.889913e-05,5.803128e-05,5.719753e-05,5.639667e-05,5.562752e-05,5.488897e-05,5.417991e-05,5.349930e-05,5.284611e-05,5.221937e-05,5.161812e-05,5.104144e-05,5.048846e-05,4.995831e-05,4.945018e-05,4.896326e-05,4.849678e-05,4.805001e-05,4.762222e-05,4.721271e-05,4.682084e-05,4.644593e-05,4.608738e-05,4.574459e-05,4.541696e-05,4.510396e-05,4.480502e-05
0.000000e+00,5.867770e-10,3.983990e-08,4.249568e-08,6.194735e-07,4.089195e-06,4.377500e-06,1.940412e-05,5.799144e-05,6.168603e-05,1.535321e-04,3.022036e-04,3.186174e-04,5.771924e-04,9.016204e-04,9.433296e-04,1.424051e-03,1.942264e-03,2.019674e-03,2.724804e-03,3.411390e-03,3.529602e-03,4.421076e-03,5.225990e-03,5.384271e-03,6.403290e-03,7.269297e-03,7.462120e-03,8.545267e-03,9.419495e-03,9.638213e-03,1.072773e-02,1.156755e-02,1.180205e-02,1.285099e-02,1.362583e-02,1.386589e-02,1.483965e-02,1.553034e-02,1.576657e-02,1.664227e-02,1.723924e-02,1.746359e-02,1.822838e-02,1.872942e-02,1.893544e-02,1.958438e-02,1.999255e-02,2.017544e-02,2.070945e-02,2.103125e-02,2.118769e-02,2.161179e-02,2.185568e-02,2.198368e-02,2.230549e-02,2.248087e-02,2.257952e-02,2.280814e-02,2.292454e-02,2.299381e-02,2.313899e-02,2.320560e-02,2.324612e-02,2.331764e-02,2.334301e-02,2.335590e-02,2.336321e-02,2.335507e-02,2.334179e-02,2.329376e-02,2.325896e-02,2.322118e-02,2.312598e-02,2.307049e-02,2.301002e-02,2.287504e-02,2.280399e-02,2.272270e-02,2.255456e-02,2.247231e-02,2.237207e-02,2.217663e-02,2.208687e-02,2.196953e-02,2.175197e-02,2.165775e-02,2.152509e-02,2.128995e-02,2.119380e-02,2.104754e-02,2.079876e-02,2.070275e-02,2.054450e-02,2.028553e-02,2.019130e-02,2.002261e-02,1.975642e-02,1.966529e-02,1.948760e-02,1.921675e-02,1.912974e-02,1.894442e-02,1.867111e-02,1.858900e-02,1.839730e-02,1.812342e-02,1.804678e-02,1.784988e-02,1.757704e-02,1.750626e-02,1.730524e-02,1.703480e-02,1.697013e-02,1.676601e-02,1.649912e-02,1.644069e-02,1.623439e-02,1.597202e-02,1.591985e-02,1.571222e-02,1.545517e-02,1.540921e-02,1.520104e-02,1.494996e-02,1.491008e-02,1.470208e-02,1.445752e-02,1.442355e-02,1.421638e-02,1.397874e-02,1.395047e-02,1.374471e-02,1.351434e-02,1.349151e-02,1.328770e-02,1.306484e-02,1.304718e-02,1.284581e-02,1.263063e-02,1.261784e-02,1.241934e-02,1.221196e-02,1.220375e-02,1.200851e-02,1.180898e-02,1.180503e-02,1.161339e-02,1.142174e-02,1.105383e-02,1.070121e-02,1.036372e-02,1.004115e-02,9.733249e-03,9.439741e-03,9.160313e-03,8.894634e-03,8.642353e-03,8.403106e-03,8.176520e-03,7.962215e-03,7.759805e-03,7.568904e-03,7.389122e-03,7.220074e-03,7.061376e-03,6.912647e-03,6.773512e-03,6.643604e-03,6.522559e-03,6.410023e-03,6.305647e-03,6.209091e-03,6.120021e-03,6.038112e-03,5.963046e-03,5.894516e-03,5.832219e-03,5.775866e-03,5.725170e-03,5.679857e-03,5.639656e-03,5.604309e-03,5.573560e-03,5.547165e-03,5.524884e-03,5.506487e-03,5.491750e-03,5.480457e-03,5.472397e-03,5.467368e-03,5.465173e-03,5.465622e-03,5.468532e-03,5.473726e-03,5.481033e-03,5.490287e-03,5.501332e-03
0.000000e+00,2.565652e-09,3.416584e-08,3.567313e-08,2.230804e-07,7.846261e-07,8.193316e-07,1.965630e-06,3.332532e-06,3.422724e-06,4.918556e-06,6.246336e-06,6.358839e-06,7.722426e-06,8.881320e-06,9.006111e-06,1.021099e-05,1.120787e-05,1.133930e-05,1.239364e-05,1.324330e-05,1.337675e-05,1.429145e-05,1.500903e-05,1.514061e-05,1.592708e-05,1.652721e-05,1.665372e-05,1.732332e-05,1.781978e-05,1.793863e-05,1.850230e-05,1.890779e-05,1.901693e-05,1.948500e-05,1.981109e-05,1.990893e-05,2.029101e-05,2.054813e-05,2.063348e-05,2.093845e-05,2.113596e-05,2.120796e-05,2.144396e-05,2.159022e-05,2.164831e-05,2.182280e-05,2.192526e-05,2.196913e-05,2.208893e-05,2.215423e-05,2.218376e-05,2.225511e-05,2.228910e-05,2.230439e-05,2.233298e-05,2.234087e-05,2.234214e-05,2.233311e-05,2.231945e-05,2.230705e-05,2.226508e-05,2.223386e-05,2.220825e-05,2.213757e-05,2.209230e-05,2.205400e-05,2.195846e-05,2.190220e-05,2.185181e-05,2.173487e-05,2.167026e-05,2.160843e-05,2.147321e-05,2.140254e-05,2.132994e-05,2.117927e-05,2.110451e-05,2.102184e-05,2.085825e-05,2.078109e-05,2.068907e-05,2.051482e-05,2.043668e-05,2.033602e-05,2.015316e-05,2.007525e-05,1.996668e-05,1.977701e-05,1.970035e-05,1.958458e-05,1.938974e-05,1.931516e-05,1.919288e-05,1.899433e-05,1.892250e-05,1.879441e-05,1.859343e-05,1.852490e-05,1.839166e-05,1.818939e-05,1.812459e-05,1.798685e-05,1.778428e-05,1.772354e-05,1.758192e-05,1.737995e-05,1.732350e-05,1.717859e-05,1.697800e-05,1.692600e-05,1.677836e-05,1.657982e-05,1.653235e-05,1.638254e-05,1.618664e-05,1.614374e-05,1.599225e-05,1.579949e-05,1.576114e-05,1.560847e-05,1.541928e-05,1.538543e-05,1.523203e-05,1.504678e-05,1.501733e-05,1.486362e-05,1.468262e-05,1.465745e-05,1.450384e-05,1.432733e-05,1.430631e-05,1.415316e-05,1.398136e-05,1.396431e-05,1.381198e-05,1.364504e-05,1.363179e-05,1.348059e-05,1.331864e-05,1.330901e-05,1.315923e-05,1.300237e-05,1.299614e-05,1.284806e-05,1.269634e-05,1.269333e-05,1.254720e-05,1.240064e-05,1.211811e-05,1.184571e-05,1.158341e-05,1.133111e-05,1.108870e-05,1.085606e-05,1.063302e-05,1.041941e-05,1.021505e-05,1.001972e-05,9.833219e-06,9.655324e-06,9.485804e-06,9.324427e-06,9.170954e-06,9.025145e-06,8.886757e-06,8.755551e-06,8.631282e-06,8.513710e-06,8.402597e-06,8.297707e-06,8.198805e-06,8.105662e-06,8.018052e-06,7.935754e-06,7.858549e-06,7.786225e-06,7.718575e-06,7.655395e-06,7.596488e-06,7.541662e-06,7.490731e-06,7.443511e-06,7.399828e-06,7.359511e-06,7.322394e-06,7.288318e-06,7.257128e-06,7.228675e-06,7.202815e-06,7.179408e-06,7.158322e-06,7.139427e-06,7.122599e-06,7.107720e-06,7.094675e-06,7.083354e-06,7.073652e-06
0.000000e+00,5.129623e-09,2.348584e-07,2.487516e-07,2.697443e-06,1.443317e-05,1.532815e-05,5.590832e-05,1.376606e-04,1.445329e-04,2.862136e-04,4.516002e-04,4.670253e-04,6.672012e-04,8.512007e-04,8.715265e-04,1.071239e-03,1.239790e-03,1.262168e-03,1.442662e-03,1.589181e-03,1.612270e-03,1.771059e-03,1.896285e-03,1.919313e-03,2.057403e-03,2.163334e-03,2.185732e-03,2.304716e-03,2.393453e-03,2.414768e-03,2.516300e-03,2.589837e-03,2.609711e-03,2.695393e-03,2.755576e-03,2.773725e-03,2.845073e-03,2.893583e-03,2.909791e-03,2.968218e-03,3.006575e-03,3.020682e-03,3.067495e-03,3.097065e-03,3.108959e-03,3.145362e-03,3.167366e-03,3.176979e-03,3.204075e-03,3.219604e-03,3.226901e-03,3.245699e-03,3.255722e-03,3.260699e-03,3.272122e-03,3.277500e-03,3.280177e-03,3.285066e-03,3.286559e-03,3.286980e-03,3.286100e-03,3.284380e-03,3.282602e-03,3.276651e-03,3.272307e-03,3.268405e-03,3.258015e-03,3.251564e-03,3.245624e-03,3.231368e-03,3.223262e-03,3.215378e-03,3.197776e-03,3.188408e-03,3.178680e-03,3.158202e-03,3.147912e-03,3.136447e-03,3.113516e-03,3.102600e-03,3.089506e-03,3.064506e-03,3.053215e-03,3.038603e-03,3.011878e-03,3.000428e-03,2.984409e-03,2.956270e-03,2.944842e-03,2.927529e-03,2.898252e-03,2.886999e-03,2.868502e-03,2.838337e-03,2.827386e-03,2.807812e-03,2.776982e-03,2.766438e-03,2.745894e-03,2.714595e-03,2.704543e-03,2.683131e-03,2.651542e-03,2.642046e-03,2.619867e-03,2.588143e-03,2.579256e-03,2.556405e-03,2.524685e-03,2.516444e-03,2.493013e-03,2.461419e-03,2.453850e-03,2.429928e-03,2.398566e-03,2.391686e-03,2.367356e-03,2.336320e-03,2.330136e-03,2.305479e-03,2.274850e-03,2.269361e-03,2.244452e-03,2.214301e-03,2.209501e-03,2.184411e-03,2.154798e-03,2.150675e-03,2.125473e-03,2.096448e-03,2.092986e-03,2.067734e-03,2.039341e-03,2.036520e-03,2.011278e-03,1.983553e-03,1.981350e-03,1.956173e-03,1.929145e-03,1.927534e-03,1.902474e-03,1.876166e-03,1.875122e-03,1.850226e-03,1.824657e-03,1.824149e-03,1.799462e-03,1.774645e-03,1.726629e-03,1.680115e-03,1.635108e-03,1.591610e-03,1.549615e-03,1.509114e-03,1.470094e-03,1.432540e-03,1.396430e-03,1.361745e-03,1.328459e-03,1.296546e-03,1.265979e-03,1.236730e-03,1.208767e-03,1.182062e-03,1.156581e-03,1.132293e-03,1.109167e-03,1.087170e-03,1.066268e-03,1.046431e-03,1.027625e-03,1.009819e-03,9.929804e-04,9.770779e-04,9.620802e-04,9.479567e-04,9.346772e-04,9.222117e-04,9.105312e-04,8.996068e-04,8.894103e-04,8.799141e-04,8.710913e-04,8.629152e-04,8.553602e-04,8.484008e-04,8.420125e-04,8.361712e-04,8.308533e-04,8.260360e-04,8.216970e-04,8.178145e-04,8.143675e-04,8.113352e-04,8.086978e-04,8.064358e-04,8.045302e-04
0.000000e+00,8.577999e-09,1.899829e-07,1.992721e-07,1.541648e-06,6.792252e-06,7.161233e-06,2.168131e-05,4.360200e-05,4.516165e-05,7.180235e-05,9.546096e-05,9.743415e-05,1.207902e-04,1.397064e-04,1.416876e-04,1.602295e-04,1.747327e-04,1.765860e-04,1.909358e-04,2.018023e-04,2.034499e-04,2.142886e-04,2.222072e-04,2.236002e-04,2.315226e-04,2.370718e-04,2.381829e-04,2.436990e-04,2.473612e-04,2.481793e-04,2.517240e-04,2.538988e-04,2.544251e-04,2.563671e-04,2.573832e-04,2.576274e-04,2.582768e-04,2.584023e-04,2.583799e-04,2.579959e-04,2.574481e-04,2.571784e-04,2.559764e-04,2.549302e-04,2.544344e-04,2.525927e-04,2.511881e-04,2.504880e-04,2.481535e-04,2.465019e-04,2.456198e-04,2.429140e-04,2.411037e-04,2.400611e-04,2.370831e-04,2.351830e-04,2.340004e-04,2.308312e-04,2.288950e-04,2.275917e-04,2.242968e-04,2.223656e-04,2.209597e-04,2.175922e-04,2.156972e-04,2.142051e-04,2.108079e-04,2.089722e-04,2.074091e-04,2.040164e-04,2.022568e-04,2.006364e-04,1.972752e-04,1.956033e-04,1.939381e-04,1.906297e-04,1.890531e-04,1.873541e-04,1.841149e-04,1.826380e-04,1.809153e-04,1.777579e-04,1.763826e-04,1.746450e-04,1.715786e-04,1.703050e-04,1.685604e-04,1.655917e-04,1.644183e-04,1.626736e-04,1.598070e-04,1.587314e-04,1.569927e-04,1.542310e-04,1.532498e-04,1.515223e-04,1.488669e-04,1.479762e-04,1.462647e-04,1.437158e-04,1.429113e-04,1.412198e-04,1.387766e-04,1.380539e-04,1.363858e-04,1.340470e-04,1.334014e-04,1.317598e-04,1.295234e-04,1.289503e-04,1.273375e-04,1.252013e-04,1.246959e-04,1.231141e-04,1.210753e-04,1.206332e-04,1.190842e-04,1.171400e-04,1.167567e-04,1.152419e-04,1.133892e-04,1.130604e-04,1.115810e-04,1.098166e-04,1.095383e-04,1.080951e-04,1.064158e-04,1.061840e-04,1.047778e-04,1.031804e-04,1.029914e-04,1.016227e-04,1.001039e-04,9.995410e-05,9.862319e-05,9.717983e-05,9.706595e-05,9.577301e-05,9.440195e-05,9.432080e-05,9.306588e-05,9.176403e-05,9.171266e-05,9.049567e-05,8.926003e-05,8.923565e-05,8.805641e-05,8.688407e-05,8.465237e-05,8.253522e-05,8.052742e-05,7.862400e-05,7.682015e-05,7.511125e-05,7.349287e-05,7.196077e-05,7.051086e-05,6.913923e-05,6.784217e-05,6.661608e-05,6.545755e-05,6.436332e-05,6.333027e-05,6.235541e-05,6.143590e-05,6.056903e-05,5.975220e-05,5.898294e-05,5.825890e-05,5.757781e-05,5.693755e-05,5.633606e-05,5.577139e-05,5.524168e-05,5.474517e-05,5.428016e-05,5.384505e-05,5.343831e-05,5.305847e-05,5.270413e-05,5.237399e-05,5.206677e-05,5.178126e-05,5.151634e-05,5.127090e-05,5.104390e-05,5.083437e-05,5.064135e-05,5.046395e-05,5.030132e-05,5.015264e-05,5.001715e-05,4.989410e-05,4.978281e-05,4.968260e-05,4.959284e-05,4.951293e-05
0.000000e+00,2.026581e-09,2.612648e-08,2.724912e-08,1.603477e-07,5.363187e-07,5.591598e-07,1.314124e-06,2.227578e-06,2.287614e-06,3.258522e-06,4.063567e-06,4.128894e-06,4.882765e-06,5.466948e-06,5.526701e-06,6.071681e-06,6.478240e-06,6.528802e-06,6.908264e-06,7.179526e-06,7.219262e-06,7.470041e-06,7.639561e-06,7.667953e-06,7.819543e-06,7.913388e-06,7.930636e-06,8.006406e-06,8.044691e-06,8.051442e-06,8.069808e-06,8.067948e-06,8.065101e-06,8.040496e-06,8.010228e-06,7.998799e-06,7.942480e-06,7.892681e-06,7.873716e-06,7.794422e-06,7.731763e-06,7.706281e-06,7.610769e-06,7.540227e-06,7.509184e-06,7.402660e-06,7.327915e-06,7.292191e-06,7.178645e-06,7.102390e-06,7.062778e-06,6.945252e-06,6.869433e-06,6.826640e-06,6.707440e-06,6.633432e-06,6.588082e-06,6.468939e-06,6.397692e-06,6.350332e-06,6.232534e-06,6.164676e-06,6.115780e-06,6.000269e-06,5.936190e-06,5.886170e-06,5.773624e-06,5.713537e-06,5.662747e-06,5.553637e-06,5.497623e-06,5.446369e-06,5.341008e-06,5.289057e-06,5.237600e-06,5.136182e-06,5.088216e-06,5.036779e-06,4.939407e-06,4.895300e-06,4.844073e-06,4.750779e-06,4.710375e-06,4.659519e-06,4.570284e-06,4.533405e-06,4.483058e-06,4.397823e-06,4.364282e-06,4.314559e-06,4.233240e-06,4.202843e-06,4.153840e-06,4.076331e-06,4.048885e-06,4.000682e-06,3.926864e-06,3.902177e-06,3.854843e-06,3.784586e-06,3.762472e-06,3.716061e-06,3.649234e-06,3.629511e-06,3.584069e-06,3.520534e-06,3.503031e-06,3.458593e-06,3.398214e-06,3.382766e-06,3.339361e-06,3.282001e-06,3.268453e-06,3.226101e-06,3.171628e-06,3.159832e-06,3.118549e-06,3.066832e-06,3.056649e-06,3.016446e-06,2.967358e-06,2.958658e-06,2.919539e-06,2.872959e-06,2.865619e-06,2.827587e-06,2.783395e-06,2.777301e-06,2.740354e-06,2.698437e-06,2.693481e-06,2.657615e-06,2.617863e-06,2.613946e-06,2.579154e-06,2.541462e-06,2.538490e-06,2.504763e-06,2.469031e-06,2.466917e-06,2.434243e-06,2.400376e-06,2.399040e-06,2.367406e-06,2.335311e-06,2.334678e-06,2.304070e-06,2.273660e-06,2.215822e-06,2.161008e-06,2.109069e-06,2.059863e-06,2.013255e-06,1.969117e-06,1.927326e-06,1.887764e-06,1.850322e-06,1.814893e-06,1.781376e-06,1.749677e-06,1.719705e-06,1.691371e-06,1.664595e-06,1.639298e-06,1.615406e-06,1.592847e-06,1.571554e-06,1.551464e-06,1.532515e-06,1.514650e-06,1.497813e-06,1.481952e-06,1.467017e-06,1.452962e-06,1.439740e-06,1.427310e-06,1.415630e-06,1.404663e-06,1.394370e-06,1.384718e-06,1.375673e-06,1.367204e-06,1.359281e-06,1.351874e-06,1.344958e-06,1.338506e-06,1.332494e-06,1.326898e-06,1.321697e-06,1.316870e-06,1.312396e-06,1.308257e-06,1.304434e-06,1.300910e-06,1.297670e-06,1.294698e-06,1.291978e-06
0.000000e+00,4.086706e-10,4.965177e-09,5.174459e-09,2.962924e-08,9.713022e-08,1.011714e-07,2.313707e-07,3.830576e-07,3.929510e-07,5.542088e-07,6.921338e-07,7.035734e-07,8.389959e-07,9.491955e-07,9.607824e-07,1.069745e-06,1.155737e-06,1.166781e-06,1.252778e-06,1.318552e-06,1.328581e-06,1.394994e-06,1.444077e-06,1.452771e-06,1.502620e-06,1.538044e-06,1.545200e-06,1.581127e-06,1.605465e-06,1.610973e-06,1.635268e-06,1.650680e-06,1.654500e-06,1.669126e-06,1.677419e-06,1.679563e-06,1.686199e-06,1.688873e-06,1.689390e-06,1.689466e-06,1.687763e-06,1.686730e-06,1.681462e-06,1.676404e-06,1.673916e-06,1.664330e-06,1.656760e-06,1.652925e-06,1.639898e-06,1.630502e-06,1.625434e-06,1.609700e-06,1.599036e-06,1.592851e-06,1.575028e-06,1.563545e-06,1.556360e-06,1.536965e-06,1.525025e-06,1.516952e-06,1.496420e-06,1.484309e-06,1.475458e-06,1.454150e-06,1.442093e-06,1.432568e-06,1.410783e-06,1.398956e-06,1.388855e-06,1.366840e-06,1.355376e-06,1.344790e-06,1.322751e-06,1.311748e-06,1.300762e-06,1.278863e-06,1.268393e-06,1.257086e-06,1.235461e-06,1.225573e-06,1.214016e-06,1.192773e-06,1.183496e-06,1.171754e-06,1.150978e-06,1.142328e-06,1.130461e-06,1.110217e-06,1.102199e-06,1.090259e-06,1.070598e-06,1.063206e-06,1.051241e-06,1.032198e-06,1.025420e-06,1.013474e-06,9.950744e-07,9.888931e-07,9.770029e-07,9.592627e-07,9.536562e-07,9.418558e-07,9.247834e-07,9.197269e-07,9.080459e-07,8.916432e-07,8.871104e-07,8.755745e-07,8.598385e-07,8.558014e-07,8.444332e-07,8.293564e-07,8.257865e-07,8.146054e-07,8.001772e-07,7.970460e-07,7.860684e-07,7.722754e-07,7.695544e-07,7.587944e-07,7.456213e-07,7.432825e-07,7.327519e-07,7.201816e-07,7.181978e-07,7.079061e-07,6.959206e-07,6.942655e-07,6.842203e-07,6.728006e-07,6.714489e-07,6.616565e-07,6.507830e-07,6.497103e-07,6.401752e-07,6.298282e-07,6.290116e-07,6.197370e-07,6.098966e-07,6.093140e-07,6.003020e-07,5.909482e-07,5.905790e-07,5.818305e-07,5.729438e-07,5.727684e-07,5.642834e-07,5.558445e-07,5.397701e-07,5.245091e-07,5.100261e-07,4.962868e-07,4.832579e-07,4.709073e-07,4.592038e-07,4.481174e-07,4.376195e-07,4.276821e-07,4.182788e-07,4.093841e-07,4.009734e-07,3.930233e-07,3.855115e-07,3.784165e-07,3.717179e-07,3.653962e-07,3.594326e-07,3.538093e-07,3.485095e-07,3.435168e-07,3.388159e-07,3.343921e-07,3.302312e-07,3.263200e-07,3.226458e-07,3.191965e-07,3.159604e-07,3.129268e-07,3.100850e-07,3.074253e-07,3.049380e-07,3.026144e-07,3.004457e-07,2.984238e-07,2.965411e-07,2.947902e-07,2.931640e-07,2.916559e-07,2.902596e-07,2.889691e-07,2.877787e-07,2.866829e-07,2.856765e-07,2.847548e-07,2.839129e-07,2.831465e-07,2.824514e-07
0.000000e+00,8.471744e-10,1.370219e-08,1.434910e-08,9.577074e-08,3.116961e-07,3.235861e-07,6.552402e-07,9.785175e-07,9.987440e-07,1.325039e-06,1.605769e-06,1.629284e-06,1.911326e-06,2.146819e-06,2.171943e-06,2.412100e-06,2.607305e-06,2.632793e-06,2.835014e-06,2.994900e-06,3.019746e-06,3.187954e-06,3.317169e-06,3.340580e-06,3.478538e-06,3.581337e-06,3.602708e-06,3.713936e-06,3.794145e-06,3.813031e-06,3.900762e-06,3.961781e-06,3.977869e-06,4.045043e-06,4.089856e-06,4.102938e-06,4.152179e-06,4.183392e-06,4.193353e-06,4.227018e-06,4.246902e-06,4.253697e-06,4.273883e-06,4.284401e-06,4.288043e-06,4.296616e-06,4.299466e-06,4.300015e-06,4.298628e-06,4.295270e-06,4.292821e-06,4.282937e-06,4.274622e-06,4.269300e-06,4.252211e-06,4.240008e-06,4.231956e-06,4.208801e-06,4.193622e-06,4.182999e-06,4.154782e-06,4.137399e-06,4.124373e-06,4.091977e-06,4.073040e-06,4.057787e-06,4.021985e-06,4.002041e-06,3.984739e-06,3.946209e-06,3.925715e-06,3.906541e-06,3.865875e-06,3.845208e-06,3.824339e-06,3.782053e-06,3.761522e-06,3.739129e-06,3.695673e-06,3.675531e-06,3.651781e-06,3.607543e-06,3.587991e-06,3.563044e-06,3.518362e-06,3.499558e-06,3.473568e-06,3.428731e-06,3.410797e-06,3.383911e-06,3.339166e-06,3.322194e-06,3.294550e-06,3.250110e-06,3.234163e-06,3.205891e-06,3.161935e-06,3.147057e-06,3.118279e-06,3.074958e-06,3.061171e-06,3.032003e-06,2.989443e-06,2.976756e-06,2.947304e-06,2.905608e-06,2.894016e-06,2.864379e-06,2.823633e-06,2.813121e-06,2.783389e-06,2.743661e-06,2.734204e-06,2.704462e-06,2.665805e-06,2.657374e-06,2.627698e-06,2.590152e-06,2.582710e-06,2.553172e-06,2.516766e-06,2.510274e-06,2.480937e-06,2.445690e-06,2.440105e-06,2.411027e-06,2.376950e-06,2.372227e-06,2.343461e-06,2.310558e-06,2.306649e-06,2.278242e-06,2.246511e-06,2.243370e-06,2.215364e-06,2.184797e-06,2.182377e-06,2.154808e-06,2.125393e-06,2.123647e-06,2.096549e-06,2.068270e-06,2.067150e-06,2.040552e-06,2.013390e-06,2.012853e-06,1.986779e-06,1.960712e-06,1.910684e-06,1.862719e-06,1.816765e-06,1.772770e-06,1.730679e-06,1.690433e-06,1.651978e-06,1.615255e-06,1.580207e-06,1.546778e-06,1.514909e-06,1.484547e-06,1.455635e-06,1.428120e-06,1.401947e-06,1.377067e-06,1.353428e-06,1.330980e-06,1.309675e-06,1.289468e-06,1.270311e-06,1.252163e-06,1.234980e-06,1.218720e-06,1.203345e-06,1.188815e-06,1.175095e-06,1.162147e-06,1.149938e-06,1.138434e-06,1.127604e-06,1.117417e-06,1.107842e-06,1.098853e-06,1.090421e-06,1.082521e-06,1.075127e-06,1.068215e-06,1.061761e-06,1.055745e-06,1.050144e-06,1.044938e-06,1.040107e-06,1.035633e-06,1.031498e-06,1.027685e-06,1.024177e-06,1.020958e-06,1.018014e-06
0.000000e+00,5.089267e-10,6.430788e-09,6.709381e-09,4.081707e-08,1.403057e-07,1.463436e-07,3.394092e-07,5.583443e-07,5.725236e-07,8.044275e-07,1.005874e-06,1.022763e-06,1.225193e-06,1.393802e-06,1.411761e-06,1.583085e-06,1.721838e-06,1.739918e-06,1.883037e-06,1.995736e-06,2.013209e-06,2.131190e-06,2.221404e-06,2.237705e-06,2.333458e-06,2.404418e-06,2.419122e-06,2.495341e-06,2.549930e-06,2.562730e-06,2.621870e-06,2.662631e-06,2.673316e-06,2.717597e-06,2.746763e-06,2.755207e-06,2.786616e-06,2.806128e-06,2.812267e-06,2.832578e-06,2.844117e-06,2.847942e-06,2.858727e-06,2.863739e-06,2.865281e-06,2.867931e-06,2.867659e-06,2.866982e-06,2.862722e-06,2.858229e-06,2.855422e-06,2.845333e-06,2.837523e-06,2.832693e-06,2.817724e-06,2.807366e-06,2.800634e-06,2.781618e-06,2.769359e-06,2.760856e-06,2.738520e-06,2.724906e-06,2.714767e-06,2.689747e-06,2.675234e-06,2.663598e-06,2.636448e-06,2.621414e-06,2.608418e-06,2.579621e-06,2.564377e-06,2.550159e-06,2.520130e-06,2.504931e-06,2.489624e-06,2.458725e-06,2.443777e-06,2.427510e-06,2.396050e-06,2.381515e-06,2.364413e-06,2.332659e-06,2.318666e-06,2.300846e-06,2.269026e-06,2.255671e-06,2.237246e-06,2.205551e-06,2.192907e-06,2.173983e-06,2.142577e-06,2.130692e-06,2.111368e-06,2.080387e-06,2.069295e-06,2.049662e-06,2.019219e-06,2.008937e-06,1.989082e-06,1.959270e-06,1.949802e-06,1.929803e-06,1.900697e-06,1.892038e-06,1.871968e-06,1.843628e-06,1.835764e-06,1.815690e-06,1.788163e-06,1.781074e-06,1.761055e-06,1.734376e-06,1.728037e-06,1.708129e-06,1.682322e-06,1.676703e-06,1.656957e-06,1.632038e-06,1.627107e-06,1.607566e-06,1.583544e-06,1.579268e-06,1.559972e-06,1.536850e-06,1.533192e-06,1.514176e-06,1.491951e-06,1.488875e-06,1.470171e-06,1.448834e-06,1.446304e-06,1.427939e-06,1.407480e-06,1.405458e-06,1.387456e-06,1.367861e-06,1.366312e-06,1.348692e-06,1.329943e-06,1.328832e-06,1.311611e-06,1.293690e-06,1.292982e-06,1.276175e-06,1.259061e-06,1.258723e-06,1.242341e-06,1.226011e-06,1.194804e-06,1.165053e-06,1.136713e-06,1.109735e-06,1.084072e-06,1.059675e-06,1.036497e-06,1.014491e-06,9.936095e-07,9.738072e-07,9.550393e-07,9.372620e-07,9.204325e-07,9.045094e-07,8.894524e-07,8.752224e-07,8.617818e-07,8.490939e-07,8.371237e-07,8.258372e-07,8.152019e-07,8.051862e-07,7.957601e-07,7.868946e-07,7.785620e-07,7.707357e-07,7.633902e-07,7.565011e-07,7.500452e-07,7.440001e-07,7.383446e-07,7.330583e-07,7.281218e-07,7.235166e-07,7.192251e-07,7.152304e-07,7.115165e-07,7.080681e-07,7.048706e-07,7.019103e-07,6.991740e-07,6.966490e-07,6.943236e-07,6.921864e-07,6.902266e-07,6.884340e-07,6.867989e-07,6.853120e-07,6.839647e-07
0.000000e+00,3.999169e-08,2.759230e-06,2.945023e-06,4.543172e-05,3.280533e-04,3.526352e-04,1.736016e-03,5.687595e-03,6.082972e-03,1.644456e-02,3.451015e-02,3.657151e-02,7.030261e-02,1.151652e-01,1.210985e-01,1.917607e-01,2.719912e-01,2.842973e-01,3.998912e-01,5.180627e-01,5.389358e-01,7.011121e-01,8.545497e-01,8.854877e-01,1.090625e+00,1.273055e+00,1.314691e+00,1.555560e+00,1.758796e+00,1.810907e+00,2.078293e+00,2.293613e+00,2.355234e+00,2.639264e+00,2.858386e+00,2.927981e+00,3.219090e+00,3.434773e+00,3.510428e+00,3.799987e+00,4.006330e+00,4.085931e+00,4.366604e+00,4.559139e+00,4.640526e+00,4.906404e+00,5.082028e+00,5.163119e+00,5.409722e+00,5.566555e+00,5.645432e+00,5.869615e+00,6.006810e+00,6.081779e+00,6.281565e+00,6.399105e+00,6.468731e+00,6.643144e+00,6.741651e+00,6.804767e+00,6.953649e+00,7.034209e+00,7.089914e+00,7.213752e+00,7.277763e+00,7.325409e+00,7.425178e+00,7.474227e+00,7.513394e+00,7.590422e+00,7.626184e+00,7.656655e+00,7.712507e+00,7.736674e+00,7.758407e+00,7.794792e+00,7.809008e+00,7.822109e+00,7.840804e+00,7.846632e+00,7.851326e+00,7.854118e+00,7.853012e+00,7.849620e+00,7.838262e+00,7.831548e+00,7.820466e+00,7.796644e+00,7.785517e+00,7.767194e+00,7.732504e+00,7.718026e+00,7.692948e+00,7.648886e+00,7.631988e+00,7.600663e+00,7.548611e+00,7.530098e+00,7.493047e+00,7.434273e+00,7.414835e+00,7.372578e+00,7.308236e+00,7.288457e+00,7.241508e+00,7.172641e+00,7.153007e+00,7.101869e+00,7.029413e+00,7.010325e+00,6.955483e+00,6.880273e+00,6.862054e+00,6.803971e+00,6.726749e+00,6.709653e+00,6.648772e+00,6.570191e+00,6.554416e+00,6.491152e+00,6.411787e+00,6.397477e+00,6.332223e+00,6.252576e+00,6.239832e+00,6.172954e+00,6.093460e+00,6.082346e+00,6.014186e+00,5.935221e+00,5.925770e+00,5.856644e+00,5.778530e+00,5.770747e+00,5.700948e+00,5.623961e+00,5.617830e+00,5.547628e+00,5.472001e+00,5.467487e+00,5.397129e+00,5.323057e+00,5.320111e+00,5.249825e+00,5.177470e+00,5.176032e+00,5.106024e+00,5.035519e+00,4.898792e+00,4.766025e+00,4.637354e+00,4.512879e+00,4.392670e+00,4.276771e+00,4.165202e+00,4.057966e+00,3.955045e+00,3.856410e+00,3.762015e+00,3.671807e+00,3.585721e+00,3.503684e+00,3.425616e+00,3.351432e+00,3.281041e+00,3.214349e+00,3.151256e+00,3.091661e+00,3.035461e+00,2.982549e+00,2.932818e+00,2.886160e+00,2.842465e+00,2.801625e+00,2.763529e+00,2.728068e+00,2.695133e+00,2.664616e+00,2.636408e+00,2.610404e+00,2.586499e+00,2.564587e+00,2.544569e+00,2.526342e+00,2.509810e+00,2.494875e+00,2.481444e+00,2.469425e+00,2.458730e+00,2.449271e+00,2.440964e+00,2.433729e+00,2.427488e+00,2.422164e+00,2.417686e+00,2.413983e+00,2.410990e+00
0.000000e+00,1.750460e-08,6.409139e-07,6.767900e-07,6.496093e-06,3.096024e-05,3.270969e-05,1.038375e-04,2.222171e-04,2.312335e-04,3.976848e-04,5.637605e-04,5.783263e-04,7.589859e-04,9.171931e-04,9.344487e-04,1.103198e-03,1.245849e-03,1.264874e-03,1.419448e-03,1.546757e-03,1.566996e-03,1.707641e-03,1.820556e-03,1.841532e-03,1.968834e-03,2.068429e-03,2.089724e-03,2.204385e-03,2.291756e-03,2.313005e-03,2.415773e-03,2.491990e-03,2.512876e-03,2.604502e-03,2.670590e-03,2.690837e-03,2.772064e-03,2.828987e-03,2.848360e-03,2.919901e-03,2.968562e-03,2.986857e-03,3.049396e-03,3.090632e-03,3.107680e-03,3.161867e-03,3.196453e-03,3.212111e-03,3.258562e-03,3.287212e-03,3.301365e-03,3.340662e-03,3.364036e-03,3.376591e-03,3.409284e-03,3.427985e-03,3.438871e-03,3.465477e-03,3.480061e-03,3.489224e-03,3.510231e-03,3.521203e-03,3.528610e-03,3.544473e-03,3.552298e-03,3.557928e-03,3.569077e-03,3.574174e-03,3.578021e-03,3.584858e-03,3.587611e-03,3.589681e-03,3.592582e-03,3.593338e-03,3.593648e-03,3.592964e-03,3.592039e-03,3.590613e-03,3.586675e-03,3.584351e-03,3.581225e-03,3.574338e-03,3.570871e-03,3.566086e-03,3.556537e-03,3.552156e-03,3.545759e-03,3.533816e-03,3.528726e-03,3.520769e-03,3.506680e-03,3.501065e-03,3.491606e-03,3.475602e-03,3.469623e-03,3.458722e-03,3.441019e-03,3.434821e-03,3.422541e-03,3.403338e-03,3.397047e-03,3.383455e-03,3.362936e-03,3.356664e-03,3.341826e-03,3.320165e-03,3.314007e-03,3.297993e-03,3.275349e-03,3.269388e-03,3.252268e-03,3.228786e-03,3.223095e-03,3.204938e-03,3.180755e-03,3.175394e-03,3.156270e-03,3.131512e-03,3.126530e-03,3.106510e-03,3.081292e-03,3.076732e-03,3.055885e-03,3.030313e-03,3.026208e-03,3.004602e-03,2.978774e-03,2.975150e-03,2.952853e-03,2.926859e-03,2.923736e-03,2.900813e-03,2.874735e-03,2.872126e-03,2.848643e-03,2.822555e-03,2.820469e-03,2.796489e-03,2.770461e-03,2.768901e-03,2.744486e-03,2.718579e-03,2.717545e-03,2.692755e-03,2.667026e-03,2.666513e-03,2.641406e-03,2.615907e-03,2.565820e-03,2.516334e-03,2.467523e-03,2.419456e-03,2.372190e-03,2.325779e-03,2.280270e-03,2.235701e-03,2.192109e-03,2.149524e-03,2.107970e-03,2.067469e-03,2.028038e-03,1.989690e-03,1.952434e-03,1.916278e-03,1.881225e-03,1.847276e-03,1.814430e-03,1.782684e-03,1.752032e-03,1.722465e-03,1.693976e-03,1.666552e-03,1.640183e-03,1.614853e-03,1.590549e-03,1.567255e-03,1.544953e-03,1.523626e-03,1.503255e-03,1.483823e-03,1.465308e-03,1.447690e-03,1.430950e-03,1.415065e-03,1.400014e-03,1.385777e-03,1.372330e-03,1.359652e-03,1.347721e-03,1.336514e-03,1.326009e-03,1.316184e-03,1.307018e-03,1.298486e-03,1.290569e-03,1.283243e-03,1.276486e-03
0.000000e+00,2.052284e-10,1.474638e-08,1.576409e-08,2.629714e-07,1.980441e-06,2.130686e-06,1.049941e-05,3.336739e-05,3.558754e-05,9.081502e-05,1.783844e-04,1.878832e-04,3.334145e-04,5.066489e-04,5.282730e-04,7.685147e-04,1.011784e-03,1.046920e-03,1.354502e-03,1.635096e-03,1.681744e-03,2.019471e-03,2.305182e-03,2.359415e-03,2.694510e-03,2.961591e-03,3.018999e-03,3.328412e-03,3.562845e-03,3.619466e-03,3.889918e-03,4.085669e-03,4.138411e-03,4.364308e-03,4.520823e-03,4.567549e-03,4.748517e-03,4.868503e-03,4.907924e-03,5.046719e-03,5.134503e-03,5.166005e-03,5.266980e-03,5.327435e-03,5.350891e-03,5.418992e-03,5.456901e-03,5.472518e-03,5.512673e-03,5.532411e-03,5.540607e-03,5.557419e-03,5.562822e-03,5.564144e-03,5.561755e-03,5.556095e-03,5.551155e-03,5.533186e-03,5.519192e-03,5.508621e-03,5.478174e-03,5.458079e-03,5.442498e-03,5.402192e-03,5.377803e-03,5.357801e-03,5.309822e-03,5.282583e-03,5.258709e-03,5.204873e-03,5.175928e-03,5.148688e-03,5.090493e-03,5.060738e-03,5.030594e-03,4.969271e-03,4.939405e-03,4.906774e-03,4.843332e-03,4.813888e-03,4.779148e-03,4.714409e-03,4.685792e-03,4.649282e-03,4.583916e-03,4.556424e-03,4.518447e-03,4.452997e-03,4.426846e-03,4.387673e-03,4.322576e-03,4.297916e-03,4.257790e-03,4.193395e-03,4.170322e-03,4.129459e-03,4.066044e-03,4.044611e-03,4.003203e-03,3.940985e-03,3.921213e-03,3.879431e-03,3.818578e-03,3.800464e-03,3.758458e-03,3.699099e-03,3.682618e-03,3.640524e-03,3.582752e-03,3.567865e-03,3.525801e-03,3.469684e-03,3.456341e-03,3.414412e-03,3.359993e-03,3.348136e-03,3.306434e-03,3.253740e-03,3.243305e-03,3.201912e-03,3.150952e-03,3.141872e-03,3.100860e-03,3.051633e-03,3.043837e-03,3.003269e-03,2.955763e-03,2.949181e-03,2.909112e-03,2.863308e-03,2.857868e-03,2.818346e-03,2.774218e-03,2.769850e-03,2.730916e-03,2.688433e-03,2.685070e-03,2.646760e-03,2.605887e-03,2.603460e-03,2.565805e-03,2.526505e-03,2.524949e-03,2.487975e-03,2.450208e-03,2.449460e-03,2.413191e-03,2.376914e-03,2.307229e-03,2.240323e-03,2.176110e-03,2.114507e-03,2.055432e-03,1.998802e-03,1.944534e-03,1.892550e-03,1.842770e-03,1.795119e-03,1.749520e-03,1.705902e-03,1.664192e-03,1.624322e-03,1.586224e-03,1.549833e-03,1.515086e-03,1.481922e-03,1.450281e-03,1.420106e-03,1.391341e-03,1.363932e-03,1.337828e-03,1.312978e-03,1.289334e-03,1.266848e-03,1.245476e-03,1.225174e-03,1.205899e-03,1.187611e-03,1.170270e-03,1.153838e-03,1.138280e-03,1.123558e-03,1.109640e-03,1.096492e-03,1.084083e-03,1.072382e-03,1.061359e-03,1.050985e-03,1.041234e-03,1.032079e-03,1.023493e-03,1.015454e-03,1.007935e-03,1.000916e-03,9.943731e-04,9.882856e-04,9.826328e-04
0.000000e+00,5.418540e-09,1.752971e-07,1.847298e-07,1.557920e-06,6.324166e-06,6.636356e-06,1.800833e-05,3.448480e-05,3.567576e-05,5.652311e-05,7.512602e-05,7.664127e-05,9.375623e-05,1.061800e-04,1.073948e-04,1.179096e-04,1.250074e-04,1.258400e-04,1.316911e-04,1.353852e-04,1.358865e-04,1.387693e-04,1.403794e-04,1.406145e-04,1.416414e-04,1.419964e-04,1.420245e-04,1.419027e-04,1.415165e-04,1.413861e-04,1.405624e-04,1.397520e-04,1.395011e-04,1.382570e-04,1.372166e-04,1.368739e-04,1.353864e-04,1.342346e-04,1.338217e-04,1.322014e-04,1.310102e-04,1.305428e-04,1.288591e-04,1.276716e-04,1.271612e-04,1.254574e-04,1.242989e-04,1.237543e-04,1.220571e-04,1.209422e-04,1.203699e-04,1.186957e-04,1.176322e-04,1.170370e-04,1.153958e-04,1.143877e-04,1.137735e-04,1.121710e-04,1.112195e-04,1.105894e-04,1.090290e-04,1.081339e-04,1.074904e-04,1.059737e-04,1.051341e-04,1.044792e-04,1.030069e-04,1.022210e-04,1.015567e-04,1.001286e-04,9.939471e-05,9.872252e-05,9.733827e-05,9.665428e-05,9.597568e-05,9.463454e-05,9.399835e-05,9.331464e-05,9.201575e-05,9.142526e-05,9.073764e-05,8.948004e-05,8.893313e-05,8.824271e-05,8.702539e-05,8.652001e-05,8.582781e-05,8.464972e-05,8.418388e-05,8.349084e-05,8.235093e-05,8.192267e-05,8.122970e-05,8.012689e-05,7.973435e-05,7.904226e-05,7.797552e-05,7.761686e-05,7.692643e-05,7.589473e-05,7.556821e-05,7.488015e-05,7.388246e-05,7.358641e-05,7.290139e-05,7.193671e-05,7.166950e-05,7.098815e-05,7.005549e-05,6.981558e-05,6.913848e-05,6.823689e-05,6.802277e-05,6.735047e-05,6.647900e-05,6.628926e-05,6.562225e-05,6.477998e-05,6.461325e-05,6.395199e-05,6.313804e-05,6.299301e-05,6.233793e-05,6.155143e-05,6.142684e-05,6.077833e-05,6.001842e-05,5.991308e-05,5.927150e-05,5.853737e-05,5.845012e-05,5.781581e-05,5.710664e-05,5.703640e-05,5.640966e-05,5.572468e-05,5.567039e-05,5.505150e-05,5.438994e-05,5.435061e-05,5.373982e-05,5.310095e-05,5.307562e-05,5.247315e-05,5.185625e-05,5.184402e-05,5.125007e-05,5.065444e-05,4.950557e-05,4.839611e-05,4.732484e-05,4.629052e-05,4.529200e-05,4.432814e-05,4.339782e-05,4.249997e-05,4.163357e-05,4.079759e-05,3.999107e-05,3.921305e-05,3.846261e-05,3.773888e-05,3.704097e-05,3.636806e-05,3.571934e-05,3.509402e-05,3.449134e-05,3.391056e-05,3.335097e-05,3.281187e-05,3.229259e-05,3.179250e-05,3.131094e-05,3.084732e-05,3.040105e-05,2.997155e-05,2.955826e-05,2.916066e-05,2.877822e-05,2.841044e-05,2.805683e-05,2.771692e-05,2.739024e-05,2.707637e-05,2.677486e-05,2.648531e-05,2.620731e-05,2.594046e-05,2.568440e-05,2.543876e-05,2.520318e-05,2.497733e-05,2.476086e-05,2.455346e-05,2.435481e-05,2.416462e-05,2.398260e-05
0.000000e+00,2.983004e-09,5.063692e-08,5.303412e-08,3.506949e-07,1.143081e-06,1.187565e-06,2.456876e-06,3.695308e-06,3.771683e-06,4.978643e-06,5.974752e-06,6.056283e-06,7.010020e-06,7.770579e-06,7.849707e-06,8.585415e-06,9.154377e-06,9.226630e-06,9.782140e-06,1.019753e-05,1.026005e-05,1.066782e-05,1.096117e-05,1.101230e-05,1.129975e-05,1.149694e-05,1.153591e-05,1.172599e-05,1.184810e-05,1.187476e-05,1.198652e-05,1.205054e-05,1.206519e-05,1.211434e-05,1.213393e-05,1.213717e-05,1.213662e-05,1.212272e-05,1.211532e-05,1.207564e-05,1.203689e-05,1.201971e-05,1.194949e-05,1.189277e-05,1.186672e-05,1.177298e-05,1.170371e-05,1.166970e-05,1.155815e-05,1.148055e-05,1.143947e-05,1.131471e-05,1.123211e-05,1.118480e-05,1.105058e-05,1.096553e-05,1.091279e-05,1.077212e-05,1.068657e-05,1.062915e-05,1.048443e-05,1.039988e-05,1.033844e-05,1.019161e-05,1.010917e-05,1.004433e-05,9.896937e-06,9.817405e-06,9.749732e-06,9.602985e-06,9.526937e-06,9.456933e-06,9.311787e-06,9.239613e-06,9.167732e-06,9.024929e-06,8.956870e-06,8.883518e-06,8.743623e-06,8.679810e-06,8.605350e-06,8.468789e-06,8.409266e-06,8.334019e-06,8.201105e-06,8.145848e-06,8.070102e-06,7.941055e-06,7.889992e-06,7.814000e-06,7.688965e-06,7.641987e-06,7.565972e-06,7.445036e-06,7.402005e-06,7.326166e-06,7.209367e-06,7.170127e-06,7.094639e-06,6.981978e-06,6.946362e-06,6.871377e-06,6.762825e-06,6.730658e-06,6.656310e-06,6.551815e-06,6.522917e-06,6.449324e-06,6.348817e-06,6.323007e-06,6.250272e-06,6.153667e-06,6.130768e-06,6.058979e-06,5.966184e-06,5.946020e-06,5.875254e-06,5.786166e-06,5.768567e-06,5.698891e-06,5.613403e-06,5.598203e-06,5.529674e-06,5.447676e-06,5.434715e-06,5.367381e-06,5.288761e-06,5.277886e-06,5.211787e-06,5.136433e-06,5.127498e-06,5.062669e-06,4.990467e-06,4.983331e-06,4.919799e-06,4.850639e-06,4.845170e-06,4.782957e-06,4.716728e-06,4.712800e-06,4.651924e-06,4.588518e-06,4.586010e-06,4.526483e-06,4.465795e-06,4.464594e-06,4.406426e-06,4.348352e-06,4.237086e-06,4.130606e-06,4.028727e-06,3.931271e-06,3.838063e-06,3.748936e-06,3.663728e-06,3.582284e-06,3.504452e-06,3.430087e-06,3.359049e-06,3.291205e-06,3.226424e-06,3.164581e-06,3.105557e-06,3.049236e-06,2.995508e-06,2.944266e-06,2.895407e-06,2.848834e-06,2.804451e-06,2.762168e-06,2.721897e-06,2.683555e-06,2.647061e-06,2.612338e-06,2.579311e-06,2.547910e-06,2.518065e-06,2.489712e-06,2.462787e-06,2.437229e-06,2.412980e-06,2.389984e-06,2.368189e-06,2.347542e-06,2.327994e-06,2.309497e-06,2.292007e-06,2.275479e-06,2.259872e-06,2.245145e-06,2.231260e-06,2.218179e-06,2.205868e-06,2.194292e-06,2.183418e-06,2.173216e-06,2.163654e-06
0.000000e+00,1.222625e-09,1.647969e-08,1.721101e-08,1.083560e-07,3.773751e-07,3.936699e-07,9.052986e-07,1.462565e-06,1.497971e-06,2.066834e-06,2.545680e-06,2.585164e-06,3.050101e-06,3.425024e-06,3.464259e-06,3.831370e-06,4.118503e-06,4.155196e-06,4.439273e-06,4.654287e-06,4.686870e-06,4.901008e-06,5.057087e-06,5.084494e-06,5.239939e-06,5.348192e-06,5.369777e-06,5.476280e-06,5.546112e-06,5.561570e-06,5.627620e-06,5.666968e-06,5.676265e-06,5.709203e-06,5.724703e-06,5.728007e-06,5.734123e-06,5.731270e-06,5.728886e-06,5.713515e-06,5.696803e-06,5.689126e-06,5.656739e-06,5.629813e-06,5.617289e-06,5.571627e-06,5.537428e-06,5.520531e-06,5.464712e-06,5.425604e-06,5.404822e-06,5.341444e-06,5.299294e-06,5.275098e-06,5.206258e-06,5.162516e-06,5.135356e-06,5.062780e-06,5.018575e-06,4.988875e-06,4.913956e-06,4.870151e-06,4.838306e-06,4.762177e-06,4.719421e-06,4.685795e-06,4.609362e-06,4.568131e-06,4.533057e-06,4.457041e-06,4.417675e-06,4.381457e-06,4.306429e-06,4.269159e-06,4.232068e-06,4.158471e-06,4.123441e-06,4.085722e-06,4.013895e-06,3.981181e-06,3.943051e-06,3.873247e-06,3.842874e-06,3.804526e-06,3.736928e-06,3.708879e-06,3.670483e-06,3.605217e-06,3.579445e-06,3.541150e-06,3.478297e-06,3.454734e-06,3.416669e-06,3.356272e-06,3.334831e-06,3.297109e-06,3.239181e-06,3.219766e-06,3.182483e-06,3.127012e-06,3.109518e-06,3.072758e-06,3.019714e-06,3.004034e-06,2.967866e-06,2.917204e-06,2.903229e-06,2.867712e-06,2.819376e-06,2.806996e-06,2.772180e-06,2.726105e-06,2.715212e-06,2.681135e-06,2.637252e-06,2.627742e-06,2.594437e-06,2.552670e-06,2.544440e-06,2.511932e-06,2.472203e-06,2.465158e-06,2.433465e-06,2.395696e-06,2.389741e-06,2.358877e-06,2.322988e-06,2.318037e-06,2.288009e-06,2.253921e-06,2.249889e-06,2.220703e-06,2.188337e-06,2.185146e-06,2.156803e-06,2.126082e-06,2.123658e-06,2.096155e-06,2.067003e-06,2.065278e-06,2.038609e-06,2.010954e-06,2.009863e-06,1.984021e-06,1.957792e-06,1.957274e-06,1.932250e-06,1.907377e-06,1.860043e-06,1.815146e-06,1.772568e-06,1.732193e-06,1.693912e-06,1.657620e-06,1.623215e-06,1.590603e-06,1.559692e-06,1.530396e-06,1.502630e-06,1.476317e-06,1.451382e-06,1.427752e-06,1.405361e-06,1.384145e-06,1.364041e-06,1.344992e-06,1.326943e-06,1.309842e-06,1.293639e-06,1.278286e-06,1.263740e-06,1.249958e-06,1.236900e-06,1.224527e-06,1.212805e-06,1.201697e-06,1.191173e-06,1.181201e-06,1.171752e-06,1.162799e-06,1.154314e-06,1.146275e-06,1.138656e-06,1.131435e-06,1.124592e-06,1.118106e-06,1.111959e-06,1.106132e-06,1.100609e-06,1.095373e-06,1.090409e-06,1.085702e-06,1.081239e-06,1.077007e-06,1.072992e-06,1.069185e-06,1.065573e-06
0.000000e+00,3.503659e-10,2.260000e-08,2.409166e-08,3.519350e-07,2.437744e-06,2.616184e-06,1.237570e-05,3.894202e-05,4.153384e-05,1.067352e-04,2.121547e-04,2.236956e-04,4.022423e-04,6.175621e-04,6.445794e-04,9.460363e-04,1.252629e-03,1.296951e-03,1.684766e-03,2.037410e-03,2.095857e-03,2.516929e-03,2.869484e-03,2.935942e-03,3.342655e-03,3.661151e-03,3.728849e-03,4.088339e-03,4.353762e-03,4.416833e-03,4.711715e-03,4.917572e-03,4.971781e-03,5.196975e-03,5.345287e-03,5.388132e-03,5.546752e-03,5.644326e-03,5.674799e-03,5.774535e-03,5.830172e-03,5.848383e-03,5.898822e-03,5.921518e-03,5.928306e-03,5.939205e-03,5.937153e-03,5.933765e-03,5.914084e-03,5.894241e-03,5.882099e-03,5.839577e-03,5.807578e-03,5.788117e-03,5.729154e-03,5.689395e-03,5.663964e-03,5.593675e-03,5.549472e-03,5.519277e-03,5.441635e-03,5.395416e-03,5.361499e-03,5.279518e-03,5.233013e-03,5.196249e-03,5.112169e-03,5.066574e-03,5.027684e-03,4.943138e-03,4.899249e-03,4.858823e-03,4.774981e-03,4.733303e-03,4.691817e-03,4.609499e-03,4.570328e-03,4.528164e-03,4.447926e-03,4.411410e-03,4.368875e-03,4.291085e-03,4.257271e-03,4.214610e-03,4.139496e-03,4.108361e-03,4.065772e-03,3.993462e-03,3.964937e-03,3.922580e-03,3.853132e-03,3.827118e-03,3.785120e-03,3.718542e-03,3.694924e-03,3.653390e-03,3.589654e-03,3.568304e-03,3.527321e-03,3.466375e-03,3.447163e-03,3.406800e-03,3.348576e-03,3.331370e-03,3.291686e-03,3.236106e-03,3.220776e-03,3.181817e-03,3.128797e-03,3.115216e-03,3.077023e-03,3.026472e-03,3.014520e-03,2.977123e-03,2.928953e-03,2.918511e-03,2.881938e-03,2.836056e-03,2.827014e-03,2.791285e-03,2.747602e-03,2.739853e-03,2.704985e-03,2.663411e-03,2.656855e-03,2.622860e-03,2.583309e-03,2.577850e-03,2.544738e-03,2.507125e-03,2.502675e-03,2.470450e-03,2.434694e-03,2.431168e-03,2.399835e-03,2.365854e-03,2.363173e-03,2.332733e-03,2.300451e-03,2.298541e-03,2.268991e-03,2.238334e-03,2.237125e-03,2.208463e-03,2.179359e-03,2.178785e-03,2.151006e-03,2.123386e-03,2.070798e-03,2.020895e-03,1.973557e-03,1.928669e-03,1.886119e-03,1.845800e-03,1.807611e-03,1.771452e-03,1.737230e-03,1.704855e-03,1.674240e-03,1.645302e-03,1.617961e-03,1.592142e-03,1.567772e-03,1.544781e-03,1.523103e-03,1.502673e-03,1.483430e-03,1.465317e-03,1.448276e-03,1.432255e-03,1.417203e-03,1.403070e-03,1.389810e-03,1.377378e-03,1.365732e-03,1.354831e-03,1.344635e-03,1.335109e-03,1.326215e-03,1.317922e-03,1.310195e-03,1.303005e-03,1.296321e-03,1.290117e-03,1.284364e-03,1.279039e-03,1.274115e-03,1.269571e-03,1.265384e-03,1.261534e-03,1.257999e-03,1.254763e-03,1.251805e-03,1.249110e-03,1.246661e-03,1.244442e-03,1.242439e-03
0.000000e+00,1.497855e-09,1.081148e-07,1.155564e-07,1.839418e-06,1.238851e-05,1.325103e-05,5.523085e-05,1.473666e-04,1.554478e-04,3.333907e-04,5.699367e-04,5.936647e-04,9.285304e-04,1.281611e-03,1.323302e-03,1.761019e-03,2.168797e-03,2.225452e-03,2.702630e-03,3.114583e-03,3.181353e-03,3.653124e-03,4.039492e-03,4.111809e-03,4.553194e-03,4.900275e-03,4.974560e-03,5.374307e-03,5.677993e-03,5.751654e-03,6.106396e-03,6.367519e-03,6.438730e-03,6.749122e-03,6.970734e-03,7.038212e-03,7.306749e-03,7.492710e-03,7.555544e-03,7.785435e-03,7.939726e-03,7.997267e-03,8.191877e-03,8.318298e-03,8.370086e-03,8.532693e-03,8.634749e-03,8.680471e-03,8.814165e-03,8.895039e-03,8.934495e-03,9.042149e-03,9.104701e-03,9.137787e-03,9.222041e-03,9.268827e-03,9.295514e-03,9.358785e-03,9.392080e-03,9.412404e-03,9.456899e-03,9.478725e-03,9.492773e-03,9.520506e-03,9.532652e-03,9.540556e-03,9.553360e-03,9.557409e-03,9.559335e-03,9.558881e-03,9.556229e-03,9.552375e-03,9.540179e-03,9.532057e-03,9.522640e-03,9.500084e-03,9.487569e-03,9.472827e-03,9.441166e-03,9.425202e-03,9.405385e-03,9.365756e-03,9.347167e-03,9.322537e-03,9.275972e-03,9.255474e-03,9.226296e-03,9.173731e-03,9.151944e-03,9.118489e-03,9.060770e-03,9.038227e-03,9.000766e-03,8.938658e-03,8.915818e-03,8.874620e-03,8.808816e-03,8.786068e-03,8.741401e-03,8.672524e-03,8.650198e-03,8.602325e-03,8.530937e-03,8.509308e-03,8.458487e-03,8.385094e-03,8.364390e-03,8.310872e-03,8.235929e-03,8.216338e-03,8.160366e-03,8.084280e-03,8.065952e-03,8.007763e-03,7.930899e-03,7.913951e-03,7.853772e-03,7.776457e-03,7.760978e-03,7.699028e-03,7.621552e-03,7.607607e-03,7.544096e-03,7.466718e-03,7.454349e-03,7.389477e-03,7.312427e-03,7.301658e-03,7.235618e-03,7.159097e-03,7.149936e-03,7.082910e-03,7.007098e-03,6.999539e-03,6.931700e-03,6.856753e-03,6.850777e-03,6.782290e-03,6.708345e-03,6.703925e-03,6.634945e-03,6.562120e-03,6.559219e-03,6.489894e-03,6.418291e-03,6.416865e-03,6.347332e-03,6.277039e-03,6.139892e-03,6.005550e-03,5.874118e-03,5.745681e-03,5.620308e-03,5.498050e-03,5.378947e-03,5.263024e-03,5.150296e-03,5.040766e-03,4.934430e-03,4.831275e-03,4.731281e-03,4.634423e-03,4.540668e-03,4.449979e-03,4.362316e-03,4.277635e-03,4.195887e-03,4.117022e-03,4.040987e-03,3.967728e-03,3.897186e-03,3.829306e-03,3.764027e-03,3.701291e-03,3.641036e-03,3.583203e-03,3.527730e-03,3.474555e-03,3.423619e-03,3.374859e-03,3.328216e-03,3.283629e-03,3.241038e-03,3.200384e-03,3.161610e-03,3.124656e-03,3.089467e-03,3.055985e-03,3.024156e-03,2.993924e-03,2.965235e-03,2.938038e-03,2.912279e-03,2.887908e-03,2.864874e-03,2.843129e-03,2.822625e-03
0.000000e+00,3.612101e-09,1.856034e-07,1.970301e-07,2.378862e-06,1.389419e-05,1.480393e-05,5.794018e-05,1.496350e-04,1.575047e-04,3.234024e-04,5.236698e-04,5.426292e-04,7.918038e-04,1.023895e-03,1.049588e-03,1.301318e-03,1.511080e-03,1.538637e-03,1.757600e-03,1.930191e-03,1.956904e-03,2.136663e-03,2.273141e-03,2.297691e-03,2.441110e-03,2.546433e-03,2.568145e-03,2.680027e-03,2.759423e-03,2.777945e-03,2.863027e-03,2.921164e-03,2.936331e-03,2.998844e-03,3.039702e-03,3.051480e-03,3.095088e-03,3.122007e-03,3.130449e-03,3.158288e-03,3.174049e-03,3.179268e-03,3.194005e-03,3.200909e-03,3.203061e-03,3.206958e-03,3.206906e-03,3.206173e-03,3.201146e-03,3.195702e-03,3.192281e-03,3.179952e-03,3.170401e-03,3.164499e-03,3.146238e-03,3.133633e-03,3.125457e-03,3.102423e-03,3.087623e-03,3.077379e-03,3.050550e-03,3.034254e-03,3.022143e-03,2.992346e-03,2.975119e-03,2.961335e-03,2.929267e-03,2.911564e-03,2.896290e-03,2.862539e-03,2.844723e-03,2.828135e-03,2.793192e-03,2.775552e-03,2.757814e-03,2.722094e-03,2.704853e-03,2.686119e-03,2.649968e-03,2.633300e-03,2.613713e-03,2.577419e-03,2.561453e-03,2.541147e-03,2.504949e-03,2.489780e-03,2.468876e-03,2.432972e-03,2.418667e-03,2.397278e-03,2.361830e-03,2.348431e-03,2.326661e-03,2.291800e-03,2.279331e-03,2.257274e-03,2.223106e-03,2.211575e-03,2.189318e-03,2.155928e-03,2.145330e-03,2.122953e-03,2.090406e-03,2.080728e-03,2.058301e-03,2.026648e-03,2.017867e-03,1.995456e-03,1.964733e-03,1.956823e-03,1.934486e-03,1.904720e-03,1.897648e-03,1.875438e-03,1.846644e-03,1.840375e-03,1.818340e-03,1.790528e-03,1.785024e-03,1.763207e-03,1.736377e-03,1.731600e-03,1.710039e-03,1.684189e-03,1.680098e-03,1.658827e-03,1.633949e-03,1.630505e-03,1.609553e-03,1.585636e-03,1.582798e-03,1.562194e-03,1.539222e-03,1.536951e-03,1.516717e-03,1.494675e-03,1.492931e-03,1.473089e-03,1.451956e-03,1.450703e-03,1.431271e-03,1.411027e-03,1.410227e-03,1.391220e-03,1.371844e-03,1.371461e-03,1.352894e-03,1.334363e-03,1.298889e-03,1.264991e-03,1.232626e-03,1.201746e-03,1.172306e-03,1.144259e-03,1.117562e-03,1.092168e-03,1.068033e-03,1.045115e-03,1.023371e-03,1.002759e-03,9.832385e-04,9.647697e-04,9.473138e-04,9.308330e-04,9.152905e-04,9.006504e-04,8.868778e-04,8.739388e-04,8.618003e-04,8.504305e-04,8.397980e-04,8.298728e-04,8.206253e-04,8.120273e-04,8.040509e-04,7.966693e-04,7.898565e-04,7.835872e-04,7.778369e-04,7.725819e-04,7.677991e-04,7.634660e-04,7.595612e-04,7.560635e-04,7.529527e-04,7.502089e-04,7.478132e-04,7.457471e-04,7.439927e-04,7.425326e-04,7.413502e-04,7.404293e-04,7.397542e-04,7.393099e-04,7.390818e-04,7.390558e-04,7.392185e-04
0.000000e+00,8.710887e-10,5.325040e-08,5.668970e-08,7.781467e-07,5.173325e-06,5.544439e-06,2.541404e-05,7.735806e-05,8.231590e-05,2.032779e-04,3.902109e-04,4.102763e-04,7.145419e-04,1.071801e-03,1.116148e-03,1.606344e-03,2.099585e-03,2.170655e-03,2.791736e-03,3.357525e-03,3.451582e-03,4.133056e-03,4.710919e-03,4.820815e-03,5.501773e-03,6.047505e-03,6.165231e-03,6.802804e-03,7.289945e-03,7.408218e-03,7.977046e-03,8.393444e-03,8.506425e-03,8.994782e-03,9.338132e-03,9.441575e-03,9.847069e-03,1.012105e-02,1.021215e-02,1.053814e-02,1.074956e-02,1.082669e-02,1.107966e-02,1.123664e-02,1.129905e-02,1.148690e-02,1.159768e-02,1.164528e-02,1.177622e-02,1.184858e-02,1.188171e-02,1.196367e-02,1.200461e-02,1.202391e-02,1.206419e-02,1.207985e-02,1.208613e-02,1.209129e-02,1.208693e-02,1.208111e-02,1.205695e-02,1.203702e-02,1.202006e-02,1.197162e-02,1.193985e-02,1.191272e-02,1.184437e-02,1.180387e-02,1.176752e-02,1.168304e-02,1.163636e-02,1.159172e-02,1.149432e-02,1.144355e-02,1.139152e-02,1.128395e-02,1.123080e-02,1.117221e-02,1.105684e-02,1.100268e-02,1.093833e-02,1.081714e-02,1.076308e-02,1.069370e-02,1.056839e-02,1.051530e-02,1.044158e-02,1.031360e-02,1.026214e-02,1.018474e-02,1.005529e-02,1.000599e-02,9.925488e-03,9.795582e-03,9.748830e-03,9.665779e-03,9.536274e-03,9.492342e-03,9.407244e-03,9.278851e-03,9.237924e-03,9.151241e-03,9.024548e-03,8.986737e-03,8.898891e-03,8.774379e-03,8.739734e-03,8.651110e-03,8.529172e-03,8.497696e-03,8.408644e-03,8.289595e-03,8.261250e-03,8.172087e-03,8.056174e-03,8.030892e-03,7.941905e-03,7.829321e-03,7.807009e-03,7.718456e-03,7.609342e-03,7.589890e-03,7.502004e-03,7.396462e-03,7.379743e-03,7.292732e-03,7.190828e-03,7.176707e-03,7.090757e-03,6.992527e-03,6.980863e-03,6.896139e-03,6.801593e-03,6.792240e-03,6.708887e-03,6.618015e-03,6.610824e-03,6.528970e-03,6.441744e-03,6.436568e-03,6.356325e-03,6.272701e-03,6.269393e-03,6.190858e-03,6.110781e-03,6.109198e-03,6.032453e-03,5.955858e-03,5.809234e-03,5.669173e-03,5.535512e-03,5.408080e-03,5.286700e-03,5.171190e-03,5.061367e-03,4.957043e-03,4.858033e-03,4.764151e-03,4.675212e-03,4.591034e-03,4.511437e-03,4.436243e-03,4.365279e-03,4.298373e-03,4.235361e-03,4.176078e-03,4.120367e-03,4.068072e-03,4.019044e-03,3.973137e-03,3.930208e-03,3.890121e-03,3.852743e-03,3.817944e-03,3.785600e-03,3.755591e-03,3.727799e-03,3.702113e-03,3.678424e-03,3.656627e-03,3.636621e-03,3.618310e-03,3.601599e-03,3.586398e-03,3.572622e-03,3.560186e-03,3.549011e-03,3.539021e-03,3.530141e-03,3.522301e-03,3.515434e-03,3.509475e-03,3.504363e-03,3.500038e-03,3.496444e-03,3.493527e-03,3.491236e-03
0.000000e+00,1.534087e-08,4.532233e-07,4.776243e-07,4.183429e-06,1.740494e-05,1.825888e-05,4.712357e-05,8.186823e-05,8.415088e-05,1.216310e-04,1.542043e-04,1.569328e-04,1.896094e-04,2.167935e-04,2.196874e-04,2.472810e-04,2.696126e-04,2.725217e-04,2.955440e-04,3.136709e-04,3.164815e-04,3.354646e-04,3.499920e-04,3.526188e-04,3.680645e-04,3.795353e-04,3.819158e-04,3.942807e-04,4.031714e-04,4.052616e-04,4.149548e-04,4.216800e-04,4.234509e-04,4.308351e-04,4.357530e-04,4.371876e-04,4.425828e-04,4.460004e-04,4.470909e-04,4.507775e-04,4.529579e-04,4.537042e-04,4.559287e-04,4.570970e-04,4.575048e-04,4.584826e-04,4.588299e-04,4.589093e-04,4.588288e-04,4.585180e-04,4.582824e-04,4.573081e-04,4.564768e-04,4.559420e-04,4.542171e-04,4.529814e-04,4.521649e-04,4.498143e-04,4.482720e-04,4.471923e-04,4.443242e-04,4.425573e-04,4.412336e-04,4.379421e-04,4.360189e-04,4.344704e-04,4.308372e-04,4.288144e-04,4.270602e-04,4.231559e-04,4.210803e-04,4.191393e-04,4.150246e-04,4.129346e-04,4.108249e-04,4.065525e-04,4.044792e-04,4.022185e-04,3.978333e-04,3.958017e-04,3.934067e-04,3.889476e-04,3.869775e-04,3.844643e-04,3.799643e-04,3.780711e-04,3.754548e-04,3.709421e-04,3.691375e-04,3.664323e-04,3.619308e-04,3.602235e-04,3.574427e-04,3.529727e-04,3.513687e-04,3.485248e-04,3.441031e-04,3.426063e-04,3.397110e-04,3.353517e-04,3.339642e-04,3.310282e-04,3.267430e-04,3.254653e-04,3.224987e-04,3.182972e-04,3.171288e-04,3.141406e-04,3.100305e-04,3.089698e-04,3.059686e-04,3.019561e-04,3.010005e-04,2.979942e-04,2.940839e-04,2.932307e-04,2.902262e-04,2.864218e-04,2.856674e-04,2.826714e-04,2.789753e-04,2.783159e-04,2.753342e-04,2.717483e-04,2.711796e-04,2.682177e-04,2.647428e-04,2.642607e-04,2.613234e-04,2.579598e-04,2.575599e-04,2.546517e-04,2.513990e-04,2.510768e-04,2.482016e-04,2.450593e-04,2.448103e-04,2.419717e-04,2.389386e-04,2.387583e-04,2.359596e-04,2.330343e-04,2.329183e-04,2.301622e-04,2.273430e-04,2.272872e-04,2.245762e-04,2.218612e-04,2.166366e-04,2.116089e-04,2.067739e-04,2.021267e-04,1.976627e-04,1.933770e-04,1.892647e-04,1.853208e-04,1.815403e-04,1.779185e-04,1.744503e-04,1.711309e-04,1.679556e-04,1.649197e-04,1.620184e-04,1.592474e-04,1.566020e-04,1.540781e-04,1.516713e-04,1.493775e-04,1.471927e-04,1.451129e-04,1.431343e-04,1.412532e-04,1.394659e-04,1.377690e-04,1.361590e-04,1.346327e-04,1.331867e-04,1.318181e-04,1.305237e-04,1.293006e-04,1.281461e-04,1.270574e-04,1.260318e-04,1.250667e-04,1.241597e-04,1.233084e-04,1.225104e-04,1.217635e-04,1.210655e-04,1.204144e-04,1.198080e-04,1.192445e-04,1.187218e-04,1.182383e-04,1.177921e-04,1.173816e-04,1.170050e-04
0.000000e+00,7.468049e-10,1.007728e-08,1.052714e-08,6.766239e-08,2.426012e-07,2.534387e-07,6.068935e-07,1.014859e-06,1.041359e-06,1.474811e-06,1.850523e-06,1.881964e-06,2.257968e-06,2.569827e-06,2.602967e-06,2.918328e-06,3.172644e-06,3.205708e-06,3.466770e-06,3.671459e-06,3.703114e-06,3.916212e-06,4.078327e-06,4.107534e-06,4.278502e-06,4.404463e-06,4.430475e-06,4.564750e-06,4.660256e-06,4.682557e-06,4.785064e-06,4.855109e-06,4.873373e-06,4.948523e-06,4.997442e-06,5.011494e-06,5.063203e-06,5.094728e-06,5.104514e-06,5.136233e-06,5.153558e-06,5.159117e-06,5.173872e-06,5.179719e-06,5.181159e-06,5.181595e-06,5.178273e-06,5.175756e-06,5.164178e-06,5.153637e-06,5.147362e-06,5.125774e-06,5.109655e-06,5.099849e-06,5.069990e-06,5.049668e-06,5.036574e-06,4.999950e-06,4.976573e-06,4.960444e-06,4.918357e-06,4.892874e-06,4.873968e-06,4.827539e-06,4.800737e-06,4.779309e-06,4.729504e-06,4.702026e-06,4.678328e-06,4.625973e-06,4.598342e-06,4.572617e-06,4.518423e-06,4.491059e-06,4.463541e-06,4.408111e-06,4.381348e-06,4.352261e-06,4.296109e-06,4.270208e-06,4.239763e-06,4.183323e-06,4.158484e-06,4.126881e-06,4.070520e-06,4.046891e-06,4.014316e-06,3.958339e-06,3.936026e-06,3.902653e-06,3.847315e-06,3.826390e-06,3.792379e-06,3.737890e-06,3.718393e-06,3.683893e-06,3.630425e-06,3.612373e-06,3.577521e-06,3.525211e-06,3.508602e-06,3.473523e-06,3.422481e-06,3.407297e-06,3.372105e-06,3.322415e-06,3.308627e-06,3.273425e-06,3.225150e-06,3.212717e-06,3.177601e-06,3.130787e-06,3.119661e-06,3.084715e-06,3.039391e-06,3.029520e-06,2.994819e-06,2.951002e-06,2.942330e-06,2.907942e-06,2.865638e-06,2.858104e-06,2.824090e-06,2.783296e-06,2.776839e-06,2.743253e-06,2.703957e-06,2.698515e-06,2.665403e-06,2.627587e-06,2.623099e-06,2.590503e-06,2.554145e-06,2.550548e-06,2.518504e-06,2.483575e-06,2.480812e-06,2.449350e-06,2.415819e-06,2.413830e-06,2.382976e-06,2.350811e-06,2.349538e-06,2.319315e-06,2.288479e-06,2.287869e-06,2.258294e-06,2.228750e-06,2.172107e-06,2.117865e-06,2.065945e-06,2.016272e-06,1.968768e-06,1.923357e-06,1.879963e-06,1.838512e-06,1.798930e-06,1.761145e-06,1.725089e-06,1.690691e-06,1.657887e-06,1.626611e-06,1.596800e-06,1.568396e-06,1.541338e-06,1.515570e-06,1.491037e-06,1.467687e-06,1.445470e-06,1.424335e-06,1.404237e-06,1.385129e-06,1.366969e-06,1.349715e-06,1.333326e-06,1.317764e-06,1.302993e-06,1.288976e-06,1.275680e-06,1.263072e-06,1.251122e-06,1.239799e-06,1.229074e-06,1.218921e-06,1.209312e-06,1.200224e-06,1.191632e-06,1.183512e-06,1.175844e-06,1.168605e-06,1.161776e-06,1.155338e-06,1.149271e-06,1.143560e-06,1.138186e-06,1.133133e-06,1.128387e-06
0.000000e+00,4.419893e-09,2.039508e-07,2.161249e-07,2.420462e-06,1.321721e-05,1.404010e-05,5.041153e-05,1.180691e-04,1.234767e-04,2.282531e-04,3.395526e-04,3.495089e-04,4.738846e-04,5.820020e-04,5.936496e-04,7.053799e-04,7.961574e-04,8.079803e-04,9.014012e-04,9.746763e-04,9.860093e-04,1.062315e-03,1.120396e-03,1.130865e-03,1.192206e-03,1.237495e-03,1.246862e-03,1.295336e-03,1.329983e-03,1.338101e-03,1.375603e-03,1.401470e-03,1.408259e-03,1.436458e-03,1.455134e-03,1.460565e-03,1.480917e-03,1.493744e-03,1.497826e-03,1.511583e-03,1.519687e-03,1.522455e-03,1.530690e-03,1.535009e-03,1.536517e-03,1.540149e-03,1.541464e-03,1.541780e-03,1.541591e-03,1.540550e-03,1.539748e-03,1.536404e-03,1.533543e-03,1.531703e-03,1.525773e-03,1.521532e-03,1.518734e-03,1.510698e-03,1.505440e-03,1.501766e-03,1.492031e-03,1.486052e-03,1.481582e-03,1.470496e-03,1.464037e-03,1.458846e-03,1.446701e-03,1.439957e-03,1.434120e-03,1.421162e-03,1.414292e-03,1.407878e-03,1.394317e-03,1.387445e-03,1.380520e-03,1.366530e-03,1.359756e-03,1.352382e-03,1.338109e-03,1.331511e-03,1.323744e-03,1.309313e-03,1.302950e-03,1.294843e-03,1.280357e-03,1.274273e-03,1.265876e-03,1.251419e-03,1.245647e-03,1.237004e-03,1.222648e-03,1.217211e-03,1.208364e-03,1.194166e-03,1.189078e-03,1.180066e-03,1.166074e-03,1.161343e-03,1.152200e-03,1.138452e-03,1.134080e-03,1.124838e-03,1.111365e-03,1.107352e-03,1.098039e-03,1.084866e-03,1.081205e-03,1.071849e-03,1.058993e-03,1.055678e-03,1.046302e-03,1.033779e-03,1.030799e-03,1.021426e-03,1.009245e-03,1.006588e-03,9.972379e-04,9.854063e-04,9.830611e-04,9.737511e-04,9.622731e-04,9.602259e-04,9.509726e-04,9.398500e-04,9.380869e-04,9.289052e-04,9.181379e-04,9.166446e-04,9.075478e-04,8.971342e-04,8.958964e-04,8.868965e-04,8.768336e-04,8.758369e-04,8.669446e-04,8.572284e-04,8.564585e-04,8.476837e-04,8.383091e-04,8.377520e-04,8.291032e-04,8.200646e-04,8.197065e-04,8.111916e-04,8.024826e-04,8.023101e-04,7.939360e-04,7.855499e-04,7.694124e-04,7.538833e-04,7.389481e-04,7.245920e-04,7.108000e-04,6.975569e-04,6.848476e-04,6.726571e-04,6.609704e-04,6.497726e-04,6.390490e-04,6.287853e-04,6.189671e-04,6.095804e-04,6.006116e-04,5.920470e-04,5.838736e-04,5.760784e-04,5.686488e-04,5.615724e-04,5.548372e-04,5.484314e-04,5.423436e-04,5.365624e-04,5.310771e-04,5.258770e-04,5.209517e-04,5.162912e-04,5.118856e-04,5.077254e-04,5.038013e-04,5.001042e-04,4.966254e-04,4.933562e-04,4.902884e-04,4.874139e-04,4.847249e-04,4.822137e-04,4.798729e-04,4.776954e-04,4.756743e-04,4.738026e-04,4.720739e-04,4.704818e-04,4.690201e-04,4.676829e-04,4.664644e-04,4.653590e-04,4.643612e-04
0.000000e+00,1.300698e-07,8.483969e-06,9.041602e-06,1.297599e-04,8.962463e-04,9.621996e-04,4.643490e-03,1.512179e-02,1.617056e-02,4.370624e-02,9.190185e-02,9.741272e-02,1.878311e-01,3.085921e-01,3.245956e-01,5.156198e-01,7.332418e-01,7.666747e-01,1.081251e+00,1.403614e+00,1.460617e+00,1.904001e+00,2.324093e+00,2.408848e+00,2.971113e+00,3.471374e+00,3.585562e+00,4.246070e+00,4.803121e+00,4.945892e+00,5.677914e+00,6.266567e+00,6.434865e+00,7.209503e+00,7.805704e+00,7.994770e+00,8.783908e+00,9.366606e+00,9.570558e+00,1.034883e+01,1.090096e+01,1.111335e+01,1.185929e+01,1.236807e+01,1.258236e+01,1.327886e+01,1.373566e+01,1.394562e+01,1.457998e+01,1.497985e+01,1.517980e+01,1.574341e+01,1.608453e+01,1.626957e+01,1.675744e+01,1.704048e+01,1.720656e+01,1.761677e+01,1.784428e+01,1.798824e+01,1.832136e+01,1.849724e+01,1.861677e+01,1.887529e+01,1.900431e+01,1.909791e+01,1.928577e+01,1.937318e+01,1.944009e+01,1.956219e+01,1.961342e+01,1.965348e+01,1.971540e+01,1.973580e+01,1.974941e+01,1.975702e+01,1.975173e+01,1.973973e+01,1.969902e+01,1.967285e+01,1.963639e+01,1.955329e+01,1.951061e+01,1.945114e+01,1.933135e+01,1.927610e+01,1.919526e+01,1.904418e+01,1.897983e+01,1.887938e+01,1.870206e+01,1.863165e+01,1.851341e+01,1.831452e+01,1.824062e+01,1.810646e+01,1.789023e+01,1.781503e+01,1.766680e+01,1.743707e+01,1.736237e+01,1.720191e+01,1.696211e+01,1.688939e+01,1.671845e+01,1.647163e+01,1.640205e+01,1.622234e+01,1.597119e+01,1.590567e+01,1.571878e+01,1.546565e+01,1.540485e+01,1.521231e+01,1.495923e+01,1.490364e+01,1.470686e+01,1.445559e+01,1.440550e+01,1.420579e+01,1.395783e+01,1.391341e+01,1.371200e+01,1.346860e+01,1.342989e+01,1.322789e+01,1.299011e+01,1.295707e+01,1.275548e+01,1.252420e+01,1.249668e+01,1.229644e+01,1.207236e+01,1.205016e+01,1.185211e+01,1.163581e+01,1.161868e+01,1.142356e+01,1.121546e+01,1.120311e+01,1.101161e+01,1.081205e+01,1.080416e+01,1.061686e+01,1.042608e+01,1.042231e+01,1.023975e+01,1.005790e+01,9.711100e+00,9.381983e+00,9.070504e+00,8.776530e+00,8.499849e+00,8.240184e+00,7.997204e+00,7.770528e+00,7.559737e+00,7.364381e+00,7.183978e+00,7.018030e+00,6.866016e+00,6.727401e+00,6.601638e+00,6.488170e+00,6.386437e+00,6.295872e+00,6.215908e+00,6.145977e+00,6.085512e+00,6.033952e+00,5.990738e+00,5.955318e+00,5.927149e+00,5.905697e+00,5.890439e+00,5.880863e+00,5.876472e+00,5.876781e+00,5.881324e+00,5.889649e+00,5.901321e+00,5.915927e+00,5.933068e+00,5.952370e+00,5.973475e+00,5.996048e+00,6.019773e+00,6.044358e+00,6.069529e+00,6.095035e+00,6.120645e+00,6.146148e+00,6.171354e+00,6.196092e+00,6.220211e+00,6.243577e+00,6.266075e+00
0.000000e+00,6.741459e-09,1.452075e-07,1.526484e-07,1.232643e-06,4.877599e-06,5.106596e-06,1.243357e-05,2.035416e-05,2.084941e-05,2.865919e-05,3.501679e-05,3.553209e-05,4.149358e-05,4.615017e-05,4.662914e-05,5.102807e-05,5.435555e-05,5.477293e-05,5.793805e-05,6.024720e-05,6.058982e-05,6.278742e-05,6.432109e-05,6.458349e-05,6.602534e-05,6.697302e-05,6.715509e-05,6.801038e-05,6.851961e-05,6.862466e-05,6.902774e-05,6.921265e-05,6.924607e-05,6.930313e-05,6.925154e-05,6.921974e-05,6.901436e-05,6.879351e-05,6.870331e-05,6.830105e-05,6.796217e-05,6.782034e-05,6.727246e-05,6.685436e-05,6.666738e-05,6.601388e-05,6.554583e-05,6.531971e-05,6.459170e-05,6.409563e-05,6.383586e-05,6.305748e-05,6.254965e-05,6.226120e-05,6.145110e-05,6.094349e-05,6.063077e-05,5.980333e-05,5.930461e-05,5.897153e-05,5.813775e-05,5.765409e-05,5.730409e-05,5.647236e-05,5.600803e-05,5.564414e-05,5.482077e-05,5.437860e-05,5.400344e-05,5.319316e-05,5.277489e-05,5.239079e-05,5.159706e-05,5.120364e-05,5.081261e-05,5.003793e-05,4.966970e-05,4.927348e-05,4.851960e-05,4.817645e-05,4.777658e-05,4.704464e-05,4.672614e-05,4.632395e-05,4.561466e-05,4.532017e-05,4.491683e-05,4.423052e-05,4.395923e-05,4.355576e-05,4.289254e-05,4.264353e-05,4.224081e-05,4.160055e-05,4.137284e-05,4.097167e-05,4.035409e-05,4.014667e-05,3.974772e-05,3.915244e-05,3.896428e-05,3.856815e-05,3.799471e-05,3.782478e-05,3.743200e-05,3.687987e-05,3.672715e-05,3.633818e-05,3.580679e-05,3.567030e-05,3.528555e-05,3.477430e-05,3.465307e-05,3.427289e-05,3.378118e-05,3.367428e-05,3.329899e-05,3.282619e-05,3.273274e-05,3.236260e-05,3.190809e-05,3.182722e-05,3.146248e-05,3.102564e-05,3.095655e-05,3.059741e-05,3.017763e-05,3.011953e-05,2.976616e-05,2.936285e-05,2.931499e-05,2.896755e-05,2.858012e-05,2.854180e-05,2.820041e-05,2.782829e-05,2.779884e-05,2.746361e-05,2.710625e-05,2.708503e-05,2.675605e-05,2.641290e-05,2.639931e-05,2.607665e-05,2.574718e-05,2.574066e-05,2.542436e-05,2.510808e-05,2.450060e-05,2.391731e-05,2.335730e-05,2.281970e-05,2.230367e-05,2.180840e-05,2.133311e-05,2.087704e-05,2.043948e-05,2.001971e-05,1.961707e-05,1.923090e-05,1.886058e-05,1.850550e-05,1.816507e-05,1.783875e-05,1.752598e-05,1.722626e-05,1.693908e-05,1.666395e-05,1.640042e-05,1.614803e-05,1.590636e-05,1.567499e-05,1.545353e-05,1.524159e-05,1.503880e-05,1.484481e-05,1.465927e-05,1.448185e-05,1.431224e-05,1.415014e-05,1.399524e-05,1.384727e-05,1.370596e-05,1.357104e-05,1.344226e-05,1.331939e-05,1.320217e-05,1.309040e-05,1.298386e-05,1.288234e-05,1.278563e-05,1.269355e-05,1.260591e-05,1.252254e-05,1.244325e-05,1.236790e-05,1.229631e-05
0.000000e+00,8.061716e-09,1.890424e-07,1.988428e-07,1.596271e-06,6.091949e-06,6.368196e-06,1.508251e-05,2.443547e-05,2.501877e-05,3.417720e-05,4.156601e-05,4.216197e-05,4.902225e-05,5.433295e-05,5.487658e-05,5.984392e-05,6.356760e-05,6.403238e-05,6.753811e-05,7.007212e-05,7.044617e-05,7.283169e-05,7.448039e-05,7.476089e-05,7.629210e-05,7.728690e-05,7.747662e-05,7.835953e-05,7.887544e-05,7.898038e-05,7.937385e-05,7.954261e-05,7.957035e-05,7.959649e-05,7.951689e-05,7.947561e-05,7.922811e-05,7.897400e-05,7.887179e-05,7.842220e-05,7.804845e-05,7.789296e-05,7.729603e-05,7.684354e-05,7.664182e-05,7.593942e-05,7.543838e-05,7.519682e-05,7.442106e-05,7.389389e-05,7.361823e-05,7.279353e-05,7.225639e-05,7.195156e-05,7.109634e-05,7.056097e-05,7.023130e-05,6.935955e-05,6.883441e-05,6.848376e-05,6.760613e-05,6.709704e-05,6.672862e-05,6.585297e-05,6.536396e-05,6.498062e-05,6.411282e-05,6.364650e-05,6.325066e-05,6.239505e-05,6.195300e-05,6.154679e-05,6.070655e-05,6.028962e-05,5.987490e-05,5.905231e-05,5.866080e-05,5.823917e-05,5.743581e-05,5.706962e-05,5.664248e-05,5.585939e-05,5.551813e-05,5.508672e-05,5.432458e-05,5.400764e-05,5.357306e-05,5.283223e-05,5.253889e-05,5.210210e-05,5.138270e-05,5.111213e-05,5.067400e-05,4.997597e-05,4.972729e-05,4.928858e-05,4.861175e-05,4.838403e-05,4.794543e-05,4.728953e-05,4.708183e-05,4.664396e-05,4.600864e-05,4.582002e-05,4.538345e-05,4.476830e-05,4.459785e-05,4.416308e-05,4.356768e-05,4.341446e-05,4.298197e-05,4.240584e-05,4.226898e-05,4.183917e-05,4.128184e-05,4.116047e-05,4.073373e-05,4.019472e-05,4.008800e-05,3.966468e-05,3.914349e-05,3.905060e-05,3.863102e-05,3.812716e-05,3.804733e-05,3.763178e-05,3.714477e-05,3.707724e-05,3.666599e-05,3.619533e-05,3.613939e-05,3.573267e-05,3.527789e-05,3.523284e-05,3.483088e-05,3.439152e-05,3.435669e-05,3.395969e-05,3.353528e-05,3.351005e-05,3.311818e-05,3.270827e-05,3.269202e-05,3.230546e-05,3.190962e-05,3.190177e-05,3.152065e-05,3.113845e-05,3.040123e-05,2.968934e-05,2.900199e-05,2.833842e-05,2.769791e-05,2.707973e-05,2.648321e-05,2.590765e-05,2.535240e-05,2.481684e-05,2.430034e-05,2.380229e-05,2.332213e-05,2.285928e-05,2.241320e-05,2.198335e-05,2.156922e-05,2.117030e-05,2.078612e-05,2.041620e-05,2.006008e-05,1.971732e-05,1.938749e-05,1.907017e-05,1.876497e-05,1.847148e-05,1.818933e-05,1.791816e-05,1.765759e-05,1.740729e-05,1.716693e-05,1.693617e-05,1.671470e-05,1.650221e-05,1.629841e-05,1.610302e-05,1.591574e-05,1.573632e-05,1.556449e-05,1.540000e-05,1.524260e-05,1.509205e-05,1.494812e-05,1.481059e-05,1.467924e-05,1.455386e-05,1.443425e-05,1.432020e-05,1.421153e-05
0.000000e+00,1.354149e-08,2.059911e-07,2.154159e-07,1.394233e-06,4.729977e-06,4.926280e-06,1.093535e-05,1.740451e-05,1.781835e-05,2.456782e-05,3.045154e-05,3.094703e-05,3.692120e-05,4.195562e-05,4.249540e-05,4.768298e-05,5.194057e-05,5.249949e-05,5.696111e-05,6.052674e-05,6.108421e-05,6.488507e-05,6.784050e-05,6.837972e-05,7.158380e-05,7.400497e-05,7.451247e-05,7.718039e-05,7.913647e-05,7.960164e-05,8.178974e-05,8.334297e-05,8.375766e-05,8.551778e-05,8.672380e-05,8.708194e-05,8.846146e-05,8.936978e-05,8.966711e-05,9.070917e-05,9.136368e-05,9.159744e-05,9.234125e-05,9.278072e-05,9.294946e-05,9.343051e-05,9.368910e-05,9.379242e-05,9.404283e-05,9.415055e-05,9.418897e-05,9.423775e-05,9.422090e-05,9.419569e-05,9.406899e-05,9.395052e-05,9.386353e-05,9.358489e-05,9.338480e-05,9.323838e-05,9.282899e-05,9.256462e-05,9.236147e-05,9.184031e-05,9.152663e-05,9.126977e-05,9.065387e-05,9.030377e-05,8.999641e-05,8.930099e-05,8.892550e-05,8.857100e-05,8.780966e-05,8.741818e-05,8.701998e-05,8.620484e-05,8.580531e-05,8.536691e-05,8.450873e-05,8.410783e-05,8.363270e-05,8.274106e-05,8.234434e-05,8.183593e-05,8.091930e-05,8.053134e-05,7.999304e-05,7.905889e-05,7.868340e-05,7.811851e-05,7.717343e-05,7.681337e-05,7.622510e-05,7.527487e-05,7.493257e-05,7.432400e-05,7.337366e-05,7.305087e-05,7.242496e-05,7.147891e-05,7.117689e-05,7.053647e-05,6.959851e-05,6.931812e-05,6.866586e-05,6.773927e-05,6.748101e-05,6.681945e-05,6.590704e-05,6.567110e-05,6.500263e-05,6.410677e-05,6.389310e-05,6.321996e-05,6.234265e-05,6.215096e-05,6.147525e-05,6.061815e-05,6.044799e-05,5.977167e-05,5.893613e-05,5.878691e-05,5.811179e-05,5.729889e-05,5.716990e-05,5.649765e-05,5.570824e-05,5.559868e-05,5.493084e-05,5.416557e-05,5.407455e-05,5.341254e-05,5.267184e-05,5.259846e-05,5.194356e-05,5.122772e-05,5.117100e-05,5.052438e-05,4.983355e-05,4.979250e-05,4.915523e-05,4.848941e-05,4.846304e-05,4.783607e-05,4.719516e-05,4.718247e-05,4.656665e-05,4.595046e-05,4.476652e-05,4.362999e-05,4.254011e-05,4.149603e-05,4.049679e-05,3.954138e-05,3.862871e-05,3.775768e-05,3.692711e-05,3.613582e-05,3.538261e-05,3.466627e-05,3.398557e-05,3.333930e-05,3.272624e-05,3.214520e-05,3.159499e-05,3.107444e-05,3.058240e-05,3.011774e-05,2.967935e-05,2.926614e-05,2.887708e-05,2.851113e-05,2.816728e-05,2.784458e-05,2.754207e-05,2.725885e-05,2.699404e-05,2.674677e-05,2.651622e-05,2.630159e-05,2.610213e-05,2.591707e-05,2.574572e-05,2.558739e-05,2.544141e-05,2.530715e-05,2.518399e-05,2.507137e-05,2.496871e-05,2.487547e-05,2.479115e-05,2.471524e-05,2.464727e-05,2.458680e-05,2.453339e-05,2.448662e-05,2.444611e-05
0.000000e+00,1.019937e-09,6.353588e-08,6.772136e-08,9.945914e-07,6.820938e-06,7.310840e-06,3.251824e-05,9.200144e-05,9.735012e-05,2.171465e-04,3.774984e-04,3.934987e-04,6.160388e-04,8.422254e-04,8.682795e-04,1.132827e-03,1.363732e-03,1.394579e-03,1.642094e-03,1.837663e-03,1.867748e-03,2.067260e-03,2.213370e-03,2.238965e-03,2.383072e-03,2.481633e-03,2.501025e-03,2.594996e-03,2.654600e-03,2.667512e-03,2.721195e-03,2.751641e-03,2.758596e-03,2.782095e-03,2.791990e-03,2.793846e-03,2.795760e-03,2.791833e-03,2.789506e-03,2.776524e-03,2.763708e-03,2.758042e-03,2.735103e-03,2.716870e-03,2.708585e-03,2.679226e-03,2.657956e-03,2.647639e-03,2.614338e-03,2.591629e-03,2.579747e-03,2.544217e-03,2.521121e-03,2.508039e-03,2.471452e-03,2.448650e-03,2.434653e-03,2.397803e-03,2.375724e-03,2.361034e-03,2.324452e-03,2.303356e-03,2.288146e-03,2.252186e-03,2.232220e-03,2.216628e-03,2.181517e-03,2.162757e-03,2.146890e-03,2.112774e-03,2.095243e-03,2.079191e-03,2.046157e-03,2.029849e-03,2.013683e-03,1.981779e-03,1.966668e-03,1.950448e-03,1.919694e-03,1.905741e-03,1.889516e-03,1.859914e-03,1.847071e-03,1.830884e-03,1.802424e-03,1.790639e-03,1.774527e-03,1.747190e-03,1.736410e-03,1.720404e-03,1.694165e-03,1.684336e-03,1.668464e-03,1.643295e-03,1.634363e-03,1.618650e-03,1.594520e-03,1.586432e-03,1.570899e-03,1.547777e-03,1.540482e-03,1.525147e-03,1.503001e-03,1.496450e-03,1.481330e-03,1.460126e-03,1.454271e-03,1.439381e-03,1.419087e-03,1.413883e-03,1.399236e-03,1.379819e-03,1.375223e-03,1.360829e-03,1.342259e-03,1.338229e-03,1.324099e-03,1.306343e-03,1.302840e-03,1.288983e-03,1.272011e-03,1.268997e-03,1.255420e-03,1.239203e-03,1.236643e-03,1.223352e-03,1.207861e-03,1.205720e-03,1.192722e-03,1.177928e-03,1.176176e-03,1.163473e-03,1.149350e-03,1.147956e-03,1.135553e-03,1.122074e-03,1.121010e-03,1.108908e-03,1.096049e-03,1.095287e-03,1.083489e-03,1.071224e-03,1.070739e-03,1.059247e-03,1.047552e-03,1.047321e-03,1.036134e-03,1.024987e-03,1.003693e-03,9.833978e-04,9.640608e-04,9.456429e-04,9.281065e-04,9.114153e-04,8.955342e-04,8.804295e-04,8.660686e-04,8.524204e-04,8.394545e-04,8.271420e-04,8.154549e-04,8.043663e-04,7.938502e-04,7.838818e-04,7.744370e-04,7.654929e-04,7.570270e-04,7.490182e-04,7.414460e-04,7.342905e-04,7.275327e-04,7.211546e-04,7.151385e-04,7.094676e-04,7.041258e-04,6.990975e-04,6.943678e-04,6.899225e-04,6.857477e-04,6.818302e-04,6.781576e-04,6.747175e-04,6.714984e-04,6.684891e-04,6.656790e-04,6.630578e-04,6.606156e-04,6.583431e-04,6.562313e-04,6.542717e-04,6.524558e-04,6.507760e-04,6.492246e-04,6.477944e-04,6.464786e-04,6.452707e-04,6.441642e-04
0.000000e+00,9.426711e-10,5.941942e-08,6.326045e-08,8.549445e-07,5.579789e-06,5.978185e-06,2.774731e-05,8.909346e-05,9.525220e-05,2.588883e-04,5.523950e-04,5.863854e-04,1.152676e-03,1.926021e-03,2.029532e-03,3.278074e-03,4.721291e-03,4.944447e-03,7.057997e-03,9.243281e-03,9.631248e-03,1.266104e-02,1.554679e-02,1.613036e-02,2.001061e-02,2.347269e-02,2.426388e-02,2.884530e-02,3.271343e-02,3.370519e-02,3.879101e-02,4.288024e-02,4.404904e-02,4.942585e-02,5.355961e-02,5.486947e-02,6.033037e-02,6.435513e-02,6.576213e-02,7.112202e-02,7.491473e-02,7.637131e-02,8.147551e-02,8.494578e-02,8.640443e-02,9.113215e-02,9.422082e-02,9.563694e-02,9.990106e-02,1.025766e-01,1.039105e-01,1.076550e-01,1.099089e-01,1.111272e-01,1.143229e-01,1.161646e-01,1.172406e-01,1.198811e-01,1.213335e-01,1.222474e-01,1.243440e-01,1.254389e-01,1.261773e-01,1.277548e-01,1.285297e-01,1.290852e-01,1.301779e-01,1.306727e-01,1.310431e-01,1.316916e-01,1.319467e-01,1.321342e-01,1.323824e-01,1.324371e-01,1.324474e-01,1.323405e-01,1.322315e-01,1.320731e-01,1.316562e-01,1.314171e-01,1.311005e-01,1.304167e-01,1.300779e-01,1.296150e-01,1.287052e-01,1.282932e-01,1.276969e-01,1.265990e-01,1.261367e-01,1.254201e-01,1.241686e-01,1.236757e-01,1.228523e-01,1.214784e-01,1.209711e-01,1.200539e-01,1.185855e-01,1.180772e-01,1.170791e-01,1.155406e-01,1.150423e-01,1.139753e-01,1.123882e-01,1.119085e-01,1.107840e-01,1.091670e-01,1.087126e-01,1.075413e-01,1.059105e-01,1.054861e-01,1.042781e-01,1.026471e-01,1.022563e-01,1.010206e-01,9.940116e-02,9.904607e-02,9.779121e-02,9.619299e-02,9.587493e-02,9.460852e-02,9.303963e-02,9.275902e-02,9.148800e-02,8.995511e-02,8.971168e-02,8.844232e-02,8.695083e-02,8.674379e-02,8.548173e-02,8.403595e-02,8.386407e-02,8.261435e-02,8.121766e-02,8.107938e-02,7.984651e-02,7.850144e-02,7.839498e-02,7.718293e-02,7.589134e-02,7.581471e-02,7.462700e-02,7.339014e-02,7.334124e-02,7.218095e-02,7.099954e-02,7.097620e-02,6.984600e-02,6.872035e-02,6.657370e-02,6.453565e-02,6.260505e-02,6.078029e-02,5.905937e-02,5.743999e-02,5.591955e-02,5.449527e-02,5.316417e-02,5.192314e-02,5.076894e-02,4.969827e-02,4.870775e-02,4.779396e-02,4.695346e-02,4.618282e-02,4.547859e-02,4.483737e-02,4.425579e-02,4.373050e-02,4.325824e-02,4.283578e-02,4.245998e-02,4.212779e-02,4.183620e-02,4.158234e-02,4.136340e-02,4.117668e-02,4.101958e-02,4.088961e-02,4.078437e-02,4.070160e-02,4.063910e-02,4.059484e-02,4.056685e-02,4.055330e-02,4.055245e-02,4.056269e-02,4.058249e-02,4.061044e-02,4.064523e-02,4.068565e-02,4.073059e-02,4.077902e-02,4.083001e-02,4.088270e-02,4.093635e-02,4.099026e-02,4.104382e-02
0.000000e+00,8.889778e-10,5.263353e-08,5.598069e-08,7.189972e-07,4.382826e-06,4.680065e-06,1.978138e-05,5.756176e-05,6.114646e-05,1.492429e-04,2.886474e-04,3.038177e-04,5.373559e-04,8.169267e-04,8.518667e-04,1.239687e-03,1.630361e-03,1.686534e-03,2.174923e-03,2.614483e-03,2.686954e-03,3.206176e-03,3.637558e-03,3.718593e-03,4.213057e-03,4.599185e-03,4.681223e-03,5.117287e-03,5.440510e-03,5.517598e-03,5.880247e-03,6.136573e-03,6.204679e-03,6.491357e-03,6.684692e-03,6.741467e-03,6.956691e-03,7.094663e-03,7.139024e-03,7.290638e-03,7.382038e-03,7.413778e-03,7.510689e-03,7.564097e-03,7.583563e-03,7.634510e-03,7.657655e-03,7.665532e-03,7.678513e-03,7.678058e-03,7.675213e-03,7.657267e-03,7.638797e-03,7.626185e-03,7.583363e-03,7.551484e-03,7.530083e-03,7.467520e-03,7.425980e-03,7.396755e-03,7.318774e-03,7.270597e-03,7.234479e-03,7.144695e-03,7.092301e-03,7.050174e-03,6.951601e-03,6.896909e-03,6.849601e-03,6.744742e-03,6.689259e-03,6.637541e-03,6.528466e-03,6.473361e-03,6.417943e-03,6.306357e-03,6.252522e-03,6.194057e-03,6.081356e-03,6.029459e-03,5.968539e-03,5.855861e-03,5.806387e-03,5.743552e-03,5.631817e-03,5.585104e-03,5.520840e-03,5.410785e-03,5.367054e-03,5.301797e-03,5.194006e-03,5.153382e-03,5.087523e-03,4.982450e-03,4.944985e-03,4.878872e-03,4.776865e-03,4.742553e-03,4.676494e-03,4.577813e-03,4.546600e-03,4.480869e-03,4.385698e-03,4.357497e-03,4.292331e-03,4.200793e-03,4.175492e-03,4.111100e-03,4.023266e-03,4.000734e-03,3.937297e-03,3.853196e-03,3.833290e-03,3.770962e-03,3.690590e-03,3.673158e-03,3.612073e-03,3.535398e-03,3.520283e-03,3.460552e-03,3.387519e-03,3.374565e-03,3.316282e-03,3.246820e-03,3.235869e-03,3.179111e-03,3.113133e-03,3.104033e-03,3.048862e-03,2.986273e-03,2.978874e-03,2.925339e-03,2.866034e-03,2.860193e-03,2.808331e-03,2.752202e-03,2.747778e-03,2.697617e-03,2.644549e-03,2.641413e-03,2.592969e-03,2.542847e-03,2.540872e-03,2.494156e-03,2.446864e-03,2.445933e-03,2.400945e-03,2.356368e-03,2.271956e-03,2.192474e-03,2.117707e-03,2.047443e-03,1.981476e-03,1.919606e-03,1.861637e-03,1.807385e-03,1.756666e-03,1.709308e-03,1.665143e-03,1.624011e-03,1.585757e-03,1.550234e-03,1.517301e-03,1.486823e-03,1.458669e-03,1.432717e-03,1.408848e-03,1.386951e-03,1.366916e-03,1.348642e-03,1.332030e-03,1.316988e-03,1.303425e-03,1.291256e-03,1.280401e-03,1.270782e-03,1.262325e-03,1.254961e-03,1.248621e-03,1.243242e-03,1.238762e-03,1.235125e-03,1.232274e-03,1.230157e-03,1.228723e-03,1.227925e-03,1.227717e-03,1.228055e-03,1.228899e-03,1.230209e-03,1.231947e-03,1.234079e-03,1.236570e-03,1.239389e-03,1.242505e-03,1.245888e-03,1.249513e-03
0.000000e+00,8.069912e-10,5.057683e-08,5.389633e-08,7.659002e-07,5.001471e-06,5.350753e-06,2.307505e-05,6.536650e-05,6.922641e-05,1.578702e-04,2.818527e-04,2.945070e-04,4.752092e-04,6.672850e-04,6.899417e-04,9.263783e-04,1.142907e-03,1.172620e-03,1.418643e-03,1.624150e-03,1.656795e-03,1.881733e-03,2.057955e-03,2.090087e-03,2.280036e-03,2.421564e-03,2.450912e-03,2.602847e-03,2.711195e-03,2.736511e-03,2.852901e-03,2.932448e-03,2.953196e-03,3.038654e-03,3.094461e-03,3.110544e-03,3.170104e-03,3.206933e-03,3.218508e-03,3.256859e-03,3.278824e-03,3.286178e-03,3.307401e-03,3.317902e-03,3.321384e-03,3.328908e-03,3.330697e-03,3.330678e-03,3.327333e-03,3.322606e-03,3.319451e-03,3.307551e-03,3.298046e-03,3.292104e-03,3.273531e-03,3.260614e-03,3.252213e-03,3.228492e-03,3.213235e-03,3.202675e-03,3.175040e-03,3.158278e-03,3.145835e-03,3.115284e-03,3.097662e-03,3.083586e-03,3.050921e-03,3.032939e-03,3.017453e-03,2.983324e-03,2.965360e-03,2.948666e-03,2.913594e-03,2.895936e-03,2.878213e-03,2.842615e-03,2.825477e-03,2.806885e-03,2.771097e-03,2.754633e-03,2.735316e-03,2.699602e-03,2.683923e-03,2.664007e-03,2.628579e-03,2.613758e-03,2.593357e-03,2.558380e-03,2.544464e-03,2.523679e-03,2.489282e-03,2.476296e-03,2.455214e-03,2.421498e-03,2.409450e-03,2.388151e-03,2.355190e-03,2.344073e-03,2.322628e-03,2.290478e-03,2.280278e-03,2.258749e-03,2.227450e-03,2.218145e-03,2.196587e-03,2.166166e-03,2.157728e-03,2.136191e-03,2.106665e-03,2.099062e-03,2.077590e-03,2.048967e-03,2.042165e-03,2.020797e-03,1.993079e-03,1.987041e-03,1.965811e-03,1.938994e-03,1.933685e-03,1.912625e-03,1.886700e-03,1.882081e-03,1.861218e-03,1.836175e-03,1.832208e-03,1.811567e-03,1.787391e-03,1.784041e-03,1.763643e-03,1.740318e-03,1.737547e-03,1.717412e-03,1.694920e-03,1.692693e-03,1.672838e-03,1.651160e-03,1.649443e-03,1.629882e-03,1.608999e-03,1.607758e-03,1.588505e-03,1.568396e-03,1.567599e-03,1.548666e-03,1.529310e-03,1.528926e-03,1.510322e-03,1.491698e-03,1.455875e-03,1.421416e-03,1.388281e-03,1.356429e-03,1.325821e-03,1.296419e-03,1.268184e-03,1.241078e-03,1.215067e-03,1.190113e-03,1.166182e-03,1.143241e-03,1.121255e-03,1.100193e-03,1.080023e-03,1.060715e-03,1.042240e-03,1.024567e-03,1.007671e-03,9.915225e-04,9.760962e-04,9.613664e-04,9.473082e-04,9.338975e-04,9.211111e-04,9.089262e-04,8.973209e-04,8.862740e-04,8.757648e-04,8.657733e-04,8.562802e-04,8.472666e-04,8.387143e-04,8.306058e-04,8.229239e-04,8.156521e-04,8.087744e-04,8.022752e-04,7.961395e-04,7.903528e-04,7.849008e-04,7.797701e-04,7.749472e-04,7.704196e-04,7.661747e-04,7.622006e-04,7.584857e-04,7.550187e-04,7.517889e-04
0.000000e+00,1.227357e-09,1.532639e-08,1.599260e-08,1.006075e-07,3.693412e-07,3.864464e-07,9.692714e-07,1.683601e-06,1.730855e-06,2.511044e-06,3.193815e-06,3.251126e-06,3.938209e-06,4.510254e-06,4.571155e-06,5.151760e-06,5.621395e-06,5.682547e-06,6.166185e-06,6.546435e-06,6.605335e-06,7.002592e-06,7.305754e-06,7.360470e-06,7.681394e-06,7.918615e-06,7.967695e-06,8.221602e-06,8.402837e-06,8.445242e-06,8.640640e-06,8.774682e-06,8.809714e-06,8.954284e-06,9.048831e-06,9.076070e-06,9.176694e-06,9.238436e-06,9.257688e-06,9.320495e-06,9.355219e-06,9.366472e-06,9.396896e-06,9.409585e-06,9.412968e-06,9.415816e-06,9.410741e-06,9.406498e-06,9.386009e-06,9.366821e-06,9.355279e-06,9.315183e-06,9.284986e-06,9.266539e-06,9.210112e-06,9.171536e-06,9.146620e-06,9.076733e-06,9.031993e-06,9.001076e-06,8.920236e-06,8.871190e-06,8.834757e-06,8.745151e-06,8.693347e-06,8.651892e-06,8.555421e-06,8.502139e-06,8.456153e-06,8.354468e-06,8.300757e-06,8.250725e-06,8.145253e-06,8.091966e-06,8.038360e-06,7.930330e-06,7.878150e-06,7.821426e-06,7.711892e-06,7.661357e-06,7.601952e-06,7.491815e-06,7.443342e-06,7.381671e-06,7.271696e-06,7.225596e-06,7.162052e-06,7.052886e-06,7.009384e-06,6.944334e-06,6.836519e-06,6.795767e-06,6.729554e-06,6.623542e-06,6.585628e-06,6.518573e-06,6.414733e-06,6.379697e-06,6.312095e-06,6.210727e-06,6.178568e-06,6.110690e-06,6.012035e-06,5.982715e-06,5.914809e-06,5.819054e-06,5.792511e-06,5.724804e-06,5.632089e-06,5.608238e-06,5.540935e-06,5.451363e-06,5.430103e-06,5.363389e-06,5.277026e-06,5.258244e-06,5.192284e-06,5.109169e-06,5.092742e-06,5.027684e-06,4.947830e-06,4.933629e-06,4.869604e-06,4.793002e-06,4.780896e-06,4.718018e-06,4.644643e-06,4.634498e-06,4.572866e-06,4.502677e-06,4.494360e-06,4.434060e-06,4.367003e-06,4.360382e-06,4.301488e-06,4.237500e-06,4.232446e-06,4.175018e-06,4.114026e-06,4.110413e-06,4.054503e-06,3.996428e-06,3.994135e-06,3.939782e-06,3.884542e-06,3.883451e-06,3.830686e-06,3.778193e-06,3.678186e-06,3.583253e-06,3.493213e-06,3.407885e-06,3.327088e-06,3.250641e-06,3.178367e-06,3.110091e-06,3.045641e-06,2.984849e-06,2.927550e-06,2.873586e-06,2.822801e-06,2.775045e-06,2.730173e-06,2.688045e-06,2.648527e-06,2.611488e-06,2.576802e-06,2.544351e-06,2.514018e-06,2.485693e-06,2.459272e-06,2.434651e-06,2.411736e-06,2.390432e-06,2.370654e-06,2.352315e-06,2.335336e-06,2.319641e-06,2.305157e-06,2.291814e-06,2.279548e-06,2.268294e-06,2.257995e-06,2.248592e-06,2.240033e-06,2.232267e-06,2.225245e-06,2.218921e-06,2.213253e-06,2.208198e-06,2.203718e-06,2.199777e-06,2.196338e-06,2.193370e-06,2.190840e-06,2.188720e-06,2.186981e-06
0.000000e+00,3.786703e-09,2.340980e-07,2.490803e-07,3.226837e-06,1.988626e-05,2.125125e-05,9.238962e-05,2.799199e-04,2.982338e-04,7.691191e-04,1.577972e-03,1.670013e-03,3.175404e-03,5.180404e-03,5.445895e-03,8.612492e-03,1.221547e-02,1.276859e-02,1.796771e-02,2.328572e-02,2.422508e-02,3.152145e-02,3.841854e-02,3.980824e-02,4.901302e-02,5.718276e-02,5.904507e-02,6.980053e-02,7.885046e-02,8.116710e-02,9.302810e-02,1.025472e-01,1.052659e-01,1.177648e-01,1.273697e-01,1.304132e-01,1.431055e-01,1.524678e-01,1.557432e-01,1.682357e-01,1.770943e-01,1.805014e-01,1.924672e-01,2.006301e-01,2.040690e-01,2.152514e-01,2.225917e-01,2.259676e-01,2.361787e-01,2.426258e-01,2.458533e-01,2.549673e-01,2.604974e-01,2.635027e-01,2.714476e-01,2.760739e-01,2.787955e-01,2.855445e-01,2.893073e-01,2.916970e-01,2.972591e-01,3.002181e-01,3.022400e-01,3.066517e-01,3.088789e-01,3.105086e-01,3.138270e-01,3.154012e-01,3.166247e-01,3.189208e-01,3.199233e-01,3.207356e-01,3.220898e-01,3.226009e-01,3.230048e-01,3.235023e-01,3.235991e-01,3.236038e-01,3.233313e-01,3.230863e-01,3.227063e-01,3.217501e-01,3.212299e-01,3.204837e-01,3.189275e-01,3.181923e-01,3.171015e-01,3.150252e-01,3.141288e-01,3.127173e-01,3.101961e-01,3.091857e-01,3.074790e-01,3.045829e-01,3.034996e-01,3.015239e-01,2.983176e-01,2.971966e-01,2.949787e-01,2.915211e-01,2.903919e-01,2.879584e-01,2.843032e-01,2.831904e-01,2.805676e-01,2.767630e-01,2.756868e-01,2.729002e-01,2.689893e-01,2.679658e-01,2.650401e-01,2.610614e-01,2.601031e-01,2.570618e-01,2.530492e-01,2.521654e-01,2.490310e-01,2.450142e-01,2.442116e-01,2.410053e-01,2.370102e-01,2.362930e-01,2.330345e-01,2.290836e-01,2.284540e-01,2.251621e-01,2.212744e-01,2.207331e-01,2.174248e-01,2.136168e-01,2.131628e-01,2.098539e-01,2.061394e-01,2.057707e-01,2.024759e-01,1.988661e-01,1.985797e-01,1.953123e-01,1.918167e-01,1.916088e-01,1.883809e-01,1.850068e-01,1.848732e-01,1.816958e-01,1.784490e-01,1.783848e-01,1.752677e-01,1.721527e-01,1.661836e-01,1.604819e-01,1.550499e-01,1.498885e-01,1.449969e-01,1.403732e-01,1.360142e-01,1.319160e-01,1.280736e-01,1.244817e-01,1.211341e-01,1.180242e-01,1.151452e-01,1.124895e-01,1.100498e-01,1.078181e-01,1.057864e-01,1.039465e-01,1.022903e-01,1.008094e-01,9.949537e-02,9.833986e-02,9.733445e-02,9.647079e-02,9.574055e-02,9.513549e-02,9.464743e-02,9.426834e-02,9.399029e-02,9.380548e-02,9.370632e-02,9.368537e-02,9.373538e-02,9.384934e-02,9.402045e-02,9.424216e-02,9.450816e-02,9.481243e-02,9.514920e-02,9.551301e-02,9.589868e-02,9.630132e-02,9.671637e-02,9.713955e-02,9.756688e-02,9.799472e-02,9.841971e-02,9.883877e-02,9.924916e-02
0.000000e+00,9.925510e-10,1.528243e-08,1.597499e-08,9.692297e-08,3.019559e-07,3.134716e-07,6.515442e-07,9.986114e-07,1.020460e-06,1.371977e-06,1.671329e-06,1.696237e-06,1.992712e-06,2.236802e-06,2.262645e-06,2.507585e-06,2.703709e-06,2.729106e-06,2.928731e-06,3.084014e-06,3.107924e-06,3.268079e-06,3.388869e-06,3.410522e-06,3.536505e-06,3.628361e-06,3.647211e-06,3.743753e-06,3.811494e-06,3.827178e-06,3.898465e-06,3.946237e-06,3.958534e-06,4.008246e-06,4.039596e-06,4.048404e-06,4.079760e-06,4.097712e-06,4.103016e-06,4.118827e-06,4.125945e-06,4.127804e-06,4.130516e-06,4.128973e-06,4.127494e-06,4.119232e-06,4.110858e-06,4.106192e-06,4.088800e-06,4.075133e-06,4.067455e-06,4.042527e-06,4.024853e-06,4.014361e-06,3.983278e-06,3.962674e-06,3.949577e-06,3.913532e-06,3.890889e-06,3.875402e-06,3.835424e-06,3.811479e-06,3.793821e-06,3.750794e-06,3.726147e-06,3.706530e-06,3.661204e-06,3.636345e-06,3.614980e-06,3.568005e-06,3.543328e-06,3.520417e-06,3.472340e-06,3.448155e-06,3.423891e-06,3.375178e-06,3.351730e-06,3.326298e-06,3.277341e-06,3.254818e-06,3.228390e-06,3.179519e-06,3.158060e-06,3.130799e-06,3.082292e-06,3.061997e-06,3.034055e-06,2.986140e-06,2.967075e-06,2.938594e-06,2.891459e-06,2.873664e-06,2.844774e-06,2.798573e-06,2.782065e-06,2.752887e-06,2.707743e-06,2.692521e-06,2.663165e-06,2.619174e-06,2.605224e-06,2.575790e-06,2.533029e-06,2.520324e-06,2.490904e-06,2.449427e-06,2.437931e-06,2.408608e-06,2.368455e-06,2.358126e-06,2.328975e-06,2.290172e-06,2.280960e-06,2.252050e-06,2.214610e-06,2.206465e-06,2.177854e-06,2.141782e-06,2.134650e-06,2.106393e-06,2.071684e-06,2.065508e-06,2.037653e-06,2.004296e-06,1.999021e-06,1.971609e-06,1.939586e-06,1.935156e-06,1.908224e-06,1.877515e-06,1.873873e-06,1.847452e-06,1.818031e-06,1.815123e-06,1.789242e-06,1.761079e-06,1.758853e-06,1.733534e-06,1.706599e-06,1.705002e-06,1.680265e-06,1.654524e-06,1.653507e-06,1.629368e-06,1.604788e-06,1.604303e-06,1.580775e-06,1.557321e-06,1.512491e-06,1.469745e-06,1.429011e-06,1.390220e-06,1.353302e-06,1.318188e-06,1.284810e-06,1.253103e-06,1.223000e-06,1.194439e-06,1.167357e-06,1.141695e-06,1.117392e-06,1.094394e-06,1.072645e-06,1.052091e-06,1.032682e-06,1.014367e-06,9.970993e-07,9.808321e-07,9.655210e-07,9.511233e-07,9.375977e-07,9.249046e-07,9.130057e-07,9.018646e-07,8.914458e-07,8.817157e-07,8.726417e-07,8.641927e-07,8.563386e-07,8.490508e-07,8.423017e-07,8.360648e-07,8.303149e-07,8.250275e-07,8.201794e-07,8.157482e-07,8.117124e-07,8.080517e-07,8.047462e-07,8.017771e-07,7.991265e-07,7.967769e-07,7.947119e-07,7.929155e-07,7.913727e-07,7.900689e-07,7.889901e-07
0.000000e+00,1.137627e-08,2.462619e-07,2.582825e-07,1.940674e-06,8.004987e-06,8.415091e-06,2.396821e-05,4.719140e-05,4.886478e-05,7.799617e-05,1.047275e-04,1.069953e-04,1.343442e-04,1.572811e-04,1.597305e-04,1.831553e-04,2.022060e-04,2.046941e-04,2.244396e-04,2.400596e-04,2.424876e-04,2.589327e-04,2.715755e-04,2.738673e-04,2.873808e-04,2.974621e-04,2.995595e-04,3.104861e-04,3.183791e-04,3.202396e-04,3.288950e-04,3.349300e-04,3.365237e-04,3.431932e-04,3.476600e-04,3.489674e-04,3.539069e-04,3.570582e-04,3.580685e-04,3.615060e-04,3.635610e-04,3.642698e-04,3.664081e-04,3.675569e-04,3.679658e-04,3.689854e-04,3.693916e-04,3.695064e-04,3.695664e-04,3.693707e-04,3.692006e-04,3.684419e-04,3.677647e-04,3.673215e-04,3.658684e-04,3.648124e-04,3.641099e-04,3.620718e-04,3.607247e-04,3.597780e-04,3.572511e-04,3.556870e-04,3.545121e-04,3.515810e-04,3.498625e-04,3.484761e-04,3.452148e-04,3.433944e-04,3.418133e-04,3.382867e-04,3.364082e-04,3.346492e-04,3.309140e-04,3.290136e-04,3.270933e-04,3.231988e-04,3.213063e-04,3.192410e-04,3.152300e-04,3.133696e-04,3.111750e-04,3.070847e-04,3.052758e-04,3.029670e-04,2.988295e-04,2.970875e-04,2.946790e-04,2.905218e-04,2.888585e-04,2.863640e-04,2.822109e-04,2.806351e-04,2.780677e-04,2.739388e-04,2.724568e-04,2.698287e-04,2.657412e-04,2.643573e-04,2.616800e-04,2.576482e-04,2.563648e-04,2.536491e-04,2.496852e-04,2.485032e-04,2.457590e-04,2.418728e-04,2.407922e-04,2.380287e-04,2.342285e-04,2.332478e-04,2.304737e-04,2.267658e-04,2.258831e-04,2.231062e-04,2.194959e-04,2.187084e-04,2.159360e-04,2.124272e-04,2.117316e-04,2.089703e-04,2.055658e-04,2.049586e-04,2.022144e-04,1.989163e-04,1.983935e-04,1.956718e-04,1.924812e-04,1.920388e-04,1.893446e-04,1.862620e-04,1.858957e-04,1.832334e-04,1.802587e-04,1.799641e-04,1.773377e-04,1.744704e-04,1.742433e-04,1.716563e-04,1.688953e-04,1.687313e-04,1.661869e-04,1.635308e-04,1.634257e-04,1.609266e-04,1.583739e-04,1.583233e-04,1.558721e-04,1.534208e-04,1.487139e-04,1.441985e-04,1.398700e-04,1.357236e-04,1.317543e-04,1.279573e-04,1.243273e-04,1.208592e-04,1.175480e-04,1.143884e-04,1.113755e-04,1.085041e-04,1.057693e-04,1.031662e-04,1.006901e-04,9.833630e-05,9.610015e-05,9.397722e-05,9.196316e-05,9.005373e-05,8.824482e-05,8.653244e-05,8.491270e-05,8.338186e-05,8.193628e-05,8.057245e-05,7.928696e-05,7.807653e-05,7.693799e-05,7.586827e-05,7.486441e-05,7.392357e-05,7.304300e-05,7.222005e-05,7.145215e-05,7.073687e-05,7.007181e-05,6.945471e-05,6.888337e-05,6.835567e-05,6.786959e-05,6.742316e-05,6.701450e-05,6.664180e-05,6.630333e-05,6.599740e-05,6.572241e-05,6.547682e-05,6.525913e-05
0.000000e+00,1.497288e-09,9.537021e-08,1.015635e-07,1.386075e-06,9.005461e-06,9.643731e-06,4.398539e-05,1.383565e-04,1.477275e-04,3.935097e-04,8.271755e-04,8.770754e-04,1.702903e-03,2.820484e-03,2.969474e-03,4.758783e-03,6.813820e-03,7.130594e-03,1.012040e-02,1.319546e-02,1.373996e-02,1.797937e-02,2.199913e-02,2.281015e-02,2.818862e-02,3.296907e-02,3.405937e-02,4.035865e-02,4.566025e-02,4.701730e-02,5.396347e-02,5.953453e-02,6.112486e-02,6.843051e-02,7.403726e-02,7.581234e-02,8.320623e-02,8.865037e-02,9.055283e-02,9.779813e-02,1.029246e-01,1.048937e-01,1.117969e-01,1.164947e-01,1.184708e-01,1.248840e-01,1.290826e-01,1.310106e-01,1.368294e-01,1.404932e-01,1.423242e-01,1.474830e-01,1.506043e-01,1.522975e-01,1.567632e-01,1.593560e-01,1.608786e-01,1.646448e-01,1.667383e-01,1.680654e-01,1.711461e-01,1.727800e-01,1.738942e-01,1.763185e-01,1.775384e-01,1.784290e-01,1.802367e-01,1.810910e-01,1.817532e-01,1.829906e-01,1.835280e-01,1.839616e-01,1.846791e-01,1.849467e-01,1.851558e-01,1.854049e-01,1.854474e-01,1.854391e-01,1.852712e-01,1.851295e-01,1.849135e-01,1.843784e-01,1.840897e-01,1.836776e-01,1.828226e-01,1.824202e-01,1.818245e-01,1.806941e-01,1.802072e-01,1.794416e-01,1.780769e-01,1.775309e-01,1.766094e-01,1.750481e-01,1.744647e-01,1.734015e-01,1.716777e-01,1.710755e-01,1.698846e-01,1.680293e-01,1.674237e-01,1.661189e-01,1.641598e-01,1.635635e-01,1.621581e-01,1.601197e-01,1.595431e-01,1.580500e-01,1.559541e-01,1.554054e-01,1.538367e-01,1.517024e-01,1.511881e-01,1.495553e-01,1.473994e-01,1.469243e-01,1.452383e-01,1.430754e-01,1.426429e-01,1.409138e-01,1.387565e-01,1.383689e-01,1.366062e-01,1.344653e-01,1.341238e-01,1.323363e-01,1.302212e-01,1.299263e-01,1.281219e-01,1.260404e-01,1.257919e-01,1.239782e-01,1.219369e-01,1.217340e-01,1.199178e-01,1.179222e-01,1.177636e-01,1.159513e-01,1.140059e-01,1.138900e-01,1.120871e-01,1.101957e-01,1.101207e-01,1.083324e-01,1.064979e-01,1.064615e-01,1.046927e-01,1.029172e-01,9.949148e-02,9.618678e-02,9.300487e-02,8.994672e-02,8.701268e-02,8.420254e-02,8.151561e-02,7.895080e-02,7.650667e-02,7.418150e-02,7.197330e-02,6.987986e-02,6.789881e-02,6.602761e-02,6.426360e-02,6.260401e-02,6.104596e-02,5.958653e-02,5.822270e-02,5.695140e-02,5.576953e-02,5.467395e-02,5.366149e-02,5.272896e-02,5.187317e-02,5.109090e-02,5.037895e-02,4.973411e-02,4.915318e-02,4.863300e-02,4.817039e-02,4.776223e-02,4.740543e-02,4.709692e-02,4.683369e-02,4.661278e-02,4.643128e-02,4.628635e-02,4.617521e-02,4.609515e-02,4.604353e-02,4.601782e-02,4.601555e-02,4.603435e-02,4.607193e-02,4.612612e-02,4.619484e-02,4.627609e-02,4.636801e-02
0.000000e+00,1.495687e-08,3.295785e-07,3.460179e-07,2.491971e-06,8.593467e-06,8.947796e-06,1.947265e-05,3.027214e-05,3.094971e-05,4.180949e-05,5.099000e-05,5.175077e-05,6.076671e-05,6.812959e-05,6.890566e-05,7.622521e-05,8.203235e-05,8.278023e-05,8.862083e-05,9.311052e-05,9.379700e-05,9.835671e-05,1.017440e-04,1.023457e-04,1.058076e-04,1.082820e-04,1.087837e-04,1.113130e-04,1.130395e-04,1.134322e-04,1.151759e-04,1.162959e-04,1.165760e-04,1.176627e-04,1.182961e-04,1.184637e-04,1.190048e-04,1.192520e-04,1.193099e-04,1.194012e-04,1.193460e-04,1.192990e-04,1.190222e-04,1.187339e-04,1.185881e-04,1.180127e-04,1.175483e-04,1.173108e-04,1.164958e-04,1.159021e-04,1.155802e-04,1.145754e-04,1.138904e-04,1.134919e-04,1.123393e-04,1.115938e-04,1.111263e-04,1.098611e-04,1.090800e-04,1.085510e-04,1.072029e-04,1.064059e-04,1.058227e-04,1.044162e-04,1.036189e-04,1.029884e-04,1.015441e-04,1.007588e-04,1.000875e-04,9.862248e-05,9.785849e-05,9.715247e-05,9.568068e-05,9.494502e-05,9.420997e-05,9.274292e-05,9.204073e-05,9.128187e-05,8.982891e-05,8.916379e-05,8.838592e-05,8.695457e-05,8.632886e-05,8.553637e-05,8.413263e-05,8.354767e-05,8.274454e-05,8.137313e-05,8.082944e-05,8.001930e-05,7.868383e-05,7.818131e-05,7.736741e-05,7.607061e-05,7.560866e-05,7.479391e-05,7.353774e-05,7.311537e-05,7.230241e-05,7.108818e-05,7.070412e-05,6.989527e-05,6.872380e-05,6.837655e-05,6.757387e-05,6.644553e-05,6.613346e-05,6.533877e-05,6.425356e-05,6.397493e-05,6.318984e-05,6.214749e-05,6.190049e-05,6.112638e-05,6.012638e-05,5.990919e-05,5.914729e-05,5.818892e-05,5.799972e-05,5.725106e-05,5.633349e-05,5.617046e-05,5.543595e-05,5.455819e-05,5.441956e-05,5.369994e-05,5.286094e-05,5.274500e-05,5.204090e-05,5.123953e-05,5.114461e-05,5.045654e-05,4.969163e-05,4.961612e-05,4.894450e-05,4.821485e-05,4.815723e-05,4.750238e-05,4.680676e-05,4.676556e-05,4.612772e-05,4.546492e-05,4.543874e-05,4.481808e-05,4.418688e-05,4.417441e-05,4.357102e-05,4.297021e-05,4.182381e-05,4.073292e-05,3.969532e-05,3.870881e-05,3.777127e-05,3.688063e-05,3.603488e-05,3.523208e-05,3.447035e-05,3.374790e-05,3.306296e-05,3.241387e-05,3.179901e-05,3.121682e-05,3.066582e-05,3.014456e-05,2.965168e-05,2.918587e-05,2.874585e-05,2.833042e-05,2.793843e-05,2.756876e-05,2.722036e-05,2.689220e-05,2.658333e-05,2.629282e-05,2.601977e-05,2.576334e-05,2.552272e-05,2.529714e-05,2.508585e-05,2.488816e-05,2.470338e-05,2.453086e-05,2.437000e-05,2.422022e-05,2.408095e-05,2.395167e-05,2.383185e-05,2.372101e-05,2.361869e-05,2.352444e-05,2.343783e-05,2.335848e-05,2.328598e-05,2.321998e-05,2.316012e-05,2.310607e-05,2.305751e-05
0.000000e+00,3.215107e-10,4.832042e-09,5.054353e-09,3.292263e-08,1.130329e-07,1.178106e-07,2.666083e-07,4.300264e-07,4.405341e-07,6.122121e-07,7.618557e-07,7.744443e-07,9.259868e-07,1.053284e-06,1.066908e-06,1.197577e-06,1.304433e-06,1.318432e-06,1.429931e-06,1.518685e-06,1.532530e-06,1.626682e-06,1.699568e-06,1.712832e-06,1.791409e-06,1.850485e-06,1.862832e-06,1.927502e-06,1.974636e-06,1.985806e-06,2.038113e-06,2.074980e-06,2.084780e-06,2.126145e-06,2.154234e-06,2.162528e-06,2.194234e-06,2.214858e-06,2.221555e-06,2.244766e-06,2.259081e-06,2.264129e-06,2.279893e-06,2.288912e-06,2.292292e-06,2.301549e-06,2.306158e-06,2.307876e-06,2.311471e-06,2.312439e-06,2.312523e-06,2.311212e-06,2.309210e-06,2.307705e-06,2.302161e-06,2.297769e-06,2.294733e-06,2.285561e-06,2.279277e-06,2.274780e-06,2.262516e-06,2.254771e-06,2.248890e-06,2.234012e-06,2.225174e-06,2.217990e-06,2.200923e-06,2.191306e-06,2.182906e-06,2.164026e-06,2.153896e-06,2.144368e-06,2.124008e-06,2.113589e-06,2.103022e-06,2.081478e-06,2.070958e-06,2.059441e-06,2.036972e-06,2.026507e-06,2.014128e-06,1.990962e-06,1.980680e-06,1.967524e-06,1.943862e-06,1.933867e-06,1.920019e-06,1.896035e-06,1.886411e-06,1.871950e-06,1.847799e-06,1.838611e-06,1.823614e-06,1.799428e-06,1.790726e-06,1.775268e-06,1.751162e-06,1.742982e-06,1.727133e-06,1.703205e-06,1.695573e-06,1.679400e-06,1.655735e-06,1.648666e-06,1.632231e-06,1.608902e-06,1.602404e-06,1.585765e-06,1.562833e-06,1.556906e-06,1.540119e-06,1.517635e-06,1.512274e-06,1.495390e-06,1.473395e-06,1.468591e-06,1.451658e-06,1.430187e-06,1.425925e-06,1.408988e-06,1.388067e-06,1.384331e-06,1.367430e-06,1.347082e-06,1.343853e-06,1.327025e-06,1.307265e-06,1.304522e-06,1.287802e-06,1.268641e-06,1.266362e-06,1.249781e-06,1.231226e-06,1.229387e-06,1.212975e-06,1.195028e-06,1.193606e-06,1.177387e-06,1.160051e-06,1.159020e-06,1.143019e-06,1.126290e-06,1.125627e-06,1.109863e-06,1.093737e-06,1.093417e-06,1.077910e-06,1.062380e-06,1.032499e-06,1.003756e-06,9.761312e-07,9.496013e-07,9.241423e-07,8.997287e-07,8.763339e-07,8.539306e-07,8.324909e-07,8.119866e-07,7.923893e-07,7.736703e-07,7.558014e-07,7.387541e-07,7.225007e-07,7.070133e-07,6.922648e-07,6.782285e-07,6.648781e-07,6.521879e-07,6.401330e-07,6.286887e-07,6.178313e-07,6.075375e-07,5.977848e-07,5.885514e-07,5.798159e-07,5.715578e-07,5.637572e-07,5.563948e-07,5.494521e-07,5.429109e-07,5.367539e-07,5.309643e-07,5.255260e-07,5.204233e-07,5.156413e-07,5.111654e-07,5.069817e-07,5.030768e-07,4.994379e-07,4.960524e-07,4.929085e-07,4.899947e-07,4.873000e-07,4.848137e-07,4.825258e-07,4.804264e-07,4.785063e-07
0.000000e+00,8.839854e-09,5.891514e-07,6.281824e-07,9.175634e-06,6.329382e-05,6.792403e-05,3.226928e-04,1.031548e-03,1.101824e-03,2.927557e-03,6.084386e-03,6.443841e-03,1.232113e-02,2.014424e-02,2.118010e-02,3.354175e-02,4.763331e-02,4.979974e-02,7.020949e-02,9.117590e-02,9.488896e-02,1.238274e-01,1.513380e-01,1.568990e-01,1.938793e-01,2.269077e-01,2.344628e-01,2.782805e-01,3.153850e-01,3.249165e-01,3.739236e-01,4.134964e-01,4.248369e-01,4.771865e-01,5.176460e-01,5.305071e-01,5.843468e-01,6.242679e-01,6.382744e-01,6.918842e-01,7.300741e-01,7.448002e-01,7.966789e-01,8.322099e-01,8.472113e-01,8.961230e-01,9.283339e-01,9.431750e-01,9.881625e-01,1.016639e+00,1.030914e+00,1.071290e+00,1.095832e+00,1.109181e+00,1.144506e+00,1.165093e+00,1.177208e+00,1.207257e+00,1.224008e+00,1.234642e+00,1.259372e+00,1.272509e+00,1.281474e+00,1.300987e+00,1.310804e+00,1.317967e+00,1.332480e+00,1.339316e+00,1.344598e+00,1.354407e+00,1.358623e+00,1.361993e+00,1.367452e+00,1.369413e+00,1.370880e+00,1.372378e+00,1.372442e+00,1.372048e+00,1.369993e+00,1.368496e+00,1.366314e+00,1.361114e+00,1.358371e+00,1.354494e+00,1.346552e+00,1.342846e+00,1.337385e+00,1.327088e+00,1.322672e+00,1.315750e+00,1.303462e+00,1.298561e+00,1.290308e+00,1.276369e+00,1.271175e+00,1.261725e+00,1.246450e+00,1.241126e+00,1.230616e+00,1.214289e+00,1.208972e+00,1.197536e+00,1.180416e+00,1.175218e+00,1.162988e+00,1.145306e+00,1.140316e+00,1.127421e+00,1.109380e+00,1.104669e+00,1.091229e+00,1.073010e+00,1.068631e+00,1.054761e+00,1.036521e+00,1.032512e+00,1.018321e+00,1.000194e+00,9.965804e-01,9.821695e-01,9.642732e-01,9.610674e-01,9.465301e-01,9.289627e-01,9.261697e-01,9.115919e-01,8.944364e-01,8.920528e-01,8.775133e-01,8.608380e-01,8.588543e-01,8.444246e-01,8.282853e-01,8.266869e-01,8.124314e-01,7.968726e-01,7.956409e-01,7.816174e-01,7.666734e-01,7.657868e-01,7.520470e-01,7.377435e-01,7.371782e-01,7.237675e-01,7.101226e-01,7.098531e-01,6.968115e-01,6.838363e-01,6.591414e-01,6.357714e-01,6.137210e-01,5.929775e-01,5.735219e-01,5.553300e-01,5.383728e-01,5.226180e-01,5.080299e-01,4.945705e-01,4.821996e-01,4.708756e-01,4.605556e-01,4.511958e-01,4.427520e-01,4.351794e-01,4.284333e-01,4.224689e-01,4.172418e-01,4.127080e-01,4.088239e-01,4.055467e-01,4.028344e-01,4.006458e-01,3.989407e-01,3.976800e-01,3.968258e-01,3.963413e-01,3.961911e-01,3.963411e-01,3.967586e-01,3.974123e-01,3.982724e-01,3.993107e-01,4.005004e-01,4.018163e-01,4.032349e-01,4.047340e-01,4.062931e-01,4.078933e-01,4.095170e-01,4.111483e-01,4.127726e-01,4.143770e-01,4.159496e-01,4.174801e-01,4.189594e-01,4.203795e-01,4.217339e-01
0.000000e+00,3.282782e-09,1.562456e-07,1.656107e-07,1.808998e-06,9.247763e-06,9.795530e-06,3.323161e-05,7.653498e-05,8.003808e-05,1.492189e-04,2.243313e-04,2.310688e-04,3.145865e-04,3.850411e-04,3.924536e-04,4.613420e-04,5.138692e-04,5.204540e-04,5.702101e-04,6.061855e-04,6.114915e-04,6.452849e-04,6.685812e-04,6.725392e-04,6.941188e-04,7.081215e-04,7.107921e-04,7.232362e-04,7.305475e-04,7.320440e-04,7.377331e-04,7.402975e-04,7.407539e-04,7.414982e-04,7.407522e-04,7.403058e-04,7.374714e-04,7.344682e-04,7.332501e-04,7.278629e-04,7.233704e-04,7.215006e-04,7.143278e-04,7.089014e-04,7.064864e-04,6.980986e-04,6.921374e-04,6.892702e-04,6.800925e-04,6.738826e-04,6.706442e-04,6.609930e-04,6.547368e-04,6.511967e-04,6.413054e-04,6.351438e-04,6.313612e-04,6.214003e-04,6.154287e-04,6.114534e-04,6.015466e-04,5.958278e-04,5.917018e-04,5.819373e-04,5.765102e-04,5.722688e-04,5.627093e-04,5.575964e-04,5.532697e-04,5.439587e-04,5.391703e-04,5.347835e-04,5.257499e-04,5.212877e-04,5.168624e-04,5.081242e-04,5.039838e-04,4.995381e-04,4.911055e-04,4.872785e-04,4.828278e-04,4.747054e-04,4.711807e-04,4.667383e-04,4.589262e-04,4.556912e-04,4.512683e-04,4.437636e-04,4.408043e-04,4.364107e-04,4.292080e-04,4.265101e-04,4.221539e-04,4.152466e-04,4.127955e-04,4.084840e-04,4.018641e-04,3.996455e-04,3.953848e-04,3.890437e-04,3.870435e-04,3.828388e-04,3.767676e-04,3.749720e-04,3.708278e-04,3.650172e-04,3.634131e-04,3.593334e-04,3.537740e-04,3.523486e-04,3.483367e-04,3.430192e-04,3.417605e-04,3.378191e-04,3.327343e-04,3.316308e-04,3.277623e-04,3.229011e-04,3.219419e-04,3.181483e-04,3.135018e-04,3.126765e-04,3.089594e-04,3.045190e-04,3.038179e-04,3.001785e-04,2.959359e-04,2.953496e-04,2.917890e-04,2.877360e-04,2.872559e-04,2.837749e-04,2.799037e-04,2.795214e-04,2.761205e-04,2.724235e-04,2.721314e-04,2.688109e-04,2.652809e-04,2.650717e-04,2.618316e-04,2.584615e-04,2.583283e-04,2.551688e-04,2.519518e-04,2.518883e-04,2.488090e-04,2.457387e-04,2.398674e-04,2.342627e-04,2.289131e-04,2.238080e-04,2.189367e-04,2.142895e-04,2.098566e-04,2.056290e-04,2.015976e-04,1.977542e-04,1.940905e-04,1.905989e-04,1.872718e-04,1.841021e-04,1.810830e-04,1.782079e-04,1.754705e-04,1.728648e-04,1.703851e-04,1.680257e-04,1.657814e-04,1.636472e-04,1.616181e-04,1.596895e-04,1.578570e-04,1.561162e-04,1.544632e-04,1.528939e-04,1.514046e-04,1.499918e-04,1.486521e-04,1.473820e-04,1.461785e-04,1.450385e-04,1.439592e-04,1.429378e-04,1.419716e-04,1.410582e-04,1.401950e-04,1.393798e-04,1.386103e-04,1.378844e-04,1.372002e-04,1.365555e-04,1.359486e-04,1.353777e-04,1.348411e-04,1.343371e-04,1.338642e-04
0.000000e+00,2.928728e-09,1.814003e-07,1.930536e-07,2.565353e-06,1.655245e-05,1.772693e-05,8.139467e-05,2.578539e-04,2.753990e-04,7.341227e-04,1.534291e-03,1.625665e-03,3.121510e-03,5.109247e-03,5.371809e-03,8.491176e-03,1.201451e-02,1.255316e-02,1.759049e-02,2.270012e-02,2.359865e-02,3.054132e-02,3.705051e-02,3.835636e-02,4.696187e-02,5.454119e-02,5.626181e-02,6.615103e-02,7.441289e-02,7.651962e-02,8.725648e-02,9.581642e-02,9.825227e-02,1.094017e-01,1.179165e-01,1.206051e-01,1.317701e-01,1.399574e-01,1.428120e-01,1.536543e-01,1.612988e-01,1.642292e-01,1.744775e-01,1.814293e-01,1.843481e-01,1.937981e-01,1.999654e-01,2.027919e-01,2.113014e-01,2.166415e-01,2.193047e-01,2.267860e-01,2.312951e-01,2.337350e-01,2.401462e-01,2.438504e-01,2.460185e-01,2.513546e-01,2.543013e-01,2.561607e-01,2.604455e-01,2.626963e-01,2.642206e-01,2.674994e-01,2.691244e-01,2.702971e-01,2.726303e-01,2.737033e-01,2.745167e-01,2.759748e-01,2.765702e-01,2.770239e-01,2.776834e-01,2.778732e-01,2.779732e-01,2.779131e-01,2.777658e-01,2.775230e-01,2.768226e-01,2.764015e-01,2.758311e-01,2.745676e-01,2.739303e-01,2.730507e-01,2.712985e-01,2.704966e-01,2.693284e-01,2.671576e-01,2.662367e-01,2.648023e-01,2.622783e-01,2.612781e-01,2.596008e-01,2.567842e-01,2.557389e-01,2.538424e-01,2.507885e-01,2.497269e-01,2.476351e-01,2.443941e-01,2.433403e-01,2.410768e-01,2.376939e-01,2.366678e-01,2.342555e-01,2.307710e-01,2.297883e-01,2.272494e-01,2.236992e-01,2.227724e-01,2.201282e-01,2.165437e-01,2.156822e-01,2.129527e-01,2.093616e-01,2.085722e-01,2.057764e-01,2.022025e-01,2.014896e-01,1.986453e-01,1.951093e-01,1.944755e-01,1.915991e-01,1.881187e-01,1.875648e-01,1.846717e-01,1.812616e-01,1.807873e-01,1.778915e-01,1.745642e-01,1.741679e-01,1.712823e-01,1.680480e-01,1.677273e-01,1.648635e-01,1.617306e-01,1.614823e-01,1.586510e-01,1.556262e-01,1.554465e-01,1.526573e-01,1.497456e-01,1.496303e-01,1.468919e-01,1.440971e-01,1.440418e-01,1.413619e-01,1.386867e-01,1.335687e-01,1.286898e-01,1.240505e-01,1.196503e-01,1.154872e-01,1.115586e-01,1.078610e-01,1.043904e-01,1.011420e-01,9.811071e-02,9.529111e-02,9.267735e-02,9.026329e-02,8.804263e-02,8.600885e-02,8.415535e-02,8.247536e-02,8.096205e-02,7.960847e-02,7.840763e-02,7.735246e-02,7.643590e-02,7.565083e-02,7.499016e-02,7.444682e-02,7.401373e-02,7.368389e-02,7.345033e-02,7.330615e-02,7.324456e-02,7.325885e-02,7.334244e-02,7.348889e-02,7.369192e-02,7.394539e-02,7.424339e-02,7.458018e-02,7.495025e-02,7.534830e-02,7.576928e-02,7.620841e-02,7.666115e-02,7.712322e-02,7.759064e-02,7.805968e-02,7.852691e-02,7.898918e-02,7.944360e-02,7.988759e-02
0.000000e+00,1.520369e-08,1.921551e-07,2.000070e-07,1.091813e-06,3.605585e-06,3.761007e-06,9.154549e-06,1.657130e-05,1.709894e-05,2.630245e-05,3.476527e-05,3.548085e-05,4.404672e-05,5.110823e-05,5.185439e-05,5.890277e-05,6.450588e-05,6.522823e-05,7.087591e-05,7.522605e-05,7.589198e-05,8.032155e-05,8.362084e-05,8.420787e-05,8.759204e-05,9.001970e-05,9.051294e-05,9.300713e-05,9.471839e-05,9.510893e-05,9.685047e-05,9.797814e-05,9.826174e-05,9.937074e-05,1.000275e-04,1.002035e-04,1.007843e-04,1.010652e-04,1.011356e-04,1.012784e-04,1.012631e-04,1.012321e-04,1.010147e-04,1.007696e-04,1.006428e-04,1.001318e-04,9.971234e-05,9.949618e-05,9.874897e-05,9.820067e-05,9.790239e-05,9.696769e-05,9.632807e-05,9.595527e-05,9.487468e-05,9.417437e-05,9.373472e-05,9.254350e-05,9.180727e-05,9.130844e-05,9.003637e-05,8.928411e-05,8.873357e-05,8.740575e-05,8.665320e-05,8.605812e-05,8.469546e-05,8.395492e-05,8.332214e-05,8.194216e-05,8.122316e-05,8.055914e-05,7.917636e-05,7.848599e-05,7.779677e-05,7.642308e-05,7.576652e-05,7.505769e-05,7.370276e-05,7.308354e-05,7.236021e-05,7.103175e-05,7.045209e-05,6.971892e-05,6.842306e-05,6.788416e-05,6.714537e-05,6.588686e-05,6.538904e-05,6.464844e-05,6.343086e-05,6.297378e-05,6.223477e-05,6.106072e-05,6.064355e-05,5.990915e-05,5.878041e-05,5.840189e-05,5.767476e-05,5.659241e-05,5.625100e-05,5.553348e-05,5.449803e-05,5.419198e-05,5.348607e-05,5.249756e-05,5.222496e-05,5.153240e-05,5.059047e-05,5.034935e-05,4.967160e-05,4.877558e-05,4.856391e-05,4.790219e-05,4.705118e-05,4.686693e-05,4.622225e-05,4.541510e-05,4.525626e-05,4.462942e-05,4.386488e-05,4.372948e-05,4.312112e-05,4.239778e-05,4.228392e-05,4.169450e-05,4.101090e-05,4.091674e-05,4.034659e-05,3.970119e-05,3.962500e-05,3.907431e-05,3.846556e-05,3.840566e-05,3.787453e-05,3.730083e-05,3.725567e-05,3.674406e-05,3.620384e-05,3.617194e-05,3.567977e-05,3.517146e-05,3.515145e-05,3.467852e-05,3.420057e-05,3.419117e-05,3.373725e-05,3.328816e-05,3.243954e-05,3.164252e-05,3.089440e-05,3.019254e-05,2.953446e-05,2.891771e-05,2.834001e-05,2.779913e-05,2.729298e-05,2.681953e-05,2.637688e-05,2.596322e-05,2.557682e-05,2.521606e-05,2.487938e-05,2.456533e-05,2.427252e-05,2.399966e-05,2.374551e-05,2.350890e-05,2.328876e-05,2.308404e-05,2.289377e-05,2.271705e-05,2.255301e-05,2.240085e-05,2.225980e-05,2.212916e-05,2.200826e-05,2.189647e-05,2.179319e-05,2.169787e-05,2.160999e-05,2.152908e-05,2.145466e-05,2.138631e-05,2.132363e-05,2.126624e-05,2.121379e-05,2.116595e-05,2.112240e-05,2.108287e-05,2.104707e-05,2.101476e-05,2.098569e-05,2.095965e-05,2.093642e-05,2.091580e-05,2.089762e-05
0.000000e+00,8.285753e-10,8.286942e-09,8.601904e-09,4.313983e-08,1.413699e-07,1.475799e-07,3.729823e-07,7.106268e-07,7.357257e-07,1.193242e-06,1.641163e-06,1.680006e-06,2.155025e-06,2.559760e-06,2.603221e-06,3.020749e-06,3.362625e-06,3.407423e-06,3.764173e-06,4.048014e-06,4.092275e-06,4.393105e-06,4.625749e-06,4.668061e-06,4.918520e-06,5.106566e-06,5.145834e-06,5.351310e-06,5.500819e-06,5.536212e-06,5.701753e-06,5.818185e-06,5.849096e-06,5.979352e-06,6.067571e-06,6.093577e-06,6.192778e-06,6.257078e-06,6.277911e-06,6.349884e-06,6.394042e-06,6.409559e-06,6.457754e-06,6.485076e-06,6.495243e-06,6.522758e-06,6.536129e-06,6.540996e-06,6.550614e-06,6.552541e-06,6.552230e-06,6.546430e-06,6.539083e-06,6.533767e-06,6.514763e-06,6.500014e-06,6.489912e-06,6.459677e-06,6.439135e-06,6.424496e-06,6.384783e-06,6.359826e-06,6.340926e-06,6.293291e-06,6.265094e-06,6.242222e-06,6.188044e-06,6.157603e-06,6.131061e-06,6.071558e-06,6.039711e-06,6.009805e-06,5.946053e-06,5.913502e-06,5.880538e-06,5.813482e-06,5.780808e-06,5.745091e-06,5.675561e-06,5.643244e-06,5.605071e-06,5.533792e-06,5.502221e-06,5.461882e-06,5.389488e-06,5.358971e-06,5.316747e-06,5.243787e-06,5.214569e-06,5.170728e-06,5.097678e-06,5.069944e-06,5.024741e-06,4.952011e-06,4.925896e-06,4.879575e-06,4.807515e-06,4.783113e-06,4.735903e-06,4.664810e-06,4.642180e-06,4.594298e-06,4.524423e-06,4.503593e-06,4.455238e-06,4.386791e-06,4.367764e-06,4.319126e-06,4.252280e-06,4.235038e-06,4.186289e-06,4.121184e-06,4.105694e-06,4.056994e-06,3.993743e-06,3.979956e-06,3.931452e-06,3.870140e-06,3.857997e-06,3.809825e-06,3.750518e-06,3.739951e-06,3.692232e-06,3.634975e-06,3.625910e-06,3.578755e-06,3.523577e-06,3.515935e-06,3.469444e-06,3.416358e-06,3.410058e-06,3.364319e-06,3.313327e-06,3.308285e-06,3.263378e-06,3.214469e-06,3.210602e-06,3.166596e-06,3.119752e-06,3.116974e-06,3.073931e-06,3.029125e-06,3.027353e-06,2.985325e-06,2.942523e-06,2.941677e-06,2.900708e-06,2.859870e-06,2.781850e-06,2.707526e-06,2.636801e-06,2.569573e-06,2.505737e-06,2.445184e-06,2.387805e-06,2.333487e-06,2.282120e-06,2.233593e-06,2.187795e-06,2.144617e-06,2.103951e-06,2.065691e-06,2.029735e-06,1.995979e-06,1.964326e-06,1.934679e-06,1.906945e-06,1.881033e-06,1.856855e-06,1.834326e-06,1.813364e-06,1.793890e-06,1.775827e-06,1.759103e-06,1.743647e-06,1.729391e-06,1.716270e-06,1.704222e-06,1.693187e-06,1.683108e-06,1.673932e-06,1.665604e-06,1.658077e-06,1.651302e-06,1.645233e-06,1.639829e-06,1.635047e-06,1.630849e-06,1.627198e-06,1.624057e-06,1.621394e-06,1.619177e-06,1.617375e-06,1.615960e-06,1.614904e-06,1.614183e-06,1.613770e-06
0.000000e+00,3.563228e-09,2.316666e-07,2.468140e-07,3.397160e-06,2.167618e-05,2.318462e-05,1.018982e-04,3.075656e-04,3.275084e-04,8.338181e-04,1.683600e-03,1.779133e-03,3.317657e-03,5.316387e-03,5.577785e-03,8.650486e-03,1.206720e-02,1.258565e-02,1.739363e-02,2.220863e-02,2.304984e-02,2.950082e-02,3.547892e-02,3.667080e-02,4.446803e-02,5.125855e-02,5.279063e-02,6.153159e-02,6.875298e-02,7.058296e-02,7.983925e-02,8.713652e-02,8.919994e-02,9.857143e-02,1.056481e-01,1.078682e-01,1.170138e-01,1.236443e-01,1.259409e-01,1.345915e-01,1.406209e-01,1.429167e-01,1.508760e-01,1.562123e-01,1.584373e-01,1.655756e-01,1.701786e-01,1.722729e-01,1.785172e-01,1.823867e-01,1.843016e-01,1.896243e-01,1.927892e-01,1.944871e-01,1.988955e-01,2.014041e-01,2.028579e-01,2.063848e-01,2.082972e-01,2.094891e-01,2.121847e-01,2.135670e-01,2.144872e-01,2.164127e-01,2.173325e-01,2.179781e-01,2.192006e-01,2.197244e-01,2.200977e-01,2.206869e-01,2.208773e-01,2.209855e-01,2.210106e-01,2.209258e-01,2.207790e-01,2.203072e-01,2.200001e-01,2.196110e-01,2.187061e-01,2.182239e-01,2.176073e-01,2.163291e-01,2.157134e-01,2.148852e-01,2.132889e-01,2.125761e-01,2.115529e-01,2.096892e-01,2.089106e-01,2.077094e-01,2.056244e-01,2.048067e-01,2.034446e-01,2.011800e-01,2.003457e-01,1.988397e-01,1.964326e-01,1.956005e-01,1.939671e-01,1.914509e-01,1.906363e-01,1.888916e-01,1.862960e-01,1.855112e-01,1.836706e-01,1.810217e-01,1.802765e-01,1.783548e-01,1.756754e-01,1.749774e-01,1.729886e-01,1.702989e-01,1.696534e-01,1.676107e-01,1.649281e-01,1.643391e-01,1.622549e-01,1.595945e-01,1.590643e-01,1.569503e-01,1.543250e-01,1.538547e-01,1.517217e-01,1.491426e-01,1.487324e-01,1.465903e-01,1.440668e-01,1.437159e-01,1.415740e-01,1.391138e-01,1.388208e-01,1.366877e-01,1.342973e-01,1.340603e-01,1.319438e-01,1.296283e-01,1.294448e-01,1.273520e-01,1.251158e-01,1.249829e-01,1.229205e-01,1.207667e-01,1.206814e-01,1.186551e-01,1.165862e-01,1.165453e-01,1.145605e-01,1.125782e-01,1.087826e-01,1.051597e-01,1.017099e-01,9.843270e-02,9.532685e-02,9.239050e-02,8.962126e-02,8.701623e-02,8.457213e-02,8.228530e-02,8.015178e-02,7.816733e-02,7.632748e-02,7.462758e-02,7.306280e-02,7.162816e-02,7.031859e-02,6.912890e-02,6.805384e-02,6.708808e-02,6.622628e-02,6.546306e-02,6.479305e-02,6.421089e-02,6.371123e-02,6.328880e-02,6.293835e-02,6.265474e-02,6.243290e-02,6.226786e-02,6.215479e-02,6.208895e-02,6.206578e-02,6.208087e-02,6.212994e-02,6.220891e-02,6.231389e-02,6.244116e-02,6.258718e-02,6.274866e-02,6.292245e-02,6.310565e-02,6.329555e-02,6.348964e-02,6.368562e-02,6.388139e-02,6.407505e-02,6.426490e-02,6.444940e-02
0.000000e+00,1.248673e-08,1.996955e-07,2.086668e-07,1.366389e-06,5.205441e-06,5.457495e-06,1.465534e-05,2.752049e-05,2.841915e-05,4.368946e-05,5.730806e-05,5.845118e-05,7.209817e-05,8.333859e-05,8.452713e-05,9.576830e-05,1.047284e-04,1.058854e-04,1.149486e-04,1.219537e-04,1.230283e-04,1.301926e-04,1.355512e-04,1.365070e-04,1.420337e-04,1.460196e-04,1.468321e-04,1.509583e-04,1.538109e-04,1.544651e-04,1.574024e-04,1.593281e-04,1.598166e-04,1.617515e-04,1.629266e-04,1.632477e-04,1.643432e-04,1.649167e-04,1.650732e-04,1.654704e-04,1.655676e-04,1.655654e-04,1.653863e-04,1.651119e-04,1.649592e-04,1.643083e-04,1.637494e-04,1.634560e-04,1.624230e-04,1.616516e-04,1.612284e-04,1.598897e-04,1.589650e-04,1.584234e-04,1.568442e-04,1.558146e-04,1.551661e-04,1.534017e-04,1.523065e-04,1.515627e-04,1.496598e-04,1.485307e-04,1.477028e-04,1.457007e-04,1.445630e-04,1.436618e-04,1.415937e-04,1.404672e-04,1.395031e-04,1.373965e-04,1.362966e-04,1.352794e-04,1.331572e-04,1.320956e-04,1.310345e-04,1.289155e-04,1.279009e-04,1.268042e-04,1.247041e-04,1.237426e-04,1.226182e-04,1.205493e-04,1.196451e-04,1.185001e-04,1.164726e-04,1.156280e-04,1.144689e-04,1.124907e-04,1.117069e-04,1.105395e-04,1.086168e-04,1.078938e-04,1.067235e-04,1.048607e-04,1.041977e-04,1.030293e-04,1.012298e-04,1.006254e-04,9.946293e-05,9.772905e-05,9.718124e-05,9.602851e-05,9.436155e-05,9.386804e-05,9.272832e-05,9.112887e-05,9.068708e-05,8.956322e-05,8.803127e-05,8.763848e-05,8.653292e-05,8.506797e-05,8.472132e-05,8.363618e-05,8.223729e-05,8.193391e-05,8.087097e-05,7.953687e-05,7.927389e-05,7.823462e-05,7.696381e-05,7.673836e-05,7.572399e-05,7.451474e-05,7.432406e-05,7.333556e-05,7.218599e-05,7.202739e-05,7.106553e-05,6.997366e-05,6.984453e-05,6.890988e-05,6.787365e-05,6.777153e-05,6.686447e-05,6.588178e-05,6.580430e-05,6.492507e-05,6.399380e-05,6.393872e-05,6.308743e-05,6.220544e-05,6.217066e-05,6.134729e-05,6.051246e-05,6.049600e-05,5.970042e-05,5.891067e-05,5.741067e-05,5.599209e-05,5.465111e-05,5.338402e-05,5.218724e-05,5.105730e-05,4.999086e-05,4.898470e-05,4.803575e-05,4.714105e-05,4.629777e-05,4.550320e-05,4.475478e-05,4.405003e-05,4.338662e-05,4.276231e-05,4.217498e-05,4.162261e-05,4.110330e-05,4.061521e-05,4.015663e-05,3.972591e-05,3.932151e-05,3.894196e-05,3.858586e-05,3.825189e-05,3.793880e-05,3.764543e-05,3.737063e-05,3.711337e-05,3.687264e-05,3.664749e-05,3.643703e-05,3.624042e-05,3.605686e-05,3.588559e-05,3.572590e-05,3.557712e-05,3.543862e-05,3.530978e-05,3.519005e-05,3.507889e-05,3.497580e-05,3.488030e-05,3.479193e-05,3.471027e-05,3.463493e-05,3.456552e-05,3.450168e-05
0.000000e+00,7.599654e-10,6.250861e-08,6.702054e-08,1.199001e-06,8.315778e-06,8.892152e-06,3.569050e-05,8.854470e-05,9.289772e-05,1.807233e-04,2.804064e-04,2.895837e-04,4.065350e-04,5.092017e-04,5.201608e-04,6.226304e-04,7.002152e-04,7.098066e-04,7.804607e-04,8.285028e-04,8.352832e-04,8.760231e-04,9.009542e-04,9.048611e-04,9.240113e-04,9.339155e-04,9.355001e-04,9.410671e-04,9.422280e-04,9.421422e-04,9.398636e-04,9.363355e-04,9.351166e-04,9.285766e-04,9.227248e-04,9.207518e-04,9.120204e-04,9.051424e-04,9.026610e-04,8.928776e-04,8.856560e-04,8.828185e-04,8.725917e-04,8.653760e-04,8.622755e-04,8.519265e-04,8.448918e-04,8.415855e-04,8.312817e-04,8.245123e-04,8.210365e-04,8.108656e-04,8.044004e-04,8.007801e-04,7.907882e-04,7.846430e-04,7.808960e-04,7.711078e-04,7.652862e-04,7.614268e-04,7.518551e-04,7.463543e-04,7.423944e-04,7.330456e-04,7.278595e-04,7.238095e-04,7.146865e-04,7.098071e-04,7.056766e-04,6.967798e-04,6.921980e-04,6.879958e-04,6.793242e-04,6.750304e-04,6.707645e-04,6.623162e-04,6.583004e-04,6.539786e-04,6.457510e-04,6.420031e-04,6.376327e-04,6.296227e-04,6.261325e-04,6.217203e-04,6.139246e-04,6.106819e-04,6.062345e-04,5.986493e-04,5.956443e-04,5.911679e-04,5.837893e-04,5.810122e-04,5.765125e-04,5.693365e-04,5.667777e-04,5.622603e-04,5.552829e-04,5.529329e-04,5.484031e-04,5.416201e-04,5.394697e-04,5.349326e-04,5.283396e-04,5.263800e-04,5.218402e-04,5.154332e-04,5.136557e-04,5.091176e-04,5.028924e-04,5.012885e-04,4.967565e-04,4.907088e-04,4.892704e-04,4.847483e-04,4.788740e-04,4.775932e-04,4.730849e-04,4.673799e-04,4.662489e-04,4.617580e-04,4.562183e-04,4.552298e-04,4.507596e-04,4.453810e-04,4.445278e-04,4.400816e-04,4.348603e-04,4.341355e-04,4.297162e-04,4.246482e-04,4.240452e-04,4.196555e-04,4.147372e-04,4.142494e-04,4.098921e-04,4.051195e-04,4.047408e-04,4.004185e-04,3.957880e-04,3.955124e-04,3.912272e-04,3.867352e-04,3.865569e-04,3.823111e-04,3.779541e-04,3.778677e-04,3.736633e-04,3.694377e-04,3.612606e-04,3.533297e-04,3.456387e-04,3.381815e-04,3.309519e-04,3.239441e-04,3.171523e-04,3.105707e-04,3.041938e-04,2.980164e-04,2.920330e-04,2.862385e-04,2.806279e-04,2.751963e-04,2.699389e-04,2.648510e-04,2.599280e-04,2.551655e-04,2.505591e-04,2.461046e-04,2.417977e-04,2.376346e-04,2.336111e-04,2.297235e-04,2.259680e-04,2.223409e-04,2.188387e-04,2.154577e-04,2.121947e-04,2.090463e-04,2.060091e-04,2.030801e-04,2.002562e-04,1.975343e-04,1.949114e-04,1.923847e-04,1.899514e-04,1.876087e-04,1.853539e-04,1.831845e-04,1.810978e-04,1.790914e-04,1.771628e-04,1.753097e-04,1.735298e-04,1.718207e-04,1.701804e-04,1.686065e-04,1.670971e-04
0.000000e+00,1.463691e-09,1.947745e-08,2.033954e-08,1.310810e-07,4.896858e-07,5.128640e-07,1.331580e-06,2.398506e-06,2.470461e-06,3.663952e-06,4.702367e-06,4.788921e-06,5.817339e-06,6.659081e-06,6.747853e-06,7.585561e-06,8.251092e-06,8.336911e-06,9.008399e-06,9.526736e-06,9.606217e-06,1.013619e-05,1.053292e-05,1.060375e-05,1.101402e-05,1.131101e-05,1.137172e-05,1.168128e-05,1.189703e-05,1.194679e-05,1.217207e-05,1.232212e-05,1.236062e-05,1.251569e-05,1.261301e-05,1.264028e-05,1.273713e-05,1.279246e-05,1.280881e-05,1.285766e-05,1.287991e-05,1.288583e-05,1.289531e-05,1.289180e-05,1.288790e-05,1.286525e-05,1.284192e-05,1.282888e-05,1.278020e-05,1.274194e-05,1.272046e-05,1.265085e-05,1.260161e-05,1.257243e-05,1.248618e-05,1.242916e-05,1.239299e-05,1.229369e-05,1.223148e-05,1.218901e-05,1.207964e-05,1.201431e-05,1.196621e-05,1.184927e-05,1.178245e-05,1.172935e-05,1.160691e-05,1.153990e-05,1.148239e-05,1.135617e-05,1.128998e-05,1.122861e-05,1.110003e-05,1.103544e-05,1.097071e-05,1.084094e-05,1.077855e-05,1.071093e-05,1.058092e-05,1.052117e-05,1.045109e-05,1.032163e-05,1.026482e-05,1.019268e-05,1.006439e-05,1.001074e-05,9.936890e-06,9.810291e-06,9.759927e-06,9.684695e-06,9.560191e-06,9.513183e-06,9.436859e-06,9.314768e-06,9.271132e-06,9.193981e-06,9.074551e-06,9.034262e-06,8.956524e-06,8.839941e-06,8.802945e-06,8.724835e-06,8.611234e-06,8.577451e-06,8.499163e-06,8.388640e-06,8.357973e-06,8.279680e-06,8.172295e-06,8.144634e-06,8.066493e-06,7.962278e-06,7.937503e-06,7.859652e-06,7.758616e-06,7.736601e-06,7.659167e-06,7.561299e-06,7.541915e-06,7.465007e-06,7.370282e-06,7.353397e-06,7.277115e-06,7.185495e-06,7.170979e-06,7.095410e-06,7.006847e-06,6.994569e-06,6.919792e-06,6.834231e-06,6.824063e-06,6.750147e-06,6.667524e-06,6.659342e-06,6.586347e-06,6.506597e-06,6.500278e-06,6.428257e-06,6.351310e-06,6.346737e-06,6.275738e-06,6.201521e-06,6.198580e-06,6.128642e-06,6.057082e-06,6.055664e-06,5.986822e-06,5.917844e-06,5.784974e-06,5.656907e-06,5.533501e-06,5.414610e-06,5.300093e-06,5.189811e-06,5.083627e-06,4.981407e-06,4.883020e-06,4.788339e-06,4.697239e-06,4.609599e-06,4.525302e-06,4.444231e-06,4.366278e-06,4.291333e-06,4.219292e-06,4.150055e-06,4.083522e-06,4.019599e-06,3.958194e-06,3.899217e-06,3.842583e-06,3.788209e-06,3.736013e-06,3.685919e-06,3.637850e-06,3.591733e-06,3.547500e-06,3.505081e-06,3.464410e-06,3.425426e-06,3.388065e-06,3.352270e-06,3.317982e-06,3.285148e-06,3.253712e-06,3.223624e-06,3.194835e-06,3.167296e-06,3.140960e-06,3.115784e-06,3.091723e-06,3.068736e-06,3.046783e-06,3.025826e-06,3.005825e-06,2.986746e-06,2.968554e-06
0.000000e+00,2.012853e-08,5.126363e-07,5.397962e-07,4.296721e-06,1.485126e-05,1.543604e-05,3.166640e-05,4.732248e-05,4.829808e-05,6.399178e-05,7.744074e-05,7.856540e-05,9.203349e-05,1.032486e-04,1.044435e-04,1.158475e-04,1.250920e-04,1.262973e-04,1.358439e-04,1.433702e-04,1.445379e-04,1.524287e-04,1.584718e-04,1.595648e-04,1.659932e-04,1.707680e-04,1.717589e-04,1.769054e-04,1.806046e-04,1.814739e-04,1.855037e-04,1.882970e-04,1.890320e-04,1.920936e-04,1.941286e-04,1.947213e-04,1.969459e-04,1.983496e-04,1.987962e-04,2.002998e-04,2.011820e-04,2.014821e-04,2.023673e-04,2.028225e-04,2.029784e-04,2.033374e-04,2.034474e-04,2.034637e-04,2.033761e-04,2.032094e-04,2.030916e-04,2.026263e-04,2.022407e-04,2.019953e-04,2.012127e-04,2.006571e-04,2.002916e-04,1.992442e-04,1.985599e-04,1.980819e-04,1.968155e-04,1.960371e-04,1.954547e-04,1.940090e-04,1.931654e-04,1.924868e-04,1.908962e-04,1.900115e-04,1.892446e-04,1.875391e-04,1.866331e-04,1.857860e-04,1.839914e-04,1.830803e-04,1.821608e-04,1.802994e-04,1.793964e-04,1.784119e-04,1.765028e-04,1.756185e-04,1.745763e-04,1.726360e-04,1.717789e-04,1.706856e-04,1.687282e-04,1.679048e-04,1.667669e-04,1.648044e-04,1.640197e-04,1.628433e-04,1.608860e-04,1.601436e-04,1.589345e-04,1.569908e-04,1.562934e-04,1.550568e-04,1.531340e-04,1.524831e-04,1.512241e-04,1.493282e-04,1.487248e-04,1.474478e-04,1.455839e-04,1.450281e-04,1.437376e-04,1.419097e-04,1.414013e-04,1.401011e-04,1.383125e-04,1.378508e-04,1.365445e-04,1.347978e-04,1.343818e-04,1.330729e-04,1.313701e-04,1.309985e-04,1.296898e-04,1.280324e-04,1.277037e-04,1.263982e-04,1.247873e-04,1.244999e-04,1.232000e-04,1.216363e-04,1.213884e-04,1.200964e-04,1.185804e-04,1.183700e-04,1.170881e-04,1.156197e-04,1.154451e-04,1.141752e-04,1.127543e-04,1.126136e-04,1.113572e-04,1.099836e-04,1.098747e-04,1.086335e-04,1.073067e-04,1.072278e-04,1.060030e-04,1.047223e-04,1.046716e-04,1.034644e-04,1.022292e-04,1.022047e-04,1.010163e-04,9.982554e-05,9.753243e-05,9.532351e-05,9.319682e-05,9.115034e-05,8.918200e-05,8.728969e-05,8.547128e-05,8.372462e-05,8.204757e-05,8.043800e-05,7.889378e-05,7.741283e-05,7.599308e-05,7.463250e-05,7.332909e-05,7.208091e-05,7.088604e-05,6.974261e-05,6.864880e-05,6.760284e-05,6.660298e-05,6.564756e-05,6.473493e-05,6.386350e-05,6.303173e-05,6.223813e-05,6.148124e-05,6.075965e-05,6.007201e-05,5.941700e-05,5.879334e-05,5.819980e-05,5.763517e-05,5.709831e-05,5.658810e-05,5.610346e-05,5.564335e-05,5.520677e-05,5.479273e-05,5.440031e-05,5.402860e-05,5.367672e-05,5.334383e-05,5.302912e-05,5.273180e-05,5.245111e-05,5.218634e-05,5.193677e-05,5.170172e-05
0.000000e+00,1.358926e-09,1.888360e-08,1.970410e-08,1.129361e-07,3.531901e-07,3.671904e-07,8.159447e-07,1.362302e-06,1.399225e-06,2.020364e-06,2.575694e-06,2.622658e-06,3.189582e-06,3.667360e-06,3.718563e-06,4.210371e-06,4.613631e-06,4.666547e-06,5.088805e-06,5.426142e-06,5.478878e-06,5.838471e-06,6.118179e-06,6.169229e-06,6.472738e-06,6.702350e-06,6.750517e-06,7.004020e-06,7.190278e-06,7.234634e-06,7.443679e-06,7.592570e-06,7.632410e-06,7.802013e-06,7.918816e-06,7.953620e-06,8.088307e-06,8.177686e-06,8.207096e-06,8.310952e-06,8.376996e-06,8.400788e-06,8.477473e-06,8.523769e-06,8.541827e-06,8.594629e-06,8.624312e-06,8.636613e-06,8.668477e-06,8.684284e-06,8.690879e-06,8.704442e-06,8.708758e-06,8.709756e-06,8.707378e-06,8.702273e-06,8.697834e-06,8.681622e-06,8.668890e-06,8.659211e-06,8.631045e-06,8.612239e-06,8.597544e-06,8.559104e-06,8.535560e-06,8.516097e-06,8.468876e-06,8.441741e-06,8.417772e-06,8.363100e-06,8.333358e-06,8.305153e-06,8.244212e-06,8.212700e-06,8.180537e-06,8.114376e-06,8.081804e-06,8.045961e-06,7.975510e-06,7.942476e-06,7.903230e-06,7.829313e-06,7.796318e-06,7.753941e-06,7.677286e-06,7.644747e-06,7.599507e-06,7.520755e-06,7.489014e-06,7.441171e-06,7.360888e-06,7.330223e-06,7.280029e-06,7.198710e-06,7.169344e-06,7.117041e-06,7.035122e-06,7.007230e-06,6.953050e-06,6.870911e-06,6.844627e-06,6.788790e-06,6.706763e-06,6.682184e-06,6.624902e-06,6.543273e-06,6.520467e-06,6.461940e-06,6.380958e-06,6.359968e-06,6.300383e-06,6.220262e-06,6.201106e-06,6.140643e-06,6.061566e-06,6.044245e-06,5.983070e-06,5.905192e-06,5.889693e-06,5.827963e-06,5.751414e-06,5.737710e-06,5.675572e-06,5.600462e-06,5.588514e-06,5.526105e-06,5.452523e-06,5.442285e-06,5.379734e-06,5.307752e-06,5.299170e-06,5.236594e-06,5.166272e-06,5.159286e-06,5.096797e-06,5.028178e-06,5.022725e-06,4.960423e-06,4.893541e-06,4.889555e-06,4.827535e-06,4.762411e-06,4.759824e-06,4.698171e-06,4.634820e-06,4.633562e-06,4.572356e-06,4.510782e-06,4.391487e-06,4.275665e-06,4.163294e-06,4.054346e-06,3.948782e-06,3.846558e-06,3.747624e-06,3.651926e-06,3.559405e-06,3.470000e-06,3.383647e-06,3.300280e-06,3.219832e-06,3.142234e-06,3.067416e-06,2.995309e-06,2.925843e-06,2.858949e-06,2.794556e-06,2.732596e-06,2.673001e-06,2.615702e-06,2.560635e-06,2.507733e-06,2.456932e-06,2.408168e-06,2.361380e-06,2.316506e-06,2.273489e-06,2.232268e-06,2.192788e-06,2.154994e-06,2.118830e-06,2.084245e-06,2.051186e-06,2.019605e-06,1.989451e-06,1.960678e-06,1.933240e-06,1.907091e-06,1.882187e-06,1.858487e-06,1.835950e-06,1.814534e-06,1.794201e-06,1.774914e-06,1.756635e-06,1.739328e-06,1.722960e-06
0.000000e+00,3.786637e-09,1.870322e-07,1.983173e-07,2.222982e-06,1.192925e-05,1.266681e-05,4.602790e-05,1.143761e-04,1.202371e-04,2.458273e-04,4.038690e-04,4.191883e-04,6.254654e-04,8.243049e-04,8.466249e-04,1.067709e-03,1.254289e-03,1.278899e-03,1.474875e-03,1.629469e-03,1.653378e-03,1.813940e-03,1.935281e-03,1.957037e-03,2.083582e-03,2.175759e-03,2.194662e-03,2.291404e-03,2.359220e-03,2.374915e-03,2.446246e-03,2.494070e-03,2.506390e-03,2.556275e-03,2.587860e-03,2.596765e-03,2.628666e-03,2.647184e-03,2.652724e-03,2.669632e-03,2.677741e-03,2.680033e-03,2.684523e-03,2.684445e-03,2.683653e-03,2.677934e-03,2.671517e-03,2.667838e-03,2.653802e-03,2.642577e-03,2.636230e-03,2.615493e-03,2.600722e-03,2.591937e-03,2.565878e-03,2.548594e-03,2.537609e-03,2.507399e-03,2.488445e-03,2.475495e-03,2.442126e-03,2.422184e-03,2.407501e-03,2.371813e-03,2.351429e-03,2.335236e-03,2.297934e-03,2.277541e-03,2.260052e-03,2.221727e-03,2.201664e-03,2.183082e-03,2.144228e-03,2.124755e-03,2.105268e-03,2.066294e-03,2.047606e-03,2.027389e-03,1.988631e-03,1.970870e-03,1.950087e-03,1.911818e-03,1.895082e-03,1.873881e-03,1.836324e-03,1.820674e-03,1.799191e-03,1.762521e-03,1.747990e-03,1.726348e-03,1.690702e-03,1.677300e-03,1.655610e-03,1.621093e-03,1.608812e-03,1.587172e-03,1.553862e-03,1.542678e-03,1.521177e-03,1.489127e-03,1.479007e-03,1.457722e-03,1.426967e-03,1.417868e-03,1.396868e-03,1.367426e-03,1.359301e-03,1.338644e-03,1.310520e-03,1.303315e-03,1.283053e-03,1.256240e-03,1.249902e-03,1.230078e-03,1.204562e-03,1.199034e-03,1.179685e-03,1.155441e-03,1.150668e-03,1.131824e-03,1.108825e-03,1.104750e-03,1.086436e-03,1.064648e-03,1.061217e-03,1.043452e-03,1.022838e-03,1.019998e-03,1.002797e-03,9.833187e-04,9.810186e-04,9.643924e-04,9.460079e-04,9.441988e-04,9.281545e-04,9.108216e-04,9.094571e-04,8.939985e-04,8.776743e-04,8.767105e-04,8.618383e-04,8.464797e-04,8.458751e-04,8.315877e-04,8.171517e-04,8.168675e-04,8.031609e-04,7.896048e-04,7.640055e-04,7.399898e-04,7.174796e-04,6.963994e-04,6.766758e-04,6.582380e-04,6.410179e-04,6.249498e-04,6.099708e-04,5.960208e-04,5.830422e-04,5.709800e-04,5.597819e-04,5.493979e-04,5.397807e-04,5.308850e-04,5.226681e-04,5.150894e-04,5.081104e-04,5.016945e-04,4.958071e-04,4.904158e-04,4.854894e-04,4.809987e-04,4.769162e-04,4.732158e-04,4.698728e-04,4.668640e-04,4.641675e-04,4.617625e-04,4.596297e-04,4.577505e-04,4.561078e-04,4.546851e-04,4.534672e-04,4.524396e-04,4.515886e-04,4.509015e-04,4.503663e-04,4.499715e-04,4.497067e-04,4.495617e-04,4.495273e-04,4.495945e-04,4.497551e-04,4.500013e-04,4.503259e-04,4.507220e-04,4.511832e-04
0.000000e+00,1.038815e-08,3.244881e-07,3.423029e-07,3.217363e-06,1.489370e-05,1.570325e-05,4.600292e-05,8.783893e-05,9.072016e-05,1.393258e-04,1.826521e-04,1.863038e-04,2.301932e-04,2.668685e-04,2.707801e-04,3.081468e-04,3.384819e-04,3.424400e-04,3.738174e-04,3.985885e-04,4.024344e-04,4.284419e-04,4.483790e-04,4.519865e-04,4.732108e-04,4.889803e-04,4.922528e-04,5.092465e-04,5.214536e-04,5.243210e-04,5.376003e-04,5.467887e-04,5.492034e-04,5.592436e-04,5.658954e-04,5.678287e-04,5.750610e-04,5.795990e-04,5.810372e-04,5.858486e-04,5.886402e-04,5.895815e-04,5.923168e-04,5.936790e-04,5.941308e-04,5.950952e-04,5.953002e-04,5.952772e-04,5.947396e-04,5.940192e-04,5.935411e-04,5.917371e-04,5.902889e-04,5.893796e-04,5.865172e-04,5.845090e-04,5.831952e-04,5.794557e-04,5.770283e-04,5.753386e-04,5.708809e-04,5.681531e-04,5.661172e-04,5.610794e-04,5.581498e-04,5.557974e-04,5.502988e-04,5.472486e-04,5.446095e-04,5.387539e-04,5.356507e-04,5.327542e-04,5.266309e-04,5.235290e-04,5.204034e-04,5.140894e-04,5.110329e-04,5.077055e-04,5.012668e-04,4.982905e-04,4.947874e-04,4.882802e-04,4.854114e-04,4.817572e-04,4.752296e-04,4.724890e-04,4.687072e-04,4.621996e-04,4.596025e-04,4.557150e-04,4.492614e-04,4.468186e-04,4.428458e-04,4.364747e-04,4.341931e-04,4.301538e-04,4.238887e-04,4.217721e-04,4.176840e-04,4.115440e-04,4.095935e-04,4.054727e-04,3.994734e-04,3.976881e-04,3.935493e-04,3.877030e-04,3.860803e-04,3.819368e-04,3.762530e-04,3.747889e-04,3.706532e-04,3.651389e-04,3.638283e-04,3.597113e-04,3.543716e-04,3.532087e-04,3.491205e-04,3.439585e-04,3.429369e-04,3.388862e-04,3.339038e-04,3.330165e-04,3.290113e-04,3.242088e-04,3.234488e-04,3.194961e-04,3.148729e-04,3.142328e-04,3.103388e-04,3.058933e-04,3.053658e-04,3.015358e-04,2.972658e-04,2.968435e-04,2.930823e-04,2.889846e-04,2.886605e-04,2.849719e-04,2.810432e-04,2.808101e-04,2.771975e-04,2.734339e-04,2.732851e-04,2.697513e-04,2.661485e-04,2.660772e-04,2.626245e-04,2.591781e-04,2.525788e-04,2.462699e-04,2.402422e-04,2.344861e-04,2.289920e-04,2.237504e-04,2.187520e-04,2.139872e-04,2.094470e-04,2.051223e-04,2.010043e-04,1.970845e-04,1.933543e-04,1.898057e-04,1.864309e-04,1.832221e-04,1.801720e-04,1.772734e-04,1.745196e-04,1.719039e-04,1.694199e-04,1.670616e-04,1.648230e-04,1.626986e-04,1.606829e-04,1.587708e-04,1.569573e-04,1.552377e-04,1.536075e-04,1.520622e-04,1.505978e-04,1.492104e-04,1.478960e-04,1.466512e-04,1.454725e-04,1.443565e-04,1.433003e-04,1.423007e-04,1.413549e-04,1.404602e-04,1.396141e-04,1.388140e-04,1.380577e-04,1.373428e-04,1.366673e-04,1.360291e-04,1.354264e-04,1.348572e-04,1.343198e-04
0.000000e+00,5.086534e-10,8.847814e-09,9.249262e-09,5.346502e-08,1.569249e-07,1.626348e-07,3.334208e-07,5.181871e-07,5.299796e-07,7.183877e-07,8.736647e-07,8.862912e-07,1.032740e-06,1.147688e-06,1.159548e-06,1.268903e-06,1.352350e-06,1.362878e-06,1.443338e-06,1.502991e-06,1.511937e-06,1.570136e-06,1.611932e-06,1.619221e-06,1.660323e-06,1.688770e-06,1.694435e-06,1.722429e-06,1.740937e-06,1.745070e-06,1.763028e-06,1.774165e-06,1.776891e-06,1.787176e-06,1.792879e-06,1.794334e-06,1.798757e-06,1.800475e-06,1.800791e-06,1.800740e-06,1.799564e-06,1.798872e-06,1.795422e-06,1.792180e-06,1.790603e-06,1.784603e-06,1.779929e-06,1.777578e-06,1.769666e-06,1.764019e-06,1.760989e-06,1.751653e-06,1.745376e-06,1.741751e-06,1.731365e-06,1.724715e-06,1.720567e-06,1.709419e-06,1.702586e-06,1.697977e-06,1.686288e-06,1.679412e-06,1.674395e-06,1.662335e-06,1.655522e-06,1.650142e-06,1.637844e-06,1.631168e-06,1.625466e-06,1.613030e-06,1.606547e-06,1.600556e-06,1.588060e-06,1.581808e-06,1.575557e-06,1.563061e-06,1.557068e-06,1.550582e-06,1.538131e-06,1.532415e-06,1.525717e-06,1.513346e-06,1.507919e-06,1.501027e-06,1.488764e-06,1.483632e-06,1.476563e-06,1.464427e-06,1.459593e-06,1.452362e-06,1.440370e-06,1.435833e-06,1.428454e-06,1.416617e-06,1.412375e-06,1.404860e-06,1.393186e-06,1.389235e-06,1.381595e-06,1.370090e-06,1.366427e-06,1.358671e-06,1.347340e-06,1.343957e-06,1.336096e-06,1.324941e-06,1.321834e-06,1.313875e-06,1.302898e-06,1.300059e-06,1.292011e-06,1.281213e-06,1.278635e-06,1.270505e-06,1.259887e-06,1.257563e-06,1.249358e-06,1.238918e-06,1.236841e-06,1.228568e-06,1.218307e-06,1.216469e-06,1.208134e-06,1.198050e-06,1.196444e-06,1.188053e-06,1.178145e-06,1.176764e-06,1.168323e-06,1.158588e-06,1.157426e-06,1.148940e-06,1.139378e-06,1.138426e-06,1.129901e-06,1.120509e-06,1.119761e-06,1.111201e-06,1.101977e-06,1.101426e-06,1.092837e-06,1.083779e-06,1.083419e-06,1.074804e-06,1.065910e-06,1.065733e-06,1.057098e-06,1.048366e-06,1.031314e-06,1.014570e-06,9.981324e-07,9.819952e-07,9.661544e-07,9.506055e-07,9.353441e-07,9.203658e-07,9.056663e-07,8.912410e-07,8.770858e-07,8.631964e-07,8.495683e-07,8.361976e-07,8.230799e-07,8.102111e-07,7.975872e-07,7.852041e-07,7.730579e-07,7.611445e-07,7.494602e-07,7.380010e-07,7.267632e-07,7.157431e-07,7.049369e-07,6.943411e-07,6.839520e-07,6.737661e-07,6.637800e-07,6.539902e-07,6.443933e-07,6.349860e-07,6.257651e-07,6.167273e-07,6.078695e-07,5.991885e-07,5.906812e-07,5.823447e-07,5.741759e-07,5.661719e-07,5.583299e-07,5.506470e-07,5.431203e-07,5.357473e-07,5.285250e-07,5.214510e-07,5.145226e-07,5.077372e-07,5.010923e-07
0.000000e+00,8.355821e-09,1.288439e-07,1.346857e-07,8.442036e-07,2.819990e-06,2.937573e-06,6.679485e-06,1.094737e-05,1.122363e-05,1.571949e-05,1.958489e-05,1.990725e-05,2.375083e-05,2.692310e-05,2.725935e-05,3.045007e-05,3.300975e-05,3.334154e-05,3.595210e-05,3.798618e-05,3.829966e-05,4.040147e-05,4.198922e-05,4.227411e-05,4.393338e-05,4.514535e-05,4.539433e-05,4.667116e-05,4.756909e-05,4.777727e-05,4.872527e-05,4.936260e-05,4.952701e-05,5.019360e-05,5.061625e-05,5.073545e-05,5.116231e-05,5.140952e-05,5.148327e-05,5.170686e-05,5.181203e-05,5.184102e-05,5.189315e-05,5.188457e-05,5.187019e-05,5.177858e-05,5.168015e-05,5.162433e-05,5.141303e-05,5.124487e-05,5.114990e-05,5.083979e-05,5.061876e-05,5.048721e-05,5.009634e-05,4.983650e-05,4.967109e-05,4.921507e-05,4.892809e-05,4.873163e-05,4.822390e-05,4.791942e-05,4.769475e-05,4.714685e-05,4.683278e-05,4.658269e-05,4.600455e-05,4.568729e-05,4.541454e-05,4.481461e-05,4.449934e-05,4.420658e-05,4.359209e-05,4.328291e-05,4.297269e-05,4.234976e-05,4.204990e-05,4.172462e-05,4.109843e-05,4.081034e-05,4.047230e-05,3.984720e-05,3.957273e-05,3.922406e-05,3.860368e-05,3.834414e-05,3.798683e-05,3.737420e-05,3.713046e-05,3.676638e-05,3.616396e-05,3.593655e-05,3.556741e-05,3.497721e-05,3.476636e-05,3.439374e-05,3.381736e-05,3.362307e-05,3.324840e-05,3.268713e-05,3.250918e-05,3.213378e-05,3.158858e-05,3.142663e-05,3.105170e-05,3.052328e-05,3.037686e-05,3.000346e-05,2.949234e-05,2.936088e-05,2.898999e-05,2.849648e-05,2.837935e-05,2.801184e-05,2.753610e-05,2.743263e-05,2.706926e-05,2.661133e-05,2.652081e-05,2.616227e-05,2.572206e-05,2.564376e-05,2.529065e-05,2.486800e-05,2.480118e-05,2.445403e-05,2.404869e-05,2.399262e-05,2.365189e-05,2.326355e-05,2.321751e-05,2.288357e-05,2.251188e-05,2.247516e-05,2.214836e-05,2.179291e-05,2.176482e-05,2.144543e-05,2.110580e-05,2.108567e-05,2.077391e-05,2.044965e-05,2.043683e-05,2.013289e-05,1.982353e-05,1.981742e-05,1.952144e-05,1.922649e-05,1.866312e-05,1.812634e-05,1.761520e-05,1.712877e-05,1.666610e-05,1.622626e-05,1.580836e-05,1.541151e-05,1.503483e-05,1.467748e-05,1.433864e-05,1.401752e-05,1.371334e-05,1.342535e-05,1.315283e-05,1.289510e-05,1.265147e-05,1.242131e-05,1.220399e-05,1.199892e-05,1.180553e-05,1.162326e-05,1.145158e-05,1.129001e-05,1.113804e-05,1.099522e-05,1.086110e-05,1.073526e-05,1.061730e-05,1.050682e-05,1.040346e-05,1.030686e-05,1.021667e-05,1.013259e-05,1.005430e-05,9.981497e-06,9.913912e-06,9.851272e-06,9.793320e-06,9.739813e-06,9.690518e-06,9.645211e-06,9.603682e-06,9.565727e-06,9.531155e-06,9.499781e-06,9.471432e-06,9.445939e-06,9.423145e-06
0.000000e+00,2.732188e-09,1.226565e-07,1.297445e-07,1.304295e-06,6.668865e-06,7.076466e-06,2.596281e-05,6.688721e-05,7.049858e-05,1.502743e-04,2.543442e-04,2.645518e-04,4.031450e-04,5.380382e-04,5.532400e-04,7.044725e-04,8.331897e-04,8.502585e-04,9.871102e-04,1.096480e-03,1.113528e-03,1.229125e-03,1.317985e-03,1.334078e-03,1.428829e-03,1.499296e-03,1.513928e-03,1.589962e-03,1.644658e-03,1.657519e-03,1.717172e-03,1.758569e-03,1.769470e-03,1.814937e-03,1.845228e-03,1.854067e-03,1.887329e-03,1.908425e-03,1.915164e-03,1.937984e-03,1.951529e-03,1.956179e-03,1.970112e-03,1.977513e-03,1.980124e-03,1.986534e-03,1.988987e-03,1.989638e-03,1.989715e-03,1.988235e-03,1.987025e-03,1.981810e-03,1.977252e-03,1.974295e-03,1.964691e-03,1.957774e-03,1.953194e-03,1.939986e-03,1.931310e-03,1.925235e-03,1.909100e-03,1.899166e-03,1.891728e-03,1.873254e-03,1.862476e-03,1.853806e-03,1.833499e-03,1.822216e-03,1.812443e-03,1.790738e-03,1.779226e-03,1.768477e-03,1.745744e-03,1.734226e-03,1.722620e-03,1.699178e-03,1.687832e-03,1.675484e-03,1.651602e-03,1.640568e-03,1.627587e-03,1.603493e-03,1.592878e-03,1.579366e-03,1.555252e-03,1.545137e-03,1.531190e-03,1.507216e-03,1.497659e-03,1.483365e-03,1.459667e-03,1.450707e-03,1.436149e-03,1.412835e-03,1.404497e-03,1.389749e-03,1.366910e-03,1.359204e-03,1.344336e-03,1.322043e-03,1.314971e-03,1.300045e-03,1.278355e-03,1.271910e-03,1.256984e-03,1.235941e-03,1.230109e-03,1.215234e-03,1.194870e-03,1.189632e-03,1.174854e-03,1.155192e-03,1.150526e-03,1.135887e-03,1.116941e-03,1.112821e-03,1.098357e-03,1.080135e-03,1.076534e-03,1.062276e-03,1.044781e-03,1.041670e-03,1.027647e-03,1.010874e-03,1.008224e-03,9.944604e-04,9.784034e-04,9.761838e-04,9.627006e-04,9.473488e-04,9.455301e-04,9.323449e-04,9.176851e-04,9.162380e-04,9.033657e-04,8.893824e-04,8.882781e-04,8.757310e-04,8.624069e-04,8.616177e-04,8.494054e-04,8.367219e-04,8.362211e-04,8.243514e-04,8.122888e-04,8.120506e-04,8.005290e-04,7.890670e-04,7.672300e-04,7.464986e-04,7.268315e-04,7.081875e-04,6.905256e-04,6.738053e-04,6.579868e-04,6.430310e-04,6.288997e-04,6.155559e-04,6.029634e-04,5.910872e-04,5.798933e-04,5.693492e-04,5.594234e-04,5.500853e-04,5.413060e-04,5.330574e-04,5.253126e-04,5.180460e-04,5.112329e-04,5.048498e-04,4.988741e-04,4.932844e-04,4.880602e-04,4.831820e-04,4.786311e-04,4.743897e-04,4.704410e-04,4.667689e-04,4.633581e-04,4.601941e-04,4.572630e-04,4.545516e-04,4.520476e-04,4.497390e-04,4.476147e-04,4.456639e-04,4.438765e-04,4.422429e-04,4.407540e-04,4.394011e-04,4.381762e-04,4.370713e-04,4.360793e-04,4.351931e-04,4.344061e-04,4.337121e-04,4.331052e-04
0.000000e+00,1.457460e-09,9.255546e-08,9.870093e-08,1.434104e-06,9.182964e-06,9.808644e-06,4.012619e-05,1.068658e-04,1.127154e-04,2.401008e-04,4.032763e-04,4.192120e-04,6.357951e-04,8.484123e-04,8.725335e-04,1.114374e-03,1.322662e-03,1.350421e-03,1.573799e-03,1.752843e-03,1.780749e-03,1.969647e-03,2.114138e-03,2.140210e-03,2.292934e-03,2.405488e-03,2.428730e-03,2.548702e-03,2.634071e-03,2.654018e-03,2.745839e-03,2.808809e-03,2.825278e-03,2.893388e-03,2.938179e-03,2.951148e-03,2.999465e-03,3.029637e-03,3.039180e-03,3.071063e-03,3.089571e-03,3.095826e-03,3.114121e-03,3.123402e-03,3.126547e-03,3.133653e-03,3.135707e-03,3.135945e-03,3.133885e-03,3.130348e-03,3.127896e-03,3.118368e-03,3.110578e-03,3.105656e-03,3.090088e-03,3.079132e-03,3.071961e-03,3.051550e-03,3.038312e-03,3.029105e-03,3.004855e-03,2.990047e-03,2.979011e-03,2.951763e-03,2.935958e-03,2.923288e-03,2.893746e-03,2.877401e-03,2.863283e-03,2.832032e-03,2.815511e-03,2.800116e-03,2.767646e-03,2.751235e-03,2.734722e-03,2.701438e-03,2.685359e-03,2.667877e-03,2.634115e-03,2.618537e-03,2.600222e-03,2.566261e-03,2.551311e-03,2.532288e-03,2.498355e-03,2.484127e-03,2.464509e-03,2.430792e-03,2.417349e-03,2.397241e-03,2.363890e-03,2.351276e-03,2.330771e-03,2.297910e-03,2.286148e-03,2.265332e-03,2.233057e-03,2.222157e-03,2.201107e-03,2.169497e-03,2.159456e-03,2.138242e-03,2.107355e-03,2.098163e-03,2.076848e-03,2.046730e-03,2.038368e-03,2.017009e-03,1.987692e-03,1.980137e-03,1.958786e-03,1.930294e-03,1.923517e-03,1.902219e-03,1.874566e-03,1.868539e-03,1.847335e-03,1.820528e-03,1.815218e-03,1.794145e-03,1.768187e-03,1.763559e-03,1.742651e-03,1.717537e-03,1.713558e-03,1.692844e-03,1.668569e-03,1.665204e-03,1.644709e-03,1.621263e-03,1.618477e-03,1.598226e-03,1.575595e-03,1.573355e-03,1.553368e-03,1.531539e-03,1.529810e-03,1.510105e-03,1.489062e-03,1.487812e-03,1.468406e-03,1.448131e-03,1.447328e-03,1.428234e-03,1.408710e-03,1.408323e-03,1.389554e-03,1.370762e-03,1.334606e-03,1.299819e-03,1.266363e-03,1.234198e-03,1.203288e-03,1.173595e-03,1.145082e-03,1.117711e-03,1.091447e-03,1.066254e-03,1.042098e-03,1.018945e-03,9.967611e-04,9.755144e-04,9.551733e-04,9.357072e-04,9.170861e-04,8.992811e-04,8.822638e-04,8.660068e-04,8.504834e-04,8.356679e-04,8.215350e-04,8.080605e-04,7.952206e-04,7.829925e-04,7.713538e-04,7.602831e-04,7.497595e-04,7.397626e-04,7.302729e-04,7.212712e-04,7.127392e-04,7.046590e-04,6.970131e-04,6.897849e-04,6.829580e-04,6.765167e-04,6.704457e-04,6.647302e-04,6.593558e-04,6.543087e-04,6.495754e-04,6.451428e-04,6.409984e-04,6.371300e-04,6.335256e-04,6.301740e-04,6.270639e-04
0.000000e+00,1.497632e-09,6.560216e-08,6.944770e-08,7.430852e-07,3.956296e-06,4.200835e-06,1.527227e-05,3.772717e-05,3.962970e-05,7.932857e-05,1.262835e-04,1.306644e-04,1.870419e-04,2.374407e-04,2.428943e-04,2.950577e-04,3.368635e-04,3.422498e-04,3.842158e-04,4.162694e-04,4.211498e-04,4.534079e-04,4.771802e-04,4.813850e-04,5.054683e-04,5.225671e-04,5.260217e-04,5.433817e-04,5.551789e-04,5.578571e-04,5.697306e-04,5.773523e-04,5.792600e-04,5.866806e-04,5.910425e-04,5.922067e-04,5.960334e-04,5.978760e-04,5.983381e-04,5.992821e-04,5.992020e-04,5.990119e-04,5.976607e-04,5.961367e-04,5.953492e-04,5.921871e-04,5.896021e-04,5.882737e-04,5.836993e-04,5.803579e-04,5.785453e-04,5.728857e-04,5.690293e-04,5.667873e-04,5.603106e-04,5.561293e-04,5.535103e-04,5.464358e-04,5.420781e-04,5.391314e-04,5.316374e-04,5.272184e-04,5.239899e-04,5.162214e-04,5.118292e-04,5.083612e-04,5.004354e-04,4.961366e-04,4.924676e-04,4.844788e-04,4.803226e-04,4.764877e-04,4.685111e-04,4.645330e-04,4.605639e-04,4.526593e-04,4.488837e-04,4.448089e-04,4.370232e-04,4.334660e-04,4.293111e-04,4.216806e-04,4.183508e-04,4.141385e-04,4.066909e-04,4.035923e-04,3.993428e-04,3.920986e-04,3.892308e-04,3.849620e-04,3.779361e-04,3.752958e-04,3.710233e-04,3.642257e-04,3.618071e-04,3.575449e-04,3.509820e-04,3.487776e-04,3.445378e-04,3.382127e-04,3.362138e-04,3.320069e-04,3.259204e-04,3.241177e-04,3.199528e-04,3.141036e-04,3.124870e-04,3.083722e-04,3.027575e-04,3.013167e-04,2.972587e-04,2.918746e-04,2.905994e-04,2.866039e-04,2.814454e-04,2.803254e-04,2.763976e-04,2.714589e-04,2.704842e-04,2.666280e-04,2.619031e-04,2.610638e-04,2.572827e-04,2.527650e-04,2.520516e-04,2.483485e-04,2.440312e-04,2.434347e-04,2.398117e-04,2.356880e-04,2.351995e-04,2.316584e-04,2.277212e-04,2.273325e-04,2.238747e-04,2.201171e-04,2.198203e-04,2.164466e-04,2.128616e-04,2.126492e-04,2.093604e-04,2.059412e-04,2.058061e-04,2.026024e-04,1.993423e-04,1.992779e-04,1.961593e-04,1.930517e-04,1.871153e-04,1.814564e-04,1.760634e-04,1.709248e-04,1.660298e-04,1.613677e-04,1.569284e-04,1.527021e-04,1.486793e-04,1.448509e-04,1.412084e-04,1.377434e-04,1.344479e-04,1.313143e-04,1.283352e-04,1.255036e-04,1.228129e-04,1.202565e-04,1.178284e-04,1.155227e-04,1.133338e-04,1.112563e-04,1.092850e-04,1.074151e-04,1.056419e-04,1.039609e-04,1.023679e-04,1.008586e-04,9.942938e-05,9.807632e-05,9.679591e-05,9.558475e-05,9.443960e-05,9.335734e-05,9.233502e-05,9.136981e-05,9.045901e-05,8.960004e-05,8.879044e-05,8.802785e-05,8.731004e-05,8.663485e-05,8.600025e-05,8.540428e-05,8.484508e-05,8.432087e-05,8.382995e-05,8.337070e-05,8.294157e-05
0.000000e+00,7.640000e-09,2.246896e-07,2.362533e-07,1.945326e-06,9.011604e-06,9.527210e-06,3.156662e-05,7.138088e-05,7.451294e-05,1.333184e-04,1.918266e-04,1.968889e-04,2.583565e-04,3.099057e-04,3.153901e-04,3.675437e-04,4.094846e-04,4.149264e-04,4.577851e-04,4.912343e-04,4.963939e-04,5.310247e-04,5.572327e-04,5.619400e-04,5.893920e-04,6.094873e-04,6.136211e-04,6.348565e-04,6.498359e-04,6.533157e-04,6.692047e-04,6.799392e-04,6.827177e-04,6.940376e-04,7.012802e-04,7.033364e-04,7.107751e-04,7.151714e-04,7.165046e-04,7.206659e-04,7.227653e-04,7.233907e-04,7.248016e-04,7.250692e-04,7.250132e-04,7.241319e-04,7.229593e-04,7.222570e-04,7.194804e-04,7.171959e-04,7.158880e-04,7.115591e-04,7.084364e-04,7.065676e-04,7.009819e-04,6.972483e-04,6.948654e-04,6.882767e-04,6.841198e-04,6.812704e-04,6.738965e-04,6.694697e-04,6.662015e-04,6.582281e-04,6.536563e-04,6.500159e-04,6.416013e-04,6.369852e-04,6.330179e-04,6.242967e-04,6.197166e-04,6.154659e-04,6.065515e-04,6.020705e-04,5.975774e-04,5.885653e-04,5.842320e-04,5.795353e-04,5.705054e-04,5.663564e-04,5.614923e-04,5.525109e-04,5.485727e-04,5.435749e-04,5.346966e-04,5.309876e-04,5.258871e-04,5.171564e-04,5.136882e-04,5.085134e-04,4.999662e-04,4.967449e-04,4.915219e-04,4.831867e-04,4.802138e-04,4.749661e-04,4.668650e-04,4.641386e-04,4.588875e-04,4.510373e-04,4.485526e-04,4.433173e-04,4.357302e-04,4.334802e-04,4.282779e-04,4.209620e-04,4.189382e-04,4.137839e-04,4.067443e-04,4.049368e-04,3.998439e-04,3.930829e-04,3.914810e-04,3.864612e-04,3.799787e-04,3.785712e-04,3.736348e-04,3.674287e-04,3.662040e-04,3.613597e-04,3.554266e-04,3.543729e-04,3.496282e-04,3.439631e-04,3.430690e-04,3.384300e-04,3.330272e-04,3.322812e-04,3.277531e-04,3.226059e-04,3.219967e-04,3.175838e-04,3.126849e-04,3.122017e-04,3.079072e-04,3.032488e-04,3.028812e-04,2.987076e-04,2.942816e-04,2.940196e-04,2.899687e-04,2.857668e-04,2.856010e-04,2.816738e-04,2.776875e-04,2.776089e-04,2.738059e-04,2.700269e-04,2.628385e-04,2.560275e-04,2.495776e-04,2.434730e-04,2.376981e-04,2.322379e-04,2.270777e-04,2.222031e-04,2.176005e-04,2.132565e-04,2.091582e-04,2.052934e-04,2.016503e-04,1.982176e-04,1.949843e-04,1.919401e-04,1.890751e-04,1.863798e-04,1.838453e-04,1.814629e-04,1.792244e-04,1.771222e-04,1.751486e-04,1.732968e-04,1.715600e-04,1.699319e-04,1.684065e-04,1.669781e-04,1.656412e-04,1.643907e-04,1.632217e-04,1.621297e-04,1.611102e-04,1.601592e-04,1.592727e-04,1.584469e-04,1.576785e-04,1.569641e-04,1.563005e-04,1.556849e-04,1.551143e-04,1.545861e-04,1.540978e-04,1.536471e-04,1.532318e-04,1.528496e-04,1.524987e-04,1.521770e-04,1.518829e-04
0.000000e+00,8.418502e-09,1.647643e-07,1.725706e-07,1.229012e-06,4.893100e-06,5.137237e-06,1.422604e-05,2.740063e-05,2.833399e-05,4.420058e-05,5.805221e-05,5.919380e-05,7.252836e-05,8.307056e-05,8.416038e-05,9.421735e-05,1.018871e-04,1.028535e-04,1.102173e-04,1.156370e-04,1.164453e-04,1.216611e-04,1.253425e-04,1.259768e-04,1.294933e-04,1.318445e-04,1.323015e-04,1.344832e-04,1.358271e-04,1.361119e-04,1.372531e-04,1.378430e-04,1.379658e-04,1.383024e-04,1.383357e-04,1.383098e-04,1.380298e-04,1.376597e-04,1.374997e-04,1.367524e-04,1.360966e-04,1.358175e-04,1.347211e-04,1.338701e-04,1.334864e-04,1.321341e-04,1.311567e-04,1.306824e-04,1.291474e-04,1.280958e-04,1.275436e-04,1.258835e-04,1.247967e-04,1.241783e-04,1.224380e-04,1.213452e-04,1.206712e-04,1.188856e-04,1.178080e-04,1.170878e-04,1.152838e-04,1.142367e-04,1.134788e-04,1.116771e-04,1.106712e-04,1.098829e-04,1.080994e-04,1.071418e-04,1.063296e-04,1.045761e-04,1.036714e-04,1.028410e-04,1.011262e-04,1.002769e-04,9.943323e-05,9.776344e-05,9.697051e-05,9.611795e-05,9.449762e-05,9.376094e-05,9.290325e-05,9.133536e-05,9.065401e-05,8.979444e-05,8.828077e-05,8.765322e-05,8.679458e-05,8.533599e-05,8.476029e-05,8.390503e-05,8.250167e-05,8.197561e-05,8.112583e-05,7.977737e-05,7.929859e-05,7.845609e-05,7.716179e-05,7.672782e-05,7.589418e-05,7.465298e-05,7.426132e-05,7.343787e-05,7.224852e-05,7.189668e-05,7.108455e-05,6.994562e-05,6.963115e-05,6.883132e-05,6.774128e-05,6.746179e-05,6.667508e-05,6.563234e-05,6.538552e-05,6.461263e-05,6.361555e-05,6.339919e-05,6.264068e-05,6.168762e-05,6.149959e-05,6.075595e-05,5.984526e-05,5.968353e-05,5.895514e-05,5.808519e-05,5.794784e-05,5.723501e-05,5.640420e-05,5.628941e-05,5.559237e-05,5.479914e-05,5.470518e-05,5.402411e-05,5.326692e-05,5.319216e-05,5.252719e-05,5.180455e-05,5.174747e-05,5.109865e-05,5.040914e-05,5.036828e-05,4.973566e-05,4.907787e-05,4.905188e-05,4.843544e-05,4.780804e-05,4.779564e-05,4.719534e-05,4.659702e-05,4.545359e-05,4.436299e-05,4.332297e-05,4.233135e-05,4.138605e-05,4.048507e-05,3.962649e-05,3.880847e-05,3.802925e-05,3.728713e-05,3.658049e-05,3.590777e-05,3.526750e-05,3.465824e-05,3.407862e-05,3.352735e-05,3.300316e-05,3.250487e-05,3.203131e-05,3.158140e-05,3.115407e-05,3.074833e-05,3.036320e-05,2.999777e-05,2.965114e-05,2.932249e-05,2.901098e-05,2.871586e-05,2.843638e-05,2.817182e-05,2.792152e-05,2.768481e-05,2.746109e-05,2.724974e-05,2.705021e-05,2.686195e-05,2.668443e-05,2.651717e-05,2.635967e-05,2.621149e-05,2.607218e-05,2.594134e-05,2.581855e-05,2.570344e-05,2.559564e-05,2.549481e-05,2.540060e-05,2.531270e-05,2.523080e-05
0.000000e+00,9.087129e-09,1.711916e-07,1.795453e-07,1.280138e-06,4.626834e-06,4.832594e-06,1.158809e-05,1.956402e-05,2.008505e-05,2.858734e-05,3.588401e-05,3.649068e-05,4.369469e-05,4.959412e-05,5.021677e-05,5.609858e-05,6.078090e-05,6.138538e-05,6.612122e-05,6.978529e-05,7.034786e-05,7.410460e-05,7.692412e-05,7.742825e-05,8.035318e-05,8.247659e-05,8.291136e-05,8.513255e-05,8.668548e-05,8.704434e-05,8.867228e-05,8.976032e-05,9.004006e-05,9.116970e-05,9.188152e-05,9.208152e-05,9.279432e-05,9.320397e-05,9.332554e-05,9.369118e-05,9.386010e-05,9.390576e-05,9.398277e-05,9.396154e-05,9.393467e-05,9.377295e-05,9.360359e-05,9.350839e-05,9.315147e-05,9.286981e-05,9.271138e-05,9.219647e-05,9.183122e-05,9.161440e-05,9.097223e-05,9.054679e-05,9.027649e-05,8.953312e-05,8.906654e-05,8.874760e-05,8.792495e-05,8.743265e-05,8.706981e-05,8.618643e-05,8.568087e-05,8.527871e-05,8.435020e-05,8.384132e-05,8.340415e-05,8.244356e-05,8.193922e-05,8.147115e-05,8.048941e-05,7.999577e-05,7.950064e-05,7.850692e-05,7.802874e-05,7.751015e-05,7.651205e-05,7.605292e-05,7.551419e-05,7.451801e-05,7.408056e-05,7.352479e-05,7.253569e-05,7.212176e-05,7.155178e-05,7.057400e-05,7.018480e-05,6.960322e-05,6.864019e-05,6.827642e-05,6.768561e-05,6.674009e-05,6.640203e-05,6.580417e-05,6.487834e-05,6.456593e-05,6.396301e-05,6.305856e-05,6.277148e-05,6.216530e-05,6.128352e-05,6.102126e-05,6.041345e-05,5.955529e-05,5.931716e-05,5.870920e-05,5.787531e-05,5.766052e-05,5.705374e-05,5.624455e-05,5.605219e-05,5.544780e-05,5.466352e-05,5.449266e-05,5.389173e-05,5.313242e-05,5.298205e-05,5.238557e-05,5.165114e-05,5.152026e-05,5.092908e-05,5.021933e-05,5.010691e-05,4.952182e-05,4.883646e-05,4.874147e-05,4.816316e-05,4.750182e-05,4.742325e-05,4.685233e-05,4.621458e-05,4.615144e-05,4.558845e-05,4.497381e-05,4.492514e-05,4.437055e-05,4.377852e-05,4.374335e-05,4.319759e-05,4.262763e-05,4.260506e-05,4.206849e-05,4.152003e-05,4.150917e-05,4.098211e-05,4.045459e-05,3.944017e-05,3.846480e-05,3.752732e-05,3.662660e-05,3.576150e-05,3.493092e-05,3.413375e-05,3.336891e-05,3.263533e-05,3.193197e-05,3.125782e-05,3.061189e-05,2.999319e-05,2.940080e-05,2.883378e-05,2.829126e-05,2.777236e-05,2.727623e-05,2.680207e-05,2.634908e-05,2.591650e-05,2.550357e-05,2.510957e-05,2.473382e-05,2.437562e-05,2.403433e-05,2.370932e-05,2.339996e-05,2.310567e-05,2.282588e-05,2.256002e-05,2.230756e-05,2.206798e-05,2.184079e-05,2.162549e-05,2.142161e-05,2.122871e-05,2.104633e-05,2.087407e-05,2.071152e-05,2.055826e-05,2.041393e-05,2.027816e-05,2.015058e-05,2.003085e-05,1.991865e-05,1.981364e-05,1.971553e-05,1.962400e-05
0.000000e+00,5.467249e-10,3.459263e-08,3.684822e-08,5.157800e-07,3.444032e-06,3.691094e-06,1.690260e-05,5.161510e-05,5.494884e-05,1.374253e-04,2.686561e-04,2.829799e-04,5.049985e-04,7.756107e-04,8.098599e-04,1.197045e-03,1.600974e-03,1.660255e-03,2.188928e-03,2.685864e-03,2.769788e-03,3.388234e-03,3.925932e-03,4.029465e-03,4.679336e-03,5.209588e-03,5.324958e-03,5.955061e-03,6.441552e-03,6.560188e-03,7.132741e-03,7.552930e-03,7.666923e-03,8.158612e-03,8.502215e-03,8.605189e-03,9.005342e-03,9.271408e-03,9.358862e-03,9.666450e-03,9.860245e-03,9.929523e-03,1.015005e-02,1.028035e-02,1.033039e-02,1.047318e-02,1.055026e-02,1.058122e-02,1.065736e-02,1.069153e-02,1.070447e-02,1.072533e-02,1.072616e-02,1.072264e-02,1.069897e-02,1.067481e-02,1.065671e-02,1.059811e-02,1.055597e-02,1.052523e-02,1.043995e-02,1.038550e-02,1.034401e-02,1.023894e-02,1.017665e-02,1.012615e-02,1.000687e-02,9.940163e-03,9.882223e-03,9.753184e-03,9.684642e-03,9.620625e-03,9.485309e-03,9.416830e-03,9.347908e-03,9.209010e-03,9.141960e-03,9.069127e-03,8.928708e-03,8.864044e-03,8.788141e-03,8.647766e-03,8.586138e-03,8.507874e-03,8.368721e-03,8.310551e-03,8.230527e-03,8.093479e-03,8.039019e-03,7.957743e-03,7.823457e-03,7.772835e-03,7.690743e-03,7.559703e-03,7.512955e-03,7.430424e-03,7.302982e-03,7.260082e-03,7.177440e-03,7.053849e-03,7.014719e-03,6.932253e-03,6.812689e-03,6.777220e-03,6.695184e-03,6.579761e-03,6.547817e-03,6.466436e-03,6.355222e-03,6.326653e-03,6.246125e-03,6.139150e-03,6.113792e-03,6.034296e-03,5.931560e-03,5.909242e-03,5.830935e-03,5.732414e-03,5.712961e-03,5.635984e-03,5.541633e-03,5.524869e-03,5.449345e-03,5.359104e-03,5.344854e-03,5.270890e-03,5.184685e-03,5.172776e-03,5.100467e-03,5.018215e-03,5.008475e-03,4.937904e-03,4.859511e-03,4.851776e-03,4.783011e-03,4.708379e-03,4.702488e-03,4.635589e-03,4.564613e-03,4.560412e-03,4.495426e-03,4.428000e-03,4.425339e-03,4.362307e-03,4.298319e-03,4.297057e-03,4.236009e-03,4.175348e-03,4.059995e-03,3.950779e-03,3.847481e-03,3.749886e-03,3.657778e-03,3.570948e-03,3.489189e-03,3.412297e-03,3.340074e-03,3.272326e-03,3.208864e-03,3.149503e-03,3.094066e-03,3.042377e-03,2.994268e-03,2.949575e-03,2.908139e-03,2.869805e-03,2.834425e-03,2.801854e-03,2.771951e-03,2.744582e-03,2.719615e-03,2.696924e-03,2.676386e-03,2.657883e-03,2.641301e-03,2.626529e-03,2.613460e-03,2.601993e-03,2.592028e-03,2.583469e-03,2.576225e-03,2.570207e-03,2.565329e-03,2.561511e-03,2.558674e-03,2.556741e-03,2.555642e-03,2.555306e-03,2.555669e-03,2.556665e-03,2.558236e-03,2.560324e-03,2.562874e-03,2.565835e-03,2.569156e-03,2.572792e-03,2.576698e-03
0.000000e+00,1.119675e-09,5.940299e-08,6.311694e-08,7.714567e-07,4.279989e-06,4.546789e-06,1.647044e-05,4.012328e-05,4.211089e-05,8.343904e-05,1.326562e-04,1.372919e-04,1.978876e-04,2.538400e-04,2.600101e-04,3.202866e-04,3.704011e-04,3.769868e-04,4.294166e-04,4.709698e-04,4.774276e-04,5.211234e-04,5.546437e-04,5.607116e-04,5.964349e-04,6.230184e-04,6.285418e-04,6.572745e-04,6.779870e-04,6.828642e-04,7.055295e-04,7.213114e-04,7.254766e-04,7.428990e-04,7.545636e-04,7.579783e-04,7.708847e-04,7.791308e-04,7.817779e-04,7.908070e-04,7.962326e-04,7.981118e-04,8.038231e-04,8.069387e-04,8.080632e-04,8.109462e-04,8.121864e-04,8.125791e-04,8.130616e-04,8.127955e-04,8.124871e-04,8.109425e-04,8.094827e-04,8.085092e-04,8.052630e-04,8.028734e-04,8.012747e-04,7.966103e-04,7.935128e-04,7.913312e-04,7.854950e-04,7.818758e-04,7.791549e-04,7.723608e-04,7.683751e-04,7.651589e-04,7.575923e-04,7.533689e-04,7.497011e-04,7.415225e-04,7.371676e-04,7.330911e-04,7.244390e-04,7.200396e-04,7.155960e-04,7.065897e-04,7.022163e-04,6.974458e-04,6.881880e-04,6.838972e-04,6.788381e-04,6.694164e-04,6.652530e-04,6.599416e-04,6.504310e-04,6.464298e-04,6.409005e-04,6.313648e-04,6.275521e-04,6.218372e-04,6.123302e-04,6.087252e-04,6.028549e-04,5.934220e-04,5.900383e-04,5.840406e-04,5.747196e-04,5.715656e-04,5.654667e-04,5.562890e-04,5.533691e-04,5.471930e-04,5.381845e-04,5.354998e-04,5.292686e-04,5.204502e-04,5.179990e-04,5.117332e-04,5.031215e-04,5.009001e-04,4.946182e-04,4.862263e-04,4.842291e-04,4.779481e-04,4.697858e-04,4.680058e-04,4.617411e-04,4.538156e-04,4.522449e-04,4.460104e-04,4.383266e-04,4.369564e-04,4.307647e-04,4.233254e-04,4.221465e-04,4.160088e-04,4.088151e-04,4.078178e-04,4.017443e-04,3.947960e-04,3.939705e-04,3.879700e-04,3.812657e-04,3.806019e-04,3.746825e-04,3.682196e-04,3.677078e-04,3.618763e-04,3.556516e-04,3.552818e-04,3.495444e-04,3.435538e-04,3.433166e-04,3.376785e-04,3.319174e-04,3.318034e-04,3.262692e-04,3.207325e-04,3.100938e-04,2.998764e-04,2.900688e-04,2.806595e-04,2.716367e-04,2.629883e-04,2.547024e-04,2.467670e-04,2.391703e-04,2.319006e-04,2.249463e-04,2.182961e-04,2.119388e-04,2.058635e-04,2.000597e-04,1.945169e-04,1.892250e-04,1.841744e-04,1.793555e-04,1.747590e-04,1.703762e-04,1.661983e-04,1.622171e-04,1.584245e-04,1.548127e-04,1.513744e-04,1.481023e-04,1.449894e-04,1.420291e-04,1.392149e-04,1.365407e-04,1.340006e-04,1.315887e-04,1.292996e-04,1.271281e-04,1.250691e-04,1.231176e-04,1.212691e-04,1.195190e-04,1.178631e-04,1.162972e-04,1.148173e-04,1.134198e-04,1.121009e-04,1.108571e-04,1.096852e-04,1.085818e-04,1.075439e-04,1.065686e-04
0.000000e+00,6.371435e-10,4.067130e-08,4.334206e-08,6.184636e-07,4.132026e-06,4.426669e-06,1.990937e-05,5.921626e-05,6.292211e-05,1.521037e-04,2.873377e-04,3.017319e-04,5.179065e-04,7.677290e-04,7.984808e-04,1.134950e-03,1.467455e-03,1.514879e-03,1.924118e-03,2.288692e-03,2.348518e-03,2.775086e-03,3.126850e-03,3.192659e-03,3.592212e-03,3.901522e-03,3.966885e-03,4.311846e-03,4.564329e-03,4.624059e-03,4.901997e-03,5.094765e-03,5.145359e-03,5.354790e-03,5.492077e-03,5.531643e-03,5.677758e-03,5.767357e-03,5.795297e-03,5.886594e-03,5.937428e-03,5.954052e-03,6.000057e-03,6.020736e-03,6.026917e-03,6.036820e-03,6.034917e-03,6.031809e-03,6.013773e-03,5.995576e-03,5.984431e-03,5.945340e-03,5.915857e-03,5.897897e-03,5.843346e-03,5.806447e-03,5.782795e-03,5.717220e-03,5.675824e-03,5.647479e-03,5.574326e-03,5.530596e-03,5.498419e-03,5.420332e-03,5.375841e-03,5.340566e-03,5.259554e-03,5.215424e-03,5.177672e-03,5.095246e-03,5.052264e-03,5.012557e-03,4.929848e-03,4.888552e-03,4.847328e-03,4.765178e-03,4.725923e-03,4.683551e-03,4.602581e-03,4.565586e-03,4.522379e-03,4.443042e-03,4.408429e-03,4.364652e-03,4.287278e-03,4.255097e-03,4.210977e-03,4.135797e-03,4.106049e-03,4.061779e-03,3.988953e-03,3.961598e-03,3.917347e-03,3.846978e-03,3.821952e-03,3.777864e-03,3.710014e-03,3.687234e-03,3.643434e-03,3.578130e-03,3.557502e-03,3.514101e-03,3.451344e-03,3.432765e-03,3.389857e-03,3.329631e-03,3.312994e-03,3.270660e-03,3.212934e-03,3.198128e-03,3.156442e-03,3.101171e-03,3.088086e-03,3.047109e-03,2.994242e-03,2.982770e-03,2.942555e-03,2.892033e-03,2.882067e-03,2.842661e-03,2.794421e-03,2.785856e-03,2.747297e-03,2.701272e-03,2.694009e-03,2.656329e-03,2.612450e-03,2.606391e-03,2.569619e-03,2.527817e-03,2.522869e-03,2.487026e-03,2.447230e-03,2.443305e-03,2.408411e-03,2.370550e-03,2.367562e-03,2.333630e-03,2.297635e-03,2.295504e-03,2.262546e-03,2.228347e-03,2.226997e-03,2.195020e-03,2.162548e-03,2.161908e-03,2.130916e-03,2.100106e-03,2.041464e-03,1.985859e-03,1.933169e-03,1.883276e-03,1.836066e-03,1.791429e-03,1.749258e-03,1.709449e-03,1.671902e-03,1.636520e-03,1.603210e-03,1.571882e-03,1.542449e-03,1.514827e-03,1.488937e-03,1.464699e-03,1.442040e-03,1.420887e-03,1.401172e-03,1.382826e-03,1.365786e-03,1.349989e-03,1.335377e-03,1.321892e-03,1.309478e-03,1.298083e-03,1.287655e-03,1.278145e-03,1.269506e-03,1.261691e-03,1.254658e-03,1.248364e-03,1.242769e-03,1.237833e-03,1.233519e-03,1.229790e-03,1.226613e-03,1.223953e-03,1.221780e-03,1.220061e-03,1.218768e-03,1.217872e-03,1.217347e-03,1.217165e-03,1.217303e-03,1.217737e-03,1.218443e-03,1.219399e-03,1.220586e-03
0.000000e+00,3.743910e-09,8.834669e-08,9.286810e-08,6.702873e-07,2.149263e-06,2.228664e-06,4.359801e-06,6.286655e-06,6.402634e-06,8.203060e-06,9.648069e-06,9.764782e-06,1.111236e-05,1.216282e-05,1.227083e-05,1.326276e-05,1.401386e-05,1.410817e-05,1.482469e-05,1.534974e-05,1.542791e-05,1.593159e-05,1.628671e-05,1.634791e-05,1.668763e-05,1.691575e-05,1.696026e-05,1.717415e-05,1.730798e-05,1.733671e-05,1.745447e-05,1.751891e-05,1.753312e-05,1.757770e-05,1.759150e-05,1.759259e-05,1.758166e-05,1.755898e-05,1.754834e-05,1.749560e-05,1.744710e-05,1.742609e-05,1.734219e-05,1.727599e-05,1.724592e-05,1.713905e-05,1.706112e-05,1.702313e-05,1.689952e-05,1.681430e-05,1.676940e-05,1.663383e-05,1.654462e-05,1.649371e-05,1.634985e-05,1.625910e-05,1.620296e-05,1.605364e-05,1.596311e-05,1.590243e-05,1.574979e-05,1.566078e-05,1.559615e-05,1.544185e-05,1.535528e-05,1.528721e-05,1.513250e-05,1.504902e-05,1.497796e-05,1.482379e-05,1.474383e-05,1.467017e-05,1.451726e-05,1.444111e-05,1.436519e-05,1.421407e-05,1.414190e-05,1.406400e-05,1.391508e-05,1.384698e-05,1.376738e-05,1.362094e-05,1.355693e-05,1.347584e-05,1.333211e-05,1.327216e-05,1.318979e-05,1.304891e-05,1.299297e-05,1.290950e-05,1.277157e-05,1.271955e-05,1.263515e-05,1.250023e-05,1.245203e-05,1.236684e-05,1.223497e-05,1.219048e-05,1.210463e-05,1.197581e-05,1.193492e-05,1.184853e-05,1.172277e-05,1.168534e-05,1.159853e-05,1.147580e-05,1.144170e-05,1.135458e-05,1.123485e-05,1.120397e-05,1.111661e-05,1.099985e-05,1.097205e-05,1.088456e-05,1.077073e-05,1.074588e-05,1.065834e-05,1.054738e-05,1.052536e-05,1.043785e-05,1.032972e-05,1.031041e-05,1.022299e-05,1.011764e-05,1.010091e-05,1.001366e-05,9.911029e-06,9.896769e-06,9.809744e-06,9.709788e-06,9.697881e-06,9.611145e-06,9.513804e-06,9.504141e-06,9.417750e-06,9.322970e-06,9.315442e-06,9.229449e-06,9.137174e-06,9.131677e-06,9.046132e-06,8.956309e-06,8.952742e-06,8.867692e-06,8.780266e-06,8.778530e-06,8.694020e-06,8.608939e-06,8.443864e-06,8.283206e-06,8.126863e-06,7.974738e-06,7.826734e-06,7.682755e-06,7.542707e-06,7.406500e-06,7.274043e-06,7.145248e-06,7.020028e-06,6.898299e-06,6.779977e-06,6.664980e-06,6.553230e-06,6.444648e-06,6.339158e-06,6.236685e-06,6.137155e-06,6.040498e-06,5.946642e-06,5.855521e-06,5.767066e-06,5.681212e-06,5.597894e-06,5.517052e-06,5.438622e-06,5.362545e-06,5.288763e-06,5.217218e-06,5.147855e-06,5.080618e-06,5.015455e-06,4.952312e-06,4.891139e-06,4.831886e-06,4.774504e-06,4.718946e-06,4.665165e-06,4.613115e-06,4.562751e-06,4.514032e-06,4.466913e-06,4.421353e-06,4.377313e-06,4.334751e-06,4.293630e-06,4.253912e-06,4.215559e-06
0.000000e+00,1.113875e-09,1.429526e-08,1.492185e-08,9.380308e-08,3.341633e-07,3.490140e-07,8.306123e-07,1.382198e-06,1.417974e-06,2.003675e-06,2.513436e-06,2.556224e-06,3.069840e-06,3.498925e-06,3.544708e-06,3.982405e-06,4.338328e-06,4.384818e-06,4.753871e-06,5.046021e-06,5.091459e-06,5.399427e-06,5.636541e-06,5.679564e-06,5.933593e-06,6.123575e-06,6.163164e-06,6.369855e-06,6.519744e-06,6.555165e-06,6.720515e-06,6.836499e-06,6.867249e-06,6.996635e-06,7.084104e-06,7.109868e-06,7.208070e-06,7.271687e-06,7.292299e-06,7.363544e-06,7.407326e-06,7.422737e-06,7.470749e-06,7.498145e-06,7.508398e-06,7.536451e-06,7.550412e-06,7.555623e-06,7.566588e-06,7.569635e-06,7.569973e-06,7.566368e-06,7.560647e-06,7.556321e-06,7.540349e-06,7.527682e-06,7.518930e-06,7.492516e-06,7.474446e-06,7.461527e-06,7.426353e-06,7.404181e-06,7.387363e-06,7.344897e-06,7.319718e-06,7.299276e-06,7.250796e-06,7.223526e-06,7.199735e-06,7.146352e-06,7.117756e-06,7.090888e-06,7.033568e-06,7.004278e-06,6.974602e-06,6.914183e-06,6.884720e-06,6.852493e-06,6.789701e-06,6.760490e-06,6.725963e-06,6.661425e-06,6.632809e-06,6.596221e-06,6.530478e-06,6.502733e-06,6.464311e-06,6.397829e-06,6.371170e-06,6.331130e-06,6.264307e-06,6.238900e-06,6.197446e-06,6.130625e-06,6.106593e-06,6.063916e-06,5.997387e-06,5.974819e-06,5.931099e-06,5.865110e-06,5.844065e-06,5.799470e-06,5.734227e-06,5.714739e-06,5.669426e-06,5.605105e-06,5.587187e-06,5.541302e-06,5.478048e-06,5.461696e-06,5.415375e-06,5.353308e-06,5.338505e-06,5.291872e-06,5.231089e-06,5.217807e-06,5.170979e-06,5.111559e-06,5.099759e-06,5.052843e-06,4.994846e-06,4.984484e-06,4.937579e-06,4.881053e-06,4.872078e-06,4.825275e-06,4.770253e-06,4.762610e-06,4.715993e-06,4.662499e-06,4.656131e-06,4.609775e-06,4.557823e-06,4.552671e-06,4.506646e-06,4.456242e-06,4.452244e-06,4.406614e-06,4.357758e-06,4.354852e-06,4.309675e-06,4.262361e-06,4.260484e-06,4.215813e-06,4.170028e-06,4.169120e-06,4.125002e-06,4.080731e-06,3.995282e-06,3.912730e-06,3.833029e-06,3.756127e-06,3.681972e-06,3.610505e-06,3.541668e-06,3.475401e-06,3.411642e-06,3.350329e-06,3.291399e-06,3.234789e-06,3.180436e-06,3.128277e-06,3.078251e-06,3.030294e-06,2.984348e-06,2.940351e-06,2.898244e-06,2.857968e-06,2.819468e-06,2.782686e-06,2.747567e-06,2.714057e-06,2.682103e-06,2.651654e-06,2.622659e-06,2.595069e-06,2.568834e-06,2.543909e-06,2.520248e-06,2.497804e-06,2.476536e-06,2.456400e-06,2.437355e-06,2.419360e-06,2.402377e-06,2.386366e-06,2.371292e-06,2.357117e-06,2.343807e-06,2.331327e-06,2.319644e-06,2.308727e-06,2.298542e-06,2.289062e-06,2.280254e-06,2.272092e-06,2.264547e-06
0.000000e+00,1.008347e-09,1.431667e-08,1.495998e-08,9.351491e-08,3.085887e-07,3.209800e-07,6.866482e-07,1.060861e-06,1.084390e-06,1.462666e-06,1.784212e-06,1.810932e-06,2.128492e-06,2.389155e-06,2.416705e-06,2.677321e-06,2.885239e-06,2.912107e-06,3.122770e-06,3.285892e-06,3.310941e-06,3.478169e-06,3.603541e-06,3.625935e-06,3.755670e-06,3.849547e-06,3.868724e-06,3.966384e-06,4.034245e-06,4.049862e-06,4.120298e-06,4.166874e-06,4.178761e-06,4.226250e-06,4.255579e-06,4.263698e-06,4.291973e-06,4.307467e-06,4.311881e-06,4.324171e-06,4.328693e-06,4.329535e-06,4.328616e-06,4.324554e-06,4.322008e-06,4.310259e-06,4.299594e-06,4.293876e-06,4.273328e-06,4.257694e-06,4.249044e-06,4.221423e-06,4.202164e-06,4.190830e-06,4.157603e-06,4.135815e-06,4.122049e-06,4.084455e-06,4.061028e-06,4.045080e-06,4.004165e-06,3.979815e-06,3.961929e-06,3.918572e-06,3.893873e-06,3.874280e-06,3.829220e-06,3.804623e-06,3.783546e-06,3.737397e-06,3.713255e-06,3.690901e-06,3.644174e-06,3.620758e-06,3.597322e-06,3.550439e-06,3.527951e-06,3.503613e-06,3.456921e-06,3.435508e-06,3.410434e-06,3.364216e-06,3.343979e-06,3.318322e-06,3.272805e-06,3.253811e-06,3.227709e-06,3.183074e-06,3.165357e-06,3.138936e-06,3.095326e-06,3.078899e-06,3.052273e-06,3.009798e-06,2.994653e-06,2.967924e-06,2.926666e-06,2.912782e-06,2.886041e-06,2.846060e-06,2.833404e-06,2.806733e-06,2.768067e-06,2.756598e-06,2.730069e-06,2.692743e-06,2.682413e-06,2.656091e-06,2.620115e-06,2.610871e-06,2.584813e-06,2.550185e-06,2.541974e-06,2.516228e-06,2.482939e-06,2.475704e-06,2.450313e-06,2.418346e-06,2.412031e-06,2.387031e-06,2.356363e-06,2.350911e-06,2.326335e-06,2.296939e-06,2.292293e-06,2.268167e-06,2.240011e-06,2.236118e-06,2.212463e-06,2.185514e-06,2.182320e-06,2.159156e-06,2.133378e-06,2.130832e-06,2.108172e-06,2.083529e-06,2.081582e-06,2.059439e-06,2.035891e-06,2.034495e-06,2.012878e-06,1.990388e-06,1.989499e-06,1.968412e-06,1.946942e-06,1.946517e-06,1.925966e-06,1.905476e-06,1.866301e-06,1.828918e-06,1.793257e-06,1.759247e-06,1.726820e-06,1.695908e-06,1.666448e-06,1.638377e-06,1.611634e-06,1.586161e-06,1.561901e-06,1.538802e-06,1.516809e-06,1.495874e-06,1.475948e-06,1.456985e-06,1.438941e-06,1.421774e-06,1.405443e-06,1.389909e-06,1.375136e-06,1.361087e-06,1.347729e-06,1.335030e-06,1.322958e-06,1.311484e-06,1.300579e-06,1.290217e-06,1.280372e-06,1.271019e-06,1.262136e-06,1.253698e-06,1.245686e-06,1.238078e-06,1.230856e-06,1.224000e-06,1.217494e-06,1.211320e-06,1.205462e-06,1.199905e-06,1.194634e-06,1.189635e-06,1.184896e-06,1.180403e-06,1.176144e-06,1.172108e-06,1.168284e-06,1.164661e-06,1.161230e-06
0.000000e+00,2.626425e-09,1.448969e-07,1.539893e-07,1.899538e-06,1.080376e-05,1.149343e-05,4.332899e-05,1.094351e-04,1.150911e-04,2.348032e-04,3.813008e-04,3.952899e-04,5.808999e-04,7.562764e-04,7.758089e-04,9.680746e-04,1.129033e-03,1.150193e-03,1.318166e-03,1.449996e-03,1.470326e-03,1.606390e-03,1.708579e-03,1.726832e-03,1.832497e-03,1.908820e-03,1.924391e-03,2.003566e-03,2.058446e-03,2.071058e-03,2.127859e-03,2.165347e-03,2.174906e-03,2.213078e-03,2.236656e-03,2.243189e-03,2.265995e-03,2.278582e-03,2.282196e-03,2.292433e-03,2.296446e-03,2.297300e-03,2.297340e-03,2.294764e-03,2.293050e-03,2.284888e-03,2.277342e-03,2.273273e-03,2.258586e-03,2.247382e-03,2.241179e-03,2.221369e-03,2.207566e-03,2.199450e-03,2.175686e-03,2.160135e-03,2.150322e-03,2.123578e-03,2.106953e-03,2.095654e-03,2.066734e-03,2.049570e-03,2.036983e-03,2.006553e-03,1.989267e-03,1.975581e-03,1.944188e-03,1.927102e-03,1.912489e-03,1.880583e-03,1.863941e-03,1.848561e-03,1.816506e-03,1.800490e-03,1.784491e-03,1.752582e-03,1.737321e-03,1.720837e-03,1.689310e-03,1.674894e-03,1.658047e-03,1.627089e-03,1.613573e-03,1.596472e-03,1.566229e-03,1.553645e-03,1.536387e-03,1.506971e-03,1.495329e-03,1.478002e-03,1.449497e-03,1.438790e-03,1.421471e-03,1.393936e-03,1.384146e-03,1.366904e-03,1.340381e-03,1.331480e-03,1.314374e-03,1.288887e-03,1.280842e-03,1.263924e-03,1.239485e-03,1.232256e-03,1.215571e-03,1.192181e-03,1.185725e-03,1.169313e-03,1.146964e-03,1.141238e-03,1.125131e-03,1.103810e-03,1.098768e-03,1.082994e-03,1.062680e-03,1.058277e-03,1.042860e-03,1.023529e-03,1.019721e-03,1.004680e-03,9.863046e-04,9.830469e-04,9.683966e-04,9.509482e-04,9.481986e-04,9.339515e-04,9.173985e-04,9.151160e-04,9.012811e-04,8.855912e-04,8.837368e-04,8.703206e-04,8.554608e-04,8.539972e-04,8.410038e-04,8.269411e-04,8.258328e-04,8.132644e-04,7.999655e-04,7.991794e-04,7.870362e-04,7.744683e-04,7.739730e-04,7.622538e-04,7.503846e-04,7.501506e-04,7.388528e-04,7.276505e-04,7.064123e-04,6.863773e-04,6.674885e-04,6.496909e-04,6.329313e-04,6.171585e-04,6.023235e-04,5.883788e-04,5.752795e-04,5.629820e-04,5.514451e-04,5.406292e-04,5.304965e-04,5.210111e-04,5.121387e-04,5.038465e-04,4.961034e-04,4.888799e-04,4.821478e-04,4.758802e-04,4.700518e-04,4.646385e-04,4.596171e-04,4.549659e-04,4.506641e-04,4.466920e-04,4.430310e-04,4.396632e-04,4.365719e-04,4.337411e-04,4.311556e-04,4.288010e-04,4.266638e-04,4.247309e-04,4.229902e-04,4.214299e-04,4.200391e-04,4.188073e-04,4.177246e-04,4.167815e-04,4.159693e-04,4.152794e-04,4.147039e-04,4.142352e-04,4.138662e-04,4.135900e-04,4.134002e-04,4.132908e-04,4.132559e-04
0.000000e+00,1.949669e-09,2.475267e-08,2.582101e-08,1.568632e-07,5.536935e-07,5.786131e-07,1.428225e-06,2.488496e-06,2.559372e-06,3.741065e-06,4.793751e-06,4.882981e-06,5.964491e-06,6.883456e-06,6.982397e-06,7.937568e-06,8.727698e-06,8.831869e-06,9.667391e-06,1.034056e-05,1.044627e-05,1.117066e-05,1.173862e-05,1.184272e-05,1.246461e-05,1.293866e-05,1.303851e-05,1.356658e-05,1.395746e-05,1.405094e-05,1.449370e-05,1.481149e-05,1.489691e-05,1.526257e-05,1.551656e-05,1.559263e-05,1.588895e-05,1.608758e-05,1.615335e-05,1.638756e-05,1.653845e-05,1.659327e-05,1.677205e-05,1.688201e-05,1.692546e-05,1.705495e-05,1.713006e-05,1.716192e-05,1.724771e-05,1.729335e-05,1.731359e-05,1.736079e-05,1.738172e-05,1.739045e-05,1.740368e-05,1.740409e-05,1.740153e-05,1.738500e-05,1.736857e-05,1.735503e-05,1.731254e-05,1.728250e-05,1.725838e-05,1.719337e-05,1.715251e-05,1.711827e-05,1.703383e-05,1.698459e-05,1.694073e-05,1.683965e-05,1.678415e-05,1.673121e-05,1.661600e-05,1.655604e-05,1.649459e-05,1.636750e-05,1.630463e-05,1.623525e-05,1.609830e-05,1.603385e-05,1.595711e-05,1.581211e-05,1.574720e-05,1.566369e-05,1.551224e-05,1.544782e-05,1.535812e-05,1.520166e-05,1.513849e-05,1.504318e-05,1.488299e-05,1.482172e-05,1.472136e-05,1.455855e-05,1.449971e-05,1.439483e-05,1.423042e-05,1.417441e-05,1.406555e-05,1.390041e-05,1.384754e-05,1.373521e-05,1.357012e-05,1.352064e-05,1.340531e-05,1.324094e-05,1.319501e-05,1.307715e-05,1.291409e-05,1.287183e-05,1.275188e-05,1.259064e-05,1.255210e-05,1.243047e-05,1.227149e-05,1.223668e-05,1.211377e-05,1.195742e-05,1.192632e-05,1.180250e-05,1.164910e-05,1.162165e-05,1.149727e-05,1.134707e-05,1.132320e-05,1.119857e-05,1.105182e-05,1.103141e-05,1.090684e-05,1.076370e-05,1.074665e-05,1.062242e-05,1.048303e-05,1.046919e-05,1.034556e-05,1.021004e-05,1.019928e-05,1.007648e-05,9.944898e-06,9.937067e-06,9.815315e-06,9.687738e-06,9.682677e-06,9.562174e-06,9.438630e-06,9.436179e-06,9.317108e-06,9.197609e-06,8.966963e-06,8.744209e-06,8.529289e-06,8.322122e-06,8.122604e-06,7.930618e-06,7.746031e-06,7.568697e-06,7.398460e-06,7.235158e-06,7.078619e-06,6.928668e-06,6.785126e-06,6.647809e-06,6.516535e-06,6.391118e-06,6.271373e-06,6.157117e-06,6.048166e-06,5.944339e-06,5.845457e-06,5.751345e-06,5.661828e-06,5.576736e-06,5.495904e-06,5.419167e-06,5.346368e-06,5.277350e-06,5.211962e-06,5.150058e-06,5.091495e-06,5.036133e-06,4.983839e-06,4.934481e-06,4.887933e-06,4.844074e-06,4.802784e-06,4.763950e-06,4.727461e-06,4.693211e-06,4.661097e-06,4.631021e-06,4.602886e-06,4.576602e-06,4.552078e-06,4.529232e-06,4.507980e-06,4.488244e-06,4.469949e-06
0.000000e+00,1.281786e-09,1.914354e-08,2.001043e-08,1.253621e-07,4.217801e-07,4.395793e-07,1.014362e-06,1.688085e-06,1.732367e-06,2.465328e-06,3.115556e-06,3.170698e-06,3.840113e-06,4.411070e-06,4.472685e-06,5.069116e-06,5.564907e-06,5.630452e-06,6.157853e-06,6.585196e-06,6.652526e-06,7.115703e-06,7.481344e-06,7.548632e-06,7.952558e-06,8.263004e-06,8.328718e-06,8.678328e-06,8.939700e-06,9.002577e-06,9.302622e-06,9.520578e-06,9.579585e-06,9.834553e-06,1.001426e-05,1.006857e-05,1.028265e-05,1.042881e-05,1.047776e-05,1.065484e-05,1.077167e-05,1.081477e-05,1.095842e-05,1.104973e-05,1.108662e-05,1.120015e-05,1.126936e-05,1.129977e-05,1.138620e-05,1.143637e-05,1.146015e-05,1.152227e-05,1.155611e-05,1.157320e-05,1.161354e-05,1.163350e-05,1.164390e-05,1.166481e-05,1.167304e-05,1.167681e-05,1.168041e-05,1.167884e-05,1.167610e-05,1.166433e-05,1.165465e-05,1.164556e-05,1.162020e-05,1.160391e-05,1.158866e-05,1.155132e-05,1.152974e-05,1.150855e-05,1.146071e-05,1.143498e-05,1.140812e-05,1.135110e-05,1.132224e-05,1.128995e-05,1.122497e-05,1.119387e-05,1.115644e-05,1.108460e-05,1.105201e-05,1.100971e-05,1.093202e-05,1.089860e-05,1.085174e-05,1.076908e-05,1.073541e-05,1.068427e-05,1.059747e-05,1.056401e-05,1.050889e-05,1.041870e-05,1.038587e-05,1.032706e-05,1.023413e-05,1.020227e-05,1.014006e-05,1.004499e-05,1.001438e-05,9.949055e-06,9.852385e-06,9.823258e-06,9.755098e-06,9.657308e-06,9.629851e-06,9.559123e-06,9.460644e-06,9.435004e-06,9.361969e-06,9.263187e-06,9.239473e-06,9.164384e-06,9.065641e-06,9.043933e-06,8.967033e-06,8.868633e-06,8.848984e-06,8.770507e-06,8.672719e-06,8.655157e-06,8.575327e-06,8.478387e-06,8.462922e-06,8.381951e-06,8.286067e-06,8.272690e-06,8.190781e-06,8.096135e-06,8.084822e-06,8.002168e-06,7.908917e-06,7.899633e-06,7.816416e-06,7.724695e-06,7.717392e-06,7.633785e-06,7.543712e-06,7.538335e-06,7.454500e-06,7.366171e-06,7.362657e-06,7.278747e-06,7.192245e-06,7.190524e-06,7.106683e-06,7.022075e-06,6.857421e-06,6.696650e-06,6.539829e-06,6.387006e-06,6.238214e-06,6.093469e-06,5.952773e-06,5.816118e-06,5.683485e-06,5.554843e-06,5.430157e-06,5.309380e-06,5.192463e-06,5.079350e-06,4.969978e-06,4.864283e-06,4.762197e-06,4.663648e-06,4.568563e-06,4.476865e-06,4.388478e-06,4.303325e-06,4.221325e-06,4.142401e-06,4.066472e-06,3.993459e-06,3.923283e-06,3.855866e-06,3.791129e-06,3.728996e-06,3.669390e-06,3.612236e-06,3.557460e-06,3.504988e-06,3.454749e-06,3.406673e-06,3.360690e-06,3.316733e-06,3.274736e-06,3.234633e-06,3.196362e-06,3.159860e-06,3.125068e-06,3.091926e-06,3.060377e-06,3.030365e-06,3.001836e-06,2.974737e-06,2.949016e-06
0.000000e+00,4.268638e-09,1.849428e-07,1.960915e-07,2.263507e-06,1.209353e-05,1.281983e-05,4.273912e-05,9.115602e-05,9.474420e-05,1.589102e-04,2.199129e-04,2.251482e-04,2.887205e-04,3.424217e-04,3.481698e-04,4.032466e-04,4.481761e-04,4.540536e-04,5.007843e-04,5.378746e-04,5.436513e-04,5.828669e-04,6.131379e-04,6.186381e-04,6.511650e-04,6.755516e-04,6.806404e-04,7.072489e-04,7.265907e-04,7.311675e-04,7.525645e-04,7.676073e-04,7.716005e-04,7.884277e-04,7.998281e-04,8.031903e-04,8.160249e-04,8.243575e-04,8.270606e-04,8.364194e-04,8.421843e-04,8.442164e-04,8.505599e-04,8.541906e-04,8.555523e-04,8.592898e-04,8.611611e-04,8.618633e-04,8.633579e-04,8.637926e-04,8.638540e-04,8.634271e-04,8.627024e-04,8.621480e-04,8.600835e-04,8.584366e-04,8.572961e-04,8.538445e-04,8.514778e-04,8.497839e-04,8.451659e-04,8.422514e-04,8.400391e-04,8.344489e-04,8.311320e-04,8.284379e-04,8.220458e-04,8.184489e-04,8.153100e-04,8.082654e-04,8.044911e-04,8.009446e-04,7.933781e-04,7.895116e-04,7.855942e-04,7.776197e-04,7.737316e-04,7.694793e-04,7.611961e-04,7.573438e-04,7.527916e-04,7.442858e-04,7.405160e-04,7.356974e-04,7.270436e-04,7.233935e-04,7.183406e-04,7.096033e-04,7.061019e-04,7.008455e-04,6.920800e-04,6.887495e-04,6.833185e-04,6.745721e-04,6.714290e-04,6.658507e-04,6.571637e-04,6.542195e-04,6.485196e-04,6.399262e-04,6.371882e-04,6.313906e-04,6.229194e-04,6.203915e-04,6.145185e-04,6.061935e-04,6.038767e-04,5.979491e-04,5.897898e-04,5.876828e-04,5.817196e-04,5.737421e-04,5.718417e-04,5.658605e-04,5.580776e-04,5.563789e-04,5.503959e-04,5.428176e-04,5.413145e-04,5.353445e-04,5.279783e-04,5.266639e-04,5.207203e-04,5.135717e-04,5.124381e-04,5.065332e-04,4.996056e-04,4.986447e-04,4.927895e-04,4.860851e-04,4.852881e-04,4.794925e-04,4.730119e-04,4.723700e-04,4.666430e-04,4.603856e-04,4.598898e-04,4.542393e-04,4.482037e-04,4.478450e-04,4.422780e-04,4.364618e-04,4.362314e-04,4.307541e-04,4.251542e-04,4.250433e-04,4.196612e-04,4.142740e-04,4.039155e-04,3.939595e-04,3.843965e-04,3.752169e-04,3.664106e-04,3.579672e-04,3.498760e-04,3.421263e-04,3.347073e-04,3.276084e-04,3.208186e-04,3.143276e-04,3.081246e-04,3.021995e-04,2.965420e-04,2.911422e-04,2.859904e-04,2.810771e-04,2.763930e-04,2.719292e-04,2.676769e-04,2.636277e-04,2.597732e-04,2.561056e-04,2.526171e-04,2.493003e-04,2.461480e-04,2.431532e-04,2.403094e-04,2.376099e-04,2.350486e-04,2.326196e-04,2.303170e-04,2.281353e-04,2.260692e-04,2.241135e-04,2.222634e-04,2.205141e-04,2.188610e-04,2.172999e-04,2.158266e-04,2.144369e-04,2.131271e-04,2.118935e-04,2.107326e-04,2.096409e-04,2.086152e-04,2.076524e-04,2.067494e-04
0.000000e+00,7.539560e-09,6.213682e-07,6.659303e-07,1.215499e-05,9.407651e-05,1.012322e-04,4.924358e-04,1.525125e-03,1.624143e-03,4.076039e-03,8.019304e-03,8.453860e-03,1.530300e-02,2.394215e-02,2.505809e-02,3.801995e-02,5.221137e-02,5.435124e-02,7.408402e-02,9.371356e-02,9.713451e-02,1.233214e-01,1.475544e-01,1.523854e-01,1.840088e-01,2.115993e-01,2.178332e-01,2.534759e-01,2.830349e-01,2.905435e-01,3.286441e-01,3.588338e-01,3.673964e-01,4.064374e-01,4.360920e-01,4.454279e-01,4.840565e-01,5.122419e-01,5.220417e-01,5.591340e-01,5.851640e-01,5.951155e-01,6.298000e-01,6.532227e-01,6.630315e-01,6.946830e-01,7.152517e-01,7.246548e-01,7.528719e-01,7.705078e-01,7.792823e-01,8.038543e-01,8.186090e-01,8.265750e-01,8.474472e-01,8.594666e-01,8.664879e-01,8.837264e-01,8.932203e-01,8.992018e-01,9.129620e-01,9.201783e-01,9.250617e-01,9.355614e-01,9.407662e-01,9.445254e-01,9.520216e-01,9.554836e-01,9.581196e-01,9.628905e-01,9.648706e-01,9.664058e-01,9.687370e-01,9.694808e-01,9.699549e-01,9.701289e-01,9.698618e-01,9.693272e-01,9.676160e-01,9.665412e-01,9.650595e-01,9.617196e-01,9.600172e-01,9.576556e-01,9.529247e-01,9.507520e-01,9.475812e-01,9.416769e-01,9.391693e-01,9.352611e-01,9.283806e-01,9.256534e-01,9.210795e-01,9.133995e-01,9.105496e-01,9.053799e-01,8.970576e-01,8.941653e-01,8.884672e-01,8.796413e-01,8.767723e-01,8.706102e-01,8.614024e-01,8.586095e-01,8.520442e-01,8.425604e-01,8.398856e-01,8.329739e-01,8.233061e-01,8.207817e-01,8.135768e-01,8.038042e-01,8.014542e-01,7.940053e-01,7.841958e-01,7.820377e-01,7.743901e-01,7.646015e-01,7.626469e-01,7.548422e-01,7.451236e-01,7.433793e-01,7.354558e-01,7.258483e-01,7.243172e-01,7.163096e-01,7.068477e-01,7.055296e-01,6.974696e-01,6.881818e-01,6.870736e-01,6.789901e-01,6.698998e-01,6.689965e-01,6.609155e-01,6.520414e-01,6.513364e-01,6.432815e-01,6.346388e-01,6.341241e-01,6.261165e-01,6.177169e-01,6.173835e-01,6.094423e-01,6.012947e-01,6.011330e-01,5.932755e-01,5.853861e-01,5.701519e-01,5.554361e-01,5.412410e-01,5.275666e-01,5.144103e-01,5.017678e-01,4.896330e-01,4.779985e-01,4.668558e-01,4.561952e-01,4.460063e-01,4.362781e-01,4.269988e-01,4.181564e-01,4.097385e-01,4.017321e-01,3.941244e-01,3.869023e-01,3.800525e-01,3.735619e-01,3.674171e-01,3.616051e-01,3.561126e-01,3.509268e-01,3.460347e-01,3.414237e-01,3.370813e-01,3.329952e-01,3.291535e-01,3.255443e-01,3.221561e-01,3.189777e-01,3.159982e-01,3.132070e-01,3.105937e-01,3.081484e-01,3.058614e-01,3.037233e-01,3.017253e-01,2.998586e-01,2.981150e-01,2.964864e-01,2.949654e-01,2.935445e-01,2.922168e-01,2.909758e-01,2.898151e-01,2.887287e-01,2.877111e-01
0.000000e+00,1.510522e-08,3.609436e-07,3.800772e-07,3.287542e-06,1.344125e-05,1.407848e-05,3.404961e-05,5.539465e-05,5.674738e-05,7.863102e-05,9.746265e-05,9.903867e-05,1.179206e-04,1.336552e-04,1.353322e-04,1.513466e-04,1.643422e-04,1.660376e-04,1.794774e-04,1.900885e-04,1.917362e-04,2.028819e-04,2.114325e-04,2.129805e-04,2.220959e-04,2.288797e-04,2.302891e-04,2.376188e-04,2.428986e-04,2.441410e-04,2.499088e-04,2.539164e-04,2.549724e-04,2.593797e-04,2.623180e-04,2.631755e-04,2.664023e-04,2.684474e-04,2.691000e-04,2.713062e-04,2.726103e-04,2.730563e-04,2.743834e-04,2.750774e-04,2.753187e-04,2.758916e-04,2.760883e-04,2.761296e-04,2.760584e-04,2.758539e-04,2.757023e-04,2.750840e-04,2.745605e-04,2.742246e-04,2.731442e-04,2.723715e-04,2.718613e-04,2.703934e-04,2.694308e-04,2.687569e-04,2.669669e-04,2.658641e-04,2.650378e-04,2.629830e-04,2.617820e-04,2.608148e-04,2.585448e-04,2.572806e-04,2.561841e-04,2.537426e-04,2.524442e-04,2.512298e-04,2.486545e-04,2.473460e-04,2.460249e-04,2.433487e-04,2.420496e-04,2.406328e-04,2.378840e-04,2.366102e-04,2.351083e-04,2.323115e-04,2.310755e-04,2.294987e-04,2.266749e-04,2.254867e-04,2.238446e-04,2.210119e-04,2.198791e-04,2.181808e-04,2.153548e-04,2.142829e-04,2.125371e-04,2.097309e-04,2.087239e-04,2.069388e-04,2.041634e-04,2.032240e-04,2.014071e-04,1.986719e-04,1.978014e-04,1.959598e-04,1.932725e-04,1.924715e-04,1.906118e-04,1.879789e-04,1.872468e-04,1.853752e-04,1.828018e-04,1.821379e-04,1.802599e-04,1.777502e-04,1.771528e-04,1.752738e-04,1.728311e-04,1.722983e-04,1.704229e-04,1.680497e-04,1.675793e-04,1.657120e-04,1.634100e-04,1.629995e-04,1.611442e-04,1.589147e-04,1.585614e-04,1.567217e-04,1.545654e-04,1.542664e-04,1.524458e-04,1.503629e-04,1.501154e-04,1.483167e-04,1.463071e-04,1.461082e-04,1.443341e-04,1.423974e-04,1.422441e-04,1.404970e-04,1.386326e-04,1.385218e-04,1.368039e-04,1.350108e-04,1.349398e-04,1.332529e-04,1.315300e-04,1.314959e-04,1.298417e-04,1.281877e-04,1.250126e-04,1.219677e-04,1.190501e-04,1.162566e-04,1.135839e-04,1.110288e-04,1.085878e-04,1.062576e-04,1.040347e-04,1.019158e-04,9.989745e-05,9.797635e-05,9.614916e-05,9.441264e-05,9.276358e-05,9.119881e-05,8.971527e-05,8.830992e-05,8.697982e-05,8.572209e-05,8.453393e-05,8.341261e-05,8.235546e-05,8.135990e-05,8.042344e-05,7.954362e-05,7.871809e-05,7.794455e-05,7.722080e-05,7.654468e-05,7.591412e-05,7.532710e-05,7.478168e-05,7.427597e-05,7.380817e-05,7.337653e-05,7.297933e-05,7.261496e-05,7.228184e-05,7.197844e-05,7.170330e-05,7.145500e-05,7.123219e-05,7.103355e-05,7.085781e-05,7.070378e-05,7.057026e-05,7.045616e-05,7.036037e-05
0.000000e+00,2.330376e-10,1.745193e-08,1.866563e-08,3.104749e-07,2.248502e-06,2.414185e-06,1.127496e-05,3.417847e-05,3.635345e-05,8.920407e-05,1.706526e-04,1.793938e-04,3.120060e-04,4.678479e-04,4.871961e-04,7.009656e-04,9.155565e-04,9.464083e-04,1.214988e-03,1.457547e-03,1.497629e-03,1.785543e-03,2.025625e-03,2.070791e-03,2.346615e-03,2.561902e-03,2.607579e-03,2.849585e-03,3.027590e-03,3.069790e-03,3.266470e-03,3.403028e-03,3.438860e-03,3.586972e-03,3.683671e-03,3.711439e-03,3.813349e-03,3.875065e-03,3.894119e-03,3.955373e-03,3.988367e-03,3.998851e-03,4.026332e-03,4.036995e-03,4.039575e-03,4.040278e-03,4.034416e-03,4.030045e-03,4.010369e-03,3.992880e-03,3.982619e-03,3.948035e-03,3.922835e-03,3.907732e-03,3.862699e-03,3.832790e-03,3.813808e-03,3.761822e-03,3.729424e-03,3.707403e-03,3.651122e-03,3.617823e-03,3.593470e-03,3.534864e-03,3.501762e-03,3.475658e-03,3.416148e-03,3.383977e-03,3.356586e-03,3.297179e-03,3.266406e-03,3.238097e-03,3.179483e-03,3.150388e-03,3.121451e-03,3.064094e-03,3.036825e-03,3.007486e-03,2.951686e-03,2.926303e-03,2.896741e-03,2.842684e-03,2.819187e-03,2.789541e-03,2.737332e-03,2.715686e-03,2.686069e-03,2.635759e-03,2.615903e-03,2.586406e-03,2.538010e-03,2.519870e-03,2.490569e-03,2.444077e-03,2.427571e-03,2.398528e-03,2.353914e-03,2.338956e-03,2.310224e-03,2.267450e-03,2.253953e-03,2.225579e-03,2.184600e-03,2.172479e-03,2.144501e-03,2.105270e-03,2.094439e-03,2.066894e-03,2.029359e-03,2.019736e-03,1.992652e-03,1.956761e-03,1.948267e-03,1.921671e-03,1.887370e-03,1.879928e-03,1.853843e-03,1.821078e-03,1.814616e-03,1.789061e-03,1.757779e-03,1.752225e-03,1.727218e-03,1.697366e-03,1.692654e-03,1.668208e-03,1.639733e-03,1.635800e-03,1.611927e-03,1.584777e-03,1.581562e-03,1.558271e-03,1.532396e-03,1.529843e-03,1.507141e-03,1.482492e-03,1.480546e-03,1.458437e-03,1.434966e-03,1.433576e-03,1.412065e-03,1.389724e-03,1.388842e-03,1.367931e-03,1.346675e-03,1.346255e-03,1.325944e-03,1.305728e-03,1.267177e-03,1.230521e-03,1.195680e-03,1.162580e-03,1.131146e-03,1.101308e-03,1.072997e-03,1.046147e-03,1.020696e-03,9.965824e-04,9.737474e-04,9.521348e-04,9.316904e-04,9.123623e-04,8.941005e-04,8.768571e-04,8.605860e-04,8.452429e-04,8.307856e-04,8.171734e-04,8.043671e-04,7.923293e-04,7.810242e-04,7.704174e-04,7.604757e-04,7.511676e-04,7.424626e-04,7.343317e-04,7.267470e-04,7.196817e-04,7.131102e-04,7.070080e-04,7.013515e-04,6.961183e-04,6.912866e-04,6.868360e-04,6.827463e-04,6.789989e-04,6.755753e-04,6.724584e-04,6.696312e-04,6.670780e-04,6.647834e-04,6.627329e-04,6.609125e-04,6.593087e-04,6.579088e-04,6.567006e-04,6.556724e-04
0.000000e+00,1.137174e-09,6.377072e-08,6.777990e-08,8.588662e-07,5.261227e-06,5.618911e-06,2.364611e-05,6.717806e-05,7.120104e-05,1.654119e-04,3.009415e-04,3.149226e-04,5.160094e-04,7.304778e-04,7.557171e-04,1.017355e-03,1.252915e-03,1.284859e-03,1.545143e-03,1.755971e-03,1.788837e-03,2.010074e-03,2.176293e-03,2.205848e-03,2.375275e-03,2.494908e-03,2.518919e-03,2.638251e-03,2.717531e-03,2.735248e-03,2.812109e-03,2.859523e-03,2.871070e-03,2.914285e-03,2.937842e-03,2.943766e-03,2.961349e-03,2.967676e-03,2.968681e-03,2.967225e-03,2.961465e-03,2.958270e-03,2.942945e-03,2.928960e-03,2.922235e-03,2.896996e-03,2.877629e-03,2.867970e-03,2.835801e-03,2.813121e-03,2.801045e-03,2.764183e-03,2.739679e-03,2.725628e-03,2.685739e-03,2.660474e-03,2.644823e-03,2.603147e-03,2.577873e-03,2.560938e-03,2.518393e-03,2.493629e-03,2.475678e-03,2.432939e-03,2.409041e-03,2.390298e-03,2.347861e-03,2.325061e-03,2.305715e-03,2.263937e-03,2.242380e-03,2.222591e-03,2.181728e-03,2.161493e-03,2.141395e-03,2.101628e-03,2.082749e-03,2.062456e-03,2.023904e-03,2.006384e-03,1.985991e-03,1.948732e-03,1.932548e-03,1.912138e-03,1.876217e-03,1.861332e-03,1.840973e-03,1.806410e-03,1.792775e-03,1.772527e-03,1.739323e-03,1.726884e-03,1.706797e-03,1.674943e-03,1.663640e-03,1.643757e-03,1.613233e-03,1.603003e-03,1.583362e-03,1.554138e-03,1.544922e-03,1.525554e-03,1.497599e-03,1.489334e-03,1.470265e-03,1.443543e-03,1.436169e-03,1.417424e-03,1.391897e-03,1.385355e-03,1.366952e-03,1.342581e-03,1.336816e-03,1.318772e-03,1.295516e-03,1.290472e-03,1.272802e-03,1.250621e-03,1.246248e-03,1.228963e-03,1.207818e-03,1.204065e-03,1.187175e-03,1.167026e-03,1.163847e-03,1.147360e-03,1.128168e-03,1.125519e-03,1.109441e-03,1.091169e-03,1.089006e-03,1.073343e-03,1.055954e-03,1.054238e-03,1.038993e-03,1.022451e-03,1.021145e-03,1.006320e-03,9.905908e-04,9.896596e-04,9.752556e-04,9.603060e-04,9.597159e-04,9.457338e-04,9.315312e-04,9.312509e-04,9.176904e-04,9.042037e-04,8.785154e-04,8.541292e-04,8.309907e-04,8.090472e-04,7.882482e-04,7.685449e-04,7.498906e-04,7.322403e-04,7.155508e-04,6.997804e-04,6.848894e-04,6.708394e-04,6.575934e-04,6.451162e-04,6.333737e-04,6.223332e-04,6.119634e-04,6.022341e-04,5.931165e-04,5.845826e-04,5.766058e-04,5.691603e-04,5.622216e-04,5.557659e-04,5.497705e-04,5.442135e-04,5.390738e-04,5.343314e-04,5.299668e-04,5.259614e-04,5.222973e-04,5.189572e-04,5.159246e-04,5.131838e-04,5.107194e-04,5.085167e-04,5.065619e-04,5.048412e-04,5.033419e-04,5.020514e-04,5.009579e-04,5.000498e-04,4.993162e-04,4.987466e-04,4.983308e-04,4.980593e-04,4.979227e-04,4.979121e-04,4.980192e-04
0.000000e+00,1.606936e-09,1.007048e-07,1.072103e-07,1.455043e-06,9.596563e-06,1.028589e-05,4.798601e-05,1.529596e-04,1.633895e-04,4.352562e-04,9.073189e-04,9.611496e-04,1.842281e-03,3.016053e-03,3.171470e-03,5.025417e-03,7.136307e-03,7.460562e-03,1.051159e-02,1.363873e-02,1.419178e-02,1.849460e-02,2.257300e-02,2.339601e-02,2.885723e-02,3.371793e-02,3.482759e-02,4.124736e-02,4.666248e-02,4.805044e-02,5.516682e-02,6.088890e-02,6.252468e-02,7.005231e-02,7.584362e-02,7.767961e-02,8.533938e-02,9.099111e-02,9.296830e-02,1.005077e-01,1.058503e-01,1.079039e-01,1.151090e-01,1.200159e-01,1.220805e-01,1.287815e-01,1.331676e-01,1.351808e-01,1.412527e-01,1.450704e-01,1.469763e-01,1.523357e-01,1.555692e-01,1.573196e-01,1.619206e-01,1.645792e-01,1.661352e-01,1.699631e-01,1.720753e-01,1.734071e-01,1.764726e-01,1.780801e-01,1.791672e-01,1.815003e-01,1.826532e-01,1.834833e-01,1.851284e-01,1.858811e-01,1.864493e-01,1.874603e-01,1.878684e-01,1.881762e-01,1.886124e-01,1.887305e-01,1.887845e-01,1.887080e-01,1.885876e-01,1.883985e-01,1.878715e-01,1.875602e-01,1.871421e-01,1.862250e-01,1.857658e-01,1.851347e-01,1.838851e-01,1.833160e-01,1.824896e-01,1.809611e-01,1.803152e-01,1.793120e-01,1.775540e-01,1.768598e-01,1.756984e-01,1.737558e-01,1.730371e-01,1.717362e-01,1.696492e-01,1.689258e-01,1.675036e-01,1.653080e-01,1.645961e-01,1.630701e-01,1.607973e-01,1.601097e-01,1.584966e-01,1.561742e-01,1.555209e-01,1.538363e-01,1.514882e-01,1.508767e-01,1.491352e-01,1.467820e-01,1.462177e-01,1.444330e-01,1.420921e-01,1.415786e-01,1.397632e-01,1.374495e-01,1.369889e-01,1.351543e-01,1.328802e-01,1.324734e-01,1.306300e-01,1.284060e-01,1.280527e-01,1.262102e-01,1.240447e-01,1.237440e-01,1.219110e-01,1.198108e-01,1.195610e-01,1.177453e-01,1.157159e-01,1.155149e-01,1.137234e-01,1.117690e-01,1.116143e-01,1.098533e-01,1.079771e-01,1.078657e-01,1.061408e-01,1.043449e-01,1.042739e-01,1.025899e-01,1.008759e-01,1.008421e-01,9.920327e-02,9.757198e-02,9.446429e-02,9.151866e-02,8.873390e-02,8.610807e-02,8.363862e-02,8.132248e-02,7.915612e-02,7.713565e-02,7.525686e-02,7.351528e-02,7.190622e-02,7.042482e-02,6.906608e-02,6.782491e-02,6.669614e-02,6.567454e-02,6.475487e-02,6.393189e-02,6.320035e-02,6.255506e-02,6.199085e-02,6.150266e-02,6.108548e-02,6.073440e-02,6.044464e-02,6.021151e-02,6.003047e-02,5.989712e-02,5.980719e-02,5.975660e-02,5.974141e-02,5.975785e-02,5.980233e-02,5.987144e-02,5.996194e-02,6.007080e-02,6.019514e-02,6.033228e-02,6.047973e-02,6.063517e-02,6.079645e-02,6.096161e-02,6.112886e-02,6.129657e-02,6.146327e-02,6.162765e-02,6.178854e-02,6.194492e-02,6.209590e-02
0.000000e+00,5.021286e-10,3.480741e-08,3.717159e-08,5.881031e-07,4.214922e-06,4.525122e-06,2.108207e-05,6.337536e-05,6.736065e-05,1.632205e-04,3.090073e-04,3.245786e-04,5.599794e-04,8.359644e-04,8.702413e-04,1.249742e-03,1.632955e-03,1.688288e-03,2.172989e-03,2.616078e-03,2.689850e-03,3.224990e-03,3.679147e-03,3.765499e-03,4.299964e-03,4.726896e-03,4.818747e-03,5.314064e-03,5.689347e-03,5.779936e-03,6.212052e-03,6.523800e-03,6.607579e-03,6.964951e-03,7.210688e-03,7.283658e-03,7.564041e-03,7.747423e-03,7.807107e-03,8.014361e-03,8.142447e-03,8.187670e-03,8.329136e-03,8.410414e-03,8.441003e-03,8.525579e-03,8.568680e-03,8.585170e-03,8.622035e-03,8.634981e-03,8.638356e-03,8.636210e-03,8.626054e-03,8.617553e-03,8.584209e-03,8.556908e-03,8.537870e-03,8.480093e-03,8.440536e-03,8.412305e-03,8.335805e-03,8.287912e-03,8.251771e-03,8.161269e-03,8.108126e-03,8.065261e-03,7.964610e-03,7.908604e-03,7.860090e-03,7.752392e-03,7.695341e-03,7.642135e-03,7.529868e-03,7.473137e-03,7.416082e-03,7.301210e-03,7.245800e-03,7.185636e-03,7.069702e-03,7.016335e-03,6.953707e-03,6.837916e-03,6.787094e-03,6.722562e-03,6.607849e-03,6.559905e-03,6.493957e-03,6.381041e-03,6.336179e-03,6.269237e-03,6.158663e-03,6.116989e-03,6.049420e-03,5.941595e-03,5.903140e-03,5.835263e-03,5.730486e-03,5.695226e-03,5.627318e-03,5.525803e-03,5.493673e-03,5.425975e-03,5.327864e-03,5.298768e-03,5.231490e-03,5.136870e-03,5.110693e-03,5.044015e-03,4.952931e-03,4.929540e-03,4.863620e-03,4.776081e-03,4.755335e-03,4.690310e-03,4.606299e-03,4.588052e-03,4.524039e-03,4.443518e-03,4.427622e-03,4.364722e-03,4.287635e-03,4.273940e-03,4.212241e-03,4.138520e-03,4.126879e-03,4.066453e-03,3.996021e-03,3.986290e-03,3.927201e-03,3.859972e-03,3.852010e-03,3.794311e-03,3.730194e-03,3.723867e-03,3.667600e-03,3.606503e-03,3.601679e-03,3.546879e-03,3.488705e-03,3.485260e-03,3.431956e-03,3.376608e-03,3.374423e-03,3.322636e-03,3.270016e-03,3.268977e-03,3.218723e-03,3.168734e-03,3.073506e-03,2.983108e-03,2.897358e-03,2.816078e-03,2.739093e-03,2.666235e-03,2.597336e-03,2.532237e-03,2.470782e-03,2.412819e-03,2.358203e-03,2.306791e-03,2.258447e-03,2.213040e-03,2.170441e-03,2.130527e-03,2.093180e-03,2.058285e-03,2.025732e-03,1.995415e-03,1.967231e-03,1.941081e-03,1.916870e-03,1.894506e-03,1.873902e-03,1.854971e-03,1.837632e-03,1.821806e-03,1.807417e-03,1.794392e-03,1.782660e-03,1.772153e-03,1.762806e-03,1.754556e-03,1.747342e-03,1.741106e-03,1.735792e-03,1.731346e-03,1.727716e-03,1.724853e-03,1.722707e-03,1.721234e-03,1.720389e-03,1.720129e-03,1.720414e-03,1.721204e-03,1.722463e-03,1.724154e-03,1.726244e-03
0.000000e+00,1.218305e-09,7.447017e-08,7.923734e-08,1.045413e-06,6.710582e-06,7.184558e-06,3.259260e-05,1.011786e-04,1.078948e-04,2.794117e-04,5.675271e-04,5.998461e-04,1.117967e-03,1.785016e-03,1.871810e-03,2.885524e-03,4.000582e-03,4.168800e-03,5.717943e-03,7.251572e-03,7.517829e-03,9.544270e-03,1.139916e-02,1.176645e-02,1.414922e-02,1.619670e-02,1.665515e-02,1.924624e-02,2.135537e-02,2.188529e-02,2.453705e-02,2.659316e-02,2.716892e-02,2.975156e-02,3.166545e-02,3.225920e-02,3.466972e-02,3.638004e-02,3.696474e-02,3.912942e-02,4.060074e-02,4.115233e-02,4.302518e-02,4.424387e-02,4.474252e-02,4.630144e-02,4.727057e-02,4.770124e-02,4.894317e-02,4.967770e-02,5.003009e-02,5.096619e-02,5.148855e-02,5.175676e-02,5.240792e-02,5.274458e-02,5.292645e-02,5.331957e-02,5.349836e-02,5.359479e-02,5.375979e-02,5.380802e-02,5.382226e-02,5.378983e-02,5.373303e-02,5.367001e-02,5.347007e-02,5.333128e-02,5.319705e-02,5.285770e-02,5.265717e-02,5.245844e-02,5.200535e-02,5.176043e-02,5.150418e-02,5.096031e-02,5.068558e-02,5.037879e-02,4.976431e-02,4.947179e-02,4.912123e-02,4.845361e-02,4.815305e-02,4.776517e-02,4.705935e-02,4.675849e-02,4.633932e-02,4.560797e-02,4.531286e-02,4.486796e-02,4.412170e-02,4.383696e-02,4.337141e-02,4.261909e-02,4.234812e-02,4.186656e-02,4.111546e-02,4.086069e-02,4.036729e-02,3.962338e-02,3.938643e-02,3.888494e-02,3.815306e-02,3.793491e-02,3.742869e-02,3.671270e-02,3.651384e-02,3.600587e-02,3.530885e-02,3.512932e-02,3.462226e-02,3.394662e-02,3.378615e-02,3.328238e-02,3.262993e-02,3.248801e-02,3.198961e-02,3.136172e-02,3.123765e-02,3.074648e-02,3.014409e-02,3.003704e-02,2.955471e-02,2.897847e-02,2.888749e-02,2.841544e-02,2.786570e-02,2.778980e-02,2.732927e-02,2.680617e-02,2.674429e-02,2.629637e-02,2.579985e-02,2.575092e-02,2.531655e-02,2.484640e-02,2.480936e-02,2.438933e-02,2.394524e-02,2.391900e-02,2.351401e-02,2.309554e-02,2.307906e-02,2.268968e-02,2.229631e-02,2.228857e-02,2.191527e-02,2.154641e-02,2.085140e-02,2.020222e-02,1.959753e-02,1.903590e-02,1.851588e-02,1.803600e-02,1.759475e-02,1.719062e-02,1.682209e-02,1.648763e-02,1.618572e-02,1.591485e-02,1.567351e-02,1.546019e-02,1.527342e-02,1.511172e-02,1.497364e-02,1.485774e-02,1.476261e-02,1.468686e-02,1.462912e-02,1.458806e-02,1.456236e-02,1.455076e-02,1.455200e-02,1.456489e-02,1.458825e-02,1.462096e-02,1.466194e-02,1.471015e-02,1.476458e-02,1.482431e-02,1.488842e-02,1.495608e-02,1.502648e-02,1.509889e-02,1.517260e-02,1.524698e-02,1.532143e-02,1.539543e-02,1.546846e-02,1.554011e-02,1.560996e-02,1.567768e-02,1.574297e-02,1.580556e-02,1.586524e-02,1.592183e-02,1.597518e-02
0.000000e+00,1.147383e-09,8.344757e-08,8.917985e-08,1.448468e-06,1.057829e-05,1.136650e-05,5.435594e-05,1.692523e-04,1.803651e-04,4.589177e-04,9.150936e-04,9.657731e-04,1.771683e-03,2.801482e-03,2.935294e-03,4.499457e-03,6.228162e-03,6.489991e-03,8.916086e-03,1.134669e-02,1.177175e-02,1.503788e-02,1.807699e-02,1.868454e-02,2.267342e-02,2.616866e-02,2.696012e-02,3.149624e-02,3.527083e-02,3.623131e-02,4.111433e-02,4.499351e-02,4.609521e-02,5.112574e-02,5.495409e-02,5.616051e-02,6.115749e-02,6.480827e-02,6.607842e-02,7.088912e-02,7.426755e-02,7.555956e-02,8.006388e-02,8.310623e-02,8.438029e-02,8.849090e-02,9.116118e-02,9.238152e-02,9.604135e-02,9.832659e-02,9.946276e-02,1.026410e-01,1.045462e-01,1.055737e-01,1.082610e-01,1.098047e-01,1.107049e-01,1.129091e-01,1.141186e-01,1.148787e-01,1.166201e-01,1.175283e-01,1.181405e-01,1.194481e-01,1.200906e-01,1.205516e-01,1.214602e-01,1.218731e-01,1.221833e-01,1.227306e-01,1.229489e-01,1.231118e-01,1.233365e-01,1.233933e-01,1.234145e-01,1.233552e-01,1.232806e-01,1.231677e-01,1.228610e-01,1.226824e-01,1.224440e-01,1.219248e-01,1.216661e-01,1.213115e-01,1.206119e-01,1.202940e-01,1.198332e-01,1.189823e-01,1.186233e-01,1.180660e-01,1.170905e-01,1.167055e-01,1.160616e-01,1.149849e-01,1.145866e-01,1.138656e-01,1.127086e-01,1.123074e-01,1.115185e-01,1.102996e-01,1.099041e-01,1.090559e-01,1.077911e-01,1.074081e-01,1.065087e-01,1.052120e-01,1.048467e-01,1.039038e-01,1.025871e-01,1.022436e-01,1.012642e-01,9.993773e-02,9.961907e-02,9.860974e-02,9.728228e-02,9.699049e-02,9.595719e-02,9.463618e-02,9.437260e-02,9.332080e-02,9.201250e-02,9.177786e-02,9.071256e-02,8.942218e-02,8.921668e-02,8.814245e-02,8.687433e-02,8.669777e-02,8.561873e-02,8.437644e-02,8.422829e-02,8.314818e-02,8.193461e-02,8.181408e-02,8.073630e-02,7.955377e-02,7.945986e-02,7.838747e-02,7.723780e-02,7.716936e-02,7.610511e-02,7.498970e-02,7.494545e-02,7.389184e-02,7.281173e-02,7.279031e-02,7.174958e-02,7.070551e-02,6.869206e-02,6.675055e-02,6.488118e-02,6.308381e-02,6.135805e-02,5.970324e-02,5.811856e-02,5.660300e-02,5.515543e-02,5.377458e-02,5.245909e-02,5.120753e-02,5.001836e-02,4.889003e-02,4.782091e-02,4.680934e-02,4.585364e-02,4.495208e-02,4.410293e-02,4.330444e-02,4.255484e-02,4.185237e-02,4.119527e-02,4.058176e-02,4.001010e-02,3.947851e-02,3.898528e-02,3.852866e-02,3.810697e-02,3.771850e-02,3.736160e-02,3.703463e-02,3.673598e-02,3.646407e-02,3.621737e-02,3.599436e-02,3.579357e-02,3.561358e-02,3.545297e-02,3.531042e-02,3.518462e-02,3.507430e-02,3.497826e-02,3.489533e-02,3.482440e-02,3.476439e-02,3.471429e-02,3.467313e-02,3.464000e-02
0.000000e+00,3.911749e-09,1.906782e-07,2.025681e-07,2.543655e-06,1.434191e-05,1.522561e-05,5.154923e-05,1.091949e-04,1.134279e-04,1.886515e-04,2.594830e-04,2.655248e-04,3.382521e-04,3.985392e-04,4.049187e-04,4.652385e-04,5.132661e-04,5.194640e-04,5.679896e-04,6.054791e-04,6.112297e-04,6.495838e-04,6.783028e-04,6.834302e-04,7.131245e-04,7.346102e-04,7.390003e-04,7.613702e-04,7.769388e-04,7.805263e-04,7.967408e-04,8.075097e-04,8.102670e-04,8.213400e-04,8.282492e-04,8.301773e-04,8.369803e-04,8.408147e-04,8.419349e-04,8.452124e-04,8.466231e-04,8.469710e-04,8.473561e-04,8.468806e-04,8.465016e-04,8.445303e-04,8.426101e-04,8.415555e-04,8.376807e-04,8.346769e-04,8.330012e-04,8.276043e-04,8.238111e-04,8.215700e-04,8.149716e-04,8.106270e-04,8.078762e-04,8.003451e-04,7.956409e-04,7.924345e-04,7.841956e-04,7.792852e-04,7.756752e-04,7.669161e-04,7.619213e-04,7.579571e-04,7.488337e-04,7.438502e-04,7.395781e-04,7.302197e-04,7.253216e-04,7.207850e-04,7.112981e-04,7.065420e-04,7.017809e-04,6.922532e-04,6.876815e-04,6.827328e-04,6.732356e-04,6.688787e-04,6.637762e-04,6.543674e-04,6.502466e-04,6.450210e-04,6.357471e-04,6.318761e-04,6.265552e-04,6.174533e-04,6.138394e-04,6.084487e-04,5.995476e-04,5.961935e-04,5.907556e-04,5.820775e-04,5.789821e-04,5.735174e-04,5.650789e-04,5.622380e-04,5.567648e-04,5.485777e-04,5.459850e-04,5.405195e-04,5.325919e-04,5.302393e-04,5.247961e-04,5.171329e-04,5.150110e-04,5.096028e-04,5.022061e-04,5.003049e-04,4.949429e-04,4.878129e-04,4.861215e-04,4.808157e-04,4.739506e-04,4.724579e-04,4.672169e-04,4.606137e-04,4.593086e-04,4.541399e-04,4.477943e-04,4.466656e-04,4.415756e-04,4.354825e-04,4.345192e-04,4.295135e-04,4.236670e-04,4.228582e-04,4.179416e-04,4.123355e-04,4.116707e-04,4.068470e-04,4.014745e-04,4.009435e-04,3.962161e-04,3.910702e-04,3.906633e-04,3.860348e-04,3.811083e-04,3.808161e-04,3.762888e-04,3.715744e-04,3.713880e-04,3.669633e-04,3.624538e-04,3.623646e-04,3.580439e-04,3.537319e-04,3.454758e-04,3.375824e-04,3.300382e-04,3.228297e-04,3.159438e-04,3.093679e-04,3.030896e-04,2.970969e-04,2.913781e-04,2.859220e-04,2.807177e-04,2.757546e-04,2.710228e-04,2.665124e-04,2.622141e-04,2.581188e-04,2.542177e-04,2.505027e-04,2.469656e-04,2.435988e-04,2.403948e-04,2.373466e-04,2.344473e-04,2.316905e-04,2.290698e-04,2.265793e-04,2.242132e-04,2.219660e-04,2.198324e-04,2.178073e-04,2.158860e-04,2.140636e-04,2.123359e-04,2.106986e-04,2.091474e-04,2.076787e-04,2.062885e-04,2.049734e-04,2.037298e-04,2.025546e-04,2.014445e-04,2.003966e-04,1.994080e-04,1.984759e-04,1.975976e-04,1.967708e-04,1.959929e-04,1.952616e-04,1.945747e-04
0.000000e+00,6.305346e-10,4.600075e-08,4.914751e-08,7.551552e-07,4.953496e-06,5.296318e-06,2.236888e-05,6.231573e-05,6.594835e-05,1.496394e-04,2.685055e-04,2.807754e-04,4.587861e-04,6.535161e-04,6.768433e-04,9.245343e-04,1.157808e-03,1.190271e-03,1.462992e-03,1.695784e-03,1.733146e-03,1.993129e-03,2.199499e-03,2.237336e-03,2.461993e-03,2.630029e-03,2.664886e-03,2.845048e-03,2.972778e-03,3.002466e-03,3.137817e-03,3.228799e-03,3.252249e-03,3.347202e-03,3.407319e-03,3.424274e-03,3.485124e-03,3.520682e-03,3.531402e-03,3.564691e-03,3.581461e-03,3.586488e-03,3.598176e-03,3.601026e-03,3.601022e-03,3.596172e-03,3.589008e-03,3.584656e-03,3.567394e-03,3.553253e-03,3.545200e-03,3.518798e-03,3.499987e-03,3.488820e-03,3.455825e-03,3.434071e-03,3.420303e-03,3.382681e-03,3.359257e-03,3.343332e-03,3.302583e-03,3.278419e-03,3.260716e-03,3.217979e-03,3.193747e-03,3.174585e-03,3.130723e-03,3.106900e-03,3.086552e-03,3.042214e-03,3.019133e-03,2.997829e-03,2.953503e-03,2.931390e-03,2.909325e-03,2.865374e-03,2.844378e-03,2.821717e-03,2.778411e-03,2.758622e-03,2.735505e-03,2.693041e-03,2.674507e-03,2.651055e-03,2.609575e-03,2.592311e-03,2.568628e-03,2.528233e-03,2.512234e-03,2.488408e-03,2.449166e-03,2.434409e-03,2.410518e-03,2.372472e-03,2.358924e-03,2.335033e-03,2.298207e-03,2.285826e-03,2.261996e-03,2.226400e-03,2.215139e-03,2.191419e-03,2.157051e-03,2.146860e-03,2.123295e-03,2.090147e-03,2.080974e-03,2.057602e-03,2.025657e-03,2.017449e-03,1.994306e-03,1.963543e-03,1.956247e-03,1.933363e-03,1.903758e-03,1.897321e-03,1.874722e-03,1.846248e-03,1.840620e-03,1.818328e-03,1.790956e-03,1.786087e-03,1.764124e-03,1.737823e-03,1.733664e-03,1.712048e-03,1.686788e-03,1.683293e-03,1.662038e-03,1.637788e-03,1.634912e-03,1.614032e-03,1.590760e-03,1.588459e-03,1.567966e-03,1.545641e-03,1.543876e-03,1.523779e-03,1.502370e-03,1.501100e-03,1.481407e-03,1.460883e-03,1.460071e-03,1.440791e-03,1.421122e-03,1.420733e-03,1.401869e-03,1.383025e-03,1.346892e-03,1.312278e-03,1.279130e-03,1.247395e-03,1.217021e-03,1.187960e-03,1.160162e-03,1.133582e-03,1.108174e-03,1.083893e-03,1.060698e-03,1.038547e-03,1.017401e-03,9.972216e-04,9.779707e-04,9.596130e-04,9.421136e-04,9.254392e-04,9.095573e-04,8.944367e-04,8.800473e-04,8.663600e-04,8.533467e-04,8.409803e-04,8.292348e-04,8.180848e-04,8.075061e-04,7.974752e-04,7.879695e-04,7.789673e-04,7.704474e-04,7.623896e-04,7.547743e-04,7.475827e-04,7.407967e-04,7.343987e-04,7.283718e-04,7.226997e-04,7.173669e-04,7.123582e-04,7.076589e-04,7.032552e-04,6.991335e-04,6.952808e-04,6.916846e-04,6.883327e-04,6.852137e-04,6.823162e-04,6.796295e-04
0.000000e+00,1.057726e-09,6.639980e-08,7.068713e-08,9.573439e-07,6.340796e-06,6.799225e-06,3.231868e-05,1.060991e-04,1.135772e-04,3.140994e-04,6.769874e-04,7.191208e-04,1.422495e-03,2.385279e-03,2.514271e-03,4.071947e-03,5.876049e-03,6.155315e-03,8.804118e-03,1.154962e-02,1.203773e-02,1.585620e-02,1.950347e-02,2.024219e-02,2.516346e-02,2.956740e-02,3.057547e-02,3.642411e-02,4.137654e-02,4.264833e-02,4.918250e-02,5.445059e-02,5.595859e-02,6.290806e-02,6.826401e-02,6.996342e-02,7.705955e-02,8.230053e-02,8.413480e-02,9.113169e-02,9.609119e-02,9.799760e-02,1.046851e-01,1.092374e-01,1.111520e-01,1.173620e-01,1.214218e-01,1.232837e-01,1.288915e-01,1.324103e-01,1.341645e-01,1.390867e-01,1.420473e-01,1.436466e-01,1.478369e-01,1.502475e-01,1.516539e-01,1.550974e-01,1.569852e-01,1.581700e-01,1.608773e-01,1.622830e-01,1.632269e-01,1.652284e-01,1.662013e-01,1.668930e-01,1.682336e-01,1.688275e-01,1.692637e-01,1.699978e-01,1.702676e-01,1.704511e-01,1.706391e-01,1.706386e-01,1.705777e-01,1.702825e-01,1.700624e-01,1.697693e-01,1.690537e-01,1.686608e-01,1.681510e-01,1.670760e-01,1.665522e-01,1.658432e-01,1.644666e-01,1.638488e-01,1.629596e-01,1.613351e-01,1.606551e-01,1.596053e-01,1.577818e-01,1.570666e-01,1.558756e-01,1.538973e-01,1.531694e-01,1.518566e-01,1.497628e-01,1.490403e-01,1.476244e-01,1.454495e-01,1.447470e-01,1.432456e-01,1.410197e-01,1.403486e-01,1.387782e-01,1.365271e-01,1.358958e-01,1.342718e-01,1.320175e-01,1.314321e-01,1.297688e-01,1.275299e-01,1.269944e-01,1.253046e-01,1.230965e-01,1.226134e-01,1.209088e-01,1.187443e-01,1.183145e-01,1.166057e-01,1.144951e-01,1.141184e-01,1.124148e-01,1.103665e-01,1.100419e-01,1.083519e-01,1.063723e-01,1.060980e-01,1.044290e-01,1.025231e-01,1.022970e-01,1.006555e-01,9.882682e-02,9.864613e-02,9.703782e-02,9.528895e-02,9.515079e-02,9.358060e-02,9.191305e-02,9.181430e-02,9.028647e-02,8.870095e-02,8.863839e-02,8.715652e-02,8.565310e-02,8.562345e-02,8.419056e-02,8.276873e-02,8.007254e-02,7.753240e-02,7.514520e-02,7.290727e-02,7.081452e-02,6.886251e-02,6.704653e-02,6.536164e-02,6.380276e-02,6.236466e-02,6.104207e-02,5.982966e-02,5.872206e-02,5.771396e-02,5.680005e-02,5.597508e-02,5.523388e-02,5.457135e-02,5.398251e-02,5.346249e-02,5.300655e-02,5.261006e-02,5.226857e-02,5.197776e-02,5.173347e-02,5.153172e-02,5.136868e-02,5.124070e-02,5.114431e-02,5.107621e-02,5.103328e-02,5.101258e-02,5.101135e-02,5.102699e-02,5.105710e-02,5.109942e-02,5.115188e-02,5.121256e-02,5.127971e-02,5.135170e-02,5.142710e-02,5.150457e-02,5.158294e-02,5.166115e-02,5.173827e-02,5.181348e-02,5.188607e-02,5.195544e-02,5.202107e-02
0.000000e+00,1.278757e-09,7.788325e-08,8.285412e-08,1.080795e-06,6.908150e-06,7.397426e-06,3.412078e-05,1.098075e-04,1.174291e-04,3.205331e-04,6.849333e-04,7.270463e-04,1.424796e-03,2.365302e-03,2.490142e-03,3.978184e-03,5.661684e-03,5.918848e-03,8.317162e-03,1.073324e-02,1.115607e-02,1.440046e-02,1.740383e-02,1.800171e-02,2.190196e-02,2.527910e-02,2.603810e-02,3.034507e-02,3.387038e-02,3.475860e-02,3.921729e-02,4.268958e-02,4.366416e-02,4.804766e-02,5.130852e-02,5.232231e-02,5.644901e-02,5.938800e-02,6.039498e-02,6.413364e-02,6.668525e-02,6.764426e-02,7.091146e-02,7.304788e-02,7.392477e-02,7.667808e-02,7.840049e-02,7.916906e-02,8.139870e-02,8.272881e-02,8.337072e-02,8.509117e-02,8.606380e-02,8.656793e-02,8.781036e-02,8.846754e-02,8.882893e-02,8.963493e-02,9.002139e-02,9.024017e-02,9.065680e-02,9.081684e-02,9.089705e-02,9.097312e-02,9.094851e-02,9.089705e-02,9.068060e-02,9.050937e-02,9.033516e-02,8.987173e-02,8.958762e-02,8.930081e-02,8.863243e-02,8.826467e-02,8.787607e-02,8.704072e-02,8.661419e-02,8.613482e-02,8.516629e-02,8.470180e-02,8.414255e-02,8.307052e-02,8.258520e-02,8.195663e-02,8.080686e-02,8.031460e-02,7.962674e-02,7.842141e-02,7.793328e-02,7.719557e-02,7.595359e-02,7.547825e-02,7.469947e-02,7.343687e-02,7.298092e-02,7.216917e-02,7.089943e-02,7.046776e-02,6.963047e-02,6.836484e-02,6.796093e-02,6.710486e-02,6.585265e-02,6.547879e-02,6.461010e-02,6.337893e-02,6.303646e-02,6.216070e-02,6.095678e-02,6.064627e-02,5.976842e-02,5.859673e-02,5.831811e-02,5.744266e-02,5.630710e-02,5.605983e-02,5.519078e-02,5.409436e-02,5.387752e-02,5.301841e-02,5.196341e-02,5.177577e-02,5.092977e-02,4.991780e-02,4.975792e-02,4.892780e-02,4.795996e-02,4.782624e-02,4.701443e-02,4.609133e-02,4.598206e-02,4.519070e-02,4.431257e-02,4.422599e-02,4.345691e-02,4.262368e-02,4.255799e-02,4.181277e-02,4.102408e-02,4.097747e-02,4.025747e-02,3.951276e-02,3.948343e-02,3.878977e-02,3.808830e-02,3.807449e-02,3.740812e-02,3.674898e-02,3.550497e-02,3.434035e-02,3.325283e-02,3.224000e-02,3.129935e-02,3.042830e-02,2.962420e-02,2.888436e-02,2.820606e-02,2.758658e-02,2.702316e-02,2.651309e-02,2.605362e-02,2.564206e-02,2.527572e-02,2.495194e-02,2.466812e-02,2.442168e-02,2.421009e-02,2.403089e-02,2.388166e-02,2.376006e-02,2.366380e-02,2.359067e-02,2.353854e-02,2.350536e-02,2.348916e-02,2.348806e-02,2.350027e-02,2.352409e-02,2.355791e-02,2.360021e-02,2.364959e-02,2.370471e-02,2.376434e-02,2.382737e-02,2.389273e-02,2.395949e-02,2.402677e-02,2.409381e-02,2.415991e-02,2.422446e-02,2.428692e-02,2.434683e-02,2.440379e-02,2.445747e-02,2.450761e-02,2.455400e-02,2.459647e-02
0.000000e+00,1.237360e-08,1.902920e-07,1.988561e-07,1.274638e-06,4.533929e-06,4.736443e-06,1.149431e-05,1.961516e-05,2.014764e-05,2.884992e-05,3.633429e-05,3.695731e-05,4.436555e-05,5.044751e-05,5.109028e-05,5.717045e-05,6.202146e-05,6.264841e-05,6.756577e-05,7.137686e-05,7.196250e-05,7.587664e-05,7.881803e-05,7.934428e-05,8.239947e-05,8.461951e-05,8.507427e-05,8.739861e-05,8.902462e-05,8.940048e-05,9.110621e-05,9.224686e-05,9.254021e-05,9.372520e-05,9.447232e-05,9.468230e-05,9.543058e-05,9.586030e-05,9.598771e-05,9.637019e-05,9.654606e-05,9.659334e-05,9.667234e-05,9.664938e-05,9.662103e-05,9.645155e-05,9.627460e-05,9.617518e-05,9.580225e-05,9.550787e-05,9.534227e-05,9.480401e-05,9.442221e-05,9.419556e-05,9.352436e-05,9.307973e-05,9.279725e-05,9.202053e-05,9.153312e-05,9.120000e-05,9.034097e-05,8.982703e-05,8.944832e-05,8.852654e-05,8.799917e-05,8.757974e-05,8.661169e-05,8.608133e-05,8.562584e-05,8.462534e-05,8.410027e-05,8.361309e-05,8.259173e-05,8.207839e-05,8.156365e-05,8.053107e-05,8.003442e-05,7.949598e-05,7.846019e-05,7.798395e-05,7.742536e-05,7.639299e-05,7.593988e-05,7.536443e-05,7.434092e-05,7.391281e-05,7.332355e-05,7.231332e-05,7.191143e-05,7.131112e-05,7.031775e-05,6.994274e-05,6.933393e-05,6.836029e-05,6.801238e-05,6.739739e-05,6.644572e-05,6.612479e-05,6.550572e-05,6.457776e-05,6.428341e-05,6.366216e-05,6.275919e-05,6.249081e-05,6.186910e-05,6.099207e-05,6.074886e-05,6.012825e-05,5.927778e-05,5.905885e-05,5.844073e-05,5.761718e-05,5.742154e-05,5.680717e-05,5.601070e-05,5.583730e-05,5.522778e-05,5.445838e-05,5.430612e-05,5.370245e-05,5.295995e-05,5.282772e-05,5.223079e-05,5.151490e-05,5.140159e-05,5.081218e-05,5.012253e-05,5.002701e-05,4.944582e-05,4.878194e-05,4.870313e-05,4.813075e-05,4.749212e-05,4.742894e-05,4.686590e-05,4.625196e-05,4.620337e-05,4.565013e-05,4.506026e-05,4.502525e-05,4.448220e-05,4.391578e-05,4.389336e-05,4.336083e-05,4.281721e-05,4.280645e-05,4.228473e-05,4.176323e-05,4.076240e-05,3.980266e-05,3.888271e-05,3.800125e-05,3.715700e-05,3.634869e-05,3.557510e-05,3.483499e-05,3.412719e-05,3.345052e-05,3.280386e-05,3.218611e-05,3.159618e-05,3.103304e-05,3.049568e-05,2.998312e-05,2.949442e-05,2.902864e-05,2.858491e-05,2.816237e-05,2.776019e-05,2.737755e-05,2.701370e-05,2.666788e-05,2.633938e-05,2.602748e-05,2.573153e-05,2.545088e-05,2.518489e-05,2.493298e-05,2.469455e-05,2.446905e-05,2.425594e-05,2.405470e-05,2.386484e-05,2.368585e-05,2.351730e-05,2.335872e-05,2.320968e-05,2.306978e-05,2.293861e-05,2.281579e-05,2.270094e-05,2.259372e-05,2.249377e-05,2.240077e-05,2.231441e-05,2.223437e-05,2.216036e-05
0.000000e+00,7.424507e-09,5.987097e-07,6.413596e-07,1.151657e-05,8.756077e-05,9.412196e-05,4.433125e-04,1.332639e-03,1.416856e-03,3.481835e-03,6.781732e-03,7.145534e-03,1.290180e-02,2.023968e-02,2.119426e-02,3.239307e-02,4.487986e-02,4.678225e-02,6.455466e-02,8.262535e-02,8.581285e-02,1.105738e-01,1.340374e-01,1.387765e-01,1.702912e-01,1.984737e-01,2.049290e-01,2.424528e-01,2.743657e-01,2.825871e-01,3.250275e-01,3.595238e-01,3.694497e-01,4.155178e-01,4.514206e-01,4.628910e-01,5.112303e-01,5.474276e-01,5.602035e-01,6.094897e-01,6.449969e-01,6.587826e-01,7.077940e-01,7.417897e-01,7.562550e-01,8.039181e-01,8.357573e-01,8.505579e-01,8.959718e-01,9.251850e-01,9.399797e-01,9.824239e-01,1.008704e+00,1.023168e+00,1.062098e+00,1.085281e+00,1.099119e+00,1.134155e+00,1.154198e+00,1.167147e+00,1.198054e+00,1.215014e+00,1.226851e+00,1.253523e+00,1.267532e+00,1.278073e+00,1.300511e+00,1.311757e+00,1.320860e+00,1.339150e+00,1.347860e+00,1.355420e+00,1.369716e+00,1.376140e+00,1.382090e+00,1.392598e+00,1.396997e+00,1.401301e+00,1.408263e+00,1.410899e+00,1.413551e+00,1.417233e+00,1.418362e+00,1.419379e+00,1.420061e+00,1.419928e+00,1.419350e+00,1.417318e+00,1.416150e+00,1.414034e+00,1.409570e+00,1.407579e+00,1.403995e+00,1.397377e+00,1.394752e+00,1.389783e+00,1.381277e+00,1.378189e+00,1.371924e+00,1.361783e+00,1.358382e+00,1.350916e+00,1.339379e+00,1.335796e+00,1.327228e+00,1.314516e+00,1.310863e+00,1.301294e+00,1.287611e+00,1.283983e+00,1.273514e+00,1.259047e+00,1.255525e+00,1.244254e+00,1.229174e+00,1.225822e+00,1.213846e+00,1.198308e+00,1.195178e+00,1.182593e+00,1.166734e+00,1.163866e+00,1.150762e+00,1.134707e+00,1.132132e+00,1.118595e+00,1.102453e+00,1.100192e+00,1.086304e+00,1.070172e+00,1.068238e+00,1.054078e+00,1.038041e+00,1.036441e+00,1.022080e+00,1.006213e+00,1.004948e+00,9.904547e-01,9.748207e-01,9.738869e-01,9.593245e-01,9.439788e-01,9.433683e-01,9.287954e-01,9.137848e-01,9.134864e-01,8.989570e-01,8.843208e-01,8.559381e-01,8.283928e-01,8.017294e-01,7.759826e-01,7.511792e-01,7.273385e-01,7.044734e-01,6.825913e-01,6.616943e-01,6.417806e-01,6.228443e-01,6.048765e-01,5.878653e-01,5.717965e-01,5.566538e-01,5.424190e-01,5.290724e-01,5.165928e-01,5.049581e-01,4.941449e-01,4.841292e-01,4.748863e-01,4.663908e-01,4.586169e-01,4.515382e-01,4.451283e-01,4.393601e-01,4.342067e-01,4.296407e-01,4.256349e-01,4.221620e-01,4.191946e-01,4.167055e-01,4.146676e-01,4.130540e-01,4.118381e-01,4.109935e-01,4.104942e-01,4.103146e-01,4.104297e-01,4.108147e-01,4.114456e-01,4.122992e-01,4.133524e-01,4.145835e-01,4.159709e-01,4.174944e-01,4.191341e-01,4.208713e-01
0.000000e+00,7.688803e-09,6.227034e-07,6.671010e-07,1.197563e-05,9.067665e-05,9.745202e-05,4.568018e-04,1.367700e-03,1.453781e-03,3.558785e-03,6.908260e-03,7.276754e-03,1.309224e-02,2.047439e-02,2.143266e-02,3.264592e-02,4.509639e-02,4.698909e-02,6.462497e-02,8.248175e-02,8.562448e-02,1.099730e-01,1.329490e-01,1.375791e-01,1.682851e-01,1.956290e-01,2.018776e-01,2.380988e-01,2.687733e-01,2.766570e-01,3.172363e-01,3.500785e-01,3.595057e-01,4.031272e-01,4.369755e-01,4.477626e-01,4.930795e-01,5.268632e-01,5.387564e-01,5.844862e-01,6.172813e-01,6.299798e-01,6.749682e-01,7.060264e-01,7.192045e-01,7.624642e-01,7.912194e-01,8.045463e-01,8.452732e-01,8.713346e-01,8.844903e-01,9.220654e-01,9.451997e-01,9.578877e-01,9.918672e-01,1.011977e+00,1.023933e+00,1.054032e+00,1.071131e+00,1.082127e+00,1.108198e+00,1.122389e+00,1.132238e+00,1.154252e+00,1.165700e+00,1.174255e+00,1.192275e+00,1.201193e+00,1.208347e+00,1.222512e+00,1.229141e+00,1.234821e+00,1.245327e+00,1.249922e+00,1.254089e+00,1.261170e+00,1.263990e+00,1.266635e+00,1.270552e+00,1.271853e+00,1.272990e+00,1.274019e+00,1.274044e+00,1.273710e+00,1.272132e+00,1.271109e+00,1.269358e+00,1.265454e+00,1.263593e+00,1.260491e+00,1.254535e+00,1.252026e+00,1.247652e+00,1.239906e+00,1.236918e+00,1.231358e+00,1.222069e+00,1.218753e+00,1.212097e+00,1.201498e+00,1.197983e+00,1.190326e+00,1.178632e+00,1.175030e+00,1.166466e+00,1.153875e+00,1.150280e+00,1.140905e+00,1.127597e+00,1.124087e+00,1.113993e+00,1.100132e+00,1.096771e+00,1.086050e+00,1.071782e+00,1.068622e+00,1.057361e+00,1.042817e+00,1.039896e+00,1.028180e+00,1.013477e+00,1.010825e+00,9.987331e-01,9.839729e-01,9.816112e-01,9.692186e-01,9.544913e-01,9.524327e-01,9.398104e-01,9.251943e-01,9.234455e-01,9.106597e-01,8.962224e-01,8.947845e-01,8.818968e-01,8.676962e-01,8.665660e-01,8.536331e-01,8.397187e-01,8.388888e-01,8.259634e-01,8.123766e-01,8.118367e-01,7.989669e-01,7.857421e-01,7.854795e-01,7.727093e-01,7.598749e-01,7.350695e-01,7.111004e-01,6.879959e-01,6.657769e-01,6.444579e-01,6.240472e-01,6.045485e-01,5.859608e-01,5.682795e-01,5.514967e-01,5.356016e-01,5.205810e-01,5.064196e-01,4.931004e-01,4.806047e-01,4.689127e-01,4.580033e-01,4.478546e-01,4.384440e-01,4.297479e-01,4.217426e-01,4.144036e-01,4.077061e-01,4.016249e-01,3.961349e-01,3.912104e-01,3.868258e-01,3.829557e-01,3.795742e-01,3.766558e-01,3.741752e-01,3.721070e-01,3.704261e-01,3.691077e-01,3.681274e-01,3.674611e-01,3.670851e-01,3.669762e-01,3.671118e-01,3.674698e-01,3.680287e-01,3.687677e-01,3.696667e-01,3.707064e-01,3.718681e-01,3.731342e-01,3.744876e-01,3.759122e-01,3.773929e-01
0.000000e+00,1.577847e-08,3.213711e-07,3.368326e-07,2.466464e-06,9.907580e-06,1.040086e-05,2.828552e-05,5.237517e-05,5.401701e-05,8.136333e-05,1.052177e-04,1.072073e-04,1.308701e-04,1.502805e-04,1.523304e-04,1.717041e-04,1.871373e-04,1.891303e-04,2.047480e-04,2.168345e-04,2.186903e-04,2.310833e-04,2.403831e-04,2.420456e-04,2.516881e-04,2.586831e-04,2.601145e-04,2.674222e-04,2.725246e-04,2.737028e-04,2.790420e-04,2.826045e-04,2.835194e-04,2.872088e-04,2.895280e-04,2.901786e-04,2.924921e-04,2.938161e-04,2.942078e-04,2.953796e-04,2.959148e-04,2.960575e-04,2.962874e-04,2.962044e-04,2.961114e-04,2.955687e-04,2.950085e-04,2.946950e-04,2.935233e-04,2.926017e-04,2.920841e-04,2.904050e-04,2.892165e-04,2.885118e-04,2.864279e-04,2.850497e-04,2.841750e-04,2.817727e-04,2.802673e-04,2.792393e-04,2.765914e-04,2.750091e-04,2.738441e-04,2.710114e-04,2.693926e-04,2.681061e-04,2.651397e-04,2.635162e-04,2.621229e-04,2.590654e-04,2.574623e-04,2.559759e-04,2.528627e-04,2.512994e-04,2.497329e-04,2.465933e-04,2.450845e-04,2.434497e-04,2.403079e-04,2.388645e-04,2.371725e-04,2.340483e-04,2.326781e-04,2.309390e-04,2.278485e-04,2.265568e-04,2.247798e-04,2.217361e-04,2.205261e-04,2.187197e-04,2.157331e-04,2.146064e-04,2.127783e-04,2.098570e-04,2.088139e-04,2.069710e-04,2.041215e-04,2.031612e-04,2.013097e-04,1.985367e-04,1.976577e-04,1.958033e-04,1.931103e-04,1.923104e-04,1.904583e-04,1.878477e-04,1.871242e-04,1.852789e-04,1.827521e-04,1.821021e-04,1.802677e-04,1.778256e-04,1.772458e-04,1.754258e-04,1.730685e-04,1.725555e-04,1.707533e-04,1.684803e-04,1.680307e-04,1.662492e-04,1.640597e-04,1.636699e-04,1.619115e-04,1.598044e-04,1.594711e-04,1.577380e-04,1.557119e-04,1.554314e-04,1.537257e-04,1.517789e-04,1.515479e-04,1.498712e-04,1.480020e-04,1.478172e-04,1.461709e-04,1.443774e-04,1.442355e-04,1.426209e-04,1.409010e-04,1.407990e-04,1.392171e-04,1.375688e-04,1.375036e-04,1.359554e-04,1.343765e-04,1.343453e-04,1.328315e-04,1.313199e-04,1.284232e-04,1.256510e-04,1.229993e-04,1.204639e-04,1.180408e-04,1.157260e-04,1.135155e-04,1.114057e-04,1.093928e-04,1.074731e-04,1.056432e-04,1.038996e-04,1.022389e-04,1.006580e-04,9.915381e-05,9.772318e-05,9.636324e-05,9.507114e-05,9.384415e-05,9.267963e-05,9.157502e-05,9.052785e-05,8.953574e-05,8.859639e-05,8.770759e-05,8.686720e-05,8.607316e-05,8.532348e-05,8.461625e-05,8.394962e-05,8.332182e-05,8.273114e-05,8.217592e-05,8.165459e-05,8.116561e-05,8.070751e-05,8.027889e-05,7.987837e-05,7.950465e-05,7.915647e-05,7.883262e-05,7.853193e-05,7.825328e-05,7.799560e-05,7.775786e-05,7.753905e-05,7.733824e-05,7.715449e-05,7.698694e-05
0.000000e+00,1.353243e-08,3.031965e-07,3.186153e-07,2.472519e-06,9.421295e-06,9.854279e-06,2.398151e-05,4.026309e-05,4.131906e-05,5.857284e-05,7.353352e-05,7.478705e-05,8.980804e-05,1.023196e-04,1.036524e-04,1.163721e-04,1.266815e-04,1.280256e-04,1.386723e-04,1.470673e-04,1.483699e-04,1.571747e-04,1.639209e-04,1.651414e-04,1.723226e-04,1.776604e-04,1.787687e-04,1.845275e-04,1.886705e-04,1.896447e-04,1.941634e-04,1.972988e-04,1.981243e-04,2.015659e-04,2.038564e-04,2.045242e-04,2.070334e-04,2.086199e-04,2.091255e-04,2.108304e-04,2.118342e-04,2.121765e-04,2.131902e-04,2.137153e-04,2.138963e-04,2.143181e-04,2.144538e-04,2.144775e-04,2.143948e-04,2.142170e-04,2.140893e-04,2.135788e-04,2.131522e-04,2.128800e-04,2.120087e-04,2.113884e-04,2.109796e-04,2.098063e-04,2.090384e-04,2.085016e-04,2.070775e-04,2.062013e-04,2.055453e-04,2.039152e-04,2.029633e-04,2.021971e-04,2.004000e-04,1.993997e-04,1.985323e-04,1.966020e-04,1.955759e-04,1.946164e-04,1.925822e-04,1.915490e-04,1.905060e-04,1.883935e-04,1.873682e-04,1.862502e-04,1.840813e-04,1.830763e-04,1.818914e-04,1.796850e-04,1.787100e-04,1.774661e-04,1.752384e-04,1.743010e-04,1.730054e-04,1.707704e-04,1.698765e-04,1.685362e-04,1.663056e-04,1.654595e-04,1.640812e-04,1.618651e-04,1.610698e-04,1.596595e-04,1.574664e-04,1.567239e-04,1.552876e-04,1.531245e-04,1.524359e-04,1.509788e-04,1.488517e-04,1.482174e-04,1.467444e-04,1.446581e-04,1.440778e-04,1.425936e-04,1.405520e-04,1.400250e-04,1.385339e-04,1.365401e-04,1.360653e-04,1.345711e-04,1.326276e-04,1.322035e-04,1.307099e-04,1.288184e-04,1.284433e-04,1.269536e-04,1.251156e-04,1.247876e-04,1.233047e-04,1.215210e-04,1.212382e-04,1.197648e-04,1.180360e-04,1.177961e-04,1.163347e-04,1.146609e-04,1.144619e-04,1.130146e-04,1.113958e-04,1.112354e-04,1.098043e-04,1.082401e-04,1.081161e-04,1.067030e-04,1.051929e-04,1.051031e-04,1.037095e-04,1.022528e-04,1.021951e-04,1.008224e-04,9.941825e-05,9.939043e-05,9.804000e-05,9.668744e-05,9.408411e-05,9.157832e-05,8.916781e-05,8.685027e-05,8.462329e-05,8.248440e-05,8.043114e-05,7.846101e-05,7.657151e-05,7.476016e-05,7.302447e-05,7.136203e-05,6.977040e-05,6.824723e-05,6.679019e-05,6.539699e-05,6.406541e-05,6.279327e-05,6.157845e-05,6.041887e-05,5.931252e-05,5.825744e-05,5.725173e-05,5.629354e-05,5.538109e-05,5.451263e-05,5.368648e-05,5.290103e-05,5.215468e-05,5.144592e-05,5.077327e-05,5.013531e-05,4.953065e-05,4.895798e-05,4.841600e-05,4.790348e-05,4.741920e-05,4.696203e-05,4.653084e-05,4.612456e-05,4.574215e-05,4.538260e-05,4.504495e-05,4.472827e-05,4.443167e-05,4.415426e-05,4.389522e-05,4.365375e-05,4.342907e-05
0.000000e+00,1.058184e-08,1.485639e-07,1.550069e-07,9.469832e-07,3.389492e-06,3.545136e-06,9.048059e-06,1.647849e-05,1.699147e-05,2.561693e-05,3.316110e-05,3.378739e-05,4.117203e-05,4.711404e-05,4.773422e-05,5.351597e-05,5.800607e-05,5.857749e-05,6.298062e-05,6.628559e-05,6.678407e-05,7.004274e-05,7.239630e-05,7.280748e-05,7.512592e-05,7.672394e-05,7.704057e-05,7.859059e-05,7.959255e-05,7.981225e-05,8.073883e-05,8.127639e-05,8.140075e-05,8.182575e-05,8.200595e-05,8.203913e-05,8.206397e-05,8.197337e-05,8.192123e-05,8.162997e-05,8.133808e-05,8.120749e-05,8.066950e-05,8.023185e-05,8.003022e-05,7.930254e-05,7.876320e-05,7.849810e-05,7.762743e-05,7.702117e-05,7.670005e-05,7.572454e-05,7.507856e-05,7.470864e-05,7.365930e-05,7.299468e-05,7.258277e-05,7.148469e-05,7.081762e-05,7.037010e-05,6.924350e-05,6.858618e-05,6.810893e-05,6.696999e-05,6.633149e-05,6.582989e-05,6.469147e-05,6.407833e-05,6.355727e-05,6.242950e-05,6.184626e-05,6.131012e-05,6.020088e-05,5.965053e-05,5.910327e-05,5.801860e-05,5.750289e-05,5.694800e-05,5.589245e-05,5.541218e-05,5.485276e-05,5.382964e-05,5.338487e-05,5.282367e-05,5.183530e-05,5.142554e-05,5.086493e-05,4.991285e-05,4.953718e-05,4.897926e-05,4.806433e-05,4.772157e-05,4.716813e-05,4.629071e-05,4.597943e-05,4.543205e-05,4.459208e-05,4.431074e-05,4.377072e-05,4.296784e-05,4.271479e-05,4.218327e-05,4.141685e-05,4.119043e-05,4.066835e-05,3.993757e-05,3.973609e-05,3.922424e-05,3.852813e-05,3.834993e-05,3.784896e-05,3.718646e-05,3.702990e-05,3.654033e-05,3.591030e-05,3.577382e-05,3.529605e-05,3.469730e-05,3.457938e-05,3.411373e-05,3.354504e-05,3.344423e-05,3.299092e-05,3.245107e-05,3.236600e-05,3.192518e-05,3.141294e-05,3.134230e-05,3.091406e-05,3.042824e-05,3.037080e-05,2.995516e-05,2.949455e-05,2.944917e-05,2.904612e-05,2.860956e-05,2.857514e-05,2.818461e-05,2.777098e-05,2.774652e-05,2.736840e-05,2.697661e-05,2.696116e-05,2.659533e-05,2.622430e-05,2.621698e-05,2.586328e-05,2.551200e-05,2.484430e-05,2.421203e-05,2.361343e-05,2.304680e-05,2.251053e-05,2.200307e-05,2.152296e-05,2.106879e-05,2.063923e-05,2.023299e-05,1.984889e-05,1.948576e-05,1.914251e-05,1.881810e-05,1.851155e-05,1.822192e-05,1.794833e-05,1.768992e-05,1.744591e-05,1.721552e-05,1.699805e-05,1.679280e-05,1.659913e-05,1.641643e-05,1.624411e-05,1.608162e-05,1.592845e-05,1.578408e-05,1.564806e-05,1.551993e-05,1.539928e-05,1.528570e-05,1.517881e-05,1.507826e-05,1.498371e-05,1.489482e-05,1.481130e-05,1.473286e-05,1.465921e-05,1.459011e-05,1.452530e-05,1.446454e-05,1.440763e-05,1.435434e-05,1.430448e-05,1.425786e-05,1.421430e-05,1.417364e-05,1.413570e-05
0.000000e+00,1.585139e-08,2.723924e-07,2.846884e-07,1.829736e-06,6.643751e-06,6.949616e-06,1.767326e-05,3.207747e-05,3.307683e-05,5.011900e-05,6.559395e-05,6.691103e-05,8.291254e-05,9.655055e-05,9.802084e-05,1.122338e-04,1.240172e-04,1.255726e-04,1.380653e-04,1.481557e-04,1.497427e-04,1.606366e-04,1.692058e-04,1.707795e-04,1.802041e-04,1.874186e-04,1.889423e-04,1.970256e-04,2.030415e-04,2.044849e-04,2.113497e-04,2.163103e-04,2.176490e-04,2.234106e-04,2.274462e-04,2.286612e-04,2.334266e-04,2.366553e-04,2.377316e-04,2.416000e-04,2.441277e-04,2.450546e-04,2.481172e-04,2.500391e-04,2.508089e-04,2.531495e-04,2.545506e-04,2.551585e-04,2.568540e-04,2.578100e-04,2.582538e-04,2.593745e-04,2.599527e-04,2.602322e-04,2.608422e-04,2.611024e-04,2.612191e-04,2.613771e-04,2.613722e-04,2.613292e-04,2.610883e-04,2.608650e-04,2.606665e-04,2.600753e-04,2.596744e-04,2.593258e-04,2.584284e-04,2.578858e-04,2.573931e-04,2.562293e-04,2.555765e-04,2.549463e-04,2.535524e-04,2.528165e-04,2.520560e-04,2.504648e-04,2.496695e-04,2.487861e-04,2.470270e-04,2.461927e-04,2.451942e-04,2.432940e-04,2.424381e-04,2.413324e-04,2.393150e-04,2.384524e-04,2.372473e-04,2.351344e-04,2.342777e-04,2.329811e-04,2.307921e-04,2.299517e-04,2.285715e-04,2.263236e-04,2.255084e-04,2.240522e-04,2.217610e-04,2.209781e-04,2.194534e-04,2.171326e-04,2.163877e-04,2.148018e-04,2.124639e-04,2.117615e-04,2.101215e-04,2.077771e-04,2.071207e-04,2.054334e-04,2.030923e-04,2.024844e-04,2.007562e-04,1.984269e-04,1.978691e-04,1.961063e-04,1.937962e-04,1.932895e-04,1.914981e-04,1.892136e-04,1.887584e-04,1.869440e-04,1.846907e-04,1.842869e-04,1.824549e-04,1.802376e-04,1.798846e-04,1.780399e-04,1.758628e-04,1.755597e-04,1.737072e-04,1.715737e-04,1.713192e-04,1.694632e-04,1.673763e-04,1.671690e-04,1.653137e-04,1.632757e-04,1.631138e-04,1.612630e-04,1.592760e-04,1.591576e-04,1.573150e-04,1.553804e-04,1.553036e-04,1.534725e-04,1.515915e-04,1.515541e-04,1.497375e-04,1.479109e-04,1.443751e-04,1.409474e-04,1.376279e-04,1.344164e-04,1.313124e-04,1.283148e-04,1.254226e-04,1.226344e-04,1.199484e-04,1.173630e-04,1.148761e-04,1.124858e-04,1.101897e-04,1.079858e-04,1.058716e-04,1.038448e-04,1.019030e-04,1.000438e-04,9.826465e-05,9.656320e-05,9.493699e-05,9.338359e-05,9.190061e-05,9.048567e-05,8.913644e-05,8.785059e-05,8.662587e-05,8.546006e-05,8.435098e-05,8.329650e-05,8.229453e-05,8.134307e-05,8.044012e-05,7.958377e-05,7.877215e-05,7.800344e-05,7.727589e-05,7.658779e-05,7.593748e-05,7.532337e-05,7.474390e-05,7.419759e-05,7.368298e-05,7.319867e-05,7.274333e-05,7.231565e-05,7.191439e-05,7.153833e-05,7.118631e-05
0.000000e+00,3.725377e-09,1.608399e-07,1.701600e-07,1.768253e-06,9.320701e-06,9.895191e-06,3.564262e-05,8.521903e-05,8.925236e-05,1.687330e-04,2.548516e-04,2.626024e-04,3.597235e-04,4.442360e-04,4.533297e-04,5.403443e-04,6.106464e-04,6.197703e-04,6.915588e-04,7.474302e-04,7.560322e-04,8.136343e-04,8.570535e-04,8.648346e-04,9.100947e-04,9.430870e-04,9.498579e-04,9.845462e-04,1.008913e-03,1.014560e-03,1.040277e-03,1.057584e-03,1.062055e-03,1.080226e-03,1.091817e-03,1.095103e-03,1.106977e-03,1.113990e-03,1.116118e-03,1.122776e-03,1.126163e-03,1.127182e-03,1.129549e-03,1.130099e-03,1.130074e-03,1.128936e-03,1.127299e-03,1.126303e-03,1.122325e-03,1.119032e-03,1.117143e-03,1.110885e-03,1.106369e-03,1.103667e-03,1.095597e-03,1.090209e-03,1.086773e-03,1.077285e-03,1.071307e-03,1.067214e-03,1.056635e-03,1.050294e-03,1.045617e-03,1.034221e-03,1.027696e-03,1.022504e-03,1.010518e-03,1.003951e-03,9.983102e-04,9.859226e-04,9.794232e-04,9.733943e-04,9.607605e-04,9.544140e-04,9.480529e-04,9.353005e-04,9.291712e-04,9.225294e-04,9.097632e-04,9.038983e-04,8.970231e-04,8.843282e-04,8.787613e-04,8.716957e-04,8.591410e-04,8.538945e-04,8.466777e-04,8.343183e-04,8.294060e-04,8.220735e-04,8.099530e-04,8.053816e-04,7.979654e-04,7.861180e-04,7.818886e-04,7.744174e-04,7.628693e-04,7.589786e-04,7.514785e-04,7.402491e-04,7.366904e-04,7.291847e-04,7.182880e-04,7.150520e-04,7.075614e-04,6.970068e-04,6.940825e-04,6.866255e-04,6.764186e-04,6.737935e-04,6.663867e-04,6.565299e-04,6.541904e-04,6.468484e-04,6.373417e-04,6.352737e-04,6.280094e-04,6.188507e-04,6.170398e-04,6.098647e-04,6.010502e-04,5.994817e-04,5.924059e-04,5.839303e-04,5.825898e-04,5.756220e-04,5.674792e-04,5.663523e-04,5.595001e-04,5.516828e-04,5.507556e-04,5.440255e-04,5.365262e-04,5.357849e-04,5.291827e-04,5.219930e-04,5.214244e-04,5.149548e-04,5.080662e-04,5.076576e-04,5.013247e-04,4.947283e-04,4.944675e-04,4.882747e-04,4.819616e-04,4.818368e-04,4.757868e-04,4.697480e-04,4.581837e-04,4.471263e-04,4.365587e-04,4.264638e-04,4.168248e-04,4.076254e-04,3.988493e-04,3.904809e-04,3.825050e-04,3.749065e-04,3.676711e-04,3.607847e-04,3.542337e-04,3.480049e-04,3.420856e-04,3.364634e-04,3.311263e-04,3.260630e-04,3.212621e-04,3.167131e-04,3.124054e-04,3.083292e-04,3.044748e-04,3.008329e-04,2.973945e-04,2.941510e-04,2.910941e-04,2.882159e-04,2.855085e-04,2.829645e-04,2.805769e-04,2.783387e-04,2.762433e-04,2.742843e-04,2.724556e-04,2.707513e-04,2.691656e-04,2.676933e-04,2.663289e-04,2.650674e-04,2.639039e-04,2.628339e-04,2.618527e-04,2.609561e-04,2.601398e-04,2.594000e-04,2.587327e-04,2.581343e-04,2.576012e-04
0.000000e+00,4.973855e-10,1.142803e-08,1.199657e-08,7.831144e-08,2.162319e-07,2.227996e-07,3.862117e-07,5.269304e-07,5.353715e-07,6.666345e-07,7.725524e-07,7.811341e-07,8.805088e-07,9.583164e-07,9.663308e-07,1.040035e-06,1.095907e-06,1.102923e-06,1.156167e-06,1.195057e-06,1.200830e-06,1.237865e-06,1.263711e-06,1.268132e-06,1.292401e-06,1.308312e-06,1.311362e-06,1.325633e-06,1.334045e-06,1.335764e-06,1.342249e-06,1.345060e-06,1.345526e-06,1.345987e-06,1.344669e-06,1.343980e-06,1.339816e-06,1.335511e-06,1.333773e-06,1.326095e-06,1.319680e-06,1.317003e-06,1.306690e-06,1.298838e-06,1.295330e-06,1.283075e-06,1.274301e-06,1.270063e-06,1.256413e-06,1.247108e-06,1.242234e-06,1.227619e-06,1.218077e-06,1.212653e-06,1.197411e-06,1.187850e-06,1.181957e-06,1.166350e-06,1.156933e-06,1.150640e-06,1.134872e-06,1.125716e-06,1.119086e-06,1.103317e-06,1.094504e-06,1.087594e-06,1.071944e-06,1.063531e-06,1.056390e-06,1.040951e-06,1.032975e-06,1.025646e-06,1.010489e-06,1.002969e-06,9.954918e-07,9.806665e-07,9.736140e-07,9.660218e-07,9.515653e-07,9.449803e-07,9.373034e-07,9.232412e-07,9.171182e-07,9.093829e-07,8.957317e-07,8.900606e-07,8.822902e-07,8.690599e-07,8.638272e-07,8.560420e-07,8.432370e-07,8.384270e-07,8.306450e-07,8.182655e-07,8.138607e-07,8.060978e-07,7.941408e-07,7.901232e-07,7.823932e-07,7.708534e-07,7.672042e-07,7.595196e-07,7.483897e-07,7.450902e-07,7.374617e-07,7.267332e-07,7.237646e-07,7.162018e-07,7.058652e-07,7.032092e-07,6.957206e-07,6.857655e-07,6.834041e-07,6.759972e-07,6.664129e-07,6.643288e-07,6.570100e-07,6.477857e-07,6.459620e-07,6.387372e-07,6.298616e-07,6.282822e-07,6.211563e-07,6.126185e-07,6.112678e-07,6.042453e-07,5.960341e-07,5.948973e-07,5.879821e-07,5.800865e-07,5.791494e-07,5.723448e-07,5.647541e-07,5.640033e-07,5.573120e-07,5.500158e-07,5.494383e-07,5.428629e-07,5.358507e-07,5.354344e-07,5.289768e-07,5.222387e-07,5.219720e-07,5.156340e-07,5.091602e-07,5.090320e-07,5.028149e-07,4.965959e-07,4.846456e-07,4.731637e-07,4.621333e-07,4.515380e-07,4.413621e-07,4.315901e-07,4.222074e-07,4.131996e-07,4.045530e-07,3.962542e-07,3.882904e-07,3.806492e-07,3.733186e-07,3.662871e-07,3.595436e-07,3.530773e-07,3.468779e-07,3.409353e-07,3.352401e-07,3.297828e-07,3.245546e-07,3.195468e-07,3.147511e-07,3.101596e-07,3.057644e-07,3.015582e-07,2.975338e-07,2.936842e-07,2.900028e-07,2.864832e-07,2.831192e-07,2.799049e-07,2.768344e-07,2.739023e-07,2.711032e-07,2.684320e-07,2.658837e-07,2.634535e-07,2.611369e-07,2.589294e-07,2.568268e-07,2.548249e-07,2.529198e-07,2.511077e-07,2.493849e-07,2.477478e-07,2.461930e-07,2.447174e-07,2.433176e-07
0.000000e+00,1.010451e-08,2.369759e-07,2.491629e-07,1.929888e-06,7.048650e-06,7.355830e-06,1.687167e-05,2.708075e-05,2.772663e-05,3.810859e-05,4.691550e-05,4.764651e-05,5.632557e-05,6.343709e-05,6.418800e-05,7.128377e-05,7.693381e-05,7.766313e-05,8.337487e-05,8.778885e-05,8.846593e-05,9.298112e-05,9.636000e-05,9.696292e-05,1.004514e-04,1.029704e-04,1.034843e-04,1.060969e-04,1.079066e-04,1.083222e-04,1.101910e-04,1.114198e-04,1.117321e-04,1.129723e-04,1.137290e-04,1.139365e-04,1.146478e-04,1.150241e-04,1.151278e-04,1.153965e-04,1.154696e-04,1.154725e-04,1.153729e-04,1.152075e-04,1.151139e-04,1.147103e-04,1.143602e-04,1.141757e-04,1.135228e-04,1.130330e-04,1.127636e-04,1.119089e-04,1.113165e-04,1.109688e-04,1.099526e-04,1.092882e-04,1.088690e-04,1.077259e-04,1.070145e-04,1.065306e-04,1.052898e-04,1.045519e-04,1.040100e-04,1.026966e-04,1.019485e-04,1.013551e-04,9.999025e-05,9.924511e-05,9.860651e-05,9.720795e-05,9.647609e-05,9.579830e-05,9.438099e-05,9.367045e-05,9.295914e-05,9.153560e-05,9.085247e-05,9.011295e-05,8.869357e-05,8.804235e-05,8.727960e-05,8.587296e-05,8.525682e-05,8.447542e-05,8.308855e-05,8.250959e-05,8.171377e-05,8.035236e-05,7.981180e-05,7.900545e-05,7.767404e-05,7.717236e-05,7.635903e-05,7.506121e-05,7.459833e-05,7.378124e-05,7.251974e-05,7.209513e-05,7.127720e-05,7.005406e-05,6.966681e-05,6.885068e-05,6.766734e-05,6.731629e-05,6.650429e-05,6.536170e-05,6.504545e-05,6.423969e-05,6.313835e-05,6.285539e-05,6.205771e-05,6.099779e-05,6.074648e-05,5.995853e-05,5.893989e-05,5.871854e-05,5.794175e-05,5.696401e-05,5.677090e-05,5.600651e-05,5.506910e-05,5.490248e-05,5.415158e-05,5.325375e-05,5.311191e-05,5.237540e-05,5.151629e-05,5.139754e-05,5.067619e-05,4.985485e-05,4.975753e-05,4.905199e-05,4.826735e-05,4.818988e-05,4.750066e-05,4.675163e-05,4.669246e-05,4.601997e-05,4.530541e-05,4.526307e-05,4.460764e-05,4.392637e-05,4.389945e-05,4.326130e-05,4.261214e-05,4.259932e-05,4.197859e-05,4.136035e-05,4.018025e-05,3.905674e-05,3.798756e-05,3.697049e-05,3.600337e-05,3.508406e-05,3.421052e-05,3.338072e-05,3.259274e-05,3.184469e-05,3.113477e-05,3.046121e-05,2.982234e-05,2.921654e-05,2.864226e-05,2.809799e-05,2.758232e-05,2.709387e-05,2.663132e-05,2.619343e-05,2.577899e-05,2.538686e-05,2.501594e-05,2.466519e-05,2.433360e-05,2.402023e-05,2.372417e-05,2.344455e-05,2.318055e-05,2.293138e-05,2.269630e-05,2.247460e-05,2.226559e-05,2.206862e-05,2.188310e-05,2.170842e-05,2.154404e-05,2.138943e-05,2.124407e-05,2.110751e-05,2.097927e-05,2.085893e-05,2.074607e-05,2.064031e-05,2.054127e-05,2.044861e-05,2.036198e-05,2.028107e-05,2.020557e-05
0.000000e+00,1.405868e-09,2.081728e-08,2.170050e-08,1.122950e-07,3.106873e-07,3.214813e-07,6.472453e-07,1.023718e-06,1.049105e-06,1.481651e-06,1.878087e-06,1.911943e-06,2.323291e-06,2.672667e-06,2.710222e-06,3.071934e-06,3.369891e-06,3.409087e-06,3.722745e-06,3.974588e-06,4.014073e-06,4.284232e-06,4.495638e-06,4.534358e-06,4.765542e-06,4.941712e-06,4.978828e-06,5.175212e-06,5.320787e-06,5.355641e-06,5.521016e-06,5.640111e-06,5.672194e-06,5.809985e-06,5.906229e-06,5.935161e-06,6.048452e-06,6.125044e-06,6.150550e-06,6.242113e-06,6.301864e-06,6.323761e-06,6.396083e-06,6.441460e-06,6.459637e-06,6.514951e-06,6.548113e-06,6.562523e-06,6.602825e-06,6.625661e-06,6.636306e-06,6.663387e-06,6.677545e-06,6.684467e-06,6.699926e-06,6.706844e-06,6.710119e-06,6.715384e-06,6.716312e-06,6.716041e-06,6.712390e-06,6.708412e-06,6.704716e-06,6.693288e-06,6.685344e-06,6.678360e-06,6.660171e-06,6.649073e-06,6.638947e-06,6.614903e-06,6.601352e-06,6.588238e-06,6.559145e-06,6.543743e-06,6.527800e-06,6.494375e-06,6.477639e-06,6.459028e-06,6.421909e-06,6.404278e-06,6.383160e-06,6.342915e-06,6.324765e-06,6.301299e-06,6.258431e-06,6.240080e-06,6.214422e-06,6.169377e-06,6.151092e-06,6.123396e-06,6.076570e-06,6.058574e-06,6.028989e-06,5.980733e-06,5.963211e-06,5.931880e-06,5.882503e-06,5.865608e-06,5.832670e-06,5.782446e-06,5.766301e-06,5.731889e-06,5.681058e-06,5.665763e-06,5.630004e-06,5.578778e-06,5.564410e-06,5.527426e-06,5.475992e-06,5.462610e-06,5.424515e-06,5.373036e-06,5.360684e-06,5.321588e-06,5.270206e-06,5.258914e-06,5.218921e-06,5.167761e-06,5.157547e-06,5.116754e-06,5.065925e-06,5.056797e-06,5.015297e-06,4.964893e-06,4.956850e-06,4.914731e-06,4.864832e-06,4.857868e-06,4.815212e-06,4.765888e-06,4.759989e-06,4.716874e-06,4.668184e-06,4.663333e-06,4.619830e-06,4.571825e-06,4.568000e-06,4.524178e-06,4.476899e-06,4.474075e-06,4.429998e-06,4.383482e-06,4.381629e-06,4.337358e-06,4.291633e-06,4.290723e-06,4.246313e-06,4.201402e-06,4.113706e-06,4.027664e-06,3.943297e-06,3.860622e-06,3.779646e-06,3.700374e-06,3.622807e-06,3.546938e-06,3.472761e-06,3.400265e-06,3.329435e-06,3.260257e-06,3.192712e-06,3.126781e-06,3.062444e-06,2.999678e-06,2.938461e-06,2.878769e-06,2.820577e-06,2.763861e-06,2.708596e-06,2.654756e-06,2.602316e-06,2.551250e-06,2.501532e-06,2.453136e-06,2.406037e-06,2.360209e-06,2.315627e-06,2.272267e-06,2.230102e-06,2.189110e-06,2.149264e-06,2.110543e-06,2.072921e-06,2.036376e-06,2.000885e-06,1.966425e-06,1.932974e-06,1.900511e-06,1.869014e-06,1.838462e-06,1.808834e-06,1.780111e-06,1.752271e-06,1.725296e-06,1.699166e-06,1.673863e-06,1.649368e-06
0.000000e+00,3.973106e-10,2.319899e-08,2.465861e-08,3.094754e-07,1.922172e-06,2.056108e-06,9.242222e-06,2.901550e-05,3.097896e-05,8.223686e-05,1.710714e-04,1.811538e-04,3.441154e-04,5.544006e-04,5.816563e-04,8.967962e-04,1.235208e-03,1.285450e-03,1.737960e-03,2.168084e-03,2.240993e-03,2.779346e-03,3.247452e-03,3.337450e-03,3.900490e-03,4.356478e-03,4.455167e-03,4.990139e-03,5.397677e-03,5.496212e-03,5.966354e-03,6.304838e-03,6.395564e-03,6.780673e-03,7.042837e-03,7.120100e-03,7.413591e-03,7.601647e-03,7.661963e-03,7.866859e-03,7.988716e-03,8.030541e-03,8.155695e-03,8.221952e-03,8.245273e-03,8.302366e-03,8.324230e-03,8.330100e-03,8.331553e-03,8.319564e-03,8.309696e-03,8.267348e-03,8.230719e-03,8.207149e-03,8.131543e-03,8.077921e-03,8.042769e-03,7.942859e-03,7.878337e-03,7.833644e-03,7.716765e-03,7.646044e-03,7.593678e-03,7.465670e-03,7.392265e-03,7.333874e-03,7.199278e-03,7.125741e-03,7.062745e-03,6.925018e-03,6.853145e-03,6.786740e-03,6.648461e-03,6.579472e-03,6.510652e-03,6.373711e-03,6.308389e-03,6.237974e-03,6.103724e-03,6.042535e-03,5.971196e-03,5.840583e-03,5.783762e-03,5.712044e-03,5.585707e-03,5.533327e-03,5.461673e-03,5.340022e-03,5.292042e-03,5.220812e-03,5.104088e-03,5.060391e-03,4.989879e-03,4.878204e-03,4.838622e-03,4.769069e-03,4.662472e-03,4.626806e-03,4.558405e-03,4.456852e-03,4.424882e-03,4.357792e-03,4.261201e-03,4.232701e-03,4.167050e-03,4.075309e-03,4.050049e-03,3.985943e-03,3.898917e-03,3.876669e-03,3.814194e-03,3.731733e-03,3.712275e-03,3.651496e-03,3.573442e-03,3.556559e-03,3.497530e-03,3.423718e-03,3.409204e-03,3.351964e-03,3.282226e-03,3.269884e-03,3.214463e-03,3.148632e-03,3.138276e-03,3.084693e-03,3.022604e-03,3.014056e-03,2.962323e-03,2.903811e-03,2.896907e-03,2.847027e-03,2.791932e-03,2.786514e-03,2.738487e-03,2.686653e-03,2.682575e-03,2.636392e-03,2.587667e-03,2.584791e-03,2.540440e-03,2.494677e-03,2.492877e-03,2.450342e-03,2.407398e-03,2.406554e-03,2.365814e-03,2.325554e-03,2.249620e-03,2.178503e-03,2.111966e-03,2.049780e-03,1.991725e-03,1.937593e-03,1.887183e-03,1.840302e-03,1.796768e-03,1.756406e-03,1.719047e-03,1.684533e-03,1.652710e-03,1.623434e-03,1.596564e-03,1.571968e-03,1.549520e-03,1.529098e-03,1.510588e-03,1.493878e-03,1.478865e-03,1.465448e-03,1.453531e-03,1.443023e-03,1.433837e-03,1.425890e-03,1.419103e-03,1.413400e-03,1.408709e-03,1.404962e-03,1.402093e-03,1.400041e-03,1.398744e-03,1.398148e-03,1.398198e-03,1.398844e-03,1.400036e-03,1.401728e-03,1.403877e-03,1.406441e-03,1.409381e-03,1.412659e-03,1.416240e-03,1.420091e-03,1.424180e-03,1.428477e-03,1.432955e-03,1.437588e-03,1.442350e-03
0.000000e+00,1.450227e-09,9.121952e-08,9.723950e-08,1.421432e-06,9.570481e-06,1.024869e-05,4.457318e-05,1.238936e-04,1.309731e-04,2.886600e-04,4.991892e-04,5.202325e-04,8.144946e-04,1.118012e-03,1.153344e-03,1.517522e-03,1.845319e-03,1.889968e-03,2.257207e-03,2.561346e-03,2.609495e-03,2.940374e-03,3.198899e-03,3.246007e-03,3.524512e-03,3.732264e-03,3.775395e-03,3.999100e-03,4.159186e-03,4.196674e-03,4.369523e-03,4.488207e-03,4.519248e-03,4.647531e-03,4.731724e-03,4.756058e-03,4.846471e-03,4.902642e-03,4.920341e-03,4.979151e-03,5.012951e-03,5.024287e-03,5.057039e-03,5.073239e-03,5.078599e-03,5.090063e-03,5.092610e-03,5.092440e-03,5.086655e-03,5.078780e-03,5.073555e-03,5.053913e-03,5.038239e-03,5.028438e-03,4.997775e-03,4.976419e-03,4.962513e-03,4.923189e-03,4.897850e-03,4.880293e-03,4.834270e-03,4.806305e-03,4.785526e-03,4.734430e-03,4.704916e-03,4.681318e-03,4.626495e-03,4.596278e-03,4.570238e-03,4.512797e-03,4.482537e-03,4.454401e-03,4.395255e-03,4.365460e-03,4.335546e-03,4.275443e-03,4.246498e-03,4.215097e-03,4.154646e-03,4.126838e-03,4.094214e-03,4.033911e-03,4.007444e-03,3.973837e-03,3.914081e-03,3.889098e-03,3.854723e-03,3.795833e-03,3.772423e-03,3.737476e-03,3.679706e-03,3.657918e-03,3.622574e-03,3.566121e-03,3.545972e-03,3.510387e-03,3.455403e-03,3.436884e-03,3.401198e-03,3.347795e-03,3.330880e-03,3.295216e-03,3.243476e-03,3.228121e-03,3.192590e-03,3.142569e-03,3.128719e-03,3.093420e-03,3.045150e-03,3.032744e-03,2.997762e-03,2.951259e-03,2.940230e-03,2.905641e-03,2.860907e-03,2.851184e-03,2.817053e-03,2.774077e-03,2.765587e-03,2.731973e-03,2.690735e-03,2.683404e-03,2.650356e-03,2.610829e-03,2.604583e-03,2.572145e-03,2.534294e-03,2.529061e-03,2.497269e-03,2.461058e-03,2.456767e-03,2.425651e-03,2.391037e-03,2.387619e-03,2.357206e-03,2.324145e-03,2.321533e-03,2.291843e-03,2.260290e-03,2.258420e-03,2.229471e-03,2.199377e-03,2.198188e-03,2.169994e-03,2.141310e-03,2.140744e-03,2.113314e-03,2.085993e-03,2.033843e-03,1.984199e-03,1.936968e-03,1.892060e-03,1.849385e-03,1.808855e-03,1.770384e-03,1.733890e-03,1.699291e-03,1.666507e-03,1.635464e-03,1.606086e-03,1.578302e-03,1.552042e-03,1.527241e-03,1.503832e-03,1.481755e-03,1.460948e-03,1.441354e-03,1.422918e-03,1.405586e-03,1.389306e-03,1.374028e-03,1.359705e-03,1.346291e-03,1.333741e-03,1.322015e-03,1.311070e-03,1.300867e-03,1.291370e-03,1.282542e-03,1.274349e-03,1.266757e-03,1.259736e-03,1.253253e-03,1.247281e-03,1.241791e-03,1.236756e-03,1.232151e-03,1.227951e-03,1.224134e-03,1.220675e-03,1.217554e-03,1.214751e-03,1.212246e-03,1.210019e-03,1.208054e-03,1.206332e-03,1.204839e-03
0.000000e+00,3.129582e-08,2.441969e-06,2.614359e-06,4.636879e-05,3.596019e-04,3.870546e-04,1.892964e-03,5.887003e-03,6.271228e-03,1.585156e-02,3.148919e-02,3.322758e-02,6.096260e-02,9.671202e-02,1.013843e-01,1.564533e-01,2.182487e-01,2.276899e-01,3.161426e-01,4.064338e-01,4.223888e-01,5.465579e-01,6.645158e-01,6.883684e-01,8.471755e-01,9.894180e-01,1.022023e+00,1.211697e+00,1.373163e+00,1.414779e+00,1.629697e+00,1.804473e+00,1.854774e+00,2.088266e+00,2.270261e+00,2.328406e+00,2.573434e+00,2.756885e+00,2.821624e+00,3.071312e+00,3.251119e+00,3.320909e+00,3.568920e+00,3.740837e+00,3.813957e+00,4.054741e+00,4.215448e+00,4.290111e+00,4.519027e+00,4.666124e+00,4.740568e+00,4.953930e+00,5.085868e+00,5.158427e+00,5.353481e+00,5.469462e+00,5.538622e+00,5.713480e+00,5.813339e+00,5.877776e+00,6.031320e+00,6.115403e+00,6.174001e+00,6.305780e+00,6.374822e+00,6.426684e+00,6.536800e+00,6.591824e+00,6.636266e+00,6.725268e+00,6.767486e+00,6.804029e+00,6.872810e+00,6.903547e+00,6.931899e+00,6.981609e+00,7.002236e+00,7.022275e+00,7.054243e+00,7.066128e+00,7.077876e+00,7.093543e+00,7.098009e+00,7.101618e+00,7.102478e+00,7.100779e+00,7.096502e+00,7.084066e+00,7.077366e+00,7.065542e+00,7.041297e+00,7.030659e+00,7.011691e+00,6.977077e+00,6.963456e+00,6.937796e+00,6.894183e+00,6.878426e+00,6.846561e+00,6.795242e+00,6.778088e+00,6.740526e+00,6.682705e+00,6.664794e+00,6.622055e+00,6.558842e+00,6.540718e+00,6.493321e+00,6.425734e+00,6.407852e+00,6.356312e+00,6.285274e+00,6.268008e+00,6.212828e+00,6.139172e+00,6.122824e+00,6.064491e+00,5.988963e+00,5.973771e+00,5.912753e+00,5.836017e+00,5.822161e+00,5.758903e+00,5.681548e+00,5.669158e+00,5.604081e+00,5.526624e+00,5.515787e+00,5.449289e+00,5.372182e+00,5.362949e+00,5.295400e+00,5.219034e+00,5.211424e+00,5.143170e+00,5.067885e+00,5.061889e+00,4.993251e+00,4.919335e+00,4.914925e+00,4.846199e+00,4.773897e+00,4.771023e+00,4.702482e+00,4.632000e+00,4.630600e+00,4.562494e+00,4.494002e+00,4.361510e+00,4.233353e+00,4.109710e+00,3.990715e+00,3.876466e+00,3.767025e+00,3.662427e+00,3.562679e+00,3.467766e+00,3.377652e+00,3.292286e+00,3.211599e+00,3.135512e+00,3.063932e+00,2.996759e+00,2.933883e+00,2.875188e+00,2.820550e+00,2.769843e+00,2.722935e+00,2.679689e+00,2.639970e+00,2.603635e+00,2.570545e+00,2.540556e+00,2.513526e+00,2.489312e+00,2.467770e+00,2.448760e+00,2.432140e+00,2.417772e+00,2.405517e+00,2.395242e+00,2.386813e+00,2.380100e+00,2.374977e+00,2.371320e+00,2.369009e+00,2.367928e+00,2.367965e+00,2.369010e+00,2.370961e+00,2.373717e+00,2.377182e+00,2.381267e+00,2.385886e+00,2.390956e+00,2.396401e+00,2.402149e+00
0.000000e+00,1.107999e-08,7.573939e-07,8.080644e-07,1.215841e-05,8.590784e-05,9.227931e-05,4.491259e-04,1.473140e-03,1.576245e-03,4.314524e-03,9.209685e-03,9.775617e-03,1.919377e-02,3.206325e-02,3.378836e-02,5.466376e-02,7.896919e-02,8.274501e-02,1.187421e-01,1.564035e-01,1.631359e-01,2.161795e-01,2.674541e-01,2.779106e-01,3.481705e-01,4.119208e-01,4.266287e-01,5.128076e-01,5.869114e-01,6.061096e-01,7.058427e-01,7.876103e-01,8.112444e-01,9.215045e-01,1.008037e+00,1.035785e+00,1.153239e+00,1.241703e+00,1.273025e+00,1.394321e+00,1.482140e+00,1.516331e+00,1.638301e+00,1.723274e+00,1.759521e+00,1.879329e+00,1.959680e+00,1.997118e+00,2.112337e+00,2.186729e+00,2.224488e+00,2.333134e+00,2.400649e+00,2.437891e+00,2.538427e+00,2.598515e+00,2.634464e+00,2.725772e+00,2.778210e+00,2.812170e+00,2.893517e+00,2.938343e+00,2.969714e+00,3.040701e+00,3.078166e+00,3.106449e+00,3.166961e+00,3.197471e+00,3.222269e+00,3.272428e+00,3.296501e+00,3.317516e+00,3.357630e+00,3.375857e+00,3.392884e+00,3.423405e+00,3.436414e+00,3.449333e+00,3.470819e+00,3.479253e+00,3.488019e+00,3.501100e+00,3.505594e+00,3.510230e+00,3.515581e+00,3.516744e+00,3.517329e+00,3.515649e+00,3.514057e+00,3.510717e+00,3.502706e+00,3.498891e+00,3.491791e+00,3.478141e+00,3.472590e+00,3.461924e+00,3.443303e+00,3.436453e+00,3.422438e+00,3.399485e+00,3.391723e+00,3.374594e+00,3.347911e+00,3.339578e+00,3.319578e+00,3.289730e+00,3.281119e+00,3.258499e+00,3.226009e+00,3.217370e+00,3.192380e+00,3.157728e+00,3.149271e+00,3.122161e+00,3.085785e+00,3.077684e+00,3.048699e+00,3.010997e+00,3.003391e+00,2.972769e+00,2.934099e+00,2.927098e+00,2.895068e+00,2.855751e+00,2.849439e+00,2.816220e+00,2.776541e+00,2.770978e+00,2.736779e+00,2.696991e+00,2.692218e+00,2.657235e+00,2.617561e+00,2.613600e+00,2.578018e+00,2.538652e+00,2.535511e+00,2.499504e+00,2.460613e+00,2.458289e+00,2.422017e+00,2.383748e+00,2.382225e+00,2.345838e+00,2.308315e+00,2.307568e+00,2.271205e+00,2.234533e+00,2.163296e+00,2.094008e+00,2.026790e+00,1.961740e+00,1.898934e+00,1.838431e+00,1.780272e+00,1.724483e+00,1.671079e+00,1.620061e+00,1.571422e+00,1.525148e+00,1.481214e+00,1.439592e+00,1.400245e+00,1.363134e+00,1.328214e+00,1.295438e+00,1.264753e+00,1.236107e+00,1.209442e+00,1.184700e+00,1.161822e+00,1.140745e+00,1.121407e+00,1.103743e+00,1.087690e+00,1.073180e+00,1.060149e+00,1.048530e+00,1.038257e+00,1.029262e+00,1.021480e+00,1.014844e+00,1.009288e+00,1.004748e+00,1.001159e+00,9.984575e-01,9.965804e-01,9.954664e-01,9.950553e-01,9.952884e-01,9.961084e-01,9.974595e-01,9.992880e-01,1.001542e+00,1.004171e+00,1.007127e+00,1.010365e+00
0.000000e+00,1.016605e-09,2.034757e-08,2.136492e-08,1.513759e-07,4.737310e-07,4.903921e-07,9.280038e-07,1.331697e-06,1.356653e-06,1.756677e-06,2.098197e-06,2.126720e-06,2.467941e-06,2.751636e-06,2.781840e-06,3.069932e-06,3.303282e-06,3.333698e-06,3.574569e-06,3.764467e-06,3.793934e-06,3.993124e-06,4.145789e-06,4.173417e-06,4.336029e-06,4.456990e-06,4.482116e-06,4.612772e-06,4.706883e-06,4.729030e-06,4.831866e-06,4.903352e-06,4.922197e-06,5.000887e-06,5.053408e-06,5.068749e-06,5.126543e-06,5.163252e-06,5.174986e-06,5.214748e-06,5.238358e-06,5.246461e-06,5.270713e-06,5.283549e-06,5.288059e-06,5.299018e-06,5.303070e-06,5.304074e-06,5.303684e-06,5.300651e-06,5.298273e-06,5.288239e-06,5.279565e-06,5.273957e-06,5.255774e-06,5.242686e-06,5.234017e-06,5.208991e-06,5.192526e-06,5.180981e-06,5.150252e-06,5.131282e-06,5.117052e-06,5.081615e-06,5.060873e-06,5.044155e-06,5.004874e-06,4.982973e-06,4.963962e-06,4.921593e-06,4.899040e-06,4.877931e-06,4.833127e-06,4.810342e-06,4.787324e-06,4.740654e-06,4.717980e-06,4.693238e-06,4.645191e-06,4.622907e-06,4.596618e-06,4.547617e-06,4.525945e-06,4.498280e-06,4.448690e-06,4.427806e-06,4.398926e-06,4.349060e-06,4.329100e-06,4.299158e-06,4.249283e-06,4.230349e-06,4.199490e-06,4.149832e-06,4.131998e-06,4.100358e-06,4.051112e-06,4.034427e-06,4.002134e-06,3.953461e-06,3.937956e-06,3.905128e-06,3.857165e-06,3.842853e-06,3.809601e-06,3.762460e-06,3.749340e-06,3.715767e-06,3.669542e-06,3.657602e-06,3.623803e-06,3.578569e-06,3.567789e-06,3.533852e-06,3.489668e-06,3.480020e-06,3.446027e-06,3.402940e-06,3.394389e-06,3.360415e-06,3.318460e-06,3.310969e-06,3.277081e-06,3.236284e-06,3.229810e-06,3.196072e-06,3.156449e-06,3.150949e-06,3.117418e-06,3.078979e-06,3.074406e-06,3.041134e-06,3.003882e-06,3.000190e-06,2.967224e-06,2.931157e-06,2.928297e-06,2.895681e-06,2.860792e-06,2.858717e-06,2.826489e-06,2.792768e-06,2.791431e-06,2.759625e-06,2.727058e-06,2.726412e-06,2.695061e-06,2.663630e-06,2.603049e-06,2.544629e-06,2.488328e-06,2.434102e-06,2.381902e-06,2.331681e-06,2.283389e-06,2.236976e-06,2.192392e-06,2.149585e-06,2.108505e-06,2.069102e-06,2.031324e-06,1.995124e-06,1.960450e-06,1.927256e-06,1.895494e-06,1.865117e-06,1.836080e-06,1.808337e-06,1.781845e-06,1.756561e-06,1.732443e-06,1.709451e-06,1.687545e-06,1.666686e-06,1.646837e-06,1.627960e-06,1.610021e-06,1.592985e-06,1.576818e-06,1.561487e-06,1.546961e-06,1.533210e-06,1.520202e-06,1.507910e-06,1.496305e-06,1.485360e-06,1.475050e-06,1.465347e-06,1.456228e-06,1.447669e-06,1.439646e-06,1.432137e-06,1.425121e-06,1.418577e-06,1.412484e-06,1.406822e-06,1.401574e-06
0.000000e+00,1.145193e-08,4.522603e-07,4.784436e-07,4.209529e-06,1.394785e-05,1.445683e-05,2.799104e-05,4.068260e-05,4.147286e-05,5.423532e-05,6.528585e-05,6.621579e-05,7.743147e-05,8.689563e-05,8.791140e-05,9.768690e-05,1.057321e-04,1.067901e-04,1.152530e-04,1.220434e-04,1.231076e-04,1.303850e-04,1.360740e-04,1.371153e-04,1.433278e-04,1.480551e-04,1.490502e-04,1.543096e-04,1.582009e-04,1.591314e-04,1.635398e-04,1.667064e-04,1.675581e-04,1.712081e-04,1.737489e-04,1.745110e-04,1.774866e-04,1.794890e-04,1.801538e-04,1.825305e-04,1.840715e-04,1.846338e-04,1.864797e-04,1.876269e-04,1.880835e-04,1.894598e-04,1.902726e-04,1.906221e-04,1.915836e-04,1.921141e-04,1.923565e-04,1.929525e-04,1.932462e-04,1.933826e-04,1.936573e-04,1.937539e-04,1.937864e-04,1.937793e-04,1.937134e-04,1.936449e-04,1.933914e-04,1.931931e-04,1.930269e-04,1.925588e-04,1.922541e-04,1.919942e-04,1.913398e-04,1.909512e-04,1.906018e-04,1.897862e-04,1.893333e-04,1.888987e-04,1.879446e-04,1.874441e-04,1.869289e-04,1.858564e-04,1.853227e-04,1.847314e-04,1.835584e-04,1.830037e-04,1.823411e-04,1.810835e-04,1.805183e-04,1.797890e-04,1.784609e-04,1.778939e-04,1.771025e-04,1.757166e-04,1.751553e-04,1.743061e-04,1.728736e-04,1.723240e-04,1.714216e-04,1.699523e-04,1.694196e-04,1.684680e-04,1.669708e-04,1.664591e-04,1.654624e-04,1.639449e-04,1.634576e-04,1.624199e-04,1.608889e-04,1.604287e-04,1.593535e-04,1.578150e-04,1.573839e-04,1.562749e-04,1.547343e-04,1.543338e-04,1.531944e-04,1.516562e-04,1.512875e-04,1.501208e-04,1.485892e-04,1.482528e-04,1.470621e-04,1.455404e-04,1.452368e-04,1.440248e-04,1.425162e-04,1.422454e-04,1.410151e-04,1.395221e-04,1.392840e-04,1.380378e-04,1.365627e-04,1.363570e-04,1.350974e-04,1.336422e-04,1.334683e-04,1.321976e-04,1.307639e-04,1.306211e-04,1.293415e-04,1.279307e-04,1.278183e-04,1.265317e-04,1.251450e-04,1.250622e-04,1.237706e-04,1.224088e-04,1.223546e-04,1.210598e-04,1.197237e-04,1.196971e-04,1.184007e-04,1.170910e-04,1.145372e-04,1.120364e-04,1.095891e-04,1.071955e-04,1.048558e-04,1.025700e-04,1.003378e-04,9.815908e-05,9.603332e-05,9.396010e-05,9.193888e-05,8.996905e-05,8.804993e-05,8.618085e-05,8.436102e-05,8.258969e-05,8.086603e-05,7.918923e-05,7.755842e-05,7.597276e-05,7.443140e-05,7.293345e-05,7.147805e-05,7.006435e-05,6.869147e-05,6.735854e-05,6.606471e-05,6.480912e-05,6.359093e-05,6.240931e-05,6.126343e-05,6.015247e-05,5.907564e-05,5.803215e-05,5.702123e-05,5.604210e-05,5.509402e-05,5.417626e-05,5.328808e-05,5.242878e-05,5.159766e-05,5.079404e-05,5.001725e-05,4.926663e-05,4.854154e-05,4.784135e-05,4.716544e-05,4.651321e-05,4.588408e-05
0.000000e+00,6.564348e-10,4.240969e-08,4.519174e-08,6.473208e-07,4.495680e-06,4.828337e-06,2.360167e-05,7.807436e-05,8.357405e-05,2.293599e-04,4.868085e-04,5.162886e-04,9.991460e-04,1.639099e-03,1.723404e-03,2.720455e-03,3.836415e-03,4.006085e-03,5.581079e-03,7.157897e-03,7.433094e-03,9.539115e-03,1.148194e-02,1.186811e-02,1.438359e-02,1.655766e-02,1.704588e-02,1.981415e-02,2.207786e-02,2.264798e-02,2.550866e-02,2.773532e-02,2.836013e-02,3.116960e-02,3.325869e-02,3.390802e-02,3.655025e-02,3.843096e-02,3.907509e-02,4.146523e-02,4.309494e-02,4.370704e-02,4.579032e-02,4.715041e-02,4.770803e-02,4.945595e-02,5.054658e-02,5.103236e-02,5.243769e-02,5.327254e-02,5.367424e-02,5.474586e-02,5.534745e-02,5.565766e-02,5.641575e-02,5.681158e-02,5.702704e-02,5.749901e-02,5.771857e-02,5.783951e-02,5.805666e-02,5.812932e-02,5.815866e-02,5.815372e-02,5.810728e-02,5.804995e-02,5.785526e-02,5.771505e-02,5.757736e-02,5.722363e-02,5.701210e-02,5.680118e-02,5.631676e-02,5.605332e-02,5.577675e-02,5.518718e-02,5.488826e-02,5.455371e-02,5.388165e-02,5.356090e-02,5.317590e-02,5.244108e-02,5.210964e-02,5.168141e-02,5.090082e-02,5.056762e-02,5.010294e-02,4.929110e-02,4.896315e-02,4.846835e-02,4.763748e-02,4.732015e-02,4.680104e-02,4.596135e-02,4.565869e-02,4.512053e-02,4.428049e-02,4.399536e-02,4.344295e-02,4.260949e-02,4.234387e-02,4.178150e-02,4.096025e-02,4.071536e-02,4.014686e-02,3.934235e-02,3.911880e-02,3.854760e-02,3.776340e-02,3.756133e-02,3.699046e-02,3.622937e-02,3.604854e-02,3.548068e-02,3.474482e-02,3.458470e-02,3.402221e-02,3.331315e-02,3.317300e-02,3.261794e-02,3.193679e-02,3.181569e-02,3.126989e-02,3.061736e-02,3.051430e-02,2.997931e-02,2.935580e-02,2.926967e-02,2.874686e-02,2.815251e-02,2.808216e-02,2.757271e-02,2.700743e-02,2.695169e-02,2.645659e-02,2.592012e-02,2.587782e-02,2.539792e-02,2.488987e-02,2.485983e-02,2.439584e-02,2.391568e-02,2.389677e-02,2.344926e-02,2.299640e-02,2.298748e-02,2.255694e-02,2.213070e-02,2.132502e-02,2.056896e-02,1.986096e-02,1.919943e-02,1.858275e-02,1.800926e-02,1.747733e-02,1.698528e-02,1.653149e-02,1.611430e-02,1.573211e-02,1.538331e-02,1.506632e-02,1.477959e-02,1.452158e-02,1.429081e-02,1.408578e-02,1.390506e-02,1.374723e-02,1.361090e-02,1.349471e-02,1.339735e-02,1.331751e-02,1.325396e-02,1.320547e-02,1.317084e-02,1.314894e-02,1.313866e-02,1.313892e-02,1.314870e-02,1.316700e-02,1.319288e-02,1.322544e-02,1.326381e-02,1.330717e-02,1.335476e-02,1.340584e-02,1.345974e-02,1.351580e-02,1.357344e-02,1.363210e-02,1.369128e-02,1.375051e-02,1.380936e-02,1.386746e-02,1.392445e-02,1.398003e-02,1.403392e-02,1.408591e-02
0.000000e+00,3.399020e-09,1.658090e-07,1.759738e-07,1.915031e-06,8.656216e-06,9.106679e-06,2.545177e-05,4.809722e-05,4.967917e-05,7.645627e-05,9.967386e-05,1.015734e-04,1.235016e-04,1.404081e-04,1.421306e-04,1.577782e-04,1.693885e-04,1.708299e-04,1.816455e-04,1.894005e-04,1.905409e-04,1.977897e-04,2.027804e-04,2.036286e-04,2.082607e-04,2.112815e-04,2.118603e-04,2.145769e-04,2.162017e-04,2.165395e-04,2.178585e-04,2.185023e-04,2.186291e-04,2.189325e-04,2.188942e-04,2.188389e-04,2.184080e-04,2.179025e-04,2.176913e-04,2.167330e-04,2.159149e-04,2.155709e-04,2.142375e-04,2.132172e-04,2.127606e-04,2.111640e-04,2.100205e-04,2.094682e-04,2.076907e-04,2.064803e-04,2.058466e-04,2.039488e-04,2.027112e-04,2.020084e-04,2.000347e-04,1.987980e-04,1.980359e-04,1.960190e-04,1.948026e-04,1.939899e-04,1.919536e-04,1.907710e-04,1.899145e-04,1.878764e-04,1.867366e-04,1.858423e-04,1.838150e-04,1.827239e-04,1.817968e-04,1.797895e-04,1.787507e-04,1.777950e-04,1.758145e-04,1.748299e-04,1.738492e-04,1.719001e-04,1.709706e-04,1.699681e-04,1.680538e-04,1.671793e-04,1.661577e-04,1.642804e-04,1.634604e-04,1.624221e-04,1.605833e-04,1.598168e-04,1.587640e-04,1.569644e-04,1.562502e-04,1.551848e-04,1.534251e-04,1.527616e-04,1.516853e-04,1.499656e-04,1.493513e-04,1.482658e-04,1.465859e-04,1.460192e-04,1.449258e-04,1.432855e-04,1.427648e-04,1.416648e-04,1.400637e-04,1.395872e-04,1.384820e-04,1.369195e-04,1.364855e-04,1.353762e-04,1.338519e-04,1.334586e-04,1.323464e-04,1.308595e-04,1.305055e-04,1.293912e-04,1.279412e-04,1.276246e-04,1.265094e-04,1.250955e-04,1.248149e-04,1.236995e-04,1.223211e-04,1.220749e-04,1.209602e-04,1.196166e-04,1.194032e-04,1.182900e-04,1.169804e-04,1.167984e-04,1.156876e-04,1.144113e-04,1.142593e-04,1.131514e-04,1.119078e-04,1.117843e-04,1.106802e-04,1.094684e-04,1.093721e-04,1.082723e-04,1.070918e-04,1.070214e-04,1.059265e-04,1.047765e-04,1.047308e-04,1.036414e-04,1.025212e-04,1.024989e-04,1.014156e-04,1.003245e-04,9.820624e-05,9.614282e-05,9.413301e-05,9.217556e-05,9.026927e-05,8.841294e-05,8.660540e-05,8.484551e-05,8.313214e-05,8.146418e-05,7.984057e-05,7.826024e-05,7.672215e-05,7.522530e-05,7.376869e-05,7.235136e-05,7.097234e-05,6.963073e-05,6.832561e-05,6.705608e-05,6.582130e-05,6.462040e-05,6.345256e-05,6.231697e-05,6.121284e-05,6.013939e-05,5.909588e-05,5.808156e-05,5.709572e-05,5.613764e-05,5.520665e-05,5.430207e-05,5.342324e-05,5.256953e-05,5.174031e-05,5.093497e-05,5.015292e-05,4.939357e-05,4.865635e-05,4.794071e-05,4.724611e-05,4.657202e-05,4.591792e-05,4.528331e-05,4.466770e-05,4.407061e-05,4.349156e-05,4.293010e-05,4.238579e-05
0.000000e+00,2.298370e-09,8.556666e-08,9.055262e-08,9.164210e-07,4.058348e-06,4.265660e-06,1.147330e-05,2.041541e-05,2.100323e-05,3.051869e-05,3.846978e-05,3.911965e-05,4.669357e-05,5.268658e-05,5.330736e-05,5.905266e-05,6.346066e-05,6.401810e-05,6.828489e-05,7.145194e-05,7.192674e-05,7.501029e-05,7.721321e-05,7.759571e-05,7.973721e-05,8.119639e-05,8.148360e-05,8.287874e-05,8.376852e-05,8.396197e-05,8.476865e-05,8.522642e-05,8.533053e-05,8.567602e-05,8.580952e-05,8.583041e-05,8.581647e-05,8.570980e-05,8.565449e-05,8.536269e-05,8.508135e-05,8.495724e-05,8.445273e-05,8.404763e-05,8.386212e-05,8.319695e-05,8.270736e-05,8.246755e-05,8.168313e-05,8.113927e-05,8.085186e-05,7.998103e-05,7.940598e-05,7.907715e-05,7.814597e-05,7.755721e-05,7.719264e-05,7.622169e-05,7.563236e-05,7.523716e-05,7.424263e-05,7.366248e-05,7.324126e-05,7.223585e-05,7.167198e-05,7.122886e-05,7.022246e-05,6.967993e-05,6.921856e-05,6.821883e-05,6.770111e-05,6.722473e-05,6.623753e-05,6.574688e-05,6.525835e-05,6.428814e-05,6.382587e-05,6.332773e-05,6.237782e-05,6.194455e-05,6.143901e-05,6.051181e-05,6.010764e-05,5.959665e-05,5.869388e-05,5.831848e-05,5.780377e-05,5.692655e-05,5.657932e-05,5.606240e-05,5.521144e-05,5.489155e-05,5.437375e-05,5.354939e-05,5.325589e-05,5.273838e-05,5.194069e-05,5.167251e-05,5.115631e-05,5.038517e-05,5.014119e-05,4.962719e-05,4.888230e-05,4.866136e-05,4.815037e-05,4.743129e-05,4.723224e-05,4.672494e-05,4.603118e-05,4.585284e-05,4.534985e-05,4.468081e-05,4.452205e-05,4.402390e-05,4.337896e-05,4.323866e-05,4.274582e-05,4.212431e-05,4.200139e-05,4.151427e-05,4.091551e-05,4.080892e-05,4.032787e-05,3.975117e-05,3.965990e-05,3.918523e-05,3.862988e-05,3.855297e-05,3.808495e-05,3.755027e-05,3.748679e-05,3.702565e-05,3.651094e-05,3.646000e-05,3.600595e-05,3.551053e-05,3.547130e-05,3.502449e-05,3.454769e-05,3.451937e-05,3.407995e-05,3.362112e-05,3.360295e-05,3.317104e-05,3.272954e-05,3.272079e-05,3.229647e-05,3.187169e-05,3.105446e-05,3.026796e-05,2.951109e-05,2.878277e-05,2.808196e-05,2.740767e-05,2.675891e-05,2.613476e-05,2.553430e-05,2.495667e-05,2.440102e-05,2.386654e-05,2.335244e-05,2.285797e-05,2.238239e-05,2.192501e-05,2.148515e-05,2.106216e-05,2.065541e-05,2.026428e-05,1.988821e-05,1.952661e-05,1.917897e-05,1.884474e-05,1.852343e-05,1.821456e-05,1.791766e-05,1.763227e-05,1.735797e-05,1.709434e-05,1.684099e-05,1.659751e-05,1.636354e-05,1.613873e-05,1.592272e-05,1.571519e-05,1.551582e-05,1.532429e-05,1.514031e-05,1.496360e-05,1.479388e-05,1.463089e-05,1.447436e-05,1.432407e-05,1.417976e-05,1.404121e-05,1.390821e-05,1.378055e-05,1.365801e-05
0.000000e+00,3.992595e-09,1.420371e-07,1.499285e-07,1.433608e-06,6.939806e-06,7.337769e-06,2.373164e-05,5.127958e-05,5.337250e-05,9.148961e-05,1.280058e-04,1.311179e-04,1.683499e-04,1.987508e-04,2.019377e-04,2.317464e-04,2.550089e-04,2.579766e-04,2.809068e-04,2.982038e-04,3.008203e-04,3.179866e-04,3.304673e-04,3.326565e-04,3.450618e-04,3.536934e-04,3.554143e-04,3.639101e-04,3.694923e-04,3.707306e-04,3.760426e-04,3.792376e-04,3.799990e-04,3.827397e-04,3.840886e-04,3.843925e-04,3.850738e-04,3.850153e-04,3.848897e-04,3.839367e-04,3.828240e-04,3.823024e-04,3.800667e-04,3.781827e-04,3.773017e-04,3.740730e-04,3.716433e-04,3.704402e-04,3.664568e-04,3.636597e-04,3.621717e-04,3.576287e-04,3.546043e-04,3.528675e-04,3.479239e-04,3.447815e-04,3.428301e-04,3.376152e-04,3.344390e-04,3.323052e-04,3.269234e-04,3.237775e-04,3.214908e-04,3.160262e-04,3.129583e-04,3.105462e-04,3.050657e-04,3.021107e-04,2.995979e-04,2.941546e-04,2.913372e-04,2.887460e-04,2.833814e-04,2.807180e-04,2.780686e-04,2.728146e-04,2.703154e-04,2.676255e-04,2.625064e-04,2.601765e-04,2.574620e-04,2.524958e-04,2.503363e-04,2.476111e-04,2.428105e-04,2.408199e-04,2.380962e-04,2.334698e-04,2.316441e-04,2.289325e-04,2.244854e-04,2.228193e-04,2.201290e-04,2.158636e-04,2.143504e-04,2.116893e-04,2.076060e-04,2.062383e-04,2.036131e-04,1.997103e-04,1.984803e-04,1.958969e-04,1.921718e-04,1.910715e-04,1.885344e-04,1.849833e-04,1.840044e-04,1.815176e-04,1.781360e-04,1.772704e-04,1.748371e-04,1.716197e-04,1.708595e-04,1.684824e-04,1.654236e-04,1.647611e-04,1.624421e-04,1.595362e-04,1.589640e-04,1.567045e-04,1.539455e-04,1.534564e-04,1.512576e-04,1.486393e-04,1.482268e-04,1.460892e-04,1.436057e-04,1.432632e-04,1.411873e-04,1.388325e-04,1.385541e-04,1.365398e-04,1.343078e-04,1.340879e-04,1.321351e-04,1.300201e-04,1.298534e-04,1.279616e-04,1.259581e-04,1.258396e-04,1.240082e-04,1.221106e-04,1.220358e-04,1.202640e-04,1.184672e-04,1.184317e-04,1.167188e-04,1.150175e-04,1.117837e-04,1.087209e-04,1.058206e-04,1.030743e-04,1.004741e-04,9.801229e-05,9.568167e-05,9.347533e-05,9.138670e-05,8.940955e-05,8.753796e-05,8.576630e-05,8.408926e-05,8.250178e-05,8.099906e-05,7.957657e-05,7.823002e-05,7.695533e-05,7.574865e-05,7.460632e-05,7.352491e-05,7.250113e-05,7.153190e-05,7.061429e-05,6.974554e-05,6.892302e-05,6.814425e-05,6.740691e-05,6.670876e-05,6.604772e-05,6.542180e-05,6.482913e-05,6.426794e-05,6.373654e-05,6.323336e-05,6.275688e-05,6.230571e-05,6.187848e-05,6.147394e-05,6.109088e-05,6.072817e-05,6.038473e-05,6.005956e-05,5.975168e-05,5.946019e-05,5.918422e-05,5.892298e-05,5.867567e-05,5.844159e-05
0.000000e+00,4.112664e-08,3.038980e-06,3.249321e-06,5.480721e-05,4.211539e-04,4.534994e-04,2.274859e-03,7.329750e-03,7.825982e-03,2.050233e-02,4.189119e-02,4.430268e-02,8.337046e-02,1.348524e-01,1.416488e-01,2.226419e-01,3.150348e-01,3.292630e-01,4.637492e-01,6.028774e-01,6.276279e-01,8.217220e-01,1.008241e+00,1.046183e+00,1.300541e+00,1.530724e+00,1.583776e+00,1.894381e+00,2.161299e+00,2.230445e+00,2.589726e+00,2.884479e+00,2.969721e+00,3.367739e+00,3.680557e+00,3.780964e+00,4.206510e+00,4.527639e+00,4.641475e+00,5.082985e+00,5.403344e+00,5.528231e+00,5.974506e+00,6.286121e+00,6.419225e+00,6.859951e+00,7.156196e+00,7.294409e+00,7.720499e+00,7.996195e+00,8.136303e+00,8.540089e+00,8.791483e+00,8.930311e+00,9.305611e+00,9.530280e+00,9.664812e+00,1.000691e+01,1.020362e+01,1.033109e+01,1.063666e+01,1.080516e+01,1.092312e+01,1.119010e+01,1.133100e+01,1.143735e+01,1.166477e+01,1.177931e+01,1.187234e+01,1.206017e+01,1.215010e+01,1.222845e+01,1.237746e+01,1.244485e+01,1.250755e+01,1.261914e+01,1.266626e+01,1.271269e+01,1.278873e+01,1.281799e+01,1.284783e+01,1.289057e+01,1.290435e+01,1.291758e+01,1.292951e+01,1.293018e+01,1.292702e+01,1.291078e+01,1.290059e+01,1.288148e+01,1.283980e+01,1.282086e+01,1.278642e+01,1.272201e+01,1.269626e+01,1.264726e+01,1.256282e+01,1.253202e+01,1.246934e+01,1.236746e+01,1.233318e+01,1.225779e+01,1.214096e+01,1.210459e+01,1.201753e+01,1.188808e+01,1.185083e+01,1.175316e+01,1.161329e+01,1.157618e+01,1.146898e+01,1.132073e+01,1.128461e+01,1.116899e+01,1.101421e+01,1.097980e+01,1.085683e+01,1.069723e+01,1.066508e+01,1.053581e+01,1.037294e+01,1.034350e+01,1.020896e+01,1.004419e+01,1.001777e+01,9.878938e+00,9.713502e+00,9.690342e+00,9.548152e+00,9.383141e+00,9.363374e+00,9.218709e+00,9.055080e+00,9.038769e+00,8.892461e+00,8.731045e+00,8.718189e+00,8.571013e+00,8.412530e+00,8.403074e+00,8.255749e+00,8.100812e+00,8.094654e+00,7.947847e+00,7.796972e+00,7.793977e+00,7.648296e+00,7.501916e+00,7.219192e+00,6.946389e+00,6.683963e+00,6.432264e+00,6.191541e+00,5.961959e+00,5.743606e+00,5.536505e+00,5.340620e+00,5.155867e+00,4.982116e+00,4.819205e+00,4.666934e+00,4.525084e+00,4.393408e+00,4.271643e+00,4.159508e+00,4.056710e+00,3.962944e+00,3.877897e+00,3.801248e+00,3.732672e+00,3.671837e+00,3.618410e+00,3.572054e+00,3.532431e+00,3.499202e+00,3.472028e+00,3.450570e+00,3.434492e+00,3.423457e+00,3.417135e+00,3.415194e+00,3.417311e+00,3.423164e+00,3.432437e+00,3.444822e+00,3.460015e+00,3.477721e+00,3.497653e+00,3.519531e+00,3.543086e+00,3.568060e+00,3.594202e+00,3.621274e+00,3.649051e+00,3.677317e+00,3.705869e+00,3.734518e+00
0.000000e+00,1.147737e-09,7.489646e-08,7.982688e-08,1.153580e-06,8.024862e-06,8.617715e-06,4.181834e-05,1.364822e-04,1.459511e-04,3.938465e-04,8.247612e-04,8.738295e-04,1.674155e-03,2.731996e-03,2.871403e-03,4.523775e-03,6.384227e-03,6.668257e-03,9.320452e-03,1.200466e-02,1.247613e-02,1.611376e-02,1.951602e-02,2.019759e-02,2.468077e-02,2.861667e-02,2.950844e-02,3.462059e-02,3.887304e-02,3.995453e-02,4.544705e-02,4.980135e-02,5.103617e-02,5.666258e-02,6.092920e-02,6.227065e-02,6.780928e-02,7.183584e-02,7.323235e-02,7.849907e-02,8.217421e-02,8.357405e-02,8.842726e-02,9.167908e-02,9.303391e-02,9.737415e-02,1.001654e-01,1.014328e-01,1.051989e-01,1.075207e-01,1.086655e-01,1.118290e-01,1.136944e-01,1.146892e-01,1.172483e-01,1.186857e-01,1.195110e-01,1.214839e-01,1.225321e-01,1.231756e-01,1.245955e-01,1.252988e-01,1.257545e-01,1.266642e-01,1.270692e-01,1.273367e-01,1.277847e-01,1.279378e-01,1.280210e-01,1.280584e-01,1.280036e-01,1.279099e-01,1.275881e-01,1.273661e-01,1.271055e-01,1.264743e-01,1.261219e-01,1.257062e-01,1.248126e-01,1.243624e-01,1.238044e-01,1.226921e-01,1.221723e-01,1.214857e-01,1.201945e-01,1.196292e-01,1.188276e-01,1.173935e-01,1.168028e-01,1.159000e-01,1.143548e-01,1.137555e-01,1.127648e-01,1.111366e-01,1.105423e-01,1.094764e-01,1.077898e-01,1.072114e-01,1.060823e-01,1.043588e-01,1.038046e-01,1.026237e-01,1.008815e-01,1.003580e-01,9.913601e-02,9.739078e-02,9.690263e-02,9.564917e-02,9.391421e-02,9.346456e-02,9.218869e-02,9.047516e-02,9.006595e-02,8.877592e-02,8.709308e-02,8.672525e-02,8.542856e-02,8.378407e-02,8.345772e-02,8.216118e-02,8.056126e-02,8.027581e-02,7.898557e-02,7.743520e-02,7.718956e-02,7.591114e-02,7.441423e-02,7.420688e-02,7.294523e-02,7.150477e-02,7.133386e-02,7.009341e-02,6.871158e-02,6.857504e-02,6.735969e-02,6.603801e-02,6.593359e-02,6.474680e-02,6.348620e-02,6.341154e-02,6.225634e-02,6.105726e-02,6.100994e-02,5.988898e-02,5.875144e-02,5.872900e-02,5.764456e-02,5.656822e-02,5.452652e-02,5.260231e-02,5.079358e-02,4.909798e-02,4.751287e-02,4.603535e-02,4.466237e-02,4.339067e-02,4.221690e-02,4.113760e-02,4.014920e-02,3.924812e-02,3.843069e-02,3.769323e-02,3.703204e-02,3.644340e-02,3.592361e-02,3.546897e-02,3.507579e-02,3.474043e-02,3.445928e-02,3.422875e-02,3.404534e-02,3.390559e-02,3.380610e-02,3.374358e-02,3.371478e-02,3.371656e-02,3.374590e-02,3.379985e-02,3.387558e-02,3.397039e-02,3.408168e-02,3.420700e-02,3.434401e-02,3.449050e-02,3.464441e-02,3.480381e-02,3.496690e-02,3.513203e-02,3.529767e-02,3.546242e-02,3.562504e-02,3.578440e-02,3.593949e-02,3.608942e-02,3.623344e-02,3.637089e-02,3.650123e-02
0.000000e+00,7.700138e-10,4.874120e-08,5.190902e-08,7.195713e-07,4.837771e-06,5.189107e-06,2.463888e-05,7.974624e-05,8.526018e-05,2.299664e-04,4.823867e-04,5.111571e-04,9.803192e-04,1.598848e-03,1.680173e-03,2.640453e-03,3.713478e-03,3.876544e-03,5.390002e-03,6.905580e-03,7.170184e-03,9.196438e-03,1.106813e-02,1.144048e-02,1.386869e-02,1.597149e-02,1.644427e-02,1.912902e-02,2.132982e-02,2.188490e-02,2.467523e-02,2.685337e-02,2.746561e-02,3.022457e-02,3.228295e-02,3.292401e-02,3.553941e-02,3.740831e-02,3.804993e-02,4.043835e-02,4.207456e-02,4.269092e-02,4.479717e-02,4.618035e-02,4.674960e-02,4.854348e-02,4.967146e-02,5.017644e-02,5.164827e-02,5.253211e-02,5.296054e-02,5.411634e-02,5.477591e-02,5.512005e-02,5.597704e-02,5.643736e-02,5.669347e-02,5.727610e-02,5.756443e-02,5.773211e-02,5.806892e-02,5.821264e-02,5.829411e-02,5.841526e-02,5.844048e-02,5.843991e-02,5.837542e-02,5.830607e-02,5.822898e-02,5.800749e-02,5.786487e-02,5.771759e-02,5.736561e-02,5.716823e-02,5.695755e-02,5.649905e-02,5.626264e-02,5.599544e-02,5.545171e-02,5.518940e-02,5.487249e-02,5.426211e-02,5.398471e-02,5.362458e-02,5.296362e-02,5.267985e-02,5.228264e-02,5.158480e-02,5.130160e-02,5.087300e-02,5.014990e-02,4.987267e-02,4.941792e-02,4.867929e-02,4.841215e-02,4.793603e-02,4.718999e-02,4.693601e-02,4.644284e-02,4.569610e-02,4.545746e-02,4.495115e-02,4.420922e-02,4.398740e-02,4.347143e-02,4.273880e-02,4.253471e-02,4.201223e-02,4.129252e-02,4.110661e-02,4.058040e-02,3.987652e-02,3.970887e-02,3.918143e-02,3.849566e-02,3.834608e-02,3.781963e-02,3.715373e-02,3.702180e-02,3.649831e-02,3.585364e-02,3.573877e-02,3.521999e-02,3.459755e-02,3.449902e-02,3.398650e-02,3.338699e-02,3.330399e-02,3.279912e-02,3.222298e-02,3.215464e-02,3.165863e-02,3.110611e-02,3.105150e-02,3.056542e-02,3.003658e-02,2.999478e-02,2.951956e-02,2.901434e-02,2.898440e-02,2.852086e-02,2.803906e-02,2.802003e-02,2.756888e-02,2.711024e-02,2.710118e-02,2.666304e-02,2.622718e-02,2.539724e-02,2.461046e-02,2.386585e-02,2.316235e-02,2.249886e-02,2.187421e-02,2.128722e-02,2.073668e-02,2.022133e-02,1.973995e-02,1.929126e-02,1.887401e-02,1.848694e-02,1.812879e-02,1.779830e-02,1.749422e-02,1.721532e-02,1.696038e-02,1.672818e-02,1.651753e-02,1.632725e-02,1.615618e-02,1.600320e-02,1.586718e-02,1.574705e-02,1.564173e-02,1.555020e-02,1.547146e-02,1.540452e-02,1.534846e-02,1.530236e-02,1.526535e-02,1.523659e-02,1.521528e-02,1.520065e-02,1.519199e-02,1.518858e-02,1.518980e-02,1.519500e-02,1.520363e-02,1.521514e-02,1.522902e-02,1.524481e-02,1.526207e-02,1.528041e-02,1.529947e-02,1.531891e-02,1.533843e-02,1.535777e-02
0.000000e+00,9.927727e-10,6.268403e-08,6.674443e-08,9.170722e-07,6.200609e-06,6.655150e-06,3.239395e-05,1.085089e-04,1.162901e-04,3.269071e-04,7.122554e-04,7.571739e-04,1.509834e-03,2.544621e-03,2.683483e-03,4.362702e-03,6.310600e-03,6.612280e-03,9.474643e-03,1.244206e-02,1.296959e-02,1.709559e-02,2.103455e-02,2.183206e-02,2.714215e-02,3.188970e-02,3.297582e-02,3.927288e-02,4.459903e-02,4.596590e-02,5.298286e-02,5.863324e-02,6.024953e-02,6.769152e-02,7.341976e-02,7.523598e-02,8.281302e-02,8.840208e-02,9.035675e-02,9.780616e-02,1.030799e-01,1.051056e-01,1.122054e-01,1.170326e-01,1.190615e-01,1.256362e-01,1.299297e-01,1.318975e-01,1.378190e-01,1.415307e-01,1.433799e-01,1.485644e-01,1.516796e-01,1.533613e-01,1.577639e-01,1.602940e-01,1.617692e-01,1.653777e-01,1.673537e-01,1.685930e-01,1.714214e-01,1.728880e-01,1.738716e-01,1.759539e-01,1.769638e-01,1.776805e-01,1.790648e-01,1.796751e-01,1.801213e-01,1.808652e-01,1.811338e-01,1.813123e-01,1.814787e-01,1.814617e-01,1.813807e-01,1.810347e-01,1.807852e-01,1.804568e-01,1.796631e-01,1.792299e-01,1.786693e-01,1.774906e-01,1.769173e-01,1.761419e-01,1.746376e-01,1.739627e-01,1.729915e-01,1.712167e-01,1.704736e-01,1.693259e-01,1.673312e-01,1.665483e-01,1.652439e-01,1.630749e-01,1.622761e-01,1.608345e-01,1.585321e-01,1.577369e-01,1.561770e-01,1.537776e-01,1.530018e-01,1.513419e-01,1.488772e-01,1.481332e-01,1.463905e-01,1.438882e-01,1.431856e-01,1.413764e-01,1.388604e-01,1.382062e-01,1.363455e-01,1.338363e-01,1.332354e-01,1.313372e-01,1.288521e-01,1.283076e-01,1.263847e-01,1.239383e-01,1.234518e-01,1.215159e-01,1.191203e-01,1.186921e-01,1.167540e-01,1.144191e-01,1.140486e-01,1.121178e-01,1.098517e-01,1.095373e-01,1.076225e-01,1.054316e-01,1.051713e-01,1.032802e-01,1.011695e-01,1.009607e-01,9.910024e-02,9.707330e-02,9.691299e-02,9.508932e-02,9.314884e-02,9.303381e-02,9.125230e-02,8.940001e-02,8.932684e-02,8.759220e-02,8.582904e-02,8.579423e-02,8.411057e-02,8.243681e-02,7.925429e-02,7.624543e-02,7.340821e-02,7.073994e-02,6.823739e-02,6.589686e-02,6.371430e-02,6.168535e-02,5.980539e-02,5.806961e-02,5.647307e-02,5.501068e-02,5.367726e-02,5.246757e-02,5.137630e-02,5.039813e-02,4.952771e-02,4.875971e-02,4.808877e-02,4.750959e-02,4.701688e-02,4.660539e-02,4.626995e-02,4.600541e-02,4.580675e-02,4.566899e-02,4.558726e-02,4.555682e-02,4.557301e-02,4.563133e-02,4.572741e-02,4.585702e-02,4.601611e-02,4.620076e-02,4.640725e-02,4.663205e-02,4.687179e-02,4.712330e-02,4.738362e-02,4.764997e-02,4.791978e-02,4.819065e-02,4.846042e-02,4.872711e-02,4.898891e-02,4.924424e-02,4.949167e-02,4.972996e-02,4.995804e-02
0.000000e+00,6.012722e-09,4.604597e-07,4.928024e-07,8.699559e-06,6.916571e-05,7.457384e-05,3.858323e-04,1.274836e-03,1.363031e-03,3.637946e-03,7.509516e-03,7.946727e-03,1.502617e-02,2.431736e-02,2.553987e-02,4.003252e-02,5.640016e-02,5.890599e-02,8.241127e-02,1.064129e-01,1.106517e-01,1.435933e-01,1.747867e-01,1.810805e-01,2.228532e-01,2.600646e-01,2.685659e-01,3.178066e-01,3.594304e-01,3.701138e-01,4.249936e-01,4.692567e-01,4.819341e-01,5.404182e-01,5.855836e-01,5.999349e-01,6.599882e-01,7.044938e-01,7.201048e-01,7.798394e-01,8.223789e-01,8.387797e-01,8.965490e-01,9.361076e-01,9.528081e-01,1.007257e+00,1.043112e+00,1.059632e+00,1.109712e+00,1.141413e+00,1.157307e+00,1.202266e+00,1.229601e+00,1.244471e+00,1.283834e+00,1.306785e+00,1.320297e+00,1.353825e+00,1.372530e+00,1.384412e+00,1.412070e+00,1.426781e+00,1.436830e+00,1.458741e+00,1.469790e+00,1.477866e+00,1.494280e+00,1.502046e+00,1.508069e+00,1.519327e+00,1.524214e+00,1.528155e+00,1.534659e+00,1.537074e+00,1.538950e+00,1.541140e+00,1.541479e+00,1.541344e+00,1.539677e+00,1.538314e+00,1.536254e+00,1.531189e+00,1.528469e+00,1.524593e+00,1.516576e+00,1.512811e+00,1.507245e+00,1.496704e+00,1.492171e+00,1.485053e+00,1.472389e+00,1.467331e+00,1.458806e+00,1.444391e+00,1.439015e+00,1.429231e+00,1.413406e+00,1.407887e+00,1.396992e+00,1.380062e+00,1.374547e+00,1.362685e+00,1.344925e+00,1.339532e+00,1.326844e+00,1.308498e+00,1.303321e+00,1.289941e+00,1.271223e+00,1.266335e+00,1.252390e+00,1.233485e+00,1.228942e+00,1.214550e+00,1.195620e+00,1.191460e+00,1.176730e+00,1.157912e+00,1.154160e+00,1.139195e+00,1.120606e+00,1.117275e+00,1.102168e+00,1.083905e+00,1.081000e+00,1.065836e+00,1.047979e+00,1.045497e+00,1.030352e+00,1.012968e+00,1.010899e+00,9.958417e-01,9.789840e-01,9.773134e-01,9.624055e-01,9.461153e-01,9.448248e-01,9.301212e-01,9.144302e-01,9.134985e-01,8.990477e-01,8.839786e-01,8.833825e-01,8.692269e-01,8.547954e-01,8.545100e-01,8.406865e-01,8.269017e-01,8.005669e-01,7.755059e-01,7.517110e-01,7.291679e-01,7.078563e-01,6.877516e-01,6.688251e-01,6.510449e-01,6.343766e-01,6.187837e-01,6.042282e-01,5.906707e-01,5.780711e-01,5.663889e-01,5.555830e-01,5.456124e-01,5.364364e-01,5.280144e-01,5.203064e-01,5.132729e-01,5.068753e-01,5.010757e-01,4.958373e-01,4.911240e-01,4.869011e-01,4.831347e-01,4.797924e-01,4.768427e-01,4.742556e-01,4.720022e-01,4.700550e-01,4.683877e-01,4.669754e-01,4.657943e-01,4.648221e-01,4.640377e-01,4.634213e-01,4.629542e-01,4.626190e-01,4.623996e-01,4.622807e-01,4.622486e-01,4.622902e-01,4.623938e-01,4.625485e-01,4.627444e-01,4.629725e-01,4.632247e-01,4.634937e-01
0.000000e+00,4.270643e-09,2.090101e-07,2.220105e-07,2.783136e-06,1.605101e-05,1.706732e-05,6.107093e-05,1.378482e-04,1.437558e-04,2.537130e-04,3.646021e-04,3.743536e-04,4.951609e-04,6.001186e-04,6.114910e-04,7.217425e-04,8.134181e-04,8.255310e-04,9.228975e-04,1.001627e-03,1.014016e-03,1.099099e-03,1.166074e-03,1.178378e-03,1.252086e-03,1.308534e-03,1.320457e-03,1.383721e-03,1.430806e-03,1.442103e-03,1.495830e-03,1.534646e-03,1.545120e-03,1.590188e-03,1.621743e-03,1.631241e-03,1.668479e-03,1.693693e-03,1.702096e-03,1.732277e-03,1.751982e-03,1.759203e-03,1.783044e-03,1.797986e-03,1.803965e-03,1.822124e-03,1.832972e-03,1.837672e-03,1.850754e-03,1.858104e-03,1.861507e-03,1.870064e-03,1.874446e-03,1.876550e-03,1.881088e-03,1.882973e-03,1.883792e-03,1.884771e-03,1.884575e-03,1.884131e-03,1.881973e-03,1.880062e-03,1.878390e-03,1.873475e-03,1.870173e-03,1.867314e-03,1.859990e-03,1.855579e-03,1.851582e-03,1.842163e-03,1.836890e-03,1.831806e-03,1.820579e-03,1.814659e-03,1.808546e-03,1.795768e-03,1.789387e-03,1.782304e-03,1.768208e-03,1.761527e-03,1.753535e-03,1.738333e-03,1.731488e-03,1.722649e-03,1.706530e-03,1.699640e-03,1.690017e-03,1.673151e-03,1.666315e-03,1.655970e-03,1.638510e-03,1.631810e-03,1.620806e-03,1.602890e-03,1.596394e-03,1.584792e-03,1.566542e-03,1.560307e-03,1.548166e-03,1.529691e-03,1.523762e-03,1.511141e-03,1.492538e-03,1.486950e-03,1.473904e-03,1.455259e-03,1.450040e-03,1.436623e-03,1.418013e-03,1.413181e-03,1.399446e-03,1.380937e-03,1.376505e-03,1.362501e-03,1.344152e-03,1.340128e-03,1.325902e-03,1.307764e-03,1.304151e-03,1.289748e-03,1.271865e-03,1.268661e-03,1.254125e-03,1.236535e-03,1.233736e-03,1.219105e-03,1.201842e-03,1.199438e-03,1.184752e-03,1.167842e-03,1.165825e-03,1.151118e-03,1.134584e-03,1.132942e-03,1.118247e-03,1.102109e-03,1.100827e-03,1.086175e-03,1.070448e-03,1.069511e-03,1.054931e-03,1.039627e-03,1.039019e-03,1.024538e-03,1.009666e-03,1.009371e-03,9.950123e-04,9.805787e-04,9.526526e-04,9.255974e-04,8.994144e-04,8.741017e-04,8.496549e-04,8.260667e-04,8.033278e-04,7.814270e-04,7.603516e-04,7.400873e-04,7.206188e-04,7.019297e-04,6.840029e-04,6.668205e-04,6.503642e-04,6.346152e-04,6.195545e-04,6.051628e-04,5.914209e-04,5.783093e-04,5.658089e-04,5.539003e-04,5.425645e-04,5.317827e-04,5.215362e-04,5.118066e-04,5.025759e-04,4.938264e-04,4.855407e-04,4.777018e-04,4.702931e-04,4.632982e-04,4.567015e-04,4.504873e-04,4.446408e-04,4.391471e-04,4.339922e-04,4.291622e-04,4.246437e-04,4.204236e-04,4.164894e-04,4.128288e-04,4.094300e-04,4.062815e-04,4.033723e-04,4.006916e-04,3.982291e-04,3.959747e-04,3.939188e-04
0.000000e+00,3.812419e-09,2.779814e-07,2.970525e-07,4.809324e-06,3.541654e-05,3.808178e-05,1.869107e-04,6.031414e-04,6.443290e-04,1.709283e-03,3.537360e-03,3.744928e-03,7.131177e-03,1.163169e-02,1.222770e-02,1.934879e-02,2.749309e-02,2.874808e-02,4.061090e-02,5.287279e-02,5.505224e-02,7.211868e-02,8.847244e-02,9.179320e-02,1.140017e-01,1.340181e-01,1.386204e-01,1.654843e-01,1.884592e-01,1.943945e-01,2.251268e-01,2.502071e-01,2.574383e-01,2.910744e-01,3.173637e-01,3.257749e-01,3.612788e-01,3.879176e-01,3.973292e-01,4.336767e-01,4.598965e-01,4.700829e-01,5.063222e-01,5.314772e-01,5.421844e-01,5.774753e-01,6.010558e-01,6.120180e-01,6.456535e-01,6.672865e-01,6.782403e-01,7.096546e-01,7.290947e-01,7.397901e-01,7.685567e-01,7.856716e-01,7.958807e-01,8.217032e-01,8.364569e-01,8.459795e-01,8.686778e-01,8.811116e-01,8.897786e-01,9.092731e-01,9.194887e-01,9.271630e-01,9.434586e-01,9.516016e-01,9.581785e-01,9.713481e-01,9.775940e-01,9.829993e-01,9.931689e-01,9.977110e-01,1.001899e+00,1.009234e+00,1.012274e+00,1.015223e+00,1.019917e+00,1.021656e+00,1.023369e+00,1.025634e+00,1.026268e+00,1.026765e+00,1.026820e+00,1.026535e+00,1.025853e+00,1.023922e+00,1.022891e+00,1.021080e+00,1.017383e+00,1.015764e+00,1.012883e+00,1.007634e+00,1.005571e+00,1.001686e+00,9.950899e-01,9.927079e-01,9.878929e-01,9.801420e-01,9.775521e-01,9.718822e-01,9.631566e-01,9.604544e-01,9.540070e-01,9.444730e-01,9.417399e-01,9.345928e-01,9.244027e-01,9.217067e-01,9.139371e-01,9.032290e-01,9.006265e-01,8.923096e-01,8.812085e-01,8.787447e-01,8.699536e-01,8.585713e-01,8.562817e-01,8.470865e-01,8.355226e-01,8.334345e-01,8.239017e-01,8.122445e-01,8.103773e-01,8.005702e-01,7.888970e-01,7.872639e-01,7.772419e-01,7.656204e-01,7.642288e-01,7.540473e-01,7.425363e-01,7.413891e-01,7.310998e-01,7.197496e-01,7.188457e-01,7.084964e-01,6.973502e-01,6.966850e-01,6.863200e-01,6.754141e-01,6.749806e-01,6.646402e-01,6.540052e-01,6.537940e-01,6.435154e-01,6.331764e-01,6.131697e-01,5.938072e-01,5.751150e-01,5.571128e-01,5.398143e-01,5.232286e-01,5.073600e-01,4.922093e-01,4.777737e-01,4.640478e-01,4.510236e-01,4.386907e-01,4.270373e-01,4.160496e-01,4.057127e-01,3.960104e-01,3.869257e-01,3.784406e-01,3.705366e-01,3.631943e-01,3.563944e-01,3.501166e-01,3.443410e-01,3.390469e-01,3.342139e-01,3.298213e-01,3.258486e-01,3.222753e-01,3.190809e-01,3.162451e-01,3.137480e-01,3.115698e-01,3.096909e-01,3.080923e-01,3.067552e-01,3.056613e-01,3.047927e-01,3.041319e-01,3.036622e-01,3.033670e-01,3.032308e-01,3.032381e-01,3.033746e-01,3.036261e-01,3.039793e-01,3.044217e-01,3.049410e-01,3.055259e-01,3.061658e-01
0.000000e+00,2.723339e-09,1.711140e-07,1.821749e-07,2.493363e-06,1.692635e-05,1.817296e-05,8.927910e-05,3.007607e-04,3.223763e-04,9.051934e-04,1.962101e-03,2.084715e-03,4.127342e-03,6.912140e-03,7.284457e-03,1.176957e-02,1.694583e-02,1.774580e-02,2.532099e-02,3.315634e-02,3.454819e-02,4.542946e-02,5.581772e-02,5.792183e-02,7.194420e-02,8.450648e-02,8.738458e-02,1.041072e-01,1.183062e-01,1.219592e-01,1.407765e-01,1.560149e-01,1.603892e-01,1.806262e-01,1.963198e-01,2.013187e-01,2.223032e-01,2.379280e-01,2.434243e-01,2.645361e-01,2.796545e-01,2.855034e-01,3.062031e-01,3.204737e-01,3.265240e-01,3.463672e-01,3.595428e-01,3.656458e-01,3.842851e-01,3.962054e-01,4.022213e-01,4.194019e-01,4.299806e-01,4.357838e-01,4.513339e-01,4.605459e-01,4.660272e-01,4.798468e-01,4.877147e-01,4.927827e-01,5.048312e-01,5.114134e-01,5.159945e-01,5.262795e-01,5.316594e-01,5.356973e-01,5.442630e-01,5.485404e-01,5.519946e-01,5.589130e-01,5.621967e-01,5.650411e-01,5.704038e-01,5.728062e-01,5.750272e-01,5.789386e-01,5.805715e-01,5.821662e-01,5.847385e-01,5.857097e-01,5.866845e-01,5.880331e-01,5.884448e-01,5.888135e-01,5.890542e-01,5.890013e-01,5.887838e-01,5.880301e-01,5.875994e-01,5.868205e-01,5.851818e-01,5.844521e-01,5.831401e-01,5.807208e-01,5.797622e-01,5.779485e-01,5.748471e-01,5.737217e-01,5.714394e-01,5.677478e-01,5.665100e-01,5.637934e-01,5.595970e-01,5.582938e-01,5.551781e-01,5.505557e-01,5.492274e-01,5.457478e-01,5.407719e-01,5.394527e-01,5.356443e-01,5.303810e-01,5.290993e-01,5.249968e-01,5.195062e-01,5.182853e-01,5.139227e-01,5.082591e-01,5.071179e-01,5.025279e-01,4.967406e-01,4.956938e-01,4.909082e-01,4.850412e-01,4.841000e-01,4.791494e-01,4.732421e-01,4.724144e-01,4.673282e-01,4.614157e-01,4.607067e-01,4.555126e-01,4.496261e-01,4.490386e-01,4.437631e-01,4.379300e-01,4.374648e-01,4.321328e-01,4.263772e-01,4.260333e-01,4.206683e-01,4.150111e-01,4.147859e-01,4.094100e-01,4.038693e-01,4.037591e-01,3.983929e-01,3.929842e-01,3.824878e-01,3.722923e-01,3.624162e-01,3.528746e-01,3.436794e-01,3.348396e-01,3.263615e-01,3.182492e-01,3.105046e-01,3.031277e-01,2.961168e-01,2.894688e-01,2.831790e-01,2.772418e-01,2.716503e-01,2.663967e-01,2.614727e-01,2.568688e-01,2.525754e-01,2.485822e-01,2.448783e-01,2.414528e-01,2.382945e-01,2.353918e-01,2.327331e-01,2.303068e-01,2.281013e-01,2.261049e-01,2.243062e-01,2.226938e-01,2.212564e-01,2.199832e-01,2.188632e-01,2.178860e-01,2.170413e-01,2.163194e-01,2.157106e-01,2.152057e-01,2.147958e-01,2.144724e-01,2.142274e-01,2.140531e-01,2.139421e-01,2.138874e-01,2.138825e-01,2.139211e-01,2.139975e-01,2.141062e-01,2.142422e-01
0.000000e+00,6.990318e-09,2.472644e-07,2.605808e-07,2.229105e-06,9.803417e-06,1.033464e-05,3.204468e-05,7.064099e-05,7.374718e-05,1.355290e-04,2.043104e-04,2.105833e-04,2.899143e-04,3.595045e-04,3.670009e-04,4.386991e-04,4.965095e-04,5.040017e-04,5.628559e-04,6.085305e-04,6.155515e-04,6.624816e-04,6.977479e-04,7.040569e-04,7.406780e-04,7.672793e-04,7.727272e-04,8.005646e-04,8.200300e-04,8.245283e-04,8.449341e-04,8.585707e-04,8.620762e-04,8.762285e-04,8.851418e-04,8.876452e-04,8.965621e-04,9.016805e-04,9.031980e-04,9.077551e-04,9.098549e-04,9.104209e-04,9.113687e-04,9.110961e-04,9.107586e-04,9.087385e-04,9.066297e-04,9.054453e-04,9.010048e-04,8.975027e-04,8.955337e-04,8.891391e-04,8.846079e-04,8.819199e-04,8.739672e-04,8.687052e-04,8.653648e-04,8.561899e-04,8.504398e-04,8.465133e-04,8.364002e-04,8.303584e-04,8.259105e-04,8.150992e-04,8.089232e-04,8.040165e-04,7.927085e-04,7.865235e-04,7.812173e-04,7.695816e-04,7.634856e-04,7.578364e-04,7.460140e-04,7.400830e-04,7.341434e-04,7.222513e-04,7.165426e-04,7.103617e-04,6.984965e-04,6.930522e-04,6.866754e-04,6.749164e-04,6.697662e-04,6.632353e-04,6.516467e-04,6.468102e-04,6.401635e-04,6.287970e-04,6.242855e-04,6.175577e-04,6.064544e-04,6.022726e-04,5.954952e-04,5.846870e-04,5.808342e-04,5.740359e-04,5.635470e-04,5.600186e-04,5.532249e-04,5.430731e-04,5.398611e-04,5.330949e-04,5.232927e-04,5.203866e-04,5.136683e-04,5.042234e-04,5.016111e-04,4.949589e-04,4.858753e-04,4.835433e-04,4.769730e-04,4.682517e-04,4.661855e-04,4.597110e-04,4.513503e-04,4.495350e-04,4.431686e-04,4.351647e-04,4.335851e-04,4.273372e-04,4.196845e-04,4.183255e-04,4.122050e-04,4.048968e-04,4.037432e-04,3.977579e-04,3.907861e-04,3.898232e-04,3.839793e-04,3.773351e-04,3.765487e-04,3.708513e-04,3.645254e-04,3.639014e-04,3.583549e-04,3.523374e-04,3.518625e-04,3.464701e-04,3.407507e-04,3.404122e-04,3.351764e-04,3.297447e-04,3.295304e-04,3.244530e-04,3.192986e-04,3.191969e-04,3.142789e-04,3.093912e-04,3.000933e-04,2.912829e-04,2.829405e-04,2.750466e-04,2.675824e-04,2.605292e-04,2.538693e-04,2.475852e-04,2.416600e-04,2.360774e-04,2.308217e-04,2.258777e-04,2.212308e-04,2.168670e-04,2.127728e-04,2.089351e-04,2.053417e-04,2.019804e-04,1.988399e-04,1.959093e-04,1.931781e-04,1.906362e-04,1.882740e-04,1.860824e-04,1.840526e-04,1.821762e-04,1.804452e-04,1.788519e-04,1.773891e-04,1.760497e-04,1.748271e-04,1.737150e-04,1.727072e-04,1.717981e-04,1.709820e-04,1.702538e-04,1.696083e-04,1.690409e-04,1.685469e-04,1.681220e-04,1.677621e-04,1.674632e-04,1.672216e-04,1.670337e-04,1.668962e-04,1.668056e-04,1.667591e-04,1.667536e-04,1.667863e-04
0.000000e+00,2.307610e-09,1.401710e-07,1.491124e-07,1.954266e-06,1.271331e-05,1.362622e-05,6.428000e-05,2.094325e-04,2.240433e-04,6.103396e-04,1.290775e-03,1.368639e-03,2.643735e-03,4.334818e-03,4.557768e-03,7.198290e-03,1.016274e-02,1.061433e-02,1.481771e-02,1.904704e-02,1.978738e-02,2.547524e-02,3.075815e-02,3.181243e-02,3.871536e-02,4.473300e-02,4.609123e-02,5.384273e-02,6.024851e-02,6.187193e-02,7.008338e-02,7.655632e-02,7.838647e-02,8.669709e-02,9.297082e-02,9.493874e-02,1.030432e-01,1.089168e-01,1.109508e-01,1.186103e-01,1.239472e-01,1.259789e-01,1.330212e-01,1.377416e-01,1.397096e-01,1.460228e-01,1.500935e-01,1.519456e-01,1.574683e-01,1.608915e-01,1.625859e-01,1.672975e-01,1.701008e-01,1.716056e-01,1.755158e-01,1.777438e-01,1.790363e-01,1.821771e-01,1.838842e-01,1.849500e-01,1.873682e-01,1.886136e-01,1.894455e-01,1.911966e-01,1.920405e-01,1.926369e-01,1.937817e-01,1.942824e-01,1.946464e-01,1.952467e-01,1.954593e-01,1.955976e-01,1.957145e-01,1.956896e-01,1.956118e-01,1.953040e-01,1.950874e-01,1.948049e-01,1.941279e-01,1.937603e-01,1.932859e-01,1.922913e-01,1.918085e-01,1.911560e-01,1.898913e-01,1.893241e-01,1.885079e-01,1.870162e-01,1.863914e-01,1.854260e-01,1.837465e-01,1.830868e-01,1.819866e-01,1.801545e-01,1.794788e-01,1.782582e-01,1.763050e-01,1.756293e-01,1.743021e-01,1.722560e-01,1.715931e-01,1.701728e-01,1.680586e-01,1.674191e-01,1.659188e-01,1.637585e-01,1.631506e-01,1.615825e-01,1.593955e-01,1.588256e-01,1.572016e-01,1.550048e-01,1.544776e-01,1.528088e-01,1.506170e-01,1.501357e-01,1.484327e-01,1.462587e-01,1.458254e-01,1.440980e-01,1.419529e-01,1.415686e-01,1.398259e-01,1.377192e-01,1.373842e-01,1.356348e-01,1.335745e-01,1.332880e-01,1.315399e-01,1.295328e-01,1.292938e-01,1.275543e-01,1.256059e-01,1.254128e-01,1.236887e-01,1.218036e-01,1.216543e-01,1.199517e-01,1.181337e-01,1.180258e-01,1.163504e-01,1.146024e-01,1.145332e-01,1.128901e-01,1.112142e-01,1.111810e-01,1.095749e-01,1.079725e-01,1.049098e-01,1.019939e-01,9.922509e-02,9.660281e-02,9.412581e-02,9.179223e-02,8.959970e-02,8.754538e-02,8.562603e-02,8.383804e-02,8.217750e-02,8.064026e-02,7.922196e-02,7.791805e-02,7.672386e-02,7.563459e-02,7.464539e-02,7.375134e-02,7.294749e-02,7.222889e-02,7.159064e-02,7.102783e-02,7.053566e-02,7.010937e-02,6.974430e-02,6.943592e-02,6.917979e-02,6.897162e-02,6.880726e-02,6.868271e-02,6.859413e-02,6.853784e-02,6.851035e-02,6.850834e-02,6.852864e-02,6.856831e-02,6.862455e-02,6.869476e-02,6.877652e-02,6.886759e-02,6.896590e-02,6.906955e-02,6.917679e-02,6.928608e-02,6.939597e-02,6.950522e-02,6.961270e-02,6.971742e-02,6.981851e-02
0.000000e+00,2.778470e-10,2.156354e-08,2.307619e-08,3.945072e-07,2.947137e-06,3.168780e-06,1.536155e-05,4.834951e-05,5.155500e-05,1.321941e-04,2.643726e-04,2.790336e-04,5.111946e-04,8.049324e-04,8.428609e-04,1.282351e-03,1.760376e-03,1.832122e-03,2.489335e-03,3.135026e-03,3.246721e-03,4.093568e-03,4.864464e-03,5.016697e-03,6.001383e-03,6.843908e-03,7.032147e-03,8.093433e-03,8.954267e-03,9.170145e-03,1.024807e-02,1.108124e-02,1.131415e-02,1.235671e-02,1.312701e-02,1.336558e-02,1.433209e-02,1.501578e-02,1.524910e-02,1.611094e-02,1.669485e-02,1.691333e-02,1.765324e-02,1.813295e-02,1.832880e-02,1.893916e-02,1.931696e-02,1.948437e-02,1.996525e-02,2.024806e-02,2.038323e-02,2.074031e-02,2.093798e-02,2.103890e-02,2.128171e-02,2.140555e-02,2.147173e-02,2.161209e-02,2.167380e-02,2.170601e-02,2.175675e-02,2.176769e-02,2.176758e-02,2.174173e-02,2.171239e-02,2.168232e-02,2.159238e-02,2.153215e-02,2.147482e-02,2.133240e-02,2.124938e-02,2.116772e-02,2.098324e-02,2.088431e-02,2.078128e-02,2.056399e-02,2.045483e-02,2.033334e-02,2.009118e-02,1.997639e-02,1.983919e-02,1.957892e-02,1.946215e-02,1.931177e-02,1.903904e-02,1.892311e-02,1.876188e-02,1.848136e-02,1.836843e-02,1.819844e-02,1.791397e-02,1.780562e-02,1.762872e-02,1.734340e-02,1.724078e-02,1.705860e-02,1.677488e-02,1.667875e-02,1.649272e-02,1.621254e-02,1.612337e-02,1.593472e-02,1.565960e-02,1.557763e-02,1.538746e-02,1.511854e-02,1.504386e-02,1.485308e-02,1.459126e-02,1.452380e-02,1.433323e-02,1.407914e-02,1.401876e-02,1.382909e-02,1.358319e-02,1.352965e-02,1.334150e-02,1.310408e-02,1.305712e-02,1.287100e-02,1.264227e-02,1.260157e-02,1.241793e-02,1.219799e-02,1.216321e-02,1.198246e-02,1.177133e-02,1.174212e-02,1.156460e-02,1.136224e-02,1.133825e-02,1.116425e-02,1.097059e-02,1.095146e-02,1.078123e-02,1.059615e-02,1.058152e-02,1.041530e-02,1.023864e-02,1.022818e-02,1.006614e-02,9.897750e-03,9.891099e-03,9.733419e-03,9.573102e-03,9.569936e-03,9.416749e-03,9.264307e-03,8.973809e-03,8.698023e-03,8.436522e-03,8.188868e-03,7.954620e-03,7.733337e-03,7.524575e-03,7.327895e-03,7.142858e-03,6.969033e-03,6.805991e-03,6.653314e-03,6.510586e-03,6.377403e-03,6.253367e-03,6.138089e-03,6.031188e-03,5.932292e-03,5.841039e-03,5.757074e-03,5.680053e-03,5.609640e-03,5.545508e-03,5.487340e-03,5.434826e-03,5.387666e-03,5.345569e-03,5.308251e-03,5.275440e-03,5.246869e-03,5.222280e-03,5.201425e-03,5.184062e-03,5.169959e-03,5.158892e-03,5.150643e-03,5.145005e-03,5.141775e-03,5.140762e-03,5.141780e-03,5.144650e-03,5.149204e-03,5.155278e-03,5.162717e-03,5.171373e-03,5.181106e-03,5.191783e-03,5.203276e-03,5.215467e-03
0.000000e+00,1.198915e-09,9.295285e-08,9.946650e-08,1.684111e-06,1.230592e-05,1.321575e-05,6.187488e-05,1.878177e-04,1.998234e-04,4.953784e-04,9.667645e-04,1.018507e-03,1.829983e-03,2.844927e-03,2.975447e-03,4.483158e-03,6.118748e-03,6.364160e-03,8.613888e-03,1.083030e-02,1.121456e-02,1.413786e-02,1.681646e-02,1.734761e-02,2.080231e-02,2.378671e-02,2.445735e-02,2.826693e-02,3.139525e-02,3.218557e-02,3.616942e-02,3.929537e-02,4.017711e-02,4.417046e-02,4.717441e-02,4.811491e-02,5.197975e-02,5.477259e-02,5.573821e-02,5.936745e-02,6.188963e-02,6.284839e-02,6.616556e-02,6.838351e-02,6.930683e-02,7.226312e-02,7.416441e-02,7.502813e-02,7.759806e-02,7.918647e-02,7.997127e-02,8.214802e-02,8.343885e-02,8.413020e-02,8.592110e-02,8.693729e-02,8.752513e-02,8.894766e-02,8.971656e-02,9.019478e-02,9.127318e-02,9.182414e-02,9.218998e-02,9.295259e-02,9.331514e-02,9.356862e-02,9.404576e-02,9.424838e-02,9.439171e-02,9.461414e-02,9.468349e-02,9.472057e-02,9.471838e-02,9.467880e-02,9.461474e-02,9.441662e-02,9.428993e-02,9.413072e-02,9.376351e-02,9.356900e-02,9.332118e-02,9.280964e-02,9.256411e-02,9.223454e-02,9.160123e-02,9.131911e-02,9.091479e-02,9.018003e-02,8.987363e-02,8.940152e-02,8.858354e-02,8.826321e-02,8.773015e-02,8.684516e-02,8.651953e-02,8.593215e-02,8.499449e-02,8.467063e-02,8.403532e-02,8.305760e-02,8.274127e-02,8.206409e-02,8.105739e-02,8.075317e-02,8.003990e-02,7.901386e-02,7.872533e-02,7.798139e-02,7.694442e-02,7.667430e-02,7.590478e-02,7.486415e-02,7.461442e-02,7.382408e-02,7.278604e-02,7.255808e-02,7.175136e-02,7.072128e-02,7.051592e-02,6.969694e-02,6.867939e-02,6.849703e-02,6.766961e-02,6.666848e-02,6.650916e-02,6.567681e-02,6.469536e-02,6.455881e-02,6.372479e-02,6.276573e-02,6.265144e-02,6.181874e-02,6.088431e-02,6.079158e-02,5.996292e-02,5.905495e-02,5.898291e-02,5.816079e-02,5.728074e-02,5.722839e-02,5.641510e-02,5.556410e-02,5.553037e-02,5.472797e-02,5.390688e-02,5.389061e-02,5.310098e-02,5.231040e-02,5.079061e-02,4.933174e-02,4.793395e-02,4.659713e-02,4.532094e-02,4.410480e-02,4.294799e-02,4.184958e-02,4.080854e-02,3.982371e-02,3.889383e-02,3.801757e-02,3.719350e-02,3.642013e-02,3.569595e-02,3.501937e-02,3.438878e-02,3.380255e-02,3.325902e-02,3.275651e-02,3.229335e-02,3.186783e-02,3.147827e-02,3.112299e-02,3.080031e-02,3.050857e-02,3.024612e-02,3.001134e-02,2.980262e-02,2.961840e-02,2.945711e-02,2.931727e-02,2.919738e-02,2.909602e-02,2.901178e-02,2.894333e-02,2.888935e-02,2.884858e-02,2.881982e-02,2.880190e-02,2.879372e-02,2.879422e-02,2.880239e-02,2.881729e-02,2.883802e-02,2.886374e-02,2.889364e-02,2.892700e-02,2.896312e-02
0.000000e+00,5.741665e-10,4.198185e-08,4.489262e-08,7.502734e-07,5.510488e-06,5.918903e-06,2.759385e-05,8.181606e-05,8.686141e-05,2.060763e-04,3.822851e-04,4.008496e-04,6.771810e-04,9.935093e-04,1.032355e-03,1.457359e-03,1.879078e-03,1.939482e-03,2.464485e-03,2.939442e-03,3.018181e-03,3.587447e-03,4.069195e-03,4.160782e-03,4.728544e-03,5.184437e-03,5.282954e-03,5.817979e-03,6.228978e-03,6.329130e-03,6.813248e-03,7.170737e-03,7.268276e-03,7.693051e-03,7.995346e-03,8.087119e-03,8.450575e-03,8.700110e-03,8.783926e-03,9.087985e-03,9.289340e-03,9.363779e-03,9.612483e-03,9.771132e-03,9.835361e-03,1.003373e-02,1.015529e-02,1.020891e-02,1.036223e-02,1.045208e-02,1.049499e-02,1.060844e-02,1.067149e-02,1.070382e-02,1.078227e-02,1.082291e-02,1.084492e-02,1.089283e-02,1.091492e-02,1.092700e-02,1.094838e-02,1.095528e-02,1.095787e-02,1.095632e-02,1.095093e-02,1.094454e-02,1.092326e-02,1.090808e-02,1.089321e-02,1.085506e-02,1.083222e-02,1.080942e-02,1.075688e-02,1.072821e-02,1.069802e-02,1.063333e-02,1.060036e-02,1.056332e-02,1.048845e-02,1.045249e-02,1.040914e-02,1.032580e-02,1.028795e-02,1.023881e-02,1.014853e-02,1.010971e-02,1.005529e-02,9.959399e-03,9.920370e-03,9.861160e-03,9.760845e-03,9.722235e-03,9.658711e-03,9.554999e-03,9.517321e-03,9.449935e-03,9.343728e-03,9.307393e-03,9.236576e-03,9.128663e-03,9.093999e-03,9.020161e-03,8.911229e-03,8.878488e-03,8.802017e-03,8.692663e-03,8.662036e-03,8.583296e-03,8.474037e-03,8.445661e-03,8.364996e-03,8.256277e-03,8.230243e-03,8.147975e-03,8.040179e-03,8.016540e-03,7.932970e-03,7.826424e-03,7.805200e-03,7.720610e-03,7.615591e-03,7.596777e-03,7.511427e-03,7.408170e-03,7.391737e-03,7.305870e-03,7.204570e-03,7.190470e-03,7.104312e-03,7.005131e-03,6.993303e-03,6.907060e-03,6.810129e-03,6.800500e-03,6.714364e-03,6.619789e-03,6.612275e-03,6.526423e-03,6.434284e-03,6.428795e-03,6.343389e-03,6.253749e-03,6.250190e-03,6.165377e-03,6.078280e-03,6.076552e-03,5.992467e-03,5.907942e-03,5.744398e-03,5.585930e-03,5.432531e-03,5.284176e-03,5.140826e-03,5.002428e-03,4.868919e-03,4.740227e-03,4.616272e-03,4.496965e-03,4.382217e-03,4.271931e-03,4.166009e-03,4.064348e-03,3.966846e-03,3.873398e-03,3.783900e-03,3.698246e-03,3.616330e-03,3.538049e-03,3.463297e-03,3.391972e-03,3.323973e-03,3.259198e-03,3.197548e-03,3.138926e-03,3.083237e-03,3.030385e-03,2.980279e-03,2.932828e-03,2.887943e-03,2.845537e-03,2.805525e-03,2.767825e-03,2.732354e-03,2.699033e-03,2.667784e-03,2.638531e-03,2.611200e-03,2.585719e-03,2.562016e-03,2.540023e-03,2.519671e-03,2.500895e-03,2.483631e-03,2.467815e-03,2.453386e-03,2.440285e-03,2.428453e-03
0.000000e+00,1.839862e-09,1.275512e-07,1.361252e-07,2.067690e-06,1.455051e-05,1.562293e-05,7.482694e-05,2.401606e-04,2.565796e-04,6.841974e-04,1.426452e-03,1.511124e-03,2.898636e-03,4.751998e-03,4.997831e-03,7.937724e-03,1.130055e-02,1.181849e-02,1.670853e-02,2.174980e-02,2.264430e-02,2.963201e-02,3.629986e-02,3.765049e-02,4.665479e-02,5.472899e-02,5.658008e-02,6.734560e-02,7.650092e-02,7.885852e-02,9.101746e-02,1.008814e-01,1.037157e-01,1.168443e-01,1.270425e-01,1.302939e-01,1.439577e-01,1.541458e-01,1.577323e-01,1.715196e-01,1.814024e-01,1.852276e-01,1.987713e-01,2.081121e-01,2.120728e-01,2.250623e-01,2.336848e-01,2.376775e-01,2.498637e-01,2.576487e-01,2.615742e-01,2.727693e-01,2.796483e-01,2.834163e-01,2.934890e-01,2.994367e-01,3.029675e-01,3.118374e-01,3.168632e-01,3.200895e-01,3.277195e-01,3.318595e-01,3.347271e-01,3.411158e-01,3.444256e-01,3.468926e-01,3.520673e-01,3.546156e-01,3.566523e-01,3.606621e-01,3.625253e-01,3.641131e-01,3.670230e-01,3.682810e-01,3.694110e-01,3.712971e-01,3.720302e-01,3.727020e-01,3.736471e-01,3.739333e-01,3.741537e-01,3.742438e-01,3.741571e-01,3.739390e-01,3.732609e-01,3.728699e-01,3.722309e-01,3.708701e-01,3.702378e-01,3.691992e-01,3.672383e-01,3.664213e-01,3.650072e-01,3.625248e-01,3.615733e-01,3.598098e-01,3.568799e-01,3.558379e-01,3.537525e-01,3.504439e-01,3.493495e-01,3.469702e-01,3.433463e-01,3.422321e-01,3.395870e-01,3.357060e-01,3.345993e-01,3.317164e-01,3.276309e-01,3.265544e-01,3.234612e-01,3.192187e-01,3.181909e-01,3.149141e-01,3.105573e-01,3.095928e-01,3.061580e-01,3.017250e-01,3.008351e-01,2.972668e-01,2.927913e-01,2.919844e-01,2.883058e-01,2.838174e-01,2.830994e-01,2.793325e-01,2.748571e-01,2.742317e-01,2.703970e-01,2.659573e-01,2.654262e-01,2.615430e-01,2.571585e-01,2.567219e-01,2.528080e-01,2.484954e-01,2.481521e-01,2.442242e-01,2.399977e-01,2.397456e-01,2.358188e-01,2.316904e-01,2.315263e-01,2.276147e-01,2.235942e-01,2.235144e-01,2.196308e-01,2.157264e-01,2.081757e-01,2.008730e-01,1.938263e-01,1.870416e-01,1.805229e-01,1.742726e-01,1.682915e-01,1.625793e-01,1.571345e-01,1.519546e-01,1.470363e-01,1.423757e-01,1.379683e-01,1.338089e-01,1.298920e-01,1.262117e-01,1.227619e-01,1.195361e-01,1.165276e-01,1.137295e-01,1.111349e-01,1.087367e-01,1.065277e-01,1.045005e-01,1.026480e-01,1.009627e-01,9.943733e-02,9.806454e-02,9.683700e-02,9.574743e-02,9.478859e-02,9.395329e-02,9.323445e-02,9.262503e-02,9.211813e-02,9.170695e-02,9.138481e-02,9.114518e-02,9.098167e-02,9.088806e-02,9.085829e-02,9.088651e-02,9.096702e-02,9.109436e-02,9.126326e-02,9.146868e-02,9.170579e-02,9.197000e-02,9.225695e-02
0.000000e+00,5.392429e-09,2.262594e-07,2.395596e-07,2.619393e-06,1.399197e-05,1.484687e-05,5.172505e-05,1.171291e-04,1.222061e-04,2.169393e-04,3.117840e-04,3.200607e-04,4.215965e-04,5.082522e-04,5.175536e-04,6.068283e-04,6.797977e-04,6.893507e-04,7.653622e-04,8.257672e-04,8.351814e-04,8.991369e-04,9.485636e-04,9.575503e-04,1.010732e-03,1.050648e-03,1.058982e-03,1.102587e-03,1.134314e-03,1.141825e-03,1.176959e-03,1.201679e-03,1.208244e-03,1.235921e-03,1.254686e-03,1.260222e-03,1.281366e-03,1.295103e-03,1.299561e-03,1.315004e-03,1.324523e-03,1.327880e-03,1.338366e-03,1.344374e-03,1.346628e-03,1.352825e-03,1.355935e-03,1.357105e-03,1.359611e-03,1.360359e-03,1.360478e-03,1.359827e-03,1.358670e-03,1.357778e-03,1.354439e-03,1.351766e-03,1.349913e-03,1.344296e-03,1.340440e-03,1.337679e-03,1.330149e-03,1.325395e-03,1.321785e-03,1.312661e-03,1.307247e-03,1.302849e-03,1.292413e-03,1.286540e-03,1.281414e-03,1.269912e-03,1.263750e-03,1.257960e-03,1.245608e-03,1.239296e-03,1.232902e-03,1.219888e-03,1.213544e-03,1.206606e-03,1.193093e-03,1.186810e-03,1.179386e-03,1.165518e-03,1.159372e-03,1.151519e-03,1.137417e-03,1.131471e-03,1.123241e-03,1.109013e-03,1.103313e-03,1.094757e-03,1.080494e-03,1.075077e-03,1.066244e-03,1.052024e-03,1.046915e-03,1.037851e-03,1.023740e-03,1.018959e-03,1.009705e-03,9.957593e-04,9.913175e-04,9.819145e-04,9.681812e-04,9.640844e-04,9.545691e-04,9.410871e-04,9.373365e-04,9.277432e-04,9.145446e-04,9.111376e-04,9.014979e-04,8.886088e-04,8.855394e-04,8.758824e-04,8.633233e-04,8.605831e-04,8.509354e-04,8.387223e-04,8.363009e-04,8.266868e-04,8.148315e-04,8.127169e-04,8.031585e-04,7.916695e-04,7.898484e-04,7.803657e-04,7.692482e-04,7.677067e-04,7.583177e-04,7.475744e-04,7.462978e-04,7.370185e-04,7.266499e-04,7.256233e-04,7.164682e-04,7.064727e-04,7.056811e-04,6.966628e-04,6.870373e-04,6.864657e-04,6.775953e-04,6.683354e-04,6.679687e-04,6.592561e-04,6.503560e-04,6.501798e-04,6.416334e-04,6.330864e-04,6.166745e-04,6.009287e-04,5.858326e-04,5.713690e-04,5.575202e-04,5.442679e-04,5.315936e-04,5.194786e-04,5.079043e-04,4.968520e-04,4.863033e-04,4.762397e-04,4.666433e-04,4.574964e-04,4.487816e-04,4.404819e-04,4.325807e-04,4.250620e-04,4.179100e-04,4.111094e-04,4.046456e-04,3.985041e-04,3.926712e-04,3.871335e-04,3.818781e-04,3.768925e-04,3.721648e-04,3.676833e-04,3.634371e-04,3.594153e-04,3.556077e-04,3.520045e-04,3.485961e-04,3.453735e-04,3.423280e-04,3.394511e-04,3.367350e-04,3.341718e-04,3.317542e-04,3.294753e-04,3.273282e-04,3.253065e-04,3.234041e-04,3.216150e-04,3.199336e-04,3.183545e-04,3.168725e-04,3.154828e-04,3.141806e-04
0.000000e+00,2.279625e-08,1.507978e-06,1.607683e-06,2.368348e-05,1.697864e-04,1.825851e-04,9.170957e-04,3.074261e-03,3.292410e-03,9.080730e-03,1.935564e-02,2.053809e-02,4.009979e-02,6.659219e-02,7.012894e-02,1.127392e-01,1.620440e-01,1.696819e-01,2.422831e-01,3.179242e-01,3.314194e-01,4.375217e-01,5.397763e-01,5.605979e-01,7.002706e-01,8.266925e-01,8.558219e-01,1.026243e+00,1.172454e+00,1.210285e+00,1.406512e+00,1.567017e+00,1.613346e+00,1.829113e+00,1.998009e+00,2.052086e+00,2.280517e+00,2.452051e+00,2.512675e+00,2.746867e+00,2.915827e+00,2.981463e+00,3.214917e+00,3.376873e+00,3.445776e+00,3.672696e+00,3.824119e+00,3.894447e+00,4.109918e+00,4.248202e+00,4.318119e+00,4.518182e+00,4.641602e+00,4.709360e+00,4.891021e+00,4.998640e+00,5.062646e+00,5.223824e+00,5.315382e+00,5.374242e+00,5.513685e+00,5.589478e+00,5.642022e+00,5.759204e+00,5.819960e+00,5.865255e+00,5.960262e+00,6.007025e+00,6.044375e+00,6.117792e+00,6.151822e+00,6.180759e+00,6.233561e+00,6.256247e+00,6.276514e+00,6.309963e+00,6.322751e+00,6.334279e+00,6.349845e+00,6.354178e+00,6.357063e+00,6.356342e+00,6.353617e+00,6.348098e+00,6.332750e+00,6.324286e+00,6.310717e+00,6.282415e+00,6.269431e+00,6.248256e+00,6.208646e+00,6.192248e+00,6.163982e+00,6.114652e+00,6.095823e+00,6.061033e+00,6.003491e+00,5.983096e+00,5.942379e+00,5.878036e+00,5.856818e+00,5.810791e+00,5.740954e+00,5.719542e+00,5.668824e+00,5.594687e+00,5.573606e+00,5.518812e+00,5.441456e+00,5.421131e+00,5.362862e+00,5.283258e+00,5.264027e+00,5.202861e+00,5.121873e+00,5.103995e+00,5.040484e+00,4.958872e+00,4.942538e+00,4.877203e+00,4.795633e+00,4.780972e+00,4.714304e+00,4.633350e+00,4.620441e+00,4.552895e+00,4.473051e+00,4.461928e+00,4.393924e+00,4.315608e+00,4.306269e+00,4.238192e+00,4.161754e+00,4.154167e+00,4.086368e+00,4.012097e+00,4.006206e+00,3.939001e+00,3.867132e+00,3.862860e+00,3.796536e+00,3.727253e+00,3.724510e+00,3.659320e+00,3.592766e+00,3.591449e+00,3.527619e+00,3.463899e+00,3.342012e+00,3.225884e+00,3.115563e+00,3.011052e+00,2.912317e+00,2.819293e+00,2.731888e+00,2.649987e+00,2.573457e+00,2.502147e+00,2.435897e+00,2.374534e+00,2.317878e+00,2.265741e+00,2.217934e+00,2.174261e+00,2.134528e+00,2.098538e+00,2.066095e+00,2.037005e+00,2.011074e+00,1.988113e+00,1.967935e+00,1.950357e+00,1.935200e+00,1.922290e+00,1.911457e+00,1.902539e+00,1.895376e+00,1.889817e+00,1.885715e+00,1.882930e+00,1.881329e+00,1.880782e+00,1.881171e+00,1.882379e+00,1.884300e+00,1.886832e+00,1.889880e+00,1.893357e+00,1.897178e+00,1.901269e+00,1.905560e+00,1.909986e+00,1.914489e+00,1.919017e+00,1.923521e+00,1.927959e+00,1.932293e+00
0.000000e+00,5.545617e-09,9.941922e-08,1.042365e-07,7.101885e-07,2.213253e-06,2.291606e-06,4.376432e-06,6.329440e-06,6.450690e-06,8.398940e-06,1.006700e-05,1.020645e-05,1.187586e-05,1.326499e-05,1.341292e-05,1.482390e-05,1.596623e-05,1.611505e-05,1.729254e-05,1.821889e-05,1.836241e-05,1.933063e-05,2.006969e-05,2.020309e-05,2.098554e-05,2.156392e-05,2.168358e-05,2.230257e-05,2.274432e-05,2.284767e-05,2.332380e-05,2.365033e-05,2.373565e-05,2.408765e-05,2.431774e-05,2.438401e-05,2.462870e-05,2.477872e-05,2.482547e-05,2.497786e-05,2.506196e-05,2.508918e-05,2.516256e-05,2.519293e-05,2.520094e-05,2.520708e-05,2.519416e-05,2.518356e-05,2.513281e-05,2.508551e-05,2.505711e-05,2.495859e-05,2.488448e-05,2.483923e-05,2.470090e-05,2.460639e-05,2.454536e-05,2.437422e-05,2.426469e-05,2.418901e-05,2.399114e-05,2.387111e-05,2.378195e-05,2.356266e-05,2.343588e-05,2.333442e-05,2.309831e-05,2.296789e-05,2.285532e-05,2.260638e-05,2.247486e-05,2.235233e-05,2.209399e-05,2.196344e-05,2.183208e-05,2.156730e-05,2.143936e-05,2.130026e-05,2.103157e-05,2.090756e-05,2.076175e-05,2.049131e-05,2.037224e-05,2.022070e-05,1.995034e-05,1.983696e-05,1.968063e-05,1.941190e-05,1.930476e-05,1.914449e-05,1.887870e-05,1.877817e-05,1.861478e-05,1.835298e-05,1.825930e-05,1.809354e-05,1.783663e-05,1.774989e-05,1.758245e-05,1.733115e-05,1.725137e-05,1.708288e-05,1.683776e-05,1.676486e-05,1.659591e-05,1.635742e-05,1.629125e-05,1.612238e-05,1.589085e-05,1.583124e-05,1.566291e-05,1.543861e-05,1.538532e-05,1.521797e-05,1.500105e-05,1.495382e-05,1.478785e-05,1.457841e-05,1.453697e-05,1.437272e-05,1.417078e-05,1.413484e-05,1.397261e-05,1.377819e-05,1.374743e-05,1.358750e-05,1.340053e-05,1.337465e-05,1.321726e-05,1.303766e-05,1.301636e-05,1.286170e-05,1.268936e-05,1.267232e-05,1.252058e-05,1.235535e-05,1.234228e-05,1.219361e-05,1.203533e-05,1.202594e-05,1.188046e-05,1.172895e-05,1.172296e-05,1.158077e-05,1.143586e-05,1.143300e-05,1.129418e-05,1.115567e-05,1.089059e-05,1.063735e-05,1.039557e-05,1.016483e-05,9.944730e-06,9.734865e-06,9.534840e-06,9.344263e-06,9.162750e-06,8.989925e-06,8.825420e-06,8.668880e-06,8.519958e-06,8.378318e-06,8.243635e-06,8.115595e-06,7.993896e-06,7.878247e-06,7.768367e-06,7.663986e-06,7.564846e-06,7.470698e-06,7.381304e-06,7.296436e-06,7.215876e-06,7.139415e-06,7.066855e-06,6.998004e-06,6.932681e-06,6.870712e-06,6.811931e-06,6.756181e-06,6.703310e-06,6.653176e-06,6.605641e-06,6.560576e-06,6.517856e-06,6.477363e-06,6.438986e-06,6.402617e-06,6.368155e-06,6.335502e-06,6.304568e-06,6.275265e-06,6.247509e-06,6.221222e-06,6.196329e-06,6.172758e-06,6.150442e-06
0.000000e+00,1.759312e-08,2.611487e-07,2.726859e-07,1.746601e-06,6.637818e-06,6.960810e-06,1.891247e-05,3.611563e-05,3.733764e-05,5.853593e-05,7.820973e-05,7.989786e-05,1.005428e-04,1.183106e-04,1.202348e-04,1.389221e-04,1.545361e-04,1.566057e-04,1.733035e-04,1.868933e-04,1.890394e-04,2.038404e-04,2.155717e-04,2.177351e-04,2.307536e-04,2.407965e-04,2.429267e-04,2.542861e-04,2.628091e-04,2.648636e-04,2.746909e-04,2.818557e-04,2.837995e-04,2.922204e-04,2.981790e-04,2.999839e-04,3.071196e-04,3.120127e-04,3.136562e-04,3.196216e-04,3.235781e-04,3.250427e-04,3.299455e-04,3.330826e-04,3.343552e-04,3.382959e-04,3.407196e-04,3.417909e-04,3.448626e-04,3.466685e-04,3.475324e-04,3.498211e-04,3.510951e-04,3.517486e-04,3.533337e-04,3.541527e-04,3.545949e-04,3.555496e-04,3.559824e-04,3.562147e-04,3.566061e-04,3.567139e-04,3.567395e-04,3.566294e-04,3.564668e-04,3.562901e-04,3.557352e-04,3.553504e-04,3.549774e-04,3.540294e-04,3.534651e-04,3.529028e-04,3.516090e-04,3.509028e-04,3.501588e-04,3.485626e-04,3.477474e-04,3.468301e-04,3.449709e-04,3.440756e-04,3.429939e-04,3.409077e-04,3.399573e-04,3.387205e-04,3.364399e-04,3.354561e-04,3.340736e-04,3.316285e-04,3.306299e-04,3.291114e-04,3.265287e-04,3.255313e-04,3.238864e-04,3.211905e-04,3.202078e-04,3.184463e-04,3.156592e-04,3.147027e-04,3.128342e-04,3.099759e-04,3.090549e-04,3.070888e-04,3.041773e-04,3.032996e-04,3.012452e-04,2.982966e-04,2.974684e-04,2.953348e-04,2.923635e-04,2.915897e-04,2.893857e-04,2.864046e-04,2.856889e-04,2.834230e-04,2.804436e-04,2.797887e-04,2.774691e-04,2.745017e-04,2.739093e-04,2.715438e-04,2.685976e-04,2.680686e-04,2.656649e-04,2.627477e-04,2.622825e-04,2.598477e-04,2.569665e-04,2.565647e-04,2.541057e-04,2.512667e-04,2.509275e-04,2.484508e-04,2.456592e-04,2.453814e-04,2.428931e-04,2.401535e-04,2.399355e-04,2.374414e-04,2.347577e-04,2.345976e-04,2.321032e-04,2.294786e-04,2.293743e-04,2.268847e-04,2.243220e-04,2.242711e-04,2.217911e-04,2.192925e-04,2.144421e-04,2.097226e-04,2.051363e-04,2.006844e-04,1.963678e-04,1.921869e-04,1.881414e-04,1.842307e-04,1.804539e-04,1.768097e-04,1.732965e-04,1.699125e-04,1.666556e-04,1.635236e-04,1.605141e-04,1.576246e-04,1.548523e-04,1.521945e-04,1.496485e-04,1.472113e-04,1.448799e-04,1.426516e-04,1.405231e-04,1.384916e-04,1.365541e-04,1.347076e-04,1.329492e-04,1.312759e-04,1.296848e-04,1.281731e-04,1.267380e-04,1.253767e-04,1.240864e-04,1.228645e-04,1.217084e-04,1.206155e-04,1.195833e-04,1.186095e-04,1.176915e-04,1.168272e-04,1.160142e-04,1.152503e-04,1.145335e-04,1.138616e-04,1.132327e-04,1.126448e-04,1.120960e-04,1.115846e-04,1.111087e-04
0.000000e+00,1.314574e-09,1.024010e-07,1.096541e-07,1.969595e-06,1.542348e-05,1.660561e-05,8.125488e-05,2.492217e-04,2.651309e-04,6.510167e-04,1.248750e-03,1.313321e-03,2.305394e-03,3.503944e-03,3.655327e-03,5.367012e-03,7.159804e-03,7.423913e-03,9.793860e-03,1.204983e-02,1.243389e-02,1.529462e-02,1.783002e-02,1.832386e-02,2.146954e-02,2.410078e-02,2.468177e-02,2.791437e-02,3.048704e-02,3.112581e-02,3.427971e-02,3.667963e-02,3.734499e-02,4.029588e-02,4.244907e-02,4.311157e-02,4.577592e-02,4.764296e-02,4.827702e-02,5.060667e-02,5.217499e-02,5.275997e-02,5.473483e-02,5.601113e-02,5.653152e-02,5.815228e-02,5.915581e-02,5.960094e-02,6.088260e-02,6.163992e-02,6.200331e-02,6.296990e-02,6.351099e-02,6.378967e-02,6.447026e-02,6.482576e-02,6.501949e-02,6.544525e-02,6.564469e-02,6.575535e-02,6.595750e-02,6.602825e-02,6.605921e-02,6.606777e-02,6.603449e-02,6.599017e-02,6.583314e-02,6.571759e-02,6.560308e-02,6.530609e-02,6.512712e-02,6.494792e-02,6.453402e-02,6.430779e-02,6.406953e-02,6.355928e-02,6.329945e-02,6.300781e-02,6.241938e-02,6.213740e-02,6.179797e-02,6.114730e-02,6.085263e-02,6.047083e-02,5.977182e-02,5.947225e-02,5.905328e-02,5.831801e-02,5.801980e-02,5.756862e-02,5.680753e-02,5.651573e-02,5.603700e-02,5.525910e-02,5.497763e-02,5.447577e-02,5.368878e-02,5.342066e-02,5.289978e-02,5.211029e-02,5.185778e-02,5.132170e-02,5.053532e-02,5.030001e-02,4.975231e-02,4.897376e-02,4.875670e-02,4.820066e-02,4.743392e-02,4.723572e-02,4.667437e-02,4.592276e-02,4.574363e-02,4.517977e-02,4.444601e-02,4.428587e-02,4.372204e-02,4.300836e-02,4.286689e-02,4.230541e-02,4.161359e-02,4.149028e-02,4.093326e-02,4.026471e-02,4.015886e-02,3.960822e-02,3.896401e-02,3.887482e-02,3.833229e-02,3.771321e-02,3.763978e-02,3.710691e-02,3.651350e-02,3.645487e-02,3.593305e-02,3.536563e-02,3.532080e-02,3.481126e-02,3.426997e-02,3.423790e-02,3.374174e-02,3.322656e-02,3.320623e-02,3.272440e-02,3.223518e-02,3.222553e-02,3.175885e-02,3.129534e-02,3.041498e-02,2.958364e-02,2.880032e-02,2.806394e-02,2.737329e-02,2.672709e-02,2.612399e-02,2.556257e-02,2.504138e-02,2.455892e-02,2.411366e-02,2.370406e-02,2.332855e-02,2.298558e-02,2.267356e-02,2.239094e-02,2.213615e-02,2.190766e-02,2.170394e-02,2.152347e-02,2.136478e-02,2.122643e-02,2.110698e-02,2.100507e-02,2.091933e-02,2.084848e-02,2.079125e-02,2.074643e-02,2.071285e-02,2.068940e-02,2.067501e-02,2.066867e-02,2.066942e-02,2.067635e-02,2.068860e-02,2.070538e-02,2.072594e-02,2.074959e-02,2.077568e-02,2.080362e-02,2.083286e-02,2.086293e-02,2.089336e-02,2.092376e-02,2.095377e-02,2.098307e-02,2.101139e-02,2.103848e-02,2.106413e-02
0.000000e+00,4.072774e-08,2.756476e-06,2.938712e-06,4.141638e-05,2.667651e-04,2.854099e-04,1.264063e-03,3.859648e-03,4.113771e-03,1.067856e-02,2.207175e-02,2.337639e-02,4.491836e-02,7.411756e-02,7.802196e-02,1.251883e-01,1.800333e-01,1.885523e-01,2.697942e-01,3.548786e-01,3.700998e-01,4.901551e-01,6.064285e-01,6.301668e-01,7.898998e-01,9.351674e-01,9.687258e-01,1.165677e+00,1.335455e+00,1.379502e+00,1.608724e+00,1.797148e+00,1.851692e+00,2.106631e+00,2.307254e+00,2.371691e+00,2.644981e+00,2.851402e+00,2.924611e+00,3.208718e+00,3.415029e+00,3.495493e+00,3.783202e+00,3.984270e+00,4.070202e+00,4.354951e+00,4.546562e+00,4.636023e+00,4.912109e+00,5.091013e+00,5.182022e+00,5.444698e+00,5.608572e+00,5.699194e+00,5.944687e+00,6.092058e+00,6.180472e+00,6.405953e+00,6.536087e+00,6.620639e+00,6.824140e+00,6.936926e+00,7.016160e+00,7.196487e+00,7.292311e+00,7.364990e+00,7.521609e+00,7.601243e+00,7.666353e+00,7.799288e+00,7.863785e+00,7.920533e+00,8.030258e+00,8.080863e+00,8.128668e+00,8.216010e+00,8.254083e+00,8.292560e+00,8.358618e+00,8.385570e+00,8.414509e+00,8.460575e+00,8.477823e+00,8.497173e+00,8.524670e+00,8.533595e+00,8.543442e+00,8.553868e+00,8.555788e+00,8.556333e+00,8.551221e+00,8.547371e+00,8.538913e+00,8.519791e+00,8.511311e+00,8.494229e+00,8.462596e+00,8.450523e+00,8.425255e+00,8.382561e+00,8.367825e+00,8.334859e+00,8.282487e+00,8.265914e+00,8.225771e+00,8.165027e+00,8.147339e+00,8.100562e+00,8.032671e+00,8.014494e+00,7.961638e+00,7.887736e+00,7.869602e+00,7.811228e+00,7.732364e+00,7.714722e+00,7.651384e+00,7.568519e+00,7.551739e+00,7.483987e+00,7.397996e+00,7.382378e+00,7.310744e+00,7.222420e+00,7.208201e+00,7.133202e+00,7.043260e+00,7.030619e+00,6.952752e+00,6.861829e+00,6.850898e+00,6.770636e+00,6.679305e+00,6.670169e+00,6.587962e+00,6.496727e+00,6.489436e+00,6.405710e+00,6.315015e+00,6.309586e+00,6.224741e+00,6.134977e+00,6.131398e+00,6.045808e+00,5.957313e+00,5.955551e+00,5.869566e+00,5.782633e+00,5.613149e+00,5.447531e+00,5.286139e+00,5.129276e+00,4.977185e+00,4.830065e+00,4.688067e+00,4.551302e+00,4.419850e+00,4.293754e+00,4.173035e+00,4.057686e+00,3.947679e+00,3.842967e+00,3.743488e+00,3.649162e+00,3.559901e+00,3.475602e+00,3.396153e+00,3.321436e+00,3.251322e+00,3.185680e+00,3.124372e+00,3.067256e+00,3.014186e+00,2.965013e+00,2.919588e+00,2.877758e+00,2.839370e+00,2.804272e+00,2.772309e+00,2.743328e+00,2.717179e+00,2.693708e+00,2.672767e+00,2.654209e+00,2.637889e+00,2.623663e+00,2.611392e+00,2.600940e+00,2.592173e+00,2.584962e+00,2.579181e+00,2.574708e+00,2.571425e+00,2.569220e+00,2.567984e+00,2.567613e+00,2.568008e+00
0.000000e+00,9.050906e-10,5.688149e-08,6.055424e-08,8.092068e-07,5.130404e-06,5.488203e-06,2.437027e-05,7.476442e-05,7.970261e-05,2.069037e-04,4.251131e-04,4.498845e-04,8.530250e-04,1.384132e-03,1.453986e-03,2.279403e-03,3.202881e-03,3.343307e-03,4.647467e-03,5.954551e-03,6.182835e-03,7.931569e-03,9.547637e-03,9.869197e-03,1.196672e-02,1.378385e-02,1.419250e-02,1.651388e-02,1.841802e-02,1.889848e-02,2.131523e-02,2.320386e-02,2.373511e-02,2.613167e-02,2.792284e-02,2.848133e-02,3.076359e-02,3.239868e-02,3.296098e-02,3.505904e-02,3.650150e-02,3.704614e-02,3.891333e-02,4.014543e-02,4.065408e-02,4.226404e-02,4.328279e-02,4.374078e-02,4.508360e-02,4.589678e-02,4.629320e-02,4.737152e-02,4.799408e-02,4.832153e-02,4.914699e-02,4.959816e-02,4.985235e-02,5.044255e-02,5.074358e-02,5.092289e-02,5.129893e-02,5.147149e-02,5.157639e-02,5.176105e-02,5.182609e-02,5.185871e-02,5.187508e-02,5.185210e-02,5.181578e-02,5.168630e-02,5.159300e-02,5.149194e-02,5.123783e-02,5.108990e-02,5.092886e-02,5.056971e-02,5.038081e-02,5.016484e-02,4.971847e-02,4.950032e-02,4.923461e-02,4.871702e-02,4.847953e-02,4.816927e-02,4.759469e-02,4.734612e-02,4.699640e-02,4.637734e-02,4.612451e-02,4.574022e-02,4.508761e-02,4.483606e-02,4.442188e-02,4.374522e-02,4.349935e-02,4.305968e-02,4.236717e-02,4.213044e-02,4.166944e-02,4.096810e-02,4.074316e-02,4.026467e-02,3.956051e-02,3.934931e-02,3.885690e-02,3.815500e-02,3.795892e-02,3.745588e-02,3.676052e-02,3.658045e-02,3.606981e-02,3.538456e-02,3.522100e-02,3.470551e-02,3.403334e-02,3.388644e-02,3.336863e-02,3.271194e-02,3.258161e-02,3.206375e-02,3.142450e-02,3.131042e-02,3.079458e-02,3.017432e-02,3.007599e-02,2.956402e-02,2.896394e-02,2.888076e-02,2.837431e-02,2.779531e-02,2.772655e-02,2.722710e-02,2.666981e-02,2.661469e-02,2.612355e-02,2.558839e-02,2.554606e-02,2.506439e-02,2.455158e-02,2.452117e-02,2.404998e-02,2.355958e-02,2.354020e-02,2.308037e-02,2.261231e-02,2.260306e-02,2.215536e-02,2.170946e-02,2.085888e-02,2.005067e-02,1.928405e-02,1.855812e-02,1.787192e-02,1.722440e-02,1.661447e-02,1.604103e-02,1.550290e-02,1.499894e-02,1.452797e-02,1.408881e-02,1.368029e-02,1.330126e-02,1.295055e-02,1.262703e-02,1.232956e-02,1.205706e-02,1.180841e-02,1.158256e-02,1.137845e-02,1.119505e-02,1.103134e-02,1.088633e-02,1.075904e-02,1.064851e-02,1.055382e-02,1.047403e-02,1.040826e-02,1.035563e-02,1.031527e-02,1.028634e-02,1.026803e-02,1.025954e-02,1.026009e-02,1.026893e-02,1.028532e-02,1.030855e-02,1.033794e-02,1.037282e-02,1.041256e-02,1.045654e-02,1.050418e-02,1.055491e-02,1.060820e-02,1.066354e-02,1.072047e-02,1.077851e-02,1.083726e-02
0.000000e+00,1.771769e-08,2.449557e-07,2.554004e-07,1.557341e-06,5.906088e-06,6.197451e-06,1.733433e-05,3.437026e-05,3.561234e-05,5.741883e-05,7.757406e-05,7.928436e-05,9.985764e-05,1.169766e-04,1.187947e-04,1.360638e-04,1.499276e-04,1.517247e-04,1.658630e-04,1.768733e-04,1.785694e-04,1.899336e-04,1.985060e-04,2.000426e-04,2.089793e-04,2.154887e-04,2.168234e-04,2.236511e-04,2.284301e-04,2.295346e-04,2.345430e-04,2.378842e-04,2.387416e-04,2.421923e-04,2.443507e-04,2.449536e-04,2.470804e-04,2.482763e-04,2.486245e-04,2.496345e-04,2.500567e-04,2.501560e-04,2.502315e-04,2.500405e-04,2.499009e-04,2.492014e-04,2.485326e-04,2.481674e-04,2.468314e-04,2.457988e-04,2.452233e-04,2.433710e-04,2.420695e-04,2.413005e-04,2.390357e-04,2.375439e-04,2.365990e-04,2.340110e-04,2.323936e-04,2.312908e-04,2.284561e-04,2.267659e-04,2.255231e-04,2.225068e-04,2.207866e-04,2.194212e-04,2.162789e-04,2.145627e-04,2.130917e-04,2.098704e-04,2.081851e-04,2.066247e-04,2.033637e-04,2.017301e-04,2.000957e-04,1.968280e-04,1.952617e-04,1.935676e-04,1.903207e-04,1.888332e-04,1.870928e-04,1.838891e-04,1.824883e-04,1.807141e-04,1.775718e-04,1.762628e-04,1.744661e-04,1.714000e-04,1.701853e-04,1.683765e-04,1.653981e-04,1.642786e-04,1.624670e-04,1.595852e-04,1.585601e-04,1.567543e-04,1.539756e-04,1.530430e-04,1.512505e-04,1.485797e-04,1.477367e-04,1.459641e-04,1.434042e-04,1.426472e-04,1.409004e-04,1.384531e-04,1.377780e-04,1.360623e-04,1.337280e-04,1.331303e-04,1.314501e-04,1.292283e-04,1.287034e-04,1.270624e-04,1.249520e-04,1.244951e-04,1.228966e-04,1.208956e-04,1.205018e-04,1.189484e-04,1.170543e-04,1.167190e-04,1.152128e-04,1.134229e-04,1.131412e-04,1.116839e-04,1.099950e-04,1.097625e-04,1.083553e-04,1.067640e-04,1.065763e-04,1.052202e-04,1.037228e-04,1.035756e-04,1.022712e-04,1.008641e-04,1.007535e-04,9.950089e-05,9.818043e-05,9.810254e-05,9.690182e-05,9.566411e-05,9.561544e-05,9.446635e-05,9.330760e-05,9.328481e-05,9.218691e-05,9.110336e-05,8.906386e-05,8.715924e-05,8.538259e-05,8.372716e-05,8.218646e-05,8.075415e-05,7.942416e-05,7.819065e-05,7.704801e-05,7.599088e-05,7.501412e-05,7.411286e-05,7.328243e-05,7.251841e-05,7.181658e-05,7.117296e-05,7.058377e-05,7.004543e-05,6.955456e-05,6.910796e-05,6.870262e-05,6.833570e-05,6.800452e-05,6.770655e-05,6.743944e-05,6.720093e-05,6.698896e-05,6.680154e-05,6.663683e-05,6.649311e-05,6.636876e-05,6.626226e-05,6.617220e-05,6.609725e-05,6.603617e-05,6.598781e-05,6.595108e-05,6.592499e-05,6.590859e-05,6.590101e-05,6.590144e-05,6.590912e-05,6.592336e-05,6.594350e-05,6.596893e-05,6.599911e-05,6.603351e-05,6.607165e-05,6.611308e-05
0.000000e+00,2.262915e-10,1.388160e-08,1.477957e-08,2.023380e-07,1.322092e-06,1.415702e-06,6.374013e-06,1.939674e-05,2.065280e-05,5.194476e-05,1.019859e-04,1.074382e-04,1.912401e-04,2.909896e-04,3.034058e-04,4.404423e-04,5.769921e-04,5.964969e-04,7.646178e-04,9.134876e-04,9.377876e-04,1.109635e-03,1.249040e-03,1.274843e-03,1.429316e-03,1.545917e-03,1.570173e-03,1.695644e-03,1.784355e-03,1.804894e-03,1.897843e-03,1.959327e-03,1.974982e-03,2.037201e-03,2.075213e-03,2.085655e-03,2.121643e-03,2.141047e-03,2.146523e-03,2.161640e-03,2.167207e-03,2.168285e-03,2.167661e-03,2.163492e-03,2.160867e-03,2.148891e-03,2.138236e-03,2.132604e-03,2.112771e-03,2.098062e-03,2.090051e-03,2.065009e-03,2.047990e-03,2.038128e-03,2.009813e-03,1.991690e-03,1.980406e-03,1.950192e-03,1.931776e-03,1.919407e-03,1.888250e-03,1.870072e-03,1.856880e-03,1.825432e-03,1.807828e-03,1.794013e-03,1.762714e-03,1.745889e-03,1.731608e-03,1.700751e-03,1.684822e-03,1.670194e-03,1.639974e-03,1.625000e-03,1.610122e-03,1.580662e-03,1.566667e-03,1.551615e-03,1.522996e-03,1.509978e-03,1.494816e-03,1.467084e-03,1.455025e-03,1.439806e-03,1.412988e-03,1.401862e-03,1.386631e-03,1.360738e-03,1.350510e-03,1.335307e-03,1.310339e-03,1.300972e-03,1.285831e-03,1.261781e-03,1.253235e-03,1.238186e-03,1.215042e-03,1.207275e-03,1.192345e-03,1.170091e-03,1.163062e-03,1.148275e-03,1.126891e-03,1.120559e-03,1.105934e-03,1.085400e-03,1.079725e-03,1.065282e-03,1.045574e-03,1.040516e-03,1.026270e-03,1.007366e-03,1.002887e-03,9.888534e-04,9.707277e-04,9.667913e-04,9.529823e-04,9.356111e-04,9.321813e-04,9.186081e-04,9.019670e-04,8.990096e-04,8.856819e-04,8.697465e-04,8.672289e-04,8.541550e-04,8.389012e-04,8.367923e-04,8.239794e-04,8.093835e-04,8.076537e-04,7.951079e-04,7.811466e-04,7.797675e-04,7.674940e-04,7.541446e-04,7.530895e-04,7.410926e-04,7.283327e-04,7.275762e-04,7.158593e-04,7.036672e-04,7.031853e-04,6.917511e-04,6.801059e-04,6.798757e-04,6.687263e-04,6.576074e-04,6.363418e-04,6.160414e-04,5.966698e-04,5.781919e-04,5.605739e-04,5.437830e-04,5.277875e-04,5.125569e-04,4.980619e-04,4.842740e-04,4.711658e-04,4.587110e-04,4.468842e-04,4.356608e-04,4.250173e-04,4.149310e-04,4.053799e-04,3.963428e-04,3.877995e-04,3.797304e-04,3.721166e-04,3.649399e-04,3.581827e-04,3.518282e-04,3.458600e-04,3.402624e-04,3.350203e-04,3.301191e-04,3.255446e-04,3.212834e-04,3.173222e-04,3.136484e-04,3.102498e-04,3.071146e-04,3.042315e-04,3.015895e-04,2.991778e-04,2.969862e-04,2.950050e-04,2.932244e-04,2.916352e-04,2.902285e-04,2.889956e-04,2.879282e-04,2.870182e-04,2.862578e-04,2.856395e-04,2.851560e-04,2.848002e-04
0.000000e+00,6.809900e-10,4.602794e-08,4.913876e-08,7.487845e-07,4.935660e-06,5.275931e-06,2.168767e-05,5.685018e-05,5.987892e-05,1.244151e-04,2.043589e-04,2.120392e-04,3.144021e-04,4.111193e-04,4.218343e-04,5.259449e-04,6.100119e-04,6.207641e-04,7.028522e-04,7.622060e-04,7.708772e-04,8.250177e-04,8.605669e-04,8.663914e-04,8.965988e-04,9.142708e-04,9.173987e-04,9.305006e-04,9.364864e-04,9.374518e-04,9.395851e-04,9.386248e-04,9.380082e-04,9.336174e-04,9.288412e-04,9.271224e-04,9.190757e-04,9.123758e-04,9.099016e-04,8.999223e-04,8.923773e-04,8.893803e-04,8.784565e-04,8.706562e-04,8.672853e-04,8.559664e-04,8.482235e-04,8.445732e-04,8.331604e-04,8.256372e-04,8.217682e-04,8.104268e-04,8.032056e-04,7.991587e-04,7.879808e-04,7.811015e-04,7.769059e-04,7.659438e-04,7.594239e-04,7.551020e-04,7.443863e-04,7.382307e-04,7.338010e-04,7.233496e-04,7.175563e-04,7.130347e-04,7.028583e-04,6.974211e-04,6.928217e-04,6.829259e-04,6.778359e-04,6.731714e-04,6.635587e-04,6.588055e-04,6.540876e-04,6.447581e-04,6.403300e-04,6.355696e-04,6.265218e-04,6.224067e-04,6.176137e-04,6.088448e-04,6.050303e-04,6.002140e-04,5.917204e-04,5.881938e-04,5.833629e-04,5.751403e-04,5.718888e-04,5.670514e-04,5.590949e-04,5.561059e-04,5.512695e-04,5.435738e-04,5.408348e-04,5.360064e-04,5.285658e-04,5.260647e-04,5.212507e-04,5.140595e-04,5.117843e-04,5.069908e-04,5.000429e-04,4.979819e-04,4.932145e-04,4.865039e-04,4.846459e-04,4.799097e-04,4.734302e-04,4.717641e-04,4.670639e-04,4.608094e-04,4.593248e-04,4.546650e-04,4.486293e-04,4.473159e-04,4.427007e-04,4.368777e-04,4.357256e-04,4.311587e-04,4.255424e-04,4.245422e-04,4.200271e-04,4.146114e-04,4.137540e-04,4.092938e-04,4.040730e-04,4.033497e-04,3.989473e-04,3.939155e-04,3.933179e-04,3.889760e-04,3.841275e-04,3.836476e-04,3.793686e-04,3.746979e-04,3.743280e-04,3.701140e-04,3.656156e-04,3.653484e-04,3.612014e-04,3.568701e-04,3.566985e-04,3.526203e-04,3.484507e-04,3.483681e-04,3.443602e-04,3.403474e-04,3.326266e-04,3.251964e-04,3.180476e-04,3.111712e-04,3.045585e-04,2.982011e-04,2.920908e-04,2.862195e-04,2.805795e-04,2.751632e-04,2.699633e-04,2.649726e-04,2.601843e-04,2.555916e-04,2.511880e-04,2.469671e-04,2.429229e-04,2.390494e-04,2.353407e-04,2.317912e-04,2.283956e-04,2.251486e-04,2.220450e-04,2.190798e-04,2.162483e-04,2.135457e-04,2.109676e-04,2.085095e-04,2.061672e-04,2.039366e-04,2.018135e-04,1.997943e-04,1.978750e-04,1.960521e-04,1.943219e-04,1.926812e-04,1.911264e-04,1.896544e-04,1.882621e-04,1.869465e-04,1.857045e-04,1.845333e-04,1.834303e-04,1.823926e-04,1.814177e-04,1.805032e-04,1.796464e-04,1.788452e-04,1.780971e-04
0.000000e+00,1.416024e-09,1.307157e-07,1.404195e-07,2.769503e-06,2.146545e-05,2.307042e-05,1.066261e-04,3.096786e-04,3.284252e-04,7.719068e-04,1.440126e-03,1.511695e-03,2.605694e-03,3.925913e-03,4.093098e-03,5.995351e-03,8.017516e-03,8.318368e-03,1.105514e-02,1.372669e-02,1.418832e-02,1.769260e-02,2.090029e-02,2.153679e-02,2.568559e-02,2.928839e-02,3.010113e-02,3.474418e-02,3.859583e-02,3.957517e-02,4.455503e-02,4.851819e-02,4.964579e-02,5.481108e-02,5.876530e-02,6.001651e-02,6.522993e-02,6.907541e-02,7.042158e-02,7.556419e-02,7.922254e-02,8.063306e-02,8.560599e-02,8.901931e-02,9.046328e-02,9.518766e-02,9.831657e-02,9.976413e-02,1.041799e-01,1.070011e-01,1.084244e-01,1.124886e-01,1.149920e-01,1.163658e-01,1.200506e-01,1.222368e-01,1.235392e-01,1.268293e-01,1.287075e-01,1.299196e-01,1.328102e-01,1.343957e-01,1.355022e-01,1.379973e-01,1.393095e-01,1.402982e-01,1.424084e-01,1.434699e-01,1.443317e-01,1.460727e-01,1.469075e-01,1.476361e-01,1.490272e-01,1.496599e-01,1.502515e-01,1.513148e-01,1.517697e-01,1.522230e-01,1.529820e-01,1.532827e-01,1.535979e-01,1.540770e-01,1.542460e-01,1.544253e-01,1.546490e-01,1.547072e-01,1.547540e-01,1.547465e-01,1.547133e-01,1.546323e-01,1.544171e-01,1.543100e-01,1.541066e-01,1.537063e-01,1.535412e-01,1.532215e-01,1.526575e-01,1.524486e-01,1.520193e-01,1.513117e-01,1.510714e-01,1.505395e-01,1.497071e-01,1.494463e-01,1.488189e-01,1.478792e-01,1.476074e-01,1.468919e-01,1.458608e-01,1.455860e-01,1.447896e-01,1.436819e-01,1.434110e-01,1.425409e-01,1.413699e-01,1.411086e-01,1.401719e-01,1.389498e-01,1.387027e-01,1.377063e-01,1.364440e-01,1.362150e-01,1.351655e-01,1.338729e-01,1.336650e-01,1.325686e-01,1.312546e-01,1.310700e-01,1.299329e-01,1.286054e-01,1.284457e-01,1.272737e-01,1.259396e-01,1.258061e-01,1.246046e-01,1.232701e-01,1.231634e-01,1.219375e-01,1.206082e-01,1.205285e-01,1.192832e-01,1.179637e-01,1.179111e-01,1.166508e-01,1.153453e-01,1.153193e-01,1.140483e-01,1.127606e-01,1.102412e-01,1.077664e-01,1.053410e-01,1.029687e-01,1.006528e-01,9.839593e-02,9.620018e-02,9.406724e-02,9.199833e-02,8.999434e-02,8.805581e-02,8.618302e-02,8.437596e-02,8.263440e-02,8.095791e-02,7.934591e-02,7.779761e-02,7.631214e-02,7.488847e-02,7.352550e-02,7.222202e-02,7.097674e-02,6.978834e-02,6.865539e-02,6.757646e-02,6.655008e-02,6.557473e-02,6.464888e-02,6.377098e-02,6.293947e-02,6.215278e-02,6.140936e-02,6.070762e-02,6.004603e-02,5.942303e-02,5.883709e-02,5.828671e-02,5.777039e-02,5.728665e-02,5.683406e-02,5.641120e-02,5.601666e-02,5.564911e-02,5.530719e-02,5.498963e-02,5.469515e-02,5.442254e-02,5.417060e-02,5.393817e-02
0.000000e+00,1.096709e-08,1.538915e-07,1.605486e-07,9.438562e-07,3.132419e-06,3.264946e-06,7.657026e-06,1.306756e-05,1.342761e-05,1.931583e-05,2.428523e-05,2.469212e-05,2.943334e-05,3.317540e-05,3.356215e-05,3.713049e-05,3.985037e-05,4.019288e-05,4.280076e-05,4.471616e-05,4.500139e-05,4.683792e-05,4.812809e-05,4.834966e-05,4.957225e-05,5.038178e-05,5.053800e-05,5.127609e-05,5.172042e-05,5.181283e-05,5.217191e-05,5.234244e-05,5.237463e-05,5.244013e-05,5.240863e-05,5.238536e-05,5.222558e-05,5.204784e-05,5.197446e-05,5.164415e-05,5.136342e-05,5.124550e-05,5.078822e-05,5.043791e-05,5.028095e-05,4.973132e-05,4.933689e-05,4.914614e-05,4.853144e-05,4.811219e-05,4.789256e-05,4.723423e-05,4.680465e-05,4.656064e-05,4.587548e-05,4.544631e-05,4.518200e-05,4.448308e-05,4.406217e-05,4.378123e-05,4.307866e-05,4.267161e-05,4.237729e-05,4.167881e-05,4.128947e-05,4.098468e-05,4.029615e-05,3.992707e-05,3.961433e-05,3.894015e-05,3.859286e-05,3.827440e-05,3.761775e-05,3.729303e-05,3.697078e-05,3.633395e-05,3.603199e-05,3.570765e-05,3.509218e-05,3.481277e-05,3.448779e-05,3.389465e-05,3.363727e-05,3.331290e-05,3.274262e-05,3.250654e-05,3.218386e-05,3.163663e-05,3.142096e-05,3.110090e-05,3.057663e-05,3.038040e-05,3.006375e-05,2.956216e-05,2.938433e-05,2.907176e-05,2.859242e-05,2.843194e-05,2.812400e-05,2.766636e-05,2.752217e-05,2.721934e-05,2.678278e-05,2.665383e-05,2.635651e-05,2.594035e-05,2.582561e-05,2.553412e-05,2.513765e-05,2.503614e-05,2.475075e-05,2.437323e-05,2.428400e-05,2.400491e-05,2.364560e-05,2.356774e-05,2.329512e-05,2.295328e-05,2.288594e-05,2.261990e-05,2.229480e-05,2.223715e-05,2.197780e-05,2.166871e-05,2.161998e-05,2.136737e-05,2.107360e-05,2.103306e-05,2.078722e-05,2.050807e-05,2.047505e-05,2.023598e-05,1.997080e-05,1.994465e-05,1.971235e-05,1.946048e-05,1.944061e-05,1.921504e-05,1.897587e-05,1.896172e-05,1.874284e-05,1.851578e-05,1.850682e-05,1.829456e-05,1.807904e-05,1.807479e-05,1.786908e-05,1.766455e-05,1.727509e-05,1.690541e-05,1.655457e-05,1.622168e-05,1.590587e-05,1.560633e-05,1.532226e-05,1.505293e-05,1.479763e-05,1.455566e-05,1.432638e-05,1.410918e-05,1.390346e-05,1.370867e-05,1.352427e-05,1.334975e-05,1.318463e-05,1.302844e-05,1.288074e-05,1.274112e-05,1.260917e-05,1.248452e-05,1.236680e-05,1.225567e-05,1.215079e-05,1.205187e-05,1.195859e-05,1.187068e-05,1.178787e-05,1.170990e-05,1.163652e-05,1.156751e-05,1.150264e-05,1.144170e-05,1.138449e-05,1.133082e-05,1.128050e-05,1.123337e-05,1.118925e-05,1.114800e-05,1.110946e-05,1.107349e-05,1.103997e-05,1.100875e-05,1.097972e-05,1.095276e-05,1.092776e-05,1.090461e-05,1.088322e-05
0.000000e+00,1.183875e-08,3.161800e-07,3.325000e-07,2.789226e-06,1.242058e-05,1.308832e-05,3.854056e-05,7.524545e-05,7.782694e-05,1.221098e-04,1.625243e-04,1.659673e-04,2.078085e-04,2.434673e-04,2.473109e-04,2.844573e-04,3.152404e-04,3.193028e-04,3.519215e-04,3.782540e-04,3.823940e-04,4.108032e-04,4.331341e-04,4.372334e-04,4.617690e-04,4.805333e-04,4.844939e-04,5.054910e-04,5.210992e-04,5.248414e-04,5.426242e-04,5.554560e-04,5.589161e-04,5.737916e-04,5.841936e-04,5.873220e-04,5.995761e-04,6.078615e-04,6.106202e-04,6.205176e-04,6.269680e-04,6.293292e-04,6.371133e-04,6.419807e-04,6.439256e-04,6.498194e-04,6.533288e-04,6.548459e-04,6.590536e-04,6.614050e-04,6.624893e-04,6.651973e-04,6.665682e-04,6.672199e-04,6.685977e-04,6.691450e-04,6.693690e-04,6.695708e-04,6.694331e-04,6.692380e-04,6.684040e-04,6.677032e-04,6.671005e-04,6.653579e-04,6.642010e-04,6.632049e-04,6.606689e-04,6.591495e-04,6.577760e-04,6.545510e-04,6.527507e-04,6.510175e-04,6.471978e-04,6.451873e-04,6.431132e-04,6.387840e-04,6.366248e-04,6.342293e-04,6.294674e-04,6.272121e-04,6.245154e-04,6.193899e-04,6.170837e-04,6.141063e-04,6.086793e-04,6.063606e-04,6.031229e-04,5.974503e-04,5.951516e-04,5.916740e-04,5.858058e-04,5.835541e-04,5.798568e-04,5.738377e-04,5.716555e-04,5.677583e-04,5.616282e-04,5.595340e-04,5.554561e-04,5.492505e-04,5.472589e-04,5.430192e-04,5.367697e-04,5.348923e-04,5.305089e-04,5.242433e-04,5.224890e-04,5.179792e-04,5.117224e-04,5.100974e-04,5.054781e-04,4.992516e-04,4.977604e-04,4.930476e-04,4.868704e-04,4.855154e-04,4.807242e-04,4.746130e-04,4.733952e-04,4.685402e-04,4.625092e-04,4.614283e-04,4.565231e-04,4.505847e-04,4.496392e-04,4.446968e-04,4.388616e-04,4.380491e-04,4.330815e-04,4.273586e-04,4.266757e-04,4.216946e-04,4.160913e-04,4.155343e-04,4.105502e-04,4.050727e-04,4.046373e-04,3.996602e-04,3.943136e-04,3.939949e-04,3.890341e-04,3.838224e-04,3.836153e-04,3.786793e-04,3.736055e-04,3.735047e-04,3.686015e-04,3.636678e-04,3.541077e-04,3.448263e-04,3.358243e-04,3.271013e-04,3.186562e-04,3.104869e-04,3.025907e-04,2.949643e-04,2.876037e-04,2.805049e-04,2.736630e-04,2.670732e-04,2.607301e-04,2.546283e-04,2.487622e-04,2.431259e-04,2.377137e-04,2.325197e-04,2.275377e-04,2.227619e-04,2.181862e-04,2.138048e-04,2.096115e-04,2.056007e-04,2.017665e-04,1.981031e-04,1.946050e-04,1.912667e-04,1.880826e-04,1.850474e-04,1.821561e-04,1.794034e-04,1.767844e-04,1.742942e-04,1.719281e-04,1.696815e-04,1.675499e-04,1.655289e-04,1.636144e-04,1.618021e-04,1.600881e-04,1.584686e-04,1.569397e-04,1.554979e-04,1.541395e-04,1.528613e-04,1.516598e-04,1.505318e-04,1.494744e-04
0.000000e+00,5.660190e-10,4.723411e-08,5.063040e-08,9.038041e-07,6.514666e-06,6.984128e-06,3.056125e-05,8.463701e-05,8.947723e-05,1.987989e-04,3.501734e-04,3.656619e-04,5.891034e-04,8.329739e-04,8.622499e-04,1.174905e-03,1.473683e-03,1.515687e-03,1.873506e-03,2.187245e-03,2.238433e-03,2.602107e-03,2.901686e-03,2.957842e-03,3.300538e-03,3.569190e-03,3.626503e-03,3.933233e-03,4.163706e-03,4.219189e-03,4.483590e-03,4.674714e-03,4.726236e-03,4.947364e-03,5.101355e-03,5.147516e-03,5.327456e-03,5.448127e-03,5.488088e-03,5.630401e-03,5.722103e-03,5.755429e-03,5.864221e-03,5.931272e-03,5.957816e-03,6.037230e-03,6.083634e-03,6.103444e-03,6.157399e-03,6.186732e-03,6.199992e-03,6.232073e-03,6.247461e-03,6.254445e-03,6.267865e-03,6.272002e-03,6.273042e-03,6.270644e-03,6.265831e-03,6.261295e-03,6.245580e-03,6.233765e-03,6.224044e-03,6.197197e-03,6.180022e-03,6.165515e-03,6.129441e-03,6.108282e-03,6.089389e-03,6.045744e-03,6.021748e-03,5.998863e-03,5.949080e-03,5.923199e-03,5.896706e-03,5.842028e-03,5.815043e-03,5.785313e-03,5.726809e-03,5.699361e-03,5.666748e-03,5.605341e-03,5.577948e-03,5.542788e-03,5.479271e-03,5.452347e-03,5.414958e-03,5.350008e-03,5.323882e-03,5.284563e-03,5.218758e-03,5.193684e-03,5.152715e-03,5.086547e-03,5.062716e-03,5.020358e-03,4.954243e-03,4.931797e-03,4.888290e-03,4.822579e-03,4.801615e-03,4.757183e-03,4.692168e-03,4.672748e-03,4.627597e-03,4.563522e-03,4.545678e-03,4.499996e-03,4.437062e-03,4.420801e-03,4.374761e-03,4.313130e-03,4.298442e-03,4.252202e-03,4.192005e-03,4.178863e-03,4.132565e-03,4.073904e-03,4.062267e-03,4.016042e-03,3.958996e-03,3.948815e-03,3.902779e-03,3.847405e-03,3.838624e-03,3.792883e-03,3.739221e-03,3.731777e-03,3.686425e-03,3.634500e-03,3.628328e-03,3.583449e-03,3.533274e-03,3.528304e-03,3.483973e-03,3.435547e-03,3.431711e-03,3.387993e-03,3.341308e-03,3.338535e-03,3.295489e-03,3.250529e-03,3.248748e-03,3.206424e-03,3.163168e-03,3.162311e-03,3.120753e-03,3.079172e-03,2.999269e-03,2.922536e-03,2.848898e-03,2.778277e-03,2.710593e-03,2.645761e-03,2.583696e-03,2.524311e-03,2.467521e-03,2.413238e-03,2.361376e-03,2.311849e-03,2.264574e-03,2.219467e-03,2.176447e-03,2.135434e-03,2.096351e-03,2.059122e-03,2.023672e-03,1.989932e-03,1.957830e-03,1.927300e-03,1.898276e-03,1.870695e-03,1.844496e-03,1.819621e-03,1.796012e-03,1.773615e-03,1.752377e-03,1.732246e-03,1.713175e-03,1.695115e-03,1.678022e-03,1.661852e-03,1.646563e-03,1.632114e-03,1.618468e-03,1.605587e-03,1.593436e-03,1.581980e-03,1.571187e-03,1.561024e-03,1.551463e-03,1.542475e-03,1.534030e-03,1.526104e-03,1.518671e-03,1.511706e-03,1.505186e-03
